[ 0034 ] 본 개시 내용 에서 , 비접 촉식 운송 을 위해 구성 된 트랙 또는 트랙 어 레인지 먼 트 는 , 캐리어 , 특히 , " 기판 캐리어 또는 마스크 캐리어 의 비접 촉식 운송 을 위해 구성 된 트랙 또는 트랙 어 레인지 먼 트 로서 이해 되 어야 한다 . "" 비접 촉식 "" 이 라는 용어 는 ", 캐리어 , 예컨대 , 기판 캐리어 또는 마스크 캐리어 의 무게 가 기계 적 접촉 또는 기계 적 힘 들 에 의해 홀딩 되 지 않 고 자기력 에 의해 홀딩 되 는 의미 로 이해 될 수 있 다 . 특히 , 캐리어 는 , 기계 적 힘들 대신 에 자기력 들 을 사용 하 여 공중부양 또는 부유 ( floating ) 상태 로 홀딩 될 수 있 다 . 예컨대 , 몇몇 구현 들 에서 , 특히 , 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 의 공중부양 , 이동 , 및 포지셔닝 동안 에 , 캐리어 와 운송 트랙 사이 에 기계 적 접촉 이 존재 하 지 않 을 수 있 다 .