본 실험 예 에서 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 플 라즈 마 강화 원자 층 증착 법 ( PEALD ) 을 이용 하 여 질화 규소 막 을 증착 하 였 는데 , 약 300 ℃ 의 증착 온도 , 약 3 torr 의 증착 압력 , 약 400 sccm 의 유량 으로 암모니아 공급 하 고 , 약 600 W 의 전력 을 가하 여 암모니아 플 라즈 마 를 발생 하 였 다 .