아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 의 상부 에 는 제 2 퍼지 가스 공급 부 ( 256 ) 가 연결 될 수 있 다 . 제 2 퍼지 가스 공급 부 ( 256 ) 를 통하 여 퍼지 가스 를 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 의 내부 ( 252 ) 로 공급 할 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 의 내부 ( 252 ) 로 공급 된 퍼지 가스 는 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 의 하부 에 위치 하 는 퍼지 가스 배기 부 ( 260 ) 로 배기 될 수 있 다 .