또 , 상기 의 실시 형태 에서 는 , 도어 ( 15 ) 를 따라서 그 폭 방향 으로 연장 되 는 가늘 고 긴 분출 노즐 ( 20 ) 에 대해서 , 그 길 이 방향 양단 에 가열 에어 를 공급 하 도록 가열 에어 의 공급 계통 ( 내부 배관 ( 31 ) 등 ) 이 설치 되 어 있 으므로 , 분출 노즐 ( 20 ) 내 에서 , 그 길 이 방향 을 따라서 가열 에어 의 온도 구배 가 생기 는 것 을 억제 하 는 것 이 가능 해진다 . 그 때문 에 , 이러 한 온도 구배 가 생기 는 것 에 의한 결함 , 예 를 들 면 기판 ( S ) 의 가열 처리 의 균일성 에 영향 을 주 는 결함 을 회피 할 수 있 는 효과 도 있 다 .