이 동작 실시 형태 는 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로 의 플 라즈 마 프로세스 가스 들 의 축류 펌프 인 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으 로부터 의 플 라즈 마 프로세스 가스 들 의 축류 펌프 아웃 을 제공 한다 . 이 실시 형태 에서 , 가스 들 이 방사상 방향 과 반 대로 수직 방향 으로 펌프 아웃 되 기 때문 에 웨이퍼 ( 113 ) 를 가로질러 정확 한 압력 균일성 제어 가 실현 될 수 있 다 . 배출 가스 들 의 펌프 아웃 이 웨이퍼 ( 113 ) 를 가로질러 방사상 압력 분포 를 일으킨다는 점 을 알 아야 한다 . 이 실시 형태 는 또한 짧 은 플 라즈 마 체류 시간 , 예 를 들 어 밀리 초 미만 이 체류 시간 을 필요 로 하 는 원자 층 성막 또는 원자 층 에칭 과 같 은 낮 은 플로우 애플리케이션 들 에서 의 체류 시간 의 정확 한 제어 를 허용 한다 .