마스크 스테이지 ( MST ) 는 , 마스크 ( M ) 를 지지 한 상태 에서 리니어 모터 등 의 구동 장치 에 의해 X 축 , Y 축 및 θ Z 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 리니어 모터 로 는 , 고정자 를 코일 유닛 ( 전기자 유닛 ) 으로 구성 하 고 , 가동 자 를 자석 유닛 으로 구성 한 이른바 무빙 마그넷 형 리니어 모터 이 어도 되 고 , 고정자 를 자석 유닛 으로 구성 하 고 , 가동 자 를 코일 유닛 으로 구성 한 이른바 무빙 코일 형 리니어 모터 이 어도 된다 . 그리고 , 가동 자 가 고정자 와 의 사이 의 전자기 적 상호 작용 에 의해 구동 됨 으로써 마스크 스테이지 ( MST ) 가 이동 한다 . 마스크 스테이지 ( MST ) 에는 진공 흡착 공 을 갖 는 척 기구 가 형성 되 어 있 으며 , 마스크 스테이지 ( MST ) 는 척 기구 를 통하 여 마스크 ( M ) 를 유지 한다 . 또한 , 마스크 스테이지 ( MST ) 의 중앙부 에 는 , 마스크 ( M ) 를 투과 한 노 광광 ( EL ) 이 통과 할 수 있 는 개구부 ( 3 ; 도 7 참조 ) 가 형성 되 어 있 다 .