로드 락 챔버 ( 130 ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 121 ) 의 기압 상태 가 변화 되 는 것 을 방지 시키 기 위해 자체 적 으로 진공 상태 와 대기압 상태 를 교차 하 면서 압력 을 유지 할 수 있 다 . 구체 적 으로 , 로드 락 챔버 ( 130 ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 121 ) 의 반송 로봇 ( 123 ) 이 기판 을 로딩 또는 언로 딩 할 때 에 트랜스퍼 챔버 ( 121 ) 와 동일 한 ( 근접 한 ) 진공 분위기 를 형성 할 수 있 으며 , 이송 프레임 ( 112 ) 의 반송 로봇 ( 113 ) 으로부터 미 가공 웨이퍼 를 공급 받 거나 이미 가공 된 웨이퍼 를 인덱스 모듈 ( 110 ) 로 이송 할 때 에 대기압 상태 를 형성 할 수 있 다 .