도 4 에 도시 한 바 와 같이 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 는 중심 에서 외각 방향 으로 직경 이 다른 복수 개 의 구획 영역 들 ( 132 a - 132 f ) 로 구획 할 수 있 다 . 도 4 에서 편의 상 6 개 의 구획 영역 들 ( 132 a - 132 f ) 로 구획 하 였으나 , 더 많 은 구획 영역 들 로 구획 할 수 있 다 . 센서 어레이 ( 220 ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 상부 에서 수평 방향 으로 이동 가능 하 고 , 플 래 튼 중심축 ( 110 ) 에 의해 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 가 회전 하 기 때문 에 센서 어레이 ( 220 ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 모든 영역 의 표면 조도 를 측정 할 수 있 다 .