컵 ( 420 ) 은 상부 가 개방 된 처리 공간 을 가지 고 , 기판 ( W ) 은 처리 공간 내 에서 액 처리 된다 . 지지 유닛 ( 440 ) 은 처리 공간 내 에서 기판 ( W ) 을 지지 한다 . 액 공급 유닛 ( 460 ) 은 지지 유닛 ( 440 ) 에 지지 된 기판 ( W ) 상 으로 액 을 공급 한다 . 액 은 복수 종류 로 제공 되 고 , 기판 ( W ) 상 으로 순차 적 으로 공급 될 수 있 다 . 승강 유닛 ( 480 ) 은 컵 ( 420 ) 과 지지 유닛 ( 440 ) 간 의 상대 높이 를 조절 한다 .