종래 , 이 와 같 은 금속 표면 의 오염 , 또는 이 물 의 제거 를 행하 는 표면 처리 는 수분 제거 용제 , 유기물 오염 제거 용제 를 각각 접합 하 는 금속 표면 을 향하 여 스프레이 한 후 , 불활성 가스 분위기 에서 건조 , 제전 하 는 웨트 세정 이 사용 되 고 있 었 다 . 그러나 , 이 와 같 은 웨트 세정 을 행하 는 장치 는 세정액 의 공급 , 배출 , 폐수 처리 가 필요 하 기 때문 에 장치 전체 가 대형 이 되 어 버려 와이어 본딩 장치 에 편입 시키 기 어렵 다는 문제 가 있 었 다 .