전술 한 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 세정 장치 는 , 기판 의 가장자리 와 접촉 하 여 상기 기판 의 하면 이 노출 되 도록 기판 을 장착 하 는 기판 척 ; 상기 기판 척 과 결합 되 며 , 중공 을 가지 는 회전 축 ; 상기 회전 축 과 결합 하 여 상기 회전축 및 기판 척 을 회전 시키 는 회전 구동 부 ; 상기 중공 을 관통 하 여 배치 되 며 , 고정 된 상태 에서 상기 기판 하면 에 세정액 을 분사 하 는 세정액 분사 부 ; 를 포함 한다 .