상기 본 체부 ( 120 ) 는 외부 로부터 수평 회전 구동력 을 전달 하 는 구동 샤프트 ( 미 도시 ) 와 상단 에서 연결 된 구동 전달 부 ( 124 ) 와 , 구동 샤프트 로부터 전달 받 은 수평 회전 구동력 이 전달 되 어 구동 전달 부 ( 124 ) 와 함께 회전 하 는 베이스 ( 121 ) 로 구성 된다 . 여기 서 , 베이스 ( 121 ) 와 구동 전달 부 ( 124 ) 는 일체 형태 로 형성 될 수 도 있 지만 , 베이스 ( 121 ) 와 구동 전달 부 ( 124 ) 는 서로 다른 구성 으로 제작 되 어 , 상호 간 의 맞물림 이나 연결 핀 등 을 매개 로 회전 구동력 이 구동 전달 부 ( 124 ) 로부터 베이스 ( 121 ) 에 전달 되게 구성 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 베이스 ( 121 ) 는 웨이퍼 의 연마 공정 중 에 구동 전달 부 ( 124 ) 와 일체 로 수평 회전 한다 .