기판 스테이지 ( 4 ) ( 나아가 서 는 기판 ( P ) ) 의 위치 정보 는 레이저 간섭계 ( 4 L ) 에 의해서 계측 된다 . 레이저 간섭계 ( 4 L ) 는 기판 스테이지 ( 4 ) 에 설치 된 반사경 ( 4 K ) ( 또는 그 측면 으로 형성 되 는 반사면 ) 을 이용 하 여 기판 스테이지 ( 4 ) 의 X 축 , Y 축 및 θ Z 방향 에 관한 위치 정보 를 계측 한다 . 또 , 기판 스테이지 ( 4 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( P ) 의 표면 의 면 위치 정보 ( Z 축 , θ X 및 θ Y 방향 에 관한 위치 정보 ) 는 도시 하 지 않 은 포커스 · 레벨 링 검출 계 에 의해서 검출 된다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 레이저 간섭계 ( 4 L ) 의 계측 결과 및 포커스 · 레벨 링 검출 계 의 검출 결과 에 의거 하 여 기판 스테이지 구동 장치 ( 4 D ) 를 구동 하 고 , 기판 스테이지 ( 4 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( P ) 의 위치 제어 를 실시 한다 .