다음 으로 , 상기 와 같이 레지스 트 ( 100 ) 가 형성 된 템 플레이트 ( 200 ) 의 상부 에 웨이퍼 ( 100 ) 를 마련 한다 . 상기 웨이퍼 ( 100 ) 의 상면 에 는 진공 척 ( 140 ) 이 장착 되 어 있 으며 , 상기 진공 척 ( 140 ) 에 의해 수직 방향 으로 웨이퍼 ( 100 ) 의 높이 를 조절 할 수 있 다 . 즉 , 상기 진공 척 ( 140 ) 은 웨이퍼 ( 100 ) 의 높이 를 조절 하 여 레지스 트 ( 110 ) 를 눌러 주 는 압력 을 조절 하 게 된다 . 이 때 , 상기 웨이퍼 ( 100 ) 의 이동 이 용이 하 도록 , 상기 웨이퍼 ( 100 ) 를 잡 아 주 는 상기 진공 척 ( 140 ) 이 시계 방향 및 반시 계 방향 으로 회전 할 수 있 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 .