본 발명 에 따르 면 , 이때 상부 및 하부 , 외부 및 내부 정렬 마크 의 위치 가 존재 한다 . 본 발명 에 따른 방법 은 추가 정렬 마크 상 에서 수행 될 수 있 다 . 이 경우 통계 및 오류 수정 에 사용 할 수 있 는 데이터 수 가 증가 한다 . 기판 표면 측면 당 정렬 마크 의 수 는 일반 적 으로 임의 의 크기 일 수 있 다 . 기판 표면 측면 당 정렬 마크 의 수 는 1 보다 크 고 , 바람직 하 게 는 2 보다 크 고 , 더욱 바람직 하 게 는 5 보다 크 고 , 가장 바람직 하 게 는 10 보다 크 고 , 궁극 적 으로 는 20 보다 크 다 .