또한 , 다음 과 같 은 방법 으로 90 % 제거 예측 수명 및 80 % 제거 예측 수명 을 평가 하 였 다 . 즉 , 90 % 제거 예측 수명 및 80 % 제거 예측 수명 은 입 구 필터 ( 40 ) 또는 내부 필터 ( 50 ) 를 통과 하 기 전 의 기체 중 에 있 어서 의 PGMEA 또는 아세트산 의 농도 Ci 를 100 % 로 한 경우 에 있 어서 , 사용 에 따른 해당 입구 필터 ( 40 ) 또는 내부 필터 ( 50 ) 의 제거 성능 이 저하 함 으로써 , 해당 입구 필터 ( 40 ) 또는 내부 필터 ( 50 ) 를 통과 한 후 의 대상 기체 중 에 잔존 하 고 있 는 PGMEA 또는 아세트산 의 농도 Co 가 상승 해서 각각 10 % 및 20 % 로 될 때 까지 의 사용 시간 ( PGMEA 또는 아세트산 의 제거 율 이 90 % 및 80 % 로 저하 할 때 까지 의 사용 시간 ) 으로서 평가 하 였 다 . 구체 적 으로 는 90 % 제거 예측 수명 및 80 % 제거 예측 수명 은 전술 한 측정 조건 에 가해서 , 입구 필터 ( 40 ) 및 내부 필터 ( 50 ) 에 있 어서 의 기체 의 정화 에 유효 한 표면 적 , PGMEA 및 아세트산 의 물질 이 동계수 등 을 이용 하 고 , Fick 의 법칙 을 따른 확산 현상 의 이론 모델 식 에 의거 하 여 , 차분법 에 의한 수치 해석 에 의해 산출 하 였 다 . 한편 , PEGMEA 및 아세트산 의 제거율 ( %) 은 하 기 의 식 ( I ) 에서 의해 구하 였 다 :