우선 기판 ( G ) 에 대한 세정 작업 과 관련 해서 보 면 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 내지 제 4 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 , 20 , 30 , 40 ) 의 제 1 내지 제 4 회 전구 동부 ( 13 , 23 , 33 , 43 ) 가 동작 하 여 제 1 내지 제 4 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 , 31 , 41 ) 이 회전 한다 .