얼라인먼트 동작 은 , 얼라인먼트 카메라 에 의해 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 에 미리 형성 되 어 있 는 얼라인먼트 마크 를 촬상하여 양자 의 위치 어긋남 량 및 방향 을 검지 하 고 , 자기 부상 하 고 있 는 반송 캐리어 ( 302 ) 의 위치 를 반송 구동 계 에 의해 미세 하 게 이동 하 면서 위치 맞춤 ( 얼라인먼트 ) 을 행하 고 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 의 위치 가 정확 하 게 위치 맞춤 된 상태 에서 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 에 의해 마스크 ( M ) 가 흡착 되 어 , 반송 캐리어 ( 302 ) 에 보유 지지 된다 .