폐색 공간 ( 54 ) 에 는 , 불활성 가스 공급 장치 ( 91 b ) , 산소 농도계 ( 92 b ) , 배기 조정 밸브 ( 93 b ) , 배기 펌프 ( 94 b ) 등 이 접속 되 어 있 다 . 불활성 가스 공급 장치 ( 91 b ) 는 , 폐색 공간 ( 54 ) 에 N 2 가스 등 의 불활성 가스 를 공급 한다 . 불활성 가스 공급 장치 ( 91 b ) 로부터 공급 되 는 불활성 가스 의 유량 은 컨트롤러 ( 100 ) 에 의해 제어 된다 . 산소 농도계 ( 92 b ) 는 , 폐색 공간 ( 54 ) 내 의 산소 농도 를 검출 하 여 , 검출 값 을 컨트롤러 ( 100 ) 에 송신 한다 . 배기 조정 밸브 ( 93 b ) 는 , 배기 펌프 ( 94 b ) 에 의해 배출 되 는 불활성 가스 의 유량 을 제어 하 는 밸브 이 다 . 배기 조정 밸브 ( 93 b ) 의 개방 도 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 에 의해 제어 된다 .