요구 되 는 경우 , 보수 프로세스 및 / 또는 밀봉 프로세스 가 완성 된 후 에 , 알 콕 시실 란 화합물 은 수평 으로 네트 워킹 되 어 3 차원 수평 네트 워킹 된 구조 를 형성 하 고 , 나노 다공성 LKD 재료 의 기계 적 강도 를 복원 할 수 있 다 . 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 이 수평 네트 워킹 단계 는 전술 한 유기산 ( 예 를 들 어 , 아세트산 , 트리플 루 오로 아세트산 , 트리클로로아세트산 , 시트르산 ) 에 의해 LKD 재료 를 처리 함 으로써 수행 되 어 물 과 잔여물 알 콕 시기 사이 의 가수 분해 반응 을 촉진 시킬 수 있 다 . 바람직 한 실시 형태 에서 , 유기산 증기 는 전술 한 온도 범위 , 압력 범위 및 시간 범위 에 의해 화학 적 증기 공급 시스템 ( 220 ) 을 사용 하 여 프로세스 챔버 ( 200 ) 에 공급 될 수 있 다 . LKD 재료 는 알 콕 시실 란 보수제 및 / 또는 밀봉 제 를 수평 으로 네트 워킹 하 기 에 효과 적 인 양 의 기상 촉매 와 접촉 되 어 위치 된다 .