청구 항 2 에 기재 된 발명 은 , 「 청구 항 1 에 기재 된 광원 장치 ( 10 ) 와 , 광원 장치 ( 10 ) 로부터 출사 된 광 에 의해서 노광 되 는 노광 대상물 ( X ) 을 지지 하 는 지지대 ( 14 ) 와 , 광원 장치 ( 10 ) 로부터 출사 된 광 을 지지대 ( 14 ) 에서 지지 된 노광 대상물 ( X ) 로 유도 하 는 광학계 ( 16 ) 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 하 는 」 노광 장치 ( 12 ) 이 다 .