도 6 에 , 본 실시 예 에서 이용 한 결함 검사 공정 의 조작 인터페이스 를 나타낸다 . 조작 인터페이스 는 , 검사 영역 을 설정 하 는 검사 영역 설 정부 ( 81 ) 를 갖 고 있 으며 , 도 3 의 플로우 차트 에서 작성 한 검사 레시피 를 읽 어 들여 , 검사 를 실행 하 는 검사 실행 부 ( 82 ) 를 갖 고 있 다 . 또한 , 전기 저항 R 과 정전 용량 C 의 검사 결과 를 표시 하 고 , 검사 결과 에 의거 하 여 결함 을 분류 하 는 결함 분류 설 정부 ( 83 ) 를 갖 고 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 전기 저항 R 이 높 고 정전 용량 C 가 낮 은 결함 a 군 과 , 전기 저항 R 이 낮 고 정전 용량 C 가 큰 결함 b 군 으로 분류 했 다 . 결함 a 군 은 도 2 의 플러그 ( 54 ) 의 결함 플러그 에 상당 하 고 , 결함 b 군 은 도 2 의 플러그 ( 55 ) 의 결함 플러그 에 상당 하 다 .