하부 절연 층 ( 33 ) 은 제 1 재료 층 과 제 2 재료 층 에 대한 식각 선택 비 가 다른 에 천 트 를 이용 하 여 식각 될 수 있 다 . 특히 , 제 2 재료 층 보다 제 1 재료 층 에 대한 식각 선택 비 가 높 은 에 천 트 를 이용 함 으로써 , 제 1 및 제 2 개 구부 들 ( 33 a , 33 b ) 의 측벽 및 측면 을 완만 한 경사 를 갖 는 오프셋 형상 의 구조 로 형성 할 수 있 다 . 이 에 대해서 는 도 3 b 를 참조 하 여 앞 에서 설명 하 였으므로 , 상세 한 설명 은 생략 한다 .