상기 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 의 상부 면 에 제 2 방향 으로 연장 되 는 함몰 부 ( 151 a ) 를 포함 할 수 있 다 . 덮개 부 ( 155 ) 는 상기 함몰 부 ( 151 a ) 의 상부 면 을 덮 을 수 있 다 . 상기 덮개 부 ( 155 ) 와 상기 함몰 부 ( 151 a ) 는 제 1 가스 확산 영역 ( 151 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 1 가스 확산 영역 ( 151 ) 은 제 2 방향 으로 이격 되 어 복수 개 가 배치 될 수 있 다 . 상기 제 1 가스 확산 영역 ( 151 ) 은 하부 가스 분배 판 ( 160 b ) 의 가장 자리 에서 서로 연결 될 수 있 다 . 제 1 노즐 ( 153 ) 은 절 연판 ( 112 ) 을 관통 하 여 상기 제 1 가스 확산 영역 ( 151 ) 에 연결 될 수 있 다 . 상기 제 1 노즐 들 ( 153 ) 은 제 1 방향 으로 정렬 될 수 있 다 .