전체 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 열 방향 폭 이 전체 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 열 방향 폭 보다 작 은 도 6 , 도 7 , 도 8 및 도 12 에 도시 한 실시 예 에 따르 면 전체 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 아래쪽 또는 위쪽 에 는 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 과 이웃 하 는 여분 의 공간 ( Aob ) 이 확보 될 수 있 다 . 전체 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 의 열 방향 폭 이 전체 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 열 방향 폭 보다 큰 도 9 , 도 10 , 도 11 및 도 13 에 도시 한 실시 예 에 따르 면 전체 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 의 아래쪽 또는 위쪽 에 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 와 이웃 하 는 공간 이 확보 될 수 있 다 . 따라서 확보 된 공간 에 검사 용 패드 , 정전 다이오드 등 의 다양 한 소자 또는 마스크 의 정렬 을 위한 정렬 키 등 의 패턴 을 형성 할 수 있 다 .