제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 는 평면 형상 이 다각형 ( 바람직 하 게 는 , 적어도 6 개 의 변 을 가지 는 다각형 ) 으로 형성 된다 . 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 있 어서 마주 보 는 2 개 의 변 ( 27 a ) 에 게이트 밸브 를 거쳐서 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 가 각각 연결 되 고 , 그 들 2 개 의 변 ( 27 a ) 에 인접 해서 상기 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 대하 여 경사져 향하 고 있 는 2 개 의 변 ( 27 b ) 에 게이트 밸브 를 거쳐서 2 개 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 가 각각 연결 된다 . 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 일부 ( 변 ( 27 a , 27 d ) ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 에 상하 방향 으로 겹쳐 있 지만 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 2 개 의 변 ( 27 b ) 은 대기 반 송실 ( 25 ) 과 는 상하 방향 으로 겹치 지 않 는다 . 대기 반 송실 ( 25 ) 과 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 의 간섭 을 피하 기 위해서 이 다 .