구체 적 으로 는 , 포토 마스크 의 제조 시 , 우선 , 도 5 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같 은 포토 마스크 블랭크 ( 50 ) 를 준비 한다 . 상기 포토 마스크 블랭크 ( 50 ) 는 , 유리 등 으로 이루어지 는 투명 기판 ( 51 ) 상 에 , 림 형성 막 ( 52 ) 과 차광막 ( 53 ) 이 이 순서 대로 형성 되 어 있 고 , 또한 제 1 포토레지스트 막 ( 여기 서 는 포지티브 형 ) ( 54 ) 이 도포 된 것 으로 할 수 있 다 .