또한 , ESC ( 13 ) 상 에 는 환상 의 포커스 링 ( 24 ) 이 배치 된다 . 포커스 링 ( 24 ) 은 , 도전 성 부재 , 예컨대 , 실리콘 으로 이루어지 고 , ESC ( 13 ) 의 탑 재면 에 흡착 유지 된 웨이퍼 ( W ) 를 둘러싼다 . 또한 , 포커스 링 ( 24 ) 은 , 처리 공간 ( S ) 에 발생 한 플 라즈 마 를 웨이퍼 ( W ) 의 표면 을 향해서 수속 하 여 , 에칭 처리 의 효율 을 향상 시킨다 .