노광 은 소망 의 마스크 를 통해서 행해 도 좋 고 , 마스크 를 통하 지 않 고 행해 도 좋 다 . 노광기 로서 는 , 예 를 들 면 스텝 퍼 , 미러 프로 젝 션 마스크 얼라 이너 ( Mirror projection mask aligner ) ( MPA ) , 패러 럴 라이트 마스크 얼라 이너 ( Parallel light mask aligner ) ( PLA ) 등 을 들 수 있 다 . 노광 강도 는 10 ∼ 4000 J / ㎡ 정도 ( 파장 365 ㎚ 노광량 환산 ) 가 바람직 하 다 . 노광 광원 으로서 는 i 선 , g 선 , h 선 등 의 자외선 이나 , KrF ( 파장 248 ㎚) 레이저 , ArF ( 파장 193 ㎚) 레이저 등 을 들 수 있 다 .