본 발명 에 관련 된 a - IGZO 막 의 캐리어 농도 는 막 중 의 산소 결손 에 의해 지배 되 어 있 고 , 산소 를 함유 하 는 분위기 가스 중 에서 의 어닐링 에 의해 , 막 중 의 산소 결손 이 없 어 져 캐리어 농도 가 감소 하 는 등 막 의 캐리어 농도 를 제어 할 수 있 게 된다 . 한편 , 질소 등 의 산소 를 함유 하 지 않 는 분위기 가스 중 에서 의 어닐링 에 의해 막 중 의 산소 결손 이 더욱 증가 하 여 , 캐리어 농도 의 증가 가 일어난다 . 캐리어 농도 는 분위기 가스 중 의 산소 농도 에 따라 , 일정 값 으로 수렴 해 가 는 경향 이 있 기 때문 에 , 로트 ( lot , 1 회 에 생산 되 는 특정수 의 제품 단위 ) 마다 의 막 의 캐리어 농도 의 편차 를 더욱 저감 시킬 수 있 다 . 단 , 산소 농도 가 낮 은 경우 보다 높 은 경우 가 일정 값 으로 수렴 하 기 쉽 다 . 이것 은 캐리어 의 원인 인 산소 결손 이 더욱 유효 하 게 없 어 지 기 쉽 다는 이유 에 의한 것 으로 생각 할 수 있 다 . 따라서 , 어닐링 시 의 분위기 중 의 산소 농도 는 전형 적 으로 는 25 체적 ％ 이상 , 보다 전형 적 으로 는 50 체적 ％ 이상 , 나아가 서 는 100 체적 ％ 산소 로 함 으로써 , 더욱 효과 적 으로 캐리어 농도 의 편차 를 저감 시킬 수 있 다 .