종래 에 는 플 라즈 마 공정 의 상태 를 모니터링 하 는 센서 를 플 라즈 마 공정 챔버 의 모니터링 윈도우 에 직접 창작 하 거나 , 공정 챔버 와 는 별도 로 마련 된 독립 적 인 셀프 플라 즈 마 챔버 에 윈도우 에 장착 하 여 플 라즈 마 공정 의 상태 를 모니터링 하 였 다 . 셀프 플라 즈 마 챔버 를 사용 하 는 경우 공정 챔버 와 마찬가지 로 공정 에 사용 되 는 물질 들 에 의해 셀프 플라 즈 마 챔버 도 오염 될 수 있 으며 , 공정 의 진행 에 따른 압력 변화 가 생길 수 있 는데 , 이 에 따라 실제 정상 상태 인 때 에 도 이상 상태 인 것 으로 판단 하 게 될 수 있 다 . 종래 에 는 이러 한 오염 이나 압력 변화 를 보정 하 지 않 고 그대로 판단 하 였 다 .