복수 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 가 보트 ( 217 ) 에 장전 ( wafer charge ) 되 면 , 도 7 에 나타낸 바 와 같이 , 복수 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 보 지 한 보트 ( 217 ) 는 , 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 들 어 올려져 처리 실 ( 201 ) 내 에 반입 ( boat load ) 된다 . 이 상태 에서 , 씰 캡 ( 219 ) 은 O 링 ( 220 b ) 을 개재 하 여 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 을 밀봉 한 상태 가 된다 .