도 3 을 참조 하 면 , 소자 분리 막 ( 116 ) , 복수 의 활성 영역 ( 118 ) 및 복수 의 매몰 절 연막 ( 124 ) 상 을 덮 는 절 연막 패턴 ( 112 , 114 ) 을 형성 한다 . 예 를 들 면 , 절 연막 패턴 ( 112 , 114 ) 은 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산질 화 막 , 금속 계 유전 막 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 .