용기 본체 ( 21 A ) 를 구성 하 는 바닥 판 ( 23 ) 상 에 는 , 기판 ( B ) 의 탑 재부 를 이루 는 각 형 의 탑재 대 ( 3 ) 가 마련 되 어 있 다 . 도 2 및 도 3 을 함께 참조 하 여 설명 하 면 , 이 탑 재 대 ( 3 ) 는 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 하부 전극 ( 31 ) 과 , 커버 ( 32 ) 와 , 하부 전극 ( 31 ) 을 바닥 판 ( 23 ) 상 에 지지 하 는 중간 부재 인 스 페이서 ( 33 ) 와 , 패킹 ( 36 ) ( 도 2 에서 는 편의 상 기재 하 지 않 음 ) 을 구비 하 고 있 고 , 하부 전극 ( 31 ) 은 각 진 판 형상 으로 형성 되 며 , 그 주연 부 에 는 해당 하부 전극 ( 31 ) 의 변 을 따르 도록 단차 ( 31 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 커버 ( 32 ) 는 하부 전극 ( 31 ) 및 스 페이서 ( 33 ) 의 측 방향 둘레 를 둘러싸 도록 루프 ( loop ) 형상 으로 형성 되 어 있 고 , 그 상부 는 내측 을 향해 하부 전극 ( 31 ) 의 단차 ( 31 a ) 를 덮 는 플랜지 로서 형성 되 며 , 하부 전극 ( 31 ) 의 상면 과 이 커버 ( 32 ) 의 플랜지 의 상면 은 평탄면 을 이루 어 , 기판 ( B ) 의 탑 재면 을 구성 하 고 있 다 . 또한 , 기판 ( B ) 은 예 를 들 면 한 변이 2 , 200 ㎜, 다른 변이 2 , 500 ㎜ 정도 크기 의 각 진 형상 으로 형성 되 어 있 다 .