상기 압 전 변환기 ( 200 ) ( 도 10 에 도시 된 바 와 같 음 ) 는 상기 지지 베이스 ( 100 ) 에 형성 되 고 , 상기 영구 결합 층 ( 150 ) 은 상기 압 전 변환기 ( 200 ) 에 대응 되게 형성 되 며 , 상기 영구 결합 층 ( 150 ) 은 상기 압 전 변환기 ( 200 ) 와 기판 ( 160 ) ( 도 6 에 도시 된 바 와 같 음 ) 이 웨이퍼 레벨 방식 의 집적 을 구현 하 도록 하 는데 사용 된다 .