상기 흡기 배관 ( 420 ) 은 도 21 내지 도 23 에 나타낸 바 와 같이 , 일 측 이 상기 아암 ( 406 ) 의 타 측 에 고정 되 며 , 진공 펌프 ( 미 도시 ) 와 연결 되 는 고정관 ( 421 ) 과 , 상기 고정관 ( 421 ) 의 하측 둘레 에 일체 로 형성 되 어 설치 되 는 고정 플레이트 ( 422 ) 와 , 상기 흡 기실 ( 432 ) 과 내부 가 통하 도록 설치 되 며 , 일 측 이 흡착 대 ( 430 ) 에 고정 되 고 타 측 이 상기 고정관 ( 421 ) 의 내부 에 상하 슬라이딩 가능 하 게 끼움 결합 되 는 이동관 ( 424 ) 과 , 상기 이동관 ( 424 ) 의 하측 둘레 에 일체 로 형성 하 여 설치 되 는 이동 플레이트 ( 425 ) 와 , 상기 고정 플레이트 ( 422 ) 와 이동 플레이트 ( 424 ) 사이 에 원주 방향 을 따라 일정 간격 을 두 고 설치 되 고 고정 플레이트 ( 422 ) 와 이동 플레이트 ( 424 ) 의 간격 이 벌어지 는 방향 으로 항상 힘 을 가하 는 복수 의 탄성 부재 ( 426 ) 를 포함 하 여 이루어진다 .