제 2 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 ( 9 ) 에 는 웨이퍼 ( 9 ) 의 원주 방향 에 있 어서 의 정규 인 위치 를 나타내 는 마크 로서 , V 자 모양 또는 U 자 모양 으로 노치 된 노치 등 이 외주 부 에 형성 되 어 있 다 . 웨이퍼 의 엣지 부 에 는 위치 를 검출 하 기 위해 , 현 ( 弦 ) 모양 으로 노치 된 편평 한 측면 ( orientation flat ) 이라도 좋 다 .