계속 해서 , 도 9 c 에 나타낸 바 와 같이 레지스 트 패턴 ( 196 ) 을 제거 한다 . 다음 , 전체 면 에 배리 어 메탈 막 ( 미 도시 ) 을 형성 하 고 , 그 위 에 텅스텐 막 ( 미 도시 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 텅스텐 막 및 배리어 메탈 막 을 NSG 막 ( 112 ) 이 노출 될 때 까지 연마 한다 . 그 결과 , 콘택트 홀 ( 151 s ) 내 에 콘택트 플러그 ( 152 s ) 가 형성 되 고 , 콘택트 홀 ( 151 d ) 내 에 콘택트 플러그 ( 152 d ) 가 형성 된다 . 다음 으로 , 질소 분위기 중 에서 플라 즈 마 어닐링 을 행함 으로써 , NSG 막 ( 112 ) 의 표면 을 질화 한다 .