유리 기판 반입 위치 ( P 1 ) 에 있 어서 , 외부 의 스토커 로부터 , 증착 처리 공정 반송 로 ( 100 a ) 상 의 기판 반 입실 ( 101 ) 에 유리 기판 ( G ) 이 반입 되 고 , 반송 캐리어 ( 302 ) 상 의 소정 의 보유 지지 위치 에서 , 정 전척 ( 308 ) 에 의해 보유 지지 된다 . 유리 기판 반입 위치 ( P 1 ) 에 있 어서 는 , 반송 캐리어 ( 302 ) 와 이것 을 지지 하 는 반송 모듈 ( 301 ) 은 , 반송 모듈 ( 301 ) 이 하측 이 되 도록 배치 되 어 있 다 . 이 때 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 유리 기판 보유 지지 면 ( 척 면 ) 이 위 를 향한 자세 이 다 . 유리 기판 ( G ) 은 , 유리 기판 반입 위치 ( P 1 ) 로 상방 으로부터 반입 되 어 , 해당 척 면 에 재치 된다 .