다른 실시 형태 는 플 라즈 마 발생 ( generating ) 방법 을 제공 한다 . 본 방법 은 링 플라 즈 마 챔버 에 프로세스 가스 를 전달 하 는 단계 , 링 플라 즈 마 챔버 의 외부 주위 의 1 차 권선 에 1 차 전류 를 인가 하 는 단계 , 1 차 권선 에서 자계 를 발생 시키 는 단계 , 다수 의 페라이트 들 로 상기 자계 를 집중 시키 는 단계 를 포함 한다 . 링 플라 즈 마 챔버 는 각각 의 페라이트 들 을 통과 한다 . 2 차 전류 가 링 플라 즈 마 챔버 에 있 는 프로세스 가스 에 유도 되 고 플 라즈 마가 2 차 전류 로 링 플라 즈 마 챔버 에 있 는 프로세스 가스 에서 발생 된다 . 플 라즈 마 챔버 는 플 라즈 마 챔버 를 프로세스 챔버 에 연결 하 는 다수 의 플 라즈 마 챔버 유출 부 들 의 각각 에서 플라 즈 마 제 한부 로 링 플라 즈 마 챔버 에 제한 된다 .