도 19 b 는 제 1 전구체 물질 이 니켈 이 고 , 제 2 전구체 물질 이 백금 이 며 , 소스 / 드레 인 영역 ( 82 ) 이 실리콘 게르마늄 인 일 실시 예 에서 요소 의 상대 강도 를 도시 한다 . 알 수 있 는 바 와 같이 , 니켈 및 백금 은 실리콘 과 함께 제 3 상 실리사이드 층 ( 213 ) 을 형성 하 고 , 백금 은 제 3 상 실리사이드 층 ( 213 ) 을 통해 연장 된다 .