도 5 를 참조 하 면 , 알루미늄 의 양 이 증가 될수록 티타늄 알루미늄 질화 막 의 비저항 이 증가 하 게 된다 . 상기 알루미늄 의 양 은 주입 되 는 TMA 의 양 에 비례 하 게 되 며 , 상기 TMA 의 양 은 TMA 의 주입 시간 ( feeding time ) 또는 주 입량 ( feeding rate ) 으로 조절 이 가능 하 다 . 본 실시 예 에서 는 TMA 의 주입 시간 을 증가 시킴 으로써 , 상기 티타늄 알루미늄 질화 막 의 비저항 을 증가 시킨다 .