이 를 위해 , 스파이크 급속 어 닐 ( Spike - Rapid Thermal Annealing : S - RTA ) 또는 컨벤셔널 급속 어 닐 ( Conventional RTA : C - RTA ) 을 실시 할 수 있 는데 , 특히 스파이크 급속 어 닐 은 컨벤셔널 급속 어 닐 보다 보다 빠른 램프 업 속도 ( Ramp up rate ) 로 더 높 은 온도 까지 승 온 시켜서 짧 은 시간 동안 어 닐 하 는 공정 이 다 .