본 발명 은 , 멀티 빔 묘화 방법 및 멀티 빔 묘화 장치 에 관한 것 이 다 . 본 발명 의 일 태양 의 멀티 빔 묘화 방법 은 , 멀티 빔 의 각 빔 을 한꺼번에 스테이지 의 이동 에 추종 하 도록 , 빔 편향 에 의한 k 회 째 ( k 는 자연수 ) 의 트랙 킹 제어 를 행하 고 , k 회 째 의 트랙 킹 제어 를 행하 면서 , 각 빔 이 각각 대응 하 는 빔 간 피치 사이즈 로 둘러싸인 직사각 형 의 조사 영역 내 를 동시 에 시프트 하 면서 복수 회의 빔 샷 을 행하 고 , k 회 째 의 트랙 킹 제어 기간 이 경과 한 후 , k + 1 회 째 의 트랙 킹 제어 의 개시 위치 로서 , 트랙 킹 위치 를 k 회 째 의 트랙 킹 제어 가 개시 된 트랙 킹 개시 위치 에 , 빔 간 피치 사이즈 의 정수 배 의 오프셋 을 더 붙인 위치 까지 되돌리 는 것 을 특징 으로 한다 .