통상 적 으로 , 전술 한 웨이퍼 교환 / 웨이퍼 얼라인먼트 시퀀스 는 , 노광 시퀀스 보다 빨리 완료 된다 . 따라서 , 웨이퍼 얼라인먼트 가 완료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 전술 한 제 2 대기 영역 ( AW 2 ) 내의 Y 축 방향 으로 연장 되 는 직선 경로 상 의 소정 의 대기 위치 로 이동 시킨다 . 이 때 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 일단 전술 한 제 2 로딩 포지션 으로 복귀 시킨다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에 탑재 된 Y 헤드 ( EY ) 가 Y 스케일 ( SY 2 ) 에 대향 한다 ( 도 8 참조 ) . 따라서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Y 스케일 ( SY 2 ) 에 Y 헤드 ( EY ) 가 대향 한 시점 에서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 Y 위치 의 계측 을 , Y 간섭계 ( 19 ) 를 이용 한 계측 으로부터 Y 헤드 ( EY ) 를 이용 한 계측 으로 전환 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 + X 방향 으로 구동 한다 . 이 에 의해 , X 헤드 ( EX 1 및 EX 2 ) 가 X 스케일 ( SX 2 ) 에 대향 한다 . 따라서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , X 스케일 ( SX 2 ) 에 X 헤드 ( EX 1 및 EX 2 ) 가 대향 한 시점 에서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 X 위치 및 θ z 위치 의 계측 을 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 이용 한 계측 으로부터 , X 헤드 ( EX 1 및 EX 2 ) 를 이용 한 계측 으로 전환 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 노광 이 완료 될 때 까지 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 상기 소정 의 대기 위치 에 대기 시킨다 .