일 형태 에서 는 , 상기 얼라 이 너 는 , 상기 편심 검출 기구 를 사용 하 여 , 상기 프로세스 스테이지 의 축심 에 대한 상기 센터 링 스테이지 축심 의 초기 상대 위치 를 취득 하 는 센터 링 준비 동작 을 실행 하 고 , 상기 초기 상대 위치 와 , 상기 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 의 , 상기 센터 링 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 에 기초 하 여 , 상기 센터링 동작 을 실행 한다 .