기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 또한 , 로드 포트 와 처리 유닛 ( 2 ) 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 하 는 반송 로봇 을 포함 한다 . 반송 로봇 은 , 인 덱 서 로봇 ( IR ) 과 , 센터 로봇 ( CR ) 을 포함 한다 . 인 덱 서 로봇 ( IR ) 은 , 로드 포트 와 센터 로봇 ( CR ) 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 센터 로봇 ( CR ) 은 , 인 덱 서 로봇 ( IR ) 과 처리 유닛 ( 2 ) 사이 에서 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 인 덱 서 로봇 ( IR ) 및 센터 로봇 ( CR ) 은 , 기판 ( W ) 을 지지 하 는 핸드 를 포함 한다 .