등방성 식각 에 사용 되 는 경우 에 , 카보닐 플 루오 라이드 는 그 자체 로 도 적용 될 수 있 지만 , 바람직 하 게 는 다른 불화 유기 가스 또는 증기 ( 예 를 들 어 , 일본 특허 10 - 223614 에 기재 된 바 와 같 은 포화 또는 불포화 플 루 오로 에 테르 또는 불화 에스테르 ) 와 혼합 되 어 적용 되 되 , 특히 는 질소 , 산소 및 / 또는 희가스 와 함께 적용 된다 .