제 1 영역 ( 20 a ) 과 제 2 영역 ( 20 b ) 은 , 이 들 사이 에 공간 ( 20 g ) 을 제공 하 고 있 다 . 제 1 상면 ( 201 ) 과 제 2 상면 ( 202 ) 은 , 공간 ( 20 g ) 에 의해 서로 분리 되 어 있 다 . 공간 ( 20 g ) 은 , 제 1 영역 ( 20 a ) 및 제 2 영역 ( 20 b ) 의 중심 축선 ( 도 2 에서 는 , 축선 AX ) 에 대하 여 둘레 방향 으로 연장 되 어 있 다 . 공간 ( 20 g ) 은 , 정전 척 ( 20 A ) 에서 는 홈 이 며 , 제 1 영역 ( 20 a ) 과 제 2 영역 ( 20 b ) 사이 , 또한 , 제 3 영역 ( 20 c ) 상 에 제공 되 어 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 제 1 영역 ( 20 a ) 의 직경 은 , 기판 ( W ) 의 직경 보다 작 다 . 따라서 , 기판 ( W ) 이 제 1 상면 ( 201 ) 상 에 배치 되 어 있 는 상태 에서 는 , 기판 ( W ) 의 에지 는 , 공간 ( 20 g ) 상 에 위치 한다 . 단 , 공간 ( 20 g ) 은 설치 되 지 않 아도 좋 다 . 즉 , 제 2 환형 부재 ( 26 b ) 의 측면 하부 에 단차 가 설치 되 지 않 아도 좋 다 .