플라 즈 마 형성 유닛 은 챔버 ( 10 ) 에 결합 되 어 , 유입 로 ( 121 ) 를 통해 식각 공간 부 ( 101 ) 에 공급 되 는 식각 가스 를 플 라즈 마 화 시킨다 . 이 와 같이 식각 가스 가 플라 즈 마 상태 로 유도 된 후 , 고 에너지 의 전자 및 라디칼 에 의해 웨이퍼 가 식각 된다 . 플 라즈 마 형성 유닛 은 코일 부재 ( 30 ) 와 , 매립 부재 ( 40 ) 와 , 고주파 전원 공급 장치 ( 50 , 51 ) 와 , 매칭 네 크 워크 ( 60 , 61 ) 를 구비 한다 .