또한 , 명세서 전체 에 걸쳐서 다른 구성 요소 가 데이터 금속 으로 형성 되 어 있 다 라는 것 은 그 구성 요소 가 기판 상 에 Cr 또는 Cr 합금 , Al 또는 Al 합금 , Mo 또는 Mo 합금 , Ag 또는 Ag 합금 , Cu 또는 Cu 합금 , Ti 또는 Ti 합금 , Ta 또는 Ta 합금 등 의 재질 로 적어도 1 층 이상 의 적층 구조 로 형성 되 어 있 음 을 의미 한다 . 한편 , 데이터 금속 으로 형성 된 구성 요소 들 은 서로 동일 재질 로 동일 평면 상 에 형성 될 수 있 으므로 , 명세서 전체 에 걸쳐서 데이터 금속 으로 형성 된 구성 요소 들 을 통틀어 데이터 금속 패턴 이 라 한다 .