이때 , 상기 금속 배선 을 형성 하 기 위한 노광 및 현상 공정 전 에 웨이퍼 의 가장자리 에 존재 하 는 구슬 모양 의 감광막 을 제거 하 기 위하 여 EBR 공정 을 진행 하 고 , 상기 EBR 공정 으로 발생 하 는 가장자리 의 두꺼운 감광막 과 웨이퍼 의 방향 을 나타내 기 위하 여 둥근 형태 의 웨이퍼 일부분 을 잘라 내 어 형성 시킨 플랫 존 지역 ( Flat zone ) 의 감광막 이 제거 되 도록 WEE 공정 을 진행 한다 .