다음 으로 , 제 2 실시 형태 에 따른 열처리 장치 [ 열처리 유닛 ( U 8 A ) ] 에 대해 설명 한다 . 도 9 는 제 2 실시 형태 에 따른 열처리 유닛 ( U 8 A ) 의 일례 를 도시 한 도면 이 다 . 도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 열처리 유닛 ( U 8 A ) 은 , 가열 기구 ( 20 ) 와 , 웨이퍼 승강 기구 ( 30 ) ( 승강 부 ) 와 , 수용 기구 ( 40 ) 와 , 가스 공급 기구 ( 60 ) ( 가스 공급 부 ) 와 , 배기 기구 ( 70 ) ( 배기 부 ) 를 구비 한다 . 이 점 은 , 제 1 실시 형태 에 따른 열처리 유닛 ( U 8 ) 과 동일 하 다 . 또한 , 기체 유로 ( 81 , 82 ) 의 구성 에 대해서 도 열처리 유닛 ( U 8 ) 과 동일 하 다 . 열처리 유닛 ( U 8 A ) 이 열처리 유닛 ( U 8 ) 과 상이 한 점 은 , 배기 기구 ( 70 ) 의 배치 이 다 .