상기 한 STI 공정 시 트렌치 의 측벽 과 기판 바닥 을 보호 하 기 위하 여 라이너 질화 막 ( liner nitride ) 을 포함 하 는 소자 분리 막 이 널리 이용 되 고 있 다 . 이러 한 라이너 질 화 막 을 포함 하 는 소자 분리 막 의 형성 과정 에서 소자 분리 막 의 가장자리 일부분 이 손실 되 면서 모우 트 ( moat ) 가 발생 된다 . 이때 , 모우 트 로 인하 여 소자 구 동시 , 채널 영역 과 접하 는 모우 트 주변 에 전계 가 집중 되 는 문제점 이 있 는 바 , 도 1 a 및 도 1 b 를 참조 하 여 살펴본다 .