이하 , 본 발명 의 플 라즈 마 부품 의 물 성 을 상세 하 게 설명 하 기 위해 , 다음 과 같 은 실시 예 를 제시 한다 . 하지만 , 본 발명 은 이하 의 실시 예 에 특별히 한정 되 는 것 은 아니 다 . 실시 예 및 비 교예 에 나타내 는 부품 의 전기전도도 ( Ω · ㎝) 는 모델 명 LORESTA - GP MCP - T 610 ( 제조사 , Mitsubish ) 으로 측정 하 였 고 , 열전도율 ( ( W / m ㆍ k ) 은 모델 명 LFA 467 - TMA 402 F 3 ( 제조사 , NETZSCH ) 로 측정 하 였 다 . 또한 , 식각 율 ( %) 은 CF 4 가스 플 라즈 마로 식각 을 실시 한 후 두께 의 변화 로 비교 하 였 다 .