수소 를 함유 하 는 산화 실리콘 으로서 는 , 예 를 들 면 유기 실란 을 사용 하 여 화학 기상 성 장법 에 의해 제작 되 는 산화 실리콘 은 바람직 하 다 . 유기 실란 을 사용 하 여 형성 된 접합 층 ( 1104 ) , 예 를 들 면 산화 실리콘 막 을 사용 함 으로써 , 지지 기판 과 단결정 반도체 층 과 의 접합 을 강고 하 게 할 수 있 기 때문 이 다 . 유기 실란 으로서 는 , 테트라 에 톡 시 실란 ( 약칭 : TEOS , 화학식 : Si ( OC 2 H 5 ) 4 ) , 테트라메틸 실란 ( 약칭 : TMS , 화학식 : Si ( CH 3 ) 4 ) , 테트라메틸 시 클로 테트라 실록 산 ( 약칭 : TMCTS ) , 옥 타 메틸 시 클로 테트라 실록 산 ( 약칭 : OMCTS ) , 헥사 메틸 디 실라 잔 ( 약칭 : HMDS ) , 트리 에 톡 시 실란 ( 화학식 : SiH ( OC 2 H 5 ) 3 ) , 트리스 디메틸아미노 실란 ( 화학식 : SiH ( N ( CH 3 ) 2 ) 3 ) 등 의 실리콘 함유 화합물 을 이용 할 수 있 다 .