추정 위치 산출 수단 ( 26 ) 은 다항식 산출 수단 ( 25 ) 이 산출 한 3 차 다항식 에 기초 하 여 , 노치 센서 ( 73 ) 가 노치 ( 91 ) 를 검출 한 시각 tk 에 있 어서 의 제 2 모터 ( 43 ) ( 웨이퍼 ( 9 ) ) 의 위치 f ( tk ) 를 산출 한다 ( S 4 ) . 즉 , 산출 된 위치 f ( tk ) 가 , 턴테이블 ( 71 ) 에 재치 된 웨이퍼 ( 9 ) 의 노치 ( 91 ) 의 위치 로 추정 한다 .