온도 조절기 가 하부 스테이지 ( 하부 전극 ) ( 2 ) 에 제공 될 수 있 고 , 그 위 에 놓인 기판 ( 1 ) 의 온도 는 비교 적 일정 한 온도 로 유지 될 수 있 다 . 상부 전극 ( 4 ) 은 샤워 플레이트 로서 의 역할 도 수행 할 수 있 고 , 반응물 가스 ( 및 선택 적 으로 귀 가스 와 같 은 불활성 가스 ) 및 / 또는 퍼지 가스 는 가스 라인 ( 41 내지 44 ) 각각 을 통해 , 그리고 샤워 플레이트 ( 4 ) 를 통해 반응 챔버 ( 3 ) 로 유입 될 수 있 다 .