가스 공급 관 ( 232 b ) 으로부터 는 , 원료 ( 원료 가스 ) 로서 , 제 1 아미노 실란 과 는 상이 한 제 2 아미노 실란 또는 알 콕 시 실란 이 , MFC ( 241 b ) , 밸브 ( 243 b ) , 노즐 ( 249 b ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 된다 . 제 2 아미노 실란 으로서 는 , 예 를 들 어 트리스 ( 디메틸아미노 ) 실란 ( SiH [ N ( CH 3 ) 2 ] 3 , 약칭 : 3 DMAS ) 가스 를 사용 할 수 있 다 . 알 콕 시 실란 이란 , 알 콕 시기 , 즉 , 알킬기 ( R ) 가 산소 ( O ) 와 결합 하 여 이루어지 는 관능기 를 포함 하 는 실란 이 다 . 알 콕 시 실란 으로서 는 , 예 를 들 어 메틸 트리 메 톡 시 실란 ( ( CH 3 O ) 3 SiCH 3 ) 가스 를 사용 할 수 있 다 .