도 4 c 를 참조 하 면 , 상기 패턴 구조물 은 끊겨 진 부위 를 갖 는 라인 형상 의 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 들 이 구비 된다 . 상기 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 양 측 에 각각 하나 씩 배치 되 는 제 2 라인 패턴 ( 114 b ) 들 및 상기 제 2 라인 패턴 외곽 으로 배치 되 는 제 3 라인 패턴 ( 114 c ) 들 을 포함 한다 .