기판 포지셔닝 프로그램 은 기판 을 페데 스 털 , 또는 척 으로 로드 ( load ) 하 고 , 상기 기판 과 기판 의 나머지 부분 , 가령 기체 입 구 및 / 또는 표적 사이 의 공간 을 제어 하 기 위한 챔버 구성 요소 를 제어 하 기 위한 프로그램 코드 를 포함 할 수 있 다 . 공정 기체 제어 프로그램 은 기체 조성 과 유량 을 제어 하 기 위한 코드 와 , 선택 적 으로 챔버 내 의 압력 을 안정 화 시키 기 위해 증착 전 에 기체 를 챔버 로 유입 시키 기 위한 코드 를 포함 할 수 있 다 . 가령 , 압력 제어 프로그램 은 , 챔버 의 배기 시스템 의 쓰 로 틀 밸브 ( throttle valve ) 를 조정 함 으로써 , 챔버 내 의 압력 을 제어 하 기 위한 코드 를 포 함 할 수 있 다 . 가열기 제어 프로그램 은 기판 을 가열 하 기 위해 사용 되 는 가열 유닛 으로 의 전류 를 제어 하 기 위한 코드 를 포함 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 상기 가열기 제어 프로그램 은 열 전달 기체 ( heat transfer gas ) , 가령 헬륨 을 웨이퍼 척 으로 전달 하 는 것 을 제어 할 수 있 다 .