반응 공간 ( 115 ) 으로부터 의 배기 유출 구 ( 155 ) 는 배기 라인 ( 160 ) 을 통해 진공 펌프 ( 165 ) 와 연통 한다 . 제 어 시스템 ( 125 ) 은 진공 펌프 ( 165 ) 가 원 하 는 작동 압력 을 유지 하 고 , 과량 의 반응물 증기 및 반응 부산물 을 배기 유출 구 ( 155 ) 를 통해 배기 시키 도록 작동 시키 도록 구성 된다 .