무기 화합물 로서 는 , 예 를 들 어 산화코발트 , 산화 하프늄 , 산화지르코늄 등 의 금속 산화물 , 착체 등 의 유기 금속 화합물 을 들 수 있 다 . 상기 금속 산화물 은 입자 상 이 어도 되 고 , 나노 오더 의 입자경 을 갖 는 나노 파티클 이 어도 된다 . 또한 , 상기 금속 산화물 의 입자 는 카르복실 산 등 으로 배위 되 어 있 어도 된다 . ( 1 ) 베이스 성분 으로서 무기 화합물 을 사용 한 경우 의 용해 성 변화 의 일례 를 이하 에 나타낸다 . 예 를 들 어 ( 1 ) 베이스 성분 으로서 카르복실 산 이 배 위한 금속 산화물 의 나노 파티클 을 사용 한 경우 , 방사선 조사 에 의해 발생 한 산 의 음 이온 이 카르복실 산 음 이온 을 대신 해서 금속 산화물 에 배위 한다 . 이 에 의해 , 금속 산화물 의 입자 끼리 의 상호 작용 이 증가 함 으로써 ( 1 ) 베이스 성분 이 겔 화 하 고 , 현상 공정 에 있 어서 비 조 사 부 만 을 용해 시키 는 경우 에 있 어서 의 조사 부 의 용해 를 억제 할 수 있 다 .