이어서 , 배리어 층 을 에칭 스토퍼 로 하 여 , 게터 링 사이트 인 아르곤 원소 를 포 함 하 는 비정질 규소 막 을 선택 적 으로 제거 한 후 , 배리어 층 을 희 플루오르 산 으로 선택 적 으로 제거 한다 . 또 , 게터 링 시 , 니켈 은 산소 농도 가 높 은 영역 으로 이동 하 기 쉬운 경향 이 있 기 때문 에 , 산화 막 으로 이루어지 는 배리어 층 을 게터 링 후 에 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 .