기판 이송 모듈 ( 320 ) 은 로드 포트 ( 210 ) 와 로드 락 챔버 ( 330 ) 사이 에 배치 된다 . 기판 이송 챔버 ( 325 ) 의 일 측 측벽 에 는 상기 와 같이 로트 포트 ( 210 ) 가 구비 되 며 , 기판 이송 챔버 ( 325 ) 의 타 측 측벽 에 는 박막 형성 장치 ( 410 ) , 플라 즈 마 식각 장치 ( 420 ) 및 상기 기판 가공 챔버 ( 300 ) 를 연결 하 기 위한 로드 락 챔버 ( 400 ) 가 연결 된다 .