또 다른 실시 예 로서 , 도 5 a 에 도시 된 제 1 물질 막 들 ( 111 ) 이 희생물 로 형성 되 고 , 도 5 a 에 도시 된 제 2 물질 막 들 ( 113 ) 이 도전 패턴 들 ( 143 ) 을 위한 도전 물 로 형성 된 경우 , 슬릿 ( 131 ) 을 통해 제 1 물질 막 들 ( 111 ) 이 층간 절 연막 들 로 대체 되 고 , 층간 절 연막 들 및 제 2 물질 막 들 ( 113 ) 이 게이트 적층 체 를 구성 할 수 있 다 .