도 6 은 본 발명 에 따른 p 형 질화물 반도체 층 의 도핑 프로파일 의 예 들 을 나타내 는 도면 으로서 , 깊이 가 작 은 쪽 이 제 3 질화물 반도체 층 에 해당 하 며 , 중간 ( 대략 0 . 6 ~ 0 . 7 um 부분 ) 이 제 2 질화물 반도체 층 에 해당 하 고 , 뒷 쪽 이 제 3 질화물 반도체 층 에 해당 한다 . 짙 은 색 프로파일 은 제 2 질화물 반도체 층 에 도핑 이 행해진 경우 에 해당 하 고 , 옅 은 색 프로파일 은 제 2 질화물 반 도 물 반도체 층 에 도핑 이 행해 지 지 않 은 경우 에 해당 한다 .