본 예 에서 , 기판 이송 장치 ( 105 ) 는 , 제 1 고정자 ( 200 ) 라고 도 지칭 되 는 제 1 권선 세트 ( winding set ) , 및 제 2 고정자 ( 205 ) 라고 도 지칭 되 는 제 2 권선 세트 를 포함 하 며 , 이 들 각각 은 컨트롤러 ( 240 ) 에 전기 적 으로 연결 된다 . 컨트롤러 ( 240 ) 는 기판 이송 장치 가 본원 에 설명 되 는 바 와 같이 동작 하 게 하 기 위한 임의 의 적절 한 회로 및 / 또는 프로그램 명령 들 을 포함 하 는 임의 의 적절 한 컨트롤러 일 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 컨트롤러 ( 240 ) 는 미국 특허 출원 제 11 / 178 , 615 호 에 설명 되 는 클러스터 형 아키텍처 의 일부분 일 수 있 으며 , 이 의 개시 사항 들 은 전부 본 명세서 에 참조 로서 포함 된다 . 도 3 a 에서 알 수 있 다시피 , 제 1 및 제 2 고정자 들 ( 200 , 205 ) 은 적어도 2 개 의 1 차 권선 들 ( 245 ) 을 포함 할 수 있 다 . 고정자 들 ( 200 , 205 ) 은 이송 챔버 하우징 ( 285 ) 의 임의 의 적절 한 외형 ( contour ) 을 실질 적 으로 따르 도록 구성 될 수 있 다 . 상기 외형 들 은 챔버 벽 들 의 외부 표면 , 챔버 벽 들 의 내부 표면 , 또는 챔버 벽 들 의 ( 예컨대 , 챔버 벽 들 내부 에 위치 하 거나 , 챔버 벽 들 과 일체 화 된 ) 내부 일부분 을 포함 할 수 있 다 . 도 2 에 도시 된 예시 적 인 실시 예 들 에서 , 고정자 들 ( 200 , 205 ) 은 측벽 들 ( 285 ') 의 외형 을 실질 적 으로 따르 도록 구성 된다 . 다른 예시 적 인 실시 예 들 에서 , 고정자 들 ( 200 , 205 ) 은 하우징 ( 285 ) 의 상부 및 하부 벽 들 ( 285 '', 285 ''') 의 외형 을 실질 적 으로 따르 도록 구성 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 고정자 들 은 이송 챔버 ( 120 ) 내부 또는 외부 에 위치 한 임의 의 적절 한 구조물 의 외형 을 따르 도록 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 고정자 들 은 이송 챔버 ( 120 ) 내부 또는 외부 에서 임의 의 적절 한 구성 을 가질 수 있 는 고정자 지지 부 의 외형 을 따를 수 있 다 .