본 발명 의 실시 예 에 의하 면 , 고주파 유닛 을 실제 기판 이 처리 되 는 공정 챔버 에 연결 하 지 않 더라도 , 고주파 유닛 을 검증 할 수 있 어 , 고주파 유닛 의 검증 을 자유 롭 게 수행 할 수 있 다 . 또한 , 고주파 유닛 의 출하 전 상태 를 검증 하 고 , 문제 가 발생 된 유닛 의 경우 사전 확인 이 가능 하 다 . 따라서 , 고주파 유닛 오류 발생 율 을 줄여 고주파 유닛 의 신뢰 성 을 높이 고 , 고주파 특성 을 사전 에 분석 하 여 설비 의 완성도 를 높일 수 있 다 . 또한 , 복수 개 의 고주파 유닛 이 설계 및 제작 되 어 있 는 경우 , 복수 개 의 고주파 유닛 을 순차 적 으로 공정 챔버 에 연결 하 여 고주파 유닛 의 성능 을 검사 할 필요 없이 , 복수 개 의 고주파 유닛 을 병렬 적 으로 검증 할 수 있 다 .