압력 조정기 ( 227 ) 및 배기 조정 밸브 ( 228 ) 는 후술 하 는 기판 처리 공정 을 수행 할 때 마찬가지 로 후술 하 는 컨트롤러 ( 260 ) 에 의한 제어 를 따르 면서 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 을 조정 하 도록 구성 된다 . 더욱 구체 적 으로 는 기판 처리 의 순서 나 조건 등 이 기재 된 프로세스 레시피 에 따라 압력 조정기 ( 227 ) 및 배기 조정 밸브 ( 228 ) 에서 의 밸브 의 개도 ( 開 度 ) 를 가변 시키 는 것 에 의해 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 을 조정 하 도록 구성 된다 .