그 다음 , 제 2 레이저 ( 414 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 에 조사 한다 ( S 330 ) . 일 예 로 , 레티 클 ( R ) 을 검사 하 는 단계 ( S 300 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 냉각 하 는 단계 ( S 320 ) 를 이용 하 여 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 의 파워 를 증가 시킬 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 의 파워 는 약 0 . 49 W / cm 2 의 최대 값 이상 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 레이저 ( 414 ) 는 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 을 약 0 . 87 W / cm 2 의 파워 로 제공 할 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 약 193 nm 의 파장 을 갖 는 ArF 자외선 광 을 포함 할 수 있 다 . 제 2 레이저 빔 ( 413 ) 은 약 12 . 3 mm / s 의 속도 로 스캐닝 될 수 있 다 .