로드 로크 실 ( 31 ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 를 적재 하 는 스테이지 ( 31 a ) 를 갖 고 , 게이트 밸브 ( 65 ) 를 개재 하 여 진공 반 송실 ( 20 ) 과 접속 되 고 , 게이트 밸브 ( 67 ) 를 개재 하 여 대기 반 송실 ( 40 ) 과 접속 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 로드 로크 실 ( 32 ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 를 적재 하 는 스테이지 ( 32 a ) 를 갖 고 , 게이트 밸브 ( 66 ) 를 통해서 진공 반 송실 ( 20 ) 과 접속 되 고 , 게이트 밸브 ( 68 ) 를 개재 하 여 대기 반 송실 ( 40 ) 과 접속 되 어 있 다 . 로드 로크 실 ( 31 , 32 ) 내 는 , 대기 분위기 와 진공 분위기 를 전환 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 또한 , 로드 로크 실 ( 31 , 32 ) 내 의 진공 분위기 또는 대기 분위기 의 전환 은 , 제 어 장치 ( 70 ) 에 의해 제어 된다 .