도 4 를 참조 하 면 , 잔류 수분 이 없 는 경우 ( 41 ) 의 측정 웨이퍼 온도 에 비해 잔류 수분 이 존재 하 는 경우 ( 43 ) 의 웨이퍼 온도 가 상대 적 으로 강하 되 는 것 으로 측정 되 고 있 다 . 이 에 따라 , 도 5 에 제시 된 바 와 같이 오버레이 불량 정도 가 , 잔류 수분 이 없 는 경우 ( 51 ) 에 비해 잔류 수분 이 존재 하 는 경우 ( 53 ) 가 세배 정도 증가 하 는 것 으로 측정 되 고 있 다 . 도 5 의 오버레이 불량 정도 는 , 실측치 의 3 배 를 제시 한 것 으로 , X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 의 패턴 시프트 ( shift ) 정도 , 즉 , 스케일링 ( scaling ) 오류 ( error ) 에 대해 관측 한 결과 를 보여 주 고 있 다 . 따라서 , 잔류 수분 이 없 는 경우 ( 51 ) 대략 2 내지 3 ㎚ 정도 수준 으로 오버레이 불량 이 제어 될 수 있 으나 , 잔류 수분 이 존재 하 는 경우 ( 53 ) 오버레이 불량 이 매우 극심 해 지 게 된다 .