상세 하 게 , 특히 바람직 한 일 구현 으로 , 상기 필터 집합체 는 내부 표면 을 커버 한한다 . 상기 필터 집합체 는 약 0 . 5 미크론 내지 약 20 미크론 의 구멍 크기 를 갖 는 필터 를 포함 한다 . 보다 적절 하 게 , 상기 필터 집합체 는 약 1 미크론 내지 약 5 미크론 , 그리고 더욱 적절 하 게 약 2 미크론 의 구멍 크기 를 갖 는 필터 를 포함 한다 . 상기 필터 집합체 에서 사용 하 기 위한 필터 의 구멍 의 수 및 크기 는 전 헝 적 으로 상기 처리 챔버 내 에서 혼합 될 배합 물 ( 및 그 성분 ) 에 따른다 .