제 1 고체 재료 가 순 안티모니 인 경우 , 제 2 고체 재료 로서 삼 불화 안티모니 ( SbF 3 ) , 삼 염화 안티모니 ( SbCl 3 ) , 삼 브로민화 안티모니 ( SbBr 3 ) , 삼 아이 오 도화 안티모니 ( SbI 3 ) 등 을 이용 할 수 있 다 . 이 와 같 은 제 1 고체 재료 와 제 2 고체 재료 를 혼합 시킨 원료 를 이용 함 으로써 , 안티모니 의 이온 빔 을 생성 할 수 있 다 .