이 와 같이 , 상기 기상 성 장용 서 셉 터 에 있 어서 , 웨이퍼 재치 면 인 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 와 중앙부 의 경계 가 동심 원상 이 고 , 상기 외 주부 의 영역 이 상기 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외 주단 으로부터 10 mm ~ 50 mm 의 범위 이 면 , 서 셉 터로 의 재치 시 웨이퍼 의 슬라이드 나 휨 이 개선 되 어 , 균일성 이 우수 한 에피 택 셜 웨이퍼 를 얻 을 수 있 다 .