각 시료 에서 , 질화 산화 실리콘 막 을 형성 함 으로써 산소 분자 의 이탈 을 억제 할 수 있 었 다는 것 을 확인 할 수 있 다 . 즉 , 질화 산화 실리콘 막 이 산소 차단성 을 가지 는 것 을 알 수 있 다 . 특히 , 성막 시 의 일산 화 이질소 가스 의 유량 이 가장 적 은 시료 B 1 은 매우 높 은 산소 차단성 을 나타내 는 것 을 확인 할 수 있 었 다 .