상기 탄성 링 ( 63 ) 은 탄력 성 뿐 만 아니 라 , 기판 W 와 의 접촉 에 의해 찌꺼기 가 쉽 게 생기 지 않 는 내마모성 을 가지 고 , 반상체 ( 42 A ) 와 함께 회전 구동 됨 으로써 기판 W 의 하단 사이 에 슬립 이 쉽 게 생기 지 않 는 마찰 저항 을 가진다 . 그러므로 , 탄성 링 ( 63 ) 에서 찌꺼기 가 발생 하 지 않 으므로 , 반송 되 는 기판 W 를 오염 시키 지 않 을 뿐 아니 라 , 기판 W 에 처리 액 등 의 부하 가 걸려도 , 슬립 이 생기 지 않 고 확실 하 게 반송 할 수 있 다 .