이 구성 에 의하 면 , 제 1 노즐 에 공급 되 는 처리 액 이 , 제 1 공급 배관 의 상류 에서 가열 또는 냉각 된다 . 처리 액 의 토출 을 정지 하 고 있 을 때 에 , 처리 액 은 , 공통 배관 으로부터 제 1 공급 배관 에 공급 되 지 않 고 , 공통 배관 으로부터 제 1 리턴 배관 에 공급 된다 . 이 때 에 , 제 1 공급 배관 의 온도 는 실온 또는 그 부근 의 온도 가 된다 . 그 때문 에 , 처리 액 의 토출 을 개시 한 직후 는 , 처리 액 의 온도 가 제 1 공급 배관 이나 제 1 노즐 에서 변화 되 어 버린다 .