본 발명 은 상기 한 점 을 감안 하 여 이루어진 것 으로 , 기판 의 주연 부 에 절 결 이 있 는 기판 을 포크 에 의해 유지 하 여 , 반송 할 때 에 기판 위치 의 어긋남 량 을 정밀 도 좋 게 검출 할 수 있 어 , 그 어긋남 량 을 용이 하 게 보정 할 수 있 고 , 포크 , 기판 또는 센서 의 상태 를 동시 에 확인 하 여 보정 할 수 있 는 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 을 제공 한다 .