그리고 , 포토레지스트 패턴 의 측정 을 통해 얻 어 진 임계 치수 데이터 들 은 데이터베이스 에 저장 된다 ( 단계 406 ) . 여기 에서 , 데이터베이스 에 는 패턴 프로 파일 중 사이드 월 앵글 을 구할 수 있 는 포토레지스트 패턴 의 두께 값 이 저장 되 어 있 어 사이드 월 앵글 을 측정 할 수 없 는 CD SEM 에서 도 사이드 월 앵글 을 구할 수 있 다 .