도 5 는 제조 장치 ( 1 ) 와 배기 시스템 ( 2 ) 의 제어기 ( 6 ) 사이 에 수행 된 정보 의 입력 및 출력 과 , 제어기 ( 6 ) 와 진공 펌프 장치 ( 3 ) , 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) , 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 및 파이프 히터 ( 8 ) 사이 에 수행 된 다양 한 제어 방법 을 설명 하 기 위한 개략 도 이 다 . 도 5 에서 , 제어기 ( 6 ) 는 배기 시스템 ( 2 ) 의 모든 장치 를 제어 하 기 위한 제어기 로서 도시 되 어 있 지만 , 제어기 ( 6 ) 는 각각 의 장치 [ 진공 펌프 장치 ( 3 ) , 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) , 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 및 파이프 히터 ( 8 ) ] 에 부착 된 개별 제어기 일 수 도 있 다 .