도 23 에 있 어서 , 인접 한 2 개 의 피복 영역 사이 의 거리 가 0 ㎛, 100 ㎛, 200 ㎛, 300 ㎛, 400 ㎛ 및 450 ㎛ 인 실험 데이터 는 , 각각 , 도 22 에서 의 피복 영역 의 1 변의 길이 가 500 ㎛, 400 ㎛, 300 ㎛, 200 ㎛, 100 ㎛ 및 50 ㎛ 인 경우 의 실험 데이터 에 대응 한다 . 인접 한 2 개 의 피복 영역 사이 의 거리 가 20 ㎛ 및 50 ㎛ 데이터 에 대해서 는 , 다른 실험 데이터 와 동일 한 절차 에 의해 , 각각 , 피복 영역 의 1 변의 길이 가 480 ㎛ 및 450 ㎛ 인 경우 에 대해서 소자 형성 층 ( 124 ) 의 막 두께 를 측정 하 여 얻 을 수 있 었 다 .