제 1 및 2 펌핑 라인 ( 360 a , 360 b ) 은 챔버 ( 310 ) 내부 를 진공 상태 로 형성 하 기 위해 챔버 ( 310 ) 내부 의 공기 ( 365 ) 를 배출 시켜 진공 압 을 제공 하 는 역할 을 한다 . 즉 , 기판 ( 10 ) 이 전달 챔버 ( 400 ) 를 통해 각각 의 공정 챔버 ( 500 ) 로 전달 되 기 전 에 챔버 ( 310 ) 내부 를 진공 상태 로 형성 한다 .