도 6 은 처리 용기 ( 21 ) 의 스 페이서 ( 63 ) 및 그 주위 의 구성 을 도시 한 분 해 사시도 이 고 , 이 도면 에 도시 하 는 바 와 같이 상부 전극 베이스 ( 62 ) 의 상면 , 처리 용기 ( 21 ) 의 천장 하면 에 는 스 페이서 ( 63 ) 의 형상 에 대응 하 도록 각각 홈 ( 62 b , 27 ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 스 페이서 ( 63 ) 의 상면 에 는 스 페이서 ( 33 ) 의 홈 ( 34 ) 에 대응 하 는 홈 ( 64 ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 도면 중 도면 부호 ( 66 ) 는 패킹 이 며 , 탑재 대 ( 3 ) 의 패킹 ( 36 ) 과 마찬가지 로 구성 되 고 , 밀봉 부 ( 37 , 38 ) 에 각각 대응 하 는 밀봉 부 ( 67 , 68 ) 를 구비 하 고 있 다 .