도 11 은 본 발명 의 실시 형태 에 따른 , 플라 즈 마 소스 들 ( 200 , 300 , 320 ) 을 포함 하 는 통합 시스템 ( 1100 ) 의 블록 도 이 다 . 통합 시스템 ( 1100 ) 은 플 라즈 마 소스 들 ( 200 , 300 , 320 ) , 및 플 라즈 마 소스 들 에 연결 된 통합 시스템 제어기 ( 1110 ) 를 포함 한다 . 통합 시스템 제어기 ( 1110 ) 는 사용 자 인터페이스 ( 1114 ) 를 포함 하 거나 또는 ( 유선 또는 무선 네트워크 ( 1112 ) 를 통하 여 ) 사용 자 인터페이스 ( 1114 ) 에 연결 된다 . 사용자 인터페이스 ( 1114 ) 는 사용자 판독 가능 출력 들 및 표시 들 을 제공 하 고 사용 자 입력 들 을 수신 할 수 있 고 통합 시스템 제어기 ( 1110 ) 에 의 사용 자 액세스 를 제공 한다 .