도 1 은 본 발명 에 따른 반도체 용 플 라즈 마 가공 장치 를 도시 한 도면 이 고 , 도 2 는 본 발명 에 따른 반도체 용 플 라즈 마 가공 장치 의 척 과 클램프 를 도시 한 도면 이 며 , 도 3 은 본 발명 에 따른 반도체 용 플 라즈 마 가공 장치 의 척 과 트레이 의 평면도 를 도시 한 도면 이 고 , 도 4 는 본 발명 에 따른 반도체 용 플 라즈 마 가공 장치 의 척 과 트레 이 의 사시도 를 도시 한 도면 이 며 , 도 5 는 본 발명 에 따른 반도체 용 플 라즈 마 가공 장치 의 척 과 트레이 의 사시도 를 도시 한 도면 이 다 .