또한 , 이 유지 장치 에서 는 , 각 가열 존 내 에 있 어서 상대 적 으로 온도 가 낮 은 제 1 비아 와 , 각 가열 존 내 에 있 어서 상대 적 으로 온도 가 높 은 제 3 발열체 가 , 적어도 일부 가 겹치 게 배치 되 고 , 또한 , 각 가열 존 내 에 있 어서 상대 적 으로 온도 가 낮 은 제 2 비아 와 , 각 가열 존 내 에 있 어서 상대 적 으로 온도 가 높 은 복수 의 제 1 발열체 중 어느 것 이 , 적어도 일부 가 겹치 게 배치 되 어 있 으므로 , 각 가열 존 의 평면 방향 에 있 어서 의 온도 분포 를 균일화 시킬 수 있 다 .