도 2 l 을 참조 하 면 , 통상 적 인 전기 도금 공정 을 이용 하 여 노출 되 어 있 는 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 을 시드 로 영역 ( 174 ) 및 영역 ( 192 ) 상 에 팁 , 포스트 및 빔 으로 구성 되 는 프로브 ( 200 ) 를 형성 한다 . 원활 한 프로브 ( 200 ) 형성 을 위하 여 노출 되 어 있 는 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 의 표면 을 플 라즈 마 세정 할 수 있 다 . 프로브 ( 200 ) 는 지지 부 ( 180 ) 와 다른 재질 의 금속 인 것 이 바람직 하 며 , 니켈 / 코발트 합금 , 니켈 , 텅스텐 중 어느 하나 를 포함 할 수 있 다 . 전기 도금 공정 시 제 2 시드 패턴 ( 140 b ) 용 전극 ( 144 b ) 에 는 접지 전극 이 연결 된다 .