프로브 ( 33 ) 가 공작물 ( W ) 의 X 축 또는 Y 축 방향 플러스 측 단부 에지 와 일치 한 후 공작물 ( W ) 의 단부 에지 로부터 이탈 하 여 Z 축 방향 으로 전진 하 는 속도 ( Vz ) 가 소정 속도 ( Vc ) 로 되 기 까지 의 사이 에 , X 축 또는 Y 축 슬라이드 테이블 ( 16 , 12 ) 이 주사 속도 로 이동 되 는 보정 거리 ( △ L ) 는 , 후술 하 는 바 와 같이 별도 로 측정 되 어 제어 장치 ( 35 ) 의 기억 장치 에 기억 되 어 있 다 .