또한 , 처리 용기 내 에 Ru 함유 전구체 를 공급 하 는 방법 으로서 는 , 예 를 들 어 저류 탱크 에 저류 된 Ru 함유 전구체 를 , 처리 용기 와 저류 탱크 의 사이 에 마련 된 밸브 의 개폐 에 의해 처리 용기 내 에 공급 하 는 방법 을 이용 해도 된다 . 이렇게 저류 탱크 에 저류 된 Ru 함유 전구체 를 , 처리 용기 와 저류 탱크 의 사이 에 마련 된 밸브 의 개폐 에 의해 처리 용기 내 에 공급 하 는 경우 , 밸브 의 개폐 시간 · 횟수 에 따라서 막 두께 를 단계 적 으로 조정 할 수 있 으므로 막 두께 제어 성 이 향상 된다 .