약액 노즐 ( 31 ) 은 챔버 ( 4 ) 내 에서 수평 하 게 이동 가능 한 스캔 노즐 이라도 좋 고 , 챔버 ( 4 ) 의 격벽 ( 11 ) 에 대해서 고정 된 고정 노즐 이라도 좋 다 . 린스 액 노즐 ( 32 ) 및 상면 노즐 ( 33 ) 에 대해서 도 마찬가지 이 다 . 도 2 에서 는 , 약액 노즐 ( 31 ) , 린스 액 노즐 ( 32 ) 및 상면 노즐 ( 33 ) 은 스캔 노즐 이 며 , 이 들 3 개 의 노즐 에 각각 대응 하 는 3 개 의 노즐 이동 유닛 이 설치 되 는 예 를 나타내 고 있 다 .