이 를 위하 여 본 실시 예 에서 는 상기 고정 척 ( 120 ) 을 구체 적 으로 도 3 , 4 에 도시 된 바 와 같이 , 고정 척 본체 ( 121 ) , 설치 판넬 ( 122 ) , 결합 부 ( 123 ) 및 제 1 자력 발생 부 ( 124 ) 를 포함 하 여 구성 할 수 있 다 . 먼저 상기 고정 척 본체 ( 121 ) 는 상기 로딩 스테이지 ( 110 ) 의 일 측 말단 에 기립 된 상태 로 결합 되 어 설치 되 는 구성 요소 이 다 . 이 고정 척 본체 ( 121 ) 는 충분 한 두께 를 가지 며 , 상기 로딩 스테이지 ( 110 ) 에 전혀 움직이 지 않 도록 견고 하 게 고정 된 상태 로 설치 된다 .