배기 매니폴드 ( 72 ) 의 포트 들 ( 76 ) 과 같 은 저 유체 컨덕턴스 소자 가 챔버 ( 12 ) 에 포함 되 지 않 았 다면 , 두 개 의 정반대 배기 포트 들 ( 79 ) 의 위치 는 챔버 ( 12 ) 의 둘레 에 압력 그래 디언 트 를 야기 할 수 있 고 , 그 로 인해 웨이퍼 캐리어 ( 50 ) 의 비 균일 기체 유동 을 생성 하 며 , 이 는 결과 적 인 반도체 웨이퍼 들 ( 58 ) 들 의 성질 에 있 어서 바람직 하 지 않 은 변화 들 을 야기 할 수 있 다 .