본 발명 은 이러 한 문제 를 해결 하 기 위해 하부 모듈 을 냉각 시키 는 데 에 이용 되 는 냉각 장치 ( chiller ) 를 이용 하 여 상부 모듈 ( top module ) 의 내부 전체 를 냉각 시켜 상부 모듈 의 내부 온도 를 제어 하 는 상부 모듈 온도 제어 장치 및 이 를 구비 하 는 기판 처리 시스템 에 관한 것 이 다 . 이하 에서 는 도면 등 을 참조 하 여 본 발명 을 자세 하 게 설명 하 기 로 한다 .