특히 , 도어 부 ( 14 ) 에 일체 적 으로 형성 된 매핑 센서 ( 20 ) 를 이용 하 여 , 도어 부 ( 14 ) 의 하강 이동 에 수반 해 촬상 화상 ( 51 ) 을 취득 할 수 있 으므로 , 도어 부 ( 14 ) 의 동작 과 매핑 센서 ( 20 ) 의 검출 동작 을 별개 로 행할 필요 가 없 다 . 그 때문 에 , 도어 부 ( 14 ) 의 하강 동작 과 동시 에 , 복수 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상태 를 검출 할 수 있 으므로 , 처리 효율 을 향상 시킬 수 있 음 과 더불 어 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상태 를 고속 으로 검출 할 수 있 다 . 따라서 , 예 를 들 면 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 유무 를 검출 하 는 매핑 작업 을 효율 적 으로 행할 수 있 다 .