상부 산화 막 ( 325 ) 은 하부 산화 막 ( 320 ) 의 표면 상 에 형성 되 는 동시 에 하부 산화 막 ( 320 ) 의 표면 아래 까지 형성 된다 . 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 은 실리콘 산화물 로 이루어진 예비 하부 산화 막 ( 305 ) 으로부터 형성 되 기 때문 에 예비 상부 산화 막 ( 325 ) 은 하부 산화 막 ( 320 ) 의 두께 에 비하 여 약간 얇 은 두께 로 형성 된다 . 상부 산화 막 ( 325 ) 을 형성 하 는 동안 , 예비 하부 질화 막 ( 310 ) 에 포함 된 질소 원자 들 이 대 상체 ( 300 ) 내 로 확산 되 어 대 상체 ( 300 ) 상 에 예비 하부 질화 막 ( 310 ) 보다 약간 두꺼운 두께 를 갖 는 하부 질화 막 ( 315 ) 이 형성 된다 .