여기 서 , 캐 핑 막 은 탄 탈륨 막 , 마그네슘 막 및 티타늄 막 중 어느 하나 로 형성 될 수 있 다 . 또한 , 캐 핑 막 은 탄 탈륨 막 및 탄 탈륨 질화 막 의 이 중막 으로 형성 될 수 있 으며 , 이 경우 탄 탈륨 질화 막 은 탄 탈륨 막 위 에 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 유사 하 게 , 캐 핑 막 은 티타늄 막 및 티타늄 질화 막 의 이 중막 으로 형성 될 수 있 으며 , 티타늄 질화 막 은 티타늄 막 위 에 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 열처리 단계 를 거치 면 , 캐 핑 막 을 이루 는 금속 원자 가 구리 도금 층 내부 의 그레인 바운더리 를 따라 확산 된다 .