그 때문 에 , 본 형태 에서 는 , 제 1 암부 ( 10 ) 및 제 2 암부 ( 11 ) 의 길이 를 길 게 하 여 , 암 ( 4 ) 이 펴져 있 을 때 의 암 ( 4 ) 의 전후 방향 의 길이 를 길 게 해도 , 펴져 있 는 암 ( 4 ) 이 오그라들 때 , 제 1 암부 ( 10 ) 와 제 2 암부 ( 11 ) 의 연결 부분 이나 제 2 암부 ( 11 ) 와 핸드 ( 3 ) 의 연결 부분 이 2 개 의 지주 ( 16 ) 에 간섭 하 는 것 을 방지 하 는 것 이 가능 하 게 된다 . 따라서 , 본 형태 에서 는 , 핸드 ( 3 ) 에 탑재 되 는 웨이퍼 ( 2 ) 를 전방 측 을 향하 여 문형 프레임 ( 6 ) 으로부터 보다 이격 되 어 있 는 위치 까지 반송 하 는 것 이 가능 하 면서 도 , 암 ( 4 ) 과 지주 ( 16 ) 의 간섭 을 방지 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .