이어서 , 단계 S 31 에서 , 기판 ( 2 ) 이 임프 린트 장치 ( 100 ) 에 반입 된다 . 기판 ( 2 ) 이 임프 린트 장치 ( 100 ) 에 반입 되 면 , 기판 ( 2 ) 에 형성 된 복수 의 샷 영역 의 레이아웃 을 계측 하 고 결과 를 레이아웃 정보 ( 위치 정보 ) 로서 등록 하 는 공정 이 행해진다 . 통상 , 등록 시퀀스 에서 는 , 2 개 이상 의 샷 의 얼라인먼트 마크 를 계측 하 고 위치 정보 를 등록 한다 . 얼라인먼트 마크 의 위치 를 계측 할 때 에 , 대상 샷 영역 의 높이 가 계측 되 며 높이 정보 가 위치 정보 와 함께 등록 된다 . 본 실시 형태 에서 는 , 기판 ( 2 ) 에 형성 된 복수 의 샷 영역 중 에서 , 최초 임프 린트 처리 의 대상 이 되 는 제 1 샷 영역 을 계측 하 고 , 계측 결과 를 위치 정보 및 높이 정보 로서 추가 할 수 있 다 .