일부 구 현예 에서 , PEALD 의 한 사이클 은 연속 적 으로 흐르 는 캐리어 가스 를 이용 한 펄스 로 전구체 를 반응 챔버 에 공급 하 는 단계 , 및 반응물 을 반응 챔버 에 연속 적 으로 공급 하 는 단계 를 포함 한다 . 일부 구 현예 에서 , 반응물 은 O 2 , CO 2 , 및 N 2 O 로 구성 되 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 하나 의 가스 이 다 .