도 4 를 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 노광 장비 는 광원 ( 40 ) 및 상기 광원 ( 40 ) 으로부터 소정 거리 이격 되 도록 제 1 및 제 2 입력 렌즈 들 ( 66 a , 66 b ) 이 차례 로 배치 될 수 있 다 . 이 에 더 하 여 , 상기 제 1 및 제 2 입력 렌즈 들 ( 66 a , 66 b ) 사이 에 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 및 ND 필터 ( 70 ) 가 차례 로 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 광원 ( 40 ) 으로 부 터 조사 된 광 은 상기 제 1 입력 렌즈 ( 66 a ) 를 통해 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 로 입사 될 수 있 다 . 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 로 입사 된 광 은 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 로부터 반사 되 어 상기 ND 필터 ( 70 ) 를 통해 상기 제 2 입력 렌즈 ( 66 b ) 로 입사 될 수 있 다 .