반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 마스크 분리 실 ( 112 ) 에 있 어서 의 마스크 분리 위치 ( P 7 ) 까지 이동한 후 정지 하 고 , 마스크 척 ( 311 ) 을 해제 하 여 마스크 ( M ) 를 분리 한다 . 분리 된 마스크 ( M ) 는 , 마스크 전달 기구 ( 100 e ) 로 전달 된다 . 마스크 전달 기구 ( 100 e ) 는 , 증착 처리 공정 반송 로 ( 100 a ) 와 리턴 반송 로 ( 100 b ) 의 사이 의 프리 얼라인먼트 실 ( 100 g ) 에 있 어서 마스크 ( M ) 를 대략 적 으로 얼라인먼트 한 후 , 얼라인먼트 실 ( 103 ) 로 반송 한다 .