상기 이미지 처리 유닛 ( 162 ) 은 상기 검 출부 ( 161 ) 와 연결 되 어 , 상기 검 출부 ( 161 ) 에서 증폭 된 전압 신호 를 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 의 각 검사 영역 에 대응 하 는 검사 이미지 들 을 생성 하 며 , 상기 검사 이미지 들 에 대한 이미지 정보 를 상기 연산 유닛 ( 163 ) 으로 전송 하 는 역할 을 한다 . 여기 서 , 상기 이미지 정보 는 상기 검사 영역 에 대응 되 는 픽셀 들 의 그레이 레벨 들 을 포함 한다 . 즉 , 상기 이미지 처리 유닛 ( 162 ) 은 아날로그 형 의 전압 신호 를 디지털 형 의 이미지 정보 로 변환 시키 는 AD 컨버터 ( analog digital convertor ) 로써 기능 한다 .