예 4 : 예 1 내지 예 3 중 하나 에서 와 같 은 MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) 로서 , 제 1 및 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 들 ( 10 , 20 ) 은 제조 편차 들 을 제외 하 고 는 동일 하 게 구성 되 고 , 제 1 및 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 들 ( 10 , 20 ) 은 트윈 구성 을 갖 는 , MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) .