그리고 , 희생 막 패턴 ( 105 ) 과 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 103 ) 및 식각 정지 막 패턴 ( 104 ) 은 친수성 표면 을 갖 는다 . 때문 에 , 이 들 의 표면 에 - OH 기 가 쉽 게 흡착 한다 . 이 - OH 기 는 대기 중 으로부터 희생 막 패턴 ( 105 ) 과 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 103 ) 및 식각 정지 막 ( 104 ) 에 흡착 되 어 존재 한다 .