도 1 은 이러 한 개선 된 실리콘 부품 들 을 제조 하 는 예시 적 인 방법 ( 100 ) 의 일 실시 예 를 나타낸다 . 방법 ( 100 ) 은 박스 ( 102 ) 에서 시작 되 며 , 여기 서 실리콘 은 예 를 들 어 , 노 ( furnace ) 에서 성장 된다 . 실리콘 성장 프로세스 는 종래 의 프로세스 또는 본 발명 의 실시 예 들 을 따른 개선 된 성장 프로세스 일 수 있 다 . 이러 한 성장 프로세스 로부터 실리콘 샘플 은 박스 ( 104 ) 에 도시 된 것 처럼 , 부품 을 형성 하 도록 기계 가공 된다 . 박스 ( 106 ) 에서 , 실리콘 부품 은 종래 의 프로세스 또는 본 발명 의 실시 예 들 을 따른 개선 된 어닐링 프로세스 중 하나 를 이용 하 여 어닐링 되 며 , 프로세스 의 선택 은 박스 ( 102 ) 에서 이루어진 선택 과 관련 된다 . 예 를 들 어 , 종래 의 성장 프로세스 가 이용 될 경우 , 개선 된 어닐링 프로세스 가 사용 된다 . 그러나 , 개선 된 성장 프로세스 가 사용 될 경우 , 종래 의 프로세스 또는 개선 된 어닐링 프로세스 가 이용 될 수 있 다 .