본 발명 의 제 5 양태 에 따르 면 , 외부 장치 ( C , 90 ) 로부터 공급 되 는 기판 ( P ) 을 노광 장치 에 의해 노광 하 는 노광 방법 으로서 , 외부 장치 로부터 시간 t 0 의 간격 으로 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 에 기판 을 교대 로 공급 하 는 것 과 , 기판 이 공급 된 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 에서 소정 패턴 으로 기판 을 노광 하 는 것 과 , 노광 된 기판 을 제 1 노광 부 및 제 2 노광 부 로부터 교대 로 배출 하 는 것 을 포함 하 고 , 제 1 노광 부 에 있 어서 의 노광 처리 시간 t 1 및 제 2 노광 부 에 있 어서 의 노광 처리 시간 t 2 가 , t 1 , t 2 ＞ t 0 을 만족 시키 는 노광 방법 이 제공 된다 .