이 양면 연마 에 는 캐리어 플레이트 에 형성 된 웨이퍼 유지 구멍 의 내부 에 실리콘 웨이퍼 를 삽입 유지 하 고 , 연마 입자 를 포함 하 는 슬러리 ( Slurry ) 를 공급 하 면서 , 각각 의 대향 면 에 연마포 가 전장 되 는 상부 정반 및 하부 정반 사이 에 위치 한 캐리어 플레이트 를 자전 및 공전 시켜 양면 을 동시 에 연마 하 는 양면 연마 장치 가 이용 된다 .