이 와 같이 포토레지스트 잔류물 이 발생 하 는 이유 는 게이트 사이 의 거리 가 짧아져서 포토레지스트 의 현상 시 에 RCS 스페이스 의 포토레지스트 가 날아가 기 힘든 이유 도 있 지만 레이저 가 RCS 스페이스 로 침투 하 지 못하 는 것 도 중요 한 이유 이 다 . 레이저 가 침투 해 들어가 서 포토레지스트 의 본딩 을 끊 어야 하 는데 이 것 을 방해 하 기 때문 에 RCS 스페이스 의 포토레지스트 가 분해 가 되 지 않 고 남 아 있 는 것 이 다 .