한편 , 상기 기판 처리 공간 ( 12 ) 내 에 는 기판 전체 가 플러스 의 전하 를 띄 게 되 는 차지 업 ( charge up ) 현상 을 방지 할 수 있 도록 기판 처리 공간 ( 12 ) 내 에 도입 된 이온 빔 을 전기 적 으로 중화 하 는 뉴트럴 라이저 ( Neutralizer , 20 ) 와 , 기판 처리 공간 ( 12 ) 내 에서 기판 의 코팅 을 위한 증착 재료 를 제공 하 는 증발기 ( 30 ) 가 배치 될 수 있 다 .