다음 으로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 투영 광학계 ( PL ) 에 의해 투영 된 레티 클 ( R ) 상의 1 쌍 의 계측 마크 의 투영 이미지 ( 공간 이미지 ) 를 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 계측 플레이트 ( 30 ) 를 포함 하 는 전술 한 공간 이미지 계측 장치 ( 45 B ) 를 사용 하 여 전술 과 동일 하 게 하 여 계측 한다 . 이 공간 이미지 의 계측 처리 시 에 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 XY 평면 내 의 위치 는 , X 스케일 ( 39 A , 39 B ) 에 대향 하 는 2 개 의 2 D 헤드 ( 165 j , 164 i ) ( 인코더 ( 170 B , 170 A ) ) 에 기초 하 여 제어 되 고 있 다 .