또한 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , ID 블록 ( 2 ) , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 중 적어도 어느 하나 의 위 에 탑재 되 고 , 캐리어 ( C ) 를 보관 하 기 위한 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 과 , ID 블록 ( 2 ) , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 중 적어도 어느 하나 의 위 에 탑재 되 어 , 재 치대 ( 16 ) 와 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 의 사이 에서 캐리어 ( C ) 를 반송 하 는 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 를 구비 하 고 있 다 .