도시 되 지 않 지만 , 이후 , " 도 5 의 상태 에서 PMD 막 ( 116 "") 위 로 포토레지스트 도포 ", 노광 , 현상 및 식각 으로 이루어지 는 포토 리소그래피 를 통해 기판 의 소오 스 / 드레 인 영역 으로 연결 되 는 콘 택 홀 이 형성 된다 . 이때 , 노광 단계 는 PMD 막 의 단차 가 해소 된 상태 에서 이루어지 므로 노광 장비 의 포커스 깊이 차이 가 발생 하 지 않 고 , 정확 한 패 터닝 작업 이 이루어져 공정 불량 을 줄일 수 있 다 .