레이저 조사 유닛 ( 350 ) 이 조사 하 는 레이저 는 펄스 로 조사 될 수 있 다 . 예컨대 , 레이저 조사 유닛 ( 350 ) 이 조사 하 는 레이저 는 복수 의 단위 펄스 레이저 로 기판 ( W ) 을 처리 할 수 있 다 . 또한 , 펄스 레이저 는 기판 ( W ) 상 의 제거 대상 물질 의 융 발 임계 치 ( ablation threshold ) 에 해당 하 는 펄스 에너지 를 가질 수 있 다 . 예컨대 , 펄스 레이저 는 기판 ( W ) 상 에 형성 된 막 의 융 발 임계 치 에 해당 하 는 펄스 에너지 를 가질 수 있 다 . 또한 , 펄스 레이저 의 폭 은 수십 ns ~ 수백 fs 의 범위 를 가질 수 있 다 . 또한 , 펄스 레이저 의 파장 대 는 150 nm ~ 1200 nm 의 범위 를 가질 수 있 다 .