도 1 은 , 후술 의 실시 형태 에 따른 노광 장치 의 구성 을 도시 하 는 모식도 다 . 노광 장치 ( 101 ) 는 , 노광 광 을 생기 게 하 는 조명 광학계 ( 102 ) , 마스크 M 을 보유 하 여 이동 가능 한 마스크 스테이지 ( 103 ) , 투영 광학계 ( 11 ) , 및 기판 W 를 보유 하 여 이동 가능 한 기판 스테이지 ( 104 ) 를 구비 한다 .