도 3 a 에 도시 된 바 와 같 은 , 일 실시 형태 에 있 어서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 내부 가스 공급 채널 들 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하부 표면 에 걸쳐 복수 의 동심 영역 들 / 존 들 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 내부 로 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 을 유체 적 으로 분리 하 도록 정의 되 어 , 각각 의 복수 의 동심 영역 들 / 존 들 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 내부 의 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 로 의 플 라즈 마 프로세스 가스 의 플로우 레이트 가 별도 로 제어 될 수 있 다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 각각 의 동심 방사상 영역 / 존 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 내 의 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 이 각각 의 가스 플로우 제어 디바이스 ( 305 A , 305 B , 305 C ) 에 플럼 되 어 , 각각 의 동심 방사상 영역 / 존 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 으로 의 플 라즈 마 프로세스 가스 의 공급 이 독립 적 으로 제어 가능 하 다 .