이상 설명 한 바 와 같이 제 3 제어 형태 에서 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 후 이 어도 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 타이밍 의 소정 범위 내 에서 의 변경 을 접수 한다 . 그렇 기 때문 에 메인 터 넌 스 예약 정보 에 의해 메인 터 넌 스 처리 가 예약 된 상태 이 어도 어떠 한 이유 에 의해 메인 터 넌 스 처리 의 타이밍 을 빠르 게 하 거나 또는 늦출 필요 가 발생 한 경우 에 는 그 타이밍 을 앞당기 거나 미루 는 것 이 가능 해진다 .