상기 트렌치 들 ( 200 ) 의 내벽 상 에 제 1 보호막 ( 141 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 보호막 ( 141 ) 은 스 페이서 공정 에 의하 여 형성 될 수 있 다 . 일 예 로 , 상기 제 1 보호막 ( 141 ) 을 형성 하 는 것 은 상기 트렌치 들 ( 200 ) 내 에 절 연막 을 형성 한 후 , 직진 성 이 강한 플 라즈 마 를 이용 한 식각 공정 을 통하 여 상기 절 연막 의 바닥 면 을 제거 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 상기 제 1 보호막 ( 141 ) 의 형성 시 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 의 일부 가 함께 식각 될 수 있 다 .