도 1 b 및 1 c 를 참조 하 면 , 준비 된 건식 필름 포토레지스트 ( DFPR , 140 ) 를 적당 한 크기 로 잘라 내 고 , 하부 폴리 에틸렌 필름 ( 미 도시 ) 을 제거 한 후 , 노광 마스 크 ( 100 ) 의 결함 이 있 는 부분 ( 130 ) 에 부착 한다 . 다음 으로 , 소정 압력 으로 부착 된 건식 필름 포토레지스트 ( 140 ) 를 눌러 접착력 을 높인 후 , 상부 폴리 에틸렌 필름 ( 142 ) 을 제거 하 여 포토레지스트 필름 ( 144 ) 을 노출 한다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 건식 필름 포토레지스트 ( DFPR ) 는 네거티브 포토 레지스터 ( Negative photo resist ) 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 이러 한 네거티브 건식 필름 포토레지스트 ( DFPR ) 는 빛 을 받 은 부분 이 크로스 - 링크 ( Cross - linking ) 가 일어나 는 것 이 바람직 하 다 .