또 , 제 2 기판 ( 400 ) 의 이면 , 즉 제 3 기판 ( 500 ) 과 의 접합면 에 는 홈 부 ( 406 ) , 홈 부 ( 407 a , 407 b ) , 홈 부 ( 408 ) 및 홈 부 ( 409 a ∼ 409 f ) 가 형성 되 어 있 다 . 홈 부 ( 406 ) 는 본 체부 ( 410 ) 중 , 구멍 ( 402 ) 에 대해서 지 지 부 ( 122 ) 와 반대 측 의 영역 에 , 예 를 들 면 지그재그형 상 으로 설치 되 어 있 다 . 이 홈 부 ( 406 ) 의 내 벽면 에 는 상기 의 개질 촉매 ( 165 ) ( 도 21 참조 ) 가 담지 되 어 있 다 .