상기 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 청구 항 8 은 , 시료 에 본 딩 하 는 캐 필러 리 와 , 이 캐 필러 리 에 일정 한 오프셋 량 을 가지 고 배열 설치 된 검출 카메라 를 구비 하 며 , 본딩 후 의 본딩 부 를 검출 카메라 로 촬상하여 압착 볼 을 검출 하 는 장치 에 있 어서 , 패드 의 X 축 방향 및 Y 축 방향 의 폭 을 기억 한 패드 폭 메모리 와 , X 축 방향 및 Y 축 방향 의 패드 의 변 부터 의 압착 볼 의 에지 까지 의 허용 범위 를 기억 한 허용 메모리 와 , 패드 의 X 축 방향 의 변 에 대한 압착 볼 의 에지 가 명확 한 패드 및 Y 축 방향 의 변 에 대한 압착 볼 의 에지 가 명확 한 패드 의 상기 두 변 부터 의 대응 하 는 에지 까지 의 폭 을 검출 하 는 상기 검출 카메라 와 , 이 검출 카메라 의 검출 값 과 상기 허용 메모리 에 기억 된 허용 범위 를 비교 하 는 비교 회로 와 , 이 비교 회로 에 의한 비교 에 의해 검출 값 이 허용 범위 밖 인 경우 에 는 오프셋 메모리 에 기억 되 어 있 는 오프셋 량 을 보정 하 는 연산 제 어부 를 구비 하 고 있 는 것 을 특징 으로 한다 .