ITO 막 을 형성 하 는 경우 에 특히 , 문제 가 되 는 것 은 ITO 타 겟 의 에로 존부 나 그 주변 에 노 줄이 라고 불려 지 는 돌기 물 이 발생 하 는 것 이 다 . 이 노 줄 이 발생 하 면 스퍼터 효율 의 저 하나 이상 방전 을 일으켜서 현저 하 게 생산 성 을 저하 시킨다 . 또 한 , 노 줄 이나 이상 방전 에 기인 하 여 스퍼터 챔버 내 에 조대 화 한 입자 가 부유 하 는 것 처럼 되 어 , 이것 이 생성 된 박막 에 재 부착 하 여 박막 의 결함 이나 돌기 물 의 원인 으로 되 어 막 의 품질 이 저하 하 는 문제 가 발생 한다 .