이 와 같 은 불순물 들 을 세정 하 기 위한 기술 로서 RCA 법 은 암모니아 과산화수소 용액 , 불 산 수용액 및 염산 과 산화수소 용액 을 조합 시킨 습식 세 정법 이 고 , 종래 건식 세 정법 은 자외선 ( UV ) 조사 에 의해 생성 된 염소 라디칼 에 의해 기판 표면 의 오염 금속 을 금속 염화물 로 증발 제거 하 는 방식 이 다 . 즉 , 종래 의 세정 기술 은 주로 습식 세정 을 이용 하 는 방법 으로 다량 의 수용액 과 유해 성 용액 을 사용 하 여 피 처리 물 의 표면 을 처리 하 는 방식 이나 UV - O 3 세정 같 은 자외선 ( Ultra - Violet ) 으로 오존 을 활성 화 시키 는 방법 이나 진공 에서 산소 플 라즈 마 를 이용 하 는 방법 등 이 있 다 .