상기 한 실시 형태 1 내지 5 에서 는 , 복수 의 제어판 ( 80 ) 은 그 주면 이 YZ 면 과 평행 하 게 되 도록 배치 했 지만 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 복수 의 제어판 ( 80 ) 을 그 주면 이 Y 축 과 평행 하 고 또 한 기판 ( 10 ) 의 피 증착 면 ( 10 e ) 에 대하 여 경사지 게 해서 배치 해도 된다 . 복수 의 제어판 ( 80 ) 은 서로 평행 한 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 , 복수 의 제어판 ( 80 ) 을 경사지 게 한 경우 , 실시 예 1 내지 5 에서 설명 한 각 식 은 , 그 변수 에 실효 적 인 치수 등 을 대입 해서 적용 하 면 된다 .