상기 구동 기구 ( 18 ) 는 , 도 3 과 도 4 에 나타낸 바 와 같이 상기 기판 W 의 반송 방향 을 따라 연장 된 베이스 부재 ( 21 ) 를 가진다 . 상기 베이스 부재 ( 21 ) 에 는 그 길 이 방향 에 대하 여 소정 간격 , 즉 상기 반 송축 ( 15 ) 과 동일 한 간격 으로 복수 개 의 제 1 장 착공 ( 22 ) 이 천공 되 어 형성 되 어 있 다 . 본 실시 예 에서 는 하나 의 처 리부 ( 3 ) 에 10 개 의 반 송축 ( 15 ) 이 설치 되 어 있 는 것 으로 가정 하 면 , 상기 처 리부 ( 3 ) 의 챔버 ( 12 ) 에 는 2 개 의 베이스 부재 ( 21 ) 가 일렬 로 나란히 설치 되 고 , 각 베이스 부재 ( 21 ) 에 는 각각 5 개 의 제 1 장 착공 ( 22 ) 이 형성 되 어 있 다 .