도 9 c 를 참조 하 면 , 각각 의 단위 마스크 패턴 들 ( 500 U ) 은 제 1 방향 ( FD ) 으로 연장 되 며 제 2 방향 ( SD ) 으로 의 폭 이 3 F 인 라인 형태 의 제 1 패턴 ( 510 ) 과 , 제 1 패턴 ( 510 ) 과 나란 하 게 배치 되 며 제 2 방향 ( SD ) 으로 의 폭 이 3 F 인 라인 형태 의 제 2 패턴 ( 520 ) 과 , 제 1 패턴 ( 510 ) 과 제 2 패턴 ( 520 ) 사이 에 연결 된 사각 틀 형태 의 제 3 패턴 ( 530 ) 과 , 제 2 패턴 ( 520 ) 의 상측 및 제 3 패턴 ( 530 ) 의 우측 에 배치 된 아일랜드 타입 의 제 4 패턴 ( 540 ) 을 포함 할 수 있 다 .