기판 표면 에 존재 하 는 불순물 들 은 필름 , 개별 입자 혹은 입자 덩어리 , 흡착 된 가스 등 으로 이루어져 있 으며 , 이 들 은 원자 , 이온 , 분자 등 과 같 은 물질 특성 을 갖 고 있 다 . 분자 형태 의 불순물 들 은 주로 윤활유 , 감광제 , 용제 찌꺼기 등 으로부터 발생 된 응결 된 유기 물질 가스 들 과 DI 워터 ( Deionized water ) 나 플라스틱 용기 로부터 생겨난 유기 화합물 , 금속 산화물 이나 수산화물 등 으로 이루어진다 . 이온 불순물 들 은 대부분 Na , F , Cl 이온 등 과 같 은 것 을 물리 적 으로 흡착 하 던지 화학 적 으로 결합 한 무기 화합물 로부터 생겨나 고 , 원자 불순물 은 금 이나 구리 를 포함 하 고 있 는 HF 용액 으로부터 반도체 표면 에 화학 적 으로 나 전기 적 으로 이 들 금속 이 부착 되 어 생겨난다 .