( 1 ) 주름 진 그래핀 ( 종래 의 화학 기상 증착 법 으로 구리 , 니켈 , 백금 등 금속 , 산화 규소 , 탄화규소 등 비 금속 기판 상 에 성장 한 그래핀 은 열팽창 률 의 차이 로 인해 주름 이 형성 됨 ) 을 플 라즈 마 화학 기상 증착 시스템 에 놓 고 , 일정 시간 가열 하 여 특정 한 수소 압력 을 보충 하 면서 적절 한 결합 정합 전력 과 반응 시간 을 조절 하 여 플 라즈 마 를 반응 시켜 그래핀 주름 을 줄이 고 제거 할 수 있 다 . 상기 에서 사용 된 플 라즈 마 화학 기상 증착 기술 은 반응 온도 , 압력 , 반응 가스 유량 , 가열 시간 , 플라 즈 마 강도 및 반응 시간 을 조절 한다 . 반응 온도 는 100 내지 1000 ℃, 반응 압력 은 1 내지 100 Pa 이 고 , 반응 가스 는 수소 일 수 있 으며 , 가스 유량 은 5 내지 2000 sccm , 가열 시간 은 60 내지 3600 s , 플라 즈 마 반응 시간 은 60 내지 1800 s 이 다 .