도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 본 실시 예 에 따른 미분 간섭 현미경 ( 100 ) 은 대물렌즈 ( 110 ) , 경통 ( 120 ) , 2 중굴절 프리즘 ( 130 ) , 조명 ( 140 ) , 하프 미러 ( 150 ) , 에 널 라이저 ( 160 ) , 편광 필터 ( 170 ) , 레이저 변위 센서 ( 180 ) 및 검사 카메라 ( 190 ) 를 포함 한다 .