상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 적용 되 는 플 라즈 마 를 이용 한 반도체 제조 설비 의 플 라즈 마 크린 설정 에러 방지 방법 은 , 트랙 인 진입 명령 에 응답 하 여 레시피 설정 정보 와 설비 정보 를 수신 하 는 단계 와 , 상기 레시피 설정 정보 와 설비 정보 를 수신 한 후 공정 설비 로 설비 상태 요구 신호 를 전송 하 는 단계 와 , 상기 설비 상태 요구 신호 에 응답 하 여 챔버 액티브 상태 정보 와 플 라즈 마 크린 설정 정보 를 수신 하 는 단계 와 , 상기 플 라즈 마 크린 정보 를 수신 하 여 플 라즈 마 크린 미 설정 된 챔버 가 있 는가 검사 하 는 단계 와 , 상기 플 라즈 마 크린 미 설정 된 챔버 가 있 으면 트랙 인 방지 신호 를 발생 하 는 단계 를 포함 한다 .