일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 공정 ( 903 ) 은 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 내 에 기체 가 주입 된 후 , 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 으로부터 상기 기체 의 일부 를 방출 하 는 공정 을 포함 한다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 내 의 압력 이 상기 제 2 소정 압력 보다 큰 것 을 상기 감압 유닛 ( 366 ) 이 감지 하 면 , 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 내 의 상기 기체 의 일부 가 상기 연 접점 ( 37 ) 및 ( 또는 ) 상기 통기 유닛 ( 38 ) 을 개재 하 여 , 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 내 의 압력 이 소정 압력 범위 내 가 될 때 까지 방출 된다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 소정 압력 범위 는 상기 제 1 소정 압력 과 상기 제 2 소정 압력 의 사이 이 다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 제 2 밸브 ( 365 ) 가 열리 고 , 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 내 의 상기 기체 의 일부 가 상기 제 2 기체 관로 ( 362 ) 를 개재 하 여 방출 된다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 밸브 ( 383 ) 가 열리 고 , 상기 제 1 중공 공간 ( 31 ) 내 의 상기 기체 의 일부 가 상기 셔터 ( 382 ) 를 통과 하 여 , 상기 통기 유닛 ( 38 ) 의 상기 기체 관로 ( 381 ) 를 개재 하 여 방출 된다 .