전술 한 본 발명 의 목적 은 , 기판 을 고정 또는 지지 하 는 가이드 프레임 이 일체 화 된 서 셉 터 , 서 셉 터 의 상부 면 중 기판 이 놓이 는 제 1 영역 에 기 설정 된 제 1 피막 두께 로 피막 층 이 형성 되 는 제 1 피막 층 , 서 셉 터 의 상부 면 중 기판 이 놓이 지 않 는 제 2 영역 에 기 설정 된 제 2 피막 두께 로 피막 층 이 형성 되 는 제 2 피막 층 , 제 2 영역 의 제 2 피막 층 의 상부 면 에 기 설정 된 제 3 피막 두께 로 피막 층 이 형성 되 는 제 3 피막 층 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 가이드 프레임 이 일체 화 된 서 셉 터 를 제공 함 으로써 달성 될 수 있 다 .