도 6 a 를 참조 하 면 , 도 4 에 도시 된 ST 5 단계 는 슬릿 ( 131 ) 을 통해 도 5 d 에 도시 된 하부 적층 체 ( 110 ) 의 희생 막 ( 105 ) 을 제거 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 이 로써 , 제 1 보호막 ( 103 ) 과 제 2 보호막 ( 107 ) 사이 에 제 2 개 구부 ( 155 ) 가 정의 될 수 있 다 .