일 예 에서 , 상기 제 1 예비 수직 구조물 ( 61 ) 의 상단 이 상기 제 1 예비 분리 구조물 들 ( 162 ) 의 상단 및 상기 캡 핑 분리 스 페이서 ( 152 ) 의 상단 보다 높 게 위치 하 므로 , 상기 제 2 리세 스 ( RC 2 ) 가 상기 제 1 예비 분리 구조물 들 ( 162 ) , 상기 캡 핑 분리 스 페이서 ( 152 ) , 상기 제 1 예비 게이트 층 들 ( 130 ) 과 접촉 하 지 않 으면서 요구 되 는 깊이 만큼 리세 스 될 수 있 다 .