이상 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 의 중합체 는 반복 단위 마다 열가 교기 를 가지 며 , 또한 에칭 내성 이 우수 한 고 탄소 밀도 구조 인 인데 노 플 루 오 렌 에 의해 주 쇄 구조 가 구성 되 어 있 기 때문 에 , 고 탄소 밀도 또 한 열 경화 에 의해 치밀 한 막 을 형성 할 수 있 는 것 이 기 때문 에 , 에칭 내성 과 비틀림 내성 이 우수 한 유기 막 을 형성 하 기 위해 유용 한 것 이 다 . 또한 , 이 중합체 를 포함 하 는 유기 막 형성 용 조성물 은 , 우수 한 에칭 내성 과 비틀림 내성 을 가짐 과 더불 어 , 내열성 , 매립 / 평탄 화 특성 등 의 여러 가지 특성 을 겸비 한 유기 막 을 형성 하 는 데 유용 한 재료 가 된다 . 그 때문 에 , 본 발명 의 유기 막 형성 용 조성물 은 , 예컨대 2 층 레지스 트 프로세스 , 규소 함유 레지스 트 하 층막 을 이용 한 3 층 레지스 트 프로세스 , 규소 함유 레지스 트 하층 막 및 유기 반사 방지 막 을 이용 한 4 층 레지스 트 프로세스 와 같 은 다층 레지스 트 프로세스 에 있 어서 의 유기 막 재료 로서 매우 유용 하 다 . 또한 , 본 발명 의 패턴 형성 방법 이 면 , 다층 레지스 트 프로세스 에 있 어서 , 피 가공 기판 에 미세 한 패턴 을 고정 밀도 로 형성 할 수 있 다 .