플라 즈 마 처리 에 있 어서 는 , 처리 가스 공급 부 ( 60 ) 로부터 공급 되 는 처리 가스 가 가스 공급 관 ( 61 ) 및 가스 도입 관 ( 55 ) 을 거쳐서 , 각 분 할 금속 창 ( 57 ) 이 갖 는 도체 플레이트 ( 30 ) 의 가스 확산 홈 ( 34 ) 에 공급 된다 . 그리고 , 각 가스 확산 홈 ( 34 ) 으로부터 각 샤워 플레이트 ( 40 ) 의 가스 토출 구멍 ( 44 ) 을 거쳐서 , 처리 영역 ( S ) 에 토출 된다 .