기판 처리 공정 이 개시 되 면 , 제 1 이송 모듈 의 제 1 로봇 ( 110 ) 은 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 1 챔버 ( 32 a , 34 a ) 와 공정 챔버 들 ( 42 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 제 1 로봇 ( 110 ) 이 기판 ( W ) 을 이송 하 는 과정 에서 제 2 로봇 ( 120 a ) 은 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 2 챔버 ( 32 b , 34 b ) 와 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 즉 , 제 2 로봇 ( 120 a ) 은 두 개 의 기판 ( W ) 을 동시 에 로드 락 챔버 ( 30 ) 로부터 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 의 버퍼 부 ( 54 ) 로 기판 ( W ) 을 안착 시킨다 . 버퍼 부 ( 54 ) 에 두 장 의 기판 ( W ) 이 안착 되 면 , 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 의 이송 로봇 ( 210 ) 은 버퍼 부 ( 54 ) 에 안착 된 기판 들 ( W ) 중 어느 하나 를 공정 챔버 들 ( 52 ) 중 어느 하나 로 이송 한다 . 그리고 , 이 송로 봇 ( 210 ) 은 버퍼 부 ( 54 ) 에 안착 된 기판 들 ( W ) 중 다른 하나 를 공정 챔버 들 ( 52 ) 중 다른 하나 로 이송 한다 . 그 후 이송 로봇 ( 210 ) 은 다시 버퍼 부 ( 54 ) 에 안착 되 어 진 기판 들 ( W ) 을 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 의 버퍼 부 ( 64 ) 에 안착 시킨다 . 버퍼 부 ( 64 ) 에 기판 ( W ) 이 안착 되 면 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 의 이송 로봇 ( 310 ) 은 버퍼 부 ( 64 ) 로부터 공정 챔버 들 ( 62 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 한다 .