도 1 d 를 참조 하 면 , 통상 의 포토 리소그래피 공정 을 이용 하 여 상기 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 및 제 1 마스크 층 ( 130 ) 을 패 터닝 하 여 복수 의 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 및 복수 의 버퍼 마스크 패턴 ( 132 a ) 을 형성 한다 . 차례 로 적층 되 어 있 는 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 및 버퍼 마스크 패턴 ( 132 a ) 은 복수 의 다중 층 마스크 패턴 ( 134 ) 을 구성 한다 .