본 발명 에 따른 규소 를 함유 하 는 절 연막 의 용도 에 대해서 는 특별히 제한 없이 어떠 한 것 이 어도 좋 다 . 「 절 연막 」 이 라고 불리 지 않 는 것 이 어도 , 절연 기능 을 갖 는 것 이 면 본 발명 에 따른 절 연막 의 범주 에 속한다 . 가장 일반 적 인 명칭 으로 불리 는 경우 , 확산 방지 막 , 확산 방지 층 , 캡 층 , 에치 스톱 층 , 층간 절 연막 , 층간 절연 층 , ILD 층 , 배선 절연 층 등 이 해당 할 수 있 다 . 본 발명 에 따른 절연 막 은 , 구리 의 확산 방지 층 으로서 바람직 하 게 사용 할 수 있 다 . 막 두께 에 대해서 도 특별히 제한 없이 용도 에 따라 적절 하 게 정할 수 있 지만 , 구리 의 확산 방지 층 으로서 사용 하 는 경우 에 는 , 15 ～ 80 ㎚ 의 범위 가 적당 한 경우 가 많 다 .