상기 중공 음극 방전 반응기 ( hollow cathode discharge reactor ) ( 20 ) 는 음극 어셈블리 ( cathode assembly ) ( 21 ) 를 포함 한다 . 이 때 , 상기 음극 어셈블리 ( 21 ) 는 평행 하 게 배열 된 상판 ( 211 ) 과 바닥 판 ( 212 ) 을 갖 고 , 상기 상판 ( 211 ) 과 바닥 판 ( 212 ) 은 측판 ( 213 ) 에 의해 서로 연결 된다 . 상기 상판 ( 211 ) 과 , 바닥 판 ( 212 ) 과 측판 ( 213 ) 에 의해 밀폐 된 중공 음극 방전 공간 ( 214 ) 이 생성 된다 . 상기 바닥 판 ( 212 ) 에 는 배출구 ( 22 ) 가 형성 되 고 , 이 를 통해 상기 중공 음극 방전 공간 ( 214 ) 에서 생성 된 증착 하 고자 하 는 원 자 가 방출 된다 . 배출구 ( 22 ) 의 패턴 은 기판 의 형태 , 증착 층 토포 러지 , 증착 속도 등 을 고려 하 여 적절히 변경 할 수 있 다 .