도 3 및 도 4 를 참조 하 면 , 제 1 재배 선 구 조체 ( 110 ) 상 에 전도성 필라 ( 122 ) 를 형성 하 는 단계 가 이루어진다 . 예 를 들 어 , 제 1 재배 선 구 조체 ( 110 ) 상 에 도금 공정 에 의해 복수 의 전도성 필라 ( 122 ) 가 배치 될 수 있 다 . 상기 복수 의 전도성 필라 ( 122 ) 는 제 1 재배 선 구 조체 ( 110 ) 의 최상층 의 배선 패턴 ( 114 ) 상 에 배치 될 수 있 다 .