본 발명 은 , 사파이어 기판 을 이용 하 여 히터 일체 형 하이브리드 단판 플 라즈 마 방전 소자 의 제조 방법 을 제공 할 수 있 고 , 상기 사파이어 기판 은 , 유전 율 이 유리 보다 높 아 낮 은 방전 전압 을 갖 게 되 어 효율 적 인 플 라즈 마 방전 을 유도 할 수 있 다 . 또한 , 상기 제조 방법 은 , 제조 공정 에서 기판 의 파손 을 최소 화 하 고 , 소성 공정 시 온도 에 의한 기판 의 파손 문제 로 두꺼운 기판 을 사용 하 지 않 아 소자 를 소형 화 할 수 있 다 .