그러나 , 접속 부재 는 메 쉬 전극 과 선접 촉 되 어 있 기 때문 에 , 접촉 부재 와 메 쉬 전극 의 실질 적 인 접촉 면적 은 작 았 다 . 그 때문 에 , 외부 통전 부재 로부터 접속 부재 를 통하 여 메 쉬 전극 에 전류 를 흘렸 을 때 의 접속 부재 부근 에서 의 발열량 이 많 아 져 , 웨이퍼 의 균열 성 ( 均熱 性 ) 이 손상 되 는 일 이 있 었 다 .