기판 이송 장치 는 세부 적 으로 , 기판 ( 160 ) 이 안착 되 는 캐리어 ( 110 ) 와 , 캐리어 ( 110 ) 를 수직 으로 이동 하 게 하 는 리니어 모터 ( linear motor : 120 ) , 캐리어 ( 110 ) 의 이동 을 원활 하 게 하 기 위한 이송 유닛 ( 130 ) , 캐리어 ( 110 ) 의 위치 를 결정 하 기 위한 바코드 ( 140 ) 및 바코드 리더 기 ( 150 ) 를 포함 한다 .