그러나 , SiH 4 , NF 3 , N 2 O 등 과 같이 압력 의 저하 에 따라 온도 가 급강하 하 는 가스 는 상기 레 귤 레이터 에서 압력 의 조정 에 따라 자체 온도 가 낮 아 지 고 , 주위 의 수분 응축 과 동결 현상 이 발생 하 게 된다 . 이러 한 수분 응축 에 의해 캐비닛 내부 에 물 고임 이 발생 하 며 , 이 를 주기 적 으로 점검 하 고 청소 해야 하 는 등 주기 적 인 관리 가 필요 한 문제점 이 있 었 다 .