바이어스 스퍼터링 법 을 사용 할 경우 에 는 , 타 겟 으로서 알루미늄 을 사용 하 여 , 가스 유량 ( 아르곤 : 0 ∼ 100 sccm , 산소 : 5 ∼ 100 sccm ) , 성막 압력 0 . 1 ∼ 2 . 0 Pa , 성막 전력 0 . 5 ∼ 4 kW ( DC ) , T - S 간 거리 ( 타 겟 과 기판 간 거리 ) 를 50 ∼ 185 mm 로 하 여 , 피 처리 기판 측 에 50 W ∼ 300 W 의 고주파 전력 을 인가 하 여 행할 수 있 다 .