특히 , 액정 표시 장치 의 기판 제작 공정 은 실리콘 반도체 제조 공정 과 유사 하 여 기판 상 에 증착 된 박막 을 패 터닝 하 기 위해 사진 ( photolithography ) , 식각 ( etching ) , 세정 ( cleaning ) 과 같 은 단위 공정 으로 이루어지 는데 , 이 와 같 은 단위 공정 은 상기 박막 의 형성 에 따라 다 수번 반복 작업 이 필요 하 다 .