여기 서 , 상기 웨이퍼 의 회전 속도 는 1 ~ 5000 rpm 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 세정 노즐 에 유입 되 는 세정액 은 증류수 , 초 순수 , DI 수 및 이 들 의 혼합물 중 선택 된 어느 하나 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 세정 노즐 에서 분사 하 는 상기 세정액 의 유량 은 0 . 8 Liter / min ~ 3 Liter / min 이 고 , 외곽 으로 갈 수록 50 ml / min ~ 600 ml / min 씩 감소 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 세정 노즐 에서 분사 하 는 상기 세정액 의 각도 는 상기 웨이퍼 를 기준 으로 10 ~ 80 ° 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 세정 노즐 을 수평 이 동시 키는 속도 는 30 ~ 250 mm / s 인 것 을 특징 으로 한다 .