이 경우 , 제 1 도전 막 은 고 융점 금속 막 으로 형성 되 어도 된다 . 고 융점 금속 막 으로 는 , 예 를 들 어 , 티타늄 ( Ti ) 막 , 몰리 부 덴 ( Mo ) 막 , 탄탈 ( Ta ) 막 , 텅스텐 ( W ) 막 , 크롬 ( Cr ) 막 , 니켈 ( Ni ) 막 등 의 금속 막 이나 , 이 들 금속 의 질화물 , 합금 으로 이루어진 금속 막 등 을 들 수 있 다 .