웨이퍼 ( W ) 에 대한 슬러리 폴리 싱 을 마치 면 폴리 싱 패드 ( 21 ; 도 1 에 도시 ) 에 초 순수 를 공급 하 여 웨이퍼 ( W ) 에 대한 초 순수 폴리 싱 을 실시 하 게 되 는데 , 이 때 , 버퍼링 승강 수단 ( 140 ) 은 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 버퍼링 ( 130 ) 을 상승 시켜서 웨이퍼 ( W ) 둘레 에 초 순수 가 충돌 하 는 공간 을 확보 함 으로써 웨이퍼 ( W ) 의 에지 부분 에 대한 초 순수 의 클리닝 효율 을 증대 시킨다 .