가스 공급 유닛 ( 140 ) 은 상기 지지 부재 ( 131 ) 에 연결 되 고 , 상기 지지 부재 ( 131 ) 가 기판 ( S ) 을 지지 한 상태 에서 상기 지지 부재 ( 131 ) 를 통하 여 기판 ( S ) 으로 가스 를 공급 할 수 있 다 . 이 를 위한 가스 공급 유닛 ( 140 ) 은 일례 로 가스 이 송부 ( 141 ) 와 가스 공급 부 ( 142 ) 를 포함 할 수 있 다 .