하부 노즐 모듈 ( 120 ) 도 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 과 마찬가지 로 하부 노즐 ( 121 ) 과 하부 세정액 분배 관 ( 122 ) 및 하부 에어 분배 관 ( 123 ) 을 구비 하 고 있 다 . 즉 , 하부 노즐 ( 121 ) 은 세정 될 기판 ( S ) 의 하면 에 세정액 과 에어 의 이 류체 버블 을 분사 할 수 있 도록 상기 상부 노즐 ( 111 ) 과 대칭 적 으로 기판 ( S ) 의 하면 을 향하 여 복수 개 가 일렬 로 배치 되 어 있 다 . 그리고 , 하부 세정액 분배 관 ( 122 ) 은 이 류체 버블 을 형성 하 기 위한 세정액 을 하부 노즐 ( 121 ) 들 로 분배 하 게 되 며 , 하부 에어 분배 관 ( 123 ) 은 이 류체 버블 을 형성 하 기 위한 에어 를 하부 노즐 ( 121 ) 들 로 분배 하 게 된다 . 따라서 , 하부 노즐 ( 121 ) 로 공급 된 세정액 과 에어 가 서로 혼합 되 어 버블 상태 로 기판 ( S ) 의 하면 에 분사 가 됨 으로써 , 기판 ( S ) 하면 의 세정 이 이루어지 게 된다 .