다음 에 , 보호 절 연막 ( 76 ) 및 오 목부 를 갖 는 절 연막 ( 102 ) 을 전체 적 으로 에칭 ( 에치 백 ) 하 여 보호 절 연막 ( 76 a ) 을 부분 적 으로 에칭 하 여 , 도 14 a 에 도시 하 는 바 와 같이 , 배선 을 노출 하 는 콘택트 홀 ( 112 a ) 을 형성 함 과 함께 , 용량 배선 ( 51 c ) 위 에 오 목부 ( 112 b ) 를 갖 는 절 연막 ( 103 ) 을 형성 한다 .