등방성 에칭 공정 은 습식 에칭 용액 을 사용 하 는 습식 에칭 공정 일 수 있 거나 , 또는 에 천 트 가 증기 상 으로 후면 트렌치 ( 79 ) 내 로 도입 되 는 가스 상 ( 건식 ) 에칭 공정 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 희생 재료 층 들 ( 142 , 242 ) 이 실리콘 질화물 을 포함 하 는 경우 , 에칭 공정 은 , 인산 을 포함 하 는 습식 에칭 탱크 내 에 예시 적 구조물 이 침지 되 는 습식 에칭 공정 일 수 있 으며 , 이 는 실리콘 산화물 , 실리콘 , 및 본 기술 분야 에서 사용 되 는 다양 한 다른 재료 들 에 대해 선택 적 으로 실리콘 질화물 을 에칭 한다 .