본 발명 의 제 8 형태 는 , 복수 의 카세트 를 배치 가능 한 복수 의 포트 가 마련 됨 과 아울러 , 포트 에 배치 된 카세트 내 의 기판 을 반송 하 는 대기 반송 로봇 이 마련 되 는 로더 모듈 과 , 상기 로더 모듈 에 연결 되 어 , 상기 대기 반송 로봇 에 의해 기판 이 반송 되 는 로드 록 챔버 와 , 상기 로드 록 챔버 에 반송 된 기판 을 반송 하 는 진공 반송 로봇 이 마련 되 는 트랜스퍼 챔버 를 구비 하 고 , 상기 로드 록 챔버 또는 상기 트랜스퍼 챔버 의 적어도 일부 가 상기 로더 모듈 에 상하 방향 으로 겹치 는 반송 모듈 이 다 .