상기 차광막 을 형성 할 때 에 사용 하 는 금속 모체 로 는 코발트 ( Co ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 텅스텐 ( W ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 크롬 ( Cr ) , 바나듐 ( V ) , 팔라듐 ( Pd ) , 티타늄 ( Ti ) , 니오븀 ( Nb ) , 아연 ( Zn ) , 하프늄 ( Hf ) , 게르마늄 ( Ge ) , 알루미늄 ( Al ) , 플 래 티 늄 ( Pt ) , 망간 ( Mn ) , 철 ( Fe ) , 실리콘 ( Si ) 등 으로 이루어진 군 으로부터 적어도 1 종 이상 을 선택 하 여 단독 으로 또는 화합물 로 사용 한다 .