채널 막 들 ( 30 ) 은 불순물 이 도핑 된 폴리 실리콘 을 포함 할 수 있 다 . 채널 막 들 ( 30 ) 은 불순물 이 도핑 되 지 않 은 폴리 실리콘 을 포함 할 수 도 있 다 . 각각 의 채널 막 들 ( 30 ) 은 바닥 이 막히 고 중심 영역 이 오픈 된 튜브 형태 를 가질 수 있 고 , 오픈 된 채널 막 들 ( 30 ) 의 중심 영역 내 에 는 매립 절 연막 ( 32 ) 이 채워질 수 있 다 . 도시 하 지 않 았 지만 , 채널 막 들 ( 30 ) 은 필라 ( pillar ) 형태 를 가질 수 있 고 , 이러 한 경우 매립 절 연막 ( 32 ) 이 형성 되 지 않 을 수 있 다 .