상기 지지대 메탈 이 형성 후 기판 전면 으로 일정 의 두께 를 가진 희생 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 희생 막 상부 로 상기 지지대 메탈 에 연결 된 전 극막 및 상기 개방 부 를 연결 할 수 있 는 접촉 수단 을 구비 한 이동판 부 를 형성 하 는 단계 ; 및 상기 희생 막 을 제거 하 는 단계 를 포함 하 는 미세 전자 기계 적 구조 ( Micro - electro Mechanical Systems ; MEMS ) 스위치 제조 방법 을 제공 한다 .