린스 액 노즐 ( 32 ) 은 린스 액 노즐 ( 32 ) 에 린스 액 을 안내 하 는 린스 액 배관 ( 37 ) 에 접속 된다 . 린스 액 배관 ( 37 ) 에 개장 된 린스 액 밸브 ( 38 ) 가 열리 면 , 린스 액 이 린스 액 노즐 ( 32 ) 의 토출구 에서 하방 으로 연속 적 으로 토출 된다 . 린스 액 노즐 ( 32 ) 에서 토출 되 는 린스 액 은 예 를 들 어 , 순수 ( 탈 이 온수 ： DIW ( Deionized Water ) ) 이 다 . 린스 액 은 탄산수 , 전해 이온 수 , 수소 수 , 오 존수 , 희석 농도 ( 예 를 들 어 , 1 ~ 100 ppm 정도 ) 의 염산 수 , 및 희석 농도 ( 예 를 들 어 , 1 ~ 100 ppm 정도 ) 의 암모니아수 중 어 나 하나 여 도 좋 다 .