도 16 에 나타내 는 순환 경로 ( CP ) 는 , 상기 실시 형태 의 흡인 기구 ( 73 ) 와 , 상기 흡인 기구 ( 73 ) 의 흡인 장치 ( 732 ) 의 배기 포트 ( P 2 ) 와 흡 기구 ( 71 ) 를 접속 하 는 접속 배관 ( 접속 덕트 ) ( CP 1 ) 을 가진다 . 접속 배관 ( CP 1 ) 과 흡 기구 ( 71 ) 는 , 배기구 ( 72 ) 와 흡인 기구 ( 73 ) 와 의 접속 구조 에 이용 되 는 커버 체 ( 731 ) 와 동일 구조 의 커버 체 ( CP 2 ) 에 의해 접속 되 어 있 다 . 이러 한 순환 경로 ( CP ) 를 가지 는 구성 이 면 , 흡기 및 배기 에 의한 영향 을 저감 할 수 있 다 .