이 로 인하 여 뒤 에 설명 할 배치 부 ( 450 ) 에 배치 되 는 파우더 ( P ) 가 가스 공급 부 ( 460 ) 로부터 가스 ( G ) 를 공급 받 아 하측 에서 상측 ( 도 1 기준 ) 방향 으로 관통 홀 부 ( 311 ) 를 향해 이동 시 파우더 ( P ) 가 처 리부 ( 210 ) 의 연장 방향 ( 도 1 기준 상하 방향 ) 과 나란 하 게 처 리부 ( 210 ) 의 내 벽부 ( 211 ) 와 외벽 부 ( 215 ) 에 대하 여 수평 방향 으로 이동 될 수 있 다 .