실리콘 잉 코트 로부터 실리콘 웨이퍼 를 만드 는 절단 공정 에서 는 와이어 쇼 ( wire saw ) 를 일반 적 으로 사용 하 고 있 으며 , 이때 와이어 는 직경 약 0 . 14 ㎛ 정도 , 그리고 평균 입경 20 ㎛ 의 실리콘 카바이드 등 을 함유 한 절단 용 슬러리 를 사용 하 고 있 다 . 이러 한 절단 공정 에서 많 은 양 의 실리콘 카바이드 와 실리콘 입자 , 그리고 절삭유 등 이 함유 되 어 있 는 폐 슬러리 가 발생 되 고 있 으며 , 이 폐 슬러리 는 몇 년 전 까지 만 해도 폐기물 처리 업체 에 의해 매립 처리 되 어 왔 다 .