막 처리 방법 의 일 구체 예 인 사이 클릭 처리 로서 는 다음 방법 이 생각 된다 . 예컨대 제 1 가스 로서 DCS 가스 를 이용 하 고 , 제 2 가스 로서 NH 3 가스 를 이용 한 경우 를 들 수 있 다 . 그 경우 , 제 1 공정 에서 는 DCS 가스 를 웨이퍼 ( 200 ) 에 공급 하 고 , 제 2 공정 에서 는 NH 3 가스 를 웨이퍼 ( 200 ) 에 공급 한다 . 제 1 공정 과 제 2 공정 사이 에 는 퍼지 공정 으로서 N 2 가스 를 공급 하 는 것 과 함께 처리 실 ( 201 ) 의 분위기 를 배기 한다 . 이 제 1 공정 , 퍼지 공정 , 제 2 공정 을 복수 회 수행 하 는 사이 클릭 처리 를 수행 하 는 것 에 의해 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 실리콘 질화 ( SiN ) 막 이 형성 된다 .