도 6 및 도 9 에 도시 한 실시 예 에서 는 첫 번 째 스테이지 ( SR 1 ) 와 첫 번 째 화 소행 ( PXr 1 ) 을 연결 하 는 게이트 선 ( G 1 ) 은 행 방향 에 평행 하 게 뻗 고 , 첫 번 째 게이트 선 ( G 1 ) 다음 의 게이트 선 ( G 2 - Gn ) 은 행 방향 과 점차 적 으로 큰 각 을 이루 며 행 방향 에 대해 비스듬 하 게 뻗 을 수 있 다 . 이 에 따라 아래쪽 으로 갈수록 게이트 선 ( G 1 - Gn ) 의 팬 아웃 부 ( FO ) 에서 의 길이 는 점차 길 어 질 수 있 다 .