본 발명 은 , 반도체 소자 제조 용 기판 처리 장치 의 내부 에 설치 되 는 제 1 플레이트 와 상기 제 1 플레이트 의 상부 에 적층 되 는 제 2 플레이트 를 분리 하 는 장치 로서 , 상기 제 2 플레이트 가 관통 할 수 있 는 개구 를 가지 는 몸체 ; 상기 몸체 에 결합 된 이격 부재 를 포함 하 며 , 상기 이격 부재 를 상기 제 1 플레이트 에 결합 되 는 제 1 지지 봉과 상기 제 2 플레이트 에 결합 되 는 제 2 지지 봉 사이 로 삽입 하 여 상기 제 1 플레이트 와 상기 제 2 플레이트 를 분리 시키 는 플레이트 분리 장치 와 이 를 이용 한 플레이트 분리 방법 을 제공 한다 .