그러나 , 배 선부 ( 12 ) 를 구성 하 는 금속 ( 예컨대 Cu ) 은 , 배 선부 ( 12 ) 의 주위 의 분위기 에 의해 변질 되 기 쉬운 특징 을 가지 고 있 다 . 예컨대 , 배 선부 ( 12 ) 의 주위 에 산소 가 존재 할 경우 에 는 , Cu 표면 은 쉽 게 산화 되 고 , Cu 표면 에 는 산화 막 ( 산화동 , CuO ) 이 형성 되 어 버린다 . 이 때문 에 ， 해당 산화동 을 제거 하 기 위한 방법 이 다양 하 게 제안 되 고 있 었 다 ( 예컨대 특허 제 3734447 호 , 특허 공개 제 2001 - 271192 호 공보 등 ) .