도 6 의 예 에서 는 , 좌표 ( 1 , 3 ) 의 빔 ( 1 ) 에 의하 여 , 주편 향 세틀 링 및 부 편향 세틀 링 이 종료 한 후 의 시각 ( t = 0 ) 으로부터 t = 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 까지 의 동안 에 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 , 예 를 들 면 , 최 하단 의 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 화소 에 1 샷 째 의 빔 의 조사 가 행해진다 . 그리고 , 시각 ( t = 0 ) 으로부터 t = 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 에 부 편향 세틀 링 시간 을 더 한 샷 사이클 시간 ( T ) 까지 의 동안 에 , XY 스테이지 ( 105 ) 는 , 예 를 들 면 , 2 빔 간 피 치분 만큼 - x 방향 으로 이동 한다 . 그 동안 , 트랙 킹 동작 은 계속 하 고 있 다 .