수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 웨이퍼 검 출부 ( 110 ) 를 더 구비 한다 . 웨이퍼 검 출부 ( 110 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 임시 배치 대 ( 111 ) 와 , 조명 부 ( 112 ) 와 촬상부 ( 113 ) 를 더 구비 한다 . 조명 부 ( 112 ) 는 , 임시 배치 대 ( 111 ) 보다 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 방향 에 있 어서 의 하방 에 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 방향 인 수평 방향 으로 연장 하 여 형성 되 고 , 상방 의 임시 배치 대 ( 111 ) 에 재치 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 향해서 광 을 조사 한다 . 촬상부 ( 113 ) 은 , 임시 배치 대 ( 111 ) 의 중앙 보다 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 방향 에 있 어서 의 상방 에 , 하방 을 향해서 설치 되 며 , 하방 의 임시 배치 대 ( 111 ) 에 재치 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 촬상 하 고 , 조명 부 ( 112 ) 로부터 조사 된 조사 광 을 검출 한다 . 촬상부 ( 113 ) 은 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 촬상하여 웨이퍼 ( 200 ) 의 중심 을 검출 하 고 , 조명 부 ( 112 ) 로부터 조사 된 조사 광 을 검출 하 여 웨이퍼 ( 200 ) 의 직경 방향 의 형상 을 검출 한다 .