이 와 같 은 방식 으로 , 하나 의 챔버 내 에서 세정액 ( 예 를 들 어 , 순수 ) 를 이용 한 다양 한 방식 의 세정 이 이루어지 더라도 , 서로 다른 오염도 의 세정액 ( CL 11 , CL 12 , CL 2 ) 를 서로 다른 탱크 ( 151 , 152 ) 에 회수 할 수 있 다 . 상대 적 으로 오염도 가 높 은 , 사용 된 제 1 세정액 ( CL 11 , CL 12 ) 은 제 1 탱크 ( 151 ) 에 회수 되 고 , 상대 적 으로 오염도 가 낮 은 , 사용 된 제 2 세정액 ( CL 2 ) 은 제 2 탱크 ( 152 ) 에 회수 된다 .