상기 한 종래 기술 의 문제점 을 해결 하 기 위해서 , 본 발명 의 목적 은 EUVL 용 노광 장치 의 광학 부재 로서 적합 한 열팽창 특성 을 갖 는 TiO 2 - SiO 2 유리 를 제공 하 는 것 이 다 . 보다 구체 적 으로 는 , 본 발명 의 목적 은 EUVL 용 노광 장치 의 광학 부재 로서 사용 한 경우 에 , EUV 광 의 조사 시의 열 팽창 계수 가 거의 0 이 되 는 TiO 2 - SiO 2 유리 를 제공 하 는 것 이 다 .