이어서 , 도 15 k 에 도시 한 바 와 같이 , 제 2 컨 택 홀 ( CH 2 ) 및 제 3 컨 택 홀 ( CH 3 ) 을 형성 하 여 제 1 내지 제 3 절연 층 들 ( IL 1 , IL 2 , IL 3 ) 을 형성 한다 . 제 2 컨 택 홀 ( CH 2 ) 및 제 3 컨 택 홀 ( CH 3 ) 은 제 1 내지 제 3 절연 층 들 ( IL 1 , IL 2 , IL 3 ) 을 관통 하 도록 형성 한다 .