도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 각 기판 지지 핀 ( 30 ) 은 로드 ( 31 ) 와 , 로드 ( 31 ) 의 상부 ( 31 U ) 에 회전 가능 하 게 지지 된 볼 베어링 ( 32 ) ( 지 지단 ) 과 , 볼 베어링 ( 32 ) 과 는 반대 측 에 위치 하 여 베이스 부재 ( 20 ) 에 고정 되 는 고정단 ( 33 ) 과 , 베이스 부재 ( 20 ) 에 형성 된 나사 구멍 ( 20 S ) 에 고정 되 는 볼트 ( 34 ) ( 체결 부 ) 를 가진다 .