노광 에 사용 하 는 파장 은 , 특별히 한정 되 지 않 고 , ArF 엑 시머 레이저 , KrF 엑 시머 레이저 , F 2 엑 시머 레이저 , EUV ( 극자외선 ) , VUV ( 진공 자외선 ) , EB ( 전자선 ) , X 선 , 연 X 선 등 의 방사선 을 사용 하 여 실시 할 수 있 다 . 상기 레지스 트 조성물 은 , KrF 엑 시머 레이저 , ArF 엑 시머 레이저 , EB 또는 EUV 용 으로서 의 유용 성 이 높 고 , ArF 엑 시머 레이저 , EB 또는 EUV 용 으로서 특히 유용 하 다 .