" 중앙 처리 장치 ( 340 ) 는 인터페이스 부 ( 310 ) 를 통하 여 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 에 가해 지 는 압력 을 조절 하 여 웨이퍼 ( W ) 연 마량 을 조절 할 수 있 다 . 중앙 처리 장치 ( 340 ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 에 따라 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 캐리어 중심축 ( 140 S ) 에 의해 "" E "" 방향 으로 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 에 인가 되 는 압력 을 조절 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 연 마량 을 조절 할 수 있 다 . "