먼저 , 제진 되 어야 할 점착 성 및 비 점착성 오염원 을 가진 유리 기판 ( 1200 ) 이 공급 되 면 유리 기판 ( 1200 ) 표면 의 점착성 분진 을 제거 하 기 위해 점착 성 제 진부 ( 20 ) 의 실린더 ( 210 ) 가 하강 하 여 유리 기판 ( 1200 ) 의 평탄 도 에 맞 게 스프링 장치 ( 220 ) 가 나이프 ( 250 ) 와 유리 기판 ( 1200 ) 을 밀착 시키 고 유리 기판 ( 1200 ) 제진 진행 방향 으로 이동 하 면서 유리 기판 ( 1200 ) 위 의 점착성 분진 을 제거 하 면서 비 점착 성 제 진부 ( 10 ) 가 같이 이동 하 면서 유리 기판 에서 분리 된 비 점착성 분진 을 에 어 토출 실 ( 120 ) 에서 분사 되 는 에어 를 분기 구 ( 130 ) 의 에어 토출 구멍 ( 130 a ) 를 통해 고속 으로 분사 하 여 분진 을 부상 시켜 분 기구 ( 130 ) 의 양 측면 에 배치 된 에어 흡입 구멍 ( 130 b ) 을 통해 에 어 흡 입실 ( 110 ) 로 흡입 하 여 제진 하 게 된다 .