도 2 d 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 플러그 ( 24 ) 상 에 금속 층 을 형성 한다 . 여기 서 , 금속 층 은 금속 실리사이드 를 형성 하 기 위한 것 으로 , 티타늄 층 ( Ti ) , 코발트 층 ( Co ) , 니켈 층 ( Ni ) 및 몰리브덴 층 ( Mo ) 으로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 일 수 있 고 , 금속 층 은 화학 기상 증착 법 ( Chemical Vapor Deposition ) 또는 물리 적 기상 증착 법 ( Physical Vapor Deposition ) 으로 형성 할 수 있 다 .