상기 공정 챔버 ( 30 ) 에 사용 되 는 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 이 상기 유량 속도 제어기 들 ( MFC 1 , MFC 2 ) 로 공급 된다 . 상기 유량 속도 제어기 들 ( MFC 1 , MFC 2 ) 은 상기 공정 챔버 ( 30 ) 에서 수행 되 는 해당 공정 을 위해 구성 된 레시피 ( recipe ) 를 토대 로 상기 공정 에서 필요 한 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 유량 과 속도 를 제어 한다 .