상기 원자 및 / 또는 이온 종 의 주입 단계 는 , 도 4 에 도시 된 사전 접합 준비 열처리 동안 , 상기 도너 기판 ( 1 ) 에서 상기 종 들 에 의해 야기 되 는 결함 이 상기 도너 기판 의 잔 여부 ( 14 ) 가 후속 적 으로 분리 되 게 하나 ( 도 6 참조 ) 도 5 에 도시 된 후속 적 인 접합 을 방지 하 거나 또는 접합 될 상기 앞면 ( 10 ) 을 변형 하 기 에 충분 하 지 않 을 정도 로 주입 종류 , 주 입량 및 주입 에너지 를 선택 함 으로써 수행 된다 .