도 13 은 그 플 라즈 마 처리 장치 의 일예 인 종단 측면 을 도시 한 것 이 다 . 이 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 접지 된 처리 용기 ( 11 ) 를 구비 하 고 있 고 , 처리 용기 ( 11 ) 는 처리 용기 본체 ( 11 a ) 및 상부 덮개 ( 11 b ) 에 의해 구성 된다 . 도면 중 도면 부호 ( 11 c ) 는 게이트 밸브 이 며 , 도면 중 도면 부호 ( 11 d , 11 e ) 는 처리 용기 ( 11 ) 내 를 기밀 하 게 하 기 위한 O 링 이 다 . 도면 중 도면 부호 ( 12 ) 는 기판 ( B ) 의 탑재 대 를 구성 하 는 하부 전극 이 며 , 플라 즈 마 발생 용 의 고주파 전원 ( 13 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 하부 전극 ( 12 ) 은 프레임 형상 의 스 페이서 ( 중간 부재 ) ( 14 ) 를 거쳐서 처리 용기 ( 11 ) 의 바닥 판 위 에 마련 되 어 있 고 , 이 스 페이서 ( 14 ) 는 테 프론 ( 등록 상표 ) 등 의 절연 부재 에 의해 구성 됨 으로써 , 하부 전극 ( 12 ) 은 처리 용기 ( 11 ) 로부터 전기 적 으로 떠 있 다 .