여기 에서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 일방 의 대각선 상 에 위치 하 는 1 쌍 의 헤드 ( 60 A , 60 C ) 는 , Y 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 헤드 이 다 . 또 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 다른 일방 의 대각선 상 에 위치 하 는 1 쌍 의 헤드 ( 60 B , 60 D ) 는 , X 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 헤드 이 다 . 헤드 ( 60 A ∼ 60 D ) 의 각각 으로 는 , 예 를 들 어 미국 특허 제 7 , 238 , 931 호 명세서 , 및 국제 공개 제 2007 / 083758 호 팜플렛 등 에 개시 된 헤드 ( 인코더 ) 와 동일 한 구성 인 것 이 사용 된다 . 단 , 본 실시 형태 에서 는 , 후술 하 는 바 와 같이 광원 및 광 검출기 는 각 헤드 의 외부 에 형성 되 고 , 광학계 만 이 각 헤드 의 내부 에 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 광원 및 광 검출기 와 광학계 는 , 후술 하 는 광 파이버 를 포함 하 는 광 통신 경로 를 통하 여 광학 적 으로 접속 되 어 있 다 .