리모트 플 라즈 마 세정 단계 는 다이렉트 플라 즈 마 세정 단계 를 거친 공정 챔버 ( 102 ) 내 코팅 층 을 제거 하 기 위해 부가 될 수 잇 고 , 이 에 따라 제 2 세정 가스 는 공정 챔버 ( 102 ) 내부 에 형성 된 코팅 층 을 제거 하 기 위해 불소 및 염소 성분 중 어느 하나 를 함유 하 는 가스 , 즉 불소 함유 가스 또는 염소 함유 가스 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 세정 가스 는 NF 3 가스 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 포스트 코팅 막 은 실리콘 및 산소 를 함유 할 수 있 고 , 예컨대 제 1 프리 코팅 막 과 동일 하 게 실리콘 산화 막 ( SiOx ) 을 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 제 1 포스트 코팅 막 을 형성 하 는 단계 는 전술 한 제 1 프리 코팅 막 을 형성 하 는 단계 ( S 16 ) 를 참조 할 수 있 고 , 중복 된 설명 은 생략 된다 .