구조 는 게이트 , 라인 , 콘택트 홀 , 비어 ( via ) , 드레 인 , 주기 적 구조 등 과 같이 , 반도체 웨이퍼 상 에 형성 되 는 임의 의 절연성 , 비 주기 적 , 또는 주기 적 구조 일 수 있 다 . 또한 , 구조 는 오염 입자 와 같이 이 물질 일 수 있 다 . 구조 의 존재 를 결정 함 으로써 , 제조 프로세스 가 평가 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 구조 가 웨이퍼 상 의 특정 위치 에 형성 되 는 것 으로 의도 되 는 경우 , 그 특정 위치 는 구조 가 존재 하 는지 를 결정 하 도록 조사 될 수 있 다 . 구조 가 존재 하 지 않 는 경우 , 제조 프로세스 내 의 고장 이 검출 될 수 있 다 . 변형 적 으로 , 웨이퍼 상 의 특정 위치 가 비 패턴 화 되 어야 하 는 경우 , 특정 위치 는 오염 입자 를 포함 하 는 구조 가 존재 하 는지 를 결정 하 도록 조사 될 수 있 다 . 구조 가 존재 하 는 경우 , 제조 프로세스 내 의 고장 또는 제조 프로세스 의 오염 이 검출 될 수 있 다 .