상기 배 기실 ( 11 ) 의 측면 에 는 배기관 ( 23 ) 이 접속 되 어 있 고 , 이 배기관 ( 23 ) 에 는 진공 펌프 나 자동 압력 제어 밸브 등 을 포함 하 는 배기 기구 ( 24 ) 가 접속 되 어 있 다 . 배기 기구 ( 24 ) 의 진공 펌프 를 작동 시킴 으로써 챔버 ( 1 ) 내 의 가스 가 , 배 기실 ( 11 ) 의 공간 ( 11 a ) 내 에 균일 하 게 배출 되 고 , 배기관 ( 23 ) 을 통해서 배기 되 어 , 자동 압력 제어 밸브 에 의해 챔버 ( 1 ) 내 를 소정 의 진공도 로 제어 가능 하 게 되 어 있 다 .