이 때 , 리프트 핀 ( 52 ) 의 상단 은 서 셉 터 ( 50 ) 의 상면 으로 소정 높이 돌출 된 상태 이 므로 , 로봇 아암 은 리프트 핀 ( 52 ) 들 에 유리 기판 을 올려둔 후 , 취 출 된다 . 로봇 아암 이 취 출 되 면 , 기 판출 입부 ( 20 a ) 는 닫히 고 , 상부 및 하부 챔버 ( 10 , 20 ) 의 내부 는 진공 분위기 로 유지 됨 과 동시 에 증착 에 필요 한 공정 가스 ( SiH 4 , NH 3 등 ) 가 충전 된다 .