이 는 , 멤 브레인 바닥 판 에 웨이퍼 가 정상 적 으로 척 킹 되 어 파지 되 지 않 은 경우 에 , 제 1 압력 챔버 의 제 1 바닥 면 이 제 1 통로 의 개구 에 접촉 하 지 않 더라도 제 1 통로 의 개구 에 0 . 5 mm 정도 까지 근접 하 게 상방 으로 볼록 한 들뜬 휨 변형 이 생길 수 있 는 데 , 이 와 같이 제 1 바닥 면 이 상방 으로 볼록 한 변형 이 크 게 형성 되 지만 제 1 통로 의 개구 를 접촉 하 지 않 는 경우 에 도 , 제 1 압력 센서 의 측정값 으로부터 이 를 감지 할 수 있 다 .