본 실시 예 에서 는 가공 빔 ( LA ) 이 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 기 전 에 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 가 빔 프로파일러 ( 264 ) 를 통해 미리 측정 될 수 있 다 . 빔 프로파일러 ( 264 ) 는 스테이지 ( 272 ) 의 일 측 에 마련 되 어 스테이지 ( 272 ) 와 함께 이동 할 수 있 도록 마련 되 어 있 다 . 이러 한 빔 프로파일러 ( 264 ) 는 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 기 전 에 가공 대상물 ( 271 ) 에 최종 적 으로 조사 되 는 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 를 측정 하 는 역할 을 할 수 있 다 . 빔 프로파일러 ( 164 ) 는 예 를 들 면 CCD 를 포함 할 수 있 지만 , 이 에 한정 되 지 는 않 는다 . 이 와 같이 , 스테이지 ( 272 ) 의 일 측 에 마련 된 빔 프로파일러 ( 264 ) 가 레이저 어닐링 공정 전 에 가공 대상물 ( 271 ) 에 최종 적 으로 조사 되 는 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 를 측정 할 수 있 으며 , 이 로부터 가공 빔 ( LA ) 의 광경 로 상 에 위치 하 는 광학 부품 의 이상 유무 도 알 수 있 다 .