상기 노출 된 증착 방지 막 을 제거 하 여 적어도 상기 게터 링 패턴 ( 365 a ) 및 단결정 패턴 ( 60 a ) 을 노출 시킨다 . 이때 , 상기 희생 패턴 ( 80 ) 아래 에 증착 방지 패턴 ( 75 a ) 이 형성 된다 . 상기 증착 방지 패턴 ( 75 a ) 으로 형성 되 는 물질 은 도 4 b 및 도 4 c 를 참조 하 여 설명 하 였음으로 생략 한다 . 상기 증착 방지 패턴 ( 75 a ) 은 상기 통기 영역 ( 70 ) 의 바닥 면 과 , 측벽 의 아랫부분 을 덮 는다 .