도 3 에 도시 한 바 와 같이 고주파 전력 공급 부 ( 70 ) 는 제 1 플 라즈 마 토치 ( 20 ) 의 외부 전극 ( 22 ) 에 플 라즈 마의 발생 을 유지 하 기 위한 고주파 전력 을 공급 하 는 것 으로 , 정합 회로 ( 71 ) 와 고주파 전원 ( 72 ) 을 구비 하 고 있 다 . 정합 회로 ( 71 ) 는 외부 전극 ( 22 ) 에 고주파 전력 을 공급 할 때 의 전력 반사 를 억제 하 기 위한 회로 이 며 , 예 를 들 어 LCR 공진 회로 등 이 사용 된다 . 고주파 전원 ( 72 ) 은 예 를 들 어 100 Mz 내지 500 MHz 등 의 주파수 의 전원 을 사용 할 수 있 다 . 공급 하 는 전력 의 크기 는 플 라즈 마용 가스 공급 부 ( 60 ) 로부터 공급 되 는 플 라즈 마용 가스 의 종류 , 유량 , 플 라즈 마의 안정 성 을 고려 하 여 결정 된다 . 고주파 전원 ( 72 ) 의 제어 는 제 어부 ( 80 ) 에 의해 행해진다 . 고주파 전원 ( 72 ) 과 정합 회로 ( 71 ) 는 고주파 전력 접속선 ( 73 ) 에 의해 접속 되 고 , 고주파 전력 은 정합 회로 ( 71 ) 로부터 고주파 전력 출력 선 ( 74 ) 을 통과 하 여 전선 ( 25 ) 에 출력 된다 .