도시 되 지 는 않 았 지만 , 상기 제 1 이 송부 ( 430 ) 는 상기 로딩 부 ( 410 ) 와 상기 언로 딩 부 ( 420 ) 사이 에서 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 이송 하 는 컨베이어 , 상기 로딩 부 ( 410 ) 의 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 로부터 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 인출 하 여 상기 컨베이어 로 전달 하 는 제 1 그립 퍼 및 상기 컨베이어 의 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 을 상기 언 로딩 부 ( 420 ) 의 상기 제 2 카세트 ( 32 ) 로 적재 하 는 제 2 그립 퍼 를 포함 할 수 도 있 다 .