도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 시간 ( T 1 ) 에서 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 는 거친 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 ) 를 사용 하 여 경사 부분 의 하부 슬로프 를 연마 한다 . 그 후 , 시간 ( T 2 - A ) 에서 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 의 연마 헤드 ( 30 ) 는 기울임 기구 에 의해 경사 각도 를 변경 하 고 경사 부분 의 에지 표면 을 연마 한다 . 이때 , 미세 한 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 B ) 를 갖 는 연마 헤드 조립 체 ( 1 B ) 의 연마 헤드 ( 30 ) 는 연마 테이프 ( 23 B ) 가 이미 연마 테이프 ( 23 A ) 에 의해 연마 된 하부 슬로프 와 접촉 할 때 까지 웨이퍼 ( W ) 를 향해 이동 되 어 , 연마 테이프 ( 23 B ) 로 하부 슬로프 를 연마 한다 ( T 2 - B ) . 그 후 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 의 연마 헤드 ( 30 ) 는 경사 각도 를 변경 하 여 경사 부분 의 상부 슬로프 를 연마 한다 ( T 3 - A ) . 동시 에 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 B ) 의 연마 헤드 ( 30 ) 는 경사 각도 를 변경 하 고 경사 부분 의 에지 표면 을 연마 한다 ( T 3 - B ) . 마지막 으로 , 연마 헤드 조립 체 ( 1 B ) 의 연마 헤드 ( 30 ) 는 경사 각도 를 변경 하 고 경사 부분 의 상부 슬로프 를 연마 한다 ( T 4 - B ) .