이어서 , 상기 반도체 장치 의 제작 방법 의 일례 에 대하 여 설명 한다 . 이하 에서 는 , 처음 에 하부 의 트랜지스터 ( 160 ) 의 제작 방법 에 대하 여 도 10 및 도 11 을 참조 하 여 설명 하 고 , 그 후 , 상부 의 트랜지스터 ( 162 ) 및 용량 소자 ( 164 ) 의 제작 방법 에 대하 여 도 12 및 도 13 을 참조 하 여 설명 한다 .