스텝 106 에서 , 검사 영역 이 광 나노 젯 으로 스캐닝 되 는 동안 유전체 마이크 로 스피어 로부터 재귀 반사 광 이 얻 어 진다 . 특히 , 광 나노 젯 이 웨이퍼 표면 과 상호 작용 하 는 동안 , 입사 광 의 일부 는 유전체 마이크 로 스피어 로부터 재귀 반사 된다 . 재귀 반사 광 은 검출기 를 사용 하 여 측정 될 수 있 는데 , 이 는 포토다이오드 , 포토 멀티플라이어 , 또는 기타 분광기 기반 의 장치 를 포함 할 수 있 다 .