도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 종래 의 보트 ( 9 ) 는 플레이트 ( 1 ) 와 , 결합 부 ( 2 ) 로 구성 된다 . 플레이트 ( 1 ) 는 일 방향 으로 길 게 형성 된 평판 형상 으로 형성 되 며 , 기판 이 탑재 되 는 지점 에 는 관 통공 ( 1 a ) 이 형성 되 어 있 다 . 이 플레이트 ( 1 ) 는 복수 로 구비 되 며 , 서로 일정 한 간격 으로 서로 대면 하 도록 배치 된다 . 그리고 , 후술 하 는 바 와 같이 박막 증착 공정 시 플레이트 사이 에 플 라즈 마가 형성 되 도록 , 플레이트 에 는 양 전압 ( +) 및 음전압 ( -) 이 인가 된다 . 즉 , 플레이트 가 전극 으로 활용 되 며 , 이 를 위해 플레이트 는 도전 성 소재 인 흑연 으로 이루어진다 . 결 합부 ( 2 ) 는 각 플레이트 ( 1 ) 의 하단 부 에 결합 되 며 , 복수 의 플레이트 ( 1 ) 가 일정 한 간격 으로 유지 되 도록 고정 한다 . 이 와 같이 구성 된 보트 ( 9 ) 에 있 어서 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 각 플레이트 ( 1 ) 의 사이 사이 에 기판 ( w ) 이 탑재 된다 .