여기 서 , 제 어 정보 는 반도체 공정 진단 센서 장치 가 사용 될 공정 과 그 공정 에 요구 되 는 조건 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 어 정보 는 반도체 공정 진단 센서 장치 가 어느 공정 에 사용 되 는지 를 정의 하 고 , 그 정의 된 공정 에서 의 센싱 온도 , 센싱 시간 및 센싱 방식 등 에 대한 설정 값 을 포함 할 수 있 다 .