또한 상기 제 1 메인 이송 툴 ( 510 ) 은 , 도 4 a 내지 도 4 h 에 도시 된 바 와 같이 , 메인 셔틀 플레이트 ( 210 ) 와 의 신속 한 소자 교환 을 위하 여 메인 셔틀 플레이트 ( 210 ) 의 소자 안착 부 ( 211 ) 가 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 n× 2 m 의 배열 과 동일 하 게 배열 된 픽커 ( 511 ) 들 을 구비 할 수 있 다 .