[ 0055 ] 액체 전구체 ( 예컨대 , 테트라 실란 ) 가 사용 되 는 경우 들 에서 , 열 프로세싱 챔버 ( 400 ) 는 액체 전구체 소스 ( 482 ) 와 유체 연통 하 는 액체 기화기 ( 480 ) 를 포함 할 수 있 다 . 액체 기화기 ( 480 ) 는 열 프로세싱 챔버 ( 400 ) 에 전달 될 액체 전구체 들 을 기화 시키 기 위해 사용 된다 . 도시 되 어 있 지 않 지만 , 액체 전구체 소스 ( 482 ) 가 , 예컨대 , 전 구체 액체 및 용제 액체 의 하나 이상 의 앰풀 들 , 차단 밸브 , 및 액체 유량계 ( LFM ) 를 포함 할 수 있 다는 것 이 고려 된다 .