도시 된 바 와 같이 , 본 고안 의 기판 흡착 장치 는 지지 프레임 ( 10 ) 과 흡착 패드 ( 50 ) 및 흡착 유닛 ( 30 ) 이 순차 적 으로 결합 되 며 , 이때 흡착 유닛 ( 30 ) 이 흡착 패드 ( 50 ) 의 삽 입공 ( 58 ) 과 지지 프레임 ( 10 ) 의 결 합공 ( 12 ) 에 순차 적 으로 삽입 되 어 결합 되 는 것 이 다 .