그리고 , 상기 텅스텐 박막 ( 102 ) 과 그 상부 에 형성 된 비정질 텅스텐 핵 생 성층 ( 104 ) 은 , 원자 층 증착 법 ( Atomic Layer Deposition : 이하 ALD ) 으로 형성 되 고 , 상기 벌크 ( Bulk ) 텅스텐 막 ( 106 ) 은 CVD ( Chemical Vapor Depositon ) 방법 으로 형성 된 다 .