일 실시 예 에 있 어서 , 본 발명 에 따른 빔 균질 화부 ( 120 ) 는 도 5 a 에 도시 된 바 와 같 은 가우 시안 분포 를 갖 는 레이저 빔 이 도 5 c 에 도시 된 바 와 같이 에너지 강도 가 기준 값 ( R 1 ) 에서 타 겟 값 ( T 1 ) 까지 증가 하 는 제 1 구간 ( P 1 ) , 에너지 강도 가 제 1 타 겟 값 ( T 1 ) 으로 유지 되 는 제 2 구간 ( P 2 ) , 및 에너지 강도 가 제 1 타 겟 값 ( T 1 ) 에서 기준 값 ( R 1 ) 까지 감소 하 는 제 3 구간 ( P 3 ) 을 포함 하 는 빔 분포 를 갖 도록 레이저 빔 을 균질 화 시킨다 .