이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 차광 수단 은 , 소정 의 광학계 에 의한 영상 광의 확 대분 만큼 , 정수 분 의 1 보다 작 은 개구율 을 설정 한다 . 투과 영역 을 제한 함 으로써 , 예 를 들 어 , 화소 이동 에 의한 분 할 노광 의 사이즈 를 제어 하 고 있 고 , 제어 가 곤란 한 광학계 의 조정 은 불 필요 하 여 , 확실 하 게 노광 사이즈 의 제어 가 가능 하 다 .