본 실시 형태 에서 는 , 제 2 패턴 형성 영역 ( SA 2 ) 의 ± X 측 에 배치 되 는 한 쌍 의 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 2 ) 에 대응 하 여 2 개 의 투과 부 ( 86 ) 가 X 축 방향 으로 떨어져서 배치 된다 . 이 때문 에 , 실제로 는 , 수광 장치 ( 82 ) 는 2 개 의 투과 부 ( 6 에 ) 대응 하 여 2 조 의 광학계 및 수 광소자 ( 84 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 그 한 쌍 의 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 2 ) 에 대응 하 여 2 개 의 수광 장치 ( 82 ) 를 설치 해도 된다 . 또 , 제 3 , 제 4 조명 영역 ( IA 3 , IA 4 ) 을 Y 축 방향 으로 넓혀서 , Y 축 방향 으로 나열 되 는 복수 의 제 1 , 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 1 , RM 2 ) 를 검출 가능 으로 해도 된다 .