접촉 부 ( 132 ) 는 가열 부재 ( 120 ) 의 관통 홀 ( 121 ) 을 통해 승강 하 여 기판 ( S ) 을 지지 한다 . 기판 ( S ) 이 챔버 부재 ( 110 ) 내부 로 유입 되 면 , 접촉 부 ( 132 ) 의 상단 ( 자유단 ) 이 기판 ( S ) 의 하면 과 접촉 될 수 있 다 . 기판 ( S ) 은 접촉 부 ( 132 ) 에 의해 지 지 되 어 챔버 부재 ( 110 ) 내부 공간 의 특정 높이 에 안정 적 으로 위치 될 수 있 다 .