통상 , 전해 연마 에서 사용 되 는 연마 헤드 나 연마 정반 등 은 그 크기 가 너무 크 고 , 또한 중량 도 있 기 때문 에 , 고속 으로 회전 하 면 장치 전체 의 진동 을 일으킨다 . 그러나 , 본 발명 에 의해 경량 화 한 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 에서 는 , 전해 가공 한 후 에 세정 하 고 , 그 후 , 같 은 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 을 사용 하 여 2000 rpm 까지 고속 스핀 하 여 건조 시키 는 것 이 가능 하 다 .