[ 0076 ] 프로세싱 챔버 ( 716 ) 는 기판 을 가열 하 는 제 어식 열 사이클 을 제공 하 도록 구성 된 열 프로세스 챔버 일 수 있 다 . 예컨대 , 프로세싱 챔버 ( 716 ) 는 도 6 에 도시 된 프로세싱 시스템 ( 600 ) 과 유사 한 열 프로세스 챔버 일 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 프로세싱 챔버 ( 716 ) 는 , 캘리포니아 , 산타클라라 의 어 플 라이드 머 티어리 얼스 , 인 코포 레이티 드 로부터 입수 가능 한 VANTAGE ® RADOXTM RTP 챔버 이 다 . 프로세싱 챔버 ( 716 ) 는 , 블록 ( 110 ) 에서 위 에서 논의 된 바 와 같이 , 증착 후 의 하류 프로세싱 , 이를테면 , 열 어닐링 , 열 세정 , 열 화학 기상 증착 , 열 산화 , 또는 열 질화 를 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 다 .