주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 상기 서술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 + Y 방향 에 대한 주사 ( 스캔 ) 개시 후 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 + Y 방향 으로 이동하 여 , 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 의 검출 빔 이 웨이퍼 ( W 1 ) 상 에 걸쳐 지 기 시작 하 기 까지 의 동안 에 , 이동 스케일 ( 39 B , 39 A ) 에 각각 대향 하 는 2 개 Z 헤드 ( 171 p , 173 q ) ( 예 를 들 어 1713 , 1733 ) 와 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 를 함께 작동 시켜 ( ON 으로 하 여 ) 포커스 매핑 을 개시 한다 .