예시 적 인 실시 예 에서 , 상기 제 1 레이저 공정 및 상기 제 2 레이저 공정 은 각각 제 1 에너지 레벨 을 갖 는 제 1 레이저 를 조사 하 여 실시 될 수 있 다 . 상기 제 3 레이저 공정 은 , 상기 제 3 절 단선 의 제 3 시작점 부터 상기 제 1 절 단선 의 상기 제 1 시작점 까지 제 3 레이저 레벨 을 갖 는 제 2 레이저 를 조사 하 는 제 1 서브 레이저 공정 , 상기 제 1 절 단선 의 상기 제 1 시작점 부터 상기 제 2 절 단선 의 상기 제 2 종료 점 까지 제 3 레이저 레벨 을 갖 는 상기 제 2 레이저 를 조사 하 는 제 2 서브 레이저 공정 및 상기 제 2 절 단선 의 상기 제 2 종료 점 부터 상기 제 3 절 단선 의 상기 제 3 종료 점 까지 제 2 레이저 레벨 을 갖 는 상기 제 2 레이저 를 조사 하 는 제 3 서브 레이저 공정 을 포함 하 고 , 상기 제 1 레이저 레벨 , 상기 제 2 레이저 레벨 및 상기 제 3 레이저 레벨 은 서로 다른 레이저 파워 를 가질 수 있 다 .