제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 에서 소정 의 처리 가 끝나 면 , 제 2 진공 반송 로봇 ( 134 ) 은 , 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 로부터 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 취 출한 기판 ( W ) 을 제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 에 반입 한다 . 그 후 에 , 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 측 의 게이트 밸브 ( 133 ) 를 닫 으면 , 제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 가 대기압 으로 복귀 되 어 , 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 측 의 게이트 밸브 ( 132 ) 를 열 수 있 다 . 제 2 대기 반송 로봇 ( 131 ) 은 제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 로부터 처리 완료 의 기판 을 취 출하 고 , 그 취 출한 기판 ( W ) 을 제 2 기판 교환 기구 를 거쳐서 대기 반송 로봇 ( 106 ) 에 넘겨 준다 . 대기 반송 로봇 ( 106 ) 은 그 처리 완료 의 기판 을 포트 ( 103 ) 위 의 카세트 ( 109 ) 로 되돌린다 .