" 전구체 기체 는 촉매 와 접촉 하 게 될 때 나노 구조물 을 성장 시키 는 기체 를 지칭 한다 . 상기 기체 는 전기 전도 성 또는 반 전도성 원소 를 함유 하 는 기체 를 지칭 할 수 도 있 다 . 예 시 적 인 전구체 기체 는 실란 이 다 . 전 구체 기체 의 "" 물질 "" 은 상기 촉매 와 반응 하 여 나노 구조물 을 형성 할 수 있 는 상기 기체 중 의 실제 원소 를 지칭 한다 . 예 시 적 인 물질 은 규소 이 다 . "