또 , Fe 원자 , Cu 원자 , Ag 원자 , 및 Zn 원자 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 특정 금속 원자 를 2 종 이상 함유 하 는 경우 에 는 , 각각 의 특정 금속 원자 의 함유량 은 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 0 . 001 ~ 200 질량 ppb 가 바람직 하 고 , 0 . 01 ~ 200 질량 ppb 가 보다 바람직 하 며 , 0 . 01 ~ 100 질량 ppb 가 더 바람직 하 고 , 0 . 01 ~ 50 질량 ppb 가 특히 바람직 하 며 , 0 . 01 ~ 20 질량 ppb 가 가장 바람직 하 다 .