그리고 , k + 2 회 째 의 트랙 킹 제어 ( k + 2 , 0 , 1 ) 에서 는 , x 방향 의 트랙 킹 제어 는 k 회 째 의 트랙 킹 제어 와 동일 하 면서 , + y 방향 으로 1 빔 간 피 치분 이탈 된 영역 ( 21 ) 의 트랙 킹 제어 를 행한다 . k + 2 회 째 의 트랙 킹 제어 에서 , 트랙 킹 이 개시 되 는 시점 에서 의 조사 영역 ( 34 ) 에 대응 하 는 묘화 대상 스트라이프 영역 ( 32 ) 내 의 영역 ( 21 ) 의 기준 위치 ( A 0 ) 에 대하 여 , XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 에 추종 하 도록 , 트랙 킹 편향 을 행한다 . 트랙 킹 이 개시 되 는 시점 ( 시각 t = 0 ) 의 기준 위치 ( A 0 ) 는 , t = 4 T 의 시점 에서 - x 방향 으로 , 예 를 들 면 , 8 빔 간 피치 이동 한다 . 그 동안 , 주편 향기 ( 208 ) 는 트랙 킹 을 계속 한다 . 그리고 , t = 3 T + Ttr 의 시점 에서 트랙 킹 을 리셋 함 으로써 빔 이 되돌려 지 고 , 도 14 ( d ) 에 도시 한 바 와 같이 , 다음 의 트랙 킹 제어 가 개시 되 는 시점 에서 , 조사 영역 ( 34 ) 에 대응 하 는 묘화 대상 스트라이프 영역 ( 32 ) 내 의 영역 ( 21 ) 은 , 전회 의 영역 으로부터 x 방향 으로 8 빔 간 피치 이간 된 영역 에 , 오프셋 으로서 + x 방향 으로 빔 간 피치 의 정수 배 ( nP ) 가 가산 된 합계 ( 8 + nP ) 빔 간 피치 이간 된 영역 에 주편 향기 ( 208 ) 에 의한 빔 편향 에 의해 이행 한다 . 그리고 , 다음 의 k + 3 회 째 의 트랙 킹 제어 가 개시 된다 .