여기 서 , 설명 을 유보 했 던 식각 정지 막 ( 103 ) 의 필요 성 에 대해 설명 하 면 , 절 연막 ( 102 ) 과 희생 막 패턴 ( 104 A ) 이 식각 에 관해 유사 한 특성 을 갖 는 물질 막일 경우 , 식각 정지 막 ( 103 ) 이 없 으면 위 와 같 은 희생 막 패턴 ( 104 A ) 의 일부 식각 공정 을 진행 하 기 에 는 절 연막 ( 102 ) 의 데미지 에 대한 안전 성 을 확보 할 수 없 다 . 때문 에 식각 정지 막 ( 103 ) 을 사용 한다 . 이 는 희생 막 패턴 ( 104 A ) 과 식각 정지 막 ( 103 ) 간 의 식각 선택 비 를 이용 하 여 희생 막 패턴 ( 104 A ) 을 선택 적 으로 식각 할 수 있 기 때문 이 다 . 이 를 위해 , 식각 정지 막 ( 103 ) 은 두께 가 100 ~ 200 Å 인 열 질화 막 ( thermal nitride , Si 3 N 4 ) 으로 형성 한다 .