이 와 같 은 목적 을 실현 하 기 위한 본 발명 은 , 폴리 싱 패드 에 웨이퍼 를 밀착 및 회전 시킴 으로써 화학 적 기계 적 연마공 정 을 실시 하 는 폴리 싱 헤드 에 있 어서 , 회전축 이 결합 되 며 , 하 측면 에 웨이퍼 를 흡착 또는 가압 하 기 위하 여 진공 또는 에어 가 분산 공급 되 는 폴리 싱하 우징 과 , 폴리 싱하 우징 의 하측 에 설치 되 어 웨이퍼 둘레 에 위치 하 는 리 테이 너링 과 , 리 테이 너링 과 웨이퍼 사이 에서 승강 하 도록 폴리 싱하 우징 에 설치 되 며 , 하 강시 웨이퍼 를 감싸 서 웨이퍼 주변 의 폴리 싱 패드 가 돌출 되 는 것 을 억제 하 는 버퍼링 과 , 버퍼링 을 승강 시키 도록 폴리 싱하 우징 에 설치 되 는 버퍼링 승강 수단 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .