다음 으로 , 동작 예 2 를 설명 한다 . 도 15 는 기판 ( Ｗ ) 에 일련 의 처리 를 행할 때 의 플로우 차트 이 며 , 기판 ( Ｗ ) 의 반 송경 로 , 즉 , 기판 ( Ｗ ) 이 순차 반송 되 는 처리 유닛 또는 재 치부 등 을 나타내 는 것 이 다 . 도 15 에 나타내 는 플로우 차트 는 , 도 2 에 나타낸 공정 과 대응 하 고 있 다 . 편의 상 , 도 2 에서 나타낸 각종 처리 를 , 도 15 에 괄호 쓰 기 함 으로써 , 도 2 에 나타낸 각종 처리 와 도 15 에 나타내 는 처리 유닛 의 대응 관계 를 명시 한다 . 또한 , 도 16 은 , 각 반송 기구 가 각각 반복 하 여 행하 는 동작 을 모식 적 으로 나타내 는 도면 이 며 , 반송 기구 가 액세스 하 는 처리 유닛 , 재 치부 또는 카세트 등 의 순서 를 명시 하 는 것 이 다 .