도 10 은 연마 결정 의 거칠 기 가 상이 한 3 개 의 연마 테이프 ( 23 A , 23 B , 23 C ) 를 사용 한 3 단계 연마 가 수행 될 때 의 연마 순서 를 도시 한 도면 이 다 . 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 내 에 , 거친 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 A ) 가 사용 되 어 웨이퍼 ( W ) 의 거친 연마 ( 즉 , 제 1 연마 ) 를 수행 한다 . 그 후 , 연마 테이프 ( 23 A ) 에 의해 연마 된 부분 을 연마 하 기 위해 , 연마 테이프 ( 23 A ) 의 연마 결정 보다 고운 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 B ) 를 사용 하 여 제 2 연마 가 시작 된다 . 그 후 , 연마 테이프 ( 23 B ) 에 의해 연마 된 부분 을 연마 하 기 위해 , 연마 테이프 ( 23 B ) 의 연마 결정 보다 고운 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 C ) 를 사용 하 여 제 3 연마 가 시작 된다 . 도 10 에서 , 기호 T 1 , T 2 , T 3 , T 4 및 T 5 는 시간 을 나타낸다 . 예컨대 , 시간 T 3 에서 , 3 개 의 연마 헤드 ( 30 ) 가 동시 에 웨이퍼 ( W ) 를 연마 한다 .