또한 , 제 1 고주파 전력 을 이용 하 지 않 고 , 제 2 고주파 전력 을 이용 하 여 , 즉 , 단일 의 고주파 전력 만 을 이용 하 여 플 라즈 마 를 생성 하 여도 좋 다 . 이 경우 에 는 , 제 2 고주파 전력 의 주파수 는 , 13 . 56 MHz 보다 큰 주파수 , 예컨대 40 MHz 여도 좋 다 . 또한 , 이 경우 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 제 1 고주파 전원 ( 61 ) 및 정합 기 ( 63 ) 를 구비 하 지 않 아도 좋 고 , 제 2 고주파 전원 ( 62 ) 은 , 일례 의 플 라즈 마 생 성부 를 구성 하 고 있 다 .