도 13 은 , 보충 제어 수순 의 일례 를 나타내 는 흐름 도 이 다 . 도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 먼저 스텝 S 61 , S 62 를 실행 한다 . 스텝 S 61 에서 는 , 보충 제 어부 ( 116 ) 가 , 보충 부 ( 50 ) 의 압송 부 ( 53 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 의 압송 부 ( 64 ) 에 보내 지 는 처리 액 의 보충 압력 , 및 당해 처리 액 의 보충 유량 을 조절 한다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 압력 및 보충 유량 을 조절 하 기 위해서 압송 부 ( 53 ) 및 압송 부 ( 64 ) 의 제어 를 개시 함 으로써 처리 액 의 보충 을 개시 시킨다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 개시 후 에 도 보충 압력 및 보충 유량 의 조절 을 계속 한다 . 구체 적 으로 는 , 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 보충 압력 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 53 ) 및 압송 부 ( 64 ) 의 어느 한 쪽 을 제어 하 면서 , 보충 유량 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 53 ) 및 압송 부 ( 64 ) 의 다른 쪽 을 제어 한다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 도 14 의 ( d ) 에 도시 된 바 와 같이 , 예 를 들 어 압력 측 정부 ( 69 ) 에 의한 측정값 에 기초 하 여 , 보충 압력 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 53 ) ( 펌프 구동 부 ( 57 ) ) 를 제어 해도 된다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 유량 측 정부 ( 65 ) 에 의한 측정값 에 기초 하 여 , 보충 유량 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 64 ) ( 펌프 구동 부 ( 77 ) ) 를 제어 해도 된다 .