상기 기판 지지 회 전부 ( 110 ) 와 상기 그라인더 지지 회 전부 ( 130 ) 는 질화 갈륨 기판 ( 120 ) 의 표면 및 그라인더 표면 ( 142 ) 이 지면 에 대하 여 수직 하 게 배치 되 도록 상호 배열 된다 . 따라서 , 기판 지지 회 전부 ( 110 ) 의 회전축 과 그라인더 지지 회 전부 ( 130 ) 이 회전축 은 지면 에 나란 하 게 배치 된다 .