절연 기판 ( 110 ) 위 에 결정질 의 규소 로 만들 어 진 제 1 부분 ( 154 b 1 ) 과 제 2 부분 ( 154 b 2 ) 을 포함 하 는 구동 반도체 ( 154 b ) 가 형성 되 어 있 으며 , 그 상부 에 는 경기장 트랙 형상 의 고리 가 세로 방향 으로 배치 된 모양 을 가지 는 식각 저 지막 ( 147 b ) 이 형성 되 어 있 다 .