플러싱 공정 은 산소 를 포함 하 는 가스 , 예컨대 O 2 또는 O 3 가스 로 진행 하 고 , 1 ~ 500 초 동안 , 지속 적 으로 또는 수초 씩 여러 번 나눠서 진행 한다 . 수초 씩 여러 번 나눠서 진행 할 때 에 는 챔버 내 에 산소 를 포함 하 는 가스 투입 → 퍼지 가스 를 투입 하 여 미 반응 가스 제거 → 산소 를 포함 하 는 가스 투입 → 퍼지 가스 를 투입 하 여 미 반응 가스 제거 공정 을 반복 ( cycle ) 한다 .