여기 서 , 얼라이먼트 계 ( ALG ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 상 의 얼라이먼트 마크 또는 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 기준 마크 의 검 출시 등 에서 도 , 전술 한 인코더 시스템 ( 도 3 , 도 8 및 도 9 ) 을 사용 하 는 경우 , 이 검출 동작 시 에 있 어서 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동 범위 도 고려 하 여 , 헤드 의 배치 ( 예 를 들 어 위치 , 개수 중 적어도 하나 를 포함 한다 ) 및 / 또는 스케일 부재 의 배치 ( 예 를 들 어 위치 , 개수 , 크기 중 적어도 하나 를 포함 한다 ) 등 을 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 얼라이먼트 계 ( ALG ) 의 계측 위치 에 웨이퍼 스테이지 를 이동 시켜 실시 되 는 마크 의 검출 동작 중 에 도 , 예 를 들 어 X 축 , Y 축 및 θ z 방향 의 3 자유도 의 위치 계측 을 가능 하 게 하 기 위해서 , 항상 적어도 3 개 의 헤드 가 대응 하 는 동일 및 / 또는 상이 한 스케일 부재 ( 회절 격자 ) 와 계속 대향 하 는 , 즉 인코더 시스템 에 의한 위치 계측 이 불 가능 해져 웨이퍼 스테이지 의 위치 제어 가 중단 되 는 경우 가 없 도록 헤드 및 / 또는 스케일 부재 의 배치 를 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 경우 , 일례 로서 , 노광 동작 과 얼라이먼트 동작 에서 상기 각 실시 형태 의 스케일 부재 가 겸용 가능 하 도록 그 크기 를 설정 해도 되 고 , 혹은 , 전술 한 스케일 부재 와 는 별도 로 , 얼라이먼트 동작 에서 사용 하 는 스케일 부재 를 형성 해도 된다 . 특히 후자 에서 는 , 예 를 들 어 얼라이먼트 계 ( ALG ) 에 대해서 도 , 도 3 , 도 8 , 도 9 등 에 도시 된 배치 와 동일 한 배치 로 스케일 부재 를 형성 하 면 된다 . 또는 , 노광 동작 에서 사용 하 는 복수 의 스케일 부재 의 적어도 1 개 와 , 별도 형성 되 는 적어도 1 개 의 스케일 부재 를 사용 하 여 , 얼라이먼트 동작 등 에서 도 인코더 시스템 에 의해 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 계측 을 실시 해도 된다 .