구체 적 으로 냉각 기구 ( 7 ) 는 , 롤러 본체 ( 2 ) 의 축 방향 일단 측 에 형성 되 어 공극 부 ( X 1 ) 에 연통 하 는 흡 기구 ( 71 ) 와 , 롤러 본체 ( 2 ) 의 축 방향 타단 측 에 형성 되 어 공극 부 ( X 1 ) 에 연통 하 는 배기구 ( 72 ) 와 , 배기구 ( 72 ) 에 접속 되 어 배기구 ( 72 ) 로부터 공극 부 ( X 1 ) 의 기체 를 흡인 하 는 흡인 기구 ( 73 ) 를 구비 하 고 있 다 .