상기 한 구성 의 본 발명 에 의하 면 , 개폐 가 가능 하 도록 상하 분할 되 는 상 , 하부 덮개 로 이루어지 는 반응 챔버 의 내부 에 웨이퍼 가 서로 마주 하 도록 배치 한 상태 에서 반응 가스 가 반응 챔버 의 중심 으로부터 공급 되 어 외주 측 으로 배기 되 는 가스 유로 를 형성 하 거나 반응 가스 가 반응 챔버 의 외주 측 으로부터 공급 되 어 중심 으로 배기 되 는 가스 유료 를 형성 함 으로서 , 화학 기상 증착 반 응시 챔버 내부 의 상하 온도 차이 에 기인 하 는 열대류 의 발생 을 근본 적 으로 억제 하 여 균일 한 성장 층 을 증착 하 여 우수 한 품질 의 증착 웨이퍼 를 제조 할 수 있 다 .