주 반송 기구 ( Ｔ ３ ) 는 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ３ ) 에 액세스 한다 . 그리고 , 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ３ ) 으로부터 레지스 트 막 이 형성 된 기판 ( Ｗ ) 을 반출 함 과 아울러 , 지지 하 고 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ３ ) 에 반입 한다 . 레지스 트 막 용 도포 처리 유닛 ( ＲＥＳＩＳＴ ３ ) 은 반입 된 기판 ( Ｗ ) 을 회전 시키 면서 레지스 트 막 재료 를 도포 한다 ( 스텝 Ｓ ６ ｂ - 레지스 트 막 재료 도포 처리 ( Ｔ ２１ ｄ ) ) .