제 1 및 제 2 반송 유닛 ( 28 , 31 ) 은 , 로더 모듈 ( 22 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 직교 하 는 방향 ( X 방향 ) 으로 연장 되 어 있 다 . 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 는 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 보다 도 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 분리 된 위치 에 있 고 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 깊이 방향 ( X 방향 ) 의 길이 는 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 의 깊이 방향 ( X 방향 ) 의 길이 보다 도 크 다 . 양 반송 유닛 ( 28 , 31 ) 에 있 어서 는 , 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 이 위 에 배치 되 고 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 이 아래 에 배치 된다 .