이러 한 온도 분포 상태 에서 , " 예컨대 MEMS 가속 도 센서 ( 100 ) 에 ""+ x "" 축 방향 의 가속도 가 작용 하 는 경우 "," 상대 운동 의 관점 에서 발열 꼭지점 ( 123 ) 및 열전쌍 접합 점 ( 133 ) 상측 공간 에 있 는 유체 에 는 ""+ x "" 축 방향 의 반대 방향 인 ""- x "" 축 방향 의 가속도 가 작용 하 게 된다 . 유체 의 ""- x "" 축 방향 으로 의 유동 에 의해 ", 열전쌍 접합 점 ( 133 ) 은 상대 적 으로 높 은 온도 를 가지 는 발열체 ( 120 ) 의 상측 공간 ( x > 0 , z > 0 ) 의 유체 의 온도 를 감지 하 게 된다 . 위 와 같이 가속도 가 있 는 상태 에서 감지 된 측정 온도 와 가속도 가 없 는 상태 에서 의 기준 온도 의 차이 를 구하 여 그 부호 와 크기 를 이용 하 면 , 가속도 의 방향 및 크기 를 측정 할 수 있 다 .