도 4 를 참조 하 면 , 본 발명 의 일실 시예 에 따른 유체 혼합 탱크 ( 200 - 1 ; 200 ) 는 , 기판 ( W ) 을 처리 하 기 위해 사용 되 는 공 용매 와 초임계 유체 를 혼합 하 기 위한 장치 로서 , 상기 기체 상태 의 공 용매 와 초임계 유체 가 공급 되 어 혼합 이 이루어지 는 탱크 몸체 ( 210 ) 를 포함 하 고 , 상기 탱크 몸체 ( 210 ) 의 상부 일 측 에 는 공 용매 유입 관 ( 220 ) 과 , 상기 공 용매 유입 관 ( 220 ) 의 관로 를 개폐 하 는 제 1 밸브 ( 221 ) 가 구비 되 고 , 상기 탱크 몸체 ( 210 ) 의 상부 타 측 에 는 초임계 유체 유입 관 ( 230 ) 과 , 상기 초임계 유체 유입 관 ( 230 ) 의 관로 를 개폐 하 는 제 2 밸브 ( 231 ) 가 구비 된다 .