그리고 , 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 는 상기 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 한 연마 액 의 유량 을 측정 하 는 제 2 유량계 ( 541 ) 와 , 압력 을 측정 하 는 제 2 압력 측 정부 ( 542 ) 와 , 제 2 이온 농도 측 정부 ( 543 ) 로 구성 되 는 제 2 센싱 부 ( 540 ) 를 포함 할 수 있 다 . 상세히 설명 하 면 상기 유량계 ( 541 ) 에서 측정 되 는 유량 을 통해 상기 피 공급 장치 ( M ) 에서 사용 되 는 연마 액 의 양 을 산출 하 여 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 에서 추가 로 연마 액 을 제조 해야 하 는지 여부 를 판단 하 고 , 상기 이송 펌프 ( 510 ) 를 이용 하 여 연마 액 공급 속도 를 조절 하 여 주 며 , 상기 제 2 이온 농도 측 정부 ( 543 ) 를 통하 여 연마 액 이 배출 되 며 발생 하 는 연마 액 의 이온 농도 변화 를 확인 하 여 준 것 이 다 .