챔버 ( 10 ) 의 바닥 부 에 는 배기구 ( 46 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 배기구 ( 46 ) 에 는 , 배기 매니폴드 ( 47 ) 를 거쳐서 가 변식 버터플라이 밸브 인 자동 압력 제어 밸브 ( Automatic Pressure Control Valve ) ( 이하 , " "" APC 밸브 "" 라 함 ) ( 48 ) 및 터보 분자 펌프 ( Turbo Molecular Pump ) ( 이하 "," "" TMP "" 라 함 ) ( 49 ) 가 접속 되 어 있 다 . APC 밸브 ( 48 ) 및 TMP ( 49 ) 는 협동 하 여 ", 챔버 ( 10 ) 내 의 플 라즈 마 생 성 공간 ( S ) 을 소망 의 진공도 까지 감압 한다 . 또한 , 배기구 ( 46 ) 및 플라 즈 마 생 성 공간 ( S ) 의 사이 에 는 , 복수 의 통기 구멍 을 갖 는 환상 의 배 플 판 ( 50 ) 이 서 셉 터 ( 13 ) 를 둘러싸 도록 배치 되 며 , 배 플 판 ( 50 ) 은 플라 즈 마 생 성 공간 ( S ) 으로부터 배기구 ( 46 ) 로 의 플 라즈 마의 누설 을 방지 한다 .