상기 구리도금 막 ( 140 ) 의 평탄 화 공정 시 식각 정지 막 으로 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 을 이용 하 여 진행 할 수 있 으며 , 이때 상기 CMP 공정 의 컨트롤 을 통해 상기 트랜 치 에 형성 된 구리도금 막 ( 140 ) 이 상기 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 보다 과도 하 게 연마 되 도록 하 여 상기 제 1 층간 절 연막 ( 130 ) 과 구리 로 형성 된 금속 배선 ( 143 ) 이 단차 를 가지 도록 CMP 공정 을 실시 한다 .