접촉 위치 는 , 예컨대 , 대기 위치 를 포함 한다 . 변형 부 ( 91 b ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 이 대기 위치 에 있 는 경우 에 는 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 에 접촉 한다 . 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 이 대기 위치 에 있 는 경우 에 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 제 2 도 통부 ( 91 ) 가 접촉 하 여 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 로부터 처리 용기 ( 2 ) 의 외부 의 도전 성 부재 까지 의 도통 경로 가 형성 된다 . 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 과 , 처리 용기 ( 2 ) 의 외부 의 도전 성 부재 가 도통 함 으로써 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 이 제전 된다 .