그러나 , 국제 공개 제 2008 / 139904 호 공보 ( 특허 문헌 4 ) 와 같 은 막 중 에서 의 다중 반사광 의 위상차 를 이용 하 여 반사광 을 감쇠 시키 는 반사 방지 막 을 , 차광막 과 투명 기판 사이 에 설치 한 경우 , 이 타입 의 반사 방지 막 은 노 광광 의 파장 에 맞춰 설계 되 고 , 또한 반사 방지 막 은 어느 정도 의 투과 율 이 필요 하 기 때문 에 , 충분 한 차광 능 을 가지 게 하 기 위해서 막 두께 를 두껍 게 한 차광막 과 , 이 반사 방지 막 을 합친 막 두께 는 상당히 두꺼운 것 이 된다 . 또한 , 패턴 가공 을 행하 는 경우 에 도 , 반사 방지 막 과 차광막 의 조성 이 상이 하 기 때문 에 , 드라이 에칭 조건 에 대한 에칭 속도 에 차 가 발생 하 고 , 패턴 측면 의 형상 이 불량 이 될 위험 성 도 있 다 .