또 , 기판 처리 장치 는 , 스토커 장치 ( 캐리어 버퍼 장치 ) 를 구비 하 고 있 다 ( 예 를 들 면 , 일 본국 : 특허 공개 2011 - 187796 호 공보 참조 ) . 스토커 장치 는 , ID 블록 을 사이 에 끼우 고 처리 블록 의 반대 측 에 배치 된다 . 스토커 장치 는 , 캐리어 를 보관 하 기 위한 캐리어 보관 선반 과 , 캐리어 를 반송 하 는 캐리어 반송 기구 를 구비 하 고 있 다 .