상기 보이드 ( void ) 를 형성 하 는 방법 으로 는 상기 금속 층 ( 220 ) 상 에 감광막 ( 미 도시 ) 를 형성 한 후 노광 후 노광 된 감광막 상 에 층간 절연 층 ( 160 ) 을 형성 하 고 , 상기 층간 절연 층 ( 160 ) 을 식각 하 여 상기 노광 된 감광막 의 일부 가 노출 되 도록 한 후 , 상기 감광막 을 현상 하 여 보이드 를 형성 할 수 있 다 .