이어서 트레이 커버 장착 이 송 단계 ( 400 ) 는 도 2 내지 도 4 , 도 11 에서 와 같이 , 커버 언로 딩 기구 ( 60 ) 의 진공 척 ( 61 ) 으로 분기 이송 라인 ( 13 ) 상 의 트레이 커버 ( T 2 ) 를 흡착 하 고 , 수직 에 어 실린더 ( 62 ) 및 수평 에 어 실린더 ( 63 ) 를 구동 하 여 진공 척 ( 61 ) 을 수직 이 동 및 수평 이동 시키 게 되 면 , 트레이 커버 ( T 2 ) 를 인출 측 이 송라 인 ( 12 ) 상 의 트레이 베이스 ( T 1 ) 에 장착 할 수 있 게 되 며 , 트레이 커버 ( T 2 ) 가 장착 된 트레이 ( T ) 는 인 출 측 이 송라 인 ( 12 ) 을 따라 적층 부 ( 70 ) 로 이송 하 게 된다 .