배기 시스템 ( 2 ) 이 반도체 디바이스 , 액정 패널 , LED 또는 태양 전지 를 제조 하 기 위한 제조 장치 ( 1 ) 의 챔버 를 배기 하 기 위해 사용 된다 . 배기 시스템 ( 2 ) 은 챔버 를 배기 하 기 위한 진공 펌프 장치 ( 3 ) , 챔버 로부터 배출 된 배기 가스 를 처리 하 기 위한 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 및 진공 펌프 장치 ( 3 ) 및 / 또는 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 를 제어 하 기 위한 제어기 ( 6 ) 를 포함 한다 . 제조 장치 ( 1 ) 의 작동 프로세스 , 제조 장치 ( 1 ) 에 공급 된 가스 의 종류 및 가스 의 유량 이 진공 펌프 장치 ( 3 ) 및 / 또는 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 를 제어 하 기 위해 제어기 ( 6 ) 내 에 입력 된다 .