또한 , 도 8 c 는 상기 도 5 g 에 나타낸 바 와 같이 제 1 산화 이리듐 막 ( 16 ) 과 제 2 산화 이리듐 막 ( 17 ) 을 적층 한 구조 에 대하 여 , 도 5 g 의 열처리 전 의 상태 및 후 의 상태 에 대해서 구한 X 선 회절 패턴 을 비교 하 여 나타낸 도면 이 다 . 도면 중 파선 이 도 5 g 의 열처리 공정 전 의 상태 , 실선 이 열처리 공정 후 의 상태 에 대응 한다 .