이후 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 전술 한 제 1 유전체 막 ( 141 ) 과 제 1 하부 도전 막 ( 131 ) 및 제 1 상부 도전 막 ( 151 ) 을 형성 하 는 방법 과 동일 한 방법 으로 제 2 내지 제 4 하부 및 상부 도전 막 ( 132 , 133 , 134 , 152 , 153 , 154 ) 과 , 제 2 내지 제 4 유전체 막 ( 142 , 143 , 144 ) 및 제 2 내지 제 6 절 연막 ( 162 , 163 , 164 , 165 , 166 ) 을 형성 한다 . 또한 , 상기 제 1 내지 제 6 절 연막 ( 161 , 162 , 163 , 164 , 165 , 166 ) 을 관통 하 여 상기 제 1 내지 제 4 상부 도전 막 ( 151 , 152 , 153 , 154 , 155 ) 에 전기 적 으로 접속 하 는 제 1 내지 제 4 상부 도전 성 플러그 ( 181 , 191 , 201 , 211 ) 를 형성 한다 .