본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 는 베이스 바디 ( 12 ) 의 상부 면 ( 12 a ) 의 외측 모서리 부분 ( 12 b ) 에 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 설치 되 어 있 지 않 고 , 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 직경 ( φ 2 ) 이 종래 보다 현저히 더 작 기 때문 에 , 기판 ( 17 ) 과 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 사이 의 접촉 면적 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 으며 , 이 에 따라 외측 모서리 부분 을 포함 한 기판 ( 17 ) 의 전체 대향 면 에 부착 되 는 파티클 ( 20 ) 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 다 .