예컨대 , 종래 일반 적 으로 이용 되 고 있 는 화학 적 기상 성 장법 ( CVD ) 과 비교 하 여 , 단차 피복 성 이나 막 질 에 있 어서 우수 하 다고 하 여 최근 개발 되 어 , 게이트 절 연막 등 의 형성 에 이용 되 고 있 는 원자 층 퇴적 법 ( ALD ) 이 있 다 . 이 ALD 는 , 특성 상 , 원료 가스 가 통과 하 는 여러 부위 에 , 원료 가스 가 부착 되 기 쉬워 , 전술 한 쓸데없 는 퇴적 이 발생 하 기 쉽 다 . 압력 센서 의 다이어프램 에 이러 한 쓸데없 는 퇴적 이 발생 하 면 , 잘 알려져 있 는 바 와 같이 , 영점 시프트 나 압력 감도 의 변화 등 을 가져와 , 정확 한 측정 이 저해 되 어 , 처리 의 결과 에 큰 영향 을 부여 한다 .