냉각 수단 ( 300 ) 은 챔버 ( 100 ) 반응 공간 의 외주 면 에 마련 되 어 냉매 가 흐르 는 냉매 파이프 와 냉매 를 순화 시키 기 위한 냉매 펌프 를 구비 한다 . 상기 챔버 히팅 수 단 ( 600 ) 은 챔버 ( 100 ) 의 반응 공간 의 외측 에 이 를 감싸 는 형태 로 배치 된다 . 챔버 히팅 수단 ( 600 ) 으로 전기 적 발열 장치 또는 광학 적 발열 장치 를 사용 할 수 있 다 .