스퍼터링 가스 로 는 , 공지 된 불활성 가스 , 반응 성 가스 를 이용 할 수 있 지만 , 바람직 하 게 는 아르곤 가스 만 , 또는 아르곤 가스 와 , 질소 가스 , 산화질소 가스 , 산소 가스 등 과 의 조합 에 의해 상술 한 조성 이 얻 어 지 도록 조정 한다 . 흡수 계수 를 조정 하 기 위해서 는 , 미리 각 층 을 시험 제작 하 여 스퍼터링 조건 과 성막 속도 를 확인 하 고 , 차광막 이 필요 로 하 는 차광성 을 갖 도록 , 차광막 을 구성 하 는 기판 측 조성 경사 층 , 중간 층 및 표면 측 조성 경사 층 의 스퍼터링 조건 을 설정 하 고 , 스퍼터링 조건 을 변화 시켜 성막 을 행할 수 있 다 . 이 때 , 단계 적 또는 연속 적 으로 흡수 계수 가 변화 하 는 막 을 얻 는 경우 에 는 , 예 를 들 면 스퍼터링 가스 의 조성 을 단계 적 또는 연속 적 으로 변화 시킬 수 있 다 . 또한 , 복수 종 의 타 겟 을 이용 하 는 경우 에 는 , 각 타 겟 에 가하 는 전력 을 단계 적 또는 연속 적 으로 변화 시켜 , 전이 금속 과 규소 의 비 를 다단 또는 연속 적 으로 변화 시킬 수 도 있 다 .