도 3 에 있 어서 는 , 1 장 의 기판 ( W ) 을 수평 자세 로 유지 하 면서 회전축 선 ( Z ) 둘레 로 기판 ( W ) 을 회전 시키 는 스핀 척 ( 51 ) 과 , 기판 ( W ) 의 하면 에 대향 하 여 배치 되 는 이면 차 단판 ( 170 ) 과 , 스핀 척 ( 51 ) 을 덮 는 케이싱 ( 171 ) 과 , 기판 ( W ) 의 회전축 선 ( Z ) 둘레 에 케이싱 ( 171 ) 을 둘러싸 는 처리 컵 ( 511 ) 을 나타내 고 있 다 . 또한 , 당해 단면 에 있 어서 는 , 이 동부 ( 190 ) 는 도시 되 지 않 는다 .