복수 의 필라 들 ( 113 ) 상 에 드레 인 들 ( 320 ) 이 각각 제공 된다 . 실시 예 에 있 어서 , 드레 인 들 ( 320 ) 은 제 2 타입 으로 도핑 된 실리콘 물질 들 이 다 . 예 를 들 어 , 드레 인 들 ( 320 ) 은 n 타입 으로 도핑 된 실리콘 물질 들 이 다 . 아래 에서 는 , 드레 인 들 ( 320 ) 는 n - 타입 실리콘 을 포함 하 는 것 으로 가정 한다 . 그러나 , 드레 인 들 ( 320 ) 은 n - 타입 실리콘 을 포함 하 는 것 으로 한정 되 지 않 는다 . 실시 예 에 있 어서 , 각 드레 인 ( 320 ) 의 폭 은 대응 하 는 필라 ( 113 ) 의 폭 보다 클 수 있 다 . 예 를 들 어 , 각 드레 인 ( 320 ) 은 대응 하 는 필라 ( 113 ) 의 상부 면 에 패드 형태 로 제공 될 수 있 다 .