탱크 ( 10 ) 내 의 처리 액 의 액 위 가 상승 해서 미리 정해진 하한 액 위 이상 으로 된 것 이 도시 하 지 않 은 액 위 센서 에 의해 검출 되 면 ( 시점 t 1 ) , 미리 정해진 지연 시간 의 경과 후 에 ( 시점 t 2 ) , 한 쪽 개폐 밸브 ( 26 A ) 만 을 개방 하 여 , 펌프 ( 30 ) 를 기동 한다 . 이 에 의해 , 탱크 ( 10 ) 로부터 주 통로 부분 ( 22 ) 및 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 을 통하 여 , 탱크 ( 10 ) 로 되돌아가 는 처리 액 의 순환류 가 형성 된다 . 이때 , 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 에 는 처리 액 은 흐르 지 않 는다 .