그리고 , 상기 흡입 홀 ( 64 ) 은 순환 기체 및 헤드 측 잔류 세정액 ( 51 a ) 이 유입 되 는 입구 에 비해 중앙 부분 ( C ) 단면 이 급격히 좁 은 밴 츄 리 구조 를 취함 이 바람직 하 다 . 이 경우 , 상기 중앙 부분 ( C ) 에서 의 기체 속도 증가 로 인하 여 그 부분 의 정압 이 감소 하 고 , 따라서 흡입 홀 ( 64 ) 입구 측 으로 유입 되 는 기체 의 속도 가 보다 빨라질 수 있 다 . 즉 , 상기 흡입 홀 ( 64 ) 이 밴 츄 리 구조 를 취하 는 경우 이 를 통해 배기 되 는 기체 및 세정액 을 보다 빠른 속도 로 배기 시킬 수 있 게 된다 .