그리고 , 예측 수단 ( 420 ) 은 , 화상 분류 수단 ( 400 ) 으로부터 수취 한 분류 정보 ( 302 ) 로부터 , 분류 정보 ( 302 ) 에 있 어서 의 종별 번호 마다 미리 정해진 평가 계수 ( 430 ) 를 참조 하 여 , 평가 값 Ｅｐ 를 산출 한다 ( 스텝 405 ) . 평가 계수 ( 430 ) 는 , 분류 정보 ( 302 ) 에 있 어서 분류 된 각 종별 이 , 기판 ( 210 ) 의 얼라인먼트 정밀도 의 저하 에 기여 하 는 정도 를 나타내 는 계수 다 . 또한 , 평가 값 Ｅｐ 은 , 분류 된 마크 화상 ( 301 ) 에 관한 기판 ( 210 ) 의 얼라인먼트 정밀도 의 저하 의 정도 를 나타내 는 값 이 다 .