대한민국 특허 공보 제 10 - 1514124 호 ( 플라 즈 마를 이용한 플라이 애쉬 의 미연 탄소 제거 방법 ) 에서 는 플 라즈 마 처리 공정 에 챔버 내부 에 플라이 애 쉬 를 1 . 2 g 분산 시킨 후 산소 ( O 2 ) , 수증기 ( H 2 O ) , 산소 및 수증기 의 혼합 유체 ( O 2 + H 2 O ) 등 의 산화제 를 첨가 하 고 챔버 내부 압력 을 0 . 5 torr 로 감압 한 후 150 도 가열 후 를 라즈 마 처리 하 여 플라이 애쉬 를 1 % 미만 까지 제거 하 는 이 기술 은 챔버 내부 를 0 . 5 torr 로 감압 하 는 문제 와 지속 적 으로 산화제 가 소비 되 는 점 및 플라이 애쉬 입자 표면 의 유리질 막 을 제거 할 수 없 고 , 대형 화 하 기 에 는 장치 가 복잡 하 고 투자 비 및 유지 관리비 가 많이 든다 .