이러 한 라우팅 라인 ( 180 ) 과 접속 되 는 터치 패드 ( 170 ) 는 터치 패드 하부 전극 ( 172 ) 과 , 그 터치 패드 하부 전극 ( 172 ) 과 접촉 하 는 터치 패드 상부 전극 ( 174 ) 을 구비 한다 . 터치 패드 하부 전극 ( 172 ) 은 게이트 전극 ( 132 ) 및 드레 인 전극 ( 138 ) 중 적어도 어느 하나 와 동일 평면 상 에 동일 재질 로 형성 된다 . 예 를 들 어 , 터치 패드 하부 전극 ( 172 ) 은 드레 인 전극 ( 138 ) 과 동일 재질 로 동일 평면 인 층간 절 연막 ( 114 ) 상 에 배치 된다 . 터치 패드 상부 전극 ( 174 ) 은 제 1 및 제 2 터치 전극 ( 152 e , 154 e ) 과 동일 평면 상 에 동일 재질 로 형성 된다 . 이 터치 패드 상부 전극 ( 174 ) 은 보호막 ( 108 ) , 터치 버퍼 막 ( 148 ) 및 터치 절 연막 ( 156 ) 을 관통 하 는 패드 컨 택 홀 ( 176 ) 을 통해 노출 된 터치 패드 하부 전극 ( 172 ) 과 전기 적 으로 접속 된다 .