상기 극성 용매 용매 는 조성물 총 중량 에 대하 여 , 20 내지 45 중량 % 로 포함 되 고 , 바람직 하 게 는 25 내지 42 중량 % 로 포함 될 수 있 다 . 극성 용제 의 함량 이 20 중량 % 미만 인 경우 에 는 레지스 트 에 대한 용해 력 이 감소 할 수 있 고 , 45 중량 % 초과 인 경우 에 는 상대 적 으로 4 급 유기 암모늄 히드록시 드 및 다른 성분 들 의 함량 이 저하 되 어 레지스 트 에 대한 침투력 이 저하 될 수 있 다 .