그런데 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 도 6 및 도 7 에 도시 하 는 바 와 같이 , 접속 라인 ( 70 ) 에 포함 되 는 배관 중 의 제 2 약액 용 의 배관 과 제 3 약액 용 의 배관 에 대하 여 , 약 액원 ( 96 ) 과 공급 노즐 ( 69 , 72 ) 사이 에 , 공급 라인 ( 68 , 71 ) 을 통해서 웨이퍼 ( W ) 에 공급 되 는 처리 액 의 액량 에 이상 이 없 는지 를 판정 하 기 위한 공급 액량 이상 검출기 ( 90 ) 가 사이 에 설치 되 어 있 다 . 공급 액량 이상 검출기 ( 90 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 처리 에 사용 되 는 처리 액 이 저류 되 는 공급 보 틀 ( bottle ) ( 91 ) 을 갖 고 있 다 . 공급 보 틀 ( 91 ) 은 가늘 고 긴 용기 이 며 , 연직 방향 을 따라 연장 되 도록 지 지 되 어 있 다 . 공급 보 틀 ( 91 ) 은 그 하면 에 있 어서 접속 라인 ( 70 ) 에 접속 되 어 있 다 . 공급 액량 이상 검출기 ( 90 ) 는 공급 보 틀 ( 91 ) 의 높이 방향 ( 연직 방향 ) 을 따른 다른 위치 에 배치 된 상한 센서 ( 93 a ) , 하 한 센서 ( 93 b ) , 및 하하 한 ( 下 下限 ) 센서 ( 93 c ) 를 갖 고 있 다 . 또한 , 공급 액량 이상 검출기 ( 90 ) 는 공급 보 틀 ( 91 ) 근방 에 배치 된 액 츄 에 이터 ( 95 ) 와 , 액 츄 에 이터 ( 95 ) 에 의해 공급 보 틀 ( 91 ) 의 높이 방향 ( 연직 방향 ) 을 따라 이동 가능 하 게 지지 된 액면 센서 ( 94 ) 를 더 갖 고 있 다 . 각 센서 ( 93 a , 93 b , 93 c , 94 ) 는 각 센서 가 부착 된 높이 까지 공급 보 틀 ( 91 ) 내 에 액체 가 저류 되 어 있 는지 아닌지 를 판정 하 는 기능 을 갖 고 있 다 .