상세 하 게 는 , 상기 하소 공정 은 상기 제 1 적층 체 ( 21 ) 를 소정 온도 로 가열 함 으로써 상기 제 1 적층 체 ( 21 ) 에 포함 된 휘발 성분 을 휘발 시켜 제거 한다 . 예 를 들 어 , 상기 하소 공정 ( S 25 ) 은 상기 제 1 적층 체 ( 21 ) 를 950 내지 1050 ℃ 의 온도 로 가열 한다 . 바람직 하 게 는 , 상기 하소 공정 ( S 25 ) 은 상기 제 1 적층 체 ( 21 ) 를 1000 ℃ 로 가열 하 여 약 3 시간 을 유지 시키 고 상온 으로 유지 시킨다 .