본 발명 에 따른 샤워 플레이트 를 이용 하 는 경우 에 는 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 285 mm 내지 310 mm 범위 의 직경 을 가지 는 홀 가공 영역 은 , 가장 우수 한 반응기 세정 속도 ( 종래 의 샤워 플레이트 들 에 의하 여 달성 한 경우 에 비하 여 매우 우수 함 ) , 및 ± 3 . 0 % 이하 의 우수 한 막 두께 균 일도 를 가지 는 것 을 나타낸다 . 보다 상세 하 게 는 , 300 mm 의 직경 을 가지 는 홀 가공 영역 은 매우 높 은 세정 속도 ( 약 2 . 9