스텝 S 4 는 , 처리 공간 ( 37 ) 의 잉여 H 2 가스 를 퍼지 하 는 퍼지 스텝 이 다 . 스텝 S 4 에서 는 , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 66 ) 및 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 68 ) 을 통한 N 2 가스 의 공급 을 계속 한 상태 에서 , 개폐 밸브 ( 74 ) 를 닫 아 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) 으로부터 의 H 2 가스 의 공급 을 정지 한다 . 또한 , 개폐 밸브 ( 77 , 79 ) 를 개방 하 여 , 제 1 플 러쉬 퍼지 라인 ( 67 ) 및 제 2 플 러쉬 퍼지 라인 ( 69 ) 으로부터 도 N 2 가스 ( 플 러쉬 퍼지 N 2 가스 ) 를 공급 하 여 , 스텝 S 2 와 마찬가지 로 , 대 유량 의 N 2 가스 에 의해 , 처리 공간 ( 37 ) 의 잉여 H 2 가스 를 퍼지 한다 .