또한 , 예 를 들 어 , 상기 반사면 ( 17 a , 17 b ) 대신 에 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 단부 에 평면 미러 로 이루어지 는 이동경 을 장착 해도 된다 . 또 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 에 XY 평면 에 대해 45 ° 경사진 반사면 을 형성 하 고 , 그 반사면 을 통해 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 Z 축 방향 의 위치 를 계측 하 도록 해도 된다 .