도 9 에 도시 된 희생 재료 의 특정 패턴 은 , 형성 될 캐비 티 에 대응 하 는 희생 재 료 ( 104 ) 의 매스 및 채널 에 대응 하 는 희생 재료 ( 106 ) 의 가늘 고 긴 형태 의 스트립 을 포함 한다 . 스트립 은 , 캐비 티 형성 재료 의 각각 의 매스 ( 104 ) 가 웨이퍼 의 소우 레인 ( 134 ) 을 가로질러 연장 하 는 도 9 의 스트립 ( 106 a ) 과 같 은 스트립 에 직접 또는 간접 으로 연결 되 도록 배치 된다 . 특정 패턴 의 매스 및 채널 은 더욱 복잡 한 패턴 의 상호 접속 된 캐비 티 및 채널 을 형성 할 것 이 지만 , 이러 한 패턴 은 단지 예시 적 일 뿐 이 다 . 예컨대 , 스트립 ( 106 ) 은 매스 ( 104 ) 와 동일 한 폭 이 될 수 도 있 다 .