투영 광학 소자 ( 20 ) 는 레티 클 면 ( 17 ) 의 오브젝트 필드 ( 19 ) 를 이미지 면 ( 22 ) 의 이미지 필드 ( 21 ) 내 로 이미 징 한다 . 이러 한 이미지 면 ( 22 ) 에 , 투영 노광 장치 ( 1 ) 에 의한 투영 노광 동안 에 광 에 노출 되 는 감광층 을 반송 하 는 웨이퍼 ( 23 ) 가 배열 된다 . 투영 노광 동안 에 , 레티 클 ( 18 ) 과 더불 어 웨이퍼 ( 23 ) 의 양쪽 은 동기 방식 으로 y - 방향 으로 스캔 된다 . 투영 노광 장치 ( 1 ) 는 스캐너 이 다 . 스캐닝 방향 은 이하 오브젝트 변위 방향 으로서 도 칭해진다 .