도 5 c 를 참조 하 면 , 탄성 물질 유체 를 굳 게 하 여 탄성체 베이스 ( 121 ) 를 형성 한 후 , 상기 탄성체 베이스 ( 121 ) 를 상기 고정 틀 ( 501 ) 및 희생 기판 ( 500 ) 으로부터 분리 시킨다 . 바람직 하 게 , 상기 탄성체 베이스 ( 121 ) 의 제 1 면 ( 121 a ) 및 제 2 면 ( 121 b ) 을 평탄 화 하 기 위해서 평탄 화 공정 을 수행 한다 . 예컨대 , 탄성체 베이스 ( 121 ) 의 상기 제 1 면 ( 121 a ) 및 제 2 면 ( 121 b ) 을 그 라인 드 할 수 있 다 .