노즐 헤드 ( 844 ) 는 프리 웨트 액 및 감광액 을 토출 한다 . 노즐 헤드 ( 844 ) 는 아암 ( 842 ) 에 설치 되 어 아암 ( 842 ) 과 함께 이동 된다 . 노즐 헤드 ( 844 ) 는 공정 위치 와 대기 위치 로 이동 된다 . 공정 위치 는 노즐 헤드 ( 844 ) 가 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에 지지 된 기판 으로 액 을 공급 가능 한 위치 이 고 , 대기 위치 는 공정 위치 를 벗어난 위치 이 다 . 일 예 에 의하 면 , 대기 위치 는 노즐 헤드 ( 844 ) 가 홈 포트 ( 860 ) 에서 대기 되 는 위치 일 수 있 다 . 노즐 헤드 ( 844 ) 는 웨 팅 액 노즐 ( 846 ) 및 감광액 노즐 ( 848 ) 을 포함 한다 . 웨 팅 액 노즐 ( 846 ) 은 웨 팅 액 을 토출 하 고 , 감광액 노즐 ( 848 ) 은 감광액 을 토출 한다 . 감광액 노즐 ( 848 ) 은 복수 개 로 제공 되 며 , 서로 다른 종류 의 감광액 을 토출 한다 . 일 예 에 의하 면 ( 926 ) , 웨 팅 액 노즐 ( 846 ) 과 감광액 노즐 ( 848 ) 은 일 방향 으로 배열 되 게 위치 될 수 있 다 . 웨 팅 액 노즐 ( 846 ) 과 감광액 노즐 ( 848 ) 은 아암 ( 842 ) 의 길 이 방향 과 수직 한 방향 으로 배열 될 수 있 다 . 복수 의 감광액 노즐 들 ( 848 ) 은 웨 팅 액 노즐 ( 846 ) 을 사이 에 두 고 , 일렬 로 배열 될 수 있 다 . 웨 팅 액 노즐 ( 846 ) 의 토출 단 은 감광액 노즐 ( 848 ) 의 토출 단 에 비해 높 게 위치 될 수 있 다 .