예시 적 인 실시 형태 에서 , n - 메틸 피 롤리 돈 ( NMP , 알파 아 에사르 ( Alfa Aesar ) ) 의 혼합물 은 상업 적 습식 처리 도구 에서 노 벡 HFE - 7200 클리닝 플루이드 ( Cleaning Fluid ) ( 쓰리 엠 컴퍼니 ) 와 조합 될 수 있 다 . 상기 혼합물 은 바람직 하 게 는 히터 , 예 를 들 어 적외선 히터 에 관통 시킴 으로써 가열 하 여 NMP / HFE - 7200 혼합물 의 온도 를 약 20 ℃ 내지 70 ℃ 의 원 하 는 온도 로 상승 시켜 0 내지 100 , 000 ppm 의 목표 플 루오 라이드 이온 농도 를 생성 한다 . 이어서 플 루오 라이드 이온 을 함유 한 NMP / HFE - 7200 혼 합 물 을 반도체 웨이퍼 기판 에 적용 하 여 표면 유기 오염 물질 ( 예 를 들 어 , 포토레지스트 및 / 또는 중합체 잔류물 ) 을 0 내지 5 마이크로미터 범위 의 목표 산화 규소 손 실량 으로 제거 할 수 있 다 .