회전 부재 ( 420 ) 의 회전 판 ( 422 ) 에 는 소스 공급 부재 ( 440 ) 가 설치 된다 . 소스 공급 부재 ( 440 ) 는 선형 구조 의 통 형상 으로 마련 될 수 있 으며 , 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 외팔보 형상 을 가지 는 회전 부재 ( 420 ) 의 회전 판 ( 422 ) 위 에 설치 된다 . 소스 공급 부재 ( 440 ) 는 기판 지지 부재 ( 410 ) 에 의해 지지 된 기판 ( S ) 과 마주 보 도록 설치 되 고 , 기판 ( S ) 의 증착 이 이루어지 는 면 으로 유기 물질 을 공급 한다 .