도 12 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 W 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 되 지만 , 이 전달 시 에 , 웨이퍼 W 가 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 대해 어긋나 버리 는 경우 가 있 다 . 또한 , 편심 검 출부 ( 60 ) 의 투광 부 ( 61 ) 및 / 또는 수 광부 ( 62 ) 에 파손 또는 고장 이 발생 하 거나 또는 처 리부 ( 65 ) 에 저장 된 편 심량 및 최대 편심 점 을 결정 하 는 알고리즘 에 오류 ( 예 를 들 어 , 프로그램 상 의 버그 ) 가 있 는 경우 에 는 , 정확 한 편 심량 및 편심 방향 ( 즉 , 최대 편심 점 ) 을 취득 할 수 없 다 . 또는 센터 링 스테이지 회전 기구 ( 36 ) 및 / 또는 이동 기구 ( 41 ) 에 파손 또는 고장 이 발생 되 면 , 편심 검 출부 ( 60 ) 에 의해 취득 된 편 심량 및 편심 방향 에 기초 하 여 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 정확 하 게 이동 시킬 수 없 다 . 이 들 경우 에 는 , 웨이퍼 W 의 중심 이 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞 지 않 은 상태 에서 , 웨이퍼 W 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 되 어 버린다 .