제 1 업 / 다운 조절 유닛 ( 60 ) 은 기판 ( G ) 에 대한 제 1 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 ) 의 상대 적 인 간격 , 다시 말 해 제 1 폴리 싱 롤 ( 11 ) 의 마모 량 에 따른 기판 ( G ) 에 대한 제 1 폴리 싱 롤 ( 11 ) 의 상대 적 인 간격 을 감지 하 는 제 1 감 지부 ( 61 ) 와 , 제 1 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 ) 에 결합 되 는 제 1 업 / 다운 구동 부 ( 63 ) 와 , 제 1 감 지부 ( 61 ) 의 감지 결과 에 기초 하 여 제 1 업 / 다운 구동 부 ( 63 ) 의 동작 을 제어 하 는 제 어부 ( 미 도시 ) 를 구비 한다 .