도 3 내지 도 5 를 참조 하 면 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 흡착 장치 ( 20 ) 는 원료 공기 의 수분 과 이산화 탄소 를 흡착 하 는 흡착제 ( 31 ) 가 내장 된 베드 ( 30 ) 와 , 베드 ( 30 ) 의 출구 ( 33 ) 와 연결 되 며 베드 ( 30 ) 를 통과 한 원료 공기 의 이 물질 을 거르 는 필터 부 ( 40 ) 가 내장 된 필터 배관 ( 50 ) 과 , 필터 부 ( 40 ) 의 세 척 을 위한 유체 를 제공 하 는 역세 배관 ( 60 ) 및 필 터부 ( 40 ) 에서 이탈 된 이 물질 을 외부 로 배출 하 는 배출 배관 ( 70 ) 을 포함 한다 .