물론 , 그립 퍼 ( 344 ) 가 기판 ( 10 ) 의 액티브 영역 ( 11 ) 을 그립 하 도록 구성 하 는 것 도 가능 하 나 , 기판 ( 10 ) 의 액티브 영역 ( 11 ) 은 접촉 에 매우 민감 하 기 때문 에 , 액티브 영역 ( 11 ) 에서 의 접촉 은 최대한 배척 될 수 있 어야 한다 . 이 에 본 발명 은 , 비 접촉 흡착 부 ( 250 ) 를 이용 하 여 기판 ( 10 ) 의 액티브 영역 ( 11 ) 을 흡착 하 는 것 에 의하 여 , 기판 ( 10 ) 의 영역 에서 접촉 에 의한 스 크레 치 등 의 손상 을 미연 에 방지 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .