그 에 따라 , 등록 특허 제 10 - 1618629 호 에 는 센서 를 회로 패턴 ( 메탈 패턴 ) 으로 연결 하 여 수작업 공정 을 줄이 기 위한 구조 가 소개 되 었 다 . 그 기술 에서 는 메탈 패턴 을 적용 함 에 따라 리드선 을 수작업 으로 연결 할 필요 는 없 게 되 었 으나 센싱 값 을 전송 하 기 위한 커넥터 를 웨이퍼 에 구비 하 면서 그 커넥터 를 리더 기에 유선 으로 연결 하 여 공정 모니터링 을 진행할 수 있 었 기 때문 에 여전히 구조 의 복잡도 문제 를 해결 할 수 없 을 뿐 만 아니 라 생산 단가 도 크 게 줄지 않 는다는 단점 이 있 다 .