이 와 같이 , 본 발명 은 그립 유닛 ( 200 ) ( 기판 ) 이 스테이지 ( 100 ) 에 대해 선택 적 으로 경사지 게 틸팅 될 수 있 도록 하 는 것 에 의하 여 , 로딩 공정 중 에 기판 ( 10 ) 의 자세 및 위치 가 틀 어 짐 을 억제 하 고 , 기판 ( 10 ) 을 의도 한 위치 에 정확 하 게 배치 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .