상기 제 2 층간 절 연막 ( 340 ) 과 상기 제 2 소스 전극 ( 350 ) 및 상기 제 2 드레 인 전극 ( 360 ) 상 에 는 제 2 중간 절 연막 ( 140 ) 이 위치 할 수 있 다 . 상기 제 2 소스 전극 ( 350 ) 및 상기 제 2 드레 인 전극 ( 360 ) 은 상기 제 2 중간 절 연막 ( 140 ) 상 에 위치 할 수 있 다 . 상기 제 2 중간 절 연막 ( 140 ) 은 절연성 물질 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 2 중간 절 연막 ( 140 ) 은 상기 제 2 층간 절 연막 ( 340 ) 과 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 2 중간 절 연막 ( 140 ) 은 실리콘 질화물 계 ( SiNx ) 물질 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 2 드레 인 전극 ( 360 ) 은 상기 제 2 층간 절 연막 ( 340 ) 및 상기 제 2 중간 절 연막 ( 140 ) 을 관통 할 수 있 다 .