다음 에 , 웨이퍼 ( 11 ) 를 가공 하 기 위한 레이저 가공 장치 ( 2 ) 에 대해 설명 한다 . 도 1 은 , 레이저 가공 장치 ( 2 ) 의 사시도 이 다 . 레이저 가공 장치 ( 2 ) 는 , 각 구조 를 지지 하 는 직방체 형 의 베이스 ( 4 ) 를 구비 한다 . 베이스 ( 4 ) 의 상면 에 는 , Y 축 방향 이동 유닛 ( 10 ) 이 설치 되 어 있 다 .