상술 한 센터 링 동작 이 완료 된 후 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 도 12 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 한다 ( 도 20 의 스텝 7 참조 ) . 이어서 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 상기 편심 검출 기구 ( 54 ) 를 사용 하 여 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 되 는 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 ( 도 20 의 스텝 8 참조 ) , 얻 어 진 편 심량 이 소정 의 허용 범위 내 에 있 는지 여부 를 결정 한다 ( 도 20 의 스텝 9 참조 ) .