버퍼링 승강 수단 ( 140 ) 은 웨이퍼 ( W ) 를 슬러리 로 폴리 싱하 는 경우 버퍼링 ( 130 ) 을 하강 시켜서 웨이퍼 ( W ) 의 외주 와 리 테이 너링 ( 120 ) 사이 에 위치 하 도록 함 으로써 리 테이 너링 ( 120 ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 마찰 로 인해 발생 되 는 폴리 싱 패드 ( 21 ; 도 1 에 도시 ) 의 돌출 을 억제 함 과 아울러 폴리 싱 시 버퍼 역할 을 하 게 됨 으로써 웨이퍼 ( W ) 의 에지 부분 의 단차 가 과도 하 게 폴리 싱 되 는 것 을 방지 한다 .