제 1 액체 노즐 ( 40 ) 에서 토출 된 제 1 액체 는 치환 속도 로 회전 하 는 기판 ( W ) 의 상면 과 충돌 한 후 , 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 외방 으로 흐른다 . 기판 ( W ) 상 의 린스 액 은 제 1 액체 노즐 ( 40 ) 에서 토출 된 제 1 액체 로 치환 된다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 의 상면 전역 을 덮 는 제 1 액 막 ( F 1 ) ( 제 1 액체 의 액 막 . 이하 동일 ) 이 형성 된다 . 그리고 , 기판 ( W ) 상 의 패턴 ( P 1 ) 사이 의 린스 액 이 제 1 액체 에 의해 치환 된다 . 이 예 에서 는 , 상면 노즐 ( 33 ) 을 제 1 액체 노즐 ( 40 ) 에서 토출 된 제 1 액체 가 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 와 충돌 하 는 중앙 처리 위치 에서 정지 시킨 상태 에서 제 1 액체 의 공급 을 한다 . 그러나 , 노즐 이동 유닛 ( 51 ) 을 제어 하 여 기판 ( W ) 의 상면 에 대한 제 1 액체 의 착 액 위치 가 중앙부 와 외주 부 를 지나 도록 착 액 위치 를 이동 시켜 도 좋 다 .