이오 나이저 ( 101 ) 는 , 기판 ( W ) 이 유지 부 ( 3 ) 에 유지 되 어 있 지 않 은 경우 에 , X 선 을 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 을 향해 조사 하 여 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 을 제전 한다 . 즉 , 이오 나이저 ( 101 ) 는 , 처리 용기 ( 2 ) 에 기판 ( W ) 이 없 는 경우 에 , X 선 을 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 을 향해 조사 하 여 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 을 제전 한다 .