밸브 ( 52 e , 56 e ) 를 개방 하 고 나 서 미리 정해진 시간 ( 예컨대 , 0 . 05 초 ∼ 5 초 ) 이 경과 하 면 , 성막 시스템 ( 100 ) 에서 는 , 다시 , 사이클 단계 cs 1 로 되돌아간다 . 그리고 , 성막 시스템 ( 100 ) 에서 는 , 상기 사이클 단계 cs 1 ∼ 사이클 단계 cs 5 를 미리 정해진 횟수 반복 한 후 , " 다음 의 ALD 사이클 [ "" ALD 사이클 2 ""( 부호 232 ) ] 로 전환 한다 . 이 와 같이 ", 성막 시스템 ( 100 ) 에서 는 , 사이클 단계 ( cs ) 마다 규정 된 유량 의 처리 가스 가 공급 되 도록 , 밸브 ( 51 e , 55 e , 52 e , 56 e ) 의 개폐 를 고속 으로 제어 하 면서 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 를 실행 한다 .