본 발명 에 있 어서 , 서브 전극 측면 에 돌출 되 어 형성 되 는 제 1 돌기 ( 264 a , 274 a ) 와 제 2 돌기 ( 264 b , 274 b ) 는 측면 이 직선형 인 것 이 바람직 하 지만 , 끝단 의 형태 는 직선 이 아닌 경우 도 무방 하 다 . 예 를 들 어 도 11 에 도시 한 바 와 같이 돌기 ( 264 a ', 274 b ') 의 끝단 이 호 ( 弧 ) 형 인 경우 , 원형 내지 타원 형 플 라즈 마 방전 형성 에 효과 적 이 다 .