이러 한 구성 을 갖 는 작업 플레이트 ( 60 ) 에 의해 , 작업자 는 지지 플레이트 ( 50 ) 로 용이 하 게 이동 할 수 있 어 지 지 플레이트 ( 50 ) 에 설치 된 여러 요소 들 에 대한 유지 보수 등 의 작업 을 안정 적 으로 할 수 있 을 뿐 만 아니 라 상부 챔버 ( 10 ) 의 전체 무게 를 줄임 으로써 상판 부 ( 13 ) 에 설치 된 여러 요소 들 에 의해 상판 부 ( 13 ) 가 처지 는 것 을 방지 할 수 있 는 효과 가 있 다 .