이어서 , 스퍼터 장치 ( 12 ) 에 있 어서 , 유리 기재 ( 1 ) 는 , 제 2 가이드 롤 ( 28 ) 에 의해 , 성막 영역 ( 33 ) 으로 안내 된다 ( 안내 공정 ) . 성막 영역 ( 33 ) 에서 는 , 유리 기재 ( 1 ) 에 대해 , 스퍼터링 이 실시 된다 . 스퍼터링 으로 는 , 구체 적 으로 는 , 2 극 스퍼터링 법 , 전자 사이클로트론 공명 스퍼터링 법 , 마그네트론 스퍼터링 법 , 이온 빔 스퍼터링 법 등 을 들 수 있 다 . 스퍼터링 시 의 기압 ( 즉 , 성막 영역 ( 33 ) 의 기압 ) 은 , 진공 이 며 , 바람직 하 게 는 1 . 0 ㎩ 미만 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 5 ㎩ 이하 이 다 .