또 , 본 실시 형태 에서 는 , 웨트 에칭 장치 ( 1 ) 가 , 에칭 유닛 ( 21 ) 과 세정 유닛 ( 31 ) 을 별도 유닛 으로서 구비 하 고 있 다 . 이것 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 , 에칭 유닛 ( 21 ) 이 , 세 정수 공급 부 ( 33 ) 를 추가 로 구비 해도 된다 . 즉 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 고 있 는 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 가 에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) 에 걸 어 맞춰진 상태 에서 , 에칭 이 이루어져 , 에칭 액 회수 부 ( 26 ) 에 의해 에칭 액 이 회수 된 후 에 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 반송 하 는 일 없이 , 계속 해서 , 세 정수 공급 부 ( 33 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 의 상면 이 세정 되 어도 된다 . 이 경우 , 세 정수 는 , 에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) 에 흘러 떨어져 , 축적 및 회수 되게 된다 . 이 구성 에서 는 , 세정액 용 보 틀 ( 32 ) 을 생략 할 수 있 으므로 , 장치 의 소형 화 및 저 비용 화 를 도모 할 수 있 다 .