묘화 실 ( 103 ) 내 에 는 , XY 스테이지 ( 105 ) 가 배치 된다 . XY 스테이지 ( 105 ) 상 에 는 , 묘화 대상 의 기판 ( 101 ) 이 배치 된다 . 기판 ( 101 ) 의 상면 에 는 하전 입자 빔 으로 조사 되 는 레지스 트 가 도포 되 어 있 고 , 기판 ( 101 ) 은 , 예 를 들 면 , 마스크 로서 가공 되 는 기판 ( 마스크 블랭크스 ) 또는 반도체 장치 로서 가공 되 는 반도체 기판 ( 실리콘 웨이퍼 ) 이 다 . 또한 , 기판 ( 101 ) 은 , 레지스 트 가 도포 된 , 아직 아무것 도 묘화 되 어 있 지 않 은 마스크 블랭크스 여도 된다 .