도 5 의 ( c ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 에 는 , 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 가 연결 된다 . 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 중심 과 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 중심 을 연결 하 는 선 ( L 1 ) 은 , 그 연장선 상 에서 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 , 즉 복수 의 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 의 배열 방향 ( Y 방향 ) 에 평행 한 선 ( L 2 ) 에 대하 여 예각 으로 교차 한다 . 선 ( L 1 ) 과 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 L 2 가 이루 는 각도 는 , 예 를 들 면 , 40 °∼ 50 ° 로 설정 된다 . 이 선 ( L 1 ) 을 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 반대 측 으로 연장 한 선상 에 는 , 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 를 배면 측 에서 유지 보수 하 기 위한 유지 보수 스페이스 ( 24 c ) 가 마련 된다 . 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 는 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 직교 하 는 선 ( L 3 ) 에 대해서 좌우 대칭 으로 배치 된다 . 그리고 , 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 각각 의 중심 과 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 중심 을 연결 한 선 ( L 1 ) 에 의해 V 자형 형상 이 형성 되 고 , 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 는 선 ( L 1 ) 의 방향 으로 배치 된다 . 그리고 , 이 Ｖ 자 라인 을 따라 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 에 대한 기판 ( W ) 의 반송 ( 출납 ) 이 실행 된다 .