도 3 a 에 나타낸 일 실시 형태 에서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 의 내부 가스 공급 채널 들 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 이 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 하 부면 을 따르 는 복수 의 동심 형 영역 들 / 구역 들 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 로부터 유체 분리 되 도록 정의 되 어 , 복수 의 동심 형 영역 들 / 구역 들 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 각각 내 에서 의 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 로 의 플 라즈 마 프로세스 가스 의 플로우 레이트 들 이 개별 적 으로 제어 될 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 각각 의 동심 형 영역 / 구역 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 내 에서 의 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 이 개개 의 가스 플로우 제어 장치 ( 305 A , 305 B , 305 C ) 에 부설 되 어 , 각각 의 동심 형 영역 / 구역 ( 115 A , 115 B , 115 C ) 으로 의 플 라즈 마 프로세스 가스 의 공급 이 독립 적 으로 제어 가능 하 게 된다 .