콘 택 홀 ( 170 ) 을 형성 한 다음 에 도 5 d 와 같이 콘 택 홀 ( 170 ) 을 채우 면서 데이터 금속 층 ( 164 ) 을 형성 한다 . 데이터 금속 층 ( 164 ) 으로 이용 되 는 금속 은 구리 ( Cu ) , 크롬 ( Cr ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 몰리브덴 합금 ( Mo alloy ) 또는 이 들 중 두 개 이상 의 혼합 금속 등 이 있 다 .