본 발명 에 관한 흡착 기구 ( 2 ) 는 , 진 공원 ( 14 ) 과 연통 하 는 공간 부 ( 20 ) 를 갖 는 본 체부 ( 22 ) 와 , 본 체부 ( 22 ) 에 고정 되 어 공간 부 ( 20 ) 의 외주 부를 구성 하 는 패드 ( 30 ) 를 구비 하 고 , 본 체부 ( 22 ) 는 워크 ( W ) 측 으로 늘어나 는 지지벽 ( 26 ) 과 , 패드 ( 30 ) 의 후단 ( 30 d ) 을 당 접시 키는 베이스 면 ( 22 a ) 을 가지 며 , 패드 ( 30 ) 는 탄성 재료 를 사용 하 여 지지벽 ( 26 ) 보다 도 선단 ( 30 a ) 이 워크 ( W ) 측 으로 돌출 하 는 축 방향 길이 를 갖 고서 둘레 방향 으로 연속 하 는 환형 상 으로 형성 되 어 지지벽 ( 26 ) 의 외주 부 ( 26 a ) 또는 내 주부 ( 26 b ) 에 끼워 마련 되 고 , 흡 착시 에 워크 ( W ) 에 밀착 시켜서 공간 부 ( 20 ) 를 밀폐 상태 로 하 는 구성 이 고 , 본 체부 ( 22 ) 에 는 패드 ( 30 ) 의 외주 부 ( 30 c ) 또는 내 주부 ( 30 b ) 에 압접 시켜 , 패드 ( 30 ) 를 지지벽 ( 26 ) 및 베이스 면 ( 22 a ) 에 밀착 시켜서 고정 하 는 고정부 ( 32 ) 가 마련 되 어 있 다 .