포지티브 형 레지스 트 재료 는 , 첨가형 산 발생 제 라고 도 일컬 어 지 는 , 강산 을 발생 시킬 수 있 는 산 발생 제 를 함유 할 수 있 다 . 본원 에서 사용 될 때 , " "" 강산 "" 은 베이스 폴리머 의 산불 안정기 의 탈 보호 반응 을 일으키 기에 충분 한 산성도 를 갖 고 있 는 화합물 이 다 . 산 발생 제 는 전형 적 으로 활성 광선 또는 방사선 에 노 출시 산 을 발생 시킬 수 있 는 화합물 ( PAG ) 이 다 . 본원 에서 사용 되 는 PAG 는 고 에너지 선 조사 에 의해 산 을 발생 시킬 수 있 는 임의 의 화합물 일 수 있 지만 ", 술폰산 , 이미드 산 또는 메티 드 산 을 발생 시킬 수 있 는 화합물 이 바람직 하 다 . 적합 한 PAG 는 술포 늄 염 , 요오 도 늄 염 , 술포닐 디아조메탄 , N - 술포닐 옥시 이미드 , 및 옥심 - O - 술포 네이트 형 산 발생 제 를 포함 한다 . 적합 한 PAG 는 USP 7 , 537 , 880 호 ( JP - A 2008 - 111103 호 , 단락 [ 0122 ] ∼[ 0142 ] ) 에 예시 된 것 과 같 다 .