공급 실 , 처리 실 ( process chamber ) 및 배출 실 을 갖 는 코팅 장치 는 , 예 를 들 어 , DE 10 2004 008 598 A 1 의 도 1 에 개시 되 어 있 다 . 공급 실과 한편 으로 는 배출 실 및 다른 한편 으로 는 처리 실 사이 에 , 버퍼 챔버 ( buffer chamber ) 들 이 추가 로 제공 될 수 있 을 것 이 다 . 그러 한 코팅 장치 는 인라인 장치 ( inline installation ) 라고 도 지 칭 된다 .