[ 0023 ] 도 2 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 리액터 ( 100 ) 의 측 단면도 의 개략 도 이 다 . 플 라즈 마 리액터 ( 100 ) 는 일반 적 으로 리액터 챔버 ( 101 ) 및 리액터 챔버 ( 101 ) 위 에 위치 된 안테나 조립 체 ( 102 ) 를 포함 한다 . 안테나 조립 체 ( 102 ) 는 리액터 챔버 ( 101 ) 에서 유도 결합 플 라즈 마 를 발생 시키 도록 구성 된다 .