일 실시 예 에 있 어서 , 질소 전구체 와 같 은 제 2 전구체 또는 제 2 프로세싱 가스 혼합물 은 복수 의 외측 가스 도관 들 ( 245 ) 을 통해 제 2 프로세싱 가스 매니폴드 ( 204 B ) 로부터 온도 제어 채널 ( 204 C ) 을 통해 그리고 프로세싱 체적 ( 208 ) 내 로 전달 된다 . 외측 가스 도관 들 ( 245 ) 은 스테인리스 스틸 로 제조 된 원통형 튜브 들 일 수 있 다 . 외측 가스 도관 들 ( 245 ) 의 각각 은 각각 의 내측 가스 도관 ( 246 ) 주위 에 동심 적 으로 ( concentrically ) 위치 될 수 있 다 . 외측 가스 도관 들 ( 245 ) 의 각각 은 제 2 주요 측 ( 305 B ) 에 개구 ( 310 B ) 를 포함 한다 . 각각 의 개구 ( 310 B ) 는 흐름 경로 ( A 2 ) 를 따라 프로세싱 체적 ( 208 ) 에 제 2 전구체 를 전달 하 기 위해 표면 ( 289 ) 을 통해 형성 된다 . 외측 가스 도관 들 ( 245 ) 은 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 제 2 매니폴드 벽 ( 277 ) 및 제 3 매니폴드 벽 ( 278 ) 을 통해 배치 되 는 정렬 된 구멍 들 내 에 위치 된다 . 일 실시 예 에 있 어서 , 외측 가스 도관 들 ( 245 ) 은 납땜 과 같 은 적합 한 수단 에 의해 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 제 2 매니폴드 벽 ( 277 ) 에 각각 부착 된다 . 입력 라인 에 의해 전달 된 전구체 들 로부터 원격 플 라즈 마 시스템 ( 226 ) 에서 생산 된 플 라즈 마 종 ( species ) 들 은 도관 ( 204 D ) 을 통해 흐른다 . 플 라즈 마 종 들 은 흐름 경로 ( A 1 ) 에서 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 를 통해 프로세싱 체적 ( 208 ) 으로 분산 ( disperse ) 된다 . 플 라즈 마 종 들 은 가스 분배 샤워 헤드 조립 체 ( 204 ) 의 표면 ( 289 ) 을 통해 형성 된 개구 ( 310 C ) 를 통해 흐른다 .