도 6 내지 도 8 을 참조 하 면 , 제 어부 ( 170 ) 는 센 서부 ( 160 ) 로부터 실시간 적 으로 공급 되 는 기판 감지 신호 를 이용 하 여 기판 ( 110 ) 의 저면 이 하부 노즐 관 들 ( 122 , 132 ) 의 상부 에 위치 되 는지 여부 를 판 단함 과 아울러 , 기판 ( 110 ) 의 측면 이 양측 의 측방 노즐 관 들 ( 141 , 143 , 146 , 148 ) 사이 에 위치 되 는지 여부 를 판단 한다 ( S 50 ) .