이러 한 , 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 에 는 , 포켓 홈 부 ( 30 ) 에 안착 된 기판 ( S ) 의 하부 에 여유 공간 ( V ) 을 형성 하 면서 , 상기 히터 에 의해 상기 공정 온도 로 가열 된 디스크 ( 10 ) 의 열 을 기판 ( S ) 으로 효과 적 으로 전달 할 수 있 도록 , 열전달 구조 가 매우 다양 한 형태 로 형성 될 수 있 다 .