금속 유기 전구체 는 , Ga 의 경우 트리 메틸 갈륨 ( TMGa ) 또는 트리 에틸 갈륨 ( TEGa ) , Al 의 경우 트리 메틸 알루미늄 ( TMAl ) 또는 트리 에틸 알루미늄 ( TEAl ) , 및 In 의 경우 트리 메틸 인듐 ( TMIn ) 또는 트리 에틸 인듐 ( TEIn ) 일 수 있 다 . 도 펀트 의 전구체 는 규소 의 경우 SiH 4 , 및 Mg 의 경우 비스 ( 사이클 로 펜 타 디 에 닐 ) 마그네슘 ( Cp 2 Mg ) 또는 비스 ( 메틸 사이클 로 펜 타 디 에 닐 ) 마그네슘 ( ( MeCp ) 2 Mg ) 일 수 있 다 . TMGa , TMAl 및 TMIn 의 유량 은 5 내지 100 sccm 으로 유지 될 수 있 다 . NH 3 유량 은 5 내지 150 sccm 에서 변할 수 있 다 .