X 축 방향 으로 인접 하 는 한 쌍 의 제어판 ( 80 ) 에 의해 규정 되 는 각도 γ ( 도 13 참조 ) 에 대해서 tan γ = 10 이 기 때문 에 , γ = 84 . 3 ° 가 된다 . 따라서 , 인접 하 는 제어판 ( 80 ) 에 의해 결정 되 는 증착 입자 의 확대 각도 γ '( γ '= 90 °- γ ) 는 5 . 7 ° 이 었 다 . 즉 , 복수 의 제어판 ( 80 ) 에 의해 , 제 어 공간 ( 81 ) 을 출사 하 는 증착 입자 의 출사 각도 는 5 . 7 ° 이하 로 제한 된다 .