상기 믹서 ( 54 ) 에 는 교반기 ( 56 ) 가 설치 되 어 이산화 탄소 와 약액 을 균일 하 게 혼합 하 게 되 고 , 베젤 ( 55 ) 은 웨이퍼 ( W ) 를 안착 시켜 회전 시킬 수 있 게 구성 되 어 있 으며 , 믹서 ( 54 ) 와 베젤 ( 55 ) 의 사이 에 는 밸브 ( 57 ) 가 설치 되 어 있 다 . 즉 , 상기 이산화 탄소 봄베 ( 52 ) 와 약액 이 저장 되 는 저장 탱크 ( 50 ) 로부터 이산화 탄소 와 약액 이 믹서 ( 54 ) 로 공급 되 어 균일 하 게 혼합 되 고 , 이 는 다시 베젤 ( 55 ) 로 공급 되 면서 웨이퍼 ( W ) 를 세정 하 게 되 는 것 이 다 .