하우징 ( 20 ) 은 , 수 용부 ( 22 ) 와 , 바닥 벽 ( 26 ) 과 , 돌출 벽 ( 28 ) 을 갖 고 있 다 . 바닥 벽 ( 26 ) 은 , Z 방향 에 있 어서 하우징 ( 20 ) 의 하단 ( 下端 ) ( ― Z 측 의 끝 ) 에 위치 하 고 있 다 . 돌출 벽 ( 28 ) 은 , 바닥 벽 ( 26 ) 으로부터 Z 방향 에 있 어서 상방 ( ＋ Z 방향 ) 으로 돌출 되 어 있 다 . 돌출 벽 ( 28 ) 은 , 하우징 ( 20 ) 의 XY 평면 에 있 어서 의 중간 부분 에 위치 하 고 있 으며 , XY 평면 에 있 어서 둘레 벽 ( 24 ) 으로 둘러싸여 있 다 . 수 용부 ( 22 ) 는 , 둘레 벽 ( 24 ) 과 돌출 벽 ( 28 ) 의 사이 에 형성 된 공간 이 다 .