또한 , 복수 의 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 에 기판 ( 17 ) 을 흡착 상태 로 고정 한 때 에 는 , 기판 ( 17 ) 의 외측 모서리 부분 이 굽 어 져서 , 기판 ( 17 ) 의 하 부면 의 외측 모서리 부분 이 베이스 바디 ( 12 ) 의 상부 면 ( 12 a ) 의 외측 모서리 부분 ( 12 b ) 과 밀착 접촉 하 기 때문 에 , 불활성 가스 가 가스 충 진부 ( 19 ) 의 외부 로 누출 됨 으로써 발생 하 는 진공 처리 챔버 내 에서 의 진공도 ( vacuum degree ) 의 열화 를 방지 할 수 있 다 .