상기 실시 형태 에서 는 , 복수 의 존 ( ZA , ZB ) 의 각각 에 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 가 중복 하 여 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 지 않 도록 , 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 가 배치 된다 . 복수 의 액 공급 부 ( 6 A , 6 B ) 는 복수 의 존 ( ZA , ZB ) 중 에서 선택 되 는 , 서로 상이 한 1 개 의 존 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 한다 . 동일 한 존 ( 예 를 들 면 제 1 존 ( ZA ) ) 에 는 1 개 의 액 공급 부 ( 예 를 들 면 제 1 액 공급 부 ( 6 A ) ) 만 이 처리 액 을 토출 한다 .