이상 과 같이 , 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 를 행한 후 에 , 산화물 반도체 층 ( 644 ) 에 산소 를 공급 함 으로써 , 산화물 반도체 층 ( 644 ) 중 의 산소 결손 에 기인 하 는 에너지 갭 중 의 결함 준위 를 저감 시킬 수 있 다 . 또한 , 산화물 반도체 층 ( 644 ) 이 산소 를 과잉 으로 포함 하 는 상태 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 과잉 으로 포함 되 는 산소 는 산화물 반도체 층 ( 644 ) 의 격자 간 에 존재 한다 .