그립 퍼 ( 220 ) 는 진공 흡착 방식 으로 기판 ( 10 ) 을 그립 하 도록 구성 된다 . 일 예 로 , 그립 퍼 ( 220 ) 는 기판 ( 10 ) 을 독립 적 으로 흡착 가능 하 게 복수 개 가 마련 된다 . 바람직 하 게 , 그립 퍼 ( 220 ) 는 기판 ( 10 ) 의 논 액티브 영역 ( 12 ) ( non - active area ) 을 그립 하 도록 구성 된다 . 이 와 같이 , 그립 퍼 ( 220 ) 가 기판 ( 10 ) 의 논 액티브 영역 ( 12 ) 에서 기판 ( 10 ) 을 그립 ( 기판 ( 10 ) 의 논 액티브 영역 ( 12 ) 을 그립 ) 하 도록 하 는 것 에 의하 여 , 그립 퍼 ( 220 ) 의 접촉 에 의한 기판 ( 10 ) 의 손상 및 수율 저하 를 방지 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .