도 11 에 도시 된 바 와 같이 , 고 에너지 보론 이온 주입 공정 을 통해 보 론 을 제 1 깊이 에 , 제 1 두께 로 , 제 1 보론 농도 로 주입 ( 230 ) 시켜 , 예비 고농 도 보론 층 ( 120 b ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 때 , 예비 고농 도 보론 층 ( 120 b ) 은 고농 도 보론 층 ( 120 ) 보다 상대 적 으로 보론 이 조밀 하 게 분포 될 수 있 다 . 다시 말 하 면 , 예비 고농 도 보론 층 ( 120 b ) 은 고농 도 보론 층 ( 120 ) 에 비하 여 상대 적 으로 좁 은 두께 를 가지 고 , 상대 적 으로 높 은 보론 농도 를 가질 수 있 다 .