챔버 ( 10 ) 의 측벽 에 는 개구 ( 12 p ) 가 형성 되 어 있 다 . 개구 ( 12 p ) 는 챔버 본체 ( 12 ) 에 의해 제공 되 고 있 다 . 개구 ( 12 p ) 는 게이트 밸브 ( 12 g ) 에 의해 개폐 가능 하 다 . 기판 ( W , " "" 웨이퍼 "" 라고도 함 ) 은 내부 공간 ( 10 s ) 과 챔버 ( 10 ) 외부 간 에 반송 될 때 에 개구 ( 12 p ) 를 통과 한다 . "