도 4 는 본 발명 에 따른 화학 적 기계 적 연마장 치 의 폴리 싱 헤드 를 도시 한 단면도 이 다 . 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 화학 적 기계 적 연마장 치 의 폴리 싱 헤드 ( 100 ) 는 하 측면 에 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 또는 가압 하 는 폴리 싱하 우징 ( 110 ) 과 , 폴리 싱하 우징 ( 110 ) 의 하측 에 설치 되 는 리 테이 너링 ( 120 ) 과 , 리 테이 너링 ( 120 ) 과 웨이퍼 ( W ) 사이 에 승강 하 도록 설치 되 는 버퍼링 ( 130 ) 과 , 버퍼링 ( 130 ) 을 승강 시키 는 버퍼링 승강 수단 ( 140 ) 을 포함 한다 .