해당 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 은 상기 한 [ A ] 중합체 , 적합 성분 인 [ B ] 가교제 , 필요 에 따라 첨가 되 는 [ C ] 가교 촉매 , [ D ] 용매 , [ E ] 계면 활성제 등 의 기타 임의 성분 을 균일 하 게 혼합 함 으로써 제조 된다 . 통상 해당 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 은 , 바람직 하 게 는 적당 한 용매 에 용해 또는 분산 시킨 상태 로 제조 되 어 사용 된다 .