바람직 하 게 , 스테이지 에 대해 그립 유닛 이 경사지 게 틸팅 된 상태 에서 기판 의 일변 은 기판 의 나머지 다른 변 에 비해 스테이지 에 인접 하 게 배치 ( 기판 의 일변 을 기준 으로 틸팅 ) 된다 . 여기 서 , 기판 의 일변 이 스테이지 에 인접 하 게 배치 된다 함 은 , 기판 의 일변 이 스테이지 에 접촉 하 도록 배치 되 거나 , 기판 의 일변 이 스테이지 에 근접 하 도록 이격 된 상태 로 배치 되 는 것 을 모두 포함 하 는 개념 으로 정의 된다 .