반사 방지 조성물 은 스핀 - 코팅 된 다음 , 약 100 ℃ 내지 약 250 ℃, 바람직 하 게 는 약 160 ℃ 내지 약 210 ℃ 의 온도 에서 가교 되 어 약 20 nm 내지 약 500 nm , 바람직 하 게 는 약 30 nm 내지 약 300 nm 의 두께 를 가지 는 경화 된 ( cured ) 필름 을 형성 할 수 있 다 . 형성 된 필름 은 약 365 nm 이하 ( 예 를 들 어 , 157 nm 193 nm , 248 nm , 365 nm ) 의 파장 에서 적어도 약 0 . 10 , 바람직 하 게 는 약 0 . 10 내지 약 0 . 60 의 k 값 을 가진다 . 형성 된 필름 은 약 365 nm 이하 ( 예 를 들 어 , 157 nm 193 nm , 248 nm , 365 nm ) 의 파장 에서 적어도 약 1 . 2 , 바람직 하 게 는 약 1 . 5 내지 약 2 . 0 의 n 값 을 가진다 .