이 처리 장치 ( 1 C ) 에서 는 , 상기 와 같이 , 가열 에어 를 하우징 ( 10 ) 내 에 토출 하 기 위한 토출 노즐 ( 40 ) 이 천 정벽 ( 14 ) 의 내부 에 일체 로 장착 되 고 , 천 정면 에 는 , 가열 에어 를 당해 천 정면 을 따라서 안내 하 기 위한 안내판 ( 46 ) , 상세히 는 천 정면 과 평행 한 안 내면 을 갖 는 상하 방향 으로 편평 한 역 L 자형 의 안내판 ( 46 ) 이 설치 될 뿐 인 구성 으로 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 가열 에어 를 분사 하 기 위한 분출 노즐 ( 20 ) ( 노즐 부재 ) 그 자체 를 하우징 내 의 공간 에 배치 하 는 제 1 및 제 2 실시 형태 의 구성 에 비하 면 , 하우징 ( 10 ) 내 의 공간 에 , 기판 ( S ) 의 반입 · 반출 시 의 장애물 이 적 고 , 하우징 ( 10 ) 내 의 공간 을 그 높이 방향 으로 효과 적 으로 축소 화 할 수 있 다 . 따라서 , 그만큼 , 처리 장치 ( 1 C ) 를 그 높이 방향 으로 콤팩트 화 할 수 있 는 효과 가 있 다 .