기준 광 발생 부 ( 30 ) 는 기준 광 경로 상 에 배치 되 어 상기 광분 할 간섭 부 ( 20 a ) 로부터 의 제 1 광 및 제 2 광 을 각각 제 1 측정 광 및 제 2 측정 광 에 각각 소정 각도 기울어진 제 1 기준 광 및 제 2 기준 광 으로 변화 하 여 광분 할 간섭 부 ( 20 a ) 로 출력 한다 . 여기 서 , 기준 광 발생 부 ( 30 ) 는 상호 상이 한 각도 도 기울어진 제 1 기준 미러 ( 32 ) 및 제 2 기준 미러 ( 33 ) , 제 3 편광판 ( 34 ) , 제 4 편광판 ( 35 ) 및 제 4 빔 스플리터 ( 31 ) 를 포함 할 수 있 다 .