스텝 S 103 에서 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , PHT 처리 를 실행 한다 . PHT 처리 는 , 스텝 S 102 의 COR 처리 로 생성 된 반응 생성물 ( 405 ) 을 승화 시켜 제거 하 는 처리 이 다 . 구체 적 으로 는 , 질소 분위기 로 , 반응 생성물 ( 405 ) 이 승화 하 는 온도 에서 특정 시간 처리 하 여 , 반응 생성물 ( 405 ) 을 승화 시켜 기판 W 로부터 제거 한다 . 이 에 의해 , 도 4 의 ( c ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 트렌치 ( 403 ) 저부 의 자연 산화 막 ( 404 ) ( 도 4 의 ( a ) 참조 ) 이 제거 된다 .