폴리 카르복시산 계 폴리머 는 , 불포화 카르복시산 에 유래 하 는 구조 단위 를 가지 는 중합체 로서 , 중량 평균 분자량 이 20000 이하 이 며 , 또한 말단 에 양 이온 성기 를 가지 고 있 으면 특별히 제한 은 없 으며 , 예 를 들 면 , 수용성 이 다 . 폴리 카르복시산 계 폴리머 는 , 텅스텐 재료 의 에칭 을 억제 한다 . 말단 의 양이온 성 는 , 주 쇄 ( 主 鎖 ) 의 말단 에 위치 하 는 양이온 성기 이 다 . 양 이온 성기 로서 는 , 아미노기 , 제 4 급 암모늄기 ( 제 4 급 암모늄 염기 ) 등 을 예 로 들 수 있 다 .