본 발명 의 일 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 지지 유닛 은 , 상기 기판 을 지지 하 며 , 상부 면 에 다수 의 관통 홀 들 을 갖 는 척 과 , 상기 척 을 관통 하 여 Z 축 방향 으로 이동 하 도록 구비 되 며 , 상기 척 으로 로딩 되 는 상기 기판 을 지지 하 여 상기 척 상 에 안착 시키 기 위한 리프트 핀 들 및 상기 관통 홀 들 로 진 공력 을 제공 하 여 상기 기판 을 상기 척 상 에 고정 하 기 위한 진공 제 공부 를 포함 할 수 있 다 .