따라서 제 2 제어 형태 에 따르 면 , 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 시점 에서 의 처리 중 로트 의 미처리 매수 에 따라 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 을 임기 응변 으로 가변 시키 는 것 이 가능 해 지 고 , 그 결과 로서 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 에 대해서 한층 더 적정 화 를 도모 할 수 있 다 .