FOUP ( 20 ) 이 로드 포트 ( 114 ) 상 에 로딩 되 고 , FOUP 도어 ( 22 ) 가 기판 이송 챔버 도어 ( 112 b ) 에 밀착 되 면 , FOUP 도어 ( 22 ) 와 기판 이송 챔버 도어 ( 112 b ) 는 상기 도어 오프너 ( 120 ) 에 의해 개방 된다 . 구체 적 으로 , 상기 도어 오프너 ( 120 ) 는 그 하부 에 연결 된 제 1 구 동부 ( 120 a ) 에 의해 상하 방향 으로 이동 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .