그리고 카본 브러시 ( 11 ) 의 일부 와 , 회전축 체 ( 7 a ) 의 돌출부 와 , 회전 구동 장치 ( 8 ) 를 덮 도록 하 여 , 도전 성 재료 로 이루어지 는 하우징 ( 10 ) 이 설치 되 어 있 다 . 이 하우징 ( 10 ) 은 상단 이 폐쇄 되 고 하단 이 개방 된 대략 원통 형상 을 가지 고 있 다 . 그리고 , 진공 챔버 ( 1 ) 의 상부 챔버 벽 ( 1 a ) 에 , 절연 부재 ( 18 ) 를 통하 여 고정구 ( 17 ) 에 의해 고정 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 하우징 ( 10 ) 과 진공 챔버 ( 1 ) 는 전기 적 으로 절연 되 어 있 다 . 따라서 , 카본 브러시 ( 11 ) 에 고주파 전력 및 직류 전력 이 인가 되 고 , 또한 회전축 체 ( 7 a ) 및 크로스 롤러 베어링 ( 9 ) 을 통하 여 하우징 ( 10 ) 에 고주파 전력 및 직류 전력 이 인가 되 어도 , 진공 챔버 ( 1 ) 는 항상 전기 적 으로 접지 된 상태 가 된다 .