도 2 를 참조 하 면 , 베 이크 유닛 ( 110 또는 120 ) 은 공정 처 리부 ( 104 ) 와 노광 시스템 ( 130 ) 사이 의 모서리 부분 에 배치 되 고 , 컨베이어 ( 미도 시 됨 ) 를 이용 하 여 기판 ( 10 ) 을 이송 한다 . 예컨대 , 하나 의 베 이크 유닛 ( 도 1 의 110 ) 은 컨베이어 를 이용 하 여 이전 단의 프로세스 유닛 ( 106 d ) 으로부터 기판 ( 10 ) 을 받아들이 고 , 내부 에서 베이 킹 공정 을 처리 한 후 , 노광 시스템 ( 130 ) 으로 기판 ( 10 ) 을 이송 하 기 위하 여 베 이크 유닛 ( 110 ) 으로 기판 ( 10 ) 이 인입 ( IN ) 된 방향 과 수직 하 는 방향 으로 기판 ( 10 ) 을 인출 ( OUT ) 한다 . 또 다른 베 이크 유닛 ( 도 1 의 120 ) 은 노광 시스템 ( 130 ) 으로부터 노광 공정 처리 된 기판 ( 10 ) 을 받아들이 고 , 베 이크 공정 을 처리 하 여 인입 ( IN ) 된 방향 과 수직 되 는 방향 으로 기판 을 인출 ( OUT ) 한다 .