즉 , 광원 으로부터 의 광이 격자 수단 을 통과 하 여 검사 대상 면 에 일정 한 격자무늬 를 생성 할 수 있 도록 PZT 구 동기 를 이용 하 여 격자 수단 을 미세 구동 시키 면서 , 검사 대상 면 의 높이 에 따른 간섭 신호 를 생성 하 도록 하 기 때문 에 , 격자 수단 과 PZT 를 동시 에 구비 해야 하 므로 장치 가 복잡 해 지 는 단점 이 있 었 다 .