또한 , 예 를 들 면 , 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 진공 반 송실 ( 13 ) 에 복수 의 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 를 접속 한 기판 처리 시스템 ( 1 ) 에서 는 , 모든 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 가 가동 하 고 있 을 때 에 는 , 반송 계 로서 는 끊임없이 웨이퍼 ( W ) 를 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 로 반송 하 고 있 다 . 그러나 , 기판 처리 시스템 ( 1 ) 에서 는 , 하나 의 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 가 포커스 링 ( 35 ) 의 교환 을 위해 반송 계 를 사용 해 버리 면 , 다른 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 정지 하 지 않 을 수 없 다 .