이후 , 상기 베이스 기판 ( 110 ) 의 제 1 면 ( 110 a ) 및 제 2 면 ( 110 b ) 의 표면 을 평탄 화 하 는 평탄 화 공정 을 수행 할 수 있 다 . 예컨대 , 베이스 기판 ( 110 ) 의 상기 제 1 면 ( 121 a ) 및 제 2 면 ( 121 b ) 을 그 라인 드 할 수 있 다 . 한편 , 상기 제 1 기판 ( 111 ) 과 상기 제 2 기판 ( 112 ) 을 결합 하 기 전 에 평탄 화 공정 을 수행 할 수 도 있 다 .