본 실시 예 에 있 어서 , 퍼징 가스 가 가스 안내 채널 의 중간 섹션 ( 예 를 들 어 , 높이 방향 / z - 축 방향 을 따라 ) 에 배치 된 가스 유출 구 ( 425 c ) 를 통해 가스 흡입 포트 ( 예 를 들 어 , 도면 부호 221 a ) 로부터 완충 격실 내 로 제공 될 수 도 있 다 . 필터 부재 ( 예 를 들 어 , 부재 ( 130 ) ) 내 의 다공성 소결 구조 가 필터 부재 를 통한 가스 흐름 을 조절 하 여 , 퍼징 작동 동안 완충 격실 내부 의 압력 이 안정 적 인 값 으로 유지 되 는 것 을 돕 는다 . 예 를 들 어 , 필터 부재 는 흡입 가스 ( 예 를 들 어 , 흡입 포트 ( 221 a / 222 a ) 로부터 의 ) 의 압력 이 특정 임계 값 에 도달 하 면 필터 부재 를 통한 가스 흐름 의 통과 를 허용 한다 . 완충 격실 ( 예 를 들 어 , 후방 커버 ( 120 ) 와 필터 부재 ( 130 ) 사이 에 형성 된 챔버 ) 내 에 충분 한 내부 압력 이 구축 됨 에 따라 , 필터 부재 가 퍼지 가스 를 조절 하 에 본체 ( 예 를 들 어 , 바디 ( 110 ) ) 의 내부 로 균일 하 게 분배 한다 .