계속 해서 , 상기 콘 택 홀 을 플러그 용 도전 막 으로 매립 한 후 , 상기 플러그 용 도전 막 을 CMP ( Chemical Mechanical Polishing ) 해서 랜딩 플러그 들 을 형성 한다 . 이어서 , 상기 랜딩 플러그 들 을 덮 도록 절 연막 을 증착 한 후 , 상기 절 연막 내 에 상기 랜딩 플러그 들 과 콘 택 되 도록 비트 라인 콘 택 플러그 를 형성 한 다음 , 상기 비트 라인 콘 택 플러그 를 포함 한 절 연막 상 에 비트 라인 을 형성 한다 .