여기 서 , 상기 서 셉 터 ( 120 ) 의 가장자리 와 반응 챔버 ( 110 ) 의 내벽 사이 에 는 일정 한 간격 이 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 반응 실 ( R ) 의 크기 보다 서 셉 터 ( 120 ) 의 크기 가 작 은 것 이 효과 적 이 다 . 왜냐하면 , 서 셉 터 ( 120 ) 가 반응 실 ( R ) 보다 크 거나 같 으면 서 셉 터 ( 120 ) 의 회전 운동 시 반응 실 ( R ) 의 내벽 과 서 셉 터 ( 120 ) 가 충돌 할 수 있 고 , 충돌 시 발생 한 미세 입자 로 인해 박막 의 증착 품질 이 저하 될 수 있 기 때문 이 다 .