변 조광 검출 장치 ( 54 ) 는 , 모드 절환 회로 ( 57 ) 의 제어 를 기초 로 하 여 동작 하 고 , 빔 스플리터 ( 52 b ) 에 의해 간섭 된 2 속 의 광 을 기초 로 하 여 , 니 들 ( 22 f 2 ) 에 있 어서 검출 된 광 이 제 2 광원 장치 ( 4 ) 로부터 출력 된 조사 광 에 비해 어느 정도 변조 되 어 있 는지 를 나타내 는 , 즉 , 상기 조사 광 의 변조 성분 으로서 의 변조 특성 정보 를 검출 하 는 동시 에 , 상기 변조 특성 정보 를 변조 신호 로서 변조 신호 처리 장치 ( 55 ) 로 출력 한다 .