도 7 및 도 8 에 는 측면 방향 의 제 3 가스 분사 모듈 ( 250 b ) 의 형태 가 다수 의 홀 이 적어도 하나 의 열 을 구성 하 는 홀 패턴 구조 로 되 어 있 는 것 이 도시 되 어 있 다 . 이 는 챔버 내부 의 하부 방향 으로 분사 하 는 구조 가 아닌 반응 챔버 ( 160 ) 내부 의 측면 방향 으로 분사 하 는 구조 이 므로 , 반응 챔버 ( 160 ) 내부 의 상단 부 의 세정 효율 을 높일 수 있 는 구조 이 다 .