특히 , 이러 한 이러 한 결함 이 웨이퍼 , 나아가 반도체 기판 의 전면 ( FS ) 에 인접 하 여 형성 되 면 , 소자 특성 의 열화 가 발생 할 수 있 다 . 따라서 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 웨이퍼 에 의하 면 반도체 소자 의 제조 공정 중 에 산소 가 웨이퍼 의 전면 ( FS ) 으로 확산 되 는 것 을 방지 함 으로써 , 신뢰 성 이 훨씬 향상 된 소자 를 제조 할 수 있 도록 한다 . 즉 , 소자 의 신뢰 성 을 훨씬 향상 시킬 수 있 다 .