일부 구 현예 에서 , 순차 제어기 ( 142 ) 는 , 메모리 ( 144 ) 상 에 프로그램 을 실행 하 여 전구체 분배 시스템 및 제거 시스템 을 활성 화 시켜 제 2 전구체 이후 제 1 전구체 를 제공 할 수 있 고 , 즉 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 은 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 상 에 선택 적 으로 증착 하 기 위해 제 2 전구체 증기 를 반응 챔버 ( 12 ) 에 제공 할 수 있 고 , 후속 으로 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 은 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 상 에 제 1 전구체 증기 로 선택 적 으로 증착 하 기 위해 제 1 전구체 증기 를 반응 챔버 ( 12 ) 에 제공 할 수 있 다 .