한편 , 척 테이블 ( 35 ) 에 유지 한 웨이퍼 ( 10 ) 가 만일 가공 완료 였 던 경우 , 척 테이블 ( 35 ) 을 촬상 유닛 ( 6 ) 의 바로 아래 에 위치 시키 고 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 전체 이미지 를 촬상 유닛 ( 6 ) 에 의해 촬상한 결과 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 중심 ( P ) 으 로부터 본 노치 ( 16 ) 의 방향 이 , 표시 유닛 ( 8 ) 상 에서 Y 축 방향 을 따라 표시 되 는 헤어 라인 ( H ) 에 대해 , 시계 방향 으로 45 ° 회전 한 방향 ( 제 2 방향 ) 인 것 이 검출 된다 . 이것 은 , 도 3 의 ( b ) 에 기초 하 여 설명 한 바 와 같이 , 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 카세트 에 수용 할 때 에 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 의 방향 을 시계 방향 으로 45 ° 회전 한 상태 로 수용 했 던 것 에서 기인 한다 .