또한 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 주면 ( 1 c ) 에 대해 광축 을 비스듬히 교차 하 는 방향 을 향해 적 외광선 을 조사 할 수 있 으므로 , IR 카메라 ( 16 ) 의 광학계 의 광축 을 식별 마크 ( 20 ) 를 제외 한 대략 평면 형상 의 주면 ( 1 c ) 에 있 어서 정반사 하 는 반사광 의 광축 과 일치 하 지 않 도록 IR 카메라 ( 16 ) 를 설치 함 으로써 식별 마크 ( 20 ) 에서 난반사 하 는 반사광 만 을 수 광 하 여 화상 을 취득 하 는 것 이 가능 해진다 . 이 에 의해 , 예 를 들 어 IC ( 1 d ) 의 패턴 등 이 찍혀 나오 는 일 이 없 어 , 식별 마크 ( 20 ) 만 이 선명 하 게 찍혀 나온 화상 을 취득 하 는 것 이 가능 해진다 .