도 9 는 제 5 실시 형태 에 따른 물품 제조 방법 및 막 형성 방법 을 설명 하 기 위한 흐름 도 이 다 . 제 5 실시 형태 는 제 1 또는 제 4 실시 형태 에 적용 될 수 있 다 . 단계 S 801 에서 는 , 초점 보상 막 ( 3 ) 의 형성 후 실행 되 는 포토 리소그래피 단계 ( 노광 단계 ) 에서 사용 되 는 노광 장치 를 특정 하 고 , 노광 장치 의 상면 형상 이 취득 된다 . 상면 형상 의 취득 은 , 노광 장치 의 설정 된 화각 ( 1 개 의 샷 영역 ) 에 대해서 이루어질 수 있 다 .