상술 한 바 와 같 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 이송 로봇 은 상기 로봇 암 과 상기 수평 구동 부 그리고 상기 스테이지 와 상기 스테이지 구 동부 를 이용 하 여 상기 용기 를 상기 개구 를 통해 이송 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 벽 에 의해 구분 된 공간 들 사이 에서 상기 용기 의 이송이 용이 하 게 이루어질 수 있 으며 , 이 에 따라 상기 개구 를 개폐 하 기 위한 방화 셔터 와 상기 이송 장치 사이 의 간섭 이 충분히 방지 될 수 있 다 .