일 실시 형태 에서 , 상부 또는 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 / 109 ) 어느 하나 에서 의 플 라즈 마 에 노출 된 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 부분 들 은 플 라즈 마 저항성 재료 의 커버링 에 의해 보호 된다 . 일 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 저항성 재료 는 코팅 으로서 형성 된다 . 다른 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 저항성 재료 는 보호 구조물 예 를 들 어 , 분배 유닛 ( 115 ) 을 등각 으로 커버 하 는 플레이트 로서 형성 된다 . 이 들 실시 형태 어느 것 이 든 , 플라 즈 마 저항성 재료 를 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 시켜 플 라즈 마 저항성 재료 와 가스 분배 유닛 ( 115 ) 사이 의 적절 한 전기 전도 및 열 전도 를 보장 한다 . 플 라즈 마 저항성 보호 구조 체의 실시 형태 에서 , 보호 구조 체가 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 과 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 / 109 ) 사이 의 압력 차이 에 의해 , 복수 의 고정 장치 ( fastener ) 에 의해 , 또는 이 들 의 조합 에 의해 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 될 수 도 있 다 . 여러 실시 형태 들 에서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 보호 하 는 데 이용 된 플 라즈 마 저항성 코팅 / 보호 구조물 은 실리콘 , 실리콘 카바이드 , 실리콘 옥사이드 , 이트륨 옥사이드 , 또는 이 들 이 노출 되 는 플 라즈 마 프로세스 들 에 대한 적절 한 플 라즈 마 저항성 , 전기 전도 성 및 열 전도 성 을 제공 하 는 본질 적 으로 임의 의 다른 재료 로 형성 될 수 있 다 .