상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 444 ) 상 에 끊어진 제 1 라인 패턴 및 상기 제 1 라인 패턴 과 이웃 하 는 제 2 라인 패턴 을 형성 하 기 위한 제 1 희생 마스크 패턴 ( 446 a ) 과 , 끊 어 지 지 않 고 라인 및 스페이스 가 반복 되 는 제 3 라인 패턴 을 형성 하 기 위한 제 2 희생 마스크 패턴 ( 446 b ) 을 형성 한다 .