그리고 , 처리 장치 내 의 감압 상태 를 해제 하 기 위해서 는 , 개폐 밸브 ( 40 ) 를 개방 하 여 , 가스 가 유지 부재 ( 52 a ) 측 의 가스 도입 용 파이프 ( 55 ) 로부터 도입 되 고 , 관통 구멍 ( 55 a ) 및 디 퓨저 엘리먼트 ( 51 ) 를 통해 처리 장치 내 로 더 도입 되 어 , 처리 장치 내 의 감압 상태 가 해제 된다 .