본 실시 형태 에서 는 , 트랜지스터 ( 162 ) 및 용량 소자 ( 164 ) 가 트랜지스터 ( 160 ) 와 적어도 일부 가 중첩 하 도록 설치 되 어 있 다 . 이러 한 평면 레이아웃 을 채용 함 으로써 , 고집 적 화 를 도모 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 최소 가공 치수 를 F 로 하 면 , 메모리 셀 이 차지 하 는 면적 을 15 F 2 내지 25 F 2 로 하 는 것 이 가능 하 다 .