도 13 을 참조 하 면 , 이어서 무기 막 ( 160 ') 상 에 포토 레지스 트 ( PR 1 , PR 2 , PR 3 ) 를 형성 한다 . 포토 레지스 트 ( PR 1 , PR 2 , PR 3 ) 는 형성 되 는 위치 에 따라 제 1 포토 레지스 트 ( PR 1 ) , 제 2 포토 레지스 트 ( PR 2 ) , 및 제 3 포토 레지스 트 ( PR 3 ) 으로 구분 될 수 있 다 .