또한 , S - D 신뢰 도 데이터 및 / 또는 N - S - D 신뢰 도 데이터 를 이용 하 여 다른 N - S - D 웨이퍼 세트 가 확립 될 수 도 있 고 , 다른 N - S - D 웨이퍼 세트 에 대해 다른 N - S - D 처리 시퀀스 가 결정 될 수 있 다 . 다른 N - S - D 웨이퍼 세트 는 다른 N - S - D 처리 시퀀스 를 이용 하 여 다른 N - S - D 서브시스템 에서 처리 될 수 있 고 , 웨이퍼 상태 데이터 는 다른 N - S - D 처리 시퀀스 를 확립 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 다른 N - S - D 웨이퍼 세트 는 다른 N - S - D 서브시스템 내 의 하나 이상 의 다른 처리 요소 로 이송 될 수 있 고 , 다른 N - S - D 처리 시퀀스 는 하나 이상 의 다른 N - S - D 처리 요소 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 예컨대 , 다른 N - S - D 웨이퍼 세트 는 하나 이상 의 다른 S - D 서브시스템 내 의 하나 이상 의 처리 요소 로 이송 될 수 있 다 .