상기 지지 부 ( 110 ) 는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 을 지지 하 기 위한 장치 로서 , 예 를 들 어 , 상기 지지 부 ( 110 ) 는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 에 대응 되 는 원판 형태 를 갖 는 척 일 수 있 다 . 그러나 , 상기 지지 부 ( 110 ) 의 형상 은 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 상기 반도체 기판 ( 10 ) 을 고정 시킬 수 있 는 실질 적 으로 다양 한 형상 을 가질 수 있 다 . 한 편 , 상기 지지 부 ( 110 ) 는 상기 반도체 기판 ( 10 ) 을 고정 시키 기 위해 상기 반도체 기판 ( 10 ) 의 후면 으로 진공 을 제공 하 여 고정 시키 는 진공 척 또는 정전기력 을 제공 하 여 고정 시키 는 정전 척 일 수 있 다 .