다른 실시 예 에서 , MEMS 스위치 는 기판 , 기판 에 결합 되 고 도전 성 스토퍼 를 포함 하 는 가동 액추에이터 , 기판 접점 , 기판 전극 및 도전 성 트레이스 를 포함 하 는데 , 이 도전 성 트레이스 는 가동 액추에이터 에 전기 적 으로 결합 되 고 , 적어도 부분 적 으로 가동 액추에이터 의 하부 에서 기판 상 에 배치 되 어 도전 성 스토퍼 가 도전 성 트레이스 와 전기 접촉 하 게 하 고 스위치 가 작동 될 때 가동 액추에이터 가 기판 접점 과 전기 접촉 하 게 한다 .