상기 제 1 슬러리 조성물 은 카르복시산 과 같 은 유기산 을 포함 한다 . 유기산 은 연마제 에 의한 연마 속도 를 향상 시키 고 산화제 를 안정 화 하 는 역할 을 한다 . 상기 제 1 슬러리 조성물 에 사용 될 수 있 는 유기산 의 예 로 는 시트르산 ( citric acid ) , 말론산 ( malonic acid ) , 아세트산 ( acetic acid ) , 글루타르산 ( glutaric acid ) , 글리콜산 ( glycolic acid ) , 포름산 ( formic acid ) , 젖산 ( lactic acid ) , 말산 ( malic acid ) , 말레산 ( maleic acid ) , 옥살산 ( oxalic acid ) , 프탈산 ( phthalic acid ) , 숙신산 ( succinic acid ) , 타르타르산 ( tartaric acid ) 등 을 들 수 있 다 . 이 들 은 단독 또 는 혼합 하 여 사용 될 수 있 다 . 상기 제 1 슬러리 조성물 에 포함 되 는 유기산 의 양 은 산화제 의 안정 성 및 연마제 의 분산 성 을 고려 하 여 적절히 조절 될 수 있 으며 약 0 . 1 내지 약 5 중량 % 의 범위 로 사용 될 수 있 다 .