상술 된 것 처럼 , 도 6 - 8 과 관련 하 여 앞서 개시 된 임의 의 격리 펌프 격실 들 또는 이러 한 다수 의 펌프 격실 들 과 같 은 펌프 격실 은 또 다른 프로세스 격실 들 에 사용 되 는 가스 로부터 프로세스 격실 들 중 하나 에 사용 되 는 가스 를 대략 고립 시키 기 에 충분 하 다 . 단지 편의 상 , 이러 한 대략 적 가스 고립 에 충분 한 것 으로 간주 되 는 이러 한 하나 의 펌프 격실 이 설명 된다 . 본 발명 에서 개시 된 것 처럼 , 2 개 의 프로세스 격실 들 에 의해 접하 는 이러 한 펌프 격실 은 기판 코팅 프로세스 와 관련 하 여 적어도 약 20 대 1 의 프로세스 격실 들 중 하나 에서 의 가스 압력 과 다른 프로세스 격실 들 에서 의 가스 압력 의 비율 을 제공 하 기 에 충분 하 다 . 단지 일례 로 , 이러 한 비율 은 약 20 대 1 또는 25 대 1 내지 35 대 1 또는 이 이상 정도 인 것 으로 고려 된다 . 코팅 장치 에서 , 이러 한 펌프 격실 은 펌프 격실 의 한쪽 측면 또는 양쪽 측면 에서 일련 의 프로세스 격실 들 을 접한다 . 단지 일례 로 , 이러 한 시리즈 는 약 60 개 정도 로 의 프로세스 격실 들 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 약 20 개 정도 의 프로세스 격실 들 을 포함 할 수 있 다 .