여기 서 , 가스 공급 공 ( 1700 B ) ( 도 3 및 도 4 를 참조 ) 으로부터 공급 되 는 가스 는 , 가스 공급 공 ( 1700 B ) 보다 기판 ( W ) 에 가까운 위치 에 돌기 부 ( 170 C ) 가 형성 되 어 있 음 으로써 , 간극 영역 ( 180 ) 으로 흘러 들어가 는 비율 이 억제 되 고 , 반대 로 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 및 케이싱 ( 171 ) 내 로 흘러 들어가 는 비율 이 증대 된다 .