이상 의 구성 에 관한 가열 처리 장치 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 컴퓨터 로 이루어지 는 제 어부 ( 60 ) 에 의해 각종 동작 이 제어 된다 . 상세 하 게 설명 하 면 , 제 어부 ( 60 ) 는 , 프로그램 저 장부 를 갖 고 있 고 , 프로그램 저 장부 에 는 , 승강 핀 ( 15 ) 의 하강 , 상승 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 열 판 ( 13 ) 으로 의 적재 , 열 판 ( 13 ) 으로부터 의 들 어 올림 , 링 셔터 ( 4 ) 의 개폐 , 히터 ( 14 ) 에 의한 가열 , 밸브 ( V 1 , V 2 , V 3 ) 의 개폐 , 유량 조정부 ( 22 , 24 ) 의 유량 조정 , 포집 용기 ( 40 ) 의 상승 과 하강 , 흡인 기구 의 동작 등 에 관한 지시 를 행하 도록 구성 된 프로그램 이 저장 되 어 있 다 . 당해 프로그램 은 , 예 를 들 어 플렉시블 디스크 , 콤팩트 디스크 , 하드 디스크 , MO ( 광자기 디스크 ) , 메모리 카드 등 의 기억 매체 에 의해 저장 되 어 제 어부 ( 60 ) 에 인 스톨 된 것 이 어도 된다 .