유기 막 형성 용 조성물 , 반도체 장치 제조 용 기판 , 유기 막 의 형성 방법 , 패턴 형성 방법 , 및 중합체 { COMPOSITION FOR FORMING ORGANIC FILM , SUBSTRATE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE , METHOD FOR FORMING ORGANIC FILM , PATTERNING PROCESS , AND POLYMER }