챔버 ( 10 ) 의 내부 는 로딩 록 ( loading lock ) ( 26 ) 에 의해 사전 로딩 챔버 ( preload chamber ) ( 24 ) 의 내부 에 연결 된다 . 록 ( 26 ) 에 , 선택 적 으로 챔버 ( 10 ) 와 챔버 ( 24 ) 사이 의 연통 을 가능 하 게 하 기 위해 개방 되 고 그러 한 연통 을 막 기 위해 폐쇄 될 수 있 는 가스 밀폐 셔터 가 장착 된다 . 사전 로딩 챔버 ( 24 ) 에 , 웨이퍼 캐리어 가 사전 로딩 챔버 내 에 위치 되 고 사전 로딩 챔버 로부터 제거 될 수 있 도록 , 적절 한 로딩 도어 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 구비 된다 . 또한 , 사전 로딩 챔버 ( 24 ) 는 , 챔버 ( 10 ) 내 의 분위기 에 대응 하 는 분위기 가 챔버 ( 24 ) 내 에 제공 될 수 있 도록 , 분위기 제어 시스템 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 연결 된다 . 챔버 ( 10 ) 와 챔버 ( 24 ) 에 , 챔버 들 사이 에서 웨이퍼 캐리어 를 이동 시키 고 , 웨이퍼 캐리어 를 스핀들 ( 16 ) 상 에 위치 시키 며 웨이퍼 캐리어 를 스핀 들 로부터 제거 하 기 위한 적절 한 로봇 핸들링 장치 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 구비 될 수 있 다 .