볼 베어링 ( 32 ) 의 상단 ( 32 T ) 은 기판 ( S ) 이 접촉 하 는 부분 이 다 . 기판 지지 핀 ( 30 ) 에 의해 기판 ( S ) 이 지지 되 면 , 볼 베어링 ( 32 ) 과 기판 ( S ) 이 접촉 한다 . 이 때 , 기판 ( S ) 은 볼 베어링 ( 32 ) 의 회전 에 의해 매끄럽 게 수평 방향 ( X 방향 , Y 방향 ) 으로 이동 가능 하 므로 , 기판 ( S ) 에 흠 이 발생 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .