제 3 열처리 는 질소 , 산소 , 초 건조 공기 ( 물 의 함유량 이 20 ppm 이하 , 바람직 하 게 는 1 ppm 이하 , 보다 바람직 하 게 는 10 ppb 이하 의 공기 ) , 또는 희가스 ( 아르곤 , 헬륨 등 ) 의 분위기 하 에서 행하 면 좋 은데 , 상기 질소 , 산소 , 초 건조 공기 , 또는 희가스 등 의 분위기 에 물 , 수소 등 이 포함 되 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 열처리 장치 에 도입 하 는 질소 , 산소 , 또는 희가스 의 순도 를 , 6 N ( 99 . 9999 %) 이상 , 바람직 하 게 는 7 N ( 99 . 99999 %) 이상 ( 즉 불순물 농도 를 1 ppm 이하 , 바람직 하 게 는 0 . 1 ppm 이하 ) 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .