이것 은 , 조명 광학계 ( 5 ) 내 의 조명 조리개 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 고정 되 고 , 동일 한 조명 조건 에서 도 , 다른 피치 를 가진 레티 클 마크 를 사용 함 으로써 투영 광학계 의 구면 수차 측정 이 가능 해진다 . 이 레티 클 마크 의 피치 차이 를 사용 하 여 투영 광학계 의 수차 를 측정 하 는 경우 , 도 5 의 레티 클 마크 ( 25 ) 가 도 4 의 구면 수차 측정 용 조명 조건 에 상당 하 고 , 레티 클 마크 ( 26 ) 가 도 4 의 기준 조명 조건 에 상당 한다 .