웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) 를 이용 하 여 연삭 완료 된 웨이퍼 ( W ) 를 반송 할 때 는 , 우선 , 회전축 ( 38 ) 을 모터 로 적절 하 게 회전 시킴 과 동시 에 승강 수단 으로 적절 하 게 승강 시키 는 것 에 의해 , 적절 한 테이블 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 놓여져 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 외주 영역 의 상방 에 , 웨이퍼 유지 수단 ( 4 ) 의 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 을 위치 시킨다 . 그 다음 에 , 회전축 ( 38 ) 을 승강 수단 으로 하강 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 외주 영역 에 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 을 밀착 시킨다 . 그 다음 에 , 유로 ( 24 ) 의 밸브 ( 22 ) 를 개방 한 상태 에서 흡 인원 ( 26 ) 을 작동 시켜 다공성 면 ( P ) 에 흡인력 을 생성 하 여 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 외주 영역 을 다공성 면 ( P ) 에 흡인 유지 한다 .