또한 , 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 ( 5 ) 및 기판 적 재 대 ( 35 ) 는 , 1 개 의 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 를 구비 하 지만 , 복수 의 컨덕턴스 밴드 를 구비 해도 된다 . 이 경우 , 복수 의 컨덕턴스 밴드 는 , 적 재면 ( 21 a ) 의 중심 에 대하 여 동심원 상 으로 배치 된다 . 또한 , 필요 에 따라 , 제 1 실시 형태 와 제 2 실시 형태 가 조합 되 어 구성 되 어도 된다 . 예 를 들 어 , 기판 적재 대 는 , 제 2 실시 형태 에서 의 외측 확산 부 ( 38 a ) 및 내측 확산 부 ( 38 b ) 와 , 제 1 실시 형태 에서 의 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 및 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 를 구비 해도 된다 .