최근 정보 통신 분야 의 급속 한 발달 과 , 컴퓨터 와 같 은 정보 매체 의 대중 화 에 따라 반도체 장치 도 비약 적 으로 발전 하 고 있 다 . 또한 , 그 기능 적 인 면 에 있 어서 반도체 장치 의 소자 고집 적 화 경향 에 따라 기판 에 형성 되 는 개별 소자 의 크기 를 줄이 면서 한편 으로 소자 성능 을 극대 화 시키 기 위해 여러 가지 방법 이 연구 개발 되 고 있 다 .