그런데 , 압력 이 높 은 장소 에서 낮 은 장소 로 유체 가 흐를 때 , 그 유체 경로 의 각 점 에서 는 , 유체 경로 의 컨덕턴스 에 반비례 한 압력 차 가 생긴다 . 컨덕턴스 가 다른 유체 경로 의 부위 가 직렬 로 접속 되 어 있 는 경우 , 전체 의 압력 차 가 각각 의 부위 의 컨덕턴스 역수 의 비 가 되 도록 분배 된다 . 이 원리 를 본 실시 형태 에서 의 기판 적 재 대 ( 5 ) 의 적 재면 ( 21 a ) 에 적용 하 여 , 외측 유로 ( 26 ) 로부터 외측 영역 ( F 1 ) 에 공급 된 전열 가스 가 , 내측 영역 ( F 2 ) 의 내측 유로 ( 27 ) 까지 이르 는 유체 유로 를 생각 할 수 있 다 . 이 경우 ,