그런데 , 상술 한 열처리 ( 제 1 열처리 ) 에 는 수소 나 물 등 을 제거 하 는 효과 가 있 기 때문 에 , 그 열처리 를 , 탈수 화 처리 나 , 탈수소 화 처리 등 으로 칭할 수 도 있 다 . 그 탈수 화 처리 나 , 탈수소 화 처리 는 , 산화물 반도체 층 ( 144 ) 의 형성 후 나 게이트 절연 층 ( 146 ) 의 형성 후 , 게이트 전극 의 형성 후 , 등 의 타이밍 에 있 어서 행하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 이러 한 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 는 , 1 회 에 한하 지 않 고 복수 회 행해도 된다 .