한편 , 제 1 완충 막 ( 103 ) 은 산화 막 계열 의 물질 로 한정 되 는 것 은 아니 며 , 도전 막 ( 102 ) 의 손상 을 최소 화 하 면서 형성 공정 이 단순 하 고 , 그 본연 의 목적 인 후속 희생 막 ( 104 ) ( 이하 , 제 1 희생 막 이 라 함 ) 형성 공정 시 가해 지 는 스트레스 로부터 도전 막 ( 102 ) 을 보호 할 수 있 으며 , 또한 후속 공정 을 통해 제거 가 비교 적 용이 한 물질 중 에서 적절히 선택 될 수 있 다 .