하나 의 예시 적 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 처리 방법 이 제공 된다 . 플 라즈 마 처리 방법 은 , 플라 즈 마 처리 장치 의 챔버 내 에 기판 을 준비 하 는 공정 을 포함 한다 . 기판 은 , 챔버 내 에서 기판 지지기 상 에 배치 된다 . 기판 지지기 는 , 하부 전극 및 정전 척 을 포함 한다 . 정전 척 은 하부 전극 상 에 마련 되 어 있 다 . 플 라즈 마 처리 방법 은 , 기판 에 대한 플 라즈 마 처리 를 위하 여 챔버 내 에 있 어서 플 라즈 마가 생성 되 고 있 을 때 에 , 도전 성 부재 에 양극 성 의 전압 을 인가 하 는 공정 을 더 포함 한다 . 도전 성 부재 는 , 기판 보다 챔버 가 접지 된 측벽 의 가까이 에서 연재 된다 .