상기 제 2 슬러리 조성물 이 연마제 를 약 2 . 1 중량 % 미만 으로 포함 하 면 , 절 연막 ( 105 ) 의 연마 속도 가 너무 느리 고 상대 적 으로 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 연마 속도 가 빨라서 상변화 물질 층 패턴 ( 125 ) 상 에 리세 스 가 발생 할 수 있 고 , 상변화 물질 층 ( 115 ) 상 의 표면 산화 막 ( 120 ) 이 충분히 제거 되 지 않 을 수 있 다 . 또한 , 상기 제 2 슬러리 조성물 이 연마제 를 약 5 중량 % 초과 하 여 포함 하 는 경우 에 는 절 연막 ( 105 ) 의 연마 속도 가 너무 빨라서 공정 을 제어 하 기 어려울 수 있 다 . 따라서 상기 제 2 슬러 리 조성물 은 연마제 를 약 2 . 1 내지 5 중량 % 의 범위 로 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 2 . 2 내지 5 중량 % 의 범위 로 포함 할 수 있 다 .