상기 서술 한 바 와 같이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상 의 웨이퍼 ( W 2 ) 에 대한 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 의 노광 이 속행 되 고 있 는 동안 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 도 49 에 도시 된 바 와 같이 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 + X 방향 으로 의 구동 이 개시 된다 . 그리고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 는 , 도 50 에 도시 된 계측 플레이트 ( 30 ) 상 의 기준 마크 ( FM ) 가 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 의 시야 ( 검출 영역 ) 내 에 위치 결정 되 는 위치 로 이동 된다 . 이 이동 도중 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 XY 평면 내 의 위치 제어 가 , 전술 한 간섭계 ( 208 , 229 ) 의 계측 값 에 기초 한 제어 로부터 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 이동 스케일 ( 39 B , 39 A ) 에 대향 하 는 헤드 유닛 ( 162 D , 162 C ) 에 각각 속하 는 2 D 헤드 ( 167 p , 168 q ; p , q = 1 ∼ 5 ) , 즉 2 차원 인코더 ( 170 D , 170 C ) 의 계측 값 에 기초 한 제어 로 전환 된다 .