서브 스트레이트 ( 110 ) 는 인 캡슐 란트 ( 115 ) 및 서브 스트레이트 인터 커넥트 ( 112 ) 를 포함 할 수 있 다 . 전자 컴 포 넨 트 ( 120 ) 는 터미널 ( 121 ) 을 포함 할 수 있 다 . 전자 컴 포 넨 트 ( 130 ) 는 터미널 ( 131 ) 및 MEMS ( Micro - Electro Mechanical System ) 영역 ( 132 ) 을 포함 할 수 있 다 .