제 3 트랜스퍼 ( 713 ) 및 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 는 제 1 트랜스퍼 ( 711 ) 및 제 2 트랜스퍼 ( 712 ) 사이 의 기판 반송 경로 상 에 배치 된다 . 제 3 트랜스퍼 ( 713 ) 및 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 는 제 1 트랜스퍼 ( 711 ) 및 제 2 트랜스퍼 ( 712 ) 로 기판 을 순차 적 으로 반송 하 도록 구성 된다 .