금속 실리사이드 층 ( 27 ) 은 코발트 실리사이드 , 티타늄 실리사이드 , 니켈 실리사이드 또는 몰리브덴 실리사이드 중 에서 선택 된 어느 하나 이 다 . 바람직 하 게 , 금속 실리사이드 층 ( 27 ) 은 코발트 실리사이드 이 다 . 예컨대 , Co , Ti , Ni 또는 Mo 중 에서 선택 된 어느 하나 의 금속 과 에피 탁 셜 층 ( 26 ) 을 반응 시켜 형성 한다 .