또 한편 , 상기 제 어부 ( 530 ) 는 표시기 ( 550 ) 와 전기 적 으로 연결 되 어 , 상기 광 검출기 ( 300 ) 로부터 검출 되 는 광량 값 과 , 상기 제 1 , 2 엔 코더 들 ( 512 , 522 ) 로부터 전송 되 는 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 또는 상기 고정부 ( 400 ) 의 회전각 을 가시 화 시킬 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 표시기 ( 550 ) 에 는 상기 마스크 ( 100 ) 로 의 입사 되 는 광 의 입사각 이 , 상기 제 어부 ( 530 ) 에 설정 된 설정 입사각 ( θ ) 과 동일 하 게 되 는지 의 여부 와 , 이 에 따른 광량 값 을 가시 적 으로 확인 할 수 있 다 .