이렇게 제 어부 ( 18 ) ( 예 를 들 어 처리 실행 부 ( 25 ) ) 는 , 어떤 처리 유닛 ( 16 ) ( 즉 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) ) 에 대해서 이상 이 발생 한 경우 , 미처리 웨이퍼 ( W ) 및 구제 웨이퍼 에 대한 처리 의 우선 순 의 재 할당 을 행한다 . 이 재 할당 을 행할 때 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 은 , 할당 가능 한 처리 유닛 ( 16 ) 으로부터 제외 된다 . 제 어부 ( 18 ) ( 예 를 들 어 처리 실행 부 ( 25 ) ) 는 , 이상 이 발생 한 후 에 는 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에 웨이퍼 ( W ) 가 반송 되 지 않 도록 기판 반송 장치 ( 17 ) 를 제어 한다 .