먼저 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( 10 ) 상 에 하부 층 ( 미 도시 ) 을 형성 한 후 , 하부 층 을 덮 도록 층간 절 연막 ( 11 ; 이하 , 제 1 층간 절 연막 이 라 함 ) 을 증착 한다 . 이어서 , 제 1 층간 절 연막 ( 11 ) 내 에 하부 층 과 전기 적 으로 접속 되 는 컨 택 플러그 ( 12 ) 를 형성 한다 . 여기 서 , 하부 층 이란 트랜지스터 의 게이트 전극 , 소오 스 / 드레 인 등 을 포함 할 수 있 다 .