그리고 , 이 와 동시 에 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 를 투과 한 측정 빔 ( LB ) 은 측정 빔 검출 유닛 ( 160 ) 에 입사 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 제 1 빔 분할기 ( 150 ) 를 투과 한 측정 빔 ( LB ) 은 제 2 빔 분할기 ( 161 ) 를 통해 제 1 및 제 2 측정 빔 ( LB 1 , LB 2 ) 으로 분할 된 다음 , 제 2 빔 분할기 ( 161 ) 를 투과 한 제 1 측정 빔 ( LB 1 ) 은 파워 메터 ( 163 ) 에 입사 되 며 , 제 2 빔 분할기 ( 161 ) 에서 반사 된 제 2 측정 빔 ( LB 2 ) 은 펄스 형상 측정 센서 ( 162 ) 에 입사 된다 . 여기 서 , 파워 메터 ( 163 ) 는 입사 된 제 1 측정 빔 ( LB 1 ) 의 출력 을 실시간 으로 측정 하 고 , 펄스 형상 측정 센서 ( 162 ) 는 제 2 측정 빔 ( LB 2 ) 의 펄스 형상 을 실시간 으로 측정 한다 .