다음 으로 , 도 1 내지 도 3 을 주로 참조 해서 , 처 리조 ( 40 ) 에 대하 여 상세히 설명 한다 . 도 1 내지 도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 처 리조 ( 40 ) 는 대략 직육면체 의 윤곽 을 갖 고 있 다 . 또한 , 처 리조 ( 40 ) 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 출입 시키 기 위한 상방 개구 ( 40 a ) 가 형성 되 어 있 다 .