그렇지만 , 레지스 트 조성물 에 색소 를 배합 하 는 방법 은 , 레지스 트 패턴 의 해상도 가 나빠 지 거나 레지스 트 막 이 박막 의 경우 에 는 헐레이션 방지 효과 가 충분 하 지 않 다고 하 는 문제 가 있 다 . 또 , 광반사 방지 층 을 형성 하 는 방법 은 , 에칭 의 부담 이 증대 한다고 하 는 큰 문제 가 있 다 . 또 , 네 거형 화학 증폭 계 감광성 조성물 을 이용 하 는 방법 은 , 가열 처리 가 필요 하 게 되 므로 코스트 가 비싸 져 , 공정 관리 가 귀찮 다 라고 하 는 문제 가 있 다 .