인덱스 모듈 ( 200 ) 은 로드 포트 ( 100 ) 의 재 치대 ( 120 ) 에 놓인 카세트 ( 20 ) 와 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 인덱스 모듈 ( 200 ) 은 프레임 ( 210 ) , 인덱스 로봇 ( 220 ) , 그리고 가이드 레일 ( 230 ) 을 가진다 . 프레임 ( 210 ) 은 대체로 내부 가 빈 직육면체 의 형상 으로 제공 되 며 , 로드 포트 ( 100 ) 와 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 사이 에 배치 된다 . 인덱스 모듈 ( 200 ) 의 프레임 ( 210 ) 은 후술 하 는 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 의 프레임 ( 310 ) 보다 낮 은 높이 로 제공 될 수 있 다 . 인덱스 로봇 ( 220 ) 과 가이드 레일 ( 230 ) 은 프레임 ( 210 ) 내 에 배치 된다 . 인덱스 로봇 ( 220 ) 은 기판 ( W ) 을 직접 핸들링 하 는 핸드 ( 221 ) 가 제 1 방향 ( 12 ) , 제 2 방향 ( 14 ) , 제 3 방향 ( 16 ) 으로 이동 가능 하 고 회전 될 수 있 도록 4 축 구동 이 가능 한 구조 를 가진다 . 인덱스 로봇 ( 220 ) 은 핸드 ( 221 ) , 아암 ( 222 ) , 지지대 ( 223 ) , 그리고 받침대 ( 224 ) 를 가진다 . 핸드 ( 221 ) 는 아암 ( 222 ) 에 고정 설치 된다 . 아암 ( 222 ) 은 신축 가능 한 구조 및 회전 가능 한 구조 로 제공 된다 . 지지대 ( 223 ) 는 그 길 이 방향 이 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 배치 된다 . 아암 ( 222 ) 은 지지대 ( 223 ) 를 따라 이동 가능 하 도록 지지대 ( 223 ) 에 결합 된다 . 지지대 ( 223 ) 는 받침대 ( 224 ) 에 고정 결합 된다 . 가이드 레일 ( 230 ) 은 그 길 이 방향 이 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 배치 되 도록 제공 된다 . 받침대 ( 224 ) 는 가이드 레일 ( 230 ) 을 따라 직선 이동 가능 하 도록 가이드 레일 ( 230 ) 에 결합 된다 . 또한 , 도시 되 지 는 않 았 지만 , 프레임 ( 210 ) 에 는 카세트 ( 20 ) 의 도어 를 개폐 하 는 도어 오프너 가 더 제공 된다 .