도 14 를 참조 하 면 , 제 2 레티 클 스테이지 ( 412 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 수납 한다 ( S 122 ) . 인터페이스 장치 ( 미 도시 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 제 2 레티 클 스테이지 ( 412 ) 상 에 제공 할 수 있 다 . 레티 클 기판 ( 2 ) 은 제 2 레티 클 스테이지 ( 412 ) 의 기판 냉각기 ( 411 ) 상 에 제공 될 수 있 다 .