로드 락 챔버 ( 220 ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 의 측 부들 중 인덱스 모듈 ( 100 ) 과 인접 한 측 부 에 위치 되 고 , 프로세스 챔버 ( 260 ) 는 다른 측 부 에 위치 된다 . 로드 락 챔버 ( 220 ) 는 로드 락 챔버 프레임 ( 222 ) 을 가진다 . 로드 락 챔버 프레임 ( 222 ) 은 기판 이 일시 적 으로 놓이 는 버퍼 공간 ( 223 ) 을 가진다 . 로드 착 챔버 프레임 ( 222 ) 은 기판 이 회수 되 기 전 기판 을 냉각 하 는 냉각 공간 ( 224 ) 을 가진다 . 냉각 공간 ( 224 ) 에 는 냉각 플레이트 ( 225 ) 가 제공 될 수 있 다 . 또한 , 로드 락 챔버 프레임 ( 222 ) 에 는 기판 ( W ) 이 반입 또는 반출 될 수 있 는 반 입구 ( 226 ) 가 형성 된다 . 또한 , 반 입구 ( 226 ) 의 하단 에 는 , 반 입구 ( 226 ) 를 개폐 할 수 있 는 도어 유닛 ( 400 ) 이 제공 될 수 있 다 .