본 발명 은 그래프트 폴리머 를 고감도 로 생성 할 수 있 는 적층 체 , 및 상기 적층 체 를 사용 하 고 , 고감도 로 그래프트 막 또는 그래프트 패턴 을 형성 하 는 방법 을 제공 하 는 것 에 있 다 . 기재 , 라디칼 중합 개시 부위 와 상기 기재 에 직접 화학 결합 가능 한 부위 를 갖 는 화합물 이 상기 기재 에 화학 결합 해서 이루어지 는 중합 개시 층 , 및 라디칼 중합 가능 한 불포화 부위 를 갖 는 화합물 및 가열 또는 노광 에 의해 라디칼 을 발생 할 수 있 는 화합물 을 함유 하 는 그래프트 폴리머 전구체 층 을 이 순서 로 갖 는 것 을 특징 으로 하 는 적층 체 , 상기 적층 체 에 대하 여 , 전면 노광 또는 패턴 형상 노광 을 행하 고 , 상기 라디칼 중합 가능 한 불포화 부위 를 갖 는 폴리머 를 상기 중합 개시 층 표면 에 직접 결합 해서 그래프트 폴리머 를 생성 시킨다 .