열 조 주 구간 의 열 전달 계수 ( h ( x ) ) 및 발달 영역 의 열 전달 계수 ( h ∞) 를 구하 여 상술 한 식 ( 11 ) ~ ( 17 ) 에 대입 함 으로써 , 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 가 대략 균일 하 게 되 는 것 과 같 은 웨이퍼 ( 8 ) 와 유로 ( 20 ) 사이 의 각 부재 의 열 저항 의 조건 을 구할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 도 10 에서 R 2 ( x ) ~ R 5 ( x ) 가 정해져 있 는 경우 , 유로 ( 20 ) 와 기재 ( 2 a ) 의 상면 ( 2 b ) 과 의 열 저항 ( R 1 ( x ) ) 이 조건 을 충족 하 도록 변경 한다 . 예 를 들 면 , 유로 ( 20 ) 의 상부 의 내벽 과 상면 ( 2 b ) 과 의 사이 의 두께 또는 기재 ( 2 a ) 의 재질 을 부분 적 으로 바꾸 어 , 열 저항 ( R 1 ( x ) ~ R 5 ( x ) ) 을 합산 한 값 이 조건 을 충족 하 도록 변경 한다 . 이 에 의해 , 유로 ( 20 ) 는 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 를 대략 균일 하 게 할 수 있 다 . 그 결과 , 배치 대 ( 2 ) 는 , 배치 된 웨이퍼 ( 8 ) 의 온도 를 대략 균일 하 게 할 수 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( 8 ) 의 면내 에서 의 온도 차 를 작 게 할 수 있 다 .