연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 는 연마 중 웨이퍼 ( W ) 로부터 제거 되 는 구리 와 같 은 연마 파편 ( polishing debris ) 에 의해 오염 된다 . 반면 에 , 테이프 공급 및 회수 기구 ( 2 A ) 는 분할 벽 ( 20 ) 외측 에 위치 되 기 때문 에 , 연마 액 이 테이프 공급 및 회수 기구 ( 2 A ) 에 부착 되 지 않 는다 . 따라서 , 연마 액과 접촉 하 지 않 고 연 마실 ( 21 ) 로 핸드 를 삽입 할 필요 없이 , 연 마실 ( 21 ) 외측 에서 연마 테이프 ( 23 ) 가 교체 될 수 있 다 .