제 2 액 막 ( F 2 ) 의 중앙부 에 기체 가 분사 되 면 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 에 포함 되 는 제 2 액체 가 기체 의 압력 으로 인해 외방 으로 밀린다 . 더욱 , 기체 의 공급 에 의해서 제 2 액체 의 증발 이 촉진 된다 . 이 로 인해 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 중앙부 의 두께 가 감소 하 고 , 도 7 d 및 도 8 b 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 중앙부 에 거의 원형 의 구멍 ( H ) 이 형성 된다 ( 구멍 형성 공정 ( S 9 ) ) . 구멍 ( H ) 은 기판 ( W ) 의 상면 을 노출 시키 는 노출 구멍 이 다 . 구멍 ( H ) 형성 을 위해서 , 기체 노즐 ( 42 ) 에서 토출 되 는 기체 의 유량 은 예 를 들 어 5 L / min 이 다 .