반송 실열 ( 31 ) 의 평면 에서 보 아 측방 의 다른 쪽 에 는 구체 적 으로 는 , 반송 실열 ( 31 ) 의 X 방향 정 방향 ( 도면 의 우측 방향 ) 외측 에 는 , 제 2 처리 실열 ( 41 ) 이 마련 되 어 있 다 . 제 2 처리 실열 ( 41 ) 은 , 복수 ( 본 예 에서 는 3 개 ) 의 처리 실 ( 424 내지 426 ) 을 가지 며 , 이 들 처리 실 ( 424 내지 426 ) 이 반송 실열 ( 31 ) 을 따라서 배열 되 도록 배설 되 어 있 다 . 제 2 처리 실열 ( 41 ) 을 구성 하 는 처리 실 ( 424 내지 426 ) 은 , 반송 실열 ( 31 ) 을 구성 하 는 반 송실 ( 32 ) 에 대해서 지그재그 형상 으로 배설 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 처리 실열 ( 41 ) 을 구성 하 는 처리 실 ( 424 내지 426 ) 은 , 각각 대응 하 는 반 송실 ( 32 ) 에 접속 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 처리 실 ( 424 ) 이 게이트 밸브 ( G 16 ) 를 거쳐서 반 송실 ( 323 ) 에 접속 되 고 , 처리 실 ( 425 ) 이 게이트 밸브 ( G 17 , G 18 ) 를 거쳐서 반 송실 ( 323 ) , 반 송실 ( 322 ) 에 접속 되 며 , 처리 실 ( 426 ) 이 게이트 밸브 ( G 19 , G 20 ) 를 거쳐서 반 송실 ( 322 ) , 반 송실 ( 321 ) 에 접속 되 어 있 다 .