다음 , 도 8 및 도 9 에 도시 한 바 와 같이 , 불순물 이 도핑 된 비정질 규소 층 또는 미세 결정질 규소 층 및 금속 층 을 적층 하 고 , 마스크 를 이용 한 사진 식각 공정 으 로 금속 층 을 패 터닝 하 여 스위칭 입력 전극 ( 173 a ) 및 끝 부분 ( 179 ) 을 포함 하 는 데이터 선 ( 171 ) , 스위칭 출력 전극 ( 175 b ) , 구동 입력 전극 ( 173 b ) 을 포함 하 는 구동 전압선 ( 172 ) 및 구동 출력 전극 ( 175 b ) 을 형성 한다 . 이어 드러난 규소 층 을 식각 하 여 저항성 접촉 부재 ( 163 a , 165 a , 163 b , 165 b ) 를 형성 한다 .