이 에 , 본 실시 예 에서 는 아래 에서 설명 하 는 바 와 같이 , 제 1 및 제 2 원격 플 라즈 마 소스 ( 51 a , 51 b ) 각각 에서 제공 된 정화 물질 이 한 데 합쳐 지 기 는 하 되 , 상호 간 정면 으로 충돌 되 는 저지 하 기 위한 수단 으로써 , 매니폴드 ( 60 ) 내 에 새로운 경로 라인 ( 70 ) 을 형성 하 고 있 는 것 이 다 . 즉 , 매니폴드 ( 60 ) 내 에 형성 된 경로 라인 ( 70 ) 중 에서 어느 하나 는 정화 물질 이 이동 되 는 방향 에 대해 일 측 으로 경사진 방향 으로 배치 되 도록 하 고 있 다 . 이러 한 구조 적 인 개선 을 통해 전술 한 문제점 을 해결 하 고 있 는 것 이 다 . 이 에 대해 주로 도 2 를 참조 하 여 설명 하 기 로 한다 .