나타낸 바 와 같이 , 선택 적 인 하부 층 ( 420 ) 이 기판 ( 430 ) 과 복사선 개질 가능 층 ( 410 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 복사선 개질 가능 층 ( 410 ) 은 하부 층 ( 420 ) 의 표면 으로 구성 될 수 있 다 . 다른 구 현예 에서 , 복사선 개질 가능 층 ( 410 ) 이 기판 상 에 직접 증착 될 수 있 고 , 따라서 하부 층 ( 420 ) 에 대한 필요 성 이 없 음 을 이해 해야 한다 . 패널 2 ) 는 복사선 개질 가능 층 ( 410 ) 이 극자외선 ( EUV ) 에 노광 될 수 있 는 방법 을 보여 주 고 , 이 에 따라 복수 의 복사선 개질 층 부분 ( 411 ) 및 복수 의 비 개질 층 부분 ( 412 ) 을 생성 할 수 있 다 . 패널 3 ) 은 , 어떻게 비 개질 층 부분 ( 412 ) 이 층 제거 단계 에서 제거 되 는 동안 , 복사선 개질 층 부분 ( 411 ) 은 제자리 에 남 는지 보여준다 . 대안 적 인 구 현예 ( 미 도시 ) 에서 , 복사선 개질 층 부분 은 층 제거 단계 에 의해 영향 을 받 지 않 고 , 따라서 제자리 에 유지 되 는 반면 , 복사선 개질 층 부분 ( 411 ) 은 층 제거 단계 동안 제거 된다 .