상기 챔버 바디 ( 102 ) 는 , 예 를 들 면 반도체 기판 에 대한 소정 의 가공 공정 이 수행 되 는 공정 챔버 의 바디 또는 상기 공정 챔버 와 연결 되 어 기판 을 대기 시키 기 위한 로드 락 챔버 의 바디 일 수 있 다 . 그러나 , 본 발명 이 상기 챔버 바디 ( 102 ) 가 상기 공정 챔버 또는 로드 락 챔버 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 실리콘 웨이퍼 와 같 은 반도체 기판 이나 LCD ( liquid crystal display ) 기판 과 같 은 피 처리 기판 이 수용 하 는 어떠 한 종류 의 것 이 라도 무방 하 다 .