배선 패턴 ( 114 ) 및 비아 ( 116 ) 는 Al , Ti , Cr , Fe , Co , Ni , Cu , Zn , Pd , Pt , Au 및 Ag 와 같 은 금속 을 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 배선 패턴 ( 114 ) 및 비아 ( 116 ) 는 구리 를 포함 할 수 있 다 . 배선 패턴 ( 114 ) 및 비아 ( 116 ) 는 전기 화학 도금 공정 , 무전 해 도금 공정 , PVD 공정 , CVD 공정 , 스핀 온 공정 또는 이 들 의 조합 에 의해 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 배선 패턴 ( 114 ) 및 비아 ( 116 ) 는 다 마신 공정 에 의해 형성 될 수 있 다 .