촬상 수단 ( 42 ) 은 , 검사 위치 ( P 4 ) 에 마련 되 어 있 다 . 즉 , 촬상 수단 ( 42 ) 은 , 카메라 의 광축 이 검사 위치 ( P 4 ) 와 일치 하 도록 기판 스테이지 ( 33 ) 의 상방 에 마련 되 어 있 다 . 검사 위치 ( P 4 ) 는 , 실장 후 의 전자 부품 ( 2 ) 및 기판 ( 3 ) 을 촬상 수단 ( 42 ) 에 의해 촬상 함 으로써 상기 전자 부품 ( 2 ) 과 상기 기판 ( 3 ) 의 위치 어긋남 , 즉 , 실장 후 의 전자 부품 ( 2 ) 의 얼라인먼트 마크 와 기판 ( 3 ) 의 얼라인먼트 마크 의 위치 어긋남 을 검사 하 는 위치 이 다 . 이 위치 어긋남 은 , 전자 부품 ( 2 ) 및 기판 ( 3 ) 의 각 얼라인먼트 마크 를 XY 평면 에 투영 하 였을 때 의 위치 어긋남 이 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 검사 위치 ( P 4 ) 는 , 고정 된 위치 이 다 .