제조 장치 의 작동 프로세스 , 공급 가스 의 종류 및 공급 가스 의 유량 에 대응 하 는 연료 , 산소 및 공기 의 공급량 이 제어기 ( 6 ) 내 에 미리 저장 되 고 , 제어기 ( 6 ) 는 피드포워드 제어 와 PID 제어 의 조합 에 의해 질량 유량 제어기 ( MFC 1 , MFC 2 , MFC 3 ) 를 자동 으로 제어 한다 . 구체 적 으로 , 배기 가스 처리 를 위해 요구 된 열 의 양 은 제조 장치 에 공급 된 가스 의 종류 , 제조 장치 에 공급 된 가스 의 유량 , 진공 펌프 장치 ( 3 ) 에 공급 된 N 2 의 유량 및 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 으로부터 공급 된 희석 용 N 2 의 유량 으로부터 자동 으로 계산 되 고 , 연료 , 산소 및 공기 의 공급량 이 제어기 ( 6 ) 내 에서 자동 으로 계산 된다 . 다음 에 , 연료 , 산소 및 공기 의 공급량 은 질량 유량 제어기 ( MFC 1 , MFC 2 , MFC 3 ) 에 의해 자동 으로 조정 된다 . 또한 , 배기 가스 처리 를 필요 로 하 지 않 는 제조 장치 의 제조 프로세스 에서 , 차단 밸브 ( V 11 , V 12 , V 13 ) 는 연료 , 산소 및 공기 의 공급 을 정지 하 도록 작동 된다 . 따라서 , 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 내 의 전력 소비 가 감소 될 수 있 고 , 연료 , 산소 및 공기 의 공급량 이 감소 될 수 있 고 , 에너지 절약 이 성취 될 수 있 다 . 제어기 ( 6 ) 대신 에 , 제조 장치 ( 1 ) 로부터 의 정보 는 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 를 제어 하 기 위해 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 를 개별 적 으로 제어 하 기 위한 제어기 내 로 입력 될 수 도 있 다 . 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 가 연소 형 장치 가 아니 라 플 라즈 마형 장치 또는 히터 형 장치 인 경우 에 , 배기 가스 처리 를 위해 요구 된 온도 는 제어기 ( 6 ) 내 에 미리 저장 되 고 , 플라 즈 마 출력 또는 히터 출력 이 피드포워드 제어 와 PID 제어 의 조합 에 의해 자동 으로 제어 된다 .