대기 반 송실 ( 303 ) 의 로드 로크 실 ( 302 ) 장착 벽부 와 는 반대 측 의 벽부 에 는 , 기판 W 를 수용 하 는 캐리어 ( FOUP 등 ) C 를 장착 하 는 3 개 의 캐리어 장착 포트 ( 305 ) 를 갖 고 있 다 . 또한 , 대기 반 송실 ( 303 ) 의 측벽 에 는 , 기판 W 의 얼라인먼트 를 행하 는 얼라인먼트 챔버 ( 304 ) 가 마련 되 어 있 다 . 대기 반 송실 ( 303 ) 내 에 는 청정 공기 의 다운 플로우 가 형성 되 도록 되 어 있 다 .