도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 , 하부 구리 배선 ( 21 ) 상 에 절연 층 배리어 ( 22 ) 를 형성 한 후 , 절연 층 배리어 ( 22 ) 상 에 저유 전상수 물질 ( 23 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 절연 층 배리어 ( 22 ) 는 SiN , SiCN , SiOCN 또는 SiOC 중 에서 선택 되 고 , 상기 절연 층 배리어 ( 22 ) 는 수소 나 보론 이 포함 될 수 있 다 . 그리고 , 저유 전상수 물질 ( 23 ) 은 k 가 3 . 6 보다 작 은 값 을 갖 고 , 포 러스 ( porous ) 한 저유 전상수 물질 도 포함 한다 .