도 2 내지 도 5 를 참조 하 면 , 기판 처리 설비 ( 1 ) 는 로드 포트 ( 100 ) , 인덱스 모듈 ( 200 ) , 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) , 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) , 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) , 노광 전후 처리 모듈 ( 600 ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 700 ) 을 포함 한다 . 로드 포트 ( 100 ) , 인덱스 모듈 ( 200 ) , 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) , 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) , 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) , 노광 전후 처리 모듈 ( 600 ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 700 ) 은 순차 적 으로 일 방향 으로 일렬 로 배치 된다 .