Low - k 재료 로서 는 , 예컨대 , 실리콘 과 산소 에 더 해 , 또한 탄소 를 구성 원소 로서 포함 하 도록 구성 된 재료 ( 예컨대 탄소 첨가 SiO 2 막 등 이 라고 불려 지 는 경우 가 있 다 ) 가 있 다 . 또한 , 필요 에 따라서 상기 Low - k 재료 에 수소 를 더 하 는 경우 도 있 다 . 이러 한 저 유전율 층 은 , SiOC , SiCO , SiOCH , SiCO : H 등 으로 표현 되 는 경우 가 있 다 . 또한 , 이러 한 저 유전율 층 을 구성 하 는 재료 로서 는 , 예컨대 HSQ ( H 함유 폴리 실록 산 ) , MSQ ( 메틸 함유 폴리 실록 산 ) 등 이 알려져 있 다 . 또한 , SiO 2 막 이나 , 또는 상기 저 유전율 층 을 다공질 ( 포 러스 ) 로 함 으로써 , 층간 절연 층 의 유전율 을 또한 저하 시키 는 경우 도 있 다 .