기판 상 에 형성 된 유기 패턴 으로 는 , 포토레지스트 등 을 사용 하 여 포토 리소그래피 법 에 의해 기판 상 에 형성 된 수지 패턴 등 이 예시 된다 . 이 와 같 은 유기 패턴 은 , 예 를 들 어 , 기판 상 에 포토레지스트 의 막인 유기 층 을 형성 하 고 , 이 유기 층 에 대해 포토 마스크 를 통해 노광 하 고 , 현상 함 으로써 형성 할 수 있 다 . 유기 층 으로 는 , 기판 자체 의 표면 외 에 , 기판 의 표면 에 형성 된 적 층막 의 표면 등 에 형성 된 유기 층 이 어도 된다 . 이 와 같 은 유기 층 으로 는 , 특별히 한정 되 지 않 지만 , 반도체 디바이스 의 제조 과정 에 있 어서 , 에칭 , 마스크 를 형성 하 기 위해서 형성 된 유기물 의 막 을 예시 할 수 있 다 .