열처리 챔버 ( 3200 ) 는 복수 개 로 제공 된다 . 열처리 챔버 들 ( 3200 ) 은 제 1 방향 ( 12 ) 을 따라 나열 되 게 배치 된다 . 열처리 챔버 들 ( 3202 ) 은 반송 챔버 ( 3400 ) 의 일 측 에 위치 된다 . 열처리 챔버 들 ( 3202 ) 중 인덱스 모듈 ( 20 ) 에 가장 인접 하 게 위치 되 는 열처리 챔버 는 액 처리 챔버 ( 3600 ) 에 기판 을 반송 하 기 전 에 기판 을 열처리 하 고 , 그 외 의 열처리 챔버 는 액 처리 챔버 ( 3600 ) 에서 액 처리 된 기판 을 열처리 한다 . 본 실시 예 에 는 인덱스 모듈 ( 20 ) 에 가장 인접 하 게 위치 되 는 열처리 챔버 를 전단 열처리 챔버 로 정의 한다 .