먼저 , 게이트 밸브 ( 12 ) 가 개방 되 고 , 처리 용기 ( 10 ) 에 인접 하 는 진공 분위기 의 반 송실 ( 도시 하 지 않 음 ) 로부터 , 반입 출구 ( 11 ) 를 통해서 , 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 한 웨이퍼 반송 장치 ( M ) ( 도 5 참조 ) 가 처리 용기 ( 10 ) 내 에 삽입 된다 . 그리고 , 웨이퍼 ( W ) 가 상술 한 대기 위치 로 이동 되 어 있 는 적 재 대 ( 20 ) 의 상방 으로 반송 된다 . 이어서 , 핀 지지 부재 ( 100 ) 에 현수 지지 되 어 있 던 리프트 핀 ( 30 ) 이 , 핀 이동 기구 ( 110 ) 에 의해 상승 한다 . 구체 적 으로 는 , 제 2 부재 ( 32 ) 를 지지 한 제 1 부재 ( 31 ) 가 핀 이동 기구 ( 110 ) 에 의해 적재 대 ( 20 ) 및 웨이퍼 반송 장치 ( M ) 에 대하 여 상승 한다 . 이 에 의해 , 상기 현수 지지 가 해제 됨 과 함께 , 당해 리프트 핀 ( 30 ) 이 적재 대 ( 20 ) 의 상면 으로부터 소정 거리 돌출 되 고 , 당해 리프트 핀 ( 30 ) 상 에 , 구체 적 으로 는 , 제 2 부재 ( 32 ) 상 에 웨이퍼 ( W ) 가 전달 된다 .