도 3 b 에 도시 된 바 와 같이 , 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 상부 를 덮 도록 전면 에 희생 막 ( 24 ) 을 형성 한다 . 이때 , 희생 막 ( 24 ) 은 스핀 온 코팅 법 ( Spin on coating ) 을 이용 하 여 형성 한다 . 예 를 들 어 , 희생 막 ( 24 ) 은 SOG ( Spin On Glass ) 이 며 , 스핀 온 코팅 법 을 이용 하 므로 갭 필 특성 이 우수 하 다 . 따라서 , 플러그 손실 부분 을 충분히 갭 필 할 수 있 고 , 이 로써 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 상부 에서 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 주변 부 보다 더 두껍 게 형성 할 수 있 다 .