단계 S 1005 에 있 어서 , 평가 부 ( 413 ) 는 , 동특성 구간 평가 값 중 , 차분 의 최대 값 이 미리 정해진 상한 값 을 상회 하 고 있 었 던 경우 에 있 어서 는 , 이상 의 원인 으로서 , 처리 가스 가 많 을 가능 성 이 있 다고 판단 하 고 , 가스 공급계 의 조사 를 작업자 에게 촉구 한다 . 또한 , 평가 부 ( 413 ) 는 , 동특성 구간 평가 값 중 , 차분 의 최소 값 이 미리 정해진 하한 값 을 하회 하 고 있 었 던 경우 에 있 어서 는 , 이상 의 원인 으로서 , 압력 센서 의 제 로점 이 어긋나 있 다고 판단 하 고 , 압력 센서 의 교정 을 작업자 에게 촉구 한다 . 또한 , 평가 부 ( 413 ) 는 , 동특성 구간 평가 값 중 , 안정 개 시점 까지 의 시간 이 미리 정해진 상한 값 을 상회 하 고 있 었 던 경우 에 있 어서 는 , 압력 제 어부 ( 210 ) 의 PID 파라미터 가 적절 하 지 않 다고 판단 하 고 , 시정수 가 작아지 도록 PID 파라미터 를 조정 하 는 것 을 작업자 에게 촉구 한다 .