선택 수단 은 블레이드 유 니트 ( 200 ) 를 회동 시킴 으로써 싱글 블레이드 ( 210 ) 및 멀티 블레이드 ( 220 ) 중 어느 하나 를 선택 한다 . 선택 된 어느 하나 의 블레이드 는 웨이퍼 ( 400 ) 를 적절히 수납 할 수 있 는 자세 를 취한다 . 선택 되 지 않 은 블레이드 는 웨이퍼 ( 400 ) 를 수납 할 수 있 는 위치 에서 도피 된다 . 이러 한 블레이드 의 자세 변환 은 웨이퍼 ( 400 ) 이송 매수 의 변화 에 따른 것 이 며 웨이퍼 이송 로봇 ( 100 ) 의 작업 형태 에 따라 유연 하 게 대처 함 으로써 작업 시간 을 단축 하 고 작업 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .