노즐 부 ( 160 ) 는 복수 개 의 약액 공급 부 ( 170 ) 로부터 서로 다른 약액 들 예 를 들 어 , 식각 액 , 세정액 등 을 공급 받 아서 기판 ( W ) 으로 약액 을 분사 하 는 복수 개 의 노즐 ( 162 ) 들 을 구비 하 고 , 적어도 하나 의 노즐 지지대 ( 164 ) 에 의해 노즐 ( 162 ) 들 과 , 노즐 ( 162 ) 들 을 공정 위치 및 대기 위치 에 따라 상하 이동 및 회전 이동 시키 는 노즐 구동 부 ( 미도 시 됨 ) 와 체결 된다 .