[ 0020 ] 다양 한 실시 예 들 에서 , 도 1 의 시스템 ( 100 ) 은 , 캘리포니아 , 산타클라라 의 어 플 라이드 머 티어리 얼스 , 인 코포 레이티 드 로부터 입수 가능 한 AVATAR ®, ADVANTEDGETM MESATM , SYM 3 ®, DPS ®, PRECISION ®, 및 PRODUCER ® TM 프로세스 챔버 들 또는 다른 프로세스 챔버 들 과 같 은 플 라즈 마 프로세싱 챔버 의 컴포넌트 들 을 포함 할 수 있 다 .