그 후 , 도 5 e 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 산화 막 ( 221 ) 을 식각 제거 한 후 , 전도성 금속 을 스퍼터링 하 여 전도성 금속 층 ( 224 ) 을 트랜 치 ( 223 ) 및 희생 기판 ( 200 ) 상면 에 형성 한다 . 본 발명 의 실시 예 에서 는 전도성 금속 층 ( 224 ) 을 형성 하 기 위해 티탄 과 구리 를 순차 적 으로 스퍼터링 한다 .