코일 ( 121 ) 은 사파이어 튜브 ( 120 ) 내부 에 유입 되 는 가스 에 고주파 발생 부 ( 122 ) 로부터 의 고주파 신호 를 공급 한다 . 이 를 위해 코일 ( 121 ) 은 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 길 이 방향 대략 중앙 에 1 회 이상 권 취 된다 . 사파이어 튜브 ( 120 ) 내부 에 유입 된 가스 는 코일 ( 121 ) 을 통해 공급 된 고주파 신호 에 의해 에너지 를 공급 받 아 이온 화 되 며 , 가스 에 포함 된 잔류물 은 가스 의 이온 화시 여기 에너지 와 고주파 에너지 에 의해 이온 화 된다 .