다음 에 , 다양 한 조건 에서 스플릿 ( spilt ) 된 테스트 패턴 들 이 형성 된 테스트 웨이퍼 상 에 하드 마스크 로 선정 된 물질 막 예컨대 , 비정질 카본 막 을 두께 를 달리 하 여 형성 한다 ( S 4 ) . 비정질 카본 막 은 화학 기상 증착 또는 물리 기상 증착 등 의 다양 한 증착 공정 을 수행 하 여 실제 공정 조건 과 동일 하 게 형성 할 수 있 다 . 이때 , 증착 조건 및 공정 조건 등 을 달리 하 여 테스트 웨이퍼 별로 두께 가 달라지 게 형성 할 수 있 다 .