반도체 기판 ( 104 ) 은 예 를 들 어 벌크 실리콘 기판 , III - V 족 기판 , SOI ( silicon - on - insulator ) 기판 , 또 다른 적합 한 반도체 기판 ( 들 ) 등 일 수 있 거나 달리 이 를 포함 할 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 은 유전체 재료 로 형성 되 고 , 메모리 영역 ( 104 m ) 을 둘러쌀 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 106 ) 은 쉘로우 트렌치 아이 솔 레이 션 ( STI ; shallow trench isolation ) 구조물 , 딥 트렌치 아이 솔 레이 션 ( DTI ; deep trench isolation ) 구조물 , 또 다른 적합 한 아이 솔 레 이 션 구조물 ( 들 ) , 전술 한 바 의 조합 등 일 수 있 다 .