일반 적 으로 액정 표시 장치 의 TFT 를 구성 하 는 게이트 , 소스 및 드레 인 전극 용 금속 배 선재 인 Mo / Al ( Al - Nd ) / Mo 삼 중막 을 인산 + 질산 + 초산 + 물 로 이루어진 식각 액 으로 식각 하 면 , 삼 중막 의 중간막 인 Al ( Al - Nd ) 막이 Mo 막 보다 과잉 식각 ( over - etch ) 되 는 사례 가 자주 발생 한다 .