기판 에 대해서 약액 처리 를 끝낸 후 , 순수 세정 을 실시 하 고 , 그 후 , 챔버 내 를 감압 하 여 챔버 내 에 용제 증기 를 공급 하 며 , 챔버 내 에 용제 증기 분위기 가 형성 된 상태 에서 , 기판 을 상방 으로 이동 시켜 , 기판 에 부착 되 어 있 는 순수 를 용제 로 치환 시킨다 . 그리고 , 감압 을 재개 하 여 , 기판 에 부착 되 어 있 는 용제 를 건조 시키 지만 , 챔버 내 로부터 배기 된 기체 는 , 혼합 수단 에 의해 순수 와 혼합 되 어 기 액 분리 수단 에 취입 된다 . 따라서 , 챔버 로부터 배기 된 기체 에 용제 증기 가 포함 되 어 있 어도 , 용제 증기 는 순수 에 용해 되 므로 , 기 액 분리 수단 으로부터 배기 되 는 기체 에 포함 되 는 용제 의 농도 를 저감 할 수 있 다 .