특허 문헌 2 에 기재 된 종래 기술 에 있 어서 는 , 고주파 발진기 가 구비 되 어 있 지만 , 이것 은 고주파 신호 를 초음파 진동자 에 주 기 위한 것 으로 , 도전 성막 을 구비 한 웨이퍼 에 대한 고주파 전자파 의 투과 · 반사 등 의 특성 을 이용 하 여 이 도전 성막 이 제거 되 는 전후 상태 를 검지 한다고 하 는 본 발명 에 관한 기술 에 대하 여 , 조금 도 근접 하 는 것 도 , 시사 하 는 것 도 아니 다 .