센서 기판 ( 220 ) 은 배터리 ( 미 도시 ) 가 장착 되 는 배터리 단자 ( 245 a ) 를 구비 할 수 있 다 . 여기 서 , 배터리 ( 미 도시 ) 는 , 센서 ( 241 ) , 통신 IC 칩 ( 243 ) 및 제어 IC 칩 ( 242 ) 을 포함 하 여 반도체 공정 진단 센서 장치 에 구비 되 는 구성 요소 들 의 구동 을 위한 전원 을 공급 한다 .