그리고 이러 한 카세트 ( 10 ) 등 에 대한 세정 공정 을 수행 하 는 세정 챔버 는 외부 와 격리 된 별도 의 세정 공간 을 정의 하 고 , 이 의 일 측 에 는 대상물 의 반입 및 반출 을 위한 입구 가 제공 되 며 , 그 내부 로 는 DI 분사 노즐 및 이 로부터 분사 된 DI 를 사용 해서 대상물 을 세정 하 는 별도 의 세정 유닛 이 구비 되 고 , 슬라이딩 방식 도어 가 입구 의 전방 을 가로막 아 차단 하 거나 개방 하 는 구조 를 취하 고 있 다 .