도 20 은 , 제 2 실시 형태 에 따른 보충 제어 수순 의 일례 를 나타내 는 흐름 도 이 다 . 도 20 에 도시 된 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 스텝 S 161 , S 162 를 실행 한다 . 스텝 S 162 에서 는 , 보충 제 어부 ( 116 ) 가 , 보충 부 ( 50 ) 의 압송 부 ( 53 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 의 압송 부 ( 64 ) 에 보내 지 는 처리 액 의 보충 압력 , 및 당해 처리 액 의 보충 유량 을 조절 하 기 위해서 압송 부 ( 53 ) 및 압송 부 ( 64 ) 의 제어 를 개시 함 으로써 , 처리 액 의 보충 을 개시 시킨다 . 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 예 를 들 어 도 21 의 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 스텝 S 61 , S 62 와 마찬가지 로 , 보충 압력 및 보충 유량 의 목표 값 에 의 추종 제어 를 각각 실행 한다 .