결국 이러 한 구조 의 복잡 성 은 홀더 ( 7 ) 자체 에서 야기 된 것 이 고 , 반면 대구경 반도체 에서 고온 공정 을 위한 0 . 7 R 의 지지 를 수행 하 는 지지 링 을 갖춘 홀더 ( 7 ) 역시 필요 한 것 으로 , 이러 한 지지 를 수행 하 면서 도 고가 의 재질 과 제조 가 까다로운 홀더 에서 제조 의 편의 성 을 제공 하 고 , 반응 챔버 에서 컴팩트 한 웨이퍼 배치 를 위한 보트 구조 또는 주변 장치 의 개량 이 반도체 공정 의 생산 성 향상 을 위한 당면 과제 였 던 것 이 다 .