[ 0084 ] 도 5 a 및 5 b 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 둘 또는 그 초과 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 523 ') 은 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 공중 부양 시키 기 위한 자기장 을 생성 하 기 위해 , 기판 캐리어 제어기 ( 530 ) 에 의해 활성 화 될 수 있 다 . 예컨대 , 동작 동안 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 기계 적 접촉 없이 제 1 안내 하위 - 구조 ( 520 ) 아래 에 매달릴 ( hang ) 수 있 다 . 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 124 ) 는 , 실질 적 으로 , 운송 방향 으로 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 124 ) 의 길이 를 따라 자기 특성 들 을 가질 수 있 다는 점 이 이해 되 어야 한다 . 능동 자기 엘리먼트 들 ( 523 ') 에 의해 생성 되 는 자기장 은 , 도 5 a 및 5 b 의 수직 화살표 들 에 의해 예시 적 으로 표시 된 바 와 같이 , 제 1 자기 공중 부양력 및 제 2 자기 공중 부양력 을 제공 하 기 위해 , 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 124 ) 의 자기 특성 들 과 상호 작용 한다 . 기판 캐리어 ( 120 ) 의 비접 촉식 공중부양 , 운송 , 및 정렬 이 제공 될 수 있 다 . 도 5 a 에서 , 2 개 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 523 ') 은 , 수직 화살표 들 에 의해 표시 되 는 자기력 을 제공 한다 . 자기력 들 은 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 공중 부양 시키 기 위해 , 중력 에 반대 로 작용 한다 . 기판 캐리어 제어기 ( 530 ) 는 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 공중 부양 된 상태 로 유지 하 기 위해 , 2 개 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 523 ') 을 개별 적 으로 제어 하 도록 구성 될 수 있 다 .