다음 에 , 기판 상 의 막 구조 의 일례 와 , 당해 막 구조 를 갖 는 기판 에 대해서 실행 되 는 제품 처리 공정 ( 에칭 공정 을 포함 한다 ) 에 대해 , 도 2 및 도 3 을 참조 하 여 설명 한다 . 도 2 는 , 일 실시 형태 에 따른 막 구조 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 3 은 , 일 실시 형태 에 따른 제품 처리 공정 을 나타내 는 플로 차트 이 다 .