탑재 대 ( 31 ) 는 상하 방향 으로 향하 는 상면 및 저면 을 갖 는 대략 원주 형상 을 나타내 고 있 고 , 상측 의 저면 이 탑 재면 ( 36 d ) 으로 되 어 있 다 . 탑 재 대 ( 31 ) 의 탑 재면 ( 36 d ) 은 웨이퍼 ( W ) 보다 큰 사이즈 로 되 어 있 다 . 탑 재 대 ( 31 ) 는 기대 ( 33 ) 와 , 정전 척 ( 36 ) 을 포함 하 고 있 다 .