상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 , 상면 에 기판 세정 장비 에서 배기 되 는 세 정수 미스트 및 파티클 이 포함 된 공기 가 유입 되 는 배기 공기 유입 관 과 , 저면 에 정화 된 공기 가 배출 되 는 공기 유출 관 을 구비 하 는 본체 와 , 상기 본체 의 내측 에 마련 되 어 상기 배기 공기 유입 관 으로 유입 된 공기 를 다 단계 로 응축 시켜 배기 공기 의 진행 방향 의 역방향 으로 세 정수 와 파티클 을 분리 제거 하 는 다수 의 미스트 거름 판과 , 상기 미스트 거름 판 에 의해 걸러진 세 정수 와 파티클 을 세 정수 배출구 를 통해 유입 받 아 수용 하 며 , 저면 에 배출구 를 통해 배출 하 는 세정 수수 용부 를 포함 한다 .