그렇게 하 면 , 상기 제 1 포트 ( 20 ) 로부터 유입 된 압축 기체 가 셔틀 밸브 ( 7 ) 를 통해서 정압 측 필터 ( 5 ) 에 유입 하 고 , 도 5 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 상기 정압 측 필터 ( 5 ) 내 에 있 어서 , 상기 기체 는 정압 측 제 1 이음매 ( 54 ) 의 정압 측 제 1 유로 ( 55 ) 를 통해서 정압 측 환형 상 외유 로 ( 53 ) 로 안내 되 고 , 이어서 , 정압 측 필터 엘리먼트 ( 51 ) 로 여과 되 어서 , 그 내부 유로 ( 51 a ) 로 안내 된다 . 또한 , 그 여과 후 의 기체 는 정압 측 제 2 이음매 ( 57 ) 의 정압 측 제 2 유로 ( 58 ) 및 상기 제 2 캡 부 ( 3 ) 내 의 접속 유로 ( 37 ) 를 순차 적 으로 걸쳐서 , 상기 제 2 포트 ( 30 ) 로부터 상기 흡착 패드 ( 10 ) 로 유출 하 고 , 상기 흡착 패드 ( 10 ) 의 진공 을 파괴 한다 . 이 와 같이 , 정압 원 ( 14 ) 으로부터 의 압축 기체 에 혼입 한 진애 등 의 이물 을 상기 정압 측 필터 엘리먼트 ( 51 ) 로 제거 하 기 때문 에 , 진공 파괴 와 함께 상기 이 물 이 흡착 패드 ( 10 ) 로부터 방출 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .