상기 증착 장치 는 , 챔버 , 상기 챔버 내 에 위치 하 며 , 기판 에 증착 막 이 형성 되 도록 증착 물질 을 제공 하 는 증착 원 , 상기 챔버 내 에 위치 하 며 , 상기 제공 되 는 증착 물질 중 일부 가 증착 되 는 막 두께 판 단부 , 서로 다른 파장 의 광 들 을 상기 막 두께 판 단부 로 출력 시키 는 광 출력 부 및 상기 막 두께 판 단부 상 의 막 또는 상기 막 두께 판 단부 에 의해 반사 된 반사광 또는 상기 막 두께 판 단부 의 막 을 투과 한 투과광 을 검출 하 는 광 검 출부 를 포함 한다 .