이 와 같이 , 플래시 램프 ( 5 ) 를 점등 할 때 , 제 1 구동 신호 에 의해 , 반도체 스위치 를 예 를 들 면 소정 의 듀티 의 온 오프 신호 로 온 , 오프 시키 고 , 이 플래시 램프 ( 5 ) 로 흐르 는 전류 를 제한 함 으로써 , 결과 적 으로 , 이 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 의 깊이 방향 에 대한 온도 구배 를 완만 하 게 할 수 있 다 .