반사 된 방사선 ( 360 ) 은 검출기 ( 318 ) 에 의해 포착 되 며 타 겟 구 조체 ( T ) 의 속성 을 계산 함 에 있 어서 사용 하 기 위해 제 1 스펙트럼 이 프로세서 ( 320 ) 로 제공 된다 . 따라서 , 제 1 조명 시스템 ( 312 ) 및 제 1 검출 시스템 ( 318 ) 은 제 1 검사 장치 를 형성 한다 . 이 제 1 검사 장치 는 US 2016282282 A 1 에서 설명 되 는 종류 의 SXR 분광 반사계 를 포함 할 수 도 있 다 . 하나 이상 의 차원 에서 의 기판 의 틸팅 이 또한 제공 될 수 도 있 다 .