계단 구조 를 형성 한 이후 에 실리콘 산화 막 을 증착 하 여 계단 구조 를 덮 는 절 연막 ( 170 ) 을 더 형성 할 수 있 다 . 워드 라인 컷 ( 132 ) 은 절 연막 ( 170 ) 을 형성 한 이후 에 혹은 그 이전 에 형성 될 수 있 다 . 워드 라인 컷 ( 132 ) 은 첫 번 째 계단 ( 115 , 124 ) 의 X 방향 길이 보다 더 큰 길이 를 가지 되 두 번 째 계단 ( 114 , 123 ) 의 X 방향 길이 보다 짧 도록 형성 될 수 있 다 . 이 에 의하 면 , 첫 번 째 계단 을 이루 는 제 1 희생 막 ( 115 ) 과 제 2 희생 막 ( 124 ) 은 워드 라인 컷 ( 132 ) 에 의해 Y 방향 , 즉 비트 라인 연장 방향 으로 분리 되 고 , 나머지 제 1 희생 막 들 ( 111 - 114 ) 과 제 2 희생 막 들 ( 121 - 123 ) 은 워드 라인 컷 ( 132 ) 을 포함 한 플레이트 형태 를 가질 수 있 다 .