이때 , 유전 율 이 낮 은 프로필렌글리콜 용액 에 불 산 과 아민 용액 이 첨가 된 화학 용액 을 사용 함 에 따라 프로필렌글리콜 용액 과 HF 용액 간 에 쿨롱 힘 ( Coulomb force ) 이 커져 결합력 이 강해 지 고 , 이 에 따라 , 불 산 의 해리 가 억제 및 최소 화 되 어 HF 2 - 이온 이 용액 내 에 대부분 을 차지 하 게 됨 으로써 SOD 막 에 대한 식각 률 도 열 산화 막 ( Thermal oxide ) 을 포함 한 종래 BPSG , O 3 - TEOS USG , HDP 방법 으로 형성 된 산화 막 에 대한 식각 률 과 유사 하 게 유지 할 수 있 다 .