측정 빔 검출 유닛 ( 260 ) 에 의해 검출 된 제 2 출력 신호 ( S 2 ) 는 제 어부 ( 280 ) 에 입력 되 며 , 제 어부 ( 280 ) 는 이 제 2 출력 신호 ( S 2 ) 을 이용 하 여 가변 레이저 빔 ( L ) 의 출력 및 펄스 형상 을 실시간 으로 얻 을 수 있 다 . 이렇게 얻 어 진 가변 레이저 빔 ( L ) 의 펄스 형상 으로부터 가변 레이저 빔 ( L ) 의 펄스폭 및 펄스 에너지 도 알 수 있 게 된다 . 이어서 , 제 어부 ( 280 ) 는 가변 레이저 빔 ( L ) 의 출력 및 펄스 형상 을 설정 된 출력 및 펄스 형상 과 비교 하 여 그 차이 가 설정 된 기준 범위 내이 면 레이저 어닐링 공정 을 계속 수행 하 게 된다 . 한편 , 가변 레이저 빔 ( L ) 의 측정값 과 설정 값 사이 의 차이 가 설정 된 기준 범위 를 벗어나 는 경우 에 는 제 어부 ( 180 ) 는 레이저 발진기 들 ( 211 , 212 , 213 , 214 ) 및 셔터 들 ( 221 , 222 , 223 , 224 ) 을 제어 하 여 가변 레이저 빔 ( L ) 의 출력 및 펄스 형상 을 설정 값 으로 조절 한 다음 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 게 된다 . 여기 서 , 가변 레이저 빔 ( L ) 의 펄스 형상 은 도 4 a 내지 도 4 e 에 도시 된 바 와 같이 펄스 사이 의 간격 을 조절 함 으로써 제어 될 수 있 다 .