본 발명 의 초저주파 파워 소스 의 설정 은 , 동일 한 고주파 RF 전력 이 있 는 상황 에서 보다 우수 한 탈 결합 ( de - couple ) 효과 를 갖 는다 . 초저주파 와 고주파 를 독립 적 으로 제어 하 고 플 라즈 마 에 있 는 다른 에너지 와 농도 에 대한 제어 를 독립 적 으로 구현 할 수 있 다 . 본 발명 에서 , 10 KHz ~ 300 KHz 인 저주파 RF 전원 은 , 저 주파 RF 전력 에 의한 식각 가스 의 해리 나 플 라즈 마 농도 분포 의 제어 에 대한 간섭 을 방지 하 며 , 저 주파 RF 전력 과 고주파 RF 전력 의 제어 효과 를 탈 겹 합 시킬 수 있 다 . 따라서 , 탈 결합 의 상황 에서 본 발명 에 따른 저주파 RF 전력 을 더 크 게 설정 해도 ( 예 를 들 어 , 30 KW ) 반응기 챔버 에 있 는 플 라즈 마의 농도 와 성분 분포 에 영향 을 크 게 미치 지 않 으며 , 종래 기술 의 저주파 RF 전력 이 매우 높 은 상황 에서 두 RF 전력 이 서로 영향 을 미치 는 문제 가 생기 는 것 을 피한다 .