도 2 f 에 도시 된 바 와 같이 제 1 베리어 메탈 ( 30 a ) 및 제 2 메탈 ( 32 a ) 에 에치 백 ( Etch - back ) 공정 을 수행 하 여 제 1 베리어 메탈 ( 30 a ) 및 제 2 메탈 ( 32 a ) 을 소정 의 높 이 로 식각 한다 . 이때 , 제 2 메탈 ( 32 a ) 표면 의 중앙 부분 이 움푹 패인 형상 을 갖 도록 제 2 메탈 을 선택 적 으로 식각 하 는 것 이 바람직 하 다 .