또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 가스 공급 부 ( 170 B ) 는 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 직경 방향 의 내측 의 측면 에 형성 된다 . 그리고 , 이면 차 단판 ( 170 ) 은 , 직경 방향 의 내측 의 측면 에 형성 되 며 , 또한 , 가스 공급 부 ( 170 B ) 보다 기판 ( W ) 에 가까운 돌기 부 ( 170 C ) 를 구비 한다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 가스 공급 공 ( 1700 B ) 으로부터 이면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 및 케이싱 ( 171 ) 내 로 흘러 들어가 는 비율 이 증대 되 기 때문 에 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 및 케이싱 ( 171 ) 내 에 처리 액 ( 예 를 들 어 , 약액 , 세정액 , 그것 들 이 분위기 가 된 것 , 또는 , 처리 컵 ( 511 ) 으로 튄 것 등 ) 이 비집 고 들어가 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 또 , 돌기 부 ( 170 C ) 에 의해서 도 일시 적 으로 가스 가 가로막혀 , 당해 지점 에서 압력 이 균일 해 지 기 때문 에 , 간극 영역 ( 180 ) 으로 흐르 는 가스 의 압력 의 균일성 을 높일 수 있 다 .