계속 해서 , 도 5 및 도 6 을 참조 하 여 , 제 어 장치 ( 100 ) 에 대해서 상세 하 게 설명 한다 . 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨 후 에 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 하 는 것 과 , 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 된 상태 에서 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 의 처리 액 의 보충 을 개시 시키 는 것 을 실행 하 도록 구성 되 어 있 다 .