펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 적어도 하나 의 탄소 나노 튜브 다발 ( carbon nanotube bundles ) 의 시트 ( sheet ) 를 포함 할 수 있 다 . 탄소 나노 튜브 다발 은 10 nm 이상 의 폭 을 가질 수 있 다 . 적어도 하나 의 탄소 나노 튜브 다발 의 시트 는 복수 의 실질 적 으로 평행 한 탄소 나노 튜브 다발 을 포함 할 수 있 다 . 복수 의 실질 적 으로 평행 한 탄소 나노 튜브 다발 은 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 에 실질 적 으로 평행 할 수 있 다 . 복수 의 실질 적 으로 평행 한 탄소 나노 튜브 다발 내 의 각각 의 탄소 나노 튜브 다발 은 이웃 하 는 탄소 나노 튜브 다발 로부터 적어도 10 nm 내지 500 nm 의 거리 만큼 분리 될 수 있 다 . 복수 의 실질 적 으로 평행 한 탄소 나노 튜브 다발 은 준 주기 적 ( quasi - periodic ) 패턴 으로 배열 될 수 있 다 . 준 주기 적 패턴 은 50 nm 이상 의 평균 피치 를 가질 수 있 다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 의 탄소 나노 튜브 기반 구조 가 유리 할 수 있 지만 , EUVL 장치 ( 20 ) 는 우선 적 산란 축 을 따라 투과 된 광 의 산란 을 제공 하 는 임의 의 유형 의 EUV 투과성 멤 브레인 과 함께 사용 될 수 있 는 것 으로 고려 된다 .