예 를 들 어 텅스텐 을 포함 하 고 두께 가 50 nm 인 막 , 알루미늄 을 포함 하 고 두께 가 400 nm 인 막 , 타이타늄 을 포함 하 고 두께 가 100 nm 인 막 을 이 순서 대로 적층 한 도전 막 을 도전 막 ( 512 A ) 또는 도전 막 ( 512 B ) 에 사용 할 수 있 다 . 또한 , 텅스텐 을 포함 하 는 막 은 반도체 막 ( 508 ) 과 접촉 되 는 영역 을 갖 는다 .