구체 적 으로 는 , 탄탈 단체 ( Ta ) , 탄탈 질화물 ( TaN ) , 탄탈 산화물 ( TaO ) , 탄탈 산질 화물 ( TaNO ) , 탄탈 과 규소 를 함유 하 는 재료 ( TaSi , TaSiN , TaSiO , TaSiON 등 ) , 탄탈 과 규소 와 붕소 를 함유 하 는 재료 ( TaSiB , TaSiBN , TaSiBO , TaSiBON 등 ) , 탄탈 과 붕소 를 함유 하 는 재료 ( TaB , TaBN , TaBO , TaBON 등 ) , 탄탈 과 게르마늄 을 함유 하 는 재료 ( TaGe , TaGeN , TaGeO , TaGeON 등 ) , 탄탈 과 게르마늄 과 규소 를 함유 하 는 재료 ( TaGeSiB , TaGeSiBN , TaGeSiBO , TaGeSiBON 등 ) 등 을 들 수 있 다 . 차광막 의 막 두께 에 관해서 는 , 투과율 과 조성 ( Ta 의 함유 비율 ) 에 의해서 도 변화 되 어 가 지만 , 70 ~ 150 ㎚ 정도 가 바람직 하 고 , 80 ~ 120 ㎚ 이 면 더 바람직 하 다 .