계속 해서 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 2 에 있 어서 , 밸브 ( 51 e ) 를 개방 하 여 , 저류 탱크 ( 51 d ) 에 저류 된 프리 커서 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 흡착 시킨다 . 또한 , 성막 시스템 ( 100 ) 은 , 사이클 단계 cs 2 에 있 어서 , 처리 용기 ( 1 ) 내 에 의 프리 커서 의 공급 에 병행 하 여 , N 2 가스 공급원 ( 52 a , 56 a ) 으로부터 가스 공급 라인 ( 52 b , 56 b ) 에 각각 퍼지 가스 ( N 2 가스 ) 를 공급 한다 . 이때 , 밸브 ( 52 e , 56 e ) 가 폐쇄 됨 으로써 , 퍼지 가스 는 저류 탱크 ( 52 d , 56 d ) 에 저류 되 고 , 저류 탱크 ( 52 d , 56 d ) 내 가 승압 된다 .