상기 중합 성 모노머 는 이 를 포함 하 는 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 중 고형분 전체 100 중량 % 에 대하 여 , 5 내지 90 중량 %, 구체 적 으로 10 내지 60 중량 % 로 포함 될 수 있 다 . 상기 중합 성 모노머 가 상기 범위 내 로 포함 될 경우 화 소부 의 강도 , 공정 진행 에 따른 잔 막 율 , 컨 택 홀 특성 이 양호 해 지 는 이점 이 있 으며 , 상기 범위 미만 으로 포함 되 는 경우 미세 패턴 을 형성 하 기 어렵 고 , 상기 범위 를 초과 하 여 포함 될 경우 바인더 수지 와 의 결합력 이 저하 되 어 상기 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 을 이용 하 여 제조 되 는 광경 화 패턴 의 형태 안정 성 이 저하 될 수 있 다 .