상기 기판 지지 핀 ( 10 ) 은 상단 ( 11 ) 에 기판 ( 미 도시 ) 이 안착 될 수 있 으며 , 가공 대상 인 기판 이 챔버 내부 로 인입 되 어 기판 안착 부 에 안착 하 는 경우 또는 가공 이 완료 된 기판 이 챔버 외부 로 인출 되 는 경우 등 에서 , 기판 안착 부 및 핀 삽입부 재 ( 100 ) 에 대하 여 이동 하 여 기판 을 이동 시킬 수 있 다 .