가스 공급 유닛 ( 20 ) 은 챔버 ( 210 ) , 가스 공급원 들 ( 220 ) , 가스 공급 라인 들 ( 230 ) 및 가열 유닛 들 ( 240 ) 을 포함 할 수 있 다 . 가스 공급 유닛 ( 20 ) 은 공정 챔버 ( 110 ) 의 외부 에 배치 될 수 있 다 . 도 1 과 같이 , 가스 공급 유닛 ( 20 ) 은 공정 챔버 ( 110 ) 의 외부 에 배치 된 별도 의 챔버 ( 210 ) 를 가질 수 있 으나 , 이 에 제한 되 지 않 는다 .