온도 제어 장치 ( 140 ) 는 히터 부 ( 142 ) 와 온도 제 어부 ( 144 ) 를 포함 한다 . 히터 부 ( 142 ) 는 척 ( 130 ) 의 내부 에 형성 된다 . 히터 부 ( 142 ) 는 예 를 들 어 , 열선 일 수 있 으며 코일 의 형상 일 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 않 는다 . 히터 부 ( 142 ) 는 척 ( 130 ) 의 내부 에 설치 되 어 척 을 가열 할 수 있 는 모든 물질 이 사용 될 수 있 다 . 도면 으로 도시 하 지 는 않 았 지만 , 온도 제어 장치 ( 140 ) 는 로봇 암 ( 120 ) 의 내부 에 히터 부 ( 142 ) 와 온도 제 어부 ( 144 ) 를 전기 적 으로 연결 하 는 도선 을 더 포함 할 수 있 다 .