웨이퍼 ( W ) 는 공정 설비 ( 2 ) 내 에서 소정 의 공정 이 수행 된다 . 공정 설비 ( 2 ) 는 로드 록 챔버 ( loadlock chamber ) ( 20 ) , 트랜스퍼 챔버 ( transfer chamber ) ( 30 ) , 그리고 공정 모듈 들 ( process modules ) ( 10 ) 을 가진다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 상부 에서 바라볼 때 대체로 다각 의 형상 을 가진다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 측면 에 는 로드 록 챔버 ( 20 ) 또는 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 이 위치 된다 . 로드 록 챔버 ( 20 ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 측 부들 중 설비 전방 단부 모듈 ( 3 ) 과 인접 한 측 부 에 위치 되 고 , 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 은 다른 측 부 에 위치 된다 . 로드 록 챔버 ( 20 ) 는 공정 진행 을 위해 공정 설비 ( 2 ) 로 유입 되 는 웨이퍼 들 ( W ) 이 일시 적 으로 머무르 는 로딩 챔버 ( 20 a ) 와 공정 이 완료 되 어 공정 설비 ( 2 ) 로부터 유출 되 는 웨이퍼 들 ( W ) 이 일시 적 으로 머무르 는 언로 딩 챔버 ( 20 b ) 를 가진다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 및 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 내부 는 진공 으로 유지 되 고 , 로드 록 챔버 ( 20 ) 내부 는 진공 및 대기압 으로 전환 된다 . 로드 록 챔버 ( 20 ) 는 외부 오염 물질 이 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 및 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 로 유입 되 는 것 을 방지 한다 . 로드 록 챔버 ( 20 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 사이 , 그리고 로드 록 챔버 ( 20 ) 와 설비 전방 단부 모듈 ( 3 ) 사이 에 는 게이트 밸브 ( 도시 안 됨 ) 가 설치 된다 . 설비 전방 단부 모듈 ( 3 ) 과 로드 록 챔버 ( 20 ) 간 에 웨이퍼 ( W ) 가 이동 하 는 경우 , 로드 록 챔버 ( 20 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 사이 에 제공 된 게이트 밸브 가 닫히 고 , 로드 록 챔버 ( 20 ) 와 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 간 에 웨이퍼 ( W ) 가 이동 되 는 경우 , 로드 록 챔버 ( 20 ) 와 설비 전방 단부 모듈 ( 3 ) 사이 에 제공 되 는 게이트 밸브 가 닫힌다 .