도 17 에 , 본 실시 예 에서 이용한 검사 레시피 를 설정 하 는 공정 의 조작 인터페이스 를 나타낸다 . 조작 인터페이스 는 , 도 4 기재 와 마찬가지 의 구성 을 갖 고 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 검사 패턴 설 정부 ( 61 ) 에서 패턴 a , 패턴 b , 및 패턴 c 를 검사 대상 으로서 선택 했 다 . 또한 , 가속 전압 설 정부 ( 63 ) , 조사 전류 설 정부 ( 64 ) , 시야 사이즈 설 정부 ( 65 ) , 주사 속도 설 정부 ( 66 ) 에서 , 가속 전압 300 V , 조사 전류 1000 pA , 시야 사이즈 1 ㎛, TV 레이트 의 2 배 의 주사 속도 를 설정 하 고 있 다 .