본 발명 의 제 2 양태 에 의하 면 , 에너지 빔 으로 물체 를 노광 하 는 노광 장치 로서 , 상기 물체 를 유지 하 고 , 소정 평면 에 직교 하 는 방향 에 관해서 가동 ( 可動 ) 의 테이블 부재 와 , 상기 테이블 부재 를 비 접촉 으로 지지 하 고 , 상기 소정 평면 에 평행 한 방향 으로 이동하 는 본 체부 를 갖 는 스테이지 어셈블리 와 ; 상기 테이블 부재 가 대향 하 여 배치 되 고 , 상기 소정 평면 과 실질 적 으로 평행 하 게 형성 되 는 그 레이팅 부 와 ; 상기 테이블 부재 에 형성 되 는 복수 의 인코더 헤드 와 , 상기 복수 의 인코더 헤드 각각 과 그 외부 의 구성 부분 사이 에서 , 무선 통신 으로 계 측광 및 / 또는 신호 의 송수신 을 실시 하 는 송수신 장치 를 갖 고 , 상기 그 레이팅 부 에 대향 하 는 적어도 1 개 의 상 기 인코더 헤드 의 출력 에 기초 하 여 , 상기 소정 평면 내 에서 의 상기 테이블 부재 의 위치 정보 를 계측 하 는 계측 장치 를 구비 하 는 노광 장치 가 제공 된다 .