또한 , 처 리조 ( 40 ) 의 상방 개구 ( 40 a ) 의 상방 에 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 가 설치 되 어 있 기 때문 에 , 처 리조 ( 40 ) 내 에 저류 된 처리 액 으로부터 의 방열 을 억제 할 수 있 다 . 특히 , 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 기 위한 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 사이 의 간극 ( 개구 ) ( 88 ) 의 폭 은 동시 에 전달 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 매수 에 따라 변화 한다 . 따라서 , 간극 ( 88 ) 을 통한 제 1 약액 으로부터 의 방열 을 저감 할 수 있 다 . 또한 , 가동 식 셔터 ( 80 a , 80 b ) 의 개구 ( 88 ) 에 인접 하 는 가장자리 부 에 는 , 정류판 ( 86 a , 86 b ) 이 돌출 되 어 있 다 . 따라서 , 처 리부 ( 10 c ) 내 에 형성 된 다운 플로우 에 의해 처 리조 주위 의 분위기 가 처 리조 ( 40 ) 내 에 들어오 는 것 을 억제 할 수 있 으며 , 이 에 따라 , 처 리조 주위 의 분위기 와 처 리조 ( 40 ) 내 의 제 1 약액 과 의 열 교환 이 촉진 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .