기체 의 형성 재료 인 세라믹스 재료 는 , 가열 되 면 도전 하 기 쉬워져 , 절연 파괴 되 는 전압 ( 내전압 ) 이 저하 된다 . 상술 한 바 와 같이 , 정전 척 장치 는 , 플라 즈 마 공정 에 있 어서 고온 으로 가열 된다 . 이 로 인하 여 , 세라믹스 재료 를 기체 의 형성 재료 로서 이용 한 정전 척 장치 는 , 사용 조건 에 따라서 는 , 내전압 이 저하 된 기체 가 절연 파괴 되 어 , 플라 즈 마 공정 에서 의 처리 대상 인 반도체 소자 나 배선 패턴 등 을 파손 시켜 , 수율 을 저하 시킬 우려 가 있 다 .