그리고 이 들 각각 의 공정 진행 을 위해서 처리 대상물 인 기판 은 해당 공정 을 수행 하 는 고유 의 공정 장비 에 순차 적 또는 그룹 형태 로 공급 되 는데 , 이 과정 중 에 기판 의 운반 및 저장 에 소요 되 는 시간 과 노력 을 절감 하 고자 다수 의 기판 을 수납 하 는 카세트 ( cassette ) 가 동원 되 며 , 이 는 현재 의 평판 표시 장치 제조 공정 에 있 어 기판 보관 의 최 소단위 를 이루 고 있 다 .