도 8 에서 와 같이 , 제 1 , 2 원통형 격벽 ( 410 a , 410 b ) 은 기판 이 기판 지지 부 ( 210 ) 에 놓여 지 면 ( 공정 진행시 ) , 제 1 , 2 구 동부 ( 420 a , 420 b ) 에 의해 격리 위치 로 승 , 하강 된다 . 제 1 , 2 원통형 격벽 ( 410 a , 410 b ) 이 격리 위치 로 이동 되 었 을 때 서로 맞붙 게 되 면서 , 플라 즈 마 소스 부 ( 500 ) 와 기판 지지 부 ( 210 ) 사이 의 공간 ( b ) 을 밀폐 시킨다 .