따라서 , 본 실시 형태 는 , 기울기 정보 와 보정 테이블 에 근거 하 여 보정 정보 가 취득 되 는 점 이 , 제 1 실시 형태 와 는 다르 다 . 이 때문 에 , 본 실시 형태 의 이점 은 , 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태 에 비해 , 검출 장치 의 보정 정보 의 취득 에 필요 로 하 는 마크 의 계측 시간 을 단축 할 수 있 는 점 에 있 다 . 이 에 따라 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 기판 에 배치 된 복수 의 마크 의 검출 의 속도 및 정밀도 모두 를 달성 하 는 데 유리 한 기술 을 제공 할 수 있 다 .