수직 변위 이 동부 ( 147 ) 는 피에조 엑 츄 에 이터 ( Piezo actuator ) 방식 으로서 , 상하 방향 으로 나노 ( Nano ) 값 단위 로 미세 하 게 거동 된다 . 이런 수직 변위 이 동부 ( 147 ) 는 기판 척 ( 120 ) 을 향하 여 상하 거동 하 는 제 3 변위 이 동부 ( 148 ) 와 , 제 3 변위 이 동부 ( 148 ) 에 맞물려 지지 하 는 제 4 변위 이 동부 ( 149 ) 를 구비 한다 . 수직 변위 이 동부 ( 147 ) 는 압 전 현상 을 이용 하 여 제 3 변위 이 동부 ( 148 ) 를 미세 하 게 상하 거동 시킨다 .