바람직 하 게 는 , 프레임 은 , 프레임 본체 및 제 3 실드 전극 부 를 갖 는다 . 제 3 실드 전극 부 는 , 구동 기구 외 로 누출 된 전계 를 흡수 하 기 위한 부위 이 며 , 예 를 들 면 그라운드 전위 가 부여 되 어 있 다 . 소자 의 외곽 을 이루 는 프레임 이 제 3 실드 전극 부 를 갖 는다고 하 는 구성 은 , 소자 외 에 의 전계 누출 을 억제 하 는 점 에서 바람직 하 다 . 본 마이크 로 요동 소자 가 , 제 1 도체 층 과 , 제 2 도체 층 과 , 그 제 1 및 제 2 도체 층 사 이 의 절연 층 으로 이루어지 는 적층 구조 를 포함 하 는 재료 기판 에 가공 을 실시 함 으로써 얻 어 진 것 인 경우 에 는 , 예 를 들 면 제 1 구동 전극 및 제 3 실드 전극 부 는 제 1 도체 층 에서 성형 된 부위 이 며 , 제 2 구동 전극 및 프레임 본체 는 제 2 도체 층 에서 성형 된 부위 이 다 .