수평 구동 부 ( 33 A ) 는 , 핸드 ( 33 C ) 및 핸드 ( 33 D ) 를 수평 방향 으로 이동 시킨다 . 수평 구동 부 ( 33 A ) 는 , 스테이지 ( 133 A ) 와 , 스테이지 ( 133 A ) 의 상면 을 수평 방향 으로 왕복 이동 하 는 수평 슬라이더 ( 133 B ) 와 , 수평 슬라이더 ( 133 B ) 를 이동 시키 는 수평 모터 ( 133 C ) 를 구비 한다 .