단계 적 인 투자 를 가능 하 게 하 기 위해서 , 도 6 의 ( b ) 에 나타내 는 형태 , 또는 도 6 의 ( c ) 에 나타내 는 형태 만 의 기판 반송 시스템 으로서 도 좋 다 . 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 및 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 이 독립 되 어 있 으므로 , 어느 한쪽 에서 도 기판 반송 시스템 은 성립 한다 . 그리고 , 나중 에 도 6 의 ( b ) 에 나타내 는 형태 에 도 6 의 ( c ) 에 나타내 는 형태 를 부가 해도 좋 고 , 도 6 의 ( c ) 에 나타내 는 형태 에 도 6 의 ( b ) 에 나타내 는 형태 를 부가 해도 좋 다 . 이런 경우 , 로더 모듈 ( 22 ) 에 는 , 나중 에 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 또는 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 을 연결 가능 한 연결 포트 가 마련 되 어 있 다 .