모터 ( 21 ) 는 , 유지 테이블 ( 11 ) 의 유지 면 ( 12 ) 의 중심 을 지나 , Z 축 방향 으로 연장 되 는 축 ( L ) 을 중심축 으로 하 여 , 유지 테이블 ( 11 ) 을 회전 시킨다 . 인코더 ( 22 ) 는 , 모터 ( 21 ) 에 의해 회전 되 는 유지 테이블 ( 11 ) 의 회전 각도 를 인식 하 는 기능 을 갖 고 있 고 , 각도 인식 부 의 일례 이 다 .