이때 , 제 1 및 제 2 전극 부 ( 160 , 162 ) 에 포집 된 이온 성 이물 ( 182 ) 은 감광액 ( 180 ) 의 도포 공정 이 끝난 후 , 제 1 및 제 2 전극 부 ( 160 , 162 ) 사이 의 전계 를 제거 함 과 아울러 솔 벤트 등 을 유입 구 ( 132 ) 에 유입 시켜 상기 솔 벤트 에 상기 이온 성 이물 ( 182 ) 을 용해 시킴 으로써 제거 할 수 있 다 .