또한 상기 각 실시 형태 에서 는 , 액체 로서 순수 ( 물 ) 를 사용 하 는 것 으로 했 지만 , 본 발명 이 이것 에 한정 되 지 않 는 것 은 물론 이 다 . 액체 로 는 , 화학 적 으로 안정 되 고 , 조명 광 ( IL ) 의 투과 율 이 높 고 안전 한 액체 , 예 를 들 어 불소 계 불활성 액체 를 사용 해도 된다 . 이 불소 계 불활성 액체 로 는 , 예 를 들 어 플 루 오리 너트 ( 미국 쓰리 엠 사 의 상품명 ) 를 사용 할 수 있 다 . 이 불소 계 불활성 액체 는 냉각 효과 면 에서 도 우수 하 다 . 또한 , 액체 로서 조명 광 ( IL ) 에 대한 굴절 률 이 순수 ( 굴절 률 은 1 . 44 정도 ) 보다 높 은 , 예 를 들 어 1 . 5 이상 의 액체 를 사용 해도 된다 . 이 액체 로 는 , 예 를 들 어 굴절 률 이 약 1 . 50 인 이소프로판올 , 굴절 률 이 약 1 . 61 인 글리세롤 ( 글리세린 ) 과 같 은 C - H 결합 혹은 O - H 결합 을 갖 는 소정 액체 , 헥산 , 헵탄 , 데칸 등 의 소정 액체 ( 유기 용제 ) , 혹은 굴절 률 이 약 1 . 60 인 데칼린 ( Decalin : Decahydronaphthalene ) 등 을 들 수 있 다 . 혹은 , 이 들 액체 중 임의 의 2 종류 이상 의 액체 가 혼합 된 것 이 어도 되 고 , 순수 에 이 들 액체 의 적어도 하나 가 첨가 ( 혼합 ) 된 것 이 어도 된다 . 혹은 , 액체 로 는 , 순수 에 , H +, Cs +, K +, Cl -, SO 4 2 -, PO 4 2 - 등 의 염기 또는 산 을 첨가 ( 혼합 ) 한 것 이 어도 된다 . 나아가 서 는 , 순수 에 Al 산화물 등 의 미립자 를 첨가 ( 혼합 ) 한 것 이 어도 된다 . 이 들 액체 는 , ArF 엑 시머 레이저 광 을 투과 할 수 있 다 . 또한 액체 로 는 , 광 의 흡수 계수 가 작 고 , 온도 의존 성 이 적 고 , 투영 광학계 ( 선단 의 광학 부재 ) , 및 / 또는 웨이퍼 의 표면 에 도포 되 어 있 는 감 광재 ( 또는 보호막 ( 탑 코트 막 ) 혹은 반사 방지 막 등 ) 에 대하 여 안정 된 것 이 바람직 하 다 . 또한 , F 2 레이저 를 광원 으로 하 는 경우 에 는 , 폼 블린 오일 을 선택 하 면 된다 . 또한 액체 로 는 , 순수 보다 조명 광 ( IL ) 에 대한 굴절 률 이 높 은 액체 , 예 를 들 어 굴절 률 이 1 . 6 ∼ 1 . 8 정도 인 것 을 사용 해도 된다 . 액체 로서 초임계 유체 를 사용 할 수 도 있 다 . 또한 , 투영 광학계 ( PL ) 의 선단 광학 소자 를 , 예 를 들 어 석영 ( 실리카 ) 혹은 불화 칼슘 ( 형석 ) , 불화 바륨 , 불화 스트론튬 , 불화 리튬 및 불화 나트륨 등 의 불화 화합물 의 단결정 재료 로 형성 해도 되 고 , 석영 이나 형석 보다 굴절 률 이 높 은 ( 예 를 들 어 1 . 6 이상 ) 재료 로 형성 해도 된다 . 굴절 률 이 1 . 6 이상 인 재료 로 는 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2005 / 059617 호 팜플렛 에 개시 된 사파이어 , 이산화 게르마늄 등 , 혹은 국제 공개 제 2005 / 059618 호 팜플렛 에 개시 된 염화칼륨 ( 굴절 률 은 약 1 . 75 ) 등 을 사용 할 수 있 다 .