본 개시 의 일 양태 는 , 기판 이 배치 된 기판 유지 구 를 처리 용기 에 수용 하 여 기판 상 에 성막 하 는 기판 처리 장치 에 있 어서 , 성막 한 막 두께 를 측정 하 는 막 두께계 ( 計 ) 와 , 기판 상 의 막 두께 를 측정 하 는 복수 의 측정 점 과 , 상기 막 두께계 로부터 출력 되 는 측정 결과 와 , 상기 측정 결과 로부터 막 두께 의 변동 을 해석 하 는 상태 해석 부 와 , 상기 상태 해석 부 의 해석 결과 에 기초 하 여 , 근접 하 는 다른 측 정점 과 의 차 가 미리 정해진 조건 을 일탈 하 는 측 정점 을 특이점 으로서 검출 하 는 특이점 검 출부 와 , 상기 특이점 의 측정 결과 와 , 상기 특이점 과 근접 하 는 다른 측 정점 의 측정 결과 와 의 차 가 미리 정해진 조건 내 에 있 도록 상기 특이점 의 측정 결과 를 보정 하 는 특이점 보 정부 를 갖 는다 .