최근 들 어 , 터널 산화 막 ( 102 ) 을 통해 빠르 게 채널 이 형성 될 수 있 도록 하 기 위해서 는 디바이스 폭 , 즉 제 어 게이트 ( 108 ) 와 플로팅 게이트 ( 104 ) 의 두께 를 줄여야 하 는데 , 이 와 같이 제어 게이트 ( 108 ) 와 플로팅 게이트 ( 104 ) 의 두께 를 줄일 수 있 는 데 에 는 그 한계 에 도달 하 였 다 .