개폐 밸브 ( 28 ) 가 개방 되 면 , 캐리어 가스 원 ( 32 ) 으로부터 의 캐리어 가스 ( Ca ) 와 함께 환원 가스 원 ( 30 ) 으로부터 의 환원 가스 ( G 1 ) 가 , 유전 체관 ( 22 ) 내 를 그 플 라즈 마 분사구 ( 22 b ) 를 향해 안내 된다 . 환원 가스 ( G 1 ) 가 안내 되 는 유전 체관 ( 22 ) 의 유로 ( 流路 ) 에 는 , 전원 장치 ( 26 ) 로부터 의 전압 이 인가 되 는 한 쌍 의 전극 ( 24 , 24 ) 에 의해 , 양 전 극간 ( d 1 ) 에 대응 하 는 영역 에 유전체 배리 어 방전 에 의한 방전 공간 영역 이 형성 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 유전 체관 ( 22 ) 의 가스 도입 구 ( 22 a ) 에서 플라 즈 마 분사구 ( 22 b ) 를 향해 안내 되 는 환원 가스 ( G 1 ) 는 , 상기 방전 공간 영역 을 지나 는 과정 에서 플라 즈 마 상태 에 놓인다 . 그 결과 , 상기 환원 가스 ( G 1 ) 를 플 라즈 마원 으로 하 는 플 라즈 마 가스 가 절연 기판 ( 12 ) 위 에 분사 된다 .