열경화성 수지 층 형성 용 조성물 의 제조 시 에 있 어서 , 각 성분 의 종류 및 함유량 의 어느 한 쪽 또는 양쪽 을 표 1 또는 2 에 나타내 는 바 와 같이 한 점 이외 에 는 , 실시 예 1 과 동일 한 방법 으로 , 열경화성 수지 필름 , 제 1 보호막 형성 용 시트 및 열경화성 수지 필름 이 형성 된 실리콘 웨이퍼 를 제조 하 여 , 열경화성 수지 필름 및 그 경화물 을 평가 했 다 . 결과 를 표 1 또는 2 에 나타낸다 .