상기 의 오존 / 수증기 를 이용 한 공정 설비 와 공정 방법 을 이용 함 으로써 대면 적 LCD 기판 에 오존 / 수증기 를 균일 하 게 분사 하 고 또 한 반응 분위기 를 고온 으로 유지 함 으로써 고 효율 로 감광막 을 제거 함 과 동시 에 , 고가 의 습식 화학 용액 사용 을 억제 함 으로써 친 환경 공정 을 구현 하 기 위한 설비 의 국산화 개발 이 기대 된다 .