이때 , 상기 제 어부 는 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 진공 압 이 상기 공정 챔버 ( 200 ) 의 진공 압 에 비해 낮 아 질 경우 , 상기 슬릿 밸브 ( 120 ) 의 개폐 동작 을 소정 시간 동안 지연 하 고 상기 슬릿 밸브 ( 120 ) 에 연동 시켜 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 의 개폐 동작 을 제어 하 는 제어 신호 를 출력 할 수 있 다 .