상기 하부 전극 ( 220 ) 은 예 를 들 면 , 도핑 된 폴리 실리콘 과 같 은 반도체 물질 ; 루테늄 ( Ru ) , 이리듐 ( Ir ) , 티타늄 ( Ti ) 및 / 또는 탄 탈륨 ( Ta ) 과 같 은 금속 ; 티타늄 나이트 라이드 ( TiN ) , 탄탈 륨 나이트 라이드 ( TaN ) , 텅스텐 나이트 라이드 ( WN ) 와 같 은 도전 성 금속 질화 막 ; 산화 이리듐 ( IrO ) 과 같 은 도전 성 금속 산화물 ; 및 / 또는 이 들 의 복합 물 로 형성 될 수 있 다 . 상기 하부 전극 ( 220 ) 은 단일 층 으로 형성 될 수 도 있 고 , 2 이상 의 층 이 적층 된 구조 일 수 도 있 다 .