레지스 트 재료 의 도공 방법 으로서 는 , 예 를 들 어 레지스 트 재료 를 스핀 코트 등 에 의해 도공 하 는 방법 등 을 들 수 있 다 . 레지스 트 재료 를 도공 할 때 , 도공 후 에 가열 ( 프리 베 이크 ) 해서 레지스 트 재료 중 의 용매 를 휘발 시켜도 된다 . 레지스 트 막 의 형성 조건 은 , 레지스 트 재료 의 성상 및 얻 어 지 는 레지스 트 막 의 두께 등 에 따라서 적절히 선택 된다 . 레지스 트 막 의 평균 두께 의 하한 으로서 는 , 1 ㎚ 가 바람직 하 고 , 10 ㎚ 가 보다 바람직 하 고 , 30 ㎚ 가 더욱 바람직 하 다 . 상기 평균 두께 의 상한 으로서 는 5 , 000 ㎚ 가 바람직 하 고 , 1 , 000 ㎚ 가 보다 바람직 하 고 , 200 ㎚ 가 더욱 바람직 하 다 .