에서 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 가공 할 때 변화 되 는 상대 온도 ( Tr ) 가 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 강도 변이 발생 온도 ( Tc ) 보다 작 게 유지 되 면 f ( Tr ) 은 0 에 가까우 므로 레이저 공 정상 온도 변화 에 따른 가공 대상물 의 강도 변화 는 무시 할 정도 로 작 다 . 따라서 이 와 같 은 상태 를 유지 하 는 레이저 의 주파수 범위 를 산출 하 여 , 산출 된 주파수 범위 내 에서 레이저 가 조사 되 도록 조절 한다 . 조사 되 는 레이저 의 주파수 범위 를 조절 하 는 방법 은 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 가 고정 된 상기 이 송체 ( 120 ) 의 동작 속도 와 변이 를 조절 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 상기 웨이퍼 ( 10 ) 가 고정 된 상기 이 송체 ( 120 ) 의 유동 을 최적 화 함 에 따라 , 레이저 가 조사 되 더라도 가공 대상물 인 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 강도 변이 를 유발 하 지 않 을 정도 로 작 은 온도 변화 만 일어나 므로 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 강도 저하 를 방지 할 수 있 다 .