도 21 을 참조 하 면 , 스테이지 ( STG ) 상 에 지지 판 ( SPT ) 이 배치 될 수 있 다 . 지지 판 ( SPT ) 은 금속 을 포함 할 수 있 다 . 지지 판 ( SPT ) 의 상면 은 제 1 면 ( SF 1 ) 으로 정의 되 고 , 스테이지 ( STG ) 와 마주 보 는 지 지판 ( SPT ) 의 하 면은 제 2 면 ( SF 2 ) 으로 정의 될 수 있 다 . 스테이지 ( STG ) 및 지지 판 ( SPT ) 각각 은 제 1 및 제 2 방향 들 ( DR 1 , DR 2 ) 에 의해 정의 된 평면 을 가질 수 있 다 .