다음 으로 , 린스 액 의 일례 인 순수 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 물 린스 처리 ( 린스 액 공급 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 302 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 차 단판 승강 기구 ( 308 ) 를 제어 하 여 , 약액 노즐 ( 309 ) 을 퇴피 위치 에 위치 시킨 상태 에서 , 차 단판 ( 303 ) 을 퇴피 위치 로부터 처리 위치 로 이동 시킨다 . 그리고 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 린스 액 밸브 ( 325 ) 를 열 어 , 스핀 척 ( 302 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시키 면서 , 중심축 노즐 ( 316 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 순수 를 토출 시킨다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 약액 이 순수 로 치환 되 어 , 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 순수 가 공급 된다 . 이 와 같이 하 여 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 약액 이 순수 에 의해 씻겨 진다 ( 물 린스 처리 ) . 그리고 , 물 린스 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 린스 액 밸브 ( 325 ) 를 닫 아서 순수 의 토출 을 정지 시킨다 .