본 발명 에 따라 정렬 되 는 기판 은 기판 표면 측면 당 2 개 이상 의 정렬 마크 를 포함 한다 . 기판 표면 측면 당 2 개 이상 의 정렬 마크 , 특히 3 개 이상 의 정렬 마크 , 가장 바람직 하 게 는 4 개 이상 의 정렬 마크 , 최대 가장 바람직 하 게 는 5 개 이상 의 정렬 마크 궁극 적 으로 6 개 이상 의 정렬 마크 가 고려 될 수 있 다 . 기판 표면 측면 의 정렬 마크 는 바람직 하 게 는 반경 100 mm 이하 , 바람직 하 게 는 50 mm 이하 , 더욱 더 바람직 하 게 는 25 mm 이하 , 가장 바람직 하 게 는 10 mm 이하 , 궁극 적 으로 1 mm 이하 의 원 K 내 에 위치 한다 .