상기 ALD 반응 챔버 에 상기 TiCl 4 가스 의 공급 을 중단 하 고 H 2 가스 및 Ar 가스 를 공급 하 여 퍼징 함 으로써 상기 제 2 단계 ( S 213 b ) 를 수행 할 수 있 다 . 상기 제 2 단계 ( S 213 b ) 중 에 상기 ALD 반응 챔버 내부 에 잔류 하 는 TiCl 4 가스 및 반응 부산물 이 외부 로 배출 될 수 있 다 .