제 2 식각 장치 ( 150 ) 는 제 1 식각 장치 ( 110 ) 에 인접 하 여 배치 된다 . 제 2 식각 장치 ( 150 ) 는 제 1 기판 의 제 2 면 을 식각 하 는 제 3 식각 모듈 ( 161 ) 및 제 2 기판 의 제 2 면 을 식각 하 는 제 4 식각 모듈 ( 162 ) 및 상기 제 1 및 제 2 기판 들 을 제 3 및 제 4 식각 모듈 들 이 배치 된 제 3 및 제 4 공정 챔버 들 ( 166 , 167 ) 에 유출 입 시키 는 제 2 이송 모듈 ( 175 ) 을 포함 한다 . 따라서 , 제 2 식각 장치 ( 150 ) 는 기판 들 의 제 2 면 들 을 선택 적 으로 식각 하 여 제 2 면 들 상 에 잔류 하 는 이 물질 을 제거 한다 .