이어서 , 도출 된 임계 치수 데이터 의 상관 관계 정보 를 저장 하 고 , 이 를 데이터베이스 화 한다 ( 단계 314 ) . 여기 에서 , 상관 관계 정보 는 현상 후 임계 치수 , 공정 후 임계 치수 , 패턴 프로파일 의 사이드 월 앵글 , 바텀 CD 등 에 대응 하 는 포토레지스트 패턴 을 형성 하 기 위한 포토 리소그래피 공정 의 포커스 및 노광량 에 대한 데이터 를 의미 한다 .