도 17 은 , 제 어부 ( 50 ) 의 구성 의 다른 일례 를 개략 적 으로 나타내 는 기능 블록 도 이 다 . 제 어부 ( 50 ) 는 기억 매체 ( 55 ) 에 데이터 를 기입 할 수 있 고 , 기억 매체 ( 55 ) 로부터 데이터 를 판독 할 수 있 다 . 이 기억 매체 ( 55 ) 에는 , 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 에 의해 과거 에 산출 된 시뮬레이션 강도 분포 를 나타내 는 데이터 ( SD 1 ) 가 기억 된다 . 구체 적 으로 는 , 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 는 데이터 ( SD 1 ) 와 , 다음 에 설명 하 는 데이터 ( WD 1 ) 를 서로 대응 시켜 , 기억 매체 ( 55 ) 에 기억 한다 . 데이터 ( WD 1 ) 는 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 의 생 성 에 제공 한 패턴 형상 을 나타내 는 데이터 이 며 , 예 를 들 어 선폭 ( W 1 ) 을 나타내 는 데이터 이 다 .