도 1 은 대표 적 인 초 소형 전자 칼럼 으로서 공지 된 STM 정렬 필드 방식 개념 에 기초 한 1 kV 의 마이크 로 칼럼 을 개념 적 으로 도시 한 단면도 이 다 . 도 1 에서 , 소스 렌즈 ( 1 ) , 디플렉터 ( 2 ) 및 아인 젤 렌즈 ( Einzel lens ) ( 3 ) 가 도시 되 어 있 다 . 스캐닝 터널 링 현미경 ( STM ) 방식 포지 셔 너 에 부착 된 전자 방출 원 ( 5 ) 은 샘플 평면 ( 9 ) 을 향해 전자 빔 ( 6 ) 을 방사 한다 . 이러 한 빔 ( 6 ) 은 먼저 실리콘 마이크 로 렌즈 로 이루어진 소스 렌즈 ( 1 ) , 예 를 들 어 , 중앙 축 에 5 ㎛ 직경 의 구경 을 가진 엑스 트랙터 , 100 ㎛ 직경 의 구경 을 가진 가속 전극 , 및 2 . 5 ㎛ 직경 의 구경 을 가진 제한 개구 ( limiting aperture ) 를 통과 한다 . 소스 렌즈 ( 1 ) 아래 에 는 디플렉터 ( 2 ) 가 위치 된다 . 상기 디플렉터 는 우측 참고 평면도 ( A ) 와 같이 8 개 의 전극 으로 구성 되 어 소스 렌즈 ( 1 ) 에서 방 출 된 전자 빔 을 디 플렉 팅 하 게 된다 . 이후 , 전자 빔 ( 6 ) 은 아인 젤 렌즈 ( 3 ) 를 통과 하 는데 , 이러 한 아인 젤 렌즈 는 100 내지 200 ㎛ 직경 의 실리콘 마이크 로 렌즈 로 구성 되 고 이 들 마이크 로 렌즈 의 중심부 에 는 1 내지 2 ㎛ 두께 의 1 × 1 mm 크기 의 실리콘 홀 이 형성 되 어 있 다 . 각각 의 실리콘 층 은 절연 스 페이서 에 의해 일정 한 간격 으로 분리 된다 . 이후 , 전자 빔 ( 6 ) 은 샘플 표면 ( 9 ) 에 입사 하 여 2 차 전자 를 방출 하 며 채널 트론 검출기 등 으로 이 들 을 검출 한다 .