상기 한 본 발명 의 다른 목적 을 실현 하 기 위하 여 실시 예 에 따른 마스크 의 제조 방법 은 투명 기판 상 에 차광 물질 층 을 형성 하 는 단계 와 , 차광 물질 층 을 패 터닝 하 여 제 1 방향 으로 연장 된 제 1 전극 부 , 제 1 전극 부 의 일단 부 로부터 제 1 방향 에 수직 하 는 방향 으로 절곡 된 제 2 전극 부 및 제 1 전극 부 의 타단 부 로부터 제 2 방향 으로 절곡 된 제 3 전극 부를 포함 하 는 소스 전극 패턴 부 및 제 2 전극 부 와 제 3 전극 부 사이 에 배치 되 며 제 2 방향 으로 연장 된 드레 인 전극 패턴 부를 포함 하 는 차광 층 을 형성 하 는 단계 와 , 차 광층 이 형성 된 상기 투명 기판 상 에 하프톤 물질 층 을 형성 하 는 단계 및 하프톤 물질 층 을 패 터닝 하 여 , 소스 전극 패턴 부 와 드레 인 전극 패턴 부 의 이격 부를 커버 하 는 하프톤 부 및 하프톤 부 에 연결 되 며 소스 전극 패턴 부 의 제 2 방향 단부 보다 제 2 방향 으로 돌출 된 더미 하프톤 부를 포함 하 는 하프톤 층 을 형성 하 는 단계 를 포함 한다 .