본 발명 에 의하 면 회복 어닐링 의 때 에 제 1 개 구부 를 통해 대량 의 산소 를 강유전체 커패시터 에 공급 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 개 구부 내 에 형성 된 제 1 도전 플러그 와 배선 사이 에 , 제 1 개 구부 보다 작 은 제 2 개 구부 를 개재 시키 고 있 기 때문 에 , 배선 의 위치 어긋남 마진 ( margin ) 을 좁히 지 않 아도 된다 .