" 상기 웨이퍼 의 Bow 제어 단계 는 슬라이 싱 공정 후 에 웨이퍼 의 Bow 를 측정 하 는 단계 ; 및 상기 측정 된 Bow 값 이 ""-"" 인 경우 에 는 상기 래핑 공정 에 상기 웨이퍼 의 오목 한 면 이 상정 반 을 향하 도록 그대로 투입 하 고 "," 상기 측정 된 Bow 값 이 ""+"" 인 경우 에 는 상기 래핑 공정 에 상기 웨이퍼 의 오목 한 면 이 상정 반 을 향하 도록 뒤집 어서 투입 하 는 웨이퍼 로딩 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 . "