그러나 , 감광막 을 트리밍 하 는 방법 은 공정 적용 에 어려움 이 있 어 하드 마스크 를 이용 하 여 게이트 선폭 을 조절 하 는 방법 이 진행 되 고 있 다 . 하드 마스크 를 이용한 게이트 트리밍 공정 은 식각 에 대한 내구 성 과 스트립 ( strip ) 공정 에 의한 손상 을 최소 화 하 기 위해 비정질 카본 ( Amorphous - Carbon ) 을 하드 마스크 로 사용 하 고 있 다 .