상술 한 레시피 는 , 새롭 게 작성 하 는 경우 에 한하 지 않 고 , 예 를 들 어 기판 처리 장치 에 이미 인 스톨 되 어 있 던 기존 의 레시피 를 변경 함 으로써 준비 해도 된다 . 레시피 를 변경 하 는 경우 에 는 , 변경 후 의 레시피 를 , 전기 통신 회선 이나 당해 레시피 를 기록 한 기록 매체 를 통해서 기판 처리 장치 에 인 스톨 해도 된다 . 또한 , 기존 의 기판 처리 장치 가 구비 하 는 입출력 장치 ( 122 ) 를 조작 하 여 , 기판 처리 장치 에 이미 인 스톨 되 어 있 던 기존 의 레시피 를 직접 변경 하 도록 해도 된다 .