도 4 를 참조 하 면 , 일 실시 예 에 따른 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 은 스테이지 ( 100 ) , 카메라 ( 400 ) , 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 를 포함 하 여 구성 되 고 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 는 제 1 발 광부 ( 510 ) 및 제 1 렌즈 부 ( 520 ) 를 포함 하 여 구성 되 며 카메라 ( 400 ) 는 제 2 렌즈 부 ( 410 ) 를 포함 하 여 구성 된다 . 제 1 발 광부 ( 510 ) , 제 1 렌즈 부 ( 520 ) , 제 2 렌즈 부 ( 410 ) 를 순서 대로 살펴본다 .