마스크 보유 지지 유닛 ( 22 ) 은 , 진공 용기 ( 20 ) 내 에 반입 된 마스크 ( M ) 를 보유 지지 하 는 수단 으로서 , 기판 보유 지지 유닛 ( 21 ) 의 아래쪽 에 설치 된다 . 마스크 보유 지지 유닛 ( 22 ) 에 는 마스크 ( M ) 가 재치 된다 . 마스크 ( M ) 는 기판 ( S ) 상 에 형성 될 박막 패턴 에 대응 하 는 개구 패턴 을 갖 는다 .