도 5 는 본 발명 의 실시 예 에 의한 플 라즈 마 장치 에 적용 되 는 제 3 부품 ( AP 3 ) 을 나타내 는 단면도 이 다 . 이때 , 제 3 부품 ( AP 3 ) 은 보론 카바이드 코팅 층 ( 61 ) 와 모재 ( 60 ) 사이 에 프라이머 층 ( 63 ) 이 있 는 것 을 제외 하 고 , 제 1 부품 ( AP 1 ) 및 제 2 부품 ( AP 2 ) 과 동일 하 다 . 이때 , 플라 즈 마 장치 는 도 1 및 도 2 를 참조 하 기 로 하 고 , 제 3 부품 ( AP 3 ) 은 앞 에서 설명 한 플 라즈 마 에 영향 을 받 는 부품 중 의 하나 로써 , 에 지링 등 이 있 다 .