이 상태 에서 , 웨이퍼 W 가 반송 기구 의 핸드 ( 90 ) 에 의해 반송 되 고 , 도 5 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 W 가 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 원형 의 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 상 에 놓인다 . 제 1 진공 라인 ( 15 ) 에 는 진공 이 형성 되 고 , 이 에 의해 웨이퍼 W 의 하면 의 중심 측 영역 은 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 에 진공 흡인 에 의해 보유 지지 된다 ( 도 2 의 스텝 4 참조 ) .