상기 무기산 , 이 의 염 또는 이 들 의 혼합물 이 상기 식각 액 조성물 에 포함 되 는 경우 상기 무기산 , 이 의 염 또는 이 들 의 혼합물 이 구리 계 금속 막 식각 과정 에서 용출 된 구리 이온 과 반응 할 수 있 으며 , 이 에 따라 상기 구리 이온 이 증가 되 는 현상 을 방지 하 여 식각 속도 또는 식각 률 이 감소 하 는 것 을 방지 할 수 있 는 이점 이 있 다 .