[ 0052 ] 지원 시스템 ( 404 ) 은 미리 결정 된 프로세스 들 , 이를테면 , 블록 ( 104 ) 에서 위 에서 논의 된 바 와 같 은 , 프로세싱 챔버 ( 400 ) 에서 의 에피 택 셜 막 들 의 성장 을 실행 및 모니터링 하 기 위해 사용 되 는 컴포넌트 들 을 포함 한다 . 제어기 ( 406 ) 는 지원 시스템 ( 404 ) 에 커플링 되 고 , 그리고 프로세싱 챔버 ( 400 ) 및 지원 시스템 ( 404 ) 을 제어 하 도록 적응 된다 . 제어기 ( 406 ) 는 중앙 프로세싱 유닛 ( CPU ) , 메모리 , 및 지원 회로 들 을 포함 한다 .