도 16 에 , 본 실시 예 에 있 어서 의 S 169 의 잔류 대전 에 대한 화상 의 명도 의 보정 결과 에 대해서 나타낸다 . 본 실시 예 에 있 어서 의 시료 는 , 0 . 1 μ s 의 전자선 조사 시간 에서 대전 이 포화 된다 . 또한 본 실시 예 에서 는 대전 에 의한 시료 의 내부 전계 에 의해 흐르 는 리크 전류 는 생각 하 지 않 는 것 으로 한다 . 명도 S 의 시간 변화 는 , 전자선 조사 에 의한 대전 의 축 적 특성 을 나타내 고 있 으며 , 수식 7 로 나타낼 수 있 다 .