도 1 a 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 장치 의 개략 적 단면 다이어그램 이 다 . 도시 된 장치 는 기판 에서 도 펀트 들 의 플 라즈 마 주입 과 같 은 플 라즈 마 - 보조 프로세스 들 을 수행 하 도록 구성 된다 . 플 라즈 마 반응기 ( 100 ) 는 프로세스 영역 ( 104 ) 을 둘러싸 는 하부 ( 124 ) , 상부 ( 126 ) , 및 측벽 들 ( 122 ) 을 갖 는 챔버 바디 ( 102 ) 를 포함 한다 . 기판 지지 어셈블리 ( 128 ) 는 챔버 바디 ( 102 ) 의 하부 ( 124 ) 로부터 지지 되 고 처리 를 위해 기판 ( 106 ) 을 수용 하 도록 적응 된다 . 가스 분배 플레이트 ( 130 ) 는 기판 지지 어셈블리 ( 128 ) 와 마주 하 며 챔버 바디 ( 102 ) 의 상부 ( 126 ) 에 연결 된다 . 펌핑 포트 ( 132 ) 는 챔버 바디 ( 102 ) 에서 한정 되 고 진공 펌프 ( 134 ) 에 연결 된다 . 진공 펌프 ( 134 ) 는 펌핑 포트 ( 132 ) 에 스로틀 밸브 ( 136 ) 를 통해 연결 된다 . 가스 소스 ( 152 ) 는 가스 분배 플레이트 ( 130 ) 에 연결 되 어 기판 ( 106 ) 상 에서 수행 되 는 프로세스 들 을 위해 가스 전구체 ( precursor ) 화합물 들 을 공급 한다 .