본 발명 의 용액 의 주어진 최종 용도 적용 에서 목적 하 고 효과 적 일 수 있 을 때 , 목적 하 는 에칭 작용 의 달성 후 이전 에 도포 되 어 있 었 던 마이크 로 전자 장치 로부터 상기 용액 은 , 예컨대 , 헹굼 , 세 척 또는 다른 제거 단계 ( 들 ) 에 의해 쉽 게 제거 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 장치 는 탈 염수 를 포함 하 는 및 / 또는 건조 한 ( 예컨대 , 스핀 - 건조 , 질소 , 증기 - 건조 등 ) 린스 용액 으로 헹궈 질 수 있 다 .