도 6 및 도 7 을 참조 하 면 , 검사 대상 ( S ) 의 제 1 면 ( F 1 ) 에 대한 검사 를 수행 한다 ( S 120 ) . 좀 더 구체 적 으로 , 제 1 스테이지 ( 100 ) 로 반입 된 검사 대상 ( S ) 은 제 1 레 일부 ( 110 ) 를 통하 여 표면 검사 위치 ( 132 ) 로 이동 되 고 ( S 122 ) , 클램프 ( 130 ) 를 통해 표면 검사 위치 ( 132 ) 에 고정 될 수 있 다 ( S 124 ) . 검사 대상 ( S ) 이 클램프 ( 130 ) 에 의하 여 고정 되 면 , 검사 부 ( 300 ) 는 검사 대상 ( S ) 의 제 1 면 ( F 1 ) 을 검사 한다 ( S 126 ) . 일부 실시 예 들 에서 , 상기 검사 부 ( 300 ) 는 일 방향 ( a ) 으로 이동 하 면서 검사 대상 의 제 1 면 ( F 1 ) 에 대한 이미지 를 복수 개 촬상 할 수 있 다 .