그러므로 스캐너 의 구 동각 을 증대 시키 기 위해서 는 스캐너 의 고유 특성 인 공진 주파수 에 맞추 어서 미러 구동 부 ( 140 ) 를 고속 으로 구동 할 필요 가 있 는데 , 이 경우 스캐너 의 구 동각 은 미러 ( 111 ) 가 형성 된 구 동체 ( 110 ) 의 질량 에 의한 관성 ( inertia ) 또는 스프링 ( 130 ) 의 강성 보다 는 구 동체 ( 110 ) 주변 의 공기 흐름 에 의하 여 발생 하 는 스퀴즈 댐 핑 ( squeeze damping ) 의 영향 을 크 게 받 게 된다 .