상술 한 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 제 1 원소 와 제 2 원소 의 혼합물 로 이루어진 제 1 도 전막 ( 22 A ) 을 식각 하 여 제 1 전극 ( 22 B ) 을 형성 함 으로써 , 패턴 ( 25 ) 을 형성 하 기 위한 식각 공정 간 도전 성 부산물 이 발생 하 는 것 을 억제 하 여 도전 성 부산물 에 기인 한 전극 간 전기 적 쇼트 를 방지 할 수 있 다 .