공칭 조건 레지스 트 모델 뿐 만 아니 라 연계 된 필터 의 계수 들 은 , USP App . No . 60 / 719 , 837 에서 설명 된 방법 의 확장 으로서 , 패턴 변동 들 및 공정 윈도우 변동 들 을 포함 하 는 캘 리브레 이 션 테스트 패턴 들 및 웨이퍼 게이지 데이터 에 기초 하 여 단일 화 된 모델 캘 리브레 이 션 절차 로부터 결정 될 수 있 다 .