제조 장치 ( 1 ) 로부터 연장 하 는 접속 파이프 ( 7 ) 는 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 의 펌프 흡기 포트 ( 11 ) 에 접속 된다 . 접속 파이프 ( 7 ) 는 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 펌프 배기 포트 ( 21 ) 에 접속 되 어 , 가스 ( 예 를 들 어 , 프로세스 가스 ) 가 접속 파이프 ( 7 ) 를 통해 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 로 배기 되게 된다 . 이 방식 으로 , 다단 진공 펌프 장치 는 이 예 에서 서로 직렬 로 접속 되 어 있 는 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 및 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 를 포함 하 고 , 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 는 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 의 하류 측 에 배치 된다 . 구체 적 으로 , 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 는 부스터 펌프 로서 기능 하 고 , 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 보다 높 은 진공 측 에 배치 된다 . 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 는 메인 펌프 로서 기능 하 고 , 제 1 진공 펌프 ( 10 ) 보다 대기 측 에 더 근접 하 여 배치 된다 . 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 는 대기압 하 에서 시동 될 수 있 도록 구성 된다 .