한편 , 도면 에서 는 로드 락 컨베이어 가 단지 2 층 으로 만 구성 되 어 있 지만 , 본 발명 이 2 층 에 만 한정 되 는 것 은 아니 라 3 층 이상 의 복수 의 층 에 도 적용 될 것 이 다 . 그리고 , 상기 와 같 은 진공 장치 에 의한 공정 은 구동 소자 어레이 기판 이나 컬러 필터 기판 을 처리 하 는 데 사용 된다 . 따라서 , 상기 설명 에서 언급 된 기판 은 구동 소자 어레이 기판 과 컬러 필터 기판 을 모두 포함 할 것 이 다 .