도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 냉각수 가 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 를 냉각 하 기 위해 진공 펌프 장치 ( 3 ) 의 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 에 공급 될 수 있 다 . 또한 , 냉각수 는 버너 ( 41 ) 및 열 교환기 ( 79 ) 를 냉각 하 기 위해 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 의 버너 ( 41 ) 및 열 교환기 ( 79 ) ( 도 4 참조 ) 에 공급 될 수 있 다 . 질량 유량 제어기 ( MFC 10 , MFC 11 ) 등 이 제 1 진공 펌프 ( 10 ) , 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 및 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 내 의 냉각수 용 파이프 내 에 제공 된다 . 제조 장치 의 작동 프로세스 , 공급 가스 의 종류 및 공급 가스 의 유량 에 대응 하 여 사용 될 냉각수 의 양 이 제어기 ( 6 ) 내 에 미리 저장 되 고 , 제어기 ( 6 ) 는 피드포워드 제어 와 PID 제어 의 조합 에 의해 질량 유량 제어기 ( MFC 10 , MFC 11 ) 를 자동 으로 제어 한다 . 냉각수 가 상이 한 유량 에서 유동 하 게 하 는 복수 의 냉각수 파이프 가 준비 될 수 도 있 고 , 냉각수 파이프 는 냉각수 의 유량 을 제어 하 기 위해 밸브 에 의해 자동 으로 절환 될 수 도 있 다 . 도 5 에 도시 된 구조 에 의해 , 진공 펌프 장치 ( 3 ) 및 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 내 의 냉각수 의 공급량 이 감소 될 수 있 고 , 에너지 절약 이 성취 될 수 있 다 .