상기 다 관능 성 하이드로 실란 화합물 로 는 , 테트라메틸 디 실록 산 , 헥사 메틸 트리 실록 산 등 의 디 메틸 하이드로 젠 실릴 기 에 의해 말단 이 봉쇄 된 폴리 혹은 올리 고 실록 산 이나 , 1 , 3 , 5 , 7 - 테트라 하이드 로젠 - 1 , 3 , 5 , 7 - 테트라메틸 시 클로 테트라 실록 산 , 1 - 프로필 - 3 , 5 , 7 - 트리 하이드 로젠 - 1 , 3 , 5 , 7 - 테트라메틸 시 클로 테트라 실록 산 , 1 , 5 - 디하 이드 로 젠 - 3 , 7 - 디 헥 실 - 1 , 3 , 5 , 7 - 테트라메틸 시 클로 테트라 실록 산 , 1 , 3 , 5 - 트리 하이드 로젠 - 1 , 3 , 5 - 트리 메틸 시 클로 실록 산 , 1 , 3 , 5 , 7 , 9 - 펜 타하 이드 로 젠 - 1 , 3 , 5 , 7 , 9 - 펜 타 메틸 시 클로 실록 산 , 1 , 3 , 5 , 7 , 9 , 11 - 헥사 하이드로 젠 - 1 , 3 , 5 , 7 , 9 , 11 - 헥사 메틸 시 클로 실록 산 등 의 하이드로 실릴 기 를 함유 하 는 고리 형 실록 산 등 이 예시 되 는데 , 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .