( E ) 중 에서 기판 의 에칭 성 컨트롤 및 세정 성능 의 관점 에서 바람직 한 것 은 ( E - 1 ) , ( E - 2 ) , ( E - 4 ) , ( E - 5 ) 및 ( E - 6 ) 이 고 , 더욱 바람직 한 것 은 ( E - 1 ) , ( E - 2 ) , ( E - 5 ) 및 ( E - 6 ) , 특히 바람직 한 것 은 에틸렌디아민 테트라 아세트산 ( 염 ) ( EDTA ) , 디 에틸렌 트리 아민 펜 타 아세트산 ( 염 ) ( DTPA ) , 디 하이드 록 시에 틸 에틸렌디아민 4 아세트산 ( 염 ) ( DHEDDA ) , 아스파르트 산디 아세트산 ( 염 ) , 아스파르트산 ( 염 ) , 글루탐산 ( 염 ) , 시트르산 ( 염 ) , 아미노 트리 ( 메틸렌 포스폰산 ) ( 염 ) , 1 - 하이드 록 시에 틸 리덴 - 1 , 1 - 디 포스폰산 ( 염 ) , 에틸렌디아민 테트라 ( 메틸렌 포스폰산 ) ( 염 ) , 메타인산 ( 염 ) 및 헥사 메타인산 ( 염 ) , 특히 바람직 한 것 은 시트르산 ( 염 ) , 아미노 트리 ( 메틸렌 포스폰산 ) ( 염 ) , 1 - 하이드 록 시에 틸 리덴 - 1 , 1 - 디 포스폰산 ( 염 ) , 에틸렌디아민 테트라 ( 메틸렌 포스폰산 ) ( 염 ) 및 헥사 메타인산 ( 염 ) 이 다 .