상기 하부 챔버 ( 11 ) 와 상부 챔버 ( 21 ) 의 내측 에 는 하부 핫 플레이트 ( 14 ) 과 상부 핫 플레이트 ( 24 ) 이 각 챔버 의 내 벽면 과 소정 거리 이격 되 도록 설치 되 어 , 공기 가 유동 할 수 있 는 하부 진공 라인 ( 15 ) 과 상부 진공 라인 ( 25 ) 을 형성 한다 . 상기 상부 진공 라인 ( 25 ) 과 하부 진공 라인 ( 15 ) 은 상부 챔버 ( 21 ) 와 하부 챔버 ( 11 ) 가 결합 되 었 을 때 상호 일체 로 연결 된다 .