화학 기계 적 연마 방법 은 화학 기계 적 연마 공정 을 실시 하 기 전 에 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 를 1 차 측정 하 여 적정 값 인지 를 판단 한다 ( 스텝 502 ) . 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 측정 은 앞서 설명 한 바 와 같이 표면 조도 측정 장치 ( 200 ) 를 이용 하 여 수행 할 수 있 다 .