측정 물 의 원자 단위 3 차원 정보 를 얻 기 위한 현미경 인 원자 현미경 ( AFM ) 은 힘 센서 의 한 종류 인 캔틸레버 를 이용 하 여 시편 표면 의 나노 형상 정보 를 얻 는다 . 그러나 한 가지 센서 를 사용 하 여 형상 정보 를 얻 어 내 는 제어 알고리즘 에서 는 최적 의 제어기 를 설계 하 지 못한다면 , 탁월 한 힘 제어 뿐 아니 라 , 이 제어 신호 를 이용 한 시편 의 형상 획득 에서 도 높 은 신뢰 성 을 얻 을 수 없 다 . 특히 원자 현미경 의 정확 한 수학 적 모델링 을 구하 지 못한다면 , 최적 제어기 를 구현 하 였 다 하 더라도 제어기 를 통해 나오 는 신호 와 캔틸레버 를 움직이 는 액추에이터 ( 이하 액추에이터 라 칭함 . ) 의 수학 적 모델링 에 기반 한 측 정물 의 나노 형상 정보 의 오 차 는 더욱 더 커질 수 밖에 없 다 . 이 를 위해 인터 페로 미터 와 같 은 액추에이터 의 절대 변위 를 측정 하 는 센서 , 액추에이터 와 캔틸레버 의 상대 적 움직임 을 측정 하 는 상대 변위 센서 를 사용 한다면 , 힘 피 이드 백 제어기 의 성능 및 시스템 의 정확 한 수학 적 모델 에 구애 받 지 않 고 나노 형상 정보 를 정확 하 게 얻 을 수 있 다 .