단계 S 100 에 있 어서 , 특이점 검출 보정 장치 ( 220 ) 의 변동 상태 해석 부 ( 222 ) 는 새롭 게 성막 시킨 웨이퍼 ( W ) 의 측정 점 의 좌표 , 측정 점 의 막 두께 의 측정 결과 , 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 좌표 가 입력 된다 . 단계 S 102 에 있 어서 , 변동 상태 해석 부 ( 222 ) 는 입력 된 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 에 있 는 측 정점 의 막 두께 의 측정 결과 , 및 측정 점 의 좌표 를 사용 하 여 , 외주 부 에 있 는 측 정점 의 막 두께 의 변동 을 예컨대 도 9 에 나타내 는 바 와 같이 해석 한다 .