전술 한 바 와 같이 Ni 소스 주입 , N 2 퍼지 , H 2 주 입 , N 2 퍼지 의 과정 을 단위 사이클 로 하 고 , 이 단위 사이클 을 수회 반복 실시 하 여 니켈 막 ( Ni ) 을 증착 한다 . 한편 , Ni 소스 와 반응 하 기 위한 반응 가스 로 는 H 2 가스 외 에 NH 3 가스 를 이용 할 수 있 고 , 퍼지 가스 로 는 N 2 이외 에 Ar 와 같 은 비활성 가스 를 이용 할 수 있 으며 , 다른 퍼지 방법 으로 는 진공 펌프 를 이용 하 여 잔류 가스 또는 반응 부산물 을 외부 로 배출 시킬 수 있 다 .