도 5 를 참조 하 면 , 제 1 단위 상변화 메모리 소자 부분 ( c ) 및 제 2 단위 상변화 메모리 소자 부분 ( d ) 으로 한정 되 어 있 는 반도체 기판 ( 200 ) , 예컨대 실리콘 기판 상부 에 상변화 메모리 소자 의 하부 전극 용 제 1 도 전막 ( 204 ) 및 발열 전극 용 제 2 도 전막 ( 206 ) 을 순차 적 으로 적층 한다 .