제 2 모 기판 고정 부재 ( 30 ) 의 연결 단자 ( 39 ) 및 외부 진공 압 발생 장치 를 연결 한 후 , 작업자 는 메인 진공 배관 ( 34 ) 에 연결 된 개폐 밸브 ( 38 ) 를 개방 함 으로써 메인 진공 배관 ( 34 ) 및 메인 진공 배관 ( 34 ) 에 연결 된 서브 진공 배관 ( 36 ) 의 내부 에 대기압 보다 낮 은 진공 압 을 발생 시킨다 .