한편 , 스텝 S 17 대신 에 , 엔드 포인트 ( EPD ) 를 이용 하 여 , 본 처리 를 종료 할지 여부 를 판정 해도 된다 . 예 를 들 어 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) 의 플 라즈 마 생성 중 , 및 / 또는 제 4 클리닝 공정 ( 스텝 14 ) 의 플 라즈 마 생성 중 에 , 잔사 로서 상정 되 는 원소 유래 의 발광 을 관찰 하 여 , 충분 한 클리닝 을 완료 한 것 을 확인 함 으로써 , 본 처리 를 종료 시켜도 된다 .