본 발명 의 하드 마스크 용 조성물 은 카바졸 유닛 , 비페닐 유닛 , 및 포름알데히드 혹은 이 의 합성 등 가체 , 또는 화학식 3 으로 표시 되 는 화합물 중 적어도 하나 로부터 유래 된 링커 유닛 을 포함 하 는 중축 합체 , 및 용매 를 포함 한다 . 하드 마스크 용 조성물 로부터 내 에칭 성 , 용해 성 및 평탄 성 이 동시 에 향상 된 하드 마스크 가 형성 될 수 있 다 .