일부 실시 예 에서 , 장벽 구조 를 형성 하 기 위한 제조 공정 은 채널 구조 를 형성 하 기 위한 제조 공정 과 유사 하 게 동시 에 수행 됨 으로써 제조 복잡 성 및 비용 을 감소 시킨다 . 일부 다른 실시 예 에서 는 , 채널 구조 를 충 진하 는 재료 와 다른 재료 로 장벽 구조 가 충 진 될 수 있 도록 채널 구조 및 장벽 구조 는 상이 한 제조 단계 에서 형성 된다 .