소프트 리소그래피 는 지금 까지 마이크 로 또는 나노 구조물 을 만들 기 위해 포토 리소그래피 나 복제 기술 의 대안 으로 개발 된 몇 개 의 리소그래피 기술 - 미세 접촉 인쇄 ( microcontact printing ) , 복제 주조 ( replca molding ) , 미소 전이 주조 ( micromolding ) , 및 엘라스토머 상전 이 마스크 를 이용 한 포토 리소그래피 ( near field conformal ) - 을 총칭 하 여 일컫 는 말 이 다 . 이 방법 은 모든 공정 에서 단단 한 무기질 의 재료 보다 는 유연 한 유기질 재료 인 탄성 중합체 스탬프 나 몰드 ( mold ) 로 미세 패턴 을 만들 어 기판 으로 전이 한다 .