반응 관 ( 203 ) 내 에 는 , 온도 검출기 로서 의 온도 센서 ( 263 ) 가 설치 되 어 있 다 . 온도 센서 ( 263 ) 에 의해 검출 된 온도 정보 에 기초 하 여 히터 ( 207 ) 에 의 통전 정도 를 조정 함 으로써 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 가 원 하 는 온도 분포 로 된다 . 온도 센서 ( 263 ) 는 , 반응 관 ( 203 ) 의 내벽 을 따라 마련 되 어 있 다 .