이러 한 반응 가스 를 단독 으로 사용 해도 좋 지만 , 수소 , 불소 , 염소 등 의 반응 성 이 있 는 가스 ; 도 펀트 ( dopant ) 인 Ⅲ 족 원소 를 함유 한 가스 , 예 를 들 면 , B 2 H 6 ( 디보란 ) , B ( CH 3 ) 3 ( 트리 메틸 붕소 ) 또는 Ⅴ 족 원소 를 함유 한 가스 , 예 를 들 면 PH 3 ( 포스핀 ) ; 헬륨 , 아르곤 , 네온 등 의 불활성 가스 ; 질소 등 의 가스 를 첨가 도입 하 여 , 실란 화합물 가스 를 희석 해서 사용 해도 좋 다 .