하지만 본 실시 예 는 이 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 상기 제 1 내지 제 4 상부 도전 성 플러그 ( 181 , 191 , 201 , 211 ) 를 한 번 에 형성 하 지 않 고 , 제 2 내지 제 6 절 연막 ( 162 , 163 , 164 , 165 , 166 ) 을 각각 형성 할 때 하부 도전 성 플러그 ( 170 ) 를 형성 하 는 방법 과 동일 하 게 형성 할 수 도 있 다 .