또한 , 하층 배선 층 ( Ls 1 , Lv 1 ) 은 알루미늄 단체 ( Al ) 나 알루미늄 - 티탄 ( AlTi ) , 알루미늄 - 네오디뮴 - 티탄 ( AlNdTi ) 등 의 알루미늄 합금 , 구리 ( Cu ) 등 의 배선 저항 을 저감 하 기 위한 저 저항 금속 의 단층 이나 합금 층 에 의해 형성 하 는 것 이 라도 좋 고 , 크롬 ( Cr ) 이나 티탄 ( Ti ) 등 의 마이 그레이 션 을 저감 하 기 위한 천 이 금속 층 이 상기 저 저항 금속 층 의 하층 에 설치 된 적층 구조 를 갖 는 것 이 라도 좋 다 .