기판 처리 장치 ( 1 ) 에 는 , 장치 전체 의 동작 을 제어 하 는 제 어부 ( 70 ) 가 구비 되 어 있 다 . 제 어부 ( 70 ) 는 CPU ( 71 ) , ROM ( 72 ) , RAM ( 73 ) 을 구비 한다 . ROM ( 72 ) 에 는 제 어부 ( 70 ) 에 의해 실행 되 는 기본 프로그램 등 이 기억 되 어 있 다 . RAM ( 73 ) 에 는 레시피 가 저장 되 어 있 다 . 레시피 에 는 프로세스 조건 ( 에칭 조건 ) 에 대한 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 제어 정보 가 설정 되 어 있 다 . 제 어 정보 에 는 , 프로세스 시간 , 압력 ( 가스 의 배기 ) , 고주파 전력 과 전압 , 각종 가스 의 유량 , 챔버 내 온도 ( 예 를 들 어 , 기판 의 설정 온도 ) 등 이 포함 된다 . 한편 , 레시피 는 하드 디스크 , 반도체 메모리 등 에 기억 되 어 있 을 수 도 있 다 . 또한 , 레시피 는 , CD - ROM , DVD 등 과 같이 운반 가능 하 며 컴퓨터 에 의해 읽 어 들일 수 있 는 기억 매체 에 수용 된 상태 에서 , 기억 영역 의 소정 위치 에 세팅 되 도록 할 수 도 있 다 .