이 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위하 여 , 플라 즈 마 또는 열처리 를 통하 여 소스 가스 의 반응 성 을 향상 시키 는 방법 이 있 다 . 그러나 , 열처리 를 이용 하 는 경우 고온 에 의해 웨이퍼 가 손상 되 는 문제점 이 있 으며 , 플라 즈 마를 이용 하 는 경우 에 는 플 라즈 마 입자 가 웨이퍼 에 직접 충돌 함 으로써 웨이퍼 를 손상 시키 는 문제점 이 있 다 .