그리고 본 실시 예 에서 스퍼터링 등 과 같이 물리 적 증착 법 으로 상기 촉매 층 을 증착 하 는 경우 에 는 , 상기 촉매 층 소스 공급 부 ( 124 ) 에 촉매 층 소스 를 개폐 가능 하 게 밀폐 할 수 있 는 밀폐 수단 ( 126 ) 이 더 구비 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 밀폐 수단 ( 126 ) 은 상기 챔버 ( 122 ) 와 촉매 층 소스 공급 부 ( 124 ) 사이 에 설치 되 어 , 상기 촉매 층 소스 공급 부 ( 124 ) 가 챔버 방향 으로 개방 된 공간 을 차단 한다 . 즉 , 상기 챔버 ( 122 ) 의 메인 트 넌 스 등 을 위하 여 상기 챔버 ( 122 ) 가 개방 될 때 상기 촉매 층 소스 가 외부 기체 에 의하 여 산화 되 는 것 을 방지 하 기 위한 것 이 다 .