예 를 들 면 , 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 에 대해 기판 ( P ) 을 - Y 방향 으로 이동 하 면서 기판 ( P ) 의 하나 의 쇼트 영역 ( SH ) 을 다중 노광 하 는 경우 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 레이저 간섭계 ( 4 L ) 의 계측 결과 에 의거 하 여 기판 스테이지 ( 4 ) 의 - Y 방향 으로 이동 함 과 동시 에 , 레이저 간섭계 ( 71 ) 및 반사 부재 ( 74 ) 를 이용 하 여 계측 되 는 제 1 스테이지 ( 61 ) 의 위치 정보 에 의거 하 여 제 1 스테이지 구동 장치 ( 64 ) 를 제어 하 고 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 을 + Y 방향 으로 이동 한다 .