도 20 및 도 21 에 도시 된 바 와 같이 , CO 2 레이저 및 엑 시머 레이저 에 의해 각각 형성 된 요부 들 로부터 의 결과 를 비교 함 으로써 요부 ( 5 ) 의 품질 에 관한 충격 은 명백 하 다 . 양쪽 의 경우 에 층 ( 11 ) 의 형성 및 포어 삽 입 은 성공 적 이 고 응답 이 명백 하 지만 , 엑 시머 레이저 를 이용 하 여 더욱 재생 가능 한 통공 들 이 만들 어 졌 다 . CO 2 레이저 에 의해 형성 된 요부 ( 5 ) 는 노이즈 가 더 많 은 신호 와 함께 상대 적 으로 누출 되 기 쉬운 층 ( 11 ) 을 형성 하 는 경향 이 있 으며 , 막히 기 쉽 다 . 엑 시머 레이저 로 형성 된 요부 ( 5 ) 들 은 우수 한 포어 신호 와 함께 잘 시일 된 층 ( 11 ) 을 만든 다 .