또한 , 각 형 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 이 더라도 대응 하 는 것 이 가능 하 므로 로 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 형상 에 영향 을 받 지 않 고 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상태 를 안정 적 으로 검출 할 수 있 다 . 그 로 인해 , 다종 다양 한 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 대해 유연 하 게 대응 하 는 것 이 가능 하 고 , 사용 하 기 쉽 고 편리 성 이 뛰어난 로드 포트 ( 1 ) 로 할 수 있 다 .