상기 와 같이 구성 된 본 발명 플 라즈 마 스러스터 에 따른 이온 빔 의 조사 동작 을 살펴보 면 , 먼저 가스 공급 부 ( 140 ) 에 의해 플 라즈 마 챔버 ( 130 ) 내부 의 플 라즈 마 생 성 공간 ( 131 ) 으로 공정 가스 를 공급 하 고 RF 안테나 ( 150 ) 에 RF 전원 을 공급 하 면 , 플라 즈 마 챔버 ( 130 ) 내부 에 고주파 가 인가 됨 에 따라 플 라즈 마 생 성 공간 ( 131 ) 내 의 공정 가스 를 이온 화 시키 게 되 어 이온 을 함유 하 는 플 라즈 마 를 발생 시킬 수 있 다 . 플 라즈 마 에 함유 된 이온 은 그리드 전극 ( 160 ) 의 관통 홀 ( H ) 을 통과 하 는 과정 에서 제 1 전극 ( 161 ) 과 제 2 전극 ( 162 ) 사이 에 부여 된 전위차 에 의해 가속 되 어 프로세스 챔버 ( 11 ) 의 기판 처리 공간 ( 12 ) 으로 이온 빔 으로서 제공 되 며 , 뉴트럴 라이저 ( 20 ) 에 의해 중화 되 고 기판 에 조사 된다 .