전술 한 바 와 같이 , 전극 블록 은 3 개 의 O - 링 으로 전극 매니폴드 에 밀봉 된다 . 전극 블록 은 중합체 또는 금속 으로 제조 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 냉각 을 돕 기 위해 높 은 열 전도 성 으로 인해 알루미늄 으로 만들 어 진다 . 전극 블록 의 폐쇄 단부 에 있 는 냉각 핀 은 장치 챔버 내 의 대류 냉각 공기 에 대한 플 라즈 마 챔버 로부터 열 을 제거 하 는 것 을 돕 는 추가 적 인 표면적 을 제공 한다 . 전극 블록 의 끝 에 있 는 제거 기능 은 손가락 으로 잡 고 전극 매니폴드 에서 전극 블록 을 제거 하 기 위해 잡 아 당길 수 있 는 와이어 형태 로 구성 된다 . 이 설계 의 한 가지 이점 은 사용 중 손상 되 었 거나 전극 활동 에 영향 을 주 는 충분 한 스퍼터링 재료 를 받 는 경우 전극 블록 을 교체 할 수 있 다는 것 이 다 . 전극 블록 은 나사 , 클램프 또는 다른 특징 으로 전극 매니폴드 에 고정 된다 . 일 실시 예 에서 , 전극 블록 을 제거 하 기 위한 툴 이 필요 하 지 않 다 . 도 92 에 도시 된 실시 예의 하나 의 이점 은 전극 조립 체 는 전극 블록 을 제거 하 고 , 전극 조립 체 를 교체 하 고 전극 블록 을 재 삽입 함 으로써 NO 발생 장치 의 후면 에 있 는 액세스 패널 로부터 제거 될 수 있 다는 것 이 다 .