개구부 ( 18 ) 는 , 기판 ( W ) 을 통과 시키 기 위해서 이용 된다 . 셔터 부재 는 , 개구부 ( 18 ) 의 개폐 를 행함 과 더불 어 , 캐리어 ( C ) 의 캐리어 본체 에 대해서 덮개 부 의 착 탈 을 행한다 . 셔터 부재 구동 부 는 , 전동 모터 를 구비 하 고 있 어 , 셔터 부재 를 구동 한다 . 셔터 부재 는 , 캐리어 본체 로부터 덮개 부 를 떼 어 낸 후 , 예 를 들 면 개구부 ( 18 ) 를 따라 수평 방향 ( Y 방향 ) , 혹은 하 방향 ( Z 방향 ) 으로 이동 된다 .