먼저 본 발명 의 코안 다 진공 노즐 및 팩 킹 링 을 구비 한 진공 척 진공 패드 는 , 다수 의 진공 흡인 홀 이 형성 된 상부 플레이트 와 상기 상부 플레이트 하부 에 일정 간극 의 진공 발생 공간 을 형성 하 며 결합 고정 되 는 하부 플레이트 를 포함 하 여 구성 되 는 진공 패드 에 있 어서 , 상기 하부 플레이트 는 상부 주변 부 에 상기 하부 플레이트 의 외곽 방향 으로 코안 다 제트 가 형성 되 도록 코안 다 커브 및 상기 코안 다 커브 내측 으로 간극 을 두 고 배치 되 도록 하나 의 코안 다 코어 로 구성 되 는 코안 다 진공 노즐 및 상기 하부 플레이트 내부 에 상기 코안 다 진공 노즐 에 공기 를 분사 하 는 공기 유로 를 형성 하 여 상기 코안 다 진공 노즐 에 코안 다 제트 가 형성 됨 에 따라 상기 하부 플레이트 상부 진공 발생 공간 에 음압 이 형성 되 어 상기 상부 플레이트 의 진공 흡인 홀 을 통하 여 얇 을 판 형태 의 가공물 을 진공 흡착 하 도록 하 고 , 상기 상부 플레이트 상부 에 는 상기 얇 은 판 형태 의 가공물 의 둘레 를 따라 패킹 링 이 배치 되 어 외부 를 차단 , 진공 유실 을 방지 하 여 상기 얇 은 판 형태 의 가공물 에 균일 한 진공 흡착 력 을 유지 하 도록 구성 된다 .