3 - 그리드 옵틱 ( optic ) 시스템 과 같 은 이온 추출기 ( 40 ) 가 기계 적 셔터 ( 42 ) 에 인접 하 게 배치 된다 . 이온 추출기 ( 40 ) 는 플 라즈 마로 부터 양 이온 들 을 추출 하 고 기판 ( 16 ) 을 향해 빔 으로 양 이온 들 을 가속 화 한다 . 플 라즈 마 브리지 중성 화기 ( 44 ) 가 이온 추출기 ( 40 ) 및 기계 적 셔터 ( 42 ) 를 통과 하 는 이온 빔 의 전하 를 중성 화 하 기 위해 프로세싱 챔버 ( 12 ) 내 로 전자 들 e - 을 공급 한다 .