그러므로 본 발명 은 광 스캐너 소자 에서 큰 미러 를 고속 구동 할 때 발생 하 는 스퀴즈 댐 핑 의 효과 를 최소 화 시킬 수 있 는 광 스캐너 장치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 . 또한 구동 주파수 에 해당 하 는 공진 주파수 를 높이 기 위해서 는 스프링 의 강성 이 커져야 하 는데 , 스프링 강성 증가 로 인하 여 증가 되 는 내부 응력 을 완화 시키 위해서 는 스프링 의 구조 변화 가 필요 하 다 .