예 를 들 어 , 압력 챔버 ( 510 ) 는 중앙 에 가장 큰 챔버 ( 이하 , ' 중앙 챔버 ( Z 1 ) ' 라 함 ) 가 형성 되 고 , 중앙 챔버 ( Z 1 ) 의 양측 에 는 평행 하 게 복수 의 챔버 ( Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 ) 가 형성 될 수 있 다 . 압력 챔버 ( 510 ) 는 기판 ( 1 ) 의 중심선 또는 중앙 챔버 ( Z 1 ) 를 기준 으로 복수 의 챔버 ( Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 ) 가 서로 대칭 이 되 도록 형성 된다 .