일 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 1 반송 장치 는 엔드 이펙터 를 갖 고 상기 기판 지지 부들 상 으로 각각 회동 되 는 회전 플레이트 암 들 ; 상기 회전 플레이트 암 들 의 회전 과 승 / 하강 을 위한 구동력 을 제공 하 는 구동 부 ; 및 상기 구 동부 에 연결 되 며 상기 회전 플레이트 암 들 이 장착 되 는 하나 이상 의 스핀들 을 포함 한다 .