이제 도 1 내지 도 4 를 참조 하 여 , 미소 결함 장치 ( 12 ) 가 보다 상세 하 게 설명 될 것 이 다 . 개시 된 실시 형태 에서 , 제 1 카메라 ( 24 ) 는 디지털 라인 스캔 카메라 일 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 예 를 들 어 , 제 1 카메라 ( 24 ) 는 North Coast Technical Services 의 Basler 모델 번호 2000032201 로서 입수 가능 한 12288 픽셀 X 1 픽셀 CCD 라인 스캔 카메라 이 다 . 개시 된 실시 형태 에서 , 제 1 카메라 는 Zeiss , 28 mm F - 마운트 , F / 2 - F 22 , 초점 범위 . 24 M 내지 무한대 , 각도 필드 대각선 / 수평 / 수직 74 °/ 65 °/ 45 ° 렌즈 를 구비 한다 .