본 발명 은 , 다수 의 기판 을 안치 할 수 있 는 기판 안치 수단 을 구비 하 는 하나 이상 의 공정 챔버 ; 상기 공정 챔버 에 안치 될 수 있 는 기판 의 배수 에 해당 하 는 기판 을 수용 할 수 있 는 로드 락 챔버 ; 상기 공정 챔버 및 상기 로드 락 챔버 의 각각 과 연결 되 며 , 내부 에 기판 을 이송 하 는 이송 로봇 을 구비 하 는 이송 챔버 를 포함 하 는 기판 처리 장치 에 관한 것 이 다 .