일 예 로 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 로딩 영역 ( 101 ) 에서 기판 ( 10 ) 을 수취 한 후 , 스테이지 ( 100 ) 에 기판 ( 10 ) 을 로딩 하 기 위해 사용 된다 . 즉 , 기판 ( 10 ) 은 로딩 영역 ( 101 ) 에서 스테이지 ( 100 ) 로 이송 되 고 , 틸팅 부 ( 300 ) 가 스테이지 ( 100 ) 에 대해 그립 유닛 ( 200 ) 을 경사지 게 틸팅 시킨 상태 에서 스테이지 ( 100 ) 에 기판 ( 10 ) 이 로딩 된다 .