본 발명 의 반도체 소자 테스트 시스템 의 설비 를 증설 한 예 는 도 11 에 도시 되 어 있 는 바 와 같 다 . 이 경우 , 상술 한 바 와 같 은 반 도 테 소자 테스트 시스템 이 세 개 의 열 이 구비 된다 . 이 처럼 , 본 발명 의 반도체 소자 테스트 시스템 은 모듈 화 된 상기 반도체 소자 테스터 ( T ) 로 구성 되 므로 설비 의 증설 , 감 설 이 자유 로운 것 이 다 .