이상 과 같 은 변형 실시 예 에 따른 제 1 가스 분사 모듈 ( 130 a ) 은 서로 상이 한 제 1 및 제 2 가스 ( G 1 , G 2 ) 를 상기 제 1 분 할 공간 ( DS 1 ) 에 공간 적 으로 분리 하 여 하향 분사 하 되 , 상기 제 2 커버 플레이트 ( 137 ) 에 공급 되 는 플 라즈 마 전원 에 따라 상기 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 에 플 라즈 마 를 형성 해 제 2 가스 ( G 2 ) 를 활성 화 시켜 제 1 분 할 공간 ( DS 1 ) 에 하향 분사 한다 .