본 발명 은 상기 세 번 째 과제 를 이루 기 위하 여 , 반응 챔버 내 에 기판 을 제공 하 는 단계 ; 상기 기판 상 에 제 1 전자 공여 화합물 을 제공 하 는 단계 ; 및 상기 기판 상 에 원하 는 두께 의 산화 막 이 형성 될 때 까지 퇴적 사이클 을 반복 수행 하 는 단계 를 포함 하 는 유전 막 형성 방법 을 제공 한다 . 이 때 , 상기 퇴적 사이클 은 제 1 중심 원소 를 포함 하 는 제 1 소스 물질 을 상기 기판 상 에 제공 하 는 단계 ; 상기 제 1 소스 물질 과 결합 하 도록 제 2 전자 공여 화합물 을 제공 하 는 단계 ; 상기 제 2 전자 공여 화합물 을 제공 하 는 단계 이후 에 , 제 2 중심 원소 를 포함 하 는 제 2 소스 물질 을 상기 기판 상 에 제공 하 는 단계 ; 및 상기 기판 상 에 산화제 를 제공 하 는 단계 를 포함 한다 .