도 15 는 도 11 , 12 및 14 중 하나 에 따른 실시 예의 회절 광학 요소 ( 3 d ) 의 전방 에 선택 적 으로 배열 될 수 있 는 위상 요소 ( 701 ) 를 개략 적 으로 도시 한다 . 비구 면 렌즈 요소 및 / 또는 자유 곡면 ( freeform surface ) 을 가진 렌즈 요소 이 거나 포함 할 수 잇 는 , 위상 요소 ( 701 ) 는 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 파면 ( 700 ) 을 적합 시키 는 역할 을 한다 . 도 15 는 위상 요소 ( 701 ) 를 통과 하 기 전 의 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 파면 ( 700 ) 을 도시 한다 . 도 15 는 위상 요소 ( 701 ) 후 의 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 파면 ( 702 ) 을 또한 도시 한다 . 위상 요소 ( 701 ) 를 통과 한 후 의 파면 ( 702 ) 은 , 예컨대 , 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 원래 의 파면 ( 700 ) 보다 더 작 은 곡 률 을 갖 는다는 것 을 명확히 알 수 있 을 것 이 다 . 위상 요소 ( 701 ) 의 적합 한 선택 에 의해서 , 마이크 로 리소그래피 용 투사 노광 장치 의 조명 광학 기기 에 들어가 기 전 의 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 파면 을 수정 하 는 것 이 따라서 가능 하 다 . 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 파면 의 곡 률 을 수정 하 는 것 에 의해 , 그 발산 이 또한 변화 된다 . 도 15 의 위상 요소 ( 701 ) 는 따라서 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 파면 의 곡 률 을 수정 하 는 역할 만 을 하 지 않 고 조명 광선 다발 ( 12 ) 의 발산 을 수정 또는 조절 하 는 역할 도 한다 .