기포 가 존재 하 는 경우 , 기포 ( bubble ) 의 굴절 율 은 주위 의 상기 액체 조성물 ( immersion 매질 ) 의 굴절 율 과 차이 가 있 기 때문 에 , 노광 빔 의 해상력 및 초점 심도 에 영향 을 미칠 뿐 만 아니 라 결함 ( defect ) 를 발생 시키 게 된다 . 따라서 액침 노광 시 에 상기 기포 로 인하 여 발생 하 는 문제점 을 해결 할 수 있 다 .