배 플 유닛 ( 180 ) 은 기판 ( W ) 에 대해 식각 공정 이 종료 된 뒤 클리닝 공정 ( 예 를 들 어 , ISD ( In - Situ Dry cleaning ) ) 이 진행 될 때 에 하우징 ( 110 ) 의 내부 에서 상측 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 이때 배 플 유닛 ( 180 ) 은 도 7 에 도시 된 바 와 같이 링 어셈블리 ( 123 ) 와 높이 가 동일 해 지 도록 제 1 위치 ( 410 ) 에서 제 2 위치 ( 420 ) 까지 상측 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 배 플 유닛 ( 180 ) 은 예 를 들 어 , 포커스 링 ( 123 a ) 과 높이 가 동일 해 지 도록 상측 방향 으로 이동 할 수 있 다 .