[ 0043 ] 또한 , 도 5 a 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 제 1 트랙 ( 110 ) 은 제 1 구동 구조 ( 112 ) 를 포함 할 수 있 다 . 특히 , 제 1 구동 구조 ( 112 ) 는 복수 의 추가 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 114 ) 을 포함 할 수 있 다 . 통상 적 으로 , 추가 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 114 ) 은 기판 이송 방향 을 따라 , 예컨대 도 5 a 및 5 b 에 도시 된 x - 방향 을 따라 기판 캐리어 를 구동 시키 도록 구성 된다 . 따라서 , 복수 의 추가 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 114 ) 은 , 기판 캐리어 ( 150 ) 를 , 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 113 ) 에 의해 부상 되 어 있 는 동안 이동 시키 기 위한 제 1 구동 구조 ( 112 ) 를 형성 할 수 있 다 . 도 5 a 및 5 b 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 기판 캐리어 ( 150 ) 는 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 152 ) , 예컨대 , 제 1 구동 구조 ( 112 ) 의 추가 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 114 ) 과 상호 작용 하 도록 구성 된 강자성 재료 의 바아 ( bar ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 152 ) 는 기판 캐리어 ( 150 ) 에 연결 되 거나 또는 기판 캐리어 와 일체 로 형성 될 수 있 다 .