이어서 , 반응 가스 로서 , 산소 함유 가스 인 O 2 가스 와 수소 함유 가스 인 H 2 가스 의 공급 을 개시 한다 . 구체 적 으로 는 , 밸브 ( 253 a 및 253 b ) 를 열 어 , MFC ( 252 a 및 252 b ) 로 유량 제어 하 면서 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 O 2 가스 및 H 2 가스 의 공급 을 개시 한다 . 이때 , O 2 가스 의 유량 을 , 예 를 들 어 20 내지 2000 sccm , 바람직 하 게 는 20 내지 1000 sccm 의 범위 내 의 소정 값 으로 한다 . 또한 , H 2 가스 의 유량 을 , 예 를 들 어 20 내지 1000 sccm , 바람직 하 게 는 20 내지 500 sccm 의 범위 내 의 소정 값 으로 한다 . 보다 적합 한 예 로서 , O 2 가스 와 H 2 가스 의 합계 유량 을 1000 sccm 으로 하 고 , 유량 비 는 O 2 / H 2 ≥ 950 / 50 으로 하 는 것 이 바람직 하 다 .