이 어 , 게이트 마스크 를 이용 하 여 ARC 막 ( 29 ) 과 하드 마스크 막 ( 28 ) 과 캡 절 연막 ( 27 ) 을 패 터닝 한다 . 이때 , 제 2 게이트 도전 막 ( 26 B ) 이 노출 되 게 되 도록 식각 타 겟 을 ARC 막 ( 29 ) 과 하드 마스크 막 ( 28 ) 과 캡 절 연막 ( 27 ) 의 두께 를 모두 합산 한 값 으로 설정 한다 .