그러나 이 와 같 은 금속 계 케미컬 ( chemical ) 소스 를 사용 할 경우 에 는 루테늄 막 ( 17 ) 을 형성 하 기 위한 증착 장비 에 별도 로 관리 되 는 소스 공급 라인 ( line ) 을 추가 해야 한다 . 이 소스 공급 라인 은 라인 가열기 , 소스 보관 을 위한 캐니 스터 ( canister ) 및 소스 공급 을 위한 많 은 밸브 등 을 포함 하 기 때문 에 , 실제 양산 을 위한 공정 및 장비 를 복잡 화 시키 는 원인 이 된다 .