도 3 의 처리 에 의하 면 , ESC ( 13 ) 의 탑 재면 에 탑재 된 웨이퍼 ( W ) 가 열팽창 하 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 과 탑 재면 이 서로 마찰 하 여 그 탑 재면 이 미시 적 으로 평활 해진다 . 이때 , 웨이퍼 ( W ) 를 이용 할 뿐 이 기 때문 에 , 시간 과 노력 이 절약 되 고 , 또한 , 웨이퍼 ( W ) 그 자체 를 이용 하 여 탑 재면 을 평활 한 모양 으로 하 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 와 합치 하 는 탑 재면 을 형성 할 수 있 다 .