전극 ( 134 ) 이 제 2 층간 절 연막 ( 132 ) 및 마스크 패턴 ( 114 ) 을 관통 하 는 오프닝 ( O ) 내 에 제공 될 수 있 다 . 전극 ( 134 ) 은 오 믹 콘 택 패턴 ( 112 ) 과 접촉 할 수 있 으며 , 제 1 소오 스 / 드레 인 영역 ( SD 1 ) 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 전극 ( 134 ) 은 예 를 들 어 , 도핑 된 반도체 물질 ( 예 를 들 어 , 도핑 된 실리콘 ) , 금속 ( 예 를 들 어 , 텅스텐 ( W ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄 탈륨 ( Ta ) ) , 도전 성 금속 질화물 ( 예 를 들 어 , 티타늄 질화물 , 탄 탈륨 질화물 , 텅스텐 질화물 ) , 금속 - 반도체 화합물 ( 예 를 들 어 , 금속 실리사이드 ) , 또는 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .