이후 , 제 1 스 페이서 ( 310 ) 에 의해 커버 되 지 않 고 노출 된 지지막 ( 160 ) 및 지지 패턴 ( 165 ) 부분 , 및 그 하부 의 희생 막 구조물 ( 140 ) 부분 을 제거 함 으로써 제 2 개 구 ( 300 ) 를 하부 로 확장 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 2 개 구 ( 300 ) 는 기판 ( 100 ) 의 상면 을 노출 시킬 수 있 으며 , 나아가 기판 ( 100 ) 의 상부 일부 까지 도 관통 할 수 있 다 .