이 에 , 상기 와 같이 웨이퍼 시트 ( 10 ) 에 배치 된 반도체 다이 ( 11 ) 의 분리 를 위해서 는 , 도 1 내지 도 4 를 참조 하 여 도 6 내지 도 9 의 도시 와 같이 웨이퍼 시트 ( 10 ) 흡착 과 , 반도체 다이 ( 11 ) 가장자리 1 차 분리 와 , 반도체 다이 ( 11 ) 가장자리 2 차 분리 와 , 반도체 다이 ( 11 ) 중앙 분리 에 의해 가능 하 게 된다 .