상기 매니폴드 에 마련 된 복수 의 경로 라인 은 , 제 1 및 제 2 원격 플 라즈 마 소스 로부터 제공 되 는 정화 물질 의 공급 경로 를 형성 하 는 제 1 및 제 2 공급 라인 ; 상기 챔버 내 로 정화 물질 이 제공 되 도록 단일 의 경로 를 형성 하 며 , 일단 부 가 상기 가스 피드 스루 관 과 연결 되 는 단일 연결 라인 ; 및 상기 제 1 및 제 2 공급 라인 과 , 상기 단일 연결 라인 을 각각 경사지 게 연결 하 는 제 1 및 제 2 경사 라인 을 포함 할 수 있 다 .