본 발명 에 의한 방법 에 사용 되 는 유기 용제 를 함유 한 현상액 은 입경 이 0 . 3 ㎛ 이상 인 파티클 의 밀도 가 30 개 / mL 이하 이 다 . 이 파티클 의 밀도 는 25 개 / mL 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 20 개 / mL 이하 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 15 개 / mL 이하 인 것 이 더욱 바람직 하 고 , 10 개 / mL 이하 인 것 이 특히 바람직 하 고 , 5 개 / mL 이하 인 것 이 가장 바람직 하 다 .