도 3 에 따르 면 , 컨트롤 게이트 폴리 - 실리콘 층 ( 220 ) 과 전기 적 으로 연결 되 는 적어도 하나 의 컨 택 플러그 ( Contact Plug , 240 ) 이 형성 된다 . 컨 택 플러그 ( Contact Plug , 240 ) 는 컨트롤 게이트 폴리 - 실리콘 층 ( 220 ) 에 프로그램 및 읽 기 동작 에 필요 한 적당 한 전압 을 인가 하 기 위해 필요 하 다 . 컨 택 플러그 ( Contact Plug , 240 ) 는 플로팅 게이트 폴리 - 실리콘 층 ( FG Poly - Si layer , 210 a , 210 b , 210 c ) 사이 에 형성 된다 . 도 3 에 는 2 개 의 컨 택 플러그 ( Contact Plug , 240 ) 가 형성 되 어 있 으나 , 본 발명 의 권리 범위 는 이러 한 개수 에 제한 되 지 않 는다 . 다만 , 컨 택 플러그 ( Contact Plug , 240 ) 와 플로팅 게이트 폴리 - 실리콘 층 ( FG Poly - Si layer , 210 ) 은 서로 접촉 해서 는 안 되 므로 , 3 중 플로팅 게이트 폴리 - 실리콘 층 ( FG Poly - Si layer , 210 ) 사이 에 충분 한 공간 이 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .