도 3 을 참조 하 면 , 이중 레이저 빔 을 갖 는 펄스 레이저 증착 기 ( 300 ) 는 타 겟 홀더 ( 310 ) , 산화물 세라믹 타 겟 A ( 320 ) , 산화물 세라믹 타 겟 B ( 330 ) , 기판 ( 340 ) , 기판 홀더 및 히터 ( 350 ) , 렌즈 ( 360 ) , 펄스 레이저 빔 ( 370 ) 및 후 름 ( Flume ) ( 380 ) 을 포함 한다 .