본 출원 은 , Artur KOLICS , Shijian LI , " Tana ARUNAGIRI 및 William THIE 에 의해 발명 의 명칭 이 "" POST - DEPOSITION CLEANING METHODS AND FORMULATIONS FOR SUBSTRATES WITH CAP LAYERS "" 로 2007 년 12 월 21 일자 로 출원 된 미국 특허 출원 S / N 61 / 016 ", 427 , 도켓 번호 XCR - 009 의 이점 을 주장 한다 . 2007 년 12 월 21 일자 로 출원 된 미국 특허 출원 S / N 61 / 016 , 427 는 본 명세서 전체 에서 참조 로서 통합 된다 .