바람직 하 게 는 , 다항식 프로파일 은 변수 들 ( z fit , R y , fit 및 R x , fit ) 에 대해 생성 된 데이터 를 이용 하 여 생성 된다 . 더 바람직 하 게 는 , 다항식 프로파일 은 서로 평활 하 게 연결 된 조합 ( concatenated ) 4 차 다항식 들 의 시퀀스 를 포함 한다 . 이러 한 함수 는 4 차 ( 4 th 차 ) 스플라인 으로 도 칭해 질 수 있 다 . 스플라인 과 같 은 수학 함수 들 은 본질 적 으로 해당 기술 분야 에 알려져 있 으므로 , 본 명세서 에서 는 그 특성 들 을 자세히 설명 하 지 않 을 것 이 다 . 기판 의 노광 시 레티 클 스테이지 변위 의 제어 는 이 에 따라 얻 어 진 4 차 스플라인 에 따라 수행 되 는 것 이 바람직 하 다 .