이러 한 과제 에 대하 여 , 노광 장치 내 의 온도 , 습도 , 먼지 를 제어 하 는 환경 챔버 에 불순물 제거 필터 를 설치 하 고 , 환경 챔버 의 분위기 중 에 존재 하 는 염기 성 가스 , 황산 가스 , 유기 화합 가스 등 의 물질 을 제거 하 는 것 이 행해 지 고 있 다 . 이때 , 환경 챔버 내 에서 사용 되 는 부품 류 에 는 세정 등 의 처리 가 실시 되 어 , 윤활제 등 도 탈 가스 량 이 적 은 것 이 선정 되 어 있 다 .