제 3 빔 스플리터 ( 23 ) 는 대물렌즈 ( 22 ) 와 측정 대상물 ( 100 ) 사이 에 배치 되 며 , 제 2 빔 스플리터 ( 21 ) 로부터 출력 되 어 대물렌즈 ( 22 ) 를 거쳐 수렴 되게 제 3 빔 스플리터 ( 23 ) 에 입사 되 는 제 1 광 및 제 2 광 을 측정 광경 로 와 기준 광 경로 로 분할 하 여 출력 한다 . 이 에 따라 , 제 1 광 및 제 2 광 은 제 3 빔 스플리터 ( 23 ) 에 의하 여 측정 대상물 ( 100 ) 및 기준 광 발생 부 ( 30 ) 를 향하 여 나누 어 출력 하 게 된다 .