유지 테이블 ( 131 ) 은 , 도 11 ( A ) 및 도 11 ( B ) 에 도시 한 바 와 같이 , 유지 부 ( 20 ) 와 마찬가지 로 , 상면 에 평탄 한 유지 면 ( 131 - 1 ) 을 형성 하 는 흡착 부 ( 131 - 2 ) 와 , 흡착 부 ( 131 - 2 ) 를 상면 중앙부 의 오 목부 에 끼워 넣 어 고정 하 는 프레임 ( 131 - 3 ) 을 구비 한다 . 흡착 부 ( 131 - 2 ) 는 , 흡착 부 ( 20 - 2 ) 와 같 은 재료 로 구성 되 고 , 흡착 부 ( 20 - 2 ) 와 마찬가지 로 , 도시 하 지 않 는 진공 흡인 경로 를 통해 도시 하 지 않 는 진공 흡 인원 과 접속 되 어 , 유지 면 ( 131 - 1 ) 전체 로 , 웨이퍼 ( 200 ) 및 환형 프레임 ( 225 ) 을 흡인 유지 한다 .