도 2 와 도 3 을 각각 참조 하 면 종래 배면 드레 인 구조 웨이퍼 의 온 저항 측정 장치 는 드레 인 ( 6 ) 에 접하 는 척 ( 7 ) 을 마련 해 두 고 , 소스 ( 5 ) 와 게이트 ( 4 ) 에 연결 되 는 프로브 카드 ( 8 ) 를 사용 하 여 게이트 ( 4 ) 에 전원 이 인가 된 상태 에서 의 소스 ( 5 ) 와 드레 인 ( 6 ) 사이 의 저항 을 측정 하 였 다 .