예 를 들 어 , 지지 기판 ( 70 ) 은 몰리브덴 ( Mo ) , 실리콘 ( Si ) , 텅스텐 ( W ) , 구리 ( Cu ) 및 알루미늄 ( Al ) 로 구성 되 는 군 으로부터 선택 되 는 물질 또는 이 들 의 합금 으로 이루어질 수 있 으며 , 또한 , 금 ( Au ) , 구리 합금 ( Cu Alloy ) , 니켈 ( Ni ) , 구리 - 텅스텐 ( Cu - W ) , 캐리어 웨이퍼 ( 예 를 들 어 , GaN , Si , Ge , GaAs , ZnO , SiGe , SiC , SiGe , Ga 2 O 3 중 어느 하나 일 수 있 다 ) 등 을 선택 적 으로 포함 할 수 있 다 .