리소그래피 시뮬레이터 는 해상도 를 높이 기 위해 사용 되 는 여러 가지 종류 의 PSM 등 을 쓸 수 있 으며 , exposure , PEB , CAR , develop , mesh 파라미터 를 넣 기 위한 창 이 있 으며 , 각 공정 에 맞 는 모델 을 적용 . Aerial image 계산 결과 를 contour plot 으로 나타내 고 , data analysis 를 위하 여 swing curve 및 smile curve 를 그릴 수 있 도록 하 였으며 Dill ABC exposure parameter 기능 을 포함 한다 . Vector theory 코 드 , 노광모 델 , PEB 모델 현상 모델 적용 , 공정 변수 추출 , PSM , 변형 조명 법 MASK 패턴 디자인 에디터 , Ray Trace Window , Swing Curve , Smile Curve , 단차 패턴 현상 프로파일 , DDM , Scalar and Vector Calculation 가능 , Aerial image 형상 을 추출 한다 .