여기 서 , 상기 서브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) 의 리크 가 발생 되 지 않 을 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 설정 된 진공도 를 유지 할 수 있 으나 , 상기 서브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) 의 리크 가 발생 될 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 설정 된 값 이하 의 진공도 를 유지 할 수 있 다 . 이때 , 상기 서브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) 의 리크 가 발생 되 면 , 실란 가스 를 단속 하 는 상기 서브 반응 가스 밸브 ( 42 e ) 의 리크 가 발생 될 확률 이 높 기 때문 에 이 를 먼저 확인 및 점검 토록 함 으로서 각종 밸브 의 리크 검출 을 완료 할 수 있 다 .