상기 공기 분사 유닛 ( 120 ) 에서 분사 되 는 가열 된 공기 ( A ) 의 온도 가 처리 공간 ( 112 ) 에서 기판 ( S ) 을 처리 하 는 온도 보다 높 으면 , 공기 분사 유닛 ( 120 ) 이 공기 를 불 필요 하 게 높 게 가열 하 여 전력 소모 가 증가 될 수 있 다 . 이 와 반대 로 , 상기 공기 분사 유닛 ( 120 ) 에서 분사 되 는 가열 된 공기 ( A ) 의 온도 가 처리 공간 ( 112 ) 에서 기판 ( S ) 을 처리 하 는 온도 보다 15 도 보다 더 낮 으면 , 공기 분사 유닛 ( 120 ) 에서 분사 되 는 공기 가 챔버 부재 ( 110 ) 내부 로 유입 되 면서 기판 ( S ) 의 온도 가 불 균일 해질 수 있 다 .