감광성 수지 조성물 에 대한 ( B ) 광 중합 개시제 의 함유량 이 1 . 5 질량 ％ 초과 인 비 교예 1 및 ( C ) 아크릴 레이트 모노머 에 대한 ( C 1 ) 이중 결합 당량 250 이상 의 아크릴 레이트 모노머 의 함유량 이 60 질량 ％ 초과 이 고 , ( C 2 ) 이중 결합 당량 150 이하 의 아크릴 레이트 모노머 의 함유량 이 40 질량 ％ 미만 인 비 교예 3 에 있 어서 , 모든 라인 / 스페이스 에서 찌 부러짐 이 발생 되 어 , 레지스 트 패턴 을 얻 을 수 없 었 다 . 감광성 수지 조성물 에 대한 ( B ) 광 중합 개시제 의 함유량 이 0 . 5 질량 ％ 미만 인 비 교예 4 에 있 어서 , 모든 라인 / 스페이스 에서 박리 , 감광성 수지 층 이 잔존 하 지 않 았 다 .