상기 Ru 막 ( 130 ) 을 ALD , 또는 , PE - ALD 방식 으로 형성 하 는 경우 에 상기 ALD , 또는 , PE - ALD 방식 은 상기 Ru 막 ( 130 ) 이 금속 배선 ( 120 ) 의 표면 에 만 선택 적 으로 형성 되 도록 절 연막 ( 110 ) 상 에서 의 인 큐 베이 션 싸이클 ( Incubation Cycle ) 이내 , 바람직 하 게 는 , 400 회 이내 ( 1 ∼ 400 회 ) 정도 로 수행 한다 .