먼저 , 본체 ( 200 ) 의 입 구부 ( 201 ) 를 통해 유입 된 악취 함유 배기 가스 는 라디칼 공급 부 ( 100 ) 로부터 공급 된 OH 라디칼 에 의해 산화 및 분해 처리 된 후 , 원뿔형 의 확대 관 내부 로 유입 되 면서 유입 당시 의 약 15 ～ 18 m / sec 의 속도 에서 0 . 3 ～ 1 m / sec 의 속도 로 속도 가 저하 되 어 제 1 챔버 ( 202 ) 를 경유 하 여 필터 ( 210 ) 를 거치 게 된다 . 이때 필터 ( 210 ) 는 유입 되 는 악취 함유 배기 가스 내 에 포함 된 0 . 5 ㎛ 이상 의 분진 및 이 물질 ( 특히 점착성 분진 포함 ) 을 제거 하 게 된다 . 이렇게 하 여 0 . 5 ㎛ 이상 의 분진 이 제거 된 악취 함유 배기 가스 는 제 1 오존 및 라디칼 분 사실 ( 215 ) , 제 2 라디칼 분 사실 ( 216 ) , 제 3 라디칼 분 사실 ( 217 ) 를 거치 면서 각 분 사부 ( 215 ) ( 216 ) ( 217 ) 내 설치 된 노즐 ( 220 ) 에서 분사 된 오존 ( O 3 ) 또는 라디칼 ( OH 라디칼 ) 과 산화 및 분해 반응 을 하 여 1 차 처리 하 고 데미스 터 에서 라디칼 분사 시 발생 되 는 수증기 또는 수적 이 제거 된 악취 함유 배기가스 는 제 1 음이온 발생 부 ( 312 ) 에서 발생 된 이온 ( 음 이온 , 양 이온 ) 이 악취 함유 배기가스 와 접촉 및 혼합 되 어 악취 물질 의 분자 결합 을 파괴 하 게 된다 . 제 1 음이온 발생 부 ( 312 ) 및 1 차 음 이온 접촉 반응 실 ( 316 ) 을 거치 게 되 는데 , 이때 제 1 음이온 발생 부 ( 312 ) 에서 발생 된 이온 ( 음 이온 , 양 이온 ) 이 악취 함유 배기 가스 와 접촉 및 혼합 되 어 악취 물질 의 분자 결합 을 파괴 하 게 된다 . 또한 , 산소 클러스터 ( cluster ) 역할 로 배기 가스 중 의 산소 와 결합 하 여 , 탄화수소 군인 경우 다음 과 같이 탄산 가스 와 수증기 로 반응 이 이루어진다 . 이때 음 이온 은 분자 결합 을 파괴 하 는 클러스터 역할 을 한다 .