여기 서 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 의 구성 에 대해 설명 한다 . 도 2 및 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 는 본 체부 ( 4 ) 를 구비 하 고 있 다 . 본 체부 ( 4 ) 는 웨이퍼 ( W ) 가 재치 되 는 베이스 부 ( 5 ) , 베이스 부 ( 5 ) 에 세워 형성 되 어 있 는 복수 의 기둥 부 ( 6 ) , 및 기둥 부 ( 6 ) 의 상단 을 연결 하 도록 형성 된 링 부 ( 7 ) 를 포함 한다 .