또한 , 제 1 가스 로서 , Al 함유 가스 를 사용 하 는 예 를 나타냈 지만 , 이 에 한정 하 지 않 고 , 이하 의 가스 를 사용 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 실리콘 ( Si ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 티타늄 ( Ti ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 탄 탈륨 ( Ta ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 지르코늄 ( Zr ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 하프늄 ( Hf ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 텅스텐 ( W ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 니오븀 ( Nb ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 몰리브덴 ( Mo ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 이트륨 ( Y ) 원소 를 함유 하 는 가스 , La ( 란탄 ) 원소 를 함유 하 는 가스 , 스트론튬 ( Sr ) 원소 를 함유 하 는 가스 등 이 다 . 또한 본 개시 에 기재 한 복수 의 원소 를 함유 하 는 가스 를 사용 해도 된다 . 또한 , 본 개시 에 기재 한 원소 의 어느 것 을 포함 하 는 가스 를 복수 사용 해도 된다 .