구성 단위 ( a 4 ) 로 는 , 예 를 들 어 산 비 해리 성 의 지방족 고리 형기 를 포함 하 는 아크릴산 에스테르 로부터 유도 되 는 구성 단위 등 이 바람직 하 다 . 그 고리 형기 는 , ArF 엑 시머 레이저 용 , KrF 엑 시머 레이저 용 ( 바람직 하 게 는 ArF 엑 시머 레이저 용 ) 등 의 레지스 트 조성물 의 수지 성분 에 사용 되 는 것 으로서 종래 부터 알려져 있 는 다수 의 것 이 사용 가능 하 다 .