한편 , 화학 기상 증착 설비 의 일종 인 NOVELLUS 설비 는 다섯 장 내지 여섯 장 의 웨이퍼 를 배치 타입 ( batch type ) 으로 처리 할 수 있 는 설비 로서 , 하나 의 반응 챔버 가 다섯 개 내지 여섯 개 의 스테이션 으로 구성 되 어 있 으며 각각 의 스테이션 에서 1 / 5 내지 1 / 6 의 포 션 으로 증착 공정 이 이루어진다 . 하나 의 스테이션 에서 그 다음 스테이션 으로 의 인덱싱 은 스핀들 어셈블리 ( spindle assembly ) 를 회전 시켜 이루어지 며 , 한 장 의 웨이퍼 에 대한 증착 공정 이 끝 나 는 동안 총 5 번 내지 6 번 의 인덱싱 이 행해진다 .