본 발명 의 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 프레임 조립 체 는 , 상기 제 1 수평 방향 에 대하 여 수직 하 는 제 2 수평 방향 으로 상기 로봇 암 의 양측 에 각각 배치 되 며 상기 로봇 암 과 평행 하 게 연장 하 는 프레임 들 을 포함 할 수 있 으며 , 상기 재 치대 는 상기 프레임 들 의 단부 들 상 에 배치 되 며 상기 스테이지 에 대응 하 는 리세 스 를 가질 수 있 다 .