그런데 , 다이폴 어퍼 처 ( 10 ) 는 광 투 과부 ( 11 ) 가 비대칭 적 으로 어느 일 방향 으로 배치 되 므로 , 투영 렌즈 부 ( 20 ) 에 입사 되 는 광 은 투영 렌즈 부 ( 20 ) 의 특정 부분 에 상대 적 으로 집중 될 수 있 다 . 즉 , 도 2 에 제시 된 바 와 같이 , 다이폴 어퍼 처 ( 10 ) 의 광 투 과부 ( 11 ) 대응 되 는 투영 렌즈 부 ( 20 ) 부분 에 입사광 이 집중 되 는 영역 ( 21 ) 이 발생 될 수 있 다 . 노광 과정 이 반복 적 으로 계속 수행 될 경우 , 투영 렌즈 부 ( 20 ) 의 광 집중 영역 ( 21 ) 은 집중 적 으로 조명 을 받 게 된다 .