대기 반송 로봇 ( 3 a ) 의 승강 기구 ( 3 d ) 가 구동 하 고 , 로봇 핸드 ( 3 c ) 는 상승 한다 . 그러면 , 로봇 핸드 ( 3 c ) 는 처리 종료 된 기판 의 하면 을 지지 한다 . 로봇 핸드 ( 3 c ) 가 상승 하 면 , 처리 종료 된 기판 은 기판 지지 핀 ( 30 ) ( 30 a , 30 b , 30 c ) 에서 이간 하 고 , 기판 지지 핀 ( 30 ) 에서 로봇 핸드 ( 3 c ) 에 처리 종료 된 기판 이 수도 된다 . 로봇 핸드 ( 3 c ) 는 처리 종료 된 기판 을 유지 한 상태 에서 , 처리 종료 된 기판 을 상측 내부 공간 ( 11 U ) 에서 기판 카세트 ( 4 ) 로 반송 한다 . 처리 종료 된 기판 의 반송 이 종료 하 면 , 대기 측 게이트 밸브 ( AG 1 가 닫힌다 .