도 12 를 참조 하 면 , 건식 식각 공정 으로 상기 격벽 ( W ) 을 일부 식각 하 여 상기 제 1 더미 패턴 ( DM 1 ) 의 폭 보다 상기 제 1 더미 패턴 ( DM 1 ) 하부 에 형성 된 격벽 ( W ) 의 폭 을 감소 시킨다 . 이 에 따라 , 상기 제 1 더미 패턴 ( DM 1 ) 과 상기 제 1 더미 패턴 ( DM 1 ) 하부 에 형성 된 격벽 ( W ) 사이 에 는 상술 한 폭 차이 에 의해 언더 컷 부 ( U ) 가 형성 된다 .