플라 즈 마 발생 장치 로 는 플 라즈 마 생 성 에너지원 에 따라 축전 용량 성 플 라즈 마 ( Capacitively Coupled Plasma ) 발생 장치 , 유도 결합 형 플 라즈 마 ( Inductively Coupled Plasma , ICP ) 발생 장치 및 마이크로웨이브 플 라즈 마 ( Microwave Plasma ) 발생 장치 등 이 제안 되 어 있 다 .