또한 , 상기 의 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 화학 적 기계 적 연마 공정 용 비례 공 압제 어 방법 은 , 상기 한 구성 을 갖 는 화학 적 기계 적 연마 공정 용 비례 공 압제 어 시스템 을 이용 하 여 비례 공 압 제어 를 단계 적 으로 수행 하 는 것 으로서 , ( A ) CMP 장비 를 이용 한 화학 적 기계 적 연마 공정 시 연마 헤드 , 에 어 컴 프레 셔 , 진공 펌프 , 밸브 부 의 각 진동 발생 원 으로부터 진동 이 발생 되 면 , 각 진동 발생 원 에 장착 한 각 자이로 센서 에서 기계 적 진동 의 주파수 와 진폭 을 측정 하 여 전기 신호 로 변환 시킨 후 , 액티브 피드포워드 제어 유닛 ( AFCA ) 으로 전달 하 는 단계 ; ( B ) 상기 액티브 피드포워드 제어 유닛 ( AFCA ) 에서 각 자이로 센서 로부터 전달 된 데이터 를 기초 로 각 진동 발생 원별 기계 적 진동 에 의한 노이즈 신호 를 분석 하 여 이 를 상쇄 시킬 수 있 는 역위 상 진동 노이즈 신호 를 생성 한 후 , 생성 된 역위 상 진동 노이즈 신호 를 목표 출력 신호 와 함께 PID 피드백 제어기 로 전달 하 는 단계 ; ( C ) 상기 PID 피드백 제어기 에서 역위 상 진동 노이즈 신호 를 PWM / PID 비례제 어 밸브 로 전달 하 는 단계 ; ( D ) 상기 PWM / PID 비례제 어 밸브 에서 CMP 장비 용 연마 헤드 상 에 구비 된 다수 의 압력 챔버 측 공 압 제어 를 위한 작업 명령 을 수행 하 면서 상기 PID 피드백 제어기 로부터 전달 받 은 역위 상 진동 노이즈 신호 와 동일 한 주파수 및 진폭 을 갖 는 공 압 을 발생 시키 고 , 흡기 밸브 와 배기 밸브 를 갖 는 밸브 부 의 개도 상태 를 제어 하 는 단계 ; ( E ) 상기 PWM / PID 비례제 어 밸브 에서 발생 된 비례제 어 공 압 을 CMP 장비 용 연마 헤드 상 에 구비 된 다수 의 압력 챔버 측 에 각각 분배 공급 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .