이 경우 , 구멍 확대 공정 ( S 9 ) 에서 , 기판 ( W ) 을 회전 시켜 도 좋 다 . 이 때 , 기판 ( W ) 의 회전 에 의한 원심력 과 , 기체 노즐 ( 42 ) 에서 토출 되 어 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 상면 을 따라 외방 으로 흐르 는 기체 에 의한 압력 과 의 쌍방 에 의해 구멍 ( H ) 을 넓혀 도 좋 고 , 구멍 확대 공정 ( S 9 ) 에서 기체 의 토출 유량 의 증대 를 수행 하 지 않 고 , 기판 ( W ) 의 회전 에 의한 원심력 만 으로 구멍 ( H ) 을 넓혀 도 좋 다 .