또한 , 웨이퍼 를 공정 챔버 ( 10 ) 로 인입 또는 인출 시키 기 위해서 는 로봇 ( 20 , 40 ) 의 반복 적 인 동작 이 요구 됨 에 따른 전체 적 인 생산 성 저하 의 요인 으로 지적 되 어 왔 다 . 특히 , 공정 챔버 ( 10 ) 가 다 수개 의 웨이퍼 를 장착 하 여 공정 을 동시 에 진행 되 는 챔버 의 경우 , 공정 이 완료 된 하나 의 웨이퍼 를 먼저 공정 챔버 ( 10 ) 로부터 인출 하 여 로드 락 챔버 ( 30 ) 에 안착 시킨 후 , 신규 웨이퍼 를 로드 락 챔버 ( 30 ) 로부터 공정 챔버 ( 10 ) 로 인입 시킴 에 따라 전체 공정 을 마치 기 위해서 각각 의 로봇 ( 20 , 40 ) 은 공정 챔버 ( 10 ) 에 장착 되 는 웨이퍼 개수 의 2 배 만큼 왕복 운동 을 수행 하 여야 한다 . 따라서 웨이퍼 이송 에 장시간 이 소요 됨 에 따라 전체 적 인 생산 성 이 떨어지 는 문제점 이 있 었 다 .