기판 으로서 는 , 석영 유리 , 붕 규산 유리 , 알루미나 규산염 유리 , 표면 을 실리카 코팅 한 소다 라임 유리 등 의 유리판 이나 , 폴리카보네이트 , 폴리 메타크릴산 메틸 , 폴리에틸렌 테레프탈 레이트 등 의 수지판 , 실리콘 , 상기 기판 상 에 알루미늄 , 은 , 은 / 구리 / 팔라듐 합금 박막 등 을 형성 한 것 등 을 이용 할 수 있 다 .