LTP 공정 에서 는 , 박막 형성 공정 중 , 또는 박막 형성 공정 과 다음 의 박막 형성 공정 과 의 사이 에 있 어서 , 처리 실 ( 201 ) 내부 의 온도 를 , 600 ℃ 를 넘 는 성막 온도 부터 크랙 이 발생 하 는 저온 200 ~ 400 ℃ 까지 , 급격 하 게 온도 강하 ( 온도 변동 ) 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 처리 실 ( 201 ) 내 를 급격 하 게 온도 강하 시킬 때 , 처리 실 ( 201 ) 외부 의 고온 의 분위기 가스 를 배기 하 면서 , 처리 실 ( 201 ) 외부 에 공기 나 N 2 등 의 냉각 매체 를 흘림 으로써 처리 실 ( 201 ) 내 를 강제 냉각 ( 급속 급 냉 ) 하 는 것 이 좋 다 .