다시 도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 버퍼 챔버 ( 3800 ) 는 복수 개 로 제공 된다 . 버퍼 챔버 들 ( 3800 ) 중 일부 는 인덱스 모듈 ( 20 ) 과 반송 챔버 ( 3400 ) 사이 에 배치 된다 . 이하 , 이 들 버퍼 챔버 를 전단 버퍼 ( 3802 ) ( front buffer ) 라 칭한다 . 전단 버퍼 들 ( 3802 ) 은 복수 개 로 제공 되 며 , 상하 방향 을 따라 서로 적층 되게 위치 된다 . 버퍼 챔버 들 ( 3802 , 3804 ) 중 다른 일부 는 반송 챔버 ( 3400 ) 와 인터페이스 모듈 ( 40 ) 사이 에 배치 된다 이 하 . 이 들 버퍼 챔버 를 후단 버퍼 ( 3804 ) ( rear buffer ) 라 칭한다 . 후단 버퍼 들 ( 3804 ) 은 복수 개 로 제공 되 며 , 상하 방향 을 따라 서로 적층 되게 위치 된다 . 전단 버퍼 들 ( 3802 ) 및 후단 버퍼 들 ( 3804 ) 각각 은 복수 의 기판 들 ( W ) 을 일시 적 으로 보관 한다 . 전단 버퍼 ( 3802 ) 에 보관 된 기판 ( W ) 은 인덱스 로봇 ( 2200 ) 및 반송 로봇 ( 3422 ) 에 의해 반입 또는 반출 된다 . 후단 버퍼 ( 3804 ) 에 보관 된 기판 ( W ) 은 반송 로봇 ( 3422 ) 및 제 1 로봇 ( 4602 ) 에 의해 반입 또는 반출 된다 .