출력 층 ( 303 ) 으로부터 출력 된 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 은 , 정상 범위 와 비교 된다 . 이 정상 범위 는 , 상술 한 센터 링 동작 을 실행 한 후 에 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 이 상기 허용 범위 에 들 어 있 을 때 의 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 의 데이터 집합체 이 다 . 출력 층 ( 303 ) 으로부터 출력 된 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 이 정상 범위 로부터 벗어나 는 경우 에 는 , 학습 용 으로 작성 된 , 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 적어도 포함 하 는 데이터 를 뉴 럴 네트워크 의 입력 층 ( 301 ) 에 다시 입력 하 였을 때 , 출력 층 ( 303 ) 으로부터 출력 되 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 이 정상 범위 에 들어가 도록 , 가중치 파라미터 를 자동 으로 조정 해 간다 . 이 와 같이 , 학습 완료 모델 은 , 입력 층 ( 301 ) 으로 의 , 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 적어도 포함 하 는 데이터 의 입력 , 출력 층 ( 303 ) 으로부터 출력 된 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 과 정상 범위 의 비교 및 가중치 파라미터 의 조정 을 반복 하 여 행함 으로써 구축 된다 . 또한 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 검증 용 데이터 를 뉴 럴 네트워크 에 입력 했 을 것 에 , 뉴 럴 네트워크 로부터 출력 된 데이터 가 , 정상 범위 에 포함 되 는 데이터 에 상당 하 는지 여부 를 검증 하 는 것 이 바람직 하 다 .