그리고 , 상기 접착제 ( 13 ) 의 상부 면 에 상기 기판 ( 10 ) 보다 건식 식각 률 이 높 은 실리콘 화합물 ( 12 ) 막 을 형성 한다 ( 도 4 c ) . 그러면 , 상기 접착제 ( 13 ) 는 기판 ( 10 ) 의 상부 면 과 실리콘 화합물 ( 12 ) 사이 에 위치 하 며 , 기판 ( 10 ) 의 상부 면 과 실리콘 화합물 ( 12 ) 간 의 접착력 을 강화 시킨다 .