트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 내 에 는 이송 로봇 ( 40 ) 이 장착 된다 . 이송 로봇 ( 40 ) 은 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 로 웨이퍼 ( W ) 를 로딩 하 거나 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 언 로딩 한다 . 또한 , 이송 로봇 ( 40 ) 은 공정 모듈 들 ( 10 a , 10 b ) 과 로드 록 챔버 ( 20 ) 간 에 웨이퍼 ( W ) 를 이송 한다 .