구체 적 으로 검사 모듈 ( 100 C ) 은 , 도 1 및 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 복수 의 전자 부품 ( Wx ) 이 재치 되 고 , 형광 물질 을 함유 하 는 재치 부재 ( 5 ) 와 , 전자 부품 ( Wx ) 및 재치 부재 ( 5 ) 에 형광 물질 의 여기 광 을 조사 하 는 여기 광 조명 장치 ( 6 ) 와 , 재치 부재 ( 5 ) 로부터 생기 는 형광 을 촬상 하 는 촬상 장치 ( 7 ) 를 구비 하 고 있 다 .