다시 도 2 및 도 3 을 참조 하 면 , 액 처리 챔버 ( 3600 ) 는 복수 개 로 제공 된다 . 액 처리 챔버 들 ( 3600 ) 중 일부 는 서로 적층 되 도록 제공 될 수 있 다 . 액 처리 챔버 들 ( 3600 ) 은 반송 챔버 ( 3402 ) 의 일 측 에 배치 된다 . 액 처리 챔버 들 ( 3600 ) 은 제 1 방향 ( 12 ) 을 따라 나란히 배열 된다 . 액 처리 챔버 들 ( 3600 ) 중 일부 는 인덱스 모듈 ( 20 ) 과 인접 한 위치 에 제공 된다 . 이하 , 이 들 액 처리 챔버 를 전단 액 처리 챔버 ( 3602 ) ( front liquid treating chamber ) 라 칭한다 . 액 처리 챔버 들 ( 3600 ) 은 중 다른 일부 는 인터페이스 모듈 ( 40 ) 과 인접 한 위치 에 제공 된다 . 이하 , 이 들 액 처리 챔버 를 후단 액 처리 챔버 ( 3604 ) ( rear heat treating chamber ) 라 칭한다 .