다음 , 웨이퍼 두께 계측기 를 이용 하 여 해당 화학 적 기계 적 연마공 정 이 완료 된 웨이퍼 ( 30 ) 전면 의 두께 를 계측 하 고 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 전면 의 두께 가 동일 또는 유사 한지 를 판단 한다 ( S 20 ) . 여기 서 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 중심 ( Center ) 부분 을 기준 으로 플랫 존 또는 노치 가 형성 된 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 가장자리 부분 을 바닥 ( Bottom ) , 오른쪽 ( Right ) , 왼쪽 ( Left ) , 탑 ( Top ) 으로 나누 어 두께 를 계측 할 수 있 다 .