또한 , 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 가 상기 처리 유닛 , 상기 처 리조 및 상기 반송 장치 를 수용 하 는 공간 을 구획 하 는 격벽 과 , 상기 공간 의 외부 에 배치 되 어 상기 공간 내 에 기판 을 전달 하 는 전달 장치 를 더 구비 하 고 , 상기 전달 장치 는 상기 처리 유닛 과 의 사이 에서 기판 을 전달 할 수 있 도록 해도 좋 다 .