플라 즈 마 반응기 ( 100 ) 는 챔버 라이너 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 챔버 라이너 들 은 처리 동안 반응 성 컴포넌트 들 로부터 챔버 벽 들 을 보호 하 기 위해 일반 적 으로 제공 된다 . 이러 한 라이너 들 은 세라믹 , 실리콘 , 또는 다른 보호 물질 들 로 만들 어 질 수 있 고 , 주기 적 으로 교체 되 도록 설계 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 처리 이전 에 챔버 의 안쪽 표면 상 에 실리콘 또는 산화층 을 증착 함 으로써 챔버 는 화학 적 으로 라이닝 될 수 있 다 . 이러 한 종류 의 인 - 시튜 챔버 라이너 는 동일 한 기능 을 하 고 , 에칭 또는 세정 프로세스 들 에 의해 제거 및 교체 될 수 있 다 .