보다 구체 적 으로 설명 하 면 , 척 ( 130 ) 은 한 쌍 의 바디 ( 137 ) 를 포함 하 며 , 각각 의 바디 ( 137 ) 는 웨이퍼 홀드 부 ( 133 ) 및 웨이퍼 홀드 부 ( 133 ) 에 수직 한 지지 프레임 ( 135 ) 을 포함 한다 . 웨이퍼 홀드 부 ( 133 ) 는 한 쌍 이 형성 될 수 있 는데 , 한 쌍 의 웨이퍼 홀드 부 ( 133 ) 는 소정 간격 이격 되 어 , 서로 평행 하 게 형성 된다 . 그리고 , 각각 의 웨이퍼 홀드 부 ( 133 ) 에 는 다수 의 슬롯 ( 134 ) 이 서로 대응 하 는 구조 로 형성 되 어 있 다 .