더욱 구체 적 으로 , 상기 제 1 홈 의 폭 이 0 . 15 ㎛ 내지 3 ㎛ 이 고 깊이 가 0 . 2 ㎛ 내지 5 ㎛ 이 고 , 상기 제 2 홈 의 폭 이 0 . 15 ㎛ 내지 3 ㎛ 이 고 깊이 가 0 . 2 ㎛ 내지 5 ㎛ 이 고 , 상기 제 3 홈 의 폭 이 0 . 15 ㎛ 내지 3 ㎛ 이 고 깊이 가 0 . 2 ㎛ 내지 5 ㎛ 이 고 , 상기 제 4 홈 의 폭 이 0 . 15 ㎛ 내지 3 ㎛ 이 고 깊이 가 0 . 2 ㎛ 내지 5 ㎛ 일 수 있 다 .