다음 으로 EDOT 을 오븐 에서 80 ℃ 로 3 분 간 가열 하 는 기상 증착 방법 으로 산화제 인 FeCl 3 가 선택 적 으로 도포 된 웨이퍼 위 에 PEDOT 박막 을 형성 한다 . 이때 산화제 가 선택 적 으로 도포 되 어 있 으므로 , EDOT 은 산화제 와 반응 하 여 선택 적 으로 PEDOT 이 증착 된다 . 이 는 도 13 , 14 를 통하 여 알 수 있 다 . 도 13 은 실시 예 1 에 의하 여 형성 된 기판 표면 을 원자력 현미경 ( AFM : Atomic Force Microscope ) 로 패 터 팅 한 이미지 이 며 , 도 14 는 실시 예 1 에 의하 여 형성 된 기판 의 광학 현미경 사진 이 다 . 도 13 , 14 에 의하 면 5 . 3 ㎛ 의 폭 을 가지 는 매우 직진 성 이 우수 한 PEDOT 라인 이 형성 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 .