또한 , 도 23 은 본 명세서 에서 서술 한 프로그램 을 실행 하 여 전술 한 여러 종류 의 실시 형태 의 반도체 제조 장치 를 실현 하 는 컴퓨터 의 외관 을 나타낸다 . 전술 의 실시 형태 는 컴퓨터 하드웨어 및 그 위 에서 실행 되 는 컴퓨터 프로그램 으로 실현 될 수 있 다 . 도 23 은 이 컴퓨터 시스템 ( 340 ) 의 개 관도 이 며 , 도 24 는 컴퓨터 시스템 ( 340 ) 의 블록 도 이 다 .