아졸 계 화합물 은 , 1 종 을 단독 으로 이용 해도 되 고 , 2 종 이상 을 병용 해도 되 지만 , 피연 마면 에서 의 디싱 이 보다 발생 하 기 어려운 , 및 / 또는 결함 이 보다 발생 하 기 어려운 점 에서 , 벤조 트라이아졸 골격 을 갖 는 화합물 과 , 벤조 트라이아졸 계 화합물 과 는 다른 화합물 ( 벤조 트라이아졸 골격 을 함유 하 지 않 는 화합물 ) 을 조합 하 여 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 벤조 트라이아졸 골격 을 함유 하 는 화합물 은 산화제 인 과산화 수소 에 의하 여 산화 된 코발트 에 강하 게 배위 하 여 반응 층 을 형성 하 기 쉽 다 . 한편 으로 , 아졸 계 화합물 이 더라도 , 벤조 트라이아졸 골격 을 함유 하 지 않 는 화합물 은 , 산화 된 코발트 에 비교 적 약하 게 배위 하 여 반응 층 을 형성 하 기 쉽 다 . 벤조 트라이아졸 계 화합물 과 , 벤조 트라이아졸 과 는 다른 화합물 을 함유 하 는 연마 액 을 CMP 에 적용 했 을 때 에 형성 되 는 반응 층 은 , 벤조 트라이아졸 계 화합물 에 의하 여 형성 되 는 층 과 , 벤조 트라이아졸 과 는 다른 화합물 에 의하 여 형성 되 는 층 을 함유 한다고 추측 된다 .