이 와 같이 , 거리 유지 부 ( 18 ) 를 사용 하 여 제 1 기판 ( 10 ) 과 제 2 기판 ( 16 ) 사이 의 거리 를 일정 하 게 유지 할 수 있 음 에 따라 제 1 기판 ( 10 ) 의 제 1 표면 ( 10 a ) 즉 , 프 로브 팁 ( 12 ) 들 에 대한 균일 한 평탄 도 의 부여 가 가능 하 고 , 이 를 통하 여 전기 적 검사 를 위한 피검 사체 와 의 원활 한 접촉 을 도모 할 수 있 다 .