계속 해서 , 제 2 챔버 ( 34 ) 와 짝 수열 처리 유닛 ( 50 ) 상호 간 의 기판 ( W ) 이송 과정 을 설명 한다 . 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 로 이송 되 어 질 기판 ( W ) 들 은 기판 정렬 기 ( 24 ) 가 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 방향 이 좌측 방향 ( X 2 ) 을 향하 도록 기판 ( W ) 의 오리엔트 각 을 정렬 한다 . 노치 ( W 1 ) 가 좌측 방향 ( X 2 ) 을 향하 도록 정렬 된 기판 ( W ) 은 로봇 암 ( 22 ) 에 의해 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 2 챔버 ( 34 ) 로 이송 된다 . 제 1 챔버 ( 32 ) 에 놓여 지 는 기판 ( W ) 은 노치 ( W 1 ) 가 제 2 방향 ( Z 2 ) 을 향한다 . 제 2 방향 ( Z 2 ) 은 제 2 챔버 ( 34 ) 에 기판 ( W ) 이 놓여졌 을 때 , 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 방향 이 기판 출입구 ( 34 a ) 를 통과 하 는 로봇 암 ( 44 a ) 의 블레이드 ( 44 a ') 와 반대 되 는 방향 을 향하 는 방향 이 다 .