이 와 같이 , 본 발명 의 전사 헤드 ( 1 ) 에 의하 면 , 압기 를 분사 함 에 의해 , 전사판 ( 101 ) 과 전사 대상물 의 거리 를 대향 시켜서 소정 의 미세 거리 로 유지 할 수 있 기 때문 에 , Z 방향 구동 부 ( 23 ) 를 통한 전기 적 인 제어 에 관해서 는 전사판 이 전사 대상물 까지 어느 정도 근접 하 기 까지 의 대강 의 제어 를 하 는 것 만 으로 좋 고 , 이후 는 기체 의 분사 에 의한 대향 시켜서 의 부상 작용 이 작용 하 여 , 전사판 을 안 전하 게 전사 대상물 에 근접 시킬 수 있 기 때문 에 , 수복 대상 이 되 는 표시 디바이스 등 의 위 에 다수 의 결함 개소 가 존재 하 는 경우 에 도 , 그 들 의 개소 에 순차 적 으로 고속 으로 이동 하 고는 , 전사 헤드 ( 1 ) 를 강하 시키 는 처리 를 고속 으로 반복 할 수 있 어서 , 이런 종류 의 작업 의 택트 타임 을 대폭 적 으로 단축 할 수 있 는 이점 이 있 다 .