전술 한 바 와 같 은 Ti 소스 주입 , N 2 퍼지 , O 3 주 입 , N 2 퍼지 의 과정 을 단위 사이클 로 하 고 , 이 단위 사이클 을 m 회 반복 실시 하 여 TiOx 를 증착 한다 . 한편 , Ti 소스 의 산화 를 위한 산소 공급원 으로 는 O 3 외 에 H 2 O , H 2 O 2 또는 O 2 플 라즈 마 를 이용 할 수 있 고 , 퍼지 가스 로 는 N 2 이외 에 Ar 및 He 와 같 은 비활성 가스 를 이용 할 수 있 으며 , 다른 퍼지 방법 으로 는 진공 펌프 를 이용 하 여 잔류 가스 또는 반응 부산물 을 외부 로 배출 시킬 수 있 다 .