그런 다음 , 상기 하부 금속 배선 을 포함 한 기판 결과물 상 에 제 2 층간 절 연막 을 증착 한 후 , 상기 제 2 층간 절 연막 을 식각 하 여 하부 금속 배선 을 노출 시키 는 홀 을 형성 한다 . 계속 해서 , 상기 홀 내 에 금속 막 을 매립 하 여 후속 으로 형성 될 상부 금속 배선 과 하부 금속 배선 을 연결 하 는 콘 택 플러그 를 형성 한다 . 그리고 나 서 , 상기 콘 택 플러그 가 형성 된 기판 결과물 상 에 상기 콘 택 플러그 를 통해 하부 금속 배선 과 콘 택 되 는 상부 금속 배선 을 형성 한다 .