본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 상기 희생 막 의 형성 단계 는 , 상기 희생 막 을 식각 하 여 상기 지지대 메탈 및 상기 접 지 라인 일부 를 노출 시키 는 단계 를 포함 한다 . 또한 , 상기 이동판 부 를 형성 하 는 단계 는 , 상기 지지대 메탈 및 접지 라인 일부 를 노출 시킨 후 기판 전면 에 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 개방 부 의 상기 신호 라인 양 끝단 상부 의 상기 절 연막 및 희생 막 을 식각 하 고 내부 를 도전 성 물질 로 매립 하 여 접촉 수단 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 절 연막 및 접촉 수단 상 에 전 극막 을 형성 하 고 상기 접촉 수단 상 의 전 극막 주변 을 식각 하 여 스위칭 전극 라인 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 한다 .