본 발명 의 실시 태양 은 도면 을 참조 하 여 설명 된다 . 도 1 및 2 는 액상 공정 을 위한 반응기 ( 40 ) 의 단면 을 보여준다 . 규소 - 함유 화학 물질 , 예 를 들 면 테트라 에 톡 시실 란 또는 규소 - 함유 화학 물질 의 혼합물 이 ( 10 ) 으로 도입 된다 . 준 - 졸 - 겔 반응 을 개시 하 기 위한 화학 물질 이 ( 20 ) 으로 도입 되 는데 , 예 를 들 면 아세트산 뿐 만 아니 라 암모니아 가 사용 될 수 있 다 . 특정 화학 물질 , 예 를 들 면 암모니아 는 기체 형태 로 도입 된 다음 혼합물 중 에 용해 될 수 있 지만 , 결국 , 액체 혼합물 이 반응기 의 내부 에 존재 하 게 된다 . 물 의 도입 을 따로 표시 하 고 있 지 않 지만 , 물 은 따로 공급 되 거나 또는 ( 10 ) 또는 ( 20 ) 에서 의 구성 요소 로 뿐 만 아니 라 운반 기체 ( 30 ) 의 구성 요소 로 도 공급 될 수 있 다 .