마이크로파 발생기 ( 16 ) 는 , 챔버 ( 12 ) 내 에 공급 되 는 가스 를 여기 시키 기 위한 마이크로파 를 발생 하 도록 구성 되 어 있 다 . 마이크로파 발생기 ( 16 ) 는 , 동축 도파 로 ( 21 ) 를 통하 여 안테나 ( 18 ) 에 접속 되 어 있 다 . 동축 도파 로 ( 21 ) 는 , 마이크로파 발생기 ( 16 ) 로부터 출력 되 는 마이크로파 를 마이크로파 발생기 ( 16 ) 와 안테나 ( 18 ) 의 사이 에서 전파 하 도록 구성 되 어 있 다 . 안테나 ( 18 ) 는 , 유전체 창 ( 20 ) 의 하 면 ( 20 a ) 의 반대 측 의 면 ( 20 b ) 상 에 마련 된다 . 안테나 ( 18 ) 는 , 유전체 창 ( 20 ) 을 통하 여 , 챔버 ( 12 ) 내 에 ( 즉 , 처리 공간 ( S ) 에 ) , 마이크로파 를 방사 하 도록 구성 되 어 있 다 .