도 30 은 , 동작 제 어부 ( 75 ) 에 의해 산출 된 거리 만큼 , 이동 기구 ( 41 ) 가 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 오프셋 축 OS 를 따라 이동 시키 는 모습 을 도시 하 는 도면 이 다 . 도 30 에 도시 하 는 바 와 같이 , 이동 기구 ( 41 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 과 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 의 거리 D 가 , 편심 량 | Pv | 와 동등 해질 때 까지 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 오프셋 축 OS 를 따라 수평 으로 이동 시킨다 . 또한 , 도 31 에 도시 하 는 바 와 같이 , 센터 링 스테이지 회전 기구 ( 36 ) 는 , 동작 제 어부 ( 75 ) 에 의해 산출 된 각도 만큼 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 웨이퍼 W 와 함께 회전 시킨다 . 보다 구체 적 으로 는 , 센터 링 스테이지 회전 기구 ( 36 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 상 의 웨이퍼 W 의 중심 wf 가 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 를 통하 여 오프셋 축 OS 와 평행 으로 연장 되 는 직선 PS 상 에 위치 할 때 까지 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 회전 시킨다 .