다음 에 , 전계 가공 후 의 웨이퍼 ( W ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 이동 시키 지 않 고 그대로 의 상태 에서 , 전해 가공 용 의 스캔 암 과 는 다른 또 하나 의 암 의 세 정부 ( 3 ) 에서 세정 된다 . 구체 적 으로 는 , 펜 브 러쉬 를 웨이퍼 ( W ) 표면 에 접촉 시켜 , 세정액 혹은 순수 를 흘리 면서 세정 한 후 에 , 초음파 를 인가 한 순수 로 린스 함 으로써 세정 한다 ( 스텝 S 3 , S 4 ) .