도 1 내지 13 을 참조 하 면 , 챔버 ( 20 ) 내 의 제 1 내지 제 3 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 상 에 레벨 링 센서 ( 300 ) 를 배치 시킨 후 ( S 200 ) , 제 1 내지 제 3 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 의 레벨 링 을 수행 하 고 ( S 210 ) , 레벨 링 센서 ( 300 ) 를 챔버 ( 20 ) 로부터 언 로딩 할 수 있 다 ( S 220 ) .