기판 지지 부재 ( 410 ) 의 아래 에 는 회전 부재 ( 420 ) 가 설치 되 고 , 회전 부재 ( 420 ) 상 에 소스 공급 부재 ( 440 ) 가 놓인다 . 회전 부재 ( 420 ) 는 기판 ( S ) 의 증착 면 에 평행 하 게 배치 되 는 회전 판 ( 422 ) 과 , 회전 판 ( 422 ) 에 수직 하 게 결합 되 는 회전 축 ( 424 ) 을 포함 한다 . 회전 축 ( 424 ) 은 회전 축 ( 424 ) 의 가상 의 연장선 이 기판 ( S ) 의 중심 을 통과 하 도록 정렬 되 고 , 모터 등 과 같 은 구동 부재 ( 미 도시 ) 에 연결 되 어 회전 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 회전 판 ( 422 ) 은 직사각 형 형상 의 판 부재 로 마련 되 고 , 회전 축 ( 424 ) 은 회전 판 ( 422 ) 의 길 이 방향 을 따라 어느 일단 에 수직 하 게 결합 되 어 , 전체 적 으로 회전 부재 ( 420 ) 가 외팔보 의 형상 을 가지 도록 제공 될 수 있 다 .