도 1 d 를 참조 하 면 , 상기 마이크 로 렌즈 ( 108 ) 를 포함 한 전체 구조 상부 에 저온 산화 막 ( low thermal oxide ; LTO ) ( 109 ) 을 증착 한다 . 상기 LTO 는 , 마이크 로 렌즈 ( 108 ) 등 의 집 광부 를 보호 해 주 며 , 170 내지 300 ℃ 미만 의 저온 에서 8 , 000 Å 정도 의 두께 로 증착 되 는 것 이 일반 적 이 다 .