본 발명 에 따른 제 1 가능 성 은 챔버 벽 들 을 위한 단일 의 가열 수단 을 마련 하 는 단계 와 , 적어도 제 1 구성 및 제 2 구성 을 가지 는 벽 들 을 마련 하 는 단계 를 포함 한다 . 제 1 구성 이 제 2 구성 보다 덜 가열 된다는 점 에서 제 1 구성 과 제 2 구성 은 서로 다르 다 . 이러 한 점 은 도시 된 실시 예 들 에 채용 된 해결 안 이 다 . 사실상 , 도 1 의 실시 예 에서 구성 의 차이 는 벽 ( 2 , 3 ) 들 의 크기 ( 및 형상 ) 와 벽 ( 2 , 3 ) 들 의 공동 ( 21 , 31 ) 의 크기 에 관련 된다 . 도 2 의 실시 예 에서 구성 의 차이 는 벽 ( 2 , 3 ) 들 의 크기 ( 및 형상 ) 와 공동 의 존재 유무 에 관련 된다 . 도 3 및 도 4 의 실시 예 에서 구성 의 차이 는 벽 단면 의 형상 에 관련 된다 .