또한 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 약액 회수 커버 ( 150 ) 는 스핀 헤드 ( 110 ) 와 일체 로 조립 되 어 실린더 ( 미 도시 ) 등 에 의해 스핀 헤드 ( 110 ) 와 함께 상하 운동 을 할 수 있 다 . 이 는 도 3 에 도시 되 어 있 는데 , 약액 또는 순수 를 종류 에 따라서 분리 하 기 위해서 바울 ( 140 ) 또는 스핀 헤드 ( 110 ) 가 상하 운동 을 하 여야 한다 . 도 3 과 같이 스핀 헤드 ( 110 ) 가 상하 운동 을 하 는 경우 에 , 스핀 헤드 ( 110 ) 와 약액 회수 커버 ( 150 ) 는 일체 로 조립 되 어 스핀 헤드 ( 110 ) 가 상하 운동 을 하 는 경우 약액 회수 커버 ( 150 ) 도 함께 상하 운동 을 하 도록 할 수 있 다 . 이때 , 약액 회수 커버 ( 150 ) 의 아래 에 형성 된 배출관 ( 155 ) 은 자바라 방식 으로 형성 될 수 있 다 . 약액 회수 커버 ( 150 ) 의 상하 운동 에 따라서 약액 회수 탱크 ( 미 도시 ) 와 의 연결 을 용이 하 게 하 기 위해서 배출관 ( 155 ) 의 길이 가 변동 되 어야 하 기 때문 이 다 .