상술 한 바 와 같이 본 발명 은 , 트랙 인 명령 이 입력 될 시 공정 챔버 의 플 라즈 마 크린 설정 여부 를 체크 하 여 플 라즈 마 크린 설정 이 되 어 있 지 않 을 경우 트랙 인 방지 신호 를 발생 하 여 트랙 인 이 진행 되 지 않 도록 하 므로 , 플라 즈 마 클린 미 설정 에러 로 인한 파티클 발생 을 방지 할 수 있 는 이점 이 있 다 .