가분 모델 은 일반 적 으로 대부분 의 적용 들 에 대해 바람직 할 수 있 지만 , " 아래 에서 설명 되 는 본 발명 의 방법 과 연계 된 스루 - 공정 윈도우 ( through - process window ) "" PW "" 에어리얼 이미지 변동 들 의 설명 은 엄밀 한 모델 가분 성 을 필요 로 하 지 않 는다는 것 을 유의 한다 . 또한 ", 스루 - PW 변동 들 을 정확히 캡 처하 기 위해 일반 적 인 레지스 트 모델 을 적합 하 게 하 는 방법 들 이 본 발명 의 방법 과 관련 하 여 아래 에서 상세히 설명 된다 .