도 1 a 를 참조 하 면 , 켄 틸 레버 구조 의 MEMS 스위치 는 하부 전극 ( 2 ) , 신호 라인 ( 3 ) 및 지지 부 ( 미 도시 ) 가 형성 된 기판 ( 미 도시 ) 및 지지 부 ( 미 도시 ) 에 의해 기판 ( 미 도시 ) 에 고정 되 고 하부 전극 ( 2 ) 및 신호 라인 ( 3 ) 과 소정 간격 이격 된 켄 틸 레버 암 ( cantilever arm ; 5 ) 을 포함 한다 . 켄 틸 레버 암 ( 5 ) 의 상부 에 는 상부 전극 ( 6 ) 이 형성 되 고 , 종단 하부 에 는 신호 라인 ( 3 ) 의 끊어진 부분 을 연결 시키 기 위한 접촉 부 ( 7 ) 가 형성 된다 . 켄 틸 레버 암 ( 5 ) 과 상부 전극 ( 6 ) 은 중간 부분 이 다른 부분 보다 좁 게 형성 되 어 켄 틸 레버 암 ( 5 ) 의 종단 부분 이 일정 한 탄성 을 가진다 . 여기 서 작 은 직사각 형 들 이 형성 된 부분 은 캐 패 시터 구조 ( capacitor structure ) 부분 ( 8 ) 이 고 , 작 은 직사각 형 들 은 켄 틸 레버 암 ( 5 ) 하부 에 존재 했 던 희생 막 을 제거 하 기 위한 홀 들 이 다 .