다음 으로 , S 8 에 있 어서 , 도 10 의 ( C ) 와 같이 , 자기 부상 제어 를 OFF 로 하 고 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 마스크 트레이 ( 205 ) 에 착좌 ( 着座 ) 시킨다 . 자기 부상 제어 가 OFF 가 됨 으로써 , 부상 력 을 없앤 반송 캐리어 ( 302 ) 가 자체 무게 에 의해 낙하 하 고 , 마스크 트레이 ( 205 ) 에 착좌 한다 . 도시 한 예 에서 는 , 캐리어 본체 ( 302 A ) 에 마련 된 캐리어 스탠드 부 ( 302 A 1 ) 의 하단 이 마스크 트레이 ( 205 ) 에 접촉 하 도록 되 어 있 다 . 이 때 의 마스크 ( M ) 와 유리 기판 ( G ) 의 클리어런스 를 CLS 8 이 라고 하 면 , 예 를 들 면 CLS 8 = 0 . 3 mm 이 다 .