일 실시 예 에서 , 측면 가스 유동 ( 248 ) 은 혼합 가스 소스 로부터 발생 될 수 있 고 , 도 2 에서 도시 된 것 처럼 가스 유동 ( 245 ) 과 동일 한 가스 구성 요소 를 포함 할 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 측면 가스 유동 ( 248 ) 은 가스 유동 ( 245 ) 에서 가스 구성 요소 의 오직 일부 를 포함 할 수 있 거나 , 또는 가스 유동 ( 245 ) 으로부터 상이 한 가스 구성 요소 를 포함 할 수 있 다 . 도 3 은 측면 가스 유동 ( 248 ) 을 통해 오직 하나 의 처리 가스 구성 요소 를 제공 하 는 가스 분포 시스템 을 가진 열처리 챔버 ( 200 ) 의 개략 적 인 평면 단면도 이 다 .