기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 처리 용기 ( 2 ) 를 구비 한다 . 처리 용기 ( 2 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) , 및 이동 기구 ( 11 ) 를 수용 한다 . 제 2 도 통부 ( 96 ) 는 , 처리 용기 ( 2 ) 에 설치 된다 . 이동 기구 ( 11 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) , 및 제 1 도 통부 ( 95 ) 를 승강 시킴 으로써 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 및 제 1 도 통부 ( 95 ) 의 위치 를 접촉 위치 로 그리고 비 접촉 위치 로 전환 한다 .