이하 , 도 5 를 참조 한다 . 도 5 는 , 하나 의 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 에 있 어서 의 동축 도파 로 의 하나 이상 의 동축 관 의 내 도체 의 외주 면 의 직경 d 및 외 도체 의 내 주면 의 직경 D 가 충족 시켜야 하 는 조건 을 나타내 는 도 이 다 . 여기 에서 , 동축 관 에 있 어서 의 차단 파장 λ C 는 , 이하 의 식 ( 4 ) 로 나타난다 .