리프트 핀 ( 200 ) 은 기판 지지 부 ( 100 ) 에 안착 된 기판 을 승강 시키 는 역할 을 수행 한다 . 기판 지지 부 ( 100 ) 의 관통 홀 ( H 1 ) 에 의해 정전 퍽 ( 120 ) 의 지지 면 에 개구 가 형성 되 는데 , 개구 를 통해 리프트 핀 ( 200 ) 이 돌출 되 거나 삽입 되 어 기판 을 승강 시킬 수 있 는 것 이 다 . 도시 되 어 있 지 는 않 으나 , 관통 홀 ( H 1 ) 을 따라 리프트 핀 ( 200 ) 을 승강 시키 는 구동 부 ( 미 도시 ) 가 구비 될 수 있 다 .