공정 제어 챔버 ( 20 ) 는 기화기 ( 10 ) 와 반응기 ( 21 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 공정 제어 챔버 ( 20 ) 는 , 제 2 반응물 증기 공급 라인 ( 9 ) 을 따라 반응기 ( 21 ) 에 공급 된 반응물 증기 의 양 을 계량 하 거나 제어 할 수 있 다 . 따라서 , 공정 제어 챔버 ( 20 ) 는 반응기 ( 21 ) 로 의 펄스 전달 타이밍 및 펄스 폭 을 제어 하 도록 구성 될 수 있 다 .