배스 ( 37 ) 는 두 개 의 공급 파이프 들 ( 38 ) 사이 에 출구 ( outlet , 40 ) 를 가지 며 , 상기 공급 파이프 들 은 배스 ( 37 ) 로 새로운 식각 용액 ( 35 ) 을 제공 한다 . 상기 출구 는 , 배스 ( 37 ) 의 에지 상 에 측 방향 으로 넘치 게 하 는 것 에 더 하 여 , 공급 파이프 들 ( 38 ) 의 출구 ( exit ) 의 영역 에서 새로운 ( fresh ) 식각 용액 ( 35 ) 이 존재 할 뿐 만 아니 라 식각 용액 이 출구 ( 40 ) 의 방향 으로 또한 이동 하 고 따라서 이송 롤러 들 ( 33 ) 에 의하 여 실리콘 웨이퍼 들 ( 22 ) 의 하 부면 들 ( 24 ) 에 또한 이르 게 할 수 있 도록 하 는 방식 으로 식각 용액 ( 35 ) 이 교환 되 는 것 을 보장 하 게 한다 . 실리콘 웨이퍼 들 ( 22 ) 을 처리 하 는 방법 시퀀스 에서 , 폴리 싱 - 식각 모듈 ( 31 ) 내 의 폴리 싱 - 식각 단계 는 또한 , 유리 하 게 는 물 을 수반 하 여 다시 한 번 , 추가 적 인 린스 단계 가 뒤따른다 .