한편 , 상기 가스 노즐 ( 141 ) 은 복수 마련 되 고 상기 플 라즈 마 챔버 ( 130 ) 의 중심축 과 동심 을 이루 는 원주 상 에 일정 한 간격 으로 배치 될 수 있 으며 , 복수 의 가스 노즐 ( 141 ) 에 는 각각 가스 라인 ( 144 ) 이 연결 될 수 있 다 . 이 와 같이 복수 의 가스 노즐 ( 141 ) 을 구비 하 는 경우 , 대 면적 의 기판 에 이온 빔 이 균등 하 게 제공 되 도록 할 수 있 다 .