기판 처리 장치 는 , 제 1 분기 부 로부터 제 1 약액 노즐 에 처리 액 을 안내 하 는 제 1 공급 배관 과 , 제 1 분기 부 로부터 탱크 에 처리 액 을 안내 하 는 제 1 리턴 배관 과 , 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 이 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 보다 커 지 도록 압력 손실 을 규정 하 는 제 1 압력 손실 규정 유닛 과 , 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 크 게 하 여 , 공통 배관 으로부터 제 1 공급 배관 에 처리 액 을 흐르 게 하 는 제 1 토출 실행 상태 와 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 작 게 하 여 , 공통 배관 으로부터 제 1 리턴 배관 에 처리 액 을 흐르 게 하 는 제 1 토출 정지 상태 로 전환 되 는 제 1 토출 밸브 를 구비 한다 .