예컨대 , 다양 한 실시 예 들 에서 , 기판 - 존재 센서 ( 509 ) 는 , 일단 기판 ( 119 ) 이 챔버 내부 에서 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 들 상 에 배치 되 면 광 빔 을 방출 하 는 방출 기 - 수신기 유형 의 센서 일 수 있 다 . 기판 - 존재 센서 ( 509 ) 에 대해 챔버 의 대향 하 는 측 상 에 ( 예컨대 , 챔버 ( 500 ) 의 후면 측 에 ) 설치 된 수신기 ( 도시 되 지 않 음 ) 는 센서 에 의해 방출 된 빔 을 수신 하 고 , 기판 이 수직 으로 배치 되 고 기판 유지 메커니즘 에 적절 하 게 배향 된다는 입력 을 제어 프로세서 ( 도시 되 진 않 지만 통상 의 기술자 에게 이해 가능 함 ) 에 제공 한다 . 웨이퍼 가 적절 하 게 배치 되 지 않 은 경우 , 시스템 은 오류 메시지 를 제공 하 고 , 기판 이 제거 되 어 적절 하 게 재 삽입 될 때 까지 , 기계 가 작동 하 는 것 을 방지 한다 .