본 실시 예의 방법 에 있 어서 , 상기 정보 저 장막 을 개재 하 는 것 은 상기 수직 채널 을 따라 수직 연장 된 다 중막 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 상기 다 중막 은 상기 수직 채널 과 접하 는 터널 절 연막 과 , 상기 게이트 와 접하 는 블록 킹 절 연막 과 , 상기 터널 및 블록 킹 절 연막 들 사이 에 개재 되 는 트랩 절 연막 을 포함 할 수 있 다 .