도 2 를 참조 하 면 , 먼저 공정 챔버 내부 에 플 라즈 마 를 형성 한다 ( 단계 S 110 ) . 상기 플라 즈 마는 상기 플 라즈 마 발생 부에 RF 파워 를 인가 하 여 상기 챔버 내부 에 전계 ( 자기장 ) 를 형성 하 는 동시 에 전계 가 형성 된 챔버 내부 에 반응 가스 가 도입 된 후 도입 된 반응 가스 가 전계 에 의해 여기 됨 으로써 형성 된다 . 상기 플 라즈 마 를 형성 요소 들 의 예 로서 는 반응 가스 의 제 공량 , 플라 즈 마 발생 부 에 인가 되 는 RF 파워 의 세기 , 챔버 내부 의 압력 을 들 수 있 다 . 상기 장치 에서 의 상기 플 라즈 마 형성 요소 들 은 실시간 결함 분류 ( FDC ) 방식 으로 실시간 모니터링 되 고 있 다 .