본 발명 은 상기 와 같 은 종래 기술 의 문제 를 해결 하 기 위하 여 안출 된 것 으로서 , 실리콘 산화 막 등 의 실리콘 기판 의 모빌리티 를 개선 하 기 위해 포함 되 는 실리콘 저 매 늄 막 및 실리콘 산화 막 으로 이루어진 기판 에 있 어서 , 실리콘 산화 막 의 식각 을 방지 하 면서 도 실리콘 저 매 늄 막 에 대한 우수 한 식각 성능 을 가지 는 식각 액 조성물 을 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .