도 3 은 이송 챔버 를 통하 여 보 는 슬릿 밸브 와 이송 챔버 사이 의 인터페이스 ( 300 ) 의 정면도 로서 , 슬릿 밸브 가 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 열 팽창 및 / 또는 진공 변형 되 지 않 는다 . 상술 된 바 와 같이 , 하나 또는 둘 이상 의 O - 링 ( 306 ) 은 슬릿 밸브 에 대해 이송 챔버 를 밀봉 하 도록 슬릿 밸브 와 이송 챔버 사이 에 배치 될 수 있 다 . 또한 , 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 322 ) 는 이송 챔버 와 슬릿 밸브 사이 에 배치 될 수 있 다 . 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 322 ) 는 슬릿 밸브 가 이송 챔버 에 대해 이동 할 때 슬릿 밸브 와 함께 이동 한다 . 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 322 ) 는 슬릿 밸브 와 이송 챔버 가 서로 에 대해 접촉 하 여 소정 의 기판 을 오염 시킬 수 있 는 입자 를 발생 시키 는 기회 를 감소 시킨다 . 슬릿 밸브 가 개방 될 때 , 하나 또는 둘 이상 의 기판 은 이송 챔버 와 처리 챔버 사이 의 개구 ( 302 ) 를 통과 할 수 있 다 .