36 . 센텐스 5 내지 35 중 하나 에 따르 는 조명 광학 기기 로서 , 조명 광선 다발 을 생성 하 는 레이저 를 포함 하 고 , 상기 레이저 는 하나 이상 의 코 히 어 런 트 레이저 모드 및 레이저 출력 을 가지 며 , 상기 조명 광선 다발 은 발산 , 광선 또는 다발 프로파일 및 편광 상태 를 갖 고 , 상기 광학 시스템 은 상기 레이저 의 출력 과 상기 다중 미러 어레이 ( MMA ) 사이 의 상기 조명 광선 다발 의 적어도 상기 발산 및 / 또는 상기 광선 프로파일 및 / 또는 상기 편광 상태 를 변경 하 는 광학 조절 유닛 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .