그리고 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 , 스크럼 상태 이동 영역 ( AS ) 내 의 우측 스크럼 포지션 으로 이동한 상태 에서 는 , 도 11 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 처마 부 ( 23 a ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 처마 부 ( 23 b ) 가 계합 하 여 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 처마 부 ( 23 a 및 23 b ) 를 통해 근접 또는 접촉 하 는 스크럼 상태 로 된다 . 또한 이 때 , 도 11 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 탑재 된 Y 헤드 ( EY ) 가 Y 스케일 ( SY 1 ) 에 대향 한다 . 따라서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 Y 위치 를 계측 하 기 위해 이용 되 는 계측기 를 간섭계 ( 16 ) 로 부터 Y 헤드 ( EY ) 로 전환 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 이 스크럼 상태 를 유지 한 채 로 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 를 - X 방향 으로 구동 한다 . 또한 이 때 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 탑재 된 Y 헤드 ( EY ) 와 XZ 간섭계 ( 116 ) 를 이용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 X , Y 위치 의 계측 을 수행 하 고 ( 하 지만 , θ z 위치 의 계측 에 는 Y 간섭계 ( 16 ) 가 이용 된다 ) , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에 탑재 된 Y 헤드 ( EY ) 와 XZ 간섭계 ( 126 ) 를 이용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 X , Y 위치 의 계측 을 수행 하 며 ( 하 지만 , θ z 위치 의 계측 에 는 Y 간섭계 ( 18 ) 가 이용 된다 ) , 이 들 계측 결과 에 기초 하 여 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 를 구동 한다 . 또한 이 때 , Y 간섭계 ( 16 및 18 ) 를 각각 이용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 Y 위치 를 계측 하 는 것 이 가능 하 다 .