도 2 및 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 히터 ( 6 ) 는 기판 ( W ) 과 스핀 베이스 ( 16 ) 사이 에 배치 된 핫 플레이트 ( 21 ) 를 포함 한다 . 핫 플레이트 ( 21 ) 는 통전 에 의해 줄 ( Joule ) 열 을 발생 하 는 발열체 ( 22 ) 와 , 발열체 ( 22 ) 를 수용 하 는 아 우터 케이스 ( 23 ) 를 포함 한다 . 발열체 ( 22 ) 및 아 우터 케이스 ( 23 ) 는 기판 ( W ) 의 하방 에 배치 된다 . 발열체 ( 22 ) 는 발열체 ( 22 ) 에 전력 을 공급 하 는 배선 ( 미 도시 ) 에 접속 되 어 있 다 . 발열체 ( 22 ) 온도 는 제어 장치 ( 3 ) 에 의해 변경 된다 . 핫 플레이트 ( 21 ) 의 중심선 은 기판 ( W ) 의 회전축 선 ( A 1 ) 상 에 배치 되 어 있 다 . 스핀 척 ( 5 ) 이 회전 해도 핫 플레이트 ( 21 ) 는 회전 하 지 않 는다 .