이 에 , 언급 한 제 1 가이드 ( 50 ′) 를 포함 하 는 전기 검사 장치 ( 100 ) 는 제 1 기판 ( 10 ) 에 가해 지 는 가압 을 충분 하 게 줄일 수 있 기 때문 에 시간 이 경과 하 여도 제 1 기판 ( 10 ) 이 휘어지 는 것 을 충분 하 게 방지 할 수 있 고 , 그 결과 제 1 기판 ( 10 ) 의 프로브 팁 ( 12 ) 이 구비 된 제 1 표면 ( 10 a ) 이 갖 는 평탄 도 를 보다 균일 하 게 유지 할 수 있 다 .