여기 서 , 「 제 2 도 전막 ( 110 ) 에 대한 에칭 레이트 가 작 고 , 또한 , 제 1 도 전막 ( 102 ) 에 대한 에칭 레이트 가 큰 조건 」 , 또는 「 제 2 도 전막 ( 110 ) 에 대한 제 1 도 전막 ( 102 ) 의 에칭 선택 비 가 큰 조건 」 이 란 , 이하 의 제 1 요건 및 제 2 요건 을 만족 시키 는 는 것 을 말 한다 .