버퍼 실 ( 16 ) 과 패스 실 ( 15 ) 사이 에 는 기판 의 방향 을 바꾸 어 주 는 선회 실 ( 17 ) 이 설치 된다 . 선회 실 ( 17 ) 에 는 버퍼 실 ( 16 ) 로부터 기판 ( S ) 을 받 아 기판 ( S ) 을 180 도 회전 시켜 패스 실 ( 15 ) 로 반송 하 기 위한 반송 로봇 ( 18 ) 이 설치 된다 . 이 를 통해 , 상류 측 클러스터 장치 와 하류 측 클러스터 장치 에서 기판 ( S ) 의 방향 이 동일 하 게 되 어 기판 처리 가 용이 해진다 .