본체 용기 ( 501 ) 는 , 상측 에 개구 를 갖 는 바닥 이 있 는 용기 이 다 . 지지 부재 ( 502 ) 는 가스 토출 기구 ( 503 ) 를 지지 한다 . 또한 , 지지 부재 ( 502 ) 가 본체 용기 ( 501 ) 의 상측 의 개구 를 막 음 으로써 , 본체 용기 ( 501 ) 는 밀폐 되 어 , 처리 실 을 형성 한다 . 가스 공급 부 ( 504 ) 는 , 지지 부재 ( 502 ) 를 관통 하 는 공급 관 ( 502 a ) 을 통해서 , 가스 토출 기구 ( 503 ) 에 Ru 함유 가스 등 의 프로세스 가스 나 캐리어 가스 를 공급 한다 . 가스 공급 부 ( 504 ) 로부터 공급 된 Ru 함유 가스 나 캐리어 가스 는 , 가스 토출 기구 ( 503 ) 로부터 본체 용기 ( 501 ) 내 에 공급 된다 .