또한 , 제 4 처리 예 에서 는 , 제 1 소수 화 처리 후 에 , 제 2 소수 화 처리 에 앞서 , 제 2 용제 린스 처리 가 행하 여진다 . 제 1 소수 화 처리 가 끝난 단계 에서 , 제 1 소수 화제 의 액적 이 기판 ( W ) 으로부터 증발 하 여 , 기판 ( W ) 이 건조 되 면 , 기판 ( W ) 의 소수성 이 충분히 저하 되 지 않 기 때문 에 , 패턴 ( P ) 이 도 괼 될 염려 가 있 다 . 따라서 , 제 1 소수 화제 의 액적 이 증발 하 여 제거 되 기 전 에 , 기판 ( W ) 에 용제 를 공급 하 는 제 2 용제 린스 처리 를 행함 으로써 , 기판 ( W ) 이 건조 되 는 것 을 방지 한다 . 그 후 , 제 2 소수 화제 의 증기 가 공급 됨 으로써 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 용제 가 제 2 소수 화제 로 치환 되 어 , 제 2 소수 화 처리 가 행하 여진다 .