레이저 광원 으로부터 의 광 을 대물 렌즈 를 통하 여 피검 물 에 집광 함 과 함께 피검 물 의 면 방향 에 각각 독립 적 으로 상기 레이저 광 을 주사 가능 한 광 편 향부 와 , 대물 렌즈 의 초점 위치 와 공액 인 위치 에 배치 된 광학 조리개 를 통과 하 는 피검 물 로부터 의 반사 광량 을 검출 하 는 광 검 출부 와 , 피검 물 과 대물 렌즈 의 광축 방향 의 상대 거리 를 바꾸 는 Z 주사 부 와 , 상기 Z 주사 부 에 의해 상대 거리 를 변화 시켰 을 때 의 , 상기 레이저 광원 으로부터 의 광 을 피검 물 상 에 주사 할 때 에 얻 어 지 는 광 검 출부 로부터 의 휘도 출력 이 최대 값 으로 되 는 상기 상대 거리 를 구함 으로써 , 피검 물 의 각 주사 포인트 에서 의 높이 정보 를 구하 는 제 어부 를 갖 는 레이저 주사 형 현미경 장치 로서 , 상기 광 편 향부 에 의해 피검 물 상 을 라인 형상 으로 주사 하 여 얻 어 지 는 1 라인 분 의 높이 프로 파일 을 그 주사 방향 에 소 정량 만큼 어긋나 게 하 면서 복수 취득 하 고 , 복수 의 상기 높이 프로 파일 을 접속 하 여 1 개 의 프로 파일 을 구하 는 연산 처 리부 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 하 는 레이저 주사 형 현미경 장치 .