이어서 , 매설 층 ( 64 ) 이 그 위 에 형성 되 고 , 열처리 가 적용 되 어 매설 층 ( 64 ) 을 융해 시킨다 . 이렇게 하 여 , 공동 으로 형성 되 는 피마 킹 체 ( 11 a , 11 b ) 를 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 내 에 형성 하 는 동안 [ 도 8 의 ( d ) ] , 코어 ( 63 ) 가 내부 에 매설 되 고 표면 의 평탄 도 가 증가 한다 . 매설 층 ( 64 ) 은 녹는점 이 낮 은 실리콘 산화 막 이 다 ( 예 를 들 어 , BPSG 막 ) . 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 가 매설 층 ( 64 ) 에 의해 덮이 면 , 가스 체가 그 경계 면 에 포획 되 어 공동 을 형성 한다 . 즉 , 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 는 하부 클래드 층상 의 공간 을 둘러싸 는 형상 을 갖 고 , 따라서 가스 체가 이 들 공간 안 에 포획 된다 . 가스 체 는 매설 층 ( 64 ) 을 형성 할 때 의 대기 가스 이 다 .