상기 하부 플러그 ( 37 ) 는 상기 제 1 층간 절연 층 ( 35 ) 을 관통 하 여 상기 드레 인 영역 ( 31 ) 에 접속 될 수 있 다 . 상기 하부 스 페이서 ( 38 ) 는 상기 하부 플러그 ( 37 ) 의 측면 을 둘러쌀 수 있 다 . 상기 하부 플러그 ( 37 ) 상 에 상기 가변 저항 소자 ( 63 ) 가 형성 될 수 있 다 . 상기 가변 저항 소자 ( 63 ) 는 도 1 내지 도 12 를 참조 하 여 설명 된 것 과 유사 한 방법 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 제 4 층간 절연 층 ( 75 ) 을 관통 하 여 상기 가변 저항 소자 ( 63 ) 에 접속 된 상기 상부 플러그 ( 77 ) 가 형성 될 수 있 다 . 상기 상부 플러그 ( 77 ) 는 폴리 실리콘 , 금속 , 금속 질화물 , 금속 산화물 , 금속 실리사이드 , 도전 성 카본 , 또는 이 들 의 조합 과 같 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 .