도 11 , 12 , 13 에서 는 광화 상 형성 가능 층 ( 45 ) 이 패턴 처리 되 어 제 2 트렌치 ( 50 ) 를 형성 하 며 , 제 2 트렌치 ( 50 ) 는 기판 ( 10 ) 위 에서 제 1 메인 방향 과 는 수직 인 제 2 메인 방향 으로 뻗 어 간다 . 도 13 에 제시 된 일례 의 제 2 메인 방향 은 도 13 이 그려진 종이 의 내외 로 뻗 어 가 는 방향 이 며 , 도 11 의 화살표 ( 13 ) 으로 표시 되 는 방향 이 다 . 제 1 메인 방향 은 도 11 의 화살표 ( 12 ) 의 방향 에 해당 한다 . 물론 , 제 2 트렌치 ( 50 ) 가 제 2 메인 방향 으로 일관 되게 직선 이 지 않 을 수 있 으며 , 일례 의 경우 서로 에 대해 구불구불 하 게 형성 될 수 있 으나 상술 한 바 와 같이 기판 위 에서 제 2 메인 방향 으로 뻗 어 가 게 된다 .