또한 , 하나 의 웨이퍼 ( 1 ) 의 가공 중 에 , 가공 이송 위치 의 변화 에 따라 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 두께 ( T 1 ) 및 / 또는 척 테이블 ( 43 ) 의 유지 면 ( 43 a ) 의 높이 가 변화 하 는 경우 도 있 을 수 있 다 . 이러 한 경우 에 는 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 두께 측정 수단 ( 16 ) 및 상면 높이 측정 수단 ( 17 ) 에 의해 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 두께 ( T 1 ) 및 웨이퍼 ( 1 ) 의 상면 ( US ) 의 높이 를 측정 하 고 , 측정 결과 에 따라 집광 렌즈 ( 183 ) 의 높이 위치 ( Defocus ) 를 미 조정 하 여도 좋 다 .