도 1 에 예시 된 실시 예 에서 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 는 상부 챔버 부분 ( 102 ) 내 에 포함 되 고 샤워 헤드 ( 112 ) 바로 위 에 배치 된다 . 또 다른 실시 예 에서 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 는 시스템 ( 100 ) 의 샤워 헤드 ( 112 ) 에 커플링 되 는 독립 ( stand - alone ) 모듈 일 수 도 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 는 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 내 에서 수행 된 증착 동작 동안 재료 의 박 층 이 기판 ( 103 ) 의 표면 상 에 증착 될 수 도 있 도록 리모트 로 ( 즉 , 프로세싱 영역 으로부터 이격 되 어 ) 플 라즈 마 를 생성 하 고 프로세싱 영역 ( 234 ) 에 공급 하 게 구성 된다 . 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 는 증착 동작 을 수행 하 도록 인게이지 되 는 시스템 에서 사용 하 도록 제한 되 지 않 고 , 플라 즈 마 에칭 , 플 라즈 마 스트립 핑 또는 애 싱 , 스퍼터링 , 플라 즈 마 스프 레잉 , 등 과 같 은 다른 플 라즈 마 제조 동작 들 을 수행 하 도록 사용 되 는 다른 시스템 들 과 함께 사용 될 수 있 다 .