그리고 , 도 3 c 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 탄성 층 ( 109 ) 만 을 선택 적 으로 수 ㎛ 식각 하 여 제거 하 여 제 2 범프 ( 108 ) 를 탄성 층 ( 109 ) 에 대하 여 수 ㎛ 돌출 시킨다 . 이러 한 식각 방법 으로 는 특별히 제한 되 지 는 않 으나 , D - RIE 를 사용 하 는 건식 식각 방법 이 바람직 하 게 사용 된다 .