도시 된 프로세싱 챔버 ( 514 ) 는 도 5 에 도시 된 실시 예 에서 1 내지 4 로 번호 가 붙여진 , 4 개 의 프로세스 스테이션 들 을 포함 한다 . 스테이션 각각 은 히팅 된 페데 스탈 ( 스테이션 1 에 대해 518 로 도시 됨 ) , 및 가스 라인 유입 부들 을 갖 는다 . 일부 실시 예 들 에서 , 프로세스 스테이션 각각 이 상이 한 목적 또는 복수 의 목적 들 을 가질 수 도 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 예 를 들 어 , 일부 실시 예 들 에서 , 프로세스 스테이션 은 ALD 와 PEALD 프로세스 모드 사이 에서 스위칭 할 수 도 있 다 . 부가 적 으로 또는 대안 적 으로 , 일부 실시 예 들 에서 , 프로세싱 챔버 ( 514 ) 는 ALD 프로세스 스테이션 및 PEALD 프로세스 스테이션 의 하나 이상 의 매칭 된 쌍 들 을 포함 할 수 도 있 다 . 도시 된 프로세싱 챔버 ( 514 ) 는 4 개 의 스테이션 들 을 포함 하 지만 , 본 개시 에 따른 프로세싱 챔버 는 임의 의 적합 한 수 의 스테이션 들 을 가질 수 도 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 예 를 들 어 , 일부 실시 예 들 에서 , 프로세싱 챔버 는 5 개 이상 의 스테이션 들 을 가질 수 도 있 는 반면 , 다른 실시 예 들 에서 프로세싱 챔버 는 3 개 이하 의 스테이션 들 을 가질 수 도 있 다 .