SiOx 에 있 어서 의 상기 Si 의 결정자 직경 은 , 상기 SiOx 를 불활성 가스 분위기 중 에서 , 800 ℃ 이상 융점 이하 로 3 ∼ 10 시간 유지 하 는 열처리 를 실시 함 으로써 제어 할 수 있 다 . 상기 불활성 가스 는 He , Ar , Ne 등 의 희가스 외 에 , 1350 ℃ 이하 의 온도 에서 는 N 2 가스 를 사용 할 수 도 있 다 .