제 2 층 ( 302 ) 에 는 제 4 이송 로봇 ( 502 ) 과 제 2 스토리지 큐 ( 330 ) 가 배치 될 수 있 다 . 제 4 이송 로봇 ( 502 ) 은 제 2 가스 실린더 ( 22 ) 를 제 2 스토리지 큐 ( 330 ) 에 제공 할 수 있 다 . 제 2 가스 실린더 ( 22 ) 는 가연 성 가스 를 저장 하 고 있 기 때문 에 , 제 4 이송 로봇 ( 502 ) 은 방폭 프레임 ( 도 11 의 506 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 이하 도 11 을 참고 하 여 설명 한다 .