여기 서 , 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 상부 면 이 상기 지지대 ( 140 ) 와 소정 경사 를 갖 도록 회전 시키 기 위해 상기 플레이트 ( 130 ) 와 지지대 ( 140 ) 의 내부 에 는 가스 공급 라인 ( 160 ) 이 형성 되 며 , 상기 가스 공급 라인 ( 160 ) 은 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 하부 와 연통 된다 . 또한 , 상기 가스 공급 라인 ( 160 ) 에 는 가스 공급 부 ( 미 도시 ) 가 연결 되 며 , 상기 가스 공급 부 로부터 가스 공급 라인 ( 160 ) 에 불활성 가스 , 질소 또는 공기 ( Air ) 가 주입 될 수 있 다 . 여기 서 , 상기 가스 공급 라인 ( 160 ) 은 상기 기판 지지 부 ( 120 ) 내 에 직접 가공 하 여 형성 할 수 도 있 으나 , 제작 상 의 편의 를 감안 하 여 상기 기판 지지 부 ( 120 ) 를 상판 및 하판 으로 나누 어 제작 된 뒤 결합 하 는 방식 으로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .