도 9 는 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 를 X 방향 , Y 방향 , 및 Z 방향 중 의 어느 한 방향 으로 구동 시켰 을 때 의 위치 를 횡축 상 에 , 각 위치 의 투과광 의 광 강도 를 종축 상 에 플롯 한 그래프 이 다 . 도 9 에 도시 된 바 와 같이 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 의 각 위치 에서 의 광 강도 의 데 이타 를 수집 하 고 , 상기 데이터 를 함수 피팅 ( fitting ) 이나 중심 처리 등 에 의해 얻 어 진 광 강도 가 최대 가 되 는 위치 를 , 그 구동 방향 에 있 어서 의 레티 클 ( 1 ) 과 웨이퍼 ( 3 ) 를 위치 맞춤 한 위치 로서 간주 한다 . 또한 , Z 방향 으로 위치 맞춤 된 위치 를 본 발명 에 의한 투영 광학계 ( 6 ) 의 베스트 포커스 위치 라고 정의 한다 .