패 터닝 된 미디어 디스크 를 에칭 하 는 시스템 이 제공 된다 . 이동 가능 한 비 접촉 전극 이 스퍼터 에칭 을 수행 하 기 위해 활용 된다 . 이 전극 은 디스크 에 RF 에너지 를 커플링 하 기 위해 , 기판 에 접촉 하 지 않 지만 기판 에 대해 거의 접촉 거리 로 이동 한다 . 에칭 될 재료 는 금속 , 예 를 들 어 , Co / Pt / Cr 또는 유사 한 금속 일 수 도 있 다 . 기판 은 캐리어 에서 수직 으로 홀딩 되 고 양측 이 순차 적 으로 에칭 된다 . 즉 , 일 측 이 일 챔버 에서 에칭 된 후 , 다음 챔버 에서 제 2 측이 에칭 된다 . 차단 밸브 가 2 개 의 챔버 사이 에 배치 되 며 , 디스크 캐리어 는 디스크 를 챔버 사이 에서 이동 시킨다 . 캐리어 는 예 를 들 어 , 자화 된 휠 및 선형 모터 를 사용 하 는 선형 드라이브 캐리어 일 수 도 있 다 .