이러 한 공급 액량 이상 검출기 ( 90 ) 에 따르 면 , 웨이퍼 ( W ) 의 처리 전 에 액면 센서 ( 94 ) 의 높이 까지 공급 보 틀 ( 91 ) 내 에 처리 액 을 저류 해 두 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 처리 종료 시 에 공급 보 틀 ( 91 ) 내 에 잔존 하 고 있 는 처리 액 의 액면 높이 를 확인 함 으로써 , 적량 의 처리 액 이 웨이퍼 ( W ) 에 공급 되 었 는지 아닌지 를 판단 할 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 잔류 처리 액 의 액면 높이 가 하 한 센서 ( 93 b ) 및 하하 한 센서 ( 93 c ) 사이 에 있 으면 적량 의 처리 액 이 공급 되 었 다고 판단 하 고 , 하 한 센서 ( 93 b ) 보다 도 높 으면 처리 액 의 공급량 이 너무 적 다고 판단 하 며 , 하하 한 센서 ( 93 c ) 보다 낮 으면 처리 액 의 공급량 이 너무 많 다고 판단 한다 . 또한 , 상한 센서 ( 93 a ) 는 공급 보 틀 ( 91 ) 에 처리 액 이 너무 공급 된 경우 를 검지 하 기 위하 여 설치 되 어 있 다 .