첨가 원소 로서 Ni 및 B 를 함유 하 는 Al - Ni - B 계 합금 의 경우 , 타 겟 의 Al 상 중 에 는 , Al 3 Ni 화합물 과 B 함유 입자 ( 예 를 들 면 , AlB 2 입자 ) 가 생성 된다 . Al - Ni - B 계 합금 스퍼터링 타 겟 을 주조법 에 의해 제조 하 면 , 소정 조건 하 에서 는 , Al 상 중 에 생성 된 B 함유 입자 를 핵 으로 하 여 Al 3 Ni 화합물 의 성장 이 일어나 , B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 이 형성 되 게 된다 . 이 B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 은 타 겟 의 Al 상 중 에 미세 하 게 석출 되 는 경향 이 있 고 , 이 B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 이 Al 상 중 에 소 정량 존재 하 면 , 타 겟 전체 의 조직 미세화 가 진행 하 여 , 아 킹 의 발생 이 억제 되 는 것 으로 추측 하 고 있 다 .