다른 예 로 , 도시 된 것 과 달리 , 전극 분리 영역 ( ESR ) 은 전극 분리 트렌치 ( EST ) 의 측벽 을 따라 형성 되 는 라이너 와 , 전극 분리 트렌치 ( EST ) 를 채우 는 라이너 상 의 필링 막 을 포함 할 수 도 있 다 . 일 예 로 , 라이너 는 절연 물질 을 포함 할 수 있 고 , 필링 막 은 도전 성 물질 을 포함 할 수 있 다 . 다른 예 로 , 라이너 는 도전 성 물질 을 포함 할 수 있 고 , 필링 막 은 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 .