본 발명 의 냉각 장치 가 구비 된 노광 설비 에 있 어서 , 상기 반사판 은 , 상기 램프 의 외측 에 설치 되 어 전체 적 으로 호 의 형상 을 갖 고 , 일정 한 간격 마다 절곡 되 어 상기 제 1 반사 미러 로 빛 을 전달 시키 는 반사 미러 판 ; 상기 반사 미러 판 의 외측 면 에 결합 되 고 , 상기 램프 로부터 복사 되 는 열 을 외부 로 방출 시키 는 방열판 ; 이 더 포함 된다 .