본원 명세서 에 개시 되 는 기술 의 제 3 양태 는 , 제 1 양태 또는 제 2 양태 에 관련 하 여 , 상기 측 정조 는 , 상기 제 2 경로 로부터 상기 처리 액 이 유입 되 는 제 1 영역 과 , 상기 제 1 영역 의 상부 로부터 넘쳐 나온 상기 처리 액 이 유입 되 는 제 2 영역 을 구비 하 고 , 상기 압력 측 정부 는 , 상기 제 2 영역 의 상부 로부터 상기 처리 액 이 넘쳐 나오 고 있 는 상태 에서 , 상기 제 2 영역 에 있 어서 상기 처리 액 의 압력 을 측정 한다 .