바이어스 전원 공급 부 ( 550 ) 는 바이어스 전원 을 제 2 전극 ( 530 ) 에 공급 한다 . 바이어스 전원 공급 부 ( 550 ) 의 바이어스 전원 을 고주파 전원 ( RF ) 을 사용 한다 . 바이어스 전원 공급 부 ( 550 ) 는 10 내지 1000 W 의 전력 을 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그리고 , 바이어스 전원 의 주파수 는 2 내지 13 . 56 MHz 인 것 이 바람직 하 다 . 고주파 전원 을 공급 받 은 제 2 전극 ( 530 ) 은 몸 체부 ( 510 ) 의 가장자리 영역 에서 의 플 라즈 마 집 중도 를 향상 시킬 수 있 다 . 즉 , 가장 자리 쪽 의 고주파 전원 손실 에 의한 플 라즈 마 밀도 저하 를 방지 하 고 , 이 를 통해 기판 에지 영역 의 식각 율 이 감소 하 는 현상 을 방지 할 수 있 다 .