" 상대 적 으로 단 수명 을 갖 는 리액터 부분 은 통상 적 으로 "" 소모 성 "" 예 를 들 어 ", 실리콘 전극 으로 여겨진다 . 소모 성 부분 의 수명 이 짧 다면 , 소유 비용 이 높 아 진다 . 다수 의 RF 시간 ( 플라 즈 마를 생성 하 기 위해 무선 주파수 전력 이 사용 되 는 동안 의 시간 ) 이후 유전체 에칭 툴 에 사용 된 실리콘 전극 어셈블리 들 은 악화 된다 . 소모 성 및 다른 부분 들 의 부식 은 플 라즈 마 처리 챔버 에서 미립자 의 오염 물질 을 생성 한다 .