클리닝 ( 1206 ) 은 NF 3 , SF 6 로 대표 되 는 에칭 가스 를 도입 하 여 플 라즈 마 에칭 을 행한다 . 또한 , ClF 3 와 같이 플 라즈 마 를 사용 하 지 않 아도 에칭 이 가능 한 가스 를 도입 하 여 행한다 . 클리닝 ( 1206 ) 에서 는 기판 가열 용 의 히터 를 끄 고 , 온도 를 낮추 어 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 에칭 에 의한 반응 부생 성물 의 생 성 을 억제 하 기 위해서 이 다 . 클리닝 ( 1206 ) 의 종료 후 에 는 프리 코트 ( 1201 ) 로 복귀 하 여 , 다음 의 기판 에 대하 여 상술 한 것 과 마찬가지 의 처리 를 행하 면 좋 다 . NF 3 는 질소 를 조성 에 포함 하 고 있 기 때문 에 , 성막 실 중 의 질소 농도 를 저감 하 기 위해서 는 프리 코트 를 행하 여 충분히 질소 농도 를 낮추 는 것 이 바람직 하 다 .