이전 의 공정 이 종료 되 어 이송 되 어 온 기판 ( 101 ) 이 로드 락 ( 132 ) 의 입구 ( 137 a ) 에 설치 된 제 1 컨베이어 ( 153 ) 에 로딩 되 면 , 상기 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 와 제 1 컨베이어 ( 153 ) 가 구동 하 여 제 1 컨베이어 ( 153 ) 위 의 기판 ( 101 ) 이 로드 락 ( 132 ) 내 의 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 로 이송 된다 . 상기 와 같이 , 기판 ( 101 ) 이 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 로 이송 되 면 , 로드 락 ( 132 ) 양 측면 의 입구 ( 137 a ) 및 출구 ( 137 b ) 가 폐쇄 됨 과 동시 에 진공 펌프 ( 도면 표시 하 지 않 음 ) 이 작동 하 여 상기 로드 락 ( 132 ) 이 진공 상태 로 된다 .