한편 , 제 1 스테이지 로부터 제 2 스테이지 로 복수 의 기판 ( S ) 들 이 이송 될 때 , 선행 기판 ( S 2 ) 과 후행 기판 ( S 1 ) 이 밀착 된 상태 로 정렬 지게 이송 이 이루어지 는 경우 , 제 어부 ( 300 ) 는 반입 센서 ( 520 ) 및 반출 센서 ( 510 ) 로부터 입력 되 는 신호 에 의해 제 1 구 동부 ( 130 ) 및 제 2 구 동부 ( 230 ) 의 구동 속도 를 동일 하 게 제어 할 수 있 음 은 물론 이 다 .