상기 블로킹 절 연막 ( 209 ) 을 갖 는 기판 ( 200 ) 전면 상 에 제어 게이트 도전 막 ( 211 ) 을 형성 한다 . 상기 제어 게이트 도전 막 은 도핑 된 폴리 실리콘 , 금속 ( ex , 텅스텐 또는 몰리브덴 등 ) , 도전 성 금속 질화물 ( ex , 질화 티타늄 , 질화 탄탈 늄 또는 질화 텅스텐 등 ) 및 금속 실리사이드 ( ex , 텅스텐 실리사이드 또는 코발트 실리사이드 등 ) 등 중 에서 선택 된 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .