또한 , 이상 은 , 제 1 노즐 로부터 의 처리 액 의 토출 을 정지 하 고 있 음 에 도 불구 하 고 제 1 노즐 로부터 처리 액 이 연속 적 으로 토출 되 는 현상 이 다 . 제 1 공급 배관 은 , 상기 이상시 이외 에 는 항상 열려 있 다 . 드립 핑 즉 , 제 1 노즐 로부터 의 처리 액 의 토출 을 정지 하 고 있 음 에 도 불구 하 고 , 처리 액 의 액적 이 제 1 노즐 로부터 단속 적 으로 낙하 하 는 현상 은 , 이 이상 으로부터 제외 된다 . 즉 , 드립 핑이 발생 했 을 때 에 는 , 제 1 공급 배관 이 열린 상태 가 유지 된다 . 이것 은 , 제 2 노즐 에 관한 이상 에 대해서 도 마찬가지 이 다 .