상기 언급 된 바 와 같이 , 척 ( 107 A / B ) 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 아래 의 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 내 에 배치 된다 . 척 ( 107 A / B ) 은 바디 부분 ( 107 A ) 및 전극 부분 ( 107 B ) 을 포함 한다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 척 바디 ( 107 A ) 는 챔버 ( 100 ) 의 벽 ( 100 C ) 으 로부터 컨 틸 레버 된다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 척 ( 107 A / B ) 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 RF 전력 을 전송 하 도록 정의 된 전극 ( 107 B ) 을 갖 는 정전 척 이 다 . 척 ( 107 B ) 의 전극 부분 의 상부 표면 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 대한 노출 시 , 기판 ( 113 ) , 즉 웨이퍼 ( 113 ) 를 홀딩 하 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 석영 포커스 링 ( 149 ) 이 척 ( 107 B ) 상 의 기판 ( 113 ) 수용 / 홀딩 영역 의 주변 둘레 의 척 ( 107 A ) 의 바디 상 에 배치 된다 . 또한 , 척 ( 107 ) 은 냉각 채널 들 및 / 또는 가열 엘리먼트 들 의 구성 을 포함 하 도록 정의 되 어 , 기판 ( 113 ) 및 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 의 온도 제어 를 가능 하 게 한다 .