도 5 a 내지 도 5 k 는 본 발명 의 제 4 실시 예 를 개략 적 으로 도시 한 단면도 이 다 . 도면 을 참조 하 면 , 상기 제 1 실시 예 내지 제 3 실시 예 에서 는 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 구비 하 는 블랭크 마스크 를 사용 하 여 바이너리 포토 마스크 를 제조 하 였으나 본 실시 예 에서 는 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 구비 하 는 위상 반전 블랭크 마스크 를 사용 하 여 위상 반전 포토 마스크 를 제조 하 는 방법 에 대하 여 설명 한다 .