[ 0031 ] 척 킹 메시 ( 108 ) 는 웨이퍼 ( 105 ) 에 용량 성 커플링 된다 . 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 는 0 내지 1 . 5 kV ( 예컨대 , 저 전압 내지 중간 전압 ) 의 예시 적 인 범위 의 펄스 형 전압 들 을 공급 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 는 척 킹 메시 ( 108 ) 를 통해 웨이퍼 ( 105 ) 에 일정 한 또는 연속 적 인 전압 을 제공 하 는 한편 , 다른 실시 예 들 에서 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 는 전압 램프 ( ramp ) 들 을 제공 하 도록 구성 되 어 , 광 대역 이온 에너지 분포 를 가능 하 게 한다 . 광 대역 이온 에너지 분포 에서 , 이온 들 은 제 1 이온 에너지 내지 제 2 이온 에너지 의 연속 적 인 범위 의 에너지 들 을 획득 하 며 , 여기 서 , 제 2 이온 에너지 는 제 1 이온 에너지 보다 더 크 다 . 실시 예 들 에서 , 제 1 이온 에너지 는 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 의 커플링 으로 인해 가속 되 는 이온 들 중 95 % 의 이온 들 의 에너지 보다 더 작 은 에너지 로서 정의 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 이온 에너지 는 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 의 커플링 으로 인해 가속 되 는 이온 들 중 95 % 의 이온 들 의 에너지 보다 더 큰 에너지 로서 정의 된다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 제 1 이온 에너지 는 10 eV 이 며 , 제 2 이온 에너지 는 3000 eV 이 다 .