도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 충돌 플레이트 ( 440 ) 는 런 너 ( 420 ) 의 종단 부 근처 에 설치 되 나 , 이 에 한정 하 는 것 은 아니 고 챔버 부 ( 100 ) 의 내부 , 플라 즈 마 반 응부 ( 200 ) , 구체 적 으로 처 리부 ( 210 ) 의 외측 부 , 파우더 ( P ) 를 공급 하 는 런 너 ( 420 ) 의 출구 부분 에 설치 될 수 있 고 , 이 로 인하 여 파우더 ( P ) 가 플라 즈 마 반 응부 ( 200 ) 에 도달 하 기 전 에 항상 충돌 을 일으킬 수 있 다 .