이어서 , 제 1 희생 절 연막 ( 102 A ) 내부 에 형성 된 상기 홀 이 매립 되 도록 제 2 희생 절 연막 ( 103 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 2 희생 절 연막 ( 103 ) 은 불순물 이온 이 도핑 된 절 연막 으로 형성 한다 . 바람직 하 게 는 제 1 희생 절 연막 ( 102 A ) 보다 고농도 로 불순물 이온 이 도핑 된 절 연막 으로 형성 한다 . 예컨대 , 제 2 희생 절 연막 ( 103 ) 은 인 , 붕소 또는 이 들 모두 의 도핑 농도 가 제 1 희생 절 연막 ( 102 A ) 보다 높 은 PSG 막 , BSG 막 또는 BPSG 막 으로 형성 한다 .