이때 , 플래시 어 닐 공정 은 질소 ( N 2 ) 가스 , 산소 ( O 2 ) 가스 및 암모니아 ( NH 3 ) 가스 를 포함 하 는 그룹 에서 선택 된 가스 분위기 에서 25 - 32 J / ㎠ 의 플래시 파워 로 1 E - 10 내지 1 초 의 시간 동안 진행 한다 . 또한 플래시 어 닐 공정 은 1 ~ 30 회 반복 하 여 진행 하 는 것 이 바람직 하 다 .