일반 적 으로 종래 , 상용 되 던 진공 패드 는 [ 도 1 ] 에 나타난 바 와 같이 , 하부 플레이트 ( 2 ) 와 , 하부 플레이트 ( 2 ) 의 상부 에 고정 볼트 ( 8 ) 에 의해서 고정 되 는 상부 플레이트 ( 3 ) 와 , 하부 플레이트 ( 2 ) 및 상부 플레이트 ( 3 ) 사이 에 배치 되 는 통상 의 실리콘 가스켓 ( 4 ) 을 구비 하 는데 , 하부 플레이트 ( 2 ) 의 하부 면 상 에 는 진공 피팅 ( 7 ) 이 장착 되 며 , 상부 플레이트 ( 3 ) 에 는 하부 플레이트 ( 2 ) 에 흡인 되 는 진공 으로 흡착 되 는 다수 의 진공 홀 ( 6 ) 이 형성 된 구성 으로 이루어져 널리 사용 되 고 있 다 .