상기 플 라즈 마 전극 부재 ( 240 ) 는 급전 케이블 을 통해 플 라즈 마 전원 공급 부 ( 140 ) 에 전기 적 으로 접속 됨 으로써 플 라즈 마 전원 공급 부 ( 140 ) 로부터 공급 되 는 플 라즈 마 전원 에 따라 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 플 라즈 마 를 형성 한다 . 이 에 따라 , 상기 플라 즈 마는 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 공급 되 는 제 1 가스 는 플 라즈 마 화 하 고 , 플 라즈 마 화 된 제 1 가스 는 상기 제 1 가스 분사 영역 에 하향 분사 된다 . 상기 플 라즈 마 화 된 제 1 가스 는 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 공급 되 는 제 1 가스 의 유속 ( 또는 흐름 ) 에 의해 가스 분사 공간 ( 212 ) 으로부터 하향 분사 될 수 있 다 .