5 단계 로 상기 에서 제조 된 탄 화체 에 100 중량 % ~ 200 중량 % 의 무게 비 로 금속 실리콘 을 칭량 하 여 탄 화체 내부 나 탄 화체 위 에 금속 실리콘 을 장입 한 후 진공 분위기 ( 10 - 1 torr 이상 ) 에서 0 . 5 ℃/ min 의 승 온 속도 로 1500 ℃ ~ 1700 ℃ 까지 열처리 하 여 금속 실리콘 을 용융 시켜 탄 화체 내부 에 침투 시킨다 .