배기 기구 로서 의 배기 장치 ( 24 ) 는 터보 분자 펌프 등 의 고속 진공 펌프 를 구비 하 고 있 다 . 상기 한 바 와 같이 , 배기 장치 ( 24 ) 는 배기관 ( 12 ) 을 거쳐서 챔버 ( 1 ) 의 배 기실 ( 11 ) 에 접속 되 어 있 다 . 이 배기 장치 ( 24 ) 를 작동 시키 는 것 에 의해 , 챔버 ( 1 ) 내 의 가스 는 배 기실 ( 11 ) 의 공간 ( 11 a ) 으로부터 배기관 ( 12 ) 을 거쳐서 외부 로 배기 된다 . 이것 에 의해 , 챔버 ( 1 ) 내 를 소정 의 진공도 , 예컨대 0 . 133 ㎩ 까지 고속 으로 감압 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .