5 ) 기재 마다 가열 하 는 단계 ( ( 최종 ) 가열 단계 , PEB 처리 ) : 상기 서술 한 바 와 같이 하 여 얻 어 진 릴리프 패턴 은 150 ∼ 260 ℃ 에서 경화 릴리프 패턴 으로 변환 된다 . 이 가열 경화 는 핫 플레이트 , 이 너트 오븐 , 온도 프로그램 설정 가능 한 승 온 식 오븐 등 을 사용 하 여 실시 할 수 있 다 . 가열 경화 시킬 때 의 분위기 기체 로 는 , 공기 를 사용 해도 되 고 , 필요 에 따라 질소 , 아르곤 등 의 불활성 가스 를 사용 해도 된다 .