이어서 , 도 1 을 참조 하 여 , 제 1 실시 형태 에 따른 임프 린트 장치 ( 100 ) 의 구성 에 대해서 아래 에서 설명 한다 . 도 1 은 제 1 실시 형태 에 따른 임프 린트 장치 ( 100 ) 를 도시 하 는 개략 도 이 다 . 임프 린트 장치 ( 100 ) 는 , 기판 스테이지 ( 3 ) , 임프 린트 헤드 ( 4 ) , 변형 유닛 ( 5 ) , 조사 유닛 ( 6 ) , 공급 유닛 ( 7 ) , 촬상 유닛 ( 8 ) , 제 1 계측 유닛 ( 9 ) , 제 2 계측 유닛 ( 10 ) , 및 제 어 유닛 ( 11 ) 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 임프 린트 장치 ( 100 ) 는 , 임프 린트 헤드 ( 4 ) 를 보유 지지 하 기 위한 브리지 정반 , 기판 스테이지 ( 3 ) 를 보유 지지 하 기 위한 베이스 정반 등 도 포함 한다 .