바람직 하 게 , 상기 완충 층 은 ZnO 또는 ZnO 에 Al 및 Ga 중 적어도 하나 를 포함 하 여 형성 한다 . 상기 완충 층 은 50 ~ 1500 Å 범위 에서 단일 층 또는 다 중층 으로 형성 된다 . 상기 완충 층 은 ( 100 ) 면 으로 성장 된 ( 100 ) 층 , 상기 ( 100 ) 면 상 에 ( 002 ) 면 으로 성장 된 ( 002 ) 층 을 포함 한다 .