세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 기판 ( W ) 에 대해 세정 공정 을 수행 할 수 있 다 . 세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 회전 하 는 기판 ( W ) 의 중심 영역 에 세정액 을 공급 하 여 세정 공정 을 수행 할 수 있 다 . 세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 종류 에 따라 상이 한 구조 를 가질 수 있 다 . 이 와 달리 , 세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 동일 한 구조 를 가질 수 있 다 . 선택 적 으로 세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 복수 개 의 그룹 으로 구분 되 어 , 동일 한 그룹 에 속하 는 세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 서로 동일 한 구조 를 가지 고 , 서로 상이 한 그룹 에 속하 는 세정 처리 챔버 ( 260 a ) 는 서로 상이 한 구조 를 가질 수 있 다 .