박리 층 형성 공정 에서 는 , 먼저 , 잉곳 ( 2 ) 의 제 2 면 ( 6 ) 과 척 테이블 ( 14 ) 의 상면 사이 에 접착제 ( 예 를 들 어 에폭시 수지 계 접착제 ) 를 개재 시키 고 , 척 테이블 ( 14 ) 에 잉곳 ( 2 ) 을 고정 시킨다 . 혹은 , 척 테이블 ( 14 ) 의 상면 에 복수 의 흡 인공 ( 吸引 孔 ) 이 형성 되 어 있 고 , 척 테이블 ( 14 ) 의 상면 에 흡인력 을 생성 하 여 잉곳 ( 2 ) 을 유지 해도 된다 . 이어서 , 레이저 가공 장치 ( 12 ) 의 촬상 수단 ( 도시 되 어 있 지 않 다 . ) 에 의해 제 1 면 ( 4 ) 의 상방 으로부터 잉곳 ( 2 ) 을 촬상 한다 . 이어서 , 촬상 수단 에 의해 촬상된 잉곳 ( 2 ) 의 화상 에 기초 하 여 , 레이저 가공 장치 ( 12 ) 의 X 방향 이동 수단 및 Y 방향 이동 수단 에 의해 척 테이블 ( 14 ) 을 이동 시킴 으로써 , 잉곳 ( 2 ) 과 집광기 ( 16 ) 의 XY 평면 에 있 어서 의 위치 를 조정 한다 . 이어서 , 레이저 가공 장치 ( 12 ) 의 집 광점 위치 조정 수단 ( 도시 하고 있 지 않 다 . ) 에 의해 집광기 ( 16 ) 를 승강 시키 고 , 제 1 면 ( 4 ) 으로부터 생성 해야 할 웨이퍼 의 두께 에 상당 하 는 깊이 에 집 광점 ( FP ) 을 위치 시킨다 . 이어서 , 잉곳 ( 2 ) 과 집 광점 ( FP ) 을 상대 적 으로 이동 시키 면서 , 단결정 SiC 에 대해 투과성 을 갖 는 파장 의 펄스 레이저 광선 ( LB ) 을 집광기 ( 16 ) 로부터 잉곳 ( 2 ) 에 조사 하 는 개질 부 형성 가공 을 실시 한다 . 도시 한 실시 형태 에서 는 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 개질 부 형성 가공 에 있 어서 , 집 광점 ( FP ) 을 이동 시키 지 않 고 집 광점 ( FP ) 에 대해 척 테이블 ( 14 ) 을 소정 의 가공 이송 속도 로 X 방향 이동 수단 에 의해 X 방향 으로 가공 이송 하 고 있 다 . 개질 부 형성 가공 에 의해 , 제 1 면 ( 4 ) 으로부터 생성 해야 할 웨이퍼 의 두께 에 상당 하 는 깊이 에 , SiC 가 Si 와 C 로 분리 된 직선 상 의 개질 부 ( 18 ) 를 X 방향 을 따라 연속 적 으로 형성 할 수 있 음 과 함께 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 개질 부 ( 18 ) 로 부터 c 면 을 따라 등방 적 으로 연장 되 는 크랙 ( 20 ) 을 형성 할 수 있 다 . 도 3 에 개질 부 ( 18 ) 를 중심 으로 하 여 크랙 ( 20 ) 이 형성 되 는 영역 을 이점쇄선 으로 나타낸다 . 도 4 를 참조 하 여 설명 하 면 , 개질 부 ( 18 ) 의 직경 을 D 로 하 고 , 가공 이송 방향 에 있 어서 인접 하 는 집 광점 ( FP ) 의 간격 을 L 로 하 면 , D ＞ L 의 관계 ( 즉 , 가공 이송 방향 인 X 방향 에 있 어서 인접 하 는 개질 부 ( 18 ) 와 개질 부 ( 18 ) 가 중복 되 는 관계 ) 를 갖 는 영역 에서 개질 부 ( 18 ) 로 부터 c 면 을 따라 등방 적 으로 크랙 ( 20 ) 이 형성 된다 . 가공 이송 방향 에 있 어서 인접 하 는 집 광점 ( FP ) 의 간격 ( L ) 은 , 집 광점 ( FP ) 과 척 테이블 ( 14 ) 의 상대 속도 ( V ) , 및 펄스 레이저 광선 ( LB ) 의 반복 주파수 ( F ) 에 의해 규정 된다 ( L = V / F ) . 도시 한 실시 형태 에서 는 , 집 광점 ( FP ) 에 대한 척 테이블 ( 14 ) 의 X 방향 에 대한 가공 이송 속도 ( V ) 와 , 펄스 레이저 광선 ( LB ) 의 반복 주파수 ( F ) 를 조정 함 으로써 D ＞ L 의 관계 를 만족 할 수 있 다 .