제어 신호 출력 부 ( 30 c ) 는 가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 으로 제어 신호 들 을 출력 한다 . 제 어 신호 출력 부 ( 30 c ) 는 공정 챔버 에서 의 기판 처리 를 위한 공정 레시피 에 따라 공정 챔버 및 고주파 유닛 으로 전달 되 는 설정 신호 들 과 동일 한 제어 신호 들 을 가상 챔버 ( 10 ) 및 고주파 유닛 ( 20 ) 으로 전달 할 수 있 다 .