도 1 의 성막 장치 ( 10 ) 에서 는 , 상기 버 블러 ( 14 A ) 에서 라인 ( 14 a ) 으로부터 의 CO 가스 로 버블 링 된 Ru 3 ( CO ) 12 기상 원료 가 , 라인 ( 14 d ) 의 고농도 의 CO 캐리어 가스 와 함께 상기 처리 용기 ( 12 ) 에 공급 되 고 있 고 , 상기 Ru 3 ( CO ) 12 원료 는 , 상기 피 처리 기판 ( W ) 의 표면 에서 반응식