더구나 , 제 4 조합 에 대해서 는 , 1 차 근사식 25 D 가 구해진다 . 1 차 근사식 25 D 는 , 예 를 들 면 , 최소 제곱법 을 사용 하 여 , 제 1 검출기 ( 21 a ) , 제 2 검출기 ( 21 b ) , 및 제 3 검출기 ( 21 c ) 각각 에 있 어서 의 초점 위치 와 기준 마크 SM 의 표면 높이 의 차분 이 허용 값 이하 ( 예 를 들 면 , 최소 ) 가 되 도록 산출 된다 . 이렇게 해서 산출 된 1 차 근사식 25 A 내지 25 D 의 기울기 가 , 기준 부재 ( 39 ) ( 즉 기준 마크 SM ) 를 기울여야 할 양 에 대응 한다 .