아암 ( 5 ) 에서 는 , 이동 기구 ( 11 ) 에 의해 Z 축 방향 의 축 을 중심 으로 아 암부 ( 10 ) 를 회동 할 수 있 다 . 즉 , 이동 기구 ( 11 ) ( 회동 기구 의 일례 ) 는 , 아 암부 ( 10 ) 를 수평 방향 으로 회동 시킬 수 있 다 . 그 때문 에 , 예컨대 , 기판 ( W ) 에 대한 처리 액 의 토출 중 , 즉 기판 처리 중 에 아 암부 ( 10 ) 를 회동 시켜 , 회동 각도 를 변경 함 으로써 , 기판 ( W ) 에 대한 처리 액 의 토출 각도 를 변경 할 수 있 다 . 한편 , 기판 처리 중 에 아 암부 ( 10 ) 를 회동 시키 지 않 고 , 기판 처리 를 행해 도 좋 다 .