화합물 적층 ( 514 ) 의 층 { 티타늄 질화물 층 ( 506 ) , 니켈 산화물 층 ( 508 ) , 티타늄 질화물 층 ( 510 ) } 이 증착 되 어 있 고 , 도 3 에 도시 된 구조 를 형성 하 기 위해 패 터닝 및 에칭 된다 { 상부 도체 ( 512 ) 는 본원 에 설명 하 지 않 는 종래 의 공정 들 로 나중 에 형성 된다 }. 도 3 은 아래 에 있 는 다이오드 ( 504 ) 와 완벽히 정렬 된 화합물 적층 ( 514 ) 를 도시 한다 . 실제로 는 약간 의 오 정렬 이 있 을 수 있 다 .