또한 본 발명 에 관한 진동 흡수 장치 는 , 진공 흡인 수단 에 접속 되 어 피재 치 대상 이 되 는 부재 를 지지 하 는 흡착 테이블 에 사용 하 는 판상 의 것 으로서 , 일방 측 에 상기 피재 치 부재 를 싣 고 , 타방 측 이 진공 흡인 수단 에 접속 되 며 , 진공 흡인 수단 과 의 접속 부위 와 일방 측 을 연결 시키 는 통기 로 를 구비 하 고 , 통기 로 가 , 점접촉 으로 금속 쇄편 을 결합 시켜서 입체 가 교 구조 를 형성 함 으로써 서로 다른 크기 의 다수 의 소공 으로 구성 되 어 있 어서 , 진공 흡인 수단 에 기인 하 는 진동 을 흡수 하 여 피재 치 부재 에 진동 이 전달 되 는 것 을 방지 하 는 것 을 특징 으로 한다 .