본 발명 에 의하 면 , 금속 카보닐 원료 를 사용 하 여 피 처리 기판 표면 에 금속 막 을 퇴적 할 때 에 , 상기 피 처리 기판 의 외주 부 근방 영역 에서 금속 카보닐 원료 의 분해 를 촉진 함 으로써 , 이러 한 외주 부 근방 영역 에서 의 분위기 중 의 CO 농도 를 국소 적 으로 증가 시킬 수 있 고 , 이 에 따라 상기 금속 막 의 , 상기 피 처리 기판 외주 부로 의 퇴적 을 확실 하 고 도 효과 적 으로 억제 할 수 있 다 .