이 와 같이 , 코 일부 ( 33 ) 의 단면 적 및 길이 가 변화 하 도록 형성 되 면 , 각 코 일부 의 임피던스 를 보정 하 여 각 코 일부 에 인가 되 는 전류 를 제어 할 수 있 게 되 므로 , 균일 한 자기장 을 얻 을 수 있 게 된다 . 이 와 같이 , 자기장 이 균일 하 게 형성 되 면 , 플 라즈 마가 종래 와 달리 대 면적 에 대해서 도 균일 한 밀도 로 형성 가능 하 게 되 므로 , 300 mm 이상 의 대구경 의 웨이퍼 에 대한 식각 공정 을 고품질 로 진행 할 수 있 게 된다 .