고 굴절 률 을 지닌 액체 를 이용 한 액침 노광 장치 에 관한 제 1 문제점 은 , 고 굴절 률 을 지닌 액체 가 , 순수 한 물 과 비교 해 산소 를 쉽 게 흡수 하 는 경향 이 있 다는 점 이 다 . 따라서 , 고 굴절 률 을 지닌 액체 가 대기 중 에 노출 되 면 , 자외선 영역 의 빛 에 대한 액체 의 투과 율 이 크 게 저하 한다 . 액체 의 투과 율 이 저하 하 면 노광 광 의 흡수 에 의한 액체 의 온도 가 상승 한다 . 이 때문 에 , 액체 의 굴절 률 이 변화 한다 . 이러 한 굴절 률 의 변화 는 , 노광 성능 ( 결상 성능 ) 을 악화 시킨다 . 높 은 노광 성능 을 유지 하 기 위해서 는 , 액체 의 투과율 을 정밀 하 게 관리 할 필요 가 있 다 . 덧붙여 , 높 은 노광 성능 을 유지 하 기 위해서 는 , 액체 의 투과율 을 일정 하 게 유지 하 는 것 이 바람직 하 다 . 액체 의 투과 율 이 변동 하 는 경우 에 는 , 이러 한 변동 에 따라 투영 광학계 의 수차 를 제어 할 필요 가 있 다 .