활성 화 가스 생 성부 ( 230 ) 에서 는 , 전원 으로부터 제 1 전극 튜브 ( 232 ) 와 제 2 전극 튜브 ( 234 ) 에 전력 이 인가 되 며 , 인가 된 전력 에 의해 생성 된 전기장 은 배리어 ( 233 ) 내측 으로 공급 된 압축 가스 를 활성 화 시킨다 . 활성 화 가스 는 전자 , 라디칼 상태 의 오존 , 질소 산화물 , 수산화 염기 를 포함 할 수 있 다 . 활성 화 가스 는 활성 화 가스 공급 라인 ( 240 ) 을 통해 노즐 ( 220 ) 의 제 2 유로 ( 225 ) 에 공급 된다 .