도 2 d 및 도 2 e 를 참조 하 면 , 증착 초기 에 제 2 라이너 층 ( 105 A ) 은 오프닝 ( 103 ) 의 중간부 및 저면 에서 제 1 라이너 층 ( 104 ) 상 에 증착 될 수 있 다 . 증착 공정 이 계속 되 는 동안 에 , 제 2 라이너 층 ( 105 A ) 은 오프닝 ( 103 ) 의 상부 코너 를 커버링 하 도록 제 1 라이너 층 ( 104 ) 및 불소 흡착 층 ( 107 ) 상 에 증착 될 수 있 다 .