또한 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 서비스 엔지니어 가 서비스 파라미터 를 변경 한 경우 에 일괄 변경 지시 또는 개별 변경 지시 를 입력 함 으로써 , 반도체 제조 장치 는 변경 된 파라미터 의 값 을 고객 운용 파라미터 를 구성 하 는 파라미터 의 값 으로서 반영 시켰 다 . 그러나 , 서비스 엔지니어 가 서비스 파라미터 를 변경 한 경우 에 , 원칙 적 으로 , 반도체 제조 장치 는 변경 된 파라미터 의 값 을 고객 운용 파라미터 를 구성 하 는 파라미터 의 값 으로서 반영 시키 고 , 서비스 엔지니어 가 파라미터 의 값 을 원래 로 되돌리 는 지시 ( 상기 의 변경 취소 지시 ) 를 입력 한 경우 에 변경 된 파라미터 의 값 이 고객 운용 파라미터 에 반영 되 지 않 는 형태 로 해도 좋 다 . 이러 한 경우 , 서비스 엔지니어 가 서비스 파라미터 를 변경 한 경우 에 고객 운용 파라미터 도 동시 에 변경 하 고 , 그리고 , 고객 운용 파라미터 의 원래 의 값 을 백업 하 는 등 의 구조 가 필요 하 다 . 이러 한 구조 는 , 예 를 들 면 , 고객 운용 파라미터 를 수정 한 경우 에 수정 전 의 고객 운용 파라미터 를 다른 파일 에 기록 하 는 등 의 관리 방법 ( 버전 관리 라도 좋 음 ) 이 생각 될 수 있 다 .