인덱스 모듈 ( 10 ) 은 기판 ( W ) 이 수납 된 용기 ( 80 ) 로부터 기판 ( W ) 을 처리 모듈 ( 20 ) 로 반송 하 고 , 처리 모듈 ( 20 ) 에서 처리 가 완료 된 기판 ( W ) 을 용기 ( 80 ) 로 수납 한다 . 인덱스 모듈 ( 10 ) 의 길 이 방향 은 제 2 방향 ( 94 ) 으로 제공 된다 . 인덱스 모듈 ( 10 ) 은 로드 포트 ( 12 , loadport ) 와 인덱스 프레임 ( 14 ) 을 가진다 . 인덱스 프레임 ( 14 ) 을 기준 으로 로드 포트 ( 12 ) 는 처리 모듈 ( 20 ) 의 반대 측 에 위치 된다 . 기판 ( W ) 들 이 수납 된 용기 ( 80 ) 는 로드 포트 ( 12 ) 에 놓인다 . 로드 포트 ( 12 ) 는 복수 개 가 제공 될 수 있 으며 , 복수 의 로드 포트 ( 12 ) 는 제 2 방향 ( 94 ) 을 따라 배치 될 수 있 다 .