본 고안 은 공기 순환 식 대면 적 기판 부상 장치 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 기판 을 부상 시키 는 공기 가 분사 되 는 분사구 가 구비 된 제 1 공기실 과 , 상기 분사구 로 분사 된 공기 가 유입 되 어 제 1 공기실 로 회귀 하 도록 제 1 통기구 와 제 2 통기구 를 각각 구비 한 제 2 공기실 과 , 상기 제 1 공기실 과 상기 제 2 공기실 로 공기 를 순환 시키 며 상기 기판 을 부상 시키 는 팬 을 포함 하 는 공기 순환 식 대면 적 기판 부상 장치 에 관한 것 이 다 .