" 상기 용어 "" 축 ( axial ) "" 및 "" 종 방향 ( longitudinal ) "" 은 방향 적 으로 본 명세서 에서 챔버 12 의 수직 방향 을 가리킨다 ( 예 "," 도 1 의 도시 된 구현 에서 수직 방향 과 같 은 단부 대 단부 ) . 상기 용어 "" 횡 방향 ( transverse ) """," "" 측면 ( lateral ) "" 및 "" 방사상 ( radial ) "" 은 본 명세서 에서 상기 축 ( 예 "," 종적 ) 방향 에 대한 법선 방향 ( a direction normal ) 을 가리킨다 . 상기 용어 "" 내부 "" 및 "" 외부 "" 는 또한 처리 챔버 12 의 축 방향 에 대해 횡 방향 으로 사용 되 며 "," 상기 용어 "" 내부 "" 는 챔버 의 내부 를 향한 방향 을 칭하 며 "," 상기 용어 "" 외부 "" 는 챔버 의 외부 를 향한 방향 을 칭한다 . "