폴리 실록 산 ( Ia ) , ( Ib ) 에서 화학식 2 의 실란 화합물 이 사용 되 면 , 이것 은 가수 분해 · 축합 과정 에서 실리카 로서 폴리 실록 산 ( Ia ) , ( Ib ) 에 편입 된다 . 이것 에 의해 , 가교 밀도 가 향상 되 어 , 높 은 「 패턴 」 열화 방지 효과 가 발휘 된다 . 화학식 2 의 실란 화합물 의 함유량 은 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 에 대해 1 내지 40 몰 % 인 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 폴리 실록 산 ( Ib ) 에 도 화학식 2 의 실란 화합물 을 함유 하 는 경우 에 는 , 폴리 실록 산 ( Ib ) 에 대해 1 내지 40 몰 % 함유 하 는 것 이 바람직 하 다 . 화학식 2 의 실란 화합물 의 함유량 이 1 몰 % 미만 인 경우 에 는 패턴 열화 방지 효과 가 불 충분 하 고 , 40 몰 % 보다 많 으면 실리카 화합물 이 분리 석출 되 어 버린다 .