또한 , S - D 평가 특징 부 는 마스크 구조물 , 에칭 된 구조물 , 도핑 된 구조물 , 충전 된 구조물 , 반 ( 半 ) 충전 된 구조물 , 손상 된 구조물 , 유전체 구조물 , 게이트 구조물 , 게이트 전극 구조물 , 게이트 적층 구조물 , 트랜지스터 구조물 , FinFET 구조물 , CMOS 구조물 , 포토레지스트 구조물 , 주기 적 구조물 , 정렬 구조물 , 트렌치 구조물 , 비아 구조물 , 어레이 구조물 , 그 레이팅 ( grating ) 구조물 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .