각각 의 개별 적 인 RF 구동 포인트 ( 51 , 53 ) 를 통해 결합 되 는 RF 전력 의 개별 적 레벨 은 , 개별 적 감쇠기 ( 41 , 43 ) 를 통한 , 개별 적 RF 구동 포인트 ( 51 ) 를 통한 , 그리고 플 라즈 마 를 통한 전력 분배 기 입력 부 ( 77 ) 로부터 전기 접 지 또는 캐소드 전극 로 의 RF 전류 경로 의 전체 임피던스 에 반비례 한다 . 각각 의 그러 한 개별 적 전체 임피던스 는 각각 의 개별 적 RF 구동 포인트 ( 51 , 53 ) 와 전기 접지 사이 의 복소 ( complex ) 부하 임피던스 및 개별 적 감쇠기 ( 41 , 443 ) 의 임피던스 의 복소수 합 ( complex sum ) 이 다 . 그러 한 부하 임피던스 는 실질 적 으로 직렬 로 연결 되 고 따라서 부가 적 인 , 하 기 의 복소 임피던스 들 을 한다 : 플라 즈 마 바디 ( body ) 의 임피던스 , 플라 즈 마 외장 ( sheath ) 의 임피던스 , 플라 즈 마 외장 과 캐소드 전극 사이 의 커패시턴스 , 플라 즈 마 외장 과 샤워 헤드 ( 22 ) 사이 의 커패시턴스 , 및 개별 적 RF 구동 포인트 와 플라 즈 마 외장 에 면하 는 샤워 헤드 표면 사이 의 RF 전류 경로 의 임피던스 .