" 다른 "" 고 응력 "" 금속 성 침착 물 은 Pt ", Pd , Rh 및 Cr 의 미세 - 그레인 전착 물 을 포함 하 며 , 여기 서 는 침착 물 의 균열 이 문제 이 다 . 예 를 들 면 , 교대 로 배치 되 는 고 응력 및 저 응력 층 들 의 레벨 들 또는 층 들 을 포함 하 는 가변 적 물성 구조 는 또한 본 발명 에 의해 제공 된 두꺼운 침착 물 축적 이 고 강도 및 허용 가능 한 전체 내부 응력 을 제공 함 으로써 균열 이 전착 물 내 에 전체 적 으로 유발 되 지 않 도록 한다 .