상기 에서 살펴본 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 면 여러 가지 종횡비 를 갖 는 트렌치 가 미세 결함 없이 초등 각 전착 을 이루 며 단차 차이 가 없이 평탄 한 구리 박막 을 제공 할 수 있 다 . 나아가 , 쿼터 너리 암모늄 브로마이드 가 평탄 제 역할 을 한다는 것 을 입증 하 고 , 알코올 작용기 가 평탄 화 작용 에 관련 할 수 있 는 가능 성 을 제시 함 과 동시 에 , 평탄 제 를 개발 하 는데 있 어 , CVS 장비 를 통한 분석 틀 로 ( 1 ) 화합물 의 전착 에 대한 경향성 테스트 , ( 2 ) 촉진제 와 의 경쟁 흡착 테스트 를 제공 함 으로써 , 평탄 제 를 개발 하 는 시간 을 단축 하 는 효과 가 있 다 . 또한 , 쿼터 너리 암모늄 브로마이드 평탄 제 를 사용 하 여 여러 종류 의 첨가제 를 사용 하 는 단일 공정 의 구리 전해 도금 방법 을 제공 하 는 효과 가 있 다 .