도 38 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 수지 성형 장치 ( 7021 ) 는 , 기판 ( WT ) 을 지지 하 는 스테이지 ( 7204 ) 와 , 스테이지 ( 7204 ) 에 마련 된 개구부 ( 7204 a ) 의 상방 에 배치 된 자외선 조사 부 ( 53 ) 를 구비 한다 . 한편 , 도 37 A 내지 도 39 B 에 있 어서 , 실시 예 2 와 동일 한 구성 에 대해서 는 도 15 와 동일 한 부호 를 부여 하 고 있 다 . 수지 성형 장치 ( 7021 ) 는 , 수지 ( R 1 ) 가 주입 된 몰드 ( MB ) 를 기판 ( WT ) 에 가압 한 상태 에서 , 자외선 조사 부 ( 53 ) 에 의해 수지 ( R 1 ) 에 자외선 을 조사 하 는 것 에 의해 , 기판 ( WT ) 상 에 수지 부 를 성형 한다 . 또한 , 이 수지 성형 장치 ( 7021 ) 에 기판 ( WT ) 또는 몰드 ( MB ) 의 얼라인먼트 기능 을 부가 하 고 , 기판 ( WT ) 과 몰드 ( MB ) 사이 에 수지 ( R 2 ) 가 개재 된 상태 에서 위치 어긋남 을 수정 할 수 도 있 다 . 수지 성형 장치 ( 7021 ) 는 , 예 를 들 면 몰드 ( MB ) 의 3 군데 이상 에 있 어서 , 레이 저광 을 이용 하 여 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 과 몰드 ( MB ) 의 평탄면 사이 의 거리 를 측정 하 는 거리 측 정부 ( 미 도시 ) 와 , 몰드 ( MB ) 의 자세 를 조정 하 는 몰드 자세 조정부 ( 미 도시 ) 를 구비 한다 . 그리고 , 몰드 자세 조정부 는 , 거리 측 정부 의 측정 결과 에 기초 하 여 , 몰드 ( MB ) 의 기판 ( WT ) 에 대한 평행 도와 , 몰드 ( MB ) 의 평탄면 과 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 사이 의 거리 를 조정 한다 .