상기 한 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 에 따르 면 , DC 마그네트론 스퍼터링 을 이용 한 평판 디스플레이 에 사용 되 는 투명 도전 막 에 있 어서 , 상온 에서 산소 가 미 첨가 된 아르곤 가스 분위기 하 에서 0 . 5 ~ 1 . 2 Pa 의 고공 정압 으로 마그네트론 스퍼터링 법 을 이용 하 여 기판 상 에 형성 된 제 1 층 과 , 상온 에서 아르곤 대비 0 . 4 % 의 산소 가스 분위기 하 에서 0 . 1 ~ 0 . 4 Pa 의 저공 정압 으로 마그네트론 스퍼터링 법 을 이용 하 여 상기 제 1 층 위 에 연속 적 으로 형성 된 제 2 층 을 포함 하 여 구성 되 고 , 상기 제 1 층 과 제 2 층 을 포함 하 는 다층 박막 을 비 반응 성 가스 분위기 하 에서 열처리 하 여 형성 되 는 것 을 특징 으로 하 는 투명 도전 막 이 제공 된다 .