증착 공정 전후 에 는 , 공 압 실린더 ( 384 ) 에 연결 된 기판 지지대 ( 360 ) 및 가열 판 ( 365 ) 이 아래 로 이동 하 여 반응 실벽 ( 361 ) 과 기판 지지대 ( 360 ) 가 분리 됨 으로써 반응 실 이 개방 되 어 기판 ( 370 ) 을 반응 실 내부 에 장착 하 거나 외부 로 탈착 할 수 있 다 . 반응 실 이 개방 된 상태 에서 중앙 지지 핀 ( 372 ) 이 상승 하 거나 하강 하 여 기판 ( 370 ) 을 기판 지지대 ( 360 ) 로부터 탈착 하 거나 기판 지지대 ( 360 ) 에 장착 할 수 있 다 .