방법론 은 , 예 를 들 어 하나 이상 의 관련 있 는 모델 , 예 를 들 어 패 터닝 디바이스 및 / 또는 수차 모델 내 의 더 많 은 매개변수 로 개선 될 수 있 다 . 방법론 은 예 를 들 어 , 전체 공정 기여 도 를 상이 한 피처 에 대한 상이 한 민감 도로 상이 한 기여 자 , 예 를 들 어 증착 , 리소그래피 및 / 또는 에칭 으로 분해 하 여 전체 공정 기여 도 를 추정 함 으로써 확장 될 수 있 다 .