[ 0024 ] 동작 시 에 , N 2 는 , N 2 가 저압 배기 배출 포트 로 전진 함 에 따라 , 기판 캐리어 도어 의 둘레 주위 로 유동 하 여 , 공기 / 산소 를 퍼징 한다 . 실시 예 들 은 , 최소량 의 퍼지 가스 를 사용 하 여 최소 시간 내 에 , 트래핑 된 가스 의 퍼징 을 최적 화 하 기 위해 포트 위치 들 , 리지 벽 개구 위치 들 , " 및 전환기 구조 위치 들 및 기하학 적 구조 뿐 만 아니 라 포트 사이즈 들 및 리지 벽 들 의 개구 들 의 밸 런 싱 을 제공 한다 . 이러 한 볼륨 의 트래핑 된 공기 의 제거 는 초고 순도 N 2 환경 애플리케이션 들 을 위해 O 2 PPM 농도 타 겟 들 의 효율 적 이 고 비용 - 효과 적 인 달성 을 가능 하 게 한다 . "" 초고 순도 N 2 환경 "" 을 구성 하 는 것 은 ", 사용 되 는 기판 캐리어 의 사이즈 및 형상 과 관련 하 여 EFEM 환경 의 볼륨 및 오퍼레이터 에 의존 한다는 것 을 주목 한다 . 예컨대 , 초고 순도 는 일부 애플리케이션 들 에서 는 대략 1 PPM 내지 대략 3 PPM O 2 일 수 있 고 다른 애플리케이션 들 에서 는 1 PPM 미만 일 수 있 다 . 퍼징 되 지 않 은 임의 의 공기 가 EFEM 의 N 2 비 - 반응 성 환경 에 진입 하 도록 허용 되 는 종래 기술 의 대안 은 O 2 농도 를 증가 시키 고 환경 을 오염 시킨다 . 이러 한 O 2 가 비교 적 큰 볼륨 으로 N 2 에 의해 희석 되 기 때문 에 , 다음 의 수학식 에 의해 대략 적 으로 정의 된 시간 량 이 걸리 며 ,