그 결과 , 소망 하 는 활성 영역 의 패턴 모양 이 실제 형성 되 었 을 때 의 패턴 모양 과 차이 가 존재 하 게 되 어 도 1 에 도시 된 바 와 같이 스토리지 노드 콘 택 이 형성 될 지역 의 활성 영역 의 모양 이 라운드 형태 의 모양 으로 만들 어 지 기 에 이상 적 인 액티브 패턴 모양 , 즉 라운드 지 지 않 은 모양 에 비해 활성 영역 이 감소 하 게 되 어 후속 으로 콘 택 저항 이 증가 되 는 문제 가 존재 하 다 .