또한 , 상기 보호 층 ( 34 ) 은 미세 유체 유로 ( 50 ) 내 의 미세 유체 ( 51 ) 가 예 를 들 어 , 물일 경우 에 전기 분해 가 될 수 있 으므로 , 미세 유체 ( 51 ) 를 보호 하 기 위하 여 이루어지 며 , 실리콘 나이트 라이드 ( Silicon Nitride ) 또는 실리콘 옥사이드 ( Silicon Oxide ) 로 형성 되 고 , 코팅 방식 으로 상기 광전도 성 층 ( 30 ) 상 에 형성 되 는 것 도 바람직 하 다 .