그러나 반도체 제조 공정 에서 상기 와 같 은 에너지 를 칠러 시스템 내 에 축적 하 여 필요시 유동 적 으로 공급 하 며 에너지 를 절감 할 수 있 는 시스템 은 아직 그 응용 범위 에 있 어서 한계 가 있 는 실정 이 다 . 이러 한 칠러 시스템 의 에너지 절감 을 효율 적 으로 사용 하 기 위해서 는 상변화 물질 인 잠 열재 ( PCM ; Phase Change Material ) 를 시스템 에 응용 하 여 에너지 를 축 냉 또는 축 열하 여 심야 전력 을 이용 한 건물 냉 / 난방 , 식품 저장 냉장고 , 전자 통신 기기 및 산업 용 냉각 / 가열 시스템 분야 에서 일부 국한 적 으로 사용 되 고 있 다 .