제 2 광학계 ( 32 ) 에 입사 한 노광 광 ( EL ) 은 , 제 4 조명 영역 ( IA 4 ) 에 조사 된다 . 제 4 조명 영역 ( IA 4 ) 의 위쪽 에 는 수광 장치 ( 82 ) 가 배치 되 어 있 고 , 수광 장치 ( 82 ) 는 , 제 4 조명 영역 ( IA 4 ) 으로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 검 출광 으로서 수 광 한다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 , 상술 한 제 8 실시 형태 와 동일 하 게 하 고 , 수광 장치 ( 82 ) 의 수광 결과 에 의거 하 여 제 1 패턴 ( PA 1 ) 과 제 2 패턴 ( PA 2 ) 과 의 위치 관계 에 관한 정보 를 취득 할 수 있 다 .