본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 2 단계 의 상기 폴 리디 메틸 실록 산 위 에 폴리 이미드 를 스핀 코팅 하 는 방법 은 , 핫플레이트 ( Hotplat ) 를 통해 Cure Process 가 실시 되 되 , 1 차 110 ˚ C / 5 min , 2 차 150 ˚ C / 10 min 동안 실시 하 며 , 3 차 는 진공 상태 에서 250 ˚ C / 90 min 동안 실시 되 는 것 을 특징 으로 한다 .