상기 한 목적 을 달성 하 기 위한 구체 적 인 기술 적 인 수단 으로서 , 본 발명 은 하부 로 개방 된 상부 덮개 와 상부 로 개방 된 하부 덮개 를 갖추 어 상하 합 형 시 일정 크기 의 내부 공간 을 형성 하 는 반응 챔버 : 상기 상 , 하부 덮개 에 구비 되 는 상 , 하부 중공축 에 각각 회전 가능 하 게 조립 되 는 상 , 하부 서 셉 터 를 갖추 어 서로 마주 하 는 상 , 하부 서 셉 터 의 대응 면 에 적어도 하나 이상 의 웨이퍼 가 배치 되 는 웨이퍼 배치 부 ; 상기 상부 덮개 와 상부 서 셉 터 사이 에 구비 되 는 상부 히터 와 , 상기 하부 덮개 와 부 서 셉 터 사이 에 구비 되 는 하부 히터 를 갖추 어 상기 상 , 하부 서 셉 터 에 복사열 을 제공 하 는 가열 부 ; 상기 상 , 하부 중공축 을 회전 중심 으로 하 여 상 , 하부 서 섭 터 를 일 방향 으로 회전 시키 는 동력 을 제공 하 는 회전 구동 부 ; 상기 상 , 하부 중공축 에 연결 되 는 상 , 하부 가스 공 급구 를 갖추 고 , 상기 상 , 하부 중공축 사이 를 연결 하 는 중앙 가스 공급 노즐 을 통하 여 서로 마주 하 는 상 , 하부 서 셉 터 의 대응 면 사이 로 반응 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 ; 및 상기 상 , 하부 덮개 의 외측 테두리 에 접하 도록 배치 되 고 , 상기 반응 챔버 의 내부 공간 과 연결 되 어 상기 웨이퍼 와 반응 완료 된 반응 가스 를 외부 로 배출 하 는 가스 배기 부 ; 를 포함 하 는 금속 유기 화학 기상 증착 장치 를 제공 한다 .