스캐너 또는 오프라인 계측 으로부터 의 측정 을 CM 에 대한 입력 기여 자 들 로 포함 할 때 기여 자 들 간 의 직교 성 은 유용 한 가정 이 다 . 이 가정 으로 , 기여 자 들 은 관심 대상 매개변수 , 예 를 들 어 현상 후 오버레이 , 에칭 후 오버레이 , 또는 SEM 측정 된 CD 또는 오버레이 와 같 은 패 터닝 공정 매개변수 와 의 크로스 토크 없이 부가 될 수 있 고 상호 연관 될 수 있 다 . 그러나 , 이 기여 자 들 은 특히 특정 공간 주파수 조건 에서 여전히 서로 간섭 할 수 있 다 . 관심 대상 매개변수 에 따라 이 기여 자 들 은 또한 상이 한 조건 에서 의 관심 대상 매개변수 와 상호 관련 될 수 있 다 .