또한 , 플 라즈 마 ( 43 ) 는 반응 실에 수소 , 불소 , 혹은 플루오르화물 과 함께 , 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 함유 하 는 기체 를 도입 하 여 발생 시킨 플 라즈 마라 도 좋 다 . 수소 , 불소 , 혹은 플루오르화물 로 반도체 막 ( 47 ) 의 비정질 반도체 성분 을 에칭 함 과 함께 , 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 잔존 하 는 반도체 막 에 첨가 함 으로써 , 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 함유 하 는 결정핵 ( 48 ) 을 형성 할 수 있 다 .