그 다음 , 상기 캡 산화 막 을 식각 하 여 상기 스토리지 노드 콘 택 플러그 를 노출 시키 는 스토리지 노드 용 홀 을 형성 한다 . 이때 , 상기 스토리지 노드 용 홀 은 캐 패 시터 의 용량 을 확보 하 기 위해 충분히 높 은 높이 로 형성 해 주 어야 한다 . 계속 해서 , 상기 스토리지 노드 용 홀 에 베리 어 막 과 도전 막 을 증착 한 후 , 에치 백 ( Etch Back ) 해서 스토리지 노드 를 형성 한다 .