본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 은 , ( A ) 성분 및 ( B ) 성분 에 더 하 여 , 추가 로 , 노광 에 의해 발생 하 는 산 을 트랩 ( 즉 , 산 의 확산 을 제어 ) 하 는 염기 성분 ( ( D ) 성분 ) ( 단 , ( B 1 ) 성분 에 해당 하 는 것 을 제외 한다 ) 을 함유 해도 된다 . ( D ) 성분 은 , 레지스 트 조성물 에 있 어서 노광 에 의해 발생 하 는 산 을 트랩 하 는 퀀처 ( 산 확산 제 어제 ) 로서 작용 하 는 것 이 다 .