구체 적 으로 , 상기 화학식 1 의 불화 알킬 실란 은 트리플 루 오로 메틸 트리 메 톡 시실 란 , 트리플 루 오로 메틸 트리 에 톡 시실 란 , 트리 플루오르 프로필 트리 메 톡 시실 란 , 트리 플루오르 프로필 트리 에 톡 시실 란 , 노나 플 루오 로 부틸 에틸 트리 메 톡 시실 란 , 노나 플 루오 로 부틸 에틸 트리 에 톡 시실 란 , 노나 플 루오 로 헥 실트 리메 톡 시실 란 , 노나 플 루오 로 헥 실 트리 에 톡 시실 란 , 트리 데카 플 루 오로 옥 틸 트리 메 톡 시실 란 , 트리 데카 플 루 오로 옥 틸 트리 에 톡 시실 란 , 헵타데카플루오로데실트리메톡시실란 및 헵타데카플루오로데실트리에톡시실란로 이루어진 군 에서 선택 된 1 종 이상 이 가능 하 며 , 바람직 하 기 로 트리 플루오르 프로필 트리 에 톡 시 실란 을 사용 한다 .