또한 , 모델 생 성부 ( 51 ) 는 선폭 ( W 1 ) 뿐 만 아니 라 , 패턴 ( P 1 ) 을 투과 한 광 의 모델 강도 분포 의 위치 도 수정 해도 된다 . 요컨대 , 촬상 화상 ( IM 1 ) 에 있 어서 의 패턴 ( P 1 ) 의 위치 와 , 시뮬레이션 강도 분포 에 있 어서 의 패턴 ( P 1 ) 의 위치 가 서로 대략 일치 하 도록 , 모델 강도 분포 의 위치 도 수정 해도 된다 . 보다 구체 적 인 일례 로서 , 판 정부 ( 53 ) 는 시뮬레이션 강도 분포 와 촬상 강도 분포 의 차이 를 증대 구간 ( R 1 ) 및 저하 구간 ( R 3 ) 마다 산출 한다 . 모델 생 성부 ( 51 ) 는 증대 구간 ( R 1 ) 에 있 어서 의 차이 가 저하 구간 ( R 3 ) 에 있 어서 의 차이 에 가까워 지 도록 , 모델 강도 분포 의 위치 를 수정 한다 .