다른 예 로서 , 도 3 을 참조 하 면 , 베 이크 유닛 ( 110 또는 120 ) 은 일단 에 배치 되 는 이송 로봇 ( 140 ) 을 이용 하 여 이전 단의 프로세스 유닛 ( 106 d ) 으로부터 기판 ( 10 ) 을 받 아서 , 적층 구조 로 배치 된 베 이크 유닛 ( 110 또는 120 ) 의 투입구 ( 112 또는 114 ) 를 통해 내부 로 기판 ( 10 ) 을 인입 하 여 베 이크 공정 을 처리 하 고 , 베 이크 공정 을 처리 한 후 , 베 이크 유닛 ( 110 또는 120 ) 의 타단 에 배치 된 이송 로봇 ( 142 ) 을 이용 하 여 인입 방향 과 수직 된 방향 으로 기판 ( 10 ) 을 인출 하 여 , 다음 단 예 를 들 어 , 노광 시스템 ( 130 ) 또는 다른 프로세스 유닛 ( 106 b ) 으로 기판 ( 10 ) 을 이송 한다 .