도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 어부 ( 100 ) 는 , 먼저 단계 S 01 , S 02 , S 03 , S 04 , S 05 를 실행 한다 . 단계 S 01 에서 는 , 둘레 벽 ( 31 ) 과 천장 판 ( 32 ) 사이 가 개방 하 여 , 승강 핀 ( 23 ) 이 열 판 ( 21 ) 상 에 돌출 한 상태 로 , 웨이퍼 ( W ) 가 처리 공간 ( 34 ) 내 에 반입 되 어 승강 핀 ( 23 ) 상 에 배치 되 는 것 을 개폐 제 어부 ( 111 ) 가 대기 한다 .