이 들 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) , 배기 장치 , 퍼지 가스 공급계 , 압력계 , 리프터 ( 74 , 75 ) 등 에 의해 제 2 로드 록 모듈 이 구성 된다 . 제 2 로드 록 에 마련 하 는 리프터 는 제 1 로드 록과 마찬가지 로 고정 리프터 를 마련 하 도록 해도 좋 다 . 제 2 로드 록 모듈 은 또한 , 가열 · 냉각 장치 를 구비 하 고 있 어도 좋 다 .