클리닝 처리 시 의 온도 는 400 ℃ 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 600 ℃ 이하 로 하 는 것 이 보다 바람직 하 다 . 서 셉 터 ( S ) 의 표면 온도 는 , 챔버 ( 601 ) 의 상부 에 설치 된 방사 온도계 ( 626 ) 에 의해 측정 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 샤워 플레이트 ( 620 ) 를 투명 석영 제 로 함 으로써 , 서 셉 터 ( S ) 로부터 의 방사광 을 샤워 플레이트 ( 620 ) 를 통하 여 방사 온도계 ( 626 ) 에 의해 수광 할 수 있 다 . 측정 된 온도 데이터 는 , 제 어 기구 ( 도시 생략 ) 에 보내 진 후 , 히터 ( 608 ) 의 출력 제어 에 피드백 된다 . 이 로써 , 서 셉 터 ( S ) 를 원하 는 온도 가 되 도록 가열 할 수 있 다 . 단 , 클리닝 처리 시 의 온도 관리 에 는 , 성막 처리 에 있 어서 의 온도 관리 만큼 의 엄밀 성 은 요구 되 지 않 는다 .