본 발명 의 실시 예 에 의한 내 식판 ( 61 ) 은 임계 두께 를 가진다 . 그 이유 는 적어도 다음 과 같 다 . 첫째 , 내 식판 ( 61 ) 을 포함 하 는 에 지링 ( 40 ) 이 최초 에 식각 장비 에 장착 되 면 , 내 식판 ( 61 ) 의 표면 은 기판 ( 50 ) 의 표면 과 동일 선상 에 놓이 게 된다 . 추후 의 식각 공정 마다 기판 ( 50 ) 은 교체 되 나 에 지링 ( 40 ) 은 동일 한 것 으로 계속 유지 된다 . 이 와 같 은 식각 공정 이 반복 됨 에 따라 , 기판 ( 50 ) 의 표면 과 내 식판 ( 61 ) 의 표면 사이 에 는 단차 가 발생 하 며 지속 적 으로 단차 가 증가 한다 .