또한 , 상기 각 실시 형태 의 노광 장치 내 의 투영 광학 시스템 의 배율 은 축소 계 뿐 아니 라 등배 계 또는 확대 계 일 수 도 있 고 , 투영 광학계 ( PL ) 는 굴절계 뿐 아니 라 반사계 또는 반사 굴절계 일 수 도 있 으며 , 또 투영 된 화상 은 도립 화상 또는 정립 화상 일 수 도 있 다 . 또한 , 전술 된 조명 영역 과 노광 영역 은 직사각 형 형상 을 가지 는 것 이 다 . 그러나 , 그 형상 은 직사각 형 에 한정 되 지 않 고 , 원호 , 사다리꼴 , 평행사변형 등 일 수 도 있 다 .