상기 헤이즈 검출기 는 백색 광원 을 측정 에 적합 한 단색광 원 으로 만드 는 색소 필터 와 , 광 을 집중 시키 는 집광 렌즈 와 , 평행 광 을 만들 어 주 는 시준 화 렌즈 와 , 반사광 및 투과광 을 분할 하 는 제 1 빔 스프 리터 와 , 상기 반사광 을 포토 마스크 표면 의 헤이그 에 조사 하 고 입사 되 는 간섭 광 을 통과 시키 는 대물 렌즈 와 , 상기 대물 렌즈 로부터 입사 되 는 투과광 을 반사광 ( 기준 광 ) 과 투과광 ( 측 정광 ) 으로 분할 하 는 제 2 빔 스프 리터 와 , 상기 기준 광 을 반사 시켜 제 2 빔 스프리 터 에 입사 시키 는 기준 미러 와 , 상기 제 1 빔 스프리 터로 부터 입사 되 는 간섭 광 을 결상 시키 는 결상 렌즈 와 , 간섭 신호 를 검출 하 기 위한 간섭 검출기 와 , 광경 로 차 에 의한 간섭 신호 들 을 획득 하 는 압 전 구 동기 를 더 포함 하 여 구성 됨 을 특징 으로 한다 .