한편 , " 보완 처리 프로세스 가 불 필요 한 것 으로 판정 되 는 경우 ( S 63 의 "" 아니 오 "")", 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 완결 레시피 정보 에 따라서 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 구제 웨이퍼 에 대한 완결 처리 프로세스 를 실행 한다 ( S 67 ) . 완결 처리 프로세스 는 , 구제 웨이퍼 를 처리 가 끝난 웨이퍼 ( W ) 로서 출하 하 기 위한 처리 를 포함 하 고 , 완결 레시피 정보 는 , 완결 처리 프로세스 의 처리 내용 을 나타낸다 . 완결 처리 프로세스 의 내용 은 , 기판 처리 프로세스 의 내용 에 따라 정해진다 . 전형 적 으로 는 , 완결 처리 프로세스 에 있 어서 , 이상 발생 시 에 행하 여 지 고 있 던 처리 스텝 ( 이하 , 「 이상 처리 스텝 」 이 라고 도 칭함 ) 의 나머지 는 스킵 되 지만 , 기판 처리 프로세스 에서 의 이상 처리 스텝 이후 의 처리 스텝 은 행하 여진다 .