도 8 로 되돌아가 서 , 가스 공급 부 ( 142 ) 는 상기 가스 이 송부 ( 141 ) 로 가스 를 공급 할 수 있 다 . 가스 공급 부 ( 142 ) 는 가스 를 저장 하 고 있 다가 , 기판 ( S ) 으로 가스 의 분사 가 필요 한 경우 가스 이 송부 ( 141 ) 를 가스 를 공급 할 수 있 다 . 가스 공급 부 ( 142 ) 는 가스 를 저장 하 는 저장 탱크 ( 미 도시 ) 와 , 저장 탱크 에 저장 된 가스 의 배출 을 제어 하 는 밸브 ( 미 도시 ) 를 포함 할 수 있 다 .