처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 이 안정 되 면 , 공진 코일 ( 212 ) 에 대하 여 고주파 전원 ( 273 ) 으로부터 RF 센서 ( 272 ) 를 개재 하 여 , 고주파 전력 의 인가 를 개시 한다 . 본 실시 형태 에서 는 , 고주파 전원 ( 273 ) 으로부터 공진 코일 ( 212 ) 에 27 . 12 MHz 의 고주파 전력 을 공급 한다 . 공진 코일 ( 212 ) 에 공급 하 는 고주파 전력 은 , 예 를 들 어 100 내지 5000 W 의 범위 내 의 소정 의 전력 이 며 , 바람직 하 게 는 100 내지 3500 W 이 며 , 보다 바람직 하 게 는 약 3500 W 로 한다 . 전력 이 100 W 보다 낮 은 경우 , 플라스마 방전 을 안정 적 으로 생기 게 하 는 것 이 어렵 다 .