[ 0082 ] 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 523 ) 을 이용 하 여 기판 캐리어 ( 120 ) 를 공중 부양 시키 기 위해 그리고 / 또는 복수 의 추가 적 인 능동 자기 엘리먼트 들 ( 513 ) 을 이용 하 여 기판 캐리어 ( 120 ) 를 이동 시키 기 위해 , 능동 자기 엘리먼트 들 은 조정 가능 한 자기장 들 을 제공 하 도록 제어 될 수 있 다 . 조정 가능 한 자기장 은 정적 ( static ) 또는 동적 ( dynamic ) 자기장 일 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따르 면 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 능동 자기 엘리먼트 는 , 예컨대 , 수직 방향 , 예컨대 , 도 5 a 및 5 b 에 도시 된 y - 방향 을 따라 연장 되 는 자기 공중 부양력 을 제공 하 기 위한 자기장 을 생성 하 도록 구성 될 수 있 다 . 부가 적 으로 또는 대안 적 으로 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 능동 자기 엘리먼트 는 , 횡 방향 을 따라 연장 되 는 자기력 을 제공 하 도록 구성 될 수 있 다 . 특히 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 능동 자기 엘리먼트 는 , 전자기 디바이스 ; 솔레노이드 ; 코일 ; 초전 도 자석 ; 또는 이 들 의 임의 의 조합 으로 구성 된 그룹 으로부터 선택 된 엘리먼트 일 수 있 거나 , 그러 한 엘리먼트 를 포함 한다 .