종래 기술 에 따른 증착 장치 ( 100 ) 는 기체 유입 관 ( 110 ) , 기체 유출 관 ( 118 ) , 플라 즈 마 발생 차 단벽 ( 128 ) , 샤워 헤드 조립 체 ( 130 ) , 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) , 불활성 기체 통로 ( 148 ) , 기체 밀폐 링 ( 158 ) , 고주파 접속 단자 ( 166 ) , 절연관 ( 168 ) , 진공 펌프 ( 198 ) , 그리고 반응기 몸체 ( 200 ) 를 포함 한다 . 증착 장치 ( 100 ) 는 그리드 플레이트 ( 178 ) , 구동 쉬프 트 ( 180 ) , 공 압 실린더 ( 184 ) , 불활성 기체 유입 관 ( 190 ) , 그리고 불활성 기체 유출 관 ( 192 ) 를 포함 한다 . 반응기 본체 ( 200 ) 는 접지 부 ( 194 ) 에 연결 되 어 있 다 .