이 때 , 상기 전기장 인가 부 는 , 상기 기판 의 상부 에 설치 된 제 1 플레이트 , 상기 기판 의 하부 에 상기 제 1 플레이트 에 대향 하 여 설치 된 제 2 플레이트 , 상기 제 1 및 제 2 플레이트 중 어느 하나 에 일정 한 교류 및 직류 전압 을 인가 할 수 있 는 전원 , 및 상기 제 1 및 제 2 플레이트 중 다른 하나 를 접지 시키 는 접지 장치 를 포함 함 이 바람직 하 다 . 이 경우 , 상기 기판 은 상기 제 2 플레이트 의 상기 제 1 플레이트 대향 면 상 에 놓이 며 , 상기 제 1 플레이트 에 상기 접지 장치 가 연결 되 고 , 상기 제 2 플레이트 에 상기 전원 이 연결 된 구성 일 수 있 다 .