도 3 및 도 4 a 를 함께 참조 하 면 , 복수 의 워드 라인 구조물 ( WS ) 은 복수 의 절 연막 ( 110 ) 보다 채널 막 ( 150 ) 을 향하 여 돌출 된 구조 를 가질 수 있 다 . 복수 의 절 연막 ( 110 ) 은 , 복수 의 워드 라인 구조물 ( WS ) 의 채널 막 ( 150 ) 을 향하 는 측벽 ( WSS ) 보다 채널 막 ( 150 ) 으로부터 먼 리세 스 된 측벽 ( 110 R ) 을 가질 수 있 다 .