그런 다음 , 상기 로봇 이 에칭 처리 를 위한 또 다른 웨이퍼 를 상기 웨이퍼 카세트 로부터 상기 웨이퍼 진출 / 진입 구 를 거쳐 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 리프트 핀 ( 128 ) 에 올려 놓 고 원래 의 위치 로 되돌아간 후 상기 웨이퍼 진출 / 진입 구 의 도어 가 폐쇄 된다 . 이어서 , 상기 리프트 핀 접촉 부 ( 129 a ) 가 상기 리프트 핀 구동 부 ( 129 ) 의 하강 에 의해 하강 하 고 상기 리프트 핀 ( 128 ) 도 하강 한다 . 따라서 , 상기 웨이퍼 가 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 상부 면 표면 에 고정 된다 .