캐리어 블록 ( S 1 ) 은 , 캐리어 ( 20 ) 와 , 적재 대 ( 21 ) 및 전달 수단 ( C ) 을 갖 는다 . 캐리어 ( 20 ) 는 적재 대 ( 21 ) 상 에 적재 되 어 있 다 . 전달 수단 ( C ) 은 , 캐리어 ( 20 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 빼내 어 처리 블록 ( S 2 ) 에 전달 하 고 , 처리 블록 ( S 2 ) 에 있 어서 처리 된 처리 가 끝난 웨이퍼 ( W ) 를 수취 하 여 캐리어 ( 20 ) 로 되돌리 기 위한 것 이 다 .