하부 전극 ( 18 ) 의 내부 에 는 , 유로 ( 18 f ) 가 형성 되 어 있 다 . 유로 ( 18 f ) 에 는 , 챔버 ( 10 ) 의 외부 에 설치 되 어 있 는 칠러 유닛 ( 22 ) 으로부터 배관 ( 22 a ) 을 통해 온도 조정 용 열 교환 매체 ( 예컨대 냉매 ) 가 공급 된다 . 유로 ( 18 f ) 에 공급 된 열 교환 매체 는 , 배관 ( 22 b ) 을 통해 칠러 유닛 으로 되돌아간다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에서 는 , 정전 척 ( 20 ) 상 에 배치 된 기판 ( W ) 의 온도 가 , 열 교환 매체 와 하부 전극 ( 18 ) 의 열 교환 에 의해 , 조정 된다 .