또한 , 상기 센서 파트 ( 109 ) , 제 1 트렌치 ( 102 ) 및 제 2 트렌치 ( 103 ) 와 마주 보 는 상기 제 2 실리콘 기판 ( 200 ) 면 에 는 , 상기 센서 파트 ( 109 ) 를 보호 하 는 캐비 티 ( 209 ) 와 , 제 3 트렌치 ( 202 ) 및 딥 비아 ( 203 ) 가 각각 형성 되 어 있 다 . 여기 서 , 상기 캐 비티 ( 209 ) 는 , 사다리꼴 의 단면 형상 을 갖 는 것 이 바람직 하 다 .