마스크 ( 미 도시 ) 를 이용 하 여 , 예비 필라 영역 ( 13 ) 의 상부 표면 을 노출 시키 기 위해 하드 마스크 층 ( 14 ) 이 식각 될 수 있 다 . 마스크 는 포토레지스트 패턴 을 포함 할 수 있 다 . 탑 뷰 로 볼 때 , 하드 마스크 층 ( 14 ) 은 복수 의 필라 형상 ( pillar shape ) 을 가질 수 있 다 . 즉 , 하드 마스크 층 ( 14 ) 은 필라 형상 들 의 규칙 적 인 어레이 로 형성 될 수 있 다 .