예 를 들 어 , 제 1 로봇 ( 111 ) 에 구비 된 슬롯 이 4 개 라면 , 공용 로더 ( 400 ) 에 구비 되 는 슬롯 은 8 개 일 수 있 다 . 이때 , 아래 에 있 는 4 개 의 슬롯 은 제 1 로봇 ( 111 ) 으로부터 이송 된 4 개 의 웨이퍼 각각 이 안착 되 는 슬롯 이 며 , 위 에 있 는 4 개 의 슬롯 은 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 로부터 이송 된 4 개 의 웨이퍼 각각 이 안착 되 는 슬롯 일 수 있 다 .