로크 들 은 , 각 로크 의 최 상부 부분 ( 58 ) 과 아래 로 향해 있 는 로크 표면 ( 60 ) ( 도 3 ) 이 , 포켓 위 로 그리고 그 에 따라 웨이퍼 의 최 상부 표면 ( 74 ) 위 로 , 안쪽 으로 돌출 하 도록 , 동작 위치 들 에 놓여진다 . 로크 표면 들 ( 60 ) 은 지지 표면 들 ( 56 ) 보다 높 은 수직 레벨 에서 놓여진다 . 따라서 , 웨이퍼 는 지지 표면 ( 56 ) 과 로크 표면 들 사이 에서 인 게이징 되 고 , 캐리어 에 대하 여 상향 또는 하향 이동 을 방지 하 도록 제한 된다 . 로크 들 의 최 상부 또는 저부 요소 들 은 실현 가능 할 만큼 작 으며 , 따라서 이 들 요소 들 은 각 웨이퍼 의 주변 부 에 인 접합 웨이퍼 표면 들 의 단지 매우 작 은 부분 들 을 접촉 한다 . 예 를 들 어 , 로크 표면 들 및 지지 표면 들 은 웨이퍼 표면 들 의 단지 수 제곱 밀리미터 들 만 을 인 게 이징 할 수 도 있 다 .