본 발명 은 웨이퍼 이송용 반도체 장비 의 실린더 구조 를 조립식 으로 개선 하 여 이상 발생 시 신속 한 조치 가 가능 하 게 함 과 동시 에 유지 관리 가 용이 하 도록 한 웨이퍼 이송용 실린더 조립 체 에 관한 것 이 다 . 본 발명 의 웨이퍼 이송용 반도체 장비 의 실린더 조립 체 는 전후방 내 측면 에 나사골 이 형성 된 실린더 몸체 ; 상기 실린더 몸체 의 전방 내 측면 에 형성 된 나사골 에 나사 결합 되 어 조립 되 도록 나사산 이 형성 된 상부 캡 ; 상기 실린더 몸체 의 후방 내 측면 에 형성 된 나사골 에 나사 결합 되 어 조립 되 도록 나사산 이 형성 된 하부 캡 으로 구성 되 어 실린더 몸체 , 상부 캡 및 하부 캡 이 결합 되 어 실린더 조립 체가 제조 된다 .