본 발명 의 제 1 목적 은 , 도입부 에 서술 된 유형 의 투사 노광 장치 를 개선 하 는 것 이 다 . 특히 , 본 발명 의 목적 은 투사 노광 장치 의 조명 광학 기기 의 오브젝트 필드 포인트 의 출사 동공 의 구조 를 신속 하 고 재생 가능 하 게 변화 시키 기 위한 다중 미러 어레이 ( MMA : multi - mirror array ) 를 갖 는 투사 노광 장치 를 제공 하 는 것 이 다 .