도 10 내지 도 20 을 참조 하 면 , 우선 도 10 에 도시 된 바 와 같이 베이스 기판 ( 410 ) 상 에 제 1 도전 물질 층 ( 43 a ) , 제 2 도전 물질 층 ( 43 b ) 및 제 3 도전 물질 층 ( 43 c ) 을 순차 적 으로 증착 한다 . 각각 의 제 1 도전 물질 층 ( 43 a ) , 제 2 도전 물질 층 ( 43 b ) 및 제 3 도전 물질 층 ( 43 c ) 을 형성 하 는 물질 의 예시 는 도 4 의 설명 에서 상술 한 하부 도전 층 ( 도 4 의 430 a ) , 중간 도전 층 ( 도 4 의 430 b ) 및 상부 도전 층 ( 도 4 의 430 c ) 의 물질 예시 와 동일 하 다 .