검증 관련 시퀀스 는 S - D 프로시저 , S - D 웨이퍼 , S - D 프로시저 및 / 또는 S - D 라이브러리 에 이용 된 사이트 를 검증 하 기 위해 확립 될 수 있 다 . 검증 관련 시퀀스 는 S - D 작성 프로시저 , S - D 이송 프로시저 , S - D 검증 프로시저 , S - D 평가 프로시저 , S - D 측정 프로시저 , S - D 검사 프로시저 , 또는 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 대안 으로 , N - S - D 프로시저 가 포함 될 수 있 다 . 하나 이상 의 S - D 웨이퍼 는 하나 이상 의 프로세스 관련 프로시저 를 이용 하 여 처리 될 수 있 고 프로세스 검증 처리 시퀀스 를 이용 하 여 검증 될 수 있 다 .