초기 대전량 ( Q 0 ) 은 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 대전 하 고 있 지 않 은 상태 에 있 어서 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 측정 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 대전량 이 다 . 초기 대전량 ( Q 0 ) 은 , 예 를 들 면 , 프로세스 가 실행 되 기 전 에 , 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 밀 어 올려졌 을 때 에 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 측정 된다 .