이때 로드 락 챔버 는 외부 에서 기판 이 반입 될 때 에 는 게이트 밸브 에 의하 여 진공 압 상태 에 있 는 반송 챔버 와 차단 된 상태 에서 압력 이 대기압 으로 변화 되 어야 하 며 , 반송 챔버 내 로 기판 이 이송 될 때 에 는 외부 와 차단 한 상태 에서 반송 챔버 의 압력 , 즉 진공 압 으로 변화 된 후 에 게이트 밸브 가 개방 되 어 반송 챔버 와 소통 된다 . 그리고 로드 락 챔버 인 제 1 챔버 ( 10 ) 가 진공 압 상태 로 변화 시키 기 위해서 는 반송 챔버 인 제 2 챔버 ( 20 ) 의 게이트 ( 21 ) 를 밸브 본체 ( 30 ) 로 닫 은 상태 에서 제 1 챔버 ( 10 ) 의 내부 공간 을 펌핑 을 하 게 된다 .