도 5 a 내지 도 5 e 는 본 발명 에 따른 반도체 제조 장치 의 동작 을 도시 한 개략 도 들 로 , 도 5 a 의 ( i ) 내지 도 5 e 의 ( i ) 은 본 발명 에 따른 반도체 제조 장치 의 단면 을 도시 한 것 들 이 고 , 도 5 의 ( ii ) 내지 도 5 e 의 ( ii ) 는 본 발명 에 따른 반도체 제조 장치 의 평면 을 도시 한 것 들 이 다 .