공정 가스 의 공급 이 중단 되 고 , 반응 로 ( 110 ) 에 남 아 있 는 잔류 가스 는 잔류 가스 제거 단계 를 통해 제거 된다 . 잔류 가스 제거 단계 는 반응 로 ( 110 ) 내부 를 진공 배기 라인 ( 157 ) 을 통해 강제 배기 하 여 진공 상태 로 만드 는 단계 와 , 진공 배기 라인 ( 157 ) 을 차단 한 상태 에서 불활성 가스 를 공급 하 여 반응 로 ( 110 ) 내부 를 상압 상태 로 만들 고 , 송풍 배기 라인 ( 156 ) 을 개방 하 여 불활성 가스 를 배기 하 는 단계 로 진행 된다 . 한편 , 잔류 가스 제거 단계 이후 에 반응 로 ( 110 ) 내 에 잔류 가스 가 남 아 있 는지 를 검출 한 후 , 잔류 가스 의 검출 유무 에 따라 반응 로 ( 110 ) 의 개방 을 단속 하 게 된다 . 만약 , 잔류 가스 가 남 아 있 는지 를 확인 하 지 않 고 반응 로 ( 110 ) 를 개방 하 면 , 외부 로부터 유입 되 는 산소 와 잔류 가스 중 의 수소 가스 가 반응 하 여 폭발 할 수 도 있 다 . 따라서 , 반응 로 ( 110 ) 내부 에 잔류 하 는 가스 중 에 수소 가스 가 기 설정 된 농도 이하 로 남 아 있 는지 를 확인 한 후 , 반응 로 ( 110 ) 를 개방 하 는 것 이 안 전하 다 . 만약 , 반응 로 ( 110 ) 내 에 잔류 가스 가 기 설정 된 농도 이상 검출 되 면 , 잔류 가스 제거 과정 을 다시 반복 실시 하 며 , 잔류 가스 가 기 설정 된 농도 이하 로 검출 되 면 , 반응 로 ( 110 ) 를 개방 하 여 기판 ( 10 ) 을 반출 한다 .