도 7 을 참조 하 면 , 케이스 체 ( 40 ) 의 저부 의 예 를 들 면 중앙부 에 세정 가스 의 배기구 ( 45 a ) 가 형성 되 어 있 다 . 배기구 ( 45 a ) 에 는 , 배기구 ( 45 a ) 를 둘러싸 고 케이스 체 ( 40 ) 의 하방 으로 연장 되 는 배기 벨로스 ( exhaust bellows ; 45 ) 가 접속 되 어 있 다 . 이 배기 벨로스 ( 45 ) 의 타단 은 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 저부 에 형성 된 배기구 ( 46 a ) 에 접속 되 어 있 다 . 배기구 ( 46 a ) 는 배기 로 ( 46 ) 에 접속 되 고 , 이 배기 로 ( 46 ) 의 타단 은 밸브 ( V 2 ) 를 통하 여 진공 배기 유닛 ( 47 ) 에 접속 되 어 있 다 .