본 발명 에 사용 되 는 무기 미립자 로서 는 , 산화 규소 , 산화 티타늄 , 산화아연 등 의 산화물 미립자 , 불화 마그네슘 등 의 불화물 미립자 등 을 들 수 있 다 . 특히 , 유기 금속 화합물 로서 폴리 실록 산 등 의 규소 함유 유기 화합물 을 사용 하 는 경우 , 형성 되 는 세라믹 층 에 대한 안정 성 의 관점 에서 산화 규소 의 미립자 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .