본 개시 의 특정 한 양상 은 일반 적 으로 반도체 디바이스 에 관한 것 이 며 , 특히 전계 효과 트랜지스터 ( FET , field - effect transistor ) , 예 를 들 어 평면형 FET 또는 3 차원 핀 라인 FET ( FinFET , fin - line FET ) 에 관한 것 이 다 . FinFET 을 예 로서 사용 하 여 본 개시 의 한 실시 예 가 아래 에 예시 되 어 있 지만 , 구체 적 으로 다르 게 청구 되 지 않 는 한 , 본 개시 는 FinFET 이 아닌 평면형 디바이스 에 도 적용 된다는 것 이 이해 된다 .