첨가 하 는 이온 은 수소 에 한정 되 지 않 는다는 점 에 주목 한다 . 헬륨 등 의 이온 을 첨가 할 수 있 다 . 또한 , 첨가 하 는 이온 은 1 종류 에 한정 되 지 않 고 , 복수 종류 의 이온 을 첨가 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이온 도핑 장치 를 이용 해서 수소 와 헬륨 을 동시 에 조사 할 경우 에 는 , 다른 공정 에서 조사 할 경우 와 비교 해서 공 정수 를 저감 할 수 있 는 동시 에 , 후 의 단결정 반도체 층 의 표면 거칠 음 을 억제 하 는 것 이 가능 하 다 .