도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 증착 장치 ( 1 ) 는 복수 의 챔버 들 을 포함 한다 . 챔버 들 은 로딩 챔버 ( 10 ) , 크리 닝 챔버 ( 30 ) , 공정 챔버 들 ( 40 ) , 그리고 언로 딩 챔버 ( 20 ) 를 포함 하 고 , 각각 의 공정 챔버 ( 40 ) 는 마스크 부착 챔버 ( 42 ) , 증착 챔버 ( 44 ) , 그리고 마스크 제거 챔버 ( 46 ) 를 가진다 . 각각 의 공정 챔버 ( 40 ) 에서 증착 챔버 ( 44 ) 는 하나 또는 복수 개 가 제공 될 수 있 다 . 마스크 부착 챔버 ( 42 ) 또는 마스크 제거 챔버 ( 44 ) 에 는 각각 마스크 들 이 저장 되 는 마스크 챔버 ( 미 도시 ) 가 제공 될 수 있 다 . 또한 , 상술 한 로딩 챔버 ( 10 ) , 크리 닝 챔버 ( 30 ) , 공정 챔버 ( 40 ) , 언로 딩 챔버 ( 20 ) 외 에 다른 종류 의 챔버 들 이 더 제공 될 수 있 다 .