한쪽 의 프레임 반송 장치 ( 16 ) 는 , 프레임 공급 부 ( 6 ) 로부터 링 프레임 ( f ) 을 흡착 하 여 프레임 보유 지지 부 ( 51 ) 에 이동 탑재 한다 . 프레임 보유 지지 부 ( 51 ) 가 흡착 을 해제 하 고 상승 하 면 , 지지 핀 에 의해 링 프레임 ( f ) 의 위치 정렬 을 행한다 . 즉 , 링 프레임 ( f ) 은 , 프레임 보유 지지 부 ( 51 ) 에 세트 된 상태 에서 웨이퍼 ( W ) 가 반송 되 어 올 때 까지 대기 한다 .