압력 실 P 1 , P 2 , P 3 , P 4 의 내부 압력 은 압력 조정부 ( 도시 생략 ) 에 의해 서로 독립 하 여 변화 시키 는 것 이 가능 하 고 , 이 에 의해 , 웨이퍼 W 의 4 개 의 영역 , 즉 , 중앙부 , 내측 중간부 , 외측 중간부 및 주 연부 에 대한 압박 력 을 독립 적 으로 조정 할 수 있 다 . 또한 , 톱 링 ( 31 A ) 의 전체 를 승강 시킴 으로써 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 을 소정 의 압박 력 으로 연마 패드 ( 10 ) 에 압박 할 수 있 게 되 어 있 다 .