본 발명 은 , 제 6 관점 에서 보 면 , 실질 적 으로 소정 평면 을 따라 이 동체 를 구동 하 는 이 동체 구동 시스템 으로서 , 상기 소정 평면 과 평행 한 면 내 에서 서로 직교 하 는 제 1 , 제 2 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 2 차원 격자 를 갖 는 스케일 에 검 출광 을 조사 하 고 , 상기 스케일 로부터 의 광 을 수 광 하 는 헤드 를 갖 고 , 상기 헤드 의 계측 값 에 기초 하 여 , 상기 제 1 , 제 2 방향 을 포함 하 는 상기 소정 평면 내 의 적어도 2 자유 도 방향 에 관한 상기 이 동체 의 위치 정보 를 계측 하 는 인코더 시스템 과 ; 상기 인코더 시스템 의 계측 정보 에 기초 하 여 , 상기 이 동체 를 상기 소정 평면 을 따라 구동 하 는 구동 장치 를 구비 하 는 이 동체 구동 시스템 이 다 .