산화 규소 쇄 를 갖 는 단분자막 을 형성 하 기 위해서 는 , 인식 용 표적 분자 를 고정 화 시키 기 위한 스 페이서 가 되 는 고정화 용 관능기 를 갖 는 알킬 쇄 가 치환 된 3 가의 가수 분해 성 실란 화합물 이 사용 된다 . 이 화합물 은 , 금속 산화물 표면 의 OH 기 나 , 금속 막 의 표면 산화 에 의해 생긴 OH 기 와 규소 원자 가 반응 하 여 기판 표면 상 에 결합 되 고 , 또한 결합 된 실란 끼리 규소 - 산소 - 규소 결합 을 형성 함 으로써 산화 규소 쇄 를 갖 는 단분자막 이 된다 .