18 . 조항 12 내지 17 중 임의 의 것 에서 정의 되 는 바 와 같 은 방법 으로서 , 제 1 타 겟 및 제 2 타 겟 은 제 1 및 제 2 타 겟 을 포함 하 는 타 겟 평면 에 수직 인 각도 에서 상기 제 1 방사선 및 상기 제 2 방사선 으로 각각 조명 되 되 , 상기 제 1 검출 위치 및 제 2 검출 위치 는 타 겟 평면 에 수직 인 축 을 중심 으로 대칭 적 으로 배열 된다 .