레이저 빔 의 균 일도 를 측정 하 기 위해 기존 에 는 레이저 발진기 의 출력 단 에서 균 일도 를 측정 하 거나 또는 레이저 빔 의 광 경로 중간 지점 을 차단 하 여 균 일도 를 측정 하 는 방법 이 사용 되 었 다 . 그러나 , 이러 한 방법 으로 는 균일 도 측정 지점 이후 의 광 경로 상 에 위치 하 는 광학 부품 의 이상 여부 를 알 수 없 다는 문제 가 있 다 . 본 실시 예 에서 는 스테이지 ( 172 ) 의 일 측 에 마련 된 빔 프로파일러 ( 164 ) 가 레이저 어닐링 공정 전 에 가공 대상물 ( 171 ) 에 최종 적 으로 조사 되 는 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 를 측정 할 수 있 으며 , 이 로부터 가공 빔 ( LA ) 의 광경 로 상 에 위치 하 는 광학 부품 의 이상 유무 도 알 수 있 다 .