도 3 을 참조 하 면 , 기판 ( 100 ) 상 에 희생 막 구조물 ( 140 ) 을 형성 하 고 , 이 를 부분 적 으로 제거 하 여 기판 ( 100 ) 의 상면 을 노출 시키 는 제 1 개 구 ( 150 ) 를 형성 한 후 , 이 를 적어도 부분 적 으로 채우 는 지지막 ( 160 ) 을 기판 ( 100 ) 및 희생 막 구조물 ( 140 ) 상 에 형성 할 수 있 다 .