도면 에 는 구체 적 으로 도시 하 지 않 았 으나 , 구동 부 ( 630 ) 는 회전력 을 발생 하 는 전기 모터 와 발생 된 회전력 을 스핀들 ( 620 ) 로 전달 하 여 다수 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 들 이 원 하 는 동작 을 수행 하 도록 하 는 기어 어셈블리 가 포함 된다 . 그럼 으로 다수 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 들 은 스핀들 ( 620 ) 에 장착 되 어 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 서로 다른 회전 반경 을 갖 고 공정 챔버 ( 200 ) 의 제 1 출입구 ( 202 ) 를 마주 보 는 대기 위치 ( 6 시 방향 ) 에서 좌우 방향 으로 펼쳐지 고 접혀 지 는 동작 을 수행 한다 .