이러 한 구성 에서 , 2 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 은 회전식 보유 기구 ( 3 ) 에 의해 보유 된 웨이퍼 ( W ) 에 평행 한 평면 상 에서 이동 할 수 있 으며 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 의 연마 헤드 ( 90 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 을 향해 그리고 상기 노치 부분 으로부터 서로 독립 적 으로 이동 할 수 있 다 . 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 이 X - 축 방향 으로 동기 적 으로 이동 하 기 때문 에 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B ) 사이 의 스위칭 이 감소 된 시간 에서 수행 될 수 있 다 . 이 실시 예의 테이프 공급 및 회수 기구 는 테이프 공급 및 회수 기구 가 연마 헤드 모듈 의 일부 를 구성 하 며 연마 헤드 ( 90 ) 와 함께 이동 하 도록 구성 된다는 점 에서 제 1 실시 예 와 다르 다 .