일반 적 으로 , 이온 에너지 제어 부 ( 820 ) 은 , ( 스위칭 모드 파워 서플라이 806 과 관련 하 여 콘트 롤러 812 에 의해 생성 되 는 ) 주기 적 전압 기능 에 변조 기능 을 인가 하 도록 작용 한다 . 도 8 에 도시 된 바 와 같이 , 이온 에너지 제어 부 ( 820 ) 은 , 커스텀 IEDF 부 ( 850 ) , IEDF 기능 메모리 ( 848 ) , 유저 인터페이스 ( 846 ) 및 파워 부 ( 844 ) 과 통신 하 는 변조 제 어부 ( 840 ) 를 포함 한다 . 이 들 구성 부 의 도시 는 기능 적 부품 들 을 의도 한 것 으로 , 실제로 는 , 공통 또는 개별 부품 들 로 이루어질 수 도 있 다 .