위 에서 논한 바 와 같이 , 실리콘 화합물 이 제거 된 후 , 실리콘 화합물 을 실리콘 이 산화물 로 전환 시키 기 위해 상기 반응 공간 내 로 적절 한 반응 성 산소 소스 가 도입 된다 . 바람직 한 산소 소스 물질 들 은 , 예 를 들 면 , 물 , 산소 , 원자성 산소 , 산소 플라스마 , 산소 라디칼 , 과산화수소 , 및 과산화수소 와 오존 의 수용액 들 을 포함 한다 . 일부 구 현예 들 에서 , 유기 리간드 를 포함 하 는 실리콘 화합물 에 대하 여 물 보다 더욱 반응 성 이 강한 산소 소스 들 이 사용 된다 . 이하 에 제공 된 실시 예 에서 , 산소 소스 물질 은 오존 ( O 3 ) 이 다 . 오존 은 오존 생성기 에 의하 여 생성 될 수 있 으며 , 질소 와 같 은 동일 한 종류 의 불활성 기체 의 도움 으로 또는 산소 의 도움 으로 상기 반응 공간 내부 로 도입 되 는 것 이 가장 바람직 하 다 . 일부 구 현예 들 에서 , 오존 은 약 5 부피 % 내지 약 40 부피 % 의 농도 로 , 바람직 하 게 는 약 15 부피 % 내지 약 25 부피 % 의 농도 로 제공 된다 .