희생 막 구조물 ( 140 ) 및 예비 전하 저장 구조물 ( 250 ) 은 예 를 들 어 , 불 산 ( HF ) 및 / 또는 인산 ( H 3 PO 4 ) 을 사용 하 는 습식 식각 공정 에 의해 제거 될 수 있 다 . 제 1 갭 ( 320 ) 이 형성 될 때 , 지지막 ( 160 ) 및 지지 패턴 ( 165 ) 은 제거 되 지 않 고 상기 몰드 가 무너지 지 않 도록 지 지 할 수 있 다 .