좀 더 유연 한 기판 의 인수인계 를 위하 여 회전 플레이트 암 ( 712 ) 의 끝단 에서 5 개 의 엔드 이펙터 가 회동 가능 한 구조 를 갖 도록 할 수 도 있 다 . 이 실시 예 에서 두 개 의 제 1 및 제 2 반송 부 ( 700 a , 700 b ) 를 사용 하 여 로딩 / 언로 딩 을 분할 하 여 담당 하 도록 하 고 있 으나 어느 하나 만 을 사용 하 여 순차 적 으로 로딩 과 언로 딩 동작 을 수행 하 도록 담당 하 도록 할 수 도 있 다 . 또는 10 개 의 엔드 이펙터 를 하나 의 플레이트 암 에 장착 하 는 구조 로 의 변형 도 가능 하 다 .