도 13 에 는 필터 구 조체 ( 5 ) 를 포함 한 레이저 광원 이 도시 되 어 있 으며 , 상기 필터 구조 체 는 선행 한 실시 예의 트렌치 대신 에 리지 구조 ( 11 ) 에 대해 평행 하 게 규칙 적 으로 배열 된 복수 개 의 함몰 부 를 제 4 필터 부재 로서 포함 한다 . 함몰 부 의 직경 및 상호 간 의 간격 은 비 간섭 성 제 2 전자기 복사 ( 52 ) 의 제 2 파장 영역 이하 이 다 . 이 를 통해 , 제 4 필터 부재 ( 9 ) 는 반도체 층 시퀀스 ( 10 ) 의 연 장면 을 따라 광자 결정 으로서 역할 할 수 있 다 . 도시 된 실시 예 에서 , 제 4 필터 부재 ( 9 ) 의 함몰 부 는 정사각형 단면 을 가진다 . 대안 적 또는 부가 적 으로 , 함몰 부 는 예 를 들 면 원형 단면 , 타원 형 단면 , 직사각 형 단면 또는 육각형 단면 을 가질 수 있 다 . 또한 , 함몰 부 는 경사진 측면 을 포함 하 고 , 그 단면 과 관련 하 여 반도체 층 시퀀스 ( 10 ) 안 으로 가 는 방향 에서 작아질 수 있 다 . 대안 적 또는 부가 적 으로 , 제 4 필터 부재 ( 9 ) 는 복수 개 의 트렌치 를 포함 할 수 있 다 .