도 3 ( B ) 의 포토 마스크 에 나타내 는 바 와 같이 , 한쪽 측 에 만 라인 폭 0 . 5 ㎛, 스페이스 폭 0 . 5 ㎛ 를 2 회 반복 하 여 배치 한 그 레이톤 마스크 를 사용 하 여 노광 한 영역 의 배선 의 단면 이 도 4 ( A ) 에 상당 한다 . 한쪽 의 테이퍼 각 은 약 70 ° 이 며 , 다른 한쪽 의 테이퍼 각 은 약 35 ° 이 다 .