참고 예 2 에서 는 염기 성 화합물 로서 무기 알칼리 인 NaOH 대신 에 유기 아민 인 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ( TMAH ) 를 소 정량 사용 한 것 이외 에 는 참고 예 1 과 동일 하 게 하 여 에칭 제 를 조제 하 고 , 실시 예 28 에서 는 참고 예 2 와 동일 하 게 염기 성 화합물 로서 무기 알칼리 인 NaOH 대신 에 유기 아민 인 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ( TMAH ) 를 소 정량 사용 한 것 이외 에 는 실시 예 9 와 동일 하 게 하 여 에칭 제 를 조제 하 였 다 . 이러 한 에칭 제 중 의 각 성분 을 표 11 에 나타낸다 .