또한 , 본원 에서 사용 되 는 바 와 같이 , " "" 또는 "" 이 라는 용어 는 달리 명시 적 으로 언급 되 거나 동작 적 으로 정의 되 지 않 는 한 포괄 적 또는 배타 적 의미 로 해석 될 수 있 다 . 부가 적 으로 ", 위 에 설명 된 다양 한 예시 적 인 실시 예 들 이 다양 한 일반 적 이 고 특정 한 예시 적 인 실시 예 들 에 초점 을 두 고 있 지만 , 실시 예 들 은 단지 본 개시 내용 의 명확 화 를 위해 주 어 지 며 , 따라서 , 수직 기판 세정 및 건조 메커니즘 또는 시스템 의 특정 유형 또는 설계 로 제한 되 지 않 는다 .