리프트 핀 이 통과 하 여 이동 하 는 것 을 용이 하 게 하 도록 리프트 핀 이 기판 ( S ) 의 배면 에 접촉 하 게 할 수 있 도록 하 기 위해 , 디스크 ( 202 ) 에 개구 ( 910 ) 가 제공 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 디스크 ( 202 ) 의 개구 ( 910 ) 는 리프트 핀 가이드 ( 902 ) 의 상부 로부터 연장 하 는 상승 된 립 ( 912 ) 을 수용 할 정도 로 충분히 클 수 있 다 . 상승 된 립 ( 912 ) 은 , 예컨대 조립 중 에 또는 디스크 ( 202 ) 가 열 제 어 판 ( 204 ) 에 정전기 적 으로 ( 또는 다른 방식 으로 ) 클램 핑 되 지 않 을 때 , 디스크 ( 202 ) 의 원 하 지 않 는 움직임 을 방지 하 고 디스크 ( 202 ) 의 정렬 을 용이 하 게 하 도록 위치 결정 및 유지 특징 부 를 제공 하 기 위해 개구 ( 910 ) 속 으로 연장 할 수 있 다 .