처리 용기 와 , 상기 처리 용기 의 내부 에 마련 된 길 이 방향 으로 연장 된 형상 의 처리 가스 를 공급 하 는 인 젝 터 와 , 상기 인 젝 터 에 고정 된 홀더 와 , 상기 홀더 에 고정 된 풍차 와 , 상기 풍차 를 제 1 방향 으로 회전 시키 는 구동 용 가스 를 공급 하 는 제 1 구동 용 가스 공급 부 와 , 상기 풍차 를 상기 제 1 방향 과 는 반대 인 제 2 방향 으로 회전 시키 는 구동 용 가스 를 공급 하 는 제 2 구동 용 가스 공급 부 와 , 상기 제 1 구동 용 가스 공급 부 및 상기 제 2 구동 용 가스 공급 부 에서 의 구동 용 가스 의 공급 을 제어 하 는 구동 용 가스 제 어부 를 갖 고 , 상기 구동 용 가스 제 어부 에서 의 제어 에 의해 , 상기 제 1 구동 용 가스 공급 부 및 상기 제 2 구동 용 가스 공급 부 의 적어도 한쪽 으로부터 구동 용 가스 를 공급 해서 상기 풍차 를 회전 시킴 으로써 , 상기 인 젝 터 를 상기 길 이 방향 을 회전축 으로 회전 시키 는 기판 처리 장치 에 의해 상기 과제 를 해결 한다 .