도 1 은 포토 다이오드 의 일종 으로 금속 과 반도체 를 중첩 하 여 배치 하 는 MSM ( Metal - Semiconductor - Metal ) 포토 다이오드 의 구성 을 보여 주 는 도면 이 다 . MSM 포토 다이오드 ( 10 ) 의 구성 을 살펴보 면 , 저마늄 ( Ge ) 웨이퍼 ( 100 ) 상 에 SiO 2 ( 11 ) 가 배치 되 고 , 이 중 에서 전극 을 구성 하 기 위한 영역 들 을 위해 SiO 2 ( 11 ) 가 식각 되 어 전극 이 연결 된다 . 특히 , 웨이퍼 ( 100 ) 상 의 전극 영역 에 는 정공 쇼트 키 배리어 ( Hole schottky barrier ) ( 12 ) 가 배치 될 수 있 다 . 그리고 정공 쇼트 키 배리어 ( 12 ) 위 에 Ti 층 ( 13 ) 및 Au 층 ( 14 ) 등 이 배치 될 수 있 다 .