수지 ( a ) 의 중량 평균 분자량 에 관해서 는 , 폴리스티렌 환산 에서 의 중량 평균 분자량 이 3 , 000 ∼ 100 , 000 인 것 이 바람직 하 고 , 분자량 이 5 , 000 이상 에서 기계 물 성 이 보다 향상 되 고 , 70 , 000 이하 에서 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 분산 성 이 보다 양호 해져 , 릴리프 패턴 의 해상 성능 이 향상 된다 .