계속 해서 , 도 3 b 를 참조 하 면 , 채널 구조 들 ( CH ) 각각 의 측벽 을 따라 연장 된 다층막 은 콘 택 소스 막 ( CTS ) 에 의해 제 1 다층 패턴 ( ML 1 ) 및 제 2 다층 패턴 ( ML 2 ) 으로 분리 될 수 있 다 . 제 1 다층 패턴 ( ML 1 ) 은 채널 구조 들 ( CH ) 각각 의 상단 을 감싸 는 패턴 으로 정의 하 고 , 제 2 다층 패턴 ( ML 2 ) 은 제 1 소스 막 ( SL 1 ) 과 각각 의 채널 구조 ( CH ) 사이 에 배치 된 패턴 으로 정의 한다 .