제 1 노즐 암 지지 부재 ( 472 a ) 에 결합 된 몸체 ( 441 ) 의 일단 에 는 , 도 8 에 도시 된 바 와 같이 , 감광액 유입 포트 들 ( 445 a , 445 b ) 과 유기 용제 유입 포트 ( 445 c ) 가 제공 된다 . 감광액 유입 포트 들 ( 445 a , 445 b ) 은 감광액 이 감광액 배관 들 ( 444 a , 44 b ) 로 유입 되 는 통로 를 제공 하 고 , 유기 용제 유입 포트 ( 445 c ) 는 유기 용제 가 유기 용제 배관 ( 444 c ) 으로 유입 되 는 통로 를 제공 한다 .