판정 의 결과 , 실시 예 에서 얻 어 진 패턴 은 OD 값 이 4 . 0 이 고 , 차광성 이 높 은데 도 불구 하 고 , 노광량 이 65 mJ / cm 2 에 있 어서 도 직선 성 이 뛰어나 고 , 잔사 나 기판 과 의 벗겨짐 은 확인 되 지 않 았 다 . 한편 , 각 비 교예 에서 는 저 노광량 에 있 어서 패턴 벗겨짐 이 많 고 직진 성 도 좋 지 않 았 다 . 또 , Bias ＋ 1 μ m 의 값 은 비 교예 에서 는 노광량 이 95 mJ / cm 2 보다 작아지 면 선폭 이 목표 값 과 비교 하 여 가늘 게 되 어 바람직 하 지 않 은 것 이 었 다 .