이하 , 본 발명 의 실시 형태 에 따른 압력 센서 에 대해서 도 1 을 참조 하 여 설명 한다 . 이 압력 센서 는 , 변위 가능 하 게 이루어져 측정 대상 의 기체 의 압력 을 수압 면 에서 받 는 다이어프램 ( 102 ) 과 , 다이어프램 의 변위 를 측정 하 도록 구성 된 측 정부 를 구비 한다 . 이 압력 센서 의 측 정부 는 , 다이어프램 ( 102 ) 의 가동 영역 ( 102 a ) 에 형성 된 가동 전극 ( 104 ) 과 , 가동 전극 ( 104 ) 을 마주 보 고 형성 된 고정 전극 ( 105 ) 을 구비 한다 . 이 압력 센서 는 , 소위 정전 용량 식 의 압력 센서 이 다 .