이러 한 문제 를 해결 하 기 위하 여 금속 계 소스 , 예컨대 TEMAT ( Tetrakis Methylethylamido Titanium ) , TDMAT ( Tetra DiMethylamine Titanium ) , TDEAT ( Tetrakis Diethylamido Titanium ) 및 TTIP ( Titanium Tetraisopropoxide ) 로 이루어진 Ti 전구체 소스 , TBTEMT , PEMATa ( Ta [ N ( C 2 H 5 ) CH 3 ] 5 ) 및 PET ( PolyEthyleneTerephthlate ) 로 이루어진 Ta 전구체 소스 , HfCl 4 , TiCl 4 및 AlCl 3 로 이루어진 소스 중 에서 선택 된 소스 를 이용 하 여 - OH 기 를 제거 하 는 기술 ( 국내 특허 등록 번호 : 10 - 0672766 ) 이 제시 되 었 다 .