이 에 대해 , 많이 해리 된 전구체 는 흡착 계수 가 작 아서 , " 도 7 의 시스 영역 ( S ) 에 있 어 CF 2 의 거동 인 오른쪽 에서 왼쪽 으로 의 화살표 ""←"" 로 나타내 는 바 와 같이 ", 마스크 층 ( 100 ) 의 상면 이나 측면 에 부착 되 기 어렵 다 . 따라서 , 많이 해리 된 전구체 는 , 마스크 층 ( 100 ) 의 상면 이나 측면 에서 소비 되 지 않 고 , 홀 ( H ) 안 의 아랫 쪽 을 향하 는 화살표 ( →) 로 나타내 는 바 와 같이 , 산화 실리콘 층 ( 140 ) 에 형성 된 홀 ( H ) 의 측면 이나 저면 에 까지 도달 하 기 가 쉽 다 . 그러므로 , 많이 해리 된 전구체 가 , 적 게 해리 된 전구체 에 비해 , 산화 실리콘 층 ( 140 ) 에 형성 된 홀 의 측면 이나 저면 에 폴리머 ( 105 ) 를 형성 하 기 가 쉽 다 .