이어서 , 산소 이온 주입 공정 을 진행 한다 . 이때 , 산소 이온 주입 공정 은 틸 트 를 주 어 진행 하 며 , 이 로써 제 2 캡 핑 막 ( 44 B ) 의 일부 가 산화 되 어 산화 변형 막 ( 44 C ) 이 형성 된다 . 즉 , 제 2 캡 핑 막 ( 44 B ) 이 실리콘 질화 막인 경우 , 산소 이온 주입 공정 에 의해 실리콘 산화 질화 막 으로 변형 된다 .