도 7 을 참조 하 면 , 제 1 트렌치 ( 110 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 내면 상 에 열 산화 막 ( 118 ) 을 형성 한다 . 열 산화 막 ( 118 ) 은 제 1 트렌치 ( 110 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 의 내면 프로파일 을 따라 연속 적 으로 형성 될 수 있 다 . 이 경우 , 열 산화 막 ( 118 ) 이 제 1 트렌치 ( 110 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 를 부분 적 으로 매립 하 게 된다 . 열 산화 막 ( 118 ) 은 제 1 트렌치 ( 110 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 를 형성 하 는 식각 공정 시 손상 된 기판 ( 100 ) 을 큐어 링 하 는 ( curing ) 기능 을 수행 한다 .