하부 챔버 ( 20 ) 에 대해 먼저 살펴보 면 , 하부 챔버 ( 20 ) 는 실질 적 으로 유리 기판 ( G ) 에 대한 증착 공정 이 진행 되 는 부분 이 다 . 따라서 실질 적 으로 증착 공간 ( S ) 은 하부 챔버 ( 20 ) 내 에 형성 된다 . 이러 한 하부 챔버 ( 20 ) 의 외벽 에 는 소정 의 작업 로봇 에 의해 유리 기판 ( G ) 이 증착 공간 ( S ) 내외 로 유출 입 되 는 통로 인 기 판출 입부 ( 20 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 이러 한 기 판출 입부 ( 20 a ) 는 그 주변 에 결합 된 게이트 밸브 ( 24 ) 에 의해 선택 적 으로 개폐 된다 .