압력 저항 소자 ( 15 ) 의 내부 구조 로 인해 , 급격 한 압력 증가 가 억제 되 며 따라서 역류 가 방지 된다 . 본 발명 의 다른 주 된 특징 에 따르 면 , 압력 저항 소자 ( 15 ) 로 인한 주입 된 이산화 탄소 의 압력 강 하 는 압력 저항 소자 ( 15 ) 로 인한 급격 하 게 가압 된 초 순수 의 압력 강하 와 매우 유사 하 다 . 만약 주입 된 이산화 탄소 의 압력 이 도입 된 초 순수 의 압력 또는 설정 된 압력 과 같 거나 이 보다 크 다면 , 상기 이산화 탄소 의 압력 및 상기 초 순수 의 압력 은 압력 저항 소자 ( 15 ) 에 의해 감소 된다 . 압력 저항 소자 ( 15 ) 로 인한 주입 된 이산화 탄소 의 압력 강 하 는 압력 저항 소자 ( 15 ) 로 인한 급격 하 게 가압 된 초 순수 의 압력 강하 와 매우 유사 하 기 때문 에 , 적정 압력 을 갖 는 이산화 탄소 또는 적정 량 의 이산화 탄소 를 흐름 안내 장치 ( 10 ) 로 주입 하 기 위하 여 감압 된 이산화 탄소 의 압력 은 감압 된 초 순수 의 압력 보다 여전히 크 다 . 더욱이 , 감압 된 이산화 탄소 의 압력 이 감압 된 초 순수 의 압력 과 실질 적 으로 같 다 하 더라도 , 이산화 탄소 는 모세관 작용 에 의해 흐름 안내 장치 ( 10 ) 로 주입 될 수 있 으므로 미처리 초 순수 와 혼합 된다 .