접합 층 ( 120 ) 은 , 타 겟 ( 110 ) 의 이면 과 냉각 재킷 ( 130 ) 의 표면 을 본딩 등 에 의해 접합 한다 . 구체 적 으로 는 , 타 겟 ( 110 ) 의 이면 의 전체 면 이 , 접합 층 ( 120 ) 에 의해 , 냉각 재킷 ( 130 ) 의 표면 과 접합 된다 . 여기 서 , 도 1 을 이용 하 여 전술 한 바 와 같이 , 마그넷 ( 26 ) 의 자계 에 의해 플 라즈 마가 집중 되 기 때문 에 , 플라 즈 마 내 의 양이온 이 타 겟 ( 110 ) 의 스퍼터 면 ( 111 ) 에 국소 적 으로 충돌 하 여 , 타 겟 ( 110 ) 의 스퍼터 면 ( 111 ) 이 국소 적 으로 고온 이 된다 . 타 겟 ( 110 ) 의 이면 의 전체 면 에서 접합 함 으로써 , 타 겟 ( 110 ) 과 냉각 재킷 ( 130 ) 의 열전도 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 접합 층 ( 120 ) 에 는 , 예컨대 In 이나 Sn 등 의 융점 이 낮 은 금속 이 이용 된다 . 이것 에 의해 , 타 겟 구 조체 ( 100 ) 는 , 타 겟 ( 110 ) 의 교환 이 가능 해 지 고 , 냉각 재킷 ( 130 ) , 접합 층 ( 140 ) , 백 킹 플레이트 ( 150 ) 를 포함 하 는 구조 체 를 재 이용 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .