한편 , 도 6 을 참조 하 면 , 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 의 단면 형상 을 알 수 있 다 . 가스 공급 부 ( 130 ) 의 내면 에 요입 형성 된 홈 형상 으로 배기 라인 ( 141 , 142 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 와 같이 형성 하 면 , 배기 되 는 가스 를 흡입 하 는 범위 를 크 게 할 수 있 는 장점 이 있 을 수 있 다 .