메인 가스 유동 ( 145 ) 은 가스 유입 구 ( 131 ) 로부터 가스 유출 구 ( 134 ) 를 향해 그리고 챔버 ( 100 ) 에 대한 진공 소스 인 펌프 ( 136 ) 로 지향 된다 . 일 구 현 에서 , 배기 어셈블리 ( 124 ) 의 배기 용적 ( 125 ) 은 , 메인 가스 유동 ( 145 ) 에 대한 챔버 구조물 의 기하 형상 영향 ( geometry influence ) 을 감소 시키 기 위해 처리 용적 ( 139 ) 을 연장 시키 도록 구성 된다 . 펌프 ( 136 ) 는 처리 용적 ( 139 ) 의 압력 을 제어 하 기 위해 또 한 이용 될 수 있 다 . 하나 의 예시 적 인 동작 에서 , 처리 용적 내부 의 압력 은 약 1 토르 내지 약 19 토르 , 예 를 들 어 약 5 토르 내지 약 15 토르 로 유지 된다 .