이어서 , 결함 보고 가 동작 ( 910 ) 에서 출력 될 수 있 다 . 이 결함 보고 는 결함 이미지 또는 강도 값 및 그 위치 를 포함 할 수 있 고 , 그런 다음 그러 한 데이터 는 예 를 들 어 고해상도 이미 징 툴 로 그러 한 결함 위치 를 보다 신중 하 게 검사 하 기 위하 여 사용 될 수 있 다 . 대안 적 으로 , 결함 데이터 는 추가 결함 분석 없이 간단히 검사 보고 에 기록 될 수 있 다 .