한편 , 특허 문헌 2 에 는 , 기판 을 반송 하 는 기판 반송 기구 에 있 어서 , 반송 아 암부 와 , 피크 부 ( 포크 ) 와 , 기판 위치 검출 센서 부 와 , 중심 위치 연산 부 와 , 어긋남 량 연산 부 와 , 아암 제 어부 를 구비 한 것 을 특징 으로 하 는 기판 반송 기구 가 개시 되 어 있 다 . 특허 문헌 2 에 개시 된 예 에서 는 , 기판 위치 검출 센서 부 는 , 피크 부 ( 포크 ) 에 설치 되 어 있 어 , 기판 을 유지 했 을 때 의 기판 위치 를 검출 하 는 것 이 다 . 중심 위치 연산 부 는 , 기판 위치 검출 센서 부 의 출력 에 기초 하 여 기판 의 중심 위치 를 구하 는 것 이 다 . 어 긋 남량 연산 부 는 , 구해진 중심 위치 와 미리 정해진 기준 위치 의 어긋남 량 을 구하 는 것 이 다 . 아암 제 어부 는 , 피크 부 ( 포크 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 을 반송 목표 위치 로 이동 탑재 할 때 에 , 어긋남 량 을 상쇄 하 도록 반송 아 암부 를 제어 하 는 것 이 다 .