본 제 1 실시 형태 의 , 세라믹 히터 ( 5 ) , 발열 부 ( 13 ) , 세라믹 기판 ( 15 ) , 급전 용 도전 부 ( 23 ) , 급전 용 비아 ( 25 a , 25 b ) , 단자 측 비아 ( 25 c ) , 내부 배선 층 ( 27 ) , 제 1 발열체 ( H 1 ) , 제 2 발열체 ( H 2 ) , 제 3 발열체 ( H 3 ) , 제 1 비아 ( V 1 ) , 제 2 비아 ( V 2 ) 는 각각 , 본 개시 의 , 유지 장치 , 발열 부 , 유지 기판 , 급전 용 도전 부 , 급전 용 비아 , 단자 측 비아 , 내부 배선 층 , 제 1 발열체 , 제 2 발열체 , 제 3 발열체 , 제 1 비아 , 제 2 비아 의 일례 에 상당 한다 .