또한 , 챔버 몸체 ( 610 ) 의 하측 에 는 기판 지지대 ( 100 ) 를 둘러싸 는 형상 으로 복수 개 의 배기 포트 ( E ) 가 설치 될 수 있 다 . 배기 포트 ( E ) 는 , 배관 을 통하 여 공정 챔버 ( 600 ) 외부 에 설치 된 진공 펌프 ( 800 ) 와 연결 되 어 , 공정 챔버 ( 600 ) 의 처리 공간 ( A ) 내부 의 공기 를 흡입 함 으로써 , 처리 공간 ( A ) 내부 의 각종 처리 가스 를 배 기 시키 거나 처리 공간 ( A ) 내부 에 진공 분위기 를 형성 할 수 있 다 .