USPTO 특별법 필요 조건 에 따라서 , 이 출원 은 ' 다층 오버레이 계측 '( MULTI - LAYER OVERLAY METROLOGY ) 의 명칭 으로 2010 년 8 월 3 일 에 출원 한 출원 일련 번호 61 / 370 , 341 호 ( 발명자 : 대니얼 칸 델 , 블라디미르 레빈스키 , 가이 코헨 ) 의 미국 가 특허 출원 의 정식 특허 출원 ( 가 출원 이 아님 ) 을 구성 한다 .