공정 ST 2 는 , 챔버 ( 10 ) 내 에서 플 라즈 마가 생성 되 고 있 는 상태 로 실행 된다 . 플 라즈 마 를 생성 하 기 위하 여 , 가스 가 가스 공급 부 로부터 챔버 ( 10 ) 내 에 공급 된다 . 또 , 챔버 ( 10 ) 내 의 압력 을 지정 된 압력 으로 설정 하 도록 , 배기 장치 ( 50 ) 가 작동 한다 . 또 , 고주파 전력 ( HF ) 이 공급 된다 . 그 결과 , 챔버 ( 10 ) 내 의 가스 가 여기 되 어 해당 가스 로부터 플 라즈 마가 생성 된다 . 이 와 같이 플 라즈 마가 생성 되 고 있 는 상태 로 , 공정 STb 는 실행 된다 . 공정 STb 에서 는 , 바이어스 전원 ( 62 ) 으로부터 바이어스 ( BE ) 가 하부 전극 ( 18 ) 에 공급 된다 . 그 결과 , 도 3 의 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 기판 ( W ) 의 전위 가 주기 적 으로 변동 한다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 가 이용 되 는 경우 에 , 공정 ST 2 에서 는 , 양극 성 의 전압 이 전원 장치 ( 70 ) 로부터 에지 링 ( ER ) 에 인가 된다 . 구체 적 으로 , 양극 성 의 전압 은 , 기판 ( W ) 의 전위 가 0 이상 인 기간 에 있 어서 에지 링 ( ER ) 에 인가 된다 . 양극 성 의 전압 은 , 기판 ( W ) 의 전위 가 0 이상 인 기간 에 있 어서 , 에지 링 ( ER ) 의 전위 VA 를 기판 ( W ) 의 전위 VW 보다 높 은 전위 로 설정 한다 .