이 와 같 은 본 발명 에 따른 질화 처리 방법 에서 , 상기 질화 단계 에서 혼합 가스 의 조성 비 는 암모니아 ( NH 3 ) 50 ~ 80 부피 %, 질소 ( N 2 ) 10 ~ 30 부피 %, 및 아산화질소 ( N 2 O ) 5 ~ 20 부피 % 의 범위 이 고 , 질화 로 내부 압력 이 50 ~ 300 mbar 가 되 도록 혼합 가스 를 주입 할 수 있 다 .