플라 즈 마 식각 장치 ( 420 ) 는 박막 형성 장치 ( 410 ) 에 인접 하 여 배치 된다 . 플 라즈 마 식각 장치 ( 420 ) 는 박막 이 형성 된 기판 을 냉각 시키 고 상기 기판 의 주변 부 에 형성 된 이 물질 을 제거 하 는 공정 을 수행 한다 . 플 라즈 마 식각 장치 ( 420 ) 는 상기 공정 을 수행 하 기 위하 여 공정 공간 을 제공 하 는 제 2 공정 챔버 ( 425 ) 를 포함 한다 .