일부 실시 예 에서 , 상부 다이어프램 및 하부 다이어프램 은 상부 프레임 , 중간 프레임 및 하부 프레임 을 포함 하 는 구조 적 프레임 에 의해 함께 유지 되 며 , 하부 다이어프램 은 하부 프레임 과 중간 프레임 사이 에 유지 되 고 , 상부 다이어프램 은 중간 프레임 과 상부 프레임 사이 에 유지 된다 . 중간 프레임 은 조립 체 에 진공 소스 를 제공 하 도록 구성 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 상부 다이어프램 및 하부 다이어프램 은 상부 프레임 및 하부 프레임 을 포함 하 는 구조 적 프레임 에 의해 함께 유지 되 며 , 하부 다이어프램 및 상부 다이어프램 은 모두 중간 프레임 과 상부 프레임 사이 에 유지 된다 .