원자 층 증착 반응 이 진행 되 는 중 이 면 , 질량 분석 계 ( 214 ) 에 의해 검출 되 는 기체 에 는 원료 기체 와 함께 샘플 ( 100 ) 표면 과 반응 후 발생 되 는 반응 기체 들 이 포함 된다 . 반면 에 원자 층 증착 반응 이 포화 되 어 종료 되 면 질량 분석 계 ( 214 ) 에서 검출 되 는 기체 들 의 질량 은 원료 물질 들 만 측정 된다 . 이 에 따라 반응 기체 들 의 질량 측정 을 피드백 하 여 공급 라인 ( 212 ) 에 제어 신호 를 발생 시켜 반응 기체 들 이 계속 적 으로 측정 되 면 공급 라인 ( 212 ) 을 열 어 놓 고 , 반응 기체 들 의 신호 가 질량 분석 계 ( 214 ) 에 보이 지 않 게 되 면 반응 종료 로 더 이상 의 원료 공급 은 의미 가 없 으므로 공급 라인 ( 212 ) 을 닫 는다 . 이 와 같이 질량 분석 계 ( 214 ) 를 사용 하 여 챔버 ( 211 ) 내 의 반응 상황 을 실시간 으로 모니터링 함 으로써 정확 한 원자 층 증착 반응 및 원료 공급 을 제어 할 수 있 다 . 또한 반응 기체 질량 분석 을 통해 샘플 ( 100 ) 표면 에서 발생 하 는 원자 층 증착 메커니즘 에 대한 정보 도 또한 얻 을 수 있 다 .