도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 페러 데이 시스템 ( 110 ) 은 , 상기 가속 장치 ( 109 ) 에서 가속 되 어 Z 축 방향 으로 진행 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 을 수집 하 여 전류 를 발생 시키 는 페러 데이 컵 ( 112 ) 과 , 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 에 수집 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 에 의해 유발 되 는 2 차 전자 의 방출 을 방지 하 기 위해 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 의 입구 ( 111 ) 주변 에서 소정 크기 의 전기장 을 형성 하 는 억제 전극 ( 114 ) 과 , 상기 이온 빔 ( 100 ) 을 상기 페러 데이 컵 ( 112 ) 으로 통과 시키 는 개방 구 ( 113 ) 를 구비 하 고 , 상기 억제 전극 ( 114 ) 및 페러 데이 컵 ( 112 ) 의 둘레 를 감싸 도록 형성 하우징 ( 116 ) 과 , 상기 개방 구 ( 113 ) 에 통과 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 이 진행 되 는 X 축 방향 으로 상기 하우징 ( 116 ) 을 이동 시키 고 , Y 축 방향 으로 상기 개방 구 ( 113 ) 가 이동 되 도록 상기 하우징 ( 116 ) 을 회전 시키 는 구동 부 ( 118 ) 를 포함 하 여 이루어진다 .