여기 서 , 화학 기상 증착 법 으로 는 상압 화학 기상 증착 법 ( APCVD ; Atmospheric Pressure CVD ) , 저압 화학 기상 증착 법 ( LPCVD ; Low Pressure CVD ) , 플라 즈 마 유기 화학 기상 증착 법 ( Plasma Enhanced CVD ) 등 이 있 으며 , 이 중 에서 저온 증착 이 가능 하 고 박막 형성 속도 가 빠른 장점 때문 에 플 라즈 마 유기 화학 기상 증착 법 이 많이 사용 되 고 있 다 .