또한 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 가스 도입 노즐 ( 34 ) 에 는 , 플라 즈 마 발생 용 의 처리 가스 를 공급 하 는 플 라즈 마 가스 도입 로 ( 251 ) 의 일단 부측 이 접속 되 어 있 고 , 이 플 라즈 마 가스 도입 로 ( 251 ) 의 타단 부측 은 , 2 개 로 분기 해서 각각 밸브 ( 252 ) 및 유량 조정부 ( 253 ) 를 통해 Ar ( 아르곤 ) 가스 의 공급원 ( 254 ) 및 O 2 가스 의 공급원 ( 255 ) 에 각각 접속 되 어 있 다 .