그런데 , 종래 의 온도 조절 시스템 은 정 전척 내 의 냉각 라인 들 을 순환 하 는 냉 각 유체 ( Coolant ) 의 공급 및 배출 이 단일 유속 으로 제어 되 기 때문 에 , 냉각 유체 의 온도 만 으로 기판 의 온도 를 제어 하 게 되 며 , 이러 한 경우 기판 을 영역 별 로 분리 하 여 다양 한 온도 로 제어 하 기 위해서 는 복수 의 칠러 ( Chiller ) 들 이 사용 되 어야 하 는 문제점 이 있 었 다 .