도 11 은 하이 - k 및 로우 - k 실리콘 질화물 층 을 위한 흡광 계수 플롯 을 광 파장 의 함수 로서 나타낸다 . 도 11 의 실례 에서 , 수평 축 은 광 파장 을 나타내 고 , 수직 축 은 흡광 계수 를 나타낸다 . 플롯 ( 921 ) 은 하이 - k 실리콘 질화물 에 대한 것 인 한편 , 플롯 ( 922 ) 은 로우 - k 실리콘 질화물 에 대한 것 이 다 . 도 11 로부터 명백히 알 수 있 는 바 와 같이 , 하이 - k 실리콘 질화물 의 흡광 계수 는 400 nm 이하 의 파장 에서 로우 - k 실리콘 질화물 의 흡광 계수 보다 크기 의 차수 ( orders of magnitude ) 가 높 다 .