본 발명 의 제 1 양태 에 따르 면 , 기판 ( P ) 의 반송 을 실시 하 는 기판 반송 부 ( 4 ) 와 , 상기 기판 ( P ) 을 노광 할 수 있 는 복수 의 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 를 구비 하 고 , 상기 복수 의 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 의 가동 상태 가 원 하 는 상태 로 되 도록 , 상기 기판 반송 부 ( 4 ) 와 상기 복수 의 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 를 연휴 ( 連 携 ) 제어 하 는 제 어부 ( 6 ) 를 구비 하 는 디바이스 제조 시스템 이 제공 된다 .