도 1 g 에 도시 한 바 와 같이 , 펀치 스톱 이온 주입 이 완료 되 면 , 채널 스톱 ( Channel stop ) 이온 주입 을 실시 한다 . 상기 채널 스톱 이온 주입 은 상기 소자 분리 막 의 깊이 와 동일 하 게 진행 한 것 으로 , 예 를 들 면 , 인 ( P ) 이온 을 300 KeV 이하 의 에너지 로 주입 한다 . 이온 주입 농도 는 상기 문턱 전압 시 의 농도 와 같 게 한다 .