제 3 가스 분사 모듈 ( 130 c ) 은 기판 지지 부 ( 120 ) 상 에 국부 적 으로 정의 된 제 3 분 할 공간 ( DS 3 ) 에 중첩 되 는 제 3 모듈 설치 부 ( 115 c ) 에 삽입 설치 되 어 서로 상이 한 제 1 및 제 2 가스 를 공간 적 으로 분리 하 여 제 3 분 할 공간 ( DS 3 ) 에 분사 하 되 제 2 가스 를 활성 화 시켜 제 3 분 할 공간 ( DS 3 ) 에 분사 한다 . 이 와 같 은 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 c ) 은 , 전술 한 도 6 에 도시 된 제 1 가스 분사 모듈 ( 130 a ) 과 동일 하 게 구성 되 기 때문 에 이 에 대한 상세 한 설명 은 전술 한 설명 으로 대신 하 기 로 한다 . 이 와 같 은 , 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 c ) 은 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 을 통해 제 3 분 할 공간 ( DS 3 ) 의 일 측 영역 에 제 1 가스 ( G 1 ) 를 하향 분사 하 고 , 제 2 가스 분사 공간 ( S 2 ) 에 플 라즈 마 를 형성 해 제 2 가스 ( G 2 ) 를 활성 화 시켜 제 1 가스 ( G 1 ) 와 공간 적 으로 분리 되 도록 제 3 분 할 공간 ( DS 3 ) 의 타 측 영역 에 하향 분사 한다 .