이송 서브시스템 ( 101 , 102 및 103 ) 과 이송 디바이스 ( 113 , 118 , 123 , 128 , 133 , 138 , 143 , 148 , 153 및 158 ) 는 하나 이상 의 웨이퍼 로트 내 의 하나 이상 의 웨이퍼 를 효율 적 으로 그리고 비용 면 에서 효과 적 으로 이송 , 정렬 , 지연 및 / 또는 보관 하 도록 S - D 이송 시퀀스 및 / 또는 프로시저 를 이용 할 수 있 다 . 일부 S - D 프로시저 는 웨이퍼 종속 적 , 로트 종속 적 , 및 / 또는 생산품 종속 적 프로 시저 일 수 있 다 .