또한 , 음압 제 어부 ( 12 ) 는 음압 해제 시 , 진공 홀 ( 114 ) 에 대한 음압 세기 를 단계 적 으로 줄여 음압 을 해제 한다 . 음압 제 어부 ( 12 ) 는 음압 해제 시 , 테이블 플레이트 구 조체 ( 11 ) 의 진공 홀 ( 114 ) 이 흡착 하 고 있 던 패키지 ( P ) 의 유동 이 줄어들 도록 음압 을 단계 적 으로 해제 할 수 있 다 .