종래 의 회전 각도 정밀 조절 장치 는 등록 특허 공보 10 - 1901824 ( 2018 년 09 월 18 일 ) 에 개시 된 바 와 같이 , 검사 스테이지 와 연결 되 는 회전 유닛 과 , 회전 구동력 을 발생 시키 는 구동 유닛 과 , 구동 유닛 의 회전 구동력 을 회전 플레이트 의 회전 운동 으로 변환 하 는 구동력 변환 유닛 을 포함 하 고 , 구동력 변환 유닛 은 회전 플레이트 에 편심 된 위치 에 연결 되 는 연결부 와 , 연결부 에 고정 되 는 회전 베어링 과 , 회전 베어링 을 연결부 에 가압 고정 하 는 고정부 재로 구성 된다 .