더미 플러그 ( DPL ) 는 더미 채널 막 ( DCL ) , 및 더미 채널 막 ( DCL ) 을 감싸 는 더미 유전 막 들 ( DMLa , DMLb ) , 및 더미 채널 막 ( DCL ) 으로 에워싸인 더미 코어 절 연막 ( DCO ) 을 포함 할 수 있 다 . 더미 플러그 ( DPL ) 는 제 2 슬릿 ( SI 2 ) 내부 를 채우 도록 더미 코어 절 연막 ( DCO ) 상 에 배치 된 분리 절 연막 ( SIL ) 에 중첩 될 수 있 다 . 더미 채널 막 ( DCL ) 은 채널 막 ( CL ) 과 동시 에 형성 되 고 , 동일 한 물질 막 으로 형성 될 수 있 다 . 더미 코어 절 연막 ( DCO ) 은 제 1 코어 절 연막 ( CO 1 ) 및 제 2 코어 절 연막 ( CO 2 ) 과 동시 에 형성 되 고 , 동일 한 물질 막 으로 형성 될 수 있 다 .