상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 내측 공간 들 에 는 제 1 가스 공급 배관 들 ( 330 ) 이 각각 배치 될 수 있 으며 , 상기 캐리어 가스 의 버블 링 은 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 내부 에서 만 발생 될 수 있 다 . 상기 제 2 가스 공급 배관 들 ( 350 ) 은 상기 공 간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 내측 공간 들 과 각각 연통 하 도록 배치 되 어 다수 의 공정 챔버 들 과 연결 될 수 있 다 . 따라서 , 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 내측 공간 들 에서 발생 되 는 소스 가스 들 의 공급 상태 가 변화 되 는 것 이 방지 될 수 있 다 . 즉 , 상기 공간 구획 부재 들 ( 340 ) 의 내측 공간 들 로 개별 적 으로 캐리어 가스 가 공급 되 므로 상기 캐리어 가스 의 공급 에 따른 소스 가스 의 유량 변화 또는 흐름 특성 의 변화 가 방지 될 수 있 다 .