[ 0032 ] 본원 에 설명 된 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 편향 가능 한 엘리먼트 ( 122 ) 는 벨로우 ( bellow ) 일 수 있 다 . 벨로우 는 , 벨로우 의 내부 가 벨로우 의 벽 에 의해 벨로우 의 외부 로부터 밀폐 ( seal off ) 될 수 있 도록 , 기밀 재료 로 제조 될 수 있 다 . 따라서 , 벨로우 의 안쪽 볼륨 내 의 제 1 압력 은 , 진공 챔버 ( 130 ) 의 주 볼륨 내 의 제 2 압력 과 상이 할 수 있 다 . 벨로우 는 , 벨로우 상 에 외력 이 가해질 때 확장 및 / 또는 수축 할 수 있 는 탄성 엘리먼트 또는 용기 일 수 있 다 . 벨로우 는 , 외력 이 더 이상 가해 지 지 않 을 때 초기 상태 로 복귀 하 는 벨로우 일 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 벨로우즈 ( bellows ) 는 금속 또는 금속 합금 들 로 제조 될 수 있 다 .