이 로 인해 , 도 7 b 에 나타내 는 바 와 같이 , 처리 전 기판 ( SP ) 은 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 내부 에 배치 된다 . 이 때 , 처리 전 기판 ( SP ) 의 4 개 의 모서리 부 는 4 개 의 위치 결정 기구 ( 41 , 42 , 43 , 44 ) 의 제 1 롤러 ( 45 Y ) 및 제 2 롤러 ( 45 X ) 에 접촉 하 고 , 처리 전 기판 ( SP ) 의 위치 결정 이 이루어진다 .