상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 이 제안 하 는 하프톤 블랭크 마스크 제조 방법 은 , a 1 ) 투명 기판 을 형성 하 는 단계 ; b 1 ) 상기 a 1 ) 단계 에서 형성 한 투명 기판 위 에 반 투과막 을 형성 하 는 단계 ; c 1 ) 상기 b 1 ) 단계 에서 형성 한 반 투과막 위 에 차광막 을 형성 하 는 단계 ; d 1 ) 상기 c 1 ) 단계 에서 형성 한 차광막 위 에 반사 방지 막 을 형성 하 는 단계 ; e 1 ) 상기 d 1 ) 단계 에서 형성 한 반사 방지 막 위 에 레지스 트 를 도포 하 는 단계 를 포함 하 여 이루어진다 .