R 1 ～ R 6 중 에 포함 되 는 유황 , 인 또는 질소 의 형태 에 대해서 는 특별히 제한 은 없 고 , 표면 소수 화 막내 에 남 는 것 이 면 좋 다 . 구체 적 으로 는 - S -, - SH , - N -, - NR 2 ( R 은 수소 또는 알킬기 또는 페닐기 ) , - PR 3 ( R 은 수소 또는 알킬기 또는 페닐기 ) , - NCO , - HN ( CO ) N 2 H , - PR 3 ( R 은 수소 또는 알킬기 또는 페닐기 ) , -( PO ) ( OR ) 2 ( R 은 수소 또는 알킬기 또는 페닐기 ) , ( R ) ( PO 2 - Na +) O -( R 은 수소 또는 알킬기 또는 페닐기 ) 등 을 들 수 있 다 . 이 들 기 는 모두 - OH 보다 극성 이 작 고 , 따라서 표면 소수 화 막 의 유전율 상승 이나 소수 화 에 대한 영향 이 최소한 으로 억제 되 며 , 극성기 로서 , 배선 과 의 밀착 성 에 기여 하 고 있 는 것 으로 생각 된다 . 또한 , 케톤 결합 등 다른 결합 을 포함 하 고 있 어도 좋 다 .