실시 예 에서 , 상기 배기 부 는 상기 프로세스 챔버 와 연통 되 는 복수 의 배기 홀 이 형성 되 고 , 내부 에 부압 이 형성 되 어 상기 프로세스 챔버 내 의 배기가스 를 배기 시키 기 위한 소정 의 공간 을 제공 하 는 배기 챔버 와 상기 배기 챔버 에 부압 을 제공 하 는 배기 라인 을 포함 한다 . 그리고 , 상기 배기 챔버 의 일 측 과 상기 플 라즈 마 발생 부 가 연결 되 어 상기 플 라즈 마 챔버 의 압력 을 강하 시키 는 압력 조절 부가 구비 된다 .