도 6 을 참조 하 면 , 본 실시 예 에 따른 기판 과 마스크 정렬 장치 는 진공 챔버 ( 110 ) 와 기판 이 안착 되 는 기판 안착 수단 ( 120 ) 과 , 기판 안착 수단 ( 120 ) 을 지지 하 는 지 지축 ( 210 ) 및 조절 수단 ( 230 ) 을 포함 하 는 지지 수단 ( 200 ) 과 , 상기 챔버 ( 110 ) 내부 를 진공 화 하 는 진공 펌프 ( 140 ) 를 포함 하 며 , 마스크 프레임 ( 130 ) 이 안착 되 는 마스크 안착 수단 ( 131 ) 과 , 상기 마스크 안착 수단 ( 131 ) 에 접속 된 조정 축 ( 132 ) 과 , 상기 조정 축 ( 132 ) 에 접속 되 어 마스크 안착 수단 ( 131 ) 을 조정 하 는 조정 판 ( 133 ) 을 포함 한다 . 그리고 , 상기 기판 에 박막 증착 원료 를 공급 하 는 원료 공급 부 ( 170 ) 를 더 포함 한다 .