[ 0096 ] 도 7 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 진공 프로세싱 챔버 ( 701 ) 는 게이트 밸브 들 ( 715 ) 을 가질 수 있 고 , 게이트 밸브 들 을 통해 진공 프로세싱 챔버 ( 701 ) 는 인접 한 추가 적 인 챔버 ( 702 ) , 예컨대 , 라우팅 ( routing ) 모듈 또는 인접 한 서비스 모듈 에 연결 될 수 있 다 . 특히 , 게이트 밸브 들 ( 715 ) 은 인접 한 추가 적 인 챔버 에 대한 진공 밀봉 을 허용 하 고 , 기판 및 / 또는 마스크 를 진공 프로세싱 챔버 ( 701 ) 의 안 과 밖 으로 이동 시키 기 위해 개방 및 폐쇄 될 수 있 다 .