상기 유전체 박막 ( 22 ) 은 공면 신호 선로 ( 23 ) 및 제 1 및 제 2 공면 접지선 로 ( 24 a , 24 b ) 를 구현 하 기 위한 절연성 기재 로서 , 본 발명 에서 는 분산 정수 캐 패시 터 를 구성 하 는 유전체 로서 제공 된다 . 상기 유전체 층 ( 22 ) 은 SiO 2 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , TiO 2 , BaTiO 3 및 SrTiO 3 , 로 구성 된 그룹 으로부터 선택 된 적어도 하나 로 이루어질 수 있 으며 , 반도체 기판 ( 21 ) 으로 실리콘 기판 을 사용 하 는 경우 에 는 상기 유전체 박막 ( 22 ) 으로 는 SiO 2 가 용이 하 게 사용 될 수 있 다 .