광학 디바이스 ( 100 ) 는 모놀리식 일 수 있 고 , 즉 , 기판 ( 140 ) 및 확산 기 표면 ( 120 ) ( 이 표면 상 에 확산 기 패턴 이 생성 됨 ) 은 동일 한 물질 로 이루어진다 . 확산 기 표면 ( 120 ) 은 방법 , 예컨대 , 엠보싱 , 주조 또는 반응 성 이온 에칭 에 의해 생성 될 수 있 다 . 모놀리식 물질 의 비 제한 적 인 예 는 규소 및 게르마늄 을 포함 한다 .