이동 기구 ( 812 ) 및 이동 기구 ( 813 ) 는 수평 방향 으로 왕복 직선 운동 을 하 는 기능 을 각각 갖 는다 . 이동 기구 ( 812 ) 및 이동 기구 ( 813 ) 에 동력 을 공급 하 는 기구 로서 는 , 예 를 들 어 모터 로 구동 되 는 볼 나사 기구 ( ball screw mechanism ) ( 816 ) 를 사용 할 수 있 다 . 이동 기구 ( 812 ) 및 이동 기구 ( 813 ) 의 이동 방향 은 직교 되 기 때문 에 , 이동 기구 ( 813 ) 에 고정 되 는 스테이지 ( 815 ) 를 X 방향 및 Y 방향 으로 자유로이 이동 할 수 있 다 .