본 발명 에서 는 박막 전해질 을 위한 대안 적 인 스퍼터 표적 조성물 또는 구성 이 제공 됨 으로써 , 스퍼터 표적 물질 시스템 은 스퍼터 증착 을 위한 ( 펄스 화 ) DC 표적 전력 의 이용 을 허용 하 기 에 충분 한 전기 전도도 를 보유 한다 . 그 전해질 막 물질 은 전기 전도성 스퍼터 표적 물질 시스템 으로부터 반응 성 스퍼터 증착 을 수행 한 후 소정 의 전기 절연 성 의 리튬 이온 전도성 특성 을 적합 하 게 한다 .