도 2 의 개략 도 를 통하 여 스핀 - 온 코팅 방식 을 설명 하 면 , 스핀 - 온 코팅 방식 은 스핀 코터 를 이용 하 여 , 코팅 할 물질 의 용액 을 기판 위 에 떨어뜨리 고 기판 을 고속 으로 회전 시켜 얇 게 퍼지 게 하 는 코팅 방법 으로 , 감광제 , 하드 마스크 용 물질 을 반도체 기판 ( 웨이퍼 ) 에 바를 때 가장 널리 사용 되 는 기법 이 며 , 스핀 코터 의 RPM ( 회전 속도 ) 에 따라서 표면 특성 및 코팅 두께 를 조절 할 수 있 다 . 도포 후 건조 또는 베 이크 공정 을 진행 한다 .