또한 , 상술 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 기판 버퍼 는 , 상하 방향 으로 배치 된 복수 의 기판 재 치부 를 갖 고 , 상기 기판 재 치부 의 각각 은 , 연직 축 둘레 로 배치 되 며 , 1 장 의 기판 을 지지 하 기 위한 3 개 의 지지 핀 을 갖 고 , 상기 3 개 의 지지 핀 은 , 상기 기판 재 치부 의 각각 에 대하 여 착 탈 가능 하 게 구성 되 며 , 상기 기판 재 치부 의 각각 의 3 개 의 지지 핀 은 , 1 개 위 및 1 개 아래 의 기판 재 치부 의 3 개 의 지지 핀 과 평면 에서 보 았 을 때 에 겹치 지 않 도록 배치 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 .