그리고 , 도 1 d 에 따라 , 상기 금속 절 연막 ( 4 ) 이 드러날 때 까지 상기 콘 택 금속 층 ( 5 ) 을 평탄 화 하 여 콘 택 플러그 를 형성 한다 . 이때 , 상기 평탄 화 과정 은 기계 적 및 화학 적 연마 를 동시 에 수행 하 는 CMP ( Chemical Mechnical Polishing ) 공정 을 통해 이루어지 는 것 이 다 .