그러 한 후 , 탑재 대 ( 20 ) 가 프로브 ( 41 ) 의 바로 아래 로 이동 하 고 , 승강 기구 를 거쳐 탑 플레이트 ( 21 ) 등 이 일체 적 으로 상승 하 여 , 반도체 웨이퍼 W 의 전극 패드 와 프로브 ( 41 ) 가 접촉 하 고 , 또한 탑 플레이트 ( 21 ) 가 오버드라이브 되 어 반도체 웨이퍼 W 의 전극 패드 와 프로브 ( 41 ) 가 전기 적 으로 접촉 한다 . 이 상태 로 테스트 헤드 ( 50 ) 로부터 프로브 ( 41 ) 를 거쳐 반도체 웨이퍼 W 에 고주파 신호 를 인가 함 과 아울러 탑 플레이트 ( 21 ) 에 검사 용 신호 를 인가 한다 .