통상 , 이러 한 흡착 반송 장치 의 흡착 패드 에 접속 된 유로 에 는 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 이나 특허 문헌 2 에 개시 되 어 있 는 바 와 같 은 필터 장치 가 설치 되 어 있 다 . 이 필터 장치 는 진공 압 공급 시 ( 부압 공급 시 ) 및 진공 파괴 시 ( 정압 공급 시 ) 에 , 그 유로 를 흐르 는 기체 ( 공기 ) 에 혼입 한 진애 등 의 이물 을 제거 하 는 것 이 다 . 이러 한 필터 장치 를 설치 함 으로써 , 부압 공급 시 에 는 흡착 패드 로부터 흡인 된 공기 에 혼입 된 이물 이 부압 원 에 침입 하 는 것 을 방지 하 고 , 상기 부압 원 이 그 이물 로 손상 되 어 버리 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 반대 로 , 정압 공급 시 에 는 정압 원 으로부터 의 공기 에 혼입 된 이물 이 흡착 패드 로부터 방출 되 는 것 을 방지 하 여 워크 및 그 주위 가 방출 된 이물 로 오염 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .