온도 조절 부재 ( 460 ) 는 노즐 암 들 ( 440 , 440 ') 의 몸체 ( 441 ) 에 제공 되 는 유입 포트 ( 461 ) 와 유출 포트 ( 462 ) 를 가진다 . 몸체 ( 441 ) 내 에 는 온도 조절 유체 배출관 ( 468 b ) 이 삽입 된다 . 온도 조절 유체 배출관 ( 468 b ) 은 몸체 ( 441 ) 와 처리 액 배관 들 ( 444 a , 444 b , 444 c ) 사이 의 공간 ( 445 ) 과 통하 도록 제공 된다 . 온도 조절 유체 배출관 ( 468 b ) 은 유출 포트 ( 462 ) 와 연결 되 고 , 몸체 ( 441 ) 와 처리 액 배관 들 ( 444 a , 444 b , 444 c ) 사이 의 공간 ( 445 ) 은 유입 포트 ( 461 ) 과 통하 게 제공 된다 .