16 . 조항 12 내지 15 중 임의 의 것 에서 정의 되 는 바 와 같 은 방법 으로서 , 제 1 복수 의 방사선 감응 검출기 엘리먼트 는 상기 제 1 검출 위치 중 상이 한 검출 위치 에서 회절 방사선 을 검출 하 기 위해 사용 되 고 제 2 복수 의 방사선 감응 검출기 엘리먼트 는 상기 제 2 검출 위치 중 상이 한 검출 위치 에서 회절 방사선 을 검출 하 기 위해 사용 된다 .