도 2 a 에서 , 텅스텐 질화 막 ( 27 ) 은 텅스텐 막 ( 28 ) 과 폴리 실리콘 막 패턴 ( 23 A ) 간 확산 방지 막 이 면서 , 확산 방지 막 역할 외 에 후속 라이트 산화 공정 시 텅스텐 막 ( 28 ) 과 폴리 실리콘 막 패턴 ( 23 A ) 간 계면 으로 침투 해 들어오 는 산소 의 확산 을 억제 하 여 텅스텐 막 ( 28 ) 의 산화 을 방지 하 는 역할 도 한다 . 산화 방지 패턴 ( 26 A ) 은 텅스텐 막 ( 28 ) 의 산화 를 방지 하 는 역할 을 한다 . 한편 , 산화 방지 패턴 ( 26 A ) 과 게이트 하드 마스크 막 ( 29 ) 은 질화 막 , 특히 실리콘 질화 막 이 다 .