참고 로 , 틸팅 부 ( 300 ) 는 기판 ( 10 ) 의 이송 경로 를 따라 배치 된 가이드 레일 ( 110 a ) 을 따라 이동하 는 가이드 프레임 ( 110 ) 에 장착 되 며 , 가이드 프레임 ( 110 ) 이 가이드 레일 ( 110 a ) 을 따라 이동 함 에 따라 , 틸팅 부 ( 300 ) ( 그립 유닛 과 기판 포함 ) 는 로딩 영역 ( 101 ) 에서 스테이지 ( 100 ) 로 이동 하 거나 , 스테이지 ( 100 ) 에서 언 로딩 영역 ( 102 ) 으로 이동 할 수 있 다 .