또한 상기 구성 에 있 어서 제 2 절연 층 은 제 4 절 연막 , 제 5 절 연막 , 및 제 6 절 연막 이 이 순서 대로 적층 된 적층 구조 를 가지 는 것 이 바람직 하 다 . 이때 , 제 4 절연 막 은 반도체 층 과 접하 는 영역 을 가진다 . 또한 제 4 절 연막 , 제 5 절 연막 , 및 제 6 절 연막 은 각각 산화물 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .