예시 적 인 실시 예 들 에서 , 분리 스 페이서 층 들 ( 164 a ) 은 분리 구조물 ( 200 a ) 의 양 측면 에 배치 될 수 있 으며 , 다층 구조 로 이루어질 수 도 있 다 . 분리 스 페이서 층 들 ( 164 a ) 은 산화물 , 질화물 및 산질 화물 로 이루어질 수 있 으며 , 특히 저 유전 율 막 으로 이루어질 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에서 , 게이트 스 페이서 층 들 ( 164 ) 과 분리 스 페이서 층 들 ( 164 a ) 은 동일 한 물질 을 포함 할 수 있 다 .