연마제 의 함량 이 동일 하 고 아졸 화합물 의 함량 이 다른 제조 예 4 내지 7 의 슬러리 조성물 들 을 비교 하 면 , 아졸 화합물 의 함량 이 증가 하 더라도 절 연막 의 연마 속도 는 크 게 변화 하 지 않 는 것 으로 나타났 다 . 그러나 아졸 화합물 을 사용 하 지 않 는 경 우 에 는 상변화 물질 층 의 연마 속도 가 매우 빠르 지만 , 아졸 화합물 을 포함 하 는 슬러리 조성물 들 은 상변화 물질 층 의 연마 속도 가 1 , 000 Å / min 이하 로 크 게 감소 하 는 것 으로 나타났 다 . 따라서 아졸 화합물 은 상변화 물질 층 의 연마 억제제 로 작용 하 며 , 상변화 물질 층 의 상대 적 인 연마 속도 를 낮추 어서 절 연막 에 대한 상변화 물질 층 의 연마 선택 비 를 낮추 기 위해서 는 슬러리 조성물 이 아졸 화합물 을 포함 하 는 것 이 바람직 함 을 알 수 있 다 . 예 를 들 어 , 저 선택 비 슬러리 조성물 은 아졸 화합물 을 0 . 01 중량 % 내지 10 중량 % 로 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 더욱 바람직 하 게 는 0 . 05 내지 1 중량 % 로 포함 함 을 알 수 있 다 .