본 발명 의 화학 증폭 형 레지스 트 재료 에서 의 ( E ) 성분 으로서 첨가 하 는 광산 발생 제 의 첨가량 은 , 본 발명 의 효과 를 방해 하 지 않 는 범위 라면 어느 것 이 어도 되 지만 , 레지스 트 재료 중 의 베이스 수지 100 부 에 대하 여 0 ∼ 40 부 , 특히 0 . 1 ∼ 40 부 , 바람직 하 게 는 0 . 1 ∼ 20 부 이 다 . ( E ) 성분 의 광산 발생 제 의 비율 이 지나치 게 많 은 경우 에 는 , 해상 성 의 열화 나 , 현상 / 레지스 트 박리 시 의 이 물질 의 문제 가 야기 될 가능 성 이 있 다 . 상기 ( E ) 성분 의 광산 발생 제 는 , 단독 으로 이용 할 수 도 있 고 2 종 이상 을 혼합 하 여 이용 할 수 도 있 다 . 또한 , 노광 파장 에서 의 투과 율 이 낮 은 광산 발생 제 를 이용 하 고 , 그 첨가량 으로 레지스 트 막 중 의 투과율 을 제어 할 수 도 있 다 .