도 15 는 , 변경 예의 정전 척 장치 ( 10 a ) 를 나타낸다 . 이 정전 척 장치 ( 10 a ) 는 지지대 ( 40 ) 와 정전 척 ( 20 ) 을 포함 하 고 있 다 . 이 정전 척 ( 20 ) 는 상기 실시 예의 접합제 ( 30 ) 를 이용 하 지 않 고 , 지지대 ( 40 ) 의 상면 ( 40 a ) 에 직접 연결 되 어 있 다 . 정전 척 ( 20 ) 과 지지대 ( 40 ) 를 직접 접합 하 는 방법 으로 는 상온 접합 을 사용 할 수 있 다 .