그러나 , 실린더 구조 의 캐 패 시터 의 경우 45 nm 이 하의 디자인 룰 을 가지 는 소자 에서 는 실린더 의 지름 ( D ) 이 90 nm 이하 로써 20 nm 정도 두께 의 하부 전극 ( 15 ) 을 형성 할 경우 물리 적 으로 유전 박막 과 상부 전극 물질 을 매립 하 기 힘들 다 . 또한 , 실린더 구조 는 무너짐 ( leaning ) 현상 에 취약 하 여 12 : 1 이상 의 높 은 종횡비 ( high aspect ratio ) 구조 의 구현 이 어려운 현실 이 다 . 또한 , 등 가 산화 막 두께 ( Tox ) 가 6 Å 이하 의 유전 막 을 사용 해야 하 는데 , 이 를 위해서 는 SrTiO 3 , ( Ba , Sr ) TiO 3 등 의 유전 상수 가 큰 물질 을 도입 해야 하 며 , 매우 좁 은 폭 의 홀 내부 에서 조성 이 균일 한 유전 막 을 증착 해야 하 는 어려움 이 발생 하 게 된다 .