또한 본 발명 은 포토레지스트 내부 의 기포 및 파티클 을 제거 하 는 필터 와 ; 상기 필터 를 수용 하 는 하우징 과 ; 상기 하우징 을 고정 하 는 하우징 고정부 와 ; 상기 하우징 고정부 에 고정 되 는 상기 하우징 의 내부 에 필터 가 장착 되 어 있 는지 를 감지 하 는 필터 장착 감지 부 와 ; 상기 필터 장착 감 지부 에서 감지 된 신호 에 의해 상기 필터 의 장착 상태 를 표시 하 는 인디케이터 를 포함 하 는 반도체 장치 제조 용 포토 설비 의 필터 장착 알림 장치 에 있 어서 , 상기 필터 를 상기 하우징 의 내부 에 삽입 하 는 단계 와 ; 상기 필터 를 수용 한 상기 하우징 을 상기 하우징 고정부 에 결합 시켜 고정 하 는 단계 와 ; 상기 하우징 고정부 에 상기 하우징 이 결합 되 면서 상기 하우징 내부 에 필터 가 장착 되 어 있 는지 를 상기 필터 장착 감지 부 가 감지 하 는 단계 와 ; 상기 필터 장착 감 지부 에서 감지 한 신호 에 의해 상기 하우징 내부 에서 의 필터 장착 상태 를 인디케이터 를 통해 표시 하 는 단계 로서 필터 장착 상태 를 알리 는 방법 을 수행 하 도록 하 는데 특징 이 있 다 .