본 발명 은 상기 한 바 와 같 은 결점 을 해소 시키 기 위하 여 안출 된 것 으로서 , 프로브 카드 보드 의 니들 을 상측 으로 연장 형성 시키 고 , 그 연장 된 니 들 이 퍼포먼스 보드 의 하판 을 관통 하 여 상판 의 접촉 단자 와 직접 연결 됨 으로써 , 연장 형성 된 니들 을 통한 연결부 의 단순 화 로 누전 의 원인 을 줄여 보다 정확 한 측정 결과 를 얻 을 수 있 는 반도체 검사 장치 를 제공 하 는 것 을 그 목적 으로 한다 .