또한 , 추후 도 9 의 마이크 로 드롭 핑 ( micro dropping ) 공정 시 가스 감응 막 ( 213 ) 을 부양 된 미세 구 조체 중앙 에 만 정확히 정렬 하 여 적정 하 여야 하나 , 이 는 고가 의 기계 적 인 정렬 시스템 등 의 필요 에 의해 제작 공정 의 추가 비용 이 발생 할 수 있 으므로 , 본 발명 의 전극 패드 분리 홈 ( 114 ) 구조 를 소자 에 도입 하 여 이 를 기술 적 으로 해결 한다 .