트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 와 공정 챔버 ( 200 ) 사이 의 기판 교환 이 완료 된 후 , 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 와 로드 락 챔버 ( 130 ) 사이 에서 기판 교환 이 진행 된다 . 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 는 진공 기압 에서 대기압 으로 전환 되 며 , 제 2 기판 출입구 ( 302 ) 가 열린 상태 에서 로드 락 챔버 ( 130 ) 에 위치 한 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 이 처리 후 기판 과 처리 전 기판 을 교환 한다 .