상기 복수 개 의 금속 물질 ( 210 ) 상 에 형성 된 도전 성 산화물 ( 230 ) 은 그 표면 이 요철 구조 로 이루어져 있 다 . 특히 , 본 발명 은 스퍼터링 법 ( Sputtering ) 을 이용 하 여 도전 성 산화물 ( 230 ) 을 증착 한 후 별도 의 식각 공정 을 수행 하 지 않 아도 상기 도전 성 산화물 ( 230 ) 의 표면 이 요철 구조 로 형성 된다 .