처리 층 ( A 2 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 ( SN 3 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 ( W ) 을 도포 유닛 ( SC ) 및 임의 의 열처리 부 ( 37 ) 에 반송 한다 . 그 후 , 처리 층 ( A 2 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 도포 유닛 ( SC ) 에 의하 여 중간막 이 형성 된 기판 ( W ) 을 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 ( SN 13 ) 에 반송 한다 .