특이점 검출 보정 장치 ( 220 ) 는 본 실시 형태 에 관한 웨이퍼 막 두께 의 특이점 검출 과 보정 알고리즘 의 프로그램 이 실행 된 정보 처리 장치 이 다 . 특이점 검출 보정 장치 ( 220 ) 는 , 입력 된 막 두께 의 측정 결과 , 및 측정 점 의 좌표 등 을 이용 하 여 , 후술 하 는 바 와 같이 웨이퍼 ( W ) 상 의 특이점 을 검출 함 과 더불 어 , 그 특이점 의 막 두께 의 측정 결과 를 보정 한다 .