또한 , 더블 패 터닝 공정 을 적용 하 는 데 있 어서 , 형성 하 고자 하 는 패턴 밀도 또는 패턴 의 폭 ( width ) 이 서로 다른 각 영역 에서 서로 다른 피치 의 패턴 을 동시 에 형성 하 는 경우 에 도 , 각 영역 에서 의 패턴 밀도 또는 패턴 의 폭 차이 로 인해 야기 될 수 있 는 각 영역 에서 의 식각 율 차이 및 식각 깊이 차이 에 따른 문제 들 을 극복 할 수 있 는 새로운 더블 패 터닝 공정 개발 이 요구 된다 .