유지 테이블 ( 10 ) 에 의해 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 를 유지 할 때 는 , 먼저 , 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 를 유지 테이블 ( 10 ) 상 에 배치 한다 . 이때 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 는 , 기판 ( 13 ) 의 이면 ( 13 b ) 측 이 포 러스 부재 ( 14 ) 의 상면 ( 흡 인면 ) 의 전체 를 덮 도록 배치 된다 . 이 상태 로 , 흡 인원 ( 18 ) 의 부압 을 밸브 ( 16 ) , 유로 ( 10 b ) 및 포 러스 부재 ( 14 ) 를 통해 유지 면 ( 10 a ) 에 작용 시키 면 , 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 가 유지 테이블 ( 10 ) 에 의해 흡인 유지 된다 .