상기 간극 G 보다 내측 에 설치 된 기판 W 를 지지 하 는 지지 면 ( 24 ) 에 는 도피 홈 ( 31 ) 이 형성 되 어 있 다 . 그러므로 , 간극 G 에 공급 되 어 순수 를 가압 하 는 가압 기체 의 일부 는 도피 홈 ( 31 ) 을 통하 여 측 벽체 ( 3 ) 의 직경 방향 내측 으로 유출 되 므로 , 상기 간극 G 에 공급 된 순수 를 가압 하 는 상기 가압 기체 의 압력 이 소정 이상 으로 되 는 것 이 방지 된다 .