도 6 e 를 참조 하 면 , 관통 전극 ( 60 C ) 은 절연체 ( 62 ) 및 그래핀 전극 ( 63 A ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 전극 ( 65 ) 및 제 2 전극 ( 66 A ) 중 적어도 하나 는 그루브 ( G ) 를 갖 는 표면 을 포함 할 수 있 다 . 그루브 ( G ) 를 갖 는 표면 은 관통 전극 ( 60 C ) 과 접할 수 있 다 . 또한 , 그루브 ( G ) 내 에 는 그래핀 전극 ( 63 A ) 이 채워질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 전극 ( 66 A ) 이 관통 전극 ( 60 C ) 과 접 한 표면 에 그루브 ( G ) 를 갖 는다 . 그루브 ( G ) 의 저면 는 평평 하 거나 , 요철 을 갖 는 등 다양 한 형태 를 가질 수 있 다 . 그래핀 전극 ( 63 A ) 은 수소 화 된 그래핀 을 포함 하 거나 , 수소 화 되 지 않 은 그래핀 을 포함 하 거나 , 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .