그리고 본 발명 의 스페이스 트랜스포머 제조 방법 에 따르 면 , 구조 가 단순 한 스페이스 트랜스포머 의 구현 이 가능 하 여 웨이퍼 구경 증가 에 대응 한 크기 증가 에 용이 하 다 . 또한 종래 에 스페이스 트랜스포머 를 구성 하 는 세라믹 시트 의 재질 이 가공 성 을 고려 하 여 알루미나 로 한정 되 는 것 과 달리 열 특성 이 우수 한 탄화규소 ( SiC ) , 질화알루미늄 ( AlN ) 등 으로 구현 이 가능 하 여 스페이스 트랜스포머 의 제조 비용 이 크 게 감소 될 수 있 다 .