또한 시료 C 1 , 시료 C 2 , 및 시료 C 3 의 Bottom Stress 의 결과 를 비교 하 면 , 이 순서 대로 문턱 전압 의 변동 량 이 작아지 는 경향 이 보인다 . 이 결과 와 상기 실시 예 1 - 1 의 결과 로부터 , 질화 산화 실리콘 막 을 수소 의 방출 량 이 보다 적 은 막 으로 함 으로써 , 문턱 전압 의 변동 을 억제 할 수 있 다고 추찰 된다 .