본 발명 은 고전압 소자 및 그 제조 방법 에 관한 것 으로 , 특히 고전압 소자 의 제조 과정 에서 1 차 금속 배선 공정 시 안 전하 게 PCM ( process control module ) 을 측정 하 여 빠른 공정 피드백 ( feed back ) 이 가능 하 게 하 며 다량 의 반도체 기판 손실 을 예방 할 수 있 는 고전압 소자 및 그 제조 방법 에 대한 것 이 다 .