도 2 는 본 발명 에 따른 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방법 을 나타낸 순서도 를 도시 한 도면 이 고 , 도 3 은 본 발명 에 따른 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방법 의 로봇 암 을 도시 한 계략 도 이 며 , 도 4 는 본 발명 에 따른 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방법 의 로봇 암 의 작동 상태 를 도시 한 도면 이 고 , 도 5 는 본 발명 에 따른 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방법 의 로봇 암 의 블럭 도 를 도시 한 도면 이 며 , 도 6 은 본 발명 에 따른 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방법 의 위치 센서 의 다른 실시 예 를 도시 한 도면 이 다 .