제 1 흡입 부재 ( 453 a , 453 b ) 는 감광액 노즐 들 ( 442 a , 422 b ) 을 통해 감광액 을 기판 상 에 토출 한 후 , 감광액 노즐 들 ( 442 a , 422 b ) 에 음압 을 작용 시켜 감광액 을 토출 방향 의 반대 방향 으로 이동 시키 기 위한 것 으로 , 석 백 밸브 ( Suckback Valve ) 가 사용 될 수 있 다 . 석 백 밸브 로 는 연속 적 인 다단계 의 흡입 작용 이 가능 한 모터 구동 방식 의 석 백 밸브 가 사용 될 수 있 다 . 또한 , 석 백 밸브 로 는 공기 구동 방식 의 석 백 밸브 가 사용 될 수 도 있 다 . 공기 구동 방식 의 석 백 밸브 는 1 회 의 흡입 작용 만 을 할 수 있 기 때문 에 , 다 단계 의 흡입 작용 을 하 기 위해서 는 도 9 에 도시 된 바 와 같이 공기 구동 방식 의 석 백 밸브 ( 453 a - 1 , 453 a - 2 , 453 b - 1 , 453 b - 2 ) 가 감광액 공급 라인 들 ( 450 a , 450 b ) 상의 2 개소 에 설치 되 어야 한다 .