특히 무기 하드 마스크 로서 SiON 막 을 이용 한 경우 , SiON 막 과 BARC 의 2 층 의 반사 방지 막 에 의해서 1 . 0 을 넘 는 높 은 NA 의 액침 노광 에 있 어서 도 반사 를 억제 하 는 것 이 가능 하 게 된다 . BARC 를 형성 하 는 또 하나 의 메리트 로서 는 , SiON 막 바로 위 에서 의 레지스 트 상 층막 패턴 의 풋 팅 을 저감 시키 는 효과 가 있 다는 것 이 다 .