챔버 ( 12 ) 는 , 그 내부 에 처리 공간 ( S ) 을 제공 하 고 있 다 . 챔버 ( 12 ) 는 , 측벽 ( 12 a ) 및 바닥 부 ( 12 b ) 를 갖 는다 . 측벽 ( 12 a ) 은 , 대략 통 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 측벽 ( 12 a ) 의 중심 축선 은 , 연직 방향 으로 뻗 는 축선 ( Z ) 에 대략 일치 한다 . 바닥 부 ( 12 b ) 는 , 측벽 ( 12 a ) 의 하단 측 에 마련 되 어 있 다 . 바닥 부 ( 12 b ) 에 는 , 배기 용 배기 구멍 ( 12 h ) 이 마련 되 어 있 다 . 또 , 측벽 ( 12 a ) 의 상단 부 는 , 개구 를 제공 하 고 있 다 .