여기 서 , 상술 한 하부 전극 ( 14 ) 의 가장자리 영역 에 는 이 하부 전극 ( 14 ) 에 탑재 된 기판 ( S ) 의 가장자리 를 지지 할 수 있 게 하부 전극 ( 14 ) 을 두께 방향 으로 관통 하 여 형성 된 다 수개 의 삽입 홀 ( 14 a ) 에 각각 리프트 핀 ( Lift pin : 20 ) 을 구비 시켜 이 리프트 핀 ( 20 ) 이 그 삽입 홀 ( 14 a ) 을 따라 상승 및 하강 하 면서 기판 ( S ) 을 들어올리 거나 챔버 ( 10 ) 의 내부 로 반입 된 기판 ( S ) 을 하부 전극 ( 14 ) 상 에 위치 시키 는 역할 을 하 게 된다 .