한편 , 가공 대상물 의 직경 이 제 1 렌즈 ( FL 1 ) 와 제 2 렌즈 ( FL 2 ) 간 의 거리 보 다 큰 경우 에 는 본 발명 의 제 2 실시 예 를 이용 하 여 패턴 가공 을 수행 하 고 , 가공 대상물 의 각각 의 반 직경 합 이 제 3 반사 미러 ( 260 ) 와 제 5 반사 미러 ( 280 ) 간 의 거리 보다 작 은 경우 에 는 제 3 실시 예의 방법 으로 패턴 가공 을 수행 하 는 것 이 바람직 하 다 .