각 셀 의 높이 ( h ) 는 2 mm 이상 , 4 mm 이상 , 5 mm 이상 , 6 mm 이하 , 8 mm 이하 , 10 mm 이하 또는 이 들 값 의 임의 의 조합 이 다 . 특히 , 각 셀 의 높이 ( h ) 는 2 내지 10 mm , 바람직 하 게 는 4 내지 8 mm , 더욱 바람직 하 게 는 5 내지 6 mm 의 범위 에 있 다 . 가장 바람직 하 게 는 , 각 셀 의 높이 는 약 6 mm 이 다 . 이론 에 구속 되 지 않 고 , 그리드 셀 의 낮 은 높이 ( 즉 , 10 mm 이하 ) 는 웨이퍼 표면 에서 유입 되 는 종 에 높 은 방향 성 을 부여 하 지 않 으면서 스퍼터링 된 물질 의 물리 적 인 시준 을 제공 하 는 것 으로 여겨진다 . 그리드 셀 의 높이 및 결과 적 으로 는 그리드 의 종횡비 의 신중 한 선택 에 의해 , 증착 된 막 의 웨이퍼 내 응력 범위 는 놀랍 게 도 상당히 감소 될 수 있 다 .