또한 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 은 , 제 1 유로 ( 35 a ) 로부터 제 2 유로 ( 36 a ) 에 처리 액 이 흐를 때 에 발생 한 기포 를 , 토출 유로 ( 31 b ) 에 처리 액 을 흘리 는 동안 에 저감 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 은 , 기판 ( W ) 에 토출 되 는 처리 액 에 기포 가 포함 되 는 것 을 억제 할 수 있 고 , 처리 액 의 토출 상태 를 안정 화 시킬 수 있 다 .