상기 이온 의 조사 처리 는 , 이온 도핑 장치 나 이온 주입 장치 를 사용 하 여 행할 수 있 다 . 이온 도핑 장치 의 대표 예 로서 는 , 프로세스 가스 를 플 라즈 마 여기 하 여 생성 된 모든 이온 종 을 피 처리 체 에 조사 하 는 비 질량 분리 형 의 장치 가 있 다 . 상기 장치 에서 는 , 플 라즈 마 중 의 이온 종 을 질량 분리 하 지 않 고 피 처리 체 에 조사 한다 . 이것 에 대하 여 , 이온 주입 장치 는 질량 분리 형 의 장치 이 다 . 이온 주입 장치 에서 는 , 플 라즈 마 중 의 이온 종 을 질량 분리 하 여 어느 특정 의 질량 의 이온 종 을 피 처리 체 에 조사 한다 .