상기 와 같 은 전자 부품 가공 장비 용 화학 물질 누설 차단 트레이 , 및 전자 부품 가공 장비 용 화학 물질 누설 차단 트레이 설치 공법 은 위 에서 설명 된 실시 예 들 의 구성 과 작동 방식 에 한정 되 는 것 이 아니 다 . 상기 실시 예 들 은 각 실시 예 들 의 전부 또는 일부 가 선택 적 으로 조합 되 어 다양 한 변형 이 이루어질 수 있 도록 구성 될 수 도 있 다 .