다양 한 실시 예 들 에서 , 동작 104 는 암모니아 및 질소 가스 의 혼합물 로부터 생성 된 플 라즈 마로 의 노출 을 수반 할 수 도 있 다 . 여기 서 , 플라 즈 마는 또 한 상기 기술 된 바 와 같이 인시 츄 플라 즈 마 이거 나 리모트 플 라즈 마일 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 암모니아 가스 및 질소 가스 는 혼합물 로서 함께 또는 별도 로 프로세스 챔버 로 전달 될 수 도 있 고 , 이 에 따라 가스 들 이 혼합 될 수 도 있 고 , 이어서 플 라즈 마가 점 화 될 수 도 있 다 . 인시 츄 플라 즈 마는 약 0 . 2122 W / ㎠ 내지 약 2 . 122 W / ㎠ 의 기판 면적 당 전력 에서 점 화 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 전력 은 4 개 의 300 ㎜ 웨이퍼 들 을 프로세싱 하 는 챔버 들 에 대해 약 150 W 내지 약 6000 W , 또는 약 600 W 내지 약 6000 W , 또는 약 800 W 내지 약 4000 W 의 범위 일 수 도 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 적어도 약 13 . 56 ㎒, 또는 적어도 약 27 ㎒, 또는 적어도 약 40 ㎒, 또는 적어도 약 60 ㎒ 의 주파수 를 갖 는 고 주파수 플 라즈 마가 사용 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 마이크로파 기반 플 라즈 마가 사용 될 수 도 있 다 .