탄화규소 는 최 밀 충 진면 의 적층 순서 에 따라 많 은 결정 다형 이 보 고 되 고 있 으며 , 유일 하 게 입방 정상 을 가지 는 징크 블 렌 드 ( zincblend ) 구조 의 탄화규소 를 베타 탄화규소 ( β - SiC ) 라 하 고 , 나머지 결정 다형 을 알파 탄화규소 ( α - SiC ) 라고 지칭 한다 . 현재 , 4 - 에 이치 ( 4 - H ) 탄화규소 와 6 - 에 이치 ( 6 - H ) 탄화규소 는 3 인치 구경 을 갖 는 단결정 기판 의 상용 화 및 고품질 의 동종 박막 성장 이 가능 하 게 되 어 활발 한 연구 가 진행 되 고 있 으며 , 특히 , 4 - 에 이치 ( 4 - H ) 탄화규소 는 전자 이동도 등 이 가장 우수 한 특성 을 갖 기 때문 에 중점 연구 대상 이 되 고 있 다 .