이 에 본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 고려 하 여 , 상기 밸브 하우징 의 내부 공간 ( VS ) 과 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 반송 챔버 ( 200 ) 의 내부 공간 ( S 1 , S 2 ) 중 어느 하나 와 는 소통 되 도록 구성 할 수 있 는 바 , 구체 적 인 실시 예 들 로서 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 과 서로 소통 되 도록 구성 하 는 것 이 바람직 하 다 .