도 12 를 참조 하 면 , 깊 은 소자 분리 부 가 제 1 서브 깊 은 소자 분리 부 ( 110 g 1 ) 및 제 2 서브 깊 은 소자 분리 부 ( 110 g 2 ) 를 포함 하 여 구현 되 는 것 을 제외 하 면 도 7 의 실시 예 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 제 1 서브 깊 은 소자 분리 부 ( 110 g 1 ) 는 도 7 의 깊 은 소자 분리 부 ( 110 ) 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 제 2 서브 깊 은 소자 분리 부 ( 110 g 2 ) 는 도 11 의 깊 은 소자 분리 부 ( 110 ) 의 일부 ( 110 g ) 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 서브 깊 은 소자 분리 부 ( 110 g 1 ) 는 기판 ( 101 ) 의 제 2 면 ( 101 b ) 에서부터 절연 물질 을 형성 하 여 마련 되 며 , 제 2 서브 깊 은 소자 분리 부 ( 110 g 2 ) 는 기판 ( 101 ) 의 제 1 면 ( 101 a ) 에서부터 절연 물질 을 형성 하 여 마련 될 수 있 다 .