본 실시 형태 에서 의 기판 처리 장치 에서 는 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 인 젝 터 ( 110 ) 를 회전 시키 기 위한 모터 ( 181 ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 모터 ( 181 ) 의 회전축 에 설치 된 풀리 ( 182 ) 와 , 샤프트 ( 177 ) 에 설치 된 풀리 ( 178 ) 가 , 벨트 ( 183 ) 에 의해 연결 되 어 있 다 . 모터 ( 181 ) 에 는 , 모터 ( 181 ) 의 움직임 을 제어 하 는 구동 제 어부 가 되 는 모터 제 어부 ( 184 ) 가 접속 되 어 있 다 . 또한 , 모터 제 어부 ( 184 ) 는 , 제 어부 ( 150 ) 의 일부 로서 제 어부 ( 150 ) 에 포함 되 어 있 어도 된다 .