따라서 , 금속 실리사이드 층 ( 27 ) 은 코발트 실리사이드 , 티타늄 실리사이드 , 니켈 실리사이드 또는 몰리브덴 실리사이드 중 에서 선택 된 어느 하나 이 다 . 바람직 하 게 , 금속 실리사이드 층 ( 27 ) 은 코발트 실리사이드 층 이 다 . 이러 한 금속 실리사이드 층 ( 27 ) 은 금속 막 ( Co , Ti , Ni 또는 Mo ) 을 증착 한 후 후속 열 공정 에 의해 하부 의 에피 탁 셜 층 ( 26 ) 과 반응 하 여 금속 실리사이드 층 ( 27 ) 으로 형성 된 것 이 다 .