수취 공정 ( 단계 S 11 ) 에서 는 , 도 11 의 ( a ) 에 도시 된 것 과 같이 , 웨이퍼 ( W ) 를 유지 한 밀 어 올림 핀 ( 73 ) 을 밀 어 올려 , 밀어 올림 핀 ( 73 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 열 판 ( 72 ) 의 위쪽 위치 까지 상승 시킨다 . 다음 에 , 도 11 의 ( b ) 에 도시 된 것 과 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 아래쪽 측 에 , 포크 ( 3 A ) 를 X 축 을 따라서 홈 포지션 으로부터 전진 시킨다 . 그리고 , 도 11 의 ( c ) 에 도시 된 것 과 같이 , 포크 ( 3 A ) 를 상승 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 를 아래쪽 측 에서 떠내 어 올리 는 식 으로 하 여 , 유지 클로 ( 4 A ∼ 4 D ) 에 유지 함 으로써 , 가열 모듈 ( 7 ) 의 열 판 ( 72 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 한다 .