[ 0073 ] 프로세싱 챔버 ( 710 ) 가 또한 , 증착 전 에 기판 을 세정 하 도록 구성 된 세정 챔버 일 수 있 다 . 예컨대 , 프로세싱 챔버 ( 710 ) 는 도 3 에 도시 된 플 라즈 마 - 세정 챔버 ( 300 ) 와 유사 한 , 원격 플 라즈 마 소스 를 사용 하 는 사전 - 세정 챔버 일 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 프로세싱 챔버 ( 710 ) 는 , 캘리포니아 , 산타클라라 의 어 플 라이드 머 티어리 얼스 로부터 입수 가능 한 AKTIV Pre - CleanTM 챔버 이 다 . 프로세싱 챔버 ( 710 ) 는 , 블록 ( 102 ) 및 / 또는 블록 ( 108 ) 에서 위 에서 논의 된 바 와 같이 , 전기 적 으로 중성 인 라디칼 들 ( 예컨대 , 수소 라디칼 들 ) 을 사용 하 여 기판 상 의 산화물 들 및 / 또는 오염물 들 과 반응 시켜서 그 산화물 들 및 / 또는 오염물 들 을 세정 한다 .