그러나 , 게이트 형성 과정 에서 제 1 폴리 실리콘 막 이 완전히 제거 되 지 않 고 미 세한 폴리 잔류물 ( residue ) 이 남 아서 플로팅 게이트 간 마이크 로 브릿지 ( micro bridge ) 를 유발 시키 고 있 다 . 특히 , 이러 한 마이크 로 브릿지 는 대부분 최종 게이트 식각 후 잔류 된 ONO 유전체 막 의 주변 에서 발생 하 고 있 으며 , 이러 한 현상 은 잔류 된 유전체 막 의 높이 가 높 을 경우 그 빈도 가 많 아 진다 .