분사 유닛 은 원료 물질 을 가열 하 기 위한 히터 ( 미 도시 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 히터 는 증착 챔버 ( 100 ) 로 이동 되 는 저장 용기 ( 500 ) 를 가열 시키 도록 증착 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 에 설치 될 수 있 다 . 히터 는 저장 용기 ( 500 ) 가 노즐 ( 720 ) 에 부착 되 는 경우 , 부착 된 저장 용기 ( 500 ) 의 외주 면 을 둘러싸 도록 설치 될 수 있 으며 , 히터 는 저장 용기 ( 500 ) 를 가열 하 여 저장 용기 ( 500 ) 에 저장 되 는 분말 형태 의 원료 물질 을 기화 시키 는 역할 을 한다 .