그리고 , 다른 기타 첨가제 로서 , 0 . 05 ∼ 5 wt % ( 0 . 1 ∼ 3 wt % recommended ) 의 질화 염계 화합물 은 Mo 단일 막 의 식각 속도 및 프로 파일 을 향상 시켜 주 는 역할 을 한다 . 이때 , 상기 질화 염계 화합물 로 는 NH 4 NO 3 , KNO 3 , LiNO 3 , Ca ( NO 3 ) 2 , NaNO 3 , Zn ( NO 3 ) 2 , Co ( NO 3 ) 2 , Ni ( NO 3 ) 2 , Fe ( NO 3 ) 3 , Cu ( NO 3 ) 2 , Ba ( NO 3 ) 2 , 등 이 사용 된다 . 반면 에 , 상기 질화 염계 화합물 이 0 . 05 중량 % 미만 일 경우 에 는 , Mo 단일 막 에서 역 테이퍼 및 숄더 ( shoulder ) 현상 이 발생 하 며 , 5 중량 % 이상일 경우 에 는 Mo 단일 막 의 식각 속도 가 느려진다 .