상기 C 1 내지 C 20 의 알 킬 실릴 기 또는 C 1 내지 C 20 의 알 콕 시 실릴 기 는 - SiH 3 의 1 내지 3 개 의 수소 가 1 내지 3 개 의 상술 한 바 와 같 은 알킬기 또는 알 콕 시기 로 치환 된 작용기 이 며 , 구체 적 으로 메틸 실릴 기 , 다이메틸 실릴 기 , 트라이 메틸 실릴 기 , 다이메틸 에틸 실릴 기 , 다이에틸 메틸 실릴 기 또는 다이메틸 프로필 실릴 기 등 의 알 킬 실릴 기 ; 메 톡 시 실릴 기 , 다 이메 톡 시 실릴 기 , 트라 이메 톡 시 실릴 기 또는 다 이메 톡 시 에 톡 시 실릴 기 등 의 알 콕 시 실릴 기 ; 메 톡 시다이 메틸 실릴 기 , 다이 에 톡 시 메틸 실릴 기 또는 다 이메 톡 시 프로필 실릴 기 등 의 알 콕 시알 킬 실릴 기 를 들 수 있 으나 , 이 에 만 한정 되 는 것 은 아니 다 .