상기 Roll - to - Roll 유닛 은 플렉시블 기판 을 풀 어 주 고 , 상기 플렉시블 기판 의 일부 가 노출 되 도록 하 며 , 상기 플렉시블 기판 을 잡 아 준다 . 상기 스퍼터 건 유닛 은 서로 대향 되 는 1 쌍 의 스퍼터 건 을 구비 하 여 자기장 에 의해 플 라즈 마 를 형성 하 며 , 형성 된 상기 플 라즈 마 를 상기 1 쌍 의 스퍼터 건 사이 에 구속 하 여 타 겟 을 스퍼터링 한다 . 상기 가스 분사 유닛 은 상기 Roll - to - Roll 유닛 의 상기 플렉서블 기판 이 노출 되 는 부분 에서 상기 타 겟 에 의해 성막 이 이루어지 도록 상기 Roll - to - Roll 유닛 으로 가스 를 분사 한다 .