먼저 , 웨이퍼 ( W ) 를 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 로딩 한다 ( S 10 ) . 이송 로봇 ( 40 ) 은 웨이퍼 ( W ) 를 제 1 공정 모듈 ( 10 a ) 로 로딩 하 며 , 웨이퍼 ( W ) 는 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 일 측 에 형성 된 제 1 통로 ( 122 ) 를 통해 제 1 플레이트 ( 140 ) 상 에 놓여진다 . 이때 , 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 내부 의 압력 은 진공 상태 를 유지 한다 ( ' a ' 구간 : 웨이퍼 로딩 구간 )