그리고 절연 막 은 실리콘 나이트 라이드 , 금속 배선 층 사이 에 각기 층간 절 연막 이 필요 한데 그때 사용 되 는 IMD layer ( Inter Metal Dielectrics ) 로 는 FSG 가 사용 되 는 데 일반 적 으로 FSG 의 불소 는 실리콘 나이트 라이드 을 투과 하 지 못한다 . 따라서 실리콘 나이트 라이드 의 노출 되 는 종래 구조 의 경우 , 실리콘 나이트 라이드 주위 불소 의 집중 이 발생 되 고 H + 와 접촉 하 면 HF 형성 에 의한 치명 적 인 손상 을 입 게 되 나 사이드 웰 을 SRO 로 하 는 경우 , Si rich 성분 이 불소 를 잡 아 주 는 역할 을 함 으로 자연 스럽 게 FSG 의 배리어 ( barrier ) 역할 을 할 수 도 있 는 효과 를 가진다 .