또한 , 집광기 ( 54 ) 가 제 2 높이 ( Z 2 ) 에 위치 된 상태 로 , 가공 흔적 ( A 0 및 A 1 ) 이 형성 된 영역 과 는 상이 한 영역 에 레이저 빔 ( L ) 을 조사 하 면 , 웨이퍼 ( 11 ) 의 표면 ( 11 a ) 에 는 , 가공 흔적 ( A 2 ) 이 형성 된다 . 도 3 ( c ) 는 , 집광기 ( 54 ) 를 제 2 높이 ( Z 2 ) 로 했 을 때 의 가공 흔적 ( A 2 ) 의 예 이 다 .