또한 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 본 발명 의 반송 장치 의 일례 로서 , 스퍼터 장치 ( 12 ) , 제 1 구동 롤 ( 22 ) 및 제 2 구동 롤 ( 40 ) ( 도 1 참조 ) 을 구비 하 지 않 고 , 조출 롤 ( 21 ) 과 , 권 취 롤 ( 41 ) 과 , 그 들 의 사이 에 배치 되 는 제 1 가이드 롤 ( 26 ) 을 구비 하 는 반송 장치 ( 8 ) 를 예시 할 수 도 있 다 .