MEMS 미러 에서 는 고정 전극 의 표면 에 가동 전극 의 이면 이 마주 보 게 된다 . 가동 전극 의 표면 에 는 미러 면 이 형성 된다 . 가동 전극 은 가동 전극 기판 에 자세 변화 가능 하 게 연결 된다 . 고정 전극 및 가동 전극 사이 에서 생성 되 는 정전 인력 의 작용 에 의해 가동 전극 즉 미러 면은 미리 결정 된 X 축 및 Y 축 주위 에서 자세 를 변화 시킨다 .