방전 용 플 라즈 마 ( 30 ) 에 의한 방전 이 수행 되 기 이전 에 또는 수행 되 는 도중 에 리프트 핀 ( 200 ) 이 기판 ( W ) 을 지지 할 수 있 다 . 리프트 핀 ( 200 ) 은 정전 퍽 ( 120 ) 의 표면 에 대하 여 일정 거리 만큼 기판 ( W ) 을 이격 시킬 수 있 다 . 기판 ( W ) 과 정전 퍽 ( 120 ) 의 사이 로 방전 용 플 라즈 마 ( 30 ) 가 스며들 어 기판 ( W ) 의 하부 면 에서 의 방전 이 수행 될 수 있 다 .