본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 유동 화 챔버 ( 500 ) 의 내부 하부 에 는 , 상부 표면 에 하나 이상 의 유동 가스 분사 공 ( 308 ) 을 가진 하나 이상 의 유동 노즐 ( 303 ) 이 설치 된 유동 판 ( 302 ) 이 설치 되 고 ; 상기 유동 판 ( 302 ) 의 상부 에 는 유동 매체 층 ( 300 ) 이 위치 하 며 , 유동 가스 분사 공 ( 308 ) 은 유동 판 ( 302 ) 하부 방향 으로 형성 될 수 있 다 .