위 의 예시 적 인 실시 예 들 에서 설명 된 바 와 같이 , 다양 한 이송 장치 들 을 구동 하 는 것 외 에 , 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 이송 구동 모터 들 은 챔버 를 가열 ( bake out ) 하 기 위한 가열 구성 요소 들 로서 기능 할 수 도 있 다 . 본 대안 적 인 실시 예 에서 , 상기 모터 는 이송 장치 들 의 이동 을 위한 제어 모드 와 챔버 를 가열 하 기 위한 가열 모드 를 가질 수 있 다 .