또한 , 열 판 ( 53 b ) 의 중앙부 에 는 , 상하 방향 으로 관통 된 관통 구멍 ( 53 h ) 이 형성 되 어 있 다 . 관통 구멍 ( 53 h ) 에 는 , 하방 으로부터 승강 핀 ( 53 i ) 이 삽입 되 어 있 다 . 승강 핀 ( 53 i ) 은 , 승강 기구 ( 53 j ) 에 의해 승강 하 여 , 열 판 ( 53 b ) 의 표면 으로 돌출 가능 하 게 되 어 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 를 승강 핀 ( 53 i ) 에 의해 들어올려 예컨대 웨이퍼 반송 아암 ( 54 ) 과 열 판 ( 53 b ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 전달 할 수 있 다 .