노광 수단 도 다수 가 공지 되 어 있 고 , 마스크 를 이용 한 패턴 노광 이나 , 빔 노광 등 을 들 수 있 지만 , 모든 방법 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 노광 광원 으로서 는 , 목적 으로 하 는 패턴 의 크기 나 필요 한 정밀도 에 도 의존 하 지만 , 상술 한 ArF 노광용 레지스 트 재료 를 이용 한 경우 에 도 , ArF 엑 시머 레이저 광 을 사용 할 필요 는 없 고 , 예 를 들 면 1 μ 정도 의 패턴 을 형성 하 는 경우 이 면 , ArF 노광용 재료 를 이용 하 여 g 선 을 광원 으로 사용 할 수 도 있 다 .