또한 , 제 1 탱크 ( 300 ) 는 약액 공급 장치 로 순환 되 어 들어온 제 1 약액 을 일차 적 으로 가열 한다 . 이 에 , 제 1 탱크 ( 300 ) 는 제 1 약액 을 가열 하 기 위한 제 1 가열 부재 ( 320 ) 를 포함 한다 . 제 1 가열 부재 ( 320 ) 는 제 1 약액 을 효율 적 으로 가열 시키 기 위한 다양 한 수단 들 을 포함 한다 .