하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 각 웨이퍼 마다 웨이퍼 상태 데이터 를 결정 하 고 그 웨이퍼 데이터 및 / 또는 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 결정 하 도록 구성 될 수 있 다 . 제 1 미 검증 S - D 프로시저 는 하나 이상 의 서브시스템 ( 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 를 이용 하 여 수행 될 수 있 다 .