이상 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 금속 막 식각 용액 으로 , 인듐 산화 막 , 알루미늄 , 알루미늄 합금 , 몰리브덴 및 몰리브덴 합금 으로 이루어진 그룹 으로부터 선택 된 하나 이상 으로 마련 되 는 단일 막 또는 다층막 을 식각 할 경우 , 매우 양호 한 식각 특성 을 제공 할 수 있 다 . 더욱이 , 액정 표시 장치 용 어레이 기판 의 제조 시 본 발명 에 따른 금속 막 식각 용액 을 사용 하 는 경우 기판 의 크기 가 커도 식각 균일성 을 유지 할 수 있 고 , 얼룩 발생 을 방지 할 수 있 다 .