표면 프로파일 의 경우 , 제 1 방법 은 , 포락선 의 피크 또는 중심 의 위치 를 잡 고 , 이 위치 가 대 상체 표면 으로부터 하나 의 빔 이 반사 하 는 2 - 빔 간섭계 의 제로 OPD 에 대응 한다고 가정 하 는 과정 을 포함 한다 . 제 2 방법 은 변환 된 간섭 신호 의 위상 의 변화 율 을 파장 에 의해 계산 하 는 과정 으로서 , 실질 적 으로 직선 인 기울기 가 검사 대 상체 의 표면 높이 에 정비례 하 는 것 으로 가정 하 는 과정 을 포함 한다 . 제 2 방법 을 주파수 영역 분석 ( FDA : Frequency Domain Analysis ) 이 라고 한다 . 예 를 들 어 , 미국 특허 5 , 398 , 113 , 7 , 106 , 454 , 및 7 , 271 , 918 을 참고 하 고 , 상기 문헌 들 의 전체 내용 을 본 명세서 에 참조 에 의해 원용 한다 .