특정 실시 예 에서 , 증착 된 필름 의 조성 을 조정 하 기 위해 , 가령 , 타소 , 또는 질소 함유 화합물 등 의 공 - 반응물 ( co - reactant ) 과 함께 , 유기 금속 텅스텐 전구체 가 유입 될 수 있 다 . 또한 , 특정 실시 예 에서 , 비 - 유기 화합물 , 가령 W ( CO ) 6 뿐 아니 라 W ( CO ) 6 의 유기 유도체 까지 사용 될 수 있 다 . 중요 한 것 은 , 사용 되 는 전구체 는 할로겐 을 갖 지 않 는다 . 이 는 아래 위치 하 는 실리콘 / 실리사이드 가 ( 텅스텐 증착 물 에서 일반 적 으로 사용 되 는 ) WF 6 와 같 은 할로겐 - 함유 전구체 의 공격 에 취약 하 기 때문 이 다 .