SiO 2 ( 제작 예 1 , 2 ) 또는 Al 2 O 3 ( 제작 예 3 ) 절연 층 위 에 다음 조건 에서 스퍼터링 방식 으로 3 ~ 10 ㎚ 두께 의 티타늄 막 을 150 ℃ 에서 증착 하 였 다 ; dc power 20 W , 작업 압력 0 . 4 Pa , 증착 시간 3 분 , 건과 건 사이 간격 10 cm , 플 라즈 마 와 기판 사이 간격 10 cm .