또한 , 도 11 i 의 공정 에서 PZT 막 ( 74 , 75 ) 은 산소 를 포함 하 는 분위기 , 예 를 들 면 산소 가스 와 Ar 가스 등 의 불활성 가스 의 혼합 분위기 중 550 ℃ 내지 800 ℃, 예 를 들 면 580 ℃ 의 온도 에서 , 예 를 들 면 산소 가스 를 0 sccm 내지 25 sccm , Ar 가스 를 2 , 000 sccm 의 유량 으로 공급 하 면서 30 초 내지 120 초간 , 예 를 들 면 90 초간 열처리 되 어 , 결정 화 된다 . 이 PZT 막 ( 73 ) 의 결정 화 열처리 의 결과 , 상기 PZT 막 ( 74 , 75 ) 중 에 는 ( 111 ) 배향 의 기둥 형상 PZT 결정 이 상기 하부 전극 ( 73 ) 의 표면 으로부터 상방 을 향하 여 성장 한다 .