자기 정렬 된 콤 전극 식각 방법 에 관하 여 개시 된다 . 개시 된 자기 정렬 된 콤 전극 식각 방법 은 : SOI 기판 의 제 1 실리콘 층 에 형성 된 고정 콤 전극 과 상기 기판 의 제 2 실리콘 층 에 형성 된 구동 콤 전극 의 식각 방법 에 있 어서 , 상기 제 1 실리콘 층 에 형성 된 정렬 마크 를 기준 으로 상기 제 1 실리콘 층 과 절연 층 , 제 2 실리콘 층 을 순차 적 으로 식각 한다 . 본 발명 에 따르 면 , 고정 콤 전극 및 구동 콤 전극 이 제 1 실리콘 층 의 패 터닝 에 의해서 자동 정렬 되 어서 식각 된다 .