이 를 위하 여 , 본 발명 에서 는 TiAlN 막 층 과 BN 막 층 각각 의 두께 조절 과 이 들 두 층 으로 구성 된 단위체 의 두께 조절 을 통하 여 좀 더 최적 의 미세 구조 를 구현 하 여 경도 등 의 물성 향상 을 꾀할 수 있 도록 하 는 것 이 다 . 앞서 언급 한 바 와 같이 , 증착 과정 에서 모재 , 기판 등 에 인가 하 는 바이어스 전압 에 의해 두 상간 의 계면 구조 는 조성 적 전이 영역 이 넓 어 져 경도 값 을 감소 시킬 수 있 다 . 그러나 , 본 발명 에서 는 증착 과정 에서 인가 하 는 바이어스 전압 에 의해 결정질 상인 TiAlN 층 의 미세 구조 를 조절 하 여 입자 크기 감소 , 압축 응력 등 을 유발 시켜 경도 증가 를 꾀함 으로써 , 두 상간 의 전이 영역 이 넓 어 져서 생기 는 경도 감소 를 충분히 상쇄 시키 고 , 또한 이러 한 증가 된 경도 는 고온 에서 도 두 상간 의 샤프 ( sharp ) 한 계면 전이 에 의해 유지 되 거나 오히려 더 높 아 질 수 있 음 에 착안 하 여 개발 된 것 이 다 .