본 발명 에 따른 기판 처리 장치 의 고주파 유닛 검증 장치 의 임피던스 정합 부 ( 22 ) 에 는 센서 ( 24 ) 가 포함 될 수 있 다 . 임피던스 정합 부 ( 22 ) 에 포함 되 는 센서 는 임피던스 정합 부 ( 22 ) 의 내부 또는 외부 에 연결 될 수 있 다 . 임피던스 정합 부 ( 22 ) 의 내부 에 연결 되 는 경우 정합 부 내부 의 전압 을 센싱 할 수 있 다 . 임피던스 정합 부 ( 22 ) 의 외부 에 연결 되 는 경우 해당 지점 에서 인가 되 는 전력 의 크기 를 센싱 할 수 있 다 . 센서 는 임피던스 정합 부 ( 22 ) 의 입력단 에 연결 되 어 임피던스 정합 부 ( 22 ) 로 인가 되 는 전력 을 측정 할 수 있 는 제 1 센서 ( 24 a ) 를 포함 할 수 있 다 . 센서 는 임피던스 정합 부 ( 22 ) 의 출력 단 에 연결 되 어 임피던스 정합 부 ( 22 ) 를 거친 후 의 전력 을 측정 할 수 있 는 제 2 센서 ( 24 b ) 를 더 포함 할 수 있 다 .