그리고 , 절연체 창 ( 15 ) 을 사이 에 두 고 제 1 전극 ( 13 ) 과 대향 하 도록 챔버 ( 10 ) 외부 에 는 제 2 전극 ( 12 ) 이 설치 되 어 있 으며 , 챔버 ( 10 ) 의 내벽 에 는 식각 시 발생 하 는 식각 부산물 의 증착 을 방지 하 는 증착 방지 커버 ( 17 ) 를 구비 한다 . 이 증착 방지 커버 ( 17 ) 로서 증착 방지 부가 구성 된다 . 첨부 된 도면 상 에 는 증착 방지 커버 ( 17 ) 가 챔버 ( 10 ) 의 내면 상부 에 만 형성 되 도록 도시 되 어 있 으나 , 챔버 ( 10 ) 내면 의 전체 에 형성 될 수 도 있 다 .