반 대로 기판 을 언 로딩 할 경우 , 로딩 하 는 경우 와 마찬가지 로 먼저 로봇 암 ( 230 ) 을 일차 적 으로 상측 으로 이동 시켜 상측 전단 에 구비 된 변위 센서 ( 312 , 314 ) 를 통해 이 재 로봇 ( 200 ) 의 기준 위치 를 감지 함 과 더불 어 , 로봇 암 ( 230 ) 을 카세트 ( 100 ) 내부 로 진입 하 여 상측 후단 에 구비 된 변위 센서 ( 342 , 344 ) 를 통해 로봇 암 ( 230 ) 의 직진 성 여부 를 감지 한다 .