이어서 , 게이트 밸브 ( G 2 ) 가 폐쇄 되 는 동시 에 , 게이트 밸브 ( G 11 ) 가 개방 되 고 , 반 송실 ( 321 ) 과 처리 실 ( 421 ) 이 연통 된다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 501 ) 의 반송 아암 ( 521 ) 을 이용 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 가 처리 실 ( 421 ) 내 에 반입 되 고 탑재 대 ( 43 ) 에 탑재 된다 . 웨이퍼 ( W ) 의 처리 실 ( 42 ) 로 의 반입 방법 의 상세 한 것 에 대해서 는 후술 한다 .