웨이퍼 스테이지 ( WST ) 는 , 스테이지 본체 ( 91 ) 와 , 그 스테이지 본체 ( 91 ) 상 에 탑재 된 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 을 포함 한다 . 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 및 스테이지 본체 ( 91 ) 는 , 예 를 들 어 리니어 모터 및 Z · 레벨 링 기구 ( 보이스 코일 모터 등 을 포함 한다 ) ( 모두 도시 생략 ) 를 포함 하 는 구동 계 에 의해 , 베이스 반 ( 12 ) 에 대하 여 6 자유 도 방향 ( X , Y , Z , θ x , θ y , θ z ) 으로 구동 할 수 있 게 구성 되 어 있 다 .