상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 하강 이 완료 되 면 , 상기 리프트 핀 구동 부 ( 129 ) 가 수직 상승 하 고 , 상기 리프트 핀 구동 부 ( 129 ) 의 리프트 핀 접촉 부 ( 129 a ) 가 상기 리피트 핀 ( 128 ) 을 수직 상승 시킨다 . 따라서 , 상기 리프트 핀 ( 128 ) 이 상기 웨이퍼 를 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 상부 면 표면 으로부터 일정 거리 를 두 고 이격 시킨다 .