상기 한 구성 으로 이루어진 종래 의 박막 증착 장치 ( 1 ) 는 챔버 ( 10 ) 내 에 하나 의 서 셉 터 ( 20 ) 가 설치 되 고 , 이 서 셉 터 위 에 는 한 장 또는 몇 장 의 웨이퍼 가 놓여 져서 증착 공정 이 이루어지 게 되 므로 , 생산 성 을 향상 시키 는데 있 어 한계점 을 노출 하 고 있 다 . 이 에 따라 , 하나 의 챔버 내 에 복수 의 서 셉 터 ( 20 ) 를 배치 하 여 동일 한 공정 시 간 에 많 은 양 의 웨이 에 박막 증착 이 가능 하 게 하 여 생산 성 을 증대 시킬 필요 가 있 다 . 그러나 이렇게 챔버 ( 10 ) 내 에 서 셉 터 ( 20 ) 를 복수 로 구성 하 게 되 면 서 셉 터 ( 20 ) 들 을 승강 시키 기 위한 구성 도 복수 로 이루어지 게 되 어 장치 의 구성 이 복잡 하 게 되 고 비 경제 적 이 라는 문제점 이 있 다 . 또한 , 서 셉 터 ( 20 ) 마다 별도 로 승강 수단 을 구비 하 는 경우 서 셉 터 ( 20 ) 들 이 서로 동일 한 높이 로 승강 되 지 못함 으로써 샤워 헤드 와 서 셉 터 의 간격 이 서로 일치 하 지 못함 으로써 동일 한 공정 에 의하 여 증착 된 웨이퍼 의 품질 이 서로 다르 게 나타나 는 등 문제 가 발생 할 수 있 다 .