일 예 로 , 연마 파트 ( 100 ) 에 는 복수 개 의 연마 정반 ( 110 ) 이 제공 될 수 있 고 , 각 연마 정반 ( 110 ) 의 상면 에 는 연마 패드 ( 110 ) 가 부착 될 수 있 다 . 연마 파트 ( 100 ) 의 영역 상 에 제공 되 는 로딩 유닛 에 공급 된 기판 ( 10 ) 은 미리 설정 된 경로 를 따라 이동하 는 캐리어 헤드 ( 120 ) 에 밀착 된 상태 로 슬러리 가 공급 되 는 연마 패드 ( 110 ) 의 상면 에 회전 접촉 됨 으로써 화학 기계 적 연마 공정 이 수행 될 수 있 다 .