여기 서 , 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에는 , 기판 스테이지 ( PST ) 에 지지 되 어 있 는 감광 기판 ( P ) 이 대향 하 여 배치 되 는 마크 형성 장치 ( 61 ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 마크 형성 장치 ( 61 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 칼럼 ( 100 ) 의 상부 플레이트 부 ( 100 A ) 의 하부 에 장착 되 어 있 으며 , 감광 기판 ( P ) 상 에 , 이 감광 기판 ( P ) 을 소정 위치 에 대하 여 위치 맞춤 할 때 에 사용 하 는 마크 ( 화면 배치 용 마크 ) 를 형성 한다 . 본 실시 형태 에서 는 , 마크 형성 장치 ( 61 ) 가 2 개 설치 되 어 있 다 . 한편 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 설치 되 어 있 는 마크 형성 장치 ( 61 ) 로 감광 기판 ( P ) 상 에 형성 된 마크 를 검출 하 는 마크 검출 장치 ( 62 ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 마크 검출 장치 ( 62 ) 는 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 칼럼 ( 100 ) 의 상부 플레이트 부 ( 100 A ) 의 하부 에 장착 되 어 있 으며 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 마크 형성 장치 ( 61 ) 에 의해 감광 기판 ( P ) 상 에 형성 된 마크 를 검출 함 으로써 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 로 노광 된 감광 기판 ( P ) 상 의 쇼트 영역 ( 특히 , 제 1 층 째 의 노광 패턴 ) 의 위치 를 검출 할 수 있 게 된다 . 후술 하 는 바 와 같이 , 마크 검출 장치 ( 62 ) 는 그 검출 결과 를 종제 어부 ( 8 ) 에 대하 여 출력 하 고 , 종제 어부 ( 8 ) 는 그 검출 결과 에 기초 하 여 종 노광 장치 ( EX 2 ) 로 노광 하 기 위한 쇼트 영역 을 , 기판 ( P ) 에 이미 형성 된 쇼트 영역 에 대하 여 정확 하 게 위치 시킬 수 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 마크 검출 장치 ( 62 ) 는 , 마크 형성 장치 ( 61 ) 에 대응 하 여 2 개 설치 되 어 있 다 . 또한 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에 설치 되 어 있 는 마크 형성 장치 ( 61 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 설치 된 마크 검출 장치 ( 62 ) 는 , 후술 하 는 제 2 실시 형태 에서 설명 하 는 노광 동작 에 있 어서 사용 된다 .