광 위상 변조 층 ( 230 ) 은 베이스 기판 ( 210 ) 상 에 적층 되 어 구비 된다 . 광 위상 변조 층 ( 230 ) 은 반사판 ( 231 ) , 마이크 로 엑 츄 에 이터 ( 233 ) , 전극 ( 235 ) , 이격 벽 ( 237 ) 을 구비 한다 . 여기 서 , 반사판 ( 231 ) , 마이크 로 엑 츄 에 이터 ( 233 ) 및 전극 ( 235 ) 은 동일 한 피치 를 갖 는다 .