상기 스테이지 구 동부 ( 200 ) 는 제 1 고정부 ( 210 ) , 수평 구동 프레임 ( 220 ) , 보조 프레임 ( 240 ) , 수직 구동 프레임 ( 260 ) , 제 2 고정부 ( 270 ) , 및 제 3 고정부 ( 280 ) 를 구비 한다 . 상기 스테이지 구 동부 ( 200 ) 는 하나 의 실리콘 기판 을 패 터닝 하 여 만들 어 지 며 , 외부 의 전압 이 인가 되 는 도전 성 기판 이 다 . 상기 제 1 앵커 ( 110 ) 와 , 제 2 앵커 ( 120 ) 및 제 3 앵커 ( 130 ) 사이 에 는 수평 구동 프레임 ( 220 ) , 보조 프레임 ( 240 ) , 수직 구동 프레임 ( 260 ) 의 회동 을 위한 회동 공간 ( 140 ) 이 형성 되 어 있 다 .