상기 기판 ( W ) 은 반도체 기판 이 되 는 실리콘 웨이퍼 일 수 있 다 . 그러나 본 발명 이 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 상기 기판 ( W ) 은 LCD ( liquid crystal display ) , PDP ( plasma display panel ) 와 같 은 평판 디스플레이 장치 용 으로 사용 하 는 유리 등 의 투명 기판 일 수 있 다 . 상기 기판 ( W ) 의 형상 및 크기 는 본 발명 의 도면 에 의해 한정 되 는 것 은 아니 며 , 원형 및 사각형 플레이트 등 실질 적 으로 다양 한 형상 과 크기 를 가질 수 있 다 .