도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 상기 노광 헤드 ( 20 ) 는 노광 빔 ( L ) 을 출사 하 는 광원 ( 21 ) , 상기 광원 ( 21 ) 에서 출사 된 노광 빔 ( L ) 을 노광 패턴 ( 패턴 정보 ) 에 따라 변조 하 는 광 변조 소자 ( 23 ) , 및 상기 광 변조 소자 ( 23 ) 에서 변조 된 노광 빔 ( L ) 을 빔 스팟 어레이 ( beamspot array ) 형태 로 상기 기판 ( S ) 상 에 전달 하 는 투영 광학계 ( 24 ) 를 포함 할 수 있 다 . 나아가 , 상기 노광 헤드 ( 20 ) 는 상기 광원 ( 21 ) 에서 출사 된 노광 빔 ( L ) 을 균일 한 조도 로 보정 하 여 상기 광 변조 소자 ( 23 ) 로 전달 하 는 조명 광학계 ( 22 ) 를 더 포함 할 수 있 다 .