본 발명 의 포지티브 형 레지스 트 조성물 에 함유 되 는 ( 메트 ) 아크릴 계 중합체 는 산분 해성 기능 을 갖 는다 . 이 경우 , 상기 선택 노광 에 의해서 광산 발생 제 로부터 산 이 생성 되 고 , 이 산 에 의해서 ( 메트 ) 아크릴 계 중합체 중 의 식 ( I ) 의 화합물 에 기초 하 는 구조 단위 중 고리 형 부분 이 신속 하 게 탈리 되 어 , 가용화 에 기여 하 는 카르복실기 나 수산기 가 생성 된다 . 그 때문 에 , 알칼리 현상액 을 사용 하 여 현상 처리 를 실시 함 으로써 소정 의 패턴 을 양호 한 정밀도 로 형성 할 수 있 다 .