마이크로파 방전 을 이용 하 여 생성 되 는 플라 즈 마는 , 저압 하 에서 전자 온도 가 낮 은 고밀도 의 플 라즈 마 를 생성 할 수 있 다고 하 는 이점 이 있 으며 , 특히 슬롯 안테나 와 평판 형 의 마이크로파 도입 창 구조 를 채용 함 으로써 , 대구경 플 라즈 마 를 효율 적 으로 생성 할 수 있 다 . 또한 , 자장 을 필요 로 하 지 않 기 때문 에 , 플라 즈 마 처리 장치 의 간략 화 를 도모 할 수 있 다고 하 는 장점 을 갖 고 있 다 .