또 , 본 실시 형태 에서 는 , 얼라 이너 ( 7 ) 의 제 2 모터 ( 43 ) 의 위치 를 추정 함 으로써 , 턴테이블 ( 71 ) 에 탑재 된 웨이퍼 ( 9 ) 의 노치 ( 91 ) 의 위치 를 추정 하 고 있 지만 이것 으로 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 면 , 본 실시 형태 에 제시 된 로봇 ( 6 ) 의 암 이 웨이퍼 ( 9 ) 를 탑재 하 여 턴테이블 ( 71 ) 에 탑재 하 는 위치 , 또는 카 셋 트 ( 8 ) 에 탑재 또는 취 출하 는 위치 를 , 암 을 구동 하 는 제 1 모터 ( 41 ) 의 위치 를 추정 해도 좋 다 .