하드 마스크 를 위한 일반 적 인 재료 는 , 예 를 들 어 텅스텐 , 티타늄 , 티타늄 질화물 , 티타늄 산화물 , 지르코늄 산화물 , 알루미늄 산화물 , 알루미늄 산질 화물 , 하프늄 산화물 , 비정질 탄소 , 유기 폴리머 , 실리콘 산질 화물 , 실리콘 질화물 , 및 실리콘 - 유기 하이브리드 재료 를 포함 하나 , 이 에 한정 되 지 않 는다 . 하드 마스크 층 은 , 예 를 들 어 CVD , PVD , 또는 스핀 코팅 기술 에 의해 형성 될 수 있 다 . 하드 마스크 층 은 단일 층 또는 상이 한 재료 의 복수 의 층 을 포함 할 수 있 다 .