그리고 최종 부양 구조 ( 멤 브레인 , 브리지 , 외팔보 등 ) 형성 과 함께 < 111 > 결정 방향 의 식각 선단 ( etch front ) 과 54 . 7 ° 의 각도 로 형성 되 는 열린 공동 ( open cavity ) 이 동시 에 제작 되 며 , 부양 구조 의 전체 적 인 형태 는 통상 사각형 형태 로서 이 에 벗어난 경우 에 는 모서리 부위 의 식각 보상 을 위한 패턴 을 추가 하 여야 하 는 등 제작 상 의 큰 어려움 이 있 다 .