이 와 달리 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 상기 로딩 챔버 ( 20 ) 에서 상기 이송 챔버 ( 200 ) 로 이송 시 , 떨어져 파손 될 경우 에 는 , 상기 웨이퍼 이송 장치 ( 100 ) 를 포함 하 는 전체 적 인 반도체 제조 장치 ( 미 도시 ) 를 일시 정지 시켜 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 파손 물질 을 제거 할 필요 성 이 있 다 . 이 경우 는 상기 로딩 챔버 ( 20 ) 가 자체 적 으로 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 감지 하 는 센서 를 포함 하 고 있 기 때문 에 , 더 실질 적 일 수 있 다 .