도 3 내지 도 5 에 따르 면 , 핸드 ( 144 d ) 에 는 배 큠 홀 ( 144 e ) 이 형성 되 어 제공 된다 . 도 3 내지 도 5 에 도시 된 바 에 따르 면 , 핸드 ( 144 d ) 는 기판 ( W ) 또는 캐리어 ( 1600 ) 를 배 큠 홀 ( 144 e ) 에 의한 진공 흡착 에 의해 지지 하 도록 도시 되 어 있 다 . 그러나 핸드 ( 144 d ) 가 기판 또는 캐리어 를 지지 하 는 방법 은 진공 흡착 에 의한 방법 뿐 만 아니 라 , 통상 의 기술자 의 기술 측면 에서 핸드 를 이용 하 여 지 지 할 수 있 는 다양 한 방법 이 사용 될 수 있 다 .