본 발명 의 발명자 들 은 상기 화학식 ( 1 ) 의 코발트 화합물 을 이용 하 여 코발트 금속 층 을 형성 하 면 극히 높 은 선택 비 로 금속 배선 ( 120 ) 위 에 코발트 금속 층 이 형성 되 는 것 을 확인 하 였 다 . 특히 금속 배선 ( 120 ) 위 에 는 코발트 금속 층 이 형성 되 면서 도 분리 막 ( 140 ) 상 에 는 코발트 금속 층 이 형성 되 지 않 은 예 가 다수 관찰 됨 으로써 1000 : 1 이상 과 같이 극히 높 은 선택 비 로 코발트 금속 층 이 형성 될 수 있 음 이 확인 되 었 다 .