예컨대 , 상기 실시 형태 에서 는 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 하방 에서 워크 ( W ) 를 지지 하 는 지 지부 를 반송 장치 ( 2 ) 에 의해 구성 한 예 에 대하 여 설명 하 였으나 , 본 발명 은 이 구성 에 한정 되 지 않 는다 . 즉 , 플라 즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 하방 에 있 어서 워크 ( W ) 를 고정 또는 정지 시킨 상태 에서 지지 하 는 지 지부 를 설치 하 고 , 이 지 지부 에서 지지 된 워크 ( W ) 에 대하 여 플 라즈 마 조사 를 행하 는 형태 라도 본 발명 을 마찬가지 로 적용 하 는 것 이 가능 하 다 .