제 3 가이드 롤 ( 31 ) 은 , 성막 된 유리 기재 ( 1 ) ( 구체 적 으로 는 , 유리 기재 ( 1 ) 및 투명 도전 층 ( 2 ) 을 두께 방향 으로 구비 하 는 투명 도전 성 유리 ( 3 ) ) ( 도 2 C 참조 ) 를 , 냉각 장치 ( 13 ) 의 제 1 냉각 롤 ( 34 ) 로 안내 ( 가이드 ) 한다 . 제 3 가이드 롤 ( 31 ) 은 , 스퍼터 타깃 ( 29 ) 의 하류 측 또한 제 1 냉각 롤 ( 34 ) ( 후 술 ) 의 상류 측 에 배치 되 어 있 다 . 제 3 가이드 롤 ( 31 ) 의 구성 은 , 제 1 가이드 롤 ( 26 ) 의 구성 과 동일 하 다 .