이러 한 오염 물질 은 배관 내부 표면 에 증착 되 어 배관 내부 를 막 을 수 있 다 . 또한 , 오염 물질 이 진공 펌프 ( 104 ) 로 입력 될 경우 진공 펌프 ( 104 ) 내부 에서 온도 조건 과 압력 조건 이 급격 이 변화 할 수 있 으며 , 그 결과 상기 오염 물질 이 상 변화 를 일으켜 진공 펌프 ( 104 ) 내부 에서 고체 화 되 거나 액체 화 될 수 있 다 . 이 는 진공 펌프 ( 104 ) 의 고장 을 야기 시킬 수 있 다 . 특히 , 상기 오염 물질 이 대기 중 으로 배출 되 면 큰 문제 를 일으킨다 .