본 실시 형태 에 있 어서 보정 을 행하 는 묘화 방법 에 대해 도 8 을 기초 로 하 여 설명 한다 . 우선 , 스텝 102 ( S 102 ) 에 있 어서 , 도 7 a 내지 도 7 c 에 나타내 는 샷 에 의해 형성 된 패턴 의 묘화 를 행한다 . 구체 적 으로 는 , 스텝 조사 되 는 각각 의 전자 빔 의 샷 의 면적 은 각 샷 사이 에서 동일 해 지 도록 설정 되 어 있 다 .