상술 한 제 3 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 접속 부 ( 230 ) 는 , 보충 부 ( 250 ) 와 필터 ( 234 ) 사이 를 개폐 하 는 제 2 전환 밸브 ( 238 ) 를 갖 는다 . 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 및 제 2 전환 밸브 ( 238 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 보충 부 ( 250 ) 내 와 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 는 것 과 , 제 2 전환 밸브 ( 238 ) 가 개방 되 고 , 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 제 1 접속 부 ( 230 ) 내 와 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 는 것 을 이 순 으로 실행 한다 . 이 경우 , 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 와 제 2 전환 밸브 ( 238 ) 를 대략 동일 한 타이밍 에서 개방 상태 로 전환 하 는 경우 에 비하 여 , 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 의 상류 의 압력 과 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 의 하류 의 압력 의 차 를 보다 높 은 정밀도 로 축소 시킬 수 있 다 . 따라서 , 제 1 접속 부 ( 230 ) 내 에서 의 처리 액 의 헌팅 에 기인 한 파티클 의 발생 의 억제 에 더욱 유용 하 다 . 또한 , 보충 부 ( 250 ) 내 의 배관 용적 은 , 송액 부 ( 210 ) 내 의 처리 액 의 배관 용적 보다 도 큰 경향 이 있 다 . 상기 구성 에서 는 , 배관 용적 이 큰 상류 측 에 위치 하 는 전환 밸브 부터 이 순 으로 단계 적 으로 개방 해 나감 으로써 , 보충 부 ( 250 ) 내 와 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 차 의 조절 이 용이 하 게 된다 .