본 발명 의 일 실시 예 는 이 경우 에 무선 다이 ( 온 - 칩 안테나 구조물 ( 106 ) 을 가짐 ) 인 DUT ( 104 ) 를 테스트 하 기 위한 방법 이 고 , 상기 무선 다이 는 여전히 웨이퍼 ( 403 ) 의 일부 이 다 . 방법 은 a ) 웨이퍼 홀딩 메커니즘 ( 308 ) 에 의해 웨이퍼 ( 403 ) 를 유지 하 는 단계 ; b ) 무선 다이 ( DUT ( 104 ) ) 의 신호 및 전력 패드 들 과 인쇄 배선 보드 ( 410 ) 의 프로브 들 을 접촉 또는 터치 시켜서 , 이 들 을 테스트 케이블 들 일 수 있 는 라인 들 ( 124 , 122 ) 을 통하 여 테스트 설비 ( 116 ) 에 연결 하 는 단계 ; c ) DUT ( 104 ) 의 접촉 된 전력 패드 들 에 전력 을 인가 한 다음 , 테스트 신호 를 DUT ( 104 ) 의 신호 패드 에 인가 하 여 자신 의 집적 형 RF 안테나 구조물 ( 106 ) 을 통해 응답 을 방사 하 도록 DUT ( 104 ) 를 자극 ( stimulating ) 하 는 단계 ; d ) 테스트 설비 ( 116 ) 가 RF 다운 컨버터 를 통해 연결 되 는 RF 테스트 안테나 를 사용 하 여 , DUT ( 104 ) 의 방사 된 응답 을 테스트 설비 ( 116 ) 에 의해 캡쳐 및 저장 하 는 단계 ; e ) DUT ( 104 ) 의 전력 및 신호 패드 들 과 프로브 들 의 접촉 또는 터치 를 중단 하 는 단계 ; f ) 그 다음 에 , 동일 한 웨이퍼 ( 403 ) 에서 다른 무선 다이 ( 다른 DUT ) 를 순차 적 으로 테스트 하 기 위해 웨이퍼 ( 403 ) 에 대하 여 보드 ( 410 ) 를 이동 시키 는 단계 ; 및 그 다음 에 상기 다른 무선 다이 에 대하 여 단계 b ) - f ) 를 반복 하 는 단계 를 포함 한다 . 웨이퍼 ( 403 ) 에서 상이 한 무선 다이 들 의 저장 된 응답 들 은 각각 의 테스트 되 는 DUT 들 의 집적 형 RF 회로 에 대한 성능 메트 릭 ( metrics ) 을 계산 하 기 위해 테스트 컴퓨터 에 의해 평가 될 수 있 다 .