상기 에리스 리 톨 계 화합물 및 펜 타 에리스 리 톨 계 화합물 로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 1 종 이상 은 pH 를 조절 하 는 인자 ( OH -) 를 포함 하 며 Mo - / Cu 를 포함 하 는 막 ( 대표 적 인 예 Mo - Ti / Cu / Mo - Ti ) 에서 상부 Mo - Ti 막 의 Tip 제어 효과 , 식각 액 의 발열 억제 효과 증가 . 하부 산화물 반도체 층 손상 최소 화 의 효과 를 제공 한다 .