이 와 같이 , 반도체 제조 공정 용 온도 조절 시스템 이 구동 되 면서 사전 에 냉각 된 냉매 의 에너지 를 저장 및 공급 하 기 위해서 는 반도체 장비 ( 180 ) 에 유입 되 는 적정 냉매 의 공급 을 장비 의 사양 에 따라 고려 해야 하 며 혼합 교반기 ( 140 ) 내 의 냉매 의 온도 에 따라 분배 밸브 ( Vd ) 를 조절 함 으로써 각각 의 부위 로 유입 되 는 냉매 의 양 을 조절 하 게 된다 .