플 래 튼 의 하 면 측 에 는 , 이 투명 창 재료 의 회전로 에 접하 여 웨이퍼 의 연 마면 에 광 을 조사 하 고 , 그 반사광 을 수 광 하 는 프로브 가 배치 되 어 있 다 . 이 프로브 는 광케이블 에 접속 되 고 , 그 타단 은 두 갈래 로 나뉘 어 분광 반사 율 측정 장치 와 측정 용 광원 에 접속 되 어 있 다 . 그리고 , 측정 용 광원 으로부터 웨이퍼 의 연 마면 에 광 을 조사 하 여 , 그 반사광 을 분광 반사 율 측정 장치 에 넣 고 , 막 이 목표 두께 가 되 었 을 때 의 분광 반사 율 을 미리 계산 으로 구해 두 고 , 측정 한 분광 반사율 의 특징 이 계산 과 일치 한 시점 에서 잔존 하 는 층 의 막 두께 가 소망 한 두께 가 된 것 을 검지 하 고 있 다 ( 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 참조 ) .