I / O 포트 ( 121 d ) 는 , 상술 한 MFC ( 241 a 내지 241 h ) , 밸브 ( 243 a 내지 243 h ) , 압력 센서 ( 245 ) , APC 밸브 ( 244 ) , 진공 펌프 ( 246 ) , 온도 센서 ( 263 ) , 히터 ( 207 ) , 회전 기구 ( 267 ) , 보트 엘리베이터 ( 115 ) , 셔터 개폐 기구 ( 115 s ) 등 에 접속 되 어 있 다 .