상기 복수 의 가스 분사 모듈 각각 은 상기 챔버 리드 와 상기 기판 지지 부 사이 에 국부 적 으로 정의 된 복수 의 분할 공간 각각 에 제 1 및 제 2 가스 중 적어도 한 종류 의 가스 를 분사 하 고 , 상기 복수 의 가스 분사 모듈 중 상기 제 2 가스 를 분사 하 는 적어도 하나 의 가스 분사 모듈 은 상기 제 2 가스 를 활성 화 시켜 분사 하 는 것 을 특징 으로 한다 .