또한 , 실시 예 에서 상기 제 1 더미 패턴 ( 622 ) , 제 5 더미 패턴 ( 625 ) , 제 2 더미 패턴 ( 632 ) , 제 6 더미 패턴 ( 635 ) 들 은 같 은 크기 를 가질 수 있 다 . 상기 더미 패턴 들 이 같 은 모양 에 같 은 크기 를 가지 는 경우 더미 패턴 의 디자인 과 반도체 제조 공정 의 신속 정확 성 을 도모 할 수 있 고 , 나아가 패턴 의 균일성 과 패턴 밀도 의 극대 화 를 도모 할 수 있 다 .