상기 와 같 은 본 발명 의 목적 을 달성 하 기 위한 케미컬 용액 의 파티클 모니터링 장치 는 케미컬 용액 이 수용 되 고 , 제 어부 의 작업 개시 신호 에 따라 상기 케미컬 용액 을 공급 하 는 케미컬 용액 공급 장치 , 상기 케미컬 용액 공급 장치 와 연결 되 어 상기 케미컬 용액 이 공급 되 는 제 1 공 급유 로 , 상기 제 1 공급 유로 와 연결 되 어 상기 케미컬 용액 을 정화 하 는 필터 , 상기 필터 에서 분기 되 는 분기 유로 및 메인 유로 , 상기 분기 유로 와 연결 되 어 상기 분기 유로 를 개폐 하 는 드레 인 밸브 , 상기 메인 유로 와 연결 되 어 상기 케미컬 용액 의 파티클 양 을 감지 하 는 파티클 감 시기 및 상기 파티클 감 시기 로부터 상기 케미컬 용액 을 공급 받 아 피 작업 대상물 에 상기 케미컬 용액 을 도포 하 는 노즐 을 포함 하 고 , 또한 , 상기 파티클 감 시기 및 노즐 은 제 2 공급 유로 로 연결 되 고 , 상기 제 2 공급 유로 에 는 상기 파티클 감 시기 로부터 노즐 로 공급 되 는 상기 케미컬 용액 의 공급 을 차단 또는 허용 하 도록 구비 되 는 제어 밸브 가 구비 될 수 있 다 .