이때 , 상기 기판 은 실리콘 기판 을 사용 할 수 있 으며 , 상기 요철 패턴 ( P ) 은 사진 식각 공정 을 통해 형성 할 수 있 다 . 사진 식각 공정 은 , 상기 실리콘 기판 상 에 PR 을 도포 한 후 , 상기 PR 을 노광 하 여 PR 패턴 을 형성 한 다음 , 상기 PR 패턴 을 마스크 로 하 여 식각 하 는 일련 의 공정 으로 이루어진다 .