상기 사용 된 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 기술 은 반응 분위기 와 가스 유량 , 반응 압력 , 가열 온도 , 가열 시간 , 플라 즈 마 전력 및 반응 시간 을 조정 한다 . 반응 가스 는 메탄 , 질소 , 아르곤 , 헬륨 , 수소 등 일 수 있 다 . 가스 유량 은 50 내지 2000 sccm , 반응 압력 은 1 내지 20 Pa , 가열 온도 는 500 내지 1000 ℃, 가열 시간 은 5 분 내지 2 시간 , 플라 즈 마 전력 은 5 내지 200 W , 플라 즈 마 반응 시간 은 60 s 내지 3600 s 이 다 .