구제 웨이퍼 는 , 구제 처리 프로세스 를 받 은 후 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 으로부터 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에 반송 되 어 ( 도 5 의 S 14 ) , 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에서 보완 처리 프로세스 를 받 는다 ( S 15 ) . 즉 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 보완 레시피 정보 에 따라서 기판 반송 장치 ( 17 ) 및 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 의 기판 보유 지지 기구 ( 30 ) 및 처리 유체 공급 부 ( 40 ) 를 제어 한다 . 이 와 같이 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 과 는 다른 정상 의 처리 유닛 ( 16 ) 인 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에 구제 웨이퍼 는 반송 되 어 , 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에서 구제 웨이퍼 에 대한 보완 처리 프로세스 가 실행 된다 .