검사 모듈 ( 200 D ) 은 , 성형 모듈 ( 200 B ) 과 공급 · 수납 모듈 ( 200 A ) 사이 에 마련 되 어 있 고 , 상기 실시 형태 의 검사 시스템 과 동일 한 구성 에 의해 , 봉지 완료 기판 ( W 2 ) 의 몰드 면 을 촬상해서 검사 하 는 것 이 다 . 그 밖 에 , 검사 모듈 ( 200 D ) 은 , 접촉 식 변위 센서 또는 광학 식 변위 센서 등 을 구비 하 고 있 고 , 봉지 완료 기판 ( W 2 ) 의 두께 를 검사 하 는 것 이 더라도 좋 다 .