통합 액션 및 피드백 제어 의 결합 이 포지션 액 츄 에 이터 ( 76 ) 에 조절 된 힘 과 압력 을 제공 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 일반 적 으로 , 접촉선 ( 61 ) 의 상태 는 임프 린트 헤드 ( 30 ) 의 측정 된 위치 및 접촉 력 F , 및 압력 과 더불 어 , 메카 니즘 설계 의 기계 적 치수 를 기초 로 추정 될 수 있 다 . 접촉면 ( 60 ) 의 변화 는 통합 액션 에 의해 상쇄 될 수 있 다 . 그러므로 , 접촉 력 F 의 에러 는 접촉 력 이 템플 릿 ( 18 ) 과 기판 ( 12 ) 의 접촉 이전 에 0 에 접근 하 므로 , 측정 된 힘 에 의해 감소 된 세트 포인트 힘 과 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 접촉 력 F 는 통합 될 수 있 고 , 액 츄 에이 팅 신호 는 에러 의 적분 에 비례 할 수 있 다 . 이러 한 신호 는 임프 린트 헤드 ( 30 ) 가 기판 ( 12 ) 을 향해 진행 할 때 계속 누적 될 수 있 다 . 도 3 b 에 도시 된 바 와 같이 , 템플 릿 ( 18 ) 이 기판 ( 12 ) 과 접촉 한 때 , 접촉 력 F 는 접촉 력 F 이 접촉선 ( 61 ) 의 에러 추정 값 을 상쇄 할 수 있 도록 세트 포인트 값 에 수렴 할 수 있 다 .