현재 SiO 2 의 대체 물질 로서 고려 되 고 있 는 저유 전체 물질 로 는 , 주로 스핀 코팅 ( spin coating ) 에 이용 되 는 BCB ( benzocyclobutene ) , SILK ( 공급 처 : 다 우케 미칼 ) , FLARE ( fluorinated poly ( arylene ether ) , 공급 처 : 얼라 이드 시 그날 ( Allied Signals ) ) , 폴리 이미드 등 과 같 은 유기 중합체 , 화학 증착 법 ( chemical vapor deposition ; CVD ) 에 이용 되 는 블랙 다이아몬드 ( Black Diamond , 공급 처 : Applied Materials ) , 코랄 ( Coral , 공급 처 : 노벨 루스 ( Novellus ) ) , SiOF , 알킬 - 실란 ( alkyl silane ) 및 파 릴 렌 ( parylene ) , 및 크 세로 겔 ( xerogel ) 또는 에어 로 겔 ( aerogel ) 과 같 은 다공질 박막 물질 이 있 다 .