검사 툴 은 각각 의 스 와스 위치 를 자동 으로 정의 하 기 위하 여 정의 된 다이 범위 , 다 이 오프셋 및 어레이 크기 를 사용 할 수 있 다 . 도 7 을 다시 참조 하 면 , 제 1 다이 세트 의 제 1 에지 에 대한 제 1 스와 스 의 상대 적 위치 는 제 1 스와 스가 동작 ( 703 ) 에서 제 1 다이 세트 의 제 1 에지 를 포함 하 도록 정의 될 수 있 다 . 도 6 c 의 예 에서 , 제 1 스 와스 ( 604 a ) 는 2 개 의 레티 클 ( 600 a 및 600 b ) 로부터 의 제 1 다이 세트 ( 예 를 들 어 , 602 a ~ 602 d ) 의 하부 에지 ( 예 를 들 어 , 606 a ~ 606 d ) 에 대하 여 정의 된다 . 제 1 스와 스 는 또한 제 1 다이 세트 의 임의 의 다른 동등 한 위치 에 대하 여 정의 될 수 있 다 . 스 와스 는 일반 적 으로 특정 스와 스 위치 에서 스캔 을 자동 으로 시작 하 는 검사 툴 에 의해 특정 다 이 위치 에 대하 여 정의 될 수 있 다 .