매니폴드 ( 90 ) 는 인 젝 터 ( 110 ) 를 지지 하 고 있 다 . 인 젝 터 ( 110 ) 는 , 처리 용기 ( 10 ) 내 에 가스 를 공급 하 기 위한 관상 부재 이 며 , 예 를 들 어 석영 에 의해 형성 되 어 있 다 . 인 젝 터 ( 110 ) 는 , 길 이 방향 으로 연장 된 형상 으로 형성 되 어 있 고 , 처리 용기 ( 10 ) 의 내부 에서 , 길 이 방향 이 연직 방향 으로 되 도록 설치 되 어 있 다 . 인 젝 터 ( 110 ) 에 는 , 길 이 방향 을 따라 소정 간격 으로 복수 의 가스 구멍 ( 111 ) 이 형성 되 어 있 어 , 가스 구멍 ( 111 ) 으로부터 수평 방향 을 향해서 가스 를 토출 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 인 젝 터 ( 110 ) 는 1 개 이 어도 되 고 , 복수 개이 어도 된다 .