또한 , 기판 처리 장치 는 상기 제 1 용제 공급 유닛 으로부터 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 되 는 제 1 용제 에 물리 적 인 힘 을 가하 는 물리력 부여 유닛 을 더 포함 하 고 있 어도 좋 다 . 상기 제어 장치 는 상기 물리력 부여 유닛 에 의해 물리 적 인 힘 이 가하 여진 제 1 용제 를 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 시킴 으로써 , 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 를 제 1 용제 로 치환 시키 는 물리 적 치환 공정 을 포함 하 는 상기 제 1 용제 공급 공정 을 실행 하 여도 좋 다 . 이 경우 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .