상기 상대 적 으로 높 은 제 1 온도 및 상대 적 으로 낮 은 제 1 압력 을 갖 는 상기 공정 챔버 내 에서 상기 제 1 반응 가스 에 포함 된 수소 가스 및 산소 가스 를 반응 시켜 산소 라디칼 ( O *) 을 형성 한다 . 즉 , 상기 수소 가스 및 산소 가스 를 포함 하 는 제 1 반응 가스 를 상기 제 1 온도 에서 열처리 하 여 상기 대 상체 ( 150 ) 상부 에 상기 산소 라디칼 을 형성 한다 . 상기 수소 가스 및 상기 산소 가스 는 각기 약 2 . 0 ∼ 3 . 0 slm 정도 의 유량 및 약 0 . 1 ∼ 0 . 5 slm 정도 의 유량 으로 대 상체 ( 150 ) 상 으로 공급 될 수 있 다 . 따라서 , 상기 산소 가스 와 상기 수소 가스 사이 의 유량 비 는 약 1 . 0 ： 4 . 0 ∼ 30 . 0 정도 가 될 수 있 다 . 상기 수소 가스 및 상기 산소 가스 를 포함 하 는 상기 제 1 반응 가스 는 약 10 ∼ 30 분 동안 상기 공정 챔버 내 로 공급 될 수 있 다 .