상기 수평 구동 프레임 ( 220 ) 은 상기 제 1 고정부 ( 210 ) 를 포위 하 는 사각 테두리 형상 이 다 . 상기 수평 구동 프레임 ( 220 ) 은 제 1 방향 과 나란 한 두 개 의 제 1 부분 ( 220 X ) 와 제 2 방향 과 나란 한 두 개 의 제 2 부분 ( 220 Y ) 을 구비 한다 . 상기 수평 구동 프레임 ( 220 ) 의 제 1 부분 ( 220 X ) 및 제 1 고정부 ( 210 ) 사이 에 제 1 수평 방향 변형 토션 스프링 ( 225 ) 이 형성 되 어 있 다 . 상기 제 1 수평 방향 변형 토션 스프링 ( 225 ) 은 제 1 방향 으로 의 변형 이 제 2 방향 으로 의 변형 보다 용이 한 빔 이 다 . 상기 제 1 고정 콤 전극 ( 212 ) 과 마주 보 는 상기 수평 구동 프레임 ( 220 ) 의 제 2 부분 ( 220 y ) 에 는 상기 제 1 고정 콤 전극 ( 212 ) 과 엇갈리 게 형성 된 제 1 구동 콤 전극 ( 222 ) 이 형성 되 어 있 다 .