공정 진행 시 샤워 헤드 ( 200 ) 는 위치 에 따라 서로 다른 정도 로 가열 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 플라 즈 마 상태 에서 공정 진행 시 샤워 헤드 ( 200 ) 의 중앙 쪽 에 플 라즈 마 밀도 가 집중 될 수 있 다 . 이러 한 경우 샤워 헤드 ( 200 ) 의 중심부 가 엣 지부 에 비해 더 높 은 온도 로 가열 될 수 있 고 , 이 는 공정 균 일도 를 저해 하 는 원인 이 될 수 있 다 . 따라서 공정 균 일도 를 향상 시키 기 위해서 는 샤워 헤드 ( 200 ) 의 위치 에 따라 열전달 특성 을 다르 게 조절 하 는 것 이 바람직 할 수 있 다 .