[ 0015 ] 장치 ( 200 ) 는 , 진공 챔버 , 기판 캐리어 ( 120 ) 의 운송 을 위해 구성 된 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 ( 110 ) , 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 운송 을 위해 구성 된 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 ( 130 ) , 및 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 서로 에 대해 포지셔닝 하 도록 구성 된 홀딩 어 레인지 먼 트 를 포함 한다 . 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 ( 110 ) 는 , 기판 ( 10 ) 의 제 1 단부 ( 12 ) 에서 기판 캐리어 ( 120 ) 를 지지 하 도록 구성 된 제 1 부분 , 예컨대 , 제 1 트랙 ( 112 ) , 및 기판 ( 10 ) 의 제 1 단부 ( 12 ) 반대편 의 , 기판 ( 10 ) 의 제 2 단부 ( 14 ) 에서 기판 캐리어 ( 120 ) 를 지지 하 도록 구성 된 제 2 부분 , 예컨대 , 제 2 트랙 ( 114 ) 을 포함 한다 . 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 ( 130 ) 는 , 마스크 ( 20 ) 의 제 1 단부 ( 22 ) 에서 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 지지 하 도록 구성 된 제 1 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 1 트랙 ( 132 ) , 및 마스크 ( 20 ) 의 제 1 단부 ( 22 ) 반대편 의 , 마스크 ( 20 ) 의 제 2 단부 ( 24 ) 에서 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 지지 하 도록 구성 된 제 2 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 2 트랙 ( 134 ) 을 포함 한다 . 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 ( 110 ) 의 제 1 부분 과 제 2 부분 사이 의 제 1 거리 ( D ) 및 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 ( 130 ) 의 추가 적 인 제 1 부분 과 추가 적 인 제 2 부분 사이 의 제 2 거리 ( D ') 는 본질 적 으로 동등 하 거나 본질 적 으로 동일 하 다 . 거리 ( 들 ) 는 제 2 방향 ( y - 방향 ) 으로 정의 될 수 있 고 , 이 는 본질 적 으로 수직 방향 일 수 있 다 .