정리 하 면 , 본 발명 의 플 라즈 마 반응기 ( 100 ) 는 상기 입 구 플 라즈 마 반 응부 , 상기 메인 플라 즈 마 반 응부 및 상기 출구 플 라즈 마 반 응부 를 이용 하 여 공정 챔버 ( 102 ) 로부터 입력 된 오염 물질 들 을 완벽 하 게 제거 할 수 있 다 . 이 때 , 상기 입 구 플 라즈 마 반 응부 및 상기 출구 플 라즈 마 반 응부 에서 는 대향 방전 이 일어나 고 , 상기 메임 플라 즈 마 반 응부 에서 는 연면 방전 이 일어날 수 있 다 .