도 1 은 이 와 같 은 마이크로밸런스 의 실시 예 를 나타내 고 있 다 . 즉 , 본 실시 예의 마이크로밸런스 는 , 진동자 ( 1 ) 의 표면 에 금 ( Au ) 또는 백금 ( Pt ) , 은 ( Ag ) , 구리 ( Cu ) , 알루미늄 ( Al ) 등 의 전기 전도성 이 우수 한 전극 물질 ( 2 ) 이 구비 되 고 , 이 전극 물질 ( 2 ) 에 나노 크기 의 기공 ( 또는 튜브 : 3 a ) 들 을 가진 밸브 메탈 전극 ( 3 ) 이 박막 으로 형성 된 구조 로 이루어져 있 다 . 밸브 메탈 전극 ( 3 ) 의 소재 로 는 티타늄 ( Ti ) , 탄탈 ( Ta ) , 알루미늄 ( Al ) , 주석 ( Sn ) , 니오브 ( Nb ) , 바나듐 ( V ) , 하프늄 ( Hf ) , 텅스텐 ( W ) 등 이 적용 된다 . 이러 한 밸브 메탈 은 예컨대 박막 증착 법 에 의해 박막 의 전극 을 형성 하 며 , 그 표면 에 는 후술 하 는 아노 다 이징 공정 에 의해 극소량 물질 의 질량 을 측정 하 기 에 적절 한 직경 10 ∼ 300 nm 인 나노 크기 의 기공 ( 3 a ) 들 이 형성 된다 .