반입 출부 ( 2 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 는 제 1 웨이퍼 반송 기구 ( 11 ) 가 내부 에 형성 된 반 송실 ( L / M ) ( 12 ) 을 갖 고 있 다 . 제 1 웨이퍼 반송 기구 ( 11 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 대략 수평 으로 유지 하 는 2 개 의 반송 아암 ( 11 a , 11 b ) 을 갖 고 있 다 . 반 송실 ( 12 ) 의 길 이 방향 의 측 부 에 는 , 탑재 대 ( 13 ) 가 형성 되 어 있 고 , 이 탑 재 대 ( 13 ) 에는 , 웨이퍼 ( W ) 를 복수 장 병렬 하 여 수용 가능 한 캐리어 ( C ) 가 예 를 들 어 3 개 구비 되 어 있 다 . 또한 , 반 송실 ( 12 ) 에 인접 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 회전 시켜 편 심량 을 광학 적 으로 구하 여 위치 맞춤 을 행하 는 오리 엔터 ( 14 ) 가 설치 되 어 있 다 .