또한 , 진공 반송 장치 ( 30 ) 의 X 방향 정 방향 ( 도면 의 우측 방향 ) 외측 에 있 어서 , Y 방향 ( 도면 의 상하 방향 ) 을 따라서 진공 처리 실 ( 404 내지 406 ) 이 배설 되 어 있 으며 , 각각 대응 하 는 진공 반 송실 ( 31 ) 에 접속 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 진공 처리 실 ( 404 ) 이 게이트 밸브 ( G 16 ) 를 거쳐서 진공 반 송실 ( 313 ) 에 접속 되 며 , 진공 처리 실 ( 405 ) 이 게이트 밸브 ( G 17 , G 18 ) 를 거쳐서 진공 반 송실 ( 313 ) , 진공 반 송실 ( 312 ) 에 접속 되 며 , 진공 처리 실 ( 406 ) 이 게이트 밸브 ( G 19 , G 20 ) 를 거쳐서 진공 반 송실 ( 312 ) , 진공 반 송실 ( 311 ) 에 접속 되 어 있 다 .