탱크 ( 102 ) 내 에 저장 된 약액 ( IPA ) 은 액상 이 므로 이 를 공정 모듈 ( 200 ) 에 기화 된 상태 로 공급 하 기 위하 여 약액 을 기화 시키 는 기구 ( 107 ) 가 설치 된다 . 이 기구 ( 107 ) 는 탱크 ( 102 ) 에 저장 된 약액 을 제공 받 고 또 한 배관 ( 108 ) 을 통해 빠른 흐름 상 태 로 제공 되 는 불활성 기체 나 질소 ( N 2 ) 를 약액 과 혼합 하 여 약액 을 기화 된 상태 로 만드 는 벤 튜리 ( venturi ) 또는 노즐 ( nozzle ) 이 다 . 이러 한 혼합기 ( 107 ) 에 의해 질소 ( 또는 불활성 기체 ) 와 혼합 되 어 기화 된 약액 은 배관 ( 112 ) 을 타 고 공정 모듈 ( 200 ) 에 로딩 된 웨이퍼 ( W ) 에 뿌려 지 게 되 어 웨이퍼 ( W ) 를 건조 시킨다 . 배관 ( 108 ) 에 는 밸브 ( 108 a ) 가 구비 되 어 밸브 ( 108 a ) 의 개방 정도 를 조절 하 여 질소 의 공급 흐름 을 적절 하 게 단속 한다 .