스테이지 ( 10 ) 는 제 2 회전 스 크류 ( 12 ) 를 통해 제 2 구 동부 ( 13 ) 에 연결 되 어 있 다 . 제 2 회전 스 크류 ( 12 ) 는 제 2 구 동부 ( 23 ) 의 작동 에 따라 정회 전 또는 역회전 하 며 , 제 2 회전 스 크류 ( 12 ) 의 회전 에 따라 스테이지 ( 10 ) 는 스테이지 ( 10 ) 의 단변 과 평행 한 제 1 및 2 방향 으로 왕복 운동 하 게 된다 . 제 2 구 동부 ( 13 ) 은 모터 를 포함 할 수 있 다 .