상기 제 1 마스크 층 ( 330 ) 및 버퍼 마스크 층 ( 332 ) 에 대한 상세 한 사항 은 도 1 b 및 도 1 c 를 참조 하 여 제 1 마스크 층 ( 130 ) 및 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 에 대하 여 설명 한 바 와 같 다 . 상기 제 1 마스크 층 ( 330 ) 및 버퍼 마스크 층 ( 332 ) 을 형성 하 기 위하 여 도 1 b 및 도 1 c 를 참조 하 여 설명 한 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 형성 방법 , 또는 도 2 a 및 도 2 b 를 참조 하 여 설명 한 버퍼 마스크 층 ( 232 ) 형성 방법 을 이용 할 수 있 다 .