또한 , 상술 에서 는 , 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 이 갖 는 복수 의 기판 처리 장치 ( 100 ) 모두 에서 , 동일 한 송신 간격 의 설정 이나 , 송신 처 설정 을 행하 는 예 에 대해서 설명 했 지만 , 이것 에 한정 하 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 어 , 기판 처리 장치 ( 100 ) ( 100 a , 100 b , 100 c , 100 d ) 별로 , 각종 설정 을 다르 게 해도 된다 . 복수 의 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 갖 는 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 에서 는 , 모든 기판 처리 장치 ( 100 ) 에서 동일 한 처리 를 실행 시키 고 있 지 않 은 경우 가 있 다 . 이 경우 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 별로 설정 을 다르 게 함 으로써 , 데이터 통신 의 효율 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 별 기판 ( 200 ) 의 처리 타이밍 이 다른 경우 에 대해서 도 , 각종 데이터 의 송신 간격 의 설정 과 송신 처 의 설정 의 어느 것 또는 양쪽 을 기판 처리 장치 ( 100 ) 별로 다르 게 해도 된다 . 예 를 들 어 기판 ( 200 ) 의 처리 중 에 는 , 데이터 의 양 이 증가 하 기 때문 에 , 데이터 양 이 증가 하 는 ( 부하 가 상승 하 는 ) 타이밍 에서 상술 한 송신 간격 변경 공정 을 포함 하 는 처리 나 , 송신 처 변경 공정 을 행하 게 해도 된다 .