이 를 보다 상세 하 게 살펴보 면 , 상기 챔버 ( 310 ) 의 내부 로 유입 되 는 아르곤가스 의 유량 은 대략 20 sccm 가 되 도록 하 고 , 상기 전 원공 급부 ( 360 ) 로부터 공급 되 는 전력 은 500 W 가 되 도록 한다 . 배기 밸브 ( 330 ) 의 개도 를 조절 하 여 플 라즈 마 를 생성 시킨 후 이 와 같 은 상태 를 30 ~ 60 분 가량 유지 하 게 될 경우 상기 카본 타 겟 ( 320 ) 의 탄소 이온 이 분리 되 어 상기 블레이드 ( 100 ) 의 표면 에 증착 될 수 있 게 되 며 , 이 를 통해 상기 디엘 씨 박막 ( 142 ) 이 형성 된다 . [ 코팅 단계 ]