평판 디스플레이 기판 은 통상 적 으로 직사각 형 형상 이 다 . 이러 한 타입 의 기판 을 노광 하 도록 설계 된 리소그래피 장치 는 직사각 형 기판 의 전체 폭 을 덮 거나 상기 폭 의 일부분 ( 예 를 들 어 , 상기 폭 의 절반 ) 을 덮 는 노광 영역 을 제공 할 수 있 다 . 마스크 또는 레티 클 이 빔 을 통해 동기 적 으로 스캐닝 되 면서 , 노광 영역 밑 에서 기판 이 스캐닝 될 수 있 다 . 이러 한 방식 으로 , 패턴 이 기판 으로 전사 된다 . 노광 영역 이 기판 의 전체 폭 을 덮 는 경우 , 노광 은 단일 스캔 으로 완료 될 수 있 다 . 노광 영역 이 예 를 들 어 기판 폭 의 절반 을 덮 는 경우 , 기판 은 제 1 스캔 이후 에 횡 방향 으로 ( transversely ) 이동 될 수 있 으며 , 기판 의 잔여 부를 노광 하 기 위해 전형 적 으로 또 다른 스캔 이 수행 된다 .