본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 의 고정 위치 결정 부 ( 23 ) 및 제 1 의 가동 위치 결정 부 ( 24 ) 와 , 제 2 의 고정 위치 결정 부 ( 26 ) 및 제 2 의 가동 위치 결정 부 ( 27 ) 중 적어도 어느 한쪽 이 , 링 프레임 ( F ) 에 있 어서 의 2 개 의 제 1 평탄면 ( Fd ) 및 2 개 의 제 2 평탄면 ( Fe ) 중 적어도 어느 한 쪽 을 끼워 넣 어서 , 링 프레임 ( F ) 을 , 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 의 상면 ( 20 a ) 상 에서 목표 위치 에 위치 결정 ( 센터 링 ) 한다 . 링 프레임 유지 테이블 ( 20 ) 상 에서 센터링 된 링 프레임 ( F ) 의 개구 ( Fc ) 의 중심 과 웨이퍼 유지 테이블 ( 21 ) 의 유지 면 ( 210 a ) 의 중심 은 대략 합치 한다 . 그 후 , 각 흡반 ( 25 ) 에서 링 프레임 ( F ) 이 흡인 유지 된다 .