공극 부 ( 500 ) 의 재료 는 실리콘 과 유사 한 열팽창 계수 를 가지 는 것 이 바람직 하 며 , 회로 부 ( 400 ) 와 의 전기 적 연결 을 위하 여 전기 전도도 가 큰 금속 을 사용 할 수 있 다 . 이 조건 하 에서 는 응력 전파 가 소자 의 특성 왜곡 이나 파괴 를 유발 하 지 않 으며 , 이 용도 에 맞 는 재료 중 의 하나 로서 Kovar 합금 을 들 수 있 으며 , 방전 가공 을 이용 하 여 효율 적 인 대량 생산 이 가능 하 다 .