본 발명 의 카도 계 바인더 수지 및 / 또는 아크릴 계 알칼리 가용성 수지 로 는 산가 가 20 내지 200 ( KOH ㎎/ g ) 의 범위 가 바람직 하 다 . 산가 가 상기 범위 에 있 으면 , 현상액 중 의 용해 성 이 향상 되 어 , 비 - 노 출부 가 쉽 게 용해 되 고 감도 가 증가 하 여 , 결과 적 으로 노 출부 의 패턴 이 현상 시 에 남 아서 잔 막 율 ( film remaining ratio ) 을 개선 하 게 되 어 바람직 하 다 . 여기 서 산가 란 , 아크릴 계 중합체 1 g 을 중화 하 는 데 필요 한 수 산화칼륨 의 양 ( mg ) 으로서 측정 되 는 값 이 며 , 통상 적 으로 수산화 칼륨 수용액 을 사용 하 여 적정 함 으로써 구할 수 있 다 . 또한 , 겔 투과 크로마토그래피 ( GPC ; 테트라 히 드로 퓨란 을 용출 용제 로 함 ) 로 측정 한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 ( 이하 , 간단히 ' 중량 평균 분자량 ' 이라고 한다 ) 인 2 , 000 내지 200 , 000 , 바람직 하 게 는 3 , 000 내지 100 , 000 인 카도 계 바인더 수지 또는 아크릴 계 수지 가 바람직 하 다 . 분자량 이 상기 범위 에 있 으면 , 코팅 필름 의 경도 가 향상 되 어 , 잔 막 율 이 높 고 , 현상액 중 의 비 - 노 출부 의 용해 성 이 탁월 하 고 해상도 가 향상 되 는 경향 이 있 어 바람직 하 다 .