또한 , 부동층 ( 204 ) 으로 는 실리콘 나이트 라이드 막 을 형성 할 수 있 으며 , 이때 는 실리콘 나이트 라이드 막 이 반사 방지 막 의 기능 까지 수행 할 수 있 으므로 , 별도 로 반사 방지 막 을 형성 하 는 공정 을 생략 할 수 있 다 . 실리콘 나이트 라이드 막 을 형성 하 는 공정 은 대표 적 으로 플 라즈 마 화학 기상 증착 법 ( PECVD ) , 화학 기상 증착 법 ( CVD ) 또는 스퍼터링 방법 에 의해 실시 될 수 있 다 .