N 2 가스 공급원 ( 57 a ) 은 , 가스 공급 라인 ( 57 b ) 을 통해서 캐리어 가스 인 N 2 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 한다 . 가스 공급 라인 ( 57 b ) 에 는 , 상류 측 으로부터 유량 제어기 ( 57 c ) , 밸브 ( 57 e ) 및 오리피스 ( 57 f ) 가 개재 설치 되 어 있 다 . 가스 공급 라인 ( 57 b ) 의 오리피스 ( 57 f ) 의 하류 측 은 , 가스 공급 라인 ( 55 b ) 에 접속 되 어 있 다 . N 2 가스 공급원 ( 57 a ) 으로부터 공급 되 는 N 2 가스 는 웨이퍼 ( W ) 의 성막 중 에 연속 해서 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 된다 . N 2 가스 공급원 ( 57 a ) 으로부터 처리 용기 ( 1 ) 에 의 N 2 가스 의 공급 및 정지 는 , 밸브 ( 57 e ) 의 개폐 에 의해 행하 여진다 . 저류 탱크 ( 55 d ) 에 의해 가스 공급 라인 ( 55 b ) 에 는 비교 적 큰 유량 으로 가스 가 공급 되 지만 , 오리피스 ( 57 f ) 에 의해 가스 공급 라인 ( 55 b ) 에 공급 되 는 가스 가 N 2 가스 공급 라인 ( 57 b ) 으로 역류 하 는 것 이 억제 된다 .