온도 균일성 을 개선 하 기 위한 하나 의 방식 은 챔버 외부 에 배치 된 회전 가능 한 플랜지 ( 32 ) 에 자기 적 으로 커플링 된 회전 가능 한 실린더 ( 30 ) 상 에서 엣지 링 ( 14 ) 을 지지 하 는 것 을 포함 한다 . 로터 ( 미 도시 ) 는 플랜지 ( 32 ) 를 회전 시키 고 그 에 따라 웨이퍼 ( 12 ) 를 그 중심 ( 34 ) 주위 로 회전 시키 며 , 상기 중심 은 또한 전체 적 으로 대칭 인 챔버 의 중심선 이 된다 .