도면 , 특히 도 1 을 참조 하 면 , 기판 ( 12 ) 위 에 신뢰 패턴 을 형성 하 기 위해 사용 되 는 리소그래피 시스템 ( 10 ) 이 도시 되 어 있 다 . 기판 ( 12 ) 은 기판 처크 ( chuck ) ( 14 ) 에 연결 될 수 있 다 . 도시 된 바 와 같이 , 기판 처크 ( 14 ) 는 진공 처크 일 수 있 다 . 그러나 , 기판 처크 ( 14 ) 는 진공 , 핀 - 타입 , 그루브 - 타입 , 정전기 적 , 전자기 적 등 을 포함 하 는 임의 의 처크 일 수 있 으나 , 이 에 제한 되 지 는 않 는다 . 예 시 적 인 처크 는 미국 특허 번호 제 6 , 873 , 087 호 에 서술 되 어 있 다 .