본 발명 의 제 3 양태 에 따르 면 , 기판 ( P ) 을 노광 하 는 노광 시스템 ( SS ) 으로서 , 1 장 의 기판 ( P ) 을 복수 의 패턴 ( SH 1 － SH 5 ) 으로 분담 하 여 노광 하 는 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 와 , 노광 시스템 ( SS ) 에 입력 되 는 1 장 의 기판 의 노광 정보 에 따라 , 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 가 각각 기판 ( P ) 을 분담 하 여 노광 하 기 위한 제 1 노광 데이터 와 제 2 노광 데이터 를 작성 하 는 노광 데이터 작성 부 ( 66 ) 와 , 노광 데이터 작성 부 ( 66 ) 에서 작성 된 제 1 노광 데이터 와 제 2 노광 데이터 에 기초 하 여 , 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 를 제어 하 는 제 어부 ( 6 ) 를 구비 하 는 노광 시스템 이 제공 된다 .