기판 척 ( 340 ) 은 챔버 ( 310 ) 내 에 설치 되 어 있 으며 , 로드 락 챔버 ( 300 ) 내 로 로딩 된 기판 ( 10 ) 을 지지 한다 . 또는 , 복수 개 의 척 을 로드 락 챔버 ( 300 ) 내 에 설치 하 여 복수 개 의 웨이퍼 가 로드 락 챔버 ( 300 ) 내 에서 지지 할 수 도 있 다 . 다른 실시 예 에 의하 면 , 기판 척 ( 340 ) 은 복수 의 기판 ( 10 ) 을 적재 한 카세트 자체 가 로딩 될 수 도 있 다 .