전술 한 웨이퍼 교환 동안 , 그리고 , 그 웨이퍼 교환 후 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 제 2 로딩 포지션 에 정지 하 고 있 는 사이 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 새로운 웨이퍼 ( W 2 ) 에 대한 웨이퍼 얼라인먼트 ( 및 기타 전처리 계측 ) 의 개시 에 앞서 , Y 간섭계 ( 19 ) 와 XZ 간섭계 ( 117 및 127 ) 의 리셋 ( 원점 의 재 설정 ) 을 실행 한다 .