처리 실 ( 201 ) ( 상부 용기 ( 202 a ) ) 의 측면 측 에 는 , 처리 실 ( 201 ) 의 분위기 를 배기 하 는 제 1 배기 부 로서 의 제 1 배기구 ( 221 ) 가 마련 되 어 있 다 . 제 1 배기구 ( 221 ) 에 는 배기관 ( 224 a ) 이 접속 되 어 있 고 , 배기관 ( 224 a ) 에 는 , 처리 실 ( 201 ) 내 를 소정 의 압력 으로 제어 하 는 APC 등 의 압력 조정기 ( 227 ) 와 진공 펌프 ( 223 ) 가 차례 로 직렬 로 접속 되 어 있 다 . 주로 , 제 1 배기구 ( 221 ) , 배기관 ( 224 a ) , 압력 조정기 ( 227 ) 에 의해 제 1 배 기계 ( 배기 라인 ) 가 구성 된다 . 또한 , 진공 펌프 ( 223 ) 도 제 1 배 기계 의 구성 으로 하 여도 된다 . 또한 , 이동 탑 재실 ( 203 ) 의 측면 측 에 는 , 이동 탑 재실 ( 203 ) 의 분위기 를 배기 하 는 제 2 배기구 ( 1481 ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 배기구 ( 1481 ) 에 는 배기관 ( 148 ) 이 마련 되 어 있 다 . 배기관 ( 148 ) 에 는 , 압력 조정기 ( 228 ) 가 마련 되 어 , 이동 탑 재실 ( 203 ) 내 의 압력 을 소정 의 압력 으로 배기 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 또한 , 이동 탑 재실 ( 203 ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 의 분위기 를 배기 할 수 도 있 다 . 또한 , 압력 조정기 ( 227 ) 는 , 압력 데이터 나 , 밸브 개방 도 의 데이터 를 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 송수신 가능 하 게 구성 된다 . 또한 , 진공 펌프 ( 223 ) 는 , 펌프 의 ON / OFF 데이터 나 부하 데이터 등 을 제 3 제 어부 ( 280 ) 에 송신 가능 하 게 구성 된다 .