또 , 도 1 에 있 어서 는 , 기판 처리 장치 ( 100 A ) , 기판 처리 장치 ( 100 B ) 및 기판 처리 장치 ( 100 C ) 는 반송 로봇 ( 33 ) 의 X 축 정 방향 에 위치 하 도록 나타내 고 있 지만 , 기판 처리 장치 ( 100 A ) , 기판 처리 장치 ( 100 B ) 및 기판 처리 장치 ( 100 C ) 가 배치 되 는 위치 는 이 경우 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 , 반송 로봇 ( 33 ) 의 X 축 정 방향 , Y 축 정 방향 또는 Y 축 부 방향 의 어느 방향 에 배치 되 어 있 어도 된다 .