도 9 를 참조 하 면 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따르 면 , 기판 ( 10 ) 처리 장치 는 기판 ( 10 ) 에서 반점 이 검출 되 면 경보 신호 를 발생 시키 는 경보 발생 부 ( 322 ) 를 포함 할 수 있 다 . 반면 , 기판 ( 10 ) 에서 반점 이 미 감지 되 면 , 별도 의 경보 신호 없이 기판 ( 10 ) 이 다음 공정 으로 이송 될 수 있 다 .