즉 , 본 발명 은 플라 즈 마 상태 의 가스 이온 이 충돌 로 방출 된 타 겟 물질 의 원자 가 기판 에 증착 되 는 스퍼터링 방법 에 있 어서 , 상기 타 겟 물질 은 타면 에 적어도 하나 이상 의 리브 ( Rib ) 가 형성 되 어 있 는 백 킹 플레이트 의 일면 에 장착 되 어 있 고 , 상기 타 겟 물질 에 자기장 을 인가 하 는 자석 ( Magnet ) 이 상기 백 킹 플레이트 타면 에 위치 되 어 있 고 , 상기 자석 은 상기 리브 의 일부 를 삽입 하 고 있 는 홈 이 구비 되 어 있 으며 , 상기 가스 이온 이 상기 타 겟 물질 에 충돌 을 시작 할 때 상기 자석 은 상기 백 킹 플레이트 의 타면 을 따라 직선 왕복 운동 하 는 것 을 특징 으로 한다 .