사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 부상 스테이지 ( 100 ) 에 진입 한 기판 ( S ) 의 뒤틀림 정도 가 일정 크기 이상 인 경우 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 에어 를 흡입 할 수 있 다 . 뒤틀림 정도 가 크 지 않 은 경우 이 동부 ( 200 ) 가 정상 적 으로 기판 ( S ) 을 흡착 할 수 있 기 때문 에 사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 에어 를 흡입 하 지 않 을 수 있 다 . 기판 ( S ) 의 뒤틀림 정도 를 감지 하 는 별도 의 감지 수단 ( 미 도시 ) 이 구비 될 수 있 다 . 사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 감지 수단 의 감지 결과 에 따라 동작 할 수 있 다 . 기판 ( S ) 의 뒤틀림 정도 가 크 지 않 은 경우 사이드 흡 입부 ( 500 ) 가 동작 하 지 않 고 , 사이드 공 급부 ( 400 ) 가 지속 적 으로 동작 할 수 있 다 .