상기 전원 공급 수단 ( 160 ) 에 접속 된 상기 제 1 가스 분사 플레이트 ( 133 ) 는 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 을 사이 에 두 고 커버 플레이트 ( 132 ) 와 대향 됨 으로써 플 라즈 마 전원 에 따라 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 에 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 플 라즈 마 전극 의 역할 을 한다 . 이 에 따라 , 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 은 상기 전원 공급 수단 ( 160 ) 으로부터 제 1 가스 분사 플레이트 ( 133 ) 에 공급 되 는 플 라즈 마 전원 을 이용 해 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 에 플 라즈 마 를 형성 함 으로써 제 2 가스 ( G 2 ) 를 활성 화 시키 고 , 활성 화 된 제 2 가스 ( PG 2 ) 를 각 분 할 공간 ( DS 1 , DS 2 , DS 3 , DS 4 ) 의 일 측 영역 에 분사 하 게 된다 .