도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 ＬＶＨ 제조 방법 은 기존 ＬＶＨ 형성 과정 중 이미 형성 된 홀 에 레이 저광 을 조사 하 여 홀 내벽 에 붙 어 있 는 스미 어 ( Smear ) 를 제거 하 는 세정 단계 를 플 라즈 마 를 이용 하 여 처리 하 도록 한 것 이 고 , 다른 예 로 도 2 에서 와 같이 , 기존 ＬＶＨ 형성 과정 중 이미 형성 된 홀 에 레이 저광 을 조사 하 여 홀 내벽 에 붙 어 있 는 스미 어 를 제거 하 는 세정 단계 와 웨트 디 스미 어 단계 모두 를 플 라즈 마 를 이용 하 여 처리 하 도록 한 것 이 다 .