각 흡 인구 ( 62 ) 에 는 부상 부재 ( 60 ) 내 에 형성 된 흡인 로 ( 68 ) 이 접속 되 고 있 고 이 들 흡인 로 ( 68 ) 은 공통 의 흡인 배관 ( 69 ) 에 접속 되 고 있 고 흡인 배관 ( 69 ) 에 는 진공 펌프 등 의 배기 장치 ( 70 ) 이 접속 되 고 있 다 . 배기 장치 ( 70 ) 에 의해 흡 인구 ( 62 ) , 흡인 로 ( 68 ) 및 흡인 배관 ( 69 ) 를 개재 시켜 부상 부재 ( 60 ) 의 윗 쪽 의 환경 을 흡인 하 는 것 으로 , 유리 기판 ( G ) 의 부상 거리 를 조정 함 과 동시 에 기화 된 시너 를 배출 하 도록 되 어 있 다 .