로드 모듈 ( 10 ) 의 일 측 에 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 를 포함 하 는 아이 솔 레 이 션 모듈 ( 25 ) 이 위치 할 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 는 내부 공간 ( 252 ) 을 구비 할 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 는 기판 컨테이너 ( 100 ) 의 도어 ( 140 ) 를 열 고 닫 을 수 있 는 도어 잠금 장치 ( 264 , 270 ) 가 설치 될 수 있 다 . 도어 잠금 장치 ( 264 , 270 ) 는 도어 홀더 ( 264 ) 및 도어 홀더 ( 264 ) 에 연결 된 구동 수단 ( 270 ) 을 포함 할 수 있 다 .