기판 ( W ) 은 반송 로봇 ( 3422 ) 에 의해 현상 챔버 ( 3600 ) 에서 반출 되 어 열처리 챔버 ( 3200 ) 로 반입 된다 . 기판 ( W ) 은 열처리 챔버 ( 3200 ) 에서 가열 공정 및 냉각 공정 이 순차 적 으로 수행 된다 . 냉각 공정 이 완료 되 면 , 기판 ( W ) 은 반송 로봇 ( 3422 ) 에 의해 열처리 챔버 ( 3200 ) 에서 기판 ( W ) 을 반출 되 어 전단 버퍼 ( 3802 ) 로 반송 한다 .