플 라즈 마 를 통해 산화알루미늄 기판 에 주름 없 는 그래핀 을 성장 시키 는 것 은 ( 본 실시 예 에서 기판 에 산화알루미늄 , 산화 규소 , 탄화규소 , 산화마그네슘 , 실리콘 , 육방정 질화붕소 등 비 금속 기판 을 사용 하 며 산화알루미늄 을 예시 로 사용 함 ) 구체 적 으로 , 산화알루미늄 기판 을 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 시스템 에 넣 고 수소 와 메탄 을 10 : 1 비율 ( 본 실시 예 에서 총 가스 유량 은 50 내지 1000 sccm 으로 조절 할 수 있 음 ) 로 붓 고 , 압력 조절 밸브 를 통해 반응 챔버 압력 을 10 Pa 로 안정 화 시키 며 ( 본 실시 예 에서 압력 은 1 내지 20 Pa 를 사용 함 ) , 800 내지 1000 ℃ 로 가열 하 고 30 분 동안 유지 한다 ( 본 실시 예 에서 보 온 시간 은 5 분 내지 2 시간 으로 조정 함 ) . 유도 결합 플 라즈 마 발생기 를 가동 하 고 전력 을 50 내지 200 W 로 조절 하 며 플 라즈 마 전력 과 시간 을 변경 하 여 그래핀 필름 의 입 도 및 성장 속도 를 조절 한다 . 일반 적 으로 5 내지 10 분 성장 하 면 단층 의 주름 없 는 그래핀 필름 을 획득 할 수 있 다 . 성장 이 완료 되 면 온도 를 자연 적 으로 냉각 시키 고 , 온도 가 실온 에 가까워 지 면 가스 를 차단 하 며 제조 된 샘플 은 광학 현미경 으로 샘플 표면 균일성 및 파손 정도 를 관찰 하 고 , 원자력 현미경 을 사용 하 여 샘플 표면 거칠 기 등 정보 를 관찰 하 며 , 라만 스펙트럼 으로 샘플 의 결정체 품질 을 판단 한다 .