제 2 , 제 1 기판 ( S 2 , S 1 ) 의 접합 시 , 진공 펌프 ( P ) 의 구동 으로 진공 챔버 ( 10 ) 에 요구 의 진공 압 을 설정 한 상태 로 로딩 부 ( 30 ) 에 의하 여 제 2 , 제 1 기판 ( S 2 , S 1 ) 의 간격 이 근접 하 게 되 므로 제 2 , 제 1 기판 ( S 2 , S 1 ) 의 대향 면 들 사이 에 기포 를 형성 할 수 있 는 기체 가 최소 화 될 수 있 다 .