ID 블록 ( 2 ) 은 , 도 3 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 4 개 의 오프너 ( 캐리어 재 치부 ) ( 11 ~ 14 ) 와 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( 로봇 ) ( MHU 1 , MHU 2 ) 와 , 단일 의 기판 버퍼 ( BF ) 를 구비 하 고 있 다 . 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 와 기판 버퍼 ( BF ) 는 , ID 블록 ( 2 ) 의 내부 에 배치 된다 . 또한 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 는 각각 , 본 발명 의 인 덱 서용 기판 반송 기구 에 상당 한다 .