상기 제 3 컨 택 들 ( 25 ) 이 상기 제 3 재배 선 수단 ( 27 ) 으로부터 떨어져 면하 는 상기 제 3 컨 택 들 ( 25 ) 의 측면 ( 36 ) 상 에 노출 되 도록 , 상기 제 3 재배 선 수단 ( 27 ) 으로부터 떨어져 면하 는 상기 인터 포저 기판 ( 24 ) 의 측면 ( 35 ) 상 에서 상기 인터 포저 기판 ( 24 ) 의 일부 를 제거 하 는 단계 ( S 5 ) .