이상 의 구성 으로 이루어지 는 본 실시 형태 에 관한 이상 검지 시스템 ( 80 ) 에 의해서 도 , 제 2 실시 형태 와 마찬가지 로 , 구 동압 으로서 의 에어 나 외부 온도 에 기인 하 여 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 이 변화 한 경우 에 도 , 이것 과 유체 의 누출 에 의한 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 를 식별 하 여 , 폐쇄 공간 ( S ) 으로 의 유체 의 누출 등 에 기인 한 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 검지 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 의 판별 처리 가 서버 ( 9 ) 측 에서 실행 되 는 결과 , 유체 제어기 ( 2 ) 에 장착 되 는 정보 제공 장치 ( 8 ) 의 구성 을 심플 하 게 할 수 있 고 , 판별 처 리부 ( 91 ) 나 보정 처 리부 ( 92 ) 가 실행 하 는 프로그램 의 디버그 등 보수 도 용이 해진다 .