이러 한 목적 은 독립 항 제 1 항 에 제시 된 특징 들 을 포함 하 는 에피 택 셜 반응기 를 위한 반응 챔버 를 통하 여 , 그리고 독립 항 제 15 항 에 제시 된 기능 성 들 을 포함 하 는 에피 택 셜 반응기 의 반응 챔버 를 가열 하 기 위한 공정 을 통하 여 실질 적 으로 달성 된다 . 챔버 와 방법 의 추가 적 인 이로운 면 들 은 종 속항 들 에 제시 되 어 있 다 .