먼저 , 도 2 내지 도 9 를 참조 하 여 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 콘 택 구 조체 를 포함 하 는 반도체 소자 의 제조 방법 에 대하 여 설명 하 기 로 한다 . 본 발명 의 실시 예 는 설명 의 명료 함 을 위하 여 디램 소자 에 한정 하 여 제시 되 어 진다 . 그러나 , 본 발명 은 상기 디램 소자 에 한정 되 지 않 고 당업자 가 고려 할 수 있 는 모든 실시 예 들 에 적용 될 수 있 다 . 도 2 내지 도 9 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 도전 패턴 을 갖 는 콘 택 구 조체 를 보여 주 는 단면도 들 이 다 .