본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 메모리 ( 144 ) 내 의 프로그램 은 , 순차 제어기 ( 142 ) 상 에서 실행 되 는 경우 , 전 구체 분배 시스템 및 제거 시스템 을 활성 화 시켜 제 1 전구체 , 이어서 상기 반응물 , 이어서 제 2 전구체 , 이어서 반응물 을 제공 함 으로써 , 층 ( 106 ) 위 또는 그 안 에서 선택 적 증착 을 실행 하 도록 프로그래밍 된다 .