또한 , 도 3 내지 도 5 를 참조 하 면 , 테이블 모듈 ( 11 ) 은 음압 전달 플레이트 구 조체 ( 112 a ) ( 이하 에서 는 테이블 모듈 ( 11 ) 의 음압 전달 플레이트 구 조체 ( 112 a ) 는 ' 테이블 용 음압 전달 플레이트 구 조체 ( 112 a ) ' 라 함 ) 를 포함 할 수 있 는데 , 테이블 용 음압 전달 플레이트 구 조체 ( 112 a ) 는 컨버전 키트 ( 111 ) 를 흡착 하 고 , 음압 발생기 와 컨버전 키트 ( 111 ) 의 복수 의 진공 홀 ( 1111 ) 을 연통 시킬 수 있 다 .