이어서 도 10 의 ( B ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 영역 ( A 2 ) 내 에 있 어서 의 영역 ( A 1 ) 과 의 경계 부근 에 착 액 점 ( PF ) 을 위치 시키 고 , 확산 조건 으로 영역 ( A 2 ) ( 플랫 부 ) 의 에칭 을 행한다 ( 제 2 에칭 공정 ) . 에칭 조건 은 비 교예 ( 예 를 들 면 ' HF 180 sec ' 의 막 두께 분포 커브 가 얻 어 지 는 조건 ) 와 동일 하 면 된다 . 착 액 점 ( PF ) 은 영역 ( A 2 ) 내 의 특정 반경 방향 위치 에 고정 해도 되 고 , 당해 특정 반경 방향 위치 로부터 다소 이동 시켜도 된다 . 또한 이 때 는 , 확산 조건 이 채용 되 어 있 기 때문 에 , 영역 ( A 1 ) ( 라운드 부 ) 에 도 에칭 액 은 확산 되 어 , 영역 ( A 1 ) 도 에칭 된다 . 제 2 에칭 공정 이 종료 되 면 , 도 9 에 나타내 는 막 두께 차 ( D 2 ) 가 존재 하 는 점 을 제외 하 고 , ' ideal ' 의 커브 에 대략 상당 하 는 막 두께 분포 가 얻 어 진다 .