구체 적 으로 , 반송 메커니즘 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 포토 마스크 기판 ( S ) 이 기판 플레이트 ( 110 ) 의 상부 에 위치 하 면 , 제 1 내지 제 3 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 은 기판 플레이트 ( 110 ) 의 상부 면 으로부터 상승 될 수 있 다 . 반송 로봇 은 포토 마스크 기판 ( S ) 을 제 1 내지 제 3 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 상 에 안착 시킨 후 , 제 1 내지 제 3 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 은 기판 플레이트 ( 110 ) 의 핀 홀 ( 111 ) 내부 로 하강 하 여 포토 마스크 기판 ( S ) 을 기판 플레이트 ( 110 ) 의 수용 홈 ( 112 ) 의 지지 면 ( 113 ) 상 에 안착 시킬 수 있 다 .