상기 제 1 층간 절 연막 패턴 ( 118 ) 의 상부 면 이 노출 되 도록 상기 제 1 도 전막 의 상부 일부 를 연마 하 여 상기 소스 / 드레 인 영역 들 ( 114 ) 과 전기 적 으로 연결 된 제 1 콘 택 및 제 2 콘 택 ( 120 ) 이 형성 된다 . 상기 연마 공정 으로 는 화학 기계 적 연마 공정 , 에치 백 공정 또는 화학 기계 적 연마 공정 과 에치 백 공정 을 조합 한 공정 등 을 들 수 있 다 .