도 6 은 , 종래 의 일례 인 축 냉 기식 ( 蓄 冷 器 式 ) 냉동기 를 이용한 크라이 오 펌프 를 나타내 고 있 다 . 크라이 오 펌프 는 , 2 단식 GM ( 기포드 ㆍ맥마흔 ( Gifford - McMahon ) ) 사이클 냉동기 ( 51 ) ( 이하 , 단순히 냉동기 ( 51 ) 라고 함 ) 와 , 이 냉동기 ( 51 ) 에 가스관 ( 53 ) 을 통하 여 접속 된 헬륨 압축기 ( 52 ) 를 구비 하 고 있 으며 , 냉동기 ( 51 ) 의 저온 부분 은 , 단열 진공 외통 ( 外 筒 ) ( 61 ) 에 삽입 되 어 있 다 . 또한 , 단열 진공 외통 ( 61 ) 에 는 , 도시 하 지 않 은 프로세스 챔버 등 의 진공 용기 가 접속 되 어 있 다 .