일 예 로 , 하부 및 상부 반도체 패턴 들 ( LSP , USP ) 은 실리콘 ( Si ) , 게르마늄 ( Ge ) 또는 이 들 의 혼합물 을 포함 할 수 있 으며 , 서로 다른 결정 구조 를 가질 수 있 다 . 하부 및 상부 반도체 패턴 들 ( LSP , USP ) 은 단결정 , 비정질 ( amorphous ) , 및 다결정 ( polycrystalline ) 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 를 포함 하 는 결정 구조 를 가질 수 있 다 . 하부 및 상부 반도체 패턴 들 ( LSP , USP ) 은 언 도프 트 상태 이 거나 , 기판 ( 100 ) 과 동일 한 제 1 도 전형 을 갖 도록 불순물 로 도핑 될 수 있 다 .