본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 강유전체 층 ( 135 ) 은 PZT [ Pb ( Zr , Ti ) O 3 ] , SBT ( SrBi 2 Ti 2 O 9 ) , BLT [ Bi ( La , Ti ) O 3 ] , PLZT [ Pb ( La , Zr ) TiO 3 ] 또는 BST [ Bi ( Sr , Ti ) O 3 ] 등 의 강유전체 를 사용 하 여 형성 된다 . 본 발명 의 다른 실시 예 에 따르 면 , 강유전체 층 ( 135 ) 은 칼슘 ( Ca ) , 란탄 ( La ) , 망간 ( Mn ) 내지 비스 무스 ( Bi ) 등 의 금속 이 도핑 된 PZT , SBT , BLT , PLZT 또는 BST 등 의 강유전체 를 사용 하 여 형성 된다 .