또한 , 기판 처리 장치 ( 100 A ) 는 , 약액 밸브 ( 56 ) 보다 상류 측 ( 즉 , 약액 탱크 ( 53 ) 측 ) 에서 약액 배관 ( 54 ) 과 약액 탱크 ( 53 ) 를 접속 하 는 순환 배관 ( 57 ) 과 , 순환 배관 ( 57 ) 의 내부 를 개폐 하 는 순환 밸브 ( 58 ) 와 , 순환 배관 ( 57 ) 을 흐르 는 약액 의 온도 를 조절 하 는 온도 조절 장치 ( 59 ) 를 구비 한다 .