본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 파손 방지 이재 로봇 시스템 의 제어 방법 에서 , 상기 제 14 단계 에서 는 상기 상측 변위 센서 에서 전단 에 설치 된 변위 센서 를 통해 상기 로봇 암 의 현 교시 위치 를 감지 하 는 단계 와 , 상기 상측 변위 센서 에서 후단 에 설치 된 변위 센서 를 통해 상기 로봇 암 의 직진 성 을 감지 하 는 단계 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .