또한 , 게이트 절연 층 으로서 의 기능 을 갖 는 절연 층 에 는 산소 를 공급 하 는 처리 를 하 는 것 이 바람직 하 다 . 산소 를 공급 하 는 처리 로서 는 산소 분위기 하 에서 의 열처리 나 산소 도핑 처리 등 이 있 다 . 또는 , 전계 로 가속 된 산소 이온 을 조사 하 여 산소 를 첨가 하 여도 좋 다 . 또한 , 본 명세서 등 에 있 어서 , 산소 도핑 처리 란 산소 를 벌크 에 첨가 하 는 것 을 가리키 며 , 상기 벌크 라는 용어 는 산소 를 막 표면 뿐 만 아니 라 막 내부 에 첨가 하 는 것 을 명확 하 게 하 는 취지 로 사용 한다 . 또한 , 산소 도핑 에 는 플 라즈 마 화 된 산소 를 벌크 에 첨가 하 는 산소 플 라즈 마 도핑 이 포함 된다 .