부분 적 인 필드 들 , 환언 하 면 조명 광학 소자 의 광학 조립 체 의 오브젝트 - 필드 - 형성 부품 들 의 이미지 들 이 , 조명 각도 분포 상 의 피드백 이 최소 화 되 도록 , 배열 되 는 , 광학 조립 체의 , 다이어프램 면 ( diaphragm plane ) 으로 도 칭해 지 는 , 필드 면내 에서 오브젝트 가 배치 되 지 않 는 패 싯 으로 인해 , 오브젝트 면내 에서 의 또는 레티 클 면내 에서 의 필드 패 싯 이미지 들 을 확산 시킨 결과 로서 , 필드 패 싯 들 이 오브젝트 필드 보다 더 높 은 x / y 종횡비 를 갖 도록 된 - 비례 적 으로 말 해서 , 그것 들 이 오브젝트 변위 방향 으로 볼 때 오브젝트 필드 보다 더 좁 은 것 을 의미 하 는 - 필드 패 싯 들 의 구성 은 오브젝트 필드 의 과 노출 을 회피 할 수 있 다 .