특정 구체 예 에서 , 내화성 금속 의 비교 적 높 은 융점 으로 인해 , 내화성 금속 이 전극 층 을 형성 하 는 데 사용 된다 . 몇몇 내화성 금속 으로 는 텅스텐 ( W ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 탄탈룸 ( Ta ) , 니오븀 ( Nb ) , 티탄 니트 라이드 ( TiN ) , 탄탈 니트 라이드 ( TaN ) , 니오븀 니트 라이드 ( NbN ) , 크롬 , 바나듐 및 레늄 이 포함 된다 . 전극 층 으로 상기 논의 된 어떠 한 물질 도 다른 물질 과 조합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 폴리 실리콘 은 전극 층 을 위한 백금 과 조합 될 수 있 다 . 텅스텐 은 금과 조합 될 수 있 다 . 몰리브덴 은 팔라듐 및 실리콘 과 조합 될 수 있 다 .