도 1 은 특정 한 컴포넌트 들 을 포함 하 는 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 실시 예 를 예시 하 지만 , 부가 적 인 컴포넌트 들 또는 도 1 에 도시 된 것 과 상이 하 게 성형 된 컴포넌트 들 이 대안 적 으로 채용 될 수 도 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 대안 적 으로 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 는 프로세싱 영역 ( 234 ) 으로 리모트 로 생성 된 플 라즈 마 를 공급 하 도록 샤워 헤드 ( 112 ) 에 연결 되 는 독립 챔버 일 수 도 있 다 .