종래 , 반도체 소자 ( 집 적 회로 등 ) , 액정 표시 소자 등 의 전자 디바이스 ( 마이크 로 디바이스 ) 를 제조 하 는 리소그래피 공정 에서 는 , 스텝 · 앤드 · 리피트 방식 의 투영 노광 장치 ( 이른바 스 테퍼 ) , 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 의 투영 노광 장치 ( 이른바 스캐닝 · 스 테퍼 ( 스캐너 라고 도 한다 ) ) 등 이 주로 사용 되 고 있 다 .