따라서 , 상기 한 식별 마크 ( 20 ) 의 판독 방법 및 판독 장치 ( B ) 에 있 어서 는 조명 유닛 ( 13 ) 의 섬유 다발 ( 11 ) 로부터 출사 한 적 외광선 을 직접 웨이퍼 ( 1 ) 에 조사 하 고 , 반사광 을 IR 카메라 ( 16 ) 로 촬상 함 으로써 웨이퍼 ( 1 ) 의 식별 마크 ( 20 ) 를 판독 하 는 것 이 가능 해진다 . 이 에 의해 , 수지 층 ( 1 h ) 의 형성 에 수반 하 여 눈 으로 보 거나 CCD 카메라 등 으로 인식 불 가능 해진 식별 마크 ( 20 ) 를 판독 할 수 있 으므로 웨이퍼 ( 1 ) 나 로트 를 특정 하 는 것 이 가능 해진다 .