본 발명 은 시스템 의 크기 를 줄이 기 위하 여 광원 대신 전기 적 신호 를 감지 하 고 , 탄성 에너지 를 고려 한 자기 변형 계수 를 구하 기 위한 자기 변형 박막 의 자기 변형 계수 를 고려 한 캔틸레버 센서 에 관한 것 이 다 . 캔틸레버 센서 의 센싱 부에 TbDyFe 필름 , Tb - Fe 필름 , Sm - Fe 필름 등 의 물질 을 이용 하 여 자기 변형 박막 을 증착 한 다음 , 상기 박막 에서 발생 하 는 캔틸레버 의 자기 변형 계수 를 측정 할 때 탄성 에너지 를 고려 하 여 측정 하 도록 하 였 다 . 또한 탄성 에너지 를 무시 한 경우 의 자기 변형 계수 와 비교 함 으로써 센싱 의 특성 을 측정 하 였 다 .