이 와 같 은 현상 은 상기 화학식 3 으로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 분자 내 에 할로겐 이 2 개 가 붙 어 있 어 올리고머 내지 폴리머 가 가능 한 구조 이 기 때문 이 다 . 반 대로 화학식 2 로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 는 분자 내 에 할로겐 이 1 개 밖 에 없 어 올리고머 내지 폴리머 로 반응 이 진행 될 수 없 고 따라서 순도 를 떨어뜨리 는 불순물 의 생 성 을 막 을 수 있 다 .