전 극막 의 성막 시 에 플 라즈 마가 발생 하 지 않 는 장치 로서 는 , 예 를 들 면 , 전자선 증착 장치 ( EB 증착 장치 ) 나 펄스 레이저 증착 장치 등 을 들 수 있 다 . EB 증착 장치 를 이용 하 여 투명 전 극막 의 성막 을 행하 는 방법 을 EB 증착 법 이 라고 칭하 고 , 펄스 레이저 증착 장치 를 이용 하 여 투명 전 극막 의 성막 을 행하 는 방법 을 펄스 레이저 증착 법 이 라고 칭한다 .