레티 클 스테이지 ( RST ) 의 XY 평면 ( 이동면 ) 내 의 위치 정보 ( θ z 방향 의 회전 정보 를 포함 ) 는 , 레티 클 레이저 간섭계 ( 이하 , 레티 클 간섭계 라 한다 ) ( 116 ) 에 의해 , 이동경 ( 15 ) ( 실제로 는 , Y 축 방향 에 직교 하 는 반사면 을 갖 는 Y 이동경 ( 또는 레트 로 리플렉터 ) 과 X 축 방향 에 직교 하 는 반사면 을 갖 는 X 이동경 이 설치 된다 ) 을 통해 , 예 를 들 어 , 0 . 25 nm 정도 의 분해능 으로 항상 검출 된다 . 레티 클 간섭계 ( 116 ) 로부터 의 위치 정보 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) ( 도 1 에 는 미 도시 , 도 7 참조 ) 로 전송 된다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 전송 된 위치 정보 에 기초 하 여 , 레티 클 스테이지 구동 계 ( 11 ) 를 통해 레티 클 스테이지 ( RST ) 의 위치 ( 및 속도 ) 를 제어 한다 .