또한 , 습윤제 에 의한 잔사 제거 효과 의 향상 효과 는 , 표면 처리 대상물 이 폴리 실리콘 을 포함 하 는 경우 에 보다 양호 해진다 . 습윤제 의 함유량 은 , 특별히 제한 되 지 않 지만 , 표면 처리 대상물 이 폴리 실리콘 을 포함 하 는 경우 , 표면 처리 조성물 의 총 질량 에 대하 여 , 0 . 01 질량 ％ 이상 인 것 이 바람직 하 다 . 이 범위 이 면 , 잔사 의 제거 효과 가 향상 된다 . 이러 한 이유 는 , 표면 처리 대상물 의 표면 에 대한 습윤성 이 보다 향상 되 기 때문 이 라고 추측 하 고 있 다 . 마찬가지 관점 에서 , 습윤제 의 함유량 은 , 0 . 03 질량 ％ 이상 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 0 . 05 질량 ％ 이상 인 것 이 더욱 바람직 하 다 . 또한 , 습윤제 의 함유량 은 , 특별히 제한 되 지 않 지만 , 표면 처리 대상물 이 폴리 실리콘 을 포함 하 는 경우 , 표면 처리 조성물 의 총 질량 에 대하 여 , 10 질량 ％ 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 이 범위 이 면 , 잔사 의 제거 효과 가 보다 높 아 진다 . 이러 한 이유 는 , 표면 처리 공정 후 의 습윤제 의 제거 성 이 보다 양호 해 지 기 때문 이 라고 추측 하 고 있 다 . 마찬가지 관점 에서 , 습윤제 의 함유량 은 , 5 질량 ％ 이하 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 1 질량 ％ 이하 인 것 이 더욱 바람직 하 다 .