도 3 을 참조 하 면 , 마스크 부착 챔버 ( 42 ) 및 마스크 제거 챔버 ( 46 ) 내 에 는 마스크 이동기 ( 100 ) 가 제공 된다 . 마스크 이동기 ( 100 ) 는 상하 로 이동 가능 하 며 , 마스크 ( 4 ) 는 마스크 이동기 ( 100 ) 상 에 놓인다 . 마스크 부착 챔버 ( 42 ) 에서 마스크 이동기 ( 100 ) 가 기 설정 된 높이 까지 이동 되 면 , 기판 지 지체 ( 200 ) 에 제공 된 클램프 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 마스크 ( 4 ) 는 기판 지 지체 ( 200 ) 에 결합 된다 . 마스크 ( 4 ) 가 기판 지 지체 ( 200 ) 에 결합 되 기 전 , 기판 ( 3 ) 과 마스크 ( 4 ) 의 정렬 이 이루어진다 . 마스크 제거 챔버 ( 46 ) 에서 마스크 이동기 ( 100 ) 가 기 설정 된 높이 까지 이동 되 면 , 마스크 ( 4 ) 는 기판 지 지체 ( 200 ) 로부터 분리 되 어 마스크 이동기 ( 100 ) 상 에 놓여진다 . 상술 한 마스크 ( 4 ) 의 결합 및 마스크 ( 4 ) 의 제거 를 위한 구조 및 방법 은 일 예 에 불과 한 것 으로 , 이 와 는 다른 다양 한 구조 및 방법 이 사용 될 수 있 다 .