계속 해서 , 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 처리 장치 ( 101 ) 에서 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 , 반송 기구 ( 201 ) 를 제어 하 여 , 예 를 들 어 로드 로크 실 ( 303 ) 에 반송 시킨다 . 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 로드 로크 실 ( 303 ) 내 를 대기 분위기 로 한다 . 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 33 ) 를 개방 함 과 함께 , 반송 기구 ( 402 ) 를 제어 하 여 , 로드 로크 실 ( 303 ) 의 웨이퍼 ( W ) 를 예 를 들 어 로드 포트 ( 603 ) 의 캐리어 ( C ) 에 반송 해서 수용 시킨다 .