여기 서 , 다층막 의 성막 시 에 는 , 증발원 ( 2 a ) , ( 2 b ) 으로부터 의 복사열 에 의한 기재 ( 21 ) 의 과도 한 온도 상승 을 방지 하 기 위하 여 , 3 방향 밸브 ( 28 ) 및 3 방향 밸브 ( 26 ) 를 적절히 조작 하 고 , 또한 액 송 펌프 ( 27 ) 를 동작 시켜 냉 브라인 탱크 ( 29 b ) 에 저장 되 어 있 는 약 - 5 ℃ 로 온도 제어 된 부동액 을 , 접속 배관 ( 25 ) 으로 흐르 게 한다 . 이 에 의해 , 약 - 5 ℃ 로 온도 제어 된 부동액 이 회전축 체 ( 7 a ) 및 기재 홀더 ( 6 a ) 의 내부 에 형성 된 파이프 ( 7 f , 7 g ) 및 냉각 파이프 ( 7 j ) 의 내부 를 흐르 게 된다 . 즉 , 기재 ( 21 a ) 는 약 - 5 ℃ 로 온도 제어 된 부동액 에 의해 기재 홀더 ( 6 a ) 를 통하 여 간접 적 으로 냉각 된다 . 따라서 , 기재 ( 21 a ) 의 온도 상승 이 효과 적 으로 방지 된다 .