[ 0027 ] 전기 도금 장치 ( 200 ) 는 일부 실시 예 들 에서 , 원위치 컴포넌트 세정 을 위한 다수 의 방법 들 에 사용 될 수 있 는 하나 이상 의 세정 컴포넌트 들 을 추가 로 포함 할 수 있 다 . 컴포넌트 들 은 기판 ( 215 ) 또는 헤드 ( 210 ) 로 또는 이 를 향해 유체 를 전달 하 는 데 사용 되 는 하나 이상 의 노즐 들 을 포함 할 수 있 다 . 탈 이 온 수 또는 다른 헹굼 유체 들 과 같 은 헹굼 유체 를 , 일부 실시 예 들 에 도시 된 바 와 같 은 소정 각도 들 로 전달 함 으로써 , 전달 속도 가 감소 될 수 있 고 , 헹굼 유체 를 기판 을 따라 반경 방향 외측 으로 흡인 하 기 위해 헤드 의 회전 이 사용 될 수 있 다 . 전달 속도 의 감소 는 유체 가 상향 으로 되튀 는 것 을 제한 할 수 있 다 .