예 시적 은 구 현예 에서 , 블록 S 2 는 제 1 서브 스트레이트 ( 110 ) 의 패드 층 ( 113 ) ( 또는 재 배선 층 ( 112 ) ) 으로부터 수직 으로 연장 되 도록 제 1 금속 필러 ( 120 ) 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 이러 한 형성 은 여기 서 제공 되 는 다양 한 방법 , 비 제한 적 인 예시 들 에서 이루어질 수 있 다 .