제 2 실시 형태 에 따른 액 처리 수순 에 있 어서 행하 여 지 는 처리 액 의 토출 제어 에서 는 , 도 9 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 압송 부 ( 64 ) ( 펌프 ( 76 ) ) 로부터 필터 ( 63 ) 를 통하 지 않 고 처리 액 이 토출 부 ( 30 ) 에 보내 져도 된다 . 또는 , 도 17 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 압송 부 ( 64 ) ( 펌프 ( 76 ) ) 로부터 필터 ( 63 ) 를 통해서 처리 액 이 토출 부 ( 30 ) 에 보내 져도 된다 .