따라서 노광 공정 의 한계 를 용이 하 게 극복 하 기 위하 여 더블 패 터닝 ( Double Patterning ) 기술 이 개발 되 고 있 다 . 더블 패 터닝 공정 은 미세 패턴 을 정의 하 는 레 이 아웃 을 두 개 의 레이아웃 으로 나누 어 패 터닝 하 는 방법 이 다 . 일반 적 인 노광 공정 으로 패 터닝 공정 이 어렵 게 배열 되 어 있 는 미세 패턴 들 의 피치 가 2 배 가 되 도록 미세 패턴 을 두 개 로 나누 어 정의 한다 .