단계 ( 106 ) 는 ALD 증착 사이클 과 같 은 증착 사이클 을 수행 하 는 단계 를 포함 한다 . 각각 의 증착 사이클 은 , 표면 과 반응 하 여 화학 흡착 된 재료 를 형성 하 는 제 2 반응물 을 상기 기판 에 도입 하 는 단계 ; 및 상기 화학 흡착 된 재료 와 반응 하 는 제 3 반응물 로부터 제 2 활성 종 을 형성 하 여 증착 재료 를 형성 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .