또한 , 광센서 에서 제공 된 광이 진공 챔버 에 구비 된 뷰 포트 를 통하 여 투과 되 는데 , 증착 공정 중 뷰 포트 는 뷰 포트 방 착 판 에 의해 가려 지 도록 하 여 , 뷰 포트 의 오염 을 방지 할 수 있 고 , 광센서 의 측정 시 에 만 뷰 포트 방 착 판 이동수 단인 뷰 포트 방 착 판 을 이동 시킴 으로서 , 증착 막 의 두께 를 측정 할 수 있 다 .