상기 이 송부 ( 300 ) 는 상기 이송 챔버 ( 200 ) 의 내부 에 배치 고정 된다 . 상기 이 송부 ( 300 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 상기 로딩 챔버 ( 10 ) 또는 상기 공정 챔버 ( 20 ) 에서 로딩 하 여 상기 로딩 챔버 ( 10 ) , 상기 이송 챔버 ( 200 ) 또는 상기 공정 챔버 ( 20 ) 로 이송 시키 는 역할 을 한다 . 상기 의 이송 은 실질 적 으로 , 기 설정 된 프로그램 에 의해 자동 적 으로 동작 할 수 도 있 고 , 경우 에 따라 , 작업자 에 의해 제어 될 수 도 있 다 . 이러 한 상기 이 송부 ( 300 ) 는 산업 현장 에서 널리 사용 되 는 로봇 ( robot ) 장치 를 의미 할 수 있 다 .