도 1 을 참조 하 면 , 기존 의 열팽창 계수 측정 간섭계 는 광원 ( 111 ) , 반 파장판 ( 113 ) , 광 분할기 ( 114 ) , 음향 광학 변조기 ( 115 , 117 ) , 반사경 ( 116 ) , 편광 광분 할 기 ( 120 ) , 코너 큐브 프리즘 ( 132 ) , 사 분 의 일 파장판 ( 140 ) , 진공 챔버 ( 150 ) , 광 결합기 ( 162 , 164 ) , 광 검출기 ( 166 , 168 ) , 위상 검출기 ( 170 ) , 진공 펌프 ( 175 ) , 온도 지시 부 ( 180 ) 및 연산 부 ( 190 ) 를 구비 한다 . 여기 서 진공 챔버 ( 150 ) 는 유리판 ( 152 ) , 기준 판 ( 155 ) , 온도 조절 장치 ( 156 , 157 ) 및 온도 센서 ( 182 , 184 , 186 ) 를 구비 한다 . 기준 판 ( 155 ) 에 는 측정 대상물 ( 154 ) 이 안착 된다 .