설명 에 따라 , 도 2 에 도시 된 것 처럼 프로세스 격실 ( A 5 ) 및 펌프 격실 ( A 6 ) 이 프로세스 모듈 ( A ) 에서 구성 되 고 , 펌프 격실 ( Bl ) 및 프로세스 격실 ( B 2 ) 이 프로세스 모듈 ( B ) 에서 구성 되 고 , 프로세스 모듈 ( A ) 및 프로세스 모듈 ( B ) 이 슬릿 밸브 챔버 ( 8 ) 의 대향 측면 들 상 에 배치 될 때 , 도 3 에 도시 된 것 처럼 펌프 격실 ( A 6 ) 과 관련 된 펌프 ( 16 ) 는 펌프 격실 ( A 6 ) 로부터 슬릿 밸브 챔버 ( 8 ) 로 도달 또는 확산 되 는 가스 의 양 을 감소 시키 는 데 이용 될 수 있 으며 , 도 3 에 도시 된 것 처럼 펌프 격실 ( B 1 ) 과 관련 된 펌프 ( 18 ) 는 펌프 격실 ( B 1 ) 로부터 프로세스 격실 ( B 2 ) 로 도달 또는 확산 되 는 가스 의 양 을 감소 시키 는 데 이용 될 수 있 다 . 펌프 격실 들 ( A 6 , Bl ) 및 관련 된 펌프 들 ( 16 , 18 ) 각각 은 프로세스 격실 ( A 5 ) 로부터 프로세스 격실 ( B 2 ) 로 의 가스 흐름 을 감소 시키 기 위해 , 또는 이러 한 프로세스 격실 들 간 의 소정 레벨 의 가스 격리 를 제공 하 기 위해 이용 될 수 있 다 . 적어도 2 개 의 펌프 격실 들 , 관련 된 펌프 들 , 및 슬릿 밸브 챔버 의 구성 을 이용 하 는 이전 의 시스템 들 및 방법 들 은 이웃 하 는 프로세스 격실 들 및 / 또는 모듈 들 간 에 소정 레벨 의 가스 격리 를 제공 하 기 위해 이용 되 었 다 .