레이저 조사 유닛 ( 350 ) 은 기판 ( W ) 으로 레이저 를 조사 한다 . 레이저 조사 유닛 ( 350 ) 은 기판 ( W ) 의 에지 영역 으로 레이저 를 조사 할 수 있 다 . 예컨대 , 레이저 조사 유닛 ( 350 ) 은 지지 유닛 ( 310 ) 에 지지 되 어 , 회전 하 는 기판 ( W ) 의 상면 의 에지 영역 으로 레이저 를 조사 할 수 있 다 . 또한 , 레이저 조사 유닛 ( 350 ) 이 기판 ( W ) 의 에지 영역 으로 조사 한 레이저 는 기판 ( W ) 상 에 형성 된 막 또는 패턴 을 제거 할 수 있 다 .