그 다음 , 도 5 g 에서 와 같이 , 챔버 측벽 ( 117 c , 117 c ') 내 의 희생 층 ( 117 a , 117 a ') 위 에 증착 또는 도금 을 통하 여 챔버 플레이트 ( 119 c , 119 c ') 를 형성 한다 . 그리고 챔버 플레이트 ( 119 c , 119 c ') 의 노즐 이 형성 될 부위 를 에칭 하 여 노즐 ( 119 a , 119 b , 119 a ', 119 b ') 을 형성 한다 .