결론 적 으로 , 본 발명 은 피검 소자 와 콘 택할 수 있 도록 구성 된 마이크 로 콘 택 프로브 들 을 구비 하 는 프로브 카드 를 제공 하 고 , 이러 한 마이크 로 콘 택 프로브 들 각각 은 상기 프로브 카드 의 유연 막 에 형성 된 복수 의 스트립 들 의 각각 의 스트립 말단 에 접하 는 말 단부 를 가지 며 , 상기 프로브 카드 의 테스트 헤드 의 콘 택 요소 는 스트립 의 이러 한 단부 에 접하 지만 상기 유연 막 의 반대편 의 면 에 접하 는 말 단부 를 가질 수 도 있 고 , 이 를 통해 콘 택 요소 는 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 을 위한 감쇠 지지 요소 로 작용 하 며 , 이러 한 스트립 의 상기 말 단부 는 상기 마이크 로 콘 택 프로브 들 이 상기 피검 소자 에 콘 택하 는 동안 이동 한다 .