도 3 c 와 같이 , 보호 층 ( 52 ) 상 에 제 3 감광막 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 형성 하 고 , 제 3 마스크 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 이용 하 여 제 3 감광막 패턴 을 형성 하 고 , 제 3 감광막 패턴 을 식각 마스크 로 이용하 여 , 보호 층 ( 52 ) 에 드레 인 전극 ( 45 b ) 을 노출 시키 는 드레 인 콘 택 홀 ( 47 ) , 게이트 패드 ( 48 ) 를 노출 시키 는 게이트 패드 콘 택 홀 ( 61 ) , 및 데이트 패드 ( 50 ) 를 노출 시키 는 데이터 패드 콘 택 홀 ( 62 ) 을 형성 한다 . 드레 인 콘 택 홀 ( 47 ) , 게이트 패드 콘 택 홀 ( 61 ) , 및 데이터 패드 콘 택 홀 ( 62 ) 을 포함 하 는 보호 층 ( 52 ) 의 상 에 투명 전극 층 ( 54 ) 을 형성 한다 .