도면 에서 는 액티브 층 ( 104 ) 과 소스 / 드레 인 전극 을 개별 적 인 마스크 공정 을 사용 하 여 형성 하 는 것 을 중심 으로 설명 하 였 지만 , 경우 에 따라서 는 회절 마스크 또는 하프톤 마스크 를 이용 하 여 액티브 층 ( 104 ) 과 소스 / 드레 인 전극 들 ( 106 , 116 , 112 , 113 ) 을 동시 에 형성 할 수 있 다 .