실시 예 및 비교 예의 조성물 들 을 폭 10 ㎛, 깊이 0 . 50 ㎛ 의 트렌치 를 포함 하 는 SiO 2 웨이퍼 기판 ) 상 에 도포 및 60 초간 200 ℃ 에서 건조 하 여 하드 마스크 막 을 형성 하 고 , 트렌치 부분 과 비 트렌치 부분 사이 의 두께 차 를 주사 전자 현미경 ( SEM ) 을 이용 하 여 관찰 하 여 평탄 성 을 평가 하 였 다 .