예 를 들 면 , 도 2 에 나타낸 듯이 , 기판 ( P ) 을 - Y 방향 으로 이동 하 면서 기판 ( P ) 위 의 하나 의 쇼트 영역 ( SH ) 을 다중 노광 하 는 경우 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 도 2 에 있 어서 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 도달 했 을 때 에 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 패턴 의 상 의 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 으로 의 투영 이 개시 되 도록 , 제 1 마스크 스테이지 ( 6 A ) 의 주사 방향 으로 의 이동 을 제어 한다 . 또한 기판 ( P ) 을 - Y 방향 으로 이동 시키 고 , 쇼트 영역 ( SH ) 이 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 을 통과 하 는 것 에 의해서 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 노광 ( 제 1 주사 노광 ) 이 완료 된다 . 또 , 쇼트 영역 ( SH ) 위 에 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 이 존재 하 고 있 는 동안 ( 제 1 주사 노광 중 ) 에 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 한다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 도 2 에 있 어서 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 했 을 때 에 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 제 2 패턴 의 상 의 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 으로 의 투영 이 개시 되 도록 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 B ) 의 주사 방향 으로 의 이동 을 제어 한다 . 보다 구체 적 으로 는 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 으로 의 제 1 패턴 의 상 의 투영 이 개시 된 후 에 , 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 의 위치 ( AR 1 과 AR 2 의 상대 거리 ) 및 기판 ( P ) 의 - Y 방향 으로 의 이동 속도 에 의거 하 여 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 - Y 측 의 엣지 ( G 1 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 도달 했 을 때 에 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 패턴 의 상 의 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 으로 의 투영 이 개시 되 도록 제 2 마스크 스테이지 ( 6 B ) 의 주사 방향 으로 의 이동 을 제어 한다 . 또한 기판 ( P ) 을 - Y 방향 으로 이동 시키 고 , 쇼트 영역 ( SH ) 이 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 을 통과 하 는 것 에 의해서 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 노광 ( 제 2 주사 노광 ) 이 완료 된다 . 이것 에 의해 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 형성 되 는 제 1 패턴 의 상과 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 형성 되 는 제 2 패턴 의 상 에 의한 쇼트 영역 ( SH ) 의 다중 노광 ( 이중 노광 ) 이 완료 된다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 도 , 상술 의 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 마스크 블라인드 계 에 의해서 , 제 1 , 제 2 주사 노광 의 개시 직후 및 종료 직전 의 소정 기간 중 에 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 의 폭 을 변화 시킨다 , 즉 제 1 , 제 2 주사 노광 의 개시 및 종료 를 제어 하 는 것 이 바람직 하 다 .