또한 , 본 발명 에 관한 패턴 수정 방법 은 , 기판 상 에 형성 된 미세 패턴 의 결함 부 를 수정 하 는 패턴 수정 방법 에 있 어서 , 띠 모양 의 필름 을 되접 어서 상하 에 배치 하 고 , 필름 을 기판 의 상방 에 공급 하 는 제 1 의 스텝 과 , 필름 중 의 상방 필름 의 일부 를 이 동시 켜 서 , 하방 필름 에 형성 된 마스크 패턴 을 노출 시키 는 제 2 의 스텝 을 포함 한다 . 마스크 패턴 은 , 결함 부 에 따른 형상 으로 형성 되 고 , 적어도 하나 의 관통 구멍 을 갖 는다 . 이 패턴 수정 방법 은 , 또한 , 마스크 패턴 을 결함 부 에 소정 의 간극 을 두 고 대치 시키 는 제 3 의 스텝 과 , 마스크 패턴 을 포함 하 는 소정 범위 에서 하방 필름 을 기판 에 가압 함 과 함께 , 마스크 패턴 을 통하 여 결함 부 에 수정 액 을 도포 하 는 제 4 의 스텝 을 포함 한다 .