벤트 준비 부 ( 113 ) 는 , 송액 부 ( 60 ) 로부터 보충 부 ( 50 ) 로 처리 액 을 되돌리 는 처리 ( 이하 , 「 벤트 」 라고 함 ) 를 위한 준비 를 행하 도록 구성 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 벤트 준비 부 ( 113 ) 는 , 벤트 개시 전 에 , 보충 부 ( 50 ) 내 의 처리 액 의 압력 ( 이하 , 「 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 」 이 라고 함 ) 과 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 을 조절 함 으로써 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨다 . 벤트 준비 부 ( 113 ) 는 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨 상태 에서 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 한다 .