이상 과 같 은 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 통하 여 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 을 평탄 화 시킨 다음 , 후술 하 는 노즐 층 ( 도 8 의 130 ) 을 형성 하 는 단계 가 바로 수행 될 수 있 다 . 그러나 , 본 실시 예 에서 는 전술 한 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 수행 한 다음 , 도 11 g 에 도시 된 바 와 같이 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 통하 여 상기 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 의 상면 을 한번 더 평탄 화 시키 는 단계 가 포함 될 수 있 다 .