또 , 본 발명 의 제 3 양상 에 따른 입체 형상 검사 장치 는 , 광원 과 상기 광원 으로부터 의 광 을 검사 대상 표면 방향 으로 안내 하 는 빔 분할기 와 , 상기 광원 으로부터 의 광 을 상기 빔 분할기 에 투영 하 는 투영 수단 과 , 상기 빔 분할기 로부터 의 광 을 검사 대상 표면 에 조사 하 고 검사 대상 표면 으로부터 반사 되 는 광 에 기초 하 여 간섭 광 패턴 을 형성 하 는 광 간섭 모듈 과 , 상기 광 간섭 모듈 에 의해 형성 된 간섭 광 패턴 을 획득 하 는 촬상 수단 과 , 상기 촬상 수단 로부터 촬상된 영상 으로부터 측정 대상 의 입체 형상 을 측정 하 여 측정 결과 를 통해 검사 대상 의 결함 유무 를 판단 하 는 입체 형상 검사 장치 에 관한 것 으로서 , 상기 투영 수단 은 상기 검사 대상 ( P ) 표면 의 화소 별 반 사도 에 따라 화소 별 광 의 밝기 조절 을 하 는 화소 별 디스플레이 제어 수단 을 포함 하 는 것 이 다 .