도 2 b 및 도 2 c 는 본 개시 내용 에 따른 가스 주입기 ( 247 ) 의 3 차원 개략 도 들이 다 . 가스 주입기 ( 247 ) 는 측면 가스 유동 을 따라 유동 하 는 가스 또는 라디칼 들 의 가스 의 대부분 을 처리 챔버 ( 100 ) 의 가스 주입 측 ( 예 를 들 어 , 슬릿 밸브 ( 137 ) ) 및 처리 챔버 ( 100 ) 의 가스 배기 측 ( 예 를 들 어 , 펌프 시스템 ( 136 ) ) 각각 을 향하 여 지향 시키 도록 기능 한다 . 추가 로 또는 대안 적 으로 , 가스 채널 ( 249 ) 은 측면 가스 유동 ( 248 ) 이 기판 ( 101 ) 의 에지 ( 또는 기판 지 지체 ( 138 ) 의 기판 지지 표면 의 에지 ) 에 접하 는 방향 으로 , 또는 그 에지 에 근접 한 방향 으로 유동 하 도록 구성 될 수 있 다 .