도 14 및 도 15 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 형성 된 상변화 메모리 소자 하부 전극 의 스탭 커버리지 특성 을 설명 하 기 위한 SEM 사진 들 이 다 . 특히 , 도 13 은 셀 영역 에 위치 한 상변화 메모리 소자 의 하부 전극 SEM 사진 이 며 , 도 14 는 주변 영역 에 위치 한 상변화 메모리 소자 의 하부 전극 SEM 사진 이 다 .