일부 구 현예 에서 , 열적 ALD 의 한 사이클 은 반응물 을 반응 챔버 에 공급 하 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 반응물 은 H 2 O , 에테르 , 알콜 ( 예컨대 , 메탄올 , 에탄올 등 ) , H 2 및 O 2 의 혼합물 , 및 H 2 O 2 로 구성 되 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 하나 의 가스 이 다 . 기판 의 표면 상 에 흡착 된 전구체 와 반응 하 기 위해 이 반응물 은 플라 즈 마 없이 여기 될 수 있 다 . 이 처럼 , 반응물 의 반응 성 에 따라 반응물 을 반응 챔버 에 공급 하 는 일반 적 으로 세 가지 방법 ( 즉 , 반응 챔버 내부 에 제공 된 샤워 헤드 의 매니폴드 도관 상류 에 반응물 을 유입 시킴 으로써 , 반응물 을 샤워 헤드 에서 유입 시킴 으로써 , 및 / 또는 반응물 을 기판 이 배치 되 는 서 셉 터 와 샤워 헤드 사이 에 유입 시킴 으로써 반응물 을 반응 챔버 에 공급 하 는 방법 ) 이 있 지만 , 적절 한 공급 방법 이 선택 되 어야 만 한다 .