여기 서 , 상기 유량 조절 명령 신호 생 성부 는 , 유량 제어 파라미터 를 적용 하 여 상기 바이패스 라인 을 통해 배출 되 는 가스 의 유량 을 제어 하 며 , 상기 유량 제어 파라미터 는 , 비례 ( Proportional ) 제어 파라미터 , 비례 적분 ( Proportional - Integral ) 제어 파라미터 및 비례 미분 ( Proportional - Derivative ) 제어 파라미터 를 포함 하 고 , 기 설정 된 목표 압력 과 의 차이 값 에 대해 PID 제어 기능 을 수행 함 으로써 상기 바이패스 유량 조 절부 로 상기 유량 조절 명령 신호 를 전송 하 고 , 상기 목표 압력 설 정부 는 , 상기 설정 된 목표 압력 과 의 차이 값 만큼 상기 유량 제어 파라미터 를 적용 하 여 제어 된 제어 압력 을 상기 목표 압력 으로 재 설정 한다 .