따라서 , 정확 한 결과 는 카메라 픽셀 의 매우 정확 한 정렬 , 스테이지 의 XY 이동 및 표본 의 원 하 는 x ' 및 / 또는 y ' 스캐닝 방향 에 따라 달라진다 . 이 는 단지 시각 적 관찰 정렬 에 내재 된 기계 가공 ( machining ) 과 오류 에 대한 정해진 일반 적 인 허용도 를 달성 하 기 가 어렵 다 . 정렬 이 약간 만 벗어나 도 , 이미지 센서 는 표본 이 병진 스테이지 에 의해 이동 됨 에 따라 허용 할 수 없 는 정도 로 x '- 방향 및 / 또는 y '- 방향 으로 이동 될 것 이 며 , 이 에 따라 이미지 가 분석 및 / 또는 스 티칭 될 수 있 는 것 이 쉽 게 좌절 될 수 있 다 . 추가 적 으로 , 종종 표본 은 초 소한 의 양 의 표본 처리 로 분석 되 는 것 이 바람직 하 다 . 따라서 , 표본 이동 에 의존 하 지 않 고 이미지 센서 와 표본 간 정확 한 정렬 을 보장 하 는 새로운 정렬 및 스캔 방법 이 본 기술 분야 에 필요 하 다 .