또는 , 상기 반 극성 질화물 단결정 박막 을 1 차 측 방향 성장 시키 는 단계 는 제 1 Ⅲ / Ⅴ 족 비 를 이용 하 여 제 1 측면 성장 속도 로 반 극성 질화물 단결정 박막 을 1 차 측 방향 성장 시키 며 , 상기 반 극성 질화물 단결정 박막 을 2 차 측 방향 성장 시키 는 단계 는 상기 제 1 Ⅲ / Ⅴ 족 비 보다 작 은 제 2 Ⅲ / Ⅴ 족 비 를 이용 하 여 제 2 측면 성장 속도 로 반 극성 질화물 단결정 박막 을 2 차 측 방향 성장 시킬 수 도 있 다 .