일부 예시 적 인 치수 들 이 본 개시 에서 제공 된다 . 이 치수 들 이 예시 들 이 라는 것 이 인식 된다 . ( 유사 한 치수 들 을 갖 는 도 18 과 함께 ) 도 19 , 20 , 및 21 을 참조 하 면 , 재 분배 라인 ( 56 C ) 의 폭 A 와 간격 들 B 와 C 는 약 30 ㎛ 보다 작 을 수 있 다 . 더미 금속 캡 ( 56 B ) 의 지름 D ( 또는 길 이 또는 폭 ) 는 약 140 nm 내지 약 230 nm 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 . 더미 비아 ( 32 B ) 의 지름 E ( 또는 길 이 또는 폭 ) 는 약 100 ㎛ 내지 약 190 ㎛ 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 . 더미 관통 비아 ( 54 B ) 의 지름 F ( 또는 길 이 또는 폭 ) 는 약 10 ㎛ 내지 약 60 ㎛ 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 .