유지 테이블 ( 32 ) 은 , 유지 면 ( 321 ) 에 제 2 반송 유닛 ( 52 ) 에 의해 반송 되 어 온 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 의 익스 팬 드 시트 ( 3 ) 를 통해 피 가 공물 ( 2 ) 의 이면 ( 8 ) 측 이 재치 된다 . 유지 테이블 ( 32 ) 은 , 유지 면 ( 321 ) 의 흡착 부 가 진공 펌프 등 으로 구성 된 흡 인부 ( 322 ) 와 접속 되 고 , 흡 인부 ( 322 ) 에 의해 유지 면 ( 321 ) 의 흡착 부 가 흡인 됨 으로써 , 피 가 공물 ( 2 ) 의 이면 ( 8 ) 측 을 유지 면 ( 321 ) 에 흡인 유지 한다 .