상기 노즐 암 들 에 제공 된 노즐 들 이 상기 기판 지지 부재 상 의 공정 위치 , 상기 대기 포트 에 제공 된 공정 대기 위치 , 또는 상기 보관 포트 에 제공 된 보관 위치 에 위치 하 도록 상기 노즐 암 들 을 이동 시키 는 구동 부재 가 더 제공 되 고 , 상기 구동 부재 는 상기 노즐 암 들 을 각각 지지 하 는 노즐 암 지지 부재 들 , 상기 노즐 암 지지 부재 들 을 상기 대기 포트 들 과 상기 보관 포트 들 의 배열 방향 에 평행 한 방향 으로 직선 왕복 운동 시키 는 구 동기 들 , 상기 노즐 암 지지 부재 들 의 직선 운동 을 안내 하 는 가이드 부재 를 포함 할 수 있 다 .