특히 바람직 한 구체 예 에서 , 매립 절연체 층 또는 층 들 이 빌트인 ( built - in ) 압축 응력 을 갖 는 경우 , 상기 응력 은 분리 트렌치 가 에칭 될 때 에지 이완 에 의해 적어도 부분 적 으로 이완 될 것 이 며 표면 층 은 상기 층 의 면내 인장 에서 적어도 부분 적 으로 변형 될 것 이 다 . 유사 하 게 , 매립 절연체 층 또는 층 들 이 빌트인 ( built - in ) 인장 응력 을 갖 는 경우 , 상기 응력 은 트렌치 를 에칭 함 으로써 적어도 부분 적 으로 이완 될 것 이 며 표면 층 은 상기 층 의 면내 압축 에서 적어도 부분 적 으로 변형 될 것 이 다 .