도 4 d 에 도시 된 바 와 같이 , 퓨즈 ( 111 B ) 의 일부 층 을 식각 한다 . 여기 서 , 일부 층 은 반사 방지 층 ( 110 ) 이 고 , 반사 방지 층 ( 110 ) 외 에 금속 층 ( 105 ) 의 일부 두께 를 더 식각 할 수 있 다 . 특히 , 금속 층 ( 105 ) 은 500 Å ∼ 3000 Å 의 두께 를 식각 할 수 있 다 .