다음 으로 , 도 3 c 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 제 1 트렌치 ( 102 ) 및 제 2 트렌치 ( 103 ) 를 포함 한 전체 구조 표면 에 배리 어 막 ( barrier layer ; 104 ) 을 형성 한다 . 상기 배리 어막 ( 104 ) 은 TiN / Ti 등 을 이용 하 여 , 100 내지 1 , 000 Å 의 두께 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .