" 본 발명 에 있 어서 의 "" 수분 이 포함 되 지 않 은 불활성 가스 분위기 "" 라는 것 은 진공 분위기 이 어도 좋 고 혹은 건조 질소 등 의 불활성 가스 를 적당 한 유량 으로 유입 하 여 형성 하 여도 좋 다 . 불활성 가스 로서 헬륨 ", 네온 , 아르곤 , 클리프톤 , 크세논 등 의 희가스 를 사용 할 수 있 으나 , 경제 적 인 관점 에서 질소 나 아르곤 을 사용 하 는 것 이 좋 다 .