상기 기판 ( 100 ) 은 기저 ( base ) 기판 ( 110 ) 상 에 하 지 막 장벽층 ( 115 ) 을 갖 고 , 상기 하 지 막 장벽층 ( 115 ) 상 에 금속 배선 ( 120 ) 을 포함 할 수 있 다 . 상기 금속 배선 ( 120 ) 의 치수 는 특별히 한정 되 지 않 으며 , 상기 금속 배선 ( 120 ) 은 레이트 전이 금속 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 금속 배선 ( 120 ) 은 레이트 전이 금속 을 함유 하 는 합금 일 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 금속 배선 ( 120 ) 은 레이트 전이 금속 으로 구성 될 수 있 다 .