기판 스테이지 에 대한 전형 적 인 인코더 - 타입 측정 시스템 에서 , 리소그래피 장치 의 렌즈 기둥 ( lens column ) 의 중심축 을 중심 으로 그려진 가상 원 의 원주 에 배치 되 는 3 개 의 플렉 셔 요소 를 이용 하 여 그리드 플레이트 가 장착 된다 . 플렉 셔 요소 들 은 그리드 플레이트 로 메트로 - 프레임 의 이동 들 을 전달 하 지 않 고 렌즈 기둥 의 중심축 에 대해 반경 방향 으로 메트로 - 프레임 의 이동 들 을 허용 한다 . 메트로 - 프레임 은 전형 적 으로 렌즈 기둥 의 중심축 에 대해 원 대칭 으로 ( circle - symmetrically ) 변형 되 도록 설계 되 기 때문 에 , 그리드 플레이트 가 실질 적 으로 플렉 셔 요소 들 로 인해 그 위치 에 유지 될 것 이 다 .