일반 적 으로 , 반도체 웨이퍼 의 제조 공정 에 사용 되 는 약액 은 애칭 공정 , 세정 공정 , 감광 공정 등 공정 의 종류 에 따라서 서로 다른 종류 의 복수 의 약액 이 사용 되 고 , 만들 어 지 는 웨이퍼 의 특성 에 따라 하나 의 공정 에 도 화학 적 성질 이 다른 여러 종류 의 약액 이 사용 된다 . 따라서 , 각 공정 별 또는 만들 어 지 는 웨이퍼 의 특성 등 에 따라서 서로 다른 종류 의 복수 의 약액 을 저장 하 고 공급 하 는 약액 공급 장치 가 제공 된다 .