상술 한 바 와 같이 , 또한 , 도 3 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 처 리조 ( 40 ) 는 반송 장치 ( 30 ) 가 한 번 에 반송 하 는 것 이 가능 한 웨이퍼 ( W ) 의 매수 이상 의 매수 의 웨이퍼 ( W ) 를 한 번 에 수용 할 수 있 다 . 따라서 , 동시 에 반송 된 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 처리 가 처 리조 ( 40 ) 내 에서 행해 지 고 있 는 동안 에 , 그 후 에 처리 되 어야 할 웨이퍼 ( W ) 를 반송 장치 ( 30 ) 에 의해 처 리조 ( 40 ) 내 에 순차 반입 하 여 처 리조 ( 40 ) 내 의 다른 영역 에서 처리 할 수 있 다 . 이렇게 해서 , 다수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 할 수 있 는 처 리조 ( 40 ) 내 에서 , 웨이퍼 ( W ) 를 병행 하 여 효율 적 으로 처리 해 갈 수 있 다 . 또한 , 병행 하 여 처리 되 는 각 웨이퍼 ( W ) 의 처리 시간 을 동일 하 게 할 수 있 으며 , 이 에 따라 , 웨이퍼 ( W ) 마다 의 처리 불 균일 을 충분히 억제 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 안정 적 으로 처리 해 갈 수 있 다 .