본 발명 은 에피 택 셜 반응기 를 위한 반응 챔버 ( 1 ) 에 관한 것 이 며 , 반응 챔버 에 는 내부 공동 ( 10 ) 을 한정 하 는 벽 들 이 마련 되 는데 , 특히 하부 벽 ( 3 ) 과 , 상부 벽 ( 2 ) 과 , 적어도 2 개 의 측벽 ( 4 , 5 ) 들 이 다 . 하 부벽 ( 3 ) 과 상부 벽 ( 2 ) 은 서로 다른 구성 을 가지 고 / 가지 거나 서로 다른 물질 로 제작 된다 . 따라서 하 부벽 ( 3 ) 은 상부 벽 ( 2 ) 보다 더 높 은 온도 까지 가열 된다 . 본 발명 은 또한 반응 챔버 를 가열 하 기 위한 방법 에 관한 것 이 다 .