또한 , 본 발명 은 증발 챔버 에서 상승 하 는 금속 및 산화물 증기 가 산화 반응 챔버 내 로 유입 되 는 때 에 유속 을 떨어뜨려 평균 자유 행로 가 길 어 지 도록 하 고 , 이러 한 유속 변화 를 통하 여 높 은 산화 균 질도 를 확보 할 수 있 으며 , 입자 합침 률 을 크 게 낮추 어서 응집 이 적 고 크기 가 작 은 나노 산화 분말 을 제조 할 수 있 는 장치 를 제안 하 고자 한다 .