도 10 a 와 도 10 b 는 본 발명 의 일 구 현예 에 따라 일부 구성 된 인터페이스 패드 의 단면도 들 이 다 . 단면 의 인터페이스 패드 ( 1000 ) 는 통로 보유 층 ( 1002 ) 을 포함 한다 . 통로 보유 층 ( 1002 ) 는 연마 용품 지지 면 ( 1006 ) 의 가장자리 ( 즉 , 외주 ) 아래 에 위치 된 고리 형 섬 ( 1004 ) 과 , 반도 형 돌기 들 ( 1008 ) 및 섬 들 ( 1010 ) 을 포함 한다 . 통로 보유 층 ( 1002 ) 은 고리 형 섬 ( 1004 ) , 반도 형 돌기 들 ( 1008 ) 및 섬 들 ( 1010 ) 에 의해 한정 된 통로 들 ( 1012 ) 을 포함 한다 .