이어서 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 화학 적 기계 연마 ( chemical mechanical polishing , CMP ) 공정 을 통해 , 상기 확산 방지 박막 ( 140 ‘ 및 상기 구리 박막 ( 150 ‘’ 중 상기 트렌치 ( 131 ) 내부 에 위치 하 는 부분 들 을 제외 한 나머지 부분 들 을 제거 함 으로써 , 상기 확산 방지 층 ( 140 ) 및 상기 제 2 도 전체 ( 150 ) 를 형성 할 수 있 다 .