유지 부 ( 20 ) 는 , 하방 측 의 단부 에 , 상방 측 으로부터 웨이퍼 ( 200 ) 를 흡인 유지 한다 . 유지 부 ( 20 ) 는 , 이 동부 ( 50 ) 에 의해 수직 방향 으로 이동 가능 하 게 지 지 되 고 있 다 . 유지 부 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 유지 위치 보다 수직 방향 에 있 어서 의 상방 에 , 압박 력 측 정부 ( 22 ) 를 더 구비 한다 . 압박 력 측 정부 ( 22 ) 는 , 유지 부 ( 20 ) 을 통해 하방 에 인가 되 고 있 는 압박 력 을 측정 할 수 있 고 , 이 에 따라 , 유지 부 ( 20 ) 에 의한 액상 수지 ( 301 ) 를 압박 하 여 확장 시킬 때 의 압박 력 을 측정 할 수 있 다 .