LPCVD 산화 막 은 보통 매립 특성 이 있 는데 , 모트 ( 도 1 h 의 A ') 가 발생 된 부분 같 은 경우 전체 적 으로 두께 증가 가 이루어지 다가 일정 두께 이상 이 되 어 도전 막 ( 104 ) 의 측벽 에서 형성 되 는 두 박막 표면 이 만나 면 양쪽 에 각각 공급 되 던 소스 ( source ) 가 만나 + α 효과 가 나 서 다른 곳 대비 하 여 증착 속도 가 좀 더 빨라 지 는 효과 가 있 다 . 그리고 , 이후 에 계속 된 증착 으로 매립 된 부분 이 평탄 화 되 는 특성 을 보이 기 도 한다 .