불량 검 출부 ( 240 _ 1 ~ 240 _ 4 ) 는 , 글로벌 다운 스캔 신호 ( DN _ SCAN ) 와 래치 신호 ( LAT ) 에 따라 다운 스캔 의 결과 를 제 1 값 으로 저장 하 고 , 글로벌 업 스캔 신호 ( UP _ SCAN ) 와 래치 신호 ( LAT ) 에 따라 업 스캔 의 결과 를 제 2 값 으로 저장 하 고 , 저장 된 제 1 값 및 제 2 값 을 조합 하 여 관통 전극 ( TSV 0 X ~ TSV 4 X ) 의 불량 여부 를 정의 하 는 불량 판정 신호 ( FAIL < X >) 를 생성 할 수 있 다 .