일 양태 에서 , 본원 에 는 기판 상 에 규소 및 산소 를 포함 하 는 막 을 증착 시키 는 방법 으로서 , ( a ) 반응기 에 기판 을 제공 하 는 단계 ; ( b ) 반응기 에 하 기 A , B , C , D , 및 E 로 이루어진 군 으로부터 선택 된 적어도 하나 의 규소 전구체 화합물 을 도입 하 는 단계 ; ( c ) 반응기 를 퍼지 가스 로 퍼징 시키 는 단계 ; ( d ) 반응기 에 산소 - 함유 공급원 및 질소 - 함유 공급원 중 적어도 하나 를 도입 하 는 단계 ; 및 ( e ) 반응기 를 퍼지 가스 로 퍼징 하 는 단계 를 포함 하 며 , 여기 서 , 단계 b 내지 단계 e 는 요망 되 는 두께 의 막 이 증착 될 때 까지 반복 되 며 , 방법 은 약 25 ℃ 내지 600 ℃ 범위 의 하나 이상 의 온도 에서 수행 되 는 방법 이 개시 된다 :