이러 한 공정 을 위해 , 플라 즈 마는 일반 적 으로 예 를 들 면 , 진공 챔버 와 같 은 기밀 한 용기 에서 산출 되 고 , 다양 한 유형 의 계측 장비 를 이용 하 여 모니터링 된다 . EUV 방사선 생성 에 추가 하 여 , 이러 한 플 라즈 마 공정 은 또한 일반 적 으로 예 를 들 면 대역 을 벗어난 복사 , 고 에너지 이온 및 , 타켓 재료 의 원자 및 / 또는 덩어리 / 미세 액적 ( microdroplet ) 과 같 은 찌꺼기 를 포함 할 수 있 는 플 라즈 마 챔버 내 에서 의 바람직 하 지 않 은 부산물 을 생성 한다 .