일 형태 에서 는 , 상기 편심 검출 기구 는 , 상기 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 의 , 상기 센터 링 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 , 및 상기 프로세스 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 의 , 상기 프로세스 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 , 및 편심 방향 을 측정 하 는 편심 검 출부 를 포함 하 고 , 상기 편심 검 출부 는 , 광 을 발하 는 투광 부 , 및 상기 투 광부 가 발한 광 을 수신 하 는 수 광부 를 구비 한 광학 식 편심 센서 이 며 , 상기 투 광부 와 상기 수 광부 사이 의 연직 방향 의 거리 는 , 편심 검지 위치 에 있 는 상기 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 상면 과 , 상기 프로세스 스테이지 의 외측 에지 사이 의 거리 보다 커 지 도록 설정 되 어 있 다 .