제 1 수단 은 , 워크 를 유지 하 는 플레이트 를 플레이트 면 에 있 어서 직교 하 는 XY 방향 으로 이동 시키 는 스테이지 장치 에 있 어서 , 스테이지 베이스 와 , 상기 스테이지 베이스 에 고정 되 어 , 에어 를 분출 하 여 이동 자계 를 발생 하 는 자극 을 갖 는 복수 의 추력 발생 수단 과 , 상기 추력 발생 수단 에 대향 하 는 면 에 바둑판 형상 의 볼록 극 이 형성 된 평면 형상 의 플 래 튼 이 설치 되 어 상기 추력 발생 수단 에 의해 구동 되 는 플레이트 와 , 상기 플레이트 의 상기 스테이지 베이스 에 대한 위치 를 검출 하 는 플레이트 위치 검출 수단 과 , 상기 플레이트 위치 검출 수단 으로부터 의 플레이트 위치 신호 에 의거 하 여 , 상기 복수 의 추력 발생 수단 중 동작 시키 는 추력 발생 수단 을 선택 하 는 제 어부 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 하 는 스테이지 장치 이 다 .