최근 컴퓨터 와 같 은 정보 매체 의 급속 한 보급 에 따라 반도체 장치 도 비약 적 으로 발전 하 고 있 다 . 그 기능 면 에 있 어서 , 상기 반도체 장치 는 고속 으로 동작 하 는 동시 에 대용량 의 저장 능력 을 가질 것 이 요구 된다 . 이러 한 요구 에 부응 하 여 , 상기 반도체 장치 는 집적도 , 신뢰 도 및 응답 속도 등 을 향상 시키 는 방향 으로 반도체 공정 기술 이 발전 되 고 있 다 .