도 8 A 내지 도 8 C 는 확대 된 개략 도 로서 , 웨이퍼 ( W ) 의 경사 부분 과 연마 테이프 ( 23 ) 간 의 접촉 부분 을 각각 도시 한다 . 도 8 A 내지 도 8 C 는 도 7 A 내지 도 7 C 에 각각 대응 한다 . 연마 헤드 ( 30 ) 는 도면 에서 기울임 기구 에 의한 축 ( Ct ) 주위 를 회전 한다 . 도 8 A 는 연마 헤드 ( 30 ) 가 연마 테이프 ( 23 ) 와 경사 부분 의 에지 표면 이 서로 평행 하 게 되 는 각도 인 상태 를 도시 한다 . 도 8 B 는 연마 헤드 ( 30 ) 가 연마 테이프 ( 23 ) 와 경사 부분 의 상부 표면 이 서로 평행 하 게 되 는 각도 인 상태 를 도시 한다 . 도 8 C 는 연마 헤드 ( 30 ) 가 연마 테이프 ( 23 ) 와 경사 부분 의 하부 표면 이 서로 평행 하 게 되 는 각도 인 상태 를 도시 한다 .