가스 분배 판 ( 100 ) 은 복수 의 관통 홀 ( 130 ) 을 구비 한다 . 관통 홀 ( 130 ) 은 제 1 가스 공급 홀 ( 120 ) 과 간섭 되 지 않 는 위치 에서 가스 분배 판 ( 100 ) 의 제 1 면 ( 101 ) 과 제 2 면 ( 102 ) 을 관통 하 여 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 관통 홀 ( 130 ) 은 분배 공간 ( 110 ) 과 분배 공간 ( 110 ) 사이 에 형성 될 수 있 다 . 관통 홀 ( 130 ) 에 는 샤워 헤드 ( 200 ) 와 가스 분배 판 ( 100 ) 사이 의 열전달 을 위한 열전달 부재 ( 300 ) 가 삽입 된다 .