( Ru 소스 / 퍼지 / W 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 로 이루어진 ' RuxWyOz 단위 사이클 ' 에서 ' Ru 소스 ' 는 RuOx 를 증착 하 기 위한 Ru 소스 를 주입 하 는 단계 이 고 , ' W 소스 ' 는 WOx 를 증착 하 기 위한 W 소스 를 주입 하 는 단계 이 고 , ' 퍼지 ' 는 퍼지 가스 를 주입 하 는 단 계 이 며 , ' 산소 공급원 ' 은 WOx 를 증착 하 기 위한 산소 공급원 을 주입 하 는 단계 이 다 .