상기 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 은 웨이퍼 ( 224 ) 를 파지 한 상태 로 회전 시키 도록 대략 중앙 에 제 1 공기 흡입구 ( 277 a ) 를 포함 한다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 ( 244 ) 가 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 상단 에 안착 될 때 , 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 의 제 1 공기 흡입구 ( 277 a ) 를 통하 여 유입 된 흡입 압력 에 의해 웨이퍼 ( 244 ) 가 진공 흡착 되 고 , 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 의 제 1 공기 분사구 ( 276 a ) 에 의해 공기 가 분사 되 어 웨이퍼 ( 244 ) 가 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 의 상단 에 뜨 게 되 어 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 이 상하 , 좌우 미세 하 게 회전 되 어도 웨이퍼 ( 244 ) 가 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 와 접촉 되 지 않 는다 . 이때 , 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 의 제 1 공기 흡입구 ( 277 a ) 에 의해 진공 흡착 됨 으로 웨이퍼 ( 244 ) 가 회전 되 어도 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 및 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 로부터 이탈 되 지 않 는다 .