다음 에 , 측 정부 ( 30 ) 에 대해 설명 한다 . 도 4 는 , 측 정부 ( 30 ) 를 도시 한 개략 상 면도 이 다 . 도 4 는 측 정부 ( 30 ) 의 차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 를 나타내 고 있 다 . 차광 판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 의 길이 ( t ) 는 , 측정 패턴 ( 210 ) ( 차 광부 ( 212 ) ) 의 투영 상 의 폭 방향 의 길이 ( 2 a ') 보다 , 예 를 들 면 , 약 1 ㎛ 만큼 짧 다 . 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 길이 ( L 3 ) 는 , 측정 패턴 ( 210 ) ( 차 광부 ( 212 ) ) 의 투영 상 의 폭 방향 의 길이 ( 2 a ') 보다 충분히 길 다 . 예 를 들 면 , 상기 길이 ( L 3 ) 는 상기 길이 ( 2 a ') 의 10 배 이상 긴 것 이 바람직 하 다 . 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 길이 ( L 3 ) 는 , 측정 패턴 ( 210 ) ( 차 광부 ( 212 ) ) 의 투영 상 의 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 길이 ( Ll ') 와 대략 동일 하 거나 또는 상기 길이 ( Ll ') 보다 짧 다 .