상기 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 는 마이크로파 를 이용 하 여 상온 상압 에서 의 플 라즈 마 발생 이 가능 한 장치 이 다 . 이 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 그 길 이 방향 이 좌우 방향 으로 일치 하 도록 배치 되 어 있 고 , 상기 반송 장치 ( 2 ) 의 상방 에 해당 반송 장치 ( 2 ) 에 의한 워크 ( W ) 의 반송 방향 과 직교 하 도록 배치 되 어 있 다 . 그리고 , 이 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 는 상기 설치 위치 로부터 수평 방향 으로 우측 으로 인출 가능 하 게 설치 틀 ( 4 ) 에 대하 여 부착 되 어 있 다 .