또 , 제 1 조명계 ( IL 1 ) 는 코히런트 ( coherent ) 조명 으로 하 고 , 제 2 조명 계 는 부분 적 코히런트 조명 으로 하 는 등 서로 다른 최적 의 조명 조건 으로 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 를 조명 하 도록 하 여도 좋 다 . 부분 적 코히런트 조명 이란 , σ = ( 조명 계 의 개구수 / 투영 계 의 개구수 ) 의 값 이 제로 보다 크 고 1 보다 작 은 조명 이 며 , 코히런트 조명 이 란 σ 의 값 이 제로 또는 그것 에 가까운 값 이 며 , 부분 적 코히런트 조명 의 σ 에 비해 상당히 작 은 값 이 다 . 또 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 적어도 한쪽 에서 , 이 광속 ( 二光束 ) 간섭 노광 을 실시 하 도록 하 여도 좋 다 . 또 , 본 실시 형태 에 있 어서 도 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 적어도 한쪽 에서 액침 노광 을 실시 하 여도 좋 다 .