이번 에 개발 된 장비 는 세정 시간 단축 은 물론 , 패턴 손상 이 없 고 불순물 유입 이 없 는 진공 상태 의 세정 공정 이 가능 하 다는 것 이 업체 측 설명 이 다 . 또 기존 OLED 증착 설비 와 함께 클러스터 타입 ( Cluster Type ) 이나 별도 세정 라인 으로 구성 이 가능 해 설비 투자 비 도 최소 화 할 수 있 다는 것 이 장점 이 다 .