도시 된 바 와 같이 , 종래 의 폴리 실리콘 결정 화 방법 을 위한 제조 장치 는 , 프로세스 챔버 ( 20 ) 와 , 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 하부 에 비정질 실리콘 막 이 증착 된 기판 ( 21 ) 이 배치 되 는 X - Y 스테이지 ( 23 ) 와 , 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 상부 에 레이저 빔 을 투과 시키 기 위한 어 닐 윈도우 ( Anneal Window ) ( 25 ) 와 , 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 외부 의 상부 에 레이저 빔 ( 27 ) 을 조사 하 기 위한 레이저 장치 ( 29 ) 가 형성 되 어 있 다 .