제 1 및 제 2 비아 패턴 들 ( VP 1 , VP 2 ) 이 제 2 층간 절 연막 ( 141 ) 내 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 비아 패턴 ( VP 1 ) 은 제 2 활성 콘 택 패턴 ( ACP 2 ) 에 접속 될 수 있 으며 , 제 2 비아 패턴 ( VP 2 ) 은 제 4 활성 콘 택 패턴 ( ACP 4 ) 에 접속 될 수 있 다 . 제 1 및 제 2 비아 패턴 들 ( VP 1 , VP 2 ) 은 제 1 및 제 2 활성 영역 들 ( NR , PR ) 사이 의 제 2 소자 분리 막 ( 105 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 및 제 2 비아 패턴 들 ( VP 1 , VP 2 ) 은 예 를 들 어 , 텅스텐 , 티타늄 , 탄 탈륨 , 코발트 , 및 구리 와 같 은 금속 및 / 또는 티타늄 질화물 , 탄 탈륨 질화물 , 및 텅스텐 질화물 과 같 은 도전 성 금속 질화물 을 포함 할 수 있 다 .