본 발명 에 따른 식각 액 조성물 은 경시 변화 방지 용 첨가제 로서 , 술 팜 산 을 포함 할 수 있 다 . 상기 술 팜 산 은 목적 하 는 테이퍼 각 을 유지 시켜 주 는 역할 을 수행 할 수 있 다 . 상기 술 팜 산 이 상기 식각 액 조성물 에 포함 되 는 경우 금속 용해도 가 향상 되 어 금속 이 증착 된 기판 , 예컨대 티타늄 막 또는 구리 막 을 식각 시 에 약액 에 용출 되 는 티타늄 이온 또는 구리 이온 들 의 용해 가 용이 하 며 , 한 번 의 식각 액 충전 으로 더욱 많 은 양 의 기판 들 을 식각 할 수 있 는 이점 이 있 다 .