반송 스페이스 ( Ａ １ , Ａ ３ ) 의 각 ( 各 ) 제 1 취 출 유닛 ( 61 ) 은 동일 한 제 1 기체 공급 관 ( 63 ) 에 연통 접속 되 어 있 다 . 제 1 기체 공급 관 ( 63 ) 은 재 치부 ( ＰＡＳＳ ２ , ＰＡＳＳ ４ ) 의 측방 위치 에 , 반송 스페이스 ( Ａ １ ) 의 상부 로부터 반송 스페이스 ( Ａ ３ ) 의 하부 에 걸쳐서 설치 되 어 있 음 과 아울러 , 반송 스페이스 ( Ａ ２ ) 의 하방 에서 수평 방향 으로 구부러져 있 다 . 제 1 기체 공급 관 ( 63 ) 의 타단 측 은 도시 생략 된 기체 공급원 에 연통 접속 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , 반송 스페이스 ( Ａ １ , Ａ ３ ) 의 배출 유닛 ( 62 ) 은 동일 한 제 1 기체 배출관 ( 64 ) 에 연통 접속 되 어 있 다 . 제 1 기체 배출관 ( 64 ) 은 반송 스페이스 ( Ａ １ ) 의 하부 로부터 반송 스페이스 ( Ａ ３ ) 의 하부 에 걸쳐서 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ２ , ＰＡＳＳ ４ ) 의 측방 위치 에 설치 되 어 있 음 과 아울러 , 반송 스페이스 ( Ａ ２ ) 의 하방 에서 수평 방향 으로 구부러져 있 다 . 그리고 , 반송 스페이스 ( Ａ １ , Ａ ３ ) 의 각 제 1 취 출구 ( 61 a ) 로부터 기체 를 취 출 함 과 아울러 각 배출구 ( 62 a ) 로부터 기체 를 흡인 / 배출 시킴 으로써 , 반송 스페이스 ( Ａ １ , Ａ ３ ) 에 는 상부 로부터 하부 로 흐르 는 기류 가 형성 되 어서 , 각 반송 스페이스 ( Ａ １ , Ａ ３ ) 는 개별 적 으로 청정 한 상태 로 유지 된다 .