상기 실리콘 질화 막 선택 적 식각 액 중 , 상기 화학식 1 로 표시 되 는 규소 계 화합물 의 함량 이 0 . 01 중량 % 미만 일 경우 , 선택 비 향상 효과 가 미미 하 게 나타날 수 있 고 , 실리콘 산화 막 이 과 식각 되 어 산화 막 층 의 두께 가 얇 아 지 거나 형태 변형 을 초래 하 게 되 어 후 공정 및 최종 제품 의 품질 을 저하 시킬 수 있 으며 , 산화 막 층 에 걸리 는 용량 ( capacity ) 이 증가 하 고 항복 전압 ( breakdown voltage ) 이 낮 아 져 한계 치 에 도달 하 는 문제점 이 발생 할 수 있 다 .