그러나 , 이러 한 종래 의 기판 지지대 및 기판 처리 장치 는 , 기판 의 처리 공정 시 , 공정 챔버 내 의 순간 적 인 가스 흐름 변화 나 급격 한 압력 변화 등 과 같 은 다양 한 공정 조건 에 의해 기판 이 포켓 홈 으로부터 이탈 되 는 문제점 이 있 었 다 . 특히 , 작업 처리 량 향상 을 위해 기판 지지대 의 회전 및 승강 속도 증가 가 불가피 할 경우 , 기판 이 포켓 홈 으로부터 이탈 될 가능 성 이 더욱 높 아 질 수 있 다 . 이 와 같이 , 기판 의 처리 공정 중 기판 이 포켓 홈 으로부터 이탈 되 는 문제 로 인해 기판 의 공정 불량 이 발생 하 는 문제점 이 있 었 다 .