본 발명 의 일 태양 에 따른 진공 챔버 에서 , 상기 복수 의 블록 체 중 적어도 2 개 의 블록 체의 각각 은 진공 챔버 의 평면 시 에서 , 상기 진공 챔버 의 내부 에 배치 되 는 상기 기판 의 4 개 의 모서리 부 에 대응 하 는 위치 에 설치 된 위치 결정 기구 를 가지 며 , 위치 결정 기구 는 상기 반송 방향 으로 평행 한 축선 둘레 로 회동 가능 한 제 1 롤러 와 , 상기 반송 방향 으로 직교 하 는 방향 으로 평행 한 축선 둘레 로 회동 가능 한 제 2 롤러 를 가지 며 , 상기 복수 의 기판 지지 핀 의 상기 지지 단 에 상기 기판 이 접촉 한 상태 에서 , 상기 제 1 롤러 와 상기 제 2 롤러 에 의해 상기 기판 의 모서리 부 의 위치 를 결정 해도 좋 다 .