또한 M 은 규소 , 게르마늄 , 티탄 , 또는 지르코늄 이 다 . 여기 서 , MX 4 로 표시 되 는 화합물 의 바람직 한 예 를 나타내 면 , 테트라 클로 로 실란 , 테트라 메 톡 시실 란 , 테트라 에 톡 시실 란 , 테트라 클로 로 게르만 , 테트라 메 톡 시 게르만 , 테트라 에 톡 시 게르만 , 티타늄 에 톡 시드 , 티타늄 프로 폭 시드 , 티타늄 이 소 프로 폭 시드 , 티타늄 부 톡 시드 , 티타늄 이 소부 톡 시드 , 지르코늄 에 톡 시드 , 지르코늄 프로 폭 시드 , 지르코늄 이 소 프로 폭 시드 , 지르코늄 부 톡 시드 , 지르코늄 이 소부 톡 시드 등 을 들 수 있 다 .