본 발명 은 , 제 7 관점 에서 보 면 , 물체 가 탑재 되 고 , 그 물체 를 유지 하 여 실질 적 으로 이동면 을 따라 이동 할 수 있 는 이 동체 와 ; 상기 물체 상 에 패턴 을 생성 하 는 패 터닝 장치 와 ; 상기 물체 에 대한 패턴 형성 을 위해서 , 상기 이 동체 를 구동 하 는 본 발명 의 이 동체 구동 시스템 을 구비 하 는 패턴 형성 장치 이 다 .