다음 에 초고압 수은 등 을 갖 는 프록시 미티 형 노광기 ( 히타치 하이테크 덴 시 엔지니어링 ( 주 ) 제 ) 를 이용 하 여 마스크 ( 화상 패턴 을 갖 는 석영 노광 마스크 ) 와 , 상기 마스크 와 열 가소 성 수지 층 이 마주 향하 도록 배치 한 컬러 필터 기판 을 대략 평행 하 게 수직 으로 세운 상태 에서 마스크 면 과 감광성 수지 층 의 중간 층 에 접하 는 측 의 표면 사이 의 거리 를 40 ㎛ 로 하 고 , 마스크 를 통해 열가소성 수지 층 측 으로부터 노광량 100 mJ / ㎠ 로 프록시 미티 노광 했 다 .