또한 , 종래 에 는 배기 과정 에서 잔류 하 는 반응 가스 가 진공 발생기 ( VG ) 에 접촉 되 어 진공 발생기 ( VG ) 를 부식 시키 는 것 을 방지 하 기 위해 진공 가스 공급 라인 과 진공 발생기 ( VG ) 사이 에 트릭 클 밸브 ( trickle valve ) 를 구성 하 였으며 , 이 로 인하 여 밸브 가 폐쇄 되 더라도 일정 한 량 의 진공 가스 가 항상 배기 장치 를 통해 배출 되 어야 하 므로 진공 가스 의 손실 이 발생 한다 .