중합체 증착 및 에치 백 을 위해 구성 된 장치 ( 100 ) 는 ( 기화 온도 가 약 40 ℃ 인 ) DAH 및 ( 기화 온도 가 약 170 ℃ 인 ) PMDA 용 고체 소스 용기 를 갖 는 샤워 헤드 반응기 일 수 있 다 . 일 구 현예 에서 , 플라 즈 마 소스 ( 147 ) 는 인 시튜 에치 백 을 위해 아르곤 및 H 2 를 공급 하 는 ( 예 를 들 어 , 용량 성 으로 결합 된 ) 인 시튜 직접 플 라즈 마 장치 를 포함 한다 . 다른 구 현예 에서 , 장치 ( 100 ) 는 샤워 헤드 반응기 가 아닌 크로스 플로 반응기 일 수 있 지만 , 여전히 고체 소스 용기 ( 105 , 140 ) 및 직접 플 라즈 마 성능 을 갖 는 전술 한 것 들 을 갖 는다 . 다른 구 현예 에서 , 플라 즈 마 소스 ( 147 ) 는 Ar / H 2 플 라즈 마로 부터 플 라즈 마 생성물 을 공급 하 기 위해 반응 공간 ( 115 ) 에 결합 된 원격 플 라즈 마 를 포함 한다 . 다른 구 현예 에서 , 플라 즈 마 소스 ( 147 ) 는 반응 공간 ( 115 ) 에 결합 된 오존 발생기 로 대체 될 수 있 다 . 원격 플 라즈 마 또는 오존 발생기 는 , 예 를 들 어 샤워 헤드 반응기 에 연결 될 수 있 다 .