제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 할 때 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 제 1 조명계 ( IL 1 ) 보다 노광 광 ( EL ) 을 사출 한다 . 제 1 조명계 ( IL 1 ) 보다 사출 된 노광 광 ( EL ) 은 반사 미러 ( 5 ) 로 반사 한 후 , DMD 를 포함 하 는 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 에 조사 된다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 기판 ( P ) 위 에 형성 해야 할 제 1 패턴 의 상 에 따라 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 의 반사 소자 ( 2 ) 를 구동 한다 . 반사 소자 ( 2 ) 로 반사 된 노광 광 ( EL ) 은 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 를 통하 여 그 종단 광학 소자 ( FL 1 ) 의 하면 으로부터 사출 되 고 , 제 1 노광 영 역 ( AR 1 ) 에 조사 된다 . 이 와 같이 , 제 1 조명계 ( IL 1 ) 보다 사출 되 어 , 제 1 패턴 형성 장치 ( 3 A ) 및 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 를 통한 노광 광 ( EL ) 을 기판 스테이지 ( 4 ) 에 유지 된 기판 ( P ) 위 에 조사 함 으로써 , 제 1 패턴 의 상 이 기판 ( P ) 위 에 투영 되 어 기판 ( P ) 이 노광 된다 .