일부 구 현예 에서 , 단계 ( S 2 ) 에서 귀 가스 이외 의 가스 는 반응 공간 에 도입 되 지 않 는다 . 일부 구 현예 에서 , 수소 가스 는 단계 ( S 2 ) 에서 추가 적 으로 또는 대안 적 으로 유사 한 유량 으로 도입 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 단계 ( S 2 ) 에서 산소 또는 질소 가스 와 다른 반응물 및 전 구체 가스 는 도입 되 지 않 는다 .