도 3 c 는 선택 적 인 제 3 공정 단계 ( 202 ) 를 도시 한다 . 이 에 따라 정렬 마크 ( 5 ul ', 5 ur ') 가 상부 렌즈 ( 7 ol , 7 or ) 에 의해 중심 에 놓일 때 까지 감지 유닛 ( 8 l , 8 r ) 은 Z 방향 으로 이동 된다 . 감지 유닛 ( 8 l , 8 r ) 은 고정 되 고 본 발명 을 따르 는 공정 동안 더 이상 이동 하 지 않 는다 . 하부 기판 홀더 ( 1 u ) 의 병진 운동 위치 및 / 또는 회전 운동 위치 가 저장 된다 .