도 21 은 도 13 의 제 2 - 8 단계 ( S 28 ) 를 나타내 는 도면 이 다 . 제 2 니켈 기판 ( 180 ) 은 나노 - 마이크 로 복합 패턴 을 갖 는 금형 으로서 , 제 3 감광제 패턴 ( 170 ) 위 에 금속 층 을 성장 시켜 금속 기판 을 제작 한다 . 여기 서 사용 되 는 금속 은 니켈 또는 니켈 합금 으로 이루어질 수 있 으며 , 전 주도 금 공정 을 이용 하 여 제작 되 는 금속 기판 은 제 2 니켈 기판 ( 180 ) 이 된다 .