또한 , 상술 한 열 처리 에 는 수소 나 물 등 을 제거 하 는 효과 가 있 기 때문 에 , 상기 열 처리 를 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 라고 도 부를 수 도 있 다 . 상기 열 처리 는 예 를 들 어 산화물 반도체 층 을 섬 형상 으로 가공 하 기 전 이나 게이트 절연 층 을 형성 한 후 등 의 타이밍 으로 행할 수 있 다 . 또한 , 이 와 같 은 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 는 1 번 에 한정 되 지 않 고 , 복수 횟수 행하 여도 좋 다 .