상기 압력 조 절부 ( 143 ) 는 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 내 의 압력 을 강하 시킬 수 있 도록 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 와 상기 배기 챔버 ( 141 ) 를 연결 시킨다 . 상세 하 게 는 , 상기 압력 조 절부 ( 143 ) 는 상기 배 플 플레이트 ( 105 ) 와 인접 한 하부 에 연결 되 어 , 상기 배 플 플레이트 ( 105 ) 하부 에 압력 을 강하 시킴 으로써 , 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 내 의 압력 을 강하 시 킨다 .