원 하 는 임계 치수 보다 작 은 선폭 을 가진 불량 패턴 이 포토 마스크 상 에 구현 되 면 , 패턴 크기 차이 로 인해 패턴 과 패턴 사이 의 간격 ( spacing ) 차이 가 발생 된다 . 즉 , 정상 패턴 과 정상 패턴 사이 의 영역 보다 작 은 선폭 을 가진 불량 패턴 과 정상 패턴 사이 의 영역 은 상대 적 으로 넓 은 간격 ( spacing ) 으로 나타나 게 된다 . 패턴 과 패턴 사이 의 영역 은 광이 투과 하 는 영역 으로 간격 이 넓 을수록 투과 되 는 광량 이 많 아 지 게 되 므로 , 웨이퍼 상 에 도 작 은 선폭 을 가진 불량 패턴 을 형성 하 게 된다 .