" 본 발명 의 한 실시 예 에 따른 화학 기상 증착 장치 는 챔버 의 한 단부 에 배열 된 기체 분배 요소 ( 12 ) 를 구비 하 는 반응 챔버 ( 10 ) 를 포함 한다 . 기체 분배 요소 ( 12 ) 를 구비 하 는 단부 는 챔버 ( 10 ) 의 "" 최 상부 "" 단부 로서 본 명세서 에서 지칭 된다 . 그 챔버 의 이러 한 단부 는 통상 적 으로 ", 반드시 필수 적 인 것 은 아니 지만 , 참조 의 보통 의 중력 프레임 ( gravitational frame ) 에서 챔버 의 최 상부 에 배치 된다 . 따라서 , 본 명세서 에서 사용 된 아래쪽 방향 은 기체 분배 요소 ( 12 ) 로부터 멀 어 지 는 방향 을 지칭 하 고 ; 반면 에 위쪽 방향 은 기체 분배 요소 ( 12 ) 를 향하 는 챔버 내 의 방향 을 지칭 하 며 , 이 들 방향 들 은 중력 의 위쪽 방향 및 아래쪽 방향 들 로 정렬 되 는 것 과 는 상관 없 다 . 유사 하 게 , " 요소 들 의 "" 최 상부 "" 및 "" 저부 "" 표면 들 은 챔버 ( 1 ) 및 요소 ( 12 ) 의 참조 의 프레임 ( frame of reference ) 을 참조 하 여 본 명세서 에서 설명 된다 . "