도 37 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 수지 탑재 장치 ( 7022 ) 는 , 챔버 ( 7201 ) 와 , 디 스펜서 ( 7052 ) 와 , 진공 펌프 ( 진 공원 ) ( 7202 ) 를 구비 한다 . 디 스펜서 ( 7052 ) 는 , 본 체부 ( 7520 ) 와 , 디 스펜서 구동 부 ( 7521 ) 와 , 노즐 ( 7522 ) 과 , 토출 제 어부 ( 7523 ) 를 구비 한다 . 본 체부 ( 7520 ) 는 , Z 축 방향 과 Z 축 방향 에 직교 하 는 방향 의 양쪽 으로 이동 가능 하 다 . 챔버 ( 7201 ) 의 일부 에 는 , 배기구 ( 7201 a ) 가 마련 되 어 있 다 . 챔버 ( 7201 ) 는 , 예 를 들 면 금속 으로 형성 되 어 있 다 . 여기 서 , 몰드 ( MB ) 를 지지 하 는 헤드 ( 7203 ) 는 , 헤드 구동 부 ( 미 도시 ) 에 의해 , 수지 탑재 장치 ( 7022 ) 와 후술 하 는 수지 성형 장치 사이 에서 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 몰드 ( MB ) 는 , 평면 에서 볼 때 기판 ( WT ) 과 동일 정도 의 크기 를 구비 한다 .