건강 값 이란 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 의 정상 정도 를 나타내 는 하나 의 지표 ( 제 1 지표 ) 이 다 . 해석 장치 ( 140 ) 는 , 취득 한 축 적 데이터 ( 130 ) 중 , 미리 선택 된 복수 종류 의 데이터 항목 ( 예컨대 , 이상 의 발생 에 관한 데이터 항목 ) 에 대응 하 는 데이터 내용 으로서 , 미리 지정 된 대상 구간 의 데이터 내용 을 조합 함 으로써 건강 값 을 산출 한다 .