도 2 k 에 도시 된 바 와 같이 , 상술 된 도 2 f 의 과정 과 동일 하 게 상기 마스크 패턴 ( 251 ) 을 제거 하 고 , 도 2 l 에 도시 된 바 와 같이 옥사이드 ( 232 ) 를 증착 하 여 상기 갭 ( 220 ) 을 완전히 충전 한 후 , 도 2 m 에 도시 된 바 와 같이 CMP 방법 으로 상기 옥사이드 ( 230 , 231 , 232 ) 의 상부 를 제거 하 여 상기 갭 ( 220 ) 내 에 충전 된 옥사이드 만 남 도록 한다 .