즉 , 실시 예 에 따른 증착 방법 으로 형성 된 활성 층 ( 140 ) 의 밀도 는 플 라즈 마 를 사용 하 지 않 거나 , 플라 즈 마를 펄스 화 하 지 않 는 일반 적 인 화학 기상 증착 방법 으로 형성 된 활성 층 에 비해 높 고 , 실시 예 에 따른 증착 방법 으로 형성 된 활성 층 ( 140 ) 의 표면 거칠 기 는 일반 적 인 화학 기상 증착 방법 으로 형성 된 활성 층 에 비해 낮 다 .