도 5 a 내지 도 5 p 는 본 발명 의 기술 적 사상 에 의한 실시 예 들 에 따른 집적회로 소자 의 제조 방법 을 설명 하 기 위하 여 공정 순서 에 따라 도시 한 확대 단면도 들 이 다 . 구체 적 으로 , 도 5 a 내지 도 5 p 는 도 4 b 에 보인 집적회로 소자 의 제조 방법 을 공정 순서 에 따라 , 도 3 의 P 1 으로 표시 한 점선 영역 에 대응 하 는 위치 를 도시 한 확대 단면도 들 로 도 3 을 함께 참조 하 며 , 도 4 a , 도 4 c 내지 도 4 g 에 뵌 집적회로 소자 의 제조 방법 은 차이점 위주 로 설명 될 수 있 다 .