세정 챔버 ( 500 ) 의 일 측 측벽 ( 502 ) 에 는 기판 이 반 출입 되 는 제 1 개 구부 ( 501 ) 가 형성 되 고 , 제 1 개 구부 ( 501 ) 와 마주 보 는 타 측 의 측벽 ( 504 ) 에 는 챔버 ( 500 ) 의 유지 보수 를 위한 제 2 개 구부 ( 503 ) 가 형성 된다 . 제 2 개 구부 ( 503 ) 는 공정 진행 시 에 는 닫혀 있 어야 하 고 , 유지 보수 작업 의 진행 시 에 는 열려 있 어야 한다 . 제 2 개 구부 ( 503 ) 는 도어 부재 ( 540 ) 에 의해 닫히 고 열리 며 , 제 2 개 구부 ( 503 ) 가 닫힌 상태 에서 세정 챔버 ( 500 ) 는 기밀 을 유지 하 여야 한다 .