또 , 예 를 들 면 , 불소 - 과산화수소 혼합액 에서 는 , 예 를 들 면 , 에칭 속도 가 느리 고 , 하 지금 속 ( underlying metal ) 이나 기판 상 의 금속 의 부식 이 크 다는 등 의 문제 를 가지 며 , 인산 - 과산화수소 혼합액 에서 는 , 예 를 들 면 , 에칭 잔사 가 발생 하 고 , 하 지금 속 이나 기판 상 의 금속 의 부식 이 크 다는 등 의 문제 를 가지 고 있 다 .