그리고 , 상기 상변환 셀 을 덮 도록 제 2 산화 막 ( 10 ) 상 에 제 3 산화 막 ( 14 ) 이 형성 되 어 져 있 으며 , 상기 제 3 산화 막 ( 14 ) 내 에 는 상부 전극 ( 13 ) 과 콘 택하 게 플러그 형태 의 상부 전극 콘 택 ( 15 ) 이 형성 되 어 있 고 , 상기 제 3 산화 막 ( 14 ) 상 에 는 상기 상부 전극 콘 택 ( 15 ) 과 콘 택하 는 금속 배선 ( 15 ) 이 형성 되 어 있 다 .