이 공정 의 ( ⅲ ) 단계 에서 하나 이상 의 반응기 에 공급 되 는 반응물 스트림 은 또한 ( ⅲ ) 단계 로부터 얻 어 진 생성물 스트림 을 정제 한 결과 로서 분리 된 하나 이상 의 다른 재순환 성분 , 예컨대 클로 로 테트라 플 루 오로 에 탄 , 펜 타 플 루 오로 에 탄 , 클로 로 펜 타 플 루 오로 에 탄 및 디 클로 로 테트라 플 루 오로 에탄 을 함유 할 수 있 다 . 펜 타 플 루 오로 에 탄 , 클로 로 펜 타 플 루 오로 에 탄 및 디 클로 로 테트라 플 루 오로 에탄 은 있 다고 하 더라도 통상 적 으로 매우 소량 으로 만 재순환 될 것 이 나 , 클로 로 테트라 플 루 오로 에탄 은 제법 상당 한 양 으로 재순환 될 것 이 다 .