실시 예 들 은 특정 한 맥락 , 즉 , 콘택트 플러그 의 형성 에 대해 설명 될 것 이 다 . 논의 되 는 실시 예의 개념 은 , 구조물 에 , 그리고 금속 라인 , 금속 비아 등 의 형성 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 다른 구조물 의 처리 에 적용 될 수 도 있 다 . 본 명세서 에서 논의 되 는 실시 예 는 , 본 개시 의 주제 의 제조 또는 사용 을 가능 케 하 기 위해서 예 를 제공 하 기 위한 것 이 며 , 당업자 는 , 상이 한 실시 예 들 의 예상 되 는 범위 내 에 머무르 면서 이루어질 수 있 는 수정 예 를 수월 하 게 이해 할 것 이 다 . 아래 에서 도면 내 의 유사 한 참조 번호 및 문자 는 유사 한 컴포넌트 를 지칭 한다 . 방법 실시 예 는 특정 한 순서 로 수행 되 는 것 으로서 논의 될 수 있 지만 , 다른 방법 실시 예 는 임의 의 논리 적 순서 로 수행 될 수 있 다 .