이 와 같이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 의하 면 , 간단 한 구조 를 가지 면서 도 가볍 고 또 한 상부 챔버 ( 10 ) 의 열팽창 에 도 거의 열팽창 되 지 않 는 복수 의 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 즉 작업 플레이트 ( 60 ) 를 상부 챔버 ( 10 ) 에 결합 시킴 으로써 , 작업자 는 상부 챔버 ( 10 ) 의 상부 에 올라가 유지 보수 등 의 작업 을 안정 적 으로 할 수 있 고 , 이 로 인해 작업 의 효율 성 이 향상 될 수 있 는 장점 을 지닌다 .