도 5 는 , 본 발명 의 일 실시 형태 에 관한 포토 마스크 의 제조 방법 의 수순 을 도시 하 는 설명도 이 며 , ( a ) 는 포토 마스크 블랭크 의 예 를 도시 하 는 도면 , ( b ) 는 패턴 묘화 의 예 를 도시 하 는 도면 , ( c ) 는 제 1 및 제 2 에칭 의 예 를 도시 하 는 도면 , ( d ) 는 제 3 에칭 의 예 를 도시 하 는 도면 , ( e ) 는 레지스 트 패턴 박리 의 예 를 도시 하 는 도면 이 다 .