주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 상기 서술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 + Y 방향 에 대한 주사 ( 스캔 ) 개시 후 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 + Y 방향 으로 이동 하 고 , 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 의 검출 빔 이 웨이퍼 ( W 1 ) 상 에 걸쳐 지 기 시작 하 기 까지 의 동안 에 , Z 헤드 ( 171 p , 173 q ) 와 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 를 함께 작동 시켜 ( ON 으로 하 여 ) , 전술 과 동일 한 포커스 매핑 을 개시 한다 .