개시 되 는 반도체 디스플레이 제조 용 진공 배관 관통 홀 마감 유닛 이 덮개 플레이트 부재 와 , 관통 홀 삽입 부재 와 , 관통 홀 채움 부재 를 포함 함 에 따라 , 상기 덮개 플레이트 부재 가 바닥 체 중 진공 배관 관통 홀 의 주변 부 에 걸리 면서 , 상기 관통 홀 채움 부재 가 상기 진공 배관 관통 홀 에 삽입 된 상태 가 되 고 , 그 에 따라 폐공 이 된 상기 진공 배관 관통 홀 이 상기 반도체 디스플레이 제조 용 진공 배관 관통 홀 마감 유닛 에 의해 막혀서 , 상기 진공 배관 관통 홀 이 화염 번 짐 의 통로 가 되 는 현상 이 방지 될 수 있 게 되 고 , 누수 및 화재 시 의 연기 까지 도 번짐 방지 될 수 있 으며 , 상기 진공 배관 관통 홀 의 재 사용 시 에 간편 하 게 철거 될 수 있 는 장점 이 있 다 .