예시 된 실시 예 에서 , 절연 영역 ( 50 ) 은 개구 ( 40 ) 의 중앙 을 따라 연장 된다 . 절연 영역 ( 50 ) 은 임의 의 적합 한 절연성 조성물 ; 예 를 들 어 , 이산화 규소 , 위한 포함 한 질화물 등 을 포함 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 절연 영역 ( 50 ) 의 적어도 일부 는 보이드 ( void ) 일 수 있 다 . 개구 ( 40 ) 의 중앙 아래쪽 으로 연장 되 는 절연 영역 ( 50 ) 을 갖 는 예시 된 실시 예 는 소위 중공 - 채널 구성 이 다 . 다른 실시 예 에서 , 채널 재료 ( 48 ) 는 개구 ( 40 ) 의 중앙 영역 을 완전히 채울 수 있 어서 이런 중앙 영역 내 에서 수직 으로 연장 된 페데 스탈 ( pedestal ) 을 형성 한다 .