진퇴 구동 부 ( 43 ) , 회전 구동 부 ( 45 ) , 제 1 이 동 기구 ( 47 ) 및 제 2 이 동 기구 ( 48 ) 는 각각 , 전동 모터 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 제 3 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 본 발명 의 제 1 반송 기구 에 상당 한다 . 제 4 기판 반송 기구 ( MHU 4 ) 는 , 본 발명 의 제 2 반송 기구 에 상당 한다 .