또한 , 상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 헤이즈 검출 방법 은 고출력 레이저 로 빔 을 방출 하 는 제 1 단계 와 . 빔 형성 텔레 스코프 를 이용 하 여 빔 의 모양 을 결정 하 는 제 2 단계 와 , 균질기 를 이용 하 여 빔 의 강도 를 균일 한 에너지 분포 로 형성 하 는 제 3 단계 와 , 초점 광학계 를 이용 하 여 포토 마스크 표면 에 도달 할 빔 의 초점 을 맞추 고 빔 의 크기 를 결정짓 는 제 4 단계 와 , 빔 스프리 터 를 이용 하 여 포토 마스크 에 도달 하 는 빔 에너지 세기 를 에너지 검출기 로 실시간 으로 측정 하 는 제 5 단계 와 , 광 위상 간섭계 로 작동 하 는 헤이즈 검출기 를 이용 하 여 헤이즈 생성 유무 를 실시간 으로 검출 하 는 제 6 단계 , 및 현미경 을 이용 하 여 포토 마스크 표면 의 변화 및 헤이즈 생성 위치 를 제어 하 는 제 7 단계 를 포함 하 여 이루어짐 을 특징 으로 한다 .