본 발명 의 산화물 분말 제조 장치 는 , 고체 상태 의 반응 물질 을 가열 하 여 증발 시키 기 위한 반응 수단 으로서 , 상기 반응 물질 이 수용 되 는 증발 챔버 와 , 상기 증발 챔버 상측 에 배치 되 어 상기 증발 챔버 에서 이동 되 는 액체 상태 의 반응 물질 을 산화 시키 는 산화 반응 챔버 ; 상기 산화 반응 챔버 에서 생성 된 산화물 분말 을 포집 하 는 적어도 하나 이상 의 포집 기 ; 상기 포집 기 와 상기 반응기 사이 에 배치 되 어 액 적 상태 의 산화물 이 이동 시키 는 이 송관 ; 및 상기 증발 챔버 , 산화 반응 챔버 , 이 송관 및 포집 기 를 제어 하 는 컨트롤러 ; 를 포함 한다 .