여기 에서 , 노볼락 수지 의 평균 분자량 은 GPC 에 의해 측정 한 단 분산 폴리스티렌 환산 의 중량 평균 분자량 ( Mw ) 으로 1000 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 2500 이상 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 3000 이상 인 것 이 더욱 바람직 하 며 , 10000 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 7000 이하 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 6000 이하 인 것 이 더욱 바람직 하 다 . 노볼락 수지 의 중량 평균 분자량 이 1000 이상 이 면 , 노광 ( 및 임의 로 실시 되 는 포스트 노광 베 이크 ) 에 의해 노광 영역 을 구성 하 는 수지 의 분자량 이 충분히 증대 되 고 , 노광 영역 의 알칼리 현상액 에 대한 용해 성 을 충분히 저하 시킬 수 있 다 . 한편 , 노볼락 수지 의 중량 평균 분자량 이 10000 이하 이 면 , 노광 영역 과 미 노광 영역 의 알칼리 현상액 에 대한 용해도 차 를 확보 하 여 , 양호 한 레지스 트 패턴 을 얻 을 수 있 다 .