도 1 을 참조 하 면 , 베벨 식각 장비 는 패턴 이 형성 된 웨이퍼 ( 10 ) 의 배면 이 장착 되 는 하부 전극 ( 20 ) 이 있 다 . 보다 구체 적 으로 하부 전극 ( 20 ) 은 하부 에서 웨이퍼 배면 을 잡 아 주 는 하부 척 ( Bottom chuck ) 및 하 부척 과 격리 링 을 사이 에 두 고 결합 되 면서 플 라즈 마 를 발생 시키 도록 고주파 ( RF ) 전원 ( 21 ) 의 일 단 으로부터 고주파 전력 을 공급 받 는 좁 은 의미 의 하부 전극 으로 구분 될 수 있 다 . 웨이퍼 ( 10 ) 상부 에 위치 하 여 플 라즈 마 를 발생 시키 도록 고주파 전원 ( 21 ) 의 다른 일단 혹은 접지 와 연결 되 는 상부 전극 ( 40 ) 을 구비 하 여 이루어진다 .