( D - 2 ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 이외 의 산화력 을 갖 지 않 는 2 종 이상 의 음 이온 종 의 사용 농도 는 본 발명 < 2 > 에 관한 에칭 제 중 의 농도 로 0 . 01 중량 %~ 3 중량 % 인 것 이 요구 되 나 , 그 중 에서 도 0 . 02 중량 %~ 1 중량 % 가 바람직 하 고 , 그 중 에서 0 . 03 중량 %~ 0 . 5 중량 % 가 보다 바람직 하 며 , 그 중 에서 도 0 . 03 중량 %~ 0 . 3 중량 % 가 특히 바람직 하 다 . 특히 음 이온 종 의 사용 농도 를 0 . 3 중량 % 이하 로 억제 함 으로써 , 본 발명 의 목적 으로 하 는 효과 가 보다 확실 하 게 얻 어 진다 .