상술 한 바 와 같 은 제 1 실시 예 는 게이트 하드 마스크 층 ( 104 B ) 의 상부 면 을 평탄 화 시켜 외부 에 넓 은 면적 으로 노출 시킨다 . 때문 에 자기 정렬 식각 공정 시 식각 부산물 ( POL ) 이 평탄 한 게이트 하드 마스크 층 ( 104 B ) 의 상부 면 에 잔류 하 게 되 어 게이트 하드 마스크 층 ( 104 B ) 의 손실 을 감소 시킨다 .