계속 해서 , 이 실시 형태 의 다른 예 에 대해서 도 9 를 이용 하 여 설명 한다 . 이 예 에서 는 , 부속 모듈 로서 , 복수 매 ( 예 를 들 면 13 매 ) 의 웨이퍼 ( W ) 가 올려 놓여 지 는 버퍼 모듈 ( 6 ) 이 형성 된다 . 이 버퍼 모듈 ( 6 ) 은 , 예 를 들 면 사각형 의 평면 형상 을 갖 는 편평 하 고 내부 가 빈 각기둥 형상 으로 형성 된 케이스 체 ( 60 ) 를 갖 고 있 다 . 이 케이스 체 ( 60 ) 는 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 을 향하 여 개구 하 는 개구 ( 61 ) 를 갖 고 있 다 . 버퍼 모듈 ( 6 ) 이 제 2 반 송실 ( 3 ) 내 에 위치 할 때 에 는 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 의 지지 아암 ( 33 ) 은 , 이 개구 ( 61 ) 를 통하 여 케이스 체 ( 60 ) 내 로 진입 하 거나 케이스 체 ( 60 ) 로부터 퇴출 할 수 있 다 . 또한 , 케이스 체 ( 60 ) 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 이면 주연 부를 지지 하 기 위한 복수 의 지지 부 ( 62 ) 가 , 상하 방향 으로 소정 의 간격 을 두 고 형성 되 어 있 다 . 이 지지 부 ( 62 ) 는 웨이퍼 ( W ) 가 올려 놓여 지 는 재 치부 에 해당 하 는 것 이 다 . 이 와 같이 구성 되 는 케이스 체 ( 60 ) 는 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 형성 된 승강 기구 ( 63 ) 에 의해 , 케이스 체 ( 60 ) 가 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 수용 되 는 수용 위치 와 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 내 에 있 어서 , 지지 아암 ( 33 ) 이 버퍼 모듈 ( 6 ) 내 로 웨이퍼 ( W ) 를 반입 · 반출 하 는 반송 위치 와 의 사이 에서 승강 이 자유 롭 게 구성 되 어 있 다 . 버퍼 모듈 ( 6 ) 이 수용 위치 에 있 을 때 에 는 , 케이스 체 ( 60 ) 가 제 2 반송 아암 ( 32 ) 의 기대 ( 34 ) 의 이동 을 저해 하 지 않 도록 , 케이스 체 ( 60 ) 가 제 2 오 목부 ( 41 ) 내 에 수납 된다 . 도면 중 「 64 」 는 승강 가이드 이 다 .