복수 매 의 기판 을 처리 하 는 배 치식 의 장치 에 있 어서 , 처 리조 의 수조 내 의 온도 제어 성 을 향상 시킬 수 있 는 기술 을 제공 한다 . 복수 매 의 기판 이 침지 되 는 처리 액 을 저류 하 는 처 리조 와 , 상기 처 리조 의 수조 내 에 상기 처리 액 을 공급 하 는 공급 로 , 및 상기 공급 로 의 도중 에서 상기 처리 액 을 가열 하 는 가열 기구 를 포함 하 는 , 복수 의 액 공급 부 와 , 상기 처 리조 의 수조 내 의 복수 개소 에서 상기 처리 액 의 온도 를 측정 하 는 복수 의 수조 내 온도 센서 를 가지 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 .