또한 도전 층 ( 112 ) 등 으로서 상기 산화물 도전체 ( 금속 산화물 ) 를 포함 한 도전 막 과 , 금속 또는 합금 을 포함 한 도전 막 의 적층 구조 로 하 여도 좋 다 . 금속 또는 합금 을 포함 한 도전 막 을 사용 함 으로써 , 배선 저항 을 작 게 할 수 있 다 . 이때 게이트 절 연막 으로서 기능 하 는 절연 층 과 접하 는 측 에 는 산화물 도전체 를 포함 한 도전 막 을 적용 하 는 것 이 바람직 하 다 .