최상위 층 인 제 3 금속 층 ( 150 ) 의 표면 에 관통 홀 ( 151 ) 들 을 형성 하 는데 , 이러 한 관통 홀 ( 151 ) 들 은 규칙 성 을 갖 게 배열 되 고 , 하부 의 제 2 비아 ( 230 ) 가 노출 되 지 않 게 형성 된다 . 이러 한 관통 홀 ( 151 ) 에 의해 후속 프로브 테스트 ( probe test ) 시 프로브 의 밀림 을 방지 하 고 , 프로브 에 의한 물리 적 인 스트레스 를 줄일 수 있 다 .