할로겐화 실란 또는 할로겐화 게르만 의 촉매 수소 화 방법 으로서 , 할로겐화 모노 실란 , 올리 고 실란 또는 폴리 실란 또는 대응 하 는 게르만 이 수소 화 된 루이스산 - 염기쌍 에 의해 수소 화 또는 부분 적 으로 수소 화 되 고 , 부분 적 으로 수소 화 된 루이스산 - 염기쌍 은 할로겐화 수소 및 특히 수소 의 후속 첨가 및 루이스산 - 염기쌍 에서 의 헤테로 라 이시스 에 의해 다시 수소 화 된다 .