일반 적 으로 , 유기 금속 텅스텐 전구체 로부터 텅스텐 - 풍부 필름 이 증착 된다 . 상기 유기 금속 텅스텐 전구체 는 산소 와 질소 를 함유 할 수 있 는 무 - 할로겐 화합물 이 다 . 이러 한 화합물 의 일부 예시 로 는 텅스텐 헥사 카르보닐 , 에틸 사이클 로 펜 타 디 에 닐 디 카르보닐 니트로실 턴 스텐 , 에틸 사이클 로 펜 타 디 에 닐 디 하이드로 겐 트리 카르보닐 , 비스 ( tert - 부틸 이미노 ) 비스 ( 디메틸아미노 ) 텅스텐 이 있 다 ( 그러나 이 에 제한 받 지 않 음 ) . 다양 한 실시 예 에 따르 면 , OMW 전구체 는 예 를 들 어 , 알킬기 , 알케 닐 기 , 알키 닐 기 및 페닐기 중 임의 의 것 을 포함 하 는 지방족 화합물 , 또는 아릴기 일 수 있 다 . 또한 상기 OMW 전구체 는 탄소 및 / 또는 질소 를 , 예 를 들 어 , 카르보닐기 , 니트 로 실기 및 아미노기 의 형태 로 가질 수 있 다 .