상기 와 같이 구성 된 청구 항 1 에 관한 발명 에서 는 , 공작물 지지대 와 공구대 를 상대 이동 시켜 측정기 의 프로브 를 공작물 에 접촉 시켜 가 압력 에 저항 하 여 후퇴 시키 고 , 공작물 지지대 와 공구대 를 X 축 또는 Y 축 방향 으로 주사 속도 로 상대 이동 시켜 , 프로브 를 공작물 의 단부 에지 로부터 이탈 시키 고 , 프로브 가 공작물 의 단부 에지 로부터 이탈 하 여 Z 축 방향 으로 전진 하 는 속도 가 소정 속도 로 되 었 을 때 , 공작물 지지대 와 공구대 의 X 축 또는 Y 축 방향 의 상대 위치 를 위치 검출 장치 에 의해 검출 하 고 , 이 검출 된 X 축 또는 Y 축 방향 의 상대 위치 와 , 프로브 가 공작물 의 단부 에지 와 일치 한 후 공작물 의 단부 에지 로부터 이탈 하 여 Z 축 방향 으로 전진 하 는 속도 가 소정 속도 로 되 기 까지 의 사이 에 공작물 지지대 와 공구대 가 X 축 또는 Y 축 방향 으로 상대 이 동하 는 보정 거리 에 따라 공작물 의 단부 에지 를 기준점 으로서 검출 한다 .