이 경우 , 제 1 챔버 ( 910 ) 가 가열 되 었 을 때 에 도 , 게이트 밸브 ( 100 ) 에서 의 온도 상승 은 완만 해져서 , 게이트 밸브 ( 100 ) 에서 의 가온 ( 加溫 ) 의 영향 을 저감 할 수 있 다 . 특히 , 유압 구동 되 는 밸브 박스 부 세부 ( 70 ) 에서 의 가온 의 영향 을 저감 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 동작 확실 성 을 향상 시킬 수 있 다 .