제 1 및 제 2 도핑 영역 들 ( 311 , 312 ) 사이 의 기판 ( 111 ) 의 영역 상 에 , 제 1 방향 을 따라 순차 적 으로 배치 되 며 제 2 방향 을 따라 절연 물질 들 ( 112 ) 을 관통 하 는 복수 의 필라 들 ( 113 ) 이 제공 된다 . 예 시 적 으로 , 복수 의 필라 들 ( 113 ) 은 절연 물질 들 ( 112 ) 을 관통 하 여 기판 ( 111 ) 과 접촉 할 것 이 다 .