복합 압 전 기판 의 제조 방법 은 ( a ) 압전체 기판 과 지지 기판 을 준비 하 는 제 1 의 공정 과 , ( b ) 상기 압전체 기판 의 표면 으로부터 이온 을 주입 해서 상기 압전체 기판 내 에 있 어서 상기 표면 에서 소정 의 깊이 의 영역 에 결함 층 을 형성 하 는 제 2 의 공정 과 , ( c ) 상기 압전체 기판 의 상기 표면 에 상기 지지 기판 을 접합 해서 기판 접합체 를 형성 하 는 제 3 의 공정 과 , ( d ) 상기 기판 접합체 를 상기 압전체 기판 내 에 형성 된 상기 결함 층 에서 분리 해서 , 상기 압전체 기판 의 상기 표면 과 상기 결함 층 의 사이 의 박리 층 이 상기 압전체 기판 에서 박리 돼서 상기 지지 기판 에 접합 된 복합 압 전 기판 을 형성 하 는 제 4 의 공정 과 , ( e ) 상기 복합 압 전 기판 의 상기 박리 층 의 표면 을 평활 화 하 는 제 5 의 공정 을 포함 한다 .