이 와 같이 , RF 전원 의 인가 ( on ) 및 중단 ( off ) 를 교대 로 반복 하 여 인가 하 는 사이 클릭 화학 기상 증착 ( Cyclic CVD ) 방법 으로 활성 층 ( 140 ) 을 형성 하 면 , 종래 에 비해 활성 층 ( 140 ) 의 밀도 ( density ) 가 향상 되 며 , 표면 거칠 기 ( 또는 표면 조도 ) 가 감소 한다 . 이 에 따라 , 전위 ( dislocation ) 와 같 은 격자 결함 , 기공 ( pore ) 등 으로 인한 누설 전류 발생 을 방지 할 수 있 고 , 특성 이 균일 또는 안정 화 된 활성 층 ( 140 ) 을 형성 할 수 있 다 .