계속 해서 , 상기 제 1 저유 전막 ( 214 ) 이 안정 화 되 도록 열처리 한 다음 , 상기 열처리 된 제 1 저유 전막 ( 214 ) 의 표면 을 상기 제 1 베리 어막 ( 212 ) 이 노출 되 지 않 는 두께 까지 평탄 화 시키 고 , 그리고 나 서 , 상기 평탄 화 된 제 1 저유 전막 ( 214 ) 표면 에 BARC ( Bottom Anti - Reflective Coating ) 막 ( 216 ) 을 형성 한다 .