이 와 같이 본 실시 예 에서 는 플 라즈 마 를 이용 한 식각 공정 중 에 레이 저광 을 이용 한 세정 공정 을 통해 챔버 측면 에 마련 된 챔버 윈도우 를 세정 할 수 있 다 . 이 를 통해 챔버 윈도우 표면 에 식각 공정 중 발생 한 폴리머 가 흡착 되 는 것 을 막 을 수 있 고 , 이 를 통해 정확 한 식각 공정 의 모니터링 을 수행 할 수 있 다 . 정확 한 식각 공정 의 모니터링 을 통해 식각 공정 의 균일성 을 향상 시킬 수 있 을 뿐 만 아니 라 소자 제작 의 수율 을 향상 시킬 수 있 다 .