상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 는 금속 재질 의 벨로우즈 ( Bellows ) 로서 , 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 일단 즉 , 플레이트 ( 130 ) 에 가까운 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 일단 이 고정 된 상태 에서 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 상부 면 이 회전 하 여 상기 지지대 ( 140 ) 와 소정 각도 를 유지 하 도록 형성 되 며 , 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 상부 면 이 회전 하 도록 기판 정렬 부재 ( 150 ) 를 팽창 시킬 수 있 다 .