도 7 이나 이하 에 나타내 는 성막 시퀀스 와 같이 , 성막 스텝 에서 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 N 2 O 가스 의 공급 을 연속 적 으로 행하 도록 해도 된다 . 또한 , 성막 스텝 에서 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 N 2 O 가스 의 공급 을 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 아미노 실란 등 의 공급 보다 도 선행 해서 개시 해도 된다 .