본 발명 에 따른 솔 더링 은 이종 물질 간 접합 의 접착제 와 는 다른 화학 적 결합 을 이루 는 것 이 특징 이 고 , 특히 본 발명 에서 와 같이 격벽 과 기판 을 접착 시키 는 것 은 접합 면적 이 작 기 때문 에 솔 더링 접합 법 이 적합 하 다고 볼 수 있 다 . 다만 , 접합 부분 의 온도 가 상당히 높 기 때문 에 이 를 피할 수 있 는 방법 또한 요구 되 며 , 본 발명 에서 는 후술 하 는 바 와 같이 레이저 를 이용 하 고자 한다 . 이하 에서 는 솔 더가 형성 된 기판 구조물 에 먼저 , 입자 를 주입 하 는 단계 를 설명 하 고 , 그 다음 에 격벽 과 기판 을 적층 시킨 뒤 레이저 를 이용 하 여 합착 하 는 단계 를 설명 한다 .