또한 , 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 는 기판 ( 107 ) 과 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 및 복수 돌기 부 ( 102 c ) 의 상부 면 사이 의 접촉 면적 이 큰 형태 를 갖 기 때문 에 , 복수 돌기 부 ( 102 c ) 및 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 의 상부 면 과 접촉 하 는 기판 ( 107 ) 의 대향 면 에 파티클 이 쉽 게 부착 될 수 있 다 . 그러나 , 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 는 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 설치 되 지 않 고 , 복수 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 의 직경 ( φ 2 ) 이 예 를 들 면 , 0 . 1 ㎜ ~ 0 . 2 ㎜ 의 범위 로 매우 작 으며 , 복수 돌기 부 ( 12 c ) 의 상부 면 과 기판 ( 17 ) 사이 의 접촉 면적 이 작 은 형태 를 갖 기 때문 에 , 기판 ( 17 ) 의 대향 면 에 부착 되 는 파티클 을 현저 하 게 감소 시킬 수 있 다 .