중성화 처리 란 , 기판 표면 을 , 상 분리 구조 형성 용 수지 조성물 정제품 을 구성 하 는 어느 폴리머 와 도 친화성 을 갖 도록 개변 하 는 처리 를 말 한다 . 중성화 처리 를 실시 함 으로써 , 상 분리 에 의해 특정 한 폴리머 로 이루어지 는 상 만 이 기판 표면 에 접하 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , BCP 층 ( 3 ) 을 형성 하 기 전 에 , 기판 ( 1 ) 표면 에 , 사용 하 는 상 분리 구조 형성 용 수지 조성물 정제품 의 종류 에 따른 하지제 층 ( 2 ) 을 형성 해 두 는 것 이 바람직 하 다 . 이것 에 수반 하 여 , BCP 층 ( 3 ) 의 상 분리 에 의해 , 기판 ( 1 ) 표면 에 대하 여 수직 방향 으로 배향 한 실린더 형상 또는 라멜라 형상 의 상 분리 구조 가 형성 하 기 쉬워진다 .