그리고 , 이전 사이클 을 실시 한 후 다음 사이클 을 시작 하 기 전 에 , 4 내지 6 초 정도 의 일정 대기 시간 을 갖 도록 하 며 , 대기 시간 에 연마 종료 점 을 검출 하 기 위한 프로세스 를 실시 한다 . 상기 프로세스 시 연마 종료 점 이 검출 되 지 않 으면 , 다음 사이클 로 진행 하 도록 하 고 , 연마 종료 점 이 검출 되 면 다음 사이클 로 진행 하 지 않 고 공정 을 종료 시킨다 . 대기 시간 동안 에 도 연마 헤드 ( 20 ) 와 연마 패드 ( 40 ) 의 회전 상태 는 그대로 유지 되 도록 한다 .