카세트 재치 공정 을 실시 한 후 , 제 1 카세트 ( 52 a ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 반출 하 여 임시 배치 수단 ( 58 ) 에 임시 배치 하 는 임시 배치 공정 을 실시 한다 . 임시 배치 공정 에서 는 , 우선 , 웨이퍼 반 출입 수단 ( 56 ) 의 다 관절 암 ( 70 ) 을 작동 시켜 , 제 1 카세트 ( 52 a ) 에 수용 되 어 있 은 연삭 가공 전 의 웨이퍼 ( W ) 에 , 복수 의 흡인 구멍 이 형성 되 어 있 는 유지 편 ( 72 ) 의 편면 을 밀착 시켜 , 유지 편 ( 72 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 한다 . 그 다음 에 , 다 관절 암 ( 70 ) 을 작동 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 를 제 1 카세트 ( 52 a ) 로부터 반출 하 고 , 임시 배치 수단 ( 58 ) 의 임시 배치 테이블 ( 74 ) 의 상면 에 웨이퍼 ( W ) 의 하면 을 접촉 시킨다 . 그 다음 에 , 유지 편 ( 72 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 흡인 유지 를 해제 하 고 , 임시 배치 테이블 ( 74 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 임시 배치 한다 . 그리고 , 임시 배치 테이블 ( 74 ) 에 임시 배치 된 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 에 복수 의 핀 ( 76 ) 을 접촉 시키 는 것 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심 을 임시 배치 테이블 ( 74 ) 의 중심 에 정합 시킨다 .