본 실시 예 에 있 어서 는 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 에 의해 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 을 구동 하 면 , 모든 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 는 , 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 과 함께 승강 ( Z 방향 으로 이동 ) 한다 . 따라서 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 에 의해 , 기판 ( 10 ) 의 자세 를 유지 시킨 채 , 기판 ( 10 ) 을 승강 시킬 수 있 다 . 또한 , 각각 의 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 를 독립 적 으로 제어 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 에 있 어서 의 X 방향 의 일단 측 과 타단 측 을 각각 별도 로 승강 시킬 수 도 있 다 . 한편 , 기판 ( 10 ) 이 협지 기구 ( 211 ) 에 보유 지지 된 상태 에서 , X 방향 의 일단 측 과 타단 측 에 각각 설치 된 협지 기구 ( 211 ) 의 높이 가 다른 경우 에 는 , 기판 ( 10 ) 은 처진 상태 가 된다 . 따라서 , X 방향 의 일단 측 과 타단 측 에 각각 설치 된 협지 기구 ( 211 ) 의 높이 차 는 , 기판 ( 10 ) 에 악영향 이 생기 지 않 는 범위 로 제한 하 도록 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .