( C ) 성분 의 광중합 개시제 의 사용량 은 , ( A ) 성분 과 ( B ) 성분 의 합계 100 질 량부 를 기준 으로 하 여 0 . 1 ∼ 40 질 량부 인 것 이 좋 고 , 바람직 하 게 는 1 ∼ 25 질 량부 인 것 이 좋 다 . ( C ) 성분 의 배합 비율 이 0 . 1 질 량부 미만 인 경우 에 는 , 광중합 의 속도 가 느려 지 고 , 감도 가 저하 되 며 , 한편 , 40 질량 부를 초과 하 는 경우 에 는 , 감도 가 지나치 게 강해 지 고 , 패턴 선폭 이 패턴 마스크 에 대해서 굵 은 상태 가 되 어 , 마스크 에 대해서 충실 한 선폭 을 재현 할 수 없 거나 , 또는 , 패턴 에지 가 깔쭉깔쭉 해져 샤프 하 게 되 지 않 는 등 의 문제 가 발생 될 우려 가 있 다 .