제트 가스 세정 을 하 기 위해 질소 가스 를 질소 가스 공급 부 ( 127 ) 로부터 노즐 ( 125 a ~ 125 c ) 로 공급 한다 . 이 질소 가스 는 노즐 ( 125 a ) 의 배출 공 으로부터 핀 ( 72 ) 및 핀 플레이트 ( 73 ) 로 송풍 되 고 노즐 ( 125 b , 125 c ) 의 배출 공 으로부터 레일 ( 44 a , 44 b ) , 캐리어 본체 ( 74 ) , 안내 롤러 ( 76 ~ 79 ) 에 송풍 된다 .