기판 ( 10 ) 은 이송 로봇 ( 미 도시 ) 에 의해 로딩 영역 ( 101 ) 으로 공급 된다 . 로딩 영역 ( 101 ) 의 기판 ( 10 ) 은 스테이지 ( 100 ) 로 이송 되 고 , 스테이지 ( 100 ) 상 에서 는 기판 ( 10 ) ( 기판 의 패턴 ) 에 대한 연마 공정 이 행해진다 . 그 후 , 기판 ( 10 ) 은 스테이지 ( 100 ) 에서 언 로딩 영역 ( 102 ) 으로 이송 된 후 다음 공정 이 행해진다 .