산 출부 ( 14 ) 는 , CPU ( Central 　 Processing 　 Unit ) 와 같 은 마이크로프로세서 를 구비 한 연산 처리 장치 와 , ROM ( Read 　 Only 　 Memory ) 또는 RAM ( Random 　 Access 　 Memory ) 같 은 메모리 를 구비 한 기억 장치 와 , 입출력 인터페이스 장치 를 구비 한 컴퓨터 이 다 . 산 출부 ( 14 ) 의 연산 처리 장치 는 , 기억 장치 에 기억 된 컴퓨터 프로그램 에 따라 연산 처리 를 실시 하 고 , 표면 ( 201 ) 의 높이 와 이면 ( 205 ) 의 높이 의 차분 으로부터 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 를 산출 하 는 처리 를 실행 하 고 , 두께 ( 210 ) 의 산출 결과 를 , 산 출부 ( 14 ) 와 정보 통신 가능 하 게 전기 적 으로 접속 된 제 어부 ( 70 ) 에 출력 한다 .