이제 더 상세히 챔버 안 으로 유동 하 는 가스 를 고려 하 면 , 일산 화 탄소 가스 ( 이후 간단히 CO 로 부름 ) 의 주 에칭 제 는 전이 금속 및 전이 금속 화합물 과 의 특정 반응 을 위해 선택 된다 . 즉 , 주 에칭 제 로 CO 를 사용 하 는 주요 이점 은 , 휘발 성 이 거나 또는 비교 적 낮 은 비등점 을 갖 는 금속 카르보닐 을 형성 하 도록 대부분 의 전이 금속 및 전이 금속 화합물 과 반응 한다는 것 이 다 . 이것 은 본 발명 의 중요 한 양상 인데 , 이 는 휘발 성 부산물 이 에칭 중 쉽 고 빠르 게 제거 될 수 있 고 , 이 는 다시 매우 낮 은 결합 레벨 을 생성 하 기 때문 이 다 .