본 발명 은 플 라즈 마 중합 ( plasma polymerized ) 에 의하 여 형성 된 박막 을 RTA 장치 를 이용 하 여 후 열처리 공정 을 거쳐 저유 전상수 값 을 갖 는 박막 을 형성 하 는 방법 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 RTA ( Rapid Thermal Annealing ) 공정 을 통해 후 열처리 방법 을 이용 한 저 유전 플 라즈 마 중합체 박막 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 .