기억 장치 ( 121 c ) 는 , 예 를 들 어 플래시 메모리 , HDD ( Hard Disk Drive ) 등 으로 구성 되 어 있 다 . 기억 장치 ( 121 c ) 내 에 는 , 기판 처리 장치 의 동작 을 제어 하 는 제어 프로그램 이나 , 후술 하 는 성막 처리 의 수순 이나 조건 등 이 기재 된 프로세스 레시피 등 이 판독 가능 하 게 저장 되 어 있 다 . 프로세스 레시피 는 , 후술 하 는 성막 처리 에서 의 각 수순 을 컨트롤러 ( 121 ) 에 실행 시켜 , 소정 의 결과 를 얻 을 수 있 게 조합 된 것 이 며 , 프로그램 으로서 기능 한다 . 이하 , 프로세스 레시피 나 제어 프로그램 등 을 총칭 하 여 , 간단히 프로그램 이 라고 도 한다 . 또한 , 프로세스 레시피 를 , 간단히 레시피 라고 도 한다 . 본 명세서 에서 프로그램 이 라는 말 을 사용 한 경우 에 는 , 레시피 단체 만 을 포함 하 는 경우 , 제 어 프로그램 단체 만 을 포함 하 는 경우 , 또는 그 들 양쪽 을 포함 하 는 경우 가 있 다 . RAM ( 121 b ) 은 , CPU ( 121 a ) 에 의해 판독 된 프로그램 이나 데이터 등 이 일시 적 으로 유지 되 는 메모리 영역 ( 워크 에리 어 ) 으로서 구성 되 어 있 다 .