도 27 의 ( A ) 내지 ( C ) 에 각각 시료 A 1 내지 시료 A 3 에서 의 TDS 분석 결과 를 나타내 었 다 . 도 27 의 ( A ) 내지 ( C ) 에 는 , 수소 분자 에 상당 하 는 질량 전 하비 ( M / z ) 2 의 결과 를 나타내 었 다 . 가로축 은 기판 온도 ( Sub . Temp . ) 이 고 , 세로축 은 검출 강도 ( Intensity ) 이 다 . 또한 각 도면 에 는 단위 부피 당 이탈 량 의 정량 값 을 같이 표기 하 였 다 .