이때 , 상기 탄소 유리 ( 1 ) 는 그 특성 상 열 팽창 이 거의 일어나 지 않 게 되 므로 상기 탄소 유리 ( 1 ) 의 상면 에 형성 된 요 홈 ( 11 ) 과 이 들 요 홈 사이 에 돌출 된 형태 를 갖 는 돌기 의 형상 에 대향 되 어 폴리 이미드 판 ( 2 ) 의 저면 에 연속 해서 형성 되 는 철부 ( 21 ) 와 요 홈 ( 11 ) 의 폭 과 간격 및 그 깊이 는 나노미터 를 유지 하 는 형태 로 성형 된다 .