이 뱃 치식 기판 처리 장치 에서 는 , 처리 용기 의 내벽 을 따라 인 젝 터 가 마련 되 고 , 처리 용기 의 하단 플랜지 에 형성 된 관통 구멍 에 L 자형 인 젝 터 의 수평 부분 이 삽입 되 어 고정 되 는 구조 로 되 어 있 다 . 또한 , 인 젝 터 의 수직 부분 에 는 , 기판 이 적층 되 는 방향 ( 연직 방향 ) 을 따라 복수 의 가스 분출구 가 마련 되 어 있 고 , 또한 인 젝 터 를 회전 시키 는 기구 가 마련 되 어 있 는 것 이 개시 되 어 있 다 .