본 발명 의 실시 예 에서 는 , 웨이퍼 관측 검사 ( inspection ) 를 통해 웨이퍼 상 에 형성 된 포토레지스트 패턴 에 대한 데이터 ( data ) 를 추출 하 여 , 시뮬레이션 모델 ( simulation model ) 을 제 1 캘리 브레이 션 하 고 , PR 패턴 을 리플 로 우한 후 의 데이터 를 수집 추출 하 여 제 1 캘리 브레이 션 된 모델 을 제 2 캘 리브레 이 션 한다 .