챔버 ( 204 ) 의 상부 면 ( 204 a ) 및 측면 ( 204 b ) 은 전기 적 전도성 재료 로 이루어지 며 , 챔버 ( 204 ) 의 측면 ( 204 b ) 일 측 에 는 F 계열 또는 Cl 계열 등 의 반응 가스 와 세정 용 의 O 2 가스 등 을 공급 하 기 위한 가스 공 급구 ( 205 ) 가 구비 된다 . 이때 , 가스 공 급구 ( 205 ) 는 필요 에 따라 챔버 ( 204 ) 의 상부 면 ( 204 a ) 에 마련 될 수 도 있 다 .