일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 은 전도성 재료 로 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 은 더미 게이트 전극 층 상 에 형성 된 자연 산화물 에 의해 더미 게이트 전극 층 으로부터 분리 된 스 페이서 에 의해 제공 된다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 의 적어도 일부 는 더미 게이트 전극 층 의 연장 부 에 의해 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 은 전체 가 하나 의 재료 로 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , 테이퍼 형 측벽 구조물 은 하나 의 재료 층 으로부터 형성 된다 .