우선 , 본 실시 형태 에 따른 에칭 처리 방법 을 실행 하 는 기판 처리 장치 의 구성 의 일 예 에 대해 , 도 2 를 참조 하 여 설명 한다 . 도 2 는 일 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 의 구성 의 일 예 를 나타내 는 도면 이 다 . 여기 에서 는 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 일 예 로서 , 용량 결합 형 플 라즈 마 에칭 장치 를 예 로 들 었 다 .