마지막 으로 , 본 발명 의 또 다른 양상 은 불소 원소 , 질소 및 아르곤 , 그리고 선택 적 으로 산소 로 구성 된 식각 가스 혼합물 이 다 . 이 가스 혼합물 에 는 불소 원소 가 10 vol % 이상 함유 된다 . 가스 혼합물 에 는 불소 원소 가 25 vol % 이하 , 바람직 하 게 는 25 vol % 미만 으로 함유 된다 . 가스 혼합물 에 는 아르곤 이 5 vol % 이상 함유 된다 . 가스 혼합물 에 는 아르곤 이 15 vol % 이하 함유 된다 . 가스 혼합물 에 는 질소 가 65 vol % 이상 함유 된다 . 가스 혼합물 에 는 질소 가 80 vol % 이하 함유 된다 . 이러 한 혼합물 은 MEMS 식각 용 으로 매우 적합 하 다 . 산소 가 함유 되 는 경우 에 는 , 2 내지 15 vol % 의 범위 내 로 존재 하 는 것 이 바람직 하 다 . 나머지 구성 성분 들 ( 불소 원소 , 질소 , 아르곤 ) 중 1 종 이상 의 함량 을 더 낮춤 으로써 구성 성분 들 의 합계 가 100 vol % 가 되 도록 할 수 있 다 .