또한 , 공정 진행 중 에 제 1 전극 ( 131 ) 의 온도 와 제 2 전극 ( 132 ) 의 온도 가 상기 한 범위 내 에 있 지 아니하 여 제 1 전극 ( 131 ) 과 제 2 전극 ( 132 ) 간 에 열팽창 의 차이 가 크 게 발생 하 는 경우 제 1 가스 와 제 2 가스 가 인접 하 여 분사 됨 으로써 제 1 가스 와 제 2 가스 간 의 불 필요 한 반응 이 진행 되 고 이 로 인해 기판 에 증착 되 는 박막 의 균 일도 를 유지 할 수 없 는 문제 가 있 다 .