상기 제 2 유전체 층 에 제 3 개 구부 및 복수 의 제 4 개 구부 를 패 터닝 하 는 단계 로서 , 상기 제 3 개 구부 는 상기 제 1 시 일 링 링 층 을 노출 시키 고 , 상기 제 4 개 구부 는 상기 제 1 금속화 패턴 을 노출 시키 며 , 상기 제 3 개 구부 는 상기 제 4 개 구부 주위 로 연속 으로 연장 되 고 , 상기 제 3 개 구부 는 상기 제 1 개 구부 바로 위 에 배치 되 는 , 상기 제 3 및 제 4 개 구부 패 터닝 단계 와 ,