기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 처리 층 ( B 1 ) 에서 현상 처리 된 기판 ( W ) 을 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 복귀 부 ( RT 1 ) 로부터 오프너 ( 13 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로 반송 한다 . 또한 , 처리 층 ( B 2 ) 에서 기판 ( W ) 이 처리 되 었 을 경우 는 , 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 복귀 부 ( RT 2 ) 로부터 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 중 한쪽 의 캐리어 ( C ) 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 또 , 처리 층 ( B 3 ) 에서 기판 ( W ) 이 처리 되 었 을 경우 는 , 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 3 ) 의 복귀 부 ( RT 3 ) 로부터 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 중 한쪽 의 캐리어 ( C ) 로 기판 ( W ) 을 반송 한다 .