따라서 본 발명 은 , 이상 에서 설명 한 문제점 을 해결 하 기 위하 여 안출 된 것 으로서 , MgO 나노 분말 은 고 순도 의 MgO 를 미분 쇄 를 통하 여 수 마이크 로 대 의 분말 을 제조 후 성형 및 소결 하 여 증착 용 타 겟 ( target ) 을 제조 한다 . 그런데 MgO 는 공기 중 이나 용액 내 에서 수화 반응 성 이 매우 좋 아 다루 기 가 힘들 고 , 고 순도 의 MgO 미분 말 을 얻 기 위해 복잡 한 공정 을 거친다 . 이 에 본 기술 에서 는 분위기 챔버 내 에 RF 플 라즈 마 를 발생 시킨 다음 , 수십 마이크 로 MgO 분말 을 투입 하 고 기화 및 응축 과정 을 거치 면서 제조 된 고 순도 의 나노 분말 을 글러브 박스 ( glove box ) 내 에서 수거 하 여 성형 및 소결 하 여 타 겟 ( target ) 을 제조 하 는 방법 을 제공 하 고자 한다 .