도 11 은 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 로서 의 성막 장치 의 구성 의 개략 을 모식 적 으로 도시 하 는 설명도 이 며 , 성막 장치 의 내부 의 상태 를 도시 하 는 부분 확대 단면도 이 다 . 도 12 는 도 11 의 핀 지지 부재 의 상면 도 , 도 13 은 도 11 의 커버 부재 의 하면 도 , 도 14 는 도 11 의 커버 부재 가 갖 는 후술 하 는 걸 림 부 의 측면도 이 다 .