도 8 은 , 도 4 의 수지 피복 단계 ( ST 15 ) 의 제 1 단계 의 주요부 를 나타내 는 단면도 이 다 . 도 9 ( A ) 및 도 9 ( B ) 는 , 도 4 의 수지 피복 단계 ( ST 15 ) 의 제 2 단계 의 주요부 를 나타내 는 단면도 이 다 . 도 9 ( A ) 는 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 의 접근 이전 을 나타내 고 , 도 9 ( B ) 는 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 의 접근 이후 를 나타내 고 있 다 . 수지 피복 단계 ( ST 15 ) 는 , 도 9 ( A ) 및 도 9 ( B ) 에 도시 한 바 와 같이 , 이 동부 ( 50 ) 가 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 상대 적 으로 접근 시켜 웨이퍼 ( 200 ) 에 액상 수지 ( 301 ) 를 피복 하 는 단계 이 다 . 여기 서 , 수지 피복 단계 ( ST 15 ) 에 있 어서 , 도 8 에 도시 한 바 와 같이 , 제 어부 ( 70 ) 가 , 유지 부 ( 20 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 테이블 ( 30 ) 과 대향 하 는 면 인 표면 ( 201 ) 과 , 테이블 ( 30 ) 의 상면 인 유지 면 ( 31 ) 의 사이 가 소망 하 는 수지 두께 ( 311 ) 및 시트 ( 92 ) 의 두께 ( 97 ) 의 합 과 동일 해 지 도록 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 에서 측정 한 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 에 의해 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 접근 시키 는 거리 ( 27 ) 를 결정 한다 . 시트 재치 단계 ( ST 12 ) 를 생략 하 고 있 는 경우 ( 시트 ( 92 ) 를 사용 하 지 않 는 경우 ) 에 는 , 유지 부 ( 20 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 ( 201 ) 과 , 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 의 사이 가 소망 하 는 액상 수지 ( 301 ) 의 수지 두께 ( 311 ) 와 동일 해 지 도록 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 에서 두께 측 정부 ( 10 ) 가 측정 한 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 에 의해 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 접근 시키 는 거리 ( 27 ) 를 결정 한다 . 즉 , 유지 부 ( 20 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 ( 201 ) 과 , 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 의 사이 가 소망 하 는 액상 수지 ( 301 ) 의 수지 두께 ( 311 ) 와 대응 하 도록 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 에서 두께 측 정부 ( 10 ) 가 측정 한 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 에 의해 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 접근 시키 는 거리 ( 27 ) 를 결정 한다 .