카보닐 플 루오 라이드 및 아르곤 만 을 함유 하 는 혼합물 에서 , 아르곤 의 함량 은 바람직 하 게 10 vol % 이상 이 다 . 바람직 하 게 , 아르곤 의 함량 은 80 vol % 이하 이 다 . 카보닐 플 루오 라이드 의 함량 은 바람직 하 게 20 vol % 이상 이 고 ; 바람직 하 게 90 vol % 이하 이 다 . 일 구 현예 에서 , 혼합물 은 카보닐 플 루오 라이드 및 아르곤 으로 구성 된다 .