차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 가 한 개 의 슬릿 만 을 가지 는 때 에 충분 한 광량 을 얻 을 수 없 는 경우 에 는 , 도 10 에 도시 된 바 와 같 은 복수 의 측정 패턴 ( 210 ) 을 가지 는 측정 마스크 ( 20 A ) 와 도 11 에 도시 된 바 와 같 은 복수 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 를 포함 한 차광판 ( 320 ) 을 가지 는 측 정부 ( 30 B ) 를 사용 한다 . 이 에 의해 , 광량 센서 ( 340 ) 에 의해 수광 되 는 광량 을 증가 시킬 수 있 다 . 상술 한 바 와 같이 , 로컬 플레어 가 입사광 으로부터 충분히 떨어져 있 는 위치 , 예 를 들 면 , 입사광 으로부터 50 ㎛ 내지 100 ㎛ 이상 떨어져 있 는 위치 에 있 어서 는 , 로컬 플레어 는 무시 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 차광판 ( 320 ) 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 에 근접 한 개구부 이외 의 영향 은 무시 해도 된다 . 여기 서 , 도 10 은 측정 마스크 ( 20 A ) 를 도시 한 개략 상면 도 이 다 . 도 11 은 측정 부 ( 30 B ) 를 도시 한 개략 상면 도 이 다 .