도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 우선 , 챔버 ( 11 ) 내 에 웨이퍼 ( W ) 를 반입 하 고 , 그 웨이퍼 ( W ) 를 ESC ( 13 ) 의 탑 재면 에 탑재 한다 ( 단계 S 31 ) . 그 다음 , 정전 전 극판 ( 21 ) 에 고 DC 전압 을 인가 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 탑 재면 에 정전 흡착 한다 ( 단계 S 32 ) . 웨이퍼 ( W ) 에 작용 하 는 쿨 룽 력 은 , 예컨대 , 10 O kgf 이 며 , 이때 , 상술 한 바 와 같이 탑 재면 의 미세 한 볼록 부가 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 에 박힌다 . 후술 하 는 단계 S 33 까지 , 웨이퍼 ( W ) 는 탑 재면 에 정전 흡착 된다는 것 을 알 아야 한다 .