본 발명 에서 와 같이 프로브 카드 용 공간 변환기 로 사용 되 기 위하 여 필요 한 400 ㎛ 이하 의 관통 홀 ( 110 ) 을 형성 하 는 것 이 필요 한데 , 관통 홀 의 직경 이 줄어들 수록 핀 의 직경 도 줄어들 어야 한다 . 400 ㎛ 이하 의 작 은 직경 을 가지 는 관통 홀 ( 110 ) 을 가공 하 기 위해서 핀 전체 단면적 을 감소 시킬 경우 일반 적 으로 사용 되 는 주파수 보다 높 은 주파수 의 발생 이 요구 될 수 있 다 . 본 발명 에서 400 ㎛ 이하 의 작 은 직경 을 가지 는 관통 홀 ( 110 ) 을 가공 하 기 위해 필요 한 주파수 는 25 kHz 내지 45 kHz 일 수 있 다 . 이때 , 관통 홀 ( 110 ) 의 직경 이 더욱 줄어들 게 되 면 ( 예 를 들 어 , 300 ㎛), 400 ㎛ 이하 의 직경 을 가지 는 관통 홀 ( 110 ) 형성 에 필요 한 주파수 인 25 kHz 내지 45 kHz 보다 더 높 은 주파수 가 필요 할 수 있 다 .