한편 , 마스크 개구 ( 971 ) 의 애 스펙 트 비 는 , 도 8 에 도시 하 는 바 와 같이 마스크 개구 ( 971 ) 를 기판 ( 10 ) 의 이동 방향 ( 10 a ) 과 평행 한 방향 을 따라 보 았 을 때 , 마스크 개구 ( 971 ) 의 개구 폭 Wm 에 대한 증착 마스크 ( 970 ) 의 두께 Tm 의 비 ( Tm / Wm ) 로 정의 된다 . 마스크 개구 ( 971 ) 를 통과 할 수 있 는 증착 입자 ( 991 ) 의 비상 방향 이 기판 ( 10 ) 의 법선 ( 10 n ) 에 대하 여 이루 는 각도 의 최대 값 을 δ 라 하 면 , 마스크 개구 ( 971 ) 의 애 스펙 트 비 는 cot δ 로 표현 된다 .