" 본 명세서 에서 사용 되 는 용어 "" 투영 시스템 "" 은 사용 되 는 노광 방사선 에 대하 여 ", 또는 침지 액체 의 사용 또는 진공 의 사용 과 같 은 다른 인자 에 대하 여 적절 하 다면 , 굴절 , 반사 , 반사 굴절 ( catadioptric ) , 자기 , 전자기 및 정전기 광학 시스템 , " 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 하 는 임의 의 유형 의 투영 시스템 을 포함 하 는 것 으로 폭넓 게 해석 되 어야 한다 . 본 명세서 내 의 용어 "" 투영 렌즈 "" 의 임의 의 사용 은 더 일반 적 인 용어 "" 투영 시스템 "" 과 동의어 로 간주 될 수 있 다 . "