도 9 C 및 10 C 에 도시 된 이온 에너지 분포 기능 은 기판 ( 810 ) 의 표면 에서 의 이온 에너지 들 의 순간 분포 를 나타내 는 것 이 아니 라 , 이온 에너지 들 의 시간 평균 을 나타낸다는 점 을 유의 해야 한다 . 도 9 C 를 참조 하 면 , 예컨대 , 시간 상 의 특정 순간 에 , 이온 에너지 들 의 분포 는 , 변조 기능 의 전체 사이클 의 코스 에 걸쳐 존재 하 는 이온 에너지 들 의 도시 된 분포 의 서브 세트 로 된다 .