제 1 의 연산 부 ( 22 ) 는 , 제 1 의 광검 출부 ( 21 ) 로 검출 되 는 특성 파 장광 의 발광 강도 와 워크 ( 35 ) 에 의 성막 속도 와 의 상대 관계 를 정리 한 , 발광 강도 변환 테이블 ( 80 ) 을 구비 하 고 있 다 . 따라서 , 프로세스 의 진행 중 에 , 제 1 의 연산 부 ( 22 ) 가 차차 발광 강도 변환 테이블 ( 80 ) 로부터 추정 되 는 워크 ( 35 ) 에 의 성막 속도 Ｒp 를 연산 하 고 , 시간 에서 적산 함 으로써 , 현재 의 막 두께 의 진 척도 를 평가 한다 . 제 1 의 연산 부 ( 22 ) 에 의해 추정 되 는 막 두께 가 원 하 는 막 두께 에 도달 한 시점 에서 , 제 1 의 연산 부 ( 22 ) 는 제 어부 ( 30 ) 에 프로세스 의 종료 를 통지 한다 . 통지 를 받 은 제 어부 ( 30 ) 는 전력 공급 부 ( 32 ) 에 전력 공급 의 종료 를 지시 하 고 , 방전 을 정지 시킨다 . 프로세스 종료 타이밍 의 추정 은 , 전술 의 프로세스 중 에 차차 계산 하 는 방법 이 어도 좋 고 , 프로세스 를 어떤 상태 로 제어 할 수 있 다고 하 는 가정 으로부터 상정 되 는 성막 속도 Ｒp 에 근거 하 여 종료 시간 을 어림잡 고 , 소정 시간 이 경과 하 면 프로세스 를 종료 시키 는 방법 이 어도 좋 다 .