허용 값 및 / 또는 한계 는 프로세스 결과 에 연관 될 수 있 고 및 / 또는 하나 이상 의 프로세스 에서 허용 가능 한 변동 을 식별 하 기 위해 다른 맵 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , 프로세스 결과 및 / 또는 다른 맵 은 프로세스 시퀀스 에서 의 하나 이상 의 프로세스 에 대한 신뢰 도 데이터 및 / 또는 리스크 인자 를 확립 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 예컨대 , 프로세스 결과 및 / 또는 다른 맵 은 챔버 세정 프로시저 에 응답 하 여 변할 수 있 고 , " S - D 프로시저 는 챔버 세정 후 에 발생 할 수 있 는 "" 첫 번 째 웨이퍼 "" 문제 를 개선 및 / 또는 해소 하 는 데 이용 될 수 있 다 . "