본 발명 은 , 이러 한 사정 하 에 이루어진 것 으로 , 장치 의 점유 면적 의 증대 를 억제 하 면서 , 기판 반송 유닛 에 대한 처리 , 기판 에 대한 처리 및 , 기판 의 대기 를 행하 는 부속 모듈 을 추가 할 수 있 는 진공 처리 장치 , 이 진공 처리 장치 를 사용 한 진공 처리 방법 및 , 이 진공 처리 방법 을 당해 진공 처리 장치 에 실행 시키 는 프로그램 을 기억 한 컴퓨터 가독 기억 매체 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .