판 정부 ( 53 A ) 는 데이터 ( SD 1 A ) 와 참조 데이터 ( RD 1 A ) 의 차이 를 다시 구하 고 , 당해 차이 가 기준 값 보다 큰 지 의 여부 를 판정 한다 . 당해 차이 가 기준 값 보다 클 때 에 는 , 제 어부 ( 50 ) 는 다시 상기 서술 한 동작 을 반복 한다 . 요컨대 , 데이터 ( SD 1 A ) 와 참조 데이터 ( RD 1 A ) 의 차이 가 클 때 에 는 , 그 보정 패턴 ( RP 1 ) 의 후보 에 따라서 는 적절히 포토 마스크 ( 80 ) 를 수정 할 수 없 기 때문 에 , 보정 패턴 ( RP 1 ) 의 후보 를 수정 하 는 것 이 다 .