본 발명 의 다른 측면 에 따르 면 기판 에 박막 을 증착 하 기 위하 여 복수 의 모듈 , 수 용부 및 스테이지 를 구비 하 는 기상 증착 장치 에 관한 것 으로서 , 상기 복수 의 모듈 각각 은 , 상측 부재 및 상기 상측 부재 와 결합 하 는 측면 부재 를 구비 하 는 본 체부 , 상기 측면 부재 에 배치 되 어 상기 측면 부재 와 상기 상측 부재 사이 의 공간 으로 하나 이상 의 기체 를 주입 하 는 제 1 주 입부 , 상기 상측 부재 에 배치 되 어 상기 상측 부재 와 상기 측면 부재 사이 의 공간 으로 하나 이상 의 기체 를 주입 하 는 제 2 주 입부 및 상기 상측 부재 의 일면 에 배치 되 는 코 일부 및 상기 코 일부 에 연결 되 는 전원 부를 구비 하 는 플 라즈 마 발생 부 를 포함 하 고 , 상기 수 용부 는 상기 복수 의 모듈 전체 에 대응 하 도록 형성 되 고 , 상기 스테이지 는 상기 수 용부 에 배치 되 어 상기 기판 을 장착 하 도록 형성 된 것 을 특징 으로 하 는 기상 증착 장치 를 개시 한다 .