위 단위 사이클 3 에서 ( Zr 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m 는 ' ZrO 2 단위 사이클 ' 을 m 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 는 것 을 의미 하 며 , ( Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 는 ' Nb 2 O 5 단위 사이클 ' 을 n 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 는 것 을 의미 하 고 , [ ( Zr 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m ( Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n ] Q 는 ( Zr 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m ( Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 로 이루어진 '[ ZrO 2 ] / [ Nb 2 O 5 ] 단위 사이클 ' 을 Q 회의 사이클 수 로 반복 진행 하 는 것 을 의미 한다 .