도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 이 종래 의 시트 플 라즈 마 성막 장치 는 압력 구배 형 ( 勾配 型 ) 플 라즈 마원 으로서 동작 하 는 음극 부 ( 51 ) 와 , 원주 형상 의 플 라즈 마 를 시트 형상 으로 성형 하 는 시트 플 라즈 마 성형 실 ( 52 ) 과 , 스퍼터링 을 하 는 표면 처리 실 ( 스퍼터링 실 ) ( 53 ) 과 , 스퍼터링 실 ( 53 ) 의 내측 에 배치 되 어 시트 형상 의 플 라즈 마 를 받 는 양극 부 ( 56 ) 와 , 시트 플 라즈 마 성형 실 ( 52 ) 의 내측 에 배치 된 1 상 의 영구 자석 ( 54 a ) , ( 54 b ) 과 , 스퍼터링 실 ( 53 ) 의 외측 에 배치 된 1 쌍 의 코일 ( 55 ) 을 갖 고 있 다 . 이 장치 에서 는 음극 부 ( 51 ) 에서 발생 한 원주 형상 의 플 라즈 마가 시트 플라 즈 마 성형 실 ( 52 ) 에서 영구 자석 ( 54 a ) , ( 54 b ) 에 의해 형성 되 는 자장 에 의해 시트 형상 의 플 라즈 마로 변형 되 고 , 변형 된 시트 플라 즈 마는 코일 ( 55 ) 의 자장 에 의해 스퍼터링 실 ( 53 ) 내 ( 정확 하 게 는 , 양극 부 ( 56 ) ) 에 인도 되 도록 구성 되 어 있 다 .