이상 에서 는 , 본 발명 의 정전 척 장치 ( 23 ) 의 급전 단자 부 ( 32 ) 의 배치 구조 에 대하 여 도 3 및 4 를 들 어 설명 하 였으나 , 본 발명 은 이 에 한정 되 지 않 으며 , 급전 단자 부 ( 32 ) 가 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 외측 에 , 즉 , 자력 발생 부 ( 241 ) 의 배치 영역 을 관통 하 지 않 도록 설치 될 수 있 는 한 , 다양 한 배치 구조 및 형상 을 가질 수 있 다 . 예컨대 , 성막 장치 ( 2 ) 의 진공 챔버 ( 20 ) 외측 으로부터 인입 되 는 급전선 의 설치 위치 에 따라 , 급전선 과 의 연결 이 보다 간단 하 게 이루어질 수 있 도록 , 급전 단자 부 ( 32 ) 가 다양 한 형상 을 가질 수 있 다 . 예컨대 , 도 4 ( a ) 에 도시 된 급전 단자 부 ( 32 ) 의 자유 선 단부 가 성막 장치 ( 2 ) 의 진공 챔버 ( 20 ) 외부 상부 로부터 인입 되 는 급전선 과 의 연결 을 보다 간단 하 게 하 기 위해 상방 을 향해 구부러진 형상 을 가지 도록 변형 될 수 도 있 다 .