도 10 은 전면 재배 선 구조 ( 122 ) 의 평면도 이 다 . 전면 재 부배 구조 ( 122 ) 의 형성 이 완성 된 후 에 , 시일 링 링 ( 140 ) 각각 은 전면 재배 선 구조 ( 122 ) 의 각각 의 중심 영역 ( 122 C ) 을 둘러싼다 . 각각 의 패키지 영역 은 하나 의 시일 링 링 ( 140 ) 을 포함 한다 . 도 11 은 도 10 의 영역 ( 11 ) 의 3 차원 단면도 이 다 . 시일 링 링 ( 140 ) 은 비아 구조 로 적층 되 며 , 시일 링 링 ( 140 ) 의 각 층 ( 예컨대 , 적층 된 비아 ) 은 연속 적 인 전도성 재료 로 형성 된다 . 이 경우 에 , 시일 링 링 ( 140 ) 을 위한 각각 의 유전체 층 ( 124 , 128 , 132 및 136 ) 의 개구부 는 전면 재배 선 구조 ( 122 ) 의 연관 된 중심 영역 ( 122 C ) 주위 에서 연속 적 으로 연장 되 는 트렌치 이 다 .