특히 , 본 실시 예 에 따른 각 반송 챔버 ( 11 , 21 , 31 , 41 ) 에 내장 되 는 반송 로봇 은 챔버 의 하부 에 고정 부착 되 는 하부 지그 ( 61 ) 와 , 상기 하부 지그 ( 61 ) 의 상부 에서 회전 운동 하 는 상부 지그 ( 62 ) 와 , 상기 상부 지그 에 고정 된 신축 가능 한 링크 부재 ( 63 ) 와 , 상기 링크 부재 ( 63 ) 의 단부 에 결합 된 암 ( 64 ) 로 구성 된다 . 즉 , 본 실시 예 에 따른 반송 로봇 ( 60 ) 은 가이드 레일 을 따라 수평 운동 을 하 지 않 는다 . 다만 , 회전 운동 을 할 뿐 이 다 . 또한 각 반송 챔버 에 는 펌핑 하 기 위한 진공 펌프 와 , 공기 정화 수단 이 구비 되 어 있 다 .