이후 , 도 9 c 와 같이 상기 제 7 패턴 ( 135 ) 과 상기 모 더미 패턴 ( 131 ) 과 겹치 는 부분 ( interact ) 을 제거 하 여 제 9 패턴 ( 136 ) 을 형성 한다 . 이후 , 도 9 d 와 같이 상기 모 더미 패턴 ( 131 ) 의 수직 방향 의 높이 는 고정 하 고 상기 제 1 거리 ( A ) 와 같 은 폭 의 제 8 패턴 ( 137 ) 으로 축소 한다 .