그리고 , 이 반송 성막 장치 ( 10 ) 에서 는 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 가 , 제 1 냉각 온도 T 1 인 제 1 냉각 롤 ( 34 ) 과 , 제 1 냉각 온도 T 1 보다 낮 은 제 2 냉각 온도 T 2 인 제 2 냉각 롤 ( 35 ) 에 차례 로 접촉 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 1 개 의 쿨링 드럼 이 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 로 하 는 특허 문헌 1 의 장치 에 비해 , 상기 한 제 1 냉각 롤 ( 34 ) 과 제 2 냉각 롤 ( 35 ) 의 접촉 에 의해 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 의 파손 , 특히 , 취약 한 유리 기재 ( 1 ) 의 파손 을 억제 할 수 있 다 .