도 3 은 , 본 발명 의 실시 예 1 의 포토 마스크 의 전사 성능 을 평가 하 기 위한 시뮬레이션 결과 를 나타내 는 설명도 이 며 , ( d - 1 ) 및 ( d - 2 ) 는 비 교예 1 에 대한 시뮬레이션 결과 를 나타내 는 도면 , ( d - 3 ) 및 ( d - 4 ) 는 참고 예 1 및 실시 예 1 에 대한 시뮬레이션 결과 를 나타내 는 도면 이 다 .