막 두께 측정 장치 ( 210 ) 는 열처리 장치 ( 200 ) 에서 성막 된 웨이퍼 ( W ) 중 , 도 5 의 ( c ) 의 모니터 웨이퍼 ( M 1 ∼ M 7 ) 의 모니터 개소 ( MP 1 ∼ MP 24 ) 의 막 두께 를 측정 한다 . 막 두께 측정 장치 ( 210 ) 에 의한 모니터 웨이퍼 ( M 1 ∼ M 7 ) 의 모니터 개소 ( MP 1 ∼ MP 24 ) 의 막 두께 의 측정 결과 는 , 자동 적 으로 또는 작업자 의 조작 에 따라서 티칭 포지션 최적화 장치 ( 220 ) 에 입력 된다 .