또한 , 빈번 하 게 발생 하 는 보조 탱크 의 수위 센서 고장 시 에 도 해당 고장 으로 인한 약품 액 투입 중단 상태 를 즉시 알 수 있 어 , 작업 액 탱크 로 약품 이 공급 되 지 못해 발생 하 는 대량 의 에칭 대상물 불량 이나 공정 중단 , 보조 탱크 의 공급 펌프 공회전 에 의한 펌프 파손 을 미연 에 방지 할 수 있 게 되 는 효과 도 있 다 .