따라서 , 도 1 ( e ) 와 같이 금속 층 ( 50 ) 이 형성 된 경우 에 는 제 2 패턴 ( 32 ) 이 노출 되 도록 금속 층 ( 50 ) 을 소정 의 두께 만큼 식각 하 여야 한다 [ 도 1 ( f ) 참조 ] . 금속 층 ( 50 ) 식각 방법 으로 는 CMP ( Chemical Mechanical Polishing ) 법 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .