기판 에 증착 된 증착 재료 의 막 두께 가 소정 의 두께 에 도달 하 면 , 증착 원 ( 25 ) 의 셔터 를 닫 고 , 그 후 , 반송 로봇 ( 14 ) 이 기판 을 진공 챔버 ( 20 ) 로부터 반 송실 ( 13 ) 로 반출 한다 . 소정 의 매수 의 기판 에 대하 여 기판 반입 으로부터 기판 반출 까지 의 공정 을 반복 하 여 행한 후 , 증착 재료 가 퇴적 되 어 더 이상 쓸 수 없 게 된 마스크 를 성막 장치 로부터 반출 하 고 , 새로운 마스크 를 성막 장치 로 반입 한다 .