따라서 , 본 발명 에 따른 오버레이 계측 설비 는 촬상부 ( 300 ) 에서 촬상되어 이미지 화 된 오버레이 패턴 영상 과 데이터 베이스 에 미리 저장 된 오버레이 패턴 영상 을 비교 하 고 상기 오버레이 패턴 영상 들 의 선폭 이 일치 되 는 부분 을 선택 하 여 취 출하 는 비 교부 ( 400 ) 와 , 상기 비 교부 ( 400 ) 에서 취 출 되 는 부분 적 인 오버레이 패턴 영상 을 오버레이 패턴 에 대응 되 도록 복원 시키 는 복 원부 ( 500 ) 를 구비 하 여 상기 오버레이 패턴 에서 반사 되 는 반사광 의 회절 또는 산란 에 의해 왜곡 되 어 얻 어 진 상기 오버레이 패턴 영상 으로부터 보다 정확 한 오버레이 보정 값 을 산출 토록 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 다 .