예 를 들 면 , 도 1 에서 는 , 장치 진단 장치 ( 2 ) 와 플라스마 처리 장치 ( 1 ) 가 네트워크 를 통해 접속 된 구성 을 나타냈 지만 , 본 발명 은 상기 구성 에 한정 되 지 않 고 , 도 10 에 나타내 는 바 와 같이 , 플라스마 처리 장치 ( 1 ) 가 장치 진단 장치 ( 2 ) 를 구비 하 는 구성 이 어도 된다 . 이 경우 , 플라스마 처리 장치 ( 1 ) 는 , 시료 ( 102 ) 가 플라스마 처리 되 는 처리 실 ( 104 ) 과 자장 치 의 상태 를 진단 하 는 장치 진단 장치 ( 2 ) 를 구비 한다 .