상기 큐어 링 공정 은 예열 시스템 ( pre heating system ) 을 이용 하 여 상기 큐어 링 가스 를 예열 시켜 사용 하 고 , 상기 예열 시스템 ( pre heating system ) 은 PAC ( Pre Activation Chamber , TEL 社 ) , 코일 타입 토치 , 랩 프 타입 토치 를 사용 한다 . 상기 예열 시스템 ( pre heating system ) 은 석영 ( Quartz ) 재질 의 관 또는 챔버 형태 로 금속 저항 가열 또는 램프 가열 이 가능 하 다 . 상기 큐어 링 공정 은 상온 내지 1100 ℃ 의 온도 범위 와 10 - 7 내지 760 Torr 의 압력 범위 에서 실시 한다 .