그 밖 의 영향 에 의한 특이점 은 , 하 지 산화 막 의 영향 에 의한 특이점 의 검출 방법 과 보정 방법 에서 설명 한 알고리즘 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 이외 에 있 는 측 정점 의 막 두께 의 측정 결과 , 및 측정 점 의 좌표 를 적용 함 으로써 , 검출 및 보정 이 가능 해진다 . 도 12 는 특이점 을 보정 하 는 처리 의 일례 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 .