본 발명 은 , 박막 을 형성 하 는 성분 을 함유 하 는 액체 를 기판 에 부여 하 는 스텝 과 ; 박막 의 전구체 를 형성 하 기 위해 상기 액체 를 건조 하 는 스텝 과 ; 박막 을 형성 하 기 위해 전구체 를 가열 하 는 스텝 을 포함 하 는 박막 의 제조 방법 으로서 , 상기 가열 스텝 은 전구체 에 수증기 또는 유기 화합물 증기 를 흡습 한 후 실시 하 는 것 을 특징 으로 하 는 박막 의 제조 방법 을 제공 한다 .