OH 농도 를 200 ppm 미만 으로 조절 하 고자 하 는 경우 , 수증기 분압 이 10 , 000 내지 30 , 000 Pa 인 불활성 가스 분위기 에서 처리 할 수 있 고 , OH 농도 를 200 내지 400 ppm 으로 조절 하 고자 하 는 경우 , 수증기 분압 이 20 , 000 내지 50 , 000 Pa 인 불활성 가스 분위기 에서 처리 할 수 있 고 , OH 농도 를 400 내지 600 ppm 으로 조절 하 고자 하 는 경우 , 수증기 분압 이 30 , 000 내지 80 , 000 Pa 인 불활성 가스 분위기 에서 처리 할 수 있 고 , OH 농도 를 600 ppm 초과 로 조절 하 고자 하 는 경우 , 수증기 분압 이 50 , 000 Pa 이상 인 불활성 가스 분위기 에서 처리 할 수 있 다 . 또한 , " 본 명세서 에서 언급 된 "" Pa "" 라는 용어 는 게이 지압 이 아니 라 절대 압 을 의미 한다 . "