이하 , 도 13 을 참조 한다 . 도 13 은 , 또 다른 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 를 개략 적 으로 나타내 는 도 이 다 . 이하 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 C ) 와 상이점 에 관하 여 , 도 13 에 나타내 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 E ) 를 설명 한다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 E ) 에서 는 , 절연 영역 ( 27 ) 은 , 에지 링 ( ER ) 에 대하 여 직경 방향 외측 에서 , 에지 링 ( ER ) 에 대하 여 상방 으로 융기 한 융기부 를 갖 는다 . 도전 성 부재 ( 74 ) 는 , 이 융기부 상 에 탑재 되 어 있 다 . 따라서 , 도전 성 부재 ( 74 ) 의 높이 방향 의 위치 는 , 에지 링 ( ER ) 의 높이 방향 의 위치 및 기판 ( W ) 의 높이 방향 의 위치 보다 높 다 .