일부 구 현예 들 에서 , 상기 실리콘 화합물 은 디 실란 인 것 이 바람직 하 고 , Si - Si 결합 을 갖 는다 . 일부 구 현예 들 에서 는 Si - Si 결합 과 실리콘 에 ( 하나 또는 그 이상 의 실리콘 원자 에 ) 또는 실리콘 에 결합 된 탄소 사슬 에 직접 결합 된 NHx 기 를 갖 는 유기 화합물 들 이 이용 된다 . 일부 구 현예 들 에서 유기 실리콘 화합물 들 이 사용 되 며 Si - Si 결합 을 포함 할 수 도 있 고 포함 하 지 않 을 수 도 있 다 . 더욱 바람직 하 게 는 상기 실리콘 화합물 은 하 기 화학식 1 을 갖 는다 .