그리고 상술 한 응집 된 미세 입자 포집 단계 ( S 60 ) 의 수행 후 에 는 기 설정 된 주기 또는 사용 자 의 제어 명령 에 따라 , 측정 센 서부 ( 150 ) 가 상기 저주파 음원 에 대응 하 여 출력 되 는 상기 저주파 음파 의 주파수 와 음압 을 검출 한 후 상기 제 어부 ( 120 ) 로 전송 하 고 , 잔류 미세 입자 측 정부 ( 170 ) 가 배출 되 는 유체 내 에 포함 되 는 미세 입자 의 개수 , 농도 , 크기 등 을 검출 하 여 상기 제 어부 ( 120 ) 로 전송 하 는 피드백 제어 측정 단계 ( S 70 ) 가 수행 될 수 있 다 .