도 7 은 카세트 ( 420 ) 의 사시도 이 다 . 반응 챔버 ( 100 ) 로 로딩 될 합성 기판 ( 10 ) 및 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 언 로딩 된 합성 기판 들 ( 10 ) 은 카세트 ( 420 ) 에 보관 된다 . 도 7 을 참조 하 면 , 카세트 ( 420 ) 는 지지 부들 ( 422 ) , 상판 ( 424 ) 및 하판 ( 426 ) , 그리고 수직 축들 ( 428 ) 을 가진다 . 상판 ( 424 ) 과 하판 ( 426 ) 은 대체로 직사각 형상 으로 제공 되 며 상하 로 서로 마주 보 도록 배치 된다 . 수직 축들 ( 428 ) 은 상판 ( 424 ) 과 하판 ( 426 ) 의 서로 마주 보 는 모서리 영역 을 연결 하 며 4 개 가 제공 된다 . 수직 축 ( 428 ) 에 는 합성 기판 ( 10 ) 이 카세트 ( 420 ) 에 적층 되 어 보관 되 도록 합성 기판 ( 10 ) 을 지지 하 는 지지 부들 ( 422 ) 이 설치 된다 . 각각 의 지지 부 ( 422 ) 는 합성 기판 ( 10 ) 의 가장자리 부분 을 지지 하 는 4 개 의 지지 블럭 ( 423 ) 을 가진다 . 지지 부들 ( 422 ) 은 2 개 의 그룹 으로 그룹 지 어 진다 . 제 1 그룹 에 속하 는 지지 부들 ( 422 a , 이하 제 1 지지 부 ) 은 반응 챔버 ( 100 ) 로 로딩 될 합성 기판 ( 10 ) 들 을 지지 하 며 , 제 2 그룹 에 속하 는 지지 부들 ( 422 b , 이하 제 2 지지 부 ) 은 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 언 로딩 된 합성 기판 ( 10 ) 들 을 지지 한다 . 일 예 에 의하 면 , 제 1 지지 부 ( 422 a ) 및 제 2 지지 부 ( 422 b ) 는 각 4 개 씩 제공 되 며 , 제 1 지지 부들 ( 422 a ) 은 제 2 지지 부들 ( 422 b ) 의 상부 에 위치 되 도록 제공 된다 .