이 와 같이 구성 된 종래 의 에칭 챔버 의 경우 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 상부 챔버 ( 110 ) 의 내부 공간 에서 실질 적 인 에칭 처리 가 진행 되 는 동안 에 는 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 가 최상 위치 에서 상기 상부 챔버 ( 110 ) 의 본체 ( 111 ) 의 저면 개구부 ( 117 ) 를 밀봉 시킨 상태 를 계속 유지 한다 . 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 상부 면 표면 에 웨이퍼 ( 도시 안 됨 ) 가 고정 된다 .