이러 한 플 라즈 마 를 제조 하 기 위해서 는 일반 적 으로 이온 화 가스 에 RF ( radio frequency ) 를 공급 하 는 방법 을 사용 하 는데 , 지금 까지 플 라즈 마 제조 공정 에서 이온 화 가스 를 만들 기 위해 RF 를 공급 하 는 방법 은 다양 한 형태 로 구현 되 어 왔 다 . 그러 나 종래 의 RF 의 주파수 는 단일 주파수 이 므로 챔버 ( chamber ) 내 의 반응물 의 균일성 ( uniformity ) 이 좋 지 않 은 문제점 이 있 다 .