한편 , 전술 한 공정 과 같이 반사 방지 막 ( 122 ) 과 제 2 절 연막 ( 120 ) 의 식각 선택 비 가 1 : 1 인 레시피 로 실시 하 기 위해서 는 , 일반 적 인 반사 방지 막 식각 공정 에 비해 사용 하 는 바이어스 파워 ( bias power ) 를 낮추 고 Ar 가스 의 유량 을 적 게 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 를 위하 여 , 100 ~ 400 W 의 바이어스 파워 를 사용 하 고 100 ~ 200 sccm 유량 의 Ar 가스 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이후 에 , 잔여 하 는 반사 방지 막 ( 122 ) 과 마스크 ( 124 ) 를 제거 한다 .