정전 척 ( 20 A ) 은 , 본체 를 갖 는다 . 정전 척 ( 20 A ) 의 본체 는 , 대략 원반 형상 을 갖 고 있 다 . 정전 척 ( 20 A ) 의 본체 는 , 유전체 재료 로 형성 되 어 있 다 . 정전 척 ( 20 A ) 의 본체 는 , 제 1 영역 ( 20 a ) , 제 2 영역 ( 20 b ) 및 제 3 영역 ( 20 c ) 을 포함 하 고 있 다 .