또한 , 이 변형 예 에서 , ＩＤ 부 ( 1 ) ( ＩＤ 용 반송 기구 ( ＴＩＤ ) ) 는 , 카세트 ( Ｃ ) 로부터 꺼낸 기판 ( Ｗ ) 을 모두 기판 처리 열 ( Ｌｕ ) 에 반송 하 고 , 기판 처리 열 ( Ｌｕ ) 로부터 꺼내 진 기판 ( Ｗ ) 을 기판 처리 열 ( Ｌｄ ) 에 반송 하 며 , 기판 처리 열 ( Ｌｄ ) 로부터 꺼내 진 기판 ( Ｗ ) 을 카세트 ( Ｃ ) 에 되돌려준다 . 이 와 같 은 ＩＤ 부 ( 1 ) ( ＩＤ 용 반송 기구 ( ＴＩＤ ) ) 의 기판 반송 에 의해 , 모든 기판 ( Ｗ ) 을 기판 처리 열 ( Ｌｕ ) 에서 의 공정 에 이어 기판 처리 열 ( Ｌｄ ) 에서 의 공정 으로 처리 할 수 있 다 . 이 와 같 은 동작 예 에 의하 면 , 기판 ( Ｗ ) 상 의 동일 한 산화 막 에 2 회 이상 , 패턴 을 형성 하 는 2 번 노광 을 적합 하 게 행할 수 있 다 .