그러나 대형 화 되 는 피 처리 기판 을 처리 하 기 위하 여 용량 결합 전극 을 대형 화 하 는 경우 전극 의 열화 에 의해 전극 에 변형 이 발생 되 거나 손상 될 수 있 다 . 이러 한 경우 전계 강도 가 불 균일 하 게 되 어 플 라즈 마 밀도 가 불 균일 하 게 될 수 있 으며 반응기 내부 를 오염 시킬 수 있 다 . 유도 결합 플 라즈 마 소스 의 경우 에 도 유도 코일 안테나 의 면적 을 크 게 하 는 경우 마찬가지 로 플 라즈 마 밀도 를 균일 하 게 얻 기 가 어렵 다 .