또한 , 공용 로더 ( 400 ) 의 하부 지지 부 ( 430 ) 는 본체 ( 401 ) 내부 에 구비 되 는 공용 로더 구동 용 제 2 모터 ( 미 도시 ) 에 의해 회전 가능 한 것 일 수 있 다 . 복수 의 슬롯 ( 410 ) 을 측면 에서 지지 하 는 측면 지지 부 ( 420 ) 의 존재 로 인하 여 , 공용 로더 ( 400 ) 가 회전 하 지 않 고 고정 되 어 있 는 경우 , 측면 지지 부 ( 420 ) 가 존재 하 는 방향 으로 는 웨이퍼 가 자유 롭 게 이송 될 수 없 다 .