따라서 , 어느 한 부위 즉 , 챔버 프레임 ( 71 ) 상 에 식각 부산물 의 퇴적 이 집중 되 는 종래 예 에서 와 달리 , 이러 한 집중 퇴적 현상 이 해소 되 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에서 는 챔버 의 청정 화 주기 를 더욱 연장 할 수 있 으며 , 이 에 따른 제품 생산 의 수율 및 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 고 , 비용 및 불량 률 을 저감 시킬 수 있 다 .