본 발명 에 있 어서 , 제 1 마스크 막 ( ML 1 ) 의 제 1 개 구부 ( OP 1 ) 와 제 2 마스크 막 ( ML 2 ) 의 제 2 개 구부 ( OP 2 ) 가 서로 오프셋 되 도록 형성 시킴 으로써 , 관통 콘 택 ( TCT ) 의 하부 ( TCTb ) 의 평면 적 크기 를 제 1 및 제 2 개 구부 들 ( OP 1 , OP 2 ) 각각 의 평면 적 크기 보다 작 게 조절 할 수 있 다 . 본 발명 은 노광 공정 으로 구현 가능 한 패턴 크기 보다 더 작 은 크기 를 갖 는 관통 콘 택 ( TCT ) 의 하부 ( TCTb ) 를 구현 할 수 있 다 .