도 9 는 제 1 가스 가 산소 가스 ( O 2 ) 이 고 , 제 2 가스 가 아르곤 가스 ( Ar ) 이 고 , 제 3 가스 가 아르곤 가스 와 혼합 된 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 인 것 의 예 를 나타내 고 , 도 10 은 제 1 가스 가 아르곤 가스 이 고 , 제 2 가스 가 산소 가스 이 고 , 제 3 가스 가 아르곤 가스 와 혼합 된 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 인 것 의 예 를 나타낸다 .