도 9 c 를 참조 하 면 , 더미 게이트 구 조체 ( 60 ) 및 제 1 게이트 스 페이서 ( 31 ) 를 식각 마스크 로 사용 하 여 복수 의 희생 층 ( 70 ) 및 복수 의 채널 층 ( 11 ' 도 9 b 참조 ) 을 식각 할 수 있 다 . 이 로써 채널 ( 11 ) 이 형성 될 수 있 다 . 채널 ( 11 ) 은 복수 의 채널 층 ( 11 ' 도 9 b 참조 ) 로부터 각각 형성 된 복수 의 부분 들 ( 11 b 내지 11 d ) 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 채널 ( 11 ) 은 기판 으로부터 형성 된 최 하단 부분 ( 11 a ) 을 포함 할 수 있 다 . 채널 ( 11 ) 의 복수 의 부분 들 ( 11 b 내지 11 d ) 은 희생 층 ( 70 ) 에 의해 서로 수직 방향 으로 이격 될 수 있 다 .