사용 자 인터페이스 ( 52 ) 는 공정 관리자 가 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 를 관리 하 기 위해 커맨드 의 입력 조작 등 을 행하 는 키보드 나 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 가동 상황 을 가시 화 하 여 표시 하 는 디스플레이 등 을 갖 고 있 다 . 기억 부 ( 53 ) 에 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 에서 실행 되 는 각종 처리 를 프로세스 제어기 ( 51 ) 의 제어 로 실현 하 기 위한 제어 프로그램 ( 소프트웨어 ) 이나 처리 조건 데이터 등 이 기록 된 레시피 ( recipe ) 가 보존 되 어 있 다 .