[ 0037 ] 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 로부터 의 저 및 중간 에너지 이온 들 은 펄스 형 DC 소스 ( 120 ) 로부터 의 고 에너지 피크 를 보완 하 고 , 다른 유익 한 특성 들 을 촉진 시킨다 . 예컨대 , 저 및 중간 에너지 이온 들 은 폴리머 측벽 증착 을 돕 고 , 그 에 따라 , 깊 은 에칭 들 에서 휨 이 감소 되 고 , 마스크 선택 성 들 이 개선 된다 .