상기 재 치대 ( 140 ) 상 의 상기 용기 ( 20 ) 는 상기 수직 구동 부 ( 150 ) 에 의해 상기 재 치대 ( 140 ) 로부터 언 로드 된 후 상기 수평 구동 부 ( 112 ) 와 상기 스테이지 구 동부 ( 122 ) 에 의해 상기 개구 ( 32 ) 를 통해 상기 제 2 재 치대 ( 230 ) 상부 로 이송 될 수 있 으며 , 상기 수직 구동 부 ( 150 ) 에 의해 상기 제 2 재 치대 ( 230 ) 상 에 놓여 질 수 있 다 . 이때 , 상기 제 2 서포트 플레이트 들 ( 232 ) 중 일부 상 에 는 상기 용기 ( 20 ) 의 정렬 을 위한 제 2 재 치대 정렬 핀 들 ( 234 ) 이 구비 될 수 있 다 .