본 발명 에 의하 면 , 비교 적 간단 한 구조 로써 약액 을 단독 으로 또는 소정 의 기체 또는 액체 와 혼합 하 여 약액 을 공정 모듈 에 특히 대량 으로 안정 적 으로 공급 할 수 있 다 . 또한 , 동시 에 다수 의 공정 모듈 에 약액 을 안정 적 으로 공급 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 약액 의 농도 를 일정 하 게 유지 할 수 있 게 됨 으로써 약액 의 농도 변화 로 야기 되 는 공정 불량 을 획기적으로 줄일 수 있 고 , 더 나아가 수율 을 향상 시킬 수 있 게 된다 .