세정 은 , 용매 에 의한 용해 와 함께 , 예 를 들 어 수욕 이나 물 을 에어 와 함께 분사 함 으로써 물리 적 으로 오염 을 제거 하 는 것 이 보다 바람직 하 다 . 분사 하 는 용매 는 청 정도 가 높 은 것 을 사용 하 고 , 예 를 들 어 물 이 면 순수 , 바람직 하 게 는 초 순수 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 부언 하 면 , 초 순수 란 , 25 ℃ 에 있 어서 의 저항 값 이 17 M Ω · cm 이상 인 물 을 말 한다 .