도 74 에서 도 명확 한 바 와 같이 , 좌측 로딩 포지션 을 향한 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 이동 도중 에 , X 간섭계 ( 226 ) 로부터 의 측장 빔 이 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 a ) 닿 지 않 게 되 지만 , 그것 에 앞서 , X 간섭계 ( 226 ) 로부터 의 측장 빔 이 반사면 ( 27 a ) 에 닿 아 있 을 때 , X 간섭계 ( 217 ) 로부터 의 측장 빔 이 반사면 ( 27 c ) 에 닿 기 시작 한다 . 그래서 , X 간섭계 ( 226 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 X 간섭계 ( 217 ) 의 계측 값 을 프리 셋 하 고 있 다 .