본 발명 에 따른 제 5 실시 예 에서 도 상술 한 제 1 실시 예 와 같이 , 버스 바 ( 300 ) 가 하나 의 절 단선 ( 200 ) 에 인접 하 여 양측 에 한 쌍 으로 마련 되 므로 , 절 단선 ( 200 ) 에 따라 스크라이버 로 상기 웨이퍼 ( 100 ) 를 절단 할 때 , 한 쌍 의 버스 바 ( 300 ) 는 상기 스크라이버 의 가이드 기능 을 실현 할 수 있 고 , 레이저 조사 에 의한 스크라이빙 의 실행 시 인접 한 버스 바 ( 300 ) 에서 전극 의 열처리 를 통한 어닐링 의 효과 가 상승 된다 .