도 4 b 를 참고 하 면 , 증착 공정 동안 , 기판 지지대 ( 360 ) 는 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 과 접촉 한다 . 도 3 을 참고 로 하 여 앞서 설명 한 바 와 같이 , 반응 실 내벽 ( 361 a ) 과 외벽 ( 361 b ) 사이 의 불활성 기체 통로 ( 362 ) 를 통해 흐르 고 , 이 불활성 기체 는 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 과 기체 차단 클램프 ( 369 ) 사이 의 통로 를 통해 흐른 후 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 지지대 ( 360 ) 사이 의 공간 을 통해 기체 차단 클램프 ( 369 ) 아래 로 흐르 게 된다 . 기체 흐름 버퍼 채널 ( 363 ) 의 형태 로 인해 , 유입 된 불활성 기체 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 아래 로 흐를 수 있 도록 유도 될 수 있 는데 , 필요 한 경우 , 불활성 기체 통로 ( 362 ) 로부터 퍼져 흐른다 . 유입 된 불활성 기체 의 유량 에 따른 유압 은 기체 차단 클램프 ( 369 ) 를 기판 지지대 ( 360 ) 와 기판 ( 370 ) 의 자장 자리 로부터 들어올리 게 된다 . 따라서 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 의 내부 플랜지 ( 395 ) 는 기판 ( 370 ) 의 가장자리 로부터 이격 되 고 , 기판 ( 370 ) 의 가장자리 를 노출 하 는 틈 을 정의 하 게 된다 . 이 처럼 불활성 기체 에 의하 여 기체 차단 클램프 ( 369 ) 가 기판 지지대 ( 360 ) 와 기판 ( 370 ) 으로부터 이격 되 면 , 불활성 기체 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 지지대 ( 360 ) 사이 를 지나 고 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 의 가장자리 를 통해 빠져나가 게 된다 . 이때 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 의 가장자리 를 통해 흐르 는 불활성 기체 의 유량 은 약 10 sccm 내지 약 3000 sccm 인 것 이 바람직 하 다 .