또한 , 산화물 반도체 막 ( 716 ) 과 , 소스 전극 또는 드레 인 전극 으로서 기능 하 는 도전 막 ( 719 ) 및 도전 막 ( 720 ) 과 의 사이 에 , 소스 영역 및 드레 인 영역 으로서 기능 하 는 산화물 도전 막 을 형성 하 도록 해도 좋 다 . 산화물 도전 막 의 재료 로서 는 , 산화 아연 을 성분 으로서 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 산화 인듐 을 포함 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 그 와 같 은 산화물 도전 막 으로서 , 산화 아연 , 산화아연 알루미늄 , 산질 화 아연 알루미늄 , 산화 아연 갈륨 등 을 적용 할 수 있 다 .