얻 어 진 전자 방출 소자 의 균일성 을 도전 성 박막 ( 4 ) 의 전기 저항 에 의해 평가 한 결과 로서 , 전체 소자 간 의 변동 계수 는 3 . 0 ％ 이 었 다 . 이 에 대해서 , 본 실시 예 에 있 어서 의 챔버 ( 13 ) 내 에서 흡습 처리 를 실시 하 지 않 고 제작 한 전자 방출 소자 군 간 의 변동 계수 는 10 . 0 ％ 이 며 , 고습 도 분위기 의 폭 로 처리 에 의한 균일성 이 약 3 . 3 배 향상 된 것 을 의미 한다 . 상기 와 같이 제작 된 전 자원 기판 에 , 페이스 플레이트 및 하우징 을 조합 하 여 표시 패널 을 제조 하 고 , 또한 , 구동 회로 를 표시 패널 에 접속 하 여 화상 형성 장치 를 제작 한 결과 , 균일성 이 양호 한 화상 형성 장치 를 높 은 수 율 로 얻 을 수 있 었 다 .