건식 식각 공정 은 공정 챔버 ( process chamber ) 내 에서 수행 될 수 있 다 . 이러 한 공정 챔버 에서 는 ACP 플레이트 의 내부 에 설치 되 는 냉각 라인 ( cooling line ) 을 통해 클린 드라이 에어 ( CDA ; Clean Dry Air ) 를 유입 시켜 히팅 ( heating ) 또는 냉각 ( cooling ) 시킴 으로써 , 탑 윈도우 ( top window ) 의 온도 를 제어 하 고 있 다 .