상기 베젤 ( 300 ) 의 내부 에 는 처리 대상 기판 ( W ) 이 안착 되 는 스테이지 ( 310 ) 가 구비 되 고 , 베젤 ( 300 ) 의 하부 에 는 세정 또는 건조 처리 공정 을 마친 공 용매 와 초임계 유체 및 기판 ( W ) 으로부터 제거 된 이 물질 이 배출 되 는 배출관 ( 320 ) 과 , 배출관 ( 320 ) 의 유로 를 개폐 하 는 배출 밸브 ( 321 ) 가 구비 된다 .