이후 , 상기 접합 영역 ( 209 ) 상 에 위치 한 제 2 게이트 산화 막 ( 207 ) 부분 을 제거 하 여 접합 영역 ( 209 ) 의 일부 를 노출 시킨다 . 그리고 , 이 노출 된 부분 에 터널 산화 막 ( 208 ) 을 형성 한다 . 이때 , 상기 터널 산화 막 ( 208 ) 은 상기 제 2 게이트 산화 막 ( 207 ) 보다 더 낮 은 두께 로 형성 된다 .