변환기 ( 54 ) 는 센서 ( 55 ) 가 검출 한 검출 신호 를 전송 신호 로 변환 하 는 회로 를 구 비하 고 있 다 . 변환기 ( 54 ) 는 회로 전원 으로서 의 전지 를 구비 하 고 있 다 . 이 전지 로서 는 일차 전지 또는 이 차 전지 를 사용 할 수 있 다 . 변환기 ( 54 ) 는 성막 관련 물리량 을 검출 하 는 센서 ( 55 ) 와 일체 화 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 센서 ( 55 ) 는 온도 센서 로서 의 열전대 ( thermocouple ) 이 고 , 성막 관련 물리량 은 기재 ( 21 a ) 의 뒷면 의 온도 이 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 센서 ( 55 ) 가 온 도검 출부 ( 56 ) 와 물리량 전달 매체 ( 60 ) 로 구성 되 어 있 다 . 온 도검 출부 ( 56 ) 는 2 편 ( 片 ) 의 금속 으로 이루어지 는 검출 편 ( 미 도시 ) 이 접합 되 어 구성 되 어 있 다 . 이 접합부 분 ( 온 도검 출부 ( 56 ) ) 이 물리량 전달 매체 ( 60 ) 의 선 단부 에 설치 되 고 , 물리량 전달 매체 ( 60 ) 의 후 단부 는 변환기 ( 54 ) 에 부착 되 어 있 다 . 물리량 전달 매체 ( 60 ) 는 상기 검출 편 과 , 이 검출 편 에 접속 된 전선 ( 미 도시 ) 으로 구성 된다 . 온 도검 출부 ( 56 ) 및 물리량 전달 매체 ( 60 ) 는 기재 홀더 ( 6 a ) 에 형성 된 관 통공 ( 6 b ) 에 삽입 되 어 있 다 . 온 도검 출부 ( 56 ) 는 관 통공 ( 6 b ) 에 삽입 됨 으로써 기재 ( 21 a ) 의 뒷면 에 접촉 하 도록 설치 되 어 있 다 . 관 통공 ( 6 b ) 은 기재 홀더 ( 6 a ) 에 형성 된 냉각 파이프 ( 7 j ) 를 피하 여 형성 되 어 있 다 . 또한 , 관 통공 ( 6 b ) 이 기재 홀더 ( 6 a ) 에 형성 된 냉각 파이프 ( 7 j ) 와 접촉 하 는 경우 에 는 , 실 ( seal ) 부재 ( 미 도시 ) 를 설치 함 으로써 냉각 유체 의 누설 을 방지 한다 .