상기 제어 유닛 은 , 상기 공급 탱크 내부 의 약액 수위 를 측정 하 는 수위 센서 ; 상기 공급 탱크 내부 의 압력 을 측정 하 는 제 2 압력 센서 ; 상기 제 2 압력 센서 와 연동 되 고 , 상기 반도체 생상 장치 에서 의 약액 공급 신호 가 수신 되 면 상기 가스 조절 유닛 을 제어 하 여 상기 공급 탱크 내부 의 압력 을 설정 된 압력 으로 조절 하 는 압력 조 절부 ; 상기 공급 탱크 내부 의 압력 이 설정 압력 으로 형성 되 면 , 상기 반도체 생산 장치 로 상기 약액 을 공급 할 수 있 도록 상기 제 4 밸브 를 제어 하 여 상기 배출 라인 을 개폐 하 는 약액 배 출부 ; 및 상기 약액 배 출부 와 동시 에 작동 될 수 있 고 , 상기 수위 센서 및 상기 제 1 압력 센서 와 연동 되 어 상기 공급 탱크 내부 의 약액 수위 가 설정 된 수위 아래 로 떨어지 면 상기 공급 탱크 내부 의 압력 보다 높 게 상기 유입 펌프 의 압력 을 조절 하 며 , 상기 제 3 밸브 를 제어 하 여 상기 유입 라인 을 개폐 하 는 약액 유입 부를 포함 할 수 있 다 .