본 실시 예 에 있 어서 는 , 탄소 원 으로서 , 글리세린 을 이용 한다 . 실제 의 전자 조사 처리 에서 는 , 전자 의 가속 전압 을 1 kV 로부터 서서히 증가 시켜서 최종 적 으로 는 6 kV 까지 증가 시키 고 , 20 시간 그 레벨 을 유지 한다 . 전자 방출 량 은 , 20 μ A 로 설정 했 고 , 빔 지름 은 , 150 ㎛ 로 설정 했 다 . 도 6 은 전자 조사 프로파일 ( 가속 전압 과 시간 과 의 관계 ) 을 나타낸다 . 이 전자 조사 를 스 페이서 ( 2302 ) 의 양면 에 대해서 실시 해 , 탄소막 을 양면 에 각각 퇴적 시켰 다 .