계측 결과 는 감독 제어 시스템 ( SCS ) 에 직접 또는 간접 적 으로 제공 될 수 있 다 . 오 차 가 검출 되 면 , ( 특히 , 배치 ( batch ) 의 하나 이상 의 다른 기판 이 여전히 노광 되 는 것 이 충분 할 만큼 곧바로 그리고 신속 하 게 검사 가 수행 될 수 있 다면 ) 후속 기판 의 노광 및 / 또는 노광 된 기판 의 후속 노광 에 대한 조정 이 이루어질 수 있 다 . 또한 , 이미 노광 된 기판 은 해체 및 재 작업 되 어 수율 을 개선 할 수 있 거나 , 또는 폐기 될 수 있 으며 , 이 에 의하 여 결함 이 있 는 것 으로 알려진 기판 에 대한 추가 처리 를 수행 하 는 것 을 방지 한다 . 기판 의 일부 타 겟 부분 에 만 결함 이 있 는 경우 , 양호 한 타 겟 부분 에 대해서 만 추가 노광 이 수행 될 수 있 다 .