다음 으로 단계 ( S 3 ) 에 있 어서 , 도 9 의 ( C ) 와 같이 , 승강 장치 ( 202 ) ( 잭 ( 203 a ∼ 203 d ) , 승강 로드 ( 204 a ∼ 204 d ) ) 에 의해 마스크 ( M ) 를 상승 시키 고 , 유리 기판 ( G ) 에 접촉 하 기 직전 에 정지 한다 . 잭 ( 203 a ∼ 203 d ) 과 승강 로드 ( 204 a ∼ 204 d ) 는 , 본 실시 예 에서 , 마스크 트레이 ( 205 ) 의 하 면 4 코너 에 각각 4 조 설치 되 어 있 고 , 도 9 에서 는 , 잭 ( 203 a ) 과 승강 로드 ( 204 a ) , 잭 ( 203 b ) 과 승강 로드 ( 204 b ) 의 조만 을 나타내 고 있 다 . 정지 위치 는 , 다음 단계 ( S 4 ) 에 있 어서 , 얼라인먼트 카메라 가 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 의 각각 의 얼라인먼트 마크 를 동시 에 계측 가능 한 위치 가 된다 . 이 때 의 마스크 ( M ) 와 유리 기판 ( G ) 의 클리어런스 를 CLS 3 로 하 면 , 예 를 들 면 CLS 3 = 3 mm 이 다 .