부호 24 는 흡착 패드 내 의 오염 된 공기 가 진공 이 젝 터 장치 로 들어가 는 것 을 방지 하 기 위한 에어 필터 이 다 . 상기 에 어 필터 ( 24 ) 는 밸브 부재 ( 13 ) 의 하부 에 배치 되 어 , 중앙 으로 축 ( 12 ) 의 하단 이 관통 한다 . 바람직 하 게 , 상기 에 어 필터 ( 24 ) 의 외주 연이 몸체 ( 11 ) 의 연장 된 하단 에 지지 된다 .