또한 , 옥소 레이 저광 을 직접 이동 테이블 ( 21 ) 의 반사경 ( 24 ) 에 조사 하 여 반사 시키 는 것 에 의해 이동 테이블 ( 21 ) 의 이송 거리 를 측정 하 는 것 이 아니 라 , 제 만 레이 저광 을 이용 하 여 구한 이동 테이블 ( 21 ) 의 이송 거리 정보 옥소 레이 저광 의 주파수 Vi 등 을 이용 하 여 연산 처리 하 여 구하 는 것 에 의해 , 옥소 레이 저광 을 이용 하 는 불량 ( 파워 가 작 고 , 이동하 는 피검 물 에 대해서 는 적합 하 지 않 으며 , 간섭 성 이 좋 지 않 다 ) 이 없 고 , 고정 밀도 의 측정 이 가능 하 다 .