도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 종래 의 일 실시 예 에 따른 기판 지지 용 스테이지 에 는 기판 ( G 1 , G 2 ) 을 지지 하 는 다수 의 패드 ( 110 , 110 a ) 가 이동 되 지 않 는 고정 형 으로 마련 되 어 있 다 . 물론 , 다수 의 패드 ( 110 , 110 a ) 들 은 상호 간 동일 한 간격 ( H 1 ) 으로 이격 되 어 있 다 . 도 1 과 같 은 기판 지지 용 스테이지 에 는 예컨대 30 인치 정도 의 작 은 사이즈 기판 ( G 1 ) 이나 , 46 인치 정도 의 비교 적 큰 사이즈 기판 ( G 2 ) 이 공용 으로 사용 되 고 있 는 것 으로 알려져 있 다 .