또한 , 표면 구조 체 는 적어도 하나 의 트렌치 또는 규칙 적 배열 의 함몰 부 를 포함 할 수 있 다 . 트렌치 또는 규칙 적 배열 의 함몰 부 는 반도체 층 시퀀스 의 층 들 의 연장 방향 에 대해 평행 한 연장 방향 을 가질 수 있 고 , 간섭 성 제 1 전자기 복사 의 방출 방향 과 0 ° 이상 90 ° 이하 일 수 있 는 각 을 이룰 수 있 다 .