그러면 , 복수 개 의 상기 배기 대상 가스 유입 홀 ( 121 ) 중 상기 하부 케이스 부재 ( 102 ) 에서 상대 적 으로 멀리 위치 된 것 은 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 ( 101 ) 의 내부 와 상대 적 으로 선형 형태 를 가지 게 됨 으로써 , 상기 배기 대상 가스 유입 홀 ( 121 ) 에 대한 상기 배기 대상 가스 의 유입 경로 가 상대 적 으로 짧아지 게 되 고 , 그 에 따라 상기 배기 대상 가스 의 유입 이 신속 하 게 진행 될 수 있 게 된다 .