도 1 내지 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 유해 가스 처리 를 위한 플 라즈 마 가스 스 크 러버 ( Gas Scrubber ; 100 ) 는 플 라즈 마 처리 기 ( 1 ) , 냉각 세척 챔버 ( 30 ) , 냉각 챔버 ( 40 ) , 및 저장조 ( 60 ) 를 포함 한다 . 이 들 구성 들 은 본체 ( 110 ) 에 수용 되 는 것 이 바람직 하 다 .