이어서 , 승강 기구 ( 2 d ) ) 가 구동 함 으로써 방향 ( LD ) 을 따라 로봇 핸드 ( 2 c ) 가 하강 하 고 , 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 처리 종료 된 기판 을 기판 지지 핀 ( 30 ) ( 30 a , 30 b , 30 c ) 상 에 배치 한다 . 이 로 인해 로봇 핸드 ( 2 c ) 에서 기판 지지 핀 ( 30 ) ( 30 a , 30 b , 30 c ) 에 대한 처리 종료 된 기판 의 수수 가 수행 된다 . 처리 종료 된 기판 은 위치 결정 기구 ( 41 , 42 , 43 , 44 ) 에 의해 위치 결정 된다 . 그 후 , 처리 종료 된 기판 과 로봇 핸드 ( 2 c ) 가 이간 한 상태 에서 , 암 ( 2 b ) 은 처리 종료 된 기판 의 하방 위치 에서 트랜스퍼 챔버 ( 2 ) 를 향해 이동 한다 . 즉 , 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 로드 락 챔버 ( 10 ) 에서 퇴피 하 고 , 진공 측 게이트 밸브 ( VG 1 ) 가 닫힌다 .