처리 유닛 ( 2 ) 은 , 스핀 척 ( 10 ) 이 기판 ( W ) 을 유지 하 는 유지 위치 보다 컵 ( 14 ) 의 상단 이 상방 에 위치 하 는 상측 위치 ( 도 2 에 나타내 는 위치 ) 와 , 컵 ( 14 ) 의 상단 이 유지 위치 보다 하방 에 위치 하 는 하측 위치 사이 에서 , 컵 ( 14 ) 을 연직 으로 승강 시키 는 컵 승강 유닛 ( 15 ) 을 포함 한다 . 처리 액 이 기판 ( W ) 에 공급 될 때 에 , 컵 ( 14 ) 은 상측 위치 에 배치 된다 . 기판 ( W ) 으로부터 바깥쪽 으로 비산 한 처리 액 은 , 경사부 ( 14 a ) 에 의해 받 아 진 후 , 안 내부 ( 14 b ) 에 의해 액 받 이 부 ( 14 c ) 내 에 모아진다 .