도 1 a 는 도관 포트 들 의 예시 적 간격 , 크기 , 배역 및 그 루핑 ( grouping ) 을 도시 한다 . 여기 서 , 상기 포트 들 은 각 포트 들 로부터 의 개스 흐름 이 성장 기판 에 닿 았 을 때 실질 적 으로 균일 한 분배 를 달성 할 수 있 는 크기 및 상기 성장 기판 으로부터 의 거리 를 갖 는다 . 각 포트 의 풋 프린트 는 점선 사각형 으로 도시 된다 . 상기 포트 들 의 밀도 는 전체 성장 기판 에 걸쳐 3 개 의 개스 의 바람직 한 분배 를 달성 하 도록 이루어진다 . 상기 포트 들 의 상대 적 인 공간 배열 은 개스 B 를 커튼 으로 개스 A 로부터 개스 C 가 분리 되 도록 이루어진다 . 물론 그리고 예시 적 도면 과 달리 , 실제 의 구현 에서 는 , 포트 들 ( 21 , 22 , 23 ) 이 실제로 수개 의 보다 작 은 포트 들 의 그룹 일 수 있 다 . 몇몇 실시 예 에서 , 인 렛 포트 ( 3 ) 는 반응 하 지 않 은 잔 존 개스 A , B , 및 C 를 임의 의 반응 산물 과 함께 배기 포트 ( 9 ) 를 통해 흘러 나가 는 배기 개스 E 로 쓸 어 내 도록 ( sweep ) 하 는 캐리어 개스 D 와 같 은 추가 공정 개스 들 을 허용 할 수 있 다 . .