즉 , 절 연막 ( 202 ) 으로 미리 형성 된 미세 패턴 들 의 상부 에 단지 도전 막 ( 203 ) 만 을 증착 함 으로써 , 동일 평면 상 에 1 개 의 마이크 로 히터 ( 206 ) 와 중앙부 감지 전극 ( 207 ) , 1 개 의 좌측 감지 전극 ( 208 ) , 1 개 의 우측 감지 전극 ( 209 ) , 4 개 또는 3 개 의 전극 패드 ( 212 ) 등 과 같 은 주요 기능 부 들 이 동일 한 물질 을 가지 는 형태 로 동시 에 형성 한다 .