제 1 공급 라인 ( 640 ) 의 내부 에 는 세정 가스 가 흐르 며 , 제 1 공급 라인 ( 640 ) 은 밸브 ( 640 a ) 에 의하 여 개폐 된다 . 세정 가스 는 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 및 아르곤 ( Ar ) 을 포함 한다 . 세정 가스 는 공정 완료 후 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 를 세정 하 기 위하 여 제공 된다 . 제 2 공급 라인 ( 660 ) 의 내부 에 는 소스 가스 가 흐르 며 , 제 2 공급 라인 ( 660 ) 은 밸브 ( 660 a ) 에 의하 여 개폐 된다 . 소스 가스 는 실란 ( silane ) ( SiH 4 ) 을 포함 하 는 실리콘 - 함 유 가스 및 산소 ( O 2 ) 를 포함 하 는 산소 - 포함 ( oxygen - containing ) 가스 이 다 . 세정 가스 는 제 1 공급 라인 ( 640 ) 및 가스 공급 라인 ( 620 ) 을 통해 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 공급 되 며 , 소스 가스 는 제 2 공급 라인 ( 660 ) 및 가스 공급 라인 ( 620 ) 을 통해 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 공급 된다 .