도 6 은 증착 온도 를 달리 하 면서 제조 한 산화 실리콘 막 의 유전 상수 를 나타낸 것 이 다 . 100 ℃ 에서 제조 한 경우 유전 상수 는 7 . 5 이상 으로 수직 배향 특성 이 우수 하 였 다 . 150 ℃ 에서 제조 한 경우 유전 상수 는 5 . 5 이상 으로 수직 배향 특성 이 우수 하 였 다 . 반면 370 ℃ 에서 제조 한 경우 유전 상수 는 5 이하 이 며 수직 배향 특성 은 불량 이 었 다 .