상기 제 3 도가니 ( 340 ) 역시 제 1 도가니 ( 320 ) , 제 2 도가니 ( 330 ) 와 마찬가지 로 제 3 선형 증발원 ( 140 ) 에 연통 되 어 제 3 도가니 ( 340 ) 내 에서 증발 된 제 3 증착 물질 이 상기 제 3 선형 증발원 ( 140 ) 의 제 3 분사 노즐 ( 142 ) 을 통해 기판 ( 10 ) 측 으로 분사 되 도록 구성 된다 .