펌프 ( 30 ) 의 회전수 가 중회 전 ( RS ) 으로 되 면 ( 시점 t 33 ) , 미리 정해진 지연 시간 ( 예 를 들 어 10 초 정도 ) 의 경과 후 에 , 유량계 ( 25 B ) 에 의한 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 내 의 처리 액 유량 의 감시 를 개시 한다 . 유량 이 안정 되 면 ( 시점 t 34 ) , 온도 조 절부 ( 50 ) 의 전기 히터 모듈 에 의 급전 을 개시 하 여 , 처리 액 의 가열 을 개시 한다 . 전기 히터 모듈 에 대한 공급 전력 은 , 상술 한 피드백 제어 ( 피드 포워드 제어 를 조합 해도 됨 ) 를 사용 한 온도 조절 방법 에 의해 제어 할 수 있 다 . 이때 , 온도 센서 ( 21 RB ) 의 검출 온도 가 상술 한 보정 값 ( CV ) 의 산출 을 위해서 사용 된다 . 그 후 , 처리 액 의 온도 가 안정 되 면 ( 시점 t 35 ) , 제 2 분기 통로 부분 ( 24 B ) 에 접속 된 모든 액 처 리부 ( 60 ) 에 의 처리 액 공급 의 준비 가 완료 된다 ( Ready 상태 ) .