기판 의 표면 을 충분히 소수 화 시키 면 , 패턴 의 도괴 를 억제 할 수 있 다 . 그러나 , 기판 의 표면 이 충분히 소수 화 되 지 않 는 경우 에 는 , 패턴 의 도괴 를 억제 할 수 없 다 . 즉 , 기판 의 표면 이 부분 적 으로 밖에 소수 화 되 지 않 는 경우 나 , 기판 에 대한 처리 액 의 접촉각 이 충분히 크 지 않 는 경우 에 는 , 기판 을 소수 화 시킨 후 에 건조 시켜도 , 패턴 의 도괴 를 억제 할 수 없 다 .