또한 , 본 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 , 로봇 아암 ( 110 ) 과 , 로봇 아암 ( 110 ) 에 탈착 가능 하 게 된 분리 유닛 ( 120 ) , 장착 유닛 ( 140 ) 및 청소 유닛 ( 130 ) 을 갖 는다 . 이것 에 의해 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 처리 용기 ( 30 ) 내 의 포커스 링 ( 35 ) 의 분리 , 처리 용기 ( 30 ) 내 에 의 포커스 링 ( 35 ) 의 장착 , 처리 용기 ( 30 ) 내 의 청소 를 실행 할 수 있 다 .