본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 은 평평 한 복사선 개질 가능 재료 를 포함 할 수 있 고 , 이 는 국부 적 개질 이후 후속 공정 중 에 패 터닝 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 은 평평 한 레지스 트 를 포함 할 수 있 고 , 이 는 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 의 후속 리 쏘 그래피 노광 단계 중 에 패 터닝 될 수 있 다 .