예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 은 상기 게이트 전극 들 중 에서 최상층 , 혹은 최상층 과 그 아래 적어도 1 개 의 층 에 형성 된 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 을 관통 할 수 있 으며 , 이 에 따라 이 에 포함 된 각 제 1 게이트 도전 패턴 ( 292 a ) 및 제 1 게이트 배리 어 패턴 ( 292 b ) 의 측벽 과 직접 접촉 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 1 게이트 전극 ( 292 ) 에 포함 된 제 1 게이트 도전 패턴 ( 292 a ) 및 제 1 게이트 배리 어 패턴 ( 292 b ) 은 각각 절연성 분리 패턴 ( 335 ) 을 둘러쌀 수 있 다 .