상기 제 2 반도체 는 서로 분리 되 어 있 는 제 1 부분 및 제 2 부분 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 며 , 상기 구동 부 식각 저지 막 은 고리 모양 이 며 , 상기 구동 입력 전극 은 상기 구동 부 식각 저지 막 의 안쪽 부분 과 중첩 하 며 , 상기 구동 출력 은 상기 구동 부 식각 저지 막 의 바깥 부분 과 중첩 하 는 것 이 바람직 하 다 .