상기 탄소 나노 튜브 를 이용 한 에 미터 의 형성 방법 은 , 기판 상부 에 캐소드 전극 과 촉매 금속 층 을 형성 한 다음 , 상기 촉매 금속 층 상부 에 감광성 레지스 트 층 을 형성 하 고 리 소그라 피 공정 에 의해 원 하 는 위치 에 원하 는 모양 의 패턴 으로 에 미터 성 장부 들 을 형성 하 고 나머지 부분 의 감광성 레지스 트 를 제거 한다 . 다음 에 상기 패턴 으로 형성 된 에 미터 성 장부 들 에 탄소 나노 튜브 를 이용 하 여 에 미터 를 성장 시킨다 .