그리고 알루미늄 산화 막 ( 32 ) 을 고유 전물 질 인 탄 탈륨 산화 막 ( 31 ) 과 지르코늄 산화 막 ( 33 ) 사이 에 증착 함 으로써 결정 화 된 고유 전 물질 을 사용 함 에 따라 열화 되 는 누설 전류 특성 을 개선 할 수 있 으며 , 알루미늄 산화 막 ( 32 ) 을 중심 으로 지르코늄 산화 막 ( 33 ) 과 탄 탈륨 산화 막 ( 31 ) 의 두께 비율 을 조절 함 으로써 최적 의 두께 조합비 를 가진 ZAT 유전 막 을 제조 할 수 있 다 .