증착 처리 공정 반송 로 ( 100 a ) 에서 는 , 개략 적 으로 , 외부 로부터 유리 기판 ( G ) 이 반송 방향 ( 화살표 A ) 으로 반입 되 며 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 가 반송 캐리어 상 에 위치 결정 되 어 보유 지지 되 고 , 반송 캐리어 ( 302 ) 와 함께 반송 로 상 을 이동 하 면서 증착 처리 가 실시 된 후 , 성막 완료 된 유리 기판 ( G ) 이 배출 된다 . 리턴 반송 로 ( 100 b ) 에서 는 , 증착 처리 완료 후 에 분리 된 마스크 ( M ) 와 , 유리 기판 배출 후 의 반송 캐리어 ( 302 ) 가 , 기판 반 입실 측 으로 복귀 한다 .