본 발명 의 광학 장치 는 , 제 1 광학 소자 및 제 2 광학 소자 와 , 상기 제 1 광학 소자 및 상기 제 2 광학 소자 를 유지 하 는 유지 부 와 , 상기 유지 부 에 설치 된 유로 를 향해서 온도 제어 된 기체 를 공급 하 는 기체 공급 부 와 , 상기 기체 공급 부 에 의해 공급 된 기체 를 배출 하 는 기체 배 출부 를 구비 하 고 , 상기 기체 배 출부 는 , 상기 제 1 광학 소자 와 상기 제 2 광학 소자 의 배열 방향 에 나란 하 게 배치 되 어 있 는 것 을 특징 으로 한다 .