형성 된 전극 부 의 상단 부 에 증착 층 을 형성 하 는 단계 ( S 550 ) 는 , 도시 하 지 는 않 았 으나 , 상기 전극 부 ( 580 ) 중 증착 층 ( 590 ) 이 형성 될 상단 부가 상부 에 노출 되 도록 증착 마스크 ( 미 도시 ) 를 덮 은 다음 , 증착 마스크 의 상부 로 노출 된 전극 부 ( 580 ) 의 상단 부 에 백금 ( Pt ) 또는 이리듐 옥사이드 ( IrOx ) 를 포함 하 는 금속 박막 을 증착 하 는 방식 으로 이루어질 수 있 다 .