다 수개 의 방전관 브리지 ( 12 ) 는 공정 챔버 ( 20 ) 의 상부 면 에 형성 된 다 수개 의 홀 ( 23 ) 에 연결 된다 . 다 수개 의 방전관 브리지 ( 12 ) 에 는 페라이트 코어 ( 13 ) 가 장착 되 며 , 페라이트 코어 ( 13 ) 는 전원 공급원 ( 미 도시 ) 에 연결 되 는 유도 코일 ( 미 도시 ) 이 권선 된다 . 방전관 헤드 ( 11 ) 의 상단 에 는 공정 가스 가 유입 되 는 가스 유입 구 ( 14 ) 가 구비 된다 . 공정 챔버 ( 20 ) 의 내측 상단 에 는 플 라즈 마 가스 를 기판 ( W ) 으로 흐르 도록 하 기 위한 원통형 의 유도관 ( 21 ) 이 구비 되 며 , 유도관 ( 21 ) 의 내측 으로 는 배 플 평판 ( 22 ) 이 설치 된다 . 공정 챔버 ( 20 ) 의 내측 하단 에 는 공정 가스 를 배기 하 기 위한 배기구 ( 23 ) 가 구비 되 며 , 배기구 ( 23 ) 는 배기관 ( 54 ) 을 통해서 진공 펌프 ( 53 ) 에 연결 된다 .