멤 브레인 ( 513 ) 은 소정 의 탄성 을 갖 는 얇 은 막 으로 형성 되 며 , 복수 의 압력 홀 ( 514 ) 이 형성 된다 . 여기 서 , 멤 브레인 ( 513 ) 에 는 각 챔버 ( Z 1 , Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 ) 마다 서로 다른 크기 및 / 또는 간격 으로 복수 의 홀 ( 541 , 542 , 543 , 544 , 545 ) 이 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 중앙 챔버 ( Z 1 ) 에 는 가장 크기 가 큰 홀 ( 541 ) 이 형성 되 고 , 기판 ( 1 ) 의 가장자리 쪽 의 챔버 ( Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 ) 에 는 갈수록 크기 가 작 은 홀 ( 542 , 543 , 544 , 545 ) 이 형성 될 수 있 다 . 또한 , 중앙 챔버 ( Z 1 ) 에 는 홀 ( 541 ) 의 간격 을 가장 크 게 형성 하 고 , 기판 ( 1 ) 의 가장자리 쪽 의 챔버 ( Z 2 , Z 3 , Z 4 , Z 5 ) 로 갈수록 크기 가 홀 ( 542 , 543 , 544 , 545 ) 의 간격 을 조밀 하 게 형성 할 수 있 다 . 그리고 기판 ( 1 ) 의 가장자리 를 가압 하 는 제 2 외측 챔버 ( Z 4 ) 에 가장 작 은 크기 의 홀 ( 544 ) 을 형성 하 고 , 가장 조밀 한 간격 으로 형성 할 수 있 다 . 또는 제 1 외측 챔버 ( Z 5 ) 에 가장 작 은 크기 의 홀 ( 545 ) 을 가장 조밀 한 간격 으로 형성 할 수 도 있 다 .