또 , 반송 로봇 ( 33 ) 은 , 기판 처리 장치 ( 100 A ) 내 , 기판 처리 장치 ( 100 B ) 내 또는 기판 처리 장치 ( 100 C ) 내 로부터 1 장 의 처리 완료 된 기판 ( W ) 을 , 예 를 들 어 핸드 ( 33 D ) 를 사용 하 여 수취 한다 . 그리고 , 반송 로봇 ( 33 ) 은 , 반송 기구 ( 31 ) 에 당해 기판 ( W ) 을 전달 한다 .