비교 적 저온 ( 300 ℃ 미만 ) 에서 그리고 비교 적 높 은 사이클 당 성장률 ( GPC ( Growth Per Cycle ) > 1 . 5 Å / 사이클 ) 로 원자 층 증착 ( ALD ) 및 플 라즈 마 강화 원자 층 증착 ( PEALD ) 을 통한 규소 - 함유 막 을 증착 시키 기 위해 사용 될 수 있 는 오가노 아미노 실란 및 클로 로 실란 전구체 가 당해 분야 에 공지 되 어 있 다 .