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 electrical _ JW _ MS _ K 2 WT 001 _ S 
 부산 대학교 플 라즈 마 연구실 ( 이호준 교수 님 연구실 ) SK Hynix Plasma Ion Source 개발 등 산학연 과제 참여 연구원 모집 
 저 는 동아 대학교 졸업 생 조성환 입니다 . 
 부산대 플라 즈 마 연구실 은 반도체 8 대 공정 중 핵심 공정 에 속하 는 플 라즈 마 에 관한 연구 를 기본 으로 하 고 있 으며 CCP , ICP , MWP 등 의 반도체 장비 및 공정 연구 를 수행 하 고 있 습니다 . 오랜 시간 동안 미래형 반도체 장비 및 나노 공정 , 초미세 식각 , 고 효율 박막 증착 에 관한 연구 를 실시 해 왔으며 최근 에 는 부산시 에서 추진 하 고 있 는 전기차 , 수소 차 등 미래 에너지 핵심 부품 인 고 효율 파워 반도체 사업 의 핵심 연구실 로 선정 되 어 SiC 기반 의 반도체 모듈 및 소자 설계 , 공정 에 관한 연구 를 진행 하 고 있 습니다 . SK HYNIX , 삼성전자 , LG 전자 , SEMES , 전기 연구원 , 한국 기초 과학 연구원 등 국내 유수 의 반도체 기업 및 연구소 들 과 과제 를 진행 중 에 있 으며 아래 의 과제 에 참여 할 연구원 을 모집 중 에 있 습니다 . 
 SK HYNIX plasma ion source 개발 
 - 과 제명 / 개요 : 반도체 이온 주입기 용 RF Plasma Ion Source 개발 및 적용 성 연구 
 High current ion implantation 공정 의 생산 성 향상 을 위해 새로운 이온 빔 소스 를 개발 하 고 이 를 양산 공정 에 적용 
 - 산학 협력 내용 : 대학원 연구생 으로 접하 기 힘든 실제 공정 라인 에서 사용 되 는 Axelis Optima HD Imax 장비 를 직접 다루 어 볼 수 있 으며 ICP , ECR , Helicon 등 의 고 효율 플 라즈 마 소스 를 직접 설계 하 고 반도체 생산 성 향상 에 기여 할 수 있 는 기회 가 부여 됩니다 . 우수 한 과제 수행 시 SK HYNIX 연구소 의 산학 장학생 으로 선정 될 수 있 는 기회 도 제공 됩니다 . 
 파워 반도체 연구 
 - 과제 명 : 전력 반도체 지능 형 파워 모듈 융합 연구 
 - 과제 개요 : 전기차 및 수소 차등 미래 고 효율 에너지 시대 의 핵심 소자 인 SiC 기반 의 반도체 설계 및 공정 에 관한 연구 를 수행 . 반도체 소자 설계 tool 인 TCAD 를 이용 하 여 Diode , MOSFET 등 의 SiC 기반 의 반도체 소자 및 모듈 을 설계 하 고 창원 의 전기 연구원 ( KERI ) 과 협력 하 여 이온 주입 , 리소그래피 , 에칭 , 증착 을 통한 소자 제작 에 관한 연구 를 실시 . 
 - 연구자 특혜 : 부산시 에서 추진 하 고 있 는 전기차 , 수소 차 등 미래 에너지 핵심 부품 인 고 효율 파워 반도체 사업 의 핵심 연구실 일원 으로 SiC 기반 의 반도체 모듈 및 소자 설계 , 공정 에 참여 할 수 있 는 기회 가 제공 됩니다 . 전기 연구원 과 협력 하 여 실제 공정 장비 를 다루 어 볼 수 있 으며 직접 소자 를 제작 할 수 있 습니다 . 차후 에 는 현재 착공 중 인 부산시 기장군 의 파워 반도체 사용 화 센터 에서 반도체 공정 장비 를 사용 하 여 보다 더 심도 깊 은 연구 를 수행 할 수 있 습니다 . 
 2019 학년도 일반 대학원 입학 전형 계획 을 아래 와 같이 안 내드리 오니 많 은 지원 바랍니다 . 
 전기 모집 
 원서 접수 : 2018 . 12 . 4 . ( 화 ) ~ 12 . 7 . ( 금 ) 
 면접 / 서류 고사 : 1 . 3 . ( 목 ) 
 합격자 최종 사정 : 1 . 22 . ( 화 ) 
 합격자 발표 : 1 . 30 . ( 수 ) 
 * 지원 및 연구실 상담 은 아래 의 대표 학생 연락처 로 문 의 부탁 드립니다 . 
 연구실 대표 학생 연락처 
 - 이름 : 차주홍 
 - 이메일 : ciwsssh @ nate . com 
 - H . P : 010 - 2015 - 5308 
 부산광역시 사하구 낙동대로 550 번 길 37 ( 하단동 ) 동아 대학교 공과 대학 전기 공학 과 Tel : 051 - 200 - 7732 Fax : 051 - 200 - 7743 
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