도 2 의 투사 노광 장치 는 도 1 의 투사 노광 장치 와 는 단지 조명 광학 기기 에 있 어서 상이 하 다 . 도 2 에서 의 조명 광학 기기 는 , 제 2 광원 을 생성 하 기 위한 로드 ( 5 ) 가 없 다는 점 에서 , 도 1 에서 의 조명 광학 기기 와 상이 하 다 . 또한 , 도 2 에서 의 조명 광학 기기 는 , 필드 정의 요소 ( 3 c ) ( field defining element ; “ FDE ” ) 가 동공 면 에서 의 요구 되 는 필도 각도 들 의 생 성만 을 보장 하 지 않 고 , 2 - 스테이지 허니 컴 콘덴서 ( two - stage honeycomb condenser ) 를 통해 , 제 2 광원 의 생 성 도 보장 한다는 점 에서 상이 하 다 . 도 2 에서 의 필드 정의 요소 ( 3 c ) 는 따라서 도 1 에서 의 굴절 광학 요소 ( refractive optical element ; “ ROE ” ) ( 3 b ) 의 기능 성 및 도 1 에서 의 로드 ( 5 ) 에서 의 기능 성 의 양쪽 을 포함 한다 . 2 - 스테이지 허니 컴 콘덴서 로 구성 된 , 필드 정의 요소 ( 3 c ) 는 , 한편 으로 는 동공 면 에 필요 한 필드 각도 를 도입 하 고 , 다른 편 으로 는 동공 면 에 제 2 광원 을 생성 한다 . 필드 에 걸친 요구 되 는 균질 화 된 강도 분포 를 가진 , 대응 하 는 필드 형태 는 , 따라서 제 2 광원 의 광 의 중첩 에 의해 조명 광학 기기 의 다음 의 필드 면 들 에서 생성 된다 .