또한 , 도금 공정 을 통해 상기 공진 코일 ( 161 a 1 , 161 b 1 ) 이 형성 되 는 경우 , 절연 층 ( 161 d ) 상 에 는 코일 형상 에 대응 하 는 개구부 를 가지 는 마스크 ( 미 도시 ) 가 형성 될 수 있 으며 , 이 에 따라 상기 마스크 의 개구부 를 채우 는 도금 ( 무전 해 도금 또는 전해 도금 ) 을 진행 하 여 공진 코일 ( 161 a 1 , 161 b 1 ) 을 형성 할 수 있 다 .