또한 , 처리 대상 이 되 는 기판 에 는 , 예 를 들 어 , 반도체 기판 , 액정 표시 장치 또는 유기 EL ( electroluminescence ) 표시 장치 등 의 flat panel display ( FPD ) 용 기판 , 광 디스크 용 기판 , 자기 디스크 용 기판 , 광 자기 디스크 용 기판 , 포토 마스크 용 기판 , 세라믹 기판 , 프린트 기판 , 또는 , 태양 전지용 기판 등 이 포함 된다 .