서 셉 터 ( 12 ) 에 는 , RF 바이어스 용 의 고주파 전원 ( 30 ) 이 매칭 유닛 ( 32 ) 및 급전 막대 ( 34 ) 를 통해 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 이 고주파 전원 ( 30 ) 은 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 인입 되 는 이온 의 에너지 를 제어 하 는 데 알맞 은 일정 한 주파수 , 예컨대 13 . 56 MHz 의 고주파 를 정해진 파워 로 출력 한다 . 매칭 유닛 ( 32 ) 은 , 고주파 전원 ( 30 ) 측 의 임피던스 와 부하 ( 주로 전극 , 플라 즈 마 , 챔버 ) 측 의 임피던스 사이 에서 정합 을 취하 기 위한 정합 기 를 수용 하 고 있 으며 , 이 정합 기 중 에 는 자기 ( 自己 ) 바이어스 생 성용 의 블로킹 콘덴서 가 포함 되 어 있 다 .