영국 특허 GB 2 290 413 에 는 , 불소 를 공급 하 는 가스 ( 예컨대 , SF 6 또는 NF 3 ) 또는 테플론 ( RTM ) 을 형성 하 는 부동태화 가스 ( 예컨대 , CHF 3 , C 2 F 6 , C 2 F 4 또는 C 4 F 8 ) 를 사용 하 여 제 1 식각 단계 에서 트렌치 를 생성 함 으로써 실리콘 구 조체 를 처리 하 는 방법 이 개시 되 어 있 다 . 그 다음 에 는 , 추가 적 등방성 플 라즈 마 식각 단계 에 의해 언더 에 칭이 발생 한다 . 이렇게 제조 된 구조 체 는 가속 센서 로서 사용 될 수 있 다 .