이러 한 가스 공급 부 ( 260 ) 는 상기 상 , 하부 덮개 ( 211 , 212 ) 의 외측 테두리 에 접하 도록 배치 되 는 환 고리 형 의 삽입부 재 ( 261 ) 와 , 상기 반응 챔버 ( 210 ) 의 내부 공간 측 으로 개구 되 도록 상기 삽입부 재 ( 261 ) 에 구비 되 는 급 기구 ( 262 ) 및 상기 급 기구 ( 262 ) 와 급기 라인 ( 263 ) 을 매개 로 연결 되 는 가스 공 급구 ( 264 ) 를 구비 한다 .