톱코트 는 파장 193 ㎚ 의 레이저 에 대한 투명 성 이 라는 관점 으로부터 는 방향 족 을 풍부 하 게 함유 하 지 않 는 폴리머 가 바람직 하 고 , 구체 적 으로 는 탄화수소 폴리머 , 아크릴산 에스테르 폴리머 , 폴리 메타크릴산 , 폴리 아크릴산 , 폴리비닐 에 테르 , 실리콘 함유 폴리머 , 불소 함유 폴리머 등 을 들 수 있 다 . 상기 소수성 수지 ( HR ) 는 톱코트 로서 도 바람직 한 것 이 다 . 또한 , 시판 된 톱코트 재료 도 적당히 사용 가능 하 다 .