고정 단계 는 특히 전자 적 으로 제어 가능 하 다 . 진공 고정 은 선호 되 는 고정 유형 이 다 . 바람직 하 게 는 진공 고정 은 샘플 홀더 의 표면 에서 나오 는 복수 의 진공 트랙 을 포함 한다 . 진공 트랙 은 바람직 하 게 는 개별 적 으로 제어 가능 하 다 . 기술 적 으로 더 적합 한 응용 분야 에서 , 여러 개 의 진공 트랙 이 결합 되 어 개별 적 으로 제어 할 수 있 는 진공 트랙 세그먼트 를 형성 하 므로 개별 적 으로 배 기 및 침수 될 수 있 다 . 그러나 각 진공 세그먼트 는 다른 진공 세그먼트 와 독립 적 이 다 . 따라서 개별 적 으로 제어 가능 한 진공 세그먼트 를 설정 할 수 있 는 가능 성 이 얻 어 진다 . 진공 세그먼트 는 바람직 하 게 는 환형 으로 설계 된다 . 따라서 , 특히 내부 에서 외부 로 수행 되 는 샘플 홀더 로부터 의 타 겟 의 방사상 대칭 고정 및 / 또는 기판 의 방출 이 가능 하 다 . 훨씬 바람직 한 실시 예 에서 , 샘플 홀더 는 핀 샘플 홀더 ( 핀 척 ) 로 구성 된다 . 이것 은 샘플 홀더 이 며 , 특히 대칭 적 으로 배치 된 다수 의 입면 , 특히 핀 이 표면 으로부터 생성 되 어 주변 이 배출 될 수 있 다 . 기판 은 사시도 의 헤드 에 만 있 다 . 따라서 접촉 면적 이 작 다 . 핀 샘플 홀더 의 실시 예 는 공개 WO 2015113641 A 1 에 공개 된다 .