도시 의 예 에서 는 , 상기 버 블러 ( 14 A ) 중 에 는 Ru 의 카보닐 화합물 인 Ru 3 ( CO ) 12 가 유지 되 고 , MFC ( 질량 유량 제어 장치 ) ( 14 b ) 를 포함 하 는 버블 링 가스 라인 ( 14 a ) 으로부터 CO 가스 를 버블 링 가스 로서 공급 함 으로써 , 기화 한 Ru 3 ( CO ) 12 가 상기 가스 도입 라인 ( 14 B ) 을 통하 여 , 라인 MFC ( 14 c ) 를 포함 하 는 라인 ( 14 d ) 으로부터 의 CO 캐리어 가스 와 함께 상기 처리 용기 ( 12 ) 에 공급 된다 .