제 어부 ( 40 ) 는 , 매핑 센서 ( 20 ) 에서 취득 된 촬상 화상 ( 51 ) 을 , 데이터 기록부 ( 도시 생략 ) 에 기록 한다 . 또한 , 제 어부 ( 40 ) 는 , 촬상 화상 ( 51 ) 을 도시 하 지 않 은 표시 모니터 에 출력 해도 무방 하 다 . 또한 , 제 어부 ( 40 ) 에 는 , 하강 이동하 는 매핑 센서 ( 20 ) 의 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 대한 상대 위치 를 나타내 는 위치 검출 신호 가 위치 검출 센서 ( 60 ) ( 도 1 참조 ) 로부터 입력 된다 .