승강 핀 ( 512 ) 은 , 외부 의 반송 기구 ( 201 ) ( 도 3 참조 ) 와 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 전달 을 행할 때 , 웨이퍼 ( W ) 의 하면 으로부터 지지 하 여 , 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 들 어 올린다 . 승강 핀 ( 512 ) 은 , 축 부 와 , 축 부 보다 도 직경 확대 된 헤드 부 를 갖 고 있 다 . 스테이지 ( 505 ) 및 온도 조절 재킷 ( 508 ) 의 판부 에 는 , 승강 핀 ( 512 ) 의 축 부 가 삽입 관통 하 는 관통 구멍 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 측 에 승강 핀 ( 512 ) 의 헤드 부 를 수납 하 는 홈 부 가 형성 되 어 있 다 . 승강 핀 ( 512 ) 의 하방 에 는 , 맞닿 음 부재 ( 513 ) 가 배치 되 어 있 다 .