제 1 마스크 패턴 ( 221 ) 은 배선 ( 210 ) 상 에 형성 되 며 산화물 로 구성 된 제 2 마스크 패턴 ( 222 ) 에 대해 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 실리콘 질화물 과 같 은 질화물 로 이루어질 수 있 다 . 또한 , 제 1 마스크 패턴 ( 221 ) 은 하부 의 폭 이 상부 의 폭 보다 큰 사다리꼴 모양 일 수 있 다 .