반도체 소자 는 빠른 동작 속도 및 / 또는 낮 은 동작 전압 등 이 요구 되 고 있 다 . 이러 한 요구 특성 들 을 충족 시키 기 위하 여 반도체 장치 는 보다 고집 적 화 되 고 있 다 . 반도체 장치 의 고집 적 화 가 심화 될수록 , 반도체 장치 의 신뢰 성 이 저하 될 수 있 다 . 하지만 , 전자 산업 이 고도 로 발전함 에 따라 , 반도체 장치 의 높 은 신뢰 성 에 대한 요구 가 증가 되 고 있 다 . 따라서 , 반도체 장치 의 신뢰 성 을 향상 시키 기 위한 많 은 연구 가 진행 되 고 있 다 .