상기 밸브 부 ( 120 ) 는 흡기 밸브 ( 121 ) 와 배기 밸브 ( 122 ) 를 갖 는 2 - way 방식 으로서 , 상기 매니폴드 부 ( 110 ) 상 에 위치 하 여 장착 되 며 , 상기 CMP 장비 용 연마 헤드 ( 10 ) 가 갖 는 다수 의 압력 챔버 ( 11 ) 에 대응 하 여 다수 의 밸브 로 구성 하 되 5 개 이상 으로 구비 될 수 있 는 압력 챔버 ( 11 ) 측 공 압 을 각각 조절 하 도록 5 개 이상 의 채널 로 대응 형성 할 수 있 다 .