더 구체 적 으로 , 상기 패턴 마스크 는 추후 의 도 7 의 제작 공정 에서 형성 되 는 열린 공동 ( 205 ) , 전극 패드 분리 홈 ( 114 ) ( 도 1 및 2 ) , 다 이 분리 선 ( 215 ) , 도 8 의 제작 공정 에서 형성 되 는 마이크 로 히터 ( 206 ) 와 중앙부 감지 전극 ( 207 ) , 좌측 감지 전극 ( 208 ) , 우측 감지 전극 ( 209 ) , 전극 패드 ( 212 ) 등 의 예정 된 형성 영역 에 대한 패턴 을 포함 한다 .