이제 , 도 15 를 참조 하 면 , 다른 예시 적 인 SCARA 타입 의 이송 장치 ( 1400 ') 이 도시 된다 . 본 예시 적 인 실시 예 는 상기 SCARA 타입 의 이송 장치 ( 1400 ) 와 실질 적 으로 유사 하 지만 , 이송 장치 ( 1400 ) 에 대해 위 에서 설명 된 바 와 같이 , 자석 들 이 엘보 우 에서 포어 암 상 에 위치 하 지 않 는다 . 오히려 , 자석 들 ( 1403 B ') 은 포어 암 구동 부재 ( 1501 ) 의 원위 단부 상 에 위치 할 수 있 다 . 포어 암 구동 부재 ( 1501 ) 는 상부 암 ( 1402 ') 이 장착 되 는 방식 과 실질 적 으로 동일 한 방식 으로 숄더 ( 1401 ') 주위 에 회전 가능 하 게 장착 될 수 있 으며 , 상기 숄더 ( 1401 ') 는 본 예 에서 챔버 ( 120 ) 의 중앙 과 일치 할 수 있 다 . 상부 암 ( 1402 ') 은 상부 암 ( 1402 ) 에 대해 위 에서 설명 된 방식 과 실질 적 으로 동일 한 방식 으로 장착 될 수 있 다 . 또한 , 예컨대 , 포어 암 구동 부재 ( 1501 ) 가 회전 할 때 숄더 풀리 ( 1504 ) 가 포어 암 구동 부재 ( 1501 ) 와 함께 회전 하 도록 , 숄더 풀리 ( 1504 ) 는 숄더 ( 1401 ') 에 장착 될 수 있 으며 포어 암 구동 부재 ( 1501 ) 에 고정 적 으로 연결 될 수 있 다 . 엘보 우 풀리 ( 1505 ) 는 포어 암 ( 1405 ') 의 회전축 을 중심 으로 엘보 우 조인트 ( 1404 ') 에 장착 될 수 있 다 . 예컨대 , 엘보 우 풀리 ( 1505 ) 가 회전 할 때 , 포어 암 ( 1405 ') 이 엘보 우 풀리 ( 1505 ) 와 함께 회전 하 도록 , 엘보 우 풀리 ( 1505 ) 는 포어 암 ( 1405 ') 에 고정 적 으로 장착 될 수 있 다 . 엘보 우 풀리 ( 1505 ) 는 예컨대 구동 벨트 , 밴드 ( 들 ) 또는 체인 ( 1410 ) 에 의해 숄더 풀리 ( 1504 ) 에 구동 가능 하 게 연결 될 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 임의 의 적절 한 구동 장치 가 사용 될 수 있 다 . 숄더 풀리 ( 1504 ) , 엘보 우 풀리 ( 1505 ) 및 벨트 ( 1410 ) 는 상부 암 ( 1402 ') 및 포어 암 ( 1405 ') 내 에 포함 될 수 있 으며 , 그 에 따라 발생 할 수 도 있 는 임의 의 입자 들 이 챔버 ( 120 ) 안 으로 누출 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 숄더 풀리 , 엘보 우 풀리 및 벨트 는 임의 의 적절 한 위치 에서 장착 될 수 있 다 . 다른 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 포어 암 ( 1405 ') 및 / 또는 엔드 이펙터 ( 210 C ) 는 상술 된 바 와 같이 풀리 시스템 을 통해 상부 암 ( 1402 ') 에 종속 적 일 수 있 다 .