상기 제 1 폴리 실리콘 층 에 , 상기 HBr 을 50 내지 94 mT 의 압력 하 에 80 내지 240 sccm 으로 70 초 동안 공급 하 며 ; 상기 HeO 2 를 50 내지 94 mT 의 압력 하 에 10 sccm 으로 70 초 동안 공급 하 며 ; 그리고 , 상기 He 를 50 내지 94 mT 의 압력 하 에 70 내지 650 sccm 으로 70 초 동안 공급 하 는 것 을 특징 으로 한다 .