이러 한 구성 을 갖 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 파손 방지 이재 로봇 시스템 은 기존 에 교시 자 별 로 다른 기준 을 가지 고 측정 한 이재 로봇 ( 200 ) 의 교시 위치 를 변위 센서 ( 300 ) 를 통해 측정 함 으로써 기준 을 통일 화 시키 고 , 미세 한 수치 까지 정확 하 게 측정 하 여 정확 한 교시 위치 를 제공 한다 .