도 8 내지 도 10 을 참조 하 여 , 전사 장치 ( 40 ) 에 대하 여 설명 한다 . 도 8 에 도시 하 는 바 와 같이 , 본 실시 형태 의 전사 장치 ( 40 ) 는 , 다 이부 ( 401 ) , 전자파 통과 부 ( 410 R , 410 L ) , 전자파 발생 부 ( 420 ) , 폐 색실 세트 부 ( 430 ) 및 기압 제 어부 ( 450 ) 를 구비 한다 . 다 이부 ( 401 ) 는 전사 장치 ( 40 ) 를 지지 한다 . 전자파 통과 부 ( 410 R , 410 L ) 는 , 전자파 발생 부 ( 420 ) 가 발생 시킨 전자파 를 , 후술 하 는 폐 색실 ( C ) ( 도 9 참조 ) 내 에 배치 된 기체 ( S ) 에 통과 시킨다 . 전자파 발생 부 ( 420 ) 는 , 기체 ( S ) 를 가열 하 기 위한 전자파 를 발생 시킨다 . 폐 색실 세트 부 ( 430 ) 는 , 다 이부 ( 401 ) 등 과 함께 폐 색실 ( C ) 을 형성 한다 . 즉 , 폐 색실 ( C ) 의 내부 는 , 폐 색실 세트 부 ( 430 ) 및 다 이부 ( 401 ) 등 에 둘러싸인 밀폐 공간 으로 된다 . 또한 , 폐 색실 세트 부 ( 430 ) 는 , 반송 장치 ( 10 ) 의 제 1 인도부 ( 110 ) ( 도 7 참조 ) 로부터 전달 된 반송 유닛 ( U ) 을 , 폐 색실 ( C ) 의 내부 에 세트 한다 . 기압 제 어부 ( 450 ) 는 , 폐 색실 ( C ) 내 의 기압 을 변동 시킨다 .