본 발명 은 , 증착 기판 이 진공 챔버 에 투입 되 고 , 상기 진공 챔버 내부 에서 증발원 이 증착 물질 을 증발 시키 면 , 상기 증착 기판 에 증착 막 이 형성 됨 에 따라 상기 증착 막 의 두께 를 실시간 측정 하 는 증착 장비 용 박막 두께 측정 장치 에 있 어서 , 상기 진공 챔버 의 일면 에 구비 되 는 뷰 포트 ; 상기 증발원 을 기준 으로 상기 증착 기판 과 동일 한 높이 에 위치 되 고 , 상기 증착 물질 이 증발 됨 에 따라 일면 에 증착 막 이 형성 되 는 측정 용 기판 을 지그 할 수 있 는 홀더 ; 상기 측정 용 기판 의 일면 이 상기 뷰 포트 와 상기 증발원 중 하나 를 향하 도록 상기 홀더 를 이동 시키 는 홀더 이동 수단 ; 상기 뷰 포트 외부 에 위치 되 고 , 특정 파장 의 광 을 상기 측정 용 기판 의 일면 으로 입사 및 반사 시키 는 광센서 ; 및 상기 광센서 에서 상기 측정 용 기판 의 일면 으로 입사 및 반사 된 광 의 편광 변화 를 통하 여 상기 측정 용 기판 의 증착 막 두께 를 산출 하 는 제 어부 ; 를 포함 하 는 증착 장비 용 박막 두께 측정 장치 를 제공 할 수 있 다 .