합성 예 1 ~ 4 및 비 교합 성예 1 ~ 3 에서 합성 되 고 , 화학식 1 a , 1 b , 1 c 및 2 로 표시 되 는 플 루 오로 실란 화합물 0 . 2 g 를 과 불소 부틸 에틸 에테르 ( 스미토모 - 3 M , 노 벡 크 HFE － 7200 　 C 4 F 9 OC 2 H 5 ) 99 . 8 g 에 용해 시켜 슬라이드 글라스 ( 2 . 6 × 7 . 6 × 0 . 1 cm ) 에 스핀 코팅 에서 도포 하 였 다 . 스핀 코팅 은 2 , 000 rpm 의 조건 에서 30 초 동안 실시 하 였 다 . 도포 한 후 20 ℃, 65 % RH 의 항온 항습 의 분위기 하 에서 24 시간 방치 하 여 경화 피막 을 형성 시켰 다 .