또한 , 처리 분포 의 구배 가 소정 역치 보다 도 크 면 , 웨이퍼 ( 200 ) 와 공진 코일 ( 212 ) 의 하단 사이 를 소정 거리 보다 도 접근 하 도록 , 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 에 의한 서 셉 터 ( 217 ) 의 승강 동작 을 제어 한다 . 이 에 의해 , 특히 웨이퍼 ( 200 ) 의 외주 측 에 대하 여 높 은 에너지 의 플라스마 가 처리 를 행하 게 되 어 , 구배 가 시정 되 는 경향 이 비교 적 강해진다 . 또한 , 처리 분포 의 구배 가 소정 역치 보다 도 작 으면 , 웨이퍼 ( 200 ) 와 공진 코일 ( 212 ) 의 하단 사이 를 소정 거리 보다 도 멀 어 지 도록 , 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 에 의한 서 셉 터 ( 217 ) 의 승강 동작 을 제어 한다 . 이 에 의해 , 플라스마 가 실 활 하 여 비교 적 낮 은 에너지 의 플라스마 가 웨이퍼 ( 200 ) 를 처리 하 게 되 므로 , 구배 가 시정 되 는 경향 이 비교 적 약해진다 .