이하 , 도면 을 참조 하 여 본원 이 개시 하 는 진공 처리 장치 , 및 유지 보수 장치 의 실시 형태 에 대해서 상세 하 게 설명 한다 . 또한 , 각 도면 에 있 어서 , 동일 또는 상당 한 부분 에 대해서 는 동일 한 부호 를 부여 하 는 것 으로 한다 . 또한 , 본 실시 형태 에 의해 개시 하 는 발명 이 한정 되 는 것 이 아니 다 . 각 실시 형태 는 처리 내용 을 모순 시키 지 않 는 범위 에서 적당히 조합 시키 는 것 이 가능 하 다 .