단결정 반도체 기판 ( 510 ) 으로서 는 , 예 를 들 어 , 단결정 실리콘 기판 , 단결정 게르마늄 기판 , 단결정 실리콘 게르마늄 기판 등 , 제 14 족 원소 로 되 는 단결정 반도체 기판 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , 갈륨 비소 나 인듐 인 등 의 화합물 반도체 기판 을 이용 할 수 도 있 다 . 시판 하 는 실리콘 기판 으로서 는 , 직경 5 인치 ( 125 mm ) , 직경 6 인치 ( 150 mm ) , 직경 8 인치 ( 200 mm ) , 직경 12 인치 ( 300 mm ) , 직경 16 인치 ( 400 mm ) 사이즈 의 원형 의 것 이 대표 적 이 다 . 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 의 형상 은 원형 에 한하 지 않 고 , 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 은 , 예 를 들 어 , 직사각 형 등 으로 가공 한 기판 일 수 있 다는 점 에 주목 한다 . 또한 , 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 은 CZ ( 쵸 크랄스 키 ) 법 이나 FZ ( 플로팅 ( floating ) 존 ( zone ) ) 법 을 이용 해서 제작 할 수 있 다 .