그리고 , 박막 형성 공정 중 또는 박막 형성 공정 후 에 LTP 공정 을 실시 함 으로써 , 처리 실 내부 에 누적 된 박막 표면 에 크랙 이 발생 하 기 때문 에 , 드라이클리닝 에 있 어서 누적 막 의 실효 적 인 표면적 이 넓 어 지 고 , 누적 막 의 F 2 가스 와 의 실질 적 인 접촉 면적 이 증가 하 므로 , F 2 가스 에 의한 누적 막 의 에칭 반응 이 진행 하 기 쉬워져 , 에칭 시간 의 단축 에 도 기여 한다고 생각 된다 .