본 발명자 들 은 반사 방지 조성물 에서 의 가교 성 PAG 의 구현 이 폴리머 베이 킹 단계 중 에 BARC 폴리머 와 의 가교 반응 에 의해 BARC 표면 에서 의 PAG 손실 을 감소 시킬 수 있 으며 , 제공 된 반사 방지 층 은 노광 된 BARC 영역 에서 가교 된 PAG 로부터 효과 적 으로 발생 된 강산 에 의해 훨씬 개선 된 패턴 붕괴 를 나타냄 을 확인 하 였 다 .