또한 , 에 어 베어링 이 기판 에 대해서 연마 패드 를 지지 함 은 물론 , 패드 컨디 셔 너 에 대해서 도 연마 패드 를 지지 하 도록 구비 되 므로 , 기판 의 연마 시 와 연마 패드 의 컨 디셔 닝 시 에 각각 독립 적 으로 압력 을 제공 할 수 있 다 . 또한 , 기판 의 연마 효율 을 일정 하 게 유지 함 과 더불 어 , 컨 디셔 닝 효과 도 향상 시킬 수 있 다 .