본 발명 의 근간 을 이루 는 해결 방안 은 피검 소자 ( device to be tested ) 에 콘 택 ( contact ) 할 수 있 도록 구성 된 마이크 로 콘 택 프로브 들 ( micro contact probes ) 을 구비 하 는 프로브 카드 ( probe card ) 를 구현 하 는 것 인데 , 이러 한 마이크 로 콘 택 프로브 들 각각 은 상기 프로브 카드 의 유연 막 ( flexible membrane ) 에 형성 된 복수 의 스트립 들 ( strips ) 각각 의 스트립 의 말단 에 접하 는 말 단부 가지 며 , 상기 프로브 카드 의 테스트 헤드 ( testing head ) 의 콘 택 요소 들 ( contact elements ) 은 상기 스트립 들 의 이러 한 말단 에 접하 지만 상기 유연 막 의 반대편 의 면 에 접하 는 말 단부 를 가질 수 도 있 고 , 상기 대응 하 는 콘 택 프로브 들 에 대한 감쇠 ( damping ) 지지 요소 로 작용 하 는 것 을 통해 , 이러 한 스트립 들 의 상기 말 단부 는 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 이 상기 피검 소자 에 콘 택하 는 동안 이동 할 수 있 다 .