개구 의 바닥 면적 은 0 . 01 ㎜ 2 이 하 여도 좋 고 , 바람직 하 게 는 1600 ㎛ 2 이 하 여도 좋 으며 , 보다 바람직 하 게 는 900 ㎛ 2 이 하 여도 좋 다 . 상기 면적 이 0 . 01 ㎜ 2 이 하인 경우 에 는 , 상기 면적 이 0 . 01 ㎜ 2 보다 큰 경우 에 비하 여 개구 의 내부 에 형성 되 는 Ge 층 의 어닐링 처리 에 필요 한 시간 을 단축 시킬 수 있 다 . 또한 , 기능 층 과 기판 의 열팽창 계수 의 차 가 큰 경우 에 는 , 열 어닐링 처리 에 의해 기능 층 에 국부 적 인 휨 이 생기 기 쉽 다 . 이러 한 경우 에 도 , 개구 의 바닥 면적 을 0 . 01 ㎜ 2 이하 로 함 으로써 그 휨 에 의해 기능 층 에 결정 결함 이 생기 는 것 을 억제 할 수 있 다 .