플 래 튼 구동 장치 ( 50 ) 는 , 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 와 , 왕복 운동 기구 ( 54 ) 와 , 트위스트 각 조정 기구 ( 56 ) 와 , 틸 트 각 조정 기구 ( 58 ) 를 포함 한다 . 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 기 위한 정 전척 등 을 포함 한다 . 왕복 운동 기구 ( 54 ) 는 , 빔 주사 방향 ( x 방향 ) 과 직교 하 는 왕복 운동 방향 ( y 방향 ) 으로 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 를 왕복 운동 시킴 으로써 , 웨이퍼 지지 장치 ( 52 ) 에 지지 되 는 웨이퍼 를 y 방향 으로 왕복 운동 시킨다 . 도 2 에 있 어서 , 화살표 Y 에 의하 여 웨이퍼 ( W ) 의 왕복 운동 을 예시 한다 .