[ 0064 ] 챔버 라이너 ( 507 ) 는 , 하부 챔버 바디 플로어 ( 580 ) 및 원통형 하부 챔버 바디 측벽 ( 575 ) 을 포함 하 는 하부 챔버 바디 ( 570 ) 내 에서 에워싸 인다 . 하부 챔버 바디 측벽 ( 575 ) 및 하부 챔버 바디 플로어 ( 580 ) 는 진공 배기 구역 ( 581 ) 을 에워싼다 . 진공 펌프 ( 590 ) 가 하부 챔버 바디 플로어 ( 580 ) 에서 진공 펌프 개구 ( 595 ) 에 배치 되 고 , 그리고 하부 챔버 바디 측벽 ( 575 ) 의 대칭 축 에 대하 여 센터링 ( center ) 된다 . 기판 지지 부 ( 515 ) 와 동축 인 컨테인먼트 벽 ( containment wall ) ( 596 ) , 및 페데 스탈 ( 520 ) 과 컨테인먼트 벽 ( 596 ) 사이 에서 연장 되 는 가요성 벨로즈 ( 597 ) 가 내부 중앙 공간 ( 598 ) 에서 기판 지지 부 ( 515 ) 를 에워싼다 . 내부 중앙 공간 ( 598 ) 은 , 프로세싱 구역 ( 501 ) 및 진공 배기 구역 ( 581 ) 을 포함 하 는 , 진공 펌프 ( 590 ) 에 의해 진공 배기 되 는 볼륨 으로부터 격리 된다 .