[ 0006 ] 도 1 은 질소 반응 이 유도 결합 플 라즈 마 리액터 에서 수행 된 후 에 300 mm 기판 의 전체 표면 의 직경 에 걸친 질소 투 여량 ( Ndose ) 을 도시 한 직경 스캔 차트 이 다 . 도 1 의 직경 스캔 차트 는 비 균일성 문제 중 하나 - 일반 적 으로 에지 - 드롭 ( edge - drop ) 으로 알려진 , 에지 영역 가까이 에서 의 낮 은 투 여량 - 를 도시 한다 . 전형 적 인 상황 들 에서 에지 드롭 을 감소 시켜서 기판 에 걸쳐 균일성 을 달성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 때때로 , 특정 필요 들 을 만족 시키 도록 에지 성능 ( edge performance ) 이 높 거나 낮 게 튜닝 되 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 .