데이터 금속 층 ( 150 ) 의 식각 은 습식 식각 공정 에 의해 이루어지 므로 , 실제로 는 데이터 라인 ( 155 ) 와 소스 / 드레 인 금속 패턴 ( 156 ) 의 가장자리 는 제 1 포토레지스트 패턴 ( 160 ) 의 가장자리 와 일치 하 지 않 고 언더컷 을 형성 한다 . 상기 포토레지스트 조성물 은 포토레지스트 패턴 의 경사각 을 증가 시켜 언더컷 의 폭 ( △ d ) 을 감소 시킬 수 있 다 .