하나 이상 의 전구체 는 전구체 들 로 유동 될 수 있 는 캐리어 가스 들 을 포함 하 는 플 라즈 마 공정 을 통해 여기 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 산소 함유 전구체 는 , 플 라즈 마가 형성 되 어 라디칼 유출물 들 을 생성 할 수 있 는 원격 플 라즈 마 구역 내 로 유동 될 수 있 다 . 플 라즈 마 유출물 들 은 , 이를테면 앞서 논의 된 바 와 같 은 면판 또는 샤워 헤드 를 통해 기판 공정 처리 구역 에 제공 될 수 있 고 , 금속 함유 물질 의 노출 된 구역 들 을 포함 하 는 기판 과 상호 작용 할 수 있 다 . 플 라즈 마 유출물 들 은 금속 함유 물질 을 산화 시키 거나 산화 시키 는 것 을 도울 수 있 다 . 플라 즈 마는 실시 예 들 에서 산소 와 같 은 임의 의 산소 함유 전구체 로부터 형성 될 수 있 고 , 수증기 또는 다른 산소 함유 전구체 들 과 함께 또는 그 들 에 대해 대안 적 으로 사용 될 수 있 다 . 예컨대 , 산소 함유 플 라즈 마 유출물 들 은 단독 으로 사용 될 수 있 거나 앞서 논의 된 바 와 같이 물 펄스 와 함께 사용 될 수 있 다 . 기판 공정 처리 구역 에 물 펄스 가 제공 될 수 있 고 , 그런 다음 , 산소 함유 플 라즈 마 유출물 들 이 공정 처리 구역 에 전달 되 어 기판 표면 들 과 추가 로 상호 작용 할 수 있 다 .