도 1 b 내지 1 d 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 내장 된 도핑 방식 을 도시 한다 . 도 1 b 내지 1 d 는 도 1 a 의 선 Z 1 - Z 1 에 대응 하 는 단면도 이 다 . 설명 의 목적 으로 , 유전체 층 ( 200 ) 은 도 1 b 내지 1 d 의 CNT ( 100 ) 를 완전히 커버 한다 . 그러나 , 이하 의 실시 예 에서 , 유전체 층 ( 200 ) 은 소스 / 드레 인 접촉 하 에서 CNT ( 100 ) 만 을 부분 적 으로 커버 한다 .