Ⅵ 족 원소 를 포함 하 는 전구체 로 는 R 2 E 형태 의 전구체 ( 여기 서 E 는 Se , S , Te 에서 선택 된 Ⅵ 족 칼코겐 원소 를 나타내 고 , R 은 C 1 ∼ C 6 의 알킬기 를 나타낸다 ) 가 사용 될 수 있 고 , 그 예 로 는 ( C 2 H 5 ) 2 Se , ( CH 3 ) 2 Se , ( C 2 H 5 ) 2 S , ( CH 3 ) 2 S , ( C 2 H 5 ) 2 Te 또는 ( CH 3 ) 2 Te 에서 선택 된 것 이 사용 될 수 있 으며 , 이외 에 도 여러 가지 형태 의 다른 단일 전구체 가 사용 가능 할 것 임 은 당업자 에게 자명 한 사실 이 다 .