이상 에서 와 같이 본 발명 에 의하 면 , 반도체 제작 과정 중 화학 증착 공정 에 사용 되 는 전구체 의 보관 용기 에 있 어서 , 보관 용기 내 의 전구체 잔존 량 및 분 해도 를 실시간 으로 파악 할 수 있 게 되 는 큰 효과 가 있 으며 , 물론 이 에 따라 전구체 가 고갈 되 기 직전 에 공정 을 중단 하 고 전구체 를 더 공급 하 거나 또는 보관 용기 를 교체 할 수 있 게 됨 으로써 불량 발생 률 이 비약 적 으로 저감 되 는 큰 효과 가 있 다 . 특히 본 발명 에 의하 면 센서 의 위치 를 사용 자 가 원 하 는 대로 조절 할 수 있 음 으로써 , 다양 한 용기 에 대하 여 용기 별 최적 의 조건 을 찾 아 전구체 의 상태 를 측정 할 수 있 어 보다 상태 측정값 의 신뢰도 가 높 아 지 는 큰 효과 가 있 다 . 뿐 만 아니 라 , 불의 의 사고 에 의하 며 센서 중 어느 하나 가 고장 이나 오동작 을 일으키 더라도 , 다른 센서 에 의하 여 전구체 상태 를 어느 정도 파악 할 수 있 게 됨 으로써 , 피해 를 훨씬 축소 할 수 있 는 효과 가 있 다 .