게이트 스 페이서 ( 121 ) 아래 의 게이트 구 조체 ( GS ) 의 측벽 들 상 에 내부 스 페이서 들 ( 112 ) 이 배치 될 수 있 다 . 수직 적 관점 에서 , 내부 스 페이서 들 ( 112 ) 은 서로 인접 한 제 1 채널 패턴 들 ( CH 1 ) 사이 및 최 하부 의 제 1 채널 패턴 ( CH 1 ) 과 제 1 활성 패턴 ( 101 a ) 사이 에 각각 국소 적 으로 배치 될 수 있 다 . 수평 적 관점 에서 , 내부 스 페이서 들 ( 112 ) 중 일부 는 게이트 구 조체 ( GS ) 의 양 측벽 들 과 제 1 소오 스 및 드레 인 패턴 들 ( 130 a ) 사이 에 각각 국소 적 으로 배치 될 수 있 다 . 내부 스 페이서 들 ( 112 ) 은 게이트 절 연막 ( 111 ) 과 접할 수 있 으며 , 절연 물질 로 이루어질 수 있 다 .