본 발명 의 다른 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 2 산화 공정 은 클린 산화 공정 을 포함 할 수 있 다 . 상기 클린 산화 공정 에 있 어서 , 산소 가스 및 염화수소 가스 를 포함 하 는 제 3 반응 가스 를 약 800 ∼ 1 , 000 ℃ 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 3 온도 및 약 0 . 1 ∼ 0 . 5 Torr 정도 의 상대 적 으로 낮 은 제 3 압력 을 갖 는 상기 공정 챔버 내 로 도입 한다 . 상기 산소 가스 와 상기 염화수소 가스 사이 의 유량 비 는 약 9 . 9 : 0 . 1 정도 가 될 수 있 다 . 상기 제 3 반응 가스 가 약 4 . 0 중량 % 이상 의 염화수소 가스 를 포함 할 경우 , 대 상체 ( 380 ) , 산화 막 ( 385 ) 및 / 또는 상기 공정 챔버 내부 를 부식 시킬 수 있 기 때문 에 제 3 반응 가스 에 포함 되 는 염화수소 가스 의 함량 은 약 1 . 0 ∼ 3 . 0 중량 % 정도 로 조절 되 는 것 이 유리 하 다 .