이상 과 같이 해서 , 반사 미러 ( 1 ) 의 한 면 ( 피 성 막 면 ( 10 S ) ) 에 반사 다층막 ( 12 ) 을 형성 하 고 , 반대 의 면 ( 피 슬라이딩 면 ( 10 R ) ) 에 슬라이딩 면 ( 13 ) 을 형성 함 으로써 막 응력 을 완화 해서 반사 다층막 ( 12 ) 을 평면 화 할 수 있 다 . 여기 서 , 반사 다층막 ( 12 ) 의 형성 과 슬라이딩 면 ( 13 ) 의 형성 중 어느 것 을 먼저 행할 지 에 따라 막 응력 의 완화 량 이 다르 다 .