도 1 에 제시 된 바 와 같이 X 축 방향 의 다이폴 조명 계 와 같 은 비대칭 성 변형 조명계 를 도입 할 경우 , Y 축 방향 으로 연장 된 라인 패턴 ( 501 ) 에 대한 X 축 방향 의 해상력 이 강화 되 게 된다 . 이 에 비해 Y 축 방향 의 패턴 에 대한 해상력 은 실질 적 으로 다소 저하 된다 . 따라서 , X 축 방향 으로 의 패드 패턴 ( 505 ) 들 사이 부분 ( 807 ) 에 대해 스컴 발생 이 보다 확률 이 높 게 되 며 , Y 축 방향 으로 의 패드 패턴 ( 505 ) 들 사이 부분 ( 808 ) 에 대해서 는 스컴 발생 확률 이 상대 적 으로 낮 게 관측 된다 . 이 를 고려 할 경우 , Y 축 방향 에 대해 산란 ( scattering ) 작용 하 는 광 산란 보조 패턴 의 생 성 은 생략 될 수 있 다 .