도 7 은 , 이상 발생 부터 보완 처리 프로세스 의 실행 까지 의 흐름 의 일례 를 나타내 는 흐름 도 이 다 . 보완 처리 프로세스 에 포함 되 는 처리 는 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 구제 웨이퍼 가 실제로 받 은 처리 의 내용 에 따라 정해진다 . 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 의 이상 발생 이 이상 검 출부 ( 80 ) 에 의해 검출 되 면 ( 도 7 의 S 31 ) , 레시피 취득 부 ( 26 ) 는 , 기본 레시피 정보 ( D ) 에 기초 하 여 보완 레시피 정보 를 취득 한다 ( S 32 ) . 이때 , 레시피 취득 부 ( 26 ) 는 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 구제 웨이퍼 가 실제로 받 은 처리 의 내용 을 처리 실행 부 ( 25 ) 로부터 취득 하 여 , 보완 레시피 정보 의 작성 에 사용 해도 된다 . 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 레시피 취득 부 ( 26 ) 가 취득 한 보완 레시피 정보 에 기초 하 여 , 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 에서 구제 웨이퍼 에 대한 보완 처리 프로세스 를 실행 한다 ( S 33 ) .