제 1 봉지 무기 막 ( 171 ) 및 제 2 봉지 무기 막 ( 175 ) 은 각각 실리콘 질화물 , 알루미늄 질화물 , 지르코늄 질화물 , 티타늄 질화물 , 하프늄 질화물 , 탄 탈륨 질화물 , 실리콘 산화물 , 알루미늄 산화물 , 티타늄 산화물 , 주석 산화물 , 세륨 산화물 , 실리콘 산질 화물 ( SiON ) , 리튬 플로라 이드 등 으로 이루어질 수 있 다 .