본 발명 은 레이저 스캔 을 이용 한 반도체 소자 불량 검색 방법 및 장치 에 관한 것 으로 , 반도체 소자 의 불량 을 검사 하 는 대상 인 시료 에 접속 되 어 소자 의 불량 상태 를 LSI 테스터 에서 초기 상태 를 판단 하 고 , 상기 시료 의 국부 위치 에 레이 저광 주사기 를 이용 하 여 레이저 를 주사 하 면서 최종 상태 를 판단 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 만약 , 초기 상태 가 불량 ( 또는 양호 ) 로 판정 되 고 최종 상태 가 양호 ( 또는 불량 ) 으로 판정 된다면 해당 위치 에서 결함 이 발생 한 것 으로 판단 할 수 있 다 .