도 9 a 는 , 검출 장치 ( 100 ) 에 있 어서 의 기울기 정보 의 취득 을 나타낸 흐름 도 다 . 본 실시 형태 의 검출 장치 ( 100 ) 에 있 어서 는 , 기울기 정보 의 취득 은 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 도 8 a 의 스텝 S 105 에서 의 캘리 브레이 션 을 실시 하 는 타이밍 에서 행해진다 . 구체 적 으로 는 , 스텝 S 251 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 복수 의 검출기 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 , 기준 마크 SM 을 정렬 해서 검출 하 여 , 검출기 의 검출 영역 의 위치 및 초점 위치 의 정보 를 취득 한다 . 스텝 S 252 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 스텝 S 251 에서 취득 한 검출기 의 검출 영역 의 위치 및 초점 위치 의 정보 와 , 면 위치 검출 장치 에 의해 계측 한 웨이퍼 의 표면 높이 정보 로부터 , 기울기 정보 를 산출 한다 .