외부 연결기 ( 115 ) 는 제조 설비 와 플라 즈 마 발생기 ( 110 ) 특히 , 제조 설비 와 사파이어 튜브 ( 120 ) 를 연결 하 여 , 제조 설비 에서 공급 되 는 가스 가 사파이어 튜브 ( 120 ) 로 공급 되 도록 가스 공급 경로 를 제공 한다 . 이 를 위해 외부 연결기 ( 115 ) 는 제 1 케이스 ( 102 ) 를 관통 하 는 형태 로 설치 되 며 , 제 1 케이스 ( 102 ) 외부 에 노출 되 는 부분 은 제조 설비 의 가스 공급 라인 과 연결 가능 한 형태 로 제조 된다 . 또한 , 외부 연결기 ( 115 ) 는 제 1 케이스 ( 102 ) 내부 에서 사파이어 튜브 ( 120 ) 의 일단 을 지지 하 게 된다 . 이 외부 연결기 ( 115 ) 에 는 가스 가 유입 될 수 있 도록 가스유 입구 ( 116 ) 가 형성 된다 .