[ 0024 ] 따라서 , 유리 하 게 는 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 를 포지셔닝 하 기 위한 개선 된 장치 가 제공 된다 . 특히 , 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 포지셔닝 어 레인지 먼 트 를 제공 함 으로써 , 유리 하 게 는 예컨대 , 캐리어 들 과 이송 트랙 들 간 의 기계 적 인 접촉 으로 인해 생성 되 는 입자 들 의 생 성 이 , 캐리어 들 의 이송 및 정렬 동안 회피 될 수 있 다 . 따라서 , 본원 에서 설명 되 는 실시 예 들 은 기판 상 에 증착 되 는 층 들 의 개선 된 순도 및 균일성 을 제공 하 는데 , 이 는 특히 , 비접 촉식 부상 , 이송 , 및 / 또는 정렬 을 사용 하 는 경우 에 입 자 생 성 이 최소 화 되 기 때문 이 다 . 또한 , 기판 캐리어 를 위한 제 1 트랙 이 마스크 캐리어 를 위한 제 2 트랙 에 대해 오프셋 거리 만큼 오프셋 되 는 포지셔닝 어 레인지 먼 트 를 제공 함 으로써 , 추가 의 구조 적 엘리먼트 들 , 예컨대 , 마스크 캐리어 를 위한 홀딩 어 레인지 먼 트 를 제공 하 기 위한 구조 적 장점 들 이 제공 될 수 있 다 .