적합 하 게 는 , 상기 테스트 헤드 ( 21 ) 가 상기 유연 막 ( 25 ) 과 상기 지지 플레이트 ( 23 ) 사이 에 개재 ( interposed ) 된다 . 구체 적 으로 , 상기 유연 막 ( 25 ) 은 제 1 부분 / 중앙부 ( 25 A ) 및 제 2 부분 / 주변 부 ( 25 B ) 를 포함 하 는데 , 이 들 은 상기 테스트 헤드 ( 21 ) 와 상기 지지 플레이트 ( 23 ) 에 각각 접촉 하 도록 되 어 있 다 .