상기 기판 형상 측 정부 는 상기 기판 의 상부 에 설치 되 어 상기 기판 의 삼차원 정보 를 획득 하 는 제 1 카메라 를 이용 하 여 상기 기판 의 형상 을 측정 하 거나 , 상기 기판 의 상부 에 설치 되 어 상기 기판 의 이차원 정보 를 획득 하 는 제 2 카메라 및 상기 기판 의 측 부 에 설치 되 어 상기 기판 의 이차원 정보 를 획득 하 는 제 3 카메라 를 이용 하 여 상기 기판 의 형상 을 측정 할 수 있 다 .