에너지 밀도 는 충돌 하 는 Ar 이온 들 의 보다 높 은 에너지 에 의해 증가 될 수 있 거나 코팅 설비 의 다른 파라미터 들 ( 예 를 들 어 , 2 차 전자 들 의 작동 가스 와 의 상호 작용 을 증가 시키 고 이 에 따라 후자 의 이온 화 정도 를 증가 시키 는 자기장 ) 에 의해 영향 을 받 을 수 있 다 . 그러나 , 특히 , 충돌 하 는 Ar 이온 들 의 보다 높 은 에너지 는 타깃 의 열 응력 을 또한 증가 시킨다 ( 입사 하 는 Ar 이온 들 의 에너지 의 거의 90 ％ 는 열 로 변환 되 고 적 은 비율 만 이 원 하 는 스퍼터링 을 수행 한다 ) . 이 들 은 본질 적 으로 모든 프로세스 - 제어 파라미터 들 이 다 .