도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 각각 은 X 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 는 직사각 형 모양 ( 슬릿 모양 ) 이 다 . 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 은 1 개 의 쇼트 영역 ( SH ) 에 동시 에 배치 가능 하 게 되 어 있 다 . 즉 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 중심 과 제 2 노광 영역 ( AR 1 ) 의 중심 과 의 Y 축 방향 의 거리 가 1 개 쇼트 영역 ( SH ) 의 Y 축 방향 의 크기 보다 작 다 . 또 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 과 는 Y 축 방향 으로 떨어져 있 다 . 또 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 대해 + Y 측 에 설정 된다 . 또한 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 은 반드시 1 개 의 쇼트 영역 ( SH ) 에 동시 에 배치 가능 하 지 않 아도 좋 고 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 은 임의 로 설정 가능 하 다