일예 로 , 제 1 아암 ( 710 ) 은 도 4 에 도시 된 로드 락 모듈 ( 120 ) 의 공용 로더 ( 400 ) 에 구비 된 복수 의 슬롯 ( 410 ) 중 에서 정해진 하나 의 슬롯 에 안착 된 웨이퍼 를 로딩 하 고 , 제 1 회전축 ( 701 ) 을 중심 으로 회전 하 여 , 복수 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 중 에서 정해진 프로세스 모듈 의 샤프트 에 언 로딩 하 고 , 제 2 아암 은 상기 의 프로세스 모듈 의 샤프트 에 안착 된 웨이퍼 를 로딩 하 고 제 1 회전축 ( 701 ) 을 중심 으로 회전 하 여 , 로드 락 모듈 ( 120 ) 의 공용 로더 ( 400 ) 의 복수 의 슬롯 ( 410 ) 중 에서 정해진 다른 하나 의 슬롯 에 언 로딩 하 여 , 로드 락 모듈 ( 120 ) 과 프로세스 모듈 ( 140 ) 간 의 제 2 로봇 ( 700 ) 에 의한 웨이퍼 이송이 이루어질 수 있 다 .