특히 본 발명 의 실시 예 에 따른 코발트 화합물 을 이용 하 면 광범위 한 증착 조건 에서 도 일관 되게 극히 높 은 선택 비 로 코발트 금속 층 을 형성 할 수 있 는 반면 , 종전 의 코발트 전구체 를 이용 하 면 제한 된 증착 조건 에서 만 선택 적 인 증착 이 가능 했 고 , 선택도 도 비교 적 낮 은 것 으로 나타났 다 . 더욱이 종전 의 코발트 전구체 를 이용 하 면 일부 증착 조건 에서 선택도 가 역전 되 는 경우 도 발생 하 였 다 ( 비교 성막 예 1 및 5 ) .