먼저 , 기판 ( S ) 이 스핀 헤드 ( 10 ) 에 올려져 고정 척 ( 미 도시 ) 등 에 의해서 고정 되 고 , 구동 부 ( 20 ) 에 의해 스핀 헤드 ( 10 ) 가 회전 함 에 따라서 , 기판 ( S ) 도 회전 하 게 된다 . 기판 ( S ) 이 회전 함 에 따라 회전축 ( 34 ) 에 의해 노즐 ( 30 ) 이 움직이 며 기판 ( S ) 의 상부 로 옮겨져 노즐 ( 30 ) 을 통해 약액 또는 기체 가 기판 ( S ) 을 향하 여 분사 되 면서 공정 이 이루어진다 .