도 2 a 내지 도 2 d 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 웨이퍼 상부 전면 에 사진 식각 공정 을 수행 하 여 콘 택 홀 을 형성 하 는 과정 을 나타내 는 공정 순서도 로서 , 이 들 도면 을 참조 하 여 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 콘 택 홀 형성 방법 에 대해 설명 한다 . 또한 , 도면 의 왼 측면 은 웨이퍼 의 외각 , 오른 측면 은 웨이퍼 의 내각 으로 하 여 설명 한다 .