또한 , 도 9 및 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 커버 플레이트 ( 50 ) 는 , 플레이트 몸체 ( 51 ) 의 하면 으로부터 돌출 되게 형성 되 고 , 내부 에 기판 리프트 핀 ( L ) 을 수용 하 도록 관통 홀 이 형성 된 제 2 돌출부 ( 54 ) 를 포함 하 고 , 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 는 , 제 2 돌출부 ( 54 ) 에 대응 되 는 위치 에 그 바닥 면 ( 21 ) 으로부터 오목 하 게 형성 되 고 , 제 2 돌출부 ( 54 ) 를 수용 하 는 오목 홈 부 ( 22 ) 를 포함 할 수 있 다 .