기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 의 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 사이 를 통해 유입 된 불활성 기체 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 아래 를 통해 기판 ( 370 ) 과 기체 차단 클램프 ( 369 ) 사이 를 지나 기판 ( 370 ) 의 가장자리 를 통해 흐름 으로써 , 기판 ( 370 ) 과 기판 지지대 ( 360 ) 사이 의 공간 을 통해 기판 ( 370 ) 의 후면 으로 공정 기체 가 유입 되 는 것 을 방지 하 여 기판 ( 370 ) 의 후면 에서 는 공정 기체 에 의한 박막 증착 이 이루어지 지 않 는다 . 또한 , 박막 증착 공정 동안 기체 차단 클램프 ( 369 ) 아래 에 불활성 기체 가 흐름 으로써 , 상하 이동 가능 한 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 위 로 이동 하 게 되 고 , 이 에 의하 여 기판 ( 370 ) 과 직접 접촉 하 지 않 는다 . 따라서 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 를 통한 기판 의 열 손실 이 없 어 지 고 , 기판 ( 370 ) 위 에서 증착 온도 의 불 균일 성 에 의한 불 균일 한 박막 증착 이 일어나 지 않 게 된다 .