연삭 공정 을 실시 한 후 , 연삭 완료 된 웨이퍼 ( W ) 를 척 테이블 ( 60 ) 로부터 반출 하 여 세정 수단 ( 66 ) 까지 반송 하 는 제 2 반송 공정 을 실시 한다 . 제 2 반송 공정 에서 는 , 우선 , 제 2 반송 수단 을 구성 하 는 웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) 의 이동 수단 ( 6 ) 의 회전축 ( 38 ) 을 회전 시켜 , 착 탈 위치 ( A ) 에 위치 된 척 테이블 ( 60 ) 에 놓여져 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 외주 영역 의 상방 에 , 웨이퍼 유지 수단 ( 4 ) 의 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 을 위치 시킨다 . 그 다음 에 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 를 하강 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 외주 영역 에 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 을 밀착 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 함 과 동시 에 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 물 공급 부 ( 10 ) 로부터 물 을 공급 한다 . 그 다음 에 , 척 테이블 ( 60 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 흡인 유지 를 해제 한다 .