도 4 를 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 검사 장치 ( 400 ) 는 프로브 카드 ( 200 ) , 테스트 모듈 ( 410 ) 및 지지대 ( 420 ) 를 포함 한다 . 상기 프로브 카드 ( 200 ) 는 도 2 및 도 3 에서 설명 된 프로브 카드 ( 200 ) 와 실질 적 으로 동일 하 다 . 따라서 , 더 이상 의 설명 은 생략 한다 .