NH 3 / NF 3 몰 비 는 암모니아 및 삼 불화 질소 의 가스 유속 비율 들 에 비례 한다 . 일 실시 예 에서 , 암모니아 는 약 20 sccm 내지 약 300 sccm , 바람직 하 게 는 약 40 sccm 내지 약 200 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 60 sccm 내지 약 150 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 75 sccm 내지 약 100 sccm 의 범위 내 에서 프로세싱 챔버 로 의 유속 을 가질 수 있 다 . 삼 불화 질소 는 약 1 sccm 내지 약 60 sccm , 바람직 하 게 는 약 2 sccm 내지 약 50 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 3 sccm 내지 약 25 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 5 sccm 내지 약 15 sccm 의 범위 내 에서 프로세싱 챔버 로 의 유속 을 가질 수 있 다 .