본 발명 에서 는 노즐 ( 135 ) 에서 분사 되 는 처리 수 가 수조 ( 120 ) , 냉 각부 ( 130 ) 를 순환 하 는 구조 로 이루어지 기 때문 에 고농도 의 슬러리 만 을 외부 로 배출 하 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 슬러리 를 이루 는 처리 수 가 일부 외부 로 배출 되 는 양 만큼 공급 부 ( 128 ) 에 처리 수 를 보충 하 도록 처리 수 보충 용 배관 ( 129 ) 에 솔레노이드 밸브 ( 125 ) 를 설치 하 여 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 .