상기 의 기술 적 과제 를 위한 본 발명 의 일 관점 은 , 전자 빔 을 발생 시켜 조사 스캔 하 는 전자 빔 컬럼 부 , 상기 전자 빔 컬럼 부 에서 조사 스캔 되 는 전자 빔 이 입사 되 는 기판 을 지지 하 는 기판 스테이지 ( stage ) , 및 상기 기판 스테이지 상 에 상기 전자 빔 의 크기 를 측정 하 는 기준 으로 설치 되 고 , 링 ( ring ) 형상 의 외측 테두리 부 , 및 상기 외측 테두리 부 내측 에 링 형상 으로 배치 되 고 상기 전자 빔 이 스캔 되 는 방향 으로 내측 벽면 에지 ( edge ) 및 반대쪽 의 외측 벽면 에지 를 가지 는 내측 측정 담장 ( wall ) 부를 포함 하 는 전자 빔 크기 측정 기준 마크 ( mark ) 를 포함 하 는 전자 빔 장치 를 제시 한다 .