제어 시스템 ( 125 ) 은 유기 패 시베이 션 층 증착 및 에치 백 방법 에 따라 본원 에 기술 된 가스 분배 시스템 의 밸브 와 연통 한다 . 제 어 시스템 ( 125 ) 는 일반 적 으로 적어도 하나 의 프로세서 및 원 하 는 연산 을 위해 프로그램 된 메모리 를 포함 한다 . 순차 적 증착 단계 의 경우 , 밸브 는 기판 을 반응물 에 교번 적 으로 및 반복 적 으로 노출 시키 는 방식 으로 작동 되 는 반면 , 통상 적 인 CVD 단계 에서 반응물 이 동시 에 공급 되 는 경우 , 밸브 는 기판 을 상호 반응 성 반응물 에 동시 에 노출 시키 도록 작동 될 수 있 다 .