본 발명 의 포토 마스크 보호 를 위한 펠리 클 ( pellicle ) 은 , 펠리 클 멤 브레인 과 , 펠리 클 멤 브레인 을 지지 하 는 프레임 과 , 프레임 의 일 단부 에 부착 되 어 프레임 과 펠리 클 멤 브레인 을 부착 시키 는 막 접착제 와 , 그리고 프레임 의 다른 단부 에 부착 되 어 프레임 과 포토 마스크 를 흡착 시키 는 흡착 패드 를 구비 한다 .