불순물 금속 의 함유량 이 , 상기 범위 내이 면 , 약액 은 , 보다 우수 한 결함 억제 성능 을 갖 는다 . 특히 , 불순물 금속 의 함유량 이 0 . 001 질량 ppt 이상 이 면 , 약액 을 기판 상 에 도포 했 을 때 , 불순물 금속 끼리 가 보다 응집 하 기 쉽 다고 생각 되 고 , 결과 적 으로 결함 의 수 가 보다 감소 하 는 것 이 라고 생각 된다 .