가스 공급 부 ( 170 D ) 는 , 공급 되 는 가스 의 유로 인 환상 의 가스 유로 ( 1700 C ) 와 , 가스 유로 ( 1700 C ) 로부터 이면 차 단판 ( 170 ) 의 상면 측 으로 관통 하 여 형성 되 며 , 또한 , 가스 유로 ( 1700 C ) 에 있 어서 의 가스 를 기판 ( W ) 의 하 면 ( 이면 ) 을 향하 여 분사 하 기 위한 구멍 인 가스 공급 공 ( 1700 D ) 을 구비 한다 . 또한 , 도 3 에 있 어서 는 , 가스 공급 공 ( 1700 D ) 으로부터 분사 되 는 가스 의 분사 방향 은 연직 상 방향 이 지만 , 당해 방향 은 , 예 를 들 어 , 직경 방향 의 외측 으로 기울어져 있 어도 된다 .