도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 푸 셔 유닛 ( 3 ) 의 프레임 ( 푸 셔 프레임 ) ( 36 ) 에 는 볼 나사 ( 32 ) 를 회전 시킬 수 있 는 서보 모터 ( 31 ) 가 브래킷 ( 361 ) 을 개재 하 여 설치 되 어 있 는 동시 에 , 볼 나사 ( 32 ) 가 나사 결합 되 어 있 는 푸 셔 본 체부 ( 33 ) 가 2 개 의 Z 축 방향 의 리니어 모션 가이드 ( 이하 「 LM 가이드 」 라고 한다 . ) ( 37 ) 를 개재 하 여 설치 되 어 있 다 . 이 푸 셔 본 체부 ( 33 ) 는 서보 모터 ( 31 ) 를 구동 시킴 으로써 , LM 가이드 ( 37 ) 에 가이드 되 면서 Z 축 방향 으로 이동 가능 하 게 되 어 있 다 .