이것 은 실리콘 이 산화물 증착 사이클 로 불릴 수 있 다 . 상기 실리콘 이 산화물 증착 사이클 ( 100 ) 에서 , 상기 기판 은 증기 화 된 실리콘 화합물 과 접촉 된다 ( 110 ) . 여기 서 설명 된 어떠 한 실리콘 전구체 들 도 사용 될 수 있 다 . 다음 으로 , 흡착 된 실리콘 화합물 은 상기 기판 을 증기 화 된 산소 소스 화합물 과 접촉 시킴 으로써 실리콘 이 산화물 로 전환 될 수 있 다 ( 120 ) . 상기 산소 소스 화합물 로서 여기 에 설명 된 어떠 한 산소 전구체 들 도 사용 될 수 있 다 . 상기 접촉 단계 들 은 원 하 는 두께 및 조성 의 박막 이 얻 어 질 때 까지 반복 된다 ( 130 ) .