전자 소스 ( 202 ) 는 캐소드 , 추출기 ( extractor ) 또는 애노드 를 포함 할 수 있 으며 , 여기 서 일 차 전자 는 캐소드 로부터 방출 되 고 추출 또는 가속 되 어 크로스 오버 ( crossover ) ( 가상 또는 실제 ) ( 208 ) 를 갖 는 일차 전자 빔 ( 210 ) 을 형성 할 수 있 다 . 일 차 전자 빔 ( 210 ) 은 크로스오버 ( 208 ) 로부터 방출 되 는 것 으로 시각 화 될 수 있 다 . 건 개구 ( 204 ) 는 일차 전자 빔 ( 210 ) 의 외각 전자 를 차단 하 여 쿨롱 효과 ( Coulomb effect ) 를 감소 시킬 수 있 다 . 쿨롱 효과 는 프로브 스폿 ( 270 , 272 및 274 ) 의 크기 증가 를 야기 할 수 있 다 .