제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 는 제 1 금속 막 ( 130 ) 및 상기 제 1 금속 막 ( 130 ) 의 저면 및 측벽 을 감싸 는 제 1 도전 성 배리 어막 ( 132 ) 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 상기 제 1 금속 막 ( 130 ) 은 Co , W , Cu , Ru , Mn , Ti , Ta , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 고 , 제 1 도전 성 배리 어막 ( 132 ) 은 Ti , TiN , Ta , TaN , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 .