이제 도 1 을 참조 하 면 , 수직 기판 세정 및 건조 챔버 메커니즘 ( 100 ) 의 예의 간략 화 된 개요 가 도시 된다 . 전반 적 으로 , 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 는 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) , 및 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 에 근접 한 제 1 위치 ( 103 A ) 에서 그리고 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 로부터 측 방향 으로 멀 어 지 게 , 그 에 따라 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 의 원위 로 이동 된 제 2 위치 ( 103 B ) 에서 제 2 회전 가능 차 폐부 를 포함 하 는 것 으로 도시 된다 . 본원 에서 더 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 및 제 2 회전 가능 차 폐부 는 세정 액체 들 을 포획 하 여 기판 ( 119 ) 으로부터 멀 어 지 게 재 지향 시킨다 . 2 개 의 회전 가능 차 폐부 중 하나 는 , " 기판 ( 119 ) 이 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 에 장착 되 고 그 로부터 제거 될 수 있 게 하 기 위해 동작 위치 ( 120 ) ( 도 1 에서 위치 "" A "" 로 표시 됨 ) 및 적재 위치 ( 140 ) ( 도 1 에서 위치 "" B "" 로 표시 됨 ) 로부터 이동 하 도록 구성 된다 . 액추에이터 메커니즘 ( 109 ) 은 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 A ", 103 B ) 를 동작 위치 ( 120 ) 로부터 적재 위치 ( 140 ) 로 또는 그 로부터 이 동시 킨다 .