이 때 , 부상 부재 ( 60 ) 의 부상 가스 토출구 ( 61 ) 로부터 의 부상 가스 의 토출 및 흡 인구 ( 62 ) 로부터 의 흡인 이 상술 한 것 처럼 제 어부 ( 75 ) 에 제어 되 어 유리 기판 ( G ) 의 부상 량 이 제어 된다 . 또 , 이 때 에 , 제 어부 ( 75 ) 에 의해 승강 기구 ( 85 ) 를 제어 해 반송 기구 ( 80 ) 의 가이드 레일 ( 83 ) 의 위치 가 유리 기판 ( G ) 의 부상 량 에 맞추 어 조절 된다 .