종래 의 경우 , 열화 된 구동 벨트 의 장력 을 조절 하 기 위해 , 해당 설비 를 구 동정지 시킨 후 , 구동 벨트 를 진동 시켜 측정 한 구동 벨트 진동수 를 이용 하 여 수동 으로 장력 을 조절 하 였 다 . 구동 벨트 의 장력 을 조절 하 기 위해 반도체 설비 의 구동 을 정지 시켜야 하 므로 기판 의 생산 성 감소 로 이어지 는 문제점 이 존재 한다 .