유리 기판 [ # 1737 : 코닝 사 제조 ] 위 에 , 상기 에서 얻 은 착색 감광성 수지 조성물 1 을 스핀 코팅 법 으로 도포 한 후 , 100 ℃ 에서 3 분 간 건조 시키 고 , 휘발분 을 휘발 시켜 착색 감광성 수지 조성물 층 을 형성 하 였 다 . 냉각 후 , 이 착색 감광성 수지 조성물 층 에 포토 마스크 를 통해 i 선 [ 파장 365 nm ] 을 조사 하 여 노광 하 였 다 . i 선 의 광원 으로서 는 초고압 수은 램프 를 이용 하 고 , 조사 광량 은 150 mJ / cm 2 로 하 였 다 . 노광 후 , 220 ℃ 에서 20 분 간 가열 처리 하 여 , 도막 이 형성 된 유리 기판 을 얻 었 다 .