앞서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 증착 장치 에 따르 면 , 증착 공정 동안 기체 차단 클램프 가 기판 지지대 와 기판 으로부터 이격 되 어 , 기체 차단 클램프 와 기판 의 가장자리 사이 에 불활성 기체 가 흐름 으로써 , 기판 과 기판 지지대 사이 로 공정 기체 가 유입 되 지 않 아 , 불 필요 한 박막 이나 오염물 생성 이 억제 됨 과 동시 에 , 기체 차단 클램프 가 기판 가장자리 로부터 이격 되 어 있 어 , 기체 차단 클램프 를 통한 기판 의 열 손실 이 없 어 지 고 , 기판 위 에서 증착 온도 의 불 균일 성 에 의한 불 균일 한 박막 증착 이 일어나 지 않 게 된다 . 따라서 , 기판 위 의 박막 균 일도 를 높임 과 동시 에 기판 후면 의 불 필요 한 박막 증착 이나 오염물 의 생 성 을 방지 함 으로써 , 장비 의 생산 성 을 높일 수 있 다 .