도 31 을 참조 하 면 , 집적회로 소자 ( 700 ) 는 기판 ( 102 ) 과 , 기판 ( 102 ) 상 에 수직 방향 으로 상호 중첩 되 도록 적층 된 복수 의 하부 워드 라인 ( LWL ) 을 포함 하 는 하부 스택 ( LST ) 과 , 하부 스택 ( LST ) 상 에 수직 방향 으로 상호 중첩 되 도록 적층 된 복수 의 상부 워드 라인 ( UWL ) 을 포함 하 는 상부 스택 ( UST ) 을 포함 한다 .