전환 유닛 ( 12 ) 은 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 종류 나 검사 항목 에 따라 복수 의 프로브 ( 11 a ) 와 전술 한 계측 부 의 접속 을 전환 가능 한 전환 회로 ( 도 1 내지 도 3 에서 는 도시 하 지 않 음 ) 를 갖 는다 . 전환 유닛 ( 12 ) 은 , 예 를 들 어 검사 대상 기판 ( P ) 의 도전 패턴 에 따라 선정 된 하나 또는 복수 의 프로브 ( 11 a ) 와 상기 계측 부 의 전기 적 인 접속 을 선택 적 으로 ON 으로 한다 . 전환 유닛 ( 12 ) 은 , 예 를 들 어 컴퓨터 를 포함 하 는 제 어부 ( 도시 하 지 않 음 ) 에서 선정 된 하나 또는 복수 의 프로브 ( 11 a ) 와 상기 계측 부 의 전기 적 인 접속 을 , 이 제 어부 의 지시 에 따라 선택 적 으로 ON 으로 한다 .