또한 , 본 발명 에서 사용 되 는 상기 전해조 상판 냉각관 ( 13 ) 은 냉매 의 온도 를 조절 하 여 전해조 상판 ( 11 ) 의 온도 를 변화 및 유지 시킬 수 있 으며 , 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 의 생성 효율 을 감안 하 면 바람직 한 온도 범위 는 10 - 130 ℃ 이 고 , 더욱 바람직 하 게 는 85 - 125 ℃ 이다 . 10 ℃ 미만 의 낮 은 온도 에서 는 전해조 의 운전 온도 를 낮 게 하 여 반응 성 하락 으로 인한 효율 감소 가 유발 되 고 , 130 ℃ 를 초과 하 는 경우 전해조 의 온도 가 지나치 게 높 아지므로 부반응 ( N 2 의 생성 ) 이 생성 되 어 효율 이 떨어지 게 된다 .