보호 층 ( 124 ) 위 에 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 이 배치 된다 . 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 은 보호 층 ( 124 ) 의 측벽 들 에 의해 규정 된 리세 스 내 로 연장 될 수 있 다 . 상부 상호 연결 구조물 ( 128 ) 이 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 내 에 배치 된다 . 상부 상호 연결 구조물 ( 128 ) 은 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 의 윗면 으로부터 상부 전극 ( 118 ) 까지 연장 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 은 탄소 도핑 된 실리콘 이 산화물 , 실리콘 산질 화물 , BSG ( borosilicate glass ) , PSG ( phosphoric silicate glass ) , BPSG ( borophosphosilicate glass ) , FSG ( fluorinated silicate glass ) , 다공성 유전체 물질 등 을 포함 할 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 상부 상호 연결 구조물 ( 128 ) 은 상호 연결 비아 ( 216 ) 및 / 또는 상호 연결 배선 ( 218 ) 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 상부 상호 연결 구조물 ( 128 ) 은 구리 , 텅스텐 , 및 / 또는 알루미늄 과 같 은 도전 성 물질 을 포함 할 수 있 다 .