또한 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 산출 한 제 2 성능 치 와 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 에 관한 과거 의 실적 치 에 근거 하 여 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 예측 한 제 3 성능 치 를 산출 한다 . 그 결과 , 과거 의 실적 치 를 반영 한 유량 제어기 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 산출 할 수 있 다 .