상기 제 1 절 연막 ( 50 ) 의 식각 공정 은 CxHyFz ( x = 1 , y = 0 , z = 4 ) 종류 의 식각 가스 와 Ar , He , O 2 및 N 2 와 같 은 불활성 기체 를 이용 하 여 수행 되 도록 할 수 있 다 . 바람직 하 게 는 상기 식각 가스 는 CF 4 40 ~ 120 sccm 과 O 2 2 ~ 20 또는 Ar 200 ~ 900 sccm 을 사용 하 여 상기 제 1 절 연막 ( 50 ) 을 1 , 000 ~ 19 , 000 Å 의 두께 로 식각 하 여 시드 마이크 로 렌즈 ( 51 ) 를 형성 할 수 있 으며 , 특히 상기 시드 마이크 로 렌즈 ( 51 ) 의 두께 는 2 , 000 ~ 6 , 000 Å 이 적절 하 다 .