블록 S 1 은 다양 한 공정 ( 예 를 들 어 , 스핀 코팅 , 스프레이 코팅 , 프린팅 , 신 터 링 , 열 적 산화 , 물리 적 기상 증착 ( PVD ) , 화학 적 기상 증착 ( CVD ) , 원자 층 증착 ( ALD ) , 저압 화학 적 기상 증착 ( LPCVD ) , 플라스마 향상 화학 적 기상 증착 ( PECVD ) , 플라스마 기상 증착 ( PVD ) , 시트 라미 네이션 , 증착 등 ) 의 어느 하나 이상 을 사용 하 여 유전 층 ( 111 ) 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 으나 , 본 개시 의 범위 는 그 에 제한 되 지 않 는다 .