본 형태 에서 는 , 고무 제 의 패드 ( 51 ) 는 , 패드 ( 50 , 51 ) 에 적재 되 는 기판 ( 2 ) 의 하중 이 비교적 걸리 기 쉬운 위치 에 배치 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 본 형태 에서 는 , 고무 제 의 패드 ( 51 ) 과 기판 ( 2 ) 사이 에 발생 하 는 마찰력 에 의해 , 핸드 ( 3 ) 에 탑재 되 는 기판 ( 2 ) 의 , 핸드 ( 3 ) 가 이동 할 때 의 어긋남 을 억제 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .