컨 택트 시트 ( 3 ) 는 유리 를 포함 하 는 유연 하 고 절연 재질 로 형성 되 는 절연성 베이스 기판 ( 30 ) 을 포함 하 고 , 절연성 베이스 기판 ( 30 ) 의 일 면 에 제 1 검사 대상 ( 1 ) 과 접촉 되 는 범프 ( 32 ) 및 리드 ( 31 ) 가 형성 되 고 , 타 면 에 제 2 검사 대상 ( 2 ) 과 접촉 되 는 범프 ( 34 ) 및 리드 ( 33 ) 가 형성 되 어 있 다 . 그리고 절연성 베이스 기판 ( 30 ) 과 각각 의 리드 ( 31 , 33 ) 및 범프 ( 32 , 34 ) 는 일체 로 형성 되 어 있 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , 리드 ( 31 , 33 ) 와 범프 ( 32 , 34 ) 는 소정 의 금속 층 을 레이저 를 이용 하 여 가공 함 으로써 일체 로 형성 된다 .