" 이 는 상기 PECVD 법 을 이용 한 산화 막 증착 공정 은 웨이퍼 의 형상 품질 중 에 하나 인 BOW 를 ""- Bow "" 에서 ""+ Bow "" 로 변화 시키 는 성질 을 이용 한 것 이 다 . 즉 ", 상기 와 같 은 본 발명 의 웨이퍼 제조 방법 에 의하 면 , " 래핑 공정 에 투입 되 는 모든 웨이퍼 는 ""- Bow "" 값 을 가지 도록 제어 하 여 결국 "," PECVD 공정 에서 는 ""- Bow "" 값 을 가지 는 웨이퍼 만 투입 되 도록 함 으로써 "" 높 은 - Bow "" 상태 인 웨이퍼 도 PECVD 공정 을 통해 적절 한 ""+ Bow "" 상태 의 웨이퍼 가 제조 되 도록 한 것 이 다 . 이 에 따라 ", 본 발명 의 구성 에 의하 면 , " 종래 의 ""+ Bow "" 상태 인 웨이퍼 가 PECVD 공정 을 통해 "" 높 은 + Bow "" 상태 의 웨이퍼 가 제조 되 던 문제점 을 간단히 해결 할 수 있 다 . "