여기 서 , 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 들 어 올려질 때 에 , 하중 센서 ( 84 ) 에 의해 리프트 핀 ( 81 ) 에 걸리 는 하중 값 ( L ) 이 측정 되 고 , 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 대전량 ( Q ) 이 측정 된다 . 그리고 , 측정 된 하중 값 ( L ) 및 대전량 ( Q ) 이 제어 장치 ( 200 ) 에 출력 된다 .