본 실시 형태 에서 는 , 아연 과 갈륨 의 산화물 을 사용 하 는데 , 아연 은 200 ℃ 이상 에서 의 증기압 이 갈륨 보다 도 높 으므로 , 기판 ( 101 ) 을 200 ℃ 이상 으로 가열 하 면 산화 물막 ( 104 ) 의 아연 농도 는 타깃 의 아연 농도 보다 도 낮 아 진다 . 따라서 , 이 를 고려 하 여 , 타깃 의 아연 농도 는 높 게 결정 할 필요 가 있 다 . 일반 적 으로 아연 농도 가 증가 하 면 , 산화물 의 도전 율 이 향상 되 므로 , DC 스퍼터링 법 을 적용 하 기 에 는 바람직 하 다 .