처리 용기 내 에 Ru 함유 전구체 를 공급 하 는 방법 으로서 는 , 예 를 들 어 Ru 함유 전구체 를 연속 해서 처리 용기 내 에 공급 하 는 방법 을 이용 할 수 있 다 . 바꾸 어 말 하 면 , Ru 함유 전구체 를 저류 탱크 에 저류 하 지 않 고 처리 용기 내 에 공급 하 는 방법 을 이용 할 수 있 다 . 이렇게 Ru 함유 전구체 를 저류 탱크 에 저류 하 지 않 고 처리 용기 내 에 공급 하 는 경우 , 연속 해서 Ru 막 을 성막 할 수 있 으므로 성막 레이트 가 향상 된다 .