상기 클러스터 형 프로세스 장치 에서 는 기판 을 로봇 에 의해 수평 으로 이송 하 기 때문 에 파티클 ( particle ) 과 같 은 불순물 을 억제 할 수 있 는 장점 은 있 지만 , 수평 으로 위치 된 기판 의 사이즈 에 대응 되 도록 각 챔버 유닛 들 이 설계 되 어야 하 므로 , 기판 이 대형 화 되 는 추세 에 비추 어 보 면 각 챔버 유닛 들 의 사이즈 가 증가 하 게 되 고 , 이 에 따라 각 챔버 유닛 에 구비 된 구성 요소 들 또한 대형 화 됨 에 따라 부피 가 증가 되 고 비용 이 증가 되 는 문제점 이 있 다 .