또한 국내 특허 공개 공보 제 2001 - 65676 호 에서 는 탐침 원자 현미경 의 캔틸레버 프로브 팁 재생 하 는 방법 으로서 , 사용 후 마모 및 오염 된 탐침 원자 현미경 ( Scanning Probe Microscope ; SPM ) 의 캔틸레버 프로브 팁 을 집속 이온 빔 ( Focused Ion Beam ) 장비 를 이용 하 여 팁 을 재생 시킴 으로써 분석 장비 의 유지 비용 을 절감 할 수 있 도록 한 것 이 다 .