반송 유닛 ( 240 ) 은 로드 락 챔버 ( 32 ) , 언로 드락 챔버 ( 34 ) , 그리고 복수 개 의 공정 챔버 들 ( 260 ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 반송 유닛 ( 240 ) 은 반송 챔버 ( 242 ) 및 메인 반송 로봇 ( 250 ) 을 포함 한다 . 반송 챔버 ( 242 ) 는 육각형 의 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 선택 적 으로 반송 챔버 ( 242 ) 는 직사각 또는 오각 의 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 반송 챔버 ( 242 ) 의 둘레 에 는 로드 락 챔버 ( 32 ) , 언로 드락 챔버 ( 34 ) , 그리고 복수 개 의 공정 챔버 들 ( 260 ) 이 위치 된다 . 반송 챔버 ( 242 ) 의 내부 에 는 기판 ( W ) 을 반송 하 기 위한 반송 공간 ( 244 ) 에 제공 된다 .