도 2 c 에 도시 된 바 와 같이 , 열처리 를 실시 하 여 제 1 도 전막 ( 22 A ) 내 제 2 원소 를 외 확산 ( out diffusion ) 시켜 제거 함 과 동시 에 제 1 원소 를 결정 화 시켜 제 1 원소 로 이루어진 제 1 전극 ( 22 B ) 을 형성 한다 . 즉 , 열처리 를 실시 하 여 제 1 도 전막 ( 22 A ) 내 망간 을 제거 하 고 , 잔류 하 는 백금 을 결정 화 시켜 백금 막 을 형성 한다 . 그리고 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에서 제 2 도 전막 ( 24 A ) 을 제 1 도 전막 ( 22 A ) 과 동일 한 물질 로 형성 함 에 따라 열처리 를 통해 백금 막 으로 이루어진 제 2 전극 ( 24 B ) 이 형성 된다 .