모델 생 성부 ( 51 ) 는 예 를 들 어 패턴 ( P 1 ) 의 선폭 ( W 1 ) 및 길이 ( L 1 ) 에 기초 하 여 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 하 면 된다 . 그리고 , 판 정부 ( 53 ) 로부터 차이 데이터 ( DD 1 ) 가 입력 된 경우 에 는 , 선폭 ( W 1 ) 및 길이 ( L 1 ) 의 적어도 어느 일방 을 수정 하 고 , 수정 후 의 선폭 ( W 1 ) 및 길이 ( L 1 ) 에 기초 하 여 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 갱신 하 면 된다 .