상기 공 용매 및 초임계 유체 가 공급 되 어 혼합 이 이루어지 는 탱크 몸체 , 상기 탱크 몸체 의 일 측 부 에 연결 된 공 용매 유입 관 과 초임계 유체 유입 관 , 및 상기 탱크 몸체 의 타 측 부 에 연결 되 어 상기 기체 상태 의 공 용매 와 초임계 유체 가 혼합 된 혼합 유체 가 기판 의 세정 또는 건조 가 이루어지 는 베젤 측 으로 공급 되 는 혼합 유체 공급 관 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .