복수 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 가 보트 ( 217 ) 에 장전 ( 웨이퍼 차지 ) 되 면 , 셔터 개폐 기구 ( 115 s ) 에 의해 셔터 ( 219 s ) 가 이동 되 어서 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 개구 가 개방 된다 ( 셔터 오픈 ) . 그 후 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 복수 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 한 보트 ( 217 ) 는 , 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 들 어 올려 져서 처리 실 ( 201 ) 내 에 반입 ( 보트 로드 ) 된다 . 이 상태 에서 , 시일 캡 ( 219 ) 은 , O 링 ( 220 b ) 을 통해서 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 을 시일 한 상태 가 된다 .