도 1 a 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 기판 결함 검출 장치 는 조명 부 ( 10 ) 와 촬상부 ( 20 ) 를 회동 가능 하 게 위치 시키 고 있 으며 , 상기 조명 부 ( 10 ) 를 기판 ( 40 ) 의 하부 에 소정 각도 를 갖 게 위치 시키 고 , 상기 조명 부 ( 10 ) 에 대해 대향 되 는 위치 에 촬상부 ( 20 ) 를 위치 시켜 , 상기 조명 부 ( 10 ) 으로부터 조사 된 빛 이 스테이지 ( 41 ) 상 에 안치 된 기판 ( 40 ) 을 투과 하 여 상기 촬상부 ( 20 ) 로 입사 된 빛 을 검출 하 도록 함 으로써 상기 촬상부 ( 20 ) 에 입사 된 빛 의 패턴 에 의해 상기 기판 ( 40 ) 상 의 결함 을 검출 하 게 되 는데 , 이때 상기 조명 부 ( 10 ) 에서 조사 되 는 빛 의 강도 와 조사 각도 는 후술 하 는 조명 부 ( 10 ) 의 발광체 ( 11 ) 에 의해 결정 된다 .