본 발명 의 제 2 실시 예 는 , 광원 으로부터 출사 되 는 광 을 투영 수단 을 이용 하 여 빔 분할기 로 조사 하 여 빔 분할기 에서 분할 되 는 빛 을 검사 대상 표면 과 반사체 에 투영 시켜 검사 대상 표면 에서 반사 되 는 광과 반사체 로부터 반사 되 는 광이 중첩 되 어 간섭 광 패턴 을 형성 하 도록 하 는 단계 와 , 간섭 광 패턴 을 촬상 하 는 단계 와 , 촬상된 영상 을 분석 하 고 검사 대상 의 결함 유무 를 판단 하 는 단계 를 포함 하 는 입체 형상 검사 방법 에 관한 것 으로서 , 간섭 광 패턴 을 형성 하 는 단계 는 화소 별 디스플레이 제어 수단 으로 이루어지 는 투영 수단 을 이용 하 여 검사 대상 표면 각 화소 별 임의 의 밝기 를 갖 도록 광 패턴 을 투영 시키 는 과정 과 , 투영 수단 에서 형성 되 는 광 패턴 의 밝기 와 상보 적 인 밝기 의 광 패턴 을 화소 별 디스플레이 제어 수단 으로 이루어지 는 반사체 를 이용 하 여 형성 하 는 과정 으로 이루어지 는 것 이 다 .