상기 구성 2 에 따른 발명 에서 , 금속 실리사이드 를 함유 하 는 재료 로 이루어지 는 차광성 막 을 구성 하 는 금속 으로서 는 몰리브덴 ( Mo ) , 니켈 ( Ni ) , 텅스텐 ( W ) , 지르 코 늄 ( Zr ) , 티탄 ( Ti ) , 탄탈 ( Ta ) 이나 , 이 들 원소 를 함유 하 는 합금 , 또는 상기 원소 나 상기 합금 을 함유 하 는 재료 등 을 들 수 있 다 .