또한 제 3 실시 형태 에서 는 , 집합 배관 ( 338 ) 내 에서 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 이 혼합 된다 . 즉 , 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 이 기판 ( W ) 에 공급 되 기 직전 에 혼합 된다 . 그리고 , 이 혼합 된 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 과 의 혼합액 ( 소수 화제 ) 이 기판 ( W ) 에 공급 된다 . 기판 ( W ) 에 공급 되 기 직전 에 제 2 용제 와 소수 화제 의 원액 이 혼합 되 므로 , 소수 화제 가 희석 됨 으로써 , 소수 화제 의 활성 이 시간 의 경과 와 함께 저하 되 는 경우 이 어도 , 활성 이 저하 되 지 않 고 , 또는 활성 이 거의 저하 되 지 않 은 소수 화제 를 기판 ( W ) 에 공급 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 패턴 ( P ) 의 도괴 를 억제 할 수 있 다 .