정전 척 ( 76 ) 및 상방 기재 ( 71 ) 의 외주 와 , 대좌 ( 78 ) 의 상면 에 의해 단 차부 가 형성 되 며 , 이 단차 부 에 는 , 직사각 형 프레임 형상 의 포커스 링 ( 79 ) 이 탑재 되 어 있 다 . 단 차부 에 포커스 링 ( 79 ) 이 설치 된 상태 에서 , 포커스 링 ( 79 ) 의 상면 쪽 이 정전 척 ( 76 ) 의 상면 보다 낮 아 지 도록 설정 되 어 있 다 . 포커스 링 ( 79 ) 은 알루미나 등 의 세라믹스 혹은 석영 등 으로 형성 된다 .