약액 공급 부 ( 170 ) 는 각각 의 공급 라인 을 통해 노즐 부 ( 160 ) 로 제 1 내지 제 3 약액 을 공급 한다 . 여기 서 제 1 및 제 2 약액 은 식각 액 으로서 , 불 산 ( HF ) 용액 , SC - 1 ( Standard Clean - 1 ) 용액 이 고 , 제 3 약액 은 세정액 으로서 , 초 순수 ( DIW ) 및 건조 가스 예컨대 , 이소프로필 알코올 ( IPA : Isopropyl Alcohol ) 이 다 .