증착 챔버 ( 100 ) 의 일 측 에 설치 되 는 배출 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 조절 하 는 과정 은 배출 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 진공 상태 로 조절 한다 . 이 는 배출 챔버 ( 300 ) 의 배기 펌프 를 조절 하 여 이루어질 수 있 으며 , 진공 상태 로 유지 되 는 증착 챔버 ( 100 ) 와 는 별도 로 내부 압력 이 조절 되 어 이루어진다 . 또한 , 배출 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 조절 하 는 과정 은 제 1 저장 용기 ( 500 ) 를 가열 하 여 원료 물질 을 기판 에 제공 하 는 과정 이후 에 이루어질 수 도 있 으나 , 제 1 저장 용기 ( 500 ) 를 가열 하 여 원료 물질 을 기판 에 제공 하 는 과정 과 동시 에 이루어질 수 도 있 다 . 이 와 같이 제 1 저장 용기 ( 500 ) 를 가열 하 여 원료 물질 을 기판 에 제공 하 는 과정 과 동시 에 배출 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 진공 상태 로 조절 하 는 경우 증착 공정 이 완료 되 는 즉시 , 원료 물질 이 소진 된 제 1 저장 용기 ( 500 ) 를 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 배출 챔버 ( 300 ) 로 이송 시킬 수 있 게 된다 .