제 2 세트 의 추가 처리 단계 들 은 , 피 처리 S - D 웨이퍼 에 대한 S - D 신뢰 도 맵 으로서 , 제 1 S - D 신뢰 도 맵 은 피 처리 S - D 웨이퍼 각각 의 위 에서 제 1 개수 의 평가 사이트 에 작성 된 하나 이상 의 라이브러리 관련 기준 특징 부 에 대한 신뢰 도 데이터 를 포함 하 는 것 인 S - D 신뢰 도 맵 을 계산 하 는 단계 와 , 제 1 S - D 신뢰 도 맵 내 의 하나 이 상 의 값 이 제 1 신뢰 도 한계 내 에 없 을 경우 필수 평가 사이트 의 개수 를 1 이상 줄이 는 단계 와 , 제 1 S - D 신뢰 도 맵 내 의 하나 이상 의 값 이 제 1 신뢰 도 한계 내 에 있 을 경우 필수 평가 사이트 의 개수 를 1 이상 늘리 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .