도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 종래 의 미분 간섭 현미경 ( 200 ) 은 대물렌즈 ( 210 ) , 경통 ( 220 ) , 2 중굴절 프리즘 ( 230 ) , 조명 ( 240 ) , 제 1 하프 미러 ( 250 a ) , 제 2 하프 미러 ( 250 b ) , 에 널 라이저 ( 260 ) , 편광 필터 ( 270 ) , 자동 초점 용 카메라 ( 280 ) 및 검사 카메라 ( 290 ) 로 구성 되 어 있 다 .