상기 결함 측 정부 는 상기 제어 모듈 ( 200 ) 로부터 전달 된 상기 검사 대상물 ( T ) 의 결함 정보 를 통해 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 에 발생 된 결함 의 면적 또는 개수 를 도출 한다 . 이때 , 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 에 발생 된 결함 은 단락 결함 과 개방 결함 으로 각각 구분 될 수 있 으며 , 각각 의 종류 에 따라 면적 과 개수 를 도출 한다 .