또한 , 상술 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 제 1 처리 블록 및 상기 제 2 처리 블록 중 적어도 한쪽 은 , 겹쳐 쌓 도록 배치 된 복수 의 처리 층 을 갖 고 , 상기 기판 버퍼 는 , 상기 복수 의 처리 층 의 계층 에 대응 하 여 설치 된 복수 의 버퍼 부를 구비 하 며 , 상기 버퍼 부 는 각각 , 상기 인 덱 서 블록 에 대하 여 착 탈 가능 하 게 구성 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 기판 버퍼 는 복수 의 버퍼 부를 구비 하 고 있 다 . 각 버퍼 부 는 , 개개 에 , 착 탈 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 개개 에 , 버퍼 부를 반송 할 수 있 으므로 , 기판 버퍼 의 반송 이 용이 하 다 .