도 3 은 본 발명 의 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 의 구성 ( 주로 전면 측 의 시스템 구성 ) 을 나타낸다 . 이 기판 처리 시스템 은 , 복수 의 카세트 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 수평 방향 으로 모두 배치 가능 한 복수 , 예 를 들 면 , 6 개 의 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 가 마련 되 는 가늘 고 긴 직방체 형상 의 로더 모듈 ( 22 ) 과 , 복수 , 예 를 들 면 , 4 개 의 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 를 구비 한다 .