층간 절 연막 ( 150 ) 은 복수 의 스토리지 패드 ( 133 ) 를 서로 전기 적 으로 분리 할 수 있 다 . 층간 절 연막 ( 150 ) 은 절연성 물질 을 포함 할 수 있 다 . 층간 절 연막 ( 150 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산질 화 막 및 이 들 의 조합 중 하나 를 포함 할 수 있 지만 , 본 발명 의 기술 적 사상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .