용기 본체 ( 12 ) 의 내 주벽 은 분리 영역 ( D ) 에 있 어서 는 , 도 4 에 도시 한 바 와 같이 굴 곡부 ( 46 ) 의 외주 면 과 접근 하 여 수직면 으로 형성 되 어 있 지만 , 분리 영역 ( D ) 이외 의 부위 에 있 어서 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 예 를 들 어 회전 테이블 ( 2 ) 의 외측 단부 면 과 대향 하 는 부위 로부터 저부 ( 14 ) 에 걸쳐서 외측 으로 오목 하 게 되 어 있 다 . 이하 , 설명 의 편의 상 , 대략 직사각 형 의 단면 형상 을 갖 는 오목 한 부분 을 배기 영역 이 라고 기재 한다 . 구체 적 으로 는 , 제 1 처리 영역 ( P 1 ) 에 연통 하 는 배기 영역 을 제 1 배기 영역 E 1 이 라고 기재 하 고 , 제 2 및 제 3 처리 영역 ( P 2 , P 3 ) 에 연통 하 는 영역 을 제 2 배기 영역 E 2 라고 기재 한다 . 이것 들 의 제 1 배기 영역 E 1 및 제 2 배기 영역 E 2 의 저부 에 는 , 도 1 내지 도 3 에 도시 한 바 와 같이 각각 , 제 1 배기구 ( 610 ) 및 제 2 배기구 ( 620 ) 가 형성 되 어 있 다 . 제 1 배기구 ( 610 ) 및 제 2 배기구 ( 620 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 각각 배기관 ( 630 ) 을 통해 진공 배기 수단 인 , 예 를 들 어 진공 펌프 ( 640 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 진공 펌프 ( 640 ) 와 배기관 ( 630 ) 사이 에 , 압력 제어기 ( 650 ) 가 설치 된다 .