화합물 ( PA ) 또는 화합물 ( PA ') 이 활성 광선 또는 방사선 의 조사 에 의해 분해 되 어 발생 하 는 염기 성 이 저하 된 화합물 로서 하 기 일반식 ( PA - Ⅰ ) , 식 ( PA - Ⅱ ) 또는 식 ( PA - Ⅲ ) 으로 나타내 어 지 는 화합물 을 들 수 있 고 , LWR 및 DOF 에 관해서 우수 한 효과 를 고차원 으로 양립 할 수 있 다는 관점 으로부터 특히 일반식 ( PA - Ⅱ ) 또는 ( PA - Ⅲ ) 으로 나타내 어 지 는 화합물 이 바람직 하 다 .