Δ X 및 Δ Y 를 알 면 Δ Y / Δ X 인 기울기 ( m ) 를 제공 한다 . 기울기 를 통해 , XY 변환 스테이지 의 x - 방향 및 y - 방향 과 비교 하 여 원 하 는 이동 방향 ( x ') 이 정의 된다 . 기울 기 ( Δ Y / Δ X ) 에 의해 정의 되 고 정렬 마크 들 ( 60 , 62 ) 을 통과 하 는 라인 은 x - 방향 으로 연장 되 고 정렬 마크 ( 60 ) 를 통과 하 여 연장 되 는 라인 에 대해 각도 ( α ) 를 형성 한다 . 도 8 을 참조 하 면 , 각도 ( α ) 는 tan - 1 ( m ) 로 계산 될 수 있 다 . 각도 ( α ) 를 알 면 , 임의 의 원점 ( 예 를 들 어 , 정렬 마크 ( 60 ) 에 의해 포함 된 지점 ) 으로부터 x '- 방향 으로 의 임의 의 이동 이 계산 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 8 에서 , 정렬 마크 ( 60 ) 에서 의 원점 에서 x '- 방향 으로 의 d ' 의 거리 를 이동 하 기 위해서 표본 척 은 Δ X = d ’( cos ( α ) ) ; Δ Y = d ’( sin ( α ) ) 만큼 이동 할 수 있 다 . 원점 은 x - 방향 및 y - 방향 으로 병진 스테이지 ( 18 ) 의 최대 이동 에 의해 정의 된 평면 내 의 임의 의 위치 로 설정 될 수 있 다 . 동일 한 과정 들 이 y '- 방향 으로 의 이동 을 계산 하 는 데 사용 될 수 있 음 을 알 수 있 다 . 또한 다른 수학 적 기법 들 이 x '- 및 y '- 방향 으로 의 이동 을 계산 하 는 데 사용 될 수 있 음 을 알 수 있 다 .