그래서 , 보관 위치 와 교환 위치 와 의 사이 에서 이동 가능 한 용기 보관 부 에 , 용기 지 지체 가 교환 위치 와 보관 위치 와 의 사이 에 걸쳐 이동 해도 , 그 이동 에 연동 하 여 신축 가능 한 가스 공급 관 를 구비 하 는 것 에 의해 , 용기 내 에 불활성 가스 를 공급 하 는 것 을 고려 할 수 있 다 . 그러나 , 이 경우 에 는 , 용기 지 지체 가 교환 위치 와 보관 위치 와 의 사이 에서 이동 될 때 마다 , 가스 공급 관 이 신축 되 므로 , 가스 공급 관 이 쉽 게 열화 되게 된다 . 또한 , 가스 공급 관 이 신축 될 때 , 분진 ( 粉塵 ) 이 발생 하 여 , 기판 의 품질 을 확보 하 는 데 있 어서 바람직 하 지 않 다 .