또한 본 제 4 실시 형태 에서 는 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2007 / 097379 호 팜플렛 등 에 개시 되 어 있 는 Sec - BCHK ( 인터벌 ) 와 동일 한 순서 로 , 정기 적 으로 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ∼ AL 24 ) 의 베이스 라인 계측 이 실시 된다 . 이 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ∼ AL 24 ) 의 베이스 라인 계측 시 에 , 상기 2 개 의 2 D 헤드 ( 1674 , 1682 ) 가 FD 바 ( 46 ) 의 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 와 각각 대향 하 고 , 그 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 와 대향 하 는 2 D 헤드 ( 1674 , 1682 ) 에 의해 , FD 바 ( 46 ) 의 Y 위치 가 각각 의 기준 격자 ( 52 ) 의 위치 에서 계측 된다 . 이하 에서 는 , 1 쌍 의 기준 격자 ( 52 ) 에 각각 대향 하 는 2 D 헤드 ( 1674 , 1682 ) 에 의해 구성 되 는 인코더 를 Y 리니어 인코더 ( 적절히 , 「 Y 인코더 」 또는 「 인코더 」 라고 도 약기 한다 ) ( 170 G , 170 H ) ( 도 47 참조 ) 라고 한다 .