약 0 . 5 mm 내지 약 0 . 6 mm 의 두께 및 약 370 mm × 470 mm 의 사이즈 를 갖 는 베이스 기판 ( 10 ) 은 자중 에 의하 여 다소 휨 이 발생 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 약 0 . 5 mm 내지 약 0 . 6 mm 의 두께 및 약 370 mm × 약 470 mm 의 사이즈 를 갖 는 베이스 기판 ( 10 ) 의 중앙 부분 은 자중 에 의하 여 베이스 기판 ( 10 ) 의 에지 부분 에 비하 여 약 6 mm 정도 처지 게 된다 . 베이스 기판 ( 10 ) 의 처짐 은 베이스 기판 ( 10 ) 의 두께 에 반비례 하 고 , 베이스 기판 ( 10 ) 의 사이즈 에 비례 한다 . 또한 , 본 실시 예 에서 , 스테인리스 스틸 을 포함 하 는 베이스 기판 ( 10 ) 은 제 1 열팽창 계수 를 갖 는다 . 본 실시 예 에서 , 베이스 기판 ( 10 ) 으로 사용 되 는 스테인리스 스틸 은 SUS 304 또는 SUS 430 일 수 있 다 . 베이스 기판 ( 10 ) 이 SUS 304 로 사용 될 경우 베이스 기판 ( 10 ) 의 제 1 열팽창 계수 는 약 17 . 3 × 10 - 6 / K 이 고 , 베이스 기판 ( 10 ) 이 SUS 430 로 사용 될 경우 베이스 기판 ( 10 ) 의 제 1 열팽창 계수 는 약 10 . 5 × 10 - 6 / K 이 다 .