상기 인터 락 신호 생성 단계 ( S 530 ) 에서 는 상기 비교 결과 에 따라 상기 제 1 전극 의 온도 또는 상기 기판 지지 부 의 온도 가 각각 의 설정 범위 를 벗어나 거나 , 상기 제 1 전극 의 온도 또는 상기 기판 지지 부 의 온도 가 각각 의 설정 범위 를 벗어나 는 경우 비상 상황 으로 인식 하 여 상기 인터 락 신호 를 생성 할 수 있 다 .