측정 용 기판 방 착 판 ( 150 ) 은 홀더 ( 110 ) 가 뷰 포트 ( V ) 의 직하 방 에 위치 될 때 증착 물질 ( A ) 로부터 홀더 ( 110 ) 를 가려줄 수 있 도록 구비 되 는데 , 홀더 ( 110 ) 와 증발원 ( 20 ) 사이 에 위치 되 며 , 증발원 ( 20 ) 보다 홀더 ( 110 ) 와 인접 하 게 구비 될 수 있 다 . 홀더 ( 110 ) 가 뷰 포트 ( V ) 의 직하 방 에 위치 될 때 , 측정 용 기판 방 착 판 ( 150 ) 은 홀더 ( 110 ) 의 하측 에 홀더 ( 110 ) 와 평행 하 게 구비 될 수 있 다 .