도 24 에 도시 한 바 와 같이 , 절연 기판 ( 110 ) 위 에 게이트 전극 ( 124 ) 및 끝 부분 ( 129 ) 을 포함 하 는 복수 의 게이트 선 ( 121 ) 과 유지 전극 ( 133 a , 133 b ) 을 포함 하 는 복수 의 유지 전 극선 ( 131 ) 을 형성 하 고 , 그 위 에 게이트 절 연막 ( 140 ) , 진성 비정질 규소 층 ( 150 ) 및 불순물 이 도핑 된 비정질 규소 층 ( 160 ) 을 차례 로 형성 한다 .