상기 한 바 와 같 은 본 발명 제 1 , 제 2 , 제 3 실시 예 에 의하 면 , 특정 한 작업 의 경우 작업 대상물 의 성상 변화 나 최적 의 작업 조건 을 제공 하 는 것 에 작업 대상물 이 수분 을 적절 한 상태 로 유지 하 도록 하 는 것 이 요구 되 는데 이 를 위해 내부 패드 ( 110 ) 의 온도 를 주위 온도 보다 낮추 어 주 면 내부 패드 ( 110 ) 와 작업대 상물 이 모두 대기 온도 보다 일정 온도 이상 낮 게 된다 .