처리 모듈 ( 12 ) 은 , 액 처리 유닛 ( U 1 ) 및 열처리 유닛 ( U 2 ) 에 의해 하층 막 상 에 레지스 트 막 을 형성 한다 . 처리 모듈 ( 12 ) 의 액 처리 유닛 ( U 1 ) 은 , 레지스 트 막 형성 용 처리 액 을 하층 막 상 에 도포 한다 . 처리 모듈 ( 12 ) 의 열처리 유닛 ( U 2 ) 은 , 레지스 트 막 의 형성 에 수반 하 는 각종 열처리 를 행한다 .