또한 , 상기 알칼리 가용성 수지 는 겔 투과 크로마토그래피 ( GPC ; 테트라 히 드로 퓨란 을 용출 용매 로 함 ) 로 측정 한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 ( 이하 , 간단히 ' 중량 평균 분자량 ' 이라고 한다 ) 이 3 , 000 내지 200 , 000 , 바람직 하 게 는 5 , 000 내지 100 , 000 이 다 . 상기 알칼리 가용성 수지 의 중량 평균 분자량 이 3 , 000 내지 200 , 000 이 면 , 잔 막 율 이 높 고 , 현상액 중 의 비노 출부 의 용해 성 이 우수 하 고 해상도 가 향상 되 므로 바람직 하 다 .