유기 용제 를 포함 하 는 린스 액 으로서 유기 용제 를 포함 하 는 일반 적 인 용액 은 레지스 트 패턴 을 용해 시키 지 않 고 현상액 의 비중 보다 큰 비중 을 갖 는 것 이 면 사용 될 수 있 다 . 린스 액 으로서 는 탄화수소 용제 , 케톤 용제 , 에스테르 용제 , 알콜 용제 , 아미드 용제 및 에테르 용제 중 으로부터 선택 되 는 적어도 하나 의 유기 용제 를 포함 하 는 린스 액 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 보다 바람직 하 게 는 린스 액 은 에스테르 용제 및 에테르 용제 중 으로부터 선택 되 는 적어도 하나 의 유기 용제 를 포함 한다 . 더욱 바람직 하 게 는 린스 액 은 에테 를 용제 를 포함 한다 .