상기 실시 형태 에 있 어서 , 레이저 광선 ( 52 ) 의 모드 는 TEM 00 이 다 . 진동 미러 식 주사 계통 ( 57 ) 은 XY 축 진동 미러 식 주사 계통 으로서 , X 축 진동 미러 ( 571 ) 와 Y 축 진동 미러 ( 572 ) 를 포함 하 여 빠르 고 정밀 하 게 레이저 광선 ( 52 ) 을 수직 광 발생 장치 ( 59 ) 를 통해 부품 ( 56 ) 에 닿 게 한다 . 수직 광 발생 장치 ( 59 ) 는 텔레 센 트릭 플랫 필드 렌즈 인 것 이 바람직 하 다 .