실험 에 의하 면 통상 사용 되 는 기판 처리 장치 에서 리프트 핀 ( 110 ) 의 길이 가 200 mm 이 고 직경 이 7 mm 일 때 , 지지 부재 ( 120 ) 의 직경 이 리프트 핀 ( 110 ) 길이 의 1 / 10 보다 작 은 20 mm 이하 이 면 리프트 핀 이 기울어지 는 현상 이 많이 발생 하 였으나 지 지 부재 ( 120 ) 의 직경 이 20 mm 이상 이 면 리프트 핀 이 기울어지 는 현상 이 크 게 개선 되 었 으며 , 45 mm 이상 에서 는 거의 기울어짐 이 없 는 것 으로 나타났 다 .