상기 컨베이어 는 로드 락 에 설치 된 로드 락 컨베이어 와 상기 로드 락 의 입구 및 출구 에 각각 설치 되 어 상기 로드 락 컨베이어 와 연결 되 는 제 1 컨베이어 및 제 2 컨베이어 로 이루어지 며 , 로드 락 컨베이어 는 복수 의 층 으로 이루어져 상승 및 하강 한다 . 또한 , 상기 제 1 컨베이어 및 제 2 컨베이어 는 이전 의 공정 라인 과 이후 의 공정 라인 으로 연결 되 어 제조 라인 을 인라인 화 시킨다 .