도포 유닛 ( SC ) 은 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 유지 회 전부 ( 51 ) , 노즐 ( 52 ) 및 노즐 이동 기구 ( 53 ) 를 구비 하 고 있 다 . 유지 회 전부 ( 51 ) 는 , 예 를 들 면 진공 흡착 에 의하 여 기판 ( W ) 의 하면 을 유지 하 고 , 유지 한 기판 ( W ) 을 연직 방향 ( Z 방향 ) 을 축 으로 하 여 회전 시킨다 . 노즐 ( 52 ) 은 , 도포 액 ( 예 를 들 면 반사 방지 막 형성 용 액 , 또는 포토레지스트 액 ) 을 기판 ( W ) 에 대하 여 토출 한다 . 노즐 ( 52 ) 은 , 배관 을 통하 여 도포 액 공급원 에 접속 되 어 있 고 , 배관 에 는 , 펌프 및 개폐 밸브 가 설치 되 어 있 다 . 노즐 이동 기구 ( 53 ) 는 , 노즐 ( 52 ) 을 임의 의 위치 로 이동 시킨다 . 유지 회 전부 ( 51 ) 및 노즐 이동 기구 ( 53 ) 는 각각 , 예 를 들 면 전동 모터 를 구비 하 고 있 다 .