" 도 2 에 도시 한 접속 방식 을 편의 상 "" 다이렉트 타입 "" 이라고 부른다 . 이 타입 은 ", 제 1 챔버 ( 910 ) 에 대해서 , 제 1 챔버 ( 910 ) 의 챔버 벽부 ( 912 ) 에 밸브 박스 ( 10 ) 를 직접 접속 한다 . 이 타입 은 , 후술 하 는 접속 부재 ( 932 ) 가 제 1 챔버 ( 910 ) 의 진공 측 에 노출 하 는 접속 방식 이 다 .