불소 함유 가스 로서 는 , F 2 가스 외 에 , 삼 불화 염소 ( ClF 3 ) 가스 , 불화 염소 ( ClF ) 가스 , F 2 + 산화질소 ( NO ) 가스 , ClF + NO 가스 , 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 가스 , 육 불화 텅스텐 ( WF 6 ) 가스 , 불화 니트로실 ( FNO ) 가스 , 혹은 이 들 의 혼합 가스 를 사용 할 수 있 다 .