도 4 는 본 발명 의 일실 시예 에 따른 박막 증착 장치 를 나타내 는 구성도 이 며 , 도 5 는 도 4 에 도시 된 유량 측정기 와 증발 장치 사이 의 배치 관계 를 나타내 는 구성도 이 다 . 도 6 은 도 4 에 도시 된 유량 측정기 의 일부 를 상세 하 게 나타내 는 사시도 이 며 , 도 7 은 도 4 에 도시 된 증발기 를 상세 하 게 나타내 는 사시도 이 다 .