도 1 에 나타난 바 와 같이 , 본 발명 에서 이용 할 수 있 는 진공 챔버 ( 100 ) 은 크 게 , 전자 빔 증 발부 ( 10 ) 와 , 저항 가열 증 발부 ( 20 ) , 그리고 기판 증착 부 ( 30 ) 을 포함 하 여 구성 되 어 있 다 . 또한 상기 전자 빔 증 발부 ( 10 ) 는 전자 빔 증발원 ( 11 ) 과 원료 분말 도가니 ( 13 ) 를 포함 하 여 구성 되 어 있 으며 , 상기 저항 가열 증 발부 ( 20 ) 는 보트 ( 21 ) 와 상기 보트 ( 21 ) 를 지지 하 고 전력 을 인가 하 는 보트 홀드 ( 23 ) 를 포함 하 여 구성 되 어 있 다 . 그리고 기판 증착 부 ( 30 ) 는 기판 ( 31 ) , 그 기판 ( 31 ) 을 지지 하 는 기판 홀더 ( 33 ) , 및 기판 가열 장치 ( 35 ) 를 포함 하 여 구성 되 어 있 다 .