한편 , 상기 제 1 통로 는 상기 제 1 압력 챔버 에 1 개 만 형성 될 수 도 있 지만 , 서로 다른 원주 방향 으로 의 위치 에 2 개 이상 배치 될 수 있 다 . 즉 , 상기 제 1 통로 가 상기 제 1 압력 챔버 와 연통 되 는 개구 는 상기 제 1 압력 챔버 내 에 서로 다른 원주 방향 의 위치 에 2 개 이상 으로 배치 될 수 있 다 . 이 를 통해 , 원주 방향 으로 서로 다른 위치 ( 예 를 들 어 , 90 도 간격 , 120 도 간격 , 180 도 간격 ) 에 설치 된 제 1 통로 의 개구 에서 의 감지 결과 에 기초 하 여 , 웨이퍼 와 멤 브레인 바닥 판 이 웨이퍼 의 원주 방향 으로 의 일부 에서 만 밀착 되 지 않 은 상태 를 감지 할 수 있 다 .