일부 실시 예 로 , 광 도파관 은 테이퍼 에 근접 하 게 위치 하 는 굴곡 부를 포함 할 수 있 다 . 테이퍼 는 광 신호 가 굴곡 부 를 경유 하 여 이동 되 도록 광 도파관 을 통해 이동하 는 광 신호 를 다중 모드 에서 단일 모드 로 변화 시킬 수 있 다 . 실리콘 부분 및 실리콘 질화물 부분 은 굴곡 부 를 통해 연장 되 어 있 을 수 있 다 . 테이퍼 는 굴곡 부 이전 의 실리콘 부분 의 폭 을 감소 시킬 수 있 다 . 광 도파관 은 매립 산화물 부분 을 포함 할 수 있 다 . 실리콘 질화물 부분 및 실리콘 부분 은 매립 산화물 부분 에 위치 할 수 있 다 .