도 11 a 내지 도 11 b 는 , 본 실시 형태 에 있 어서 의 위치 정렬 보정 의 일례 를 도시 하 는 도면 이 다 . 위치 정렬 로서 , 예 를 들 어 x , y 방향 의 병진 이동 , 및 회전 ( θ ) 만 을 허용 하 는 보정 변환 을 고려 한다 . 보정 후 의 기준 윤곽 과 , 추출 된 대상 패턴 의 차이 를 나타내 는 평가 함수 는 , 윤곽 간 의 거리 등 에 의해 나타낸다 . 이것 을 최소 제곱법 등 으로 최적 화 함 으로써 보정 변환 의 파라미터 , 즉 병진 이동 거리 및 회전 각도 를 결정 한다 . 도 11 a 에 도시 하 는 바 와 같이 기준 윤곽 ( 10 ) 과 추출 된 제 2 윤곽 이 있 었 을 때 , 이러 한 병진 및 회전 변환 을 사용 하 여 , 도 11 b 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기준 윤곽 ( 10 ) 을 보정 하 여 , 제 2 윤곽 에 접근 한 윤곽 ( 13 ) 으로 보정 한다 . 또한 , 보정 하 는 경우 에 , 여기 서 의 보정 의 내용 은 병진 과 회전 에 한정 되 어 있 기 때문 에 , 보정 후 에 있 어서 도 기준 윤곽 이 결함 개소 를 포함 하 는 대상 패턴 의 윤곽 에 합치 되 는 일 은 없 으며 , 결함 부 의 차이 는 명료 하 게 검출 가능 하 다 .