도 4 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 배치 위치 의 일례 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 도 4 에서 는 5 개 의 설정 개소 ( 5 장 의 웨이퍼 ( W ) ) 에 티칭 포지션 ( TP 1 ∼ TP 5 ) 이 지시 된 예 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 도 4 에서 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 는 생략 되 어 있 고 , 반응 용기 ( 11 ) 내 의 웨이퍼 ( W ) 의 배치 의 일례 가 도시 되 어 있 다 .