[ 0005 ] 상기 내용 을 고려 하 여 , 기판 의 진공 프로세싱 을 위한 장치 , 기판 의 진공 프로세싱 을 위한 시스템 , 및 진공 챔버 에서 의 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 의 운송 을 위한 방법 이 제공 된다 . 본 개시 내용 의 추가 적 인 양상 들 , 이 점 들 , 및 특징 들 은 청구 항 들 , 상세 한 설명 , 및 첨부 한 도면 들 로부터 자명 하 다 .