도 2 는 챔버 리드 ( 11 a ) 에 결합 된 가스 밸브 어셈블리 ( 20 ) 의 단면 구조 를 상세히 예시 한 것 으로서 , 하우징 ( 22 ) 은 그 측면 에 제 1 내지 제 4 가스 공급 홀 ( 25 a , 25 b , 25 c , 25 d ) 을 구비 하 는 한편 하단 부 에 챔버 리드 ( 11 a ) 에 체결 되 는 플랜지 ( 22 a ) 를 구비 한다 . 챔버 리드 ( 11 a ) 와 플랜지 ( 22 a ) 의 사이 에 는 진공 시일 을 위한 오링 ( 16 ) 을 설치 한다 .