개시 된 구현 들 은 화학 적 기상 증착 기술 ( CVD ) , 물리 적 기상 증착 ( PVD ) , 플 라즈 마 강화 CVD , 플 라즈 마 강화 PVD , 스퍼터 퇴적 , 원자 층 CVD , 연소 CVD , 촉매 CVD , 증발 퇴적 , 분자 빔 에피택시 기술 등 과 같 은 퇴적 챔버 들 을 사용 하 는 다양 한 제조 기술 에 관한 것 이 다 . 개시 된 구현 들 의 가장 중요 한 실질 적 인 영향 이 진공 퇴적 챔버 들 ( 예 를 들 어 , 초고 진공 CVD 또는 PVD , 저압 CVD 등 ) 을 사용 하 는 기술 에서 발생 할 것 으로 예상 될 수 있 지만 , 동일 한 시스템 들 및 방법 들 이 퇴적 프로세스 들 동안 의 챔버 환경 의 비 침습 적 모니터링 을 위해 대기압 퇴적 챔버 들 에서 사용 될 수 있 다 . 이하 에서 , " "" 퇴적 챔버 "" 및 "" 챔버 "" 라는 용어 들 은 사용 된 구체 적 인 기술 에 의해 요구 되 는 진공 조건 들 에 관계없이 퇴적 제조 에 사용 되 는 임의 의 그러 한 챔버 를 나타내 기 위해 상호 교환 적 으로 사용 된다 . "