아이 포인트 를 확립 하 기 위하 여 사용 되 는 알고리즘 은 많 은 상이 한 전략 들 을 포함 하 는데 , 예 를 들 어 , ( 1 ) 모양 들 / 형태 들 의 최소 의 수 가 알고리즘 에서 미리 결정 될 수 있 고 , 이렇게 미리 결정 된 수 의 모양 들 / 형태 들 이 티칭 되 면 , 알고리즘 은 참조 프레임 에 대하 여 및 / 또는 서로 에 대하 여 , 티칭 된 모양 들 / 형태 들 의 장소 를 계산 하 는 단계 와 같 은 프로세스 의 다른 부분 으로 이동 할 수 있 다 ; ( 2 ) 티칭 과정 동안 에 요구 되 는 소정 의 모양 들 / 형태 들 을 , 그러 한 형태 들 의 찾기 실패 가 아이 포인트 의 규정 실패 를 초래 하 도록 규정 한다 ; ( 3 ) 소정 의 모양 들 / 형태 들 에 그 들 각각 의 임계 성 들 ( criticalities ) 또는 계측 성 들 ( predectabilities ) 을 기반 으로 웨이트 가 주어지 는 웨이팅 시스템 - 그러 한 웨이팅 시스템 은 프로세스 될 반도체 디바이스 의 스코 어 를 규정 하 는 데 에 사용 됨 - 을 채택 한다 ; ( 4 ) 만약 아이 포인트 에 포함 되 기 위하 여 선택 된 모든 요구 되 는 모양 들 / 형태 들 이 비전 시스템 ( 예 를 들 어 , 이미 징 카메라 ) 의 단일 시야 에 적합 하 다면 , 그러면 단일 발견 동작 ( single find operation ) 이 아이 포인트 의 소재 를 파악 하 는 데 사용 될 수 있 다 ; ( 5 ) 만약 요구 되 는 형태 들 이 상기 시야 에 적합 하 지 않 다면 , 개별 형태 들 ( 예 를 들 어 , 아이 포인트 의 개별 본드 패드 들 ) 의 소재 가 파악 된 후 , 개별 적 으로 소재 가 파악 된 형태 들 의 데이터 를 조합 함 으로써 완전히 티칭 된 패턴 ( 예 를 들 어 , 개별 형태 들 의 상대 적 인 위치 들 을 포함 ) 이 얻 어 질 수 있 다 ; 및 / 또는 ( 6 ) 티칭 페이즈 ( phase ) 동안 에 신뢰 성 을 증가 시키 기 위하 여 다중 의 ( 그리고 아마도 여분 의 ) 티칭 알고리즘 들 을 적용 한다 . 특히 이러 한 전략 들 의 임의 의 조합 도 본 발명 의 범위 내 에서 채택 될 수 있 다 .