도 7 은 종래 의 배 치식 초음파 기판 세정 장치 를 나타낸 개념 단면도 로 , 하 부면 에 초음파 발생 을 위한 진동자 ( 12 ) 가 구비 되 며 내부 에 고온 의 세정액 이 수용 된 세 정조 ( 10 ) 내 에 기판 ( 1 ) 을 투입 하 고 , 진동자 ( 12 ) 를 이용 하 여 세정액 에 일정 주파수 대 의 초음파 를 가함 으로써 , 기판 세정 이 이루어지 도록 하 는 것 이 다 .