예 를 들 어 , 게이트 하드 마스크 막 ( 83 ) 을 형성 하 기 위한 공정 조건 을 20 ~ 300 sccm 유량 의 SF 6 , CHF 3 및 Ar 이 혼합 된 식각 가스 , 80 ~ 1000 W 의 소스 파워 , 100 ~ 1000 W 의 바이어스 파워 , - 30 ~ 0 mTorr 의 챔버 압력 및 - 200 ~- 100 ℃ 의 기판 온도 로 진행 하 였 다면 , 트림 공정 의 조건 은 45 ~ 500 sccm 유량 의 SF 6 , CHF 3 및 Ar 이 혼합 된 식각 가스 , 200 ~ 2000 W 의 소스 파워 , 0 ~ 200 W 의 바이어스 파워 , 1 ~ 100 mTorr 의 챔버 압력 및 - 100 ~- 30 ℃ 의 기판 온도 로 진행 한다 . 그리고 트림 공정 의 식각 가스 는 CHF 3 , CF 4 및 Ar 이 혼합 된 식각 가스 를 사용 할 수 도 있 다 . 이때 의 유량 은 60 ~ 600 sccm 이 다 . 여기 서 , CHF 3 는 식각 되 어 노출 되 는 질화 막 의 측벽 을 보호 하 기 위한 가스 이 고 , CF 4 와 SF 6 는 질화 막 을 식각 하 기 위한 가스 이 다 .