그러나 , 상기 와 같 은 종래 의 식각 액 조성물 은 위 에서 하부 테일 발생 및 잔 막 발생 , 식각 진행 중 발열 등 종래 기술 의 문제점 을 충분히 해소 하 고 있 지 못하 며 , 특히 , Mo - Ti / Cu / Mo - Ti 막 의 식각 시 상부 팁 ( Tip ) 이 발생 하 며 , 함 불소 화합물 을 포함 으로써 구리 계 금속 막 의 하부 에 형성 되 는 산화물 반도체 층 의 데미지 를 야기 하 는 단점 을 갖 는다 .