희생 층 ( 13 ) 은 절연 층 ( 12 ) 에 대해 선택 적 으로 제거 될 수 있 는 희생 물질 을 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , 희생 층 ( 13 ) 의 제거 는 절연 층 ( 12 ) 에 대해 선택 적 일 수 있 다 . 희생 층 ( 13 ) 의 제거 속도 와 절연 층 ( 12 ) 의 제거 속도 비율 은 절연 층 ( 12 ) 에 대한 희생 층 ( 13 ) 의 제거 공정 의 선택 비 라고 지칭 될 수 있 다 .