1 ) 본 개시 의 실시 형태 에 따른 방법 은 , 내부 에 직사각 형 스페이스 ( space ) 를 가진 표준 셀 영역 을 레이아웃 하 는 단계 - 상기 표준 셀 영역 은 , 상기 직사각 형 스페이스 를 마주 보 는 제 1 하부 경계 를 가진 표준 셀 의 제 1 열 ( row ) ; 및 상기 직사각 형 스페이스 를 마주 보 는 사이드 경계 를 갖 는 복수 의 표준 셀 을 포함 하 고 , 상기 복수 의 표준 셀 은 표준 셀 의 하부 열 을 포함 하 는 것 임 - ; 상기 직사각 형 스페이스 내 에 메모리 어레이 를 레이아웃 하 는 단계 - 상기 하부 열 의 제 2 하부 경계 및 상기 메모리 어레이 의 제 3 하부 경계 는 동일 직선 에 정렬 됨 - ; 및 상기 직사각 형 스페이스 내 에 필러 셀 영역 을 레이아웃 하 는 단계 - 상기 필러 셀 영역 은 , 상기 표준 셀 의 제 1 열 의 제 1 하부 경계 와 접촉 하 는 제 1 상부 경계 ; 및 상기 메모리 어레이 의 제 2 상부 경계 와 접촉 하 는 제 4 하부 경계 를 포함 함 - 를 포함 한다 .