그 때문 에 , 레지스 트 패턴 의 형성 에 있 어서 , 그 레지스 트 조성물 을 지 지체 상 에 도포 하 여 얻 어 지 는 레지스 트 막 을 선택 적 으로 노광 하 면 , 레지스 트 막 노광 부 는 알칼리 현상액 에 대하 여 난용성 ( 유기계 현상액 에 대하 여 가용성 ) 으로 바뀌 는 한편 으로 , 레지스 트 막 미노 광부 는 알칼리 현상액 에 대하 여 가용성 ( 유기계 현상액 에 대하 여 난용성 ) 인 채 로 변화 하 지 않 기 때문 에 , 알칼리 현상액 으로 현상 함 으로써 네거티브 형 레지스 트 패턴 이 형성 된다 . 또한 , 이 때 유기계 현상액 으로 현상 함 으로써 포지티브 형 의 레지스 트 패턴 이 형성 된다 .