본 발명 의 또 다른 실시 형태 는 기판 을 유지 하 는 기판 유지 유닛 과 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 제 1 소수 화제 를 공급 하 는 제 1 소수 화제 공급 유닛 과 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 , 상기 제 1 소수 화제 와 는 다른 제 2 소수 화제 를 공급 하 는 제 2 소수 화제 공급 유닛 과 , 기판 을 건조 시키 는 건 조 유닛 과 , 상기 제 1 소수 화제 를 기판 에 공급 하 여 기판 의 표면 을 소수 화 시킨 후 에 , 상기 제 2 소수 화제 를 기판 에 공급 하 여 기판 의 표면 을 소수 화 시켜 , 그 후 기판 을 건조 시키 도록 , 상기 제 1 소수 화제 공급 유닛 , 상기 제 2 소수 화제 공급 유닛 및 상기 건조 유닛 을 제어 하 는 제어 장치 를 구비 하 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 . 이 구성 에 의하 면 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .