또 , 일반 적 으로 , φ 300 mm 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 는 , 방향 을 조정 하 기 위한 결정 방위 를 나타내 는 절 결인 노치 ( 9 ) 가 형성 되 어 있 다 . 통상 , 노치 ( 9 ) 는 , ＜ 110 ＞ 방향 을 따른 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 직경 의 단부 에 형성 된다 . 노치 ( 9 ) 를 포함 하 는 ＜ 110 ＞ 방향 을 따른 직경 과 , ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 이 이루 는 각도 는 45 ° 이 다 . 얼라인먼트 부 ( 130 ) 는 , 이 노치 ( 9 ) 를 광학 적 으로 검출 함 으로써 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 소정 의 방향 을 향하 도록 조정 한다 .