도 1 은 본 개시 의 일부 실시 예 에 따른 기판 컨테이너 시스템 ( 100 ) 의 사시도 를 보여준다 . 예 시 의 간략 화 및 명료 성 을 위해 , 예시 적 인 시스템 의 일부 세부 / 하위 구성 요소 는 본 도면 에 명시 적 으로 도면 부호 를 표시 한다거나 도시 하 진 않 는다 . 일부 실시 예 에서 , 기판 컨테이너 시스템 은 전면 개방 형 통합 포드 ( FOUP ) 를 포함 한다 . 예 시 적 인 컨테이너 시스템 ( 100 ) 에 는 기판 ( 예 를 들 어 , 웨이퍼 , 레티 클 , 또는 다른 반도체 제조 관련 가공 편 ) 의 통과 를 가능 하 게 하 는 전방 개구 ( 111 ) ( 본 도면 에서 는 가려서 보이 지 않 음 ) 가 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 전방 개구 가 기판 보다 넓 을 수 도 있 다 . 도시 된 실시 예 에서 , 기판 컨테이너 시스템 ( 100 ) 은 기판 을 수용 하 기 에 적합 한 컨테이너 바디 ( 110 ) 및 컨테이너 바디 ( 110 ) 의 후면 을 둘러싸 도록 구성 된 후방 커버 ( 120 ) 를 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 컨테이너 바디 는 , 예 를 들 어 , 사출 성형 과 같 은 기술 에 의해 일체 형 의 단일 편 구조 로서 형성 된 단일 부재 이 다 . 컨테이너 바디 ( 110 ) 에 는 전방 개구 와 는 반대쪽 의 후방 개구 ( 113 ) 가 추가 로 형성 되 며 , 후방 개구 는 후방 커버 ( 120 ) 에 의해 덮 어 질 수 있 다 ( 그리고 결국 밀봉 될 수 있 다 ) . 후방 개구 는 퍼징 가스 가 컨테이너 바디 의 내부 로 유동 할 수 있 도록 하 기 위해 제공 된다 . 예 시 적 인 실시 예 에 도시 된 바 와 같이 , 후방 개구 ( 113 ) 는 전방 개구 ( 111 ) 의 폭 보다 작 은 폭 ( 예 를 들 어 , x - 축 방향 으로 ) 을 갖 는다 . 예 를 들 어 , 도시 된 실시 예의 컨테이너 바디 ( 110 ) 는 그 전면 ( 전방 개구 ( 111 ) 가 형성 된 면 ) 에 근접 한 전방 플랜지 ( 115 ) 를 포함 하 며 , 이러 한 전방 플랜지 에 의해 컨테이너 바디 ( 110 ) 의 전체 적 인 외형 이 전방 포트 ( 예 를 들 어 , 개구 ( 111 ) ) 로 갈수록 점차 넓 어 진다 . 예 시 적 인 도면 에서 , 컨테이너 바디 ( 110 ) 의 더 넓 은 전면 은 반대쪽 의 더 좁 은 후방 개구 ( 113 ) 에 비해 넓 은 전방 개구 ( 111 ) 를 수용 한다 .