진공 증착 법 에 의하 여 정공 주입 층 을 형성 하 는 경우 , 그 증착 조건 은 정공 주입 층 의 재료 로서 사용 하 는 화합물 , 목적 으로 하 는 정공 주입 층 의 구조 및 열 적 특성 등 에 따라 다르 지만 , 일반 적 으로 증착 온도 100 내지 500 ℃, 진공도 10 - 8 내지 10 - 3 torr , 증착 속도 0 . 01 내지 100 Å / sec , 막 두께 는 통상 10 Å 내지 5 ㎛ 범위 에서 적절히 선택 하 는 것 이 바람직 하 다 .