산화물 반도체 층 에 이용 하 는 재료 로서 는 , 사원 계 금속 산화물 인 In - Sn - Ga - Zn - O 계 의 재료 , In - Hf - Ga - Zn - O 계 의 재료 , In - Al - Ga - Zn - O 계 의 재료 , In - Sn - Al - Zn - O 계 의 재료 , In - Sn - Hf - Zn - O 계 의 재료 , In - Hf - Al - Zn - O 계 의 재료 나 , 삼 원계 금속 산화물 인 In - Ga - Zn - O 계 의 재료 , In - Sn - Zn - O 계 의 재료 , In - Al - Zn - O 계 의 재료 , Sn - Ga - Zn - O 계 의 재료 , Al - Ga - Zn - O 계 의 재료 , Sn - Al - Zn - O 계 의 재료 , In - Hf - Zn - O 계 의 재료 , In - La - Zn - O 계 의 재료 , In - Ce - Zn - O 계 의 재료 , In - Pr - Zn - O 계 의 재료 , In - Nd - Zn - O 계 의 재료 , In - Sm - Zn - O 계 의 재료 , In - Eu - Zn - O 계 의 재료 , In - Gd - Zn - O 계 의 재료 , In - Tb - Zn - O 계 의 재료 , In - Dy - Zn - O 계 의 재료 , In - Ho - Zn - O 계 의 재료 , In - Er - Zn - O 계 의 재료 , In - Tm - Zn - O 계 의 재료 , In - Yb - Zn - O 계 의 재료 , In - Lu - Zn - O 계 의 재료 나 , 이원계 금속 산화물 인 In - Zn - O 계 의 재료 , Sn - Zn - O 계 의 재료 , Al - Zn - O 계 의 재료 , Zn - Mg - O 계 의 재료 , Sn - Mg - O 계 의 재료 , In - Mg - O 계 의 재료 , In - Ga - O 계 의 재료 나 , In - O 계 의 재료 , Sn - O 계 의 재료 , Zn - O 계 의 재료 등 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , 상기 의 재료 에 SiO 2 을 포함 시킬 수 있 다 . 여기 서 , 예 를 들 어 , In - Ga - Zn - O 계 의 재료 는 인듐 ( In ) , 갈륨 ( Ga ) , 아연 ( Zn ) 을 갖 는 산화 물막 인 것 을 의미 이 며 , 그 조성 비 는 특히 제한 되 지 않 는다 . 또한 , In - Ga - Zn - O 계 산화물 반도체 는 In 과 Ga 와 Zn 이외 의 원소 를 포함 할 수 있 다 .