또한 , 매크로 카메라 ( 31 ) 및 마이크 로 카메라 ( 33 ) 를 , 하나 의 X 축 이동 기구 ( 51 ) 에 의해 X 축 방향 을 따라 이동 시키 는 것 만 으로 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에서 의 촬상 및 검사 와 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 에서 의 촬상 및 검사 의 양방 을 실시 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 검사 장치 ( 1 ) 의 컴팩트 화 를 도모 할 수 있 다 .