클리닝 할 때 에 는 도 3 ( a ) ~( b ) 에 도시 한 바 와 같이 , 카메라 스테이지 ( 62 ) 는 아암 ( 63 ) 을 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 이동 시켜 , 클리닝 부재 ( 93 ) 를 푸 셔 본 체부 ( 33 ) 와 프로브 카드 ( 8 ) 의 사이 에 삽입 하 는 동시 에 , 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 의 위쪽 에 위치 시킨다 . 이어서 카메라 스테이지 ( 62 ) 는 아암 ( 63 ) 을 Z 축 마이너스 방향 으로 이동 시켜 , 클리닝 부재 ( 93 ) 를 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 에 접촉 시킨다 . 그 상태 에서 카메라 스테이지 ( 62 ) 는 아암 ( 63 ) 을 X 축 방향 및 / 또는 Y 축 방향 으로 왕복 이동 시켜 클리닝 부재 ( 93 ) 에 의해서 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 를 문질러서 , 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 의 더러움 이나 이 물질 을 제거 한다 .