CPB 정렬 동안 , 빔 편 향기 는 기준 위치 에 대해 CPB 를 스캔 하 도록 구동 될 수 있 다 . 스캐닝 된 CPB 빔 의 적어도 일부 는 검출기 에 의해 검출 될 수 있 다 . 검출 된 신호 뿐 만 아니 라 빔 을 스캐닝 하 기 위한 대응 하 는 빔 편향 구동 이 정렬 편향 구동 을 결정 하 는 데 에 사용 된다 . 상이 한 시간 에서 의 정렬 들 사이 의 정렬 편향 구동 의 변화 는 빔 드리프트 ( drift ) 또는 빔 오 정렬 ( misalignment ) 을 나타낼 수 있 다 . 교정 편향 ( correction deflection ) 은 정렬 편향 구동 의 변화 에 기초 하 여 결정 될 수 있 고 , 주축 을 따라 CPB 를 재 정렬 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 작업 편향 구동 은 현재 의 작업 편향 구동 에 교정 편향 을 부가 함 으로써 갱신 될 수 있 다 . 이어서 , 빔 편 향기 는 CPB 를 현미경 의 주축 으로 재 정렬 하 기 위해 작업 모드 동안 , 갱신 된 작업 편향 구동 과 함께 공급 될 수 있 다 . 일부 예 들 에서 , 작업 모드 동안 , 재 정렬 된 CPB 는 샘플 에 대해 CPB 를 스캔 하 기 위해 제 2 빔 편 향기 에 의해 편향 될 수 있 다 .