한편 본 실시 예 에서 상기 챔버 ( 555 ) 에 는 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 기판 공급 부 ( 510 ) 와 기판 회수 부 ( 540 ) 를 외측 에서 감싸 도록 형성 되 어 , 상기 기판 공급 부 ( 510 ) 와 기판 회수 부 ( 540 ) 를 외부 기체 로부터 차단 하 는 로딩 / 언로 딩 챔버 ( 580 ) 가 더 구비 되 는 것 이 바람직 하 다 . 그리고 상기 로딩 / 언로 딩 챔버 ( 580 ) 에 는 상기 기판 공급 부 ( 510 ) 에 새로운 유연 기판 ( 1 ) 을 공급 하 거나 상기 기판 회수 부 ( 540 ) 로부터 공정 이 완료 된 유연 기판 ( 1 ) 을 회수 하 는 동안 상기 로딩 / 언로 딩 챔버 ( 580 ) 를 개폐 할 게이트 ( 도면 에 미 도시 ) 와 상기 로딩 / 언로 딩 챔버 ( 580 ) 내부 를 진공 상태 로 만들 수 있 는 펌프 ( 도면 에 미 도시 ) 등 이 더 구비 될 수 있 다 .