특정 실시 예 에서 , 참조 이미지 는 프린트 된 패턴 의 데이터베이스 모델 로부터 얻 어 진다 ( 즉 , 다이 - 대 - 데이터베이스 검사 모드 ) . 다른 실시 예 에서 , 참조 이미지 는 참조 다이 로부터 얻 어 진다 ( 즉 , 다이 - 대 - 다 이 검사 모드 ) . 비 - 프린터 블 피처 는 OPC 피처 의 다른 유형 뿐 만 아니 라 SRAF 를 포함 할 수 있 다 . 특정 실시 예 에서 , 비 - 프린터 블 피처 의 적어도 하나 는 프린터 블 피처 의 적어도 하나 보다 더 크 다 . 동일 또는 다른 실시 예 에서 , 포토 마스크 상 의 적어도 하나 의 프린터 블 피처 는 200 나노미터 보다 작 거나 심지어 100 나노미터 보다 작 다 .