먼저 , 상기 저 류조 ( 101 ) 에 유입 수 가 저장 된 상태 에서 상기 유량 펌프 ( 102 ) 에 의해 상기 저류 조 ( 101 ) 의 유입 수 가 상기 자외선 챔버 ( 110 ) 의 수 처리 관로 ( 113 ) 로 공급 된다 . 이 때 , 상기 자외선 챔버 ( 110 ) 의 챔버 ( 111 ) 내부 는 상기 진공 펌프 ( 103 ) 에 의해 1 ∼ 10 - 3 torr 의 중진 공 상태 를 유지 하 며 , 상기 자외선 소독 램프 로부터 150 ∼ 300 nm 사이 의 파장 을 갖 는 다 파장 자외선 이 상기 챔버 ( 111 ) 내부 에 조사 된다 .