검 출부 ( 5 ) 로부터 출력 된 검출 신호 ( 검출 값 ) 는 제 어부 ( 6 ) 에 입력 된다 . 제 어부 ( 6 ) 는 , 증폭기 ( 57 ) 를 통해 진퇴 기구 ( 33 A , 33 B ) 에 설치 된 X 축 구동 용 의 모터 ( M 1 , M 2 ) , 베이스 ( 31 ) 에 설치 된 Y 축 구동 용 의 모터 ( M 3 ) , 승강대 ( 34 ) 에 설치 된 Z 축 구동 용 의 모터 ( M 4 ) , 회전 기구 ( 32 ) 에 설치 된 회전 구동 용 의 모터 ( M 5 ) 의 합계 5 축 구 동용 의 모터 ( M 1 ∼ M 5 ) 를 제어 한다 .