본 명세서 에서 , " "" 방사선 "" 및 "" 빔 "" 이 라는 용어 는 ( 예 를 들 어 ", 365 , 248 , 193 , 157 또는 126 nm 의 파장 을 갖 는 ) 자 외 방사선 및 EUV ( 예 를 들 어 , 5 내지 20 nm 범위 내 의 파장 을 갖 는 극자 외 방사선 ) 를 포함 하 는 모든 형태 의 전자기 방사선 을 포괄 하 는 데 사용 된다 .