상술 한 바 와 같이 , 종래 의 경우 , 대 변위 거동 을 얻 으려면 선형 구동 이 불 가능 하 였 고 , 선형 구동 을 얻 으려면 대 변위 거동 이 불 가능 하 였 다 . 또한 , 선형 구동 과 대 변위 거동 을 모두 얻 을 수 있 는 종래 의 콤 전극 구조 의 경우 , 지나치 게 복잡 하 여 실험실 수준 에서 만 제작 이 가능 하 였 다 . 따라서 , 대량 양산 은 거의 불 가능 하 였 고 제조 시간 및 비용 도 많이 소요 되 었 다 . 그러나 , 본 발명 의 경우 , 베이스 기판 의 돌출부 를 이용 하 여 고정 콤 전극 을 구동 콤 전극 과 겹치 도록 함 으로써 , 간단 하 고 저렴 하 게 대 변위 거동 과 선형 구동 이 모두 가능 한 수직 콤 전극 구조 를 제공 할 수 있 다 .