다음 으로 , 용제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 1 용제 린스 처리 ( 제 1 용제 린스 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 103 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 용제 밸브 ( 18 ) 를 열 어 , 차 단판 ( 3 ) 을 처리 위치 에 위치 시키 고 , 또한 , 스핀 척 ( 2 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시키 면서 , 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 용제 를 토출 시킨다 . 이 에 의해 , 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 토출 된 용제 가 제 1 용제 로서 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 공급 된다 . 전술 한 바 와 같이 , 용제 는 물 을 용해 시킬 수 있 는 액체 이 기 때문 에 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 순수 는 기판 ( W ) 에 공급 된 용제 에 용해 된다 . 따라서 , 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 용제 가 공급 됨 으로써 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 순수 가 용제 에 의해 씻겨 져서 용제 로 치환 된다 ( 제 1 용제 린스 처리 ) . 그리고 , 제 1 용제 린스 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 용제 밸브 ( 18 ) 를 닫 아서 용제 의 토출 을 정지 시킨다 .