도 7 c 를 참조 하 면 , 제 2 커버 희생 층 ( 도 7 b 의 SCL 2 a ) 을 이방성 식각 하 여 , 제 3 홈 ( GR 3 a ) 의 적어도 일부분 을 채우 는 제 2 커버 희생 층 ( SCL 2 a ) 의 일부분 인 제 1 커버 층 ( CVL 1 a ) 을 형성 한다 . 일부 실시 예 에서 , 제 3 방향 ( Z 방향 ) 으로 제 1 커버 층 ( CVL 1 a ) 의 높이 는 도 5 g 에 보인 제 1 커버 층 ( CVL 1 ) 의 높이 보다 큰 값 을 가질 수 있 다 .