상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 , 복수 의 포고 핀 이 형성 되 는 테스트 헤드 와 , 상판 과 하판 으로 이루어지 는 퍼포먼스 보드 와 , 니 들 을 포함 하 는 프로브 카드 보드 와 , 웨이퍼 를 안착 시키 는 웨이퍼 척 으로 구성 되 어 웨이퍼 의 전기 적 특성 검사 를 하 기 위한 반도체 검사 장치 에 있 어서 , 프로브 카드 보드 의 니 들 이 상측 으로 연장 형성 되 며 , 연장 된 니 들 은 퍼포먼스 보드 의 하판 의 관 통공 을 관통 하 여 퍼포먼스 보드 상판 의 접촉 단자 와 직접 연결 되 는 것 을 특징 으로 하 는 반도체 검사 장치 를 제공 한다 .