구동 기구 ( 2 ) 로서 는 , 직교 좌표 형 시스템 이 사용 된다 . 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 구동 기구 ( 2 ) 는 , Z 축 ( 도 1 에 있 어서 의 축 ( A ) 과 평행 한 축 ) 과 수직 인 X 축 방향 으로 연장 되 는 고정 레일 ( 21 ) 과 , 한 쌍 의 고정 레일 ( 21 ) 위 를 각각 이동하 는 한 쌍 의 슬라이더 ( 22 ) 와 , 한 쌍 의 슬라이더 ( 22 ) 사이 에 Z 축 방향 및 X 축 방향 에 수직 인 Y 축 방향 에 걸쳐 지 는 한 쌍 의 가동 레일 ( 23 ) 과 , 한 쌍 의 가동 레일 ( 23 ) 위 를 이동 가능 한 제 1 이 동체 ( 24 ) 와 , 제 1 이 동체 ( 24 ) 에 접속 되 어 , 하우징 ( 14 ) 이 끼워 넣 어 지 는 개구 ( 25 a ) 를 갖 는 제 2 이 동체 ( 25 ) 를 갖 는다 . 제 2 이 동체 ( 25 ) 는 , 하우징 ( 14 ) 을 Z 축 과 평행 한 방향 으로 이동 가능 하 게 보유 지지 한다 . 당해 전기 검사 장치 는 , 구동 기구 ( 2 ) 가 전기 검사 헤드 ( 11 ) 를 3 차원 으로 위치 결정 가능 하 므로 , 원 하 는 측 정점 에 대하 여 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 용이 하 게 위치 정렬 할 수 있 다 .