구조 단위 ( III ) 은 히드록시기 를 포함 하 는 구조 단위 이 다 . 히드록시기 로서 는 , 알코올 성 히드록시기 , 페놀 성 히드록시기 등 을 들 수 있 다 . [ A ] 중합체 는 구조 단위 ( III ) 을 더 가짐 으로써 , 현상액 에 대한 용해 성 을 조정 할 수 있 고 , 그 결과 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 의 LWR 성능 등 을 더욱 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 로부터 형성 되 는 레지스 트 패턴 과 기판 의 밀착 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 구조 단위 ( III ) 이 페놀 성 히드록시기 를 포함 하 는 경우 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 은 , KrF 노광 , EUV 노광 , 전자선 노광 등 에 있 어서 의 감도 를 보다 높일 수 있 다 .