다른 실시 예 에서 , 방법 이 제공 된다 . 본 방법 은 복수 의 전자 감지 요소 각각 으로부터 수신 된 전자 세기 데이터 에 기초 하 여 세기 구배 세트 를 결정 하 는 것 을 포함 하 고 있 다 . 본 방법 은 세기 구배 세트 에 기초 하 여 제 1 빔 스폿 의 제 1 경 계부 및 제 2 빔 스폿 의 제 2 경 계부 를 결정 하 는 것 을 더 포함 하 고 있 다 . 본 방법 은 또한 제 1 경 계부 에 기초 하 여 복수 의 전자 감지 요소 중 제 1 세트 의 전자 감지 요소 가 제 1 빔 스폿 내 에 있 다는 것 을 결정 하 는 것 및 제 2 경 계부 에 기초 하 여 복수 의 전자 감지 요소 중 제 2 세트 의 전자 감지 요소 가 제 2 빔 스폿 내 에 있 다는 것 을 결정 하 는 것 을 포함 하 고 있 다 . 본 방법 은 제 1 및 제 2 경 계부 에 기초 하 여 제 1 빔 스폿 과 제 2 빔 스폿 사이 의 중첩 영역 을 결정 하 는 것 을 더 포함 하 고 있 다 .