또한 , 어떤 절 연막 과 표면 소수 화 막 사이 에 다른 층 이 개재 되 는 경우 , 그 층 이 기능 적 으로 절 연막 으로서 작용 할 수 있 는 것 이 면 , 그 층 을 본 발명 에 따른 절 연막 으로 생각 할 수 있 다 . 마찬가지 로 , 어떤 배선 과 표면 소수 화 막 사이 에 다른 층 이 개재 되 는 경우 , 그 층 이 기능 적 으로 도전 성 을 가지 며 배선 의 일부 로서 작용 할 수 있 는 것 이 면 , 그 층 을 본 발명 에 따른 배선 으로 생각 할 수 있 다 . 따라서 , 도전 성 의 배리어 메탈 층 이 표면 소수 화 막 과 배선 사이 에 존재 하 는 경우 에 는 , 이 배리어 메탈 층 을 배선 의 일부 로 생각 할 수 있 다 . 배리 어 메탈 은 탄탈 , 텅스텐 , 티탄 , 망간 및 니켈 로 이루어지 는 군 에서 선택 된 하나 이상 의 원소 를 포함 하 는 것 인 경우 가 많 다 .