그러나 , 상술 한 방법 으로 는 리프트 오프 공정 의 한계 로 인하 여 일정 두께 이상 으로 는 금속 층 을 증착 할 수 없 기 때문 에 근본 적 으로 소정 의 종횡비 ( aspect ratio ) 를 갖 는 선격 자 패턴 을 제조 할 수 없 다는 치명 적 인 단점 이 있 다 . 즉 , 기판 상 에 증착 되 는 금속 층 의 두께 가 소정 의 두께 이상 이 되 면 레지스 트 의 측면 에 도 금속 층 이 증착 되 어서 리프트 오프 공정 으로 는 레지스 트 및 레지스 트 상 에 형성 된 금속 층 을 제거 할 수 없 게 된다 . 따라서 , 나노 임프 린트 리소그래피 공정 으로 는 선격 자 편광판 에서 요구 되 는 선폭 100 nm 이하 , 높이 100 nm 이상 의 선격 자 패턴 을 형성 하 는 데 에 는 한계 가 있 다 .