도 11 에 도시 된 바 와 같이 , 베이스 판 ( 306 ) 은 플레 넘 ( 912 , 1102 ) 내 의 유체 로부터 중앙 통로 ( 1112 ) 를 고립 시키 는 중앙 보스 ( 1108 ) 를 포함 한다 . 중앙 통로 ( 1112 ) 는 상부 커버 판 ( 302 ) 을 통과 하 여 형성 되 는 통공 ( 316 ) 및 바닥 커버 판 ( 308 ) 을 통하 여 형성 되 는 구멍 ( 1118 ) 과 정렬 된다 . 통로 ( 1112 ) , 통공 ( 316 ) 및 구멍 ( 1118 ) 은 페데 스탈 조립 체 ( 116 ) 를 통하 여 정전 척 ( 1118 ) 으로 유틸리티 의 루팅 을 용이 하 게 한다 . 바닥 커버 판 ( 308 ) 과 보스 ( 1108 ) 사이 의 조인트 는 통로 내 로 유체 의 유입 을 방지 하 도록 또 다른 적절 한 형태 로 밀봉 또는 브레이 징 될 수 있 다 . 도 11 의 보스 ( 1114 ) 로서 도시 된 , 바닥 커버 판 ( 308 ) 의 보스 ( 702 ) 들 중 하나 는 유틸리티 도관 의 커플링 을 용이 하 게 하 도록 내부 에 형성 된 포트 ( 1116 ) 를 가진다 . 다른 보스 ( 702 ) 는 유사 하 게 구성 된다 .