도 2 는 본 발명 의 일부 실시 예 에 따라 , OVL 측정 에서 의 확률 적 노이즈 의 영향 에 대한 예 를 제공 한다 . 도 2 는 일반 적 으로 용어 로 , CPE ( 노출 당 보정 가능 한 것 ) 웨이퍼 모델 들 로부터 의 OVL 보정 에 대한 확률 적 변동 의 영향 과 비교 하 여 HO ( 고차 ) 웨이퍼 모델 로부터 의 OVL ( 오버레이 ) 보정 에 대한 확률 적 변동 의 영향 의 비 제한 적 인 예 를 도시 한다 .