반도체 제조 장치 ( 1 ) 는 로드 모듈 ( 10 ) , 로드 락 모듈 ( 30 ) , 이송 모듈 ( 50 ) , 공정 모듈 ( 70 ) 의 동작 을 제어 하 기 위한 제 어부 ( 미 도시 ) 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 어부 는 일반 PC ( Personal Computer ) , 워크스테이션 ( workstation ) , 슈퍼컴퓨터 등 으로 구성 될 수 있 다 .