연마 대상 물질 의 평면도 를 높이 기 위한 방법 으로서 1 차 적 으로 밀링 ( Milling ) , MCT 등 의 장비 를 활용 한 기계 가공 을 하 고 , 2 차 적 으로 기계 적 - 화학 적 연마 ( Chemical - Mechanical Polishing ) 를 하 는 방법 을 사용 할 수 있 다 . 기계 적 - 화학 적 연마 방법 은 연마 대상 물질 을 다른 물질 과 마찰 시키 는 기계 적 연마 와 , 연마 대상 물질 과 화학 반응 을 일으킬 연마제 를 공급 하 는 화학 적 연마 를 동시 에 진행 되 어 연마 대상 물질 의 평면도 를 높일 수 있 다 . 다른 평면도 를 높이 는 공정 에 비해 , 기계 적 - 화학 적 연마 방법 은 연마 대상 물질 의 표면 의 결함 을 제거 할 수 있 고 , 대면 적 물질 을 균일 하 게 평탄 화 할 수 있 는 장점 이 있 다 .