본 발명 에 있 어서 , 플라 즈 마 중합 을 이용 한 박막 코팅 에서 액상 모 노모 를 주입 하 는 버 블러 ( bubbler ) 가 장착 된 구성 을 더 포함 하 고 , O 2 , N 2 , NH 3 , CF 4 , 전 구체 ( precusors ) 중 하나 이상 을 주입 하 여 파우더 표면 의 작용기 나 박막 의 물 성 을 제어 하 여 파우더 표면 에 플 라즈 마 - CVD ( plasma - chemical vapor deposition ) 를 수행 할 수 있 다 .