이때 제 1 내지 제 4 솔레노이드 밸브 ( 11 ∼ 14 ) 의 출력 단 에 연결 되 어 제 어부 ( 70 ) 의 제어 에 따라 제 1 MFC ( 31 ) 로 유입 되 는 샘플 가스 의 압력 을 일정 하 게 유지 하 기 제 1 레 귤 레이터 ( 21 ) 와 , 제 3 MFC ( 33 ) 와 제 4 MFC ( 34 ) 로 유입 되 는 제로 가스 의 유입 압력 을 제 어부 ( 70 ) 의 제어 에 따라 일정 하 게 유지 하 기 위해 각각 설치 된 제 2 레 귤 레이터 ( 22 ) 및 제 3 레 귤 레이터 ( 23 ) 를 포함 되 도록 함 으로써 일시 적 인 압력 변동 에 의한 유량 의 흔들림 이 없 도록 한다 .