실시 예 2 와 같이 지지 기판 ( 10 ) 의 이면 ( 10 b ) 에 구멍 ( 13 ) 이 뚫려 있 으면 , 이면 ( 10 b ) 측 에 별도 기판 을 맞붙이 거나 해서 뚜껑 을 씌울 필요 가 있 으나 , 실시 예 ( 3 ) 의 구조 는 지지 기판 ( 11 ) 에 구멍 이 뚫려 있 지 않 기 때문 에 이면 측 의 밀폐 는 불 필요 해진다 . 그 이외 의 효과 는 실시 예 2 와 동일 하 다 .