이후 , 기판 ( 110 ) 상 에 희생 게이트 절연 층 ( 도시 생략 ) , 희생 게이트 도전 층 ( 도시 생략 ) , 하드 마스크 패턴 ( 210 ) 을 순차 적 으로 형성 한 후 하드 마스크 패턴 ( 210 ) 을 식각 마스크 로 사용 하 여 상기 희생 게이트 도전 층 및 상기 희생 게이트 절연 층 을 패 터닝 하 여 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 와 희생 게이트 절연 층 패턴 ( 224 ) 을 형성 할 수 있 다 .