도 2 a 및 도 2 b 를 참조 하 면 , 정전기 제거 를 위한 기판 처리 챔버 ( 10 ) 는 메인프레임 ( 100 ) 과 , 메인프레임 하단 에 위치 하 여 기판 을 이송 하 는 기판 이 송부 ( 200 ) 와 , 메인프레임 상단 에 연결 되 어 이오나 이 저 를 고정 하 기 위한 고정 구조물 ( 300 ) 과 , 고정 용 프레임 에 고정 되 는 이오 나이저 ( 400 ) 와 , 이오나 이 저 를 고정 구조물 에 고정 하 기 위한 브라 켓 ( 500 ) 을 포함 한다 .