실험 결과 는 , ( Si - N - 코발트 와 같 은 ) Si - N - 금속 공유 결합체 가 , 좋 은 열 안정 성 을 갖 는다는 것 을 드러냈 다 . 400 ° C 에서 30 분 동안 수행 된 내구 성 테스트 중 , 실시 예 에 따라서 형성 된 콘택트 플러그 내 에서 분리 또는 분출 이 관찰 되 지 않 았 다 . 또한 , Co - N 해리 또는 박리 가 관찰 되 지 않 았 다 . 결과 적 인 콘택트 플러그 에 는 ( 예컨대 , TiN 으로 형성 된 ) 장벽층 이 없 다 . 장벽 층 을 없애 는 것 은 , 콘택트 플러그 의 낮 은 저항 부분 의 측 방향 치수 가 , 예컨대 , 2 nm 이상 만큼 증가 되 도록 한다 . 콘택트 플러그 의 전체 적 인 저항 은 감소 된다 .