도 15 에 도시 된 로봇 ( 6 ) 은 , 예 를 들 면 , 카 셋 트 에 재치 ( 載 置 ) 된 반도체 웨이퍼 ( 이하 , 「 웨이퍼 」 라고 함 ) 등 의 워크 를 성막 ( 成 膜 ) 장치 내 로 이동 시키 는 반송 로봇 ( 이하 , 「 로봇 」 이 라고 함 ) 이 다 . 또 , 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 ( 9 ) 는 피 제어 체로 되 어 있 다 .