또한 , 상기 제 1 ∼ 제 4 실시 형태 에서 설명 한 인코더 헤드 , Z 헤드 , 간섭계 등 의 각 계측 장치 의 배치 , 구성 등 은 일례 에 불과 하 고 , 본 발명 이 이것 에 한정 되 지 않 는 것 은 물론 이 다 . 예 를 들 어 , 헤드 유닛 이 각각 구비 하 는 헤드 의 수 는 상기 서술 한 수 에 한정 되 지 않 고 , 복수 의 마크 검출 계 ( 상기 각 실시 형태 에서 는 , 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) ) 의 양 외측 에 헤드 가 각각 있 으면 충분 하 고 , 그 수 는 상관없 다 . 요점 은 , 복수 의 마크 검출 계 의 각각 에서 , 웨이퍼 ( W ) 상 의 특정 얼라이먼트 마크 를 검출 할 때 에 , 1 쌍 의 스케일 에 헤드 가 적어도 각 1 개 대향 할 수 있 으면 된다 . 또한 상기 각 실시 형태 에서 는 , 복수 의 마크 검출 계 의 양 외측 의 각각 복수 의 헤드 중 , 가장 내측 에 위치 하 는 2 개 의 헤드 의 Y 위치 를 다른 헤드 와 상이 하 게 하 는 경우 에 대하 여 설명 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 어느 헤드 의 Y 위치 를 상이 하 게 해도 된다 . 요점 은 , 빈 스페이스 에 따라 , 임의 헤드 의 Y 위치 를 다른 헤드 의 Y 위치 와 상이 하 게 하 면 된다 . 혹은 , 복수 의 마크 검출 계 의 양 외측 에 충분 한 빈 스페이스 가 있 는 경우 에 는 , 모든 헤드 를 동일 한 Y 위치 에 배치 해도 된다 .