c ) 제 2 전극 ( aa ) 이 있 는 샤워 헤드 의 플 라즈 마 내 에서 화학 반응 이 일어날 수 있 기 때문 에 , 샤워 헤드 또는 제 2 전극 ( aa ) 상 에 반응물 이 축적 될 가능 성 이 있 다 . 이 는 처리 중 에 제 2 전극 ( aa ) 내 의 개구 ( ee ) 를 막히 게 하 여 , 처리 가스 공급 의 비 균일 성 및 가스 흐름 ( 유동 ) 의 변형 을 초래 할 수 있 다 . 이 는 또한 처리 를 제어 불능 으로 만들 어 처리 된 기판 상 에 원치 않 는 결과 및 수율 손실 을 초래 할 수 있 다 . 이 는 또한 샤워 헤드 를 형성 하 는 제 2 전극 ( aa ) 의 빈번 한 세척 과 교체 를 필요 로 하 여 처리 비용 을 증가 시킬 수 있 다 .