가스 분산 유닛 으로서 의 샤워 헤드 ( 234 ) 는 , 버퍼 실 ( 232 ) , 분산 판 ( 244 a ) 을 갖 는다 . 또한 , 분산 판 ( 244 a ) 은 , 제 1 활성 화부 로서 의 제 1 전극 ( 244 b ) 으로서 구성 되 어 있 어도 된다 . 분산 판 ( 244 a ) 에 는 , 가스 를 기판 ( 200 ) 에 분산 공급 하 는 구멍 ( 234 a ) 이 복수 마련 되 어 있 다 . 샤워 헤드 ( 234 ) 는 , 가스 도입 구 ( 241 ) 와 처리 실 ( 201 ) 의 사이 에 마련 되 어 있 다 . 가스 도입 구 ( 241 ) 로부터 도입 되 는 가스 는 , 샤워 헤드 ( 234 ) 의 버퍼 실 ( 232 ) ( 분산 부 라고 도 칭함 ) 에 공급 되 어 , 구멍 ( 234 a ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 에 공급 된다 .