즉 , 상기 서 셉 터 ( 120 ) 는 상기 금속 화합물 전구체 ( 50 ) 가 가열 되 어 기화 되 는 기화 영역 ( VA ) 을 형성 하 며 , 상기 서 셉 터 ( 120 ) 에서 기화 되 어 배출 된 금속 화합물 전구체 가 상기 컨 덕 터 ( 110 ) 에서 마이크로웨이브 에 의한 플 라즈 마 반응 에 의해 플 라즈 마 처리 가 되 며 , 이 영역 을 플 라즈 마 반응 영역 ( PA ) 이 라 칭하 며 , 상기 플 라즈 마 반응 영역 ( PA ) 은 상기 컨 덕 터 ( 110 ) 내부 에 형성 될 수 있 다 .