아래 에서 더 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 세정 / 건조 동작 들 중 다양 한 동작 들 동안 , 기판 은 챔버 내 에서 수직 으로 회전 ( 스 피닝 ) 된다 . 부가 적 으로 , 예컨대 , 중앙 진공 배기 및 측 부 진공 배기 회전 가능 차 폐부 들 의 다양 한 실시 예 들 이 본원 에서 개시 된다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 터빈 디스크 들 이 회전 가능 차 폐부 들 중 하나 이상 에 부착 될 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 터빈 디스크 들 은 독립 적 으로 회전 가능 할 수 있 다 . 터빈 디스크 들 은 , 세정 / 건조 챔버 로부터 가스 들 , 액체 들 , 및 다른 배 출물 들 을 진공 배기 하 는 것 을 보조 하 여 기판 의 더 신속 한 건 조 를 보조 한다 .