즉 , 상기 압력 조 절부 에 의하 여 상기 제 1 압력 챔버 에 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 고 , 상기 제 1 압력 센서 의 측정값 이 제 1 부압 ( n * Po ) ~ 설정 부압 ( Po ) 의 범위 를 벗어나 이 보다 높 은 압력 값 이 면 , 상기 제 1 바닥 면 이 상기 제 1 통로 의 개구 에 접촉 하 거나 근접 하 여 제 1 압력 챔버 로부터 제 1 통로 로 의 압력 전달 이 원활 하 지 않 은 것 이 므로 , 이 를 통해 상기 멤 브레인 바닥 판 에 웨이퍼 가 정상 적 으로 척 킹 파지 된 상태 가 아니 라는 것 을 감지 할 수 있 다 .