이 방법 은 초기 진공도 는 10 - 5 torr , 온도 약 250 ~ 300 ℃ 를 유지 하 고 , 지대 주 나사 의 표면 불순물 을 제거 하 기 위하 여 이온 세정 ( ionbombardment ) 을 고순 도 아르곤 ( Ar ) 의 가스 를 사용 하 여 , 압력 은 30 sccm , 진공도 는 20 ㎜ torr 에서 바이어스 ( bias ) 900 W 를 가하 고 약 30 분 이상 실시 한다 .