가스 공급 관 ( 61 ) 의 도중 위치 에 는 개폐 밸브 ( 62 ) 와 매스 플로우 컨트롤러 와 같 은 유량 제어기 ( 63 ) 가 개재 되 어 있 다 . 가스 공급 관 ( 61 ) , 개폐 밸브 ( 62 ) , 유량 제어기 ( 63 ) 및 처리 가스 공급원 ( 64 ) 에 의해 , 처리 가스 공급 부 ( 60 ) 가 형성 된다 . 또한 , 가스 공급 관 ( 61 ) 은 도중 에서 분기 되 어 있 으며 , 각 분 기관 에 는 개폐 밸브 와 유량 제어기 및 처리 가스 종 에 따른 처리 가스 공급원 이 연통 하 고 있 다 ( 도시 하 지 않 음 ) .