기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 타 측 에 는 기판 가공 모듈 ( 102 ) 의 로드 락 챔버 ( 104 ) 가 연결 되 며 , 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 내부 압력 과 외부 압력 사이 의 차압 을 측정 하 기 위한 차압계 ( 미 도시 ) 가 상기 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 일 측벽 에 설치 되 어 있 다 . 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 바닥 패널 ( 112 a ) 에 는 다수 의 관 통공 들 이 형성 되 어 있 으며 , 상기 다수 의 관 통공 들 을 통해 상기 기판 이송 챔버 ( 112 ) 의 내부 로 공급 된 청정 한 공기 가 배출 된다 .