소정 의 처리 가 종료 되 면 , 제 어 장치 ( 460 ) 는 , ON / OFF 스위치 ( 448 ) 를 OFF 로 해서 웨이퍼 ( W ) 의 스테이지 ( 420 ) 에 의 흡착 을 해제 시키 고 , 승강 기구 ( 424 ) 를 제어 해서 스테이지 ( 420 ) 를 전달 위치 로 이동 시킨다 . 이때 , 승강 핀 ( 427 ) 의 헤드 부 가 스테이지 ( 420 ) 의 적 재면 으로부터 돌출 되 어 , 스테이지 ( 420 ) 의 적 재면 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 들 어 올린다 .