링 프레임 ( f ) 으로 의 점착 테이프 ( DT ) 의 첩부 가 완료 되 면 , 도 18 에 도시 하 는 바 와 같이 , 상부 하우징 ( 11 B ) 이 하강 한다 . 이 하강 에 수반 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 로부터 링 프레임 ( f ) 의 내경 의 사이 에서 점 착면 이 노출 되 어 있 는 점착 테이프 ( DT ) 를 상부 하우징 ( 11 B ) 과 하부 하우징 ( 11 A ) 사이 에 끼움 지지 하 여 챔버 ( 11 ) 를 구성 한다 .