상기 관점 에서 , 기판 으로부터 오염물 입자 를 제거 하 기 위해 세정 재료 를 이용 하 는데 있 어서 , 린스 유체 의 속도 는 중요 한 파라미터 이 다 . 일 실시 형태 에서 , 린스 유체 속도 는 약 1 m / s ( meter per second ) 로 제어 된다 . 다른 실시 형태 에서 , 린스 유체 속도 는 약 0 . 5 m / s 에서 약 10 m / s 까지 의 범위 내 에서 제어 된다 . 또 다른 실시 형태 에서 , 린스 유체 속도 는 약 0 . 1 m / s 에서 약 100 m / s 까지 의 범위 내 에서 제어 된다 .