본 발명 에서 , 제 2 보호 층 ( 750 ) 상 에 자기 조립 단분자막 ( SAM ') 을 형성 한 이후 에 컨 택 홀 및 세정 공정 을 진행 하 면 , 습식 식각 에 강건 한 자기 조립 단분자막 ( SAM ') 에 의해 제 2 보호 층 ( 750 ) 이 세정액 에 노출 되 지 않 아 부식 이 방지 된다 . 그러면 , 제 2 그래프 ( 2 ) 와 같이 PIN 다이오드 의 구동 시 에 누설 전류 ( I _ leakage ) 가 감소 되 고 , 결과 적 으로 센싱 정확도 가 향상 될 수 있 다 .