대상물 테이블 의 위치 의존 적 신호 를 측정 하 도록 구성 된 측정 시스템 이 개시 되 며 , 측정 시스템 은 대상물 테이블 상 에 장착 가능 한 적어도 1 이상 의 센서 및 실질 적 으로 정지상 태인 프레임 상 에 장착 가능 한 센서 타 겟 대상물 , 및 실질 적 으로 정지상 태인 프레임 상 에 센서 타 겟 대상물 을 장착 하 도록 구성 된 장착 디바이스 를 포함 하 고 , 측정 시스템 은 실질 적 으로 정지 상태 인 프레임 에 대한 센서 타 겟 대상물 의 이동 들 및 / 또는 변형 들 을 보상 하 도록 구성 된 보상 기 를 더 포함 한다 . 보상 기 는 수동 또는 능동 댐퍼 , 및 / 또는 피드백 위치 제어기 를 포함 할 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 에서 , 보상 기 는 이동 가능 한 대상물 의 높 은 정확 성 의 이동 시 센서 타 겟 대상물 의 위치 를 고정 하 는 그 리핑 디바이스 를 포함 한다 .