프레임 ( 21 ') 은 , 제 1 층 부 ( 21 a ) 가 부분 21 e , 21 f 를 갖 는 점 에서 , 프레임 ( 21 ) 과 상이 하 다 . 부분 21 e 는 , 도 15 및 도 17 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 층 부 ( 21 a ) 에서 , 공극 을 통하 여 주위 와 분리 한다 . 부분 21 e 는 절연 층 ( 21 c ) 을 관통 하 는 도전 비아 ( 21 g ) 를 통하 여 , 구동 전극 ( 23 ) 의 아암 ( 23 A ) 과 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 부분 21 f 는 , 도 15 에 도시 한 바 와 같이 프레임 ( 21 ) 의 끝 부 에 위치 하 고 , 도 15 에 도시 한 화살표 D 방향 으로 연장 되 는 부위 를 갖 고 , 도 20 에 도시 한 바 와 같이 절연 층 ( 21 c ) 을 관통 하 는 도전 비아 ( 21 h ) 를 통하 여 제 2 층 부 ( 21 b ) 와 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .