도 5 a 내지 도 5 d 는 본 발명 의 일 구 현예 에 따른 인터페이스 패드 의 도면 들 이 다 . 인터페이스 패드 ( 500 ) 는 개구 들 ( 504 ) 을 한정 하 는 지지 공구 지지 면 ( 502 ) 을 포함 한다 . 인터페이스 패드 ( 500 ) 는 또한 연마 용품 지지 면 ( 506 ) 과 중앙 홀 ( 508 ) 을 포함 한다 . 지지 공구 지지 면 ( 502 ) 과 연마 용품 지지 면 ( 506 ) 사이 에 는 통로 보유 층 이 있 다 . 통로 보유 층 은 , 지지 공구 지지 면 ( 502 ) 에 의해 한정 된 개구 들 ( 504 ) 및 연마 용품 지지 면 ( 506 ) 에 의해 한정 된 개구 들 ( 512 ) 과 유체 소통 을 이루 는 통로 들 을 포함 한다