구체 적 으로 이 기판 척 ( 10 ) 은 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 회전 플레이트 ( 12 ) 와 지지 핀 ( 14 ) 으로 구성 된다 . 먼저 회전 플레이트 ( 12 ) 는 상기 회전 축 ( 20 ) 과 결합 되 어 회전 축 ( 20 ) 과 함께 회전 하 며 , 다 수개 의 핀 설치 홈 ( 16 ) 을 가진다 . 그리고 지지 핀 ( 14 ) 은 상기 회전 플레이트 ( 12 ) 에 대하 여 대략 수직 한 방향 으로 상기 핀 설치 홈 ( 16 ) 에 탈착 가능 하 게 결합 되 며 , 상기 기판 ( S ) 을 지지 한다 .