흡입 장치 ( 8 ) 내 의 흡입 채널 ( 13 ) 에 는 전극 ( 3 ) 또는 운반기 ( 3 ) 및 따라서 기 판 ( 4 ) 에 대한 정지 표면 ( 14 ) 을 형성 하 는 바 들 ( bars , 17 ) 이 제공 된다 . 따라서 , 운반기 ( 3 ) 또는 기판 ( 4 ) 의 평면 정렬 및 카운터 전극 ( 2 ) 에 대한 대응 하 는 평면 평행 성 ( plane parallelism ) 이 달성 된다 .