펠티어 소자 ( 160 ) 는 장치 본체 ( 110 ) 의 외부 에 배치 되 는 가스 공급 관 ( 150 ) 에 설치 된다 . 일예 로서 , 펠티어 소자 ( 160 ) 는 보조 챔버 ( 102 ) 내 에 배치 되 도록 가스 공급 관 ( 150 ) 에 설치 될 수 있 다 . 한편 , 펠티어 소자 ( 160 ) 는 가스 공급 관 ( 150 ) 을 가열 또는 냉각 시켜 가스 공급 관 ( 150 ) 을 통해 유동 하 는 가스 의 온도 를 조절 한다 .