본 발명 에 의하 면 , 흡인 장치 등 에서 의 다양 한 진동수 의 진동 을 흡수 하 여 검사 기판 등 의 피재 치 대상물 에 대한 진동 의 전달 을 방지 할 수 있 는 흡착 테이블 용 의 진동 흡수 장치 를 제공 할 수 있 다 . 이 에 의하 여 피재 치 대상물 이 진동 하 는 것 을 방지 할 수 있 고 , 피재 치 대상물 에 대하 여 정확 한 처리 를 할 수 있 게 된다 .