상술 한 제 1 내지 제 3 실시 예 에서 제 어부 ( 80 ) 가 제 1 공급 라인 ( 10 ) 에서 측정 된 압력 값 또는 ( 및 ) 중량 값 이 기준치 이하 인 경우 제 1 가스 용기 ( 1 ) 의 가스 가 소진 된 것 으로 판단 하 고 , 제 1 개 폐 밸브 ( 11 ) 를 차단 하 여 제 1 공급 라인 ( 10 ) 을 폐쇄 하 며 , 제 2 개 폐 밸브 ( 21 ) 를 열 어서 제 2 공급 라인 ( 20 ) 을 개방 하 여 공정 라인 ( 90 ) 으로 의 가스 공급 이 계속 유지 되 도록 하 는 제어 한다 . 그리고 , 작업자 는 가스 가 소진 된 제 1 가스 용기 의 교체 를 준비 하 는데 , 먼저 제 어부 ( 80 ) 는 퍼지 밸브 ( 41 ) 와 제 1 배기 밸브 ( 51 a ) 를 오픈 시키 고 , 제 1 개 폐 밸브 ( 11 ) 를 클로즈 시킨 상태 에서 퍼지 가스 공급원 으로부터 퍼지 가스 를 퍼지 라인 ( 40 ) 을 통해 제 1 공급 라인 ( 10 ) 으로 공급 하 여 제 1 공급 라인 ( 10 ) 에 남 아 있 는 잔류 가스 를 제 1 배기 라인 ( 51 ) 으로 완전히 배기 시킨 후 에 , 제 1 가스 용기 ( 1 ) 를 새로운 가스 용기 로 교체 하 게 된다 .