상술 한 바 와 같이 , 본 발명 의 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 공정 처리 시 , 스핀 헤드 ( 130 ) 와 약액 포집 장치 ( 110 ) 를 동시 에 동일 한 방향 으로 회전 시킴 으로써 , 약액 이 원심력 에 의해 약액 포집 장치 ( 110 ) 내 측면 과 충돌 되 는 충격량 을 감소 시킬 수 있 어 리바운드 에 의한 약액 이 공정 챔버 내부 의 주변 으로 튀 어서 공정 에 영향 을 끼치 는 현상 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 또 약액 포집 장치 ( 110 ) 내 측면 에 나선 형 의 홈 ( 118 ) 을 형성 함 으로써 , 회전력 에 의해 약액 의 포집 을 용이 하 게 하 고 , 이 를 통해 약액 포집 장치 ( 110 ) 내부 에 잔존 하 는 약액 을 최소 화 하 여 파티클 발생 을 방지 할 수 있 다 .