일 양태 에 의하 면 , 기판 을 처리 하 는 복수 의 기판 처리 장치 와 , 복수 의 기판 처리 장치 에 각각 마련 되 어 기판 처리 장치 를 제어 하 는 제 1 제 어부 와 , 제 1 제 어부 로부터 복수 종류 의 데이터 를 수신 하 는 중계 부 와 , 중계 부 로부터 데이터 를 수신 하 는 제 2 제 어부 를 갖 고 , 중계 부 는 , 데이터 의 종류 마다 와 제 1 제 어부 마다 의 어느 것 또는 양쪽 의 제 2 제어 부에 의 데이터 의 송신 간격 을 변경 하 는 기술 이 제공 된다 .