도 9 는 제 1 실시 형태 에 따른 장착 유닛 을 개략 적 으로 도시 하 는 평면도 이 다 . 장착 유닛 ( 140 ) 은 하면 에 위치 결정 핀 ( 141 ) 이 마련 되 어 있 다 . 위치 결정 핀 ( 141 ) 은 , 장착 유닛 ( 140 ) 을 탑재 대 ( 31 ) 에 탑재 할 때 , 탑재 대 ( 31 ) 의 탑 재면 ( 36 d ) 에 마련 된 위치 결정 구멍 ( 36 e ) 에 끼워 맞춰진다 . 위치 결정 구멍 ( 36 e ) 은 탑재 대 ( 31 ) 에 전용 으로 마련 해도 좋 고 , 또한 예 를 들 어 탑재 대 ( 31 ) 에 탑재 된 웨이퍼 ( W ) 를 승강 시키 는 리프터 핀 ( lifter pin ) 이 수용 되 는 구멍 등 , 그 외 에 도 사용 되 는 기존 의 구멍 을 이용 해도 좋 다 .