도 9 a 는 박막 내 탄화수소 ( CHx ) 양 의 영향 에 따라 유전 상수 값 의 변화 를 나타낸 것 이 다 . 초기 플 라즈 마 증착 된 PPDMCPSO : CHex 박막 내 에 유기물 들 이 온도 가 증가 함 에 따라 외부 로 승화 됨 으로써 박막 내 탄화수소 들 이 감소 가 되 어 박막 유전 상수 값 또한 감소 됨 을 알 수 있 었 다 . 또 , 9 b 는 박막 내 규소 와 관련 된 결합 양 에 따른 유전 상수 값 의 변화 를 나타낸 것 이 다 . 박막 내 규소 와 관련 된 것 은 탄소 - 산화 규소 ( C - SiO ) 와 산소 - 산화 규소 ( O - SiO ) 그리고 규소 - 메틸 ( Si - CH 3 ) 의 화학 결합 에 대한 것 으로 온도 가 증가 함 에 따라 탄소 - 산화 규소 가 결합 된 것 들 이 감소 한 것 으로 탄화수소 양 보다 는 적 게 감소 됨 을 알 수 있 었 다 . 박막 의 유전 상수 값 의 감소 는 탄소 - 산화 규소 의 감소 한 것 보다 탄화수소 의 감소 한 것 이 므로 탄화수소 와 깊 은 관련 됨 을 알 수 있 었 다 .