또는 , 사이드 흡 입부 ( 500 ) 는 기판 ( S ) 이 부상 스테이지 ( 100 ) 에 진입 이 완료 된 이후 에 이 동부 ( 200 ) 가 기판 ( S ) 을 흡착 하 지 못하 는 경우 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 에어 를 흡입 할 수 있 다 . 이 동부 ( 200 ) 에 의한 기판 ( S ) 의 흡착 여부 는 제 2 감 지부 ( 720 ) 에 의하 여 감지 될 수 있 다 .