한편 , 상기 필터 장치 ( 43 ) 는 비교 적 큰 이 물질 을 걸러 주 는 제 1 필터 ( 431 ) 와 비교 적 작 은 이 물질 을 걸러 주 는 제 2 필터 ( 432 ) 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 상기 세 척 펌프 ( 41 ) 의 동작 에 의해 세 척수 는 상기 제 1 필터 ( 431 ) 와 상기 제 2 필터 ( 432 ) 를 순차 적 으로 통과 한 다음 상기 제 1 안 내관 ( 411 ) 에 의해 안내 되 어 상기 세척 펌프 ( 41 ) 로 유동 하 게 된다 .