도 4 및 도 5 는 본 개시 의 구 현예 에 따른 레지스 트 없 는 패 터닝 방법 을 나타낸다 . 도 4 및 도 5 에 걸쳐 , 하 기 번호 는 다음 과 같이 고정 된다 : 410 - 복사 개질 가능 층 ; 411 - 복사선 개질 층 부분 ; 412 - 비 개질 층 부분 ; 420 - 하부 층 ; 430 - 기판 ; 440 - 희생 마스킹 층 ; 450 - 오 목부 .