이 에 따라 , 제 1 챔버 에서 의 제 1 개 구부 의 지름 방향 으로 상기 외측 씰 영역 보다 내측 에 는 , 상기 제 1 개 구부 의 가장자리 까지 상기 밸브 박스 의 표면 과 상기 제 1 챔버 의 표면 과 의 사이 에 간극 을 형성 하 여 , 진공 측 이 되 는 외측 씰 영역 보다 내측 에서 , 밸브 박스 및 제 1 챔버 가 서로 접 동해 버리 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 따라서 , 게이트 밸브 와 제 1 챔버 와 의 씰 부분 이 파티클 의 발생 원 이 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .