플라 즈 마 처리 동안 , 탄성 중합체 결합 된 전극 어셈블리 들 은 높 은 동작 온도 , 높 은 전력 밀도 , 및 긴 RF 시간 을 지속 시킬 수 있 다 . 또한 , 시트 접착성 탄성 중합체 재료 를 전극 어셈블리 들 을 연결 하 기 위한 메커니즘 으로서 이용 하 는 것 은 반도체 웨이퍼 의 플 라즈 마 처리 동안 논 - 시트 접착제 에 대하 여 추가 적 인 이점 을 갖 는다 .