시각 t ＝ 100 초 에서 는 , 도포 부 ( C ) 에서 의 제 2 기판 ( P 2 ) 의 도포 처리 가 종료 되 고 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 제 2 기판 ( P 2 ) 이 도포 부 ( C ) 로부터 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 반입 되 도록 반송 장치 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 한다 . 제 2 기판 ( P 2 ) 이 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 수수 되 면 , 그 곳 에서 의 제 2 기판 ( P 2 ) 의 노광 처리 가 개시 된다 . 이 때 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에서 는 , 노광 개시 로부터 50 초 밖에 경과 하 지 않 았 기 때문 에 , 아직 제 1 기판 ( P 1 ) 의 노광 처리 가 완료 되 어 있 지 않 다 . 한편 , 도포 부 ( C ) 에는 제 3 기판 ( P 3 ) 이 반입 된다 .