본 실시 형태 에서 는 , 주제 어부 ( 6 ) 가 주 노광 장치 ( EX 1 ) , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 및 반송 장치 ( 90 ) 를 제어 하 고 있 었 지만 , 주제 어부 ( 6 ) 는 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 하 고 , 반송 장치 ( 90 ) 는 그 자신 의 제어 장치 , 또는 기타 의 장치 , 예 를 들 어 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 에 의해 제어 되 어도 된다 .