구현 되 는 검사 방법 에 관계 없이 , 레티 클 이 검토 를 통과 하 지 않 으면 , 대응 하 는 레티 클 은 동작 ( 1010 ) 에서 수리 ( repair ) 또는 폐기 될 수 있 고 검사 가 종료 된다 . 예 를 들 어 레티 클로 부터 특정 결함 을 세정 ( clean ) 할 수 있 다 . 포토 리소그래피 공정 은 또한 델타 맵 에 기초 하 여 조정 될 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 델타 값 ( Δ I / I ) 은 Δ I / I = - Δ D / D 에 의하 여 부분 도즈 보정 ( fractional dose correction ) ( Δ D / D ) 과 관련 된다 . 강도 변동 에 기초 한 도즈 보정 은 네덜란드 벨트 호벤 ( Veldhoven ) 의 ASML 에서 이용 가능 한 DoseMapperTM 방법 또는 독일 의 Zeiss 에서 이용 가능 한 CDC 보정 방법 에 의해 결정 될 수 있 다 .