도 4 를 참조 하 면 , 간섭무늬 에서 어두운 부분 은 빛 의 세기 가 약한 부분 을 나타내 고 , 밝 은 부분 은 빛 의 세기 가 강한 부분 을 나타낸다 . 기판 상 의 포토레지스트 막 을 상기 간섭무늬 를 갖 는 노광 광 으로 노광 하 면 , 포지티브 포토레지스트 인 경우 밝 은 부분 이 현상 되 어 제거 되 고 , 네거티브 포토레지스트 인 경우 어두운 부분 이 현상 되 어 제거 될 수 있 다 .