이 웨이퍼 ( 11 ) 의 이면 112 에 는 , 웨이퍼 ( 11 ) 보다 직경 이 큰 점착 테이프 ( 13 ) 가 점착 되 어 있 다 . 점착 테이프 ( 13 ) 는 , 수지 시트 라고 도 칭해진다 . 점착 테이프 ( 13 ) 는 , 원반 형 의 형상 을 갖 는다 . 점착 테이프 ( 13 ) 는 , 절연 성 의 합성 수지 에 의해 구성 된 기재 층 과 , 기재 층 의 표면 및 이 면 에 적층 된 점착 성 을 갖 는 풀 층 을 구비 한다 . 웨이퍼 ( 11 ) 의 외주 가장자리 ( 113 ) 보다 외주 측 에 환형 프레임 ( 12 ) 의 내주 가장자리 ( 121 ) 가 위치 한다 . 즉 , 웨이퍼 ( 11 ) 의 외직 경은 , 환형 프레임 ( 12 ) 의 내 직경 보다 작 다 . 환형 프레임 ( 12 ) 의 내주 가장자리 ( 121 ) 의 내측 은 , 개구 되 어 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( 11 ) 의 외주 측 에 는 , 환형 프레임 ( 12 ) 이 배치 되 어 있 다 . 환형 프레임 ( 12 ) 의 이면 은 , 점착 테이프 ( 13 ) 의 외주 부분 의 표면 에 점착 되 어 있 다 . 즉 , 웨이퍼 ( 11 ) 가 , 점착 테이프 ( 13 ) 를 통해 환형 프레임 ( 12 ) 의 개구 에 고정 되 는 것 에 의해 , 웨이퍼 ( 11 ) 를 환형 프레임 ( 12 ) 의 개구 에 점착 테이프 ( 13 ) 로 고정 한 프레임 유닛 ( 1 ) 이 구성 된다 . 또한 , 환형 프레임 ( 12 ) 은 , 플라 즈 마 상태 의 가스 ( 45 ) ( 도 9 에 도시 함 ) 에 대해 내성 을 가져 , 플라 즈 마 상태 의 가스 ( 45 ) 에 의해 에칭 되 기 어려운 재질 의 것 이 적용 가능 하 다 . 실시 형태 에서 는 , 환형 프레임 ( 12 ) 은 수지 에 의해 구성 되 어 있 다 .