또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 지주 ( 15 ) 나 지지 핀 ( 16 ) 을 코팅 하 는 금속 산화 막 의 적합 한 예의 하나 로서 CrO 막 을 적용 했 지만 , 이 에 한정 하 지 않 고 , 다른 적합 한 금속 산화물 의 막 의 예의 하나 로서 산화알루미늄 ( AlO ) 의 막 을 적용 해도 된다 . 또한 , 또 다른 금속 산화물 의 막 으로서 , 산화 티타늄 ( TiO ) , 산화지르코늄 ( ZrO ) , 산화 하프늄 ( HfO ) 등 의 막 을 적용 할 수 도 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 지주 ( 15 ) 나 지지 핀 ( 16 ) 을 금속 산화 막인 CrO 막 으로 코팅 하 는 예 를 설명 했 지만 , 금속 산화 막 대신 에 , 실리콘 ( Si ) , 산화 실리콘 ( SiO ) , 질화 실리콘 ( SiN ) , SiC 등 의 금속 원소 를 포함 하 지 않 는 비금속 물 의 막 에 의해 코팅 해도 된다 . 또한 , Si 로 코팅 하 는 방법 으로서 , 접촉 개소 ( 접촉 부 ) 에 대한 부분 적 인 코팅 이 용이 한 Si 용사 를 사용 해도 된다 .