처 리부 ( 3 ) 의 각 기판 처리 열 ( Ｌ ) 은 , ＩＤ 부 ( 1 ) 와 ＩＦ 부 ( 5 ) 를 잇 는 거의 수평 방향 으로 기판 ( Ｗ ) 을 반송 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 각 기판 처리 열 ( Ｌ ) 은 , 기판 ( Ｗ ) 을 반송 하 는 주 반송 기구 ( Ｔ ) 를 각각 구비 하 고 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 각 기판 처리 열 ( Ｌ ) 은 각각 복수 ( 각 기판 처리 열 ( Ｌ ) 에 2 기 ( 基 ) , 합계 4 기 ) 의 주 반송 기구 ( Ｔ ) 를 가진다 . 각 기판 처리 열 ( Ｌ ) 의 복수 의 주 반송 기구 ( Ｔ ) 는 기판 ( Ｗ ) 이 반송 되 는 방향 으로 나란히 , 반송 방향 으로 인접 하 는 주 반송 기구 ( Ｔ ) 끼리 기판 ( Ｗ ) 을 주고받 기 가능 하 다 . 각 주 반송 기구 ( Ｔ ) 는 , 후술 하 는 각종 처리 유닛 에 대해 기판 ( Ｗ ) 을 반송 하 면서 , 인접 하 는 다른 주 반송 기구 ( Ｔ ) 에 기판 ( Ｗ ) 의 주고받 기 를 행한다 .