일부 구 현예 에서 , 고리 형 아민 은 세정 조성물 의 적어도 약 0 . 1 중량 %( 예 를 들 어 , 적어도 약 0 . 2 중량 %, 적어도 약 0 . 3 중량 %, 적어도 약 0 . 4 중량 %, 적어도 약 0 . 5 중량 %, 적어도 약 0 . 6 중량 %, 적어도 약 0 . 7 중량 %, 적어도 약 0 . 8 중량 %, 적어도 약 0 . 9 중량 % 또는 적어도 약 1 중량 %) 및 / 또는 최대 약 2 중량 %( 예 를 들 어 , 최대 약 1 . 9 중량 %, 최대 약 1 . 8 중량 %, 최대 약 1 . 7 중량 %, 최대 약 1 . 6 중량 %, 최대 약 1 . 5 중량 %, 최대 약 1 . 4 중량 %, 최대 약 1 . 3 중량 %, 최대 약 1 . 2 중량 % 또는 최대 약 1 . 1 중량 %) 의 양 으로 존재 할 수 있 다 . 이론 에 얽매이 지 않 고 것 인 세정 조성물 에 상기 명시 된 양 의 본원 에 기술 된 고리 형 아민 을 포함 시키 는 것 은 조성물 의 부식 효과 를 감소 시킬 수 있 으며 , 즉 세정 공정 동안 제거 되 지 않 도록 한 노출 된 기판 재료 ( 예 를 들 어 , 노출 된 금속 ( 예컨대 , 코발트 ) 또는 유전체 재료 ) 에 대한 세정 조성물 의 에칭 률 을 낮출 수 있 는 것 으로 여겨진다 .