이어서 , 게이트 밸브 ( G 18 ) 가 폐쇄 되 는 동시 에 , 웨이퍼 반송 기구 ( 502 ) 의 반송 아암 ( 512 ) 이나 진공 반 송실 ( 312 ) 과 연통 되 어 있 는 중간 실 ( 322 ) 내 의 웨이퍼 승강 기구 ( 120 ) 등 을 이용 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 가 상기 중간 실 ( 322 ) 내 의 탑재 대 ( 110 ) 에 탑재 된다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 실온 으로 되돌려진다 .