도 16 a 및 도 16 b 를 참조 하 면 , 일부 실시 예 에서 , 검출 결과 를 나타내 는 다이어그램 을 얻 을 수 있 다 . 다이어그램 의 가로 좌표 는 화학 액 이 관통 비아 ( 250 a ) 를 통과 하 는 시간 일 수 있 고 , 세로 좌표 는 검출 장치 의 커패시턴스 에 따라 계산 된 유전율 일 수 있 다 . 15 a 단계 에서 , 화학 액 의 유전 율 이 도 16 a 에 예시 된 바 와 같이 상한 과 하한 사이 에 있 을 때 . 화학 액 ( 300 ) 은 정상 인 것 으로 판정 된다 . 일부 실시 예 에서 , 화학 액 ( 300 ) 의 유전 율 이 도 16 b 에 예시 된 바 와 같이 상한 보다 크 거나 하한 보다 작 은 경우 . 화학 액 은 비 정상 인 것 으로 판정 된다 .