또한 , 상기 서술 한 계측기 류 를 사용 한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 계측 과 독립 적 으로 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 사용 한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 ( X , Y , Z , θ x , θ y , θ z ) 계측 이 항상 실시 되 고 있 다 . 여기 서 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 구성 하 는 X 간섭계 ( 126 , 127 또는 128 ) 를 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 위치 와 θ z 회전 량 ( 요 잉량 ) 이 , Y 간섭계 ( 16 ) 를 사용 하 여 Y 위치 , θ x 회전 량 및 θ z 회전 량 이 , Z 간섭계 ( 43 A , 43 B ) 를 사용 하 여 Y 위치 , Z 위치 , θ y 회전 량 및 θ z 회전 량 이 계측 된다 . X 간섭계 ( 126 , 127 및 128 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Y 위치 에 따라 어느 1 개 가 사용 된다 . 노광 중 에 는 , 도 14 에 도시 된 바 와 같이 X 간섭계 ( 126 ) 가 사용 된다 . 간섭계 시스템 ( 118 ) 의 계측 결과 는 , 피 칭량 ( θ x 회전 량 ) 을 제외 하 고 , 보조 적 으로 또는 후술 하 는 백업 시 , 혹은 인코더 시스템 ( 150 ) 및 / 또는 면 위치 계측 시스템 ( 180 ) 에 의한 계측 을 할 수 없 을 때 등 에 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 제어 에 이용 된다 .