본 발명 은 , 웨이퍼 표면 에 박막 을 기상 성장 시키 기 위한 기상 성장 장치 에 있 어서 웨이퍼 를 지지 하 기 위한 서 셉 터 에 관한 것 으로 , 그 서 셉 터 에 는 웨이퍼 를 수용 할 수 있 는 우묵 한 부분 이 형성 되 고 , 그 우묵 한 부분 의 바닥 면 에 는 메시 패턴 의 홈 에 의해 다수 의 방형 볼록 부가 형성 되 어 있 으며 , 상기 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 에서 의 홈 깊이 가 중앙부 보다 얕 은 것 을 특징 으로 하 는 기상 성 장용 서 셉 터 에 관한 것 이 다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 외 주부 온도 저하 에 따른 막 두께 저하 , 웨이퍼 재치 시 의 휨 , 웨이퍼 이 면 외주 부로 의 퇴적 등 의 문제 를 개선 시킬 수 있 다 .