또 , 본 발명 에 따르 면 습식 처 리부 ( 30 ) 가 상기 챔버 ( 11 ) 의 피 가 공물 에 작동 유체 를 공급 하 고 회수 하 도록 설치 된다 . 습식 처 리부 ( 30 ) 는 공급 탱크 ( 31 ) 에 저장 되 는 작동 유체 를 기반 으로 피 가 공물 의 가공 을 조력 한다 . 작동 유체 는 연 마수 로 예시 하 지만 물 을 사용 할 수 있 으며 , 어느 경우 에 나 피 가 공물 의 냉각 과 분진 을 제거 하 는 기능 을 지닌다 . 공급 탱크 ( 31 ) 에 저장 되 고 분사 펌프 ( 32 ) 로 공급 되 는 연 마수 는 챔버 ( 11 ) 의 저면 에 연결 되 는 수집 관 ( 41 ) 을 거쳐 회수 탱크 ( 36 ) 로 수집 된다 .