또한 , 종래 의 진공 척 ( 120 ) 의 경우 기판 ( S ) 의 저면 에 진공 압 을 형성 하 기 위한 흡착 홀 ( 미 도시 ) 이 진공 척 ( 120 ) 의 중심 에 형성 되 어 있 어서 중심 역역 ( CA ) 과 가장자리 영역 ( EA ) 사이 에서 진공 압 의 편차 가 크 게 발생 하 게 된다 . 이 에 따라 진공 척 ( 120 ) 에 놓여진 기판 ( S ) 의 중심 영역 ( CA ) 에 진공 이 형성 되 는 경우 도 2 에 도시 된 바 와 같이 기판 의 가장자리 부분 이 들려 지 게 되 고 이 에 따라 기판 의 가장자리 부분 에서 기판 의 하부 로 공정 가스 가 유입 되 어 기판 의 하부 에 불 필요 한 증착 이 진행 되 는 문제 가 있 었 다 .