이어서 상부 챔버 ( 10 ) 에 대해 살펴보 면 , 상부 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 는 , 도 1 및 도 2 에 자세히 도시 된 바 와 같이 , 횡 방향 을 따라 전극 ( 40 ) 이 구비 되 어 있 다 . 전극 ( 40 ) 은 , 하부 챔버 ( 20 ) 를 향한 전면 에 배치 되 는 가스 분배 판 ( 42 ) 과 , 버퍼 공간 ( B ) 을 사이 에 두 고 가스 분배 판 ( 42 ) 의 배후 에 배치 되 는 후방 플레이트 ( 44 ) 를 구비 한다 .