본 발명 에 있 어서 , ( E ) 벤조페논 계 증감제 의 함유량 은 , 감광성 수지 조성물 에 대해서 , 0 . 20 ∼ 0 . 40 질량 ％ 인 것 이 바람직 하 고 , 0 . 25 ∼ 0 . 35 질량 ％ 인 것 이 보다 바람직 하 다 . ( E ) 벤조페논 계 증감제 의 함유량 이 0 . 20 질량 ％ 미만 이 면 , 광 감도 가 낮 아 져 생산 성 이 저하 되 는 경향 이 있 다 . ( E ) 벤조페논 계 증감제 의 함유량 이 0 . 40 질량 ％ 초과 이 면 , 노 광부 의 상부 에서 흡수 되 는 광 의 양 이 많 아 져 , 알칼리 현상 후 의 레지스 트 패턴 의 단면 형상 이 역사 다리 꼴 이 되 어 , 협소 한 레지스 트 스페이스 에서 의 해상 성 이 악화 되 는 경우 가 있 다 . 또한 , 상기 성분 ( A ) , ( B ) , ( C ) 및 ( E ) 의 함유량 설명 에 있 어서 의 「 감광성 수지 조성물 에 대해서 」 란 , 「 성분 ( A ) , ( B ) , ( C ) , ( D ) 및 ( E ) 의 합계 함유량 에 대해서 」 를 의미 한다 .