가스 분배 판 ( 31 ) 에 는 미세 하 게 가공 된 수많 은 오리피스 ( 미 도시 ) 가 형성 되 어 있 다 . 따라서 증착 공정 시 서 셉 터 ( 50 ) 가 상승 하 여 가스 분배 판 ( 31 ) 과 대략 수십 밀리미터 ( mm ) 정도 로 근접 배치 되 면 , 이어서 증착 물질 이 수많 은 오리피스 를 통해 방출 되 어 유리 기판 ( G ) 의 상면 으로 증착 된다 .