이 에 비하 여 , 본 실시 형태 에 따른 타 겟 구 조체 ( 100 ) 에 의하 면 , 냉각 재킷 ( 130 ) 은 타 겟 ( 110 ) 보다 외력 에 대하 여 변형 되 기 쉬운 구성 을 갖 고 있 기 때문 에 , 타 겟 ( 110 ) 의 변형 에 추종 하 여 냉각 재킷 ( 130 ) 이 변형 되 므로 , 접합 층 ( 120 ) 에 있 어서 의 박리 를 방지 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 타 겟 ( 110 ) 을 적절히 냉각 시킬 수 있 으므로 , 플 라즈 마의 열 에 의한 타 겟 ( 110 ) 의 용융 을 방지 할 수 있 다 .