상술 한 실시 형태 에 있 어서 , 필터 ( 63 ) 는 , 송액 부 ( 60 ) 내 에 마련 되 어 있 다 . 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 큰 상태 에서 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 되 면 , 송액 부 ( 60 ) 내 에서 , 필터 ( 63 ) 로부터 파티클 이 발생 하 는 정도 의 처리 액 의 헌팅 이 생길 우려 가 있 다 . 이 에 반해 , 상기 구성 에서 는 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 후 에 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 된다 . 그 때문 에 , 송액 부 ( 60 ) 내 에서 의 처리 액 의 헌팅 에 기인 한 파티클 의 발생 의 억제 에 유용 하 다 .