도 2 d 를 참조 하 면 , 상기 콘 택 홀 ( H ) 의 표면 을 포함 한 제 1 층간 절 연막 ( 206 ) 상 에 베리 어 막 ( 208 ) 을 형성 한다 . 그런 다음 , 상기 베리 어막 ( 208 ) 상 에 상기 콘 택 홀 ( C 1 ) 을 매립 하 도록 도전 막 을 형성 한 후 , 상기 도전 막 상 에 하드 마스크 막 을 형성 한다 . 상기 도전 막 으로서 는 텅스텐 또는 알루미늄 과 같 은 금속 막 으로 형성 하 며 , 상 기 하드 마스크 막 으로서 는 질화 막 으로 형성 한다 .