진공 반송 장치 ( 30 ) 는 이 중간 실 ( 32 ) 을 Y 방향 ( 도면 의 상하 방향 ) 을 따라서 , 본 예 에서 는 3 개 ( Y 방향 부 방향 ( 도면 의 하 방향 ) 측 으로부터 순서 대로 중간 실 ( 321 ) , 중간 실 ( 322 ) , 중간 실 ( 323 ) ) 갖 고 있 다 . 또한 , 중간 실 ( 323 ) 은 처리 시스템 ( 1 ) 의 구성 상 , 진공 반 송실 ( 31 ) 사이 에 마련 되 어 되 어 있 지 않 지만 , 중간 실 ( 321 ) , 중간 실 ( 322 ) 과 마찬가지 의 구성 을 갖 기 때문 에 , " 본 명세서 에서 는 "" 중간 실 "" 로 하 여 설명 한다 . "