도 2 를 참조 하 면 , 단결정 실리콘 과 같 은 반도체 물질 로 이루어지 는 기판 ( 100 ) 을 마련 한다 . 도시 되 지 는 않 았 지만 , 상기 기판 ( 100 ) 상 에 메모리 소자 의 단위 셀 을 구성 하 는 하부 구조물 을 형성 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 기판 상 에 터널 산화 막 , 전하 저 장막 , 유전 막 및 콘트롤 전극 이 적층 된 하부 구조물 을 형성 할 수 있 다 .