도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 4 개 의 샘플 에 대하 여 FT - IR 로 측정 한 탄소 농도 와 SIMS 로 측정 한 탄소 농도 의 상관 관계 는 0 . 9749 정도 로 거의 동일 하 게 측정 되 었 다 . 이때 , 상기 의 4 개 의 샘플 중 청색 박스 ( box ) 내의 3 개 의 심플 은 DLTS 를 이용 한 탄소 검출 이 불가 하 였으며 , 탄소 농도 가 1 ppma 정도 보다 낮 은 수준 에서 는 DLTS 를 이용 한 탄소 농도 의 검출 이 어려움 을 확인 하 였 다 .