도 5 는 , 본 발명 에 따른 보텀 게이트 형 TFT 를 이용 한 액정 표시 장치 의 단면 모식도 이 다 . 도 5 에서 , 실시 예 1 과 마찬가지 의 방법 으로 , 절연 기판 ( 1 ) 위 에 게이트 전극 배선 ( 6 ) , 게이트 절연 층 ( 5 ) , 반도체 층 ( 4 ) , 컨 택트 층 ( 22 ) , 소스 전극 배선 ( 9 ) , 드레 인 전극 배선 ( 10 ) 을 형성 하 고 , 보호 성 절 연막 ( 11 ) 과 층간 절연 층 ( 7 ) 을 형성 하 였 다 . 그 후 , 포토 리소그래피 를 이용 하 여 , 층간 절 연막 ( 7 ) 과 보호 성 절 연막 ( 11 ) 에 스루홀 을 가공 하 였 다 . 다음 으로 , 화소 전극 ( 12 ) 으로서 ITO 막 을 스퍼터 법 으로 성막 하 고 , 포토 리소그래피 를 이용 하 여 가공 하 였 다 .