다음 으로 , 도 2 d 에 도시 된 바 와 같이 , CD 가 감소 된 희생 막 패턴 ( 54 B ) 을 식각 장벽 으로 식각 정지 막 ( 53 ) 과 절 연막 ( 52 ) 을 순차 적 으로 식각 한다 . 이후 , 희생 막 패턴 ( 54 B ) 은 제거 된다 . 만약 , 희생 막 패턴 ( 54 B ) 과 절 연막 ( 52 ) 이 식각 에 관해 유사 한 특성 을 갖 고 있 다면 , 식각 된 식각 정지 막 ( 53 A ) 을 하드 마스크 패턴 으로 절 연막 ( 52 ) 식각 시 희생 막 패턴 ( 54 B ) 은 함께 식각 될 것 이 다 .