일반 적 으로 발광 부 ( 600 ) 에서 발생 하 는 빛 의 파장 은 450 nm 이상 이 될 수 있 다 . 노즐 부 ( 100 ) 에서 방출 하 는 포토 레지스 트 ( 500 ) 는 감광성 물질 이 므로 365 nm ( I - line ) 내지 436 nm ( G - line ) 의 파장 을 가지 는 빛 에 노출 되 게 되 면 그 성질 이 변하 여 공정 중 에 사용 할 수 없 게 된다 . 포토 레지스 트 ( 500 ) 가 노즐 부 ( 100 ) 안 에 보관 되 어 있 다고 하 더라도 상술 한 범위 를 가지 는 빛 에 의하 여 성질 이 변할 수 있 다 . 따라서 , 발광 부 ( 600 ) 는 상기 365 nm 내지 436 nm 의 파장 을 가지 는 빛 을 발생 시키 지 않 아야 하 며 , 바람직 하 게 는 450 nm 이상 의 파장 을 사용 하 는 것 이 좋 다 .