본 발명 의 식각 액 조성물 은 함 불소 화합물 를 포함 하 지 않 음 으로써 하부 에 형성 되 는 산화물 반도체 층 의 데미지 의 발생 을 야기 하 지 않 으며 , 식각 중 발열 을 효과 적 으로 억제 하 며 , 하부 테일 및 잔 막 의 발생 을 방지 하 는 우수 한 식각 특성 을 제공 한다 . 특히 , Mo - Ti / Cu / Mo - Ti 막 의 식각 시 상부 팁 ( Tip ) 의 발생 을 방지 하 는 효과 를 제공 한다 .