접합 력 이 개선 된 매끈 한 비정질 실리콘 막 을 증착 시키 기 위해서 는 하부 막 에 대한 고려 가 필요 한데 이때 가장 문제 가 되 는 부분 이 하 부막 위 에서 의 수소 ( Hydrogen ) 성분 이 다 . 수소 성분 이 하부 막 에 많 을 경우 , 비정질 실리콘 막 은 하 부막 과 결합 되 기 어려워 증착 이 원할하 게 이루어지 지 않 게 된다 .