상기 웨이퍼 안착 부 는 , 회전 가능 하 게 설치 되 고 , 상기 카세트 에 안착 된 웨이퍼 들 의 하단 이 지지 되 는 지지 로드 와 , 상기 지지 로드 의 일 측 에 위치 되 고 , 상기 지지 로드 에 지지 된 웨이퍼 들 의 일단 이 소정 간격 으로 이격 시키 는 복수 개 의 슬롯 이 구비 된 정렬 바를 포함 하 고 , 상기 회전 구동 부 는 , 상기 지지 로드 를 회전 구동 시키 는 구동 모터 로 구성 될 수 있 다 .