CO 2 레이저 가 공기 ( 미츠 비시 덴 키사 제조 「 605 GTWIII ( - P ) 」 ) 를 사용 하 여 , 절연 층 에 레이 저광 을 조사 해서 탑 지름 ( 직경 ) 이 약 60 ㎛ 의 복수 개 의 비 아홀 을 형성 하 였 다 . 무기 층 부착 지 지체 가 절연 층 에 적층 한 상태 로 , 무기 층 부착 지 지체 를 통해서 레이 저광 을 절연 층 에 조사 하 였 다 . 레이 저광 의 조사 조건 은 , 마스크 지름 1 mm , 펄스 폭 16 μ s , 에너지 0 . 2 ｍJ / 쇼트 , 쇼트 수 2 , 버스트 모드 ( 10 kHz ) 였 다 .