더욱이 , 가이드 부 는 지지 프레임 의 좌우 이동 을 억제 할 수 있 으므로 , 제 1 신축 부 와 제 2 신축 부 의 작 동시 지지 프레임 의 불 안정 한 유동 에 의한 기판 의 흔들림 을 최소 화 할 수 있 으며 , 흔들림 에 의한 그립 실패 를 방지 하 고 안정 성 및 신뢰 성 을 높이 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 특히 , 적어도 일 측변 의 길이 가 1 m 보다 큰 길이 를 갖 는 대면 적 기판 은 지지 프레임 의 작 은 흔들림 에 도 크 게 요동 될 수 있 기 때문 에 , 지지 프레임 의 흔들림 을 최대한 억제 하 는 것 이 중요 하 다 .