또한 , 함몰 부 ( Vc ) 는 볼록 부 ( 63 b ) 에 마련 하 는 구성 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 도 32 의 ( g ) 에 도시 하 는 바 와 같이 베이스 부 ( 63 a ) 에 마련 해도 된다 . 구체 적 으로 는 베이스 부 ( 63 a ) 중 환상 볼록 부 ( Ka ) 에 대향 하 는 부분 보다 내측 에 함몰 부 ( Vc ) 를 마련 함 으로써 , 점착 테이프 ( DT ) 를 웨이퍼 ( W ) 에 첩부 할 때 에 점착 테이프 ( DT ) 의 장력 을 저감 할 수 있 다 . 또한 함몰 부 ( Vc ) 의 형상 은 V 자 형상 , U 자 형상 등 적절 하 게 변경 가능 하 다 . 또한 , 실시 예 1 에 관한 프레스 테이블 ( 63 ) 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 실시 예 2 에 관한 프레스 테이블 ( 66 ) 에 도 상기 한 변형 예 를 적용 할 수 있 다 .