조성물 층 을 가열 처리 한 후 통상 알칼리 현상 용액 을 사용 하 고 현상 장치 를 이용 하 여 현상 한다 . 여기 서 현상 은 가열 처리 후 조성물 층 을 알칼리 용액 과 접촉 시키 는 것 을 의미 한다 . 이 에 따라 , 조성물 층 의 노광 부 는 알칼리 용액 에 의해 용해 되 어 제거 되 고 , 조성물 층 의 비노 광부 는 기판 상 에 남 게 되 어 , 레지스 트 패턴 이 생성 된다 . 여기 서 , 알칼리 현상 용액 으로서 , 이 분야 에서 사용 되 는 각종 알칼리 수용액 이 면 된다 . 예 로서 는 수산화 테트라메틸 암모늄 및 수산화 ( 2 - 히드록시 에틸 ) 트리 메틸 암모늄 ( 관용명 : 콜린 ) 의 수용액 을 들 수 있 다 .