전술 한 바 와 같이 본 발명 마스크 파지 장치 는 그립 플레이트 가 사각 단면 의 일부 를 ㄱ 자형 으로 요입 시켜 종래 내부 가 개방 된 공간 을 이루 던 파지 부 에 비하 여 안정 적 으로 마스크 의 적재 가 이루어져 마스크 적 재시 의 낙하 위험 성 을 개선 한 효과 를 가지 며 , 마스크 코버 부분 의 그 리퍼 의 회전 접촉 에 따른 파티클 발생 을 개선 하 게 되 는 효과 도 있 었 다 .