본 실시 형태 에 관한 약액 중 에 함유 되 는 주약 은 , 유기 용제 의 혼합물 로 이루어진다 . 이 유기 용제 의 혼합물 을 구성 하 는 , 모든 유기 용제 는 , 상기 유기 용제 의 한 센 용해도 파라미터 에 있 어서 의 , 분산 항의 기여 율 , 분 극항 의 기여 율 , 및 수소 결합 항의 기여 율 의 각각 을 정점 으로 하 는 삼각도 에 있 어서 , 이하 의 4 점 으로 둘러싸이 는 영역 내 에 있 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 특징 을 갖 는 유기 용제 의 혼합물 을 주약 으로서 함유 하 는 약액 은 , 보다 우수 한 레지스 트 조성물 과 의 친화성 을 갖 는다 .