도 1 및 2 의 실시 예 는 가장 단순 한 , 본 발명 의 제 1 양상 을 개시 하 며 , 여기 서 RF 전력 은 워크 피스 통로 쪽 으로 중앙 으로부터 오프셋 되 는 전극 상 의 위치 들 에서 하나 이상 의 RF 구동 포인트 들 에 결합 된다 . 다시 말 해 , RF 구동 포인트 들 은 워크 피스 통로 에 가장 가까운 전극 의 에지 와 전극 의 중앙 사이 에 존재 한다 . 도 1 및 2 에 보여 지 는 실시 예 는 단 하나 의 RF 구동 포인트 를 갖 고 , 따라서 , 발명 의 이러 한 제 1 양상 의 가장 간단 한 구 현예 이 다 .