제 1 제어 전극 ( GE 1 ) 은 2 층 의 적층 구조 를 가질 수 있 다 . 제 1 제어 전극 ( GE 1 ) 은 티타늄 ( Ti ) 을 포함 하 는 제 1 층 , 및 제 1 층 상 에 배치 되 고 , 구리 ( Cu ) 를 포함 하 는 제 2 층 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 제어 전극 ( GE 1 ) 의 제 1 층 은 제 1 배리어 패턴 ( BR 1 ) 에 접하 고 , 제 2 층 은 제 1 층 을 사이 에 두 고 제 1 배리어 패턴 ( BR 1 ) 과 이격 될 수 있 다 .