또 각각 의 약액 포집 장치 ( 112 ~ 116 ) 는 일정 크기 의 원통형 측벽 ( 112 b , 114 b , 116 b ) 과 , 스핀 헤드 ( 130 ) 로부터 기판 처리 된 약액 들 의 포집 이 용이 하 도록 측벽 ( 112 b , 114 b , 116 b ) 의 상단 으로부터 스핀 헤드 ( 130 ) 방향 으로부터 일정 길이 가 연장 된 상부 벽 ( 112 a , 114 a , 116 a ) 을 가지 며 , 측벽 ( 112 b , 114 b , 116 b ) 하부 에 약액 이 포집 되 는 공간 이 배치 된다 . 따라서 각각 의 약액 포집 장치 ( 112 ~ 116 ) 는 공정 챔버 ( 106 ) 의 외측 으로 갈수록 측벽 ( 112 b , 114 b , 116 b ) 과 상부 벽 ( 112 a , 114 a , 116 a ) 이 높 게 위치 되 도록 배치 된다 .