상기 한 바 와 같이 , 존 ( ZA , ZB ) 마다 상이 한 액 공급 부 ( 6 ) 가 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 도록 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 가 배치 된다 . 임의 의 하나 의 존 ( 예 를 들 면 존 ( ZA ) ) 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 는 액 공급 부 ( 예 를 들 면 액 공급 부 ( 6 A ) ) 와 , 나머지 의 임의 의 하나 의 존 ( 예 를 들 면 존 ( ZB ) ) 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 는 액 공급 부 ( 예 를 들 면 액 공급 부 ( 6 B ) ) 가 완전 하 게 일치 하 지 않 으면 된다 .