도 9 를 참조 하 면 , 상기 제 1 상부 도전 막 ( 151 ) 이 형성 된 기판 ( 110 ) 상 에 제 1 절 연막 ( 161 ) 을 형성 한 다음 제 1 상기 절 연막 ( 161 ) 을 관통 하 여 상기 제 1 하부 도 전막 ( 131 ) 에 전기 적 으로 접속 하 는 제 1 하부 도전 성 플러그 ( 171 ) 및 제 2 하부 도전 막 ( 132 ) 을 형성 한다 .