하나 의 워드 라인 구조물 ( WS ) 에 대응 하 는 전하 저 장막 ( 130 k ) 을 이루 는 제 1 부분 ( 130 k 1 ) 과 제 2 부분 ( 130 k 2 ) 는 제 3 방향 ( Z 방향 ) 을 따라서 서로 이격 될 수 있 고 , 제 3 부분 ( 130 k 3 ) 은 제 1 부분 ( 130 k 1 ) 과 제 2 부분 ( 130 k 2 ) 사이 를 채울 수 있 다 . 제 1 부분 ( 130 k 1 ) 과 제 2 부분 ( 130 k 2 ) 은 각각 제 3 부분 ( 130 k 3 ) 의 상면 과 저면 에 접할 수 있 다 .