S - D 프로시저 에서 의 사이트 는 트랜지스터 내 의 게이트 구조물 , 트랜지스터 내 의 드레 인 구조물 , 트랜지스터 내 의 소소 구조물 , 커패시터 구조물 , 비아 구조물 , 트렌치 구조물 , 2 차원 메모리 구조물 , 3 차원 메모리 구조물 , 측벽 각 , 바닥 부 임계 치수 ( CD ) , 정상부 CD , 중간부 CD , 어레이 , 주기 적 구조물 , 정렬 특징 부 , 도핑 특징 부 , 스트레인 특징 부 , 손상 된 구조물 , 기준 구조물 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 에 연관 될 수 있 다 .