또한 , 도시 된 실시 형태 의 연삭 장치 ( 50 ) 에 있 어서 는 , 척 테이블 ( 60 ) 과 세정 수단 ( 66 ) 의 사이 에 제 2 반송 수단 ( 웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) ) 에 의해 반송 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 하면 을 건조 하 는 건 조 수단 ( 126 ) 이 배치 되 어 있 다 . 도시 된 실시 형태 의 건조 수단 ( 126 ) 은 , 베이스 ( 68 ) 의 상면 에 형성 된 복수 의 분사 구멍 ( 128 ) 과 , 각 분사 구멍 ( 128 ) 에 접속 된 에어 공급원 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 구비 하 고 , 각 분사 구멍 ( 128 ) 은 웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) 의 웨이퍼 유지 부 ( 4 ) 가 통과 하 는 경로 ( 웨이퍼 ( W ) 의 반송 경로 ) 의 하방 에 위치 하 고 있 다 . 그리고 , 건조 수단 ( 126 ) 에 있 어서 는 , 웨이퍼 유지 부 ( 4 ) 에 유지 된 반송 중 의 웨이퍼 ( W ) 의 하면 에 건조 에어 를 분사 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 하면 을 건조 하 도록 되 어 있 다 .