상기 몰드 를 형성 하 는 단계 는 , 몰드 베이스 에 막 을 증착 하 는 단계 ; 상기 막 과 상기 몰드 베이스 의 일부 를 에칭 함 으로써 , 상기 몰드 베이스 중 마이크 로 기둥 주형 부 가 형성 될 부분 을 노출 시키 는 단계 ; 상기 몰드 베이스 중 상기 마이크 로 기둥 주형 부 가 형성 될 부분 을 에칭 하 는 단계 ; 상기 막 을 에칭 함 으로써 , 상기 몰드 베이스 중 노즐 부 주형 부 가 형성 될 부분 을 노출 시키 는 단계 ; 및 상기 몰드 베이스 중 상기 노즐 부 주형 부 가 형성 될 부분 을 에칭 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .