제 1 및 제 2 냉각수 로 ( 144 , 146 ) 는 서로 분리 되 어 있 고 냉각 장치 ( 140 ) 내 의 온도 제 어부 ( 142 ) 에 의해 독립 적 으로 제어 된다 . 그리고 , 제 1 냉각수 로 ( 144 ) 는 기판 ( 132 ) 의 외곽 영역 과 대응 되 는 영역 에 밀집 되 고 제 2 냉각수 로 ( 146 ) 는 기판 ( 132 ) 의 중심 영역 과 대응 되 는 영역 에 밀집 된다 . 이 에 따라 , 기판 ( 132 ) 의 위치 에 따라 다른 온도 의 냉각수 를 공급 할 수 있 게 됨 으로써 기판 ( 132 ) 의 온도 를 제어 할 수 있 게 된다 .