일 실시 예 에서 , 상기 빔 결합기 는 상기 대물렌즈 어셈블리 로부터 대략 5 ㎜ 에 있 다 . 일 실시 예 에서 , 상기 빔 결합기 는 상기 대물렌즈 어셈블리 로부터 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 지만 1 ㎜ 내지 5 ㎜, 또는 5 ㎜ 내지 10 ㎜, 또는 5 ㎜ 내지 15 ㎜, 또는 5 ㎜ 내지 20 ㎜, 또는 5 ㎜ 내지 30 ㎜, 또는 5 ㎜ 내지 40 ㎜, 또는 5 ㎜ 내지 50 ㎜ 를 포함 하 는 거리 에 위치 한다 .