상기 용해 저지 화합물 ( G ) 로서 , 카르복실기 , 술포닐 이미드기 또는 그 들 의 α 위치 가 플 루 오로 알킬기 로 치환 된 히드록실기 등 의 알칼리 가용 성기 를 갖 는 화합물 , 히드록실기 , 락톤 기 , 시아노기 , 아미 드 기 , 피 롤리 돈기 또는 술폰아미드 기 등 의 친수성기 를 갖 는 화합물 , 또는 산 의 작용 에 의해서 분해 하 여 그것 의 알칼리 가용 성 기 또는 친수성기 를 방출 하 는 기 를 갖 는 화합물 이 바람직 하 다 . 산 의 작용 에 의해서 분해 하 여 그것 의 알칼리 가용 성 기 또는 친수성기 를 방출 하 는 기 는 산분 해 성기 로 보호 된 카르복실기 또는 히드록실기 인 것 이 바람직 하 다 . 200 nm 이하 의 투과성 의 감소 를 방지 하 기 위해서 , 상기 용해 저지 화합물 로서 , 방향 족 환 을 함유 하 지 않 는 화합물 을 사용 하 거나 , 또는 방향 족 환 함유 화합물 을 상기 조성물 의 고형분 함량 에 대하 여 20 중량 % 이하 의 양 으로 첨가 하 는 것 이 바람직 하 다 .