전달 기구 ( 270 ) 는 상류 경사 연마 유닛 ( 256 A ) 과 하류 경사 연마 유닛 ( 256 B ) 내 에서 동시 에 2 개 의 웨이퍼 ( W ) 를 전달 및 수용 하 도록 구성 된다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 는 빠르 게 전달 될 수 있 다 . 이 경우 에 도 , 상술 한 바 와 같이 연마 헤드 는 웨이퍼 ( W ) 가 수평 평면 ( K ) 위 의 세척 공간 에 놓일 때 세척 될 수 있 다 . 그 결과 , 연마 헤드 를 세척 하 기 위해 경사 연마 유닛 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 제거 할 필요 가 없 으며 , 웨이퍼 ( W ) 의 연마 가 수행 될 때 마다 연마 헤드 를 세척 하 는 것 이 가능 하 다 .