한편 , 상기 가스 공급 부 는 소스 가스 를 공급 하 는 소스 가스 영역 , 퍼지 가스 를 공급 하 는 제 1 퍼지 가스 영역 , 반응 가스 를 공급 하 는 반응 가스 영역 및 퍼지 가스 를 공급 하 는 제 2 퍼지 가스 영역 을 순차 적 으로 포함 하 고 , 상기 분리 배기 부 는 상기 소스 가스 영역 과 상기 제 1 , 2 퍼지 가스 영역 의 경계 에 대응 하 여 상기 가스 공급 부 저면 에 형성 된 소스 가스 배기 라인 및 상기 반응 가스 영역 과 상기 제 1 , 2 퍼지 가스 영역 의 경계 에 대응 하 여 상기 가스 공급 부 저면 에 형성 된 반응 가스 배기 라인 을 포함 할 수 도 있 다 .