사이드 컵 ( 42 ) 및 프로파일러 컵 ( 44 ) 의 적어도 일방 은 , 빔 전 류량 을 측정 하 기 위한 단일 의 패러데이 컵 을 구비 해도 되 고 , 빔 의 각도 정보 를 측정 하 기 위한 각도 계측기 를 구비 해도 된다 . 각도 계측기 는 , 예 를 들 면 슬릿 과 슬릿 으로부터 빔 진행 방향 ( z 방향 ) 으로 떨어져 마련 되 는 복수 의 전류 검 출부 를 구비 한다 . 각도 계측기 는 , 예 를 들 면 슬릿 을 통과 한 빔 을 슬릿 폭 방향 으로 나열 되 는 복수 의 전류 검 출부 에서 계측 함 으로써 , 슬릿 폭 방향 의 빔 의 각도 성분 을 측정 할 수 있 다 . 사이드 컵 ( 42 ) 및 프로파일러 컵 ( 44 ) 의 적어도 일방 은 , x 방향 의 각도 정보 를 측정 가능 한 제 1 각도 측정기 와 , y 방향 의 각도 정보 를 측정 가능 한 제 2 각도 측정기 를 구비 해도 된다 .