이 와 같 은 추세 에 따라 , 최근 에 는 플래너 구조 가 아닌 입체 구조 를 갖 는 트랜지스터 들 이 다양 하 게 제안 되 고 있 다 . 일 예 로서 리세 스 채널 을 갖 는 트랜지스터 구조 가 있 으며 , 다른 예 로서 스텝 ( step ) 형 프로 파일 을 갖 는 트랜지스터 구조 가 있 다 . 이 중 에서 스텝 ( step ) 형 프로 파일 을 갖 는 트랜지스터 구조 는 , 활성 영역 의 표면 을 계단 형 프로 파일 로 형성 하 고 , 게이트 스택 을 계단 형 프로 파일 에 중첩 되 도록 형성 함 으로써 , 트랜지스터 의 면적 을 유지 하 면서 도 유효 채널 길이 가 증가 되 도록 하 는 구조 이 다 .