도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 커 스터 마이 즈 화면 ( 400 ) 에 는 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 에 축적 된 축 적 데이터 ( 130 ) 에 포함 되 는 데이터 항목 의 일람 이 표시 된다 . 작업자 는 , 커 스터 마이 즈 화면 ( 400 ) 에 일람 표시 된 데이터 항목 중 에서 , 건강 값 의 산출 에 이용 하 는 데이터 항목 을 선택 한다 . 도 4 의 커 스터 마이 즈 화면 ( 400 ) 의 예 는 , 일람 표시 된 데이터 항목 중 에서 , 건강 값 의 산출 에 이용 하 는 데이터 항목 으로서 , " "" 웨이퍼 처리 매수 """," "" 알람 발생 빈도 """," "" 누적 막 두께 """," "" RISK 품 발생 비율 "" 이 선택 된 모습 을 나타내 고 있 다 . "