척 ( 220 ) 은 처리 실 ( 120 ) 내 에 위치 되 며 원판 형상 으로 제공 된다 . 척 ( 220 ) 은 지지 축 ( 240 ) 에 의해 지지 된다 . 척 ( 220 ) 의 내부 에 는 전극 ( electrode , 미 도시 ) 이 구비 된다 . 전극 은 외부 에서 인가 된 전원 ( sources of electricity , 미 도시 ) 에 의해 정전기력 을 발생 시켜 기판 ( W ) 을 척 ( 220 ) 에 흡착 시킨다 . 선택 적 으로 , 척 ( 220 ) 의 내부 에 는 히터 ( heater , 미 도시 ) 및 쿨링 ( cooling ) 부재 ( 미 도시 ) 가 제공 될 수 있 다 . 히터 는 열 을 발생 하 여 , 공정 처리 에 제공 되 는 기판 ( W ) 을 소정 온도 까지 가열 한다 . 그리고 , 쿨링 부재 는 공정 처리 가 완료 된 기판 ( W ) 을 소정 온도 로 강제 냉각 시킨다 .