소자 분리 패턴 ( 300 ) 은 고정 전하 막 ( 310 ) 및 매립 절 연막 ( 320 ) 을 포함 할 수 있 다 . 고정 전하 막 ( 310 ) 은 기판 ( 100 ) 의 제 1 면 ( 100 a ) 상 에 및 트렌치 ( 130 ) 내 에 제공 되 어 , 기판 ( 100 ) 의 제 1 면 ( 100 a ) 및 트렌치 ( 130 ) 의 내벽 을 콘 포말 하 게 덮 을 수 있 다 . 고정 전하 막 ( 310 ) 은 기판 ( 100 ) 과 접할 수 있 다 . 고정 전하 막 ( 310 ) 은 금속 산화 막 또는 금속 불화 막 을 포함 할 수 있 고 , 상기 금속 은 예 를 들 어 , 하프늄 ( Hf ) , 지르코늄 ( Zr ) , 알루미늄 ( Al ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 티타늄 ( Ti ) , 이트륨 및 란타노이드 중 에서 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 상기 금속 산화 막 또는 금속 불화 막 은 화학 양론 비 보다 부족 한 양 의 산소 또는 불소 를 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 고정 전하 막 ( 310 ) 은 알루미늄 산화물 및 / 또는 하프늄 산화물 을 포함 할 수 있 다 . 고정 전하 막 ( 310 ) 의 주변 에 정공 의 축적 ( hole accumulation ) 이 발생 할 수 있 다 . 고정 전하 막 ( 310 ) 에 의해 암전 류 의 발생 및 화이트 스팟 ( white spot ) 의 발생 이 감소 될 수 있 다 . 고정 전하 막 ( 310 ) 은 기판 ( 100 ) 과 접할 수 있 다 .