이어서 , 상기 패키지 웨이퍼 ( 110 ) 의 상부 면 에 는 도 3 ( g ) 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 내 외부 연결 단자 ( 112 ) 의 상단 에 배치 되 는 단자 연결 용 패턴 ( 114 ) 을 형성 하 고 , 상기 단자 연결 용 패턴 ( 114 ) 의 외측 에 는 후술 하 는 캡 웨이퍼 ( 120 ) 와 접합 되 는 접합 용 하부 패턴 ( 115 ) 을 형성 한다 .