추가 웨이퍼 가 이용 될 경우 , 하나 이상 의 컨트롤러 가 이용 할 수 있 는 단계 는 , a 1 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 수 로부터 추가 사이트 를 선택 하 는 단계 로서 , 이 추가 사이트 는 제 1 S - D 작성 프로 시저 를 이용 하 여 작성 되 었 던 그 와 연관 된 추가 라이브러리 관련 기준 ( 평가 ) 특징 부 를 갖 는 것 인 선택 단계 와 , b 1 ) 추가 S - D 웨이퍼 상 의 추가 사이트 로부터 추가 라이브러리 관련 평가 데이터 를 획득 하 는 단계 로서 , 이 추가 사이트 는 그 와 연관 된 추가 라이브러리 관련 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 갖 는 것 인 획득 단계 와 , c 1 ) 추가 S - D 웨이퍼 상 의 추가 사이트 에 대해 추가 피 예측 데이터 를 확립 하 는 단계 로서 , 이 추가 피 예측 데이터 는 추가 피 예측 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 하 는 것 인 확립 단계 와 , d 1 ) 추가 라이브러리 관련 평가 데이터 와 추가 피 예측 데이터 를 이용 하 여 계산 된 추가 라이브러리 관련 차이 를 이용 하 여 추가 사이트 에 대한 추가 신뢰 도 값 을 확립 하 는 단계 와 , e 1 ) 추가 신뢰 도 값 , 추가 라이브러리 관련 차이 , 신규 신뢰 도 값 , 신규 라이브러리 관련 차이 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 라이브러리 관련 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 추가 사이트 에 대한 추가 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , f 1 ) 추가 리스크 인자 , 추가 신뢰 도 값 , 추가 라이브러리 관련 차이 , 신규 리스크 인자 , 신규 신뢰 도 값 , 신규 라이브러리 관련 차이 , 제 1 리스크 인자 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 라이브러리 관련 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 추가 사이트 에 대한 추가 합계 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , g 1 ) 추가 합계 리스크 인자 가 추가 라이브러리 관련 한계 이하일 경우 , 추가 사이트 를 그 와 연관 된 추가 합계 리스크 인자 를 갖 는 추가 피 검증 사이트 로서 식별 하 고 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 며 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 고 , 추가 사이트 와 연관 된 데이터 를 피 검증 데이터 로서 평가 라이브러리 에 저장 하 는 단계 와 , h 1 ) 추가 합계 리스크 인자 가 추가 라이브러리 관련 작성 한계 보다 클 경우 , 추가 사이트 를 그 와 연관 된 추가 의 제 2 리스크 인자 를 갖 는 추가 미 검증 사이트 로서 식별 하 며 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 고 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 로서 , 추가 피 검증 사이트 는 그 와 연관 된 추가 피 검증 라이브러리 관련 데이터 를 갖 는 것 인 단계 와 , i 1 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 를 이용 할 수 있 고 그 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 개수 가 0 보다 많 을 경우 단계 a 1 ) 내지 h 1 ) 를 반복 하 는 단계 와 , j 1 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 를 이용 할 수 없 거나 그 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 개수 가 0 일 때 S - D 라이브러리 작성 프로세스 를 정지 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .