여기 에 개시 하 는 실시 형태 는 상이 한 금속 게이트 ( 예컨대 , 97 A , 97 B 및 97 C ) 가 상이 한 일함수 층 의 조합 을 갖 는 것 을 허용 한다 . 개시 하 는 습식 에칭 공정 은 고도 로 선택 적 이 라서 , 이 는 금속 게이트 내 의 다른 층 을 공격 하 지 않 고서 특정 일함수 층 을 제거 할 수 있 다 . 이 에 상이 한 금속 게이트 에서 일함수 층 에 대한 유연 한 선택 을 허용 하 여 , 상이 한 금속 게이트 마다 상이 한 임계 전압 및 성능 을 허용 한다 .