소정 의 처리 가 종료 되 면 , 제 어 장치 ( 520 ) 는 , 승강 기구 ( 510 ) 를 제어 해서 스테이지 ( 505 ) 를 전달 위치 로 이동 시킨다 . 이때 , 스테이지 ( 505 ) 가 하강 함 으로써 , 환상 부재 ( 514 ) 가 도시 하 지 않 은 걸 림 부 에 의해 걸림 고정 된다 . 또한 , 승강 핀 ( 512 ) 의 하단 이 맞닿 음 부재 ( 513 ) 와 맞닿 음 으로써 , 승강 핀 ( 512 ) 의 헤드 부 가 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 으로부터 돌출 되 어 , 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 들 어 올린다 .