도 8 ( a ) 내지 ( c ) 는 , 본 발명 의 실시 의 형태 1 에 의한 패턴 수정 장치 의 주요부 의 구성 및 동작 을 도시 하 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 9 ( a ) , ( b ) 는 , 각각 도 8 ( a ) , ( b ) 를 상방 에서 본 도면 이 다 . 이 패턴 수정 장치 에서 는 , 결함 부 ( 2 a ) 의 상방 에 위치 하 는 상방 필름 ( 3 A ) 을 기계 적 으로 이 동시 켜 서 , 결함 부 ( 2 a ) 의 상방 에 하방 필름 ( 3 B ) 만 이 배치 되 어 있 는 상태 로 하 고 나 서 , 하방 필름 ( 3 B ) 의 구멍 ( 3 a ) 을 통하 여 결함 부 ( 2 a ) 에 수정 페이스트 ( 10 ) 를 도포 한다 .