상기 한 실시 형태 1 내지 5 에서 는 , 부동 의 증착 유닛 ( 50 ) 에 대하 여 기판 ( 10 ) 이 이동 했 지만 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 고 , 증착 유닛 ( 50 ) 및 기판 ( 10 ) 중 한 쪽 을 다른 쪽 에 대하 여 상대 적 으로 이동 시키 면 된다 . 예 를 들 어 , 기판 ( 10 ) 의 위치 를 일정 하 게 하 고 , 증착 유닛 ( 50 ) 을 이동 시켜도 되 고 , 또는 , 증착 유닛 ( 50 ) 및 기판 ( 10 ) 의 양쪽 을 이동 시켜도 된다 .