상기 마스크 패턴 들 ( 120 b , 155 ) 은 제 1 마스크 패턴 들 ( 120 b ) 및 제 2 마스크 패턴 ( 155 ) 을 포함 한다 . 상기 제 1 마스크 패턴 ( 120 b ) 은 상기 이방성 식각 된 벽부 로 구성 된다 . 상기 제 2 마스크 패턴 ( 155 ) 은 상기 이방성 식각 된 충전 마스크 패턴 및 상기 이방성 식각 된 충전 마스크 패턴 양측 벽 에 각각 접촉 된 한 쌍 의 상기 이방성 식각 된 벽부 를 포함 한다 . 따라서 , 상기 제 2 마스크 패턴 ( 155 ) 의 선폭 은 상기 제 1 마스크 패턴 ( 120 b ) 의 선폭 에 비하 여 크 다 .