이렇게 증착 된 피 에 스지 ( PSG ) 막 은 1 차 증착 공정 에서 증착 된 확산 방지 막 ( 212 ) 과 우수 한 결합력 을 유지 하 게 되 며 , 후속 진행 될 3 차 증착 공정 에서 도입 되 는 열처리 시 증착 된 막 내 불순물 의 확산 을 효과 적 으로 조절 하 여 전기 적 손실 을 최소 화 시킬 수 있 다 . 이때 , 피에스 지 ( PSG ) 막 은 게이트 스택 ( 210 ) 을 매립 하 는 유동 성 막 의 일정 한 흐름 성 을 유지 하 기 위하 여 일 정양 의 포스 포 러스 ( P ) 의 농도 가 필요 하 다 .