상기 제 2 구동 콤 전극 ( 262 ) 및 제 2 고정 콤 전극 ( 282 ) 은 상기 수직 구동 프레임 ( 260 ) 을 상기 제 2 방향 으로 회동 시키 는 수직 구동 부 를 형성 한다 . 수직 구 동부 에 의해서 수직 구동 프레임 ( 260 ) 이 제 2 방향 으로 회동 시 수직 구동 프레임 ( 260 ) 에 제 2 수평 방향 변형 토션 스프링 ( 265 ) 에 의해 연결 된 보조 프레임 ( 240 ) 도 함께 제 2 방향 으로 회동 되 며 , 따라서 스테이지 ( 300 ) 도 제 2 방향 으로 회동 된다 . 이때 제 2 수평 방향 변형 토션 스프링 ( 265 ) 의 굽 힘 강성 이 크 므로 , 수직 구동 프레임 ( 260 ) 과 보조 프레임 ( 240 ) 은 일체 가 되 어서 제 1 및 제 2 수직 방향 변형 토션 스프링 ( 275 ) 을 중심 으로 수평 방향 으로 회동 된다 . 또한 , 제 1 수직 방향 변형 토션 스프링 ( 245 ) 이 용이 하 게 변형 되 므로 , 보조 프레임 ( 240 ) 의 회전력 은 수평 구동 프레임 ( 220 ) 에 전달 되 지 않 으므로 본 발명 에 따른 2 축 구동 스캐너 는 수평 방향 과 수직 방향 의 주사 가 각각 독립 적 으로 일어난다 .