노광 , 현상 후 , 100 ㎛ 폭 의 라인 앤드 스페이스 패턴 을 1 대 1 의 폭 으로 형성 하 는 노광량 을 최적 노광량 이 라고 하 고 , 최적 노광량 에 있 어서 의 현상 후 의 최소 패턴 치수 를 해상도 라고 했 다 . 또한 , 현상 후 의 패턴 을 목시 및 배율 을 50 ∼ 100 배 로 조정 한 현미경 에 의해 관찰 하 고 , 미노 광부 의 녹 고 남 은 정도 에 따라 이하 의 기준 에 의해 현상 잔사 를 평가 했 다 .