제 1 컨트롤러 ( 93 ) 는 ＩＤ 용 반송 기구 ( ＴＩＤ ) 에 의한 기판 반송 을 제어 한다 . 제 2 컨트롤러 ( 94 ) 는 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 에 의한 기판 반송 과 , 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ １ ) 과 반사 방지 막 용 도포 처리 유닛 ( ＢＡＲＣ １ ) 과 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 과 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ １ ) 과 어 드 히 전처리 유닛 ( ＡＨＬ １ ) 에서 의 기판 처리 를 제어 한다 . 제 3 컨트롤러 ( 95 ) 는 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 에 의한 기판 반송 과 , 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ２ ) 과 현상 처리 유닛 ( ＤＥＶ ２ ) 과 가열 유닛 ( ＨＰ ２ ) 과 냉각 유닛 ( ＣＰ ２ ) 에서 의 기판 처리 를 제어 한다 . 제 4 , 제 5 컨트롤러 ( 96 , 97 ) 의 제어 는 각각 제 2 , 제 3 컨트롤러 ( 94 , 95 ) 의 제어 와 대응 한다 . 제 6 컨트롤러 ( 98 ) 는 , 제 1 반송 기구 ( ＴＩＦＡ ) 에 의한 기판 반송 과 , 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ２ , ＰＨＰ ４ ) 에서 의 기판 처리 를 제어 한다 . 제 7 컨트롤러 ( 99 ) 는 , 제 2 반송 기구 ( ＴＩＦＢ ) 에 의한 기판 반송 을 제어 한다 . 상술 한 제 1 ∼ 제 7 컨트롤러 ( 93 ∼ 99 ) 는 각각 서로 독립 해서 제어 를 행한다 .