그래서 , 극히 단시간 에 반도체 웨이퍼 를 가열 하 는 어 닐 기술 로서 , 최근 플래시 램프 어 닐 ( FLA ) 이 주목 되 고 있 다 . 플래시 램프 어 닐 은 , 크세논 플래시 램프 ( 이하 , 간단히 「 플래시 램프 」 라고 할 때 에 는 크세논 플래시 램프 를 의미 한다 ) 를 사용 하 여 반도체 웨이퍼 의 표면 에 플래시 광 을 조사 함 으로써 , 불순물 이 주입 된 반도체 웨이퍼 의 표면 만을 극히 단시간 ( 수밀 리 세컨드 이하 ) 에 승 온 시키 는 열처리 기술 이 다 .