그리고 , 제 1 식각 정지 막 ( 2 ) 상부 에 층간 절 연막 ( 3 ) 을 증착 하 고 , 층간 절 연막 ( 3 ) 상부 에 후속 공정 에서 배선 절 연막 을 식각 할 경우 식각 정 지점 으로 이용 하 기 위하 여 제 2 식각 정지 막 ( 4 ) 을 형성 한다 . 이후 , 제 2 식각 정지 막 ( 4 ) 상부 에 금속 배선 층 형성 을 위한 배선 절 연막 ( 5 ) 을 증착 한다 .