상기 1 차 쉬스 ( 2 ) 와 2 차 쉬스 ( 3 ) 에 의해 형성 된 소정 공간 에 는 상기 1 차 쉬스 ( 2 ) 에 가까운 쪽 에 흡착제 또는 흡착 패드 ( 5 ) 가 배치 되 며 , 상기 흡착 패드 와 약간 이격 된 상태 로 다층 필름 ( 4 ) 이 배치 되 며 , 또한 , 상기 다층 필름 ( 4 ) 과 2 차 쉬스 ( 3 ) 사이 에 스 페이서 ( 6 ) 가 배치 되 어 상기 다층 필름 ( 4 ) 이 2 차 쉬스 ( 3 ) 에서 이격 되 어 있 도록 한다 .