본 발명 의 제 4 형태 는 , 제 3 형태 의 진공 처리 장치 로서 , 부속 모듈 이 , 오목 부를 기밀 ( airtight ) 하 게 막 는 제 3 위치 와 , 진공 반 송실 내 로 돌출 된 제 4 위치 와 의 사이 에서 , 승강 기구 에 의해 승강 이 자유 로운 덮개 체 와 , 기판 이 올려 놓여 지 는 재 치부 ( holding portion ) 를 구비 하 고 , 상기 재 치부 는 , 오 목부 와 덮개 체 에 의해 획정 ( define ) 되 어 이루어지 는 공간 에 있 어서 기판 이 재 치부 에 올려 놓여 지 는 제 5 위치 와 , 기판 반송 기구 와 재 치부 와 의 사이 에서 의 기판 이 수수 ( 授受 ) 될 수 있 는 제 6 위치 와 의 사이 에서 , 승강 기구 에 의해 승강 이 자유 로운 진공 처리 장치 를 제공 한다 .