한편 , 레이저 빔 을 조사 하 는 단계 는 , 도 8 에 도시 된 것 과 같이 , 레이저 빔 이 제 1 커셀 ( 21 ) 을 통과 한 후 λ / 2 위상 차판 ( 23 ) 및 제 2 커셀 ( 22 ) 을 순차 로 통과 하 여 폴리곤 미러 ( 30 ) 에 입사 해 비정질 실리콘 층 ( 2 ) 상 에 조사 하 는 단계 이 며 , 제 2 커셀 ( 22 ) 내 에 생성 되 는 전기장 의 방향 ( 대략 z 축 방향 ) 은 제 1 커셀 ( 21 ) 내 에 생성 되 는 전기 적 의 방향 ( 대략 x 축 방향 ) 에 수직 일 수 있 다 .