특허 문헌 1 에 는 , 기판 을 반송 로봇 의 아암 ( 포크 ) 으로 유지 하 여 반송 을 하 는 기구 를 지닌 반도체 제조 장치 에 있 어서 , 장치 내 의 복수 의 유닛 에서 발생 하 는 기판 의 위치 어긋남 량 을 아암 ( 포크 ) 의 유지 상태 에서 검출 하 는 것 이 개시 되 어 있 다 . 특허 문헌 1 에 는 유닛 상호 간 의 기판 의 반송 량 보정 에 의해 기판 의 위치 어긋남 량 을 보정 하 는 수단 을 갖 는 것 이 기재 되 어 있 다 . 또한 , 기판 의 위치 어긋남 의 검출 을 위해 , 기판 의 주연 부 의 위치 를 복수 개소 에서 측정 하 는 것 이 기재 되 어 있 다 .