특히 , 기판 ( S ) 으로 1 변이 1500 mm 를 넘 는 대형 기판 이 채용 되 는 경우 는 로드 락 챔버 ( 10 ) 의 크기 도 증가 하나 , 로드 락 챔버 ( 10 ) 는 리 드레스 구조 를 실현 하 고 있 으므로 , 대형 의 덮개 와 O 링 사이 에서 의 마찰 량 이 현저 하 게 증가 하 는 종래 구조 에서 의 문제점 을 해결 할 수 있 다 .