한편 , 비 정상 적 인 척 킹 상태 ( chucking failure ) 에서 는 , 도 11 a 및 도 13 a 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 웨이퍼 ( W ) 에 실질 적 으로 밀착 된 상태 를 유지 하 지 못하 고 , 외기 가 웨이퍼 ( W ) 와 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 의 사이 로 침투 하 여 상방 으로 볼록 한 휨 변형 이 발생 된다 . 경우 에 따라 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이외 에 제 1 압력 챔버 ( C 1 ) 와 인접 한 제 4 압력 챔버 ( C 4 ) 의 바닥 면 ( 111 C 4 ) 도 함께 들떠 제 1 압력 챔버 ( C 1 ) 의 수축 에 따라 함께 들려 올라가 는 현상 이 발생 될 수 있 다 .