이러 한 식각 기체 를 이용 한 인 - 시 츄 건식 식각 은 종래 의 별도 의 습식 식각 에 비해서 높 은 안정 성 을 가질 수 있 다 . 왜냐하면 , 습식 식각 은 화학 약품 의 혼합 및 디 핑 시 안정 성 의 문제 를 야기 할 수 있 으나 , 인 - 시 츄 건식 식각 에서 식각 기체 는 폐쇄 된 진공 챔버 내 에서 이루어지 므로 높 은 안정 성 을 보장 할 수 있 다 . 나아가 , 인 - 시 츄 건식 식각 에서 식각 기체 는 기체 플로우 미터 ( gas flow meter ) 를 이용 하 여 매우 정밀 하 게 조절 될 수 있 고 , 그 압력 도 쉽 게 모니터 될 수 있 다 . 따라서 , 높 은 신뢰도 로 에칭 핏 ( 112 ) 이 형성 될 수 있 다 .