상기 식각 기체 ( 70 ) 를 사용 하 는 식각 단계 는 약 1 ∼ 100 mTorr , 바람직 하 게 는 약 1 ∼ 20 mTorr , 특히 바람직 하 게 는 약 10 mTorr 의 압력 하 에 행해질 수 있 다 . 또한 , 상기 식각 단계 에서 플라 즈 마 파워 밀도 는 약 0 . 1 ∼ 5 Watt / cm 2 , 바람직 하 게 는 약 0 . 5 ∼ 1 . 5 Watt / cm 2 , 특히 바람직 하 게 는 약 1 Watt / cm 2 으로 설정 할 수 있 다 . 또한 , 상기 식각 단계 는 약 0 ∼ 150 ℃ 의 온도 하 에서 행해질 수 있 다 .