스 페이서 ( 33 ) 는 예 를 들 면 테 프론 ( 등록 상표 ) 등 의 절연 부재 에 의해 구성 되 고 , 하부 전극 ( 31 ) 의 변 을 따라 각 진 루프 형상 으로 형성 되 어 있 고 , 이 스 페이서 ( 33 ) 와 상기 커버 ( 32 ) 에 의해 하부 전극 ( 31 ) 이 처리 용기 ( 21 ) 로부터 전기 적 으로 충분히 뜬 상태 로 되 어 있 다 . 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 스 페이서 ( 33 ) 는 하부 전극 ( 31 ) 의 중앙 아래쪽 으로 개구 된 구멍 ( 24 ) 및 그 구멍 ( 24 ) 의 주위 에 개구 된 구멍 ( 25 ) 을 둘러싸 도록 바닥 판 ( 23 ) 상 에 마련 되 어 있 다 . 또한 , " 스 페이서 ( 33 ) 의 상면 에 는 해당 스 페이서 ( 33 ) 의 형상 을 따라 루프 형상 의 홈 ( 34 ) 이 형성 되 어 있 다 . 스 페이서 ( 33 ) 는 링 의 각 진 부분 을 구성 하 는 "" L "" 자형 의 4 개 의 스 페이서 부품 ( 33 A ) 과 ", 링 의 그 이외 의 부분 을 구성 하 는 직선형 의 4 개 의 스 페이서 부품 ( 33 B ) 에 의해 구성 되 어 있 고 , 스 페이서 부품 ( 33 A , 33 B ) 은 자유 롭 게 접속 및 분할 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .