이어서 상기 산화 막 이 원 하 는 두께 로 형성 되 었 는지 의 여부 를 판단 한다 ( S 3 ) . 만일 상기 산화 막 이 원 하 는 두께 보다 얇 게 형성 되 었 다면 상기 산화 막 을 형성 하 는 단계 ( S 2 ) 를 다시 반복 하 고 , 만일 상기 산화 막 이 원 하 는 두께 이상 으로 형성 되 었 다면 추가 적 인 산화 막 형성 을 중단 할 수 있 다 .