지금 까지 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 반도체 소자 의 스토리지 노드 형 성 방법 에 의하 면 , 대칭 구조 의 투광 영역 이 배치 된 포토 마스크 및 조명계 를 이용 하 여 인접 하 는 스토리지 노드 간 브릿지 결함 이 발생 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 브릿지 결함 을 방지 하 면서 스토리지 노드 패턴 상 에서 공정 마진 을 개선 할 수 있 다 . 또한 , 취약 지점 에 대한 DICD 추가 확보 로 인해 식각 공정 시 과도 식각 에 대한 마진 을 추가 로 확보 할 수 있 다 .