제 1 전극 ( 140 ) 은 챔버 ( 110 ) 와 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 따라서 , 챔버 ( 110 ) 가 전기 적 으로 접지 될 경우 , 제 1 전극 ( 140 ) 도 접지 될 수 있 다 . 따라서 , 스테이지 ( 120 ) 에 고주파 에너지 가 인가 되 고 챔버 ( 110 ) 및 제 1 전극 ( 140 ) 이 접지 될 경우 제 1 전극 ( 140 ) 의 상부 에 플 라즈 마로 여기 된 공정 가스 가 존재 할 수 있 다 . 그 결과 , 제 1 전극 ( 140 ) 의 상부 에 존재 하 는 플 라즈 마로 여기 된 공정 가스 를 이용 하 여 제 1 전극 ( 140 ) 의 상부 에 배치 된 기판 의 주변 부 가 식각 될 수 있 다 .