한편 산화 실리콘 막 의 두께 가 200 Å 내지 800 Å 으로 비교 적 작 은 경우 에 는 , 산소 소스 가스 / 실리콘 소스 가스 의 유량 을 증가 시키 면 유전 상수 를 증가 시킬 수 있 다 . 산소 소스 가스 / 실리콘 소스 가스 의 유량 비 는 150 내지 300 일 수 있 으며 , 유전 상수 를 증가 시키 기 위해 200 내지 300 인 것 이 바람직 하 다 .