휘도 Sa 의 산출 에 있 어서 디지털 흑백 화상 을 취득 하 기 위한 TEM 관찰 시료 는 집속 이온 빔 ( FIB : Focused Ion Beam ) 법 을 사용 하 여 가공 데미지 를 억제 해서 작성 된다 . FIB 가공 시 에 구조물 의 표면 에 는 대전 방지 및 시료 보호 를 위한 카본 층 및 텅스텐 층 이 형성 된다 . FIB 가공 방향 을 세로 방향 으로 했 을 때 에 세로 방향 에 대하 여 수직 인 평면 에 있 어서 의 구조물 표면 의 단축 방향 의 길이 인 시료 상부 두께 는 100 ± 30 ㎚ 로 한다 . 하나 의 구조물 로부터 TEM 관찰 시료 를 적어도 3 개 준비 한다 .