이러 한 진공 펌프 ( 40 ) 는 , 10 - 7 ∼ 10 - 9 bar 의 흡입력 을 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 진공 펌프 ( 40 ) 의 흡입력 이 10 - 7 ∼ 10 - 9 bar 보다 작 으면 마스크 ( 20 ) 가 안착 부 ( 32 ) 에 충분히 흡착 되 지 못하 게 되 며 , 이 에 따라 외부 의 충격 시 마스크 ( 20 ) 가 안착 부 ( 32 ) 내 에서 순간 적 으로 흔들리 는 문제 가 발생 된다 . 따라서 마스크 척의 흡착 력 및 진공 펌프 ( 40 ) 의 적정 출력 등 의 제반 요건 들 을 감안 할 때 진공 펌프 ( 40 ) 의 흡입력 이 10 - 7 ∼ 10 - 9 bar 정도 를 유지 하 는 것 이 바람직 하 다 .