제 1 촬상부 ( 3 ) 는 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 예 를 들 어 CCD 카메라 등 의 촬상부 ( 3 a ) 와 , 이것 에 접속 된 웨이퍼 위치 인식 장치 ( 3 b ) 로 구성 되 어 있 다 . 촬상부 ( 3 a ) 는 그 광축 이 스테이 지부 ( 2 ) 의 상면 ( 2 a ) 에 직교 하 도록 설치 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 위치 인식 장치 ( 3 b ) 는 촬상부 ( 3 a ) 로부터 의 촬상 신호 를 기초 로 하 여 웨이퍼 ( 1 ) 의 외 주연 이나 웨이퍼 ( 1 ) 의 외 주연 측 에 절 결 된 도 1 에 도시 한 노치 ( 1 a ) 의 위치 등 을 검지 하 여 웨이퍼 ( 1 ) 의 위치 를 특정 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 이 웨이퍼 위치 인식 장치 ( 3 b ) 에 는 예 를 들 어 모니터 등 의 표시 부 ( 3 c ) 가 접속 되 고 , 이 표시 부 ( 3 c ) 에 의해 촬상부 ( 3 a ) 에서 취득 한 웨이퍼 ( 1 ) 의 화상 을 표시 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .