즉 , 본 실시 형태 ( 2 ) 에서 는 3 종류 의 전하 전송 전극 ( 전하 전송 게이트 ) ( 2 , 3 및 21 ) 으로서 서로 다른 각 구동 펄스 ( φ H 1 , φ H 2 및 φ H 3 ) 가 각각 인가 되 고 , 구동 펄스 ( φ H 1 , φ H 2 및 φ H 3 ) 중 구동 펄스 ( φ H 3 ) 를 공급 하 기 위한 메탈 배선 ( 22 ) 의 인 출부 ( 22 b ) 가 다른 남 는 메탈 배선 ( 4 , 5 ) 의 인 출부 ( 4 b , 5 b ) 및 그 외부 접속 단자 로서 의 패드 ( 7 , 8 ) 보다 외측 을 지나 서 우회 해서 배선 된다 .