도 1 은 , 실시 형태 에 따른 , 마크 를 검출 하 는 검출 장치 ( 100 ) 을 구비 하 고 , 기판 을 노광 하 는 노광 장치 ( 1 ) 의 구성 을 도시 한 도면 이 다 . 이때 , 본 명세서 및 첨부 된 도면 에서 는 , 기판 인 웨이퍼 ( 3 ) 의 표면 ( 일반 적 으로 는 수평면 ) 을 XY 평면 으로 정의 하 는 XYZ 좌표계 에 있 어서 방향 을 나타낸다 . XYZ 좌표계 의 X 축 , Y 축 , Z 축 에 각각 평행 한 방향 을 X 방향 , Y 방향 , Z 방향 으로 한다 . X 축 주위 의 회전 , Y 축 주위 의 회전 , Z 축 주위 의 회전 을 각각 θ X , θ Y , θ Z 로 한다 .