반응 기벽 ( 122 ) 과 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) 사이 에 전위차 가 존재 하 므로 여기 에 플 라즈 마가 발생 할 수 있 고 반응 실 ( 154 ) 을 지난 공정 기체 가 이 곳 을 통과 하 므로 반응 기벽 ( 122 ) 안쪽 과 , 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) 바깥쪽 에 도 도전 성 막 이 형성 될 수 있 다 . 따라서 , 플라 즈 마 발생 차 단벽 ( 128 ) 과 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) 사이 에 아르곤 등 의 불 확 성 기체 의 흐름 을 유지 해서 공정 기체 가 이 틈 ( 148 ) 으로 들어오 는 것 을 막 을 수 있 다 .