도 4 f 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 폴리머 ( 107 ) 를 포함 한 반도체 기판 ( 101 ) 의 전면 에 CVD 법 으로 상기 폴리머 ( 107 ) 상 에 는 상기 폴리머 ( 107 ) 의 라운드 형상 이 반영 되 고 , 각 폴리머 ( 107 ) 의 경계 부 상 에 는 상기 평탄 화 층 ( 105 ) 의 평탄 한 형상 이 반영 되 도록 동일 한 두께 의 제 1 질화 막 ( 108 ) 을 형성 한다 .