연삭 장치 , 다 이싱 장치 등 의 가공 장치 는 , 가공 수 로서 순수 를 많이 이용 한다 . 가공 에 사용 된 가공 수 를 그대로 폐기 하 는 것 은 비 경제 적 이 어서 , 가공 장치 로부터 배출 되 는 사용 이 끝난 가공 폐액 을 정제 하 여 , 가공 수 를 재생 하 고 , 그것 을 순환 시켜 가공 수 를 재 이용 하 기 위한 폐액 처리 장치 가 본 출원인 에 의해 제안 되 었 다 ( 특허 문헌 1 을 참조 ) .