센싱 부 ( 400 ) 는 인쇄 회로 기판 ( 110 ) 이 비 정상 적 으로 파지 된 경우 에 센싱 신호 를 발생 시킨다 . 즉 , 센싱 부 ( 400 ) 는 인쇄 회로 기판 ( 110 ) 이 비 정상 적 으로 파지 되 어 결과 적 으로 공기 가 제 2 진공 라인 ( 310 ) 으로 유입 된 경우 에 센싱 신호 를 발생 한다 . 이 와 달리 , 센싱 부 ( 400 ) 는 인쇄 회로 기판 ( 110 ) 이 정상 적 으로 파지 된 경우 에 는 정상 신호 를 발생 시키 고 , 비 정상 적 으로 파지 된 경우 에 는 비 정상 신호 를 발생 시킬 수 있 다 .