상기 타 겟 ( 300 ) 과 유사 하 게 , 타 겟 ( 400 ) 은 3 개 이상 의 층 들 사이 에서 오버레이 계측 에 또한 이용 될 수 있 다 . 결과 적 으로 , 오버레이 계측 측정 은 오버레이 타 겟 ( 400 ) 에 존재 하 는 6 개 의 타 겟 구조물 의 임의 의 쌍 을 이용 하 여 수행 될 수 있 다 . 더욱이 , 타 겟 ( 400 ) 의 각 구조물 의 대칭 중심 ( 110 ) 이 함께 있 기 때문 에 , 오버레이 계측 측정 은 단일 이미지 그 랩 의 6 개 의 구조물 모두 로부터 획득 될 수 있 다 .