도 12 는 , 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 위치 결정 장치 및 노광 장치 의 구성 들 을 개략 적 으로 도시 하 는 도면 이 다 . 노광 장치 는 , 원판 ( 레티 클 ) R 을 위치 결정 하 기 위한 원판 스테이지 장치 RS , 원판 R 을 조명 하 기 위한 조명 광학계 IL , 기판 ( 웨이퍼 ) W 를 위치 결정 하 기 위한 위치 결정 장치 WS , 및 원판 R 의 패턴 을 기판 W 에 투영 하 기 위한 투영 광학계 PL 을 포함 할 수 있 다 . 노광 장치 는 , 기판 W 에 원판 R 의 패턴 을 투영 하 여 기판 W 에 도포 되 어 있 는 감광제 ( photosensitive agent ) 에 잠상 패턴 ( latent image pattern ) 을 형성 하 도록 구성 될 수 있 다 .