일예 로 , 제 1 - 2 아암 ( 812 ) 이 제 1 - 1 아암 ( 811 ) 과 의 각도 를 넓힌 상태 에서 로드 락 모듈 ( 120 ) 의 공용 로더 ( 121 ) 에 구비 된 복수 의 슬롯 ( 410 ) 중 에서 정해진 하나 의 슬롯 에 안착 된 웨이퍼 를 로딩 하 고 , 제 2 회전축 ( 802 ) 을 중심 으로 제 1 - 2 아암 ( 812 ) 이 회전 하 여 제 1 - 1 아암 ( 811 ) 과 의 각도 를 줄인 상태 에서 제 1 회전축 ( 801 ) 을 중심 으로 제 1 - 1 아암 ( 811 ) 이 회전 하 고 , 제 2 회전축 ( 802 ) 을 중심 으로 제 1 - 2 아암 ( 812 ) 이 회전 하 여 제 1 - 1 아암 ( 811 ) 과 의 각도 를 넓힌 상태 에서 제 1 - 2 아암 ( 812 ) 이 복수 의 프로세스 모듈 중 에서 정해진 프로세스 모듈 의 샤프트 에 언 로딩 하 여 로드 락 모듈 ( 120 ) 에서 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 제 2 로봇 ( 800 ) 에 의한 웨이퍼 이송이 이루어질 수 있 다 .