선행 기술 과 는 달리 , 본 발명 은 XY 스테이지 의 x - 방향 에 원하 는 x '- 방향 을 정렬 시키 도록 하 지 않 고 , 대신 표본 에 걸쳐 스캐닝 하 기 위한 원 하 는 x '- 방향 이 XY 병진 스테이지 의 이동의 x - 방향 과 의 정렬 을 벗어나 도록 한다 . 본 발명 은 원 하 는 정렬 을 달성 하 기 위해 이미지 센서 를 회전 시키 며 , 이 로써 병진 스테이지 의 XY 방향 과 이미지 센서 의 픽셀 로우 및 컬럼 간 오프셋 을 생성 할 수 있 다 . 본 발명 은 또한 XY 병진 스테이지 의 x - 방향 에 대해 원 하 는 x '- 방향 의 오프셋 의 각도 또는 기울기 를 결정 한다 . 공지 된 오프셋 의 각도 / 기울 기 및 원 하 는 스캐닝 방향 에 정렬 된 픽셀 로우 , 즉 x '- 방향 의 경우 , XY 병진 스테이지 는 표본 의 y '- 방향 ( y '- 방향 은 x '- 방향 에 직교 함 ) 으로 표본 에 대한 이미지 센서 의 실질 적 인 이동 없이 이미지 센서 에 대해 표본 을 원하 는 x '- 방향 을 따라 다른 위치 들 로 이동 시키 도록 제어 될 수 있 다 .