DIW 공급원 ( 701 ) 으로부터 , DIW 공급 라인 ( 702 ) 을 통해서 탱크 ( 10 ) 에 DIW 가 공급 되 도록 되 어 있 다 . DIW 공급 라인 ( 702 ) 에 는 , 상류 측 부터 순서 대로 개폐 밸브 ( 703 ) , 열 교환기 ( 704 ) , 온도 센서 ( 705 ) , 개폐 밸브 ( 706 ) , 개폐 밸브 ( 707 ) 가 마련 되 어 있 다 . 온도 센서 ( 705 ) 와 개폐 밸브 ( 706 ) 의 사이 에서 , DIW 공급 라인 ( 702 ) 으로부터 복귀 라인 ( 708 ) 이 분기 하 고 있 다 . 복귀 라인 ( 708 ) 에 는 개폐 밸브 ( 709 ) 가 마련 되 어 있 다 .