도 6 에 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 에 적용 되 는 액 공급 유닛 의 다른 예 가 개념 적 으로 도시 되 어 있 다 . 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 액 공급 유닛 ( 40 ) 의 다른 예 는 , 도 2 에 도시 된 액 공급 유닛 ( 40 ) 의 일례 와 비교 하 여 볼 때 , 기타 구성 및 작용 은 모두 동일 한 것 에 대하 여 , 하나 의 기체 공급원 을 이용 하 여 액 저장실 에 저장 된 처리 액 을 가압 하 기 위한 기체 를 도입 하 고 액 저장실 에 저장 된 처리 액 을 교반 하 기 위한 기체 를 도입 하 도록 구성 된 점 만 이 상이 하 다 .