기준 계수 데이터 는 , 위치 이탈 데이터 를 이용 하 여 , 위치 이탈 데이터 마다 생성 된다 . 예 를 들 면 , 상기 의 예의 경우 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 초점 위치 z =- 2 μ m 의 위치 이탈 데이터 ( D 1 ) , z = 0 μ m 의 위치 이탈 데이터 ( D 2 ) , z = 2 μ m 의 위치 이탈 데이터 ( D 3 ) 로부터 , 각각 대응 하 는 기준 계수 데이터 ( C 1 , C 2 , C 3 ) 가 생성 된다 . 여기 서 , 위치 이탈 데이터 는 , 멀티 빔 어레이 의 영역 내 의 위치 에 따라 변화 하 는 , 멀티 빔 의 각각 의 위치 이탈 , 또는 멀티 빔 의 위치 이탈 의 분포 를 나타낸다 .