한편 , 상기 산 해리 성기 를 포함 하 는 구조 단위 를 갖 는 중합체 는 유기 현상액 에 가용 이 지만 , 알칼리 현상액 에 는 불용 또는 난용 이 다 . 상기 산 해리 성기 를 포함 하 는 구조 단위 를 갖 는 중합체 는 , 가열 공정 에서 산 의 작용 에 의해 상기 산 해리 성기 가 떨어지 고 ( 탈 보호 ) , 극성 이 부여 되 어 , 알칼리 현상액 에 가용 이 고 또 한 유기 현상액 에 불용 이 된다 . 이 경우 , 비 일부 조사 부 의 레지스 트 막 은 유기 현상액 에 의해 제거 가능 하 게 되 고 , 일부 조 사 부 는 알칼리 현상액 에 의해 제거 가능 하 게 된다 . 따라서 , 상기 중합체 를 사용 해서 형성 된 레지스 트 막 을 유기 현상액 으로 현상 하 는 경우 , 레지스 트 재료 는 네 가티 브 형 레지스 트 재료 로서 작용 한다 . 한편 , 상기 중합체 를 사용 해서 형성 된 레지스 트 막 을 알칼리 현상액 으로 현상 하 는 경우 , 레지스 트 재료 는 포지티브 형 레지스 트 재료 로서 작용 한다 .