또한 , 기재 ( 21 a ) 를 기재 홀더 ( 6 a ) 에 부착 할 때 에 는 , 기재 홀더 ( 6 a ) 가 대기 중 의 수분 으로 인하 여 결로 ( 結露 ) 되 는 것 을 방지 하 기 위하 여 , 3 방향 밸브 ( 28 ) 및 3 방향 밸브 ( 26 ) 를 적절히 조작 하 고 , 또한 액 송 펌프 ( 27 ) 를 동작 시켜 온 브라인 탱크 ( 29 a ) 에 저장 되 어 있 는 약 25 ℃ 로 온도 제어 된 부동액 ( 예 를 들 면 에틸렌글리콜 ( ethylene glycol ) 등 ) 을 접속 배관 ( 25 ) 으로 유동 시킨다 . 접속 배관 ( 25 ) 을 유동 하 는 부동액 은 , 공급 파이프 ( 23 ) 에 공급 된다 . 공급 파이프 ( 23 ) 에 공급 된 부동액 은 홈 부 ( 7 c ) 에 충전 된다 . 다음 으로 , 그 부동액 은 파이프 링 ( 7 e ) 의 내부 에 충전 된다 . 그리고 , 부동액 은 파이프 ( 7 g ) 의 내부 를 흘러 , 기재 홀더 ( 6 a ) 의 중앙부 로부터 단부 를 향하 여 복수 의 냉각 파이프 ( 7 j ) 의 내부 를 흐른다 . 그 후 , 기재 홀더 ( 6 a ) 에서 해당 기재 홀더 ( 6 a ) 의 단부 로부터 중앙부 를 향하 여 냉각 파이프 ( 7 j ) 의 내부 를 유동 한 부동액 은 , 파이프 ( 7 f ) 의 내부 를 흘러 파이프 링 ( 7 d ) 의 내부 에 충전 된다 . 파이프 링 ( 7 d ) 에 충전 된 부동액 은 , 홈 부 ( 7 b ) 의 내부 에 충전 되 고 , 배출 파이프 ( 22 ) 를 흘러 접속 배관 ( 24 ) 으로 유동 한다 . 접속 배관 ( 24 ) 을 유동 한 부동액 은 , 3 방향 밸브 ( 26 ) 에 의해 온 브라인 탱크 ( 29 a ) 로 되돌려진다 . 이 와 같이 , 기재 홀더 ( 6 a ) 는 , 약 25 ℃ 의 부동액 에 의해 승 온 되 므로 대기 중 의 수분 으로 인하 여 결로 되 는 것 이 방지 된다 . 그리고 , 이 와 같이 하 여 기재 ( 21 a ) 를 기재 홀더 ( 6 a ) 에 부착 한 후 진공 챔버 ( 1 ) 의 내부 를 소정 의 배기 수단 ( 미 도시 ) 을 동작 시켜 소정 의 진공 분위기 까지 배기 한다 . 이때 , 진공 흡입 시 에서 의 기재 ( 21 a ) 의 가스 배출 을 용이 하 게 행하 기 위하 여 , 온 브라인 탱크 ( 29 a ) 로부터 기재 홀더 ( 6 a ) 에 대하 여 상기 약 25 ℃ 로 온도 제어 된 부동액 을 계속 공급 한다 . 이 에 따라 , 기재 ( 21 a ) 에 흡착 등 되 어 있 는 가스 가 효과 적 으로 제거 된다 . 또한 이 부동액 을 기재 홀더 ( 6 a ) 에 공급 하 는 것 은 진공 흡입 이 완료 할 때 까지 계속 하 여 행해진다 . 그 후 , 진공 챔버 ( 1 ) 의 내부 가 실질 적 인 진공 상태 가 된 것 을 확인 한 후 , 회전 구동 장치 ( 8 ) 를 동작 시켜 평기 어 ( 8 a ) 를 소정 의 회전수 로 회전 시킨다 . 그러면 , 이 평 기어 ( 8 a ) 의 회전 에 따라 , 회전축 체 ( 7 a ) 가 회전 중심 ( C ) 을 회전 중심 으로 하 여 회전 한다 . 즉 , 이 에 따라 회전축 체 ( 7 a ) 의 하단 부 에 부착 된 기재 홀더 ( 6 a ) 가 회전 하 고 , 기재 ( 21 a ) 가 회전 중심 ( C ) 을 회전 중심 으로 하 여 회전 한다 .