도 1 은 파우더 ( P ) 가 배치 부 ( 450 ) 에 쌓인 상태 를 나타내 며 , 파우더 플 라즈 마 기능 화 처리 모드 에서 는 진공 펌프 ( 510 ) 를 구동 시켜 발생 되 는 흡입력 과 가스 공급 부 ( 460 ) 로부터 공급 되 는 가스 ( G ) 로 인하 여 배치 부 ( 450 ) 에 쌓여 있 던 파우더 ( P ) 가 상측 방향 ( 도 5 기준 ) 으로 이동 되 며 , 복수 개 의 처 리부 ( 210 ) 의 각 내 벽부 ( 211 ) 와 외벽 부 ( 215 ) 사이 를 통과 할 수 있 다 .