따라서 , 종래 기술 에 따른 화학 적 기계 적 연마 설비 및 그 의 제어 방법 은 선행 되 는 화학 적 기계 적 연마공 정 이 완료 된 웨이퍼 의 중심 부분 과 가장자리 부분 의 두께 를 인지 또는 인식 하 는 작업자 에 의해 입력 되 는 정보 에 따라 연마 패드 상부 표면 을 연삭 하 는 패드 컨디 셔 너 의 스 위 핑 속도 가 가감 속 되 면서 후속 의 화학 적 기계 적 연마공 정 이 이루어지 는 웨이퍼 의 중심 부분 과 가장자리 부분 의 연마 속도 를 동일 또는 유사 하 게 만들 수 있 다 .