사용 될 수 있 는 적합 한 반응기 의 예 는 상업 적 으로 입수 가능 한 단일 기판 ( 또는 단일 웨이퍼 ) 증착 설비 , 예 를 들 면 , 미국 애리조나주 피닉스 소재 의 ASM America , Inc . 및 네덜란드 알 메레 소재 의 ASM Europe B . V ) 로부터 입수 가능 한 Pulsar ® 반응기 ( 예 를 들 면 Pulsar ® 2000 및 Pulsar ® 3000 및 Pulsar ® XP ALD ) , 및 EmerALD ® XP 및 EmerALD ® 반응기 를 포함 한다 . 다른 상업 적 으로 입수 가능 한 반응기 는 Eagle ® XP 및 XP 8 라는 상표명 을 가진 ASM Japan K . K ( 일본 , 동경 ) 사 의 제품 들 을 포함 한다 . 일부 구 현예 에서 , 반응기 는 , 기판 이 가공 과정 에서 이동 또는 회전 하 는 공간 ALD 반응기 이 다