몰드 막 ( MD ) 의 상부 면 이 노출 되 도록 , 절 연막 ( IL ) 및 하부 전극 ( 200 ) 의 일부 를 제거 하 여 , 하부 전극 ( 200 ) 을 노드 분리 할 수 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 절 연막 ( IL ) 은 하부 전극 ( 200 ) 및 몰드 막 ( MD ) 과 일 에 천 트 에 대하 여 식각 선택 비 를 갖 는 물질 을 포함 하 기 때문 에 , 절 연막 ( IL ) 및 하부 전극 ( 200 ) 의 일부 를 제거 하 는 동안 몰드 막 ( MD ) 은 실질 적 으로 식각 되 지 않 으므로 식각 저지 막 으로 도 기능 할 수 있 다 .