예컨대 , 챔버 ( 4 A ) 는 , 도 8 에 나타내 는 챔버 ( 4 ) 와 다르 게 , 적외선 ( 43 ) 을 투과 시키 는 석영 유리 로 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 도 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 챔버 ( 4 A ) 는 , 예컨대 원적외선 을 방사 가능 한 세라믹 히터 등 의 적외선 히터 ( 470 ) 를 내장 하 는 챔버 배치 테이블 ( 47 ) 에 배치 되 어 있 다 .