본 발명자 들 은 , 금번 , Ta 2 O 5 - Nb 2 O 5 - SnO 2 소 결체 에 있 어서 , Ta 2 O 5 첨가량 을 1 . 5 ~ 3 . 5 질량 % 로 , Nb 2 O 5 첨가량 을 0 . 25 ~ 2 질량 % 로 특정 하 는 것 에 의해 , 항절 강도 가 우수 하 고 , 또한 응 집상 이 실질 적 으로 없 는 SnO 2 계 소 결체 를 얻 을 수 있 다는 것 과 함께 , 이것 을 스퍼터링 타 겟 트 로 사용 하 면 , 스퍼터링 중 의 이상 방전 을 저감 하 면서 , 가열 처리 없이 도 낮 은 막비 저항 을 갖 고 , 또한 그 후 의 가열 처리 에 따른 비저항 변화 가 작 으며 , 내열성 이 우수 한 스퍼터 막 을 얻 을 수 있 다는 것 을 알아냈 다 .