블록 킹 층 ( 15 A ) 으로서 실리콘 산화물 은 실리콘 소스 물질 과 산소 함유 가스 를 이용 하 여 증착 될 수 있 다 . 실리콘 소스 물질 은 SiH 4 , HCDS ( Si 2 Cl 6 ) , DCS ( SiH 2 Cl 2 ) , tris ( dimethylamino ) silane ( TDMAS ) , bis ( diethylamino ) silane ( BDEAS ) , bis ( tertiarybutylamino ) silane ( BTBAS ) 등 을 사용 할 수 있 다 . 산소 함유 가스 는 O 2 를 사용 할 수 있 다 .