온도 조절 용 베이스 부 ( 3 ) 의 상면 측 에 는 , 접착 층 ( 6 ) 을 통하 여 절 연판 ( 7 ) 이 접착 되 어 있 다 . 접착 층 ( 6 ) 은 폴리 이미드 수지 , 실리콘 수지 및 에폭시 수지 등 의 내열성 , 및 절연 성 을 갖 는 시트 상 또는 필름 상 의 접착성 수지 로 이루어진다 . 접착 층 은 예 를 들 면 두께 5 ~ 100 μ m 정도 로 형성 된다 . 절 연판 ( 7 ) 은 , 폴리 이미드 수지 , 에폭시 수지 및 아크릴 수지 등 의 내열 성 을 갖 는 수지 의 박판 , 시트 혹은 필름 으로 이루어진다 .