또한 , 프로세스 레시피 는 , 후술 하 는 기판 처리 공정 에서 의 각 수순 을 제 1 제 어부 ( 260 ) 에 실행 시켜 , 소정 의 결과 를 얻 을 수 있 게 조합 된 것 이 며 , 프로그램 으로서 기능 한다 . 이하 , 이 프로세스 레시피 나 제어 프로그램 , 상술 한 데이터 등 을 총칭 하 여 , 간단히 프로그램 이 라고 도 한다 . 또한 , 본 명세서 에서 프로그램 이 라는 말 을 사용 한 경우 에 는 , 프로세스 레시피 단체 만 을 포함 하 는 경우 , 제 어 프로그램 단체 만 을 포함 하 는 경우 , 또는 그 양쪽 을 포함 하 는 경우 가 있 다 .