일 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 박막 을 형성 하 는 단계 는 , 상기 기판 상 에 인듐 ( In ) 을 포함 하 는 인듐 전구체 를 제공 하 는 단계 및 상기 기판 상 에 산소 ( O ) 를 포함 하 는 산소 전구체 를 제공 하 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 제 2 박막 을 형성 하 는 단계 는 , 상기 기판 상 에 아연 ( Zn ) 을 포함 하 는 아연 전구체 를 제공 하 는 단계 및 상기 기판 상 에 상기 산소 전구체 를 제공 하 는 단계 를 포함 하 며 , 상기 인듐 전구체 및 상기 산소 전구체 를 제공 하 는 단계 는 제 1 단위 공정 으로 정의 되 고 , 상기 아연 전구체 및 상기 산소 전구체 를 제공 하 는 단계 는 제 2 단위 공정 으로 정의 되 고 , 상기 제 1 및 제 2 단위 공정 이 1 : 1 의 비율 로 수행 되 는 것 을 포함 할 수 있 다 .