본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 제 1 지지 부재 ( 152 ) 의 제 1 중 공부 ( 152 a ) , 제 2 지지 부재 ( 154 ) 의 제 2 중 공부 ( 154 a ) , 내부 몸체 ( 182 ) 의 제 3 중 공부 ( 182 a ) 및 외부 몸체 ( 186 ) 는 각각 웨이퍼 척 ( 140 ) 과 동심 축 상 으로 배치 되 는 원형 의 홀로 형성 될 수 있 다 . 여기 서 동심 축 의 의미 는 원주 상 으로 배치 되 는 상부 락 커 ( 214 ) 와 하부 락 커 ( 224 ) 가 상호 락킹 되 는 오차 범위 까지 포함 하 는 것 을 말 하 는 객체 평형 의 의미 이 다 .