N 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 504 는 , 처리 공간 ( 37 ) 의 잉여 H 2 가스 를 퍼지 하 는 공정 이 다 . N 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 504 에서 는 , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 및 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 L 4 를 통한 N 2 가스 ( 연속 N 2 가스 ) 의 공급 을 계속 한 상태 에서 , 개폐 밸브 V 2 를 폐쇄 하 여 H 2 가스 의 공급 을 정지 한다 . 또한 , 개폐 밸브 V 5 , V 6 을 개방 한다 . 이 에 의해 , N 2 가스 공급원 GS 5 , GS 6 으로부터 제 1 플 러쉬 퍼지 라인 L 5 및 제 2 플 러쉬 퍼지 라인 L 6 을 통해 N 2 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 의 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 한다 . 이 때 , N 2 가스 는 , 버퍼 탱크 T 5 , T 6 에 일단 저류 된 후 에 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 되 므로 , 비교 적 큰 유량 을 공급 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 처리 공간 ( 37 ) 의 잉여 H 2 가스 등 을 퍼지 한다 .