에칭 액 공급 부 ( 23 ) 는 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 에칭 액 을 공급 하 기 위한 에칭 액 공급 노즐 ( 24 ) , 및 에칭 액 공급 노즐 ( 24 ) 을 상하 방향 으로 이동 시키 기 위한 에칭 액 공급 노즐 승강 수단 ( 25 ) 을 구비 하 고 있 다 . 에칭 액 공급 노즐 ( 24 ) 은 에칭 액 공급원 ( ES ) 에 연통 될 수 있 다 .