그러면 , 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 ( 101 ) 의 내부 에서 형성 된 상기 배기 대상 가스 는 상기 배기 대상 가스 유입 홀 ( 121 ) 을 통해 상기 배기 용 패널 부재 ( 120 ) 로 유입 되 고 , 상기 배기 용 패널 부재 ( 120 ) 로 유입 된 상기 배기 대상 가스 는 상기 진공 펌프 ( 135 ) 의 작동 으로 형성 된 부압 에 의해 상기 배기 용 덕트 부재 ( 130 ) 를 통해 외부 로 배기 된다 .