도 36 을 참조 하 면 , 일 실시 예 에 따른 쌍극자 정렬 장치 ( 1000 _ 6 ) 는 광 조사 장치 ( 500 _ 6 ) 가 일 방향 으로 이동하 는 제 2 이 동부 를 더 포함 하 고 , 광 조사 장치 ( 500 _ 6 ) 는 운송부 ( TA ) 에 배치 될 수 있 다 . 도 37 을 참조 하 면 , 일 실시 예 에 따른 쌍극자 정렬 장치 ( 1000 _ 7 ) 는 광 조사 장치 ( 500 _ 7 ) 가 일 방향 으로 이동하 는 제 2 이 동부 를 더 포함 하 고 , 광 조사 장치 ( 500 _ 7 ) 는 열처리 부 ( HA ) 에 배치 될 수 있 다 . 도 36 및 도 37 의 실시 예 는 광 조사 장치 ( 500 _ 6 , 500 _ 7 ) 가 각각 운송부 ( TA ) 와 열처리 부 ( HA ) 에 배치 된 점 에서 도 34 의 실시 예 와 차이 가 있 다 . 이하 , 중복 되 는 설명 은 생략 한다 .