일반 적 으로 반도체 웨이퍼 나 LCD , PDP , OLED 등 의 대형 기판 을 생산 할 때 기판 에 남 아 있 는 이 물질 이나 얼룩 등 의 결함 을 발견 하 기 위하 여 목시 검사 , 즉 검사 자 의 육안 으로 결함 여부 를 검사 한다 . 이때 , 결함 의 발견 을 용이 하 게 하 기 위하 여 기판 전체 를 균일 하 게 빛 을 조사 하 여 기판 외관 전체 를 검사 하 는 기판 검사기 가 사용 된다 . 이러 한 기판 검사기 는 상방 조명 부 , 후방 조명 부 , 기판 척 으로 구성 된다 .