가스 공급 모듈 ( 210 a , 210 b ) 은 제 1 가스 ( A ) 및 제 2 가스 ( B ) 가 분리 되 어 공급 된다 . 제 1 가스 ( A ) 와 제 2 가스 ( B ) 의 분리 공급 을 위해 , 가스 공급 모듈 ( 210 a , 210 b ) 은 서로 격리 된 외측 공급 관 ( 210 a ) 과 내측 공급 관 ( 210 b ) 을 구비 한다 . 도 2 를 참조 하 면 , 제 1 가스 ( A ) 는 외측 공급 관 ( 210 a ) 으로 공급 되 고 , 제 2 가스 ( B ) 는 내측 공급 관 ( 210 b ) 으로 공급 된다 .