가스 분사 모듈 ( 230 ) 은 복수 의 홀 ( 235 ) 을 구비 한다 . 가스 분리 모듈 ( 220 ) 에서 분리 분산 된 제 1 가스 ( A ) 및 제 2 가스 ( B ) 는 복수 의 홀 ( 235 ) 을 통하 여 공통 으로 반응 챔버 ( 160 ) 내부 로 분사 된다 . 또한 , 가스 분사 모듈 ( 230 ) 에 는 파워 인가 부 ( 150 ) 로부터 플 라즈 마 화 를 위한 파워 가 인가 된다 . 가스 분사 모듈 ( 230 ) 이 전체 적 으로 도전체 재질 이 면 , 파워 인가 부 ( 150 ) 에 의해 플 라즈 마 화 를 위한 파워 인 가시 공동 전극 ( Multi - Hollow Cathode ) 역할 을 할 수 있 다 . 따라서 , 복수 의 홀 ( 235 ) 내부 에서 제 1 가스 ( A ) 및 제 2 가스 ( B ) 가 플 라즈 마 화 될 수 있 다 .