p + 실리콘 층 ( 420 ) 의 형성 에 이어 , 실리사이드 형성 금속 층 ( 422 ) 이 p + 실리콘 층 ( 420 ) 상 에 증착 된다 . 바람직 한 실리사이드 - 형성 금속 들 은 스퍼터 또는 아니면 증착 된 티탄 또는 코발트 를 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 실리사이드 형성 금속 층 ( 422 ) 은 약 10 내지 약 200 옹스트롬 , 바람직 하 게 는 약 20 내지 약 50 옹스트롬 , 더 바람직 하 게 는 약 20 옹스트롬 의 두께 를 갖 는다 . 이외 실리사이드 형성 금속 층 물질 들 및 / 또는 두께 들 이 사용 될 수 있 다 .