대기 반 송실 ( 25 ) 내 의 대기 반송 로봇 은 , 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 위 에 세트 된 카세트 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 1 매 씩 취 출하 고 , 취 출한 기판 ( W ) 을 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 어느 하나 에 반입 한다 . 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 내 의 제 1 진공 반송 로봇 은 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 또는 26 - 2 ) 에 반입 된 해당 기판 ( W ) 을 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 또는 23 - 2 ) 에 반송 한다 . 해당 기판 ( W ) 을 반입 한 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 또는 23 - 2 ) 에서 소정 의 처리 가 종료 되 면 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 내 의 제 1 진공 반송 로봇 이 그 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 또는 23 - 2 ) 로부터 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 취 출한 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 또는 26 - 2 ) 에 반입 한다 . 대기 반 송실 ( 25 ) 내 의 대기 반송 로봇 은 , 그 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 반입 한 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 또는 26 - 2 ) 로부터 대기압 하 에서 기판 ( W ) 을 취 출하 여 , 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 중 어느 하나 에 탑재 되 어 있 는 카세트 에 수납 한다 . 여기 에서 , 제 1 진공 반송 로봇 에 의한 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 중 어느 하나 로부터 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 중 어느 하나 로 의 기판 ( W ) 의 흐름 을 제 1 반송 루트 라 한다 .