빔 주 사부 ( 32 ) 는 , 빔 의 왕복 주사 를 제공 하 도록 구성 되 고 , 정형 된 이온 빔 을 x 방향 으로 주사 하 는 빔 편향 장치 이 다 . 빔 주사 부 ( 32 ) 는 , 빔 주사 방향 ( x 방향 ) 에 대향 하 는 주사 전극 쌍 을 갖 는다 . 주사 전극 쌍 은 가변 전압 전원 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 으며 , 주사 전극 쌍 의 사이 에 인가 되 는 전압 을 주기 적 으로 변화 시킴 으로써 , 전극 간 에 발생 하 는 전계 를 변화 시켜 이온 빔 을 다양 한 각도 로 편향 시킨다 . 그 결과 , 이온 빔 이 x 방향 의 주사 범위 전체 에 걸쳐 주사 된다 . 도 1 에 있 어서 , 화살표 X 에 의하 여 빔 의 주사 방향 및 주사 범위 를 예시 하 고 , 주사 범위 에서 의 이온 빔 의 복수 의 궤적 을 일점쇄선 으로 나타내 고 있 다 .