필터 부 ( 228 ) 는 히터 전원 공급 부 ( 229 ) 에 의해 공급 되 는 발열 전원 들 에서 고주파 를 차단 한다 . 일 실시 예 로 , 플라스마 소스 ( 400 ) 에 의해 13 . 56 MHz 고주파 전원 이 인가 되 어 플라스마 가 생성 되 는 경우 , 필터 부 ( 228 ) 는 예 를 들 어 60 Hz 교류 ( AC ) 전원 인 발열 전원 들 을 히터 케이블 들 ( 226 a ~ d ) 로 통과 시키 고 , 히터 전원 공급 부 ( 229 ) 로 13 . 56 MHz RF 가 유입 되 는 것 을 차단 하 도록 설계 될 수 있 다 . 필 터부 ( 228 ) 는 커패시터 , 인덕 터 등 의 소자 들 ( 228 a ~ d ) 로 제공 될 수 있 다 .