그 중 에서 도 , 금속 이온 흡착 필터 로서 는 , 이온 교환 가능 한 필터 가 바람직 하 다 . 여기 에서 , 흡착 대상 이 되 는 금속 이온 은 , 특별히 제한 되 지 않 지만 , 반도체 디바이스 의 결함 의 원인 이 되 기 쉽 다는 점 에서 , Fe , Cr , Ni , 및 Pb 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 1 종 을 함유 하 는 금속 의 이온 이 바람직 하 고 , Fe , Cr , Ni , 및 Pb 를 각각 함유 하 는 금속 의 이온 이 바람직 하 다 .