5 ㎜ 미만 의 높이 를 가지 는 돌출부 ( 21 ) 의 경우 는 요구 되 는 만큼 의 분체 ( S ) 유동 능 을 가지 지 못하 고 , 30 ㎜ 를 초과 하 는 높이 의 돌출부 ( 21 ) 의 경우 에 는 분체 ( S ) 포집 능이 향상 되 어 회전 용기 ( 20 ) 의 회전 에 의하 여 유동 된 분체 ( S ) 의 일부 가 돌출부 ( 21 ) 에 포집 된 채 로 증착 영역 을 이탈 할 수 있 으므로 , 돌출부 ( 21 ) 의 높이 는 5 ㎜ 이상 30 ㎜ 이하 인 것 이 바람직 하 다 .