계측 테이블 ( MTB ) 의 - Y 측 단면 에 는 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 피 듀 셜 바 ( 이하 「 FD 바 」 라고 약기 한다 ) ( 46 ) 가 X 축 방향 으로 연장 되 어 있 다 . 이 FD 바 ( 46 ) 는 , 풀 키네마 틱 마운트 구조 에 의해 , 계측 스테이지 ( MST ) 상 에 키네마 틱 으로 지지 되 어 있 다 . FD 바 ( 46 ) 는 원기 ( 原器 ) ( 계측 기준 ) 가 되 기 때문 에 , 저 열팽창 률 의 광학 유리 세라믹스 , 예 를 들 어 쇼트 사 의 제로 듀 아 ( 상품명 ) 등 이 그 소재 로서 채용 되 고 있 다 . FD 바 ( 46 ) 의 길 이 방향 의 일 측 과 타 측 의 단부 근방 에 는 , 센터 라인 ( CL ) 에 관하 여 대칭 인 배치 로 Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 기준 격자 ( 예 를 들 어 회절 격자 ) ( 52 ) 가 각각 형성 되 어 있 다 . 또한 , FD 바 ( 46 ) 의 상면 에 는 복수 의 기준 마크 ( M ) 가 형성 되 어 있 다 . 각 기준 마크 ( M ) 로 는 , 후술 하 는 프라이머리 얼라이먼트 계 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 에 의해 검출 할 수 있 는 치수 의 2 차원 마크 가 사용 되 고 있 다 . 또한 , FD 바 ( 46 ) 의 표면 및 계측 테이블 ( MTB ) 의 표면 도 발 액 막 ( 발 수막 ) 으로 덮여 있 다 .