본 발명 은 써 모 커플 ( Thermo Couple ) 의 조절 장치 및 이 를 이용 한 화학 기상 증착 장치 ( equipment for chemical vapor deposition ) 에 관한 것 으로 특히 , 써 모 커플 의 조절 장치 를 새롭 게 제공 하 고 오염 가스로 부터 이 조절 장치 가 보호 되 는 써 모 커플 접속 라인 ( ThermoCoupleSupportLine , 이하 조절 라인 이 라 함 ) 및 이 를 이용 한 화학 기상 증착 장치 에 관한 것 이 다 .