이러 한 다층 레지스 트 법 에 있 어서 , 규소 함유 레지스 트 하층 막 과 피 가 공체 사이 에 유기 하 층막 을 설치 하 고 , 유기 하 층막 을 피 가 공체 의 에칭 마스크 로 하 는 경우 에 는 , 유기 하층 막 은 방향 족 골격 을 갖 는 유기 막 인 것 이 바람직 하 지만 , 유기 하 층막 이 희생 막인 경우 등 은 , 규소 함량 이 15 질량 % 이하 의 것 이 라면 규소 함유 유기 하 층막 이 어도 좋 다 .