본 발명 의 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 은 , [ B ] 가교제 를 더 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 해당 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 은 수산기 또는 아미노기 를 갖 는 구조 단위 를 함유 하 기 때문 에 , [ B ] 가교제 를 더 포함 함 으로써 [ B ] 가교제 와 중합체 의 가교 반응 이 일어나 고 , 얻 어 지 는 레지스 트 하층 막 과 레지스 트 막 의 인터 믹 싱이 억제 된다 .