다음 , 웨이퍼 ( W ) 의 온도 가 안정 화 되 면 , 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 압력 을 공정 압력 으로 감압 하 며 , 웨이퍼 ( W ) 에 대한 제 1 공정 을 수행 한다 ( S 30 ) . 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 압력 은 20 T 에서 5 T 이하 ( 바람직 하 게 는 1 T ) 까지 감소 한다 . 즉 , 제 1 공정 모듈 ( 10 a ) 의 공정 압력 은 1 T 이 다 ( ' c ' 구간 : 공정 구간 ) .