본 발명 의 일 실시 예 에 따른 E×B 힘 을 이용 한 역자 기장 플 라즈 마 발생 RF 안테나 는 2 n 개 의 사인 직사각 형 코일 들 이 일렬 로 변이 인접 되게 배열 되 어 고리 를 형성 하 는 사인 코 일환 ; 및 2 n 개 의 코사인 직사각 형 코일 들 이 일렬 로 변이 인접 되게 배열 되 어 고리 를 형성 하 는 코사인 코 일환 을 포함 하 고 , 상기 사 인 코 일환 과 상기 코사인 코 일환 은 동심 을 이루 고 , 상기 사 인 직사각 형 코일 간 의 인접 한 축 방향 변 은 상기 코사인 직사각 형 코일 의 환 내 에 위치 하 며 , 상기 코사인 직사각 형 코일 간 의 인접 한 축 방향 변 은 상기 사 인 직사각 형 코일 의 환 내 에 위치 하 도록 구성 되 고 , n 은 2 이상 의 정수 이 다 .