도 11 을 참조 하 면 , 회절 격자 ( 113 ) 아래 의 반도체 기판 ( 100 ) 내 에 반사체 ( 230 ) 가 배치 된다 . 상기 반사체 ( 230 ) 는 격자 형태 를 갖 는다 . 구체 적 으로 , 상 기 반사체 ( 230 ) 는 복수 의 옆 으로 이격 된 돌출부 들 을 포함 한다 . 상기 반사체 ( 230 ) 의 경사 면은 상기 반사체 ( 230 ) 의 돌출부 들 의 상부 면 및 양 측벽 을 포함 한다 . 상기 반사체 ( 230 ) 는 도 9 의 반사체 ( 220 a ) 과 동일 한 물질 로 형성 될 수 있 다 .