도 9 와 비교 하 여 , 깊이 ( D 1 ) 는 깊이 ( D 2 ) 보다 작 다 . 일부 실시 예 에서 , 기판 ( 910 ) 은 또한 약 100 내지 약 1 , 000 , 000 ohm - cm 범위 의 높 은 저항률 을 가진다 . 일부 실시 예 에서 , 기판 ( 910 ) 은 낮 은 도핑 농도 ( 예 , 1010 원자 / cm - 3 미만 의 도핑 농도 ) 의 실리콘 웨이퍼 를 포함 한다 .