이 와 같이 , 해석 장치 ( 140 ) 에서 는 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 를 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 는지 의 여부 를 나타내 는 데이터 항목 에 대응 하 는 데이터 내용 을 이용 하 여 하나 의 지표 를 산출 하 여 , 작업자 에게 표시 한다 . 이 에 의해 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 에 축적 된 다방면 에 걸친 축 적 데이터 전부 를 작업자 가 감시 하 는 경우 와 비교 하 여 , 작업자 의 감시 부하 를 줄일 수 있 다 . 또한 , 해석 장치 ( 140 ) 에서 는 , 하나 의 지표 로서 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 의 가동 률 을 산출 하 여 , 작업자 에게 표시 한다 . 이 에 의해 , 작업자 는 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 의 과거 ( 최근 ) 의 상태 를 직접 파악 할 수 있 다 .