제 1 - 1 아암 ( 811 ) 과 제 1 - 2 아암 ( 812 ) 및 제 2 - 1 아암 ( 821 ) 과 제 2 - 2 아암 ( 822 ) 중 에서 제 1 - 1 아암 ( 811 ) 과 제 1 - 2 아암 ( 812 ) 은 로드 락 모듈 ( 120 ) 로부터 하나 의 웨이퍼 를 로딩 하 여 정해진 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 이송 하 고 , 제 2 - 1 아암 ( 821 ) 과 제 2 - 2 아암 ( 822 ) 은 정해진 프로세스 모듈 ( 140 ) 로부터 웨이퍼 를 로딩 하 여 로드 락 모듈 ( 120 ) 로 웨이퍼 를 이송 할 수 있 도록 제어 할 수 있 다 . 물론 , 반대 의 경우 도 가능 하 다 .