상기 평판 블럭 ( 110 a , 110 b ) 은 한 쌍 으로 구비 되 고 , 실질 적 으로 반도체 소자 가 놓여 지 는 부분 이 다 . 상기 반도체 소자 는 상기 평판 블럭 ( 110 a , 110 b ) 에 진공 흡착 되 거나 , 상기 평판 블럭 ( 110 a , 110 b ) 에 별도 의 요 홈 부 를 형성 시켜 상기 기판 이 상기 평판 블럭 ( 110 a , 110 b ) 의 상면 에 큰 오차 없이 놓여 질 수 있 도록 하 는 부재 이 다 . 또한 , 상기 평판 블럭 ( 110 a , 110 b ) 은 반도체 소자 의 두께 에 따라 별도 의 캐 비티 블럭 ( 미 도시 ) 으로 교체 되 어 사용 될 수 있 는 것 이 다 .