상기 배기 부 는 챔버 ( 20 ) 의 바닥 면 에 형성 된 배기 홀 ( 24 ) 에 연결 된 배기 라인 을 포함 할 수 있 다 . 상기 배기 부 는 진공 펌프 를 포함 하 여 챔버 ( 20 ) 내부 의 처리 공간 을 원하 는 진공도 의 압력 으로 조절 할 수 있 다 . 또한 , 공정 과정 에서 발생 한 반응 부산물 및 가스 는 상기 배기 라인 을 통해 외부 로 배출 될 수 있 다 .