그러나 , 이러 한 기판 처리 장치 는 공정 진행 중 에 도 척 킹 핀 들 에 의해 기판 을 척 킹 하 고 있 음 으로 하 여 , 그 주변 의 세정 공정 에 필요 한 유체 들 의 흐름 을 방해 한다 . 따라서 척 킹 핀 들 주변 의 기판 표면 이 세정 효과 가 저하 되 거나 물 반점 등 이 발생 되 어 후속 공정 에서 공정 오류 가 발생 되 는 원인 이 된다 .