도 28 a 내지 도 28 c 는 절연 표면 을 갖 는 기판 위 에 복수 의 광전 변환 유닛 셀 을 형성 하 고 , 각 유닛 셀 을 기판 위 에서 접속 하 는 광전 변환 장치 의 제작 공정 을 제시 한다 . 도 28 a 에 있 어서 , 기판 ( 10 ) 에 제 1 전극 ( 12 ) 을 형성 한다 . 제 1 전극 ( 12 ) 은 개구 ( M 0 내지 Mn ) 에 의하 여 복수 로 절연 분리 된다 . 개구 ( M 0 내지 Mn ) 는 도전 막 을 기판 ( 10 ) 일면 에 형성 하 고 , 그 도전 막 을 개구 패턴 에 맞추 어 에칭 제거 , 혹은 레이저 광 등 의 에너지 빔 에 의하 여 직접 적 으로 가공 하 여 형성 한다 .