즉 , 압력 챔버 ( C 3 ) 에 부압 을 인가 하 더라도 , 멤 브레인 바닥 판 ( 11 ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 사이 에 외기 로부터 공기 가 침투 하 는 경로 가 마련 되 면 , 웨이퍼 ( W ) 와 의 사이 에 밀폐 된 부압 상태 의 챔버 가 형성 되 지 않 으므로 , 웨이퍼 ( W ) 를 멤 브레인 바닥 판 ( 11 ) 에 척 킹 하 여 파지 하 는 것 이 어려워진다 .