예컨대 , 이러 한 방식 으로 형성 된 진공 밸브 는 , 특히 평행 으로 진공 공정 이 실행 될 수 있 는 다수 의 공정 챔버 들 이 존재 하 는 경우 진 공하 에서 기판 에서 의 가공 단계 들 을 실행 하 기 위한 진공 시설 에서 이용 될 수 있 다 . 정상 작 동시 , 밸브 플레이트 ( 7 ) 는 그 의 개방 위치 에 머무르 고 , 진공 밸브 의 개방 및 폐쇄 는 제 2 폐쇄 부재 ( 23 ) 를 이용 해 실행 되 며 , 상기 폐쇄 부재 로부터 제 2 밸브 개구부 ( 24 ) 는 개방 되 거나 또는 상기 폐쇄 부재 에 의해 밀봉 될 수 있 다 . 상기 제 2 폐쇄 부재 의 정비 가 필요 하 면 , 예컨대 탄성 실링 링 ( 30 ) 이 교체 되 어야 만 하 면 , 제 1 밸브 개구부 ( 6 ) 는 밸브 플레이트 ( 7 ) 를 이용 해 밀봉 된다 . 이때 , 제 2 폐쇄 부재 ( 23 ) 는 그 의 폐쇄 위치 또는 그 의 중간 위치 에 있 다 . 그 후 , 진공 밸브 의 밸브 하우징 은 열릴 수 있 고 , 도 26 및 도 27 에 도시 된 바 와 같이 제 2 폐쇄 부재 는 수행 되 어야 하 는 정비 를 위해 제거 될 수 있 다 . 이때 , 제 1 밸브 개구부 ( 6 ) 를 통해 진공 밸브 가 연결 되 어 있 는 챔버 , 또는 이 제 1 밸브 개구부 ( 6 ) 에 연결 된 진공 시설 의 부품 은 진 공하 에 유지 될 수 있 다 . 정비 가 수행 되 고 제 2 폐쇄 부재 가 조립 된 후 밸브 하우징 은 다시 닫힐 수 있 고 , 펌프 아웃 ( pump out ) 이 수행 된 후 밸브 플레이트 ( 7 ) 는 열릴 수 있 다 .