즉 , 외부 의 구동 장치 의 구동 에 의해 , 회전축 ( 311 f ) 이 회전 구동 되 며 , 척 편 ( 311 c ) 이 마스크 프레임 ( MF ) 에 결합 하 여 척 킹 된다 . 도시 한 예 에서 는 , 상측 의 척 편 ( 31 lb ) 을 생략 하 고 있 다 . 이 시점 에서 , 마스크 프레임 ( MF ) 이 고정 된다 . 이 상태 는 정 전척 ( 308 ) , 자기 흡착 척 ( 307 ) 을 해제 해도 유지 된다 .