본 발명 의 일 측면 에 따른 광 모듈 에서 는 , 구동 용 코일 및 온도 모니터 용 소자 는 , 동일 평면 을 따르 도록 배치 되 어 있 어도 된다 . 이것 에 의하 면 , 지지 부 , 가동 부 , 미러 , 구동 용 코일 및 온도 모니터 용 소자 를 반도체 제조 프로세스 로 제조 하 는 경우 에 , 구동 용 코일 및 온도 모니터 용 소자 를 용이 하 게 형성 할 수 있 다 .