도 1 내지 도 5 는 본 발명 의 제 1 실시 예 를 나타낸다 . 도 1 은 본 발명 의 처리 장치 의 개략 적 인 구성 을 나타낸 사시도 로서 , 상기 처리 장치 는 장치 본체 ( 1 ) 를 구비 한다 . 상기 장치 본체 ( 1 ) 는 분할 된 복수 개 의 처리 유닛 , 본 실시 예 에서 는 제 1 내지 제 5 처리 유닛 ( 1 A ~ 1 E ) 를 분해 가능 하 게 일렬 로 연결 하 여 이루어진다 .