또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 인코더 시스템 ( 70 ) 이 1 쌍 의 X 헤드 와 , 한 쌍 의 Y 헤드 를 구비 한 경우 에 대해 설명 했 지만 , 본 발명 이 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 즉 , 인코더 헤드 의 수 는 특별히 상관없 지만 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 ( θ z 방향 의 회전 을 포함 한다 ) 를 계측 하 기 위해서 는 , X 헤드 와 Y 헤드 를 적어도 각 1 개 포함 하 여 , 합계 3 개 를 갖 고 있 으면 된다 .