상기 형성 한 선폭 이 100 nm ( L / S = 1 / 1 ) 인 레지스 트 패턴 을 , 상기 주사 형 전자 현미경 을 사용 하 여 , 패턴 상부 로부터 관찰 하 였 다 . 선폭 을 임의 의 포인트 에서 총 50 점 측정 하 고 , 그 측정값 의 분포 로부터 3 σ 값 을 구하 고 , 이것 을 LWR 성능 ( nm ) 으로 하 였 다 . LWR 성능 은 , 그 값 이 작 을수록 , 선폭 의 변동 이 작 아서 양호 한 것 을 나타낸다 . LWR 성능 은 , 20 nm 이하 인 경우 에 는 「 양호 」 라고 , 20 nm 를 초과 하 는 경우 에 는 「 양호 하 지 않 다 」 라고 평가 할 수 있 다 .