결국 , 데이터 습득 로직 은 중앙 처리 유닛 ( 318 ) 과 통신 된다 . 중앙 처리 유닛 ( 318 ) 은 하 기 에 개시 되 는 제 1 게이지 ( 318 ) 및 제 2 게이지 ( 320 ) 모두 의 제어 와 관련 된 게이지 제어기 ( 320 ) 와 상호 작용 한다 . 또한 , 중앙 처리 유닛 ( 318 ) 은 스테이지 제어기 ( 316 ) 와 상호 작용 한다 . 스테이지 제어기 ( 316 ) 는 스테이지 가이드 ( 302 ) 와 상호 작용 하 며 스테이지 ( 304 ) 의 이동 및 위치 설정 을 제어 한다 . 계측 시스템 ( 300 ) 은 도 3 B - 3 C 에 상세히 도시 된다 .