수평 반송 이 아니 라 , 연직 에 가까운 자세 로 기판 을 반송 하 기 때문 에 , 대형 기판 을 반송 하 는 경우 에 도 진공 장치 의 설치 스페이스 가 적어도 된다 . 가압 롤러 와 하부 롤러 로 기판 을 사이 에 두 고 누르 기 때문 에 , 기판 이 반송 롤러 로부터 탈락 되 지 않 는다 . 기판 은 하부 롤러 에 충돌 하 지 않 기 때문 에 파손 되 지 않 는다 . 캐리어 를 사용 하 지 않 아도 기판 을 반송 할 수 있 다 .