평탄부 ( 22 A ) 는 예 를 들 어 , 반도체 디바이스 ( 4 ) 의 전압 검출 의 정확 도 저하 를 방지 하 기 위해 , 포스 프로브 ( 2 A ) 의 종단 부 ( 21 A ) 에 더 근접 한 위치 에 배열 되 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 평탄부 ( 22 A ) 는 고집 적 화 된 반도체 디바이스 ( 4 ) 에 대하 여 , 프로브 들 의 배열 을 방해 하 지 않 는 사이즈 로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .