열 가교제 성분 을 함유 하 는 경우 의 배 합량 은 그 가교 효과 에 대해 , 현상 후 의 열처리 에서 의 패턴 의 변형 과 , 현상 시 에 발생 하 는 잔사 ( 스킴 ) 의 허용 폭 의 면 에서 , 선택 하 는 가교제 에 의해 최 적 인 첨가량 을 선택 할 수 있 고 , ( A ) 알칼리 가용성 수지 100 질 량부 에 대해 0 . 5 ∼ 50 질 량부 가 바람직 하 고 , 5 ∼ 30 질 량부 가 보다 바람직 하 다 .