도 11 에 예 를 나타내 는 바 와 같이 , 먼저 , 기판 수용기 ( 21 ) 에 수용 되 어 있 는 기판 ( W ) 이 인 덱 서 로봇 ( 23 ) , 반송 기구 ( 31 ) 및 반송 로봇 ( 33 ) 을 개재 하 여 어느 기판 처리 장치 에 반입 된다 . 그리고 , 당해 기판 ( W ) 이 스핀 척 ( 51 ) 에 유지 된다 ( 도 11 에 있 어서 의 스텝 ST 1 ) .