기판 ( 100 ) 은 하나 이상 의 돌기 ( 110 ) 를 포함 한다 . 기판 ( 100 ) 상면 에 배치 된 하나 이상 의 돌기 ( 110 ) 는 마이크 로 렌즈 어레이 패턴 일 수 있 다 . 이 마이크 로 렌즈 어레이 패턴 은 기판 ( 100 ) 을 직접 식각 하 여 형성 될 수 도 있 고 , 기판 ( 100 ) 위 에 부도체 물질 인 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) , 실리콘 질화 막 ( SiNx ) , 또는 금속 산화 막 ( MgO ) 등 으로 형성 될 수 도 있 다 .