상기 열전쌍 ( 130 ) 과 , 발열체 ( 120 ) 와 , 나노 구조 체 ( 141 ) 는 , 그 각각 의 사이 에 형성 된 산화 실리콘 등 의 절연체 박막 ( 114 ) 에 의해 각각 전기 적 으로 절연 된다 . 상기 절연체 박막 ( 114 ) 은 화학 기상 증착 을 통하 여 증착 되 며 , 포토 리소그래피 와 반응 성 이온 에칭 을 통하 여 평면 적 형태 가 형성 된다 .