전처리 하 는 단계 ( S 10 ) 에서 제 1 RF 전력 은 고주파 전력 으로 만 구성 되 거나 또는 저 주파 전력 과 고주파 전략 의 듀얼 주파수 전력 으로 구성 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 고주파 전력 은 제 1 전원 ( 10 ) 에서 생성 되 고 , 저 주파 전력 은 제 2 전원 ( 20 ) 에서 생성 될 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 제 1 RF 전력 은 연속파 ( continuous wave ) 또는 펄스 파 ( pulsed wave ) 로 인가 될 수 있 다 .