조명 시스템 ( 41 ) 의 튜브 ( 43 ) 는 세장형 일 수 있 고 기판 표면 에 수직 인 방향 으로 연장 될 수 있 다 . 조명 시스템 ( 41 ) 의 튜브 ( 43 ) 는 랙 ( 12 ) 의 일부 에 걸쳐서 , 랙 ( 12 ) 의 전체 길이 에 걸쳐서 , 또는 심지어 더 멀리 연장 될 수 있 다 . 조명 시스템 의 튜브 ( 43 ) 는 , 랙 ( 12 ) 의 전체 길이 에 걸쳐 기판 을 조사 하 기 위해 50 내지 200 cm , 바람직 하 게 75 내지 150 cm 의 길이 를 가질 수 있 다 .