이제 , 도 1 에서 전극 들 ( 2 및 3 ) 사이 에 화살표 들 로 나타내 어 진 바 와 같이 , 가스 상태 의 코팅 재료 들 의 균일 하 고 균질 한 흐름 이 획득 될 수 있 도록 , 전극 또는 운반기 ( 3 ) 뒤 에 제공 된 흡입 장치 ( 8 ) 는 과잉 의 프로세스 가스 를 흡입 할 수 있 도록 하 기 위해 운반기 ( 3 ) 및 그 위 에 배치 된 기판 ( 4 ) 위 에서 옆 으로 돌출 된다 .