노 광광 을 투과 가능 한 투광 성 기판 과 , 투광 성 기판 에 형성 된 크롬 등 으로 이루어지 는 차 광부 와 , 소정 의 선폭 으로 차광 재료 로 이루어지 는 라인 및 스페이스 가 반복 하 여 형성 된 광 강도 저감 기능 을 가지 는 반투 과부 를 구비 한 노광 마스크 를 사용 한다 . 라인 및 스페이스 로 형성 된 반투 과부 를 구비 한 노광 마스크 를 그 레이톤 노광용 마스크 라고 하 고 , 이 노광 마스크 를 사용 한 노광 을 그 레이톤 노광 이 라고 한다 .