도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 렌즈 ( FL 1 ) 와 제 3 반사 미러 ( 260 ) 를 틸팅 구동 시킴 으로써 , 제 1 레이저 빔 ( LS 1 ) 이 가공 대상물 ( 12 ) 의 표면 에 입사 되 는 상하 범위 를 확장 시킬 수 있 다 . 단 , 제 1 렌즈 ( FL 1 ) 와 제 3 반사 미러 ( 260 ) 는 제 1 레이저 빔 ( LS 1 ) 이 가공 대상물 ( 12 ) 을 효과 적 으로 가공 할 수 있 도록 제 1 렌즈 ( FL 1 ) 의 초점 심도 ( depth of focus ) 를 유지 하 는 범위 내 에서 만 틸팅 구동 되 는 것 이 바람직 하 다 .