진공 반송 로봇 ( 2 a ) 은 회전축 과 , 이 회전축 에 장착 된 암 ( 2 b ) 과 , 암 ( 2 b ) 의 선단 에 장착 된 로봇 핸드 ( 2 c ) 와 , 암 ( 2 b ) 및 로봇 핸드 ( 2 c ) 를 상하 방향 으로 이동 시키 는 승강 기구 ( 2 d ) 를 구비 한다 . 회전축 의 축 둘레 를 암 ( 2 b ) 이 회전 함 으로써 , 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 로드 락 챔버 ( 10 ) 및 프로세스 챔버 ( 1 A ~ 1 E ) 중 선택 된 1 개 의 프로세스 챔버 에 대향 하 는 위치 에 배치 된다 . 이 상태 에서 암 ( 2 b ) 이 구동 함 으로써 , 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 2 ) 와 선택 된 프로세스 챔버 사이 에서 이동 가능 하 다 . 승강 기구 ( 2 d ) 의 구동 에 의해 로봇 핸드 ( 2 c ) 는 상하 방향 을 따라 이동 가능 하 다 .