그리고 , 척 테이블 ( 60 ) 에 있 어서 는 , 흡착 척 ( 80 ) 의 상면 에 흡 인원 으로 흡인력 을 생성 하 는 것 에 의해 , 흡착 척 ( 80 ) 의 상면 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 도록 되 어 있 다 . 또한 , 척 테이블 ( 60 ) 에 있 어서 는 , 에 어 공급원 으로부터 흡착 척 ( 80 ) 에 에어 를 공급 하 여 흡착 척 ( 80 ) 의 상면 으로부터 에어 를 분출 하 는 것 에 의해 , 흡착 척 ( 80 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 이격 시키 도록 되 어 있 다 .