또한 , 상술 한 발명 에서 , 상기 입력 부 에 입력 되 는 정보 는 , 시운전 을 행하 는 처리 유닛 을 특정 하 는 정보 인 것 이 바람직 하 다 . 시운전 을 행하 는 처리 유닛 을 특정 하 는 정보 에 의하 면 , 제 어부 는 , 해당 처리 유닛 이 설치 되 는 계층 의 반송 경로 를 적합 하 게 변경 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 어부 는 , 해당 처리 유닛 에 만 기판 을 반송 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 해당 처리 유닛 의 시운전 을 행할 수 있 기 때문 이 다 .