결함 빔 검출 공정 ( S 102 ) 으로서 , 결함 빔 검 출부 ( 50 ) 는 , 멀티 빔 ( 20 ) 중 에서 결함 빔 을 검출 한다 . 예 를 들 면 , 각 빔 용 의 시프트 레지스터 ( 11 ) 를 이용 하 여 , 평가 용 의 조사 시간 데이터 를 전송 한다 . 그리고 , 각 시프트 레지스터 ( 11 ) 를 거친 데이터 에 기초 한 각 빔 의 전류 값 을 측정 한다 . 묘 화 제 어부 ( 59 ) 의 제어 에 의하 여 , 멀티 빔 ( 20 ) 의 각 빔 을 1 개 씩 　 도시 하 지 않 은 패러데이 컵 에 조사 하 여 , 각 빔 의 빔 전 류량 을 측정 한다 . 대상 빔 은 빔 ON 이 , 그 밖 의 빔 은 빔 OFF 가 되 도록 , 블 랭킹 애퍼처 어레이 기구 ( 204 ) 를 동작 시키 면 된다 . 예 를 들 면 , 미리 설정 된 조사 시간 씩 각 빔 을 1 개 씩 패러데이 컵 에 조사 하 는 동작 을 복수 회 반복 한다 . 그리고 , 결함 빔 검 출부 ( 50 ) 는 , 얻 어 진 합계 전 류량 을 입력 하 고 , 합계 전 류량 을 반복 수 로 나눈 평균 전 류량 을 측정 한다 . 그리고 , 설계 값 과 비교 하 여 , 과잉 혹은 부족 하 면 , 이러 한 빔 은 결함 빔 으로서 검출 할 수 있 다 . 또한 , 상시 ON 빔 이 존재 하 는 경우 , 각 빔 전류 를 검출 할 때 , 상시 ON 빔 의 분도 함께 검출 되 어 버리 지만 , 상시 ON 빔 1 개 만 의 전류 를 측정 한 경우 의 합계 전 류량 이 다른 빔 의 합계 전 류량 보다 작 아지므로 , 상시 ON 빔 을 특정 할 수 있 다 . 상시 ON 빔 을 특정 할 수 있 다면 , 다른 빔 의 측정 결과 로부터 상시 ON 빔 의 측정 결과 를 빼 면 , 해당 빔 의 합계 전 류량 을 알 수 있 다 .