지지 구 조체 의 다른 실시 예 는 , 상면 에 기판 이 안착 되 는 기판 지지 핀 이 삽입 되 는 중공 이 길 이 방향 으로 형성 되 는 핀 삽입부 재 ; 상기 핀 삽입부 재 상부 에 상기 핀 삽입부 재의 원주 방향 으로 복수 로 구비 되 어 상기 기판 지지 핀 을 지지 하 는 제 1 지지 부재 ; 상기 핀 삽입부 재 하부 에 상기 핀 삽입부 재의 원주 방향 으로 복수 로 구비 되 어 상기 기판 지지 핀 을 지지 하 는 제 3 지지 부재 ; 및 상기 제 1 지지 부재 와 상기 제 3 지지 부재 사이 의 위치 에서 상기 핀 삽입부 재의 원주 방향 으로 복수 로 구비 되 어 상기 기판 지지 핀 을 지지 하 며 , 상기 제 1 지지 부재 또는 상기 제 2 지지 부재 와 상기 핀 삽입부 재의 길 이 방향 으로 서로 오버랩 ( overlap ) 되 지 않 도록 배치 되 는 제 2 지지 부재 를 포함 할 수 있 다 .