선폭 ( W 1 ) 의 수정 폭 ( Δ W 1 ) 은 촬상 화상 ( IM 1 ) 의 공간 분해능 보다 작 게 설정 된다 . 촬상 화상 ( IM 1 ) 의 공간 분해능 은 수십 [ ㎚] ( 예 를 들 어 32 [ ㎚]) 이 고 , 수정 폭 ( Δ W 1 ) 은 수 [ ㎚] 정도 이하 의 값 ( 예 를 들 어 0 . 5 [ ㎚]) 으로 설정 된다 . 이것 에 의하 면 , 촬상 화상 ( IM 1 ) 의 공간 분해능 보다 대폭 높 은 정밀도 로 선폭 ( W 1 ) 을 변경 할 수 있 다 . 바꿔 말 하 면 , 공간 분해능 보다 대폭 높 은 정밀도 로 선폭 ( W 1 ) 을 산출 할 수 있 다 .