구체 적 으로 , 도 9 및 도 10 을 참조 하 면 , 테이블 플레이트 구 조체 ( 11 ) 는 Z 축 방향 으로 복수 개 의 제 1 관부 ( 1111 ) 가 형성 되 는 제 1 플레이트 ( 111 ) , 제 1 플레이트 ( 111 ) 의 Z 축 방향 일 측 에 배치 되 되 복수 개 의 제 1 관부 ( 1111 ) 각각 과 연통 되 게 Z 축 방향 일 측 으로 연장 형성 되 는 제 2 관부 ( 1121 ) 복수 개 가 형성 되 는 제 2 플레이트 ( 112 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이 에 따르 면 , 제 2 플레이트 ( 112 ) 는 제 1 플레이트 ( 111 ) 와 후술 할 음압 전달 플레이트 부 ( 121 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 또한 , 제 2 관부 ( 1121 ) 는 복수 개 의 제 1 관부 ( 1111 ) 각각 과 후술 할 함몰 부 ( 12111 ) 를 연통 시킬 수 있 다 . 진공 홀 ( 114 ) 은 제 1 및 제 2 관부 ( 1111 , 1121 ) 를 포함 할 수 있 다 .