본 발명 은 , 적어도 , 피 처리 기판 을 수평 으로 지지 하 기 위한 지 지부 를 , 지지 하 는 피 처리 기판 한 장 근처 에서 4 개 이상 가지 고 있 고 , 상기 4 개 이상 의 지지 부 에 는 , 각각 , 상기 피 처리 기판 이 재치 되 는 지지 보조 부재 가 탈착 가능 하 게 장착 되 고 있 는 종형 열처리 용 보트 로서 , 상기 4 개 이상 의 지지 부 의 각각 의 형상 에 맞추 어 , 상기 지지 보조 부재 의 두께 를 조절 하 거나 , 상기 지지 부 와 상기 지지 보조 부재 사이 에 스 페이서 를 개재 시킴 으로써 , 상기 피 처리 기판 이 재치 되 는 각각 의 지지 보조 부재 의 면 모두 로부터 얻 을 수 있 는 평면도 가 조정 되 는 것 을 특징 으로 하 는 종형 열처리 용 보트 를 제공 한다 . 이 에 의해 , 종형 열처리로 에 의해 반도체 웨이퍼 등 의 피 처리 기판 을 열처리 할 때 , 피 처리 기판 의 지지 에 있 어서 의 평면도 를 용이 하 게 개선 할 수 있 어서 , 슬립 전위 의 발생 을 효과 적 으로 방지 하 는 것 이 가능 한 종형 열처리 용 보트 및 반도체 웨이퍼 의 열처리 방법 이 제공 된다 .