도 4 d 를 참조 하 면 , 상기 선택 적 으로 분해 된 제 3 도메인 ( 140 C ) 및 제 1 도메인 ( 140 A ) 을 스트립 공정 등 을 사용 하 여 제거 하 여 제 2 영역 상 에 제 2 미세 마스크 패턴 ( 140 D _ 2 ) 을 형성 한다 . 상기 제 2 미세 마스크 패턴 ( 140 D _ 2 ) 은 상기 제 3 도메인 ( 140 C ) 또는 제 1 도메인 ( 140 A ) 이 제거 되 어 형성 된 제거 된 스페이스 와 상기 제 2 도메인 ( 140 B ) 으로 이루어진 바 패턴 ( bar pattern ) 을 구비 할 수 있 으며 , 패턴 피치 ( PZ 2 ) 는 2 X 일 수 있 다 .