변형 유닛 ( 5 ) 은 , 임프 린트 헤드 ( 4 ) 에 의해 보유 지지 된 몰드 ( 1 ) 의 캐비 티 ( 1 b ) 의 내부 의 압력 을 변경 함 으로써 , 몰드 ( 1 ) 의 패턴 영역 ( 1 a ) 을 기판 ( 2 ) 에 대하 여 볼록 형상 또는 오목 형상 으로 변화 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 몰드 ( 1 ) 와 기판 ( 2 ) 을 서로 근접 시켜서 몰드 ( 1 ) 와 기판 ( 2 ) 상 의 임프 린트 재 를 서로 접촉 시키 도록 제어 하 기 위해서 , 변형 유닛 ( 5 ) 은 배관 ( 5 a ) 을 통해서 캐 비티 ( 1 b ) 의 내부 에 압축 공기 를 공급 함 으로써 , 캐비 티 ( 1 b ) 의 내부 의 압력 을 그 외부 의 압력 보다 높 게 한다 . 이 에 의해 , 변형 유닛 ( 5 ) 은 몰드 ( 1 ) 의 패턴 영역 ( 1 a ) 을 기판 ( 2 ) 을 향해서 돌출 하 는 볼록 형상 으로 변형 시킨다 . 또한 , 접촉 공정 에서 , 몰드 ( 1 ) 와 임프 린트 재 사이 의 접촉 영역 을 서서히 확대 시킨다 . 상술 한 방식 으로 몰드 ( 1 ) 와 임프 린트 재 를 서로 접촉 시킴 으로써 , 임프 린트 재 에 접촉 하 고 있 는 패턴 영역 ( 1 a ) ( 요철 패턴 ) 의 오 목부 에 기포 가 잔존 하 는 것 을 저감 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 임프 린트 처리 를 통해 임프 린트 재 에 형성 된 패턴 에 결손 이 발생 하 는 것 을 저감 할 수 있 다 .