이러 한 기판 의 센터 ( center ) 와 에지 ( edge ) 의 연마 불 균일 을 해소 하 기 위한 연 마조 성물 로서 대한민국 공개 특허 제 2006 - 0064946 호 에서 는 비 이온 성 수용성 고분자 또는 알콜 류 화합물 로 이루어지 는 점 도 증가 제 를 함유 하 는 CMP 용 슬러리 조성물 이 개시 되 어 있 다 . 그러나 상기 특허 에서 는 연마 평탄 도 가 개선 되 는 경우 점도 가 증가 하 며 연마 속도 가 저하 되 고 세정 성 이 나빠 지 는 문제점 이 있 어서 연마 평탄 도 및 연마 속도 측면 에서 모두 우수 한 연마 용 슬러리 의 개발 이 요구 되 는 실정 이 다 .