도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 제 1 로봇 ( 111 ) 은 다 관절 로봇 의 형태 로서 , 본체 ( 210 ) , 상하 이동 가능 한 주회 전축 ( 220 ) , 독립 회전 이 가능 한 복수 의 아 암 들 ( 230 a , 230 b ) 및 상기 복수 의 아 암 들 ( 230 a , 230 b ) 중 가장 끝 에 있 는 아암 ( 230 b ) 에 결합 되 며 서로 다른 높이 의 복수 의 슬롯 ( 250 ) 이 마련 된 핸드 ( 240 ) 를 구비 한다 . 복수 의 슬롯 ( 250 ) 각각 에 는 웨이퍼 가 로딩 된다 . 제 1 로봇 ( 111 ) 은 복수 의 링크 ( 260 a , 260 b , 260 c ) 각각 에 의하 여 독립 회전 이 가능 한 복수 의 아암 ( 230 a , 230 b ) 에 의하 여 직진 및 회전 이 가능 하 다 .