한편 , 상기 커버 ( 120 ) 에 는 다수 의 제 2 가스 공급 배관 ( 140 ) 이 연결 되 는 경우 , 캐리어 가스 공급 유량 에 따른 소스 가스 의 공급 에 문제점 이 발생 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 공정 챔버 와 제 2 공정 챔버 에 각각 별도 의 제 2 가스 공급 라인 들 ( 140 ) 이 연결 되 어 있 는 경우 , 제 1 공정 챔버 에 소스 가스 를 공급 하 는 도중 제 2 공정 챔버 에 소스 가스 를 추가 적 으로 공급 하 기 위하 여 캐리어 가스 의 공급 유량 을 증가 시키 는 경우 제 1 공정 챔버 에 공급 되 는 소스 가스 의 유량 변화 또는 흐름 특성 의 변화 등 과 같 은 문제점 이 발생 될 수 있 다 . 이러 한 문제점 들 은 상기 공정 챔버 들 내 에서 이루어지 는 기판 처리 공정 의 불 안정 을 야기 할 수 있 다 .