후술 하 는 얼라이먼트 동작 시 등 에 는 , Y 스케일 ( 39 Y 2 , 39 Y 1 ) 에 Y 헤드 ( 67 p , 68 q ; p , q = 1 ∼ 4 ) 중 적어도 각 1 개 가 각각 대향 한다 . 이 Y 헤드 ( 67 p , 68 q ) ( 즉 , 이 들 Y 헤드 ( 67 p , 68 q ) 에 의해 구성 되 는 Y 인코더 ( 70 E , 70 F ) ) 에 의해 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Y 위치 ( 및 θ z 회전 ) 가 계측 된다 .