여기 서 , 증착 실 에서 는 진공 중 에서 증착 재료 를 PVD 또는 CVD 로 기화 또는 승화 시켜 성막 처리 를 행하 기 때문 에 , 증착 재료 를 하방 으로 배치 할 필요 가 있 다 . 이 에 증착 시 에 는 , 유리 기판 의 피 성막 면 을 하향 으로 위치 시킨 자세 로 제어 할 필요 가 있 다 . 본 실시 예의 구성 에 의하 면 , 마스크 ( M ) 는 , 반송 캐리어 ( 302 ) 에 보유 지지 된 유리 기판 ( G ) 의 피 성막 면 이 하 면 측 을 향하 고 있 는 상태 로 , 하측 으로부터 해당 피 성막 면 을 향하 여 상승 되 며 , 얼라인먼트 공정 을 거쳐 유리 기판 ( G ) 에 장착 된다 . 그 때문 에 , 마스크 ( M ) 를 장착 한 시점 에서 , 상기 증착 재료 를 증착 가능 한 자세 가 되 어 있 다 .