도 5 를 참조 하 면 , 본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 기판 을 수용 하 기 위한 장치 의 분 해도 가 도시 되 어 있 다 . 본 발명 의 제 2 실시 예 에서 , 기판 을 보유 하 기 위한 기기 는 레티 클 ( reticle ) 과 같 은 기판 ( 20 ) 을 보유 하 도록 설계 된다 . 기판 ( 20 ) 은 상부 표면 ( 21 ) , 하부 표면 ( 12 ) , 4 개 의 측벽 및 4 개 의 코너 를 가진다 . 본 발명 에 따른 기판 을 보유 하 기 위한 기기 는 베이스 ( 40 ) 및 커버 ( 10 ) 를 포함 한다 . 베이스 는 상부 표면 ( 41 ) , 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 43 ) , 및 상부 표면 ( 41 ) 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 43 ) 사이 에 배치 된 홈 ( 44 ) 을 가진다 . 홈 ( 44 ) 은 프레임 - 형 경로 를 따른다 . 상부 표면 ( 41 ) 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 43 ) 은 높이 가 상이 하 다 . 홈 ( 44 ) 은 상부 표면 ( 41 ) 에 근접 하 여 위치 된 측벽 ( 442 ) , 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 43 ) 에 근접 하 여 위치 된 측벽 ( 441 ) , 및 측벽 들 ( 441 , 442 ) 사이 에 배치 되 고 폭 을 갖 는 바닥 을 가진다 . 측벽 ( 442 ) 은 도 6 a 에 도시 된 것 처럼 측벽 ( 441 ) 보다 큰 높이 를 갖 는다 . 상향 프레임 - 형 지지 표면 ( 43 ) 은 베이스 ( 40 ) 의 주변 및 홈 ( 44 ) 사이 에 배치 되 고 넓 은 표면 을 형성 한다 .