절 연막 ( 701 ) 과 절 연막 ( 703 ) 은 , CVD 법 이나 스퍼터링 법 등 을 사용 하 여 산화 규소 , 질화규소 ( SiNx , Si 3 N 4 등 ) , 산화 질화규소 ( SiOxNy ) ( x ＞ y ＞ 0 ) , 질화 산화 규소 ( SiNxOy ) ( x ＞ y ＞ 0 ) 등 의 절연 성 을 가지 는 재료 를 사용 하 여 형성 한다 .