반사 방지 코팅 조성물 층 의 형성 은 포토레지스트 조성물 층 이 방사선 에 노광 될 때 기판 이 입사 광선 을 반사 시킴 으로 인한 패턴 의 품질 저하 를 방지 할 수 있 으며 , 이러 한 형성 은 특히 , 노광 공정 중 에 포토레지스트 조성물 층 의 디블 로킹 ( de - blocking ) 을 완전히 활성 화 시키 기 때문 에 패턴 의 선폭 ( CD ) 을 개선 하 고 패턴 붕괴 를 방지 한다 . 또한 , 이러 한 코팅 은 초점 심도 , 노광 역 ( exposure latitude ) , 및 선폭 균일성 을 향상 시킬 수 도 있 다 .