노멀 동작 동안 에 , 특히 더 높 은 플 라즈 마 전력 세트 포인트 들 에서 , 윈도우 ( 304 ) 에 걸친 온도 경사도 는 , 윈도우 내 의 스트레스 들 이 증가 하 게 하 고 , 이 는 윈도우 의 기계 적 인 고장 을 야기 하 기 에 충분히 클 수 도 있 다 . 예컨대 , 윈도우 의 중심 은 에지 보다 더 뜨거울 수 도 있 고 , 이 는 윈도우 의 에지 에서 의 고 후프 ( hoop ) 스트레스 를 야기 할 수 도 있 다 . 또한 , 윈도우 의 전체 온도 는 , 각각 의 챔버 의 부분 들 이 시스템 성능 을 감소 시키 고 저하 할 수 도 있 는 포인트 까지 증가 할 수 도 있 다 . 예컨대 , 고온 에서 , o - 링 진공 시일 들 은 악화 되 기 시작 하 고 , 파티클 생 성 또는 절충 된 진공 완전 성 ( integrity ) 과 같 은 문제 들 로 이끌 수 도 있 다 . 따라서 , 윈도우 에 걸친 온도 경사도 를 감소 시키 고 윈도우 ( 304 ) 의 전체 동작 온도 를 감소 시키 기 위해 , 플라 즈 마 프로세싱 시스템 ( 300 ) 상 에 윈도우 냉각 시스템 ( 340 ) 이 채용 된다 . 펌프 ( 342 ) 는 , 윈도우 ( 304 ) 의 온도 보다 더 낮 은 온도 에 있 는 냉각 가스 소스 ( 350 ) 로부터 냉각 가스 ( 352 ) 를 이동 시키 는 데 사용 될 수 도 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 냉각 가스 소스 ( 350 ) 는 주변 분위기 일 수 도 있 고 , 펌프 ( 342 ) 는 팬 일 수 도 있 다 . 다른 실시 형태 에서 , 냉각 가스 소스 ( 350 ) 는 클린 드라이 에어 ( CDA ) , 질소 등 과 같 은 가압 된 가스 소스 일 수 도 있 고 , 펌프 ( 342 ) 는 냉각 가스 소스 ( 350 ) 를 가압 하 는 데 사용 될 수 도 있 다 . 냉각 가스 ( 352 ) 는 엔 클 로져 ( 346 ) 로 의 입력 도관 ( 344 ) 으로 안내 되 고 , 냉각 가스 ( 352 ) 는 , 출력 도관 ( 348 ) 을 통해 윈도우 냉각 시스템 ( 340 ) 밖 으로 안내 되 기 이전 에 , 윈도우 ( 304 ) 밖 으로 또는 윈도우 ( 304 ) 로부터 열 을 전달 하 는 데 사용 된다 . 따라서 , 윈도우 ( 304 ) 의 전체 온도 는 윈도우 냉각 시스템 ( 340 ) 을 통해 냉각 가스 ( 352 ) 의 플로우 레이트 를 변화 시킴 으로써 감소 될 수 도 있 다 . 입력 및 출력 도관 들 뿐 만 아니 라 엔 클 로져 는 윈도우 에 걸친 온도 경사도 를 최소 화 하 기 위해 요구 되 는 만큼 윈도우 ( 304 ) 를 많이 또는 적 게 노출 하 도록 설계 될 수 도 있 다 . 도 6 은 냉각 시스템 ( 340 ) 을 갖 는 윈도우 의 상부 의 투시도 이 다 . 도 7 은 도 6 의 윈도우 ( 304 ) 의 단면도 이 다 . 에어 는 , 윈도우 가 가장 뜨거울 수 도 있 는 윈도우 의 중앙 에서 의 라운드 엔 클로 져 로 튜브 들 을 따라 외부 주변 으로부터 안내 될 수 도 있 다 . 에어 는 윈도우 의 중심 을 향해 안내 되 고 엔 클 로 져 내 의 홀 들 을 통해 윈도우 엔 클로 져 를 나가 도록 허용 된 라운드 엔 클로 져 를 나간다 . 이 는 , 가장 뜨거운 온도 를 감소 시켜서 , 전체 윈도우 온도 를 감소 시키 면서 , 온도 경사 도 및 스트레스 들 을 최소 화 할 것 이 다 .