여기 서 , 상기 상부 기판 ( 10 ) 에 는 상기 하부 기판 ( 20 ) 의 대향 면 에 일정 간격 으로 형성 되 는 복수 개 의 스캔 전극 ( 12 ) 및 서 스테인 전극 ( 13 ) 과 , 상기 복수 개 의 전극 ( 12 , 13 ) 위 에 형성 되 는 유전체 층 ( 14 ) 과 , 상기 유전체 층 ( 14 ) 위 에 형성 되 는 유전체 보호 층 ( 15 ) 을 포함 하 여 구성 된다 .