도 4 a 및 4 b 는 도 3 a 및 3 b 에 나타낸 트랩 부 의 전극 구조 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 4 a 는 평면도 로서 , 각각 4 개 의 금 판 전극 으로 구성 된 4 개 의 금 판 의 열 이 각각 금 선 을 통하 여 금 패드 에 연결 되 어 있 다 . 여기 서 , 홀수 열 의 금 판 은 하나 의 금 패드 에 연결 되 어 있 고 , 짝수 열 의 금 기둥 은 다른 금 패드 에 연결 되 어 있 다 . 도 5 b 는 측면도 로서 , 금 판 이 하부 기판 에 형성 되 어 있 는 것 을 나타낸다 .