이 와 같이 , 소요 주파수 범위 에 있 어서 의 소정 의 2 개 의 주파수 에 있 어서 , 연마 제거 의 종료 점 을 검출 하 기 에 충분 한 반사 계수 및 투과 계수 의 각 변화 량 을 얻 는 것 이 가능 하 다 . 따라서 , 투과 계수 및 반사 계수 를 소정 의 2 개 의 주파수 에 있 어서 각각 측정 하 고 , 측정 한 이 투과 계수 및 이 반사 계수 중 적어도 어느 하나 가 미리 정한 기준 의 변화 량 을 넘 은 단계 에서 , 연마 제거 의 종료 점 및 연마 제거 의 종료 시점 에 대응 한 시점 을 검출 할 수 도 있 다 .