주요 유전체 후보 물질 로 는 루타 일 ( rutile ) 구조 의 TiO 2 및 SrTiO 3 등 이 주목 받 고 있 으며 , 향후 적용 가능 성 이 가장 높 은 것 으로 판단 되 고 있 다 . 그러나 이러 한 유전체 는 작 은 밴드 갭 등 으로 누설 전류 문제 때문 에 기존 의 TiN 전극 을 사용 할 수 없 으며 새로운 전극 이 필요 하 다 . 신규 전극 은 유전체 를 쉽 게 결정 화 시킬 수 있 도록 유전체 와 동일 한 결정 구조 를 가진 산화물 전극 이 유리 하 다 .