본 발명 의 하나 는 , 복수 의 화소 를 갖 는 표시 부 와 , 복수 의 화소 에 설치 되 고 , 액정 소자 및 트랜지스터 를 포함 하 는 화소 회로 와 , 복수 의 화소 의 전부 또는 일부 에 설치 되 고 , 광센서 및 트랜지스터 를 갖 는 센서 회로 와 , 화소 회로 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 는 화소 용 구동 회로 와 , 센서 회로 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 는 센서 용 구동 회로 를 갖 는 입력 장치 의 제조 방법 이 다 . 본 발명 의 제조 방법 에 있 어서 , 단결정 반도체 기판 및 지지 기판 을 준비 하 고 , 가속 된 이온 을 단결정 반도체 기판 에 첨가 함 으로써 , 단결정 반도체 기판 의 표면 으로부터 소정 깊이 의 영역 에 손상 영역 을 형성 하 고 , 지지 기판 또는 단결정 반도체 기판 의 적어도 한쪽 에 버퍼 층 을 형성 하 고 , 버퍼 층 을 사이 에 두 고 지 지 기판 과 단결정 반도체 기판 을 밀착 시켜서 , 버퍼 층 의 표면 과 , 버퍼 층 표면 과 밀접 해 있 는 면 을 접합 시킴 으로써 , 지지 기판 에 단결정 반도체 기판 을 고정 하 고 , 단결정 반도체 기판 의 가열 에 의해 손상 영역 에 균열 을 일으키 게 하 여 , 단결정 반도체 기판 을 지지 기판 으로부터 분리 함 으로써 단결정 반도체 기판 으로부터 분리 된 단결정 반도체 층 이 고정 된 지지 기판 을 형성 하 고 , 단결정 반도체 층 을 소자 마다 분할 하 여 , 복수 의 단결정 반도체 층 을 형성 하 고 , 분할 된 단결정 반도체 층 으로부터 , 화소 회로 , 센서 회로 , 화소 용 구동회 로 및 센서 용 구동 회로 의 트랜 지 스터 및 광센서 를 형성 한다 .