제거 될 수 있 는 추가 유형 의 기여 도 는 정렬 시스템 모델 잔차 의 오버레이 기여 도 이 며 , 이 는 리소그래피 장치 에 의해 제공 될 수 있 다 . 잔차 에서 오버레이 기여 도로 의 변환 은 시뮬레이션 , 수학 적 모델 링 및 / 또는 실험 을 통해 결정 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , 정렬 시스템 모델 잔차 는 상이 한 패턴 전사 단계 에 대해 상이 할 수 있 으며 , 따라서 상이 한 패턴 전송 단계 에 대한 정렬 시스템 모델 잔차 의 조합 / 차이 가 사용 되 어 오버레이 기여 도 를 획득 할 수 있 다 . 실시 예 에서 , 정렬 모델 잔차 는 기판 높이 에 대해 보정 될 수 있 다 .