플 래 튼 구동 장치 ( 50 ) 는 , 이온 빔 이 웨이퍼 ( W ) 에 조사 되 는 주입 위치 와 , 웨이퍼 반송 장치 ( 18 ) 의 사이 에 웨이퍼 ( W ) 가 반입 또는 반출 되 는 반송 위치 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 가 이동 가능 해 지 도록 웨이퍼 ( W ) 를 지지 한다 . 도 2 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 주입 위치 에 있 는 상태 를 나타내 고 있 으며 , 플 래 튼 구동 장치 ( 50 ) 는 , 빔 라인 ( A ) 과 웨이퍼 ( W ) 가 교차 하 도록 웨이퍼 ( W ) 를 지지 한다 . 웨이퍼 ( W ) 의 반송 위치 는 , 웨이퍼 반송 장치 ( 18 ) 에 마련 되 는 반송 기구 또는 반송 로봇 에 의하 여 반 송구 ( 48 ) 를 통하 여 웨이퍼 ( W ) 가 반입 또는 반출 될 때 의 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 의 위치 에 대응 한다 .