본 발명 의 레지스 트 현상액 전량 ( 100 중량 ％) 에 있 어서 의 성분 ( A ) 의 함유량 은 , 예 를 들 어 0 . 1 중량 ％ 이상 , 바람직 하 게 는 0 . 1 내지 5 . 0 중량 ％, 보다 바람직 하 게 는 0 . 3 내지 4 . 0 중량 ％, 특히 바람직 하 게 는 0 . 5 내지 3 . 0 중량 ％, 가장 바람직 하 게 는 0 . 5 내지 2 . 5 중량 ％ 이 다 .