본 발명 에 의한 레지스 트 막 에 대해서 활성 광선 또는 방사선 에 대한 노광 ( 액침 노광 ) 은 막 과 렌즈 사이 에 공간 을 채우 는 공기 보다 높 은 굴절 율 을 가진 액체 ( 액침 매체 ) 를 통해서 행해져 도 좋 다 . 이것 은 해상 성 을 개선 시킨다 . 액침 매체 로서 는 공기 보다 높 은 굴절 율 을 나타내 는 것 이 면 어느 액체 라도 사용 될 수 있 다 . 바람직 하 게 는 순수 가 사용 된다 .