" 알루미나 - 코팅 된 중합체 표면 은 산업 및 소비 제품 에서 폭 넓 게 사용 되 고 있 다 . 원자 층 침착 ( "" ALD ( atomic layer deposition ) """," 경우 에 따라서 는 대안 으로 화학 기상 침착 "" CLD ( chemical layer deposition ) "" 이라고 도 칭함 ) 이 중합체 표면 상 에서 알루미나 또는 다른 무기 또는 금속 물질 의 나노미터 박 층 을 침착 시키 는 데 이용 된다 . ALD 코팅 은 MEMS ( Micro - Mechanical Systems ) 장치 의 표면 을 절연 시키 고 전하 소산 을 용이 하 게 하 며 그리고 기능 화 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 알루미나 - 코팅 된 폴리아미드 와 같 은 물질 이 반도체 산업 에서 반도체 웨이퍼 용 고진공 증기 내성 밀봉 포장 을 제조 하 는 데 사용 된다 . "