상기 제 3 영역 에 포함 된 샷 영역 들 중 에서 취약 지점 들 이 없 는 샷 영역 이 존재 하 는 경우 , 상기 취약 지점 이 없 는 샷 영역 들 의 노광 조건 들 을 이용 하 여 노광 조건 의 가변 범위 인 상기 노광 마진 을 구할 수 있 다 . 상기 취약 지점 이 없 는 샷 영역 이 하나 일 경우 , 상기 노광 조건 을 구할 수 있 고 , 상기 취약 지점 이 없 는 샷 영 역 이 두 개 이상 일 경우 , 상기 노광 마진 을 구할 수 있 다 . 상기 노광 조건 의 가변 범위 를 이용 하 여 상기 패턴 을 취약 지점 이 발생 하 지 않 도록 웨이퍼 로 전사 할 수 있 는 상기 노광 조건 또는 상기 노광 마진 을 설정 할 수 있 다 .