두께 75 ㎛ 의 FEP 필름 ( Toray Advanced Film Co . , Ltd . 제 , " "" 토요 플 론 ( 등록 상표 ) "" 의 편면 에 플 라즈 마 처리 를 했 다 . 플 라즈 마 처리 조건 은 Ar / CH 4 / CO 2 혼합 가스 분위기 하 에서 압력 50 Pa ", 처리 강도 는 500 W · min / ㎡ 으로 했 다 . 이어서 , 플라 즈 마 처리 한 FEP 필름 표면 에 마그네트론 스퍼터링 법 으로 구리 막 1 을 10 nm 두께 형성 했 다 . 스퍼터링 조건 으로서 는 50 mm× 550 mm 사이즈 의 타깃 을 사용 하 고 , 아르곤 가스 를 도입 한 진공 도달 도 는 1 × 10 - 2 Pa 이하 , 스퍼터링 출력 은 DC 전원 을 사용 하 여 5 kw 를 채용 했 다 . 이어서 , 구리 막 1 위 에 전자 빔 증착 법 에 의해 구리 를 성막 속도 2 . 0 ㎛· m / min , 라인 속도 4 . 0 m / min 으로 0 . 5 ㎛ 의 두께 로 구리 막 2 를 진공 증착 하 여 금속화 필름 을 얻 었 다 .