도 5 를 참조 하 면 , 본 실시 예 에 의한 실리콘 결정 화 마스크 ( 500 ) 는 길 이 방향 으로 3 등분 된 제 1 패턴 부 ( 1 AE ) , 제 2 패턴 부 ( 2 AE ) 및 제 3 패턴 부 ( 3 AE ) 를 포함 한다 . 이때 , 제 1 , 제 2 및 제 3 패턴 부 ( 1 AE , 2 AE , 3 AE ) 각각 은 복수 의 서브 패턴 부 들 로 분할 되 고 , 일례 로 5 개 의 서브 패턴 부 들 로 분할 된다 . 이 와 같이 분할 된 실리콘 결정 화 마스크 ( 500 ) 는 길이 ( a ) 가 약 25 mm 이 고 , 폭 ( b ) 이 약 1 . 2 mm 인 것 이 바람직 하 다 .