이 피스톤 ( 15 ) 을 상하 로 이동 조정 함 으로써 공동 부 ( 14 a ) 의 용적 이 변화 하 여 공동 공진기 ( 14 ) 의 공진 주파수 를 변화 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 이 공동 공진 기 ( 14 ) 의 공진 주파수 를 변화 시킴 으로써 , 이 공동 공진기 ( 14 ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 막 상태 의 전체 를 포함 하 는 특성 임피던스 가 변화 한다 . 이때 의 특성 임피던스 는 , 전자파 의 투과 계수 · 반사 계수 또는 손실 계수 가 연마 의 종점 및 종점 부근 에 있 어서 현저 하 게 변화 하 는 상태 가 되 도록 조정 하 는 것 이 바람직 하 다 .