이제 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 에게 인식 가능 한 바 와 같이 , 본원 에서 제공 되 는 자료 를 읽 고 이해 할 시 , 개시 된 주제 는 종래 기술 뿐 만 아니 라 기판 세정 및 건조 공정 들 에서 사용 되 는 당해 기법 들 둘 모두 에 비해 다수 의 이점 들 을 포함 한다 . 본원 에서 개시 된 다른 이점 들 외 에 , 부가 적 인 이점 들 은 , 예컨대 다음 을 포함 한다 :