또한 , 본 발명 에서 , 상기 품질 정보 기억 부 는 상기 품질 정보 를 검사 로트 마다 기억 하 도록 구성 되 고 , 상기 화상 기억 부 는 상기 화상 정보 를 상기 검사 로트 마다 기억 하 도록 구성 되 며 , 상기 품질 정보 표시 부 는 검사 를 종료 한 최근 의 검사 로트 및 소정 의 1 이상 의 과거 의 검사 로트 에 관한 상기 통계 정보 를 비교 가능 하 게 상기 표시 부 에 화면 표시 하 도록 구성 되 고 , 상기 화상 표시 부 는 상기 최근 의 검사 로트 및 상기 과거 의 검사 로트 에 대해 상기 선택 신호 에 대응 한 화상 데이터 를 상기 화상 기억 부 로부터 읽 어 내 어 비교 가능 하 게 상기 표시 부 에 화면 표시 하 도록 구성 되 어 있 어도 좋 다 .