4 개 의 오프너 ( 11 ~ 14 ) 는 , ID 블록 ( 2 ) 의 외벽 에 설치 되 어 있 다 . 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 는 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 가 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 출납 할 수 있 도록 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 주위 에 배치 되 어 있 다 . 도 4 에 있 어서 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 는 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 를 끼워 넣 도록 전후 방향 ( X 방향 ) 으로 배치 되 어 있 다 . 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 와 동일 하 게 , 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 는 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 가 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 출납 할 수 있 도록 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 의 주위 에 배치 되 어 있 다 . 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 는 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 를 끼워 넣 도록 전후 방향 으로 배치 되 어 있 다 .