이 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 의 극 최 표면 온도 가 500 ℃ 에 도달 한 후 는 , 일정 한 온도 ( 500 ℃) 로 유지 된다 . 일정 온도 에서 의 유지 가 개시 하 면 , 예 를 들 면 , 그 후 의 어떤 시점 b 에서 플래시 램프 ( 5 ) 를 점등 하 기 위한 충전 용 콘덴서 ( 26 ) 에 충전 을 개시 하 기 위한 충전 개시 신호 가 들어간다 ( 도 5 의 Ⅳ ) . 이 충전 개시 신호 를 받 아 이 플래시 램프 ( 5 ) 의 양단 에 전압 이 인가 된다 ( 도 5 의 ( Ⅴ ) ) . 본 실시 예 에서 는 , 예 를 들 면 4000 V 의 전압 이 플래시 램프 ( 5 ) 에 인가 된다 .