청구 항 1 내지 청구 항 6 의 발명 에 의하 면 , 플래시 광 의 조사 개시 부터 기판 에 대한 가열 을 종료 할 때 까지 의 기간 의 기판 의 온도 를 적산 한 온도 적 산치 가 미리 설정 된 상한 치 및 하 한 치 의 범위 에서 벗어나 있 을 때 에 기판 이 깨져 있 다고 판정 하 기 때문 에 , 플래시 광 조사 시 에 있 어서 의 기판 의 깨 짐 을 간단 한 구성 으로 신속히 검출 할 수 있 다 .