상기 레지스 트 패턴 의 형성 에 있 어서 , 노광량 ( mJ / ㎠) 과 초점 을 적절히 변화 시켜 , SL 패턴 을 형성 하 였 다 . 이 때 , 패턴 붕괴 를 일으키 지 않 고 해 상한 SL 패턴 에 있 어서 의 스페이스 부분 의 최대 의 치수 를 , 측장 SEM ( 가속 전압 300 V ) 을 사용 하 여 측정 하 였 다 . 측장 SEM 에 는 , 히타치 하이테크 놀 로 지즈 사 제조 의 주사 형 전자 현미경 ( 상품명 : S - 9380 ) 을 사용 하 였 다 .