서브 세트 의 공간 적 속성 의 판정 은 대 상체 의 얇 은 층 의 외부 표면 의 하나 이상 의 포인트 , 즉 결상 될 대 상체 의 서브 세트 내 에 위치 하 는 하나 이상 의 포인트 의 위치 및 / 또는 높이 를 판정 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 서브 세트 ( 402 ) 의 외부 표면 의 위치 및 배향 ( 도 15 a 참조 ) 은 , 서브 세트 내 의 포인트 ( 421 - 423 ) 의 위치 에 기초 해서 정해질 수 있 다 . 결상 될 공간 적 속성 의 판정 은 , 서브 세트 를 광 으로 조명 하 기 위해 간섭계 를 이용 하 는 단계 와 , 조명 된 서브 세트 로부터 반사 된 광 을 포함 하 는 간섭 신호 를 검출 하 는 단계 를 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 다수 의 서브 세트 는 광 으로 동시 에 결상 되 어 , 다수 의 간섭 신호 를 취득 할 수 있 다 . 각각 의 간섭 신호 는 서브 세트 의 하나 이상 의 공간 적 속성 을 나타낸다 . 따라서 , 간섭 신호 는 다수 의 서브 세트 에 대한 대 상체 의 토포 그래피 를 나타내 는 이미지 를 제공 하 는 데 에 사용 될 수 있 다 . 서브 세트 의 포토 리소그래피 동안 , 웨이퍼 는 다수 의 간섭 신호 로부터 판정 되 는 것 과 같이 개별 의 서브 세트 의 토포 그래피 에 기초 해서 위치 결정 된다 . 따라서 , 각각 의 서브 세트 는 포토 리소그래피 장치 에 대하 여 최적 의 초점 으로 위치 설정 될 수 있 다 .