O 2 가스 의 플러싱 공정 은 100 ~ 500 ℃ 의 챔버 온도 에서 진행 하 고 , O 3 가스 의 플러싱 공정 은 100 ~ 450 ℃ 의 챔버 온도 에서 진행 한다 . 이렇게 온도 차이 가 나 는 이유 는 O 3 가스 가 O 2 가스 보다 반응 성 이 크 기 때문 이 다 . 그리고 , O 3 가스 의 플러싱 은 O 3 가스 의 농도 를 100 ~ 400 g / cm 3 로 한다 .