도 11 은 본 발명 의 실시 예 에 따른 ECD 시스템 의 전기 도금 모듈 의 가공물 을 수용 하 는 가공물 홀더 , 카트리지 , 및 구성 요소 를 개략 적 으로 도시 한 분 해 사시도 이 다 . 전기 도금 모듈 ( 300 ) 은 아래 에 보다 상세히 설명 되 는 바 와 같이 ECD 시스템 의 많 은 구성 요소 를 보유 하 기 위해 , 사용 시 에 가공물 의 평면 에 실질 적 으로 평행 한 2 개 의 반대 의 주 표면 을 가지 는 일반 적 으로 입방체 형태 의 하우징 ( 301 ) 을 포함 한다 . 특히 , 하우징 ( 301 ) 은 적어도 하나 의 증착 챔버 또는 도금 조 를 수용 하 며 , 적어도 하나 의 증착 챔버 또는 도금 조 는 도금 용액 을 수용 하 고 다음 에 상세히 설명 되 는 바 와 같이 가공물 홀더 ( 310 ) 에 의해 제 1 평면 에 유지 되 는 가공물 ( 311 ) , 제 1 평면 에 실질 적 으로 평행 한 제 2 평면 에서 각각 의 차폐물 홀더 , 여기 에서 카트리지 프레임 ( 321 ) 에 의해 유지 되 는 적어도 하나 의 근접 패 터닝 차폐물 ( CPS ) ( 200 ) , 및 사용 시 에 도금 용액 을 교반 하 도록 프로파일링 된 표면 을 가지 는 교반 플레이트 ( 312 ) 를 수용 하 는데 적합 하 다 . 도시 된 바 와 같이 , CPS ( 200 ) , 교반 플레이트 ( 312 ) 및 카트리지 프레임 ( 321 ) 은 증착 챔버 내로 의 통합 삽입 및 증착 챔버 로부터 의 제거 를 위해 카트리지 ( 320 ) 로서 함께 조립 된다 . 적어도 하나 의 추가 카트리지 가 증착 챔버 내로 의 삽입 및 증착 챔버 로부터 의 제거 를 위한 제공 될 수 있 으며 , 도 11 에 는 2 개 의 이러 한 카트리지 ( 320 ) 가 도시 되 어 있 다 .