본 발명 의 규소 함유 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 이 가교 촉매 를 포함 하 는 경우 , 가교 촉매 는 , 열경화성 폴리 실록 산 이 경화 될 때 에 실록 산 결합 의 형성 을 촉진 하 는 것 이 가능 하 고 , 고밀도 로 가교 된 규소 함유 레지스 트 하 층막 을 형성 하 는 것 이 가능 하 다 . 이것 에 의해 , 본 발명 의 산 발생 제 로부터 발생 한 산 의 확산 이 작아질 뿐 만 아니 라 , 산 에 의해 분해 되 는 치환기 를 갖 는 함 질소 화합물 을 함유 함 으로써 , 과잉 으로 존재 하 는 산 을 실 활 시키 는 것 이 가능 하 고 , 이것 에 의해 상층 레지스 트 에 의 산 확산 이 억제 되 어 , LWR 이나 CDU 가 우수 한 상층 레지스 트 패턴 의 형성 이 가능 해진다 .