개시 된 실시 예의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 상기 적어도 하나 의 단부 벽 반대편 의 상기 육면체 형상 의 기판 이송 챔버 의 다른 단부 에 근접 하 여 배치 된 측면 기판 이송 개구 들 의 선형 어레이 로부터 의 측면 기판 이송 개구 는 , 반대편 단부 에 근접 한 상기 측면 기판 이송 개구 를 관통 한 기판 홀더 운동 의 대응 하 는 축 이 상기 적어도 하나 의 단부 벽 의 단부 기판 이송 개구 를 관통 한 기판 홀더 운동 의 다른 축 에 실질 적 으로 직교 하 도록 배향 된다 .