접지 장치 ( 180 ) 및 전원 ( 185 ) 은 챔버 ( 115 ) 외부 에 설치 된다 . 기판 ( 140 ) 은 제 2 플레이트 ( 175 ) 의 제 1 플레이트 ( 170 ) 대향 면 상 에 놓이 며 , 제 2 플레이트 ( 175 ) 에 는 기판 ( 140 ) 을 안착 시키 기 위한 리 세스 ( R ) 가 형성 되 어 있 다 . 제 1 플레이트 ( 170 ) 는 접지 장치 ( 180 ) 에 의해 접 지 상태 가 되 고 , 전원 ( 185 ) 은 제 2 플레이트 ( 175 ) 에 일정 한 교류 및 직류 전압 을 인가 하 여 , 기판 ( 140 ) 의 아래 에서 전기장 을 인가 하 게 된다 .