현상 후 에 는 물 로 세정 후 건조 하 고 , 필요 한 경우 가열 처리 인 포스트 베 이크 공정 을 70 내지 150 ℃ 의 온도 에서 수행 할 수 있 다 . 종래 의 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 의 경우 포스트 베 이크 공정 에서 의 경화 온도 가 약 220 ℃ 인 상대 적 으로 고온 에서 행하 여졌 지만 , 본 발명 의 한 양태 에 따른 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 은 상기 화학식 1 로 표시 되 는 화합물 을 포함 함 으로써 , 포스트 베 이크 공정 에서 의 경화 온도 를 70 내지 150 ℃, 구체 적 으로 80 내지 130 ℃ 로 낮추 는 것 이 가능 하 다 .