마이크로파 존 ( Z 2 ) 에서 유리 플레이트 ( 10 ) 상 의 금속 막 의 표면 은 온도 분위기 200 ~ 500 ℃ 를 형성 하 는 마이크로파 ( 32 ) 에 의해 선택 적 으로 가열 될 수 있 다 . 여기 서 , 마이크로파 모듈 ( 30 ) 은 금속 막 의 표면 에서 깊이 1 ㎛ 이하 로 금속 막 이 가열 되 도록 마이크로파 ( 32 ) 를 제어 할 수 있 다 .