또한 , 이하 의 각 실시 형태 에서 는 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 에 있 어서 , ALD 사이클 의 실행 중 에 감시 하 는 프로세스 데이터 로서 , 압력 데이터 를 예 로 들 어 설명 한다 . 그러나 , ALD 사이클 의 실행 중 에 감시 하 는 프로세스 데이터 는 , 압력 데이터 에 한정 되 지 않 고 , 유량 데이터 나 온도 데이터 등 의 다른 프로세스 데이터 여도 좋 다 .