이때 , 점착 테이프 ( DT ) 가 시 일재 로서 기능 함 과 함께 , 챔버 ( 11 ) 는 점착 테이프 ( DT ) 에 의해 2 개 의 공간 으로 분할 된다 . 즉 , 점착 테이프 ( DT ) 를 사이 에 두 고 하부 하우징 ( 11 B ) 측 의 하부 공간 ( H 1 ) 과 상부 하우징 ( 11 B ) 측 의 상부 공간 ( H 2 ) 으로 분할 된다 . 하부 하우징 ( 11 A ) 내 에 위치 하 는 웨이퍼 ( W ) 는 , 점착 테이프 ( DT ) 와 소정 의 클리어런스 를 갖 고 근접 대향 하 고 있 다 .