상기 층 으로 는 , 구리 또는 구리 합금 을 갖 는 배선 과 배리어 메탈 로 이루어지 는 배선 을 갖 는 배선 층 , 및 트랜지스터 와 그 배선 층 을 전기 적 으로 접속 하 는 콘택트 플러그 ( 전극 ) 를 갖 는 콘택트 플러그 층 이 있 으며 , 배선 층 및 콘택트 플러그 층 의 각각 이 , 동일 한 공정 에서 기판 상 에 형성 되 고 , 동일 하 게 CMP 공정 에 의해 평탄 화 처리 된다 .