공급원 플라스마 시스템 ( 680 A ) 은 탑 코일 ( 629 ) 및 사이드 코일 ( 630 ) 을 포함 한다 , 이 들 은 돔 ( 614 ) 에 세워져 있 다 . 대칭 적 그라운드 쉘 드 ( 도시 되 지 않 음 ) 는 코일 들 사이 의 전기 커플링 을 줄인다 . 탑 코일 ( 629 ) 은 탑 소스 RF ( SRF ) 발생기 ( 631 A ) 에 의해 전력 을 받 으며 , 반면 에 측 부 코일 ( 630 ) 은 측 부 SRF 발생기 ( 631 B ) 에 의해 전력 을 받 고 , 독립 적 파워 수주 및 각 코일 을 위한 작업 의 빈도 를 가능 하 게 한다 . 이 듀얼 코일 시스템 은 챔버 ( 613 ) 내 방사형 이온 밀도 의 조절 을 가능 하 게 한다 , 이 로써 플라스마 균일성 을 개선 시킨다 . 측 부 코일 ( 630 ) 및 탑 코일 ( 629 ) 은 전형 적 으로 유도 적 으로 구동 된다 , 이 는 무료 전극 ( complimentary electrode ) 을 요하 지 않 는다 . 특이 적 구체 예 에서 , 탑 소스 RF 발생기 ( 631 A ) 는 명목 상 으로 2 MHz 에서 2 , 500 와트 이하 의 RF 파워 를 발생 시키 고 측 부 소스 RF 발생기 ( 631 B ) 는 명목 상 으로 2 Mz 에서 약 5 , 000 와트 이하 의 RF 파워 를 발생 시킨다 . 상부 및 측 부 RF 발생기 의 작업 주파수 는 , 플라스마 - 생성 효능 을 개선 하 기 위해 , 명목상 작업 주파수 ( 예 를 들 어 , 각각 1 , 7 - 1 . 9 MHz 및 1 . 9 - 2 . 1 MHz ) 로부터 상쇄 될 수 있 다 .