위 와 같이 이루어진 동작 을 하나 의 웨이퍼 를 기준 으로 살펴보 면 , 모든 웨이퍼 는 도 2 에서 의 웨이퍼 스테이지 120 a → 120 b → 120 c → 120 d 의 경로 를 거치 게 된다 . 즉 , 하나 의 웨이퍼 는 인입 스테이지 ( 120 a ) 로 인입 된 다음 , 다른 웨이퍼 들 의 인입 을 위한 회전 을 한 후 , 최종 적 으로 인출 스테이지 ( 120 d ) 까지 이동 하 여 공정 챔버 ( 100 ) 내 에서 의 공정 을 거친 후 인출 된다 .