본 발명 의 다른 중요 한 면 은 , 일산 화 탄소 가 환원제 로 도 작용 할 수 있 어서 , 전이 금속 산화물 이 일산 화 탄소 함유 플 라즈 마 에서 도 에칭 될 수 있 다는 것 이 다 . 당업자 는 다른 가스 가 플 라즈 마 에칭 기에 요구 되 고 사용 될 수 도 있 음 을 이해 해야 한다 . 예 를 들 어 , Ar / BCl 3 는 에너지 이온 충격 ( energetic ion bombardment ) 을 제공 할 수 있 고 ; 수소 화 플 루 오로 탄소 ( hydrogenated fluorocarbon ) 또는 H 2 가 , 필요 하 다면 , 환원 분위기 를 제공 하 는 데 유용 할 수 있 다 .