또한 , 챔버 ( 4 ) 의 냉각 은 , 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 상 에서 행하 지 않 고 , 절연 층 이 형성 된 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 는 같 은 챔버 ( 4 ) 끼리 를 중첩 한 상태 로 냉각 시켜 , 공간 절약 화 를 도모 하 며 , 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 을 사용 가능 한 상태 로 하 여 , 냉각 대기 에 의한 작업 효율 의 저하 를 막 으면 바람직 하 다 .