시각 t ＝ 200 초 에서 는 , 도포 부 ( C ) 에서 의 제 4 기판 ( P 4 ) 의 도포 처리 가 종료 되 고 , 주제 어부 ( 6 ) 의 제어 하 에서 , 제 4 기판 ( P 4 ) 이 도포 부 ( C ) 로부터 반송 장치 에 의해 종 노광 장치 ( EX 2 ) 로 반입 된다 . 그리고 , 도포 부 ( C ) 에는 제 5 기판 ( P 5 ) 이 반입 된다 . 제 4 기판 ( P 4 ) 이 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 수수 되 면 , 그 곳 에서 의 노광 처리 가 개시 된다 . 이 때 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에서 는 , 제 3 기판 ( P 3 ) 의 노광 처리 가 아직 완료 되 어 있 지 않 고 , 현 상부 ( D ) 도 제 2 기판 ( P 2 ) 의 현상 중 이 다 .