전극 ( 429 ) 에 는 , 정 합기 ( 443 ) 를 통해서 제 1 고주파 전원 ( 444 ) 이 접속 되 어 있 다 . 정합 기 ( 443 ) 는 , 제 1 고주파 전원 ( 444 ) 의 내부 임피던스 에 부하 임피던스 를 정합 시킨다 . 제 1 고주파 전원 ( 444 ) 은 , 소정 주파수 의 전력 을 전극 ( 429 ) 을 통해서 스테이지 ( 420 ) 에 인가 한다 . 예 를 들 어 , 제 1 고주파 전원 ( 444 ) 은 , 13 . 56 MHz 의 고주파 전력 을 전극 ( 429 ) 을 통해서 스테이지 ( 420 ) 에 인가 한다 . 고주파 전력 은 13 . 56 MHz 에 한정 된 것 이 아니 라 , 예 를 들 어 450 KHz , 2 MHz , 27 MHz , 60 MHz , 100 MHz 등 적절히 사용 이 가능 하 다 . 이 와 같이 하 여 , 스테이지 ( 420 ) 는 하부 전극 으로서 도 기능 한다 .