상기 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 의 중심 부근 에 는 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 이 배치 될 수 있 다 . 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 에 외부 로부터 가스 를 공급 하 는 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 이 연결 될 수 있 다 . 상기 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 하부 의 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 에 는 상기 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 으로 공급 된 제 2 가스 를 확산 시키 는 배 플 ( 165 ) 이 배치 될 수 있 다 .