실시 예의 하층 막 은 굴절 률 ( n ) 은 높 고 , 소 쇠 계수 ( k ) 는 낮 으며 , 뛰어난 광학 특성 을 갖 고 , 에칭 내성 도 뛰어난 것 이 되 었 다 . 한편 , 본 발명 의 하층 막 형성 조성물 을 이용 하 지 않 았 던 비 교예 1 및 2 는 소 쇠 계수 ( k ) 가 높 고 , 광학 특성 의 점 에서 충분 한 성능 을 갖 지 않 았 다 .