이상 과 같 은 본 실시 형태 에 있 어서 도 , 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 , 휘어진 기판 ( W ) 의 양단 을 위 로부터 가압 하 고 , 기판 ( W ) 을 하측 으로부터 지지 하 는 반송 롤러 ( 31 A ) 와 가압 롤러 ( 31 B ) 를 구동 시킴 으로써 , 휘어짐 을 교정 하 여 기판 ( W ) 을 반송 할 수 있 다 . 그리고 , 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 간격 이 , 최초 로 휘어짐 기판 ( W ) 과 접촉 하 는 열 의 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 로부터 수열 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 순서 대로 넓 어 진다 . 이 에 의해 , 휘어짐 에 의해 폭 이 좁 아 져 있 는 기판 ( W ) 의 단부 를 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 로 가압 하 여 , 휘어짐 을 교정 하 여 반송 을 행할 수 있 다 .