베이스 링 어셈블리 ( 300 ) 는 내부 에서 기판 을 처리 하 도록 구성 된 원통형 처리 볼륨 ( 314 ) 을 형성 하 는 베이스 링 ( 301 ) 을 포함 한다 . 베이스 링 ( 301 ) 은 원통형 처리 볼륨 ( 314 ) 의 대향 측면 상 에 형성 된 입구 포트 ( 310 ) 및 출구 포트 ( 311 ) 를 갖 는다 . 일 실시 예 에서 , 입구 포트 ( 310 ) 및 출구 포트 ( 311 ) 의 폭 은 원통형 처리 볼륨 ( 314 ) 의 지름 과 거의 유사 하 고 , 이 에 의해 입 구 포트 ( 310 ) 로부터 출구 포트 ( 311 ) 로 의 균일 한 가스 유동 을 보장 한다 .