프로브 스테이션 이 개시 된다 . 상기 프로브 스테이션 은 , 프로브 카드 를 이용 하 여 웨이퍼 상 에 형성 된 반도체 소자 들 에 대한 전기 적 인 검사 를 수행 하 는 본체 와 , 상기 본체 의 상부 에 배치 되 며 상기 프로브 카드 와 전기 적 으로 연결 되 는 테스트 헤드 와 , 상기 본체 주변 의 기 설정 된 영역 내 의 장애물 을 검출 하 기 위한 장애물 검출 센서 를 포함 한다 .