구체 적 으로 는 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 가동 상태 에 따라 , 반송 장치 ( 90 ) 에 대하 여 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 에 의해 포토레지스트 가 도포 된 기판 을 주 노광 장치 ( EX 1 ) 로 반송 하 도록 지시 한다 . 또한 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 가동 상태 에 따라 , 반송 장치 ( 90 ) 에 대하 여 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 의해 노광 된 기판 을 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 로 반송 하 도록 지시 한다 .