사 ) 내열성 - 내열 성 은 TGA 를 이용 하 여 측정 하 였 다 . 상기 가 ) 의 감도 측정 시 형성 된 패턴 ( Pattern ) 막 을 샘플링 한 후 , TGA 를 이용 하 여 상온 에서 900 ℃ 까지 분당 10 ℃ 씩 승 온 하 였 다 . 5 중량 % Loss 온도 가 300 ℃ 초과 인 경우 를 ○, 5 중량 % Loss 온도 가 280 - 300 ℃ 인 경우 를 △, 5 중량 % Loss 온도 가 280 ℃ 미만 인 경우 를 × 로 나타내 었 다 .