본 발명 의 전기 화학 적 도금 방법 은 , 웨이퍼 를 수조 내 로 로딩 하 는 단계 ; 상기 웨이퍼 뒷면 의 에 지부 및 상기 웨이퍼 의 전면 에 구리 시드 막 을 증착 하 는 단계 ; 상기 구리 시드 막 에 전기 화학 적 도금 방법 에 의해 구리 를 증착 하 는 단계 ; 및 상기 웨이퍼 를 언 로딩 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .