도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 의 저부 ( 30 ) 에 는 , 각각 좌 벽 및 우 벽 을 따라 Y 방향 으로 뻗 고 , 가느다란 사각형 의 평면 형상 을 갖 는 제 1 오 목부 ( 38 ) 가 형성 되 어 있 다 . 가이드 레일 ( 37 ) 은 , 이 오 목부 ( 38 ) 내 에 형성 되 어 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 은 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 에 있 어서 의 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 에 가까운 홈 ( home ) 위치 ( 도 2 에 나타내 는 위치 ) 와 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 에 있 어서 의 진공 처리 실 ( 31 C , 31 D ) 에 가까운 위치 와 의 사이 에서 ± Y 방향 으로 슬라이드 이동 할 수 있 다 .