표 5 에서 , 실시 예 에 있 어서 는 막 두께 에 관계없이 휘도 및 현상 래티튜드 에 있 어서 양호 한 결과 가 얻 어 졌 다 . 이 에 반하 여 , 비 교예 에 있 어서 는 면 노광 으로 패턴 형성 한 것 은 고 휘도 가 얻 어 지 지 않 고 , 특히 농색 격리벽 의 높이 가 3 ㎛ 에서 는 현상 래티튜드 에 있 어서 양호 한 결과 가 얻 어 지 지 않 고 , 또한 마스크 리스 노광 한 것 은 고 휘도 로 는 되 지만 현상 래티튜드 에 있 어서 양호 한 결과 가 얻 어 지 지 않 았 다 .