폴리 실록 산 ( Ia ) 와 ( Ib ) 의 혼합물 의 중량 평균 분자량 ( Mw ) 은 5 , 000 이하 , 바람직 하 게 는 1 , 000 내지 2 , 500 정도 가 바람직 하 다 . 1 , 000 보다 작 으면 「 패턴 」 열화 방지 효과 는 작 고 , 한편 5 , 000 이상 인 경우 에 는 , 현상 시 에 용해 되 지 않 고 남 아 충분히 해상도 가 수득 되 지 않 고 , 감도 도 저하 된다 .