또한 , 13 장 의 모니터 웨이퍼 ( M 1 ∼ M 13 ) 를 설정 한 경우 에 는 , 24 점 × 13 장 = 312 개 의 제어 대상 을 설정 할 수 있 다 . 또 , 제 어 대상 으로 부르 고 있 는 것 은 , 이 모니터 개소 ( MP ) 에서 의 막 두께 의 변동 이 적어지 도록 제어 하 면 , 면내 균일성 을 높이 는 막 두께 제어 의 목적 이 달성 되 기 때문 이 다 .