이러 한 평판 표시 소자 의 박막 들 은 다수 의 마스크 공정 을 통해 형성 된다 . 마스크 공정 각각 은 박막 증착 ( 코팅 ) 공정 , 세정 공정 , 포토 리소그래피 공정 , 식각 공정 , 포토레지스트 박리 공정 , 검사 공정 등 과 같 은 다수 의 공정 을 포함 한다 . 포토 리소그래피 공정 은 기판 상 에 형성 된 박막 상 에 감광 성막 을 도포 하 는 도포 공정 과 , 그 감광 성막 을 마스크 를 이용 하 여 노광 하 는 노광 공정 과 , 노광 된 감광 성막 을 현상 하 는 현상 공정 을 포함 한다 .