이상 설명 한 바 와 같이 , 본 실시 형태 에 의하 면 , 인코더 시스템 ( 70 ) 이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 에 형성 된 복수 의 헤드 ( 60 A ∼ 60 D ) 각각 과 대향 하 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 스테이지 본체 ( 91 ) 에 일단 부 가 형성 되 고 또한 그 일단 부 에서 광축 이 XY 평면 에 직교 하 는 방향 ( Z 축 방향 ) 과 실질 적 으로 평행 해 지 는 광 파이버 ( 24 , 26 ) 를 갖 고 있 다 . 그리고 , 헤드 ( 60 A ∼ 60 D ) 의 각각 , 보다 정확 하 게 는 , 헤드 ( 60 A ∼ 60 D ) 가 그 내부 에 구비 하 는 광 파이버 ( 62 a , 62 b ) 와 , 광 파이버 ( 24 , 26 ) 의 일단 부 사이 에서 레이저 광 ( LB ) , 빔 ( LB 1 , LB 2 ) 의 1 차 회절 빔 의 공중 전송 이 실시 된다 . 이 때문 에 , 스테이지 본체 ( 91 ) 가 XY 평면 을 따라 ( 스테이지 베이스 ( 12 ) 의 상면 을 따라 ) 이동 함 과 함께 , 웨이퍼 의 포커스 · 레벨 링 제어 를 위해 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 이 XY 평면 에 직교 하 는 Z 축 방향 , θ x 방향 , 및 θ y 방향 의 적어도 일 방향 으로 미동 해도 , 헤드 ( 60 A ∼ 60 D ) 의 각각 은 , 광 파이버 ( 24 , 26 ) 의 단부 에 있 어서 의 광축 을 따른 방향 ( Z 축 방향 ) 에 관해서 미동 할 뿐 이 므로 , 각 헤드 와 광 파이버 ( 24 , 26 ) 의 일단 부 사이 에서 레이저 광 ( LB ) , 빔 ( LB 1 , LB 2 ) 의 1 차 회절 빔 의 공중 전송 을 지장 없이 실시 할 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 미동 영향 을 받 지 않 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 를 양호 한 정밀도 로 계측 할 수 있 다 .