도 7 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 외측 에서 는 , 기체 유로 ( 81 ) 로부터 공급 되 는 기체 가 , 기체 유로 ( 81 ) 의 단부 ( 81 a ) 부근 으로부터 진로 방향 을 변경 하 여 , 상방 으로 이동 하 는 상승류 ( F 1 ) 가 형성 된다 . 이 상승류 ( F 1 ) 는 , 배기 구멍 ( 71 ) 으로부터 의 배기량 이 크 기 때문 에 형성 되 는 것 이 다 . 한편 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 을 따라 직경 방향 을 따라 외주 방향 으로 이동 하 는 기체 는 , 상승류 ( F 1 ) 와 합류 하 여 상방 으로 이동 한다 . 한편 , 기체 유로 ( 82 ) 가 개구 되 어 있 는 경우 [ 기체 유로 ( 82 ) 로부터 의 기체 의 공급 이 발생 할 수 있 는 경우 ] 에 는 , 도 7 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 기체 유로 ( 82 ) 로부터 공급 된 기체 는 , 외측 공간 ( S 1 ) 을 이동 하 여 배기 구멍 ( 71 ) 에 도달 한다 . 따라서 , 기체 유로 ( 82 ) 로부터 기체 가 도입 되 는 경우 에 는 , 외측 공간 ( S 1 ) 을 흐르 는 기체 는 상승류 ( F 1 ) 를 방해 하 지 않 을 정도 의 흐름 을 형성 하 여 배기 구멍 ( 71 ) 으로 이동 한다 .