단계 ( 104 ) 중 , 제 1 활성 종 은 제 1 반응물 로부터 형성 된다 . 제 1 반응물 종 은 , 기판 표면 을 개질 하 기 위해 , 예 를 들 어 단계 ( 106 ) 중 에 증착 된 재료 의 성장 속도 를 늦추 기 위해 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 활성 종 은 , 기판 의 표면 상 의 다른 활성 / 반응 성 부위 를 패 시베이 션 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 그 결과 , 기판 표면 ( 예 , 기판 내 에 형성 된 리세 스 의 표면 ) 상 에 증착 된 재료 의 사이클 당 성장 속도 는 , 처리 되 지 않 은 표면 ( 예 , 상기 기판 의 다른 부분 또는 다른 기판 표면 ) 상 에 증착 된 재료 의 사이클 당 성장 속도 에 비해 감소 될 수 있 다 .