세정 효과 를 평가 하 기 위하 여 , 표 1 에서 6 번 을 지정 된 제 형물 의 수 갤 론 을 SEZ Zincillator 싱글 웨이퍼 도구 에 로딩 하 였 다 . 패턴 화 된 구리 / CORAL 웨이퍼 세그먼트 ( 약 2 x 2 인치 ) 을 블 랭 키 8 인치 이산화규소 웨이퍼 의 중앙 에 두 개 의 사이드 테이프 로 고정 시켰 다 . 이어서 , 블랭킷 웨이퍼 를 척 ( chuck ) 에 고정 시키 고 , 약 500 rpm 에서 공전 시켰 다 . 이어서 , 6 번 제 형물 을 20 ℃( degree centigrade ) 에서 30 초 내지 120 초 동안 연속 스트림 으로 스 피닝 웨이퍼 세그먼트 에 적용 시켰 다 . 이어서 웨이퍼 세그먼트 를 증류수 로 세정 하 고 , 질소 가스 스트림 하 에서 건조 하 였 다 . 고해 상 주사 전자 현미경 에 의한 세정 된 웨이퍼 세그먼트 의 분석 은 세정 되 지 않 은 웨이퍼 세그먼트 와 비교 하 여 잔사 가 없 는 패턴 을 보여 주 었 다 . 세정 된 웨이퍼 의 상세 한 분석 은 기저 구리 또는 Coral 유전체 물질 의 최소 손실 이 있 음 을 보여 주 었 다 . 표 1 은 본 발명 의 범위 내 의 다양 한 유용 한 조성물 을 나타낸 것 이 다 .