따라서 , 본 발명 은 상기 한 바 와 같 은 종래 기술 의 문제점 을 해결 하 기 위하 여 창출 된 것 으로 , 본 발명 의 목적 은 저온 및 고온 잠 열재 ( PCM ; Phase Change Material ) 를 별도 의 에너지 공급원 으로 구성 하 여 축 냉 , 축 열 에너지 를 저장 및 변환 하 여 반도체 제조 공정 에 이용 함 으로써 에너지 이용 효율 을 극대 화 할 수 있 는 반도체 제조 공정 용 온도 조절 시스템 을 제공 하 는 것 이 다 .