일부 실시 예 들 에서 , 상기 방향 전환 부 를 이용 하 여 상기 검사 대상 을 회전 시키 는 단계 는 , 상기 제 1 스테이지 에 상기 검사 대상 을 이송 시키 기 위하 여 구비 된 레 일부 로부터 상기 검사 대상 이 이격 되 도록 상기 검사 대상 을 상승 시키 는 단계 , 상기 검사 대상 을 수평 으로 약 90 ° 회전 시키 는 단계 , 및 상기 검사 대상 이 상기 레 일부 에 배치 되 도록 상기 검사 대상 을 하강 시키 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .