아르곤 이 CO 에 대한 첨가제 로 사용 되 면 , 플라 즈 마 에칭 공정 중 에 이온 보조 를 제공 한다 . 이 와 유사 하 게 , 필요 하 면 , N 2 와 같 은 다른 부동 화제 들 이 CO 플 라즈 마 에 첨가 되 어 에칭 및 프로파일 제어 에 도움 을 줄 수 있 다 . 상부 및 하부 티타늄 질화물 층 들 은 종래 의 플루오르 계 화학 물질 을 사용 하 여 에칭 될 수 있 다 . 이러 한 것 은 NiO 에칭 전후 에 수행 되 는 개별 하위 - 단계 들 에서 NiO 에칭 의 일부 로서 이루어질 수 있 다 .