도 2 는 , 하나 의 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 를 개략 적 으로 나타내 는 도 이 다 . 도 2 에 나타내 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 용량 결합 형 의 플 라즈 마 처리 장치 이 다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 챔버 ( 10 ) 를 구비 하 고 있 다 . 챔버 ( 10 ) 는 , 그 중 에 내부 공간 ( 10 s ) 을 제공 하 고 있 다 . 내부 공간 ( 10 s ) 의 중심 축선 은 , 연직 방향 으로 뻗 는 축선 ( AX ) 이 다 .