소오 스 전극 및 드레 인 전극 ( 116 b , 116 c ) 은 배선 저항 을 낮추 기 위해 저 저항 물질 을 포함 할 수 있 으며 , 몰리 텅스텐 ( MoW ) , 티타늄 ( Ti ) , 알루미늄 ( Al ) 또는 알루미늄 합금 ( Al alloy ) 으로 이루어진 다층막 일 수 있 다 . 다층막 으로 는 티타늄 / 알루미늄 / 티타늄 ( Ti / Al / Ti ) 또는 몰리 텅스텐 / 알루미늄 / 몰리 텅스텐 ( MoW / Al / MoW ) 의 적층 구조 가 사용 될 수 있 다 .