한편 , 제 조예 2 의 슬러리 조성물 은 아졸 화합물 을 포함 하 지 않 음 에 도 상변화 물질 층 의 연마 속도 가 낮 은 것 으로 나타났 다 . 이 는 산화제 의 함량 을 제조 예 1 의 경우 에 비해 절반 으로 낮춘 데 기인 하 는 것 으로서 , 산화제 의 함량 이 낮 은 경우 에 는 상변화 물질 층 의 연마 속도 가 감소 하 는 것 을 알 수 있 다 . 따라서 상변화 물질 층 의 상대 적 인 연마 속도 를 낮추 어서 절 연막 에 대한 상변화 물질 층 의 연마 선택 비 를 낮추 기 위해서 는 슬러리 조성물 에 포함 된 산화제 의 함량 을 낮추 는 것 이 바람직 함 을 알 수 있 다 . 예 를 들 어 , 저 선택 비 슬러리 조성물 은 산화제 의 함량 이 약 0 . 5 중량 % 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 다만 , 산화제 에 대한 게르마늄 , 안티몬 및 텔루르 의 반응 성 이 차이 가 있 어서 , 산화제 의 함량 이 지나치 게 낮 은 경우 에 는 연마 후 에 남 아 있 는 GST 층 의 성분 구성 이 불 균일 해 지 는 것 이 관찰 되 었 으며 , 산화제 는 적어도 0 . 01 중량 % 이상 포함 하 는 것 이 바람직 한 것 으로 나타났 다 .