이 경우 , 제 1 추가 연결 배선 ( 762 a ) 및 검사 패턴 ( 161 ) 과 제 2 추가 연결 배선 ( 762 b ) 을 전기 적 으로 연결 시키 기 위해 층간 절연 층 ( 113 ) 에 컨 택 홀 ( CH ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 2 추가 연결 배선 ( 762 b ) 의 엣지 는 층간 절연 층 ( 113 ) 에 형성 된 컨 택 홀 ( CH ) 을 통해 검사 패턴 ( 161 ) 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 따라서 , 검사 부 ( 760 ) 의 제 1 추가 연결 배선 ( 762 a ) , 제 2 추가 연결 배선 ( 762 b ) , 검사 패턴 ( 161 ) 등 을 동일 한 물질 및 동일 한 공정 으로 도 형성 할 수 있 지만 , 서로 다른 물질 및 다른 공정 으로 형성 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 추가 연결 배선 ( 762 a ) , 제 2 추가 연결 배선 ( 762 b ) , 검사 패턴 ( 161 ) 사이 에 절연 층 이 배치 되 더라도 , 절연 층 에 컨 택 홀 ( CH ) 을 형성 하 여 제 1 추가 연결 배선 ( 762 a ) , 제 2 추가 연결 배선 ( 762 b ) , 검사 패턴 ( 161 ) 각각 을 전기 적 으로 연결 시킬 수 있 다 .