본 발명 의 일 실시 예 에 따른 성막 레이트 측정 수단 ( 27 ) 의 각각 의 성막 레이트 측 정부 는 , 도 5 의 ( b ) 에 도시 한 바 와 같이 , 복수 의 ( 예컨대 , 10 개 의 ) 수정 진동자 ( 30 ) 를 포함 한다 . 복수 의 수정 진동자 ( 30 ) 중 개구 ( 34 ) 에 대응 하 는 위치 에 있 는 수정 진동자 ( 30 ) 만 이 증발원 ( 23 ) 에 노출 되 어 , 증발원 ( 23 ) 으로부터 비산 되 어 온 성막 재료 가 퇴적 된다 . 그 동안 나머지 수정 진동자 ( 30 ) 는 증발원 ( 23 ) 에 노출 되 지 않 는 상태 로 유지 되 며 , 증발원 ( 23 ) 에 노출 된 수정 진동자 ( 30 ) 의 수명 이 다 하 면 , 다른 수정 진동자 ( 30 ) 를 개구 ( 34 ) 에 대응 하 는 위치 로 예컨대 , 회전 이 동시 켜 , 마찬가지 로 막 두께 및 성막 레이트 의 측정 을 계속 한다 . 이렇게 하 여 , 성막 레이트 측 정부 에 포함 된 수정 진동자 ( 30 ) 전부 의 수명 이 다 하 면 , 성막 레이트 측 정부 를 교체 한다 . 이 를 통해 , 성막 레이트 측 정부 의 전체 적 인 수명 을 길 게 하 는 것 이 가능 하 고 , 성막 레이트 측 정부 의 교체 로 인해 성막 공정 이 중지 되 는 시간 을 줄임 으로써 생산 라인 의 전체 적 인 스루풋 을 증가 시킬 수 있 다 .