예 를 들 어 , 기판 처리 장치 는 복수 의 기판 을 그 안 에 갖 는 랙 을 처리 하 도록 구성 되 고 배열 된 제 1 반응기 ( 6 ) 를 포함 할 수 있 고 , 제 2 반응기 ( 7 ) 는 기판 을 처리 하 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 장치 는 , 기판 을 제 1 반응기 ( 6 ) 로 그리고 이 로부터 이송 하 기 위해 랙 과 기판 핸들러 를 포함 하 는 기판 이송 장치 ( 51 ) 를 가질 수 있 다 . 기판 핸들러 는 또한 기판 을 제 2 반응기 ( 7 ) 의 기판 홀더 로 이송 시키 는 데 사용 될 수 있 다 . 제 2 반응기 ( 7 ) 는 , 제 2 반응기 ( 7 ) 내 의 적어도 하나 의 기판 의 상부 표면 상 에 100 내지 500 nm 의 범위 내인 자외선 을 조사 하 도록 구성 되 고 배열 된 조명 시스템 ( 41 ) 을 구비 할 수 있 다 .