가스 공급 관 ( 250 ) 은 장치 본체 ( 110 ) 의 외부 로부터 장치 본체 ( 110 ) 로 가스 를 제공 하 기 위하 여 장치 본체 ( 110 ) 에 설치 된다 . 일예 로서 , 가스 공급 관 ( 250 ) 의 끝단 은 장치 본체 ( 110 ) 의 제 1 영역 ( S 1 ) 에 배치 된다 . 일예 로서 , 가스 공급 관 ( 250 ) 으로부터 공급 되 는 가스 는 제 1 영역 ( S 1 ) 의 상단 부 에 공급 될 수 있 다 . 이후 , 공급 된 가스 중 일부 는 마스크 수용 용기 ( 120 ) 의 내부 로 유입 될 수 있 다 . 한편 , 가스 공급 관 ( 250 ) 은 장치 본체 ( 110 ) 에 이웃 하 여 배치 되 는 보조 챔버 ( 102 ) 를 통과 한 후 장치 본체 ( 110 ) 의 내부 로 연장 배치 될 수 있 다 . 가스 공급 관 ( 250 ) 을 통해 장치 본체 ( 110 ) 로 공급 되 는 가스 는 일예 로서 , 불활성 가스 ( N 2 등 ) 일 수 있 다 .