제 1 정전 척 ( 21 ) 은 하부 전극 ( 18 ) 상 에 구비 되 어 있 다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 상면 에 기판 ( W ) 이 거치 된다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 은 본체 및 전극 을 가진다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 본체 는 , 대략 원반 형상 을 가지 며 , 유전체 로 형성 된다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 전극 은 , 막 형상 의 전극 이 며 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 본체 내 에 구비 되 어 있 다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 전극 은 스위치 ( 20 s ) 를 사이 에 두 고 직류 전원 ( 20 p ) 에 접속 되 어 있 다 . 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 전극 에 직류 전원 ( 20 p ) 으로부터 의 전압 이 인가 되 면 , 제 1 정전 척 ( 21 ) 과 기판 ( W ) 사이 에 정전 ( 靜電 ) 인력 ( 引力 ) 이 발생 한다 . 그 정전 인력 에 의해 기판 ( W ) 이 제 1 정전 척 ( 21 ) 에 유지 된다 .