또한 , 상기 부식 방지 층 ( 120 ) 은 CF ( 탄화 불소 ) 기 또는 CH ( 탄화수소 ) 기 를 포함 하 는 실란 계 화합물 을 포함 할 수 있 다 . 상기 실란 계 화합물 은 3 Cl - Si -[ CF 2 ] n - CF 3 또는 3 Cl - Si -[ CH 2 ] n - CH 3 ( 여기 서 , n 은 4 ~ 25 이 다 . ) 으로 표시 되 는 화합물 을 포함 할 수 있 다 . 상기 부식 방지 층 ( 120 ) 은 삼 염화 실란 자기 결합 단분자막 ( trichlorosilane SAM ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 삼 염화 실란 자기 결합 단분자막 은 ( heptadecafluoro - 1 , 1 , 2 , 2 - tetrahydrodecyl ) trichlorosilane ( HDF - S ) 일 수 있 다 .