실질 적 으로 세리아 슬러리 는 세리아 분말 과 분산제 의 수계 에서 의 반응 에 의해 최종 산물 의 입 도 또는 분산 안정 성 등 의 특성 이 크 게 달라지 고 , 이 에 따르 는 STI CMP 의 결과 가 크 게 달라진다 . 특히 , 디자인 룰 이 줄어들 수록 CMP 공정 에서 웨이퍼 에 발생 하 는 마이크 로 - 스크래치 가 중요 한 문제점 이 되 기 때문 에 , 세리아 슬러리 의 입도 를 제어 하 고 분산 안정 성 을 강화 하 는 것 은 매우 중요 하 다 .