이상 , 본 발명 의 실시 형태 를 서술 했 지만 , 본 발명 은 상기 실시 형태 에 제약 되 는 일 은 없 고 , 여러 가지 변형 이 가능 하 다 . 예 를 들 면 , 상기 실시 형태 에서 는 지지 픽 ( 119 ) 의 본체 ( 131 ) 가 중공 의 각통 형상 인 경우 를 예 로 들 었 지만 , 본체 의 형상 으로서 는 예 를 들 면 단면 이 삼각형 을 이루 는 상면 이 평평 한 통형 상 이 어도 좋 다 . 또한 , 기판 보 지구 로서 진공 측 의 반 송실 ( 3 ) 에 배치 되 어 구비 된 반송 장치 ( 23 ) 에 있 어서 의 포크 ( 101 ) 를 예 로 들 어서 설명 했 지만 , 예 를 들 면 대 기 측 의 반송 장치 ( 15 ) 의 포크 ( 17 a , 17 b ) 에 도 본 발명 을 적용 할 수 있 다 .