이때 , 쉬 스 간격 과 프로파일 은 서로 연동 되 는 관계 에 있 기 때문 에 전원 전극 의 면적 을 제어 함 으로써 양자 를 동시 에 제어 할 수 도 있 으나 , 필요 에 따라서 는 별개 로 제어 할 수 도 있 다 . 즉 , 일예 로 써 플 라즈 마의 밀도 가 과도 하 게 낮 지 않 을 경우 에 는 작업 효율 을 더욱 향상 시키 기 위해 쉬스 의 프로 파일 만 을 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .