제 1 및 제 2 촬상 장치 ( 43 A , 43 B ) 에 의한 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 화상 은 , 동일 한 시간 간격 이나 동일 한 실장 횟수 로 반복 해서 받아들이 도록 하 여도 좋 고 , 시간 의 경과 마다 그 간격 또는 횟수 를 크 게 하 거나 혹은 반 대로 작 게 하 도록 하 여도 좋 다 . 예컨대 , 가압 툴 ( 41 a ) 에 내장 된 히터 ( 41 c ) 의 열 에 의한 팽창 으로 촬상부 ( 43 a , 43 e 1 , 43 e 2 ) 의 상대 위치 관계 가 변화 되 는 경우 , 히터 ( 41 c ) 의 온도 가 일정 온도 로 유지 되 고 있 으므로 , 열팽창 은 포화 상태 가 된다고 생각 되 기 때문 에 , 열팽창 량 의 증가 상태 에 맞춰 시간 간격 또는 실장 횟수 를 서서히 증가 시키 도록 하 여도 좋 다 . 한편 , 촬상부 ( 43 a , 43 e 1 , 43 e 2 ) 의 상대 위치 관계 의 변화 가 포화 되 는 일 없이 완만 하 게 변동 을 계속 하 는 경우 , 시간 간격 또는 실장 횟수 는 소정 의 값 으로 고정 적 으로 설정 하 도록 하 여도 좋 다 .