이러 한 무기 변색 물질 의 박막 을 형성 하 는 방법 에 는 스퍼터링 ( sputtering ) 법 , 졸 겔 ( sol - Gel ) 법 , 전자 빔 증착 ( e - beam deposition ) 법 , 전착 ( electrodeposition ) , 펄스 레이저 증착 법 ( pulsed laser deposition ) 등 의 여러 방법 이 있 는데 , 이 중 스퍼터링 법 에 의해서 박막 을 형성 하 여 전극 을 제조 하 는 경우 가 많 다 .