이상 의 이송 로봇 ( 100 ) 은 제 1 로봇 암 ( 120 ) 의 제 1 기판 안 치부 ( 124 ) 가 제 2 로봇 암 ( 130 ) 의 제 2 기판 안 치부 ( 134 ) 보다 r 축 방향 으로 더 돌출 된 것 이 었 으나 , 도 7 과 같이 하부 에 위치 하 는 제 2 기판 안 치부 ( 134 ) 가 r 축 방향 으로 더 길 게 돌출 될 수 도 있 다 .