종래 , 이러 한 유기 막 재료 에 는 페놀 계 나 나프톨 계 화합물 에 대하 여 축합제 로서 케톤 류 나 알데히드 류 등 의 카르보닐 화합물 이나 방향 족 알코올 류 를 이용 한 축합 수지 류 가 다층 레지스 트 법 용 유기 막 형성 용 재료 로서 알려져 있 다 . 예컨대 , 특허 문헌 2 에 기재 된 플 루 오렌 비스 페놀 노볼락 수지 , 특허 문헌 3 에 기재 된 비스 페놀 화합물 및 이 의 노볼락 수지 , 특허 문헌 4 에 기재 된 아 다만 탄 페놀 화합물 의 노볼락 수지 , 특허 문헌 5 에 기재 된 비스 나프톨 화합물 및 이 의 노볼락 수지 등 을 예시 할 수 있 다 . 이러 한 재료 에 이용 되 는 수지 는 탄소 밀도 가 높 은 나프탈렌 , 플 루 오렌 , 아 다만 탄 등 을 주 골격 으로 구성 하 고 있 지만 에칭 내성 , 비틀림 내성 은 충분 하 지 않 아 한층 더 에칭 개선 이 요구 되 고 있 다 .