또한 , LPCVD 증착 은 기상 반응 을 통해 SiO 2 를 만들 고 이 를 기판 에 붙이 는 방식 인데 , 저압 인 경우 깁스 자유 에너지 ( Gibbs ' free energy ) 가 낮 은 방향 으로 증착 이 유도 된다 . 즉 , 모트 가 발생 된 부분 은 메우 고 모난 곳 은 둥글 게 만들 고 하 는 현상 이 분자 스스로 의 이동 ( migration ) 을 통해 이루어지 게 된다 .