상기 버퍼 막 ( 9 ) 은 통상 의 절연 재질 이 가능 하 고 , 본 발명 에서 특별히 한정 하 지 않 는다 . 대표 적 으로 , 실리콘 계 수지 , 아크릴 계 수지 , 폴리 이미드 계 수지 , 폴리스티렌 계 수지 , 폴리카보네이트 계 수지 , 폴리에스테르 계 수지 , 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 에서 선택 된 1 종이 가능 하 고 , 바람직 하 기 로 실리콘 계 수지 중 하나 인 폴 리디 메틸 실록 산 ( PDMS ) 과 아크릴 계 수지 중 하나 인 폴리 메틸 메타크릴 레이트 ( PMMA ) 가 사용 된다 .