종래 , 디 메틸 디 클로로 실란 은 실리콘 과 메틸 클로라이드 ( 가스 ) 의 270 - 350 ℃ 에서 이른바 뮐러 - 라 카우 방법 에 의해 제조 한다 . 이 를 위해서 는 , 고품질 의 금속 실리콘 이 필요 한데 , 이 는 여전히 촉매 ( Cu ) 와 정량 의 촉진제 ( promoter ) ( 소량 의 여러 가지 금속 ) 가 혼합 되 어야 한다 . 비교 적 비싼 금속 급 실리콘 과 비싸 고 유독 한 ( 발암성 ) 메틸 클로라이드 가 사용 된다는 점 에서 좋 지 않 다 . 바람직 한 Me 2 SiCl 2 외 에 도 , MeSiCl 3 , Me 3 SiCl , Me 4 Si 및 SiCl 4 뿐 만 아니 라 고비 등성 올리 고 실란 과 같 은 다른 실란 화합물 들 도 다양 한 비율 로 여전히 생성 되 고 있 다 .