즉 , 상기 기판 ( 600 ) 이 상기 캐 비티 블럭 ( 200 a , 200 b ) 의 상면 에 안착 될 때 , 진 공기 에서 공기 를 흡입 하 게 되 는데 , 하부 하우징 ( 400 ) 과 캐 비티 블럭 ( 200 a , 200 b ) 의 내부 를 통해 상기 진공 홀 ( 210 ) 로 공기 가 유입 되 는 것 이 다 . 따라서 , 상기 진공 홀 ( 210 ) 을 통해서 상기 기판 ( 600 ) 의 하면 이 상기 캐 비티 블럭 ( 200 a , 200 b ) 의 상면 에 진공 흡착 되 는 것 이 다 . 이 과정 은 기판 ( 600 ) 이 상기 캐 비티 블럭 ( 200 a , 200 b ) 의 상면 에 안정 적 으로 안착 되 어 상기 기판 ( 600 ) 이 휘어지 는 것 을 방지 하 게 되 는 것 이 다 .