도 15 는 , 도 1 및 도 3 에 도시 된 부분 연마 장치 ( 1000 ) 에 이용 할 수 있 는 연마 패드 ( 502 ) 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 단 , 도 15 는 , 도시 의 명료 화 를 위해서 연마 패드 ( 502 ) 와 기판 Wf 만 을 간략 적 으로 나타내 고 있 으며 , 다른 구성 은 생략 하 여 도시 하고 있 다 . 도 15 의 연마 패드 ( 502 ) 는 원판 형상 이 다 . 도 15 의 연마 패드 ( 502 ) 의 회전축 ( 502 A ) 는 기판 Wf 의 표면 에 평행 하 다 . 그러나 , 도 15 의 원판 형상 의 연마 패드 ( 502 ) 의 중심축 은 기판 Wf 의 표면 에 대해서 경사져 있 다 . 연마 패드 ( 502 ) 의 회전축 ( 502 A ) 과 연마 패드 ( 502 ) 의 중심축 이 소정 의 각도 θ 만큼 경사져 있 다고 도 할 수 있 다 . 도 15 의 연마 패드 ( 502 ) 에 있 어서 는 , 회전축 ( 502 A ) 과 중심축 이 경사져 있 으므로 , 연마 패드 ( 502 ) 를 회전 시키 면 , 연마 패드 ( 502 ) 와 기판 Wf 의 접촉 영역 이 이동 하 게 되 므로 , 결과 적 으로 도 4 에 도시 된 연마 패드 ( 502 ) 를 회전 시키 면서 , 연마 패드 ( 502 ) 를 제 2 운동 방향 [ 도 4 의 실시 형태 에서 는 회전축 ( 502 A ) 의 방향 ] 으로 왕복 운동 시키 는 데 도 유사 한 효과 를 발휘 할 수 있 다 .