본 발명 에 따른 기판 건조 챔버 에 있 어서 , 상기 기판 은 상기 하부 강 화처 리부 와 상기 상부 강 화처 리부 의 결합 면 보다 높 게 위치 하 도록 상기 기판 배치 판 상 에 배치 되 어 있 고 , 건조 공정 이 완료 되 어 상기 하부 강 화처 리부 와 상기 상부 강 화처 리부 가 분리 되 어 개방 되 는 경우 , 상기 결합 면 에 구비 된 실링 부 주변 의 파티클 이 상기 기판 과 상기 결합 면 의 높이차 에 따른 중력 에 의해 상기 기판 으로 의 유입 이 방지 되 는 것 을 특징 으로 한다 .