제 1 절연 층 ( 152 , 154 , 156 ) 을 이루 는 적어도 2 개 의 다층 각각 은 SiO 2 , TiO 2 , ZrO 2 , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , 또는 MgF 2 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , SiO 2 , TiO 2 , ZrO 2 , Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , 및 MgF 2 의 열 팽창 계수 ( CTE ) 는 각각 0 . 55 x 10 - 6 / K , 9 x 10 - 6 / K , 8 . 5 x 10 - 6 / K , 2 . 5 x 10 - 6 / K , 7 . 5 x 10 - 6 / K , 및 10 내지 15 x 10 - 6 / K 일 수 있 다 .