다음 으로 , 처리 유닛 ( 60 ) 에 접속 되 는 배관 류 에 대하 여 설명 한다 . 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 상방 노즐 ( 64 ) 은 상방 공급 라인 ( 68 ) 에 접속 되 어 있 다 . 상방 공급 라인 ( 68 ) 은 상방 공급 밸브 ( 69 ) 및 접속 라인 ( 70 ) 을 통하 여 여러 가지 처리 액원 및 기체 원 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 하방 노즐 ( 66 ) 은 하방 공급 라인 ( 71 ) 에 접속 되 어 있 다 . 하방 공급 라인 ( 71 ) 은 하방 공급 밸브 ( 72 ) 및 접속 라인 ( 70 ) 을 통하 여 여러 가지 처리 액원 및 기체 원 에 접속 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 상방 공급 라인 ( 68 ) 및 하방 공급 라인 ( 71 ) 은 동일 한 처리 액원 및 기체 원 에 접속 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 상방 공급 라인 ( 68 ) 및 하방 공급 라 인 ( 71 ) 은 제 2 약 액원 , 제 3 약 액원 , 순 수원 , 및 불활성 가스 원 에 , 접속 라인 ( 70 ) 에 포함 되 는 별개 의 배관 을 경유 해서 접속 되 어 있 다 . 여기 에서 , 제 2 약 액원 으로부터 공급 되 는 약액 을 , 예컨대 산계 의 DHF ( HF / H 2 O ) 로 할 수 있 다 . 또한 , 제 3 약 액원 으로부터 공급 되 는 약액 을 , 예컨대 알칼리계 의 암모니아수 로 할 수 있 다 . 또한 , 불활성 가스 원 으로부터 공급 되 는 불활성 가스 를 질소 로 할 수 있 다 .