본 실시 예 에서 , 제 1 , 제 2 및 제 3 패턴 부 ( 1 AE , 2 AE , 3 AE ) 는 레이저 빔 이 기판 ( 10 ) 상부 의 같 은 위치 에 중복 하 여 조사 되 지 않 도록 서로 대응 되 는 패턴 을 갖 는다 . 이때 , 제 1 , 제 2 및 제 3 패턴 부 ( 1 AE , 2 AE , 3 AE ) 는 상기 길 이 방향 의 중심 , 즉 제 2 및 제 2 패턴 부 ( 2 AE ) 의 중앙 서브 패턴 부를 기준 으로 서로 대칭 구조 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 .