[ 0042 ] 통상 적 으로 , 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 113 ) 의 능동 자기 엘리먼트 는 기판 캐리어 ( 150 ) 의 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 151 ) 와 상호 작용 하 는 자기력 을 제공 하 도록 구성 된다 . 특히 , 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 151 ) 와 제 1 가이 딩 구조 ( 111 ) 의 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 113 ) 은 , 도 5 a 및 5 b 에서 제 1 가이 딩 구조 ( 111 ) 를 향해 포인팅 하 는 수직 화살표 들 에 의해 예시 적 으로 표시 된 바 와 같이 , 기판 캐리어 ( 150 ) 를 부상 시키 기 위한 자기 부상 력 을 제공 하 도록 구성 될 수 있 다 . 다시 말 해 , 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 113 ) 은 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 151 ) 상 에 , 따라서 , 기판 캐리어 ( 150 ) 상 에 자기력 을 제공 하 도록 구성 된다 . 따라서 , 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 113 ) 은 도 5 a 에 예시 적 으로 표시 된 바 와 같이 , 기판 캐리어 ( 150 ) 를 부상 시킬 수 있 다 .