아울러 , 상기 유동 안내 수단 ( 15 c ) ( 15 d ) 의 구체 적 인 형태 는 , 일정 한 깊이 로 형성 된 안내 홈 ( 15 c ) 의 형태 를 가질 수 도 있 고 , 일정 한 높이 를 갖 는 가이드 ( 15 d ) 의 형태 로 가질 수 도 있 다 . 즉 , 안내 홈 ( 15 c ) 또는 가이드 ( 15 d ) 의 형태 로 형성 되 는 유동 안내 수단 ( 15 c ) ( 15 d ) 은 고정 전극 ( 12 ) 의 축 중심 에 대하 여 , 상기 축 중심 을 휘감 는 형태 의 나선 형 으로 가스 이동관 ( 15 a ) 의 외벽 내 측면 또는 내벽 외 측면 에 형성 되 어 그 내부 를 흐르 는 유동 의 흐름 을 안내 한다 .