상술 한 건 조 영역 ( 184 ) 은 충분히 넓 은 공간 으로써 제공 되 는 것 이 바람직 하 다 . 건조 영역 ( 184 ) 이 기판 ( W ) 의 직경 보다 좁 은 공간 으로써 제공 되 거나 건조 영역 ( 184 ) 내 기판 ( W ) 이 위치 된 영역 에서 건조 가스 의 흐름 이 주위 환경 으로부터 영향 을 받 아 유동 되 면 건조 불량 이 발생 된다 . 예컨대 , 주위 환경 의 영향 으로 는 장치 ( 100 ) 의 상부 에 존재 하 는 파티클 및 기류 의 흐름 을 제어 하 기 위해 설치 된 헤 파 필터 ( hepa filter ) ( 700 ) 에 의해 발생 되 는 처리 실 ( 100 ) 을 향하 는 방향 으로 의 기류 의 흐름 또는 냉각 영역 에 공급 되 는 냉각수 의 유량 등 이 있 다 . 상술 한 외부 환경 의 영향 을 최소 화 하 기 위해 쿨링 라인 ( 420 ) 으로 공급 되 는 냉각수 의 유량 을 조절 하 거나 기판 ( W ) 을 배스 ( 130 ) 내 로 로딩 하 는 이송 로봇 ( 600 ) 의 높이 를 조절 하 는 등 의 제어 가 이루어지 고 있 으나 관리 및 제어 가 용이 하 지 않 다 . 건조 영역 을 넓 은 공간 으로써 제공 하 면 , 상술 한 문제점 은 방지 할 수 있 으나 장치 ( 10 ) 의 높이 가 매우 증대 되 는 문제 가 있 다 .