도 22 의 ( A ) 는 소스 선 등 을 형성 하 는 도전 층 ( 33 ) 및 그 근방 의 단면도 이 다 . 도전 층 ( 33 ) 은 역 테이퍼 의 단부 를 갖 는다 . 도전 층 ( 33 ) 은 예 를 들 어 도전 층 ( 33 a , 33 b , 및 33 c ) 으로 할 수 있 다 . 도전 층 ( 33 ) 은 예 를 들 어 도전 층 ( 51 ) 으로 할 수 있 다 .