다음 으로 , 후방 조명 부 는 기판 위치 부 의 후방 에 위치 되 며 , 기판 의 내부 결함 여부 를 검사 하 기 위하 여 기판 후면 에서 투과 조명 을 조사 하 는 역할 을 한다 . 후방 조명 부 는 조명 부 와 이 동부 로 구성 되 며 , 조명 부 는 투과 조명 을 발생 시키 는 구성 요소 이 며 , 이 동부 는 조명 부를 전후 방향 으로 구동 시키 는 구성 요소 이 다 . 여기 서 , 상기 조명 부를 전후 방향 으로 구동 시키 는 이유 는 다음 과 같 다 . 검사 되 는 기판 이 대형 화 되 면서 , 기판 의 회전 반경 을 확보 하 기 위하 여 후방 조명 부를 기판 위치 부 로부터 상당 거리 이상 이격 시켜야 한다 . 그러나 후방 조명 부가 기판 위치 부 로부터 상당 거리 이격 되 어 있 으면 , 기판 내부 결함 검사 시 조도 가 약해 지 는 문제점 이 있 으므로 기판 내부 결함 검사 시 에 는 조명 부를 기판 위치 부 쪽 으로 접근 시킬 필요 가 있 다 . 따라서 조명 부를 전후 방향 으로 이동 가능 하 게 구비 시킬 필요 가 있 는 것 이 다 .