또한 , 상기 실시 형태 에서 는 유리 기판 ( 2 ) 의 상하 양면 측 에 차폐 판 ( 6 ) 이나 퍼지 노즐 ( 7 ) { 노즐 개구부 ( 11 ) } 을 배치 한 경우 를 예시 했 지만 반드시 양면 측 에 배치 할 필요 는 없 고 , 예 를 들 면 , 유리 기판 ( 2 ) 의 상면 측 에 만 차폐 판 ( 6 ) 과 퍼지 노즐 ( 7 ) 의 한 쪽 또는 쌍방 을 배치 해도 좋 다 . 또한 , 이 때 , 유리 기판 ( 2 ) 의 일면 측 에 만 차폐 판 ( 6 ) { 포 위부 ( 9 ) } 과 퍼지 노즐 ( 7 ) 이 배치 되 도록 양 구성 요소 ( 9 , 7 ) 를 유닛 화 한 구성 을 채용 하 는 것 도 가능 하 다 .