가령 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 큰 상태 에서 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 되 면 , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 보충 하 기 위한 유로 내 에 처리 액 의 헌팅 이 생길 가능 성 이 있 다 . 처리 액 의 헌팅 이 란 , 처리 액 이 유로 내 를 왕복 하 는 것 을 의미 한다 . 처리 액 의 헌팅 이 생기 면 , 처리 액 이 필터 ( 63 ) 를 왕복 하 듯이 통과 하 므로 , 필터 ( 63 ) 로부터 파티클 이 발생 하 기 쉬워진다 . 이 에 반해 , 상기 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 및 상기 제어 방법 에서 는 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 후 에 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 된다 . 이 때문 에 , 처리 액 의 헌팅 에 기인 하 는 파티클 의 발생 이 억제 된다 . 따라서 , 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 및 상기 제어 방법 은 , 웨이퍼 ( W ) 에 토출 되 는 처리 액 중 의 파티클 저감 에 유용 하 다 .