이 에 따라 , 반도체 제조 장치 ( 1 ) 는 반도체 제조 공장 의 외기 가 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 내부 공간 ( 302 ) 으로 유입 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 더 하 여 , 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 로드 락 챔버 ( 300 ) 에 수용 된 기판 ( 102 ) 이 이송 챔버 ( 500 ) 로 이송 될 때 , 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 로드 락 챔버 ( 300 ) 내 의 압력 을 진공 압 으로 조절 될 수 있 다 .