상기 ( 1 ) 에 의하 면 , 반송 실열 이 서로 인접 하 는 반 송실 사이 에 기능 실 을 갖 고 있 는 경우 라도 , 기판 처리 장치 가 반 송실 연설 방향 과 직교 하 는 장치 폭 방향 으로 커지 는 것 을 억제 할 수 있 어서 , 기판 처리 장치 의 대형 화 를 방지 할 수 있 다 . 또한 , 반송 실열 이 인접 하 는 반 송실 사이 에 기능 실 을 갖 고 있 지 않 은 경우 에 는 , 기판 처리 장치 를 장치 폭 방향 으로 소형 화 할 수 있 다 .