또한 본 실시 형태 에 의하 면 , 계측 의 단기 안정 성 이 양호 한 인코더 ( 70 A ∼ 70 F ) 등 을 포함 하 는 인코더 시스템 ( 150 ) 에 의해 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 가 공기 흔들림 등 의 영향 을 받 지 않 고 고정 밀도 로 계측 됨 과 함께 , Z 헤드 ( 72 a ∼ 72 d , 741 ∼ 745 및 761 ∼ 765 ) 등 을 포함 하 는 면 위치 계측 시스템 ( 180 ) 에 의해 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 XY 평면 과 직교 하 는 Z 축 방향 에 있 어서 의 위치 정보 가 공기 흔들림 등 의 영향 을 받 지 않 고 고정 밀도 로 계측 된다 . 이 경우 , 인코더 시스템 ( 150 ) 및 상기 면 위치 계측 시스템 ( 180 ) 의 양자 모두 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상면 을 직접 적 으로 계측 하 고 있 기 때문 에 , 심플 하고 또 한 직접 적 인 웨이퍼 테이블 ( WTB ) , 나아가 서 는 웨이퍼 ( W ) 의 위치 제어 가 가능 해진다 .