그러나 , 베이스 기판 의 표면 이 평탄 하 지 않 을 경우 에 는 베이스 기판 과 단결정 실리콘 기판 의 접합 시 에 접합 불량 을 일으켜 , 베이스 기판 위 에 단결정 실리콘 막 이 형성 되 지 않 은 영역 ( 결함 ) 이 생긴다 . 이 와 같 은 결함 을 갖 는 SOI 기판 을 사용 하 여 트랜지스터 등 의 반도체 소자 를 형성 했 을 경우 , 동작 불량 이 생길 우려 가 있 다 . 특히 , 베이스 기판 의 대형 화 에 따라 이러 한 문제 는 현저 해진다고 생각 할 수 있 다 .