제 3 서브 접지 레일 ( 413 ) 은 제 1 및 제 2 셀 영역 ( R 1 , R 2 ) 상 에서 제 1 서브 접지 레일 ( 411 ) , 제 2 서브 접지 레일 ( 412 ) 및 제 4 서브 접지 레일 ( 414 ) 을 연결 할 수 있 다 . 제 3 서브 접지 레일 ( 413 ) 은 제 1 부분 ( 413 _ 1 ) 및 제 2 부분 ( 413 _ 2 ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 3 서브 접지 레일 ( 413 ) 의 제 1 부분 ( 413 _ 1 ) 은 제 4 방향 ( DR 4 ) 으로 연장 되 어 , 제 1 서브 접지 레일 ( 411 ) 과 제 4 서브 접지 레일 ( 414 ) 을 연결 할 수 있 다 . 제 3 서브 접지 레일 ( 413 ) 의 제 2 부분 ( 413 _ 2 ) 은 제 5 방향 ( DR 5 ) 으로 연장 되 어 , 제 2 서브 접지 레일 ( 412 ) 과 제 4 서브 접지 레일 ( 414 ) 을 연결 할 수 있 다 .