기체 노즐 ( 42 ) 은 기체 노즐 ( 42 ) 에 기체 를 안내 하 는 기체 배관 ( 48 ) 에 접속 된다 . 기체 배관 ( 48 ) 에 개장 된 기체 밸브 ( 49 ) 가 열리 면 , 기체 의 유량 을 변경 하 는 유량 조정 밸브 ( 50 ) 의 개방 정도 에 대응 하 는 유량 으로 기체 노즐 ( 42 ) 의 토출구 ( 42 a ) 에서 하방 으로 기체 가 연속 적 으로 토출 된다 . 기체 노즐 ( 42 ) 에서 토출 되 는 기체 는 질소 가스 등 의 불활성 가스 다 . 불활성 가스 는 헬륨 가스 나 아르곤 가스 등 의 질소 가스 이외 의 기체 여도 좋 다 . 기체 노즐 ( 42 ) , 기체 배관 ( 48 ) , 기체 밸브 ( 49 ) 및 유량 조정 밸브 ( 50 ) 에 의해 스핀 척 ( 5 ) 에 유지 되 는 기판 ( W ) 의 상면 에 기체 를 분사 하 기 위한 기체 분사 유닛 이 구성 된다 .