도전 패턴 들 ( 257 ) 을 형성 하 는 단계 는 도 9 d 에 도시 된 게이트 영역 들 ( 253 ) 이 채워 지 도록 도 9 d 에 도시 된 예비 슬릿 들 ( 251 A ) 을 통해 도전 물 을 유입 하 는 단계 , 및 도전 물 이 도전 패턴 들 ( 257 ) 로 분리 되 도록 도 9 d 에 도시 된 예비 슬릿 들 ( 251 A ) 내부 의 도전 물 의 일부 를 제거 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 수직 베리어 ( 250 ) 는 도전 물 의 유입 을 차단 할 수 있 다 .