제 어부 ( 89 ) 는 , 불활성 가스 밸브 ( 35 ) 를 닫 고 , 상부 커버 ( 13 ) 를 개방 하 는 동시 에 , 리프터 ( 15 ) 를 「 건조 위치 」 로부터 챔버 ( 11 ) 바깥 의 「 대기 위치 」 로 상승 시킨다 . 그 후 , 제 어부 ( 89 ) 는 , 처리 액 밸브 ( 9 ) , 배액 밸브 ( 57 ) , 불활성 가스 밸브 ( 35 ) 를 개방 한다 . 이 에 의해 다음 의 기판 ( W ) 처리 를 위해 , 새로운 처리 액 을 처 리조 ( 1 ) 에 공급 시키 는 동시 에 , 챔버 ( 11 ) 내 를 불활성 가스 로 충만 시켜 둔다 .