상기 ( i ) 의 방법 에 있 어서 , 표면 처리 조성물 ( 세정 용 조성물 ) 의 연마 완료 연마 대상물 에 대한 접촉 방법 으로서 는 , 특별히 한정 되 지 않 지만 , 노즐 로부터 연마 완료 연마 대상물 상 에 표면 처리 조성물 을 흘리 면서 연마 완료 연마 대상물 을 고속 회전 시키 는 스핀 식 , 연마 완료 연마 대상물 에 표면 처리 조성물 을 분무 하 여 세정 하 는 스프레이 식 등 을 들 수 있 다 .