상기 이동 모듈 ( 400 ) 은 밸브 본체 ( 300 ) 를 게이트 ( 110 , 210 ) 에 대응 되 는 위치 로 이동 시키 거나 기판 이 입출 될 수 있 도록 게이트 ( 110 , 210 ) 와 겹치 지 않 은 위치 까지 이동 시키 기 위하 여 밸브 부재 ( 310 ) 에 결합 되 는 이동 부재 ( 410 ) 와 , 이 동부 재 ( 410 ) 가 밸브 부재 ( 310 ) 를 이동 시키 도록 이 동부 재 ( 410 ) 를 구동 하 기 위한 구동 장치 ( 420 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .