도 1 은 , 하나 의 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 방법 의 흐름 도 이 다 . 도 1 에 나타내 는 플 라즈 마 처리 방법 ( 이하 , " "" 방법 MT "" 라고 함 ) 은 ", 기판 에 대하 여 적용 된다 . 방법 MT 의 플 라즈 마 처리 는 , 예 를 들 면 기판 에 대한 플 라즈 마 에칭 이 다 . 방법 MT 는 , 공정 ST 1 및 공정 ST 2 를 포함 한다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 방법 MT 는 , 공정 STb 를 더 포함 하 고 있 어도 된다 .