[ 0063 ] 가스 주입기 ( 514 ) 가 디스크 - 형상 유전체 윈도우 ( 512 ) 의 중앙 에 위치 되 고 , 환상 가스 유동 플레이트 ( 516 ) 에 의해 둘러싸인다 . 가스 유동 플레이트 ( 516 ) 는 가스 주입기 ( 514 ) 로 의 가스 유동 경로 를 제공 하 도록 구성 된 복수 의 가스 입력 포트 들 ( 미 도시 ) 을 가질 수 있 다 . 가스 주입기 ( 514 ) 에 의해 프로세싱 구역 ( 501 ) 내 로 세정 가스 또는 에칭 가스 가 주입 된다 .