복합 격자 와 상기 복합 격자 가 내장 된 ( embedded ) 주변 의 제품 영역 간 의 급격 한 전이 ( sharp transition ) 를 가능 하 게 하 기 때문 에 어퍼 처 스톱 ( DF ) 의 개구수 의 큰 값 이 바람직 하 다 . 동시 에 , 어퍼 처 스톱 ( DF ) 은 0 차 회절 빔 ( B 0 ) 을 차단 하 도록 구성 되 기 때문 에 , 어퍼 처 스톱 ( DF ) 의 개구수 는 충분 한 0 차 회절 빔 의 억제 와 제품 영역 으로부터 의 반사 로 인한 충분히 낮 은 크로스 - 토크 ( cross - talk ) 간 의 절충점 이 얻 어 지 는 상한 을 갖 는다 . 이러 한 접근 법 은 대략 10 × 10 ㎛ 2 의 크기 로 된 복합 격자 의 이용 이 가능 하 도록 실행 될 수 있 다 .