이 와 같이 본 발명 은 세리아 슬러리 의 제조 공정 시 숙성 공정 을 도입 하 여 슬러리 내 거대 입자 를 제거 하 고 분산 안정 성 을 강화 시킴 으로써 , CMP 연마 율 을 확보 하 면서 스크래치 를 최소 화 하 여 우수 한 연마 특성 을 가진 슬러리 를 제조 할 수 있 다 . 특히 , 숙성 시간 , 온도 및 숙성 방법 을 조절 하 여 원 하 는 슬러리 특성 을 용이 하 게 얻 을 수 있 다 .