도 3 a 에 도시 된 바 와 같이 , 소정 의 구조물 이 형성 된 기판 ( 31 ) 상 에 제 1 도 전막 ( 32 ) 을 형성 한다 . 제 1 도 전막 ( 32 ) 은 제 1 원소 와 제 2 원소 가 혼합 된 혼합물 로 형성 한다 . 제 1 원소 는 후속 공정 을 통해 전극 으로 작용 하 고 , 제 2 원소 는 후속 식각 공정 시 제 1 원소 의 탈리 를 방지 하 여 도전 성 부산물 의 생 성 을 억제 하 는 역할 을 수행 한다 .