노광 후 , 감광성 수지 층 상 의 지 지체 를 박리 하 고 , 계속 해서 알칼리 수용액 의 현상액 을 사용 하 여 미노 광부 를 현상 제거 하 여 레지스 트 패턴 을 기판 상 에 형성 한다 . 알칼리 수용액 으로 는 , Na 2 CO 3 또는 K 2 CO 3 의 수용액 을 사용 한다 . 알칼리 수용액 은 , 감광성 수지 층 의 특성 에 맞춰 적절히 선택 되 지만 , 약 0 . 2 ∼ 2 질량 ％ 의 농도 , 또한 약 20 ∼ 40 ℃ 의 Na 2 CO 3 수용액 이 일반 적 이 다 .