히팅 플레이트 ( 31 ) 의 상부 면 ( 33 ) 의 중심부 는 가스 흡입구 ( 34 ) 가 형성 된다 . 가스 흡입구 ( 34 ) 를 통해 흡입 된 열전달 가스 는 가스 배출 로 ( 45 ) 를 통해 외부 로 배출 되 어 진다 . 가스 배출 로 ( 45 ) 는 히팅 플레이트 ( 31 ) 와 지지 부 ( 32 ) 의 중심부 에 형성 된다 . 가스 배출 로 ( 45 ) 의 끝단 ( 46 ) 은 진공 펌프 ( 55 ) 와 배기관 ( 56 ) 으로 연결 된다 . 히팅 척 ( 30 ) 에 는 리프트 핀 조립 체 ( 60 ) 가 구비 되 며 , 기판 의 로딩 / 언로 딩 과정 에서 히팅 플레이트 ( 31 ) 의 상부 면 으로 세 개 의 리프트 핀 ( 61 ) 이 수직 으로 승 하강 한다 .