폴리 실록 산 ( Ia ) 의 5 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 가 1 , 000 Å / 초 이하 , 폴리 실록 산 ( Ib ) 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 가 100 Å / 초 이상 이 면 , 용해 되 지 않 고 남 거나 감도 저하 의 문제 는 현저 하 지 않 게 되 지만 , 본 발명 의 포지티브 형 감광성 실록 산 조성물 로 형성 되 는 경화 막 의 막 두께 나 현상 시간 등 에 따라 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 및 ( Ib ) 의 혼합물 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 를 적절히 설정 할 수 도 있 다 . 혼합물 의 용해 속도 는 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 및 ( Ib ) 의 혼합 비율 을 변경 함 으로써 조정 할 수 있 고 , 포지티브 형 감광성 실록 산 조성물 에 함유 되 는 감광제 의 종류 나 첨가량 에 따라 상이 하 지만 , 예 를 들 면 , 막 두께 가 0 . 1 내지 10 ㎛( 1 , 000 내지 100 , 000 Å ) 이 면 , 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 는 10 내지 1 , 000 Å / 초 가 바람직 하 며 , 100 내지 700 Å / 초 가 특히 바람직 하 다 .