또한 , 상기 실시 형태 에서 는 , 처마 부 ( 23 a 및 23 b ) ( 또는 처마 부 ( 23 c ) ( 및 단 차부 ( 23 d ) ) 에 의해 액침 영역 ( 14 ) 을 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 사이 에서 통과 시키 는 전달 부가 구성 되 었 지만 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 서로 계합 함 으로써 소정 거리 ( 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 와 접촉 하 는 것 을 방지 하 고 , 반사 미러 ( 27 f ) 가 반사 미러 ( 27 e ) 와 접촉 하 는 것 을 방지 할 수 있 는 거리 ) 만큼 떨어져 서로 대향 한 상태 를 유지 할 수 있 고 , 그 상면 을 액침 영역 이 통과 할 수 있 는 한 , 전달 부 는 처마 부 와 같 은 형상 일 필요 는 없 다 .