아 암부 ( 100 ) 는 , 처리 용기 ( 2 ) ( 도 1 참조 ) 의 외부 의 도전 성 부재 ( 예컨대 , 금속 부재 ) 에 접속 된다 . 아 암부 ( 100 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 로부터 처리 용기 ( 2 ) 의 외부 의 도전 성 부재 까지 의 도통 경로 를 형성 한다 . 도통 경로 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 의 위치 에 관계없이 형성 된다 . 즉 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 은 , 도통 경로 를 통해 상시 제전 된다 .