실시 예 에 의하 면 , 상기 전극 패드 ( 150 ) 는 단일 층 으로 제공 될 수 도 있 으며 , 복수 의 층 으로 제공 될 수 도 있 다 . 예 로서 , 상기 전극 패드 ( 150 ) 는 Cr , Ni , Au , Ti , Pt 를 포함 하 는 그룹 중 에서 선택 된 적어도 하나 의 물질 또는 그 합금 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 전극 패드 ( 150 ) 는 예 로서 , Cr / Ni / Au , Ti / Pt / Au , Ti / Au 로 제공 될 수 도 있 다 .