또한 , 구획 공간 ( S ) 에 는 , 예 를 들 면 재 치부 ( 84 ) 의 상방 에 , 구획 공간 ( S ) 에 가스 를 공급 하 기 위한 가스 공급 로 ( 88 a ) 가 형성 되 고 , 이 가스 공급 로 ( 88 a ) 의 타단 은 밸브 ( V 5 ) 를 통하 여 가스 공급원 ( 88 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 는 , 구획 공간 ( S ) 을 감압 으로 배기 하 는 배기 로 ( 89 a ) 가 형성 되 며 , 이 배기 로 ( 89 a ) 의 타단 은 , 밸브 ( V 6 ) 를 통하 여 진공 배기 유닛 ( 89 ) 에 접속 되 어 있 다 .