먼저 , 챔버 ( 10 ) 에서 웨이퍼 ( 50 ) 를 가공 하 기 위하 여 상기 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 웨이퍼 ( 50 ) 를 삽입 한 후 내부 전극 ( 130 ) 에 전원 을 인가 하 면 , 상기 내부 전극 ( 130 ) 에서 발생 된 정전기 에 의해서 웨이퍼 ( 50 ) 는 분리 층 ( 140 ) 의 표면 에 긴밀히 고정 되 는 척 킹 작업 이 완료 되 는 것 이 다 .