본 발명 은 또한 특히 단일 마스크 및 리프트 - 오프 공정 에서 동일 함 금속 을 사용 하 여 플 라즈 몬 슬롯 도파 로 및 열 광학 적 위상 변 이 기 금속 접촉자 를 동시 에 배치 하 여 전체 제조 비용 을 줄일 수 있 는 장치 에 관한 것 이 며 , 특히 본 발명 의 다른 양태 는 , 특히 하이브리드 슬롯 SPP 도파 로 가 배치 되 는 경우 를 위해 포 토닉 및 플라 즈 몬 도파 로 를 설계 하 는 것 이 다 .