도 1 에 본 발명 의 일 실시 형태 에 있 어서 의 마이크로파 플 라즈 마 처리 장치 의 구성 을 도시 한다 . 이 마이크로파 플 라즈 마 처리 장치 는 , 평판 슬롯 안테나 를 이용 하 는 평판 형 표면파 여기 형 의 마이크로파 플 라즈 마 에칭 장치 로서 구성 되 어 있 으며 , 예컨대 알루미늄 또는 스테인리스강 등 의 금속제 의 원통형 진공 챔버 ( 처리 용기 ) ( 10 ) 를 갖 고 있 다 . 챔버 ( 10 ) 는 보안 접지 되 어 있 다 .