소스 / 드레 인 영역 들 ( 150 ) 은 에피 텍 셜 성장 공정 을 수행 하 여 형성 할 수 있 다 . 소스 / 드레 인 영역 들 ( 150 ) 은 채널 구조물 들 ( 140 ) 의 복수 의 채널 층 들 ( 141 , 142 , 143 ) 과 측면 을 통해 연결 될 수 있 으며 , 채널 층 들 ( 141 , 142 , 143 ) 의 사이 에서 는 내부 스 페이서 층 들 ( 130 ) 과 접촉 할 수 있 다 . 소스 / 드레 인 영역 들 ( 150 ) 은 인 - 시추 도핑 에 의해 불순물 들 을 포함 할 수 있 으며 , 서로 다른 도핑 원소 및 / 또는 도핑 농도 를 갖 는 복수 의 층 들 을 포함 할 수 도 있 다 .