상기 제 1 방사 편광기 ( 116 ) 는 상기 편광기 ( 114 ) 에 의해 편광 된 입사광 의 편광 방향 을 변형 시킬 수 있 다 . 또한 , 방사 편광기 ( 116 ) 는 선형 편광 으로 입사 된 광 의 편광 을 TE 모드 또는 TM 모드 로 조정 할 수 있 다 . 상기 빔 분할기 ( 118 ) 는 방사 편광기 ( 116 ) 에서 제공 된 입사광 의 경로 를 변경 하 여 , 측정 대상물 ( 20 ) 상부 의 대물 렌즈 ( 120 ) 측 으로 입사광 ( L 1 ) 을 전달 한다 . 본 실시 예의 빔 분할기 ( 118 ) 는 예 를 들 어 하프 미러 일 수 있 고 , 광 을 반사 또는 통과 시키 는 기능 을 가질 수 있 다 .