상기 보조 셔틀 부 ( 300 ) 는 , 소자 가 안착 되 는 소자 안착 부 ( 311 ) 들 이 설치 된 보조 셔틀 플레이트 ( 310 ) 와 , 상기 보조 셔틀 플레이트 ( 310 ) 를 상기 로딩 / 언로 딩 위치 ( P 1 ) 와 상기 소자 교환 위치 ( P 2 ) 로 이동 시키 는 보조 셔틀 이 동구 동부 를 포함 하 며 , 상기 보조 셔틀 플레이트 ( 310 ) 는 , 소자 안착 부 ( 211 ) 가 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 n× 2 m ( n , m 은 2 이상 의 자연수 ) 의 배열 로 배치 될 수 있 다 .