데이터 종별 마다 의 중요 도 테이블 데이터 는 , 도 6 에 도시 하 는 테이블 이 며 , 데이터 종별 마다 의 중요도 가 설정 된 테이블 데이터 이 다 . 도 6 에서 는 , 중요도 를 1 , 2 , 3 , … N ( N 은 자연수 ) 으로 나타내 고 , 중요도 는 , 자연수 의 작 은 값 이 중요 도 높 음 으로 설정 되 어 있 다 . 예 를 들 어 , 알람 데이터 나 , 프로세스 데이터 등 의 , 장치 의 가동 이나 , 기판 처리 에 영향 이 있 는 데이터 종별 은 중요 도 높 음 으로 설정 되 어 있 다 . 장치 가동 데이터 , 정기 점검 데이터 등 , 상시 확인 할 필요 가 없 는 데이터 종별 은 , 중요 도 낮 음 으로서 설정 된다 . 또한 , 이 중요도 는 , 기판 처리 장치 의 유저 나 , 기판 처리 시스템 의 유저 에 의해 적절히 설정 변경 이 가능 하 게 구성 된다 .