중간층 ( 206 a ) 과 흡수 층 ( 206 b ) 의 4 층 적층 구조 로 제조 된 흡수 막 ( 206 ) 은 13 . 5 ㎚ 파장 에 대하 여 2 . 2 % 의 반사 율 을 나타내 었 으며 , 캡 핑 막 ( 205 ) 에서 반사 된 반사광 에 대한 위상차 가 183 ° 를 나타내 었 다 . 그 결과 로서 , 흡 수막 ( 206 ) 의 흡수 층 ( 206 b ) 또는 중간층 ( 206 a ) 의 두께 조절 을 통하 여 반사 율 1 ∼ 10 % 범위 , 위상차 를 170 ∼ 190 ° 범위 로 제어 할 수 있 는 수준 으로 판단 된다 .