도 8 f 를 참조 하 면 , 제 2 면 ( 101 b ) 상 에 고정 전하 막 ( 131 ) , 제 1 및 제 2 절 연막 들 ( 133 , 135 ) 및 차광 패턴 ( 140 ) 을 차례 로 형성 한다 . 예 를 들 어 , 고정 전하 막 ( 131 ) 은 하프늄 ( Hf ) , 지르코늄 ( Zr ) , 알루미늄 ( Al ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 티타늄 ( Ti ) , 이트륨 ( Y ) 및 란타노이드 등 의 금속 원소 들 이 산화 된 금속 산화물 ( metal oxide ) 을 사용 하 여 형성 될 수 있 으며 , 막 내 에 적어도 일부 가 결정 화 된 영역 을 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 고정 전하 막 ( 131 ) 은 하프늄 산화 막 또는 알루미늄 불화 막 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 절 연막 ( 133 ) 은 실리콘 산화 막 일 수 있 고 , 제 2 절 연막 ( 135 ) 은 실리콘 질화 막 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 차광 패턴 ( 140 ) 은 불 투명 한 금속 으로 이루어질 수 있 다 .