광학 부재 ( 110 ) 는 레이 저광 발생 부 ( 100 ) 의 출력 인 단일 파장 의 광 을 챔버 윈도우 ( 20 ) 에 반사 하 는 기능 을 갖 는다 . 그리고 , 광학 부재 ( 110 ) 는 도면 에 도시 된 바 와 같이 챔버 윈도우 ( 20 ) 외측 으로 연장 된 파이프 ( 140 ) 내 에 마련 된다 . 파이프 ( 140 ) 는 챔버 윈도우 ( 20 ) 가 마련 된 챔버 ( 10 ) 측 벽면 에 대하 여 대략 수직 한 방향 으로 연장 된다 . 파이프 ( 140 ) 의 끝단 영역 에 는 광학 필터 ( 120 ) 가 위치 한다 . 파이프 ( 140 ) 를 통해 챔버 윈도우 ( 20 ) 로부터 제공 되 는 챔버 ( 10 ) 내 의 플 라즈 마 빛 이 광학 필터 ( 120 ) 로 유도 되 도록 할 수 있 다 . 그리고 , 파이프 ( 140 ) 는 외부 의 광과 플 라즈 마 빛 이 혼합 되 는 것 을 차단 하 는 역할 을 수행 할 수 있 다 .