상기 제 2 유전체 층 ( 130 ) 중 상기 제 2 층 ( 132 ) 의 실리콘 알루미늄 질화물 에 예 를 들 어 , 비스무트 ( Bi ) , 붕소 ( B ) , 알루미늄 ( Al ) , 규소 ( Si ) , 마그네슘 ( Mg ) , 안티몬 ( Sb ) , 베릴륨 ( Be ) 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 에서 선택 된 적어도 하나 의 원소 가 도핑 될 수 있 고 , 그 에 따라 내구 성 을 더욱 향상 시킬 수 있 다 .