제 1 및 제 2 활성 콘 택 패턴 들 ( ACP 1 , ACP 2 ) 이 제 1 층간 절 연막 ( 135 ) 및 갭 필 절 연막 ( 133 ) 을 관통 하 여 제 1 소오 스 및 드레 인 패턴 들 ( 130 a ) 에 접속 될 수 있 다 . 제 1 및 제 2 활성 콘 택 패턴 들 ( ACP 1 , ACP 2 ) 이 제 1 소오 스 및 드레 인 패턴 들 ( 130 a ) 일부분 내 에 배치 될 수 있 으며 , 제 1 및 제 2 활성 콘 택 패턴 들 ( ACP 1 , ACP 2 ) 과 제 1 소오 스 및 드레 인 패턴 들 ( 130 a ) 사이 에 금속 실리사이드 막 ( 114 ) 이 형성 될 수 있 다 .