즉 , 원 소재 로 쓰이 는 인바 ( invar ) 시트 의 제작 사이즈 에 한계 가 있 다 . 주요 공급 업체 인 히타치 메탈 에서 생산 하 는 인바 시트 최대 폭 은 1150 mm 로 2500 mm 에 달하 는 8 세대 기판 사이즈 에 맞 는 마스크 제작 에 어려움 이 있 다 . 또한 , 통상 인바 시트 를 미세 패 터닝 하 기 위해 쓰이 는 화학 적 에칭 ( wet etching ) 방법 도 8 세대 이상 대면 적 사이즈 는 대응 할 수 있 는 장비 가 없 으며 , 장비 를 구성 한다 해도 장비 가격 이 지나치 게 고가 화 되 는 문제 가 있 다 .