또한 , 본 발명 의 실시 예 들 은 가상 마크 생성 장치 가 제 1 발 광부 로부터 이격 되 도록 배치 되 어 정렬 마크 를 비추 는 제 2 발광 부를 포함 하 고 , 제 어 장치 는 제 1 발 광부 및 제 2 발 광부 를 온 오프 시켜서 촬상된 가상 마크 를 기초 로 카메라 의 정렬 여부 를 판단 하 거나 촬상된 정렬 마크 를 기초 로 기판 을 정렬 하 는 것 을 특징 을 하 는 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 을 제공 함 으로써 , 제 어 장치 의 발광 부 온 오프 ( on / off ) 제어 에 의해 하나 의 가상 마크 생성 장치 로 카메라 및 기판 을 용이 하 게 정렬 시킬 수 있 고 한 번 배치 된 가상 마크 생성 장치 는 재 배치 할 필요 가 없 으므로 가상 마크 생성 장치 를 손상 시키 지 않 고 장기간 사용 할 수 있 고 가상 마크 생성 장치 가 손상 되 지 않 으므로 카메라 를 정확 하 게 정렬 시킬 수 있 다 .