한편 , 챔버 에 설치 된 램프 에서 발생 된 빛 을 집광 하 여 웨이퍼 , 또는 기판 을 노광 시키 는 노광 설비 에 냉각 시스템 이 구비 되 는 실시 를 구현 할 수 있 다 . 즉 , 상기 냉각 시스템 은 , 상기 램프 에 저온 의 에어 를 분사 하 는 램프 냉 각부 ; 상기 챔버 의 측면 에 설치 되 어 내부 온도 를 일정 하 게 유지 시킬 수 있 도록 저온 의 물 이 공급 및 순환 되 는 냉각 파이프 ; 및 반사판 을 통해 집광 된 빛 을 렌즈 로 반사 시키 는 반사 미러 의 표 면 에 저온 의 에어 를 분사 하 는 미러 냉 각부 ; 를 포함 하 는 것 이 특징 이 다 .