마찬가지 로 , 인접 하 는 2 개 의 Y 헤드 ( 64 ) 가 대응 하 는 스케일 부재 ( 회절 격자 ) 에 동시 에 대향 할 수 있 는 간격 으로 , 즉 , 스케일 부재 ( 46 A , 46 C ) 의 길 이 방향 과 직교 하 는 방향 ( 회절 격자 의 배열 방향 ) 에 관한 회절 격자 의 길이 와 동일 한 정도 이하 의 간격 으로 , Y 헤드 ( 641 ∼ 645 ) 및 Y 헤드 ( 646 ∼ 6410 ) 가 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상 에 배치 되 어 있 다 .