도 2 의 ( a ) 는 , 비 교예 1 의 포토 마스크 를 도시 한다 . 이 포토 마스크 는 , 특허 문헌 1 과 마찬가지 의 구성 , 즉 투명 기판 상 에 차광막 을 형성 한 차 광부 ( 120 ) , 투명 기판 이 노출 된 투광 부 ( 110 ) , 및 투명 기판 상 에 반 투광 막 을 형성 하 여 이루어지 는 반투 광부 ( 130 ) 를 갖 는다 . 이 포토 마스크 에서 사용 한 반 투광 막 의 노 광광 투과율 Tr 은 55 ％ 이 고 , 반투 광부 ( 130 ) 의 폭 d 1 은 4 . 5 ㎛ 이 다 . 또한 , 반 투광 막 의 위상 시프트 양 은 0 도 로 하 였 다 .