템플 릿 또는 대상물 의 언급 된 표면 거칠 기 뿐 만 아니 라 , 폴리머 호일 및 템플 릿 또는 프레스 되 는 대상물 사이 에서 사용 된 폴리머 호일 입자 의 부드러움 때문 에 , 도 1 b ) , 1 e ) 및 1 h ) 에서 도시 된 임프 린트 공정 동안 , 폴리머 호일 또는 관련 된 대상물 중 하나 의 , 명백 한 손상 들 이 예방 될 것 이 다 .