최근 제안 된 해결 안 에 따르 면 , 반응 챔버 의 클리닝 작업 은 고온 으로 챔버 를 가열 하 고 적절 한 가스 들 을 그 내부 를 통하 여 흐르 게 함 으로써 수행 된다 ( 챔버 를 분해 하 지 않 고 ) . 그러 한 클리닝 공정 들 은 예컨대 , 일정 횟수 의 정상 적 인 생산 공정 들 ( 로딩 , 가열 , 증착 , 냉각 , 언로 딩 ) 후 에 수행 될 수 있 다 .