도 6 을 참조 하 면 , 먼저 , 카세트 ( 210 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( 220 ) 또는 매크로 검사 부 ( 250 ) 에 웨이퍼 ( 221 , 222 ) 가 6 축 로봇 ( 270 ) 에 의해 측면 검사 부 ( 290 ) 로 파지 되 어 이동 된다 . 이때 , 웨이퍼 ( 220 , 221 ) 는 웨이퍼 회전 유닛 ( 277 ) 의 제 1 공기 흡입구 ( 277 a ) 에 의해 진공 흡착 되 어 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 상 에 파지 된다 . 여기 서 , 6 축 로봇 ( 270 ) 은 현미경 ( 230 ) 의 아래쪽 공간 ( 233 ) 이 비 어 있 기 때문 에 대물렌즈 ( 231 ) 밑 으로 파지 된 상태 로 웨이퍼 ( 223 ) 를 위치 시킬 수 있 다 .