가스 전달 조립 체 ( 220 ) 가 프로세싱 챔버 ( 100 ) 내 에서 수행 될 동작 들 및 프로세스 가스 들 에 따라서 가열 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 예 를 들 어 , 저항성 히터 ( resistive heater ) 와 같 은 가열 부재 ( heating element ; 270 ) 가 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 에 연결 된다 . 일 실시 예 에서 , 가열 부재 ( 270 ) 는 관형 부재 ( tubular member ) 이 며 , 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 의 상부 표면 내측 으로 가압 된다 . 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 의 상부 표면 은 그루브 또는 홈 형 채널 을 포함 하 며 이 는 가열 부재 ( 270 ) 의 외경 보다 약간 작 은 폭 을 가져서 가열 부재 ( 270 ) 가 끼워 맞춤 ( interference fit ) 을 이용 하 여 그루브 내 에 유지 된다 .