본 발명 은 전술 한 문제점 을 해결 하 기 위한 것 으로서 , 6 축 로봇 을 이용 하 여 매크로 검사 , 미크 로 검사 및 측면 검사 를 효율 적 으로 수행 함 으로써 택 타임 ( Tact time ) 을 줄이 고 , 여러 유닛 을 제거 하 여 가격 경쟁력 을 향상 시킬 수 있 는 웨이퍼 검사 장치 및 6 축 로봇 이 구비 된 웨이퍼 검사 장치 를 이용 하 여 웨이퍼 를 검사 하 는 방법 을 제공 하 는데 그 목적 이 있 다 .