액침 노광 스캐닝 ( Scanning ) 후 에 잔류 하 게 되 는 물 의 양 은 후퇴각 ( receding angle ) 과 밀접 한 관련 이 있 다 . 포토레지스트 막 이 소수성 ( hydrophobic ) 이 면 물 과 의 응집력 이 효과 적 으로 작용 을 하 여서 물 이 포토레지스트 막 혹은 TARC 의 표면 으로 덜 달라붙 게 되 나 , 친수성 ( hydrophilic ) 이 커지 게 되 면 물 이 포토레지스트 막 의 표면 과 의 친화력 이 증가 하 여서 물 에 달라붙 게 되 는 물 의 양 이 많 게 되 어서 액체 자국 ( water mark ) 형태 의 결함 ( defect ) 양 을 증가 시키 게 된다 . 액침 노광 스캔 속도 ( scan speed ) 가 증가 할수록 액체 자국 결함 ( water mark defect ) 이 증가 하 는데 , 이 는 스캔 속도 ( scan speed ) 가 클수록 후퇴각 ( receding angle ) 이 작아져 액적 ( water droplet ) 이 많이 발생 되 기 때문 이 다 .