제어기 ( 172 ) 는 또한 레시피 ( 178 ) 를 포함 할 수 있 다 . 레시피 ( 178 ) 는 처리 챔버 에서 의 처리 의 파라미터 를 정의 한다 . 제어기 ( 172 ) 는 처리 챔버 에서 의 처리 를 제어 하 기 위해 필요 한 대로 처리 챔버 ( 180 ) 및 근접 헤드 ( 100 ) 및 처리 챔버 의 다른 부분 에 결합 된다 . 제어기 ( 172 ) 는 또한 처리 챔버 ( 180 ) 내 에서 의 처리 들 에서 의 레시피 ( 178 ) 를 구현 하 는 로직 ( 172 A ) 을 포함 한다 . 로직 ( 172 A ) 은 또한 처리 들 의 결과 를 모니터링 하 여 모니터링 된 결과 에 따라 레시피 의 하나 이상 의 양태 를 조정 또는 수정 하 는 능력 을 포함 할 수 있 다 .