상기 제 1 가스 ( G 1 ) 를 활성 화 시키 기 위해 , 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 의 제 1 커버 플레이트 ( 136 ) 는 급전 케이블 ( 162 ) 을 통해 전원 공급 수단 ( 160 ) 에 전기 적 으로 접속 된다 . 그리고 , 상기 급전 케이블 ( 162 ) 에 는 전술 한 임피던스 매칭 회로 ( 164 ) 가 접속 될 수 있 다 . 상기 임피던스 매칭 회로 ( 164 ) 는 전원 공급 수단 ( 160 ) 으로부터 제 1 커버 플레이트 ( 136 ) 에 공급 되 는 플 라즈 마 전원 의 부하 임피던스 와 소스 임피던스 를 정합 시킨다 .