도 26 의 쌍극자 정렬 장치 ( 1000 _ 2 ) 는 광 조사 장치 ( 500 _ 2 ) 가 열처리 부 ( HA ) 에 배치 되 어 , 전계 형성 유닛 ( 100 ) 이 열처리 장치 ( 900 ) , 또는 제 2 스테이지 ( STA 2 ) 에 배치 되 면 대상 기판 ( SUB ) 상 에 광 ( hv ) 이 조사 될 수 있 다 . 광 조사 장치 ( 500 _ 2 ) 가 열처리 부 ( HA ) 에 배치 되 면 , 운송 유닛 ( 700 ) 에 의해 전계 형성 유닛 ( 100 ) 이 열처리 부 ( HA ) 로 이동 된 후 에 광이 조사 될 수 있 다 .