한편 , 전술 한 바 와 같이 , 상부 챔버 ( 10 ) 내 에 는 거대 구조물 인 가스 분배 판 ( 31 ) 과 후방 플레이트 ( 32 ) 를 비롯 하 여 다수 의 구조물 들 이 조립 되 기 때문 에 조립 의 편리 성 이 요구 된다 . 즉 , 앞서 도 기술 한 바 와 같이 , 작업자 가 상부 챔버 ( 10 ) 의 밑면 쪽 에서 상측 을 향해 가스 분배 판 ( 31 ) 과 후방 플레이트 ( 32 ) 를 비롯 하 여 다수 의 구조물 들 을 상부 챔버 ( 10 ) 내 로 조립 하 거나 , 조립 된 구조물 들 에 대한 유지 보수 작업 을 실시 하 는 것 은 여간 곤란 한 것 이 아니 다 .