상기 기판 ( 10 ) 이 부상 한 상태 에서 상기 얼라 이너 들 ( 150 ) 이 상기 기판 ( 10 ) 을 상기 X 축 방향 또는 상기 Y 축 방향 으로 이동 시키 거나 회전 시켜 상기 기판 ( 10 ) 을 정렬 하 고 , 상기 기판 카메라 ( 160 ) 로 상기 기판 ( 10 ) 의 정렬 상태 를 확인 한다 . 상기 기판 ( 10 ) 의 정렬 및 상기 기판 ( 10 ) 의 정렬 상태 확인 을 반복 하 여 상기 기판 ( 10 ) 의 정렬 을 완료 한다 .