또한 , 다른 노광 레이아웃 을 도 4 에 나타낸다 . 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 디바이스 를 형성 하 는 화면 ( 쇼트 영역 ; R 10 , R 11 ) 에 상이 한 패턴 을 노광 하 는 경우 에 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 의해 일방 의 패턴 의 노광 을 실시 하 는 제 1 노광 데이터 와 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의해 타방 의 패턴 의 노광 을 실시 하 는 제 2 노광 데이터 를 작성 한다 . 2 개 의 디바이스 를 형성 하 는 화면 ( R 10 , R 11 ) 에 동일 한 패턴 을 노광 하 는 경우 에 는 , 전술 한 제 3 제어 모드 에 따라 주 노광 장치 ( EX 1 ) 또는 종 노광 장치 ( EX 2 ) 중 어느 일방 에 의해 노광 을 실시 하 는 노광 데이터 를 작성 해도 된다 .