이 동체 시스템 은 , XY 평면 을 따라 이동하 는 스테이지 본체 ( 91 ) 와 , 그 스테이지 본체 상 에서 , XY 평면 에 직교 하 는 방향 ( Z 축 방향 ) 및 XY 평면 에 대한 경사 방향 으로 미동 할 수 있 는 테이블 ( WTB ) 을 갖 는 스테이지 ( WST ) 와 , XY 평면 내 에 있 어서 의 스테이지 ( WST ) 의 위치 정보 를 계측 하 는 계측 장치 를 구비 하 고 있 다 . 계측 장치 는 , 테이블 ( WTB ) 에 형성 된 복수 의 인코더 헤드 ( 60 C 등 ) 와 , 각 헤드 와 대향 하 여 스테이지 본체 ( 91 ) 에 단부 가 형성 되 고 또 한 단부 에서 광축 이 Z 축 방향 과 실질 적 으로 평행 해 지 는 광 파이버 ( 24 , 26 ) 를 갖 고 , XY 평면 과 실질 적 으로 평행 하 게 배치 된 그 레이팅 부 ( RG ) 에 대향 하 는 헤드 의 출력 에 기초 하 여 , 스테이지 ( WST ) 의 위치 정보 를 계측 한다 . 그리고 , 각 헤드 와 광 파이버 의 단부 사이 에서 신호 의 공중 전송 이 실시 된다 .