상기 수직 구동 프레임 ( 260 ) 은 상기 보조 프레임 ( 240 ) 을 포위 하 는 사각 테두리 형상 이 다 . 상기 수직 구동 프레임 ( 260 ) 은 제 1 방향 과 나란 한 두 개 의 제 1 부분 ( 260 X ) 와 제 2 방향 과 나란 한 두 개 의 제 2 부분 ( 260 Y ) 을 구비 한다 . 상기 수직 구동 프레임 ( 260 ) 의 제 1 부분 ( 260 X ) 및 보조 프레임 ( 240 ) 의 제 1 부분 ( 240 X ) 사이 에 제 2 수평 방향 변형 토션 스프링 ( 265 ) 이 형성 되 어 있 다 . 상기 제 2 수평 방향 변형 토션 스프링 ( 265 ) 은 제 1 방향 으로 의 변형 이 제 2 방향 으로 의 변형 보다 용이 한 빔 이 다 . 상기 수직 구동 프레임 ( 260 ) 의 제 1 부분 ( 260 X ) 에 는 바깥쪽 으로 연장 된 제 2 구동 콤 전극 ( 262 ) 이 형성 되 어 있 다 .