결과 를 살펴보 면 , 습식 면 취 법 을 사용 하 였을 경우 평균 57 . 2 개 의 암점 이 발생 하 였 고 , 건식 면 취 법 을 사용 하 였을 경우 평균 44 . 7 개 의 암점 이 발생 하 여서 습식 면 취 법 이나 건식 면 취 법 모두 큰 유의차 는 없 었 다 . 그러나 , 방패 막 ( 60 , 61 , 62 ) 을 사용 하 여 면 취한 것 은 평균 8 . 8 개 의 암점 만 이 발생 하 여서 방패 막 ( 60 , 61 , 62 ) 을 사용 하 여 파티클 ( 11 ) 의 침투 를 차단 하 는 것 이 가장 효과 적 인 방법 임 을 알 수 있 었 다 . 또한 , 습식 면 취 법 이나 건식 면 취 법 의 경우 A 3 cell 과 I 3 cell 에서 암점 이 많이 발생 한 반면 에 방패 막 면 취 법 은 비교 적 고른 결과 를 나타냄 으로써 더욱 효과 적 인 방 법 임 을 알 수 있 었 다 .