구리 전해 도금 에서 PEG - Cl -- SPS 의 조합 은 초등 각 전착 에 대해 우수 한 능력 을 보여 주 기 때문 에 가장 많이 이용 된다 . 그러나 전착 중 가속 제 의 영향 으로 범프 가 형성 되 고 , 범프 가 성장 하 면서 전착 후반 에 하나 의 집합체 를 형성 하 게 된다 . 집합체 는 트렌치 ( trench ) 의 종횡비 가 크 고 밀도 가 높 은 지역 일수록 범프 의 밀집 이 증가 하 기 때문 에 더욱 커 지 게 되 는데 , 이러 한 현상 을 과 전착 ( overplating , overburden ) 이 라 한다 . 과 전착 된 영역 은 주변 지역 과 단차 를 형성 하 는데 , 이렇게 형성 된 단차 는 화학 적 기계 적 연마 공정 에서 공정 의 시간 을 증가 시키 고 , 잔류 두께 의 균일성 을 낮 게 하 기 때문 에 소자 의 결함 을 야기 한다 .