도 10 에 , 종래 의 와이어 쏘 와 본 발명 의 와이어 쏘 로 절단 한 워크 의 와이어 쏘 내측 의 1 매 째 웨이퍼 의 , 워크 이송 방향 단면 에 있 어서 의 Warp 형상 의 비교 를 나타낸다 . 도 10 으로부터 종래 의 와이어 쏘 를 이용 했 을 경우 에 비해 본 발명 의 와이어 쏘 를 이용 하 여 절단 한 웨이퍼 의 표면 쪽 이 보다 만곡 이 억제 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 .