또한 , 마찬가지 로 , 금속 방식제 , 폴리 아크릴산 계 폴리머 및 금속 산화제 로서 의 과산화수소 를 포함 하 고 , 과산화수소 의 농도 만 을 바꾼 ( 7 중량 % 및 18 중량 %) 복수 의 연마 액 을 준비 하 고 , 동일 한 연마 조건 에서 구리 웨이퍼 를 연마 했 을 때 의 디싱 량 ( Line & Space = 100 ㎛/ 100 ㎛ 부 , 연마 의 진행 형편 에 따라 , 표면 의 막 종이 변화 ) 을 보 면 , 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 산화제 양 을 증가 시키 면 , 디싱 량 은 저감 하 고 , 연마 속도 는 저하 하 는 것 을 알 수 있 다 .