또한 , 전술 한 실시 형태 에서 , 도 13 ( A ) 및 도 13 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상의 X 헤드 ( EX 1 ) 의 근방 에 , Y 헤드 ( EY 1 및 EY 2 ) 를 배치 할 수 있 다 . 이 경우 , Y 헤드 ( EY 1 ) 는 , 전술 한 Y 헤드 ( EY ) 와 동일 한 위치 에 배치 되 고 , Y 헤드 ( EY 2 ) 는 , Y 헤드 ( EY 1 ) 의 + Y 측 에 인접 하 여 , 또는 더욱 구체 적 으로 , Y 헤드 ( EY 1 및 EY 2 ) 가 Y 스케일 ( SY 1 ) 의 부 영역 ( 연장 된 영역 ) 에 동시 에 대향 할 수 있 는 위치 관계 로 배치 된다 . 도 13 ( A ) 및 도 13 ( B ) 에 도시 되 는 변형 예 ( 이하 , 편의 상 제 1 변형 예 라 칭한다 ) 는 다음 과 같 은 이점 을 갖 는다 .