( 해결 수단 ) Z 축 방향 을 따라서 집광기 를 이동 시키 는 것 에 의해 기준 높이 및 복수 의 높이 에 집광기 를 위치 시키 고 , 각 높이 에 따라 일면 이 상이 한 위치 에 레이저 빔 을 조사 하 여 , 피 가 공물 의 일면 에 복수 의 가공 흔적 을 형성 하 는 가공 흔적 형성 단계 와 , 복수 의 가공 흔적 의 화상 을 화상 해 석부 에서 해석 하 는 것 에 의해 , 복수 의 가공 흔적 의 각각 에 있 어서 일면 에 있 어서 의 가공 흔적 의 미리 정해진 복수 의 방향 의 폭 의 평균 과 , 미리 정해진 직경 의 원 에 대한 복수 의 가공 흔적 의 각각 의 면적 비 중 적어도 어느 하나 를 산출 하 는 산출 단계 와 산출 단계 에서 산출 된 평균 및 면적 비 중 적어도 어느 하나 에 기초 하 여 복수 의 가공 흔적 의 미리 정해진 형상 으로부터 의 어긋남 을 정량 적 으로 비교 하 는 비교 단계 를 포함 하 는 비교 방법 이 제공 된다 .