기체 공급 부 는 , 챔버 내 와 접속 된 기체 유로 ( 81 ) 와 , 기체 유로 ( 81 ) 의 챔버 ( 41 ) 측 의 단부 ( 81 a ) 에 있 어서 , 유로 면적 을 제어 하 는 정류부 로서 의 서포트 링 ( 44 ) 을 포함 하 는 경우 , 이 들 에 의해 유로 면적 을 제어 할 수 있 다 . 따라서 , 예컨대 승화 물 의 비산 을 보다 억제 하 는 것 이 가능 한 상승류 를 제어 하 는 것 도 가능 해진다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 상 의 레지스 트 패턴 의 품질 을 고려 하 여 상승류 를 제어 하 는 것 도 가능 해진다 .