배기 밸브 ( AV 4 A , AV 5 A ) 의 후단 에 는 가스 공급 라인 을 진공 시키 는 진공 발생기 ( VG ) 가 설치 되 는데 , 진공 발생기 ( VG ) 는 진공 가스 ( N 2 ) 공급 라인 과 배기 장치 사이 에 설치 된다 . 또한 , 진공 가스 공급 라인 과 진공 발생기 ( VG ) 사이 에 는 진공 밸브 ( AV 8 ) 가 설치 되 어 가스 공급 라인 의 진공 여부 를 제어 한다 .