또한 , 상술 한 바 와 같이 본 발명 의 제 3 실시 에 에 따른 플 라즈 마 건 ( 30 ) 에 포함 된 보호 판 ( 35 a ) 은 플 라즈 마 건 ( 30 ) 의 외부 를 보호 한다 . 따라서 기판 ( 3 ) 으로부터 반사 된 산란 입자 ( 38 a ) 들 이 플 라즈 마 건 ( 30 ) 에 부착 되 어 플 라즈 마 건 ( 30 ) 에 결함 을 발생 시켜 플 라즈 마 건 ( 30 ) 의 수명 이 줄어드 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 그리고 보호 판 ( 35 a ) 은 플 라즈 마 건 ( 30 ) 으로부터 탈착 가능 하 게 결합 되 기 때문 에 보호 판 ( 35 a ) 이 손상 을 입 거나 보 호판 ( 35 a ) 의 상태 를 개선 하 기 위하 여 플 라즈 마 건 ( 30 ) 으로부터 보호 판 ( 35 a ) 만 을 분리 시켜 처리 할 수 있 다 .