탱크 ( 102 ) 내 에 약액 이 저장 된 경우 탱크 ( 102 ) 내 에 일정 한 압력 이 가하 게 하 고 밸브 ( 105 ) 를 개방 시켜 배관 ( 105 ) 을 통해 약액 을 혼합기 ( 107 ) 로 제공 한다 . 이 와 병행 내지 동시 에 밸브 ( 108 a ) 를 열 어 배관 ( 108 ) 을 통해 질소 를 혼합기 ( 107 ) 로 제공 한다 . 이 혼합기 ( 107 ) 는 가령 벤 튜리 관 으로써 질소 의 흐름 에 따라 약액 IPA 는 기화 된다 . 기화 내지 분무 상태 화 된 약액 은 배관 ( 112 ) 을 통해 공정 모듈 ( 200 ) 에 로딩 되 어 회전 하 는 웨이퍼 ( W ) 에 골고루 뿌려 지 게 되 어 웨이퍼 ( W ) 를 건조 시킨다 . 그런데 , 약액 이 혼합기 ( 107 ) 로 제공 되 기 이전 에 배관 ( 105 ) 중간 에 설치 된 오리피스 와 같 은 농도 조절기 ( 106 ) 를 통과 하 게 되 므로 약액 의 농도 는 일정 하 게 유지 된다 . 즉 , 약액 은 농도 조절기 ( 106 ) 에 의해 공급량 내지 농도 가 일정 하 게 유지 되 므로 대량 으로 하나 또는 다 수개 의 공정 모듈 ( 200 ) 에 공급 된다 하 더라도 약액 의 농도 는 일정 하 게 유지 된다 .