도 5 에 도시 된 바 와 같 은 스케일 ( SX 1 및 SY 1 ) 의 배치 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 탑재 되 는 헤드 ( EX 1 , EX 2 , 및 EY ) 의 배치 를 채용 함 으로써 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 , 노광 시 이동 영역 ( AE ) 으 로부터 제 1 대기 영역 ( AW 1 ) 을 경유 하 여 제 1 로딩 포지션 및 얼라인먼트 영역 ( AA ) 으로 이동 할 때 , 또는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 역 으로 이동 할 때 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 이동 경로 중 , 적어도 Y 축 방향 으로 연장 되 는 직선 경로 에서 , 인코더 시스템 ( 150 ) 만 을 이용 하 는 위치 계측 이 가능 하 게 된다 . 유사 하 게 , 스케일 ( SX 2 및 SY 2 ) 의 배치 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에 탑재 되 는 헤드 ( EX 1 , EX 2 , 및 EY ) 의 배치 를 채용 함 으로써 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 , 노광 시 이동 영역 ( AE ) 으 로부터 제 2 대기 영역 ( AW 2 ) 을 경유 하 여 제 2 로딩 포지션 및 얼라인먼트 영역 ( AA ) 으로 이동 할 때 , 또는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 역 으로 이동 할 때 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 이동 경로 중 , 적어도 Y 축 방향 으로 연장 되 는 직선 경로 에서 , 인코더 시스템 ( 150 ) 만 을 이용 하 는 위치 계측 이 가능 하 게 된다 . 이러 한 배치 에 의해 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 이용 하 여 , 전술 한 직선 경로 를 따라 이동하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 위치 계측 을 수행 하 는 경우 에 필수 적 인 XZ 간섭계 ( 116 및 117 ) 간 의 전환 처리 , 및 XZ 간섭계 ( 126 및 127 ) 간 의 전환 처리 , 그리고 , 전환 후 에 사용 하 는 간섭계 의 리셋 ( 원점 의 재 설정 ) 이 불 필요 하 게 된다 . 따라서 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 이용 하 는 경우 에 비해 , 스루풋 이 향상 될 수 있 다 .