폴리 이미드 계 수지 성형 막 을 에칭 공정 의 전 또는 후 에 다공질 화 하 는 방법 으로 는 , 폴리 이미드 및 / 또는 폴리아미드 이미드 와 미립자 의 복합 막 ( 이하 「 폴리 이미드 계 수지 - 미립자 복합 막 」 이 라고 한다 . ) 으 로부터 그 미립자 를 없애 다공질 화 하 는 [ 미립자 제거 ] 공정 을 포함 하 는 방법 이 바람직 하 다 .