지지 조립 체 ( 300 ) 가 챔버 바디 ( 112 ) 내 에 부분 적 으로 배치 된다 . 지지 조립 체 ( 300 ) 는 벨로우즈 ( bellows ; 333 ) 에 의해 에워싸이 는 샤프트 ( 314 ) 에 의해 상승 및 하강 한다 . 챔버 바디 ( 112 ) 가 이 의 측벽 내 에 형성 되 는 슬릿 밸브 개구 ( 160 ) 를 포함 하 여 프로세싱 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 접근 ( access ) 을 제공 한다 . 슬릿 밸브 개구 ( 160 ) 가 기판 핸들링 로봇 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 챔버 바디 ( 112 ) 의 내부 에 접근 을 허용 하 도록 선택 적 으로 개방 및 폐쇄 된다 . 일 실시 예 에서 , 기판 은 슬릿 밸브 개구 ( 160 ) 를 통해서 인접 한 전달 챔버 및 / 또는 로드 록 챔버 ( 도시 되 지 않 음 ) , 또는 클러스터 툴 ( cluster tool ) 내 의 다른 챔버 로 , 프로세싱 챔버 ( 100 ) 의 내 외측 으로 이송 될 수 있 다 . 예 시 적 인 클러스터 툴 들 은 이 에 제한 되 는 것 은 아니 지만 , 캘리포니아주 산타 클라라 에 소재 하 는 어 플 라이드 머 티어리 얼즈 아이 엔 씨 ( Applied Materials , Inc . ) 로부터 입수 가능 한 PRODUCER ®, CENTURA ®, ENDURA ®, 및 ENDURA ® SL 플랫 폼 들 을 포함 한다 .