실험 예 4 의 경우 프로그램 및 이 레이즈 를 반복 하 지 않 은 경우 는 열처리 전 , 후 의 문턱 전압 의 차이 가 0 . 1 V 였으나 , 프로그램 및 이 레이즈 를 1 , 200 회 반복 한 경우 열처리 전 , 후 의 문턱 전압 의 차이 가 0 . 3 V 로 상승 하 였 다 . 도핑 되 지 않 은 폴리 실리콘 상 에 탄 탈륨 질화물 을 증착 하 여 플로팅 게이트 로 사용 하 는 경우 , 데이터 유지 특성 이 개선 됨 을 알 수 있 었 다 .