제 5 기준 및 제 6 기준 은 공정 이 진행 되 어 정상 적 인 상태 에 있 는 경우 를 의미 하 는 것 으로 상기 제 1 전극 ( 231 ) 및 상기 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 차이 값 이 상기 제 5 기준 을 만족 하 고 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 및 상기 기판 지지 부 ( 240 ) 의 온도 차이 값 이 상기 제 6 기준 을 만족 하 는 경우 에 는 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 또는 상기 제 2 전극 ( 232 ) 에 RF 전원 을 공급 하 더라도 RF 전원 에 의한 데미지 발생 의 염려 가 없 다 . 따라서 상기 비 교부 ( 270 ) 는 제 5 기준 및 제 6 기준 을 만족 하 는 경우 인터 락 신호 ( Si ) 를 생성 하 지 않 는다 .