도 11 을 참조 하 여 , 처리 액 공급 부 ( 70 ) 의 구성 의 일례 에 대해서 설명 한다 . 상술 한 바 와 같이 , 처리 액 이 DHF 이 며 , 처리 액 공급 부 ( 70 ) 는 HF 의 공급원 으로부터 공급 된 HF 를 , DIW 의 공급원 으로부터 공급 된 DIW 에 의해 희석 함 으로써 DHF 를 생성 하 는 것 이 었 다고 하 자 . 공장 용력 으로서 의 DIW 공급원 으로부터 공급 되 는 DIW 의 온도 가 , 원 하 는 온도 보다 높 은 경우 가 있 다 . 이 경우 , 순환 통로 ( 20 ) 에 마련 된 온도 조 절부 ( 50 ) 의 온도 조절 모듈 이 충분 한 냉각 기능 을 갖 고 있 지 않 으면 , 처리 액 의 온도 를 원하 는 온도 ( 예 를 들 어 , 상온 부근 의 온도 ) 로 제어 할 수 없 게 되 는 경우 가 있 다 . 도 11 에 도시 한 구성 은 , 그러 한 경우 에 대응 할 수 있 는 것 이 다 .