또한 , 미결정 반도체 막 ( 45 ) 의 산소 농도 및 질소 농도 는 3 × 1019 atoms / cm 3 미 만 , 더 바람직 하 게 는 3 × 1018 atoms / cm 3 미 만 , 탄소 의 농도 를 3 × 1018 atoms / cm 3 이하 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 산소 , 질소 , 및 탄소 가 미결정 반도체 막 에 혼입 되 는 농도 를 저감 함 으로써 , 미결정 반도체 막 의 결함 의 생 성 을 억제 할 수 있 다 . 또한 , 산소 및 질소 가 미결정 반도체 막 중 에 함유 되 면 결정 화 되 기 어렵 다 . 따라서 , 미결정 반도체 막 중 의 산소 농도 , 질소 농도 가 비교 적 낮 음 으로써 , 미결정 반도체 막 의 결정 성 을 높일 수 있 다 . 또한 , 미결정 반도체 막 중 에 는 , 1 × 1017 atoms / cm 3 내지 1 × 1020 atoms / cm 3 , 바람직 하 게 는 1 × 1019 atoms / cm 3 미만 의 불소 를 함유 한다 .