이 실시 예 에서 , 불순물 의 영역 선택 적 포함 에 의한 측벽 이 두꺼운 TS - SiO 가 도 4 에 도시 된 바 와 같이 수행 되 었 다 . 그러나 , 이 예 는 오히려 실험 예 로 , 그 이유 는 도 4 의 단계 ( S 6 ) 는 ( 아크릴 접착제 를 갖 는 ) 폴리 이미드 테이프 를 사용 하 여 수행 되 었 기 때문 인데 , 이 를 사용 하 여 기판 을 서 셉 터 에 부착 했 고 , 이 테이프 는 플 라즈 마 에 노출 되 어 탄소 를 포함 한 불순물 의 공급원 ( 공기 중 분자 오염원 , AMC ) 이 플 라즈 마 내 에 방출 되 는 것 이 예상 되 었 고 , 탄소 활성 종 을 함유 한 플 라즈 마 를 형성 하 였 다 ( 불순물 을 함유 한 가스 를 플 라즈 마 가스 에 첨가 하 여 불순물 활성 종 을 함유 한 플 라즈 마 를 형성 하 는 것 과 는 대조 적 임 ) . 상기 단계 는 단계 ( S 6 ) 과 기능 적 으로 동등 한 것 으로 고려 되 며 , 여기 서 이 들 두 단계 는 활성 종 을 함유 하 는 플 라즈 마 를 생성 한다 .