이 와 같이 , 본 발명 은 하부 금속 배선 ( 300 , 303 ) 을 종래 의 듀얼 다 마신 을 이용 하 여 하부 금속 배선 을 형성 한 것 과 는 달리 , 싱글 다 마신 ( single damascene ) 공 정 을 이용 하 여 하부 비아 금속 배선 ( 125 , 127 ) 을 완성 한 다음 , 하부 트렌치 금속 배선 ( 151 , 153 ) 을 완성 한다 .