도면 을 참조 하 면 , 도 4 는 도 3 의 실시 예 에 따른 , 도 3 의 선 IV - IV 에서 취한 마스크 구조물 ( 301 ) 의 확대 된 우측 측면 횡 단면도 를 도시 한다 . 층 ( 들 ) ( 307 ) 은 여과 층 ( 415 ) 을 포함 할 수 있 고 , 여과 층 은 여과 층 제 1 표면 ( 416 ) 및 여과 층 제 1 표면 ( 416 ) 에 대향 되 는 여과 층 제 2 표면 ( 417 ) 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 층 ( 들 ) ( 307 ) 은 지지 층 ( 418 ) 을 포함 할 수 있 고 , 지지 층 은 지지 층 제 1 표면 ( 419 ) 및 지지 층 제 1 표면 ( 419 ) 에 대향 되 는 지지 층 제 2 표면 ( 420 ) 을 포함 할 수 있 다 . 추가 적 인 실시 예 에서 , 층 ( 들 ) ( 307 ) 은 접촉 층 ( 421 ) 을 포함 할 수 있 고 , 접촉 층 은 접촉 층 제 1 표면 ( 422 ) 및 접촉 층 제 1 표면 ( 422 ) 에 대향 되 는 접촉 층 제 2 표면 ( 423 ) 을 포함 할 수 있 다 . 이하 에서 더 구체 적 으로 설명 되 는 바 와 같이 , 다른 실시 예 에서 , 지지 층 ( 418 ) 및 / 또는 접촉 층 ( 421 ) 이 생략 될 수 있 다 .