다 단계 마스크 란 , 노광 부분 , 중간 노광 부분 , 및 미 ( 未 ) 노광 부분 에 3 개 의 노광 레벨 을 행할 수 있 는 마스크 이 고 , 한 번 의 노광 및 현상 공정 에 의하 여 , 복수 ( 대표 적 으로 는 2 종류 ) 의 두께 의 영역 을 갖 는 레지스 트 마스크 를 형성 할 수 있 다 . 따라서 , 다 단계 마스크 를 사용 함 으로써 , 포토 마스크 수 를 삭감 할 수 있 다 .