특히 , 본 실시 예 에서 예 를 든 것 처럼 , 자세 변환 장치 가 소크 챔버 의 내부 에 구성 될 경우 에 는 상 방향 으로 의 높이 의 확장 을 막 기 위하 여 전면 에 테스트 트레이 가 입력 되 는 수용 입구 를 형성 하 고 있 기 때문 에 , 이미 최대 허용치 에 있 는 전장 의 길이 를 늘이 지 않 기 위한 구성 이 필요 한데 , 이러 한 경우 에 본 발명 에 따른 개폐 장치 가 더욱 효과 적 으로 적용 될 수 있 을 것 이 다 .