빔 스플리터 ( 52 a ) 는 , 렌즈 ( 52 f ) 를 통해 입력 된 조사 광 을 , 집광 렌즈 ( 53 a ) 의 방향 및 광학 적 지연 회로 ( 52 c ) 의 방향 의 2 방향 으로 분리 하 여 출력 한다 . 또한 , 빔 스플리터 ( 52 b ) 는 , 광학 적 지연 회로 ( 52 c ) 의 방향 으로부터 입력 되 는 조사 광과 , 집광 렌즈 ( 53 b ) 의 방향 의 2 방향 으로부터 입력 되 는 광 을 간섭 시키 면서 , 그 간섭 광 을 렌즈 ( 52 g ) 를 통해 변 조광 검출 장치 ( 54 ) 로 출력 한다 .