본 변형 예 에서 는 , 모듈 간 이동 공정 ( 단계 S 71 ) 후 , 제 3 검출 공정 ( 단계 S 72 ) , 제 3 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 73 ) , 제 3 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 74 ) 및 반송 공정 ( 단계 S 75 ) 을 행한다 . 제 3 검출 공정 ( 단계 S 72 ) , 제 3 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 73 ) 및 제 3 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 74 ) 은 , 각각 검출 공정 ( 단계 S 63 ) , 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 64 ) 및 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 66 ) 과 같 은 식 으로 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 66 ) 또는 제 2 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 70 ) 에 있 어서 최초 에 어긋남 량 을 검출 한 후 , 다음 처리 모듈 로 반송 하 는 사이 에 발생 한 어긋남 량도 검출 할 수 있 다 .