그리고 , 볼 패턴 ( 24 B ) 과 트렌치 패턴 ( 24 A ) 내부 의 제 1 폴리 실리콘 막 ( 28 ) 표면 상 에 공극 이 동방 지막 ( 29 A ) 이 형성 되 어 있 다 . 여기 서 , 공극 이 동방 지막 ( 29 A ) 은 원자 층 증착 법 ( Atomic Layer Deposition , ALD ) 을 이용 하 여 증착 한 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) 또는 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 이 다 . 그리고 , 공극 이 동방 지막 ( 29 A ) 은 10 ∼ 100 Å 의 얇 은 두께 를 가져 볼 패턴 ( 24 B ) 의 내부 가 매립 되 지 않 으면서 도 전 표면 에서 균일 한 두께 가 된다 .