도 2 에서 , 종래 의 인라인 형 스퍼터링 장치 는 일 측 측면 에 타 겟 ( 131 ) , 캐소드 ( 132 ) 및 마그넷 ( 133 ) 이 구비 되 고 , 상기 캐소드 ( 131 ) 에 대향 되 도록 타 측 측면 에 시스 히터 ( sheath heater , 135 ) 가 구비 된다 . 상기 기판 ( 140 ) 은 캐리어 ( 138 ) 에 장착 되 어 수직 으로 기립 된 상태 로 이송 된다 . 상기 캐리어 ( 138 ) 의 상부 에 는 소정 의 극성 을 갖 는 제 1 마그넷 ( 139 ) 이 장착 되 고 , 상기 제 1 마그넷 ( 139 ) 상부 에 는 소정 간격 이격 되 어 대향 하 여 반대 극성 을 갖 는 제 2 마그넷 ( 136 ) 이 구비 된다 . 상기 캐리어 ( 138 ) 의 저면 에 는 상기 기판 ( 140 ) 을 이송 시키 기 위한 메탈 벨트 ( 137 ) 가 부착 된다 . 상기 메탈 벨트 ( 137 ) 는 서 스 ( SUS ) 재질 로 형성 되 고 , 상기 캐리어 ( 138 ) 는 알루미늄 재질 로 형성 될 수 있 다 .