도 2 i 를 참조 하 면 , 상기 하 부전 극택 ( 220 ) 을 포함 한 절 연막 ( 218 ) 상 에 상변화 물질 막 과 상부 전극 용 막 을 차례 로 증착 한다 . 상기 상변화 물질 막 은 캘 코 제 나이 드 물질 인 저며 늄 ( Ge ) , 안티몬 ( Sb ) 및 텔루륨 ( Te ) 중 선택 된 적어도 하나 이상 의 화합물 을 사용 한다 . 이때 , 상기 캘 코 제 나이 드 물질 에 산소 , 질소 및 실리콘 등 을 도핑 시키 는 것 도 가능 하 다 . 상기 상부 전극 용 막 은 , 바람직 하 게 , 하부 전극 ( 220 ) 과 동일 한 물질 을 사용 한다 .