이러 한 경우 에 , 기판 ( 4 ) 에서 보이 는 바 와 같이 , " 기계식 모듈 ( 6 "") 은 z - 축 에 대한 회전 ( 6 b ) ", y - 축 에 대한 회전 ( 6 c ) 및 x - 방향 으로 의 병진 ( 6 f ) 의 자유도 를 실행 할 수 있 다 . 도시 되 지 않 은 추가 적 인 실시 예 에서 , 좌표축 의 다양 한 시퀀스 와 해당 구동 부 가 가능 하 여 , x - 방향 으로 의 병진 ( 6 f ) 대신 에 , y - 방향 으로 의 병진 ( 6 e ) 이 발생 한다 . 그리고 나 서 , x - 축 에 대한 회전 ( 6 d ) 이 수행 된다 . x - 축 에 대한 회전 ( 6 b ) 은 본 발명 에 따라 유지 된다 .