본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 적용 된 측정 시스템 은 간섭계 기반 측정 시스템 일 수 도 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 , 제 1 측정 시스템 부분 ( MS 1 ) 은 제 2 측정 시스템 부분 ( MS 2 ) 을 형성 하 는 1 이상 의 거울 과 상호 작동 하 는 1 이상 의 ( 레이저 ) 간섭계 를 포함 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 제 2 측정 시스템 부분 ( MS 2 ) 은 제 1 측정 시스템 부분 ( MS 1 ) 을 형성 하 는 1 이상 의 거울 과 상호 작동 하 는 1 이상 의 ( 레이저 ) 간섭계 를 포함 할 수 있 다 .