[ 0065 ] 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 를 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 와 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 사이 에 제공 함 으로써 , 기판 캐리어 ( 120 ) 와 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 개선 된 정렬 이 제공 될 수 있 다 . 예컨대 , 홀딩 어 레인지 먼 트 의 길이 ( 치수 ) 가 감소 될 수 있 는데 , 홀딩 어 레인지 먼 트 의 길이 의 영향 에 의해 , 그러 한 부정확 성 들 은 증가 되 지 않 을 수 있 다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 홀딩 어 레인지 먼 트 는 , 제 1 트랙 과 제 2 트랙 사이 의 갭 에 적어도 부분 적 으로 제공 될 수 있 다 . 홀딩 어 레인지 먼 트 는 , 제 1 캐리어 , 예컨대 , 기판 캐리어 를 , 갭 을 대면 하 는 측 에 홀딩 하 도록 구성 되 고 , 제 2 캐리어 , 예컨대 , 마스크 캐리어 를 , 갭 을 대면 하 는 측 에 홀딩 하 도록 구성 된다 . 또한 , 더 추가 적 인 실시 예 들 을 생성 하 기 위해 , 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 의 세부 사항 들 및 양상 들 이 제공 될 수 있 다 .