[ 0074 ] 도 5 a 및 5 b 는 , 본원 에서 설명 되 는 실시 예 들 에 따른 캐리어 의 운송 을 위한 운송 어 레인지 먼 트 의 개략 도 들 을 도시 한다 . 도 5 a 및 5 b 는 기판 캐리어 ( 120 ) 를 예시 적 으로 예시 한다 . 도 6 은 , 본원 에서 설명 되 는 추가 적 인 실시 예 들 에 따른 기판 ( 10 ) 의 진공 프로세싱 을 위한 장치 의 개략 도 를 도시 한다 .