일 예 에 의하 면 , 상기 하우징 에 는 상기 복수 개 의 감광액 노즐 들 이 개별 적 으로 수용 되 는 오목 한 형상 의 다수 의 노즐 수용 공간 들 이 형성 되 고 , 상기 유기 용제 공급 부재 들 은 상기 노즐 수용 공간 들 각각 으로 독립 적 으로 유기 용제 를 공급 하 는 유기 용제 공급 유로 들 을 가질 수 있 다 . 상기 하우징 에 는 상기 노즐 수용 공간 들 내 에 저장 된 유기 용제 를 배출 하 는 배출 라인 이 형성 될 수 있 다 . 상기 기판 처리 장치 는 상기 노즐 암 에 착하 며 , 프리 웨트 ( Pre - wet ) 공정 을 위한 유기 용제 를 토출 하 는 유기 용제 노즐 을 더 포함 하 고 , 상기 하우징 에 는 상기 복수 개 의 감광액 노즐 들 및 상기 유기 용제 노즐 이 개별 적 으로 수용 되 는 오목 한 형상 의 다수 의 노즐 수용 공간 들 이 형성 되 고 , 상기 유기 용제 공급 부재 들 은 상기 복수 개 의 감광액 노즐 들 이 수용 되 는 상기 노즐 수용 공간 들 각각 으로 독립 적 으로 유기 용제 를 공급 하 는 유기 용제 공급 유로 들 을 가질 수 있 다 .