도 1 은 본 실시 형태 에 따른 기판 반송 장치 로서 의 진공 반송 장치 를 구비 하 는 처리 시스템 의 일 예 를 도시 하 는 개략 평면도 이 다 . 이하 에서 는 , 처리 시스템 ( 1 ) 이 자기 저항 소자 의 제조 에 이용 되 는 시스템 이 며 , 기판 으로서 의 웨이퍼 ( W ) 에 미리 정해진 처리 로서 의 성막 처리 를 실행 하 는 진공 처리 실 을 구비 하 는 경우 에 대해서 설명 한다 .