도 1 및 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 에 설치 된 제 2 반송 장치 ( 700 ) 는 제 2 기판 출입구 ( 302 ) 를 사이 에 두 고 양편 으로 대칭 되게 설치 되 는 제 1 및 제 2 반송 부 ( 700 a , 700 b ) 를 구비 한다 . 제 1 반송 부 ( 700 a ) 와 제 2 반송 부 ( 700 b ) 는 공정 챔버 ( 100 ) 로 의 로딩 과 언로 딩 을 각각 담당 한다 . 제 1 및 제 2 반송 부 ( 700 a , 700 b ) 는 각기 회전력 을 제공 하 는 구동 부 , 구 동부 에 연결 되 는 스핀들 , 그리고 스핀들 에 연결 되 는 회전 플레이트 암 ( 712 ) 을 갖 는다 . 회전 플레이트 암 ( 712 ) 은 복수 개 의 엔드 이펙터 를 갖 는데 이 실시 예 에서 는 5 개 가 구비 된다 . 5 개 의 엔드 이펙터 는 플레이트 암 ( 712 ) 의 끝단 에 장착 되 고 , 회전 플레이트 암 ( 712 ) 의 다른 끝단 은 스핀들 에 연결 된다 . 5 개 의 엔드 이펙터 는 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 의 엔드 이펙터 가 간섭 되 지 않 고 진입 할 수 있 도록 턱 지 게 진입 통로 가 마련 될 수 있 다 .