연마 패드 ( 12 ) 의 교체 가 필요 한 경우 에 는 도 2 내지 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 구동 롤러 ( 13 ) 와 연마 패드 ( 12 ) 및 지지 프레임 ( 140 ) 을 포함 하 는 연마 모듈 을 유지 보수 위치 ( MP ) 로 이동 시킨 후 에 , 연마 패드 ( 12 ) 를 교체 하 게 된다 . 참고 적 으로 , ' 연마 모듈 ' 이 라 함 은 구동 롤러 ( 13 ) , 연마 패드 ( 12 ) 및 지지 프레임 ( 140 ) 등 을 포함 하 는 기판 ( 1 ) 을 연마 하 기 위한 구조 들 을 말 한다 .