이어서 , 분리 절 연막 ( 26 ) 과 식각 배리 어막 ( 25 ) 을 순차 적 으로 건식 식각 하 여 스토리지 노드 콘 택 플러그 ( 23 ) 의 표면 을 노출 시키 는 오픈 영역 ( 27 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 오픈 영역 ( 27 ) 형성 을 위한 건 식식 각 은 식각 배리 어막 ( 25 ) 에서 식각 이 정지 할 때 까지 분리 절 연막 ( 26 ) 을 식각 하 고 , 연속 해서 식각 배리 어막 ( 25 ) 을 식각 한다 .