본 발명 에서 의 유리 와 석영 은 , 이 에 퇴적 되 는 식각 부산물 과 유리 또는 석영 의 계면 과 의 차이 로 인하 여 퇴적 된 식각 부산물 이 탈리 되 는 정도 가 다름 으로써 그 차이 가 있 다 . 즉 , 유리 와 석영 과 의 표면 에너지 차이 로 인하 여 그 에 퇴적 되 는 식각 부산물 과 의 밀착력 이 달라지 게 되 므로 , 이 의 차이 에 따라 상술 된 바 와 같이 절연체 창 ( 31 ) 와 증착 방지 커버 ( 32 ) 와 의 물질 을 일치 시키 는 것 이 다 .