상기 제 1 게이트 전극 ( 240 a ) 은 차례 로 적층 된 제 1 금속 함유 패턴 ( 215 a ) , 제 1 식각 배리 어 도전 패턴 ( 220 a ) 및 제 1 금속 패턴 ( 235 a ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 금속 함유 패턴 ( 215 a ) 은 상기 제 1 금속 패턴 ( 235 a ) 의 하부 면 및 양 측벽 과 , 상기 제 1 고유 전 패턴 ( 210 a ) 사이 에 개재 될 수 있 다 . 즉 , 상기 제 1 금속 함유 패턴 ( 215 a ) 은 상기 제 1 금속 패턴 ( 235 a ) 의 하부 면 및 양 측벽 을 덮 을 수 있 다 . 이 와 마찬가지 로 , 상기 제 1 식각 배리 어 도전 패턴 ( 220 a ) 은 상기 제 1 금속 패턴 ( 235 a ) 의 하부 면 및 양 측벽 과 , 상기 제 1 금속 함유 패턴 ( 210 a ) 사이 에 개재 될 수 있 다 .