염소 가스 검출기 ( 641 ) 에 의한 Cl 2 가스 의 농도 측정 에 의해 , Cl 2 가스 가 확인 되 지 않 게 된 것 으로 판정 되 면 , 클리닝 처리 는 종료 된다 . 이어서 , 서 셉 터 ( S ) 에 대한 SiC 막 의 재생 처리 가 실시 된다 . 이 재생 처리 는 , 실시 형태 1 에서 설명 한 것 과 동일 한 방법 에 의해 실시 할 수 있 다 .