우선 , 도 1 a 에 도시 한 바 와 같이 , 하부 금속 배선 ( 11 ) 이 형성 된 기판 ( 10 ) 을 제공 하 고 , 상기 하부 금속 배선 ( 11 ) 을 포함 한 기판 ( 10 ) 상 에 절 연막 ( 12 ) 을 형성 한다 . 상기 절 연막 ( 12 ) 은 주로 산화물 계통 의 절연 물질 , 특히 낮 은 유전율 값 ( low k ) 을 갖 는 절연물 질 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그런 다음 , 상기 절 연막 ( 12 ) 의 일부분 을 선택 적 으로 식각 하 여 , 상기 하부 금속 배선 ( 11 ) 을 노출 시키 는 트렌치 ( 13 ) 를 형성 한다 .