또 다른 바람직 한 실시 예 에서 , 처리 장비 에 대한 기판 의 제 6 자유도 는 분할 되 어서 , 기판 홀더 가 두 개 의 병진 , 특히 , x - 방향 과 y - 방향 으로 의 병진 및 홀딩 표면 상 의 기판 의 높이 를 조절 하 기 위한 , 특히 z - 방향 으로 의 추가 적 인 병진 및 y - 축 에 대한 회전 과 z - 축 에 대한 회전 을 실행 할 수 있 다 .