이 를 위해 , 본 발명 에 따른 장치 는 , 상기 전문 에 의해 주 어 진 일반 적 인 정의 에 따른 다른 측면 에서 , 회로 의 적어도 2 개 의 하류 단부 가 각각 이송 가스 의 유량 및 / 또는 압력 을 제어 하 기 위한 각각 의 부재 를 포함 하 고 , 각각 의 하류 단부 에서 독립 적 으로 유량 및 / 또는 압력 을 제어 하 도록 구성 되 는 것 을 본질 적 으로 특징 으로 한다 .