도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 일반 적 으로 로드 락 챔버 는 풋 프린트 ( Footprint ) 문제 와 이송 로봇 의 픽 앤 플레이스 ( Pick and place ) 문제 로 인해 사다리꼴 형상 을 가지 게 된다 . 또한 , 펌핑 작업 을 위한 펌핑 라인 과 벤 팅 작업 을 위한 벤 팅 라인 이 챔버 의 측면 의 소정 부위 에 연결 되 어 있 다 .