본 발명 은 상기 한 문제점 을 개선 하 기 위하 여 발명 한 것 으로 , RF 전력 발생기 와 반도체 제조 장비 의 임피던스 정합 기 사이 의 RF 전송로 상 에 가변 임피던스 정합 기 를 설치 함 으로써 RF 발생기 와 반도체 제조 장비 간 의 임피던스 를 정합 시켜 줄 수 있 도록 하 되 , 반도체 제조 장비 의 임피던스 정합 기 에서 되돌아오 는 반사파 에 따라 RF 전 송선 로 상 의 임피던스 를 가변 시켜 RF 전력 발생기 와 반도체 제조 장비 간 에 임피던스 를 정합 시킬 수 있 도록 하 는 RF 전송로 용 가변 임피던스 정합 장치 를 제공 하 고자 함 에 발명 의 목적 이 있 다 .