상부 플레이트 ( 240 ) 는 히팅 부재 ( 230 ) 상 에 적층 되 어 설치 되 는 것 이 다 . 상부 플레이트 ( 240 ) 는 외부 로 유입 되 는 공정 가스 를 하부 플레이트 ( 220 ) 의 각각 의 하부 홀 ( 223 ) 로 분배 하 여 공급 하 는 기능 을 할 수 있 다 . 또한 상부 플레이트 ( 240 ) 는 하부 플레이트 ( 220 ) 와 의 체결 을 위해 가장 자리 영역 의 하단 이 가운데 영역 보다 높 게 제공 될 수 있 다 .