도 3 을 참조 하 면 , 제 1 폴리 실리콘 막 ( 120 ) 위 에 커패시터 유전체 막 ( 140 ) 을 형성 한다 . 커패시터 유전체 막 ( 140 ) 은 하부 옥사이드 막 ( 141 ) , 질화 막 ( 142 ) 및 상부 옥사이드 막 ( 142 ) 이 순차 적 으로 적층 되 는 ONO 구조 로 형성 한다 . 다음 에 커패시터 유전체 막 ( 140 ) 위 에 제 2 폴리 실리콘 막 ( 150 ) 을 형성 한다 .