도 15 및 도 16 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 원자 층 적층 공정 으로 형성 된 막 질 과 일반 적 인 원자 층 적층 공정 으로 형성 된 막 질 에서 , 탄 탈륨 도핑 농도 에 따른 막 질 의 전기 비저항 성 및 캐리어 농도 를 나타내 는 그래프 들 이 다 . 도 15 및 도 16 에서 , 빨간색 사각 도트 들 ( 또는 빨간색 사각 도트 들 을 연결 한 그래프 ) 은 기존 의 원자 층 적층 공정 에 따라 형성 된 막 질 의 특성 을 나타내 며 , 파란색 원형 도트 들 ( 파란색 원형 도트 들 을 연결 한 그래프 ) 은 일 실시 예 에 따른 원자 층 적층 공정 에 따라 형성 된 막 질 의 특성 을 나타낸다 .