광 라디칼 중합 개시제 는 , 예 를 들 면 이소프로필 벤조 인 에테르 , 이소부 틸 벤조 인 에테르 , 벤조페논 , 미 힐러 케톤 , 클로 로티 옥산 톤 , 벤질 메틸 케 탈 , α - 하이드 록 시시 클로 헥 실 페닐 케톤 , 2 - 하이드 록 시메 틸 페닐 프로판 등 을 이용 할 수 있 다 . 이 들 중 적어도 1 종류 를 마스크 재 층 에 첨가 하 는 것 으로써 , 효율 적 으로 중합 반응 을 진행 시킬 수 있 다 .