클린 유 니트 ( 134 ) 에서 뿜어낸 클린 에어 ( 133 ) 는 , 노치 맞춤 장치 및 웨이퍼 이재 장치 ( 125 a ) , 대기 부 ( 126 ) 에 있 는 보트 ( 217 ) 에 유통 된 후 에 , 도시 하 지 않 은 덕트 ( duct ) 에 의하 여 흡입 되 어 , 광체 ( 111 ) 의 외부 에 배기 가 이루어지 거나 , 또는 클린 유 니트 ( 134 ) 의 흡입 측 인 1 차 측 ( 공급 측 ) 까지 순환 되 고 , 다시 클린 유 니트 ( 134 ) 에 의하 여 , 이재실 ( 124 ) 내 로 뿜어내 도록 구성 되 어 있 다 .