이 와 같이 , 제 1 압력 센서 ( 129 S ) 와 제 2 압력 센서 ( 159 S ) 의 측정 압력 값 으로 웨이퍼 ( W ) 의 척 킹 에 의한 흡착 파지 상태 를 감지 하 면 , 제 1 압력 센서 ( 129 S ) 의 측정 압력 값 과 설정 압력 ( Po ) 의 편차 크기 에 따라 , 그리고 제 2 압력 센서 ( 159 S ) 의 측정 압력 값 이 정해진 압력 ( 0 . 8 * Po ~ Po ) 까지 도달 하 는 데 소요 되 는 경과 시간 ( Te ) 과 정상 적 인 경과 시간 ( t 1 ) 과 의 편차 크기 에 따라 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 개구 ( 130 x , 150 x ) 를 막 고 있 는 정도 가 어느 정도 인지 도 감지 할 수 있 는 이점 을 얻 을 수 있 다 .