상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 에 따른 원자 층 증착 설비 는 , 샘플 이 안착 되 며 상기 샘플 상부 의 반응 공간 을 한정 하 는 챔버 ; 상기 챔버 로 원료 가스 를 공급 하 는 공급 라인 ; 상기 챔버 내 의 반응 가스 를 배출 하 는 배출 라인 ; 및 상기 챔버 내 에서 발생 되 는 기체 를 검출 하 는 질량 분석 계 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .