본 발명 은 비정질 실리콘 막 을 형성 한 후 레이저 결정 화 장비 의 동일 한 프로세스 챔버 에서 제어 된 고온 의 N 2 ( Hot N 2 ) 를 이용 하 여 가스 탱크 에서 셋 팅 ( setting ) 된 N 2 유량 으로 분출 ( blowing ) 함 과 동시 에 레이저 빔 ( laser beam ) 을 조사 하 면서 탈수소 화 및 결정 화 공정 을 동시 에 진행 하 여 폴리 실리콘 막 을 형성 함 으로써 결정 화 특성 을 향상 시키 고 , 공정 을 단순 화 하 여 공정 시간 을 단축 하 고 , 장비 투자 비용 을 절 감 할 수 있 는 효과 가 있 다 .