상세히 설명 하 면 , 연마 액 탱크 ( 100 ) 내 에서 는 슬러 지와 , 초 순수 와 , 첨가제 가 혼합 되 며 , 이러 한 용액 들 이 혼합 되 어 만들 어 진 연마 액 은 제 1 순환 부 ( 400 ) 와 제 2 순환 부 ( 500 ) 를 통해 용액 을 지속 적 으로 순환 시키 게 되 므로 , 이러 한 제 1 순환 부 ( 400 ) 와 제 2 순환 부 ( 500 ) 중 어느 하나 이상 을 상기 블랜딩 튜브 ( 110 ) 에 연결 하 여 , 상기 순환 펌프 ( 300 ) 와 상기 이송 펌프 ( 510 ) 에 의해 이송 된 연마 액 이 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 되 는 과정 에서 연마 액 탱크 ( 100 ) 내부 에 위치 된 용액 또는 용액 이 혼합 되 어 만들 어 진 연마 액 이 지속 적 으로 일정 한 유동 을 가지 며 혼합 될 수 있 게 한 것 이 다 .