대체 적 으로 , 후면 리세 스 들 ( 143 , 243 ) 은 후면 트렌치 들 ( 79 ) 로부터 균일 한 측 방향 오프셋 거리 내 에 위치 되 는 희생 재료 층 들 ( 142 , 242 ) 의 근위 부분 들 을 등방 성 으로 측 방향 으로 리세 스 시킴 으로써 형성 된다 . 희생 재료 층 들 ( 142 , 242 ) 의 나머지 부분 들 은 유전체 재료 플레이트 들 ( 142 ', 242 ') 을 구성 한다 . 유전체 재료 플레이트 들 ( 142 ', 242 ') 은 제 1 희생 재료 층 들 ( 142 ) 의 나머지 부분 들 인 제 1 유전체 재료 플레이트 들 ( 142 '), 및 제 2 희생 재료 층 들 ( 242 ) 의 나머지 부분 들 인 제 2 유전체 재료 플레이트 들 ( 142 ') 을 포함 한다 .