이 포토레지스트 스트립 장치 는 4 개 의 챔버 를 갖 고 있 으며 , 큰 파트 ( part ) 별로 구분 하 면 포토레지스트 패턴 의 크러스트 제거 파트 ( 102 , 103 ) , 포토레지스트 패턴 스트립 파트 ( 104 , 105 ) 로 나눌 수 있 다 . 또한 , 웨이퍼 ( wafer ) 를 장치 내 로딩 / 언로 딩 ( loading / unloading ) 시키 기 위한 파트 ( 101 , 106 ) 도 구비 된다 .