도면 에 도시 되 지 는 않 았 지만 , 지지 플레이트 ( 110 ) 는 내부 에 히터 , 복수 개 의 유로 들 이 형성 될 수 있 다 . 상기 히터 는 전원 과 전기 적 으로 연결 되 어 지 지 플레이트 ( 110 ) 를 통해 기판 ( S ) 를 가열 시킬 수 있 다 . 상기 히터 는 나선 형상 의 코일 을 포함 할 수 있 다 . 상기 유로 는 열 전달 가스 가 순환 하 는 통로 로 제공 될 수 있 다 . 상기 유로 는 지지 플레이트 ( 110 ) 내부 에 나선 형상 으로 형성 될 수 있 다 .