보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 시일 캡 ( 219 ) 이 하강 되 고 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 이 개구 된다 . 그리고 , 처리 가 끝난 웨이퍼 ( 200 ) 가 보트 ( 217 ) 에 지지 된 상태 에서 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 으로부터 반응 관 ( 203 ) 의 외부 로 반출 ( 보트 언 로드 ) 된다 . 보트 언 로드 후 에 는 셔터 ( 219 s ) 가 이동 되 어 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 개구 가 O 링 ( 220 c ) 을 통해서 셔터 ( 219 s ) 에 의해 시일 된다 ( 셔터 클로즈 ) . 처리 가 끝난 웨이퍼 ( 200 ) 는 , 반응 관 ( 203 ) 의 외부 로 반출 된 후 , 보트 ( 217 ) 로부터 취 출 된다 ( 웨이퍼 디스 차지 ) .