도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 내부 공간 을 갖 는 챔버 ( 100 ) 와 , 챔버 ( 100 ) 내 에 마련 된 기판 ( 10 ) 을 지지 하 는 하부 전극 부 ( 110 ) 와 , 공정 가스 를 공급 하 는 샤워 헤드 ( 120 ) 와 , 내부 공간 내 에 플 라즈 마 를 발생 시키 기 위한 플 라즈 마 발생 부 ( 130 ) 와 , 상기 내부 공간 에 코로나 를 발생 시키 기 위한 코로나 발생 부 ( 140 ) 를 포함 한다 .