한편 도 8 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 1 배관 부재 ( 70 A ) 의 하면 에 는 분배 공간 형성 부재 ( 700 ) 에 형성 된 오 목부 ( 73 ) 를 둘러싸 도록 홈 부 ( 79 ) 가 형성 되 는 동시 에 홈 부 ( 79 ) 내 에 O 링 ( 620 ) 이 마련 된다 . 여기 에서 불활성 가스 분배 공간 은 , 진공 배기 경로 가 아니 며 미 가 압 상태 이 기 때문 에 , 제 1 배관 부재 ( 70 A ) 의 하면 과 분배 공간 형성 부재 ( 700 ) 의 접합면 에 는 , 다공질 부재 ( 6 ) 를 마련 하 지 않 아도 좋 다 .