즉 , 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 의 하 면 복수 의 위치 에 배치 된 각각 의 에어 베어링 ( 120 ) 에 대한 높이 를 조정 하 면 그 에 대응 하 여 상부 회동 플레이트 ( 210 ) 가 Z 축 방향 으로 움직임 이 가능 하 기 때문 에 상부 회동 플레이트 ( 210 ) 의 상부 에 위치 하 는 절연 플레이트 ( 230 ) 와 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 이 상하 방향 으로 움직이 다가 결국 현재 에 어 베어링 ( 120 ) 의 위치 에 대응 하 여 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 의 수평 도 가 조정 될 수 있 게 된다 .