그 때문 에 , 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 로부터 프로세스 스테이지 로 전달 할 때 , 웨이퍼 W 가 프로세스 스테이지 에 대해 어긋나 버리 면 , 웨이퍼 W 의 중심 이 프로세스 스테이지 의 축심 과 어긋나 버린다 . 혹은 상술 한 센터 링 스테이지 회전 기구 , 및 이동 기구 등 에 파손 및 / 또는 고장 이 발생 하 면 , 웨이퍼 W 의 중심 이 프로세스 스테이지 의 축심 으로부터 어긋난 상태 에서 , 웨이퍼 W 가 센터 링 스테이지 로부터 프로세스 스테이지 로 전달 될 우려 가 있 다 . 또한 , 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 계산 하 는 알고리즘 에 오류 ( 예 를 들 어 , 프로그램 상 의 버그 ) 가 있 으면 , 편심 검 출부 에 의해 결정 된 편 심량 및 편심 방향 자체 가 틀렸 을 가능 성 이 있 다 . 편심 검 출부 에 의해 취득 된 편 심량 및 편심 방향 이 틀렸으면 , 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 의 축심 에 정확 하 게 일치 시킬 수 없 다 .