즉 , 폴리 싱 후 웨이퍼 ( W ) 상 에 잔류 하 는 금속 이온 잔유 물 등 을 제거 하 기 위하 여 후 세정 공정 을 실시 하 게 되 며 , 대표 적 인 후 세정 방법 으로 는 브 러 쉬 세정 ( brush scrubbing ) 법 이 있 고 , 이 를 도 2 를 참조 로 살펴 보 면 , 특정 케미컬 을 분사 하 면서 브 러 쉬 ( 22 ) 로 직접 회전 하 고 있 는 웨이퍼 ( W ) 표면 및 후면 을 접촉 하 여 닦 아 냄 으로써 잔류 된 오염 물질 을 제거 하 게 된다 .