실시 예 1 에 있 어서 , LiTaO 3 의 도전 율 을 높여서 4 × 1010 S / cm 가 되 도록 처리 한 웨이퍼 를 사용 해서 , 공정 4 에 있 어서 표면 의 전위 가 200 V 이하 가 되 도록 승 온 및 강온 의 페이스 를 저하 시킴 으로써 압전성 의 열화 를 억제 할 수 있 었 다 . LiTaO 3 이나 LiNbO 3 의 도전 율 을 높이 는 처리 는 , 일 본국 공개 특허 2004 - 328712 호 와 같이 저 산소 분위기 중 에서 고온 아닐 링 하 거나 일 본국 공개 특허 2005 - 119906 호 나 일 본국 공개 특허 2005 - 179117 호 와 같이 금속분 말 중 에서 가열 하 는 수단 이 알려져 있 다 .