로드 로크 실 ( 301 내지 303 ) 은 , 각각 게이트 밸브 ( G 21 내지 G 23 ) 를 통해서 진공 반 송실 ( 200 ) 과 접속 되 고 , 게이트 밸브 ( G 31 내지 G 33 ) 를 통해서 대기 반 송실 ( 400 ) 과 접속 되 어 있 다 . 로드 로크 실 ( 301 내지 303 ) 내 는 , 대기 분위기 와 진공 분위기 를 전환 할 수 있 게 되 어 있 다 .