도 1 i ) 는 유연 한 폴리머 스탬프 ( 5 또는 8 ) 의 분리 후 , 결과 적 으로 임프 린트 된 대상물 ( 12 ) 을 도시 한다 . 전사 된 패턴 을 기판 에 영구 적 으로 고정 시키 기 위해서 , 기판 의 타 겟 면 ( 17 ) 을 노출 시키 도록 남 아 있 는 호일 ( 14 ) 의 가장 얇 은 부분 들 을 제거 하 고 , 타 겟 면 을 에칭 하 거나 다른 재료 로 플레이트 ( plate ) 하 는 , 추가 공정 단계 들 이 전형 적 으로 부가 된다 . 하지만 , 이 추가 공정 의 구체 적 인 것 들 은 발명 의 이해 에 있 어서 중요 하 지 않 다 .