도 19 를 참조 하 면 , 적층 된 반도체 기판 ( 100 ) , 피복층 ( 102 ) 및 반도체 층 ( 105 ) 을 포함 하 는 기판 ( 110 ) 상 에 제 1 마스크 패턴 ( 302 a ) 를 형성 한다 . 상기 제 1 마스크 패턴 ( 300 a ) 은 복수 의 제 1 개 구부 들 ( 302 a ) 을 포함 한다 . 상기 제 1 개 구부 들 ( 302 a ) 은 제 1 폭 들 을 갖 는다 . 상기 제 1 개 구부 들 ( 302 a ) 은 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 평행 한 일 방향 을 따라 서로 이격 되 어 배치 된다 .