아이 솔 레 이 션 모듈 ( 25 ) 의 일 측 에 는 로드 락 모듈 ( 30 ) 이 위치 할 수 있 다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 로드 락 챔버 ( 300 ) 를 포함 할 수 있 다 . 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 에 설치 된 유출 입 도어 ( 262 ) 는 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 내부 공간 ( 302 ) 을 외부 와 단절 시킬 수 있 다 .