도 66 은 또한 매니폴드 가 상부 매니폴드 ( 864 ) , 하부 매니폴드 ( 866 ) 및 교체 가능 한 플 라즈 마 챔버 ( 868 a , 868 b ) 로 분할 되 는 시스템 의 재 사용 가능 한 부분 의 실시 예 를 도시 한다 . 매니폴드 의 기능 을 여러 매니폴드 로 분리 하 면 매니폴드 제작 이 쉬워 지 고 시스템 에 누출 이 발생 할 수 있 는 개스킷 및 플러그 의 필요 성 이 제거 되 거나 최소 화 된다 . 상부 매니폴드 ( 864 ) 는 저 장소 근처 또는 일부 이 다 . 일 실시 예 에서 , 매니폴드 는 관형 저 장소 에 대한 엔드 캡 ( end - cap ) 으로서 기능 한다 . 다른 실시 예 에서 , 저 장소 는 상부 매니폴드 내 의 부피 이 다 . 하부 매니폴드 ( 866 ) 는 제거 가능 한 플 라즈 마 챔버 를 수용 하 고 가스 를 스캐빈저 카트리지 ( 833 ) 로 보낸다 . 이 실시 예 에서 , 스캐빈저 카트리지 는 감소 된 NO 통과 시간 및 감소 된 공 압 연결 을 위해 벤 틸 레이터 카트리지 에 직접 공 압 식 으로 연결 된다 . 도 66 은 NO 생성 시스템 의 출구 에서 HEPA 필터 가 없 는 시스템 을 도시 한다 .