기판 에 공급 되 는 소수 화제 는 소수 화제 의 액체 이 어도 좋 고 , 소수 화제 의 증기 가 어도 좋 다 . 마찬가지 로 , 기판 에 공급 되 는 제 1 용제 는 제 1 용제 의 액체 이 어도 좋 고 , 제 1 용제 의 증기 이 어도 좋 다 . 소수 화제 의 증기 는 소수 화제 가 기화 한 것 이 어도 좋 고 , 소수 화제 의 액적 과 이 액적 을 운반 하 는 캐리어 가스 ( 예 를 들 면 , 질소 가스 등 의 불활성 가스 ) 를 포함 하 는 혼합 유체 이 어도 좋 다 . 제 1 용제 의 증기 에 대하 여도 마찬가지 이 다 .