이하 , 정전 척 및 환형 부재 의 분할 구조 에 대해서 상세히 설명 한다 . 이하 의 설명 에서 는 , 도 1 과 함께 , 도 2 를 참조 한다 . 도 2 는 일 실시 형태 에 따른 정전 척 및 환형 부재 ( 26 ) 의 분할 구조 를 나타낸 도면 이 다 . 도 2 에서 는 , 정전 척 ( 20 A ) 상 에 환형 부재 ( 26 ) 가 탑재 되 어 있 는 상태 가 도시 되 어 있 다 . 도 2 에 도시 된 정전 척 ( 20 A ) 은 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 의 정전 척 ( 20 ) 으로서 이용 될 수 있 다 .