먼저 , 전 원부 에서 램프 ( 110 ) 에 전원 이 인가 되 고 , 상기 램프 ( 110 ) 에서 빛 이 발생 된다 . 이 빛 은 상기 램프 ( 110 ) 의 측면 에서 봤 을 때 방사 방향 으로 분산 되 는데 , 상기 램프 ( 110 ) 의 외측 에 설치 된 집광 미러 ( 121 a , 121 b ) 에서 상기 빛 을 집광 시키 게 된다 . 이때 , 상기 램프 ( 110 ) 로부터 복사 된 열 은 상기 집광 미러 ( 121 a , 121 b ) 의 이면 에 구비 된 방열판 ( 122 a , 122 b ) 에서 외부 로 방출 하 게 된다 . 그리고 , 상기 챔버 ( 100 ) 의 상부 에 설치 된 배기 덕트 ( 130 ) 를 통해 냉각 장치 가 구비 된 노광 설비 의 외부 로 완전 하 게 방출 되 는 것 이 다 .