[ 0050 ] 통로 ( 360 ) 의 내측 표면 ( 370 ) 은 석영 표면 을 제공 함 으로써 라디칼 들 의 재결합 을 감소 시키 기 위한 이온 필터 로서 역할 을 하 며 , 그 석영 표면 으로 인해 , 수소 - 함유 라디칼 들 이 수소 결합 할 수 있 고 , 석영 표면 상 에 흡수 될 수 있 다 . 내측 표면 ( 370 ) 상 에 충돌 하 는 수소 - 함유 라디칼 들 은 흡수 된 수소 - 함유 라디칼 을 에 너자 이징 된 가스 로 방출 함 으로써 , 수소 라디칼 들 을 재생성 한다 . 수소 이온 들 은 내측 표면 ( 370 ) 에 의해 재생성 되 지 않 고 , 그 에 따라 , 이 들 이온 들 은 재결합 하 여 , 전기 적 으로 중성 인 비 - 이온 성 종 을 형성 한다 . 따라서 , 활성 화 된 세정 가스 를 석영 표면 위 로 통과 시킴 으로써 , 에 너자 이징 된 세정 가스 로부터 반응 성 라디칼 들 이 효과 적 으로 필터링 되 는 한편 , 라디칼 종이 보존 된다 . 재결합 된 활성 라디칼 로부터 의 하전 입자 들 이 효율 적 으로 감소 된다 .