예 를 들 어 , 단일 웨이퍼 증착 도구 에서 PMDA 및 DAH 를 사용 하 여 폴리 이미드 를 순차 적 으로 증착 하 는 경우 , 기판 온도 는 약 150 ℃ 내지 약 250 ℃, 또는 약 170 ℃ 내지 약 210 ℃ 의 범위 에서 선택 될 수 있 고 , 압력 은 약 1 m 토르 내지 약 760 토르 , 더 구체 적 으로 는 약 100 m 토르 내지 약 100 토르 의 범위 에서 선택 될 수 있 다 .