그리고 , 다음 으로 IZO 막 의 세정 이 행해진다 ( S 45 ) . 여기 서 세정 이란 , IZO 막 전체 를 제거 하 는 것 이 아니 라 , IZO 막 의 표면 층 을 웨트 에칭 으로 제거 하 는 것 이 다 . IZO 막 은 보호 절 연막 형성 공정 의 열 이력 에 의해 결정 화 되 지 않 으므로 , 웨트 에칭 에 의해 그 표면 층 을 제거 할 수 있 다 . 그리고 , 이 공정 에 의해 , IZO 막 의 표면 부착물 을 용이 하 게 제거 할 수 있 어 , 청정 한 IZO 막 을 노출 시킬 수 있 다 .