2 개 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 의 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 의 이간 거리 는 서로 동일 하 고 , 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 의 이간 거리 는 서로 동일 하 다 . 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 보 아 우측 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 ) 및 우측 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 과 직교 하 는 방향 ( X 방향 ) 으로 일렬 로 나란히 배치 된다 . 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 보 아 좌측 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 2 ) 및 좌측 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 2 ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 과 직교 하 는 방향 ( X 방향 ) 으로 일렬 로 나란히 배치 된다 .