산 발생 제 와 조성물 중 사용 된 화합물 ( H ) 의 비율 에 대해서 는 산 발생 제 / 화합물 ( H ) ( 몰 비 ) = 2 . 5 ~ 300 인 것 이 바람직 하 다 . 이런 이유 로 감도 및 해상력 의 관점 에서 몰 비 가 2 . 5 이상 인 것 이 바람직 하 다 . 몰 비 는 노광 ~ 가열 처리 의 경시 레지스 트 패턴 의 농화 로 인해 해상력 저하 의 억제 에 관점 에서 300 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 산 발생 제 / 화합물 ( H ) ( 몰 비 ) 은 5 . 0 ~ 200 의 범위 내 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 더욱 바람직 하 게 는 7 . 0 ~ 150 이 다 .