제 5 하부 패턴 ( 510 ) 의 상면 에서 멀 어 짐 에 따라 , 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 제 2 부분 은 폭 ( W 33 ) 이 증가 하 는 부분 을 포함 하 므로 , 제 3 소자 분리 막 ( 560 ) 의 제 2 부분 의 폭 ( W 33 ) 은 제 2 소자 분리 막 ( 360 ) 의 제 2 부분 의 폭 ( W 23 ) 보다 클 수 있 다 .