도 3 은 , 본 실시 형태 에 있 어서 의 묘화 동작 을 설명 하 기 위한 개념 도 이 다 . 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 기판 ( 101 ) 상 의 묘화 영역 ( 30 ) 은 , 예 를 들 면 , y 방향 ( 제 1 방향 ) 을 향해 소정 의 폭 으로 직사각 형 형상 의 복수 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 으로 가상 분할 된다 . 이 들 스트라이프 영역 을 묘화 할 때 , 우선 , XY 스테이지 ( 105 ) 를 이동 시켜 , 제 1 번 째 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 의 좌단 에 1 회 의 멀티 빔 의 조사 로 조사 가능 한 조사 영역 ( 빔 어레이 ) ( 34 ) 이 위치 하 도록 조정 하 여 , 묘화 가 개시 된다 .