디스플레이 및 반도체 진공 장비 전문 업체 ATS 엔지니어링 ( 대표 김경수 ) 은 전 세계 최초 로 11 세대 이상 의 LCD 와 태양광 용 주요 장비 에 적용 이 가능 한 진공 게이트 밸브 ( Vacuum Gate Valve ㆍ 사진 ) 의 개발 을 완료 하 고 국내 장비 기업 에 시험 공급 했 다고 29 일 밝혔 다 . 진공 게이트 밸브 는 LCD ㆍ유기발광다이오드 ( OLED ) ㆍ태양광패널 주요 생산 공정 인 식각 및 증착 이 이뤄지는 진공 챔버 의 밀폐문 이 다 . 진공 게이트 밸브 는 공정 의 안정 성 을 위해 밀폐 성 ㆍ내화학성ㆍ내플라즈마성이 높 아야 하 며 미세 공정 에 부응 하 기 위해 구동 중 미세먼지 생 성 이 억제 돼야 한다 . 특히 초대면 적 화 가 요구 되 고 있 는 LCD 패널 업체 의 수요 에 대응 하 기 위해 초대 형 ( 4000 mm ) 크기 의 문 이 10 초 이내 의 빠른 속도 로 열리 고 닫 혀야 해 높 은 기술 수준 이 요구 된다 . 김경수 ATS 엔지니어링 대표 는 " 이번 초대 형 진공 게이트 밸브 의 개발 을 계기 로 내년 부터 LCD ㆍ OLED ㆍ태양광 등 으로 적용 범위 를 확대 할 계획 " 이 라며 " 합리 적 인 가격 과 빠른 고객 서비스 로 전방 산업 의 부품 국산화 에 일조 하 겠 다 " 고 말 했 다 . 이홍석 기자 redstone @ < Copyrights ⓒ 디지털 타임스 & dt . co . kr , 무단 전재 및 재 배포 금지 > 이홍석 redstone @