또한 , 에지 링 ( 25 ) 을 제 2 정전 척 ( 22 ) 에 거치 했 을 때 에 , 에지 링 ( 25 ) 은 제 2 정전 척 ( 22 ) 을 안쪽 에서부터 덮 도록 형성 되 어 있 다 . 즉 , 에지 링 ( 25 ) 은 제 2 정전 척 ( 22 ) 의 상면 ( 221 ) 과 내 측면 ( 222 ) 을 덮 도록 형성 되 어 있 다 . 이 로써 , 기판 ( W ) 의 외주 부 아랫 쪽 에 배치 된 에지 링 ( 25 ) 의 두께 를 두껍 게 , 예 를 들 어 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 상면 에서부터 제 2 정전 척 ( 22 ) 의 상면 까지 의 높이 보다 두껍 게 할 수 있 다 .