또한 , 본 실시 예 에서 강유전체 막 ( 74 A , 75 A 또는 74 C , 75 C ) 은 PZT 막 으로 하 였 지만 , 앞서 도 설명 한 바 와 같이 , 하층 의 강유전체 막 ( 74 A , 74 C ) 을 스퍼터 에 의해 형성 하 는 경우 에 는 , 상기 강유전체 막 ( 71 A , 74 C ) 을 구성 하 는 PZT 막 은 Ca 나 Sr 등 의 원소 를 포함 하 고 있 어도 된다 . 또한 , PZT 막 ( 74 A , 75 A , 74 C , 75 C ) 은 La 를 포함 하 는 PLZT 막 이 어도 된다 .