하지만 , 본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 상기 산화물 반도체 소스 용액 ( 130 ) 은 , 상기 산화물 반도체 소스 용액 ( 130 ) 전체 몰 농도 의 0 . 05 M 이상 및 0 . 5 M 미만 에 해당 하 는 상기 전구체 를 포함 할 수 있 고 , 이 에 따라 , 상기 산화물 반도체 소스 용액 ( 130 ) 으로부터 제조 되 는 박막 트랜지스터 의 on / off 스위칭 특성 이 우수 할 수 있 다 .