제 1 액 공급 부 ( 43 ) 에서 는 , 제 1 액 공급 노즐 승강 수단 ( 45 ) 에 의해 , 제 1 액 공급 노즐 ( 44 ) 이 소정 의 높이 에 배치 된다 . 그리고 , 제 1 액 공급 노즐 ( 44 ) 이 제 1 액 공급원 ( S 1 ) 에 연통 되 어 , 제 1 액 공급 노즐 ( 44 ) 로부터 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 제 1 액 이 공급 된다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 수분 이 , 알코올계 의 제 1 액 에 의해 치환 된다 .