본 명세서 에 사용 된 바이어스 는 밀집 구역 ( dense region ) 에 걸친 층 의 평균 두께 를 고립 구역 ( isolated region ) 에 걸친 동일 한 층 의 평균 두께 로부터 빼 서 결정 된다 . 밀집 구역 은 표면 적 의 적어도 약 50 % 가 비아 홀 과 같 은 피처 로 채워진 기판 의 부분 으로 정의 되 고 , 고립 구역 은 표면 적 의 약 20 % 미만 이 비아 홀 와 같 은 피처 로 채워진 기판 의 부분 으로 정의 된다 .