레이 저실 ( 10 ) 의 내부 는 Ne , Xe , HCl 등 의 레이저 가스 가 충전 되 어 있 다 . 또한 , 레이 저실 ( 10 ) 의 내부 에 는 방전 전극 ( 미 도시 ) 이 구비 되 어 있 는데 , 레이저 가스 를 여기 시켜 레이저 빔 을 발진 한다 . 레이 저실 ( 10 ) 은 배관 ( 60 ) 및 각 밸브 ( 21 a , 22 a , 23 a , 30 a ) 을 통하 여 각 가스 공급 부 ( 21 , 22 , 23 ) 및 배기 부 ( 30 ) 와 접속 되 어 있 고 , 또한 에너지 산포 입력 장치 ( 50 ) 와 연결 되 어 있 다 .