[ 0066 ] 도 6 은 기판 들 , 이를테면 실리콘 기판 들 의 온도 - 제 어식 프로세싱 을 위해 사용 될 수 있 는 프로세싱 시스템 ( 600 ) 의 개략 적 인 단면도 이 다 . 프로세싱 시스템 ( 600 ) 은 프로세싱 유닛 ( 624 ) 및 제 1 열 유닛 ( 608 ) 을 포함 한다 . 프로세싱 유닛 ( 624 ) 은 , 캘리포니아 , 산타클라라 의 어 플 라이드 머 티어리 얼스 , 인 코포 레이티 드 로부터 입수 가능 한 VANTAGE ® RADOXTM RTP 챔버 일 수 있 다 . 프로세싱 유닛 ( 624 ) 은 , 프로세스 들 , 이를테면 예컨대 , 열 어닐링 , 열 세정 , 열 화학 기상 증착 , 열 산화 , 또는 열 질화 를 위해 , 기판 ( 201 ) 을 가열 하 는 제 어식 열 사이클 을 제공 할 수 있 다 .