또한 , 도 12 에 도시 하 는 예 에 있 어서 도 , 린스 장치 ( 150 ) 는 각 린스 조 ( 151 ) [ 수 용부 ( 150 a ) ] 와 순 수원 ( 157 ) 을 연결 하 는 순수 공급 라인 ( 156 ) 을 갖 고 있 다 . 순수 공급 라인 ( 156 ) 은 유량 제어 가 가능 한 개폐 밸브 ( 156 a ) 를 통하 여 각각 의 수 용부 ( 150 a ) [ 린스 조 ( 150 ) ] 에 접속 되 어 있 다 . 따라서 , 린스 장치 ( 150 ) 의 수 용부 ( 150 a ) 로 의 단위 시간 당 순수 공급량 을 수 용부 ( 150 a ) 마다 설정 할 수 있 다 .