상술 한 바 와 같이 , 툴 에 의해서 수행 될 프로세스 단계 또는 단계 들 에 따라서 , 제어기 는 , 반도체 제작 공장 내 의 툴 위치 들 및 / 또는 로드 포트 들 로부터 / 로 웨이퍼 들 의 컨테이너 들 을 이동 시키 는 재료 이송 시 에 사용 되 는 , 다른 툴 회로 들 또는 모듈 들 , 다른 툴 컴포넌트 들 , 클러스터 툴 들 , 다른 툴 인터페이스 들 , 인접 툴 들 , 이웃 하 는 툴 들 , 공장 도처 에 위치 한 툴 들 , 메인 컴퓨터 , 또 다른 제어기 또는 툴 들 중 하나 이상 과 통신 할 수 도 있 다 .