본 실시 형태 의 보트 ( 217 ) 의 지주 ( 15 ) 는 금속 부재 로 구성 되 어 있 기 때문 에 , 종래 의 석영 이나 SiC 로 구성 된 보트 의 지주 보다 도 가늘 게 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 종래 의 보트 의 지주 의 직경 ( φ ) 은 19 mm 이 며 , 도 6 에 도시 하 는 본 실시 형태 의 보트 ( 217 ) 의 지주 ( 15 ) 의 직경 ( φ ) 은 5 내지 10 mm 이 다 . 지주 ( 15 ) 의 직경 은 , 지지 핀 ( 16 ) 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 가능 한 강도 를 갖 도록 미리 설정 되 어 있 다 . 따라서 , 본 실시 형태 에서 의 지주 ( 15 ) 의 직경 ( φ ) ( 5 내지 10 mm ) 은 일례 이 며 , 지주 ( 15 ) 의 개수 에 따라 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 가능 한 강도 를 갖 는 직경 이 5 mm 미만 으로 되 는 경우 도 , 본 실시 형태 에 포함 된다 .