각 화소 ( 36 ) 는 , 멀티 빔 의 하나 의 빔 당 조사 단위 영역 이 된다 . 도 4 의 예 에서 는 , 기판 ( 101 ) 의 묘화 영역 이 , y 방향 으로 , 1 회 의 멀티 빔 ( 20 ) 의 조사 로 조사 가능 한 빔 어레이 ( 34 ) ( 묘화 필드 ) 의 사이즈 와 같 은 폭 사이즈 로 복수 의 스트라이프 영역 ( 32 ) 으로 분할 된 경우 를 나타내 고 있 다 . 빔 어레이 ( 34 ) 의 x 방향 의 사이즈 는 , 멀티 빔 의 x 방향 의 빔 간 피치 에 x 방향 의 빔 수 를 곱한 값 이 된다 . 빔 어레이 ( 34 ) 의 y 방향 사이즈 는 , 멀티 빔 의 y 방향 의 빔 간 피치 에 y 방향 의 빔 수 를 곱한 값 이 된다 .