보다 구체 적 으로 보 면 , 제 2 RF 전력 은 그 듀티 비 ( duty ratio ) 가 50 % 이하 ( 0 제외 ) 범위 의 펄스 파일 수 있 고 , 더 나아가 그 듀티 비 가 10 % 이상 50 % 이하 범위 의 펄스 파일 수 있 다 . 펄스 파 의 듀티 비 가 50 % 이하 인 경우 수소 함유량 이 적 고 크로스 링 킹 ( cross - linking ) 이 적 은 구조 의 비정질 실리콘 막 이 형성 될 수 있 다 . 펄스 파 의 듀티 비 가 50 % 인 경우 에 는 연속파 인 경우 에 비해서 약 90 ~ 95 % 로 증착 속도 가 감소 되 고 듀티 비 가 10 % 인 경우 에 는 약 30 ~ 40 % 로 감소 될 수 있 다 .