본 실시 형태 에 있 어서 , 상기 부재 에 의해 형성 되 는 부분 의 조립 방법 은 , 최초 로 , 매니폴드 ( 90 ) 의 상측 개구부 ( 91 ) 내 에 베어링 ( 166 ) 을 설치 한다 . 이어서 , 베어링 ( 166 ) 의 상측 으로부터 , 홀더 ( 161 ) 의 하측 의 고정부 ( 161 g ) 를 베어링 ( 166 ) 의 개구부 및 관통 구멍 ( 93 ) 에 넣 고 , 매니폴드 ( 90 ) 의 하측 개구부 ( 92 ) 에 풍차 ( 167 ) 를 넣 고 , 홀더 ( 161 ) 의 하측 의 고정부 ( 161 g ) 에 풍차 ( 167 ) 를 나사 ( 168 ) 에 의해 고정 한다 . 이어서 , 홀더 ( 161 ) 의 오 목부 ( 161 a ) 에 , 스프링 ( 162 ) , 가스 파이프 ( 163 ) , 인 젝 터 ( 110 ) 의 하측 삽입부 ( 110 b ) 를 이 순 으로 넣 고 , 고정부 ( 110 c ) 상 에 누름 플레이트 ( 164 ) 를 적재 해서 나사 ( 165 ) 에 의해 고정 한다 . 이 에 의해 , 홀더 ( 161 ) 와 인 젝 터 ( 110 ) 가 고정 된다 . 이어서 , 처리 가스 용 슬리브 ( 124 ) 를 매니폴드 ( 90 ) 에 삽입 하 고 , 가스 킷 을 개재 하 여 가스 배관 ( 121 ) 을 매니폴드 ( 90 ) 에 접속 하 여 , 고정 블록 ( 125 ) 을 나사 고정 한다 . 이 후 , 가스 킷 을 개재 하 여 제 1 구동 용 가스 배관 ( 171 ) 및 제 2 구동 용 가스 배관 ( 172 ) 을 매니폴드 ( 90 ) 에 접속 , 고정 블록 ( 173 ) 을 나사 고정 한다 . 이상 의 공정 에 의해 조립 할 수 있 다 .