또한 , 본 실시 형태 의 제 1 순서 및 제 2 순서 에서 사용 하 는 가스 종 을 비교 하 면 , 본 실시 형태 의 제 1 순서 및 제 2 순서 양쪽 모든 경우 에서 도 , N 2 O 사용 시 에 비해 , NO 사용 쪽 이 성막 속도 가 높 고 , 막 두께 분포 균일성 도 더욱 개선 되 어 있 음 을 알 수 있 다 . 따라서 어느 순서 에서 도 NO 를 사용 한 경우 의 쪽 이 , 보다 성막 속도 가 높 고 , 보다 막 두께 분포 균일성 이 양호 하 게 되 는 것 을 알 수 있 다 .