정전 척 ( 122 ) 은 구동 부재 ( 미 도시 ) 를 이용 하 여 하우징 ( 110 ) 의 내부 에서 상하 방향 ( 즉 , 제 3 방향 ( 30 ) ) 으로 이동 가능 하 게 설치 될 수 도 있 다 . 정전 척 ( 122 ) 이 이 와 같이 상하 방향 으로 이동 가능 하 게 형성 되 는 경우 , 기판 ( W ) 을 보다 균일 한 플 라즈 마 분포 를 나타내 는 영역 에 위치 시키 는 것 이 가능 해질 수 있 다 .