[ 0073 ] 도 5 에 개략 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 는 상부 섹션 ( 510 ) 및 하부 섹션 ( 520 ) 을 가질 수 있 다 . 하부 섹션 ( 520 ) 은 , 소스 운반 경로 의 소스 트랙 들 과 접촉 할 수 있 는 소스 카트 ( cart ) 를 포함 할 수 있 다 . 상부 섹션 ( 510 ) 은 , 하나 이상 의 분배 파이프 들 , 예컨대 분배 파이프 ( 410 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 섹션 및 제 2 섹션 중 임의 의 섹션 은 대기 인클로저 또는 대기 케이싱 을 포함 할 수 있 으며 , 이 들 내 로 , 매체 공급 라인 들 중 적어도 일부 가 공급 통로 를 통해 인도 된다 . 하부 섹션 ( 520 ) 은 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 에 , 특히 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 에 연결 될 수 있 다 . 추가 로 , 하부 섹션 ( 520 ) 은 운반 트랙 ( 430 ) 과 접촉 할 수 있 다 .