도 3 을 참조 하 면 , 십자 형상 ( 도 1 의 100 ) 으로 설계 된 콘 택 홀 패턴 의 레이아웃 은 , 교차 하 는 두 개 의 긴 사각형 들 ( 211 , 213 ) 들 로 프 랙 처 분할 ( fracturing ) 할 수 있 다 . 일 방향 으로 긴 장방형 의 제 4 사각형 ( 211 ) 과 제 4 사각형 ( 211 ) 에 교차 되 게 배치 되 고 일 방향 에 대해 수직 으로 교차 하 는 긴 장방형 의 제 5 사각형 ( 213 ) 으로 구성 되 는 프래 처 분할 레이아웃 ( 203 ) 을 얻 을 수 있 다 . 제 4 사각형 ( 211 ) 및 제 5 사각형 들 ( 213 ) 의 다각형 폴리곤 들 로 구성 된 프 랙 처 분할 레이아웃 ( 203 ) 을 이용 하 여 , 도 4 에 제시 된 바 와 같이 전자 빔 노광 을 수행 한다 . 제 4 사각형 ( 211 ) 의 형상 을 가지 게 빔 형상 을 조절 하 여 제 1 노광 하 고 , 이 에 교차 되 는 제 5 사각형 ( 213 ) 의 형상 을 가지 게 빔 형상 을 조절 하 여 제 2 노광 한다 . 이때 , 제 1 노광 과 제 2 노광 은 제 4 또는 제 5 사각형 ( 211 , 213 ) 의 중간 가운데 부분 에 중첩 되 어 중첩 노광 되게 된다 . 이러 한 중첩 전자 빔 노광 을 수행 할 경우 , 십자 형상 ( 100 ) 을 노광 하 는 노광 스텝 을 하나 더 줄여 2 스텝 으로 진행 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 전자 빔 노광 에 소요 되 는 시간 을 더욱 크 게 줄일 수 있 다 .