상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 의 또 다른 특징 은 이 머 젼 리소그래피 장치 에 있 어서 , 투영 렌즈 부 ; 웨이퍼 가 안착 되 는 웨이퍼 스테이지 ; 상기 투영 렌즈 부 와 상기 웨이퍼 스테이지 사이 의 공간 에 이 머 젼 액 을 담 고 있 는 이 머 젼 부 ; 및 상기 투영 렌즈 부 와 이 머 젼 부 사이 에 위치 하 고 , 노광 수행 시 전하 를 가하 여 상기 이 머 젼 액 의 응집력 을 높이 는 투명 전극 층 을 포함 하 여 이루어지 는 것 을 특징 으로 한다 .