도 16 에 도시 된 실시 예 에 따르 면 , 실질 적 으로 마름모 형상 의 하부 개구부 ( LH ) 를 정의 하 는 하부 패턴 ( 22 ) 이 기판 ( 10 ) 상 에 형성 될 수 있 다 . 즉 , 하부 패턴 ( 22 ) 에서 , 제 2 부분 들 ( 22 b ) 은 평면 적 으로 제 1 부분 들 ( 22 a ) 에 대해 소정 각도 를 가질 수 있 다 . 다시 말 해 , 제 1 부분 들 ( 22 a ) 과 제 2 부부 들 ( 22 b ) 은 서로 비 평행 ( non - parallel ) 하 고 , 비 수직 ( non - perpendicular ) 하 게 형성 될 수 있 다 .