이 에 따라 상부 트렌치 배리 어막 ( 250 ) 은 상부 비아 금속 배선 ( 241 , 243 ) 및 상부 층간 절 연막 ( 210 ) 과 접촉 하 는 상부 트렌치 배리 어막 ( 251 , 253 , 257 ) 이 남 고 , 상부 트렌치 씨드 막 ( 260 ) 은 상부 트렌치 배리 어막 ( 251 , 253 , 257 ) 과 접촉 하 는 상부 트렌치 씨드 막 ( 261 , 263 , 267 ) 만 이 남 는다 . 그리고 상부 트렌치 씨드 막 ( 261 , 263 , 267 ) 과 접촉 하 는 제 4 금속 박막 ( 270 ) 만 이 남 아 상부 트렌치 금속 배선 ( 271 , 273 , 277 ) 이 형성 된다 .