본딩 헤드 ( 15 ) 는 내부 에 본딩 암 ( 16 ) 을 요동 구동 하 여 , 본딩 암 ( 16 ) 의 선단 을 본딩 스테이지 ( 13 ) 에 흡착 고정 된 기판 ( 41 ) 의 접 리 방향 인 Z 방향 으로 구동 하 는 Z 방향 모터 가 설치 되 어 있 다 . 본딩 암 ( 16 ) 의 본딩 스테이지 ( 13 ) 를 향하 는 선단 에 는 본딩 툴 인 캐 필러 리 ( 17 ) 가 부착 되 어 있 다 . 캐 필러 리 ( 17 ) 의 선단 측 은 선단 을 향하 여 가늘 어 지 는 테이퍼 형상 이 고 , 근원 측 은 원통 형상 이 며 , 원통 부분 에서 본딩 암 ( 16 ) 에 부착 되 어 있 다 . 캐 필러 리 ( 17 ) 는 그 중심 에 관통 구멍 을 가지 고 , 관통 구멍 에 는 금제 의 세선 인 와이어 ( 18 ) 가 삽입 통과 되 어 있 다 . 캐 필러 리 ( 17 ) 의 선단 으로부터 연장 된 와이어 ( 18 ) 의 선단 에 는 스파크 등 에 의해 이니셜 볼 ( 19 ) 이 형성 된다 . 본딩 헤드 ( 15 ) 와 본딩 암 ( 16 ) 과 캐 필러 리 ( 17 ) 와 본딩 스테이지 ( 13 ) 는 기판 ( 41 ) 과 기판 ( 41 ) 에 부착 된 반도체 칩 ( 42 ) 사이 를 와이어 ( 18 ) 로 접속 하 는 본딩 처 리부 ( 100 ) 를 구성 한다 .