일 형태 에서 는 , 상기 편심 검출 기구 는 , 상기 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 의 , 상기 센터 링 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 , 및 상기 프로세스 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 의 , 상기 프로세스 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 측정 하 는 편심 검 출부 를 포함 하 고 , 상기 편심 검 출부 는 , 촬상 장치 와 , 상기 촬상 장치 를 향하 여 광 을 발하 는 투광 장치 를 구비 한다 .