상기 지지 프레임 ( 431 ) 은 커버 플레이트 ( 432 ) 를 지지 하 는 상부 면 ( 431 a ) , 상부 면 ( 431 a ) 으로부터 수직 하 게 절곡 되 어 퍼지 가스 분사 공간 ( S 3 ) 을 마련 하 는 측벽 ( 431 b ) , 및 개구부 를 가지 도록 측벽 ( 431 b ) 의 하면 으로부터 절곡 되 어 퍼지 가스 분사 플레이트 ( 433 ) 를 지지 하 는 하부 면 ( 431 c ) 을 포함 하 여 구성 된다 .