제 1 반송 장치 ( 600 ) 는 공정 챔버 ( 200 ) 에서 기판 처리 가 진행 되 는 동안 엔드 이펙터 ( 611 ) 가 기판 지지 부 ( 210 ) 에 끼워진 상태 를 유지 한다 . 이때 , 제 1 반송 장치 ( 600 ) 는 전체 적 으로 기판 지지 부 ( 210 ) 의 상부 표면 에 놓여진 기판 ( W ) 보다 낮 게 위치 됨 으로 기판 처리 과정 에서 기판 에 부적절 한 영향 을 미치 지 못한다 . 기판 처리 가 완료 되 면 기판 지지 부 ( 210 ) 로부터 엔드 이펙터 ( 611 ) 가 빠져 나오 는 과정 에서 다시 기판 지지 부 ( 210 ) 로부터 기판 ( W ) 을 들 어 올려 반송 시킨다 .