이어서 , 가스 공급 장치 ( 100 ') 를 보다 구체 적 으로 설명 하 면 , 분진 막 이 수단 ( 60 ) 은 유동 버퍼 구간 ( 62 ) 를 포함 한다 . 상기 분 진막 이 수단 ( 60 ) 은 MCVD 공정 에서 발생 되 는 가스 ( 수트 ) 혹은 분진 이 하우징 ( 40 ) 과 샤프트 ( 20 ) 사이 의 공간 으로 유입 되 는 것 을 차단 하 는 역할 을 한다 .