상기 각 마그넷 ( 336 a , 336 b , 336 c ) 은 각 마그넷 ( 336 a , 336 b , 336 c ) 에 연결 된 다수 의 지그 ( 335 a , 335 b , 335 c ) 에 의해 고정 되 고 , 상기 각 지그 ( 335 a , 335 b , 335 c ) 는 다수 의 가이드 부재 ( 333 a , 333 b , 333 c ) 에 연결 되 어 상기 각 가이드 부재 ( 333 a , 333 b , 333 c ) 의 이동 에 의해 상기 각 마그넷 ( 336 a , 336 b , 336 c ) 이 이동 가능 하 게 된다 . 상기 각 가이드 부재 ( 333 a , 333 b , 333 c ) 는 스퍼터링 부 ( 309 ) 의 몸체 ( 313 ) 에 구비 된 다수 의 구동 모터 ( 330 a , 330 b , 330 c ) 에 연결 되 어 , 상기 각 구동 모터 ( 330 a , 330 b , 330 c ) 의 구동 에 의해 상기 각 가이드 부재 ( 333 a , 333 b , 333 c ) 가 상기 캐소드 ( 314 ) 에 대해 수직 방향 을 이동 되 게 된다 .