따라서 , ( 처리 매개변수 데이터 는 예 를 들 어 , 리소그래피 장치 또는 다른 리 소 셀 계측 데이터 일 수 있 으며 및 / 또는 공정 및 적용 의존 적 일 수 있 는 ) 국부 적 인 영향 과 관련 한 하나 이상 의 처리 매개변수 로 인한 정렬 측정 데이터 와 정렬 에 대한 영향 을 조합 함 으로써 , 예 를 들 어 , 리소그래피 패턴 전사 의 제어 를 위한 전 - 리소그래피 패턴 전사 출력 인 하이브리드 밀집 정렬 맵 ( HDAM ) 이 계산 될 수 있 다 . 하이브리드 밀집 정렬 맵 은 별도 의 소스 에서 획득 된 데이터 를 사용 하 기 때문 에 , 이 컴퓨터 - 기반 계측 은 공정 및 적용 의 기여 도 로부터 의 표시 를 개별 적 으로 가질 수 있 다 .