본 발명 의 실시 예 들 은 균일 한 단면적 을 가지 는 홀 들 을 포함 하 는 개선 된 샤워 플레이트 를 제공 한다 . 바람직 하 게 는 , 평행 플레이트 CVD 장치 내 에서 상기 샤워 플레이트 는 상부 전극 으로 기능 하 고 , 서 셉 터 ( susceptor ) 는 바람직 하 게 는 하부 전극 으로 기능 한다 . 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 전원 에 연결 되 는 전기 전도성 연장 부 ( extension ) 는 상기 샤워 플레이트 에 연결 된다 . 상기 샤워 플레이트 가 전극 으로 기능 하 기 위하 여 , 전력 은 , 예 를 들 어 라디오 주파수 ( radio frequency , RF ) 전원 또는 높 고 낮 은 RF 전원 의 세트 에 의하 여 제공 될 수 있 다 .