그리고 , 스 페이서 형성 공정 을 수행 한 후 팹 아웃 한 후 두께 를 측정 해야 하 는데 , 이 는 인 라인 ( In - Line ) 공정 에서 진행 되 지 못하 므로 , 시간 이 소모 되 며 , 인 라인 SEM 또는 인 라인 두께 측정 장비 와 분석 장비 간 에 측정 오 차 가 발생 하 게 되 어 정확 한 스텝 커버리지 의 측정 이 어려운 문제 가 있 다 .