한편 , 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 은 , 제 1 정합 기 ( 33 ) 를 통해 상부 전극 ( 22 ) 에 접속 될 수 도 있 다 . 또한 , 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 과 제 2 고주파 전원 ( 34 ) 은 , 제 1 고주파 전력 의 출력 값 과 제 2 고주파 전력 의 출력 값 을 , 동기 화 또는 비동기 화 로써 간헐 적 으로 ( 펄스 적 으로 ) 미 출력 ( 0 W ) 과 최대 값 사이 에서 가변 시키 면서 인가 할 수 도 있 다 .