그러나 , 여기 서 하나 의 문제점 은 4 개 의 웨이퍼 처리 챔버 들 을 설치 함 으로써 상기 장치 의 폭 이 증가 된다는 것 이 다 . 도 2 에 도시 된 구성 에 따른 장치 의 폭 ( W 2 ) 는 , 도 1 에 도시 된 구성 에 따른 장치 의 폭 ( W 1 ) 보다 대략 28 % 더 크 다 . 여기 서 , " "" 장치 의 폭 ( apparatus width ) "" 은 상기 웨이퍼 이송 챔버 의 축 방향 에서 관측 되 는 상기 웨이퍼 입 / 출력 챔버 로 또는 챔버 로부터 상기 웨이퍼 로딩 또는 언로 딩 방향 에 수직 으로 측정 되 는 ", 상기 웨이퍼 처리 챔버 들 의 최외각 단부 들 사이 의 최대 거리 를 지칭 한다 .