도 5 를 참조 하 면 , 플레이트 ( 360 ) 는 제 2 기체 분사 부 ( 310 ) 및 웨이퍼 ( 140 ) 사이 에 구비 된다 . 플레이트 ( 360 ) 내부 에 는 웨이퍼 ( 140 ) 의 가장자리 를 향해 경사지 게 뚫린 다수 의 홀 들 이 구비 되 어 있 어서 , 제 2 기체 분사 부 ( 310 ) 에서 분사 된 제 2 기체 가 플레이트 ( 360 ) 를 통과 하 면 웨이퍼 ( 140 ) 의 가장자리 쪽 으로 흐르 게 된다 . 따라서 웨이퍼 회전 유닛 ( 340 ) 에 의해 회전 하 는 웨이퍼 ( 140 ) 에 작용 하 는 원심력 과 같 은 방향 으로 상기 제 2 기체 가 작용 하 게 된다 . 결과 적 으로 , 보다 더 효과 적 으로 웨이퍼 ( 140 ) 상 에 잔류 하 는 액체 조성물 ( 130 ) 의 액적 들 을 제거 할 수 있 게 된다 .