도 3 은 본 발명 에 따른 펄스 형 플 라즈 마 기상 화학 증착 법 또는 원자 층 증착 법 을 이용 하 여 박막 을 형성 하 는 방법 을 나타낸 흐름 도 이 다 . 이때 , 사용 되 는 박막 으로 는 단일 조성 의 절 연막 , 다층 절 연막 , 저 유전 상수 절연체 와 고유 전상수 절연체 의 혼합 조성 의 절 연막 을 사용 할 수 있 으며 , 무기물 절 연막 또는 유기물 절 연막 으로 구성 할 수 있 다 .