상기 대물 렌즈 ( 120 ) 및 빔 분할기 ( 118 ) 로부터 전달 된 반사광 ( L 2 ) 은 사 냑 간섭계 ( 125 ) 의 하프 미러 ( HM ) 에 전달 된다 . 하프 미러 ( HM ) 는 상기 반사광 ( L 2 ) 을 제 1 반사광 ( L 2 _ 1 ) 및 제 2 반사광 ( L 2 _ 2 ) 으로 분할 하 여 , 상기 제 1 반사광 ( L 2 _ 1 ) 은 제 1 미러 ( M 1 ) 에 제공 하 고 , 제 2 반사광 ( L 2 _ 2 ) 는 제 2 미러 ( M 2 ) 에 제공 한다 .