본 실시 예 에 따르 면 , 상기 챔버 ( 100 ) 와 상기 결합 부재 ( 200 ) 가 상기 제 1 하우징 ( 110 ) 의 상단 에서 결합 또는 분리 되 도록 이루어져 , 클램 핑 중 발생 하 는 파티클 이 하강 하 며 상기 제 1 하우징 ( 110 ) 에 가로막히 게 되 므로 , 상기 챔버 ( 100 ) 내부 에 파티클 이 인입 될 확률 을 낮출 수 있 다 .