상기 프로브 조립 체 ( 14 ) 의 프로브 ( 23 ) 의 선단 측 침부 ( 23 A ) 로부터 FPC 케이블 ( 47 ) 의 커넥터 ( 46 ) 까지 의 저항 은 10 Ω 이하 로 설정 되 어 있 다 . 본 출원인 이 제조 하 는 프로브 유닛 및 검사 장치 에 있 어서 는 , 상기 프로브 조립 체 ( 14 ) 의 프로브 ( 23 ) 의 선단 측 침부 ( 23 A ) 로부터 FPC 케이블 ( 47 ) 의 커넥터 ( 46 ) 까지 의 저항 을 10 Ω 이하 로 설정 했 을 때 , 가장 좋 은 결과 를 얻 었 다 . 따라서 , 구동 용 집 적 회로 ( 43 ) 의 프로브 ( 23 ) 측 인 , 상기 프로브 조립 체 ( 14 ) 의 프로브 ( 23 ) 의 선단 측 침부 ( 23 A ) 로부터 FPC 케이블 ( 47 ) 의 커넥터 ( 46 ) 까지 의 저항 을 10 Ω 이하 로 설정 했 다 .