또한 히팅 부재 ( 230 ) 는 센터 영역 ( 310 ) , 미들 영역 ( 320 ) , 에지 영역 ( 330 ) 등 가스 토출 홀 ( 211 ) 의 위치 에 따라 히팅 영역 을 매 칭함 으로써 , 공정 에 대한 콘트롤 노브 ( control knob ) 를 확보 할 수 있 다 . 히팅 부재 ( 230 ) 는 이 에 따라 가스 플로우 영역 ( gas flow zone ) 별로 온도 제어 가 가능 해 지 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .