다만 , LTP ＋ 드라이클리닝 사양 에 의한 성막 의 경우 에서 도 , 상술 한 실시 형태 와 마찬가지 로 , 클리닝 가스 로서 F 2 가스 를 단독 으로 , 또는 불활성 가스 로 희석 된 F 2 가스 를 단독 으로 이용 하 고 , 박막 의 에칭 공정 과 , 트리트 먼 트 공정 을 수행 하 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , F 2 가스 를 이용 한 박막 의 에칭 공정 및 트리트 먼 트 공정 과 LTP 공정 을 조합 하 는 것 이 바람직 하 다 .