바로 형성 된 상태 ( as - deposited ) 의 무기물 박막 ( 30 ) 은 보통 비정질 이 거나 매우 작 은 입자 로 이루어진 다결정 을 갖 는 것 이 보통 이 다 . 희생 층 패턴 ( 20 ) 을 제거 함 으로써 빈 공간 ( C ) 을 형성 한 후 에 는 비정질 혹은 다결정 무기물 박막 ( 30 ) 을 치밀 화 하 고 결정 화 할 수 있 도록 , 열처리 를 진행 하 는 것 이 바람직 하 다 .