그런 다음 , 상기 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 105 ) 를 포함 한 층간 절 연막 ( 102 ) 상 에 식각 정지 막 ( 104 ) 과 몰드 막 ( 110 ) 을 차례 로 형성 한다 . 상기 식각 정지 막 ( 104 ) 은 버퍼 산화 막 과 질화 막 의 적층 막 으로 형성 하 며 , 상기 몰드 막 ( 110 ) 은 단 일 막 또는 적층 막 구조 , 바람직 하 게 는 , PSG 막 ( 106 ) 과 PE - TEOS 막 ( 108 ) 의 이 중막 구조 로 형성 한다 .