결국 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 반도체 제조 설비 의 제어 방법 은 로드 락 챔버 ( 100 ) 를 펌핑 시키 는 제 1 진공 펌프 ( 160 ) 를 통해 펌핑 되 는 공기 의 흐름 을 단속 하 는 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 를 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 일 측 에 형성 되 는 도어 ( 130 ) 및 벤트 밸브 ( 140 ) 에 연동 시켜 개폐 동작 시키 고 , 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 공정 챔버 ( 200 ) 사이 의 슬릿 밸브 ( 120 ) 의 개폐 동작 에 무관 하 게 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 펌핑 시 에 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 를 항시 열 어 둠 으로서 종래 의 잦 은 개폐 동작 에 의해 발생 되 는 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 의 수명 이 단축 되 는 것 을 방지 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 성 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 다 .