( a 1 ) 라디칼 중합 성기 로서 는 , 예 를 들 면 비닐기 , α - 메틸 비닐기 , 알릴기 , 스티 릴 기 , ( 메타 ) 아크릴 로 일기 등 을 들 수 있 다 . 이 들 을 2 종 이상 가져도 좋 다 . 이 들 중 에서 도 , 스티 릴 기 가 바람직 하 고 , 경화 막 의 경도 나 내약품성 , MAM ( 몰리브덴 / 알루미늄 / 몰리브덴 의 적층 막 ) 기판 과 의 밀착 성 을 보다 향상 시킬 수 있 다 . ( A ) 폴리 실록 산은 ( a 1 ) 라디칼 중합 성기 로서 스티 릴 기 를 갖 는 반복 단위 를 , 전체 반복 중 20 ∼ 85 몰 % 함유 하 는 것 이 바람직 하 다 . 스티 릴 기 를 갖 는 반복 단위 를 20 몰 % 이상 함유 함 으로써 , 경화 막 의 경도 나 내약품성 , MAM 기판 과 의 밀착 성 을 보다 향상 시킬 수 있 다 . 스티 릴 기 를 갖 는 반복 단위 를 40 몰 % 이상 함유 하 는 것 이 더욱 바람직 하 다 . 한편 , 스티 릴 기 를 갖 는 반복 단위 를 85 몰 % 이하 함유 함 으로써 , 해상도 를 보다 향상 시킬 수 있 다 . 스티 릴 기 를 갖 는 반복 단위 를 70 몰 % 이하 함유 하 는 것 이 더욱 바람직 하 다 . 스티 릴 기 를 갖 는 오르 가 노실 란 단위 의 함유 비율 은 29 Si - NMR 측정 을 행하 여 , 오르 가노 실란 에 유래 하 는 Si 전체 의 적분 값 에 대한 , 스티 릴 기 를 갖 는 오르 가 노실 란 단위 에 유래 하 는 Si 의 적분 값 의 비율 을 산출 함 으로써 구할 수 있 다 .