산소 - 함유 플 라즈 마 공급원 은 인시 튜 로 또는 대안 적 으로 원격 으로 발생 될 수 있 다 . 하나 의 특정 구체 예 에서 , 산소 - 함유 공급원 은 산소 를 포함 하 고 , 비 제한 적 으로 , 적어도 하나 의 규소 전구체 및 임의 적 으로 불활성 가스 와 같 은 다른 시약 과 함께 , 흐르 거나 , 또는 방법 단계 b 내지 d 동안 도입 된다 .