또한 , 상기 물리력 부여 유닛 은 상기 제 1 용제 공급 유닛 으로부터 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 되 는 제 1 용제 에 진동 을 가하 는 진동 부여 유닛 과 , 상기 제 1 용제 공급 유닛 으로부터 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 되 는 제 1 용제 에 운동 에너지 를 부여 하 여 제 1 용제 의 액적 을 생성 하 는 액 적 생성 유닛 중 적어도 한 쪽 을 포함 하 고 있 어도 좋 다 . 이 경우 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .