본 발명 의 양호 한 양태 에 있 어서 , 연마 장치 는 기판 의 노치 부분 을 검지 하 도록 구성 된 노치 조사 유닛 을 더 포함 한다 . 승강 기구 는 상기 보유 스테이지 를 기판 의 전달 위치 로부터 기판 의 연마 위치 로 낮추 고 상기 보유 스테이지 를 연마 위치 로부터 전달 위치 로 상승 시키 도록 작동 가능 하 고 , 노치 조사 유닛 은 전달 위치 와 동일 한 높이 에 제공 된다 .