이러 한 소자 의 제조 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 진공 인클로저 ( enclosure ) ( 30 ) 에서 수행 된다 . 이러 한 인클로저 내 의 압력 은 예 를 들 어 , 약 0 . 1 내지 1 Pa 이 다 . 인클로저 ( 30 ) 에서 , 실리콘 플레이트 ( 16 ) 의 형상 으로 단결정 실리콘 기판 이 있 는 것 을 볼 수 있 다 . 이러 한 실리콘 플레이트 는 소자 의 상이 한 층 들 을 생성 하 기 위한 증착 물 ( deposits ) 을 수용 하 기 위한 베이스 로서 작용 한다 . 이 플레이트 ( 16 ) 는 온도 를 조절 하 기 위한 수단 ( 18 ) 까지 연결 되 어 있 으며 , 이러 한 온도 는 제조 동안 에 600 ℃ 를 초과 하 지 않 는다 .