플라스마 발생 방식 으로 는 , 고주파 ( RF ) 스퍼터링 법 및 직류 ( DC ) 스퍼터링 법 의 양방 의 방식 이 있 고 , 단지 성막 만 할 목적 이 면 양 방식 모두 이용 할 수 있 다 . 고주파 ( RF ) 스퍼터링 법 은 타깃 의 비저항 에 상관 없이 , 예 를 들 어 , 절연체 의 타깃 이 라도 실시 할 수 있 는데 , 직류 ( DC ) 스퍼터링 법 은 타깃 의 비저항 이 일정 값 이하 , 예 를 들 어 1 × 10 - 1 Ω ㎝ 이하 여야 한다 .