노광 모듈 ( 400 ) 은 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 을 중심 으로 현상 모듈 ( 240 ) 과 마주 보 도록 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 의 타 측 에 설치 되 며 , 패턴 이 형성 된 마스크 를 사용 하 여 기판 에 형성 된 포토레지스트 로 광 을 조사 하 는 공정 을 수행 한다 . 노광 모듈 ( 400 ) 은 광원 으로 원 자외선 ( Deep Ultra - Violet , DUV ) 을 사용 할 수 있 다 . 예컨대 , 광원 으로 는 불화 크립톤 엑 시머 레이저 ( KrF Excimer Laser ) 또는 불화 아르곤 엑 시머 레이저 ( ArF Excimer Laser ) 가 사용 된다 .