조명 시스템 은 100 내지 500 , 바람직 하 게 는 150 내지 400 , 및 보다 더 바람직 하 게 는 170 내지 300 nm 의 범위 로 자외선 을 조사 하 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 제 1 반응기 는 , 랙 내 의 기판 상 에 층 을 증착 하 도록 제 1 반응기 내 에 제 1 전구체 를 제공 하 도록 구성 되 고 배열 된 유입 구 를 포함 할 수 있 다 .