다음 으로 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 마이크 로 카메라 ( 33 ) 를 이용한 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 의 상태 의 검사 ( 예컨대 , 외주 에서 의 이지러 짐 의 유무 의 검사 ) 를 실시 한다 . 이 검사 에서 는 , 먼저 , 제 어 유닛 ( 61 ) 의 중심 산 출부 ( 62 ) 가 , 유지 면 ( 12 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 의 중심 ( C 1 ) 의 좌표 를 산출 한다 .