도 2 및 도 21 을 참조 하 면 , 잔류 하 는 상기 제 2 하부 패턴 ( UL 2 ) 을 제거 한 뒤 , 상기 기판 ( 100 ) 상 에 상기 적층 구 조체 ( ST 1 , ST 2 ) 를 덮 는 제 1 층간 절 연막 ( 180 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 층간 절 연막 ( 180 ) 은 상기 제 1 및 제 2 콘 택 영역 들 ( CTR 1 , CTR 2 ) 을 덮 도록 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 층간 절 연막 ( 180 ) 을 평탄 화 하 여 , 상기 제 2 적층 구 조체 ( ST 2 ) 의 상면 을 노출 시킬 수 있 다 .