본 발명 은 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 및 이 를 이용 한 기판 세정 장치 에 관한 것 으로 , 몸체 내부 의 건조 공기 를 공급 받 는 제 1 수 용부 와 , 상기 몸체 내부 의 세정액 을 공급 받 는 제 2 수 용부 와 , 일단 부 는 상기 제 1 수 용부 와 소통 되 고 타 단부 는 상기 몸체 외부 로 노출 되 며 측 부 에 는 상기 제 2 수 용부 의 세정액 이 유입 되 는 혼 입구 가 형성 되 는 분사 통로 를 포함 하 는 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 를 제공 한다 . 본 발명 에 의하 면 , 균질 한 이 류체 를 혼합 생성 하 여 기판 표면 에 분사 하 므로 기판 세정 효율 을 월등히 향상 시키 는 효과 가 있 다 . 또한 본 발명 은 , 다양 한 방식 으로 최대한 단순 한 구조 로 제작 되 므로 제작 편의 성 및 유지 보수 가 용이 하 다는 효과 가 있 다 .