상술 한 바 와 같이 , 도 11 에 는 , 이상 발생 시 에 있 어서 , 제 1 기판 약액 처리 에서 사용 되 어야 할 제 1 약액 의 양 의 미리 결정 된 비율 ( 예 를 들 어 90 ％) 보다 도 적 은 양 의 제 1 약액 밖에 구제 웨이퍼 에 부여 되 어 있 지 않 은 경우 가 도시 되 어 있 다 . 한편 , 도 12 에 는 , 이상 발생 시 에 있 어서 , 제 1 기판 약액 처리 에서 사용 되 어야 할 제 1 약액 의 양 의 미리 결정 된 비율 이상 의 양 의 제 1 약액 이 , 구제 웨이퍼 에 이미 부여 되 어 있 는 경우 가 도시 되 어 있 다 .