도 20 의 단면도 ( 2000 ) 에 의해 또한 예시 된 바 와 같이 , 선택 게이트 층 ( 1504 ) ( 도 19 참조 ) 으로부터 선택 게이트 전극 ( 150 ) 및 더미 선택 게이트 전극 ( 162 ) 을 패 터닝 하 도록 또 다른 에칭 이 수행 될 수 있 다 . 선택 게이트 하드 마스크 ( 152 ) , 소거 게이트 하드 마스크 ( 159 ) 및 더미 선택 게이트 하드 마스크 ( 164 ) 는 이 에칭 을 위한 마스크 를 제공 할 수 있 다 . 예 시 로 도시 되 지 않 있 지만 , 이 에칭 은 하드 마스크 를 부분 적 으로 제거 할 수 있 다 .