상기 챔버 ( 220 ) 내부 의 진공도 가 조절 된 후 에 는 가스탱크 ( 240 ) 에서 아르곤 ( Ar ) 가스 를 상기 챔버 ( 220 ) 의 내부 로 주입 하 게 된다 . 이때 , 상기 아르곤가스 는 상기 챔버 ( 220 ) 의 내부 로 대략 50 sccm ( ㎤/ min ) 의 유량 으로 유입 되 고 , 진공 밸브 의 개도 를 조작 하 는 것 에 의해 상기 챔버 의 내부 압력 은 0 . 350 torr ~ 0 . 380 torr 정도 의 압력 을 유지 하 게 된다 .