본 발명 의 일 실시 형태 에 따르 면 , 기판 표면 상 의 제 1 패턴 과 상기 제 1 패턴 상 에 포개지 는 제 2 패턴 간 의 오버레이 오 차 를 결정 하 기 위한 방법 이 제공 되 며 , 상기 기판 은 상기 제 1 패턴 내 의 제 1 격자 및 상기 제 1 격자 의 최 상부 상 의 제 1 격자 를 포함 하 고 , 상기 제 2 격자 는 상기 제 1 격자 와 실질 적 으로 동일 한 피치 를 가지 고 , 상기 제 2 격자 및 상기 제 1 격자 는 제 1 복합 격자 를 형성 하 며 , 상기 방법 은 : 적어도 상기 제 1 복합 격자 를 , 상기 기판 - 상기 기판 은 고정 된 위치 에 있 음 - 의 표면 을 따르 는 제 1 수평 방향 을 적어도 소정 의 입사 각 으로 조명 하 는 제 1 조명 빔 을 제공 하 는 단계 , 상기 제 1 복합 격자 로부터 1 차 회절 빔 ( first order diffracted beam ) 의 제 1 세기 를 측정 하 는 단계 ; 적어도 상기 제 1 복합 격자 를 , 상기 기판 의 표면 을 따르 는 제 2 수평 방향 을 따라 소정 의 입사 각 으로 조명 하 는 제 2 조명 빔 을 제공 하 는 단계 - 상기 제 2 수평 방향 은 상기 제 1 수평 방향 과 대향 되 며 , 상기 기판 은 고정 된 위치 에 있 음 - , 및 상기 제 1 복합 격자 로부터 - 1 차 회절 빔 의 제 2 세기 를 측정 하 는 단계 를 포함 한다 .