이때 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 도 5 의 ( a ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 가공 유닛 ( 18 ) 에 있 어서 의 집광기 ( 181 ) [ 집광 렌즈 ( 183 ) ] 의 높이 위치 를 제어 한다 . 이 제어 에 관하 여 , 먼저 , 도 4 에 나타낸 제어 유닛 ( 61 ) 의 설 정부 ( 63 ) 가 , 도 5 의 ( a ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 내부 에 있 어서 의 하 면 ( LS ) 으로부터 미리 정해진 높이 위치 ( P ) 에 개질 층 을 형성 하 기 위해 , 이 미리 정해진 높이 위치 ( P ) 에 있 어서 의 웨이퍼 ( 1 ) 의 하 면 ( LS ) 으로부터 의 높이 값 ( H 1 ) 을 설정 한다 . 이 높이 값 ( H 1 ) 의 설정 은 , 예컨대 , 작업자 에 의해 지정 된 값 에 따라 실시 된다 .