제 1 항 에 있 어서 , 상기 기판 측 조성 경사 층 과 상기 표면 측 조성 경사 층 사이 에 중간 층 을 갖 고 , 상기 중간층 이 전이 금속 과 질소 및 / 또는 산소 를 포함 하 는 규소 재료 로 구성 되 며 , 전이 금속 과 규소 의 함 유비 ( 전이 금속 : 규소 ) 가 1 : 2 내지 1 : 9 ( 원 자비 ) 이 며 , 질소 와 산소 의 합계 함유율 이 10 내지 23 원자 ％ 인 것 을 특징 으로 하 는 바이너리 포토 마스크 블랭크 .