도 1 은 본 발명 의 일 구 현예 에 따른 인터페이스 패드 의 사시도 이 다 . 인터페이스 패드 ( 100 ) 는 개구 들 ( 106 ) 을 포함 하 는 연마 용품 지지 면 ( 104 ) 의 하부 에 위치 하 는 동심 형 섬 들 ( 102 ) 을 포함 한다 . 동심 형 섬 들 ( 102 ) 은 동심 형 통로 들 ( 108 ) 을 한정 한다 . 동심 형 통로 들 ( 108 ) 은 개구 들 ( 106 ) 의 일부 와 유체 소통 을 이룬다 . 인터페이스 패드 ( 100 ) 에 는 또한 중앙 홀 ( 110 ) 이 포함 되 어 있 어 인터페이스 패드 를 지지 공구 스핀들 상부 에 장착 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 일 구 현예 에서 , 동심 형 섬 들 ( 102 ) 은 또한 그 섬 들 하부 에 위치 하 는 지지 공구 지지 면 ( 112 ) 을 포함 한다 .