수정 진동자 ( 30 ) 의 전 극막 ( 32 , 33 ) 에 교류 전압 을 인가 하 면 , 수정 의 압 전 특성 으로 인해 수정 진동자 ( 30 ) 는 진동 을 하 며 , 수정 판 의 두께 가 일정 한 조건 을 만족 시키 는 경우 , 공진 주파수 로 진동 을 하 게 된다 . 이러 한 수정 진동자 ( 30 ) 의 공진 주파수 는 전 극막 ( 32 ) 상 에 퇴적 되 는 성막 재료 의 질량 변동 에 따라 변화 하 며 , 수정 진동자 ( 30 ) 의 공진 주파수 의 변동 값 과 성막 재료 의 질량 변동 값 간 에 는 아래 와 같 은 관계식 ( Sauerbrey 식 ) 이 성립 한다 .