다양 한 실시 예 들 은 기판 을 세정 및 건조 시키 기 위한 장치 들 및 관련 된 방법 을 포함 한다 . 일 실시 예 에서 , 장치 는 , 기판 을 유지 하 고 다양 한 속력 들 로 회전 시키 기 위한 수직 기판 홀더 를 포함 한다 . 내측 차 폐부 및 외측 차 폐부 는 , 폐쇄 된 위치 에 있 을 때 , 장치 의 동작 동안 수직 기판 홀더 를 둘러싼다 . 차 폐부 들 각각 은 회전 속력 및 방향 중 적어도 하나 에서 다른 차 폐부 와 독립 적 으로 동작 할 수 있 다 . 전면 측 및 후면 측 분무 제트 는 , 기판 의 양측 들 및 기판 의 가장자리 들 상 에 실질 적 으로 동시 에 적어도 하나 의 유체 를 분무 하 도록 배열 된다 . 가스 유동 은 , 차 폐부 들 및 기판 의 높 은 회전 속력 과 조합 되 어 , 기판 을 건조 시키 는 것 을 보조 한다 . 과량 의 유체 를 제거 하 기 위해 적어도 하나 의 터빈 디스크 가 차 폐부 들 중 적어도 하나 에 근접 하 게 결합 된다 . 부가 적 인 장치 들 및 장치 들 을 형성 하 는 방법 들 이 개시 된다 .