한편 , 상기 소스 가스 배기 라인 ( 141 ′) 으로 둘러 싸인 부분 에 는 소스 가스 영역 ( SA ) 이 형성 되 고 , 반응 가스 배기 라인 ( 142 ′) 으로 둘러 싸인 부분 에 는 반응 가스 영역 ( RA ) 이 형성 된다 . 이 때 , 소스 가스 배기 라인 ( 141 ′) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ′) 의 바깥 부분 에 는 제 1 퍼지 가스 영역 ( PA 1 ) 및 제 2 퍼지 가스 영역 ( PA 2 ) 이 형성 된다 .