제 1 커버 플레이트 ( 136 ) 는 제 1 면적 을 가지 도록 평판 형태 로 형성 되 어 전술 한 지지 프레임 ( 135 ) 에 정의 된 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 의 상부 를 덮 는다 . 이때 , 제 1 커버 플레이트 ( 136 ) 는 나사 또는 볼트 등 의 체결 부재 에 의해 지 지 프레임 ( 135 ) 의 상부 면 ( 135 a ) 및 격벽 부재 ( 135 d ) 각각 에 결합 된다 . 이러 한 제 1 커버 플레이트 ( 136 ) 는 전기 적 으로 플로팅 상태 를 갖 는다 .