기판 처리 챔버 ( 10 ) 는 기판 의 세정 공정 , 에칭 공정 , 포토 공정 을 진행 하 기 위한 기판 처리 장치 내 구비 되 는 챔버 들 중 어느 하나 일 수 있 다 . 기판 처리 챔버 내 에서 처리 되 는 기판 은 반도체 , 모니터 또는 TV 용 디스플레이 패널 , 모바일 디스플레이 패널 , 기타 디스플레이 장치 의 패널 중 어느 하나 일 수 있 다 .