상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 의 몇몇 실시 예 에 따른 가스 공급 자동 화 시스템 은 , 내부 에 가스 가 저장 된 적어도 하나 의 가스 실린더 들 이 저장 된 크 래들 ( cradle ) 을 이송 하 는 가스 실린더 이 송부 , 가스 실린더 이 송부 로부터 이송 된 가스 실린더 의 내부 에 저장 된 가스 의 성상 을 확인 하 고 , 가스 실린더 의 가스 누출 여부 를 검사 하 는 가스 실린더 검사 부 , 가스 실린더 검사 부 로부터 모바일 로봇 에 의해 가스 실린더 를 이송 받 고 , 이송 된 가스 실린더 를 가스 실린더 의 내부 에 저장 된 가스 의 성상 에 따라 분류 하 여 저장 하 는 스토리지 큐 , 및 스토리지 큐 로부터 모바일 로봇 에 의해 가스 실린더 를 이송 받 고 , 이송 된 가스 실린더 의 일 측 에 배치 된 가스 분사 노즐 에 반도체 제조 공정 라인 과 연결 된 가스 배관 을 체결 하 여 반도체 제조 공정 라인 에 가스 실린더 의 내부 에 저장 된 가스 를 공급 하 는 가스 캐비닛 을 포함 하 고 , 가스 캐비닛 은 , 가스 배관 과 체결 된 가스 실린더 의 내부 에 저장 된 가스 의 잔 여량 을 감지 하 는 가스 잔 여량 감지 부 를 포함 하 고 , 모바일 로봇 은 , 가스 잔 여량 감지 부 로부터 감지 된 가스 의 잔 여량 이 설정 가스 잔 여량 이하 이 면 , 모바일 로봇 은 가스 캐비닛 내 의 가스 실린더 를 회수 하 고 스토리지 큐 에 보관 된 가스 실린더 를 가스 캐비닛 으로 이송 한다 .