구체 적 으로 는 , 스핀 모터 ( 13 ) 가 기판 ( W ) 을 회전 방향 으로 가속 시켜 , 약액 공급 공정 및 린스 액 공급 공정 에서 의 기판 ( W ) 의 회전 속도 보다 큰 고회 전 속도 ( 예 를 들 어 수천 rpm ) 로 기판 ( W ) 을 회전 시킨다 . 이것 에 의해 , 액체 가 기판 ( W ) 으로부터 제거 되 고 , 기판 ( W ) 이 건조 된다 . 기판 ( W ) 의 고속 회전 이 개시 되 고 나 서 소정 시간 이 경과 하 면 , 스핀 모터 ( 13 ) 가 회전 을 정지 한다 . 이것 에 의해 , 기판 ( W ) 의 회전 이 정지 된다 .