유기 용제 를 포함 하 는 현상액 의 증기압 은 20 ℃ 에서 5 k ㎩ 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 3 k ㎩ 이하 인 것 이 보다 바람직 하 며 , 2 k ㎩ 이하 인 것 이 가장 바람직 하 다 . 현상액 의 증기압 이 5 k ㎩ 이하일 경우 , 기판 상 또는 현상 컵 내 에서 의 현상액 의 증발 이 억제 되 어서 웨이퍼 면내 의 온도 균일성 이 향상 함 으로써 웨이퍼 면내 의 치수 균일성 이 향상 한다 .