도 4 b 의 실시 예 에서 각 구성 요소 들 은 다음 과 같 다 . 본 발명 에 따른 오염 제거 장치 및 기록 재생 장치 는 렌즈 부 ( 140 ) , 오염 제 거부 ( 170 ) , 렌즈 홀더 부 ( 180 ) 를 포함 한다 . 상기 렌즈 부 ( 140 ) 는 근 접장 발생 수단 ( SIL : Solid Immersion Lens ) ( 142 ) 와 대물렌즈 ( OL : Object Lens ) ( 144 ) 를 포함 한다 .