전 구체 의 형태 , 예컨대 고체 나 액체 형태 에 따라 , " 바람직 한 전구체 저장 및 분배 패키지 는 발명 의 명칭 이 "" SYSTEM FOR DELIVERY OF REAGENTS FROM SOLID SOURCES THEREOF "" 이 고 Paul J . Marganski 등 의 명의 로 출원 된 미국 가 특허 출원 제 60 / 662 ", 515 호 ( WO 2006 / 101767 ) 에 설명 되 어 있 는 것 과 , 미국 특허 제 518 , 528 호 , 미국 특허 제 5 , 704 , 965 호 , 미국 특허 제 5 , 704 , 967 호 , 미국 특허 제 5 , 707 , 424 호 , 미국 특허 제 6 , 101 , 816 호 , 미국 특허 제 6 , 089 , 027 호 , 미국 특허 출원 공보 제 2004 / 0206241 호 , 미국 특허 제 6 , 921 , 062 호 , 미국 특허 출원 제 10 / 858 , 509 호 ( 공보 제 2005 / 0006799 호 ) , 및 미국 특허 출원 제 10 / 022 , 298 호 에 다양 하 게 설명 되 어 있 는 저장 및 분배 장치 를 포함 하 며 , 이 들 특허 는 각각 참고 에 의해 전체 가 본원 에 포함 된다 .