상기 적어도 하나 의 물질 이 아미노기 를 갖 는 물질 인 것 , 상기 절 연막 이 구리 의 확산 방지 층 인 것 , 상기 절 연막 의 비 유전 률 이 4 . 5 이하 인 것 , 상기 절 연막 의 밀도 가 1 . 0 ～ 3 . 0 사이 에 있 는 것 , 상기 절 연막 이 Si - OH 기 를 포함 하 는 것 , 상기 구리 배선 층 의 구리 표면 에 Cu - O - Si 결합 이 형성 되 어 있 는 것 , 상기 절 연막 이 , 규소 와 산소 를 주성분 으로 하 는 조성 이 거나 또는 규소 와 산소 와 탄소 를 주성분 으로 하 는 조성 이 거나 또는 규소 와 산소 와 질소 를 주성분 으로 하 는 조성 을 갖 는 것 , 상기 절 연막 이 , 규소 및 탄소 와 질소 중 적어도 어느 한 쪽 및 임의 적 으로 산소 를 주 쇄 에 포함 하 고 , 주 쇄 에 결합 하 는 기 가 , 히드록시기 로 치환 되 어 있 어도 좋 은 탄화수소기 인 화합물 로부터 생성 된 것 , 상기 화합물 이 , 하 기 화학식 1 로 표시 되 는 폴리 카르보 실란 , 하 기 화학식 2 로 표시 되 는 폴리 실라 잔 및 이 들 의 규소 화합물 의 R 1 ～ R 3 을 전부 또는 부분 적 으로 OH 기 로 치환 한 화합물 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 된 것 ,