본 발명 은 기판 을 지지 하 는 장치 를 제공 한다 . 기판 을 지지 하 는 장치 는 베이스 플레이트 및 상기 베이스 플레이트 에 설치 되 어 기판 의 서로 다른 영역 을 지지 하 는 복수 개 의 핀 모듈 을 포함 하 되 , 상기 핀 모듈 은 기판 이 놓이 는 지지 핀 과 상기 베이스 플레이트 에 고정 설치 되 며 , 상기 지지 핀 이 결합 되 는 핀 고 정체 를 포함 하 되 , 상기 핀 고 정체 는 상부 에서 바라볼 때 측 부 가 개방 되 며 상기 지지 핀 이 삽입 되 는 제 1 개구 를 가지 는 바디 와 상기 지지 핀 을 상기 핀 고 정체 에 고정 시키 는 체 결구 를 포함 하 되 , 상기 바디 는 제 1 부분 , 상기 제 1 부분 과 마주 보 며 , 상기 제 1 부분 과 이격 하 게 설치 되 는 제 2 부분 , 그리고 상기 제 1 부분 과 상기 제 2 부분 각각 으로부터 연장 되 어 이 들 을 연결 하 는 연결부 를 포함 하 되 , 상기 제 1 개 구 는 상기 제 1 부분 , 상기 제 2 부분 , 그리고 상기 연결부 가 조합 되 어 형성 되 며 , 상기 체 결구 는 상기 제 1 개 구 에서 상기 지지 핀 보다 상기 연결부 로부터 더 멀리 떨어진 위치 에서 상기 제 1 부분 및 상기 제 2 부분 에 체결 된다 .