또한 , 표 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 휨 교정 재 1 내지 4 를 사용 한 경화물 은 , 반사 율 차 의 절댓값 이 10 ％ 이하 이 고 , 표면 과 계면 의 경화 가 잘 진행 되 고 있 다고 추정 된다 . 한편 , 휨 교정 재 5 를 사용 한 경화물 의 반사 율 차 의 절댓값 은 10 ％ 초과 가 되 어 있 지만 , 휨 교정 재 5 에 포함 되 는 수산기 함유 화합물 이 수산기 를 2 개 이상 가지 고 , 수산기 가 가 100 ( mgKOH / g ) 이상 인 화합물 이 기 때문 에 , 휨 교정 재 5 를 사용 한 의사 웨이퍼 의 휨 측정 평가 ( 실시 예 7 ) 는 , 휨 교정 재 1 내지 4 를 사용 한 경우 ( 실시 예 1 내지 6 ) 와 동일 한 효과 를 발휘 하 고 있 는 것 으로 추정 된다 .