도 1 은 , 본 발명 의 제 1 의 실시 형태 와 관련 되 는 리 플로우 장치 를 나타내 는 단면도 이 다 . 이 리플 로우 장치 ( 100 ) 은 프레임 체 ( 1 ) 을 갖 고 , 프레임 체 ( 1 ) 내 에 는 유리 기판 ( G ) 가 수평 에 반송 되 는 반송 로 ( 2 ) 가 형성 되 고 있 다 . 프레임 체 ( 1 ) 의 한쪽 의 측벽 에 는 기판 반 입구 ( 1 a ) 가 형성 되 고 그 측벽 과 대향 하 는 측벽 에 는 기판 반 출구 ( 1 b ) 가 형성 되 고 , 기판 반 입구 ( 1 a ) 로부터 반입 된 유리 기판 ( G ) 가 반송로 ( 2 ) 를 수평 에 반송 되 어 기판 반 출구 ( 1 b ) 로부터 반출 되 도록 되 어 있 다 . 유리 기판 ( G ) 는 복수 의 회전체 ( 3 ) 과 회전체 ( 3 ) 을 구동 하 는 구동 기구 ( 4 ) 를 가지 는 반송 기구 ( 5 ) 에 의해 반송로 ( 2 ) 를 화살표 ( A ) 의 방향 에 반송 된다 . 복수 의 회전체 ( 3 ) 은 프레임 ( 6 ) 으로 연결 되 어 프레임 ( 6 ) 에 는 승강 기구 ( 7 ) 이 연결 되 고 있 어 승강 기구 ( 7 ) 에 의해 복수 의 회전체 ( 3 ) 이 승강 가능 하 게 되 어 있 다 .