도 5 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 노광 장치 를 도시 한다 . 위상 지 연기 ( 530 ) 는 제 1 위상 지 연기 ( 530 a ) 와 제 2 위상 지 연기 ( 530 b ) 를 포함 하 며 , 노광 마 스 크 ( 540 ) 의 배면 일부 에 위치 된다 . 이때 , 제 1 위상 지 연기 ( 530 a ) 과 제 2 위상 지 연기 ( 530 b ) 는 다른 두께 를 갖 는다 , 따라서 , 위상 지 연기 ( 530 ) 는 노광 마스크 ( 540 ) 에 구비 된 패턴 ( 544 ) 의 영역 에 따라 다른 편광 방향 을 갖 는 편광 광원 을 이용 하 여 노광 이 가능 해 패턴 별 로 노광 공정 마진 을 극대 화 할 수 있 다 .