[ 0068 ] 일 구현 에서 , 열 엘리먼트 들 ( 606 ) 은 기판 ( 201 ) 에 조정 형 ( tailored ) 적외선 가열 수단 을 제공 하 기 위한 복수 의 텅스텐 - 할로겐 램프 들 일 수 있 다 . 복사선 소스 ( 646 ) 는 , 예컨대 약 50 ℃/ s 내지 약 280 ℃/ s 의 레이트 로 , 열 프로세싱 을 위해 기판 ( 201 ) 을 신속 하 게 가열 할 수 있 다 . 온도 튜닝 은 특정 위치 들 에서 기판 ( 201 ) 의 온도 를 변화 시키 면서 기판 의 나머지 부분 의 온도 에 영향 을 미치 지 않 도록 수행 될 수 있 다 . 다른 구현 에서 , 복사선 소스 ( 646 ) 는 챔버 ( 636 ) 내 에 위치 될 수 있 다 .