본 발명 은 RF 전송로 에서 부하 측 에서 되돌아오 는 반사파 에 따라 전송로 의 임피던스 를 가변 시켜 전송로 의 임피던스 를 정합 시킬 수 있 도록 하 는 RF 전송로 용 가변 임피던스 정합 장치 에 관한 것 이 다 . 본 발명 은 RF 전력 발생기 와 반도체 제조 장비 의 임피던스 정합 기 , 그리고 상기 RF 전력 발생기 의 출력 전력 을 반도체 제조 장비 의 임피던스 정합 기 로 전송 하 도록 연결 되 는 RF 전송로 를 구비 하 고 있 는 RF 전송로 용 임피던스 정합 장치 에서 상기 반도체 제조 장비 의 임피던스 정합 기 의 반사파 를 검출 하 는 반사파 센서 가 설치 되 고 , 상기 RF 전송로 상 에 는 상기 반사파 센서 의 검출 신호 에 따라 임피던스 가 가변 되 는 가변 임피던스 정합 기 를 설치 하 여 , 반사파 의 크기 에 따라 전송로 상 의 임피던스 를 가변 시켜 양단 의 장비 간 의 임피던스 를 정합 시킬 수 있 는 장점 이 있 는 것 이 다 .