계속 해서 , 실시 예 에 대하 여 설명 한다 . 실시 예 1 에서 는 , 제 1 고체 재료 ( 91 ) 로서 입상 ( 입경 2 ~ 3 mm 정도 ) 의 알루미늄 을 사용 하 고 , 제 2 고체 재료 ( 92 ) 로서 분말 상 또는 과립 상 ( 입경 0 . 1 mm ~ 0 . 5 mm 정도 ) 의 삼 불화 알루미늄 을 사용 하 여 , 제 1 고체 재료 ( 91 ) 와 제 2 고체 재료 ( 92 ) 의 중량 비율 을 50 % 로 했 다 . 어시스트 가스 로서 삼 불화 붕소 를 사용 했 다 . 인출 전극 ( 88 ) 에 의한 인출 전압 을 10 kV ~ 90 kV 로 한 경우 , 5 mA 정도 의 알루미늄 의 1 가 이온 ( Al +) 의 빔 을 100 시간 에 걸쳐 연속 적 으로 얻 을 수 있 었 다 . 또 , 이온 빔 의 전 류량 이 1 mA 정도 이 면 , 알루미늄 의 1 가 이온 ( Al +) 의 빔 을 300 시간 에 걸쳐 연속 적 으로 얻 을 수 있 었 다 . 다만 , 알루미늄 의 2 가 이온 ( Al 2 +) 이나 3 가 이온 ( Al 3 +) 의 취득 도 가능 했 다 .