도 2 b 에 나타내 는 바 와 같이 , 평면 에서 봤 을 때 , 내조 ( 51 ) 의 수조 내 는 수평 방향 에 제 1 존 ( ZA ) 과 제 2 존 ( ZB ) 으로 구분 되 어 , 존 ( ZA , ZB ) 마다 상이 한 액 공급 부 ( 6 ) 가 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 도록 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 가 배치 된다 . 이웃 하 는 존 ( ZA , ZB ) 의 경계선 은 가상 적 인 것 이 다 . 내조 ( 51 ) 의 수조 내 는 , 도 2 b 에서 는 기판 ( 2 ) 의 배열 방향 에 2 개 의 존 ( ZA , ZB ) 으로 구분 되 지만 , 3 개 이상 의 존 으로 구분 되 어도 된다 .