여기 서 , 제 1 필름 ( 132 ) 과 제 2 필름 ( 134 ) 의 두께 ( 점착제 의 두께 를 제외 한다 ) 는 서로 상이 하 다 . 일 실시 예 로서 , 제 1 필름 ( 132 ) 의 두께 는 제 2 필름 ( 134 ) 의 두께 보다 얇 다 . 이 는 제 1 필름 ( 132 ) 의 두께 가 얇 을수록 연마 패드 ( 132 ) 가 플레이튼 ( 110 ) 의 상부 면 에 밀착 되 는 정도 가 증가 하 기 때문 이 다 . 보통 접착 필름 ( 130 ) 의 접착력 이 약하 면 , 접착 필름 ( 130 ) 이 부착 되 는 대상물 에 밀착 되 는 정도 가 약하 다 . 따라서 , 접착 필름 ( 130 ) 과 대상물 사이 에 는 완전히 밀착 되 지 않 는 부분 들 로 인해 미세 한 기포 들 이 발생 된다 . 이러 한 기포 들 이 발생 되 는 부분 들 로 인해 연마공 정시 연마 패드 ( 120 ) 의 들뜨 는 현상 이 발생 되 는 것 이 며 , 이 를 방지 하 기 위해서 는 접착 필름 ( 130 ) 의 접착력 을 강화 시켜 대상물 에 밀착 되 는 정도 를 높여야 한다 .