기판 ( W ) 의 상면 에 존재 하 는 제 2 액체 의 양 이 너무 적 으면 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 내경 이 기판 ( W ) 의 외경 근처 에 확산 된 상태 ( 도 8 d 참조 ) 에서 제 2 액 막 ( F 2 ) 이 링 형상 을 유지 할 수 없 게 된다 . 한편 , 기판 ( W ) 상면 에 존재 하 는 제 2 액체 의 양 이 너무 많 으면 , 기판 ( W ) 의 상면 에 존재 하 는 제 1 액체 의 양 이 너무 적어지 게 되 어 제 2 액 막 ( F 2 ) 과 제 1 액 막 ( F 1 ) 을 기판 ( W ) 의 상면 상 으로 유지 한 상태 ( 도 8 a 참조 ) 에서 , 제 1 액 막 ( F 1 ) 에 의해 제 2 액 막 ( F 2 ) 을 지지 할 수 없 게 되 어 버린다 . 이 때문 에 , 기판 ( W ) 의 상면 에 유지 되 는 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 크기 는 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 내경 이 기판 ( W ) 의 외경 근처 에 확산 된 상태 ( 도 8 d 참조 ) 에서 제 2 액 막 ( F 2 ) 이 링 형상 을 유지 할 수 있 도록 , 그리고 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 과 제 1 액 막 ( F 1 ) 을 기판 ( W ) 의 상면 상 으로 유지 한 상태 ( 도 8 a 참조 ) 에서 제 1 액 막 ( F 1 ) 에 의해 제 2 액 막 ( F 2 ) 을 지지 할 수 있 도록 설정 된다 . 이 예 에서 는 , 도 8 a 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 액 막 ( F 1 ) 의 폭 이 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 반경 과 동일 한 정도 로 설정 되 어 있 다 . 제 1 액 막 ( F 1 ) 의 폭 과 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 반경 의 비 는 1 ： 2 내지 2 ： 1 인 것 이 바람직 하 다 .