이러 한 종래 의 첩부 장치 를 사용 하 여 환상 볼록 부 를 갖 는 웨이퍼 ( W ) 에 점착 테이프 ( DT ) 를 첩부 하 면 , 시간 경과 에 따라 환상 볼록 부 의 내측 구 석부 에 있 어서 특히 점착 테이프 ( DT ) 가 박리 된다고 하 는 문제점 이 우려 된다 . 당해 문제점 에 대해 예의 검토 를 거듭 한 결과 , 이하 와 같 은 지견 이 얻 어 졌 다 .