반도체 층 의 보호 층 은 비정질 산화물 또는 비정질 질화물 인 것 이 바람직 하 고 , 비정질 산화물 인 것 이 특히 바람직 하 다 . 또한 , 보호 층 이 산화물 이 아니 면 반도체 중 의 산소 가 보호 층 측 으로 이동 하 여 오프 전류 가 높 아 지 거나 , 역치 전압 이 음 이 되 어 노 멀리 오프 ( normally - off ) 를 나타낼 우려 가 있 다 .