일반 적 으로 스탬프 는 가공 이 용이 한 실리콘 기판 을 사용 되 는데 , 경우 에 따라 투명 한 스탬프 가 필요 한 경우 에 는 유리 기판 이 사용 되 기 도 한다 . 이러 한 실리콘 기판 상 에 감광성 수지 층 을 도포 한 후 전자 빔 리소그래피 나 레이저 간섭 리소그래피 공정 및 식각 공정 을 수행 하 여 제 1 패턴 을 형성 한다 . 한편 , 실리콘 기판 상 에 바로 제 1 패턴 을 형성 하 는 상기 방식 대신 에 , 실리콘 기판 상 에 실리콘 산화 막 을 증착 하 고 이 실리콘 산화 막 상 에 제 1 패턴 을 형성 하 여 스탬프 를 제조 할 수 도 있 다 .