본 발명 의 제 4 측면 은 기판 상 에 소정 의 공정 이 진행 되 도록 상기 기판 을 지지 하 는 기판 지지대 제조 방법 에 있 어서 , 상기 기판 의 상기 소정 의 공정 이 진행 될 영역 의 크기 에 대응 하 여 관통 홀 을 형성 하 는 단계 , 상기 기판 지지대 의 상기 소정 의 공정 이 진행 되 는 영역 의 반대 측면 에서 상기 관통 홀 의 외곽 에 상기 기판 의 크기 에 대응 하 는 제 1 지지 홈 을 형성 하 는 단계 , 상기 제 1 지지 홈 의 외곽 에 제 2 지지 홈 을 형성 하 는 단계 및 상기 제 2 지지 홈 에 상기 기판 의 전면 을 덮 는 커버 를 고정 하 는 단계 를 포함 하 는 기판 지지대 제조 방법 을 제공 하 는 것 이 다 .