제 3 실시 형태 에 대해서 설명 한다 . 도 7 은 , 제 3 실시 형태 에 따른 투영 광학계 ( 11 ) 를 도시 하 는 모식도 다 . 본 실시 형태 의 투영 광학계 ( 11 ) 는 , 도 2 에서 도시 한 제 1 실시 형태 와 아울러 , 메니스커스 렌즈 ( 18 ) 표면 의 온도 상태 를 계측 ( 취득 ) 하 는 취득 부 ( 41 ) 를 구비 한다 . 또한 , 기류형 성부 ( 21 ) 는 , 기류 ( 22 ) 의 방향 , 바꿔 말 하 면 , 취 출구 ( 24 ) 의 기체 를 취 출하 는 방향 을 가변 으로 하 는 구동 기구 ( 42 ) ( 구동 부 ) 를 가진다 . 한편 , 도 2 에서 도시 한 제 1 실시 형태 에 취득 부 ( 41 ) 만 을 설치 해도 좋 고 , 도 5 에서 도시 한 실시 형태 에 취득 부 ( 41 ) 및 구동 기구 ( 42 ) , 또는 이것 들 중 어느 한 쪽 을 설치 함 으로써 , 본 실시 형태 를 실현 하 는 것 도 가능 하 다 .