상기 특허 문헌 1 에 의하 면 , 이러 한 검사 장치 는 정보 표시 를 실행 하 기 위한 표시 수단 과 , 검사 대상 으로 되 는 정제 의 화상 데이터 에 의거 하 여 검사 를 위한 계측 을 실행 하 고 , 설정 되 는 판정 값 을 이용 하 여 검사 계측 결과 에 의거 하 는 검사 를 실행 하 는 것 에 의해 정제 를 검사 하 는 검사 처리 를 실행 하 는 동시 에 , 해당 검사 처리 시 에 소정 의 검사 항목 에 대해 상기 검사 계측 결과 를 통계 하 는 통계 처리 및 해당 통계 처리 의 결과 에 의거 하 여 상기 검사 계측 결과 의 도수 분포 를 상기 검사 항목 마다 상기 표시 수단 을 이용 하 여 표시 하 는 표시 처리 를 실행 하 는 처리 실행 수단 과 , 상기 검사 항목 마다 양품 허용 한계 값 , 양품 착오 율 및 상기 판정 값 을 입력 하 기 위한 입력 수단 을 구비 하 고 있 다 .