본 발명 은 진공 레저 버 ( vacuum reservoir ) 를 사용 함 으로써 2 차 펌프 를 사용 하 지 않 고 도 터보 펌프 를 작동 시킬 수 있 고 , 따라서 로터리 펌프 등 의 2 차 펌프 사용 으로 인하 여 발생 할 수 있 는 오일 에 의한 챔버 오염 , 기계 적 전기 적 소음 을 방지 하 며 , 이러 한 진공 리시버 를 고진공 뿐 만 아니 라 저 진공 에서 도 사용 할 수 있 는 백업 챔버 를 갖 는 초고진공 배기 시스템 을 제공 하 기 위한 것 으로 , 초고진공 배기 시스템 에 있 어서 , 터보펌프 ( 10 ) 와 ; 상기 터보펌프 ( 10 ) 의 배출구 측 에 연결 되 어 터보펌프 ( 10 ) 를 그 의 임계 압력 이하 로 압력 을 장시간 펌핑 없이 유지 토록 하 는 진공 레저 버 ( 20 ) 와 ; 상기 진공 리시버 ( 20 ) 에 연결 되 어 진공 레저 버 ( 20 ) 내 의 압력 이 설정 값 이하 로 내려가 면 작동 하 는 보조 펌프 ( 50 ) 를 포함 하 여 구성 된 것 을 특징 으로 하 여 , 2 차 배기펌프 를 사용 할 때 나타날 수 있 는 오일 역류 에 의한 진공 챔버 의 오염 및 기계 적 · 전기 적 소음 등 을 제거 하 며 동시 에 매우 안정 적 이 고 경제 적 인 이점 을 제공 한다 .