버퍼 실 ( 237 ) 의 제 1 가스 공급 공 ( 248 a ) 이 설치 된 단부 와 반대 측 의 단부 에 는 , 상술 한 가스 노즐 ( 233 ) 이 , 역시 반응 관 ( 203 ) 의 하부 로부터 상부 에 걸쳐 웨이퍼 ( 200 ) 의 적재 방향 을 따라서 배설 된다 . 그리고 노즐 ( 233 ) 에 는 가스 를 공급 하 는 공급 공인 제 2 가스 공급 공 ( 248 b ) 이 버퍼 실 ( 237 ) 의 중심 을 향하 도록 개구 하 여 설치 된다 . 이 제 2 가스 공급 공 ( 248 b ) 은 , 버퍼 실 ( 237 ) 의 제 1 가스 공급 공 ( 248 a ) 과 마찬가지 로 , 반응 관 ( 203 ) 의 하부 로부터 상부 에 걸쳐서 복수 개 설치 되 고 , 각각 의 개구 면적 은 , 버퍼 실 ( 237 ) 내 와 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 차 가 작 은 경우 에 는 , 상류 측 ( 하부 ) 으로부터 하류 측 ( 상부 ) 까지 , 각각 동일 한 개구 면적 으로 동일 한 개구 피치 로 하 면 되 는데 , 압력 차 가 큰 경우 에 는 상류 측 으로부터 하류 측 을 향하 여 , 각각 개구 면적 을 크 게 하 거나 개구 피치 를 작 게 하 면 된다 .