제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 는 제 1 중공 샤프트 ( 5 - 1 ) 아래 제공 된다 . 제 1 중공 샤프트 ( 5 - 1 ) 및 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 는 서로 평행 하 게 연장 된다 . 제 1 중공 샤프트 ( 5 - 1 ) 및 제 2 중공 샤프트 ( 5 - 2 ) 는 회전 조인트 ( 76 ) 를 거쳐 소 통선 ( 7 ) 에 의해 서로 커플링 된다 . 제 1 실시 예 에서 와 같이 , 소 통선 ( 7 ) 의 일 단부 는 보유 스테이지 ( 4 ) 의 상부 표면 상 에 형성 된 홈 ( 도 2 참조 ) 에 커플링 되 고 , 소 통선 의 다른 단부 는 진 공선 ( 9 ) 과 질소 가스 공급 선 ( 10 ) 에 커플링 된다 ( 도 10 참조 ) . 선택 적 으로 , 진 공선 ( 9 ) 또는 질소 가스 공급 선 ( 10 ) 을 소 통선 ( 7 ) 에 연결 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 는 진공 흡입 에 의해 보유 스테이지 ( 4 ) 의 상부 표면 에 부착 되 거나 보유 스테이지 ( 4 ) 의 상부 표면 으로부터 방출 된다 .