여기 서 , 상기 소스 / 드레 인 예정 영역 의 CD ( Critical Dimension ) 은 200 ~ 1000 Å 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 돌출부 의 높이 는 100 ~ 500 Å 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 돌출부 의 상부 표면 에 형성 되 는 게이트 산화 막 두께 는 20 ~ 150 Å 이 고 , 상기 돌출부 측벽 에 형성 되 는 게이트 산화 막 두께 는 30 ~ 450 Å 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 소스 / 드레 인 영역 의 에 지부 는 상기 게이트 측벽 에서부터 상기 돌출부 측벽 사이 의 영역 과 중첩 되 는 상기 활성 영역 에 형성 하 는 것 을 특징 으로 한다 .