즉 , 상대 적 으로 넓 은 폭 을 갖 고 제 1 게이트 구조물 ( 222 a ) 들 외곽 에 하나 로 만 형성 된 제 2 게이트 구조물 ( 224 a ) 혹은 제 3 게이트 구조물 ( 226 a ) 과 제 1 게이트 구조물 ( 222 a ) 사이 에 제 3 절 연막 ( 230 ) 이 증착 되 는 경우 , 좁 은 폭 을 갖 고 복수 개 로 형성 된 제 1 게이트 구조물 들 ( 222 a ) 사이 에 제 3 절 연막 ( 230 ) 이 증착 되 는 경우 에 비해 상대 적 으로 증착 영역 이 작 으므로 , 제 3 절 연막 ( 230 ) 이 두껍 게 형성 되 어 제 3 에어 갭 ( 245 a ) 은 제 1 에어 갭 ( 240 a ) 의 폭 에 비해 작 거나 혹은 동일 한 폭 을 가질 수 있 다 .