또한 , 상기 제 2 통기구 ( 122 ) 에 는 이 물질 의 유입 을 방지 하 기 위한 공기 필터 ( 124 ) 가 설치 될 수 있 다 . 상기 공기 필터 ( 124 ) 에 의해 부상 장치 ( 100 ) 내부 에서 순환 되 는 공기 속 에 포함 될 수 있 는 오염 입자 들 이 기판 ( S ) 의 표면 에 부착 되 는 것 을 방지 하 는 효과 가 있 다 .