웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 는 , 도 42 및 도 43 ( A ) 에 도시 된 바 와 같이 , 스테이지 본체 ( 91 A ) 와 , 스테이지 본체 ( 91 A ) 상 에 탑재 된 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 을 포함 한다 . 스테이지 본체 ( 91 A ) 는 , 도 43 ( A ) 에 도시 된 바 와 같이 , 베이스 반 ( 12 ) 의 내부 에 매립 된 고정자 ( 152 ) 와 함께 평면 모터 ( 151 ) 를 구성 하 는 가동 자 ( 56 ) 와 , 그 가동 자 ( 56 ) 의 하반부 주위 에 일체 적 으로 형성 되 고 , 복수 의 에어 베어링 을 갖 는 에어 슬라이더 ( 54 ) 를 갖 고 있 다 .