이어서 , 중간 실 ( 321 ) 에 대한 게이트 밸브 ( G 31 ) 가 개방 되 고 , 진공 반 송실 ( 312 ) 과 진공 반 송실 ( 311 ) 이 중간 실 ( 321 ) 을 거쳐서 연통 된다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 502 ) 의 반송 아암 ( 512 ) 이나 중간 실 ( 321 ) 내 의 웨이퍼 승강 기구 ( 120 ) , 웨이퍼 반송 기구 ( 501 ) 의 반송 아암 ( 511 ) 등 을 이용 하 여 웨이퍼 ( W ) 가 진공 반 송실 ( 312 ) 로부터 반출 되 고 , 중간 실 ( 321 ) 을 거쳐서 진공 반 송실 ( 311 ) 내 에 반입 된다 .