특히 , 그립 퍼 는 기판 의 언로 딩 공정 중 에 기판 을 흡착 함 으로써 , 기판 의 휨 또는 변형 없이 스테이지 로부터 안정 적 으로 기판 이 분리 될 수 있 게 한다 . 즉 , 그립 퍼 는 기판 의 가장자리 부위 ( 논 액티브 영역 ) 만 을 그립 하 기 때문 에 , 그립 퍼 만 으로 기판 을 그립 한 상태 에서 기판 을 언 로딩 하 게 되 면 , 기판 의 가운데 부위 ( 액티브 영역 ) 에 는 기판 을 스테이지 로부터 분리 하 는 힘 이 효과 적 으로 가해 지 기 어렵 다 . 이 에 본 발명 은 , 비 접촉 흡착 부 를 이용 하 여 기판 의 가운데 부위 ( 액티브 영역 ) 를 흡착 하 는 것 에 의하 여 , 기판 의 언로 딩 공정 이 보다 원활 하 게 이루어지 게 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .