또한 , 예 를 들 어 상기 에서 는 , 림 형성 막 과 차광막 은 , 서로 에칭 선택 성 이 있 는 재료 를 사용 하 였 다 . 그러나 , 양자 모두 동일 한 에칭 제 에 의해 에칭 되 는 재료 를 사용 해도 된다 . 그 경우 에 는 , 두 막 사이 에 에칭 스토퍼 막 으로서 , 상기 두 막 의 재료 에 대한 에칭 선택 성 을 갖 는 것 을 개재 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 차광막 과 림 형성 막 을 모두 Cr 계 ( 함유 하 는 금속 중 , Cr 이 가장 큰 함유량 을 가짐 ) 막 으로 하 고 , 에칭 스토퍼 막 을 Si 계 ( Si 화합물 , 또는 금속 실리사이드 화합물 을 포함 함 ) 막 으로 할 수 있 다 .