본 출원 은 2019 년 2 월 20 일자 제출 되 고 , " 발명 의 명칭 이 "" 웨이퍼 로부터 의 반사 시 신호 들 의 각도 - 유도 된 변동 에 대해 감소 된 민 감도 를 갖 는 광섬유 - 결합 된 측정 시스템 "" 이 고 ", 일반 적 으로 본 출원 이 할당 된 미국 가 출원 번호 제 62 / 807 , 992 호 의 이득 을 주장 하 며 , 이 는 참조 에 의해 여기 에 그 전체 가 통합 된다 .