플러그 충 진체 ( 250 ) 가 제거 된 후 , 도 2 h 는 라이너 ( 240 ) 가 남 아 있 는 것 을 나타낸다 . 그 다음 , 라이너 ( 240 ) 는 , 수산화 암모늄 , 과산화수소 , 물 , 티록신 5 - 디요 오디 나제 , 질산 ( HNO 3 ) , ( 트리 메틸 실릴 ) 디 메틸 히드라진 ( TDMH ) , 또는 상기 임의 의 조합 중 적어도 하나 의 흐름 을 통해 제거 될 수 있 다 . 도 2 i 에 나타낸 바 와 같이 소자 ( 200 ) 가 남 아 있 다 . 이 시점 에서 소자 ( 200 ) 의 제조 가 완료 될 수 있 거나 , 소자 ( 200 ) 의 상부 에 추가 적 인 적층 체 를 형성 하 기 위해 단계 가 반복 될 수 있 다 .