이어서 , 기판 ( W ) 에 대한 건 조 가 진행 된다 ( S 40 ) . 여기 서 , 도 6 을 참조 하 면 , 노즐 구 조체 ( 200 ) 가 제 2 왕복 동작 을 한 후 , 노즐 구 조체 ( 200 ) 는 다시 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 이동한 후 ( S 41 ) , 제 1 방향 ( D 1 ) 으로 복귀 ( S 42 ) 하 는 제 3 왕복 동작 을 한다 . 제 3 왕복 동작 은 적어도 1 회 진행 될 수 있 다 . 노즐 구 조체 ( 200 ) 는 제 3 왕복 동작 을 하 는 동안 제 1 노즐 ( 201 ) 및 제 2 노즐 ( 202 ) 을 통해서 건조 공기 를 분사 한다 .