도 1 은 종래 기술 에 따른 개방 또는 비 도전 상태 에서 의 MEMS 스위치 의 단면도 를 도시 한다 . MEMS 스위치 ( 10 ) 는 기판 ( 12 ) , 기판 ( 12 ) 상 에 배치 된 절연 층 ( 14 ) 및 도시 된 바 와 같이 소스 전극 ( 18 ) 에 기계 적 으로 결합 되 거나 고정 된 가동 액추에이터 ( 23 ) 를 포함 한다 . 가동 액추에이터 ( 23 ) 는 가동 접점 ( 17 ) 을 갖 는데 , 이 가동 접점 은 가동 액추에이터 ( 23 ) 의 편 향시 에 기판 ( 12 ) 상 에 배치 되 지만 전기 적 으로 는 기판 ( 12 ) 과 절연 되 어 있 는 기판 접점 ( 15 ) 과 접촉 한다 . 기판 전극 ( 16 ) 이 가동 액추에이터 ( 23 ) 의 하부 에 위치 되 어 , 작동 전압 이 기판 전극 ( 16 ) 에 인가 될 때 가동 액추에이터 ( 23 ) 가 편향 하 여 가동 접점 과 고정 ( 예 를 들 어 , 기판 ) 접점 사이 에 접촉 이 이루어져 전류 가 흐를 수 있 게 된다 . 도전 성 가동 액추에이터 ( 23 ) 가 기판 전극 ( 16 ) 과 접촉 하 여 이러 한 도전 상태 에서 스위치 를 전기 적 으로 단락 시키 는 것 을 방지 하 기 위해 , 유전 층 ( 20 ) 이 전형 적 으로 도 2 에 도시 된 바 와 같이 기판 전극 ( 16 ) 상 에 코팅 된다 . 이 유전 층 은 기판 전극 ( 16 ) 상 에 종종 배치 되 지만 , 대신 에 가동 액추에이터 ( 23 ) 의 하부 측 에 코팅 될 수 도 있 다 .