한편 , 가스 는 , 가스 도입 용 파이프 ( 7 ) 의 관통 구멍 ( 7 c ) 으로부터 디 퓨저 엘리먼트 ( 2 ) 의 내부 공간 ( S ) 으로 도입 되 고 , 가스 유통 의 저항체 로서 의 디 퓨저 엘리먼트 ( 2 ) 를 통해 처리 장치 내 로 도입 된다 . 그 결과 , 처리 장치 내부 의 기압 및 기류 의 급격 한 변화 를 완화 하 면서 , 감압 상태 를 해제 할 수 있 어 , 파티클 이 날아오르 는 것 을 억제 할 수 있 다 .