한편 , 일정 시간 이 경과 하 여 두께 0 . 5 ~ 1 . 5 ㎛ 의 디엘 씨 박막 ( 142 ) 형성 이 완료 되 면 , 상기 전 원공 급부 ( 360 ) 의 전력 을 내리 고 아르곤가스 의 유입 을 차단 하 여 플 라즈 마의 생성 을 종료 시키 게 된다 . 그리고 , 일정 시간 이 지난 후 상기 챔버 ( 310 ) 의 온도 가 내려가 게 되 면 , 상기 챔버 ( 310 ) 의 진공 을 해제 한 후 상기 챔버 ( 310 ) 를 개방 하 여 디엘 씨 박막 ( 142 ) 이 형성 된 블레이드 ( 100 ) 를 꺼내 게 된다 . [ 취 출 단계 ]