도 5 a 는 도 4 에 도시 된 예비 다 마신 개구 상 에 증착 된 3 개 의 서브 층 으로 구성 된 희생 층 의 예 를 도시 한다 . 상기 희생 층 의 첫 번 째 서브 층 ( 503 ) 은 임의 품질 의 이산화규소 와 같 은 얇 고 ( 10 나노미터 이하 , 바람직 하 게 는 1 나노미터 이하 ) 균질 한 산화층 을 포함 할 수 있 다 . 상기 첫 번 째 서브 층 ( 503 ) 은 , 상기 희생 층 의 얇 은 두 번 재 서브 층 ( 505 ) 의 증착 을 위해 요구 될 수 있 는 , 실레인 ( SiH 4 ) 플라 즈 마 또는 암모니아 플 라즈 마 와 같 은 환원제 들 로부터 상기 취약 한 층간 유전체 물질 ( 107 , 111 ) 들 을 보호 하 기 위해 증착 된다 . 상기 희생 층 의 첫 번 째 서브 층 ( 503 ) 의 이산화규소 대신 에 , 하 기 될 임계 치수 ( CD ) 회복 과 같 은 잇 점 을 위해 다른 물질 층 이 증착 될 수 있 다 .