습윤 에칭 속도 는 도 5 에 제시 되 어 있 고 , 챔버 압력 은 일정 한 N 2 ( 1 , 500 sccm ) 및 SiH 4 ( 40 sccm ) 흐름 의 조건 하 에서 변한다 . 차례 로 효과 적 인 펌핑 속도 를 바꾸 는 , 조절판 ( throttle ) 밸브 위치 를 바꿈 에 의해 압력 은 변한다 . 필름 질 의 감소 ( 습윤 에칭 속도 의 증가 ) 는 , 도 4 에서 논의 된 동일 한 이유 로 , 챔버 압력 이 증가 함 에 따라 명백 하 다 . 필름 질 은 펌핑 속도 가 증가 됨 에 따라 개선 된다 .