상기 최적 노광량 에 있 어서 해 상 되 는 레지스 트 패턴 에 있 어서 , 깊이 방향 에 포커스 를 변화 시켰 을 때 의 치수 를 관측 하 고 , 브리지 나 잔사 가 없 는 상태 에서 패턴 치수 가 기준 의 90 ％ 내지 110 ％ 에 들어가 는 깊이 방향 의 여유도 를 측정 하 고 , 이 측정 결과 를 초점 심도 ( nm ) 라 하 였 다 . 초점 심도 는 값 이 클수록 양호 한 것 을 나타낸다 . 초점 심도 는 , 60 nm 이상 인 경우 에 는 「 양호 」 라고 , 60 nm 미만 의 경우 에 는 「 양호 하 지 않 다 」 라고 평가 할 수 있 다 .