먼저 도 8 에 나타낸 바 와 같이 , 셀 어레이 경계 영역 영역 부근 에서 도 셀 어레이 영역 에서 의 패턴 과 거의 유사 한 피치 의 패턴 이 형성 되 었 으며 , 패턴 왜곡 현상 이 발생 하 지 않 았 다 . 또한 도 9 에 나타낸 바 와 같이 , " 셀 어레이 경계 영역 에 인접 한 영역 에서 패턴 의 중심 이 이동 되 는 현상 이 발생 하 지 않 았 다 ( 도면 에서 "" B "" 로 표시 된 부분 참조 ) . "