광 변위 센 서부 ( 230 ) 는 , 스핀 베이스 구 조체 ( 100 ) 에 설치 되 고 연마 중 인 웨이퍼 의 두께 를 레이저 를 이용 하 여 측정 하 는 수단 으로서 , 플 래 튼 의 투광 성 윈도우 에 위치 된 상태 에서 웨이퍼 를 향해 레이저 광 을 조사 시키 는 광원 과 , 상기 광원 에서 발생 된 레이저 광 을 웨이퍼 의 연마 대상 면 으로 반사 하 는 반사 수단 과 , 상기 윈도우 를 투과 하 여 웨이퍼 에 입사 된 후 반사 되 는 반사광 을 감지 하 는 수 광센서 와 , 상기 수 광센서 로부터 반사 되 는 레이저 광 을 토대 로 웨이퍼 의 두께 값 을 계산 하 는 데이터 처리 모듈 을 포함 한다 .