도 7 의 ( b ) 에 나타낸 바 와 같이 , 초전 도 디스크 공진기 를 챔버 ( 31 ) 내 에 배치 한다 . 챔버 ( 31 ) 의 상면 에 는 지시봉 ( 알루미나 막대 ) ( 32 ) 이 회전 가능 하 게 설치 되 어 , LaAlO 3 기판 ( 30 ) 을 , 초전 도 공진기 패턴 ( 12 ) 의 상방 에 유지 한다 . 신호 입출력 라인 과 지시봉 ( 32 ) 은 , 챔버 ( 31 ) 외부 의 피에조 모터 ( 33 ) 에 접속 되 어 , LaAlO 3 기판 ( 30 ) 을 , 초전 도 공진기 패턴 ( 12 ) 에 대해서 스파이럴 이동 시킨다 .