본원 발명 은 일반 적 으로 기판 들 을 처리 하 기 위한 방법 들 및 장치 들 에 관한 것 이 다 . 본원 발명 의 실시 예 들 은 광학 적 으로 투명 할 수 있 는 반사기 플레이트 를 포함 하 는 기판 을 처리 하 기 위한 장치 를 포함 한다 . 반사기 플레이트 는 반사 코팅 을 포함 할 수 있 고 그리고 반사기 플레이트 조립 체 의 일부 일 수 있 으며 , 상기 반사기 플레이트 조립 체 에서 반사기 플레이트 가 베이스 플레이트 에 조립 된다 .