본 실시 형태 에서 는 , 본 체측 오 목부 ( 21 c ) , 커버 측 오 목부 ( 22 c ) 및 볼 ( 23 ) 의 조 가 4 개 마련 되 어 있 다 . 이 와 같이 , 본 체측 오 목부 ( 21 c ) , 커버 측 오 목부 ( 22 c ) 및 볼 ( 23 ) 의 조 를 3 개 이상 마련 함 으로써 , 커버 부재 ( 22 ) 와 적재 대 본체 ( 21 ) 를 동심 으로 할 수 있 다 . 커버 부재 ( 22 ) 가 적재 대 본체 ( 21 ) 에 대하 여 편심 되 어 있 으면 , 커버 부재 ( 22 ) 와 처리 용기 ( 10 ) 의 측벽 사이 의 간극 ( 71 ) ( 도 2 참조 ) 의 크기 가 둘레 방향 에서 불 균일 해진다 . 그 때문 에 , 커버 부재 ( 22 ) 에 의해 구획 된 적 재 대 본체 ( 21 ) 의 상방 의 공간 에 유입 되 는 , 보텀 퍼지 가스 의 양 이 둘레 방향 에서 불 균일 해진다 . 그 결과 , 처리 공간 ( S ) 으로부터 의 처리 가스 의 배기 가 둘레 방향 에서 불 균일 해 지 고 , 성막 처리 가 웨이퍼 면 내 에서 불 균일 해져 버리 는 경우 가 있 다 . 이 성막 처리 의 웨이퍼 면 내 에서 의 불 균일 성 을 , 상술 한 바 와 같이 커버 부재 ( 22 ) 와 적재 대 본체 ( 21 ) 를 동심 으로 함 으로써 해소 할 수 있 다 .