도 1 에 나타내 는 기판 처리 시스템 에 따르 면 , 하나 의 진공 반송 로봇 ( 7 ) 이 고장 나 더라도 , 나머지 의 진공 반송 로봇 ( 7 ) 에 의해 기판 의 처리 가 속행 될 수 있 다고 하 는 장점 이 있 다 . 그러나 , 복수 의 프로세스 챔버 ( 1 ) 사이 에서 기판 을 이동 시킬 때 , 진공 중 에서 기판 을 연속 적 으로 처리 할 수 없 다고 하 는 단점 이 있 다 . 기판 이 하나 의 프로세스 챔버 ( 1 ) 로부터 다른 프로세스 챔버 ( 1 ) 로 넘겨질 때 , 기판 이 일단 로더 모듈 ( 3 ) 의 대기 중 을 경유 해야 만 하 기 때문 이 다 ．