본 발명자 등 은 각종 성분 을 조합 한 증착 재료 에 대해서 예의 검토 한 결과 , 니오브 및 란탄 의 이원계 산화물 로 되 는 증착 재료 에 착안 하 기 에 이르 렀다 . 또한 , 이 성분 의 조합 에 의한 증착 재료 로 생성 되 는 증기 의 조성 은 , 종래 부터 알려져 있 는 바 와 같 은 단순히 각 성분 의 증기압 에 의해 반드시 결정 되 는 것 은 아닌 것 이 명확 해져 , 특정 범위 의 니오브 와 란탄 의 조성 비 로 구성 되 는 증착 재료 및 그 들 을 사용 하 여 형성 한 광학 박막 에 있 어서 만 , 상기 한 문제점 을 모두 해소 할 수 있 는 것 을 발견 하 고 , 본 발명 을 완성 하 기 에 이르 렀다 .