이 예 에서 는 , 우선 , 덮개 체 ( 8 ) 에 의해 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 닫 고 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 와 덮개 체 ( 8 ) 에 의해 형성 되 는 구획 공간 ( S ) 을 진공 배기 유닛 ( 79 ) 에 의해 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 과 동일 한 압력 ( 감압 ) 까지 진공 배기 한 후 , 덮개 체 ( 8 ) 를 슬라이드 이동 시켜 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 연다 . 다음 으로 , 지지 부재 ( 71 ) 를 승강 기구 ( 75 ) 에 의해 반송 위치 까지 상승 시켜 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의해 지 지 부재 ( 71 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 반입 한다 . 이어서 , 지지 부재 ( 71 ) 를 제 2 오 목부 ( 41 ) 내 의 소정 위치 까지 하강 시킨 후 , 덮개 체 ( 8 ) 를 슬라이드 이동 시켜 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 를 닫 고 , 구획 공간 ( S ) 에 가스 공급원 으로부터 불활성 가스 ( 또는 N ₂ 가스 ) 를 공급 한다 . 이것 에 의해 , 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 측벽 ( 41 a ) 에 형성 된 유로 ( 41 b ) 를 흐르 는 온도 조정 유체 의 열 이 불활성 가스 를 통하 여 웨이퍼 ( W ) 로 전도 되 고 , 웨이퍼 ( W ) 가 예비 적 으로 가열 된다 . 이 가열 을 소정 시간 행한 후 , 구획 공간 ( S ) 으로 불활성 가스 를 공급 하 는 것 을 정지 하 고 , 구획 공간 ( S ) 을 제 2 반 송실 ( 3 ) 과 동일 한 압력 ( 감압 ) 까지 배기 한다 . 이 후 , 덮개 체 ( 8 ) 를 열 고 , 지지 부재 ( 71 ) 를 반송 위치 까지 상승 시켜 , 처리 된 웨이퍼 ( W ) 가 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의해 반출 된다 .