즉 , 본 발명 의 다른 실시 예 로서 , 도 7 및 도 8 을 참조 하 면 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ') 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 구성 에서 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 이 부가 된다 . 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 의 구성 및 구조 는 대체로 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 과 동일 한다 . 즉 , 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 은 제 3 공정 챔버 들 ( 62 ) , 버퍼 부 ( 64 ) , 그리고 제 3 트랜스퍼 챔버 ( third transfer chamber ) ( 300 ) 를 가진다 . 이때 , 제 3 공정 챔버 들 ( 62 ) 의 높이 는 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 의 높이 와 동일 한 높이 를 가지 며 , 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 의 높이 는 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 200 ) 의 높이 와 동일 하 다 . 따라서 , 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 에 제공 되 는 이송 로봇 ( 310 ) 은 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 200 ) 에 제공 되 는 이송 로봇 ( 210 ) 과 동일 한 높이 에서 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 버퍼 부 ( 64 ) 는 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 의 버퍼 부 ( 54 ) 와 동일 한 구성 및 구조 를 가진다 . 버퍼 부 ( 64 ) 는 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 과 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 이 송시 에 일시 적 으로 기판 ( W ) 을 대기 시킨다 .