또한 상기 제 2 처 리수 공급 부 는 , 물 이 수용 된 제 2 수조 와 , 상기 제 2 수조 에 설치 되 어 물 을 냉각 하 는 냉각기 와 , 상기 세정 챔버 내부 의 제 2 공 간부 및 제 3 공 간부 중 적어도 어느 하나 의 공간 부 상단 에 배치 되 어 상기 제 2 수조 에서 공급 되 는 제 2 처 리수 를 분사 하 는 다수 의 분사 노즐 로 이루어지 는 것 을 특징 으로 제공 할 수 있 다 .