상기 이 송부 ( 500 ) 는 다수 의 로드 락 챔버 ( 400 ) 의 측 부 , 구체 적 으로 는 로드 락 챔버 ( 400 ) 와 이송 챔버 ( 200 ) 가 결합 되 지 않 은 측 부 와 결합 되 고 , 장비 외부 의 카세트 ( 미 도시 ) 로부터 로드 락 챔버 ( 400 ) 로 기판 ( S ) 을 반입 하 거나 로드 락 챔버 ( 400 ) 에서 카세트 로 기판 ( S ) 을 반출 하 는 공간 으로서 , 상기 이 송부 ( 500 ) 내부 에 는 기판 이송 유닛 ( 미 도시 ) 이 더 마련 될 수 있 다 .