챔버 ( 12 ) 는 또한 앤 티 챔버 ( antechamber ) ( 32 ) 로 이끄 는 진입 개구 ( 30 ) , 진입 개구 ( 30 ) 를 폐쇄 하 고 개방 하 기 위한 셔터 ( 34 ) 가 제공 된다 . 셔터 ( 34 ) 는 도 1 에서 실선 들 로 도시 된 폐쇄 위치 또는 업 위치 ( 그 문 은 앤 티 챔버 ( 32 ) 로부터 챔버 ( 12 ) 의 내부 영역 ( 26 ) 을 분리 시킴 ) 와 도 1 의 34 ' 에서 파선 들 로 도시 된 개방 위치 또는 다운 위치 사이 에서 이동 가능 하 다 .