더욱이 , 길이 가 짧 은 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 을 위 에 , 길이 가 긴 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 을 아래 로 배치 함 으로써 , 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 의 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 와 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 는 겹치 지만 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 겹치 지 않 도록 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 및 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 유지 보수 가 용이 해진다 .