여기 서 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 검사 영역 ( 15 ) 은 서로 다른 셀 사이즈 를 갖 는 패턴 이 형성 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 검사 영역 ( 15 ) 에서 상기 셀 사이즈 를 기준 으로 서로 다른 셀 사이즈 가 형성 된 영역 들 을 블록 으로 구획 하 고 , 상기 블록 단위 로 새롭 게 셀 사이즈 를 설정 하 여 결함 을 검출 한다 .