따라서 가압 플레이트 ( 40 ) 의 하강 작동 으로 인하 여 , 가압 볼 ( 31 ) 이 로딩 부재 ( 32 ) 의 제 1 경사면 ( 321 ) 에 수직 방향 으로 교차 하 여 하강 작용력 을 가하 게 되 면 , 제 1 경사면 ( 321 ) 의 경사 각도 에 따른 힘 의 벡터 분력 에 의하 여 , 로딩 부재 ( 32 ) 는 제 2 기판 ( S 2 ) 및 스테이지 ( 20 ) 의 중심 에서 멀 어 지 는 방향 ( 일례 로써 , 직경 방향 ) 으로 이동 하 게 된다 .