반 송실 ( 13 ) 내 에 는 , 기판 ( S ) 및 마스크 ( M ) 를 반송 하 는 반송 로봇 ( 14 ) 이 배치 된다 . 반송 로봇 ( 14 ) 은 , 상류 측 에 배치 된 중계 장치 의 패스 실 ( 15 ) 로부터 성막 장치 ( 11 ) 로 기판 ( S ) 을 반송 한다 . 또한 , 반송 로봇 ( 14 ) 은 성막 장치 ( 11 ) 와 마스크 스톡 장치 ( 12 ) 간 에 마스크 ( M ) 를 반송 한다 . 반송 로봇 ( 14 ) 은 , 예 를 들 면 , 다 관절 아암 에 , 기판 ( S ) 또는 마스크 ( M ) 를 보유 지지 하 는 로봇 핸드 가 장착 된 구조 를 갖 는 로봇 일 수 있 다 .