플라 즈 마 발생 장치 ( 110 ) 는 제조 설비 ( 미 도시 ) 와 연결 되 어 제조 설비 로부터 제조 에 사용 되 는 가스 및 가스 에 포함 되 는 잔류물 을 제공 받 으며 , 제공 받 은 가스 및 가스 잔류물 을 플 라즈 마로 변환 하 고 , 플라 즈 마 변환 시 발생 되 는 광 ( Emission Light ) 을 분석 장치 ( 140 ) 에 제공 한다 . 이 를 위해 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 110 ) 는 제 1 케이스 ( 102 ) 외부 에 형성 되 는 외부 연결기 ( External Coupling : 115 ) 를 포함 하 여 구성 되 고 , 이 외부 연결기 ( 115 ) 에 의해 제조 설비 와 결합 되 어 , 외부 연결기 ( 115 ) 의 가스유 입구 ( 116 ) 를 통해 가스 및 잔류물 을 공급 받 는다 . 이 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 는 가스 및 가스 잔류물 을 플 라즈 마 상태 로 변환 하 기 위해 일정 한 주파수 의 무선 주파수 ( Radio Frequency : RF ) 를 플 라즈 마 발생 장치 내부 로 유입 된 가스 및 잔류물 에 공급 한다 . 그리고 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 110 ) 는 고주파 신호 ( RF ) 에 의해 가스 및 가스 잔류물 이 플라 즈 마 상태 로 변환 되 면서 발생 하 는 광 ( EL ) 을 광섬유 ( 170 ) 를 통해 분석 장치 ( 140 ) 에 제공 한다 . 이 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 에 대해서 는 도 4 를 참조 하 여 상세히 설명 하 기 로 한다 .