이 에 따라 상기 제 1 케이스 이송 스테이지 ( 106 ) 를 따라 본 체 프레임 ( 100 ) 의 내부 로 이송 된 상 / 하 이분 할 구조 를 갖 는 케이스 ( 20 ) 는 제 1 LM 가이드 ( L 1 ) , 제 2 LM 가이드 ( L 2 ) 및 제 3 LM 가이드 ( L 3 ) 를 통해 케이스 진입 수단 ( 200 ) , 케이스 밀봉 수단 ( 400 ) 및 케이스 주입 수단 ( 500 ) 으로 이동하 는 이 송암 ( 307 ) 에 의해 선택 적 으로 파지 되 어 각 수단 으로 이송 된다 .