본 발명 의 일 실시 형태 에 따르 면 , 정렬 마크 를 포함 한 제품 이 제공 되 고 , 상기 정렬 마크 는 연속 하 는 트랙 들 사이 에서 피치 를 갖 는 서로 평행 인 도체 트랙 들 의 세트 를 포함 하 고 , 상기 세트 내 의 트랙 들 의 피치 는 제품 의 표면 을 따라 위치 의 함수 로서 변하 며 , 회절 이 일어나 는 각도 들 은 위치 의 함수 로서 피치 의 변동 패턴 에 의존 한다 .