박리 층 ( 121 ) 은 , 금속 막 이나 금속 막 과 금속 산화 막 의 적층 구조 를 사용 할 수 있 다 . 금속 막 으로서 는 , 텅스텐 ( W ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄탈 ( Ta ) , 니오브 ( Nb ) , 니켈 ( Ni ) , 코발트 ( Co ) , 지르코늄 ( Zr ) , 아연 ( Zn ) , 루테늄 ( Ru ) , 로듐 ( Rh ) , 팔라듐 ( Pd ) , 오스뮴 ( Os ) , 이리듐 ( Ir ) 으로부터 선택 된 원소 또는 상기 원소 를 주성분 으로 하 는 합금 재료 또는 화합물 재료 로 이루어지 는 막 을 , 단층 또는 적층 하 여 형성 한다 . 또한 , 이 들 의 재료 는 , 스퍼터 법 이나 플라 즈 마 CVD 법 등 의 각종 CVD 법 등 을 사용 하 여 형성 한다 . 금속 막 과 금속 산화 막 의 적층 구조 로서 는 , 상술 한 금속 막 을 형성 한 후 에 , 산화 분위기 하 또는 NO 2 의 분위기 하 에서 의 플 라즈 마 처리 , 산소 분위기 하 또는 NO 2 분위기 하 에서 의 가열 처리 를 함 으로써 , 금속 막 표면 에 상기 금속 막 의 산화물 또는 산화 질화물 을 형성 한 경우 , 텅스텐 막 에 플 라즈 마 처리 를 함 으로써 , 텅스텐 막 표면 에 텅스텐산 화물 로 이루어지 는 금속 산화물 을 형성 할 수 있 다 .