상기 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 의 바람직 한 일 실시 예 에 따르 면 , 유도 결합 형 플 라즈 마 처리 장치 에 있 어서 , 진공 상태 로 유지 되 며 , 기판 의 처리 를 위해 외부 에서 유입 된 반응 가스 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 생성 하 는 제 1 챔버 ; 상기 제 1 챔버 의 상부 에 위치 하 며 , RF 전원 에 접속 되 어 상기 제 1 챔버 에 상기 플라 즈 마 생 성 을 위한 전기장 을 유도 하 는 안테나 코일 ; 상기 제 1 챔버 및 안테나 사이 에 배치 되 며 , 상기 제 1 챔버 내부 에 전기장 이 유도 되 도록 하 는 유전체 윈도우 ; 및 상기 RF 전원 과 독립 적 인 제어 전원 에 접속 되 어 상기 안테나 코일 및 유전체 윈도우 사이 에 배치 되 는 패러데이 차폐막 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 유도 결합 형 플 라즈 마 처리 장치 가 제공 된다 .