미결정 반도체 막 에 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 첨가 하 는 방법 으로서 는 , 피막 , 반도체 막 , 혹은 미결정 반도체 막 에 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 첨가 하 여도 좋 다 . 피막 에 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 첨가 하 는 경우 는 , 피막 을 형성 하 기 전 에 반응 실에 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 함유 하 는 기체 를 흘리 고 , 반응 실 내벽 및 피막 에 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 흡착 시킨다 . 혹은 , 피막 의 원료 가스 와 함께 도너 로서 기능 하 는 불순물 원소 를 함유 하 는 기체 를 도입 하 여도 좋 다 .