내부 쉴 딩 라인 ( 232 ) 및 외부 쉴 딩 라인 ( 242 ) 을 포함 하 는 쉴 딩 라인 ( SL , 243 ) 이 상기 소자 분리 영역 ( 210 ) 을 따라 연장 되 어 , 상기 제 1 및 제 2 도전 패턴 들 ( 222 , 224 ) 사이 에 개재 된다 . 상기 외부 쉴 딩 라인 ( 242 ) 은 상기 내부 쉴 딩 라인 ( 232 ) 의 상부 면 및 측면 을 감쌀 수 있 다 . 상기 외부 쉴 딩 라인 ( 242 ) 은 상기 내부 쉴 딩 라인 ( 232 ) 의 상부 면 및 측면 에 각각 서로 다른 두께 를 가질 수 있 다 .