도 5 a 내지 도 5 c 는 스테이지 베이스 를 형성 하 는 과정 을 나타낸 도면 이 다 . 도 5 a 에 나타난 바 와 같이 먼저 글래스 기판 ( 50 ) 상 에 제 1 전극 부 ( 52 ) 를 형성 하 고 홈 식각 마스크 ( 56 ) 를 패 터닝 한다 . 이 때 제 1 전극 부나 ( 52 ) 홈 식각 마스크 ( 56 ) 의 재질 로 는 동일 하 게 Cr / Au 를 사용 할 수 있 다 .