이어서 , 제 2 희생 절 연막 ( 103 ) 이 상기 홀 내부 에 고립 되 도록 평탄 화 공정 을 실시 한다 . 이때 , 평탄 화 공정 은 에치 백 ( etch back ) 공정 또는 화학 적 기계 적 연마 ( Chemical Mechanical Polishing ) 공정 으로 실시 할 수 있 으나 , 바람직 하 게 는 에치 백 공정 으로 실시 한다 . 예컨대 , 에치 백 공정 은 플루오르 ( fluorine ) 가스 를 기본 으로 하 여 아르곤 ( Ar ) 과 산소 ( O 2 ) 가 혼합 된 혼합 가스 를 첨가 하 여 실시 한다 .