본 발명 의 상기 태양 에 따른 진공 챔버 에 따르 면 , 블록 체 ( 제 2 블록 체 ) 의 개구 공간 의 내측 하면 에 형성 된 홈 에 베이스 부재 가 감합 되 고 , 베이스 부재 에 고정 된 복수 의 기판 지지 핀 에 의해 기판 이 지지 된다 . 이 구성 에 따라 , 종래 구조 와 같 은 승강 기구 를 이용 할 필요 가 없 고 , 승강 기구 의 구동 에 따른 진동 에 기인 하 는 파티클 이 감겨 올라오 거나 비산 을 방지 할 수 있 다 .