제 어부 ( 6 b ) 는 , 각도 변경 타이밍 이 된 경우 에 는 ( S 103 : 예 ) , 아 암부 ( 10 ) 의 각도 를 소여 의 변경 각도 로 설정 한다 ( S 104 ) . 소여 의 변경 각도 는 , 미리 설정 된 각도 이 다 . 제 어부 ( 6 b ) 는 , 설정 된 소여 의 변경 각도 에 따라 아 암부 ( 10 ) 를 회동 시킨다 ( S 105 ) . 즉 , 제 어부 ( 6 b ) 는 , 기판 처리 중 에 회동 각도 를 변경 한다 .