혹은 , 도 34 A 에 나타내 는 수지 성형 장치 와 같이 , 일면 이 개방 된 박스 모양 이 고 , 헤드 ( 2033 H ) 에 O - 링 ( 8528 ) 을 통해 접촉 하 는 캡 ( 8524 ) 을 구비 하 는 것 이 어도 좋 다 . 여기 서 , 캡 ( 8524 ) 에 는 , 디 스펜서 ( 6052 ) 의 노즐 ( 522 ) 을 내측 에 삽입 시키 기 위한 개구부 ( 8524 d ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 캡 ( 8524 ) 의 외벽 에 있 어서 의 개구부 ( 8524 d ) 의 외주 부 에 는 , O - 링 ( 8526 ) 이 장착 되 어 있 다 . 그리고 , 수지 성형 장치 는 , 디 스펜서 ( 6052 ) 의 본 체부 ( 520 ) 를 하방 으로 이동 시켜 ( 도 34 A 의 화살표 AR 801 참조 ) , 노즐 ( 522 ) 을 캡 ( 8524 ) 의 내측 에 삽입 해 간다 . 그러면 , O - 링 ( 8526 ) 이 본 체부 ( 520 ) 가 마련 된 플랜 지부 ( 8520 ) 의 하면 에 당 접한 상태 가 되 어 ( 도 34 A 일점쇄선 참조 ) , 캡 ( 8524 ) 의 내부 가 밀폐 된다 . 그리고 , 수지 성형 장치 는 , 배기구 ( 8524 a ) 를 통해 캡 ( 8524 ) 내 에 존재 하 는 기체 를 배기 하 여 캡 ( 8524 ) 내 의 진공도 를 높인 후 , 디 스펜서 ( 6052 ) 의 노즐 ( 522 ) 로부터 몰드 ( M ) 의 요부 ( MT ) 에 수지 ( R 1 ) 를 토출 시킨다 . 또한 , 이 수지 성형 장치 에서 는 , 도 34 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 캡 ( 8524 ) 이 , 몰드 ( M ) 에 대해 Z 축 방향 으로 슬라이딩 가능 ( 도 34 B 의 화살표 AR 803 참조 ) 하 게 되 어 있 고 , 캡 ( 8524 ) 을 Z 축 방향 으로 이동 시키 는 캡 구 동부 ( 미 도시 ) 를 구비 한다 . 한편 , 수지 성형 장치 가 , 캡 ( 8524 ) 에 연결 되 어 , 캡 ( 8524 ) 을 몰드 ( M ) 에 가압 하 는 방향 ( + Z 방향 ) 으로 바이어 싱하 는 탄성 부재 를 구비 하 는 것 이 어도 좋 다 . 그리고 , 수지 성형 장치 는 , 몰드 ( M ) 를 기판 ( WT ) 에 가압 할 때 , 헤드 ( 2033 H ) 를 기판 ( WT ) 에 접근 시키 는 방향 으로 이동 시키 는 한편 ( 도 34 B 의 화살표 AR 802 참조 ) , 캡 ( 8524 ) 을 몰드 ( M ) 에 대해 - Z 방향 으로 이동 시킨다 . 이 에 의해 , 수지 성형 장치 가 몰드 ( M ) 를 기판 ( WT ) 에 가압 할 때 , 캡 ( 8524 ) 이 기판 ( WT ) 에 접촉 하 는 것 을 방지 한다 .