유리 기판 에 대한 평탄 화 처리 는 , 처리 전력 200 W ( 13 . 56 MHz ) , 압력 0 . 6 Pa , 가스 유량 ( 아르곤 : 50 sccm ) 으로 하 고 , 기판 에 500 V 의 바이어스 전압 을 인가 시켜 행했 다 . 평탄 화 처리 전후 에 있 어서 의 유리 기판 표면 의 AFM 상 을 도 29 , 유리 기판 에 포함 되 는 Ce 농도 및 유리 기판 표면 의 최대 고저 차 ( P - V ) 에 관해서 도 30 에 나타낸다 . 또한 , 본 실시 예 에서 는 , AFM 의 측정 범위 를 1 ㎛ × 1 ㎛ 로 행했 다 .