하지만 , 코팅 척 을 장기간 사용 하 면 코팅 된 물질 이 부식 될 수 있 고 , 부식 된 코팅 척 으로부터 또 다른 파티클 이 발생 될 수 있 다 . 따라서 , 반도체 소자 의 신뢰 성 이 저하 될 수 있 다 . 또한 , 코팅 척의 코팅 이 불량 한 경우 에 는 웨이퍼 가 척 으로부터 이탈 하 여 파손 될 수 있 다 . 이 로 인해 , 반도체 소자 제조 장치 의 교체 비용 이 증가 하 고 , 반도체 소자 제조 장치 교체 에 따른 작업 시간 이 지연 되 어 생산 성 이 저하 될 수 있 다 . 따라서 , 척 에 코팅 을 하 지 않 으면서 도 척 으로부터 발생 되 는 파티클 을 감소 시킬 수 있 는 반도체 소자 제조 장치 가 요구 된다 .