도 7 b 를 참조 하 면 , 채널 홀 ( CHH ) 내 의 예비 전하 저 장막 ( 130 Pa ) 상 에 제 3 홈 ( GR 2 a ) 을 가지 는 제 1 커버 희생 층 ( SCL 1 a ) , 및 제 2 커버 희생 층 ( SCL 2 a ) 을 순차 적 으로 형성 한다 . 제 3 방향 ( Z 방향 ) 으로 제 3 홈 ( GR 3 a ) 의 높이 는 도 5 e 에 보인 제 2 커버 희생 층 ( SCL 2 ) 이 가지 는 제 3 홈 ( GR 3 ) 의 높이 보다 큰 값 을 가질 수 있 다 .