그런 후 , 상기 도 3 b 에서 와 같이 상기 실리콘 막 ( 308 ) 위 로 구리 시드 막 ( 310 ) 을 증착 한 후 , 열 공정 을 수행 한다 . 이 에 따라 상기 실리콘 막 ( 308 ) 이 열 공정 에 의해 도 4 에서 와 같이 상부 의 구리 시드 막 ( 310 ) 과 하부 의 구리 배리 어 막인 탄 탈륨 막 ( 304 ) 으로 확산 이 이루어지 게 된다 .