다음 으로 , 금속 산화 물막 ( 114 f ) , 절연 층 ( 110 ) , 및 절연 층 ( 103 ) 의 일부 를 에칭 함 으로써 , 도전 층 ( 106 ) 에 도달 하 는 개구부 ( 142 ) 를 형성 한다 ( 도 12 의 ( B ) 참조 ) . 이 로써 , 도전 층 ( 106 ) 과 추후 에 형성 하 는 도전 층 ( 112 ) 을 개구부 ( 142 ) 를 통하 여 전기 적 으로 접속 할 수 있 다 .