한편 , 상기 그리드 전극 ( 160 ) 은 고밀도 의 플 라즈 마 로 인해 고온 으로 가열 됨 에 따라 고온 에서 구조 적 이 고 전기 적 인 안정 성 이 요구 되 므로 통상 몰리브덴 ( Molybdenum ) 재질 로 구성 된다 . 그러나 내열성 이 우수 한 몰리브덴 도 안정 적 인 사용 의 한계 가 있 으며 , 이 는 플 라즈 마 생 성부 ( 100 ) 의 운용 한계 를 규정 하 는 원인 이 된다 .