그리고 , 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 103 ) 가 형성 된 결과물 상 에 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 103 ) 를 노출 시키 는 식각 정지 막 패턴 ( 104 ) 과 희생 막 패턴 ( 105 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 식각 정지 막 패턴 ( 104 ) 과 희생 막 패턴 ( 105 ) 의 형성 으로 캐 패 시터 의 하부 전극 이 형성 되 기 위한 오픈 패턴 ( 106 ) 도 형성 된다 .