또한 필터링 되 지 않 은 포토레지스트 에 는 바틀 에서부터 생길 수 도 있 으나 공급 라인 을 통한 유동 중 에 도 다수 의 기포 가 생기 게 되 므로 이러 한 기포 에 의해서 웨이퍼 에 일정 두께 로 스핀 코팅 되 는 포토레지스트 에 증착 불량 이 초래 되 기 도 하 고 , 이 는 결국 패턴 불량 으로 이어지 면서 수율 저하 의 원인 이 되 고 있 다 .