본 발명 은 유량 조 절부 및 유로 전환 부 가 그 회전축 을 중심 으로 회전 하 면서 복수 개 의 유로 를 통해 흐르 는 각 유체 의 전달 방향 및 유량 을 조절 할 수 있 도록 구현 함 으로써 , 유체 의 흐름 을 저해 하 지 않 으면서 각 유체 가 전체 적 으로 균일 하 게 반도체 소자 들 에 전달 되 도록 하 여 작업 의 효율 성 을 극대 화 할 수 있 는 효과 를 가진다 .