따라서 , 밸브 ( 11 , 12 ) , 압력 변환기 ( 14 , 16 ) , 및 피드백 회로 ( 25 , 26 ) 는 응축 및 불 충분 한 기화 를 방지 하 기 위해 기화기 ( 10 ) 및 공정 제어 챔버 ( 20 ) 내 의 각각 의 압력 을 정확 하 게 제어 할 수 있 다 . 또한 , 두 개 의 피드백 회로 ( 25 , 26 ) 가 상이 한 온도 에서 유지 되 는 두 개 의 열 구역 ( 27 , 28 ) 에 대해 제공 되 기 때문 에 , 장치 ( 1 ) 는 반응기 처리 파라미터 및 반응물 유량 을 미세 조정 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 일부 구 현예 에서 , 제 어 시스템 ( 34 ) 은 공정 제어 챔버 ( 20 ) 의 상류 에 있 는 반응물 증기 의 압력 을 낮추 도록 구성 될 수 있 다 . 제 2 열 구역 ( 28 ) 의 제 2 온도 가 제 1 열 구역 ( 27 ) 의 제 1 온도 보다 높 을 수 있 기 때문 에 , 반응물 증기 는 낮 은 압력 에서 도 응축 되 지 않 으면서 압력 의 하락 이 반응물 가스 의 반응기 로 의 주 입량 을 조절 하 고 반응 공정 을 안정 화 하 는 데 도움 이 될 수 있 다 . 다른 구 현예 에서 , 제 어 시스템 ( 34 ) 은 , 반응 처리 파라미터 를 조정 하 기 위해 공정 제어 챔버 ( 20 ) 의 상류 압력 을 증가 시키 거나 달리 조절 하 도록 구성 될 수 있 다 .