또한 , 상기 소수 화제 공급 유닛 은 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 되 는 소수 화제 의 원액 이 저류 되 어 있 는 소수 화 제 탱크 와 , 상기 소수 화 제 탱크 로부터 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 이르 는 소수 화제 의 유통 경로 에 공급 되 는 제 2 용제 가 저류 되 어 있 는 제 2 용제 탱크 를 포함 하 고 있 어도 좋 다 . 이 경우 , 상기 소수 화제 공급 유닛 은 상기 소수 화 제 탱크 에 저류 되 어 있 는 소수 화제 의 원액 과 상기 제 2 용제 탱크 에 저류 되 어 있 는 제 2 용제 를 상기 유통 경로 에서 혼합 시키 고 , 이 혼합 된 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 을 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 하 도록 구성 되 어 있 어도 좋 다 . 이 경우 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .