상기 덕트 ( 4 ) 의 타 측 에 는 가스 공급 라인 ( 3 ) 을 따라 유입 된 공정 가스 를 공급 할 수 있 도록 고압 가스통 에 대응 하 는 개수 로 레 귤 레이터 박스 ( 5 ) 가 설치 되 어 있 고 상기 각각 의 레 귤 레이터 박스 ( 5 ) 의 상단 부 에 는 FAB ( 7 ) 내 의 각 장비 ( 8 ) 에 대응 하 여 연결 될 수 있 도록 장비 ( 8 ) 의 개수 와 동일 한 개수 의 공급 관 ( 9 ) 이 연결 되 어 있 다 .