제 1 전극 ( 65 ) 은 기판 ( 61 ) 의 전면 ( F ) 에 형성 될 수 있 고 , 관통 전극 ( 60 ) 의 일 측 끝단 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 제 2 전극 ( 66 ) 은 기판 ( 61 ) 의 후면 ( F ) 에 형성 될 수 있 고 , 관통 전극 ( 60 ) 의 타 측 끝단 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 제 1 전극 ( 65 ) 및 제 2 전극 ( 66 ) 은 도전 성 물질 을 포함 한다 . 예 를 들 어 , 제 1 전극 ( 65 ) 및 제 2 전극 ( 66 ) 은 구리 , 은 , 니켈 , 백금 , 금 , 알루미늄 , 팔라듐 등 의 금속 을 포함 하 거나 , 이 들 의 합금 을 포함 할 수 있 다 .