또한 , 상기 와 같 은 종래 의 간섭 노광 계 나 여타 의 간섭계 , 분광계 에서 소오 스 광원 으로 UV ( ultraviolet ) 나 IR ( infrared ) 영역 의 비 가 시광 레이저 를 사용 하 는 경우 광학계 얼라인 ( align ) 시 레이 저광 의 세기 나 간섭 신호 의 폭 조절 이 불가 하 여 동일 폭 의 패 터닝 만 이 가능 하 였으며 1 회 얼라 인 만 이 가능 한 문제점 이 있 었 다 .