일 양태 에서 , 제 1 및 제 2 표면 이 상이 한 조성 을 갖 는 부품 의 제 1 표면 에 대해 상대 적 인 부품 의 제 2 표면 상 에서 선택 적 증착 을 위한 방법 이 제공 된다 . 상기 방법 은 제 2 표면 을 패 시베이 션 층 없이 두 면서 제 1 표면 상 에 기상 반응물 로부터 패 시베이 션 층 을 선택 적 으로 형성 하 는 단계 를 포함 한다 . 상기 방법 은 패 시베이 션 층 에 대해 상대 적 인 제 2 표면 상 에 기상 반응물 로부터 관심 층 을 선택 적 으로 증착 하 는 단계 를 더 포함 한다 .