한편 , 기판 의 연마 시 연마 균 일도 를 맞추 기 위해서 , 기판 하부 에 여러 영역 으로 분할 된 가요 성 필름 을 구비 하 여 , 각 영역 마다 다른 압력 을 인가 하 여 연 마량 을 제어 하 는 장치 가 사용 되 었 다 . 그런데 , 대 면적 의 가요 성 필름 을 구비 하 는 것 이 매우 어려울 뿐 만 아니 라 , 연마 패드 의 뒷면 에 가요 성 필름 을 이용 하 여 기판 의 연 마량 을 제어 하 는 데 에 도 한계 가 있 기 때문 에 새로운 방식 의 연 마량 제어 가 필요 하 다 .