통로 ( 122 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 내측 도어 ( 322 ) 의 내 측면 은 공정 챔버 ( 100 ) 의 내 측면 ( 120 ) 상 에 배치 되 며 , 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( 도 13 의 S ) 은 직사각 형 형상 을 가지 며 , 대칭 적 이 고 균일 한 공간 을 이룬다 . 또한 , 외측 도어 ( 324 ) 의 외측 면은 공정 챔버 ( 100 ) 의 외측 면 ( 140 ) 과 나란 하 게 배치 된다 . 한편 , 통로 ( 122 ) 와 내측 도어 ( 322 ) 또는 통로 ( 122 ) 와 외측 도어 ( 324 ) 사이 에 는 밀폐 를 위한 별도 의 실링 부재 ( sealing member ) 가 제공 될 수 있 다 .