시너 공급원 ( 15 ) 및 배기 장치 ( 20 ) 은 제 어부 ( 25 ) 에 전기 적 으로 접속 되 고 있 고 제 어부 ( 25 ) 는 시너 공급원 ( 15 ) 로부터 의 기화 된 시너 의 유량 및 배기 장치 ( 20 ) 에 의한 흡인 량 을 제어 하 고 시너 토출구 ( 11 ) 로부터 의 시너 의 토출 및 흡 인구 ( 12 ) 에 의한 흡인 을 조절 하 고 이 들 의 밸런스 에 의해 유리 기판 ( G ) 의 부상 량 , 즉 기준면 ( 10 a ) 와 유리 기판 ( G ) 의 표면 의 거리 를 예 를 들 면 50 ~ 1 OO μ m 정도 의 매우 작 은 차이 거리 로 제어 가능 하 게 되 어 있 다 . 이 경우 에 , 기준면 ( 10 a ) 와 유리 기판 ( G ) 의 표면 의 거리 는 시너 토출구 ( 11 ) 과 유리 기판 ( G ) 의 표면 의 거리 에 상당 한다 .