도 1 e 를 참조 하 면 , 상기 결과물 전면 에 BPSG ( Borophospho Silicate Glass ) 산화 막 을 두껍 게 증착 하 여 절연 산화 막 ( 26 ) 을 형성 한 후 , 게이트 하드 마스크 층 ( 16 ) 을 식각 정지 막 으로 하 여 게이트 하드 마스크 층 ( 16 ) 이 드러날 때 까지 화학 적 기계 적 연마공 정 을 수행 하 여 절연 산화 막 ( 26 ) 을 평탄 화 한다 .