이동 가능 한 대상물 의 위치 의존 적 신호 ( position dependent signal ) 를 측정 하 는 높 은 정확 성 의 측정 시스템 , 바람직 하 게 는 인코더 - 타입 의 측정 시스템 을 포함 한 스테이지 장치 를 제공 하 는 것 이 바람직 하 며 , 이때 측정 의 정확 성 은 외란 들 , 특히 대상물 테이블 의 이동 에 의해 야기 된 외란 들 에 실질 적 으로 적 은 영향 을 받 는다 .