펌핑 라인 ( 212 ) 의 표면 에 히팅 부재 ( 213 ) 를 설치 하 면 , 펌핑 라인 ( 212 ) 을 일정 온도 이상 으로 유지 하 는 것 이 가능 해진다 . 또한 이 에 따라 응결 ( condensation ) 등 이 발생 되 는 것 을 방지 할 수 있 으며 , 반응 부산물 등 이 축적 되 는 것 을 방지 할 수 있 으므로 , 파티클 이 생성 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .