단성 일렉트론 은 반도체 장비 용 ESC 를 개발 했 다고 24 일 밝혔 다 . ESC 는 LCD 와 반도체 공정 에서 정전기 를 이용 해 기판 과 전극 사이 에 간격 을 일정 하 게 유지 하 도록 하 는 전극 이 다 . 반도체 공정 의 경우 , 장비 내부 에서 정전기 를 이용 해 반도체 웨이퍼 와 하부 전극 사이 의 간격 을 일정 하 게 유지 하 는 소모 성 부품 이 다 . 단성 일렉트론 은 앞 으로 기술 평가 등 을 거쳐 2009 년 부터 본격 적 으로 양산 에 들어갈 계획 이 다 . ⓒ 인터넷 한국일보 , 무단 전재 및 재 배포 금지 < 인터넷 한국일보 는 한국 온라인 신문협회 ( www . kona . or . kr ) 의 디지털 뉴스 이용 규칙 에 따른 저작 권 을 행사 합니다 >