본 실시 예 에서 , 상기 기판 ( 760 ) 은 웨이퍼 레벨 기판 이 고 , 상기 압 전 변환기 ( 800 ) 의 개수 는 복수 개이 다 . 대응 되게 , 상기 제 1 전극 ( 720 ) 의 개수 는 복수 개이 고 , 상기 제 2 전극 ( 740 ) 의 개수 는 복수 개이 며 , 상기 제 2 전극 ( 740 ) 과 상기 제 1 전극 ( 720 ) 은 대향 되게 설치 되 고 , 상기 제 2 전극 ( 740 ) 및 캐비 티 ( 751 ) 는 일 대 일 로 대응 된다 .