이러 한 불순물 을 분석 할 수 있 는 장치 로 는 FT - IR ( Fourier Transform - Infrared spectrophotometer ) , UV - visible spectrophotometer , SIMS ( Secondary Ion - Mass spectrometer ) , GC - MS ( Gas Chromatography - Mass Spectrometer ) 등 과 같 은 분석 장치 들 이 사용 되 고 있 으며 , 정성 분석 과 정량 분석 이 가능 한 장치 로 는 GC - MS 가 유일 하 게 사용 되 고 있 다 .