도 2 i 는 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 의 다수 의 단면도 들 을 나타낸다 . 도 2 j 는 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 다수 의 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 의 프로세스 챔버 도 이 다 . 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 , 원 하 는 폭 의 실질 적 으로 직사각 형 , 단면 형상 을 갖 는 , 스트레이트 스루 ( straight through ) , 실질 적 으로 실린더 형 일 수 있 다 . 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 선택 적 인 원뿔형 형상 ( 220 A ) 을 포함 할 수 있 다 . 선택 적 인 원뿔형 형상 ( 220 A ) 은 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 로부터 흐름 평활 화 ( flow smoothing ) 및 / 또는 흐름 분배 ( flow distribution ) 를 제공 할 수 있 다 . 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 또한 다른 선택 적 인 형상 들 을 포함 할 수 있 다 . 예 로서 , 플라 즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 더 큰 폭 의 같 은 형상 ( 220 B ) 또는 더 작 은 폭 의 같 은 형상 ( 220 F ) 을 포함 할 수 있 다 . 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 선택 적 인 곡형 또는 보울 형 ( bowl shaped ) 유출 부 ( 220 C , 220 E ) 를 포함 할 수 있 다 . 선택 적 인 곡형 또는 보울 형 유출 부 ( 220 C , 220 E ) 는 유출 부 ( 220 C ) 와 같 은 가장 넓 은 지점 에서 또는 유출 부 ( 220 E ) 와 같 은 가장 넓 은 지점 보다 작 은 더 좁 은 지점 에서 개구 를 가질 수 있 다 . 선택 적 인 원뿔형 형상 은 원뿔대 ( truncated conical ) 형상 ( 220 D ) 일 수 있 다 .