본 발명 의 또 다른 특징 에 따르 면 , 최 상측 제 2 기판 에 가장 인접 한 검사 기판 과 최 상측 제 2 기판 을 연결 하 고 , 최 하측 제 2 기판 에 가장 인접 한 검사 기판 과 최 하측 제 2 기판 을 연결 하 는 제 1 추가 연결 기판 , 제 1 추가 연결 기판 상 에 배치 되 어 , 복수 의 스테이지 와 복수 의 검사 패턴 을 전기 적 으로 연결 하 는 제 1 추가 연결 배선 , 복수 의 검사 기판 중 서로 이웃 한 검사 기판 을 연결 하 는 제 2 추가 연결 기판 , 및 제 2 추가 연결 기판 상 에 배치 되 고 , 복수 의 검사 패턴 각각 을 전기 적 으로 연결 하 는 제 2 추가 연결 배선 을 더 포함 할 수 있 다 .