제 2 실시 예 에서 , 본 발명 은 위 의 어떠 한 실시 예 들 에서 와 같 은 현미경 검사 방법 을 제공 하 며 , 오프셋 의 각도 를 결정 하 는 단계 는 , 원 하 는 x '- 방향 을 따라 정렬 되 고 이 에 따라 정의 되 는 제 1 초점 피처 와 제 2 초점 피처 간 x 거리 및 y 거리 를 측정 하 는 단계 로서 , x 방향 및 y 거리 는 병진 스테이지 의 x - 방향 및 y - 방향 에 대해 측정 되 는 , 상기 측정 하 는 단계 를 포함 한다 .