언급 한 바 와 같이 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 상기 플 라즈 마 식각 장치 ( 100 ) 는 스테이지 ( 12 ) , 제 1 전극 ( 14 ) , 하부 - 제 2 전극 ( 16 ) , 상부 - 제 2 전극 ( 18 ) 등 을 포함 하 고 , 이 들 을 적절 하 게 운용 함 으로써 상기 반도체 기판 ( W ) 의 가장자리 상부 , 측면 및 가장 자리 하부 와 상기 반도체 기판 ( W ) 의 이면 에 흡착 또는 증착 된 이 물질 을 동일 공간 에서 용이 하 게 식각 할 수 있 다 .