그리고 도 4 b 에 의하 면 , 이너 코너 ( 102 ) 와 아웃 터 코너 ( 104 ) 의 사이 에 해당 하 고 동일 선폭 으로 이어지 는 주패 턴 ( 100 ) 의 양측 으로 보조 패턴 ( 106 ) 을 형성 하 게 되 며 , 양측 의 보조 패턴 ( 106 ) 은 서로 동일 두께 로 형성 되 어 주 패턴 ( 100 ) 의 선폭 이 유지 되 는 것 이 바람직 하 다 .