일 실시 예 에 따른 프로브 유닛 ( 150 ) 은 이 에 제한 되 지 않 는다 . 도면 에서 는 프로브 유닛 ( 150 ) 이 프로브 지지대 ( 130 ) , 즉 전계 형성 유닛 ( 100 ) 에 배치 된 것 으로 도시 하고 있 으나 , 경우 에 따라서 프로브 유닛 ( 150 ) 은 별도 의 장치 로 배치 될 수 도 있 다 . 전계 형성 유닛 ( 100 ) 은 전계 를 형성 할 수 있 는 장치 를 포함 하 여 대상 기판 ( SUB ) 상 에 전계 를 형성 할 수 있 으면 , 그 구조 나 배치 는 제한 되 지 않 는다 .