각 가공 유닛 ( 18 ) 에 는 , 복합 측정 유닛 ( 44 ) 이 장착 된다 . 복합 측정 유닛 ( 44 ) 은 , 척 테이블 ( 14 ) 의 유지 면 ( 16 ) 의 높이 를 측정 하 기 위한 높이 측정 유닛 ( 44 - 1 ) ( 높이 측 정부 의 일례 ) 과 , 피 가 공물 ( 11 ) 등 을 촬상하기 위한 촬상 유닛 ( 44 - 2 ) ( 판 독부 ) 이 일체 로 된 복합 유닛 으로서 구성 된다 .