편심 상태 해석 부 ( 226 ) 는 새롭 게 성막 시킨 성막 결과 가 입력 된다 . 성막 결과 에 는 , 모니터 웨이퍼 의 모니터 개소 ( MP 1 ∼ MP 24 ) 의 막 두께 의 측정 결과 가 포함 된다 . 편심 상태 해석 부 ( 226 ) 는 , 입력 된 모니터 개소 ( MP 1 ∼ MP 24 ) 의 막 두께 의 변동 평가 를 행함 으로써 편심 상태 를 해석 한다 .