또한 , NF 3 가스 를 사용 하 는 경우 에 는 , 예 를 들 어 플 라즈 마 형성 부 를 구비 한 챔버 를 이용 하 여 , 이 플 라즈 마 형성 부에 N 2 가스 와 H 2 가스 를 공급 하 고 , N 2 가스 와 H 2 가스 를 플 라즈 마 화 한 후 웨이퍼 ( W ) 상 에 공급 하 고 , 이 플 라즈 마 화 된 N 2 가스 와 H 2 가스 ( 즉 , 활성 종 ) 의 흐름 중 에 NF 3 가스 를 첨가 하 도록 하 면 된다 .