상기 로봇 암 ( 110 ) 은 회전 , 수평 , 또는 수직 운동 을 하 도록 기판 지지 부 ( 120 ) 에 구동력 을 제공 하 는 부분 으로서 , 고정축 ( 112 ) 과 , 상기 고정축 ( 112 ) 에 일단 이 연결 된 제 1 관절 ( 114 ) 과 , 상기 제 1 관절 ( 114 ) 의 타단 에 연결 된 제 2 관절 ( 116 ) 로 이루어져 있 다 . 물론 , 상기 관절 ( 112 , 114 ) 의 개수 는 한정 되 지 않 는다 .