이 동작 설명 에 있 어서 도 , 처리 층 ( C 1 ) 에 기판 ( W ) 을 반송 했 을 경우 , 처리 층 ( C 1 ) , 처리 층 ( A 1 ) , 처리 층 ( B 1 ) 의 순서 대로 처리 가 행해진다 . 또 , 처리 층 ( C 2 ) 에 기판 ( W ) 을 반송 했 을 경우 , 처리 층 ( C 2 ) , 처리 층 ( A 2 ) , 처리 층 ( B 2 ) 의 순서 대로 처리 가 행해진다 . 또한 , 처리 층 ( C 1 ) , 처리 층 ( A 2 ) , 처리 층 ( B 2 ) 의 순서 대로 처리 해도 된다 . 또 , 처리 층 ( C 2 ) , 처리 층 ( A 1 ) , 처리 층 ( B 1 ) 의 순서 대로 처리 해도 된다 .