상기 도전 패턴 을 노출 시킴 과 아울러 상기 노출 된 도전 패턴 상 에 홈 이 형성 되 도록 상기 도전 패턴 상 의 절연 층 부분 을 제거 하 는 단계 는 , 상기 절연 층 상 에 상기 도전 패턴 을 노출 시키 는 제 1 마스크 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 제 1 마스크 패턴 을 식각 마스크 로 이용 하 여 상기 도전 패턴 상 의 절연 층 부분 을 선택 적 으로 제거 하 는 단계 ; 를 더 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .