펨토 초 레이저 는 상기 각각 의 파장 영역 에서 100 펨토 초 ( fs ) 내지 500 펨토 초 ( fs ) , 바람직 하 게 는 200 펨토 초 ( fs ) 내지 400 펨토 초 ( fs ) 의 펄스 폭 , 및 100 kHz 내지 500 kHz , 바람직 하 게 는 150 kHz 내지 350 kHz 의 주파수 로 조사 될 수 있 다 . 상기 범위 에서 , 열 에 의한 가공 면 의 표면 탄화 또는 레이저 해칭 ( hatching ) 현상 이 없 고 조사 경계 면 에서 의 정밀도 가 50 ㎛ 이하 이 며 , 더 바람직 하 게 는 10 ㎛ 이하 인 편광 해소 영역 을 형성 시킬 수 있 다 .