한편 , 이하 에서 는 도 2 및 도 5 를 참조 하 여 , 히팅 플레이트 ( 51 ) 의 하측 에 배치 된 샤프트 ( 52 ) 가 브라 켓 ( 71 ) 에 결합 되 는 구성 을 상세히 설명 한다 . 위 에서 설명 한 바 와 같이 , 히팅 플레이트 ( 51 ) 는 샤워 헤드 ( 60 ) 와 나란 한 평면 상 에 배치 되 어 샤워 헤드 ( 60 ) 와 대면 하 여야 한다 . 본 발명 에 따른 박막 증착 장치 ( 100 ) 에서 는 샤프트 ( 52 ) 와 브라 켓 ( 71 ) 이 상호 결합 되 는 구성 을 통해 히팅 플레이트 ( 51 ) 의 배치 위치 를 정밀 하 게 얼라인 할 수 있 다 . 상기 샤프트 ( 52 ) 는 브라 켓 ( 71 ) 의 상면 에 놓여져 지 지 되 며 , 샤프트 ( 52 ) 의 하면 에 는 그 내 주면 에 나사산 이 형성 되 어 있 는 복수 의 나 사홈 ( 54 ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 브라 켓 ( 71 ) 에 는 샤프트 ( 52 ) 의 복수 의 나사 홈 ( 54 ) 에 대응 되 는 위치 에 각각 관 통공 ( 71 a ) 이 형성 되 어 있 다 . 제 1 나사 ( 57 ) 는 관 통공 ( 71 a ) 을 통해 나사 홈 ( 54 ) 에 체결 됨 으로써 샤프트 ( 52 ) 를 브라 켓 ( 71 ) 에 고정 시킨다 . 한편 , 브라 켓 ( 71 ) 의 상면 과 하 면 사이 를 관통 하 며 그 내 주면 에 나사산 이 형성 되 어 있 는 복수 의 나사 공 ( 71 b ) 이 마련 된다 . 상기 나 사공 ( 71 b ) 에 는 외주 면 에 나사산 이 형성 되 어 있 는 이른바 셋 스 크류 ( 58 , set screw ) 가 체결 된다 . 나 사공 ( 71 b ) 에 체결 된 셋 스 크류 ( 58 ) 는 그 조임 정도 및 풀림 정도 에 의하 여 브라 켓 ( 71 ) 의 상면 에 대하 여 돌출 및 몰입 가능 하 다 . 상기 한 구성 에서 , 나사 홈 ( 54 ) 에 체결 된 제 1 나사 ( 57 ) 를 조이 면 샤프트 ( 54 ) 는 브라 켓 ( 71 ) 에 접근 되 는 방향 으로 미세 하 게 이동 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 복수 의 제 1 나사 ( 57 ) 의 조임 및 풀림 정도 를 각각 조절 하 여 히팅 플레이트 ( 51 ) 의 위치 를 미세 하 게 얼라인 할 수 있 게 된다 . 또한 , 셋 스 크류 ( 58 ) 가 브라 켓 ( 71 ) 의 상면 에 대하 여 돌출 된 높이 를 조절 함 으로써 , 제 1 나사 ( 57 ) 가 조여 짐 에 따라 히팅 플레이트 ( 51 ) 의 하강 높이 를 제한 할 수 있 다 . 결국 , 제 1 나사 ( 57 ) 와 셋 스 크류 ( 58 ) 의 조임 및 풀림 정도 에 의하 여 히팅 플레이트 ( 51 ) 의 높이 및 배치 위치 를 미세 하 게 정렬 할 수 있 다 .