다시 도 1 a 를 참조 하 면 , 프로세스 가스 소스 ( 152 ) 로부터 공급 되 는 가스 화합물 들 을 포함 하 는 프로세스 가스 들 은 , 프로세스 영역 ( 104 ) 내 로 , 위 에 있 는 ( overhead ) 가스 분배 플레이트 ( 130 ) 를 통해 도입 된다 . RF 소스 플 라즈 마 전력 ( 146 ) 은 전도성 코일 ( 144 ) 및 토로 이드 코어 ( 142 ) 에 의해 도관 ( 140 ) 에서 공급 되 는 가스 들 과 결합 되 고 , 외부 재 진입 도관 ( 140 ) 및 프로세스 영역 ( 104 ) 을 포함 하 는 제 1 폐쇄 형 토로 이드 경로 에 순환 하 는 플 라즈 마 전류 를 생성 한다 . 또한 RF 소스 전력 ( 146 ') 은 전도성 코일 ( 144 ') 및 토로 이드 코어 ( 142 ') 에 의해 제 2 도관 ( 140 ') 에서 가스 들 로 연결 될 수 있 고 , 제 1 토 로 이드 경로 를 가로지르 는 ( 가령 , 직교 하 는 ) 제 2 폐쇄 형 토로 이드 경로 에 순환 하 는 플 라즈 마 전류 를 생성 한다 . 제 2 토 로 이드 경로 는 제 2 외부 재 진입 도관 ( 140 ') 및 프로세스 영역 ( 104 ) 을 포함 한다 . 각각 의 경로 들 에서 의 플 라즈 마 전류 들 은 각각 의 RF 소스 전력 발생기 들 ( 146 , 146 ') 의 주파수 들 에서 진동 하 고 ( 가령 역 방향 ) , 이것 들 은 동일 하 거나 서로 약간 상쇄 ( offset ) 될 수 있 다 .