노출 된 기판 을 산화 시키 는 방법 의 일례 로써 , 마스크 패턴 ( 34 ) 의 오픈 ( open ) 된 영역 에 산소 ( 02 ) 이온 주입 을 실시 한 후 , 주입 된 산소 이온 을 활성 화 시키 기 위한 열처리 하 는 방법 을 사용 할 수 있 다 . 이외 에 기존 에 알려진 다양 한 공정 기술 을 이용 하 여 전계 집중 완화 용 절 연막 을 형성 할 수 있 다 .