실시 예 1 에서 는 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 IF 블록 ( 6 ) 을 구비 하 고 있 었 다 . 이 점 은 , 실시 예 3 에서 는 , 도 17 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , IF 블록 ( 6 ) 을 구비 하 지 않 는다 ( 노광 처리 를 행하 지 않 는다 ) . 또한 , 본 실시 예 에 있 어서 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 이 본 발명 의 제 1 처리 장치 에 상당 한다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 , 본 발명 의 제 2 처리 장치 에 상당 한다 .