밸브 체 ( 76 v ) 가 개구 ( 100 p ) 내 에 배치 되 어 있 는 상태 에서 는 개구 ( 100 p ) 를 닫 는다 . 밸브 체 ( 76 v ) 는 축 체 ( 76 s ) 에 의해 지 지 되 고 있 다 . 또한 , 밸브 체 ( 76 v ) 가 개구 ( 100 p ) 를 닫 은 상태 에서 , 밸브 체 ( 76 v ) 가 데포 실드 ( 100 ) 에 맞닿 으며 , 데포 실드 ( 100 ) 의 내주 벽면 과 밸브 체 ( 76 v ) 의 내 주면 으로 원통 면 을 형성 한다 . 축 체 ( 76 s ) 는 , 밸브 체 ( 76 v ) 아랫 쪽 으로 연결 되 어 연장 되 며 , 챔버 본체 ( 12 ) 의 저면 을 관통 한다 . 통체 ( 76 a ) 는 챔버 본체 ( 12 ) 에 고정 되 어 있 다 . 통체 ( 76 a ) 에 는 축 체 ( 76 s ) 가 삽입 관통 된다 . 통체 ( 76 a ) 에 는 , 통체 ( 76 a ) 와 축 체 ( 76 s ) 간 틈새 를 밀봉 하 는 밀봉 부재 ( 미 도시 ) 가 구비 되 어 있 다 . 이 로써 , 내부 공간 ( 10 s ) 의 기밀 이 확보 된다 . 구동 부 ( 76 d ) 는 축 체 ( 76 s ) 를 상하 로 움직임 으로써 밸브 체 ( 76 v ) 을 상하 이동 시켜 , 데포 실드 ( 100 ) 의 개구 ( 100 p ) 를 개폐 할 수 있 다 .