구체 적 으로 살펴보 면 , 먼저 제 1 탱크 는 공정 챔버 로부터 전달 받 은 제 1 약액 을 일차 적 으로 가열 한다 . 따라서 , 제 1 탱크 는 제 1 약액 을 공급 받 기 위한 전달 라인 을 포함 한다 . 또한 , 제 1 탱크 는 제 1 약액 을 일차 적 으로 가열 하 기 위한 제 1 가열 부재 를 포함 한다 . 제 1 가열 부재 는 예 를 들 어 , 제 1 탱크 의 하측 부 에 균일 하 게 배치 된 히터 를 포함 한다 . 또한 , 제 1 가열 부재 는 분리 벽 의 내부 에 꼬불꼬불 한 형상 등 을 갖 는 열선 을 포함 한다 . 이 에 따라 , 제 1 약액 은 제 1 탱크 에 균일 하 게 배치 된 제 1 가열 부재 에 의해 전체 적 으로 가열 된다 .