먼저 , 회동 부 ( 130 ) 는 상기 구동 부 ( 120 ) 의 제 2 구동 모터 축 ( 124 ) 에 그 중심 이 회동 가능 하 게 축 고정 된 회 동체 ( 131 ) , 이 회 동체 ( 131 ) 내측 에 설치 되 는 제 3 구동 모터 ( 134 ) 와 , 구동 하 는 구동 풀리 ( 135 ) 와 종동 풀리 ( 137 ) 를 벨트 ( 136 ) 로 연결 하 고 , 이 종동 풀리 ( 137 ) 의 양측 으로 스크류바 ( 132 ) 를 연결 하 되 , 이 스크류바 ( 132 ) 에 나란 하 게 LM 가이드 ( 133 ) 를 설치 하 고 , LM 가이드 ( 133 ) 와 스크류바 ( 132 ) 에 맞추 어 져 이동 되 며 , 포토 마스크 ( A ) 를 일시 지지 하 기 위한 이 동체 ( 138 ) 로 이루어진다 .