챔버 바디 ( 112 ) 는 관통 하 여 열 전달 유체 를 유동 시키 기 위해서 내부 에 형성 되 는 채널 ( 113 ) 을 또한 포함 한다 . 열 전달 유체 는 프로세싱 및 기판 전달 중 에 챔버 바디 ( 112 ) 의 온도 를 제어 하 는 데 이용 되 며 가열 유체 또는 냉각제 ( coolant ) 일 수 있 다 . 챔버 바디 ( 112 ) 의 온도 는 챔버 벽 들 상 에 가스 또는 부산물 들 의 원치 않 는 응축 을 방지 하 기 위해서 중요 하 다 . 예 시 적 인 열 전달 유체 들 은 물 , 에틸렌 글리콜 , 또는 이 의 혼합물 을 포함 한다 . 또한 예시 적 인 열 전달 유체 는 질소 가스 를 포함 할 수 있 다 .