웨이퍼 의 앞면 상 에 노광 될 주 된 레지스 트 층 을 형성 하 고 , 웨이퍼 의 후면 상 에 수분 잔류 를 억제 하 는 소수성 표면 층 을 형성 한 후 , 웨이퍼 를 액침 리소그래피 장비 의 웨이퍼 척 상 에 장착 하 여 노광 을 수행 하 는 단계 를 포함 하 는 액침 리소그래피 방법 을 제시 한다 . 소수성 표면층 은 상기 웨이퍼 의 후면 상 에 초 순수 에 대해 소수성 을 가지 는 레지스 트 물질 을 코팅 하 여 형성 될 수 있 다 .