상기 휨 조정 층 을 수축 시킨 후 , 휜 베어 웨이퍼 에 있 어서 의 상기 휨 조정 층 이 적층 되 어 있 지 않 은 측 에 웨이퍼 가공 용 테이프 ( 닛토 덴 코 가부 시 키가 이샤 제 , 상품명 「 V - 12 SR 2 」 ) 를 첩부 한 후 , 상기 웨이퍼 가공 용 테이프 를 통해 , 휜 베어 웨이퍼 를 다 이싱 링 에 고정 하 였 다 . 그 후 , 휜 베어 웨이퍼 로부터 상기 휨 조정 층 을 제거 하 였 다 .