기판 ( 301 ) 상 에 형성 된 피처 들 ( 예 를 들 어 , 라인 들 ) 의 피치 ( pitch ) 는 평탄 한 거울 ( 312 A ) 의 각도 θ 에 부분 적 으로 의존 한다 . 그 후 , 기판 ( 301 ) 상 에 형성 된 라인 들 의 피치 를 조정 하 기 위해 , 제어기 ( 316 ) 는 제 2 제어 신호 를 출력 하 도록 구성 될 수 도 있 다 . 액추에이터 ( 322 ) 는 제 2 제어 신호 를 수신 하 고 , 이 에 따라 평탄 한 거울 ( 312 A ) 의 경사 를 조정 한다 ( 예 를 들 어 , θ 를 조정 한다 ) . 또 다른 실시 예 에서 , 경사진 평탄 한 거울 ( 312 A ) 은 기판 ( 301 ) 상 에 형성 된 라인 들 의 피치 의 미세 조정 을 유도 한다 . 또한 , 제어기 ( 316 ) 는 형성 된 라인 들 의 피치 를 대략 적 으로 조정 하 도록 작동 할 수 도 있 다 . 구체 적 으로 , 제어기 ( 316 ) 는 액추에이터 들 ( 318 및 320 ) 에 의해 수신 된 제 3 제어 신호 를 생성 하 도록 구성 될 수 있 다 . 제 3 제어 신호 에 응답 하 여 , 액추에이터 들 ( 318 및 / 또는 320 ) 은 오목 한 거울 ( 308 A ) 및 / 또는 볼록 한 거울 ( 310 A ) 을 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 및 / 또는 볼록 한 거울 ( 310 A ) 의 곡 률 을 변화 시키 거나 상이 한 곡 률 을 갖 는 또 다른 거울 로 , 교체 하 거나 상호 교환 한다 . 예 를 들 어 , 라인 의 피치 를 대략 적 으로 조정 하 기 위해 , 제어기 ( 316 ) 는 액추에이터 ( 318 ) 에 의해 수신 된 신호 를 생성 할 수 있 다 . 이 에 응답 하 여 , 액추에이터 ( 318 ) 는 오목 한 거울 ( 308 A ) 을 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 의 곡 률 을 변화 시키 거나 상이 한 곡 률 을 갖 는 또 다른 오목 한 거울 로 교체 하 거나 상호 교환 할 수 있 다 . 또한 , 액추에이터 들 ( 318 및 / 또는 320 ) 과 함께 제어기 ( 316 ) 는 일시 적 및 공간 적 간섭 성 이 유지 되 도록 , 간섭계 ( 300 ) 의 요소 들 [ 예 를 들 어 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 및 / 또는 볼록 한 거울 ( 310 A ) 을 대체 한 거울 ] 의 위치 , 형상 및 / 또는 방위 를 재 조정 하 도록 구성 될 수 있 다 .