이 를 위해 , TCP , ICP , MDS ( Microwave Down Stream ) , ECR ( Electron Cyclotron Resonance ) , 헬리 칼 ( HELICAL ) 타입 의 플 라즈 마 소스 에서 인시 튜 ( In - Situ ) 로 식각 을 실시 하 되 , CF 4 , He 와 O 2 가 혼합 된 플 라즈 마 ( CF 4 / He / O 2 ) 로 실시 한다 . 여기 서 , CF 4 는 30 sccm ∼ 80 sccm , He 는 50 sccm ∼ 300 sccm , O 2 는 10 sccm ∼ 50 sccm 의 유량 으로 실시 한다 .