따라서 , 본 발명 은 상기 한 문제점 을 해결 하 기 위하 여 안출 한 것 으로 , 그 목적 은 플라 즈 마 전 극판 에 삽입 되 는 부시 를 타원 형태 로 구비 함 으로써 부시 의 회전 유동 을 방지 하 여 별도 의 조립 링 이 필요 하 지 않 아 구조 의 간단 화 및 비용 을 절감 할 수 있 으며 , 볼트 체결 방식 에서 발생 하 는 회전 에 의한 비틀림 응력 을 해소 하 고 상부 전극 과 실리콘 전극 의 체결 력 을 상승 시켜 제품 성 을 최대 화 할 수 있 는 플 라즈 마 전극 용 부시 조립 체 및 이 를 포함 하 는 전극 조립 구조 를 제공 할 수 있 다 .