본 발명 에 따른 펠리 클 탈 부착 방법 은 , 펠리 클 멤 브레인 과 , 상기 펠리 클 멤 브레인 을 지지 하 는 프레임 과 , 상기 프레임 의 일 단부 에 부착 되 어 상기 프레임 과 상기 펠리 클 멤 브레인 을 부착 시키 는 막 접착제 와 , 그리고 상기 프레임 의 다른 단부 에 부착 되 어 상기 프레임 과 포토 마스크 를 부착 시키 는 흡착 패드 를 구비 하 는 펠리 클 의 탈 부착 방법 에 있 어서 , 상기 펠리 클 을 포토 마스크 에 부 착시 상기 흡착 패드 내 에 공기 를 주입 하 여 상기 흡착 패드 와 포토 마스크 의 접촉면 이 진공 상태 가 되 도록 하 는 단계 ; 및 상기 펠리 클 을 포토 마스크 에 탈 착시 상기 흡착 패드 내 의 공기 를 배출 시켜 상기 흡착 패드 와 포토 마스크 의 접촉면 에서 의 진공 상태 가 해제 되 도록 하 는 단계 를 포함 한다 .