도 5 a 내지 도 5 c 는 촉매 도포 부 ( 500 ) 에서 의 촉매 도포 과정 을 단계 적 으로 설명 하 기 위한 도면 들 이 다 . 도 5 a 내지 도 5 c 를 참조 하 면 , 합성 기판 ( 10 ) 이 제 2 이송 장치 ( 700 ) 에 의해 스테이지 ( 590 ) 에 놓여 지 면 , 하부 차 단판 ( 562 ) 이 실린더 ( 566 ) 에 의해 작동 되 어 측 방향 으로 이동 되 면서 정량 공간 ( 568 ) 하부 를 개방 하 게 되 고 , 정량 공간 ( 568 ) 에 담겨져 있 던 설정 된 량 의 촉매 ( 20 ) 가 합성 기판 ( 10 ) 상면 으로 떨어진다 ( 도 4 a ) . 합성 기판 ( 10 ) 상면 에 수북 하 게 쌓인 촉매 ( 20 ) 는 브러시 유닛 ( 580 ) 에 의해 합성 기판 ( 10 ) 전면 에 균일 한 두께 로 도포 된다 ( 도 5 b , 도 5 c ) . 즉 , 도포 용 브러시 ( 587 ) 는 이 동체 ( 588 ) 와 함께 합성 기판 ( 10 ) 의 일단 에서 타단 까지 슬라이드 이동 하 면서 촉매 ( 20 ) 를 합성 기판 ( 10 ) 전면 에 균일 하 게 도포 시킨다 . 이때 , 촉매 ( 20 ) 의 균일 한 도포 를 위하 여 도포 용 브러시 ( 587 ) 또는 합성 기판 ( 10 ) 에 미세 한 진동 을 가해 줄 수 있 는 진동기 ( 미도 시 됨 ) 가 추가 로 설치 될 수 있 다 . 여기 서 , 촉매 ( 20 ) 는 예 를 들 면 철 , 백금 , 코발트 , 니켈 , 이트륨 등 의 전이 금속 과 또는 이 들 의 합금 및 산화마그네슘 ( MgO ) , 알루미나 ( Al 2 O 3 ) , 이산화규소 ( SiO 2 ) 등 의 다공성 물질 이 혼합 된 분말 형태 일 수 있 다 . 또는 이러 한 소재 가 포함 된 액상 의 촉매 ( 20 ) 일 수 있 다 . 촉매 ( 20 ) 가 액상 인 경우 에 는 촉매 저장 탱크 와 , 공급 라인 , 공급 라인 상 에 설치 되 는 정량 공급 용 펌프 그리고 액상 의 촉매 ( 20 ) 를 합성 기판 상면 으로 공급 하 는 공급 노즐 을 포함 할 수 있 다 .