규소 의 화합물 을 포함 하 는 막 은 산화 규소 , 질화규소 , 탄화규소 , 산탄 화 규소 ( silicon oxy - carbide ) , 산질 화 규소 ( silicon oxy - nitride ) 를 포함 하 지만 이 로 제한 되 지 않 는 다양 한 타입 의 막 을 포함 할 수 있 다 . 산화 규소 막 의 예 는 열 산화물 ( thermal oxide ) , 테트라 에틸 오르 쏘 실리케이트 ( TEOS ) , 고밀 도 플 라즈 마 ( HDP ) 옥사이드 , 고 종횡비 공정 ( HARP ) 막 , 불소 화 된 옥사이드 막 , 도핑 된 옥사이드 막 , 오가노 실리케이트 유리 ( OSG ) 저 - K 유전체 막 , 스핀 - 온 유리 ( Spin - On Glass ; SOG ) , 유동 성 화학 적 증기 증착 된 ( flowable Chemical Vapor Deposited ; CVD ) 막 , 광학 유리 , 디스플레이 유리 를 포함 하 지만 , 이 로 제한 되 지 않 는다 .