또한 , 제 4 , 제 5 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 에 제 1 패턴 이 형성 되 고 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 와 는 다른 제 2 마스크 ( M 2 ) 에 제 2 패턴 이 형성 되 어 있 지만 , 1 개 의 마스크 상 에 제 1 패턴 및 제 2 패턴 을 형성 하 여도 좋 다 . 그 1 개 의 마스크 상 에 설치 되 어 있 는 제 1 패턴 의 상 과 제 2 패턴 의 상 으로 기판 ( P ) 을 다중 노광 할 수 있 다 .