이미지 시뮬레이터 ( 52 A ) 는 , 입력 데이터 ( ID 1 A ) 에 기초 하 여 , 입력 데이터 ( ID 1 A ) 로 나타나 는 광이 , 노광 장치 ( 도시 생략 ) 의 광학계 를 투과 하 여 기판 에 조사 되 었 을 때 의 기판 상 의 광 의 강도 분포 를 산출 한다 . 이미지 시뮬레이터 ( 52 A ) 는 , 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 와 동일 하 게 , 고속 푸리에 변환 및 역고 속 푸리에 변환 을 실시 하 지만 , 그 변환 에 사용 되 는 각종 파라미터 는 , 노광 장치 의 광학 특성 이 채용 된다 .