본 명세서 에 사용 된 층 의 평균 두께 는 ( 타원 계 또는 다른 통상 적 인 장치 를 사용 하 여 ) 두 비아 홀 ( via hole ) 사이 의 대략 중간 지점 에서 층 의 두께 를 측정 하 여 결정 된다 : ( 1 ) 두 비아 홀 은 사이 에 있 는 피처 ( feature ) 에 의하 여 서로 분리 되 지 않 는다 ; ( 2 ) 비아 홀 의 경계 는 서로 1 , 000 nm 이내 에 있 다 . 이 측정 은 웨이퍼 ( 또는 한정 된 다른 구역 ) 에 걸쳐 49 회 반복 되 고 , 측정값 을 평균 하 여 층 의 평균 두께 를 결정 한다 .