또 한 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 과 밸브 하우징 의 내부 공간 ( VS ) 이 서로 소통 되 도록 함 으로써 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 에서 펌핑 에 의하 여 게이트 밸브 의 내부 공간 ( VS ) 이 서로 동일 한 압력 을 유지 하 게 되 어 , 게이트 밸브 의 내부 공간 ( VS ) 의 압력 이 로드 락 챔버 ( 100 ) 또는 반송 챔버 ( 200 ) 의 압력 에 영향 을 주 는 것 을 방지 할 수 있 게 된다 .