도 1 내지 도 9 는 본 발명 의 반도체 장치 의 제조 방법 의 각 공정 을 설명 하 는 공정도 이 다 . 도 1 내지 도 8 에 있 어서 , ( a ) 는 평면도 를 , ( b ) 는 그 평면도 의 A - A ' 방향 에서 의 단면 을 나타낸다 . 도 9 는 도 8 의 ( b ) 의 B - B ' 방향 에서 의 단면 을 나타낸다 . 각 도면 에서 대응 하 는 부분 에 는 동일 한 부호 를 첨부 한다 .