본 발명 에 의하 면 , 진공 반 송실 의 저부 또는 천 정부 에 오목 부를 형성 하 여 , 기판 반송 기구 에 대한 처리 , 기판 의 대기 , 기판 에 대한 처리 등 을 행할 수 있 는 부속 모듈 을 , 사용 하 지 않 을 때 에 는 기판 반송 기구 에 의한 기판 반송 을 저해 하 지 않 도록 오 목부 에 수납 하 고 , 사용 할 때 에 는 진공 반 송실 내 로 돌출 되 도록 하 고 있 기 때문 에 , 장치 의 점유 면적 의 증대 를 억제 하 면서 , 부착 모듈 을 추가 할 수 있 다 .