도 1 을 참조 하 면 , 코팅 장비 는 크 게 포토 레지스 트 ( 500 ) 를 분사 하 는 노즐 부 ( 100 ) , 포토 레지스 트 ( 500 ) 가 코팅 되 는 기판 ( 300 ) 을 올려 놓 는 정반 ( 미 도시 ) , 코팅 공정 을 수행 하 기 전 에 고농도 화 된 포토 레지스 트 ( 500 ) 를 제거 하 기 위한 프라이밍 롤러 부 ( 200 ) , 빛 을 조사 하 는 발광 부 ( 600 ) , 발광 부 에서 조사 한 빛 을 감지 하 는 수 광부 ( 700 ) 및 프라이밍 롤러 부 ( 200 ) 의 쳐 짐 현상 을 알려 줄 수 있 는 알람 부 ( 800 ) 로 구성 된다 .