유체 저 장부 ( 210 , 220 ) 는 세정 유체 를 저장 하 는 역할 을 수행 한다 . 본 발명 에서 세정 유체 는 탈 이 온 수 이 류체 , 고압 탈 이 온 수 및 건조 기체 를 포함 할 수 있 다 . 탈 이 온 수 이 류체 는 탈 이 온 수 가 건조 기체 와 함께 이 류체 의 형태 로 제공 된 것 을 나타낸다 . 고압 탈 이 온 수 는 탈 이 온 수 가 고압 으로 분사 되 는 것 을 나타낸다 .