본 발명 의 다른 특징 에 따르 면 , 기판 이 안착 되 는 스핀 척 상부 면 에 복수 개 의 척 킹 핀 들 을 구비 하 고 , 상기 척 킹 핀 들 을 동일 한 개수 의 제 1 및 제 2 의 척 킹핀 들 로 분할 설정 하 는 기판 처리 장치 의 기판 척 킹 을 위한 처리 방법 이 제공 된다 . 이 방법 에 의하 면 , 상기 제 1 및 제 2 의 척 킹 핀 들 을 척 킹 해제 한다 . 상기 스핀 척 에 기판 이 안착 되 면 , 상기 제 1 및 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 로 기판 을 척 킹 한다 . 상기 스핀 척 을 회전 한다 . 기판 으로 공정 처리 하 는 유체 를 공급 한다 . 상기 제 1 및 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 을 교대 로 척 킹 한다 . 공정 이 완료 되 는지 를 판별 한다 . 공정 이 완료 되 면 상기 유체 의 공급 을 중지 한다 . 이어서 상기 스핀 척 의 회전 을 중지 한다 .