상기 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 이중 측정 장치 를 이용 한 전구체 상태 진단 장치 는 , 화학 증착 공정 에 사용 되 는 전구체 보관 용기 ( 300 ) 에 구비 되 는 전구체 상태 진단 장치 에 있 어서 , 상기 전구체 보관 용기 ( 300 ) 의 하 면 전체 에 걸쳐 구비 되 는 제 1 가이드 ( 120 ) 및 상기 전구체 보관 용기 ( 300 ) 하면 을 따라 이동 가능 하 게 상기 제 1 가이드 ( 120 ) 상 에 구비 되 어 전구체 의 잔존 량 을 측정 하 는 제 1 센서 ( 110 ) 를 포함 하 여 이루어지 는 제 1 진단 장치 ( 100 ) ; 및 상기 전구체 보관 용기 ( 300 ) 의 측면 일부 에 걸쳐 구비 되 는 제 2 가이드 ( 220 ) 및 상기 전구체 보관 용기 ( 300 ) 측면 을 따라 이동 가능 하 게 상기 제 2 가이드 ( 220 ) 상 에 구비 되 어 전구체 의 분 해도 를 측정 하 는 제 2 센서 ( 210 ) 를 포함 하 여 이루어지 는 제 2 진단 장치 ( 200 ) ; 를 포함 하 여 이루어지 는 것 을 특징 으로 한다 .