본 실시 예 에 의하 면 , 스루풋 의 저하 를 억제 할 수 있 다 . 예 를 들 면 ID 블록 , 제 1 처리 블록 및 제 2 처리 블록 이 이 순서 대로 배치 되 어 있 다고 한다 . 이 경우 , 제 2 처리 블록 에서 처리 된 기판 ( W ) 을 ID 블록 에 반송 하 기 위해서 , 제 1 처리 블록 에 의한 처리 없이 , 제 1 처리 블록 을 통과 시켜야 한다 . 그러나 , 본 실시 예 에 의하 면 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 도 제 2 처리 블록 ( 5 ) 도 ID 블록 ( 2 ) 에 연결 되 어 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 을 개재 시키 지 않 고 제 2 처리 블록 ( 5 ) 으로부터 ID 블록 ( 2 ) 으로 기판 ( W ) 을 직접 반송 할 수 있 다 . 그렇 기 때문 에 스루풋 의 저하 를 억제 할 수 있 다 .