S - D 이송 시퀀스 는 선 ( 先 ) 처리 및 / 또는 후 ( 後 ) 처리 를 위해 웨이퍼 를 하나 이상 의 서브시스템 에 이송 하 도록 확립 될 수 있 다 . 예컨대 , 웨이퍼 프로파일 데이터 , 웨이퍼 두께 데이터 , 웨이퍼 온도 데이터 , 광학 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 등 의 S - D 웨이퍼 데이터 가 선처리 및 / 또는 후처리 시 에 획득 될 수 있 다 . S - D 이송 시퀀스 는 에러 발생 시 에 웨이퍼 를 최단 시간 에 하나 이상 의 재 공정 서브시스템 으로 이송 하 도록 확립 될 수 있 다 .