그리고 , 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 가스 를 플 라즈 마 상태 로 만드 는 고주파 전원 을 측정 한다 ( S 320 ) . 다음 으로 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 플 라즈 마 로부터 의 광선 빔 을 감지 하 여 파장 영역 별 로 방출 감도 를 측정 하 고 ( S 330 ) , 측정 된 고주파 전원 과 상기 방출 감도 를 분석 하 여 플 라즈 마 공정 챔버 의 이상 여부 를 판단 한다 ( S 340 ) . 이상 여부 의 판단 은 전술 한 바 와 같이 정상 상태 인 경우 의 데이터 와 측정 데이터 와 비교 하 여 일치 정도 에 따라 수행 될 수 있 다 .