도 33 은 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 을 출력 하 는 학습 완료 모델 의 일 실시 형태 를 나타내 는 모식도 다 . 도 33 에 도시 하 는 바 와 같이 , 학습 완료 모델 을 구축 하 기 위한 기계 학습 에서 는 , 교사 데이터 가 사용 된다 . 기계 학습 에 사용 되 는 교사 데이터 는 , 적절 한 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 을 출력 하 기 위한 학습 완료 모델 을 구축 할 때 필요 로 하 는 학습 용 데이터 세트 이 다 . 이 교사 데이터 는 , 예 를 들 어 정상 데이터 , 이상 데이터 또는 참조 데이터 이 다 . 교사 데이터 는 , 예 를 들 어 상술 한 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 , 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞추 기 위한 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 회전 량 및 이 동량 , 상술 한 센터 링 동작 을 실행 한 후 에 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 , 및 상기 허용 범위 를 포함 하 는 데이터 세트 이 며 , 동작 제 어부 ( 75 ) 의 기억 장치 ( 110 ) 에 미리 기억 되 어 있 다 . 초기 상대 위치 를 나타내 는 요소 a , b , θ 를 교사 데이터 에 첨가 해도 된다 .