IF 블록 ( 6 ) 은 , 처리 층 ( A 1 ) 에 의해 반송 된 기판 ( W ) 을 노광 장치 ( EXP ) 에 반출 한다 . 또 , IF 블록 ( 6 ) 은 , 노광 장치 ( EXP ) 에서 노광 처리 된 기판 ( W ) 을 IF 블록 ( 6 ) 에 반입 한다 . 노광 처리 가 행해진 기판 ( W ) 은 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 에 반송 하 기 위해 버퍼 부 ( PSBU 4 ) 에 반송 된다 .