루타 일 구조 의 TiO 2 를 위해서 는 RuO 2 , SrTiO 3 를 위해서 는 SrRuO 3 가 주목 받 고 있 다 . 그러나 이러 한 Ru 을 포함 한 산화물 전극 은 디램 후속 공정 에서 의 수소 열처리 시 매우 쉽 게 환원 되 어 , 디램 소자 가 열화 되 는 문제 를 야기 한다 . 이 는 RuOx 물질 자체 의 물 성 에 기인 하 기 때문 에 공정 개선 등 으로 는 해결 할 수 없 는 문제 이 며 , 따라서 RuO 2 등 과 같이 TiO 2 의 결정화 를 잘 유도 할 수 있 으며 , 전기 적 특성 이 우수 하 면서 도 , 환원 저항성 이 우수 한 새로운 산화물 의 개발 이 필요 하 다 .