이 때 , 핸드 에서 의 기판 의 반송 속도 와 , 포커스 링 의 반송 속도 에 는 차이 가 있 다 . 기판 의 반송 의 경우 배 큠 파 기 우려 가 없 어 로봇 의 속도 가 빠르 게 이동 하 더라도 발생 하 는 문제점 이 없 다 . 그러나 , 본 발명 에 따른 포커스 링 의 반송 방법 의 경우 , 캐리어 를 핸드 에 장착 한 후 에 , 캐리어 의 상면 에 위치 한 오링 에 링 을 안착 시키 기 때문 에 로봇 이 빠르 게 움직이 게 되 면 안착 된 링 이 슬라이딩 될 우려 가 있 으므로 , 기판 의 반송 속도 보다 는 느리 게 반송 을 수행 한다 .