한편 , 상기 상하 챔버 를 연결 하 는 상기 중간 챔버 ( 1 ) 는 상부 챔버 ( 3 ) 와 함께 여러 가지 목적 의 가스 를 공급 하 기 가스 유입 라인 ( 11 ) 과 연통 하 며 , 상기 가스 유입 라인 ( 11 ) 에 도 상기 가스 배기 라인 ( 12 ) 과 마찬가지 로 각각 쓰 로 들 밸브 ( 4 b ) 를 포함 한 유량 압력 조절 기구 에 의해서 압력 조절 된다 . 또한 , 상기 중간 챔버 ( 1 ) 는 차단 부재 ( 20 ) 를 구비 할 수 도 있 다 . 상기 차단 부재 ( 20 ) 는 하부 챔버 ( 2 ) 의 연통 여부 를 결정 할 수 있 도록 상하 로 개폐 되 는 잠금 부재 일 수 도 있 으며 원주 방향 을 따라 회전 에 의해서 개폐 되 는 잠금 부재 일 수 도 있 다 . 본 실시 예 에 있 어서 , 차단 부재 ( 20 ) 로 상하 로 개폐 될 수 도 있 는 게이트 밸브 가 사용 되 었 다 .