다른 양태 에 있 어서 , 주어진 구조물 ( 즉 , 제 1 구조물 또는 제 2 구조물 ) 내 의 패턴 요소 들 의 형상 은 불 균일 할 수 있 다 ( 도시 생략 됨 ) . 더 구체 적 으로 , 주어진 구조물 은 2 개 이상 의 패턴 요소 형상 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 4 구조물 은 ' 십자 ' 형상 ( 도시 생략 됨 ) 의 패턴 요소 ( 308 a ) 및 정사각형 형상 의 패턴 요소 ( 308 b ) 를 포함 할 수 있 다 . 패턴 요소 의 형상 및 패턴 요소 의 방위 가 그 들 의 공통 대칭 중심 에 대한 180 도 회전 불 변체 를 가진 타 겟 구조물 을 형성 하 고 각 타 겟 구조물 의 각 패턴 요소 가 그 개별 적 인 대칭 중심 에 대한 90 도 회전 불 변체 를 가지 면 , 오버레이 타 겟 ( 300 ) 의 타 겟 구조물 의 패턴 요소 의 형상 에 있 어서 일반 화 된 제한 은 없 다는 것 을 이해 하 여야 한다 .