촬상 장치 ( 85 ) 는 , 도시 하 지 않 은 액추에이터 에 연결 되 어 있 고 , 이 액추에이터 를 사용 하 여 , 촬상 장치 ( 85 ) 를 웨이퍼 W 에 접근 또는 이격 시키 기 가 가능 하 다 . 촬상 장치 ( 85 ) 에 연결 되 는 액추에이터 는 , 예 를 들 어 촬상 장치 ( 85 ) 를 연직 방향 으로 이동 시키 기 가 가능 한 액추에이터 이 다 . 또한 , 지지대 ( 88 ) 도 , 도시 하 지 않 은 액추에이터 에 연결 되 어 있 고 , 이 액추에이터 를 사용 하 여 , 투광 장치 ( 86 ) 를 지지대 ( 88 ) 와 일체 로 웨이퍼 W 에 접근 또는 이격 시키 기 가 가능 하 다 . 지지대 ( 88 ) 에 연결 되 는 액추에이터 는 , 예 를 들 어 지지대 ( 88 ) 및 투광 장치 ( 86 ) 를 수평 방향 으로 이동 시키 기 가 가능 한 액추에이터 이 다 . 이 들 액추에이터 를 사용 하 여 , 촬상 장치 ( 85 ) 및 투광 장치 ( 86 ) 를 웨이퍼 W 로부터 이격 시킴 으로써 , 웨이퍼 W 의 연마 에 사용 되 는 연마 액 이 비산 되 어 , 촬상 장치 ( 85 ) 및 투광 장치 ( 86 ) 에 부착 되 는 것 이 방지 된다 .