반송 대상 이 되 는 기판 은 , 통상 , 평평 한 기판 이 지만 , 그 중 에 는 휘어진 기판 ( 휘어짐 을 갖 는 기판 ) 도 있 다 . 예컨대 , 두께 가 1 ㎜ 정도 로 얇 은 기판 이 처리 대상 의 기판 으로서 이용 되 고 , 그 기판 의 상면 에 성막 ( 成 膜 ) 이 행해 지 면 , 기판 은 막 의 응력 에 의해 휘어지 는 경우 가 있 다 . 이 휘어진 기판 이 상면 을 위 로 또는 아래 로 하 여 복수 의 반송 롤러 에 의해 휘어진 채 의 상태 로 반송 되 면 , 기판 의 휘어진 부분 에 처리 용 의 유체 가 균일 하 게 공급 되 지 않 기 때문 에 , 기판 에 대한 처리 가 불 균일 해진다 . 이 때문 에 , 처리 불 균일 ( 예컨대 , 도포 불 균일 이나 박리 불 균일 , 에칭 불 균일 , 세정 불 균일 , 건조 불 균일 ) 이 발생 하 는 경우 가 있 어 , 기판 품질 이 저하 된다 .