여기 서 , 상기 제 1 센서 ( 410 ) 와 상기 제 2 센서 ( 420 ) 는 서로 별도 의 부품 으로 형성 될 수 있 다 . 이럴 경우 , 상기 제 1 센서 ( 410 ) 와 상기 제 2 센서 ( 420 ) 는 서로 인접 한 위치 에 배치 될 수 있 다 . 또한 , 상기 제 1 센서 ( 410 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 에서 반사 된 광 이 정확 하 게 상기 제 2 센서 ( 420 ) 에서 감지 되 도록 하 기 위하 여 적합 한 각도 로 광 을 조사 할 필요 성 이 있 다 . 이 와 달리 , 상기 제 1 센서 ( 410 ) 와 상기 제 2 센서 ( 420 ) 는 하나 의 몸체 로 형성 될 수 있 다 .