상술 한 실시 형태 에 있 어서 , 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 전환 밸브 ( 71 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 을 변경 한다 . 이 경우 , 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 되 기 전 에 , 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 이 변경 되 어 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 되 어 있 으므로 , 전환 밸브 ( 71 ) 가 개방 하 는 것 에 수반 하 여 발생 하 는 처리 액 의 헌팅 이 억제 된다 .