상기 레이저 조사 유닛 ( 44 ) 으로부터 , 유지 테이블 ( 42 ) 에 의해 유지 된 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 를 향하 여 레이저 빔 ( 52 ) 이 조사 된다 . 또한 , 레이저 빔 ( 52 ) 의 파장 은 , 레이저 빔 ( 52 ) 이 기판 ( 13 ) 에 대해서 는 투과성 을 가지 고 , 또한 , 버퍼 층 ( 21 a ) 에 대해서 는 흡수성 을 갖 도록 설정 된다 . 그 때문 에 , 레이저 조사 유닛 ( 44 ) 으로부터 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 에 는 , 기판 ( 13 ) 을 투과 하 고 , 또한 , 버퍼 층 ( 21 a ) 에 흡수 되 는 레이저 빔 ( 52 ) 이 조사 된다 .