이상 에서 살펴본 바 와 같이 , 본 발명 에 의하 면 , PMD 절 연막 을 PSG 막 이나 BPSG 막인 제 1 절 연막 과 증착 율 이 높 은 PE CVD 를 이용 하 여 형성 된 TEOS 막인 제 2 절 연막 으로 구성 하 여 CMP 공정 에 의해 TEOS 막 이 주로 연마 되 도록 함 으로써 , 공정 시간 을 단축 하 여 작업 생산 성 을 증가 시켜 제품 수율 을 향상 시킬 수 있 다 .