도 7 은 , 각각 의 RF 구동 포인트 ( 51 - 54 ) 가 각각 개별 적 감쇠기 ( 41 - 44 ) 에 접속 되 는 것 을 제외 하 고 도 6 의 것 과 동일 한 일 실시 예 를 도시 한다 . 특히 , RF 전력 의 제 1 부분 은 감쇠기 들 ( 41 및 42 ) 을 통해 각각 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 상의 RF 구동 포인트 들 ( 51 및 52 ) 에 결합 된다 . RF 전력 의 나머지 는 감쇠기 들 ( 43 및 44 ) 을 통해 각각 , 전극 의 제 2 절반 부 ( 62 ) 상의 RF 구동 포인트 들 ( 53 및 54 ) 에 결합 된다 .