상기 측정 장치 는 주사 전자 현미경 ( scanning electron microscope ; SEM ) 과 같이 미소 패턴 의 확대 영상 을 얻 을 수 있 는 장치 일 수 있 다 . 상기 측정 패턴 ( 60 ) 은 평면 도 상 에서 보여 질 때 평행사변형 과 같이 최소 두변 이 서로 평행 한 구조 일 수 있 다 . 상기 측정 패턴 ( 60 ) 은 서로 대향 하 는 제 1 면 및 제 2 면 을 갖 는 것 일 수 있 다 . 이 경우 에 , 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면 은 부분 적 으로 마주 보 는 것 일 수 있 다 .