본 발명 의 일 태양 에 따른 기판 처리 장치 는 , 기판 의 반송 방향 에서 봤 을 때 환 형상 의 개구 공간 을 가지 는 복수 의 블록 체가 상기 반송 방향 을 따라 배치 함 으로써 구성 되 고 , 상기 복수 의 블록 체의 상기 개구 공간 이 연통 함 으로써 형성 된 내부 공간 의 분위기 를 대기압 분위기 와 진공 분위기 로 전환 가능 한 진공 챔버 와 , 상기 진공 챔버 에 접속 된 트랜스퍼 챔버 와 , 상기 트랜스퍼 챔버 에 접속 된 프로세스 챔버 와 , 상기 진공 챔버 와 상기 트랜스퍼 챔버 사이 및 , 상기 트랜스퍼 챔버 와 상기 프로세스 챔버 사이 에서 상기 기판 의 수수 를 수행 하 고 , 또한 , 상기 트랜스퍼 챔버 의 내부 에 설치 된 반송 로봇 을 구비 한다 . 상기 진공 챔버 는 상기 복수 의 블록 체의 하나 인 제 1 블록 체 와 , 상기 복수 의 블록 체의 하나 이 며 , 상기 반송 방향 으로 교차 하 는 방향 으로 연장 됨 과 동시 에 상기 개구 공간 의 내측 하면 에 형성 된 홈 을 가지 며 , 씰 부재 를 통해 상기 제 1 블록 체 에 접속 고정 된 제 2 블록 체 와 , 상기 홈 이 연재 하 는 방향 으로 연장 됨 과 동시 에 상기 홈 에 감합 된 베이스 부재 와 , 상기 기판 이 접촉 하 는 지지 단과 , 상기 지지 단과 는 반대 측 에 위치 하 여 상기 베이스 부재 에 고정 되 는 고정단 을 가지 며 , 상기 진공 챔버 의 내부 에서 상기 기판 을 지지 하 는 복수 의 기판 지지 핀 을 가진다 .