특허 문헌 1 에 기재 된 발명 에서 는 , 애노드 와 상기 애노드 의 대향 하 는 위치 에 배치 되 는 기판 과 의 사이 에 , 원통체 의 내부 에 도금액 유로 를 가지 는 조정 판 을 배치 하 고 , 이 조정 판 으로 도금 조 내 의 전위 분포 를 조절 함 으로써 , 기판 의 표면 에 형성 되 는 금속 막 의 막 두께 분포 를 조절 하 도록 하 고 있 다 .