이하 , 첨부 한 도면 들 을 참조 하 여 본 발명 의 바람직 한 실시 예 를 상세히 설명 하 기 로 한다 . 그러나 , 본 발명 은 여기 서 설명 되 어 지 는 실시 예 에 한정 되 지 않 고 다른 형태 로 구체 화 될 수 있 다 . 오히려 , 여기 서 소개 되 는 일 실시 예 는 개시 된 내용 이 철저 하 고 완전 해 지 도록 , 그리고 당업자 에게 본 발명 의 사상 이 충분히 전달 되 도록 하 기 위해 제공 되 는 것 이 다 . 또한 , 본 실시 예 에서 는 반도체 집적회로 칩 제조 용 웨이퍼 를 처리 하 는 장치 를 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 본 발명 은 기판 을 처리 하 는 모든 장치 에 적용 이 가능 하 다 .