이 방법 으로 얻 어 지 는 유기 막 형성 용 조성물 에 이용 되 는 중합체 의 조제 에 는 여러 가지 할로겐화물 이나 토실 레이트 및 메 실 레이트 를 요구 성능 에 맞춰 단독 또는 복수 조합 하 여 이용 하 는 것 이 가능 하 다 . 예컨대 , 평탄 화 특성 의 향상 에 기여 하 는 측쇄 구조 , 에칭 내성 , 내열 성 에 기여 하 는 강직 한 방향 고리 구조 등 을 갖 는 것 을 임의 의 비율 로 조합 할 수 있 다 . 그 때문 에 이 들 중합체 를 이용 한 유기 막 형성 용 조성물 은 매립 / 평탄 화 특성 과 에칭 내성 을 높 은 차원 에서 양립 시킬 수 있 는 것 이 된다 .