계속 해서 , 금속 산화 막 ( 14 ) 의 상층 에 밀착 층 ( 15 ) 및 차광막 ( 39 ) 이 되 는 텅스텐 / 티탄 의 적층 막 을 형성 한다 . 또한 , 여기 서 의 밀착 층 ( 15 ) 및 차광막 ( 39 ) 이 되 는 텅스텐 및 티탄 은 스퍼터링 법 으로 퇴적 하 고 , 그 성막 온도 는 실온 내지 400 ℃, 티탄 의 막 두께 는 5 ㎚ 내지 50 ㎚ 정도 , 텅스텐 의 막 두께 는 100 ㎚ 내지 300 ㎚ 정도 이 다 .