이러 한 단계 에서 는 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 로봇 암 ( 2330 ) 을 상측 에 구비 된 변위 센서 즉 , 제 1 센서 ( 312 , 314 ) 에 의해 감지 되 게 상측 으로 이동 시킴 으로써 카세트 ( 100 ) 의 첫 번 째 슬롯 ( 110 - 1 ) 의 위치 를 감지 하 고 , 이 와 동일 한 방법 으로 하측 에 구비 된 제 1 센서 ( 316 , 318 ) 를 통해 카세트 ( 100 ) 의 마지막 슬롯 ( 110 - m ) 의 위치 를 감지 한다 ( S 21 , S 22 ) .