금속 식각 공정 의 마지막 단계 로서 , 도 2 f 는 PET 단계 를 나타낸다 . PET 단계 에서 는 이전 의 ME 단계 및 OE 단계 에서 발생 한 잔여 PR 과 폴리머 를 제거 하 는 단 계이 다 . 종래 에 는 PET 단계 를 거치 지 않 고 , 바로 애 싱 및 세정 을 하 였으나 , 본 발명 에서 는 PET 단계 를 추가 하 여 이 물질 을 먼저 제거 하 는 과정 을 거친다 .