또한 , 온도 조절 실 ( 33 ) 에 대해 마련 되 어 있 는 웨이퍼 반입 · 반 출구 는 상기 온도 조절 실 ( 33 ) 에 인접 하 는 2 개 의 진공 반 송실 ( 31 ) 중 , 한쪽 의 진공 반 송실 ( 31 ) 에 대해서 만 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 게이트 밸브 를 삭감 할 수 있 어서 , 진공 반송 장치 ( 30 ) 의 풋 프린트 를 작 게 할 수 있 다 .