공정 챔버 를 진공 으로 유지 하 기 위한 배기관 과 연결 된 인입 관 을 통해 공정 챔버 내 의 가스 를 별도 의 셀프 플라 즈 마 챔버 내 로 인입 시켜 플 라즈 마 상태 로 만든다 ( S 410 ) . 그리고 , 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 플 라즈 마 로부터 의 광선 빔 을 감지 하 여 플 라즈 마 광 의 고주파 특성 변화 를 측정 한다 ( S 420 ) . 아울러 셀프 플라 즈 마 챔버 내 의 플 라즈 마 로부터 의 광선 빔 을 감지 하 여 파장 영역 별 로 방출 감도 를 측정 한다 ( S 430 ) .