또는 , 자기 조립 단분자막 ( SAM ') 은 제 2 보호 층 ( 750 ) 이 형성 된 기판 ( 711 ) 을 자기 조립 화합물 과 함께 저압 ( 예 를 들 어 , 약 500 Pa 이하 ) 의 진공 챔버 에 넣 음 으로써 제 2 보호 층 ( 750 ) 상 에 제공 될 수 있 다 . 여기 서 , 진공 챔버 내 의 공기 를 밖 으로 내보낸 후 , 화합물 이 제 2 보호 층 ( 750 ) 상 에 자기 조립 될 수 있 도록 촉매 로서 수증기 가 투입 될 수 있 다 . 수증기 는 챔버 내 압력 이 약 500 Pa 을 유지 하 는 양 으로 투입 될 수 있 다 .