연마 용 조성물 에 포함 될 수 있 는 킬레이트제 로서 는 , 아미노 카르복실 산계 킬레이트제 및 유기 포스폰산 계 킬레이트제 를 들 수 있 다 . 아미노 카르복실 산계 킬레이트제 의 예 에 는 , 에틸렌디아민 사 아세트산 , 에틸렌디아민 사 아세트산나트륨 , 니트릴 로 삼 아세트산 , 니트릴 로 삼 아세트산나트륨 , 니트릴 로 삼 아세트산암모늄 , 히드록시 에틸 에틸렌디아민 삼 아세트산 , 히드록시 에틸 에틸렌디아민 삼 아세트산나트륨 , 디 에틸렌 트리 아민 오 아세트산 , 디 에틸렌 트리 아민 오 아세트산나트륨 , 트리 에 틸렌 테트라 민 육 아세트산 및 트리 에 틸렌 테트라 민 육 아세트산나트륨 이 포함 된다 . 유기 포스폰산 계 킬레이트제 의 예 에 는 , 2 - 아미노 에틸 포스폰산 , 1 - 히드록시 에 틸 리덴 - 1 , 1 - 디 포스폰산 , 아미노 트리 ( 메틸렌 포스폰산 ) , 에틸렌디아민 테 트라키스 ( 메틸렌 포스폰산 ) , 디 에틸렌 트리 아민 펜 타 ( 메틸렌 포스폰산 ) , 에탄 - 1 , 1 - 디 포스폰산 , 에탄 - 1 , 1 , 2 - 트리 포스폰산 , 에탄 - 1 - 히드록시 - 1 , 1 - 디 포스폰산 , 에탄 - 1 - 히드록시 - 1 , 1 , 2 - 트리 포스폰산 , 에탄 - 1 , 2 - 디카르 복시 - 1 , 2 - 디 포스폰산 , 메탄 히드록시 포스폰산 , 2 - 포스 포노 부탄 - 1 , 2 - 디카르복실산 , 1 - 포스 포노 부탄 - 2 , 3 , 4 - 트리 카르복실 산 및 α - 메틸 포스 포노 숙신산 이 포함 된다 . 이 들 중 유기 포스폰산 계 킬레이트제 가 보다 바람직 하 다 . 그 중 에서 도 바람직 한 것 으로서 , 에틸렌디아민 테 트라키스 ( 메틸렌 포스폰산 ) , 디 에틸렌 트리 아민 펜 타 ( 메틸렌 포스폰산 ) 및 디 에틸렌 트리 아민 오 아세트산 을 들 수 있 다 . 특히 바람직 한 킬레이트제 로서 , 에틸렌디아민 테 트라키스 ( 메틸렌 포스폰산 ) 및 디 에틸렌 트리 아민 펜 타 ( 메틸렌 포스폰산 ) 을 들 수 있 다 . 킬레이트제 는 , 1 종 을 단독 으로 또는 2 종 이상 을 조합 하 여 사용 할 수 있 다 .