히터 ( 207 ) 의 내측 에 는 , 히터 ( 207 ) 와 동심원 형 으로 반응 용기 ( 처리 용기 ) 를 구성 하 는 아 우터 튜브 ( 외통 , 외부 관이 라고 도 칭함 ) ( 203 ) 가 배치 되 어 있 다 . 아 우터 튜브 ( 203 ) 는 , 예 를 들 어 석영 ( SiO 2 ) , 탄화 실리콘 ( SiC ) 등 의 내열성 재료 에 의해 구성 되 고 , 상단 이 폐색 되 고 하단 이 개구 된 원통 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 아 우터 튜브 ( 203 ) 의 하방 에 는 , 아 우터 튜브 ( 203 ) 와 동심원 형 으로 , 매니폴드 ( 인 렛 플랜지 ) ( 209 ) 가 배치 되 어 있 다 . 매니폴드 ( 209 ) 는 , 예 를 들 어 스테인리스 ( SUS ) 등 의 금속 에 의해 구성 되 고 , 상단 및 하단 이 개구 된 원통 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 매니폴드 ( 209 ) 의 상단 부 와 , 아 우터 튜브 ( 203 ) 의 사이 에 는 , 시일 부재 로서 의 O 링 ( 220 a ) 이 마련 되 어 있 다 . 매니폴드 ( 209 ) 가 히터 베이스 에 지지 됨 으로써 , 아 우터 튜브 ( 203 ) 는 수직 으로 거치 된 상태 가 된다 .