또한 촬상 화상 에 의거 해 기판 의 상태 를 검출 할 수 있 으므로 , 종래 의 투과 형 광 센서 와 는 달리 , 매핑 센서 를 용기 내 에 진입 시킬 필요 가 없 다 . 그 로 인해 , 로드 포트 나 반송 계 를 필요 이상 으로 대형 화 할 필요 가 없 다 . 더 하 여 , 각 형 의 기판 과 같 은 원형 상 이 아닌 형상 의 기판 이 어도 , 그 형상 에 영향 을 받 지 않 고 기판 의 상태 를 안정 적 으로 검출 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 다종 다양 한 기판 에 대해 유연 하 게 대응 하 는 것 이 가능 하 며 , 사용 하 기 쉽 고 편리 성 이 뛰어난 로드 포트 로 할 수 있 다 .