일부 실시 예 들 에서 , 제공 된 방법 들 은 돌출 하 는 피처 들 의 측벽 들 에 존재 하 는 재료 들 을 제거 하 지 않 고 수평 표면 들 로부터 재료 들 을 제거 하 도록 사용 된다 . 본 명세서 에 사용 된 바 와 같 은 , 수평 표면 들 은 돌출 하 는 피처 들 의 상단 부 의 볼록 한 캡 들 과 같이 , 수평 평면 으로부터 국부 적 인 편차 들 을 갖 는 표면 들 을 포함 하 는 것 이 이해 된다 .