TiO 2 를 증착 하 고 재산 화 를 진행 하 지 않 은 비 교예 3 의 경우 33 eV 보다 작 은 결합 에너지 에서 피크 가 나타나 는데 이 는 GeO 2 보다 산화 상태 가 낮 은 GeO 2 가 생성 되 었 다는 것 을 의미 한다 . 이 는 스퍼터 를 이용 하 여 산화물 을 증착 할 때 , 산소 플 라즈 마 에 의하 여 필연 적 으로 생성 되 는 부분 에 해당 한다 . 또한 29 . 7 eV 근처 에 도 피크 가 나타나 는 것 을 확인 할 수 있 는데 , 이 는 XPS 투과 깊이 가 약 10 nm 이 기 때문 에 , 게르마늄 기판 까지 측정 되 어 나타나 는 것 이 다 .