약액 노즐 ( 31 ) 은 약액 노즐 ( 31 ) 에 약액 을 안내 하 는 약액 배관 ( 34 ) 에 접속 된다 . 약액 배관 ( 34 ) 에 개장 ( 改裝 ) 된 약액 밸브 ( 35 ) 가 열리 면 , 약액 이 약액 노즐 ( 31 ) 의 토출구 에서 하방 으로 연속 적 으로 토출 된다 . 약액 노즐 ( 31 ) 에서 토출 되 는 약액 은 황산 , 질산 , 염산 , 불 산 , 인산 , 초산 , 암모니아수 , 과산화 수소 수 , 유기산 ( 예 를 들 어 구연산 , 옥살산 등 ) , 유기 알칼리 ( 예 를 들 어 , TMAH ： 수산화 테트라메틸 암모늄 등 ) , 계면 활성제 , 및 부식 방지 제 의 적어도 1 개 를 포함 하 는 액 이라도 좋 고 , 그 이외 의 액체 여도 좋 다 .