한편 , 상기 스테이지 ( 200 ) 와 상기 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 의 돌출부 는 기판 ( 10 ) 과 동일 형상 으로 제작 되 는 것 이 바람직 하 고 , 기판 ( 10 ) 의 크기 보다 약간 작 게 제작 되 는 것 이 바람직 하 지만 , 그 크기 는 공정 에 따라 변경 가능 하 다 . 이 로 인해 , 상기 스테이지 ( 200 ) 의 돌출부 상 에 기판 ( 10 ) 의 배면 이 안착 되 거나 상기 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 의 돌출부 가 기판 ( 10 ) 의 전면 에 근접 위치 되 더라도 기판 ( 10 ) 의 에지 영역 이 노출 되 어 , 노출 된 기판 ( 10 ) 의 에지 영역 으로 플 라즈 마 가 자유 롭 게 유입 될 수 있 으므로 , 기판 ( 10 ) 의 에지 식각 이 용이 하 게 실시 될 수 있 다 . 이때 , 노출 되 는 기판 ( 10 ) 의 에지 영역 은 기판 ( 10 ) 의 끝단 에서 대략 0 . 1 내지 5 ㎜ 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 스테이지 ( 200 ) 의 돌출부 는 그 상부 의 적어도 일부 가 거치대 ( 410 ) 의 내측 공간 으로 삽입 될 수 있 도록 그 평면 직경 ( d 2 ) 이 거치대 ( 410 ) 의 내측 직경 ( d 1 ) 보다 작 게 제작 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이 로 인해 , 제 1 구 동부 ( 230 ) 를 가동 시켜 스테이지 ( 200 ) 를 상승 시키 면 , 거치대 ( 410 ) 에 거치 된 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 200 ) 의 돌출부 상 에 안착 되 어 함께 상승 됨 으로써 기판 ( 10 ) 이 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 에 근접 하 게 위치 될 수 있 다 .