감광성 포토레지스트 필름 이 제 2 박막 ( 134 a ) 상 에 형성 된 후 , 감광성 포토레지스트 필름 의 상부 에 는 광 흡수 부 ( light absorbing portion ; 137 a ) 및 광 투과 부 ( light transmitting portion ; 137 b ) 를 갖 는 레티 클 ( reticle ; 137 ) 이 배치 된다 . 레티 클 ( 137 ) 의 광 투 과부 ( 137 b ) 를 통과 한 광 ( light beam ) 은 감광성 포토레지스트 필름 의 내부 로 조사 되 어 감광성 포토레지스트 필름 은 광 에 의하 여 노광 된다 . 따라서 , 감광성 포토레지스트 필름 은 노광 영역 ( exposing region ; ER ) 및 노광 영역 ( ER ) 을 감싸 는 비 노광 영역 ( non - exposing region ; NER ) 으로 구분 된다 .