매크로 카메라 ( 31 ) 는 , 비교 적 넓 은 시야 ( 촬상 범위 ) 를 갖 고 있 고 , 유지 테이블 ( 11 ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 표면 ( 피연 삭면 ) 을 촬상하기 위해서 설치 되 어 있 다 . 한편 , 마이크 로 카메라 ( 33 ) 는 , 비교 적 좁 은 시야 ( 촬상 범위 ) 를 갖 고 있 고 , 유지 테이블 ( 11 ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 외주 ( 에지 ) 를 촬상하기 위해서 설치 되 어 있 다 .