위 와 같 은 내용 을 뒷받침 하 는 도면 으로서 , 도 2 a 내지 도 2 c 는 도 1 의 희생 막 패턴 ( 15 ) 상 에 형성 되 는 루테늄 하부 전극 ( 17 ) 의 흡착 반응 을 나타낸 도면 이 다 . 그리고 , 설명 의 편의 를 위해 도 1 의 도면 부호 를 인용 하 여 설명 하 며 , - OH 기 가 존재 하 는 희생 막 패턴 ( 15 ) 과 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 13 ) 및 식각 정지 막 ( 14 ) 중 희생 막 패턴 ( 15 ) 을 대표 로 설명 한다 .