또한 , 익스 팬 드 장치 ( 10 ) 는 , 카세트 ( 13 ) 에 출입 되 는 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 이 임시 배치 되 는 한 쌍 의 제 1 가이드 레일 ( 15 ) 과 , 한 쌍 의 제 2 가이드 레일 ( 16 ) 을 구비 한다 . 한 쌍 의 제 1 가이드 레일 ( 15 ) 은 , Y 축 방향 과 평행 이 고 , 아울러 수평 방향 과 평행 이 고 또한 Y 축 방향 과 직교 하 는 X 축 방향 에 서로 간격 을 두 고 배치 된다 . 한 쌍 의 제 1 가이드 레일 ( 15 ) 은 , 카세트 엘리베이터 ( 12 ) 에 재치 되 는 카세트 ( 13 ) 의 개구 ( 14 ) 의 X 축 방향 의 양단 과 Y 축 방향 에 늘어서 도록 , 장치 본체 ( 11 ) 의 Y 축 방향 의 중앙 에 배치 되 어 있 다 . 한 쌍 의 제 1 가이드 레일 ( 15 ) 은 , 도시 하 지 않 은 구동 기구 에 의해 X 축 방향 으로 이동 가능 하 게 설치 되 고 , 구동 기구 에 의해 서로 가까워 지 거나 멀 어 진다 . 한 쌍 의 제 1 가이드 레일 ( 15 ) 은 , 카세트 ( 13 ) 에 출입 되 는 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 이 재치 되 고 , 구동 기구 에 의해 서로 가까워 지 면 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 을 X 축 방향 에 위치 결정 한다 .