또한 , 본 실시 예 에 있 어서 는 , 중판 부재 ( 220 ) 에 설치 되 는 복수 의 관통 구멍 ( 223 c ) 의 개구 면적 의 총합 은 , 노즐 부재 ( 210 ) 에 있 어서 의 방 출구 ( 212 a ) 의 개구 면적 이상 이 되 도록 설정 되 어 있 다 . 따라서 , 증발 입자 의 방 출구 ( 212 a ) 로 의 이동 ( 확산 ) 이 양호 하 게 수행 되 고 , 관통 구멍 ( 223 c ) 부근 에서 의 증발 입자 의 정체 를 억제 할 수 있 다 . 따라서 , 중판 부재 ( 220 ) 보다 내 부측 의 압력 상승 이 억제 된다 . 또한 , 볼록 형 상부 ( 223 ) 는 , 노즐 부재 ( 210 ) 측 으로 돌출 되 어 있 기 때문 에 , 한층 더 , 중판 부재 ( 220 ) 보다 도 내 부측 의 압력 이 높 아 지 는 것 을 억제 할 수 있 다 .