다음 으로 , 상기 도전 층 에 솔 더 범프 ( 520 ) 를 형성 한다 ( 도 6 ) . 제 1 기판 에 형성 되 는 상기 솔 더 범프 ( 520 ) 는 후속 적 으로 결합 되 는 광검 출부 를 포함 하 는 제 2 기판 과 의 전기 적 결합 을 고려 하 여 제 2 기판 에 형성 되 는 솔 더 범프 ( 420 a , 420 b ) 보다 크 게 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .