도 3 및 도 4 를 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 기판 세 정용 이 류체 분사 모듈 의 제 1 실시 예 는 , 건조 공기 를 공급 받 는 제 1 수 용부 ( 110 ) 와 , 세정액 을 공급 받 는 제 2 수 용부 ( 120 ) 와 , 일단 부 는 상기 제 1 수 용부 ( 110 ) 와 소통 되 고 타 단부 는 노즐 팁 ( 140 ) 이 결합 되 며 측 부 에 는 상기 제 2 수 용부 ( 120 ) 와 소통 되 는 혼 입구 ( 131 ) 가 형성 되 는 분사 통로 ( 130 ) 를 포함 한다 .