서울대 산학 협력 단 은 지난해 6 ~ 10 월 삼성전자 기흥 · 온양 공장 , 하이닉스 이 천 · 청주 공장 , 앰 코 테크놀로지 코리아 서울 · 광주 공장 등 반도체 3 사 의 6 개 공장 을 대상 으로 산업 의학 , 산업 환기 , 노출 평가 , 신 기술 · 신 공정 , 의사소통 등 5 개 분야 를 조사 했 다 . 지난해 국회 국정 감사 에서 는 ‘ 삼성전자 가 반도체 제조 공정 에서 사용 하 는 감광제 에 대한 6 건 의 검사 에서 발암 물질 인 벤젠 이 모두 0 . 08 ~ 8 . 91 ppm 검출 됐 다 ’ 는 보고서 의 내용 이 일부 공개 되 기 도 했 다 .