경계 분리 막 ( 130 ) 은 경계 분리 트렌치 ( 120 ) 내 에 형성 될 수 있 다 . 경계 분리 트렌치 ( 120 ) 는 기판 ( 100 ) 내 에 깊이 방향 으로 식각 되 어 형성 될 수 있 다 . 경계 분리 트렌치 ( 120 ) 는 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 ( 100 b ) 에서 형성 되 어 제 1 면 ( 100 a ) 방향 으로 연장 될 수 있 다 . 경계 분리 트렌치 ( 120 ) 는 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 ( 100 b ) 에 는 도달 하 지 못할 수 있 다 .