일 실시 예 에서 , 측면 주입 어셈블리 ( 247 ) 는 베이스 링 ( 240 ) 에 커플링 됨 으로써 측면 가스 유동 ( 248 ) 은 측면 포트 ( 222 ) 를 통해 처리 볼륨 ( 239 ) 으로 제공 된다 . 측면 주입 어셈블리 ( 247 ) 는 측면 가스 유동 ( 248 ) 의 유량 ( flow rate ) 을 제어 하 도록 구성 된 유동 조정 장치 ( 246 ) 를 통해 가스 소스 ( 235 ) 에 커플링 된다 . 측면 포트 ( 222 ) 는 입구 ( 231 ) 및 출구 ( 234 ) 사이 의 베이스 링 ( 240 ) 을 통해 일반 적 으로 형성 된다 .