에너지 는 상부 표면 에 대한 반응 성 을 증가 시킬 수 있 다 . 기판 상 의 온도 민감 성 특징 부가 손상 되 지 않 도록 기판 을 과열 시키 지 않 으면서 이러 한 반응 성 이 증가 될 수 있 다 . 반응 성 이 증가 하 면 증착 층 의 품질 을 더 좋 게 하 고 / 하 거나 장치 의 생산 성 을 높일 수 있 다 . 이 는 또한 , 반응 성 이 제로 이 므로 이전 에 가능 하 지 않 은 온도 에 가능 해질 수 있 는 특정 공정 을 유도 할 수 있 다 .