이 로써 , ONO 막 대 폴리 실리콘 막 의 선택 비 를 1 : 1 내지 3 : 1 정도 로 확보 하 므로 ONO 유전체 막 ( 110 ) 과 폴리 실리콘 막 의 제 1 도 전막 ( 104 ) 이 동시 에 식각 되 며 , 특히 도 3 d 와 같이 ONO 유전체 막 ( 110 ) 의 손실 ( loss ) 이 수평 , 수직 방향 으로 발생 되 어 제 1 도 전막 ( 104 ) 은 폴리 실리콘 막 의 손실 이 적 으면서 가장 자리 가 경사지 고 , 제 1 도 전막 ( 104 ) 의 측벽 에 는 두께 가 얇 고 폭 이 좁 은 유전체 막 ( 110 ) 이 잔류 된다 .