중앙 보어 ( 546 ) 를 직접 둘러싸 는 영역 에서 부분 적 으로 플레이트 ( 532 ) 의 상류 표면 ( 534 ) 위 에 놓이 는 플랜지 ( 577 ) 를 가진 중실 평면 상부 ( 576 ) 를 가진 캡 ( 574 ) 이 포함 될 수 있 다 . 캡 ( 574 ) 은 , 상부 ( 576 ) 로부터 하향 돌출 되 는 부분 ( 578 ) 을 포함 한다 . 부분 ( 578 ) 은 중앙 보어 ( 546 ) 내 에 수용 된다 . 삽 입체 ( 572 ) 와 마찬가지 로 , 캡 ( 574 ) 의 돌출부 ( 578 ) 역시 바람직 하 게 보 어 ( 546 ) 내 로 끼워 맞추 어 진다 . 캡 ( 574 ) 은 바람직 하 게 , 반응 챔버 내 로 주입 된 부식성 가스 와 삽 입체 재료 가 접촉 하 는 것 을 방지 한다 . 캡 ( 574 ) 은 또한 바람직 하 게 , 보어 ( 546 ) 에 의해 발생 되 는 가스 흐름 의 붕괴 의 일부 를 상류 표면 ( 534 ) 에 걸쳐 균일 하 게 한다 . 예 를 들 면 , 캡 ( 574 ) 은 도 6 내지 도 8 을 참조 하 여 상술 한 상류 표면 을 가질 수 있 다 . 바람직 하 게 , 캡 ( 574 ) 은 , 서비스 시 에 만나 는 온도 에 견딜 수 있 고 , 사용 시 에 부식 되 지 않 으며 반응 챔버 의 내부 를 오염 시키 지 않 을 재료 로 형성 된다 . 바람직 한 실시 예 에서 , 캡 ( 574 ) 은 탄화규소 로 형성 될 수 있 다 .