도 5 에 도시 되 는 ALD 프로세스 는 , WCl 6 가스 를 공급 하 는 공정 S 501 , N 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 502 , H 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 503 및 N 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 504 를 소정 사이클 반복 하 여 , WCl 6 가스 와 H 2 가스 를 교대 로 공급 하 여 기판 W 위 에 원하 는 막 두께 의 텅스텐 막 을 형성 하 는 공정 이 다 . 또한 , 도 5 에서 는 , 1 사이클 만 을 나타낸다 .