" 극 자외선 ( "" EUV "") 광 ", 예 를 들 면 약 5 - 100 nm 이하 의 파장 을 가지 고 및 약 13 nm 의 파장 에서 의 광 을 포함 하 는 전자기 방사선 ( 또한 , 때때로 소프트 x - 레이 라고 도 하 는 ) 이 예 를 들 면 , 실리콘 웨이퍼 와 같 은 , 기판 에서 매우 작 은 피처 를 산출 하 기 위한 포토 리소그래피 공정 에서 사용 될 수 있 다 .