제 1 티어 메모리 개구 들 ( 149 ) 은 , 제 1 수직 교번 시퀀스 ( 132 , 142 ) 내 의 각각 의 층 을 관통 하 여 메모리 어레이 영역 ( 100 ) 내 에 형성 되 고 후속 적 으로 메모리 스택 구조물 들 을 내부 에 형성 하 기 위해 사용 되 는 개구 들 이 다 . 제 1 티어 메모리 개구 들 ( 149 ) 은 제 2 수평 방향 ( hd 2 ) 을 따라 측 방향 으로 이격 되 는 제 1 티어 메모리 개구 들 ( 149 ) 내 에 형성 될 수 있 다 . 제 1 티어 메모리 개구 들 ( 149 ) 의 각각 의 클러스터 는 제 1 티어 메모리 개구 들 ( 149 ) 의 2 차원 어레이 로서 형성 될 수 있 다 .