예컨대 , 1 장 의 유리 기판 상 에 촬상부 ( 43 a , 43 e 1 , 43 e 2 ) 의 배치 위치 에 맞춰 3 개 의 타 겟 마크 를 붙인 교정 용 유리 기판 을 제작 해 두 고 , 이 교정 용 유리 기판 을 배치 부 ( 42 a ) 에 지그 를 이용 하 여 미리 설정 된 위치 관계 로 배치 한다 . 이 때 , 전자 부품 ( W ) 용 의 촬상부 ( 43 e 1 , 43 e 2 ) 에 의해서 촬상 하 는 2 개 의 타 겟 마크 가 , 스테이지 ( 42 ) 의 지지 부 ( 42 b ) 상 에서 가 압착 헤드 ( 41 ) 가 위치 하 는 쪽 으로 소 정량 비어져 나오 게 한다 . 이 에 따라 , 타 겟 마크 를 촬상부 ( 43 e 1 , 43 e 2 ) 에 의해서 하측 에서 촬상 할 수 있 게 된다 . 그리고 , 교정 용 유리 기판 을 배치 한 스테이지 ( 42 ) 를 , 3 개 의 타 겟 마크 가 각 촬상부 ( 43 a , 43 e 1 , 43 e 2 ) 의 기준 위치 에 위치 하 도록 이 동시 킨다 . 이 상태 에서 , 각 촬상부 ( 43 a , 43 e 1 , 43 e 2 ) 를 이용 하 여 각각 대응 하 는 타 겟 마크 를 인식 하 여 , 기준 위치 에 대한 각 촬상부 ( 43 a , 43 e 1 , 43 e 2 ) 의 상대 위치 어긋남 을 인식 한다 .