아래 에서 더 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 다양 한 실시 예 들 에서 , 수직 기판 세정 및 건조 챔버 는 내측 쉘 및 외측 쉘 을 갖 는 폐쇄 된 시스템 이 다 . 외측 쉘 은 , 세정 및 건조 를 위해서 ( 예컨대 , 로봇 의 엔드 이펙터 에 의해 ) 기판 을 수직 으로 적재 및 하적 ( unload ) 하 기 위해 개방 및 폐쇄 된다 . 외측 쉘 은 , 폐쇄 될 때 , 공정 유체 들 및 배 출물 들 ( 예컨대 , 가스 들 및 액체 들 ) 중 임의 의 것 이 외측 쉘 인클로저 외부 로 누출 되 는 것 을 방지 하 는 유체 기밀 밀봉 을 생성 한다 .