제 1 N 2 가스 공급 라인 ( 64 ) 은 , ALD 법 에 의한 성막 중 에 상시 N 2 가스 를 공급 하 는 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 66 ) 과 , 퍼지 스텝 시 에 만 N 2 가스 를 공급 하 는 제 1 플 러쉬 퍼지 라인 ( 67 ) 으로 분기 하 고 있 다 . 또한 , 제 2 N 2 가스 공급 라인 ( 65 ) 은 , ALD 법 에 의한 성막 중 에 상시 N 2 가스 를 공급 하 는 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 68 ) 과 , 퍼지 스텝 시 에 만 N 2 가스 를 공급 하 는 제 2 플 러쉬 퍼지 라인 ( 69 ) 으로 분기 하 고 있 다 . 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 66 ) 및 제 1 플 러쉬 퍼지 라인 ( 67 ) 은 , 제 1 접속 라인 ( 70 ) 에 접속 되 고 , 제 1 접속 라인 ( 70 ) 은 WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 H 2 가스 공급 라인 ( 63 ) , 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 68 ) 및 제 2 플 러쉬 퍼지 라인 ( 69 ) 은 , 제 2 접속 라인 ( 71 ) 에 접속 되 고 , 제 2 접속 라인 ( 71 ) 은 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) 에 접속 되 어 있 다 . WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 및 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) 은 , 합류 배관 ( 72 ) 에 합류 하 고 있 고 , 합류 배관 ( 72 ) 은 , 상술 한 가스 도입 구멍 ( 36 ) 에 접속 되 어 있 다 .