단 , 상기 실시 형태 와 같이 , 복수 의 존 ( ZA , ZB ) 의 각각 에 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 가 중복 하 여 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 지 않 도록 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 가 배치 되 면 , 가열 온도 의 목표 값 ( HSV ) 의 설정 , 및 유량 의 목표 값 ( FSV ) 의 설정 이 용이 하 다 . 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 마다 독립 으로 목표 값 ( HSV , FSV ) 의 설정 이 가능 하 게 되 기 때문 이 다 .