도 2 를 참조 하 여 , 다중 분할 전극 어셈블리 ( 30 ) 는 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 의 내부 에 전기 적 용량 결합 에 의한 플 라즈 마 방전 을 유도 하 기 위한 복수 개 의 용량 결합 전극 ( 31 , 33 ) 을 구비 한다 . 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 은 전극 장 착 판 ( 34 ) 에 장착 된다 . 전극 장착 판 ( 34 ) 은 공정 챔버 의 상부 를 이루 도록 설치 될 수 있 다 . 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 은 공정 챔버 의 상부 를 선형 으로 가로지르 는 복수 개 의 정전 압 전극 ( 33 ) 과 부 전압 전극 ( 31 ) 이 간격 을 두 고 교대 적 으로 병렬 로 배열 된 구조 를 갖 는다 . 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 은 전극 장착 판 ( 34 ) 의 하부 로 돌출 된 선형 의 장벽 구조 를 갖 는다 . 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 은 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 전도체 영역 ( 71 ) 과 그 외부 를 감싸 는 절연체 영역 ( 70 ) 으로 구성 될 수 있 다 . 또는 전도체 영역 ( 71 ) 만 을 구비 할 수 도 있 다 . 복수 개 의 분할 전극 ( 31 , 33 ) 의 형상 과 배치 구조 는 후술 되 는 바 와 같이 다양 한 변형 이 가능 하 다 .