우선 , 카세트 스테이션 ( 10 ) 에 있 어서 , 덮개 개폐 장치 ( 5 ) 가 작동 하 여 선행 로트 의 웨이퍼 카세트 ( 1 ) 의 덮개 를 개방 한다 . 다음 으로 , 웨이퍼 반송 용 핀셋 ( 4 ) 이 카세트 배치 대 ( 2 ) 상 의 미처리 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 고 있 는 카세트 ( 1 ) 에 액세스 하 여 , 그 카세트 ( 1 ) 로부터 1 장 의 미처리 웨이퍼 ( W ) 를 꺼낸다 . 웨이퍼 반송 용 핀셋 ( 4 ) 은 , 카세트 ( 1 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 꺼내 면 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 측 의 얼라인먼트 유닛 ( ALIM ) 까지 이동하 여 , 얼라인먼트 유닛 ( ALIM ) 내 의 웨이퍼 배치 대 ( 55 ) 상 에 웨이퍼 ( W ) 를 싣 는다 . 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 , 웨이퍼 배 치대 ( 55 ) 상 에서 오리엔테이션 플랫 ( orientation flat ) 맞춤 및 센터링 을 행한다 . 그러면 , 웨이퍼 반송 아암 ( 54 ) 이 얼라인먼트 유닛 ( ALIM ) 에 반대 측 으로부터 액세스 하 여 , 웨이퍼 배 치대 ( 55 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 하 고 , 처리 스테이션 ( 20 ) 측 의 제 3 세트 ( G 3 ) 의 다단 유닛 내 에 배치 되 어 있 는 얼라인먼트 유닛 ( ALIM ) 까지 이동하 여 , 얼라인먼트 유닛 ( ALIM ) 내 의 웨이퍼 배치 대 ( 24 ) 상 에 웨이퍼 ( W ) 를 싣 는다 . 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 , 웨이퍼 배 치대 ( 24 ) 상 에서 오리엔테이션 플랫 맞춤 및 센터링 을 행한다 . 그 후 , 주 웨이퍼 반송 아암 ( 21 ) 이 얼라인먼트 유닛 ( ALIM ) 에 반대 측 으로부터 액세스 하 여 , 웨이퍼 배 치대 ( 24 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 한다 .