위 와 같이 구성 된 종래 예비 토출 장치 에 의해 수행 되 는 예비 토출 장치 의 세정 과정 은 , 일 방향 으로 회전 하 는 롤러 ( 31 ) 표면 에 약액 , 예컨대 , 감광액 이 슬릿 노즐 ( 20 ) 로부터 예비 토출 되 면 , 상기 감광액 은 회전 하 는 롤러 ( 31 ) 에 의해 수 용부 내부 로 이송 된다 . 이 과정 에서 제 1 분사 노즐 ( 41 ) 로부터 롤러 ( 31 ) 표면 으로 분사 되 는 용매 에 의해 감광액 이 1 차 희석 되 며 , 그 감광액 에 포함 되 어 있 던 이 물질 은 나이 프 ( 42 ) 를 통해 제거 된다 .