이 경우 , 제 1 소수 화제 의 증기 가 기판 에 공급 된 후 에 , 제 2 소수 화제 의 증기 가 기판 에 공급 된다 . 기판 에 공급 된 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 의 증기 의 일부 는 액 적 으로 변화 되 어 , 기판 에 부착 된다 . 그러나 , 이 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 의 액적 은 단시간 에 증발 되 어 , 기판 으로부터 제거 된다 . 따라서 , 제 2 소수 화 공정 이 행하 여진 후 에 기판 에 부착 되 어 있 는 제 2 소수 화제 를 증발 시킴 으로써 기판 을 건조 시킬 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 을 신속 하 게 건조 시켜 , 기판 의 처리 시간 을 단축 할 수 있 다 .