도 4 및 도 7 을 참조 하 면 , 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 는 도 상기 제 1 수납공간 ( S 1 ) 상 에 복수 개 구비 될 수 있 고 , 상기 제 2 수납공간 ( S 2 ) 에 상기 열교 환부 ( 560 ) 와 , 상기 제 1 유량계 ( 535 ) 와 , 가습기 역할 을 하 는 Wet N 2 를 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 하 는 가습 부 ( 800 ) 가 구비 될 수 있 으며 , 상기 제 3 수납공간 ( S 3 ) 에 상기 필 터부 ( 520 ) 와 , 상기 제 1 이온 농도 측 정부 ( 531 ) 가 구비 될 수 있 으며 , 각각 의 구성 요소 는 도 1 에서 설명 한 바 와 같이 다른 구성 요소 를 통해 서로 연결 될 수 있 으며 , 이러 한 장치 의 각 구성 요소 들 과 밸브 를 제어 하 는 제 어부 ( C ) 는 상기 제 4 수납공간 ( S 4 ) 상 에 구비 되 어 질 수 있 다 .