또한 , 사산화삼코발트 ( Co 3 O 4 ) 의 입자 로서 , 비 표면 적 ( 比 表 面積 ) 이 1 . 0 ∼ 20 ㎡/ g 의 범위 에 있 는 입자 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그 이유 는 , 그 비표 면적 이 1 . 0 ㎡/ g 미만 에서 는 , 노광 에 의한 패턴 형성 의 정밀도 가 저하 한다 . 즉 , 라인 에지 ( line edge ) 의 직선 성 이 악화 하 고 , 또한 충분 한 흑도 의 소성 피막 이 얻 어 지 기 어렵 게 되 기 때문 이 다 . 한편 , 20 ㎡/ g 를 초과 하 는 것 은 , 입자 의 표면적 이 지나치 게 커지 게 되 어 , 현상 을 할 때 , 깎 는 양 이 커져 버린다 .