또한 , 도 8 은 , 본 반도체 제조 장치 가 반도체 제조 프로세스 의 실행 에 이용 하 는 장치 동작 파라미터 의 구조 의 예 를 나타내 는 장치 동작 파라미터 관리 표 이 다 . 장치 동작 파라미터 관리 표 는 파라미터 의 식별 정보 를 나타내 는 「 파라미터 ID 」 와 파라미터 의 의미 를 나타내 는 「 파라미터 의 의미 」 의 속성 값 을 갖 는다 . 장치 동작 파라미터 가 갖 는 파라미터 수 는 수십만 에 이르 는 경우 도 있 다 .