( 7 ) 상술 한 각 실시 예 및 각 변형 예 에서 는 , 도 3 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 1 개 의 기판 버퍼 ( BF ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 과 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 중간 에 배치 되 어 있 었 다 . 필요 에 따라서 , 도 17 에 나타내 는 바 와 같이 , X 방향 으로 배치 된 2 개 의 기판 버퍼 ( BF 1 , BF 2 ) 가 설치 되 어 있 어도 된다 .