여기 서 , 에 어 공급 블럭 ( 200 ) 의 분사 모듈 ( 210 ) 의 본체 는 흡입 블럭 ( 100 ) 의 중 공부 ( 110 ) 의 개구 영역 에 대응 하 는 형상 으로 이루어지 며 흡입 블럭 ( 100 ) 의 중 공부 ( 110 ) 의 내 주연 에 대하 여 일정 한 간격 이 유지 되 도록 이격 된 상태 에서 기판 ( C ) 으로부터 일정 높이 을 유지 되 기 위한 블럭 으로 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .