도 9 에 , 2 종류 의 레지스 트 에서 의 CD 값 의 특성 을 설명 하 는 그래프 를 나타낸다 . 본 실시 예 에서 는 , 레지스 트 막 으로서 아크릴 계 포지티브 레지스 트 를 이용 하 고 있 다 . 횡축 은 스페이스 사이즈 ( S ) 이 고 , 종축 은 CD 값 이 다 . 스페이스 사이즈 ( S ) 가 작아지 는 부분 에서 는 , 각각 의 CD 값 이 급격 하 게 상승 하 고 있 다 .