기판 온도 조절 - 고정 장치 는 정 전척 을 사용 하 여 흡착 상태 로 기판 을 고정 하 고 , 흡착 상태 로 고정 된 기판 의 온도 가 소정 온도 가 되 도록 제어 한다 . 정 전척 의 일례 로서 는 쿨롱력 정전 척 ( coulombic - force electrostatic chuck ) 및 존슨 - 라벡 력 정 전척 ( Johnsen - Rahbek - force electrostatic chuck ) 을 포함 한다 . 쿨롱력 정전 척 에서 는 전압 인가 에 대한 흡 착력 응답 이 우수 하 다 . 그러나 , 정 전척 과 기판 사이 의 접촉 면적 이 크 지 않 은 경우 에 는 , 높 은 전압 의 인가 가 필요 하 고 충분 한 흡착 력 을 얻 을 수 없 다 . 존슨 - 라벡 력 정 전척 에서 는 기판 에 전류 가 흐르 게 하 는 것 이 필요 하 지만 , 정 전척 과 기판 사이 의 접촉 면적 이 작 은 경우 에 도 충분 한 흡착 력 을 얻 을 수 있 다 .