상이 한 실시 예 들 의 설명 을 용이 하 게 하 기 위해 , 도 1 내지 도 3 은 데카르트 좌표계 x , y , z 를 포함 하 고 , x - y 평면 은 MEMS 센서 디바이스 ( = 제 1 또는 제 2 또는 제 3 전극 구 조체 ) 의 제 1 주 표면 영역 에 대응 하 고 , 즉 , 평행 하 고 , " 제 1 주 표면 영역 에 수직 인 방향 은 "" z "" 방향 에 대응 하 고 ", 즉 , z 방향 에 평행 하 다 . 이하 의 개시 내용 에서 , " "" 횡 방향 ( lateral ) "" 이 라는 용어 는 x 또는 y 방향 에 평행 한 방향 으로 이해 되 어야 하 고 "," "" 수직 ( vertical ) "" 이 라는 용어 는 z 방향 에 평행 한 방향 으로 이해 되 어야 한다 . "