도 24 는 본 발명 의 제 2 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 을 나타낸다 . 이 실시 형태 에서 는 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 를 거쳐서 로더 모듈 ( 22 ) 에 연결 되 는 대신 에 , 연결 챔버 ( 96 ) 를 거쳐서 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 에 연결 된다 . 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 높이 가 다르 므로 , 연결 챔버 ( 96 ) 에 는 기판 ( W ) 을 승강 하 게 하 기 위한 승강 기구 ( 엘리베이터 ) 가 마련 된다 .