상기 한 바 와 같이 「 패턴 」 열화 방지 효과 는 , 주로 폴리 실록 산 ( Ia ) 에 의해 초래 된다 . 폴리 실록 산 ( Ia ) 의 양 은 막 두께 나 패턴 의 형상 · 치수 에 의해 조정 할 수 있 다 . 폴리 실록 산 ( Ia ) 는 폴리 실록 산 ( Ia ) 및 ( Ib ) 의 합계 중량 의 1 중량 % 에서 80 중량 % 인 것 이 바람직 하 다 . 1 중량 % 이하 에서 는 효과 는 충분 하 지 않 고 , 80 중량 % 이상 에서 는 용해 되 지 않 고 남 거나 감도 저하 의 문제 가 발생 한다 . 더욱 바람직 하 게 는 , 20 중량 % 에서 50 중량 % 이 다 .