한편 , 상기 안내 부재 ( 140 ) 의 회전각 은 상기 고정 바 ( 124 ) 를 안내 한 후 원 위치 로 돌아갈 수 있 도록 90 ° 미만 으로 한정 되 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 도시 되 지 는 않 았 으나 , 상기 안내 부재 ( 140 ) 의 회전각 을 90 ° 미만 으로 한정 하 기 위한 스토퍼 ( stopper ) 가 상기 처리 챔버 ( 10 ) 의 상부 에 배치 될 수 있 다 . 이 와 는 다르 게 , 상기 안내 부재 ( 140 ) 의 회전각 을 한정 하 지 않 고 상기 안내 부재 ( 140 ) 를 원래 의 위치 로 되돌릴 수 있 는 별도 의 리터 닝 ( returning ) 부재 ( 미 도시 ) 가 설치 될 수 도 있 다 . 예 를 들 면 , 스프링 과 댐퍼 를 이용 하 여 상기 안내 부재 ( 140 ) 를 원래 의 위치 로 되돌릴 수 도 있 으며 , 단동 실린더 를 이용 하 여 상기 안내 부재 ( 140 ) 를 원래 의 위치 로 되돌릴 수 도 있 다 .