도 4 h 에 도시 된 바 와 같이 , 코어 절연 층 ( 20 ) , 채널 층 ( 19 ) 및 터널 절연 층 ( 18 ) 이 평탄 화 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 오프닝 ( 14 ) 내 에 필라 구조물 ( 21 ) 이 형성 될 수 있 다 . 필라 구조물 ( 21 ) 은 오프닝 ( 14 ) 의 측벽 에 형성 된 블록 킹 층 ( 15 ) , 블록 킹 층 ( 15 ) 의 측벽 에 형성 된 전하 저장 층 ( 17 ) , 전하 저장 층 ( 17 ) 의 측벽 에 형성 된 터널 절연 층 ( 18 ) , 터널 절연 층 ( 18 ) 의 측벽 에 형성 된 채널 층 ( 19 ) , 채널 층 ( 19 ) 의 측벽 에 형성 된 코어 절연 층 ( 20 ) 을 포함 할 수 있 다 .