도 5 a 는 2 개 의 상이 한 파장 의 광 ( 적색 및 녹 색광 ) 에 대한 피치 의 함수 로서 이론 적 인 반사 효율 성 을 나타낸다 . 적색 광 에 대해 도 5 에 나타낸 곡선 들 에 추가 하 여 , 또 다른 파장 ( 녹 색광 - 533 nm ) 에 대한 추가 곡선 들 ( 정사각형 으로 표시 됨 ) 이 도시 된다 . 알 수 있 는 바 와 같이 , 최소 값 이 상이 한 파장 들 에 대해 상이 한 피치 값 에서 일어난다는 것 을 제외 하 면 두 파장 들 에 대한 효과 는 유사 하 다 . 일 실시 예 에서 , 위치 측정 들 은 동일 한 정렬 마크 로부터 반사 특성 들 을 측정 하 기 위해 복수 의 파장 들 을 이용 하 여 수행 된다 . 이 실시 예 에서 , 상이 한 영역 들 및 파장 들 에서 의 피치 값 들 은 , 제 1 및 제 2 영역 들 ( 32 및 34 ) 에서 의 피치 값 들 이 각각 의 파장 들 에 대해 교차 피치 값 ( 52 ) 의 서로 반대쪽 에 있 도록 선택 될 수 있 다 . 도 5 a 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 이 는 적색 및 녹색 범위 의 파장 을 갖 는 광 에 대해 가능 하 다 . 하지만 , 다른 파장 들 이 대안 적 으로 또는 추가 적 으로 선택 될 수 도 있 다 .