다른 일 실시 예 에 있 어서 , 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 은 상부 에서 바라볼 때 제 1 방향 과 수직 한 제 2 방향 으로 배열 될 수 도 있 다 . 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 은 반송 프레임 ( 140 ) 에 있 어서 로드 포트 ( 120 ) 들 이 배치 된 측면 이 아닌 다른 일 측면 에 배치 될 수 도 있 다 . 다른 일 실시 예 에 따르 면 , 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 은 처리 모듈 ( 20 , 30 ) 및 인덱스 모듈 ( 10 ) 과 이격 된 위치 에 제공 될 수 도 있 다 . 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 이 처리 모듈 ( 20 , 30 ) 및 인덱스 모듈 ( 10 ) 과 이격 된 위치 에 제공 되 는 경우 , 별도 의 반송 장치 ( 미 도시 ) 를 이용 하 여 인덱스 모듈 ( 10 ) 내부 로 캐리어 보관 유닛 ( 121 ) 을 반송 해 올 수 있 다 .