한편 , 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 내부 에 는 로드 포트 ( 114 ) 에 지지 된 FOUP 도어 ( 22 ) 를 개폐 하 기 위한 도어 오프너 ( 120 ) 와 , 상기 도어 오프너 ( 120 ) 의 상측 에 구비 되 어 FOUP ( 20 ) 내부 에 적재 된 반도체 기판 ( 10 ) 들 을 감지 하 기 위한 맵 핑 부 ( 130 ) 가 구비 되 어 있 다 .