본 발명 의 예시 의 실시 형태 에서 , 반응 화학 물질 소스 는 디메틸아민 보레인 ( DMAB ) , 시트르산 , 테트라메틸 암모늄 수산화물 ( TMAH ) 의 용액 , 및 코발트 이온 , 텅스텐 이온 을 함유 하 는 용액 ( 즉 , 텅스텐산염 용액 ) , 및 아인산 함유 이온 ( 즉 , 차 아인산염 ) 을 포함 한다 . 다양 한 이온 들 을 단독 으로 또는 조합 으로 포함 하 는 다양 한 도금 용액 이 이용 가능 하 다는 것 을 당업자 는 알 것 이 다 . 다음 의 논의 는 특정 용액 또는 용액 들 의 조합 으로 제한 하 려는 것 이 아니 다 . 당업자 는 , 프로세스 화학 물질 및 도금 조 의 순환 을 가능 하 게 하 기 위해서 펌핑 수단 ( 미 도시 ) 과 같 은 다른 컴포넌트 들 이 용액 샘플링 및 제 어 장치 ( 100 ) 안 에 통합 될 수 도 있 다는 것 을 안다 . 도 1 의 화살표 로 나타낸 바 와 같이 , 프로세스 용액 튜브 ( 120 ) 는 용액 매니폴드 ( 110 ) 의 안 또는 밖 으로 프로세스 화학 물질 을 운반 하 는 데 이용 될 수 도 있 다 . 용액 매니폴드 ( 110 ) 는 도금 조 안 으로 프로세스 화학 물질 을 도입 하 고 이하 에서 설명 될 분석 을 위해 도금 조 로부터 도금 용액 의 샘플 을 드로잉 하 기 위한 수단 으로서 기능 한다 . 본 발명 의 예시 적 실시 형태 에서 , 도금 조 체적 은 대략 8 리터 이 고 , 도금 용액 의 샘플 은 대략 20 밀리리터 이 다 .