즉 , 상기 자이로 센서 ( 150 ) 는 각 진동 발생 원 에서 발생 되 는 기계 적 진동 노이즈 를 즉시 제거 하 기 위한 것 으로서 , 기계 적 진동 노이즈 가 완충 력 이 큰 공기층 에 도달 하 기 이전 에 진동 발생 원 에서 CMP 공정 중 에 발생 되 는 진동 주파수 와 진폭 을 바로 감지 하 여 역위 상 진동 신호 를 생성 시키 는 역할 을 담당 하 며 , 정밀 한 연마 제어 를 가능 하 게 한다 .