그러나 , 본 발명 이 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 연마 패드 ( 12 ) 는 상술 한 실시 예 와 반대 방향 으로 회전 하 여 , 기판 ( 1 ) 과 접촉 되 는 부분 에서 의 이동 방향 이 기판 ( 1 ) 의 이동 방향 과 반대 방향 이 되 도록 회전 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 연마 패드 ( 12 ) 는 기판 ( 1 ) 의 이동 방향 에 대해서 수직 방향 으로 회전 하 도록 구비 되 는 것 도 가능 하 다 . 이 경우 , 구동 롤러 ( 13 ) 가 기판 ( 1 ) 의 이동 방향 과 나란 하 게 배치 될 수 있 다 .