다음 으로 , 상술 한 도 2 에서 도시 한 반 투광 성막 하부 배치 타입 의 그 레이톤 마스크 제조 공정 에 따라 마스크 를 제조 하 였 다 . 그 때 , 탄탈 을 함유 하 는 재료 로 이루어지 는 차광성 막 의 에칭 액 으로서 수산화 나트륨 을 사용 하 였 다 . 또한 , 크롬 과 질소 를 함유 하 는 재료 로 이루어지 는 반 투광 성막 의 에칭 액 으로서 질산 제 2 세륨 암모늄 과 과염소산 을 함유 하 는 에칭 액 을 상온 에서 사용 하 였 다 .