마지막 으로 , 패 시베이 션 층 ( 46 ) 이 도 2 a 에 도시 된 바 와 같이 , 도전 층 ( 44 ) 및 모든 하부 층 들 위 에 형성 된다 . 패 시베이 션 층 ( 46 ) 은 패 시베이 션 층 ( 40 ) 처럼 , 어떤 적절 한 재료 를 포함 하 고 , 어떤 적절 한 방법 에 의해 형성 될 수 있 다 . 패 시베이 션 층 ( 46 ) 은 구조 적 지지 를 제공 하 고 , 패턴 화 되 어 웨이퍼 ( 28 ) 의 하나 이상 의 하부 층 들 을 노출 시킬 수 있 다 . 예 를 들 면 , 도 2 a 에서 , 패 시베이 션 층 ( 46 ) 이 에칭 되 어 도전 층 ( 42 ) 및 도전 층 ( 44 ) 의 부분 들 을 노출 시킨다 .