시너 토출 부재 ( 50 ) 의 하 면은 반송로 ( 2 ) 와 대향 하 도록 수평 에 형성 된 기준면 ( 50 a ) 로 이루어져 있 고 기준면 ( 50 a ) 에 는 처리 가스 인 기화 된 시너 를 토출 하 고 복수 의 시너 토출구 ( 51 ) 이 전면 에 걸쳐서 형성 되 고 있 다 . 시너 토출 부재 ( 50 ) 의 내부 에 는 , 시너 확산 공간 ( 52 ) 가 형성 되 고 있 어 시너 확산 공간 ( 52 ) 로부터 상기 복수 의 시너 토출구 ( 51 ) 에 대응 하 는 위치 에 복수 의 시너 토출 구멍 ( 53 ) 이 연장 하 고 있 다 . 시너 토출 부재 ( 50 ) 의 시너 확산 공간 ( 52 ) 의 상부 에 는 시너 공급 배관 ( 54 ) 가 접속 되 고 있 고 시너 공급 배관 ( 54 ) 에 는 시너 공급원 ( 55 ) 가 접속 되 고 있 다 . 시너 공급원 ( 55 ) 는 시너 공급원 ( 15 ) 와 같이 , 예 를 들 면 도 3 의 구성 을 가지 고 있 다 .