한편 , 상기 중성 빔 발생 부 ( 10 ) 에 는 소스 가스 ( source gas ) 를 공급 해 주 는 소스 가스 공급 관 이 연결 되 며 , 소스 가스 의 공급 은 소스 가스 공급 관 에 설치 된 소스 가스 공급 밸브 ( 70 ) 에 의해 제어 되 며 , 상기 식각 가스 공급 부 ( 30 ) 에 는 식각 가스 를 공급 해 주 는 식각 가스 공급 관 이 연결 되 며 , 식각 가스 의 공급 은 식각 가스 공급 관 에 설치 된 식각 가스 공급 밸브 ( 74 ) 에 의해 제어 되 며 , 셔터 ( 20 ) 에 는 셔터 의 개폐 를 제어 하 는 셔터 스위치 ( 72 ) 가 설치 된다 . 한편 , 소스 가스 공급 밸브 ( 70 ) , 셔터 스위치 ( 72 ) 및 식각 가스 공급 밸브 ( 74 ) 는 그 공급량 이나 공급 시간 또는 개폐 시간 등 이 제 어부 ( 50 ) 에 의해 종합 적 으로 제어 된다 .