그리고 , 상기 세 정조 ( 10 ) 의 외측 에 는 내조 ( 20 ) 및 외조 ( 30 ) 를 연결 하 며 외조 ( 30 ) 의 세정액 을 내조 ( 20 ) 로 순환 시키 기 위한 순환 수단 ( 90 ) 이 제공 될 수 있 다 . 이러 한 순환 수단 ( 90 ) 은 통상 의 순환 펌프 및 순환 유로 를 포함 하 여 구성 될 수 있 으 며 , 순환 수단 ( 90 ) 의 구조 는 요구 되 는 조건 및 설계 사양 에 따라 다양 하 게 변경 될 수 있 다 . 아울러 상기 순환 수단 ( 90 ) 상 에 는 필터 및 히터 등 과 같 은 각종 부가 장치 가 제공 될 수 있 으며 , 이 와 같 은 부 가 장치 를 통해 내조 ( 20 ) 및 외조 ( 30 ) 의 세정액 은 순환 수단 ( 90 ) 을 거쳐 순환 되 는 동안 혼합 , 여과 및 가열 될 수 있 다 .