[ 0035 ] 일 실시 예 에서 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 통신 할 제어 신호 를 결정 하 기 위한 반복 프로세스 를 구현 한다 . 예컨대 , 일 실시 예 에서 , 수신 된 전압 이 조절 을 필요 로 하 는 것 으로 결정 할 시 에 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 의해 척 킹 메시 ( 108 ) 에 공급 되 는 전압 의 조절 을 발생 시키 기 위해 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 신호 를 통신 한다 . 조절 후 에 , 웨이퍼 ( 105 ) 에서 의 전압 은 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 에 의해 다시 평가 된다 . 웨이퍼 ( 105 ) 에서 캡 처 된 전압 이 더 일정 하 게 되 거나 또는 미리 결정 된 전압 레벨 의 허용 오차 에 더 근접 하 게 되 었 지만 , 여전히 더 많 은 조절 을 필요 로 하 는 경우 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 의해 척 킹 메시 ( 108 ) 에 공급 되 는 전압 에 대해 , 동일 한 방향 의 조절 을 발생 시키 기 위해 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 다른 제어 신호 를 통신 한다 . 조절 후 에 , 기판 에서 캡 처 된 전압 이 덜 일정 하 게 되 거나 또는 미리 결정 된 전압 레벨 로부터 더 멀 어 진 경우 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 의해 척 킹 메시 ( 108 ) 에 공급 되 는 전압 에 대해 , 반대 방향 의 조절 을 발생 시키 기 위해 , 정형 된 바이어스 파형 생성기 ( 130 ) 에 다른 제어 신호 를 통신 한다 . 그러 한 조절 들 은 , 기판 에서 의 전압 이 일정 하 게 유지 되 고 그리고 / 또는 미리 결정 된 전압 레벨 의 허용 오차 내 에 유지 될 때 까지 , 계속 이루어질 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 웨이퍼 ( 105 ) 로부터 의 판독 으로부터 의 전압 신호 를 디지털 화 하 고 , 디지털 화 된 전압 신호 를 바이어스 공급 부 에 통신 하 여 , 정형 된 펄스 바이어스 파형 을 주기 적 으로 조절 함 으로써 , 웨이퍼 ( 기판 ) 전압 이 일정 하 게 유지 되게 하 고 그리고 / 또는 미리 결정 된 전압 레벨 의 허용 오차 내 에 유지 되 게 한다 .