[ 0008 ] 본 개시 내용 의 다른 양상 에 따르 면 , 진공 시스템 이 제공 된다 . 진공 시스템 은 , 본원 에 설명 된 실시 예 들 중 임의 의 실시 예 에 따른 증착 장치 ; 및 증착 장치 의 진공 챔버 에 인접 하 게 배치 되 는 제 2 진공 챔버 를 포함 하 며 , 여기 서 , 증착 장치 의 공급 어 레인지 먼 트 는 , 진공 챔버 로부터 제 2 진공 챔버 옆 의 공간 으로 적어도 부분 적 으로 연장 된다 .