도 1 은 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 사이드 스토리 지용 배기 유닛 이 적용 된 웨이퍼 가공 설비 의 구성 을 보이 는 도면 이 고 , 도 2 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 사이드 스토리 지용 배기 유닛 이 적용 된 사이드 스트로 지 의 모습 을 위 에서 내려다본 사시도 이 고 , 도 3 은 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 사이드 스토리 지용 배기 유닛 의 모습 을 보이 는 정면도 이 고 , 도 4 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 사이드 스토리 지용 배기 유닛 을 구성 하 는 배기 용 패널 부재 에 형성 된 배기 대상 가스 유입 홀 의 일부 를 확대 한 확대도 이 고 , 도 5 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 사이드 스토리 지용 배기 유닛 을 구성 하 는 유동 안 내부 를 보이 는 도면 이 다 .