정전 척 들 및 그 사용 방법 들 에 대한 실시 예 들 이 본 명세서 에 제공 된다 . 정전 척 및 그 사용 방법 이 본 명세서 에 제공 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 정전 척 은 , 디스크 로서 , 기판 을 위 에 지지 하 는 제 1 측면 과 , 제 1 측면 과 반대 인 제 2 측면 을 가져서 , 디스크 를 열 제어 판 에 대해 선택 적 으로 커플링 하 기 위한 계면 을 제공 하 는 , 디스크 와 , 디스크 에 대해 기판 을 정전기 적 으로 커플링 하 기 위해 제 1 측면 에 근접 하 여 디스크 내부 에 배치 된 제 1 전극 과 , 열 제 어 판 에 대해 디스크 를 정전기 적 으로 커플링 하 기 위해 디스크 의 반 대면 에 근접 하 여 디스크 내부 에 배치 된 제 2 전극 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 전극 은 또한 디스크 를 가열 하 도록 구성 될 수 있 다 .