그래서 , 패턴 측정 장치 ( 1 ) 는 포토 마스크 ( 80 ) 의 패턴 형상 을 측정 한다 . 도 1 및 도 2 에 예시 하 는 바 와 같이 , 패턴 측정 장치 ( 1 ) 는 조사 부 ( 10 ) 와 검 출부 ( 20 ) 와 이동 기구 ( 40 ) 와 제 어부 ( 50 ) 와 승강 기구 ( 60 ) 와 표시 부 ( 70 ) 와 유지 부 ( 90 ) 를 포함 하 고 있 다 .