리모트 플 라즈 마 발생기 에 대한 플 라즈 마 공급원 은 DC 방전 , 고주파 ( RF ) 방전 및 마이크로웨이브 방전 을 포함 하 는 다양 한 방식 으로 플 라즈 마 를 생성 할 수 있 다 . DC 방전 은 가스 내 의 두 개 의 전극 사이 에 전위 를 인가 함 으로써 달성 된다 . RF 방전 은 전원 으로부터 플 라즈 마 내 로 에너지 를 정전기 또는 유도 결합 시킴 으로써 달성 된다 . 유도 코일 은 전류 를 플 라즈 마 내 에 유도 하 도록 통상 적 으로 사용 된다 .