본 발명 은 실린더 시스템 및 동작 방법 에 관한 것 으로 , 본 발명 에 따른 실린더 시스템 은 에어 의 공급 또는 배출 에 의해 상하 직선 운동 하 는 피스톤 과 , 상기 피스톤 의 움직임 을 감지 하 기 위한 다수 의 감지 센서 들 을 구비 하 는 실린더 와 상기 감지 센서 들 의 감지 신호 들 에 응답 하 여 , 상기 실린더 의 동작 페일 여부 를 판단 하 는 실린더 컨트롤러 를 구비 한다 . 본 발명 에 따르 면 , 실린더 의 동작 페일 여부 확인 이 가능 하 고 , 반도체 제조 설비 의 정지 에 따른 손실 방지 및 최소 화 할 수 있 다 .