도전 패턴 들 ( CP 1 내지 CPn ) 각각 은 도프 트 실리콘 막 , 금속 막 , 금속 실리사이드 막 및 베리 어막 등 의 다양 한 도전 물 을 포함 할 수 있 고 , 2 종 이상 의 도전 물 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도전 패턴 들 ( CP 1 내지 CPn ) 각각 은 텅스텐 및 텅스텐 의 표면 을 감싸 는 티타늄 질화 막 ( TiN ) 을 포함 할 수 있 다 . 텅스텐 은 저 저항 메탈 로서 , 도전 패턴 들 ( CP 1 내지 CPn ) 의 저항 을 낮출 수 있 다 . 티타늄 질화 막 ( TiN ) 은 베리 어막 으로서 , 텅스텐 과 층간 절 연막 들 ( ILD ) 사이 의 직접 적 인 접촉 을 방지 할 수 있 다 .