상기 아크 처리 하드웨어 ( 104 ) 는 아크 를 소멸 시키 고 플 라즈 마 부하 에서 발현 되 는 전하 를 방전 시키 기 위해 사용 된다 . 아크 들 은 플 라즈 마 부하 에 공급 되 는 파워 를 차단 함 으로써 처리 될 수 있 다 . 아크 처리 의 예 로 는 , 전류 를 플 라즈 마 부하 로부터 거리 상 으로 떨어지 도록 우회 ( bypass ) 시키 는 방법 , 파워 모듈 의 오프 ( turn off ) , 플라 즈 마 부하 에 공급 되 는 파워 의 극성 반전 을 들 수 있 다 . 아크 를 소멸 시키 기 위해 아크 처리 모듈 을 갖 는 파워 서플라이 의 일 예 는 , 2009 년 4 월 7 일자 발행 된 , 조슈아 브리안 포크 라츠 ( Joshua Brian Paukratz ) 에 의해 발명 된 , 미국 특허 7 , 514 , 935 B 2 ( 발명 의 명칭 : System And Method For Managing Power Supplied To A Plasma Chamber ) 에 기술 되 어 있 다 .