플라 즈 마 반응기 에서 의 튜닝 가능 한 워크 피스 바이어 싱 을 위한 시스템 들 및 방법 들 이 본원 에서 제공 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 시스템 은 , 워크 피스 ( workpiece ) 에 대해 플 라즈 마 프로세싱 을 수행 하 는 플 라즈 마 챔버 ; 워크 피스 에 직접 적 으로 커플링 된 제 1 펄스 형 전압 소스 ; 워크 피스 에 용량 성 커플링 된 제 2 펄스 형 전압 소스 ; 및 워크 피스 로 지향 되 는 이온 들 의 플럭스 의 이온 에너지 분포 를 조정 ( tailor ) 하 기 위해 , 제 1 펄스 형 전압 소스 및 제 2 펄스 형 전압 소스 의 하나 이상 의 파라미터 들 에 기초 하 여 , 제 1 펄스 형 전압 소스 및 제 2 펄스 형 전압 소스 를 독립 적 으로 제어 하 는 바이어 싱 제어기 를 포함 한다 .