[ 0070 ] 특히 , 프로세싱 시스템 을 통해 기판 캐리어 ( 150 ) 및 마스크 캐리어 ( 160 ) 를 이송 하 기 위한 방법 ( 500 ) 의 실시 예 들 은 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 이송 시스템 ( 200 ) 을 사용 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 프로세싱 시스템 , 예컨대 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 진공 프로세싱 시스템 ( 300 ) 을 통해 기판 캐리어 ( 150 ) 및 마스크 캐리어 ( 160 ) 를 이송 하 기 위한 개선 된 방법 이 제공 된다 .