기체 유로 ( 81 ) 가 도 4 에 도시 된 배치 로 되 어 있 는 경우 , 열 판 ( 21 ) 의 열 이 기체 유로 ( 81 ) 에 전열 가능 한 구성 으로 할 수 있 다 . 즉 , 열 판 히터 ( 22 ) 에 의해 발생 한 열 이 , 고체상 인 열 판 ( 21 ) 에 있 어서 기체 유로 ( 81 ) 의 일부 유로 를 형성 하 는 열 판 ( 21 ) 의 면 까지 포함 하 여 열전도 에 의해 전해진다 . 그 기체 유로 ( 81 ) 를 형성 하 는 열 판 의 면 이 제 2 기체 와 접촉 한다 . 이러 한 구성 으로 한 경우 , 기체 유로 ( 81 ) 내 의 기체 가 열 판 ( 21 ) 으로부터 의 열 에 의해 가열 될 수 있 다 . 또한 , 상기 구조 는 기판 주위 의 일부 뿐 만 아니 라 대체로 전체 주위 에 걸쳐 형성 되 어 있 기 때문 에 , 기판 의 온도 를 불 균일 하 게 하 는 영향 도 억제 된다 .