도 18 을 참조 한다 . 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 2 개 의 처리 층 ( A 1 , A 2 ) 은 각각 , 예 를 들 면 4 개 의 도포 유닛 ( BARC ) 을 구비 하 고 있 다 . 각 처리 층 ( A 1 , A 2 ) 은 , 반사 방지 막 형성 용 액 의 도포 처리 를 행하 여 , 기판 ( W ) 상 에 반사 방지 막 을 형성 한다 . 처리 층 ( A 1 ) 은 , 처리 층 ( A 2 ) 과 같 은 내용 의 처리 를 행한다 . 또한 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 2 개 의 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 은 각각 , 예 를 들 면 6 개 의 도포 유닛 ( RESIST ) 을 구비 하 고 있 다 . 각 처리 층 ( B 1 , B 2 ) 은 , 레지스 트 액 의 도포 처리 를 행하 여 , 기판 ( W ) 의 반사 방지 막 상 에 레지스 트 막 을 형성 한다 . 처리 층 ( B 1 ) 은 , 처리 층 ( B 2 ) 과 같 은 처리 를 행한다 .