도 3 을 참조 하 면 , 다수 의 센서 어레이 패턴 ( 15 ) 이 베이스 기판 ( 10 ) 에 식각 되 어 형성 되 어 있 는 것 을 확인 할 수 있 다 . 그리고 베이스 기판 ( 10 ) 의 가장자리 영역 에 식각 되 어 형성 된 홈 ( 16 a , 16 b ) 는 폴링 전극 을 인가 하 기 위한 영역 이 다 . 상기 폴링 전극 형성 을 위한 홈 ( 16 a , 16 b ) 은 베이스 기판 ( 10 ) 영역 중 센서 어레이 패턴 ( 15 ) 이 형성 되 어 있 지 않 은 영역 이 면 어디 든지 형성 될 수 있 다 . 또한 , 본 실시 예 에서 는 두 개 의 홈 ( 16 a , 16 b ) 이 형성 된 경우 를 나타내 었 으나 , 하나 의 홈 만 형성 될 수 도 있 다 .