즉 , 도 8 에 도시 된 바 와 같이 가스 밸브 어셈블리 ( 130 ) 의 하우징 ( 131 ) 에 각각 퍼지 가스 가 공급 되 는 제 3 및 제 4 가스 공급 홀 ( 143 , 144 ) 을 더 형성 하 고 , 회전축 ( 132 ) 의 내부 에 도 상기 제 3 및 제 4 가스 공급 홀 ( 143 , 144 ) 과 각각 연통 하 는 제 3 및 제 4 내부 유로 ( 153 , 154 ) 를 더 형성 한다 .