금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 ( 102 ) 을 질화 하 는 방법 은 , 열 질화법 또는 플 라즈 마 질화법 등 , 어떠 한 방법 을 사용 해도 괜찮 지만 , 플라 즈 마 질화법 이 바람직 하 다 . 고온 의 열처리 로 질화 했 을 경우 , 막 이 상 ( phase ) 분리 해서 금속 실리사이드 의 금속 결정 을 막 중 에 발생 해서 , 불 균질 화 할 우려 가 있 다 . 이것 에 대해 , 플라 즈 마 질화 에서 는 , 저온 에서 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 ( 102 ) 을 질화 하 는 것 이 가능 하 기 때문 에 , 균일 한 아몰 퍼스 ( amorphous ) 상태 를 유지 할 수 가 있 다 . 플 라즈 마 에 의해 질화 를 실시 하 는 경우 , 플 라즈 마원 으로서 , ICP , 헬리콘 ( helicon ) , ECR , 마이크로파 및 표면파 등 의 어떠 한 방식 이 든 이용 해도 괜찮 다 . 질화 에 이용 하 는 질소 함유 가스 로서 는 , N 2 , NH 3 , N 2 H 4 , HMDS ( hexamethyldisilazane ) 등 을 들 수 있 다 . 또 , 질소 함유 가스 에 는 , He , Ne , Ar , Kr 및 Xe 등 의 희가스 를 첨가 해도 괜찮 다 .