가용 평가 요소 의 제 1 개수 는 하나 이상 의 S - D 평가 요소 에 대한 제 1 작동 상태 를 이용 하 여 결정 될 수 있 다 . 제 2 S - D 이송 시퀀스 는 업데이트 된 웨이퍼 데이터 , 업데이트 된 웨이퍼 상태 데이터 , 웨이퍼 데이터 , 웨이퍼 상태 데이터 , S - D 평 가 웨이퍼 의 제 1 개수 , 가용 평가 요소 의 제 1 개수 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 확립 될 수 있 다 .