제 1 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 에서 는 , 스텝 S 12 ∼ S 16 의 처리 를 소정 횟수 X 행하 는 대 ( 大 ) 루프 처리 중 에 , 제 5 및 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 , S 16 ) 을 소정 횟수 Y 행하 는 소 ( 小 ) 루프 처리 가 있 다 . 즉 , 스텝 S 15 ∼ S 16 의 처리 를 소정 횟수 Y ( Y 는 1 이상 의 자연수 ( Y ≥ 1 ) ) 행했 는지 를 판정 한다 ( 스텝 S 18 ) . 스텝 S 18 에 있 어서 , 소정 횟수 Y 행하 고 있 지 않 다고 판정 했 을 경우 , 스텝 S 15 로 돌아와 , 스텝 S 15 ∼ S 16 의 처리 를 행한다 . 달리 말 하 면 , 예 를 들 어 , 스텝 S 12 ∼ S 14 및 횟수 Y 의 스텝 S 15 ∼ S 16 을 이 순서 로 횟수 X 행한다 .