구체 적 으로 , 대기 반송 로봇 ( 3 a ) 이 구동 함 으로 인해 , 로봇 핸드 ( 3 c ) 가 기판 카세트 ( 4 ) 에서 처리 전 기판 ( SP ) 을 취 출한 다 . 로봇 핸드 ( 3 c ) 는 처리 전 기판 ( SP ) 을 반송 방향 ( TD ) 을 따라 개구 공간 ( OP 1 ) 을 통과 시키 고 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 내부 에 처리 전 기판 ( SP ) 을 반송 한다 .