이 후 , 도 1 및 도 2 에 도시 된 것 과 같이 , 상기 구조물 들 사이 의 개구부 들 을 채우 도록 매립 층간 절 연막 패턴 을 형성 한다 . 상기 매립 층간 절 연막 패턴 ( 122 ) 을 형성 하 는 공정 에서 , 상기 개구부 와 연통 하 는 상기 에어 터널 ( 114 ) 의 일부분 이 채워진다 . 그러므로 , 상기 플로팅 게이트 사이 부위 에 각각 형성 되 는 서로 분리 된 형상 의 에어 갭 ( 114 a ) 들 이 형성 된다 .