도 1 a 의 버퍼 층 ( 130 ) 은 기판 의 돌기 ( 110 ) 위 에 위치 한다 . 도 1 b 의 버퍼 층 ( 130 ) 은 제 4 버퍼 층 ( 120 ) 위 에 위치 한다 . 버퍼 층 ( 130 ) 은 Ⅲ - 질화물 계 물질 을 포함 할 수 있 는데 , 바람직 하 게 는 질화 갈륨 을 포함 한다 . 질화 갈륨 은 질화 알루미늄 갈륨 ( AlGaN ) , 질화 인듐 갈륨 ( InGaN ) 및 질화 알루미늄 인듐 갈륨 ( AlInGaN ) 과 같 은 질화 갈륨 합금 을 포함 한다 .