상기 기판 공급 부 ( 3 ) 는 , 도 2 에 도시 하 고 있 는 바 와 같이 , 통상 의 구동 원인 모터 ( 3 a ) 에 의하 여 회전 하 는 롤러 ( R ) 들 을 구비 하 여 기판 ( G 1 , G 2 ) 을 수평 방향 으로 이송 시키 는 구조 를 가질 수 있 다 . 또한 , 상기 기판 배 출부 ( 5 ) 는 경사진 상태 로 이송 되 는 기판 ( G 1 , G 2 ) 을 전달 받 아 세정 장치 에 전달 할 수 있 도록 통상 의 구동 원인 또 다른 모터 ( 5 a ) 에 의하 여 회전 하 는 롤러 ( R ) 들 을 구비 하 고 있 으며 , 상기 롤러 ( R ) 들 이 경사진 방향 으로 배치 되 어 기판 ( G 1 , G 2 ) 들 이 경사진 상태 로 이송 될 수 있 는 구조 를 가진다 .