이 변형 예 에서 , ＩＤ 부 ( 1 ) ( ＩＤ 용 반송 기구 ( ＴＩＤ ) ) 는 , 카세트 ( Ｃ ) 로부터 꺼낸 기판 ( Ｗ ) 을 기판 처리 열 ( Ｌｕ , Ｌｄ ) 중 어느 하나 에 반송 하 고 , 기판 처리 열 ( Ｌｕ , Ｌｄ ) 로부터 꺼내 진 기판 ( Ｗ ) 을 카세트 ( Ｃ ) 에 되돌려준다 . 이 와 같 은 ＩＤ 부 ( 1 ) ( ＩＤ 용 반송 기구 ( ＴＩＤ ) ) 의 기판 반송 에 의해 , 기판 ( Ｗ ) 을 기판 처리 열 ( Ｌｕ , Ｌｄ ) 중 어느 하나 에서 의 공정 으로 처리 할 수 있 다 .