마이크 로 렌즈 ( 140 b ) 는 산화 막 계열 물질 인 HDP ( High Density Plasma ) 산화 막 , BPSG ( Boron Phosphorus Silicate Glass ) 막 , PSG ( Phosphorus Silicate Glass ) 막 , PETEOS ( Plasma Enhanced Tetra Ethyle Ortho Silicate ) 막 , PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 막 , USG ( Un - doped Silicate Glass ) 막 , FSG ( Fluorinated Silicate Glass ) 막 , CDO ( Carbon Doped Oxide ) 막 및 OSG ( Organic Silicate Glass ) 막 등 으로 형성 된다 .