상기 입력 방법 을 이용 하 면 , 배선 ( 2 ) 은 모두 각기둥 으로 표시 된다 . 그러나 , 실제 의 배선 형상 은 , 각부 에 「 둥근 부분 」 이 생기 거나 , 제조 공정 에 있 어서 발생 하 는 「 도려낸 부분 」 이나 「 오목 부분 」 을 갖 는다 . 사각형 입력 방법 으로 는 , 이 들 의 형상 을 리얼 하 게 재현 할 수 없 다 . 이 에 대하 여 , 도 1 에 나타낸 단면 형상 ( 1 a ) 은 , 프로세스 디바이스 시뮬레이션 에 의해 산출 하 기 때문 에 , 프로세스 시뮬레이션 에 의한 리소그래피 , 불순물 주입 , 산화 , 확산 의 모델 과 , 디바이스 시뮬레이션 에 의한 성막 , 에칭 의 모델 이 가미 된다 . 이 에 의해 , 단면 형상 ( 1 a ) 은 , 실제 의 단면 형상 에 가까운 단면 형상 을 재현 할 수 있 다 .