상기 적층 구조물 ( GS ) 은 교대 로 반복 적 으로 적층 되 는 층간 절연 층 들 및 게이트 층 들 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 1 적층 그룹 ( 100 ) 은 교대 로 반복 적 으로 적층 되 는 제 1 층간 절연 층 들 ( 110 ) 및 제 1 게이트 층 들 ( 120 ) 을 포함 할 수 있 고 , 상기 제 2 적층 그룹 ( 200 ) 은 교대 로 반복 적 으로 적층 되 는 제 2 층간 절연 층 들 ( 210 ) 및 제 2 게이트 층 들 ( 220 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 게이트 층 들 ( 120 , 220 ) 은 상기 기판 ( 10 ) 의 상기 상면 ( 10 s ) 과 실질 적 으로 평행 할 수 있 다 . 상기 제 1 적층 그룹 ( 100 ) 은 상기 제 1 게이트 층 들 ( 120 ) 중 최상위 에 위치 하 는 제 1 최상위 게이트 층 ( 120 U ) 및 최 하위 에 위치 하 는 제 1 최하위 게이트 층 ( 120 L ) 을 포함 할 수 있 으며 , 상기 제 1 층간 절연 층 들 ( 110 ) 중 최상위 에 위치 하 는 제 1 최상위 층간 절연 층 ( 110 U ) 및 최 하위 에 위치 하 는 제 1 최하위 층간 절연 층 ( 110 L ) 을 포함 할 수 있 다 .