기판 처리 시스템 ( 100 ) 의 양산 시간 이 증가 하 면 , 로드 락 챔버 ( 130 ) 의 진공 형성 에 관여 하 는 펌핑 라인 ( 213 ) 의 온도 가 감소 할 수 있 다 . 이 경우 , 펌핑 라인 내 에 파티클 ( particle ) 이 생성 되 어 , 로드 락 챔버 ( 130 ) 의 내부 에 오염 이 발생 하 거나 , 웨이퍼 ( wafer ) 에 파티클 다운 ( particle down ) , 파티클 결함 ( particle defect ) 등 의 문제 가 발생 될 수 있 다 .