그런 다음 , 상기 제 1 리세 스 게이트 영역 ( T ) 바닥 부 의 스 페이서 용 절 연막 을 선택 적 으로 제거 한 후 , 상기 제 1 리세 스 게이트 영역 ( T ) 의 측벽 에 잔류 하 는 스 페 이 서용 버퍼 막 ( 328 ) 을 식각 마스크 로 제 1 리세 스 게이트 영역 ( T ) 의 바닥 면 을 등방성 식각 하 여 구형 의 제 2 리세 스 게이트 영역 ( T ') 을 형성 한다 .