다음 으로 , 본 실시 형태 의 성막 장치 를 이용 한 전자 디바이스 의 제조 방법 의 일 예 를 설명 한다 . 이하 , 전자 디바이스 의 예 로서 유기 EL 표시 장치 의 구성 및 제조 방법 을 예시 한다 . 우선 , 제조 하 는 유기 EL 표시 장치 에 대해 설명 한다 . 도 3 ( a ) 는 유기 EL 표시 장치 ( 60 ) 의 전체 도 , 도 3 ( b ) 는 1 화소 의 단면 구조 를 나타내 고 있 다 .