도 2 b 는 시스템 에서 사용 된 스 페이서 ( 212 ) 의 클로즈 - 업 , 개괄 도 를 예시 하 고 , 도 2 c 는 일 실시 예 에서 , 스 페이서 의 일부 의 클로즈업 절 단도 를 예시 한다 . 도 2 a , 도 2 b , 및 도 2 c 에서 공통 인 컴포넌트 들 은 동일 한 참조 번호 들 을 사용 하 여 참조 된다 . 도 2 a , 도 2 b , 및 도 2 c 를 동시 에 참조 하 여 , 스 페이서 ( 212 ) 의 측벽 ( 212 a ) 의 수직 컴포넌트 는 프로세싱 영역 ( 234 ) 을 라이닝 한다 . 홈 부 ( 214 ) 는 홈 부 ( 214 ) 내 에 임 베 딩 된 가열 엘리먼트 ( 216 ) 가 프로세싱 영역 ( 234 ) 외부 에 있 는 스 페이서 ( 212 ) 의 측면 상 에 있 도록 , 프로세싱 영역 ( 234 ) 으로부터 방사상 으로 연장 하 는 스 페이서 ( 212 ) 의 측면 연장 부 ( 218 ) 의 상단 표면 ( 218 a ) 상 에 형성 된다 .