또한 , 질량 분석기 ( 104 ) 는 상기 가속 전극 에서 가속 된 이온 들 로부터 소정 의 이온 종 을 선택 적 으로 추출 하 기 위해 상기 이온 빔 ( 100 ) 이 진행 하 는 방향 에 수직 되 는 쌍극자 마그넷 을 인가 하 여 상기 이온 의 질량 및 전하량 에 따라 다양 한 종류 의 이온 빔 ( 100 ) 이 서로 다른 편 향각 을 갖 도록 하 는 분해 마그넷 ( 도시 하 지 않 음 ) 과 , 상기 분해 마그넷 에 의해 동일 또는 유사 한 편 향각 을 갖 는 소정 의 불순물 이온 들 을 통과 시키 는 분 해구 ( slit , 103 ) 를 갖 는 마스크 ( 103 ) 를 구비 하 여 이루어진다 . 이때 , 상기 질량 분석기 ( 104 ) 에서 추출 된 이온 빔 ( 100 ) 은 상기 분 해구 ( 103 a ) 를 통과 하 는 과정 에서 스 캐 터 링 되 어 상기 질량 분석기 ( 104 ) 의 후단 에서 방사형 으로 퍼질 수 있 기 때문 에 소정 의 방향 으로 자기장 을 형성 하 는 제 1 자기 집중 전극 ( 106 ) 에 의해 집중 된다 .