공작물 지지대 ( 20 ) 와 공구대 ( 28 ) 를 이송 장치 에 의해 상대 이동 시키 고 , 프로브 ( 33 ) 를 공작물 ( W ) 에 접촉 시켜 스프링 력 에 저항 하 여 후퇴 시키 는 제 1 공정 , 제 1 수단 은 , 단계 S 1 및 단계 S 2 로 구성 되 며 , 청구 항 1 , 청구 항 4 에서 의 제 1 공정 , 제 1 수단 에 상당 한다 . 공작물 지지대 ( 20 ) 와 공구대 ( 28 ) 를 이송 장치 에 의해 X 축 또는 Y 축 방향 으로 주사 속도 로 상대 이동 시켜 , 프로브 ( 33 ) 를 공작물 ( W ) 의 단부 에지 로부터 이탈 시키 는 제 2 공정 , 제 2 수단 은 , 단계 S 4 또는 단계 S 8 로 구성 되 고 청구 항 1 , 청구 항 4 에서 의 제 2 공정 , 제 2 수단 에 상당 한다 . 프로브 ( 33 ) 가 공작물 ( W ) 의 단부 에지 로부터 이탈 하 여 Z 축 방향 으로 전진 하 는 속도 가 소정 속도 ( Vc ) 로 되 었 을 때 , 공작물 지지대 ( 20 ) 와 공구대 ( 28 ) 의 X 축 또는 Y 축 방향 의 상대 위치 를 위치 검출 장치 에 의해 검출 하 는 제 3 공정 , 제 3 수단 은 , 단계 S 5 ~ S 7 또는 단계 S 9 ~ S 11 로 구성 되 고 청구 항 1 , 청구 항 4 에서 의 제 3 공정 , 제 3 수단 에 상당 한다 . 제 3 공정 , 제 3 수단 에 의해 검출 된 공작물 지지대 ( 20 ) 와 공구대 ( 28 ) 의 X 축 또는 Y 축 방향 의 상대 위치 와 , 공작물 지지대 ( 20 ) 와 공구대 ( 28 ) 의 상대 이동 에 의해 프로브 ( 33 ) 가 공작물 ( W ) 의 단부 에지 와 일치 한 후 공작물 ( W ) 의 단부 에지 로부터 이탈 하 여 Z 축 방향 으로 전진 하 는 속도 ( Vz ) 가 소정 속도 ( Vc ) 로 되 기 까지 의 사이 에 공작물 지지대 ( 20 ) 와 공구대 ( 28 ) 가 X 축 또는 Y 축 방향 으로 상대 이동 되 는 보정 거리 ( △ L ) 에 따라 공작물 ( W ) 의 X 축 또는 Y 축 방향 단부 에지 ( 36 , 37 ) 를 기준점 ( 38 ) 으로서 검출 하 는 제 4 공정 , 제 4 수단 은 , 단계 S 12 로 구성 되 며 , 청구 항 1 , 청구 항 4 에서 의 제 4 공정 , 제 4 수단 에 상당 한다 .