마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 의 대향 위치 에 웨이퍼 ( W ) 표면 부 의 Cu 막 등 이 존재 하 지 않 을 때 , 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 에 이 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 의 특성 임피던스 에 정합 하 는 주파수 의 전자파 가 공급 되 면 , 도 4 ( c ) 중 , 「 웨이퍼 가 없 는 투과 」 의 특성 으로 나타내 는 바 와 같이 , 0 . 1 ∼ 3 GHz 의 소요 주파수 범위 에 걸쳐 , 네트워크 애널라이저 ( 12 ) 로 측정 되 는 투과 계수 는 거의 0 dB 가 되 고 , 대부분 의 전자파 는 투과 전자파 로서 이 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 을 투과 한다 . 따라서 , 「 웨이퍼 가 없 는 반사 」 의 특성 으로 나타내 는 바 와 같이 , 반사 계수 는 - 65 dB 정도 의 값 이 되 고 , 마이크 로 스트립 라인 ( 9 ) 을 통과 하 지 않 고 반사 하 는 반사 전자파 는 거의 존재 하 지 않 는다 .