상기 알칼리 가용성 수지 가 카르복실기 를 포함 하 는 단량체 및 상기 단량체 와 공중합 가능 한 다른 단량체 와 의 공중합 체일 경우 , 상기 카르복실기 를 포함 하 는 단량체 로부터 유도 되 는 구성 단위 의 함량 비율 은 상기 공중 합체 를 구성 하 는 구성 단위 들 의 총 함량 에 대하 여 10 내지 50 중량 % 이 고 , 바람직 하 게 는 15 내지 40 중량 % 이 며 , 보다 바람직 하 게 는 25 내지 40 중량 % 이 다 . 상기 카르복실기 를 포함 하 는 단량체 로부터 유도 되 는 구성 단위 의 함량 비율 이 상기 10 내지 50 중량 % 이 면 현상액 에 대한 용해 성 이 양호 하 고 , 현 상시 패턴 이 정확 하 게 형성 되 기 때문 에 바람직 하 다 .