가스 주입기 ( 247 ) 는 측면 들 ( 226 , 232 , 234 , 282 , 224 , 및 222 ) 을 포함 한다 . 제 1 측면 ( 232 ) 은 제 2 측면 ( 234 ) 에 대향 한다 . 일 구 현 에서 , 제 1 측면 ( 232 ) 은 제 2 측면 ( 234 ) 에 평행 하 고 그 와 실질 적 으로 동일 한 길이 이 다 . 제 1 만 곡 된 표면 ( 236 ) 이 제 1 측면 ( 232 ) 과 제 3 측면 ( 224 ) 사이 에 배치 된다 . 제 3 측면 ( 224 ) 은 제 1 측면 ( 232 ) 에 직교 로 배치 된다 . 제 2 만 곡 된 표면 ( 240 ) 이 제 2 측면 ( 234 ) 과 제 3 측면 ( 224 ) 사이 에 배치 된다 . 제 3 만 곡 된 표면 ( 238 ) 이 제 1 측면 ( 232 ) 과 제 4 측면 ( 222 ) 사이 에 배치 된다 . 제 4 측면 ( 222 ) 은 제 1 측면 ( 232 ) 에 직교 한다 . 제 4 만 곡 된 표면 ( 228 ) 이 제 2 측면 ( 234 ) 과 제 4 측면 ( 222 ) 사이 에 배치 된다 . 제 3 측면 ( 224 ) 은 제 4 측면 ( 222 ) 에 대향 한다 . 제 5 측면 ( 226 ) 은 제 6 측면 ( 282 ) 에 대향 한다 . 일 구 현 에서 , 제 6 측면 ( 282 ) 은 만곡 되 어 있 다 . 제 6 측면 ( 282 ) 의 곡률 반경 은 약 8 내지 약 9 인치 일 수 있 다 . 제 3 측면 ( 224 ) 은 각 진 가스 소스 돌출부 ( 205 ) 와 동일 한 평면 상 에 있 다 . 가스 채널 ( 249 ) 은 기판 ( 101 ) 과 마주 하 는 제 6 측면 ( 282 ) 상 에 배치 된다 . 유리 하 게 도 , 제 1 측면 ( 232 ) 및 제 2 측면 ( 234 ) 은 제 4 측면 ( 222 ) 에 실질 적 으로 수직 이 어서 챔버 ( 100 ) 내 에서 더 응집력 있 는 밀봉 을 허용 한다 . 일 구 현은 , 도 2 c 에 도시 된 바 와 같이 , 패 싯 들 ( 204 , 218 ) 을 선택 적 으로 포함 할 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 각 진 가스 소스 돌출부 ( 205 ) 는 패 싯 들 ( 204 , 218 ) 을 통해 제 5 측면 ( 226 ) 에 연결 된다 . 일 구 현 에서 , 각 진 측면 ( 202 ) 및 각 진 개구 ( 246 ) 는 제 5 측면 ( 226 ) 에 직접 연결 된다 . 제 6 측면 의 만곡 은 유리 하 게 도 기판 ( 101 ) 의 만곡 을 따름 으로써 기판 ( 101 ) 을 향한 가스 의 더 균일 한 식별 및 덜 요동치 는 가스 유동 을 촉진 한다 .