제 1 층간 절 연막 ( 162 ) 은 식각 정지 막 ( 161 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 층간 절 연막 ( 162 ) 은 제 1 외부 스 페이서 ( 124 ) 의 측벽 및 제 2 외부 스 페이서 ( 134 ) 의 측벽 을 둘러쌀 수 있 다 . 제 1 층간 절 연막 ( 162 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .