이때 , 제 1 돌출부 ( 114 ) 와 제 2 돌출부 ( 124 ) 와 의 S 자 통로 는 전측 및 후 측 챔버 ( 112 ) ( 122 ) 의 넓 은 공간 에서 좁 은 공간 인 분사 슬릿 ( 140 ) 으로 세정액 ( 3 ) 이 빠른 속도 로 통과 하 도록 일자 형 와류 를 형성 할 때 분사 슬릿 ( 140 ) 의 길 이 방향 으로 세정액 ( 3 ) 이 고르 게 분포 되 도록 간섭 을 주 지 않 으면서 분사 슬릿 ( 140 ) 의 하 방향 으로 분사 속도 를 높여 주 기 때문 에 기판 ( 1 ) 의 표면 을 고르 게 빠른 유속 으로 세정 할 수 있 는 장점 이 있 다 .