주로 , 가스 공급 관 ( 232 a ) , MFC ( 241 a ) , 밸브 ( 243 a ) 에 의해 , 제 1 공급계 ( 제 1 아미노 실란 공급계 ) 가 구성 된다 . 주로 , 가스 공급 관 ( 232 b ) , MFC ( 241 b ) , 밸브 ( 243 b ) 에 의해 , 제 2 공급계 ( 제 2 아미노 실란 또는 알 콕 시실 란 공급계 ) 가 구성 된다 . 주로 , 가스 공급 관 ( 232 c ) , MFC ( 241 c ) , 밸브 ( 243 c ) 에 의해 , 제 3 공급계 ( 산화제 공급계 ) 가 구성 된다 . 주로 , 가스 공급 관 ( 232 d 내지 232 f ) , MFC ( 241 d 내지 241 f ) , 밸브 ( 243 d 내지 243 f ) 에 의해 , 불활성 가스 공급계 가 구성 된다 .