상기 와 같 은 공정 조건 을 갖추 는 공정 공간 으로 제공 된 TMA 가스 와 NH 3 가스 는 상기 공정 공간 에서 반응 하 여 제 2 반응물 을 형성 한다 . 상기 제 2 반응물 이 형성 된 후 , 상기 제 2 반응물 이 상기 기판 에 형성 된 제 1 반응물 과 반응 하 게 된다 . 이 로써 , 상기 기판 상 에 티타늄 알루미늄 질화 막 을 형성 할 수 있 다 . ( 단계 S 130 )