이어서 , 척 ( 130 ) 에 웨이퍼 ( w ) 를 장착 한다 . 즉 , 세로 로 정렬 된 웨이퍼 ( w ) 를 중심 으로 각각 의 바디 ( 137 ) 가 바깥쪽 으로 개방 되 었 다가 다시 원위치 되 면서 웨이퍼 테두리 를 양측 에서 압착 하 여 장착 할 수 있 다 . 이 때 , 웨이퍼 홀드 부 ( 133 ) 에 형성 되 어 있 는 다수 의 슬롯 ( 134 ) 은 장착 된 웨이퍼 가 이탈 되 지 않 도록 고정 한다 .