캘 리브레 이 션 공정 에서 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 각 개폐 밸브 를 오토 연속 플로우 의 상태 로 하 고 , 매스 플로우 컨트롤러 ( 94 ) 를 제어 하 여 , 캐리어 가스 를 연속 적 으로 흘려서 전구체 를 픽업 한다 . 이때 , 매스 플로우 컨트롤러 ( 94 ) 로 제어 하 는 캐리어 가스 의 유량 은 , 대 유량 ( 제 1 유량 ) 에서 소유 량 ( 제 2 유량 ) 으로 되 도록 유량 을 변화 시키 면서 , 유량계 ( 97 ) 로 유량 을 계측 한다 .