WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 에서 의 유량계 ( 97 ) 의 하류 위치 에 는 , 에 벡 라인 ( 104 ) 의 일단 이 접속 되 고 , 에 벡 라인 ( 104 ) 의 타단 은 배기 배관 ( 41 ) 에 접속 되 어 있 다 . 에 벡 라인 ( 104 ) 의 WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 근방 위치 및 배기 배관 ( 41 ) 근방 위치 에 는 , 각각 개폐 밸브 ( 105 ) 및 개폐 밸브 ( 106 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , 개폐 밸브 ( 105 ) 와 개폐 밸브 ( 106 ) 와 의 사이 에 는 , 압력 제어 밸브 ( 107 ) 가 설치 되 어 있 다 . 그리고 , 개폐 밸브 ( 99 , 95 a , 95 b ) 를 폐쇄 한 상태 에서 개폐 밸브 ( 105 , 106 , 96 a , 96 b ) 를 개방 함 으로써 , 성막 원료 탱크 ( 91 ) 내 및 버퍼 탱크 ( 80 ) 내 를 배기 기구 ( 42 ) 에 의해 배기 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .