계속 해서 , 도 19 내지 도 23 을 참조 하 여 , 제 2 실시 형태 에 따른 기판 처리 시스템 이 구비 하 는 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 에 대해서 설명 한다 . 제 2 실시 형태 에 따른 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 에서 실행 되 는 액 처리 수순 은 , 스텝 S 05 의 보충 준비 수순 및 스텝 S 06 의 보충 제어 수순 이 제 1 실시 형태 와 상이 하 다 . 이 액 처리 수순 에서 는 , 예 를 들 어 토출 압력 의 목표 값 이 설정 값 ( Pd ) 으로 설정 되 어 있 고 , 토출 개시 전 및 보충 개시 전 의 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 그리고 보충 압력 이 설정 값 ( Pr ) 으로 설정 되 어 있 다 . 설정 값 ( Pr ) 은 , 설정 값 ( Pd ) 보다 도 크 다 .