도 2 e 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 을 식각 방어 막 으로 하 여 상기 옥사이드 ( 230 ) 를 상기 1 차 보이드 ( 241 ) 의 최대 깊이 까지 식각 한다 . 상기 식각 은 플 라즈 마 식각 방법 을 이용 하 도록 한다 . 도 2 f 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 식각 완료 후 상기 마스크 패턴 ( 250 ) 을 제거 한다 .