또한 , 개시 된 실시 예 는 신호 처리 회로 를 포함 하 여 빔 경 계부 결정 및 빔 세기 결정 을 실시간 으로 수행 할 수 있 다 . 이 는 후처리 알고리즘 을 사용 하 는 시스템 과 비교 하 여 더 빠른 속도 성능 이 빔 경 계부 결정 및 빔 세기 결정 기능 을 수행 하 는 것 을 가능 하 게 할 수 있 다 . 고속 실시간 성능 은 전자 광학 서브 - 시스템 이 어떻게 실시간 으로 수행 되 고 있 는지 에 관한 정보 를 제공 할 수 있 으며 임의 의 성능 편차 ( 예 를 들 어 , 각 빔 의 형상 및 장소 ( locus ) , 전자 빔 그리드 의 기하학 적 형성 , 구성 요소 제조 와 조립 의 불 완전 성 으로 인한 모든 빔 또는 일부 빔 의 예기 치 않 은 이동 , 장시간 의 작동 중 의 드리프트 ( drift ) ) 가 감지 되 고 해결 될 수 있 다 . 편향 방지 시스템 은 이 차 전자 빔 의 이동 을 상쇄 시키 기 위해 일반 적 인 시스템 에서 사용 되 고 있 다 . 변형 방지 시스템 을 일차 전자 빔 편 향기 와 동기 화 하 는 것 은 기술 적 으로 어렵 다 . 개시 된 실시 예 는 빔 스폿 의 이동 을 실시간 으로 추적 할 수 있 으며 , 따라서 일부 실시 예 에서 , 편향 방지 시스템 이 제거 될 수 있 다 .