보다 상세 하 게 , 전 구체 분배 시스템 은 , 가스 전달 시스템 ( 112 ) , 및 예 를 들 어 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 과 유체 연통 하 는 가스 라인 ( 124 ) , 제 2 전구체 공급원 ( 114 B ) 과 유체 연통 하 는 가스 라인 ( 126 ) , 공급원 용기 ( 116 ) 와 유체 연통 하 는 가스 라인 ( 128 ) , 및 반응물 공급원 용기 ( 118 ) 와 유체 연통 하 는 가스 라인 ( 130 ) 과 같이 하나 이상 의 가스 라인 을 포함 할 수 있 다 . 비 제한 적 인 예 로서 , 가스 라인 ( 124 ) 은 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 에 유체 연결 되 고 , 제 1 전구체 의 증기 를 반응 챔버 ( 12 ) 로 운반 하 도록 구성 될 수 있 다 .