그 후 , 도 8 에 도시 하 는 바 와 같이 , 린스 장치 ( 50 ) 로부터 동시 에 집 어 올려진 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 는 수직 상태 에서 수평 상태 로 자세 가 변경 되 어 , 처리 유닛 ( 60 ) 에 반송 된다 . 상술 한 바 와 같이 , 각 처리 유닛 ( 60 ) 은 1 장 의 웨이퍼 ( W ) 만 을 수용 할 수 있 다 . 따라서 , 반송 장치 ( 30 ) 에 유지 된 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 는 별개 의 처리 유닛 ( 60 ) 으로 차례 대로 반입 되 어 간다 .