한편 , 제 1 식각 공정 은 제 1 도 전막 ( 104 ) 에 홈 ( 117 ) 이 형성 되 도록 과도 하 게 실시 한다 . 제 1 식각 공정 을 등방성 식각 공정 으로 진행 한 경우 , 식각 정지 막 ( 106 ) 가장자리 하부 의 제 1 도 전막 ( 104 ) 까지 식각 된다 . 식각 공정 후 에 제 2 하드 마스크 막 ( 112 ) 및 보호막 ( 110 ) 의 총 잔류 두께 는 40 Å 내지 50 Å 이 되 도록 한다 .