이 공정 의 ( ⅲ ) 단계 의 반응 온도 는 280 ℃ 이상 이 다 . ( ⅲ ) 단계 의 주요 목적 이 바람직 하 지 않 은 부반응 을 촉진 하 거나 촉매 의 조숙 한 열화 ( deterioration ) 를 야기 하 지 않 고 가능 한 많 은 디 클로로 트리플 루 오로 에탄 을 펜 타 플 루오 로 에탄 으로 전환 하 는 것 이 기 때문 에 , ( ⅲ ) 단계 는 ( ⅰ ) 단계 보다 고온 으로 진행 될 수 있 다 . 전형 적 으로 , 이 공정 의 ( ⅲ ) 단계 는 280 ℃ 내지 400 ℃ 의 범위 에서 , 바람직 하 게 는 280 ℃ 내지 380 ℃ 의 범위 에서 , 및 보다 바람직 하 게 는 300 ℃ 내지 360 ℃ 의 범위 에서 수행 된다 . 또한 , 이 공정 의 ( ⅲ ) 단계 에서 반응기 의 유 입구 에서 반응물 가스 스트림 의 온도 는 이 공정 의 ( ⅰ ) 단계 에서 반응기 의 유 입구 에서 반응물 가스 스트림 의 온도 보다 전형 적 으로 20 내지 100 ℃, 바람직 하 게 는 50 내지 100 ℃ 높 다 .