Y 간섭계 ( 206 , 208 , 209 ) 는 , Y 간섭계 ( 207 ) 와 동일 하 게 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 WTB 2 ) 의 Y 위치 , 피 칭량 및 요 잉량 을 계측 하 기 위해서 사용 된다 . Y 간섭계 ( 206 , 208 ) 는 , 각각 기준 축 ( LV 0 ) 과 평행 한 Y 축 방향 의 실질 적 인 측 장축 ( LV 1 , LV 2 ) 을 갖 는다 . 또한 Y 간섭계 ( 209 ) 는 , 실질 적 인 측 장축 을 기준 축 ( LV 0 ) 으로 하 고 , 적어도 3 개 의 측장 빔 을 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 d ) 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 반사면 ( 27 h ) 에 조사 한다 .