상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 다른 측면 에 따르 면 , 액침 노광 장치 는 웨이퍼 가 안착 되 는 웨이퍼 스테이지 , 상기 웨이퍼 스테이지 상부 에 배치 되 어 , 노 광원 으로부터 입사 된 노광 빔 을 받아들이 는 투영 렌즈 부 , 상기 웨이퍼 스테이지 와 상기 투영 렌즈 부 사이 에 구비 된 이 머 젼 렌즈 부 ; 및 상기 이 머 젼 렌즈 부 주위 에 구비 되 며 , 상기 웨이퍼 상 에 잔류 하 는 액적 을 제거 하 기 위해 상기 웨이퍼 상 으로 기체 를 분사 하 는 다수 의 분사 공 들 을 갖 는 기체 분사 부를 포함 한다 .