상술 한 실시 형태 에 있 어서 , 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 는 , 송액 부 ( 60 ) 와 토출 부 ( 30 ) 사이 를 개폐 하 는 토출 밸브 ( 72 ) 를 구비 한다 . 송액 부 ( 60 ) 는 , 필터 ( 63 ) 를 개재 하 여 보충 부 ( 50 ) 와 토출 부 ( 30 ) 를 접속 하 는 송액 관 ( 61 ) 과 , 송액 관 ( 61 ) 을 거쳐서 보충 부 ( 50 ) 로부터 처리 액 을 받아들여 , 송액 관 ( 61 ) 을 거쳐서 토출 부 ( 30 ) 에 처리 액 을 송출 하 는 압송 부 ( 64 ) 와 , 송액 관 ( 61 ) 과 압송 부 ( 64 ) 사이 를 개폐 하 는 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 와 , 필터 ( 63 ) 와 압송 부 ( 64 ) 사이 의 압력 을 측정 하 는 압력 측 정부 ( 69 ) 를 갖 는다 . 보충 부 ( 50 ) 는 , 액원 ( 51 ) 과 , 액원 ( 51 ) 으로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 송출 하 는 압송 부 ( 53 ) 를 갖 는다 . 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 전환 밸브 ( 71 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 되 도록 압송 부 ( 53 ) 를 제어 하 는 것 과 , 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 되 고 , 토출 밸브 ( 72 ) 와 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 에 기초 하 여 , 압송 부 ( 53 ) 와 압송 부 ( 64 ) 사이 의 압력 이 설정 값 에 접근 하 도록 압송 부 ( 53 ) 를 제어 하 는 것 과 , 전환 밸브 ( 71 ) 와 토출 밸브 ( 72 ) 가 폐쇄 되 고 , 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 가 개방 된 상태 에서 , 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 에 기초 하 여 , 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 이 상기 설정 값 에 접근 하 도록 압송 부 ( 64 ) 를 제어 하 는 것 을 이 순 으로 실행 한다 . 이 경우 , 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 한 상태 에서 , 동일 한 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 에 기초 하 여 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 과 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 이 동일 한 설정 값 에 접근 할 수 있 으므로 , 보충 개시 전 에 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 더욱 축소 된다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 에 토출 되 는 처리 액 중 의 파티클 저감 에 더욱 유용 하 다 .