평판 ( 211 ) 위 에 복수 개 의 박막 ( 221 ) 을 형성 하 고 , 그 위 에 제작 하 고자 하 는 미세 구조 의 형태 에 따라 설계 한 마이크 로 플 루 이 딕 채널 ( 241 ) 을 형성 하 여 , 마이크 로 플 루 이 딕 채널 ( 241 ) 내 에 식각 용액 및 중성 용액 을 주입 함 으로써 상기 복수 개 의 박막 ( 221 ) 을 식각 하 여 미세 구조 를 형성 한다 . 이 경우 형성 하 고자 하 는 미세 구조 의 모양 또는 크기 에 따라 채널 내 에 흐르 는 각 용액 의 유량 , 압력 또는 농도 등 을 조절 함 으로써 원 하 는 형태 로 용액 의 흐름 을 결정 한다 .