도 2 는 폴리 싱 - 식각 모듈 ( 31 ) 을 도해 한다 . 폴리 싱 - 식각 모듈 은 이송 경로 부 ( 32 ) 를 또한 가지 며 , 이것 은 도 1 로부터 이송 경로 부 ( 12 ) 의 연장 ( continuation ) 이 다 . 마찬가지 로 , 폴리 싱 - 식각 모듈 ( 31 ) 은 텍 스쳐 링 모듈 ( 11 ) 에 대하 여 비교 적 직접 적 으로 ( relatively directly ) 잇달 아 유리 하 게 제공 되 며 설치 된다 . 이송 경로 부 ( 32 ) 는 이송 롤러 들 ( 33 ) 에 의해 형성 된다 . 폴리 싱 - 식각 모듈 ( 31 ) 의 상세 한 설명 을 위하 여 , DE 　 10 　 2005 062 528 A 1 을 주로 참조 할 수 있 는데 , 상기 문헌 에서 는 폴리 싱 - 식각 을 위한 식각 용액 ( 35 ) 이 이송 롤러 들 ( 33 ) 에 의하 여 배스 ( bath , 37 ) 로부터 실리콘 웨이퍼 들 ( 22 ) 의 하 부면 들 ( 24 ) 로 이르 게 되 는 방법 을 상세 하 게 설명 한다 . 따라서 , 이송 롤러 들 은 웨이퍼 들 을 이송 하 기 위해서 그리고 웨이퍼 들 의 하 부면 을 웨 팅 하 기 위하 여 역할 을 한다 . 폴리 싱 - 식각 을 위한 식각 용액 ( 35 ) 은 앞 에서 기술 된 것 과 같 다 . 제 2 방법 단계 에서 , 식각 용액 ( 35 ) 은 실리콘 웨이퍼 들 ( 22 ) 의 상부 면 ( 23 ) 상 에 로 옮겨 가지 ( pass ) 않 으며 , 하 부면 들 ( 24 ) 에 만 옮겨 간다는 것 이 , 도 2 의 도해 로부터 , 또한 이해 될 수 있 다 .