전자 총 ( 201 ) ( 방출 부 ) 으로부터 방출 된 전자 빔 ( 200 ) 은 , 조명 렌즈 ( 202 ) 에 의하 여 거의 수직 으로 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) 전체 를 조명 한다 . 전자 빔 ( 200 ) 은 , 모든 개구 ( 22 ) 가 포함 되 는 영역 을 조명 한다 . 전자 빔 ( 200 ) 이 , 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) 의 복수 의 개구 ( 22 ) 를 통과 함 으로써 , 예 를 들 면 직사각 형 형상 의 복수 의 전자 빔 ( 멀티 빔 ) ( 20 a 내지 20 e ) 이 형성 된다 .