기판 지지 부재 ( 410 ) 는 공정 진행 중 기판 ( W ) 을 지지 하 며 , 공정 이 진행 되 는 동안 모터 등 의 회전 구동 부재 ( 412 ) 에 의해 회전 된다 . 기판 지지 부재 ( 410 ) 는 원형 의 상부 면 을 가지 는 지 지판 ( 414 ) 을 가지 며 , 지지 판 ( 414 ) 의 상부 면 에 는 기판 ( W ) 을 지지 하 는 핀 부재 ( 416 ) 들 이 설치 된다 .