상기 구성 2 에 따른 발명 에서 , 금속 실리사이드 를 함유 하 는 재료 로 이루어지 는 차광성 막 은 , 레지스 트 액 에 대한 습윤 성 을 높이 기 위해 , 적층 막 으로 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 몰리브덴 실리사이드 ( MoSi ) , 탄탈 실리사이드 ( TaSi ) , 티탄 실리사이드 ( TiSi ) , 텅스텐 실리사이드 ( WSi ) 등 의 금속 과 규소 를 함유 하 는 금속 실리사이드 계 의 차광성 막 과 , 상기 차광성 막 위 에 형성 된 , 산화 된 몰리브덴 실리사이드 막 ( MoSi 0 ) , 산질 화 된 몰리브덴 실리사이드 막 ( MoSiON ) , 산화 된 탄탈 실리사이드 막 ( TaSiO ) , 산질 화 된 탄탈 실리사이드 막 ( TaSiON ) , 산화 된 티탄 실리사이드 막 ( TiSiO ) , 산질 화 된 티탄 실리사이드 막 ( TiSiON ) , 산화 된 텅스텐 실리사이드 막 ( WSiO ) , 산질 화 된 텅스텐 실리사이드 막 ( WSiON ) 등 의 산화 또는 산질 화 된 금속 실리사이드 계 의 상 층막 과 의 적층 막 으로 할 수 있 다 . 상 층막 의 막 두께 는 , 예 를 들 면 50 ∼ 300 옹스트롬 , 보다 바람직 하 게 는 100 ∼ 300 옹스트롬 , 더 바람직 하 게 는 150 ∼ 300 옹스트롬 이 다 . 상 층막 은 , 반사 방지 기능 을 갖 는 막 이 어도 된다 .