일 측면 에 따르 면 , 상기 금속 산화물 전구체 는 , 세륨 염 을 포함 하 는 화합물 로 , 탄산 세륨 , 수산화 세륨 및 질산 세륨 으로 이루어진 군 으로부터 선택 된 적어도 하나 를 포함 하 는 것 일 수 있 다 . 다만 이 에 한정 되 지 않 으며 , CMP 연마 용 슬러리 에 적용 할 수 있 는 금속 산화물 의 전구체 라면 제한 없이 사용 할 수 있 다 . 상기 금속 산화물 전구체 입자 크기 에 따라 최종 적 으로 제조 되 는 금속 산화물 입자 의 크기 를 제어 할 수 있 으며 , 비 정상 적 으로 큰 입자 의 생 성 을 제어 할 수 있 다 .