반송 라인 ( A ) 와 반송 라인 ( B ) 의 사이 에 는 Y 방향 을 따른 직선 적 인 공간 ( 50 ) 이 형성 되 고 있 다 . 공간 ( 50 ) 에 는 유리 기판 ( G ) 를 재치 하 여 반송 가능 한 셔틀 ( 51 ) 이 설치 되 고 있 다 . 셔틀 ( 51 ) 은 처리 스테이션 ( 3 ) 의 카 셋 트 스테이션 ( 2 ) 측 의 단부 로부터 인터페이스 스테이션 ( 5 ) 측 의 단부 까지 이동 자유 롭 고 처리 스테이션 ( 3 ) 내 의 각 반 송체 ( 27 , 40 , 41 ) 에 대해서 유리 기판 ( G ) 를 수수 할 수 가 있 다 .