반응 가스 로 는 , 예 를 들 어 , 실란 ( SiH 4 ) 이나 디 클로로 실란 ( SiH 2 Cl 2 ) 등 의 규소 ( Si ) 의 소스 가스 와 , 프로판 ( C 3 H 8 ) 이나 아세틸렌 ( C 2 H 2 ) 등 의 카본 ( C ) 의 소스 가스 와 , 캐리어 가스 로서 의 수소 ( H 2 ) 가스 를 혼합 시킨 혼합 가스 를 사용 할 수 있 다 .