여기 서 , 층간 유전 막 ( 17 ) 은 ONO ( Oxide Nitride Oxide ) 막 으로 형성 함 이 바람직 하 고 , 제 어 게이트 막 ( 18 A , 18 B ) 은 폴리 실리콘 막 ( 18 A ) 과 텅스텐 실리사이드 막 ( WSix , 18 B ) 의 적층 막 으로 형성 함 이 바람직 하 며 , 하드 마스크 막 ( 19 ) 은 산화 막 으로 형성 함 이 바람직 하 다 .