[ 0051 J 도 6 a 는 프로세싱 된 기판 의 상단 표면 보다 약간 더 높 은 에지 표면 에 의해 기판 지지 를 갖 는 플 라즈 마 리액터 에서 수행 된 질화 반응 프로세스 들 후 에 기판 의 직경 에 걸친 질소 투 여량 들 을 도시 한 스캐닝 차트 이 다 . 도 6 a 는 200 sccm , 400 sccm , 600 sccm , 800 sccm , alc 1000 sccm 의 질소 유속 ( flow rate ) 들 을 갖 는 질화 반응 프로세스 들 로부터 의 투 여량 결과 들 을 갖 는다 . 도 6 a 의 모든 결과 들 에 대해 , 기판 의 에지 가까이 에서 의 투 여량 은 기판 의 나머지 부분 에 걸친 평균 투 여량 보다 실질 적 으로 더 적 다 .