한편 , 처리 된 기판 ( s ) 을 수용 하 는 제 1 및 제 2 서브 챔버 ( 131 , 132 ) 에 는 기판 을 냉각 할 수 있 는 냉각 수단 을 설치 하 는 것 이 바람직 하 며 , 제 1 및 제 2 서브 챔버 ( 131 , 132 ) 의 냉각 조건 이 서로 다른 경우 에 는 냉각 수단 을 제 1 및 제 2 서버 챔버 ( 131 , 132 ) 각각 에 별도 로 구성 할 수 도 있 다 .