접지 판 ( 216 ) 은 절 연판 ( 215 ) 의 하부 에 위치 한다 . 접지 판 ( 216 ) 은 소정 두께 를 갖 는 원판 으로 , 절 연판 ( 215 ) 에 상응 하 는 반경 을 가질 수 있 다 . 접지 판 ( 216 ) 은 접지 된다 . 접지 판 ( 216 ) 은 절 연판 ( 215 ) 과 챔버 바디 ( 110 ) 를 전기 적 으로 절연 시킨다 .