정전 척 ( 105 ) 의 작 동시 , 디스크 ( 202 ) 와 기판 ( S ) 사이 의 계면 ( 216 ) 과 디스크 ( 202 ) 와 열 제어 판 ( 204 ) 사이 의 계면 ( 218 ) 에 대해 , 가스 및 / 또는 척 킹 력 을 선택 적 으로 제공 함 으로써 , 기판 ( S ) 의 신속 한 가열 또는 냉각 이 용이 해 질 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 디스크 ( 202 ) 는 초당 최대 약 50 ℃ 의 속도 로 가열 또는 냉각 될 수 있 으며 , 일부 실시 예 들 에서 , 초당 최대 약 150 ℃ 의 가열 속도 로 가열 되 고 초당 최대 약 20 ℃ 의 냉각 속도 로 냉각 될 수 있 다 .