도 3 을 참조 하 면 , 디파 짓 단계 , 제거 단계 , 식각 단계 를 통해 상기 나노 웰 구조 ( 147 ) 가 형성 된 상기 작동 전극 ( 140 ) 이 제조 된다 . 상기 디파 짓 단계 는 금속 층 ( 141 ) 상부 에 산화 막 ( 142 ) 을 형성 하 고 , 상기 산화 막 ( 142 ) 상부 에 포토레지스트 ( PR ) ( 143 ) 를 스핀코팅 하 는 단계 이 다 .