[ 0057 ] 따라서 , 유리 하 게 는 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 를 이송 하 기 위한 개선 된 이송 시스템 이 제공 된다 . 특히 , 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 이송 시스템 을 제공 함 으로써 , 유리 하 게 는 예컨대 , 캐리어 들 과 이송 트랙 들 간 의 기계 적 인 접촉 으로 인해 생성 되 는 입자 들 의 생 성 이 , 캐리어 들 의 이송 동안 회피 될 수 있 다 . 따라서 , 본원 에서 설명 되 는 실시 예 들 은 기판 상 에 증착 되 는 층 들 의 개선 된 순도 및 균일성 을 제공 하 는데 , 이 는 특히 , 비접 촉식 이송 을 사용 하 는 경우 에 입 자 생 성 이 최소 화 되 기 때문 이 다 . 또한 , 기판 캐리어 를 위한 제 1 트랙 및 마스크 캐리어 를 위한 제 2 트랙 이 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 포지셔닝 어 레인지 먼 트 의 제 1 트랙 및 제 2 트랙 에 대응 하 도록 구성 되 는 이송 시스템 을 제공 함 으로써 , 이송 시스템 은 , 특히 어떤 중간 적 응 어 레인지 먼 트 도 없이 , 포지셔닝 어 레인지 먼 트 와 조합 되 어 사용 될 수 있 다 .