기판 ( 201 ) 은 반도체 프로세싱 에 적합 한 물질 일 수 있 다 . 기판 ( 201 ) 은 반도체 기판 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( 201 ) 은 실리콘 기판 , 단결정 실리콘 기판 , 폴리 실리콘 기판 , 비정질 실리콘 기판 , 실리콘 저마늄 기판 , 단결정 실리콘 저마늄 기판 , 다 결정 실리콘 저마늄 기판 , 탄소 도핑 된 실리콘 기판 , 그 들 의 조합 또는 그 들 의 다층 을 포함 할 수 있 다 . 기판 ( 201 ) 은 저마늄 과 같 은 다른 반도체 물질 을 포함 할 수 도 있 다 . 기판 ( 201 ) 은 Ⅲ / Ⅴ 족 반도체 기판 , 예컨대 GaAs 과 같 은 화합물 반도체 기판 을 포함 할 수 도 있 다 . 기판 ( 201 ) 은 SOI ( Silicon On Insulator ) 기판 을 포함 할 수 도 있 다 . 기판 ( 201 ) 은 메모리 셀 영역 ( MC ) 과 정렬 키 영역 ( AK ) 을 포함 할 수 있 다 .