한편 , 본 실시 예의 코일 부재 ( 30 ) 에 있 어서 는 , 복수 의 코 일부 ( 33 ) 가 병렬 적 으로 배치 되 어 있 어서 는 , 종래 의 직렬 형 코일 부재 와 달리 낮 은 임피던스 특성 을 발휘 하 게 된다 . 따라서 , 종래 의 코일 부재 에서 사용 되 는 13 . 56 MHz 보다 높 은 27 . 12 MHz 이상 의 초단파 ( VHF ; very high frequency ) 영역 의 주파수 를 코일 부재 에 인가 할 수 있 게 되 므로 , 코일 부재 ( 30 ) 에 인가 가능 한 고주파 전원 의 주파수 대역 을 다양 하 게 할 수 있 다 . 그리고 , 이러 한 초단파 의 고주파 전원 이 인가 되 더라도 전자 의 온도 가 종래 보다 상대 적 으로 낮 으므로 , 전자 에 의해 웨이퍼 가 손상 되 는 현상 을 방지 할 수 있 게 된다 .