본 발명자 들 은 더욱 예의 검토 를 거듭 하 여 , 하 기 일반식 ( 1 ) 로 표시 되 는 중합체 라면 , W 1 로 표시 되 는 부분 구조 에 도입 된 삼중 결합 을 갖 는 치환기 의 작용 에 의해 , 공기 중 뿐 만 아니 라 , 불활성 가스 중 에서 라도 종래 의 하층 막 재료 와 동등 한 열경화성 을 가지 며 , 또한 가교 기인 삼중 결합 에 의한 경화 반응 일 때 에 부 생물 이 발생 하 지 않 고 , 또한 열 유동 성 이 양호 하 기 때문 에 , 고도 의 매립 / 평탄 화 특성 을 가지 며 , 양호 한 드라이 에칭 내성 과 CVD 하드 마스크 를 형성 하 는 경우 에 도 열분해 에 의한 도포 막 두께 변동 이 없 는 내열 성 을 더불 어 갖 는 유기 막 형성 용 조성물 을 부여 하 는 것 으로 되 는 것 을 알아내 어 , 본 발명 을 완성 시켰 다 .