본 발명 은 , 성막 대상물 에 증착 에 의한 성막 을 행하 는 증착 장치 에 사용 되 는 증착 마스크 의 보유 지지 기구 에 바람직 하 고 , 전형 적 으로 는 유기 EL 패널 을 제조 하 기 위해 유리 기판 에 대하 여 유기 재료 등 을 증착 하 여 성막 하 는 증착 장치 에 적용 할 수 있 다 . 본 발명 은 , 기판 등 의 성막 대상물 에 박막 , 특히 무기 박막 을 원하 는 성막 패턴 으로 형성 하 기 위한 마스크 를 자력 에 의해 성막 대상물 에 흡착 시켜 보유 지지 하 는 자기 식 흡착 기구 에 바람직 하 다 .