이 포토 마스크 ( 80 ) 는 도시 를 생략 한 노광 장치 에 장착 된다 . 이 노광 장치 에 는 , 광원 과 포토 마스크 ( 80 ) 와 노광용 의 렌즈 와 기판 이 이 순서 로 배치 된다 . 광원 은 포토 마스크 ( 80 ) 에 노광용 의 광 을 조사 한다 . 이 광 은 포토 마스크 ( 80 ) 의 투광 부 ( 80 a ) 를 투과 하 고 , 노광용 의 렌즈 를 경유 하 여 기판 상 의 포토레지스트 에 조사 된다 . 이 로써 , 기판 상 의 포토레지스트 를 노광 할 수 있 다 . 바꿔 말 하 면 , 포토 마스크 ( 80 ) 의 투광 부 ( 80 a ) 의 패턴 을 기판 의 포토레지스트 상 에 전사 할 수 있 다 . 기판 상 의 포토레지스트 에 대해 원 하 는 패턴 으로 노광 하 려면 , 포토 마스크 ( 80 ) 의 패턴 형상 의 정밀도 가 중요 하 다 .