돌출 팁 ( 430 t ) 은 돌출 패턴 ( 도 18 의 43 ct ) 의 일부 가 제거 되 지 않 고 잔류 하 여 형성 될 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 도 15 및 도 16 의 설명 에서 상술 한 에 싱 공정 에서 유기 막 잔여 패턴 ( 도 15 의 R 11 ) 이 돌출 패턴 ( 도 16 의 43 ct ) 의 전체 를 노출 하 지 않 고 일부 를 커버 하 는 상태 로 형성 되 고 , 이후 돌출 패턴 ( 도 16 의 43 ct ) 을 제거 하 기 위한 드라이 에칭 공정 이 진행 되 는 경우 , 돌출 패턴 ( 도 18 의 43 ct ) 의 일부 가 제거 되 지 않 고 잔류 할 수 있 으며 , 이 는 최종 구조 에서 돌출 팁 ( 430 t ) 이 될 수 있 다 .