또 , 본 발명 에서 , Al 3 Ni 화합물 , B 함유 입자 ( 예 를 들 면 , AlB 2 입자 ) 의 특정 및 그 비율 , 그 들 의 평균 입경 은 , 제조 된 타 겟 표면 혹은 타 겟 단면 을 , 주사 형 전자 현미경 ( SEM ) 및 에너지 분산 형 X 선 분석 장치 ( EDX ) 에 의해 관찰 하 여 특정 할 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 는 , 배율 200 배 의 SEM 관찰 의 시야 ( 0 . 19 mm 2 ) 에서 , 확인 되 는 Al 3 Ni 화합물 의 석출 물 로서 그 직경 이 5 ㎛ 이상 의 개수 를 모두 센다 . 그리고 , 이 관찰 을 10 시야 에서 행하 고 , 10 시야 에서 카운트 한 Al 3 Ni 화합물 중 에서 , B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 의 석출 물 의 개수 를 세어 , 그 비율 을 산출 한다 . 또한 , 평 균 입경 은 , SEM 관찰 의 시야 내 에서 확인 되 는 Al 3 Ni 화합물 의 석출 물 로서 그 직경 이 5 ㎛ 이상 의 것 모두 에 대하 여 , 그 석출 물 의 장 축경 을 측정 하 여 , 그 평균 을 산출 한다 .