최종 적 으로 부양 된 미세 구 조체 상 에 형성 된 가스 감응 막 ( 213 ) 부분 만 중앙부 감지 전극 ( 207 ) , 좌측 감지 전극 ( 208 ) , 우측 감지 전극 ( 209 ) 의 미세 전극 가지 ( 210 ) 들 과 전기 적 으로 연결 되 게 된다 . 따라서 마이크 로 드롭 핑 ( micro dropping ) 에 의한 가스 감응 막 ( 213 ) 형성 시 이 를 위한 미세 한 기계 적 인 정렬 과정 이 불 필요 하 다 . 그리고 이 를 위한 본 발명 의 전극 패드 분리 홈 ( 114 ) 의 형상 은 X 자 등 특별 한 형태 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .