본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 가스 분배 판 은 상부 가스 분배 판 ; 및 상기 상부 가스 분배 판 하부 에 배치 되 는 하부 가스 분배 판 을 포함 하 고 , 상기 상부 가스 분배 판 의 하부 면 또는 상기 하부 가스 분배 판 의 상부 면 에 형성 된 함몰 부 는 상기 제 2 가스 확산 공간 을 형성 하 고 , 상기 제 1 확산 공간 은 상기 하부 가스 분배 판 과 상기 접지 전극 사이 에 배치 되 고 , 상기 제 1 확산 공간 은 제 1 방향 으로 연장 되 는 상기 접지 전극 을 가로지르 는 제 2 방향 으로 연장 될 수 있 다 .