상기 단계 0 의 폐 실리콘 슬러 지 는 실리콘 웨이퍼 제조 공정 에서 발생 하 는 것 일 수 있 고 , 실리콘 웨이퍼 의 절단 또는 연마 공정 에서 발생 하 는 것 일 수 있 다 . 상기 절단 공정 에서 금속 와이어 쏘 ( wire saw ) 로 실리콘 탄화물 과 절삭유 등 을 함유 한 절단 용 슬러리 를 사용 함 에 따라 다량 의 실리콘 입자 와 실리콘 탄화물 이 함유 된 실리콘 슬러 지가 발생 하 게 될 수 있 다 .