게이트 절 연막 ( 107 ) 은 CVD 법 이나 스퍼터 법 등 에 의해 규소 의 산화물 또는 규소 의 질화물 을 포함 하 는 막 을 단층 또는 적층 하 여 형성 한다 . 예 를 들 면 , 산화 규소 막 , 산화 질화규소 막 , 질화 산화 규소 막중 어느 하나 를 단층 으로 형성 하 는 , 또는 산화 규소 막 , 산화 질화규소 막 , 질화 산화 규소 막 을 조합 하 여 적층 하 여 형성 한다 .