본 발명 의 케미컬 공급 장치 ( 100 ) 는 , 케미컬 을 공급 하 기 위해 상호 접속 되 는 케미컬 용 수 커넥터 ( 510 ) 와 케미컬 용 암 커넥터 ( 210 ) , 및 상기 케미컬 용 수 커넥터 ( 510 ) 가 상기 케미컬 용 암 커넥터 ( 210 ) 에 결합 되 는 경우 , 상기 케미컬 용 암 커넥터 ( 210 ) 의 중심 축선 ( C 1 ) 과 상기 케미컬 용 수 커넥터 ( 510 ) 의 중심 축선 ( C 2 ) 이 일치 되 도록 상기 케미컬 용 수 커넥터 ( 510 ) 의 외주 면 을 가이드 하 기 위한 커넥터 가이드 부 ( 800 , 900 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .