척 ( 107 A / B ) 은 화살표 ( 123 ) 로 표시 된 바 와 같이 , 내부 캐비 티 ( 100 D ) 내 에서 수직 으로 이동 하 도록 정의 된다 . 이러 한 방식 으로 , 척 ( 107 A / B ) 은 게이트 밸브 ( 102 ) 를 통해 기판 ( 113 ) 을 수용 / 제공 하 기 위해 하강 될 수 있 고 , 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 의 하부 표면 을 형성 하 기 위해 상승 될 수 있 다 . 또한 , 척 ( 107 B ) 및 가스 분배 유닛 ( 115 ) 양자 에 대해 수직 으로 측정 되 는 바 와 같 은 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 걸친 수직 거리 는 , 척 ( 107 B ) 의 수직 위치 를 제어 함 으로써 설정 되 고 제어 될 수 있 다 . 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 걸친 수직 거리 는 충분 한 센터 투 에지 플라 즈 마 균일 성 및 밀도 를 달성 하 도록 설정 될 수 있 으며 , 또한 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 로 부터 플로우 가스 의 제트 들 에 의한 웨이퍼 ( 113 ) 상 의 프린팅 을 회피 하 도록 설정 될 수 있 다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 걸친 수직 거리 는 약 1 ㎝ 내지 약 5 ㎝ 로 연장 하 는 범위 내 에서 설정 될 수 있 다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 걸친 수직 거리 는 약 2 ㎝ 로 설정 된다 . 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 걸친 수직 거리 가 , 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 의 급속 배출 을 가능 하 게 하 고 , 이 로써 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 내 의 플 라즈 마 상주 시간 의 정확 한 제어 를 가능 하 게 하 도록 제어 된다는 것 을 알 아야 한다 .