그리고 , 연결부 ( 25 ) 는 제 1 연결부 ( 21 ) 와 제 2 연결부 ( 23 ) 를 구비 하 고 , 이 들 을 억 지 끼워도 도 9 에 도시 된 바 와 같이 제 1 연결부 와 제 2 연결부 사이 에 는 공간 이 형성 된다 . 이 와 같이 , 연결부 가 억 지 끼워진 구조 에서 도 공간 이 형성 되 고 , 이러 한 공간 이 버퍼 역할 을 수행 할 수 있 기 때문 에 제 1 기판 ( 10 ) 과 제 2 기판 ( 16 ) 사이 에서 이루어지 는 가압 을 다소 완화 시킬 수 있 을 뿐 만 아니 라 특히 연결부 자체 가 수직 방향 으로 이동 이 가능 한 경로 를 제공 하 기 때문 에 제 1 기판 ( 10 ) 과 제 2 기판 ( 16 ) 사이 에서 이루어지 는 평탄 도 조절 을 보다 유리 하 게 수행 할 수 있 다 .