상기 샘플 1 ～ 8 의 절 연막 표면 에 메탈 마스크 를 이용 하 여 금 을 100 ㎚ 의 막 두께 로 증착 하 고 , 전계 - 전류 특성 을 측정 하 였 다 . 얻 어 진 막 의 0 . 1 MV / ㎝ 및 1 MV / ㎝ 에서 의 전류 밀도 J ( A / ㎝ 2 ) 특성 을 표 1 에 나타낸다 . 전계 - 전류 특성 은 정밀 반도체 파라미터 ㆍ애널라이저 ( 4156 C , Agilent Technologies ) 로 측정 하 였 다 . 전류 밀도 가 보다 작 은 쪽 이 실제 배선 층 에서 의 누설 전 류량 이 보다 작 아 진다고 생각 할 수 있 다 .