도 3 및 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 공정 챔버 ( 200 ) 에 설치 된 제 1 반송 장치 ( 600 ) 는 엔드 이펙터 ( 611 ) 를 갖 고 회동 되 는 5 개 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 을 구비 한다 . 예컨대 , 제 1 반송 장치 ( 600 ) 는 복수 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 이 개별 적 으로 회전 될 수 있 도록 복수 의 구동 부 와 각각 의 구 동부 에 연결 되 는 복수 의 스핀들 을 가질 수 도 있 다 . 이 실시 예 에서 는 5 개 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 을 구비 한다 . 그러나 , 회전 플레이트 암 ( 610 ) 의 개수 는 공정 챔버 ( 200 ) 에 구비 되 는 기판 지지 부 ( 210 ) 의 개수 와 동일 하 게 구비 될 수 있 다 . 회전 플레이트 암 ( 610 ) 은 하나 의 스핀들 ( 620 ) 에 장착 되 어 회동 및 승 하강 된다 . 스핀들 ( 620 ) 은 구동 부 ( 630 ) 에 연결 된다 . 구동 부 ( 630 ) 는 회전 플레이트 암 ( 610 ) 의 회전 과 승 / 하강 을 위한 구동력 을 제공 한다 . 도면 에 는 구체 적 으로 도시 하 지 않 았 으나 , 구동 부 ( 630 ) 는 구동력 을 발생 하 는 전기 모터 와 발생 된 구동력 을 스핀들 ( 620 ) 로 전달 하 여 다수 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 들 이 원 하 는 동작 을 수행 하 도록 하 는 기어 어셈블리 가 포함 된다 .