제어 장치 ( 3 ) 는 제 2 액체 밸브 ( 47 ) 를 열 어 , 도 7 a 에 나타내 는 바 와 같이 제 2 액체 노즐 ( 41 ) 에서 의 제 2 액체 의 토출 을 개시 한다 . 제 2 액체 의 토출 이 개시 되 기 전 에 기판 ( W ) 에서 배제 된 액체 를 받 는 가드 ( 54 ) 를 전환 하 기 위하 여 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 가드 승강 유닛 ( 57 ) 을 제어 하 고 , 적어도 하나 의 가드 ( 54 ) 를 연직 으로 이동 시켜 도 좋 다 .