이상 과 같이 , 본 실시 형태 의 포크 ( 101 ) 에 의하 면 , 지지 픽 ( 119 ) 의 선단 에 캡 ( 133 ) 을 마련 한 것 에 의해 , 지지 픽 ( 119 ) 이 기판 처리 시스템 ( 100 ) 에 있 어서 의 시스템 구성 부재 인 챔버 벽 등 에 접촉 한 경우 에 도 , 지지 픽 ( 119 ) 의 본체 ( 131 ) 를 보호 할 수 있 다 . 따라서 , 지지 픽 ( 119 ) 의 사용 수명 을 장기 화 할 수 있 는 동시 에 , 본체 ( 131 ) 의 손상 에 기인 하 는 파티클 의 발생 등 을 방지 할 수 있 다는 효과 를 가져온다 .