특히 , 파괴 전압 은 진공도 가 증가 할수록 감소 하 며 , " 이 를 "" 파 센 의 법칙 "" 이 라 한다 . 상기 한 파 센 의 법칙 에 따르 면 파괴 전압 은 "" 극간 거리 "" 에 "" 진공도 "" 의 곱 에 의하 여 결정 된다 . 따라서 ", 이 를 역이용 하 여 상기 하부 전극 ( 21 ) 으로 공급 되 는 고전압 에너지 의 전압 또는 가스실 ( 15 ) 에 유입 되 는 가스 의 종류 , 가스실 ( 15 ) 의 진공도 등 을 고려 하 여 상기 하부 전극 ( 21 ) 과 상부 전극 ( 22 ) 사이 의 간격 을 조절 하 는 것 이 다 .