화학 적 증폭 형 레지스 트 가 침지 노광 에 노출 된 경우 , 상기 레지스 트 층 이 노광 동안 에 상기 침지액 과 접촉 되 어 상기 레지스 트 층 의 열화 또는 상기 레지스 트 층 으로부터 상기 침지액 에 불리 한 영향 을 미치 는 성분 의 방사 가 초래 된다는 것 이 지적 되 고 있 다 . 국제 출원 WO 2004 / 068242 에 는 노광 전 및 후 에 물 에 ArF 노광용 레지스 트 를 침지 시킴 으로써 야기 된 레지스 트 성능 의 변화 의 예 가 기재 되 어 있 고 , 한편 , 이러 한 변화 는 침지 노광 에서 문제 가 되 는 것 으로 지적 되 고 있 다 .