부가 적 인 또는 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 이동 가능 핑거 ( 807 ) 는 기판 을 삽입 할 때 제 1 분리 위치 ( 803 ) 로 개방 되 고 기판 을 제거 할 때 제 2 분리 위치 ( 917 ) 로 개방 될 수 있 다 ( 또는 그 반대 가 가능 하 거나 상기 의 것 들 의 다양 한 조합 들 로 이루어짐 ) . 통상 의 기술자 는 , 이동 가능 핑거 ( 807 ) 가 차 폐부 들 , 챔버 , 기판 의 전반 적 인 크기 및 다른 인자 들 에 따라 적어도 부분 적 으로 다른 각도 들 로 피벗 될 수 있 다는 것 을 인식 할 것 이 다 .