상기 프레임 ( 200 ) 은 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 가 얼라인 되 도록 하 기 위한 공간 을 제공 한다 . 상기 프레임 ( 200 ) 은 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 가 인입 되 도록 일 측 이 개구 된 틀 형상 을 갖 는다 . 즉 , 상기 프레임 ( 200 ) 은 서로 마주 보 는 제 1 프레임 ( 210 ) 및 제 2 프레임 ( 220 ) 과 상기 제 1 프레임 ( 210 ) 및 제 2 프레임 ( 220 ) 의 일단 을 수직 하 게 연결 하 는 제 3 프레임 ( 230 ) 을 포함 한다 .