또한 , 프레임 유닛 유지 단계 ( ST 4 ) 에서 는 , 커버 부재 ( 5 ) 가 하강 하 고 , 저 벽부 ( 54 ) 가 오목 부인 대직 경부 ( 662 ) 에 감합 하 면 , 점착 테이프 ( 13 ) 를 통해 웨이퍼 ( 11 ) 가 정전 척 테이블 ( 6 ) 의 상면 ( 63 ) 에 재치 된다 . 프레임 유닛 유지 단계 ( ST 4 ) 에서 는 , 정전 척 테이블 ( 6 ) 에 정전 흡착 력 을 발생 시키 는 전력 을 공급 하 고 , 상면 ( 63 ) 에 점착 테이프 ( 13 ) 을 통해 웨이퍼 ( 11 ) 을 흡인 유지 한다 .