먼저 , 세정액 공급원 으로부터 이 류체 공급 모듈 ( 130 ) 의 제 1 세정액 유입 구 ( 132 ) 와 제 2 세정액 유입 구 ( 132 ') 로 이 류체 버블 형성 을 위한 세정액 이 유입 된다 . 또한 , 에 어 공급원 으로부터 이 류체 공급 모듈 ( 130 ) 의 제 1 에어 유입 구 ( 131 ) 와 제 2 에어 유입 구 ( 131 ') 로 이 류체 버블 형성 을 위한 에어 가 유입 된다 .