프레임 ( 31 ) 은 , 도 18 에 도시 한 바 와 같이 제 1 실리콘 층 에 유래 하 는 제 1 층 부 ( 31 a ) 와 , 제 2 실리콘 층 에 유래 하 는 제 2 층 부 ( 31 b ) 와 , 그 제 1 및 제 2 층 부 ( 31 a , 31 b ) 사이 의 절연 층 ( 31 c ) 으로 이루어지 는 적층 구조 를 갖 는다 . 도 15 및 도 18 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 층 부 ( 31 a ) 는 공극 을 통하 여 주위 와 분리 하 는 부분 31 a ' 를 포함 한다 . 도 16 및 도 18 에 도시 한 바 와 같이 , 제 2 층 부 ( 31 b ) 는 공극 을 통하 여 주위 와 분리 하 는 부분 31 b ' 를 포함 한다 . 부분 31 a ', 31 b ' 는 절연 층 31 c 를 관통 하 는 도전 비아 ( 31 d ) 를 통하 여 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .