도 5 는 프로세싱 챔버 ( 514 ) 내 에서 웨이퍼 들 을 이송 하 기 위한 웨이퍼 핸들링 시스템 ( 590 ) 의 실시 예 를 도시 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 웨이퍼 핸들링 시스템 ( 590 ) 은 다양 한 프로세스 스테이션 들 사이 그리고 / 또는 프로세스 스테이션 과 로드 록 사이 에서 웨이퍼 들 을 이송 할 수 도 있 다 . 임의 의 적합 한 웨이퍼 핸들링 시스템 이 채용 될 수 도 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 비 - 제한 적 인 예 들 은 웨이퍼 캐로 절 들 ( carousels ) 및 웨이퍼 핸들링 로봇 들 을 포함 한다 . 도 5 는 또한 프로세스 툴 ( 500 ) 의 프로세스 조건 들 및 하드웨어 상태 들 을 제어 하 도록 채용 된 시스템 제어기 ( 550 ) 의 실시 예 를 도시 한다 . 시스템 제어기 ( 550 ) 는 하나 이상 의 메모리 디바이스 들 ( 556 ) , 하나 이상 의 대용량 저장 디바이스 들 ( 554 ) , 및 하나 이상 의 프로세서 들 ( 552 ) 을 포함 할 수 도 있 다 . 프로세서 들 ( 552 ) 은 CPU 또는 컴퓨터 , 아날로그 입력 / 출력 연결부 및 / 또는 디지털 입력 / 출력 연결부 , 스텝 퍼 모터 제 어 보드 들 , 등 을 포함 할 수 도 있 다 .