여기 서 , 상기 제 1 증착 물질 , 제 2 증착 물질 및 제 3 증착 물질 은 동시 에 증착 되 는 것 이 아니 라 , 각각 의 개구 영역 을 통해 순차 적 으로 증착 될 수 있 도록 상기 제 1 개 구 영역 ( 210 ) 과 제 2 개 구 영역 ( 22 ) 을 선택 적 으로 차단 하 기 위해 각각 의 분사 노즐 상부 에 는 셔터 ( 150 ) ( 160 ) 가 설치 된다 .