게이트 전극 ( 2 ) 은 , 기판 ( 1 ) 위 에 적층 된다 . 게이트 전극 ( 2 ) 에 는 , Ti , Mo , W , Al , Au 등 의 금속 을 사용 할 수 있 다 . 또한 금속 에 관해서 는 , 단체 ( single substance ) 뿐 만 아니 라 , 예 를 들 면 Mo - W 와 같 은 합금 도 사용 할 수 있 다 . 또한 , 상기 막 의 밀착 성 을 높이 기 위해서 , 산화물 과 의 밀착 성 이 좋 은 금속 , 예 를 들 면 , Ti 로 Al 이나 Au 을 개재 하 여 형성 된 금속 의 적층 체 ( laminate ) 를 전극 으로서 사용 할 수 있 다 .