두께 75 ㎛ 의 FEP 필름 ( Toray Advanced Film Co . , Ltd . 제 , " "" 토요 플 론 ( 등록 상표 ) "" 의 편면 에 플 라즈 마 처리 를 했 다 . 플 라즈 마 처리 로서 는 실시 예 1 과 동일 한 조건 에서 실시 했 다 . 이어서 ", 플라 즈 마 처리 한 FEP 필름 표면 에 마그네트론 스퍼터링 법 으로 하 지 금속 막 으로서 니켈 막 을 1 nm 두께 형성 했 다 . 스퍼터링 조건 으로서 는 50 mm× 550 mm 사이즈 의 타깃 을 사용 하 고 , 아르곤 가스 를 도입 한 진공 도달 도 는 1 × 10 - 2 Pa 이하 , 스퍼터링 출력 은 DC 전원 을 사용 하 여 5 kw 를 채용 했 다 . 이어서 , 하 지 금속 층 위 에 마그네트론 스퍼터링 법 으로 구리 막 2 를 0 . 1 ㎛ 의 두께 로 성막 하 여 금속화 필름 을 얻 었 다 . 구리 막 2 스퍼터링 조건 으로서 는 50 mm× 550 mm 사이즈 의 타깃 을 사용 하 고 , 아르곤 가스 를 도입 한 진공 도달 도 는 1 × 10 - 2 Pa 이하 , 스퍼터링 출력 은 DC 전원 을 사용 하 여 5 kw 를 채용 했 다 .