기판 처리 시스템 ( 2000 ) 의 바로 앞 에 는 IO 스테이지 ( 로드 포트 ) ( 2100 ) 가 설치 된다 . IO 스테이지 ( 2100 ) 상 에 는 후프 ( FOUP : Front Open Unified Pod ) 라고 불리 는 격납 용기 ( 이하 , 단순히 「 포드 」 라고 부른다 . ) ( 2001 ) 가 복수 탑재 된다 . 포드 ( 2001 ) 는 웨이퍼 ( 200 ) 를 반송 하 는 캐리어 로서 이용 되 고 , 그 내부 에 미처리 웨이퍼 ( 200 ) 또는 처리 완료 된 웨이퍼 ( 200 ) 가 각각 수평 자세 로 복수 매 격납 되 도록 구성 된다 .