가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 의해 제공 되 는 듀얼 축 플 라즈 마 프로세스 가스 입력 및 배출 은 웨이퍼 ( 113 ) 에 걸쳐 정확 한 압력 균일성 제어 를 가능 하 게 하 며 , 이 는 웨이퍼 ( 113 ) 에 걸쳐 방사상 압력 분포 를 야기 하 는 , 방사상 과 는 대조 적 으로 가스 들 이 수직 으로 펌핑 아웃 된다 . 또한 , 듀얼 축 플 라즈 마 프로세스 가스 입력 및 배출 은 , 짧 은 플 라즈 마 상주 시간 , 예 를 들 어 밀리 초 미만 이 요구 되 는 원자 층 성막 또는 원자 층 식각 과 같 은 로우 플로우 애플리케이션 들 에서 의 상주 시간 의 정확 한 제어 를 허용 한다 .