본 발명 을 따르 는 제 1 공정 의 제 4 공정 단계 ( 103 ) 에서 , 하부 기판 홀더 는 하강 한다 . 하부 기판 홀더 는 z 방향 으로 높 은 정밀도 로 이동 될 수 있 어야 한다 . 매우 정확 한 이동 을 위한 방법 들 이 공개 문헌 의 다른 부분 에서 설명 된다 . 그러나 , 하부 기판 홀더 가 공정 영역 으로부터 벗어나 이동 하 고 후속 공정 단계 에서 다시 귀환 할 수 있 다 . 상기 공정 단계 는 이용 되 는 정렬 장치 에 크 게 의존 한다 . 이 경우 , 특히 하부 기판 홀더 의 x 및 / 또는 y 방향 위치 설정 은 매우 정밀 해야 한다 . 공정 영역 으로부터 벗어나 는 이동 은 특히 , 충돌 을 피하 기 위해 렌즈 위 로 기판 홀더 를 들어올리 는 과정 을 동반 할 수 있 다 .