본 발명 에 따르 면 , 도 6 을 참조 하 면 , 홀 ( HL ) 을 갖 는 몰드 막 ( MD ) 을 공정 챔버 내부 에 로딩 시킨 후 , 주석 전구체 , 퍼지 가스 , 산소 소스 , 및 퍼지 가스 를 순차 적 으로 제공 하 는 제 1 서브 사이클 을 수행 할 수 있 다 . 제 1 서브 사이클 을 수행 하 면 , 기판 ( 100 ) 및 몰드 막 ( MD ) 표면 에 주석 산화물 을 포함 하 는 제 1 막 이 형성 될 수 있 다 .