도 6 a 를 참조 하 면 , 기판 ( 200 ) 상 에 제 1 산화물 층 ( 11 ) , 제 1 질화물 층 ( 15 ) 및 제 2 산화물 층 ( 21 ) 을 차례 로 형성 한다 . 제 1 산화물 층 ( 11 ) 은 제 1 질화물 층 ( 15 ) 을 형성 하 기 위한 버퍼 층 일 수 있 다 . 그 다음 , 제 2 산화물 층 ( 21 ) 상 에 제 2 산화물 층 ( 21 ) 의 X 축 방향 으로 의 양단 을 노출 시키 는 마스크 층 ( M 1 ) 을 형성 한다 .