스퍼터링 에 의해 180 nm 의 두께 로 제막 한 ITO 를 150 nm 까지 연마 한 , 26 mm× 28 mm× 0 . 7 mm 의 유리 기판 ( ( 주 ) 오프 토 사이언스 제조 ) 를 투명 지지 기판 으로 했 다 . 이 투명 지지 기판 을 시판 하 고 있 는 증착 장치 ( 쇼 와 진공 ( 주 ) 제조 ) 의 기판 홀더 에 고정 하 고 , HI , IL , HT - 1 , HT - 2 , 화합물 ( 2 A - 801 ) , 화합물 ( 1 - 2619 ) , ET - 1 및 ET - 2 를 각각 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , Liq , 마그네슘 및 은 을 각각 넣 은 질화 알루미늄 제 증착 용 보트 를 장착 했 다 .