전술 한 제 1 실시 형태 에서 는 , 각 인코더 ( 헤드 ) 로서 일축 방향 으로 감도 를 갖 는 인코더 를 채용 하 였 지만 , 본 제 2 실시 형태 의 노광 장치 에서 는 , 서로 직교 하 는 2 축 방향 으로 감도 를 갖 는 2 차원 인코더 ( 2 D 인코더 ) , 또는 더욱 구체 적 으로 , 직교 2 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 2 차원 인코더 ( 2 D 인코더 ) 를 채용 한다 . 2 차원 인코더 로서 는 , 예 를 들 어 , 직교 2 축 방향 으로 배치 된 2 쌍 의 고정 스케일 을 갖 고 , 각 쌍 의 고정 스케일 에서 2 차원 격자 로부터 발생 하 는 직교 2 축 방향 의 동일 차수 의 회절 광 을 , 각각 공통 의 인덱스 스케일 에 집광 하 는 3 개 의 격자 를 이용 하 는 회절 간섭 방식 의 인코더 를 이용 할 수 있 다 .