서 셉 터 ( 217 ) 의 승강 제어 는 , 처리 분포 정보 가 볼록 형 의 처리 분포 인지 오목 형 의 처리 분포 인지 에 관계없이 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 플라스마 처리 의 과정 에서 행하 도록 해도 된다 . 즉 , 공진 코일 ( 212 ) 이 플라스마 생성 공간 ( 201 a ) 에 플라스마 를 생성 하 고 있 는 기간 중 에 , 웨이퍼 ( 200 ) 와 공진 코일 ( 212 ) 의 하단 사이 의 거리 를 가변 시키 도록 해도 된다 .