금속 산화 물막 ( 108 f ) 은 가능 한 한 결함 이 적 으며 치밀 한 막 으로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 금속 산화 물막 ( 108 f ) 은 가능 한 한 수소 나 물 등 의 불순물 이 저감 되 고 , 고 순도 의 막 인 것 이 바람직 하 다 . 특히 , 금속 산화 물막 ( 108 f ) 으로서 결정 성 을 가지 는 금속 산화 물막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .