화학 기계 적 연마 는 예컨대 삼 단계 에 걸쳐 수행 될 수 있 으며 , 첫 번 째 는 금속 층 ( 40 ) 의 윗부분 , 즉 소정 두께 를 가진 벌크 금속 을 제거 하 는 단계 이 고 , 두 번 째 는 도전 층 ( 30 ) 위 에 남 아 있 는 소정 의 금속 을 세밀 하 게 제거 하 는 단계 이 고 , 세 번 째 는 도전 층 ( 30 ) 을 제거 하 는 단계 이 다 . 첫 번 째 단계 는 비교 적 고압 에서 높 은 연마 속도 로 수행 될 수 있 으며 , 예컨대 약 2 . 5 psi 이상 의 압력 에서 약 6000 Å / min 의 연마 속도 로 수행 될 수 있 다 . 두 번 째 및 / 또는 세 번 째 단계 는 비교 적 저압 에서 낮 은 연마 속도 로 수행 될 수 있 으며 , 예컨대 약 1 . 5 psi 이하 의 압력 에서 약 3000 - 4000 Å / min 의 연마 속도 로 수행 될 수 있 다 .