도 2 에 나타내 는 1 차 세정 모듈 ( 201 ) 과 2 차 세정 모듈 ( 202 ) 은 , 다른 구성 이 어도 된다 . 1 차 세정 모듈 로서 는 , 롤 세 정형 의 세정 장치 를 채용 해도 된다 . 롤 세 정형 의 세정 장치 는 , 기판 의 양면 측 에 각각 롤 형 의 세 정구 ( 롤 스펀지 ) 를 구비 한다 . 롤 세 정형 의 세정 장치 는 , 상기 세 정구 를 사용 하 여 기판 의 양면 을 스 크 럽 세정 할 수 있 다 .