오버레이 마크 를 오버레이 버니어 와 함께 형성 하 지 않 고 , 이전 공정 을 통해 하부 층 에 미리 형성 하 여 , 오버레이 마크 에 의한 단차 를 줄일 수 있 으므로 , 오버레이 마크 의 단차 부위 에서 잔류물 발생 가능 성 및 정도 를 줄일 수 있 다 . 따라서 , 잔 류 물 로 인한 디 펙 트 ( defect ) 를 줄이 어 소자 의 신뢰 성 및 수율 을 향상 시킬 수 있 다 .