도 1 은 기판 처리 장치 의 일 실시 형태 를 도시 하 는 평면도 이 다 . 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 이 기판 처리 장치 는 , 대략 직사각 형상 의 하우징 ( 1 ) 을 구비 하 고 있 고 , 하우징 ( 1 ) 의 내부 는 격벽 ( 1 a , 1 b ) 에 의해 로드 / 언 로드 부 ( 2 ) 와 연 마부 ( 3 ) 와 세 정부 ( 4 ) 로 구획 되 어 있 다 . 이 들 의 로드 / 언 로드 부 ( 2 ) , 연 마부 ( 3 ) 및 세 정부 ( 4 ) 는 , 각각 독립 적 으로 조립 되 고 , 독립 적 으로 배기 된다 . 또한 , 기판 처리 장치 는 , 기판 처리 동작 을 제어 하 는 제어 장치 ( 5 ) 를 구비 하 고 있 다 .