상술 한 문제 를 감안 하 여 , 본 발명 은 이종 재료 기판 위 에 있 어서 , 계면 및 막 중 의 결정 성 이 높 은 미결정 반도체 막 의 형성 방법 을 제안 하 는 것 을 과제 의 하나 로 한다 . 또한 , 결정 성 이 높 은 미결정 반도체 막 을 갖 는 박막 트랜지스터 의 제작 방법 을 제안 하 는 것 을 과제 의 하나 로 한다 . 또한 , 결정 성 이 높 은 미결정 반도체 막 을 갖 는 광전 변환 장치 의 제작 방법 을 제안 하 는 것 을 과제 의 하나 로 한다 .