도 4 및 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 내측 확산 부 ( 28 b ) 는 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 내 주면 을 따라 마련 된 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 내측 유로 ( 27 ) 의 단부 에 마련 된 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 를 포함 한다 . 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 는 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 기판 ( 3 ) 의 직경 방향 에 있 어서 , 적 재면 ( 21 a ) 의 중심 과 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 내주 면 사이 의 거의 중간 에 배치 되 어 있 다 .