먼저 , 기판 ( 10 ) 을 연마 할 때 에 는 도 4 a 에 도시 된 바 와 같이 상기 기판 ( 10 ) 을 스테이지 ( 300 ) 위 에 안착 시켜 놓 고 연마 패드 ( 210 ) 로 기판 ( 10 ) 표면 을 연마 한다 . 이 에 따라 기판 ( 10 ) 의 표면 에 있 는 돌기 들 ( 미 도시 ) 은 깨끗이 제거 되 며 , 이때 가해 지 는 압력 과 열 에 의해 기판 ( 10 ) 은 스테이지 ( 300 ) 에 강하 게 밀착 될 수 있 다 .