분석 결과 DI CD 에 대한 FI CD 는 0 . 98 * DICD - 0 . 03 ㎛ 의 상 관식 을 보이 며 R - sq = 100 % 및 95 % CI 에서 P - value 가 0 . 000 으로 상 관식 이 의미 가 있 다는 결과 를 보였 다 . 또한 SEM 사진 에서 알 수 있 듯이 트랜지스터 70 nm 까지 폴리 실리콘 라인 이 정상 적 으로 패턴 형성 된 것 을 확인 할 수 있 다 . 트랜지스터 의 선형 성 확인 결과 FI CD 가 트랜지스터 기준 70 nm 이하 까지 확장 가능 하 다는 것 을 알 수 있 다 .