공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 는 진행 되 는 공정 에 따라 그 숫자 가 달라진다 . 도면 에서 는 비록 공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 가 3 개 형성 되 어 있 지만 , 이것 은 설명 의 편의 를 위한 것 으로서 , 상기 공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 의 숫자 는 필요 에 따라 ( 즉 , 해당 공정 에 따라 ) 달라질 수 있 을 것 이 다 . 이송 챔버 ( 133 ) 은 입력 된 기판 ( 101 ) 을 공정 순서 에 따라 공정 챔버 ( 135 a , 135 b , 135 c ) 로 차례 로 투입 한다 .