실시 예 에서 , 반응 셀 챔버 ( 5 b 31 ) 의 탄소 벽 은 탄소 가 산소 공급원 또는 촉매 , 예컨대 Li 2 O , 물 및 HOH 중 적어도 하나 와 반응 하 는 것 을 방지 하 는 코팅 으로 코팅 된다 . 코팅 은 불소 를 포함 할 수 있 다 . 탄소 반응 셀 챔버 의 내부 표면 은 탄소 에 말단 결합 된 불소 로 코팅 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , 반응 셀 챔버 는 불화 은과 같 은 용융 금속 불화물 또는 불화 니켈 , 불화 레늄 , 불화 몰리브덴 , 또는 불화 텅스텐 과 같 은 용융 금속 과 접촉 하 는 셀 구성 요소 의 금속 의 불화물 과 같 은 불화물 공급원 을 포함 하 여 산소 또는 물 공급원 에 의한 것 과 같 은 산화 를 보호 하 는 플루오르 말단 탄소 를 유지 한다 .