게다가 , 게이트 ( 122 ) 를 형성 하 기 위한 식각 공정 시 미스 얼라인 ( misalign ) 이 발생 하 여도 제 1 도 전막 ( 104 ) 측벽 에 제 1 스 페이서 ( 112 ) 가 형성 되 어 있 기 때문 에 제 1 도 전막 ( 104 ) 이 손실 되 지 않 는다 . 이 로써 게이트 ( 122 ) 는 게이트 절 연막 ( 102 ) , 제 1 도 전막 ( 104 ) , 베리어 메탈 막 ( 114 ) , 금속 막 ( 116 ) 및 하드 마스크 막 ( 118 ) 이 적층 된 구조 로 형성 된다 .