서 셉 터 ( 12 ) 의 내부 에 는 , 예컨대 , 서 셉 터 ( 12 ) 의 원주 방향 으로 연재 하 는 환상 의 냉 매실 ( 25 ) 이 마련 된다 . 이 냉 매실 ( 25 ) 에 는 , 냉각 ( chiller ) 유닛 ( 도시 하 지 않 음 ) 으로부터 냉매 배관 ( 26 ) 을 지나 냉 매실 ( 25 ) 을 통해 저온 의 냉매 , 예컨대 , 냉 각물 이나 갈 든 ( GalDen ) ( 등록 상표 ) 이 순환 된다 . 그 저온 의 냉매 에 의해서 냉각 된 서 셉 터 ( 12 ) 는 ESC ( 13 ) 을 거쳐 웨이퍼 ( W ) 를 냉각 한다 .