도 6 e 를 참조 하 면 , 트렌치 ( T 1 ) 표면 및 제 3 산화물 층 ( 31 ) 상 에 컨 포 멀 하 게 ( conformally ) 제 2 질화물 층 ( 25 ) 을 형성 한다 . 제 2 질화물 층 ( 25 ) 을 이방성 식각 한다 . 이방성 식각 특성 에 의해 트렌치 ( T 1 ) 상면 및 제 3 산화물 층 ( 31 ) 상면 에 형성 된 제 2 질화물 층 ( 25 ) 은 제거 되 고 , 도 6 f 에 도시 한 바 와 같이 트렌치 ( T 1 ) 의 내벽 에 만 제 2 질화물 층 ( 25 ) 이 남 게 된다 .