동작 ( 1030 ) 에서 , 자계 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 에 있 는 프로세스 가스 ( 110 ) 에서 2 차 전류 Is 를 유도 한다 . 동작 ( 1035 ) 에서 , 2 차 전류 Is 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 에 있 는 프로세스 가스 ( 110 ) 에서 플라 즈 마를 발생 시킨다 . 동작 ( 1040 ) 에서 , 플라 즈 마 및 플 라즈 마 에 의해 발생 된 라디칼 및 뉴트럴 들 의 일부 가 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 로부터 플 라즈 마 챔버 유출 부 ( 220 ) 들 을 통해 그리고 프로세스 챔버 ( 230 ) 속 으로 보내 진다 .