또한 , 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 의 상방 에 는 플라스마 발생기 ( 80 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , 필요 에 따라 , 제 2 처리 영역 ( P 2 ) 의 상방 에 도 플라스마 발생기 ( 80 a ) 를 설치 하 도록 해도 된다 . 도 3 에 있 어서 , 플라스마 발생기 ( 80 , 80 a ) 는 파선 으로 간략 화 하 여 도시 되 어 있 다 . 플라스마 발생기 ( 80 , 80 a ) 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 .