구체 적 으로 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 예 를 들 어 , 세정 공정 을 처리 하 는 공정 챔버 ( 102 ) 와 , 공정 챔버 ( 102 ) 내부 에 구비 되 어 기판 이 안착 되 는 스핀 척 ( 104 ) 과 , 스핀 척 ( 104 ) 상부 면 에 구비 되 는 복수 개 의 지지 핀 ( 110 ) 들 과 , 각각 의 지지 핀 ( 110 ) 들 에 대응 해서 구비 되 는 복수 개 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 과 , 스핀 척 ( 104 ) 에 안착 된 기판 ( W ) 을 척 킹 및 척 킹 해제 하 기 위해 복수 개 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 일부 또는 전부 를 업 / 다운 ( up / down ) 하 여 클로즈 / 오픈 ( close / open ) 시키 는 구동 부 ( 도 2 의 130 ) 및 , 복수 개 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 의 일부 가 교차 척 킹 하 도록 구동 부 ( 130 ) 를 제어 하 는 제 어부 ( 도 2 의 108 ) 를 포함 한다 .