이후 에 , 제 1 모델 캘 리브레 이 션 된 모델 에 모델 링 제 2 변수 를 적용 하 여 제 2 모델 캘리 브레이 션 을 수행 한다 ( 도 1 의 106 ) . 이 와 같이 제 1 및 제 2 캘리 브레이 션 된 모델 은 , 노광 과정 을 포함 하 는 포토레지스트 패턴 ( 도 2 의 250 ) 전사 과정 및 리플 로우 된 포토레지스트 패턴 ( 도 3 의 255 ) 에 대한 데이터 들 에 의해 캘 리브레 이 션 되 므로 , 노광 과정 뿐 만 아니 라 리플 로우 과정 을 모두 반영 하 는 모델 로 캘 리브레 이 션 된 것 으로 평가 될 수 있 다 .