COT 가 23 ± 4 ℃ 의 범위 , 즉 19 ℃ ( 즉 , 23 - 4 ℃) 내지 27 ℃ ( 즉 , 23 + 4 ℃) 의 범위 에 있 고 열 팽창 계수 가 0 ± 5 ppb / ℃ 일 때 온도 범위 Δ T 가 5 ℃ 이상 인 경우 , EUV 광 조사 시 의 광학 부재 의 온도 조건 하 ( 22 ± 2 ℃) 에서 , 상기 광학 부재 의 열 팽창 계수 는 거의 0 이 다 . 본 명세서 에서 , " "" 열 팽창 계수 가 거의 0 임 "" 이 라는 구문 은 열 팽창 계수 가 0 ± 5 ppb / ℃ 인 것 을 의미 한다 . "