림 폭 γ 가 지나치 게 넓 으면 , 후술 하 는 경사각 θ 의 개선 효과 가 작아지 는 데 다가 , 보다 미세 한 채널 을 형성 하 기 가 어려워 지 거나 , 또는 피전 사체 상 에 형성 되 는 레지스 트 패턴 의 막 두께 의 손실 로 이어지 기 쉬운 경향 이 있 다 . 림 폭 γ 가 지나치 게 작 으면 , 전사 시 , 후술 하 는 DOF ( Depth of Focus ) 의 향상 효과 가 불 충분 해진다 .