이 경우 , 제 1 소수 화제 에 의해 하 층막 이 소수 화 된 후 , 또는 제 1 소수 화제 에 의해 하 층막 및 상 층막 이 소수 화 된 후 에 , 제 2 소수 화제 에 의해 상 층막 이 소수 화 된다 . 예 를 들 면 , 상 층막 이 소수 화 된 후 에 더 소수 화제 를 기판 에 공급 하 면 , 상 층막 이 소수 화 되 어 있 으므로 , 소수 화제 가 하 층막 까지 충분히 공급 되 지 않 는 경우 가 있 다 . 따라서 , 하 층막 이 소수 화 된 후 , 또는 하 층막 및 상 층막 이 소수 화 된 후 에 , 상 층막 을 소수 화 하 는 제 2 소수 화제 를 기판 에 공급 함 으로써 , 상 층막 및 하 층막 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 .