정전 흡착 되 어 접촉 하 고 있 는 정전 흡착 막 ( 14 ) 과 시료 ( 3 ) 의 이면 사이 에 는 , 배관 ( 181 ) 을 통해 헬륨 공급 수단 ( 18 ) 으로부터 헬륨 가스 가 공급 된다 . 이 에 따라 , 시료 ( 3 ) 와 정전 흡착 막 ( 14 ) 사이 의 열전달 의 효율 이 향상 되 어 , 기재 ( 2 a ) 의 내부 의 냉매 유로 ( 19 ) 와 의 열 의 교환 량 을 증대 시킬 수 있 고 , 시료 ( 3 ) 의 온도 를 조절 하 는 효율 을 높이 고 있 다 .