한편 , 본 발명 에 의한 6 축 로봇 ( 270 ) 은 6 자유도 를 갖 고 , 제 1 아암 , 제 2 아암 , 제 3 아암 을 구비 하 므로 부호 262 와 같이 넓 은 활동 범위 의 동선 을 갖 는다 . 또한 , 6 축 로봇 ( 270 ) 의 몸체 에 해당 하 는 기부 ( 271 ) 와 회전 구동 부 ( 272 ) 는 부호 260 과 같 은 움직임 을 갖 는 동선 을 갖 는다 . 또한 , 6 축 로봇 ( 270 ) 의 제 1 아암 ( 273 ) , 제 2 아암 ( 274 ) , 제 3 아암 ( 275 ) 은 부호 261 과 같 은 회전 반경 을 갖 는 동선 을 갖 는다 . 이 에 따라 , 전술 한 회전 및 활동 동선 ( 262 ) 은 웨이퍼 검사 장치 ( 200 ) 의 공간 활용 도 를 높일 뿐 만 아니 라 , 웨이퍼 ( 221 ) 의 신속 한 로딩 , 언로 딩 및 이동 으로 택 타임 ( Tact time ) 을 줄일 수 있 다 .