상술 의 실시 형태 에 의하 면 , 진공 챔버 ( 10 ) 와 연통 되 는 가스 유로 ( 411 , 421 , 431 ) 의 단부 의 개구부 ( 411 A , 421 A , 431 A ) 가 형성 된 제 1 배관 부재 ( 4 A ) 의 단부 면 과 , 가스 유로 ( 412 , 422 , 432 ) 의 단부 의 개구부 ( 412 A , 422 A , 432 A ) 가 형성 된 제 2 배관 부재 ( 4 B ) 의 대향 면 사이 에 개구부 를 둘러싸 도록 엘라스토머 ( 탄성 을 가진 고분자 ) 제의 O 링 ( 62 ) 을 마련 하 고 있 다 . 엘라스토머 의 원료 로서 는 , 예 를 들 면 퍼플 루오 로 엘라스토머 나 불소 고무 등 을 예시 할 수 있 다 . 또한 제 1 배관 부재 ( 4 A ) 의 단부 면 과 , 제 2 배관 부재 ( 4 B ) 의 대향 면 사이 에 , O 링 ( 62 ) 의 주위 를 둘러싸 도록 다공질 부재 ( 6 ) 를 마련 하 고 있 다 . 이 에 의해 제 1 배관 부재 ( 4 A ) 의 단부 면 과 , 제 2 배관 부재 ( 4 B ) 의 대향 면 사이 를 흐르 는 가스 의 컨덕턴스 가 높 아 져 , 가스 공급 배관 ( 4 ) 의 외부 의 대기 분위기 가 O 링 ( 62 ) 의 주위 까지 도달 하 기 어려워진다 . 이 에 의해 O 링 ( 62 ) 을 거쳐서 진공 챔버 ( 10 ) 내 로 대기 가 진입 하 는 것 을 억제 할 수 있 다 .