또한 상기 예 에서 는 , X 방향 으로 주사 함 으로써 1 라인 의 프로파일 측정 을 행 하 였 지만 , Y 방향 의 1 라인 의 측정 이 어도 되 며 , 스테이지 장치 ( 4 ) 를 Y 방향 으로 위치 를 바꾸 면서 복수 의 높이 프로 파일 을 측정 하 여도 된다 . 또한 , X 방향 과 Y 방향 의 스캐너 의 동작 을 연동 시킴 으로써 , 경사 1 라인 의 측정 을 행하 여도 된다 .