따라서 , 이러 한 원리 를 이용 하 는 본 예 에 따른 터치 센서 모듈 ( 100 ) 은 도 1 및 도 2 에 도시 한 것 처럼 , 상부 막 ( 11 ) , 상부 막 ( 11 ) 하부 에 위치 하 는 간격 재 ( 13 ) , 간격 재 ( 13 ) 하부 에 위치 하 는 적어도 하나 의 MEMS ( Micro - Electro Mechanical Systems ) 코 일부 ( 15 ) , 및 적어도 하나 의 MEMS 코 일부 ( 15 ) 하부 에 위치 하 는 회로 기판 ( 17 ) 을 구비 한다 .