본 발명 은 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방법 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 로봇 암 이 웨이퍼 의 하측 에 위치 시키 는 로봇 암 전진 단계 , 상기 웨이퍼 의 외곽 부분 을 위치 센서 에 의해 측정 하 여 제 어부 로 전송 하 는 웨이퍼 외곽 센싱 단계 , 상기 제 어부 에 의해 로봇 암 의 위치 를 변경 시키 는 로봇 암 위치 변경 단계 , 및 상기 로봇 암 을 상측 으로 이동 시켜 상기 웨이퍼 를 거치 시키 는 웨이퍼 거치 단계 를 포함 하 여 이루어지 고 , 상기 웨이퍼 외곽 센싱 단계 는 한 쌍 을 이루 는 위치 센서 가 상호 다른 길이 로 다수 개 설치 된다 .