이 와 같이 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 이 조사 되 어서 기판 ( P ) 위 의 쇼트 영역 ( SH ) 이 노광 되 어 있 는 제 1 타이밍 에 있 어서 , 예 를 들 면 , 도 14 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 상 의 복수 의 제 1 얼라이먼트 마크 ( RM 1 ) 가운데 , 제 1 얼라이먼트 마크 ( RM 17 ) 를 제 3 조명 영역 ( IA 3 ) 에 있 어서 검 출광 ( Ls ) 으로 조명 하 고 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 상 의 복수 의 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 2 ) 가운데 , 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 27 ) 를 제 4 조 명 영역 ( IA 4 ) 에 있 어서 검 출광 ( Ls ) 으로 조명 하 는 것 으로 한다 . 또한 , 제 1 타이밍 은 , 제 2 조명계 ( IA 2 ) 에 의해 제 2 마스크 ( M 2 ) 상 의 제 2 조명 영역 ( IA 2 ) 이 노광 광 ( EL ) 으로 조명 개시 되 기 전 이 바람직 하 다 .