또한 , 상기 소수 화 공정 은 상기 소수 화제 의 액체 를 상기 기판 에 공급 하 는 공정 을 포함 하 고 있 어도 좋 고 , 기판 처리 방법 은 상기 소수 화 공정 이 행하 여진 후 로서 상기 건조 공정 이 행하 여 지 기 전 에 , 상기 소수 화제 를 용해 시킬 수 있 고 , 또한 물 보다 표면장력 이 작 은 용제 를 상기 기판 에 공급 하 는 건 조 전 ( 前 ) 린스 공정 을 더 포함 하 고 있 어도 좋 다 .