한편 , 도전 막 들 ( 111 A , 112 A ) 에 대한 평탄 화 공정 을 실시 하 기 전 에 , 도전 막 들 ( 111 A , 112 A ) 상부 에 이 들 을 보호 하 기 위해 보호막 ( 미 도시 ) 으로 절 연막 을 더 증착 할 수 도 있 다 . 예컨대 , 보호막 은 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) , 실리콘 산화 질화 막 ( SiON ) 또는 이 들 의 적층 구조 가 형성 할 수 있 다 .