본 발명 을 따르 는 제 2 공정 의 제 4 공정 단계 ( 203 ) 에 의하 면 , 하부 기판 홀더 가 하강 한다 . 하부 기판 홀더 는 z 방향 을 따라 높 은 정밀도 를 가지 며 이동 될 수 있 어야 한다 . 매우 정확 한 이동 을 위한 해당 방법 은 공개 문헌 의 다른 부분 에서 설명 된다 . 그러나 , 하부 기판 홀더 가 공정 영역 으로 벗어나 이동 하 고 추후 공정 단계 에서 다시 귀환 할 수 있 다 . 이것 은 이용 되 는 정렬 장치 에 크 게 의존 한다 . 이 경우 , 특히 하부 기판 홀더 의 x 및 / 또는 y 방향 위치 설정 이 매우 정밀 해야 한다 . 공정 영역 으로 벗어나 는 이동 은 특히 충돌 을 피하 기 위해 렌즈 위 로 기판 홀더 를 들어올리 는 과정 을 동반 할 수 있 다 . 모든 추가 공정 단계 들 은 공정 단계 ( 104 ) 내지 공정 단계 ( 107 ) 와 동일 하 다 .