따라서 , 본 발명 은 상기 한 종래 기술 의 문제점 을 해결 하 기 위해 제안 된 것 으로서 , 플라 즈 마를 이용 한 식각 을 수행 하 는 챔버 의 챔버 윈도우 에 레이저 를 조사 하 여 식각 공정 중 챔버 윈도우 에 쌓이 는 폴리머 를 쉽 게 제거 할 수 있 고 , 플라 즈 마 식각 공정 을 원활 하 게 모니터링 할 수 있 는 플 라즈 마 식각 장비 및 이 의 클리닝 방법 을 제공 하 는데 그 목적 이 있 다 .