다음 에 , 전 구체 로서 에틸렌다이아민 ( EDA ) 을 사용 하 여 유도 결합 형 화학 기상 증착 법 으로 플 라즈 마 중합 된 에틸렌다이아민 ( PPEDA ) 박막 을 플 라즈 마 중합 된 싸이클 로 핵산 / 유리 슬라이드 ( PPCHex / glass slide ) 위 에 증착 하 였 다 . 그리고 , 싸이클 로 핵산 이 증착 된 유리 슬라이드 ( PPCHex / glass slide ) 위 에 패턴 화 된 마스크 를 놓 고 플 라즈 마 중합 된 에틸렌다이아민 ( PPCHex / glass slide ) 을 패턴 화 하 였 다 . 이때 , 증착 온도 는 상온 을 유지 하 였 고 , 아르곤 기체 흐름 비율 은 약 15 sccm 으로 하 여 증착 하 였 다 . 증착 압력 은 약 30 mtorr 유지 시켜 주 었 고 , 증착 시간 은 약 2 분 동안 증착 하 였 다 . 각각 의 증착 파워 는 ICP 파워 약 4 W 로 유지 하 였 고 , SB 파워 는 약 3 W 로 유지 하 였 다 .