제 2 오 목부 ( 41 ) 의 내부 에 는 웨이퍼 ( W ) 의 재 치부 ( 84 ) 가 형성 되 어 있 으며 , 이 재 치부 ( 84 ) 에 는 가 열부 예 를 들 면 히터 ( 85 ) 가 내장 되 어 있 다 . 도면 중 「 86 」 은 히터 ( 85 ) 에 소정 의 전력 을 공급 하 는 전력 공급 부 이 다 . 이 실시 형태 에서 는 , 히터 ( 85 ) 와 전력 공급 부 ( 86 ) 에 의해 온도 조정기 가 구성 되 어 있 다 . 또한 , 재 치부 ( 84 ) 에 는 , 재 치부 ( 84 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 올려 놓 고 , 재 치부 ( 84 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 들어올리 는 승강 로드 ( 87 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 승강 로드 ( 87 ) 는 , 승강 기구 ( 87 a ) 에 의해 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 내 에 있 어서 의 , 웨이퍼 ( W ) 가 제 2 반송 아암 ( 32 ) 으로부터 수취 되 거나 또는 제 2 반송 아암 ( 32 ) 으로 넘겨 지 는 반송 위치 와 , 웨이퍼 ( W ) 가 재 치부 ( 84 ) 에 올려 놓여 지 는 재치 위치 ( 이때 승강 로드 ( 87 ) 의 상단 은 재 치부 ( 84 ) 의 상면 보다 낮 아 진다 ) 와 의 사이 에서 승강 이 자유 롭 게 구성 되 어 있 다 .