즉 , 연마 공정 이 종료 되 어 웨이퍼 를 그 다음 공정 으로 이송 하 고자 하 는 경우 에 , 제 1 압력 챔버 에 부압 을 인가 하 여 웨이퍼 를 멤 브레인 바닥 판 에 척 킹 시키 는 때 에 도 상기 와 같 은 감지 원리 로 웨이퍼 가 정상 적 으로 척 킹 되 어 파지 된 상태 인지 를 감지 할 수 있 으며 , 그 다음 에 연마 헤드 를 연마 패드 로부터 멀 어 지 는 상측 으로 이동 시킨 상태 에서 도 , 슬러리 등 의 표면 장력 에 의하 여 웨이퍼 가 연마 패드 에 밀착 된 상태 로 남 아 있 지 않 고 연마 헤드 의 멤 브레인 바닥 판 에 밀착 된 상태 라는 것 을 상기 원리 로 감지 할 수 있 다 .