상기 에서 제 2 이 송부 ( 140 ) 는 제 2 링 레일 ( 141 ) , 제 2 링 그 리퍼 ( 142 ) , 제 2 로딩 픽커 ( 143 ) 로 구성 되 는 것 으로 설명 하 였으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 제 2 이 송부 ( 140 ) 는 제 2 매거진 로더 ( 135 ) 에 적재 된 제 2 매거진 ( m 2 ) 으로부터 스퍼터링 용 프레임 ( 50 ) 을 상부 작업 테이블 ( 150 ) 로 로딩 시킬 수 있 으면 , 다양 한 형태 로 이루어질 수 있 음 은 물론 이 다 .