근년 , 플랫 패널 디스플레이 ( 이하 , FPD 라고 약칭 함 ) 디바이스 를 제조 하 기 위한 대형 FPD 용 포토 마스크 의 분야 에서 , 반 투광 성 영역 ( 소위 그 레이톤 부 ) 을 갖 는 그 레이톤 마스크 를 이용 하 여 마스크 매수 를 삭감 하 는 시도 가 이루어지 고 있 다 ( 월간 FPD Intelligence , p . 31 - 35 , 1999 년 5 월 ( 비 특허 문헌 1 ) 참조 ) .