실시 예 1 에서 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 3 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 은 도포 처리 를 행하 고 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 3 개 의 처리 층 ( B 1 ~ B 3 ) 은 현상 처리 를 행하 고 있 었 다 . 즉 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 에 의해서 2 종류 의 처리 ( 제 1 처리 및 제 2 처리 ) 를 행하 고 있 었 다 . 이 점 은 , 실시 예 4 에서 는 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 에 의해서 3 종류 의 처리 ( 제 1 처리 ~ 제 3 처리 ) 를 행하 고 있 다 .