다양 한 실시 예 들 에 따르 면 , 개구부 ( 510 ) 의 형상 은 다양 하 게 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 개구부 ( 510 ) 가 하나 의 더미 홀 ( 220 ) 에 대하 여 하나 의 관통 홀 을 포함 하 는 경우 , 개구부 ( 510 ) 의 제 1 평면 ( XY 평면 ) 에서 의 단면적 은 , 제 1 평면 ( XY 평면 ) 에서 의 더미 홀 ( 220 ) 의 단면적 보다 크 거나 같 을 수 있 다 . 다른 실시 예 에 따르 면 , 개구부 ( 510 ) 가 하나 의 더미 홀 ( 220 ) 에 대하 여 복수 의 관통 홀 을 포함 하 는 경우 , 복수 의 관통 홀 의 제 1 평면 ( XY 평면 ) 에서 의 단면적 의 합 은 제 1 평면 ( XY 평면 ) 으로 의 더미 홀 ( 220 ) 의 단면적 보다 크 거나 같 을 수 있 다 . 또 다른 실시 예 에 따르 면 , 개구부 ( 510 ) 가 하나 의 더미 홀 ( 220 ) 에 대하 여 복수 의 관통 홀 을 포함 하 는 경우 , 형성 되 는 복수 의 관통 홀 의 제 1 평면 ( XY 평면 ) 에서 의 단면적 의 합 은 , 개구부 ( 510 ) 가 하나 의 더미 홀 ( 220 ) 에 대하 여 하나 의 관통 홀 을 포함 하 는 경우 형성 되 는 관통 홀 의 제 1 평면 ( XY 평면 ) 에서 의 단면적 보다 작 거나 같 을 수 있 다 .