액 공급 부 ( 6 ) 는 공급 로 ( 61 ) 의 선단 에 , 처 리조 ( 5 ) 의 수조 내 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 하 는 노즐 ( 66 ) 을 가진다 . 노즐 ( 66 ) 은 예 를 들 면 내조 ( 51 ) 의 수조 내 에 처리 액 ( 3 ) 을 토출 한다 . 노즐 ( 66 ) 은 처리 액 ( 3 ) 과 가스 의 혼합 유체 를 토출 해도 된다 . 예 를 들 면 도 2 a 에 나타내 는 노즐 ( 66 A , 66 B ) 은 L 자 형상 으로 , 연직 관 ( 69 A , 69 B ) 과 , 연직 관 ( 69 A , 69 B ) 의 하단 으로부터 수평 으로 연장 되 는 수 평관 ( 67 A , 67 B ) 을 가진다 .