한편 , 도 72 에 도시 된 위치 로 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 가 이동한 단계 에서 는 , X 간섭계 ( 227 ) 로부터 의 측장 빔 이 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 반사면 ( 27 e ) 에 닿 음 과 함께 , Y 간섭계 ( 207 ) 로부터 의 측장 빔 이 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 f ) 에 해당 되게 된다 . 그래서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , X 간섭계 ( 228 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 , X 간섭계 ( 227 ) 을 프리 셋 함 과 함께 , Y 간섭계 ( 209 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 Y 간섭계 ( 207 ) 를 프리 셋 한다 . 혹은 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 인코더 ( 170 B , 170 A ) 의 계측 값 에 기초 하 여 간섭계 ( 207 , 227 ) 를 프리 셋 한다 . 어떻게 하 더라도 , 이 시점 이후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 위치 정보 를 간섭계 ( 207 , 227 ) 를 사용 하 여 계측 한다 . 물론 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 XY 평면 내 의 위치 의 제어 는 인코더 ( 170 B , 170 A ) 의 계측 값 에 기초 하 여 실시 된다 .