일반 적 인 이온 소스 부 는 음극 ( cathode ) 역할 을 하 는 필라멘트 에 고압 의 전류 가 흐르 면 필라멘트 는 열 을 내 면서 전자 를 방출 하 게 된다 . 이 를 열전자 라고 하 는데 , 열전자 는 양극 역할 을 하 는 Anode 인 리 펠러 측 으로 가속 되 어 끌리 게 되 고 , 이러 한 과정 에서 아크 챔버 에 연결 된 가스 라인 을 통해 투입 된 가스 분자 혹은 원자 와 충돌 하 게 된다 .