이 와 같이 , 스테이지 ( 100 ) 에 관 통공 ( 110 ) 또는 광 투 과부 ( 미도 시 됨 ) 를 형성 함 으로써 , 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 또는 발광 부 ( 미도 시 됨 ) 가 스테이지 ( 100 ) 하방 에 배치 된 베이스 ( 300 ) 에 결합 되 어 있 더라도 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 또는 발광 부 ( 미도 시 됨 ) 에서 방출 된 빛 이 스테이지 ( 100 ) 상방 의 카메라 ( 400 ) 에 도달 할 수 있 도록 하 므로 , ( i ) 고정 되 어 있 고 진동 이 차단 된 베이스 ( 300 ) 에 결합 된 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 가 가상 마크 를 정확 한 지점 에 생성 하 므로 카메라 ( 400 ) 를 정확 하 게 정렬 시킬 수 있 고 ( ii ) 가상 마크 생성 장치 ( 500 ) 또는 발광 부 ( 미도 시 됨 ) 가 빛 을 방출 하 여 정렬 마크 ( 710 ) 를 비추 므로 정렬 마크 ( 710 ) 가 정확 하 게 카메라 ( 400 ) 에 촬상되어 기판 ( 700 ) 을 정확 하 게 정렬 시킬 수 있 다 . ( i ) 과 관련 된 사항 은 후술 한다 .