도 1 를 참조 하 면 , 반응 가스 들 및 / 또는 세정 가스 들 이 그 를 통하 여 유동 하 는 도관 ( 131 ) 이 반응 챔버 ( 102 ) 의 상측 개구부 로부터 연장 된다 . 도관 ( 131 ) 은 알루미늄 과 같 은 금속 으로 형성 되 고 , 차단 밸브 ( 135 ) 및 제 2 도관 ( 136 ) 에 연결 될 수 있 다 . 상기 제 2 도관 은 샤워 플레이트 ( 120 ) 상 에 배치 되 고 , 세라믹 물질 들 을 포함 하 는 유전 물질 들 로 구성 될 수 있 다 . 원격 플 라즈 마 방전 장치 ( 140 ) 는 세정 가스 배 송관 ( 151 ) 과 같 은 제 2 도관 과 연결 된다 . 세정 가스 는 세정 가스 소스 ( 170 ) 로부터 이송 될 수 있 고 , 세정 가스 배 송관 ( 151 ) 을 통하 여 원격 플 라즈 마 방전 장치 ( 140 ) 내 로 이송 될 수 있 다 . 다양 한 세정 가스 들 을 이용 할 수 있 으나 , 일실 시예 에 있 어 서 , 상기 세정 가스 는 불활성 캐리어 가스 또는 산소 와 혼합 된 불소 - 함유 가스 를 포함 할 수 있 으며 , 예 를 들 어 , C 2 F 6 + O 2 , NF 3 + Ar , 또는 F 2 + Ar 이 다 . 원격 플 라즈 마 방전 장치 ( 140 ) 내 에서 , 플라 즈 마 에너지 는 상기 세정 가스 를 활성 화 하 고 , 이어서 활성 세정 종 들 이 도관 ( 131 ) 및 샤워 플레이트 ( 120 ) 를 통하 여 반응 챔버 ( 102 ) 내 로 유동 한다 . 상기 활성 세정 가스 종 들 은 반응 챔버 ( 102 ) 의 내부 벽 들 및 샤워 플레이트 ( 120 ) 의 표면 들 에 고착 된 원 하 지 않 는 증착 물 들 과 화학 적 으로 반응 한다 . 이 에 따라 , 상기 원하 지 않 는 증착 물 들 이 가스 로 변환 되 어 상기 반응 챔버 의 배기구 ( 125 ) 로 배출 되 고 , 진공 펌프 에 의하 여 전도성 조절 밸브 ( 155 ) 를 통과 한다 .