도 1 에서 도시 된 동작 조건 에서 , 웨이퍼 캐리어 ( 32 ) 는 스핀 들 의 피팅 ( 24 ) 상 에 장착 된다 . 웨이퍼 캐리어 는 , 일반 적 으로 최 상부 및 저부 표면 들 에 수직 으로 연장 된 중심축 ( 25 ) 을 구비 한 원형 디스크 의 형태 의 보디 를 포함 하 는 구조 를 구비 한다 . 웨이퍼 캐리어 의 보디 는 , " 본 명세서 에서 "" 최 상부 "" 표면 ( 34 ) 로 지칭 되 는 제 1 주 표면 "," 및 본 명세서 에서 "" 저부 "" 표면 ( 36 ) 으로 지칭 되 는 제 2 주 표면 을 구비 한다 . 웨이퍼 캐리어 의 구조 는 또한 ", 스핀들 ( spindle ) 의 피팅 ( fitting ) ( 24 ) 을 인 게 이징 하 고 기체 분배 요소 ( 12 ) 를 향해 위쪽 으로 향한 최 상부 표면 ( 34 ) 을 구비 한 스핀들 상 의 웨이퍼 캐리어 의 보드 를 유지 하 도록 배열 된 피팅 ( 39 ) 을 구비 하 며 , 그 저부 표면 ( 36 ) 은 가열 요소 ( 28 ) 를 향해 아래쪽 으로 그리고 기체 분배 요소 로부터 먼 방향 으로 향한다 . 단순히 예 로서 , 웨이퍼 캐리어 보디 는 약 465 mm 직경 일 수 있 으며 , 최 상부 표면 ( 34 ) 과 저부 표면 ( 32 ) 사이 의 캐리어 의 두께 는 15 . 9 mm 의 차수 일 수 있 다 . 예시 되 는 특정 실시 예 에서 , 피팅 ( 39 ) 은 보디 ( 32 ) 의 저부 표면 에서 원뿔대 형 침하 ( frustoconical depression ) 로서 형성 된다 . 그러나 , 함께 계류 중 이 고 공동 양도 된 미국 특허 공개 공보 제 2009 - 0155028 A 1 호 ( 그 개시 는 본 명세서 에서 참조 로 결합 됨 ) 에서 설명 된 바 와 같이 , 그 구조 는 보디 로부터 분리 되 어 형성 되 는 서브 를 포함 할 수 있 으며 그 피팅 은 그러 한 허브 에 결합 될 수 도 있 다 . 또한 , 피팅 의 구성 은 스핀 들 의 구성 에 의존 할 것 이 다 .