그러나 , 이러 한 습식 세정 에 이용 되 는 화학 물질 은 환경 에 악영향 을 끼치 고 있 는 것 은 물론 이 고 공정 이 복잡 하 여 제품 의 생산 단가 를 크 게 상승 시키 는 요인 일 뿐 만 아니 라 고집 적 회로 와 같이 정밀 한 부분 의 세정 에 이용 되 는 경우 , 계면 장력 으로 인해 미세 구조 의 패턴 이 협 착 되 어 무너짐 에 따라서 오염물 제거 가 효과 적 으로 이루어지 지 못한다는 문제점 이 있 었 다 .