상기 물질 공급 부 ( 110 ) 는 기판 상 에 증착 시키 기 위한 물질 의 공급 방법 에 따라 스파 터 링 증착 방법 에 의한 타 겟 부 , 펄스 레이저 증착 방법 에 의한 타 겟 부 , 또는 증기 증착 방법 에 의한 증기 도가니 중 하나 또는 다 수개 를 선택 하 여 사용 할 수 있 으며 , 대면 적 증착 및 증착 공정 이 비교 적 단순 한 증기 증착 방법 에 의한 증기 도가니 로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .