웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 에 의해 유지 된 웨이퍼 ( W ) 의 하면 과 , 이 웨이퍼 ( W ) 의 하면 에 대향 하 는 컵 체 ( 2 ) 의 내주 측 부분 ( 21 ) 의 상면 ( 211 ) 과 의 사이 에 는 , 비교 적 작 은 ( 예 를 들 면 2 ~ 3 mm 정도 의 높이 의 ) 간극 이 형성 된다 . 웨이퍼 ( W ) 에 대향 하 는 상면 ( 211 ) 에 는 2 개 의 가스 토출구 ( 212 , 213 ) 가 개구 되 어 있 다 . 이 들 2 개 의 가스 토출구 ( 212 , 213 ) 는 동심 의 대경 의 원주 및 소경 의 원주 를 따라 각각 연속 적 으로 연장 되 어 있 고 , 반경 방향 외향 으로 , 또한 기울기 상 방향 으로 , 웨이퍼 ( W ) 의 하면 을 향해 핫 N 2 가스 ( 가열 된 질소 가스 ) 를 토출 한다 .