도 20 c 및 21 c 를 참조 하 면 , 상기 셀 영역 에 는 도 11 e 에 도시 된 패턴 구조물 이 형성 된다 . 또한 , 상기 페리 영역 에 는 상기 제 2 하드 마스크 패턴 들 ( 304 b ) 사이 의 갭 부위 에 페리 용 라인 ( 312 d ) 또는 패드 들 ( 312 d ) 이 형성 된다 . 상기 페리 용 라인 ( 312 d ) 은 상기 셀 영역 에 형성 되 는 제 1 내지 제 3 라인 패턴 들 ( 312 a , 312 b , 312 c ) 보다 넓 은 선폭 을 갖 는다 .