그러나 이러 한 약액 포집 장치 ( 10 ) 는 각각 의 바울 ( 12 ~ 16 ) 이 공정 챔버 ( 4 ) 에 고정 설치 되 어 있 으므로 약액 회수 시 , 처리 된 약액 이 스핀 헤드 ( 6 ) 의 회전력 과 원심력 에 의해 약액 포집 장치 ( 10 ) 과 충돌 하 게 된다 . 이 로 인하 여 처리 된 약액 이 리바운드 ( rebound ) 되 어 공정 에 약 영향 을 끼치 게 된다 . 또 약액 포집 장치 ( 10 ) 는 각각 의 바울 ( 12 ~ 16 ) 내 측면 에 해당 약액 이 잔존 하 여 파티클 발생 의 원인 이 된다 .