드럼 ( 20 ) 의 내부 에 는 , 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 에 지지 된 디바이스 칩 을 아래쪽 으로부터 밀 어 올리 는 푸 시업 기구 ( 34 ) 가 배치 된다 . 푸 시업 기구 ( 34 ) 는 , 예컨대 티탄산 지르콘 산연 ( PZT ) , 티탄산 바륨 , 티 탄산연 등 의 압 전 세라믹스 , 또는 수정 진동자 등 으로 구성 되 는 초음파 진동자 ( 34 a ) 를 상단 에 구비 한다 . 또한 , 드럼 ( 20 ) 의 위쪽 에 는 , 디바이스 칩 을 흡인 유지 할 수 있 는 콜 릿 ( 36 ) [ 도 10 의 ( B ) 참조 ] 이 배치 된다 . 푸 시업 기구 ( 34 ) 및 콜 릿 ( 36 ) 은 , 프레임 지지대 ( 26 ) 의 상면 을 따른 수평 방향 으로 이동 가능 하 다 . 또한 , 콜 릿 ( 36 ) 은 , 전 환부 ( 36 b ) [ 도 10 의 ( B ) 참조 ] 를 통해 흡 인원 ( 36 a ) [ 도 10 의 ( B ) 참조 ] 에 접속 된다 .