상기 제 1 열 교환 유닛 ( 160 ) 은 스택 ( 110 ) 내부 에 구비 되 는 제 1 열교 환부 ( 161 ) 와 상기 제 1 열교 환부 ( 161 ) 와 제 1 저장 탱크 ( 170 ) 를 연결 하 는 유출 관 ( 162 ) 과 , 상기 제 1 열교 환부 ( 161 ) 와 제 1 저장 탱크 ( 170 ) 를 연결 하 는 유입 관 ( 163 ) 을 포함 하 여 구성 된다 . 그리고 상기 제 1 저장 탱크 ( 170 ) 에 디아이 워터 ( DI ; deionized water ) 가 채워져 있 다 .