본 실시 예 에서 , 일 예 로 , X 축 구동 부 ( 230 ) 및 Y 축 구동 부 ( 210 ) 의 동작 범위 는 0 ~ 300 mm 일 수 있 고 , 이동 속도 는 0 . 1 ~ 500 mm / s 일 수 있 다 . Z 축 구동 부 ( 250 ) 의 동작 범위 는 0 ~ 80 mm 일 수 있 고 , 이동 속도 는 0 . 1 ~ 400 mm / s 일 수 있 다 . 각 구동 부 ( 200 ) 의 동작 범위 는 0 . 001 mm 단위 까지 정밀 하 게 제어 할 수 있 다 .