퇴적 공정 이전 에 또는 공정 이 막 시작 할 때 , 61 , 62 , 91 , 92 , 101 , 102 , 111 내지 11 x 및 121 내지 12 x 와 같 은 작 동기 들 은 작 동기 의 상황 을 통지 하 는 상태 신호 또는 데이터 ( 15 ) 를 준비 모듈 ( 16 ) 로 전송 한다 . 한편 , 이러 한 동일 한 준비 모듈 ( 16 ) 은 퇴적 되 는 코팅 의 두께 에 대한 목표 값 을 구체 적 으로 규정 하 는 작동 변수 를 데이터 ( 17 ) 의 형태 로 수신 받 는다 . 준비 모듈 ( 16 ) 의 메모리 에 저장 된 예비 설정 모델 은 준비 모듈 이 예비 설정 지시 를 작 동기 ( 61 , 62 , 91 , 92 , 101 , 102 , 111 내지 11 x 및 121 내지 12 x ) 로 공급 할 수 있 게 한다 .