상기 실시 예 1 , 2 , 3 , 4 에 의해 제조 하 여 얻 는 주 쇄 에 카르복시 기 를 갖 고 , 측쇄 에 아크릴 로 일 기 를 갖 는 반복 단위 ( I ) , ( II ) 및 ( III ) 으로부터 이루어지 는 폴리우레탄 ( 1 ) , ( 2 ) , ( 3 ) 과 ( 4 ) 를 하 기 표 1 에 나타내 는 조성 분량 ( 성분 ( A ) 와 ( B ) 의 합계 량 을 100 중량 % 으로서 나타내 었 다 ) 와 다른 성분 ( 이 들 성분 량 은 ( A ) 와 ( B ) 의 총중 량당 ) 에 대하 여 중량 으로 나타내 었 다 ) 을 충분 하 게 혼합 한 후 지석 차 ( 砥石 車 ) 에 의해 연마 하 고 , 분산제 를 사용 하 여 입경 분포 를 200 nm 이하 로 조정 하 여 포토레지스트 조성물 ( 1 ) , ( 2 ) , ( 3 ) 과 ( 4 ) 를 얻 었 다 .