상기 반도체 패키지 테스트 공정 이 수행 되 는 테스트 챔버 내부 에 는 온도 측정 을 위한 센서 들 이 구비 될 수 있 으며 , 아울러 상기 테스트 챔버 내부 를 테스트 온도 로 조절 하 기 위한 온도 조절 장치 들 이 구비 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 테스트 챔버 내 에 는 상기 테스트 챔버 내부 를 가열 하 기 위한 히터 및 상기 테스트 챔버 내부 를 냉각 시키 기 위해 냉각 가스 를 분사 하 는 냉각 유닛 이 배치 될 수 있 으며 , 상기 테스트 챔버 의 내부 온도 는 상기 센서 들 에 의한 측정값 에 기초 하 여 제어 될 수 있 다 .