우측 으로 향하 여 계속 된 텍 스쳐 링 모듈 ( 11 ) 에서 , 멀리 우측 상 에서 도해 된 노즐 들 ( 20 ) 은 식각 용액 ( 21 ) 을 출급 하 기 위한 것 이 아니 라 , 물 또는 린스 액 ( rinsing water , 26 ) 을 출급 하 기 위해 설계 될 수 있 다 . 이것 때문 에 실리콘 웨이퍼 의 상부 면 들 ( 23 ) 을 위한 이러 한 영역 에서 실리콘 웨이퍼 들 ( 22 ) 로부터 식각 용액 ( 21 ) 이 세정 될 수 있 다 . 분리기 ( separator , 28 ) 가 컬 렉 팅 트로프 ( 16 ) 내 에 이러 한 목적 을 위하 여 제공 되 는데 , 침지 된 식각 용액 ( 21 ) 은 상기 분리기 의 좌측 에 위치 하 고 작 은 비율 의 식각 용액 과 혼합 된 린스 액 ( 26 ) 은 상기 분리기 의 우측 에 위치 하 도록 하 기 위함 이 다 . 식각 용액 ( 21 ) 을 적용 하 기 위하 여 노즐 들 ( 20 ) 을 수반 한 연속 하 는 서지 파이프 들 ( 19 ) 의 개수 는 변할 수 있 으며 , 소정 의 이송 속도 및 방법 지속 시간 에 따라 변동 될 수 있 다 . 마찬가지 로 , 실리콘 웨이퍼 들 ( 22 ) 을 린스 하 기 위해 린스 액 ( 26 ) 을 위한 복수 개 의 노즐 들 ( 20 ) 을 제공 하 는 것 이 유리 하 게 가능 하 다 .