상기 복수 의 가스 분사 모듈 중 일부 의 가스 분사 모듈 은 상기 제 2 가스 를 활성 화 시켜 분할 공간 에 분사 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 그리고 , 상기 복수 의 가스 분사 모듈 중 나머지 가스 분사 모듈 은 상기 제 1 및 제 2 가스 중 에서 선택 된 가스 를 분할 공간 에 비활성 화 상태 또는 활성 화 상태 로 분사 하 는 것 을 특징 으로 한다 .