특허 문헌 4 에 도 , 클러스터 형 의 기판 처리 시스템 의 풋 프린트 를 저감 하 기 위해서 , 중앙 의 트랜스퍼 챔버 ( 30 a ) 에 승강 가능 하 게 로봇 아암 ( robot arm ) ( 18 ) 을 배치 하 고 , 트랜스퍼 챔버 ( 30 a ) 의 주위 를 둘러싸 도록 상하 방향 으로 다단 의 프로세스 챔버 ( 32 a ) 및 상하 방향 으로 다단 의 로드 록 챔버 ( 34 a ) 를 연결 하 고 , 로봇 아암 ( 18 ) 이 다단 의 로드 록 챔버 ( 34 a ) 와 다단 의 프로세스 챔버 ( 32 a ) 의 사이 에서 기판 을 반송 하 도록 한 다단식 의 기판 처리 시스템 이 개시 되 어 있 다 . 특허 문헌 4 의 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 다단 의 프로세스 챔버 ( 32 a ) 및 다단 의 로드 록 챔버 ( 34 a ) 는 , 상하 방향 으로 완전히 겹칠 경우 도 있 고 , 일부 가 겹칠 경우 도 있 다 .