상기 제 1 구동 전극 은 , 상기 제 1 단 연장 부 로부터 제 2 단 연장 부측 으로 연장 되 고 또한 그 제 1 단 연장 부 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 하 는 복수 의 전극 치 와 , 상기 제 2 단 연장 부 로부터 제 1 단 연장 부측 으로 연장 되 고 또한 그 제 2 단 연장 부 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 하 는 복수 의 전극 치 를 갖 고 , 상기 제 2 구동 전극 은 , 상기 제 1 및 제 2 단 연장 부 를 따라서 연장 되 는 아 암부 와 , 그 아 암부 로부터 제 1 단 연장 부측 으로 연장 되 고 또한 그 아 암부 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 하 는 복수 의 전극 치 와 , 상기 아 암부 로부터 제 2 단 연장 부측 으로 연장 되 고 또한 그 아 암부 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 하 는 복수 의 전극 치 를 갖 는 부기 1 또는 2 에 기재 된 마 이크 로 요동 소자 .