회절 기반 오버레이 오 차 측정 에서 는 , 제 1 격자 와 제 2 격자 주위 의 인접 한 영역 들 로부터 반사 되 는 광이 회절 패턴 의 세기 수위 에 간섭 을 일으키 기 때문 에 단지 제 1 격자 와 제 2 격자 만 조명 될 수 있 다 . 하지만 , 다 이 내의 ( 그리고 반드시 스 크 라 이브 레인 내 에 있 을 필요 는 없 는 ) 임계 ( critical ) 구 조체 들 가까이 에서 오버레이 오 차 를 측정 하 려는 경향 이 나타나 고 있 다 . 또한 , 회로 를 위한 보다 큰 가용 면적 을 갖 도록 하 기 위해 격자 들 의 크기 를 줄이 고자 하 는 요구 가 존재 한다 . 격자 외측 영역 의 조명 을 피하 기 위하 여 제 1 격자 와 제 2 격자 상 에 입사 되 는 조명 빔 의 단면 을 축소 시킴 으로써 이러 한 요구 들 이 어느 정도 까지 는 수용 될 수 있 다 . 하지만 , 조명 빔 의 최소 단면 은 기본 적 으로 물리 법칙 들 ( law of physics ) 에 의하 여 제한 ( 즉 , 회절 로 인해 제한 ) 된다 . 이후 , 빔 의 회절 이 발생 되 는 단면 의 크기 는 회절 한계 ( diffraction limit ) 로 지칭 될 것 이 다 .