도 14 를 참조 하 건대 , 본 실시 예 에서 는 상기 도 11 r 의 공정 후 , 도 11 s 의 공정 에서 층간 절 연막 ( 81 ) 을 형성 한 후 , 즉시 상기 층간 절 연막 ( 81 ) 내 에 , 상기 비어 플러그 ( 67 B ) 를 노출 시키 는 비어 홀 을 형성 하 고 , 이 를 텅스텐 으로 충전 하 여 상기 비어 플러그 ( 84 B ) 를 형성 한다 .