주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 를 구체 적 으로 설명 한다 . 도 11 을 참조 한다 . 도 11 은 , 주 반송 기구 의 사시도 이 다 . 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 는 , 상하 방향 으로 안내 하 는 2 개 의 제 3 가이드 레일 ( 51 ) 과 횡 방향 으로 안내 하 는 제 4 가이드 레일 ( 52 ) 을 가지 고 있 다 . 제 3 가이드 레일 ( 51 ) 은 반송 스페이스 ( Ａ １ ) 의 일 측 쪽 에 대향 해서 고정 되 어 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 도포 처리 유닛 ( 31 ) 측 에 배치 되 어 있 다 . 제 4 가이드 레일 ( 52 ) 은 제 3 가이드 레일 ( 51 ) 에 슬라이딩 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . 제 4 가이드 레일 ( 52 ) 에 는 , 베이스 부 ( 53 ) 가 슬라이딩 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . 베이스 부 ( 53 ) 는 반송 스페이스 ( Ａ １ ) 의 거의 중앙 까지 횡 방향 으로 튀어나와 있 다 . 주 반송 기구 ( Ｔ １ ) 는 , 제 4 가이드 레일 ( 52 ) 을 상하 방향 으로 이동 시키 고 , 베이스 부 ( 53 ) 를 횡 방향 으로 이동 시키 는 도시 생략 된 구동 부 를 더 구비 하 고 있 다 . 이 구동 부가 구동 함 으로써 , 종횡 으로 나란 한 도포 처리 유닛 ( 31 ) 및 열처리 유닛 ( 41 ) 의 각 ( 各 ) 위치 로 베이스 부 ( 53 ) 를 이동 시킨다 .