판 정부 ( 53 A ) 는 데이터 ( SD 1 A ) 와 참조 데이터 ( RD 1 A ) 의 차이 를 구하 고 , 그 차이 가 기준 값 보다 큰 지 의 여부 를 판정 한다 . 차이 가 기준 값 보다 클 때 에 는 , 판 정부 ( 53 A ) 는 , 당해 차이 를 나타내 는 차이 데이터 ( DD 1 A ) 를 모델 생 성부 ( 51 A ) 에 출력 한다 . 모델 생 성부 ( 51 A ) 는 , 당해 차이 데이터 ( DD 1 A ) 의 입력 에 응답 하 여 , 모델 데이터 ( MD 1 A ) 를 갱신 한다 . 구체 적 으로 는 , 모델 생 성부 ( 51 A ) 는 보정 패턴 ( RP 1 ) 의 후보 의 형상 및 위치 의 적어도 어느 일방 을 수정 하 여 , 모델 데이터 ( MD 1 A ) 를 갱신 한다 . 그 수정 폭 은 촬상 화상 ( IM 1 A ) 의 공간 분해능 보다 작 다 . 모델 생 성부 ( 51 A ) 는 , 갱신 후 의 모델 데이터 ( MD 1 A ) 를 다시 합성 부 ( 54 A ) 에 출력 한다 .