여기 서 , 상기 제어 단계 는 , 상기 개 루프 모드 가 선택 된 경우 개 루프 구동 신호 를 생성 하 고 , 상기 폐 루프 모드 가 선택 된 경우 , 상기 센싱 신호 로부터 상기 스캐닝 디바이스 의 동작 상태 의 오차 를 산출 하 는 단계 와 , 상기 오 차 에 상응 하 는 보정 신호 를 출력 하 는 단계 를 포함 하 되 , 상기 보정 신호 에 기초 하 여 피드백 제어 되 는 폐 루프 구동 신호 를 생성 할 수 있 다 .