아울러 , 상기 RF 를 파워 서플라이 로 사용 할 경우 전극 을 접 지 부 ( Ground Part ) 와 전원 부 ( Power Part ) 로 대면 시킨 후 세정 ( Cleaning ) 을 약하 게 할 때 에 는 접지 부 에 피 처리 물 을 올려 놓 고 처리 함 이 바람직 하 나 특별히 세정 을 강하 게 할 필요 가 있 을 때 에 는 전 원부 에 피 처리 물 을 올려 놓 고 처리 함 이 바람직 하 다 . 뿐 만 아니 라 , 전 원부 에 피 처리 물 을 올려 놓 고 처리 할 때 에 는 가급적 처리 시간 을 짧 게 하 여 강한 직접 적 인 에너지 전달 로 인해 피 처리 물 표면 이 손상 되 지 않 도록 하 여야 한다 .