기판 스테이지 ( PST ) 는 베이스 플레이트 ( 110 ) 상 에 형성 되 어 있 고 , 감광 기판 ( P ) 을 지지 하 며 , 리니어 모터 등 의 구동 장치 에 의해 X 축 , Y 축 및 θ Z 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 또한 , 기판 스테이지 ( PST ) 는 , Z 축 방향 , 및 θ X , θ Y 방향 으로 도 이동 할 수 있 다 . 리니어 모터 로 는 , 무빙 마그넷 형 리니어 모터 이 어도 되 고 , 무빙 코일 형 리니어 모터 이 어도 된다 . 그리고 , 가동 자 가 고정자 와 의 사이 의 전자기 적 상호 작용 에 의해 구동 됨 으로써 , 기판 스테이지 ( PST ) 가 이동 한다 . 기판 스테이지 ( PST ) 에는 진공 흡착 공 을 갖 는 척 기구 가 형성 되 어 있 으며 , 기판 스테이지 ( PST ) 는 척 기구 를 통하 여 감광 기판 ( P ) 을 유지 한다 .