다음 , 도 1 o 에 나타낸 바 와 같이 컨 택트 플러그 ( 29 t , 29 b , 29 s , 29 d ) 에 접하 는 배선 ( 30 ) 을 형성 한다 . 배선 ( 30 ) 은 , 예 를 들 면 , 컨 택트 플러그 ( 28 d ) 와 컨 택트 플러그 ( 29 t ) 를 전기 적 으로 접속 한다 . 또한 , 배선 ( 30 ) 의 형성 에서 는 , 먼저 PVD 법 등 에 의해 두께 가 150 nm 정도 인 티탄 질 화 막 , 두께 가 550 nm 정도 인 AlCu 합금 막 , 두께 가 5 nm 정도 인 티 탄막 , 및 두께 가 150 nm 정도 인 티탄 질화 막 을 순차 적 으로 형성 한다 . 다음 , 이 들 막 의 패 터닝 을 행한다 .