본원 에서 제공 되 는 개시 내용 을 읽 고 이해 할 시 , 통상 의 기술자 에 의해 추가 로 인식 될 바 와 같이 , 세정 및 건조 동작 들 동안 , 회전 가능 차 폐부 의 속력 은 배 출물 및 증기 의 용적 제거 를 달성 하 도록 조작 될 수 있 다 . 모든 또는 실질 적 으로 모든 배 출물 및 증기 의 효과 적 인 제거 는 세정 및 건조 동작 들 의 종료 시 에 스폿 이 없 거나 실질 적 으로 스폿 이 없 는 기판 을 생성 하 는 것 을 돕 는다 . 다른 실시 예 들 에서 , 임의 적 단일 측 ( 또는 단일 면 ) 세정 동작 이 또한 ( 기판 의 가장자리 세정 없이 또는 그 와 함께 ) 이용 될 수 있 다 . 또 다른 실시 예 들 에서 , 기판 은 , 양측 들 을 동시 에 세정 되 는 것 이 아니 라 측 부 들 이 교번 하 여 세정 될 수 있 다 .