도 6 a 에서 , 기판 ( 301 ) 은 실리콘 막 또는 불순물 이 도핑 된 실리콘 막 이 고 , 게이트 전극 ( 303 ) 은 폴리 실리콘 막 , 폴리 실리콘 막 과 금속 막 의 적층 으로 된 폴리 메탈 ( Poly - metal ) 구조 , 폴리 실리콘 막 과 실리사이드 의 적층 으로 된 폴리 실리사이드 ( Poly - silicide ) 구조 또는 금속 막 일 수 있 다 .