도 6 a 내지 도 6 c 는 본 발명 의 일 구 현예 에 따른 인터페이스 패드 의 단면도 들 이 다 . 단면 의 인터페이스 패드 ( 600 ) 는 지지 구 조체 들 ( 604 ) 을 구비 한 통로 보유 층 ( 602 ) 을 포함 한다 . 단면 의 인터페이스 패드 ( 600 ) 는 또한 연마 용품 지지 면 ( 606 ) 을 포함 한다 . 통로 보유 층 ( 602 ) 은 직선형 통로 들 ( 608 ) 과 분지 형 통로 들 ( 610 ) 을 포함 한다 . 연마 용품 지지 면 ( 606 ) 은 통로 들 ( 608 및 610 ) 과 유체 소통 을 이루 는 개구 들 ( 612 ) 을 포함 한다 . 단면 의 인터페이스 패드 ( 600 ) 는 또한 중앙 홀 ( 614 ) 을 포함 한다 .