한편 , 이상 의 설명 은 , 백 플레이트 가 냉 각판 ( 230 ) ( 마그넷 판 으로서 의 기능 을 겸하 는 경우 도 포함 ) 인 경우 에 관한 설명 이 다 . 본 발명 은 , 백 플레이트 가 정전 척 판인 경우 도 포함 된다 . 이 에 , 백 플레이트 가 정전 척 판인 경우 의 성막 공정 의 일 예 에 대해 설명 한다 . 한편 , 백 플레이트 가 정전 척 판인 경우 의 성막 장치 에 대해서 는 , 기본 적 으로 는 , 도 2 중 의 냉 각판 ( 230 ) 이 정 전척 판 으로 변경 되 는 정도 이 므로 , 도면 은 생략 한다 .