종래 에 따르 면 상기 한 캐소드 는 플 라즈 마 챔버 내부 의 플레이트 상 에 주로 볼트 를 통해 결합 되 고 있 는 바 , 이러 한 볼트 체결 에서 는 캐소드 와 , 챔버 내부 의 플레이트 에 각각 내측 에 나사산 이 형성 된 다수 의 볼트 삽입구 를 형성 하 여 , 상기 볼트 삽입구 를 상하 일치 시킨 후 볼트 를 삽입 하 여 결합 시키 도록 구성 된다 .