예 를 들 어 , 제 2 RF 전력 은 제 1 전원 ( 10 ) 에서 생성 된 고주파 전력 을 포함 하 고 , 제 2 플 라즈 마는 이러 한 고주파 전력 을 펄스 파로 공정 챔버 ( 40 ) 내 샤워 헤드 ( 42 ) 로 인가 하 여 형성 될 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 보 면 , 제 2 RF 전력 은 13 . 56 MHz 내지 27 . 12 MHz 의 주파수 범위 의 고주파 전력 을 포함 할 수 있 다 .