다음 에 , 본 실시 형태 에 따른 타 겟 구 조체 ( 100 ) 에 대해서 , 도 2 를 이용 하 여 더 설명 한다 . 도 2 는 본 실시 형태 에 따른 타 겟 구 조체 ( 100 ) 의 일례 를 나타낸 단면 모식도 이 다 . 또한 , 도 2 에서 는 , 플 라즈 마 에 의해 타 겟 ( 110 ) 이 스퍼터링 되 는 스퍼터 면 ( 111 ) 이 위 가 되 는 방향 으로 타 겟 구 조체 ( 100 ) 를 도시 하고 있 다 .