불순물 이 제거 되 고 , 또한 산소 결손 이 저감 됨 으로써 고 순도 화 된 산화물 반도체 는 , 계면 준위 , 계면 전하 에 대해 매우 민감 하 기 때문 에 , 고 순도 화 된 산화물 반도체 막 ( 716 ) 과 게이트 절 연막 ( 715 ) 의 계면 특성 은 중요 하 다 . 그 때문 에 고 순도 화 된 산화물 반도체 막 ( 716 ) 에 접하 는 게이트 절 연막 ( 715 ) 은 , 고품질 인 것 이 요구 된다 .