본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 상기 로봇 암 은 공정 시 기판 을 안착 시키 는 블레이드 를 구비 하 고 , 상기 제 1 방향 은 상기 제 1 처리 유닛 에 구비 되 는 로봇 암 의 블레이드 가 기판 을 이송 하 기 위해 상기 로드 락 챔버 의 기판 출입구 를 통과 할 때 , 상기 로드 락 챔버 에 놓여진 기판 의 노치 가 상기 블레이드 를 향하 는 방향 이 고 , 상기 제 2 방향 은 상기 기판 이 상기 제 1 처리 유닛 에 구비 되 는 로봇 암 의 블레이드 놓여졌 을 때 , 상기 제 1 방향 과 반대 되 는 방향 이 다 .