그리고 가스 밸브 어셈블리 ( 20 ) 와 그 하부 의 기판 ( s ) 만 을 나타낸 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 하우징 ( 22 ) 의 상기 제 1 내지 제 4 가스 공급 홀 ( 25 a , 25 b , 25 c , 25 d ) 에 는 제 1 내지 제 4 가스 공급 관 ( 41 , 42 , 43 , 44 ) 을 각각 연결 하 고 , 회전축 ( 21 ) 의 상기 제 1 내지 제 4 내부 유로 ( 27 a , 27 b , 27 c , 27 d ) 의 각 출구 에 는 도 3 에 도시 된 바 와 같이 제 1 내지 제 4 인 젝 터 ( 31 , 32 , 33 , 34 ) 를 바람개비 형태 로 연결 한다 .