유지 유닛 ( 30 ) 은 , 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , X 축 방향 에 있 어서 자유 롭 게 이동 할 수 있 게 기대 ( 2 ) 에 탑재 된 사각 형상 의 X 축 방향 가동 판 ( 31 ) 과 , Y 축 방향 에 있 어서 자유 롭 게 이동 할 수 있 게 X 축 방향 가동 판 ( 31 ) 에 탑재 된 사각 형상 의 Y 축 방향 가동 판 ( 32 ) 과 , Y 축 방향 가동 판 ( 32 ) 의 상면 에 고정 된 원통 상 의 지주 ( 33 ) 와 , 지주 ( 33 ) 의 상단 에 고정 된 사각 형상 의 커버 판 ( 34 ) 을 포함 한다 . 커버 판 ( 34 ) 에는 커버 판 ( 34 ) 상 에 형성 된 긴 구멍 을 통과 하 여 상방 으로 연장 되 는 척 테이블 ( 35 ) 이 배치 형성 되 어 있 다 . 척 테이블 ( 35 ) 은 , 원 형상 의 웨이퍼 를 유지 하 고 , 지주 ( 33 ) 내 에 수용 된 도시 되 지 않 은 회전 구동 수단 에 의해 화살표 R 1 로 나타내 는 방향 으로 회전 가능 하 게 구성 된다 . 척 테이블 ( 35 ) 의 상면 은 , 통기성 을 갖 는 다공질 재료 로 형성 되 고 실질 상 수평 으로 연장 되 는 유지 면 을 구성 한다 . 척 테이블 ( 35 ) 은 , 지주 ( 33 ) 내 를 통과 하 는 도시 되 지 않 은 유로 에 의해 흡인 수단 ( 도시 는 생략 ) 에 접속 되 어 있 다 .