반사 방지 막 용 도포 처리 유닛 ( ＢＡＲＣ ) 은 복수 ( 2 대 ) 이 며 , 하단 ( 下段 ) 에 거의 동일 한 높이 위치 가 되 도록 나란히 배치 되 어 있 다 . 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ) 도 복수 이 며 , 상단 ( 上段 ) 에 거의 동일 한 높이 위치 가 되 도록 나란히 배치 되 어 있 다 . 각 반사 방지 막 용 도포 처리 유닛 ( ＢＡＲＣ ) 사이 에 는 격벽 또는 칸막이벽 등 은 없 다 . 즉 , 모든 반사 방지 막 용 도포 처리 유닛 ( ＢＡＲＣ ) 을 공통 ( 共通 ) 챔버 에 수용 할 뿐 이 므로 , 각 ( 各 ) 반사 방지 막 용 도포 처리 유닛 ( ＢＡＲＣ ) 의 주위 분위기 는 서로 차단 되 어 있 지 않 다 ( 연통 해 있 다 ) . 마찬가지 로 , 각 ( 各 ) 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ) 의 주위 분위기 도 서로 차단 되 어 있 지 않 다 .