구체 적 인 처리 방법 은 , 이하 와 같 다 . a ) 기상법 ( 氣相 法 ) 의 경우 ： 예 를 들 어 황화수소 가스 를 진공 조 ( 眞空 槽 ) 내 에서 약 50 Pa 의 압력 으로 10 분 정도 보관 하 고 , 일단 진공 배기 한다 . 이 때 , 황화수소 가스 를 대신 해 유황 을 포함 하 는 재료 가 스나 셀렌 을 포함 하 는 재료 가스 를 이용 해도 상관없 다 . 충분 한 효과 를 얻 기 위해 재료 가스 에 따라서 는 80 ℃ 에서 200 ℃ 정도 의 열처리 가 필요 한 경우 도 있 다 . 또 , 진 공보관 대신 에 , 0 . 1 ~ 10 Pa 정도 의 압력 으로 플 라즈 마 처리 ( 라디칼 샤워 ( radical shower ) 나 ECR ( electron cyclotron resonance ) 플라 즈 마 , 이온 빔 , 유황 을 함유 하 는 타 겟 을 이용한 스퍼터링 등 에 도 좋 다 ) 를 행하 는 경우 에 도 원리 적 으로 거의 유사 한 효과 를 기대 할 수 있 다 . 또한 , 스루풋 ( throughput : 일정 시간 내 의 재료 처리 량 ) 은 떨어지 지만 , 초고진공 ( ultrahigh vacuum ) 장치 를 이용 하 여 유황 이나 셀렌 의 분자 빔 을 게이트 절 연막 ( 4 ) 표면 에 조사 ( 照射 ) 해도 , 양질 인 표면 패 시베이 션 이 달성 된다 . b ) 액상 법 ( 液相 法 ) 의 경우 ： 예 를 들 어 황화암모늄 용액 에 의해 게이트 절 연막 ( 4 ) 의 표면 을 침지 ( 浸漬 : 물 속 에 담가 적심 ) 에 의한 처리 를 행한 후 , 유수 ( 流水 ) 세정 , 건조 를 행한다 . 황화암모늄 외 에 도 그 외 의 유황 을 포함 하 는 용액 이나 셀렌 을 포함 하 는 용액 을 이용 하 는 것 에 의해 거의 유사 한 표면 패 시베이 션 을 행하 는 것 이 가능 하 다 . 처리 용액 에 따라서 는 유효 한 처리 를 행하 기 위해 50 ℃ 에서 90 ℃ 정도 의 고온 조건 이 필요 한 경우 도 있 다 . 또 , 웨트 처리 를 꺼리 는 프로세스 의 경우 에 는 용매 ( 溶媒 ) 를 알코올 이나 아세톤 으로 변경 하 고 , 미스트 ( mist ) 처리 를 이용 하 는 것 에 의해 상기 의 유황 및 셀렌 을 포함 하 는 용액 의 안개 ( 霧 ) 를 처리 표면 에 분무 , 건조 시키 는 경우 라도 유사 한 효과 가 얻 어 진다 .