도 6 a 를 참고 하 면 , 기존 의 증착 장치 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 접촉 한 경우 , 기체 차단 클램프 와 기판 이 접촉 하 고 있 는 기판 의 가장자리 에 증착 된 박막 의 표면 색 과 기판 의 다른 영역 에 증착 되 어 있 는 박막 표면 색 이 서로 크 게 차이 남 을 알 수 있 다 . 이러 한 박막 표면 색 의 차이 는 증착 된 막 의 두께 가 서로 다르 다는 것 을 의미 한다 . 즉 , 기판 의 가장자리 에서 박막 의 균 일도 가 크 게 낮 아 짐 을 알 수 있 다 .