즉 본 발명 에 관계 된 검사 시스템 은 , 전자 부품 또는 당해 ( 當該 ) 전자 부품 이 재치 되 는 재치 부재 의 한쪽 이 형광 물질 을 함유 하 고 있 고 , 상기 재치 부재 에 재치 된 상기 전자 부품 을 촬상해서 검사 하 는 검사 시스템 으로서 , 상기 전자 부품 및 상기 재치 부재 에 상기 형광 물질 의 여기 광 을 조사 하 는 여기 광 조명 장치 와 , 상기 전자 부품 또는 상기 재치 부재 로부터 생기 는 형광 또는 형광 이외 의 광 을 선택 적 으로 촬상 하 는 촬상 장치 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .