도 3 b 를 참조 하 면 , 스택 게이트 구조 상 에 제 1 광원 에 의한 MUV ( Middle Ultra Violet ) 광 에 감광 하 는 MUV 포지티브 ( positive ) 형 포토레지스트 ( 113 ) 와 제 2 광원 에 의한 DUV ( Deep Ultra Violet ) 광 에 감광 하 는 DUV 포지티브 형 포토레지스트 ( 115 ) 를 순차 로 형성 한다 . 여기 서 , MUV 포지티브 형 포토레지스트 ( 113 ) 를 콘트롤 게이트 ( 111 ) 의 상면 보다 더 높 게 형성 한다 .