유리 기판 에 는 , 열팽창 계수 가 25 × 10 - 7 / ℃ 이상 50 × 10 - 7 / ℃ 이하 ( 바람직 하 게 는 , 30 × 10 - 7 / ℃ 이상 40 × 10 - 7 / ℃ 이하 ) 이 며 , 왜곡 점 이 580 ℃ 이상 700 ℃ 이하 인 기판 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 반도체 소자 의 오염 을 억제 하 기 위해 , 유리 기판 은 무 알칼리 유리 기판 인 것 이 바람직 하 다 . 무 알칼리 유리 기판 의 재료 에 는 , 예 를 들 면 알루미노 실리케이트 유리 , 알루미노 붕 규산 유리 , 바륨 붕 규산 유리 등 의 유리 재료 등 이 있 다 .