상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 캐 패 시터 제조 방법 은 스토리지 노드 콘 택 이 형성 된 기판 상부 에 제 1 분리 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 분리 절 연막 을 식각 하 여 제 1 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 패턴 내부 에 매립 되 는 제 1 하부 전극 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 1 하부 전극 상 에 제 2 분리 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 2 분리 절 연막 을 식각 하 여 상기 제 1 하부 전극 의 표면 을 오픈 시키 는 제 2 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 2 패턴 내부 에 매립 되 어 상기 제 1 하부 전극 과 수직 으로 연결 되 는 제 2 하부 전극 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 제 2 분리 절 연막 과 제 1 분리 절 연막 을 제거 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .