또한 , 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 은 중심 을 기준 으로 상하좌우 대칭 적 으로 웨이퍼 상 에 형성 되 어 있 다 . 그러나 , 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 일부 가 손상 되 거나 , 비대칭 적 으로 형성 될 경우 , 상기 판 독부 는 상기 촬 상부 에서 촬상된 오버레이 패턴 의 영상 신호 를 바탕 으로 정확 한 오버레이 보정 값 을 산출 할 수 없 기 때문 에 생산 수율 이 떨어지 는 단점 이 있 었 다 .