매핑 센서 ( 20 ) 는 , 용기 ( 2 ) 내 에 수용 되 어 있 는 복수 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 중 최 상단 에 위치 하 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 보다 상방 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 매핑 센서 ( 20 ) 를 , 도어 부 ( 14 ) 의 상단 가장자리 부 에 좌우 방향 으로 이동 가능 하 게 고정 해도 무방 하 다 . 이 경우 에 는 , 필요 에 따라서 매핑 센서 ( 20 ) 의 위치 를 조정 하 는 것 이 가능 해진다 .