또한 상기 스퍼터링 시 표면 을 불 소계 작용기 로 개질 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 불 소계 작용기 는 - CF 3 , - CF 2 H , - CF 2 - 및 - CH 2 - CF 3 중 적어도 하나 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 도막 을 플 라즈 마로 에칭 하 여 거친 표면 을 만든 후 불소 계 가스 환경 에서 플라 즈 마를 발생 시켜 상기 도막 표면 을 개질 할 수 있 다 .