도 1 내지 도 3 을 참조 하 면 , 제 1 실시 예 에 따른 프로브 핀 ( 이하 , ' 프로브 핀 ' 라 함 ) 은 제 1 탄성 부 ( 100 ) , 플레이트 ( 110 ) 및 제 2 탄성 부 ( 120 ) 를 포함 한다 . 프로브 핀 은 제 1 탄성 부 ( 100 ) , 플레이트 ( 110 ) 및 제 2 탄성 부 ( 120 ) 순 으로 연결 되 어 있 다 .