상기 복수 의 제 1 마스크 라인 을 상기 복수 의 제 1 영역 마스크 패턴 과 상기 복수 의 제 2 영역 마스크 패턴 으로 분리 시키 는 단계 는 상기 복수 의 제 1 마스크 라인 위 에 상기 복수 의 제 1 마스크 라인 중 일부 를 노출 시키 는 개구 가 형성 된 분리 용 마스크 패턴 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 개구 를 통해 노출 되 는 상기 제 1 마스크 라인 을 제거 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 개구 는 상기 접속 영역 에 있 는 상기 제 1 마스크 라인 의 연장 방향 과 는 다른 방향 으로 연장 되 는 장축 을 가지 는 슬릿 ( slit ) 형상 을 가지 도록 형성 될 수 있 다 .