배기 부 ( 4 ) 는 , 배기 덕트 ( 13 ) 의 배기구 ( 13 b ) 에 접속 된 배기 배관 ( 41 ) 과 , 배기 배관 ( 41 ) 에 접속 된 , 진공 펌프 나 압력 제어 밸브 등 을 갖 는 배기 기구 ( 42 ) 를 구비 하 고 있 다 . 처리 시 에 는 , 처리 용기 ( 1 ) 내 의 가스 는 슬릿 ( 13 a ) 을 통해서 배기 덕트 ( 13 ) 에 이르 고 , 배기 덕트 ( 13 ) 로부터 배기 부 ( 4 ) 의 배기 기구 ( 42 ) 에 의해 배기 배관 ( 41 ) 를 통해서 배기 된다 .