이러 한 차 에 기인 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 상 에 성막 을 행한 경우 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 세로 방향 에서 의 위치 의 차 도 포함 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 면내 에서 막 두께 에 차 가 생기 는 경우 가 있 다 . 웨이퍼 ( W ) 상 에 성막 하 는 박막 의 막 두께 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 면내 에서 균일 한 것 이 바람직 하 고 , 면내 균일성 이 양호 한 것 이 바람직 하 다 . 이하 에서 는 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 의 위치 에 기인 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 면내 ( 예컨대 엣지 ) 에서 의 막 두께 가 일정 하 지 않 은 막 두께 분포 의 편중 을 편심 이 라고 부른다 . 프로세스 성능 을 최대 화 하 기 위해서 는 편심 을 없앨 필요 가 있 다 .