도 1 을 참조 하 여 설명 하 면 볼 발명인 슬러리 공급 장치 는 연마 액 이 제조 및 보관 되 는 연마 액 탱크 ( 100 ) 와 , 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 연마 액 제조 에 사용 되 는 원료 와 , 세정 에 사용 되 는 세정 물질 을 공급 하 는 공급 부 ( 200 ) 와 , 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 에서 제조 된 연마 액 을 이송 하 는 순환 펌프 ( 300 ) 와 , 상기 순환 펌프 ( 300 ) 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 하 는 제 1 순환 부 ( 400 ) 와 , 상기 순환 펌프 ( 300 ) 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 피 공급 장치 ( M ) 를 거쳐 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 시키 는 제 2 순환 부 ( 500 ) ; 를 포함 하 여 이루어진다 . 상세히 설명 하 면 , 연마 액 은 일반 적 으로 불용 성 의 연마 입자 가 서스펜션 상태 로 들 어 있 어서 유동 성 을 가지 는 혼합물 인 슬러리 와 , 연마 액 에 첨가 되 는 과산화수소 와 같 은 첨가제 와 , 슬러리 를 희석 하 기 위한 초 순수 가 혼합 되 어 만들 어 지 므로 , 상기 공급 부 ( 200 ) 를 통해 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 연마 액 제조 에 필요 한 원료 를 주입 한 후 이 를 혼합 하 여 연마 액 을 제조 하 고 , 제조 된 연마 액 을 상기 제 1 순환 부 ( 400 ) 를 이용 하 여 순환 시켜 연마 액 에 함유 되 어 있 는 연마 입자 가 응집 되 는 것 을 방지 하 여 주 고 , 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 를 이용 하 여 일정 한 상태 로 유지 되 는 연마 액 을 반도체 제조 공정 이 진행 되 는 피 공급 장치 ( M ) 를 통해 다시 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 돌아오 게 순환 시켜 주 는 것 이 다 .