상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 의 상기 전원 라인 의 커버 는 상기 세라믹 디스크 의 저부 에서 상기 상부 플랜지 의 측면 으로 연장 된 전원 라인 을 커버 하 기 위한 제 1 , 제 2 세라믹 커버 와 , 전원 라인 의 절곡 부를 커버 하 는 제 3 세라믹 커버 및 상 , 하부 플랜지 와 의 사이 에서 인출 되 는 전원 선 을 원통형 으로 커버 하 는 제 4 세라믹 커버 로 이루어짐 이 바람직 하 다 .