다음 , 상기 구리 배선 ( 102 ) 이 형성 되 어 있 는 제 1 층간 절 연막 ( 101 ) 상 에 유전 막 ( 103 ) 을 증착 한 후 , 상기 하부 구리 배선 ( 102 ) 이 형성 되 어 있 지 않 은 유전 막 ( 103 ) 의 일부분 을 노출 시키 는 감광막 패턴 ( 104 ) 을 형성 한다 . 상기 유전 막 ( 103 ) 은 SiN 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 .