다양 한 농도 의 실리콘 이 산화물 을 포함 하 는 다 성분 막 들 , 예 를 들 면 , SiAlOx , SiTiOx , SiTaOx , SiHfOx , SiZrOx , SiYOx , SiLaOx 는 실리콘 소스 물질 및 오존 ( 또는 다른 산소 소스 ) 의 반응 사이클 횟수 를 다른 금속 소스 물질 의 반응 사이클 과 비교 하 여 변화 시킴 으로써 본 발명 에 따라 성장 될 수 있 다 . 위 의 화학식 들 에서 , 옥사이드 의 양 은 변화 할 수 있 으며 , 옥사이드 는 항상 완전히 양론 적 ( stoichiometric ) 인 것 은 아니 다 .