본 발명 의 유기 막 형성 용 조성물 을 이러 한 산소 분위기 중 에서 소성 함 으로써 , 충분히 경화 된 유기 막 을 얻 을 수 있 다 . 베 이크 중 의 분위기 로서 는 공기 중 이 라도 상관없 지만 , 산소 를 저감 시키 기 위해 N 2 , Ar , He 등 의 불활성 가스 를 봉입 해 두 는 것 은 , 유기 막 의 산화 를 방지 하 기 위해 바람직 하 다 . 산화 를 방지 하 기 위해서 는 산소 농도 를 컨트롤 할 필요 가 있 으며 , 바람직 하 게 는 1000 ppm 이하 , 보다 바람직 하 게 는 100 ppm 이하 이 다 . 베 이크 중 의 유기 막 의 산화 를 방지 하 면 , 흡수 가 증대 되 거나 에칭 내성 이 저하 되 거나 하 는 일 이 없 기 때문 에 바람직 하 다 .