여기 서 , 상기 순환 배관 의 일 측 에 는 상기 순환 배관 을 통해 순환 하 는 상기 순환 슬러 지 에 공동 화 현상 ( 케비 테 이 션 ) 에 의한 물리 적 힘 을 가하 도록 초음파 를 발생 하 는 발 진자 와 , 상기 발진 자 에서 발생 하 는 초음파 에 의해 진동 하 는 진동판 을 포함 하 여 이루어지 는 초음파 리액터 가 구비 됨 이 바람직 하 다 .