일 실시 예 에 따르 면 , 상기 반사체 를 형성 하 는 단계 는 , 서로 다른 주입 에너지 를 갖 는 복수 의 선택 적 원소 이온 주입 공정 들 을 순차 적 으로 진행 하 여 복수 의 원소 주입 층 들 을 형성 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 이때 , 상기 복수 의 원소 주입 층 들 은 차례 로 적층 되 고 , 상기 복수 의 원소 주입 층 들 의 폭 들 은 높 아 질수록 감소 되 고 , 적층 된 상기 복수 의 원소 주입 층 들 의 일 측벽 들 은 서로 정렬 된다 .