로드 락 챔버 ( 10 ) 는 기판 의 반송 방향 ( TD ) 을 따라 배치 된 복수 의 블록 체로 구성 된다 . 본 실시 형태 에서 는 블록 체의 수 는 5 개 이 며 , 제 1 블록 체 ( 10 A ) , 제 2 블록 체 ( 10 B ) , 제 3 블록 체 ( 10 C ) , 제 4 블록 체 ( 10 D ) , 및 제 5 블록 체 ( 10 E ) 에 의해 로드 락 챔버 ( 10 ) 가 구성 된다 . 5 개 의 블록 체 중 서로 인접 하 는 2 개 의 블록 체 는 O 링 홈 에 압입 된 O 링 ( SL ) ( 씰 부재 , 도 4 참조 ) 을 통해 미 도시 의 나사 등 의 체결 부재 에 의해 접속 고정 된다 . 블록 체의 재료 로 는 예 를 들 면 , 알루미늄 등 의 금속 이 채용 된다 .