그런데 , 각 공정 에 사용 되 는 가스 가 밸브 에서 누출 되 면 , 작업자 는 물론 이 고 해당 제조 장비 의 내구 성 에 도 악영향 을 끼칠 수 있 다 . 따라서 , 밸브 에서 가스 가 누출 되 는지 여부 를 검출 하 기 위한 기술 이 개발 될 필요 가 있 고 , 본 출원인 은 다수 의 밸브 가 적용 된 시스템 에서 각각 의 밸브 에 대하 여 개별 적 으로 가스 누출 여부 를 검출 하 는 기술 을 개발 한 바 있 다 ( 등록 특허 공보 제 10 - 1377718 호 등 ) . 이러 한 기술 은 , 각각 의 밸브 에 케이스 를 씌워 해당 밸브 주변 의 공기 를 포집 한 후 그 공기 에 대하 여 가스 포함 여부 를 측정 하 는 것 을 요지 로 할 수 있 다 .