도시 의 구성 예 에서 는 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 가 상기 와 같 은 변형 된 6 각 형 의 평면 형상 을 가지 고 , 또한 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 가 상기 와 같 은 변형 된 8 각 형 의 평면 형상 을 가짐 으로써 , 장치 전체 의 풋 프린트 의 축소 화 가 도모 되 고 있 다 . 또 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 변 ( 27 b ) 에 접속 되 는 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 변 ( 30 b ) 에 접속 되 는 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 에 인간 이 이동 하 기 에 충분 한 ( 610 mm 이상 의 ) 이간 거리 도 확보 할 수 있 다 .