단계 3111 는 단계 319 이후 에 수행 되 며 , 도 4 의 ( 10 ) 에 도시 된 것 처럼 , 등방성 에칭 ( isotropic etching ) 을 수행 할 수 있 다 . 단계 3111 에 의하 면 , 단계 319 에 따라서 모서 리진 형상 으로 형성 된 부분 을 다각 적 으로 에칭 하 여 곡면 이 되 도록 할 수 있 다 . 다시 말 하 면 , 마이크 로 기둥 주형 부 의 하단 부가 라운드 진 면 을 가질 수 있 다 . 이 와 같 은 형상 에 의하 면 , 상술 한 바 와 같이 최종 적 으로 형성 되 는 마이크 로 기둥 ( 112 ) 의 상단 부가 라운드 진 형상 을 가질 수 있 으므로 소수성 을 증대 시킬 수 있 다 .