다음 으로 , 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 제 2 절 연막 ( 170 ) 은 HF ( 49 %): H ₂ O 또는 NH ₄ F : HF 로 이루어진 혼합 된 용액 을 식각 액 으로 하 여 제거 한다 . 이 때 , 제 1 절 연막 패턴 ( 110 a ) 도 식각 되 어 제 1 스 페이서 ( 150 ) 에 의해 노출 된 부분 이 제거 된다 . 또한 , 게이트 절 연막 ( 200 ) 의 일부 ( B ) 도 식각 된다 .