도 5 a 및 도 5 b 는 본 발명 의 일 실시 예 를 적용 한 광도 파로 소자 의 제조 에 있 어서 발명 의 효과 를 설명 하 기 위한 도면 으로서 , 도 5 a 는 웨이퍼 내 에 배열 된 단위 칩 들 의 칩 번호 를 표시 하 며 , 도 5 b 는 각 단위 칩 들 에 대한 일정 조건 에서 연마 시간 ( t ) 에 따른 연마 깊이 ( H ) 를 나타낸다 .