또한 본 제 2 실시 형태 에서 는 , 동일 한 헤드 유닛 을 구성 하 는 복수 의 헤드 , 예 를 들 어 헤드 유닛 ( 62 B ) 을 구성 하 는 복수 의 헤드 ( 164 ) 에 대하 여 상기 보정 정보 를 결정 하 는 경우 에 , 대응 하 는 스케일 ( 39 B ) 의 동일 한 특정 영역 에 각 헤드 ( 164 ) 로부터 검 출광 을 조사 하 여 , 상기 서술 한 인코더 의 계측 결과 의 샘플링 을 실시 하 고 , 그 샘플링 결과 에 기초 하 여 이동 스케일 ( 39 B ) 에 대향 하 는 각 헤드 ( 164 ) ( 각 인코더 ) 의 보정 정보 를 결정 하 고 있 기 때문 에 , 결과 적 으로 , 이 보정 정보 를 사용 함 으로써 , 헤드 의 넘어짐 에 의해 발생 하 는 기하학 적 인 오차 도 보정 된다 . 바꿔 말 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 동일 한 이동 스케일 에 대응 하 는 복수 의 인코더 를 대상 으로 하 여 상기 보정 정보 를 구할 때 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 Z 축 방향 으로 이동 시켰 을 때 에 대상 으로 하 는 인코더 헤드 의 넘어짐 에 의해 발생 하 는 기 하학 적 인 오차 를 고려 하 여 상기 대상 으로 하 는 인코더 의 보정 정보 를 구하 고 있 다 . 따라서 , 본 제 2 실시 형태 에서 는 , 복수 헤드 의 넘어짐 각 이 상이 한 것 에서 기인 되 는 코사인 오차 도 발생 하 는 경우 가 없 다 . 또한 , 헤드 ( 164 ) 에 넘어짐 이 발생 되 어 있 지 않 아도 , 예 를 들 어 헤드 의 광학 특성 ( 텔레 센트리 시티 등 ) 등 에서 기인 하 여 인코더 에 계측 오 차 가 발생 하 는 경우 , 동일 하 게 상기 보정 정보 를 구함 으로써 , 계측 오차 의 발생 , 나아가 서 는 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 제어 정밀도 의 저하 를 방지 할 수 있 다 . 즉 본 제 2 실시 형태 에서 는 , 헤드 유닛 에서 기인 하 여 발생 하 는 인코더 시스템 의 계측 오차 ( 이하 , 헤드 기인 오 차 라고 도 한다 ) 를 보상 하 도록 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 구동 된다 . 또한 , 헤드 유닛 의 특성 정보 ( 예 를 들 어 헤드 의 넘어짐 및 / 또는 광학 특성 등 을 포함 한다 ) 에 기초 하 여 , 예 를 들 어 인코더 시스템 의 계측 값 의 보정 정보 를 산출 하 도록 해도 된다 .