도 1 a - b 에 도시 된 예시 적 인 내부 인젝션 장치 ( 13 ) 의 세부 로 돌아가 면 , 이 내부 인 젝 터 는 개략 적 으로 도시 되 었 으며 실제 실시 예 를 보여 줄 의도 가 아니 라는 것 이 이해 되 어야 한다 . 그 대신 , 이 도면 은 기본 적 인 기능 부품 들 및 기본 적 인 기능 적 관계 를 보여 주 는데 , 어떤 특정 스케일 일 필요 가 없 다 . 실제 내부 인 젝 터 들 은 도시 된 기능 부품 보다 크 거나 많 은 수 , 상이 한 크기 와 배열 의 부품 들 을 가질 수 있 다 . 이 와 같 은 이해 하 에 , 본 발명 의 내부 인 젝 터 장치 ( 13 ) 는 하나 이상 의 인 젝 터 내부 의 도관 ( 17 ) 을 갖 는데 , 상기 도관 은 공정 개스 를 통상 성장 기판 ( 5 ) 근처 의 성장 챔버 로 운반 및 배포 한다 . 도관 을 갖 는 상기 인 젝 터 는 챔버 벽 근처 에 제한 되 지 않 으며 , 그렇 지 않 으면 상기 챔버 내부 의 본체 내 에서 자유 롭 게 연장 될 수 있 다 . 공정 개스 들 은 통상 상기 성장 챔버 외부 의 공정 - 개스 공급 과 연통 하 는 , 포트 ( port ) , 튜브 , 다른 인 젝 터 등 포트 ( 27 ) 로 도시 된 모든 것 들 로부터 상기 도관 ( 17 ) 의 말 단부 로 도입 된다 . 도입 된 개스 는 도관 을 통해 흘러서 , 예컨대 , 상기 도관 ( 17 ) 과 연통 하 는 , . 도관 포트 ( 21 , 23 , 및 25 ) 과 같 은 복수 의 도관 포트 ( 또는 도관 노즐 ) 을 통해 성장 챔버 ( 1 ) 내 로 분배 된다 . 기술 적 으로 부정확 하 다고 해도 , 편의 및 명료 함 을 위해 도 1 a 는 내부 인 젝 터 ( 13 ) 가 유형 A 개스 , 유형 B 개스 , 및 유형 C 개스 의 세 가지 유형 의 개스 를 도관 포트 ( 21 , 22 , 및 23 ) 각각 을 통해 분배 하 는 것 을 도시 하 며 단일 도관 을 도시 한다 . 실제 구 현예 에서 는 각 유형 의 개스 각각 에 대해 개별 도관 이 있 다는 것 이 이해 되 어야 한다 .