" 본 명세서 에서 "" 축 방향 "" 및 "" 세로 방향 "" 이 라는 용어 는 챔버 ( 151 ) 의 수직 방향 ( 예컨대 "," 도 1 의 도시 된 구현 에서 의 수직 방향 과 같 은 단부 대 단부 ) 에 대한 방향 성 을 지칭 한다 . 본 명세서 에서 "" 횡 방향 """," "" 측 방향 """," 및 "" 방사상 ( radial ) "" 이 라는 용어 는 축 방향 ( 예컨대 "," 세로 방향 ) 에 대해 직각 인 방향 을 지칭 한다 . "" 내측 "" 및 "" 외측 "" 이 라는 용어 는 처리 챔버 ( 151 ) 의 축 방향 에 대해 횡 방향 인 방향 에 관하 여 사용 되 고 "," "" 내측 "" 이 라는 용어 는 챔버 의 내부 를 향한 방향 을 지칭 하 고 "," "" 외측 "" 이 라는 용어 는 챔버 의 외부 를 향한 방향 을 지칭 한다 . "