도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 공정 챔버 ( 350 ) 에 고장 이 발생 하 거나 또는 예방 정비 시 , 배관 ( P 21 ) 에 잔류 하 는 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 을 배출 하 기 위해 구비 된 배관 ( P 31 ) 의 한 쪽 은 3 웨이 밸브 ( 3 WV 2 ) 에 , 반대쪽 은 진공 펌프 ( 250 ) 를 연결 하 여 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 배출 을 보다 쉽 게 할 수 있 도록 한다 .