바이어스 ( BE ) 는 , 기판 ( W ) 에 이온 을 끌어들이 기 위하 여 이용 된다 . 바이어스 ( BE ) 는 , 제 2 주파수 를 갖 는다 . 바이어스 ( BE ) 는 , 제 2 주파수 로 규정 되 는 주기 내 에 정전 척 ( 20 ) 상 에 재치 된 기판 ( W ) 의 전위 를 변동 시키 도록 설정 되 어 있 다 . 제 2 주파수 는 , 제 1 주파수 보다 낮 다 . 제 2 주파수 는 , 예 를 들 면 50 kHz ~ 27 MHz 의 범위 내 의 주파수 이 다 .