이렇게 해서 처리 유닛 ( 60 ) 내 에서 의 웨이퍼 ( W ) 의 건조 처리 가 종료 된다 . 그리고 , 이상 의 처리 에 의해 , 처리 유닛 ( 60 ) 내 에서 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 처리 가 종료 된다 . 그 후 , 전달 부 ( 10 b ) 에 배치 된 전달 장치 ( 13 ) 가 개구 ( 60 a ) 를 통하 여 , 처리 가 끝난 웨이퍼 ( W ) 를 처리 유닛 ( 60 ) 으로부터 반출 하 고 , 또한 , 적 재부 ( 10 a ) 에 적재 된 캐리어 ( 11 ) 내 에 다시 수납 한다 . 이상 과 같이 해서 , 1 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 처리 가 종료 된다 .