따라서 , 상기 광 투과 홀 의 형상 이 상기 에 예 로 들 은 에 눌러 형상 이외 의 원형 , 디아 폴 ( dipole ) , 크로스 폴 ( crosspole ) 또는 헥사 폴 ( hexapole ) 의 형상 으로 형성 되 는 사 입사각 을 , 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 또는 고정부 ( 400 ) 만 을 회전 시킴 으로써 구 현 할 수 있 다 .