이 와 는 다르 게 , 상기 단결정 상태 의 반도체 층 ( 95 ) 은 상기 단결정 패턴 들 ( 92 ) 을 시드 층 으로 사용 하 는 SPE ( Solid Phase Epitaxial ) 공정 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 SPE 공정 을 구체 적 으로 설명 한다 . 먼저 , 상기 단결정 패턴 들 ( 92 ) 을 갖 는 제 1 절연 층 ( 150 ) 상 에 비정질 또는 다결정 상태 의 반도체 층 을 형성 하 고 , 상기 반도체 기판 ( 100 ) 에 소정 의 열처리 공정 을 수행 한다 . 상기 소정 의 열처리 공정 시 , 상기 비정질 또는 다결정 상태 의 반도체 층 들 은 상기 단결정 패턴 들 ( 92 ) 에 기인 하 여 단결정 상태 로 변환 된다 .