포토 리소그래피 법 에 의한 패 터닝 된 경화 막 의 형성 은 , 공지 또는 관용 의 장치 나 조건 으로 행할 수 있 고 , 예 를 들 면 다음 과 같이 하 여 형성 할 수 있 다 . 우선 , 경화 성 수지 조성물 을 기판 상 에 도포 하 고 , 가열 건조 ( 프리 베 이크 ) 및 / 또는 감압 건조 함 으로써 용제 등 의 휘발 성분 을 제거 하 여 건조 시켜 , 경화 성 수지 조성물 층 을 얻 는다 . 도포 방법 으로서 는 , 스핀 코팅 법 , 슬릿 코팅 법 , 슬릿 앤드 스핀 코팅 법 등 을 들 수 있 다 .