이 후 , 실시 형태 5 와 같이 , 화소 전극 을 형성 하 는 동시 에 , 게이트 전극 ( 251 ) 및 신호선 ( 271 c ) 을 접속 하 는 도전 막 ( 241 ) , 및 도너 가 되 는 불순물 원소 를 포함 하 는 미결정 반도체 막 ( 231 a ) , 제 1 버퍼 층 ( 232 a ) , 및 제 2 버퍼 층 ( 233 a ) , 및 공통 선 ( 256 ) 을 접속 하 는 도전 막 ( 242 ) 을 형성 한다 .