예시 적 인 S - D 서브시스템 ( 400 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 460 ) 에 그리고 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 470 ) 에 연결 될 수 있 는 5 개 의 S - D 로드 락 요소 ( 415 , 425 , 435 , 445 , 및 455 ) 를 포함 할 수 있 다 . 대안 으로 , 상이 한 개수 의 로드 락 요소 가 이용 될 수 있 고 상이 하 게 구성 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 는 로드 락 요소 가 필요 하 지 않 을 수 도 있 다 . S - D 로드 락 요소 ( 415 ) 는 하나 이상 의 S - D 처리 요소 ( 410 ) 에 연결 될 수 있 고 , S - D 로드 락 요소 ( 425 ) 는 하나 이상 의 S - D 처리 요소 ( 420 ) 에 연결 될 수 있 으며 , S - D 로드 락 요소 ( 435 ) 는 하나 이상 의 S - D 처리 요소 ( 430 ) 에 연결 될 수 있 고 , S - D 로드 락 요소 ( 445 ) 는 하나 이상 의 S - D 처리 요소 ( 440 ) 에 연결 될 수 있 으 며 , S - D 로드 락 요소 ( 455 ) 는 하나 이상 의 S - D 처리 요소 ( 450 ) 에 연결 될 수 있 다 . 다양 한 실시 예 에서 , S - D 로드 락 요소 ( 415 , 425 , 435 , 445 , 및 455 ) 는 실질 적 으로 동시 에 하나 이상 의 웨이퍼 를 이송 , 지연 , 보관 , 정렬 및 / 또는 검사 하 기 위한 S - D 내부 이송 디바이스 ( 각각 417 , 427 , 437 , 447 및 457 ) 를 포함 할 수 있 다 .