또한 , 퍼지 노즐 ( 7 ) 에 형성 되 는 노즐 개구부 ( 11 ) 의 배열 형태 에 관하 여 모든 노즐 개구부 ( 11 ) 가 유리 기판 ( 2 ) 상 에 배치 되 어 있 을 필요 는 없 고 , 병렬 된 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 의 일부 가 유리 기판 ( 2 ) 의 단면 ( 2 a ) 을 경계 로 해서 숫돌 ( 3 ) 측 에 배치 되 어 있 어도 좋 다 . 또한 , 상기 실시 형태 에서 는 유리 기판 ( 2 ) 의 양면 측 에 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 를 일렬 로 배치 했 지만 2 열 이상 의 복수열 로 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 노즐 개구부 ( 11 ) 의 형상 에 관해서 도 둥근 구멍 형상 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 , 슬릿 상 으로 해도 좋 다 .