도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 베이스 다이 웨이퍼 ( 100 ) 에 격벽 격자 ( 400 ) 를 도입 할 수 있 다 . 격벽 격자 ( 400 ) 는 코어 다이 ( 200 ) 들 이 적층 된 제 1 스택 ( 291 ) 이나 제 2 스택 ( 292 ) 이 각각 하나 씩 삽입 될 수 있 는 캐비 티 ( cavity : 403 ) 들 을 제공 하 도록 격벽 ( 401 ) 들 이 연결 된 부재 일 수 있 다 . 격벽 ( 401 ) 은 코어 다이 ( 200 ) 들 이 적층 된 스택 ( 291 , 292 ) 을 둘러싸 도록 도입 될 수 있 다 . 캐 비티 ( 403 ) 를 이루 는 격벽 ( 401 ) 들 은 바닥 면 ( 404 ) 이 베이스 다이 웨이퍼 ( 100 ) 의 제 2 표면 ( 112 ) 에 접촉 하 도록 세워질 수 있 다 . 캐 비티 ( 403 ) 들 은 사각형 또는 장방형 평면 형상 을 가지 는 격벽 격자 ( 400 ) 의 창 ( window ) 들 로 제공 될 수 있 다 . 이러 한 캐비 티 ( 403 ) 내 에 코어 다이 ( 200 ) 들 이 적층 된 스택 ( 291 , 292 ) 이 삽입 되 도록 격벽 격자 ( 400 ) 가 도입 될 수 있 다 .