증착 챔버 ( 46 ) 에서 기판 ( S 2 ) 에 대한 증착 공정 이 완료 되 면 , 직선 구동 부재 ( 310 ) 및 회전 구동 부재 ( 320 ) 의 이송 축들 ( 313 , 323 ) 을 신장 시켜 마스크 ( M 1 ) 를 기판 ( S 1 ) 으로부터 탈착 시키 고 , 이송 축들 ( 313 , 323 ) 을 마스크 탈 부착 챔버 ( 44 ) 로 후퇴 시켜 마스크 ( M 1 ) 를 회수 한다 . ( 도 4 j )