보유 지지 장치 ( 54 ) 에 보유 지지 된 기판 ( 10 ) 은 이동 기구 ( 56 ) 에 의해 , 증착 마스크 ( 70 ) 에 대하 여 증착 원 ( 60 ) 과 는 반대 측 을 , 증착 마스크 ( 70 ) 로부터 일정 간격 만큼 이격 한 상태 에서 , 일정 속도 로 Y 축 방향 ( 제 2 방향 ) ( 10 a ) 으로 주사 ( 이동 ) 된다 . 기판 ( 10 ) 의 이동은 , 왕복 이동 이 어도 되 고 , 또는 , 어느 한 쪽 만 을 향하 는 단 방향 이동 이 어도 된다 . 이동 기구 ( 56 ) 의 구성 은 특별히 제한 은 없 다 . 예 를 들 어 모터 로 이송 나사 를 회전 시키 는 이송 나사 기구 나 리니어 모터 등 , 공지 된 반송 구동 기구 를 사용 할 수 있 다 .