이러 한 능동 구동 형 구조 는 다양 하 게 변형 가능 한 데 , 도 16 은 그 일 예 로서 , 도 15 에서 패 시베이 션 층 ( 18 ) 으로 제 2 층 ( 22 ) 을 사용 하 는 대신 , 저 굴절 율 의 MSQ ( methylsilsesquioxane ) 를 사용 한 경우 이 다 . 이 경우 에 는 패 시베이 션 층 ( 18 ) 을 덮 도록 다시 제 2 층 ( 22 ) 이 형성 된 후 , 그 위 로 제 1 층 ( 21 ) 이 순차 로 형성 될 수 있 다 . 그 외 구성 요소 는 전술 한 바 와 같 다 .