상술 한 본 발명 의 목적 들 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따르 면 , 습식 세정 장치 는 세정액 이 수용 되 는 세 정조 , 세정액 내부 에서 분출 되 도록 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 , 공급 되 는 가스 의 공급 특성 을 감지 하 여 특성 신호 를 생성 하 는 제 어부 , 생성 된 특성 신호 를 출력 하 는 디스플레이 부 를 포함 한다 .