상기 문제 를 해결 하 기 위한 방법 중 에 SOD ( Spin on Dielectric ) 물질 중 하나 인 PSZ ( polysilazane ) 를 이용 하 여 트렌치 를 완전히 갭 필 하 는 방법 이 있 다 . 이때 에 는 좁 은 트렌치 매립 이 가능 한 유동 성 있 는 PSZ 계열 의 산화 막 을 코팅 하 여 증착 하 고 , 이 를 큐어 링 ( curing ) 한 다음 화학 적 기계 적 연마 ( Chemical Mechanical Polishing ; CMP ) 공정 으로 평탄 화 한다 .