또한 , 용기 ( 700 ) 가 핸드 ( 530 ) 에 완전히 장착 되 고 , 핸드 ( 530 ) 가 바디 ( 510 ) 에 완전히 장착 된 상태 에서 반송 유닛 ( 500 ) 은 이동 할 수 있 다 . 즉 , 핸드 ( 530 ) 를 기준 으로 상부 와 하부 가 완전히 장착 될 수 있 다 . 이 에 , 용기 ( 700 ) 가 주행 중 에 흔들리 는 현상 을 최소 화 할 수 있 다 . 이 에 , 용기 ( 700 ) 내 에서 파티클 등 이 발생 하 는 것 을 최소 화 할 수 있 다 .