기상 으로부터 코팅 하 는 것 은 다수 의 중간 화합물 에 의해 행해 지 고 , 이러 한 목적 을 위해서 는 다수 의 반응 단계 가 필요 하 다 . 이러 한 반응 단계 는 디아 세 톡 시디 - tert - 부 톡 시 실란 ( DADBS ) 의 분해 에 있 어서 , [ 8 ] : 문헌 [ HOFMAN , " Dissertation "" The Protection of Alloys . ..""", University of Twente , ISBN 90 - 9005832 - X ] 에 예시 된 방식 으로 매우 광범위 하 게 조사 되 었 다 . 통상 적 으로 특정 전구체 를 위한 특정 중간 화합물 을 정확 하 게 알 수 없 는 경향 이 있 음 에 도 불구 하 고 , 중간 화합물 을 거치 는 절차 가 일반 적 으로 가정 된다 . 또한 , 반응 조건 은 반응 메카 니즘 에 영향 을 줄 수 있 고 , 이 에 따라 , 심지어 특정 전구체 에 대해 변화 된 조건 하 에서 다른 중간 화합물 이 역할 을 할 수 있 다는 것 이 가정 된다 .