일반 적 으로 , 상기 식각 저 지막 ( 7 ) 은 상기 상 / 하부 절 연막 들 ( 9 , 3 ) 에 대하 여 식각 선택 비 를 갖 는 절 연막 으로 형성 한다 . 예 를 들 면 , 상기 상 / 하부 절 연막 들 ( 9 , 3 ) 은 실리콘 산화 막 으로 형성 할 수 있 고 , 상기 식각 저 지막 ( 7 ) 은 실리콘 산질 화 막 또는 실리콘 질화 막 으로 형성 할 수 있 다 .