배기 덕트 ( 60 ) 에서 의 외주 벽 의 일부 에 는 , 배기구 ( 60 b ) 가 형성 되 어 있 다 . 배기구 ( 60 b ) 에 는 , 배기관 ( 61 ) 의 일단 부 가 접속 되 어 있 다 . 배기관 ( 61 ) 의 타단 부 는 , 예 를 들 어 진공 펌프 나 개폐 밸브 등 에 의해 구성 되 는 배기 장치 ( 62 ) 가 접속 되 어 있 다 . 또한 , 배기 덕트 ( 60 ) 는 , 도전 성 의 금속 , 예 를 들 어 알루미늄 함유 금속 인 A 5052 로 이루어지 고 , 용기 본체 ( 11 ) 와 동전 위 가 된다 . 즉 , 배기 덕트 ( 60 ) 도 접지 된다 .