이 와 같이 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 는 정전 전극 ( 13 ) 에 인가 되 는 전압 이 종래 보다 더 낮 은 때 에 도 큰 흡 착력 ( 쿨롱력 ) 을 획득 하 게 되 므로 , 말 착도 를 향상 시키 는 것 이 가능 하 다 . 따라서 , 정전 전극 ( 13 ) 에 인가 되 는 전압 을 큰 값 으로 설정 할 필요 가 없 으므로 , 기판 의 아 킹 또는 차 지업 ( charge up ) 발생 을 회피 함 으로써 기판 ( 17 ) 의 열화 를 방지 할 수 있 다 .