웨이퍼 데이터 는 서브시스템 에서 작성 , 강화 및 / 또는 수정 될 수 있 는 피 처리 웨이퍼 에 대한 모델링 데이터 를 포함 할 수 있 다 . S - D 모델링 데이터 가 이용 될 경우 , 신규 모델 및 연관 된 모델 파라미터 는 S - D 모델 및 데이터 로서 식별 및 저장 될 수 있 다 . N - S - D 데이터 가 이용 될 경우 , 모델 및 연관 된 모델 파라미터 는 N - S - D 모델 및 데이터 로서 식별 및 저장 될 수 있 다 . 예컨대 , S - D 모델 및 데이터 는 S - D 라이브러리 및 / 또는 데이터베이스 에 저장 될 수 있 고 , N - S - D 모델 및 데이터 는 N - S - D 라이브러리 및 / 또는 데이터베이스 에 저장 될 수 있 다 . S - D 또는 N - S - D 데이터 를 이용 하 여 시뮬레이션 이 수행 될 경우 , 시뮬레이션 모델 및 / 또는 시뮬레이션 데이터 가 식별 및 / 또는 저장 될 수 있 다 .