제 1 물질 막 들 ( 22 ) 과 제 2 물질 막 들 ( 24 ) 은 서로 다른 물질 로 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 물질 막 들 ( 22 ) 은 층간 절 연막 용 절연 물질 로 형성 될 수 있 고 , 제 2 물질 막 들 ( 24 ) 은 희생 막 으로서 이용 되 며 제 1 물질 막 들 ( 22 ) 에 대한 식각 선택 비 를 갖 는 절연 물질 로 형성 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 물질 막 들 ( 22 ) 은 실리콘 산화물 로 형성 될 수 있 다 . 제 2 물질 막 들 ( 24 ) 은 실리콘 질화물 로 형성 될 수 있 다 .