그 후 , 히트 롤러 ( 6 ) 를 소정 온도 로 가열 하 여 , 척 테이블 ( 2 ) 의 유지 면 ( 2 a ) 의 일단 에 상기 히트 롤러 ( 6 ) 를 놓 는다 . 그리고 , 히트 롤러 ( 6 ) 를 회전 시켜 , 상기 일단 으로부터 타단 까지 척 테이블 ( 2 ) 상 에서 히트 롤러 ( 6 ) 를 굴린다 . 그렇게 하 면 , 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 가 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 열 압착 된다 . 이때 , 히트 롤러 ( 6 ) 에 의해 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 를 밀 어 내리 는 방향 으로 힘 을 인가 하 면 , 대기압 보다 큰 압력 으로 열 압착 이 실시 된다 . 또한 , 히트 롤러 ( 6 ) 의 표면 을 불소 수지 로 피복 하 는 것 이 바람직 하 다 .