도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 수평 회전 원판 ( 142 ) 이 챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 가이드 ( 132 , 134 ) 밑부분 을 지지 하 기 때문 에 승강대 ( 141 ) 가 승강 하 면 챔버 커버 ( 130 ) 가 따라서 승강 한다 . 승강대 ( 141 ) 의 승강 은 공 압 , 유압 , 모터 , 스프링 등 여러 가지 방식 으로 구현 될 수 있 으며 , 투명 윈도우 ( 110 ) 상 에 설치 되 는 광학 모듈 에 챔버 커버 ( 130 ) 가 접촉 되 지 않 는 한도 까지 만 상기 승강 이 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .