이어서 , 제 3 단계 로 , 위 의 제 2 단계 에서 얻 은 데이터 를 이용 하 여 게이트 정전 용량 을 추출 한다 . 게이트 정전 용량 의 추출 과정 은 통상 적 인 파라미터 추출 장치 ( parameter extraction tool ) 를 사용 하 여 수행 하 되 , 정전 용량 측정 장치 ( 30 ) 에 연결 된 다수 의 탐침 또는 탐침 카드 ( 22 ) 를 이용 하 여 게이트 ( 11 ) 에 게이트 전압 ( Vg ) 을 가하 여 게이트 산화 막 ( 13 ) 의 정전 용량 을 측정 하 는 과정 을 수행 할 수 있 다 .