도 4 및 도 5 를 참조 하 면 , " 기판 지지 부재 ( 240 ) 의 내측 에 는 냉각 유체 가 순환 하 는 복수 의 냉각 라인 ( 241 """," 243 "") 들 이 동일 한 입력단 으로부터 분기 되 도록 형성 된다 . 냉각 라인 ( 241 """," 243 "") 들 의 입력단 은 공급 관 ( 262 "") 과 연결 되 고 ", 출력 단 은 배출관 ( 264 a , " 264 b ) 들 과 연결 된다 . 공급 관 ( 262 "") 및 배출관 ( 264 a ", 264 b ) 들 의 타단 은 냉각 장치 ( 260 ) 에 연결 된다 .