제 1 성능 치 기억 부 ( 163 ) 는 , 유량 제어기 단체 의 성능 을 나타내 는 행렬 인 제 1 성능 치 를 기억 한다 . 제 1 성능 치 는 , 출하 검사 데이터 와 제 1 계수 의 행렬식 의 승산 에 의해 구하 여진다 . 도 6 은 본 실시 형태 에 있 어서 의 유량 제어기 의 성능 의 가시 화 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 출하 검사 데이터 ( 301 ) 와 , 제 1 계수 ( 302 ) 의 행렬식 의 승산 에 의해 , 제 1 성능 치 ( 303 ) 가 구하 여진다 . 출하 검사 데이터 ( 301 ) 는 , 출하 검사 항목 편차 치 를 행 , 유량 제어기 의 개수 N 을 열 로 한 행렬 이 다 . 제 1 계수 ( 302 ) 는 , 단체 성능 항목 을 행 , 조정 ㆍ검사 항목 의 영향 률 ( α ~ η ) 을 열 로 한 행렬 이 다 . 제 1 성능 치 ( 303 ) 는 , 유량 제어기 의 성능 을 가시 화 한 편차 치 를 행 , 유량 제어기 의 개수 N 을 열 로 한 행렬 이 다 . 다시 말 해 , 제 1 성능 치 ( 303 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 에 탑재 되 는 복수 의 유량 제어기 의 성능 을 편차 치 로 나타낸 행렬 이 다 .