먼저 도 1 a 를 참조 하 면 , 종래 기술 에 따른 글래스 기판 용 외관 검사 장치 는 검사 대상 인 글래스 기판 ( 10 ) 의 상방 및 후방 에 상방 조명 유닛 ( 30 ) 과 후방 조명 유닛 ( 40 ) 이 각각 배치 되 어 있 어 , 검사 자 ( 50 ) 가 상방 조명 유닛 ( 30 ) 으로부터 조사 되 는 반사광 ( L 1 ) 과 후방 조명 유닛 ( 40 ) 으로부터 조사 되 는 투과광 ( L 2 ) 에 의해 글래스 기판 ( 10 ) 의 결함 여부 를 검출 한다 .