또한 , 수지 피복 동작 에 있 어서 액상 수지 ( 301 ) 를 변형 하 고 있 을 때 에 는 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 범프 ( 204 ) 가 액상 수지 ( 301 ) 에 박히 는 것 을 고려 하 면 , 유지 부 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 과 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 과 의 사이 에 는 , 두께 ( 210 ) 의 웨이퍼 ( 200 ) 와 , 원 하 는 수지 두께 ( 311 ) 을 목표 로 하 는 액상 수지 ( 301 ) 와 , 기존 의 두께 ( 97 ) 를 가지 는 시트 ( 92 ) 가 수직 방향 으로 적층 한 상태 가 된다 . 이 를 감안 하 고 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 에 있 어서 미리 실시 하 는 소정 의 실험 에서 는 , 도 5 에 나타내 는 시트 ( 92 ) 의 두께 ( 97 ) 및 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 을 고려 하 여 실시 되 고 , 적절 하 게 공제 하 는 등 의 보정 이 행해진다 . 또한 , 이 소정 의 실험 에서 는 , 수지 공급 동작 에 있 어서 액상 수지 ( 301 ) 의 적절 한 공급량 을 산출 했 을 때 와 마찬가지 로 , 액상 수지 ( 301 ) 가 경화 하 여 수지 ( 302 ) 가 될 때 의 수축 률 을 고려 하 여 실시 되 고 , 적절 하 게 보정 된다 . 또한 , 이 소정 의 실험 에서 , 시트 재치 동작 을 생략 하 고 있 는 경우 에 는 , 시트 ( 92 ) 의 두께 ( 97 ) 를 고려 하 여 공제 하 는 등 의 보정 을 할 필요 가 없 다 .