도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 상기 기판 이송 장치 ( 110 ) 는 반도체 기판 ( 10 ) 의 이송 도중 에 외기 와 의 차단 을 위한 기판 이송 챔버 ( 112 ) 와 , 상기 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 일 측 에 연결 되 며 다수 의 반도체 기판 ( 10 ) 들 을 수납 하 기 위한 FOUP ( 20 ) 을 지지 하 는 로드 포트 ( 114 ) 와 , 상기 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 상측 부위 에 배치 되 어 상기 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 내부 로 청정 한 공기 를 공급 하 기 위한 팬 필터 유닛 ( 116 ) 과 , 상기 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 내부 에서 반도체 기판 ( 10 ) 을 이송 하 기 위한 기판 이송 로봇 ( 118 ) 을 포함 한다 .