미결정 구조 를 가지 는 산화물 반도체 막 ( 미결정 산화물 반도체 막 ) 은 TEM 에 의한 관찰 상 에서 는 결정 부 를 명확히 확인 할 수 없 는 경우 가 있 다 . 미결정 산화물 반도체 막 에 포함 되 는 결정 부 는 1 ㎚ 이상 100 ㎚ 이하 , 또는 1 ㎚ 이상 10 ㎚ 이하 의 크기 인 경우 가 많 다 . 특히 1 ㎚ 이상 10 ㎚ 이하 , 또는 1 ㎚ 이상 3 ㎚ 이하 의 미결정 인 나노 결정 ( nc : nanocrystal ) 을 가지 는 산화물 반도체 막 을 nc - OS ( nanocrystalline Oxide Semiconductor ) 막이 라고 부른다 . 또한 nc - OS 막 은 예 를 들 어 TEM 에 의한 관찰 상 에서 는 결정립계 를 명확히 확인 할 수 없 는 경우 가 있 다 .