즉 , 이러 한 금속 카보닐 원료 를 사용 한 금속 막 의 퇴적 에서 는 , 분위기 중 의 CO 분압 을 제어 함 으로써 금속 막 의 퇴적 반응 을 제어 할 수 있 다 . 그래서 도 1 의 성막 장치 ( 10 ) 에서 는 , 캐리어 가스 로 CO 가스 를 사용 하 여 금속 카보닐 원료 의 수송 중 의 CO 분압 을 증대 시켜 , 수송 경로 중 에 있 어서 의 금속 카보닐 원료 의 분해 및 금속 막 의 퇴적 을 억제 하 고 있 다 .