먼저 , 선행 공정 으로부터 제 4 트랜스퍼 ( 814 ) 로 기판 이 전달 된다 . 제 4 트랜스퍼 ( 814 ) 는 제 1 트랜스퍼 ( 811 ) 로 기판 을 전달 한다 . 제 1 트랜스퍼 ( 811 ) 는 제 1 노광 장치 ( 181 ) 로 기판 을 반입 한다 . 이 에 따라 , 제 1 노광 장치 ( 181 ) 에서 기판 에 대해 노광 처리 가 수행 된다 .