이 경우 , 소수 화제 가 기판 에 공급 된 후 에 , 건조제 가 기판 에 공급 된다 . 이 에 의해 , 기판 에 보유 되 어 있 는 액체 가 건조제 로 치환 된다 . 그 후 , 건조제 가 기판 으로부터 제거 되 어 , 기판 이 건조 된다 . 건조제 는 물 을 포함 하 지 않 고 있 기 때문 에 , 소수 화제 가 공급 된 기판 에 건조제 가 접촉 함 으로써 , 기판 에 대한 처리 액 의 접촉각 이 감소 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 따라서 , 기판 을 건조 시켰 을 때 에 , 패턴 이 도괴 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 다 . 또한 , 건조제 는 물 보다 도 비점 이 낮 기 때문 에 , 건조 에 필요 한 시간 을 단축 할 수 있 다 .