도 1 을 참조 하 면 , 종래 의 버 블러 ( 100 ) 는 액상 소스 를 수용 하 는 용기 ( 110 ) , 상기 용기 ( 110 ) 의 상부 를 밀폐 하 는 커버 ( 120 ) 및 상기 커버 ( 120 ) 를 통해 상기 용기 내 에 수용 된 액상 소스 내 에 침지 되 는 캐리어 가스 공급 을 위한 제 1 가스 공급 배관 ( 130 ) 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 커버 ( 120 ) 에 는 상기 용기 ( 110 ) 내 에서 기화 된 소스 가스 를 외부 로 공급 하 기 위하 여 하나 또는 다수 의 제 2 가스 공급 배관 ( 140 ) 이 연결 될 수 있 다 .