본 실시 형태 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 에 직교 하 는 방향 으로 배치 된 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 사이 의 거리 가 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 길 어 지 는 부분 을 갖 는다 . 본 실시 형태 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 에 직교 하 는 방향 으로 대향 하 는 한 쌍 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 사이 의 거리 가 , 최초 로 휘어짐 기판 ( W ) 과 접촉 하 는 상부 배치 롤러 ( 31 c ) , 즉 반송 방향 ( A 1 ) 의 최상류 에 위치 하 는 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 로부터 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 순서 대로 넓 어 진다 .