표 4 에 나타내 는 것 과 같이 , 본 발명 의 유기 막 형성 용 조성물 ( 실시 예 1 - 1 ∼ 1 - 23 ) 은 , PGMEA 처리 후 의 잔 막 률 이 99 % 이상 으로 , 질소 분위기 하 에서 도 가교 반응 이 일어나 충분 한 용제 내성 을 발현 하 고 있 는 것 을 알 수 있 다 . 이 에 대하 여 , 비 교예 1 - 1 ∼ 1 - 14 에 있 어서 , 가교제 와 열 산 발생 제 가 첨가 되 지 않 은 비 교예 1 - 1 ∼ 1 - 7 에서 는 , PGMEA 처리 후 의 잔 막 률 이 전부 50 % 미만 으로 되 어 충분 한 용제 내성 이 발현 되 지 않 고 , 비 교예 1 - 8 ∼ 1 - 14 와 같이 용제 내성 을 발현 시키 기 위해서 는 가교제 및 열 산 발생 제 의 첨가 가 필요 하 게 되 었 다 . 이 결과 로부터 , 본 발명 의 중합체 의 삼중 결합 을 포함 하 는 치환기 에 의해 열 경화 반응 이 일어나 고 , 용제 내성 이 발현 되 어 경화 막 이 형성 되 고 있 는 것 을 알 수 있 다 .