본 발명 에 의한 패턴 형성 방법 은 ( a ) 화학 증폭 형 레지스 트 조성물 을 사용 해서 막 을 형성 하 는 것 과 , ( b ) 상기 막 을 노광 하 는 것 과 , ( c ) 제 1 유기 용제 를 함유 한 현상액 을 사용 해서 상기 노광 된 막 을 현상 하 는 것 을 포함 하 고 있 고 , 상기 현상액 은 입경 이 0 . 3 ㎛ 이상 인 파티클 의 밀도 가 30 개 / mL 이하 이 다 .