본 실시 예 에 의하 면 , 주사 형 노광 장치 를 노광 장치 의 예 로서 든다 . 상기 주사 형 노광 장치 는 레티 클 ( 1 ) 과 웨이퍼 ( 3 ) 를 주사 방향 으로 서로 동기 하 여 이동 하 면서 레티 클 ( 1 ) 에 형성 된 레티 클 패턴 을 통해서 웨이퍼 ( 3 ) 에 투영 한다 . 본 발명 은 레티 클 ( 1 ) 을 고정 해서 레티 클 패턴 을 웨이퍼 ( 3 ) 에 스텝 앤드 리피트 투영 에 의해 전사 하 는 노광 장치 에 도 적용 할 수 있 는 것 에 유의 한다 .