또한 , 도 20 과 같 은 경우 에 , 제 3 방전 셀 ( 2020 ) 및 제 4 방전 셀 ( 2030 ) 이 배기 홀 ( 240 ) 과 중첩 되 는 영역 ( AR 22 , AR 23 ) 의 크기 는 제 1 방전 셀 ( 2000 ) , 제 2 방전 셀 ( 2010 ) , 제 5 방전 셀 ( 2040 ) 및 제 6 방전 셀 ( 2050 ) 이 배기 홀 ( 240 ) 과 중첩 되 는 영역 ( AR 20 , AR 21 , AR 24 , AR 25 ) 의 크기 보다 클 수 있 다 .