연마제 , 시트르산 , 과산화수소 및 벤조 트리아졸 의 함량 이 다른 것 을 제외 하 고 는 제조 예 1 의 방법 과 실질 적 으로 동일 한 방법 으로 상변화 물질 층 연마 용 슬러리 조성물 을 제조 하 였 다 . 상변화 물질 층 연마 용 슬러리 조성물 의 제조 에 사용 된 연마제 , 시트르산 , 과산화수소 및 벤조 트리아졸 의 함량 을 하 기 표 1 에 나타낸다 . 표 1 에서 함량 의 단위 는 중량 % 이 다 .