도 7 을 참조 하 면 , 상기 제 1 희생 분리 구조물 들 ( 161 ) 의 상부 영역 을 식각 하 여 , 제 1 예비 분리 구조물 들 ( 162 ) 을 형성 하 고 , 상기 제 1 예비 분리 구조물 들 ( 162 ) 을 덮 는 캡 핑 분리 스 페이서 ( 152 ) 를 채울 수 있 다 . 상기 캡 핑 분리 스 페이서 ( 152 ) 는 측면 을 통해 상기 제 1 분리 스 페이서 ( 151 ) 와 접촉 할 수 있 다 . 상기 캡 핑 분리 스 페이서 ( 152 ) 는 실리콘 질화물 을 포함 할 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .