특히 가교 성분 으로서 광 산 발생 제 와 산 가교제 의 조합 을 사용 하 는 경우 에 는 가교 반응 을 촉진 할 목적 으로 , 상술 한 노광 후 의 감방 사선 성 수지 막 에 대해 포스트 노광 베 이크 를 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 포스트 노광 베 이크 의 온도 는 예 를 들 어 , 100 ℃ 이상 130 ℃ 이하 로 할 수 있 고 , 포스트 노광 베 이크 의 시간 은 , 예 를 들 어 10 초 이상 200 초 이하 로 할 수 있 다 .