이 어 , 제 어부 ( 530 ) 는 전기 적 으로 연결 된 제 1 , 2 엔 코더 들 ( 512 , 522 ) 로부터 검출 되 는 마스크 스테이지 ( 150 ) 와 고정부 ( 400 ) 의 회전각 에 대한 전기 적 신호 를 전송 받 아 회전각 들 이 각각 0 ° 가 되 도록 상기 제 1 , 2 모터 ( 511 , 512 ) 로 구동 신호 를 전송 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 제 어부 ( 530 ) 는 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 와 , 상기 고정부 ( 400 ) 가 회전 전 의 위치 , 즉 원위치 의 상태 로 되 도록 하 는 것 이 다 .