도 16 a 를 참조 하 면 , 제 1 영역 및 제 2 영역 이 구분 되 는 기판 을 마련 한다 . 상기 기판 상 에 식각 대상 막 을 형성 한다 . 상기 식각 대상 막 상 에 예비 하드 마스크 패턴 ( 444 ) 을 형성 한다 . 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 444 ) 은 끊어진 라인 을 형성 하 기 위한 부위 에 위치 하 며 , 패드 형상 을 갖 는다 . 형성 하 고자 하 는 제 1 내지 제 3 라인 패턴 의 선폭 이 F 인 경우 , 상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 444 ) 은 8 F 의 폭 을 갖 는다 .