그리고 , 상기 평면도 의 조정 은 , 한 장 당 의 피 처리 기판 을 지지 하 는 4 개 이상 의 지지 부 의 각각 의 형상 에 맞추 어 , 지지 보조 부재 의 두께 를 조절 하 거나 , 지지 부 와 지지 보조 부재 사이 에 스 페이서 를 개재 시킴 으로써 행해진 것 이 므로 , 지극히 용이 하 게 조정 된다 . 즉 , 보트 자체 가 높 은 정밀도 로 가공 된 것 이 라고 하 는 실현 이 곤란 한 것 이 아니 고 , 미 조정 이 하 기 쉬운 지지 보조 부재 의 두께 나 스 페이서 에 의해 조정 된 것 이 기 때문 에 , 간단 하 고 정확 하 게 평면도 가 조정 할 수 있 다 .