플라 즈 마 방전 방식 의 오 존수 장치 는 오존 수조 ( 20 - 1 ) , 보조 수조 ( 30 ) , 그리고 오존 발생기 ( 40 ) 로 구성 된다 . 기체 오존 의 발생 과 순환 방식 은 앞 에서 설명 한 내용 과 동일 하 다 . 각 장치 의 배치 방식 에 따라서 도 7 ( a ) , 도 7 ( b ) , 그리고 도 7 ( c ) 의 방식 이 있 다 .