상기 과제 를 해결 하 기 위하 여 본 발명 은 , 복수 개 의 가스 용기 를 각각 분배 배치 하 여 각 공급 라인 과 연결 하 고 , 한쪽 의 가스 용기 의 가스 가 소진 될 경우 다른 쪽 의 가스 용기 로 연결 되 도록 자동 변환 시켜 공정 라인 으로 가스 를 공급 하 도록 하 는 공정 용 가스 공급 자동 변환 장치 에 있 어서 , 공정 용 가스 가 저장 되 어 있 는 제 1 , 2 가스 용기 ; 제 1 , 2 가스 용기 와 각각 연결 되 어 서로 병렬 배치 되 고 , 가스 가 통과 하 는 제 1 , 2 공급 라인 ; 제 1 , 2 공급 라인 상 에 각각 설치 되 어 제 어부 에 의해 작동 되 어 각 공급 라인 을 선택 적 으로 개폐 시키 는 제 1 , 2 개 폐 밸브 ; 제 1 , 2 공급 라인 이 합류 되 고 공정 라인 과 연결 된 합류 라인 ; 합류 라인 상 에 설치 되 어 통과 하 는 가스 의 양 을 조절 하 는 가스 조절기 ; 제 1 , 2 공급 라인 상 에 각각 설치 되 고 , 가스 의 압력 을 실시간 으로 측정 하 여 제 어부 로 전송 하 는 제 1 , 2 압력 전송기 ; 및 각 밸브 를 제어 하 고 , 계기판 이 구비 되 어 압력 전송기 에 의해 측정 된 압력 이 표시 되 되 , 제 1 공급 라인 에서 측정 된 압력 값 이 기준치 이하 인 경우 제 1 공급 라인 을 폐쇄 하 고 , 제 2 공급 라인 을 개방 하 여 공정 라인 으로 의 가스 공급 이 계속 유지 되 도록 하 는 제 어부 를 포함 하 는 공정 용 가스 공급 자동 변환 장치 를 제공 한다 .