상기 제어 처리 기구 C 는 제 2 매스 플로우 컨트롤러 MFC 2 에 대해서 , 제 1 압력 센서 P 12 와 제 2 압력 센서 P 22 에 의해 검지 되 는 상기 유체 저항 R 2 에서 발생 하 는 압력 차 로부터 , 이 제 2 매스 플로우 컨트롤러 MFC 2 의 내부 유로 L 2 를 흐르 는 질량 유량 을 산출 한다 . 그리고 각 분기 유로 BL 1 , BL 2 를 흐르 는 유체 의 질량 유량 과 상기 메모리 에 격납 되 어 있 는 각 분기 유로 BL 1 , BL 2 의 목표 유량 비율 로부터 , 이 제 2 매스 플로우 컨트롤러 MFC 2 로 흘려야 할 목표 유량 을 상기 제어 처리 기구 C 는 산출 한다 . 상기 제어 처리 기구 C 는 제 2 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 , MFC 2 의 내부 를 흐르 는 질량 유량 과 목표 유량 의 편차 를 이용 하 여 제 2 매스 플로우 컨트롤러 MFC 2 의 유량 제어 밸브 V 2 를 피드백 제어 한다 .