게다가 , 증착 온도 를 450 ℃ 이하 로 제한 하 는 또 다른 이유 는 다 결정 실리콘 이 증착 되 는 것 을 방지 하 기 위함 이 다 . 게다가 , 상기 비정질 실리콘 막 은 MoF 6 과 금속 소오 스 가스 와 아르곤 케리어 ( Carrier ) 가스 를 사용 하 여 금속 막 을 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 만일 두께 증가 가 필요 한 경우 셀프 - 리 미팅 ( Self - Limiting ) 되 어 증착 된 Mo 상 에 MoF 6 / H 2 환원 반응 을 이용 하 여 추가 로 증착 할 수 있 다 .