캐리어 블록 ( 4 ) 은 , 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 내 에 의 웨이퍼 ( W ) 의 도입 및 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 내 로부터 의 웨이퍼 ( W ) 의 도출 을 행한다 . 예컨대 캐리어 블록 ( 4 ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 용 의 복수 의 캐리어 ( C ) 를 지지 가능 하 고 , 전달 아암 을 포함 하 는 반송 장치 ( A 1 ) 를 내장 하 고 있 다 . 캐리어 ( C ) 는 , 예컨대 원형 의 복수 매 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한다 . 반송 장치 ( A 1 ) 는 , 캐리어 ( C ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 취 출하 여 처리 블록 ( 5 ) 에 건네 주 고 , 처리 블록 ( 5 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 하 여 캐리어 ( C ) 내 로 복귀 시킨다 . 처리 블록 ( 5 ) 은 , 복수 의 처리 모듈 ( 11 , 12 , 13 , 14 ) 을 갖 는다 .