박리 층 ( 702 ) 은 금속 막 , 금속 산화 막 , 금속 막 과 금속 산화 막 을 적층 하 여 형성 되 는 막 을 사용 할 수 있 다 . 금속 막 과 금속 산화 막 은 단층 이 어도 좋 고 , 다수 의 층 이 적층 된 적층 구조 를 가져도 좋 다 . 또한 , 금속 막 이나 금속 산화 막 외 에 , 금속 질화물 이나 금속 산화 질화물 을 사용 하 여도 좋 다 . 박리 층 ( 702 ) 은 스퍼터링 법 이나 플라 즈 마 CVD 법 등 의 각종 CVD 법 등 을 사용 하 여 형성 할 수 있 다 .