도 3 , 도 4 a , 도 4 b , 도 5 a , 도 5 b 및 도 5 c 를 참조 하 면 , 셀 어레이 영역 ( CAR ) 및 연결 영역 ( CTR ) 을 포함 하 는 기판 ( 100 ) 이 제공 될 수 있 다 . 일 예 로 , 기판 ( 100 ) 은 실리콘 기판 , 게르마늄 기판 또는 실리콘 - 게르마늄 기판 일 수 있 다 . 기판 ( 100 ) 은 제 1 도 전형 을 가질 수 있 으며 , 일 예 로 , 기판 ( 100 ) 은 p 형 을 가질 수 있 다 .