설비 ( 10 ) 를 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 으로 전환 하 기 위해서 는 앞서 설명 한 프로세스 모듈 ( 200 ) 의 도포 모듈 ( 220 ) 과 현상 모듈 ( 240 ) 을 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 별개 의 모듈 들 로 분리 하 여야 한다 . 이때 , 분리 된 도포 모듈 ( 220 ) 은 제 1 이송 모듈 ( 100 ) 의 로드 포트 ( 110 ) 에 놓인 용기 ( 112 ) 로부터 기판 이 제공 되 지만 , 분리 된 현상 모듈 ( 240 ) 은 기판 을 공급 받 을 수 있 는 수단 이 제공 되 지 않 는다 . 이 와 같이 인 라인 ( In - line ) 타입 의 설비 를 이용 하 여 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 으로 도포 공정 및 현상 공정 을 진행 하 기 위해서 는 현상 모듈 ( 240 ) 에 기판 을 제공 하 는 수단 이 구비 되 어야 한다 . 이 를 위해 제 2 이송 모듈 ( 300 ) 의 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 에 는 기판 이 수용 된 용기 ( 332 ) 가 놓이 는 로드 포트 ( 330 ) 가 구비 된다 . 로드 포트 ( 330 ) 는 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 이송 모듈 ( 100 ) 및 프로세스 모듈 ( 200 ) 의 배열 방향 ( 제 1 방향 ) 에 수직 하 게 배열 되 도록 제 2 이송 유닛 ( 320 ) 의 측면 에 설치 될 수 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 , 제 1 이송 모듈 ( 100 ) 은 도포 모듈 ( 220 ) 에 기판 을 반 출입 하 고 , 제 2 이송 모듈 ( 300 ) 은 현상 모듈 ( 240 ) 에 기판 을 반 출입 함 으로써 , 독립 형 ( Stand - alone ) 방식 의 공정 을 수행 할 수 있 게 된다 .