기화기 ( 200 ) 는 원료 저장 탱크 ( 100 ) 및 액체 포집 장치 ( 300 ) 와 연결 될 수 있 고 원료 저장 탱크 ( 100 ) 로부터 원료 를 전달 받 아서 기화 시킬 수 있 다 . 예 를 들 면 , 기화기 ( 200 ) 는 원료 저장 탱크 ( 100 ) 로부터 액체 상태 의 HMDS 원료 를 전달 받 고 질소 탱크 ( 미도 시 됨 ) 으로부터 질소 가스 를 공급 받 아서 HMDS 원료 를 질소 가스 와 반응 시켜서 HMDS 원료 를 기화 시킬 수 있 다 .