또한 , 본 실시 예 에 따른 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 레이 저광 을 사용 하 여 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 과 몰드 ( M ) 의 평탄면 ( MF ) 사이 의 거리 를 측정 하 는 거리 측 정부 ( 511 ) 를 구비 한다 . 거리 측 정부 ( 511 ) 는 , 기판 ( WT ) 및 몰드 ( M ) 의 상방 으로부터 레이 저광 을 조사 하 는 것 에 의해 , 기판 ( WT ) 의 형성 면 ( WTf ) 과 몰드 ( M ) 의 평탄면 ( MF ) 사이 의 거리 를 측정 한다 . 그리고 , 헤드 구동 부 ( 36 ) 는 , 거리 측 정부 ( 511 ) 에 의해 측정 된 거리 에 기초 하 여 , 몰드 ( M ) 를 유지 하 는 헤드 ( 2033 H ) 를 기판 ( WF ) 을 유지 하 는 스테이지 ( 2031 ) 에 접근 시킨다 . 이 에 의해 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 수지 부 ( R ) 중 몰드 ( M ) 를 수지 부 ( R ) 에 가압 한 상태 에서 요부 ( MT ) 의 외주 부 에 튀어나오 는 부분 의 두께 를 제어 할 수 있 기 때문 에 , 수지 부 ( R ) 의 형상 을 고정 밀도 로 조정 할 수 있 다 .