또 , 피연 마면 의 결함 을 보다 저감 시키 는 관점 에서 , 연마 액 중 , Fe 원자 , Cu 원자 , Ag 원자 , 및 Zn 원자 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 의 특정 금속 원자 를 함유 하 는 금속 입자 의 함유량 을 소정 범위 로 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 연마 액 은 , 고체상 의 금속 불순 물량 이 적절히 조정 되 는 것 이 바람직 하 다 .