본 발명 의 레지스 트 박리 액 조성물 은 유기 알칼리 화합물 을 포함 할 수 있 다 . 상기 유기 알칼리 화합물 은 건식 또는 습식 식각 , 애 싱 ( ashing ) 또는 이온 주입 공정 ( ion implant processing ) 등 의 여러 공 정하 에서 변질 되 거나 가교 된 레지스 트 의 고분자 매트릭스 에 강력 하 게 침투 하 여 분자 내 또는 분자 간 에 존재 하 는 결합 을 깨뜨리 는 역할 을 하 며 , 기판 에 잔류 하 는 레지스 트 내 의 구조 적 으로 취약 한 부분 에 빈 공간 을 형성 시켜 레지스 트 를 무 정형 의 고분자 겔 ( gel ) 덩어리 상태 로 변형 시킴 으로써 기판 상부 에 부착 된 레지스 트 가 쉽 게 제거 될 수 있 게 하 는 역할 을 수행 한다 .