내 파티클 층 ( 20 ) 은 다 결정 세라믹스 를 포함 한다 . 내 파티클 층 ( 20 ) 은 , 예 를 들 면 희토류 원소 의 산화물 , 희토류 원소 의 불화물 , 및 희토류 원소 의 산불 화물 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 포함 한다 . 희토류 원소 로서 , 예 를 들 면 Y , Sc , Yb , Ce , Pr , Eu , La , Nd , Pm , Sm , Gd , Tb , Dy , Ho , Er , Tm , 및 Lu 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 들 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 는 내 파티클 층 ( 20 ) 은 이트륨 의 산화물 ( Y 2 O 3 , Y α O β ( 비화학 양론 적 조성 ) ) , 이트륨 옥시 불화물 ( YOF , Y 5 O 4 F 7 , Y 6 O 5 F 8 , Y 7 O 6 F 9 , 및 Y 17 O 14 F 23 ) , ( YO 0 . 826 F 0 . 17 ) F 1 . 174 , YF 3 , Er 2 O 3 , Gd 2 O 3 , Nd 2 O 3 , Y 3 Al 5 O 12 , Y 4 Al 2 O 9 , Y 2 O 3 - Zr 02 , Er 3 Al 5 O 12 , Gd 3 Al 5 O 12 , Er 4 Al 2 O 9 , ErAlO 3 , Gd 4 Al 2 O 9 , GdAlO 3 , Nd 3 Al 5 O 12 , Nd 4 Al 2 O 9 , 및 NdAlO 3 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 포함 한다 . 내 파티클 층 ( 20 ) 은 Fe , Cr , Zn , 및 Cu 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 을 포함 해도 좋 다 .