한편 상기 와 같이 밸브 하우징 의 내부 공간 ( VS ) 과 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 이 서로 소통 될 수 있 는 구성 은 지지 부재 ( 330 ) 에 도 설치 할 수 있 다 . 즉 , 도 5 내지 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 지지 부재 ( 330 ) 에 는 밸브 하우징 의 내부 공간 ( VS ) 과 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 이 서로 소통 될 수 있 도록 하나 이상 의 관 통공 ( 333 ) 이 형성 될 수 있 다 .