레티 클 ( R ) 상 에 파티클 ( 8 ) 이 있 으면 , 레티 클 세정 모듈 ( 420 ) 는 레티 클 ( R ) 을 세정 한다 ( S 500 ) . 레티 클 ( R ) 은 습식 세정 방법 으로 세정 될 수 있 다 . 이후 , 레티 클 ( R ) 을 검사 하 는 단계 ( S 200 ) , 및 레티 클 ( R ) 상 에 파티클 ( 8 ) 이 없 는지 를 판별 하 는 단계 ( S 300 ) 는 반복 될 수 있 다 .