예 를 들 어 , 공개 문헌 제 WO 2012083978 A 1 호 , 제 PCT / EP 2016 / 056249 호 , 제 WO 2013023708 A 1 호 , 제 WO 2014191033 A 1 호 , 제 WO 2015113641 A 1 호 , 제 WO 2012079597 A 1 호 의 기판 홀더 가 이용 될 수 있 으나 이 에 한정 되 지 않 는다 .