한편 , 제 2 전극 ( 232 ) 은 히터 ( 241 ) 에 의해 가열 되 는 기판 지지 부 ( 240 ) 에 가까이 위치 하 고 있 으므로 제 1 전극 ( 231 ) 보다 온도 가 높 으며 , 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 는 200 ℃ 내지 220 ℃ 의 범위 를 유지 하 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 본 발명 에서 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 는 기판 지지 부 ( 240 ) 의 온도 를 통해 간접 적 으로 측정 하 는 것 으로 설명 하 였으나 , 경우 에 따라서 는 온도 측정 수단 을 통해 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 를 직접 측정 할 수 도 있 다 .