표 7 로부터 명백 한 바 와 같이 , 실시 예 3 - 1 ~ 3 - 7 에서 얻 어 진 반도체 용기 는 내열 성 및 내약품성 이 우수 하 다 . 또한 , 실시 예 3 - 1 ~ 3 - 7 에 의한 반도체 용기 는 아웃 가스 량 이 90 ppm 이하 이 고 , 클린 성 이 우수 하 다 . 따라서 , 이 들 반도체 용기 는 , 웨이퍼 등 을 수용 한 경우 에 웨이퍼 등 을 오염 시킬 개연 성 이 낮 다 .