한편 , 반도체 소자 의 구조 변경 및 그 물질 변경 을 통해서 이러 한 목적 을 달성 하 기 위한 시도 가 있 다 . 예 를 들 어 , 핀 - 펫 구조 의 반도체 소자 및 SOI 웨이퍼 , 또는 고유 전 율 절연체 를 이용 한 반도체 소자 가 이용 된다 . 하지만 , 이러 한 반도체 소자 의 구조 변경 및 물질 변경 은 비용 증가 를 초래 할 뿐 만 아니 라 , 예기 치 않 은 부작용 을 갖 는다 . 따라서 , 이러 한 반도체 소자 는 높 은 신뢰 성 을 확보 하 기 어렵 고 , 따라서 제품 화 되 기 어렵 다 .