다음 으로 , 본 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 에 있 어서 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 와 계측 스테이지 ( MST ) 를 사용 한 병행 처리 동작 에 대하 여 , 도 14 ∼ 도 24 에 기초 하 여 설명 한다 . 또한 , 이하 의 동작 중 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 국소 액침 장치 ( 8 ) 의 액체 공급 장치 ( 5 ) 및 액체 회수 장치 ( 6 ) 의 각 밸브 의 개폐 제어 가 전술 한 바 와 같이 실시 되 고 , 투영 광학계 ( PL ) 의 선단 렌즈 ( 191 ) 의 사 출면 측 에 는 항상 물 이 채워져 있 다 . 그러나 , 이하 에서 는 , 설명 을 알 기 쉽 게 하 기 위해서 , 액체 공급 장치 ( 5 ) 및 액체 회수 장치 ( 6 ) 의 제어 에 관한 설명 은 생략 한다 . 또한 , 이후 의 동작 설명 은 다수 의 도면 을 사용 하 여 실시 하 는데 , 도면 마다 동일 한 부재 에 부호 가 부여 되 어 있 거나 , 부여 되 어 있 지 않 다 . 즉 , 도면 마다 기재 되 어 있 는 부호 가 상이 하 지만 , 그 들 도면 은 부호 의 유무 에 관계없이 동일 구성 이 다 . 지금 까지 설명 에 사용 한 각 도면 에 대해서 도 동일 하 다 .