본 발명 은 표면 형상 측정 시스템 및 측정 방법 에 관한 것 으로서 , 더욱 상세 하 게 는 백색광 주사 간섭 원리 를 이용 하 는 단일 장비 에서 2 차원 과 3 차원 정보 획득 을 모두 실시 할 수 있 으며 , 측정 물 전체 면적 에 대한 검사 를 수행 하 는 대신 특정 영역 에 대해서 만 3 차원 검사 를 수행 할 수 있 도록 하 는 표면 형상 측정 시스템 및 그 를 이용 한 측정 방법 에 관한 것 이 다 .