제 4 실시 형태 에서 는 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 및 제 2 약액 노즐 ( 21 B ) 에 더 하 여 , 스핀 척 ( 10 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 을 향해 약액 을 하방 으로 토출 하 는 제 3 약액 노즐 ( 21 C ) 및 제 4 약액 노즐 ( 21 D ) 이 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 설치 되 어 있 다 .