제 1 개질 처리 를 행함 으로써 , 제 1 층 에 포함 되 어 있 던 불순물 ( 제 1 불순물 ) 을 제 1 층 으로부터 탈리 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 제 1 개질 처리 를 행함 으로써 , 제 1 층 을 구성 하 는 원자 의 원자 간 거리 를 축소 시키 는 것 , 즉 , 제 1 층 을 치밀 화 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 스텝 1 에서 형성 하 는 제 1 층 의 두께 를 상술 한 범위 내 의 소정 의 두께 로 함 으로써 , 제 1 개질 처리 의 작용 을 , 제 1 층 의 두께 방향 의 전역 에 걸쳐 얻 는 것 이 가능 하 게 된다 . 결과 로서 , 제 1 층 을 , 두께 방향 의 전역 에 걸쳐 불순물 이 적 은 치밀 한 층 으로 변화 ( 개질 ) 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 .