상기 탈탄 열처리 단계 는 기판 내 에 존재 하 는 유기물 을 제거 하 기 위한 것 으로 , 반응 챔버 ( 200 ) 에서 기판 을 상온 에서 공정 온도 ( 700 ~ 800 ℃) 까지 2 시간 에 걸쳐 올리 는 동안 혼합 가스 ( 아르곤 + 산소 ) 를 흘려 주 면서 열처리 를 시작 한다 . 이때 가스 분압 은 수 mTorr 에서 200 mTorr 까지 가능 하 다 . 온도 가 올라가 면서 금속 기판 내부 에 있 던 유 기물 이 표면 으로 확산 되 면서 표면 에서 산소 와 반응 하 여 CO , CO 2 가 생성 된다 . 이 기체 는 진공 펌프 에 의하 여 외부 로 배출 된다 .