자기 조직 화 리소그래피 에 있 어서 도 , 러프 니스 및 발현 되 는 결함 의 최소 주기 라고 하 는 것 이 일반 적 으로 존재 하 며 , 여기 에 맞추 는 형태 로 제 1 사이즈 를 임의 로 설정 하 는 것 이 적합 하 다 . 제 2 사이즈 는 제 1 내지 제 3 실시 형태 와 마찬가지 로 , 검사 에 사용 하 는 전자 빔 의 빔 직경 정도 로 하 는 것 이 적합 하 다 . 이 와 같이 함 으로써 , 에지 의 선예도 를 손상 시키 지 않 고 노이즈 만 을 필터링 에 의해 경감 하 여 , 고정 밀도 의 윤곽 의 추출 이 가능 하 게 되 므로 , 고정 밀도 의 결함 검출 이 가능 하 게 된다 .