도 8 에 도시 된 실시 형태 에서 , 플 라즈 마 챔버 라이너 ( 118 ) 는 평탄 한 타일 들 ( 119 ) 과 같 은 인터로킹 세라믹 라이너 엘리먼트 들 을 포함 한다 . 플 라즈 마 에 대해 전기 접지 경로 를 제공 하 기 위해 , 타일 들 ( 119 ) 은 실리콘 또는 실리콘 탄화물 과 같 은 전기 전도성 재료 로 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 재료 는 알루미늄 을 함유 하 지 않 으며 따라서 프로세싱 된 기판 의 Al 오염 물질 을 저감 시키 는 추가 된 이점 을 제공 한다 . 바람직 한 실시 형태 에 따르 면 , SiC 타일 들 은 알루미늄 배 킹 판 ( 336 ) 에 본딩 된다 . 바람직 한 본딩 재료 는 SiC 및 Al 의 상이 한 열팽창 계수 에 의해 야기 된 측면 응력 ( lateral stress ) 을 흡수 할 수 있 는 전기 전도성 탄성 중합체 시트 점착제 ( 140 ) 이 다 . 각 타일 및 배 킹 판 어셈블리 는 내부 프레임 ( 342 ) 및 외부 프레임 ( 344 ) 을 포함 하 는 탄성 적 으로 굽힘 가능 한 프레임 ( 340 ) 에 의해 챔버 벽 에 부착 될 수 있 다 . 라이너 의 온도 제어 는 전기 리드 에 의해 전력 을 공급 받 는 가열기 ( 142 ) 및 온도 제어 된 부재 ( 350 ) 에 의해 달성 된다 .