본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 로드 락 챔버 ( 130 ) 에 공정 챔버 ( 120 ) 가 수용 할 수 있 는 기판 ( s ) 의 개수 와 동일 하 거나 그 배수 의 기판 ( s ) 을 수용 시키 는 점 에 특징 이 있 으며 , 추가 적 으로 이러 한 로드 락 챔버 ( 130 ) 를 복수 개 로 적층 하 여 구성 할 수 있 다는 점 에 특징 이 있 다 .