또한 , 제 어부 ( 40 ) 는 레이 저실 ( 10 ) 내부 의 레이저 가스 의 에너지 산포 가 설정 값 , 예컨대 0 . 1 내지 1 . 0 의 범위 에 해당 하 게 되 면 , 배기 부 ( 30 ) 를 제어 하 여 레이저 가스 의 일부 를 배기 하 도록 제어 하 고 , 상기 제 3 가스 공급 부 ( 23 ) 와 연결 된 밸브 ( 23 a ) 를 개폐 하 여 상기 배기 된 만큼 의 할로겐 가스 를 상기 레이 저실 ( 10 ) 에 보충 공급 한다 .