본 실시 예 에서 는 입 구 필터 ( 40 ) 및 제 1 내부 필터 ( 50 a ) 로서 유기 물질 을 제거 하 는 몰드 형 의 케미컬 필터 를 구비 하 고 , 제 2 내부 필터 ( 50 b ) 로서 산 성 물질 을 제거 하 는 벌집 형 의 케미컬 필터 를 구비 하 고 , 제 3 내부 필터 ( 50 c ) 로서 ULPA 필터 를 구비 한 보관 장치 ( 1 ) 를 이용 하 였 다 .