그리고 , 상부 및 하부 롤 브러시 ( R 1 , R 2 ) 는 그 사이 로 통과 되 는 기판 의 표면 에 가압 회전 하 여 이 물질 및 파티클 을 제거 하 도록 회전 지지 부 ( 110 , 120 ) 의 일 측 에 는 구동 모터 ( 111 , 121 ) 가 설치 되 고 , 그 사이 의 간격 이 조절 되 도록 각 회전 지지 부 ( 110 , 120 ) 를 미세 승강 또는 대량 승강 시키 는 한 쌍 의 승강 수단 ( 200 , 300 ) 이 구비 된다 .