각 스트라이프 영역 ( 34 ) 에 는 도시 하 지 않 은 화소 가 정의 되 어 있 고 , 멀티 빔 을 이용 하 여 각 화소 를 같 은 회수 노광 함 으로써 , 각 스트라이프 영역 을 묘화 한다 . 각 스트라이프 영역 ( 34 ) 을 묘화 할 때 , x 방향 을 향하 여 XY 스테이지 ( 105 ) 가 연속 이동 하 는 것 과 병행 하 여 , 편 향기 ( 208 ) 로 빔 위치 를 제어 하 여 기판 ( 101 ) 상 의 화소 를 조사 한다 . 이 때 , 편 향기 ( 208 ) 는 , 1 회 의 조사 와 다음 회의 조사 의 사이 에 조사 화소 의 전환 을 행하 는 편향 동작 과 , 조사 중 에 기판 ( 101 ) 상 의 빔 위치 가 고정 되 도록 스테이지 이동 에 맞춘 연속 적 인 편향 동작 을 행한다 .