우선 , 전달 유닛 ( 25 ) 에 대하 여 상세히 설명 한다 . 상술 한 바 와 같이 , 상하 로 나란히 늘어선 2 개 의 전달 유닛 ( 25 ) 이 처 리부 ( 10 c ) 내 에 설치 되 어 있 다 . 각 전달 유닛 ( 25 ) 은 전달 시 이외 는 폐쇄 되 어 있 는 개구 ( 25 a ) 를 통하 여 , 전달 부 ( 10 b ) 와 통하 게 할 수 있 다 . 개구 ( 25 a ) 가 개방 되 어 있 는 경우 , 상술 한 전달 장치 ( 13 ) 의 포크 ( 13 a ) 는 각 전달 유닛 ( 25 ) 내 에 액세스 할 수 있 다 . 또한 , 전달 시 이외 는 폐쇄 되 어 있 는 다른 개구 ( 25 b ) 를 통하 여 , 반송 장치 ( 30 ) 가 각 전달 유닛 ( 25 ) 의 내부 에 액세스 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 그리고 , 반송 장치 ( 30 ) 및 전달 장치 ( 13 ) 는 전달 유닛 ( 25 ) 내 에 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 고 , 또한 전달 유닛 ( 25 ) 내 에 수용 된 웨이퍼 ( W ) 를 인수 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 , 각 전달 유닛 ( 25 ) 은 복수 의 웨이퍼 , 예컨대 2 장 의 웨이퍼 를 수용 할 수 있 도록 되 어 있 다 .