구체 적 으로 , 제 1 금속 층 ( 110 ) 은 사각 패턴 으로 형성 되 고 , 제 1 층간 절연 층 ( 330 ) 이 형성 된다 . 제 1 층간 절연 층 ( 330 ) 을 관통 하 는 제 1 비아 ( 210 ) 들 이 상호 간 에 이격 되 어 다수 개 가 형성 되 고 , 제 2 금속 층 ( 130 ) 이 역시 대등 한 사각 패턴 으로 제 1 금속 층 ( 110 ) 의 사각 패턴 에 정렬 되 게 형성 되 고 , 제 2 층간 절연 층 ( 350 ) 이 형성 된다 . 제 2 층간 절연 층 ( 350 ) 을 관통 하 는 제 2 비아 ( 230 ) 들 이 제 1 비아 ( 210 ) 에 중첩 되 지 않 는 위치 에 상호 이격 되 어 다수 개 가 형성 되 고 , 제 3 금속 층 ( 150 ) 이 사각 패턴 으로 제 2 금속 층 ( 130 ) 의 사각 패턴 에 대해 정렬 되 게 형성 된다 .