본 발명 의 목적 은 신규 한 고 효율 그래핀 주름 제거 방법 및 CVD 그래핀 제조 방법 을 제공 함 으로써 , 주로 고품질 의 주름 없 는 그래핀 의 제조 에 사용 하 거나 그래핀 의 주름 감소 및 완전 한 제거 에 사용 하 는 데 에 있 다 . 본 발명 은 정밀 한 실험 제어 를 통해 CVD 그래핀 샘플 의 주름 을 줄이 고 제거 하 여 고유 의 특성 을 유지 한다 . 본 발명 에 의해 제조 된 주름 없 는 그래핀 의 크기 는 웨이퍼 수준 에 도달 하 므로 , 소자 조립 및 기초 연구 를 위한 이상 적 인 방법 으로 사용 될 수 있 다 . 본 발명 은 다양 한 기판 에서 성장 시키 는 동시 에 양성자 를 주입 하 여 주름 없 는 초 평탄 그래핀 을 직접 성장 시키 며 , 종래 방법 으로 성장 한 주름 있 는 그래핀 의 양성자 주입 후 처리 하 여 주름 을 감소 및 제거 하 는 방법 을 제공 한다 .