플라 즈 마 소스 로 전달 된 암모니아 가스 및 질소 가스 의 혼합물 은 가변 할 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 질소 가스 에 대한 암모니아 의 플로우 레이트 비 는 약 0 . 01 내지 약 0 . 1 일 수 도 있 다 . 암모니아 가스 는 약 10 sccm 내지 약 100 sccm 의 플로우 레이트 로 프로세스 챔버 로 전달 될 수 도 있 다 . 질소 가스 는 약 100 sccm 내지 약 10000 sccm 의 플로우 레이트 로 프로세스 챔버 로 전달 될 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 암모니아 가스 및 질소 가스 의 혼합물 은 약 1 체적 ％ 미만 의 암모니아 를 포함 한다 .