개선 된 성능 은 부분 적 으로 는 이용 된 플루오르 화 된 화합물 및 따라서 생성 된 조성물 의 낮 은 표면 장력 과 낮 은 점도 로 인한 것 이 다 . 조성물 의 낮 은 표면 장력 은 표면 의 습윤 개선 에 기여 하 며 , 낮 은 점도 는 세정 조성물 로부터 의 처리 된 기판 의 분리 개선 , 표면 으로부터 의 상기 조성물 의 보다 우수 한 배출 , 및 표면 으로부터 잔류물 의 보다 효율 적 인 증발 에 기여 한다 . 본 발명 의 조성물 의 표면 장력 은 25 ℃ 에서 측정 할 때 일반 적 으로 0 . 2 mN / ㎝( 20 dyne / ㎝) 미만 이 며 , 바람직 하 게 는 0 . 1 내지 0 . 2 mN / ㎝( 10 내지 20 dyne / ㎝) 이 다 . 당해 점 도 값 은 25 ℃ 에서 일반 적 으로 5 미만 이 며 , 바람직 하 게 는 1 . 0 x 10 - 6 ㎡/ s ( 1 센티 스토크 ) 미만 이 다 .