일 예 로서 , 상기 제 2 도 전막 ( 114 ) 을 금속 또는 금속 을 포함 하 는 물질 로 형성 하 는 경우 에 는 , 우선 금속 원자 의 확산 을 방지 하 기 위하 여 상기 개구부 ( 112 ) 내 측면 및 저면 에 베리 어 막 ( barrier layer ) 으로서 티타늄 막 을 증착 한 후 , 상기 티타늄 막 상 에 제 2 도 전막 ( 114 ) 으로서 티타늄 질화 막 을 증착 할 수 있 다 .