이 와 같이 본 발명 에 따른 연마 헤드 ( 100 ) 는 상하 로 위치 하 며 혼합 유체 가 주입 되 는 한 쌍 의 제 1 압력 실 ( 210 ) 및 제 2 압력 실 ( 220 ) 을 구비 하 고 , 회전력 ( R 1 ) 및 수직 압력 ( P ) 이 가해졌 을 때 한 쌍 의 압력 실 ( 210 , 220 ) 의 부피 가 유동 적 으로 변하 여 상대 적 으로 헤드 사이드 몸체 ( 150 ) 와 척 플레이트 ( 180 ) 가 상하 로 움직일 수 있 는 댐퍼 ( damper ) 구조 를 이룸 으로써 , 연마 헤드 ( 100 ) 에 가해 지 는 회전력 ( R 1 ) 과 수직 압력 ( P ) 을 웨이퍼 ( W ) 에 고르 게 분산 시켜 전달 하 며 , 연마 헤드 ( 100 ) 구 동시 발생 하 는 미세 한 진동 등 을 상쇄 시키 는 역할 을 수행 한다 .