클러스터 시스템 ( 300 ) 은 , 하나 또는 복수 의 처리 장치 를 갖 는다 . 도 1 에 도시 하 는 예 에 있 어서 , 클러스터 시스템 ( 300 ) 은 , 제 1 전처리 장치 ( 100 ) 와 , 제 2 전처리 장치 ( 150 ) 와 , 금속 막 성막 장치 ( 200 ) 를 갖 는다 . 이 들 은 , 평면 형상 이 칠각형 을 이루 는 진공 반 송실 ( 301 ) 의 4 개 의 벽부 에 각각 게이트 밸브 G 를 통해 접속 되 어 있 다 . 진공 반 송실 ( 301 ) 내 는 , 진공 펌프 에 의해 배기 되 어 미리 결정 된 진공도 로 유지 된다 .