도 17 b 를 참조 하 면 , 제 1 희생 막 ( 30 ) 에 정의 된 트렌치 들 ( T ) 내 에 제 2 희생 막 들 ( 62 ) 을 형성 한다 . 제 2 희생 막 들 ( 62 ) 을 형성 하 는 것 은 , 도 3 및 도 4 를 참조 하 여 설명 한 것 처럼 , 스핀 온 코팅 방법 을 이용 하 여 탄소 주성분 으로 하 는 물질 로 이루어진 코팅 막 을 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 상 에 형성 하 고 , 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 이 노출 될 때 까지 코팅 막 을 이방성 식각 함 으로써 형성 될 수 있 다 . 이 실시 예 에서 , 트렌치 들 ( T ) 내 에 채워진 제 2 희생 막 들 ( 62 ) 또한 소정 영역 들 에서 서로 다른 폭 을 가질 수 있 다 .