바람직 하 게 상기 게이트 절연 막 은 ( a ) 소스 기체 를 소스 기체 도입부 에 설치 한 밸브 를 열 어 반응기 의 측면 또는 상면 중 적어도 하나 이상 에서 캐리어 가스 에 희석 시켜 주입 하 여 상기 소스 기체 를 기판 의 표면 에 흡착 시키 는 단계 와 , ( b ) 퍼지 ( purge ) 기체 를 공급 하 여 기판 에 물리 적 으로 흡착 되 어 있 던 소스 기체 나 반응기 내부 에 남 아 있 는 소스 기체 를 퍼지 ( purge ) 하 는 단계 와 , ( c ) 산소 기체 를 공급 하 면서 이 가스 의 공급 주기 와 동기 하 여 플 라즈 마 를 발생 시켜 무기 산화 막 을 생성 시키 는 단계 와 , ( d ) 상기 산소 기체 및 플 라즈 마 를 차단 하 는 단계 와 , ( e ) 퍼지 ( purge ) 기체 를 공급 하 여 반응 잔류물 이나 물리 적 으로 흡착 되 어 있 는 잔여 가스 를 퍼지 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .