EBSP - OIMTM ( Electron Back Scatter Diffraction Pattern - Orientation Image Microscopy ) 법 은 주사 형 전자 현미경 ( SEM ) 내 에서 고 경사 인 시료 에 전자선 을 조사 하 고 , 후방 산란 하 여 형성 된 기 꾸찌 패턴 ( kikuchi pattern ) 을 고감 도 카메라 로 촬영 하 고 , 컴퓨터 화상 처리 함 으로써 조사 점 의 결정 방위 를 단시간 에 측정 하 는 장치 및 소프트웨어 로 구성 되 어 있 다 . EBSP 법 에서 는 벌크 시료 표면 의 미세 구조 및 결정 방위 의 정량 적 해석 을 할 수 있 고 , 분석 에리 어 는 SEM 으로 관찰 할 수 있 는 영역 이 며 , SEM 의 분해능 에 도 의존 하 지만 , 최소 20 ㎚ 의 분해능 으로 분석 할 수 있 다 . 해석 은 수 시간 에 걸쳐 , 분석 하 고자 하 는 영역 을 등 간격 의 그리드 형상 으로 수만 점 매핑 하 여 행한다 . 다 결정 재료 에서 는 시료 내 의 결정 방위 분포 나 결정립 의 크기 를 볼 수 있 다 . 본 발명 에 있 어서 는 , 그 각 패킷 의 방위 차 를 15 ° 로 하 여 매핑 한 화상 으로부터 패킷 을 가시 화 하 여 연신 도 를 구한다 .