도 36 에 도시 하 는 바 와 같이 , 연마구 ( 200 ) 에 의해 연마 되 는 웨이퍼 W 의 부위 의 폭 ( 이하 , 이것 을 연마 폭 이 라고 함 ) 은 , 웨이퍼 W 에 대한 연마구 ( 200 ) 의 상대 적 인 위치 에 따라 결정 된다 . 통상 , 연마 폭 은 , 웨이퍼 W 의 최 외 주단 으로부터 수밀 리미터 이 다 . 웨이퍼 W 의 주연 부를 일정 한 연마 폭 으로 연마 하 기 위해서 는 , 웨이퍼 W 의 중심 을 기판 스테이지 ( 210 ) 의 축심 에 맞출 필요 가 있 다 .