기판 리프트 ( 130 ) 는 샤프트 ( 111 ) 에 연결 된 플랫 폼 ( 108 ) 상 에 장착 되 는 리프트 핀 ( 109 ) 들 을 포함 할 수 있 으며 , 상기 샤프트 는 기판 리프트 ( 130 ) 를 상승 및 하강 시키 기 위한 제 2 리프트 기구 ( 132 ) 에 커플링 되 며 , 이 에 따라 , " 기판 ( "" S "") 이 정전 척 ( 150 ) 위 에 놓이 거나 정전 척 으로부터 제거 될 수 있 다 . 정전 척 ( 150 ) 은 리프트 핀 ( 109 ) 들 을 수용 하 기 위한 ( 이하 에 설명 된 ) 관 통공 들 을 포함 한다 . 벨로우즈 조립 체 ( 131 ) 는 기판 리프트 ( 130 ) 의 수직 운동 중 에 챔버 진공 을 유지 하 는 가요 성 시일 을 제공 하 기 위해 기판 리프트 ( 130 ) 와 바닥 면 ( 126 ) 사이 에 커플링 된다 . "