본 발명 은 , 이 동체 구동 시스템 , 패턴 형성 장치 , 노광 장치 및 노광 방법 , 그리고 디바이스 제조 방법 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 , 인코더 시스템 을 사용 하 여 이 동체 의 위치 를 계측 하 고 , 실질 적 으로 소정 평면 을 따라 이 동체 를 구동 하 는 이 동체 구동 시스템 , 그 이 동체 구동 시스템 을 구비 하 는 패턴 형성 장치 , 상기 이 동체 구동 시스템 을 구비 한 노광 장치 및 상기 이 동체 구동 시스템 을 사용 하 는 노광 방법 , 그리고 그 노광 장치 또는 상기 노광 방법 을 이용 하 는 디바이스 제조 방법 에 관한 것 이 다 .