하부 버스 전극 구조 체 는 에칭 전 에 는 전류 공급 을 위한 층 의 형태 이 고 , 바람직 하 게 는 0 . 5 ㎛ 내지 10 ㎛ 의 두께 를 갖 고 , 바람직 하 게 는 다음 의 금속 , 즉 Mo , Al , Cr , Nd 중 하나 , 또는 MoCr , AlNd 와 같 은 합금 으로 만든 단층 형태 , 또는 MoCr / Al / MoCr 과 같 은 다층 형태 이 다 .