본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , RF 전원 으로부터 공급 된 전력 을 상기 전원 전극 에 전력 을 분배 하 는 전력 분배 부 를 더 포함 할 수 있 다 . 상기 전력 분배 부 는 상기 제 2 가스 확산 공간 상 에 배치 되 고 외부 RF 전원 으로부터 전력 을 공급 받 아 분배 하 는 제 1 배선 ; 상기 제 2 가스 확산 공간 하부 에 배치 되 고 상기 제 1 배선 으로부터 전력 을 공급 받 아 재 분배 하 는 제 2 배선 ; 및 상기 제 2 가스 확산 공간 을 관통 하 여 상기 제 1 배선 과 제 2 배선 을 전기 적 으로 연결 하 는 콘 택 플러그 들 을 포함 할 수 있 다 .