샤워 헤드 전극 어셈블리 는 기계 적 으로 유연 하 고 / 하 거나 열 적 으로 전도성 인 결합 재료 를 가진 2 이상 의 상이 한 부재 를 결합 시킴 으로써 제조 되 어 다양 한 기능 을 허용 할 수 있 다 . 컴포넌트 의 표면 은 결합 재료 의 접착력 을 향상 시키 기 위해서 프라이머 로 처리 될 수 있 다 . 전기 또는 열 전도 성 을 향상 시키 기 위해서 , 결합 재료 는 전기 적 및 / 또는 열 적 으로 전도성 인 필러 입자 를 포함 할 수 있 다 . 그러나 , 결합 재료 의 이용 과 연관 된 프라이머 및 필러 입자 들 은 또한 미립자 오염 물질 에 대한 잠재 적 인 근원 일 수 있 다 . 추가 적 으로 , 샤워 헤드 전극 어셈블리 는 가스 통로 를 포함 하 기 때문 에 , 가스 통로 가 결합 재료 에 의해 방해 받 지 않 도록 , 결합 재료 의 흐름 을 제어 하 는 것 은 필수 적 이 다 . 결합 재료 로부터 기인 하 는 오염 물질 을 감소 시키 고 결합 재료 배치 를 정확 하 게 제어 할 수 있 는 , 플라 즈 마 처리 장치 의 컴포넌트 의 연결 을 위한 방법 이 제공 된다 .