한편 , 도 4 에 는 접지 장치 ( 180 ) 및 전원 ( 185 ) 이 챔버 ( 215 ) 의 하부 에 설치 되 는 구성 을 예 로 들 었 으나 , 접지 장치 ( 180 ) 및 전원 ( 185 ) 이 챔버 ( 215 ) 의 측 부 에 설치 되 는 구성 도 가능 하 며 , 기판 ( 140 ) 이 챔버 ( 215 ) 신장 방향 과 수직 으로 놓인 구성 을 예 로 들 었 으나 , 기판 ( 140 ) 이 챔버 ( 215 ) 신장 방향 과 수평 으로 놓이 는 구성 도 얼마 든지 가능 하 다 .