기대 ( 12 ) 의 상면 에 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 정전 흡착 력 으로 보 지 하 기 위한 정전 척 ( 40 ) 이 마련 되 어 있 다 . 정 전척 ( 40 ) 은 , 도전 막 으로 이루어지 는 전극 ( 40 a ) 이 한 쌍 의 절연 층 또는 절연 시트 의 사이 에 끼워진 구조 이 다 . 전극 ( 40 a ) 에 는 , 스위치 ( 43 ) 를 개재 하 여 직류 전원 ( 42 ) 이 접속 되 어 있 다 . 스위치 ( 43 ) 는 , 전극 ( 40 a ) 과 , 직류 전원 ( 42 ) 또는 접지 전위 와 의 접속 을 전환 한다 . 전극 ( 40 a ) 에 직류 전원 ( 42 ) 이 접속 된 경우 , 직류 전원 ( 42 ) 으로부터 의 전압 이 전극 ( 40 a ) 에 공급 되 고 , 전극 ( 40 a ) 의 표면 에 정전기력 이 발생 한다 . 그리고 , 정전기력 에 의해 , 정 전척 ( 40 ) 상 에 배치 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 정전 척 ( 40 ) 의 상면 에 흡착 보지 된다 .