또한 상기 실시 형태 에서 는 , X 축 방향 에 관하 여 떨어진 2 개 의 주변 노광 을 위한 조사 영역 을 조사 할 수 있 는 주변 노광 유닛 ( 51 ) 을 사용 하 는 경우 를 예시 했 지만 , 주변 노광 유닛 의 구성 은 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 단 , 주변 노광 유닛 은 , 복수 의 조사 영역 이 상기 주변 노광 유닛 ( 51 ) 과 동일 하 게 적어도 X 축 방향 에 관하 여 그 위치 가 가변 인 것 이 바람직 하 다 .