제 1 내지 제 3 하부 콘 택 플러그 들 ( BCP 1 , BCP 2 , BCP 3 ) 의 제 3 방향 ( D 3 ) 으로 의 길이 는 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 제 1 내지 제 3 하부 콘 택 플러그 들 ( BCP 1 , BCP 2 , BCP 3 ) 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 내지 제 3 하부 콘 택 플러그 들 ( BCP 1 , BCP 2 , BCP 3 ) 은 금속 ( 예 를 들 어 , 텅스텐 ) 을 포함 할 수 있 다 .