채널 막 ( 114 ) 은 제 2 방향 의 바디 로 동작 할 것 이 다 . 내부 물질 ( 115 ) 은 절연 물질 을 포함 할 것 이 다 . 제 1 서브 절 연막 ( 117 _ 1 ) 은 터널 링 절 연막 으로 동작 할 것 이 다 . 제 1 서브 절 연막 ( 117 _ 1 ) 은 필라 ( 113 _ 1 ) 의 구성 요소 로서 , 기판 ( 111 ) 및 드레 인 ( 116 ) 사이 에서 기판 ( 111 ) 과 교차 하 는 방향 으로 신장 될 것 이 다 . 예 시 적 으로 , 제 1 서브 절 연막 ( 117 _ 1 ) 은 도 17 을 참조 하 여 설명 된 제 1 서브 절 연막 ( 117 ) 과 동일 한 물질 을 포함 할 것 이 다 .