본 발명 의 일 실시 예 는 , 제 1 면 및 제 1 면 과 대향 하 는 제 2 면 을 가지 며 , 상기 제 1 면 과 제 2 면 을 관통 하 는 제 1 가스 공급 홀 을 갖 는 가스 분배 판 ; 상기 제 2 면 과 밀착 되 는 제 3 면 및 제 3 면 과 대향 하 는 제 4 면 을 가지 고 , 상기 제 1 가스 공급 홀 과 연결 되 도록 상기 제 3 면 과 제 4 면 을 관통 하 는 제 2 가스 공급 홀 을 갖 는 샤워 헤드 ; 일단 은 상기 가스 분배 판 과 상기 샤워 헤드 중 적어도 하나 에 삽입 되 고 , 타단 은 상기 샤워 헤드 와 상기 가스 분배 판 중 어느 하나 에 접촉 되 는 열전달 부재 ; 를 포함 하 는 기판 처리 장치 의 가스 공급 유닛 을 제공 한다 .