한 쌍 의 가이드 레일 ( 51 ) 은 , Z 축 방향 에 평행 으로 , 입 벽부 ( 13 ) 의 전면 에 배치 되 어 있 다 . Z 축 테이블 ( 52 ) 은 , 한 쌍 의 가이드 레일 ( 51 ) 상 에 , 이 들 가이드 레일 ( 51 ) 을 따라 슬라이드 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . Z 축 테이블 ( 52 ) 에 는 , 아 암부 ( 15 ) 및 레이저 유닛 ( 12 ) 이 부착 되 어 있 다 .