상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 따른 플 라즈 마 검사 장치 는 제조 설비 의 가스 공급 라인 과 연결 되 어 가스 를 공급 받 고 , 상기 가스 및 상기 가스 에 포함 된 불순물 을 플 라즈 마 상태 로 변환 하 여 광 을 생성 하 는 플 라즈 마 발생 장치 ; 상기 플 라즈 마 발생 장치 로부터 의 상기 광 을 제공 받 아 분광 하 여 스펙트럼 을 형성 하 고 , 상기 광 스펙트럼 을 전기 신호 로 변환 하 는 분광 장치 ; 및 상기 분광 장치 로부터 의 상기 전기 신호 를 제공 받 아 상기 가스 및 상기 불순물 의 성분 과 상태 를 분석 하 는 중앙 통제부 ; 를 포함 하 여 구성 된다 .