규소 와 산소 와 탄소 를 주성분 으로 하 는 조성 이나 , 규소 와 산소 와 질소 를 주성분 으로 하 는 조성 에 대해서 는 규소 및 탄소 와 질소 중 적어도 어느 한 쪽 및 임의 적 으로 산소 를 주 쇄 에 포함 하 고 , 주 쇄 에 결합 하 는 기 가 , 히드록시기 로 치환 되 어 있 어도 좋 은 탄화수소기 인 화합물 로부터 생성 된 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 화합물 은 , 일반 적 으로 , 경화 되 기 쉽 기 때문 에 , 저 유전 률 의 막 으로 하 기 쉽 다 . 또한 , 가수 분해 에 의해 Si - OH 기 를 생성 하 기 쉽 다 . 또한 , 이러 한 화합물 로부터 생성 된 절연 막 은 상기 조성 에 해당 하 는 것 이 바람직 한 경우 가 많 지만 , 이것 이 반드시 필수 조건 은 아니 다 .