다음 으로 , 본 실시 예 에 따른 연마 장치 에 의해 수행 된 연마 작업 의 양호 한 예 가 도 9 를 참조 하 여 설명 될 것 이 다 . 도 9 는 다중 연마 헤드 ( 30 ) 가 회전식 보유 기구 ( 3 ) 에 의해 보유 된 웨이퍼 ( W ) 를 동시 에 연마 하 는 데 사용 되 는 경우 의 연마 작업 의 순서 를 도시 한 도면 이 다 . 도 9 에서 , 기호 T 1 , T 2 , T 3 및 T 4 는 시간 을 나타낸다 .