기판 지지 부재 ( 410 ) 의 둘레 에 는 용기 ( 420 ) 가 배치 된다 . 용기 ( 420 ) 는 대체로 원통 형상 을 가지 며 , 하부 벽 ( 422 ) 에 는 배기 홀 ( 424 ) 이 형성 되 고 , 배기 홀 ( 424 ) 에 는 배기관 ( 426 ) 이 연통 설치 된다 . 배기관 ( 426 ) 에 는 펌프 와 같 은 배기 부재 ( 428 ) 가 연결 되 며 , 배기 부재 ( 428 ) 는 기판 ( W ) 의 회전 에 의해 비산 된 처리 액 을 포함 하 는 용기 ( 420 ) 내부 의 공기 를 배기 시키 도록 음압 을 제공 한다 .