각 층 의 메탈 은 각각 메탈 과 동일 한 형태 의 제 1 내지 제 4 패드 로 각 층 마다 단자 가 연결 되 어 있 으나 , 각각 의 패드 와 패드 를 연결 시키 지 않 고 단선 시켜 놓 는다 . 바람직 하 게 , 최 하단 메탈 과 최 상단 메탈 을 제외 한 중간층 메탈 ( M 2 ～ Mn - 1 ) 에 각각 제 1 내지 제 n - 1 패드 를 연결 하 여 바깥쪽 으로 연결 하 고 , 바깥쪽 으로 연결 된 패드 ( 최 상부 적층 된 n - 1 비아 를 연결 하 는 패드 제외 ) 는 패드 와 패드 사이 층간 비 아콘 택 을 형성 하 지 않 는다 . 그리고 , 중간층 메탈 에 연결 된 패드 들 은 측정 시 프로브 콘 택 ( Probe contact ) 을 통하 여 각 메탈 을 연결 한다 .