또 다른 실시 예 에서 , 이송 챔버 를 따른 슬릿 밸브 를 슬라이딩 하 는 방법 이 제공 된다 . 이 방법 은 처리 챔버 를 가열 하 고 슬릿 밸브 를 전도 방식 으로 가열 하 는 단계 를 포함 한다 . 슬릿 밸브 는 처리 챔버 및 이송 챔버 에 결합 될 수 있 다 . 이 방법 은 또한 슬릿 밸브 를 팽창 시키 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 팽창 단계 는 이송 챔버 의 제 1 표면 을 따라 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 요소 를 슬라이딩 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 이송 챔버 는 이송 챔버 바디 를 통한 제 1 개구 를 포함 한다 . 제 1 개 구 는 제 1 폭 을 가질 수 있 다 . 이송 챔버 바디 를 통한 하나 또는 둘 이상 의 제 2 개구 가 또 한 존재 할 수 있 다 . 각각 의 제 2 개 구 는 제 1 폭 보다 작 은 제 2 폭 을 가질 수 있 다 . 이송 챔버 바디 를 통한 하나 또는 둘 이상 의 제 3 개구 가 또 한 존재 할 수 있 다 . 각각 의 제 3 개 구 는 제 2 폭 보다 더 크 고 제 1 폭 보다 작 은 제 3 폭 을 가질 수 있 다 . 슬릿 밸브 는 이 를 관통 하 는 개구 를 가지 는 슬릿 밸브 바디 를 포함 한다 . 개구 는 개구 를 통한 기판 의 통과 를 허용 하 는 크기 를 가질 수 있 다 . 바디 는 또한 바디 내 로 형성 되 고 개구 를 둘러싸 는 제 1 그루브 를 가질 수 있 다 . 바디 는 또한 바디 내 로 형성 되 는 하나 또는 둘 이상 의 제 2 그루브 및 하나 또는 둘 이상 의 제 2 그루브 들 중 하나 이상 에 배치 되 는 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 요소 를 가질 수 있 다 .