기판 처리 장치 ( 100 ) 가 갖 는 금속 창 ( 50 ) 을 구성 하 는 각 분 할 금속 창 ( 57 ) 이 , 도체 플레이트 ( 30 ) 와 샤워 플레이트 ( 40 ) 의 접합 계면 ( 51 ) 에 대기 접속 부 ( 53 ) 를 가지 므로 , 제 2 시 일 부재 ( 43 ) 에 의한 시일 구조 의 시일 성능 이 중요 하 게 된다 . 즉 , 제 2 시 일 부재 ( 43 ) 에 의한 시일 구조 에 의해 , 대기 접속 부 ( 53 ) 로부터 하부 챔버 ( 17 ) 의 처리 영역 ( S ) 으로 대기 가 누설 되 는 일 이 억제 된다 . 또한 , 도체 플레이트 와 샤워 플레이트 의 접합 계면 의 전체 영역 이 진공 접속 부 에 의해 형성 되 는 경우 는 이 와 같 은 염려 는 없 다 .