프로세스 모듈 ( 200 ) 은 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 상층 과 하층 의 복 층 구조 를 가질 수 있 다 . 상층 에 는 도포 모듈 과 현상 모듈 중 어느 하나 의 모듈 이 배치 될 수 있 고 , 하층 에 는 다른 하나 의 모듈 이 배치 될 수 있 다 . 본 실시 예 에서 는 프로세스 모듈 ( 200 ) 의 하층 에 도포 모듈 ( 220 ') 이 설치 되 고 , 상층 에 현상 모듈 ( 240 ') 이 설치 된 경우 를 예 로 들 어 설명 한다 . 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 도포 모듈 ( 220 ') 과 현상 모듈 ( 240 ') 을 상하 층 의 복 층 구조 로 배치 하 고 , 도포 모듈 ( 220 ') 과 현상 모듈 ( 240 ') 에 기판 을 반 출입 하 기 위한 로드 포트 ( 112 , 332 ) 를 설치 함 으로써 , 프로세스 모듈 ( 200 ) 을 별개 의 모듈 들 로 분리 하 지 않 은 상태 에서 인라인 ( In - line ) 방식 으로부터 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 으로 쉽 게 전환 할 수 있 다 .