만약 , 이 재 로봇 ( 200 ) 의 로봇 암 ( 230 ) 이 카세트 ( 100 ) 내부 로 진입 하 게 되 면 로봇 암 ( 230 ) 의 떨림 정도 에 따라 직진 성 이 떨어져 기판 의 파손 을 가져올 수 있 는데 , 제 2 센서 ( 342 , 344 , 346 , 348 ) 를 따르 면 로봇 암 ( 230 ) 의 떨림 현상 에 따른 기판 의 파손 을 방지 할 수 있 다 .