부가 적 으로 , 부가 적 인 CFD 분석 들 은 도 11 의 대안 적 인 측 부 배기 챔버 설계 의 수정 들 에 기반 하 여 수행 되 었 다 . 예컨대 , 도 24 는 수정 된 측 부 배기 챔버 에 대한 예시 적 인 가스 유동 도면 을 도시 한다 . 도 24 는 , 질소 가스 가 약 1700 lpm ( 대략 적 으로 60 scfm ) 으로 각각 의 측 부 유입 구 ( 2401 ) 로부터 챔버 내 로 도입 되 는 예시 적 인 실시 예 를 도시 한다 . 가스 의 대략 적 으로 80 % 가 기판 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 수용 하 는 챔버 의 주요 부분 으로 진입 되 어 기판 을 건조 시키 는 것 뿐 만 아니 라 챔버 내 의 배 출물 및 수분 을 제거 하 는 것 을 보조 한다 . 나머지 대략 적 으로 20 % 는 , 유입 되 는 질소 의 일부분 이 다양 한 기계 적 구성 요소 들 ( 예컨대 , 도 3 의 베어링 ( 303 ) ) 로부터 의 오염 또는 미립자 들 이 핵심 밀봉 영역 들 을 통해 공정 챔버 내 로 이전 되 는 것 을 방지 하 거나 실질 적 으로 감소 시킬 수 있 게 한다 .