형성 된 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 은 , 전자 렌즈 ( 축소 렌즈 ) ( 205 ) 및 전자 렌즈 ( 206 ) 에 의해 각각 굴절 되 어 , 중간상 및 크로스오버 를 반복 하 면서 , 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 의 각 빔 의 크로스오버 위치 에 배치 된 빔 세 퍼 레이터 ( 214 ) 를 통과 하 여 전자 렌즈 ( 207 ) ( 대물 렌즈 ) 로 진행 한다 . 그리고 , 전자 렌즈 ( 207 ) 는 , 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 을 기판 ( 101 ) 에 포커스 ( 합 초 ) 시킨다 . 전자 렌즈 ( 207 ) 에 의해 기판 ( 101 ) ( 시료 ) 면 상 에 초점 이 맞추 어 진 ( 합 초 된 ) 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 은 , 주편 향기 ( 208 ) 및 부편 향기 ( 209 ) 에 의해 일괄 하 여 편향 되 어 , 각 빔 의 기판 ( 101 ) 상 의 각각 의 조사 위치 에 조사 된다 . 또한 , 일괄 블 랭킹 편 향기 ( 212 ) 에 의해 , 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 전체 가 일괄 하 여 편향 된 경우 에 는 , 제한 애퍼처 기판 ( 213 ) 의 중심 의 구멍 으로부터 위치 가 어긋나 , 제한 애퍼처 기판 ( 213 ) 에 의해 차폐 된다 . 한편 , 일괄 블 랭킹 편 향기 ( 212 ) 에 의해 편향 되 지 않 은 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 은 , 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 제한 애퍼처 기판 ( 213 ) 의 중심 의 구멍 을 통과 한다 . 이러 한 일괄 블 랭킹 편 향기 ( 212 ) 의 ON / OFF 에 의해 , 블 랭킹 제어 가 행해 지 고 , 빔 의 ON / OFF 가 일괄 제어 된다 . 이 와 같이 , 제한 애퍼처 기판 ( 213 ) 은 , 일괄 블 랭킹 편 향기 ( 212 ) 에 의해 빔 OFF 의 상태 로 되 도록 편향 된 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 을 차폐 한다 . 그리고 , 빔 ON 으로 되 고 나 서 빔 OFF 로 될 때 까지 형성 된 , 제한 애퍼처 기판 ( 213 ) 을 통과 한 빔 군 에 의해 , 검사 용 ( 화상 취득 용 ) 의 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 이 형성 된다 .