본 발명 의 세정 방법 은 , 상기 어느 접촉 방법 도 적용 할 수 있 지만 , 단시간 에 보다 효율 적 인 오염 제거 가 가능 한 점 에서 , 스핀 식 이나 스프레이 식 의 세정 에 바람직 하 게 사용 된다 . 이 경우 에 있 어서 , 세정 시간 의 단축 , 세정제 조성물 사용량 의 삭감 이 요망 되 고 있 는 매 엽 식 세정 장치 에 적용 한다면 , 이 들 문제 가 해결 되 므로 바람직 하 다 .