본 발명 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 는 신속 한 공정 을 위한 것 으로 , 기판 이 투입 되 어 공정 이 진행 되 는 복수 의 공정 챔버 와 , 상기 공정 챔버 사이 에 설치 되 어 기판 을 공정 챔버 로 공급 하 는 이송 챔버 와 , 상기 이송 챔버 의 전단 에 설치 되 어 외부 로부터 로딩 된 기판 을 진공 상태 에서 이송 챔버 로 공급 하 는 로드 락과 , 상기 외부 로부터 로드 락 에 기판 을 이송 하 는 컨베이어 로 구성 된다 .