본 발명 의 구체 예 들 에 통합 될 수 있 는 질소 가스 생산 기 의 하나 의 예 는 막 - 분리 타입 질소 생산 기이 다 . 이 타입 의 생산 기 는 99 . 9 % 순도 까지 의 건조 질소 를 생산 할 수 있 다 . 이러 한 시스템 은 전형 적 으로 일체 된 압축기 또는 분리 된 공기 압축 유닛 일 수 있 는 , 압축 된 공기 의 공급원 을 요구 할 것 이 다 . 이 타입 의 질소 생산 기 는 최대 로 의도 된 사용 을 통한 레이저 시스템 의 광학 경로 를 정화 하 는 충분 한 흐름 속도 를 전달 하 면서 , 가스 흐름 속도 및 질소 생산 의 순도 를 조절 할 수 있 다 . 추가 로 , 이 타입 의 질소 생산 시스템 은 상대 적 으로 유지 관리 에 있 어 자유 로울 수 있 다 . 예 를 들 어 저명 한 단지 주기 적 유지 로서 의 연례 적 필터 / 막 교환 을 요구 한다 .