본 발명 에 따른 과황산염 은 금속 막 , 구체 적 으로 구리 막 을 식각 하 는 주성분 으로 작용 할 수 있 다 . 상기 과황산염 은 예컨대 , 과 황산칼륨 ( K 2 S 2 O 8 ) , 과 황산나트륨 ( Na 2 S 2 O 8 ) , 또는 과황산암모늄 ( ( NH 4 ) 2 S 2 O 8 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 이 들 을 단독 으로 또는 혼합 하 여 사용 할 수 있 으나 이 에 한정 되 지 는 않 으며 , 당업 계 에서 통상 적 으로 사용 되 는 과황산염 을 적용 할 수 있 다 .