도 2 를 참조 하 면 , 제 1 실시 예 와 같이 노광 동작 의 개시 시 에 보정 값 연산 을 행하 는 것 이 아니 라 , 주사 속도 를 파라미터 로서 갖 는 보정 테이블 을 스텝 S 312 에서 미리 설정 해도 된다 . 이 경우 , 노광 조건 ( 주사 속도 조건 ) 마다 테이블 에 액세스 해 보정 을 행해도 된다 . 또 , 다른 오차 요인 을 보정 하 기 위해 사용 된 값 을 보정 테이블 에 미리 반영 해도 된다 . 이 와 같이 , 스텝 S 301 ~ S 306 은 도 2 로부터 의 스텝 S 201 ~ S 206 과 같 거나 비슷 하 다 . 또한 , 스텝 S 310 은 스텝 S 210 과 같 거나 비슷 하 다 . 스텝 S 311 에 있 어서 , 빛 의 전파 지연 은 주사 속도 를 통해서 산출 되 고 , 스텝 S 312 에서 는 보정 테이블 이 작성 된다 .