또한 , 본 실시 예 에서 는 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 및 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 에 제공 되 는 공정 챔버 들 ( 42 , 52 ) 이 모두 동일 한 공정 을 수행 하 는 경우 를 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 과 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 중 일부 또는 전부 는 서로 상이 한 공정 을 수행 할 수 있 다 .