또한 , 배출구 ( 550 ) 는 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 중 , 정착 위치 ( 501 ) 에 배치 된 렌즈 ( L ) 의 위치 보다 레이 저광 의 광로 의 상류 측 에 마련 되 어 있 다 . 따라서 , 유입 구 ( 540 ) 로부터 레이 저광 차 단부 ( 520 ) 의 내부 에 유입 된 기체 는 , 가열 되 어 있 는 렌즈 ( L ) 까지 는 도달 하 기 어렵 다 . 따라서 , 가열 하 는 대상 의 렌즈 ( L ) 가 , 레이저 광 차 단부 ( 520 ) 의 내부 에 유입 되 는 기체 에 의해 냉각 되 는 것 이 억제 된다 . 따라서 , 가열 효율 이 저하 되 는 것 이 억제 된다 .