[ 0030 ] 또한 , 도 1 b 를 예시 적 으로 참조 하 면 , 본원 에서 설명 되 는 임의 의 다른 실시 예 들 과 조합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따라 , 포지셔닝 어 레인지 먼 트 ( 100 ) 는 기판 캐리어 를 마스크 캐리어 에 대해 정렬 하 도록 구성 된 정렬 시스템 ( 140 ) 을 포함 할 수 있 다 . 특히 , 정렬 시스템 ( 140 ) 은 마스크 캐리어 에 대해 기판 캐리어 의 포지션 을 조정 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 정렬 시스템 ( 140 ) 은 2 개 또는 그 초과 의 정렬 액추에이터 들 , 예컨대 4 개 의 정렬 액추에이터 들 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 통상 적 으로 정렬 시스템 ( 140 ) 은 , 예컨대 유기 재료 의 재료 증착 동안 기판 과 마스크 간 의 적절 한 정렬 을 제공 하 기 위해 , 마스크 를 홀딩 하 는 마스크 캐리어 에 대해 기판 을 홀딩 하 는 기판 캐리어 를 정렬 하 도록 구성 된다 . 특히 , 정렬 시스템 ( 140 ) 은 기판 캐리어 를 x - 방향 및 / 또는 y - 방향 및 / 또는 z - 방향 으로 정렬 하 도록 구성 될 수 있 다 . 따라서 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 정렬 시스템 은 , 마스크 에 대한 기판 의 개선 된 정렬 을 가능 하 게 하 며 , 이 는 고품질 또는 OLED 디스플레이 제조 를 위해 유리 하 다 .