또한 , 컵 체 ( 2 ) , 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 및 커버 부재 ( 5 ) 를 , 특허 문헌 1 ( 일본 특허 공개 공보 2014 ­ 086638 ) ( 이 는 , 본 건 출원인 에 따른 선행 특허 출원 과 관련 된 특허 공개 공보 임 ) 에 기재 된 바 와 같이 구성 할 수 있 다 . 혹은 , 컵 체 ( 2 ) , 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 및 커버 부재 ( 5 ) 를 , 본 건 출원인 에 따른 선행 특허 출원 과 관련 된 일본 특허 공개 공보 2014 - 086639 호 에 기재 된 바 와 같이 구성 할 수 도 있 다 .