다음 으로 , 도 45 에서 , 포토레지스트 ( 예컨대 , 86 , 88 ) 가 제거 된다 . 글루 층 ( 87 ) 이 게이트 트렌치 ( 69 ) 에 등각 으로 형성 된다 . 다음 으로 , 전기 전도성 재료 ( 93 ) 가 형성 되 어 게이트 트렌치 ( 69 ) 의 잔류 부분 을 충전 한다 . 게이트 트렌치 ( 69 A , 69 B , 및 69 C ) 내 의 다양 한 층 이 각각 금속 게이트 ( 97 A , 97 B , 및 97 C ) 를 형성 한다 .