마스크 재 층 의 파장 영역 355 nm 에 있 어서 의 평행 광선 투과율 은 이하 의 방법 으로 측정 했 다 . 실시 예 및 비 교예 에 의해서 얻 어 지 는 , 박리 라이너 상 에 형성 된 마스크 재 층 에 대해서 , 마스크 재 층 이 형성 되 어 있 지 않 은 박리 라이너 의 배면 측 으로부터 파장 영역 355 nm 에서 의 평행 광선 투과율 을 자 외 가시 분광 광도계 UV - 1800 ( 가부 시 키가 이샤 시마즈 세이사쿠 쇼 ( 株式 會社 島 津 製作 所 ) 제 ) 을 이용 하 여 측정 했 다 . 이 장치 는 적 분구 ( 積 分球 ) 방식 의 수 광부 를 가지 는 전체 광선 투과율 측정 이 가능 한 장치 로 되 어 있 지만 , 샘플 의 고정 위치 를 적분 구 입사 창 으로부터 70 mm 이격 하 는 것 으로 , 평행 광선 투과율 을 측정 하 는 것 이 가능 하 다 .