또한 식별 마크 는 , 예 를 들 어 제조 공정 내 에서 웨이퍼 혹은 로트 의 특정 을 필요 로 할 때 에 , 예 를 들 어 CCD 카메라 등 을 구비 하 는 웨이퍼 의 식별 마크 의 판독 장치 를 이용 하 여 인식 되 어 있 다 . 또한 , 이러 한 종류 의 식별 마크 의 판독 장치 에 는 웨이퍼 를 수납 케이스 로부터 출납 하 는 반송 로봇 을 구비 한 것 도 있 고 , 식별 마크 를 판독 하 여 특정 된 복수 의 웨이퍼 를 예 를 들 어 식별 마크 의 숫자 가 오름차순 이나 내림차순 이 되 도록 수납 케이스 에 재 정렬 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 ( 예 를 들 어 , 특허 문헌 1 참조 ) .