트렌치 ( 836 ) ( 또는 홀 , 슬롯 , 또는 개구 ) 는 소스 및 드레 인 필름 에지 를 노출 시키 기 위해 패턴 화 된다 . 트렌치 의 폭 은 약 500 Å 내지 약 4 마이크 론 일 수 있 다 . 트렌치 의 깊이 는 약 0 . 2 마이크 론 내지 약 0 . 5 마이크 론 일 수 있 거나 , 1 마이크 론 또는 그 초과 일 수 있 다 . 트렌치 는 임의 의 홀 , 슬롯 또는 임의 의 모양 을 갖 는 개구 일 수 있 다 . 트렌치 또는 개구 의 모양 은 예 를 들 어 , 실린더 형 , 계란 형 , 직사각 형 , 사각형 , 정육면체 형 , V 자형 - 그루브 ( 하 기 및 도 9 참조 ) , 노치 형 또는 그 밖 의 모양 일 수 있 다 . 이 실행 예 에서 , 트렌치 는 세 개 의 측면 , 즉 , 저부 , 및 두 개 의 측벽 을 갖 는다 .