도 4 a 내지 도 4 g 를 참조 하 면 , 먼저 유리 기판 ( 10 ) 을 준비 하 고 ( 도 4 a ) , 유리 기판 의 상부 면 에 접착제 ( 13 ) 를 화학 증착 ( Chemical Vapor Deposition ) 한다 ( 도 4 b ) . 상기 접착제 ( 13 ) 는 임프 린트 공정 과정 에서 스탬프 의 기판 ( 10 ) 에서 실리콘 화합물 ( 12 ) 막 이 분리 되 는 것 을 방지 한다 . 상기 접착제 ( 13 ) 의 재료 로 는 예 를 들 면 , PDMS ( Polydimethylsiloxane ) 일 수 있 다 . PDMS 는 표면 을 플라스마 처리 를 하 게 되 면 , 그 표면 이 산화 되 어 친수 성 으로 표면 특성 이 변화 됨 과 동시 에 유리 나 다른 PDMS 재질 과 접합 력 이 발생 하 는 특성 이 있 다 .