구동 부 ( 13 ) 는 제 1 방향 ( 이하 , X 축 방향 ) 으로 왕복 진동 을 발생 시킨다 . 구동 부 ( 13 ) 의 일 실시 예 로서 , 압 전 ( piezoelectric ) 액추에이터 ( 13 ) 가 사용 될 수 있 다 . 압 전 액추에이터 ( 13 ) 는 회전 구동 형 과 리니어 구동 형 으로 나뉘 어 지 며 , 본 발명 에서 는 리니어 구동 형 압 전 액추에이터 ( 13 ) 가 사용 된다 . 압 전 액추에이터 ( 13 ) 는 세라믹 과 같 은 압전체 에 고주파 의 교류 전압 을 인가 하 면 압전체 에서 기계 적 진동 이 발생 하 는 원리 를 이용 한다 . 리니어 구동 형 압 전 액추에이터 ( 13 ) 의 경우 , 복수 개 의 세라믹 압전체 에 상승 펄스 와 하강 펄스 로 이루어진 고주파 교류 전압 을 인가 하 면 예 를 들 면 상승 펄스 기간 에 는 세라믹 압전체 가 신장 하 고 , 하강 펄스 기간 에 는 세라믹 압전체 가 수축 한다 . 이러 한 고주파 교류 전압 을 지속 적 으로 인가 하 면 압 전 액추에이터 ( 13 ) 는 신장 과 수축 이 라는 기계 적 인 진동 을 발생 시킨다 .