상기 유전 체관 ( 22 ) 으로부터 의 플 라즈 마 가스 의 분사 에 의해 , 그 플 라즈 마 가스 의 조사 를 받 은 부분 에 잔존 하 는 산화물 이 , 상기 플 라즈 마 가스 와 의 화학 반응 에 의해 효과 적 으로 제거 된다 . 이 때 , 환원 가스 ( G 1 ) 를 플 라즈 마 가스 원 으로 하 는 대기 플 라즈 마 에서 는 , 조사 부 의 온도 가 60 ～ 80 ℃ 로 유지 되 기 때문 에 , 절연 기판 ( 12 ) 위 의 조사 부 및 그 주변 에 가열 에 의한 손상 을 주 지 않 는다 .