상부 전극 ( 120 ) 은 , 그 둘레 를 피복 하 는 실드 링 ( 122 ) 을 통해서 처리 실 ( 102 ) 의 천 정부 에 설치 되 어 있 다 . 상부 전극 ( 120 ) 은 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 전기 적 으로 접지 하 더라도 좋 고 , 또한 도시 하 지 않 는 가변 직류 전원 을 접속 하 여 상부 전극 ( 120 ) 에 소정 의 직류 ( DC ) 전압 이 인가 되 도록 구성 하 더라도 좋 다 .