도 8 은 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 전력 공급 부 ( 702 ) 의 전기 구성도 이 다 . 전력 공급 부 ( 702 ) 는 전원 ( 802 ) 으 로부터 AC 전력 을 DC 전력 으로 전환 하 기 위한 정류기 ( 804 ) 를 포함 한다 . 필터 ( 808 ) 은 정류기 ( 804 ) 의 출력 을 필터 링 한다 . 필터링 된 DC 는 필터 ( 808 ) 로부터 인버터 ( 810 ) 로 전달 된다 . 인버터 ( 810 ) 는 필터링 된 DC 를 원하 는 주파수 , 전압 및 전류 의 AC 신호 로 전환 한다 . 공진 회로 ( 812 ) 는 공진 에서 로드 에 원하 는 AC 신호 를 효율 적 으로 전달 하 도록 플 라즈 마 챔버 로드 ( 814 ) 와의 공진 을 매치 ( match ) 시킨다 .