또한 , 전술 의 예 에서 , 투영 광학계 ( 11 ) 에 있 어서 , 틈 을 만족 시키 는 것 은 대기 에 한정 하 지 않 고 다른 유체 에서 도 좋 고 , 예 를 들 면 질소 , 순수 등 과학 적 으로 불활성 이 며 , 노광 광 의 흡수 가 거의 일어나 지 않 는 유체물 질 이 면 특별히 제한 은 없 다 . 또한 , 온도 조절 의 대상 은 메니스커스 렌즈 ( 18 ) 에 반드시 한정 되 는 것 이 아니 고 , 본건 의 요지 는 광학 소자 의 광로 의 유효 부외 에 설치 된 취 출구 ( 24 ) 로부터 , 취 출구 ( 24 ) 에 대향 해서 배치 된 광학 소자 의 표면 을 온도 조절 하 는 것 이 다 . 또한 , 반사 의 횟수 는 5 회 에 한정 되 는 것 이 아니 다 .