본 명세서 에 설명 된 실시 예 에 따르 면 , 집 적 회로 는 반도체 본체 에 형성 된 증폭기 소자 와 집 적 회로 의 라인 금속 배선 의 후단 에 통합 된 고조파 필터링 구조 를 포함 한다 . 증폭기 소자 는 기본 주파수 ( F 0 ) 로 작동 한다 . 라인 금속 배선 의 후단 은 기본 주파수 ( F 0 ) 에 동조 되 는 비 선형 임피던스 응답 을 제공 하 는 방식 으로 구성 된다 . 하나 의 특정 실시 예 에 따르 면 , 라인 금속 배선 의 후단 은 기본 주파수 ( F 0 ) 의 2 차 고조파 ( 2 F 0 ) 에 저 임피던스 를 제공 하 고 기본 주파수 ( F 0 ) 의 3 차 고조파 ( 3 F 0 ) 에 고 임피던스 를 제공 하 도록 구성 된다 .