상술 한 바 와 같이 , 불소 플 라즈 마 를 이용 한 표면 처리 ( 16 ) 에 의해 오프닝 ( 14 ) 의 상부 코너 ( 또는 상부 측벽 ) 에서 블록 킹 층 ( 15 A ) 이 식각 될 수 있 다 . 아울러 , 오프닝 ( 14 ) 의 중간부 및 저면 에서 도 블록 킹 층 ( 15 A ) 이 식각 될 수 도 있 다 . 이 때 , 블록 킹 층 ( 15 A ) 의 식각 은 오프닝 ( 14 ) 의 상부 코너 에서 주로 발생 할 수 있 고 , 이 에 따라 오버행 형상 ( 15 M ) 이 제거 될 수 있 다 .