챔버 ( 100 ) 는 기판 이 위치 되 어 공정 이 수행 되 는 공간 을 제공 한다 . 챔버 ( 100 ) 는 알루미늄 , 스테인리스 등 과 같 은 도전체 소재 로 제공 될 수 있 다 . 챔버 ( 100 ) 는 접지 된 상태 로 제공 될 수 있 다 . 챔버 ( 100 ) 에 는 내부 공간 으로 기판 의 공정 처리 에 사용 될 가스 를 공급 하 기 위한 홀 이 형성 될 수 있 다 . 또한 , 챔버 ( 100 ) 에 는 내부 공간 의 가스 , 반응 부산물 등 을 배출 하 기 위한 배출 홀 이 형성 될 수 있 다 .