다음 에 , 도 4 c 에 도시 된 바대 로 , 도포 된 감광층 ( PR ) 에 대해 목적 하 는 기판 패턴 을 인식 시키 는 노광 - 현상 공정 이 수행 된다 ( P 30 ) . 목적 패턴 이 전사 된 광 마스크 ( 미 도시 ) 를 통하 여 감광층 ( PR ) 을 노광 시킴 에 따라 , 경화 되 지 않 은 감광층 ( PR ) 의 일부 는 현상 공정 을 통하 여 선택 적 으로 제거 되 며 , 경화 된 일부 는 현상 이후 에 도 잔 존 하 게 된다 . 도시 된 예 에 있 어서 는 , 경화 된 감광층 ( PR ) 이 원소 재 기판 ( S ) 의 식각 될 부분 ( W 3 ) 위 에 잔존 하 여 해당 영역 을 덮 는다 .