도시 한 예 에서 는 , 가이드 로드 ( 307 a ) 의 선 단부 에 고정 된 캡 ( 307 i ) 에 연결 훅 ( 307 c ) 이 마련 됨 과 함께 , 캡 ( 307 i ) 의 측면 에 옆쪽 으로 연장 하 는 위치 결정 편 ( 307 d ) 이 마련 되 어 있 다 . 한편 , 캐리어 본체 ( 302 A ) 측 에 는 , 이 위치 결정 편 ( 307 d ) 이 , 척 본체 ( 307 x ) 의 상단 위치 에서 접촉 하 는 상단 로크 편 ( 307 f ) 과 , 하단 위치 를 로크 하 는 하단 스톱 퍼 ( 307 e ) 에 선택 적 으로 결합 가능 하 게 되 어 있 다 . 상단 로크 편 ( 307 f ) 은 수평 방향 으로 이동 가능 하 게 되 어 있 고 , 상단 위치 에서 위치 결정 편 ( 307 d ) 의 하면 에 결합 하 는 결합 위치 와 , 위치 결정 편 ( 307 d ) 으로부터 떨어지 는 퇴피 위치 사이 를 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 상단 로크 편 ( 307 f ) 이 퇴피 위치 에 있 을 때 , 위치 결정 편 ( 307 d ) 이 하방 으로 이동 가능 해 지 고 , 하단 스톱 퍼 ( 307 e ) 에 접촉 함 으로써 , 척 본체 ( 307 x ) 의 캐리어 본체 ( 302 A ) 에 대한 하강 위치 가 규제 된다 . 이 하강 한계 는 , 마스크 ( M ) 를 자기 흡착 하 는 위치 이 지만 , 척 본체 ( 307 x ) 와 정 전척 ( 308 ) 의 사이 에 는 약간 틈 을 마련 하 고 있 다 . 이 에 의해 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 중량 이 정 전척 ( 308 ) 에 작용 하 는 것 을 회피 하 고 있 다 .