[ B ] 산발 생체 는 방사선 의 조사 에 의해 산 을 발생 하 는 물질 이 다 . 이 발생 한 산 에 의해 [ A ] 중합체 등 이 갖 는 산 해리성 기 가 해리 되 어 카르복시기 , 히드록시기 등 이 발생 하 고 , [ A ] 중합체 의 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 되 기 때문 에 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 로부터 레지스 트 패턴 을 형성 할 수 있 다 . 당해 감방 사선 성 수지 조성물 에 있 어서 의 [ B ] 산발 생체 의 함유 형태 로서 는 , 저 분자 화합물 의 형태 ( 이하 , 「 [ B ] 산 발생 제 」 라고 도 함 ) 여도 , 중합체 의 일부 로서 조립 된 형태 여도 , 이 들 양쪽 의 형태 여도 된다 .