그리고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 가 제 1 스크럼 개시 위치 에 도달 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) ( 및 Z 헤드 ( 171 p , 173 q ) ) 의 작동 을 정지 하 여 ( OFF 로 하 여 ) 포커스 매핑 을 종료 하 고 , 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 의 각 검 출점 에 대한 면 위치 정보 를 동시 에 읽 어 들인 Z 헤드 ( 171 p , 173 q ) 에 의한 면 위치 정보 를 기준 으로 하 는 데이터 로 환산 한다 . 이 경우 의 환산 은 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2007 / 097379 호 팜플렛 에 개시 된 방법 과 동일 한 방법 으로 실시 된다 .