도 4 내지 도 6 은 본 실시 형태 에 있 어서 의 챔버 의 외관 의 일 예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 또한 , 도 4 내지 도 6 에서 는 설명 을 위해서 , 서 셉 터 ( 13 ) , 상부 전극 ( 22 ) , 급 전통 ( 30 ) 및 밸브 체 ( 81 ) 등 을 제외 한 상태 를 도시 하고 있 다 . 도 4 내지 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 에 는 , 예 를 들 면 120 도 마다 등 간격 으로 승강 기구 ( 82 ) 가 3 개 마련 되 어 있 다 . 개구부 ( 51 ) 는 웨이퍼 ( W ) 뿐 만 이 아니 라 , 예 를 들 면 에지 링 ( 17 ) 이나 커버 링 ( 54 ) 이 반송 가능 한 폭 을 갖 는다 . 개구부 ( 51 ) 의 외부 측 에 는 , 게이트 밸브 ( 52 ) 가 접속 가능 하 게 되 어 있 다 . 개구부 ( 51 ) 는 원환 상 의 밸브 체 ( 81 ) 가 상 방향 으로 이동 하 는 것 에 의해 폐쇄 된다 .