" 퇴적 챔버 내부 의 오염 물질 들 을 모니터링 하 기 위한 표준 기술 은 특정 시간 들 에서 챔버 환경 을 탐색 하 기 위해 특수 한 "" 목격자 웨이퍼 들 ( witness wafers ) "" 을 준비 하 는 것 에 있 다 . 목격자 웨이퍼 는 초 청정 환경 에서 조심 스럽 게 준비 될 수 있 으며 ", 목격자 웨이퍼 의 표면 은 매우 민감 한 모니터링 시스템 들 을 사용 하 여 검사 될 수 있 다 . 다음 으로 , 목격자 웨이퍼 는 제어 퇴적 들 을 위해 챔버 에 삽입 될 수 있 다 . 후속 하 여 , 목격자 웨이퍼 가 다시 검사 될 수 있 고 , 목격자 웨이퍼 의 표면 에 퇴적 된 오염 물질 들 의 양 이 결정 될 수 있 다 . 불순물 퇴적물 의 양 및 유형 으로부터 , 챔버 환경 의 조건 들 이 추론 될 수 있 고 제조 프로세스 의 제품 산출 의 품질 이 추정 될 수 있 다 .