상기 공통 배관 은 , 상기 송액 장치 에 의해 보내 진 처리 액 을 안내 하 는 상류 공통 배관 과 , 상기 상류 공통 배관 에 의해 안내 된 처리 액 을 상기 제 1 분기 부 에 안내 하 는 제 1 하류 공통 배관 과 , 상기 상류 공통 배관 에 의해 안내 된 처리 액 을 제 2 분기 부 에 안내 하 는 제 2 하류 공통 배관 을 포함 하 고 , 상기 기판 처리 장치 는 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 을 향해 처리 액 을 토출 하 는 제 2 노즐 과 , 상기 제 2 분기 부 로부터 상기 제 2 노즐 에 처리 액 이 흐르 도록 항상 열려 있 으며 , 상기 공통 배관 에 의해 안내 된 처리 액 을 상기 제 2 분기 부 로부터 상기 제 2 노즐 에 안내 하 는 제 2 공급 배관 과 , 상기 공통 배관 에 의해 안내 된 처리 액 을 상기 제 2 공급 배관 과 는 상이 한 경로 를 따라 상기 제 2 분기 부 로부터 안내 하 는 제 2 리턴 배관 과 , 상기 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 이 상기 제 2 리턴 배관 에서 의 압력 손실 보다 커 지 도록 압력 손실 을 규정 하 는 제 2 압력 손실 규정 유닛 과 , 상기 제 2 리턴 배관 의 유로 면적 을 감소 시킴 으로써 , 상기 제 2 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 상기 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 크 게 하 여 , 상기 공통 배관 내 의 처리 액 을 상기 공통 배관 으로부터 상기 제 2 공급 배관 에 흐르 게 하 는 제 2 토출 실행 상태 와 , 상기 제 2 토출 실행 상태 일 때 보다 상기 제 2 리턴 배관 의 유로 면적 을 증가 시킴 으로써 , 상기 제 2 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 상기 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 작 게 하 여 , 상기 공통 배관 내 의 처리 액 을 상기 공통 배관 으로부터 상기 제 2 리턴 배관 에 흐르 게 하 는 제 2 토출 정지 상태 로 전환 되 는 제 2 토출 밸브 를 더 구비 한다 . 제 2 압력 손실 규정 유닛 은 , 상 승부 , 축 소부 , 오리피스 부재 , 및 전동 밸브 중 적어도 하나 를 구비 하 고 있 어도 되 고 , 이외 의 부재 를 구비 하 고 있 어도 된다 .