그러나 도 11 및 도 12 를 참조 하 면 , 실시 예 3 및 4 의 적층 체 들 에서 는 400 ℃ 에서 10 시간 의 열처리 후 에 도 유전 파괴 전압 ( dielectric breakdown voltage ) 이 거의 변화 하 지 않 은 것 으로 나타났 다 . 즉 , 실시 예 3 및 4 의 Ta 1 - xMnxOy 박막 들 은 신뢰 성 있 는 구리 확산 방지 막 으로 기능 할 수 있 음 을 알 수 있 다 .