또한 , 도 6 을 이용 하 여 설명 한 반송 방법 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 경유 지점 이 2 개 설정 되 는 것 에 대하 여 , 본 반송 방법 에서 는 1 개 만 설정 된다 . 반송 중 의 웨이퍼 ( W ) 의 경유 지점 이 적 을수록 , 고정 밀도 로 웨이퍼 반송 을 실행 할 수 있 는 바 , 본 반송 방법 에서 는 상기 경유 지점 이 1 개 로 적 으므로 , 보다 고정 밀도 로 웨이퍼 반송 을 실행 할 수 있 다 .