이어서 , 소스 전극 ( 142 a ) 과 중첩 되 도록 , 절연 층 ( 150 ) 위 에 전극 ( 152 ) 을 형성 한다 ( 도 13 a 참조 ) . 전극 ( 152 ) 은 , 게이트 전극 ( 148 ) 과 마찬가지 의 방법 및 재료 로 형성 할 수 있 으므로 , 상세 한 것 은 , 상기 게이트 전극 ( 148 ) 의 기재 를 참작 할 수 있 다 . 이상 에 의해 , 용량 소자 ( 164 ) 이 완성 된다 .