플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 바이어스 전원 ( 62 ) 을 더 구비 하 고 있 다 . 바이어스 전원 ( 62 ) 은 , 기판 ( W ) 에 대한 플 라즈 마 처리 를 위하 여 챔버 ( 10 ) 내 에 있 어서 플 라즈 마가 생성 되 고 있 을 때 에 , 하부 전극 ( 18 ) 에 바이어스 ( BE ) 를 공급 하 도록 구성 되 어 있 다 . 바이어스 전원 ( 62 ) 은 , 정합 회로 ( 64 ) 를 통하 여 하부 전극 ( 18 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 정합 회로 ( 64 ) 는 , 바이어스 전원 ( 62 ) 의 출력 임피던스 와 부하 측 ( 하부 전극 ( 18 ) 측 ) 의 임피던스 를 정합 시키 도록 구성 되 어 있 다 .