테이프 공급 및 회수 기구 ( 142 ) 는 도 26 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 141 ) 위 에 위치 되 는 것 을 제외 하 면 테이프 공급 및 회수 기구 ( 2 A , 2 B , 2 C , 2 D ) 와 동일 한 구조 를 갖 는다 . 특히 , 이러 한 테이프 공급 및 회수 기구 ( 142 ) 는 분할 벽 ( 20 ) 의 상부 표면 에 장착 된다 . 테이프 공급 및 회수 기구 ( 142 ) 는 연마 테이프 ( 23 ) 를 연마 헤드 ( 141 ) 에 공급 하 기 위한 공급 릴 ( 143 ) 과 연마 헤드 ( 141 ) 로부터 연마 테이프 ( 23 ) 를 회수 하 기 위한 회수 릴 ( 144 ) 을 포함 한다 . 테이프 공급 및 회수 기구 ( 142 ) 가 이러 한 위치 에 위치 되 기 때문 에 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 에 대한 보수 유지 작업 이 방해 되 지 않 는다 . 도 26 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 141 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 경사 부분 에 대해 연마 테이프 ( 23 ) 를 가압 하 도록 구성 된 가압 기구 ( 145 ) 와 , 연마 테이프 ( 23 ) 를 송출 하 도록 구성 된 테이프 송출 기구 ( 146 ) 를 갖 는다 . 가압 기구 ( 145 ) 는 제 1 실시 예 에 따른 가압 기구 ( 41 ) 와 동일 하 다 ( 도 5 참조 ) .