최종 형태 에서 , 플 라즈 마 ( c ) 는 전극 ( a ) 과 전극 ( b ) 사이 에서 발생 된다 . DC , AC ( 또는 RF ) , 또는 펄스 파형 일 수 있 는 전압 이 전극 ( a ) 과 전극 ( b ) 사이 에 인가 된다 . 전극 ( a ) 또는 전극 ( b ) 중 어느 하나 는 접지 될 수 있 다 . 플라 즈 마는 상부 에 기판 ( d ) 이 놓이 는 전극 ( b ) 을 감싼다 . 기판 ( d ) 은 그 후 플 라즈 마 처리 ( 세척 , 증착 , 식각 , 또는 기능 화 ) 된다 . 상부 에 기판 이 놓이 는 전극 ( b ) 은 처리 에 의해 요구 되 는 바 에 따라 가열 되 거나 히터 로서 사용 될 수 도 있 다 .