도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 먼저 스텝 S 01 , S 02 를 이 순 으로 실행 한다 . 스텝 S 01 에서 는 , 예 를 들 어 토출 준비 부 ( 111 ) 가 , 노즐 ( 31 ) 로부터 의 처리 액 의 토출 의 준비 로서 , 송액 부 ( 60 ) 내 와 토출 부 ( 30 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 처리 액 공급 부 ( 29 ) 를 제어 한다 . 스텝 S 02 에서 는 , 예 를 들 어 토출 제 어부 ( 112 ) 가 , 송액 부 ( 60 ) 내 와 토출 부 ( 30 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 상태 에서 , 노즐 ( 31 ) 로부터 처리 액 을 웨이퍼 ( W ) 를 향해서 토출 시키 도록 처리 액 공급 부 ( 29 ) 를 제어 한다 . 토출 준비 처리 및 토출 처리 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 .