상기 희생 층 의 컨 포 멀리 티 를 조절 하 기 위한 부가 적 인 에치 백 공정 은 이방성 플 라즈 마 에칭 공정 및 등방성 플 라즈 마 에칭 공정 을 포함 하 는 그룹 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 공정 을 포함 할 수 있 다 . 바람직 하 게 는 , 부가 적 인 에치 백 공정 은 헬륨 , 아르곤 , 제논 , 크립톤 , 네온 , 수소 원자 , 수소 기체 , 질소원 자 , 질소 기체 , 질소 함유 화합물 가스 , 일산 화 탄소 , 이산화 탄소 , 산소 원자 , 산소 기체 , 오존 , 물 , 및 할로겐 가스 , 황원 자 를 포함 하 지 않 는 할로겐 함유 화합물 가스 , 할로겐 원자 를 포함 하 는 황화물 가스 , 및 할로겐 원자 를 포함 하 지 않 는 황화물 가스 를 포함 하 는 주요 부식제 가스 에 속하 는 가스 들 을 포함 하 는 그룹 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 가스 를 이용 하 는 하나 이상 의 이방성 플 라즈 마 공정 을 포함 한다 .