특히 , 위상 반 전막 ( 104 ) 을 형성 하 는 각 박막 ( 104 a , . .. 104 n ) 들 은 몰 리브 데 늄 ( Mo ) 을 포함 하 는 몰 리브 데 늄 실리사이드 ( MoSi ) 및 그 의 화합물 로서 MoSiO , MoSiN , MoSiC , MoSiON , MoSiCN , MoSiCO , MoSiCON 중 선택 되 는 1 종 이상 으로 구성 할 수 있 다 .