실시 예 1 의 경우 98 % 의 상대 밀도 를 갖 더라도 시간 당 0 . 6 g / m 2 의 식각 량 으로 , 비 교예 1 및 비 교예 2 와 같 은 이트리아 와 비교 하 였을 때 플 라즈 마 에 대하 여 현저히 적 은 식각 량 을 보이 며 , 비 교예 3 및 비 교예 4 의 스피넬 과 비교 하 였을 때 에 는 큰 차이 가 없 는 식각 량 을 보인다 .