오 존수 살포 노즐 ( 22 ) 은 오 존수 내 부관 ( 21 ) 의 길 이 방향 을 따라 오 존수 내 부관 ( 21 ) 에 여러 개 설치 되 어 해당 위치 에서 부상 하 는 폐가스 를 향해 오 존수 를 살포 한다 . 도 1 과 같 을 경우 , 부상 하 는 폐가스 는 여러 번 오 존수 에 의해 샤워 ( shower ) 될 수 있 다 . 따라서 처리 효율 이 높 아 진다 . 오 존수 살포 노즐 ( 22 ) 의 단부 는 방사상 으로 확장 되 어 오 존수 가 넓 게 퍼지 면서 살포 될 수 있 는 구조 를 갖 으며 오존 공급 관 ( 23 a ) 를 통해 세정액 을 오 존수 화 한다