로더 모듈 ( 102 ) 에 는 , 처리 를 실행 하 기 위한 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 에 이르 는 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 이 연결 된다 . 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 에 는 , 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 이 연결 된다 . 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 은 , 제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 및 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 를 구비 한다 . 이 들 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) , 제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 및 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 의 구성 은 상기 제 6 실시 형태 와 마찬가지 이 므로 , 동일 한 부호 를 부여 해서 그 설명 을 생략 한다 .