미리 지정 된 매수 의 웨이퍼 ( 200 ) 가 보트 ( 217 ) 에 장전 되 면 , 노구 셔터 ( 147 ) 에 의하 여 닫혀져 있 던 처리 로 ( 202 ) 의 하단 부 가 , 노구 셔터 ( 147 ) 에 의하 여 , 개방 된다 . 이어서 , 웨이퍼 ( 200 ) 군 ( 群 ) 을 보 지 한 보트 ( 217 ) 는 씰 캡 ( 219 ) 이 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의하 여 상승 됨 으로써 , 처리 로 ( 202 ) 내 에 반입 ( loading ) 되 어 간다 .