나아가 , 도 5 의 ( a ) 에서 는 진 동축 ( 143 ) 으로부터 유리 기판 ( P ) 을 향해서 돌출 된 형상 의 진동판 ( 144 a ) 을 일 예 로 도시 하 였으나 , 도 5 의 ( b ) 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 진 동축 ( 143 ) 으로부터 양측 을 향해 돌출 된 형상 의 진동판 ( 144 b ) 을 사용 하 하 거나 , 도 5 의 ( c ) 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 진동판 ( 144 c ) 의 양측 부가 수평축 으로부터 5 ° 내지 25 ° 로 기울어진 굴곡 부 를 형성 하 여 더욱 큰 파동 이 발생 할 수 있 도록 하 는 것 이 바람직 할 것 이 며 , 이때 상기 양측 을 향해 돌출 된 형상 의 진동판 ( 144 b ) 과 굴곡 부 가 형성 되 어 있 는 진동판 ( 144 c ) 역시 도 5 의 ( a ) 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 그 회동 가능 하 도록 진 동축 ( 143 ) 과 힌지 결합 되 고 상기 진동 축 에 는 회동 각도 를 제한 하 는 걸림돌 기 ( 145 ) 가 형성 되 어 있 는 것 이 바람직 할 것 이 다 .