다음 으로 , 도 13 에 도시 하 는 바 와 같이 , 예컨대 황산 과수 등 약액 을 공급 하 여 , 습식 에칭 에 의해 , 제 2 레지스 트 패턴 ( P 2 ) 을 박리 한다 . 단 , 황산 과수 대신 에 , 예컨대 암모니아 과수 를 사용 해도 좋 다 . 또 , 제 2 영역 ( R 2 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 을 후퇴 시켰 기 때문 에 , 제 2 레지스 트 패턴 ( P 2 ) 을 박리 한 현단 계 에서 는 , 제 1 영역 ( R 1 ) 과 제 2 영역 ( R 2 ) 에서 , 산화 막 ( 5 ) 의 높이 에 편차 가 존재 하 고 있 다 . 즉 , 제 1 영역 ( R 1 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 은 제 2 영역 ( R 2 ) 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 보다 높 게 되 어 있 다 .