도 4 a 는 도 3 a 에서 단면 으로 도식 적 으로 묘사 된 GLC 층 시스템 의 개략 적 인 XPS 요소 분석 을 도시 한다 . 전체 층 시스템 은 바람직 하 게 는 두께 범위 가 <　 100 　 nm 이 고 얇 은 크롬 의 접착 - 증진 층 ( 7 ) 을 가져 실행 된다 . 모든 작동 은 압력 범위 가 10 - 1 mbar 내지 10 - 3 mbar 범위 내 에서 실행 된다 . 서브 플랜트 로 얻 어 진 순수 탄소 층 ( 5 ) 을 가지 는 층 시스템 에 대하 여 그리고 근처 - 표면 에서 의 산소 분 율 을 무시 하 고서 , 탄소 분 율 은 거의 100 % 이 다 . 이러 한 탄소 층 ( 5 ) 은 이 탄소 층 ( 5 ) 은 크롬 및 탄소 의 하이브리드 층 및 / 또는 표면 으로부터 보다 먼 영역 에서 부가 적 으로 Cr , C , Fe 및 출발 물질 의 다른 합금 성분 으로 이루어질 수 있 는 층 을 생성 한다 .