또한 , 타 겟 의 순도 를 , 99 . 99 % 이상 으로 함 에 의해 , 산화물 반도체 막 에 혼입 하 는 알칼리 금속 , 수소 원자 , 수소 분자 , 물 , 수산기 , 또는 수소화물 등 을 저감 할 수 가 있 다 . 또한 , 해당 타 겟 을 이용 함 에 의해 , 산화물 반도체 막 에 있 어서 , 리튬 , 나트륨 , 칼륨 등 의 알칼리 금속 의 농도 를 저감 할 수 가 있 다 . 알칼리 금속 은 산화물 반도체 를 구성 하 는 원소 는 아니 기 때문 에 불순물 이 다 . 알칼리 토류 금속 도 , 산화물 반도체 를 구성 하 는 원소 가 아닌 경우 에 , 불순물 이 된다 . 특히 , 알칼리 금속 중 Na 는 , 산화물 반도체 층 에 접하 는 절 연막 이 산화물 인 경우 , 해당 절 연막 중 에 확산 하 여 Na ＋ 가 된다 . 또한 , Na 는 , 산화물 반도체 층 내 에서 , 산화물 반도체 를 구성 하 는 금속 과 산소 의 결합 을 분단 하 거나 , 혹은 , 그 결합 속 에 끼 어 든다 . 그 결과 , 예 를 들 면 , 문턱 치 전압 이 마이너스 방향 으로 시프트 함 에 의한 노 멀리온 ( normally ON ) 화 , 이동도 의 저하 등 의 , 트랜지스터 의 특성 의 열화 가 일어나 고 , 게다가 , 특성 의 편차 도 생긴다 . 이 불순물 에 의해 초래 되 는 트랜지스터 의 특성 의 열화 와 특성 의 편차 는 , 산화물 반도체 층 중 의 수소 농도 가 충분히 낮 은 경우 에서 현저 하 게 나타난다 . 따라서 , 산화물 반도체 층 중 의 수소 농도 가 1 × 1018 / cm 3 이하 , 보다 바람직 하 게 는 1 × 1017 / cm 3 이 하인 경우 에 는 , 상기 불순물 의 농도 를 저감 하 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 , 2 차 이온 질량 분석법 에 의한 Na 농도 의 측정치 는 , 5 × 1016 / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1016 / cm 3 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 1 × 1015 / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 . 마찬가지 로 Li 농도 의 측정치 는 , 5 × 1015 / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 . 마찬가지 로 K 농도 의 측정치 는 , 5 × 1015 / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 .