본 발명 에 따르 면 연마 층 의 적어도 일부 에 친수성 ( hydrophilic ) 물질 이 형성 된다 . 이 는 건식 연마 시 발생 하 는 마찰열 을 냉각 시키 고 , 연마 찌꺼기 가 연마 층 의 표면 에 축적 되 는 것 을 방지 하 면서 , 연마 찌꺼기 를 밖 으로 배출 시키 기 위한 것 이 다 . 보다 구체 적 으로 설명 하 면 , 습식 연마 에서 는 마찰열 의 냉각 , 연마 성능 향상 , 연마 찌꺼기 배출 등 을 목적 으로 연마 액 을 사용 한다 . 연마 액 을 사용 하 면 별도 의 비용 이 지출 되 고 , 연마 액 의 가격 이 저렴 하 지 도 않 고 , 무엇 보다 환경 오염 이 문제 가 되 기 때문 에 , 저렴 하 고 사용 도 쉽 고 환경 오염 도 발생 하 지 않 는 물 을 사용 하 는 것 이 가장 바람직 하 다 . 본 발명 도 물 을 이용 하 여 마찰열 을 냉각 시키 고 연마 찌꺼기 를 배출 시키 는데 , 정밀 연마 의 경우 연마 층 을 구성 하 는 연마 패턴 이 수십 ㎛ 내지 수백 ㎛ 이 기 때문 에 연마 제품 이 피 연마 체 에 밀착 되 면 외부 에서 물 을 공급 한다고 하 더라도 연마 제품 과 피 연마 체 사이 에 충분 한 물 이 공급 되 기 어렵 다 . 더욱이 정밀 연마 는 매우 짧 은 시간 으로 진행 되 기 때문 에 연마 시간 내 에 연마 제품 과 피 연마 체 사이 에 물 이 충분히 들어가 기 는 어렵 다 . 따라서 연마 중 에 외부 에서 물 을 공급 하 는 것 보다 연마 전 피연 마 체의 표면 또는 연마 제품 의 표면 에 물 을 공급 함 으로써 , 연마 직전 , 즉 연마 제품 을 운동 시키 기 직전 피 연마 체 에 밀착 시켰 을 때 연마 제품 과 피 연마 체 사이 에 물 이 존재 하 게 하 는 것 이 바람직 하 다 . 특히 연마 층 표면 에 물 이 접촉 되 어 있 으면 연마 중 발생 하 는 연마 찌꺼기 가 연마 층 의 표면 에 붙 는 것 을 억제 시킬 수 있 다 . 연마 층 의 표면 에 물 이 접촉 하 는 면적 이 넓 을수록 연마 찌꺼기 가 붙 는 것 을 억제 시키 는 효과 가 크 며 , 연마 층 의 표면 에 물 이 접촉 하 는 면적 을 넓히 려면 연마 층 의 표면장력 을 높여야 한다 . 일반 적 으로 연마 층 의 표면 은 소수성 ( hydrophobic ) 이 기 때문 에 물 이 접촉 하 는 면적 도 적 고 물 이 배출 되 는 속도 도 빨라서 충분 한 효과 를 기대 하 기 어렵 다 . 따라서 본 발명 에서 는 연마 층 의 표면 에 친수성 물질 을 형성 함 으로써 연마 층 표면 의 특성 을 변환 한다 . 연마 층 의 표면 에 친수성 물질 을 형성 시키 면 , 연마 층 의 표면장력 을 향상 되 어 , 연마 층 의 표면 에서 물 이 접촉 하 는 면적 이 넓 어 진다 . 또한 연마 층 의 표면 에 접촉 하 는 물 의 양 도 많 아 지 고 , 물 이 배출 되 는 속도 도 적절히 조절 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 연마 시간 이 3 초일 때 , 연마 층 과 피 연마 체 사이 의 존재 하 는 물 이 3 초 보다 빨리 빠져나가 면 빠져나간 후 성능 저하 및 수명 단축 을 억제 하 기 어렵 고 , 3 초 후 연마 층 과 피 연마 체 사이 에 물 이 남 아 있 으면 연마 찌꺼기 를 충분히 배출 하 지 못한 것 이 기 때문 에 남 아 있 는 연마 찌꺼기 가 성능 저 하나 수명 단축 을 유발 할 수 있 다 . 또한 연마 층 의 표면 에 물 이 존재 하 는 물 이 연마 패턴 의 사이사이 를 지나 면서 연마 찌꺼기 를 배출 시키 기 때문 에 , 연마 찌꺼기 로 인해 연마 제품 의 성능 저 하나 수명 단축 을 방지 할 수 있 다 . 연마 시 연마장 치가 연마 제품 을 운동 시키 는데 , 예 를 들 어 , 연마 제품 을 회전 시키 면 원심력 에 의해 물 이 밖 으로 배출 되 고 , 이때 물 은 연마 패턴 의 사이 를 지나가 면서 연마 찌꺼기 를 배출 시킨다 .