본 실시 예의 박막 증착 장치 ( 200 ) 는 기판 상 에 박막 을 증착 하 기 위한 것 으로 , 복수 의 챔버 를 포함 한다 . 복수 의 챔버 중 어느 하나 는 박막 이 증착 되 는 대상 인 기판 이 외부 로부터 출입 하 는 통로 에 해당 하 는 출입 챔버 ( 220 ) 이 며 , 복수 의 챔버 중 다른 하나 는 기판 상 에 박막 이 증착 되 는 공정 이 수행 되 는 공정 챔버 ( 210 ) 이 다 . 공정 챔버 ( 210 ) 는 하나 일 수 있 으나 복수 로 이루어질 수 있 으며 , 복수 의 공정 챔버 ( 210 ) 를 거치 면서 수 회 에 걸쳐 박막 이 증착 되 어 적층 구조 를 가질 수 있 다 .