본 발명 의 다른 관점 에 있 어서 , 상기 제 1 가스 공급 유닛 은 상기 제 1 가스 충전 용기 와 상기 제 1 가스 제어 장치 가 각각 단일 로 구성 되 고 , 상기 제 1 가스 제어 장치 는 유량 을 아 날로 그 방식 또는 디지털 방식 으로 조절 하 고 확인 할 수 있 도록 MFC ( Mass Flow Controller ) 또는 MFM ( Mass Flow Meter ) 로 구성 되 어 상기 제 1 가스 충전 용기 로부터 제공 받 은 제 1 가스 를 제어 한 다음 , 소정 의 유속 과 유량 을 갖 는 하나 의 제 1 가스 가 공급 되 도록 이루어질 수 있 다 .