이 에 본 발명 은 상기 문제점 을 개선 하 기 위하 여 안출 된 것 으로서 , 홀더 가 장착 되 는 배치 형 반도체 제조 장치 의 보트 에 있 어서 , 제조 가 간단 한 홀더 및 이 를 포함 하 면서 도 컴팩트 한 피치 간격 이 확보 된 배 치식 보트 를 통해 기판 처리 능력 이 향상 되 면서 도 제작 이 간단 한 반도체 공정 공법 및 그 제조 장치 를 제공 함 에 그 목적 이 있 는 것 이 다 .