또한 , 본 발명 에서 는 , 도 1 에 나타내 는 목표 구동 위치 연산 부 ( 42 ) 는 , 노광 개시 전후 의 제 1 소정 시간 ( T 2 + T 3 ) 에 있 어서 의 목표 구동 위치 의 제 1 연산 부 와 , 노광 개시 후 의 제 2 소정 시간 ( T 3 ) 경과 후 에 있 어서 의 목표 구동 위치 의 제 2 연산 부 를 가져도 된다 . 그 경우 에 있 어서 , 제 1 연산 부 에 있 어서 의 목표 구동 위치 를 연산 하 기 위한 제 1 게인 이 , 제 2 연산 부 에 있 어서 의 상기 목표 구동 위치 를 연산 하 기 위한 제 2 게인 보다 낮 은 것 이 바람직 하 다 .