이어서 , 상기 마스크 패턴 ( 218 ) 을 제거 하 고 , 상기 기판 ( 110 ) 에 어닐링 공정 을 수행 한다 . 상기 어닐링 공정 에 의하 여 상기 원소 주입 층 들 ( 220 ) 은 도 9 의 반사체 들 ( 220 a ) 로 형성 된다 . 상술 한 제 1 실시 예 에서 설명 한 것 과 같이 , 상기 어닐링 공정 은 상기 기판 ( 110 ) 에 수행 되 는 다른 어닐링 공정 으로 대체 될 수 도 있 다 .