또한 , 특히 전해 가공 이나 세정 건조 시 의 워터 마크 의 문제 를 대처 하 기 위해 서 는 , 모듈 내 의 특히 웨이퍼 ( W ) 근방 부근 에 N 2 블로우 를 행하 여도 좋 다 . 웨이퍼 ( W ) 상부 에 액체 질소 로부터 도입 된 N 2 노즐 을 배치 하 고 , 냉각 한 N 2 를 웨이퍼 ( W ) 의 부근 에 공급 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 주위 를 산소 가 있 는 분위기 로부터 부분 적 으로 격리 · 차단 한 상태 를 형성 할 수 있 다 .