그런 다음 , 상기 CMP 공정 이 수행 되 어 평탄 화 된 제 1 층간 절 연막 ( 212 ) 상 에 랜 딩 플러그 콘 택용 하드 마스크 막 ( 214 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 상기 랜딩 플러그 콘 택용 하드 마스크 막 ( 214 ) 은 300 ∼ 5000 Å 의 두께 를 갖 는 폴리 실리콘 막 및 질화 막 으로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .