상기 알루미늄 합금 은 알루미늄 ( Al ) 을 주재료 로 포함 하 고 , 소량 의 다른 물질 이 포함 된 금속 으로서 , 상기 소량 의 다른 물질 은 철 ( Fe ) , 구리 ( Cu ) , 망간 ( Mn ) , 실리콘 ( Si ) , 마그네슘 ( Mg ) , 아연 ( Zn ) 중 에서 적어도 한 종류 의 물질 일 수 있 다 . 알루미늄 합금 은 100 % 조성 의 순수 알루미늄 에 비해 예컨대 , 강도 ( strength ) 등 의 물리 적 성질 이 우수 하 므로 , 증착 챔버 내 의 가혹 한 환경 에서 사용 하 기 에 보다 적합 하 다 . 상기 모재 ( 11 ) 는 표면 에 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 피막 이 형성 되 지 않 은 베어 ( bare ) 상태 의 금속 이 다 .