본 발명 에 따른 기판 처리 장치 및 그 의 인터 락 방법 에 의하 면 , 상부 전극 의 온도 와 하부 전극 의 온도 , 그 온도 차 , 전극 간거리 및 전극 의 저항 값 이 사용 자 의 설정 범위 에 있 지 아니한 비상 상황 에서 인터 락 신호 및 알람 을 발생 시켜 RF 전원 이 기판 처리 장치 내 로 인가 되 지 않 도록 차단 함 으로써 RF 전원 에 의한 데미지 를 방지 하 여 장비 를 보호 하 고 기판 에 증착 되 는 박막 의 균 일도 를 유지 할 수 있 는 효과 이 있 다 .