가 열부 ( 140 ) 는 반응 로 ( 120 ) 내부 를 공정 온도 로 가열 한다 . 가 열부 ( 140 ) 는 중앙부 가열기 ( 142 ) 및 측 부 가열기 ( 144 ) 를 포함 한다 . 중앙부 가열기 ( 142 ) 는 반응 로 ( 120 ) 내 중앙 영역 을 가열 하 고 , 측 부 가열기 ( 144 ) 는 상기 중앙 영역 을 제외 한 반 응 로 ( 120 ) 의 양측 영역 을 가열 한다 . 여기 서 , 중앙부 가열기 ( 142 ) 에 의해 가열 되 는 상기 중앙 영역 을 제 2 영역 ( 124 ) 이 라 칭하 고 , 측 부 가열기 ( 144 ) 에 의해 가열 되 는 상기 양측 영역 을 제 1 및 제 3 영역 ( 122 , 126 ) 이 라 칭한다 .