제 2 마스크 층 의 두께 는 제 1 희생 막 ( 30 ) 의 두께 의 약 0 . 1 내지 0 . 5 배 일 수 있 다 . 그리고 , 제 2 마스크 층 의 두께 는 제 1 마스크 패턴 ( 42 ) 의 두께 와 동일 하 거나 작 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 마스크 층 은 화학 기상 증착 방법 을 이용 하 여 제 1 희생 막 ( 30 ) 상 에 약 200 내지 400 Å 의 두께 로 증착 될 수 있 다 .