먼저 , 지르코늄 산화 막 ( 21 ) 의 단원자 증착 공정 은 , 지르코늄 소스 ( Zr 소스 ) 주입 단계 ( T 1 ) , 퍼지 단계 ( T 2 ) , 반응 가스 주입 단계 ( T 3 ) 및 퍼지 단계 ( T 4 ) 로 이루 어 진 단위 사이클 을 반복 진행 한다 . 지르코늄 소스 는 ZrCl 4 , Zr [ N ( CH 3 ) C 2 H 5 ] 4 , Zr ( O - tBu ) 4 , Zr [ N ( CH 3 ) 2 ] 4 , Zr [ N ( C 2 H 5 ) ( CH 3 ) ] 4 , Zr [ N ( C 2 H 5 ) 2 ] 4 , Zr ( tmhd ) 4 , Zr ( OiC 3 H 7 ) 3 ( tmtd ) , Zr ( OtBu ) 4 및 지르코늄 을 함유 한 화합물 로 이루어진 그룹 중 에서 선택 되 는 어느 하나 를 이용 하 고 , 퍼지 단계 ( T 2 , T 4 ) 에서 사용 하 는 퍼지 가스 는 N 2 또는 Ar 를 사용 하 며 , 지르코늄 소스 와 반응 하 여 지르코늄 산화 막 을 형성 하 는 반응 가스 는 O 3 또는 O 2 플 라즈 마 를 사용 한다 .