본 발명 의 상기 목적 은 제 1 절 연막 이 형성 된 기판 상 에 증착 된 폴리 실리콘 내부 에 불순물 주입 을 하 여 형성 된 마이크 로 히터 ; 상기 마이크 로 히터 의 열 손실 을 감소 시키 기 위한 폴리 실리콘 멤 브레인 ; 상기 마이크 로 히터 의 양단 에 형성 되 어 전원 공급 과 온도 를 측정 하 기 위한 전원 전극 과 온도 측정 전극 ; 상기 마이크 로 히터 상 에 형성 된 제 2 절 연막 ; 상기 제 2 절연 막상 에 형성 되 어 가스 를 감지 하 기 위한 감지 물질 ; 및 상기 감지 물질 의 물성 변화 를 측정 하 기 위한 감지 전극 을 포함 하 는 마이크 로 가스 센서 에 의해 달성 된다 .