제 2 챔버 ( 310 ) 내 에 는 플 라즈 마 발생 용 RF 전원 ( 312 ) 이 접속 되 는 안테나 코일 ( 314 ) 이 배치 된다 . 안테나 코일 ( 314 ) 에 RF 전원 이 인가 되 는 경우 , 안테나 코일 ( 314 ) 을 통해 흐르 는 전류 에 의해 자기장 이 형성 되 며 , 이 자기장 의 시간 에 따른 변화 에 따라 제 1 챔버 ( 300 ) 의 내부 에 전기장 이 유도 된다 .