먼저 , 실리콘 웨이퍼 샘플 을 준비 하 고 ( S 110 ) , 실리콘 웨이퍼 의 탄소 농도 를 FT - IR 로 확인 하 고 ( S 120 ) , 상기 실리콘 웨이퍼 로 쇼트 키 다이오드 를 준비 한 후 ( S 130 ) 에 , 쇼트 키 다이오드 를 전기 적 으로 활성 화 ( S 140 ) 한 후 에 , 쇼트 키 다이오드 의 불순물 농도 를 DLTS 로 확인 한다 ( S 150 ) .