마스크 층 제거 공정 에 있 어서 의 제 2 공정 에서 는 제 2 액 공급 부 ( 46 ) 에 있 어서 의 제 2 액 공급 노즐 승강 수단 ( 48 ) 에 의해 , 제 2 액 공급 노즐 ( 47 ) 이 소정 의 높이 에 배치 된다 . 그리고 , 제 2 액 공급 노즐 ( 47 ) 이 제 2 액 공급원 ( S 2 ) 에 연통 되 어 제 2 액 공급 노즐 ( 47 ) 로부터 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 제 2 액 이 공급 된다 . 이 로써 , 수지 로 이루어지 는 마스크 층 이 용해 되 어 마스크 층 이 제거 된다 .