소자 분리 층 ( 110 ) 은 기판 ( 101 ) 에서 활성 영역 ( 105 ) 을 정의 할 수 있 다 . 소자 분리 층 ( 110 ) 은 예 를 들 어 , 쉘로우 트랜 치 소자 분리 ( shallow trench isolation , STI ) 공정 에 의하 여 형성 될 수 있 다 . 실시 예 들 에 따라 , 소자 분리 층 ( 110 ) 은 기판 ( 101 ) 의 하부 로 단차 를 가지 며 더욱 깊 게 연장 되 는 영역 을 더 포함 할 수 도 있 다 . 소자 분리 층 ( 110 ) 은 활성 영역 ( 105 ) 의 상부 를 일부 노출 시킬 수 있 다 . 실시 예 들 에 따라 , 소자 분리 층 ( 110 ) 은 활성 영역 ( 105 ) 에 인접 할수록 높 은 레벨 을 갖 는 굴곡진 상면 을 가질 수 있 다 . 소자 분리 층 ( 110 ) 은 절연 물질 로 이루어질 수 있 다 . 소자 분리 층 ( 110 ) 은 예 를 들 어 , 산화물 , 질화물 또는 그 들 의 조합 일 수 있 다 .