그러나 , F 2 가스 와 HF 가스 와 의 혼합 가스 를 이용 한 드라이클리닝 을 수행 하 면 , 드라이클리닝 직후 의 박막 형성 공정 에 있 어서 성막 속도 가 저하 하 는 경우 가 있 다 . 이 성막 속도 의 저하 는 , 클리닝 후 에 성막 실 ( 101 ) 내부 의 석영 부재 [ 반응 관 ( 103 ) 이나 보트 ( 102 ) ] 표면 에 잔류 하 여 부착 한 미소 ( 微小 ) 한 석영 가루 나 , 석영 부재 표면 에 있 어서 누적 성막 에 의해 발생 한 크랙 에 의해 , 석영 부재 표면 의 실효 적 인 표면적 이 증대 하 는 것 이 원인 이 되 어 발생 하 고 있 는 것 이 라고 추정 된다 .