플라 즈 마 중합 공정 을 수행 하 기 위해 , 기판 ( 표면 코팅 될 물체 ( O 1 , O 2 ) 들 ) 이 물체 홀더 ( O + H ) 에 놓인다 . 물체 홀더 내부 에 알맞 고 모든 표면 들 을 플 라즈 마 에 노출 시키 도록 물체 홀더 내부 에서 구를 수 있 는 임의 의 수 의 물체 가 물체 홀더 에 놓일 수 있 다 . 플 라즈 마 챔버 의 내부 및 물체 홀더 가 펌프 ( PU ) 에 의해 배기 된다 . 물체 홀더 ( O + H ) 의 내부 가 챔버 ( PLC ) 와 개방 유체 연결 됨 에 따라 , 동일 한 압력 및 다른 물리 적 조건 이 물체 홀더 박스 내부 에 존재 할 것 이 다 . 모노머 , 특히 1 H , 1 H , 2 H , 2 H - 퍼플 루오 로 데 실 아크릴 레이트 ( perfluorodecyl acrylate ) 가 모노머 펌프 ( PM ) 에 의해 플 라즈 마 챔버 ( PLC ) 의 내부 로 공급 된다 . 고전압 무선 주파수 전력 이 플 라즈 마 회로 ( P - C ) 에 의해 전극 ( E 1 , E 2 ) 들 사이 에 가해진다 . 초기 의 고 플 라즈 마 파워 는 5 초 내지 10 분 의 기간 이내 에 최종 의 저 플 라즈 마 파워 로 감소 된다 . 초기 에 는 플 라즈 마 를 기동 시키 기 위해 더 높 은 플 라즈 마 파워 ( 가스 의 플 라즈 마 상태 를 기동 시키 는 데 필요 한 파워 ) 가 사용 된다 . 후속 해서 플 라즈 마 파워 가 낮 아 지 는 것 에 의해 , 코팅 될 기판 ( 물체 ) 상 에 균일 한 폴리머 층 이 얻 어 진다 .