반송 유닛 ( 240 ) 은 기판 을 안착 할 수 있 는 핸드 ( 252 ) 와 , 로봇 아암 ( 253 ) 을 포함 할 수 있 다 . 로봇 몸체 ( 미 도시 ) 는 내부 에 스테핑 모터 등 의 구동 수단 을 가지 며 , 로봇 아암 ( 253 ) 의 동작 을 제어 한다 . 로봇 아암 ( 253 ) 은 로봇 몸체 ( 미 도시 ) 로부터 동력 을 전달 받 아 기판 ( W ) 을 반송 하 기 위해 펼쳐지 거나 접히 는 동작 을 수행 할 수 있 으며 , 또한 상하 방향 으로 상승 또는 하강 동작 을 수행 할 수 있 다 . 핸드 ( 252 ) 는 여러 가지 형상 으로 제공 될 수 있 다 .