이어서 , 드라이브 - 인 공정 을 실시 하 여 드리프트 영역 ( 7 ) 내 에 주입 된 불순물 이온 을 확산 시켜 고농도 의 소오 스 / 드레 인 영역 ( 15 ) 을 형성 한다 . 이때 , 소오 스 / 드레 인 영역 ( 15 ) 과 드리프트 영역 ( 7 ) 간 의 경계 면 에서 드리프트 영역 ( 7 ) 과 웰 ( 2 ) 간 의 경 계면 까지 의 거리 는 ' L 1 ' 으로 표시 하 기 로 한다 .