이어서 , 도 3 c 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 트렌치 ( 201 ) 내부 에 매립 되 도록 상기 기판 ( 200 ) 의 전면 에 소자 분리 막 ( 212 ) 을 증착 하 고 , 화학 적 기계 적 연마 ( CMP ; Chemical Mechanical Polishing ) 를 통해 이 소자 분리 막 ( 212 ) 및 상기 질화 막 ( 211 ) 을 동시 에 평탄 화 시킨다 .