채널 막 ( 220 ) 은 폴리 실리콘 혹은 비정질 실리콘 을 포함 하 도록 형성 할 수 있 다 . 채널 막 ( 220 ) 이 비정질 실리콘 을 포함 하 도록 형성 되 는 경우 , 이후 다른 막 구조물 형성 시 수반 되 는 열 공정 에 의해 결정질 실리콘 으로 변환 될 수 있 다 . 혹은 , 레이저 에피택시 얼 성장 ( LEG ) 공정 혹은 고상 에피택시 ( SPE ) 공정 을 추가 적 으로 수행 함 으로써 , 비정질 실리콘 을 결정질 실리콘 으로 변환 시킬 수 도 있 다 .