또한 , 펜 브 러쉬 및 초음파 발생 부 는 , 연직 축 ( 18 ) 을 중심 으로 하 여 수평 선회 가능 한 세정 부용 가동 암 ( 19 ) 의 선 단부 ( 20 ) 에 부착 되 고 , 이 세 정부 용 가동 암 ( 19 ) 은 웨이퍼 보유 대 ( 8 ) 의 타방 측 근방 에 설치 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 가동 암 ( 19 ) 의 선 단부 ( 20 ) 에 형성 한 펜 브 러쉬 및 초음파 발생 부 는 세 정부 용 가동 암 ( 19 ) 을 수평 선회 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 반경 방향 으로 이동 한다 .