즉 , 캔틸레버 를 이루 는 SOI 기판 의 실리콘 은 두께 균 일도 가 5 % 이하 로 매우 낮 고 , 에칭 속도 의 편차 도 매우 크 므로 최종 적 으로 완성 된 캔틸레버 의 두께 편차 는 상당히 클 수 밖에 없 으며 , 이러 한 캔틸레버 의 큰 두께 편차 가 캔틸레버 에 형성 되 는 히터 및 저항 센서 의 저항 값 편차 를 증가 시킬 수 있 다 . 또한 , 이러 한 두께 편차 로 인해 캔틸레버 와 매체 사이 에 작용 하 는 힘 또는 양자 간 의 거리 를 일정 치 못하 게 하 는 문제 가 야기 될 수 있 다 .