프로브 와 기판 ( 10 ) 이 접속 되 면 기판 ( 10 ) 에 형성 된 소정 필드 의 픽셀 이 전자 빔 컬럼 ( 250 ) 에서 발생 하 는 전자 빔 에 노출 될 수 있 도록 배치 된다 . 이후 기판 ( 10 ) 의 박막 트랜지스터 행렬 을 구성 하 는 각각 의 부분 들 또는 픽셀 들 상 에 전자 빔 컬럼 ( 250 ) 으로부터 방출 되 는 전자 빔 에 의하 여 기판 ( 10 ) 을 검사 한다 .