상기 정렬 단계 가 완료 되 면 , 상기 플렉시블 필름 ( 61 ) 의 상면 에 성형 하 고자 하 는 격벽 의 형상 을 형성 하 기 위한 패턴 형성 단계 를 실시 한다 . 격벽 의 형상 을 형성 하 기 위해 먼저 감광 성막 ( 63 ) 을 형성 하 는 감광 성막 형성 단계 를 실시 한다 . 상기 감광 성막 ( 63 ) 은 노광 및 열처리 등 에 의해 미세 구조 의 변화 가 발생 하 는 특성 이 있 으며 이러 한 특성 에 의해 식각 액 에 의한 식각 특성 이 상이 하 여 원 하 고자 하 는 패턴 의 형성 이 가능 하 다 .