도 2 내지 도 4 를 참조 하 면 , 공정 챔버 ( 400 a ) 는 기판 ( S ) 상 에 유기 물질 을 증착 하 는 공정 이 진행 되 는 공간 을 제공 한다 . 공정 챔버 ( 400 a ) 에 는 공정 진행시 공정 챔버 ( 400 a ) 내부 가 고진공 을 유지 하 도록 진공 펌프 ( 미 도시 ) 가 연결 되 는 진공 포트 ( 미 도시 ) 가 제공 된다 .