제 2 실시 형태 에 관련 된 노광 시스템 및 그것 을 포함 하 는 디바이스 제조 시 스템 에 의하 면 , 주 노광 장치 , 종 노광 장치 및 반송 장치 를 연휴 제어 하 는 주제 어부 를 주 노광 장치 가 구비 하 고 있 기 때문 에 , 효율 적 으로 노광 을 실시 할 수 있 어 , 스루풋 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 주 노광 장치 및 종 노광 장치 에 의해 1 장 의 기판 상 에 상이 한 패턴 을 노광 할 수 있 기 때문 에 , 기판 의 이용 효율 을 향상 시킬 수 있 어 , 디바이스 의 제조 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .