또 다른 실시 예 에서 , 플레이트 내 의 중앙 보어 는 상류 표면 으로부터 하 류 표면 으로 웨이퍼 캐리어 플레이트 를 통해 완전히 연장 될 필요 가 없 다 . 예 를 들 면 , 도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 중앙 보어 ( 746 ) 는 , 상류 표면 ( 734 ) 을 따라 보 어 ( 746 ) 위 에 놓이 는 플레이트 ( 732 ) 의 중앙부 ( 786 ) 를 남기 면서 , 하류 표면 ( 736 ) 으로부터 상류 표면 ( 734 ) 을 향해 플레이트 ( 732 ) 내 로 연장 된다 . 도 9 및 도 10 에 도시 된 실시 예 를 참조 하 여 상술 한 바 와 같이 , 이러 한 실시 예의 삽 입체 ( 772 ) 는 보어 ( 746 ) 내 로 끼워 맞추 어 질 수 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 캡 은 필요 하 지 않 은데 , 그것 은 보어 ( 746 ) 위 에 놓이 는 중앙부 ( 786 ) 가 바람직 하 게 , 반응 챔버 내 로 주입 된 부식성 가스 와 삽 입체 재료 가 접촉 하 는 것 을 방지 하 기 때문 이 다 . 중앙부 ( 786 ) 는 또한 플레이트 ( 732 ) 의 연속 적 상류 표면 ( 734 ) 를 제공 하 며 , 그것 은 바람직 하 게 상류 표면 ( 734 ) 에 걸친 가스 흐름 의 붕괴 를 최소 화 한다 .