에치 백 공정 영향 의 심각 한 불 균일 성 은 다 이 내 구조 의 에스 펙 트 비율 변화 에 극도 로 민감 한 스퍼터 - 증착 된 전도성 확산 배리 어 층 의 위상 적 ( Topological ) 특징 의 큰 변화 에 기인 한다 . 상기 전도성 확산 배리 어 층 의 오버행 ( Overhang ) ( 305 , 309 ) 과 같 은 위상 적 특징 들 은 에치 백 공정 의 결과 에 중요 한 영향 을 미친다 .