도 3 f 에 도시 된 바 와 같이 , Y - Y ' 방향 으로 배열 된 필라 구조물 ( 101 ) 사이 를 노출 시키 는 라인 - 스페이스 ( line - space ) 형태 의 제 1 포토레지스트 패턴 ( 40 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 1 포토레지스트 패턴 ( 40 ) 에 의해 X - X ' 방향 으로 배열 된 필라 구조물 ( 101 ) 의 상부 는 덮이 게 된다 .