기판 홀더 ( 24 ) 는 , 도 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 도금 조 ( 10 ) 내 에 설치 될 때 에 , 도시 생략 한 트랜스포터 에 의하 여 홀더 파지 부 ( 60 ) 를 파지 하 여 윗 쪽 으로부터 매달리 고 , 도금 조 ( 10 ) 에 고정 된 홀더 지지 부 ( 62 ) 에 , 바깥쪽 으로 돌출 하 는 홀더 아암 ( 64 ) 이 걸려 매달 아 유지 된다 .