도 6 은 , 염소 에 의한 흡착 저해 작용 을 설명 하 기 위한 도면 이 며 , 텅스텐 막 ( 603 ) 상 에 성막 된 루테늄 막 ( 604 ) 의 단면 의 TEM 화상 이 다 . 도 6 의 ( a ) 는 처리 실 ( 11 ) 에서 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 를 실시 하 고 , 이어서 처리 실 ( 13 ) 에서 루테늄 막 ( 604 ) 을 성막 하 는 공정 의 처리 를 실시 한 웨이퍼 의 단면 을 나타낸다 . 도 6 의 ( b ) 는 처리 실 ( 11 ) 에서 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 를 행하 지 않 고 , 처리 실 ( 13 ) 에서 루테늄 막 ( 604 ) 을 성막 하 는 공정 의 처리 를 실시 한 웨이퍼 의 단면 을 나타낸다 .