압력 측 정부 ( 54 ) 는 , 펌프 ( 56 ) 내 의 압력 에 관한 정보 를 취득 한다 . 예 를 들 어 , 압력 측 정부 ( 54 ) 는 , 펌프 ( 56 ) 와 펌프 구동 부 ( 57 ) 사이 의 접 속관 에 접속 되 어 있 어 , 당해 접 속관 내 의 압력 을 측정 한다 . 압력 측 정부 ( 54 ) 는 , 예 를 들 어 펌프 ( 56 ) 를 구동 하 기 위한 기체 의 압력 을 측정 한다 . 압력 측 정부 ( 54 ) 는 , 측정값 을 제어 장치 ( 100 ) 에 출력 한다 .