본원 에 개시 된 방법 은 적어도 약 2 . 1 g / cc 의 밀도 ; 1 : 100 의 HF 대 물 희석 HF ( 0 . 5 중량 % dHF ) 산 의 용액 중 에서 측정 하 는 경우 약 2 . 5 Å / s 미만 인 습식 에칭 률 ; 약 1 e - 8 A / ㎠ 미만 내지 6 MV / cm 의 전기 적 누출 ; 및 2 차 이온 질량 분광법 ( SIMS ) 에 의해 측정 하 는 경우 약 5 e 20 at / cc 미만 의 수소 불순물 의 특징 들 중 적어도 하나 를 포함 하 는 산화 규소 막 을 형성 한다 .