미국 특허 출원 공개 US 2003 / 0189024 에 는 실리콘 에 개구 를 교대 로 식각 하 고 , 균일 한 ( conformal ) ( 부동태화 ) 탄화 불소 중합체 를 측벽 들 상 에 증착 시킴 으로써 다양 한 형상 의 개구 들 을 제공 하 는 방법 이 개시 되 어 있 다 . 공지 된 등방성 식각 제 로서 , HBr 과 헬륨 - 산소 , 그리고 선택 적 으로 SF 6 가 언급 되 었 다 .