도 13 을 참조 하 여 위 에 언급 된 바 와 같이 , 도 13 의 내측 챔버 도면 ( 1300 ) 은 배출 영역 들 ( 1301 ) 및 배 출물 및 가스 배기 영역 들 ( 1303 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 된다 . 또한 , 도 6 을 참조 하 여 위 에 언급 된 바 와 같이 , 액체 들 또는 액체 증기 들 의 진공 배기 는 , 아래 에서 더 상세히 설명 되 는 바 와 같 은 , 챔버 로부터 액체 들 및 증기 들 을 인출 하 도록 구성 되 는 다양 한 유형 들 의 터빈 블레이드 메커니즘 들 ( 601 ) 에 의해 보조 될 수 있 다 .