도 1 및 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 풉 ( FOUP , Front Opening Unified Pod : 11 ) 이 라 불리 는 밀 폐식 저장 포드 내부 에 웨이퍼 를 저장 하 여 로드 포트 ( LoadPort : 10 ) 위 에 고정 시키 고 , 상기 풉 ( 11 ) 과 웨이퍼 의 가공 을 수행 하 는 반도체 공정 장치 ( 30 ) 사이 에서 웨이퍼 의 전달 을 수행 하 는 웨이퍼 이송 장치 로서 , EFEM ( Equipment Front End Module : 20 ) 을 이용 하 게 되 었 다 .