일 립 소 메트리 측정 을 제공 하 기 위하 여 , 간섭계 시스템 은 동공 면 에서 고정 된 또는 가변 의 편광판 ( polarizer ) 을 포함 할 수 있 다 . 도 1 을 참조 하 면 , 미 라우 타입 의 간섭계 시스템 ( 100 ) 은 입사 되 며 검사 샘플 로부터 방출 되 는 광 에 대한 바람직 한 편광 을 선택 하 기 위해 동공 면 에 위치 하 는 편광 광학 기기 ( 197 ) 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 편광 광학 기기 는 선택 된 편광 을 변화 시키 도록 재 구성 될 수 있 다 . 편광 광학 기기 는 편광판 , 파장판 ( waveplates ) , 아포 다 이즈 애퍼처 ( apodization apertures ) , 및 / 또는 소정 의 파장 을 선택 하 기 위한 변조 소자 를 포함 하 는 하나 이상 의 요소 를 포함 할 수 있 다 .