도시 된 바 와 같이 , MPA 와 TMAAB 모두 세 개 의 수소 ( H ) 가 알루미늄 ( Al ) 과 결합 한 알레인 ( AlH 3 ) 기 를 가지 고 있 다 . 이러 한 알레인 계열 의 화합물 은 알 루미 늄 ( Al ) - 카본 ( C ) 결합 을 가지 고 있 지 않 기 때문 에 증착 된 알루미늄 박막 의 카본 ( carbon ) 함입 이 적 다는 장점 을 가지 고 있 다 . 특히 , TMAAB 는 보론 ( B ) 이 알루미늄 ( Al ) 과 결합 된 수소 ( H ) 와 결합 하 고 있 기 때문 에 온도 의 변화 또는 시간 의 경과 에 따른 가스 안정 성 ( stability ) 이 우수 한 장점 이 있 다 .