또한 , 레이저 어닐링 공정 에서 는 펄스폭 이 시간 이 지남 에 따라 일정 해야 한다 . 하나 의 웨이퍼 전체 를 어닐링 가공 하 는데 있 어서 레이저 펄스 를 수백 번 내지 수천 번 을 조사 하 게 되 는데 , 펄스폭 이 전원 이나 컨트롤 신호 등 의 미세 변화 에 의해서 변화 하 게 되 면 웨이퍼 의 가공 품질 이 웨이퍼 의 위치 에 따라 균일 하 지 않 게 되 는 문제 가 발생 하 게 된다 . 또한 , 펄스 레이저 의 특성 상 조사 되 는 매 펄스 마다 펄스폭 이 달라질 수 도 있 는데 , 이러 한 펄스 록 을 실시간 으로 측정 하 여 일정 하 게 제어 해야 한다 .