이 보정 패턴 ( RP 1 ) 이 적절 한 형상 또한 적절 한 위치 에 형성 됨 으로써 , 포토 마스크 ( 80 ) 를 정규 품 으로서 제조 할 수 있 다 . 그러나 , 이 수복 의 재 시도 를 몇 번 이나 실시 하 면 , 포토 마스크 ( 80 ) 의 기재 ( 81 ) 에 데미지 를 준다 . 따라서 , 수복 은 1 번 으로 끝내 고 싶 다 . 따라서 , 최적 의 보정 패턴 ( RP 1 ) 을 사전 에 구해 두 는 것 이 바람직 하 다 .