제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 분리 유닛 ( 120 ) , 장착 유닛 ( 140 ) , 청소 유닛 ( 130 ) 에서 수동 아암 ( 200 ) 을 공용 으로 사용 한다 . 제 2 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 , 분리 유닛 ( 120 ) , 장착 유닛 ( 140 ) , 청소 유닛 ( 130 ) 을 사용 할 때 에 , 최초 로 수동 아암 ( 200 ) 을 리니어 스테이지 ( 150 ) 에 장착 한다 .