엑 시머 레이저 빔 의 레이저 출력 강도 가 각 펄스 에 따라 달라진다는 것 은 공지 된 바 이 다 . 일반 적 인 엑 시머 레이저 장치 에서 , 출력 강도 는 대략 ± 2 . 5 % 의 요동 을 갖 는다 . 비 단결정 반도체 막 상 에서 의 광 강도 는 레이저 장치 의 출력 강도 의 요동 에 따라 달라지 고 , 결정 성장 시작 강도 에 대응 하 는 등강 도 선 또한 변한다 . 예 를 들 면 , 광 강도 가 평균 레이저 출력 강도 에서 결정 성장 시작 강도 로 조절 될 때 , 레이저 출력 강도 에서 의 a 2 . 5 % 증가 는 결정 성장 시작 강도 에 대응 하 는 광 강도 를 a / ( 1 + 0 . 025 ) 로 변화 시킨다 . 이 경우 , 강도 a / ( 1 + 0 . 025 ) 에 대응 하 는 등강 도 선 에 대한 곡률 반지름 의 최소 값 이 0 . 3 ㎛ 보다 높 다면 , 우수 한 결정상 이 얻 어 질 수 없 다 . 즉 , 예 를 들 어 , + 2 . 5 % 의 범위 로 레이저 출력 강도 가 변할지라도 , 대응 등강 도 선 의 적어도 일부 에 대한 곡률 반지름 이 0 . 3 ㎛ 또는 그 이하 의 최소 값 을 유지 하 도록 조절 된다면 , 레이저 출력 강도 의 요동 이 있 더라도 결정상 이 안정 적 으로 유지 될 수 있 다 . 전술 한 바 와 같이 , 도 13 에서 , 광 강도 의 등강 도 선 에 대한 곡률 반지름 은 각 라인 을 따라 0 . 3 ㎛ 또는 그 이하 이 다 . 이 실시 형태 에서 , 레이저 출력 강도 가 변한다 할지라도 결정상 은 안정 적 으로 유지 될 수 있 다 .