이상 에서 설명 한 바 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 노광 장비 를 설명 하 였 지만 , 상기 노광 장비 의 구성 요소 중 에 , 웨이퍼 스테이지 ( 600 ) 와 광 검출기 ( 300 ) 를 제외 하 는 경우 에 , 본 발명 의 사 입사 조명 장치 가 구현 될 수 있 고 , 그 동작 또한 동일 하 므로 , 이하 의 설명 에서 는 생략 하 기 로 한다 .