도 1 은 제 1 실시 형태 의 트윈 스테이지 형 의 노광 장치 ( 100 ) 의 구성 을 개략 적 으로 도시 한다 . 노광 장치 ( 100 ) 는 , 스텝 - 앤드 - 스캔 방식 의 투영 노광 장치 , 또는 소위 스캐너 이 다 . 후술 하 는 바 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 투영 광학계 ( PL ) 와 얼라인먼트 계 ( ALG ) 가 설치 되 어 있 고 , 이하 의 설명 에서 는 , 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) 과 평행 한 방향 을 Z 축 방향 으로 기술 하 고 , 이 Z 축 방향 에 직교 하 는 면 내 에서 투영 광학계 ( PL ) 의 중심 ( 광축 ( AX ) ) 과 얼라인먼트 계 ( ALG ) 의 검출 중심 ( 광축 ( AXp ) ) 을 연결 하 는 직선 과 평행 한 방향 을 Y 축 방향 으로 기술 하 며 , Z 축 및 Y 축 에 직교 하 는 방향 을 X 축 방향 으로 기술 하 고 , X 축 , Y 축 , 및 Z 축 주위 로 의 회전 ( 경사 ) 방향 을 각각 θ x 방향 , θ y 방향 , 및 θ z 방향 으로 기술 할 것 이 다 .