다른 일부 실시 예 들 에서 , 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 코발트 화합물 을 사용 하 여 CVD 공정 에 의해 박막 을 형성 하 기 위하 여 , 상기 코발트 화합물 을 액체 또는 용액 상태 로 기화기 ( 258 ) 까지 운송 하 고 , 상기 코발트 화합물 을 기화기 ( 258 ) 에서 가열 및 / 또는 감압 하 여 기화 시킨 후 반응 챔버 ( 254 ) 내 로 공급 하 는 액체 운송 법 을 이용 할 수 있 다 . 액체 운송 법 을 이용 하 는 경우 , 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 코발트 화합물 자체 , 또는 상기 코발트 화합물 을 유기 용매 에 용해 시킨 용액 을 CVD 공정 에서 의 박막 형성 용 원료 화합물 로 사용 할 수 있 다 .