본 출원 은 2007 년 12 월 21 일자 로 출원 된 , " 발명 의 명칭 이 "" 전해질 막 을 위한 표적 을 스퍼터링 하 는 방법 "" 인 미국 가 출원 연속 번호 61 / 016 ", 038 의 35 U . S . C . § 119 하 의 이익 에 관한 것 이 고 , 그 이익 을 특허 청구 한 것 이 며 , 상기 가 출원 은 그 전체 내용 이 본원 에 참 고 인용 되 어 있 다 .