다음 으로 , 제 1 유전 막 ( 44 ) 상 에 제 1 유전 막 ( 44 ) 보다 유전 상수 가 큰 제 2 유전 막 ( 45 ) 을 증착 하 여 유전 막 ( 46 ) 을 형성 한다 . 이 때 , 제 2 유전 막 ( 45 ) 은 ALD 방법 을 이용 하 여 30 ∼ 100 Å 의 두께 로 형성 하 며 , Al 2 O 3 , HfO 2 , HfxAlyOz , ZrO 2 , HfxZryOz 및 ZrAlO 의 그룹 에서 선택 된 어느 한 물질 을 사용 하 며 , 본 발명 의 실시 예 에서 는 Al 2 O 3 를 사용 한다 .