이 와 같이 , 상기 제 2 지지 부 ( 400 ) 가 상기 제 2 고정 레일 ( 430 ) 과 상기 제 2 지지대 ( 440 ) 를 포함 할 경우 , 상기 돌기 ( 422 ) 들 은 상기 제 1 지지대 ( 420 ) 및 상기 제 2 지지대 ( 440 ) 각각 에 적어도 두 개 이상 만 형성 되 어도 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 를 안정 적 으로 지지 할 수 있 다 .