또한 , 패드 ( PAD ) 는 제 1 내지 제 4 라인 패턴 ( P 1 , P 2 , P 3 , P 4 ) 에 의해 둘러싸인 내부 영역 에 제 1 , 제 2 라인 패턴 ( P 1 , P 2 ) 과 나란 하 게 배치 된 내부 라인 패턴 ( P 5 ) 을 포함 할 수 있 다 . 내부 라인 패턴 ( P 5 ) 은 1 F 의 폭 을 가질 수 있 다 . 제 1 라인 패턴 ( P 1 ) 과 내부 라인 패턴 ( P 5 ) 간 간격 , 제 2 라인 패턴 ( P 2 ) 과 내부 라인 패턴 ( P 5 ) 간 간격 은 각각 1 F 의 크기 를 가질 수 있 다 .