진공 챔버 ( 200 ) 의 위 ( 외측 ) 에 는 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 ( 220 ) 의 얼라인먼트 를 위해 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 ( 220 ) 의 각각 의 위치 를 측정 하 는 카메라 ( 260 , 261 ) 가 설치 되 어 있 다 . 카메라 ( 260 , 261 ) 는 , 진공 챔버 ( 200 ) 에 설치 된 창 을 통해 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 ( 220 ) 를 촬영 한다 . 그 화상 으로부터 기판 ( 10 ) 상 의 얼라인먼트 마크 및 마스크 ( 220 ) 상 의 얼라인먼트 마크 를 인식 함 으로써 , 각각 의 XY 위치 나 XY 면 내 에서 의 상대 어긋남 을 계측 할 수 있 다 . 단시간 에 고정 밀도 의 얼라인먼트 를 실현 하 기 위해 , " 대략 적 으로 위치 맞춤 을 하 는 제 1 얼라인먼트 ( "" 러프 얼라인먼트 "" 라고도 함 ) 과 "," 고정 밀도 로 위치 맞춤 을 하 는 제 2 얼라인먼트 ( "" 파인 얼라인먼트 "" 라고 도 함의 2 단계 의 얼라인먼트 를 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그 경우 ", 저해 상 이 지만 광 시야 의 제 1 얼라인먼트 용 의 카메라 ( 260 ) 와 , 협시 야 이 지만 고해 상 의 제 2 얼라인먼트 용 의 카메라 ( 261 ) 에 2 종류 의 카메라 를 사용 하 면 좋 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 기판 ( 10 ) 및 마스크 ( 220 ) 의 각각 에 대해 , 대향 하 는 한 쌍 의 변의 2 군데 에 형성 된 얼라인먼트 마크 를 2 대 의 제 1 얼라인먼트 용 의 카메라 ( 260 ) 로 측정 하 고 , 기판 ( 10 ) 및 마스크 ( 220 ) 의 네 코너 에 형성 된 얼라인먼트 마크 를 4 대 의 제 2 얼라인먼트 용 의 카메라 ( 261 ) 로 측정 하 는 구성 을 채용 하 고 있 다 .