다른 실시 예 들 에서 , 제 1 이중 물질 실리사이드 전구체 층 ( 201 ) 을 퇴적 하 기 위한 퇴적 공정 은 제 1 실리사이드 전구체 물질 이 반응 하 기 에 너무 낮 은 온도 , 예컨대 , 약 250 ℃ 미만 의 온도 에서 수행 될 수 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 , 제 1 상 실리사이드 층 ( 205 ) 을 형성 하 기 위해 퇴적 후 에 선택 적 어닐링 공정 이 수행 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 선택 적 어닐링 공정 은 약 1 초 내지 약 100 초 , 예컨대 , 약 30 초 의 시간 기간 동안 약 150 ℃ 내지 약 250 ℃, 예컨대 , 약 200 ℃ 의 온도 에서 수행 될 수 있 다 . 그러나 임의 의 적합 한 온도 및 시간 이 사용 될 수 있 다 .