한편 , " "" 노 말 모드 / 메인 터 넌 스 모드 "" 에 는 ", 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 가 실제로 기판 을 처리 할 수 있 는 상태 에 있 었 는지 의 여부 ( 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 는지 의 여부 ) 를 나타내 는 데이터 내용 이 대응 되 어 있 다 . 도 6 에서 , 실선 ( 616 , 617 ) 은 노 말 모드 이 며 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 가 실제로 기판 을 처리 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 ( 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 ) 것 을 나타내 고 있 다 . 한편 , 점선 ( 606 ) 은 메인 터 넌 스 모드 이 며 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 가 실제로 기판 을 처리 할 수 있 는 상태 에 있 지 않 았 던 ( 가동 할 수 있 는 상태 에 있 지 않 았 던 ) 것 을 나타내 고 있 다 . 도 6 의 예의 경우 , 점선 ( 420 ) 으로 둘러싸인 대상 구간 에서 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 가 실제로 기판 을 처리 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 시간 길이 ( 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 시간 길이 ) 는 , " "" Tn "" 이 된다 . "