바닥 면부 ( 54 ) 는 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 의 베이스 부 ( 5 ) 보다 큰 직경 을 가지 고 있 다 . 지지 기둥 쌍 ( 55 ) 은 2 개 의 지지 기둥 ( 55 a ) 으로 형성 되 어 있 고 , 바닥 면부 ( 54 ) 의 외주 부 에 세워 형성 되 어 있 다 . 지지 기둥 쌍 ( 55 ) 은 2 개 의 지지 기둥 ( 55 a ) 사이 에 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 의 다리 ( 8 ) 를 끼우 도록 구성 되 어 있 다 . 따라서 , 본 실시 형태 에서 는 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 의 6 개 의 다리 ( 8 ) 에 대응 하 도록 , 6 개 의 지지 기둥 쌍 ( 55 ) 이 베이스 부 ( 5 ) 에 세워 형성 되 어 있 다 .