플라 즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 를 챔버 상부 ( 202 ) 아래 의 프로세스 챔버 ( 230 ) 에 연결 하 는 것 으로 도시 되 어 있 다 . 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 은 플라 즈 마 및 / 또는 라디칼 및 / 또는 뉴트럴 종 들 을 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 로부터 그리고 프로세스 챔버 ( 230 ) 내 에 전달 한다 .