반송 부재 ( 4600 ) 는 도포 블럭 ( 30 a ) , 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) , 노광 장치 ( 50 ) , 그리고 현상 블럭 ( 30 b ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 반송 부재 ( 4600 ) 는 1 개 또는 복수 개 의 로봇 으로 제공 될 수 있 다 . 일 예 에 의하 면 , 반송 부재 ( 4600 ) 는 제 1 로봇 ( 4602 ) 및 제 2 로봇 ( 4606 ) 을 가진다 . 제 1 로봇 ( 4602 ) 은 도포 블럭 ( 30 a ) , 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) , 그리고 인터페이스 버퍼 ( 4400 ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 하 고 , 인터페이스 로봇 ( 4606 ) 은 인터페이스 버퍼 ( 4400 ) 와 노광 장치 ( 50 ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 하 고 , 제 2 로봇 ( 4604 ) 은 인터페이스 버퍼 ( 4400 ) 와 현상 블럭 ( 30 b ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 하 도록 제공 될 수 있 다 .