상기 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 과 상기 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 각각 은 지지 프레임 ( 135 ) 의 측벽 ( 135 b ) 에 의해 정의 되 되 격벽 부재 ( 135 d ) 에 의해 공간 적 으로 분리 된다 . 상기 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 과 상기 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 은 동일 하 거나 상이 한 면적 으로 가지 도록 형성 될 수 있 다 . 이때 , 상기 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 의 면적 은 상기 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 보다 크 거나 작 을 수 있 다 .