또한 , 제 1 가스 도입 라인 ( 232 a ) 및 제 2 가스 도입 라인 ( 232 b ) 에 는 , 제 3 가스 도입 라인 ( 232 c ) 이 접속 되 어 있 다 . 제 3 가스 도입 라인 ( 232 c ) 에 는 제 3 가스 원 ( 243 c ) 이 접속 되 어 있 고 , 제 3 가스 도입 라인 ( 232 c ) 의 도중 에 는 제 3 가스 원 으로부터 반응 관 ( 203 ) 내 에 도입 하 는 제 3 가스 의 유량 을 제어 하 는 제 3 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 c ) 와 , 그 상류 측 에 설치 된 제 3 밸브 ( 242 c ) 가 설치 되 어 있 다 . 제 3 가스 도입 라인 ( 232 c ) 은 , 제 3 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 c ) 보다 하류 측 에서 2 개 의 라인 으로 분기 하 고 , 각각 은 제 1 가스 도입 라인 ( 232 a ) 의 제 1 밸브 ( 240 a ) 보다 하류 측 , 제 2 가스 도입 라인 ( 232 b ) 의 제 2 밸브 ( 240 b ) 보다 하류 측 에 접속 되 어 있 고 , 각 라인 에 제 3 가스 를 공급 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 또한 , 제 3 가스 도입 라인 ( 232 c ) 에서 분기 된 각 라인 에 는 제 4 밸브 ( 240 c ) , 제 5 밸브 ( 240 d ) 가 각각 설치 되 어 있 다 . 한편 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 3 가스 원 ( 243 ) 에 는 , 제 3 가스 로서 불활성 가스 , 예 를 들 면 N 2 , Ar 또는 He 등 이 수용 된다 .