상기 기판 스테이지 ( 120 ) 는 상기 챔버 내 하방 에 구비 되 고 원판 형태 를 가지 면서 상기 챔버 내부 로 유입 되 는 기판 ( 102 ) 을 지지 한다 . 상기 기판 ( 102 ) 은 스테이지 ( 120 ) 하부 에 구비 되 어 상기 스테이지 를 관통 하 여 수직 방향 으로 배치 된 다수 의 리프트 핀 들 ( 미 도시 ) 에 의해 기판 스테이지 ( 120 ) 상 으로 로딩 될 수 있 으며 상기 스테이지 ( 120 ) 로부터 언 로딩 될 수 있 다 . 상기 리프트 핀 들 은 상기 스테이지 ( 120 ) 의 하부 에 결합 되 는 리프터 들 ( 미 도시 ) 에 의해 수직 방향 으로 구동 될 수 있 다 .