본 발명 의 추가 적 인 관점 은 웨이퍼 캐리어 들 을 제공 한다 . 본 발명 은 이러 한 관점 에 따른 웨이퍼 캐리어 는 바람직 하 게 는 , 반대 로 대향 하 고 있 는 최 상부 표면 및 저부 표면 들 을 구비 한 보디 ( body ) 를 포함 하 고 , 그 보디 는 그 보디 의 최 상부 표면 으로 개방 된 복수 의 포켓 들 을 구비 한다 . 캐리어 는 바람직 하 게 는 , 각 포켓 내 의 보디 의 최 상부 표면 아래 에 배치 된 위쪽 으로 향한 지지 표면 을 정의 한다 . 가장 바람직 하 게 는 , 본 발명 의 이러 한 관점 에 따른 캐리어 가 포켓 들 과 연관 된 로크 들 을 포함 한다 . 각 로크 ( lock ) 는 바람직 하 게 는 아래쪽 으로 향한 로크 표면 을 구비 한다 . 그 로크 가 동작 위치 에 있 을 때 , 포켓 에 배치 되 고 그 지지 표면 상 에 기대 어 진 웨이퍼 가 로크 표면 에 의해 상향 이동 이 적어도 부분 적 으로 제한 되 도록 , 로크 표면 은 연관 된 포켓 으로 또는 그 연관 된 포켓 위 로 연장 된다 .