도 3 은 본 발명 에 따라 마스크 제작 후 광 강도 분포 를 나타낸 도면 으로 , 도 2 에 도시 된 제 1 패턴 ( 202 ) , 제 2 패턴 ( 204 ) 및 제 3 패턴 ( 206 ) 에 각각 대응 되 는 제 1 ' 패턴 ( 302 ) , 제 2 ' 패턴 ( 304 ) 및 제 3 ' 패턴 ( 306 ) 을 포함 하 는 마스크 ( 300 ) 의 광 강도 분포 를 측정 하 여 이 를 표시 할 수 있 다 . 이 때 , 광 강도 분포 에서 광 강도 가 높 은 부분 ( a , b ) 중 스몰 패턴 인 제 2 ' 패턴 ( 304 ) 과 제 1 ' 패턴 ( 302 ) 의 중심 및 스몰 패턴 인 제 2 ' 패턴 ( 304 ) 과 제 3 ' 패턴 ( 306 ) 의 중심 이 광 강도 가 가장 높 은 부분 이 된다 .