그러나 , 처리 실 내 에 반입 된 후 플 라즈 마 처리 된 시료 가 처리 실 내 로부터 반출 되 기 까지 의 일련 의 처리 중 에 처리 실 내 에서 의 압력 변동 에 의하 여 생기 는 이물 감 아 올림 등 에 대해서 는 고려 되 어 있 지 않 았 다 . 일반 적 으로 는 시료 가 처리 실 내 로 반송 되 어 플 라즈 마 처리 를 하 기 까지 처리 실 내 에 반송 용 가스 로서 도입 하 고 있 던 가스 도입 을 정지 하 고 , 고진공 배기 처리 를 실시 한 후 , 처리 실 내 에 프로세스 가스 를 도입 하 여 플 라즈 마 를 발생 시켜 플 라즈 마 처리 를 실시 한다 . 그 때문 에 처리 실 내 에서 는 반송 용 가스 도입 정지 부터 프로세스 가스 를 도입 하 기 까지 처리 실 내 에 도입 된 반송 가스 의 압력 으로부터 고진공 배 기압력 으로 압력 이 저하 하 고 , 또한 프로세스 가스 를 사용 한 플 라즈 마발 생 분위기 의 압력 으로 압력 변동 차 가 생기 고 , 이 압력 변동 에 따라 처리 실 내 측벽 에 퇴적 한 이물 의 감 아 올림 등 이 발생 한다 . 플 라즈 마 정지 후 에서 는 플 라즈 마 처리 용 가스 도입 을 정지 하 고 , 고진공 배기 를 실시 한 후 , 반송 용 가스 를 도입 하 기 때문 에 처리 실 내 에서 동일 한 압력 변동 차 를 일으키 고 , 플라 즈 마 처리 개시 전 과 마찬가지 로 처리 실 내 에서 의 압력 변동 차 에 의한 처리 실 내 측벽 에 퇴적 한 이물 의 감 아 올림 등 이 발생 한다 .