또한 , 다층막 의 예 로 는 구리 / 몰리브덴 막 , 구리 / 몰리브덴 합금 막 , 구리 합금 / 몰리브덴 막 , 구리 합금 / 몰리브덴 합금 막 등 의 2 중막 , 또는 몰리브덴 / 구리 / 몰리브덴 삼 중막 , 몰리브덴 합금 / 구리 / 몰리브덴 합금 삼 중막 , 몰리브덴 합금 / 구리 합금 / 몰리브덴 합금 삼 중막 등 을 들 수 있 다 . 특히 , 본 발명 의 식각 액 조성물 은 상기 예시 된 다층막 에 바람직 하 게 사용 될 수 있 으며 , 구체 적 으로 몰리브덴 합금 / 구리 / 몰리브덴 합금 삼 중막 에 더욱 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 .