예컨대 , 도 6 내지 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 커버 플레이트 ( 50 ) 는 원형 의 판 ( Plate ) 형상 으로 형성 되 는 플레이트 몸체 ( 51 ) 와 , 플레이트 몸체 ( 51 ) 의 중심 을 기준 으로 복수 개 가 방사상 으로 복수열 로 배치 되 고 , 플레이트 몸체 ( 51 ) 를 관통 하 게 형성 되 는 복수 의 연통 홀 부 ( 52 ) 및 플레이트 몸체 ( 51 ) 의 하면 의 중심부 로부터 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 의 바닥 면 ( 21 ) 까지 돌출 되게 형성 되 어 디스크 ( 10 ) 로부터 기판 ( S ) 으로 열전달 을 돕 는 제 1 돌출부 ( 53 ) 를 포함 할 수 있 다 .