제 4 서브 접지 레일 ( 114 ) 은 제 3 서브 접지 레일 ( 113 ) 에서 분지 되 어 , 제 2 방향 ( DR 2 ) 을 연장 될 수 있 다 . 제 4 서브 접지 레일 ( 114 ) 은 제 1 셀 영역 ( R 1 ) , 제 2 셀 영역 ( R 2 ) 및 비교 영역 ( R 3 ) 에 걸쳐 배치 될 수 있 다 . 다만 , 본 발명 의 기술 적 사상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 제 4 서브 접지 레일 ( 114 ) 은 제 5 접지 비아 ( VSV 5 ) 를 통해 제 5 접지 패드 ( VSP 5 ) 에 접속 될 수 있 다 .