특히 , 회전 테이블 과 기판 얼라 인 장치 가 분리 되 어 있 는 종래 의 회전 수단 의 경우 , 기판 이 로딩 되 고 기판 회전 이 완료 되 면 , 기판 얼라 인 장치 가 상승 하 여 기판 을 정렬 한 후 하강 완료 해야 만 로봇 의 핸드 ( hand ) 가 기판 을 언 로딩 하 기 위해 진입 하 게 되 므로 작업 시간 이 그만큼 길 어 지 게 된다 .