챔버 표면 으로부터 TiN 잔류물 을 제거 하 는 열 세정 공정 에서 , 10 ％ 의 NO 를 N 2 에 희석 된 NF 3 에 첨가 하 였 다 . 200 ℃ 에서 , 혼합물 은 약 852 옹스트롬 / 분 ( Å / 분 ) 의 세정 속도 를 제공 하 였 다 . 챔버 온도 를 약 400 ℃ 로 증가 시켰 을 때 , 세정 속도 는 4000 Å / 분 으로 증가 되 었 다 .