또 다른 예시 적 인 실시 예 에 따라서 , 기판 이송 장치 가 제공 된다 . 상기 기판 이송 장치 는 , 하우징 ; 실질 적 으로 상기 하우징 의 외주 벽 들 을 따라 선형 으로 분포 되 는 제 1 고정자 ; 실질 적 으로 상기 하우징 의 외주 벽 들 을 따라 선형 으로 분포 되 는 제 2 고정자 ; 및 상기 하우징 내 에 위치 하 는 회전 중심 을 갖 는 제 1 기판 이송 암 을 포함 하 며 , 상기 제 1 기판 이송 암 은 , 상기 회전 중심 을 중심 으로 회전 가능 하 고 제 1 회전자 를 형성 하 는 상부 암 , 상기 회전 중심 에서 벗어난 위치 에서 상기 상부 암 에 제 1 단부 에서 회전 가능 하 게 결합 되 고 제 2 회전자 를 형성 하 는 포어 암 , 및 상기 포어 암 의 제 2 대향 단부 에 회전 가능 하 게 결합 되 는 제 1 기판 지지 부 를 가지 며 , 상기 제 1 고정자 및 상기 제 1 회전자 는 제 1 모터 를 형성 하 고 상기 제 2 고정자 및 상기 제 2 회전자 는 제 2 모터 를 형성 하 며 , 상기 상부 암 , 상기 포어 암 및 상기 제 1 기판 지지 부 는 상기 제 1 및 제 2 고정자 들 의 안쪽 에 위치 하 고 , 상기 제 1 및 제 2 모터 들 과 상기 상부 암 및 상기 포어 암 의 각각 사이 의 연결 점 에서 의 상기 제 1 및 제 2 모터 들 의 모터 출력 은 상기 상부 암 및 상기 포어 암 의 주변 에 배치 되 는 합력 이 다 .