변 조광 검출 장치 ( 54 ) 에 의해 , 빔 스플리터 ( 52 b ) 를 통해 입력 되 는 상기 조사 광 을 참조 하 면서 , 상기 변 조광 이 어느 정도 변조 되 어 있 는지 를 나타내 는 변조 특성 정보 가 검출 된다 . 즉 , 변 조광 검출 장치 ( 54 ) 에 의해 , 빔 스플리터 ( 52 b ) 에 의해 간섭 된 2 속 의 광 을 기초 로 하 여 , 초음파 출력 부 ( 22 d ) 로부터 출력 되 는 초음파 에 의해 상기 조사 광이 주파수 변조 한 정도 ( 상기 조사 광 의 주파수 변조 량 ) 가 상기 변조 특성 정보 로서 검출 된다 . 그 후 , 이 변조 특성 정보 는 변조 신호 로서 변조 신호 처리 장치 ( 55 ) 로 출력 된다 . 또한 , 전술 한 처리 에 있 어서 , 변 조광 검출 장치 ( 54 ) 는 , 변조 광 에 있 어서 의 주파수 변조 량 에 부가 하 여 , 예 를 들 어 , 상기 변조 광 에 있 어서 의 광 흡수량 을 ( 변조 특성 정보 로서 ) 함께 취득 할 수 있 다 .