상기 공정 챔버 ( 600 ) 는 내부 공간 을 외부 로부터 밀폐 시키 는 구조 를 가지 며 일 측 에 진공 펌프 ( 미 도시 ) 를 구비 하 여 내부 에 진공 상태 를 형성 할 수 있 다 . 일실 시예 로서 , 상기 공정 챔버 의 상부 는 개폐 가능 하 게 형성 된다 . 상기 공정 챔버 ( 600 ) 의 상부 몸체 ( 610 ) 를 개방 하 여 증착 대상 기판 ( W ) 을 상기 지지 부 ( 700 ) 에 고정 한 후 공정 챔버 의 하부 몸체 ( 620 ) 와 결합 하 여 상기 공정 챔버 ( 600 ) 의 내부 를 외부 로부터 격리 시킨다 . 이어서 , 상기 진공 펌프 를 가동 하 여 내부 에 진공 을 형성 함 으로써 이후 의 증착 공정 이 진공 상태 에서 수행 될 수 있 게 한다 .