고리 형 의 탄화수소기 를 함유 하 지 않 는 산 해리 성기 에서 는 , 산 의 작용 에 의해 해리 되 는 탈 보호 체 의 비점 이 낮 아 , 탈 보호 체가 레지스 트 막 중 에 잔존 하 기 어렵 다 . 그 때문 에 , 산 해리 성기 가 고리 형 의 탄화수소기 를 함유 하 지 않 는 경우 에 는 , 노 광부 의 레지스 트 막 에 있 어서 의 소수성 의 상승 이 억제 되 고 , 유기계 현상액 에 대한 레지스 트 막 의 용해 가 억제 되 어 , 상기 의 효과 가 얻 어 지 는 것 으로 생각 된다 .