이하 , 로드 포트 ( 100 ) , 인덱스 모듈 ( 200 ) , 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) , 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) , 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) , 노광 전후 처리 모듈 ( 600 ) , 그리고 인터페이스 모듈 ( 700 ) 이 배치 된 방향 을 제 1 방향 ( 12 ) 이 라 칭하 고 , 상부 에서 바라볼 때 제 1 방향 ( 12 ) 과 수직 한 방향 을 제 2 방향 ( 14 ) 이 라 칭하 고 , 제 1 방향 ( 12 ) 및 제 2 방향 ( 14 ) 과 각각 수직 한 방향 을 제 3 방향 ( 16 ) 이 라 칭한다 .