본 발명 에 따라 유리 하 게 는 , 프로브 카드 ( 20 ) 는 플렉시블 멤 브레인 ( 25 ) 의 중심부 ( 25 A ) 에 형성 된 제 1 면 ( F 1 ) 상 에 배치 된 복수 의 콘 택 팁 들 ( 27 ) 을 포함 하 는데 , 상기 제 1 면 ( F 1 ) 은 도 2 의 위치 적 참조 에 따르 면 플렉시블 멤 브레인 ( 25 ) 의 하 부면 이 다 .