예시 적 으로 , 각 필라 ( 113 ) 는 복수 의 물질 들 로 구성 될 것 이 다 . 예 를 들 면 , 각 필라 ( 113 ) 의 채널 막 ( 114 ) 은 제 1 타입 을 갖 는 실리콘 물질 을 포함 할 것 이 다 . 예 를 들 면 , 각 필라 ( 113 ) 의 채널 막 ( 114 ) 은 기판 ( 111 ) 과 동일 한 타입 을 갖 는 실리콘 물질 을 포함 할 것 이 다 . 이하 에서 , 각 필라 ( 113 ) 의 채널 막 ( 114 ) 은 p 타입 실리콘 을 포함 하 는 것 으로 가정 한다 . 그러나 , 각 필라 ( 113 ) 의 채널 막 ( 114 ) 은 p 타입 실리콘 을 포함 하 는 것 으로 한정 되 지 않 는다 .