이러 한 구조 를 갖 는 제 3 실시 예 에서 , 다 이 선별 테스트 동안 니 들 이 소자 표면 전극 ( 27 ) 과 접촉 하 여 전극 을 손상 시키 더라도 , 니 들 에 의한 이러 한 손상 은 , 중간 전극 ( 42 ) 이 소자 표면 전극 ( 27 ) 아래 에 형성 되 어 있 기 때문 에 , 중간 전극 ( 42 ) 아래 의 내부 전극 ( 26 ) 에 도달 하 지 않 으며 , 이 에 따라 내부 전극 ( 26 ) 을 식각 스토퍼 로서 이용 할 수 있 다 . 나머지 구성 및 효과 는 전술 한 제 1 실시 예의 구성 및 효과 와 동일 하 다 .