도 3 은 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 가스 공급 장치 를 도시 하 는 단면도 이 고 , 도 4 는 도 3 의 A 부분 상세도 이 고 , 도 5 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따른 가스 공급 장치 를 도시 하 는 부분 절개 사시도 이 며 , 도 6 은 도 5 의 B 부분 상세도 이 다 . 여기 서 , 도 5 에 도시 된 참조 부호 50 , 60 은 후술 할 분 진막 이 수단 ( 50 ) , ( 60 ) 이 설치 되 는 부분 을 나타낸 것 이 다 .