도 3 내지 도 7 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 건조 챔버 ( 1 ) 는 상부 하우징 ( 10 ) , 상부 강 화처 리부 ( 11 ) , 하부 하우징 ( 20 ) , 하부 강 화처 리부 ( 21 ) , 실링 부 ( 30 ) , 완충 부재 ( 35 ) , 기판 배치 판 ( 40 ) , 일체 형 공급 / 배출 포트 ( 50 ) , 상부 공급 포트 ( 60 ) , 기판 배치 판 지지 부 ( 70 ) , 기판 지지 부 ( 80 ) 및 하우징 구동 부 ( 90 ) 를 포함 한다 .