기판 적 재 대 ( 212 ) 는 , 샤프트 ( 217 ) 에 의해 지지 된다 . 샤프트 ( 217 ) 는 , 처리 용기 ( 202 ) 의 저부 를 관통 하 고 있 고 , 또한 처리 용기 ( 202 ) 의 외부 에서 승강 부 ( 218 ) 에 접속 되 어 있 다 . 승강 부 ( 218 ) 를 작동 시켜서 샤프트 ( 217 ) 및 적재 대 ( 212 ) 를 승강 시킴 으로써 , 기판 적 재면 ( 211 ) 상 에 적재 되 는 기판 ( 200 ) 을 승강 시키 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 샤프트 ( 217 ) 하 단부 의 주위 는 벨로우즈 ( 219 ) 에 의해 덮여 있 어 , 처리 실 ( 201 ) 내 는 기밀 하 게 유지 되 어 있 다 . 또한 , 승강 부 ( 218 ) 는 , 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 의 사이 에서 , 기판 적 재 대 ( 212 ) 의 높이 데이터 ( 위치 데이터 ) 를 송수신 가능 하 게 구성 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 기판 적 재 대 ( 212 ) 의 위치 는 , 적어도 2 개 이상 설정 가능 하 게 구성 된다 . 예 를 들 어 , 제 1 처리 위치 와 제 2 처리 위치 이 다 . 또한 , 제 1 처리 위치 나 제 2 처리 위치 는 , 각각 조정 가능 하 게 구성 되 어 있 다 .