제 1 공 압공 급로 의 개구 에 제 1 바닥 면 이 접촉 하 였 는지 여부 로부터 웨이퍼 의 정상 적 인 척 킹 에 의한 웨이퍼 파지 상태 를 감지 하 는 구성 은 , 제 1 통로 의 개구 에 제 1 바닥 면 이 접촉 하 거나 근접 하 였 는지 여부 를 통해 웨이퍼 의 정상 적 인 척 킹 에 의한 웨이퍼 파지 상태 를 감지 하 는 구성 과 병행 할 수 있 다 .