상기 팬 ( 230 ) 은 제 2 공기실 ( 220 ) 의 내부 에 설치 되 며 위쪽 의 공기 를 아래쪽 으로 하강 시켜 팬 ( 230 ) 의 측면 으로 발산 하 는 형태 이 다 . 상기 제 2 통기구 ( 222 ) 를 통해 유출 된 공기 는 제 1 공기실 ( 210 ) 의 내부 를 통해 위쪽 으로 상승 하 여 상기 제 1 공기실 ( 210 ) 상단 에 형성 된 분사구 ( 211 ) 를 통해 분사 되 어 기판 ( S ) 을 부상 시킨다 . 기판 ( S ) 을 부상 시키 기 위해 상승 한 공기 는 아래쪽 으로 강제 하강 시키 는 팬 ( 230 ) 의 회전력 에 의해 제 2 공기실 ( 220 ) 의 상단 부 에 형성 된 제 1 통기구 ( 221 ) 로 유입 된다 . 또한 , 상기 팬 ( 230 ) 의 회전력 을 제어 하 면 기판 ( S ) 을 향해 분사 되 는 공기 의 분사 압력 을 조절 할 수 있 다 . 기판 ( S ) 의 면적 이나 무게 에 따라 분사 되 는 공기 의 분사 압력 을 조절 함 으로써 균일 한 높이 로 기판 ( S ) 을 부상 시킬 수 있 다 .