도 1 a 는 본 발명 의 일부 실시 예 들 에 따른 정전 척 ( 150 ) 의 개략 적 인 측면도 를 도시 하고 있 다 . 일반 적 으로 , 정전 척 ( 150 ) 은 , 기판 ( S ) 을 위 에 지지 하 는 제 1 면 과 그 반대 인 제 2 면 을 가진 디스크 ( 122 ) 를 포함 한다 . 제 1 전극 ( 128 ) 은 제 1 면 에 근접 하 여 배치 되 며 , 제 1 면 상 에 기판 ( S ) 을 선택 적 으로 정전기 적 으로 유지 하 기 위해 , 예컨대 , 전도체 ( 154 ) 를 통해 , 척 킹 력 공급원 ( 140 ) 에 커플링 될 수 있 다 . 제 2 전극 ( 138 ) 은 제 2 면 에 근접 하 여 배치 되 며 , 디스크 ( 122 ) 근처 에 배치 된 열 제어 판 ( 134 ) 에 디스크 ( 122 ) 를 선택 적 으로 정전기 적 으로 유지 하 기 위해 , 예컨대 전도체 ( 152 ) 를 통해 , 척 킹 력 공급원 ( 140 ) 에 커플링 될 수 있 다 . 척 킹 력 공급원 ( 140 ) 은 , 예컨대 약 500 내지 약 4000 V 의 적합 한 전력 으로 최대 약 4000 V 를 제공 할 수 있 는 하나 또는 그 초과 의 DC 전력 공급원 들 일 수 있 다 . 예컨대 , 더 작 거나 더 큰 기판 들 을 유지 하 기 위해 , 다른 구성 들 을 가진 정전 척 들 에 다른 크기 들 의 DC 전력 이 또한 사용 될 수 있 다 . 이하 에서 더 상세 하 게 설명 되 는 바 와 같이 , 정전 척 에 가스 공급원 ( 141 ) 을 커플링 하 기 위해 도관 ( 148 ) 이 제공 될 수 있 다 .