현상 후 , 패턴 막 을 가열 함 으로써 , 도막 의 경화 가 실시 된다 . 가열 조건 으로서 는 , 도막 의 경화 를 실시 할 수 있 는 어떠 한 온도 라도 좋 고 , 통상 150 내지 400 ℃ 이 며 , 바람직 하 게 는 200 내지 350 ℃ 이 다 . 150 ℃ 이하 에서 는 , 미 반응 의 실란 올기 가 잔존 하 고 , 충분 한 약품 내성 을 나타내 지 않 는다 . 또한 , 실란 올기 의 극성 은 높 은 유전율 을 유기 시킨다 . 따라서 , 유전율 을 낮추 는 경우 에 는 200 ℃ 이상 에서 경화 시키 는 것 이 바람직 하 다 .