이 에 따라 , 기판 ( 100 ) 상 에 는 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 게이트 구조물 들 ( 222 a , 224 a , 226 a , 228 a ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 1 내지 제 4 게이트 구조물 들 ( 222 a , 224 a , 226 a , 228 a ) 은 기판 ( 100 ) 상 에 순차 적 으로 적층 된 제 1 내지 제 4 터널 절 연막 패턴 들 ( 112 , 114 , 116 , 118 ) , 제 1 내지 제 4 플로팅 게이트 들 ( 122 , 124 , 126 , 128 ) , 제 1 내지 제 4 유전 막 패턴 들 ( 132 , 134 , 136 , 138 ) , 제 1 내지 제 4 하부 도전 패턴 들 ( 212 a , 214 a , 216 a , 218 a ) 및 제 1 내지 제 4 상부 도전 패턴 들 ( 202 a , 204 a , 206 a , 208 a ) 을 각각 포함 할 수 있 다 .