초 순수 의 유속 변동 에 적응 하 고 적정 량 의 이산화 탄소 를 초 순수 에 제공 하 기 위하 여 , 순간 적 인 압력 차 를 보상 하 고 적정 량 의 이산화 탄소 를 초 순수 에 공급 하 는 정교 하 고 복잡 하 고 값비싼 조절 메커니즘 이 요구 된다 . 더욱이 , 상기 조절 메커니즘 은 신호 입력 과 신호 출력 간 의 시간 차 와 관련 된 문제 들 을 포함 하 고 있 다 . 즉 , 신호 응답 시간 동안 , 저항 은 적정 범위 내 에서 조절 되 지 않 는다 .