아울러 , 본 실시 형태 의 진공 성막 장치 ( 100 ) 에서 는 , 변환기 ( 54 ) 를 냉각 하 기 위한 냉각 유체 를 공급 하 는 냉각 용 배관 등 을 별도 로 설치 할 필요 가 없 으므로 , 장치 구성 을 복잡 하 게 하 지 않 고 , 회전식 기재 홀더 ( 6 a ) 에 내열성 이 낮 은 변환기 ( 54 ) 를 부착 할 수 있 다 . 이 에 따라 변환기 ( 54 ) 의 파손 이 방지 되 고 , 성막 중 에서 의 성막 관련 물리량 을 장기간 에 걸쳐 검출 할 수 있 다 .