제 2 가스 공 급구 ( 22 ) 는 제 1 방향 ( x 축 방향 ) 에 교차 하 는 제 2 방향 ( y 축 방향 ) 으로 하우징 ( 20 ) 을 관통 하 여 과불 화합물 ( PFCs ) 을 포함 하 는 대상 가스 를 내부 통로 ( P ) 에 공급 한다 . 즉 제 2 가스 공 급구 ( 22 ) 는 과불 화합물 ( PFCs ) 이 포함 된 공정 가스 를 공급 한다 .