그런 다음 , 상기 트렌치 ( 30 ) 들 중 에서 제일 좁 은 폭 의 트렌치 ( 30 ) 를 완전 매립 하 지 않 는 최대 범위 로 기판 전면 상 에 제 1 산화 막 ( 50 ) 을 증착 한다 . 여기 서 , 상기 제 1 산화 막 ( 50 ) 은 컨 포 멀 한 ( conformal ) 고농도 O 3 - TEOS ( Tetra Ethyl Ortho Silicate ) 막 또는 컨 포 멀 한 ( conformal ) HTO ( High Temperature Oxide ) 막 또는 HDP ( high Density Plasma ) 막 으로 증착 한다 . 여기 서 , HDP 막 증착 은 오버행 ( overhang ) 발생 으로 인해 HDP 막 간 이 서로 붙 지 않 는 정도 의 두께 로 증착 하 도록 한다 .