계속 해서 , 상기 제 2 저유 전막 ( 220 ) 이 안정 화 되 도록 열처리 한 다음 , 상기 열처리 된 제 2 저유 전막 ( 220 ) 의 표면 을 , 예컨대 , 상기 제 2 베리 어막 ( 218 ) 의 상면 이 노출 될 때 까지 평탄 화 시키 고 , 그리고 나 서 , 상기 평탄 화 된 제 2 저유 전막 ( 220 ) 의 표면 및 노출 된 제 2 베리 어막 ( 218 ) 의 상면 에 제 2 BARC 막 ( 222 ) 을 형성 한다 .