도 7 에 나타낸 바 와 같이 , 본 실시 형태 의 투영 계 ( PL ) 는 상술 의 제 4 실시 형태 와 마찬가지 로 , 기판 ( P ) 의 표면 이 대향 하 여 배치 되 는 한 개 의 종단 광학 소 자 ( FL ) 를 가지 고 , 그 한 개 의 종단 광학 소자 ( FL ) 를 통하 여 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 각각 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 한다 . 또 , 투영 계 ( PL ) 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 과 광학 적 으로 공역 인 위치 ( CP 1 , CP 2 ) 의 근방 에 배치 되 며 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 제 3 광학계 ( 33 ) 로 이끄 는 중간 광학계 ( 30 ) 를 가지 고 있 다 .