한편 , 종래 의 배 치식 초음파 기판 세정 장치 는 고온 의 세정액 을 이용 하 기 때문 에 세 정조 하부 면 에 구비 된 압 전소 자 가 열변 형 에 의해 진동판 으로부터 탈착 되 거나 , 세 정조 에 접착제 를 통해 부착 된 압 전소 자 가 고온 의 세정액 에 의해 접착제 가 녹 아 진동자 가 탈착 되 는 경우 및 압 전 소자 의 특성 이 변화 되 는 경우 가 발생 할 수 있 다 .