상기 제 1 배선 ( 140 ) 은 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 의 상부 면 에 형성 된 함몰 부 ( 141 ) 에 배치 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 제 1 배선 ( 140 ) 은 상기 상부 가스 분배 판 ( 160 a ) 의 하부 면 에 형성 된 함몰 부 ( 141 ) 에 배치 될 수 있 다 . 상기 함몰 부 ( 141 ) 의 형상 은 상기 제 1 배선 의 형상 과 동일 할 수 있 다 .