이 경우 , 촬상 장치 ( 11 ) 의 중심축 ( 11 a ) 과 캐 필러 리 ( 15 ) 의 중심축 ( 15 a ) 은 거리 ( W ) 만큼 오프셋 되 어 있 으므로 , 촬상 장치 ( 11 ) 에 의해 정점 의 어긋남 을 검출 하 여 본딩 좌표 를 수정 한 후 , X 축 모터 ( 12 ) 및 Y 축 모터 ( 13 ) 에 의해 XY 테이블 ( 16 ) 이 오프셋 량 ( W ) 만큼 이동 시켜 지 고 , 캐 필러 리 ( 15 ) 가 시료 ( 3 ) 의 제 1 본딩 의 상방 에 위치 시켜 진다 . 그 후 , X 축 모터 ( 12 ) 및 Y 축 모터 ( 13 ) 에 의한 XY 테이블 ( 16 ) 의 XY 축 방향 의 이동과 , Z 축 모터 ( 14 ) 에 의한 캐 필러 리 암 ( 17 ) 의 상하 이동 ( 또는 요동 ) 에 의한 캐 필러 리 ( 15 ) 의 Z 축 방향 의 이동 에 의해 , 상기 수정 된 본딩 좌표 에 와이어 ( 4 ) 가 와이어 본딩 된다 . 도 4 에 있 어서 , 캐 필러 리 암 ( 17 ) 은 본딩 헤드 ( 18 ) 에 요동 이 자유 롭 게 설치 되 고 , 촬상 장치 ( 11 ) 는 촬상 장치 유지 암 ( 19 ) 을 통하 여 본딩 헤드 ( 18 ) 에 고정 되 어 있 다 . 또한 , Xw 는 오프셋 량 ( W ) 의 X 축 성분 , Yw 는 오프셋 량 ( W ) 의 Y 축 성분 을 나타낸다 .