또한 , 예 를 들 면 제 1 처리 블록 ( 3 ) 으로부터 제 2 처리 블록 ( 5 ) 에 기판 ( W ) 을 반송 하 는 경우 에 , 각 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 를 이용 하 지 않 고 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 의 중간 에 배치 된 기판 버퍼 ( BF ) ( 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 ) ) 를 통하 여 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 으로부터 제 2 처리 블록 ( 5 ) 에 기판 을 반송 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 각 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 의 기판 반송 의 부담 을 경감 시킬 수 있 다 .