도 5 g 를 참조 하 면 , 제 2 커버 희생 층 ( 도 5 f 의 SCL 2 ) 을 이방성 식각 하 여 , 제 3 홈 ( GR 3 ) 의 적어도 일부분 을 채우 는 제 2 커버 희생 층 ( SCL 2 ) 의 일부분 인 제 1 커버 층 ( CVL 1 ) 을 형성 한다 . 채널 홀 ( CHH ) 내 에서 복수 의 제 1 커버 층 ( CVL 1 ) 은 , 제 3 방향 ( Z 방향 ) 으로 서로 이격 되 는 링 형상 을 가질 수 있 다 .