종래 의 진공 처리 장치 에 사용 되 는 게이트 밸브 는 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 챔버 ( 10 ) 와 제 2 챔버 ( 20 ) 사이 에 설치 되 며 , 승강 및 경사 이동 에 의하 여 제 2 챔버 ( 20 ) 의 게이트 ( 21 ) 주변 의 외벽 과 밀착 되 어 제 1 챔버 ( 20 ) 를 닫 음 으로써 제 1 챔버 ( 10 ) 와 제 2 챔버 ( 20 ) 를 서로 차단 시키 는 밸브 본체 ( 30 ) 와 , 밸브 본체 ( 30 ) 를 승강 및 경사 이동 시키 는 이동 모듈 ( 40 ) 로 구성 된다 .