도 5 내지 도 7 은 본 발명 에 따른 검출 부재 가 기판 의 이동 경로 를 조절 하 는 과정 을 설명 하 기 위한 도면 들 이 다 . 보다 상세 하 게 는 도 5 는 검출 부재 가 촬영 위치 에 위치 한 기판 을 촬영 하 는 모습 을 보여 주 는 도면 이 고 , 도 6 은 도 5 에 도시 된 카메라 들 의 촬영 영역 을 보여 주 는 도면 이 다 . 그리고 , 도 7 은 제어기 가 로봇 암 의 기판 이동 경로 를 제어 하 는 과정 을 설명 하 기 위한 도면 이 다 .