기판 ( 110 ) 상 에 핀 형 활성 영역 ( FA 1 ) 의 양 측벽 을 덮 는 소자 분리 막 ( 112 ) 을 형성 할 수 있 다 . 도시 되 지 는 않 았 지만 , 소자 분리 막 ( 112 ) 과 핀 형 활성 영역 ( FA 1 ) 의 사이 에 는 핀 형 활성 영역 ( FA 1 ) 의 측벽 을 콘 포말 하 게 덮 는 계면 막 ( 도시 생략 ) 이 더 형성 될 수 있 다 .