도 8 a 내지 도 8 c 는 , 2 개 의 상이 한 광 파장 또는 2 개 의 상이 한 광 컬러 들 이 다운 - 룩 광학 시스템 ( 20 ) 에 통합 된 수렴 렌즈 ( 90 ) 와 다른 거리 에서 집속 되 도록 , 다운 - 룩 광학 시스템 ( 20 ) 아래 에 위치 된 본드 헤드 ( 89 ) 의 실시 예 에 대한 단면도 들 이 다 . 예 를 들 어 , 적색 광 ( 96 ) 은 기판 이 위치 되 는 상기 다운 - 룩 광학 시스템 ( 20 ) 으로부터 제 1 거리 에 위치 한 초점면 ( 97 ) 위 에 집속 될 수 있 으며 , 반면 청색 광 ( 95 ) 은 상기 다운 - 룩 광학 시스템 ( 20 ) 으로부터 제 2 거리 에 위치 한 초점면 ( 98 ) 상 에 위치 되 는 기준 마크 에 집속 될 수 있 다 . 따라서 , 검사 를 위한 각각 의 초점면 들 ( 97 , 98 ) 을 얻 기 위해 상이 한 광 파장 들 또는 광 컬러 들 이 사용 된다 .