상기 게이트 유전 막 ( 150 ) 은 소정 의 두께 로 균일 하 게 형성 됨 으로써 , 제 2 개 구부 들 ( 107 ) 및 상기 터널 들 ( 107 T ) 에 내부 개구부 ( 미 도시 ) 가 형성 된다 . 게이트 유전 막 ( 150 ) 에 의해 둘러싸인 상기 내부 개구부 ( 미 도시 ) 를 도전 물질 로 매립 할 수 있 다 . 상기 도전 물질 을 증착 한 후 , 상기 내부 개구부 ( 미 도시 ) 내부 의 불 필요 한 도전 물질 을 제거 하 여 제 3 개 구부 ( 108 ) 를 형성 할 수 있 다 .