이 와 같이 , 우수 한 내열 성 의 테 프론 재질 로 이루어진 약액 차단 판 ( 150 ) 이 스핀 헤드 ( 110 ) 의 상면 에 설치 됨 으로써 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 및 제 2 약액 공급 부재 ( 220 , 240 ) 로부터 기판 ( W ) 으로 공급 된 후 스핀 헤드 ( 110 ) 의 상면 으로 유입 되 는 고온 의 약액 은 약액 차단 판 ( 150 ) 에 의해 차단 된다 . 고온 의 약액 이 약액 차단 판 ( 150 ) 에 의해 차단 되 어 스핀 헤드 ( 110 ) 와 접촉 하 지 않 기 때문 에 , 스핀 헤드 ( 110 ) 가 고온 의 약액 에 의해 열 변형 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .