상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 화학 적 기계 적 연마장 치 및 상기 연마장 치 의 연마 패드 부착 방법 은 플레이튼 ( 110 ) 과 연마 패드 ( 120 ) 의 접착 을 위해 제공 되 는 접착 필름 ( 130 ) 의 접착력 을 강화 하 여 연마 패드 ( 120 ) 가 들뜨 는 현상 을 방지 한다 . 특히 , 본 발명 은 접착 필름 들 중 플레이튼 ( 110 ) 과 연마 패드 ( 120 ) 사이 에 제공 되 는 접착 필름 ( 본 실시 예 에서 는 제 1 필름 ( 132 ) ) 의 두께 를 최소 화 하 여 연마 패드 ( 120 ) 가 들뜨 는 현상 을 방지 한다 .