상기 기술 된 목적 을 위하 여 , 본 발명 의 기판 검사 장치 는 바닥 판 및 바닥 판 을 위 로 늘인 두 개 의 지탱 부품 을 포함 하 는데 , 이 지탱 부품 은 관측 개구 및 검사 개구 의 범위 를 결정 한다 . 받침대 는 두 개 의 지탱 부품 을 걸쳐서 설치 하 여 , 상기 검사 개구 를 둘러싸 고 있 고 , 검사 하 려는 기판 을 정면 이 위 로 향하 도록 받침대 위 에 설치 하 였을 때 , 기판 뒷면 검사 하 려는 부분 이 검사 개구 에 노출 이 되 도록 한다 . 받침대 의 아래 에 반사경 을 설치 하 는데 , 두 개 의 지탱 부품 사이 에 위치 하 고 , 회전축 을 따라 회전 할 수 있 으며 ; 지탱 부품 위 에 위치 한 회전 손잡이 로 반사경 의 반사면 회전 각도 를 조절 할 수 있 어서 , 기판 뒷면 의 화상 이 관측 개구 에서 반사 가 되 어 , 검사원 이 편리 하 게 관측 하 며 , 이 로써 기판 ( 210 ) 뒷면 의 결함 을 검사 할 수 있 다 . 별도 로 , 본 발명 의 기판 검사 장치 는 광원 을 포함 하 는데 , 받침대 개구 의 기판 뒷면 을 밝혀 주 어 , 검사원 이 더 확실히 기판 뒷면 의 결함 을 볼 수 있 도록 한다 .