로더 모듈 ( 22 ) 은 , 한 방향 ( Y 방향 ) 으로 가늘 고 긴 직방체 형상 의 대기 반 송실 ( 25 ) 을 구비 한다 . 대기 반 송실 ( 25 ) 의 일 측면 에 는 , 복수 의 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 가 가로 로 일렬 배치 된다 . 평면 적 으로 보 았 을 때 , 대기 반 송실 ( 25 ) 은 이 들 복수 의 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 의 배열 방향 ( Y 방향 ) 으로 길 게 연장 되 어 있 다 . 각각 의 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 에 는 , 복수 매 의 미처리 기판 ( W ) 이 수납 된 1 개 의 카세트 가 탑재 또는 세트 된다 . 카세트 는 , 오퍼레이터 에 의해 각 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 위 에 수동 으로 세트 되 어도 좋 고 , 카세트 반송 시스템 에 의해 자동 적 으로 각 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 위 에 세트 되 어도 좋 다 . 카세트 내 의 미처리 기판 ( W ) 은 , 대기 반 송실 ( 25 ) 내 의 대기 반송 로봇 에 의해 1 장 씩 카세트 로부터 취 출 된다 . 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 에서 처리 가 실행 된 기판 ( W ) 은 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 대기 반송 로봇 에 의해 1 장 씩 카세트 에 되돌려진다 .