절 연막 ( 305 ) 은 층간 을 절연 하 기 위한 목적 으로 사용 되 는데 , 산화 막 계열 의 물질 막 으로 이용 할 경우 에 는 BSG ( Boro Silicate Glass ) 막 , BPSG ( Boro Phopho Silicate Glass ) 막 , PSG ( Phospho Silicate Glass ) 막 , TEOS ( Tetra Ethyl Ortho Silicate ) 막 , HDP ( High Density Plasma ) 산화 막 , SOG ( Spin On Glass ) 막 또는 APL ( Advanced Planarization Layer ) 막 등 을 이용 하 며 , 산화 막 계열 이외 에 무기 또는 유기 계열 의 저 유전율 막 을 이용 할 수 있 다 .