도 3 d 를 참조 하 면 , 상기 제 1 도전 성 패턴 ( 110 a ) 에 인접 하 는 활성 영역 에 상기 활성 영역 ( 103 ) 과 다른 도전 형 을 갖 는 불순물 이온 들 을 주입 하 여 제 1 불순물 영역 ( 135 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 1 불순물 영역 ( 135 ) 은 임 플 런 트 된 인 원자 들 ( Ph atoms ) 을 포함 할 수 있 다 . 즉 , 상기 제 1 불순물 영역 ( 135 ) 은 상기 제 1 도전 성 패턴 ( 110 a ) 을 사이 에 두 고 상기 제 2 도전 성 패턴 ( 130 ) 의 반대편 에 위치 하 는 상기 활성 영역 ( 103 ) 에 형성 될 수 있 다 .