Y 방향 에서 의 비대칭 성 및 오버레이 를 측정 하 기 위해 , 스팟 ( S ) 은 먼저 격자 ( 53 ) 로 이동 되 는데 , 그 윤곽선 은 51 ' 로 라벨 링 된다 . 도 5 ( c ) 는 격자 ( 53 ) 로부터 획득 되 는 회절 스펙트럼 ( 518 ') 을 도시 한다 . 격자 ( 53 ) 가 y 방향 에서 주기 적 이 기 때문 에 , 회절 스펙트럼 은 이미지 센서 상 에서 Y 방향 으로 확산 된다 . 밝 은 영역 ( 560 '+ 및 560 '-) 으로부터 의 강도 값 이 비교 되 어 Y 방향 에 대한 비대칭 성 ( Ay ) 의 측정치 를 획득 한다 . 스팟 ( S ) 이 격자 ( 55 ) 로 이동 된 상태 에서 이 측정 을 반복 하 는 것 에 의해 , 비대칭 성 ( Ay ) 의 제 2 값 이 획득 될 수 있 다 . 두 개 의 비대칭 성 값 을 격자 ( 53 및 55 ) 에 적용 되 는 오버레이 바이어스 값 의 지식 과 결합 하 면 , 리소그래피 프로세스 의 성능 의 다른 척도 로서 , Y 방향 에서 의 오버레이 값 이 획득 될 수 있 다 .