이 압력 센서 에 있 어서 , 다이어프램 ( 122 ) 의 수압 면은 , 불활성 인 상태 로 되 어 있 다 . 다이어프램 ( 122 ) 의 수압 면은 , 측정 대상 의 기체 의 분자 가 흡착 하 기 어려운 상태 이 다 . 미리 정해진 표면 처리 에 의해 , 다이어프램 ( 122 ) 의 수압 면 을 불활성 인 상태 로 할 수 있 다 . 표면 처리 에 의해 , 다이어프램 ( 122 ) 의 수압 면 을 불활성 으로 하 는 층 이 형성 되 고 , 이 층 의 존재 에 의해 , 다이어프램 ( 122 ) 의 수압 면 을 불활성 인 상태 로 한다 . 이 들 구성 은 , 전술 한 실시 형태 와 동일 하 다 .