미세 전자 기계 시스템 ( MEMS ) ( 마이크 로 머신 또는 미세 기계 소자 라고 도 불림 ) 은 전통 적 인 집 적 회로 제조 기술 을 이용 하 여 제조 될 수 있 는 작 은 기계 소자 이 다 . 전형 적 인 소자 는 모터 , 기어 , 가속도계 , 압력 센서 , 액추에이터 , 미러 , 개인 정보 캐리어 , 바이오칩 , 마이크 로 펌프 및 밸브 , 유동 센서 및 이 식성 의료 장치 및 시스템 을 포함 한다 . MEMS 의 제조 는 산화 규소 내 에 든 규소 또는 다중 결정 성 규소 ( 다결정 규소 ) 로 만들 어 진 소자 의 이동 부분 을 포함 하 는 칩 또는 다이 ( die ) 로 이어진다 . 다 이 는 또한 당해 소자 를 작동 시키 는 데 필요 한 회로 를 포함 할 수 있 다 . MEMS 의 제조 에서 최종 단계 들 중 하나 는 일반 적 으로 릴리스 - 에칭 ( release - etch ) 으로 지칭 되 며 , 전형 적 으로 산화 규소 를 제거 하 여 규소 또는 다결정 규소 조각 을 유리 시키 거 나 또는 릴리스 시켜 상기 조각 들 이 이동 하 도록 하 기 위해 이온 - 함유 조성물 , 예 를 들 어 플루오르화 수소산 ( HF ) 을 이용 하 는 수성 에칭 으로 이루어진다 .