여기 서 사용 되 는 기판 ( 210 ) 은 SUS ( stainless steel ) 또는 Fe - Ni 을 기반 으로 하 는 invar ( Fe : 63 , Ni : 36 , Mn : 0 . 35 , Si : 0 . 2 , C : 0 . 02 ) , Superinvar ( Fe : 63 , Ni : 32 , Co : 5 . 5 , Mn : 0 . 4 , Si : 0 . 25 , C : 0 . 02 ) 이나 Ti 또는 Ni 를 포함 하 는 금속 기판 을 사용 할 수 있 다 .