핑거 암 ( 121 ) 은 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 의 특정 응용 에 따라 다수 의 물질 들 로 제조 될 수 있 다 . 예컨대 , 핑거 암 ( 121 ) 은 다양 한 금속 들 , 이를테면 , 알루미늄 ( Al ) 또는 스테인리스 강 ( 예컨대 , 316 L 합금 ) 또는 다른 금속 합금 들 , 세라믹 들 , 이를테면 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 또는 탄화물 , 또는 다양 한 유형 들 의 플라스틱 들 을 포함 할 수 있 다 . 부가 적 으로 , 핑거 암 물질 의 선택 , 세정 되 는 기판 , 및 챔버 가 활용 되 는 산업 에 따라 , 핑거 암 ( 121 ) 을 구성 하 는 물질 은 , 예컨대 , 퍼플 루오 로 알 콕 시 ( PFA ) , 플루오린 화 된 에틸렌 프로필렌 공중 합체 ( FEP ) , 에틸렌 과 테트라플루오로에틸렌 의 공중 합체 ( ETFE ) , 폴리테트라플루오로에틸렌 ( PTFE ) , 및 관련 기술 분야 에 알려져 있 는 다른 단일 또는 다중 층 코팅 들 을 포함 하 는 다양 한 유형 들 의 물질 로 코팅 될 수 있 다 .