반사기 플레이트 ( 28 ) 는 베이스 플레이트 ( 19 ) 지름 과 유사 한 지름 을 가진다 . 반사기 플레이트 ( 28 ) 는 베이스 플레이트 ( 19 ) 위 에 장착 된다 . 반사기 플레이트 ( 28 ) 를 장착 하 는 하나 의 적합 한 방식 은 , 반사기 플레이트 ( 28 ) 와 베이스 플레이트 ( 19 ) 가 이격 되 어 약 5 mm 미만 의 갭 ( 44 ) 을 제공 하 도록 , 반사기 플레이트 ( 28 ) 를 격리 부들 ( 33 ) 상 에 위치 시키 는 것 이 다 . 하나 또는 둘 이상 의 실시 예 들 에서 , 반사기 플레이트 ( 28 ) 및 베이스 플레이트 ( 19 ) 는 약 1 mm 미만 만큼 이격 되 고 , 그리고 다른 실시 예 들 에서 , 반사기 플레이트 ( 28 ) 와 베이스 플레이트 ( 19 ) 사이 에 는 간격 이 존재 하 지 않 는다 . 도시 된 구성 에서 , 격리 부들 ( 33 ) 은 베이스 플레이트 에 의해서 배치 되 고 수용 되 나 반사기 플레이트 ( 28 ) 를 위치 시키 고 지 지 한다 . 반사기 플레이트 ( 28 ) 는 반사기 ( 28 ) 의 어느 일면 또는 양면 들 에 도포 된 반사 코팅 ( 35 ) 을 더 포함 할 수 있 을 것 이 다 . 따라서 , 반사기 플레이트 조립 체 ( 25 ) 는 , 챔버 하단 ( 53 ) 에 볼트 체결 되 고 , 고온계 도파관 들 ( 42 ) 이 통과 하 는 , 베이스 플레이트 ( 19 ) 에 의해서 구속 된 , 격리 부들 ( 33 ) 상 에 놓이 는 반사기 플레이트 ( 28 ) 를 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 승강 핀 들 ( 46 ) 이 격리 부들 ( 33 ) 을 통과 한다 . 석영 또는 사파이어 와 같이 광학 적 으로 투명 한 세라믹 으로 반사기 플레이트 ( 28 ) 의 본체 를 제조 함 으로써 , 반사 코팅 이 반사기 플레이트 의 후방 면 ( 37 ) ( 웨이퍼 ( 12 ) 로부터 먼 쪽 ) 상 에 위치 될 수 있 다 . 이러 한 배향 에서 , 코팅 된 후방 면 ( 37 ) 은 웨이퍼 처리 부산물 들 에 직접 적 으로 노출 되 지 않 고 , 그 에 따라 코팅 에서 박리 가 발생 할 가능 성 이 적어진다 . 또한 , 코팅 내 로 연장 하 는 것 으로 도시 되 어 있 으나 코팅 ( 35 ) 과 동일 높이 일 수 있 는 ( flush ) 고온계 프로브 들 ( probes ) 또는 도파관 들 ( 42 ) 이 또한 부산물 들 에 직접 적 으로 노출 되 지 않 는다 . 따라서 , 광학 적 으로 투명 한 반사기 플레이트 가 복사 에너지 를 보다 많이 흡수 할 것 이 고 그리고 보다 더 높 은 온도 가 될 것 이 다 .