이상 과 같이 , 레벤 손 형 마스크 의 노광량 은 , 하프톤 형 마스크 의 노광량 의 1 . 0 배 이상 이 바람직 하 다 . 그러나 , 하프톤 형 마스크 의 노광량 비율 을 낮춰 가 면 , 하프톤 형 마스크 의 차 광부 의 치수 가 작아진다 . 그 결과 , 차 광부 가 마스크 제조 한계 이하 의 크기 로 되 는 경우 가 있 고 , 마스크 제조 한계 이하 의 크기 로 되 면 마스크 를 제조 할 수 없 게 된다 . 마스크 의 제조 를 고려 하 면 , 레벤 손 형 마스크 의 노광량 은 , 하프톤 형 마스크 의 노광량 의 1 . 0 배 이상 1 . 2 배 이하 가 더 바람직 하 다 .