슬리브 ( 124 ) 는 , 한 쪽 단부 로부터 다른 쪽 단부 를 향해서 관통 하 고 있 어 , 가스 배관 ( 121 ) 으로부터 공급 된 성막 가스 등 의 처리 가스 는 , 슬리브 ( 124 ) 의 내부 를 한쪽 단부 로부터 다른 쪽 단부 를 향해서 흘러 , 슬리브 ( 124 ) 의 다른 쪽 단부 근방 의 구멍 ( 124 a ) 으로부터 상측 으로 나온다 . 슬리브 ( 124 ) 의 다른 쪽 단부 근방 의 구멍 ( 124 a ) 으로부터 나온 처리 가스 는 , 가스 파이프 ( 163 ) 의 내부 의 관통 구멍 ( 163 a ) 을 통과 해서 , 인 젝 터 ( 110 ) 의 내부 의 가스 유로 ( 110 a ) 를 위 로 흐른다 .