상기 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 표면 형상 측정 시스템 은 주 광원 과 집광 렌즈 와 투영 렌즈 로 구성 되 는 조명 부 와 , 상기 조명 부 로부터 의 조명 광 이 각각 기준 미러 의 기준면 ( R ) 과 측정 물 측 정면 ( P ) 에 조사 되 도록 분할 시키 는 빔 분할기 와 , 상기 측 정면 ( P ) 과 상기 기준면 ( R ) 으로부터 각각 반사 되 는 기준 광과 측 정광 의 간섭 에 의해 생성 된 간섭무늬 를 촬영 하 는 광검 출소 자 , 및 상기 광검 출소 자 를 통해 촬상된 화상 으로부터 백색광 간섭무늬 해석 을 통해 표면 형상 정보 를 획득 하 고 획득 된 정보 를 통해 결함 유무 검출 을 하 는 제어 컴퓨터 를 포함 하 는 표면 형상 측정 시스템 에 있 어서 , 상기 측정 물 과 빔 분할기 사이 에 측정 물 에 대하 여 낙사 조명 을 제공 하 는 보조 광원 을 더 구비 하 고 , 상기 주 광원 과 보조 광원 의 점 등 및 상기 기준면 ( R ) 으로 의 조명 조사 를 선택 적 으로 단속 하 여 표면 형상 에 대한 2 차원 정보 및 3 차원 정보 를 획득 하 는 것 이 다 .