항구 적 인 접합 후 , 도 13 에 도시 한 바 와 같이 , 봉입 공정 으로서 , 주 입부 ( 4 ) ( 도 2 참조 ) 로부터 밀봉 공간 ( 3 ) 으로 작 동액 ( 2 ) 이 주입 된다 . 이때 , 먼저 , 밀봉 공간 ( 3 ) 이 진공 화 되 어 감압 되 고 , 그 후 에 , 작 동액 ( 2 ) 이 밀봉 공간 ( 3 ) 에 주입 된다 . 주입 시 , 작 동액 ( 2 ) 은 하측 주입 유로 오 목부 ( 17 ) 와 상측 주입 유로 오 목부 ( 26 ) 에 의해 형성 된 주입 유로 를 통과 한다 . 예 를 들 어 , 작 동액 ( 2 ) 의 봉입 량 은 베이퍼 챔버 ( 1 ) 내부 의 액 유로 부 ( 30 ) 의 구성 에 따라 다르 기 도 하 지만 , 밀봉 공간 ( 3 ) 의 전체 체적 에 대하 여 10 ％ 내지 30 ％ 로 해도 된다 .