사용 자 는 모니터 ( 172 ) 에 표시 된 이물 ( 180 ) 과 제 3 마스크 의 영상 을 관찰 하 여 향후 이물 ( 180 ) 이 미칠 영향 을 예측 할 수 있 게 된다 . 예측 결과 , 제 3 마스크 공정 에 의해 형성 될 데이터 라인 ( 104 ) 의 단선 을 유발 한다고 판단 되 는 경우 제 3 마스크 공정 이 시작 되 기 전 에 세정 공정 , 브러시 클리닝 , 레이저 등 을 이용 하 여 이 물 ( 180 ) 을 제거 하 는 공정 을 실시 하 게 된다 .