가스 공급원 ( 62 ) 은 , 가스 공급 로 ( 61 ) 를 통해 가스 를 가스 토출 부 ( 50 ) 에 공급 한다 . 가스 공급원 ( 62 ) 은 , 예컨대 수분 농도 가 조절 된 수분 함유 가스 를 가스 토출 부 ( 50 ) 를 향해 공급 해도 좋 다 . 또한 , 가스 공급원 ( 62 ) 은 , 불활성 가스 를 가스 토출 부 ( 50 ) 를 향해 공급 해도 좋 다 . 불활성 가스 란 , 웨이퍼 ( W ) 가 가열 될 때 에 피막 으로부터 발생 하 는 금속 승화 물 과 반응 하 기 어려운 가스 이 다 . 가스 공급원 ( 62 ) 은 , 불활성 가스 로서 , 수분 함유 가스 와 비교 하 여 산소 농도 가 낮 은 가스 를 공급 하 고 있 어도 좋 고 , 습도 가 낮 은 가스 를 공급 하 고 있 어도 좋 다 . 예컨대 가스 공급원 ( 62 ) 은 , 산소 농도 가 낮 은 가스 로서 질소 ( N 2 ) 가스 를 공급 하 고 있 어도 좋 고 , 습도 가 낮 은 가스 로서 드라이 에어 를 공급 하 고 있 어도 좋 다 .