다른 일 예 로 , 도 9 와 같이 , 스테이지 ( 100 ) 에 대해 기판 ( 10 ) 을 틸팅 시켜 기판 ( 10 ) 의 좌 측변 ( 도 7 기준 ) 이 먼저 스테이지 ( 100 ) 에 접촉 된 상태 에서 , 제 2 신축 부 ( 330 ) 의 길이 가 점진 적 으로 늘어나 면 ( down ) , 기판 ( 10 ) 의 틸팅 각도 가 점진 적 으로 줄어들 면서 기판 ( 10 ) 은 좌 측변 ( 도 7 기준 ) 에서 우 측변 ( 도 7 기준 ) 을 향하 는 방향 을 따라 스테이지 ( 100 ) 에 점진 적 으로 로딩 된다 .