또한 , 제 1 대좌 플레이트 ( 21 ) 에 는 , 슬릿 형 의 공간 ( 캐비 티 ) ( 20 A ) 에 연통 되 는 피 측정 매체 의 도입 구멍 ( 21 a ) 이 그 중앙부 에 형성 되 어 있 고 , 제 2 대좌 플레이트 ( 22 ) 에 는 , 슬릿 형 의 공간 ( 캐비 티 ) ( 20 A ) 및 센서 칩 ( 30 ) 의 압력 도입 실 ( 36 ) 에 연통 되 는 피 측정 매체 의 도출 구멍 ( 22 a ) 이 복수 개 ( 이 예 에서 는 , 4 개 ) 형성 되 어 있 다 .