본 실시 형태 에서 는 , 기판 반입 전 의 진공 체임버 내 의 진공도 를 10 - 5 Pa 보다 낮 게 하 는 초고진공 배기 를 행한다 . 이 단계 가 도 13 의 진공 배기 ( 1200 ) 에 대응 한 다 . 이러 한 초고진공 배기 를 행하 는 경우 , 크라이 오 펌프 를 병용 하 여 , 터보 분자 펌프 에 의한 배기 를 행하 고 , 크라이 오 펌프 를 더 사용 하 여 진공 배기 하 는 것 이 바람직 하 다 . 터보 분자 펌프 를 2 대 직렬 연결 하 여 진공 배기 하 는 것 도 유효 하 다 . 또한 , 진공 체임버 에 베 이킹 용 의 히터 를 설치 하 여 가열 처리 하 고 진공 체임버 내벽 으로부터 의 탈 가스 처리 를 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 기판 을 가열 하 는 히터 도 동작 시켜 온도 를 안정 화 시킨다 . 기판 의 가열 온도 는 100 ℃∼ 300 ℃, 바람직 하 게 는 120 ℃∼ 220 ℃ 에서 행한다 .