상기 본 발명 의 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 바람직 한 일 실시 예 에 의하 면 , 플라 즈 마 형성 장치 는 가스 제 공부 를 통해 유입 되 는 반응 가스 를 플 라즈 마 상태 로 형성 하 는 공간 을 제공 하 는 챔버 를 포함 한다 . 상기 챔버 내부 에 구비 되 고 , 하부 전극 을 포함 하 는 기판 스테이지 를 포함 한다 . 상기 챔버 의 상부 외 측면 상 에 구비 되 고 , 상기 챔버 내부 로 제공 되 는 반응 가스 를 플 라즈 마 상태 로 형성 하 기 위한 제 1 전계 를 생성 하 는 제 1 상부 전극 을 포함 한다 . 상기 챔버 내부 에 구비 되 어 상기 기판 스테이지 와 마주 보 며 , 상기 제 1 상부 전극 에서 형성 된 제 1 전계 의 일부 만 을 통과 시키 는 다수 의 슬릿 이 형성 되 어 있 고 , 상기 반응 가스 를 플 라즈 마 상태 로 형성 하 기 위한 제 2 전계 를 생성 하 는 제 2 상부 전극 을 포함 한다 .