몰드 베이스 에 막 을 증착 하 는 단계 ( 311 ) 는 , 예 를 들 어 , 도 4 의 ( 1 ) 에 도시 된 것 처럼 , 실리콘 등 의 재질 로 형성 된 몰드 베이스 ( 40 ) 에 , 화학 기상 증착 법 ( Chemical Vapor Deposition , CVD ) 또는 원자 층 증착 법 ( Atomic Layer Deposition , ALD ) 등 을 통하 여 , 질화규소 ( silicon nitride , SixNy ) 등 몰드 베이스 ( 40 ) 와 서로 다른 재질 을 이용 하 여 막 ( 41 ) 을 증착 하 여 제조 할 수 있 다 .