또한 , 예 를 들 면 , 인 덱 서 블록 과 제 1 처리 블록 의 사이 에 제 1 기판 버퍼 가 설치 됨 과 더불 어 , 인 덱 서 블록 과 제 2 처리 블록 의 사이 에 제 2 기판 버퍼 가 설치 된다고 가정 한다 . 이 경우 , 2 개 의 기판 버퍼 가 , 인 덱 서 블록 의 양측 에서 , 또한 , 2 개 의 처리 블록 이 배치 되 는 방향 으로 배치 되 게 된다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 가 그 방향 으로 길 어 질 가능 성 이 있 다 . 본 발명 에 의하 면 , 기판 버퍼 는 , 2 개 의 처리 블록 의 중간 에 배치 되 어 있 다 . 기판 버퍼 에 는 , 2 개 의 처리 블록 의 각각 에 의하 여 기판 이 반송 된다 . 즉 , 제 1 기판 버퍼 와 제 2 기판 버퍼 가 평면 에서 보 았 을 때 에 같 은 위치 ( 즉 1 개소 ) 에 적층 된다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 가 길 어 질 가능 성 을 감소 시킬 수 있 다 . 즉 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 를 감소 시킬 수 있 다 .