그 후 , 보트 엘리베이터 ( 115 ) 에 의해 시일 캡 ( 219 ) 이 하강 되 어 , 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 이 개구 됨 과 함께 , 처리 가 끝난 웨이퍼 ( 200 ) 가 보트 ( 217 ) 에 지지 된 상태 에서 매니폴드 ( 209 ) 의 하단 으로부터 아 우터 튜브 ( 203 ) 의 외부 로 반출 ( 보트 언 로드 ) 된다 . 처리 가 끝난 웨이퍼 ( 200 ) 는 , 아 우터 튜브 ( 203 ) 의 외부 로 반출 된 후 , 보트 ( 217 ) 로부터 취 출 된다 ( 웨이퍼 디스 차지 ) .