또한 , 본 개시 는 다양 한 예 에서 참조 번호 및 / 또는 문자 를 반복 할 수 있 다 . 이 반복 은 단순 하 고 명확 하 게 하 기 위한 목적 인 것 이 며 , 그 자체 가 설명 되 는 다양 한 실시 예 및 / 또는 구성 간 의 관계 를 지시 하 는 것 은 아니 다 . 또한 , 이어지 는 본 개시 에서 또 다른 특징 부 상의 , 이 에 접속 되 고 , 그리고 / 또는 이 에 연결 되 는 특징 부 의 형성 은 , 특징 부 가 직접 접촉 하 여 형성 되 는 실시 예 를 포함 할 수 있 고 , 특징 부 가 직접 접촉 하 지 않 도록 특징 부 사이 에 추가 의 특징 부 가 형성 될 수 있 는 실시 예 도 또한 포함 할 수 있 다 . 또한 , 공간 적 으로 상대 적 인 용어 , 예 를 들 어 “ 하부 ” , “ 상부 ” , “ 수평 ” , “ 수직 ” , “ 위 에 ” , “ 위의 ” , “ 아래 에 ” , “ 밑 에 ” , “ 위로 ” , “ 아래 로 ” , “ 상부 ” , “ 바닥 ” 등 뿐 만 아니 라 이 들 의 파생어 ( 예컨대 , “ 수평 적 으로 ” , “ 아래쪽 으로 ” , “ 위쪽 으로 ” 등 ) 는 하나 의 특징 부 의 또 다른 특징 부 에 대한 관계 의 설명 을 용이 하 게 하 기 위해 사용 된다 . 공간 적 으로 상대 적 인 용어 는 특징 을 포함 한 디바이스 의 상이 한 배향 을 커버 하 도록 의도 된다 . 또한 , 숫자 또는 숫자 범위 가 “ 약 ” , “ 대략 ” 등 으로 기재 될 때 , 이 용어 는 기재 된 숫자 의 +/- 10 % 또는 당해 기술 분야 에서 의 숙련자 가 이해 하 는 다른 값 내 와 같 은 , 기재 된 숫자 를 포함 한 합당 한 범위 내 에 있 는 숫자 를 망라 하 도록 의도 된다 . 예 를 들 어 , 용어 “ 약 5 nm ” 는 4 . 5 nm 내지 5 . 5 nm 의 치수 범위 를 망라 한다 .