적재 대 ( 20 ) 의 하 면 중앙부 에 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 저 벽 에 형성 된 개구 ( 15 ) 를 통해서 당해 저 벽 을 관통 하 여 , 상하 방향 으로 연장 되 는 대 지지 부재 로서 의 지지 축 부재 ( 23 ) 의 상단 이 접속 되 어 있 다 . 지지 축 부재 ( 23 ) 의 하단 은 , 이동 기구 로서 의 구동 기구 ( 24 ) 에 접속 되 어 있 다 . 구동 기구 ( 24 ) 는 , 지지 축 부재 ( 23 ) 를 승강 및 회전 시키 기 위한 구동력 을 발생 하 는 것 이 며 , 예 를 들 어 에어 실린더 ( 도시 하 지 않 음 ) 나 모터 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 갖 는다 . 지지 축 부재 ( 23 ) 가 구동 기구 ( 24 ) 의 구동 에 의해 상하 로 이동 하 는 것 에 수반 하 여 , 적재 대 ( 20 ) 는 , 이점쇄선 으로 나타내 는 반송 위치 와 , 그 상방 의 처리 위치 사이 를 상하 로 이동 할 수 있 다 . 반송 위치 란 , 처리 용기 ( 10 ) 의 반입 출구 ( 11 ) 로부터 처리 용기 ( 10 ) 내 에 진입 하 는 기판 반송 장치 로서 의 웨이퍼 반송 장치 ( M ) ( 도 5 참조 ) 와 후술 하 는 리프트 핀 ( 30 ) 사이 에서 , 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 고 있 을 때 , 적재 대 ( 20 ) 가 대기 하 는 위치 이 다 . 또한 , 처리 위치 란 , 웨이퍼 ( W ) 에 성막 처리 가 행하 여 지 는 위치 이 다 . 또한 , 지지 축 부재 ( 23 ) 가 구동 기구 ( 24 ) 의 구동 에 의해 그 축선 을 중심 으로 회전 하 는 것 에 수반 하 여 , 적재 대 ( 20 ) 가 상기 축선 을 중심 으로 회전 한다 .