계속 해서 제 1 예시 적 인 실시 예 에 대해 더 설명 하 면 , 제 2 이송 시퀀스 가 제 1 평가 웨이퍼 세트 내 의 S - D 웨이퍼 각각 마다 확립 될 수 있 다 . 실시간 작동 상태 는 평가 서브시스템 ( 150 ) 내 의 하나 이상 의 제 1 S - D 평가 요소 ( 152 ) 에 대해 확립 될 수 있 다 . 작동 상태 는 웨이퍼 가 S - D 평가 요소 ( 152 ) 에 대해 이송 될 때 에 변경 될 수 있 다 . 평가 서브시스템 ( 150 ) 내 의 제 1 S - D 평가 요소 들 ( 152 ) 에 대해 웨이퍼 를 이송 하 기 위해 실시간 이송 시퀀스 가 확립 되 어 이용 될 수 있 다 . 대안 으로 , 검사 서브시스템 ( 135 ) 내의 S - D 평가 요소 ( 137 ) 가 이용 될 수 있 다 . 제 1 개수 의 제 1 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 있 다면 , 제 1 개수 의 제 1 S - D 평가 웨이퍼 세트 는 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 을 이용 하 여 평가 서브시스템 ( 150 ) 내 의 제 1 개수 의 제 1 S - D 평가 요소 ( 152 ) 에 이송 될 수 있 다 . 제 1 S - D 평가 웨이퍼 세트 내 의 다른 S - D 웨이퍼 에 제 1 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 없 다면 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 세트 내 의 다른 S - D 웨이퍼 는 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 을 이용 하 여 제 2 시간 동안 지연 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 세트 내 의 다른 S - D 웨이퍼 는 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 내 의 하나 이상 의 이송 요소 ( 104 ) 를 이용 하 여 제 2 시간 동안 지연 될 수 있 다 . 이송 요소 ( 104 ) 는 2 개 이상 의 웨이퍼 를 지지 하 도록 구성 될 수 있 다 . 제 1 S - D 평가 웨이퍼 세트 내 의 다른 S - D 웨이퍼 는 제 2 시간 후 에 평가 될 수 있 다 . 제 2 다마 신 층 을 위한 S - D 웨이퍼 를 이송 할 필요 가 있 을 경우 유사 한 단계 세트 를 이용 할 수 있 다 . 예컨대 , 제 3 및 제 4 이송 시퀀스 를 이용 할 수 있 다 .