상기 제 1 단위 상변화 메모리 소자 부분 ( a ) 에 는 제 1 하부 전극 ( 104 a ) 및 제 1 발열 전극 ( 106 a ) 이 순차 적 으로 형성 되 어 있 다 . 상기 제 1 발열 전극 ( 106 a ) 상 에 는 제 1 절연 층 패턴 ( 108 a ) 이 형성 되 어 있 고 , 상기 제 1 절연 층 패턴 ( 108 a ) 의 내 측벽 에 제 1 상변화 층 스 페이서 ( 112 a ) 가 형성 되 어 있 다 .