이 후 , 상기 제 2 층간 절 연막 ( 234 ) 의 상부 면 이 노출 되 도록 상기 제 3 도 전막 을 화학 기계 적 연마 공정 을 통해 연마 한다 . 상기 공정 을 수행 함 으로써 , 상기 제 1 층 도전 막 패턴 ( 224 ) 및 기판 ( 200 ) 과 접속 하 는 제 1 콘 택 플러그 ( 240 ) 와 , 상기 제 2 층 도전 막 패턴 ( 232 ) 및 기판 ( 200 ) 과 접속 하 는 제 2 콘 택 플러그 ( 242 ) 를 형성 한다 .