이렇게 하 여 가열 처리 가 완료 되 면 , 기판 ( S ) 을 반출 하 기 위해서 지 지 핀 ( 17 ) 이 상승 하 여 기판 ( S ) 이 핫 플레이트 ( 16 ) 상방 으로 들 어 올려진 후 , 도어 ( 15 ) 가 개방 되 어 반송 암 ( 2 ) 이 하우징 ( 10 ) 내 에 삽입 된다 . 그리고 , 반 입시 와 반대 의 순서 로 , 기판 ( S ) 이 반송 암 ( 2 ) 상 에 수수 되 고 , 그 후 , 반송 암 ( 2 ) 과 함께 기판 ( S ) 이 하우징 ( 10 ) 밖 으로 인출 되 게 된다 . 또한 , 분출 노즐 ( 20 ) 에 의 가열 에어 의 공급 은 , 가열 처리 의 종료 후 , 소정 타이밍 에 정지 된다 .