또한 , 이동 스케일 의 특성 정보 는 , 스케일 의 면 ( 정확 하 게 는 , 회절 격자 표면 및 회절 격자 가 커버 유리 로 덮여 있 는 경우 에 는 그 커버 유리 의 면 을 포함 한다 ) 의 요철 ( 경사 를 포함 한다 ) , 및 / 또는 격자 형성 오차 ( 격자 피치 및 / 또는 격자 선 의 굽 힘 ) 등 의 정보 로서 , 미리 계측 되 어 있 다 .