단계 702 에서 , EUV 방사선 의 제 1 및 제 2 빔 들 이 생성 된다 . 단계 704 에서 , 제 1 및 제 2 빔 들 이 기판 상 으로 투영 된다 . 평행 한 라인 들 의 세트 가 기판 의 노광 필드 에 노광 되 도록 , 상기 제 1 및 제 2 빔 들 이 간섭 된다 . 선택 적 인 단계 706 에서 , 노광 유닛 에 대해 기판 이 이동 된다 . 선택 적 인 단계 708 에서 , EUV 방사선 의 제 3 및 제 4 빔 들 이 기판 상 으로 투영 된다 .