도 9 d 는 원격 플 라즈 마 소스 로부터 기판 근방 의 프로세싱 영역 으로 의 대전 된 입자 들 의 전달 을 방해 하 도록 배열 된 필터 에 의해 기판 으로부터 분리 되 고 기판 으로부터 원격 에 있 는 영역 에 플 라즈 마가 형성 되 는 원격 플 라즈 마 시스템 을 예시 한다 . 기판 은 , 기판 을 유지 하 기 위한 정전 척 ( ESC ) 으로서 또 한 역할 하 는 하단 플레이트 전극 ( LEL ) 에 의해 지지 된다 . 무선 주파수 ( RF ) 전력 을 원격 으로 위치 된 영역 에 인접 한 플라 즈 마 생 성 디바이스 에 결합 함 으로써 플 라즈 마가 형성 된다 . 도 9 d 에 도시 된 바 와 같이 , RF 전력 은 원격 영역 에 인접 한 플라 즈 마 생 성 디바이스 및 하단 전극 둘 다 에 결합 되 고 , 전력 결합 은 상이 한 RF 주파수 들 을 포함 할 수 있 다 .