삼성 , 5 세대 V 낸드 핵심 전 공정 장비 국산화 … 中 시안 2 공장 에 적용 
 삼성전자 가 차세대 낸드 플래시 핵심 전공 정에 사용 되 는 장비 국산화 에 성공 했 다 . 이 장비 는 반도체 회로 를 깎 아 내 는 에칭 ( 식각 ) 에 사용 되 는 장비 로 세 메스 가 공급 한다 . 이 분야 는 그동안 일본 도쿄 일렉트론 ( TEL ) 이 주도 해 왔 다 . 일본 수출 규제 조치 이후 형성 된 국산화 분위기 와 국내 장비 기술 발전 에 힘입 은 결과 로 풀이 된다 . 업계 는 반도체 핵심 전 공정 부문 에서 국산 장비 비중 이 높 아 지 는 계기 가 될 것 으로 기대 했 다 . 
 18 일 업계 에 따르 면 삼성전자 는 내년 상반기 가동 예정 인 중국 시안 2 공장 에 들어갈 반도체 핵심 장비 군 에 세 메스 제품 비중 을 늘리 는 것 을 추진 하 고 있 다 . 
 시안 공장 은 삼성전자 의 유일 한 해외 메모리 반도체 생산 기지 다 . 지난해 3 월 이곳 에 두 번 째 공장 을 짓 기 시작 했 고 , 내년 상반기 께 가동 할 예정 이 다 . 삼성 은 이곳 에서 주력 제품 인 90 단 이상 5 세대 V 낸드 플래시 와 향후 양산 할 100 단 이상 초고 사양 제품 을 생산 할 방침 이 다 . 
 삼성전자 는 세 메스 에칭 장비 를 5 세대 낸드 플래시 공정 에 적용 하 기 위해 막바지 제품 테스트 를 진행 하 고 있 는 것 으로 알려졌 다 . 5 세대 낸드 플래시 는 삼성전자 가 지난해 처음 양산 한 제품 이 다 . 세 메스 장비 가 이 제품 을 위한 에칭 공정 에 쓰이 는 것 은 이번 이 처음 이 다 . 
 업계 에 정통 한 한 관계자 는 “ 이번 에 삼성전자 가 들일 세 메스 에칭 장비 는 업계 주목 을 끌 만큼 큰 규모 인 것 으로 안다 ” 면서 “ 삼성전자 가 세 메스 에칭 장비 를 적용 한 사례 가 있 긴 하 지만 이번 에 는 경쟁사 인 TEL 조 차 신경 을 많이 쓸 정도 의 물량 인 것 으로 알 고 있 다 ” 고 말 했 다 . 
 에칭 은 반도체 를 만들 기 위해 핵심 적 으로 필요 한 공정 이 다 . 반도체 층 이나 요소 간 전기 적 연결 을 위해서 구멍 을 뚫 거나 회로 를 깎 아 내 는 작업 으로 , 고도 의 장비 기술 을 요구 한다 . 
 낸드 플래시 에서 가장 중요 한 에칭 공정 은 낸드 플래시 셀 전체 에 구멍 ( 채널 홀 ) 을 뚫 는 채널 홀 을 위한 ' 고 종횡비 ( HAR ) 공정 ', 정보 를 읽 고 제어 하 는 워드 라인 과 비트 라인 사이 배선 을 연결 하 는 ' 콘택트 공정 ', 낸드 플래시 주변 부 의 배선 을 연결 하 는 ' 페리 퍼리 공정 ' 으로 구분 한다 . 
 삼성전자 는 콘택트 공정 에 세 메스 장비 를 적용 하 기 위해 공 을 들이 고 있 다 . 콘택트 공정 은 채널 홀 에칭 공정 다음 으로 중요 한 공정 으로 꼽힌다 . 삼성전자 가 일본 수출 규제 이후 반도체 장비 자회사 세 메스 역량 을 키우 면서 기술 이 축적 된 장비 를 적극 도입 해 국산화 를 추진 한다는 관측 도 나온다 . 
 전문가 들 은 국산 장비 의 기술 적 진전 을 높이 평가 했 다 . 삼성전자 , SK 하이닉스 등 이 세계 최고 수준 의 메모리 기술 을 보유 하 고 있 지만 이 를 뒷받침 할 핵심 전 공정 장비 기술 은 대부분 외산 업체 에 의존 하 고 있 기 때문 이 다 . 
 삼성전자 의 차세대 핵심 메모리 공정 에 국산 장비 적용 사례 가 늘어날 것 이 라는 기대 도 있 다 . 낸드 플래시 에칭 기술 가운데 가장 고도 화 한 기술 인 채널 홀 공정 진입 까지 는 시간 이 필요 하 지만 국내 장비 기술 이 해외 업체 기술 을 상당 수준 따라가 고 있 는 것 을 방증 한다는 게 업계 중론 이 다 . 
 세 메스 는 올해 3 분기 까지 적자 를 기록 했 지만 4 분기 에 는 흑자 전환 을 할 수 있 다는 전망 이 나왔 다 . 또 새해 에 는 매출 이 반도체 초호황 을 맞 은 2018 년 과 비슷 한 수준 을 달성 할 것 이 라는 관측 까지 있 다 . 
 세 메스 관계자 는 “ 아직 제품 을 테스트 하 는 단계 ” 라면서 “ 삼성전자 에서 구매 의사 를 최종 전달 하 지 는 않 은 상황 ” 이 라고 말 했 다 .