기부 ( 271 ) 는 웨이퍼 검사 장치 ( 200 ) 에 고정 설치 된다 . 회전 구동 부 ( 272 ) 는 대체로 수직 인 회전축 에 대하 여 회전 가능 하 도록 기부 ( 271 ) 상 에 설치 된다 . 제 1 아암 ( 273 ) 은 그 길 이 방향 에 수직 인 축 에 대하 여 선회 가능 하 게 회전 구동 부 ( 272 ) 와 연결 된다 . 제 1 아암 ( 273 ) 의 회전 구동 부 ( 272 ) 와 연결 되 지 않 은 단부 에 는 제 2 아암 ( 274 ) 이 그 길 이 방향 에 수직 인 축 에 대하 여 선회 가능 하 게 연결 된다 . 제 2 아암 ( 274 ) 의 다른 쪽 단부 는 그 길 이 방향 축 에 대하 여 회전 가능 하 다 . 제 3 아암 ( 275 ) 은 제 2 아암 ( 274 ) 의 상기 다른 쪽 단부 에 그 길 이 방향 에 수직 인 축 에 대하 여 선회 가능 하 게 연결 된다 .