이 와 같 은 웨이퍼 이송 장치 에 따르 면 , 센서 부를 웨이퍼 의 존재 를 추가 적 인 공정 없이 감지 하 기 위하 여 이 송부 의 회전 반경 이 이루 는 영역 에 대응 하 는 이송 챔버 에 배치 시킴 으로써 , 웨이퍼 의 감지 시간 을 단축 시킬 수 있 다 . 이 로써 , 반도체 소자 의 제작 을 위한 전체 적 인 공정 시간 도 단축 시킬 수 있 다 .