구체 적 으로 는 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 이 기판 ( W ) 의 상방 으로부터 퇴피 하 고 있 으며 , 컵 ( 14 ) 이 하측 위치 에 위치 하 고 있 는 상태 로 , 센터 로봇 ( CR ) ( 도 1 참조 ) 이 , 기판 ( W ) 을 핸드 로 지지 하 면서 , 핸드 를 챔버 ( 6 ) 내 에 진입 시킨다 . 그 후 , 센터 로봇 ( CR ) 은 , 기판 ( W ) 의 표면 이 위 로 향해진 상태 로 핸드 상 의 기판 ( W ) 을 스핀 척 ( 10 ) 상 에 둔다 . 스핀 모터 ( 13 ) 는 , 기판 ( W ) 이 척 핀 ( 11 ) 에 의해 파지 된 후 , 기판 ( W ) 의 회전 을 개시 시킨다 . 센터 로봇 ( CR ) 은 , 기판 ( W ) 을 스핀 척 ( 10 ) 상 에 둔 후 , 핸드 를 챔버 ( 6 ) 의 내부 로부터 퇴피 시킨다 .