또 , 온 - 오프 신호 의 듀티 비 [ 온 신호 인 기간 / ( 온 신호 인 기간 + 오프 신호인 기간 ) ] 를 , 상기 제 1 구동 신호 가 출력 되 어 있 는 기간 내 에서 변화 시켜 , 예 를 들 면 듀티 비 를 점차 크 게 함 으로써 , 온도 를 소정 의 승 온 레이트 로 상승 시킬 수 있 고 , 기판 의 승 온 시 의 열 적 인 데미지 를 완화 하 여 , 이 기판 의 변형 이나 깨 짐 을 억제 할 수 있 다 .