배기 라인 ( 23 ) 은 반응 챔버 ( 30 ) 와 유체 연통 할 수 있 다 . 진공 펌프 ( 24 ) 는 흡입력 을 배기 라인 ( 23 ) 에 인가 하 여 , 증기 와 과잉 의 물질 을 반응 챔버 ( 30 ) 로부터 배기 할 수 있 다 . 반응기 ( 21 ) 는 원자 층 증착 ( ALD ) 장치 , 화학 기상 증착 ( CVD ) 장치 등 과 같 은 임의 의 적합 한 유형 의 반도체 반응기 를 포함 할 수 있 다 .