일부 구 현예 에서 , " 본원 에서 "" 금속 화합물 "" 로 도 지칭 되 는 금속 전구체 는 할로겐 비 함유 금속 전구체 를 포함 할 수 있 고 ", 즉 , 금속 전구체 는 할로겐 화학종 을 실질 적 으로 함유 하 지 않 을 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 구리 , 코발트 및 니켈 중 하나 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 Cu ( dmap ) 2 ( dmap = 디메틸아미노 - 2 - 프로 폭 사이드 ) , Ni ( dmap ) 2 또는 Co ( dmap ) 2 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 , 금속 중심 원자 가 두 자리 리간드 에서 적어도 하나 의 산소 및 적어도 하나 의 질소 원자 를 통해 결합 되 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 , 금속 중심 원자 가 두 자리 리간드 에서 적어도 하나 의 질소 원자 를 통해 결합 되 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 , 금속 중심 원자 가 두 자리 리간드 에서 적어도 하나 의 질소 원자 를 통해 결합 되 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 및 적어도 두 개 의 다른 리간드 , 예 를 들 면 한 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 , 및 N 또는 O 를 통해 금속 중심 원자 에 결합 되 는 적어도 하나 의 다른 리간드 , 예 를 들 면 한 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 , 금속 중심 원자가 가 적어도 하나 의 질소 원자 를 통해 결합 되 고 두 자리 리간드 에서 질소 이외 의 적어도 하나 의 다른 원자 를 통해 결합 되 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 금속 중심 원자 가 두 자리 리간드 에서 두 개 의 질소 원자 를 통해 결합 되 는 적어도 하나 의 두 자리 리간드 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 적어도 두 개 의 두 자리 리간드 를 포함 한다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 두 개 의 두 자리 리간드 를 포함 한다 . 적합 한 할로겐 비 함유 베타 디 케트 이미 네 이토 ( 예 를 들 면 , Ni ( pda ) 2 ) , ( pda = 펜탄 - 2 , 4 , - 디 케트 이미 네 이토 ) 화합물 의 일부 예 가 미국 특허 공보 제 2009 - 0197411 A 1 호 에 언급 되 어 있 으며 , 그 개시 내용 은 전체 가 본원 에 포함 되 어 있 다 . 적합 한 할로겐 비 함유 아 미디 네이트 화합물 ( 예 를 들 면 , Ni ( iPr - AMD ) 2 ) 의 몇몇 예 가 미국 특허 공보 제 2006 - 0141155 A 1 호 에 언급 되 어 있 으며 , 그 개시 내용 은 전체 가 본원 에 포함 되 어 있 다 . 적합 한 할로겐 비 함유 이미노 알 콕 사이드 화합물 의 몇몇 예 가 미국 특허 공보 제 2014 - 0227444 A 1 호 에 언급 되 어 있 으며 , 그 개시 내용 은 전체 가 본원 에 포함 되 어 있 다 다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 목적 하 는 금속 ( Co , Ni , Cu ) 이외 의 금속 원자 를 포함 하 지 않 는다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 내 의 금속 은 0 의 산화 상태 를 갖 는다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 내 의 금속 은 + I 의 산화 상태 를 갖 는다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 내 의 금속 은 + III 의 산화 상태 를 갖 는다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 내 의 금속 은 + II 의 산화 상태 를 갖 는다 . 일부 구 현예 에서 , 산화 상태 는 실온 에서 전구체 내 의 금속 의 산화 상태 이 다 . 산화 상태 는 상이 한 조건 에서 , 예 를 들 면 상이 한 압력 , 온도 및 / 또는 분위기 에서 뿐 만 아니 라 상기 상이 한 조건 에서 상이 한 표면 재료 와 접촉 할 때 변할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 F , Cl , Br 또는 I 와 같 은 할로겐화물 을 포함 하 지 않 는다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 금속 전구체 는 탄소 , 수소 및 질소 및 임의 로 산소 를 포함 한다 .