일부 구 현예 에서 , 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 은 적절 한 작동 조건 하 에서 제 1 전구체 를 저장 하 고 포함 하 도록 구성 되 는 공급원 용기 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 전구체 는 고체 전구체 , 액체 전구체 , 또는 기상 전구체 를 포함 할 수 있 고 , 공급원 용기 는 적절 한 작동 조건 하 에서 고체 , 액체 , 또는 기상 전구체 를 저장 하 고 포함 하 도록 구성 될 수 있 다 .