상기 배선 재료 의 박막 제조 방법 으로서 는 , RF 마그네트론 스퍼터링 ( Radio Frequency magnetron sputtering ) , 이온 빔 스퍼터링 ( ion beam sputtering ) , 반응 성 공 - 증발 법 ( reactive co - evaporation ) , 금속 유기 분 해법 ( MOD , Metal Organic Decomposition ) , LSMCD ( Liquid Source Misted Chemical Decomposition ) , 레이저 에이블 레이 션 ( Laser Ablation ) , MOCVD ( Metal Organic Chemical Vapor Deposition ) , ALD ( Atomic Layer Deposition ) 이 개발 되 었 다 .