원료 로서 , 사용 이 끝난 ITO 타 겟 등 으로부터 회수 한 산화 인듐 , 5 N 의 산화아연 ( 주식회사 고순 도 화학 연구소 사제 ZNO 04 PB ) 및 4 N 의 산화알루미늄 ( 주식회사 고순 도 화학 연구소 사제 ALO 12 PB ) 의 분말 을 , 원 자비 〔 In / ( In + Zn + Al ) 〕 이 0 . 48 , 원 자비 〔 Zn / ( In + Zn + Al ) 〕 이 0 . 50 , 원 자비 〔 Al / ( In + Zn + Al ) 〕 이 0 . 02 가 되 도록 혼합 했 다 . 이 를 습식 볼 밀 에 공급 하 고 , 72 시간 혼합 분쇄 하 여 원료 미분 말 을 얻 었 다 .