여기 에 상기 예열 공정 은 피 도체 밖 으로 방출 된 수증기 가 피 도체 와 재 반응 하 는 것 을 보호 하 기 위해 하우징 내부 기체 를 질소 , 아르곤 , 네온 등 의 비활성 기체 분위기 하 에서 진행 하 는 것 이 좋 다 . 이때 상기 비활성 기체 는 하우징 내부 의 기체 를 제거 하 여 진공 상태 를 유지 한 후 공급 하 되 , 하우징 내부 의 압력 이 0 . 1 내지 0 . 5 atm 를 유지 하 도록 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 .