이 와 같이 연 마천 을 이용 한 기판 세정 장치 의 경우 세정력 이 다소 떨어지 고 벨트 를 이용 한 기판 세정 장치 는 세정력 이 우수 한 장점 이 있 지만 , 벨트 를 이용 한 기판 세정 장치 에 있 어서 도 , 벨트 가 동작 되 도록 이 들 을 구동 시키 는 장치 및 주변 장치 들 의 구조 가 복잡 하 다는 문제점 이 있 다 . 특히 벨트 구동 에 따른 파티클 ( particle ) 발생 우려 가 있 다 .