상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 의 원자 현미경 은 측정 물 형상 의 높낮이 따라 상하 로 이동하 는 캔틸레버 와 , 상기 캔틸레버 가 일정 한 힘 을 받 도록 제어 하 는 액추에이터 와 , 캔틸레버 일단 에 구비 되 고 액추에이터 의 절대 변위 를 측정 하 는 제 2 센싱 수단 및 상기 캔틸레버 타단 에 구비 되 고 , 상기 액추에이터 와 상기 캔틸레버 의 상대 변위 를 측정 하 는 제 1 센싱 수단 을 포함 한다 .