하나 또는 둘 이상 의 체결 기구 ( fastening mechanism ; 304 ) 는 시트 밸브 로 이송 챔버 를 부가 적 으로 결합 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 각각 의 체결 기구 는 대응 하 는 스 페이서 ( 322 ) 와 정렬 될 수 있 다 . 각각 의 체결 기구 ( 304 ) 는 이송 챔버 를 통하 여 배치 되 는 슬롯 ( 308 , 310 , 312 , 314 , 316 , 318 ) 내 에 배치 될 수 있 다 . 6 개 의 슬롯 ( 308 , 310 , 312 , 314 , 316 , 318 ) 이 도시 되 었 지만 , 더 많 거나 더 적 은 슬롯 ( 308 , 310 , 312 , 314 , 316 , 318 ) 이 존재 할 수 있 다는 것 이 이해 되 어야 한다 . 예 를 들 면 , 하나 또는 둘 이상 의 슬롯 은 처리 챔버 와 이송 챔버 사이 의 개구 ( 302 ) 아래 존재 할 수 있 다 . 또한 , 하나 또는 둘 이상 의 슬롯 은 인터페이스 ( 300 ) 의 중앙 ( 320 ) 의 다른 측 부 에 존재 할 수 있 다 .