이때 , 상기 그리드 표면 에 형성 되 는 슬릿 의 개수 는 그리드 면적 및 이격 거리 에 따라 결정 하 는데 , 예 를 들 어 이온 빔 소스 의 홀 의 크기 를 φ 1 . 5 ~ φ 3 정도 의 크기 로 적용 하 면 , 그 에 따라 각 그리드 의 크기 도 결정 된다 . 또한 상기 이격 거리 는 그리드 가 파손 되 지 않 는 최소한 의 크기 로 결정 한다 .