제 1 온도 측 정부 로서 열전쌍 ( 51 ) , 제 2 온도 측 정부 로서 파이로미터 ( 52 ) 를 사용 한 경우 에 는 , 양자 의 측정 온도 ( TL , TH ) 끼리 의 사이 에 , 30 ℃ 정도 의 측정 온도 의 어긋남 이 발생 하 는 경우 가 있 다 . 또한 , 제 1 온도 측 정부 ( 열전쌍 ( 51 ) ) 와 제 2 온도 측 정부 ( 파이로미터 ( 52 ) ) 의 배치 위치 가 다른 경우 에 는 , 양자 의 측정 온도 의 어긋남 이 커지 기 쉽 다 . 특히 도 1 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 한쪽 의 온도 측 정부 ( 본 예 에서 는 열전쌍 ( 51 ) ) 를 스테이지 ( 3 ) 의 외부 에 마련 하 고 , 다른 쪽 의 온도 측 정부 ( 본 예 에서 는 파이로미터 ( 52 ) ) 를 스테이지 ( 3 ) 의 내부 에 마련 하 는 경우 에 는 , 이 경향 이 현저 해진다 . 그러나 , 기기 배치 의 제약 이나 , 신호선 의 배선 의 제약 등 , 열처리 장치 ( 1 ) 측 의 이유 에 의해 , 이러 한 다른 위치 에 2 개 의 온도 측 정부 를 마련 하 지 않 으면 안 되 는 경우 도 있 다 . 이러 한 경우 에 도 , 본 개시 의 가중 평균 온도 를 사용 한 제어 를 행함 으로써 , 후술 하 는 평가 결과 로부터 도 명백 해진 바 와 같이 , 제 어 온도 의 이행 이 원활 하 게 행하 여져 , 가 열부 의 출력 이 안정 된다 .