제 2 층간 절 연막 ( 132 ) 이 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 제 2 층간 절 연막 ( 132 ) 은 마스크 패턴 ( 114 ) 의 상면 및 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 의 상면 을 덮 을 수 있 다 . 제 2 층간 절 연막 ( 132 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 또는 실리콘 산화 질화 막 을 포함 할 수 있 다 .