처리 용기 ( 2 ) 와 다이어프램 펌프 ( 4 ) ( 교번 흐름 펌프 ) 사이 의 필터 소자 ( 5 ) 를 통한 흐름 은 미국 특허 6 , 544 , 424 에서 이미 기술 된 바 와 같이 펌프 ( 4 ) 에 의해 발생 된다 . 펌프 ( 4 ) 는 바람직 하 게 는 내부 다이어프램 ( 6 ) 에 의해 , " "" 제 1 챔버 "" 또는 "" 구동 챔버 "" 라고 도 지칭 되 는 제 1 내부 챔버 ( 8 ) 및 "" 제 2 챔버 "" 또는 "" 액체 수용 챔버 "" 라고 도 지칭 되 는 제 2 내부 챔버 ( 7 ) 로 분리 된 펌프 하우징 ( 4 ) 을 포함 한다 . 도 1 a 및 1 b 에서 펌프 하우징 ( 4 ) 은 두 개 의 하우징 구성 요소 ", 제 1 펌프 하우징 구성 요소 ( 25 ) 및 제 2 펌프 하우징 구성 요소 ( 24 ) 로 구성 된다 . 이 구성 요소 들 은 각각 플랜지 ( 26 , 27 ) 를 포함 한다 . 제 1 내부 챔버 ( 8 ) 의 압력 은 제 2 내부 챔버 ( 7 ) 의 유체 내용물 의 오염 을 야기 하 지 않 고 다이어프램 펌프 ( 4 ) 내 에서 다이어프램 을 구동 시킨다 . 공기 구동 펌프 가 도 1 a 에 도시 되 어 있 다 . 압축 된 공기 는 제어기 ( 54 ) 에 의해 라인 ( 튜브 ) ( 21 ) , 바람직 하 게 는 멸균 필터 ( 22 ) 및 공기 입 구 포트 ( 23 ) 를 통해서 챔버 ( 8 ) 로 흐른다 . 처리 용기 ( 2 ) 에 대한 챔버 ( 8 ) 에서 공기압 을 증가 시키 는 것 이 챔버 ( 7 ) 내로 의 가요 성 다이어프램 ( 6 ) 을 구동 시키 며 , 필터 소자 ( 5 ) 를 통해서 이 챔버 에서 의 액체 를 용기 ( 2 ) 로 구동 시킨다 . 처리 용기 ( 2 ) 로부터 펌프 ( 4 ) 로 의 역방향 흐름 은 용기 ( 2 ) 에 대한 챔버 ( 8 ) 의 압력 을 감소 시킴 으로써 발생 된다 . 이 사이클 은 반복 된다 . 이 와 같 은 펌프 에 의해 발생 되 는 교번 흐름 은 미국 특허 6 , 544 , 424 에 기술 되 어 있 다 .