이 가운데 식각 장비 에 는 기판 의 이송 등 을 센싱 하 기 위해 주로 플리커 센서 ( flicker sensor ) 가 사용 되 는데 , 이 는 식각 장비 내 에 화학 에 천트 ( chemical etchant ) 나 화학 스트리퍼 ( chemical stripper ) 등 의 화학 약품 들 이 많이 사용 됨 으로 인해 광 센서 등 의 적용 에 어려움 이 많 기 때문 이 다 .