또한 , 장치 의 기판 처리 량 을 증가 시키 기 위해 , 복수 의 트랜스퍼 챔버 를 로드 락 챔버 로부터 멀 어 지 는 방향 으로 더 부가 하 고 , 부가 되 는 트랜스퍼 챔버 의 둘레 에 공정 챔버 들 을 더 설치 하 여 기판 처리 량 을 증가 시킬 수 있 다 . 그러나 , 이 경우 트랜스퍼 챔버 내부 에 설치 되 는 로봇 암 은 기존 의 트랜스퍼 챔버 에 구비 되 는 공정 챔버 들 과 부가 되 는 트랜스퍼 챔버 모두 에 기판 을 이송 하 여야 하 므로 , 트랜스퍼 챔버 내 로봇 암 의 기판 처리 량 의 부하 가 커진다 .