소스 ( 10 ) 는 대기압 으로 유지 되 는 대기 부분 ( 20 ) , 및 진공 부분 ( 22 ) 과 챔버 ( 14 ) 사이 에 종종 존재 하 는 가스 유동 통로 에 의하 여 챔버 ( 14 ) 내 의 진공 과 대략 동일 한 진공 압력 으로 유지 되 는 진공 부분 ( 22 ) 을 포함 한다 . 하우징 ( 25 ) 에 의해 운반 되 는 액체 윤활유 저장기 ( 24 ) 는 ⑴ 진공 체적 ( 26 ) , ⑵ 선택 적 개폐 디 퓨저 셔터 ( 28 ) 및 ⑶ 디 퓨 저판 ( 30 ) 과 같이 진공 부분 ( 22 ) 내부 에 있 다 .