실리콘 웨이퍼 단면 의 연마 에 있 어서 는 종래 의 연마제 와 동일 한 정도 의 모스 경도 보다 도 경도 가 높 은 연마제 가 필요 로 되 고 있 다 . 그 한 가지 로서 공업 적 으로 생산 가능 한 다결정 다이아몬드 를 들 수 있 다 . 천연 다이아몬드 를 연마제 로 하 려면 매우 고가 가 되 지만 , 다 결정 다이아몬드 이 면 천연 다이아몬드 보다 도 염가 로 입수 가능 하 게 되 었 다 ( 예 를 들 면 특허 문헌 1 ) .