도 5 의 예 에서 는 , 스테이지 가 - x 방향 으로 연속 이동 하 는 동안 , 각 빔 이 y 방향 으로 4 화소 로 이루어진 1 열 을 노광 한 후 , 빔 이 + x 방향 으로 이동 하 여 별도 의 열 을 노광 하 는 공정 의 반복 이 도시 되 어 있 다 . 상술 한 바 와 같이 , 여기 서 각 빔 이 1 개 의 열 의 4 화소 를 노광 하 는 동안 에 는 , 편 향기 ( 208 ) 가 기판 ( 101 ) 상 에서 의 빔 어레이 의 x 방향 의 위치 를 부동 ( 不動 ) 으로 하 도록 , 스테이지 의 이동 에 맞춘 연속 적 인 변경 을 행하 는 스테이지 트랙 킹 동작 을 행하 는 것 과 병행 하 여 , 편 향기 ( 209 ) 가 노광 되 는 화소 를 y 방향 으로 전환 하 기 위한 편향 을 추가 하 고 있 다 . 1 열 을 노광 한 후 의 빔 의 + x 방향 으로 의 큰 이동은 , 스테이지 트랙 킹 을 멈추 어 편 향기 ( 208 ) 의 편향 량 을 스테이지 트랙 킹 개시 시 의 편향 량 으로 되돌리 는 , 트랙 킹 리셋 의 동작 에 의하 여 행해진다 .