각 공급 통로 ( 62 ) 에 는 , 흐름 제어 기기 ( 64 ) 가 마련 되 어 있 다 . 흐름 제어 기기 ( 64 ) 에 는 , 개폐 밸브 , 유량 제어 밸브 , 유량계 , 리퀴드 플로우 컨트롤러 등 중 1 개 이상 이 포함 되 어 있 다 . 공급 통로 ( 62 ) 의 하 류단 은 , 기판 ( W ) 에 처리 액 을 공급 하 는 노즐 ( 66 ) 에 접속 되 어 있 다 . 따라서 , 노즐 ( 66 ) 로부터 , 제어 된 유량 으로 처리 액 을 액 처 리부 ( 60 ) 내 에 로드 된 기판 ( W ) 에 공급 하 는 것 이 가능 하 다 .