본 발명 의 일 양태 에 의하 면 , 피 가 공물 에 흡수 되 는 파장 을 가지 는 펄스 형 의 레이저 빔 을 상기 피 가 공물 에 조사 하 는 것 에 의해 , 상기 피 가 공물 의 일면 에 복수 의 가공 흔적 을 형성 하 고 , 상기 복수 의 가공 흔적 의 미리 정해진 형상 으로부터 의 어긋남 을 정량 적 으로 비교 하 는 비교 방법 으로서 , 척 테이블 의 유지 면 으로 상기 피 가 공물 을 유지 하 는 유지 단계 와 , 상기 피 가 공물 에 상기 레이저 빔 을 집광 시키 는 집광 렌즈 를 포함 하 는 집광기 의 상기 집광 렌즈 의 촛 점 거리 와 , 상기 피 가 공물 의 두께 에 기초 하 여 , 상기 레이저 빔 의 집 광점 이 상기 피 가 공물 의 상기 일면 에 위치 할 때 의 , 상기 유지 면 에 수직 인 Z 축 방향 에 있 어서 의 상기 집광기 의 높이 를 , 상기 집광기 의 기준 높이 로 설정 하 는 기준 높이 설정 단계 와 , 상기 기준 높이 보다 상기 Z 축 방향 의 한쪽 측 에 위치 하 는 제 1 높이 로부터 , 상기 기준 높이 보다 상기 Z 축 방향 의 다른 쪽 측 에 위치 하 는 제 2 높이 까지 의 상기 Z 축 방향 을 따르 는 상이 한 복수 의 높이 를 설정 하 는 높이 설정 단계 와 , 상기 Z 축 방향 을 따라서 상기 집광기 를 이동 시키 는 것 에 의해 상기 기준 높이 및 상기 복수 의 높이 에 상기 집광기 를 위치 시키 고 , 각 높이 에 따라 상기 일면 이 상이 한 위치 에 상기 레이저 빔 을 조사 하 여 , 상기 피 가 공물 의 상기 일면 에 상기 복수 의 가공 흔적 을 형성 하 는 가공 흔적 형성 단계 와 , 상기 복수 의 가공 흔적 을 촬상하여 화상 을 얻 는 화상 취득 단계 와 , 상기 화상 취득 단계 에서 취득 된 화상 을 화상 해 석부 에서 해석 하 는 것 에 의해 , 상기 복수 의 가공 흔적 의 각각 에 있 어서 상기 일면 에 있 어서 의 가공 흔적 의 미리 정해진 복수 의 방향 의 폭 의 평균 과 상기 미리 정해진 형상 에 대한 상기 복수 의 가공 흔적 의 각각 의 면적 비 중 적어도 어느 하나 를 산출 하 는 산출 단계 와 , 상기 산출 단계 에서 산출 된 상기 평균 및 상기 면적 비 의 적어도 어느 하나 에 기초 하 여 상기 복수 의 가공 흔적 의 상기 미리 정해진 형상 으로부터 의 어긋남 을 정량 적 으로 비교 하 는 비교 단계 를 포함 하 는 비교 방법 이 제공 된다 .