비정질 실리콘 막 을 형성 하 는 단계 ( S 20 ) 에서 , 공정 가스 는 실리콘 과 수소 의 화합물 인 실란 ( silane ) 계열 의 가스 를 포함 할 수 있 다 . 실란 계열 의 가스 는 SixHy 계열 의 모노 , 다 이 , 트리 실란 가스 를 포함 할 수 있 다 . 부가 적 으로 , 공정 가스 는 실란 계열 의 가스 외 에 불활성 가스 를 더 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 불활성 가스 는 헬륨 ( He ) , 네온 ( Ne ) , 및 아르곤 ( Ar ) 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 의 가스 를 포함 할 수 있 다 . 이러 한 불활성 가스 는 이온 또는 전자 를 공급 하 여 제 2 플 라즈 마 생 성 에 기여 할 뿐 , 반응 가스 로 기여 하 지 는 않 는다 .