대물 렌즈 ( 21 ) , 결상 렌즈 ( 22 ) , 릴레이 렌즈 ( 25 ) 및 이미지 센서 ( 27 ) 는 Z 축 방향 에 있 어서 포토 마스크 ( 80 ) 로부터 멀 어 짐 에 따라서 이 순서 로 배치 되 어 있 다 . 릴레이 렌즈 ( 25 ) 및 이미지 센서 ( 27 ) 는 도 1 의 광학 헤드 ( 30 ) 에 내장 되 어 있 다 . 포토 마스크 ( 80 ) 의 당해 일부 를 투과 한 광 은 대물 렌즈 ( 21 ) 및 결상 렌즈 ( 22 ) 에 의해 확대 되 고 , 릴레이 렌즈 ( 25 ) 를 개재 하 여 이미지 센서 ( 27 ) 의 촬상면에 결상 된다 .