그리고 상기 상부 스테이지 ( 18 ) 의 하부 영역 과 하부 스테이지 ( 20 ) 상부 영역 에 는 로딩 된 기판 ( S ) 이 안착 되 고 일차 적 으로 가 흡착 시키 는 리프트 핀 ( 22 , 24 ) 이 다 수개 마련 되 며 , 이러 한 리프트 핀 ( 22 , 24 ) 은 상 , 하부 챔버 ( 14 , 16 ) 의 외부 로 노출 되 는 상 , 하부 끝단 에서 하나 의 리프트 핀 고정 플레이트 ( 26 , 28 ) 에 의해 일률 적 으로 고정 되 고 이동 된다 .