통상 의 기판 처리 시스템 에서 는 , 검사 장치 ( 97 ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 에 연결 된다 . 이 예 와 마찬가지 로 , 검사 장치 ( 97 ) 를 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 에 연결 함 으로써 , 인라인 적 인 검사 , 즉 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 에서 처리 가 종료 된 직후 의 기판 ( W ) 을 검사 하 여 , 검사 한 결과 의 기판 ( W ) 을 또 한번 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 로 되돌아가 서 재차 처리 하 는 것 이 가능 하 게 된다 . 이 검사 장치 ( 97 ) 및 더미 스토리지 ( 98 ) 는 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 의 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 에 연결 되 어도 좋 다 . 또한 , 검사 장치 ( 97 ) 및 더미 스토리지 ( 98 ) 는 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 의 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 및 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 각각 에 연결 되 어도 좋 다 . 또한 , 대기 반 송실 ( 99 ) 의 측면 에 처리 완료 의 기판 을 수납 하 는 카세트 를 탑재 하 기 위한 포트 를 구비 하 고 있 어도 좋 다 . 이런 경우 , 처리 되 는 기판 ( W ) 의 입구 와 출구 가 다른 인라인 형 의 반송 처리 시스템 장치 를 구성 할 수 있 고 , 기판 ( W ) 의 반송 루트 및 장치 레이아웃 의 폭 이 넓 어 진다 .