편측 으로 일부분 만 개방 되 는 게이트 밸브 ( 61 ) 를 통하 여 공정 챔버 ( 40 ) 에서 전달 되 는 복사열 은 표면 이 경면 처리 된 차 단막 ( 62 ) 에 의해 반사 되 어 크라이 오 펌프 ( 50 ) 로 전달 되 지 않 으며 , 또한 공정 챔버 ( 40 ) 에서 전달 되 는 가스 들 은 차 단막 ( 62 ) 에 의해서 흐름 이 크라이 오 펌프 ( 50 ) 의 가운데 로 변경 된다 .