도 9 f 를 참조 하 면 , 이동판 부 ( 150 ) 와 기판 ( 100 ) 사이 에 존재 하 는 희생 막 ( 121 ) 을 제거 한다 . 희생 막 ( 121 ) 은 이동판 부 ( 150 ) 에 형성 된 다수 의 홀 ( 미 도시 ) 을 이용 하 여 식각 제거 된다 . 희생 막 ( 121 ) 이 제거 됨 으로써 , 이동판 부 ( 150 ) 는 기판 으로부터 소정 간격 이격 되 어 상하 운동 을 할 수 있 게 된다 . 한편 , 이동판 부 ( 150 ) 는 이동판 부 ( 150 ) 의 양측 부 와 연결 된 지지대 메탈 ( 112 ) 및 지지 돌출부 ( 141 ) 를 통해 기판 ( 100 ) 과 소정 간격 이격 되 면서 지지 된다 .