한편 , 제 1 원통형 격벽 ( 410 a ) 은 공정 챔버 ( 200 ) 의 상면 ( 205 ) 에 형성 된 오프닝 ( 207 ) 에 관통 되 어 설치 되 며 , 도 3 에 도시 된 원통형 격벽 ( 410 ) 보다 그 길이 와 이동 거리 가 절반 정도 로 짧 다는 것 이 특징 이 다 . 제 1 원통형 격벽 ( 410 a ) 은 하단 이 공정 챔버 ( 200 ) 의 내부 에 위치 되 고 , 상단 이 공정 챔버 ( 200 ) 의 상면 ( 205 ) 밖 에 위치 된다 . 제 1 원통형 격벽 ( 410 a ) 은 기판 지지 부 ( 210 ) 와 플라 즈 마 소스 부 ( 500 ) 가 수용 될 수 있 는 충분 한 내부 공간 을 제공 한다 . 지지 구조물 ( 290 ) 에 의해 지 지 되 어 있 는 플 라즈 마 소스 부 ( 500 ) 는 기판 지지 부 ( 210 ) 와 소정 간격 이격 된 높이 에서 제 1 원통형 격벽 ( 410 a ) 안쪽 에 위치 된다 . 기판 지지 부 ( 210 ) 와 제 1 원통형 격벽 ( 410 a ) 사이 는 수평 플레이트 ( 490 a ) 가 설치 되 며 , 수평 플레이트 ( 490 a ) 는 공정 챔버 ( 200 ) 의 상면 ( 205 ) 과 동일 선상 에 위치 된다 . 제 1 원통형 격벽 ( 410 a ) 은 상단 에 개방 된 통로 ( 416 a ) 를 갖 으며 , 이 통로 ( 416 a ) 를 통해 지 지 구조물 ( 290 ) 이 플 라즈 마 소스 부 ( 500 ) 를 지지 하 고 , 플라 즈 마 소스 부 ( 500 ) 로 제공 되 는 다양 한 라인 ( 소스 가스 공급 라인 , 고주파 전원 라인 등 ) 들 이 플 라즈 마 소스 부 ( 500 ) 와 연결 된다 .