본 실시 예 에 사용 되 는 플 라즈 마 증착 기에 있 어서 , 상기 외부 전극 및 상기 기판 받침대 는 일반 적 인 플 라즈 마 화학 기상 장치 에서 사용 되 는 전극 이 면 재질 및 형태 에 특별 한 제한 없이 사용 될 수 있 으나 , 특히 외부 전극 의 경우 그 형태 가 평판 원형 코일 형태 인 것 이 바람직 하 고 , 내부 전극 의 경우 그 재질 이 화학 적 반응 이 없 고 , 오염 이 적 은 재질 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 며 , 보다 바람직 하 게 는 스테인 레스 재질 로 이루어진 것 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 기판 으로 는 유리판 , 플라스틱 , 금속 및 실리콘 으로 이루어진 그룹 에서 선택 되 는 것 을 이용 하 는 것 이 바람직 하 나 , 보다 바람직 하 게 는 유리판 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .