상기 로딩 로 드락 챔버 ( ROADING ROAD LOCK CHAMBER ) 와 언로 딩 로 드락 챔버 ( UNROADING ROAD LOCK CHAMBER ) 에 는 각각 웨이퍼 ( WAFER ) 를 이송 시키 기 위한 로봇 암 등 여러 가지 의 형태 의 웨이퍼 이송 장치 가 구비 되 고 , 공정 챔버 ( PROCESS CHAMBER ) 에 구비 되 어 웨이퍼 를 고정 하 는 척 ( CHUCK ) 은 그 내부 에 승 , 하강 작동 되 는 리프트 핀 어셈블리 ( LIFT PIN ASS ' Y ) 가 구비 된다 .