이 와 같이 , 웨이퍼 를 재치 하 는 우묵 한 부분 의 바닥 면 에 메시 패턴 의 홈 에 의해 다수 의 방형 볼록 부가 형성 되 어 있 는 서 셉 터 에 있 어서 , 홈 깊이 가 우묵 한 부분 의 바닥 면 에서 똑같 지 않 고 , 상기 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 에서 의 홈 깊이 가 중앙부 보다 얕 은 기상 성 장용 서 셉 터 라면 , 웨이퍼 외 주부 의 온도 저하 에 따른 막 두께 저하 를 막 고 , 웨이퍼 재치 시 의 휨 , 웨이퍼 이 면 외주 부로 의 실리콘 퇴적 을 개선 시킬 수 있 어 , 고품질 에피 택 셜 웨이퍼 를 얻 을 수 있 다 .