광 반사체 ( 112 ) 는 , 예컨대 알루미늄 으로 이루어지 며 , 도시 하 는 것 과 같이 하우징 ( 110 ) 내 에서 종단 하 는 광 파이버 ( 106 ) 의 단부 면 과 대향 하 여 경사지 게 하향 으로 약 45 ° 의 경사면 을 갖 고 있 다 . 광 파이버 ( 106 ) 로부터 수평 으로 출사 되 는 모니터 광 ( LB ) 은 , 정면 의 광 반사체 ( 112 ) 에 의해 연직 아래쪽 으로 반사 되 어 , 광 도파 로 ( 104 ) 를 지나 바로 아래 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 입사 되 도록 되 어 있 다 . 한편 , 모니터 광 ( LB ) 이 조사 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 로부터 연직 위쪽 으로 나오 는 반사광 ( HB ) 은 광 도파 로 ( 104 ) 를 지나 광 반사판 ( 112 ) 에 맞닿 고 , 광 반사체 ( 112 ) 로부터 수평 방향 으로 반사 하 여 광 파이버 ( 106 ) 에 입사 하 도록 되 어 있 다 .