우선 , 관찰 장소 로 이동 한다 ( S 101 ) . 다음 으로 , 검사 하 는 시료 의 레이아웃 을 지정 한다 ( S 102 ) . 여기 에서 는 , 반도체 웨이퍼 의 반복 되 는 패턴 영역 의 레이아웃 이 다 . 다음 으로 , 레이아웃 정보 를 이용 하 여 레시피 작성 에 이용 하 는 시험 검사 영역 으로 이동 한다 ( S 103 ) . 다음 으로 , 광학 조건 을 설정 한다 ( S 104 ) .