기판 반입 · 가열 공정 ( S 102 ) 에서 는 , TM ( 1006 ) 으로부터 , 용기 ( 202 ) 내 에 진공 반송 로봇 ( 1008 ) 을 사용 해서 웨이퍼 ( 200 ) 를 반입 한다 . 그리고 , 용기 ( 202 ) 내 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 반입 하 면 , 진공 반송 로봇 ( 1008 ) 을 용기 ( 202 ) 밖 으로 퇴피 시키 고 , 게이트 밸브 ( 149 ) 를 닫 아서 용기 ( 202 ) 내 를 밀폐 한다 . 그 후 , 기판 적 재 대 ( 212 ) 를 상승 시킴 으로써 , 기판 적 재 대 ( 212 ) 에 마련 된 기판 적 재면 ( 211 ) 상 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 적재 시키 고 , 또한 기판 적 재 대 ( 212 ) 를 상승 시킴 으로써 , 상술 한 처리 실 ( 201 ) 내 의 처리 위치 ( 기판 처리 포지션 ) 까지 웨이퍼 ( 200 ) 를 상승 시킨다 .