본 실시 예의 정전 척 을 제어 하 는 정전 척 제 어부 는 , 충전 식 의 전원 이나 , 제 어계 로부터 의 지령 을 통신 하 는 무선 통신 수단 과 함께 제어 박스 ( 312 ) 에 격납 되 고 , 반송 캐리어 에 조립 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 제조 프로세스 에 있 어서 , 외부 로부터 반송 캐리어 ( 302 ) 에 전원 공급 케이블 이나 통신 케이블 등 을 접속 할 필요 가 없 어 진다 .