또한 , 산화물 반도체 층 ( 144 ) 에 접하 는 절연 층 은 , 산소 분위기 하 에 의한 열 처리 나 , 산소 도프 등 에 의해 , 절연 재료 를 화학 양론 적 조성 비 보다 산소 가 많 은 상태 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 산소 도프 란 , 산소 를 벌크 에 첨가 하 는 것 을 말 한다 . 또한 , 상기 벌크 의 용어 는 , 산소 를 박막 표면 뿐 만 아니 라 박막 내부 에 첨가 하 는 것 을 명확 하 게 하 는 취지 로 이용 하 고 있 다 . 또한 , 산소 도프 에 는 , 플 라즈 마 화 한 산소 를 벌크 에 첨가 하 는 산소 플 라즈 마 도프 가 포함 된다 . 또한 , 산소 도프 는 , 이온 주입 법 또는 이온 도핑 법 을 이용 하 여 행하 여도 된다 .