또한 , 레이저 광 조사 부 ( 510 ) 는 주사 부 ( 513 ) 를 구비 한다 . 주사 부 ( 513 ) 는 , 레이저 광원 ( 511 ) 으로부터 출사 된 레이 저광 을 , 렌즈 ( L ) 에 대하 여 상대 적 으로 주사 시킨다 . 본 실시 형태 의 주사 부 ( 513 ) 는 , 레이 저광 의 진행 방향 을 편향 시키 는 스캐너 를 구비 한다 . 레이저 광원 ( 511 ) 으로부터 출사 된 레이저 광은 , 스캐너 에 의해 진행 방향 을 편향 시킨 후 , 대물 렌즈 ( 512 ) 를 거쳐 렌즈 ( L ) 를 향하 여 조사 된다 . 상세 하 게 는 , 본 실시 형태 의 주사 부 ( 513 ) 는 , 레이 저광 의 광축 에 교차 하 는 X 방향 으로 레이 저광 을 주사 하 는 X 스캐너 와 , 광축 및 X 방향 에 모두 교차 하 는 Y 방향 으로 레이 저광 을 주사 하 는 Y 스캐너 를 구비 한다 . 주사 부 ( 513 ) 는 , X 스캐너 와 Y 스캐너 에 의해 , 레이 저광 을 이차원 방향 으로 주사 할 수 있 다 . 일례 로서 , 본 실시 형태 의 스캐너 ( X 스캐너 및 Y 스캐너 의 각각 ) 에 는 갈바 노 미러 가 채용 되 고 있 다 . 그러나 , 갈바 노 미러 이외 의 스캐너 ( 예 를 들 어 , 폴리곤 미러 또는 음향 광학 소자 등 ) 가 사용 되 어도 된다 . 또한 , 주사 부 는 , 레이저 광 에 대하 여 렌즈 ( L ) 의 위치 를 이동 시키 는 이 동부여 도 된다 . 주사 부 로서 , 스캐너 와 이 동부 가 함께 사용 되 어도 된다 .