도 1 b 를 참조 하 면 , 상기 트렌치 형성 을 위한 식각 시 의 식각 데미지 ( etch damage ) 를 회복 시키 기 위해 상기 결과물 에 대한 희생 산화 공정 을 수행 하 고 , 이 를 통해 , 트렌치 의 표면 에 측벽 산화 막 ( 5 ) 을 형성 한다 . 그런 다음 , 기판 의 전면 상 에 라이너 ( liner ) 질화 막 ( 6 ) 을 증착 한 후 , 상기 라이너 질화 막 ( 6 ) 상 에 라이너 질화 막 과 후속 트렌치 에 증착 하 는 매립 산화 막간 의 계면 안정 을 위해 라이너 산화 막 ( 7 ) 을 형성 한다 .