여기 서 , 도 10 의 ( b ) 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 실시 형태 에 관한 흡인 플레이트 ( 52 ) 의 홈 부 ( 52 b ) 는 , 반도체 패키지 ( S ) 가 나열 되 는 방향 ( 전후 방향 ) 과 평행 으로 된다 . 이 때문 에 , 좌우 에 인접 하 는 반도체 패키지 ( S ) 사이 에 홈 부 ( 52 b ) 가 위치 한 경우 , 홈 부 ( 52 b ) 의 대부분 이 반도체 패키지 ( S ) 끼리 의 간극 과 마주 향하 게 된다 .