도 1 에 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 다수 의 플 라즈 마 토출 영역 을 구비 하 는 세정 장치 ( 1 ) 의 부분 절 결사 시도 가 도시 되 고 , 도 2 에 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 다수 의 플 라즈 마 토출 영역 을 구비 하 는 세정 장치 ( 1 ) 의 작동 단면도 가 도시 되 며 , 도 3 에 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 다수 의 플 라즈 마 토출 영역 을 구비 하 는 세정 장치 ( 1 ) 의 작동 단면도 가 도시 된다 .