대안 적 실시 예 에서 는 제 1 N - S - D 웨이퍼 세트 가 결정 될 수 있 고 , 이 들 웨이퍼 는 제 1 N - S - D 처리 시퀀스 를 이용 하 여 처리 될 수 있 으며 , 제 1 N - S - D 처리 시퀀스 는 하나 이상 의 N - S - D 프로시저 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 N - S - D 웨이퍼 세트 는 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 하나 이상 의 제 1 서브시스템 내 의 하나 이상 의 제 1 N - S - D 처리 요소 로 이송 될 수 있 고 , 제 1 N - S - D 처리 시퀀스 는 하나 이상 의 제 1 서브시스템 내 의 하나 이상 의 제 1 N - S - D 처리 요소 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 .