여기 서 상기 제 2 산화 이리듐 막 ( 17 ) 에서 는 앞서 도 상술 한 바 와 같이 상기 도 5 g 의 공정 에서 의 열처리 에 의해 산소 를 상기 막 ( 17 ) 의 표면 으로부터 막 중 으로 도입 하 고 있 고 , 그 결과 , 막 표면 에서 는 거의 IrO 2 의 화학량론 조성 으로 되 어 있 는 반면 , 산소 농도 는 막 내부 에서 는 더욱 감소 하 여 , 앞 의 도 3 b 에서 설명 한 산소 분포 가 생기 고 있 는 것 으로 생각 된다 .