압력 스로틀 링 ( 127 ) 은 배출 채널 ( 125 ) 내 에서 이동 하 여 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 으로부터 배출 채널 ( 125 ) 을 통한 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 의 유체 플로우 , 즉 가스 들 의 플로우 를 스로틀 링 하 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에서 , 압력 스로틀 링 ( 127 ) 은 상부 플 라즈 마 챔버 ( 112 ) 의 아 우터 구조 부재 ( 104 ) 내 의 등각 으로 정의 된 오목 영역 내 에서 수직 방향 으로 이동 하 도록 정의 된다 . 이 실시 형태 에서 , 압력 스로틀 링 ( 127 ) 은 배출 채널 ( 125 ) 을 통한 플로우 영역 을 감소 시키 고 이 에 의해 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 으 로부터 의 유체 플로우 를 스로틀 링 하 도록 제어 되 는 방식 으로 배출 채널 ( 125 ) 아래 로 이동 될 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 압력 스로틀 링 ( 127 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 으로부터 배출 채널 ( 125 ) 을 통한 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 로 의 플로우 의 완벽 한 차단 을 가능 하 게 하 도록 정의 된다 .