도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 판 두께 와 제 2 정전 척 ( 22 ) 의 판 두께 는 대략 같 게 되 어 있 다 . 또한 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 뒷면 보다 제 2 정전 척 ( 22 ) 의 상면 ( 221 ) 이 높 도록 각각 두툼 하 게 형성 되 어 있 다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 은 제 1 접합 층 ( 23 ) 에 의해 하부 전극 ( 18 ) 상 에 접합 되 어 있 다 . 제 2 정전 척 ( 22 ) 은 제 2 접합 층 ( 24 ) 에 의해 하부 전극 ( 18 ) 의 둘레 부 상 에 접합 되 어 있 다 . 또한 , 하부 전극 ( 18 ) 의 상면 에서 제 1 정전 척 ( 21 ) 과 제 2 정전 척 ( 22 ) 사이 의 영역 에 는 절 연막 이 형성 되 어 있 을 수 도 있 다 .