상기 스테이지 ( 300 ) 는 표면 에서 광이 주사 하 며 , 연결부 ( 310 ) 에 의해서 후술 하 는 보조 프레임 ( 240 ) 상 에 배치 되 어 있 다 . 상기 연결부 ( 310 ) 는 상기 스테이지 ( 300 ) 가 후술 되 는 회전 하 는 수평 구동 프레임 의 회동 공간 ( 320 ) 을 제공 한다 . 상기 스테이지 ( 300 ) 는 하부 의 스테이지 구 동부 ( 200 ) 에 의해서 2 축 으로 구동 한다 .