다음 에 , 도 9 ( i ) 에 있 어서 , 워크 ( 9 - 1 ) 의 워크 처 리부 ( 14 ) 에 있 어서 의 처리 가 종료 된다 . 처리 가 종료 하 면 , 도 10 ( j ) 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 평면 플레이트 ( 6 - 1 ) 는 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 로 이동 하 고 , 제 1 워크 반입 반출 기구 ( 17 ) 에 의해 워크 ( 9 - 1 ) 가 장치 외부 로 반출 된다 . 한편 , 워크 ( 9 - 2 ) 를 올려놓 은 제 2 평면 플레이트 ( 6 - 2 ) 가 워크 처 리부 ( 14 ) 로 이동하 여 , 처리 가 개시 된다 .