도 2 는 본 발명 에 따라 디자인 룰 에 따른 특정 패턴 을 나타낸 도면 으로 , 디자인 룰 에 따른 제 1 패턴 ( 202 ) , 제 2 패턴 ( 204 ) 및 제 3 패턴 ( 206 ) 을 포함 하 는 마스크 의 설계 도면 ( 200 ) 을 나타낸다 . 여기 에서 , 스몰 패턴 인 제 2 패턴 ( 204 ) 과 제 1 패턴 ( 202 ) 및 스몰 패턴 인 제 2 패턴 ( 204 ) 과 제 3 패턴 ( 206 ) 각각 의 선폭 ( L 1 , L 2 ) , 즉 최소 선폭 을 측정 할 수 있 다 .