이때 , 상기 제 1 더미 패턴 ( 413 a ) 상부 에 는 액티브 층 과 소스 / 드레 인 금속 층 으로 형성 된 제 2 , 3 더미 패턴 ( 413 b , 413 c ) 이 된다 . 또한 , 회절 마스크 또는 하프톤 마스크 를 사용 하 지 않 고 , 각각 액티브 층 ( 202 ) 을 형성 하 는 마스크 공정 과 소스 / 드레 인 전극 ( 203 a , 203 b ) 을 형성 하 는 마스크 공정 을 각각 진행 할 수 있 다 .