본 발명 에 따른 레이저 어 닐 장치 는 엑 시머 레이저 빔 을 발생 시키 는 레이 저실 , 상기 레이 저실 에 레이저 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 , 상기 레이 저실 에서 사용 된 레이저 가스 를 배기 하 는 배기 부 , 상기 가스 공급 부 및 상기 배기 부 를 제어 하 는 제 어부 를 포함 하 며 , 상기 제 어부 는 상기 레이저 가스 의 에너지 산포 가 설정 값 에 도달 하 면 상기 배기 부를 구동 하 여 레이저 가스 의 일부 를 배기 시키 고 , 상기 가스 공급 부 를 구동 하 여 할로겐 가스 를 보충 하 도록 제어 한다 .