본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위한 것 으로서 , 특히 편광 조명계 를 이용 한 노광 공정 에서 노광 장치 에 위상 지 연기 ( Phase retarder ) 를 포함 으로써 , 노광 공정 에서 사용 할 수 있 는 편광 방향 을 다양 하 게 변경 할 수 있 어 노광 공정 마진 을 증가 시켜 소자 의 수율 과 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 는 노광 장치 및 이 를 이용 한 반도체 소자 를 제공 함 에 있 다 .