외측 셔터 부 ( 4 a ) 에 있 어서 의 상방 측 에 는 , 환상 공간 ( 4 c ) 에 연통 하 는 유입 구 ( 4 d ) 가 전체 둘레 에 걸쳐서 등 간격 으로 형성 되 어 있 다 . 내측 셔터 부 ( 4 b ) 에 있 어서 의 하방 측 에 는 , 환상 공간 ( 4 c ) 에 연통 하 는 공 급구 ( 4 e ) 가 전체 둘레 에 걸쳐서 등 간격 으로 형성 되 어 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 , 처리 용기 ( 1 ) 를 수용 하 는 상기 하우징 ( 도시 하 지 않 음 ) 내 의 불활성 가스 , 예 를 들 어 질소 가스 는 , 처리 용기 ( 1 ) 내 에 균일 하 게 공급 된다 .