회전축 ( 72 ) 은 , 예 를 들 어 보트 엘리베이터 등 의 승강 기구 ( 70 ) 에 지지 된 암 ( 71 ) 의 선단 에 설치 되 어 있 고 , 웨이퍼 보트 ( 80 ) 및 덮개 ( 60 ) 등 을 일체 적 으로 승강 할 수 있 도록 형성 되 어 있 다 . 또한 , 테이블 ( 74 ) 을 덮개 ( 60 ) 에 고정 하 여 , 웨이퍼 보트 ( 80 ) 를 회전 시키 지 않 고 웨이퍼 ( W ) 의 처리 를 행하 도록 해도 된다 .