보다 구체 적 으로 , 도 6 을 참조 하 면 , 제 1 신축 부 ( 320 ) 와 제 2 신축 부 ( 330 ) 중 어느 하나 만 의 길이 가 줄어들 면 , 예 를 들 어 , 제 2 신축 부 ( 330 ) 의 길이 가 줄어들 면 ( up ) , 제 2 신축 부 ( 330 ) 가 반시 계 방향 ( 제 2 신축 부 가 제 1 신축 부 에 인접 하 게 배치 되 는 방향 ) 으로 회전 함 과 동시 에 , 지지 프레임 ( 342 ) 은 스테이지 ( 100 ) 에 대해 경사지 게 틸팅 될 수 있 으며 , 그립 유닛 ( 340 ) 에 그립 된 기판 ( 10 ) 의 일변 이 스테이지 ( 100 ) 에 대해 리프팅 된다 .