본 발명 은 귀금속 을 이용 한 화학 적 기계 적 연마 방법 으로써 , 사용 된 슬러리 용액 을 수거 하 여 여과기 로 여과 후 , 여과 된 귀금속 을 회수 하 여 재생 시키 는 방법 으로써 귀금속 으로 인한 환경 오염 을 방지 하 고 폐기 되 는 양 을 줄일 수 있 으므로 손실 비용 을 줄일 수 있 는 반도체 용 슬러리 폐기 및 재생 방법 을 제공 한다 .