본 발명 은 무 촉매 단결정 실리콘 나노 와이어 의 제조 방법 , 그 에 의해 형성 된 나노 와 이 어 및 이 를 포함 하 는 나노 소자 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 나노 와 이 어 제조 시 금속 촉매 를 사용 하 지 않 음 으로써 금속 촉매 에 의한 불순물 함입 을 방지 하 여 나노 와이어 의 전기 및 광 특성 을 향상 시킬 수 있 는 무 촉매 단결정 실리콘 나노 와이어 의 제조 방법 , 그 에 의해 형성 된 나노 와 이 어 및 이 를 포함 하 는 나노 소자 에 관한 것 이 다 .