상기 광촉매 입자 는 저온 플 라즈 마 입자 발생 장치 를 통해 제조 된다 . 저 온 플 라즈 마 입자 발생 장치 는 저온 플 라즈 마로 발생 하 는 고열 에 의해 금속 성분 을 기화 시켜 광촉매 입자 를 형성 하 는 방법 으로써 , 양 금속 전극 에 고전압 을 인가 하 면 저온 플 라즈 마가 발생 되 고 , 저 온 플 라즈 마로 발생 되 는 고열 에 의해 금속 전극 의 금속 성분 이 기화 후 응축 되 어 광촉매 입자 가 형성 될 수 있 다 . 이 경우 , 불활성 기체 외 에 산소 또는 황화수소 ( H 2 S ) 를 더 공급 하 게 되 면 , 금속 산화물 또는 금속 황화물 의 광촉매 입자 를 형성 할 수 있 다 .