또한 , 상기 2 차 CMP 공정 은 1 ∼ 50 wt % 의 농도 및 ph 4 ∼ 10 의 조건 을 갖 는 세리아 연마제 및 실리카 연마제 의 혼합 슬러리 연마제 를 사용 하 여 수행 하 며 , 상기 혼합 슬러리 연마제 는 세리아 : 실리카 가 99 . 9 : 0 . 1 ∼ 0 . 1 : 99 . 9 의 혼합 비율 조건 을 갖 도록 형성 하 도록 한다 .