여기 에서 , 제 2 반송 아암 ( 14 ) 은 2 개 의 지지 아암 을 갖 고 있 다 . 이것 에 의해 , 한쪽 의 지지 아암 에 의해 당해 진공 처리 실 ( 16 ) 에 있 어서 처리 된 웨이퍼 를 반출 하 고 , 계속 해서 다른 한쪽 의 지지 아암 에 미리 지지 되 어 있 던 미처리 된 웨이퍼 를 당해 진공 처리 실 ( 16 ) 로 반입 하 고 , 이어서 , 한쪽 의 지지 아 암상 의 웨이퍼 를 다음 공정 처리 를 행하 는 다른 진공 처리 실 ( 16 ) 로 반송 하 는 것 이 가능 해진다 .