도 7 a 를 참조 하 면 , 기판 ( S ) 상 에 희생 게이트 구 조체 들 ( SGS ) 이 제공 될 수 있 다 . 희생 게이트 구 조체 들 ( SGS ) 은 희생 게이트 패턴 들 ( SGP ) 을 포함 할 수 있 다 . 희생 게이트 패턴 들 ( SGP ) 은 폴리 게이트 패턴 일 수 있 다 . 희생 게이트 패턴 들 ( SGP ) 의 측벽 들 상 에 는 각각 , 게이트 스 페이서 들 ( GSP ) 이 배치 될 수 있 다 . 도시 하 지 않 았 으나 , 희생 게이트 구 조체 들 ( SGS ) 각각 은 식각 정지 패턴 을 더 포함 할 수 있 다 .