상기 의 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 은 , 최초 성장 기판 인 사파이어 상층부 에 형성 된 제 1 에피 택 셜 적층 구조 는 InxAlyGazN ( x , y , z 는 0 이상 의 정수 이 고 , 또한 x , y , z 는 동시 에 0 이 아니 다 ) 와 SixCyNz ( x , y , z 는 0 이상 의 정수 이 고 , 또한 x , y 는 동시 에 0 이 아니 다 ) 가 동시 에 또는 순서 에 는 상관없이 다층 형태 로 형성 된다 .