본 실시 형태 에서 는 , c 축 배향 하 고 , 또한 ab 면 , 표면 , 또는 계면 의 방향 에서 보 아 삼각 형상 또는 육각 형상 의 원자 배열 을 갖 고 , c 축 에서 금속 원자 가 층 형상 으로 배열 되 거나 또는 금속 원자 와 산소 원자 가 층 형상 으로 배열 되 어 있 고 , ab 면 에서 는 a 축 또는 b 축 의 방향 이 다른 ( c 축 을 중심 으로 하 여 회전 한 ) 결정 ( CAAC : ' C Axis Aligned Crystal ' 이라고 도 함 ) 을 함유 하 는 산화물 에 대하 여 설명 한다 .