도 7 을 참조 하 면 , 웨이퍼 스테이지 를 레티 클 스테이지 를 회전 시킨 방향 으로 90 ° 회전 시켜 정렬 시킨다 . 이 는 다이폴 Y 조명계 대신 다이폴 X 조명계 를 사용 하 기 위하 여 이 에 따라 레티 클 의 방향 을 90 ° 회전 시켜 다이폴 Y 조명계 를 사용 하 였을 때 와 같 은 방향 으로 맞추 기 위함 이 다 . 바람직 하 게 는 레티 클 을 통과 한 광 의 스윙 방향 이 웨이퍼 상 에 형성 되 는 워드 라인 방향 과 일치 하 도록 웨이퍼 스테이지 를 회전 시킨다 .