도 3 a 를 참조 하 면 , 웨이퍼 ( 10 ) 하부 에 는 웨이퍼 스테이지 ( 20 ) 가 구비 되 고 상부 에 는 세정 노즐 ( 30 , 35 ) 및 노즐 이송 암 ( 50 ) 이 구비 된다 . 노즐 이송 암 ( 50 ) 은 웨이퍼 ( 10 ) 로 부 터 소정 거리 이격 되 어 구비 되 는 지지대 ( 60 ) 에 고정 된다 . 이때 , 세정 노즐 ( 30 , 35 ) 은 웨이퍼 ( 10 ) 의 중심부 를 향하 여 세정액 을 분사 하 도록 모양 이 설계 되 었 으며 , 결함 물질 들 이 발생 할 수 있 는 웨이퍼 ( 10 ) 의 외곽 부분 을 기준 으로 형성 된다 .