도 1 에서 , 노광 장치 는 레티 클 ( 1 ) 을 지지 하 는 레티 클 스테이지 ( 2 ) , 웨이퍼 ( 3 ) 를 지지 하 는 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) , 및 레티 클 ( 1 ) 을 노광 광 에 의해 조명 하 는 조명 광학계 ( 5 ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 노 광광 을 사용 하 여 레티 클 ( 1 ) 의 레티 클 패턴 상 을 웨이퍼 ( 3 ) 에 전사 하 는 투영 광학계 ( 6 ) 및 노광 장치 전체 의 동작 을 제어 하 는 제어 장치 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 구비 하 고 있 다 .