도 4 ( a ) 중 의 「 Cu 막 제거 후 의 반사 」 의 특성 및 「 Cu 막 제거 후 의 투과 」 의 특성 은 , Cu 막 의 연마 가 진행 되 어 , 상기 표피 깊이 ( δ ) 로 정의 되 는 극히 얇 은 막 두께 에 달한 이후 , 연마 의 진행 에 의해 , 이 극히 얇 은 막 두께 의 Cu 막 이 제거 된 후 의 반사 계수 및 투과 계수 의 각 변화 를 나타내 고 있 다 .