그리드 제 어부 ( 330 ) 는 초기 화 박막 공정 이 완료 된 기판 ( 1 ) 의 위치 별 박막 두께 를 근거 로 기준 박막 두께 와 차이 가 발생 되 는 비 균일 영역 을 설정 하 고 , 비 균일 영역 에 해당 하 는 그리드 전극 별 전극 라인 을 추출 하 며 , 해당 비 균일 영역 의 박막 두께 가 기준 박막 두께 를 갖 도록 추출 된 전극 라인 에 대한 초기 전원 정보 를 변경 함 으로써 , 기준 전원 정보 를 생성 한다 . 이때 , 기준 전원 정보 는 공정 의 종류 및 공정 가스 에 따라 다르 게 설정 될 수 있 다 .