모듈 간 이동 공정 + 노치 회피 공정 ( 단계 S 50 ) 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 포크 ( 3 A ) 에 유지 한 상태 에서 , 반송 아암 ( A 3 ) 을 앞 의 처리 모듈 에서 다음 처리 모듈 로 이동 시킨다 . 그 때 , 절 결부 ( WN ) 가 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 에 검출 되 지 않 도록 , 포크 ( 3 A ) 를 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 에 대하 여 상대 이동 시킨다 . 그리고 , 모듈 간 이동 공정 + 노치 회피 공정 ( 단계 S 50 ) 후 , 재차 검출 공정 ( 단계 S 51 ) 부터 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 53 ) 을 행한다 . 재차 검출 공정 ( 단계 S 51 ) , 재차 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 52 ) 및 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 53 ) 은 , 검출 공정 ( 단계 S 43 ) , 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 44 ) 및 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 46 ) 의 각각 과 같 은 식 으로 행할 수 있 다 .