이러 한 문제 를 해결 하 기 위하 여 많 은 연구 들 이 진행 되 었 으며 , 산소 플 라즈 마 를 이용 한 산화 , 고압 산소 를 이용 한 산화 , 높 은 유전 상수 ( high - k ) 를 갖 는 산화 막 을 증착 하 는 등 의 연구 들 이 진행 되 었 으나 , 실제 소자 제작 에 활용 되 기 에 는 소자 의 성능 이나 경제 적 인 측면 등 다양 한 이유 로 부족 한 점 이 존재 한다 .