이 에 대하 여 , 본 발명 에 따른 침상 방전 전극 은 강인 하 고 , 내 박리 성 · 내마모성 · 내 파괴 성 및 내 식성 이 높 기 때문 에 , 클린 룸 에서 사용 해도 오염 의 원인 이 되 지 않 고 , 장기간 사용 해도 열화 가 적 기 때문 에 , 교환 빈도 를 저감 시킬 수 있 음 과 함께 , 장기간 사용 후 에 도 파손 의 우려 가 없 어 안심 하 여 청소 할 수 있 으므로 , 메인 터 넌 스 부담 의 경감 이 도모 된다 .