가스 분사 부 ( 130 ) 는 챔버 리드 ( 115 ) 에 형성 된 제 1 내지 제 4 모듈 설치 부 ( 115 a , 115 b , 115 c , 115 d ) 각각 에 삽입 설치 되 어 플 라즈 마 화 되 지 않 은 제 1 가스 와 플 라즈 마 화 된 제 2 가스 및 제 3 가스 를 공간 적 으로 분리 하 여 기판 지지 부 ( 120 ) 쪽 으로 하향 분사 한다 . 이 를 위해 , 가스 분사 부 ( 130 ) 는 제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 330 a , 330 b , 130 c , 330 d ) 을 포함 하 여 구성 된다 .