또한 , 본 실시 형태 에서 는 제 4 카메라 ( 6 d ) 가 하측 에서 촬영 하 는 것 은 프로브 카드 ( 8 ) 의 프로브 ( 81 ) 의 선단 부이 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 는 것 이 아닌 , 프로브 카드 ( 8 ) 에 상기 프로브 카드 ( 8 ) 의 자세 를 대표 하 는 자세 침 을 복수 개 설치 하 고 , 그 자세 침 의 선단 부를 촬영 하 도록 하 여도 좋 다 . 여기 에서 자세 침 은 그 자세 침 의 선 단부 가 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 의 좌표 데이터 에 관련 되 도록 설치 되 어 있 는 것 으로 한다 . 즉 , 자세 침 의 선 단부 의 좌표 데이터 를 취득 함 으로써 , 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 의 좌표 데이터 를 추정 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .