" 도 2 c 는 본 발명 에 따른 기판 홀더 ( 2 ) 의 기계식 모듈 ( 6 '"") 의 제 3 예시 적 인 실시 예의 개략 적 인 기능 적 계획 이 다 . 이것 은 이동의 자유도 의 가능 한 조합 을 나타내 는데 ", 평행 이동 ( parallelization ) , 특히 직접 구동 및 통합 기능 , 특히 위치 검출 및 안정 화 및 / 또는 능동 적 인 진동 댐 핑 및 / 또는 능동 적 인 냉각 및 / 또는 능동 적 인 온도 안정 화 및 / 또는 자체 - 수용 의 사용 이 본 발명 에 따라 선호 된다 .