프레임 ( 100 ) 은 반송 로봇 이 피 처리 기판 ( 20 ) 을 제 1 스테이지 ( 400 a ) 에 갖 다 놓 거나 또는 제 1 스테이지 ( 400 a ) 로부터 피 처리 기판 ( 20 ) 을 가지 고 나올 수 있 도록 회전 부재 ( 300 ) 에 의해 제 1 스테이지 ( 400 a ) 가 상부 에 위치 하 도록 회전 된다 . 그리고 , 프레임 ( 100 ) 은 반송 로봇 이 피 처리 기판 ( 20 ) 을 제 2 스테이지 ( 400 b ) 에 갖 다 놓 거나 또는 제 2 스테이지 ( 400 b ) 로부터 피 처리 기판 ( 20 ) 을 가지 고 나올 수 있 도록 회전 부재 ( 300 ) 에 의해 제 2 스테이지 ( 400 b ) 가 상부 에 위치 하 도록 회전 된다 . 그리고 , 검사 단계 에서 는 작업자 가 피 처리 기판 ( 20 ) 을 다양 한 각도 에서 용이 하 게 관찰 할 수 있 도록 회전 부재 ( 300 ) 에 의해 경사지 게 회전 될 수 있 다 .