즉 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 배리어 메탈 을 ＷSix 와 ＷN 의 적층 구조 로 형성 한 것 과 비교 하 여 Ti 와 ＷN 의 적층 구조 를 배리 어 메탈 로 형성 하 는 경우 에 시트 저항 이 적어도 3 배 이상 증가 한 것 을 알 수 있 다 . 이때 , ＷSix 와 ＷN 가 적층 된 배리어 메탈 은 시트 저항 은 낮 지만 게이트 계면 저항 이 증가 하 고 게이트 산화 막 의 신뢰 성 이 열화 가 되 는 문제점 이 있 기 때문 에 사용 하 지 않 는다 .