도 1 을 사용 하 여 본 발명 을 실시 하 는 플 라즈 마 처리 장치 전체 의 구성 을 나타낸다 . 도 1 ( a ) 는 플 라즈 마 처리 장치 의 상면 단면도 , 도 1 ( b ) 는 그 사 측면도 이 다 . 이 플 라즈 마 처리 장치 는 , 대기 블럭 ( 101 ) 과 처리 블럭 ( 102 ) 으로 나뉘 어 져 있 다 . 대기 블럭 ( 101 ) 은 대기압 하 에서 웨이퍼 를 반송 하 여 수납 위치 결정 등 을 하 는 부분 이 고 , 처리 블럭 ( 102 ) 은 대기압 으로부터 감압 된 압력 하 에서 웨이퍼 등 의 시료 를 반송 하 여 처리 등 을 행하 고 , 시료 를 탑재 한 상태 에서 압력 을 상하 시키 는 부분 이 다 .