본 실시 형태 에서 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 내부 에서 , 인 젝 터 ( 110 ) 를 회전 시키 는 데 필요 한 부재 가 , 에 어 실린더 나 모터 등 을 사용 한 경우 에 비해서 적 다 . 또한 , 에 어 실린더 나 모터 등 을 사용 한 경우 에 는 , 인 젝 터 ( 110 ) 를 회전 시키 기 위해서 링크 부나 기어 와 같 은 부재 가 필요 하 게 되 지만 , 본 실시 형태 에서 는 구동 용 가스 를 공급 해서 풍차 를 회전 시키 기 때문 에 , 부재 끼리 의 접촉 개소 를 대폭 저감 시킬 수 있 다 . 이 때문 에 , 파티클 의 발생 을 억제 할 수 있 고 , 또한 저 비용 으로 할 수 있 으며 , 공간 절약 화 에 도 효과 가 있 다 .