본 발명 의 일 측면 에 따른 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 에 의하 면 , 바닥 체 에 결합 되 는 슬리브 부재 와 진공 배관 이 연결 된 덮개판 부재 사이 의 기밀 성 이 확보 되 면서 도 , 상기 슬리브 부재 와 상기 덮개판 부재 의 결합 이 간편 하 게 이루어질 수 있 고 , 반도체 디스플레이 제조 설비 가 설치 된 각 층 사이 의 화재 확산 방지 가 가능 할 수 있 으므로 , 그 산업 상 이용 가능 성 이 높 다고 하 겠 다 .