또한 , 플라 즈 마 처리 에 의한 탑 재면 의 미시 적 인 거 칠기 의 변화 는 , 특정수 ( 예컨대 , 통상 의 플 라즈 마 처리 에 있 어서 의 고주파 전력 의 공급 적산 시간 으로 약 3000 시간 상당 의 매수 ) 의 웨이퍼 에 플 라즈 마 처리 를 실시 하 면 , 세 츄 레이트 ( saturate ) 한다는 것 을 본 발명자 는 확인 하 였 다 .