도 9 의 단면도 ( 900 ) 에 의해 더 예시 된 바 와 같이 , 제 어 게이트 스택 ( 702 ) 이 메모리 영역 ( 104 m ) , 경계 영역 ( 104 b ) , 및 로직 영역 ( 104 l ) 에서 의 평탄 화 된 표면 위 에 형성 될 수 있 다 . 제 어 게이트 스택 ( 702 ) 은 , 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) , 제 어 게이트 전극 층 ( 706 ) , 및 제 어 게이트 하드 마스크 ( 708 ) 를 포함 한다 . 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) 은 플로팅 게이트 층 ( 602 ) 을 덮 는다 . 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) 은 산화물 , 질화물 , 또 다른 적합 한 유전체 ( 들 ) , 전술 한 바 의 임의 의 조합 등 을 포함 할 수 있 다 . 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) 은 상이 한 유전체 의 복수 의 층 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) 은 전하 트랩 유전체 이 다 . 일부 실시 예 에서 , 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) 은 , 하부 산화물 층 ( 704 l ) , 하부 산화물 층 ( 704 l ) 을 덮 는 중간 질화물 층 ( 704 m ) , 및 중간 질화물 층 ( 704 m ) 을 덮 는 상부 산화물 층 ( 704 u ) 을 포함 한다 . 제 어 게이트 유전체 층 ( 704 ) 은 CVD , PVD , 또 다른 적합 한 퇴적 프로세스 ( 들 ) , 전술 한 바 의 임의 의 조합 등 에 의해 형성 될 수 있 다 .