중간 지지 장치 ( 160 ) 는 중간 지지대 ( 161 ) 와 수평 회전 원판 ( 162 ) 을 포함 하 여 이루어지 며 수평 회전 원판 ( 162 ) 은 중간 지지대 ( 161 ) 에 수평 회전 가능 하 게 설치 된다 . 중간 지지 장치 ( 160 ) 의 수평 회전 원판 ( 162 ) 은 챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 가이드 의 밑부분 을 지지 함 으로써 승강 구름 장치 ( 140 ) 로부터 수평 이 동하 여 오 는 챔버 커버 ( 130 ) 를 이어받 는다 . 중간 지지대 ( 161 ) 는 승강 구름 장치 ( 140 ) 가 승강 된 후 와 동일 한 높이 를 유지 하 고 있 으면 족하 며 굳이 승강 기능 이 있 을 필요 는 없 다 .