또한 , 처리 용기 ( 101 ) 의 , 유지 대 ( 103 ) 에 대향 하 는 측 에 는 , 처리 용기 ( 101 ) 내 에 처리 가스 를 공급 하 기 위한 , 예컨대 샤워 헤드 구조 로 이루어지 는 가스 공급 부 ( 102 ) 가 설치 되 어 있 다 . 가스 공급 부 ( 102 ) 에 는 , 포름산 으로 이루어지 는 처리 가스 를 공급 하 기 위한 가스 공급 라인 ( 107 ) 이 접속 되 어 있 다 .