도포 처리 공정 ( S 20 ) 은 열처리 챔버 ( 3200 ) 에서 열처리 공정 ( S 21 ) , 전단 액 처리 챔버 ( 3602 ) 에서 반사 방지 막 도포 공정 ( S 22 ) , 열처리 챔버 ( 3200 ) 에서 열처리 공정 ( S 23 ) , 후단 액 처리 챔버 ( 3604 ) 에서 포토레지스트 막 도포 공정 ( S 24 ) , 그리고 열처리 챔버 ( 3200 ) 에서 열처리 공정 ( S 25 ) 이 순차 적 으로 이루어짐 으로써 수행 된다 .