실시 형태 에 따른 기판 반송 장치 인 반송 부 ( 30 ) 는 , 휘어짐 을 갖 는 기판 ( W ) 을 반송 하 는 복수 의 반송 롤러 ( 31 A ) 와 , 복수 의 반송 롤러 ( 31 A ) 에 각각 대향 하 여 이격 되 도록 설치 되 고 , 복수 의 반송 롤러 ( 31 A ) 에 의해 반송 되 는 기판 ( W ) 을 가압 하 는 , 복수 의 가압 롤러 ( 31 B ) 를 구비 하 며 , 대향 하 여 이격 되 는 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 는 1 세트 로 되 고 , 기판 ( W ) 의 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 복수 세트 늘 어서 있 으며 , 세트 마다 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 는 , 기판 ( W ) 의 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 짧아진다 .