따라서 , 본 발명 의 바람직 한 하나 의 실시 예 로서 , 본 발명 에 제공 된 높 은 종횡비 의 홀 에 대한 식각 장치 에서 , 초저주파 RF 전원 ( LF ) 의 출력 주파수 를 100 KHz 또는 200 KHz 로 선택 한다 . 이런 방식 으로 , 저 주파 RF 전력 의 출력 을 너무 크 게 증가 시키 지 않 아도 이온 에게 보다 높 은 에너지 를 줄 수 있 다 . 한편 , 초저주파 RF 전원 ( LF ) 의 출력 주파수 의 100 배 보다 크 다는 것 으로 고주파 RF 전원 ( HF ) 의 출력 주파수 를 선택 하 는 것 ( 예 를 들 어 , 27 MHz 또는 60 MHz ) 은 높 은 종횡비 의 식각 을 보다 좋 게 달성 할 수 있 고 동시 에 식각 홀 에 축적 된 전하 를 제거 하 고 식각 홀 의 모양 을 개선 할 수 도 있 다 .