이때 , 게이트 전극 ( 94 ) 과 배선 막 ( 97 ) 은 동종 도전 막 으로 형성 하 거나 , 이종 도전 막 으로 형성 할 수 있 다 . 이 는 저항 을 고려 할 시 , 게이트 전극 ( 94 ) 과 배선 막 ( 97 ) 은 동종 도전 막 으로 형성 하 는 것 이 바람직 하 겠 으나 , 트랜지스터 의 문턱 전압 의 분포 를 고려 할 경우 게이트 전극 ( 94 ) 은 형성 이 용이 하 고 , 설정 된 문턱 전압 에 용이 하 게 접근 할 수 있 는 도전 막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 기 때문 이 다 . 또한 , 배선 막 ( 97 ) 을 금속 막 으로 형성 할 경우 , 저항 이 낮 은 워드 라인 이 형성 되 어 구동 전압 의 전달 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .