그리고 상기 가동 플레이트 ( 20 a ) ( 20 b ) 의 상면 에 는 다수 의 집게 ( 30 ) 가 설치 된다 . 상기 집게 ( 30 ) 는 기판 ( 2 ) 의 가장자리 를 파지 하 여 고정 하 기 위한 것 으로서 , 바람직 하 게 , 메인 플레이트 ( 21 ) 에 는 두 개 의 집게 ( 30 ) 가 일정 간격 으로 평행 하 게 설치 되 고 , 서브 플레이트 ( 22 ) 에 는 하나 의 집게 ( 30 ) 가 설치 된다 . 따라서 하나 의 가동 플레이트 ( 20 ) 에 는 4 개 의 집게 ( 30 ) 가 설치 되 고 하나 의 행거 ( 1 ) 에 는 8 개 의 집게 ( 30 ) 가 서로 마주 보 도록 설치 된다 . 이러 한 집게 ( 30 ) 는 당해 분야 에서 널리 알려진 것 이 므로 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .