광 스캐너 소자 ( 100 ) 는 구동 전압 의 인가 에 따라 움직이 는 부분 인 구 동체 ( 110 ) 와 , 움직이 지 않 고 고정 되 어 있 는 고 정체 ( 120 ) 로 구성 되 는데 , 구 동체 ( 110 ) 는 비틀림 스프링 ( 130 ) 을 통하 여 고 정체 ( 120 ) 의 앵커 ( 121 ) 와 연결 된다 . 구 동체 ( 110 ) 에 는 빛 을 반사 시키 는 미러 ( 111 ) 가 형성 됨 과 아울러 , 다수 개 의 구동 전극 ( 142 ) 이 형성 된다 . 고 정체 ( 120 ) 에 는 다수 개 의 고정 전극 ( 141 ) 이 형성 되 는데 , 상기 다 수 개 의 구동 전극 ( 142 ) 과 평행 하 게 배치 되 어 미러 구동 부 ( 140 ) 를 구성 한다 . 미러 구동 부 ( 140 ) 에 구동 전압 을 인가 하 게 되 면 , 구동 전극 ( 142 ) 와 고정 전극 ( 141 ) 사이 의 정전 력 에 의하 여 구 동체 ( 110 ) 및 구 동체 ( 110 ) 에 형성 된 미러 ( 111 ) 가 움직이 게 된다 . 그리고 고 정체 ( 120 ) 의 수평 구조 를 살펴보 면 , 상부 기판 ( 125 ) 및 하부 기판 ( 127 ) , 그리고 이 들 상부 기판 ( 125 ) 과 하부 기판 ( 127 ) 의 전기 적 인 분리 를 위한 산화 막 ( 126 ) 이 이 들 상부 기판 ( 125 ) 과 하부 기판 ( 127 ) 의 사이 에 형성 될 수 있 다 . 이 들 구 동체 ( 110 ) 와 고 정체 ( 120 ) 는 SOI ( Silicon - On - Insulator ) 웨이퍼 의 상부 기판 에 미세 공정 ( micro - fabrication ) 을 이용 하 여 일체 화 된 구조 로 제작 됨 으로써 , 대량 생산 이 가능 하 다 .