그래서 , 상술 한 도 3 의 처리 에 이용 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 을 재 연마 할 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 열팽창 한 웨이퍼 ( W ) 를 챔버 ( 11 ) 로부터 반 출한 ( 단계 S 34 ) 후 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 에 화학 적 연마 및 기계 적 연마 를 실시 하 여 그 접촉면 을 재 연마 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 도 3 의 처리 결과 로 접촉면 이 거칠 게 된 웨이퍼 ( W ) 를 재 사용 할 수 있 다 .