가열기 ( 30 ) 가 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 를 200 ℃ 이상 으로 가열 하 도록 구성 되 어 있 으면 , 투명 도전 층 ( 2 ) 의 표면 저항 을 보다 한층 저감 할 수 있 다 . 한편 , 가열기 ( 30 ) 의 설정 온도 를 상기 한 고온 으로 설정 하 면 , 냉각 장치 ( 13 ) 에 있 어서 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 가 파손 되 기 쉽 다 . 그러나 , 이 반송 성막 장치 ( 10 ) 에서 는 , 상기 한 제 1 냉각 롤 ( 34 ) 및 제 2 냉각 롤 ( 35 ) 을 구비 하 므로 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) ( 특히 , 유리 기재 ( 1 ) ) 의 상기 한 파손 을 억제 할 수 있 으면서 , 투명 도전 층 ( 2 ) 의 표면 저항 을 저감 할 수 있 다 .