도 1 은 종래 반도체 제조 설비 에서 의 웨이퍼 얼라인먼트 방법 을 보인 것 으로 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 종래 에 는 정렬 불량 이 발생 할 경우 에러 로그 를 분석 , 리 워크 시트 코멘트 ( Rework Sheet Comment ) 작성 , 웨이퍼 리 워크 , 작업자 콜 대응 , MC 또는 잡 수정 실시 를 거치 면서 정렬 공정 을 재 진행 한다 . 이 경우 , 정렬 불량 의 웨이퍼 를 리 워크 하 고 공정 을 다시 개시 하 는데 너무 많 은 시간 이 소요 되 어 생산 성 이 저하 되 는 문제점 이 있 다 .