흡착 용 전극 ( 11 ) 은 , 예 를 들 어 평면 형상 이 원형 인 전극 으로 구성 되 어 있 다 . 이 흡착 용 전극 ( 11 ) 이 란 , 정전 척 ( 1 ) 을 사용 할 경우 에 는 , 직류 고전압 이 인가 되 고 , 이 로써 , 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 를 흡착 시키 는 정전 인력 ( 흡 착력 ) 을 발생 시키 고 , 이 흡착 력 을 사용 하 여 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 를 흡착 시켜 고정 시키 는 것 이 다 .