상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 이송 장치 는 , 진공 챔버 내 에 밀폐 되 고 표시 장치 의 기판 이 안착 되 는 캐리어 ( carrier ) , 상기 캐리어 를 수직 으로 이동 하 게 하 는 리니어 모터 ( linear motor ) , 상기 리니어 모터 와 대향 되 는 상기 캐리어 의 하부 또는 상부 에 구비 되 어 상기 캐리어 의 이동 을 원활 하 게 하 는 이 송 유닛 , 상기 캐리어 에 부착 되 는 바코드 , 및 상기 진공 챔버 의 외부 에 구비 되 며 상기 바코드 를 인식 함 에 따라 상기 캐리어 의 위치 를 결정 하 는 바코드 리더 기 를 포함 한다 .