도 4 를 참조 하 면 , 공정 챔버 ( 40 ) 와 크라이 오 펌프 ( 50 ) 를 연결 하 는 배기관 ( 60 ) 의 내부 에 는 공정 챔버 ( 40 ) 의 가스 를 크라이 오 펌프 ( 50 ) 로 전달 하 는 게이트 밸브 ( 61 ) 가 형성 되 며 , 배기관 ( 60 ) 의 내 측면 중 챔버 의 압력 을 유지 하 기 위하 여 편측 으로 일부분 만 개방 되 는 게이트 밸브 ( 61 ) 의 하단 에 는 표면 이 경면 처리 된 플레이트 형태 의 차 단막 ( 62 ) 이 형성 되 며 , 이 차 단막 ( 62 ) 의 길이 는 적어도 게이트 밸브 ( 61 ) 가 개방 되 는 길이 에 대응 하 는 것 이 바람직 하 다 .