상기 와 같 은 액정 표시 장치 의 어레이 기판 의 제조 방법 에 있 어서 , 상기 제 2 전도 층 상 에 제 2 감광막 을 형성 하 고 , 투과 영역 , 차광 영역 및 반투 과 영역 을 가지 는 상기 제 2 마스크 를 이용 하 여 , 상기 제 2 감광막 을 노광 및 현상 하 여 , 상기 차광 영역 과 대응 되 는 제 2 감광막 패턴 과 , 상기 제 2 감광막 패턴 보다 낮 은 두께 로 형성 되 며 , 상기 반투 과 영역 과 대응 되 는 반투 과 감광막 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 2 감광막 패턴 에 의해 , 상기 반도체 층 및 상기 제 2 전도 층 을 패 터닝 하 여 , 상기 액티브 층 과 제 2 전도 층 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 2 전도 층 패턴 이 노출 될 때 까지 상기 제 2 감광막 패턴 과 상기 반투 과 감광막 패턴 을 애 싱 처리 하 여 , 애 싱 처리 감광막 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 상기 애 싱 처리 감광막 패턴 을 마스크 로 이용 하 여 상기 제 2 전도 층 패턴 을 패 터닝 하 여 상기 소스 전극 및 상기 드레 인 전극 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .