또한 , 저장 전극 ( 69 ) 은 저장 전극 영역 ( 67 ) 을 포함 한 전체 표면 상부 에 소정 두께 의 저장 전극 용 도전 층 ( 미 도시 ) 을 형성 하 고 , 저장 전극 용 희생 산화 막 ( 65 ) 을 식각 장벽층 으로 하 는 저장 전극 용 도전 층 의 식각 공정 으로 이웃 하 는 저장 전극 영역 ( 67 ) 의 저장 전극 용 도전 층 을 분리 시켜 각각 의 저장 전극 영역 ( 67 ) 에 만 형성 한다 . 이때 , 저장 전극 용 도전 층 의 식각 공정 은 저장 전극 영역 ( 67 ) 을 매립 하 는 절 연막 , 예 를 들 면 감광막 이나 산화 막 을 전체 표면 상부 에 형성 하 고 평탄 화 식각 공정 으로 저장 전극 용 희생 산화 막 ( 65 ) 을 노출 시키 도록 실시 하 는 것 이 다 .