본 발명 의 일 실시 예 에 다른 기판 처리 장치 에 따르 면 , 분사 노즐 ( 210 ) 이 복 수개 가 형성 됨 으로써 , 다양 한 약액 을 순차 적 으로 공급 하 기 가 수월 하 다 . 또한 , 복수 개 의 분사 노즐 ( 210 ) 을 선택 하 고 구동 하 는 것 이 장치 에 의해 자동 으로 이루어짐 으로써 , 보다 공정 진행 이 빨라질 수 있 다 . 따라서 , 시간 이 절약 되 고 공정 진행 이 원활 해져 생산 성 이 향상 될 수 있 다 .