그리고 , 본 발명 의 캐 패 시터 는 하부 전극 ; 상기 하부 전극 상 에서 정방 정계 결정상 의 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 과 결정질 의 탄 탈륨 산화 막 ( Ta 2 O 5 ) 사이 에 비결정질 의 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) 이 삽입 된 다층 구조 의 유전 막 ; 및 상기 유전 막 상 의 상부 전극 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 며 , 상기 유전 막 은 상기 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) , 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) 및 탄 탈륨 산화 막 ( Ta 2 O 5 ) 의 순서 로 적층 되 어 Ta 2 O 5 / Al 2 O 3 / ZrO 2 ( TAZ ) 구조 를 갖 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 유전 막 은 상기 탄 탈륨 산화 막 ( Ta 2 O 5 ) , 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) 및 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 의 순서 로 적층 되 어 ZrO 2 / Al 2 O 3 / Ta 2 O 5 ( ZAT ) 구조 를 갖 는 것 을 특징 으로 한다 .