도 27 ( A ) 는 게이트 절연 층 의 두께 를 15 nm 로 한 것 이 며 , 도 27 ( B ) 은 10 nm 로 한 것 이 고 , 도 27 ( C ) 은 5 nm 로 한 것 이 다 . 게이트 절연 층 이 얇 아 질수록 , 특히 오프 상태 에서 의 드레 인 전류 ( Id ) ( 오프 전류 ) 가 현저 하 게 저하 된다 . 한편 , 이동도 μ 의 피크 값 이나 온 상태 에서 의 드레 인 전류 ( Id ) ( 온 전류 ) 에 는 눈 에 띄 는 변화 가 없 다 . 게이트 전압 1 V 전후 로 , 드레 인 전류 는 10 μ A 를 넘 는 것 이 나타난다 .