상기 제 2 폴리 실리콘 층 에 , 상기 HBr 을 25 내지 125 mT 의 압력 하 에 120 내지 650 sccm 으로 120 초 동안 공급 하 며 ; 상기 HeO 2 를 25 내지 125 mT 의 압력 하 에 8 내지 36 sccm 으로 120 초 동안 공급 하 며 ; 그리고 , 상기 He 를 25 내지 125 mT 의 압력 하 에 125 내지 225 sccm 으로 120 초 동안 공급 하 는 것 을 특징 으로 한다 .