이 때 , 각각 의 이격 부재 ( 63 ) 의 단부 에 는 모두 브래킷 부재 ( 65 ) 가 마련 되 고 브래킷 부재 ( 65 ) 에 는 적어도 하나 의 제 1 통공 ( 67 ) 이 형성 되 지만 모든 제 1 통공 ( 67 ) 및 그 에 대응 되 는 제 2 통공 ( 19 ) 에 스크루 ( 68 ) 가 체결 되 지 는 않 는다 . 모든 제 1 통공 ( 67 ) 및 제 2 통공 ( 19 ) 에 스크루 ( 68 ) 가 체결 되 어 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 와 상부 챔버 ( 10 ) 의 상판 부 ( 13 ) 사이 를 강하 게 결속 시킬 수 도 있 지만 , 증착 공정 에 의해 챔버 ( 3 ) 의 온도 가 수백 도 로 상승 되 는 경우 상부 챔버 ( 10 ) 의 상판 부 ( 13 ) 가 열팽창 하 게 되 는데 , 이때 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 와 상부 챔버 ( 10 ) 의 상판 부 ( 13 ) 가 강하 게 결속 되 어 있 으면 상판 부 ( 13 ) 의 열팽창 에 의해 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 또한 열팽창 될 수 있 고 , 이 로 인해 스크루 결합 된 부위 가 파손 되 어 상판 부 ( 13 ) 및 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 가 파손 될 수 있 기 때문 이 다 .