본 변형 실시 예의 방법 에 있 어서 , 상기 제 1 및 제 2 희생 층막 들 중 어느 하나 를 복수 개 의 게이트 들 로 대체 하 는 것 은 상기 워드 라인 컷 을 통해 제 1 식각 액 을 제공 하 여 상기 제 2 희생 막 들 을 선택 적 으로 제거 하 여 복수 개 의 리세 스 영역 들 을 형성 하 고 ; 그리고 상기 복수 개 의 리세 스 영역 들 을 도전 막 으로 채워 상기 복수 개 의 게이트 들 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .