이 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 은 포토레지스트 내부 의 기포 및 파티클 을 필터 링 하 는 필터 와 ; 상기 필터 를 수용 하 는 하우징 과 ; 상기 하우징 을 고정 하 는 하우징 고정부 와 ; 상기 하우징 고정부 에 고정 되 는 상기 하우징 의 내부 에 필터 가 장착 되 어 있 는지 를 감지 하 는 필터 장착 감지 부 와 ; 상기 필터 장착 감 지부 에서 감지 된 신호 에 의해 상기 필터 의 장착 상태 를 표시 하 는 인디케이터 를 포함 하 는 구성 이 특징 이 다 .