관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 가 이해 가능 한 바 와 같이 , 차 폐부 들 의 높 은 회전 속력 은 기판 과 기판 에 근접 한 용적 사이 에 압력 차 를 생성 하 여 , 회전 하 는 기판 으로부터 액체 들 및 수분 둘 모두 를 진공 배기 ( 제거 ) 하 는 것 을 용이 하 게 한다 . 기판 의 높 은 회전 속력 은 , 가스 유동 및 차 폐부 들 의 회전 과 결합 되 어 , 모든 또는 실질 적 으로 모든 배 출물 들 및 수분 을 제거 하 며 , 그 에 의해 , 물 또는 화학 물질 자국 들 이 없이 기판 을 건조 시킨다 . 하나 이상 의 2 차 가스 유동 디바이스 는 , 외측 챔버 로부터 내측 ( 공정 ) 챔버 로 의 미립자 이전 을 방지 하 거나 실질 적 으로 감소 시키 기 위해 가스 장벽 을 생성 한다 . 세정 및 건조 동작 들 동안 , 회전 가능 차 폐부 들 의 속력 은 , 세정 및 건조 공정 의 종료 시 에 물 / 화학 물질 스폿 이 없 거나 실질 적 으로 스폿 이 없 는 기판 을 생성 하 는 것 을 보조 하 기 위해 배 출물 및 증기 의 용적 제거 를 달성 하 도록 조작 될 수 있 다 .