( 5 ) 상술 한 실시 예 에서 는 , 기판 처리 열 ( Ｌ ) 은 상하 방향 으로 나란히 설치 되 어 있 지만 , 이 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 횡 방향 또는 수평 방향 으로 나란히 설치 되 어 있 는 복수 의 기판 처리 열 ( Ｌ ) 을 구비 하 도록 변경 해도 좋 다 . 혹은 , 복수 의 기판 처리 열 ( Ｌ ) 을 횡 방향 및 상하 방향 으로 각각 나란 하 도록 배치 해도 좋 다 .