진공 흡착 부 ( 31 ) 의 공기 유로 ( 33 ) 는 , 안착 부 ( 32 ) 에 연결 되 는 복수 의 제 1 공기 유로 ( 34 ) 들 과 , 제 1 공기 유로 ( 34 ) 들 과 진공 펌프 ( 40 ) 에 연결 되 는 제 2 공기 유로 ( 35 ) 로 이루어진다 . 제 1 공기 유로 ( 34 ) 들 은 안착 부 ( 32 ) 의 전체 공간 에 대향 되 도록 분산 되 어 있 으며 , 그 분산 된 형태 는 격자 형태 로 분산 될 수 도 있 고 , 방사상 으로 분산 될 수 도 있 다 . 이러 한 제 1 공기 유로 ( 34 ) 는 그 단면 형상 이 원형 으로 이루어질 수 도 있 고 , 사각형 으로 이루어질 수 도 있 으며 , 가늘 고 긴 슬롯 ( slot ) 형태 로 이루어질 수 도 있 다 .