즉 도 2 에 도시 한 바 와 같이 연결구 ( 20 ) 에 결합 된 다수 개 의 리프트 핀 ( 10 ) 은 스테이지 ( 2 ) 에 형성 된 다수 개 의 관통 홀 ( 15 ) 을 관통 하 며 업 다운 가능 하 게 설치 되 어 웨이퍼 ( W ) 를 상기 리프트 핀 ( 10 ) 위 에 안착 시키 거나 이탈 시켜 이 송암 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 이송 되 도록 구성 된다 .