또한 , 기판 본체 ( 31 ) 로서 실리콘 기판 을 이용 함 으로써 , 기판 본체 ( 31 ) 로서 세라믹 플레이트 를 이용 한 경우 와 비교 해서 , 배선 기판 ( 11 ) 의 휨 을 저감 할 수 있 고 , 수광 소자 ( 13 ) 의 탑재 위치 의 정밀도 를 향상 시킬 수 있 어서 , 수광 소자 ( 13 ) 에 의해 출력 된 검출 신호 의 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 다 .