도 20 은 , 실시 형태 3 에서 의 빔 의 되돌림 양 과 , 복수 의 결함 빔 의 발생 주기 가 일치 되 어 버리 는 경우 의 서브 조사 영역 의 묘화 상황 의 다른 일예 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 도 20 의 예 에서 는 , 트랙 킹 제어 기간 중 의 시프트 편향 시 에 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 + y 방향 으로 시프트 하 는 경우 와 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 + x 방향 으로 시프트 하 는 경우 를 조합 한 묘화 시퀀스 로 묘화 처리 를 진행 시키 는 경우 를 나타내 고 있 다 . 구체 적 으로 는 , 각 트랙 킹 제어 기간 중 의 1 샷 째 로부터 2 샷 째 로 의 시프트 편향 시 에 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 + y 방향 으로 시프트 한다 . 그리고 , 같 은 트랙 킹 제어 기간 중 의 2 샷 째 로부터 3 샷 째 로 의 시프트 편향 시 에 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 + x 방향 으로 시프트 한다 . 그리고 , 같 은 트랙 킹 제어 기간 중 의 3 샷 째 로부터 4 샷 째 로 의 시프트 편향 시 에 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 + x 방향 과 + y 방향 의 양쪽 모두 로 시프트 한다 .