본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 은 , 예 를 들 어 스핀 - 온 - 글라스 ( SOG ) , 및 스핀 - 온 - 카본 ( SOC ) 과 같 은 다공성 물질 을 포함 하 는 다공성 물질 , 예 를 들 어 미세 - 다공 성 및 / 또는 나노 - 다공성 을 포함 할 수 있 다 . 본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 은 하나 이상 의 희생 마스킹 층 재료 를 구비 할 수 있 고 , 이 는 보론 카바이드 , 비정질 탄소 , 실리콘 옥사이드 , 실리콘 나이트 라이드 , 및 실리콘 옥시 나이트 라이드 를 포함 하나 이 에 제한 되 지 않 는다 .