레티 클 스테이지 ( 525 ) 는 레티 클 ( 520 ) 및 측정 마스크 ( 20 ) 를 지지 하 고 , 이동기 구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 다 . 이동기 구 ( 도시 하 지 않 음 ) 는 , 예 를 들 면 , 리니어 모터 를 포함 하 고 , X 축 방향 으로 레티 클 스테이지 ( 525 ) 를 구동 함 으로써 레티 클 ( 520 ) 및 측정 마스크 ( 20 ) 를 이동 시킬 수 있 다 .