이어서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 도시 가 생략 된 웨이퍼 로더 를 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 상 의 웨이퍼 교환 ( 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 상 에 웨이퍼 가 없 는 경우 에 는 웨이퍼 의 로딩 ) 이 실시 되 고 , 그 웨이퍼 에 대한 얼라이먼트 계 ( ALG ) 를 사용 한 웨이퍼 얼라이먼트 ( 예 를 들 어 EGA 등 ) 가 실시 된다 . 이 웨이퍼 얼라이먼트 에 의해 , 전술 한 얼라이먼트 좌표계 상 에 있 어서 의 웨이퍼 상 의 복수 의 쇼트 영역 의 배열 좌표 가 구해진다 .