이상 에서 상세히 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 의하 면 , 기판 을 척 킹 하 는 스핀 척 에 교차 척 킹 메카 니즘 을 적용 함 으로써 기판 접촉 부위 에 대한 처리 공정 을 원활 하 게 진행 할 수 있 게 된다 . 이 에 따라 , 기판 처리 효과 의 증대 을 꾀할 수 있 고 기판 처리 불량 을 현저히 줄일 수 있 어 기판 제조 수율 을 높일 수 있 는 효과 가 있 다 .