도 6 a 에서 보인 실리콘 박막 ( 110 ) 을 실리콘 이 포함 되 는 절 연막 ( 120 a ) 으로 형성 하 는 경우 , 실리콘 박막 ( 110 ) 은 노출 된 표면 부터 절 연막 으로 변화 하 게 된다 . 따라서 , 실리콘 박막 ( 110 ) 이 두 꺼 울 경우 실리콘 박막 ( 110 ) 과 반응 하 기 위한 산소 또는 질소 는 실리콘 박막 ( 110 ) 표면 에 형성 된 절 연막 을 뚫 고 확산 해야 한다 . 따라서 절 연막 의 형성 속도 는 실리콘 박막 ( 110 ) 이 두 꺼 울 수록 더 느려 지 게 된다 .