이러 한 감시 유닛 ( 30 ) 은 도 3 의 도시 와 같이 , 유연 기판 ( 2 ) 의 인쇄 패턴 ( P ) 을 향해 검사 파 ( W 1 ) 을 조사 하 여 , 반사 되 는 반사파 ( W 2 ) ( W 3 ) 로 결함 을 감시 한다 . 이 를 위해 , 상기 감시 유닛 ( 30 ) 은 펄스 부 ( 31 ) , 측 정부 ( 32 ) , 리시버 부 ( 33 ) 및 오실로스코프 부 ( 34 ) 를 포함 한다 .