도 16 a 내지 도 16 c 를 참조 하 여 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 3 : 1 의 길이 ( L ) 대 폭 ( W ) 종횡비 를 가지 는 이송 챔버 ( 210 ) 의 단부 벽 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 에 인접 한 각각 의 측면 개구 ( 270 A 1 , 270 A 6 , 270 B 1 , 270 B 6 ) 내 로 연장 될 때 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 의 예시 적 인 이동성 이 도시 되 어 있 다 . 여기 에서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) 가 측면 개구 ( 270 B 1 ) 를 통해 연장 되 도록 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 연장 됨 에 따라서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) ( 뿐 만 아니 라 엔드 이펙터 ( 250 E 2 ) ) 는 손목 축 ( WX ) 에 대해 270 ° 를 초과 하 지만 360 ° 미만 의 회전 운동 의 범위 ( 1300 ) 를 유지 한다 ( 도 16 b 참조 ) . 유사 하 게 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) 가 측면 개구 ( 270 A 1 ) 를 통해 연장 되 도록 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 연장 됨 에 따라서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) ( 뿐 만 아니 라 엔드 이펙터 ( 250 E 2 ) ) 는 손목 축 ( WX ) 에 대해 270 ° 를 초과 하 지만 360 ° 미만 의 회전 운동 의 범위 ( 1300 ) 를 유지 한다 ( 도 16 c 참조 ) . 측면 개구 ( 270 A 1 , 270 B 1 ) 가 도 16 b 및 16 c 에 도시 되 어 있 지만 , 측면 개구 ( 270 A 6 , 270 B 6 ) 내로 의 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 의 연장 은 실질 적 으로 유사 하 다는 것 이 이해 되 어야 한다 .