도 9 는 , 본 발명 의 실시 형태 1 에 따른 증착 장치 의 주요부 를 도시 한 사시도 이 다 . 도 10 은 , 본 실시 형태 1 에 따른 증착 장치 를 , 기판 ( 10 ) 의 폭 방향 ( 제 1 방향 ) 과 수직 인 방향 을 따라서 본 정면도 이 다 . 도 11 은 , 본 실시 형태 1 에 따른 증착 장치 ( 단 , 증착 마스크 ( 70 ) 를 생략 하 고 있 음 ) 의 평면도 이 다 . 이하 의 설명 의 편의 를 위하 여 , 기판 ( 10 ) 의 폭 방향 을 따른 수평 방향 축 을 X 축 , X 축 과 수직 인 수평 방향 축 을 Y 축 , X 축 및 Y 축 과 평행 한 상하 방향 축 을 Z 축 으로 하 는 XYZ 직교 좌표계 를 설정 한다 . Z 축 은 기판 ( 10 ) 의 피 증착 면 ( 10 e ) 의 법선 방향 과 평행 하 다 . 설명 의 편의 를 위하 여 , Z 축 방향 의 화살표 의 측 ( 도 9 의 지면 의 상측 ) 을 「 상측 」 이 라고 칭한다 .