나선 형 금속 배선 ( 30 ) 은 그라운드 차폐층 ( 20 ) 의 평면 상부 에 위치 하 며 , 바깥쪽 금속 라인 에서 안쪽 금속 라인 으로 갈수록 금속 라인 의 폭 이 작아진다 . 다시 말 해서 , 나선 형 금속 배선 ( 30 ) 은 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 바깥쪽 금속 라인 의 폭 ( W 1 ) 보다 중간 의 금속 라인 의 폭 ( W 2 ) 이 작 고 , 중간 의 금속 라인 의 폭 ( W 2 ) 보다 안쪽 금속 라인 의 폭 ( W 3 ) 이 작 다 . 이때 , 각각 의 금속 라인 의 폭 은 바깥쪽 에서 안쪽 으로 갈수록 점진 적 으로 작아지 는 형태 이외 에 나선 형 금속 배선 ( 30 ) 에서 그 일부분 만 이 바깥쪽 금속 라인 보다 안쪽 금속 라인 이 작 게 구현 될 수 있 다 . 전술 한 나선 형 금속 배선 ( 30 ) 은 정방 형 이외 에 원형 , 삼각형 , 오각형 , 및 오각형 이상 의 다각형 으로 구현 될 수 있 다 . 도 4 는 육각형 나선 형 금속 배관 ( 30 a ) 을 각각 예시 한 것 이 다 . 그리고 , 도 2 및 도 4 에서 나선 형 금속 배선 ( 30 , 30 a ) 은 절연 층 을 사이 에 두 고 비아 ( 32 , 32 a ) 에 의해 연결 되 도록 구현 된다 . 나선 형 금속 배선 ( 30 , 30 a ) 의 적어도 하나 의 금속 라인 은 안쪽 으로 갈수록 폭 이 작아지 는 복수 또는 복 층 의 금속 라인 으로 구현 될 수 있 다 . 참고 로 , 도 4 에서 나선 형 금속 배선 ( 30 a ) 은 5 권선 패턴 ( 5 turn pattern ) 을 구비 하 도록 도시 되 어 있 고 , 화살표 는 제 1 포트 ( port 1 ) 로 입력 되 고 제 2 포트 ( port 2 ) 로 출력 되 는 신호 전류 의 방향 을 나타낸다 .