또한 , 컨트롤러 ( 100 ) 는 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 내 및 폐색 공간 ( 54 ) 내 의 산소 농도 를 제어 한 후 , 차압계 ( 86 ) 에 의해 검출 되 는 검출 값 에 기초 하 여 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 의 압력 과 폐색 공간 ( 54 ) 의 압력 이 대략 동일 한 압력 으로 되 도록 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 의 압력 및 폐색 공간 ( 54 ) 의 압력 중 적어도 어느 것 을 제어 한다 . 구체 적 으로 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 는 , 불활성 가스 공급 장치 ( 91 a ) 로부터 공급 되 는 불활성 가스 의 유량 , 불활성 가스 공급 장치 ( 91 b ) 로부터 공급 되 는 불활성 가스 의 유량 , 배기 조정 밸브 ( 93 a ) 의 개방 도 및 배기 조정 밸브 ( 93 b ) 의 개방 도 중 적어도 어느 것 을 조정 한다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 의 압력 및 폐색 공간 ( 54 ) 의 압력 중 적어도 어느 것 이 제어 되 어 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 의 압력 과 폐색 공간 ( 54 ) 의 압력 이 대략 동일 한 압력 으로 된다 . 이 때문 에 , 개폐 도어 ( 5 ) 를 반 송구 ( 20 ) 의 테두리 부 로부터 이격 시킬 때 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 으로부터 폐색 공간 ( 54 ) 을 , 또는 폐색 공간 ( 54 ) 으로부터 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 을 향하 는 가스 의 흐름 이 발생 하 지 않 는다 . 그 결과 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 과 폐색 공간 ( 54 ) 과 의 사이 에서 파티클 이 비산 하 는 것 을 억제 할 수 있 다 .