진공 플 라즈 마 처리 는 , 감압 하 에서 실시 할 수 있 으며 , 예 를 들 면 드럼 상 ( 狀 ) 전극 과 복수 의 봉상 ( 狀 ) 전극 으로 이루어지 는 대극 전극 을 가지 는 내부 전극 형 의 방전 처리 장치 내 에 편광 필름 을 두 고 , 0 . 001 ~ 50 Torr , 바람직 하 게 는 0 . 01 ~ 10 Torr , 보다 바람직 하 게 는 0 . 02 ~ 1 Torr 의 처리 가스 분위기 하 에서 , 전극 사이 에 직류 또는 교류 의 고전압 을 인가 하 여 방전 시키 고 그 처리 가스 의 플 라즈 마 를 발생 시켜 이것 에 그 편광 필름 의 표면 을 폭로 시킴 으로써 표면 처리 를 할 수 있 다 . 진공 플 라즈 마 처리 의 처리 조건 으로서 는 , 처리 장치 , 처리 가스 의 종류 , 압력 , 전원 의 주파수 등 에 의존 하 지만 , 적절히 바람직 한 조건 을 선정 하 면 된다 . 상기 처리 가스 로서 는 예 를 들 면 , 아르곤 , 질소 , 헬륨 , 이산화 탄소 , 일산 화 탄소 , 공기 , 수증기 IPA 등 의 알코올 류 , 아크릴산 등 의 카르본 산류 등 을 단독 또는 혼합 해서 사용 할 수 있 다 .