우선 , 마스크 패턴 ( 220 ) , 배선 ( 210 ) 및 제 2 절 연막 ( 120 ) 의 전면 에 컨 포 멀 하 게 스 페이서 절 연막 ( 미 도시 ) 을 형성 한다 . 스 페이서 절연 막 은 예 를 들 어 , 질화 막 으 로 형성 할 수 있 다 . 이어서 , 마스크 패턴 ( 220 ) 및 배선 ( 210 ) 의 양 측벽 에 스 페이서 ( 230 ) 가 형성 되 고 , 제 2 절 연막 ( 120 ) 상부 의 스 페이서 절 연막 은 모두 제거 되 도록 식각 공정 을 진행 한다 . 이 때 , 식각 공정 은 예 를 들 어 , 에치 백 공정 으로 진행 할 수 있 다 .