제 1 S - D 측정 프로시저 가 제 1 S - D 측정 웨이퍼 세트 에 대해 결정 될 수 있 고 , 제 1 S - D 측정 웨이퍼 세트 는 제 1 S - D 측정 프로 시저 를 이용 하 여 제 1 S - D 평가 요소 ( 410 ) 에서 측정 될 수 있 다 . 예컨대 , 신뢰 도 데이터 , 웨이퍼 상태 데이터 , 처리 시퀀스 데이터 또는 이력 데이터 가 제 1 S - D 측정 프로 시저 를 확립 하 는 데 이용 될 수 있 다 .