제 2 반송 영역 ( 13 ) 에 는 , 로드 포트 ( 14 ) 에 대하 여 전후 에 배열 되 도록 , 좌우 로 2 개 의 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 가 배치 되 어 있 다 . 각 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 는 전후 로 이동 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 의 적 재면 에 도 , 로드 포트 ( 14 ) 와 마찬가지 로 , 캐리어 ( C ) 를 위치 결정 하 는 핀 ( 15 ) 이 3 개소 에 설치 되 어 있 다 . 또한 , 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 의 적 재면 에 는 , 캐리어 ( C ) 를 고정 하 기 위한 훅 ( 16 a ) 도 설치 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 가 좌우 방향 에 2 개 나열 하 여 설치 되 어 있 지만 , 상하 방향 으로 복수 나열 하 여 설치 되 어도 된다 .