[ 0075 ] 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 장치 는 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 를 제 1 방향 으로 비접 촉식 으로 이동 시키 도록 구성 된 구동 구조 를 포함 한다 . 구동 구조 는 제 1 부분 , 예컨대 , 제 1 트랙 ( 112 ) , 및 추가 적 인 제 1 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 1 트랙 ( 132 ) 을 포함 할 수 있 다 . 장치 는 , 진공 챔버 에서 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 비접 촉식 으로 공중 부양 시키 도록 구성 된 안내 구조 를 더 포함 할 수 있 다 . 안내 구조 는 제 2 부분 , 예컨대 , 제 2 트랙 ( 114 ) , 및 추가 적 인 제 2 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 2 트랙 ( 134 ) 을 포함 할 수 있 다 . 구동 구조 는 자기 구동 구조 일 수 있 고 그리고 / 또는 안내 구조 는 자기 안내 구조 일 수 있 다 .