또한 , 제 2 예시 의 실시 형태 에서 , 촬영 거리 가 짧아진다 . 따라서 , 검사 장치 가 축소 될 수 있 다 . 검사 장치 의 구성 의 예 는 다음 의 제 3 예시 의 실시 형태 에서 설명 될 것 이 다 . 제 2 예시 의 실시 형태 의 검사 방법 을 채택 하 는 검사 장치 가 축소 될 수 있 고 , 이 는 또한 비용 면 에서 의 감축 에 기여 한다 .