그리고 , 상기 와 같 은 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 실시 예 에 따른 정제 자 동분 배기 는 , 정제 카세트 ; 상기 정제 카세트 가 상측 에 결합 되 는 카세트 결합 가이드 ; 및 상기 카세트 결합 가이드 로부터 정제 자 동분 배기 방향 으로 구비 되 어 상기 정제 자 동분 배기 설치대 방향 으로 전후 탈착 가능 한 장착 구조 를 형성 하 는 장착 가이드 를 포함 하 는 정제 카세트 베이스 ; 및 상기 정제 카세트 와 상기 정제 카세트 베이스 가 결합 된 일체 가 상기 장착 가이드 를 이용 하 여 전후 인입 되 는 하나 이상 의 체결 수단 을 구비 하 는 설치대 ; 를 포함 한다 .