또한 , 상술 에서 는 , 기판 상 에 AlO 막 을 형성 하 는 예 에 대해서 설명 하 였 다 . 그러나 , 본 개시 는 이 양태 에 한정 되 지 않 는다 . 다른 막 종 에 대해서 도 사용 된다 . 상술 한 가스 를 적절히 조합 함 으로써 , 예 를 들 어 티타늄 ( Ti ) , 지르코늄 ( Zr ) , 하프늄 ( Hf ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 니오븀 ( Nb ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 텅스텐 ( W ) , 이트륨 ( Y ) , La ( 란탄 ) , 스트론튬 ( Sr ) , 실리콘 ( Si ) 을 포함 하 는 막 이 며 , 이 들 원소 의 적어도 하나 를 포함 하 는 질화 막 , 탄질 화 막 , 산화 막 , 산탄 화 막 , 산질 화 막 , 산탄 질 화 막 , 붕 질화 막 , 붕 탄질 화 막 , 금속 원소 단체 막 등 에 도 적용 가능 하 다 .