전술 한 것 과 같이 제 1 도전 층 ( 710 ) 을 형성 하 기 위해서 는 3 층 구조 의 도전 층 들 을 형성 하 고 이 들 을 패 터닝 하 게 되 며 , 이때 가운데 에 위치 한 층 의 식각 률 이 상부 와 하부 에 위치 한 층 들 의 식각 률 보다 높 아 , 제 1 도전 층 ( 710 ) 의 가장자리 에 있 어서 가운데 에 위치 한 층 의 단부 면 이 상부 와 하부 에 위치 한 층 들 의 단부 면 보다 제 1 도전 층 ( 710 ) 의 중앙 쪽 에 상대 적 으로 더 가깝 게 위치 할 수 있 다 . 도 5 에서 는 이 에 따라 이 는 돌출부 ( 712 ) 에 있 어서 중부 돌출부 ( 712 b ) 의 단부 면 ( 712 b ') 이 하부 돌출부 ( 712 a ) 의 단부 면 ( 712 a ') 보다 제 1 도전 층 ( 710 ) 의 중앙 쪽 ( - x 방향 ) 에 상대 적 으로 더 가깝 게 위치 하 는 것 으로 도시 하고 있 다 . 이 에 따라 돌출부 ( 712 ) 의 일부 ( 712 p ) 에서 상부 돌출부 ( 712 c ) 하부 에 빈 공간 이 존재 하 게 된다 .