그리고 , 고무 롤러 ( 80 b ) 가 고무 롤러 ( 80 a ) 로부터 이 간 되 는 방향 으로 퇴피 해서 클램프 가 해제 됨 과 아울러 , 기판 반송 롤러 ( 90 a ) 의 회전 이 저 속 으로 다시 개시 되 어 긴 형상 의 감광성 웹 ( 22 ) 이 유리 기판 ( 24 ) 에 라미네 이 트 된 감광성 적층 체가 화살표 Y 방향 으로 보호 필름 ( 30 ) 의 잔존 부분 ( B ) 의 폭 ( M ) 에 대응 하 는 거리 만큼 반송 되 고 , 다음 의 하프 컷 부위 ( 34 a ) 가 고무 롤러 ( 80 a ) 의 하방 부근 의 소정 위치 에 반송 된 후 고무 롤러 ( 80 a , 80 b ) 의 회전 이 정지 된다 . 또 , 긴 형상 의 감광성 웹 ( 22 ) 을 하프 컷 부위 ( 34 a , 34 b ) 사이 만큼 반송 하 는 처리 를 이하 에 있 어서 「 기판 간 이송 」 이 라고 한다 .