따라서 , 상기 문제점 을 해결 하 기 위해 화학식 3 으로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 를 사용 함 으로써 어느 정도 억제 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 화학식 3 으로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 의 경우 , 분자 내 실리콘 에 C 1 내지 C 10 의 직쇄 또는 측쇄 의 알킬 , C 2 내지 C 10 의 직쇄 또는 측쇄 의 알케 닐 또는 아릴기 가 2 개 이 므로 , 화학식 3 으로 표시 되 는 유기 실릴 할 라이드 에 비해 그 수 가 적 고 , 반대 로 할로겐 원자 는 2 개 이 므로 분자 내 에서 할로겐 원소 가 음 이온 으로 방출 되 기 가 더 어렵 기 때문 이 다 .