상기 한 양면 연마장 치 는 상부 및 하부 정반 과 각각 의 웨이퍼 표면 에서 발생 하 는 마찰 저항 의 차이 로 인해 웨이퍼 가 캐리어 플레이트 의 유지 구멍 내 에서 선회 하 게 되 며 , 이 선회 운동 으로 인해 캐리어 플레이트 와 의 접촉 부위 인 웨이퍼 외 주부 스크래치 ( Scratch ) 등 으로 표면 거칠 기 의 변형 이 발생 하 는 문제점 이 있 다 .