또한 , 본 실시 예 에서 는 , 절연 층 에 형성 되 는 금속 배선 ( 금속 층 ) 으로서 , 주로 Cu 배선 을 예 로 들 어서 설명 했으나 , 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예컨대 , Cu 이외 에 , Al , Ag , W , Co , Ni , Ru , Ti , Ta 등 의 금속 배선 이나 금속 전극 ( 금속 층 ) 에 대해서 도 본 실시 예 를 적용 하 는 것 이 가능 하 다 .