도 8 은 본 발명 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 의 제 3 실시 사시도 이 고 , 도 9 는 도 8 에 도시 된 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 의 E - E ' 선 단면도 이 며 , 도 10 은 도 8 에 도시 된 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 의 F - F ' 선 단면도 이 다 . 여기 서 앞서 도시 된 도면 에서 와 동일 한 도면 부호 는 동일 한 기능 을 하 는 부재 를 가리킨다 .