예 를 들 면 , 챔버 ( 200 ) 는 내부 공간 을 분리 하 기 위한 제 1 분리 벽 ( 210 ) 을 갖 는다 . 분리 벽 ( 210 ) 은 내부 의 공간 을 적어도 둘 이상 의 공간 으로 분리 한다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 제 1 분리 벽 ( 210 ) 은 챔버 ( 200 ) 의 내부 공간 을 상하 의 두 개 의 공간 으로 분리 한다 . 이 와 달리 , 제 1 분리 벽 ( 210 ) 은 챔버 ( 200 ) 의 내부 공간 을 좌우 로 분리 할 수 있 고 , 사선 으로 분리 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 분리 벽 ( 210 ) 은 둘 이상 의 공간 의 크기 를 다르 게 분리 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 분리 벽 ( 210 ) 에 의해 분리 된 공간 들 중 일 공간 이 다른 공간 보다 상대 적 으로 적 은 공간 을 갖 도록 분리 한다 . 이 와 달리 , 제 1 분리 벽 ( 210 ) 은 둘 이상 의 공간 들 이 실질 적 으로 동일 하 도록 분리 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 분리 벽 ( 210 ) 은 상부 의 공간 에 해당 하 는 제 1 탱크 ( 300 ) 와 하부 의 공간 에 해당 하 는 제 2 탱크 ( 400 ) 로 분리 한다 .