스테이지 장치 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 대향 하 는 면 상 에 , Y 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 여 배치 되 고 , X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 제 1 격자 가 형성 된 제 1 스케일 ( 46 B , 46 D ) 과 , X 축 방향 을 길 이 방향 으로 하 여 배치 되 고 , 제 1 격자 와 주기 방향 이 직교 하 는 제 2 격자 가 형성 된 제 2 스케일 ( 46 A , 46 C ) 을 구비 하 고 있 다 . 또한 , 스테이지 의 상면 에 는 , X 축 방향 의 위치 를 상이 하 게 하 여 배치 된 복수 의 X 헤드 ( 661 ∼ 665 ) 와 , Y 축 방향 의 위치 를 상이 하 게 하 여 배치 된 복수 의 Y 헤드 ( 641 ∼ 645 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 들 헤드 를 갖 는 인코더 시스템 은 , 제 1 스케일 에 대향 하 는 X 헤드 의 출력 과 , 제 2 스케일 에 대향 하 는 Y 헤드 의 출력 에 기초 하 여 스테이지 의 XY 평면 내 의 위치 정보 를 계측 한다 .