상부 챔버 ( 43 ) 는 , 가스 토출 부 ( 50 ) 를 포함 하 고 있 다 . 가스 토출 부 ( 50 ) 는 , 챔버 ( 41 ) 내 에 있 어서 , 열 판 ( 21 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 를 향해 상방 으로부터 가스 를 토출 한다 . 가스 토출 부 ( 50 ) 는 , 수분 을 함유 한 가스 를 열 판 ( 21 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 를 향해 토출 한다 . 가스 토출 부 ( 50 ) 는 , 수분 함유 가스 이외 의 가스 를 토출 해도 좋 다 . 예컨대 가스 토출 부 ( 50 ) 는 , 불활성 가스 를 열 판 ( 21 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 를 향해 토출 해도 좋 다 . 가스 토출 부 ( 50 ) 는 , 상부 판 ( 43 a ) 에 설치 되 어 있 다 . 가스 토출 부 ( 50 ) 는 , 상부 판 ( 43 a ) 내 의 하측 에 형성 된 버퍼 공간 과 , 상부 판 ( 43 a ) 의 하면 에 버퍼 공간 과 처리 공간 ( S ) 사이 를 관통 하 는 복수 의 가스 토출 부 ( 50 ) 를 갖 는다 .