이 와 같 은 본 발명 의 플 라즈 마 처리 장치 는 배 플 과 상기 하부 챔버 내벽 사방 에 구비 되 는 월 라이너 에 개별 적 으로 임피던스 조절 수단 을 구비 하 여 이 임피던스 조절 수단 에 의해 특정 공간 에 구비 되 는 배 플 및 월 라이너 에 흐르 는 전류 의 양 을 제어 함 에 따라 플 라즈 마의 형성 위치 의 조절 이 가능 하 며 그 에 따라 플 라즈 마 균일성 을 확보 하 여 공정 수율 을 상승 시키 는 효과 가 있 다 .