또한 , 도 4 를 참조 하 면 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 필터 유닛 ( 225 c ') 은 제 1 가변 소자 ( 610 - 1 , 610 - 2 ) , 제 2 가변 소자 ( 620 - 1 , 620 - 2 ) , 필터 ( 630 - 1 , 630 - 2 ) 및 히터 전원 필터 ( 640 - 1 , 640 - 2 ) 가 각각 복수 개 제공 될 수 있 다 . 제 어부 ( 미 도시 ) 는 복수 의 제 1 가변 소자 ( 610 - 1 , 610 - 2 ) 의 커패시턴스 값 을 조절 하 여 플 라즈 마 발생 유닛 ( 400 ) 의 정전 척 ( 210 ) 전압 ( 바이어스 전압 ) 변화 를 보상 하 거나 , 복수 의 제 2 가변 소자 ( 620 - 1 , 620 - 2 ) 의 커패시턴스 값 을 조절 하 여 복수 의 필터 ( 630 - 1 , 630 - 2 ) 의 공진 점 을 조절 함 으로써 , 복수 의 필터 ( 630 - 1 , 630 - 2 ) 의 성능 저하 를 방지 할 수 있 다 .