제 2 간섭계 ( 608 B ) 로부터 의 제 2 세트 의 간섭계 측정 빔 들 ( RSZ 3 및 RSZ 4 ) 은 각각 레티 클 스테이지 ( 602 ) 상 의 제 1 및 제 2 지점 들 ( 622 및 624 ) 로부터 반사 되 며 또 한 검출기 들 ( 616 ) 에 의해 검출 된다 . 그 후 , 검출 된 빔 들 에 대해 상관 관계 에 있 는 ( correlating ) 신호 들 이 저 장부 ( 618 ) 에 저장 된다 . 앞서 도시 되 고 설명 된 실시 예 들 에서 는 모두 4 개 의 측정 지점 들 ( 612 , 614 , 622 및 624 ) 이 실질 적 으로 동일 한 Y 값 을 갖 는 라인 을 따라 놓인다 . 다른 실시 예 들 에서 이것 이 요구 될 수 있 다 .