본 발명 은 서로 직접 접합 할 결정질 물질 의 적어도 두 층 으로 이루어진 하이브리드 기판 의 제조 방법 에 관한 것 이 다 . 이 방법 은 원자 및 / 또는 이온 종 의 적어도 하나 의 범주 를 도너 기판 에 주입 하 여 활성 층 과 잔 여부 사이 에 경계 를 형성 하 는 연약 대 를 형성 하 도록 하 는 단계 ; 상기 도너 기판 의 앞면 및 수용 기판 의 앞면 을 수소 및 / 또는 아르곤 의 분위기 하 에서 적어도 30 초 동안 900 ℃ 내지 1200 ℃ 사이 에서 열처리 를 하 고 ; 상기 앞면 을 서로 접합 하 고 ; 상기 나머지 를 분리 시키 고 ; 이러 한 종 에 의해서 상기 도너 기판 에 야기 된 결함 이 상기 도너 기판 의 잔 여부 가 후속 적 으로 분리 되 나 상기 도너 기판 의 앞면 을 변형 하 거나 후속 적 인 접합 을 방지 하 기 위한 상기 열처리 를 하 는 동안 충분히 발달 되 지 않 도록 하 는 상기 종 의 특성 , 주 입량 및 주입 에너지 가 선택 되 도록 하 는 것 으로 이루어진다 .