특정 실시 예 에서 , 포토 마스크 를 검사 하 기 위한 시스템 은 본 명세서 에 설명 된 기술 을 수행 하 도록 구성 된 적어도 하나 의 메모리 및 적어도 하나 의 프로세서 를 포함 한다 . 검사 시스템 의 한 예 는 캘리포니아주 밀피 타스 의 KLA - Tencor 에서 입수 가능 한 특별히 구성 된 TheronTM 6 XX DUV 검사 시스템 을 포함 한다 .