제 1 용제 린스 처리 ( S 103 ) 가 행하 여진 후 는 , 제 1 소수 화제 ( 증기 ) 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 1 소수 화 처리 ( 소수 화 공정 , 증기 공급 공정 , 제 1 소수 화 공정 , 제 1 증기 공급 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 204 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 제 1 소수 화제 공급 유닛 ( 216 ) 을 제어 함 으로써 , 차 단판 ( 3 ) 을 처리 위치 에 위치 시킨 상태 에서 , 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 제 1 소수 화제 의 증기 를 토출 시킨다 . 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 용제 는 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 바깥쪽 으로 흐르 는 제 1 소수 화제 의 증기 에 용해 하 면서 기판 ( W ) 으로부터 제거 되 어 간다 . 또한 , 제 1 소수 화제 의 증기 가 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 바깥쪽 으로 흐름 으로써 , 제 1 소수 화제 의 증기 가 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 공급 되 어 , 제 1 소수 화제 의 증기 가 패턴 ( P ) 의 내부 로 들어간다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 의 상면 이 소수 화 된다 ( 제 1 소수 화 처리 ) . 그리고 , 제 1 소수 화 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 제 1 소수 화제 공급 유닛 ( 216 ) 을 제어 하 여 , 제 1 소수 화제 의 증기 의 토출 을 정지 시킨다 .