이 에 , 제 2 실시 형태 에서 는 , 제 2 모터 ( 43 ) ( 웨이퍼 ( 9 ) ) 의 위치 를 시간 의 다항식 으로 간주 함 으로써 , 4 ( msec ) 주기 로 취득 한 위치 데이터 와 그 시각 으로부터 다항식 의 계수 를 도출 할 수 있 어 , 임의 의 시각 에 있 어서 의 위치 를 추정 할 수 있 다 . 이 다항식 보 간 에 의한 추정 연산 에 의해서 , 위치 분해능 의 향상 으로 이어져서 , 제 2 모터 ( 43 ) 의 이동 이 고속 이 더라도 고정 밀도 로 위치 결정 을 실시 하 는 것 이 가능 하 다 .