도 12 는 , 도 11 의 대안 적 인 챔버 설계 ( 1100 ) 를 갖 는 수직 기판 세정 및 건조 챔버 의 내부 부분 의 예시 적 인 단면 을 도시 한다 . 도 12 에서 , 좌측 핀 ( 1101 ) 및 우측 핀 ( 1103 ) 은 , 위 에 언급 된 바 와 같이 , 서로 밀접 하 게 접촉 하 거나 임의 적 으로 서로 닿 을 수 있 다 . 핀 들 ( 1101 , 1103 ) 이 실제로 닿 는 경우 , 통상 의 기술자 는 핀 들 ( 1101 , 1103 ) 둘 모두 가 동일 한 회전 속력 으로 동일 한 방향 으로 회전 할 것 임 을 이해 할 것 이 다 .