이 들 동작 과 평행 하 여 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 계측 스테이지 ( MST ) 에 지지 된 FD 바 ( 46 ) 의 XY 평면 내 에서 의 위치 조정 과 , 4 개 의 세 컨 더리 얼라이먼트 계 ( AL 21 ∼ AL 24 ) 의 베이스 라인 계측 을 실시 하 는 Sec - BCHK ( 세 컨 더리 · 베이스 라인 체크 ) 를 실행 한다 . 여기 서 , FD 바 ( 46 ) 의 θ z 방향 의 회전 정보 를 계측 하 기 위해서 전술 한 Y 인코더 ( 170 G , 170 H ) 가 사용 된다 .