본 발명 의 다른 특징 에 따르 면 , 적어도 하나 의 약액 을 공급 하 고 , 상기 약액 에 대응 하 여 적어도 하나 의 약액 포집 장치 를 구비 하 는 기판 처리 장치 의 약액 포집 방법 이 제공 된다 . 이 방법 에 의하 면 , 스핀 헤드 로 기판 을 로딩 한다 . 상기 스핀 헤드 를 공정 위치 로 이동 한다 . 상기 스핀 헤드 와 , 상기 공정 위치 에 대응 하 는 상기 약액 포집 장치 를 회전 시킨다 . 로딩 된 상기 기판 으로 상기 공정 위치 에 대응 하 는 약액 을 공급 한다 . 이어서 상기 약액 포집 장치 로부터 포집 된 약액 을 회수 한다 .