SUS 등 으로 구성 되 는 챔버 ( 4 ) 는 , 예컨대 , 바닥 판 ( 40 ) 과 , 바닥 판 ( 40 ) 에 대향 하 는 천장 판 ( 41 ) 과 , 바닥 판 ( 40 ) 과 천장 판 ( 41 ) 에 연결 하 는 측벽 ( 42 ) 을 구비 하 고 있 고 , 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 수용 가능 한 높이 가 낮 은 박형 챔버 이 다 . 챔버 ( 4 ) 는 , 예컨대 , 작업자 가 챔버 ( 4 ) 끼리 를 복수 매 중첩 하 는 것 이 가능 한 크기 로 되 어 있 다 .