묘화 공정 ( S 140 ) 으로서 , 묘화 부 ( W ) 는 , 결정 부 ( 116 ) 에 의하 여 결정 된 다중 묘화 방법 을 이용 하 여 , 기판 ( 101 ) 에 패턴 을 묘화 한다 . 예 를 들 면 , 묘 화 제 어부 ( 118 ) 가 , 조사량 산 출부 ( 117 ) 에 의하 여 산출 된 각 빔 의 조사량 을 조사 시간 데이터 로 변환 하 여 편향 제어 회로 ( 130 ) 로 전송 한다 . 편향 제어 회로 ( 130 ) 는 , 조사 시간 데이터 에 기초 하 여 , 블 랭킹 플레이트 ( 204 ) 의 각 블 랭 커 의 온 오프 를 제어 한다 . 이 에 의하 여 , 빔 위치 이탈 의 영향 이 나타나 지 않 도록 패턴 을 묘화 할 수 있 다 .