본 발명 의 바람직 한 태양 에서 , 배기 시스템 은 제조 장치 , 진공 펌프 장치 및 배기 가스 처리 장치 를 접속 하 기 위한 파이프 의 적어도 일부 를 가열 하 도록 구성 된 파이프 히터 를 더 포함 하 고 , 제조 장치 의 작동 프로세스 및 제조 장치 에 공급 된 가스 의 종류 및 가스 의 유량 의 정보 는 파이프 히터 를 제어 하 기 위해 제어기 내 에 입력 된다 .