고주파 생 성부 ( RF Generator ) ( 26 ) 는 고주파 전원 신호 를 생성 한다 . 고주파 생 성부 ( 26 ) 에 는 펄스 제어기 ( Pulse controller ) ( 28 ) 가 연결 된다 . 펄스 제어기 ( 28 ) 는 검증 유닛 ( 30 ) 으로부터 펄스 입력 값 을 포함 하 는 제어 신호 ( 설정 신호 ) 를 전달 받 아 고주파 전원 신호 의 펄스 를 제어 한다 .