또한 배기관 ( 224 ) 에 는 예컨대 압력 조정기 ( 227 ) 의 전단 [ 즉 처리 실 ( 201 ) 에 가까운 측 ] 에 그 배기관 ( 224 ) 내 의 압력 을 측정 하 는 압력 측 정부 로서 의 압력 센서 ( 229 ) 가 설치 된다 . 또한 여기 서 는 압력 센서 ( 229 ) 가 배기관 ( 224 ) 내 의 압력 을 측정 하 는 경우 를 예 로 들 었 지만 , 압력 센서 ( 229 ) 는 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 을 측정 하 는 것 이 어도 좋 다 . 즉 압력 센서 ( 229 ) 는 처리 실 ( 201 ) 내 , 또는 배기 부를 구성 하 는 배기관 ( 224 ) 내 중 어느 하나 의 압력 을 측정 하 는 것 이 라면 좋 다 .