이 와 같 은 정전 용 량식 레벨 센서 를 장착 한 보관 용기 는 도 1 에 도시 된 바 와 같이 전구체 가 채워지 는 용기 본체 ( 110 ) 와 , 상기 용기 본체 ( 110 ) 의 상부 에 결합 되 며 주 입관 ( 121 ) 과 배출관 ( 122 ) 이 구비 된 용기 커버 ( 120 ) , 및 제 1 탐침 인 프로브 ( 140 ) 와 제 2 탐침 사이 의 정전 용량 을 통해 용기 내부 의 액 위 를 측정 하 는 정전 용 량식 레벨 센서 ( 130 ) 를 포함 하 도록 구성 된다 .