상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ') 의 연장 라인 ( L 1 ') 과 상기 연장 라인 ( L 1 ') 과 이웃 하 는 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 간 의 간격 이 3 F 가 되 도록 한다 . 상기 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ') 의 연장 라인 ( L 1 ') 과 상기 연장 라인 ( L 1 ') 과 이웃 하 는 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 c ') 간 의 간격 은 3 F 가 되 도록 한다 . 또한 , 상기 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 c ') 과 제 1 희생 마스크 패턴 ( 104 a ') 간 의 간격 도 3 F 가 되 도록 한다 .