또한 , 산화 질화 실리콘 은 , 그 조성 으로서 , 질소 보다 도 산소 의 함유량 이 많 은 것 으로 , 농도 범위 로서 산소 가 55 내지 65 원자 ％, 질소 가 0 . 5 내지 20 원자 ％, 실리콘 이 25 내지 35 원자 ％, 수소 가 0 . 1 내지 10 원자 ％ 의 범위 에서 포함 되 는 것 을 말 한다 . 또한 질화 산화 실리콘 은 , 그 조성 으로서 , 산소 보다 도 질소 의 함유량 이 많 은 것 으로 , 농도 범위 로서 산소 가 5 내지 30 원자 ％, 질소 가 20 내지 50 원자 ％, 실리콘 이 25 내지 35 원자 ％, 수소 가 15 내지 25 원자 ％ 의 범위 로 포함 되 는 것 을 말 한다 .