또한 , 무공 질 양극 산화층 이 적층 된 후 에 열처리 가 추가 되 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따라 제조 된 스퍼터링 보호 피막 을 구비 한 알루미늄 부재 는 , 상기 무공 질 양극 산화층 에 함유 된 수분 이 제거 되 고 재질 의 밀도 가 증가 하 므로 무공 질 양극 산화층 의 내식성 이 더욱 향상 되 고 , 특히 진공 챔버 내 에서 와 같 은 가혹 한 작업 환경 에서 도 알루미늄 부재 의 표면 부식 , 표면 갈라짐 , 표면 에서 파티클 ( particle ) 분리 등 과 같 은 표면 손상 이 더욱 억제 된다 .