도 1 을 다시 참조 하 면 , 동작 110 에서 , 산화제 는 다음 의 가스 들 중 하나 이상 일 수 도 있 다 . 아미노 실란 과 산화제 간 의 반응 은 플 라즈 마가 반응 을 구동 할 필요 가 없 도록 열 적 반응 이 다 . 따라서 , 산소 및 아산화질소 는 , 아미노 실란 및 산소 또는 아산화질소 를 사용 하 여 실리콘 옥사이드 를 형성 하 기 위한 반응 들 이 플 라즈 마 를 점 화 하 는 것 을 수반 하 기 때문 에 , 개시 된 실시 예 들 에서 산화제 들 로서 사용 되 지 않 는다 . 일부 실시 예 들 에서 , 산화제 는 약 1000 sccm 내지 약 5000 sccm 의 플로우 레이트 로 기판 을 하우징 하 는 챔버 내 로 흐른다 .