도 3 은 본 발명 의 실시 예 에 따른 사이 클릭 박막 증착 방법 을 나타내 는 다이어그램 이 다 . 도 3 을 참조 하 면 , 실리콘 ( Si ) 전구체 의 주입 과 퍼지 ( purge ) 가 반복 적 으로 수행 된다 . 실리콘 전구체 의 주입 과 퍼지 가 각각 수차례 반복 적 으로 수행 된 후 , 플라 즈 마 분위기 가 형성 된다 . 플 라즈 마 분위기 가 형성 된 상태 에서 는 필요 에 따라서 반응 가스 가 주입 될 수 있 다 .