본 발명 의 타 겟 ( 300 ) 의 다른 양태 에 있 어서 , 타 겟 ( 300 ) 의 각 타 겟 구조물 은 공통 대칭 중심 ( 110 ) 에 대한 180 도 회전 에 대하 여 각각 불 변체 로 되 도록 설계 된다 . 예 를 들 면 , 도 3 에 도시 된 것 처럼 , 타 겟 구조물 을 공통 대칭 중심 ( 110 ) 에 대해 180 도 만큼 회전 시켰 을 때 , 구조물 의 상면 도 이미지 가 회전 전 의 구조물 의 상면 도 이미지 와 동일 하 게 유지 된다 . 결국 , 이 기술 에 숙련 된 사람 이 라면 , 복수 의 개별 구조물 로 구성 된 전체 타 겟 이 , 적절히 정렬 되 었 을 때 , 공통 대칭 중심 ( 110 ) 에 대한 180 도 회전 에 대하 여 불변 체임 을 이해 할 것 이 다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 도 3 에 도시 된 것 처럼 , 각 구조물 의 2 개 의 패턴 요소 는 서로 대각선 방향 으로 대향 하 는 위치 에 배치 될 수 있 고 , 그 결과 오버레이 타 겟 전체 적 으로 180 도 회전 대칭 을 발생 한다 .