제 1 막 ( 32 a ) , 제 2 막 ( 32 b ) , 및 제 3 막 ( 32 c ) 의 조합 의 구체 예 는 「 실리콘 을 포함 하 는 막 ( 제 1 막 ( 32 a ) ) , 실리콘 을 포함 하 는 막 ( 제 2 막 ( 32 b ) ) , 금속 막 ( 제 3 막 ( 32 c ) ) 」 이나 , 「 금속 막 ( 제 1 막 ( 32 a ) ) , 실리콘 을 포함 하 는 막 ( 제 2 막 ( 32 b ) ) , 실리콘 을 포함 하 는 막 ( 제 3 막 ( 32 c ) ) 」 , 「 SiN 막 ( 제 1 막 ( 32 a ) ) , BSG 막 ( 제 2 막 ( 32 b ) ) , 폴리 실리콘 막 ( 제 3 막 ( 32 c ) ) 」 , 「 BSG 막 ( 제 1 막 ( 32 a ) ) , TEOS 막 ( 제 2 막 ( 32 b ) ) , 폴리 실리콘 막 ( 제 3 막 ( 32 c ) ) 」 , 「 SiN 막 ( 제 1 막 ( 32 a ) ) , 금속 막 ( 제 2 막 ( 32 b ) ) , 임의 의 막 ( 제 3 막 ( 32 c ) ) 」 이 다 . 제 1 막 ( 32 a ) , 제 2 막 ( 32 b ) , 및 제 3 막 ( 32 c ) 은 이 들 의 조합 에 한정 되 지 아니하 며 , 다른 조합 이 어도 좋 다 .