복수 의 검사 기판 ( ST 5 ) 은 복수 의 더미 기판 ( ST 4 ) 사이 에 배치 된다 . 예 를 들 어 , 복수 의 검사 기판 ( ST 5 ) 은 복수 의 제 1 더미 기판 ( ST 4 a ) 과 복수 의 제 2 더미 기판 ( ST 4 b ) 사이 에서 Y 축 방향 을 따라 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 복수 의 검사 기판 ( ST 5 ) 은 X 축 방향 으로 연장 된 복수 의 연결 배선 ( 140 ) 중 최 상측 스테이지 ( STGF ) 와 제 1 기판 ( ST 1 ) 을 연결 하 는 연결 배선 ( 140 ) 의 상측 에 배치 될 수 있 다 .