( 13 ) 상기 ( 11 ) 에 기재 된 장치 에서 , 상기 현상 처리 블록 에 인접 해서 설치 되 어 , 본 장치 와 는 별체 의 노광기 에 대해 기판 을 반송 함 과 아울러 , 상기 현상 처리 블록 의 각 주 반송 기구 와 기판 의 주고받 기 를 행하 는 인터페이스 부를 구비 하 고 있 다 . 현상 처리 블록 은 인터페이스 부 와 기판 을 주고받 기 가능 하 므로 , 각 계층 에서 처리 내용 을 유연 하 게 변경 할 수 있 다 .