본 발명 의 실시 예 에 따른 구리 인터 커넥터 의 제조 방법 은 제 1 도 전체 상 에 캡 핑 층 및 유전체 박막 을 순차 적 으로 형성 하 는 단계 ; 상기 유전체 박막 에 상기 캡 핑 층 의 일부 를 노출 시키 는 트렌치 를 형성 하 여 유전체 층 을 형성 하 는 단계 ; 상기 트렌치 내부 를 포함 한 상기 유전체 층 표면 상 에 물리 기상 증착 ( PVD ) 공정 을 통해 하 기 화학식 1 의 조성 을 갖 는 비정질 탄탈럼 - 망가니즈 산화물 로 형성 되 고 제 1 두께 를 갖 는 확산 방지 박막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 확산 방지 박막 으로 피복 된 상기 트렌치 를 채우 는 구리 박막 을 형성 하 는 단계 ; 및 화학 적 기계 연마 ( chemical mechanical polishing , CMP ) 공정 을 통해 , 상기 확산 방지 박막 및 상기 구리 박막 중 상기 트렌치 외부 에 위치 하 는 부분 들 을 제거 하 는 단계 를 포함 한다 .