본 발명 의 실시 예 들 은 상기 NH 3 / NF 3 몰 비 는 약 10 , 약 15 , 약 20 , 또는 그 이상 일 수 있 는 한편 , 상기 세정 플라 즈 마는 약 5 와트 내지 약 50 와트 , 바람직 하 게 는 약 15 와트 내지 약 30 와트 의 RF 전력 으로 생성 될 수 있 음 을 제공 한다 . 상기 가스 혼합물 들 은 암모니아 및 삼 불화 질소 를 프로세싱 챔버 내부 로 유동 시키 고 결합 함 으로써 형성 된다 . 상기 암모니아 는 약 20 sccm 내지 약 300 sccm , 바람직 하 게 는 약 40 sccm 내지 약 200 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 60 sccm 내지 약 150 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 75 sccm 내지 약 100 sccm 의 유속 을 가질 수 있 다 . 삼 불화 질소 는 약 1 sccm 내지 약 60 sccm , 바람직 하 게 는 약 2 sccm 내지 약 50 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 3 sccm 내지 약 25 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 5 sccm 내지 약 15 sccm 의 유속 을 가진다 .