발명자 들 은 각각 의 개별 적 RF 구동 포인트 ( 51 , 53 ) 와 전기 접지 사이 의 부하 임피던스 는 상기 나열 된 최종 아이템 , 각각 의 개별 적 RF 구동 포인트 로부터 플 라즈 마 외장 에 면하 는 샤워 헤드 ( 22 ) 의 표면 , 즉 , 샤워 헤드 의 하부 표면 으로 의 전극 내 에 RF 전류 경로 의 임피던스 에 의하 여 조절 된다는 것 을 발견 했 다 . RF 구동 포인트 들 이 후 방벽 의 둘레 에 매우 근접 하 지 않 는 경우 , 각각 의 개별 RF 구동 포인트 로부터 의 RF 전류 경로 가 루프 를 형성 하 기 때문 에 이러 한 임피던스 는 유도 성 이 며 , 상기 루프 에서 , 전류 는 RF 구동 포인트 ( 51 , 53 ) 로부터 후 방벽 의 둘레 로 방사상 으로 바깥 으로 후 방벽 을 통해 흐르 고 , 그 다음 서스펜션 ( 24 ) 아래 의 샤워 헤드 ( 22 ) 의 둘레 로 흐르 며 , 그 다음 하부 표면 의 중심 을 향해 방사상 으로 안쪽 방향 으로 샤워 헤드 의 하부 표면 을 통해 흐른다 .