반도체 단결정 웨이퍼 , 예 를 들 면 실리콘 웨이퍼 를 이용 하 여 디바이스 를 제작 하 는 경우 , 웨이퍼 의 가공 프로세스 로부터 소자 의 형성 프로세스 까지 다수 의 공정 이 개재 하 고 , 그 하나 에 열처리 공정 이 있 다 . 열처리 공정 은 , 웨이퍼 의 표층 에 있 어서 의 무결함 층 의 형성 , 게 더링 , 결정 화 , 산화 막 형성 , 불순물 확산 등 을 목적 으로 하 여 수행 되 는 중요 한 프로세스 이 다 .