상용 화 관점 에서 보 면 , 마이크 로 가스 센서 는 2 ~ 3 년 정도 안정 적 으로 동작 할 수 있 어야 한다 . 이 조건 은 가스 센서 가 특히 , 마이크 로 히터 에 의해 150 ~ 500 ℃ 범위 의 소정 온도 에서 반복 적 으로 가열 및 냉각 됨 을 감안 하 면 대단히 엄밀 한 조건 이 다 . 이때 문제 가 되 는 것 은 기판 으로부터 부양 된 센서 구조 에 인가 되 는 온도 구배 에 의한 열응력 과 기계 적 인 충격 으로 인한 파손 이 다 . 이 에 대비 하 는 기존 방법 은 부양 구조 의 기본 지지막 을 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 이나 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) 의 단일 층 이나 적층 또는 여러 층 을 두께 를 달리 하 여 Si 3 N 4 / SiO 2 , SiO 2 / Si 3 N 4 , Si 3 N 4 / SiO 2 / Si 3 N 4 , SiO 2 / Si 3 N 4 / SiO 2 중 한 가지 형태 로 응력 균형 을 이루 어 형성 하 고 , 이 위 에 마이크 로 히터 와 감지 전극 , 가스 감응 막 을 순차 적 으로 패 터닝 하 여 구조 상 의 취약 성 개선 을 도모 하 고 있 다 . 그러나 응력 균형 이 이루 어 졌 다 하 더라도 위 의 물질 들 은 기본 적 으로 파괴 되 는 취성 이 강하 고 ( fragile ) 열전도도 가 나쁜 절 연막 재료 로서 가열 된 부양 구조 상 에서 온도 불 균일 성 이 증가 될 경우 , 구조 상 의 안전 을 보장 할 수 없 다 . 따라서 마이크 로 가스 센서 소자 의 내구 성 은 구조 체의 구성 물질 , 마이크 로 히터 의 설계 등 과 관련 이 있 다 .