열처리 장치 ( 100 ) 에서 는 , 우선 , 불순물 주입 후 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 캐리어 ( C ) 에 복수 장 수용 된 상태 로 인 덱 서부 ( 101 ) 의 로드 포트 ( 110 ) 에 재치 된다 . 그리고 , 수도 로봇 ( 120 ) 이 캐리어 ( C ) 로부터 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 1 장 씩 취 출하 여 , 얼라인먼트 부 ( 130 ) 의 얼라인먼트 챔버 ( 131 ) 에 반입 한다 . 얼라인먼트 챔버 ( 131 ) 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 반입 된 시점 에서 , 게이트 밸브 ( 181 ) 가 얼라인먼트 챔버 ( 131 ) 와 인 덱 서부 ( 101 ) 사이 를 폐쇄 한다 .