개구부 를 설정 하 는 개구부 설정 공정 에서 , 동 위상 개구부 와 반전 위상 개구부 의 쌍 끼리 의 거리 가 가까운 순 으로 쌍 끼리 대향 하 는 개구부 중 적어도 한 쪽 에 , 동 위상 개구부 를 설정 함 으로써 , 쌍 끼리 대향 하 는 부분 에서 차광막 이 박리 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 쌍 끼리 대향 하 는 양측 의 개구부 에 동 위상 개구부 를 설정 하 고 있 다 . 도 23 및 도 24 를 참조 하 면 , 상호 대향 하 는 동 위상 개구부 ( 3 a ) 와 동 위상 개구부 ( 3 c ) 가 설정 되 어 있 다 . 따라서 , 동 위상 개구부 ( 3 a ) 와 동 위상 개구부 ( 3 c ) 에 끼워 지 는 차광막 ( 3 ) 의 부분 과 투광 판 ( 21 ) 의 접촉 면적 을 크 게 할 수 있 어 , 차광막 ( 3 ) 의 박리 를 억제 할 수 있 다 .