연마 장치 ( 주식회사 나노 팩터 제조 , FACT - 200 ) 의 기판 장착 용 흡착 패드 를 부착 한 홀더 에 상기 시험편 을 고정 했 다 . 또한 , 발포 폴리우레탄 의 연마포 를 부착 한 정반 상 에 , 피연 마막 을 아래 로 하 여 홀더 를 탑재 한 후 , 가공 하중 이 300 g / cm 2 ( 290 kPa ) 이 되 도록 누름돌 을 탑재 하 였 다 . 정반 상 에 상기 연마 액 을 10 mL / min 로 적하 하 면서 , 정반 회전수 를 80 min - 1 ( rpm ) 로 설정 하 고 , 피연 마막 을 60 초간 연마 했 다 .