이 에 따라 , 진동 발생 부 ( 70 ) 에서 는 기판 ( 30 ) 이 식각 용 에 천트 ( 10 ) 에 담겨져 식각 이 진행 되 는 동안 , 초음파 를 발생 하 여 식각 용 에 천트 ( 10 ) 에 진동 을 발생 시킴 으로써 , 식각 용 에 천트 ( 10 ) 에 담겨진 기판 ( 30 ) 의 표면 에 부착 된 기포 ( 1 ) 를 제거 한다 . 이때 , 기포 ( 1 ) 는 기체 의 특성 상 식각 용 에 천트 ( 10 ) 에 발생 되 는 진동 에 의해 부착 되 어 있 던 기판 ( 30 ) 의 표면 에서 떨어져 나와 수면 위 로 떠올라 제거 된다 .