패턴 측정 방법 의 제 3 양태 는 , 제 1 또는 제 2 양태 에 관련 된 패턴 측정 방법 으로서 , 상기 촬상 화상 에 는 , 상기 촬상 화상 의 단 에서 단 까지 일 방향 으로 연장 되 는 라인 패턴 이 포함 되 어 있 고 , 상기 제 3 공정 은 , 상기 모델 데이터 에 대해 고속 푸리에 변환 을 실시 하 여 , 회절 패턴 을 산출 하 는 공정 과 , 상기 회절 패턴 을 푸리 에 변환 면 의 각 영역 에 이 차원 적 으로 배치 하 는 공정 과 , 상기 푸리 에 변환 면 의 각 영역 의 회절 패턴 에 대해 역 푸리에 변환 을 실시 하 는 공정 을 구비 한다 .