또 , 솔 더 ( solder ) 를 변색 시키 지 않 고 Ti , TiW 합금 을 에칭 하 는 것 을 목적 으로 , 예 를 들 면 , 과산화수소 , 포스폰산 계 화합물 등 을 함유 하 는 에칭 액 이 개시 되 어 있 다 ( 특허 문헌 2 ) . 그러나 , 포스폰산 계 화합물 로 는 질소 함유 포스폰산 밖에 개시 되 어 있 지 않 으나 , 이 와 같 은 포스폰산 계 화합물 은 , 예 를 들 면 , 그 용액 이 강하 게 착색 하 고 있 고 , 반도체 기판 용 에칭 제 로 사용 하 기 에 는 금속 불순물 이 많 기 때문 에 , 과산화수소 함유 용액 에 첨가 하 였을 경우 , 안정 성 이 염려 되 는 등 의 문제 를 가지 고 있 었 다 .