[ 0025 ] 도 1 을 참조 하 면 , 일부 실시 예 들 에 따른 예시 적 인 전자 디바이스 프로세싱 시스템 ( 100 ) 의 블록 도 가 도시 된다 . 시스템 ( 100 ) 은 EFEM ( 104 ) 에 커플링 된 기판 프로세싱 툴 ( 102 ) 을 포함 한다 . EFEM ( 104 ) 은 로드 포트 ( 108 ) 의 백 플레인 ( 106 ) 에 커플링 된다 . 로드 포트 ( 108 ) 의 도킹 트레이 ( 110 ) 는 로드 포트 ( 108 ) 의 도어 오프너 ( 114 ) 에 의해 개방 될 수 있 는 기판 캐리어 ( 112 ) 를 지지 하 도록 적응 된다 . 도 2 는 기판 캐리어 가 없 는 로드 포트 ( 108 ) 의 등 각도 를 도시 한다 . 도어 오프너 ( 114 ) 의 접촉면 은 , 도킹 트레이 ( 110 ) 를 향하 고 그리고 백 플레인 ( 106 ) 에 의해 프레임 이 형성 되 는 것 으로 보여질 수 있 다 . 도 3 은 도 2 의 도어 오프너 ( 114 ) 에 대해 도킹 되 도록 적응 된 캐리어 도어 ( 302 ) 를 포함 하 는 기판 캐리어 ( 112 ) 의 등 각도 를 도시 한다 . 도 4 는 로드 포트 도어 오프너 ( 114 ) 의 단면 ( 라인 A -- A 를 따름 ) 부분 에 대해 포지셔닝 된 기판 캐리어 도어 ( 302 ) ( 기판 캐리어 ( 112 ) 의 나머지 부분 없이 ) 의 내부 등 각도 를 도시 한다 . 도 5 는 도 4 의 라인 A -- A 를 따라 취해진 , 도어 오프너 ( 114 ) 와 기판 캐리어 도어 ( 302 ) 사이 의 인터페이스 의 일부 의 확대 된 상세 단면도 이 다 . 기판 캐리어 ( 112 ) 가 로드 포트 ( 108 ) 상 에 도킹 될 때 공기 ( O 2 를 포함 함 ) 가 트래핑 되 는 , 캐리어 도어 ( 302 ) 와 도어 오프너 ( 114 ) 사이 의 볼륨 들 , 이를테면 , ( 1 ) 둘레 채널 ( 502 ) 및 ( 2 ) 갭 ( 508 ) 을 주목 한다 . 도어 오프너 ( 114 ) 의 리지 벽 ( 504 ) 은 캐리어 도어 ( 302 ) 의 표면 과 접촉 하 여 , 기판 캐리어 ( 112 ) 의 외측 벽 ( 506 ) , 리지 벽 ( 504 ) , 및 캐리어 도어 ( 302 ) 에 의해 정의 되 는 볼륨 ( 즉 , 둘레 채널 ( 502 ) ) 을 형성 한다 . 갭 ( 508 ) 은 도어 오프너 ( 114 ) 의 주 표면 , 캐리어 도어 ( 302 ) 의 주 표면 에 의해 정의 되 는 볼륨 이 며 , 리지 벽 ( 504 ) 에 의해 에지 들 상 에 둘러싸인다 .