먼저 도 1 a 및 도 2 a 를 참고 하 면 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 공정 용 가스 공급 자동 변환 장치 는 가스 압력 을 측정 하 여 제어 하 는 것 으로 , 제 1 , 2 가스 용기 ( 1 , 2 ) , 제 1 , 2 공급 라인 ( 10 , 20 ) , 제 1 , 2 개 폐 밸브 ( 11 , 21 ) , 합류 라인 ( 30 ) , 가스 조절기 ( 31 ) , 제 1 , 2 압력 전송기 ( 13 , 23 ) , 제 어부 ( 80 ) 를 포함 하 여 이루어진다 .