또한 , 전술 한 실시 형태 에서 , 전술 한 X 스케일 ( SX 1 및 SX 2 ) 대신 에 , 도 14 의 제 2 변형 예 에 도시 된 X 스케일 ( SX 1 ' 및 SX 2 ') 을 이용 할 수 있 다 . 이 들 X 스케일 ( SX 1 ' 및 SX 2 ') 은 , Y 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 는 좁 은 직사각 형 형상 의 주 영역 과 , 그 주 영역 의 + Y 측 의 단부 와 Y 스케일 ( SY 1 ) 의 + Y 측 단부 로부터 + X 축 방향 으로 연장 되 는 직사각 형 형상 의 영역 으로 이루어지 는 한 쌍 의 부 영역 ( 연장 된 영역 ) 을 갖 는다 . 따라서 , X 헤드 ( EX 1 ) 의 각 웨이퍼 스테이지 상 의 위치 를 , 도 14 에 도시 된 바 와 같이 , Y 헤드 ( EY 1 ) ( 이 Y 헤드 ( EY 1 ) 는 웨이퍼 스테이지 상 에서 Y 헤드 ( EY ) 와 동일 한 위치 에 설치 된다 ) 에 대해 소정 거리 + Y 측 으로 시프트 된 위치 로 변경 될 수 있 다 .