도 2 b 에 도시 된 바 와 같이 , HDP CVD 방법 으로 상기 옥사이드 ( 230 ) 를 계속 하 여 증착 하 여 상기 갭 ( 220 ) 의 상부 를 덮 도록 한다 . 이때 , 상기 갭 ( 220 ) 내 의 옥사이드 ( 230 ) 의 중앙부 에 는 1 차 보이드 ( 241 ) 가 생기 게 된다 . 물론 상기 갭 ( 220 ) 의 크기 에 따라 상기 와 같 은 보이드 ( 241 ) 가 생기 지 않 을 수 도 있 으나 , 본 실시 예 는 상기 보이드 ( 241 ) 가 생겼 을 경우 를 전제 로 한다 .