상기 예비 하드 마스크 패턴 ( 304 ') 이 형성 된 식각 대상 막 상 에 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 ( 306 a , 306 b ) 을 형성 한다 . 상기 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 ( 306 a , 306 b ) 은 도 11 b 에 도시 된 것 과 동일 한 형상 을 갖 는다 . 그러나 , 도 11 b 와 는 달리 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 306 a ) 이 정 얼라인 된 위치 에 놓여 지 기 위해서 는 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 306 a ) 에서 우측 의 연장 라인 이 예비 하드 마스크 패턴 ( 304 ') 의 중심 부위 에 놓여진다 . 그러나 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 306 a ) 은 좌 , 우로 1 . 5 F 씩 의 미스 얼라 인 마진 을 가지 므로 , 상기 미스 얼라 인 마진 내 의 범위 에서 좌우 로 미스 얼라인 되 더라도 불량 이 발생 되 지 않 는다 .