한편 , 기존 벨트 형 연마 장치 는 구동 롤러 가 외팔보 형태 의 구동축 에 연결 되 어 지 지 되 고 , 연마 패드 의 교체 시 에 는 구동 롤러 의 구동축 반대편 에서 연마 패드 를 분리 하 고 장착 하 게 된다 . 하지만 이 와 같 은 외팔보 형태 로 지지 구조 는 연마 패드 의 단 방향 폭 ( 400 ㎜ 이하 ) 이 짧 은 경우 에 만 가능 하 다 . 최근 에 는 기판 의 면적 이 커짐 에 따라 구동 롤러 의 길이 가 증가 하 고 무게 가 증가 하 기 때문 에 , 외팔보 구조 에서 는 구동 롤러 에 처짐 이 발생 할 수 있 다 . 구동 롤러 에 처짐 이 발생 할 경우 , 연마 패드 와 기판 의 접촉 면적 및 압력 이 일정 하 지 않 기 때문 에 , 일정 한 연마 율 과 연마 평탄 도 확보 가 어렵 다 . 이 에 구동 롤러 를 양쪽 에서 지지 하 는 구조 가 사용 되 고 있 다 . 그런데 , 이 와 같이 구동 롤러 를 양쪽 지지 구조 에서 는 구동 롤러 의 양쪽 이 모두 고정 되 어 있 기 때문 에 연마 패드 를 교체 하 는 것 이 어렵 다 .