본 발명 의 기판 가열 유닛 은 기판 이 놓여 지 며 , 상기 기판 을 가열 하 는 가열 플레이트 와 , 상기 가열 플레이트 의 하 부면 을 지지 하 는 제 1 지지 부재 와 , 상기 제 1 지지 부재 와 연결 되 며 , 상기 제 1 지지 부재 를 승강 시키 기 위한 구동 부 와 , 상기 구동 부 의 하 부면 을 지지 하 는 베이스 플레이트 와 , 상기 제 1 지지 부재 로부터 측면 방향 으로 연장 되 며 관통 홀 을 갖 는 제 2 지지 부재 및 상기 베이스 플레이트 의상 부면 에 상기 베이스 플레이트 의 수직 상방 으로 상기 관통 홀 을 지나 도록 구비 되 며 , 상기 구동 부 의 구동 에 따라 승강 하 는 상기 제 2 지지 부재 를 가이드 하 는 축 을 포함 한다 .