바람직 한 실시 예 에서 , 하나 이상 의 상대 적 으로 비 - 반응 성 인 기체 커튼 이 상기 인 젝 터 에 통합 되 어 상기 인 젝 터 를 벗어난 후 전구체 개스 의 조기 혼합 을 방지 할 수 있 다 . 커튼 개스 플로우 의 추가 는 반응 기체 가 기판 과 접촉 할 때 까지 분리 되 어 있 는 능력 을 증가 시키 는데 , 여기 서 고온 기판 으로부터 결과 하 는 난류 ( turbulence ) 는 불활성 기체 커튼 을 깨뜨려서 , 상기 개스 들 이 혼합 되 고 반응 하 도록 할 수 있 다 . 나아가 , 커튼 개스 유속 의 조정 은 전구체 개스 의 혼합 및 성장 기판 상 의 체류 시간 을 최적 화 하 기 위해 사용 될 수 있 다 .