도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 세라믹 기판 ( 15 ) ( 따라서 세라믹 히터 ( 5 ) ) 에는 , 평면 에서 볼 때 복수 의 가열 존 ( KZ ) 이 설정 되 어 있 고 , 각 가열 존 ( KZ ) 에는 , 각 가열 존 ( KZ ) 의 온도 를 독립 적 으로 조절 할 수 있 도록 상기 서술 한 구성 의 직렬 발열체 ( H ) 가 1 개 씩 배치 되 어 있 다 .