토출 부 ( 30 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 ( Wa ) 을 향해서 처리 액 을 토출 한다 . 토출 부 ( 30 ) 는 , 노즐 ( 31 ) 과 , 송액 관 ( 32 ) 을 구비 한다 . 노즐 ( 31 ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 에 처리 액 을 토출 한다 . 노즐 ( 31 ) 은 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 예 를 들 어 웨이퍼 ( W ) 의 상방 에 배치 되 어 , 처리 액 을 하방 으로 토출 한다 . 송액 관 ( 32 ) 은 , 노즐 ( 31 ) 까지 처리 액 을 유도 한다 . 노즐 ( 31 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 향해서 처리 액 이 토출 됨 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 에 처리 액 이 도포 ( 공급 ) 된다 .