상기 소스 가스 ( S 1 , S 2 ) 는 상기 웨이퍼 ( W ) 의 종류 또는 증착 하 고자 하 는 박막 의 종류 에 따라 달라질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 소스 가스 ( S 1 ) 로 는 알루미늄 ( Al ) , 규소 ( Si ) , 티타늄 ( Ti ) , 갈륨 ( Ga ) , 게르마늄 ( Ge ) 등 을 포함 하 는 가스 중 어느 하나 의 가스 또는 둘 이상 혼합 된 가스 를 사용 할 수 있 다 . 그리고 , 제 2 소스 가스 ( S 2 ) 는 상기 제 1 소스 가스 ( S 1 ) 와 화학 적 으로 반응 하 여 박막 을 구성 하 는 다른 물질 을 포함 하 는 가스 로서 , 예 를 들 어 , 상기 제 2 소스 가스 ( S 2 ) 로 는 산소 가스 ( O 2 ) 또는 수증기 ( H 2 O ) 를 사용 할 수 있 다 .