본 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 에 형성 되 어 있 는 패턴 이 서로 다르 므로 , 그 패턴 에 따라 제 1 , 제 2 조명계 ( IL 1 , IL 2 ) 에 의한 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 의 조명 조건 , 나아가 서 는 기판 ( P ) 에 대한 노광 광 ( EL ) 의 조사 조건 을 서로 다르 게 하 여도 좋 다 .