실시 형태 를 상세히 설명 하 기 전 에 개요 를 설명 한다 . 본 실시 형태 는 , 이온 생성 장치 를 구비 하 는 이온 주입 장치 이 다 . 이온 생성 장치 는 , 고체 재료 의 원료 를 가열 하 여 증기 를 생성 하 기 위한 증기 생 성실 과 , 증기 를 이용 하 여 불순물 원소 의 이온 을 포함 하 는 플 라즈 마 를 생성 하 는 플라 즈 마 생 성실 을 구비 한다 . 본 실시 형태 에서 는 , 증기 를 생성 하 기 위한 원료 로서 , 불순물 원소 의 단체 인 제 1 고체 재료 와 , 불순물 원소 를 포함 하 는 화합물 인 제 2 고체 재료 를 혼합 한 원료 를 사용 한다 . 원료 로서 2 종류 의 고체 재료 를 혼합 하 여 사용 함 으로써 , 이온 생성 장치 로부터 취 출 가능 한 이온 빔 의 전 류량 을 높임 과 함께 , 이온 생성 장치 의 수명 을 개선 할 수 있 다 .