또한 본 발명 의 다층 메탈 배선 의 형성 방법 은 복수 의 제 1 메탈 배선 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 메탈 배선 상부 에 제 1 층간 절 연막 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 층간 절 연막 상 에 상기 제 1 메탈 배선 중 인접 하 는 2 개 를 포함 하 는 영역 상부 의 해당 제 1 메탈 배선 2 개 당 하나 씩 대응 하 는 면적 을 갖 는 제 2 메탈 배선 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 2 메탈 배선 상부 에 제 2 층간 절 연막 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 2 메탈 배선 의 일부 를 관통 하 여 상기 제 1 메탈 배선 표면 을 개방 시키 도록 상기 제 2 층간 절 연막 과 제 1 층간 절 연막 을 식각 하 여 비 아홀 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 비 아홀 에 매립 되 는 제 1 비아 를 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 비아 상 에 상기 제 1 비아 를 통해 제 1 메탈 배선 과 제 2 메탈 배선 에 연결 되 는 제 3 메탈 배선 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 2 메탈 배선 과 제 3 메탈 배선 에 연결 되 는 제 2 비아 를 동시 에 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 2 비아 를 통해 상기 제 2 메탈 배선 과 제 3 메탈 배선 을 병렬 연결 하 는 제 4 메탈 배선 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .