이송 유닛 ( 400 ) 은 , 이송 가이드 결합 부 ( 430 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이송 가이드 결합 부 ( 430 ) 는 , 가이드 모듈 ( 310 ) 에 이동 가능 하 게 결합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 이송 가이드 결합 부 ( 430 a ) 는 , 제 1 가이드 부 ( 310 a ) 에 이동 가능 하 게 결합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 제 2 이송 가이드 결합 부 ( 430 b ) 는 , 제 2 가이드 부 ( 310 b ) 에 이동 가능 하 게 결합 될 수 있 다 . 이송 가이드 결합 부 ( 430 ) 의 이동은 , 가이드 모듈 ( 310 ) 에 의하 여 제한 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이송 가이드 결합 부 ( 430 ) 의 이동은 , 가이드 모듈 ( 310 ) 의 길 이 방향 으로 제한 될 수 있 다 .