세라믹 막 ( 121 ) 은 하우징 ( 124 ) 에 연결 되 어 있 으며 , 하우징 ( 124 ) 에 는 수직 구동 부 ( 122 ) 와 수평 구동 부 ( 123 ) 가 구비 되 어 축 분 흡착기 ( 120 ) 의 수직 및 수평 이동 을 가능 하 게 한다 . 도면 에서 , 수직 구동 부 ( 122 ) 는 모터 이 고 체인 으로 하우징 ( 124 ) 에 연결 되 어 있 으며 , 수평 구동 부 ( 123 ) 는 실린더 이나 , 이 는 예시 일 뿐 이 며 , 수직 및 수평 이동 이 가능 한 어떠 한 부재 도 사용 가능 하 다 .