이러 한 문제점 들 을 방지 하 기 위하 여 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 와 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 사이 에 반사 거울 ( M 4 ) 이 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 를 통과 한 광 은 상기 반사 거울 ( M 4 ) 에 의해 반사 되 어 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로 입사 될 수 있 다 . 그 결과 , 상기 반사 거울 ( M 4 ) 을 기준 할 때 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 와 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 가 동일 방향 에 배치 되 기 때문 에 , 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로부터 반사 된 광 의 경로 상 에 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 가 배치 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .