" 여기 에서 사용 된 "" 알칼리 현상액 에 불용 "" 이 라는 것 은 23 ℃ 에서 의 2 . 38 중량 % 테트라메틸 암모늄 히 드 록 사이드 수용액 에 대한 레지스 트 막 의 용해 량 이 현상 시작 으로부터 30 초간 의 적산 량 으로 20 nm 이하 인 것 을 의미 한다 . 상기 수지 는 알칼리 가용 성 기 또는 알칼리 현상액 에 대한 용해도 가 증가 하 는 기 를 포함 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . "