그러나 , 종래 노광 장치 의 방전 램프 는 수명 이 1 , 000 시간 내외 로 짧 아 교체 에 따른 소모 성 비용 이 높 음 과 아울러 교체 시 마다 장시간 의 휴지 기간 이 필요 한 문제점 이 있 다 . 특히 , 휴지 기간 은 1200 도 의 열 을 방출 하 는 방전 램프 의 냉각 기간 과 , 교체 기간 과 , 방전 램프 의 위치 조정 등 을 포함 하 는 세팅 기간 이 필요 하 다 .