특히 , 상기 제 2 이송 로봇 ( 300 ) 은 상기 제 2 스테이지 ( 310 ) 를 회전 시키 기 위한 회전 구동 부 ( 370 ) 를 포함 할 수 있 다 . 상기 회전 구동 부 ( 370 ) 는 상기 용기 ( 20 ) 가 상기 제 2 수직 구동 부 ( 350 ) 에 의해 상기 제 2 재 치대 ( 360 ) 로부터 언 로드 된 후 상기 제 2 스테이지 ( 310 ) 를 90 ° 회전 시키 기 위해 사용 될 수 있 다 . 즉 , 상기 용기 ( 20 ) 는 상기 제 2 재 치대 ( 360 ) 로부터 언 로드 된 후 상기 회전 구동 부 ( 370 ) 에 의해 회전 될 수 있 으며 , 이어서 상기 제 2 수평 구동 부 ( 312 ) 와 상기 제 2 수직 구동 부 ( 350 ) 에 의해 상기 제 3 재 치대 ( 340 ) 상 으로 이송 될 수 있 다 . 이 경우 , 상기 이송 로봇 ( 100 ) 은 별도 의 회전 구동 부를 구비 할 필요 가 없 다 .