액정 표시 장치 에 사용 되 는 유리제 의 기판 에 는 회로 패턴 이 형성 된다 . 기판 에 회로 패턴 을 형성 하 기 위하 여 리소그래피 공정 ( lithography process ) 이 채용 된다 . 리소그래피 공정 주지 하 는 바 와 같이 상기 기판 에 레지스 트 를 도포 하 고 , 상기 레지스 트 에 회로 패턴 이 형성 된 마스크 를 통하 여 광 을 조사 한다 . ·