예 를 들 면 , 일부 처리 유닛 에서 시운전 을 행하 면서 , 그 외 처리 유닛 에서 는 기판 에 일련 의 처리 를 행하 도록 장치 를 가동 하 고 싶 은 경우 가 있 다 . 혹은 , 일부 기판 에 대해서 는 레지스 트 막 을 형성 하 기 위한 , 및 , 기판 을 현상 하 기 위한 공정 을 행하 면서 , 다른 기판 에 대해서 는 레지스 트 막 을 형성 하 기 위한 공정 을 행하 도록 가동 하 고 싶 은 경우 가 있 다 . 여기 서 , 「 공정 ( 工程 ) 」 은 , 종류 가 다른 복수 의 처리 로 구성 되 어도 좋 고 , 단일 처리 로 구성 되 어도 좋 다 .