도 16 을 참조 하 면 , 상기 제 1 절 연막 패턴 ( 142 a ) 및 상기 예비 플로팅 게이트 전극 ( 104 a ) 상부 면 을 따라 제 3 절 연막 ( 148 ) 을 형성 한다 . 상기 제 3 절 연막 ( 148 ) 은 스텝 커 버러지 특성 이 양호 하 지 않 아서 , 상기 제 1 절 연막 패턴 ( 142 a ) 의 상부 면 위 로 만 박막 이 증착 되 며 , 상기 제 4 예비 소자 분리 막 패턴 ( 140 c ) 에 생성 된 보이드 ( 146 a ) 내부 에 는 박막 이 증착 되 지 않 는다 . 따라서 , 상기 제 3 절 연막 ( 148 ) 을 형성 함 으로써 , 상기 소자 분리 용 트렌치 내부 에 는 에어 터널 ( 114 ) 이 형성 된다 .