그리고 , 광 검출기 ( 419 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 수신 하 여 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 상 의 파티클 ( 8 ) 을 검출 한다 ( S 128 ) . 광 검출기 ( 419 ) 는 우수 한 신호 대 잡음 비 를 갖 는 레티 클 ( R ) 의 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 의 표면 이미지 를 획득 할 수 있 다 . 또한 , 광 검출기 ( 419 ) 는 표면 이미지 를 이용 하 여 파티클 ( 8 ) 을 검출 할 수 있 다 .