표 1 에서 , 폴리비닐 페놀 수지 의 비율 이 35 질량 % 이상 90 질량 % 이하 인 알칼리 가용성 수지 를 함유 하 는 수지 액 을 사용 하 는 동시 에 , 200 ℃ 이상 의 온도 에서 포스트 현상 베 이크 를 실시 한 실시 예 1 ~ 실시 예 9 에서 는 , 잔류 수분 및 잔류 유기 분 이 충분히 저감 되 고 , 또한 단면 이 양호 한 역 테이퍼 형상 을 갖 는 레지스 트 패턴 이 형성 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 .