일 실시 예 에서 , 유전체 재료 플레이트 들 ( 142 ', 242 ') 의 각각 의 측벽 은 균일 한 측 방향 오프셋 거리 ( LOD ) 만큼 후면 트렌치 들 ( 79 ) 중 가장 근위 의 후면 트렌치 로부터 측 방향 으로 이격 되 고 , 동일 한 멀티 파트 층 {( 146 , 142 '), ( 246 , 242 ')} 내 의 전기 전도성 층 ( 146 , 246 ) 의 측벽 과 직접 접촉 하 여 , 동일 한 멀티 파트 층 내 의 전기 전도성 층 과 유전체 재료 플레이트 사이 의 유전체 라이너 또는 경 계부 가 생략 될 수 있 도록 한다 .