또 다른 예 로서 , 기판 의 상단 면 위 에 유전체 층 이 형성 될 수 있 고 , 그 유전체 층 을 통과 해 트렌치 가 에칭 될 수 있 으며 , 그 트렌치 내 에 기판 과 는 상이 한 재료 를 사용 하 여 헤테로 에 피 택 셜 구조 가 에피 택 셜 성장 할 수 있 고 , 헤테로 에 피 택 셜 구조 가 유전체 층 으로부터 돌출 하 여 핀 을 형성 하 도록 유전체 층 이 리세 싱 될 수 있 다 .