그러나 , 기판 처리 를 위하 여 , 공정 챔버 ( 12 ) 의 내부 를 진공 으로 배기 할 때 , 진공 압력 에 위해 , 후방 플레이트 ( 14 ) 의 처짐 이 발생 한다 . 후방 플레이트 ( 14 ) 의 처짐 현상 은 하중 이 집중 되 는 중앙부 에서 발생 되 며 , 후방 플레이트 ( 14 ) 와 볼트 ( 34 ) 에 의해 연결 되 어 있 는 가스 분배 판 ( 18 ) 도 동시 에 같 은 형태 로 처지 게 되 어 , 가스 분배 판 ( 18 ) 과 기판 안 치대 ( 22 ) 의 간격 은 불 균일 하 게 되 어 , 기판 ( 20 ) 상 에 불 균일 한 박막 이 증착 되 거나 , 불 균일 한 식각 이 된다 .