도 6 내지 도 13 에 도시 한 실시 예 에서 팬 아웃 부 ( FO ) 의 게이트 선 ( G 1 - Gn ) 중 적어도 하나 는 행 방향 에 평행 하 게 뻗 지 않 는다 . 더 구체 적 으로 , 서로 대응 하 는 스테이지 ( SR 1 - SRn ) 와 화 소행 ( PXr 1 - PXrn ) 을 연결 하 는 팬 아웃 부 ( FO ) 의 게이트 선 ( G 1 - Gn ) 은 제 1 방향 ( Dir 1 ) , 즉 행 방향 에 대해 평행 한 하나 의 게이트 선 ( G 1 - Gn ) 을 포함 하 고 나머지 게이트 선 은 행 방향 을 기준 으로 사선 으로 뻗 을 수 있 다 .