본 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 에는 , 액침 방식 의 노광 을 수행 하 기 위해 , 국소 액침 장치 ( 8 ) 가 설치 되 어 있 다 . 국소 액침 장치 ( 8 ) 는 , 액체 공급 장치 ( 5 ) , 액체 회수 장치 ( 6 ) ( 이 들 모두 는 도 1 에 는 미 도시 , 도 7 참조 ) , 액체 공급 관 ( 31 A ) , 액체 회수 관 ( 31 B ) , 및 노즐 유닛 ( 32 ) 등 을 포함 한다 . 노즐 유닛 ( 32 ) 은 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 투영 광학계 ( PL ) 를 구성 하 는 가장 이미 지면 측 ( 웨이퍼 측 ) 의 광학 소자 , 이 경우 에 는 렌즈 ( 이하 , 선단 렌즈 라고 도 칭한다 ) ( 191 ) 를 유지 하 는 경통 ( 40 ) 의 하단 부 주위 를 둘러싸 도록 , 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 메인 프레임 ( 미 도시 ) 에 매달려 지 지 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 노즐 유닛 ( 32 ) 은 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 그 하 단면 이 선단 렌즈 ( 191 ) 하 단면 과 실질 적 으로 동일면 ( flush surface ) 에 설치 되 어 있 다 .