기판 처리 장치 의 고주파 유닛 검증 장치 가 개시 된다 . 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 의 고주파 유닛 검증 장치 는 기판 이 처리 되 는 공정 챔버 의 임피던스 를 구현 하 도록 임피던스 변조 가 가능 하 게 구성 되 는 가변 부하 정합 부를 포함 하 는 가상 챔버 ; 상기 가상 챔버 에 고주파 전원 을 인가 하 기 위해 제공 되 는 고주파 유닛 ; 을 포함 하 고 , 상기 고주파 유닛 은 , 고주파 전원 신호 를 생성 하 는 고주파 생 성부 ; 상기 고주파 생 성부 로부터 상기 고주파 전원 신호 를 입력 받 고 , 상기 고주파 전원 신호 가 상기 고주파 전원 으로 변환 되 어 상기 가상 챔버 로 인가 되 도록 임피던스 를 정합 하 는 임피던스 정합 부 ; 및 상기 임피던스 정합 부 에 연결 되 는 센서 ; 를 포함 하 고 , 상기 고주파 유닛 으로 공정 레시피 에 관련 되 는 제어 신호 를 출력 하 고 , 상기 고주파 유닛 으로부터 상기 제어 신호 에 따른 공정 파라미터 를 수집 하 여 상기 임피던스 정합 부 의 성능 을 검증 하 는 검증 유닛 ; 을 포함 할 수 있 다 . 상기 센서 는 상기 임피던스 정합 부 의 내부 또는 외부 에 연결 될 수 있 다 .