이 후 , 상기 제 2 이온 가속 단계 ( S 120 ) 에서 는 전압 을 가하 여 상기 이온 을 가속 시킨다 . 본 발명 의 일 실시 예 에서 는 10 내지 50 keV 의 에너지 로 상기 이온 을 가속 시킬 수 있 다 . 이 를 위해 상기 도 3 에서 설명 한 것 과 같 은 제 1 전력 공급원 ( 211 ) 을 이용 하 여 상기 이온 을 가속 시킬 수 있 다 .