[ 0037 ] 도 2 는 블록 ( 102 ) 에서 발견 되 는 세정 프로세스 를 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 는 프로세싱 챔버 ( 200 ) 의 단면도 이 다 . 프로세싱 챔버 ( 200 ) 는 열 또는 플 라즈 마 - 기반 산화 프로세스 및 / 또는 플 라즈 마 보조 건식 에칭 프로세스 를 수행 하 는 데 특히 유용 할 수 있 다 . 프로세싱 챔버 ( 200 ) 는 챔버 바디 ( 212 ) , 덮개 조립 체 ( 214 ) , 및 지지 조립 체 ( 216 ) 를 포함 한다 . 덮개 조립 체 ( 214 ) 는 챔버 바디 ( 212 ) 의 상부 단부 에 배치 되 며 , 지지 조립 체 ( 216 ) 는 챔버 바디 ( 212 ) 내 에 적어도 부분 적 으로 배치 된다 . 진공 시스템 이 프로세싱 챔버 ( 200 ) 로부터 가스 들 을 제거 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 진공 시스템 은 챔버 바디 ( 212 ) 에 배치 된 진공 포트 ( 221 ) 에 커플링 된 진공 펌프 ( 218 ) 를 포함 한다 . 프로세싱 챔버 ( 200 ) 는 또한 , 프로세싱 챔버 ( 200 ) 내 의 프로세스 들 을 제어 하 기 위한 제어기 ( 202 ) 를 포함 한다 .