상기 가 열부 에 의해 상기 기판 을 가열 하 는 온도 를 측정 하 도록 구성 되 고 , 제 1 온도 보다 저온 의 제 1 영역 에서 는 상기 제 1 온도 측 정부 보다 도 측정 정밀도 가 낮 고 , 상기 제 1 온도 보다 도 높 은 온도 인 제 2 온도 보다 고온 의 제 2 영역 에서 는 상기 제 1 온도 측 정부 보다 도 측정 정밀도 가 높 은 , 제 2 온도 측 정부 와 ,