도 9 는 용량 성 소자 ( 134 ) 의 제 6 예시 적 인 실시 예의 바람직 한 예의 단면 을 , 특히 , 횡 방향 의 광학 센서 ( 160 ) 에 사용 하 기 위해 , 개략 적 인 방식 으로 도시 하 는 한편 , 도 9 b 및 도 9 c 는 본 실시 예 에 따른 배열 을 나타내 는 용량 성 소자 ( 134 ) 에 대하 여 획득 된 실험 결과 를 제공 한다 .