그런데 , 레이저 발진기 및 광학 부품 의 성능 등 에 기인 하 여 , 집 광점 의 근방 에서 는 , 비점 수차 ( 非 點 收差 ) 가 발생 하 는 경우 가 있 다 . 비점 수차 가 발생 하 면 , 비점 수차 가 없 는 경우 에 비해 , 웨이퍼 의 표면 에 형성 되 는 가공 흔적 의 형상 이 변화 하 므로 , 웨이퍼 의 가공 에 영향 이 생긴다 . 그러므로 , 비점 수차 의 유무 나 비점 수차 의 정도 가 확인 된다 .