TEOS ( tetraethyl orthosilicate ) 와 같 은 실리콘 알 콕 사이드 들 , 실리콘 할라 이드 들 , 및 실란 할라 이드 들 , 및 실란 ( SiH 4 ) 은 이 들 전구체 들 이 실리콘 나이트 라이드 막 과 반응 하 기 쉽 고 따라서 실리콘 나이트 라이드 의 존재 시 실리콘 옥사이드 상 에 실리콘 옥사이드 를 선택 적 으로 증착 할 수 없 을 수 도 있 기 때문 에 개시 된 실시 예 들 에 따라 실리콘 옥사이드 를 증착 하 기 위한 실리콘 전구체 로서 사용 되 지 않 는다 .