이하 , 본 발명 의 실시 예 에 관한 공작물 기준점 기계 상 검출 방법 및 그 방법 을 이용 한 가공 장치 를 도면 을 참조 하 여 설명 한다 . 도 1 에서 , 초 정밀 가공 장 치 ( 10 ) 의 베드 ( 11 ) 의 앞면 에 는 Y 축 슬라이드 테이블 ( 12 ) 이 안내 기구 ( 13 ) 에 의해 상하 의 Y 축 방향 으로 직선 이동 가능 하 게 장착 되 어 있 다 . Y 축 슬라이드 테이블 ( 12 ) 은 리니어 모터 ( 14 ) ( 도 2 참조 ) 에 의해 Y 축 방향 으로 직선 이동 되 고 , 리니어 스케일 ( 15 ) 에 의해 이 동량 이 검출 되 어 피드백 되 고 위치 제어 된다 .