본 발명 에 따른 기판 처리 시스템 은 , 기판 을 처리 하 는 기판 처리 장치 와 , 상기 기판 처리 장치 로 기판 을 반송 하 는 기판 반송 장치 를 구비 하 고 있 다 . 이 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 상기 기판 반송 장치 는 진출 및 퇴피 가능 한 반송 아 암부 와 , 상기 반송 아 암부 에 장착 되 어서 기판 을 보 지 하 는 기판 보 지구 를 구비 하 고 있 다 . 더욱이 , 이 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 상기 기판 보 지 구 는 기부 와 , 서로 간격 을 두 고 상기 기부 에 연결 된 복수 의 지지 부재 를 구비 하 고 있 다 . 그리고 , 본 발명 의 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 상기 지지 부재 는 본체 와 , 상기 본체 의 선단 을 보호 하 는 착 탈 가능 한 보호 부재 를 갖 고 있 다 .