또한 , 상기 각 실시 형태 및 변형 예 에서 는 , 액침 영역 의 전달 시 등 에 , 2 개 의 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 스크럼 상태 를 유지 한 채 로 X 축 방향 으로 구동 되 는 경우 에 대해서 설명 하 였 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 지 아니하 고 , 스테이지 들 은 X 축 방향 뿐 만 아니 라 Y 축 방향 으로 도 구동 될 수 있 다 . 이 와 같이 함 으로써 , 스크럼 상태 후 에 액침 영역 이 전달 된 웨이퍼 스테이지 에 유지 된 다음 의 노광 대상 의 웨이퍼 에 대한 노광 개시 까지 의 시간 을 , 2 개 의 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 스크럼 상태 를 유지 한 채 + X 축 방향 으로 만 구동 되 는 경우 에 비해 조금 이 라도 단축 할 수 있 다 .