로드 락 모듈 ( 30 ) 은 반송 프레임 ( 140 ) 과 반송 유닛 ( 240 ) 사이 에 배치 된다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 공정 모듈 ( 20 ) 로 반입 되 는 기판 ( W ) 에 대해 인덱스 모듈 ( 10 ) 의 상압 분위기 를 공정 모듈 ( 20 ) 의 진공 분위기 로 치환 하 거나 , 인덱스 모듈 ( 10 ) 로 반출 되 는 기판 ( W ) 에 대해 공정 모듈 ( 20 ) 의 진공 분위기 를 인덱스 모듈 ( 10 ) 의 상압 분위기 로 치환 한다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 반송 유닛 ( 240 ) 과 반송 프레임 ( 140 ) 간 에 기판 ( W ) 이 반송 되 기 전 에 기판 ( W ) 이 머무르 는 공간 을 제공 한다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 로드 락 챔버 ( 32 ) 및 언로 드락 챔버 ( 34 ) 를 포함 한다 .