출원인 은 처리 실 내 에 도입 하 는 소기 가스 를 처리 가스 로 변환 한 후 , 처리 가스 를 사용 하 여 플 라즈 마 를 생성 하 여 플 라즈 마 처리 를 행하 고 , 플라 즈 마 처리 종료 후 플 라즈 마 를 생성 한 그대로 소기 가스 로 변환 하 는 것 을 제안 하 고 있 다 ( 예 를 들 면 특허 문헌 2 참조 ) . 그러나 본 발명 에서 는 처리 실 내 에 반송 용 가스 를 도입 한 상태 에서 반 송실 로부터 처리 실 내 에 기판 을 반입 하 고 , 그 후 반송 용 가스 를 사용 하 여 플 라즈 마 를 생성 하 여 이 플 라즈 마 를 유지 한 상태 에서 반송 용 가스 로부터 프로세스 가스 로 변환 하 여 플 라즈 마 처리 를 행하 는 것 , 플라 즈 마 처리 가 종료 한 후 , 프로세스 가스 에 의한 플 라즈 마 를 유지 한 상태 에서 프로세스 가스 로부터 반송 용 가스 로 변환 하 여 플 라즈 마 를 정지 한 후 , 처리 실 내 로부터 반 송실 에 기판 을 반출 하 는 것 은 나타나 있 지 않 다 .