상기 패턴 형성 방법 에 있 어서 , 기판 상 에 감광성 수지 조성물 의 층 을 형성 하 는 방법 으로서 는 ( a - 1 ) 수지 조성물 을 공지 의 도포 장치 등 에 의해 도포 하 는 방법 및 ( a - 2 ) 수지 전사 재료 를 사용 하 고 , 라미네 이터 에 의해 접합 하 는 방법 등 을 들 수 있 다 . 또한 , 여기 서 는 도포 방법 및 라미 네이트 방법 에 대하 여 만 설명 하 고 , 수지 조성물 및 수지 전사 재료 에 관하 여 는 후 에 상술 한다 .