상기 장치 는 기판 ( 13 ) 의 반사 된 복사선 을 기판 표면 으로 다시 반사 하 기 위해 , 조명 시스템 ( 41 ) 에 대해 기판 랙 의 다른 측 부 상 에 리플렉터 ( 미 도시 ) 를 포함 할 수 있 다 . 리플렉터 는 복사선 빔 이 나오 는 곳 과 동일 한 방향 으로 복사선 빔 을 다시 반사 시키 도록 하 는 리트 로 리플렉터 일 수 있 다 . 리플렉터 는 복사선 을 기판 으로 유도 시키 기 위해 글라스 , 스틸 , 알루미늄 또는 폴리테트라플루오로에틸렌 ( PTFE ) 을 포함 하 는 재료 군 으로부터 선택 된 재료 를 포함 할 수 있 다 .