여기 서 , 그 레이톤 마스크 는 , 도 1 의 ( A ) 에 도시 한 바 와 같이 , 투명 기판 위 에 , 차 광부 ( 1 ) 와 , 투 광부 ( 2 ) 와 , 반 투광 성 영역 인 그 레이톤 부 ( 3 ) 를 갖 는다 . 그 레이톤 부 ( 3 ) 는 , 예 를 들 면 그 레이톤 마스크 용 반 투광 성막 ( 하프 투광 성막 ) ( 3 a ) 을 형성 한 영역 으로서 , 노 광광 의 투과 량 을 조정 하 는 기능 을 갖 는다 . 그 레이톤 부 ( 3 ) 는 , 그 영역 을 투과 하 는 노 광광 의 투과 량 을 저감 하 고 이 영역 에 의한 노 광광 의 조사량 을 저감 하 여 , 이러 한 영역 에 대응 하 는 포토레지스트 의 현상 후 의 저감 된 막 두께 를 원하 는 값 으로 제어 하 는 것 을 목적 으로 하 여 형성 된다 .