도 54 에 도시 한 바 와 같이 , 상기 절연 구조물 에 포함 된 원소 들 의 함유량 을 측정 한 결과 , 실질 적 으로 실리콘 - 질소 결합 들 의 농도 ( B ) 가 상기 절연 구조물 과 실 리 콘 기판 사이 의 계면 ( S ) 까지 넓 게 분포 하 는 것 으로 것 으로부터 , 상기 절연 구조물 전체 에 걸쳐 균일 하 게 질소 원자 들 이 분포 함 을 확인 할 수 있 다 .