폴리 실록 산 ( A - 1 ) 용액 의 양 을 8 . 166 g 으로 하 고 , ( D ) 인산 에스테르 아민 염 을 첨가 하 지 않 고 , 혼합 용제 를 PGME 3 . 676 g 과 PGMEA 3 . 200 g 으로 한 것 이외 에 는 , 실시 예 1 과 마 찬 자기 로 행하 여 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 21 ) 을 얻 었 다 . 얻 어 진 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 21 ) 을 사용 하 여 실시 예 1 과 마찬가지 로 평가 를 행했 다 .