2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 이러 한 선형 이동 기구 에 의해 각각 선형 으로 이동 된다 . 특히 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 단일 이동 축 을 따라 이동 된다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 의 이동 방향 은 서로 평행 하 지 않 다 . 2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 의 연마 헤드 ( 90 ) 는 도 22 및 도 23 에 도시 된 바 와 같이 , 서로 접촉 하 지 않 으면서 보유 스테이지 ( 4 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 을 향한 방향 으로 그리고 상기 노치 부분 으로부터 멀 어 지 는 방향 으로 선형 이동 기구 에 의해 서로 에 대해 독립 적 으로 이동 된다 . 제 2 실시 예의 X - 축 이동 기구 [ X - 축 레일 ( 106 ) , X - 축 안 내부 ( 108 ) 및 X - 축 공기 실린더 ( 113 ) ] 에 대응 하 는 기구 가 필요 하 지 않 기 때문 에 , 연마 장치 는 절감 된 비용 으로 제공 될 수 있 다 .