가열 장치 ( 110 ) 는 상기 도입 관 ( 106 ) 에 인접 하 게 배치 되 며 상기 케이스 ( 102 ) 에 의해 지지 된다 . 상기 가열 장치 ( 110 ) 는 전기 발열 장치 를 포함 할 수 있 다 . 상기 전기 발열 장치 는 열선 ( Heating coil ) 을 이용 한 장치 일 수 있 다 . 상기 가열 장치 ( 110 ) 는 상기 도입 관 ( 106 ) 을 통해 유입 되 는 상기 초 순수 를 가열 하 는 역할 을 한다 . 상기 가열 된 초 순수 는 상기 도입 관 ( 106 ) 및 상기 배출관 ( 108 ) 등 을 통해 흐르 면서 상기 도입 관 ( 106 ) 및 상기 배출관 ( 108 ) 등 상기 초 순수 가 흘러가 는 부분 을 살균 할 수 있 다 . 결과 적 으로 상기 가열 장치 ( 110 ) 는 외부 로부터 오염 된 배관 을 샘플링 전 에 살균 하 는 역할 을 할 수 있 다 .