이 경우 , 소수 화제 의 액체 가 기판 에 공급 된 후 에 , 그 소수 화제 를 용해 시킬 수 있 는 용제 가 기판 에 공급 된다 . 이 에 의해 , 기판 에 부착 되 어 있 는 소수 화제 가 용제 로 치환 된다 . 그리고 , 용제 가 기판 으로부터 제거 되 어 , 기판 이 건조 된다 . 건조 전 린스 처리 에 있 어서 기판 에 공급 되 는 용제 는 물 보다 표면장력 이 작 다 . 따라서 , 건조 전 린스 처리 에 있 어서 물 을 포함 하 는 액체 가 기판 에 공급 되 는 경우 보다 도 패턴 의 도괴 를 억제 또는 방지 할 수 있 다 .