예시 적 인 제 1 보정 조치 는 , S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 와 가용 평가 요소 의 제 1 개수 간 의 차이 를 이용 하 여 제 1 개수 의 지연 된 S - D 웨이퍼 를 결정 하 는 단계 와 , S - D 이송 서브시스템 내 의 하나 이상 의 이송 요소 를 이용 하 여 제 1 개수 의 지연 된 S - D 웨이퍼 를 제 1 시간 동안 보관 및 / 또는 지연 시키 는 단계 를 포함 하 고 , 이송 요소 는 2 개 이상 의 웨이퍼 를 지지 하 기 위한 수단 을 포함 한다 .