로드 락 모듈 ( 30 ) 은 제 1 이송 로봇 ( 304 , TR 1 a , TR 1 b ) 및 기판 스테이지 ( 306 , WS 1 a , WS 1 b ) 를 수용 하 는 내부 공간 ( 302 ) 을 가지 는 로드 락 챔버 ( 300 ) 를 포함 할 수 있 다 . 도 1 에서 로드 락 모듈 ( 30 ) 을 두 개 도시 하 였으나 , 본 발명 은 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 로드 락 챔버 ( 300 ) 는 반도체 제조 공장 의 외기 와 차단 되 어 있 을 수 있 다 . 로드 락 챔버 ( 300 ) 에 는 기판 ( 102 ) 의 오염 을 방지 하 게 퍼지 가스 를 공급 할 수 있 다 .