다음 으로 , 레벤 손 형 마스크 와 하프톤 형 마스크 의 노광량 비율 이 0 . 6 : 1 일 때 의 노광 의 경우 를 설명 한다 . 즉 , 레벤 손 형 마스크 의 노광량 을 상대 적 으로 낮춘다 . 이 경우 에 는 , 레지스 트 패턴 ( 13 ) 의 폭 방향 의 길이 ( L 1 ) 에 대응 하 는 레벤 손 형 마스크 의 개구부 간 에 배치 되 고 , 하프톤 형 마스크 로 형성 되 는 배선 패턴 의 차 광부 폭 은 110 ㎚ 로 된다 ( 도 16 참조 ) .