그러나 , 산화 세륨 슬러리 는 실리카 슬러리 와 비교 하 여 연마 후 발생 되 는 스크래치 의 크기 가 크 고 발생 빈도 가 높 은 단점 이 있 어 피연 마막 의 스크래치 발생 을 줄이 기 위해 연마 입자 를 일정 크기 이하 의 미세 한 분 말 로 제조 하 여야 하 는데 , 기존 슬러리 에 사용 된 산화 세륨 의 경우 이러 한 미세화 공정 으로 인해 연마 속도 가 감소 하 고 미세화 후 에 도 입경 크기 가 비교 적 큰 알갱이 들 을 효과 적 으로 제거 할 수 없 어 스크래치 를 많이 발생 시키 는 문제점 이 있 어 왔 다 .