다른 바람직 한 구 현예 들 에서 , 반응 챔버 내 의 기판 위 에 실리콘 이 산화물 박 막 을 원자 층 증착 에 의하 여 형성 하 기 위한 방법 들 이 제공 된다 . 상기 방법 들 은 상기 반응 챔버 에 실리콘 전구체 를 포함 하 는 증기 상 반응물 펄스 와 산소 전구체 를 포함 하 는 증기 상 반응물 펄스 를 순차 적 으로 교번 하 여 공급 하 는 단계 ; 를 포함 한다 . 여기 서 , 상기 증기 상 반응물 펄스 들 은 원 하 는 두께 의 박막 이 얻 어 질 때 까지 반복 되 고 , 상기 실리콘 화합물 은 헥사 키스 ( 에틸 아미노 ) 디 실란