상술 한 제 2 실시 형태 에 있 어서 , 송액 부 ( 60 ) 는 , 필터 ( 63 ) 를 개재 하 여 보충 부 ( 50 ) 와 토출 부 ( 30 ) 를 접속 하 는 송액 관 ( 61 ) 과 , 송액 관 ( 61 ) 을 거쳐서 보충 부 ( 50 ) 로부터 처리 액 을 받아들여 , 송액 관 ( 61 ) 을 거쳐서 토출 부 ( 30 ) 에 처리 액 을 송출 하 는 압송 부 ( 64 ) 와 , 송액 관 ( 61 ) 과 압송 부 ( 64 ) 사이 를 개폐 하 는 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 를 갖 는다 . 보충 부 ( 50 ) 는 , 액원 ( 51 ) 과 , 액원 ( 51 ) 으로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 송출 하 는 압송 부 ( 53 ) 를 갖 는다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 압송 부 ( 53 ) 로부터 압송 부 ( 64 ) 에 의 보충 압력 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 53 ) 및 압송 부 ( 64 ) 의 어느 한 쪽 을 제어 한다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 압송 부 ( 53 ) 로부터 압송 부 ( 64 ) 에 의 보충 유량 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 53 ) 및 압송 부 ( 64 ) 의 다른 쪽 을 제어 한다 . 이 경우 , 보충 유량 을 조절 하 면서 , 보충 중 의 처리 액 의 압력 을 조절 할 수 있 다 . 그 결과 , 파티클 의 저감 에 적합 한 액 압 으로 처리 액 의 보충 을 행하 는 것 이 가능 하 게 된다 .