한편 , 상기 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 정지 로부터 소정 시간 후 에 , 계측 스테이지 ( MST ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 는 접촉 ( 또는 근접 상태 ) 으 로부터 이 간 상태 로 이행 된다 . 이 이간 상태 로 이행 후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 계측 스테이 지 ( MST ) 가 노광 개시 까지 대기 하 는 노광 개시 대기 위치 에 도달 하 면 , 그 위치 에서 정지 시킨다 .