각 표면 처리 조성물 을 사용 하 여 , 상기 에 나타내 는 세정 조건 , 또는 상기 린스 연마 공정 및 후 세정 공정 에서 연마 완료 연마 대상물 을 세정 한 후 , 0 . 09 ㎛ 이상 의 이 물수 ( 총 잔사 수 ) 를 측정 하 였 다 . 이 물수 의 측정 에 는 , KLA TENCOR 사제 웨이퍼 결함 검사 장치 SP - 2 를 사용 하 였 다 . 측정 은 , 세정 완료 기판 의 편면 의 외주 단부 로부터 폭 5 mm 의 부분 ( 외주 단부 를 0 mm 라고 하 였을 때 , 폭 0 mm 부터 폭 5 mm 까지 의 부분 ) 을 제외 한 나머지 부분 에 대하 여 측정 을 행하 였 다 .