더미 전하 저장 구조물 ( 250 ) 은 채널 ( 260 ) 로부터 순차 적 으로 적층 된 터널 절연 패턴 ( 240 ) , 더미 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) , 및 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 을 포함 할 수 있 다 . 이하 에서 는 , 제 1 전하 저장 구조물 ( 252 ) 에 포함 된 것 들 과 구별 하 여 , 더미 전하 저장 구조물 ( 250 ) 에 포함 된 터널 절연 패턴 ( 240 ) 및 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 은 각각 더미 터널 절연 패턴 및 더미 제 1 블로킹 패턴 으로 지칭 하 기 로 하 며 , 이 에 따라 더미 전하 저장 구조물 ( 250 ) 은 순차 적 으로 적층 된 더미 터널 절연 패턴 ( 240 ) , 더미 전하 트래핑 패턴 ( 230 ) , 및 더미 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 을 포함 할 수 있 다 . 이때 , 각 더미 터널 절연 패턴 ( 240 ) 및 더미 제 1 블로킹 패턴 ( 220 ) 은 제 1 전하 저장 구조물 ( 252 ) 에 포함 된 것 들 과 동일 하 게 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 과 같 은 산화물 을 포함 할 수 있 다 .