또한 , 본 발명 의 실시 예 들 은 본 발명 의 실시 예 들 은 가상 마크 생성 장치 가 정렬 마크 의 위치 에 대응 하 는 지점 에 가상 마크 를 생성 하 는 것 을 특징 으로 하 는 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 을 제공 함 으로써 , 카메라 를 정렬 할 때 와 기판 을 정렬 할 때 에 카메라 를 그대로 사용 할 수 있 으므로 카메라 및 기판 정렬 의 정확도 를 향상 시킬 수 있 다 .