여기 서 , 상기 구조 의 턴 디쉬 ( 10 ) 에 있 어서 , 상기 침 적 노즐 ( 30 ) 의 상단 결합 면 을 따라 홈 ( 31 ) 이 일정 한 깊이 로 형성 되 고 , 상기 침 적 노즐 ( 30 ) 이 장착 되 는 하부 플레이트 ( 13 ) 의 노즐 부 ( 15 ) 는 침 적 노즐 ( 30 ) 과 의 결합 면 을 따라 상기 홈 ( 31 ) 에 끼워 지 는 돌기 ( 16 ) 가 형성 되 며 , 상기 홈 ( 31 ) 의 저부 와 상기 돌기 ( 16 ) 사이 에 일정 한 공간 으로 이루어진 포켓 ( 40 ) 이 마련 되 고 상기 포켓 ( 40 ) 에 대기 차단 용액 이 채워진 구조 로 되 어 있 다 .