상기 신호 발생기 ( 221 ) 는 주사 전자 현미경 ( scanning electron microscope ; SEM ) 을 구비 할 수 있 다 . 상기 주사 전자 현미경 ( SEM ) 은 전자총 ( 225 ) , 전자 광학계 ( 226 ) , 검 출부 ( 227 ) , 및 제 어부 ( 228 ) 를 구비 할 수 있 다 . 상기 전자총 ( 225 ) 은 전자 빔 을 발생 시키 는 역할 을 할 수 있 다 . 상기 전자 광학계 ( 226 ) 는 상기 전자총 ( 225 ) 에서 발생 된 전자 빔 을 반도체 기판 의 지정 된 위치 에 주사 하 는 역할 을 할 수 있 다 . 상기 검 출부 ( 227 ) 는 상기 반도체 기판 으로부터 방출 되 는 2 차 전자 ( secondary electron ) 를 검출 하 여 영상 자료 를 얻 는 역할 을 할 수 있 다 . 상기 제 어부 ( 228 ) 는 상기 전자총 ( 225 ) , 상기 전자 광학계 ( 226 ) 및 상기 검 출부 ( 227 ) 사이 의 동작 을 제어 하 는 역할 을 할 수 있 다 .