이어서 , 밀봉 막 ( 118 ) 위 에 , 예 를 들 면 니켈 ( Ni ) 페이스트 를 사용 하 고 , 또 스퍼터 법 으로 티 탄막 ( Ti 막 ( 100 nm ) ) , 니켈 막 ( Ni 막 , 300 nm ) ) , 금 막 ( Au 막 , 50 nm ) ) 의 적층 막 을 형성 한다 . 이렇게 해서 얻 어 지 는 단자 전극 ( 123 ) 및 단자 전극 ( 124 ) 의 고착 강도 는 5 N 을 초과 하 여 , 단자 전극 으로서 충분 한 고착 강도 를 갖 고 있 다 .