다음 으로 , 대상 기판 ( SUB ) 상 에 전계 를 형성 하 는 제 2 상태 에서 는 프로브 유닛 ( 150 ) 의 프로브 구동 부 ( 153 ) 가 구동 하 여 프로브 패드 ( 158 ) 를 대상 기판 ( SUB ) 과 연결 시킬 수 있 다 . 프로브 구동 부 ( 153 ) 가 수직 방향 인 제 3 방향 ( DR 3 ) 과 수평 방향 인 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 구동 하 여 프로브 패드 ( 158 ) 는 대상 기판 ( SUB ) 과 접촉 할 수 있 다 . 프로브 유닛 ( 150 ) 의 프로브 지그 ( 151 ) 는 프로브 패드 ( 158 ) 에 전기 신호 를 전달 하 고 , 대상 기판 ( SUB ) 상 에 는 전계 가 형성 될 수 있 다 .