기판 이 매우 박형일 경우 , 기판 의 표면 과 이면 사이 에서 면 의 거칠 기에 차 를 갖 게 하 면 기판 의 거친 면 의 방향 으로 볼 록 의 변형 이 생기 는 효과 ( 소위 트 와 이먼 효과 ) 가 있 다 . 한편 , 광학 막 에 는 기판 의 성막 면 의 방향 으로 볼 록 의 변형 을 발생 시키 는 막 응력 이 존재 한다 . 그래서 , 거칠 기 가 세밀 한 쪽 의 면 에 광학 막 을 형성 하 면 , 막 응력 의 작용 에 의한 변형 의 방향 과 상기 트 와 이먼 효과 에 의한 변형 의 방향 이 서로 반대 인 볼록 방향 의 관계 로 되 므로 상호 의 응력 을 서로 제거 한다 . 그렇게 하 면 , 기판 전체 로서 의 형상 은 수정 되 어 광학 막 을 평면 화 시킬 수 있 다 .