또한 도시 는 생략 되 어 있 지만 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 - X 측 단부 로부터 , 베이스 반 ( 12 ) 의 - X 측 에 설치 된 Y 축 방향 으로 이동 할 수 있 는 제 1 케이블 셔틀 ( 도시 생략 ) 에 , 도시 가 생략 된 배선 · 배관 용 케이블 이 접속 되 어 있 다 . 동일 하 게 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 + X 측 단부 로부터 , 베이스 반 ( 12 ) 의 + X 측 에 설치 된 Y 축 방향 으로 이동 할 수 있 는 제 2 케이블 셔틀 ( 도시 생략 ) 에 , 도시 가 생략 된 배선 · 배관 용 케이블 이 접속 되 어 있 다 . 이 들 케이블 에 의해 , 양 웨 이 퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 에 형성 된 Z · 레벨 링 기구 및 계측 용 부재 등 에 대한 전력 공급 , 및 에 어 슬라이더 에 대한 가압 공기 의 공급 등 이 실시 된다 .