도면 부호 810 에서 , 하나 이상 의 S - D 웨이퍼 가 하나 이상 의 S - D 이송 시스템 을 이용 하 여 수납 될 수 있 다 . 대안 으로 , 하나 이상 의 N - S - D 웨이퍼 도 수납 될 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 웨이퍼 에 대한 웨이퍼 데이터 가 수신 될 수 있 다 . 웨이퍼 데이터 는 이력 데이터 및 / 또는 실시간 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 대안 으로 , 웨이퍼 는 상이 한 서브시스템 들 에 의해 수납 될 수 도 있 다 .