도 5 , 도 6 을 참조 한다 . 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 는 각각 , 2 개 의 핸드 ( 21 ) , 진퇴 구동 부 ( 23 ) , 및 승강 회전 구동 부 ( 25 ) 를 구비 하 고 있 다 . 2 개 의 핸드 ( 21 ) 는 각각 , 기판 ( W ) 을 유지 한다 . 2 개 의 핸드 ( 21 ) 는 각자 수평 방향 으로 진퇴 가능 하 다 . 그렇 기 때문 에 , 캐리어 ( C ) 로부터 1 매 의 기판 ( W ) 을 꺼내 거나 , 2 매 의 기판 ( W ) 을 동시 에 꺼낼 수 있 다 .