[ 0060 ] 본원 에 설명 된 실시 예 들 에 따르 면 , 증착 소스 에 공급 을 행하 기 위한 매체 공급 라인 들 은 , 공급 통로 를 통해 그리고 ( 폐쇄 가능 한 통로 ( 330 ) 로 진공 챔버 에 연결 된 ) 서비스 영역 을 통하 지 않 고 , 진공 시스템 밖 으로 인도 될 수 있 다 . 따라서 , 공간 이 감소 된 서비스 영역 이 제공 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 는 , 심지어 , 진공 챔버 를 포함 하 는 증착 장치 를 제공 하 는 것 이 가능 할 수 있 으며 , 여기 서 , 증착 소스 를 서비스 하 기 위한 서비스 영역 은 진공 챔버 옆 의 진공 시스템 의 분리 가능 한 구획 으로서 제공 될 수 없 다 . 특히 , 매체 공급 라인 들 은 , 증착 소스 로부터 공급 통로 를 통해 진공 시스템 의 대기 환경 으로 직접 피딩 될 수 있 다 . 증착 장치 의 바깥쪽 치수 는 , 증착 챔버 옆 의 별개 의 구획 으로 보다 작 은 서비스 영역 이 필요 하 거나 서비스 영역 이 전혀 필요 하 지 않 을 수 있 을 때 , 감소 될 수 있 다 . 추가 로 , 진공 챔버 와 서비스 영역 간 에 폐쇄 가능 한 통로 ( 330 ) 가 제공 되 지 않 을 수 있 다 .