상기 다 마신 개구 충 진 이후 에 , 바람직 하 게 는 기계 화학 적 폴리 싱 ( Polishing ) 방법 에 의해 상기 상부 레벨 컨 덕 터 의 상단 표면 평탄 화 공정 이 수행 된다 . 상기 상부 레벨 컨 덕 터 의 상단 표면 을 평탄 화 함 으로써 , 상기 하부 레벨 컨 덕 터 보다 높 은 상부 레벨 인터 커넥트 라인 이 , 바람직 하 게 는 하부 레벨 컨 덕 터 에 임베디드 되 는 비아 위 에 형성 된다 .