이어서 , 도 9 d 에 도시 된 예비 슬릿 들 ( 251 A ) 각각 의 측벽 상 에 도전 패턴 들 ( 257 ) 의 측벽 들 을 덮 도록 스 페이서 절 연막 ( 259 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 후 , 스 페이서 절 연막 ( 259 ) 으로 덮이 지 않 은 예비 슬릿 들 의 바닥 면 을 통해 식각 정지 막 ( 209 ) 및 제 2 보호막 ( 207 ) 을 식각 한다 . 이 로써 , 도 9 d 에 도시 된 예비 슬릿 들 ( 251 A ) 에 일체 화 되 고 희생 소스 막 ( 205 ) 을 노출 하 는 슬릿 들 ( 251 B ) 이 형성 된다 .