도 9 a - 도 9 c 는 본 발명 의 실시 형태 들 에 따른 플 라즈 마 소스 ( 300 , 310 , 320 , 330 ) 로부터 흐름 의 흐름 도 이 다 . 라디칼 및 뉴트럴 흐름 ( 902 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 304 A - F ) 로부터 기판 ( 102 ) 을 향해 대략 부채 형상 ( approximant fan shape ) 으로 흐르 는 것 으로 도시 되 어 있 다 . 부채 형상 은 유출 부 포트 들 ( 220 ) 에서 시작 하 고 그것 이 웨이퍼 ( 102 ) 에 접근 함 에 따라 확대 된다 . 플 라즈 마 챔버 ( 304 A - F ) 를 통해 흐르 는 가스 는 플로우 레이트 Q 및 압력 Ps 를 갖 는다 . 압력 Pc 는 프로세스 챔버 ( 230 ) 에서 의 압력 이 다 . Ps 와 Pc 사이 의 차이 는 라디칼 및 뉴트럴 흐름 ( 902 ) 이 웨이퍼 ( 102 ) 쪽 으로 확대 되 는 것 을 허용 한다 .