먼저 , 도 3 a 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 제 3 포토레지스트 층 ( 105 ) 및 제 4 포토레지스트 층 ( 107 ) 을 식각 용액 으로 식각 제거 하 고 , 제 2 범프 ( 108 ) 의 높이 이상 으로 탄성 층 ( 109 ) 을 형성 한다 . 이러 한 탄성 층 ( 109 ) 의 형성 은 폴리머 를 기판 ( 100 ) 에 도포 하 여 이루어질 수 있 다 . 본 발명 의 실시 예 에서 폴리머 는 탄성력 을 제공 할 수 있 는 것 이 면 특별히 제한 되 지 는 않 는다 . 바람직 하 게 는 열팽창 계수 가 작 고 비전 도 성인 폴리머 가 사용 된다 .