절연 층 ( 5021 ) 내지 절연 층 ( 5032 ) 에 사용 되 는 절연 재료 에 는 질화 알루미늄 , 산화 알루미늄 , 질화 산화 알루미늄 , 산화 질화 알루미늄 , 산화 마그네슘 , 질화 실리콘 , 산화 실리콘 , 질화 산화 실리콘 , 산화 질화 실리콘 , 산화 갈륨 , 산화 저마늄 , 산화 이트륨 , 산화 지르코늄 , 산화 란타넘 , 산화 네오디뮴 , 산화 하프늄 , 산화 탄탈럼 , 알루미늄 실리케이트 등 이 있 다 . 절연 층 ( 5021 ) 내지 절연 층 ( 5032 ) 은 이 들 절연 재료 로 이루어진 단층 또는 적층 으로 구성 된다 . 절연 층 ( 5021 ) 내지 절연 층 ( 5032 ) 을 구성 하 는 층 은 복수 의 절연 재료 를 포함 하 여도 좋 다 .