한편 , 복수 의 가스 배기 부 ( 28 ) 중 , 하나 혹은 전부 의 가스 배기 부 ( 28 ) 를 구성 하 는 가스 배기관 ( 25 ) 의 도중 위치 에 검사 용 배관 ( 97 ) 을 설치 하 고 , 검사 용 배관 ( 97 ) 에 헬륨 리크 검출기 ( 98 ) ( 헬륨 리크 디텍터 라고 도 함 ) 를 설치 한다 . 도시 예 는 , 하나 의 가스 배기 부 ( 28 ) 에 대하 여 헬륨 리크 검출기 ( 98 ) 를 설치 하 고 있 는 예 를 도시 하고 있 지만 , 예 를 들 면 복수 개인 가스 배기 부 ( 28 ) 의 전부 에 헬륨 리크 검출기 ( 98 ) 를 설치 하 여도 좋 다 . 이 경우 , 헬륨 농도 가 높 은 헬륨 리크 검출기 ( 98 ) 의 근방 에 있 는 분 할 금속 창 ( 57 ) 을 , 헬륨 이 리크 되 고 있 는 분 할 금속 창 ( 57 ) 이 라고 특정 할 수 있 어서 , 헬륨 리크 원 으로 되 어 있 는 분 할 금속 창 ( 57 ) 의 특정 이 용이 하 게 된다 .