한편 , 블록 폴리머 를 포함 하 는 상 분리 구조 형성 용 수지 조성물 에 있 어서 는 , 상 분리 성능 을 더욱 향상 시키 기 는 위해서 , 디 펙 트 ( 표면 결함 ) 발생 을 억제 하 는 것 도 검토 되 고 있 다 . 여기 서 「 디 펙 트 」 란 , 예 를 들 어 , KLA 텐 코르 사 제조 의 표면 결함 관찰 장치 ( 상품명 「 KLA 」 ) 에 의해 , 상 분리 패턴 을 바로 위 로부터 관찰 했 을 때 에 검지 되 는 문제 전반 을 말 한다 . 이 문제 란 , 예 를 들 어 , 상 분리 패턴 형성 후 의 스컴 ( 수지 조성물 잔류물 ) , 기포 , 먼지 등 의 상 분리 패턴 표면 으로 의 이 물질 이나 석출 물 의 부착 에 의한 문제 나 , 라인 패턴 사이 의 브릿지 , 컨 택트 홀 패턴 의 홀 의 구멍 막힘 등 의 패턴 형상 에 관한 문제 , 패턴 의 색 불 균일 등 을 말 한다 .