회전 구동 부재 ( 313 ) 는 지지 플레이트 ( 312 ) 를 회전 시킨다 . 회전 구동 부재 ( 313 ) 는 회전축 ( 314 ) 및 구 동기 ( 315 ) 를 포함 한다 . 회전축 ( 314 ) 은 그 길 이 방향 이 상하 방향 을 향하 는 통 형상 을 가지 도록 제공 된다 . 회전축 ( 314 ) 은 지지 플레이트 ( 312 ) 의 저면 에 결합 된다 . 구 동기 ( 315 ) 는 회전축 ( 314 ) 에 회전력 을 전달 한다 . 회전축 ( 314 ) 은 구 동기 ( 315 ) 로부터 제공 된 회전력 에 의해 중심축 을 중심 으로 회전 가능 하 다 . 지지 플레이트 ( 312 ) 는 회전축 ( 314 ) 과 함께 회전 가능 하 다 . 회전축 ( 314 ) 은 구 동기 ( 315 ) 에 의해 그 회전 속도 가 조절 되 어 기판 ( W ) 의 회전 속도 를 조절 가능 하 다 . 예컨대 , 구 동기 ( 315 ) 는 모터 일 수 있 다 .