이 를 통해 , 웨이퍼 ( W ) 가 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 정상 적 으로 척 킹 ( chucking ) 되 지 않 은 상태 에서 는 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 에 접촉 하 는 지 여부 를 제 2 압력 센서 ( 159 S ) 의 측정값 을 감시 하 는 것 에 의해 감지 할 수 있 다 .