전극 ( 212 ) 은 유전 판 ( 211 ) 내부 에 매설 된다 . 전극 ( 212 ) 은 두께 가 얇 은 전도성 재질 의 원판 으로 , 케이블 ( 221 ) 을 통해 외부 전원 ( 미 도시 ) 과 연결 된다 . 외부 전원 에서 인가 된 전력 은 전극 ( 220 ) 과 기판 ( W ) 사이 에 정전기력 을 형성 하 여 기판 ( W ) 을 유전 판 ( 210 ) 의 상면 에 고정 시킨다 . 외부 전원 은 DC 전원 일 수 있 다 .