상기 버퍼 층 ( 140 ) 은 상기 제 1 두께 ( d 1 ) ( 도 1 e 참조 ) 와 대략 동일 한 제 2 두께 ( d 2 ) 를 가지 도록 형성 될 수 있 다 . 상기 버퍼 층 ( 140 ) 은 상기 버퍼 마스크 패턴 ( 132 a ) 의 상면 및 측벽 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 의 측벽 , 그리고 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 의 낮 은 표면 부 ( 124 a ) 를 각각 균일 한 두께 로 덮 도록 형성 될 수 있 다 .