종래 기술 에 따른 액정 표시 소자 제조 방법 에 의하 면 , 기존 의 5 마스크 구조 에서 는 소스 / 드레 인 전극 형성 을 위한 식각 공정 시 에 반도체 층 의 채널 영역 이 플 라즈 마 데미지 ( plasma damage ) 를 받 아 소자 특성 이 안 좋 게 되 었 기 때문 에 , 위 에서 와 같이 에치 스톱 퍼 ( etch stopper ) 를 사용 하 게 되 었 다 .