광원 부 ( 512 ) 는 , 예 를 들 면 , 광원 으로서 엑 시머 레이저 를 사용 한다 . 엑 시머 레이저 는 , 예 를 들 면 , 파장 약 248 nm 의 KrF 엑 시머 레이저 , 파장 약 193 nm 의 ArF 엑 시머 레이저 등 을 포함 한다 . 그러나 , 광원 부 ( 512 ) 의 광원 은 특히 엑 시머 레이저 로 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 , 파장 약 365 nm 의 i 선 의 수은 등 을 사용 해도 된다 .