구체 적 으로 , 상기 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 에 대해 내 측면 ( 221 ) 에 수직 된 가상 경계 축선 ( L 4 ) 및 상기 가상 경계 축선 ( L 4 ) 의 제 1 측 ( 좌측 ) 및 제 2 측 ( 우측 ) 에 각각 위치 한 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) ( 제 1 피 측정 유닛 ( 50 A ) 의 가상 경계 축선 ( A 1 ) 과 겹침 ) 및 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) ( 제 2 피 측정 유닛 ( 50 B ) 의 가상 경계 축선 ( A 1 ) 과 겹침 ) 을 정의 할 수 있 으며 , 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 의 좌측 절반 에 설치 된 프로브 의 경우 , 외부 노 출부 ( 312 ) 가 내 측면 ( 221 ) 으로부터 연장 되 는 방향 은 상기 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 에 평행 하 거나 ( 예 를 들 면 도 4 에 표시 된 중간 영역 ( 57 ) 에 대응 하 는 프로브 ) 또는 상기 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 에 대해 상기 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 으로부터 멀 어 지 도록 경사지 고 ( 예 를 들 면 도 4 에 표시 된 좌측 , 우측 영역 ( 58 , 59 ) 에 대응 하 는 프로브 ) ; 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 의 우측 절반 에 설치 된 프로브 의 경우 , 외부 노 출부 ( 312 ) 가 내 측면 ( 221 ) 으로부터 연장 되 는 방향 은 상기 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 에 평행 하 거나 ( 예 를 들 어 도 4 에 표시 된 중간 영역 ( 57 ) 에 대응 하 는 프로브 ) 또는 상기 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 에 대해 상기 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 으로부터 멀 어 지 도록 경사 진다 ( 예 를 들 어 도 4 에 표시 된 좌측 , 우측 영역 ( 58 , 59 ) 에 대응 하 는 프로브 ) . 상기 제 1 프로브 베이스 ( 21 ) 의 경우 , 상기 제 1 프로브 층 ( P 1 ) 에 대해 상기 제 1 프로브 베이스 ( 21 ) 의 내 측면 ( 211 ) 에 수직 인 제 1 가상 경계선 ( 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 의 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 과 겹침 ) 을 정의 할 수 있 고 , 상기 복수 의 제 1 프로브 ( 30 a ) 의 외부 노 출부 ( 312 ) 가 상기 내 측면 ( 211 ) 으로부터 연장 되 는 방향 은 상기 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 에 평행 하 거나 ( 예 를 들 어 도 4 에 표시 된 중간 영역 ( 57 ) 에 대응 하 는 프로브 ) 또는 상기 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 에 대해 상기 제 1 가상 경계선 ( L 5 ) 에 가까워 지 도록 경사지 고 ( 예 를 들 어 도 4 에 표시 된 좌측 , 우측 영역 ( 58 , 59 ) 에 대응 하 는 프로브 ) ; 상기 제 2 프로브 층 ( P 2 ) 에 대해 상기 제 1 프로브 베이스 ( 21 ) 의 내 측면 ( 211 ) 에 수직 인 제 2 가상 경계선 ( 제 2 프로브 베이스 ( 22 ) 의 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 과 겹침 ) 을 정의 할 수 있 고 , 상기 복수 의 제 2 프로브 ( 30 b ) 의 외부 노 출부 ( 312 ) 가 상기 내 측면 ( 211 ) 으로부터 연장 되 는 방향 은 상기 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 에 평행 하 거나 ( 예 를 들 어 도 4 에 표시 된 중간 영역 ( 57 ) 에 대응 하 는 프로브 ) 또는 상기 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 에 대해 상기 제 2 가상 경계선 ( L 6 ) 에 가 끼워 지 도록 경사 진다 ( 예 를 들 어 도 4 에 표시 된 좌측 , 우측 영역 ( 58 , 59 ) 에 대응 하 는 프로브 ) .