처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 이 와 같이 하 여 레시피 취득 부 ( 26 ) 가 취득 한 보완 레시피 정보 에 따라서 , 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에서 구제 웨이퍼 에 대한 보완 처리 프로세스 를 실행 한다 ( S 55 ) . 이 에 의해 , 구제 처리 프로세스 종료 후 에 생긴 구제 웨이퍼 의 의도 하 지 않 은 변질 도 , 보완 처리 프로세스 에서 제거 할 수 있 다 .