또한 , 웨이퍼 ( WH ) 에 대한 코어 ( 154 ) 의 입사각 과 탈 출각 이 동일 해 지 도록 연마 테이블 ( 100 ) 에 코어 ( 154 ) 를 설치 할 필요 가 있 다 . 여기 서 입사각 과 탈 출각 은 이하 와 같 은 것 이 다 . 코어 ( 154 ) 가 반도체 웨이퍼 ( WH ) 로 들어갈 때 의 코어 ( 154 ) 의 제 2 방향 ( 148 ) 을 방향 ( 166 ) 으로 한다 . 그때 코어 ( 154 ) 와 반도체 웨이퍼 ( WH ) 가 입 구 점 ( 168 ) 에 있 어서 처음 으로 에지 영역 ( 158 ) 으로 들어간다 . 입 구 점 ( 168 ) 에 있 어서 의 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 반경 방향 을 방향 ( 170 ) 으로 한다 . 방향 ( 166 ) 과 방향 ( 170 ) 이 이루 는 각 을 입사각 ( 172 ) 이 라고 칭한다 .