본 발명 의 일실 시예 에 따른 슬롯 카세트 ( 210 , 310 ) 는 , 상부 플레이트 ( 212 , 312 ) 외곽 하부 면 에 다 수개 의 슬롯 이 각각 구비 된 제 1 슬롯 부 ( 214 , 314 ) 와 , 수납 되 는 웨이퍼 의 대략 반경 방향 으로 돌출 된 제 2 슬롯 부 ( 216 , 316 ) 및 제 3 슬롯 부 ( 218 , 318 ) 가 일체 로 형성 되 어 , 웨이퍼 는 이 들 3 개 의 슬롯 부를 구성 하 는 슬롯 중 대응 되 는 슬롯 에 걸쳐서 수납 된다 . 이 와 같이 구성 된 슬롯 카세트 ( 210 , 310 ) 에 의하 면 , 제 1 통로 는 제 1 슬롯 부 ( 214 , 314 ) 와 제 3 슬롯 부 ( 218 , 318 ) 사이 에 형성 되 고 , 제 2 통로 는 제 2 슬롯 부 ( 216 , 316 ) 와 제 3 슬롯 부 ( 218 , 318 ) 사이 에 형성 된다 .