본 발명 에 따른 CMP 용 슬러리 조성물 은 알콜 류 화합물 을 더 함유 할 수 있 는데 , 이 는 CMP 용 슬러리 조성물 에 윤활 역할 을 하 여 결함 ( defect ) 및 스크래치 발생 을 억제 한다 . 상기 알코 류 화합물 로 는 메탄올 , 에탄올 , 에틸렌글리콜 , n - 프로판올 , 이소프로판올 , 1 , 2 - 프로 판디 올 ( 1 , 2 - propandiol ) , 1 , 3 - 프로 판디 올 ( 1 , 3 - propanediol ) , 글리세린 , n - 부탄올 , 2 - 부탄올 , 또는 t - 부탄올 로부터 선택 되 는 1 종 이상 을 사용 할 수 있 다 .