제 1 광학 부 ( IP ) 는 패턴 ( 21 ) 을 구비 한 측정 대상물 ( 20 ) 에 광 을 조사 하 는 블록 이 다 . 제 1 광학 부 ( IP ) 는 광원 ( 112 ) , 편광기 ( 114 : polarizer ) , 제 1 방사 편광기 ( 116 : radial polarizer ) , 빔 분할기 ( 118 : beam splitter ) 및 대물 렌즈 ( 120 ) 를 포함 할 수 있 다 .