다음 으로 , 처 리부 ( 10 c ) 에 대하 여 설명 한다 . 도 1 및 도 2 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 처 리부 ( 10 c ) 에 는 , 기기 류 의 배치 공간 ( S ) 을 구획 하 는 격벽 ( 22 ) 과 , 격벽 ( 22 ) 의 상부 에 설치 된 송풍 장치 ( 24 ) 가 설치 되 어 있 다 . 배치 공간 ( S ) 은 격벽 ( 22 ) 에 의해 외부 로부터 차단 되 어 있 다 . 또한 , 송풍 장치 ( 24 ) 는 청정 화 된 기체 를 구획 된 공간 ( S ) 내 에 상방 에서 불 어 넣 는다 . 이 송풍 장치 ( 24 ) 로부터 의 송풍 에 의해 , 격벽 ( 22 ) 에 의해 구획 된 공간 ( S ) 내 에 다운 플로우 가 형성 된다 .