도 7 은 제조 장치 와 의 통신 기능 및 배기 시스템 내 의 각각 의 장치 의 제어 유닛 ( 또는 각각 의 장치 에 부착 된 제어기 ) 과 의 통신 기능 을 갖 는 제어기 의 예 를 도시 한다 . 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 제어기 는 제조 장치 ( 1 ) 와 의 통신 및 배기 시스템 ( 2 ) 내 에 제공 된 각각 의 장치 [ 진공 펌프 장치 ( 3 ) , 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) , 배기 가스 처리 장치 ( 5 ) , 파이프 히터 ( 8 ) , 밸브 등 ] 의 제어 유닛 과 의 통신 을 수행 한다 .