또한 , 본 실시 형태 의 제 1 순서 와 제 2 순서 를 비교 하 면 , 제 2 순서 에 비해 , 제 1 순서 쪽 이 성막 속도 가 높 은 것 을 알 수 있 다 . 한편 , 막 두께 분포 균일성 에 대해서 는 , 제 1 순서 에 비해 , 제 2 순서 쪽 이 양호 하 게 되 는 것 을 알 수 있 다 . 이러 한 점 으로부터 , 성막 속도 면 에서 는 제 2 순서 보다 제 1 순서 쪽 이 우수 하 고 , 막 두께 분포 균일성 면 에서 는 , 제 1 순서 보다 제 2 순서 쪽 이 우수 함 을 알 수 있 다 .