도 3 은 , 도 1 또는 도 2 에서 예 로서 나타내 어 진 바 와 같이 , 리소그래피 투사 노광 장치 용 조명 광학 기기 에 대한 본 발명 에 따른 동공 형성 유닛 을 개략 적 으로 나타낸다 . 여기 서 , 도 3 에서 의 본 발명 에 따른 동공 형성 유닛 은 , 도 1 또는 도 2 에 따른 이러 한 투사 노광 장치 의 동공 형성 유닛 ( 2 ) 에 대한 대체 로서 역할 을 한다 . 도 3 의 동공 형성 유닛 의 사용 은 하 지만 , 도 1 또는 도 2 에 나타내 어 진 바 와 같이 이 들 투사 노광 장치 에 한정 되 지 않 는다 .