일 예 로서 , 상기 제 1 도메인 ( 도 1 f 의 140 A ) 이 폴리 메틸 메타크릴 레이트 ( PMMA ) 블록 을 함유 하 고 , 상기 제 2 도메인 ( 도 1 f 의 140 B ) 이 폴리 알파 메틸 스티렌 ( PAMS ) 블록 을 함유 하 며 , 상기 제 3 도메인 ( 140 C ) 이 폴리스티렌 ( PS ) 블록 을 함유 하 는 경우 에 , PAMS 및 PMMA 를 분해 하 는 문턱 에너지 보다 높 고 PS 를 분해 하 는 문턱 에너지 보다 낮 은 에너지 를 갖 는 복사선 또는 산소 플 라즈 마 를 제공 함 으로써 , PAMS 를 구비 하 는 제 2 도메인 ( 도 1 f 의 140 B ) 및 PMMA 를 구비 하 는 제 1 도메인 ( 도 1 f 의 140 A ) 을 선택 적 으로 제거 할 수 있 다 . 이 경우 에 , 상기 미세 마스크 패턴 ( 140 D _ 3 ) 은 상기 제 1 도메인 ( 도 1 f 의 140 A ) 및 그 양측 의 제 2 도메인 들 ( 도 1 f 의 140 B ) 이 제거 되 어 형성 된 제거 된 스페이스 와 상기 제 3 도메인 ( 140 C ) 로 이루어진 바 패턴 ( bar pattern ) 을 구비 할 수 있 으며 , 패턴 피치 ( PZ 3 ) 는 4 X 일 수 있 다 .