게다가 , 특수 한 단일 또는 다수 의 분무 가장자리 - 제트 들 ( 직접 도시 되 지 는 않 지만 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 에게 용이 하 게 이해 가능 함 ) 이 기판 의 가장자리 ( 들 ) 에서 별개 로 지향 될 수 있 다 . 특수 한 단일 또는 다수 의 분무 가장자리 - 제트 들 은 복수 의 분무 제트 들 ( 219 A 내지 219 D ) 과 유사 할 수 있 고 , 특수 한 세정 기능 들 또는 향상 된 가장자리 - 세정 을 수행 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 가장 자리 - 제트 들 은 또한 기판 의 표면 들 ( 면 들 ) 로 지향 되 는 제트 들 에 공급 되 는 유체 들 과 동일 하 거나 상이 한 세정 유체 들 및 탈 이 온수 를 공급 받 을 수 있 다 .