진공 챔버 내 를 진공 흡인 한 후 , 진공 챔버 내 에 Ar 가스 및 O 2 가스 를 도입 하 면서 , Ge 타 겟 및 Sn 타 겟 을 반응 성 스퍼터링 에 의해 코 - 스퍼터 하 여 , 막 두께 25 nm 의 GeOSn 막 ( 2 b ) 을 TiMnN 막 ( 2 a ) 상 에 성막 하 였 다 . 그리고 , GeOSn 막 ( 2 b ) 에 있 어서 의 산소 ( O ) 의 함유량 을 GeOSn 막 ( 2 b ) 의 흡수 계수 k 가 0 . 67 로 되 도록 조제 했 다 . 또한 , GeOSn 막 ( 2 b ) 에 있 어서 의 주석 ( Sn ) 의 함유량 이 10 원자 % 로 되 고 , GeOSn 막 ( 2 b ) 에 있 어서 의 GeOx ( 0 ＜ x ＜ 2 ) 의 함유량 이 90 원자 % 로 되 도록 , GeOSn 막 ( 2 b ) 의 조성 을 조제 했 다 .