보통 , 본 조성물 은 장기간 동안 사용 된 후 대체 , 갱신 또는 정제 가 필요 해질 수 도 있 다 . 미립자 를 제거 하 기 위한 여과 , 용해 성 잔류물 또는 염 을 제거 하 기 위한 추출 , 플루오르 화 된 용매 를 회수 하 기 위한 증류 및 경사 ( decantation ) 를 포함 하 는 그러 한 기술 이 이용 될 수 있 다 . 표면 이 세정 되 거나 특히 에칭 될 때 조성물 이 오염 되 기 시작 함 에 주의 한다 . 기판 으로부터 의 미립자 와 잔류물 의 제거 는 세정 조성물 중 에 이 들 물질 이 축적 되 도록 한다 . 특히 규소 의 에칭 은 물 과 다양 한 실라 놀 둘 모두 를 생성 한다 . 물 의 농도 가 증가 함 에 따라 , 이것 은 결국 에 는 덜 조밀 하 고 물 이 풍부 한 상 으로서 조성물 로부터 상 분리 될 것 이 다 . 이것 은 경사 또는 위어 ( weir ) 의 사용 과 같 은 당업 계 의 공지 기술 에 의해 세정 조성물 로부터 용이 하 게 분리 될 수 있 다 . 이어서 세정 조성물 , 특히 플루오르 화 된 성분 이 재 활용 될 수 있 다 . 사용 된 세정 조성물 로부터 유기 제제 와 잔류 플루오르화 수소 를 회수 하 는 것 은 일반 적 으로 필요 하 지 않 거나 바람직 하 지 않 다 . 플루오르 화 된 성분 을 회수 하 고 새로운 유기 제제 를 거기 에 첨가 하 는 것 이 일반 적 으로 더욱 바람직 하 다 .