그런데 일반 적 으로 는 발생 하 는 결함 의 유형 에 따라 그 에 맞 는 모니터링 패턴 이 각각 독립 적 으로 형성 되 기 때문 에 , 수많 은 결함 을 일일이 검출 하 려면 모니터링 패턴 도 그 에 상응 하 여 여러 개 가 필요 하 게 된다 . 그러나 반도체 소자 내 에서 모니터링 패턴 을 수용 할 수 있 는 면적 은 한정 되 어 있 으므로 모니터링 패턴 은 제한 적 으로 형성 될 수 밖에 없 다 .