도 1 은 본 발명 의 실시 예 에 따른 유기 박막 트랜지스터 의 게이트 절연 층 제조 장치 의 구성 을 간략 하 게 보인 예 시도 로서 , 이 에 도시 한 바 와 같이 기판 ( 100 ) 을 지지 하 는 지지 수단 ( 110 ) , 상기 지지 수단 ( 110 ) 이 설치 된 진공 챔버 ( 120 ) , 상기 지지 수단 ( 110 ) 을 진공 챔버 ( 120 ) 내 에 고정 시키 는 지그 ( 130 ) , 상기 챔버 ( 120 ) 내 로 아르곤 가스 ( Ar ) , 질소 ( N 2 ) , 산소 ( O 2 ) , 암모니아 가스 ( NH 3 ) 및 아세틸렌 가스 ( C 2 H 2 ) 를 공급 하 기 위한 가스 공급 라인 ( 131 ) , 상기 진공 챔버 ( 120 ) 냉각 을 위한 4 개 의 냉각 라인 ( 132 ) 및 플라 즈 마 생 성 을 위한 2 개 의 전자석 파워 ( 140 , 141 ) 에 연결 된 2 의 흑연 ( graphite ) 타 겟 ( 150 , 151 ) 으로 구성 한다 .