목적 기판 ( 21 ) 상 에 제 1 박막 ( 22 ) 이 배치 된 상태 의 봉 지재 ( 20 ) 는 상기 챔버 ( 10 ) 의 기판 지지 부 ( 100 ) 에 안착 되 고 , 상기 제 1 박막 ( 22 ) 에 잔류 하 는 폴리머 재질 의 잔류물 ( 22 a ) 은 자외선램프 ( 300 ) ( UV lamp ) 로부터 조사 되 는 자외선 에 의해 제거 된다 . 잔류물 ( 22 a ) 이 제거 된 제 1 박막 ( 22 ) 상 에 제 2 박막 ( 23 ) 을 화학 기상 증착 등 의 방법 으로 제 2 박막 ( 23 ) 을 증착 하 여 상기 봉 지재 ( 20 ) 를 제작 할 수 있 다 .