상기 테스트 부 ( 100 ) 의 각 테스트 모듈 ( 110 ) 은 , 상기 가압 툴 ( 120 ) 의 직하 방 에 위치 되 는 검사 위치 ( M 1 ) 와 상기 보조 셔틀 부 ( 300 ) 와 소자 ( 1 ) 를 교환 하 기 위한 교환 위치 ( M 2 ) 사이 에서 이동 가능 하 게 설치 되 며 , 상기 교환 위치 ( M 2 ) 에 위치 된 상기 테스트 모듈 ( 110 ) 로부터 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 를 픽업 하 고 검사 될 소자 ( 1 ) 를 적재 하 며 , 상기 소자 교환 위치 ( P 2 ) 에 위치 된 보조 셔틀 부 ( 300 ) 에 대하 여 검사 될 소자 ( 1 ) 를 픽업 하 고 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 를 적재 하 는 제 1 메인 이송 툴 ( 510 ) 을 포함 할 수 있 다 .