상기 가스 제 공부 ( 150 ) 는 챔버 ( 101 ) 의 상부 일 측면 에 형성 되 어 있 어 , 챔버 ( 101 ) 내 방전 이 이루어질 수 있 는 방전 가스 를 제공 할 뿐 만 아니 라 , 기판 ( 110 ) 상 의 박막 을 식각 하 기 에 용이 한 가스 를 챔버 ( 101 ) 내부 로 제공 한다 . 공급 되 는 가스 로 는 산소 , 질소 , 불소 , 수소 및 아르곤 중 적어도 하나 의 비활성 가스 를 포함 한다 .