다른 하나 의 양태 에 있 어서 , 장치 는 , 비 제한 적 인 예 를 들 자면 , 조명원 과 ; 1 차 광축 을 따라 배치 되 고 하나 이상 의 시료 의 표면 으로부터 반사 된 광 의 일부 를 모으 도록 구성 된 검출기 와 ; 조명 경로 의 동공 면 ( pupil plane ) 에 위치 되 고 조명원 으로부터 방사 된 조명 의 조명 각 - 조명 각 은 검출기 의 촬상 면 에서 선택 된 콘트 라스트 레벨 을 달성 하 기 에 적합 한 것 임 - 을 선택 하 도록 구성 된 조리개 와 ; 조리개 를 통해 투과 된 광 의 제 1 부분 을 목표 경로 를 따라 하나 이상 의 시료 의 표면 에 지향 시키 고 조리개 를 통해 투과 된 광 의 제 2 부분 을 기준 경로 를 따라 지향 시키 도록 구성 된 제 1 빔 스플리터 를 포함 할 수 있 다 .