다음 에 , 제 3 패턴 ( 177 ) 의 오 목부 에 남 은 잔 막 ( 176 ) 및 기판 ( 170 ) 의 일부 를 에칭 에 의해 제거 ( 도 13 d ) 하 여 , 제 3 패턴 ( 177 ) 에 대응 한 제 1 패턴 ( 178 ) 이 전사 된 기판 ( 170 ) 을 얻 는다 ( 도 13 e ) . 여기 서 얻 어 진 제 1 패턴 ( 178 ) 은 , 예 를 들 어 y 방향 으로 연장 되 는 라인 앤 스페이스 패턴 이 다 .