연마 공정 에서 는 , 도 1 에 나타낸 피 연마 체 ( 기판 ) ( 10 ) 를 연마 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 연마 공정 은 , 배리어 재료 ( 2 ) 가 노출 될 때 까지 텅스텐 재료 ( 3 ) 를 연마 하 는 제 1 연마 공정 ( 거친 연마 공정 ) 과 , 절연 재료 ( 1 ) 가 노출 될 때 까지 배리 어 재료 ( 2 ) 및 텅스텐 재료 ( 3 ) 를 연마 하 는 제 2 연마 공정 ( 중 연마 공정 ) 과 , 절연 재료 ( 1 ) , 배리어 재료 ( 2 ) 및 텅스텐 재료 ( 3 ) 를 연마 하 는 제 3 연마 공정 ( 마무리 연마 공정 ) 을 전술 한 순서 로 가지 고 있 어도 된다 .