또한 , 조성 을 필요 에 따라 제어 하 기 위해 다층막 으로 형성 하 였 고 , 증착 후 열처리 하 여 나노 결정질 을 형성 하 였으며 , 100 nm 이하 크기 의 TiAlSiN 과 TiAlCrSiN 상 ( phase ) 이 복합 화 된 코팅 두께 5 ~ 15 μ m 의 나노 복합 코팅 막 을 제공 하 여 , 경도 2700 ~ 3200 Hv , 마찰 계수 0 . 4 ~ 0 . 6 , 1 , 100 ℃ 에서 3 시간 동안 처리 하 여도 구조 변화 없 는 내열 및 비 ( 非 ) 반응 성 을 나타낸다 .