상기 과제 를 해결 하 기 위해 , 제 1 의 양태 는 , 기판 상 의 감광성 수지 막 을 노광 및 현상 함 으로써 형성 되 어 있 는 패턴 을 추가 로 노광 하 는 추가 노광 장치 로서 , 기판 의 폭 방향 에 수직 인 반송 방향 을 따라 기판 을 반송 하 기 위한 반송 기구 와 , 반송 기구 에 의해 반송 되 고 있 는 기판 상 의 패턴 으로 의 광 을 발생 시키 기 위한 복수 의 발광 다이오드 를 구비 한다 .