절 연막 표면 에 표면 소수 화 막 을 형성 하 는 방법 에 는 특별히 제한 은 없 고 , 공지 의 방법 에서 적절 하 게 선택 할 수 있 다 . 구체 적 으로 는 분무 , 스핀코팅 , 베이퍼 처리 등 의 도포 를 예시 할 수 있 다 . 베이퍼 처리 란 , 표면 소수 화 막 형성 재료 를 상술 한 상태 로 절 연막 위 에 유도 하 는 것 을 의미 하 며 , 구체 적 으로 는 시스템 을 진공 으로 하 고 , 필요 하 면 가열 하 여 캐리어 가스 에 표면 소수 화 막 형성 재료 증기 를 동반 시키 는 등 , 공지 의 어떠 한 방법 을 채용 하 여도 좋 다 .