도 14 를 참조 하 면 , 본 발명 의 또 다른 몇몇 실시 예 에 따른 반도체 장치 는 스 페이서 구조 체 ( 440 ) 에 포함 된 제 3 스 페이서 ( 443 ) 가 에어 ( air ) 스 페이서 이 다 . 즉 , 제 1 스 페이서 ( 141 ) 와 제 4 스 페이서 ( 144 ) 사이 에 배치 된 제 3 스 페이서 ( 443 ) 가 에어 를 포함 할 수 있 다 .