본 발명 의 목적 은 , 차세대 유기 EL 디스플레이 나 액정 디스플레이 의 스위칭 , 구동 용 박막 트랜지스터 로서 유망 하 고 , 그리고 자원 적 환경 적 으로 도 유망 한 산화아연 계 산화물 반도체 에 있 어서 , 산화물 반도체 와 게이트 절 연막 과 의 계면 에 존재 하 는 산소 결함 에 의해 발생 하 는 문턱 전위 의 시프트 나 리크 전류 의 발생 , 수분 이나 가스 흡착 에 의해 발생 하 는 장치 특성 의 흔들림 을 효과 적 으로 억제 하 는 표면 처리 기술 과 이것 을 이용 한 장치 를 제공 하 는 것 에 있 다 .