또한 , 상기 각 실시 형태 의 노광 장치 에 있 어서 의 투영 광학계 는 축소 계 뿐 만 아니 라 등배 및 확대 계 의 어느 것 이 어도 되 고 , 투영 광학계 ( PL ) 는 굴절계 뿐 만 아니 라 반사계 및 반사 굴절계 의 어느 것 이 어도 되 며 , 그 투영 이미지 는 도립상 및 정립상 의 어느 것 이 어도 된다 . 또한 , 투영 광학계 ( PL ) 를 통해 조명 광 ( IL ) 이 조사 되 는 노광 영역 ( IA ) 은 , 투영 광학계 ( PL ) 의 시야 내 에서 광축 ( AX ) 을 포함 하 는 온 액 시스 영역 이 지만 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2004 / 107011 호 팜플렛 에 개시 된 바 와 같이 , 복수 의 반사면 을 갖 고 또한 중간 이미지 를 적어도 1 회 형성 하 는 광학계 ( 반사계 또는 반굴 계 ( 反屈 系 ) ) 가 그 일부 에 형성 되 고 , 또한 단일 광축 을 갖 는 , 이른바 인라인 형 반사 굴절계 와 동일 하 게 , 그 노광 영역 은 광축 ( AX ) 을 포함 하 지 않 는 오프 액 시스 영역 이 어도 된다 . 또한 , 전술 한 조명 영역 및 노광 영역 은 그 형상 이 직사각 형 인 것 으로 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 원 호 , 사다리꼴 혹은 평행사변형 등 이 어도 된다 .