정렬 을 위해서 , 기판 은 웨이퍼 - 레벨 정렬 마크 를 구비 할 수 있 다 . 이것 들 은 예 를 들 어 복제 전 에 , 예 를 들 어 리 소그 래픽 ( lithographic ) 기술 에 의해 웨이퍼 상 에 제공 될 수 있 다 . 대안 으로서 , 그것 들 은 제 1 복제 도구 로부터 복제 에 의해 제공 될 수 있 으며 , 이때 제 1 복제 도구 는 복제 가능 한 특징 부를 구비 하 여야 한다 . 이때 , 제 2 복제 도구 는 예 를 들 어 제 1 복제 도구 로부터 의 복제 된 정렬 구조 체 와 정렬 될 대응 마크 를 구비 한다 . 또 다른 대안 으로서 , 2 개 의 복제 도구 가 제공 되 고 복제 시 동시 에 기판 과 명확히 - 규정 된 위치 관계 로 위치 되 는 실시 형태 에서 , 두 복제 도구 는 웨이퍼 - 스케일 정렬 마크 에 의해 오직 서로 에 대해 정렬 될 수 있 다 . 기판 에 대한 위치 관계 는 복제 영역 이 복제 위치 와 정렬 되 도록 상대 적 z - 위치 및 상대 적 x - y 위치 가 근사 적 으로 규정 된다는 점 에서 명확히 - 규정 되 지만 , 위 의 정렬 은 복제 된 표면 들 의 서로 에 대한 정렬 만큼 정확 할 필요 가 없 다 .