배기관 ( 61 ) 에 는 , 진공 펌프 ( 39 ) 와 기 액 분리기 ( 53 ) 사이 에 스 태 틱 믹서 ( 63 ) 가 부착 되 어 있 다 . 스 태 틱 믹서 ( 63 ) 의 상류 부 에 는 , 순수 를 주입 하 기 위한 주 입부 ( 65 ) 를 갖추 고 있 다 . 유량 제어 밸브 ( 67 ) 는 , 주 입부 ( 65 ) 로 의 순수 의 유량 을 제어 한다 . 또한 , 스 태 틱 믹서 ( 63 ) 는 , 상세히 후술 하 지만 , 구동 부 가 없 고 , 유체 를 분할 · 전환 ( 轉換 ) · 반전 ( 反轉 ) 의 작용 에 의해 차례 로 교반 ( 攪拌 ) 혼합 하 는 기능 을 갖춘 것 이 다 .