제 2 액체 가 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 외방 으로 흐름 에 따라 , 도 7 e 및 도 8 c 에 나타내 는 바 와 같이 , 링 형상 의 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 내경 및 외경 은 증가 한다 . 즉 , 구멍 ( H ) 의 외측 둘레 ( 즉 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 내주 ) 가 확산 된다 ( 구멍 확대 공정 ( S 10 ) ) . 기판 ( W ) 의 상면 외 주부 상 의 제 1 액체 는 제 2 액체 에 의해서 외방 으로 밀려 기판 ( W ) 으로부터 배제 된다 .