하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 506 ) 는 저 마찰 및 저 열 전도성 재료 를 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 저 마찰 및 저 열 전도성 재료 는 세라믹 , 엔지니어링 플라스틱 ( engineering plastic ) , 폴리아미드 , 폴리 이미드 , NiB 코팅 금속 , WS 2 코팅 금속 , 및 이 들 의 조합 물 을 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 금속 은 스테인 레스 강 을 포함 한다 . 저 열 전도성 재료 는 슬릿 밸브 로부터 이송 챔버 로 전도 되 는 열 의 양 을 감소 시킨다 . 저 마찰 은 스 페이서 ( 506 ) 가 슬릿 밸브 ( 504 ) 와 인터 페이 싱하 는 이송 챔버 의 측 부 ( 506 ) 를 따라 슬라이딩 되 는 것 을 허용 한다 . 슬릿 밸브 ( 504 ) 가 열 팽창 / 수축 및 / 또는 진공 변형 에 의해 이동 할 때 스 페이서 ( 506 ) 는 이송 챔버 ( 502 ) 의 측 부 ( 520 ) 를 따라 슬라이딩 될 수 있 다 . 슬릿 밸브 가 수축 할 때 스 페이서 ( 506 ) 는 또한 이송 챔버 ( 502 ) 의 측 부 ( 520 ) 를 따라 슬라이딩 될 수 있 다 .