상기 제 1 및 제 2 소스 물질 저장 용기 ( 40 , 41 ) 내 의 상기 제 1 및 제 2 소스 물질 ( 16 , 17 ) 은 각각 상기 기화기 ( 50 , 51 ) 로 이동 되 어 상기 기화기 ( 50 , 51 ) 에서 기화 될 수 있 다 . 또한 , 상기 기화기 ( 50 , 51 ) 에서 기화 된 상기 제 1 및 제 2 소스 물질 ( 16 , 17 ) 은 상기 반응 챔버 ( 10 ) 로 공급 될 수 있 다 .