일부 실시 예 들 에서 , 중공 의 지지 샤프트 ( 112 ) 는 ( 도 1 에 도시 된 바 와 같 은 ) 상부 처리 위치 와 ( 도시 되 지 않 은 ) 하부 이송 위치 사이 로 정전 척 ( 150 ) 의 수직 운동 을 제공 하 는 리프트 기구 ( 113 ) 에 커플링 된다 . 벨로우즈 조립 체 ( 110 ) 는 중공 의 지지 샤프트 ( 112 ) 주위 에 배치 되 며 , 챔버 ( 100 ) 내부 로부터 진공 손실 을 방지 하 면서 정전 척 ( 150 ) 의 수직 운동 을 가능 하 게 하 는 가요 성 시일 을 제공 하 도록 정전 척 ( 150 ) 과 챔버 ( 100 ) 의 바닥 면 ( 126 ) 사이 에 커플링 된다 . 또한 , 벨로우즈 조립 체 ( 110 ) 는 챔버 진공 의 손실 을 방지 하 는 데 도움 을 주 도록 바닥 면 ( 126 ) 과 접촉 하 는 O - 링 ( 165 ) 과 접촉 하 고 있 는 하부 벨로우즈 플랜지 ( 164 ) 를 포함 한다 .