윈도우 부재 ( 191 ) 는 유전체 창 ( dielectric window ) 을 포함 하 여 형성 될 수 있 다 윈도우 부재 ( 191 ) 는 제 2 가스 공급 라인 ( 162 ) 이 삽입 되 기 위한 통공 이 형성 될 수 있 으며 , 하우징 ( 110 ) 의 내부 에서 플라 즈 마 공정 이 수행 될 때 파티클 ( particle ) 의 발생 을 억제 하 기 위해 그 표면 에 코팅 막 이 형성 될 수 있 다 .