한편 본 발명 에 따른 레이저 어 닐 방법 은 Ne , Xe 및 HCl 를 포함 하 는 레이저 가스 를 레이 저실 에 공급 하 여 레이저 를 발생 시키 는 단계 , 상기 레이저 의 에너지 산포 가 설정 값 에 도달 할 때 까지 엑 시머 레이저 어닐링 을 진행 하 는 단계 , 상기 에너지 산포 가 설정 값 에 도달 된 경우 상기 레이 저실 의 레이저 가스 를 일부 배기 하 는 단계 , 상기 레이 저실 에 할로겐 가스 를 보충 하 는 단계 및 메인 터 넌 스 주기 에 도달 할 때 까 지 상기 과정 을 반복 수행 하 는 단계 를 포함 한다 .