평면 에서 볼 때 급전 용 비아 나 제 1 비아 가 있 는 부분 은 , 각 가열 존 내 의 발열체 에 있 어서 의 급전 용 비아 나 제 1 비아 가 없 는 부분 에 비해서 온도 가 낮 아지므로 , 이 유지 장치 에서 는 , 평면 에서 볼 때 급전 용 비아 나 제 1 비아 가 겹치 지 않 게 배치 되 어 있 다 . 이 로써 , 각 가열 존 의 평면 방향 에 있 어서 의 온도 분포 를 균일화 시킬 수 있 다 .