도 40 에 도시 된 바 와 같이 , 로드 챔버 ( 100 ) 와 언로 드 챔버 ( 110 ) 가 같 은 편 에 구성 되 도록 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 가 U 자 형 으로 배열 될 수 있 다 . 이때 , 회전 구간 ( 130 ) 은 별도 의 공정 챔버 가 설치 되 지 않 고 단지 피 처리 기판 을 순환 시킬 수 있 는 이송 수단 이 구비 되 도록 할 수 있 을 것 이 다 . 또는 회전 구간 에 도 공정 챔버 를 배치 할 수 도 있 을 것 이 다 . 또는 도 41 에 도시 된 바 와 같이 , 로드 챔버 ( 100 ) 와 언로 드 챔버 ( 110 ) 사이 에 배열 된 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 는 임의 의 구간 에서 순환 되 는 배열 구조 를 가질 수 있 다 .