도 23 에 도시 된 바 와 같이 , 촬영 거리 ( D ) 가 A 와 B 사이 에 있 는 영역 에서 슬로프 θ 가 크 게 변하 는 것 으로 이해 될 수 있 다 . 이 영역 은 상위 - 차수 의 광 에서 제 1 광 으로 의 전이 영역 이 고 , 이 영역 에서 안정 한 검사 이미지 를 획득 하 기 어렵 다 . 촬영 거리 ( D ) 에 대하 여 슬로프 θ 의 변화 량 , 또는 미분 계수 가 최소 인 상태 에서 , 대략 2 개 의 촬영 거리 들 ( D ) 이 존재 한다 . 첫 번 째 거리 는 검사 이미지 가 상위 - 차수 의 광 에 의해 주로 형성 되 는 제 1 거리 ( 54 ) 이 다 . 두 번 째 거리 는 검사 이미지 가 제 1 광 에 의해 형성 되 는 제 2 거리 ( 55 ) 이 다 . 제 1 예시 의 실시 형태 는 제 2 거리 ( 55 ) 에서 획득 된 검사 이미지 를 채택 하 는 예 를 나타낸다 . 제 2 예시 의 실시 형태 는 제 1 거리 ( 54 ) 에서 획득 된 검사 이미지 를 채택 하 는 예 들 을 나타낸다 .