그런데 도 3 을 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 , 로코스 ( LOCOS ) 형태 의 마스크 산화 막 ( 140 ) 을 형성 하 는 과정 에서 , 버즈 비크 ( bird ' s beak ) 발생 이 필연 적 으로 수반 된다 . 따라서 이 버즈 비크 의 길이 를 고려 하 여 인접 한 플로팅 게이트 패턴 ( 122 ) 사이 의 간격 ( 도 3 의 d 1 ) 을 확보 하 여야 하 는데 , 이 는 셀 면적 축소 에 있 어서 한계 로 작용 하 고 있 다 .