도 2 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 디스크 척 킹 장치 ( 140 ) 의 단면도 이 고 , 도 3 은 도 2 의 AA ' 선 에 따른 단면도 이 다 . 참고 로 , 도 3 에 는 척 핀 ( 150 ) 이 척 베이스 ( 142 ) 의 외부 로 돌출 되 어 있 는 상태 를 도시 하고 있 다 . 그리고 도 4 및 도 5 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 디스크 척 킹 장치 ( 140 ) 의 평면도 이 다 .