추가 적 으로 , 일 실시 형태 에서 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 은 DC 바이어스 소스 ( 120 ) 에 연결 되 어 플 라즈 마 밀도 와 독립 적 으로 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 내 의 플 라즈 마 전위 의 제어 를 가능 하 게 한다 . DC 바이어스 소스 ( 120 ) 는 접지 로부터 상방 으로 확장 되 는 다양 한 전압 설정 값 들 에서 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 의 바이어스 를 제어 하 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에서 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 의 DC 바이어스 소스 ( 120 ) 는 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에서 의 플 라즈 마 와 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 에서 의 플 라즈 마 를 동기 시키 기 위해 펄 싱 방식 으로 동작 하 도록 정의 될 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 , DC 바이어스 소스 ( 120 ) 의 이 펄 싱 된 제어 는 상부 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 및 109 ) 에서 의 플 라즈 마들 사이 의 시간 종속 적 전압 차 를 제어 하 는 데 이용 될 수 있 다 .