또한 , 상기 실시 형태 에서 는 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 과 루테늄 막 을 성막 하 는 공정 이 진공 반 송실 을 개재 하 여 접속 된 별도 의 처리 용기 내 에서 행하 여 지 는 경우 를 설명 했 지만 , 본 개시 는 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 과 루테늄 막 을 성막 하 는 공정 은 , 동일 한 처리 용기 내 에서 행하 여져 도 된다 . 단 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 과 루테늄 막 을 성막 하 는 공정 에서 처리 온도 가 다른 경우 에 는 , 생산 성 의 관점 에서 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 과 루테늄 막 을 성막 하 는 공정 을 별도 의 처리 용기 에서 행하 는 것 이 바람직 하 다 .