추가 개선 은 , 고밀도 플라스마 ( HDP ) CVD 기술 에 의해 달성 되 었 다 , 여기 서 , 조밀 한 플라스마 는 낮 은 진공 압력 에서 형성 되 어서 , 플라스마 종 은 훨씬 더욱 반응 성 이 있 다 . HDP - CVD 는 , 더 높 은 이온 농도 를 유지 하 면서 , 반응 가스 의 더 낮 은 부분압 의 사용 을 가능 하 게 한다 . HDP - CVD 는 또한 가속 에너지 가 이온 화 에너지 에 독립 적 으로 제어 되 도록 한다 . 패턴 화 된 웨이퍼 프로세싱 과 관련 된 구분 에 추가 하 여 , 고밀도 플라스마 로 필름 을 증착 함 으로부터 의 결과 인 많 은 물질 변화 가 있 다 . 필름 이 HDP - CVD 방법 으로 증착 되 는 경우 에 , 그 결과 의 필름 은 다른 CVD 방법 보다 고밀도 를 지닐 수 있 다 . 조밀 한 필름 은 , 이 들 이 더 큰 조밀성 을 보일 수 있 고 더욱 효과 적 으로 에칭 또는 폴리 싱 정지 층 으로서 사용 될 수 있 기 때문 에 , 매력 적 일 수 있 다 .