Zygo 사제 의 New View 5032 를 사용 하 여 , 연마 후 의 웨이퍼 표면 의 형상 변위 량 을 측정 함 으로써 , 롤 오프 양 을 평가 하 였 다 . 구체 적 으로 는 , 웨이퍼 의 외 주단 으로부터 2 . 0 ㎜ 내지 4 . 0 ㎜ 위치 의 영역 을 기준 영역 으로 하 고 , 해당 영역 에 있 어서 의 형상 변위 량 에 대하 여 근사 하 는 직선 ( 기준 직선 ) 을 최소 제곱법 을 사용 하 여 긋 는다 . 다음 에 , 외 주단 으로부터 2 . 0 ㎜ 위치 에 있 어서 의 상기 기준 직선 상 의 점 을 기준점 으로 하 고 , 해당 2 . 0 ㎜ 위치 에 있 어서 의 웨이퍼 의 형상 변위 량 과 상기 기준점 의 차 를 측정 하 고 , 이것 을 「 롤 오프 양 」 으로 정의 하 였 다 . 비 교예 1 의 롤 오프 양 을 100 으로 하 였을 때 의 상대 값 을 표 2 에 나타낸다 . 표 2 에 있 어서 , 롤 오프 양 의 값 이 작 을수록 , 웨이퍼 단부 의 늘어짐 이 작 아 , 단부 형상 이 우수 하 다고 할 수 있 다 .