위 에 설명 한 실시 형태 에서 , 가변 용량 디바이스 ( 11 ) 의 구조 , 형상 , 재료 , 개수 등 은 , 다양 하 게 변경 할 수 있 다 . 그 외 에 , 마이크 로 머신 시스템 ( 3 , 3 B , 3 C , 3 D ) 의 전체 또는 각 부 , 각 회로 의 구성 , 구조 , 형상 , 개수 , 회로 상수 , 제 어 전압 VC 의 파형 , 극성 의 절환 의 타이밍 , 주기 또는 주파수 , 플로우 차트 에서 의 처리 의 내용 또는 순서 등 은 , 본 발명 의 취지 에 따라 적절 하 게 변경 할 수 있 다 .