으로 정의 되 고 , ε d 는 유전체 플레이트 ( 169 ) 의 유전 상수 ( 또는 , 유전체 플레이트 ( 169 ) 가 다수 의 물질 들 로 형성 된 경우 , 유효 유전 상수 ) 이 고 , m 은 임의 의 양 의 정수 이 고 , 방사상 파수 ( κ ) 는 위 에서 정의 된다 . 이 조건 이 도움 이 되 는 이유 는 , 플 라즈 마 ( 60 ) 를 점 화 하 기 위해 , 유전체 플레이트 ( 169 ) 바로 아래 에 높 은 필드 강도 를 제공 하 는 것 을 돕 기 때문 이 다 . 플 라즈 마 ( 60 ) 는 프로세스 챔버 ( 130 ) 내 에서 유전체 플레이트 ( 169 ) 에 가장 근접 하 여 ( 플레이트 ( 137 ) 를 통해 결합 된 필드 들 이 이곳 에서 가장 강함 ) 형성 되 고 / 거 나 집중 되 는 경향 이 있 을 수 있 다 . 추가 적 으로 , 챔버 ( 130 ) 의 전체 유효 높이 가 중요 하 지 않 을 수 있 지만 , 프로세스 챔버 ( 130 ) 의 고유 모드 작동 을 지지 하 기 위해 또한 선택 될 수 있 다 . 이 조건 은 , 프로세스 챔버 ( 130 ) 전반 에 걸친 전자기장 강도 를 최대 화 하 기 위해 , " 사용 될 마이크로파 들 의 반 파장 의 배수 인 순 "" 전기 높이 "" 로서 표현 될 수 있 는데 ", 즉 ,