LED ( 101 ) 는 , 반송 기구 ( 500 ) 에 의해 반송 되 고 있 는 기판 ( 800 ) 상 의 패턴 ( 801 ) 으로 의 광 을 발생 시키 기 위한 것 이 다 . LED ( 101 ) 의 파장 스펙트럼 ( SD ) ( 도 7 ) 은 , 실질 적 으로 , 파장 ( LI ) 의 단파장 만 을 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 바꾸 어 말 하 면 , LED ( 101 ) 는 단파장 LED 인 것 이 바람직 하 다 . 파장 ( LI ) 은 , 예 를 들 면 , 365 nm ( i 선 ) 이 다 . 또한 , 감광성 수지 막 의 종류 및 추가 노광 의 목적 에 따라 , g 선 또는 h 선 등 의 다른 파장 이 이용 되 어도 된다 .