또한 본 발명 은 제 4 단계 ( 도 5 에 도시 ) : 상기 상부 챔버 ( 10 ) 를 작동 시켜 하부 챔버 ( 20 ) 의 도가니 ( 70 ) 로 잠입 비소 투입 용기 ( 11 ) 속 의 기체 화 된 비소 ( 1 ) 를 합성 시키 는 단계 를 거친다 . 즉 , 상기 상부 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 위치 한 비소 투입 용기 ( 11 ) 를 로 드 ( 12 ) 를 통해 하향 시킨다 . 이때 상기 로드 ( 12 ) 는 승하 강 이 자유 롭 게 , 필요 한 속도 로 회전 운동 도 가능 하 다 . 따라서 상기 로드 ( 12 ) 가 하향 하 면 그 끝단 에 고정 된 비소 투입 용기 ( 11 ) 도 하향 을 하 며 하부 챔버 ( 20 ) 의 내부 로 들어오 며 , 고온 으로 승 온 된다 . 이때 상기 비소 투입 용기 ( 11 ) 의 내부 에 비치 된 비소 ( 1 ) 의 경우 그 상태 변화 온도 가 약 614 ℃ 이 기에 비소 ( 1 ) 도 상태 변화 를 거치 게 된다 . 그런데 비소 ( 1 ) 의 경우 승 온 에 따라 고체 에서 액체 로 변하 는 것 이 아니 고 , 기화 를 하 는 기화 물질 이 다 . 따라서 비소 ( 1 ) 는 온도 가 승 온 되 면서 기체 화 하 게 된다 . 즉 , 도시 된 도 5 에서 처럼 , 비소 투입 용기 ( 11 ) 가 하향 하 여 그 끝단 이 산화 붕소 ( 3 ) 를 관통 하 고 갈륨 ( 2 ) 액체 의 내부 에 위치 한 상태 이 다 . 더욱 상세히 설명 하 자면 , 상기 비소 투입 용기 ( 11 ) 의 끝단 에 는 별도 의 노즐 이 형성 되 어 있 어서 , 상기 산화 붕소 ( 3 ) 층 을 관통 하 고 내려와 갈륨 ( 2 ) 액체 에 그 끝단 이 담겨진 상태 를 유지 하 는 것 이 다 . 그러 다 상기 비소 ( 1 ) 가 기체 화 되 며 그 노즐 로 분출 되 면서 상기 갈륨 ( 2 ) 과 화학 적 반응 을 하 게 되 는데 , 그 반응 은 격렬 하 여 끓 어 오를 소지 가 많 다 . 바로 이때 상기 산화 붕소 ( 3 ) 층 이 이 를 제어 하 며 , 제 1 단계 에서 상하부 챔버 ( 10 , 20 ) 내 에 걸 어 준 비활성 기체 의 내 부압 이 막 아 주 게 된다 .