본 발명 에 따르 면 , 제 5 자유도 까지 , 기판 의 처리 동안 에 본 발명 에 따른 이동 이 수행 되 는 데 사용 된다 . 제 6 자유도 가 , 기판 홀더 에 의해 , 특히 정전기 적 으로 차단 되 어서 , 기판 은 기판 홀더 와 독립 적 으로 이동 되 지 못한다 . 이러 한 제 6 자유도 는 특히 , 기판 의 로딩 및 / 또는 언로 딩 동안 에 실행 될 수 있 다 .