린스 유체 속도 가 매우 낮 으면 , 린스 유체 와 세정 재료 사이 의 운동량 전달 이 충분 하 지 않 아서 , 오염물 입자 와 기판 사이 의 접착성 결합 을 깨뜨리 도록 세정 재료 내 의 폴리머 로 하여금 오염물 입자 에 충분 한 힘 을 전달 하 게 하 기 가 불충분 할 수 도 있 다 . 또한 , 린스 유체 속도 가 매우 낮 으면 , 린스 유체 는 세정 재료 를 희석 시킬 수 도 있 고 , 이 에 의해 오염물 입자 가 세정 재료 의 폴리머 내 의 포집 으로부터 벗어나 는 것 을 허용 한다 . 오염물 입자 가 세정 재료 내 의 포집 으로부터 벗어나 면 , 세정 재료 는 기판 으로부터 오염물 입자 를 제거 하 지 않 고 기판 으로부터 제거 될 수 도 있 다 . 또한 , 린스 유체 속도 가 매우 낮 으면 , 세정 재료 의 잔여물 내 에 포집 된 오염물 입자 와 함께 세정 재료 의 잔여물 이 기판 상 에 남 을 수 도 있 다 .