제 1 주류 홈 ( 31 ) 과 제 2 주류 홈 ( 32 ) 사이 에 , 제 1 볼록 부 열 ( 41 ) 이 마련 되 어 있 다 . 이 제 1 볼록 부 열 ( 41 ) 은 제 1 방향 X 로 배열 된 복수 의 제 1 볼록 부 ( 41 a ) 를 포함 하 고 있 다 . 도 6 에 있 어서 는 , 각 제 1 볼록 부 ( 41 a ) 는 평면 으로 보 아 , 제 1 방향 X 가 길 이 방향 으로 되 도록 직사각 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 서로 인접 하 는 제 1 볼록 부 ( 41 a ) 사이 에 는 제 1 연락 홈 ( 51 ) 이 개재 되 어 있 다 . 제 1 연락 홈 ( 51 ) 은 , 제 2 방향 Y 로 연장 되 도록 형성 되 어 , 제 1 주류 홈 ( 31 ) 과 제 2 주류 홈 ( 32 ) 을 연통 하 고 있 고 , 제 1 주류 홈 ( 31 ) 과 제 2 주류 홈 ( 32 ) 사이 에서 작 동액 ( 2 ) 이 왕래 가능 하 게 되 어 있 다 . 제 1 연락 홈 ( 51 ) 은 서로 인접 하 는 제 1 볼록 부 ( 41 a ) 사이 의 영역 이 며 , 제 1 주류 홈 ( 31 ) 과 제 2 주류 홈 ( 32 ) 사이 의 영역 으로 하 고 있 다 .