도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 챔버 ( 4 ) 는 기판 ( W ) 이 통과 하 는 반입 반 출구 ( 11 b ) 가 설치 된 박스 형 의 격벽 ( 11 ) 과 , 반입 반 출구 ( 11 b ) 를 개폐 하 는 셔터 ( 12 ) 를 포함 한다 . FFU ( 13 ) ( 팬 · 필터 · 유닛 ) , 격벽 ( 11 ) 상부 에 설치 된 송 풍구 ( 11 a ) 상 에 배치 되 어 있 다 . FFU ( 13 ) 는 클린 에어 ( 필터 에 의해 여과 된 공기 ) 를 송풍 구 ( 11 a ) 에서부터 챔버 ( 4 ) 내부 로 상시 공급 한다 . 챔버 ( 4 ) 내 의 기체 는 처리 컵 ( 7 ) 의 저부 에 접속 된 배기 덕트 ( 14 ) 를 통해서 챔버 ( 4 ) 에서 배제 된다 . 이 로 인해 , 클린 에어 의 다운 플로우 가 챔버 ( 4 ) 내부 에 상시 형성 된다 . 배기 덕트 ( 14 ) 에 배제 되 는 배기 의 유량 은 배기 덕트 ( 14 ) 내 에 배치 된 배기 밸브 ( 15 ) 의 개방 정도 에 따라 변경 된다 .