위상 검출기 ( 270 ) 는 진공 챔버 ( 200 ) 외부 에 위치 하 며 출력 된 맥놀이 신호 로부터 맥놀이 신호 의 위상 을 검출 한다 . 즉 위상 검출기 ( 270 ) 는 광 검출기 ( 266 ) 가 출력 한 제 1 맥놀이 신호 및 광 검출기 ( 268 ) 가 출력 한 제 2 맥놀이 신호 를 검출 하 고 검출 된 제 1 맥놀이 신호 의 위상 과 제 2 맥놀이 신호 의 위상 의 차이 값 을 검출 한다 .