마지막 으로 , 위 와 같 은 단계 를 거친 후 에 는 상기 상부 기판 ( 6 ) 을 통하 여 격벽 ( 4 ) 의 상면 에 있 는 솔 더 ( 5 ) 에 레이저 를 조사 함 으로써 상기 상부 기판 ( 6 ) 과 격벽 ( 4 ) 을 합착 시키 는 단계 를 거친다 . 도 7 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 , 격벽 ( 4 ) 의 상면 에 있 는 솔 더 ( 5 ) 에 레이저 를 조사 하 는 상태 를 나타내 는 단면도 가 도시 되 어 있 다 .