여기 서 , 본 실시 예 에서 는 단파장 의 레이 저광 을 사용 하 여 검 출부 ( 130 ) 에서 의 광 ( 파장 ) 검출 에 영향 을 주 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 검 출부 ( 130 ) 는 광학 필 터 ( 120 ) 를 통해 입사 되 는 광 들 의 파장 을 분석 하 고 , 이 를 통해 결국 플 라즈 마 를 이용 한 식각 공정 시 발생 한 플 라즈 마 빛 을 분석 할 수 있 게 된다 . 플 라즈 마 빛 은 공정 조건 에 따라 다양 하 게 변화 되 고 그 광 파장 이 다양 하 게 분포 하 게 된다 . 하지만 , 레이 저광 발생 부 ( 100 ) 에서 발생 된 광 은 그 값 이 정해진 단일 파장 의 광 이 기 때문 에 상기 레이 저광 발생 부 ( 100 ) 의 광이 반사 되 어 검 출부 ( 130 ) 에 유입 되 더라도 이 를 필터링 하 는 것 이 용이 하 기 때문 이 다 .