도 6 은 본 발명 의 기술 적 사상 일부 실시 예 들 에 따른 검사 방법 을 보다 상세 하 게 보여 주 는 흐름 도 이 다 . 도 7 은 제 1 스테이지 ( 100 ) 에서 검사 대상 ( S ) 의 표면 이 검사 되 는 과정 을 나타내 는 도면 이 다 . 도 8 a 내지 도 8 f 는 플 리퍼 ( 210 ) 의 예시 적 인 작동 방법 을 설명 하 기 위한 도면 들 이 다 . 도 9 a 및 도 9 b 는 방향 전환 부 ( 120 ) 의 예시 적 인 작동 방법 을 설명 하 기 위한 도면 들 이 다 .