이때 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 는 상기 이 송부 ( 300 ) 의 회전 반경 이 이루 는 영역 에 대응 하 여 즉 , 중심 영역 ( CA ) 에 배치 된다 . 또한 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 는 반도체 소자 를 완성 하 기 복수 의 공정 챔버 ( 20 ) 들 이 사용 될 수 있 으므로 , 상기 로딩 챔버 ( 10 ) 가 아닌 어느 하나 의 상기 공정 챔버 ( 20 ) 로부터 이송 될 수 있 다 .