도 22 는 이면 조사 형 고체 촬상 장치 의 구조 를 도시 한 모식도 이 고 , 수 광부 ( 도시 생략 ) 가 마련 된 반도체 기판 ( Si 기판 ) ( 201 ) 과 , 반도체 기판 표면 에 형성 된 산화 막 ( SiO ) ( 202 ) 을 갖 는다 . 또한 , 산화 막 ( 202 ) 의 상층 에 는 반사 방지 막 ( SiON ) ( 203 ) 이 마련 되 고 , 그 상층 에 는 절 연막 ( SiO 2 ) ( 204 ) 이 마련 되 고 , 절 연막 ( 204 ) 의 더욱 상층 에 는 밀착 층 ( Ti ) ( 205 ) 을 통하 여 차광막 ( W ) ( 206 ) 이 마련 되 어 있 다 .