희생 막 구조물 ( 140 ) 은 기판 ( 100 ) 상 에 상기 제 1 방향 을 따라 순차 적 으로 적층 된 제 1 내지 제 3 희생 막 들 ( 110 , 120 , 130 ) 을 포함 할 수 있 다 . 이때 , 각 제 1 및 제 3 희생 막 들 ( 110 , 130 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 과 같 은 산화물 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 희생 막 ( 120 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 질화물 과 같 은 질화물 을 포함 할 수 있 다 .