이상 설명 한 바 와 같이 , 제 1 실시 형태 에 의하 면 , 세트 마다 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 ( 예컨대 , 연직 이격 거리 ) 가 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 짧아진다 . 이 에 의해 , 휘어진 기판 ( W ) 을 손상 시키 지 않 고 기판 ( W ) 의 휘어짐 을 억제 하 는 것 이 가능 해 지 기 때문 에 , 기판 ( W ) 에 대한 처리 의 균일성 을 향상 시킬 수 있 다 . 따라서 , 기판 ( W ) 에서 의 처리 불 균일 ( 예컨대 , 세정 불 균일 이나 건조 불 균일 ) 의 발생 을 억제 하 여 , 기판 품질 을 향상 시킬 수 있 다 .