상기 한 실시 예 1 에서 는 , 증착 원 개구 ( 61 ) 와 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 피치 는 동일 했 지만 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 고 , 양자 가 상이 해도 된다 . 단 , 증착 원 개구 ( 61 ) 및 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 위치 를 랜덤 하 게 설정 한 경우 등 , 증착 원 개구 ( 61 ) 와 제어판 ( 80 ) 의 상대 적 위치 관계 가 X 축 방향 에 있 어서 일정 하 지 않 은 경우 에 는 , X 축 방향 에 있 어서 , 기판 ( 10 ) 상 에 형성 되 는 피막 ( 90 ) 의 두께 불 균일 이 발생 한다 . 따라서 , 증착 원 개구 ( 61 ) 의 X 축 방향 피치 및 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 피치 는 , 한쪽 이 다른 쪽 의 정수 배인 관계 를 갖 고 있 는 것 이 바람직 하 다 .