후퇴 공정 ( 단계 S 12 ) 후 , 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 고 있 는 상태 에서 포크 ( 3 A ) 가 후퇴 했 을 때 에 , 포크 ( 3 A ) 의 아래쪽 에 설치 되 어 있 는 광원 ( 51 ) 에 의해 아래쪽 에서 위쪽 으로 향해 광 을 발광 한다 . 발광 한 광 을 포크 ( 3 A ) 의 위쪽 에 설치 되 어 있 는 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 에 의해 수 광 한다 . 수광 한 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 가 , 웨이퍼 ( W ) 의 직경 방향 을 따라서 CCD 가 직선형 으로 배열 되 어 이루어지 는 CCD 라인 센서 일 때 는 , 각 화소 인 각 CCD 의 검출 값 에 기초 하 여 , 수광 한 화소 와 수광 하 지 않 는 화소 와 의 경계 위치 를 결정 할 수 있 다 . 그리고 , 결정 된 경계 의 위치 에 기초 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 를 계측 할 수 있 다 .