또한 , 제 2 기판 ( 10 Y ) 를 이용 하 여 클리닝 을 행할 경우 에 는 , 마스크 ( 220 ) 의 파티클 을 저감 시키 는 효과 에 더 해 , 제 2 기판 ( 10 Y ) 을 반송 하 는 반송 수단 이나 , 제 2 기판 ( 10 Y ) 를 보유 지지 하 는 보유 지지 수단 의 파티클 을 저감 시키 는 효과 도 발휘 시킬 수 있 다 . 즉 , 제 2 기판 ( 10 Y ) 을 반송 또는 보유 지지 할 때 , 반송 로봇 ( 119 ) 이나 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 의 지지 기구 ( 로봇 핸드 의 패드 나 지지 구 등 ) 가 제 1 점 착면 ( 11 ) 및 제 2 점 착면 ( 12 ) 의 적어도 일방 과 접촉 하 도록 하 면 , 해당 지지 기구 에 부착 되 어 있 는 파티클 도 제거 할 수 있 게 된다 .