상기 의 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 복수 개 의 오픈 영역 을 갖 는 희생 막 을 형성 하 는 단계 , 상기 오픈 영역 의 내부 단차 를 따라 루테늄 산화 막 을 형성 하 는 단계 , 상기 루테늄 산화 막 상 에 상기 오픈 영역 이 채워 지 도록 루테늄 막 을 형성 하 는 단계 , 하부 전극 분리 공정 으로 상기 오픈 영역 에 루테늄 산화 막 과 상기 루테늄 막 을 매립 하 는 단계 , 상기 희생 막 을 제거 하 는 단계 및 상기 루테늄 산화 막 을 루테늄 막 으로 환원 시켜 하부 전극 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 는 캐 패 시터 의 제조 방법 을 제공 한다 .