이어서 , 섬 형상 반도체 영역 ( 331 ) 에 대한 일 도전 형 을 부여 하 는 불순물 을 도입 하 여 , TFT ( 113 ) 의 소스 영역 또는 드레 인 영역 ( 337 ) 을 형성 한다 ( 도 1 c 참조 ) . 본 실시 형태 에서 는 n 채널 형 TFT 를 형성 하 기 때문 에 , n 형 의 불순물 , 예 를 들 면 인 ( P ) , 비소 ( As ) 를 섬 형상 반도체 영역 ( 331 ) 에 도입 한다 .