또한 , 상술 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 캐리어 를 보관 하 는 캐리어 보관 선반 과 , 상기 캐리어 재 치대 와 상기 캐리어 보관 선반 의 사이 에서 상기 캐리어 를 반송 하 는 캐리어 반송 기구 를 추가 로 구비 하 고 , 상기 캐리어 보관 선반 및 상기 캐리어 반송 기구 는 , 상기 제 1 처리 블록 및 상기 제 2 처리 블록 중 높이 가 낮 은 쪽 의 블록 상 에 탑재 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 .