대한민국 공개 특허 공보 제 10 - 2017 - 0137243 호 에 따르 면 , 기판 이 상부 바디 ( 430 ) 와 하부 바디 ( 420 ) 의 결합 면 보다 아래쪽 에 위치 하 기 때문 에 , 상부 바디 ( 430 ) 와 하부 바디 ( 420 ) 의 결합 면 주위 의 파티클 이 챔버 내부 로 유입 되 는 과정 에서 중력 에 의하 여 파티클 의 일부 는 기판 으로 유입 될 가능 성 이 높 다 .