도 1 및 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 , 처리 실 ( 20 ) 과 , 반송 부 ( 기판 반송 장치 ) ( 30 ) 와 , 액 공급 부 ( 40 ) 와 , 건 조부 ( 50 ) 와 , 제 어부 ( 60 ) 를 구비 한다 . 처리 대상 의 기판 ( W ) 으로서 는 , 예컨대 , 유리 기판 등 의 직사각 형 형상 의 박형 기판 이 이용 된다 . 예컨대 , 기판 ( W ) 의 두께 는 0 . 5 ㎜∼ 1 . 1 ㎜ 정도 이 고 , 기판 ( W ) 의 휘어짐 량 은 7 ㎜∼ 10 ㎜ 정도 이 다 . 휘어짐 은 직사각 형 형상 기판 의 사방 에 있 다 .