본 발명 은 엔드 이펙터 측정 모듈 및 이 를 이용 한 엔드 이펙터 모니터링 장치 에 관한 발명 으로서 , 더욱 상세 하 게 는 웨이퍼 가 EFEM 에서 반도체 공정 장비 로 들어가 는 공 급구 에 설치 되 어 엔드 이펙터 의 이동 경로 를 측정 하 고 , 측정 된 이동 경로 를 이용 하 여 엔드 이펙터 의 틀 어 짐 을 모니터링 하 는 엔드 이펙터 측정 모듈 및 이 를 이용 한 엔드 이펙터 모니터링 장치 에 관한 것 이 다 .