이 때 , 도 9 는 일례 이 며 , 레이 저광 의 광로 에 배치 하 는 각 광학계 나 전기 광학 소자 의 위치 관계 는 특별히 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 레이저 발진 장치 ( 903 ) 를 증착 용 기판 ( 901 ) 의 위쪽 에 배치 하 고 , 레이저 발진 장치 ( 903 ) 로부터 출사 하 는 레이저 광이 증착 용 기판 ( 901 ) 의 주 평면 에 수직 인 방향 이 되 도록 배치 하 면 , 반사 미러 를 사용 하 지 않 아도 좋 다 . 또한 각 광학계 로 는 , 집광 렌즈 , 빔 익스 펜 서 , 호모지나이저 , 또는 편광자 등 을 사용 하 면 되 고 , 이것 들 을 조합 해도 좋 다 . 또한 각 광학계 로서 슬릿 을 조합 해도 좋 다 .