즉 , 종래 의 플 라즈 마 유해 가스 처리 장치 로 만 유해 가스 를 처리 할 경우 , 기존 에 분해 가 어렵 던 유해 가스 특히 , PFC ( Perfluorocompound ) 가스 등 을 확실히 정화 하 기 가 어렵 고 , 이 플 라즈 마 분 해식 으로 유해 가스 를 정화 한 후 에 후속 되 는 별도 의 정화 과정 이 없 어서 유해 가스 를 효과 적 으로 허용 농도 이하 까지 무해 화 하 기 힘들 뿐 만 아니 라 , 유해 가스 의 무해 화 의 효능 이 상당히 떨어지 는 문제점 이 있 었 다 .