한편 , 산화 막 제 거액 을 분사 할 시 , 기판 ( 120 ) 의 면 이 중력 방향 ( - z 방향 ) 에 수직 하 도록 기판 ( 120 ) 을 배치 한 상태 에서 기판 ( 120 ) 의 면 을 회전 시키 며 기판 ( 120 ) 의 하 면 상 의 실리콘 층 ( 122 ) 에 산화 막 제 거액 을 분사 할 수 도 있 다 . 이 를 통해 실리콘 층 ( 122 ) 으로부터 분리 된 자연 산화 막 중 실리콘 층 ( 122 ) 상 에 잔존 하 는 자연 산화 막 이 중력 에 의해 중력 방향 ( - z 방향 ) 으로 이동 하 여 실리콘 층 ( 122 ) 으로부터 일탈 하 는 것 외 에 도 원심력 에 의해 다른 방향 으로 도 이동 하 여 결과 적 으로 실리콘 층 ( 122 ) 으로부터 이탈 하 도록 하 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .