우선 , 상방 공급 밸브 ( 69 ) 가 조작 되 어 상방 노즐 ( 64 ) 로부터 순수 가 1 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 공급 된다 . 이렇게 해서 , 1 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 린스 처리 가 개시 된다 . 제 2 약액 을 사용 한 처리 와 마찬가지 로 , 상방 노즐 ( 64 ) 은 정지 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 판면 의 중심 영역 에 만 순수 를 계속 공급 해도 좋 고 , 또는 , 이동 하 면서 , 웨이퍼 ( W ) 의 판면 의 중심 영역 과 웨이퍼 ( W ) 의 판면 의 둘레 가장자리 영역 사이 의 각 영역 에 순수 를 공급 해 가 도록 해도 좋 다 .