제 2 로봇 ( 120 ) 은 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 2 챔버 ( 32 b , 34 b ) 와 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 제 2 로봇 ( 120 ) 은 하우징 ( 102 ) 의 하부 벽 에 설치 된다 . 제 2 로봇 ( 120 ) 은 제 2 블레이드 ( 122 ) , 제 2 아 암부 ( 124 ) , 그리고 제 2 구 동기 ( 126 ) 를 가진다 . 제 2 블레이드 ( 122 ) 는 기판 ( W ) 을 지지 한다 . 제 2 블레이드 ( 122 ) 는 제 1 블레이드 ( 122 ) 의 하부 에서 제 1 블레이드 ( 122 ) 와 대향 되 도록 배치 된다 . 따라서 , 제 2 블레이드 ( 122 ) 는 제 1 블레이드 ( 122 ) 에 비해 낮 은 높이 에서 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 제 2 아 암부 ( 124 ) 는 복수 의 아 암 들 로 이루어진다 . 각각 의 아 암 들 은 제 2 블레이드 ( 122 ) 가 기판 ( W ) 을 이송 하 도록 서로 유기 적 으로 동작 한다 . 제 2 구 동기 ( 126 ) 는 제 2 아 암부 ( 124 ) 를 구동 시켜 제 2 블레이드 ( 122 ) 가 기판 ( W ) 을 이송 하 도록 한다 . 제 2 구 동기 ( 126 ) 는 제 2 아암 ( 124 ) 와 결합 되 는 제 2 구동축 ( 126 a ) 을 가진다 . 제 2 구동축 ( 126 a ) 은 제 2 블레이드 ( 122 ) 의 하부 에 배치 된다 . 예컨대 , 제 2 구동축 ( 126 a ) 은 하우징 ( 102 ) 의 하부 벽 에 설치 된다 .