일 실시 예 에서 , 제 2 펌프 는 또한 탄성 적 으로 변형 가능 한 다이어프램 을 포함 한 교번 흐름 다이어프램 펌프 이 다 . 또 다른 실시 예 에서 , 제 2 펌프 는 가동 벽 을 포함 하 는 기계 적 펌프 이 며 , 이 펌프 의 가역 적 인 이동 및 펌프 작용 은 잘 설정 된 방법 에 의해 부여 된다 . 많 은 가능 한 기계 적 펌프 들 중 한 가지 예 는 가동 벽 이 모터 또는 스텝 모터 에 결합 되 는 캠 메커니즘 에 의해 구동 되 는 피스톤 펌프 의 일부 인 피스톤 ( 피스톤 벽 ) 이 다 . 가역 적 인 피스톤 이동은 캠 스트로크 에 의해 결정 된다는 것 이 널리 알려져 있 다 . 가능 한 메커니즘 펌프 의 또 다른 예 에서 , 가동 벽 은 모터 또는 스텝 모터 에 결합 되 는 스 크류 또는 스레드 구동축 에 직접 또는 간접 적 으로 결합 한다 . 구동축 의 회전 은 스 크류 - 형 방식 으로 벽 을 이동 시킨다 . 축 회전 방향 ( 그러므로 , 벽 이동 방향 ) 및 벽 에 의해 이동 되 는 거리 는 전자 기계 적 회전 장치 의 회전 방향 및 지속 기간 및 / 또는 스 크류 축 의 구성 에 의해 제어 될 수 있 다 . 상기 두 가지 실시 예 들 중 피스톤 이동의 속도 는 모터 회전 속도 , 피치 및 스 크류 의 피치 방향 에 의해 제어 될 수 있 다 . 모든 에너지 를 제 1 펌프 로 전달 하 기 위해 제 2 펌프 챔버 및 벽 이 밀봉 되 어 누설 방지 가 되 어야 함 은 또한 알려져 있 다 .