또한 , 상기 와 같 은 특징 을 갖 는 SiC 막 구 조체 의 제조 방법 에서 상기 봉지 공정 에 는 , 상기 덮개 체 와 상기 SiC 막 과 의 접촉 개소 를 새로운 SiC 막 으로 덮 는 공정 을 포함 하 도록 할 수 있 다 . 이러 한 특징 을 갖 는 것 에 따르 면 , SiC 막 구 조체 를 SiC 단체 에 의해서 구성 할 수 있 다 . 또한 , 기재 를 제거 한 후 의 SiC 막 으로 구성 되 는 본체 와 덮개 체 와 의 열 팽창 율 을 일치 시킬 수 있 기 때문 에 , 온도 변화 에 따른 왜곡 을 일으킬 우려 가 없 다 .