상술 한 습식 식각 에 의해 2 차 홀 ( 35 B ) 을 제공 하 던 절 연막 ( 35 ) 이 습식 식각 되 어 선폭 이 큰 3 차 홀 ( 35 C ) 이 형성 된다 . 즉 , 3 차 홀 ( 35 C ) 은 2 차 홀 ( 35 B ) 의 측벽 이 식각 되 어 선폭 이 커진 형태 로서 , 3 차 홀 ( 35 C ) 과 2 차 홀 ( 35 B ) 은 깊이 는 동일 하 지만 선폭 에 있 어서 는 3 차 홀 ( 35 C ) 이 2 차 홀 ( 35 B ) 보다 더 크 다 . 그리고 , 3 차 홀 ( 35 C ) 은 1 차 홀 ( 35 A ) 보다 선폭 이 더 크 고 , 깊이 는 동일 하 거나 1 차 홀 ( 35 A ) 이 더 깊 을 수 있 다 .