본 개시 내용 은 일반 적 으로 , 반도체 디바이스 상 에 에피 택 셜 층 을 형성 하 기 위한 클러스터 툴 및 방법 들 에 관한 것 이 다 . 일 구 현 에서 , 클러스터 툴 은 , 이송 챔버 ; 이송 챔버 에 커플링 된 사전 - 세정 챔버 ; 이송 챔버 에 커플링 된 플 라즈 마 - 세정 챔버 ; 이송 챔버 에 커플링 된 증착 챔버 ; 이송 챔버 에 커플링 된 에칭 챔버 ; 및 이송 챔버 에 커플링 된 열 프로세스 챔버 를 포함 한다 .