도 1 의 원자 층 식각 장치 는 식각 공정 이 진행 되 는 식각 챔버 ( 90 ) 내 에 식각 공정 이 수행 될 피식 각 물질 층 ( 100 ) 이 형성 된 피식 각 기판 ( 62 ) 이 안착 되 는 스테이지 ( 60 ) 가 구성 되 어 있 고 , 상기 스테이지 ( 60 ) 는 접지 되 어 있 다 . 식각 챔버 ( 90 ) 의 상측 으로 는 중성 빔 발생 부 ( 10 ) 가 구성 되 어 있 으며 , 식각 챔버 ( 90 ) 와 중성 빔 발생 부 ( 10 ) 사이 에 는 자동 적 으로 개폐 가능 한 셔터 ( 20 ) 가 설치 되 어 있 다 .