또한 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 적어도 일부 및 / 또는 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 적어도 일부 를 로더 모듈 ( 22 ) 에 상하 방향 으로 겹치 는 것 으로 , 기판 처리 시스템 의 깊이 치수 를 작 게 할 수 있 어 , 풋 프린트 를 보다 저감 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 이 로더 모듈 ( 22 ) 의 상하 방향 으로 겹치 는 것 으로 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 을 로더 모듈 ( 22 ) 에 접근 시켜서 배치 할 수 있 으므로 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 대기 반송 로봇 과 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 내 의 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 이 직접 적 으로 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 를 거쳐서 기판 ( W ) 을 수수 하 는 것 이 가능 해진다 . 또한 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 내 에 는 후술 하 는 기판 의 이동 기구 등 을 마련 하 는 일 없이 , 용적 을 최소 로 유지 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .