본 개시 는 , 전자선 조사 에 기인 하 는 대전 과 , 시료 위 에 형성 된 소자 의 전기 특성 과 의 관계 에 관한 새로운 지견 ( 知見 ) 에 의거 하 여 이루어진 것 으로서 , 주로 이하 의 방법 , 시스템 , 및 비 일시 적 컴퓨터 가독 매체 에 관한 것 이 다 . 시스템 은 하전 입자선 장치 로부터 출력 되 는 화상 신호 , 혹은 특징 량 에 의거 하 여 , 연산 처리 를 실행 하 는 컴퓨터 시스템 을 포함 하 고 있 다 .