개구수 1 . 0 을 넘 는 액침 투영 광학계 의 경우 , 최종 렌즈 와 웨이퍼 와 의 사이 의 액체 를 안정 하 게 제어 하 기 위해서 , 일반 적 으로 최종 렌즈 의 웨이퍼 측 의 면 ( 웨이 퍼 바로 위 의 면 ) 이 평면 으로 되 어 있 다 . 따라서 , 투영 광학계 의 개구수 NA 및 최종 렌즈 의 굴절 률 nFL 이 결정 되 면 , 최종 렌즈 를 통과 하 는 광선 과 투영 광학계 의 광축 이 이루 는 최대 각도 θ MX 는 , 이하 의 부등식 ( 1 ) 으로 정의 된다 .