실험 예 3 에서 얻 어 진 표면 처리 된 반사 방지 층 을 갖 는 웨이퍼 를 질소 분위기 에서 반응 성 분자 인 페닐 에틸 트리 클로로 실란 ( phenylethyl trichlorosilane ) 의 톨루엔 용액 ( 0 . 5 ∼ 5 부피 %) 에 약 60 분 동안 딥 핑 하 였 다 . 그 후 , 상기 용액 에서 꺼낸 웨이퍼 를 톨루엔 으로 세척 한 후 오븐 에서 건조 하 였 다 .