또 , 본 명세서 에 있 어서 , 연마 액 중 에 있 어서 의 , 금속 불순물 이 함유 하 는 금속 원자 의 함유량 은 , ICP - MS ( inductively coupled plasma mass spectrometry ) 로 측정 되 는 금속 원자 의 함유량 을 의도 한다 . 또한 , ICP - MS 를 이용 한 금속 원자 의 함유량 의 측정 방법 은 , 후술 하 는 실시 예 에 기재 하 는 바 와 같 다 .