도 5 를 참조 하 면 , 시료 홀더 구동 부 ( 160 ) 는 측정 헤드 ( 220 ) 의 관 통공 내부 에 삽입 된 시료 홀더 ( 210 ) ( 150 ) 가 회전 시키 거나 , 수평 방향 및 수직 방향 중 하나 의 방향 에 상응 하 게 이동 시키 도록 구동 될 수 있 다 . 이 를 위해 , 시료 홀더 구동 부 ( 160 ) 는 회 전부 ( 161 ) , 수평 이 동부 ( 162 ) 및 수직 이 동부 ( 163 ) 을 포함 하 여 , 제 어부 ( 150 ) 의 제어 에 의해 시료 홀더 ( 210 ) 를 이동 시킬 수 있 다 .