도 6 a 및 도 6 b 는 실시 예 1 의 적층 체 에서 , Ta 1 - xMnxOy 박막 을 증착 한 후 초기 상태 에서 측정 된 EDS 및 EELS 원소 분석 결과 를 나타내 고 , 도 7 a 및 도 7 b 는 실시 예 2 의 적층 체 에서 , Ta 1 - xMnxOy 박막 을 증착 한 후 초기 상태 에서 측정 된 EDS 및 EELS 원소 분석 결과 를 나타낸다 .