즉 , 기판 을 수납 할 경우 에 는 , 로봇 암 ( 34 ) 을 수납 하 고자 하 는 위치 의 백 선반 프레임 ( 16 ) 보다 위 로 이동 시킨 다음 , 카세트 ( 10 ) 내 로 전진 하 여 해당 백 선반 프레임 ( 16 ) 상 에 기판 ( 40 ) 을 로딩 한다 . 이러 한 이재 동작 은 제 1 반사판 ( 17 a ) 과 위치 감지 센서 ( 35 ) 를 통해 체크 한 후 수행 될 것 이 다 .