지금 까지 마스크 부재 ( 140 ) 의 불 규칙 한 광 투과 패턴 들 이 불 투명 기판 ( 141 ) 을 관통 하 여 형성 된 개구 ( 142 ) 들인 것 으로 설명 하 였 다 . 그러나 , 불 투명 기판 ( 141 ) 과 개구 ( 142 ) 를 사용 하 는 경우 에 는 , 조명 광 의 일부 만 이 개구 ( 142 ) 를 통과 하 기 때문 에 광 이용 효율 이 저하 될 수 있 다 . 따라서 , 다수 의 개구 ( 142 ) 대신 에 다수 의 마이크 로 렌즈 의 어레이 를 사용 할 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 도 6 은 또 다른 실시 예 에 따른 마스크 부재 ( 140 ') 의 구성 을 예시 적 으로 보이 며 , 도 7 은 A - A ' 라인 을 따라 도 6 에 도시 된 광학 소자 를 절단 한 단면도 를 보인다 . 도 6 을 참조 하 면 , 마스크 부재 ( 140 ') 는 불 규칙 하 게 2 차원 배열 된 다수 의 마이크 로 렌즈 ( 143 ) 를 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , 마스크 부재 ( 140 ') 의 다수 의 광 투과 패턴 은 다수 의 마이크 로 렌즈 ( 143 ) 일 수 있 다 .