제 3 실시 형태 에서 는 , 스핀 척 ( 10 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 을 향해 약액 을 하방 으로 토출 하 는 제 2 약액 노즐 ( 21 B ) 과 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 으로부터 제 2 약액 노즐 ( 21 B ) 에 약액 을 안내 하 는 제 2 공급 배관 ( 31 B ) 과 , 제 2 공급 배관 ( 31 B ) 의 유로 면적 을 감소 시킴 으로써 제 2 공급 배관 ( 31 B ) 에서 의 압력 손실 을 증가 시키 는 제 2 조임 장치 ( 36 B ) 가 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 설치 되 어 있 다 . 제 2 조임 장치 ( 36 B ) 는 , 도 6 에 나타내 는 유량 조정 밸브 ( 41 B ) 여도 되 고 , 도 7 에 나타내 는 축 소부 ( 37 A ) 여도 되 고 , 도 8 에 나타내 는 오리피스 부재 ( 37 B ) 여도 되 고 , 이 들 2 개 이상 을 구비 하 고 있 어도 된다 .