그러니까 , 분리 작업 이 개시 되 면 , 상기 리프트 핀 ( 110 ) 과 상기 유체 분사 부 ( 120 ) 가 작동 하 면서 기판 ( 10 ) 에 푸싱 압력 과 분사 력 을 함께 작용 시켜서 더 원활 한 분리 가 가능 하 게 해 주 는 것 이 다 . 상기 분사 노즐 ( 121 ) 을 통해 분사 되 는 유체 로 는 물 이 사용 될 수 있 으며 , 분사 된 물 은 상기 드레 인 홀 ( 401 ) 을 통해 배출 된다 .