제 어부 ( 80 ) 는 제 1 표면 처리 공정 을 종료 하 면 , 반송로 ( 14 ) 에 의해 기판 ( 41 ) 을 본딩 스테이지 ( 13 ) 상 에 반송 하 고 , 본딩 스테이지 ( 13 ) 의 진공 흡착 구멍 을 진공 으로 하 여 기판 ( 41 ) 을 본딩 스테이지 ( 13 ) 의 본딩 면 에 흡착 고정 한다 . 제 어부 ( 80 ) 는 도시 하 지 않 는 스파크 장치 에 의해 캐 필러 리 ( 17 ) 의 선단 으로부터 연장 되 는 와이어 ( 18 ) 를 이니셜 볼 ( 19 ) 로 성형 한다 . 그리고 , 본딩 헤드 ( 15 ) 내부 의 Z 방향 모터 를 구동 하 여 , 형성 한 이니셜 볼 ( 19 ) 의 위치 를 불활성 가스 분위기 로 유지 되 어 있 는 챔버 ( 12 ) 의 내부 이 며 , 제 2 플 라즈 마 토치 ( 30 ) 로부터 분출 된 플 라즈 마 화 한 가스 가 닿 는 위치 로 조정 한다 .