따라서 , 제 3 컨 택 홀 ( H 3 ) 을 형성 하 기 위한 식각 공정 에서 , 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 및 / 또는 제 2 도전 성 플러그 ( CP 2 ) 가 원 하 지 않 게 식각 되 거나 소모 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 그 결과 , 제 3 도전 성 플러그 ( CP 3 ) 를 이용 하 여 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 및 제 2 도전 성 플러그 ( CP 2 ) 를 연결 시키 는 로컬 인터 커넥션 구조 를 형성 하 는 동안 , 제 1 금속 막 ( 130 ) 및 / 또는 제 2 금속 막 ( 140 ) 을 구성 하 는 도전 성 물질 이 손상 되 거나 누설 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .