각 가스 공급 라인 은 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 에 대응 해서 적절히 분기 되 고 , 개폐 밸브 , 유량 제어기 가 마련 되 어 있 다 . 가스 공급 기구 ( 450 ) 는 , 각 가스 공급 라인 에 마련 된 개폐 밸브 나 유량 제어기 를 제어 함 으로써 , 각종 가스 의 유량 의 제어 가 가능 하 게 되 어 있 다 . 가스 공급 기구 ( 450 ) 는 , 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 시 에 , 가스 공급 라인 ( 437 ) 및 샤워 헤드 ( 430 ) 를 통해서 처리 용기 ( 410 ) 내 에 , Cl 2 가스 를 포함 하 는 각종 가스 를 각각 공급 한다 .