본 개시 에 따라 , 리 쏘 그래피 투영 장치 의 노광 복사선 으로 패 터닝 한 이후 , 특수 현상액 으로 복사선 개질 가능 층 의 일부 를 제거 할 필요 가 없 을 수 있 다 . 매우 작 은 특징 부 크기 에서 , 복사선 개질 가능 층 의 일부 를 제거 한 후 에 패턴 붕괴 될 위험 이 있 을 수 있 다 . 패턴 붕괴 의 위험 은 더 두꺼운 복사선 개질 가능 층 일수록 증가 할 수 있 다 . 복사선 개질 가능 층 의 일부 를 현상액 으로 제거 하 지 않 음 으로써 , 복사선 개질 가능 층 은 더 안정 화 될 수 있 다 .