또한 증착 용 기판 ( 901 ) 과 피 성막 기판 ( 900 ) 의 기판 간격 인 거리 d 는 , 0 mm 이상 2 mm 이하 , 바람직 하 게 는 0 mm 이상 0 . 05 mm 이하 , 더 바람직 하 게 는 0 mm 이상 0 . 03 mm 이하 가 되 도록 가깝 게 해서 대향 시킨다 . 또한 피 성막 기판 ( 900 ) 에 분리 벽 이 되 는 절연물 이 설치 될 경우 에 는 , 절연물 과 재료 층 ( 915 ) 을 접촉 시켜서 배치 해도 좋 다 .