돌기 부 ( 102 c ) 의 상부 면 의 직경 ( φ 1 ) 이 1 . 0 ㎜ 이 고 , 높이 ( h 1 ) 가 10 ㎛ 이 며 , 접촉 면적 비 가 6 . 4 % 인 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 에서 와 , 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 의 직경 ( φ 2 ) 이 0 . 1 ㎜ 이 고 , 높이 ( h 2 ) 가 5 ㎛ 이 며 , 접촉 면적 비 가 0 . 007 % 인 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에서 의 He 의 누 설량 을 측정 하 였 다 . He 의 누설 은 5 sccm 이하 로 밖 에 발생 하 지 않 는다는 것 이 증명 되 었 다 . 한편 , 60 sccm 은 정전 척 ( 101 , 11 ) 으로부터 기판 ( 107 , 17 ) 이 분리 된 상태 를 나타낸다 .