이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 면 더미 하프톤 부 를 형성 함 으로써 하프톤 부 의 단부 에 대응 하 는 영역 이 노광 부 와 인접 함 으로 인한 과잉 노광 을 억제 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 박막 트랜지스터 의 채널 부 에 대응 하 는 포토레지스트 패턴 을 균일 한 두께 로 형성 할 수 있 으므로 채널 부 의 과잉 식각 을 억제 할 수 있 다 .