그러나 , 상기 마스크 패턴 ( 110 ') 은 정 얼라인 되 었 을 때 를 기준 으로 좌 , 우 1 . 5 F 까지 미스 얼라인 이 발생 하 더라도 최종 적 으로 형성 되 는 제 1 라인 패턴 은 상기 마스크 패턴 ( 110 ') 의 형성 영역 에서 서로 끊어진 형상 을 가질 수 있 다 . 즉 , 상기 마스크 패턴 ( 110 ') 은 좌 , 우 1 . 5 F 의 미스 얼라 인 마진 을 갖 는다 .