또한 , 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 와 롤러 ( 31 a ) 와 의 이격 거리 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 서서히 짧아지 고 , 최대 의 외부 직경 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 와 롤러 ( 31 a ) 사이 에서 가장 짧 아 지 며 , 거기 서부터 일정 하 게 된다 . 일정 해진 이격 거리 는 , 기판 ( W ) 의 두께 이하 의 기판 반송 가능 한 소정 거리 인 것 이 바람직 하 다 .