따라서 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 이 도 6 b 의 화살표 로 표시 된 바 와 같이 수직 방향 으로 운동 할 때 상기 고정 콤 전극 ( 22 ) 과 구동 콤 전극 ( 27 ) 사이 에 발생 하 는 커패시턴스 의 크기 는 도 7 a 의 그래프 와 같이 변화 한다 . 즉 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 의 상하 운동 방향 을 z - 축 으로 정의 하 고 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 의 하단 부를 z - 축 의 원점 이 라 할 때 , 커패시턴스 는 구동 콤 전극 ( 27 ) 이 z = + T 에서 부터 - z 방향 으로 이동 하 는 동안 선형 적 으로 증가 하 게 된다 . 또한 , 커패시턴스 의 변화 에 의해 발생 하 는 정전기력 ( Fe ) 는 , 인가 전압 이 일정 하 다고 할 때 , 도 7 b 에 도시 된 바 와 같이 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 이 z = + T 에서 부터 - z 방향 으로 이동 하 는 동안 일정 하 게 유지 된다 . 따라서 , 본 발명 의 양호 한 실시 예 에 따른 수직 콤 전극 구조 의 경우 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 의 초기 위치 ( z = 0 ) 가 고정 콤 전극 ( 22 ) 과 간격 T 만큼 겹친 상태 에 있 으므로 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 은 선형 구동 이 가능 하 게 된다 . 즉 , 도 7 c 에 도시 된 바 와 같이 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 은 인가 전압 의 제곱 에 선형 적 으로 비례 하 여 구동 될 수 있 다 . 여기 서 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 의 변위 범위 를 크 게 하 기 위해서 는 T 의 값 이 작 은 것 이 좋 다 . 특히 , 고정 콤 전극 ( 22 ) 의 상단 부 와 구동 콤 전극 ( 27 ) 이 하 단부 가 완전히 일치 하 는 경우 ( 즉 , T = 0 ) 에 도 , 구동 콤 전극 ( 27 ) 의 선형 성 은 유지 될 수 있 다 .