분사 플레이트 ( 320 ) 는 전극 플레이트 ( 310 ) 의 하측 에 배치 되 어 이트리아 파우더 및 플루오르 함유 가스 를 분사 하 는 역할 을 수행 한다 . 이 를 위하 여 , 분사 플레이트 ( 320 ) 는 이트리아 파우더 및 플루오르 함유 가스 를 분사 하 는 분사 홀 ( SH ) 을 구비 할 수 있 다 . 이트리아 파우더 및 플루오르 함유 가스 는 분사 홀 ( SH ) 을 관통 하 여 코팅 처리 공간 ( 101 ) 으로 유입 될 수 있 다 .