스핀 척 ( 104 ) 은 상부 면 에 복수 개 의 지지 핀 ( 110 ) 들 과 복수 개 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 을 구비 하 여 , 기판 ( W ) 을 지지 하 고 기판 ( W ) 의 가장자리 부위 를 척 킹 ( chucking ) 하 여 공정 진행 시 , 스핀 척 ( 104 ) 의 회전 에 의해 기판 ( W ) 이 이탈 되 는 것 을 방지 한다 . 즉 , 스핀 척 ( 100 ) 은 기판 ( W ) 이 놓여 지 는 상부 면 가장자리 에 복수 개 ( 예 를 들 어 , 6 ~ 8 개 정도 ) 의 척 킹 핀 ( 120 ) 들 이 균등 한 간격 으로 설치 되 며 , 그 안쪽 에 는 복수 의 지지 핀 ( 110 ) 들 이 균등 한 간격 으로 설치 된다 . 지지 핀 ( 110 ) 들 은 기판 ( W ) 의 배면 을 지지 하 며 , 척 킹 핀 ( 120 ) 들 은 기판 ( W ) 이 원심력 에 의해 스핀 척 ( 104 ) 으로부터 이탈 되 는 것 을 방지 한다 . 따라서 스핀 척 ( 104 ) 에 안착 된 기판 ( W ) 은 지지 핀 ( 110 ) 들 에 의해 지지 된 상태 에서 척 킹 핀 ( 120 ) 들 의 클로즈 ( close ) 상태 에 의해 기판 ( W ) 의 배면 가장자리 및 측면 이 척 킹 되 거나 오픈 ( open ) 상태 에 의해 척 킹 해제 된다 . 예 를 들 어 , 척 킹 핀 ( 120 ) 들 은 스핀 척 ( 104 ) 상부 면 과 동일 하 게 다운 ( down ) 되 어 오픈 상태 로 동작 되 고 , 스핀 척 ( 104 ) 상부 로 돌출 되 어 클로즈 상태 로 동작 된다 .