또한 , 반송 실열 의 반 송실 연접 방향 의 길이 를 변경 하 지 않 고 , 처리 실열 을 구성 하 는 처리 실 ( 600 ) 내 의 탑재 대 ( 610 ) 의 위치 를 상기 폭 방향 내측 으로 이동 시켜 반송 실열 에 가까이 하 고 , 도 1 의 이점쇄선 으로 나타내 는 바 와 같 은 위치 로 하 는 것 에 의해 , 기판 처리 장치 의 소형 화 를 도모 할 수 있 다 . 그러나 , 이 경우 도 상술 과 마찬가지 의 문제 가 있 다 .