도 13 은 도 11 의 전기 화학 도금 모듈 을 개략 적 으로 도시 한 사시도 이 며 , 여기 에서 , 각각 의 카트리지 ( 320 ) 는 모듈 ( 300 ) 의 증착 챔버 내 로 부분 적 으로 삽입 되 어 있 다 . 각각 의 카트리지 ( 320 ) 는 CPS ( 200 ) , 교반 플레이트 ( 312 ) 및 카트리지 프레임 ( 321 ) 을 포함 하 고 , 이 실시 예 에서 가공물 의 평면 과 실질 적 으로 평행 한 평면 에서 CPS ( 200 ) 를 유지 하 기 위한 차폐물 홀더 로서 작용 하 며 , 증착 챔버 로 내로 의 삽입 및 증착 챔버 로부터 의 제거 동안 각각 의 가공물 홀더 와 의 평행 한 정렬 로 교반 플레이트 ( 312 ) 를 유지 한다 .