또한 , 제 1 실시 형태 에 관련 된 디바이스 제조 시스템 에 있 어서 는 , 1 대 의 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 구비 하 고 있 지만 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 의 처리 시간 , 반송 장치 ( 90 ) 의 반송 시간 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 처리 시간 및 종 노광 장치 의 노광 시간 에 기초 하 여 , 2 대 이상 의 종 노광 장치 를 구비 하 도록 해도 된다 . 또한 , 1 대 의 도포 부 및 현 상부 를 구비 하 고 있 지만 , 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 의 처리 시간 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 처리 시간 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 처리 시간 에 기초 하 여 , 2 대 이상 의 도포 부 및 현 상부 를 구비 하 도록 해도 된다 .