바람직 하 게 는 , 상기 헤드 구동 부 ( 40 ) 는 진동 수단 ( 미 도시 ) 을 포함 할 수 있 다 . 진동 수단 은 헤드 구 동부 에 모터 및 편심 캠 을 갖 는 진동 장치 가 내설 된 형태 일 수 있 으며 , 헤드 구동 부 외측 에 모터 및 편심 캠 을 포함 하 는 진동 장치 가 따로 구비 되 어 상기 헤드 구 동부 에 진동 을 가하 는 형태 일 수 있 다 . 이 처럼 헤드 구 동부 에 진동 수단 이 마련 되 는 경우 , 세정액 ( 51 ) 과 헤드 ( 10 ) 의 접촉 을 단순 접촉 이 아닌 약간 의 진동 접촉 을 줄 수 있 으므로 , 보다 효율 적 인 세정 이 진행 될 수 있 다 .