다음 으로 , 상기 상부 금속 배선 과 비아 플러그 를 형성 하 는 단계 는 도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 트렌치 및 비 아홀 을 금속 으로 매립 하 여 상부 금속 배선 ( 240 ) 과 비아 플러그 ( 230 ) 를 동시 에 형성 하 는 단계 이 다 . 이때 , 상기 금속 은 Cu , Al , Ag , Au 또는 W 으로 이루어지 는 그룹 으로부터 선택 된 어느 하나 를 사용 할 수 있 다 .