프로세서 ( 702 ) 는 마이크로프로세서 , 중앙 처리 장치 등 과 같 은 하나 이상 의 범용 프로세싱 디바이스 를 나타낸다 . 보다 구체 적 으로 , 프로세서 ( 702 ) 는 복합 명령어 세트 컴퓨팅 ( complex instruction set computing , CISC ) 마이크로프로세서 , 축소 명령어 세트 컴퓨팅 ( reduced instruction set computing , RISC ) 마이크로프로세서 , 매우 긴 명령어 워드 ( very long instruction word , VLIW ) 마이크로프로세서 , 다른 명령어 세트 들 을 구현 하 는 프로세서 , 또는 명령어 세트 들 의 조합 을 구현 하 는 프로세서 일 수 있 다 . 프로세서 ( 702 ) 는 또한 주문 형 집 적 회로 ( application specific integrated circuit , ASIC ) , 필드 프로그래머 블 게이트 어레이 ( Field Programmable Gate Array , FPGA ) , 디지털 신호 프로세서 ( Digital Signal Processor , DSP ) , 네트워크 프로세서 등 과 같 은 하나 이상 의 특수 목적 프로세싱 디바이스 들 일 수 있 다 . 본 개시 내용 의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 프로세서 ( 702 ) 는 광 산란 데이터 에 기초 하 여 퇴적 챔버 내부 에 존재 하 는 미립자 오염 물질 들 의 실시간 검출 의 방법 ( 600 ) 을 구현 하 는 명령어 들 을 실행 하 도록 구성 될 수 있 다 .