마스크 세정액 조성물 의 세정 효과 를 확인 하 기 위하 여 통상 적 인 방법 에 따라 대표 적 은 금속 ( Ag , Mg , Al ) 이 증착 된 마스크 ( 재질 : Invar ) 에 대한 세정력 평가 를 실시 하 였 다 . 제조 한 화합물 및 혼합물 을 항온조 를 이용 하 여 40 도로 승 온 후 약액 을 교반 한다 . 교반 되 고 있 는 약액 에 금속 이 증착 된 마스크 를 2 x 2 cm 사이즈 로 절단 하 여 30 분 침 적 후 탈 이 온수 로 1 분 세정 하 여 SEM 을 이용 하 여 금속 의 마스크 표면 잔류 유 / 무 및 마스크 표면 의 금속 잔류 함량 을 분석 하 여 ( EDS ) 초기 함량 과 비교 하 여 세정력 을 평가 하 였 다 . 세정액 침 적 시간 은 5 분 단위 로 진행 되 었 으며 마스크 표면 에 잔류 물 이 잔류 하 지 않 는 시간 을 표시 하 여 세정력 을 비교 하 였 다 .