물 은 물 분자 간 에 강한 수소 결합 을 하 고 있 으므로 , 포토레지스트 막 혹은 TARC 의 계면 에 거칠 기 ( roughness ) 가 심하 거나 이 물질 이 있 어서 표면 이 매끄럽 지 못하 면 , 물 이 표면 과 다 접하 지 못하 게 되 고 기포 ( bubble ) 을 형성 하 게 된다 . 기포 ( bubble ) 이 존재 하 는 경우 , 기포 ( bubble ) 의 굴절 율 은 주위 의 액체 조성물 ( immersion 매질 ) 과 의 굴절 율 에 차이 가 있 기 때문 에 , 노광 빔 의 해상력 및 초점 심도 에 영향 을 미칠 뿐 만 아니 라 결함 ( defect ) 를 발생 시키 게 된다 .