8 . In ( 인듐 ) 원소 및 Zn ( 아연 ) 원소 와 , Al ( 알루미늄 ) , B ( 붕소 ) , Sc ( 스칸듐 ) , Y ( 이트륨 ) 및 란타노이드 류 ( La , Ce , Pr , Nd , Sm , Eu , Gd , Tb , Dy , Ho , Er , Tm , Yb , Lu ) 로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 1 이상 의 원소 X 를 , 하 기 ( 1 ) 내지 ( 3 ) 의 원 자비 로 포함 하 는 복합 산화물 로 이루어지 는 반도체 층 용 타 겟 .