본 공정 에서 는 , 상기 노광 된 레지스 트 막 을 현상 한다 . 이 에 의해 , 소정 의 레지스 트 패턴 을 형성 할 수 있 다 . 현상 후 에 는 물 또는 알코올 등 의 린스 액 으로 세정 하 고 , 건조 시키 는 것 이 일반 적 이 다 . 현상 공정 에 있 어서 의 현상 방법 은 , 알칼리 현상 이 어도 유기 용매 현상 이 어도 된다 . 유기 용매 현상 의 경우 , 노 광부 가 레지스 트 패턴 을 형성 하 기 때문 에 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 이 막 수축 억제 성 이 우수 한 것 에 의한 이익 이 크 다 .