도 4 a 내지 4 c 는 질화규소 의 상이 한 구성 에 대한 도파관 의 실효 굴절 률 의 그래프 이 다 . 특히 , 도 4 a 내지 4 c 는 상이 한 구성 의 질화규소 부분 ( 302 ) 에 대해 도 3 의 실리콘 부분 ( 304 ) 의 광학 모드 의 실효 굴절 률 을 나타낼 수 있 다 . 도 4 a 내지 4 c 에서 , X 축 은 마이크 론 으로 질화규소 의 폭 을 나타낼 수 있 고 Y 축 은 질화규소 가 로드 된 도파관 에서 광학 모드 의 실효 굴절 률 을 나타낼 수 있 다 .