앞서 설명 한 것 과 같이 본 실시 예 에 따른 박막 봉지 층 ( 130 ) 은 SiNx 를 포함 한다 . 본 실시 예의 박막 봉지 층 ( 130 ) 은 증착 공정 에 의해 형성 될 수 있 다 . 증착 공정 이 진행 되 는 증착 챔버 내 에 는 수소 기체 가 주입 되 기 때문 에 , 증착 공정 이 진행 되 는 동안 SiNx 가 수소 기체 와 반응 한 생성물 이 박막 으로 증착 되 거나 박막 중 에 수소 기체 가 포집 되 는 경우 가 존재 할 수 있 다 . 따라서 SiNx 를 포함 하 는 물질 을 이용 하 여 증착 된 박막 봉지 층 ( 130 ) 은 Si - N 결합 이외 에 도 N - H 결합 , Si - H 결합 및 Si - NH 결합 과 같 은 다양 한 결합 들 이 존재 할 수 있 다 .