여기 서 , 제 1 보호 층 ( 160 a ) 으로 는 다양 한 절연 물질 ( dielectric material ) , 예 를 들 어 Al 2 O 3 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , SiO 2 , SiN , SiBN 등 이 사용 될 수 있 다 . 특히 , 이러 한 절연 물질 들 중 Al 2 O 3 는 전극 과 의 부착력 ( adhesion ) 이 매우 우수 하 며 , 또한 수분 흡습 방지 기능 이 탁월 한 특징 이 있 다 . 따라서 , 압 전 구 동체 ( 150 ) 상 에 상술 한 절연 물질 을 이용 한 제 1 보호 층 ( 160 a ) 을 형성 시킴 으로써 광변조기 소자 의 제조 공정 상 에서 또는 실제 구동 상 에서 발생 하 는 주변 수분 의 흡습 등 으로부터 압 전 구 동체 ( 150 ) 를 보호 할 수 있 게 된다 .