이상 설명 한 본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 에 의하 면 , 패턴 붕괴 의 발생 을 억제 하 고 , 또 한 막 쉬 링크 를 억제 하 여 잔 막 률 을 개선 한다는 효과 가 얻 어 진다 . 또한 본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 에 의하 면 , 러프 니스 ( LWR 등 ) 가 저감 된 양호 한 패턴 을 형성 할 수 있 다는 효과 도 얻 어 진다 . 본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 은 , 특히 , 유기계 현상액 을 사용 하 는 네거티브 형 현상 프로세스 를 적용 했 을 경우 에 , 상기 의 효과 를 얻 기 쉽 다 .