도 7 d 를 참조 하 면 , 채널 ( 11 ) 의 양단 에 소스 / 드레 인 ( 12 ) 이 형성 될 수 있 다 . 소스 / 드레 인 ( 12 ) 은 기판 ( 10 ) 내 에 불순물 을 주입 함 으로써 기판 ( 10 ) 으로부터 형성 될 수 있 다 . 대안 적 으로 , 소스 / 드레 인 ( 12 ) 은 에피택시 얼 공정 에 의해 채널 ( 11 ) 상 에 형성 될 수 있 다 .