따라서 , CNT 기반 펠리 클 멤 브레인 에 의해 제공 되 는 증가 된 구조 적 규칙 성 은 CNT 다발 의 길 이 연장 방향 에 대해 수직 한 , 적어도 실질 적 으로 수직 한 별개 의 우선 적 산란 축 을 갖 는 펠리 클 멤 브레인 으로 전달 ( translate ) 될 수 있 다 . 이 는 이미 징 시스템 의 수용 콘 외부 에서 펠리 클 멤 브레인 에 의해 산란 된 광 에 의해 형성 된 산란 분획 의 대부분 을 편향 시키 는 것 을 용이 하 게 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 타 겟 웨이퍼 에 전달 되 는 패턴 의 충실 도 ( fidelity of pattern ) 가 향상 될 수 있 다 .