배출 유닛 ( 140 ) 은 공정 챔버 ( 110 ) 에 결합 될 수 있 다 . 일 예 로 , 배출 유닛 ( 140 ) 은 공정 챔버 ( 110 ) 의 타 측벽 에 결합 될 수 있 다 . 배출 유닛 ( 140 ) 은 인 젝 터 유닛 ( 130 ) 과 대향 되게 배치 될 수 있 다 . 배출 유닛 ( 140 ) 은 공정 이 완료 되 면 , 공정 챔버 ( 110 ) 내부 의 공정 가스 들 을 공정 챔버 ( 110 ) 의 외부 로 배출 할 수 있 다 . 도시 하 지 않 았 으나 , 배출 유닛 ( 140 ) 은 공정 가스 들 을 원활 하 게 배출 하 기 위한 배출 포트 및 / 또는 펌프 등 을 포함 할 수 있 다 .