도 2 를 참조 하 면 , 프로브 유닛 ( 20 ) 은 접촉 단자 인 니들 타입 프로브 ( 21 ) 를 가진 니들 블록 ( 23 ) 또는 MEMS ( Micro Electronic Mechanical System ) 공정 으로 형성 된 프로브 ( 21 ) 를 가진 MEMS 블록 ( 23 ) 및 패널 ( P ) 에 압력 을 가하 여 워크 테이블 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 견고 하 게 접촉 시키 기 위한 한 쌍 의 패널 푸 셔 ( 22 ) 를 포함 한다 . 추가 로 도 2 에 도시 되 지 않 았 지만 프로브 유닛 ( 20 ) 과 프로브 장비 ( 도시 되 지 않 음 ) 사이 에 전기 적 신호 를 전달 하 는 유연 성 전기 기판 이 설치 될 수 있 다 . 그리고 프로브 유닛 ( 20 ) 은 머니퓰레이터 ( 24 ) 를 통하 여 프로브 장비 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 결합 될 수 있 다 .