그런데 , 포토 마스크 ( 80 ) 의 패턴 에 는 결함 이 발생 하 고 있 는 경우 가 있 다 . 예 를 들 어 패턴 이 결락 되 어 있 는 경우 가 있 다 . 도 18 은 , 촬상 화상 ( IM 1 ) 의 다른 일례 ( 이하 , 촬상 화상 ( IM 1 A ) 이 라고 부른다 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 도면 이 다 . 도 18 의 예 에서 는 , 촬상 화상 ( IM 1 A ) 에는 , 패턴 ( P 2 ) 이 포함 되 어 있 다 . 이 패턴 ( P 2 ) 은 투광 부 ( 80 a ) 와 반투 광부 ( 80 c ) 를 갖 고 있 다 . 투 광부 ( 80 a ) 의 투광 률 은 반투 광부 ( 80 c ) 에 비해 높 다 . 투 광부 ( 80 a ) 는 예 를 들 어 기재 ( 81 ) 에 의해 형성 된다 . 반투 광부 ( 80 c ) 는 , 기재 ( 81 ) 의 일 주 면 상 에 반투 광막 ( 예 를 들 어 산화 크롬 막 ) 을 형성 함 으로써 , 형성 된다 .