[ 0043 ] 도 5 a 는 상단 플레이트 ( 330 ) 의 일 실시 예 를 개략 적 으로 도시 하 며 도 5 b 는 상단 플레이트 ( 330 ) 의 부분 측면도 를 개략 적 으로 도시 한다 . 일 실시 예 에서 , 리 세스 ( 334 ) 는 상단 플레이트 ( 330 ) 와 기판 ( 301 ) 사이 의 접촉 영역 을 감소 시키 기 위해 기판 지지 표면 ( 311 ) 내 에 형성 된다 . 그 결과 , 기판 지지 표면 ( 331 ) 은 링 형태 를 가질 수 있 으며 기판 ( 301 ) 의 에지 가까이 에 있 는 영역 의 밴드 를 지지 할 수 있 다 .