이상 과 같이 , 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 적재 되 는 적 재 대 ( 20 ) 가 , 웨이퍼 ( W ) 가 상면 에 적재 되 는 적 재 대 본체 ( 21 ) 와 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 상면 의 외연 부 를 덮 는 커버 부재 ( 22 ) 와 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 상면 과 커버 부재 ( 22 ) 의 하 면 사이 에 마련 되 는 볼 ( 23 ) 을 구비 한다 . 또한 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 상면 에 는 , 볼 ( 23 ) 을 수용 하 는 본 체측 오 목부 ( 21 c ) 가 형성 되 고 , 커버 부재 ( 22 ) 의 하면 에 는 , 본 체측 오 목부 ( 21 c ) 에 수용 된 볼 ( 23 ) 을 수용 하 는 커버 측 오 목부 ( 22 c ) 가 형성 되 어 있 다 . 따라서 , 본 체측 오 목부 ( 21 c ) 내 에 볼 ( 23 ) 의 일방 측 부분 이 수용 되 고 , 커버 측 오 목부 ( 22 c ) 에 당해 볼 ( 23 ) 의 타방 측 부분 이 수용 되 도록 , 적재 대 본체 ( 21 ) 와 커버 부재 ( 22 ) 를 조립 함 으로써 , 적재 대 본체 ( 21 ) 에 대한 커버 부재 ( 22 ) 의 위치 어긋남 을 억제 할 수 있 다 . 특히 , 적재 대 본체 ( 21 ) 가 회전 할 경우 에 있 어서 의 , 상기 위치 어긋남 을 억제 할 수 있 다 . 또한 , 상기 위치 어긋남 을 억제 할 수 있 기 때문 에 , 당해 위치 어긋남 에 의한 발진 을 방지 하 거나 , 위치 어긋남 에 의해 적재 대 본체 ( 21 ) 및 커버 부재 ( 22 ) 에 흠집 이 생기 는 것 을 방지 하 거나 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 본 체측 오 목부 ( 21 c ) 가 적재 대 본체 ( 21 ) 의 직경 방향 을 따른 경사면 ( 21 d ) 을 갖 는 유발 상 , 구체 적 으로 는 원추 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 강온 과정 또는 승 온 과정 에서 의 열 수축 또는 열팽창 에 수반 하 여 , 볼 ( 23 ) 이 경사면 ( 21 d ) 을 따라 구름 이동 할 수 있 다 . 따라서 , 상술 한 열 수축 이나 열팽창 시 에 , 적재 대 본체 ( 21 ) 에 균열 등 의 파손 이 생기 지 않 는다 . 또한 , 본 체측 오 목부 ( 21 c ) 나 커버 측 오 목부 ( 22 c ) 에 성막 처리 에 의해 퇴적물 이 퇴적 된 경우 에 도 , 퇴적물 에 의해 볼 ( 23 ) 의 움직임 이 저해 될 때 까지 의 허용 값 이 도 1 의 위치 어긋남 억제 기구 보다 도 현저히 크 기 때문 에 , 이 경우 에 도 적재 대 본체 ( 21 ) 에 균열 등 의 파손 이 생기 지 않 는다 .