반도체 , 디스플레이 공정 등 에서 기판 을 홀딩 하 기 위한 용도 로 정전 척이 사용 된다 . 반도체 식각 공정 의 정전 척 은 플 라즈 마 에 노출 되 기 때문 에 높 은 내식 성 과 절연 특성 이 요구 된다 . 회로 패턴 의 선폭 초미세 화 및 다층 화 에 따라 식각 공정 시간 이 길 어 지 고 , 정전 척 은 고온 및 고밀도 의 플 라즈 마 환경 에 장시간 노출 된다 .