도 15 내지 도 17 을 참조 하 여 , 상기 제 1 실시 예의 다른 변형 예 가 설명 된다 . 도 15 를 참조 하 여 , 상기 도 1 내지 도 5 를 참조 하 여 설명 된 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 를 패 터닝 하 여 상기 개구부 들 ( 105 ) 로부터 이격 되 고 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 을 노출 하 는 트렌치 들 ( 200 ) 을 형성 할 수 있 다 . 본 실시 예 에서 , 상기 트렌치 들 ( 200 ) 은 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 의 상면 을 노출 할 수 있 다 . 즉 , 상기 트렌치 들 ( 200 ) 내 의 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 의 적어도 일부 는 상기 패 터닝 공정 에 의하 여 패 터닝 되 지 않 고 잔존 할 수 있 다 . 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 의 일부 가 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 잔존 하 여 , 상기 기판 ( 10 ) 이 노출 되 지 않 을 수 있 다 .