상술 한 바 와 같이 , 본 실시 예의 코일 부재 ( 30 ) 에 있 어서 , 고주파 인가 부 ( 31 ) 와 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 가 모두 평판 형상 으로 이루어지 며 , 각 코 일부 ( 33 ) 의 단면 이 원형 으로 형성 되 어 있 어서 , 코일 부재 ( 30 ) 는 종래 와 달리 용량 성 결합 플 라즈 마 ( capacitively coupled plasma ) 및 유도 결합 플 라즈 마 ( inductively coupled plasma ) 특성 을 모두 가지 게 된다 .