상기 제 2 가스 분사 플레이트 ( 134 ) 는 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 에 공통 적 으로 연통 되 도록 소정 간격 으로 형성 된 복수 의 제 2 가스 분사 홀 ( 134 h ) 을 포함 하 여 이루어진다 . 그리고 , 상기 제 2 가스 분사 플레이트 ( 134 ) 는 급전 케이블 ( 152 ) 을 통해 전원 공급 수단 ( 150 ) 에 전기 적 으로 접속 된다 . 이러 한 제 2 가스 분사 플레이트 ( 134 ) 는 급전 케이블 ( 152 ) 을 통해 전원 공급 수단 ( 150 ) 으로부터 공급 되 는 플 라즈 마 전원 에 따라 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 에 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 플 라즈 마 전극 의 역할 을 한다 .