성막 속도 의 저하 를 막 는 방법 으로서 특허 문헌 2 에 는 , 드라이클리닝 직후 에 F 2 가스 에 HF 가스 를 첨가 한 혼합 가스 를 성막 실 ( 101 ) 내 에 공급 하 여 성막 실 ( 101 ) 의 내벽 을 평탄 화 하 는 [ 즉 , 석영 부재 에 생긴 석영 크랙 을 제거 하 는 ] 방법 이 개시 되 어 있 다 . 한편 , 특허 문헌 2 에 는 , F 2 가스 만 , 또는 HF 가스 만 으로 는 석영 크랙 을 거의 제거 하 지 못하 고 , 성막 속도 의 저하 는 피할 수 없 다는 취지 가 명시 되 어 있 다 .