불소 공급원 ( 103 ) 의 조성 도 또한 다양 할 수 있 다 . 일부 실시 양태 에서 , 불소 공급원 ( 103 ) 은 삼 불화 질소 , 불화 니트로실 , 불화 니트릴 , 질산 불소 , 육 불화 황 , 불소 , 또는 이 들 의 혼합물 중 의 하나 일 수 있 다 . 마찬가지 로 , 산소 공급원 의 조성 도 다양 할 수 있 다 . 일부 실시 양태 에서 , 산소 공급원 ( 104 ) 는 산화질소 , 아산화질소 , 이산화질소 , 산소 , 오존 , 물 , 이산화규소 , 또는 이 들 의 혼합물 중 의 하나 일 수 있 다 . 일부 실시 양태 에서 , 산소 공급원 ( 104 ) 는 또한 불화물 을 함유 할 수 도 있 으며 , 예 를 들 어 산소 공급원 ( 104 ) 는 불화 니트로실 또는 산화 삼 불화 질소 일 수 있 다 .