측정 동안 , 복합 격자 ( 110 , 120 ) 를 갖 는 기판 이 기판 위치 에 배치 된다 . 복합 격자 ( 110 , 120 ) 는 사전 설정 된 위치 ( Q 로 표시 됨 ) 에 있 다 . 제 1 조명 빔 ( IB 1 ) 은 기판 의 표면 을 따르 는 제 1 수평 방향 ( 화살표 D 1 으로 표시 됨 ) 에서 둔각 의 입사각 하 에 비대칭 조명 모드 로 사용 된다 . 예 를 들 어 , 제 1 조명 빔 은 기판 의 표면 을 따라 제 1 수평 방향 을 따르 는 구성 요소 를 갖 는 방향 을 따라 전파 된다 . 제 1 조명 빔 ( IB 1 ) 은 제 1 렌즈 ( L 1 ) 로 들어가 서 제 1 렌즈 를 통과 한 후 에 회절 각도 ( θ ) 의 1 차 회절 차수 빔 ( B +) 을 생성 하 는 각도 로 복합 격자 상 에 입사 되 는 방식 으로 구성 된다 . 결과 적 으로 , 1 차 회절 차수 빔 ( B +) 은 이후 기판 의 표면 에서 회절 되 며 , 0 차 회절 빔 ( B 0 ) 은 정반사 로 ( 이 예시 에서 는 각도 2 θ 로 ) 회절 된다 .