도 4 에 도시 된 베이스 조립 체 ( 114 ) 의 평면도 를 부가 적 으로 참조 하 면 , 상부 커버 판 ( 302 ) 은 다수 의 통공 을 포함 한다 . 통공 은 리프트 핀 및 베이스 조립 체 ( 114 ) 를 통하 여 정전 척 ( 188 ) 으로 의 다양 한 히터 , 센서 , 가스 및 파워 유틸리티 ( utility ) 의 루팅 ( routing ) 을 위해 이용 된다 . 도 4 에 도시 된 실시 예 에서 , 통공 ( 314 ) 은 리프트 핀 을 위해 제공 되 고 , 통공 ( 316 ) 은 척 파워 유틸리티 를 위해 제공 되 고 , 통공 ( 318 ) 은 히터 요소 를 위해 제공 되 고 , 통공 ( 320 ) 은 온도 센서 를 위해 제공 되 고 , 그리고 통공 ( 324 , 326 ) 은 상부 커버 판 ( 302 ) 과 정전 척 ( 188 ) 사이 로 의 열 전달 가스 의 전달 을 위해 제공 된다 . 동일 한 도면 부호 가 베이스 조립 체 ( 114 ) 의 다른 부품 의 루팅 을 위해 이용 되 는 베이스 조립 체 ( 114 ) 의 다른 부품 내 의 통공 을 확인 하 기 위해 이용 될 수 있 다 .