이상 에서 설명 한 바 와 같이 본 발명 에 따른 리튬 2 차 전지 의 음극 활물질 로 사용 되 는 급 냉 응고 실리콘 계 합금 분말 을 제조 하 는 장치 및 방법 은 기지 상 에 실리콘 석출 물 이 균일 하 게 분포 된 100 ㎚ 이하 의 입자 크기 를 가지 는 실리콘 계 합금 분말 을 제조 할 수 있 는 장치 및 방법 을 제공 하 는 효과 가 있 다 . 이 와 같이 본 발명 에 따른 장치 및 방법 을 사용 하 여 리튬 2 차 전지 의 활물질 로서 새롭 게 사용 이 유망 한 실리콘 계 합금 분말 을 대량 으로 생산 할 수 있 는 효과 가 있 다 .