하부 전극 이 배열 되 어 있 고 상기 하부 전극 을 커버 하 는 제 1 유전 층 이 형성 되 어 있 는 하부 기판 과 , 상기 하부 전극 과 대향 된 상부 전극 이 배열 되 어 있 고 상기 상부 전극 을 커버 하 는 제 2 유전 층 이 형성 되 어 있 는 상부 기판 과 , 상기 제 1 과 제 2 유전 층 사이 에 형성 되 어 방전 셀 을 구획 하 는 격벽 과 , 상기 방전 셀 에 충 진 되 어 방사선 에 의해 자극 되 어 전자 들 을 이온 화 시키 는 가스층 과 , 상기 제 1 유전 층 에 내장 되 어 상기 제 1 유전 층 에 축적 된 벽 전하 에 대한 전류 를 검출 하 는 리드 아웃 ( Readout ) 전극 을 포함 하 여 구성 된 엑스레이 검출 장치 검출 장치 를 준비 하 는 단계 와 ;