웨이퍼 이송 장치 는 이송 챔버 , 이 송부 및 센서 부를 포함 한다 . 이송 챔버 는 웨이퍼 를 공정 챔버 로 이송 하 기 위한 공간 을 제공 한다 . 이 송부 는 이송 챔버 내부 에 구비 되 며 , 웨이퍼 를 공정 챔버 로 이송 하 거나 공정 챔버 로부터 반송 하 는 역할 을 한다 . 센 서부 는 이 송부 의 회전 반경 이 이루 는 영역 에 대응 하 는 이송 챔버 에 배치 되 며 , 이 송부 에 웨이퍼 가 존재 하 는지 여부 를 감지 한다 . 따라서 , 센서 부 가 이송 챔버 중 반경 이 웨이퍼 의 외경 보다 작 은 중심 영역 에 배치 됨 으로써 , 웨이퍼 의 존재 여부 를 감지 하 기 위한 시간 을 단축 시킬 수 있 다 .