바람직 한 알 콕 시실 란 화합물 로 는 이하 의 알 콕 시실 란 화합물 이 , 감광성 수지 조성물 로 했 을 경우 에 , 현 상시 의 패턴 이 기판 과 잘 밀착 되 어 있 고 , 추가 로 가열 경화 후 의 기판 과 의 밀착 성 이 높 고 , 감광성 수지 조성물 중 에서 의 감광성 디아조 나프 토 퀴논 화합물 등 의 감광제 의 반응 성 이 낮 고 , 조성물 의 시간 경과 적 안정 성 이 높 다는 점 에서 바람직 하 다 :