일부 구 현예 들 에서 , 실리콘 이 산화물 을 포함 하 는 박막 의 성장 속도 는 0 . 7 Å / 사이클 이상 인 것 이 바람직 하 다 . 다른 구 현예 들 에서 상기 성장 속도 는 0 . 8 Å / 사 이 클 이상 이 고 , 또 다른 구 현예 들 에서 상기 성장 속도 는 1 . 0 Å / 사이클 이상 이 고 , 바람직 하 게 는 1 . 0 Å / 사이클 내지 1 . 2 Å / 사이클 범위 이 다 .