최적 의 제조 를 위해 , 랙 은 최대 로 충 진 될 수 있 다 ; 그러나 기판 상 에 수용 된 전력 을 증가 시키 고 기판 의 표면 에 걸쳐서 수용 된 복사선 의 균일성 을 향상 시키 기 위해서 랙 ( 12 ) 내 의 기판 수 를 최대치 보다 낮 게 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 랙 은 이격 된 관계 로 10 내지 80 매 의 기판 을 구비 할 수 있 다 . 랙 내 의 기판 간격 은 , 이러 한 경우 5 내지 200 , 바람직 하 게 는 20 내지 140 , 가장 바람직 하 게 는 40 mm 내지 100 mm 일 수 있 다 .