도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 이너 튜브 ( 204 ) 내 에 는 온도 검출기 로서 의 온도 센서 ( 263 ) 가 설치 되 어 있 고 , 온도 센서 ( 263 ) 에 의해 검출 된 온도 정보 에 기초 하 여 히터 ( 207 ) 에 대한 통전 량 을 조정 함 으로써 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 가 원 하 는 온도 분포 로 되 도록 구성 되 어 있 다 . 온도 센서 ( 263 ) 는 , 노즐 ( 410 및 420 ) 과 마찬가지 로 L 자형 으로 구성 되 어 있 고 , 이너 튜브 ( 204 ) 의 내벽 을 따라 마련 되 어 있 다 .