바람직 하 게 , 플 라즈 마질 화 공정 은 마이크로웨이브 ( Microwave ) 또는 고주파 ( RF ) 의 플 라즈 마 를 이용 하 고 , 질소계 가스 로 는 N 2 , NH 3 , N 2 O 또는 NO 중 에서 선택 되 며 , 이 들 소스 가스 들 의 혼합 기체 를 주입 하 거나 플 라즈 마 효능 을 증가 시키 기 위해 Ar , Kr 또는 Xe 중 에서 선택 되 는 가스 를 첨가 할 수 도 있 다 . 그리고 , 플 라즈 마 를 형성 시키 기 위한 파워 는 100 W ∼ 5 kW , 공정 압력 은 1 torr ∼ 100 torr 로 한다 . 그리고 , 동시 에 인가 하 는 양극 전압 은 1 V ∼ 10 V 범위 이 다 .