게이트 전극 ( 51 ) 은 금속 재료 로 형성 된다 . 금속 재료 로서 는 알루미늄 , 크롬 , 티타늄 , 탄탈 , 몰리브덴 , 구리 등 이 적용 된다 . 게이트 전극 ( 51 ) 의 바람직 한 예 는 알루미늄 혹은 알루미늄 과 배리어 금속 의 적층 구 조체 에 의하 여 형성 된다 . 배리 어 금속 으로서 는 티타늄 , 몰리브덴 , 크롬 등 의 고 융점 금속 이 적용 된다 . 배리 어 금속 은 알루미늄 의 힐 록 방지 , 산화 방지 를 위하 여 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .