상기 와 같이 반도체 소자 들 이 형성 된 후 상기 반도체 소자 들 의 전기 적 인 특성 들 을 검사 하 기 위한 전기 적 인 검사 공정 이 수행 될 수 있 다 . 상기 검사 공정 은 다수 의 탐침 들 을 갖 는 프로브 카드 를 포함 하 는 프로브 스테이션 에 의해 수행 될 수 있 으며 , 상기 프로브 카드 가 장착 되 는 상기 프로브 스테이션 의 본체 상부 에 는 상기 반도체 소자 들 에 전기 적 인 신호 를 제공 하 고 상기 반도체 소자 들 로부터 의 출력 신호 를 분석 하 여 상기 반도체 소자 들 의 전기 적 인 특성 을 검사 하 는 테스트 헤드 가 도킹 될 수 있 다 .