본 발명 에 따른 전자 빔 증착 ( e - beam evaporation ) 을 이용 한 산화알루미늄 pH 센서 제조 방법 은 Si 실리콘 웨이퍼 의 상면 에 공기 와 의 반응 에 의해 형성 되 는 이산화규소 ( SiO 2 ) 층 상부 로 음성 감광제 ( negative photoresist ) 처리 하 여 감광 물질 층 을 형성 하 는 단계 ( S 10 ) 와 ,