또한 , ( a ) 단계 와 ( b ) 단계 사이 의 짧 은 시간 내 에 다공질 TiO 2 - SiO 2 유리체 에 균일 하 게 불소 를 도핑 할 수 있 기 때문 에 , TiO 2 - SiO 2 유리체 를 감압 하 에 ( 바람직 하 게 는 13 , 000 Pa 이하 , 특히 1 , 300 Pa 이하 ) 에 위치 시킨 후 , 이어서 불소 함유 가스 와 불활성 가스 의 혼합 가스 를 상압 이 될 때 까지 도입 하 고 , 이 로써 분위기 를 불소 함유 분위기 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .