일 실시 형태 에서 는 , 반송 기구 의 핸드 ( 90 ) 로부터 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로 전달 하 기 위해 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 , 도 4 에 도시 하 는 상승 위치 가 아니 라 , 도 6 에 도시 하 는 편심 검지 위치 로 상승 시켜도 된다 . 이 경우 , 웨이퍼 W 는 , 반송 기구 의 핸드 ( 90 ) 에 의해 편심 검지 위치 에 있 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 상 에 반송 되 고 , 진공 흡인 에 의해 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 에 보유 지지 된다 . 그 후 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 승강 위치 를 변경 시키 지 않 고 , 편심 검지 위치 에 있 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 편심 량 및 편심 방향 이 편심 검출 기구 ( 54 ) 의 편심 검출기 ( 60 ) 에 의해 측정 된다 .