예 를 들 어 , 이러 한 일체 형 공급 / 배출 포트 ( 50 ) 는 , 하부 하우징 ( 20 ) 의 일 측면 ( 24 ) 에서 중간 영역 ( 28 ) 까지 형성 된 제 1 관로 부 ( 510 ) , 중간 영역 ( 28 ) 에서 제 1 관로 부 ( 510 ) 와 연통 되 어 기판 배치 판 ( 40 ) 을 향하 도록 형성 된 공통 포트 부 ( 520 ) 및 중간 영역 ( 28 ) 에서 공통 포트 부 ( 520 ) 및 제 1 관로 부 ( 510 ) 와 연통 되 어 하부 하우징 ( 20 ) 의 타 측면 ( 26 ) 까지 형성 된 제 2 관로 부 ( 530 ) 를 포함 하 고 , 제 1 관로 부 ( 510 ) 와 공통 포트 부 ( 520 ) 는 초기 가압 용 초임계 유체 의 공급 경로 를 제공 하 고 , 공통 포트 부 ( 520 ) 와 제 2 관로 부 ( 530 ) 는 유기 용제 가 용해 된 초임계 유체 의 배출 경로 를 제공 하 도록 구성 될 수 있 다 .