상기 의 기술 적 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 는 , 기판 상 에 구리 시드 층 을 증착 하 는 단계 , 상기 구리 시드 층 의 광반사 율 을 측정 하 는 단계 및 상기 측정 된 광반사 율 수치 와 , 응집 현상 이 발생 하 지 않 은 기준 구리 시드 층 의 기준 광반사 율 수치 와 의 비교 로부터 상기 구리 시드 층 의 증착 온도 를 추산 하 는 단계 를 포함 하 는 구리 시드 층 의 증착 온도 측정 방법 을 제시 한다 .