포크 의 대형 화 에 따라 , 기판 처리 시스템 내 에서 포크 를 이동 시킬 때 의 제어 는 , 종래 의 소형 의 포크 를 사용 하 는 경우 와 비교 해서 각별히 어렵 게 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 지지 픽 의 선단 이 기판 처리 시스템 을 구성 하 는 챔버 벽 등 의 시스템 구성 부재 에 접촉 하 여 손상 을 받 는 확률 은 종래 보다 도 증가 하 고 있 다 . 지지 픽 의 재질 로서 CFRP 를 이용 하 는 경우 도 , 시스템 구성 부재 와 어느 정도 의 빈도 로 접촉 하 는 것 은 어떻게 해도 피할 수 없 다 .