도 7 을 참조 하 건데 , 본 실시 형태 에서 는 상기 웨이퍼 ( W ) 의 상면 이 상하 이동 가능 한 클램프 링 ( 23 E ) 에 의해 유지 되 어 있 고 , 상기 클램프 링 ( 23 E ) 은 , 도시 한 하강 위치 에서 상기 웨이퍼 ( W ) 에 걸 어 맞춰 지 고 , 한편 도시 를 생략 하 는 상승 위치 에서 상기 웨이퍼 ( W ) 를 해방 한다 .