트리 메틸 갈륨 의 공급량 을 절반 으로 하 고 , 소자 형성 층 ( 124 ) 의 성장 속도 를 약 절반 으로 한 것 이외 에 는 실시 예 2 의 경우 와 동일 하 게 하 여 개구 의 내부 에 형성 된 소자 형성 층 ( 124 ) 의 막 두께 를 측정 하 였 다 . 또한 , 실시 예 3 에서 는 , 피복 영역 의 1 변의 길이 를 200 ㎛, 500 ㎛, 1000 ㎛, 2000 ㎛, 3000 ㎛ 또는 4250 ㎛ 로 설정 하 고 , 개구 의 바닥 면 형상 이 1 변이 10 ㎛ 인 정사각형 의 경우 에 대해서 , 실험 을 실시 하 였 다 .