도 3 은 타 겟 의 소모 에 따른 타 겟 과 반도체 기판 상 거리 를 자동 으로 보상 하 는 그래프 예 시도 로 , 상기 타 겟 ( 102 ) 에 대한 스퍼터링 진행 에 따라 타 겟 ( 102 ) 이 점 차 적 으로 소모 되 어 타 겟 ( 102 ) 과 반도체 기판 ( 104 ) 상 거리 ( d ) 에 변화 가 발생 할 시 상기 도 3 에서 보여 지 는 바 와 같이 타 겟 ( 102 ) 의 소모 됨 에 따른 거리 변화 를 보상 하 여 주 게 된다 .