이 와 같 은 ＩＤ 용 반송 기구 ( ＴＩＤ ) 의 동작 은 , 제 1 컨트롤러 ( 93 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 . 이 에 의해 , 카세트 ( Ｃ ) 의 기판 ( Ｗ ) 을 계층 ( Ｋ １ ) 에 보냄 과 아울러 , 계층 ( Ｋ １ ) 으로부터 꺼내 진 기판 ( Ｗ ) 을 카세트 ( Ｃ ) 에 수용 한다 . 마찬가지 로 , 카세트 ( Ｃ ) 의 기판 ( Ｗ ) 을 계층 ( Ｋ ３ ) 에 보냄 과 아울러 , 계층 ( Ｋ ３ ) 으로부터 꺼내 진 기판 ( Ｗ ) 을 카세트 ( Ｃ ) 에 수용 한다 .