Rd 4 에 있 어서 의 고리 형기 는 , 상기 식 ( b - 1 ) 중 의 R 101 과 동일 한 것 을 들 수 있 고 , 시클로펜탄 , 시클로헥산 , 아 다만 탄 , 노르 보르 난 , 이소 보르 난 , 트리시 클로 데칸 , 테트라 시클 로 도 데칸 등 의 시클로알칸 으로부터 1 개 이상 의 수소 원자 를 제거 한 지환 식기 , 또는 페닐기 , 나프 틸 기 등 의 방향 족기 가 바람직 하 다 . Rd 4 가 지환 식기 인 경우 , 레지스 트 조성물 이 유기 용제 에 양호 하 게 용해 됨 으로써 , 리소그래피 특성 이 양호 해진다 . 또 , Rd 4 가 방향 족기 인 경우 , EUV 등 을 노광 광원 으로 하 는 리소그래피 에 있 어서 , 그 레지스 트 조성물 이 광 흡수 효율 이 우수 하 고 , 감도 나 리소그래피 특성 이 양호 해진다 .