이러 한 구성 에서 는 , 온도 T 1 의 지지 부 ( 23 A ) 상 에 유지 된 상기 웨이퍼 ( W ) 는 상기 프로세스 공간 으로 의 방열 을 위해 , 상기 온도 T 1 보다 도 낮 은 온도 T 2 로 유지 되 지만 , 상기 온도 제 어부 는 앞서 도 설명 했 듯이 , 상기 온도 T 1 보다 도 높 은 온도 T 3 으로 유지 되 고 , 그 결과 상기 온도 T 1 , T 2 , T 3 사이 에 는 부등식 T 3 > T 1 > T 2 가 성립 한다 .