배출 챔버 ( 300 ) 는 증착 챔버 에 연결 되 도록 설치 된다 . 예 를 들 어 , 증착 챔버 ( 100 ) 의 타 측 에 는 증착 챔버 ( 100 ) 와 별도 로 내부 압력 이 조절 되 는 배출 챔버 ( 300 ) 가 설치 될 수 있 다 . 배출 챔버 ( 300 ) 는 증착 챔버 ( 100 ) 의 타 측면 에 설치 될 수 있 으며 , 배출 챔버 ( 300 ) 의 일면 에 는 저장 용기 ( 500 ) 의 배출 을 위한 게이트 가 설치 된다 . 또한 , 증착 챔버 ( 100 ) 와 배출 챔버 ( 300 ) 의 사이 에 는 저장 용기 ( 500 ) 의 이동 을 위하 여 제 2 게이트 ( 640 ) 가 설치 되 며 , 제 2 게이트 ( 640 ) 는 증착 챔버 ( 100 ) 와 배출 챔버 ( 300 ) 사이 를 개방 또는 폐쇄 하 여 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 배출 챔버 ( 300 ) 로 저장 용기 ( 500 ) 가 이동하 는 이동 경로 를 형성 한다 . 또한 , 배출 챔버 ( 300 ) 는 증착 챔버 ( 100 ) 와 별도 로 내부 압력 이 조절 되 는 바 , 이 를 위하 여 배출 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 조절 하 기 위한 배기 펌프 가 배출 챔버 ( 300 ) 에 마련 될 수 있 다 . 배출 챔버 ( 300 ) 는 원료 물질 이 소진 된 저장 용기 ( 500 ) 를 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 배출 하 는 역할 을 수행 한다 .