도 7 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 가열 부 ( 220 ) 는 플 라즈 마 반 응부 ( 200 ) , 구체 적 으로 처 리부 ( 210 ) 와 챔버 부 ( 100 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 가 열부 ( 220 ) 는 전극 으로 형성 되 는 처 리부 ( 210 ) 의 외부 로 일정 한 간격 을 두 고 떨어져 챔버 부 ( 100 ) 사이 에 가 열부 ( 220 ) 가 배열 될 수 있 다 .