다수 의 적용 에 있 어서 , 인덕 터 , 캐 패 시터 및 레지스터 가 반도체 다 이상 에 있 는 것 과 같이 패시브 회로 소자 를 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 높 은 Q 전파 주파수 ( RF ) 적용 를 위한 대부분 의 실리콘 기판 웨이퍼 는 최종 적 인 제품 에 이용 되 는 것 과 같이 제조 공정 중 높 은 비용 의 아이템 들 이 다 . 높 은 Q RF 적용 을 위한 실리콘 기판 은 또한 높 은 저항률 ( resistivity ) 을 지닌 것 으로 도 알려져 있 다 . 그래서 패시브 회로 소자 를 지닌 반도체 소자 안 에 높 은 저항률 을 가진 실리콘 기판 을 제조 비용 을 줄이 는 동시 에 실리콘 기판 공정 을 유지 할 수 있 도록 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 .