상기 기판 ( 112 ) 을 이루 는 물질 은 특별히 한정 되 지 않 고 당 기술 분야 에 널리 이용 되 는 기판 물질 이 이용 될 수 있 으며 , 비 한정 적 인 예 를 들 면 , 사파이어 , 실리콘 ( Si ) , 실리콘 저 매 늄 ( SiGe ) , 저 매 늄 ( Ge ) , 갈륨비소 ( GaAs ) , 실리콘 카바이드 ( SiC ) 또는 산화아연 ( ZnO ) 등 일 수 있 다 .