수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 가공 실 ( 10 ) 과 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 를 측정 하 는 온도 측 정부 ( 15 ) 와 , 각 기구 를 제어 하 는 제 어부 ( 70 ) 를 포함 한다 . 수지 점착 기 ( 1 ) 의 가공 실 ( 10 ) 은 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 유지 하 는 유지 부 ( 20 ) 와 , 유지 부 ( 20 ) 와 대향 하 는 테이블 ( 30 ) 과 , 테이블 ( 30 ) 에 액상 수지 ( 301 ) 를 공급 하 는 수지 공급 부 ( 40 ) 와 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 상대 적 으로 접근 시켜서 웨이퍼 ( 200 ) 에 액상 수지 ( 301 ) 를 피복 하 는 이 동부 ( 50 ) 와 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 피복 된 액상 수지 ( 301 ) 를 경화 시키 는 경화 부 ( 60 ) 를 포함 한다 .