또한 , 위치 추정 수단 ( 23 ) 은 제 2 모터 ( 43 ) 의 가감 속시 나 부하 변동 시 라도 , 웨이퍼 ( 9 ) 의 노치 ( 91 ) 의 위치 를 좋 은 정밀도 로 추정 할 수 있 으며 , 웨이퍼 ( 9 ) 를 재치 하 는 턴테이블 ( 71 ) 을 고속 제어 할 수 있 다 . 즉 , 로봇 제어 시스템 ( 1 ) 은 위치 의 정밀도 와 고속 의 양립 이 요구 되 는 로봇 ( 6 ) 에 있 어서 도 , 비용 을 낮 게 억제 하 면서 , 위치 맞춤 의 정밀도 와 속도 를 향상 시킬 수 있 다 .