레티 클 스테이지 ( 2 ) 는 , 레티 클 ( 1 ) 을 지지 하 는 것 으로서 , XY 평면 내 에서 , 즉 투영 광학계 ( 6 ) 의 광축 에 수직 인 평면 내 에서 이동 가능 하 고 , 또한 θ Z 방향 으로 미세 하 게 회전 가능 하 다 . 레티 클 스테이지 ( 2 ) 는 1 축 방향 으로 만 구동 가능 하 지만 , 6 축 방향 으로 구동 되 는 것 이 바람직 하 다 . 레티 클 스테이지 ( 2 ) 는 리니어 모터 등 의 레티 클 스테이지 구동 장치 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 구동 된다 . 레티 클 스테이지 구동 장치 는 상기 제어 장치 에 의해 제어 된다 .