계측 오버레이 타 겟 의 변형 으로 인하 여 , " 일반 적 으로 계측 타 겟 오버레이 와 디바이스 오버레이 간 에 오프셋 ( offset ) 이 있 다 . 이 오프셋 버짓 ( offset budget ) 은 "" 배치 ( batch ) "" 와 "" 웨이퍼 대 웨이퍼 "" ( W 2 W ) 카테고리 로 분할 될 수 있 다 . 실제 디바이스 오버레이 측정 을 기반 으로 "" 배치 "" 오프셋 이 계산 되 는 동안 ", W 2 W 의 경우 에 , 계측 오버레이 와 디바이스 오버레이 간 에 안정 적 인 상관 관계 가 있 다면 , " 교정 계수 가 한정 되 고 사용 되 어 위 에서 설명 된 방식 으로 이 오프셋 을 W 2 W 로서 교정 / 예측 할 수 있 다 . 이 는 도메인 A 를 "" 계측 오버레이 "" 로 대체 하 고 도메인 B 를 "" 디바이스 오버레이 "" 로 대체 함 으로써 이해 될 수 있 다 . "