린스 액 밸브 ( 18 ) 가 열리 면 , 린스 액 이 , 린스 액 배관 ( 17 ) 으로부터 린스 액 노즐 ( 16 ) 에 공급 되 어 , 린스 액 노즐 ( 16 ) 로부터 토출 된다 . 린스 액 은 , 예 를 들 어 , 순수 ( 탈 이 온수 ： Deionized water ) 이 다 . 린스 액 은 , 순수 에 한정 되 지 않 고 , 탄산수 , 전해 이온 수 , 수소 수 , 오 존수 , 및 희석 농도 ( 예 를 들 어 , 10 ~ 100 ppm 정도 ) 의 염산 수 중 어느 하나 여 도 된다 .