배기 구멍 의 적어도 일부 가 기판 보다 외주 에 형성 되 는 경우 , 기판 주위 에 있 어서 기체 가 상방 의 배기 구멍 으로 향하 는 흐름 이 형성 되 기 때문 에 , 이 배기 구멍 으로 향하 는 기체 의 흐름 보다 외측 으로 의 승화 물 의 이동 이 억제 된다 . 따라서 , 기판 상 의 피막 으로부터 의 기판 보다 외측 으로 의 승화 물 의 비산 을 억제 하 는 것 이 가능 해진다 .