분리 장치 ( 200 ) 에 추가 로 포함 시킬 수 있 는 분리 감 지부 ( 250 ) 에서 는 여러 가지 방법 으로 질화물 반도체 층 ( 50 ) 과 기판 ( 10 ) 의 분리 정도 를 감지 할 수 있 다 . 특히 분리 부재 ( 210 , 220 ) 사이 의 거리 ( 압축 두께 로 환산 될 수 있 음 ) 를 측정 함 으로써 질화물 반도체 층 ( 50 ) 과 기판 ( 10 ) 의 분리 정도 를 감지 할 수 있 다 . 분리 감 지부 ( 250 ) 는 분리 부재 ( 210 , 220 ) 사이 의 거리 를 측정 할 수 있 는 위치 라면 어느 곳 에 라도 부착 가능 하 다 . 분리 감 지부 ( 250 ) 로 는 레이저 센서 , 정전 용량 센서 , 엔 코더 등 과 같이 서로 이격 된 두 물체 간 의 거리 를 실시간 으로 측정 할 수 있 는 것 이 라면 그 종류 에 제한 이 없이 사용 될 수 있 다 .