또한 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 이 , 예 를 들 어 1 내지 250 Pa , 바람직 하 게 는 50 내지 200 Pa 의 범위 내 의 소정 압력 , 보다 바람직 하 게 는 약 150 Pa 이 되 도록 , APC 밸브 ( 242 ) 의 개방 도 를 조정 해서 처리 실 ( 201 ) 내 의 배기 를 제어 한다 . 이 와 같이 , 처리 실 ( 201 ) 내 를 적절 하 게 배기 하 면서 , 후술 하 는 플라스마 처리 공정 ( S 140 ) 의 종료 시 까지 , O 2 가스 및 H 2 가스 의 공급 을 계속 한다 .