이 와 같 은 반도체 제조 공정 에 사용 되 는 가스 들 은 그 관리 가 매우 중요 한데 , " 이러 한 가스 들 은 가스통 ( 이하 "" 고압 가스통 "" 이 라 함 ) 에 고압 으로 충전 된 상태 로 캐비닛 에 장착 되 어 가스 공급 라인 을 통해 생산 라인 에 공급 되 며 ", 가스 가 약 90 % 정도 소진 되 면 고압 가스통 의 내부 에 잔류 하 는 이 물질 이 웨이퍼 가공 공정 으로 공급 되 지 않 도록 작업자 가 새로운 고압 가스통 으로 교체 함 으로써 , 계속 해서 가스 를 공급 하 게 된다 .