도면 부호 815 에서 , 하나 이상 의 S - D 이송 시스템 을 이용 하 여 수납 될 수 있 는 하나 이상 의 웨이퍼 에 대해 S - D 웨이퍼 데이터 및 / 또는 N - S - D 웨이퍼 데이터 가 결정 될 수 있 다 . 웨이퍼 데이터 는 S - D 및 N - S - D 웨이퍼 의 세트 를 확립 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 다양 한 예 들 에서 , S - D 웨이퍼 와 연관 된 S - D 웨이퍼 데이터 는 S - D , 칩 종속 적 , 생산품 종속 적 , 로케이션 종속 적 , 층 종속 적 , 웨이퍼 종속 적 , 다 이 종속 적 , 또는 이 들 의 조합 일 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 S - D 처리 시퀀스 가 웨이퍼 에 대해 확립 될 수 있 고 , S - D 처리 시퀀스 는 S - D 웨이퍼 상태 데이터 , 칩 종속 적 웨이퍼 상태 데이터 및 / 또는 다 이 종속 적 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 확립 될 수 있 다 .