[ 0049 ] 일 실시 예 에서 , 정렬 홀 ( 338 ) 은 상단 플레이트 ( 330 ) 의 중심 가까이 에 형성 되 며 조립 동안 상단 플레이트 ( 330 ) 의 정렬 을 용이 하 게 하 도록 구성 된다 . 일 실시 예 에서 , 도 4 를 참조 하 여 복수 의 리프팅 핀 들 ( 341 ) 의 각각 은 다수 의 핀 홀 들 ( 336 ) 이 프로세스 체적 에서 프로세스 가스 를 오염 시키 는 것 을 방지 하 기 위해 버섯 형태 의 헤드 를 가질 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 다수 의 리프팅 핀 들 ( 341 ) 은 사파이어 로 만들 어 질 수 있 다 .