이 로 인해 , 도 2 및 도 5 에서 , 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 3 부분 은 제 2 서브 영역 ( 160 b ) 과 , 제 2 서브 영역 ( 160 b ) 상 의 제 1 서브 영역 ( 160 a ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 3 부분 에서 , 제 1 서브 영역 ( 160 a ) 의 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 의 폭 은 제 2 서브 영역 ( 160 b ) 의 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 의 폭 보다 작 다 .