레이저 가공 장치 ( 12 ) 는 , 웨이퍼 ( 1 ) 에 레이저 빔 을 조사 하 는 레이저 가공 유닛 ( 14 ) 과 , 웨이퍼 ( 1 ) 를 유지 하 는 척 테이블 ( 도시 생략 ) 을 구비 한다 . 레이저 가공 유닛 ( 14 ) 은 , 레이저 를 발진 할 수 있 는 레이저 발진기 ( 도시 생략 ) 를 구비 하 고 , 웨이퍼 ( 1 ) 에 대하 여 투과성 을 갖 는 파장 의 [ 웨이퍼 ( 1 ) 를 투과 할 수 있 는 파장 의 ] 레이저 빔 ( 16 ) 을 출사 할 수 있 다 . 상기 척 테이블 은 , 상면 에 평행 한 방향 을 따라 이동 ( 가공 이송 ) 할 수 있 다 .