내측 유로 ( 27 ) 는 , 내측 영역 ( F 2 ) 과 연통 해서 기부 ( 21 ) 에 마련 되 고 , 기부 ( 21 ) 의 상하 방향 을 따라 기부 ( 21 ) 를 관통 하 고 있 다 . 내측 유로 ( 27 ) 는 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 으로 소정 의 간격 을 두 고 복수 배치 되 어 있 고 , 예 를 들 어 적 재면 ( 21 a ) 의 중심 주위 의 회전 각도 가 60 도 의 간격 을 두 고 6 개 마련 되 어 있 다 . 내측 유로 ( 27 ) 는 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 에서 의 위치 가 외측 유로 ( 26 ) 와 동일 하 다 . 내측 유로 ( 27 ) 는 , 전열 가스 공급 부 ( 8 ) 의 접 속관 ( 13 a ) 과 접속 되 어 있 다 ( 도 2 참조 ) .