이 와 같 은 1 차 화학 적 기계 적 연마공 정 을 진행 하 게 되 면 희생 층 ( 125 ) 의 상면 이 연마 되 어 도 11 d 에 도시 된 바 와 같이 챔버 층 ( 120 ) 의 상면 이 노출 된다 . 이후 로 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 계속 진행 하 게 되 면 본 실시 예 에서 는 도 11 e 에 도시 된 바 와 같이 챔버 층 ( 120 ) 과 희생 층 ( 125 ) 이 거의 같 은 속도 로 연마 된다 . 종래 에 는 화학 적 기계 적 연마 공정 에 사용 된 슬러리 에 는 비교 적 작 은 입자 크기 를 가지 는 연마 입자 들 이 포함 되 어 있 기 때문 에 챔버 층 의 상면 이 노출 된 후 에 연마 공정 이 계속 진행 되 면 희생 층 보다 경도 가 큰 물질 로 이루어진 챔버 층 은 거의 연마 되 지 않 고 , 희생 층 만 연마 되 는 문제점 이 있 었 다 . 그러나 , 본 실시 예 에서 는 평균 입자 크기 가 대략 500 nm ~ 2 ㎛ 정도 인 비교 적 큰 연마 입자 들 이 포함 된 슬러리 가 사용 되 기 때문 에 챔버 층 ( 120 ) 의 상면 이 노출 된 후 에 연마 공정 이 계속 진행 되 어도 챔버 층 ( 120 ) 과 희생 층 ( 125 ) 이 연마 되 는 속도 는 거의 비슷 하 게 된다 . 이 에 따라 , 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 을 거의 동일 한 높이 로 형성 할 수 있 다 . 이러 한 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 은 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 이 원 하 는 높이 를 가질 때 까지 계속 된다 . 도 11 e 는 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 이 완료 된 후 에 형성 된 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 을 도시 한 것 이 다 . 도 11 e 를 참조 하 면 , 챔버 층 ( 120 ) 이 연마 되 는 속도 는 희생 층 ( 125 ) 이 연마 되 는 속도 와 거의 비슷 하 기 때문 에 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 이 완료 된 후 에 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 이 거의 동일 한 높이 로 형성 될 수 있 다 .