S - D 처리 시퀀스 및 / 또는 N - S - D 처리 시퀀스 는 하나 이상 의 코팅 프로시저 , 하나 이상 의 에칭 프로시저 , 하나 이상 의 열처리 프로시저 , 하나 이상 의 노광 프로시저 , 하나 이상 의 산화 프로시저 , 하나 이상 의 질화 프로시저 , 하나 이상 의 현상 프로시저 , 하나 이상 의 리소그래피 프로시저 , 하나 이상 의 스캐너 관련 프로시저 , 하나 이상 의 측정 프로시저 , 하나 이상 의 검사 프로시저 , 하나 이상 의 평가 프로시저 , 하나 이상 의 시뮬레이션 프로시저 , 하나 이상 의 예측 프로시저 , 하나 이상 의 재 공정 프로시저 , 하나 이상 의 보관 프로시저 , 하나 이상 의 이송 프로시저 , 하나 이상 의 로드 락 프로시저 , 하나 이상 의 세정 프로시저 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .