필요시 , 밸브 ( 12 ) 는 반응 성 가스 가 가스 공 급기 ( 14 ) 로부터 챔버 ( 2 ) 로 흐를 수 있 도록 개방 된다 . 챔버 ( 2 ) 로 들어가 는 가스 는 본 명세서 에 도시 된 실시 예 에서 급격히 확산 되 며 , 이 는 가스 농도 가 대략 전체 챔버 ( 2 ) 내 농도 와 급격히 같 아 지 는 것 을 의미 한다 . 따라서 , 센서 ( 16 ) 로부터 수신 된 신호 는 대략 작업 영역 ( 5 ) 에 더 가까이 있 는 가스 의 농도 에 해당 한다 . 적용 에 따라 , 작업 영역 ( 5 ) 에 직접 더 많 은 가스 를 공급 하 는 것 이 이 점 적 일 수 있 다 .