검사 장치 ( 10 ) 는 , 도 1 의 선 Ⅱ - Ⅱ 를 따라 얻 어 진 도 2 에 나타내 어 져 있 듯이 , 스테이지 ( 16 ) 위 에 이것 으로부터 간격 을 두 고 배치 되 는 평판 상 의 사각형 베이스 부재 로 이루어지 는 워크 테이블 ( 18 ) 과 , 상기 워크 테이블 위 에 조립 되 고 , 액정 표시 패널 ( 12 ) 을 받 는 패널 받 이 ( receiver ) 를 구성 하 는 사각형 틀 ( 20 ) 과 , 상기 틀 의 위쪽 에 배치 된 프로브 스테이지 ( 22 ) 를 갖춘다 .