또한 , 제 2 처리 예 에서 는 , 제 1 소수 화 처리 가 행하 여진 후 로서 제 2 소수 화 처리 가 행하 여 지 기 전 에 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 를 용해 시킬 수 있 는 용제 가 제 2 용제 로서 기판 ( W ) 에 공급 된다 ( 제 2 용제 린스 공정 ) . 제 1 소수 화제 와 제 2 소수 화제 가 용이 하 게 혼합 되 지 않 는 경우 , 제 1 소수 화제 가 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 상태 로 제 2 소수 화제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 여도 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 제 1 소수 화제 를 용이 하 게 제 2 소수 화제 로 치환 할 수 없 다 . 그 때문 에 , 제 2 소수 화제 가 기판 ( W ) 의 표면 에 충분히 접촉 되 지 않 는다 .