도 3 c 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 감광막 패턴 ( 26 ) 을 스트립 한 후 , 전면 에 감광막 을 도포 한 후 , 노광 및 현상 을 진행 하 여 제 2 감광막 패턴 ( 27 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 도시 하 지 않 았 지만 , 감광막 을 도포 하 기 전 에 무 반사 코팅 필름 ( Bottom Anti - Reflective Coating ) 을 형성 하 여 감광막 의 노광 공정 을 용이 하 게 하 고 , 이러 한 무 반사 코팅 필름 은 후속 제 2 감광막 패턴 ( 27 ) 의 스트립 공정 시 동시 에 제거 된다 . 바람직 하 게 , 무 반사 코팅 필름 은 200 Å ∼ 350 Å 두께 로 형성 한다 .