도 1 은 본 발명 의 실시 형태 에 따른 마이크 로 머신 시스템 ( 3 ) 의 예 를 도시 하 는 도면 , 도 2 는 가변 용량 디바이스 ( 11 ) 의 제어 전압 VC 와 정전 용량 CP 와 의 관계 를 도시 하 는 도면 , 도 3 은 반전 구동 에서 의 제어 전압 VC 의 전압 파형 의 예 를 도시 하 는 도면 , 도 4 는 구동 회로 ( 12 ) 의 예 를 도시 하 는 도면 , 도 5 는 가변 제어 전압 VC 와 가변 용량 디바이스 ( 11 ) 에 흐르 는 전류 i 와 의 파형 의 관계 를 도시 하 는 도면 , 도 6 은 전류 i 와 시상수 τ 와 의 관계 를 설명 하 기 위한 도면 , 도 7 은 정전 용량 CP 의 값 에 따라서 전류 i 의 파형 이 변화 되 는 모습 을 도시 하 는 도면 , 도 8 은 전류 i 와 평균값 Im 과 의 관계 를 설명 하 기 위한 도면 , 도 9 는 환산 테이블 의 예 를 도시 하 는 도면 이 다 .