실시 예 에 따라 , 장치 의 펌프 들 은 펌프 격실 을 통한 기판 의 통과 와 관련 된 통로 로부터 의 가스 펌핑 을 위한 적어도 하나 의 확산 펌프 및 펌프 격실 과 접하 는 프로세스 격실 들 중 적어도 하나 로부터 의 가스 펌핑 을 위해 확산 펌프 이외 의 적어도 하나 의 펌프 를 포함 할 수 있 다 . 이 들 펌프 들 중 후자 는 예 를 들 어 , 터보 분자 형 펌프 , 일 수 있 다 . 단지 일례 로 , 적어도 2 개 의 후자 펌프 들 이 이용 될 수 있 다 .