우선 , 베이스 기판 ( 80 ) 을 작성 한다 ( 단계 1802 ) . 베이스 기판 ( 80 ) 은 , 어떤 실시 예 에서 는 , 도 13 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 홈 ( 82 ) 이 표면 ( 80 a ) 에 형성 된 수지 나 유리제 의 평판 이 고 , 위 에서 볼 때 직사각 형 형상 을 갖 는다 . 홈 ( 82 ) 은 구조 체 ( 2 ) 의 외형 보다 큰 직사각 형 형상 을 갖 고 , 노광 영역 외부 에 설치 된다 . 본 실시 예 에서 는 열가소성 수지 를 사용 하 여 사출 성형 에 의해 베이스 기판 ( 80 ) 을 작성 한다 . 다른 실시 예 에서 는 , 베이스 기판 ( 80 ) 은 , 도 14 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 베이스 기판 ( 80 ) 에 단차 ( 81 ) 가 설치 된 베이스 기판 ( 80 A ) 으로 치환 된다 . 단차 ( 81 ) 를 구성 하 는 평판 은 노광 영역 을 커버 한다 . 단차 ( 81 ) 는 주위 의 평탄부 보다 높이 가 높 다 .