또 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 는 , 본 체부 ( 4 ) 로부터 외측 으로 뻗 어 나오 는 복수 의 다리 ( 8 ) 를 구비 하 고 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 6 개 의 다리 ( 8 ) 가 , 본 체부 ( 4 ) 의 기둥 부 ( 6 ) 로부터 외측 으로 뻗 어 나와 있 다 . 각 다리 ( 8 ) 는 , 그 선단 에 , 하방 으로 연장 되 는 고정구 ( 9 ) 를 갖 고 있 다 .