제 1 반응 가스 노즐 ( 31 ) 은 , 유량 조정 밸브 등 을 통해 , Si ( 실리콘 ) 을 포함 하 는 제 1 반응 가스 , 예 를 들 어 디 이소프로필 아미노 실란 또는 BTBAS ( 비스터 셜 부틸 아미노 실란 , SiH 2 ( NH - C ( CH 3 ) 3 ) 2 ) 가스 의 가스 공급원 ( 모두 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 다 . 제 2 반응 가스 노즐 ( 32 ) 은 , 마찬가지 로 유량 조정 밸브 등 을 통해 , 제 2 반응 가스 , 예 를 들 어 O 3 ( 오존 ) 가스 와 O 2 ( 산소 ) 가스 의 혼합 가스 의 가스 공급원 ( 모두 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 다 . 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 은 각각 유량 조정 밸브 등 을 통해 분리 가스 인 N 2 ( 질소 ) 가스 의 가스 공급원 ( 모두 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 이하 에 는 , 편의 상 제 2 반응 가스 를 O 3 가스 로 하 여 설명 한다 .