이 에 따라 , 에 어 펌프 ( 15 ) 로부터 토출 된 기체 를 상부 기체 공급 홈 ( 26 ) 에 공 급 할 수 있 도록 되 어 있 고 , 순수 공급 펌프 ( 19 ) 로부터 토출 된 순수 를 상부 액체 공급 홈 ( 27 ) 에 공급 할 수 있 다 . 또한 , 3 방향 전환 밸브 ( 21 ) 를 전환 조작 하 면 , 에 어 펌프 ( 15 ) 로부터 토출 된 기체 를 하부 액체 공급 홈 ( 12 ) 으로부터 상부 액체 공급 홈 ( 27 ) 에 공급 할 수 도 있 게 되 어 있 다 .