회전 테이블 ( 2 ) 의 회전 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 는 제 3 처리 영역 ( P 3 ) , 분리 영역 ( D ) , 제 1 처리 영역 ( P 1 ) , 분리 영역 ( D ) , 제 2 처리 영역 ( P 2 ) 을 이 순서 로 반복 하 여 통과 한다 ( 도 3 참조 ) . 또한 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 회전 에 의해 , 각 영역 ( P 1 내지 P 3 , D ) 으로부터 처리 가 개시 되 는 웨이퍼 ( W ) 가 각각 존재 하 지만 , 설명 의 편의 상 , 제 3 처리 영역 ( P 3 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 가 통과 했 다고 생각 하 고 설명 한다 .