도 4 e 에 도시 된 바 와 같이 , 전면 에 배리 어 막 ( 47 A ) 을 증착 한 후 , 워드 라인 으로 사용 될 금속 막 ( 48 A ) 을 증착 한다 . 이때 , 금속 막 ( 48 A ) 은 필라 구조물 사이 를 충분히 채울 때 까지 전면 에 증착 한다 . 바람직 하 게 , 금속 막 ( 48 A ) 은 W , Al , Cu , Au 또는 Ru 중 에서 선택 된 어느 하나 의 금속 막 이 며 , ALD , PVD 또는 CVD 방법 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 . 그리고 , 배리 어막 ( 47 A ) 은 확산 배리 어 역할 을 하 는 물질 로서 , WN , WSiN , TaN , Ti 또는 WSi 중 에서 선택 된 어느 하나 를 사용 하 며 , ALD , PVD 또는 CVD 방법 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 .