단계 S 08 에서 는 , 개폐 제 어부 ( 111 ) 가 , 승강 구동 부 ( 51 ) 에 의해 둘레 벽 ( 31 ) 을 하강 시켜 둘레 벽 ( 31 ) 과 천장 판 ( 32 ) 사이 를 개방 한다 . 보다 구체 적 으로 , 개폐 제 어부 ( 111 ) 는 , 천 장판 ( 32 ) 이 개폐 용 높이 에 달할 때 까지 둘레 벽 ( 31 ) 을 승강 구동 부 ( 51 ) 에 의해 하강 시키 고 , 더욱 둘레 벽 ( 31 ) 의 하강 을 계속 시켜 둘레 벽 ( 31 ) 과 천장 판 ( 32 ) 사이 를 개방 한다 . 이 에 의해 , 처리 공간 ( 34 ) 내 로부터 의 웨이퍼 ( W ) 의 반출 이 가능 해진다 . 이상 으로 열처리 유닛 ( U 2 ) 에 의한 기판 열처리 순서 가 완료 한다 .