또한 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 의 일정 기간 경과 후 의 실측치 를 취득 한다 . 또한 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 초기 실측치 에 근거 하 는 일정 기간 경과 후 의 제 1 예측 치 와 취득 한 일정 기간 경과 후 의 실측치 의 제 2 차 분 을 산출 한다 . 그 결과 , 일정 기간 경과 후 의 제 1 예측 치 와 실측치 의 제 2 차 분 을 피드백 하 여 예측 정밀도 를 향상 시킬 수 있 다 .