기판 컨테이너 ( 100 ) 에 는 하부 에 가스 공급 홀 ( 122 ) 이 설치 되 어 있 을 수 있 다 . 가스 공급 홀 ( 122 ) 에 기판 컨테이너 ( 100 ) 내부 로 퍼지 가스 를 공급 할 수 있 는 퍼지 가스 공급 부 ( 미 도시 ) 가 연결 되 어 있 을 수 있 다 . 기판 컨테이너 ( 100 ) 에 퍼지 가스 를 공급 할 경우 반도체 소자 제조 공정 동안 에 기판 ( 도 1 내지 도 3 의 102 ) 의 오염 을 방지 할 수 있 다 .