평가 사이트 를 이용 할 시기 및 방법 을 확립 하 기 위해 S - D 처리 시퀀스 가 실행 되 어 이용 될 수 있 다 . S - D 처리 시퀀스 는 이력 데이터베이스 에 저장 된 데이터 에 기초 하 여 반도체 제조 업자 에 의해 지정 될 수 있 다 . 예컨대 , 반도체 제조 업자 는 SEM 측정 을 수행 할 경우 에 웨이퍼 상 의 수개 의 사이트 를 이력 에 따라 선택 할 수 있 고 , 평가 데이터 를 , SEM 툴 , TEM 툴 및 / 또는 FIB 툴 을 이용 하 여 측정 된 데이터 와 상관 시키 기 를 원한다 . 또한 , 이용 된 평가 사이트 의 개수 는 그 프로세스 가 고품질 생산품 및 / 또는 디바이스 를 계속 생산 하 고 그럴 것 이 라고 제조 업자 가 점점 신뢰 하 게 될 때 줄어들 수 있 다 .