연마제 로서 시판 되 는 콜로 이달 실리카 슬러리 ( KEMIRA 사 제조 , VI - 80 ) 및 연마포 를 이용 하 여 , 시판 되 는 유리 기판 ( 코닝 사 제조 , 유리판 # 1737 , 세로 10 ㎝ × 가로 10 ㎝) 을 연마 한 후 , 초 순수 로 표면 을 린스 하 여 질소 로 블로우 함 으로써 , 오염 기판 을 제조 한 것 이외 에 는 세정 성 - 1 과 동일 하 게 하 여 평가 하 였 다 .