다음 에 투명 기판 ( 10 ) 의 판 두께 , 연마제 의 입도 , 슬라이딩 면 의 형성 후 의 반사 다층막 ( 12 ) 의 평면 화 의 정도 의 관계 에 대해서 도 2 의 그래프 를 사용 하 여 설명 한다 . 동 도면 은 반사 다층막 ( 12 ) 을 투명 기판 ( 10 ) 에 형성 한 후 에 다른 입도 로 슬라이딩 면 을 형성 했 을 때 의 반사 다층막 ( 12 ) 의 평면 화 의 정도 를 나타내 고 있 는 그래프 이 다 . 동 도면 에 있 어서 , 평면 화 의 정도 를 중심 변위 ( ㎛) 로 나타내 고 , 도면 중 의 가로축 이 판 두께 , 세로축 이 중심 변위 를 나타내 고 있 다 .