상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로부터 반사 되 는 광 의 반 사량 을 균일 하 게 조절 하 기 위하 여 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 의 상기 투명 층 ( 110 a ) 은 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 의 상기 고밀 도 흡광 막 패턴 영역 ( 120 a ) 에 대응 하 도록 배치 될 수 있 다 . 이 와 마찬가지 로 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 의 상기 반투명 층 ( 110 b ) 은 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 의 상기 저밀 도 흡광 막 패턴 영역 ( 120 b ) 에 대응 하 도록 배치 될 수 있 다 . 그 결과 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 로부터 반사 되 어 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로 입사 된 후 , 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로부터 반사 되 는 광 의 반사 량 은 균일 할 수 있 다 .