자연 산화물 막 들 을 제거 하 기 위한 다른 접근 법 은 불소 ( F 2 ) 가스 를 이용 하 는 것 과 같 은 건식 식각 프로세스 이 다 . 그러나 , 불소 함유 가스 들 을 이용 하 는 한 가지 단점 은 불소 가 일반 적 으로 기판 표면 상 뒤 에 남겨진다는 것 이 다 . 기판 표면 상 뒤 에 남겨진 불소 원자 들 또는 불소 라디칼 들 은 치명 적 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 뒤 에 남겨진 불소 원자 들 은 내부 에 공극 들 을 발생 시키 면서 기판 을 계속 해서 식각 할 수 있 다 .