도 20 은 부분 적 으로 삽입 된 카트리지 ( 320 ) 를 가지 는 , 도 19 의 모듈 ( 300 ') 을 개략 적 으로 도시 한 절단 분해 사시도 이 다 . 도시 된 바 와 같이 , 카트리지 ( 320 ) 는 상부 하우징 ( 301 A ) 과 중앙 하우징 ( 301 B ) 사이 에 삽입 가능 하 다 . 상부 하우징 ( 301 A ) 은 예 를 들 어 카트리지 ( 320 ) 의 삽입 을 허용 하 기 에 충분 한 여유 를 제공 하 기 위해 수직 으로 작동 될 수 있 거나 , 또는 대안 적 인 실시 예 ( 도시 되 지 않 음 ) 에서 , 액 튜 에 이터 는 카트리지 ( 320 ) 를 수용 하 도록 예 를 들 어 클램 쉘 ( clam - shell ) 방식 으로 중앙 하우징 ( 301 B ) 에 대해 상부 하우징 ( 301 A ) 을 개방 할 수 있 다 . 모든 실시 예 에서 , 카트리지 ( 320 ) 가 증착 챔버 내 로 삽입 되 면 , 액 튜 에 이터 ( 25 ) 는 가공물 홀더 와 차폐물 홀더 사이 의 상대 거리 를 감소 시키 도록 작동 할 것 이 다 .