재차 도 2 를 참조 하 면 , 이 진공 처리 장치 ( 2 ) 에 는 , 예 를 들 면 컴퓨터 로 이루어지 는 제 어부 ( 100 ) 가 형성 되 어 있 으며 , 이 제 어부 ( 100 ) 는 프로그램 및 CPU 로 이루어지 는 데이터 처 리부 ( 100 a ) 와 기억 부 ( 100 b ) 를 포함 하 며 , 프로그램 에 는 제 어부 ( 100 ) 로부터 진공 처리 장치 ( 2 ) 의 구성 부품 등 으로 제어 신호 를 보내 어 , 후술 의 반송 순서 를 진행 시키 도록 명령 ( 각 스텝 ) 이 편입 되 어 있 다 . 이 프로그램 은 , 예 를 들 면 플렉시블 디스크 , 콤팩트 디스크 , 하드 디스크 , MO ( 광자기 디스크 ) 등 의 컴퓨터 기억 매체 ( 101 a ) 에 기억 되 어 있 으며 , 입출력 장치 ( 101 ) 를 통하 여 제 어부 ( 100 ) 의 기억 부 ( 100 b ) 에 인 스톨 ( install ) 된다 . 또한 , 제 어부 ( 100 ) 에 있 어서 , 게이트 밸브 ( G ) 의 개폐 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 의 구동 , 세정 모듈 ( 4 ) 의 승강 , 세정 모듈 ( 4 ) 에 있 어서 의 소정 의 처리 등 을 위해 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 의 각부 에 제어 신호 가 보내 진다 .