그런데 , 편 향기 에 의해 전자 빔 을 편향 해서 시료 상 을 주사 할 때 에 , 시료 로부터 발생 한 이 차전자 의 궤도 가 과도 하 게 편향 해 버려서 , 이 차전자 가 반사판 에 도달 하 지 않 는 경우 가 있 다 . 이 차전자 가 반사판 에 도달 하 지 않 으면 , 반사판 에서 반사 되 는 이 차전자 의 수 가 적 어 져서 이 차전자 의 검출 효율 이 저하 해 버린다 . 이 차전자 의 검출 효율 이 저하 하 면 , 검출 신호 의 S / N 이 저하 해서 얻 어 진 검사 화상 의 화질 도 저하 해 버린다 .