상기 냉각 매체 공급 관 ( 70 ) 은 상기 챔버 ( 40 ) 에 연결 되 어 그 챔버 ( 40 ) 외부 로부터 공급 되 는 냉각 매체 의 통로 이 다 . 상기 냉각 매체 공급 관 ( 70 ) 을 통해 상기 챔버 ( 40 ) 내부 로 유입 되 는 냉각 매체 로 는 액체 아르곤 ( Ar ) 또는 액체 헬륨 ( He ) 을 사용 할 수 있 다 . 상기 냉각 매체 공급 관 ( 70 ) 을 통해 공급 된 냉각 매체 는 상기 회전체 ( 30 a ) 에 분사 되 어 그 회전체 ( 30 a ) 의 온도 를 효과 적 으로 낮추 는 역할 을 한다 .