그 결과 최근 에 는 오일 이 사용 되 지 않 는 펌프 , 예 를 들 면 다이어프램 펌프 , 스크롤 펌프 등 을 사용 하 고 있 으나 최종 압력 이 낮 아 챔버 의 최종 압력 을 높 게 하 고 , 또한 최종 압력 도달 시간 도 매우 길 다 . 또한 이런 백업 펌프 는 그 가격 이 터보 펌프 의 3 - 40 % 에 이르 러 경제 적 으로 도 큰 부담 이 되 고 있 다 .