다음 으로 , 상술 한 실시 형태 의 작용 에 대해 설명 한다 . 우선 , 도시 하 지 않 은 게이트 밸브 를 개방 하 고 , 외부 로부터 반송 아암 ( 10 ) 에 의해 반 송구 ( 15 ) 를 통해 웨이퍼 ( W ) 를 회전 테이블 ( 2 ) 의 오 목부 ( 24 ) 내 에 전달 한다 . 이 전달 은 , 오 목부 ( 24 ) 가 반 송구 ( 15 ) 에 면하 는 위치 에 정지 했 을 때 에 오 목부 ( 24 ) 의 저면 의 관통 구멍 을 통해 진공 용기 의 저 부측 에서 도시 하 지 않 은 승강 핀 이 승강 함 으로써 행해진다 . 이러 한 웨이퍼 ( W ) 의 전달 을 회전 테이블 ( 2 ) 을 간헐 적 으로 회전 시켜서 행하 여 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 5 개 의 오 목부 ( 24 ) 내 에 각각 웨이퍼 ( W ) 를 적재 한다 . 계속 해서 게이트 밸브 를 폐쇄 하 고 , 진공 펌프 ( 64 ) 에 의해 진공 용기 ( 1 ) 내 를 진공 상태 로 하 는 동시 에 , 회전 테이블 ( 2 ) 을 예 를 들 어 120 rpm 으로 시계 방향 으로 회전 시키 면서 히터 유닛 ( 7 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 예 를 들 어 300 ℃ 로 가열 한다 . 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 로부터 분리 가스 인 N 2 가스 를 소정 의 유량 으로 토출 하 고 , 분리 가스 공급 관 ( 51 ) 및 퍼지 가스 공급 관 ( 72 , 72 ) 으로부터 도 N 2 가스 를 소정 의 유량 으로 토출 한다 . 계속 해서 , 반응 가스 노즐 ( 31 , 32 ) 로부터 각각 Si 함유 가스 및 O 3 가스 를 토출 하 는 동시 에 , 가스 도입 노즐 ( 34 ) 로부터 Ar 가스 및 O 2 가스 를 각각 9 . 5 slm , 0 . 5 slm 으로 토출 한다 . 또한 , 그리고 , 압력 조정 수단 ( 65 ) 에 의해 진공 용기 ( 1 ) 내 를 미리 설정 한 처리 압력 , 예 를 들 어 266 Pa ( 2 Torr ) 로 조정 한다 .