이어서 , 반송 공정 ( 단계 S 35 ) 에서 는 , 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 28 또는 단계 S 34 ) 에서 계산 한 어긋남 량 ( Δ X , Δ Y ) 에 의해 , 다음 처리 모듈 의 기판 유지 부 에 반송 할 때 에 , 어긋남 량 만큼 포크 의 반송 량 을 보정 하 여 반송 처 의 유닛 의 필요 한 위치 ( 전달 위치 ) 에 놓 아 두 도록 웨이퍼 ( W ) 를 반송 한다 . 반송 공정 ( 단계 S 35 ) 에서 는 , 산출 한 중심 위치 o ' 가 기준 위치 o 가 되 도록 , 다음 처리 모듈 의 기판 의 전달 위치 에 보정 한다 .