이후 로 는 저온 표면 과 흡착 패드 ( 5 ) 등 에서 의 흡착 현상 과 상온 이상 의 표면 등 에서 의 기체 방출 현상 이 병합 되 어 진 공부 의 진공도 에 영향 을 주 게 된다 . 흡착 패드 ( 5 ) 는 진공 펌프 로 추기 되 지 않 은 잔존 가스 와 상온 이상 의 표면 등 에서 방출 된 가스 를 흡착 하 여 진공도 를 고진공 으로 유지 시켜 주 게 된다 .