도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 데포 실드 ( 100 ) 는 , 대략 원통 형상 의 제 1 데포 실드 ( 110 ) 와 , 대략 원통 형상 의 제 2 데포 실드 ( 120 ) 를 구비 한다 . 제 2 데포 실드 ( 120 ) 는 , 열전도 성 이 좋 은 전열 재료 , 예 를 들 어 , 알루미늄 등 의 금속 으로 형성 되 며 , 챔버 ( 10 ) ( 챔버 본체 ( 12 ) ) 의 내 주면 을 따라 배치 된다 . 또한 , 제 2 데포 실드 ( 120 ) 는 히터 유닛 ( 62 ) 및 부재 ( 64 , 수 냉 유닛 ) 와 열전 도 가능 하 도록 접촉 하 여 배치 되 어 있 다 . 제 1 데포 실드 ( 110 ) 는 , 제 2 데포 실드 ( 120 ) 보다 열전도 율 이 낮 은 재료 , 예 를 들 어 , 석영 ( SiO 2 ) 등 과 같 은 세라믹 으로 형성 되 며 , " 제 2 데포 실드 ( 120 ) 의 내 주면 을 따라 배치 되 는 라이너 ( "" 석영 라이너 "" 라고도 함 ) 이 다 . 또한 ", 제 1 데포 실드 ( 110 ) 의 내주 면은 플 라즈 마가 생성 되 는 내부 공간 ( 10 s ) 에 노출 된다 . 이하 에서 는 , 제 1 데포 실드 ( 110 ) 가 석영 으로 형성 되 며 , 제 2 데포 실드 ( 120 ) 가 알루미늄 으로 형성 되 는 것 으로 하 여 설명 한다 .