도 35 는 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 절연 구조물 들 의 HTS ( hot temperature stress ) 특성 을 측정 한 결과 를 나타내 는 그래프 이 다 . 도 35 에 있 어서 , " "" XVIII "" 은 라디칼 산화 공정 ", 열 질화 공정 및 산소 가스 와 염소 가스 를 사용 하 는 산화 공정 을 적용 하 여 형성 된 절연 구조물 의 HTS ( hot temperature stress ) 특성 을 나타내 고 , " "" XIX "" 는 라디칼 산화 공정 ", 질소 어닐링 공정 및 산소 가스 와 염소 가스 를 사용 하 는 산화 공정 을 적용 하 여 형성 된 절연 구조물 의 HTS 특성 을 의미 한다 .