제 1 유체 저 장부 ( 210 ) 는 탈 이온 수 를 저장 하 고 , 제 2 유체 저 장부 ( 220 ) 는 건조 기체 를 저장 할 수 있 다 . 유체 선택 부 ( 230 ) 는 제 1 유체 저 장부 ( 210 ) 및 제 2 유체 저 장부 ( 220 ) 로부터 공급 된 유체 를 이용 하 여 세정 유체 를 배출 할 수 있 다 . 즉 , 유체 선택 부 ( 230 ) 는 탈 이 온 수 및 건조 기체 를 이용 하 여 탈 이 온 수 이 류체 를 배출 하 거나 , 탈 이 온 수 만 을 이용 하 여 고압 탈 이 온수 를 배출 하 거나 , 건조 기체 만 을 배출 할 수 있 다 .