" 도 21 a 에서 마스크 ( MSK ') 는 투광 부 ( OTA ) 와 차 광부 ( OBA ) 를 포함 할 수 있 다 . 도 21 a 에 도시 된 마스크 ( MSK ') 에서 투광 부 ( OTA ) 의 엣지 는 직선 형상 이 다 . 도 21 a 에 도시 된 형상 을 갖 는 마스크 ( MSK ') 를 이용 하 여 돌출 부재 ( DAM ') 를 지나 는 배 선부 를 형성 한 경우 도 21 b 의 "" FF "" 영역 에서 와 같이 돌출 부재 의 엣지 ( DM - E ') 부분 에서 이웃 하 는 배 선부 ( TW ') 가 서로 연결 되 어 배 선부 ( TW ') 쇼트 현상 이 발생 할 수 있 다 . 이 는 배 선부 ( TW ') 패 터닝 을 위하 여 유기 층 ( OM ) 을 제공 할 때 ", 돌출 부재 ( DAM ') 의 단차 가 발생 하 는 부분 에서 유기 층 ( OM ) 의 적층 높이 가 높 아 져 금속 층 ( TW - M ) 에칭 시 배 선부 ( TW ') 엣지 부분 의 패 터닝 품질 이 저하 되 는 문제 가 발생 하 기 때문 이 다 . 두껍 게 형성 된 유기 층 ( OM ) 의 영향 으로 돌출 부재 ( DAM ') 를 지나 는 금속 층 이 마스크 패턴 을 따라 직선 형상 의 엣지 를 가지 도록 패 터닝 되 지 못하 여 이웃 하 는 패 터닝 된 배 선부 들 ( TW ') 사이 의 거리 가 가까워 지 게 되 어 배 선부 에서 부분 적 으로 쇼트 가 일어날 수 있 다 .