도 2 b 및 도 2 c 를 참조 하 면 , 패턴 영역 에 따른 그레인 상태 를 확인 할 수 있 다 . 특히 , " 패턴 영역 을 부분 적 으로 확대 한 영역 ""( a ) "" 및 ""( b ) "" 를 살펴보 면 "," 영역 ""( b ) "" 에서 의 그레인 사이즈 는 전체 적 으로 균일 한 반면 "," 영역 ""( a ) "" 에서 의 그레인 사이즈 는 영역 ""( b ) "" 에 비해서 균일 하 지 않 다 . 이 와 같 은 그레인 결정립 의 결정 성 차이 는 전도성 기판 이 유리 기판 보다 열전도도 가 10 배 이상 높 으며 ", 비열 이 낮 으며 두께 가 얇 기 때문 이 다 . ( 도 3 참조 ) 즉 , 전도성 기판 상 에 형성 된 비정질 실리콘 층 에 레이저 가 가장 먼저 조사 된 영역 에서부터 마지막 으로 레이저 가 조사 된 영역 사이 에서 발생 하 는 시간 차 에 따라 전술 한 전도성 기판 의 특성 에 의해 기판 의 영역 마다 온도 가 다르 게 분포 된다 . 이 에 따라 기판 의 각 영역 마다 그레인 의 형상 및 크기 가 다르 게 결정 화 되 는 문제점 을 갖 는다 .