일 측 에 따르 면 , 상기 멤 브레인 은 상기 연마 패드 의 가장자리 쪽 에 대응 되 는 양측 단부 에 상기 연마 패드 를 향해 돌출 형성 되 는 단차 부 가 형성 될 수 있 다 . 상기 단차 부 는 상기 멤 브레인 과 상기 연마 패드 사이 의 간격 보다 낮 은 높이 를 가질 수 있 다 . 상기 단차 부 는 상기 멤 브레인 의 테두리 를 따라 연속 된 형태 로 형성 될 수 있 다 .