그러나 , 일본 공개 특허 공보 소화 62 - 109334 호 에서 , 제 2 프로브 가 제 1 프로브 에 대하 여 경사진 포지션 으로 배열 된다 ( 일본 공개 특허 공보 소화 62 - 109334 호 의 도 3 b 참조 ) . 따라서 , 고집 적 화 된 반도체 디바이스 에 대하 여 , 2 개 의 프로브 가 차지 하 는 공간 이 프로브 들 이 협소 한 피치 들 에서 배열 될 수 없 을 정도 로 커지 게 된다 . 동일 한 방식 으로 , 일본 공개 특허 공보 평 5 - 144895 호 에서 , 프로브 ( 50 ) 가 2 개 의 부분 으로 분할 되 고 , 이 는 반도체 디바이스 에 대하 여 , 협소 한 피치 들 에서 프로브 들 ( 50 ) 을 배열 하 는 것 을 불 가능 하 게 한다 .