상기 의 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 의 질화 처리 방법 은 , 질화 처리 방법 에 있 어서 , 질화로 의 내부 에 피 처리 물 을 장입 하 고 , 암모니아 ( NH 3 ) 가스 를 주입 하 면서 내부 온도 가 480 ~ 560 ℃ 범위 가 되 도록 소정 시간 동안 승 온 하 는 장입 및 승 온 단계 ; 상기 장입 및 승 온 단계 의 최종 온도 를 그대로 유지 하 면서 암모니아 ( NH 3 ) , 질소 ( N 2 ) , 및 아산화질소 ( N 2 O ) 가스 를 일정 조성 비율 로 주입 하 여 소정 시간 동안 질화 처리 하 는 질화 단계 ; 상기 질화로 의 내부 에 질소 ( N 2 ) 가스 를 주입 하 면서 소정 시간 동안 잔류 가스 를 배출 , 제거 하 고 내부 온도 를 소정 온도 범위 로 냉각 시키 는 퍼징 단계 ; 상기 퍼징 단계 의 최종 온도 를 일정 시간 동안 유지 하 고 질소 ( N 2 ) 가스 를 주입 하 면서 물 ( H 2 O ) 을 이용 하 여 산화 처리 를 시행 하 는 산화 단계 ; 및 상기 산화 단계 에 의해 산화 된 피 처리 물 을 상온 까지 냉각 시키 는 냉각 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .