제 1 식각 저지 패턴 ( 230 ) 은 하 부막 ( 231 ) 및 상부 막 ( 232 ) 을 포함 할 수 있 다 . 하 부막 ( 231 ) 및 상부 막 ( 232 ) 각각 은 컨 포 멀 한 두께 를 가질 수 있 다 . 하 부막 ( 231 ) 의 두께 는 상부 막 ( 232 ) 의 두께 보다 얇 을 수 있 다 . 일 예 로 , 하 부막 ( 231 ) 은 AlOx , AlN , 및 AlOC 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 상부 막 ( 232 ) 은 SiOC 및 SiCN 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 상부 막 ( 232 ) 의 두께 는 하 부막 ( 231 ) 의 두께 의 2 배 내지 4 배 일 수 있 다 . 일 예 로 , 하 부막 ( 231 ) 의 두께 는 10 Å 일 수 있 다 . 일 예 로 , 상부 막 ( 232 ) 의 두께 는 30 Å 일 수 있 다 .