도 1 과 함께 도 2 a 내지 도 2 d 를 참조 하 면 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 구리 인터 커넥터 를 제조 하 기 위해 , 도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 제 1 도 전체 ( 110 ) 상 에 상기 캡 핑 층 ( 120 ) 및 일정 한 두께 를 갖 는 유전체 박막 을 순차 적 으로 형성 한 후 상기 유전체 박막 에 상기 트렌치 ( 131 ) 를 형성 하 여 상기 유전체 층 ( 130 ) 을 형성 할 수 있 다 .