고정 스케일 ( 164 b 1 , 164 b 2 ) 은 , Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 회절 격자 가 형성 된 플레이트 로 이루어지 는 투과 형 위상 격자 이 다 . 한편 , 고정 스케일 ( 164 b 3 , 164 b 4 ) 은 , X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 회절 격자 가 형성 된 플레이트 로 이루어지 는 투과 형 위상 격자 이 다 . 인덱스 스케일 ( 164 c ) 은 , Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 회절 격자 및 X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 회절 격자 가 형성 된 투과 형 2 차원 격자 이 다 . 또한 검출기 ( 164 d ) 는 , 예 를 들 어 4 분 할 검출기 또는 CCD 를 포함 하 고 있 다 .