로봇 제어 시스템 ( 1 ) 은 웨이퍼 ( 9 ) 를 반송 하 는 로봇 ( 6 ) ( 의 암 ) 의 구동 및 웨이퍼 ( 9 ) 의 방향 을 맞추 기 위한 얼라 이너 ( 7 ) 의 구동 을 제어 하 고 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 도 14 에 도시 된 바 와 같이 , 로봇 제어 시스템 ( 1 ) 은 , 주 로서 , 위치 제 어부 ( 2 ) 와 , 서보 제 어부 ( 3 ) 와 , 피 제어 체 를 구동 하 는 구동 부 ( 4 ) ( 제 1 모터 ( 41 ) , 제 1 인코더 ( 42 ) , 제 2 모터 ( 43 ) , 제 2 인코더 ( 44 ) ) 와 , 통신 회선 ( 5 ) 을 가지 고 있 다 .