그래서 , 예 를 들 면 특허 문헌 1 ( 일본국 특개 2008 - 166844 호 공보 ) 에서 는 웨이퍼 의 중심 으로부터 외주 ( 外周 ) 를 향하 여 발산 하 는 자계 ( 磁界 ) 를 형성 하 고 , 자계 와 전계 의 상호 작용 에 의해 플라스마 밀도 분포 를 균일화 하 는 기술 이 알려져 있 다 . 또한 , 예 를 들 면 특허 문헌 2 ( 일본국 특개 2004 - 200429 호 공보 ) 에서 는 복수 의 코일 마다 요크 를 마련 하 고 , 국소 적 으로 플라스마 밀도 분포 를 제어 하 여 , 균일화 하 는 기술 이 알려져 있 다 .