이 유지 장치 에서 는 , 발 열 부 는 , 유지 기판 의 두께 방향 과 직교 하 는 평면 방향 에 배치 된 복수 의 제 1 발열체 와 , 두께 방향 에 있 어서 복수 의 제 1 발열체 보다 일방 의 주면 측 에 배치 된 제 2 발열체 를 구비 하 고 , 복수 의 제 1 발열체 중 어느 것 과 제 2 발열체 는 , 유지 기판 내 에서 두께 방향 으로 연신 되 어 있 는 제 1 비아 에 의해 전기 적 으로 직렬 로 접속 되 어 있 다 .