상술 한 제조 공정 으로 제조 된 본 발명 의 이산화 탄소 가스 센스 용 감지 소자 는 MEMS 공정 을 이용 함 으로 그 제조 가 간단 하 며 일괄 생산 이 가능 하 고 재연 성 이 높 고 대량 생산 이 가능 하 다 . 또한 고수 율 로 센서 를 대량 생산 가능 함 으로써 제조 원가 가 저렴 한 광학 식 이산화 탄소 가스 센서 용 적외선 감지 소자 를 효과 적 으로 제공 할 수 있 다 .