실시 예 및 비 교예 에서 얻 어 진 레지스 트 친수 화 처리 제 중 에 , 상기 시험편 을 25 ℃ 에서 10 초간 교반 하 지 않 고 침지 하 고 , 그 후 , 초 순수 로 3 분 간 유수 린스 를 행했 다 . 린스 후 , 시험편 을 들 어 올려 레지스 트 도막 표면 의 습윤 성 을 눈 으로 관찰 하 여 , 하 기 기준 으로 친수 화력 을 평가 했 다 . 또한 처리 전후 의 막 두께 감소량 을 광학 간 섭식 막 두께 측정기 에 의해 측정 하 고 , 레지스 트 도막 에 대한 손상 을 평가 했 다 . 또한 , 레지스 트 막 두께 의 감소량 이 적 은 쪽 이 , 레지스 트 도막 에 대한 손상 이 작 고 , 레지스 트 도막 의 열화 방지 성 이 우수 한 것 을 나타낸다 . 결과 를 표 1 에 나타낸다 .