상기 설명 한 실시 예 에서 는 , 높이 보상 을 주사 간섭계 신호 의 변경 에 의해 달성 했 지만 , 모델 신호 뿐 만 아니 라 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 를 모두 변경 할 수 도 있 다 . 그러나 , 이러 한 변경 은 , 간섭계 신호 와 모델 신호 의 비교 가 공통 의 표면 높이 와 연관 된 신호 에 기초 하 여야 한다 . 예 를 들 어 , 모델 내 에서 전파 된 광로 길이 는 , 간섭계 의 광로 길이 에 맞 도록 조절 되 고 , 간섭계 에서 의 제로 OPD 와 모델 은 측정 광 및 검사 광과 동일 한 조건 에 기초 한다 .