상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 평판 표시 소자 의 기판 이송 장치 는 기판 의 아래 에 배치 되 어 상기 기판 의 저면 에 수직 한 방향 으로 공기 를 분사 하 여 상기 기판 을 부상 시키 는 다수 의 노즐 들 을 갖 는 다수 의 하부 수직 노즐 관 들 ; 상기 다수 의 하부 수직 노즐 관 들 과 교번 적 으로 배치 되 도록 상기 기판 의 아래 에 배치 되 고 상기 기판 의 저면 에 수직 한 방향 을 기준 으로 15 °~ 45 ° 의 제 1 경사각 방향 으로 공기 를 분사 하 여 상기 부상 된 기판 을 이송 시키 는 다수 의 노즐 들 을 가지 는 다수 의 하부 경사 노즐 관 들 ; 상기 기판 의 양 측면 에 대향 하 게 배치 되 어 상기 기판 의 양 측면 과 수직 한 방향 으로 공기 를 분사 하 는 다수 의 노즐 들 을 갖 는 다수 의 측방 수직 노즐 관 들 ; 상기 기판 의 양 측면 에 상기 제 1 경사각 방향 으로 공기 를 분사 하 는 다수 의 노즐 들 을 갖 는 다수 의 측방 경사 노즐 관 들 ; 상기 노즐 관 들 각각 을 개폐 하 는 다수 의 밸브 들 ; 상기 노즐 관 들 로 공기 를 공급 하 는 공기 공급원 ; 상기 기판 의 이송 경로 상 에 설치 되 어 상기 기판 을 감지 하 는 다수 의 센서 들 ; 및 상기 센서 들 의 신호 에 응답 하 여 상기 밸브 들 을 개폐 하 여 상기 노즐 관 들 에 공급 되 는 공기 를 단속 하 는 제 어부 를 구비 한다 .