또한 , 청구 항 4 에 따른 본 발명 에서 는 , 상기 청구 항 3 에 따른 본 발명 에 있 어서 , 상기 기판 으로 되 는 그린 시트 의 상면 또는 / 및 하면 에 커버 판 으로 되 는 그린 시트 를 접착 하 여 , 이 커버 판 으로 되 는 그린 시트 로 상기 관통 구멍 의 위쪽 또는 / 및 아래쪽 의 개구 를 피복 하 고 , 그 후 , 상기 기판 으로 되 는 그린 시트 와 상기 커버 판 으로 되 는 그린 시트 를 소성 하 는 것 으로 하 였 다 .