또한 본 출원인 은 몰 비 가 대략 0 . 6 ＜ Si / Ta ＜ 대략 1 . 0 이 고 또한 대략 0 . 15 ＜ N / O ＜ 대략 4 . 1 의 범위 의 조성 의 Ta - Si - O - N 계 막 에 대해서 저항 율 이 2 . 5 m Ω · cm 이하 에서 는 흡수 계수 가 약 100000 / cm 이상 으로 되 는 것 을 발견 했 다 . 따라서 상기 재료 도 열 흡수 막 ( 32 b ) 의 재료 로 할 수 있 다 .