또한 , 유도 코일 ( 202 ) 과 챔버 ( 204 ) 의 상부 면 ( 204 a ) 및 측면 ( 204 b ) 은 RF 전원 을 공급 하 는 제 1 , 2 전원 공급 부 ( 206 , 207 ) 에 각각 연결 되 어 있 으며 , 챔버 ( 204 ) 의 하부 에 는 챔버 ( 204 ) 에 발생 된 플 라즈 마로 부터 이온 빔 을 추출 하 기 위한 그리드 어셈블리 ( 220 ) 가 연결 되 어 있 다 .