또한 , 상기 한 실시 형태 에 있 어서 , 하중 문턱 값 ( Lth ) 은 , 초기 하중 값 ( L 0 ) 으로부터 , 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 들 어 올려질 때 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 튈 때 에 리프트 핀 ( 81 ) 에 걸리 는 하중 값 ( L ) 까지 의 변화 량 보다 작 은 값 이 다 . 이 에 의해 , 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 들 어 올려질 때 에 잔류 흡 착력 에 의해 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 튀 는 것 을 방지 할 수 있 다 .