이러 한 기능 은 또한 다른 적용 의 일반 화 된 데이터 사용 을 위하 여 관심 대상 매개변수 에 대한 CM 의 결과 를 교정 하 는 데 유용 하 다 . 예 를 들 어 , 광학 적 으로 측정 된 오버레이 와 SEM - 측정 된 디바이스 피처 종속 오버레이 사이 에서 , 상이 한 크기 와 설계 로 인하 여 타 겟 은 패 터닝 처리 에 다르 게 반응 한다 . 이러 한 기능 은 결함 예측 관점 에서 , 광학 적 으로 측정 된 기 여자 와 실제 디바이스 의 피처 의 응답 사이 의 상관 되 지 않 은 오버레이 콘텐츠 를 배제 하 는 데 유용 하 다 .