스퍼터 타깃 ( 29 ) 의 재료 로 는 , 예 를 들 어 , In , Sn , Zn , Ga , Sb , Nb , Ti , Si , Zr , Mg , Al , Au , Ag , Cu , Pd , W 로 이루어지 는 군 에서 선택 되 는 적어도 1 종 의 금속 을 포함 하 는 금속 산화물 을 들 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 어 , 인듐 주석 복합 산화물 ( ITO ) 등 의 인듐 함유 산화물 , 예 를 들 어 , 안티몬 주석 복합 산화물 ( ATO ) 등 의 안티몬 함유 산화물 등 을 들 수 있 고 , 바람직 하 게 는 인듐 함유 산화물 , 보다 바람직 하 게 는 ITO 를 들 수 있 다 .