신규 한 독 - 차단 조성물 및 상기 조성물 을 사용 하 여 독 - 차단 층 을 형성 하 는 방법 이 제공 된다 . 조성물 은 전형 적 인 마이크 로 리소그래피 공정 에서 사용 되 는 전형 적 인 조성물 을 포함 하 지만 , 독 - 차단 첨가제 가 상기 조성물 에 포함 된다 . 바람직 한 첨가제 는 하나 이상 의 블록 킹 된 이 소시아 네이트 를 포함 하 는 화합물 이 다 . 특정 온도 에서 가열 시 , 블록 킹 그룹 이 이 소시아 네이트 로부터 방출 되 어 , 전형 적 인 절연 층 에 의하 여 생성 된 독성 아민 과 매우 반응 성 인 부분 을 남긴다 .