상기 온도 측정 단계 ( S 510 ) 에서 는 공정 챔버 , 상부 전극 인 제 1 전극 및 하부 전극 인 제 2 전극 을 포함 하 는 전극 부 , 기판 지지 부 및 RF 전원 공급 부 를 포함 하 는 기판 처리 장치 에서 상기 제 1 전극 의 온도 및 제 2 전극 과 상기 기판 지지 부 중 적어도 하나 의 온도 를 측정 할 수 있 다 . 이때 , 상기 제 1 전극 의 온도 는 상기 제 1 전극 에 연결 된 열 교환기 의 온도 를 기반 으로 측정 될 수 있 고 , 상기 기판 지지 부 의 온도 는 상기 기 판지 지부 에 연결 된 써 모 커플러 ( thermocoupler ) 의 온도 를 기반 으로 측정 될 수 있 다 . 한편 , 상기 제 2 전극 의 온도 는 기판 지지 부 의 온도 를 통해 간접 적 으로 측정 될 수 도 있 고 , 온도 측정 수단 을 통해 직접 적 으로 측정 될 수 도 있 다 .