이 에 대해 삼성전자 관계자 는 “ 트리클로로에틸렌 은 과거 온양 사업장 에서 사용 한 바 있 지만 95 년 대체물 질 을 개발 한 이후 로 는 사용 하 지 않 고 있 고 , 디 메틸 아세트아미드 도 현재 사용 하 는 물질 이 아니 다 ” 라며 “ 트리클로로에틸렌 을 뺀 나머지 5 종 의 화학 물질 은 국내 기준 으로 는 발암 물질 이나 사용 금지 물질 이 아니 지만 , 글로벌 기준 으로 는 발암 물질 로 규정 하 는 경우 도 있 다 ” 고 밝혔 다 . 삼성 쪽 은 이어 “ 반도체 생산 현장 에 는 화학 물질 유출 을 원천 적 으로 차단 하 는 안전장치 가 2 중 , 3 중 으로 시설 돼 있 어 , 작업자 에게 노출 되 지 않 는다 ” 고 해명 했 다 .