척 플레이트 ( 180 ) 는 연마 헤드 ( 100 ) 에서 웨이퍼 ( W ) 가 부착 되 는 부분 으로서 원통형 의 몸체 를 가지 며 , 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 의 개방 된 하단 으로 몸체 의 일부 가 삽입 된다 . 이때 , 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 의 하단 에 형성 된 개 방면 의 직경 과 척 플레이트 ( 180 ) 의 원통형 몸체 의 직경 은 동일 하 다 .