반도체 소자 의 크기 및 디자인 룰 ( Design rule ) 이 점차 축소 됨 에 따라 , 반도체 소자 제조 과정 의 열 처리 량 ( Thermal budget ) 의 감소 시킬 필요 가 있 다 . 이 에 따라 , 반도체 소자 의 고집 적 화 에 따른 한계 를 극복 하 면서 보다 우수 한 성능 을 갖 는 반도체 소자 를 형성 하 기 위한 다양 한 방법 이 연구 되 고 있 다 .