그러나 , 종래 기술 은 게이트 절 연막 ( 18 ) 형성 전 의 전세정 공정 ( 16 ) 시 소자 분리 막 ( 12 ) 내부 가 손상 된다 . 이 에 따라 , 하드 마스크 막 패턴 ( 14 ) 과 소자 분리 막 ( 12 ) 사이 에 언더컷 ( Undercut , 17 ) 이 생성 된다 . 언더컷 ( 17 ) 이 발생 되 면 제 2 트렌치 ( 15 B ) 의 입구 가 좁 아 지 기 때문 에 후속 금속 막 ( 19 ) 을 형성 할 때 , 심 ( Seam ) 이 발생 한다 .