도 3 은 본 발명 의 대안 적 인 실시 예 에 따라 동일 한 툴 에서 연속 적 으로 ( successively ) 이미 징 되 는 2 개 의 레티 클 을 사용 하 여 결함 을 검출 하 기 위한 검사 공정 ( 300 ) 을 도시 한 흐름 도 이 다 . 동작 ( 302 ) 에서 처음 에 제 1 레티 클 이 획득 되 고 , 그러 한 제 1 레티 클 이 이미 징 되 고 결과 적 인 제 1 레티 클 이미지 가 저장 된다 . 다음 동작 ( 304 ) 에서 , 제 2 레티 클 이 획득 되 고 , 그러 한 제 2 레티 클 이 이미 징 되 고 결과 적 인 제 2 레티 클 이미지 가 저장 된다 . 도 2 의 다른 동작 및 동일 하 게 레이블 된 동작 이 유사 하 게 수행 될 수 있 다 . 그러나 , 동일 한 툴 을 사용 하 여 2 개 의 레티 클 을 한 번 에 검사 하 면 2 개 의 레티 클 을 연속 하 여 이미 징하 는 것 과 는 상이 한 양 의 보정 이 필요 할 수 있 음 을 인식 하 고 있 다 . 또한 , 여기 에 더 설명 된 바 와 같이 , 임의 의 적절 한 보정 공정 이 각각 의 애플리케이션 에 이용 될 수 있 다 .