도 1 을 참조 하 면 , 장치 는 기본 적 으로 고전 류 / 저전압 의 전력 을 이용 하 여 플 라즈 마 연소 를 시키 는 플 라즈 마 발생 부 ( 11 ) , 플라 즈 마 연소 에 의해 입력 된 출발 원료 가 기화 가 되 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 12 ) , 반응 하 여 합성 된 나노 입자 중 에서 일차 로 모여 지 는 사이클론 ( 21 ) , 이 차 적 으로 좀 더 작 은 나노 입자 가 걸러 지 는 필터 ( 22 ) 부 , 그리고 최종 적 으로 진공 중 에서 합성 된 최종 의 나노 입자 를 수거 하 는 글러브 박스 ( 30 ) 로 구분 된다 . 그 외 각 주요 부분 들 을 잇 는 배관 파이프 ( 40 ) 가 연결 되 어 기화 로부터 고상 의 나노 입자 가 플 라즈 마 발생 장치 ( 12 ) 로 주입 된 플 라즈 마 개스 ( Ar ) 또는 추가 로 첨가 되 는 각종 개스 ( 산소 , 질소 또는 수소 , 등 ) 의 흐름 에 따라 최종 수거 가 된다 .