기존 의 기판 연마 시스템 은 2 개 의 구동 롤러 상 에 장착 된 벨트 형 의 연마 패드 로 구성 되 는 벨트 형 기판 연마 장치 가 알려져 있 다 . 벨트 형 기판 연마 장치 는 기판 이 캐리어 에 장착 되 며 , 캐리어 는 일 방향 으로 선형 이동 하 고 , 벨트 형 연마 패드 는 시계 방향 혹은 반시 계 방향 으로 회전 함 에 따라 기판 에 소정 의 힘 이 가해진 상태 로 밀착 되 어 연마 가 수행 된다 . 여기 서 , 캐리어 가 이동하 는 연마 패드 에 힘 을 가하 기 때문 에 연마 중 에 발생 하 는 마찰력 은 복잡 한 양상 을 띠 게 되 며 , 캐리어 에 힘 을 가하 기 위한 액 츄 에 이터 의 성능 을 저하 시키 게 된다 . 또한 , 이 와 같 은 마찰력 은 캐리어 및 기판 연마 시스템 의 제어 를 복잡 하 게 한다 .