또한 , 이하 , 도 1 에 입각 하 여 기판 세정 장치 ( 10 ) 의 각 부 의 위치 관계 를 설명 한다 . 도 1 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 은 피세 정면 이 다 . 도 1 에 있 어서 의 상하 방향 은 높이 방향 이 다 . 기판 보유 지지 기구 ( 40 ) 의 중심축 C 1 은 , 예 를 들 어 연직 방향 을 따른다 . 여기 서 정한 기판 세정 장치 ( 10 ) 의 자세 는 , 기판 세정 장치 의 사용 시 의 자세 를 한정 하 지 않 는다 .