도 15 를 참조 하 면 , 단계 S 30 에서 , 보호막 ( 127 ) 상 에 보조 패턴 ( 140 ) 이 형성 된 후 , 보호막 ( 127 ) 상 에 는 전면 적 에 걸쳐 도전 막 ( 130 a ) 이 형성 된다 . 도전 막 ( 130 a ) 은 스퍼터링 공정 또는 화학 기상 증착 공정 에 의하 여 형성 될 수 있 다 . 도전 막 ( 130 a ) 으로 사용 될 수 있 는 물질 의 예 로서 는 산화 주석 인듐 , 산화 아연 인듐 및 아몰 퍼스 산화 주석 인듐 등 을 들 수 있 다 .