도 1 을 참조 하 면 , 일루 미네 이터 ( IL ) 는 방사선 소스 ( SO ) 로부터 방사선 빔 을 수용 한다 . 예 를 들 어 , 상기 소스 가 엑 시머 레이저 ( excimer laser ) 인 경우 , 상기 소스 및 리소그래피 장치 는 별도 의 개체 일 수 있 다 . 이러 한 경우 , 상기 소스 는 리소그래피 장치 의 일부분 을 형성 하 는 것 으로 간주 되 지 않 으며 , 상기 방사선 빔 은 예 를 들 어 적절 한 지향 거울 및 / 또는 빔 익스팬더 ( beam expander ) 를 포함 하 는 빔 전달 시스템 ( BD ) 의 도움 으로 , 소스 ( SO ) 로부터 일루 미네 이터 ( IL ) 로 통과 된다 . 다른 경우 , 예 를 들 어 상기 소스 가 수은 램프 인 경우 , 상기 소스 는 리소그래피 장치 의 통 합부 일 수 있 다 . 상기 소스 ( SO ) 및 일루 미네 이터 ( IL ) 는 , 필요 에 따라 빔 전달 시스템 ( BD ) 과 함께 방사선 시스템 이 라고 도 칭해 질 수 있 다 .