따라서 , 본 발명 은 상기 한 종래 기술 들 의 문제점 을 해결 하 기 위해서 , 저 전력 이 며 , 기계 적 인 충격 과 열 충격 을 견딜 수 있 는 내구 성 을 가지 며 , 금속 산화물 , 금속 , 반도체 , 폴리머 , 나노 물질 등 의 다양 한 종류 의 물질 을 가스 감응 막 으로서 용이 하 게 사용 할 수 있 으며 , 가스 감응 막 의 가열 및 냉각 속도 가 빠르 며 , 가스 의 농도 변화 에 대응 하 는 센서 소자 의 출력 , 즉 센서 의 감도 가 향상 되 며 , 낮 은 가격 으로 대량 생산 할 수 있 는 마이크 로 가스 센서 를 제공 하 고자 한다 .