방전 가스 의 예 로 는 불활성 가스 ( 예 : Ar , Ne , Xe 등 ) 를 들 수 있 다 . 때때로 , 방전 가스 는 혼합 가스 의 형태 로 주입 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( 40 ) 의 표면 에 실리콘 나이트 라이드 ( Si 3 N 4 ) 박막 을 형성 하 고자 할 경우 , 실리콘 내벽 코팅 과 더불 어 , 아르곤 과 질소 의 혼합 가스 를 방전 가스 로서 사용 하 면 된다 . 도 1 에서 미 설명 된 도면 부호 50 은 기판 홀더 이 고 , 도 2 에서 미 설명 된 도면 부호 21 a 는 음극 몸체 이 며 , 이것 에 대한 상세 한 설명 은 도 3 및 도 4 에 제시 된다 .