약액 공급 장치 ( 23 ) 는 , 기판 ( W ) 에 공급 되 는 약액 을 저류 하 는 탱크 ( 24 ) 와 , 탱크 ( 24 ) 내 의 약액 을 순환 시키 는 환상 의 순환로 를 형성 하 는 순환 배관 ( 25 ) 을 포함 한다 . 약액 공급 장치 ( 23 ) 는 , 또한 , 탱크 ( 24 ) 내 의 약액 을 순환 배관 ( 25 ) 에 보내 는 펌프 ( 27 ) 와 , 파티클 등 의 이물 을 약액 으로부터 제거 하 는 필터 ( 28 ) 와 , 약액 을 가열 함 으로써 탱크 ( 24 ) 내 의 약액 의 온도 를 조정 하 는 상류 히터 ( 26 ) 를 포함 한다 . 펌프 ( 27 ) , 필터 ( 28 ) , 및 상류 히터 ( 26 ) 는 , 순환 배관 ( 25 ) 에 개재 되 어 있 다 .