θ 방향 구동 부 ( 37 ) 는 , 서보 모터 및 감속기 등 을 구비 하 고 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 본딩 장치 ( 30 ) 내 에 마련 된 고정 부재 ( 301 ) 에 고정 되 어 있 다 . θ 방향 구동 부 ( 37 ) 는 , 회동 부재 ( 361 ) 를 축 ( BX ) 을 중심 으로 회전 가능 하 게 지지 하 고 있 다 . 그리고 , θ 방향 구동 부 ( 37 ) 는 , 제 어부 ( 90 ) 로부터 입력 되 는 제어 신호 에 따라 , 회동 부재 ( 361 ) 를 회전축 ( BX ) 을 중심 으로 회전 시킨다 .