플라 즈 마 프로세싱 장치 는 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 내 에 배치 된다 . 플 라즈 마 프로세싱 장치 는 척 ( 107 A / B ) 과 가스 분배 유닛 ( 115 ) 사이 에 형성 된 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 을 포함 한다 . 보다 구체 적 으로 , 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 은 척 ( 107 A / B ) 위 에 그리고 가스 분배 유닛 ( 115 ) 아래 에 상주 하 며 , 척 ( 107 A / B ) 의 상부 표면 및 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하부 표면 은 서로 에 대해 실질 적 으로 평행 배향 으로 배치 된다 . 또한 , 주변 구조 부재 ( 108 ) 가 가스 분배 유닛 ( 115 ) 과 척 ( 107 A / B ) 의 상부 표면 사이 의 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 의 주변 을 인 클로징 하 도록 배치 된다 .