상기 게이트 절연 층 ( 230 ) 상 에 는 게이트 전극 ( 240 ) 이 형성 된다 . 구체 적 으로 , 상기 게이트 전극 ( 240 ) 은 상기 게이트 절연 층 ( 230 ) 상 에 도전 성 금속 , 예컨대 알루미늄 ( Al ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 탄탈 ( Ta ) , 크롬 ( Cr ) , 티탄 ( Ti ) 또는 구리 ( Cu ) 등 의 메탈 중 하나 를 스퍼터링 에 의해 대략 2000 Å ~ 4000 Å 정도 의 두께 로 증착 한 뒤 , 이 를 소 정형 상 으로 패 터닝 한다 .