상기 제 어부 ( 170 ) 는 상기 파장 별 세기 를 나타내 는 전압 신호 즉 , 플 마즈 마 감도 를 나태 는 신호 를 제공 받 아 상기 플 라즈 마 형성 요소 들 ( 반응 가스 의 제 공량 , 플라 즈 마 발생 부 에 인가 되 는 RF 파워 의 세기 , 챔버 내부 의 압력 ) 의 변화 값 을 제어 함 으로써 상기 챔버 내 에서 생성 되 는 플 라즈 마 상태 를 균일 하 게 유지 하 는 역할 을 한다 .