바람직 하 게 , 노즐 ( 254 ) 은 흡착 플레이트 ( 252 ) 의 길 이 방향 과 폭 방향 중 적어도 어느 하나 이상 의 방향 을 따라 이격 되게 복수 개 가 형성 된다 . 이 와 같이 , 흡착 플레이트 ( 252 ) 의 저면 에 균일 한 간격 으로 복수 개 의 노즐 ( 254 ) 을 장착 하 고 , 흡착 플레이트 ( 252 ) 의 저면 에서 전체 적 으로 균일 하 게 유체 가 분사 되 도록 하 는 것 에 의하 여 , 흡착 플레이트 ( 252 ) 와 기판 ( 10 ) 간 의 흡착 력 을 전체 적 으로 균일 하 게 형성 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .