상기 언 로딩 부 ( 420 ) 는 상기 지지 유닛 ( 100 ) 의 일 측 에 구비 되 며 , 상기 로딩 부 ( 410 ) 와 이격 된다 . 일 예 로 , 상기 언 로딩 부 ( 420 ) 는 상기 로딩 부 ( 410 ) 와 상기 Y 축 방향 을 따라 이격 될 수 있 다 . 상기 언 로딩 부 ( 420 ) 는 상기 칩 들 ( 20 ) 이 픽업 된 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 이 적재 하 는 제 2 카세트 ( 32 ) 를 지지 한다 .