계속 해서 게이트 밸브 를 폐쇄 하 여 , 진공 펌프 ( 640 ) 에 의해 도달 가능 진공도 까지 진공 용기 ( 1 ) 내 를 배기 한 후 , 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 로부터 분리 가스 인 Ar 가스 를 소정 의 유량 으로 토출 하 고 , 분리 가스 공급 관 ( 51 ) 및 퍼지 가스 공급 관 ( 72 , 73 ) 으로부터 도 Ar 가스 를 소정 의 유량 으로 토출 한다 . 이 에 수반 하 여 , 압력 제어 수단 ( 650 ) ( 도 1 ) 에 의해 진공 용기 ( 1 ) 내 를 미리 설정 한 처리 압력 으로 제어 한다 . 계속 해서 , 회전 테이블 ( 2 ) 을 시계 방향 으로 , 예 를 들 어 5 rpm 의 회전 속도 로 회전 시키 면서 히터 유닛 ( 7 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 , 예 를 들 어 400 ℃ 로 가열 한다 . 회전 테이블 ( 2 ) 의 회전 속도 는 용도 에 따라 다양 한 회전 속도 로 설정 할 수 있 다 . 또한 , 플라스마 발생기 ( 80 , 80 a ) 도 작동 시킨다 .