상기 표 1 로부터 명백 한 바 와 같이 , 실시 예의 표면 처리 조성물 은 , 연마 완료 연마 대상물 의 표면 의 유기물 잔사 수 를 유의미 하 게 저감 할 수 있 음 을 알 수 있 었 다 . 또한 , 비 교예 1 과 , 실시 예 1 및 2 의 패드 부스러기 에 대한 흡착 량 의 측정 데이터 의 비교 로부터 , 실시 예의 표면 처리 조성물 에 포함 되 는 이온 성 관능기 함유 고분자 는 , 패드 부스러기 에 잘 흡착 되 어 , 표면 처리 공정 시 에 패드 부스러기 를 제거 하 는 성능 이 높 음 이 시사 되 었 다 .