단계 S 160 에서 제 1 의 척 킹 핀 ( 122 ) 들 을 오픈 상태 로 구동 시킨다 . 즉 , 제 1 의 척 킹 핀 ( 122 ) 들 은 오픈 되 어 기판 ( W ) 을 척 킹 해제 하 고 , 제 2 의 척 킹 핀 ( 124 ) 들 은 클로즈 상태 로 유지 되 어 기판 ( W ) 을 계속 해서 척 킹 한다 . 단계 S 162 에서 제 1 의 척 킹 핀 ( 122 ) 들 을 클로즈 상태 로 구동 시킨다 . 즉 , 제 1 의 척 킹 핀 ( 122 ) 들 은 오픈 상태 , 제 2 의 척 킹 핀 ( 124 ) 들 은 클로즈 상태 에서 교차 척 킹 을 위하 여 , 먼저 제 1 및 제 2 의 척 킹 핀 ( 122 , 124 ) 들 모두 를 다시 클로즈 상태 로 구동 시켜서 기판 ( W ) 을 척 킹 한다 . 단계 S 164 에서 제 1 및 제 2 척 킹 핀 ( 122 , 124 ) 들 이 클로즈 상태 에서 제 2 의 척 킹 핀 ( 124 ) 들 을 오픈 상태 로 구동 시킨다 . 따라서 단계 S 160 내지 단계 S 164 에 의해 제 1 및 제 2 의 척 킹 핀 ( 122 , 124 ) 들 은 교차 로 척 킹 한다 . 단계 S 166 에서 다시 제 1 및 제 2 의 척 킹 핀 ( 122 , 124 ) 들 모두 를 클로즈 상태 로 구동 시켜서 기판 ( W ) 을 척 킹 하 기 위하 여 제 2 의 척 킹 핀 ( 124 ) 들 을 클로즈 상태 로 구동 시킨다 .