상술 한 바 와 같이 , 2 종류 의 조명조 건하 에서 의 2 개 의 시프트 위치 간 의 차분 으로부터 투영 광학계 의 코마수차 를 구함 으로써 , 해당 투영 광학계 의 코마수차 를 조정 할 수 있 고 , 항상 노광 장치 상 에서 이상 적 인 투영 광학계 의 상태 를 유지 할 수 있 다 . 본 실시 예 에 의하 면 , 제 1 조명 조건 ( 이하 , " "" 기준 조명 조건 "" 으로 칭함 ) 은 투영 광학계 의 코마수차 에 대해서 시프트 위치 가 항상 불변 인 조명 조건 이 고 ", 따라서 기준 조명 조건 으로서 간주 할 수 있 다 . 제 2 조명 조건 ( 이하 , " "" 코마수차 측정 용 조명 조건 "" 으로 칭함 ) 은 투영 광학계 의 코마수차 에 대해서 시프트 위치 가 일차 적 으로 변화 하 는 코마수차 측정 용 의 조명 조건 이 다 . "