그러나 , 이러 한 컨 택 방식 의 포토 공정 은 10 회 정도 만 포토 마스크 를 사용 해도 기판 과 의 컨 택 으로 마스크 결함 이 쉽 게 생겨 소자 불량 의 원인 이 되 고 있 으며 , 또한 빈번 한 마스크 세정 또는 교체 로 관리 비용 이 증가 하 는 단점 이 있 다 . 반면 에 , 스 테퍼 나 스캐너 등 은 보통 5 : 1 정도 로 축소 결상 을 하 므로 픽셀 데이터 량 이 축소비 의 제곱 비례 로 작 고 따라서 저가 의 마스크 제작 이 가능 하 다 .