전형 적 으로 상기 오 일 상 및 물 상 은 상기 처리 챔버 에 약 1 g / m ( grams per minute ) 내지 약 100 , 000 g / m 의 유속 으로 전달 된다 . 일 구현 으로 , 상기 오 일 상 및 물 상 은 상이 한 유속 을 갖 는다 . 예 를 들 어 , 특정 일 구현 으로 , 상기 오 일 상 은 제 1 입구 포트 를 통해 약 1 g / m 내지 약 10 , 000 g / m 의 유속 으로 전달 될 수 있 고 , 상기 물 상 은 제 2 입구 포트 를 통해 약 1 g / m 내지 약 10 , 000 g / m 의 유속 으로 전달 될 수 있 다 . 택일 적 인 구현 으로 , 상기 오 일 상 및 물 상 은 상기 처리 챔버 의 내부 로 동일 한 유속 으로 전달 될 수 있 다 .