도 2 및 도 4 를 참조 하 면 , 기판 ( 100 ) 상 에 희생 막 들 ( HL 1 , HL 2 ) 및 절 연막 들 ( 110 ) 을 교대 로 그리고 반복 적 으로 증착 하 여 , 적층 구 조체 ( ST 1 , ST 2 ) 가 형성 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 적층 구 조체 ( ST 1 , ST 2 ) 는 , 상기 기판 ( 100 ) 상 의 제 1 적층 구 조체 ( ST 1 ) , 및 상기 제 1 적층 구 조체 ( ST 1 ) 상 의 제 2 적층 구 조체 ( ST 2 ) 를 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 적층 구 조체 ( ST 1 ) 는 제 1 희생 막 들 ( HL 1 ) 을 포함 할 수 있 고 , 상기 제 2 적층 구 조체 ( ST 2 ) 는 제 2 희생 막 들 ( HL 2 ) 을 포함 할 수 있 다 .