상기 서술 한 예 에서 는 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 의 모델 강도 분포 를 구성 하 는 이 산값 으로서 , 소정 의 함수 ( 예 를 들 어 hann 함수 W ( u ) ) 의 값 을 채용 하 였 다 . 그러나 , 반드시 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 모델 생 성부 ( 51 ) 는 , 포토 마스크 ( 80 ) 의 패턴 의 설계 도 데이터 ( 예 를 들 어 CAD ( computer - aided design ) 데이터 ) 에 기초 하 여 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 해도 된다 . 보다 구체 적 으로 는 , 모델 생 성부 ( 51 ) 는 , 고 공간 주파수 성분 을 제거 하 는 제거 처리 를 이 설계 도 데이터 에 대해 실시 하 여 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 해도 된다 . 제거 처리 로 는 , 블러 처리 라고 도 불리 는 필터링 또는 로우 패스 필터 처리 등 의 처리 를 채용 할 수 있 다 . 이 제거 처리 의 컷오프 주파수 로 는 , 공간 주파수 ( f 0 ) 의 4 분 의 1 이하 의 주파수 를 채용 하 면 된다 .