본 발명 에 의하 면 , 기판 처리 장치 의 가동 상태 가 온라인 시 또는 오프라인 시 의 각각 의 경우 에 있 어서 의 각 레시피 에 대한 작업자 의 조작 권한 을 설정 함 으로써 , 기판 처리 장치 의 가동 상태 에 대응 하 여 적절 한 처리 를 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 트러블 ( trouble ) 이 발생 했 을 경우 , 라인 담당자 에게 조작 권한 을 주 지 않 고 , 유지관리 엔지니어 에게 조작 권한 을 부여 함 으로써 , 트러블 의 내용 에 대응 하 는 처리 를 할 수 있 기 때문 에 , 트러블 처리 에 소비 하 는 시간 을 단축 시키 고 , 이 로써 생산 성 의 향상 을 실현 할 수 있 다 .