그런데 , 식각 정지 패턴 이 제거 된 제 1 리 세스 트렌치 ( 131 ) 의 식각 프로파일 은 버티컬 ( vertical ) 하 지 못할 수 있 다 . 예컨대 , 식각 정지 패턴 와 제 1 리세 스 트 렌 치 ( 131 ) 의 미스 얼라인 이 발생 됨 에 따라 , 제 1 리 세스 트렌치 ( 131 ) 가 비 정상 적 으로 튀어나오 거나 날카로운 식각 프로 파일 을 갖 게 형성 된다 . 그러면 , 후속 게이트 절 연막 증착 시 , 게이트 절 연막 이 얇 게 ( thinning ) 형성 되 는 취약 지점 이 발생 되 며 , 이러 한 취약 지점 으로 전계 가 집중 되 어 누설 전류 가 발생 되 거나 , 게이트 절 연막 의 항복 전압 이 ( BV ; Breakdowm Voltage ) 이 감소 될 수 있 다 .