기판 처리 장치 ( 1 ) 는 제 1 고주파 전원 ( 62 ) 및 제 2 고주파 전원 ( 64 ) 을 구비 하 고 있 다 . 제 1 고주파 전원 ( 62 ) 은 제 1 고주파 전력 을 발생 시키 는 전원 이 다 . 제 1 고주파 전력 은 플라 즈 마 생 성 에 적합 한 주파수 를 갖 는다 . 제 1 고주파 전력 의 주파수 는 , 예 를 들 어 , 27 MHz ~ 100 MHz 의 범위 내 주파수 이 다 . 제 1 고주파 전원 ( 62 ) 은 정합 기 ( 66 ) 및 전극 플레이트 ( 16 ) 를 사이 에 두 고 하부 전극 ( 18 ) 에 접속 되 어 있 다 . 정합 기 ( 66 ) 는 제 1 고주파 전원 ( 62 ) 의 출력 임피던스 와 부하 측 ( 하부 전극 ( 18 ) 측 ) 임피던스 를 정합 시키 기 위한 회로 를 가진다 . 한편 , 제 1 고주파 전원 ( 62 ) 은 정합 기 ( 66 ) 를 사이 에 두 고 상부 전극 ( 30 ) 에 접속 되 어 있 을 수 도 있 다 . 제 1 고주파 전원 ( 62 ) 은 플라 즈 마 생 성부 의 일 예 를 구성 하 고 있 다 .