메모리 셀 트랜지스터 MT 의 각각 은 , 반도체 기판 상 에 , 순차 적 으로 , 게이트 절 연막 , 전하 축적 층 으로서 의 부유 전극 FG , 게이트 간 절 연막 , 제 어 전극 CG 로 이루어지 는 적층 구조 이 다 . 부유 전극 FG 는 , 메모리 셀 트랜지스터 MT 마다 분리 되 고 , 제 어 전극 CG 는 WL 방향 에 공통 으로 배치 되 며 , 워드 선 에 접속 된다 .