제 2 및 제 3 게이트 마스크 패턴 들 ( 155 , 157 ) 은 각각 제 2 및 제 3 예비 게이트 컨트롤 게이트 들 ( 144 , 146 ) 상면 의 하나 의 가장자리 상 에 형성 되 고 , 제 5 절 연막 패턴 ( 175 ) 은 제 2 및 제 3 터널 절 연막 패턴 들 ( 114 , 116 ) , 제 2 및 제 3 플로팅 게이트 들 ( 124 , 126 ) , 제 2 및 제 3 유전 막 패턴 들 ( 134 , 136 ) 및 제 2 및 제 3 예비 컨트롤 게이트 들 ( 144 , 146 ) 의 측벽 , 제 2 및 제 3 게이트 마스크 패턴 들 ( 155 , 157 ) 의 상면 과 측벽 일부 및 상기 스트링 들 사이 의 기판 ( 100 ) 부분 을 커버 하 도록 형성 된다 .