그리고 , 측정 온도 ( TL ) 가 미리 설정 된 온도 까지 저하 되 면 , 처리 챔버 ( 11 ) 및 벨 자 ( 2 ) 내 의 압력 을 웨이퍼 ( W ) 의 반송 동작 실행 시 의 압력 으로 조절 한 후 , 게이트 밸브 ( 113 ) 를 개방 한다 . 그런 뒤 , 외부 의 반송 암 을 진입 시켜 , 반입 시 와 는 반대 의 경로 로 웨이퍼 ( W ) 를 반출 한다 .