제 2 모터 ( 43 ) 가 위치 제 어부 ( 2 ) 의 지령 생성 수단 ( 21 ) 의 동작 지령 에 기초 하 여 , 제 2 서보 제어기 ( 32 ) 의 제어 신호 에 의해 회전 한다 . 이것 에 의해 , 턴테이블 ( 71 ) 에 재치 된 웨이퍼 ( 9 ) 가 회전 한다 . 얼라 이너 ( 7 ) 에 설치 된 노치 센서 ( 73 ) 가 , 웨이퍼 ( 9 ) 의 노치 ( 91 ) 를 검출 하 면 ( 도 16 참조 ) , 검출 한 시각 tk ( 도 18 참조 ) 가 위치 제 어부 ( 2 ) 에 송신 되 어 시각 tk 를 위치 데이터 기억 수단 ( 22 ) 에서 기억 한다 ( S 1 ) . 이때 , 도 18 에 도시 된 바 와 같이 , 제 2 모터 ( 43 ) 의 회전 위치 는 제 2 인코더 ( 44 ) 로 검출 되 지만 , 4 ms 의 주기 로 샘플링 되 고 있 다 . 이 때문 에 , 노치 센서 ( 73 ) 가 검출 한 시각 tk 의 위치 는 , 샘플링 의 주기 와 일치 하 고 있 지 않 았 기 때문 에 , 정확 한 위치 는 검출 되 고 있 지 않 은 상태 이 다 .