본 발명 에 의한 반 도 체식 가스 센서 는 소정 의 기판 ( 100 ) 상 에 복수 개 의 히터 와 전극 ( 110 ) 이 마련 되 며 , 기판 ( 100 ) 상 의 활성 영역 에 제 1 박막 물질 과 제 2 박막 물질 이 차례 대로 증착 된 후 열 산화 시킴 으로써 제 1 박막 ( 200 a ) 과 제 2 박막 ( 200 b ) 으로 이루어지 는 이종산 화물 감지 막 ( 200 ) 이 형성 된다 .