마이크 로 리소그래피 용 조명 광학 소자 는 오브젝트 면내 에서 조명 될 오브젝트 필드 ( 19 ) 에 조명 광 을 가이드 하 기 위한 광학 조립 체 를 포함 한다 . 본 발명 의 제 1 양태 에 따르 면 , 조명 광학 소자 ( 26 ) 는 조명 광 방사 다발 ( 3 ) 을 , 오브젝트 필드 조명 의 상이 한 조명 각도 들 로 할당 되 는 , 복수 의 방사 서브 다발 들 ( 28 내지 30 ) 로 분할 한다 . 조명 광학 소자 ( 26 ) 는 , 방사 서브 다발 들 ( 28 내지 30 ) 의 적어도 일부 가 , 오브젝트 면 으로부터 이격 되 고 중첩 이 일어나 는 오브젝트 면 ( 17 ) 으로 이미 징 되 지 않 는 중첩 면 ( 16 ) 에 겹쳐지 도록 구성 된다 . 이러 한 중첩 은 , 겹쳐진 방사 서브 다발 들 ( 28 내지 30 ) 의 에지 들 ( 32 ) 이 적어도 부분 적 으로 일치 하 도록 되 어 있 다 . 본 발명 의 다른 양태 에 따르 면 , 필드 강도 설정 디바이스 ( 24 ) 는 , 그곳 에 노출 되 었 을 때 의 조명 광 ( 3 ) 을 적어도 감쇠 시키 는 복수 의 인접 한 개별 적 인 다이어프램 들 ( 27 ) 을 포함 한다 . 이 들 개별 적 인 다이어프램 들 ( 27 ) 은 , 오브젝트 변위 방향 ( y ) 에 나란 한 방향 으로 조명 광 방사 다발 ( 3 ) 내 로 삽입 가능 하 다 . 필드 강도 설정 디바이스 ( 24 ) 의 모든 개별 적 인 다이어프램 들 ( 27 ) 은 하나 의 그리고 동일 한 측 으로부터 조명 광 방사 다발 ( 3 ) 내 로 삽입 될 수 있 다 .