또 다른 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 1 또는 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 을 이용 하 여 기판 을 척 킹 및 척 킹 해제 하 는 것 은 ; 상기 척 킹 핀 들 각각 이 상기 스핀 척 상부 로 업 상태 를 유지 하 여 기판 을 척 킹 하 고 , 상기 척 킹 핀 들 각각 이 상기 스핀 척 의 상부 면 과 동일 하 게 다운 되 는 상태 를 유지 하 여 기판 을 척 킹 해제 한다 .