할로겐화물 이온 공급원 이 공급 하 는 할로겐화물 이온 으로서 는 , 염화물 이온 , 브롬화물 이온 , 요오드화물 이온 등 을 들 수 있 다 . 할로겐화물 이온 공급원 으로서 는 , 예 를 들 어 , 할로겐화물 이온 을 함유 하 는 수용 성염 을 사용 할 수 있 다 . 할로겐화물 이온 을 함유 하 는 수용 성염 의 구체 예 로서 는 , 염화나트륨 , 염화칼륨 , 브롬화나트륨 , 브롬화칼륨 , 요오드화나트륨 , 요오드화칼륨 등 의 할로겐화물 염 ; 염화암모늄 등 을 들 수 있 다 . 이 들 중 에서 도 할로겐화물 염 을 사용 하 면 , 보다 양호 한 속도 로 에칭 할 수 있 기 때문 에 바람직 하 고 , 알칼리 금속 의 염화물 염이 더욱 바람직 하 고 , 염화나트륨 이 특히 바람직 하 다 .