스퍼터링 에 의해 180 ㎚ 의 두께 로 막 제조 한 ITO 를 150 ㎚ 까지 연마 한 , 26 ㎜ × 28 ㎜ × 0 . 7 ㎜ 의 유리 기판 ( ( 주 ) 옵 토 사이언스 제조 ) 을 투명 지지 기판 으로 했 다 . 이 투명 지지 기판 을 시판 되 는 증착 장치 ( 진공 기공 ( 주 ) 제조 ) 의 기판 홀더 에 고정 하 고 , HI 를 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , NPD 를 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , 화합물 ( A ) 를 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , 화합물 ( B ) 를 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , 본원 발명 의 화합물 ( 1 - 6 ) 을 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , 퀴놀리놀리튬 ( Liq ) 을 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 , 마그네슘 을 넣 은 몰리브덴 제 증착 용 보트 및 은 을 넣 은 텅스텐 제 증착 용 보트 를 장착 했 다 .