본 발명 은 사이트 종속 ( S - D ) 프로시저 , 시퀀스 , 및 / 또는 서브시스템 을 이용 하 여 다수 의 반도체 디바이스 를 위 에 구비 한 웨이퍼 를 처리 하 기 위한 장치 및 방법 을 제공 한다 . 웨이퍼 를 수납 할 경우 , 그 웨이퍼 는 사이트 종속 ( S - D ) 웨이퍼 또는 사이트 비 종속 ( N - S - D : Non - Site - Dependent ) 웨이퍼 로서 식별 될 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , S - D 이송 시퀀스 를 수행 하 고 , S - D 웨이퍼 를 처리 하 며 , S - D 평가 라이브러리 를 작성 하 고 , 하나 이상 의 S - D 작성 프로시저 및 / 또는 하나 이상 의 S - D 평가 프로시저 를 포함 할 수 있 는 S - D 처리 시퀀스 를 수행 하 며 , S - D 검증 프로 시저 를 수행 하 기 위한 장치 및 방법 이 제공 된다 .