다음 에 도 5 c 의 공정 에서 상기 도 4 의 스텝 S 13 에 대응 하 여 , 상기 도 5 b 의 구조 에 대하 여 산소 를 포함 하 는 압력 이 0 . 1 MPa 의 Ar 분위기 중 650 ℃ 이하 의 온도 에서 급속 열처리 를 행하 여 , 상기 강유전체 막 ( 15 ) 의 산소 결손 을 보상 하 고 , 또한 계속 해서 산소 분위기 중 750 ℃ 에서 의 급속 열처리 를 행함 으로써 , 상기 강유전체 막 ( 15 ) 을 결정 화 시킨다 . 또한 , 이러 한 급속 열처리 에 의해 상기 하부 전극 ( 14 ) 을 구성 하 는 Pt 막 이 치밀 화 ( 緻密 化 ) 하 여 , 상기 하부 전극 ( 14 ) 과 강유전체 막 ( 15 ) 사이 에서 의 Pt 와 산소 의 상호 확산 이 억제 된다 .