[ 0041 ] 바이어스 RF 전력 공급 부 ( 280 ) 가 정합 네트워크 ( 284 ) 를 통하 여 케이블 ( 282 ) 을 통해 기판 지지 부 ( 232 ) 에 커플링 될 수 있 다 . 바이어스 RF 전력 공급 부 ( 280 ) 는 이온 화 된 세정 가스 를 기판 ( 210 ) 쪽 으로 지향 시키 기 위해 기판 ( 210 ) 에 바이어스 를 제공 한다 .