[ 0030 ] 에칭 가스 는 적어도 하나 의 에 천트 및 캐리어 가스 를 포함 할 수 있 다 . 에 천트 는 할로겐 - 함유 에 천 트일 수 있 다 . 예 시 적 인 에 천트 는 수소 클로라이드 ( HCl ) , 게르마늄 수소화물 ( GeH 4 ) , 염소 ( Cl 2 ) , 붕소 트리 클로라이드 ( BCl 3 ) , 인 트리 클로라이드 ( PCl 3 ) , 또는 이 들 의 임의 의 조합 들 을 포함 할 수 있 다 ( 그러나 이 에 제한 되 지 는 않 음 ) . 고차 게르만 들 , 이를테면 디 게르만 ( Ge 2 H 6 ) 또는 트리 게르만 ( Ge 3 H 8 ) , 또는 염화 게르만 가스 , 이를테면 게르마늄 테트라 클로라이드 ( GeCl 4 ) , 디 클로 로 게르만 ( GeH 2 Cl 2 ) , 트리 클로 로 게르만 ( GeHCl 3 ) , 헥사 클로 로디 게르만 ( Ge 2 Cl 6 ) , 또는 이 들 중 임의 의 2 개 이상 의 조합 이 또한 사용 될 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 에 천트 는 HCl 및 GeH 4 를 포함 한다 . 다른 구현 에서 , 에 천트 는 HCl 및 PCl 3 를 포함 한다 . 또 다른 구현 에서 , 에 천트 는 Cl 2 및 PCl 3 를 포함 한다 . 또 하나 의 다른 구현 에서 , 에 천트 는 HCl , GeH 4 , 및 PCl 3 를 포함 한다 . 임의 의 적합 한 할로겐화 게르마늄 화합물 들 이 또한 사용 될 수 있 다 .