통과 되 는 기판 을 코팅 하 는 장치 로부터 가스 를 펌핑 하 는 방법 이 제공 된다 . 상기 방법 은 상술 된 장치 를 제공 하 는 단계 및 기판 코팅 프로세스 와 관련 하 여 펌프 들 을 통해 경로 및 2 개 의 프로세스 격실 로부터 가스 를 펌핑 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 펌핑 은 기판 코팅 프로세스 와 관련 하 여 서로 에 대해 하나 의 프로세스 격실 과 관련 된 가스 및 또 다른 프로세스 격실 과 관련 된 가스 를 근사 적 으로 격리 시키 기 에 충분 할 수 있 다 .