도 1 은 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에 관련 되 는 스테이지 장치 ( 1 ) 를 나타내 는 사시 도 , 도 2 는 , 도 1 에 나타내 는 스테이지 장치 ( 1 ) 의 구동 부 및 그 근방 의 부분 확대 사시도 , 도 3 은 , 도 1 에 나타내 는 스테이지 장치 ( 1 ) 에 워크 정반 ( 워크 ) ( 15 ) 을 세트 한 사시도 , 도 4 는 , 도 3 에 나타내 는 스테이지 장치 ( 1 ) 의 부분 정면도 이 다 .