도 3 에 도시 한 바 와 같이 본 발명 의 전구체 상태 진단 장치 는 상기 분기 된 파 이프 에서 선택 된 한 파이프 의 타 측 과 연결 되 어 , 배출 되 는 물질 을 포집 하 기 위한 포집 장치 ( 210 ) 를 더 포함 하 여 구비 되 는 특징 을 가지 며 , 상기 포집 장치 ( 210 ) 와 연결 되 는 분기 된 파이프 ( 131 ) 와 상기 포집 장치 ( 210 ) 사이 에 배출 되 는 물질 을 액화 시키 기 위한 냉각기 ( 220 ) 를 더 포함 하 여 구비 될 수 있 다 .