[ 0028 ] 일 실시 예 에서 , 내측 코일 ( 131 ) 및 외측 코일 ( 129 ) 은 프로세스 동안 전체 기판 표면 에 걸쳐 균일 한 플 라즈 마 이온 밀도 를 유지 하 도록 코일 체적 ( 135 ) 에 배치 된다 . 일 실시 예 에서 , 내측 코일 ( 131 ) 은 대략 5 inch 의 직경 을 가지 며 외측 코일 ( 129 ) 은 대략 15 inch 의 직경 을 갖 는다 . 코일 안테나 들 의 상이 한 설계 들 에 대한 상세 한 설명 은 본 발명 에 참조 로서 통합 되 는 , " 발명 의 명칭 이 "" 대칭 평행 컨 덕 터 코일 안테나 를 갖 는 플 라즈 마 리액터 ( Plasma Reactor Having a Symmetric Parallel Conductor Coil Antenna ) "" 인 ", 미국 특허 번호 6 , 685 , 798 호 에서 발견 될 수 있 다 .