상기 실시 형태 의 기판 ( 2 ) 은 실리콘 웨이퍼 ( 21 ) , 실리콘 산화 막 ( 22 ) 및 실리콘 질화 막 ( 23 ) 을 포함 하 지만 , 기판 ( 2 ) 의 구성 은 특별히 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 기판 ( 2 ) 은 실리콘 웨이퍼 ( 21 ) 대신 에 탄화규소 기판 , 산화 갈륨 기판 , 질화 갈륨 기판 , 사파이어 기판 또는 글라스 기판 등 을 포함 해도 된다 .