다음 으로 , 도 3 f 에 도시 한 바 와 같이 , ALD 에 의해 반사막 ( 1 b ) 의 표면 에 보호막 ( 5 ) 을 형성 한다 . 도면 제작 의 경우 상 , 도 3 f 에서 는 와이어 ( 4 ) 의 표면 에 보호막 ( 5 ) 이 도시 되 어 있 지 않 지만 , 본 실시 형태 에서 는 실제 는 , 반사막 ( 1 b ) 을 개재 하 여 , 와이어 ( 4 ) 의 표면 에 도 보호막 ( 5 ) 이 형성 되 어 있 다 .