이러 한 패 시베이 션 층 을 구현 하 는 다양 한 방법 이 이 기술 분야 에 이미 알려져 있 다 . 예 를 들 어 , 패 시베이 션 층 은 수소 플 라즈 마 내 로 실리콘 및 / 또는 게르마늄 을 분쇄 함 으로써 수행 된다 . 이러 한 가능 성 은 실리콘 및 / 또는 게르마늄 산화물 층 을 증착 하 기 위해 사용 되 는 것 과 유사 한 방법 을 이용 하 기 때문 에 어떤 특수 장비 를 필요 로 하 지 않 는다는 장점 을 갖 는다 .