본 발명 의 기판 처리 장치 , 기판 이 안착 되 는 스핀 척 과 ; 상기 스핀 척 상부 면 에 구비 되 어 , 상기 스핀 척 의 회전 시 상기 스핀 척 에 안착 되 는 기판 이 이탈 되 지 않 도록 척 킹 하 는 복수 개 의 척 킹 핀 들 과 ; 상기 스핀 척 에 안착 된 기판 을 척 킹 및 척 킹 해제 되 도록 상기 복수 개 의 척 킹 핀 들 을 구동 하 는 구동 부 및 ; 상기 복수 개 의 척 킹 핀 들 을 동일 한 개수 인 제 1 및 제 2 의 척 킹 핀 들 로 분할 설정 하 고 , 상기 기판 처리 장치 의 공정 진행 시 , 분할 설정 된 상기 제 1 및 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 각각 에 의해 교대 로 기판 을 척 킹 하 도록 상기 구동 부 를 제어 하 는 제 어부 를 포함 한다 .