이 와 같이 , 플라스마 처리 의 과정 에서 서 셉 터 ( 217 ) 의 승강 제어 를 행하 도록 하 면 , 플라스마 처리 의 진행 상황 에 따라 , 웨이퍼 ( 200 ) 와 공진 코일 ( 212 ) 의 하단 사이 의 거리 를 가변 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 따라서 , 폭넓 은 프로세스 에 대응 가능 한 제어 처리 를 실현 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 있 어서 의 처리 분포 의 보정 을 보다 한층 적절 하 면서 또한 신속 하 게 행함 에 있 어서 매우 바람직 한 것 이 된다 .