로드 포트 ( 120 ) 에 는 복수 개 의 기판 들 ( W ) 이 수납 된 카세트 ( 18 ) 가 안착 된다 . 로드 포트 ( 120 ) 는 복수 개 가 제공 되 며 이 들 은 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 일렬 로 배치 된다 . 도 1 에서 는 2 개 의 로드 포트 ( 120 ) 및 1 개 의 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 가 제공 된 것 으로 도시 하 였 다 . 그러나 로드 포트 ( 120 ) 의 개수 는 공정 모듈 ( 20 ) 의 공정 효율 및 풋 프린트 등 의 조건 에 따라 증가 하 거나 감소 할 수 도 있 다 . 카세트 ( 18 ) 에 는 기판 의 가장자리 를 지지 하 도록 제공 된 슬롯 ( 미 도시 ) 이 형성 된다 . 슬롯 은 제 3 방향 ( 16 ) 으로 복수 개 가 제공 되 고 , 기판 은 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 서로 이격 된 상태 로 적층 되게 카세트 ( 18 ) 내 에 위치 된다 . 카세트 ( 18 ) 로 는 전면 개방 일체 형 포드 ( Front Opening Unified Pod ; FOUP ) 가 사용 될 수 있 다 .