처리 유닛 ( 2 ) 은 복수 의 가드 ( 54 ) 를 개별 적 으로 승강 시키 는 가드 승강 유닛 ( 57 ) 을 포함 한다 . 가드 승강 유닛 ( 57 ) 은 상 위치 에서 하 위치 까지 의 임의 의 위치 에 가드 ( 54 ) 를 위치 시킨다 . 도 2 는 2 개 의 가드 ( 54 ) 가 상 위치 에 배치 되 고 , 나머지 2 개 의 가드 ( 54 ) 가 하 위치 에 배치 되 어 있 는 상태 를 나타낸다 . 상 위치 는 가드 ( 54 ) 의 상단 ( 54 u ) 이 스핀 척 ( 5 ) 에 유지 되 는 기판 ( W ) 이 배치 되 는 유지 위치 보다 상방 에 배치 되 는 위치 이 다 . 하위 치 는 가드 ( 54 ) 의 상단 ( 54 u ) 이 유지 위치 보다 하부 에 배치 되 는 위치 이 다 .