다른 실시 예 로 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 원판 형태 의 지지 플레이트 ( 310 B ) 와 , 지지 플레이트 ( 310 B ) 의 상면 에 형성 되 는 사각뿔 ( 320 B ) 을 포함 하 는 가스 확산 부재 ( 300 B ) 를 이용 할 수 도 있 다 . 이 때 , 사각뿔 ( 320 B ) 의 각 측면 ( 322 B ) 은 공정 챔버 ( 100 ) 의 모서리 ( 102 ) 를 향하 여 배치 된다 .