〔 20 〕 연마 정반 ( 定盤 ) 에 장착 된 연마 패드 에 , 〔 1 〕 내지 〔 15 〕 중 어느 하나 에 기재 된 연마 액 을 공급 하 면서 , 피연 마 체의 피연 마면 을 상기 연마 패드 에 접촉 시키 고 , 상기 피연 마 체 , 및 상기 연마 패드 를 상대 적 으로 움직여 상기 피연 마면 을 연마 하 여 연마 완료 된 피 연마 체 를 얻 는 공정 을 포함 하 는 , 화학 적 기계 적 연마 방법 .