도 3 와 도 4 을 참조 하 면 , 촉매 도포 부 ( 500 ) 는 촉매 저장 탱크 ( 호퍼 , 520 ) , 정량 공급 부 ( 560 ) , 브러시 유닛 ( 580 ) , 그리고 스테이지 ( 590 ) 를 가진다 . 공정 진행시 합성 기판 ( 10 ) 은 스테이지 ( 590 ) 상 에 놓여진다 . 촉매 저장 탱크 ( 520 ) 는 스테이지 ( 590 ) 상부 에 배치 되 며 합성 기판 ( 10 ) 상면 에 일정량 의 촉매 ( 20 ) 를 공급 하 는 토출구 를 ( 520 a ) 갖 는다 . 브러시 유닛 ( 580 ) 은 합성 기판 ( 10 ) 상면 으로 공급 된 촉매 ( 20 ) 를 합성 기판 ( 10 ) 상면 에 균일 한 두께 로 펴 준다 .