도 3 c 를 참조 하 여 , 3 - 축 회전 구동 섹션 ( 382 ) 이 도시 되 어 있 다 . 3 - 축 회전 구동 섹션 은 도 3 b 와 관련 하 여 위 에서 설명 된 동축 구동 섹션 과 실질 적 으로 유사 할 수 있 으며 , 그러나 , 이러 한 양태 에서 , 각각 의 구동 샤프트 ( 380 A , 380 AS , 380 BS ) 에 결합 된 회전자 ( 380 R ', 380 AR ', 380 BR ') 를 각각 가지 는 3 개 의 모터 ( 380 ', 380 A ', 380 B ') 가 존재 한다 . 각각 의 모터 는 또한 캔 밀 봉구 ( 380 SC , 380 ACS , 380 BCS ) 에 의해 , 로봇 아암 ( 들 ) 이 동작 하 는 분위기 로부터 밀봉 된 각각 의 고정자 ( 380 S ', 380 AS ', 380 BS ') 를 포함 한다 . 알 수 있 는 바 와 같이 , 구동 샤프트 ( 및 구동 샤프트 ( 들 ) 가 동작 하 는 아암 ( 들 ) ) 의 위치 를 결정 하 기 위해 도 3 c 에 대하 여 전술 한 바 와 같 은 임의 의 적절 한 인코더 / 센서 가 제공 될 수 있 다 . 도 3 d 를 참조 하 여 , 전술 한 3 - 축 회전 구동 섹션 과 실질 적 으로 유사 한 다축 회전 구동 섹션 ( 382 ) 을 가지 는 드라이브 ( 300 D ) 는 4 개 의 구동 샤프트 ( 380 S , 380 AS , 380 BS , 388 ) 및 4 개 의 각각 의 모터 ( 380 ', 380 A ', 380 B ', 388 M ) 를 가지 며 , 여기 에서 , 모터 ( 388 M ) 는 전술 한 것 과 실질 적 으로 유사 한 고정자 ( 388 S ) , 회전자 ( 388 R ) , 및 캔 밀 봉구 ( 388 CS ) 를 포함 한다 . 한 양태 에서 , 4 자유도 ( Z - 축 드라이브 를 포함 하 지 않 는 ) 드라이브 ( 300 D ) 는 기판 이송 아암 ( 250 B ) 과 같 은 기판 이송 아암 에 고속 스왑 엔드 이펙터 가 제공 될 때 와 같이 제공 될 수 있 으며 , 여기 에서 , 각각 의 엔드 이펙터 는 다른 엔드 이펙터 ( 들 ) 에 대해 독립 적 으로 회전 가능 하 다 . 한 양태 에서 , 3 자유도 ( Z - 축 드라이브 를 포함 하 지 않 는 ) 드라이브 ( 300 C ) 는 기판 이송 아암 ( 250 B ) 과 같 은 기판 이송 아암 에 전술 한 바 와 같이 차등 으로 결합 된 고속 스왑 엔드 이펙터 가 제공 될 때 와 같이 제공 될 수 있 다 . 알 수 있 는 바 와 같이 , 한 양태 에서 , 도 3 b , 도 3 c 및 도 3 d 에 도시 된 모터 의 구동 샤프트 는 와이어 피드 스루 ( wire feed - through ) 를 허용 할 수 없 는 데 반하 여 , 다른 양태 에서 , 와이어 가 도 3 b , 도 3 c 및 도 3 d 에 도시 된 모터 의 중공 의 구동 샤프트 를 통과 할 수 있 도록 임의 의 적절 한 밀봉 구가 제공 될 수 있 다 .