도 1 을 참조 하 면 , 예시 적 인 실시 예 들 의 특징 들 을 포함 하 는 기판 처리 시스템 ( 100 ) 의 개념 적 인 상부 평면도 가 도시 된다 . 개시 되 는 실시 예 들 이 도면 에 도시 된 실시 예 들 을 참조 로 설명 될 것 이 지만 , 개시 되 는 실시 예 들 은 많 은 대체 가능 한 형태 로 구현 될 수 있 음 을 이해 해야 한다 . 또한 , 임의 의 적절 한 크기 , 모양 또는 종류 의 요소 들 또는 물질 들 이 사용 될 수 있 다 .