이 어 , 도 1 e 에 도시 하 는 바 와 같이 건식 식각 방법 을 이용 하 여 다층 절연 막 ( 15 ) 의 윗부분 을 패 터닝 한 후 제 2 감광막 ( 60 ) 및 희생 포토 레 시스 트 ( 17 ) 를 제거 하 고 , 전면 식각 방법 을 이용 하 여 각 메탈 층 이 드러나 도록 상기 트렌치 들 하부 의 질화 막 ( 13 ) , 제 2 커패시터 절 연막 ( 9 ) 및 제 1 커패시터 절 연막 ( 5 ) 을 제거 하 였 다 .