도 2 는 본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 마이크로웨이브 발생 장치 ( 20 ) 와 이 를 구비 하 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 100 ) 의 블록 도 를 나타낸다 . 도 2 를 참조 하 면 , 마이크로웨이브 발생 장치 ( 20 ) 는 가변 주파수 발생기 ( 112 ) , 변조기 ( 114 ) , 증폭기 ( 116 ) , 분기 장치 ( 118 ) , 및 적어도 하나 의 도파 장치 ( 120 , ..., 122 ) 를 구비 한다 . 증폭기 ( 116 ) 와 분기 장치 ( 118 ) 사이 , 분기 장치 ( 118 ) 와 각 도파 장치 ( 120 , ..., 122 ) 사이 , 또는 각 도파 장치 ( 120 , ..., 122 ) 와 각 안테나 ( 132 , 134 , 136 , 138 ) 사이 에 는 서큘레이터 ( circulator ) , 아이솔레이터 ( isolator ) , 또는 도 5 에 도시 된 제어 모듈 ( 50 ) 이 설치 될 수 있 다 .