도 3 a 은 복합 격자 ( 110 , 120 ) 를 유지 하 는 기판 의 제 1 측정 에서 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 회절 기반 오버레이 오 차 검출 시스템 ( 이후 검출 시스템 으로 지칭 됨 ) ( 200 ) 을 개략 적 으로 도시 하고 있 다 . 검출 시스템 은 본 발명 의 일 실시 예 에서 기판 을 지지 하 도록 구성 되 는 지 지체 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 지 지체 는 본 발명 의 일 실시 예 에서 도 1 의 리소그래피 장치 의 기판 테이블 일 수 있 다 .