이 에 따라 , 기판 ( 100 ) 상 에 상기 제 1 및 제 2 게이트 구조물 들 , 제 2 절연 패턴 ( 164 ) , 및 식각 저지 패턴 ( 174 ) 을 커버 하 는 제 1 층간 절 연막 ( 180 ) 을 형성 한 후 , 기판 ( 100 ) 의 제 1 영역 ( I ) 상 의 제 1 층간 절 연막 ( 180 ) 일부 를 제거 하 여 기판 ( 100 ) 의 제 1 영역 ( I ) 을 노출 시키 는 제 1 개 구 ( 192 ) 를 형성 하 고 , 기판 ( 100 ) 의 제 2 영역 ( II ) 상 의 제 1 층간 절 연막 ( 180 ) 일부 를 제거 하 여 기판 ( 100 ) 의 제 2 영역 ( II ) 을 노출 시키 는 제 2 개 구 ( 194 ) 를 형성 할 수 있 다 .