이 와 같이 , 강유전체 커패시터 를 구비 한 강유전체 메모리 의 제조 에 는 , 이미 형성 된 강유전체 커패시터 의 특성 저하 를 회피 할 수 없 는 공정 이 포함 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 종래 에 는 강유전체 커패시터 에 대해 산소 를 공급 함 으로써 , 그 특성 을 회복 시키 는 어닐링 ( annealing ) ( 회복 어닐링 ) 이 행해져 왔 다 . 이 회복 어닐링 에서 는 강유전체 막 까지 산소 를 충분히 확산 시키 는 것 이 중요 하 다 .