미세 하 게 일부분 이 패턴 된 절 연막 ( 202 ) 은 다음 제작 공정 인 도 8 에서 형성 되 는 마이크 로 히터 ( 206 ) 와 중앙부 감지 전극 ( 207 ) , 그리고 좌측 감지 전극 ( 208 ) , 우측 감지 전극 ( 209 ) 을 통해 흐르 는 전류 가 실리콘 기판 ( 201 ) 등 주위 부분 에 영향 을 주 는 것 을 최소 화 하 기 위해 전기 적 으로 절연 시키 는 역할 을 수행 함 과 함께 , 최종 형성 되 는 부양 된 미세 구 조체 ( suspended microstructure ) 들 을 구성 하 는 지지막 ( 204 ) 의 일부 를 형성 하 게 된다 .