절 연막 ( 180 ) 이 형성 되 면 , PSR ( 190 ) 을 코팅 하 고 ( 도 11 ) , 배선 이 형성 된 마스크 를 이용 하 여 PSR ( 190 ) 을 패 터닝 하 여 관통 전극 ( 171 ) 을 노출 시킨다 ( 도 12 ) . 패 터닝 된 PSR ( 190 ) 은 큐어 링 공정 을 통하 여 경화 된다 . PSR ( 190 ) 패 터닝 은 관통 전극 ( 171 ) 과 전기 적 으로 컨 택 이 되 면서 관통 전극 ( 171 ) 으로부터 연장 되 는 배선 을 재 정렬 하 기 위한 것 이 다 .