상기 실시 예 1 에서 제조 예 1 의 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 대신 제조 예 3 의 네 가티 브 형 착색 감광성 수지 조성물 을 사용 하 고 , 상기 차 단막 내 에 도입 되 는 가스 를 질소 가스 를 사용 하 였으며 , 상기 차 단막 내 산소 의 농도 가 8 부피 % 가 될 때 까지 상기 헬륨 가스 를 주입 한 후 노광 을 실시 한 것 이외 에 는 상기 실시 예 1 과 동일 한 구성 및 방법 으로 패턴 을 형성 하 였 다 . 이 때 상기 형성 된 패턴 의 필름 두께 는 1 . 5 ㎛ 였 다 .