일 실시 예 에서 , 베이스 링 ( 240 ) 은 입구 ( 231 ) 및 출구 ( 234 ) 사이 에서 베이스 링 ( 240 ) 의 측면 상 에 형성 된 하나 이상 의 측면 포트 ( 222 ) 를 가질 수 있 다 . 측면 개구 ( 222 ) 는 기판 ( 201 ) 의 엣지 구역 근처 에서 가스 분포 균일성 을 향상 시키 도록 구성 된 측면 가스 소스 에 연결 될 수 있 다 .