도 12 에 또한 나타낸 바 와 같이 , 예시 적 시스템 ( 1200 ) 은 계측 데이터 저 장소 ( 1224 ) 를 포함 할 수 있 다 . 한 예시 적 실시 예 에서 , 계측 데이터 저 장소 ( 1224 ) 는 광학 나노 젯 계측 시스템 ( 1208 ) 및 / 또는 광학 나노 젯 계측 시스템 ( 1218 ) 에 의해 결정 된 구조 의 존재 및 / 또는 높이 및 폭 을 포함 한다 .