한편 종래 의 갠트리 형 ＸＹ 스테이지 는 문 ( 門 ) 　 모양 의 갠트리 부를 구비 하 고 있 고 , 검사 유닛 등 의 유닛 이 슬라이드 하 는 갠트리 빔 은 , 그 양단 에 있 어서 지 지 샤프트 에 의하 여 양 팔 보 상태 에서 지지 되 어 있 다 . 이러 한 구조 의 갠트리 부 에서 는 , 유닛 이 갠트리 빔 의 스팬 ( span ) 방향 의 중앙 에 위치 한 상태 에 있 어서 , 갠트리 빔 의 중앙 부분 이 크 게 휘 고 , 유닛 이 양단 측 으로 이동 하 면 갠트리 빔 의 휨 량 이 감소 한다 . 이렇게 유닛 의 이동 , 즉 하중 이동 에 의하 여 갠트리 빔 의 휨 량 이 크 게 변화 된다 . 또 한 갠 트리 형 ＸＹ 스테이지 의 대형 화 에 따라 갠트리 빔 의 스팬 이 길 어 지 면 , 휨 량 은 스팬 의 3 승 에 비례 하 여 증가 하 기 때문 에 그 최대 휨 량 이 대폭 적 으로 증가 해 버린다 . 휨 량 을 저감 ( 低減 ) 하 기 위해서 는 갠트리 빔 의 강성 을 높이 는 등 의 대책 이 필요 하 고 , 이 때문 에 비용 및 중량 의 증가 를 초래 하 게 된다 .