이 는 제 1 공급 관 ( 62 ) 이 세 척수 저 장부 ( 21 ) 의 내부 로 일정 깊이 로 삽입 되 도록 하 여 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 세 척수 저 장부 ( 21 ) 에 저장 된 세 척수 의 유량 의 일부 ( A ) 는 세 척수 공급 부 ( 60 ) 로 공급 되 어 외부 세 척 이 이루어지 도록 하 기 위한 것 이 다 . 여기 서 세 척수 ( 22 ) 의 나머지 수위 에 해당 하 는 유량 은 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 가 열부 ( 30 ) 의 가열 에 의해 기화 된 상태 ( B ) 로 세 척수 공급 부 ( 60 ) 로 공급 되 어 , 대상물 ( 12 ) 의 표면 살균 이 이루어지 도록 할 수 있 다 .