도 5 를 참조 하 면 , 질화 된 라이너 산화 막 ( 150 ) 상 에 SOD ( Spin On Dielectric ) 막 ( 160 ) 을 형성 한 다음 SOD 막 ( 160 ) 을 경화 시키 기 위한 열처리 공정 을 수행 한다 . SOD 막 ( 160 ) 은 박막 조직 이 성글 고 유동 성 이 좋 아 종횡비 가 높 은 트렌치 내부 를 보이드 ( void ) 등 과 같 은 채 움불 량 없이 채울 수 있 다 .