제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 및 제 2 금속 구 조체 ( 43 ) 의 돌출부 의 개수 ( N ) 는 이중 양자 화 캐 패 시 턴 스 디지털 변환기 ( CDC ) 의 성능 에 따라 정할 수 있 다 . 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 및 제 2 금속 구 조체 ( 43 ) 는 베이스 ( 41 ) 의 상면 중앙부 에 서로 이격 되 어 상 방향 으로 돌출 설치 되 므로 , 돌출 된 부위 를 돌출부 라고 한다 . 예 를 들 어 , 이중 양자 화 캐 패 시 턴 스 디지털 변환기 ( CDC ) 의 유효 비트 수 ( Effective number of bits ; ENOB ) 를 a ( bits ) 라고 하 고 , 이중 양자 화 캐 패 시 턴 스 디지털 변환기 ( CDC ) 의 입력 캐 패 시 턴 스 영역 을 b ( pF ) 라고 하 고 , 압력 센서 의 필요 사양 인 해상도 를 c psi 라고 가정 하 면 , " 본 발명 의 실시 예의 압력 센서 의 돌출부 의 개수 ( N ) 범위 는 "" Δ C ( for c psi ) = Δε r ㆍ N ㆍ ε o ㆍ ( A / d ) ㆍ 1 . 3 = ( 36 . 4 ppm / psi ㆍ c ) ㆍ N ㆍ ε o ㆍ ( A / d ) ㆍ 1 . 3 "" 을 충족 하 는 것 이 바람직 하 다 . 여기 서 ", ε r 는 상대 유전율 을 나타내 고 , ε 0 는 진공 유전율 을 나타내 며 , A 는 면적 ( height * length ) 이 며 , d 는 돌출부 간 거리 ( cavity width ) 를 나타낼 수 있 다 . 본 발명 의 실시 예의 압력 센서 는 이중 양자 화 캐 패 시 턴 스 디지털 변환기 ( CDC ) 의 절대 해상도 ( absolute resolution ) 보다 큰 변화 만 감지 가능 하 다 ( Δ C > Cabs . res ) . 그 에 따라 , N > b / ( 2 a ㆍ 36 . 4 ppm ㆍ c ㆍ ε o ㆍ ( A / d ) ㆍ 1 . 3 ) 이 어야 한다 . 압력 센서 의 전체 캐 패 시 턴 스 는 이중 양자 화 캐 패 시 턴 스 디지털 변환기 ( CDC ) 의 입력 캐 패 시 턴 스 영역 보다 작 아야 한다 . 만약 , 플로팅 캐 패 시 턴 스 ( floating capacitance ) 로 사용 하 였을 경우 N < b / ( ε o ㆍ ( A / d ) ㆍ 1 . 75 ) 일 것 이 다 .