기판 처리 시스템 은 , 미리 정해진 프로세스 에 포함 되 는 각 단계 가 상이 한 제어 조건 하 에서 실행 된 경우 의 , 각 단계 의 프로세스 데이터 를 취득 하 는 취득 부 와 , 각 단계 를 , 상기 프로세스 데이터 가 변동 하 는 제 1 구간 과 , 상기 프로세스 데이터 의 변동 이 수속 ( 收束 ) 되 는 제 2 구간 으로 나누 고 , 상기 프로세스 데이터 중 , 상기 제 1 구간 에 속하 는 제 1 데이터 와 , 제 2 구간 에 속하 는 제 2 데이터 를 추출 하 는 추출 부 와 , 상기 제 1 데이터 를 평가 하 는 평가 값 과 상기 제 2 데이터 를 평가 하 는 평가 값 중 어느 한 쪽 또는 양쪽 을 , 대응 하 는 상하 한 값 과 대비 ( 對比 ) 함 으로써 , 상기 프로세스 데이터 를 감시 하 는 감시 부 를 갖 는다 .