또한 , 상기 경향 을 알아낸 점 으로부터 판명 되 는 것 은 , 막 의 캐리어 농도 의 산소 농도 에 대한 의존 성 이 , 스퍼터 파워 가 커짐 에 따라 작아지 는 것 이 다 . 요컨대 , 소정 의 캐리어 농도 를 갖 는 막 을 제조 하 는 경우 에 , 산소 농도 의 변화 에 둔하 게 되 어 , 캐리어 농도 의 제 어성 이 향상 되 는 것 이 다 . 이 캐리어 농도 의 제 어성 은 고주파 ( RF ) 스퍼터 인 경우 에 는 그다지 양호 하 지 않 고 , 약간 의 산소 농도 의 변화 에 의해 캐리어 농도 가 크 게 변화 한다 . 직류 스퍼터 로 스퍼터 파워 가 큰 경우 에 막 의 캐리어 농도 의 제 어성 은 가장 양호 해진다 .