도 7 을 참조 하 면 , 추출 된 패드 패턴 ( 도 6 의 605 ) 의 레이아웃 ( 도 6 의 600 ) 에 대해 제 1 축 소폭 으로 축소 된 제 1 축소 레이아웃 ( 700 ) 을 얻 는다 ( 도 4 의 403 ) . 이때 , 제 1 축 소폭 은 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 일정 수치 로 설정 될 수 있 다 . 이러 한 제 1 축 소폭 은 생성 될 보조 패턴 의 광 산란 ( scattering ) 작용 을 고려 하 여 그 폭 이 설정 될 수 있 다 . 제 1 축 소폭 은 X 축 및 Y 축 방향 으로 다르 게 설정 될 수 있 으나 , 동일 한 수치 로 수 ㎚ 내지 수십 ㎚ 정도 로 설정 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 1 축소 레이아웃 ( 700 ) 은 패드 패턴 ( 도 6 의 605 ) 의 형상 을 따르 는 축소 된 형상 을 가지 는 패턴 ( 705 ) 들 로 구성 되게 된다 .