상하 이동 조 절부 ( 300 ) 및 회전 조 절부 ( 400 ) 는 상부 챔버 ( 100 ) 를 하부 챔버 ( 200 ) 와 만나 해치 가 닫히 도록 할 수 있 다 . 즉 , 상하 이동 조 절부 ( 300 ) 및 회전 조 절부 ( 400 ) 는 상부 챔버 ( 100 ) 의 업 ( Up ) 또는 다운 ( Down ) 방향 으로 이동 ( 상하 방향 이동 ) 및 회전 을 조절 함 으로써 하부 챔버 ( 200 ) 와 맞닿 을 수 있 다 .