이하 , 도 10 내지 도 14 를 참조 하 여 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 웨이퍼 의 제조 방법 에 대하 여 상세히 설명 한다 . 도 10 은 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 웨이퍼 의 제조 방법 을 설명 하 기 위한 순서도 이 다 . 도 11 내지 도 14 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 웨이퍼 의 제조 방법 을 설명 하 기 위한 중간 구조물 의 단면 도 및 깊이 에 따른 보론 농도 의 변화 를 나타내 기 위한 그래프 들 이 다 .