이 에 따라 , 상기 서로 마주 하 는 상 , 하부 서 셉 터 사이 ( 121 , 122 ) ) 사이 를 통과 하 는 반응 가스 는 웨이퍼 ( 2 , 2 ) 의 증착 면 인 상부 면 에서 화학 적 증착 반응 을 하 면서 상기 웨이퍼 ( 2 ) 의 표면 에 성장 층 을 균일 하 게 형성 하 고 , 반응 이 종료 된 폐 반응 가스 는 부산물 과 더불 어 삽입부 재 ( 161 ) 에 구비 되 는 배기구 ( 162 ) 및 이 에 연결 된 배기 라인 ( 163 ) 을 통하 여 외부 로 배출 된다 .