도 9 는 본 실시 의 형태 의 이 그 니 션 검출 을 위한 제 3 의 구성 예 를 도시 하고 있 다 . 도 9 에서 상기 제 2 예의 도 7 과 동일 하 게 되 는 부분 에 관해서 는 동일 부호 를 붙이 고 설명 을 생략 한다 . 또한 , 기판 ( 61 ) 을 점퍼 선 ( 63 ) 이 보인 면 에서 본 경우 의 형태 는 , 도 8 과 마찬가지 가 된다 .