전술 한 바 와 같 은 본 발명 의 제 1 실시 예 - 도 7 을 인용 하 여 설명 - 는 워드 라인 의 저항 을 감소 시키 기 위해 , 배선 과 게이트 전극 으로 작용 하 는 도전 막 ( 64 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 도전 막 ( 64 ) 은 하나 의 라인 으로 형성 한다 . 이 로써 , 접촉 저항 - 배선 과 게이트 전극 간 의 접촉 저항 - 과 무관 한 도전 막 ( 64 ) , 즉 워드 라인 이 형성 된다 .