링 어셈블리 ( 123 ) 는 정전 척 ( 122 ) 의 테두리 를 감싸 도록 제공 되 는 것 이 다 . 이러 한 링 어셈블리 ( 123 ) 는 링 형상 으로 제공 되 어 , 기판 ( W ) 의 테두리 영역 을 지지 하 도록 구성 될 수 있 다 . 링 어셈블리 ( 123 ) 는 포커스 링 ( focus ring ; 123 a ) 및 절연 링 ( 123 b ) 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .