또한 , 열전자 방출 방식 의 전자총 은 그 크기 가 제한 되 어 있 어 전자 방출 량 에 한계 가 있 으며 , 열화 방식 에 의해 전자 방출 원인 에 미터 의 수명 이 단축 되 어 장시간 사용 할 수 없 다는 문제점 도 있 었 다 . 또한 전자 생성 을 위하 여 고온 으로 필라멘트 를 가열 해야 하 므로 소모 전력 이 높 아 과도 한 에너지 를 이용 해야 한다는 단점 을 가지 고 있 다 . 그리고 열전자 를 이용 한 전자 빔 은 그 부피 가 크 므로 여러 개 의 빔 을 정렬 하 여 대 면적 화 하 는 것 이 불 가능 하 였 다 . 이러 한 단점 으로 인하 여 대면 적 증착 을 위해서 는 증착 물 과 기판 과 의 거리 를 가능 한 멀 게 하 여야 하 며 , 이 는 증착 물 의 과도 한 소비 로 이어져 이용 효율 을 저하 시키 게 된다 .