건조 처리 실 ( 23 ) 에서 는 , 반송로 ( H 1 ) 의 도중 에 위치 하 는 기체 공급 영역 ( 처리 영역 ) 에 대해 , 건조 용 의 기체 가 각 기체 분 출부 ( 51 ) 에 의해 반송로 ( H 1 ) 의 상하 로부터 미리 공급 되 고 있 다 . 이 기체 공급 상태 에 있 어서 , 기판 ( W ) 이 평평 한 상태 로 반송 되 어 반송로 ( H 1 ) 도중 의 기체 공급 영역 을 통과 하 면 , 기판 ( W ) 의 상면 및 하면 의 양면 에 부착 되 어 있 는 처리 액 이 기체 의 분무 에 의해 기판 ( W ) 의 양면 으로부터 날려 버려져 , 기판 ( W ) 의 양면 이 건조 되 어 간다 . 이때 , 기판 ( W ) 의 양면 에 부착 되 어 있 는 액체 는 , 기체 의 분무 에 의해 기판 ( W ) 의 양면 의 우측 위 의 모퉁이 로부터 좌측 아래 의 모퉁이 ( 도 4 참조 ) 를 향해 이동 하 기 때문 에 , 기판 ( W ) 의 양면 은 각각 우측 위 의 모퉁이 로부터 좌측 아래 의 모퉁이 로 순차 건조 되 어 간다 . 기판 ( W ) 의 양면 으로부터 날려 버려진 처리 액 은 , 처리 실 ( 20 ) 의 바닥 면 을 흘러 배출구 로부터 배출 된다 .