로드 락 챔버 ( 30 ) 는 이 에프 이 엠 ( 20 ) 과 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 사이 에 배치 된다 . 로드 락 챔버 ( 30 ) 는 제 1 챔버 ( 32 ) 및 제 2 챔버 ( 34 ) 를 포함 한다 . 제 1 챔버 ( 32 ) 는 이 에프 이 엠 ( 20 ) 으로부터 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 로 기판 ( W ) 이 이동 되 기 위한 챔버 이 고 , 제 2 챔버 ( 34 ) 는 이 에프 이 엠 ( 20 ) 으로부터 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 로 기판 ( W ) 이 이동 되 기 위한 챔버 이 다 .