도 5 는 본 발명 의 실시 형태 에 따라 , 웨이퍼 가 척상 에 강하 되 었 다는 점 을 제외 하 고 는 유사 한 배열 을 도시 한다 . 다시 , 레이저 - 트래 버 싱 어셈블리 는 트래 버 서 바 가 방향 X 로 이동 하 는 것 을 허용 하 고 , 레이저 이 미터 및 반사 율 센서 양자 를 포함 하 는 레이저 어셈블리 는 방향 Y 로 이동 한다 . 레이저 트래 버 싱 어셈블리 가 경로 ( 504 ) 를 따라 트래버스 할 때 도시 된 바 와 같이 불연속 데이터 가 트레이스 ( 502 ) 에 의해 나타난다 . 또한 , 반사 율 불연속 이 인카운터 되 는 위치 에서 레이저 이 미터 위치 를 기록 함 으로써 , 웨이퍼 및 척 을 나타내 는 원 의 외 삽 을 용이 하 게 하 기 위해 몇몇 횡단 경로 가 취해진 이후 에 충분 한 데이터 가 획득 될 수 도 있 다 . 그 후 , 이 들 외 삽 된 원은 , 웨이퍼 가 척상 에 배치 된 이후 에 웨이퍼 와 척 사이 에 오프셋 이 존재 하 는지 여부 , 및 이러 한 오프셋 의 정도 를 결정 하 기 위해 검사 될 수 도 있 다 . 계산 된 오프셋 은 , 후속 웨이퍼 가 척상 에 배치 될 때 , 오 정렬 이 제거 되 도록 그 계산 된 오프셋 을 설명 하 기 위해 어떤 거리 만큼 로봇 팔 을 이동 시킴 으로서 후속 웨이퍼 이송 에서 보상 될 수 도 있 다 .