각 로크 는 웨이퍼 캐리어 에 고정 된다 . 도 3 및 도 5 에 가장 잘 도시 된 바 와 같이 , 각 로크 의 중간 부분 ( 52 ) 은 메인 부분 에서 홀 ( 42 ) 의 벽 에 기대 어 놓인다 . 저부 부분 ( 54 ) 은 홀 의 벽 에 언더컷 ( undercut ) ( 64 ) ( 도 3 ) 으로 연장 되 고 , 따라서 로크 는 웨이퍼 캐리어 의 보디 에 상대 적 으로 수직 인 이동 을 막 도록 유지 시키 고 , 저부 부분 ( 50 ) 이 포켓 의 플로어 표면 ( 46 ) 상 에 기대 어 ( rest ) 진다 . 도 5 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 메인 부분 ( 38 ) 은 수평 방향 들 로 의 이동 을 막 는 로크 를 유지 시키 기 위해 홀 ( 42 ) 의 벽 으로부터 포켓 으로 연장 되 는 돌출 들 ( 66 ) 을 구비 할 수 도 있 다 .