그러나 , 이 들 기계 적 인 해결 수단 은 화학 적 인 근본 문제 를 그대로 내포 하 고 있 는 것 이 어서 극히 제한 된 범위 내 에서 만 개선 효과 를 보일 뿐 장비 상 에서 해결 할 수 있 는 문제 의 한계 성 을 드러낸다 . 즉 , 미세 분사 장치 에서 도 사용 온도 가 항상 가장 민감 한 문제 여서 , 사용 하 는 유기 금속 물질 의 온도 를 비등점 ( boiling point ) 에 도달 하 도록 충분히 올려 주 는 것 이 이상 적 이 겠 으나 모든 유기 금속 전구체 는 열분해 온도 가 적당히 낮 은 특성 을 가진 것 들 이 이용 되 고 있 으므로 올릴 수 있 는 온도 에 한계 를 갖 는다 . 또한 , 정밀 한 미세 분사 장치 와 관련 한 민감 한 조건 들 이 수시로 문제 를 일으켜 불량 률 이 증가 하 고 생산 성 이 저하 되 는 문제 가 발생 하 였 다 .