마이크 로 머신 디바이스 로서 가변 용량 디바이스 를 예 로 이용 하 여 설명 했 지만 , 그 이외 에 , 제 어 전압 VC 에 의해 차지 업 이 발생 할 가능 성 이 있 는 그 외 의 마이크 로 머신 디바이스 에 대해서 도 적용 하 는 것 이 가능 하 다 . 예 를 들 면 , 가변 용량 디바이스 로서 는 이용 하 지 않 은 마이크 로 머신 디바이스 에 대해서 도 , 본 실시 형태 와 같이 구동 제어 함 으로써 , 정전 용량 이 일정 하 게 유지 되 는 것 에 수반 하 는 다양 한 효과 를 기대 할 수 있 다 .