1 내지 2 hPa 의 압력 하의 플 라즈 마 반응 챔버 내 에서 , CH 4 및 SiCl 4 ( 1 : 1 ) 의 혼합물 을 1 번 파이프 에 통과 시키 고 , 자기장 내 의 플 라즈 마 에 플 라즈 마 전극 ( 4 ) 를 발생 시켰 다 . 클로로 - 및 메틸 클로로 실란 이 플 라즈 마 반응 챔버 ( 5 ) 로부터 반응 조 ( 13 ) 로 이동 되 었 다 . 기체 반응 산물 은 6 번 파이프 를 통하 여 제거 되 고 , 클로로 - 및 메틸 클로로 실란 은 바셀 ( 7 ) 에서 축합 된 후 , 바셀 ( 10 ) 에서 수집 된다 . 2 . 5 시간 동안 , 181 을 바셀 ( 10 ) 에서 수집 하 고 , 분별 증류 9 컬럼 에서 단일 산물 로 분별 하 였 다 . 이 들 은 21 . 6 g 의 MeSiCl 3 및 1 . 8 g 의 Me 2 SiCl 2 의 혼합 산물 로부터 무색 액체 로서 수득 되 었 다 . 메틸 화 된 클로로 폴리 실란 을 SiCl 4 에 용해 시켜 플 라즈 마 반응 챔버 ( 5 ) 에서 반응 조 ( 13 ) 으로 이동 되 고 , 바닥 배출구 노즐 ( 11 ) 을 통하 여 제거 된다 .