상기 지지대 ( 700 ) 는 상기 상부 챔버 ( 610 ) 의 천 정부 에 배치 되 어 증착 대상 기판 ( W ) 을 고정 한다 . 일실 시예 로서 , 상기 지지대 ( 700 ) 는 원판 형 으로 형성 되 어 그 표면 에 증착 대상 기판 ( W ) 을 고정 한다 . 상기 기판 ( W ) 은 상기 클램프 나 접착제 등 을 이용 하 여 기계 적 으로 고정 할 수 도 있 고 진공 흡착 과 같 은 공 압 을 이용 하 여 고정 할 수 도 있 다 . 상기 기판 ( W ) 은 박막 이 증착 되 는 대상물 로서 , 상기 기판 이 적용 되 는 완성품 의 용도 에 따라 다양 한 종류 가 포함 될 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 와 같 은 반도체 소자 용 기판 이나 액정 표시 장치 용 투명 기판 을 포함 할 수 있 다 . 바람직 하 게 는 , 상기 기판 ( W ) 은 유기 전계 발광 소자 ( OLED ) 에 적용 하 기 위한 유리 기판 을 포함 한다 . 이때 , 상기 기판 ( W ) 의 증착 면 이 상기 챔버 ( 600 ) 의 하부 에 위치 하 는 증발 장치 ( 500 ) 에 대향 하 도록 고정 된다 .