도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 종래 기술 에 따른 이재 로봇 시스템 은 기판 ( 150 ) 을 수납 및 반송 하 는 카세트 ( 100 ) 와 , 카세트 ( 100 ) 가 안치 된 로더 ( 110 ) , 카세트 ( 100 ) 에 기판 ( 150 ) 을 수납 하 거나 수납 된 기판 ( 150 ) 을 취 출하 기 위한 이재 로봇 ( 120 ) , 및 이 재 로봇 ( 120 ) 의 동작 을 제어 하 는 이재 로봇 제어기 ( 200 ) 를 포함 한다 .