다중 주파수 유도 코일 을 갖 는 페라이트 코어 를 구비 한 플 라즈 마 발생기 및 이 를 구비 한 플 라즈 마 처리 챔버 가 게시 된다 . 본 발명 의 플 라즈 마 발생기 및 프라 즈 마 처리 장치 는 내부 에 기판 이 놓이 는 서 셉 터 가 마련 되 고 상부 면 에 적어도 두 개 의 홀 이 형성 된 프로세스 챔버 , 프로세스 챔버 상부 의 두 개 의 홀 에 연결 되 는 양단 이 외부 방전관 , 제 1 주파수 를 갖 는 제 1 전원 공급원 , 제 2 주파수 를 갖 는 제 2 전원 공급원 , 서 셉 터로 바이어스 전원 을 공급 하 기 위한 제 3 전원 공급원 , 외부 방전관 에 장착 되 는 페라이트 코어 , 페라이트 코어 에 권선 되 고 제 1 전원 공급원 에 연결 되 는 제 1 유도 코일 및 , 페라이트 코어 에 권선 되 고 제 2 전원 공급원 에 연결 되 는 제 2 유도 코일 을 포함 한다 . 제 1 주파수 에 의해 제 1 유도 코일 로부터 발생 되 는 제 1 유도 기전력 과 제 2 주파수 에 의해 제 2 유도 코일 로부터 발생 되 는 제 2 유도 기전력 에 의해 외부 방전관 과 프로세스 챔버 로 플 라즈 마가 발생 된다 . 본 발명 의 다중 주파수 유도 코일 을 갖 는 페라이트 코어 를 구비 한 플 라즈 마 발생기 및 이 를 구비 한 플 라즈 마 처리 장치 에 의하 면 , 넓 은 볼륨 의 플 라즈 마 를 발생 하 면서도 플 라즈 마의 밀도 와 이온 에너지 의 제 어 및 전자 온도 ( 전자 에너지 분포 ) 를 균일 하 게 제어 할 수 있 다 .