플라 즈 마 리액터 들 에서 에칭 되 는 재료 들 은 도전 층 들 및 유전체 층 들 을 포함 한다 . 예컨대 , 도전 층 들 은 금속 - 함유 층 들 또는 실리콘 - 함유 층 들 로 구성 될 수 도 있 다 . 예컨대 , 유전체 층 들 은 유기 또는 무기 의 비 - 도전 성 재료 들 로 구성 될 수 도 있 다 . 통상 적 으로 , 특정 한 재료 는 전용 에칭 챔버 에서 에칭 된다 . 즉 , 유전체 층 들 은 전용 유전체 에칭 챔버 들 에서 통상 적 으로 에칭 되 고 , 실리콘 - 함유 층 들 은 도체 에칭 챔버 들 에서 통상 적 으로 에칭 되 며 , 금속 - 함유 층 들 은 금속 에칭 챔버 들 에서 통상 적 으로 에칭 된다 .