상기 제 2 단계 에서 는 , 상기 플 라즈 마 식각 장비 내부 의 압력 을 약 2 내지 10 mT 로 유지 시키 고 , 이 압력 하 에서 15 내지 95 sccm 으로 55 초 동안 상기 Cl 2 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 한다 . 이 와 동시 에 , 약 80 내지 250 sccm 으로 HBr 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 하 고 , 약 8 내지 64 sccm 으로 HeO 2 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 하 고 , 그리고 약 12 내지 64 sccm 으로 CF 4 가스 를 상기 장비 내부 에 공급 한다 .