이 경우 , 진동자 가 제 기능 을 하 지 못하 여 세정 공정 이 원활 하 게 이루어지 지 않 게 되 므로 , 빠른 시간 내 에 세정 장치 의 이상 작동 및 고장 여부 를 판별 해야 하 는데 , 독한 세정액 과 세정 장치 의 구조 때문 에 육안 으로 는 판별 하 기 어렵 고 , 다른 측정 장치 들 을 이용 하 여 측정 하 려면 생산 을 중단 해야 하 는 문제점 이 있 어 고장 여부 를 판별 하 는 데 어려움 이 많이 있 다 .