본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 도 13 에 도시 된 바 와 같이 , 전하 축적 층 ( 76 ) 은 , 전극 층 WL 과 턴 온 동안 채널 로서 기능 하 는 실리콘 필러 SP 사이 에 만 존재 하 고 , 유전체 층 ( 64 ) 과 실리콘 필러 SP 사이 에 는 존재 하 지 않 는다 . 즉 , 전하 축적 층 ( 76 ) 은 메모리 셀 이 적층 방향 으로 직렬 접속 된 방향 으로 분단 된다 .