가스 공급 구멍 ( 420 a ) 은 , 이너 튜브 ( 204 ) 의 하부 로부터 상부 에 걸쳐 복수 마련 되 고 , 각각 동일 한 개구 면적 을 갖 고 , 또한 동일 한 개구 피치 로 마련 되 어 있 다 . 단 , 가스 공급 구멍 ( 420 a ) 은 상술 한 형태 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 이너 튜브 ( 204 ) 의 하부 로부터 상부 를 향해서 개구 면적 을 점차 크 게 해도 된다 . 이 에 의해 , 가스 공급 구멍 ( 420 a ) 으로부터 공급 되 는 가스 의 유량 을 보다 균일화 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .