이 와 같이 웨이퍼 전체 의 균일 한 노광 을 위하 여 , 웨이퍼 에 형성 되 는 필드 단위 ( Field by Field ) 로 레벨 링 데이터 ( Leveling Data ) 를 분석 한다 . 여기 서 레벨 링 데이터 ( Leveling Data ) 는 웨이퍼 표면 의 높낮이 차이 를 노광 장비 자체 에서 어느 정도 보상 하 여 , 패턴 불량 을 예방 할 수 있 도록 한다 . 레벨 링 데이터 ( Leveling Data ) 를 얻 는 방법 으로 먼저 , 웨이퍼 전체 를 스캔 ( Scan ) 하 여 , 노광 된 표면 의 평균 토폴 러지 ( averagy topology ) 제거 합니다 .