드라이 클리너 ( 30 ) 는 , 도 4 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 에 대해 압축 공기 를 토출 하 기 위한 노즐 ( 32 ) 과 노즐 ( 32 ) 을 수용 하 는 하우징 ( 34 ) 을 구비 하 고 있 다 . 노즐 ( 32 ) 은 기판 ( 10 ) 의 폭 방향 ( X 방향 ) 으로 연장 하 는 형상 을 갖 고 , 기판 ( 10 ) 의 폭 방향 보다 도 약간 큰 폭 을 갖 고 있 다 . 노즐 ( 32 ) 은 내부 에 컴프레서 ( 5 ) 로부터 공급 관 ( 6 ) 을 거쳐서 공급 된 압축 공기 를 저류 하 는 저류 부 ( 32 a ) 를 갖 고 있 다 . 여기 서 , 저류 부 ( 32 a ) 는 노즐 ( 32 ) 내 의 대략 전폭 에 걸쳐서 형성 되 어 있 다 . 또한 , 노즐 ( 32 ) 은 저류 부 ( 32 a ) 와 연통 하 는 슬릿 형상 의 토출구 ( 32 b ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 노즐 ( 32 ) 은 , 도 4 에 도시 하 는 바 와 같이 , 토출구 ( 32 b ) 가 형성 되 어 있 는 위치 에 있 어서 의 토출구 ( 32 b ) 가 연장 하 는 방향 과 직교 하 는 단면 형상 으로서 평면 형상 ( 32 c ) 과 이것 에 연속 해서 형성 된 소정 의 곡률 의 볼록 형상 ( 32 d ) 을 갖 고 있 고 , 평면 형상 ( 32 c ) 의 대략 중앙부 에 토출구 ( 32 b ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 노즐 ( 32 ) 이 갖 는 소정 의 곡률 의 볼록 형상 ( 32 d ) 은 , 토출구 ( 32 b ) 의 ― Y 측 의 곡률 반경 을 R 1 , 토 출구 ( 32 b ) 의 Y 측 의 곡률 반경 을 R 2 라고 한 경우 에 , R 1 ＝ R 2 이 어도 좋 고 , R 1 ≠ R 2 이 어도 좋 으며 , R 1 , R 2 의 크기 는 각각 최 적 인 것 으로 적당히 선택 가능 하 다 .