한편 , 트렌치 ( 103 ) 는 X 축 방향 으로 만 형성 할 수 있 다 . 이 경우 , Y 축 방향 으로 는 하드 마스크 ( 102 A ) 와 완충 막 ( 101 A ) 만 을 식각 한다 . 그 방법 은 전술 한 바 와 같이 2 개 의 식각 마스크 를 이용 한다 . 예컨대 , X 축 방향 으로 신장 된 라인 형태 의 개구부 를 갖 는 식각 마스크 를 이용 하 여 트렌치 ( 103 ) 를 형성 한 후 , Y 축 방향 으로 신장 된 라인 형태 의 개구부 를 갖 는 식각 마스크 를 이용 하 여 Y 축 방향 으로 하드 마스크 ( 102 A ) 와 완충 막 ( 101 A ) 만 을 식각 한다 .