상기 연결 비아 ( 240 ) 로써 텅스텐 ( W ) , 구리 ( Cu ) , 알루미늄 ( Al ) , 은 ( Ag ) 등 이 사용 될 수 있 으며 , CVD ( Chemical Vapor Deposition ) , PVD ( Physical Vapor Deposition ) , ECP ( Electro Copper Plating ) 등 의 방법 을 통해 증착 될 수 있 다 .