이 와 같 은 공정 중 에서 박막 증착 공정 은 웨이퍼 상 에 박막 을 형성 하 는 공정 으로 , 박막 증착 방법 에 따라 크 게 물리 기상 증착 방법 과 화학 기상 증착 방법 으로 나누 어 지 며 , 최근 에 는 기체 상태 의 화합물 을 분해 한 후 화학 적 반응 에 의해 웨이퍼 상 에 박막 을 형성 하 는 화학 기상 증착 방법 이 널리 사용 되 고 있 다 .