포드 ( 100 ) 가 포드 오프너 ( 108 ) 에 의하 여 개방 되 면 , 제 2 반 송실 ( 121 ) 에 설치 된 제 2 웨이퍼 이재기 ( 124 ) 는 , 포드 ( 100 ) 로부터 웨이퍼 ( 200 ) 를 픽업 하 여 예 비실 ( 122 ) 에 반입 하 고 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 기판 재 치대 ( 140 ) 에 이재 한다 . 이 이재 작업 중 에 는 , 예 비실 ( 122 ) 의 제 1 예 비실 ( 103 ) 측 의 게이트 밸브 ( 130 ) 는 닫혀져 있 고 , 제 1 반 송실 ( 103 ) 내 의 부압 은 유지 되 어 있 다 . 포드 ( 100 ) 에 수납 된 소정 매수 , 예 를 들 면 25 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 기판 재 치대 ( 140 ) 로 의 이재 가 완료 하 면 , 게이트 밸브 ( 128 ) 가 닫혀 지 고 , 예 비실 ( 122 ) 내 가 배기 장치 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의하 여 부압 으로 배기 된다 .