도 2 a - 2 f 는 발명 의 실시 예 에 따른 기판 의 프로세싱 방법 을 단면도 를 통해 개략 적 으로 보여준다 . 도 1 b 의 평탄 화 된 기판 ( 100 ) 은 도 2 a 에 평탄 화 된 기판 ( 200 ) 으로서 재현 되 었 다 . 도 2 a 는 금속 함유 촉매 층 ( 118 ) 을 이용 한 유전체 층 표면 ( 120 ) 의 코팅 이후 의 평탄 화 된 기판 ( 200 ) 을 도시 한다 . 유전체 층 표면 ( 120 ) 은 금속 함유 표면 ( 124 ) 과 비교 하 여 유전체 층 표면 ( 120 ) 에 우수 한 코팅 선택도 를 제공 하 는 수산기 ( - OH ) 로 종결 될 수 있 다 .