A 는 금속 막 ( 도 1 의 108 ) 상부 에 형성 되 는 단차 보상 층 ( 도 1 의 110 ) 을 470 Å 의 두께 로 증착 하 였을 때 를 실험 한 실험 결과 이 고 , B 는 금속 막 ( 108 ) 상부 에 형성 되 는 단차 보상 층 ( 110 ) 을 500 Å 의 두께 로 증착 하 였을 때 를 실험 한 실험 결과 이 며 , C 는 금속 막 ( 108 ) 상부 에 형성 되 는 단차 보상 층 ( 110 ) 을 530 Å 의 두께 로 증착 하 였을 때 를 실험 한 실험 결과 이 다 .