본 발명 은 미세 압력 발생 및 제 어 장치 에 관한 것 으로서 , 압력 소스 ( 10 ) 로부터 기체 가 공급 되 는 배관 과 연결 되 고 상기 기체 의 압력 을 조절 하 는 적어도 하나 이상 의 레 귤 레이터 ( 20 ) ; 상기 레 귤 레이터 ( 20 ) 에 연결 되 어 상기 기체 를 완충 수용 하 는 버퍼 챔버 ( 30 ) ; 상기 버퍼 챔버 에 연통 된 피 시험 장치 플랫 홈 ( 40 ) ; 및 상기 버퍼 챔버 ( 30 ) 와 연통 되 며 버퍼 챔버 내 의 압력 이 설정 된 기준 압력 보다 큰 경우 에 압력 을 배출 하 는 압력 조정 수단 ( 100 ) 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 며 , 기존 미세 압력 발생 및 제 어 장치 에 비해 구조 가 간단 하 고 저 가 이 면서 신뢰도 가 높 다 .