또한 , 상기 기판 ( 600 ) 과 게이트 전극 ( 500 ) 및 게이트 절 연막 ( 200 ) 사이 에 펄스 형 플 라즈 마 를 사용 하 는 플 라즈 마 원자 층 증착 법 또는 펄스 형 플 라즈 마 를 사용 하 는 플 라즈 마 기상 화학 증착 법 을 사용 하 여 제 2 버퍼 층 ( 610 ) 을 구성 한다 . 이 에 따라 , 다른 증착 법 에 의해 제조 한 박막 에 비하 여 치밀 하 여 , 플라스틱 기판 등 과 같이 수분 침투 가 심각 한 약점 인 경우 기판 의 보호막 의 역할 을 동시 에 할 수 있 다 .