증착 법 의 경우 에 사용 되 는 증착 장치 는 , 기판 을 설치 하 는 기판 홀더 와 , ＥＬ 재료 , 즉 증착 재료 를 봉입 한 도가니 ( 또는 증착 보트 ) 와 , 도가니 내 의 ＥＬ 재료 를 가열 하 는 히터 와 , 승화 하 는 ＥＬ 재료 의 확산 을 방지 하 는 셔터 를 갖 고 , 히터 에 의해 가열 된 ＥＬ 재료 가 승화 하 고 , 기판 에 성막 되 는 구성 으로 되 어 있 다 .