종래 의 방법 에서 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 피복 하 는 수지 ( 302 ) 의 수지 두께 ( 312 ) 가 100 μ m 로 설정 되 는 경우 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 가 , 상기 한 해당 온도 의 범위 내 에 있 어서 , 불과 1 ℃ 정도 변동 이 있 는 것 만 으로 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 피복 하 는 수지 ( 302 ) 의 두께 변동 이 , 2 μ m 정도 가 되 고 , 그 상대 오 차 가 2 % 로 도 되 어 버린다고 하 는 문제 가 있 었 다 . 그러나 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 수지 피복 동작 을 실시 할 때 마다 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 를 측정 하 여 , 이 동부 ( 50 ) 에 설정 하 는 이 동량 ( 27 ) 을 최적 화 하 므로 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 의 변동 에 기인 하 여 생길 가능 성 이 있 던 웨이퍼 ( 200 ) 에 피복 하 는 수지 ( 302 ) 의 두께 변동 을 , 상대 오 차 환산 으로 큰 폭 으로 저감 할 수 있 다는 것 을 알 수 있 다 .