제 2 감 지부 ( 720 ) 는 기판 이 이 동부 ( 200 ) 의 진공 흡 입면 에 밀착 하 였 는지 여부 를 감지 하 는 역할 을 수행 한다 . 제 2 감 지부 ( 720 ) 는 2 개 가 구비 되 어 각 제 2 감 지부 ( 720 ) 는 2 개 의 이 동부 ( 200 ) 중 대응 하 는 이 동부 ( 200 ) 의 진공 흡 입면 에 기판 이 밀착 하 였 는지 여부 를 감지 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 감 지부 ( 720 ) 는 촬영 된 영상 을 참조 하 여 기판 이 이 동부 ( 200 ) 의 진공 흡 입면 에 밀착 하 였 는지 여부 를 감지 할 수 있 다 .