도 2 에 도시 되 는 것 처럼 , MEMS 미러 ( 1 ) 는 지지 부 ( 2 ) 와 , 제 1 가동 부 ( 3 ) 와 , 제 2 가동 부 ( 4 ) 와 , 한 쌍 의 제 1 연결부 ( 5 ) 와 , 한 쌍 의 제 2 연결부 ( 6 ) 와 , 미러 ( 7 ) 를 가지 고 있 다 . 지지 부 ( 2 ) , 제 1 가동 부 ( 3 ) , 제 2 가동 부 ( 4 ) , 한 쌍 의 제 1 연결부 ( 5 ) 및 한 쌍 의 제 2 연결부 ( 6 ) 는 , 예 를 들 면 실리콘 에 의해서 일체 적 으로 형성 되 어 있 다 .