한편 , 온도 조절 실 ( 332 ) 은 , 도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 상기 온도 조절 실 ( 332 ) 에 인접 하 는 진공 반 송실 ( 312 , 313 ) 중 , 진공 반 송실 ( 312 ) 과 의 사이 에 만 , 제 3 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 201 ) 가 마련 되 어 있 으며 , 진공 반 송실 ( 313 ) 과 의 사이 에 는 , 웨이퍼 반입 · 반 출구 가 마련 되 어 있 지 않 다 . 제 3 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 201 ) 에 의해 , 온도 조절 실 ( 332 ) 의 내부 공간 과 진공 반 송실 ( 312 ) 의 내부 공간 이 연통 되 어 있 다 .