중간층 은 , 조성 이 층 두께 방향 전체 에 걸쳐 연속 적 으로 변화 하 는 층 으로 할 수 있 다 . 이 경우 , 중간층 의 기판 측 은 질소 와 산소 의 합계 함유율 이 기판 측 조성 경사 층 과 는 반대 로 경사 할 수 도 있 으며 , 중간층 의 표면 측 은 질소 와 산소 의 합계 함유율 이 표면 측 조성 경사 층 과 는 반대 로 경사 할 수 도 있 다 . 중간층 은 , 기본 적 으로 는 조성 변화 가 작 은 층 으로 하 는 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 단일 조성 의 층 으로서 형성 된다 . 중간층 도 전이 금속 과 질소 및 / 또는 산소 를 함유 하 는 규소 재료 를 포함 하 며 , 전이 금속 과 규소 의 함 유비 ( 전이 금속 : 규소 ) 는 1 : 2 내지 1 : 9 ( 원 자비 ) , 바람직 하 게 는 1 : 2 내지 1 : 5 ( 원 자비 ) 이 다 . 또한 , 탄소 등 의 경 원소 를 포함 할 수 도 있 지만 , 경 원소 는 노광 광 에 대한 흡수 계수 를 낮추 기 위해 , 질소 및 산소 이외 의 경 원소 는 합계 3 원자 ％ 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 특히 질소 , 산소 및 탄소 이외 의 경 원소 를 , 불순물 량 을 초과 하 는 양 으로 포함 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .