또한 , 업 센 서부 ( 130 ) 는 도 2 및 도 3 과 같이 , 패드 컨디 셔 너 ( 10 ) 의 컨 디셔 닝 패드 ( 11 ) 의 내측 에 설치 된 제 2 마그네 틱 ( 133 ) 과 , 컨 디셔 닝 작업 시 피팅 노즐 ( 15 ) 이 진공 상태 로 됨 에 따라 상기 회전축 ( 13 ) 및 컨 디셔 닝 패드 ( 11 ) 의 승강 에 따라 함께 승강 하 는 제 2 마그네 틱 ( 133 ) 의 자력 의 세기 를 검출 하 기 위한 업 센서 ( 131 ) 로 이루어진다 .