또한 , 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 일부 가 손상 되 거나 , 비대칭 적 으로 형성 되 더라도 상기 촬상부 ( 300 ) 에서 촬상되어 이미지 화 된 오버레이 패턴 영상 의 선폭 과 , 상기 데이터 베이스 에 미리 저장 된 오버레이 패턴 영상 의 선폭 을 비교 한 후 선폭 이 서로 일치 되 는 부분 을 선택 하 여 취 출하 고 , 부분 적 으로 선택 된 상기 오버레이 패턴 영상 을 상기 오버레이 패턴 에 대응 되 도록 복원 시켜 정확 한 오버레이 보정 값 을 산출 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 다 .