다수 의 챔버 세정 방법 이 공지 되 어 있 다 . 챔버 의 습식 화학 세정 이 가능 하 나 , 이 는 반응 챔버 의 해체 를 필요 로 하 므로 높 은 노동 비용 및 긴 정지 시간 을 필요 로 한다 . 소위 건식 세정 은 기체 혼합물 을 챔버 에 도입 시켜 원 하 지 않 는 물질 과 반응 시키 고 , 이 를 이후 퍼징 공정 을 통해 쉽 게 제거 하 는 것 을 포함 한다 . 일부 건식 세정 방법 은 , 기체 혼합물 을 , 화학 반응 을 통해 침착 된 물질 을 세정 할 수 있 는 반응 성 종 으로 해리 ( disassociation ) 시키 기 위해 , 마이크로파 에 의해 발생 된 플 라즈 마 를 챔버 에 사용 한다 . 플 라즈 마 가 필요 한 경우 , 플 라즈 마 와 직접 접촉 하 지 않 는 챔버 내 의 영역 은 효과 적 으로 세정 되 지 않 을 것 이 다 . 또한 , 시간 이 지나 면 , 플라 즈 마는 챔버 및 그 안 에 저장 되 는 임의 의 성분 의 손상 또는 열화 를 초래 함 으로써 챔버 의 상태 에 부정 적 영향 을 미칠 수 있 다 . 분리 된 플 라즈 마 시스템 을 이용 한 챔버 상류 에서 의 반응물 해리 가 가능 하 나 , 이것 은 추가 의 장치 및 설비 를 설치 해야 하 고 장치 소유자 에 의해 운전 되 어야 하 므로 비용 이 들 고 전체 세정 정지 시간 을 증가 시킬 수 있 다 .