투영 광학계 ( 100 ) 는 , 제 1 물 체면 으로서 의 레티 클 ( 220 ) 위 의 패턴 상 을 제 2 물 체면 으로서 의 웨이퍼 ( 240 ) 위 에 투영 한다 . 투영 광학계 ( 100 ) 는 , 전술 한 바 와 같 은 형태 의 어떤 것 이 든 적용 가능 하 고 , 여기 에서 는 그것 의 상세 한 설명 은 생략 한다 . 단 , 투영 광학계 ( 100 ) 는 , 액침 노광 장치 이외 의 장치 에 도 적용 할 수 있 다 .