다만 , 세정 파트 의 외부 에 반 점검 출부 ( 320 ) 가 배치 되 면 , 기판 ( 10 ) 의 건조 공정 이 완료 된 후 기판 ( 10 ) 을 반 점검 출부 ( 320 ) 가 배치 된 위치 로 이동 시킨 후 반점 검출 공정 이 행해져야 하 기 때문 에 , 불가피 하 게 기판 ( 10 ) 의 이송 경로 가 증가 하 기 때문 에 , 세정 파트 내 에 반 점검 출부 ( 320 ) 를 배치 하 고 기판 ( 10 ) 의 건조 공정 이 완료 된 지점 에서 곧바로 반점 을 검출 하 는 것 이 바람직 하 다 .