액침 노광 을 행하 는 경우 에서 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 이 발수성 중합체 첨가제 를 함유 하 지 않 은 경우 등 에 는 , 상기 형성 한 레지스 트 막 상 에 , 액 침액 과 레지스 트 막 의 직접 접촉 을 피할 목적 으로 , 액 침액 에 불용성 인 액침 용 보호막 을 형성 해도 된다 . 액침 용 보호막 으로서 는 , 현상 공정 전 에 용매 에 의해 박리 되 는 용매 박리 형 보호막 ( 일본 특허 공개 제 2006 - 227632 호 공보 참조 ) , 현상 공정 의 현상 과 동시 에 박리 되 는 현상액 박리 형 보호막 ( 국제 공개 제 2005 / 069076 호 및 국제 공개 제 2006 / 035790 호 참조 ) 중 어느 것 을 사용 해도 된다 . 단 , 스루풋 의 관점 에서 는 , 현상액 박리 형 액침 용 보호막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .