그런데 , 통상 고주파 전원 ( 13 ) 은 대기 분위기 중 에 마련 되 기 때문 에 , 하부 전극 ( 12 ) , 스 페이서 ( 14 ) 및 처리 용기 ( 11 ) 의 바닥 판 에 의해 둘러싸여 지 는 하부 공간 ( 14 a ) 이 대기 분위기 로서 구성 될 경우 가 있 고 , 그 경우 처리 공간 ( S ) 은 그 진공도 를 유지 하 기 위해 하부 공간 ( 14 a ) 으로부터 구획 될 필요 가 있 다 .