서 셉 터 ( 30 ) 는 챔버 ( 10 ) 내 의 증착 공간 ( S ) 에서 상하 로 승강 한다 . 즉 , 유리 기판 ( G ) 이 로딩 될 때 는 챔버 ( 10 ) 내 의 바닥 면 ( 11 ) 영역 에 배치 되 어 있 다가 유리 기판 ( G ) 이 로딩 되 고 증착 공정 이 진행 될 때 는 유리 기판 ( G ) 이 가스 분배 판 ( 17 ) 에 인접 할 수 있 도록 부상 한다 . 증착 공정 시 , 서 셉 터 ( 30 ) 의 기판 로딩 부 ( 31 ) 는 가스 분배 판 ( 17 ) 의 하면 에 대략 수십 밀리미터 ( mm ) 정도 의 간격 까지 부상 한다 .