본 발명 에서 는 캔틸레버 본체 ( 21 ) 및 탐침 ( 22 ) 을 형성 함 에 있 어서 , 질화 막 을 이용 하 고 있 다 . 이 에 따라 캔틸레버 본체 ( 21 ) 및 탐침 ( 22 ) 의 두께 의 균일성 유지 및 마모 에 대한 내구 성 향상 이 가능 하 다 . 이러 한 질화 막 은 화학 기상 증착 ( CVD ) 등 의 방법 을 통해 형성 될 수 있 다 . 또한 , 도 2 b 의 도시 에서 탐침 ( 22 ) 하부 , 즉 , 탐침 ( 22 ) 이 매체 와 접촉 하 는 부분 은 , 내마모성 을 더욱 증가 시키 기 위해 다이아몬드 , 탄소 , 실리콘 카바이드 등 의 물질 로 코팅 될 수 있 다 .