다음 으로 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 에 대해 설명 한다 . 이 설명 에서 는 , 2 개 의 처리 층 ( A 1 , B 1 ) 의 조합 으로 기판 ( W ) 은 처리 된다 . 2 개 의 처리 층 ( A 2 , B 2 ) 의 조합 , 및 2 개 의 처리 층 ( A 3 , B 3 ) 의 조합 은 , 2 개 의 처리 층 ( A 1 , B 1 ) 의 편성 과 같이 동작 된다 .