연마 입자 는 흄 드 실리카 , 콜로 이달 실리카 , 알루미늄 으로 도핑 된 실리카 , 흄 드 알루미나 , 콜로 이달 알루미나 , 세륨 옥사이드 , 세리아 - 실리카 복합 입자 , 티탄 디 옥사이드 , 지르코늄 옥사이드 , 폴리스티렌 , 폴리 메틸 메타크릴 레이트 , 운모 , 수화 된 알루미늄 실리케이트 , 및 이 들 의 혼합물 을 포함 하 지만 이 로 제한 되 지 않 는 , 광범위 한 입자 로부터 선택 될 수 있 다 . 연마 입자 는 세리아 - 실리카 복합 입자 및 콜로 이달 실리카 입자 둘 다를 포함 할 수 있 다 .