( e ) 본 실시 형태 에서 설명 한 일 제어 형태 에서 는 메인 터 넌 스 예약 정보 에 따라 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 타이밍 에 대해서 그 타이밍 의 소정 범위 내 에서 의 변경 을 접수 한다 . 따라서 필요 에 따라 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 을 가변 시키 는 것 이 가능 해 지 고 , 보수 작업자 나 시스템 관리자 등 의 입장 에서 매우 편리 성 이 뛰어난 것 이 된다 . 또한 메인 터 넌 스 처리 의 타이밍 의 가변 에 대응 할 수 있 기 때문 에 메인 터 넌 스 처리 의 타이밍 에 대해서 한층 더 적정 화 를 도모 할 수 있 다 .