도 8 및 도 9 를 참조 하 면 , 본 발명 의 제 2 바람직 한 실시 예 에 의해 제공 되 는 프로브 모듈 ( 20 ’) 은 어레이 방식 으로 배열 된 제 1 내지 제 4 피 측정 유닛 ( 50 A ~ D ) 을 동시 에 측정 하 고 , 그 중 , 도 8 의 좌측 하단 및 우측 하단 의 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 ( 50 A , 50 B ) 에 대해 , 상기 프로브 모듈 ( 20 ’) 은 제 1 바람직 한 실시 예 와 같 은 프로브 모듈 ( 20 ) 의 프로브 배치 를 사용 하 며 , 도면 을 단순 화 하 기 위해 , 도 8 은 해당 부분 의 프로브 를 도시 하 지 않 았 다 . 도 8 의 좌측 상단 및 우측 상단 의 제 3 및 제 4 피 측정 유닛 ( 50 C , 50 D ) 은 , 상기 제 3 피 측정 유닛 ( 50 C ) 의 제 1 메인 에지 ( 51 ) 가 상기 제 1 피 측정 유닛 ( 50 A ) 의 제 2 메인 에지 ( 52 ) 와 인접 하 고 , 상기 제 4 피 측정 유닛 ( 50 D ) 의 제 1 메인 에지 ( 51 ) 가 상기 제 2 피 측정 유닛 ( 50 B ) 의 제 2 메인 에지 ( 52 ) 와 인접 하 여 , 제 3 및 제 4 피 측정 유닛 ( 50 C , 50 D ) 의 전도성 접점 ( 55 a ~ 55 d ) 이 모두 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 ( 50 A , 50 B ) 의 제 1 전도성 접점 ( 55 a ) 보다 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 에 더 가까우 므로 , 제 3 및 제 4 피 측정 유닛 ( 50 C , 50 D ) 의 전도성 접점 ( 55 a ~ 55 d ) 은 모두 상기 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 에 설치 된 제 3 프로브 ( 30 f ~ i ) 에 의해 점 접촉 될 수 있 다 . 즉 , 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 에 4 개 행 의 제 3 프로브 ( 30 f ~ i ) 를 추가 로 설치 할 수 있 고 , 도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 4 개 행 의 제 3 프로브 ( 30 f ~ i ) 는 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 ( 50 A , 50 B ) 과 점 접촉 하 는 제 3 프로브 ( 30 c ~ 30 e ) 의 하부 에 위치 하 고 , 위 에서 아래 의 순서 로 각각 제 3 및 제 4 피 측정 유닛 ( 50 C , 50 D ) 의 제 1 전도성 접점 ( 55 a ) 및 제 2 전도성 접점 ( 55 b ~ 55 d ) 과 점 접촉 하 기 위한 제 3 행 내지 제 1 행 ( L 3 ~ L 1 ) 이 다 . 도면 을 단순 화 하 기 위해 , 도 8 에서 제 3 및 제 4 피 측정 유닛 ( 50 C , 50 D ) 의 제 1 전도성 접점 ( 55 a ) 과 점 접촉 하 기 위한 제 3 프로브 ( 30 f ) 만 을 도시 했 다 .