이 와 같이 하 여 , 기판 반입 · 가열 공정 ( S 102 ) 에서 는 , 처리 실 ( 201 ) 내 를 소정 의 압력 이 되 도록 제 어함 과 함께 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 온도 가 소정 의 온도 로 되 도록 제어 한다 . 온도 는 , 예 를 들 어 실온 이상 500 ℃ 이하 이 고 , 바람직 하 게 는 실온 이상 이 며 400 ℃ 이하 이 다 . 압력 은 예 를 들 어 50 내지 5000 Pa 로 하 는 것 을 생각 할 수 있 다 .