이 에 따라 , 하부 챔버 부 ( 10 ) 는 펀칭 및 / 또는 씰 링 공정 을 수행 하 기 전 또는 후 에 상부 챔버 부 ( 50 ) 와 매칭 되 는 위치 로부터 이탈 하 여 그 상측 이 완전 개방 되 도록 한 이후 유지 및 보수 공정 을 수행 할 수 있 다 . 이 는 작업자 에게 충분 한 공간 적 여유 를 제공 하 여 , 하부 챔버 부 ( 10 ) 또는 상부 챔버 부 ( 50 ) 내 배치 되 는 구성 품 들 에 대한 유지 보수 공정 의 편의 를 도모 하 는 이점 을 발생 시킨다 .