증착 하 고자 하 는 물질 이 비금속성 일 경우 , 음극 어셈블리 ( 21 ) 의 내벽 에 비금속성 코팅 층 이 형성 된다 . 비금속성 코팅 층 의 예 로 는 실리콘 코팅 층 을 들 수 있 다 . 이 때 , 상기 방전 에너지 는 펄스 파형 의 음 의 직류 전압 또는 RF 파 와 음 의 직류 전압 의 조합 을 갖 는다 . 금속 층 을 코팅 하 는 방법 과 같 은 방법 으로 부도체 층 을 생성 할 수 있 으며 합금 또는 화합물 까지 도 성분 구성비 변화 없이 비교 적 쉽 게 코팅 층 을 얻 을 수 있 다 .