게 속 도 3 을 참조 하 면 , 리드 조립 체 ( 200 ) 는 리드 조립 체 ( 200 ) 내 의 반응 종 들 의 플 라즈 마 를 발생 시키 기 위해서 전극 ( 240 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 , 전극 ( 240 ) 은 최 상부 플레이트 ( 250 ) 상 에서 지지 되 며 이 로부터 전기 적 으로 절연 된다 . 아이솔레이터 필러 링 ( isolator filler ring ) ( 도시 되 지 않 음 ) 은 최 상부 플레이트 ( 250 ) 로부터 전극 ( 240 ) 을 분리 시키 는 전극 ( 240 ) 의 하부 부분 둘레 에 배치 된다 . 환상 아이솔레이터 ( annular isolator ; 도시 되 지 않 음 ) 가 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 최 상부 플레이트 ( 250 ) 의 상부 표면 상 에 놓이 며 아이솔레이터 필러 링 의 상부 부분 둘레 에 배치 된다 . 환상 아이솔레이터 ( 도시 되 지 않 음 ) 는 그 후 전극 ( 240 ) 의 상부 부분 둘레 에 배치 되 어 전극 ( 240 ) 이 리드 조립 체 ( 200 ) 의 다른 부품 으로부터 전기 적 으로 절연 된다 . 각각 의 이러 한 링 들 , 아이솔레이터 필러 및 환상 아이솔레이터 들 은 알루미늄 산화물 또는 임의 의 다른 전기 적 절연체 , 프로세스 호환 재료 로 형성 될 수 있 다 .