처리 용기 ( 1 ) 의 저면 근방 에 는 , 승강 판 ( 27 a ) 으로부터 상방 으로 돌출 되 도록 3 개 ( 2 개 만 도시 ) 의 웨이퍼 지지 핀 ( 27 ) 이 설치 되 어 있 다 . 웨이퍼 지지 핀 ( 27 ) 은 , 처리 용기 ( 1 ) 의 하방 에 설치 된 승강 기구 ( 28 ) 에 의해 승강 판 ( 27 a ) 을 통해 승강 가능 하 게 되 어 있 고 , 반송 위치 에 있 는 서 셉 터 ( 2 ) 에 설치 된 관통 구멍 ( 2 a ) 에 삽입 관통 되 어 서 셉 터 ( 2 ) 의 상면 에 대하 여 돌출 함몰 가능 하 게 되 어 있 다 . 이렇게 웨이퍼 지지 핀 ( 27 ) 을 승강 시킴 으로써 , 웨이퍼 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 와 서 셉 터 ( 2 ) 와 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 수수 가 행하 여진다 .