폴리 실록 산 ( A - 1 ) 용액 의 양 을 7 . 166 g 으로 하 고 , 인산 유도체 화합물 ( d 1 ) P - 1 M 과 아민 화합물 ( d 2 ) 모노 에탄올아민 의 중량 비율 ( d 2 / d 1 ) = 0 . 5 / 9 . 5 의 반응물 의 PGME 용액 의 양 을 1 . 999 g 으로 하 고 , 혼합 용제 를 PGME 2 . 667 g 과 PGMEA 3 . 200 g 으로 한 것 이외 에 는 , 실시 예 1 과 마 찬 자기 로 행하 여 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 11 ) 을 얻 었 다 . 얻 어 진 감광성 실록 산 수지 조성물 ( P - 11 ) 을 사용 하 여 실시 예 1 과 마찬가지 로 평가 를 행했 다 .