이어서 , 대기 반송 로봇 ( 3 a ) 의 승강 기구 ( 3 d ) 가 구동 하 고 , 로봇 핸드 ( 3 c ) 는 방향 ( LD ) 으로 하강 한다 . 로봇 핸드 ( 3 c ) 에 의해 유지 된 처 리전 기판 ( SP ) 은 기판 지지 핀 ( 30 ) ( 30 a , 30 b , 30 c ) 의 볼 베어링 ( 32 ) 에 접촉 하 고 , 로봇 핸드 ( 3 c ) 에서 기판 지지 핀 ( 30 ) 에 처리 전 기판 ( SP ) 이 수도 된다 .