O 링 ( 66 c ) 은 단면 이 원형 ( O 형상 ) 인 환상 패킹 이 며 , 베이스 부 ( 66 a ) 의 외주 부 의 하면 에 배치 되 어 있 다 . O 링 ( 66 c ) 의 굵기 는 , 볼록 부 ( 66 b ) 의 높이 보다 작아지 도록 구성 되 어 있 다 . 후술 하 는 누름 부재 ( 67 ) 가 점착 테이프 ( DT ) 를 통해 O 링 ( 66 c ) 에 맞닿 음 으로써 , 볼록 부 ( 66 b ) 의 측면 둘레 부 에 있 어서 프레스 테이블 ( 66 ) 과 점착 테이프 ( DT ) 사이 의 공간 이 밀폐 상태 가 되 도록 구성 된다 . 흡착 구멍 ( 66 d ) 은 , O 링 ( 66 c ) 보다 내측 에 있 어서 의 베이스 부 ( 66 a ) 의 하면 과 , 볼록 부 ( 66 b ) 의 측면 에 복수 형성 되 어 있 다 . 흡착 구멍 ( 66 d ) 은 프레스 테이블 ( 66 ) 의 내부 에 형성 된 유로 를 통해 진공 장치 ( 68 ) 에 연통 접속 되 어 있 다 .