그러 한 문제점 을 해결 하 기 위해 본 발명 의 출원인 은 상기 한 선행 기술 을 통해 제시 된 바 와 같이 테스트 트레이 에 적재 된 각각 의 반도체 소자 에 공기 를 개별 적 으로 공급 하 는 기술 을 개발 하 게 되 었 다 . 선행 기술 에 따르 면 덕트 로부터 제공 되 는 공기 가 직접 반도체 소자 에 공급 되 기 때문 에 그 이전 의 단순 공기 대류 구조 에 비하 여 테스트 사이트 상 에 있 는 모든 반도체 소자 의 온도 가 2 도 의 편차 내 에서 거의 동일 하 게 유지 되 는 것 이 가능 해 지 게 되 었 다 .