그러나 , 상기 로봇 암 ( 10 ) 은 작업 전 에 설정 된 위치 값 에 의해 일정 한 위치 에 서 웨이퍼 ( 1 ) 의 하측 으로 이동한 후 , 흡착 시켜 다른 위치 로 이동 시키 게 됨 으로 , 로봇 암 ( 10 ) 의 이동 전 에 상기 웨이퍼 ( 1 ) 의 위치 가 틀어져 있 어 상기 웨이퍼 ( 1 ) 의 중심부 를 정확 하 게 흡착 시키 지 못하 는 문제점 이 있 다 .