도 6 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 도전 성 스토퍼 를 갖 는 가동 액추에이터 를 포함 하 는 MEMS 스위치 의 단면도 를 도시 한다 . 전술 된 MEMS 스위치 실시 예 와 마찬가지 로 , MEMS 스위치 ( 60 ) 는 기판 ( 32 ) , 전기 절연 층 ( 34 ) , 기판 접점 ( 35 ) 및 기판 전극 ( 36 ) 을 포함 한다 . 그러나 , 기판 부 의 부분 으로서 형성 된 도전 성 스토퍼 를 포함 하 는 대신 에 , MEMS 스위치 ( 60 ) 는 가동 액추에이터 ( 63 ) 에 결합 되 거나 다른 방식 으로 일체 화 된 가동 도전 성 스토퍼 ( 69 ) 를 포함 한다 . 부가 적 으로 , 도전 성 스토퍼 ( 69 ) 의 대략 하부 의 위치 로부터 가동 액추에이터 ( 63 ) 로 경로 설정 되 는 [ 예 를 들 어 , 고정부 ( 38 ) 를 경유 하 여 ] 도전 성 트레이스 ( 61 ) 가 제공 되 어 , 도전 성 스토퍼 ( 69 ) 가 스위치 의 작 동시 에 도전 성 트레이스 ( 61 ) 와 접촉 하 게 된다 . 일 실시 예 에서 , 도전 성 스토퍼 ( 69 ) 가 도전 성 트레이스 ( 61 ) 로부터 이격 된 거리 는 가동 액추에이터 ( 63 ) 가 기판 접점 ( 35 ) 으로부터 이격 된 거리 와 동일 하 다 .