타 겟 중 의 Al 3 Ni 화합물 의 전 석출 량 에 대한 B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 의 비율 에 대하 여 는 , 도 2 에 나타내 는 바 와 같 은 SEM 관찰 시야 ( 0 . 19 mm 2 ) 의 10 시야 중 에 확인 된 Al 3 Ni 의 석출 물 의 개수 를 카운트 하 고 , 그 중 부호 2 ' 에 나타내 는 바 와 같 은 B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 의 개수 를 카운트 하 여 , 그 들 의 개수 로부터 산출 했 다 . 또한 , 평균 입경 에 대하 여 는 , 석출 물 의 장축 이 되 는 부분 의 길이 를 각 석출 물 의 입경 으로 하 여 , 시야 중 에 확인 된 Al 3 Ni 의 석출 물 로서 입경 5 ㎛ 이상 의 모든 입경 을 측정 하 여 그 평균 을 산출 했 다 . 또한 , B 함유 입자 는 , SEM 과 EDX 로 확인 한 바 , AlB 2 이 었 다 . 그리고 , 배율 200 배 의 SEM 관찰 로 계측 가능 한 입경 1 ㎛ 이상 의 것 을 대상 으로 하 고 , B 함유 입자 를 내포 하 는 입경 5 ㎛ 이상 의 Al 3 Ni 의 개수 를 카운트 했 다 .