액침 투영 광학계 는 , 일반 적 으로 , 최종 렌즈 와 웨이퍼 와 의 사이 의 공간 을 채우 는 액체 로서 순수 한 물 을 사용 하 고 , 최종 렌즈 의 유리 재 로서 석영 을 사용 한다 . 이 광학계 의 구성 상 , 개구수 의 한계 값 은 1 . 35 정도 이 다 . 이 들 환경 에서 , 순수 한 물 의 굴절률 보다 도 높 은 굴절 률 을 가지 는 액체 와 , 석영 의 굴절률 보다 도 높 은 굴절 률 을 가지 는 유리 재 를 사용 함 으로써 개구수 를 1 . 5 또는 1 . 65 이상 까지 크 게 하 려고 하 는 제안 이 이루어지 고 있 다 .