이 와 같 은 문제 를 해결 하 기 위해 단차 형성 을 방지 하 는 연구 가 진행 되 고 있 다 . 미국 특허 제 6 , 679 , 973 호 , 제 6 , 610 , 192 호 , 제 6 , 350 , 364 호 및 제 0 , 249 , 177 A 1 호 는 평탄 제 를 사용 하 여 단차 형성 을 방지 하 는 기술 을 개시 하 고 있 다 . 그 밖 에 공정 조건 을 바꾸 는 기술 로서 산화 전위 를 이용 한 단차 평탄 화 공정 이 미국 특허 제 6 , 653 , 226 호 에 개시 되 어 있 다 .