소스 전극 ( 125 ) 과 드레 인 전극 ( 126 ) 및 이 들 이 가리 지 않 는 반도체 층 ( 123 ) 의 상부 에 는 보호막 ( 131 ) 이 형성 되 어 있 다 . 보호막 ( 131 ) 은 실리콘 질화물 ( SiNx ) 또는 / 그리고 유기 막 으로 이루어질 수 있 다 . 보호막 ( 131 ) 에 는 드레 인 전극 ( 126 ) 을 드러내 는 접촉 구 ( 127 ) 가 형성 되 어 있 다 .