일 실시 예 에서 , 게이트 전극 ( 140 ) 은 다 중층 으로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 게이트 전극 ( 140 a 1 ) 은 , 제 1 절 연막 ( 130 ) 과 제 2 절 연막 ( 150 ) 의 사이 에 배치 된 하부 전극 ( 140 a 1 _ 1 ) 과 , 상기 하부 전극 ( 140 a 1 _ 1 ) 에 연결 되 며 제 2 절 연막 ( 150 ) 상 에 배치 된 상부 전극 ( 140 a 1 _ 2 ) 을 포함 한 다중 층 으로 이루어질 수 있 다 . 유사 하 게 , 제 2 게이트 전극 ( 140 a 2 ) 은 , 제 1 절 연막 ( 130 ) 과 제 2 절 연막 ( 150 ) 의 사이 에 배치 된 하부 전극 ( 140 a 2 _ 1 ) 과 , 상기 하부 전극 ( 140 a 2 _ 1 ) 에 연결 되 며 제 2 절 연막 ( 150 ) 상 에 배치 된 상부 전극 ( 140 a 2 _ 2 ) 을 포함 한 다중 층 으로 이루어질 수 있 다 . 게이트 전극 ( 140 ) 이 다 중층 으로 이루어지 면 , 상기 게이트 전극 ( 140 ) 및 이 에 연결 되 는 게이트 노드 ( 일 예 로 , 제 1 노드 ( N 1 ) ) 의 저항 을 낮출 수 있 다 .