헤드 구동 부 ( 36 ) 는 , Z 방향 구동 부 ( 34 ) 와 , 회동 부재 ( 361 ) 와 , θ 방향 구동 부 ( 37 ) 를 구비 한다 . Z 방향 구동 부 ( 34 ) 는 , 서보 모터 및 볼 나사 등 을 구비 하 고 있 다 . Z 방향 구동 부 ( 34 ) 는 , 후술 하 는 회동 부재 ( 361 ) 의 하단 측 에 마련 되 고 , 도 2 의 화살표 AR 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 본딩 부 ( 33 ) 의 Z 축 방향 이동 부재 ( 331 ) 를 Z 축 방향 으로 구동 한다 . Z 방향 구동 부 ( 34 ) 가 , Z 축 방향 이동 부재 ( 331 ) 를 Z 방향 으로 이동 시키 면 , 그 에 수반 하 여 , 본딩 부 ( 33 ) 의 상단 부 에 마련 된 헤드 ( 33 H ) 가 Z 방향 으로 이동 한다 . 즉 , 헤드 ( 33 H ) 는 , Z 방향 구동 부 ( 34 ) 에 의해 Z 방향 으로 구동 된다 .