본 발명 의 발명자 들 은 인체 에 유해 한 N - 메틸 포름 아미드 ( N - methylforamide ; NMF ) 및 N - 메틸 피 롤리 돈 ( N - methylpyrrolidone ; NMP ) 을 주 용매 로 사용 하 지 않 고 , 포토레지스트 의 제거 속도 를 향상 시킬 수 있 는 박리 액 조성물 을 개발 하 기 위해 연구 한 결과 , N - 에틸 포름 아마이드 , 하 기 화학식 1 로 표시 되 는 제 1 아민 화합물 및 하 기 화학식 2 로 표시 되 는 제 1 극성 용매 를 함께 사용 하 는 경우 포토레지스트 제거 에 소모 되 는 시간 을 단축 시킬 수 있 고 , 박리 된 포토레지스트 의 용해 력 이 뛰어나 필터 막힘 의 공 정상 문제 를 최소 화 할 수 있 으며 , 경시 변화 안정 성 이 우수 함 을 발견 하 여 본 발명 을 완성 하 였 다 .