본 개시 내용 의 실시 예 들 에서 , 제 1 및 제 2 차동 출력 신호 의 역 평행 결합 은 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 ) 의 제 1 출력 탭 ( 18 ) 과 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 20 ) 의 제 2 출력 탭 ( 29 ) 을 접속 하 는 것 을 포함 하 고 , 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 ) 의 제 2 출력 탭 ( 19 ) 과 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 20 ) 의 제 1 출력 탭 ( 28 ) 을 접속 하 는 것 을 포함 한다 . 달리 말 하 면 , 역 평행 한 제 1 및 제 2 차동 출력 신호 를 결합 하 는 것 은 본 명세서 에서 , 제 1 및 제 2 MEMS 센서 디바이스 들 의 출력 탭 들 을 교차 접속 ( cross - connecting ) 하 는 것 에 대응 하 는 역 평행 접속 ( 15 , 17 ) 이 라고 지칭 된다 . 그러 한 교차 접속 또는 역 평행 접속 은 도 2 및 도 3 에서 참조 부호 들 15 , 17 에 의해 개략 적 으로 도시 된다 . 역 평행 접속 ( 15 , 17 ) 은 MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) 의 MEMS 센서 디바이스 들 ( 10 , 20 ) 각각 의 신호 를 판독 하 기 위한 판독 회로 ( 15 , 17 , 40 ) 를 프로그램 가능 이득 증폭기 ( 40 ) 와 함께 형성 한다 .