여기 서 , 층간 절 연막 으로 사용 된 제 2 절 연막 ( 204 b ) , 제 3 절 연막 ( 204 b '), 제 4 절 연막 ( 204 b ''), 제 5 절 연막 ( 204 b ''') 은 , 도면 에 나타난 바 와 같이 종래 의 유전 상수 ( k ) 를 증가 시키 는 식각 정지 막 혹은 확산 방지 막 ( 캡 핑 막 ) 을 내포 하 지 않 으므로 , 기생 캐 패 시 턴 스 증가 에 따른 RC 딜레이 가 증가 하 게 되 어 소자 의 동작 속도 를 저하 시키 는 문제 등 이 해결 될 수 있 다 .