처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 이 대전 함 으로써 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 로부터 토출 된 처리 액 이 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 에 부착 되 는 경우 가 있 다 . 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 에 부착 된 처리 액 이 기판 ( W ) 등 에 적하 하 여 , 파티클 이 발생 할 우려 가 있 다 . 또한 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 로부터 토출 된 처리 액 이 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 측 으로 끌 어 당겨져 , 기판 ( W ) 등 에 적하 하 여 , 파티클 이 발생 할 우려 가 있 다 .