도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 텍 스쳐 링 장치 는 내부 에 수산화 칼륨 ( KOH ) 용액 등 의 식각 용 에 천트 ( 10 ) 가 채워져 있 으며 , 식각 용 에 천트 ( 10 ) 에 의해 기판 ( 30 ) 의 식각 이 이루어지 는 공간 을 제공 하 는 배스 ( 50 ) 를 구비 한 챔버 ( 55 ) 와 , 배스 ( 50 ) 에 채워져 있 는 식각 용 에 천트 ( 10 ) 에 진동 을 발생 시키 는 진동 발생 부 ( 70 ) 를 포함 하 여 이루어진다 .