다음 으로 , 기판 ( W ) 을 건조 시키 는 건 조 처리 ( 건조 공정 , 증발 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 205 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 기판 ( W ) 의 상면 에 부착 되 어 있 는 제 1 소수 화제 의 액적 을 증발 시킴 으로써 , 기판 ( W ) 을 건조 시킨다 ( 건조 처리 ) . 제 어 장치 ( 22 ) 는 스핀 척 ( 2 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시킴 으로써 , 기판 ( W ) 의 회전 에 의해 생기 는 기류 에 의해 제 1 소수 화제 의 액적 을 증발 시켜 도 좋 고 , 기판 ( W ) 을 정지 시키 면서 제 1 소수 화제 의 액적 을 자연 적 으로 증발 시켜 도 좋 다 . 또한 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 반송 로봇 에 의해 기판 ( W ) 을 반송 시키 면서 제 1 소수 화제 의 액적 을 증발 시켜 도 좋 다 .