빔 평행 화부 ( 34 ) 는 , 주사 된 이온 빔 의 진행 방향 을 설계 상 의 빔 라인 ( A ) 의 궤도 와 평행 이 되 도록 구성 된다 . 빔 평행 화부 ( 34 ) 는 , y 방향 의 중앙부 에 이온 빔 의 통과 슬릿 이 마련 된 원호 형상 의 복수 의 평행 화 렌즈 전극 을 갖 는다 . 평행 화 렌즈 전극 은 , 고압 전원 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 접속 되 어 있 으며 , 전압 인가 에 의하 여 발생 하 는 전계 를 이온 빔 에 작용 시켜 , 이온 빔 의 진행 방향 을 평행 으로 맞춘다 . 또한 , 빔 평행 화부 ( 34 ) 는 다른 빔 평행 화 장치 로 치환 되 어도 되 고 , 빔 평행 화 장치 는 자계 를 이용 하 는 자석 장치 로서 구성 되 어도 된다 .