배기 펌프 ( 56 ) 는 , 터보 펌프 , 로터리 펌프 등 으로 이루어지 는 통상 의 고진공 장치 계 와 이온 펌프 등 으로 이루어지 는 초고진공 장치 계 에 의해 구성 할 수 있 다 . 여기 에 나타낸 진공 장치 는 , 도시 하 지 않 는 히터 에 의해 가열 할 수 있 다 . 따라서 , 이 진공 장치 를 이용 하 면 , " 상술 한 "" 통전 포 밍 "" 이후 의 공정도 실시 할 수 있 다 . "