기판 지지대 ( 360 ) 를 구동 하 기 위한 기판 지지대 구동 부 ( 380 ) 는 증착 장치 의 외벽 ( 300 ) 하단 에 고정 되 어 있 는 공 압 실린더 ( 384 ) 와 , 공 압 실린더 ( 384 ) 사이 의 평형 을 조절 해 주 는 이동판 ( 378 ) , 기판 지지대 ( 360 ) 를 지지 하 는 중앙 지지 핀 ( 372 ) 등 으로 구성 된다 .