도 4 는 , 능동 제진 장치 ( 32 ) 의 시스템 구성 을 설명 하 는 개념 도 이 다 . 능동 제진 장치 ( 32 ) 의 베이스 ( 40 ) 상 에 에어 액 츄 에 이터 ( 42 ) 를 통해서 하중 수 용부 ( 44 ) 가 지지 되 어 있 다 . 또한 , 본 발명 에 있 어서 액 츄 에 이터 는 진동 을 없애 는 것 이 라면 공기 스프링 에 한정 되 지 않 고 , 유압식 , 기계식 등 의 액 츄 에이 터 라도 좋 다 . 이 하중 수 용부 ( 44 ) 상 에 는 가속도 를 검출 할 수 있 는 가속 도 센서 ( 46 ) 가 고정 되 어 있 고 , 또 , 베이스 ( 40 ) 와 하중 수 용부 ( 44 ) 사이 에 는 하중 수 용부 ( 44 ) 의 변위 를 측정 할 수 있 는 변위 센서 ( 48 ) 가 설치 되 어 있 으며 , 또한 베이스 ( 40 ) 상 에 도 가속도 를 검출 할 수 있 는 가속 도 센서 ( 50 ) 가 고정 되 어 있 다 .