다시 도 1 및 도 2 a 를 참조 하 면 , 리 세스 ( 110 ) 를 채우 면서 절 연막 ( 105 ) 상 에 상변화 물질 층 ( 115 ) 을 형성 한다 ( S 20 ) . 상변화 물질 층 ( 115 ) 은 칼코겐 화합 과 같 은 상변화 물질 을 이용 하 여 형성 된다 . 예 를 들 어 , 상변화 물질 층 ( 115 ) 은 화학 기상 증착 공정 또는 스퍼터링 공정 등 으로 형성 할 수 있 다 . 칼코겐 화합물 은 텔루르 ( Te ) , 셀레늄 ( Se ) , 황 ( S ) , 이 들 의 혼합물 및 이 들 의 합금 을 포함 하 는 용어 로서 , 칼코겐 화합물 의 예 로 는 게르마늄 - 안티몬 - 텔루르 ( Ge - Sb - Te ; GST ) , 게르마늄 - 셀렌 - 텔 루 르 ( Ge - Se - Te ) , 주석 - 셀렌 - 텔루르 ( Sn - Se - Te ) , 주석 - 안티몬 - 텔루르 ( Sn - Sb - Te ) , 주석 - 비소 - 셀렌 ( Sn - As - Se ) , 비소 - 게르마늄 - 안티몬 - 텔루르 ( As - Ge - Sb - Te ) , 비소 - 게르마늄 - 셀렌 - 텔루르 ( As - Ge - Se - Te ) , 게르마늄 - 안티몬 - 셀렌 - 텔루르 ( Ge - Sb - Se - Te ) 등 을 들 수 있 으나 , 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .