일 실시 예 에서 , 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 은 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 의 상단 표면 ( 254 ) 상 에 형성 된 코팅 ( 263 ) 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 코팅 ( 263 ) 은 이트리아 산화물 코팅 또는 겔 - 형 코팅 일 수 있 다 . 코팅 ( 263 ) 은 플 라즈 마 와 조정 가능 한 튜닝 링 ( 150 ) 사이 의 화학 반응 을 제한 하 기 위해 사용 되 고 , 그 에 따라 , 입자 생 성 및 링 손상 을 제한 한다 . 다른 실시 예 에서 , 하나 또는 그 초과 의 유전체 패드 들 ( 예컨대 , 테플론 ( Teflon ) 패드 들 ) ( 306 ) 이 에지 링 ( 210 ) 과 , 에지 링 ( 210 ) 이 상부 에 놓인 정전 척 사이 에 위치 된다 .