이러 한 가스 확산 부재 ( 300 ) 는 공정 챔버 ( 100 ) 내부 , 보다 구체 적 으로 는 백 플레이트 ( 200 ) 와 샤워 헤드 ( 400 ) 사이 의 공간 ( 220 , 이하 버퍼 공간 이 라 칭함 ) 에서 유입 된 공정 가스 가 효과 적 으로 확산 되 도록 하 기 위한 것 으로서 , 이 를 위해서 는 유입 되 는 공정 가스 들 의 라미 나 흐름 ( Laminar flow ) 을 만들 어 주 는 것 이 중요 하 다 . 가스 확산 부재 ( 300 ) 의 구체 적 인 형상 및 기능 등 에 대해서 는 후술 하 도록 한다 .