제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 각각 제 1 , 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 A , 3 B ) 로 생성 되 는 패턴 의 상 을 소정 의 투영 배 율 로 기판 ( P ) 에 투영 한다 . 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 , 각각 , 복수 의 광학 소자 를 가지 고 있 고 , 그 들 광학 소자 는 경통 ( 鏡筒 ) 으로 유지 되 고 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 의 각각 의 광축 ( AX 1 , AX 2 ) 은 Z 축 방향 과 평행 이 다 . 본 실시 형태 의 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 그 투영 배 율 이 예 를 들 면 1 / 4 , 1 / 5 , 1 / 8 등 의 축소 계 이 다 . 또한 , DMD 를 사용 하 는 경우 에 는 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 의 투영 배율 을 , 예 를 들 면 1 / 500 ~ 1 / 100 의 범위 내 로 하 여도 된다 . 또한 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 축소 계 뿐 만 아니 라 , 등배 계 및 확대 계 중 어느 하나 여 도 좋 다 . 또 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 반사 광학 소자 를 포함 하 지 않 는 굴절계 , 굴절 광학 소자 를 포함 하 지 않 는 반사계 , 반사 광학 소자 와 굴절 광학 소자 를 포함 하 는 반사 굴절계 중 어느 하나 여 도 좋 다 . 예 를 들 면 , 국제 공개 제 2004 / 107011 호 팜플렛 ( 대응 미국 공개 제 2006 / 0121364 호 ) 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , 복수 의 반사면 을 가지 고 또 한 중간상 을 적어도 1 회 형성 하 는 광학계 ( 반사계 또는 반굴 계 ) 가 그 일부 에 설치 되 고 , 단일 의 광축 을 가지 는 이른바 인라인 형 의 반사 굴절계 를 사용 해도 된다 . 또 , 제 1 , 제 2 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 는 도립 ( 倒立 ) 상과 정립 ( 正立 ) 상 의 어느 하나 를 형성 해도 된다 . 또 , 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 의 투영 배율 과 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 투영 배 율 이 달라도 좋 다 .