제 1 노광 장치 ( 181 ) 에서 기판 에 대해 노광 처리 가 완료 되 면 , 제 1 트랜스퍼 ( 811 ) 는 제 1 노광 장치 ( 181 ) 로부터 기판 을 반출 한다 . 제 1 트랜스퍼 ( 811 ) 는 다단 이송기 ( 820 ) 로 기판 을 전달 한다 . 다단 이송기 ( 820 ) 는 제 3 트랜스퍼 ( 813 ) 로 기판 을 전달 한다 . 제 3 트랜스퍼 ( 813 ) 는 제 2 트랜스퍼 ( 812 ) 로 기판 을 전달 한다 . 제 2 트랜스퍼 ( 812 ) 는 제 2 노광 장치 ( 182 ) 로 기판 을 반입 한다 . 이 에 따라 , 제 2 노광 장치 ( 182 ) 에서 기판 에 대해 노광 처리 가 수행 된다 .