다른 예시 적 실시 형태 에 따른 열처리 방법 은 , 레지스 트 의 피막 이 형성 되 고 , 상기 피막 에 노광 처리 가 실시 된 기판 에 대해 , 열 판 에 있 어서 지지 하 여 가열 함 으로써 열처리 하 는 열처리 방법 으로서 , 챔버 내 에 있 어서 , 상기 기판 의 표면 보다 하방 으로부터 상기 챔버 내 에 기체 를 공급 하 고 , 상기 챔버 내 의 처리 공간 의 상방 에 형성 된 하방 으로 개구 하 는 배기 구멍 으로부터 상기 챔버 내 를 배기 함 으로써 , 상기 기판 주위 에 상승류 를 형성 하 면서 상기 열처리 를 행한다 .