" 본 명세서 에 있 어서 "" 노광 "" 이 란 ", 특별히 설명 하 지 않 는 한 , 광 을 이용 한 노광 뿐 만 아니 라 , 전자선 , 이온 빔 등 의 입자선 을 이용 한 묘화 도 노광 에 포함 시킨다 . 또 , 노광 에 이용 되 는 광 으로서 는 , 수은 등 의 휘선 스펙트럼 , 엑 시머 레이저 로 대표 되 는 원자외선 , 극자외선 ( EUV 광 ) , X 선 , 전자선 등 의 활성 광선 또는 방사선 을 들 수 있 다 .