상기 세정액 은 웨이퍼 들 ( W ) 을 세정 하 기 위한 약액 으로서 , 수산화 암모늄 및 과산화 수소 의 수용액 또는 염산 및 과산화 수소 의 수용액 일 수 있 다 . 상기 와 같 은 세정액 은 웨이퍼 ( W ) 의 식각 작용 에 의해서 , 웨이퍼 ( W ) 에 부착 된 유기 물질 을 제거 할 수 있 다 . 또한 , 세정액 은 금속 및 산 의 반응 에 의해서 , 웨이퍼 ( W ) 에 부착 된 금속 을 제거 할 수 있 다 .