본 발명 은 여러 개 의 액 공급 포트 ( 130 ) 를 통해 아쿠아 나이프 ( 100 ) 에 세정액 ( 3 ) 이 공급 되 면 , 이 세정액 ( 3 ) 은 전측 및 후 측 플레이트 ( 110 ) ( 120 ) 의 사이 측 중간 높이 에 형성 된 전측 및 후 측 챔버 ( 112 ) ( 122 ) 의 결합 공간 으로 모이 게 되 고 , 상기 챔버 ( 112 ) ( 122 ) 로 모인 세정액 ( 3 ) 은 액 공급 압력 에 의해 챔버 ( 112 ) ( 122 ) 의 바닥 에 형성 된 제 1 돌출부 ( 114 ) 와 제 2 돌출부 ( 124 ) 와 의 배치 방향 에 따른 S 자 통로 를 통과 하 면서 일자 형 와류 를 형성 하 여 분사 슬릿 ( 140 ) 으로 보내 게 되 며 , 이 분사 슬릿 ( 140 ) 으로 공급 된 세정액 ( 3 ) 은 분사 슬릿 ( 140 ) 의 중간 높이 에 형성 된 오 목부 ( 116 ) 에 의해 2 차 와류 되 면서 아쿠아 나이프 ( 100 ) 의 하부 와 일정 간극 을 두 고 이송 되 는 기판 ( 1 ) 에 분사 됨 으로써 기판 ( 1 ) 의 표면 을 세정 해 주 게 된다 .