이 에 , 본 발명 은 텅스텐 실리사이드 막 과 하드 마스크 질화 막 사이 에 비 도핑 된 폴리 실리콘 막 을 개재 시킨다 . 이렇게 하 면 , 상기 비 도핑 된 폴리 실리콘 막 이 보론 의 외부 확산 에 의한 텅스텐 실리사이드 막 과 하드 마스크 질화 막 의 계면 에 보 론 이 쌓이 는 현상 을 방지 함 은 물론 상기 하드 마스크 질화 막 형성 시 의 막 스트레스 를 완화 시키 기 때문 에 후속 열공 정의 결과 로 유발 되 는 상기 하드 마스크 질화 막 의 필링 현상 을 방지 할 수 있 다 .