한편 , 본 발명 에서 는 용해 속도 가 높 은 , 즉 , 적어도 상기 화학식 1 의 실란 화합물 을 사용 하 고 , 이것 을 산 성 또는 염기 성 촉매 의 존재 하 에서 가수 분해 · 축합 시켜 수득 되 는 프리 베 이크 후 의 막 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 가 100 Å / 초 이상 인 폴리 실록 산 ( Ib ) 가 , 상기 용해 속도 가 낮 은 폴리 실록 산 ( Ia ) 와 조합 하 여 사용 된다 .