상기 에서 , " 단어 "" 연속 적 으로 "" 는 다음 중 적어도 하나 를 지칭 한다 : 구 현예 에 따라 ", 공간 에서 의 중단 없이 ( 예컨대 , 기판 을 이동 시키 지 않 고서 ) , 유동 에서 의 중단 없이 ( 예컨대 , 적어도 하나 의 중단 없 는 유입 ) , 분위기 에 노출 없이 , 및 임의 의 물질 개재 단계 없이 ( 퍼징 또는 다른 무시 할 수 있 는 단계 와 같 은 보조 단계 는 제외 ) . 본 개시 에서 , " "" 연속 적 인 "" 유동 은 일정 한 유속 ( 대안 적 으로 "," 비록 유동 이 "" 연속 적 "" 일지라도 ", 유속 은 시간 에 따라 변할 수 있 음 ) 을 가진다 .