반송 부 ( 15 ) 는 , 내부 에 기판 반송 장치 ( 17 ) 를 구비 한다 . 기판 반송 장치 ( 17 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 하 는 웨이퍼 보유 지지 기구 를 구비 한다 . 또한 , 기판 반송 장치 ( 17 ) 는 , 수평 방향 및 연직 방향 으로 의 이동 그리고 연직 축 을 중심 으로 하 는 선회 가 가능 하 여 , 웨이퍼 보유 지지 기구 를 사용 해서 전달 부 ( 14 ) 와 처리 유닛 ( 16 의 ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 반송 을 행한다 .