산화물 반도체 층 ( 644 ) 의 형성 분위기 는 , 희가스 ( 대표 적 으로 는 아르곤 ) 분위기 , 산소 분위기 또는 희가스 ( 대표 적 으로 는 아르곤 ) 와 산소 의 혼합 분위기 로 하 는 것 이 적합 하 다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 어 수소 , 물 , 수산기 , 수소화물 등 의 불순물 이 , 농도 1 ppm 이하 ( 바람직 하 게 는 농도 10 ppb 이하 ) 로 까지 제거 된 고순 도 가스 분위기 를 사용 하 는 것 이 적합 하 다 .