지지 부재 ( 200 ) 는 지지 플레이트 ( 220 ) , 구동축 ( 240 ) , 그리고 구 동기 ( 260 ) 를 포함 한다 . 웨이퍼 ( W ) 는 지지 플레이트 ( 220 ) 의 상부 에 지지 플레이트 ( 220 ) 와 나란 하 게 놓 여진다 . 지지 플레이트 ( 220 ) 는 알루미늄 재질 이 며 , 이 로 인하 여 웨이퍼 ( W ) 상 에 형성 된 패턴 은 지지 플레이트 ( 220 ) 와 반응 할 가능 성 이 있 다 . 따라서 , 세라믹 재질 의 보호 층 ( 도시 안 됨 ) 을 지지 플레이트 ( 220 ) 의 상부 면 에 형성 할 수 있 으며 , 세라믹 재질 은 산화알루미늄 ( aluminium oxide : Al 2 O 3 ) 를 포함 한다 .