복수 의 플래시 램프 ( FL ) 는 , 각각 이 장척 의 원통 형상 을 가지 는 봉 형상 램프 이 며 , 각각 의 길 이 방향 이 유지 부 ( 7 ) 에 유지 되 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 주면 을 따라 ( 즉 수평 방향 을 따라 ) 서로 평행 이 되 도록 평면형 상 으로 배열 되 어 있 다 . 따라서 , 플래시 램프 ( FL ) 의 배열 에 의해 형성 되 는 평면 도 수평면 이 다 .