도 4 는 도 3 에 도시 된 EUV 광원 ( 10 ') 에 사용 하 는 디바이스 ( 14 ') 의 실시 예 를 도시 한다 . 도 4 는 , 디바이스 ( 14 ') 가 빔 경로 ( 408 ) 를 따라 직렬 로 배치 된 증폭기 챔버 ( 406 a - c ) 의 체인 을 구비 하 고 , 상기 각각 의 챔버 는 예 를 들 면 펌핑 전극 과 같 은 자신 의 액티브 매체 와 여기 소스 를 구비 하 는 , 증폭기 를 시 딩 하 는 오실 레이터 ( 400 ) 를 포함 하 는 것 을 도시 한다 . 디바이스 ( 14 ') 에 대해 , 오실 레이터 ( 400 ) / 증폭기 ( 406 a - c ) 조합 은 10 . 6 ㎛ 와 같 은 파장 (