각 대기 플 라즈 마 발생 장치 ( 16 , 20 ) 의 운전 조건 은 , 예 를 들 어 전원 장치 ( 26 , 40 ) 로부터 한 쌍 의 전극 ( 24 및 24 , 38 및 38 ) 에 인가 되 는 전압 의 상승 시간 , 또는 하강 시간 의 적어도 한쪽 이 100 μ 초 이하 이 고 , 전원 장치 ( 26 , 40 ) 로부터 의 전압 ( V ) 의 파형 의 반복 주파수 는 0 . 5 ～ 1000 kHz 이 고 , 한 쌍 의 전극 ( 24 및 24 , 38 및 38 ) 사이 에 적용 되 는 전계 강도 는 , 0 . 5 ～ 200 kV / cm 의 범위 에서 적절히 선택 할 수 있 다 . 또 , 각 노즐 ( 22 , 36 ) 의 플 라즈 마 분사구 ( 22 b , 36 b ) 와 절연 기판 ( 12 ) 과 의 간격 을 예 를 들 어 1 ～ 20 mm 의 범위 에서 조정 하 는 것 이 바람직 하 다 .