프로세스 기체 들 은 웨이퍼 들 을 처리 하 기 위해 웨이퍼 들 의 최 상부 표면 들 에서 반응 한다 . 예 를 들 어 , 화학 기상 증착 프로세스 들 에서 , 그 프로세스 기체 들 은 웨이퍼 최 상부 표면 들 상 에 증착 을 형성 한다 . 통상 적 으로 , 웨이퍼 들 이 결정 물질 로부터 형성 되 고 , 증착 프로세스 는 웨이퍼 의 물질 의 격자 간격 과 유사 한 격자 간격 을 구비 한 결정 물질 의 에피 택 셜 증착 이 다 .