주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 가동 상태 에 따라 , 종제 어부 ( 8 ) 에 의한 포토레지스트 가 도포 된 기판 을 종 노광 장치 ( EX 2 ) 로 반송 하 는 지시 , 및 노광 된 기판 을 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 로 반송 하 는 지시 를 제어 한다 . 이 실시 형태 에서 는 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 에 의해 포토레지스트 가 도포 된 기판 을 , 반송 장치 ( 90 ) 가 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 교대 로 반입 하 고 , 또한 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 교대 로 기판 을 수용 하 도록 반송 장치 ( 90 ) , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 한다 . 이 경우 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 서로 간섭 하 는 동작 을 실시 하 지 않 도록 감시 한다 . 예 를 들 어 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 , 동시 에 반송 장치 ( 90 ) 로부터 기판 을 수용 하 는 것 , 및 동시 에 반송 장치 ( 90 ) 에 기판 을 수수 하 는 것 이 없 도록 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 한다 . 이 때문 에 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 기판 을 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 반입 하 는 지시 및 기판 을 종 노광 장치 ( EX 2 ) 로부터 반출 하 는 지시 를 허가 하 는 경우 에 는 , 종제 어부 ( 8 ) 에 대하 여 그 취지 의 신호 를 출력 한다 . 또한 , 기판 을 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 반입 하 는 지시 및 기판 을 종 노광 장치 ( EX 2 ) 로부터 반출 하 는 지시 를 허가 하 지 않 는 경우 에 는 , 그 취지 의 신호 를 출력 한다 .