이 들 도면 에 도시 된 바 와 같이 , 본 실시 예 에 따른 기판 세정 장치 는 , 크 게 장치 본체 ( 1 ) 와 , 장치 본체 ( 1 ) 에 결합 되 는 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 , 20 , 30 , 40 , roll polishing unit ) , 드레싱 유닛 ( 51 ~ 54 , dressing unit ) 및 업 / 다운 조절 유닛 ( 60 , 70 , up / down adjust unit ) 을 구비 한다 . 이 들 구성 에 대해 자세히 설명 한다 .