상기 기판 스테이지 ( 120 ) 상면 에 는 에지 링 ( edge ring ; 미 도시 ) 이 더 구비 될 수 있 다 . 상기 에지 링 은 기판 ( 110 ) 주변 부 에 인접 하 게 배치 되 어 기판 ( 110 ) 의 주변 부 에 박막 이 증착 되 는 것 을 방지 하 며 , 상기 기판 스테이지 ( 120 ) 상 에 로딩 되 는 기판 ( 110 ) 을 얼 라인 한다 . 또한 , 상기 기판 스테이지 ( 120 ) 의 상부 측면 부위 를 따라 기판 ( 110 ) 을 로딩 및 언로 딩 하 는 다 수개 의 리프트 핑거 ( lift finger ; 미 도시 ) 가 구비 될 수 있 다 .