도 8 은 , 제 2 실시 예의 투영 광학계 ( 100 ) 의 개략 적 인 단면도 다 . 도 8 은 투영 광학계 ( 100 ) 를 구성 하 는 제 2 물체 면 ( 웨이퍼 면 ) 근방 의 렌즈 를 나타낸다 . 제 2 실시 예의 투영 광학계 ( 100 ) 는 , 1 . 70 의 개구수 ( NA ) 를 갖 고 , 복수 의 렌즈 와 적어도 1 개 의 반사 부재 를 포함 한 반사 굴절 형 의 광학계 다 . 제 2 실시 예의 투영 광학계 ( 100 ) 는 , 제 2 물체 면 ( IMG ) 의 한 측면 으로부터 순차 적 으로 삽입 된 볼록 렌즈 L 151 , L 152 , L 153 , L 154 로 구성 되 는 최종 렌즈 ( 렌즈 군 ) L 150 을 포함 한다 . 볼록 렌즈 L 151 , L 152 , L 153 및 L 154 은 , LuAG 로 구성 된다 . 제 2 실시 예의 투영 광학계 ( 100 ) 를 구성 하 는 그 외 의 렌즈 ( 미 도시 ) 는 , 석영 으로 구성 된다 .