1846 년 Ebelmen 은 사염 화 실리콘 과 에탄올 으로부터 테트라 에 톡 시 실란 를 합성 하 여 최초 의 알 콕 시 실란 합성 반응 에 대해 보 고 하 였 고 , 1920 년 이후 알 콕 시 실란 을 비롯 한 각종 금속 알 콕 사이드 의 합성 반응 메커니즘 과 물 성 에 관한 많 은 연구 가 추진 되 어 왔 다 . 알 콕 시 실란 의 합성 방법 은 1 ) 실리콘 염화물 과 알콜 의 반응 , 2 ) 금속 실리콘 과 알콜 의 반응 , 3 ) 실리콘 수산화물 혹은 산화물 과 알콜 의 반응 , 4 ) 알콜 의 교환 반응 등 의 여러 가지 방법 이 알려져 있 다 .