상기 감지 단계 는 상기 제 1 통로 의 내부 에 설치 된 제 1 압력 센서 의 측정값 이 정해진 설정 부압 ( Po ) 과 제 1 부압 ( n * Po ) 의 사이 영역 에 속하 지 아니하 면 , 상기 제 1 통로 의 개구 에 상기 제 1 바닥 면 이 접촉 한 것 으로 감지 할 수 도 있 다 . 여기 서 , 상기 제 1 부압 ( n * Po ) 은 상기 제 1 압력 챔버 에 인가 되 는 설정 부압 ( Po ) 의 0 . 4 ~ 0 . 99 배 인 범위 ( Ap ) 로 정해질 수 있 다 . 설정 부압 ( Po ) 의 0 . 4 배 보다 작 으면 제 1 바닥 면 의 두께 가 얇 더라도 제 1 통로 의 압력 에 영향 을 미칠 만큼 제 1 바닥 면 이 상방 돌출 되 는 변형 이 발생 되 지 아니하 며 , 설정 부압 ( Po ) 의 0 . 99 배 보다 크 면 제 1 바닥 면 이 완전히 개방 된 것 으로 볼 수 있 다 .