도 1 은 또한 , 기판 ( 119 ) 의 건조 동작 동안 , 세정 가스 , 이를테면 , 필터링 된 가스 , 건조 공기 ( CDA ) , 질소 , 아르곤 , 또는 다수 의 다른 필터링 된 또는 고순 도 / 초 - 청정 가스 들 이 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 내 로 도입 될 수 있 게 하 도록 배열 된 제 1 측 가스 유입 구 ( 111 ) 및 제 2 측 가스 유입 구 ( 113 ) 를 도시 한다 . 건조 동작 의 다양 한 실시 예 들 이 아래 에서 더 상세히 설명 된다 .