도 7 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 측면 주입 어셈블리 ( 303 ) 의 개략 적 인 사시 단면도 이 다 . 측면 주입 어셈블리 ( 303 ) 는 베이스 링 ( 301 ) 에 연결 되 도록 구성 된 페이스 플레이트 ( face plate ; 331 ) , 가스 챔버 ( 335 ) 를 형성 하 는 몸체 ( 332 ) , 상기 몸체 ( 332 ) 및 상기 페이스 플레이트 ( 331 ) 사이 에 샌드위치 된 확산 기 플레이트 ( 333 ) , 그리고 가스 소스 와 가스 챔버 ( 335 ) 를 연결 시키 도록 구성 된 입구 ( 336 ) 를 포함 한다 . 확산 기 플레이트 ( 333 ) 는 가스 챔버 ( 335 ) 로부터 베이스 링 ( 301 ) 의 원통형 처리 볼륨 ( 314 ) 으로 가스 유동 을 제공 하 도록 구성 된 다수 의 관통 홀 ( 334 ) 을 갖 는다 . 일 실시 예 에서 , 확산 기 플레이트 ( 333 ) 는 세라믹 으로 형성 될 수 있 다 .