도 7 은 본 발명 에 따른 디플렉터 가 스티그 메이 터 역할 을 하 는 것 을 나타내 는 평면도 로서 서로 이웃 하 는 디플렉터 전극 ( 10 ) 들 이 쌍 을 이루 어 중앙 의 구멍 ( 17 ) 을 통과 하 는 전자 빔 의 비점 수차 등 의 수차 를 보정 할 수 있 도록 사용 된다 . 한 쌍 의 디플렉터 전극 이 각각 자기장 을 형성 하 여 전자 빔 의 수차 를 개선 할 수 있 게 된다 . 각각 의 전자기장 들 이 중앙 의 구멍 ( 17 ) 을 통과 하 는 전자 들 을 밀 고 당겨서 비점 을 보정 하 게 된다 .