도 17 c 를 참조 하 면 , 검사 스테이션 ( 4000 ) 은 간섭 센서 ( 4010 ) ( 예 를 들 어 , 앞서 언급 한 것 과 같 은 간섭 현미경 ) 가 설치 되 는 갠트리 ( gantry : 4020 ) 를 포함 하 는 테이블 ( 4030 ) 을 포함 한다 . 테이블 ( 4030 ) ( 진동 격리 베어링 을 포함 할 수 있 음 ) 은 LCD 패널 ( 4001 ) ( 또는 유리판 ) 을 지지 하 며 , 센서 ( 4010 ) 에 대해 패널 ( 4010 ) 을 위치 설정 한다 . 센서 ( 4010 ) 는 레일 ( rail ) 을 통해 갠트리 ( 4020 ) 에 장착 되 는데 , 레일 에 의해 센서 는 화살표 ( 4012 ) 방향 으로 앞뒤 로 이동 될 수 있 다 . 갠트리 ( 4020 ) 는 레일 상 의 테이블 ( 4030 ) 상 에 장착 되 며 , 화살표 ( 4014 ) 방향 으로 앞뒤 로 이동 이 가능 하 다 . 이 에 의해 , 검사 스테이션 ( 4000 ) 은 디스플레이 패널 ( 4001 ) 상 의 임의 의 위치 를 검사 하 도록 센서 ( 4010 ) 를 이동 시킬 수 있 다 .