액추에이터 ( 18 ) 는 , 상측 의 피스톤 ( 38 ) 에 대향 하 는 위치 에 개폐 검출 센서 ( 42 ) 를 구비 하 고 있 다 . 개폐 검출 센서 ( 42 ) 는 , 예 를 들 어 광 센서 로 , 액추에이터 캡 ( 34 a ) 의 상면 에서 삽입 되 고 , 상측 의 피스톤 ( 38 ) 의 상면 을 반사면 으로 사용 하 고 있 다 . 개폐 검출 센서 ( 42 ) 는 , 스템 ( 14 ) 의 승강 에 따른 다이어프램 ( 4 ) 의 개폐 , 즉 밸브 ( 1 ) 의 개폐 동작 을 상측 의 피스톤 ( 38 ) 까지 의 거리 의 변화 를 바탕 으로 검출 한다 . 액추에이터 ( 18 ) 는 , 스템 ( 14 ) 의 승강 에 의한 스트로크 량 을 조정 가능 한 스트로크 조정 기구 를 구비 하 고 있 다 .