이 와 같이 , 제 어 장치 ( 5 ) 는 , 과거 에 측정 된 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 높이 에 기초 하 여 , 리트 라 이 동작 을 실행 할지 의 여부 를 결정 한다 . 본 실시 형태 에 따르 면 , 제 어 장치 ( 5 ) 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 이 완전히 상승 했 다고 판단 하 고 , 그 후 에 , 웨이퍼 W 가 릴리스 된다 . 따라서 , 기판 처리 시스템 ( 200 ) 은 , 웨이퍼 W 를 보다 확실 하 게 릴리스 할 수 있 다 .