도 1 과 도 2 , 그리고 도 4 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 기판 ( G ) 에 대한 현상 공정 을 진행 하 는 경우 , 먼저 , 제 1 이송 수단 ( 1 ) 에 의하 여 전 공정 으로부터 기판 ( G ) 을 제 1 현상 챔버 ( D 1 ) 로 이동 시킨다 . 이때 , 기판 ( G ) 은 핸드 지그 ( 5 ) 에 의하 여 픽업 된 상태 이 다 .