노광 장치 ( 100 ) 는 , 조명계 ( 10 ) , 레티 클 스테이지 ( RST ) , 투영 유닛 ( PU ) , 국소 액침 장치 ( 8 ) , 얼라인먼트 계 ( ALG ) , 스테이지 장치 ( 50 ) , 및 이 들 의 제 어계 등 을 구비 한다 . 또한 , 도 1 에서 , 스테이지 장치 ( 50 ) 를 구성 하 는 2 개 의 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 각각 투영 유닛 ( PU ) 의 하방 및 얼라인먼트 계 ( ALG ) 의 하방 에 위치 한다 . 또한 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 상 에 는 각각 웨이퍼 ( W 1 및 W 2 ) 가 놓인다 .