디싱 의 평가 : ( 2 ) 의 패턴 웨이퍼 에 대하 여 , 비배 선부 의 코발트 가 완전히 연마 될 때 까지 의 시간 에 더 하 여 , 추가 로 그 시간 의 20 % 분 만큼 만 여분 으로 연마 를 행하 고 , 라인 앤드 스페이스 부 ( 라인 10 μ m , 스페이스 10 μ m ) 의 단차 를 , 접촉 식 단차 계 DektakV 320 Si ( Veeco 사제 ) 로 측정 하 여 , 이하 의 기준 에 의하 여 평가 했 다 . 또한 , " 평가 "" G "" 이상 이 실용 범위 이 다 . "