이때 , 상기 웨이퍼 ( W ) 및 타깃 ( 120 ) 의 일 측 에 형성 된 페러 데이 시스템 ( 110 ) 으로 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 선폭 가장자리 부분 이 입사 되 어 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 가 검출 된다 . 따라서 , 상기 페러 데이 시스템 ( 110 ) 은 상기 웨이퍼 ( W ) 로 입사 되 는 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 를 카 운 팅 하 여 상기 이온 소스 ( 102 ) , 질량 분석기 ( 104 ) , 자기 집속 장치 , 스캐닝 시스템 ( 108 ) , 및 가속 장치 ( 109 ) 를 최적 의 조건 으로 제어 하 기 위해 사용 되 는 이온 빔 ( 100 ) 검출 장치 이 다 . 또한 , 상기 페러 데이 시스템 ( 110 ) 은 X 축 방향 의 선폭 을 갖 고 입사 되 는 이온 빔 ( 100 ) 이 상기 웨이퍼 ( W ) 의 전면 을 스캐닝 할 때 까지 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 를 검출 할 수 있 다 .