이때 , 특히 , 간섭 성 제 1 전자기 복사 는 스펙트럼 폭 이 10 nm 보다 작 고 , 바람직 하 게 는 5 nm 보다 작 은 제 1 파장 영역 에 위치 한 제 1 스펙트럼 을 특징 으로 하 며 , 간섭 성 길이 가 길 수 있 다 . 이 는 특히 , 간섭성 인 제 1 전자기 복사 의 간섭 성 길이 가 미터 단위 내지 100 미터 이상 의 단위 를 가짐 을 의미 할 수 있 다 . 이 를 통해 , 간섭 성 제 1 전자기 복사 는 낮 은 발산 도 및 작 은 빔 단면 을 가지 는 빔 으로 시준 될 수 있 거나 / 시준 될 수 있 고 집속 될 수 있 다 . 이 를 위해 , 반도체 층 시퀀스 의 복사 아웃 커플링 면 의 뒤 에 가령 비 균등 렌즈 ( anamorphic lens ) , 가령 실린더 렌즈 와 같 은 시준 - 또는 집속 광학계 가 배치 될 수 있 고 , 상기 광학계 를 이용 하 여 간섭 성 제 1 전자기 복사 는 광선속 으로 시준 되 거나 / 시준 되 고 집속 될 수 있 어 , 이상 적 가우 시안 광선속 과 유사 한 복사 특성 을 포함 할 수 있 다 .