또한 , 진공 반 송실 ( 311 ) 에 대해 , 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 고 웨이퍼 ( W ) 로부터 탈 가스 시키 는 디 가스 처리 를 실행 하 는 디 가스실 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 마련 하 고 , 진공 처리 실 ( 401 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 반입 하 기 전 에 , 상기 디 가스실 에서 상기 웨이퍼 ( W ) 에 대해 디 가스 처리 를 실시 하 여도 좋 다 .