구체 적 인 실시 예 를 설명 한다 . 예 를 들 면 , 도 8 에 나타내 는 소정 의 커맨드 에 있 어서 의 권한 설정 화면 ( 400 ) 상 에서 , 파일 유지 관리 의 권한 설정 을 온라인 시 에 ' 금지 ( Inhibit ) ', 오프라인 시 에 ' 실행 가능 ( Exec ) ' 이라고 설정 함 으로써 , 온라인 시 에 기판 처리 장치 ( 10 ) 가 자동 운전 되 고 있 는 동안 에 , 기판 처리 와 전혀 관계 가 없 는 파일 유지 관리 처리 가 이루어지 는 일 이 없 다 . 즉 , 메인 컨트롤러 에 필요 이상 의 부하 를 걸 지 않 아도 된다 .