조명계 ( 24 ) 는 예 를 들 면 XeCl 엑 시머 레이저 와 같 은 광원 ( 24 a ) 과 , 광원 ( 24 a ) 으 로부터 의 광 으로 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면상 의 유효 영역 ( 10 a ) 을 조명 하 는 조명 광학계 ( 24 b ) 와 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 물 체면 을 따라서 광로 에 대해서 자유자재 로 끼우 고 뺄 수 있 도록 화살표 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 된 패턴 광 생 성 부재 ( 24 c ) 를 갖 는다 . 패턴 광 생 성 부재 ( 24 c ) 는 예 를 들 면 광로 에 삽입 되 었 을 때 에 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면상 의 유효 영역 ( 10 a ) 의 전체 를 덮 을 수 있 는 차광 부재 ( 24 ca ) 의 중앙 에 핀홀 ( 24 cb ) 을 설치 함 으로써 구성 되 어 있 다 . 패턴 광 생 성 부재 ( 24 c ) 는 예 를 들 면 광로 에 삽입 되 었 을 때 에 이 핀홀 ( 24 cb ) 은 유효 영역 ( 10 a ) 의 중심 에 위치 한다 .