도 14 a 내지 14 c 를 참조 하 여 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 각각 의 측면 개구 ( 270 A 3 , 270 A 4 , 270 B 3 , 270 B 4 ) ( 또는 예 를 들 어 도 11 및 도 12 에서 와 같이 일치 종횡비 의 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) ) 내 로 연장 될 때 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 의 예시 적 인 이동성 이 도시 되 어 있 다 . 여기 에서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) 가 측면 개구 ( 270 B 3 또는 270 B 4 ) 를 통해 연장 되 도록 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 연장 됨 에 따라서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) ( 뿐 만 아니 라 엔드 이펙터 ( 250 E 2 ) ) 는 손목 축 ( WX ) 에 대해 270 ° 를 초과 하 지만 360 ° 미만 의 회전 운동 의 범위 ( 1300 ) 를 유지 한다 ( 도 14 b 참조 ) . 유사 하 게 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) 가 측면 개구 ( 270 A 3 , 270 A 4 ) 를 통해 연장 되 도록 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 연장 됨 에 따라서 , 엔드 이펙터 ( 250 E ) ( 뿐 만 아니 라 엔드 이펙터 ( 250 E 2 ) ) 는 손목 축 ( WX ) 에 대해 270 ° 를 초과 하 지만 360 ° 미만 의 회전 운동 의 범위 ( 1300 ) 를 유지 한다 ( 도 14 c 참조 ) . 측면 개구 ( 270 A 3 , 270 B 3 ) 가 도 14 b 및 도 14 c 에 도시 되 어 있 지만 , 측면 개구 ( 270 A 4 , 270 B 4 ) 내로 의 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 의 연장 이 실질 적 으로 유사 하 다는 것 이 이해 되 어야 한다 .