도 5 b 에 도시 한 이송 로봇 ( 420 ) 은 도 1 내지 도 3 의 반도체 제조 장치 ( 1 , 3 , 5 ) 의 제 2 이송 로봇 ( 504 ) 에 이용 될 수 있 다 . 이송 로봇 ( 420 ) 은 기판 ( WA ) 이 위치 하 는 로봇 핸드 ( RH 2 ) , 회전축 ( CX 2 ) , 수평 레일 ( HL 2 ) , 및 로봇 암 ( AR 2 ) 을 포함 할 수 있 다 . 회전축 ( CX 2 ) 은 지지 축이 라 명명 할 수 있 다 .