본 발명 에 따른 다중 간섭 현상 을 이용 한 미세 패턴 의 형성 장치 는 포토 레지스터 가 도포 된 기판 상 에 미세 패턴 을 형성 하 기 위한 미세 패턴 의 형성 장치 에 있 어서 , 레이저 소스 ; 상기 레이저 소스 로부터 의 출사 광 을 콜리 메이팅 된 상태 의 평행 광 으로 입 사 하 여 반사 시키 는 회절격자 ; 및 상기 회절격자 로부터 의 반사광 을 상기 기판 쪽 으로 투과 하 고 나머지 의 광 은 상기 회절격자 쪽 으로 반사 시키 는 미러 를 포함 하 며 , 상기 회절격자 와 미러 에서 반사 및 투과 를 반복 하 는 광 은 매번 투과율 ( T ) 만큼 의 광이 상기 미러 를 투과 하 여 상기 포토 레지스터 에 조사 되 며 이 광 들 이 다중 간섭 현상 을 일으키 며 노광 상태 에서 다중 간섭 신호 와 기판 간 의 상대 위치 를 연속 적 으로 변경 시킴 으로써 기판 에 제작 되 는 미세 패턴 의 선폭 이 조절 가능 한 것 을 특징 으로 한다 .