여기 서 p 형 폴리 게이트 ( 326 ) 는 하드 마스크 막 패턴 ( 318 ) , 게이트 금속 막 패턴 ( 320 ) , p 형 폴리 실리콘 막 패턴 ( 322 ) 및 게이트 절 연막 패턴 ( 324 ) 을 포함 하 여 이루어진다 . 그리고 n 형 폴리 게이트 ( 330 ) 는 하드 마스크 막 패턴 ( 318 ) , 게이트 금속 막 패턴 ( 320 ) , n 형 폴리 실리콘 막 패턴 ( 328 ) 및 게이트 절 연막 패턴 ( 324 ) 을 포함 하 여 이루어진다 .