상기 차폐 판 조립 체 ( 22 ) 를 구성 하 는 차폐 판 들 ( 22 a ~ 22 d ) 은 최소 2 장 을 한 쌍 으로 구성 하 고 이 들 을 조합 하 여 노광 부 를 형성 할 수 있 으나 , 이렇게 구성 할 경우 자외선 이 조사 되 는 위치 를 정확 하 게 조절 할 수 있 어야 함 으로 불편 이 있 을 수 있 으므로 도 3 에 도시 한 바 와 같이 최소 4 장 이 하나 의 쌍 을 이루 게 함 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 4 장 을 한 쌍 으로 구성 하 여 이 들 이 서로 겹쳐지 거나 인접 되게 정렬 함 으로서 겹쳐지 지 않 은 부분 에 노광 부 ( 222 ) 가 형성 될 수 있 게 하 였 다 .