상기 몰 리브 데 늄 실리사이드 ( MoSi ) 화합물 막 은 몰 리브 데 늄 ( Mo ) 이 2 at % 내지 30 at %, 실리콘 ( Si ) 이 20 at % 내지 70 at %, 질소 ( N ) 가 5 at % 내지 50 at %, 산소 ( O ) 가 0 at % 내지 30 at %, 탄소 ( C ) 가 0 내지 30 at % 의 함유량 을 갖 는 것 이 바람직 하 다 .