레이저 간섭계 ( 71 ) 는 제 1 스테이지 ( 61 ) 에 설치 된 반사 부재 ( 74 ) 등 을 이용 하 여 제 1 스테이지 ( 61 ) 의 X 축 , Y 축 및 θ Z 방향 에 관한 위치 정보 를 계측 한다 . 또 , 레이저 간섭계 ( 71 ) 는 제 3 제 3 스테이지 ( 62 , ( 62 , 63 ) ) 에 설치 된 반사 부재 ( 72 , 73 ) 등 을 이용 하 여 제 3 제 3 스테이지 ( 62 , ( 62 , 63 ) ) 의 X 축 , Y 축 및 θ Z 방향 에 관한 위치 정보 를 계측 한다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 레이저 간섭계 ( 71 ) 의 계측 결과 에 의거 하 여 제 1 , 제 2 및 제 3 스테이지 ( 61 ~( 62 , 63 ) ) 를 적절히 구동 하 고 , 제 3 제 3 스테이지 ( 62 , ( 62 , 63 ) ) 에 유지 되 어 있 는 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 의 위치 제어 를 실시 한다 .