또한 , 상기 클리너 스테이지 ( 60 ) 는 상기 클린 대상 패널 ( P ) 이 상면 에 올려 지 는 복수 개 의 스테이 지부 ( 61 ) ; 상기 복수 개 의 스테이 지부 ( 61 ) 를 제 1 , 2 클린 장치 ( 10 , 30 ) 의 통과 부 ( 13 ) 내 에서 좌 , 우로 각각 개별 적 으로 이송 시킬 수 있 도록 설치 되 는 이송 로봇 부 ( 62 ) ; 로 이루어지 는 것 을 특징 으로 한다 .