즉 , 혼합 교반기 ( 140 ) 는 교반기 탱크 ( 144 ) 의 상부 에 고정 되 어 설치 되 며 전 원공 급부 ( 142 ) 가 전원 을 인가 하 면 일정 한 방향 으로 회전 을 하 여 주입 된 냉매 를 혼합 하 게 된다 . 이렇게 혼합 된 냉매 는 최 종단 의 냉매 탱크 ( 150 ) 로 공급 되 어 사용 자 가 원 하 는 공정 온도 로 안정 되게 도달 하 게 된다 . 따라서 반도체 제조 공정 용 온도 조절 시스템 을 구성 하 는 냉동기 ( 110 ) , 히터 ( 152 ) 등 과 같 은 열원 기기 의 에너지 를 효율 적 으로 절감 시킬 수 있 게 된다 .