가스 상태 의 코팅 재료 들 이 플 라즈 마 영역 ( 6 ) 내 에 균일 하 게 도입 될 수 있 도록 하 기 위하 여 , 도시 된 실시 예 는 소위 샤워 헤드 전극 ( 2 ) 을 사용 하 는데 , 이것 은 가스 상태 의 코팅 재료 가 공급 부 ( feed , 7 ) 를 경유 하 여 전극 ( 2 ) 의 공동 을 통해 전극 표면 상 에 제공 된 전극 구멍 들 ( 16 ) 까지 운반 될 수 있 도록 하 기 위하 여 속 이 비 어 있 으며 , 여기 에서 가스 상태 의 코팅 재료 들 은 플 라즈 마 영역 ( 6 ) 내 로 균일 하 게 흘러 들어갈 수 있 다 .