통상 적 으로 비활성 가스 인 제 3 가스 가 박스 ( 204 ) 에서 환원 가스 와 함께 노 에 주입 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 제 2 및 제 3 가스 들 은 노 에 주입 되 기 이전 에 예비 - 혼합 된다 . 제 3 가스 는 질소 ( N 2 ) , 아르곤 ( Ar ) , 헬륨 ( He ) , 네온 ( Ne ) , 크립톤 ( Kr ) 및 크세논 ( Xe ) 를 포함 할 수 있 다 .