상기 보상 수단 은 기판 이 안착 되 는 히트 블럭 ( 16 ) 상의 XY 테이블 ( 50 ) 의 이 동거리 와 , 상기 광학 옵틱 ( 12 ) 으로 확인 되 는 패턴 의 이 동거리 차이 를 매핑 과정 으로 보상 해 주 는 수단 으로서 , 그 구성 을 보 면 기판 이 안착 되 는 히트 블럭 ( 16 ) 상의 XY 테이블 ( 50 ) 과 , 기판 의 패턴 과 동일 한 스케일 의 패턴 이 실제 존재 하 는 포지션 스케일 테이블 ( 52 ) 과 , 상기 XY 테이블 ( 50 ) 에 포지션 스케일 테이블 ( 52 ) 이 안착 된 상태 에서 포지션 스케일 테이블 ( 52 ) 의 패턴 간 거리 값 을 인식 하 는 상기 광학 옵틱 ( 12 ) 을 포함 하 여 구성 된다 .