( 해결 수단 ) 레이저 가공 장치 로서 , 카세트 재 치대 에 재치 된 카세트 로부터 웨이퍼 를 반 출입 하 는 반 출입 기구 와 , 반 출입 기구 에 의해 반출 된 웨이퍼 를 회전 가능 하 게 유지 하 는 척 테이블 과 , 웨이퍼 를 촬상 하 는 촬상 유닛 과 , 제 어 유닛 을 포함 한다 . 그 제어 유닛 은 , 그 반 출입 기구 에 의해 가공 이 완료 된 웨이퍼 를 카세트 에 수용 할 때 , 웨이퍼 에 형성 된 결정 방위 를 나타내 는 마크 를 , 미 가공 의 웨이퍼 가 카세트 에 수용 되 어 있 을 때 의 방향 과 는 상이 한 소정 의 방향 으로 위치 시켜 카세트 에 수용 하 는 레이저 가공 장치 가 제공 된다 .