하우징 ( 3210 ) 은 대체로 직육면체 의 형상 으로 제공 된다 . 하우징 ( 3210 ) 의 측벽 에 는 기판 ( W ) 이 출입 되 는 반 입구 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 형성 된다 . 반 입구 는 개방 된 상태 로 유지 될 수 있 다 . 선택 적 으로 반 입구 를 개폐 하 도록 도어 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 제공 될 수 있 다 . 냉각 유닛 ( 3220 ) , 가열 유닛 ( 3230 ) , 그리고 반송 플레이트 ( 3240 ) 는 하우징 ( 3210 ) 내 에 제공 된다 . 냉각 유닛 ( 3220 ) 및 가열 유닛 ( 3230 ) 은 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 나란히 제공 된다 . 일 예 에 의하 면 , 냉각 유닛 ( 3220 ) 은 가열 유닛 ( 3230 ) 에 비해 반송 챔버 ( 3400 ) 에 더 가깝 게 위치 될 수 있 다 .