방법 ( 100 ) 의 단계 115 에서 , 소스 가스 가 적절 한 컨테이너 [ 예컨대 , 도 1 에 도시 한 바 와 같 은 컨테이너 ( 52 ) ] 에 유입 된다 . 예 시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 소스 가스 는 컨테이너 에 직접 공급 된다 . 다른 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 2 개 이상 의 도 펀트 전구체 가 혼합 챔버 로 흘러 들어갈 수 있 고 , 미국 특허 제 6 , 909 , 973 호 , 미국 특허 제 7 , 058 , 519 호 , 미국 특허 제 7 , 063 , 097 호 , 및 미국 특허 제 6 , 772 , 781 호 에 설명 되 어 있 는 것 과 같 은 혼합 / 계측 시스템 을 사용 하 여 이온 소스 에 공급 되 기 전 에 선 택 적 으로 상기 도 펀트 전구체 의 농도 를 모니터링 할 수 있 다 .