다른 실시 예 들 에서 , 제 1 보정 조치 는 , 제 1 S - D 측정 웨이퍼 세트 로부터 , 제 1 S - D 평가 특징 부가 위 에 구비 되 어 있 는 제 2 측정 웨이퍼 를 선택 하 는 단계 와 , 제 1 S - D 특징 부 로부터 제 2 S - D 피 측정 신호 데이터 를 포함 한 제 2 측정 데이터 를 획득 하 는 단계 와 , S - D 측정 데이터 [ 회절 신호 ] 및 연관 된 구조물 의 라이브러리 로부터 제 2 S - D 최적 추정 신호 데이터 및 연관 된 제 2 S - D 최적 추정 구조물 을 선택 하 는 단계 와 , 제 2 S - D 피 측정 신호 데이터 와 제 2 S - D 최적 추정 신호 데이터 간 의 제 2 S - D 차이 를 계산 하 는 단계 와 , 제 2 S - D 차이 를 이용 하 여 제 2 측정 웨이퍼 에 대한 제 2 S - D 신뢰 도 데이터 를 확립 하 는 단계 와 , 제 2 S - D 신뢰 도 데이터 를 제 2 S - D 생산품 요건 에 비교 하 는 단계 와 , 제 2 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 면 제 2 측정 웨이퍼 를 제 2 고 신뢰 도 웨이퍼 로서 식별 하 고 처리 를 계속 하 거나 , 또는 제 2 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 지 않 으면 제 2 보정 조치 를 적용 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .