다음 으로 , 상기 트렌치 패턴 을 형성 하 는 단계 는 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 하드 마스크 ( 190 ) 상 에 트렌치 예정 영역 을 정의 하 기 위한 제 1 감광막 ( 200 ) 을 증착 및 패턴 한 후 상기 제 1 감광막 ( 200 ) 을 마스크 로 하 여 상기 하드 마스크 ( 190 ) 를 식각 하 여 트렌치 패턴 을 형성 하 는 단계 이 다 .