도 5 를 이제 참고 하 면 , 위상 변경 광학 요소 ( 140 ) 가 복합 렌즈 ( 131 ) 로서 배열 되 고 방사상 오프셋 방향 으로 펄스 레이저 빔 ( 112 ) 의 빔 경로 ( 111 ) 에 대해 각각 위치 된 제 1 초점 렌즈 ( 132 ) 및 제 2 초점 렌즈 ( 134 ) 를 포함 하 는 광학 조립 체 ( 100 ) 의 실시 예 가 도시 되 어 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 및 제 2 초점 렌즈 ( 132 , 134 ) 모두 는 동일 한 방향 으로 또는 대안 으로 상이 한 방향 으로 방사상 으로 오프셋 될 수 있 다 . 동작 시 , 제 1 및 제 2 초점 렌즈 ( 132 , 134 ) 는 하나 이상 의 병진 스테이지 ( 190 ) 의 움직임 에 의해 오프셋 될 수 있 다 .