구동축 ( 240 ) 과 공정 챔버 ( 100 ) 의 바닥 벽 사이 에 는 씰 링 부재 ( 241 ) 가 제공 된다 . 씰 링 부재 ( 241 ) 는 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 기밀 을 유지 함 과 동시 에 구동축 ( 240 ) 의 회전 이 가능 하 도록 돕 는다 . 씰 링 부재 ( 241 ) 는 마그네 틱 씰 ( magnetic seal ) 을 포함 한다 .