APCVD 장치 를 이용 한 증착 방법 은 연속 진행 모드 와 배치 진행 모드 로 나뉘 어 지 는데 , 연속 진행 모드 는 챔버 의 N 개 의 각 분배 헤드 에서 전체 의 20 % 가 각각 증 착 되 며 , 배치 진행 모드 에서 는 챔버 의 N 개 의 각 분배 헤드 에서 각각 100 % 가 진행 된다 . 일반 적 으로 배치 진행 모드 는 웨이퍼 의 수평 조절 등 과 같 은 증착 장비 의 컨디션 을 최적 화 하 기 위해 이용 된다 .