제 5 기판 반송 기구 ( HU 5 ) 는 , 노광 전 세정 유닛 ( 161 ) ( 도 3 의 화살표 ( RS ) 측 , 도 10 참조 ) , 노광 후 세정 유닛 ( SOAK ) ( 화살표 ( RS ) 측 ) , 노광 후 베 이크 처 리부 ( PEB ) ( 화살표 ( RS ) 측 ) , 버퍼 부 ( PSBU 4 ~ PSBU 6 ) , 재치 겸 냉 각부 ( P - CP ) 및 기판 재 치부 ( PS 9 ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 제 6 기판 반송 기구 ( HU 6 ) 는 , 노광 전 세정 유닛 ( 161 ) ( 도 3 의 화살표 ( LS ) 측 , 도 11 참조 ) , 노광 후 세정 유닛 ( SOAK ) ( 화살표 ( LS ) 측 ) , 노광 후 베 이크 처 리부 ( PEB ) ( 화살표 ( LS ) 측 ) , 버퍼 부 ( PSBU 4 ~ PSBU 6 ) , 재치 겸 냉 각부 ( P - CP ) 및 기판 재 치부 ( PS 9 ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 제 7 기판 반송 기구 ( HU 7 ) 는 , 노광 장치 ( EXP ) , 재치 겸 냉 각부 ( P - CP ) 및 기판 재 치부 ( PS 9 ) 의 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 .