이것 에 의해 , 지지 아암 ( 33 ) 은 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 의 베이스 의 위치 로부터 지지 아암 ( 33 ) 의 전후 방향 과 및 회전 방향 으로 조금 씩 이동 시켜 웨이퍼 ( W ) 를 지지 부 ( 84 ) 상 에 배치 할 수 있 다 . 이 와 같이 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 에 배치 되 는 웨이퍼 ( W ) 의 위치 를 5 개 의 설정 개소 의 티칭 포지션 의 지시 에 의해 베이스 의 위치 로부터 다양 하 게 이동 시켜 성막 처리 를 행할 수 있 다 .