제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 은 한 쌍 의 와족 식 ( 蛙 足 式 ) 의 반송 기구 를 구비 한다 . 도 5 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 각 와족 식 의 반송 기구 는 , 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 중심 의 주위 를 회전 구동 되 는 제 1 및 제 2 구동 아암 ( 143 , 144 ) 과 , 제 1 구동 아암 ( 143 ) 의 선단 에 회전 가능 하 게 연결 되 는 제 1 링크 ( 145 ) 와 , 제 2 구동 아암 ( 144 ) 의 선단 에 회전 가능 하 게 연결 되 는 제 2 링크 ( 146 ) 와 , 제 1 및 제 2 링크 ( 145 , 146 ) 의 선단 에 회전 가능 하 게 연결 되 는 유지 플레이트 ( 147 ) 를 구비 한다 . 제 1 및 제 2 구동 아암 ( 143 , 144 ) , 제 1 및 제 2 링크 ( 145 , 146 ) 및 유지 플레이트 에 의해 와족 식 의 마름 모꼴 의 링크 기구 가 구성 된다 . 한 쌍 의 와족 식 의 반송 기구 는 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 중심 을 포함 한 선 에 대해서 좌우 대칭 으로 형성 된다 . 제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 은 한 쌍 의 와족 식 의 반송 기구 를 승강 하 게 하 는 Z 축 이동 기구 를 구비 해도 좋 다 .