도 5 는 , 본 실시 형태 의 와전류 센서 ( 50 ) 의 상세 형상 을 도시 하 는 도면 이 다 . 도 5 의 ( a ) 는 , 도 4 의 ( b ) 에 도시 하 는 와전류 센서 ( 50 ) 의 AA 단면도 이 고 , 도 5 의 ( b ) 는 와전류 센서 ( 50 ) 의 평면도 이 다 . 와전류 센서 ( 50 ) 는 , 코어 ( 136 ) 에 배치 되 고 웨이퍼 ( WH ) 상 의 도전 성 막 에 와전류 를 형성 하 기 위한 여자 코일 ( 62 ) 과 , 코어 ( 136 ) 에 배치 되 고 도전 성 막 에 형성 되 는 와전류 를 검출 하 기 위한 검출 코일 ( 63 ) 을 갖 는다 . 코어 ( 136 ) 는 , 기부 ( 120 ) 의 제 1 방향 ( 122 ) 의 중앙 에 있 어서 기부 ( 120 ) 에 마련 된 중간 레그 ( 144 ) 를 갖 는 E 형 코어 이 다 . 여자 코일 ( 62 ) 과 검출 코일 ( 63 ) 은 중간 레그 ( 144 ) 에 배치 된다 .