상술 한 바 와 같 은 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 의하 면 , 증착 가스 의 공급 유량 을 측정 하 는 센서 유닛 이 작동 불능 이 되 더라도 인접 하 는 센서 유닛 을 이용 함 으로써 센서 유닛 의 교체 를 위해 공정 챔버 의 가동 을 중단 할 필요 가 없 다 . 이 에 따라 , 센서 유닛 의 교환 주기 를 연장 함 으로써 박막 증착 장치 의 가동 주기 를 획기적으로 연장 할 수 있 는 장점 이 있 다 .