정전 전극 ( 223 ) 은 지지 판 ( 220 ) 내 에 매설 된다 . 정전 전극 ( 223 ) 은 제 1 하부 전원 ( 223 a ) 과 전기 적 으로 연결 된다 . 정전 전극 ( 223 ) 에 인가 된 전류 에 의해 정전 전극 ( 223 ) 과 기판 ( W ) 사이 에 는 정전기력 이 작용 하 며 , 정전기력 에 의해 기판 ( W ) 은 지지 판 ( 220 ) 에 흡착 된다 .