상기 제 1 Y 축 구동 부 ( 216 ) 는 상기 Y 축 방향 으로 연장 하 며 , 상기 스테이지 ( 211 ) 를 상기 Y 축 방향 으로 이동 시킬 수 있 다 . 상세히 도시 되 지 는 않 았 으나 , 일 예 로서 , 상기 제 1 Y 축 구동 부 ( 216 ) 는 모터 와 볼 스크루 및 볼 너트 등 을 이용 하 여 구성 될 수 있 으며 , 상기 스테이지 ( 211 ) 는 리니어 모션 가이드 등 을 이용 하 여 상기 Y 축 방향 으로 안내 될 수 있 다 .