다음 으로 , 초음파 본딩 부 ( 400 ) 는 위 와 같이 플라 즈 마 세 정부 ( 300 ) 에 의해 세정 된 기판 ( S ) 에 반도체 소자 ( D ) 를 즉시 본 딩 시킬 수 있 도록 플 라즈 마 세 정부 ( 300 ) 와 인라인 ( in - line ) 으로 배치 되 어 있 다 . 초음파 본딩 부 ( 400 ) 는 스테이지 유닛 ( 410 ) 과 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 및 가압 수단 ( 430 ) 을 포함 한 구성 으로 이루어져 있 으며 , 구체 적 으로 는 다음 과 같 다 . 먼저 , 스테이지 유닛 ( 430 ) 은 기판 이 송부 ( 700 ) 의 중간 에 설치 되 어 기판 ( S ) 이 로딩 되 는 구성 요소 로서 , 이 스테이지 유닛 ( 410 ) 위 에서 기판 ( S ) 에 소자 ( D ) 가 본 딩 된다 . 스테이지 유닛 ( 410 ) 은 기판 ( S ) 과 소자 ( D ) 의 치수 공차 등 에 따른 미세 위치 보정 이 가능 한 구조 로 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 스테이지 유닛 ( 410 ) 은 , 기판 ( S ) 이 놓여 지 는 스테이지 ( 411 ) 와 , 이 스 테이지 ( 411 ) 의 하측 에서 간격 을 두 고 스테이지 ( 411 ) 를 지지 하 는 스테이지 베이스 ( 412 ) , 그리고 스테이지 ( 411 ) 와 스테이지 베이스 ( 412 ) 를 상하 방향 으로 관통 결합 하 는 조절 볼트 ( 413 ) 를 포함 하 여 이루어진다 . 이 에 따라 , 조절 볼트 ( 413 ) 를 조절 함 으로써 스테이지 ( 411 ) 의 미세 위치 보정 을 할 수 가 있 다 . 또 , 스테이지 ( 411 ) 와 스테이지 베이스 ( 412 ) 의 대향 면 에 는 적어도 일 측 에 볼 수용 홈 ( 411 a , 412 a ) 이 형성 되 고 , 이 볼 수용 홈 ( 411 a , 412 a ) 에 스테이지 볼 ( 414 ) 이 개재 될 수 있 다 . 이 스테이지 볼 ( 414 ) 위 에서 스테이지 ( 411 ) 가 지지 됨 으로써 스테이지 ( 411 ) 의 미세 위치 보정 이 안정 적 으로 이루어진다 . 한편 , 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 은 소자 반송 부 ( 500 ) 에 의해 반송 된 소자 ( D ) 를 스테이지 유닛 ( 410 ) 상 의 기판 ( S ) 에 가압 접촉 시킨 상태 에서 초음파 를 발진 하 여 본 딩 하 는 수단 으로서 , 초음파 제너 레이터 ( generator ) 와 컨버터 ( converter ) 및 부스터 ( booster ) , 그리고 혼 ( horn : 421 ) 등 을 구비 한 통상 적 인 초음파 발진 유닛 으로 구현 될 수 있 다 . 이러 한 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 은 스테이지 유닛 ( 410 ) 을 상대 로 x 축 및 y 축 방향 으로 이동 할 수 있 게 되 는데 , 이 는 일반 적 인 유 / 공 압 실린더 또는 유압 모터 에 의해 구동 되 는 x 축 슬라이더 ( 440 ) 와 y 축 슬라이더 ( 450 ) 에 의해 이루어진다 . 또한 , 상기 혼 ( 421 ) 에 는 도 6 내지 도 8 에서 볼 수 있 는 것 과 같이 반도체 소자 ( D ) 를 진공 흡착 하 기 위한 진공 압 을 제공 하 는 통상 적 인 진공 흡착 수단 ( 422 ) 이 구비 될 수 도 있 다 . 상기 가압 수단 ( 430 ) 은 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 이 소정 의 하중 에 의해 소자 ( D ) 를 기판 ( S ) 에 가압 할 수 있 도록 스테이지 유닛 ( 410 ) 을 상대 로 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 을 z 축 방향 으로 하강 작동 시키 는데 , 이 가압 수단 ( 430 ) 역시 일반 적 인 유 / 공 압 실린더 또는 유압 모터 와 같 은 것 이 적용 될 수 있 다 . 전술 한 x 축 슬라이더 ( 440 ) 및 y 축 슬라이더 ( 450 ) 와 더불 어 가압 수단 ( 430 ) 은 하나 의 로봇 장치 로 구현 될 수 도 있 다 . 특히 , 가압 수단 ( 430 ) 은 , 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 이 소자 ( D ) 를 가압 할 때 발생 할 수 있 는 소자 ( D ) 의 손상 을 최소 화 할 수 있 도록 , 몇 개 의 단계 로 하중 부여 가 순차 적 으로 이루어지 도록 작동 한다 . 즉 , 초음파 발진 유닛 ( 420 ) 의 자체 하중 일부 에 의해 소자 ( D ) 를 기판 ( S ) 에 가압 하 는 예비 가 압 단계 와 , 본딩 에 필요 한 설정 하중 을 증가 시키 는 본 가압 단계 , 그리고 본 가압 단계 의 하중 을 유지 시키 는 가압 유지 단계 가 순차 적 으로 수행 되 도록 가압 수단 ( 430 ) 의 작동 이 제어 되 는 것 이 바람직 하 다 .