기판 척 ( 120 ) 은 스탬프 척 ( 110 ) 의 하방 에 위치 하 면서 , 탄성 중합체 스탬프 와 마주 하 도록 기판 을 체결 고정 한다 . 본 실시 예 에 사용 되 는 기판 은 금속 이 코팅 된 반도체 웨이퍼 ( wafer ) 또는 ITO 가 코팅 된 플라스틱 이 다 . 그리고 , 도 1 에서 스탬프 척 ( 110 ) 은 탄성 중합체 스탬프 를 장착 하 기 위해서 개방 된 상태 로 도시 되 어 있 지만 , 스탬프 척 ( 110 ) 과 기판 척 ( 120 ) 은 탄성 중합체 스탬프 와 기판 의 미세 접촉 시 상호 적층 되게 위치 한다 .