구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 가드 승강 유닛 ( 57 ) 을 제어 하 여 모든 가드 ( 54 ) 를 하 위치 까지 하강 시킨다 . 또한 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 기체 밸브 ( 49 ) 및 기체 밸브 ( 98 ) 를 닫 고 , 기체 노즐 ( 42 ) 및 기체 토출구 ( 96 ) 로부터 의 기체 의 토출 을 정지 한다 . 또한 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 노즐 이동 유닛 ( 51 ) 을 제어 하 여 상면 노즐 ( 33 ) 을 대기 위치 까지 퇴피 시킨다 .