플라스마 소스 ( 400 ) 는 안테나 실 ( 410 ) , 안테나 ( 420 ) , 그리고 플라스마 전원 ( 430 ) 을 포함 한다 . 안테나 실 ( 410 ) 은 하부 가 개방 된 원통 형상 으로 제공 된다 . 안테나 실 ( 410 ) 은 내부 에 공간 이 제공 된다 . 안테나 실 ( 410 ) 은 공정 챔버 ( 100 ) 와 대응 되 는 직경 을 가지 도록 제공 된다 . 안테나 실 ( 410 ) 의 하단 은 커버 ( 120 ) 에 탈착 가능 하 도록 제공 된다 . 안테나 ( 420 ) 는 안테나 실 ( 410 ) 의 내부 에 배치 된다 . 안테나 ( 420 ) 는 복수 회 감기 는 나선 형상 의 코일 로 제공 되 고 , 플라스마 전원 ( 430 ) 과 연결 된다 . 안테나 ( 420 ) 는 플라스마 전원 ( 430 ) 으로부터 전력 을 인가 받 는다 . 플라스마 전원 ( 430 ) 은 공정 챔버 ( 100 ) 외부 에 위치 할 수 있 다 . 전력 이 인가 된 안테나 ( 420 ) 는 공정 챔버 ( 100 ) 의 처리 공간 에 전자기장 을 형성 할 수 있 다 . 공정 가스 는 전자기장 에 의해 플라스마 상태 로 여기 된다 .