액체 원료 ( L ) 는 포화 증기압 이 낮 으므로 기화 온도 가 높 은 편 이 지만 열 안정 성 이 떨어지 는 화학 적 특성 을 가지 므로 충분히 기화 온도 를 높이 지 못할 경우 상기 혼합 물질 은 기화 챔버 ( 40 ) 또는 히터 ( 50 ) 에 불순물 로서 고착 된다 . 이러 한 고착 물 은 참조 부호 60 위치 는 물론 그 주변 에 퇴적 됨 으로써 기화 챔버 ( 40 ) 및 히터 ( 50 ) 를 오염 시키 며 열 전도 성 을 떨어뜨려 기화기 의 성능 을 저하 시키 며 , 충분히 기화 되 지 못한 액체 원료 ( L ) 가 박막 형성 챔버 에 공급 되 면 파티클 ( particle ) 을 형성 하 여 공정 불량 및 생산 수율 저하 의 요인 이 된다 .