도 3 은 전극 의 중앙 에 제 2 RF 구동 포인트 ( 50 ) 를 추가 로 포함 하 는 것 을 제외 하 고 , 도 2 의 실시 예 와 유사 한 실시 예 를 도시 한다 . 전극 의 중앙 에서 RF 구동 포인트 는 발명 의 목적 들 을 위해 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 또는 제 2 절반 부 ( 62 ) 중 하나 에 존재 하 지 않 아 , 도 3 의 실시 예 는 중앙 으로부터 워크 피스 통로 ( 12 ) 쪽 으로 오프셋 된 RF 구동 포인트 ( 51 ) 를 갖 는 도 2 의 실시 예 와 사실 상 유사 하 다 .