상기 스퍼터링 법 은 증착 이후 별도 의 식각 공정 을 통해 요철 구조 를 형성 하 기 때문 에 상기 CVD 법 에 비하 여 요철 구조 형성 이 용이 하 기 는 하 지만 , 산 ( acid ) 과 같 은 식각 액 을 이용 할 경우 여전히 요철 구조 의 형성 및 크기 조절 이 쉽 지 않 고 , 그 에 더 하 여 산 과 같 은 식각 액 으로 인한 환경 문제 가 유발 될 수 있 고 , 산 을 세정 하 는 공정 이 추가 로 요구 되 는 등 처리 비용 이 증가 되 는 단점 이 있 다 .