상기 성분 ( A ) 의 수지 는 폴리스티렌 에 대한 GPC 에 의해서 결정 된 바 와 같이 , 바람직 하 게 는 1 , 000 ~ 200 , 000 , 보다 바람직 하 게 는 3 , 000 ~ 20 , 000 , 가장 바람직 하 게 는 5 , 000 ~ 15 , 000 의 중량 평균 분자량 을 갖 는다 . 1 , 000 ~ 200 , 000 으로 의 상기 중량 평균 분자량 의 조절 은 내열 성 또는 건식 에칭 내성 의 열화 를 방지 할 수 있 게 하 고 , 동시 에 현상 능력 의 열화 및 그렇 지 않 은 경우 농밀 화 로 인하 여 발생 되 는 막 형성 특성 의 열화 를 방지 할 수 있 게 한다 .