이어서 , 제 2 층간 절 연막 ( 316 ) 위 에 절연물 재료 로 이루어지 는 제 3 층간 절 연막 ( 317 ) 을 형성 한다 ( 도 1 d 참조 ) . 제 3 층간 절 연막 ( 317 ) 은 CVD 법 으로 얻 어 지 는 절 연막 을 사용 할 수 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 밀착 성 을 향상 시키 기 위해서 , 제 3 층간 절 연막 ( 317 ) 으로서 , 900 nm 의 막 두께 로 형성 한 질소 를 포함 하 는 산화 규소 막 을 형성 한다 .