본 발명 의 SiC 웨이퍼 의 생성 방법 은 , 단결정 SiC 잉곳 의 c 축 이 단면 의 수선 에 대해 경사져 있 는지 의 여부 에 상관없이 사용 할 수 있 는 바 , 먼저 , 단면 의 수선 과 c 축 이 일치 하 고 있 는 단결정 SiC 잉곳 에 있 어서 의 본 발명 의 SiC 웨이퍼 의 생성 방법 의 실시 형태 에 대해 도 1 내지 도 6 을 참조 하 면서 설명 한다 .