따라서 , 특히 까다로운 적용 예 에서 는 , 특히 저 오염 처리 와 낮 은 청정 질 등급 ( US FED STD 209 E 에 따름 , superseded by ISO 14644 - 1 ) , 예컨대 청정실 등급 100 이 조합 된다 . 100 ( ISO 5 ) 등급 에서 , 최대 직경 이 0 . 5 ㎛ 인 최대 3 . 5 입자 가 리터 당 함유 될 수 있 다 .