상기 제 1 도어 위치 ( A - 1 ) 는 , 상기 도어 ( 200 ) 의 상단 높이 ( h 1 ) 가 상기 개구부 ( 120 ) 의 하단 높이 ( h 2 ) 보다 하측 에 위치 할 때 까지 상기 도어 ( 200 ) 가 상기 제 2 도어 위치 ( A - 2 ) 로부터 하강 한 위치 로 , 상기 개구부 ( 120 ) 를 통해 상기 내부 공간 ( S ) 에 출입 하 는 상기 기판 의 이동 을 방해 하 지 않 도록 하 기 위한 위치 이 다 .