도 16 a 및 도 16 b 를 참조 하 면 , 도 16 a 에 도시 된 2 단계 급속 열처리 는 1215 ℃ 에서 5 초 동안 유지 하 는 제 1 급속 열처리 단계 와 , 1150 ℃ 에서 5 초 동안 유지 하 는 제 2 급속 열처리 단계 로 이루 어 졌 다 . 700 ℃ 에서 1215 ℃ 까지 는 50 ℃/ sec 의 온도 상승 률 ( ramp - up rate ) 로 승 온 시켰 고 , 1215 ℃ 에서 800 ℃ 까지 는 70 ℃/ sec 의 온도 하강 률 ( ramp - down rate ) 로 하강 시켰으며 , 800 ℃ 에서 1150 ℃ 까지 는 50 ℃/ sec 의 온도 상승 률 ( ramp - up rate ) 로 승 온 시켰 고 , 1150 ℃ 에서 700 ℃ 까지 는 70 ℃/ sec 의 온도 하강 률 ( ramp - down rate ) 로 하강 시켰 다 . 1215 ℃ 를 유지 하 는 제 1 급속 열처리 단계 에서 아르곤 ( Ar ) 가스 만 을 사용 하 였 다 . 1150 ℃ 를 유지 하 는 제 2 급속 열처리 단계 에서 아르곤 ( Ar ) 가스 와 암모니아 ( NH 3 ) 가스 를 사용 하 였 다 . 이때 , 1150 ℃ 를 유지 하 는 동안 에 는 아르곤 ( Ar ) 가스 는 3 . 75 slm 의 유량 으로 공급 하 였으며 , 암모니아 ( NH 3 ) 가스 는 0 . 25 slm 의 유량 으로 공급 하 였 다 . 또한 , 1150 ℃ 를 유지 하 는 동안 이외 에 는 모두 에서 아르곤 가스 만 을 사용 하 였으며 , 이때 아르곤 가스 는 4 slm 의 유량 으로 공급 하 였 다 .