그 후 , 감압 챔버 를 대기 개방 하 여 , 감압 챔버 내 에 대기 ( 공기 ) 를 도입 한다 . 이 에 의해 , 시트 ( 31 ) 에 대기압 이 작용 하 여 , 시트 ( 31 ) 가 광 디바이스 ( 17 ) 사이 의 간극 의 형상 을 따라 변형 되 면서 , 기판 ( 13 ) 의 표면 ( 13 a ) 측 에 밀착 한다 . 이 에 의해 , 시트 ( 31 ) 와 광 디바이스 ( 17 ) 의 측면 사이 및 시트 ( 31 ) 와 기판 ( 13 ) 의 표면 ( 13 a ) 사이 에 간극 이 형성 되 지 않 도록 , 시트 ( 31 ) 를 기판 ( 13 ) 에 접착 할 수 있 다 .