이후 , 도 1 a 및 도 1 c 와 같이 , 웨이퍼 지지 암 ( 160 ) 은 매크로 검사 를 수행 하 는 매크로 스테이지 ( 180 ) 로 이동 되 고 , 이동 된 웨이퍼 지지 암 ( 160 ) 위 에 놓인 웨이퍼 ( 122 ) 에 대해 매크로 검사 가 수행 된다 . 매크로 검사 시 , 웨이퍼 지지 암 ( 160 ) 의 진공 흡입구 ( 161 ) 가 웨이퍼 ( 122 ) 에 대해 진공 흡착 을 해제 하 고 , 매크로 스테이지 ( 180 ) 의 진공 흡입구 ( 181 ) 가 웨이퍼 에 대해 진공 흡착 을 한다 .