여기 서 , 상기 플라 즈 마 세 정부 는 대기압 대면 적 글 로우 플 라즈 마 발생 장치 로 이루어질 수 있 다 . 특히 , 이 대기압 대면 적 글 로우 플 라즈 마 발생 장치 는 , 접지 된 접지 극 및 고주파 전원 에 연결 된 전원극 과 , 상기 접 지 극 과 전원극 사이 에 설치 된 유전체 와 , 상기 유전체 와 접지 극 사이 에 오목 한 구조 로 좌우 밀폐 된 통로 를 형성 하 는 기판 이 송경 로와 , 상기 기판 이 송경 로 의 적어도 일 측 에 기판 이 송경 로 보다 좁 은 간격 으로 상기 유전체 와 이격 된 상태 로 형성 된 방전 간극 과 , 상기 방전 간극 에 연통 되 도록 형성 된 가스 유입 경로 를 포함 하 여 이루어질 수 있 다 . 그리고 , 상기 방전 간극 과 가스유 입경 로 사이 의 연통 부위 에 는 방전 간극 보다 넓 은 간격 으로 상기 유전체 와 이격 된 함몰 부 가 형성 되 고 , 이 함몰 부 에 는 함몰 부 를 부분 적 으로 밀폐 하 는 실링 바 가 착 탈 가능 하 게 설치 될 수 도 있 다 .