한편 , 플레이트 ( 240 ) 는 서포터 ( 220 ) 의 상기 접촉 부 와 접촉 한다 . 따라서 , 플레이트 ( 240 ) 가 상하 로 이동 할 경우 , 플레이트 ( 240 ) 와 접촉 하 는 복수 의 서포터 들 ( 220 ) 이 상하 로 이동 한다 . 따라서 , 서포터 들 ( 220 ) 이 상하 로 이동 할 경우 기판 들 ( W ) 이 척 ( 210 ) 으로부터 이격 되 거나 척 ( 210 ) 에 의하 여 지지 된다 .