헤드 유닛 ( 62 B ) 은 , 전술 한 X 스케일 ( 39 X 1 ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ) ) 의 X 축 방향 의 위치 ( X 위치 ) 를 계측 하 는 , 다 안 ( 여기 서 는 4 안 ) 의 X 리니어 인코더 ( 이하 , 적절히 「 X 인코더 」 또는 「 인코더 」 라고 약기 한다 ) ( 70 B ) ( 도 10 참조 ) 를 구성 한다 . 또한 헤드 유닛 ( 62 D ) 은 , 전술 한 X 스케일 ( 39 X 2 ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ) ) 의 X 위치 를 계측 하 는 다안 ( 여기 서 는 4 안 ) 의 X 리니어 인코더 ( 70 D ) ( 도 10 참조 ) 를 구성 한다 .