시스템 의 최적화 공정 에서 , 시스템 의 성능 지수 ( figure of merit ) 가 비용 함수 로서 표현 될 수 있 다 . 최적화 공정 은 비용 함수 를 최적화 ( 예 를 들 어 , 최소 화 또는 최대 화 ) 하 는 시스템 의 파라미터 들 ( 디자인 변수 들 ) 의 세트 를 발견 하 는 공정 으로 압축 된다 . 비용 함수 는 최적화 의 목표 에 따라 여 하한 의 적절 한 형태 를 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 비용 함수 는 시스템 의 소정 특성 들 의 의도 된 값 들 ( 예 를 들 어 , 이상 적 인 값 들 ) 에 대한 이러 한 특성 들 의 편차 들 의 가중 RMS ( root mean square ) 일 수 있 다 ; 또한 , 비용 함수 는 이 편차 들 의 최대 값 ( 즉 , 가장 심한 편차 ) 일 수 도 있 다 . 시스템 의 디자인 변수 들 은 시스템 구현 의 실용 성 ( practicality ) 들 로 인해 상호 의존 적 이 고 , 및 / 또는 유한 한 범위 로 한정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 리소그래피 장치 의 경우 , 제약 은 흔히 패 터닝 디바이스 제조 가능 디자인 규칙 들 , 및 / 또는 조절 가능 한 범위 들 과 같 은 하드웨어 의 물리 적 속성 들 및 특성 들 과 관련 된다 .