또한 , 가공 장치 ( 1 ) 는 , 척 테이블 ( 10 ) 의 X 축 방향 의 위치 를 검출 하 기 위해 도시 되 지 않 은 X 축 방향 위치 검출 유닛 과 , 절삭 유닛 ( 20 ) 의 Y 축 방향 의 위치 를 검출 하 기 위한 도시 되 지 않 은 Y 축 방향 위치 검출 유닛 과 , 절삭 유닛 ( 20 ) 의 Z 축 방향 의 위치 를 검출 하 기 위한 Z 축 방향 위치 검출 유닛 을 구비 한다 . X 축 방향 위치 검출 유닛 및 Y 축 방향 위치 검출 유닛 은 , X 축 방향 , 또는 Y 축 방향 과 평행 한 리니어 스케일 과 , 판독 헤드 에 의해 구성 할 수 있 다 . Z 축 방향 위치 검출 유닛 은 , 모터 의 펄스 로 절삭 유닛 ( 20 ) 의 Z 축 방향 의 위치 를 검출 한다 . X 축 방향 위치 검출 유닛 , Y 축 방향 위치 검출 유닛 및 Z 축 방향 위치 검출 유닛 은 , 척 테이블 ( 10 ) 의 X 축 방향 , 절삭 유닛 ( 20 ) 의 Y 축 방향 또는 Z 축 방향 의 위치 를 제어 유닛 ( 100 ) 에 출력 한다 . 또한 , 실시 형태 에서 는 , 가공 장치 ( 1 ) 의 각 구성 요소 의 X 축 방향 , Y 축 방향 및 Z 축 방향 의 위치 는 , 미리 정해진 도시 되 지 않 은 기준 위치 를 기준 으로 한 위치 에 의해 정해진다 .