본 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 각각 XY 평면 위 에서 노광 광 ( EL ) 의 조사 영역 이 X 축 및 Y 축 방향 에 관해서 다른 위치 에 배치 되 는 복수 ( 본 례 에서 는 8 개 ) 의 투영 계 ( PLa ~ PLh ) 를 구비 하 고 있 다 . 이하 의 설명 에 있 어서 는 , 8 개 의 투영 계 ( PLa ~ PLh ) 의 각각 을 적절히 제 1 ~ 제 8 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 이 라고 칭한다 . 또 , 이하 에 있 어서 는 , 투영 모듈 을 설명 할 경우 에 제 1 투영 모듈 ( PLa ) 에 대해 주로 설명 하 는 경우 가 있 지만 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 각 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 은 거의 같 은 구성 을 가진다 .