상기 플 래 튼 ( 2 ) 은 , 원반 형상 으로 형성 되 고 , 그 하 면 중앙 에 는 회전축 ( 4 ) 이 연결 되 어 있 고 , 모터 ( 5 ) 의 구동 에 의하 여 화살표 A 방향 으로 회전 한다 . 상기 플 래 튼 ( 2 ) 의 상면 에 는 연마 패드 ( 6 ) 가 접착 되 어 있 고 , 이 연마 패드 ( 6 ) 상 에 도시 하 지 않 은 노즐 로부터 연마제 와 화학 약품 과 의 혼합물 인 슬러리 가 공급 된다 .