상기 의 미세 화 된 연마 입자 들 을 대상 으로 습식 밀링 을 수행 하 여 , 각각 레이저 입 도분 포기 ( Horiba , LA - 910 ) 측정 결과 평균 입경 이 150 ㎚ 가 되 도록 분쇄 하 였으며 , 원심분리기 를 통해 큰 입자 를 1 차 적 으로 제거 한 후 , 1 ㎛ 필터 를 통과 시킨 후 각각 증류수 에 1 중량 % 로 분산 시켜 실시 예 1 및 2 , 및 비 교예 1 및 2 의 연마 슬러리 를 제조 하 였 다 .