다음 으로 , S 128 에서 구한 정전 용량 C 혹은 전기 저항 R 과 , S 130 에서 구한 RC 시정수 를 이용 하 여 서로 다른 전기 특성 값 ( 앞서 구한 전기 특성 과 는 다른 전기 특성 의 값 ) 을 해석 한다 ( S 131 ) . 본 실시 예 에서 는 S 128 에서 정전 용량 C 를 미리 구하 고 있 기 때문 에 , 당해 정전 용량 C 와 , S 130 에서 구한 RC 시정수 로부터 , 수식 5 를 이용 하 여 전기 저항 R 을 해석 한다 . 지정 한 검사 영역 에 있 어서 , S 125 내지 S 131 의 스텝 을 반복 한다 . 다음 으로 , 전기 저항 과 정전 용량 의 결과 를 표시 한다 ( S 132 ) . 다음 으로 , 전기 저항 과 정전 용량 의 결과 로부터 결함 의 종류 를 분류 한다 ( S 133 ) . 다음 으로 분류 한 결과 의 웨이퍼 면내 에서 의 발생 상태 를 표시 한다 ( S 134 ) . 본 실시 예 에서 는 평균 결함 밀도 등 도 검사 결과 로서 표시 하 고 있 다 . 다음 으로 검사 공정 을 종료 한다 ( S 135 ) .