도 3 ( a ) , ( b ) 에 도시 한 예 에서 는 , 제 2 카메라 ( 6 b ) 는 푸 셔 스테이지 ( 4 ) 와 프로브 카드 ( 8 ) 의 사이 에 설치 된 카메라 스테이지 ( 62 ) 로부터 늘어져 있 는 아암 ( 63 ) 의 선 단부 에 설치 되 어 있 다 그리고 제 2 카메라 ( 6 b ) 에 는 브래킷 ( 94 ) 이 설치 되 어 있 고 , 그 브래킷 ( 94 ) 의 하면 에 클리닝 부재 ( 93 ) 가 설치 되 어 있 다 .