현상 에 사용 되 는 현상액 으로 는 , 감광성 수지 조성물 에 대한 양 ( 良 ) 용매 , 또는 그 양용매 와 빈용매 의 조합 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 , 알칼리 수용액 에 용해 되 지 않 는 감광성 수지 조성물 의 경우 , 양용매 로 는 N - 메틸 피 롤리 돈 , N - 시클 로 헥 실 - 2 - 피 롤리 돈 , N , N - 디 메틸 아세트아미드 , 시클 로 펜 타 논 , 시클로헥사논 , γ - 부티 로 락톤 , α - 아세틸 - γ - 부티 로 락톤 등 이 바람직 하 고 , 빈용매 로 는 톨루엔 , 자일렌 , 메탄올 , 에탄올 , 이소프로필 알코올 , 락트산에틸 , 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트 및 물 등 이 바람직 하 다 . 양용매 와 빈용매 를 혼합 하 여 사용 하 는 경우 에 는 , 감광성 수지 조성물 중 의 폴리머 의 용해 성 에 의해 양용매 에 대한 빈용매 의 비율 을 조정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또 , 각 용매 를 2 종 이상 , 예 를 들 어 수종 조합 하 여 사용 할 수 도 있 다 .