증착 하 고자 하 는 상기 박막 은 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 일 수 있 다 . 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 을 증착 하 고자 하 는 경우 , 상기 제 1 소스 는 지르코늄 터 셔 리부 톡 사이드 ( ZTB ; Zirconium ( IV ) Tert - Butoxide , Zr ( OtBu ) 4 , 또는 Zr ( OC ( CH 3 ) 3 ) 4 ) , 테트라 키스 에틸 메틸 아미노 지르코늄 ( TEMAZ ; Tetrakis Ethyl Methyl Amino Zirconium , Zr [ N ( CH 3 ) C 2 H 5 ] 4 ) , 테트라 키스 디메틸아미노 지르코늄 ( TDMAZ ; Tetrakis Di - Methyl Amino Zirconium , Zr [ N ( CH 3 ) 2 ] 4 ) , 또는 테트라 키스 디에 틸 아미노 지르코늄 ( TDEAZ ; Tetrakis Di - Methyl Amino Zirconium , Zr [ N ( C 2 H 5 ) 2 ] 4 ) , 또는 지르코늄 테트라 염화 물 ( Zirconium Tetrachloride , ZrCl 4 ) 일 수 있 다 .