열 구동 방식 잉크젯 프린트 헤드 의 제조 방법 이 개시 된다 . 개시 된 잉크젯 프린트 헤드 의 제조 방법 은 기판 상 에 잉크 챔버 가 형성 된 챔버 층 을 형성 하 는 단계 ; 잉크 챔버 를 채우 도록 챔버 층 상 에 희생 층 을 형성 하 는 단계 ; 및 희생 층 및 챔버 층 의 상면 을 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 통하 여 평탄 화 시켜 희생 층 및 챔버 층 을 원하 는 높이 로 형성 하 는 단계 ; 를 포함 한다 . 여기 서 , 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에 사용 되 는 슬러리 에 는 평균 입자 크기 가 500 nm ~ 2 ㎛ 인 연마 입자 들 이 포함 된다 .