상기 버퍼 셔틀 ( 115 ) 은 제 1 픽커 ( 113 ) 와 제 2 픽커 ( 114 ) 사이 에서 Y 축 방향 으로 선형 운동 하 면서 반도체 소자 를 일시 적 으로 장착 하 는 구성 으로서 , 로딩 스택 커 ( 111 ) 와 교환 부 ( 116 ) 및 언로 딩 스택 커 ( 112 ) 와 교환 부 ( 116 ) 사이 에서 이송 되 는 반도체 소자 를 일시 적 으로 장착 한다 .