이때 , 패턴 형성 부 ( 50 ) 가 약 10 nm 이상 의 두께 를 가질 경우 , 패턴 형성 부 ( 50 ) 는 반사 방지 부 ( 40 ) 위 에 좀 더 균일 하 게 위치 하 여 막 균 일도 가 좀 더 향상 되 고 , 패턴 형성 부 ( 50 ) 가 약 200 nm 이하 의 두께 를 가질 경우 , 패턴 형성 부 ( 50 ) 의 제조 비용 과 공정 의 난이도 가 좀 더 감소 된다 .