바람직 한 실시 예 에서 , 본 발명 은 초 경량 ( ultra compact ) , 초 박 ( ultra thin ) 전구체 가열 인 제터 를 제공 하 는데 , 이 인 젝 터 는 웨이퍼 선적 / 하적 메커니즘 의 적절 한 접근 이 가능 하 면서 , 기판 상 의 제한 된 공간 에 도입 될 수 있 다 . 본 발명 은 반응 성 , 전 구체 개스 의 분리 를 위한 비 - 반응 기체 스트림 을 제공 할 수 있 다 . 상기 인 젝 터 는 하나 이상 의 접착 가능 하 면서 , 에피 택 셜 성장 챔버 내 의 부식 조건 및 고온 을 이길 수 있 는 물질 을 본 딩 함 으로써 형성 된다 . 적절 한 물질 로 예컨대 , 석영 과 같 은 내화성 옥사이드 , 예컨대 실리콘 카바이드 같 은 내화성 카바이드 , 예컨대 알루미늄 나이트 라이드 같 은 내화성 나이트 라이드 가 포함 된다 . 하나 이상 의 층 에 채널 들 이 형성 되 어 , 다른 층 들 에 의해 밀봉 되 었 을 때 , 공간 적 으로 상호 이격 된 도관 을 형성 한다 . 상기 채널 들 은 다양 한 채널 형태 및 크기 , 다양 한 입력 포트 , 다양 한 출력 포트 등 을 갖 는다 . 상기 채널 들 은 기술 분야 에 공지 된 기술 에 의해 커팅 되 는데 , 이 방법 들 은 습식 에칭 , 플라 즈 마 에칭 , 및 기계 적 절단 , 레이저 커팅 등 을 포함 하 지만 , 이 에 한정 되 지 는 않 는다 . 그리고 전체 장치 는 구성 층 을 본 딩 함 으로써 완성 된다 .