" 이산 홀 ( 114 B ) 및 이산 홀 ( 116 B ) 은 거리 ( D 3 ) 만큼 분리 된다 . 거리 ( D 3 ) 는 약 0 . 5 "" 와 약 0 . 75 "" 사이 일 수 있 다 . 상술 된 각도 ( α ) 와 유사 하 게 ", 거리 ( D 3 ) 는 제 3 평탄 영역 ( 210 C ) 와 기판 표면 ( 108 A ) 사이 의 체적 내 의 제 2 유체 의 존재 시간 ( residence time ) 을 결정 하 는 것 을 돕 는다 . 거리 ( D 3 ) 가 감소 됨 에 따라 , 존재 시간 도 또한 감소 된다 . 대안 적 으로 , 거리 ( D 3 ) 가 증가 함 에 따라 , 존재 시간 도 또한 증가 한다 . 근접 헤드 ( 200 ) 는 초 당 약 0 . 2 인치 와 약 0 . 6 인치 사이 의 스캐닝 속도 로 기판 표면 ( 108 A ) 위 로 스캐닝 될 수 있 다 . 이것 은 제 2 유체 ( 114 ) 에 약 0 . 8 초 와 약 3 . 75 초 사이 의 존재 시간 을 제공 한다 . 비교 를 위해 , ( 도 1 a 에 도시 된 ) 근접 헤드 ( 100 ) 는 약 0 . 15 초 와 약 0 . 75 초 ( 예 를 들 어 , 약 5 의 팩터 ) 사이 의 존재 시간 을 제공 한다 .