또한 , 유해 물질 입자 를 노출 챔버 에 공급 하 는 유입 포트 를 복수 개 형성 하 고 , 유입 포트 가 형성 된 유입 파이프 의 내부 직경 을 그 위치 에 따라 서로 다르 게 형성 함 으로써 , 복수 개 의 유입 포트 를 통한 유해 물질 입자 의 공급 을 통해 노출 챔버 에서 유해 물질 입자 의 분포 균 일도 를 증가 시칼 수 있 고 , 복수 개 유입 포트 의 분사 유량 을 모두 동일 하 게 유지 하 여 유해 물질 입자 의 흐름 을 더욱 균일 하 게 공급 확산 시킬 수 있 어 유해 물질 입자 의 분포 균 일도 를 더욱 증가 시킬 수 있 는 효과 가 있 다 .