본 실시 예 에서 는 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 기판 ( W ) 을 1 매 마다 반송 하 고 있 다 . 이 점 은 , 복수 ( 예 를 들 면 3 매 ) 의 기판 ( W ) 을 동시 에 반송 해도 된다 . 예 를 들 면 , 캐리어 ( C ) 의 아래 로부터 1 , 2 , 3 매 째 의 기판 ( W ) 을 동시 에 꺼낸다고 한다 . 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 이 각각 캐리어 단위 로 기판 처리 를 행하 는 경우 , 예 를 들 면 처리 층 ( A 1 ) 에서 1 , 2 , 3 매 째 의 기판 ( W ) 을 처리 하 기 위해 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 이 송부 ( SN 1 ) ( 도 10 참조 ) 에 , 꺼낸 3 매 의 기판 ( W ) 을 동시 에 재치 해도 된다 . 이 에 의해 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 부담 을 저감 할 수 있 다 . 또 , 예 를 들 면 , 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 이 분담 하 여 1 개 의 캐리어 ( C ) 내 의 기판 을 처리 하 는 경우 , 3 개 의 처리 층 ( A 1 ) 에서 1 매 째 , 처리 층 ( A 2 ) 에서 2 매 째 , 처리 층 ( A 3 ) 에서 3 매 째 의 기판 ( W ) 을 각각 처리 하 도록 , 버퍼 부 ( BU 1 ~ BU 3 ) 의 이 송부 ( SN 1 ~ SN 3 ) 에 3 매 의 기판 ( W ) 을 1 매 씩 재치 해도 된다 . 이 에 의해 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 부담 , 및 각 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 의 제 3 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 의 부담 을 저감 할 수 있 다 .