성막 공정 S 300 이 종료 되 면 , 밸브 ( 514 , 524 ) 를 개방 하 여 , 가스 공급 관 ( 310 , 320 ) 각각 으로부터 N 2 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 하 여 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 한다 . N 2 가스 는 퍼지 가스 로서 작용 하 여 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 잔류 하 는 가스 나 부생 성물 이 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 제거 된다 ( 애프터 퍼지 ) . 그 후 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 분위기 가 N 2 가스 로 치환 되 고 ( N 2 가스 치환 ) , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 은 상압 으로 복귀 된다 ( 대기압 복귀 ) .