제 1 촬상부 ( 43 a ) 에 의한 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 촬상이 완료 되 면 , 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 가 도 3 에 있 어서 도면 우측 에 위치 하 는 촬상부 ( 43 e 1 ) 의 개구 ( 43 h 1 ) 의 바로 위쪽 의 미리 설정 된 위치 로 이동 하 도록 스테이지 구 동부 ( 42 c ) 를 제어 한다 . 그리고 , 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 가 개구 ( 43 h 1 ) 의 바로 위쪽 에 위치 부여 되 면 , 촬상부 ( 43 e 1 ) 에 의해서 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 를 촬상 한다 . 화상 처 리부 ( 43 f ) 는 , 화상 처 리부 ( 43 b ) 와 마찬가지 로 , 촬상부 ( 43 e 1 ) 의 촬상 화상 에 기초 하 여 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 위치 데이터 를 검출 하 여 , 제 어 장치 ( 110 ) 에 송신 한다 . 여기 서 , 화상 처 리부 ( 43 f ) 도 또한 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 위치 데이터 를 검출 하 는 기능 도 겸하 는 것 이 다 .