그래서 , 해당 불합리 를 해소 하 는 대책 으로서 , 일본국 특허 공개 공보 제 2004 - 356624 호 , 일본국 특허 공개 공보 제 2005 - 167087 호 등 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , 히터 재료 로서 중금속 오염 의 우려 가 적 은 카본 와이어 히터 등 과 같 은 비금속 재료 를 이용 하 는 것 , 또한 , 탑재 대 자체 의 재료 로서 순도 를 높 게 할 수 있 는 석영 ( 유리 ) 을 이용 하 는 것 이 제안 되 고 있 다 . 이 들 에 의하 면 , 금속 오염 등 의 발생 을 충분히 억제 할 수 있 다 .