서 셉 터 ( 13 ) 의 주위 상면 에 는 , 에칭 의 균일성 을 향상 시키 기 위한 예 를 들 면 , 실리콘 ( Si ) 으로 이루어지 는 에지 링 ( 17 ) 이 배치 되 며 , 에지 링 ( 17 ) 의 주위 에 는 에지 링 ( 17 ) 의 측 부를 보호 하 는 커버 링 ( 54 ) 이 배치 되 어 있 다 . 또한 , 서 셉 터 ( 13 ) 및 서 셉 터 지지대 ( 12 ) 의 측면 은 , 예 를 들 면 석영 ( SiO 2 ) 으로 이루어지 는 원통형 상 의 부재 ( 18 ) 로 덮여 있 다 .