이상 과 같이 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 복수 의 검출기 각각 의 검출 영역 의 위치 및 초점 위치 의 정보 에 근거 하 여 기울 기 정보 가 산출 된다 . 기울 기 정보 에 따라 , 물체 위 또는 기준 부재 위 의 적어도 1 개 의 마크 가 , 복수 의 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 정렬 된다 . 그리고 , 복수 의 검출기 에 의해 취득 된 계측 값 의 차분 으로부터 , 검출 장치 ( 100 ) 의 보정 정보 ( 복수 의 검출기 각각 의 계측 오프셋 값 ) 가 구해진다 . 스텝 S 106 에서 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 구해진 복수 의 검출기 각각 의 계측 오프셋 값 에 근거 하 여 , 복수 의 검출기 각각 의 광축 과 투영 광학계 ( 35 ) 의 광축 사이 의 기준 베이스 라인 을 결정 한다 .