본 발명 은 도포 막 형성 장치 에 관한 것 으로 , 액상 의 재료 물질 을 이용 하 여 반도체 제조 공정 에서 도포 막 을 형성 하 기 위하 한 도포 막 형성 장치 에 있 어서 , 상기 재료 물질 에 포함 된 불순물 을 제거 하 되 , 소수성 물질 로 형성 된 필터 를 포함 하 는 제 1 여 과부 및 상기 제 1 여 과부 와 소통 가능 하 게 연결 되 고 , 상기 재료 물질 에 포함 된 불순물 을 제거 하 되 , 친수성 물질 로 형성 된 필터 를 포함 하 는 제 2 여 과부 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 기 때문 에 , 액상 의 재료 물질 에 포함 된 불순물 을 보다 효과 적 으로 제거 할 수 있 다 .