분리 차폐 전극 ( 246 ) 은 연결 시스템 ( 222 ) 이 가스 환경 ( 264 ) 과 만나 는 부싱 유닛 ( 102 b ) 상 의 경계표 면 ( 280 ) 을 향해 뻗 어 있 는 또 다른 차폐 부분 ( 276 ) 을 포함 한 다 . 차폐 부분 ( 276 ) 은 , 달리 명확 하 게 설명 되 지 않 는 한 , 도 3 의 차폐 부분 ( 132 ) 과 동일 하 다 . 예 를 들 면 , 차폐 부분 ( 276 ) 은 평면 ( 137 ) 에서 의 단면도 에서 경계표 면 ( 280 ) 을 향하 는 U - 형상 을 가진다 . 일 실시 예 에 있 어서 , 평면 ( 137 ) 에서 의 단면상 으로 분리 차폐 전극 ( 246 ) ( 즉 , 차폐 부분 ( 276 ) 및 차폐 부분 ( 250 ) ) 은 H - 형상 을 가진다 .