노즐 본 체부 ( 30 ) 는 , 제 1 본 체부 ( 35 ) 와 , 제 2 본 체부 ( 36 ) 를 갖 는다 . 제 1 본 체부 ( 35 ) 는 , Z 축 방향 으로 연장 된다 . 제 1 본 체부 ( 35 ) 에 는 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 유로 ( 35 a ) 가 형성 된다 . 제 1 유로 ( 35 a ) 는 , Z 축 방향 을 따라 형성 된다 . 제 1 유로 ( 35 a ) 는 , 노즐 블록 ( 20 ) 의 처리 액 공급 로 ( 20 a ) ( 도 4 참조 ) 에 연통 된다 . 즉 , 제 1 본 체부 ( 35 ) 에 는 , 처리 액 공급 로 ( 20 a ) 에 연통 되 는 제 1 유로 ( 35 a ) 가 형성 된다 . 상방 의 제 1 본 체부 ( 35 ) 에 는 , 노즐 블록 ( 20 ) 의 제 3 오 목부 ( 20 d ) ( 도 4 참조 ) 에 삽입 되 는 도입부 ( 35 b ) 가 설치 된다 . 도입부 ( 35 b ) 의 외벽 면은 , 원형 으로 형성 된다 .