표 2 의 결과 로부터 단분자막 의 성막 속도 는 실시 예 4 , 실시 예 6 등 이 모두 가장 빠르 고 , 실시 예 2 , 실시 예 3 , 실시 예 5 는 거의 동일 하 며 그 다음 으로 빠르 고 , 실시 예 7 , 실시 예 1 의 순서 였 다 . 즉 , 상기 화학식 1 의 환상 구조 를 갖 는 피 롤리 딘 및 피 페리 딘 을 질소 함유 유기 염기 로서 이용 함 으로써 ( 실시 예 4 내지 6 ) , 성막 을 빠르 게 행할 수 있 는 것 을 확인 할 수 있 었 다 . 또한 , 실란 화합물 에 대한 질소 함유 유기 염기 의 농도 비 가 , 실란 화합물 1 에 대하 여 질소 함유 유기 염기 의 몰 비 가 250 ( 실시 예 5 ) , 1 ( 실시 예 6 ) , 0 . 025 ( 실시 예 7 ) 인 경우 를 비교 하 면 , 몰 비 를 1 로 한 실시 예 6 에서 성막 을 가장 빠르 게 행할 수 있 는 것 을 확인 할 수 있 었 다 .