도 5 a 는 본 발명 을 따르 는 제 1 방법 의 흐름 도 를 도시 한다 . 공정 단계 ( 100 ) 내지 공정 단계 ( 103 ) 는 단지 한 번 만 수행 되 는 반면 에 , 공정 단계 ( 104 ) 내지 공정 단계 ( 106 ) 은 총 n 회 수행 될 수 있 다 . 명확 한 이해 를 위해 , 공정 단계 ( 107 ) 는 별도 의 도 2 h 에 도시 되 며 공정 단계 ( 104 ) 와 동일 하 지만 , 제 3 기판 ( 4 o ') 은 이미 형성 된 기판 스택 ( 9 ) 상 에 이미 결합 된다는 점 에서 차이 가 있 다 .