또한 , 상기 플 라즈 마 식각 장치 는 상기 스테이지 를 둘러싸 는 제 2 절연체 를 더 포함 할 수 있 고 , 아울러 상기 스테이지 , 제 1 전극 , 하부 - 제 2 전극 및 상부 - 제 2 전극 을 제어 하 는 제 어부 를 더 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , 상기 제 어부 는 상기 스테이지 와 제 1 전극 으로 동시 에 고주파 에너지 를 인가 시키 고 , 상기 하부 - 제 2 전극 과 상부 - 제 2 전극 을 동시 에 접지 시키 는 제어 를 통하 여 상기 반도체 기판 의 가장자리 상 부 , 측면 및 가장 자리 하부 에 플 라즈 마 를 생성 시킨다 . 또한 , 상기 제 어부 는 상기 스테이지 에 고주파 에너지 를 인가 시키 고 , 상기 제 1 전극 을 접지 시키 고 , 상기 하부 - 제 2 전극 과 상부 - 제 2 전극 을 동시 에 전기 적 으로 단락 시키 는 제어 를 통하 여 상기 반도체 기판 의 이면 에 플 라즈 마 를 생성 시킨다 .