따라서 , 본 발명 의 제 1 실시 예 는 시료 를 검사 함 에 있 어 시료 의 표면 을 검사 하 는 일반 모드 와 시료 의 내부 를 검사 하 는 편광 모드 ( polarized light mode ) 및 굴곡 된 시료 를 측광 조명 에 의해 빛 반사 없이 선명 한 상태 로 검사 할 수 있 는 무 반사 모드 가 구현 된 트리플 모드 ( triple mode ) 를 실현 할 수 있 는 것 이 다 .