상기 검사 부재 에 는 가속 전자 빔 을 발생 시키 는 전자총 ( 12 ) , 집속 렌즈 ( 14 ) , 편향 코일 ( 16 ) , 대물 렌즈 ( 18 ) 및 보조 코일 ( 20 ) 을 포함 하 는 렌즈 어셈블리 ( 22 ) 와 , 상기 피사체 ( 30 ) 의 표면 에서 상기 가속 전자 와 표면 반응 으로 발생 되 는 2 차 전자 를 검출 하 는 검출기 ( 24 ) , 상기 검출기 ( 24 ) 로부터 검출 된 신호 를 디지털 신호 로 변환 시키 는 A / D 변환기 ( 26 ) 등 이 포함 된다 .