이 에 따라 , 연마 헤드 ( 100 ) 의 압력 챔버 ( Cs , C 2 , C 3 , C 4 ) 는 압력 조 절부 ( 150 ) 로부터 공급 되 는 공 압 에 의하 여 각 챔버 의 압력 ( Ps , P 2 , P 3 , P 4 ) 이 독립 적 으로 조절 될 수 있 는 환경 이 마련 된다 . 그리고 , 압력 조 절부 ( 150 ) 로부터 제 1 압력 챔버 ( Ps ) 에 공급 되 는 공 압 에 의하 여 제 1 통로 ( 129 ) 의 압력 도 함께 조절 된다 .