상기 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 의 노광 동작 중 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 X 축 방향 으로 이동 하 면 , 그 이동 에 수반 하 여 전술 한 헤드 의 전환 이 실시 된다 . 이 와 같이 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 좌표 에 따라 , 사용 하 는 인코더 를 적절히 전환 하 여 스테이지 제어 를 실행 하 고 있 다 .