다음 에 , 제 어 계산기 ( 110 ) 는 , 분할 회로 ( 143 ) 를 사용 하 여 , 단위 검사 영역 으로 되 는 마스크 다이 ( 33 ) 의 사이즈 로 , 상술 한 측정 화상 으로부터 , 검사 의 대상 으로 되 는 제 1 검사 화상 을 잘라 낸다 ( 도 5 의 S 104 ) . 제 1 검사 화상 은 , 예 를 들 어 화상 보존 부 ( 132 ) 에 보존 된다 . 또한 , 잘라 내 는 방법 은 상술 한 방법 에 한정 되 지 않 는다 . 또한 , 상술 한 측정 화상 을 그대로 제 1 검사 화상 으로서 사용 해도 된다 . 즉 , 측정 화상 은 , 제 1 검사 화상 의 일례 로서 이해 해도 지장 없 다 .