상기 증감제 의 스크리닝 평가 에 있 어서 효과 를 보인 ( A ) 증감제 를 부여 하 는 [ B ] 전구체 를 사용 하 여 , 화학 증폭 형 레지스 트 재료 를 제조 했 다 . 또한 , 비교 예의 레지스 트 재료 에 는 , 상기 레지스 트 재료 ( CS - 4 ) 로 사용 한 증감제 ( CA 4 ) 의 전구체 인 벤조 페논디메틸케탈 ( 도 꾜 가세 이 고 교사 ) ( 하 기 표 3 에 있 어서 「 CB 1 」 로 했 다 ) 을 사용 했 다 .