하측 몸체 ( 111 ) 의 적어도 측벽 의 일부 영역 에 는 챔버 ( 100 ) 를 가열 하 기 위한 하측 가열 수단 ( 112 ) 이 마련 된다 . 이 를 통해 하측 몸체 ( 111 ) 를 가열 하 고 , 온도 를 제어 하 여 외부 영향 에 의해 하측 몸체 ( 111 ) 내측 의 온도 가 급격 하 게 변화 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 하측 가열 수단 ( 112 ) 은 하측 몸체 ( 111 ) 내부 또는 측 부 에 마련 된 복수 의 열선 ( 112 a ) 과 상기 열선 ( 112 a ) 에 전원 을 공급 하 여 발열 시키 는 전원 공급 부 ( 112 b ) 를 구비 한다 .