또한 , 상기 플 루 오로 카본 가스 의 유량 은 10 ～ 50 ㎖/ min 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 O 2 가스 의 유량 은 1 ～ 30 ㎖/ min 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 하이드로 플 루 오로 카본 가스 와 상기 희가스 의 유량 비 ( 하이드로 플 루 오로 카본 가스 유량 / 희가스 유량 ) 는 0 . 019 ～ 0 . 173 인 것 이 바람직 하 다 .