또한 , 도 5 는 본 발명 에서 사용 된 플 라즈 마장 치 의 평면도 를 나타낸 것 이 고 , 도 6 은 본 발명 사용 된 플 라즈 마장 치 의 일부 절취 정 단면도 를 나타낸 것 이 며 , 도 7 은 본 발명 사용 된 플 라즈 마장 치 의 측 단면도 를 나타낸 것 이 고 , 도 8 은 본 발명 사용 된 플 라즈 마장 치 중 공진기 의 일부 절취 확대 사시도 를 나타낸 것 이 다 .