제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 ( 100 ) 의 구성 에 대해서 설명 한다 . 도 11 a 는 제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 평면도 이 다 . 도 11 b 는 제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 11 b 는 도 11 a 의 파선 A - A 를 도 11 a 의 하측 으로부터 투영 한 단면도 이 다 . 도 11 a 및 도 11 b 는 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 에 유지 보수 장치 ( 100 ) 를 장착 한 상태 를 도시 하고 있 다 . 또한 , 상술 한 제 1 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 ( 100 ) 와 동일 및 대응 하 는 부분 에 대해서 는 , 동일 한 부호 를 부여 하 여 설명 한다 . 또한 , 이하 에서 도 , 소모 파트 로서 , 포커스 링 ( 35 ) 을 교환 하 는 흐름 을 따라 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 의 구성 을 적절히 설명 한다 .