S - D 이력 데이터 는 GOF 데이터 , 온도 데이터 , 두께 데이터 , 비아 관련 데이 터 , CD 데이터 , CD 프로파일 데이터 , 재료 관련 데이터 , 트렌치 관련 데이터 , 측벽 각 데이터 , 차동 폭 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 데이터 는 기타 중 에서 사이트 결과 데이터 , 사이트 수 데이터 , CD 측정 플래그 데이터 , 측정 사이트 수 데이터 , 좌표 X 데이터 , 좌표 Y 데이터 를 포함 할 수 있 다 .