이온 원 ( 200 ) 에서 생성 된 이온 은 , 인출 전극계 ( 205 ) 에 의해서 인출 되 고 , 이온 빔 ( 122 ) 을 형성 한다 . 이온 빔 ( 122 ) 은 재 치대 ( 206 ) 에 놓여진 반도체 기판 ( 119 ) 에 조사 된다 . 이온 빔 ( 122 ) 에 포함 되 는 이온 종 의 비율 은 재 치대 ( 206 ) 의 근방 에 설치 된 질량 분석 관 ( 207 ) 에 의해서 계량 된다 . 질량 분석 관 ( 207 ) 에 의해서 계수 된 이온 밀도 는 질량 분석 계 ( 208 ) 에서 신호 변환 되 고 , 그 결과 를 전원 제 어부 ( 203 ) 에 피드 백 시키 도록 하 여도 좋 다 . 전원 제 어부 ( 203 ) 는 이온 밀도 의 계수 결과 에 따라서 , 필라멘트 전원 ( 202 ) 을 제어 할 수 있 다 .