트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 는 로드 락 챔버 ( 30 ) 및 공정 챔버 들 ( 50 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 는 기판 이송 장치 를 가진다 . 기판 이송 장치 로 는 다양 한 종류 의 로봇 암 ( robot arm ) 이 사용 된다 . 일 실시 예 로서 , 기판 이송 장치 는 두 개 의 기판 ( W ) 을 동시 에 처리 가능 한 로봇 암 ( 42 ) 을 가진다 . 로봇 암 ( 42 ) 은 두 개 의 암 ( arm ) ( 42 a ) 을 가진다 . 암 ( 42 a ) 은 공정 시 서로 반대 되 는 방향 으로 신장 및 수축 되 어 기판 ( W ) 을 이송 시킨다 . 로봇 암 ( 42 ) 은 공정 시 암 ( 42 a ) 에 안착 된 기판 ( W ) 이 암 ( 42 a ) 으로부터 이탈 되 는 것 을 방지 하 는 수단 이 제공 된다 . 예컨대 , 로봇 암 ( 42 ) 은 암 ( 42 a ) 에 기판 ( W ) 이 안착 되 면 , 진공 으로 기판 ( W ) 의 저면 을 암 ( 42 a ) 에 흡착 시켜 기판 ( W ) 을 고정 시킬 수 있 다 .