제 어부 ( 600 ) 는 전원 이 투입 된 경우 , 혹은 조작자 에 의해 목표 유량 ( Ft ) [ ml / min ] 이 설정 되 고 , 제 어 개시 가 지시 된 경우 에 , 도 13 에 나타내 는 각 처리 의 실행 을 개시 한다 . 제 어부 ( 600 ) 는 유량계 ( 400 ) 가 계측 하 는 액체 의 유량 이 목표 유량 ( Ft ) [ ml / min ] 과 일치 하 도록 제 1 구 동부 ( 50 ) 및 제 2 구 동부 ( 60 ) 를 제어 한다 .