도 3 c 를 참조 하 면 , 제 1 예 비막 ( 230 a ) 상 에 제 2 예 비막 ( 240 a ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 2 예 비막 ( 240 a ) 은 FCVD ( flowable - CVD ) 공정 , SOG ( spin - on - glass ) 공정 또는 PPECVD ( plasma enhanced - CVD ) 공정 에 의해 형성 될 수 있 다 .