제 1 약액 공급 부재 ( 220 ) 는 기판 지지 부재 ( 100 ) 상 에 놓인 기판 ( W ) 의 상면 으로 약액 을 공급 한다 . 제 1 약액 공급 부재 ( 220 ) 는 수직 하 게 배치 되 며 기판 ( W ) 으로 약액 을 공급 하 는 노즐 ( 222 ) 을 가진다 . 노즐 ( 222 ) 은 노즐 지지대 ( 224 ) 에 의해 지 지 되 며 , 노즐 지지대 ( 224 ) 는 수평 방향 으로 배치 되 고 그 일단 은 노즐 ( 222 ) 의 끝단 에 결합 된다 . 노즐 지지대 ( 224 ) 의 타단 에 는 노즐 지지대 ( 224 ) 와 직각 을 이루 도록 수직 방향 으로 배치 된 이동 로드 ( 226 ) 가 결합 되 고 , 이동 로드 ( 226 ) 에 는 구동 부 재 ( 228 ) 가 연결 된다 . 구동 부재 ( 228 ) 는 공정 진행시 또는 공정 전후 에 노즐 ( 222 ) 을 이동 시킨다 . 구동 부재 ( 228 ) 는 노즐 ( 222 ) 을 회전 시키 기 위한 모터 일 수 있 으며 , 선택 적 으로 노즐 ( 222 ) 을 기판 ( W ) 의 반경 방향 으로 직선 이동 시키 기 위한 어셈블리 일 수 있 다 .