실리콘 산화 막 이 증착 된 후 에 , 상기 챔버 는 NF 3 및 아르곤 ( Ar ) 을 이용 하 여 세정 되 었 다 . 상기 챔버 의 세정 은 하 기 의 조건 들 하 에서 수행 된다 . 2 . 2 slm 의 NF 3 유동 속도 , 5 slm 의 아르곤 유동 속도 , 14 mm 의 상부 전극 및 하부 전극 사이 의 거리 , 1000 Pa 의 반응 챔버 압력 , 2 . 7 kW 의 원격 플 라즈 마 방전 장치 의 전력 , 360 ℃ 의 서 셉 터 온도 , 150 ℃ 의 샤워 플레이트 온도 , 및 140 ℃ 의 반응 챔버 의 내부 벽 온도 이 다 . 이러 한 조건 들 하 에서 , 상기 반응 챔버 의 세정 은 약 43 초 동안 수행 된다 .