여기 서 , 상기 금속 층 ( 141 ) 은 상기 작동 전극 ( 140 ) 으로 사용 되 는 금 ( Au ) 로 이루어질 수 있 으며 , 상기 산화 막 은 SiO 2 로 이루어질 수 있 다 . 또한 , 상기 금속 층 ( 141 ) 하부 에 는 글라스 ( 145 ) 가 구비 될 수 있 으며 , 상기 글라스 ( 145 ) 에 상기 금속 층 ( 141 ) 을 증착 시키 기 위해 티타늄 ( Ti ) 으로 이루어진 희생 층 ( 144 ) 이 구비 될 수 있 다 . 다만 , 상기 작동 전극 ( 140 ) 에 사용 되 는 물질 은 상술 한 것 으로 한정 되 는 것 은 아니 며 , 필요 에 따라서 는 다른 물질 이 사용 될 수 도 있 다 .