제 2 밸브 ( 12 ) 는 공정 제어 챔버 ( 20 ) 의 상류 에 배치 될 수 있 다 . 나타낸 구 현예 에서 , 제 2 밸브 ( 12 ) 는 필터 ( 4 ) 와 공정 제어 챔버 ( 20 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 다른 구 현예 에서 , 제 2 밸브 ( 12 ) 는 필터 ( 4 ) 와 기화기 ( 10 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 제 2 밸브 ( 12 ) 는 , 기화 된 반응물 의 유동 컨덕턴스 를 제어 하 기 위한 조절 밸브 를 포함 할 수 있 다 . 제 3 밸브 ( 13 ) 는 , 공정 제어 챔버 ( 20 ) 의 하류 에 , 예 를 들 어 공정 제어 챔버 ( 20 ) 와 반응기 ( 21 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 제 3 밸브 ( 13 ) 는 , 일부 구 현예 에서 유동 컨덕턴스 를 제어 하 기 위한 조절 밸브 를 포함 할 수 있 다 . 다른 유형 의 밸브 가 다른 구 현예 에 적합 할 수 있 다 .