또한 , 제 4 실시 형태 에 관련 된 디바이스 제조 시스템 에 있 어서 는 , 도 16 에 나타내 는 구성 을 예 로 들 어 설명 하 였 지만 , 디바이스 제조 시스템 의 설치 장소 등 에 의해 제 1 노광 장치 , 제 2 노광 장치 , 반송 장치 , 코터 디벨로 퍼 장치 및 기판 스톡 실 의 배치 위치 를 자유 롭 게 설계 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 5 에 나타내 는 바 와 같 은 배치 로 해도 된다 .