이중 바닥 시스템 은 클린 룸 내 의 기초 바닥 과 , 기초 바닥 으로부터 일정 높이 로 설치 되 며 다수 의 통공 들 을 구비 하 여 통공 들 을 통해 클린 룸 내 의 오염 된 공기 를 외부 로 배출 시키 는 플로어 패널 과 , 기초 바닥 과 플로어 패널 의 사이 에 개재 되 어 플로어 패널 을 기초 바닥 에 대해 소정 높이 로 이격 설치 되 도록 하 는 구조물 을 포함 한다 .