본 발명 의 다른 태양 의 멀티 빔 묘화 방법 은 , 멀티 빔 의 각 빔 을 한꺼번에 스테이지 의 이동 에 추종 하 도록 , 편 향기 를 이용 한 빔 편향 에 의한 트랙 킹 제어 를 행하 고 , 상기 트랙 킹 제어 를 행하 면서 , 각 빔 이 각각 대응 하 는 빔 간 피치 사이즈 로 둘러싸인 직사각 형 의 조사 영역 내 를 동시 에 시프트 하 면서 복수 회의 빔 샷 을 행하 고 , 상기 트랙 킹 제어 기간 중 에 , 상기 트랙 킹 제어 용 의 빔 편향 에 이용 하 는 편 향기 와 는 별도 의 편 향기 를 이용 하 여 , 각 빔 의 묘화 위치 를 상기 빔 간 피치 사이즈 의 정수 배 의 오프셋 을 행한 위치 로 상기 멀티 빔 을 일괄 편향 하 는 것 을 특징 으로 하 는 멀티 빔 묘화 방법 .