구체 적 으로 , 도 5 및 도 6 에서 도 1 과 동일 한 참조 번호 는 동일 한 부재 를 나타내 며 편의 상 동일 한 설명 은 간단히 설명 하 거나 생략 한다 . 도 5 에 도시 한 화학 기계 적 연마 장치 ( 400 ) 는 도 1 에 더 하 여 연마 장치 ( 100 ) 및 표면 조도 측정 장치 ( 200 ) 을 제어 하 는 제 어부 ( 300 ) 를 포함 하 여 도시 한 것 이 다 .