상기 디바이스 는 특히 MZI 센서 의 기준 아암 에 배치 되 는 Mach - Zehnder 형 의 추가 의 광학 적 간섭 측정 요소 를 포함 하 고 , 양 MZI 요소 는 가변 광학 감쇠기 ( VOA ) 로서 양 간섭계 를 최적 으로 바이어스 시키 기 위한 열 광학 적 가열기 를 포함 하 고 , 상기 디바이스 는 , 전체 적 인 칩 , 상기 추가 적 인 MZI 의 제 1 접합부 에서 의 광학 적 분할 및 상기 추가 적 인 MZI 의 제 2 접합부 에서 의 광학 적 결합 을 위한 상기 광학 분할기 및 광 합 결합기 를 배치 하 는 상기 추가 적 인 MZI 를 갖 는 가변 광학 감쇠기 ( VOA ) , 및 상기 MZI 각각 의 기준 아암 에서 광학 신호 의 위상 을 조정 하 는 일 세트 의 열 광학 적 위상 변 이 기 를 더 포함 한다 . 열 광학 적 위상 변 이 기 는 , 포 토닉 도파 로 의 일부분 위 에서 빛 의 진행 방향 을 따라 적어도 하나 또는 2 개 의 금속 스트립 을 서로 평행 하 게 배치 하 여 형성 된다 .