이 와 같이 , 하드 마스크 ( 102 A ) , 완충 막 ( 101 A ) 제거 공정 을 통해 소자 분리 막 용 절 연막 ( 104 A ) 의 돌출부 의 폭 ( CD 2 < CD 1 ) 은 그 만큼 감소 하 게 되 어 최종 적 으로 니 플 형태 를 갖 게 된다 . 이 로써 , 이웃 하 는 소자 분리 막 의 돌출부 간 의 간격 은 도 4 에 비해 증대 된다 . 여기 서 , 소자 분리 막 의 돌출부 간 의 간격 은 후속 공정 을 통해 형성 될 플로팅 게이트 의 최종 선폭 ( Final Inspection CD , FICD ) 을 결정 하 는 중요 한 요인 이 된다 .