포토레지스트 필름 을 제거 하 는 대안 적 인 방법 은 플라스마 애 싱 으로 알려진 공정 에서 기판 으로부터 레지스 트 필름 을 연소 시키 기 위해 포토레지스트 코팅 된 기판 을 산소계 플라스마 에 노출 시키 는 단계 를 수반 한다 . 그러나 플라스마 애 싱 은 또한 상기 언급 된 플라스마 에칭 부산물 을 제거 하 는 데 충분히 효과 적 이 지 는 않 다 . 대신 , 이 들 플라스마 에칭 부산물 의 제거 는 전형 적 으로 , 처리 된 금속 및 유전체 박막 을 특정 세정 용액 에 후속 적 으로 노출 시킴 으로써 달성 된다 .