이 와 동시 에 , 마이크로파 도입 수단 ( 40 ) 의 마이크로파 발생기 ( 56 ) 를 구동 하 는 것 에 의해 , 마이크로파 발생기 ( 56 ) 에서 발생 한 마이크로파 가 직사각 형 도파관 ( 54 ) 및 동 축 도파관 ( 50 ) 을 거쳐서 , 평면 안테나 부재 ( 42 ) 에 공급 된다 . 그리고 , 처리 공간 ( S ) 에 , 지 파재 ( 44 ) 에 의해서 파장 이 짧 게 된 마이크로파 가 도입 된다 . 이것 에 의해 , 처리 공간 ( S ) 에 있 어서 플 라즈 마가 발생 되 고 , 소정 의 플 라즈 마 를 이용한 플라 즈 마 처리 , 예 를 들 면 성막 처리 나 에칭 처리 등 이 실행 된다 . 이 때 의 마이크로파 발생기 ( 56 ) 의 투입 전력 은 예 를 들 면 700 ～ 4000 와트 ( watt ) 정도 의 범위 이 다 .