또한 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 2 개 의 복귀 부 ( RT 1 , RT 2 ) 에 반송 된 기판 ( W ) 은 , 검사 후 , 복귀 부 ( RT 7 ) 에 반송 된다 . 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 2 개 의 복귀 부 ( RT 3 , RT 4 ) 에 반송 된 기판 ( W ) 은 , 검사 후 , 복귀 부 ( RT 8 ) 에 반송 된다 . 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 복귀 부 ( RT 5 ) 에 반송 된 기판 ( W ) 은 , 검사 후 , 복귀 부 ( RT 9 ) 에 반송 된다 .