이 에 대하 여 , 도 13 ( b ) 에서 는 , 트랙 킹 제어 마다 의 트랙 킹 편향 에 의한 오프셋 부착 의 묘화 시퀀스 의 일예 를 나타낸다 . 도 13 ( b ) 에서 는 , 트랙 킹 제어 마다 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 씩 만큼 여분 으로 되돌리 는 , 도 9 에 도시 한 묘화 시퀀스 를 실시 한 경우 를 나타내 고 있 다 . 도 13 ( b ) 에 도시 한 바 와 같이 , 트랙 킹 제어 마다 , 결함 빔 에서 조사 되 는 서브 조사 영역 ( 29 ) 을 1 개 씩 이탈 가능 함 을 알 수 있 다 . 따라서 , 1 회 의 트랙 킹 제어 로 4 화소 씩 묘화 하 는 경우 , 결함 화소 수 최대 값 을 4 로 할 수 있 다 .