본 발명 에 따른 기판 건조 챔버 에 있 어서 , 상기 일체 형 공급 / 배출 포트 는 , 상기 하부 하우징 의 일 측면 에서 상기 중간 영역 까지 형성 된 제 1 관로 부 , 상기 중간 영역 에서 상기 제 1 관로 부 와 연통 되 어 상기 기판 배치 판 을 향하 도록 형성 된 공통 포트 부 및 상기 중간 영역 에서 상기 공통 포트 부 및 상기 제 1 관로 부 와 연통 되 어 상기 하부 하우징 의 타 측면 까지 형성 된 제 2 관로 부를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .