상기 지지대 ( 30 ) 는 상기 스테이지 ( 10 ) 상 에서 상기 기판 ( S ) 이 이동 하 는 영역 의 외곽 부 에 제공 될 수 있 으며 , 겐 트리 ( gantry ) 형태 로 이루어질 수 있 다 . 상기 지지대 ( 30 ) 는 상기 노광 헤드 ( 20 ) 가 상기 기판 ( S ) 상 에 위치 하 도록 , 상기 노광 헤드 ( 20 ) 를 지지 할 수 있 다 .