기판 을 반송 하 는 기판 반송 장치 에 있 어서 , 기판 을 보 지 하 고 반송 하 는 기판 반송 기구 가 내부 에 마련 된 복수 의 진공 반 송실 과 , 서로 인접 하 는 상기 진공 반 송실 사이 에 배설 된 중간 실 을 가지 며 , 상기 서로 인접 하 는 상기 진공 반 송실 의 한 쪽 을 제 1 진공 반 송실 , 다른 쪽 을 제 2 진공 반 송실 로 했 을 때 , 상기 중간 실과 상기 제 1 진공 반 송실 사이 에 제 1 기판 반입 · 반 출구 , 상기 중간 실과 상기 제 2 진공 반 송실 사이 에 제 2 기판 반입 · 반 출구 가 각각 마련 되 며 , 상기 제 1 및 제 2 기판 반입 · 반 출구 중 상기 제 2 기판 반입 · 반 출구 에 대해서 만 게이트 밸브 가 배설 되 며 , 상기 제 1 기판 반입 · 반 출구 와 , 상기 제 2 상기 기판 반입 · 반 출구 에서 높이 방향 의 위치 가 상이 하 다 .