두께 3 ㎜ 의 상기 단결정 SiC 잉곳 의 고유 진동수 를 구한 결과 , 25 kHz 였 다 . 그래서 실험 2 에서 는 , 실험 1 에서 박리 층 을 형성 한 상기 단결정 SiC 잉곳 을 25 ℃ 의 물 에 침지 하 여 부여 하 는 초음파 의 출력 을 100 W 로 하 고 , 초음파 의 주파수 를 10 kHz , 15 kHz , 20 kHz , 23 kHz , 25 kHz , 27 kHz , 30 kHz , 40 kHz , 50 kHz , 100 kHz , 120 kHz , 150 kHz 로 상승 시키 고 , 실험 1 에서 형성 한 박리 층 을 계면 으로 하 여 상기 단결정 SiC 잉곳 으로부터 웨이퍼 가 박리 되 는 시간 을 계측 하 여 주파수 의존 성 을 검증 하 였 다 .