도 19 ( A ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 소스 전극 또는 드레 인 전극 ( 71 c ) 의 상방 에 절 연막 ( 76 ) 의 표면 을 노정 하 는 제 1 개 구와 , 제 1 도전 층 ( 78 a ) 과 제 2 도전 층 ( 78 b ) 과 의 적층 으로 이루어지 는 용량 배선 위 에 제 1 개구 보다 얕 은 깊이 의 제 2 개구 가 형성 된다 . 또한 , 용량 배선 의 제 1 도전 층 ( 78 a ) 과 제 2 도전 층 ( 78 b ) 은 , 각각 게이트 전극 의 제 1 도전 층 ( 51 a ) 과 제 2 도전 층 ( 51 b ) 과 같 은 공정 으로 형성 된다 .