제 2 연마 유닛 ( 3 B ) 은 , 연마 패드 ( 10 A ) 가 설치 된 연마 테이블 ( 30 B ) 과 , 톱 링 ( 31 B ) 과 , 연마 액 공급 노즐 ( 32 B ) 과 , 드레서 ( 33 B ) 와 , 아토 마이 저 ( 34 B ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 3 연마 유닛 ( 3 C ) 은 , 연마 패드 ( 10 A ) 가 설치 된 연마 테이블 ( 30 C ) 과 , 톱 링 ( 31 C ) 과 , 연마 액 공급 노즐 ( 32 C ) 과 , 드레서 ( 33 C ) 와 , 아토 마이 저 ( 34 C ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 4 연마 유닛 ( 3 D ) 은 , 연마 패드 ( 10 A ) 가 설치 된 연마 테이블 ( 30 D ) 과 , 톱 링 ( 31 D ) 과 , 연마 액 공급 노즐 ( 32 D ) 과 , 드레서 ( 33 D ) 와 , 아토 마이 저 ( 34 D ) 를 구비 하 고 있 다 .