제 1 MIM 구조 를 형성 한 다음 , 그 위 에 도 2 c 와 같이 제 2 절연 층 ( 28 ) 과 제 3 금속 층 ( 30 ) 을 순차 적 으로 형성 한다 . 제 2 절연 층 ( 28 ) 은 알루미늄 ( Al ) 및 티타늄 / 티타늄 - 나이트 라이드 ( Ti / TiN ) 와 식각 선택 비 가 높 은 산화 막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .