여기 에서 마이크 로 히터 ( 206 ) 의 양쪽 측면 에 부착 된 미세 전극 가지 ( 210 ) 들 은 마이크 로 히터 ( 206 ) 로 가스 감응 막 ( 213 ) ( 도 9 참조 ) 을 가열 할 때 마이크 로 히터 ( 206 ) 의 중심 부위 에서 발생 하 는 열 을 양쪽 측면 방향 으로 전도 시키 는 열 발 산기 ( heat spreader ) 로서 의 기능 을 수행 하 여 가스 감응 막 ( 213 ) 의 온도 를 균일 하 게 한다 .