TaNx 물질 을 포함 하 는 상기 하나 의 전도성 라이너 층 의 두께 는 바람직 하 게 는 대략 3 nm 이하 이 다 . 바람직 하 게 는 , TaNx 물질 을 포함 하 는 상기 전도성 라이너 층 의 질소 농도 는 그 두께 를 통해 불 규칙 적 으로 분포 되 어 , 최종 적 인 이중 다 마신 개구 의 표면 을 접촉 하 는 층 의 질소 농도 가 그 반대편 층 의 농도 보다 높 다 .