[ 0051 ] 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 조합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따르 면 , 포지셔닝 어 레인지 먼 트 는 , 0 . 1 mm 내지 3 mm 의 정렬 범위 로 , 예컨대 , 수직 방향 으로 마스크 캐리어 에 대한 기판 캐리어 의 정렬 , 특히 비접 촉식 정렬 을 제공 하 도록 구성 될 수 있 다 . 또한 , 수직 방향 에서 의 정렬 정밀도 , 특히 비접 촉식 정렬 정밀도 는 50 μ m 또는 그 미만 , 예컨대 1 μ m 내지 10 μ m , 이를테면 , 5 μ m 일 수 있 다 . 또한 , 포지셔닝 어 레인지 먼 트 의 회전 정렬 정밀도 , 특히 , 비접 촉식 회전 정렬 정밀도 는 3 ° 또는 그 미만 일 수 있 다 .