일 실시 예 에서 , 단일 매니폴드 는 다음 특징 에 대한 공 압 통로 및 연결부 를 처리 한다 : 플라 즈 마 챔버 압력 측정 , 고도 보정 용 비례 밸브 , 가스 분석 센서 로 의 흐름 을 분류 하 기 위한 블리드 밸브 , 제품 가스 를 센서 로 보내 기 위한 플로우 디렉터 , 제품 가스 를 특정 처리 경로 로 라우팅 하 기 위한 플로우 디렉터 ( 환기 처리 대 예 를 들 어 수동 백 환기 ) , 스캐빈저 경로 로 가스 라우팅 , 스캐빈저 경로 에서 NO 주입 경로 로 가스 라우팅 , NO 인 젝 터로 가스 라우팅 , 벤트 카트리지 로 가스 라우팅 등