도 7 c 는 상기 전면 식각 후 미디어 스테이지 가 움직일 수 있 도록 탄성 빔 ( 미 도시 ) 및 스 티 프 너 ( 71 ) 를 형성 하 고 , 코일 ( 62 ) 에 전류 를 인가 하 기 위한 전극 패드 ( 65 ) 를 노출 시키 는 식각 공정 이 다 . 탄성 빔 , 스 티 프 너 및 전극 패드 의 위치 , 형상 에 따라 준비 된 미디어스 테이지 식각 마스크 ( 69 ) 를 패 터닝 한다 .