제 1 측 정부 ( 12 ) 및 제 2 측 정부 ( 13 ) 는 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 연직 방향 에 웨이퍼 ( 200 ) 의 외주 잉여 영역 ( 203 ) 에 대향 하 는 위치 에 설치 되 는 것 이 바람직 하 고 , 이 경우 , 접촉 부가 디바이스 영역 ( 202 ) 및 범프 ( 204 ) 에 접촉 하 지 않 고 , 범프 ( 204 ) 가 탑재 되 지 않 은 부분 에 있 어서 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 를 측정 할 수 있 다 .