에어리얼 이미지 의 구축 은 예컨대 , 밴드 제한 마스크 패턴 에서 광도 분포 ( optical intensity distribution ) 에 기반 하 여 프린터 블 피처 로부터 비 - 프린터 블 피처 를 분리 시키 는 것 을 적어도 수반 한다 . 동일 또는 다른 실시 예 에서 , 에어리얼 이미지 의 구축 은 에어리얼 이미지 와 같 은 모델링 된 이미지 로부터 일부 또는 모든 비 - 프린터 블 피처 를 제외 하 는 것 을 수반 한다 . 특정 실시 예 에서 , 검사 방법 은 또한 , 기하학 적 피처 들 을 예컨대 가장 자리 ( edges ) , 모서리 ( corners ) 및 선 끝 ( line ends ) 과 같 은 , 하나 이상 의 기하학 적 피처 유형 으로 분류 하 기 위하 여 밴드 제한 마스크 패턴 에 기반 한 기하학 적 인 맵 의 구축 을 수반 한다 . 기하학 적 맵 은 테스트 이미지 의 분석 동안 에 패턴 피처 를 분류 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 또한 , 테스트 이미지 의 분석 은 기하학 적 맵 의 적어도 두 개 의 상이 한 기하학 적 피처 유형 들 에 상이 한 검출 임계 값 을 적용 하 는 것 을 수반 한다 .