도 16 에 예시 적 으로 도시 된 것 과 같이 , 제 2 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 의 상부 폭 이 하부 폭 보다 크 므로 , 희생 게이트 스택 ( 220 ) 을 제거 하 기 위한 공정 에서 의 공정 불량 이 감소 될 수 있 다 . 만약 제 2 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 의 종횡비 가 크 다면 , 에 천 트 의 불 충분 한 공급 에 의해 희생 게이트 스택 ( 220 ) 이 완전히 제거 되 지 못하 는 불량 이 발생 할 수 있 으나 , 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 제 2 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 의 확장 된 상부 폭 에 의해 제 2 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 의 종횡비 가 감소 되 고 희생 게이트 스택 ( 220 ) 이 완전히 제거 될 수 있 다 .