최근 , 반도체 메모리 소자 의 제조 공정 에서 는 오염 물질 에 대한 관리 를 하 지 않 으면 수율 에 직접 적 으로 영향 을 끼치 기 때문 에 상기 오염 물질 에 대한 관리 를 철저 하 게 하 고 있 다 . 특히 , 상기 오염 물질 중 에서 금속 오염원 의 경우 에 는 전기 적 신뢰 성 에 직접 적 으로 영향 을 끼치 기 때문 에 보다 철저 하 게 관리 하 고 있 다 . 따라서 , 상기 반도체 메모리 소자 의 제조 공정 에서 는 상기 금속 오염원 에 대한 관리 의 방법 으로서 반도체 웨이퍼 표면 에 철 , 니켈 등 과 같 은 금속 오염원 이 잔류 하 는 가 에 대한 분석 을 수행 하 고 있 다 .