In - Ga - Zn - O 계 의 타깃 으로서 는 , 예 를 들 어 조성 비 로서 , In 2 O 3 : Ga 2 O 3 : ZnO = 1 : 1 : 1 [ mol 수비 ] 의 타깃 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , 타깃 의 재료 및 조성 을 상술 에 한정 할 필요 는 없 다 . 예 를 들 어 , In 2 O 3 : Ga 2 O 3 : ZnO = 1 : 1 : 2 [ mol 수비 ] 의 조성 비 의 타깃 을 이용 할 수 도 있 다 .