IT ( information technology ) 분야 의 발전 과 함께 현대 사회 에서 반도체 직접 회로 ( IC ; integrated circuit ) , 반도체 소자 , 반도체 장치 등 의 역할 은 갈수록 중요 해 지 고 있 으며 , 다양 한 산업 분야 의 전자 기기 에서 광범위 하 게 사용 되 고 있 다 . 최근 전자 기기 들 이 소형 화 , 박 형 화 , 경량 화 , 고성 능화 가 진행 됨 에 따라서 , 사용 되 는 반도체 소자 도 우수 한 저장 능력 과 고속 저장 동작 이 요구 되 고 있 다 . 이러 한 반도체 소자 의 고집 적 화 에 따라 수십 나노미터 ( ㎚) 이하 의 미세 한 패턴 형성 이 필요 하 게 되 었 다 .