도 5 에서 , 표본 ( S ) 은 두 정렬 마크 ( 60 및 62 ) 가 새겨진 것 으로 보인다 . 마크 ( 60 및 62 ) 를 통과 하 는 라인 의 방향 은 원 하 는 스캐닝 방향 x ' 를 정의 한다 . 참고 로 , 직교 하 는 중심선 들 이 이미지 센서 ( 56 ) 를 통해 도시 되 며 , 이 들 의 교차점 은 이미지 센서 중심 ( C ) 을 표시 한다 . 도 6 a 는 정렬 마크 ( 60 ) 가 이미지 센서 ( 56 ) 의 중심 에 위치 되 도록 하 는 위치 로 표본 척 ( 30 ) 을 이동 시키 는 것 을 도시 한다 . 이러 한 이동 및 포지셔닝 은 컴퓨터 비전 및 표준 변환 스테이지 모션 제어 를 사용 하 여 결정 된다 . XY 변환 스테이지 ( 18 ) 의 좌표 가 기록 되 고 향후 이동 을 위한 원점 으로 설정 된다 . 예 를 들 어 , 프로세서 ( 22 ) 는 본 명세서 의 교시 에 따른 위치 및 이동 데이터 를 기록 및 분석 할 수 있 다 . 컴퓨터 비전 및 모션 제어 ( 예 를 들 어 , 프로세서 ( 22 ) 를 통해 ) 를 사용 하 여 , XY 스테이지 ( 18 ) 는 정렬 마크 ( 62 ) 가 도 6 b 에 도시 된 바 와 같이 이미지 센서 ( 56 ) 의 중심 에 오 도록 재 위치 된다 . 스테이지 를 x - 방향 및 y - 방향 으로 이동 시키 기 위한 거리 는 본 명세서 의 교시 에 따라 계산 및 기록 되 거나 , 추가 처리 를 위해 유지 된다 . 도 7 a 는 이러 한 이동 을 도시 하 며 x - 방향 으로 의 변화 를 Δ X 로 표시 되 고 , y - 방향 으로 의 변화 를 Δ Y 로 표시 된다 .