바람직 하 게 , 시트 점착제 는 TEFLON ( 미 도시 ) 의 전사 시트 들 간 의 적층 물 로서 커팅 , 핸들 링 및 전사 된다 . 도 11 은 컴포넌트 ( 118 ) 의 본딩 표면 ( 146 ) 내 의 리세 스 사이 에 위치 된 시트 점착제 ( 140 a / 140 b ) 의 투시도 를 도시 한다 . 이러 한 리세 스 들 은 레 이스트 랙 그루브 의 형태 와 같 은 임의 의 형태 로 존재 할 수 있 다 . 또한 도시 된 시트 점착제 는 부분 들 ( 140 a ) 이 낮 은 미립자 오염 물질 방출 을 위해 언 필링 된 실리콘 탄성 중합체 시트 점착제 일 수 있 고 중간 부분 ( 140 b ) 이 열 전도 성 을 위해 Al 2 O 3 입자 및 / 또는 전기 전도 성 을 위해 입자 를 함유 할 수 있 도록 부분 들 ( 140 b ) 및 부분 들 ( 140 a ) 을 갖 는다 . 시트 점착제 ( 140 a / 140 b ) 는 시트 가 컴포넌트 ( 118 ) 와 지 지 부재 ( 138 ) 의 결합 면 들 간 에 피팅 할 수 있 도록 엘리 베이 션 조그 를 갖 는다 . 그 결합 면 들 은 컴포넌트 ( 118 ) 상 의 본딩 표면 ( 146 ) 및 지지 부재 ( 138 ) 의 로드 베어링 표면 ( 144 ) 이 다 . 본딩 표면 ( 146 ) 은 플라 즈 마 상태 의 프로세스 가스 로부터 멀리 떨어진 방향 에 있 는 표면 을 지칭 한다 . 컴포넌트 는 또한 플 라즈 마 에 노출 된 적어도 하나 의 내부 표면 ( 142 ) 을 갖 는다 .