상기 복수 개 의 슬릿 ( 300 ) 을 통과 한 이온 빔 은 도 4 에 도시 한 바 와 같이 반사체 ( 400 ) 에서 반사 되 어 중성 빔 으로 변환 된 후 웨이퍼 ( 미 도시 ) 로 입사 되 어 웨이퍼 의 대상 막 질 을 식각 하 게 되 는데 , 상기 반사체 ( 400 ) 는 상기 그리드 ( 200 ) 의 길 이 방향 에 직각 으로 위치 하 여 중성 빔 의 직진 성 을 유지 하 도록 한다 .