기판 의 표면 을 아크릴산 / 말레산 코 폴리머 또는 아크릴산 호모 폴리머 의 용액 과 접촉 시키 는 단순 한 행위 가 서브 마이크 론 입자 를 매우 효과 적 으로 제거 할 수 있 지만 , 제거 효율 은 가속 화 된 분출 로 개선 될 수 있 으며 , 이 는 또한 메 가 소닉 을 사용 함 으로써 이루어질 수 있 다 . 이러 한 장치 , 즉 단일 임프 린트 몰드 스핀 - 스프레이 도구 는 도 3 에 도시 되 어 있 다 . 도 3 의 단일 임프 린트 몰드 스핀 - 스프레이 장치 ( 40 ) 에서 , 모터 ( 43 ) 에 연결 된 임프 린트 몰드 홀더 ( 42 ) 는 임프 린트 몰드 ( 41 ) 를 유지 시킨다 . 임프 린트 몰드 는 임프 린트 몰드 의 전면 이 아래쪽 을 향하 게 유지 될 수 있 다 . 임프 린트 몰드 아래 에 음파 변환기 ( 48 ) 가 위치 되 어 있 다 . 음파 변환기 는 예 를 들 어 스테인 레스강 으로 제조 되 고 바람직 하 게 PFA 로 코팅 된다 . 음파 변환기 의 후면 상 에 , 음파 를 발생 시키 기 위해 PZT 결정 ( 49 ) 이 결합 된다 . PZT 결정 은 메가 소닉 주파수 전력 공급 장치 ( 미도 시 됨 ) 에 연결 되 고 , 세정 액체 ( 미도 시 됨 ) 로부터 PZT 결정 을 분리 하 기 위해 하우징 으로 보호 된다 . 임프 린트 몰드 의 중심 에 보다 가까이 에 , 액체 공급 스루 ( liquid feed through ) ( 51 ) 가 존재 하 는데 , 이 는 화학 물질 공급 라인 ( 50 ) 에 연결 된다 . 이러 한 화학 물질 공급 라인 은 음파 변환기 ( 48 ) 를 통해 임프 린트 몰드 ( 41 ) 의 후부 로 화학 물질 또는 DI 수 를 공급 한다 . PZT 결정 ( 49 ) 은 200 - 6000 kHz 주파수 범위 의 음파 를 발생 시킨다 . 통상 적 으로 , 700 kHz 내지 1 . 8 MHz 의 주파수 범위 가 사용 된다 . 이 는 메가 소닉 세정 을 위해 일반 적 으로 사용 된다 . 그러나 , 200 - 6000 kHz 의 임의 의 주파수 범위 가 사용 될 수 있 다 .