챔버 본체 ( 12 ) 의 측벽 에 는 통로 ( 12 p ) 가 형성 되 어 있 다 . 기판 ( W ) 은 , 내부 공간 ( 10 s ) 과 챔버 ( 10 ) 의 외부 의 사이 에서 반송 될 때 에 , 통로 ( 12 p ) 를 통과 한다 . 이 통로 ( 12 p ) 의 개폐 를 위하 여 , 게이트 밸브 ( 12 g ) 가 챔버 본체 ( 12 ) 의 측벽 을 따라 마련 되 어 있 다 .