내뿜 기 부 ( 203 ) 는 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 경통 ( 107 ) 에 형성 된 개구 ( 202 ) 를 둘러싸 도록 배치 되 어 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 로부터 내뿜 어 지 는 높 은 청 정도 를 갖 는 기체 ( 204 ) 는 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 충돌 한다 . 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 충돌 한 기체 ( 204 ) 의 모두 는 , 표면 ( 201 A ) 을 따라 흘러 , 제 2 배기 부 ( 109 ) 를 통하 여 , 경통 ( 107 ) 의 외부 에 배출 된다 . 또한 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 는 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 의 부근 에 발생 하 는 소용돌이 ( 206 ) 에 의한 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 ( 205 ) 의 말려 듦을 저감 하 기 위해서 , 개구 ( 202 ) 의 단부 로부터 떼 어 놓 아서 배치 되 어 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 와 개구 ( 202 ) 와 의 사이 에 미리 정해진 거리 ( 207 ) 가 마련 되 어 있 다 .