반도체 소자 는 사진 ( photolithography ) 공정 , 식각 공정 , 박막 증착 공정 및 확산 공정 등 과 같 은 단위 공정 들 을 사용 하 여 제조 된다 . 이 들 단위 공정 들 중 상기 사진 공정 은 상기 반도체 소자 의 미세 한 패턴 들 의 형성 에 직접 적 인 영향 을 준다 . 따라서 , 고집 적 반도체 소자 의 제조 에 있 어서 , 상기 사진 공정 은 매우 중요 한 역할 을 한다 .