예컨대 메인 터 넌 스 처리 를 바로 실시 하 고자 하 는 경우 라면 , 그 취지 의 파라미터 정보 를 포함 하 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 에 접수 한다 . 그리고 그 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 접수 시점 에서 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 기판 처리 중 인 웨이퍼 ( 200 ) 에 대해서 상기 기판 처리 를 완료 시키 고 , 그 후 에 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 한다 . 또한 예컨대 복수 로트 에 관한 기판 처리 를 계속 한 후 에 메인 터 넌 스 처리 를 실시 하 고자 하 는 경우 라면 , 그 취지 의 파라미터 정보 를 포함 하 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 에 접수 시킨다 . 그리고 그 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 복수 로트 에 관한 기판 처리 가 완료 될 때 까지 기판 처리 장치 ( 100 ) 에 기판 처리 를 계속 해서 수행 시키 고 , 복수 로트 에 관한 기판 처리 가 완료 된 후 에 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 한다 .