다음 에 하부 전극 ( 110 ) 위 에 고유 전상수 를 가지 는 유전체 막 ( 120 ) 을 형성 한다 . 여기 서 고유 전상수 를 가지 는 유전체 막 ( 120 ) 은 하프늄 옥사이드 막 ( HfO 2 ) 의 단일 막 으로 형성 하 거나 다른 물질 , 예 를 들 어 알루미나 ( Al 2 O 3 ) 를 포함 하 는 적층 구조 로 형성 할 수 있 다 . 또한 , 지르콘 산화 막 ( ZrO 2 ) 의 단일 막 으로 형성 하 거나 다른 물질 , 예 를 들 어 알루미나 ( Al 2 O 3 ) 를 포함 하 는 적층 구조 로 형성 할 수 도 있 다 .