부점 검출 기능 으로서 는 , 예 를 들 면 조도계 를 이용 하 는 방법 이 일반 적 이 다 . 그러나 , 엑 시머 램프 는 광 세정 작용 을 갖 는다고 하 는 성질 상 , 램프 근처 에 조도계 를 배치 한 경우 , 조도계 가 열화 하 게 된다고 하 는 문제 가 있 다 . 열화 를 적 게 하 기 위해서 조도계 를 엑 시머 램프 로부터 떨어진 위치 에 설치 하 면 , 엑 시머 광 은 공기 중 에서 감쇠 하 기 쉽 기 때문 에 , 정확 한 조도 의 검출 이 불 가능 하 다 .