또 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 상술 의 패턴 정보 에 의거 하 여 DMD 에 생성 해야 할 반사 패턴 ( 표시 패턴 ) 을 변화 시킬 수 있 다 . 이것 에 의해 , 주사 노광 시 , 기판 ( P ) 의 이동 에 동기 하 여 , DMD 로 생성 되 는 패턴 을 적절히 변화 시킬 수 있 다 . 또한 , DMD 로 생성 하 는 패턴 의 스크롤 속도 ( 표시 속도 ) 는 기판 ( P ) 의 이동 속도 등 을 포함 하 는 주사 노광용 파라미터 의 일부 로서 제어 장치 ( 7 ) 에 의해서 결정 된다 . 또 , 본 실시 형태 에서 는 주사 노광 시 , DMD 의 반사 소자 ( 2 ) 의 구동 에 의해 , 패턴 의 생 성 뿐 만 아니 라 , 그 생성 된 패턴 의 상 이 형성 되 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 크기 ( 폭 ) 등 도 조정 가능 하 다 . 즉 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 에 의한 기판 의 주사 노광 의 개시 및 종료 를 제어 가능 하 도록 되 어 있 다 .