따라서 , 정 전척 을 사용 하 여 기판 을 보유 지지 하 고 이러 한 기판 과 마스크 를 마그넷 판 에 의해 밀착 시키 는 구조 의 성막 장치 에서 는 , 정전 척이 마그넷 판 의 아래 에서 기판 을 보유 지지 하 게 된다 . 종래 기술 에서 는 마그넷 판 의 아래 에 배치 되 는 정전 척 에 전원 을 공급 하 기 위해 , 성막 장치 의 외부 로부터 의 급전선 이 마그넷 판 을 관통 하 여 마그넷 판 의 하부 에 배치 되 는 정전 척 에 이르 도록 설치 하 였 다 .