다음 으로 , 도 4 에 나타내 는 것 과 같이 , 순환 수 를 이용 해서 결상 광학계 ( 10 ) 를 냉각 하 는 냉각 수단 ( 5 ) 을 도 1 의 수차 측정 장치 에 부설 하 고 , 이 냉각 수단 ( 5 ) 을 작동 시켜서 결상 광학계 ( 10 ) 를 냉각 하 면서 결상 광학계 ( 10 ) 의 수차 의 시간 적 변화 를 측정 했 다 . 이 측정 의 결과 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 파면 수차 는 XeCl 엑 시머 레이저 ( 1 a ) 의 발진 개시 로부터 0 . 05 λ RMS 로 실질 적 으로 변화 하 지 않 고 거의 일정 했 다 . 즉 , 냉각 수단 ( 5 ) 의 작용 에 의해 결상 광학계 ( 10 ) 를 냉각 함 으로써 결상 광학계 ( 10 ) 의 결상 성능 을 양호 하 게 유지 할 수 있 다는 것 이 확인 되 었 다 .