따라서 , 상기 기판 ( S ) 이 기판 지지 부 ( 120 ) 즉 , 플레이트 ( 130 ) 에 형성 된 단 턱 부 ( 132 ) 와 기판 정렬 부재 ( 150 ) 사이 의 지지대 ( 140 ) 상부 에 안착 되 면 , 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 를 팽창 시키 고 , 이 에 의해 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 의 상부 면 을 회전 시켜 상기 기판 ( S ) 을 밀 어 줌 으로써 , 상기 기판 ( S ) 은 일정 한 위치 에 이동 되 어 고정 된다 .