일부 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 제 2 영역 ( R 2 ) 의 엣지 영역 ( R 2 E ) 에 속하 는 하부 전극 들 ( 151 e 1 , 151 e 2 ) 은 상기 제 2 영역 ( R 2 ) 의 중심 영역 ( R 2 C ) 에 속하 는 하부 전극 들 ( 151 ) 에 비하 여 상부 부분 의 높이 가 다소 낮 을 수 있 다 . 즉 , 상기 엣지 영역 ( R 2 E ) 에 속하 는 하부 전극 들 ( 151 e 1 , 151 e 2 ) 의 상부 표면 의 레벨 은 중심 영역 ( R 2 C ) 에 속하 는 하부 전극 들 ( 151 ) 의 상부 표면 의 레벨 보다 낮 을 수 있 다 . 또 , 상기 엣지 영역 ( R 2 E ) 에 속하 는 하부 전극 들 ( 151 e 1 , 151 e 2 ) 은 상기 제 1 영역 ( R 1 ) 에 가까울수록 레벨 이 낮 은 상부 표면 을 가질 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 엣지 영역 ( R 2 E ) 에 속하 는 하부 전극 들 ( 151 e 1 , 151 e 2 ) 은 상기 제 1 영역 ( R 1 ) 에 가까울수록 수직 치수 가 감소 할 수 있 다 .