바람직 하 기 로 는 , 할로겐 실란 그룹 들 중 하나 이상 의 휘발 성 화합물 로 는 특히 SiF 4 , SiCl 4 및 / 또는 SiBr 4 가 사용 된다 . 또한 , 유기 할로겐 실란 그룹 중 하나 이상 의 휘발 성 화합물 로 는 특히 메틸 트리 클로로 실란 을 사용 할 수 있 다 . 휘발 성 화합물 , 바람직 하 기 로 는 MeSiX 3 는 , 유기 할로겐 실란 을 증류 시켜 수집 기 ( 15 ) 에서 수득 할 수 있 다 .