본 실시 형태 의 제조 장치 ( 50 ) 가 구비 하 는 수 냉 로 ( 6 ) 는 후술 의 제 1 냉각 가스 공급 부 ( 7 ) 로부터 질소 , 아르곤 등 의 제 1 냉각 가스 ( G 3 ) 가 노 내 로 도입 되 었 을 때 , 선 회류 를 형성 하 도록 구성 되 어 있 다 . 즉 , 수 냉 로 ( 6 ) 의 주벽 에 는 도시 를 생략 한 복수 의 가스 취 입공 이 둘레 방향 및 높이 방향 으로 배열 하 여 형성 되 어 있 다 . 그리고 이 들 가스 취 입공 의 가스 분출 방향 이 수 냉 로 ( 6 ) 의 내 주면 에 따르 도록 형성 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 제 1 냉각 가스 공급 부 ( 7 ) 로부터 공급 되 는 질소 , 아르곤 등 의 제 1 냉각 가스 ( G 3 ) 가 수 냉 로 ( 6 ) 내 로 도입 되 었 을 때 , 노 내 에서 연소 가스 의 선 회류 를 발생 시킬 수 있 다 .