챔버 ( 200 ) 는 내부 로 장입 된 기판 ( 110 ) 상 에 박막 이 형성 될 수 있 는 내부 공간 을 가지 는 통 형상 으로 , 예컨대 그 단면 의 형상 이 사각형 의 형상 으로 유리 ( Glass ) , 유연 기판 ( flexible substrate ) 일 수 있 다 . 물론 , 챔버 ( 200 ) 내부 의 형상 은 다양 하 게 변경 가능 하 며 , 기판 ( 110 ) 의 형상 과 대응 하 도록 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 .