상기 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 의 하부 면 에 제 1 함몰 부 ( 152 a ) 가 형성 될 수 있 다 . 또한 , 상기 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 의 상부 면 에 는 제 2 함몰 부 ( 152 b ) 가 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 함몰 부 ( 152 a ) 와 상기 제 2 함몰 부 ( 152 b ) 는 결합 하 여 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 은 제 2 가스 를 확산 분배 하 고자 하 는 전 영역 상 에 형성 될 수 있 다 . 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 에 연결 된 복수 의 제 2 노즐 들 ( 154 ) 은 상기 접지 전극 ( 120 ) 을 통하 여 반응 영역 에 제 2 가스 를 공급 할 수 있 다 . 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 은 직사각 형 판형 일 수 있 다 .