제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 각 핸드 ( 21 ) 는 , 각 기판 재 치부 ( 31 ) 에 대해서 도 9 의 지면 ( 紙面 ) 하측 으로부터 접근 한다 . 마찬가지 로 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 의 각 핸드 ( 21 ) 는 , 각 기판 재 치부 ( 31 ) 에 대해서 도 9 의 지면 상측 으로부터 접근 한다 . 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 각 핸드 ( 41 ) 는 , 각 기판 재 치부 ( 31 ) 에 대해서 도 9 의 지면 좌측 으로부터 접근 한다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 각 핸드 ( 41 ) 는 , 각 기판 재 치부 ( 31 ) 에 대해서 도 9 의 지면 우측 으로부터 접근 한다 . 또한 , 핸드 ( 21 , 41 ) 끼리 의 간섭 을 방지 하 기 위해서 , 소정 의 방향 으로부터 의 핸드 21 ( 41 ) 이 특정 기판 재 치부 ( 31 ) 의 상방 에 진입 하 는 경우 , 그 외 의 3 방향 의 핸드 21 ( 41 ) 은 , 그 특정 기판 재 치부 ( 31 ) 의 상방 에 진입 하 지 않 게 구성 되 어 있 다 .