이러 한 얼라 인부 ( 140 ) 는 후술 할 제 1 및 제 3 측방 밸브 들 ( 153 , 155 ) 의 개구 동작 에 따라 기판 ( 110 ) 의 양 측면 에 수직 한 방향 으로 공기 를 분사 하 여 부상 부 ( 120 ) 에 의한 기판 ( 110 ) 부상 시 기판 ( 110 ) 의 이탈 을 방지 함 과 아울러 , 후술 할 제 2 및 제 4 측방 밸브 들 ( 154 , 156 ) 의 개구 동작 에 따라 기판 ( 110 ) 의 양 측면 에 대해 소정 의 경사진 방향 으로 공기 를 분사 하 여 이 송부 ( 130 ) 에 의한 기판 ( 110 ) 이 송시 기판 ( 110 ) 의 이탈 을 방지 하 는 역할 을 한다 .