상기 열 경화 공정 에서 는 , 상기 챔버 가 적외선 을 투과 시키 는 석영 유리 로 형성 되 고 , 상기 챔버 의 밖 에서 상기 챔버 내 의 웨이퍼 에 대하 여 적외선 을 조사 하 고 , 상기 적외선 에 의해 웨이퍼 가 가열 되 고 , 또한 가열 된 웨이퍼 의 열 로 상기 감광성 열 경화 수지 를 열 경화 시켜 상기 절연 층 을 형성 하 면 바람직 하 다 .