상기 전해 가 공부 ( 2 ) 에서 는 , 암 의 선 단부 에 카본 전극 이 부착 되 어 있 다 . 이 카본 전극 은 브 러쉬 형상 이 어도 좋 고 , 펠트 형상 으로 되 어 있 어도 좋 다 . 또한 , 가느다란 타일 형상 으로 구성 되 어 있 어도 좋 다 . 카본 전극 은 웨이퍼 에 직접 접하 면 손상 이 생기 므로 , 얇 은 전해액 의 필름 을 통하 여 반 접촉 상태 로 가공 한다 . 주로 전해 용출 가공 이 진행 된다 . 또한 , 상기 전극 은 카본 이외 에 도 , 금속 재료 의 선재 ( 線材 ) 를 사용 해도 좋 다 .