제조 라인 ( 100 ) 에 있 어서 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 반송 방향 에 대한 추진력 으로서 는 자기 구동 방식 ( 리니어 모터 방식 ) 이 채용 된다 . 또한 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 연직 방향 의 지지 에 는 , 자기 에 의한 부상 과 롤러 에 의한 가이드 의 지지 중 어느 것 이 이용 된다 . 상술 한 바 와 같이 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 자기 부상 시켜 반송 하 는 경우 , 먼지 나 티끌 의 발생 이 적 기 때문 에 , 유기 EL 패널 의 제조 와 같 은 높 은 진공도 나 클린 도 가 요구 되 는 장치 에서 의 반송 에 매우 유효 하 다 .