도전 층 은 스퍼터링 법 을 비롯 한 PVD 법 이나 , 플라 즈 마 CVD 법 등 의 CVD 법 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 . 또한 , 도전 층 의 재료 로서 는 , Al , Cr , Cu , Ta , Ti , Mo , W 로부터 선택 된 원소 나 , 상술 한 원소 를 성분 으로 하 는 합금 등 을 사용 할 수 있 다 . Mn , Mg , Zr , Be , Nd , Sc 중 어느 하나 또는 이 들 을 복수 조합 한 재료 를 사용 할 수 있 다 .