제 1 절 연막 패턴 ( 172 ) 은 적어도 제 1 내지 제 3 터널 절 연막 패턴 들 ( 112 , 114 , 116 ) 의 측벽 , 제 1 내지 제 3 플로팅 게이트 들 ( 122 , 124 , 126 ) 의 측벽 및 제 1 내지 제 3 유전 막 패턴 들 ( 132 , 134 , 136 ) 의 측벽 을 커버 할 수 있 다 . 또한 , 제 2 절 연막 패턴 ( 174 ) 은 제 4 터널 절 연막 패턴 ( 118 ) 의 측벽 , 제 4 플로팅 게이트 ( 128 ) 의 측벽 , 제 4 유전 막 패턴 ( 138 ) 의 측벽 , 상기 제 4 컨트롤 게이트 의 측벽 및 제 4 게이트 마스크 패턴 ( 159 ) 의 측벽 과 상면 을 커버 할 수 있 다 .