예 를 들 어 , 절연 층 ( 116 ) 으로서 알루미늄 타깃 을 사용 한 반응 성 스퍼터링 에 의하 여 형성 한 질화 알루미늄 막 을 사용 하 는 경우 , 성막 가스 의 유량 전체 에 대한 질소 가스 의 유량 을 30 % 이상 100 % 이하 , 바람직 하 게 는 40 % 이상 100 % 이하 , 더 바람직 하 게 는 50 % 이상 100 % 이하 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .