반응 관 ( 203 ) 내 의 온도 , 반응 관 ( 203 ) 내 의 압력 , 반응 관 ( 203 ) 내 에 공급 하 는 가스 의 유량 은 , 각각 온도 컨트롤러 ( 247 a ) , ( 247 b ) , 압력 컨트롤러 ( 248 ) , 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 a ) , ( 241 b ) , ( 241 c ) 에 의하 여 , 소정 의 온도 , 압력 , 유량 이 되 도록 각각 제어 된다 . 또한 , 온도 컨트롤러 ( 247 a ) , ( 247 b ) , 압력 컨트롤러 ( 248 ) , 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 a ) , ( 241 b ) , ( 241 c ) 는 , 주제 어부 ( 주제 어 수단 ) 로서 의 메인 컨트롤러 ( 249 ) 에 의하 여 제어 된다 . 또한 , 메인 컨트롤러 ( 249 ) 는 밸브 ( 242 a ) , ( 240 a ) , ( 242 b ) , ( 240 b ) , ( 242 c ) , ( 240 c ) , ( 240 d ) 의 개폐 도 제어 하 고 , 가스 공급 타이밍 도 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 . 또한 , 메인 컨트롤러 ( 249 ) 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 를 구성 하 는 각 부 의 동작 을 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 .