상기 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 는 퍼지 가스 분사 공간 ( S 3 ) 에 공통 적 으로 연통 되 도록 소정 간격 으로 형성 된 복수 의 퍼지 가스 분사 홀 ( 433 h ) 을 포함 하 여 이루어진다 . 그리고 , 상기 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 는 급전 케이블 ( 172 ) 을 통해 전원 공급 수단 ( 170 ) 에 전기 적 으로 접속 된다 . 상기 급전 케이블 ( 172 ) 에 는 임피던스 매칭 회로 ( 174 ) 가 접속 될 수 있 다 . 상기 임피던스 매칭 회로 ( 174 ) 는 전원 공급 수단 ( 170 ) 으로부터 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 에 공급 되 는 플 라즈 마 전원 의 부하 임피던스 와 소스 임피던스 를 정합 시킨다 .