상기 의 구성 에 의하 면 , 조정 나사 ( 1701 B ) 의 밀 어 넣 음 정도 와 조정 나사 ( 1701 C ) 의 조임 정도 를 조정 함 으로써 , 즉 , 보강 링 ( 181 ) 및 베이스 링 ( 182 ) 을 개재 하 여 연결 되 어 있 는 이면 차 단판 ( 170 ) 과 이 동부 ( 190 ) 사이 의 거리 ( 연결 거리 ) 를 조정 함 으로써 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 평면도 를 조정 하 고 , 기판 ( W ) 에 대한 거리 ( 즉 , 간극 영역 ( 180 ) 의 폭 ) 를 높 은 정밀도 로 제어 할 수 있 다 .