본 발명 의 보정 방법 은 먼저 칩 이 안착 된 실제 위치 를 확인 하 고 , 칩 의 설계 상 의 위치 와 실제 위치 사이 의 변위 량 을 계산 하 고 , 변위 량 에 대한 데이터 를 이용 하 여 배선 패턴 의 좌표 값 데이터 를 변화 시킨다 . 그리고 변화 된 배선 패턴 에 대한 데이터 를 노광 장치 ( 200 ) 에 전송 하 여 변화 된 패턴 으로 배선 이 이루어지 도록 한다 .