이러 한 테트라 알 콕 시 실란 의 생산 효율 을 향상 시키 기 위해 촉매 로서 금속 구리 나 이 의 화합물 을 사용 하 는 방법 이 이미 공개 되 어 있 다 . 예 를 들 면 미국 특허 제 4 , 289 , 889 호 와 제 4 , 762 , 939 호 에서 는 구리 촉매 와 특수 한 형태 의 용매 를 혼합 사용 하 여 액상 에서 반응 시키 거나 , 미국 특허 제 4 , 447 , 632 호 에서 는 알칼리 금속 카보 네이트 를 고압 반응 촉매 로 사용 하 는 방법 이 있 으며 , 또는 미국 특허 제 4 , 211 , 717 호 , 제 4 , 752 , 647 호 에서 는 알칼리 금속 또는 알칼리 금속 알 콕 사이드 를 촉매 로 하 고 특수 한 형태 의 용매 를 사용 하 여 액상 에서 반응 시키 는 방법 등 이 공개 되 어 있 다 .