본 실시 예 에서 는 , 주사 전자 현미경 의 화상 을 이용 하 여 , 서로 다른 전기 특성 을 갖 는 시료 의 결함 을 분류 하 고 , 검사 하 는 결함 검사 장치 에 관한 것 으로 , 복수 의 단속 조건 에서 취득 한 화상 의 명도 로부터 , 결함 의 전기 저항 R 과 정전 용량 C 를 독립 적 으로 해석 하 는 기능 을 구비 한 주사 전자 현미경 에 대해서 기술 한다 .