구체 적 으로 설명 한다 . 처리 층 ( B 1 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 4 ) 는 , 버퍼 부 ( PSBU 4 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 기판 반송 기구 ( MHU 4 ) 는 , 수취 한 기판 ( W ) 을 , 냉 각부 ( CP ) , 현상 유닛 ( DEV ) , 가열 처 리부 ( POSTBake ) ( 도 11 에서 는 「 PB 」 로 나타낸다 ) , 검사 부 ( LSCM 2 ) , 복귀 부 ( RT 1 ) ( 버퍼 부 ( BU 1 ) ) 의 순서 대로 반송 한다 . 현상 유닛 ( DEV ) 은 , 노광 장치 ( EXP ) 에서 노광 처리 된 기판 ( W ) 에 대해서 현상 처리 를 행한다 . 검사 부 ( LSCM 2 ) 는 , 현상 후 의 기판 ( W ) 을 검사 한다 .