도 10 의 횡축 은 , 좌측 에서부터 순서 대로 , 에칭 처리 방법 에 사용 하 는 희가스 에 Ar 가스 만 사용 한 경우 , Ar 가스 와 He 가스 의 비율 을 약 2 : 1 로 한 경우 , Ar 가스 와 He 가스 의 비율 을 약 1 : 2 로 한 경우 , He 가스 만 사용 한 경우 를 나타낸다 . 어느 경우 이 든 희가스 의 총 유량 은 동일 하 도록 제어 하 였 다 . 이 조건 에서 플 라즈 마 중 의 CF 2 라디칼 을 나타내 는 파장 의 발광 강도 를 측정 하 였 다 .