상기 전자 공여 화합물 ( 14 ) , 제 1 소스 물질 ( 16 ) , 제 2 소스 물질 ( 17 ) , 및 산화제 ( 18 ) 는 각각 캐리어 가스 를 이용 하 여 운반 될 수 있 다 . 상기 캐리어 가스 는 불활성 가스 로서 , 아르곤 , 헬륨 , 질소 , 네온 등 이 이용 될 수 있 으나 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 상기 캐리어 가스 의 유량 은 산화 막 의 증착 속도 , 운반 하 고자 하 는 물질 의 증기압 , 온도 등 의 인자 를 고려 하 여 적절히 선택 될 수 있 으며 , 예 를 들 면 약 200 sccm ( standard cubic centimeters per minute ) 내지 약 1300 sccm 일 수 있 다 .