따라서 , 본 개시 는 가공물 과 인터 로 게이팅 광학 신호 들 간 의 오 정렬 을 보상 하 기 위해 각도 민 감도 를 감소 시키 는 시스템 들 ( 예 를 들 어 , 시준기 시스템 , 광섬유 하위 어셈블리 ( subassembly ) , 광학 모니터링 시스템 ) 및 방법 들 을 제공 한다 . 오 정렬 은 가공물 자체 때문 이 거나 광학 모니터링 시스템 또는 시준기 와 같 은 그것 의 구성 요소 들 때문 일 수 있 다 . 시스템 은 가공물 이 기울어질 때 와 같 은 기하학 적 인 변수 들 에 대해 감소 된 민 감도 를 갖 는 측정 결과 들 을 달성 하 기 위한 구성 요소 들 의 특정 배치 들 및 구성 들 을 제공 한다 . 광학 모니터링 시스템 들 의 광 전달 및 광 검출 모두 에 의 개선 들 도 제공 된다 . 예 를 들 어 , 시준기 와 광섬유 어셈블리 들 간 의 개선 된 광 전달 계면 들 에 대한 세부 사항 들 이 여기 에 개시 되 어 있 다 .