또한 , Ge 층 ( 120 ) 은 , 기능 층 에 시드 면 을 제공 하 는 시드 층 의 일례 여도 좋 다 . 시드 층 의 다른 예 로서 , SixGe 1 - x ( 식 중 , 0 ≤ x < 1 ) 를 예시 할 수 있 다 . 또한 , 어닐링 은 , 800 ℃∼ 900 ℃ 에서 2 ∼ 10 분 간 의 고온 어닐링 과 , 680 ℃∼ 780 ℃ 에서 2 ∼ 10 분 간 의 저온 어닐링 을 반복 하 여 실행 하 는 2 단계 어닐링 이 어도 좋 다 .