상기 의 초격자 버퍼 층 ( 200 ) 은 BxGa ( 1 - x ) N 막 , ByAl ( 1 - y ) N 막 및 GaN 막 중 적어도 두 층 이 초격자 층 으로 형성 된 막 을 사용 한다 . 이때 , 초격자 층 을 구성 하 는 개개 의 막 두께 는 5 내지 100 Å 으로 하 고 , 초격자 층 을 이루 는 층 의 쌍 은 2 내지 30 쌍 으로 한다 .