상기 제 2 반응 가스 가 일산화질소 가스 및 질소 가스 를 포함 할 경우 , 상기 일산화질소 가스 및 상기 질소 가스 는 제 1 예비 산화 막 ( 155 ) 상 으로 각기 약 0 . 3 ∼ 1 . 0 slm 정도 의 유량 및 약 0 . 5 ∼ 4 . 0 slm 정도 의 유량 으로 공급 될 수 있 다 . 즉 , 상기 일산화질소 가스 및 상기 질소 가스 사이 의 유량 비 는 약 1 . 0 ： 0 . 5 ∼ 13 . 5 정도 가 될 수 있 다 .