연마 테이프 ( 23 ) 대신 에 , 테이프 형 세 척 천 이 연마 헤드 조립 체 ( 1 A , 1 B , 1 C , 1 D ) 중 적어도 하나 에 장착 될 수 있 다 . 세 척 천 은 연마 공정 에 의해 발생 된 입자 들 또는 파편 을 제거 하 기 위한 세척 도구 이 다 . 이 경우 , 세 척 천 은 상술 된 것 과 동일 한 방식 으로 웨이퍼 ( W ) 의 연마 된 부분 을 세척 하 기 위해 , 마무리 공정 ( finishing process ) 에 사용 될 수 있 다 . 이러 한 방법 으로 , 연마 및 세 척 은 짧 은 기간 에 수행 될 수 있 다 . 테이프 형 세척 천은 PET 필름 과 같 은 테이프 기부 와 테이프 기부 상 의 폴리우레탄 발 포체 또는 부직포 천 의 층 을 포함 할 수 있 다 .