더욱 일반 적 으로 , 일부 적용 에서 , 압축 또는 인장 응력 받 은 매립 층 을 사용 하 는 것 이 가능 하 며 , 이 는 절연체 가 아니 다 . 이러 한 양상 에서 , 표면 실리콘 층 을 기판 으로부터 절연 시키 는 구조 체가 구조 체의 일부 로서 금속 또는 전도성 층 을 포함 할 수 있 음 이 가능 하 다 . 그럼에도 절연체 상 의 실리콘 기판 또는 소자 가 본 발명 의 특히 바람직 한 실시 라는 것 이 이해 되 어야 한다 .