LM 가이드 시스템 을 구성 하 는 LM 레일 과 LM 블록 을 전기 전도성 물질 로 제작 하 여 케이블 없이 직선 운동 을 할 수 있 는 기판 반송 장치 및 이 를 구비 하 는 기판 처리 시스템 을 제공 한다 . 상기 기판 반송 장치 는 , 기판 을 반송 하 는 반송 유닛 ; 반송 유닛 이 이동 하 는 경로 를 제공 하 는 가이드 레일 ; 및 반송 유닛 이 가이드 레일 상 에서 슬라이딩 이동 가능 하 게 제공 되 는 지지 블록 을 포함 하 며 , 가이드 레일 에 구비 되 는 도체 와 지지 블록 에 구비 되 는 도체 를 이용 한 전력 공급 으로 반송 유닛 을 작동 시킨다 .