여기 에서 , 도 9 는 상기 유닛화 의 다른 구성 예 를 나타내 고 , 구체 적 으로 는 차폐 판 과 연삭 액 공급 노즐 및 퍼지 노즐 을 유닛 화 한 연삭 액 비산 방지 유닛 ( 20 ) 의 사시도 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 도 10 은 상기 연삭 액 비산 방지 유닛 ( 20 ) 을 장착 한 단면 연삭 장치 의 주요부 평면도 를 나타내 고 있 다 . 이 연삭 액 비산 방지 유닛 ( 20 ) 은 도 2 에 나타내 는 차폐 판 ( 6 ) 을 일체 로 갖 는 대략 상자 상 으로 형성 되 어 있 고 , 그 측면 에 설치 된 포 위부 ( 9 ') 가 슬릿 ( 10 ') 에 의해 상하 로 분할 된 형태 를 이룬다 . 그리고 , 상기 실시 형태 와 마찬가지 로 , 이 슬릿 ( 10 ') 에 유리 기판 ( 2 ) 의 일부 를 삽입 통과 시키 고 , 삽입 통과 부분 의 단면 ( 2 a ) 을 숫돌 ( 3 ) 과 접촉 시킨 상태 에서 는 도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 포 위부 ( 9 ') 의 일단 이 접촉 부 ( 4 ) 를 기준 으로 해서 숫돌 ( 3 ) 의 회전 방향 전방 측 { 도 10 중 접촉 부 ( 4 ) 보다 좌측 영역 } 에서 유리 기판 ( 2 ) 의 단면 ( 2 a ) 과 교차 해서 연장 되 도록 연삭 액 비산 방지 유닛 ( 20 ) 이 예 를 들 면 , 도 1 에 나타내 는 형상 의 하우징 ( 8 ) 에 고정 되 어 있 다 . 또한 , 포 위부 ( 9 ') 를 사이 에 두 고 숫돌 ( 3 ) 과 는 반대 측 에 는 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ') 가 배치 되 어 있 고 ( 도 10 을 참조 ) , 연삭 시 , 유리 기판 ( 2 ) 의 평면 을 향해 퍼 지수 ( 13 ) 를 분사 할 수 있 도록 연삭 액 비산 방지 유닛 ( 20 ) 내 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 이 도시 예 에서 는 연삭 액 비산 방지 유닛 ( 20 ) 의 상부 에 연삭 액 공급 노즐 ( 5 ') 이 일체 로 배치 되 어 있 지만 대신 에 하부 에 연삭 액 공급 노즐 ( 5 ') 을 배치 할 수 도 있 고 , 또는 상부 와 하부 의 쌍방 에 각각 배치 할 수 도 있 다 .