일 측면 에 따르 면 , 상기 pH 조절 제 는 아르기닌 , 수산화 암모늄 ( NH 4 OH ) , 프로필 아민 , 트리 에틸아민 , 트리 부틸 아민 , 테트라 메틸아민 , 테트라메틸 암모늄 하이드 록 사이드 , 모노 에탄올아민 , 디 에탄올아민 , 트리 에탄올아민 , 2 - 아미노 - 2 - 에틸 - 1 , 3 - 프로 판디 올 , 2 - 디메틸아미노 - 2 - 메틸 - 1 - 프로판올 , 1 - 아미노 - 2 - 프로판올 , 1 - 디메틸아미노 - 2 - 프로판올 , 3 - 디메틸아미노 - 1 - 프로판올 , 2 - 아미노 - 1 - 프로판올 , 2 - 디메틸아미노 - 1 - 프로판올 , 2 - 디에 틸 아미노 - 1 - 프로판올 , 2 - 디에 틸 아미노 - 1 - 에탄올 , 2 - 에틸 아미노 - 1 - 에탄올 , 1 -( 디메틸아미노 ) 2 - 프로판올 , N - 메틸 디 에탄올아민 , N - 프로 필디 에탄올아민 , N - 이소프로필 디 에탄올아민 , N -( 2 - 메틸 프로필 ) 디 에탄올아민 , N - n - 부틸 디 에탄올아민 , N - t - 부틸 에탄올아민 , N - 시아 클로 헥 실디 에탄올아민 , 2 -( 디메틸아미노 ) 에탄올 , 2 - 디에 틸 아미노 에탄올 , 2 - 디 프로필 아미노 에탄올 , 2 - 부틸 아미노 에 틴 올 , 2 - t - 부틸 아미노 에탄올 , 2 - 사이클 로 아미노 에탄올 , 2 - 아미노 - 2 - 펜탄올 , 2 -[ 비스 ( 2 - 하이드 록 시에 틸 ) 아미노 ] - 2 - 메틸 - 1 - 프로판올 , 2 -[ 비스 ( 2 - 하이드 록 시에 틸 ) 아미노 ] - 2 - 프로판올 , N , N - 비스 ( 2 - 하이드 록 시 프로필 ) 에탄올아민 , 2 - 아미노 - 2 - 메틸 - 1 - 프로판올 , 트리스 ( 하이드 록 시 메틸 ) 아미노 메탄 및 트리 아이소프로판올 아민 으로 이루어진 군 으로부터 선택 된 적어도 하나 를 포함 하 는 것 일 수 있 다 . 일 측면 에 따르 면 , 상기 pH 조절 제 를 통해 상기 CMP 용 슬러리 조성물 의 PH 를 7 내지 10 으로 조절 하 는 것 일 수 있 다 .