상기 발열체 ( 120 ) 는 , 기판 ( 111 ) 상 에 마련 되 어 있 다 . 상기 발열체 ( 120 ) 는 니켈 , 크롬 등 의 전도성 소재 로 이루어져 전류 가 공급 되 면 자체 저항 에 의해 발열 하 게 된다 . 본 실시 예 에 있 어서 , " 상기 발열체 ( 120 ) 는 "" ㄱ "" 자 형상 의 전도성 박막 이 며 "," "" ㄱ "" 자 형상 의 발열체 ( 120 ) 의 꼭지점 부분 에 는 발열 꼭지점 ( 123 ) 이 위치 한다 . 상기 발열체 ( 120 ) 의 양단 에 는 전류 를 공급 하 기 위한 2 개 의 발열체 전극 ( 126 ) ( 127 ) 들 이 전기 적 으로 연결 되 어 있 으며 ", 상기 발열체 전극 ( 126 ) ( 127 ) 은 , 전류 를 공급 해 주 는 전류 공급 장치 ( 미 도시 ) 에 연결 된다 . 상기 발열체 전극 ( 126 ) ( 127 ) 은 그 자체 의 열 발생 과 전기 적 잡음 을 최소 화 하 기 위하 여 금 ( Au ) 등 과 같이 저항 이 작 은 금속 소재 의 박막 으로 형성 된다 . 상기 발열체 ( 120 ) 와 발열체 전극 ( 126 ) ( 127 ) 은 전자 빔 증착 또는 스퍼터링 방법 을 통하 여 증착 되 며 , 포토 리소그래피 와 리프트 - 오프 ( lift - off ) 방식 또는 에칭 용액 을 이용 한 습식 식각 을 통하 여 평면 적 형태 가 형성 된다 .