본 발명 의 감광성 수지 조성물 은 , ( A - 1 ) 성분 및 ( A - 2 ) 성분 을 함유 하 므로 , ( B ) 성분 의 함유량 이 많 아도 해 상성 이 뛰어나 다는 특성 을 나타낸다 . 따라서 , 통상 , 미노 광부 에 수지 등 의 잔사 가 존재 하 지 않 는다 . 또한 , 해상 성 이 뛰어나 서 , L / S ( 라인 / 스페이스 ) 의 사이 에 는 수지 매립 이나 박리 가 통상 존재 하 지 않 는다 . 잔사 가 없 는 최소 개구 비아 직경 은 , 바람직 하 게 는 100 ㎛ 이하 , 보다 바람직 하 게 는 90 ㎛ 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 80 ㎛ 이하 , 70 ㎛ 이하 이 다 . 하한 은 특별히 한정 되 지 않 지만 , 1 ㎛ 이상 등 으로 할 수 있 다 . 해상 성 의 평가 는 , 후술 하 는 < 해상 성 의 평가 > 에 기재 된 방법 에 따라서 평가 할 수 있 다 .