이것 에 대하 여 , 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 의 대향 위치 에 웨이퍼 ( W ) 표면 부 의 Cu 막 등 이 근접 하 여 놓여 지 면 , 전송로 의 임피던스 는 상기 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 및 Cu 막 등 의 도전 성막 을 종합 한 특성 임피던스 가 되 고 , 정합 가능 한 주파수 대역 이 변화 한다 . 이 때문 에 , 상기 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 의 특성 임피던스 에 만 정합 하 는 주파수 대역 의 전자파 의 대부분 은 , 도 4 ( a ) 중 , 「 Cu 막 이 있 는 반사 」 의 특성 으로 나타내 는 바 와 같이 , 반사 계수 는 - 7 dB 정도 의 값 이 되 고 , 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 을 통과 하 지 않 고 거의 반사 한다 . 그리고 , 일부 의 전자파 가 이 전자파 의 주파수 에 대응 한 상기 표피 깊이 ( δ ) 의 영역 을 , 표층 전류 로 하 여 Cu 막 의 극 표층 부분 을 투과 한다 . 도 4 ( a ) 중 , 「 Cu 막 이 있 는 투과 」 의 특성 은 이 표층 전류 에 의한 투과 계수 의 변화 를 나타내 고 있 다 .