이러 한 경우 에 도 , 실시 형태 에서 는 적절 하 게 대응 할 수 있 다 . 즉 , 도 1 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 유지 가능 한 상태 에서 는 , 승강 기구 ( 52 ) 에 의해 지지대 ( 51 ) 가 상방 으로 밀 어 올려져 있 고 , 포집 용기 ( 40 ) 상면 의 접속구 ( 41 ) 가 , 흡 인관 ( 32 ) 의 하단 부 와 접속 된 상태 에 있 다 . 따라서 , 먼저 흡인 배기관 ( 49 ) 과 밸브 ( V 3 ) 의 접속 을 해제 하 고 , 승강 기구 ( 52 ) 에 의한 포집 용기 ( 40 ) 의 상방 으로 의 밀 어 올림 을 해제 하 고 , 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 지지대 ( 51 ) 를 하강 시켜 가 면 , 포집 용기 ( 40 ) 와 흡 인관 ( 32 ) 의 하단 부 의 접속 은 해제 되 어 , 포집 용기 ( 40 ) 만 을 받침 부 ( 53 ) 에 적재 할 수 있 다 . 그러므로 포집 용기 ( 40 ) 의 보수 , 교환 이 용이 하 다 . 또한 흡 인관 ( 32 ) 에 대해서 도 , 이것 을 열 판 ( 13 ) 과 착 탈 가능 하 게 구성 해 두 면 , 흡 인관 ( 32 ) 자체 를 별도 유지 관리 하 는 것 이 용이 하 다 .