본 발명 < 1 > 에 관한 에칭 제 는 적어도 ( A ) 과산화수소 , ( B ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 , ( c - 1 ) 무기 알칼리 및 ( D - 1 ) 동 방식제 를 포함 하 는 것 이 고 , 상기 용액 은 통상 적 으로 pH 가 7 ~ 10 , 바람직 하 게 는 8 ~ 9 . 5 , 보다 바람직 하 게 는 8 . 5 ~ 9 . 2 의 범위 가 되 도록 조정 · 유지 된다 .