중합 개시제 ( E ) 로서 는 , O - 아실 옥심 화합물 등 의 옥심 계 화합물 , 알 킬 페논 화합물 , 비 이미다졸 화합물 , 트리아진 화합물 , 아실 포스핀 옥사이드 화합물 등 을 들 수 있 다 . 중합 개시제 ( E ) 는 , 감도 나 , 패 터닝 성 등 을 고려 하 여 , 2 종 이상 을 병용 해도 된다 . 중합 개시제 ( E ) 는 , 감도 및 원 하 는 선폭 을 가지 는 패턴 형상 을 정밀 하 게 만들 어 넣 는데 유리 한 점 에서 , O - 아실 옥심 화합물 등 의 옥심 계 화합물 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .