분사 유닛 은 원료 물질 을 분사 하 기 위한 노즐 ( 720 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 노즐 ( 720 ) 은 기판 지지대 에 의하 여 지 지 되 어 박막 이 증착 되 는 기판 의 일면 과 대향 하 도록 이격 배치 되 어 설치 될 수 있 다 . 노즐 ( 720 ) 은 저장 용기 ( 500 ) 와 탈 부착 가능 하 고 , 기판 의 일면 과 대향 하 는 상면 에 는 복수 의 분사 홀 ( 710 ) 이 형성 된다 . 노즐 ( 720 ) 은 기판 의 일면 에 증발 된 원료 물질 , 예 를 들 어 유기물 을 다수 의 경로 로 균일 하 게 분배 하 여 공급 할 수 있 다 . 이 를 위하 여 , 노즐 ( 720 ) 은 저장 용기 ( 500 ) 와 탈 부착 되 는 하부 에 저장 용기 ( 500 ) 에 저장 된 원료 물질 이 공급 되 는 인입구 가 형성 되 고 , 인입구 와 분사 홀 ( 710 ) 이 상호 연통 되 어 증발 된 원료 물질 이 확산 되 도록 소정 의 확산 공간 이 내부 에 형성 될 수 있 다 .