본 발명 의 일 바람직 한 실시 형태 에서 는 , 도포 장치 는 , 상기 기판 유지 부를 상기 기판 의 상기 주면 에 수직 인 회전축 을 중심 으로 회전 하 는 기판 회전 기구 와 , 상기 주 주사 방향 에 있 어서 상기 시험 도포면 으로부터 이격 하 여 설치 되 는 또 하나 의 시험 도포면 에 도포 된 유동 성 재료 의 패턴 의 화상 을 취득 하 는 또 하나 의 촬상부와 , 상기 촬상부 및 상기 또 하나 의 촬상부에 의해 취득 된 유동 성 재료 의 패턴 의 화상 , 및 , 상기 촬상부 및 상기 또 하나 의 촬상부에 의해 취득 된 상기 기판 의 상기 주 면 상 의 위치 결정 용 표지 의 화상 에 의거 하 여 상기 노즐 주사 기구 및 상기 기판 회전 기구 를 제어 함 으로써 상기 기판 의 상기 복수 의 노즐 에 대한 상대 위치 를 조정 하 는 기판 위치 조정 부 를 더 구비 한다 . 이 에 의해 , 기판 의 위치 조정 을 고정 밀도 로 행할 수 있 다 .