FeRAM 이 저전압 으로 동작 가능 하 기 위해서 는 , 강유전체 커패시터 를 구성 하 는 강유전체 막 이 큰 반전 전하량 ( QSW ) 을 갖 는 것 이 요구 되 지만 , 다층 배선 구조 를 사용 한 경우 , 다층 배선 구조 를 형성 하 는 과정 에서 사용 되 는 환원 분위기 처리 또는 비산 화 분위기 처리 에 의해 , 이미 형성 되 어 있 는 강유전체 커패시터 의 특성 이 열화 하 게 되 는 문제 가 생긴다 .