그 후 , 승강 캡 부 ( 560 ) 의 상하 승강 및 회동 부재 ( 580 ) 의 제 2 실린더 ( 597 ) 승강 노드 를 하강 구동 시키 면 힌지 축 ( 598 ) 을 중심 으로 회 동바 ( 596 ) 의 단부 에 체결 된 승강 캡 ( 570 ) 이 상승 해 반송 장치 ( 30 ) 의 이 송아 암 ( 31 ) 로 도금 및 도금액 제거 웨이퍼 ( 1 c ) 를 인출 할 수 있 다 .