( 해결 수단 ) 성능 산출 방법 은 , 복수 의 유량 제어기 의 출하 검사 데이터 를 취득 한다 . 성능 산출 방법 은 , 취득 한 출하 검사 데이터 와 , 유량 제어기 의 성능 을 나타내 는 항목 마다 의 제 1 계수 에 근거 하 여 , 유량 제어기 마다 의 성능 을 편차 치 로 나타내 는 제 1 성능 치 를 산출 한다 . 성능 산출 방법 은 , 산출 한 제 1 성능 치 와 , 유량 제어기 를 이용 하 는 처리 장치 의 성능 을 나타내 는 항목 마다 의 제 2 계수 에 근거 하 여 , 처리 장치 의 성능 을 편차 치 로 나타내 는 제 2 성능 치 를 산출 한다 .