도 5 는 도파관 전이 ( 500 ) 구성 의 예시 의 개략 적 단면도 와 상면 도 이 다 . 특히 , 도 5 의 윗부분 은 측 단면도 를 포함 하 고 도 5 의 아랫부분 은 도파관 전이 ( 500 ) 의 상면 도 이 다 . 도시 된 바 와 같이 , 전이 ( 500 ) 는 질화규소 부분 ( 502 ) 과 실리콘 부분 ( 504 ) 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 측 단면도 에 도시 된 바 와 같이 질화규소 부분 ( 502 ) 은 실리콘 부분 ( 504 ) 위 에 위치 할 수 있 다 . 도파관 전이 ( 500 ) 는 그 안 에 질화규소 부분 ( 502 ) 과 실리콘 부분 ( 504 ) 이 위치 한 BOX ( buried oxide ) 부분 ( 506 ) 을 포함 할 수 있 다 .