또한 , 상기 최적 의 선폭 량 결정 단계 는 , 상기 각 패턴 별 로 패턴 의 목표 선폭 과 실제 선폭 의 차이 값 을 산출 하 는 단계 ; 상기 각 패턴 별 로 산출 된 차이 값 을 서로 비교 하 여 패턴 간 선폭 의 차이 값 을 산출 하 는 단계 ; 및 상기 선폭 의 차이 값 을 반영 하 여 최적 의 선폭 량 을 결정 하 는 단계 ; 를 더 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .