여기 서 , 제 2 아암 ( 274 ) 의 선회 축 과 제 3 아암 ( 275 ) 의 선회 축 은 서로 평행 하 도록 설정 되 는 것 이 바람직 하 다 . 제 3 아암 ( 275 ) 에서 제 2 아암 ( 274 ) 으로부터 먼 쪽 의 단부 는 마찬가지 로 그 길 이 방향 축 에 대하 여 회전 가능 하 다 . 또한 , 제 3 아암 ( 275 ) 에서 제 2 아암 ( 274 ) 으로부터 먼 쪽 의 단부 에 는 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 가 연결 된다 . 상기 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 를 도 3 b 에서 살펴보 면 다음 과 같 다 .