발명 의 바람직 한 실시 예 는 , 층 ( 14 ) 을 위한 열가소성 폴리머 용액 재료 의 가교 - 결합 가능 한 복사 를 이용 하 는 것 이 고 , 스핀 - 코팅 가능 한 것 이 바람직 하 다 . 또한 이러 한 폴리머 용액 들 은 화학 증폭 형 포토 ( photo chemically amplified ) 일 수 있 다 . 이러 한 재료 의 예 는 , 자외선 가교 - 결합 가능 한 , 마이크 로 리지 스 트 테크놀로지 사 ( Micro Resist Technology ) 의 mr - L 6000 . 1 XP 이 다 . 재료 들 을 가 교 - 결합 가능 하 게 하 는 이런 복사 의 다른 예 는 , 시플리 ( Shipley ) ma - N 1400 , SC 100 및 마이크 로 켐 ( MicroChem ) SU - 8 과 같 은 , 네 가티 브 포토레지스트 ( negative photoresist ) 재료 이 다 . 스핀 - 코팅 가능 한 재료 는 , 전체 기판 에 완전 하 고 정확 한 코팅 을 가능 하 게 하 기 때문 에 유리 하 다 .