본 발명 의 조성물 이 ArF 노광 에 사용 될 경우 , ArF 광 에 대한 투명 성 의 관점 에서 본 발명 의 조성물 에 포함 되 는 수지 ( A ) 는 실질 적 으로 방향 족기 를 포함 하 지 않 는 ( 특히 , 수지 에 방향 족기 를 포함 하 는 반복 단위 의 비율 이 바람직 하 게 는 5 몰 % 이하 , 보다 바람직 하 게 는 3 몰 % 이하 , 및 이상 적 으로 는 0 몰 %, 즉 방향 족기 를 포함 하 지 않 음 ) 것 이 바람직 하 다 . 수지 ( A ) 는 단환 또는 다 환 의 지환 식 탄화수소 구조 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 .