도 5 에 는 하부 방향 의 제 3 가스 분사 모듈 ( 250 a ) 의 형태 가 다수 의 홀 ( Hole ) 이 하나 의 열 을 구성 하 는 홀 패턴 구조 ( Hole Pattern Structure ) 로 되 어 있 는 것 이 도시 되 어 있 다 . 홀 패턴 구조 에서 복수 의 홀 은 2 이상 의 열 의 구성 도 가능 하 다 . 도 6 에 는 하부 방향 의 제 3 가스 분사 모듈 ( 250 a ) 의 예 로 , 복수 의 홀 이 2 개 의 열 을 구성 하 는 홀 패턴 구조 가 도시 되 어 있 다 .