위상 반 전막 ( 104 ) 은 노광 광 에 대하 여 1 % ∼ 40 % 의 투과율 을 갖 고 , 바람직 하 게 , 5 % ∼ 20 % 의 투과율 을 가지 며 , 각 노광 광 ( i - h - g 선 ) 에 대한 10 % 이하 의 투과율 편차 를 갖 는다 . 여기 서 , 위상 반 전량 , 투과율 , 반사 율 편차 는 i 선 , h 선 , g 선 의 노광 광 에 따른 투과율 의 값 들 중 최대 값 과 최소 값 의 차이 를 말 한다 .