매립 부재 ( 40 ) 는 챔버 ( 10 ) 의 상면 에 결합 되 어 있 다 . 매립 부재 ( 40 ) 에 는 코일 부재 ( 30 ) 가 매립 되 어 있 다 . 따라서 , 코일 부재 ( 30 ) 는 대기 중 으로 노출 되 지 않 으며 , 예방 정비 공정 중 에 도 챔버 ( 10 ) 에 대한 상대 위치 가 고정 된다 . 매립 부재 ( 40 ) 는 고주파 전원 에 대해 안정 적 인 소재 , 예 를 들 어 Al 2 O 3 , Y 2 O 3 등 의 세라믹 소재 로 이루어진다 .