또한 , 상기 제 2 실시 형태 와 같이 2 D 인코더 를 이용 하 는 경우 에 , 예 를 들 어 , 도 21 에 도시 된 제 1 변형 예 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 상 에 , 각각 , 2 차원 인코더 헤드 ( 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) ) 를 , 예 를 들 어 , Y 축 방향 에 인접 하 게 , 또는 더욱 구체 적 으로 , 2 D 스케일 에 동시 에 대향 가능 하 게 되 는 위치 관계 로 탑재 할 수 있 다 . 이 변형 예 에서 는 , 주제 어 장치 는 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 의 계측 치 에 기초 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 XY 평면 내 에서 의 위치 ( X 축 방향 , Y 축 방향 , 및 θ z 방향 의 위치 ) 를 산출 한다 . 또한 , 이 변형 예 에서 는 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 의 배치 에 대응 하 여 , 도 21 에 도시 된 바 와 같 은 대략 U 자 형상 의 2 D 스케일 ( S 1 ' 및 S 2 ') 을 이용 하 여 스케일 의 배치 면적 의 크기 를 감소 시킴 으로써 , 비용 을 감소 시킬 수 있 다 . 또한 , 이 변형 예 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 상 에 각각 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 를 X 축 방향 으로 서로 인접 하 게 배치 할 수 있 고 , 또는 , 2 D 헤드 를 다른 위치 관계 로 배치 할 수 있 다 . 중요 한 것 은 2 D 스케일 ( S 1 ' 및 S 2 ') 에 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 가 동시 에 대향 하 는 배치 이 어야 한다 .