예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 컨테이너 ( 52 ) 는 미국 특허 제 6 , 101 , 816 호 , 제 6 , 343 , 476 호 및 제 6 , 089 , 027 호 - 참고 에 의해 전체 개시 물 이 본원 에 포함 됨 - 에 설명 되 어 있 는 것 과 유사 한 진공 작동 실린더 ( Vacuum Actuated Cylinder ; VCA ) 와 같 은 유체 저장 및 분배 장치 이 다 . 예 시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 유체 저장 및 이송 장치 는 활성 가스 가 물리 적 흡착제 상 에 흡착 유지 되 고 , 용기 로부터 활성 가스 의 분배 를 위해 물리 적 흡착제 로부터 선택 적 으로 탈착 되 는 , 미국 특허 제 5 , 518 , 528 호 ( 대기압 미만 압력 활성 가스 저장 및 분배 베셀 ) 에 설명 되 어 있 고 , 미국 코네티컷주 댄 버리 에 소재 하 는 ATMI , Inc . 가 SDS 라는 상품명 으로 시판 하 고 있 는 것 과 같 은 장치 일 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 순수 활성 유체 소스 는 조절기 셋 포인트 에 의해 결정 되 는 압력 으로 활성 가스 를 분배 하 기 위해 내부 에 배치 되 는 조절기 요소 를 특징 으로 하 는 , Lung Wang 등 의 명의 의 미국 특허 제 6 , 089 , 027 호 에 설명 되 어 있 고 , 코네티컷주 댄 버리 에 소재 하 는 ATMI , Inc . 가 VAC 라는 상품명 으로 시판 중 인 타입 의 가스 저장 및 분배 베 셀 로 구성 된다 . 미국 특허 제 5 , 704 , 965 호 , 미국 특허 제 6 , 743 , 278 호 및 미국 특허 제 7 , 172 , 646 호 에 설명 되 는 있 는 것 과 같 은 장치 를 포함 - 반드시 이것 으로 제한 되 는 것 은 아님 - 하 는 다른 유체 저장 및 이송 장치 또한 사용 될 수 있 다 . 다른 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 디바이스 ( 52 ) 는 본 명세서 에서 설명 하 는 소스 가스 나 재료 의 저장 및 이송 에 적절 한 임의 의 디자인 또는 구성 을 가질 수 있 다 ( 예컨대 , 디바이스 는 가스 저장 및 분배 베셀 또는 사용 을 위해 희석 할 순수 활성 가스 를 유지 하 는 컨테이너 일 수 있 음 ) .