이 챔버 ( 10 ) 내 에 는 회전 가능 한 회전 용기 ( 20 ) 가 구비 되 며 , 이 회전 용 기 ( 20 ) 는 챔버 ( 10 ) 내 의 하부 에 배치 되 어 회전 용기 ( 20 ) 의 하부 를 지지 하 는 구동 부 ( 30 ) 에 의해 회전 가능 하 도록 구성 된다 . 회전 용기 ( 20 ) 의 회전 방향 은 도 1 에서 의 시계 방향 또는 반시 계 방향 어느 쪽 이나 가능 할 수 있 다 .