기판 흡착 부재 ( 13 ) 는 , 접시 형상 의 본 체부 ( 13 a ) 와 완충 체인 벨로즈 부 ( 13 b ) 로 구성 된다 . 본 체부 ( 13 a ) 의 중앙 에 는 흡 인공 ( 13 a ') 이 관통 하 여 설치 된다 . 이 흡 인공 ( 13 a ') 은 , 벨로즈 부 ( 13 b ) 의 내부 공간 ( 13 b ') 을 통해 포크 부재 ( 11 c ) 의 내부 에 마련 된 흡인 통로 ( 11 c ') 와 연결 연통 하 고 있 다 .