( 해결 수단 ) 복수 의 기판 ( W ) 을 다단 으로 수용 하 는 용기 ( 2 ) 내 에 연통 하 는 개구부 ( 15 ) 를 개방 가능 하 게 폐색 함 과 더불 어 , 개구부 를 폐색 하 는 폐색 위치 와 개구부 를 개방 하 는 개방 위치 P 2 사이 에서 승강 이동 하 는 도어 부 ( 14 ) 와 , 도어 부 에 일체 적 으로 설치 되 고 , 기판 의 상태 를 검출 하 는 매핑 센서 ( 20 ) 를 구비 하 고 , 매핑 센서 는 , 기판 을 향해 촬상용 광 ( La ) 을 조사 하 는 발광 부 ( 50 ) , 및 발광 부 에 의해서 조명 된 조명 영역 내 를 촬상하여 촬상 화상 을 취득 하 는 촬상부 ( 52 ) 를 갖 고 , 발광 부 및 촬상부 중 적어도 한쪽 은 , 용기 ( 2 ) 의 제 1 내 벽면 ( 31 ) 에서 반사 된 반사광 인 내 벽면 반사광 ( Lc ) 의 광축 ( Oc ) 의 중심부 가 촬상부로 직접 향하 지 않 도록 , 조정 되 어 있 는 로드 포트 ( 1 ) 를 제공 한다 .