본 발명 의 노광 시스템 을 사용 함 으로써 , 기판 이 대형 화 되 어도 디바이스 제조 라인 의 스루풋 을 향상 시킬 수 있 다 . 특히 , 기판 로트 의 레이아웃 이나 패턴 사이즈 에 따라 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 를 사용 한 최 적 인 노광 제어 모드 를 선택 함 으로써 디바이스 제조 라인 의 가동 효율 을 저하 시키 지 않 고 , 디바이스 제조 라인 의 최고 의 스루풋 을 유지 할 수 있 다 . 본 발명 의 디바이스 제조 시스템 에 의하 면 , 기판 반송 부 와 복수 의 노광 부를 연휴 제어 하 는 제 어부 를 구비 하 고 있 기 때문 에 , 효율 적 으로 노광 을 실시 할 수 있 어 , 스루풋 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 복 수 의 노광 부 에 의해 1 장 의 기판 상 에 상이 한 패턴 을 노광 할 수 있 기 때문 에 , 기판 의 이용 효율 을 향상 시킬 수 있 어 , 디바이스 의 제조 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .