다음 에 , 도 2 c 의 공정 에 있 어서 , 실리콘 산화 막 ( 105 ) 위 에 , 스퍼터링 법 에 따라 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 ( 102 ) 을 , 금속 원자 및 실리콘 원자 가 산화 반응 을 일으키 기 어려운 분위기 중 에 있 어서 퇴적 한다 . 이것 은 , 실리콘 산화 막 ( 105 ) 이 개재 하 고 있 는 것 을 제외 하 고 , 도 1 b 의 공정 과 같 다 .