그리고 , 진공 플 라즈 마 처리 기 의 경우 에 는 0 . 005 ~ 100 토르 정도 를 유지 함 이 바람직 한 바 , 이 는 안정 적 이 고 원활 하 며 효율 적 인 플 라즈 마 발생 을 위한 것 이 고 , 나아가 반응 가스 로 는 아르곤 , 산소 , 질소 , 수소 , 메탄 및 사불 화 탄소 중 에서 선택 된 어느 하나 혹은 이 들 이 혼합 된 가스 를 사용 할 수 있 다 .