일 실시 형태 에서 , 플로우 제어 플레이트 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 면 상 에 배치 되 어 어느 스루홀 들 ( 117 ) 이 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에 노출 되 는지 를 제어 한다 . 도 4 a 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 면 ( 302 ) 에 배치 된 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 를 나타낸다 . 일 실시 형태 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 약 3 mm 내지 약 6 mm 에 걸친 범위 내 에서 소정 두께 ( 403 ) 를 갖 는 디스크 로서 정의 된다 . 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 디스크 는 플로우 가 제어 되 는 스루홀 들 ( 117 ) 을 커버 하 기 에 충분 한 직경 을 갖 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 디스크 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 의해 제공 된 RF 복귀 경로 에 대한 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에서 의 플 라즈 마의 균일 한 노출 을 유지 시키 도록 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 면 을 커버 하 는 직경 을 갖 도록 정의 된다 .