기판 보유 지지 기구 ( 40 ) 는 , 복수 의 보유 지지 부 ( 41 ) 를 구비 한다 . 보유 지지 부 ( 41 ) 는 , 베이스 기둥 ( 42 ) 과 , 걸림 고정부 ( 43 ) 를 구비 한다 . 걸림 고정부 ( 43 ) 는 베이스 기둥 ( 42 ) 의 상단 에 마련 되 어 있 다 . 걸림 고정부 ( 43 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 에 걸림 고정 된다 . 보유 지지 부 ( 41 ) 는 , 걸림 고정부 ( 43 ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 에 걸림 고정 됨 으로써 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 한다 . 복수 의 보유 지지 부 ( 41 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 주위 방향 으로 위치 를 다르 게 하 여 마련 되 어 있 다 .