아래 에서 제 1 실시 형태 에 따른 임프 린트 장치 ( 100 ) 에 대해서 설명 한다 . 도 1 은 제 1 실시 형태 에 따른 임프 린트 장치 ( 100 ) 의 구성 을 도시 하 는 개략 도 이 다 . 도 1 을 참조 하 여 , 아래 에서 임프 린트 장치 ( 100 ) 의 구성 에 대해서 설명 한다 . 여기 에서 는 , 기판 ( 2 ) 이 배치 되 는 면 을 XY 평면 으로서 나타내 고 , XY 평면 에 직교 하 는 방향 을 Z 방향 ( 임프 린트 장치 ( 100 ) 의 높이 방향 ) 으로서 나타내 며 , 이 들 축 은 도 1 에 도시 된 바 와 같이 규정 된다 .