또한 본 발명 에서 상기 이 동척 은 , 상기 로딩 스테이지 의 타 측 말단 에 상기 고정 척 본체 와 대향 되 도록 고정 되 어 설치 되 는 고정 부재 ; 상기 고정 부재 의 전면 에 수평 이동 가능 하 게 설치 되 는 이동판 넬 ; 상기 이동 판넬 의 하부 에 설치 되 며 , 상기 이동 판넬 의 수평 이동 방향 을 안내 하 는 안내 레일 ; 상기 이동 판넬 에 설치 되 며 , 상기 제 2 단변 커버 를 부착 하 는 제 2 자력 발생 부 ; 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .