제 1 가스 공급 관 ( 113 a ) 을 포함 하 는 제 1 가스 공급 부 로부터 는 제 1 원소 함유 가스 ( 제 1 처리 가스 ) 가 주로 공급 된다 . 또한 , 제 2 가스 공급 관 ( 123 a ) 을 포함 하 는 제 2 가스 공급 부 로부터 는 주로 제 2 원소 함유 가스 ( 제 2 처리 가스 ) 가 공급 된다 . 또한 , 제 3 가스 공급 관 ( 133 a ) 을 포함 하 는 제 3 가스 공급 부 로부터 는 주로 제 3 원소 함유 가스 가 공급 된다 .