예시 적 인 실시 예 들 에서 , 바디 게이트 층 ( 146 ) 은 코발트 ( Co ) , 텅스텐 ( W ) , 니켈 ( Ni ) , 루테늄 ( Ru ) , 구리 ( Cu ) , 알루미늄 ( Al ) , 이 들 의 실리사이드 , 또는 이 들 의 합금 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 도전 배리 어 층 ( 148 ) 은 티타늄 질화물 ( TiN ) , 탄 탈륨 질화물 ( TaN ) , 텅스텐 질화물 ( WN ) , 루테늄 ( Ru ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 또는 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 선택 적 으로 , 도전 배리 어 층 ( 148 ) 과 전하 저장 구조물 ( 144 ) 사이 에 고유 전 율 ( high - k ) 절 연막 ( 도시 생략 ) 이 더 형성 될 수 도 있 다 .