또한 , 회로 기판 ( 17 ) 에 는 실장 된 전기 전자 소자 들 로 의 신호 입출력 및 전원 공급 등 을 위해 배선 과 패드 ( pad ) ( P 13 ) 등 이 인쇄 되 어 있 으며 , 외부 장치 와 의 전기 적 인 연결 을 위해 단부 에 도 배선 등 이 인쇄 되 어 있 다 . 여기 서 패드 ( P 13 ) 는 회로 기판 ( 17 ) 의 상면 에 형성 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 따라서 , 각 MEMS 코 일부 ( 15 ) 는 해당 패드 ( P 13 ) 를 통해 필요 한 신호 를 회로 기판 ( 17 ) 으로부터 입력 받 는다 .