한편 , 상기 기류 형성 수단 ( 60 ) 은 , 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 카세트 스테이션 ( 10 ) , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) , 처리 스테이션 ( 20 ) 및 인터페이스 부 ( 30 ) 의 상단 부 에 수평 으로 배치 되 고 , 도시 하 지 않 은 공기 공급 기구 에 접속 되 는 주 통기 덕트 ( 61 ) 를 구비 하 고 있 다 . 주 통기 덕트 ( 61 ) 는 , 처리 스테이션 ( 20 ) 의 상부 에 설치 된 제 1 공기 공급 실 ( 62 a ) 에 연통 ( 連通 ) 하 는 제 1 통기 로 ( 63 a ) 와 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 의 상부 에 설치 된 공기 공급 실 ( 62 b ) 에 연통 하 는 제 2 통기 로 ( 63 b ) 와 , 카세트 스테이션 ( 10 ) 의 상부 에 설치 된 공기 공급 실 ( 62 c ) 에 연통 하 는 제 3 통기 로 ( 63 c ) 및 인터페이스 부 ( 30 ) 의 상부 에 설치 된 공기 공급 실 ( 62 d ) 에 연통 하 는 제 4 통기 로 ( 63 d ) 에 연통 되 어 있 다 . 제 1 내지 제 4 통기 로 ( 63 a , 63 b , 63 c , 63 d ) 내 에 는 , 각각 제 1 내지 제 4 유량 조정 밸브 ( 64 a , 64 b , 64 c , 64 d ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , 각 공기 공급 실 ( 62 a , 62 b , 62 c , 62 d ) 내 에 는 예컨대 HEPA 필터 를 갖 는 필터 유닛 ( FU ) 이 배치 되 어 있 고 , 주 통기 덕트 ( 61 ) 로부터 제 1 내지 제 4 유량 조정 밸브 ( 64 a , 64 b , 64 c , 64 d ) 를 통해 공급 되 는 공기 를 청정 화 하 여 , 처리 스테이션 ( 20 ) , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) , 카세트 스테이션 ( 10 ) 및 인터페이스 부 ( 30 ) 에 다운 플로우 에 의해 공급 하 고 있 다 . 이 경우 , 제 1 내지 제 4 유량 조정 밸브 ( 64 a , 64 b , 64 c , 64 d ) 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 와 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 컨트롤러 ( 100 ) 로부터 의 제어 신호 에 기초 하 여 제 1 내지 제 4 유량 조정 밸브 ( 64 a , 64 b , 64 c , 64 d ) 의 개방 도 가 조절 되 도록 되 어 있 다 .