따라서 제 1 , 2 기판 안 치부 ( 124 , 134 ) 가 모두 기판 을 탑재 한 경우 에 도 제 2 기판 감지 센서 ( 160 ) 에서 투사 된 빛 은 하부 기판 ( S 2 ) 에서 만 반사 되 고 상부 기판 ( S 1 ) 에 의해 영향 받 지 않 기 때문 에 제 2 기판 감지 센서 ( 150 ) 는 하부 기판 ( S 2 ) 의 유무 만 을 정확 하 게 감지 할 수 있 다 .