제 2 레티 클 로부터 의 베이스 라인 이벤트 및 대응 하 는 이벤트 는 그 들 의 위치 가 레티 클 원점 에 대하 여 동일 한 위치 에 있 거나 ( 다 이 위치 에 대하 여 ) 서로 의 미리 결정 된 거리 내 에 , 예컨대 서로 0 . 5 um 거리 내 에 있 는 경우 에 매칭 되 도록 결정 될 수 있 고 , 크기 값 이 동일 하 거나 서로 의 30 % 내인 경우 이벤트 는 유사 한 크기 를 가진다 . 그렇 지 않 으면 이벤트 는 새로운 이벤트 로 간주 되 어 , 검사 보고 를 위하 여 보관 된다 .