그렇지만 , 기판 사이 에서 공정 이 다르 면 , 각종 처리 유닛 에 대한 기판 반송 경로 가 변한다 . 이 때문 에 , 주 반송 기구 는 기판 을 효율 적 으로 반송 할 수 없 다 . 따라서 , 종래 장치 에서 는 , 기판 에 행하 는 처리 공정 을 기판 마다 변경 하 는 것 이 곤란 하 다 . 바꿔 말 하 면 , 종래 장치 에서 는 , 복수 의 공정 을 병행 해서 진행 시키 는 것 은 곤란 하 다 .