이때 상기 비 교부 ( 270 ) 는 상기 측 정부 ( 260 ) 로부터 측정 되 어 전달 된 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 저항 값 이 설정 범위 내 에 있 는지 를 판단 하 여 인터 락 신호 ( Si ) 의 생성 여부 를 결정 할 수 있 다 . 즉 , 상기 비 교부 ( 270 ) 는 상기 측 정부 ( 260 ) 로부터 측정 되 어 전달 된 상기 제 1 전극 ( 231 ) 또는 제 2 전극 ( 232 ) 의 저항 값 이 1 메가 옴 ( M Ω ) 내지 1000 메가 옴 ( M Ω ) 의 설정 범위 를 벗어나 는 경우 RF 전원 의 공급 을 중지 시키 는 인터 락 신호 ( Si ) 를 생성 하 여 제 어부 ( 280 ) 에 전달 할 수 있 다 .