이후 , 노출 된 제 1 블로킹 패턴 ( 270 ) 의 외측 벽 , 노출 된 제 1 에피택시 얼 층 ( 202 ) 의 측벽 , 상기 갭 의 내벽 , 제 1 및 제 3 절연 패턴 들 ( 162 , 215 ) 의 표면 , 노출 된 기판 ( 100 ) 상면 , 및 제 5 층간 절 연막 ( 340 ) 의 상면 에 제 2 블로킹 막 ( 370 ) 을 형성 하 고 , 제 2 블로킹 막 ( 370 ) 상 에 게이트 배리 어막 을 형성 한 후 , 상기 갭 의 나머지 부분 을 충분히 채우 는 게이트 도전 막 을 상기 게이트 배리 어막 상 에 형성 한다 .