도 1 내지 도 4 를 참조 하 여 상술 한 실시 예 에서 , 상류 허브 부재 는 낮 은 평평 한 프로 파일 을 가진다 . 그러나 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 상류 허브 부재 ( 248 ) 는 중 앙축 ( 242 ) 근처 에서 의 가스 흐름 을 용이 하 게 하 기 위해 돔 형상 을 가질 수 있 다 . 가스 흐름 을 용이 하 게 하 는 다른 형상 이 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 상류 부재 ( 348 ) 는 , 상류 단부 에서 예리 한 팁 ( 370 ) 에 접근 하 는 오목 형상 둘레 면 ( 368 ) 을 포함 할 수 있 다 . 둘레 면 ( 368 ) 은 바람직 하 게 축 ( 342 ) 주위 의 회전면 이 다 . 그러 한 디자인 은 , 입사 방향 ( D ) 으로부터 오 는 반응 가스 의 흐름 이 웨이퍼 캐리어 ( 330 ) 의 상류 표면 ( 334 ) 을 따라 , 또한 회전 웨이퍼 캐리어 ( 330 ) 의 중앙 에서 발생 되 는 흐름 불연속성 으로부터 멀 어 지 도록 방향 이 재 설정 되 는 것 을 보조 할 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 상류 부재 ( 448 ) 는 , 도 8 에 도시 된 둘레 면 ( 468 ) 의 대체로 포물선 형상 과 같이 , 볼록 형상 둘레 면 ( 468 ) 을 포함 할 수 있 다 . 둘레 면 ( 468 ) 은 바람직 하 게 또 한 중 앙축 주위 의 회전면 의 형상 을 가진다 .