도 5 는 , 준비 공정 에 있 어서 의 주입 처리 실 ( 16 ) 내 의 구성 을 모식 적 으로 나타내 는 상면 도 이 다 . 준비 공정 은 , 주입 공정 의 사전 에 실행 되 고 , 주입 범위 ( 62 ) 및 모니터 범위 ( 64 L , 64 R ) 에 있 어서 의 스캔 빔 ( SB ) 의 빔 전류 가 측정 된다 . 주입 범위 ( 62 ) 에 있 어서 의 빔 전류 는 , 제 1 프로파일러 컵 ( 44 a ) 또는 튜닝 컵 ( 47 ) 을 이용 하 여 측정 할 수 있 다 . 모니터 범위 ( 64 L , 64 R ) 에 있 어서 의 빔 전류 는 , 주입 공정 과 동일 하 게 , 사이드 컵 ( 42 L , 42 R ) 을 이용 하 여 측정 할 수 있 다 .