상기 캡 공급 부 ( 340 ) 는 캡 부재 가 로딩 되 는 로딩 챔버 ( 34 ) 와 , 단면 이 6 각 형 인 진공 챔버 의 내부 에 반송 로봇 ( 60 ) 이 구비 되 어 상기 캡 부재 를 이송 하 는 제 3 반송 챔버 ( 31 ) 와 , 상기 반송 챔버 ( 31 ) 의 측벽 에 이웃 하 는 각각 2 개 의 플 라즈 마 챔버 ( 32 ) 와 흡습제 부착 모듈 ( 33 ) 로 이루어지 는 1 차 처 리부 ( 30 ) 가 구비 된다 .