도 3 은 , 일 실시 형태 에 따른 부분 연마 장치 ( 1000 ) 의 구성 을 나타내 는 개략 도 이 다 . 도 3 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 는 , 도 1 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 는 , 연마 패드 ( 502 ) , 가로 구동 기구 ( 620 ) , 세정 기구 ( 200 ) , 컨 디셔 닝 부 ( 800 ) , 및 제 2 컨디 셔 너 ( 850 ) 의 배치 가 상이 하 다 . 도 1 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 연마 패드 ( 502 ) 의 제 1 운동 방향 은 x 방향 으로 되 도록 배치 되 어 있 지만 , 도 3 에 도시 된 실시 형태 에 있 어서 는 , 연마 패드 ( 502 ) 의 제 1 운동 방향 은 y 방향 으로 되 도록 배치 되 어 있 다 . 또한 , 도 1 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 가로 구동 기구 ( 620 ) 는 , 보유 지지 아암 ( 600 ) 을 y 방향 으로 이동 시키 도록 구성 되 어 있 지만 , 도 3 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 가로 구동 기구 ( 620 ) 는 보유 지지 아암 ( 600 ) 을 x 방향 으로 이동 시키 도록 구성 되 어 있 다 . 도 1 의 실시 형태 에 있 어서 , 제 2 컨디 셔 너 ( 850 ) 는 , 연마 패드 ( 502 ) 로부터 x 방향 으로 이격 되 어 배치 되 어 있 지만 , 도 3 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 2 컨디 셔 너 ( 850 ) 는 , 연마 패드 ( 502 ) 로부터 y 방향 으로 이격 되 어 배치 되 고 , 컨 디셔 닝 부재 ( 852 ) 를 y 방향 으로 이동 가능 하 도록 구성 되 어 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 도 1 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 연마 패드 ( 502 ) 가 기판 Wf 를 연마 하 기 위해서 운동 하 는 제 1 운동 방향 은 x 방향 이 며 , 제 1 운동 방향 으로 수직 이 며 또 한 기판 의 표면 에 평행 한 제 2 운동 방향 은 y 방향 이 다 . 한편 , 도 3 의 실시 형태 에 있 어서 는 , 연마 패드 ( 502 ) 가 기판 Wf 를 연마 하 기 위해서 운동 하 는 제 1 운동 방향 은 y 방향 이 며 , 제 1 운동 방향 으로 수직 이 며 또 한 기판 의 표면 에 평행 한 제 2 운동 방향 은 x 방향 이 다 . 도 3 의 부분 연마 장치 ( 1000 ) 의 그 밖 의 구성 은 , 도 1 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 와 마찬가지 로 할 수 있 으므로 설명 을 생략 한다 .