그 에 따라 본 발명 의 대상 은 정화 가스 유입 구 를 통해 정화 가스 원 에 연결 된 하우징 , 상기 정화 가스 원 과 상기 정화 가스 유입 구 사이 에 배치 된 유입 구 밸브 , 상기 하우징 의 내부 압력 을 감시 하 는 압력계 또는 압력 모니터 및 상기 하우징 의 설정 - 내부 압력 을 유지 하 도록 상기 유입 구 밸브 를 제어 하 도록 형성 된 제어 장치 를 구비 한 양 압 외함 이 고 , 상기 정화 가스 원 과 상기 정화 가스 유입 구 사이 에 있 는 유량계 가 정화 가스 유입 을 검출 하 고 , 평가 장치 가 상기 정화 가스 유입 의 추이 곡선 을 계산 하 고 상기 추이 곡선 이 임계 값 을 초과 하 는 시점 을 사전 에 계산 하 는 것 을 특징 으로 한다 .