본 발명 의 기술 적 사상 의 반도체 제조 장치 는 기판 컨테이너 이송 시스템 으로 이송 되 고 일 측 에 도어 를 가지 는 기판 컨테이너 가 안착 되 는 로드 포트 를 포함 하 고 , 상기 기판 컨테이너 내부 로 퍼지 가스 를 공급 하 는 퍼지 가스 공급 부 가 연결 된 로드 모듈 ; 상기 로드 모듈 의 일 측 에 위치 하 고 상기 기판 컨테이너 의 도어 에 대응 하 게 기판 유출 입 구 , 및 상기 기판 유출 입구 의 반대 측 에 설치 된 기판 유출 입 도어 를 가지 는 아이 솔 레 이 션 챔버 와 , 상기 아이 솔 레 이 션 챔버 내 에 상기 기판 컨테이너 의 도어 를 열 고 닫 을 수 있 게 설치 된 도어 잠금 장치 를 포함 하 는 아이 솔 레 이 션 모듈 ; 상기 아이 솔 레 이 션 챔버 와 연결 되 는 로드 락 챔버 , 상기 로드 락 챔버 내 에 위치 한 제 1 이송 로봇 , 및 상기 로드 락 챔버 내 에 상기 기판 이 탑재 될 수 있 는 기판 스테이지 를 포함 하 는 로드 락 모듈 ; 상기 로드 락 챔버 와 연결 된 이송 챔버 , 및 상기 이송 챔버 내 에 위치 한 제 2 이송 로봇 을 포함 하 는 이송 모듈 ; 및 상기 이송 모듈 과 연결 된 공정 챔버 를 포함 하 는 공정 모듈 을 구비 한다 .