[ 0006 ] 본 개시 내용 의 일 양상 에 따르 면 , 기판 의 진공 프로세싱 을 위한 장치 가 제공 된다 . 장치 는 , 진공 챔버 , 기판 캐리어 의 운송 을 위해 구성 된 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 , 마스크 캐리어 의 운송 을 위해 구성 된 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 , 및 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 를 서로 에 대해 포지셔닝 하 도록 구성 된 홀딩 어 레인지 먼 트 를 포함 한다 . 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 는 , 기판 의 제 1 단부 에서 기판 캐리어 를 지지 하 도록 구성 된 제 1 부분 , 및 기판 의 제 1 단부 반대편 의 , 기판 의 제 2 단부 에서 기판 캐리어 를 지지 하 도록 구성 된 제 2 부분 을 포함 한다 . 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 는 , 마스크 의 제 1 단부 에서 마스크 캐리어 를 지지 하 도록 구성 된 추가 적 인 제 1 부분 , 및 마스크 의 제 1 단부 반대편 의 , 마스크 의 제 2 단부 에서 마스크 캐리어 를 지지 하 도록 구성 된 추가 적 인 제 2 부분 을 포함 한다 . 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 의 제 1 부분 과 제 2 부분 사이 의 제 1 거리 및 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 의 추가 적 인 제 1 부분 과 추가 적 인 제 2 부분 사이 의 제 2 거리 는 본질 적 으로 동일 하 다 .