본 방법 의 실시 예 는 하전 입자 검출 을 위한 시스템 및 방법 을 제공 하 고 있 다 . 일 실시 예 에서 , 검출 시스템 이 제공 된다 . 검출 시스템 은 복수 의 전자 감지 요소 로부터 수신 된 전자 세기 데이터 에 기초 하 여 세기 구배 세트 를 생성 하 도록 구성 된 신호 처리 회로 를 포함 하 고 있 다 . 검출 시스템 은 빔 스폿 처리 모듈 을 더 포함 하 고 있 으며 , 이 빔 스폿 처리 모듈 은 세기 구배 세트 에 기초 하 여 빔 스폿 의 적어도 하나 의 경 계부 를 결정 하 도록 ; 그리고 적어도 하나 의 경 계부 에 기초 하 여 복수 의 전자 감지 요소 중 제 1 세트 의 전자 감지 요소 가 빔 스폿 내 에 있 다는 것 을 결정 하 도록 구성 되 어 있 다 .