스캔 전극 ( 11 ) 과 서 스테인 전극 ( 12 ) 이 나란 하 게 형성 된 상부 기판 ( 10 ) 에 는 상부 유전체 층 ( 13 ) 과 보호막 ( 14 ) 이 적층 된다 . 상부 유전체 층 ( 13 ) 에 는 방전 에 의하 여 발생 된 하전 입자 들 이 축적 되 고 , 유지 전극 쌍 ( 11 , 12 ) 을 보호 하 는 기능 을 수행 할 수 있 다 . 보호막 ( 14 ) 은 가스 방 전시 발생 된 하전 입자 들 의 스 피터 링 으로부터 상부 유전체 층 ( 13 ) 을 보호 하 고 , 2 차 전자 의 방출 효율 을 높이 게 된다 .