상기 단열 부재 ( 140 ~ 170 ) 는 상기 챔버 ( 130 ) 의 내측 에서 상기 발열체 ( 180 ) 와 챔버 ( 130 ) 의 내벽 사이 에 순차 적 으로 적어도 하나 이상 의 단열 부재 ( 140 ~ 170 ) 가 설치 된다 . 여기 서 상기 단열 부재 ( 140 ~ 170 ) 는 마이크로웨이브 를 투과 시키 는 성질 의 세라믹 소재 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .