웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 가 2 D 스케일 ( S 1 ) 의 + Y 측 의 한 쌍 의 부 영역 ( 연장 된 영역 ) 과 대향 한 상태 로부터 , + X 방향 으로 더 소정 거리 이동 할 때 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 가 2 D 스케일 ( S 1 ) 로부터 벗어난다 . 이 에 앞서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 를 이용 하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 계측 으로부터 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 이용 하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 계측 으로 전환 한다 . 예 를 들 어 , Y 간섭계 ( 17 ) 및 XZ 간섭계 ( 116 및 126 ) 의 계측 결과 로부터 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 XY 평면 내 에서 의 위치 ( X 축 방향 , Y 축 방향 , 및 θ z 방향 의 위치 ) 를 산출 한다 .