상기 제 2 마스크 층 ( 150 ) 은 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 과 유사 한 식각 특성 을 가 지 는 물질 로 이루어질 수 있 다 . 상기 제 2 마스크 층 ( 150 ) 은 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 과 동일 한 물질 로 이루어질 수 도 있 고 , 식각 특성 은 유사 하나 상호 다른 물질 로 이루어질 수 도 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 및 제 2 마스크 층 ( 150 ) 은 각각 폴리 실리콘 막 으로 이루어질 수 있 다 . 또는 , 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 은 질화 막 으로 이루어지 고 상기 제 2 마스크 층 ( 150 ) 은 폴리 실리콘 막 으로 이루어질 수 있 다 . 물론 , 그 반대 의 경우 도 가능 하 다 .