다음 으로 , 제 1 용제 의 일례 인 PGMEA 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 2 용제 린스 처리 ( 제 1 용제 공급 공정 , 치환 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 304 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 차 단판 ( 303 ) 을 처리 위치 에 위치 시키 고 , 또한 , 스핀 척 ( 302 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시키 면서 , 제 2 용제 밸브 ( 319 ) 를 열 어 , 중심축 노즐 ( 316 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 PGMEA 를 토출 시킨다 . 이 에 의해 , 중심축 노즐 ( 316 ) 로부터 토출 된 PGMEA 가 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 공급 된다 . 전술 한 바 와 같이 , 제 1 용제 는 수용성 용제 를 용해 할 수 있 기 때문 에 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 IPA 는 기판 ( W ) 에 공급 된 PGMEA 에 용해 되 면서 , PGMEA 와 함께 기판 ( W ) 으로부터 제거 된다 ( 배출 된다 ) . 따라서 , PGMEA 가 공급 됨 으로써 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 IPA 가 PGMEA 에 의해 씻겨져 PGMEA 로 치환 된다 ( 제 2 용제 린스 처리 ) . 그리고 , 제 2 용제 린스 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 제 2 용제 밸브 ( 319 ) 를 닫 아서 PGMEA 의 토출 을 정지 시킨다 . 제 1 용제 린스 처리 가 행하 여진 후 에 기판 ( W ) 에 순수 가 잔류 되 어 있 거나 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 IPA 에 순수 가 용해 되 어 있 더라도 , 이 제 2 용제 린스 처리 가 행하 여짐 으로써 , 기판 ( W ) 에 대한 물 의 잔 류량 이 더욱 저감 된다 .