상기 필터 장치 를 이러 한 구성 으로 함 으로써 , 부압 공급 시 에 필터 로 포착 된 이물 이 , 정압 공급 시 에 진공 파괴 용 의 공기 에 혼입 해서 상기 진공 패드 로부터 방출 되 어 버리 거나 , 정압 공급 시 에 필터 로 포착 된 이물 이 부압 공급 시 에 진공 패드 로부터 흡인 된 공기 에 혼입 해서 부압 원 에 흡입 되 어 버리 거나 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .