증착 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 에 는 기판 이 안착 되 는 기판 지지 부 ( 800 ) 가 설치 된다 . 기판 지지 부 ( 800 ) 는 증착 챔버 ( 100 ) 의 상부 에 마련 되 며 , 증착 챔버 ( 100 ) 의 내부 로 인입 되 는 기판 을 지지 하 고 , 원료 물질 을 기판 에 증착 하 는 과정 에서 지지 된 기판 을 일 방향 으로 이동 시킬 수 있 다 .