본 발명 에 의하 면 , 도포 액 공급 부 와 백업 롤러 부가 지지 된 가대 가 능동 제진 장치 상 에 고정 되 어 있 으므로 , 각종 진동 이 억제 되 어 도포 액 의 메니스커스 진동 을 억제 할 수 있 으므로 도포 막 에 악영향 을 미치 기 어렵 다 . 그 결과 , 막 의 두께 정밀도 가 높 고 , 또한 표면 이 평활 해서 도포 얼룩 이 없 는 도포 막 을 얻 을 수 있 다 .