제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 에서 , 그리드 크기 는 w = 1500 ㎛ 로 증가 된다 . 그리드 영역 이 커버 하 는 면적 은 1500 ㎛ X 1500 ㎛ 이 다 . 증가 된 크기 로 인해 , 제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 의 그리드 영역 은 제 1 그리드 레벨 ( 812 ) 의 다수 배 의 그리드 영역 들 ( multiple grid regions ) 을 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 의 영역 크기 는 제 1 그리드 레벨 ( 812 ) 의 로컬 보정 동작 에서 사용 되 는 이웃 그리드 영역 의 클러스터 의 크기 와 동일 하 다 . 이 와 같이 , 제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 의 그리드 영역 은 제 1 그리드 레벨 ( 812 ) 의 9 개 의 이웃 그리드 영역 을 포함 할 것 이 며 , 즉 , 제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 의 그리드 영역 의 초기 패턴 밀도 는 제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 의 그리드 영역 에 포함 된 제 1 그리드 레벨 ( 812 ) 의 그리드 영역 의 보정 된 패턴 밀도 값 에 기반 하 여 결정 된다 . 일 실시 예 에서 , 아래 의 알고리즘 은 제 2 그리드 레벨 ( 814 ) 의 그리드 영역 의 초기 패턴 밀도 값 을 결정 하 는 데 사용 된다 :