도면 에 도시 하 지 않 았 지만 상기 기판 스테이지 ( 120 ) 의 하부 면 또는 내부 에 는 상기 스테이지 ( 120 ) 상 에 지지 되 는 기판 ( 102 ) 을 가열 하 기 위한 히터 ( 미 도시 ) 및 상기 챔버 ( 110 ) 내부 의 반응 온도 를 유지 하 기 위한 온도 센서 를 더 포함 한다 . 상기 히터 로 는 램프 방식 의 히터 또는 열선 방식 의 히터 가 사용 될 수 있 으며 , 온도 센서 로 는 열전대 온도계 가 사용 될 수 있 다 . 또한 상기 기판 스테이지 에 는 상기 바이어스 파워 가 인가 되 는 하부 전극 ( 미 도시 ) 을 더 포함 한다 . 상기 하부 전극 은 바이어스 파워 가 인가 되 어 상기 기판 상부 에 형성 된 플 라즈 마의 이온 에 방향 성 을 부여 하 는 역할 을 한다 .