다층 배선 형성 부 ( 70 ) 는 , 예 를 들 어 트랜지스터 ( 60 ) 에 가까운 쪽 으로부터 순서 대로 적층 된 층간 절 연막 ( 71 ) , 층간 절 연막 ( 72 ) , 층간 절 연막 ( 73 ) , 층간 절 연막 ( 74 ) 에 배선 ( 70 A ) 이 마련 된 것 이 다 . 배선 ( 70 A ) 은 , 금속 막 M 1 ', 금속 막 M 2 ', 금속 막 M 3 ', 금속 막 M 4 ' 및 금속 막 M 5 ' 와 , 이 들 을 접속 하 는 비아 V 1 ', V 2 ', V 3 ', V 4 ', V 5 ' 로 구성 되 어 있 다 . 여기 서 , 금속 막 M 1 ', 금속 막 M 2 ', 금속 막 M 3 ', 금속 막 M 4 ' 및 금속 막 M 5 ' 는 , 각각 층간 절 연막 ( 71 ) , 층간 절 연막 ( 72 ) , 층간 절 연막 ( 73 ) 및 층간 절 연막 ( 74 ) 에 매설 되 어 있 다 . 또한 , 금속 막 M 1 ' 와 금속 막 M 2 ' 는 , 층간 절 연막 ( 71 ) 을 관통 하 는 비아 V 1 ' 에 의해 접속 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 금속 막 M 2 ' 와 금속 막 M 3 ' 는 층간 절 연막 ( 72 ) 을 관통 하 는 비아 V 2 ' 에 의해 접속 되 어 있 다 . 금속 막 M 3 ' 와 금속 막 M 4 ' 는 층간 절 연막 ( 73 ) 을 관통 하 는 비아 V 3 ' 에 의해 접속 되 어 있 다 . 금속 막 M 4 ' 와 금속 막 M 5 ' 는 층간 절 연막 ( 74 ) 을 관통 하 는 비아 V 4 ' 에 의해 접속 되 어 있 다 . 상술 한 바 와 같이 , 배선 ( 70 A ) 은 , 그 금속 막 M 1 ' 와 접하 는 접속 부 ( 68 B ) 및 접속 부 ( 68 C ) 를 사이 에 두 고 , 각각 트랜지스터 ( 60 ) 의 드레 인 영역 및 소스 영역 인 확산 층 ( 62 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 도 7 에 도시 된 다층 배선 형성 부 ( 70 ) 의 구성 은 일례 이 며 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .