도 5 는 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 의 다양 한 크기 들 에 대한 흐름 및 압력 그래프 이 다 . 그래프 ( 510 ) 는 0 . 2 mm 의 직경 을 갖 는 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 에 대한 SCCM ( standard cubic centimeters per minute ) 단위 의 플로우 레이트 이 다 . 그래프 ( 520 ) 는 0 . 5 mm 의 직경 을 갖 는 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 에 대한 플로우 레이트 이 다 . 그래프 ( 530 ) 는 1 . 0 mm 의 직경 을 갖 는 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 에 대한 플로우 레이트 이 다 . 알 수 있 는 바 처럼 , 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 의 다양 한 크기 들 은 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 와 프로세스 챔버 ( 230 ) 사이 의 압력 강하 ( pressure drop ) 를 결정 할 수 있 다 . 압력 강하 가 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 에 걸쳐 초크 유동 ( choked flow ) 이 일어날 정도 이 면 , 플라 즈 마 챔버 ( 210 ) 로 의 질량 유량 은 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 에서 압력 이 일정 할 때 플 라즈 마 챔버 의 감소 에 따라 증가 하 지 않 을 것 이 다 .