또한 본 실시 형태 에 따른 기재 ( 2 a ) 는 , 상면 ( 2 b ) 에 플 라즈 마로 부터 입 열 이 있 다 . 유로 ( 20 ) 는 도입 구 ( 20 a ) 로부터 배출구 ( 20 b ) 를 향해 흐르 는 냉매 의 온도 구배 에 따라 , 상면 ( 2 b ) 과 의 사이 의 열 저항 이 배출구 ( 20 b ) 로부터 도입 구 ( 20 a ) 를 향해 증가 하 도록 형성 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 배치 대 ( 2 ) 는 상면 ( 2 b ) 의 면내 에서 의 온도 차 를 작 게 할 수 있 다 .