기판 ( 100 ) 은 반도체 물질 을 포함 할 수 있 으며 , 예컨대 규소 ( Si ) , 게르마늄 ( Ge ) , 비소화갈륨 ( GaAs ) , 산화아연 ( ZnO ) , 실리콘 카바이드 ( SiC ) , 실리콘 게르마늄 ( SiGe ) , 질화 갈륨 ( GaN ) , 갈륨 ( Ⅲ ) 옥사이드 ( Ga 2 O 3 ) , 및 사파이어 ( sapphire ) 을 포함 할 수 있 다 .