프로브 유닛 ( 150 ) 은 프로브 지지대 ( 130 ) 상 에 배치 되 어 서브 스테이지 ( 110 ) 에 준비 되 는 대상 기판 ( SUB ) 상 에 전계 를 형성 할 수 있 다 . 프로브 유닛 ( 150 ) 은 프로브 지지대 ( 130 ) 와 같이 일 방향 , 예컨대 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 연장 되 며 상기 연장 된 길이 는 대상 기판 ( SUB ) 전체 를 커버 할 수 있 다 . 즉 , 프로브 지지대 ( 130 ) 와 프로브 유닛 ( 150 ) 의 크기 및 형상 은 대상 기판 ( SUB ) 에 따라 달라질 수 있 다 .