액정 표시 장치 의 제조 라인 등 에서 는 , 다른 처리 장치 등 의 사이 에서 로봇 을 사용 하 여 기판 등 의 워크 를 반송 한다 . 그 경우 , 워크 의 반송 은 , 반 입원 으로 되 는 처리 장치 의 로드 로크 실 이나 카세트 에 대하 여 로봇 의 핸드 를 삽입 하 여 그 핸드 상 에 워크 를 보유 지지 하 고 , 로드 로크 실 등 으로부터 워크 를 실 은 핸드 를 인출 하 고 , 핸드 에 워크 를 실 은 채 로봇 의 암 혹은 로봇 전체 를 이동 시키 고 , 이어서 , 반입 처 로 되 는 처리 장치 의 로드 로크 실에 핸드 를 꽂 아 넣 어 그 로드 로크 실에 워크 를 격납 하 고 , 그 후 , 핸드만 을 로드 로크 실 로부터 인출 함 으로써 행해진다 . 핸드 는 , 예 를 들 어 포크 형 의 형상 으로 한다 . 로봇 은 , 예 를 들 어 2 개 의 암 을 접속 하 여 구성 되 고 선단 에 핸드 를 구비 한 수평 다 관절 기구 와 , 수평 다 관절 기구 째 로 핸드 를 상하 방향 으로 승강 시키 는 승강 기구 와 , 연직 축 을 회전축 으로 하 여 수평 다 관절 기구 의 전체 를 수평면 내 에서 선회 시키 는 회전 기구 를 구비 하 는 것 이 다 . 수평 다 관절 기구 는 , 그 2 개 의 암 이 이루 는 각 이 작아지 거나 커지 거나 함 으로써 동일 한 직선 상 에서 핸드 를 전진 시키 거나 혹은 후퇴 시키 도록 움직인다 . 수평면 내 에서 핸드 가 움직이 는 방향 의 배향 을 바꾸 기 위해서 는 , 회전 기구 에 의하 여 수평 다 관절 기구 째 로 선회 시킬 필요 가 있 다 . 또한 로봇 전체 를 수평면 내 에서 직선 이동 시키 는 반송 기구 가 마련 된다 . 이 와 같 은 로봇 의 일례 가 특허 문헌 1 에 기재 되 어 있 다 . 이하 의 설명 에 있 어서 , 핸드 의 전진 및 후퇴 의 방향 을 전후 방향 이 라 칭하 고 , 전후 방향 과 직교 하 는 방향 을 좌우 방향 이 라 칭한다 .