공정 챔버 ( 102 ) 에 는 기판 ( W ) 을 안착 할 수 있 는 기판 지지대 ( 104 ) 가 결합 될 수 있 다 . 기판 지지대 ( 104 ) 는 공정 챔버 ( 102 ) 내 의 진공 분위기 를 깨 드리 지 않 으면서 상하 로 이동 될 수 있 도록 벨로우즈 구조 로 공정 챔버 ( 102 ) 에 결합 될 수 있 다 . 기판 지지대 ( 104 ) 는 기판 ( W ) 을 가열 할 수 있 도록 내부 에 히터 를 포함 할 수 있 다 .