X 간섭계 ( 217 , 227 ) 는 , 전술 한 기준 축 ( LH ) 을 X 축 방향 에 관한 실질 적 인 측 장축 으로 하 는 다축 간섭계 이 다 . 즉 , X 간섭계 ( 217 ) 는 , X 축 과 평행 한 복수 의 측장 빔 을 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 c ) 에 조사 하 고 , 각각 의 반사광 을 수 광 하 여 , 각 측장 빔 의 조사 점 에 있 어서 의 반사면 ( 27 c ) 의 X 축 방향 의 위치 정보 를 계측 한다 . 동일 하 게 , X 간섭계 ( 227 ) 는 , X 축 과 평행 한 복수 의 측 장 빔 을 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 반사면 ( 27 e ) 에 조사 하 고 , 각각 의 반사광 을 수 광 하 여 , 측장 빔 의 조사 점 에 있 어서 의 반사면 ( 27 e ) 의 X 축 방향 의 위치 정보 를 계측 한다 . 이 들 위치 정보 는 주제 어 장치 ( 20 ) 로 보내 진다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , X 간섭계 ( 217 , 227 ) 로 계측 된 위치 정보 에 기초 하 여 , 각각 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 , WTB 2 ) 의 X 위치 및 θ y 회전 량 ( 롤링 량 ) 을 산출 한다 .