본 발명 에 따른 집적회로 소자 의 제조 방법 은 , 기판 상 에 복수 의 제 1 막 및 복수 의 제 2 막 이 교대 로 1 층 씩 적층 된 구조물 을 형성 하 는 단계 ; 상기 구조물 을 관통 하 는 채널 홀 을 형성 하 는 단계 ; 상기 채널 홀 내 에서 , 상기 복수 의 제 2 막 의 일부분 을 제거 하 여 상기 채널 홀 과 연통 되 는 복수 의 인 덴트 공간 을 형성 하 는 단계 ; 상기 채널 홀 내 에 상기 복수 의 인 덴트 공간 에 대응 되 는 복수 의 제 1 홈 을 가지 는 블로킹 유전 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 채널 홀 내 에 상기 복수 의 제 1 홈 에 대응 되 는 복수 의 제 2 홈 을 가지 고 상기 블로킹 유전 막 을 덮 는 예비 전하 저 장막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 복수 의 제 2 홈 의 적어도 일부 를 채우 는 제 1 마스크 패턴 , 및 상기 제 1 마스크 패턴 을 덮 는 제 2 마스크 패턴 으로 각각 이루어지 는 복수 의 마스크 패턴 층 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 복수 의 마스크 패턴 층 을 식각 마스크 로 사용 하 여 , 상기 예비 전하 저 장막 의 일부분 을 제거 하 여 적어도 하나 의 전하 저 장막 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 한다 .