상기 의 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 의 제 1 형태 는 , 내부 압력 이 상압 과 감압 으로 전환 가능 한 , 기판 이 반입 · 반출 되 는 예비 진 공실 ; 기판 에 대하 여 각 처리 가 행해 지 는 복수 의 진공 처리 실 ; 예비 진 공실 과 복수 의 진공 처리 실 이 접속 되 는 진공 반 송실 로서 , 기판 을 예비 진 공실 과 복수 의 진공 처리 실과 의 사이 에서 반송 하 는 기판 반송 기구 와 , 저부 ( bottom ) 또는 천 정부 에 형성 된 오목 부를 포함 하 는 당해 진공 반 송실 ; 소정 의 처리 가 기판 반송 기구 에 대하 여 행해 지 는 부속 모듈 ; 및 , 기판 반송 기구 가 기판 을 반송 하 는 것 을 방해 하 지 않 도록 부속 모듈 이 오 목부 에 수용 되 는 제 1 위치 와 , 기판 이 기판 반송 기구 에 의해 부속 모듈 에 입출 ( into / out ) 될 수 있 는 제 2 위치 와 의 사이 에서 , 부속 모듈 을 이동 시키 는 승강 기구 ; 를 구비 하 는 진공 처리 장치 를 제공 한다 .