또 , 제 1 기판 ( 300 ) ∼ 제 ５ 기판 ( 700 ) 을 적층 하 는 것 으로 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 내 에 개 질기 ( 160 ) 와 일산 화 탄소 제 거기 ( 170 ) 가 연통 해서 설치 되 어 있 으므로 , 개 질기 ( 160 ) 와 일산 화 탄소 제 거기 ( 170 ) 를 따로따로 제조 해 연결 파이프 등 으로 연결 하 는 종래 의 경우 와 달리 , 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 가 일시 에 제조 된다 . 또 , 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 와 단 열 용기 ( 130 ) 가 일체 로 형성 되 어 있 으므로 , 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 와 단 열 용기 ( 130 ) 를 따로따로 제조 해 단 열 용기 ( 130 ) 의 내부 에 반응 장치 본 체부 ( 120 ) 를 배치 설치 하 는 경우 와 달리 , 반응 장치 ( 110 ) 가 일시 에 제조 된다 . 이 에 따라 반응 장치 ( 110 ) 의 제조 공정 을 삭감 할 수 있 다 .