본 발명 의 실시 예 에 따른 마스크 저장 장치 는 마스크 가 수용 되 는 복수 개 의 마스크 수용 용기 가 배치 되 는 제 1 영역 과 상기 제 1 영역 의 주위 에 배치 되 는 제 2 영역 을 가지 는 장치 본체 와 , 일부분 이 상기 장치 본체 의 외부 에 배치 되 는 가스 공급 관 과 , 상기 제 1 영역 에 배치 되 어 상기 제 2 영역 으로부터 상기 제 1 영역 으로 가스 를 유동 시키 는 팬 과 , 가스 의 유동 경로 상 상기 팬 의 전단 과 후단 중 적어도 일단 에 배치 되 는 필터 와 , 상기 제 2 영역 에 배치 되 어 유동 하 는 가스 와 열 교환 을 하 는 열 교환기 와 , 상기 장치 본체 의 외부 에 배치 되 는 상기 가스 공급 관 에 설치 되 는 펠티어 소자 와 , 상기 가스 의 유동 경로 상 상기 펠티어 소자 의 전단 에 배치 되 도록 상기 가스 공급 관 에 설치 되 는 제 1 센서 와 , 상기 열 교환기 의 하부 에 배치 되 도록 상기 장치 본체 의 상기 제 2 영역 에 설치 되 는 제 2 센서 및 상기 제 1 센서 와 상기 제 2 센서 및 상기 펠티어 소자 에 연결 되 는 제 어부 를 포함 한다 .