이때 , 열 적 불 균형 은 실질 적 으로 보상 히팅 작용 에 의해서 이루어지 므로 , 이러 한 열 적 불 균형 을 보상 하 게 비 노광 광 집중 영역 ( 503 ) 들 에 집중 적 으로 투사 되 는 광량 을 조절 할 수 있 다 . 예컨대 , 제 2 투 광부 ( 도 4 의 213 ) 의 위치 나 크기 또는 각도 ( angle ) 등 을 조절 하 여 , 제 2 투 광부 ( 213 ) 를 투과 하 여 투영 렌즈 부 ( 500 ) 에 입사 되 는 변형 비 노광 광 의 광량 을 조절 할 수 있 다 . 또한 , 비 노광 광원 ( 도 3 의 103 ) 의 광 발생 파워 , 예컨대 , 반도체 레이저 광원 의 파워 를 조절 함 으로써 , 투영 렌즈 부 ( 500 ) 의 열 적 불 균형 이 보상 되 어 열 적 평형 이 유지 되 도록 조절 할 수 있 다 .