이 와 같이 본 실시 예 는 전해 가 공부 ( 2 ) , 세 정부 ( 3 ) 및 건 조부 ( 4 ) 를 가공 처리 실 ( 5 ) 에 형성 하 여 하나 로 모듈 화 하 였으므로 , 장치 전체 의 컴팩트 화 및 설치 스페이스 의 축소 화 를 도모 할 수 있 을 뿐 만 아니 라 , 웨이퍼 ( W ) 의 전해 가공 , 세정 및 건조 의 각 가공 처리 를 1 개소 에서 연속 적 으로 순차 실시 할 수 있 다 .