연마 테이블 ( 100 ) 은 플레이튼 ( platen ) ( 110 ) 및 연마 패드 ( polishing pad ) ( 120 ) , 그리고 접착 필름 ( adhesion film ) ( 도 2 의 130 ) 을 포함 한다 . 플레이 튼 ( 110 ) 은 대체로 원통 형상 을 가지 며 , 연마 스테이션 ( 10 ) 에 회전 가능 하 도록 설치 된다 . 연마 패드 ( 120 ) 는 플레이튼 ( 110 ) 의 상부 면 에 부착 되 며 , 접착 필름 ( 130 ) 은 연마 패드 ( 120 ) 와 플레이튼 ( 110 ) 의 접착 을 위해 제공 된다 . 연마 패드 ( 120 ) 및 접착 필름 ( 130 ) 에 대한 상세 한 설명 은 후술 하 겠 다 .