핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 은 동시 에 웨이퍼 ( W ) 를 제거 하 고 , 서로 함께 웨이퍼 ( W ) 를 선형 으로 이동 시키 고 , 웨이퍼 ( W ) 를 동시 에 하 류 처리 유닛 에 전달 하 도록 작동 될 수 있 다 . 도 37 에 도시 된 바 와 같이 , 3 개 의 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 은 인접 한 2 개 의 처리 유닛 내 의 전달 위치 에 있 는 웨이퍼 ( W ) 의 두 중심 사이 의 거리 ( 피치 ) 에 따라 변경 되 는 소정 의 거리 를 이동 한다 . 3 개 의 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 은 서로 에 대해 독립 적 으로 다른 거리 를 이동 하 도록 구성 되 어 , 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 은 각각 의 전달 위치 에 접근 할 수 있 다 . 그 결과 , 처리 유닛 의 조합 의 자유도 가 증가 된다 . 핸드 유닛 의 수 는 3 개 로 제한 되 지 않 으며 , 처리 유닛 의 수 에 따라 적절 하 게 선택 될 수 있 다 .