본 제 4 실시 형태 의 노광 장치 ( 1000 ) 에서 는 , 도 45 에 도시 된 바 와 같이 , 조사 계 ( 90 a ) 및 수광 계 ( 90 b ) 로 이루어지 는 다점 AF 계 가 형성 되 어 있 다 . 여 기서 는 일례 로서 , 전술 한 헤드 유닛 ( 162 D ) 의 + Y 측 에 조사 계 ( 90 a ) 가 배치 되 고 , 이것 에 대치 되 는 상태 로 , 전술 한 헤드 유닛 ( 162 C ) 의 + Y 측 에 수광 계 ( 90 b ) 가 배치 되 어 있 다 . 조사 계 ( 90 a ) 와 수광 계 ( 90 b ) 는 , 기준 축 ( LV 0 ) 에 관하 여 대칭 의 배치 로 되 어 있 다 .