위 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위해 폴리 실리콘 막 과 금속 막 또는 금속 실리사이드 막 사이 에 확산 방지 막 ( Diffusion Barrier ) 를 형성 하 는 기술 이 제안 되 었 다 . 확산 방지 막 을 형성 함 으로써 폴리 실리콘 막 의 불순물 이 상부 층 으로 확산 되 는 것 을 방지 함 과 동시 에 폴리 실리콘 막 과 금속 막 또는 금속 실리사이드 막 사이 에 발생 하 는 스트레스 를 방지 할 수 있 다 .