" 연마 장치 ( 100 ) 는 "" A "" 방향 ", 즉 시계 방향 으로 회전 가능 한 플 래 튼 ( platen ) 중심축 ( 110 ) 에 장착 된 연마 플 래 튼 ( 120 ) 상 에 화학 기계 적 연마 ( CMP ) 패드 ( 130 ) 가 위치 한다 . 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 상 에 는 슬러리 공급 노즐 ( 150 ) 로 공급 된 연마 슬러리 ( 또는 연마 입자 , 152 ) 가 위치 할 수 있 다 .