또한 , 본 발명 은 , 반도체 소자 의 시디 ( CD ) 측정 방법 을 제공 한다 . 이 방법 은 측정 패턴 들 을 갖 는 기판 을 제공 하 는 것 을 포함 한다 . 상기 측정 패턴 들 은 서로 대향 하 는 제 1 및 제 2 면 들 을 구비 한다 . 상기 측정 패턴 들 의 영상 자료 를 생성 한다 . 상기 영상 자료 는 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면 에 각각 대응 하 는 제 1 변 및 제 2 변 을 구비 한다 . 상기 영상 자료 를 편집 하 여 상기 제 1 및 제 2 변 들 의 중첩 길이 를 증가 시킨다 . 상기 편집 된 영상 자료 내 의 상기 제 1 변 및 상기 제 2 변 을 가로지르 는 측정 윈도우 를 설정 한다 . 상기 측정 윈도우 내 의 상기 제 1 및 제 2 변 들 사이 의 거리 를 측정 한다 .