간략 하 게 , 계산 공정 은 에러 최소화 가 상부 측면 및 하부 측면 의 대응 하 는 정렬 마크 사이 에서 수행 된다는 사실 에 기초 한다 . 최소 제곱 방법 이 사용 되 는 것 이 바람직 하 다 . 오 차 최소 화 는 하부 샘플 홀더 의 이상 적 인 XY 위치 및 / 또는 회전 위치 뿐 만 아니 라 상부 샘플 홀더 의 이상 적 인 XY 위치 및 / 또는 회전 위치 를 유도 하 며 , 여기 서 기판 은 최적 방법 으로 서로 정렬 되 고 추가 공정 단계 에서 서로 접촉 , 특히 서로 접합 될 수 있 다 .