상술 한 각 실시 형태 에 관련 된 디바이스 제조 시스템 에 의하 면 , 기판 에 노광 되 는 디바이스 패턴 의 레이아웃 등 에 의해 주 노광 장치 및 종 노광 장치 로 기판 을 분담 하 여 노광 하 거나 , 1 장 의 기판 중 의 디바이스 패턴 마다 분담 하 여 노광 하 거나 함 으로써 , 디바이스 의 레이아웃 등 에 따른 최 적 인 디바이스 제조 시스템 의 형태 로 할 수 있 게 된다 .