그런데 , 최근 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 의 대중 화 및 저 가 화 가 가속 되 면서 기판 의 크기 가 급격 하 게 증가 하 고 있 는 추세 이 다 . 이 에 기존 인산 , 질산 , 아세트산 의 화합물 로 구성 된 에칭 용액 은 인산 의 함량 이 높 아 점도 가 크 므로 기판 의 크기 가 큰 경우 기판 위 에서 의 유동 성 이 떨어지 게 되 고 기판 전체 적 으로 고르 게 퍼지 지 못하 고 일부분 에 모이 게 된다 . 이 는 식각 의 균일성 을 떨어뜨려 중심부 와 말 단부 의 식각 프로 파일 이 상이 하 게 나타나 며 얼룩 이 형성 되 는 문제점 을 일으킨다 .