상기 36 . 5 도 의 피크 ( 303 ) 는 Ti / TiN 막 의 밀러 인덱스 ( Miller index ) 가 [ 111 ] 인 결정면 ( 이하 TiN [ 111 ] 결정면 으로 표기 한다 ) 을 나타낸다 . 또한 , 상기 42 . 9 도 의 피크 ( 307 ) 는 TiN [ 200 ] 결정면 으로 동정 할 수 있 다 . 상기 종래 기술 의 스펙트럼 ( 301 ) 의 특징 은 , 상기 Ti / TiN 막 중 에서 Ti 막 의 형성 을 나타내 는 Ti [ 101 ] 결정면 으로 동정 될 수 있 는 ' 2 θ 가 40 . 0 도 인 곳 '( 305 ) 에서 특징 적 인 피크 가 보이 지 않 는다는 점 이 다 .