네거티브 형 현상 후 에 린스 처리 를 실시 하 는 경우 , 린스 처리 에 사용 하 는 린스 액 이 함유 하 는 유기 용제 로 는 , 예 를 들 어 상기 유기계 현상액 에 사용 하 는 유기 용제 로서 예시 한 유기 용제 중 , 레지스 트 패턴 을 용해 시키 기 어려운 것 을 적절히 선택 하 여 사용 할 수 있 다 . 통상 적 으로 탄화수소 계 용제 , 케톤 계 용제 , 에스테르 계 용제 , 알코올계 용제 , 아미드 계 용제 및 에테르 계 용제 에서 선택 되 는 적어도 1 종류 의 용제 를 사용 한다 . 이 들 중 에서 도 , 탄화수소 계 용제 , 케톤 계 용제 , 에스테르 계 용제 , 알코올계 용제 및 아미드 계 용제 에서 선택 되 는 적어도 1 종류 가 바람직 하 고 , 알코올계 용제 및 에스테르 계 용제 에서 선택 되 는 적어도 1 종류 가 보다 바람직 하 고 , 알코올계 용제 가 특히 바람직 하 다 .