먼저 , 합성 기판 ( 10 ) 이 반응 로 ( 120 ) 의 내부 공간 으로 로딩 되 면 ( s 121 ) , 반응 로 ( 120 ) 는 가 열부 ( 140 ) 에 의해 공정 온도 ( 500 - 1100 도 ) 로 가열 된다 . 반응 로 ( 120 ) 의 내부 온도 가 공정 온도 에 도달 되 면 , 소스 가스 가 반응 로 ( 120 ) 의 내부 공간 으로 공급 된다 ( s 122 ) . 소스 가스 는 열분해 에 의해 라디칼 로 분해 되 며 , 이 라디칼 들 이 합성 기판 ( 10 ) 위 에 도포 된 촉매 와 반응 하 여 탄소 나노 튜브 를 합성 하 게 된다 . 반응 로 ( 120 ) 에서 의 탄소 나노 튜브 합성 공정 이 완료 되 면 가스 공급 부 ( 150 ) 로부터 소스 가스 공급 이 중단 된다 ( s 123 ) . 소스 가스 공급 이 중단 되 고 , 반응 로 ( 120 ) 에 남 아 있 는 잔류 가스 는 잔류 가스 제거 단계 를 통해 제거 된다 ( s 124 ) . 잔류 가스 제거 단계 는 반응 로 ( 120 ) 내부 를 제 2 배기 라인 ( 187 ) 을 통해 강제 배기 하 여 진공 상태 로 만든 후 에 , 불활성 가스 를 공급 하 여 반응 로 내부 를 상압 상태 로 만드 는 과정 으로 진행 된다 . 한편 , 잔류 가스 제거 단계 이후 에 반응 로 ( 120 ) 내 에 잔류 가스 가 남 아 있 는지 를 검출 한 후 ( s 125 ) , 잔류 가스 의 검출 유무 에 따라 반응 로 ( 120 ) 의 개방 을 단속 하 게 된다 ( s 126 ) . 만약 , 잔류 가스 가 남 아 있 는지 를 확인 하 지 않 고 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 를 개방 하 게 되 면 외부 로부터 유입 되 는 산소 와 잔류 가스 중 에 있 는 수소 가스 가 반응 하 여 폭발 할 수 도 있 다 . 따라서 , 반응 로 ( 120 ) 내부 에 잔류 하 는 가스 중 에 수소 가스 가 설정 농도 이하 로 남 아 있 는지 를 확인 한 후 , 반응 로 ( 120 ) 를 개방 하 는 것 이 안 전하 다 . 만약 , 반응 로 내 에 잔류 가스 가 설정 농도 이상 검출 되 면 , 잔류 가스 제거 단계 를 다시 실시 하 며 , 잔류 가스 가 설정 농도 이하 로 검출 되 면 , 반응 로 ( 120 ) 를 개방 하 여 합성 기판 을 언 로딩 한다 ( s 127 ) .