빔 파크 장치 ( 24 ) 는 , 한 쌍 의 파크 전극 ( 25 a , 25 b ) 의 사이 에 인가 되 는 전장 을 이용 하 여 이온 빔 을 편향 시키 고 , 빔 라인 ( A ) 으로부터 이온 빔 을 퇴피 시킨다 . 예 를 들 면 , 제 1 파크 전극 ( 25 a ) 의 전위 를 기준 으로 하 여 제 2 파크 전극 ( 25 b ) 에 부 ( 負 ) 전압 을 인가 함 으로써 , 이온 빔 을 빔 라인 ( A ) 으로부터 중력 방향 하방 으로 편향 시켜 빔 덤프 ( 26 ) 에 입사 시킨다 . 도 2 에 있 어서 , 빔 덤프 ( 26 ) 를 향하 는 이온 빔 의 궤적 을 파선 ( 破線 ) 으로 나타내 고 있 다 . 또 , 빔 파크 장치 ( 24 ) 는 , 한 쌍 의 파크 전극 ( 25 a , 25 b ) 을 동전 위 로 함 으로써 , 이온 빔 을 빔 라인 ( A ) 을 따라 하류 측 에 통과 시킨다 . 빔 파크 장치 ( 24 ) 는 , 이온 빔 을 하 류 측 에 통과 시키 는 제 1 모드 와 , 이온 빔 을 빔 덤프 ( 26 ) 에 입사 시키 는 제 2 모드 를 전환 하 여 동작 가능 하 게 되 도록 구성 된다 .