본 발명 에 따른 기판 건조 챔버 에 있 어서 , 상기 기판 배치 판 지 지부 에 의해 상기 하부 하우징 의 바닥 면 과 상기 기판 배치 판 사이 에 존재 하 는 제 1 이격 공간 은 상기 일체 형 공급 / 배출 포트 를 통해 공급 되 는 초기 가압 용 초임계 유체 가 상기 기판 배치 판 의 하면 을 따라 이동 하 여 상기 기판 이 배치 된 처리 영역 으로 점진 적 으로 확산 하 도록 유도 하 는 것 을 특징 으로 한다 .