상기 조명 광학계 ( 42 ) 를 통과 한 광 은 상기 조명 광학계 ( 42 ) 로부터 소정 거리 이격 되게 배치 되 는 보조 포토 마스크 ( 44 ) 로 입사 할 수 있 다 . 상기 보조 포토 마스크 ( 44 ) 와 상기 광원 ( 40 ) 은 실질 적 으로 콘주게이트 관계 를 유지 하 도록 배치 될 수 있 다 . 상기 보조 포토 마스크 ( 44 ) 는 이동 가능 하 도록 배치 될 수 있 다 . 상기 보조 포토 마스크 ( 44 ) 는 투명 기판 ( 46 ) 및 상기 투명 기판 ( 46 ) 상 에 배치 되 는 투명 층 ( 48 a ) 및 반투명 층 ( 48 b ) 을 구비 한다 . 상기 투명 층 ( 48 a ) 및 상기 반투명 층 ( 48 b ) 은 서로 이웃 하 며 배치 될 수 있 다 . 상기 투명 기판 ( 46 ) 은 투명 한 석영 ( quarts ) 일 수 있 다 . 상기 보조 포토 마스크 ( 44 ) 로 입사 되 는 광 은 상기 투명 층 ( 48 a ) 또는 상기 반투명 층 ( 48 b ) 을 통과 할 수 있 다 . 상기 투명 층 ( 48 a ) 은 투명 한 석영 일 수 있 다 . 상기 반투명 층 ( 48 b ) 은 반투명 의 몰 리브 데 늄 실리사이드 ( MoSi ) 일 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 투명 층 ( 48 a ) 및 상기 반투명 층 ( 48 b ) 이 서로 다른 광 투과율 을 갖 기 때문 에 , 상기 투명 층 ( 48 a ) 을 통과 한 광 의 강도 ( intensity ) 와 상기 반투명 층 ( 48 b ) 을 통과 한 광 의 강도 가 서로 다르 게 나타날 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 투명 층 ( 48 a ) 을 통과 한 광 의 강도 가 상기 반투명 층 ( 48 b ) 을 통과 한 광 의 강 도 보다 클 수 있 다 . 상기 반투명 층 ( 48 b ) 은 위상 반전 층 일 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 반투명 층 ( 48 b ) 을 통과 하 는 광 의 투과율 을 조절 할 수 있 다 . 그 결과 , 상기 반투명 층 ( 48 b ) 은 광 투과율 조절 층 의 역할 을 할 수 있 다 . 상기 반투명 층 ( 48 b ) 은 몰 리브 데 늄 실리사이드 층 및 상기 몰 리브 데 늄 실리사이드 층 상 에 배치 되 는 크롬 층 패턴 들 일 수 있 다 . 이 경우 에 , 상기 크롬 층 패턴 들 은 차광막 역할 을 할 수 있 다 . 상기 위상 반전 층 은 통상 적 으로 약 8 % 의 광 투과율 및 180 도 의 위상 반전 을 위해 설계 될 수 도 있 으나 , 본 발명 은 이 범주 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 상기 몰 리브 데 늄 실리사이드 층 의 두께 및 상기 크롬 층 패턴 들 의 간격 을 변경 하 여 위상 반전 층 을 설계 함 으로써 위상 반전 층 을 통과 하 는 광 의 투과율 및 위상 변경 을 조절 할 수 있 다 .