다음 으로 미세 분쇄 를 실시 한다 . 이 목적 도 원료 의 혼합 과 마찬가지 로 , 원료 분말 의 타깃 중 에서 의 균일 분산 화 이 며 , 입경 이 큰 원료 분말 이 존재 한다는 것 은 , 장소 에 따라 조성 불 균일 이 발생 한 것 을 의미 하 고 , 스퍼터 성막 시 의 이상 방전 의 원인 이 된다 . 하소 분말 을 애 트라이 터 에 지르 코니아 비드 와 함께 투입 하 여 , 회전수 200 ∼ 400 rpm , 회전 시간 2 ∼ 4 시간 미세 분쇄 를 실시 한다 . 미세 분쇄 는 원료 분말 의 입경 이 평균 입경 ( D 50 ) 이 1 ㎛ 이하 , 바람직 하 게 는 0 . 6 ㎛ 이하 가 될 때 까지 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .