보다 자세 하 게 설명 하 면 , 제 1 전극 은 제 1 루테늄 막 ( 401 A , Ru ) 과 전자 주개 가 도 핑 된 제 1 루테늄 산화 막 ( 401 B , D - RuOx ) 의 제 1 적층 전극 ( 401 ) 이 고 , 유전 막 은 BST 막 ( 402 ) 이 고 , 제 2 전극 은 전자 주개 가 도핑 된 제 1 루테늄 산화 막 ( 403 A , D - RuOx ) 과 제 2 루테늄 막 ( 403 B ) 의 제 2 적층 전극 ( 403 ) 이 다 . 여기 서 , 제 1 전극 은 전하 저장 전극 으로서 스토리지 노드 또는 하부 전극 으로 일컫 고 , 제 2 전극 은 플레이트 도 는 상부 전극 으로 일컫 는다 .