도 14 를 참조 하 면 , 제 1 상부 연결 단자 들 ( 133 ) 사이 의 간격 이 약 0 . 4 mm 일 때 , 트렌치 구조 에 대한 비아 구조 의 부피 가 82 % 수준 이 다 . 제 1 상부 연결 단자 들 ( 133 ) 사이 의 간격 이 약 0 . 2 mm 일 때 , 트렌치 구조 에 대한 비아 구조 의 부피 가 약 41 % 수준 으로 급감 한다 .