투사 노광 장치 에서 생성 된 , 오브젝트 필드 포인트 의 출사 동공 의 강도 분포 로부터 원 하 는 강도 분포 의 편차 의 또 다른 측정 방법 은 , 원 하 는 강도 분포 와 얻 어 진 강도 분포 사이 의 폴 밸런스 ( pole balance ) 의 차이 이 다 . 출사 동공 에서 강도 를 갖 는 폴 또는 영역 의 수 에 따라서 , 출사 동공 의 강도 분포 의 폴 밸런스 를 계산 하 기 위해 , 후자 는 광축 주위 의 방사상 대칭 인 동일 하 게 큰 부분 으로 서브 분할 하 는 것 에 대응 한다 . 이것 은 출사 동공 에서 서로 반 대로 위치 하 는 강도 를 갖 는 2 개 의 영역 을 갖 는 다이폴 세팅 에 대해서 , 출사 동공 은 2 개 의 절반 으로 섹션 으로 분할 된 것 을 의미 한다 . 출사 동공 에서 강도 를 갖 는 4 개 의 영역 을 갖 는 사분면 세팅 을 위해 , 출사 동공 은 섹션 으로서 4 개 의 사분면 으로 분할 된다 . 유사 하 게 , 출사 동공 에서 강도 를 갖 는 n 개 의 영역 을 갖 는 n - 폴 세팅 을 위해 , 출사 동공 은 n 개 의 섹션 으로 분할 된다 . 출사 동공 에서 강도 분포 의 폴 밸런스 는 2 개 의 섹션 으로부터 의 강도 의 합 으로 정규 화 된 , 출사 동공 의 섹션 의 최대 강도 와 출사 동공 의 섹션 의 최소 강도 사이 의 차이 의 , 100 % 가 승산 된 , 크기 값 을 의미 하 도록 의도 된다 .