다른 실시 형태 에서 , 세정 용액 ( 105 ) 은 물 과 같 은 용매 외 의 화합물 을 포함 하 여 , 세정 재료 ( 100 ) 의 특성 을 변형 시킨다 . 예 를 들 어 , 세정 용액 ( 105 ) 은 세정 용액 ( 105 ) 및 대응 하 는 세정 재료 ( 100 ) 의 수소 이온 지수 ( pH ) 값 을 조정 하 기 위해 약한 산 또는 약한 염기 일 수 있 는 완충제 를 포함 할 수 있 다 . 약한 산 의 일 예 는 시트르산 이 다 . 약한 염기 의 일 예 는 암모늄 ( NH 4 OH ) 이 다 . 세정 재료 ( 100 ) 의 pH 값 은 약 1 내지 약 12 의 범위 일 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , ( 구리 및 금속 간 절 연막 ( inter - metal dielectric ) 의 퇴적 전 의 ) 프론트 - 엔드 ( front - end ) 애플리케이션 에 있 어서 , 세정 재료 ( 100 ) 는 약 7 에서 약 12 까지 의 범위 내 의 pH 값 을 갖 는 염기성 이 다 . 다른 실시 형태 에서 , 프론트 - 엔드 애플리케이션 의 pH 값 은 약 8 에서 약 11 까지 의 범위 내 에 있 다 . 또 다른 실시 형태 에서 , 프론트 - 엔드 애플리케이션 의 pH 값 은 약 8 에서 약 10 까지 의 범위 내 에 있 다 .