도 5 를 참조 하 면 , 일 실시 예 에 따른 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 에서 카메라 ( 400 ) 를 정렬 시킨 후 에 는 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 를 제거 하 고 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 가 제거 된 위치 에 발광 부 ( 800 ) 를 배치 할 수 있 으며 스테이지 ( 100 ) 상부 에 기판 ( 700 ) 을 안착 시킬 수 있 다 . 발광 부 ( 800 ) 는 전술 한 베이스 ( 300 ) 에 결합 될 수 있 다 .