본 발명 의 일 실시 예 에 의하 면 , 레이저 어닐링 공정 전 에 는 빔 프로파일러 및 측정 빔 검출 유닛 을 이용 하 여 레이저 빔 의 균일 도 , 펄스 형상 및 출력 을 측정 하 고 , 이 를 설정 된 값 과 비교 하 여 제어 함 으로써 레이저 어닐링 공정 의 진행 여부 를 결정 할 수 있 다 . 또한 , 레이저 어닐링 공정 중 에 는 측정 빔 검출 유닛 을 이용 하 여 레이저 빔 의 펄스 형상 및 출력 을 실시간 으로 측정 하 고 , 이 를 설정 된 값 과 비교 하 여 실시간 으로 제어 함 으로써 레이저 빔 ( L ) 을 레이저 어닐링 공정 에 최적 화 된 펄스 형상 및 출력 으로 유지 할 수 있 다 .