본 실시 형태 에서 는 , 상기 실시 형태 1 내지 실시 형태 3 에서 설명 한 반도체 재료 로서 산화물 반도체 를 사용 한 트랜지스터 에 대해서 자세히 설명 한다 . 구체 적 으로 는 , 산화물 반도체 로서 , c 축 배향 하 고 , 또 ab 면 , 표면 , 또는 계면 의 방향 으로부터 봐서 삼각 형상 또는 육각 형상 의 원자 배열 을 갖 고 , c 축 에서 금속 원자 가 층 형상 으로 배열 되 거나 또는 금속 원자 와 산소 원자 가 층 형상 으로 배열 되 고 , ab 면 에서 a 축 또는 b 축 의 방향 이 상이 한 ( c 축 을 중심 으로 하 여 회전 한 ) 결정 ( CAAC : C Axis Aligned Crystal 이 라고 도 한다 ) 을 포함 한 산화물 에 대하 여 설명 한다 .