본 예 에서 는 , 이렇게 이상 약액 처리 가 제 1 약액 을 사용 한 약액 처리 중 최후 의 처리 에 해당 하 면서 또 한 이상 발생 시 에 있 어서 미리 결정 된 양 이상 의 제 1 약액 이 이미 구제 웨이퍼 에 부여 되 어 있 는 경우 에 는 , " 보완 처리 프로세스 는 불 필요 한 것 으로 판정 한다 ( S 63 의 "" 아니 오 ""). 한편 ", 이상 약액 처리 가 제 1 약액 을 사용 한 약액 처리 중 최후 의 처리 에 해당 하 지 않 을 경우 나 , 이상 발생 시 에 있 어서 미리 결정 된 양 보다 적 은 양 의 제 1 약액 밖에 구제 웨이퍼 에 부여 되 어 있 지 않 은 경우 에 는 , " 보완 처리 프로세스 는 필요 한 것 으로 판정 한다 ( S 63 의 "" 예 "")."