촬영 대상물 이 기판 ( W ) 인 경우 에 는 카메라 ( 920 ) 가 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에 놓여진 기판 ( W ) 을 촬영 한다 . 기판 ( W ) 은 감광액 이 공급 되 는 중 에 회전 되 고 , 카메라 ( 920 ) 는 회전 되 는 기판 ( W ) 을 촬영 한다 . 이 에 따라 기판 ( W ) 위치 가 정상 범주 이탈 을 감지 하 고 , 기판 ( W ) 상 에 형성 되 는 액 막 상태 를 감지 할 수 있 다 . 또한 노즐 헤드 ( 840 ) 의 액 토출 상태 를 함께 감지 할 수 있 다 .