전처리 된 제 1 기체 혼합물 ( 106 ) 이 챔버 ( 100 ) 에 존재 하 게 되 면 , 제 1 기체 혼합물 ( 102 ) 에 함유 된 불소 종이 원 하 지 않 는 물질 과 반응 하 여 반응 생성물 을 형성 하 며 , 이것 은 환기구 또는 배기관 ( 110 ) 을 통해 챔버 ( 100 ) 으로부터 제거 될 수 있 다 . 배기관 ( 110 ) 을 통한 제거 를 촉진 하 기 위해 , 챔버 ( 100 ) 과 유체 적 으로 결합 된 불활성 기체 ( 111 ) ( 예 : 질소 , 아르곤 , 헬륨 등 ) 로 챔버 ( 100 ) 을 퍼징 할 수 있 다 .