이어서 , 과량 의 제 1 전구체 증기 ( 및 임의 의 반응 부산물 ) 는 단계 24 에서 기판 과 의 접촉 부 로부터 제거 될 수 있 다 . 이러 한 제거 는 , 예 를 들 어 퍼징 하 거나 , 펌프 다운 하 거나 , 기판 이 제 1 반응물 에 노출 된 영역 또는 챔버 로부터 멀리 기판 을 이동 시키 거나 , 이 들 을 조합 함 으로써 달성 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 제 1 전구체 제거 시간 , 예 를 들 어 퍼징 시간 은 약 0 . 01 초 내지 약 60 초 , 약 0 . 05 초 내지 약 30 초 , 약 0 . 1 초 내지 약 10 초 또는 약 0 . 2 초 내지 약 5 초 이 다 . 최적 제거 시간 은 구체 적 인 환경 에 따라 당업자 에 의해 쉽 게 결정 될 수 있 다 . 회분 식 반응기 ( batch reactor ) 가 사용 될 수 있 는 일부 구 현예 에서 , 60 초 보다 긴 제거 시간 이 사용 될 수 있 다 .