HF 가스 공급 로 ( 61 ) 는 HF 가스 공급원 ( 71 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , HF 가스 공급 로 ( 61 ) 에는 , 유로 의 개폐 동작 및 HF 가스 의 공급 유량 의 조절 이 가능 한 유량 조절 밸브 ( 72 ) 가 형성 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , NH 3 가스 공급 로 ( 62 ) 는 NH 3 가스 공급원 ( 73 ) 에 접속 되 어 있 고 , 그 NH 3 가스 공급 로 ( 62 ) 에는 유로 의 개폐 동작 및 암모니아 가스 의 공급 유량 의 조절 이 가능 한 유량 조정 밸브 ( 74 ) 가 개재 설치 되 어 있 다 . Ar 가스 공급 로 ( 63 ) 는 , Ar 가스 공급원 ( 75 ) 에 접속 되 어 있 고 , 그 Ar 가스 공급 로 ( 63 ) 에는 유로 의 개폐 동작 및 Ar 가스 의 공급 유량 의 조절 이 가능 한 유량 조정 밸브 ( 76 ) 가 개재 설치 되 어 있 다 . N 2 가스 공급 로 ( 64 ) 는 N 2 가스 공급원 ( 77 ) 에 접속 되 어 있 고 , N 2 가스 공급 로 ( 64 ) 에는 유로 의 개폐 동작 및 질소 가스 의 공급 유량 의 조절 이 가능 한 유량 조정 밸브 ( 78 ) 가 개재 설치 되 어 있 다 .