도 2 의 ( b ) 에 는 , 비 교예 1 에 있 어서 반투 광부 ( 130 ) 의 영역 전체 에 형성 되 어 있 던 반투 광막 대신 에 , 투명 기판 을 , 미세 한 소정 폭 으로 노출 시켜 반투 광부 ( 230 ) 를 형성 한 참고 예 1 을 도시 한다 . 참고 예 1 의 포토 마스크 를 전사 하 면 , Panel CD 의 수치 를 비 교예 1 에 비하 여 대폭 작 게 할 수 있 어 , 미세 한 CD 를 달성 할 수 있 음 을 알 수 있 었 다 . 또한 , 레지스 트 패턴 의 단면 경사도 억제 됨 을 알 수 있 었 다 ( 도 3 의 ( d - 3 ) , ( d - 4 ) 참조 ) .