예시 적 인 CNT 시드 층 은 질화 티탄 , 질화 탄탈 , 니켈 , 코발트 , 철 등 을 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 질화 티탄 또는 질화 탄탈 층 은 CNT 시드 층 으로서 사용 하 기 위해 요철 표면 이 되게 할 수 있 다 . 이러 한 요철 표면 의 질화 티탄 또는 질화 탄탈 은 자체 가 CNT 시드 층 으로 작용 한다 . 다른 실시 예 에서 , 요철 표면 의 질화 티탄 또는 질화 탄탈 층 은 CNT 물질 형성 을 용이 하 게 하 기 위해서 추가 의 도전 층 이 피복 될 수 도 있 다 . 이러 한 도전 층 은 질화 티탄 또는 질화 탄탈 층 과 함께 패 터닝 및 에칭 되 거나 , 또는 질화 티탄 또는 질화 탄탈 층 이 패 터닝 되 고 에칭 된 후 에 질화 티탄 또는 질화 탄탈 층 상 에 선택 적 으로 증착 될 수 있 다 . 바람직 한 도전 층 들 은 니켈 , 코발트 , 철 등 을 포함 한다 .