기본 적 인 증착 시스템 운용 방법 은 도 4 내지 도 5 의 설명 과 동일 하 며 전처리 된 기판 이 반입 되 는 곳 에 척 챔버 , 플립 챔버 를 배열 하 고 , 금속 증착 을 마친 후 디 마스크 챔버 에 인접 하 여 플립 챔버 , 디 척 ( De - chuck ) 챔버 및 척 리턴 라인 을 추가 구성 하 여 기판 사이즈 가 더 큰 대면 적 조명 증착 시스템 을 운용 할 수 있 다 .