3 - D 플러그 충 진체 에 사용 되 는 공정 에 따라 , 공극 ( 260 ) 의 크기 뿐 만 아니 라 플러그 충 진체 ( 250 ) 의 형상 은 상이 할 수 있 다 . 공극 ( 260 ) 을 형성 함 으로써 , 플러그 충 진체 ( 250 ) 는 완전히 채워 지 거나 완전히 채워 지 지 않 아 , 구멍 내부 에서 소위 공극 또는 핀치 - 오프 를 생성 한다 . 공극 또는 핀치 - 오프 는 , 이후 공정 에서 플러그 충 진체 ( 250 ) 를 제거 하 는 중 에 더 빠른 제거 를 초래 할 수 있 고 , 이 에 따라 식각 화학 물질 에 의한 소자 손상 및 제조 시간 을 줄이 고 처리 량 을 증가 시킬 수 있 다 . 공극 또는 핀치 - 오프 는 본 발명 의 특정 구 현예 에서 존재 하 지 않 을 수 있 다 .