스테이지 ( 420 ) 는 , 처리 용기 ( 410 ) 내 에서 웨이퍼 ( W ) 를 수평 하 게 지지 하 는 부재 이 며 , 도 3 에서 는 스테이지 ( 11 a ) 로서 도시 하고 있 다 . 스테이지 ( 420 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 에 대응 한 크기 의 원판 상 으로 형성 되 어 있 고 , 지지 부재 ( 423 ) 에 지지 되 어 있 다 . 스테이지 ( 420 ) 는 , 질화알루미늄 ( AlN ) 등 의 세라믹스 재료 나 , 알루미늄 이나 니켈 합금 등 의 금속 재료 로 형성 되 어 있 고 , 내부 에 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 기 위한 히터 ( 421 ) 와 전극 ( 429 ) 이 매립 되 어 있 다 . 히터 ( 421 ) 는 , 히터 전원 ( 도시 하 지 않 음 ) 으로부터 급전 되 어 발열 한다 . 그리고 , 스테이지 ( 420 ) 의 상면 의 근방 에 마련 된 열전쌍 ( 도시 하 지 않 음 ) 의 온도 신호 에 의해 히터 ( 421 ) 의 출력 을 제어 하 고 , 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 소정 의 온도 로 제어 된다 .