도 8 은 고주파 전송로 를 발신기 ( 18 ) 에 접속 된 발신 용 안테나 ( 19 ) 와 수신기 ( 20 ) 에 접속 된 수신 용 안테나 ( 21 ) 의 사이 에 형성 함 과 동시 에 , 이 발신기 ( 18 ) 에 접속 된 발신 용 안테나 ( 19 ) 및 수신기 ( 20 ) 에 접속 된 수신 용 안테나 ( 21 ) 를 각각 플 래 튼 ( 2 ) 내 에 짜 넣 은 도면 을 나타내 고 있 다 . 또한 , 발신 용 안테나 ( 19 ) 와 수신 용 안테나 ( 21 ) 의 사이 에 단면 T 자형 의 금속 차폐 판 ( 22 ) 을 배치 함 으로써 , 이 금속 차폐 판 ( 22 ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 사이 에 , 이 웨이퍼 ( W ) 의 표면 을 따라 효율 적 으로 고주파 전송로 가 형성 된다 .