상기 도 5 a 와 도 6 를 통해서 초음파 트랜스 듀 서 를 기준 으로 위아래 ( Z 축 ) 로 마이크 로 로봇 의 이동 을 제어 하 는 방법 에 대해 설명 하 였 다 . 이하 에서 는 , Z 축 이동 에 더불 어 복수 의 초음파 트랜스 듀 서 들 과 평행 한 평면 ( XY 평면 ) 내 이동과 초음파 매질 변화 에 따른 반사 를 최소 화 하 는 인터페이스 를 더 한 마이크 로 로봇 구동 장치 에 대해서 설명 하 도록 한다 .