상기 플 라즈 마 표면 처리 는 O 2 , N 2 , NH 3 , Ar , H 2 등 의 플 라즈 마 를 이용 한다 . 상기 플 라즈 마 발생기 ( 20 ) 는 수 ㎛ 이하 의 구경 ( 口徑 ) 을 갖 는 개구부 ( 21 ) 를 구비 한다 . 상기 표면 처리 에 의해 상기 기판 ( 200 ) 의 표면 중 미세 패턴 이 형성 될 부분 만 을 친수 성 으로 변환 시켜 준다 . 상기 기판 ( 200 ) 중 표면 처리 된 부분 은 후속 의 박막 형성 공정 에서 기판 ( 200 ) 과 박막 간 의 접착력 을 강화 시켜 준다 .