상기 기판 안착 부 ( 621 ) 는 상기 기판 이 안착 되 며 상기 기판 을 진공 흡착 하 여 고정 시킨다 . 상기 기판 안착 부 ( 621 ) 는 상기 기판 을 진공 흡착 하 여 고정 시키 기 위한 복수 의 흡착 홀 ( 627 a , 627 b ) 과 , 상기 복수 의 흡착 홀 ( 627 a , 627 b ) 과 각각 연통 되 는 복수 의 진공 유로 ( 628 a , 628 b ) 들 을 구비 할 수 있 다 .