도 2 c 를 참조 하 면 , 상기 랜딩 플러그 콘 택용 하드 마스크 막 ( 214 ) 상 에 후속 의 랜딩 플러그 를 형성 하 기 위한 마스크 패턴 ( 도시 안 됨 ) 을 형성 하 고 , 상기 마스크 패턴 을 식각 마스크 로 이용 하 여 상기 랜딩 플러그 콘 택용 하드 마스크 막 ( 214 ) 및 제 1 층간 절 연막 ( 212 ) 을 식각 하 여 콘 택 홀 ( H ) 을 형성 한다 . 그런 다음 , 상기 마스크 패턴 을 제거 하 고 , 상기 콘 택 홀 ( H ) 을 포함 한 반도체 기판 ( 200 ) 상 에 랜딩 플러그 용 폴리 실리콘 막 ( 216 ) 을 형성 한다 .