또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 는 기체 ( 204 ) 의 유량 을 제 어함 과 아울러 , 개구 ( 202 ) 의 단부 와 내뿜 기 부 ( 203 ) 와 의 사이 의 거리 ( 207 ) 를 제어 하 는 경우 에 대해서 설명 했 지만 , 이것 에 한정 되 는 것 이 아니 다 . 예 를 들 면 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 내뿜 는 기체 ( 204 ) 의 유량 은 변화 시키 지 않 고 , 개구 ( 202 ) 의 단부 와 내뿜 기 부 ( 203 ) 와 의 사이 의 거리 ( 207 ) 만 을 변화 시켜 도 좋 다 ( 즉 , 제 1 이 동부 ( 140 ) 에 의해 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 이동 시켜 도 좋 다 ) .