이후 , 측면 검사 부 ( 290 ) 로 로딩 또는 이동 된 웨이퍼 ( 223 ) 는 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 에 의해 90 도 회전 되 어 웨이퍼 ( 223 ) 의 측면 이 대물렌즈 ( 231 ) 의 촛 점 에 맞 게 오 토포 커싱 되 어 위치 한다 . 오 토포 커싱 작업 은 6 축 로봇 ( 270 ) 의 아암 ( 273 , 274 , 275 ) 이 이동 하 거나 현미경 ( 230 ) 의 대물렌즈 ( 231 ) 가 이동 하 여 이루어진다 .