처리 용기 ( 2 ) 의 저면 에 는 배기구 ( 60 ) 가 형성 되 어 있 으며 , 배기구 ( 60 ) 에 접속 된 배기 장치 ( 65 ) 에 의해 처리 용기 ( 2 ) 의 내부 가 배기 된다 . 이 로써 , 처리 용기 ( 2 ) 의 내부 를 소정 의 진공도 로 유지 할 수 있 다 . 처리 용기 ( 2 ) 의 측벽 에 는 게이트 밸브 ( G ) 가 구비 되 어 있 다 . 게이트 밸브 ( G ) 는 , 처리 용기 ( 2 ) 로부터 기판 ( W ) 을 반입 및 반출 할 때 에 반출 · 반 입구 를 개폐 한다 .