컨트롤 게이트 막 ( 116 ) 상 에 형성 되 는 제 2 마스크 막 패턴 ( 118 a ) 은 제 2 방향 으로 연장 한다 . 그리고 제 2 마스크 막 패턴 ( 118 a ) 들 은 제 1 방향 으로 서로 이격 한다 . 제 2 마스크 막 패턴 ( 118 a ) 은 컨트롤 게이트 막 ( 116 ) , 유전 막 ( 114 ) , 예비 제 1 도 전막 패턴 ( 106 a ) 및 예비 플로팅 게이트 ( 104 a ) 들 에 대하 여 식각 선택 비들 을 갖 는 물질 을 포함 할 수 있 다 .