웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상면 에 는 , 도 2 의 평면도 에 나타낸 바 와 같이 , 그 4 코너 에 각각 인코더 헤드 ( 이하 , 적절히 , 헤드 로 약술 한다 ; 60 A ∼ 60 D ) 가 장착 되 어 있 다 . 이 들 헤드 ( 60 A ∼ 60 D ) 는 , 도 3 에 헤드 ( 60 C ) 를 대표 적 으로 채택 하 여 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 에 각각 형성 된 Z 축 방향 의 관 통공 내부 에 수용 되 어 있 다 .