상기 질소 용해 된 세정 용액 은 탈 이온 수 에 질소 가스 를 공급 하 여 10 ppm 내지 20 ppm 의 농도 를 유지 하 도록 형성 시킬 수 있 다 . 또한 , 상기 질소 용해 된 세정 용액 의 온도 는 상온 상태 ( 25 ℃) 로 유지 시키 고 , 세정 시간 은 5 분 내지 15 분 미만 동안 수행 한다 . 그리고 , 상기 질소 가스 를 용해 시키 는 동안 상기 탈 이 온수 에 메 가 소닉 에너지 가 인가 된다 . 이때 , 상기 세정 용액 이 담긴 용기 전체 는 메가 소닉 에너지 를 전달 할 수 있 는 매개체 로서 외부 로부터 파워 를 인가 하 여 상기 용기 전체 로 메가 소닉 에너지 를 제공 한다 .