다른 추가 실시 예 들 에서 는 , " "" 지연 된 "" 및 / 또는 "" 보관 된 "" 웨이퍼 를 ", 최단 시간 에 하나 이상 의 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 에 , 하나 이상 의 신규 가용 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 에 , 소정 시간 후 에 하나 이상 의 가용 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 에 , 하나 이상 의 저 리스크 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 에 , 또는 하나 이상 의 고 신뢰 도 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 에 이송 하 도록 S - D 이송 시퀀스 가 확립 될 수 있 다 .