일부 구성 에서 , 도파관 ( 700 ) 은 저 해상력 리소그래피 에 의해 형성 될 수 있 다 . 이러 한 구성 은 고 해상력 리소그래피 , 습식 리소그래피 또는 측벽 산화 를 필요 로 하 지 않 을 수 있 는데 , 제조 비용 을 극 적 으로 감소 시킬 수 있 다 . 나아가 , 도파관 ( 700 ) 의 구성 은 굴절 률 , 층 두께 및 질화규소 와 실리콘 사이 의 간격 제어 의 변화 와 같 은 공정 오류 또는 공정 변형 에 대해 상대 적 으로 튼튼 할 수 있 다 . 일부 양태 에서 , 도파관 ( 700 ) 은 실리콘 도파관 기반 다중 플렉 서 또는 디 다중 플렉 서 , 어레이 도파관 격자 , 직렬 마하 - 젠더 간섭계 또는 위상 오류 를 현저히 감소 시키 는 다른 광학 장치 로 구현 될 수 있 다 .