상기 의 과정 에서 유기물 의 증착 속도 는 0 . 4 ~ 0 . 7 Å / sec 를 유지 하 였 고 , 음극 의 리튬 플로라 이 드 는 0 . 3 Å / sec , 알루미늄 은 2 Å / sec 의 증착 속도 를 유지 하 였으며 , 증착 시 진공도 는 2 × 10 - 7 ~ 5 × 10 - 6 torr 를 유지 하 여 , 유기 발광 소자 를 제작 하 였 다 .