본 발명 의 반도체 제조 설비 의 온도 조절 장치 는 , 기판 이 안착 되 는 플 래 이 트 와 ; 상기 플 래 이 트 의 복수 영역 에 각각 구비 되 어 상기 기판 의 온도 를 조절 하 기 위해 상기 플 래 이 트 를 가열 하 는 복수 개 의 히터 들 과 ; 상기 플 래 이 트 의 복수 영역 에 대한 온도 를 각각 감지 하 는 복수 개 의 센서 들 및 ; 상기 센서 들 로부터 상기 플 래 이 트 의 복수 영역 에 대한 감지 된 온도 정보 를 받 아서 상기 반도체 제조 설비 의 공정 에 적합 하 도록 상기 히터 들 을 제어 하 여 기판 의 온도 를 균일 하 게 조절 하 는 제 어부 를 포함 한다 .