상기 의 과제 를 해결 하 기 위한 기술 적 수단 으로서 의 본 발명 은 , 다층 구조 로 이루어진 반도체 제조 공장 의 각 층 을 관통 하 여 설치 되 는 진공 배관 지지 장체 로 , 연결 관 과 상기 연결 관 의 길 이 방향 중 특정 위치 에 결합 되 는 플랜지 로 구성 되 는 연결 배관 유닛 ; 상기 플랜지 의 상부 에 구비 되 어 상기 플랜지 를 상기 슬리브 체 에 고정 하 는 서포트 링 ; 내측 에 중 공부 가 형성 되 어 있 는 몸체 와 , 상기 몸체 의 상부 에 구비 되 며 상기 연결 배관 유닛 의 플랜지 가 장착 되 어 상기 서포트 링 에 의하 여 고정 되 는 결합 부 와 , 상기 몸체 의 하부 에 구비 되 어 바닥 면 에 고정 되 는 바닥 고정부 를 포함 하 여 구성 되 는 슬리브 체 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .