덮개 체 ( 60 ) 보다 상측 에 는 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 가 설치 되 어 있 다 . 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 기 위한 기판 유지 구 이 며 , 수직 방향 으로 복수 매 의 웨이퍼 ( W ) 를 이격 한 상태 로 다단 으로 유지 가능 하 게 구성 된다 . 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 가 유지 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 매수 는 특별히 한정 되 는 것 은 아니 지만 , 예컨대 50 장 ∼ 150 장 으로 할 수 있 다 .