승강 기구 ( 164 ) 는 , 로드 셀 ( 165 ) 을 구비 하 고 있 다 . 예 를 들 어 , 로드 셀 ( 165 ) 에 의해 하중 을 검지 시켜 , 로드 셀 혹은 제 어부 ( 67 ) 에 미리 기억 시켜 둔 하중 값 과 세 정구 ( 63 ) 의 위치 P 2 의 상관 관계 를 나타내 는 관계식 에 기초 하 여 , 측정 된 하중 값 으로부터 세 정구 의 위치 를 특정 할 수 있 다 . 또한 , 세 정구 의 위치 의 목표 값 과 , 세 정구 의 위치 의 어긋남 이 있 는 경우 에 는 , 세 정구 의 위치 를 변경 하 도록 제 어부 ( 67 ) 로부터 신호 를 발신 하 여 , 승강 기구 ( 164 ) 를 동작 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 세 정구 ( 63 ) ( 상세 하 게 는 세정 부재 ( 63 c ) ) 가 웨이퍼 ( W ) 에 맞닿 는 하강 위치 P 2 를 항시 파악 하 여 위치 보정 을 하 는 것 이 가능 해진다 . 그 때문 에 , 세 정구 ( 63 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 에 가해 지 는 하중 의 상승 값 의 관리 가 용이 하 게 된다 .