다음 으로 , 도 11 내지 도 14 를 참조 하 면서 , 본 실시 형태 에 관한 기판 처리 장치 의 동작 을 설명 한다 . 여기 서 , 도 11 은 , 본 실시 형태 에 관한 기판 처리 시스템 의 동작 을 나타내 는 플로 차트 이 다 . 또 , 도 12 , 도 13 및 도 14 는 , 본 실시 형태 에 관한 기판 처리 장치 의 처리 공정 에 있 어서 의 모습 의 예 를 나타내 는 도면 이 다 .