그 에 따라 형성 된 이 층 전도성 특징 부 ( 126 ) 에서 , 상부 금속 특징 부 ( 236 ) 및 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 는 배리어 층 ( 234 ) 에 의해 분리 된다 . 상부 금속 특징 부 ( 236 ) 는 유전체 재료 로부터 분리 되 는 반면 에 , 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 는 ILD 층 ( 220 ) 및 ESL ( 222 ) 에 직접 접촉 한다 . 상부 금속 특징 부 ( 236 ) 및 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 가 연속 적 인 측벽 을 갖 는 동일 트렌치 에 형성 됨 에 따라 , 도 7 및 도 3 b 에 예시 된 바 와 같이 , 배리어 층 ( 234 ) 의 하부 표면 은 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 의 상부 표면 과 매칭 되 며 정렬 된다 . ILD 층 ( 220 ) 의 측벽 은 연속 적 이 고 경사진 프로 파일 을 가질 수 있 다 . 따라서 , 배리어 층 ( 234 ) 및 하부 금속 특징 부 ( 232 ) 의 측벽 은 , ILD 층 ( 220 ) 및 ESL ( 222 ) 의 측벽 을 따라 연장 하 며 연속 적 인 표면 을 형성 한다 .