세라믹 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 은 실리콘 웨이퍼 에 대향 하 며 , 제 2 면 은 각각 의 제 1 회 로 패턴 부 ( 141 ) 및 각각 의 도전 성 플러그 ( 120 ) 의 타단 과 대응 되 는 위치 에 형성 될 수 있 다 . 즉 , 도전 성 플러그 ( 120 ) 에 연결 되 고 , 세라믹 기판 ( 100 ) 의 제 2 면 에 형성 되 는 제 2 회 로 패턴 부 ( 142 ) 는 프로브 핀 과 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 .