로드 포트 ( 200 ) 및 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 도 1 내지 도 3 의 250 ) 의 수직 프레임 ( 202 ) 에 는 도어 홀더 ( 264 ) 가 설치 될 수 있 다 . 도어 홀더 ( 264 ) 는 레지스트레이션 핀 ( 210 , registration pin ) 및 래치 키 ( 212 , latch key ) 가 설치 될 수 있 다 . 레지스트레이션 핀 ( 210 ) 은 기판 컨테이너 ( 100 ) 의 도어 ( 140 ) 가 도어 홀더 ( 264 ) 의 정확 한 위치 에 결합 되 도록 하 기 위하 여 형성 될 수 있 다 . 래치 키 ( 212 ) 는 기판 컨테이너 ( 100 ) 의 도어 ( 140 ) 를 열 기 위한 것 이 다 .