순수 공급 부 ( 110 ) 는 순수 를 혼합 탱크 ( 200 , 210 ) 로 공급 하 는 순수 공급 관 ( 500 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 순수 공급 관 ( 500 ) 상 에 는 순수 의 유량 을 조절 하 는 순수 유량 조 절부 ( 112 ) 이 형성 되 어 혼합 탱크 ( 200 , 210 ) 로 공급 되 는 순수 의 유량 을 조절 할 수 있 다 . 순수 유량 조 절부 ( 112 ) 는 제 1 혼합 탱크 ( 200 ) 로 공급 되 는 순수 의 유량 을 조절 하 는 제 1 불 산 유량 조 절부 ( 112 a ) 및 제 2 혼합 탱크 ( 210 ) 로 공급 되 는 순수 의 유량 을 조절 하 는 제 2 순수 유량 조 절부 ( 112 b ) 를 포함 할 수 있 다 . 순수 공급 부 ( 110 ) 에서 나와 제 1 순수 유량 조 절부 ( 112 a ) 를 통과 한 순수 는 제 1 순수 공급 관 ( 500 a ) 을 통해 제 1 혼합 탱크 ( 200 ) 로 공급 된다 . 순수 공급 부 ( 110 ) 에서 나와 제 2 순수 유량 조 절부 ( 112 b ) 를 통과 한 순수 는 제 2 순수 공급 관 ( 500 b ) 을 통해 제 2 혼합 탱크 ( 200 ) 로 공급 된다 .