도 11 및 도 12 를 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 콘트 라스트 향상 에 적합 한 시스템 ( 1100 , 1200 ) 이 도시 되 어 있 다 . 여기 에서 본 발명 의 시스템 ( 1100 , 1200 ) 은 위 에서 설명 한 각종 의 다층 타 겟 을 구현 할 수 있 는 것 으로 예상 된다 . 본 발명 의 다층 타 겟 과 관련 된 하나 의 제한 은 그 들 의 작 은 측정 구조 와 관련 된 정보 내용 ( 즉 , 콘트 라스트 레벨 ) 의 부족 가능 성 을 포함 한다 . 시스템 ( 1100 , 1200 ) 은 본 발명 의 각종 다층 타 겟 의 하나 이상 의 타 겟 구조물 에서 의 낮 은 콘트 라스트 의 존재 를 중화 ( counteract ) 하 기 위해 향상 된 콘트 라스트 레벨 을 제공 한다 . 시스템 ( 1100 ) 은 본 발명 의 다층 타 겟 의 타 겟 구조물 과 관련 된 하나 이상 의 측정 구조 와 관련 된 콘트 라스트 레벨 을 향상 시키 기 위해 구조 화 조명 을 사용 한다 . 또한 , 시스템 ( 1200 ) 은 본 발명 의 다층 타 겟 의 타 겟 구조물 과 관련 된 하나 이상 의 측정 구조 와 관련 된 콘트 라스트 레벨 을 향상 시키 기 위해 교차 편광 을 사용 한다 .