복수 의 도전 성 라인 패턴 ( 121 , 131 , 141 ) 및 복수 의 도전 성 비아 패턴 ( 123 , 133 , 143 ) 은 구리 ( Cu ) , 알루미늄 ( Al ) , 텅스텐 ( W ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 인듐 ( In ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 망간 ( Mn ) , 코발트 ( Co ) , 주석 ( Sn ) , 니켈 ( Ni ) , 마그네슘 ( Mg ) , 레늄 ( Re ) , 베릴륨 ( Be ) , 갈륨 ( Ga ) , 루테늄 ( Ru ) 등 과 같 은 금속 또는 이 들 의 합금 일 수 있 지만 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에서 , 복수 의 도전 성 라인 패턴 ( 121 , 131 , 141 ) 및 복수 의 도전 성 비아 패턴 ( 123 , 133 , 143 ) 으로서 구리 ( Cu ) 가 이용 되 는 경우 , 복수 의 씨드 층 ( 125 , 135 , 145 ) 의 적어도 일부분 은 확산 장벽층 으로서 작용 할 수 있 다 .