그러나 , 종래 , 노광 장치 내 에 탑재 된 투영 광학계 의 수차 를 구하 기 위해 사용 된 방법 은 , 실제로 패턴 을 노광 하 고 , 현상 해서 , 패턴 시프트 나 형상 을 주사 형 전자 현미경 ( SEM ) 등 에 의해 측정 한 다음 에 , 수 차량 을 추정 에 의해 구한다 . 이 와 같이 , 종래 의 방법 에 의하 면 , 투영 광학계 의 수차 의 양 을 구할 때 에 는 , 실제로 패턴 을 노광 , 현상 해서 , SEM 등 에 의해 패턴 시프트 를 측정 할 필요 가 있 다 . 다음 에 , 상기 구해진 수 차량 에 의거 하 여 , 투영 광학계 를 조정 한다 . 또한 , 이러 한 순서 를 투영 광학계 의 조정 시 에 재차 반복 해야 한다 . 이러 한 기술 은 , 예 를 들 면 , 일본국 특개평 8 － 22951 호 공보 에 논의 되 어 있 다 .