도 4 를 참조 하 면 , 유체 분사 부 ( 300 ) 는 경로 제 공부 ( 400 ) 를 따라 이동 할 수 있 다 . 유체 분사 부 ( 300 ) 는 기판 지지 부 ( 100 ) 에 지지 된 기판 ( S ) 의 표면 간 의 최단 거리 를 일정 하 게 유지 하 면서 기판 ( S ) 의 상부 면 을 따라 이동 할 수 있 다 . 특히 , 유체 분사 부 ( 300 ) 는 경로 제 공부 ( 400 ) 에 의해 제공 되 는 이동 경로 를 왕복 이동 하 면서 해당 왕복 이동 시 에 선택 된 하나 의 세정 유체 를 분사 할 수 있 다 .