채널 패턴 들 ( 15 A ) 및 더미 채널 패턴 들 ( 15 B ) 은 중심 영역 까지 완전히 채워진 구조 를 갖 거나 , 중심 영역 이 오픈 된 튜브 구조 를 가질 수 있 다 . 채널 패턴 들 ( 15 A ) 이 튜브 구조 를 갖 는 경우 , 채널 패턴 들 ( 15 A ) 내 에 갭 필 절연 패턴 들 ( 16 A ) 이 채워질 수 있 다 . 더미 채널 패턴 들 ( 15 B ) 이 튜브 구조 를 갖 는 경우 , 더미 채널 패턴 들 ( 15 B ) 내 에 더미 갭 필 절연 패턴 들 ( 16 B ) 이 채워질 수 있 다 . 또한 , 채널 패턴 들 ( 15 A ) 및 더미 채널 패턴 들 ( 15 B ) 은 원형 , 타원 형 , 사각형 , 다각형 등 의 단면 을 가질 수 있 다 .