4 개 의 샘플 은 FT - IR 로 측정 한 탄소 농도 는 약 0 . 49 ~ 1 . 0 ppma 수준 인 P - type 의 실리콘 웨이퍼 이 고 , 이 들 4 개 의 샘플 에 대하 여 SMIS ( secondary ion mass spectrometry ) 로 탄소 농도 를 측정 하 였 다 . SIMS 장비 는 FT - IR 과 마찬가지 로 실리콘 웨이퍼 내 의 탄소 를 측정 할 수 있 는 장비 로 검출 능력 은 뛰어나 나 , 검출 하한 이 높 아 낮 은 농도 의 탄소 는 검출 할 수 없 다 .