또한 , 각각 이 상류 경사 연마 유닛 ( 256 A ) 의 테이프 기부 상 에 고정 된 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 를 사용 하 여 웨이퍼 를 연마 하 고 , 슬러리 ( 즉 , 연마 결정 ) 를 하 류 경사 유닛 ( 256 B ) 내 의 웨이퍼 로 공급 하 면서 테이프 형 천 을 사용 하 여 웨이퍼 를 연마 하 는 것 이 가능 하 다 . 또한 , 하류 경사 연마 유닛 ( 256 B ) 내 에서 연속 적 으로 , 연마 테이프 의 연마 결정 에 의해 웨이퍼 를 연마 하 고 , 슬러리 에 의해 웨이퍼 를 연마 하 고 , 연마 핸드 중 하나 에 부착 된 테이프 형 세 척 천 에 의해 웨이퍼 를 세척 하 는 것 도 가능 하 다 .