반송 챔버 ( 430 ) 는 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 의 제 1 버퍼 ( 320 ) 와 제 1 방향 ( 12 ) 으로 나란 하 게 위치 된다 . 반송 챔버 ( 430 ) 내 에 는 도포 부 로봇 ( 432 ) 과 가이드 레일 ( 433 ) 이 위치 된다 . 반송 챔버 ( 430 ) 는 대체로 직사각 의 형상 을 가진다 . 도포 부 로봇 ( 432 ) 은 베 이크 챔버 들 ( 420 ) , 레지스 트 도포 챔버 들 ( 400 ) , 제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 의 제 1 버퍼 ( 320 ) , 그리고 후술 하 는 제 2 버퍼 모듈 ( 500 ) 의 제 1 냉각 챔버 ( 520 ) 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 가이드 레일 ( 433 ) 은 그 길 이 방향 이 제 1 방향 ( 12 ) 과 나란 하 도록 배치 된다 . 가이드 레일 ( 433 ) 은 도포 부 로봇 ( 432 ) 이 제 1 방향 ( 12 ) 으로 직선 이동 되 도록 안내 한다 . 도포 부 로봇 ( 432 ) 은 핸드 ( 434 ) , 아암 ( 435 ) , 지지대 ( 436 ) , 그리고 받침대 ( 437 ) 를 가진다 . 핸드 ( 434 ) 는 아암 ( 435 ) 에 고정 설치 된다 . 아암 ( 435 ) 은 신축 가능 한 구조 로 제공 되 어 핸드 ( 434 ) 가 수평 방향 으로 이동 가능 하 도록 한다 . 지지대 ( 436 ) 는 그 길 이 방향 이 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 배치 되 도록 제공 된다 . 아암 ( 435 ) 은 지지대 ( 436 ) 를 따라 제 3 방향 ( 16 ) 으로 직선 이동 가능 하 도록 지지대 ( 436 ) 에 결합 된다 .