제 1 번 째 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 을 묘화 할 때 에 는 , XY 스테이지 ( 105 ) 를 - x 방향 으로 일정 속도 로 연속 적 으로 이동 시킴 으로써 , 상대 적 으로 + x 방향 으로 기판 ( 101 ) 의 묘화 를 행한다 . 제 1 번 째 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 의 묘화 종료 후 , XY 스테이지 ( 105 ) 는 정지 한다 . 이어서 , 스테이지 위치 를 스트라이프 폭 만큼 - y 방향 으로 이동 시켜 , 제 2 번 째 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 의 우단 에 빔 어레이 ( 34 ) 가 위치 하 도록 조정 한다 . 이어서 , XY 스테이지 ( 105 ) 를 + x 방향 으로 일정 속도 로 연속 적 으로 이동 시킴 으로써 , - x 방향 을 향해 기판 ( 101 ) 의 묘화 를 행한다 .