여기 서 , 세정 노즐 ( 130 R 1 , 130 R 2 , 130 R 3 , … 130 Rn ) 의 에 지부 가 이루 는 각 ( θ ) 은 웨이퍼 ( 100 ) 와 수직 한 면 을 기준 으로 할 때 웨이퍼 ( 100 ) 의 외곽 방향 으로 10 ~ 75 ° 인 것 이 바람직 하 며 , 세정 노즐 에서 분사 되 는 세정액 이 웨이퍼 ( 100 ) 표면 의 불순물 을 웨이퍼 ( 100 ) 의 외곽 방향 으로 밀어낼 수 있 는 형태 로 구비 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이때 , 세정액 은 증류수 , 초 순수 , DI 수 및 이 들 의 혼합물 중 선택 된 어 느 하나 를 사용 할 수 있 으며 , 불순물 을 웨이퍼 ( 100 ) 의 외곽 방향 으로 밀어내 기 위해서 웨이퍼 ( 100 ) 의 중심부 에서 외곽 방향 으로 갈수록 세정 노즐 에 유입 되 는 세정액 의 유량 이 10 ~ 20 % 씩 감소 하 도록 조절 하 는 것 이 바람직 하 다 .