오버레이 측정치 를 획득 하 기 위해 , 다른 X 방향 격자 ( 54 ) 를 조명 하 는 동안 상기 프로시 져 가 반복 되 어 비대칭 성 ( Ax ) 의 측정치 를 획득 한다 . 회절 스펙트럼 은 도 5 ( b ) 에서 도시 되 는 것 과 유사 하 게 보일 것 이 지만 , 그러나 격자 에 특정 한 강도 값 을 갖 는다 . 두 개 의 비대칭 성 값 은 , 격자 안 으로 프로그래밍 되 는 오버레이 바이어스 값 의 지식 과 결합 되 어 , 타 겟 을 형성 하 기 위해 사용 된 리소그래피 프로세스 의 성능 의 척도 로서 , X 방향 에서 의 오버레이 에 대한 값 을 획득 할 수 있 다 .