광학계 ( 230 ) 는 제 1 레티 클 스테이지 ( 240 ) 와 기판 스테이지 ( 250 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 광학계 ( 230 ) 는 EUV 빔 ( 22 ) 을 레티 클 ( R ) 과 기판 ( W ) 에 순차 적 으로 제공 할 수 있 다 . 일 예 로 , 광학계 ( 230 ) 는 필드 패 싯 미러 ( 232 ) , 퓨 필 패 싯 미러 ( 234 ) , 그레 이징 미러 ( 236 ) 및 투영 미러 들 ( 238 ) 을 포함 할 수 있 다 . 필드 패 싯 미러 ( 232 ) , 퓨 필 패 싯 미러 ( 234 ) 및 그레 이징 미러 ( 236 ) 는 EUV 빔 ( 22 ) 을 레티 클 ( R ) 에 제공 하 는 조명 시스템 ( illumination system ) 으로 사용 될 수 있 다 . 필드 패 싯 미러 ( 232 ) 는 EUV 빔 ( 22 ) 을 퓨 필 패 싯 미러 ( 234 ) 에 반사 할 수 있 다 . 퓨 필 패 싯 미러 ( 234 ) 는 EUV 빔 ( 22 ) 을 레티 클 ( R ) 에 반사 할 수 있 다 . 필드 패 싯 미러 ( 232 ) 및 퓨 필 패 싯 미러 ( 234 ) 는 EUV 빔 ( 22 ) 을 시준 ( collimate ) 할 수 있 다 . 그레 이징 미러 ( 236 ) 는 퓨 필 패 싯 미러 ( 234 ) 와 레티 클 ( R ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 그레 이징 미러 ( 236 ) 는 EUV 빔 ( 22 ) 의 스침 입사 각 ( grazing incident angle ) 을 조절 할 수 있 다 . 투영 미러 들 ( 238 ) 은 EUV 빔 ( 22 ) 을 기판 ( W ) 에 제공 하 는 투영 대물 렌즈 ( projection objective ) 로 사용 될 수 있 다 . 투영 미러 들 ( 238 ) 은 기판 ( W ) 에 EUV 빔 ( 22 ) 을 제공 할 수 있 다 .