도 1 g 에 도시 된 바 와 같이 , 게이트 상부 ( 16 a ) 를 포함 하 는 결과물 상 에 게이트 상부 스 페이서 용 절 연막 으로서 제 2 산화 막 ( 17 a ) 및 제 2 질화 막 ( 17 b ) 을 순차 적 으로 증착 한다 . 이때 , 제 2 산화 막 ( 17 a ) 은 제 2 질화 막 ( 17 b ) 에 대한 스트레스 를 완화 시키 는 버퍼 막 으로 작용 한다 .