따라서 , 상기 실시 예 들 은 마이크 로 리소그래피 용 투사 노광 장치 용 의 조명 광학 기기 용 레이저 의 조명 광선 다발 을 조절 하 기 위한 발명 에 따르 는 광학 조절 유닛 을 도시 하 며 , 상기 레이저 는 하나 이상 의 코 히 어 런 트 레이저 모드 및 레이저 출력 을 가지 며 , 상기 조명 광선 다발 은 발산 , 광선 또는 다발 프로파일 및 편광 상태 를 갖 고 , 상기 광학 시스템 은 상기 레이저 의 출력 과 상기 다중 미러 어레이 사이 의 상기 조명 광선 다발 의 적어도 상기 발산 및 / 또는 상기 광선 또는 다발 프로파일 및 / 또는 상기 편광 상태 를 변경 한다 .