첫째 , 상술 한 기판 처리 장치 ( 1 ') 는 기판 처리 량 이 적 다 . 즉 , 상술 한 바 와 같이 , 처리 유닛 들 ( 40 , 50 , 60 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 이 이송 되 어 질 때 , 버퍼 부 ( 70 , 80 ) 에서 기판 ( W ) 의 오리엔트 각 을 정렬 시키 기 위한 시간 이 부가 되 므로 , 기판 ( W ) 처리 에 따른 시간 이 증가 된다 . 특히 , 처리 유닛 들 의 개수 가 증가 할수록 처리 유닛 들 ( 40 , 50 , 60 ) 사이 에 는 기판 ( W ) 의 오리엔트 각 을 정렬 시키 기 위한 시간 이 증가 되 므로 장치 의 기판 ( W ) 처리 량 이 감소 한다 .