생성 되 는 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 성분 과 함께 동시 에 과량 으로 배출 되 는 불 산 ( HF ) 의 기화 를 억제 하 므로써 불 산 ( HF ) 을 포함 한 불순물 의 함량 을 효율 적 으로 낮출 수 있 으며 , 중요 한 원부 재료 인 불 산 ( HF ) 의 소모량 감소 가 가능 하 므로 공정 원단위 를 향상 시키 고 , 또한 고순 도 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 제조 를 위한 후 공정 의 부하 를 줄여 줌 으로써 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 생 성 수율 및 전체 적 인 유틸리티 와 장치 효율 성 의 향상 을 도모 할 수 있 다 .