그리고 , 에치 백공 정시 식각 가스 는 불소 ( Fluorine ) 계열 가스 를 메인 가스 로 사용 한다 . 특히 SF 6 가스 를 100 sccm 이상 ( 100 sccm ∼ 500 sccm ) 으로 사용 하 면 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 로 사용 된 폴리 실리콘 막 에 대한 식각 선택 비 를 10 : 1 이상 으로 높이 고 , 희생 막 패턴 ( 24 A ) 과 층간 절 연막 ( 22 ) 간 에 는 1 : 1 의 식각 선택 비 를 갖 게 할 수 있 다 . 그리고 , 메인 가스 에 질소 ( N 2 ) 가스 를 소량 첨가 할 수 있 다 . 이때 , 질소 가스 는 5 ∼ 10 sccm 의 유량 을 사용 한다 .