다음 으로 , 도 5 e 에 나타낸 바 와 같이 산화 방지 막 ( 55 ) 위 , 소정 의 위치 에 개구부 를 갖 는 레지스 트 패턴 ( 95 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 레지스 트 패턴 ( 95 ) 을 마스크 로 하 여 산화 방지 막 ( 55 ) 등 의 에칭 을 행함 으로써 , 콘택트 플러그 ( 52 d ) 까지 도달 하 는 콘택트 홀 ( 56 d ) 을 형성 한다 .