표 4 에 나타낸 바 와 같이 , 본 발명 의 중합체 를 이용 한 유기 막 ( 실시 예 1 - 1 ∼ 1 - 17 ) 은 , PGMEA 처리 후 의 잔 막 률 이 99 % 이상 이 며 , 열처리 에 의해 가 교 반응 이 일어나 충분 한 용제 내성 을 발현 하 고 있 다는 것 을 알 수 있 다 . 그 에 반해 중합체 ( R 1 ) 만 을 이용한 ( 비교 UDL - 1 ) 은 가교 부위 가 없 기 때문 에 중합체 단독 으로 는 용제 내성 이 발현 되 지 않 고 , 용제 내성 을 발현 시키 기 위해서 는 산 발생 제 와 가교제 를 첨가 할 필요 가 있 었 다 . 이 들 의 결과 로부터 본 발명 의 중합체 중 에 도입 한 부분 구조 가 열가 교기 로서 유효 하 게 기능 하 고 있 다는 것 을 알 수 있 다 .