이어서 , 언 - 도프 트 폴리 실리콘 막 ( 102 A ) 상 에 도 펀트 가 함유 된 불순물 층 ( 105 ) 을 형성 한다 . 이때 , 불순물 층 ( 105 ) 은 후속 공정 을 통해 형성 될 도프 트 폴리 실리콘 막 ( 107 , 도 1 e 참조 ) 에 도핑 된 도 펀트 와 동일 도전 형 을 갖 는 도 펀트 를 함유 한다 . 예컨대 , 도프 트 폴리 실리콘 막 ( 107 ) 이 인 ( P ) 도 펀트 로 도핑 된 경우 오키 시 염화 인 ( POCl 3 ) 으로 형성 한다 . 오키 시 염화 인 ( P 0 Cl 3 ) 은 상온 , 상압 에서 무색 투명 액체 상태 로 존재 하 기 때문 에 언 - 도프 트 폴리 실리콘 막 ( 102 A ) 상 에 도포 ( coating ) 하 는 것 이 가능 하 다 .