제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 이 절 연막 ( 120 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 은 절 연막 ( 120 ) , 게이트 절연 패턴 ( 123 ) , 게이트 도전 패턴 ( 125 ) , 활성 패턴 ( 110 ) , 오 믹 콘 택 패턴 ( 112 ) , 및 마스크 패턴 ( 114 ) 을 덮 을 수 있 다 . 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 의 상면 은 마스크 패턴 ( 114 ) 의 상면 과 실질 적 으로 동일 한 레벨 에 위치 할 수 있 다 . 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 또는 실리콘 산화 질화 막 을 포함 할 수 있 다 .