이 와 같이 , 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 의 분사구 ( 212 ) 로부터 분사 되 어 흡입 블럭 ( 100 ) 의 흡입구 ( 120 ) 로 유입 되 는 에어 의 속도 ( v 1 ) 가 기판 의 상면 전체 영역 과 흡입 블럭 ( 100 ) / 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 사이 에 있 는 에어 의 속도 ( v 2 ) 보다 상대 적 으로 매우 빠른 속도 를 유지 할 수 있 기 때문 에 , 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 의 분사구 ( 212 ) 로부터 분사 되 어 흡입 블럭 ( 100 ) 의 흡입구 ( 120 ) 로 유입 되 는 영역 에 있 는 압력 ( P 1 ) 이 기판 의 상면 전체 영역 과 흡입 블럭 ( 100 ) / 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 사이 에 있 는 에어 의 압력 ( P 2 ) 보다 효율 적 으로 낮 아 지 게 유지 되 며 , 그 에 따라 기판 ( C ) 상 의 분진 등 의 입자 ( P ) 이 효율 적 으로 흡입 블럭 ( 100 ) 으로 유입 되 어 집진기 로 집진 될 수 있 다 .