따라서 , 상기 비 교부 ( 400 ) 는 트렌치 ( 106 ) 의 내부 또는 양각 의 주변 에서 고착 된 슬러리 ( 150 ) 에서 기인 되 는 가시 광 의 회절 또는 산란 에 의해 일부 의 선폭 이 변화 되 어 상기 촬상부 ( 300 ) 에서 촬상 되 는 오버레이 패턴 영상 을 데이터 베이스 에 미리 저장 되 어 일정 한 선폭 을 갖 는 오버레이 패턴 영상 과 서로 비교 토록 할 수 있 다 . 또한 , 상기 비 교부 ( 400 ) 는 오버레이 패턴 이 손상 또는 비대칭 이 발생 되 어 상기 촬상 부 ( 300 ) 에 촬상 되 더라도 , 상기 데이터 베이스 에 미리 저장 된 양호 한 오버레이 패턴 영상 과 상기 촬상부 ( 300 ) 에서 촬상된 오버레이 패턴 영상 을 비교 토록 할 수 도 있 다 .