하나 이상 의 S - D 프로시저 는 S - D 데이터 교환 및 핸드 세이 킹 을 위해 양방향 통신 을 가능 하 게 하 는데 이용 될 수 있 다 . S - D 프로시저 는 현재 상태 및 구성 에 대 해 서브시스템 , 컨트롤러 및 / 또는 S - D 프로시저 에 질의 할 수 있 다 . S - D 프로시저 는 각 디바이스 마다 고유 파라미터 를 구별 하 고 그 정보 를 각 디바이스 에 분배 함 으로써 서브시스템 내 의 복수 의 디바이스 와 통신 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 예컨대 , S - D 파라미터 는 컨트롤러 , 처리 툴 , 계측 툴 , OES 툴 , RF 센서 , 카메라 , 광학 센서 , CCD , 종단 점 검출기 , 온도 센서 및 깊이 센서 에 송신 될 수 있 다 .