마스크 ( 1 ) 의 재질 은 석영 글 래스 이 며 한 면 에 는 크롬 이 도포 되 어 있 다 . 도포 된 크롬 의 라인 빔 ( 4 ) 을 투과 시키 려는 부분 , 즉 가공 하 려는 도체 패턴 과 상사형 ( 여기 에서 는 , 5 배 ) 의 부분 은 크롬 이 깎 아 내 어 져 있 다 . 본 실시 예 에서 의 마스크 ( 1 ) 의 크롬 이 깎 아 내 어 져 있 는 도면 에서 점선 으로 나타낸 범위 ( 2 ) ( 이하 , 「 패턴 사이즈 」 라고 함 ) 는 125 ㎜ × 125 ㎜ 이 다 . 마스크 ( 1 ) 는 도시 를 생략 하 는 이동 수단 에 의해 조사 위치 가 고정 된 라인 빔 ( 4 ) 의 짧 은 변 에 평행 한 X 방향 및 라인 빔 ( 4 ) 의 긴 변 에 평행 한 Y 방향 으로 이동 가능 하 다 .