오 목부 ( 111 ) 는 건식 식각 또는 습식 식각 에 의해 기판 ( 110 ) 의 하면 에 일정 한 간격 으로 형성 될 수 있 다 . 오 목부 ( 111 ) 의 깊이 ( d ) 는 기판 ( 110 ) 의 최대 두께 ( T ) 의 1 / 3 이하 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( 110 ) 의 최대 두께 ( T ) 가 300 ㎛ 라 할 때 , 오 목부 ( 111 ) 의 깊이 ( d ) 는 100 ㎛ 이하 가 된다 .