본 발명 의 제 2 실시 예 에 의한 기판 처리 장치 는 , 상기 한 제 1 실시 예의 기판 처리 장치 의 구성 을 따르 되 , 상기 챔버 ( 100 ) 의 둘레 를 따라 상기 삽입 홀 ( 111 , 121 ) 이 복수 개 구비 되 고 , 상기 복수 개 의 삽입 홀 ( 111 , 121 ) 에 복수 개 의 상기 결합 부재 ( 200 ) 가 각각 삽입 되 는 점 에서 제 1 실시 예 와 구성 에 차이 가 있 다 .