이상 에서 와 같이 , 상기 마스크 ( 100 ) 의 내부 에 형성 되 는 차 단막 들 ( 120 ) 의 간격 이 좁 아 지 거나 또는 넓 어 지 더라도 , 입사각 가변 부 ( 500 ) 를 통해 , 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 또는 상기 고정부 ( 400 ) 를 소정 각도 로 회전 시켜 사 입사각 을 형성 시킴 으로써 , 상기 마스크 ( 100 ) 의 후면 을 통해 투과 되 는 광 의 투과율 을 제어 하 여 , 웨이퍼 의 CD 를 제어 할 수 있 다 .