제 1 영역 ( 122 ) 은 제 1 플랜지 ( 132 ) 와 인접 한 반응 로 ( 120 ) 의 영역 이 며 , 제 3 영역 ( 136 ) 은 제 2 플랜지 ( 134 ) 와 인접 한 반응 로 ( 120 ) 의 영역 이 다 . 그리고 , 제 2 영역 ( 124 ) 은 제 1 영역 ( 122 ) 과 제 3 영역 ( 126 ) 사이 의 영역 이 다 . 제 1 영역 ( 122 ) 은 제 1 플랜지 ( 132 ) 에 의한 온도 변화 를 조절 하 기 위해 제공 되 는 공간 이 며 , 제 3 영역 ( 126 ) 은 제 2 플랜지 ( 134 ) 에 의한 온도 변화 를 조절 하 기 위해 제공 되 는 공간 이 다 . 그리고 , 제 2 영역 ( 124 ) 은 제 1 및 제 3 영역 ( 122 , 126 ) 사이 의 온도 변화 를 조절 하 기 위해 제공 되 는 공간 이 다 . 특히 , 제 2 영역 ( 124 ) 은 공정 시 합성 기판 이 로딩 되 어 탄소 나노 튜브 의 생 성 이 이루어지 는 영역 이 다 .