바람직 하 게 는 상기 박막 은 하프늄 산화 막 ( HfO 2 ) 일 수 있 고 , 상기 제 1 소스 공급 부 에서 공급 되 는 상기 제 1 소스 는 테트라 키스 에틸 메틸 아미노 하프늄 ( TEMAH ) , 하프늄 터 셔리 - 부 톡 사이드 ( HTB ) , 테 트라키스 다이메틸 아미노 하프늄 ( TDMAH ) , 테 트라키스 다이에틸 아미노 하프늄 ( TDEAH ) , 또는 하프늄 클로라이드 ( Hafnium Chloride ) 일 수 있 다 .