도 10 은 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 및 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 사시도 를 나타낸다 . 평면 다각형 으로 형성 되 는 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 2 변 ( 27 a ) 에 는 , 각각 게이트 밸브 ( 52 ) 를 거쳐서 2 개 의 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 가 연결 된다 .