본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 기판 ( 15 ) 은 그 위 에 배치 된 , 즉 기판 ( 15 ) 의 상부 표면 상 에 배치 된 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 을 갖 는다 . 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 은 , 복사선 에 노광 된 후 에 ( 제 1 ) 전구체 와 선택 적 으로 반응 하 여 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 상 에서 선택 적 으로 마스킹 층 을 성장 시킬 수 있 는 , 임의 의 재료 를 포함 할 수 있 다 .