다른 실시 형태 에 있 어서 , 시스템 ( 1100 ) 은 주 대물렌즈 ( 1109 ) 를 포함 할 수 있 다 . 주 대물렌즈 ( 1109 ) 는 광 을 목표 경로 ( 1112 ) 를 따라 시료 단 ( 1118 ) 위 에 놓인 시료 ( 1114 ) 의 표면 에 지향 시키 는 데 도움 을 줄 수 있 다 . 예 를 들 면 , 빔 스플리터 ( 1108 ) 는 조명원 ( 1102 ) 에서 방사 된 광 빔 ( 1115 ) 의 일부 를 , 조리개 ( 1104 ) 를 통과 한 후 에 , 목표 경로 ( 1112 ) 를 따라 지향 시킬 수 있 다 . 빔 스플리터 ( 1108 ) 에 의한 분할 처리 후 에 , 주 대물렌즈 ( 1109 ) 는 1 차 ( primary ) 광축 ( 1107 ) 과 동일 선상 에 있 는 목표 경로 ( 1112 ) 로부터 의 광 을 시료 ( 1114 ) 의 표면 에 집속 할 수 있 다 . 일반 적 으로 , 이 기술 분야 에서 공지 된 임의 의 대물렌즈 도 본 발명 의 주 대물렌즈 ( 1109 ) 로서 구현 될 수 있 다 .