그리고 , 상기 제 3 하드 마스크 층 ( 110 ) 은 실리콘 ( Si ) 을 일정 비율 , 예컨대 25 % 이상 함유 한 물질 을 스핀 온 코팅 ( SOC ; Spin On Coating ) 한 후 , 베이 킹 하 여 형성 하 고 , 반사 방지 막 ( BARC ; Bottom Anti - Reflective Coating ) 및 하드 마스크 의 역할 을 동시 에 수행 하 는 것 이 바람직 하 다 .