상술 한 바 와 같이 , 2 개 의 측정 조건 하 에서 베스트 포커스 위치 를 측정 함 으로써 구면 수차 를 구할 수 있 다 . 측정 조건 이란 , 예 를 들 면 , 조명 조건 이 다 . 본 실시 예 에 의하 면 , 제 1 조명 조건 은 투영 광학계 의 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 항상 일정 하 므로 기준 조명 조건 으로 간주 되 는 조명 조건 ( 이하 , " "" 기준 조명 조건 "" 으로 칭함 ) 이 다 . 제 2 조명 조건 은 투영 광학계 의 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 일차 적 으로 변화 하 는 구면 수차 측정 용 의 조명 조건 ( 이하 "," "" 구면 수차 측정 용 조명 조건 "" 으로 칭함 ) 이 다 . 이 들 2 개 의 조명조 건하 에서 구해진 2 개 의 베스트 포커스 위치 간 의 차분 에 따라서 ", 해당 광학계 의 구면 수차 를 구하 고 , 조정 할 수 있 어서 , 항상 노광 장치 상 에서 이상 적 인 투영 광학계 의 상태 를 유지 할 수 있 다 .