상기 과제 를 해결 하 기 위해서 본 발명 의 제 1 태양 에 관한 수차 측정 장치 는 , 결상 광학계 의 수차 의 측정 에 사용 되 는 측 정광 과 , 이 측정 광과 는 다른 배 경광 을 상기 결상 광학계 에 공급 하 는 조명계 와 , 상기 결상 광학계 를 통과 한 상기 측 정광 과 상기 배 경광 을 분리 하 는 분리 부재 와 , 상기 분리 부재 에 의해 분리 된 상기 측정 광 에 기초 해서 상기 결상 광학계 의 수차 를 측정 하 는 측 정부 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 한 다 .