공정 챔버 ( 100 ) 는 상부 챔버 ( 110 ) 와 하부 챔버 ( 120 ) 로 이루어진다 . 상기 상부 챔버 ( 110 ) 의 본체 ( 111 ) 의 측벽 에 공정 가스 를 균일 한 분산 을 위해 가스 노즐 구 ( 113 ) 가 각각 일정 간격 을 두 고 형성 된다 . 상기 상부 챔버 ( 110 ) 의 커버 체 ( 115 ) 가 세라믹 재질 의 돔 형상 의 중앙부 를 갖 는다 .