마이크 로 요동 소자 X 3 은 요 동부 ( 10 ) 대신 에 요 동부 ( 10 ') 를 구비 하 는 점 , 구동 전극 ( 23 ) 대신 에 구동 전극 ( 26 ) 을 구비 하 는 점 및 실드 전극 부 ( 24 ) 를 구비 하 지 않 은 점 에서 , 제 1 실시 형태 인 마이크 로 요동 소자 X 1 과 상이 하 다 . 마이크 로 요동 소자 X 3 에서 의 프레임 ( 21 ) 및 한 쌍 의 연결부 ( 22 ) 는 마이크 로 요동 소자 X 1 에서 의 프레임 ( 21 ) 및 한 쌍 의 연결부 ( 22 ) 와 마찬가지 이 다 .