기판 스테이지 ( PST ) 의 이동 에 의해 발생 하 는 반력 ( 反力 ) 은 , 일본 특허 공개 공보 평 8 - 166475 호 ( 및 대응 미국 특허 제 6 , 281 , 654 호 ) 에 기재 되 어 있 는 바 와 같이 , 프레임 부재 를 사용 하 여 기계 적 으로 바닥 ( 대지 ) 으로 빠져나가 도록 해도 된다 . 본 발명 은 , 이 와 같 은 구조 를 구비 한 노광 장치 에 있 어서 도 적용 할 수 있 다 .