스퍼터링 중 의 이상 방전 을 저감 하 면서 , 가열 처리 없이 도 낮 은 막비 저항 을 갖 고 , 또한 그 후 의 가 열처리 에 따른 비저항 변화 가 작 으며 , 내열성 이 우수 한 스퍼터 막 을 얻 을 수 있 고 , 항절 강도 가 우수 하 고 , 또한 응 집상 이 실질 적 으로 없 는 SnO 2 계 스퍼터링 타 겟 트 가 개시 된다 . 본 발명 의 SnO 2 계 스퍼터링 타 겟 트 는 , 1 . 5 ~ 3 . 5 질량 % 의 Ta 2 O 5 와 , 0 . 25 ~ 2 질량 % 의 Nb 2 O 5 와 , 잔부 로서 의 SnO 2 및 불가피 불순물 을 포함 하 는 소 결체 로 이루어진다 .