한편 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 ( 205 ) 의 흐름 의 흐트러짐 의 영향 이 크 고 , 기체 ( 205 ) 의 유량 이 증가 하 는 경우 를 생각 한다 . 이 경우 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 가 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 는 기체 ( 204 ) 의 유량 은 , 소용돌이 ( 206 ) 에 의한 말려 듦을 허용 하 고 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 접하 는 오염 물질 의 양 을 감소 하 는 것 이 최적 값 이 된다 . 따라서 , 제 어부 ( 130 ) 는 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 가 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 는 기체 ( 204 ) 의 유량 을 증가 시킨다 .