도 6 내지 도 20 에서 는 도 4 의 VA - VA ', VB - VB ' 및 VC - VC ' 선 을 따른 단면 들 에 대응 하 는 단면 들 이 공정 순서 에 따라 도시 된다 . 도 6 내지 도 20 에서 는 편의 상 제 1 활성 영역 ( RX 1 ) 상 에 형성 되 는 반도체 장치 ( 100 A ) 부분 이 도시 되 고 아래 에서 이 에 대하 여 상세히 설명 하 지만 , 별도 로 기재 되 지 않 는 한 이러 한 설명 이 제 2 활성 영역 ( RX 2 ) 상 에 형성 되 는 반도체 장치 ( 100 A ) 부분 에 도 유사 하 게 적용 될 수 있 다 . 도 6 내지 도 20 에서 , 도 1 내지 도 5 에서 와 동일 한 참조 부호 는 동일 한 구성 요소 를 의미 한다 .