예 를 들 어 , 도 2 b 에 도시 되 는 바 와 같이 , 레이저 처리 디바이스 는 보상 디바이스 ( 14 ) 를 추가 로 포함 할 수 있 다 . 보상 디바이스 ( 14 ) 는 위치 검출기 , 비교기 및 신호 프로세서 와 같 은 컴포넌트 들 을 포함 할 수 있 다 . 위치 검출기 는 , 예 를 들 어 , 광전 위치 검출기 일 수 있 다 . 위치 검출기 는 처리 초기 위치 에서 레이저 처리 유닛 ( 13 ) 의 제 1 위치 정보 및 처리 초기 위치 에서 거리 - 측정 유닛 ( 12 ) 의 제 2 위치 정보 를 검출 하 도록 구성 된다 . 비교기 는 제 1 위치 정보 를 제 2 위치 정보 와 비교 하 도록 그리고 제 1 위치 정보 와 제 2 위치 정보 사이 의 차이 에 따라 보상 신호 ( 데이터 ) 를 생성 하 도록 구성 된다 . 신호 프로세서 는 보상 신호 를 사용 하 여 3 차원 처리 데이터 ( 16 ) 를 보정 하 도록 구성 되 고 , 보정 된 3 차원 처리 데이터 ( 16 ) 는 저장 용 메모리 ( 26 ) 에 송신 될 수 있 고 , 최종 적 으로 후속 처리 를 위해 레이저 처리 유닛 ( 13 ) 에 제공 될 수 있 다 . 대안 적 으로 , 보상 신호 는 실시간 으로 보상 하 기 위한 동작 동안 레이저 처리 유닛 ( 13 ) 에 제공 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 위치 정보 는 Z 축 방향 으로 레이저 처리 유닛 ( 13 ) 과 가공물 ( 15 ) 사이 의 거리 정보 를 포함 할 수 있 고 , 제 2 위치 정보 는 Z 축 방향 으로 거리 - 측정 유닛 ( 12 ) 과 가공물 ( 15 ) 사이 의 거리 정보 를 포함 할 수 있 다 . 다른 예 를 들 어 , 제 1 위치 정보 는 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 레이저 처리 유닛 ( 13 ) 의 좌표 정보 를 추가 로 포함 할 수 있 으고 , 제 2 위치 정보 는 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 거리 - 측정 유닛 ( 12 ) 의 좌표 정보 를 추가 로 포함 할 수 있 다 .