제 2 성능 치 기억 부 ( 165 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 나타내 는 행렬 인 제 2 성능 치 를 기억 한다 . 제 2 성능 치 는 , 제 1 성능 치 와 제 2 계수 의 행렬식 의 승산 에 의해 구하 여진다 . 도 10 은 본 실시 형태 에 있 어서 의 플 라즈 마 처리 장치 의 성능 의 가시 화 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 성능 치 ( 303 ) 와 , 제 2 계수 ( 304 ) 의 행렬식 의 승산 에 의해 , 제 2 성능 치 ( 305 ) 가 구하 여진다 . 제 2 계수 ( 304 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 장치 성능 항목 을 행 , 영향 률 의 각 단체 성능 항목 ( v ~ z ) 을 열 로 한 행렬 이 다 . 제 2 성능 치 ( 305 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 장치 성능 을 가시 화 한 편차 치 를 행 , 유량 제어기 의 개수 N 을 열 로 한 행렬 이 다 . 다시 말 해 , 제 2 성능 치 ( 305 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 편차 치 로 나타낸 행렬 이 다 .