캡 핑 막 ( 25 ) 은 후속 자기 터널 접합 소자 를 형성 하 기 위한 식각 공정 시 하드 마스크 ( hard mask ) 로서 역할 을 수행 함 과 동시 에 제 2 강자 성막 ( 24 ) 이 산화 또는 부식 되 는 것 을 방지 하 는 역할 을 수행 하 는 것 으로 , 금속 막 또는 금속화 화물 예컨대 , 탄 탈륨 ( Ta ) 또는 탄 탈륨 질화 막 ( TaN ) 으로 형성 할 수 있 다 .