또한 , 상술 한 본 발명 의 실시 예의 총 유기 탄소 분석 소자 는 MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems ) 공정 을 이용 하 여 제작 되 는 초 소형 초 정밀 의 랩온어칩 ( Lab on a chip ) 기반 으로 제작 되 는 것 에 의해 , 총 유기 탄소 분석 소자 를 수 μ m 내지 수 cm 크기 로 소형 화 할 수 있 으며 , 이 에 의해 총 유키 탄소 분석 장치 의 크기 또한 소형 화 하 고 , 제작 을 용이 하 게 하 는 효과 를 제공 한다 .