상기 스크럼 상태 로 이행 후 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 더욱 - Y 방향 으로 이동 하 여 유효 스트로크 영역 ( 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 노광 및 웨이퍼 얼라이먼트 시 에 이동 하 는 영역 ) 으 로부터 벗어나 면 , 인코더 시스템 ( 150 ) 을 구성 하 는 모든 헤드 가 웨이퍼 테이블 ( WTB ') 상 의 대응 하 는 이동 스케일 로부터 벗어난다 . 그 때문 에 , 인코더 시스템 ( 150 ) 의 계측 결과 에 기초 한 스테이지 제어 가 불 가능 해진다 . 그 직전 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 간섭계 시스템 ( 118 ) 의 계측 결과 에 기초 한 스테이지 제어 로 전환 한다 . 여기 서 , 3 개 의 X 간섭계 ( 126 , 127 , 128 ) 중 X 간섭계 ( 128 ) 가 사용 된다 .