이 와 같 은 본 발명 의 프로브 카드 용 접촉 소자 의 형성 방법 을 이용 하 면 , 접촉 소자 의 기둥 부 형성 에 이용 되 며 , 상기 형성 된 접촉 소자 의 기둥 부 와 별도 의 희생 기판 상 에 형성 된 접촉 소자 의 몸 체부 의 접합 을 도와 주 는 포토레지스트 층 이 후속 공정 에서 팽창 됨 없이 제거 되 어 , 접촉 소자 의 기둥 부 와 접촉 소자 의 몸체 부와 의 접합 상태 가 양호 하 게 유지 될 수 있 게 된다 .