만일 , 상기 회전각 이 상기 설정 입사각 ( θ ) 과 동일 한 경우 에 , 상기 제 어부 ( 530 ) 는 제 1 모터 ( 511 ) 에 전기 적 신호 를 전송 하 여 구동 을 중지 시킨다 . 즉 , 제 1 입사각 가변 부 ( 510 ) 의 작동 을 중지 시킨다 ( S 600 ) . 이 에 따라 , 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 가 회전 됨 으로써 , 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 의 회전각 과 상기 설정 입사각 ( θ ) 이 동일 해질 수 있 다 . 그러므로 , 에 눌러 형상 의 어퍼 처 를 사용 하 지 않 고 도 마스크 스테이지 ( 150 ) 만 을 회전 시킴 으로써 마스크 ( 100 ) 로 광이 사 입사 되 도록 안내 할 수 있 다 .