본 실시 형태 의 프로브 유닛 및 검사 장치 는 , 전체 적 으로 는 상기 종래 의 프로브 유닛 및 검사 장치 와 거의 동일 하 다 . 본 실시 형태 에 따른 프로브 유닛 및 검사 장치 의 특징 은 구동 용 집 적 회로 의 부착 위치 를 개량 한 점 에 있 다 . 다른 구성 은 상기 종래 의 검사 장치 와 동일 하 기 때문 에 , 여기 서 는 동일 부재 에 는 동일 부호 를 붙여 설명 한다 .