처리 용기 ( 1 ) 는 , 알루미늄 등 의 금속 에 의해 구성 되 고 , 대략 원통형 을 갖 고 있 다 . 처리 용기 ( 1 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한다 . 처리 용기 ( 1 ) 의 측벽 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 반입 또는 반출 하 기 위한 반입 출구 ( 11 ) 가 형성 되 고 , 반입 출구 ( 11 ) 는 게이트 밸브 ( 12 ) 에 의해 개폐 된다 . 게이트 밸브 ( 12 ) 는 , 도 3 에서 는 게이트 밸브 ( G 11 ) 로서 도시 하고 있 다 . 처리 용기 ( 1 ) 의 본체 상 에 는 , 단면 이 직사각 형상 을 이루 는 원환 형 의 배기 덕트 ( 13 ) 가 마련 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 13 ) 에 는 , 내 주면 을 따라서 슬릿 ( 13 a ) 이 형성 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 13 ) 의 외벽 에 는 , 배기구 ( 13 b ) 가 형성 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 13 ) 의 상면 에 는 , 처리 용기 ( 1 ) 의 상부 개구 를 막 도록 천장 벽 ( 14 ) 이 마련 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 13 ) 와 천장 벽 ( 14 ) 의 사이 는 시일 링 ( 15 ) 으로 기밀 하 게 밀봉 되 어 있 다 .