제 2 트렌치 ( TR 2 ) 의 일 부분 및 홀 ( HO ) 을 채우 는 비아 ( VA ) 가 제공 될 수 있 다 . 비아 ( VA ) 는 식각 저 지막 ( ESL ) 을 관통 할 수 있 다 . 비아 ( VA ) 는 제 2 하부 도전 라인 ( LCL 2 ) 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 . 비아 ( VA ) 는 홀 ( HO ) 을 채우 는 제 1 부분 ( VA 1 ) 및 제 2 트렌치 ( TR 2 ) 의 일 부분 을 채우 는 제 2 부분 ( VA 2 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 부분 ( VA 1 ) 의 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 의 폭 은 상기 제 2 부분 ( VA 2 ) 의 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 의 폭 보다 클 수 있 다 .