플라스마 처리 장치 의 제조 시 에 복수 의 장치 간 에 사용 하 는 공통 부품 에 개체차 ( 장치 간 차 ) 가 있 으면 , 장치 개체 간 의 플라스마 상태 의 차이 가 생긴다 . 이 때문 에 , 장치 제조 공장 으로부터 의 장치 출하 전 의 최종 검사 시 에 원인 부품 을 특정 하 여 교환 혹은 조정 하 는 데 장시간 을 요한다는 문제 가 있 었 다 . 또한 , 장치 출하 후 에 반도체 제조 공장 에서 상정 수명 이상 으로 사용 한 소모 부품 의 열화 ( 劣化 ) 가 생기 면 마찬가지 로 장치 간 차 가 생길 수 있 다 .