덮개 를 떼 어 낼 경우 , 먼저 , FOUP 의 전 방면 이 처리 장치 의 반 송구 에 밀착 한 상태 에서 , 덮개 개폐 기구 가 FOUP 의 덮개 를 향해서 전진 하 여 , 덮개 에 설치 된 로크 기구 에 작용 하 여 로크 를 해제 한다 . 계속 해서 , 덮개 개폐 기구 가 , 로크 가 해제 된 덮개 를 유지 한 상태 에서 처리 장치 내 의 웨이퍼 반송 영역 의 방향 으로 후퇴 하 고 , FOUP 내 의 웨이퍼 가 웨이퍼 반송 영역 에 개방 된다 .