도 4 는 300 mm 웨이퍼 에 대하 여 균일 한 1 . 0 mm 직경 을 가지 는 홀 들 ( 220 , 도 2 b 참조 ) 를 가지 는 원형 의 홀 가공 영역 ( 302 , 도 3 a 참조 ) 의 직경 에 대한 반응기 세정 속도 및 증착 된 막 두께 균일 도 의 관계 를 도시 하 는 그래프 이 다 . 참조 를 위하 여 , 도 4 는 종래 의 크기 의 홀 가공 영역 ( 302 ) 에 대하 여 종래 의 홀 들 ( 208 ) ( 도 2 a ) 을 이용 하 여 구현 한 상기 세정 속도 및 상기 막 두께 균 일도 를 또한 도시 한다 . 종래 의 홀 가공 영역 ( 302 ) 은 약 326 mm 의 직경 을 가진다 .