상기 제 1 분리 구조물 들 ( 180 a ) 은 상기 제 1 분리 영역 ( 180 V 1 ) 및 상기 제 1 분리 영역 ( 180 V 1 ) 상 의 제 2 분리 영역 ( 180 V 2 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 분리 영역 ( 180 V 1 , 180 V 2 ) 의 각각 은 상기 기판 ( 10 ) 을 향하 여 폭 이 좁 아 지 도록 경사진 측면 을 가질 수 있 다 .