구체 적 으로 는 , H 2 O 농도 를 높 게 하 고 H 2 O / O 2 를 이용 하 는 CWVG 방식 의 SOD 절 연막 큐어 링 공정 은 , 상대 적 으로 막 내 에 산화 가 덜 이루 어 졌 거나 , 막 내 의 아웃 개 싱 된 기체 들 이 활성 영역 과 소자 분리 영역 간 의 경계 면 에 모이 게 되 면 , 습식 에치 - 백 공 정시 취약 성 이 나타나 게 되 면서 활성 영역 과 소자 분리 영역 간 의 경계 면 에 형성 된 SOD 절 연막 부분 이 푹 꺼지 는 현상 , 즉 , 모트 ( moat ) 현상 이 발생 하 게 된다 .