도 8 을 다시 참조 하 면 , S 88 단계 에서 , 상기 VIG 조립 체 는 오븐 의 출구 영역 에서 냉각 된다 . 상기 VIG 조립 체 의 예열 및 / 또는 냉각 은 상기 VIG 조립 체 의 파손 기회 및 / 또는 상기 VIG 조립 체 를 포함 하 는 기판 의 디 템퍼링 ( de - tempering ) 의 기회 를 줄이 기 위해 단계 적 일 수 있 다 . 한 실시 예 에서 , 다수 의 챔버 ( chambers ) 는 하나 이상 의 영역 을 위해 제공 될 수 있 다 . 그러 한 실시 예 와 관련 하 여 , 다수 의 챔버 ( chambers ) 는 온도 의 상승 및 / 또는 냉각 과정 을 위해 , 예 를 들 어 , 가열 및 / 또는 냉각 과정 이 단계 적 일 때 , 제공 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 단일 챔버 ( single chamber ) 는 다수 의 영역 의 기능 ( 예 를 들 어 , 단일 챔버 ( single chamber ) 는 기판 을 예열 및 / 또는 냉각 시킬 수 있 고 , 단일 챔버 ( single chamber ) 는 기판 을 예열 및 / 또는 엣지 ( edges ) 부분 에 국부 적 가열 을 제공 할 수 있 고 , 단일 챔버 ( single chamber ) 는 엣지 ( edges ) 부분 에 국부 적 가열 을 제공 및 / 또는 기판 을 냉각 시킬 수 있 는 등 ) 을 수행 하 기 위해 구성 될 수 있 다 .