이어서 , 배치 대 ( 2 ) 의 유로 ( 20 ) 의 구성 에 대하 여 설명 한다 . 도 3 은 실시 형태 에 따른 배 치대 ( 2 ) 를 상 방향 에서 본 구성 의 일례 를 평면도 이 다 . 도 3 에 는 배치 대 ( 2 ) 의 배치 면 ( 6 e ) 이 원판 형상 으로 나타나 있 다 . 유로 ( 20 ) 는 , 예 를 들 면 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 기재 ( 2 a ) 의 내부 의 배치 면 ( 6 e ) 에 대응 하 는 영역 에 소용돌이 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 유로 ( 20 ) 는 일단 에 냉매 를 도입 하 는 도입 구 ( 20 a ) 가 마련 되 고 , 타단 이 냉매 를 배출 하 는 배출구 ( 20 b ) 가 마련 되 어 있 다 . 도입 구 ( 20 a ) 는 냉매 입 구 배관 ( 21 a ) 에 접속 된다 . 배출구 ( 20 b ) 는 냉매 출구 배관 ( 21 b ) 에 접속 된다 . 유로 ( 20 ) 는 냉매 입 구 배관 ( 21 a ) 으로부터 도입 구 ( 20 a ) 로 도입 된 냉매 가 내부 를 통과 하 고 , 내부 를 통과 한 냉매 가 배출구 ( 20 b ) 로부터 냉매 출구 배관 ( 21 b ) 으로 배출 된다 . 이 에 의해 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 배치 대 ( 2 ) 의 배치 면 ( 6 e ) 전역 에 있 어서 , 웨이퍼 ( 8 ) 의 온도 를 제어 한다 .