승강 유닛 ( 480 ) 은 컵 ( 420 ) 을 상하 방향 으로 이동 시킨다 . 컵 ( 420 ) 의 상하 이동 에 의해 컵 ( 420 ) 과 기판 ( W ) 간 의 상대 높이 가 변경 된다 . 이 에 의해 기판 ( W ) 에 공급 되 는 액 의 종류 에 따라 전 처리 액 을 회수 하 는 회수 통 ( 422 , 424 , 426 ) 이 변경 되 므로 , 액 들 을 분리 회수 할 수 있 다 . 상술 한 바 와 달리 , 컵 ( 420 ) 은 고정 설치 되 고 , 승강 유닛 ( 480 ) 은 지지 유닛 ( 440 ) 을 상하 방향 으로 이동 시킬 수 있 다 .