일 예 로 , 광원 ( L ) 은 출입 챔버 ( 220 ) 에 결합 될 수 있 다 . 도 15 는 본 실시 예 에 따라 출입 챔버 ( 220 ) 에 광원 ( L ) 이 결합 된 박막 증착 장치 ( 200 ) 를 개략 적 으로 도시 한 도면 이 다 . 도 15 를 참고 하 면 , 본 실시 예의 박막 증착 장치 ( 200 ) 는 출입 챔버 ( 220 ) 에 결합 된 광원 ( L ) 을 포함 하 기 때문 에 , 박막 증착 이 완료 된 기판 이 외부 로 배출 되 기 직전 에 태양광 과 동일 한 파장 의 빛 을 포함 하 는 빛 을 박막 에 조사 하 여 증착 이 완료 된 박막 을 에이징 시킬 수 있 다 .