이러 한 초임계 건조 기술 에 따르 면 , 챔버 내 에서 표면 이 이소프로필 알코올 ( IPA ) 로 습윤 되 어 있 는 웨이퍼 에 초임계 상태 의 이산화 탄소 를 공급 함 으로써 웨이퍼 상의 IPA 가 초임계 이산화 탄소 ( CO 2 ) 유체 에 용해 된다 . 그리고 IPA 를 용해 하 고 있 는 초임계 이산화 탄소 ( CO 2 ) 유체 를 서서히 챔버 에서 배출 함 으로써 패턴 의 도괴 없이 웨이퍼 를 건조 할 수 있 다 .