반도체 장치 의 성능 을 향상 시키 기 위해서 스트레스 엔진 니어링 ( stress engineering ) 기술 이 사용 되 고 있 다 . 예 를 들 면 , 반도체 소자 가 형성 된 반도체 기판 상 에 물리 적 응력 을 가할 수 있 는 스트레스 라이너 막 을 형성 하 여 상기 반도체 소자 를 덮 는다 . 상기 스트레스 라이너 막 은 실리콘 질화 막 일 수 있 다 . 상기 스트레스 라이너 막 이 가하 는 응력 ( stress ) 으로 인하 여 , 상기 반도체 소자 등 의 변형 을 억제 하 거나 상기 반도체 소자 의 특성 을 향상 시킬 수 있 다 .