이 와 같 은 이유 로 종래 의 오버레이 계측 설비 에서 는 광학 모듈 을 통해 복수 개 의 인접 하 는 오버레이 패턴 을 확대 투영 시키 고 , 확대 투영 된 상기 오버레이 패턴 을 카메라 와 같 은 촬 상부 에서 촬상하여 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 에 대응 되 는 영상 신호 를 획득 한다 . 또한 , 판 독부 는 상기 촬 상부 에서 획득 된 상기 영상 신호 를 이미지 화 한 후 , 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 에 대응 되 는 복수 개 의 오버레이 패턴 영상 의 위치 차이 를 판독 하 여 오버레이 보정 값 을 산출 하 고 , 노광 설비 에 피드백 시킨다 .