상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 의한 유기 박막 증착 방법 은 , 유기 전계 발광 소자 의 제조 에 사용 되 는 기판 상 에 유기 박막 을 증착 하 는 방법 에 있 어서 , 마스크 탈 부착 부재 와 유기 물질 증착 원 의 사이 에 기판 을 위치 시키 고 , 상기 마스크 탈 부착 부재 를 이용 하 여 상기 기판 상 에 마스크 를 부착 하 고 , 상기 마스크 가 부착 된 기판 면 이 상기 유기 물질 증착 원 과 마주 보 도록 상기 기판 을 회전 시키 고 , 상기 유기 물질 증착 원 을 이용 하 여 상기 기판 상 에 유기 물질 을 공급 하 는 것 을 특징 으로 한다 .