참고 문헌 4 에 개시 된 기술 과 같이 , 광량 센서 를 사용 하 여 로컬 플레어 를 측정 하 는 것 을 상정 한다 . 이 경우 에 도 , 광량 센서 의 바로 윗 쪽 에 형성 된 개구부 의 크기 및 형상 에 따라서 는 , 로컬 플레어 를 정밀 하 게 측정 할 수 없 다 . 환언 하 면 , 레지스 트 를 노광 할 때 에 사용 된 패드 패턴 을 그대로 사용 해서 , 광량 센서 에 의해 패드 패턴 의 투영 상 이 형성 되 는 위치 의 광량 을 측정 해도 , 로컬 플레어 를 정밀 하 게 측정 할 수 없 다 . 광량 센서 의 바로 윗 쪽 의 개구부 의 크기 를 패드 패턴 의 투영 상 의 크기 보다 작 게 되 도록 형성 하 는 것 이 필요 불가결 하 게 된다 . 거리 를 파라미터 로서 사용 하 여 로컬 플레어 를 측정 하 기 위해서 는 , 예 를 들 면 , 패드 패턴 의 투영 상 의 크기 가 2 ㎛ 정도 이 면 , 광량 센서 의 바로 윗 쪽 에 형성 된 개구부 의 크기 는 l ㎛ 이하 이 어야 한다 . 그러나 , 1 ㎛ m 정도 의 크기 를 가지 는 개구부 를 통과 하 는 광 의 양 은 , 예 를 들 면 , 노이즈 의 영향 때문 에 만족 할 만 한 신호 ( S / N 비 ) 를 얻 기 위해서 는 충분 하 지 않 다 . 이 때문 에 , 로컬 플레어 를 정밀 하 게 측정 할 수 없 다 .