또한 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 대한 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 의 초기 상대 위치 는 기본 적 으로 는 변화 되 지 않 지만 , 다수 의 웨이퍼 의 연마 를 반복 함 에 따라 , 위치 어긋남 이 변화 되 는 경우 가 있 다 . 이러 한 위치 어긋남 을 보정 하 기 위해서 는 , 종래 에 는 기계 적 조정 ( 즉 , 작 업원 의 수작업 에 의한 위치 조정 ) 이 필요 했 지만 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 상술 한 공정 을 행하 여 초기 상대 위치 를 자동 으로 계산 하 고 , 동작 제 어부 ( 75 ) 에 기억 되 어 있 는 초기 상대 위치 를 나타내 는 요소 a , b , θ 를 갱신 하 면 , 초기 상대 위치 의 변화 영향 을 배제 할 수 있 다 . 이 와 같이 본 실시 형태 에 따르 면 , 작 업원 의 수작업 에 의한 위치 조정 이 불 필요 하 기 때문 에 , 연마 장치 의 다운 타임 을 삭감 할 수 있 다 .