세계 각국 에서 생산 되 어 반입 되 는 농도 와 순도 가 각기 다른 불화 수소 를 본 발명 의 시스템 의 배관 ( 3 ) 을 경유 시켜 용기 ( 2 ) 내 에 주입 하 여 무산소 환경 에서 고온 으로 용융 시켜 끓이 는 액상 상태 의 유리 물질 ( 5 ) 의 내측 에 주입 하 고 지속 적 으로 가온 하 여 불화 수소 를 플 라즈 마 상태 로 가스 화 시키 면서 이 물질 또한 , 열분해 하 여 플 라즈 마 상태 로 가스 화 시켜 현지 가공 시설 환경 을 최적 화 시켜 불화 수소 가스 품질 을 조종 하 여 초고 순도 의 불화 수소 가스 를 출수 배관 ( 8 ) 을 경유 시켜 노즐 ( 7 ) 로 분사 하 여 반도체 등 제조 공정 의 식각 또는 세정 처리 하 여 가공 하 는 불화 수소 농도 및 순도 를 조절 하 고 가열 하 여 불화 수소 가스 품질 을 조종 하 는 시스템 으로써 ,