본 발명 의 에칭 액 조성물 은 , ( A ) 과산화수소 ( 이하 , 「 ( A ) 성분 」 이 라고 도 기재 함 ) 를 함유 한다 . 에칭 액 조성물 중 의 ( A ) 성분 의 농도 는 , 0 . 01 내지 15 질량 ％ 의 범위 이 다 . ( A ) 성분 의 농도 가 0 . 01 질량 ％ 미만 이 면 , 에칭 속도 가 너무 느려져 버려 , 생산 성 이 현저 하 게 저하 된다 . 한편 , ( A ) 성분 의 농도 가 15 질량 ％ 초과 이 면 , 에칭 속도 가 너무 빨라져 버려 , 에칭 속도 를 제어 하 는 것 이 곤란 해진다 . ( A ) 성분 의 농도 는 , 바람직 하 게 는 0 . 1 내지 12 질량 ％ 의 범위 이 며 , 보다 바람직 하 게 는 1 내지 10 질량 ％ 의 범위 이 다 .