다음 으로 , 도 8 에 기초 하 여 본 발명 의 다른 실시 형태 에 대하 여 설명 한다 . 이 실시 형태 의 노광 장치 에서 는 , 웨이퍼 스테이 지용 인코더 시스템 만 이 전술 한 실시 형태 와 상이 하 므로 , 이하 에서 는 이 인코더 시스템 에 대하 여 설명 한다 . 또한 , 도 3 과 의 차이 가 인코더 시스템 의 구성 뿐 이 므로 , 이하 에서 는 도 3 과 동일 혹은 동등 한 작용 , 기능 의 구성 부분 에 는 동일 한 부호 를 부여 함 과 함께 그 설명 을 생략 한다 . 또한 , 이 도 8 에서 는 , 간섭계 시스템 ( 18 ) 도 도시 가 생략 되 어 있 다 .