도 2 및 도 20 을 참조 하 면 , 상기 제 1 콘 택 영역 ( CTR 1 ) 의 최하층 의 상기 절 연막 ( 110 ) 및 상기 제 1 희생 막 ( HL 1 ) 이 식각 될 때 까지 상기 사이클 을 반복 할 수 있 다 . 이 로써 , 상기 하부 절 연막 ( 105 ) 의 상면 의 일부 가 노출 될 수 있 다 . 상기 제 2 하부 패턴 ( UL 2 ) 을 이용 한 상기 사이클 의 반복 을 통하 여 , 상기 제 1 적층 구 조체 ( ST 1 ) 의 일단 ( 즉 , 상기 제 1 콘 택 영역 ( CTR 1 ) ) 은 계단식 구조 를 가질 수 있 다 . 이 와 함께 , 반복 된 트리밍 공정 으로 인하 여 상기 제 2 하부 패턴 ( UL 2 ) 의 크기 는 매우 작아질 수 있 다 .