또한 , 기부 ( 21 ) 에 는 , 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 를 연통 하 는 연결로 ( 29 b ) 가 , 적 재면 ( 21 a ) 에 적재 되 는 기판 ( 3 ) 의 직경 방향 을 따라 마련 되 어 있 다 . 연결로 ( 29 b ) 는 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 는 오 목부 로서 마련 되 어 있 고 , 단면 형상 이 각 홈 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 를 따라 흐르 는 전열 가스 는 , 연결로 ( 29 b ) 를 통해서 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) 와 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 에 서로 유입 된다 . 제 1 내측 확산 부 ( 28 b 1 ) , 제 2 내측 확산 부 ( 28 b 2 ) 및 연결로 ( 29 b ) 는 , 내측 영역 ( F 2 ) 을 둘러싸 도록 배치 되 어 있 으므로 , 결과 적 으로 , 내측 영역 ( F 2 ) 전체 의 컨덕턴스 가 향상 되 게 되 고 , 내측 영역 ( F 2 ) 내 에서 의 압력 이 균일 화 된다 .