먼저 , 카세트 ( 210 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( 220 ) 는 6 축 로봇 ( 270 ) 에 의해 매크로 검사 부 ( 250 ) 로 파지 되 어 카세트 ( 210 ) 로부터 언 로딩 ( unloading ) 된다 . 이때 , 웨이퍼 ( 220 ) 는 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 의 제 1 공기 흡입구 ( 277 a ) 에 의해 진공 흡착 됨 으로써 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 와 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 의 상단 에 단단 하 게 파지 된다 .