또한 , 상기 제어 장치 는 상기 물리 적 치환 공정 이 행하 여 지 기 전 에 , 상기 제 1 용제 공급 유닛 에 의해 제 1 용제 를 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 시킴 으로써 , 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 를 제 1 용제 로 치환 시키 는 치환 공정 을 더 포함 하 는 상기 제 1 용제 공급 공정 을 실행 하 여도 좋 다 . 이 경우 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .