기화기 ( 150 ) 는 도시 를 생략 하 지만 , 예 를 들 면 2 장 의 기판 이 접합 되 고 , 이 들 의 기판 의 적어도 한쪽 의 접합면 , 즉 내측 의 면 에 , 예 를 들 면 지그재그형 상 의 마이크 로 유로 가 형성 되 며 , 또 , 각 기판 의 외측 의 면 에 , 전압 이 인가 됨 으로써 발열 하 는 발열 저항체 , 발열 반도체 라고 하 는 전 열재 로 이루어지 는 박막 히터 가 성막 된 구조 를 갖 고 있 다 . 이 박막 히터 에 의해 연료 용기 ( 102 ) 로부터 기화기 ( 150 ) 내 의 마이크 로 유로 에 공급 되 는 연료 및 물 이 가열 되 어 기화 된다 .