안내 롤러 ( 31 , 32 , 33 ) 는 연마 헤드 ( 90 ) 와 공급 릴 ( 24 ) 사이 에 배열 된다 . 안내 롤러 ( 34 ) 는 연마 헤드 ( 90 ) 와 회수 릴 ( 25 ) 사이 에 배열 된다 . 연마 테이프 ( 75 ) 상 에 가해진 인장 ( 즉 , 연마 하중 ) 은 인장 센서 ( 91 ) 에 의해 계측 된다 . 인장 센서 ( 91 ) 의 출력 신호 가 연마 테이프 ( 75 ) 의 인장 을 모니터링 하 는 모니터링 유닛 ( 92 ) 으로 송신 된다 . 이 실시 예 에서 사용 된 연마 테이프 ( 75 ) 는 제 1 실시 예 에 사용 된 연마 테이프 ( 23 ) 보다 좁 다 .