도 1 에 는 , 본 실시 형태 의 레이저 가공 장치 ( 1 ) 의 전체 사시도 가 나타나 있 다 . 레이저 가공 장치 ( 1 ) 는 , 기대 ( 基 臺 ) ( 2 ) 상 에 배치 되 고 , 피 가 공물 인 웨이퍼 에 대해 레이저 광선 을 조사 하 는 가공 유닛 으로서 의 레이저 광선 조사 유닛 ( 4 ) 과 , 그 웨이퍼 를 유지 하 는 유지 유닛 ( 30 ) 과 , 유지 유닛 ( 30 ) 에 유지 된 웨이퍼 를 촬상 하 는 촬상 유닛 ( 6 ) 과 , 레이저 광선 조사 유닛 ( 4 ) 과 유지 유닛 ( 30 ) 을 상대 적 으로 가공 이송 하 고 , 촬상 유닛 ( 6 ) 과 유지 유닛 ( 30 ) 을 상대 적 으로 이동 시키 는 이송 기구 ( 20 ) 와 , 기대 ( 2 ) 상 의 안쪽 에 세워 형성 되 는 수직 벽부 ( 261 ) 및 수직 벽부 ( 261 ) 의 상단 부 로부터 수평 방향 으로 연장 되 는 수평 벽부 ( 262 ) 로 이루어지 는 프레임 체 ( 26 ) 와 , 기대 ( 2 ) 의 이송 기구 ( 20 ) 에 인접 하 여 배치 형성 되 는 카세트 재치 기구 ( 40 ) 및 반 출입 기구 ( 50 ) 와 , 레이저 가공 장치 ( 1 ) 의 각 작동 부 를 제어 하 는 제어 유닛 ( 100 ) 을 구비 하 고 있 다 .