상기 퍼지 가스 ( G 3 ) 는 기판 ( W ) 에 증착 되 지 않 은 제 1 가스 ( G 1 ) 및 / 또는 제 1 가스 ( G 1 ) 와 반응 하 지 않 고 잔존 하 는 제 2 가스 ( G 2 ) 를 퍼지 ( Purge ) 한다 . 또한 , 상기 퍼지 가스 ( G 3 ) 는 각 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 에 중첩 되 는 각 분 할 공간 ( DS 1 , DS 2 , DS 3 , DS 4 ) 사이 사이 에 분사 되 기 때문 에 인접 한 가스 분사 모듈 에서 분사 되 는 가스 를 분리 하 는 역할 도 수행 한다 . 이 를 위해 , 상기 퍼지 가스 ( G 3 ) 는 질소 ( N 2 ) , 아르곤 ( Ar ) , 제논 ( Ze ) , 및 헬륨 ( He ) 중 적어도 한 종류 의 가스 로 이루어질 수 있 다 .