위 에서 설명 된 본 발명 의 제 1 내지 제 6 실시 예 에 따른 산소 농후 기체 생 성부 ( 300 ) 에 의해 적정 수준 , 예 를 들 어 40 % 내지 50 % 의 산소 농도 를 가진 산소 농후 기체 가 생산 된다 . 그리고 , 생성 된 상기 산소 농후 기체 는 상기 최종 공급 라인 ( 303 ) 을 통해 상기 버너 부 ( 100 ) 에 공급 된다 . 상기 버너 부 ( 100 ) 에 공급 된 상기 산소 농후 기체 는 , 상기 반도체 제조 장치 등 에서 배출 되 는 유해 한 배기 가스 를 실질 적 으로 완전 연소 시킴 으로써 연소 후 외부 로 배출 되 는 가스 에 잔존 하 는 유해 가스 , 특히 SOx 및 NOx 등 을 현저히 줄이 게 된다 .