상기 스테이지 ( 50 ) , 상기 제 1 거울 면 ( 52 ) 및 상기 제 2 거울 면 ( 54 ) 에 동시 에 평행 광이 입사 된다 . 상기 평행 광 들 은 빔 확장 장치 에 의해 확장 된 레이 저광 의 일부 일 수 있 다 . 확장 된 레이저 광 중 상기 스테이지 ( 50 ) 에 직접 입사 되 는 평행 광 은 제 1 평 행 광 ( ①), 상기 제 1 거울 면 ( 52 ) 에서 반사 된 것 은 제 2 평 행 광 ( ②), 상기 제 2 거울 면 ( 54 ) 에서 반사 된 것 은 제 3 평 행 광 ( ③) 으로 정의 할 수 있 다 .