구체 적 으로 , 도 8 은 해상도 조절 방향 과 직교 하 는 방향 ( 제 2 방향 ) 으로 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 이 끊 어 져 있 고 , 참조 부호 a 로 표시 한 바 와 같이 끊어진 부분 의 이격 거리 가 2 F 1 ( 제 1 라인 패턴 의 피쳐 사이즈 의 2 배 ) 인 경우 이 다 . 물론 , 제 1 라인 패턴 의 피쳐 사이즈 ( F 1 ) 가 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 을 덮 는 캡 핑 막 ( 20 ) 의 두께 와 동일 할 경우 2 F 1 은 2 X 가 된다 . 도 8 및 도 10 을 참조 하 면 , 끊어진 부분 의 거리 ( 이격 거리 ) 가 2 F 1 이하일 경우 제 2 방향 으로 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 이 끊어진 부분 에 는 캡 핑 막 ( 20 ) 이 채워 지 기 때문 에 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 은 끊 어 지 게 되 고 , 제 2 라인 패턴 ( 22 a ) 으로 연결 되 지 않 는다 . 그러나 , 끊어진 제 1 라인 패턴 들 ( 14 a ) 사이 의 거리 가 2 F 1 이하일 경우 해상도 조절 방향 과 직교 하 는 방향 ( 제 2 방향 ) 으로 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 을 2 F 1 이하 로 끊 어야 하 기 때문 에 리소그래피 공정 으로 이 를 구현 하 기 는 것 은 매우 어렵 다 .