도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 스핀들 어셈블리 는 , 복수 개 의 웨이퍼 ( 110 ) 를 지지 하 도록 형성 된 복수 개 의 스핀들 포크 ( 120 ) 와 , 상기 복수 개 의 스핀들 포크 ( 120 ) 가 결합 되 는 스핀들 원판 ( 130 ) 과 , 상기 스핀들 원판 ( 130 ) 의 중심 에 결합 되 어 상기 스핀들 원판 ( 130 ) 을 회전 시키 도록 형성 된 주축 ( 140 ) 과 , 상기 주축 ( 140 ) 또는 상기 주축 ( 140 ) 둘레 에 형성 된 제 1 풀리 ( 142 ) 의 외주 면 을 따라 무한궤도 를 갖 고 상기 주축 ( 140 ) 을 회전 시키 는 회전 동력 을 전달 하 는 벨트 ( 150 ) 와 , 상기 주축 ( 140 ) 또는 상기 제 1 풀리 ( 142 ) 에 대응 되 는 상기 벨트 ( 150 ) 의 내측 에서 상기 벨트 ( 150 ) 를 회전 시키 는 제 2 풀리 ( 160 ) 와 , 상기 제 2 풀리 ( 160 ) 의 중심 에서 상기 제 2 풀리 ( 160 ) 를 회전 시키 는 풀리 축 ( 162 ) 과 , 상기 풀리 축 ( 162 ) 을 회전 시키 는 회전 동력 을 생성 하 는 모터 ( 170 ) 와 , 상기 모터 ( 170 ) 에서 생성 된 회전 동력 에 의해 일 방향 으로 회전 되 는 모터 축 ( 172 ) 과 , 상기 모터 축 ( 172 ) 및 상기 풀리 축 ( 162 ) 이 서로 맞물려 회전 시키 는 요철 플랜지 축이음 장치 ( 180 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .