또한 , 상기 실시 형태 에서 는 각각 별체 로 형성 하 고 , 배치 한 차폐 판 ( 6 ) 과 퍼지 노즐 ( 7 ) 을 일체 화 한 구성 을 채용 하 는 것 도 가능 하 다 . 이 경우 , 도시 는 생략 하 지만 차폐 판 ( 6 ) 에 설치 된 슬릿 ( 10 ) 의 숫돌 ( 3 ) 측 의 모서리 부를 모따 기 하 고 , 이 슬릿 길 이 방향 에 걸친 모따 기부 에 예 를 들 면 , 도 3 에 나타내 는 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 를 병렬 배치 한 구성 을 상기 일체화 ( 유닛화 ) 의 일례 로서 들 수 있 다 . 이러 한 구성 에 의하 면 하우징 ( 8 ) 에 의 부착 부품 을 한 부품 에 집약 할 수 있 기 때문 에 하우징 ( 8 ) 에 의 부착 정밀도 가 향상 된다 . 물론 , 차폐 판 ( 6 ) 이나 퍼지 노즐 ( 7 ) 을 각각 하우징 ( 8 ) 과 일체 화 할 수 도 있 다 .