도 9 는 도 4 에 도시 된 센서 부 와 관련 한 일 실시 예 를 나타내 는 것 으로서 , 도 5 에 도시 된 실시 예의 변경 실시 예 를 나타낸다 . 도 10 a 는 도 9 의 Ⅲ - Ⅲ ' 선 에 따른 단면 의 일례 를 나타내 고 , 도 10 b 는 도 9 의 Ⅳ - Ⅳ ' 선 에 따른 단면 의 일례 를 나타낸다 . 도 9 내지 도 10 b 에서 , 도 5 내지 도 8 b 와 유사 또는 동일 한 구성 요소 에 대해서 는 동일 부호 를 부여 하 고 , 이 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .