우선 , 스 페이서 질화 막 ( 20 ) 을 증착 한 후 산화 막 계열 의 물질 로 층간 절 연막 ( 미 도시 ) 을 증착 한다 . 그런 다음 , LPC 를 형성 하 기 위하 여 식각 공정 을 실시 하 는데 , 이때 실시 되 는 식각 공정 시 측벽 으로 돌출 되 는 과 도 성장 된 부위 의 스 페이서 질화 막 ( 20 ) 이 식각 되 고 , 결국 이 부위 의 버퍼 산화 막 ( 19 ) 이 식각 공정 에 노출 되 어 식각 되 는 문제 가 발생 된다 . 이런 상태 에서 랜딩 플러그 용 폴리 실리콘 막 을 증착 하 면 식각 되 는 버퍼 산화 막 ( 19 ) 을 통해 랜딩 플러그 와 게이트 가 서로 단락 되 는 문제 가 발생 되 어 SAC 페일 을 유발 하 게 된다 .