예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 절연 패턴 들 ( 115 ) 중 에서 가운데 층 들 에 형성 된 2 개 의 절연 패턴 들 ( 115 ) 사이 에 는 연결 패턴 ( 145 ) 이 형성 될 수 있 다 . 연결 패턴 ( 145 ) 은 예 를 들 어 , 테오스 ( Tetra Ethyl Ortho Silicate : TEOS ) , 고밀 도 플 라즈 마 ( HDP ) 산화물 등 과 같 은 낮 은 갭 필 특성 혹은 낮 은 스텝 커버리지 특성 을 갖 는 물질 을 포함 할 수 있 다 .