한편 , 이러 한 문제점 을 해결 하 기 위한 방법 으로서 , 플 라즈 마 에 원형 의 통공 을 형성 하 고 , 상기 통공 의 내부 에서 단 턱 에 의해 고정 삽입 되 는 부시 와 , 상기 부시 의 외측 과 플 라즈 마의 통공 의 내측 의 사이 에 삽입 되 는 조립 링 을 구비 한 후 플 라즈 마 챔버 의 플레이트 를 삽입 하 여 이어지 는 조 립스 크류 를 상기 부시 에 나사 결합 으로 상호 결합 시키 도록 구성 하 여 나사 결합 부 의 손상 의 발생 을 억제 하 고 , 손상 발생 시 에 는 상기 한 부시 만 을 교환 하 여 사용 할 수 있 도록 하 는 구성 이 적용 되 었 다 .