도 4 내지 도 6 을 참조 하 면 , 공간 분할 부재 ( 140 ) 에 는 공정 가스 가 유동 할 수 있 는 복수 의 홀 들 ( 145 ) 이 형성 된다 . 이 경우 , 공간 분할 부재 ( 140 ) 가 서포터 들 ( 120 ) 과 접촉 하 는 서포터 접촉 부 ( 141 ) 에 는 홀 들 ( 145 ) 이 형성 되 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 , 복수 의 홀 들 ( 145 ) 은 각각 약 0 . 05 mm 내지 약 5 mm 의 직경 을 가질 수 있 다 . 0 . 05 mm 미만 의 직경 을 갖 도록 복수 의 홀 들 ( 145 ) 을 형성 하 는 것 은 공정 가스 의 유동 효과 가 낮 아 지 는 반면 에 5 mm 초과 의 직경 을 갖 도록 복수 의 홀 들 ( 145 ) 을 형성 하 는 것 은 상기 제 1 공간 에 발생 한 이 물질 이 하부 의 제 2 공간 으로 낙하 하 는 문제 가 발생 할 수 있 다 .