상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 적층 형 비아 체인 테스트 패턴 은 각 층 마다 제 1 패드 가 구비 된 제 1 패드 비아 체인 , 각 층 마다 제 4 패드 가 구비 된 제 4 패드 비아 체인 , 및 상기 제 1 패드 비아 체인 및 제 4 패드 비아 체인 과 전기 적 으로 연결 되 며 , 각 층 마다 제 2 패드 가 일 단부 에 구비 되 고 각 층 마다 제 3 패드 가 다른 단부 에 구비 된 중앙 비아 체인 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 각 패드 비아 체인 은 각각 최 하 단 메탈 과 최 상단 메탈 , 상기 최 하단 메탈 과 최 상단 메탈 사이 에 다층 의 비아 와 다층 의 중간 메탈 의 적층 형 비아 체인 구조 를 이루 고 , 상기 각 층 별 메탈 에 해당 패드 가 연결 되 는 것 을 특징 으로 한다 .