이러 한 단계 는 바람직 하 게 30 ℃ 에서 100 ℃ 사이 의 온도 에서 30 초 와 10 분 사이 , 보다 바람직 하 게 는 50 ℃ 에서 90 ℃ 사이 의 온도 에서 1 분과 5 분 사이 의 기간 동안 통상 실행 된다 . 그 후 , 기판 을 탈 이온 수 ( deionized ( DI ) water ) 로 씻 는다 . 이러 한 클리닝 단계 는 , 필요시 , 자외선 광 또는 오존 용액 을 이용 함 으로써 실행 될 수 도 있 다 .