구체 적 으로 용량 결합 플 라즈 마 처리 장치 는 기판 이 공정 처리 되 는 공정 공간 내부 에 상하 방향 으로 상호 대향 배치 된 전극 사이 에서 형성 하 는 자기장 에 의한 전자 의 가속 에 따라 발생 된 에너지 와 공정 가스 와 의 이온 화 에 의해 생성 된 플 라즈 마 를 이용 한다 . 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 는 안테나 에 흐르 는 전류 에서 형성 된 자기장 이 변화 할 때 전자 의 가속 화 에 따른 에너지 와 공정 가스 와 의 이온 화 에 의해 생성 된 플 라즈 마 를 이용 한다 . 용량 결합 플 라즈 마 처리 장치 와 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 를 상호 대비 하 면 , 유도 결합 플 라즈 마 처리 장치 는 용량 결합 플 라즈 마 처리 장치 대비 상대 적 으로 기판 의 공정 처리 속도 가 빠른 장점 이 있 다 .