상기 패턴 보호막 을 TMAH ( 2 . 35 %), 이소프로필알코올 ( IPA ) , 프로필렌 글리콜 모노 메틸 에테르 아세테이트 ( propylene glycol monomethyl ether acetate , PGMEA ) , 및 아세톤 각각 에 1 분 간 넣 은 후 , KST 4000 - DLX ( KMAC 사 제품 ) 장비 를 이용 하 여 두께 변화 를 측정 하 였 고 , 그 평가 결과 를 하 기 표 3 에 정리 하 였 다 .