차 양부 ( 170 F ) 가 형성 되 어 있 음 으로써 , 기판 ( W ) 의 처리 에 수반 하 여 생기 는 처리 액 의 분위기 등 이 , 직접 적 으로 이 면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 으로부터 침입 하 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 단 , 차 양부 ( 170 F ) 와 케이싱 ( 171 ) 의 상단 사이 의 간극 , 나아가 서 는 , 케이싱 ( 171 ) 에 있 어서 처리 액 등 을 배출 하 기 위해 형성 된 배출 공 ( 171 A ) 등 으로부터 , 이면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 으로 처리 액 의 분위기 등 이 간접 적 으로 침입 하 는 경로 는 존재 하 고 있 다 .