도 9 는 레이저 를 사용 한 성막 장치 의 일례 를 게시 하 는 사시도 다 . 출사 되 는 레이 저광 은 레이저 발진 장치 ( 903 ) ( YAG 레이저 장치 , 엑 시머 레이저 장치 등 ) 로부터 출력 되 어 , 빔 형상 을 사각형 으로 하 기 위한 제 1 광학계 ( 904 ) 와 , 정형 하 기 위한 제 2 광학계 ( 905 ) 와 , 평행 광선 으로 하 기 위한 제 3 광학계 ( 906 ) 를 통과 하 고 , 반사 미러 ( 907 ) 에서 광로 가 증착 용 기판 ( 901 ) 에 대하 여 수직 이 되 는 방향 으로 구부려 진다 . 그 후 에 증착 용 기판 에 레이저 빔 을 조사 한다 .