도 5 는 , 금속 함유 물질 이 앞서 논의 된 방법 들 의 동작 들 을 사용 하 여 제거 될 수 있 는 기판 의 표면 상 에 노출 될 수 있 는 다양 한 물질 들 의 도표 를 도시 한다 . 실시 예 들 에서 , 금속 함유 물질 은 질화 티타늄 일 수 있 고 , 다른 질화물 또는 금속 함유 물질 들 이 거나 이 를 포함 할 수 있 다 . 부가 적 으로 , 노출 된 물질 들 은 산화 규소 , 산화 하프늄 , 다른 금속 산화물 들 , 블랙 다이아몬드 또는 다른 낮 은 유전 상수 유전체 들 , 구리 또는 다른 금속 들 , 질화물 물질 들 , 이를테면 질화 탄탈럼 등 을 포함 할 수 있 다 . 도표 에 도시 된 바 와 같이 , 본 기술 에 따른 방법 들 은 이러 한 다른 물질 들 에 대해 질화 티타늄 을 선택 적 으로 식각 할 수 있 다 . 실시 예 들 에서 , 질화 티타늄 은 대부분 의 다른 물질 들 에 대해 약 10 : 1 또는 그 초과 의 선택도 로 식각 될 수 있 고 , 약 20 : 1 또는 그 초과 , 약 30 : 1 또는 그 초과 , 약 40 : 1 또는 그 초과 , 약 50 : 1 또는 그 초과 , 약 60 : 1 또는 그 초과 , 약 70 : 1 또는 그 초과 , 약 80 : 1 또는 그 초과 , 약 90 : 1 또는 그 초과 , 약 100 : 1 또는 그 초과 , 또는 그 초과 의 선택도 로 식각 될 수 있 고 , 일부 실시 예 들 에서 , 기판 상 의 다른 물질 들 에 대해 실질 적 으로 또는 본질 적 으로 어떠 한 손실 도 없 어서 , 질화 티타늄 과 이러 한 다른 물질 들 사이 의 완전 한 선택 성 이 제공 된다 .