일부 실시 예 에서 , 워드 라인 구조물 ( WS ) 의 저면 및 상면 과 , 채널 막 ( 150 ) 에 대면 하 는 측벽 을 덮 는 유전 박막 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 유전 박막 은 실리콘 산화물 보다 더 높 은 유전 상수 를 갖 는 고유 전막 으로 이루어질 수 있 다 . 상기 고유 전막 은 금속 산화물 , 예 를 들 면 하프늄 산화물 , 알루미늄 산화물 , 지르코늄 산화물 , 또는 탄탈럼 산화물 로 이루어질 수 있 다 .