한편 , 제 2 처리 예 에서 는 , 예 를 들 면 , 메탈 계 소수 화제 가 제 1 소수 화제 로서 사용 되 며 , 실리콘 계 소수 화제 가 제 2 소수 화제 로서 사용 된다 . 즉 , 하 층막 ( 제 3 막 ( 32 c ) ) 을 소수 화 시킨 후 에 상 층막 ( 제 1 막 ( 32 a ) 및 제 2 막 ( 32 b ) ) 을 소수 화 시키 고 , 하 층막 , 상 층막 의 순번 대로 기판 ( W ) 을 소수 화 시킨다 . 따라서 , 제 1 막 ( 32 a ) , 제 2 막 ( 32 b ) , 및 제 3 막 ( 32 c ) 이 각각 , 금속 막 , 실리콘 을 포함 하 는 막 , 실리콘 을 포함 하 는 막인 경우 에 는 , 제 2 처리 예 에서 는 , 예 를 들 면 , 실리콘 계 소수 화제 가 제 1 소수 화제 로서 사용 되 며 , 메탈 계 소수 화제 가 제 2 소수 화제 로서 사용 된다 .