본 발명 에 따르 면 , 가공 장치 로부터 배출 된 폐액 을 정제 하 는 폐액 처리 장치 로서 , 그 가공 장치 가 배출 하 는 폐액 을 수용 하 는 폐액 수용 탱크 와 , 그 폐액 수용 탱크 의 폐액 을 여과 하 여 청수 ( 淸水 ) 로 정제 하 는 폐액 여과 유닛 과 , 그 폐액 여과 유닛 에 의해 여과 된 청수 를 저수 하 는 청수 저수 탱크 와 , 그 청수 저수 탱크 에 저수 된 청수 를 순수 로 정제 하 는 순수 정제 유닛 과 , 그 순수 정제 유닛 에 의해 정제 된 순수 를 소정 의 온도 로 조정 하 는 온도 조정 유닛 과 , 적어도 그 폐액 여과 유닛 에서 발생 한 거품 을 흡인 하 는 거품 용 수봉 식 펌프 와 , 그 거품 용 수봉 식 펌프 가 흡인 한 거품 을 폐액 으로서 저수 하 는 봉수 저수 탱크 를 구비 하 고 , 그 봉수 저수 탱크 에 저수 된 폐액 을 그 폐액 수용 탱크 의 폐액 과 함께 그 폐액 여과 유닛 에 의해 여과 하 고 , 소정 의 온도 로 조정 된 그 순수 를 그 가공 장치 에 공급 하 는 폐액 처리 장치 가 제공 된다 .