상기 일 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 식각 방법 은 제 1 플 라즈 마 식각 모듈 로 기판 의 주변 부 를 식각 한 후 , 상기 기판 을 상기 제 1 플 라즈 마 식각 모듈 로부터 제 2 플 라즈 마 식각 모듈 로 이송 한다 . 이후 , 상기 기판 의 이면 을 식각 한다 . 여기 서 , 상기 기판 식각 방법 은 상기 기판 을 제 2 플 라즈 마 유닛 으로부터 언 로딩 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .