본 발명 의 일 관점 에 있 어서 , 상기 제 1 가스 가 단일 로 상기 유량 / 유속 제어 장치 로 제공 되 는 경우 , 사용 가스 는 동일 ( 단일 ) 성분 의 가스 로 이루어지 며 , 상기 유량 / 유속 제어 장치 는 단일 제공 되 는 제 1 가스 의 유량 과 유속 을 제어 한 다음 소정 의 유량 과 유속 을 갖 는 단일 의 제 1 가스 인 동일 ( 단일 ) 성분 의 가스 를 토출 시키 도록 이루 어 질 수 있 다 .