상기 전자 빔 크기 측정 기준 마크 ( mark ) 의 상기 내측 측정 담장 부 의 상기 내측 벽면 에지 바깥 에서부터 상기 외측 벽면 에지 바깥 까지 전자 빔 을 스캔 하 며 발생 되 는 2 차 전자 를 수집 하 여 , 상기 내측 벽면 에지 에 상기 전자 빔 이 접한 위치 에서부터 상기 내측 측정 담장 부 의 상 측면 상기 전자 빔 이 스캔 될 때 까지 세기 가 증가 하 고 상기 외측 벽면 에지 에 접한 위치 에서부터 상기 전자 빔 이 상기 외측 벽면 에지 로부터 이탈 할 때 까지 의 세기 가 감소 한 검출 신호 의 그래프 를 얻 는 단계 , 상기 검출 된 신호 의 세기 가 증가 하 게 변화 한 제 1 폭 및 감소 하 게 변화 한 제 2 폭 을 각각 계산 하 여 추출 하 는 단계 , 및 상기 추출 된 제 1 및 제 2 폭 을 평균 하 여 상기 전자 빔 의 크기 로 추출 하 는 단계 를 포함 하 는 전자 빔 장치 의 전자 빔 크기 측정 방법 을 제시 한다 .