"- 공동 부 또는 추가 적 인 처리 단계 에 대한 필요 없이 도파 로 의 미리 정해진 부분 위 에 직접 배치 되 는 2 개 의 평행 한 금속 와이어 를 포함 하 는 "" 하이브리드 플 라즈 모 - 포 토닉 슬롯 도파 로 ""( HPPSW ) ", 금속 스트립 아래 에 있 는 포 토닉 도파 로 는 추가 적 인 마스크 또는 처리 단계 없이 리소그래피 동안 에 차단 되 며 , 플라 즈 몬 슬롯 및 위상 변 이 기 는 , 포 토닉 도파 로 의 에칭 없이 또 한 단일 금속 층 증착 단계 로 단일 단계 에서 포 토닉 도파 로 위 에 직접 배치 되 고 , 특히 , 단일 마스크 에서 양 HPPSW 와 열 광학 적 위상 변 이 기 ( 가열기 ) 를 설계 하 기 위해 , 금속 스트립 의 분리 값 ( 거리 ( Wslot ) ) , 금속 스트립 길 이 및 폭 은 센서 의 마스크 설계 동안 에 규정 되 며 , 특히 , 방향 성 연결 이 포함 되 어 , 포 토닉 도파 로 로부터 빛 을 플 라즈 몬 슬롯 에 연결 하 고 또한 다시 포 토닉 도파 로 에 연결 하 고 , 플라 즈 몬 슬롯 의 전방 및 후방 단부 에 있 는 플라 즈 몬 테이퍼 가 또한 개선 된 연결 효율 을 위해 사용 된다 .