본 발명 의 일 태양 에 따른 기판 처리 장치 에서 는 , 상기 반송 로봇 은 로봇 핸드 와 , 상기 로봇 핸드 를 상기 반송 방향 을 따라 이동 시키 는 암 과 , 상기 로봇 핸드 를 상기 기판 의 연직 방향 을 따라 이동 시키 는 승강 기구 를 구비 하 고 , 상기 진공 챔버 의 상기 내부 공간 에서 , 상기 암 이 구동 함 으로써 상기 로봇 핸드 는 , 상기 기판 의 하방 위치 와 상기 트랜스퍼 챔버 사이 에서 이동 하 고 , 상기 승강 기구 가 구동 함 으로써 상기 로봇 핸드 는 , 상기 기판 의 하방 위치 와 상기 기판 의 상방 위치 사이 에서 상기 로봇 핸드 를 상하동 시켜 도 좋 다 .