이러 한 소자 는 예 를 들 어 , 시장 에서 입수 가능 한 실리콘 플레이트 와 같 은 단결정 실리콘 기판 ( 10 ) 을 포함 한다 . 이러 한 플레이트 상 의 산화물 은 미리 클리닝 된다 . 또한 , 소자 는 실리콘 산화물 ( SiO 2 ) , 란타늄 알 루미 네이트 ( lanthanum aluminate ) ( LaAlO 3 ) , 이트륨 ( yttrium ) 산화물 에 의해 안정 화 된 지르코늄 산화물 ( ZrO 2 ) , Y 2 O 3 ( YZS ) , 또는 세륨 ( cerium ) 산화물 ( CeO 2 ) 과 같이 플 라즈 마 분쇄 ( plasma pulverization ) 에 의해 증착 된 산화물 로 이루어진 절연 층 ( 12 ) 을 포함 한다 . 이러 한 절연 층 ( 12 ) 은 300 nm 의 두께 를 갖 는다 .