여기 서 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 에 는 지주 ( 83 ) 와 지지 부 ( 84 ) 가 존재 한다 . 이 지주 ( 83 ) 와 지지 부 ( 84 ) 가 존재 하 는 부분 은 , 처리 가스 가 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 도달 할 때 의 장벽 이 된다 . 즉 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 보다 외측 에 인 젝 터 ( 110 ) 가 설치 되 어 있 기 때문 에 , 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 는 인 젝 터 ( 110 ) 로부터 공급 된 처리 가스 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 숨기 도록 설치 되 어 있 다 . 이 와 같이 , 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 부근 에 는 처리 가스 가 도달 하 기 어려워 , 예컨대 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 막 두께 가 얇 아 지 는 현상 이 발생 하 기 쉽 다 .