본 발명 으로 는 대형 기판 위 에 층간 절 연막 을 형성 하 기 에 적합 한 층간 절 연막 형성 용 도포 액 이 고 , 슬릿 코터 법 이 추천 된다 . 슬릿 코터 법 을 사용 하 면 광범위 한 모든 성 에 걸쳐서 균일 한 막 두께 로 되 도록 도포 하 는 것 이 가능 하 며 , 이 때문 에 필름 을 보다 균일 하 게 건조 할 수 있 고 상기 막 얼룩 의 발생 을 억제 할 수 있 다 .