그리고 , 상기 와 같이 티타늄 알루미늄 질화 막 을 형성 하 기 위하 여 , 원자 층 적층 공정 이 수행 되 는 챔버 로 소스 들 을 번갈 아 공급 하 는데 있 어서 , 상기 소스 들 이 상기 챔버 내 에 잔류 하 게 되 고 , 상기 잔류 된 소스 들 은 상기 챔버 를 오염 시킬 수 있 다 . 또한 , 상기 챔버 내 잔류물 들 을 제거 하 기 위한 세정 공정 의 주기 가 짧 아 지 는 문제점 이 있 다 .