소스 부 ( S ) 는 , 산화물 반도체 막 ( 24 a ) 중 , 소스 콘택트 홀 ( 27 as ) 의 표면 에 노출 한 영역 을 포함 하 는 부분 이 저 저항 화 된 저 저항 영역 ( 24 as ) , 및 게이트 절 연막 ( 23 ) 이나 산화물 반도체 막 ( 24 a ) , 층간 절 연막 ( 26 A ) 상층 에 형성 된 소스 메탈 ( 25 s ) 로 형성 된다 .