전해조 몸체 , 불소 수지 로 코팅 된 바닥 면 , 불소 수지 로 코팅 된 분 리판 , 전해질 , 니켈 음극 ( Ni anode ) , 니켈 양극 ( Ni cathode ) , 음극 연결봉 , 양극 연결봉 , 생성 된 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 배출구 , 생성 된 수소 ( H 2 ) 배출구 , 전해조 상판 , 냉 각관 으로 이루어진 전해조 로서 , 상기 냉각관 은 전해조 상판 냉각관 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 제조 용 전해조 와 관계 한다 .