상기 방법 에 의하 면 , 피크 치 의 화상 평가 치 에 대응 하 는 대물 렌즈 전압 을 상 기 대물 렌즈 에 인가 함 으로써 최적 의 초점 위치 를 찾아낼 수 있 다 . 특히 , 설정 된 범위 에서 측정 된 화상 평가 치 의 최대 값 이 피크 치 인지 여부 를 확인 하 고 , 상기 최대 값 이 피크 치가 아닌 경우 에 는 범위 를 재 설정 하 여 피크 치를 찾아냄 으로써 피사체 에 어택 을 최소 화 하 면서 도 단 시간 내 에 초점 위치 를 찾아낼 수 있 다 . 따라서 , 상기 피사체 의 명확 한 이미지 를 획득 할 수 있 으며 , 상기 피사체 에 발생 한 결함 이나 피사체 에 형성 된 패턴 의 크기 등 을 정확 하 게 알아낼 수 있 다 .