누구 나 알 수 있 듯이 , 연마 테이블 ( 110 ) 은 연마 모터 ( 112 ) 와 , 연마 모터 ( 112 ) 와 연결 되 면서 연마 모터 ( 112 ) 의 상부 면 외부 로 출입 하 는 실린더 샤프트 ( 114 ) 와 , 실린더 샤프트 ( 114 ) 의 상부 에 장착 되 는 연마 플레이트 ( 116 ) 를 구비 하 는데 , 연마 플레이트 ( 116 ) 에 는 다수 의 진공 흡착 공 ( 118 ) 이 형성 되 고 , 진공 흡착 공 ( 118 ) 은 진공 흡착 튜브 라인 ( 도시 되 지 않 음 ) 과 연결 된다 . 또한 연마 모터 ( 112 ) 는 통상 의 다이렉트 드라이브 모터 ( DIRECT DRIVE MOTOR ; DD - MOTOR ) 를 채택 한다 .