주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 는 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 으로 이동 하 면 , 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 내 의 기판 ( Ｗ ) 을 반출 함 과 아울러 , 지지 하 고 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 에 반입 한다 . 냉각 유닛 ( ＣＰ １ ) 은 반입 된 기판 ( Ｗ ) 을 냉각 한다 ( 스텝 Ｓ ５ ａ - 냉각 처리 ( Ｔ ４ ｕ ) ) .