또한 , 상기 각 실시 형태 에 있 어서 , 1 개 의 스케일 부재 에 대하 여 항상 복수 의 계측 빔 을 조사 할 수 있 는 구성 을 채용 하 여 , 1 개 의 계측 빔 이 이상 해졌 을 경우 에 다른 계측 빔 으로 전환 하 여 계측 을 속행 하 게 해도 된다 . 이 경우 , 복수 의 계측 빔 은 , 1 개 의 헤드 로부터 스케일 부재 에 조사 되게 해도 되 고 , 혹은 상이 한 복수 의 헤드 로부터 조사 되게 해도 된다 . 1 개 의 스케일 부재 에 대하 여 복수 의 계측 빔 을 조사 하 는 경우 , 그 복수 의 계측 빔 은 스케일 부재 상 에서 상이 한 위치 에 조사 되 는 것 이 바람직 하 다 .