도 1 및 도 2 b 의 예시 적 인 구조 ( 200 b ) 를 참조 하 면 , 예시 적 인 방법 ( 100 ) 은 블록 S 2 에서 , 제 1 금속 ( 또는 도전 ) 필러 , 또는 그 복수 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 금속 필러 ( 120 ) 는 예 를 들 어 , 제 1 서브 스트레이트 ( 110 ) 상 에 ( 예 를 들 어 , 그 패드 층 ( 113 ) 상 에 , 그 신호 배선 층 ( 112 ) 상 에 등 ) 형성 될 수 있 다 .