반송 로봇 은 로드 포트 ( LP ) 상 의 캐리어 ( CA ) 에 대해서 기판 ( W ) 의 반입 및 반출 을 수행 하 는 인 덱 서 로봇 ( IR ) 과 , 복수 의 처리 유닛 ( 2 ) 에 대해서 기판 ( W ) 의 반입 및 반출 을 수행 하 는 센터 로봇 ( CR ) 을 포함 한다 . 인 덱 서 로봇 ( IR ) 은 로드 포트 ( LP ) 와 센터 로봇 ( CR ) 사이 에 기판 ( W ) 을 반송 하 고 , 센터 로봇 ( CR ) 은 인 덱 서 로봇 ( IR ) 과 처리 유닛 ( 2 ) 사이 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 센터 로봇 ( CR ) 은 기판 ( W ) 을 지지 하 는 핸드 ( H 1 ) 를 포함 하 고 , 인 덱 서 로봇 ( IR ) 은 기판 ( W ) 을 지지 하 는 핸드 ( H 2 ) 를 포함 한다 .