한편 , 다수 의 챔버 ( 1 ) 로 이루어지 는 반도체 제조 설비 에 는 다수 의 수냉식 온도 조절기 ( 3 ) 와 그 에 냉각수 를 공급 하 는 하나 의 냉각수 칠러 ( 2 ) 를 구비 하 는 것 이 일반 적 인데 , 전체 적 인 공정 설비 의 크기 를 줄이 기 위해서 는 수냉식 온도 조절기 ( 3 ) 의 크기 를 컴팩트 하 게 형성 하 는 것 이 필요 하 다 .