더욱이 , 스테이지 ( 42 ) 의 지지 부 ( 42 b ) 의 지지 면 ( 42 f ) 에 조명 장치 를 내장 시키 더라도 좋 다 . 구체 적 으로 는 , 지지 면 ( 42 f ) 에 있 어서 의 , 유기 EL 패널 ( P ) 의 얼라인먼트 마크 ( PM ) 와 대향 위치 하 는 부분 에 조명 장치 를 내장 시켜 , 제 1 촬상부 ( 43 a ) 에 의해서 얼라인먼트 마크 ( PM ) 를 촬상할 때 에 , 얼라인먼트 마크 ( PM ) 의 하측 에서 빛 을 조사 하 도록 한다 . 이 와 같이 함 으로써 , 반사광 에 의해서 얼라인먼트 마크 ( PM ) 를 촬상 하 는 경우 와 비교 하 여 , 얼라인먼트 마크 ( PM ) 의 화상 과 배경 화상 의 사이 에 큰 명암 차 를 얻 을 수 있 고 , 얼라인먼트 마크 ( PM ) 의 화상 을 보다 선명 하 게 얻 을 수 있 어 , 인식 정밀도 의 향상 을 도모 할 수 있 다 . 또한 , 지지 부 ( 42 b ) 에 조명 장치 를 내장 하 는 대신 에 투광 창 을 설치 하 거나 지 지 부 ( 42 b ) 를 투광 성 의 부재 , 예컨대 투명 한 유리 재로 형성 하 거나 하 여 , 이 들 을 통해 빛 을 조사 하 도록 하 여도 좋 다 .