다공성 지 지체 ( 10 ) 와 포일 ( 20 ) 을 확산 접합 하 기 위한 열처리 는 500 ℃ ~ 900 ℃ 의 수소 분위기 ( 비산 화성 분위기 ) 에서 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이때 , 15 ㎛ 이하 로 가공 된 포일 ( 20 ) 에 존재 할 수 도 있 는 미세 한 핀홀 은 그 주위 의 금속 의 확산 에 의하 여 소멸 한다 . 열처리 온도 가 500 ℃ 보다 낮 으면 확산 이 불 충분 하 여 포일 ( 20 ) 과 다공성 지 지체 ( 20 ) 의 접합 강도 가 낮 거나 포일 ( 20 ) 의 핀홀 이 완전히 제거 되 지 않 으며 , 900 ℃ 보다 높 으면 Pd 합금 이 용융 될 가능 성 이 있 으므로 , 열처리 온도 를 500 ℃ ~ 900 ℃ 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 열처리 온도 에 따라 , 열처리 시간 을 30 분 내지 2 시간 의 범위 내 에서 설정 하 여 확산 접합 을 실시 함 으로써 , 수소 분리 복합 막 ( 100 ) 을 완성 할 수 있 다 .