오르 가 노실 란 , 오르 가노 실란 의 가수 분해 물 및 축합물 의 전량 이 , 상기 표면 소수 화 막 형성 재료 중 5 중량 % 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 이 농도 가 높 으면 생성 되 는 표면 소수 화 막 이 두꺼워 지 기 때문 에 , 배선 층 에 요구 되 는 저 유전율 등 의 별도 의 특성 을 달성 할 수 없 게 되 기 때문 이 다 . 또한 , 오르 가 노실 란 , 오르 가노 실란 의 가수 분해 물 및 축합물 의 전량 이외 의 표면 소수 화 막 형성 재료 내 에 포함 되 는 물질 로서 는 용매 외 , 가수 분해 나 축합 으로 생기 는 부 생물 도 있 다 .