이러 한 또는 다른 구체 예 에서 , 본원 에 기술 된 방법 의 단계 들 이 다양 한 순서 로 수행 될 수 있 고 , 순차 적 으로 수행 될 수 있 고 , 동시 에 ( 예 를 들 어 , 다른 단계 의 적어도 일부 동안 ) 수행 될 수 있 고 , 이 들 의 임의 의 조합 될 수 있 는 것 으로 이해 된다 . 예 를 들 어 , 전 구체 및 산소 공급원 가스 를 공급 하 는 개개 단계 는 얻 어 진 유전체 막 의 화학 양론 적 인 조성 을 변경 시키 기 위해 이러 한 것 들 을 공급 하 기 위한 시간 을 달라지 게 함 으로써 수행 될 수 있 다 . 또한 , 전 구체 또는 산화제 단계 후 퍼지 시간 은 처리 량 이 개선 되 도록 0 . 1 초 미만 까지 최소 화 될 수 있 다 .