도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 ( W ) 은 , 기판 홀더 ( 24 ) 에 의하 여 유지 된다 . 기판 홀더 ( 24 ) 는 , 예 를 들 면 구리 스퍼터 막 등 의 밑바탕 도통 막 이 있 는 기판 ( W ) 에 상기 기판 ( W ) 의 주변 부 로부터 급전 을 주 도록 구성 되 어 있 다 . 기판 홀더 ( 24 ) 의 도통 접점 은 , 다 접점 구조 이 고 , 접촉 폭 의 합계 가 , 접점 을 취하 는 것 이 가능 한 기판 상 의 둘레 길이 에 대하 여 60 % 이상 이 되 도록 하 고 있 다 . 또 , 접점 은 , 각각 의 접점 사이 가 등거리 로 배열 되 어 등분배 되 어 있 다 .