바람직 한 일 구 현예 에서 , 일단 공정 이 가동 단계 를 지나 면 처녀 물질 뿐 만 아니 라 재순환 된 물질 도 포함 하 는 주요 반응물 , 즉 퍼 클로 로 에틸렌 및 불화 수소 ( HF ) , 및 선택 적 으로 는 ( ⅱ ) , ( ⅲ ) 단계 를 수행 한 결과 로서 회수 된 다른 재순환 성분 들 , 예컨대 120 시리즈 의 화합물 중 R - 123 의 전구체 물질 및 트리 클로로 플 루 오로 에틸렌 은 전형 적 으로 하나 이상 의 반응기 에 공급 되 기 전 에 다 단계 가열 공정 을 사용 하 여 원 하 는 온도 까지 올려진다 .