상기 주사 전자 현미경 에 포함 되 는 각종 부재 등 은 진공 중 에 위치 하 여야 하 므로 , 상기 주사 전자 현미경 내 에 포함 되 는 부재 들 은 진공 챔버 내 에 위치 한다 . 이 는 , 전자 는 이 물질 과 충돌 하 여 쉽 게 산란 하 는 성질 이 있 기 때문 에 , 대기 중 에서 는 렌즈 로 초점 을 맞추 거나 검출 이 불 가능 하 기 때문 이 다 .