필드 패 싯 미러 ( 6 ) , 동공 패 싯 미러 ( 10 ) , 트랜스미션 광학 소자 ( 15 ) 의 미러 들 ( 12 내지 14 ) 과 더불 어 필드 강도 설정 디바이스 ( 24 ) 는 , 투영 노광 장치 ( 1 ) 의 조명 광학 소자 ( 26 ) 의 부품 들 이 다 . 부품 들 ( 6 , 10 , 12 , 13 , 14 ) 은 유용 한 방사 의 다발 ( 3 ) 을 가이드 하 기 위한 조명 광학 소자 ( 26 ) 의 광학 조립 체 ( 26 a ) 를 형성 한다 .