기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 캐리어 단위 로 기판 ( W ) 을 배분 하 도록 구성 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 오프너 ( 11 ) 의 제 1 캐리어 ( C ) 로부터 꺼낸 기판 ( W ) 은 , 처리 층 ( A 1 ) 이 처리 한다 . 다음 으로 , 오프너 ( 12 ) 의 제 2 캐리어 ( C ) 로부터 꺼낸 기판 ( W ) 은 , 처리 층 ( A 2 ) 이 처리 한다 . 또 , 그 다음 으로 , 오프너 ( 11 ) 의 제 3 캐리어 ( C ) 로부터 꺼낸 기판 ( W ) 은 , 처리 층 ( A 3 ) 이 처리 한다 . 즉 , 처리 층 ( A 1 ) , 처리 층 ( A 2 ) , 처리 층 ( A 3 ) 의 순서 를 반복 하 면서 , 캐리어 단위 로 기판 ( W ) 이 배분 된다 .