본 방법 은 또한 링 플라 즈 마 챔버 에서 플로우 레이트 , 압력 및 / 또는 바이어스 중 적어도 하나 를 조절 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 본 방법 은 또한 적어도 하나 의 프로세스 모니터링 센서 로부터 프로세스 피드백 신호 를 수신 하 는 단계 및 플로우 레이트 , 압력 및 / 또는 바이어스 의 적어도 하나 의 세트 포인트 ( set point ) 를 조정 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .