다음 으로 , 제 3 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 대해 설명 한다 . 제 3 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 대해 , 처리 액 공급 부 ( 70 ) 가 상이 하 다 . 그 때문 에 , 여기 서 는 , 제 3 실시 형태 에 따른 처리 액 공급 부 ( 70 ) 에 대해 설명 한다 . 한편 , 제 1 실시 형태 에 따른 처리 액 공급 부 ( 12 ) 나 , 제 2 실시 형태 에 따른 처리 액 공급 부 ( 50 ) 와 동일 한 부위 에 는 , 동일 한 부호 를 붙이 고 , 상세 한 설명 은 생략 한다 .