도 3 을 참조 하 면 상기 격벽 ( 112 a , 112 b ) 은 대략 가스 공급 부 ( 130 ) 의 중심 을 지나 는 선상 에 형성 되 며 , 퍼지 가스 영역 ( PA 1 , PA 2 ) 에 대응 하 는 부분 에 형성 된다 . 격벽 ( 112 a , 112 b ) 을 연결 하 는 가상 의 선 일 측 에 는 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) , 소스 가스 영역 ( SA ) 및 제 1 배기 홀 ( 111 a ) 이 위치 하 고 , 타 측 에 는 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) , 반응 가스 영역 ( RA ) 및 제 2 배기 홀 ( 111 b ) 이 위치 할 수 있 다 . 이 와 같이 반응 실 ( R ) 내 에 기구 적 인 격벽 ( 112 a , 112 b ) 을 형성 함 으로써 배기 홀 ( 111 a , 111 b ) 을 통해 배기 되 는 소스 가스 와 반응 가스 의 혼합 을 이중 으로 막 을 수 있 다 .