상기 와 같이 제조 된 상변화 물질 층 과 절 연막 에 대하 여 제조 예 1 내지 7 에서 제조 된 슬러리 조성물 을 이용 하 여 CMP 공정 을 수행 한 후 , 연마 전후 의 상변화 물질 층 과 절 연막 의 두께 변화 를 4 point probe 를 이용 하 여 측정 하 여 연마 속도 를 평가 하 였 다 . 상기 CMP 공정 은 EBARA 연마장 치 를 이용 하 여 수행 하 였 다 . 상기 CMP 공정 에 있 어서 , 연마 패드 의 회전 속도 는 약 25 rpm , 헤드 의 회전 속도 는 약 20 rpm , down pressure 는 약 100 hPa , back pressure 약 50 hPa 이 고 , 슬러리 조성물 의 유량 은 약 100 mL / min 으로 조절 하 였 다 .