구체 적 으로 는 , 노즐 이동 유닛 ( 22 ) 이 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 을 처리 위치 에 이동 시키 고 , 컵 승강 유닛 ( 15 ) 이 , 컵 ( 14 ) 을 상측 위치 까지 상승 시킨다 . 그 후 , 약액 공급 장치 ( 23 ) 가 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 로 의 약액 의 공급 을 개시 하 고 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 이 약액 을 토출 한다 . 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 이 약액 을 토출 하 고 있 을 때 에 , 노즐 이동 유닛 ( 22 ) 은 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 로부터 토출 된 약액 이 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 착 액 ( 着 液 ) 하 는 중앙 처리 위치 와 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 로부터 토출 된 약액 이 기판 ( W ) 의 상면 외 주부 에 착 액 하 는 외주 처리 위치 사이 에서 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 을 이동 시켜도 되 고 , 약액 의 착 액 위치 가 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 위치 하 도록 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 을 정지 시켜도 된다 .