세정 유닛 ( 40 ) 은 , 한 쌍 의 제 1 가이드 레일 ( 15 ) 끼리 가 떨어지 면 , 가열 유닛 ( 30 ) 에 의해 이완 부분 ( 3 - 5 ) 이 가열 되 고 , 수축 한 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 이 스피너 테이블 ( 41 ) 상 에 재치 된다 . 세정 유닛 ( 40 ) 은 , 스피너 테이블 ( 41 ) 을 Z 축 방향 과 평행 한 축심 둘레 로 회전 하 면서 세 정수 공급 노즐 로부터 세 정수 를 피 가 공물 ( 2 ) 의 표면 ( 5 ) 에 공급 하 고 , 피 가 공물 ( 2 ) 을 세정 한다 .