도 10 에 는 , 노광 장치 ( 100 ) 의 제 어계 의 주요 한 구성 이 도시 되 어 있 다 . 이 제 어계 는 , 장치 전체 를 통괄 적 으로 제어 하 는 마이크 로 컴퓨터 ( 또는 워크스테이션 ) 로 이루어지 는 주제 어 장치 ( 20 ) 를 중심 으로 구성 되 어 있 다 . 또한 , 도 10 에 있 어서 는 , 전술 한 조도 불 균일 센서 ( 94 ) , 공간 이미지 계측기 ( 96 ) 및 파 면 수차 계측기 ( 98 ) 등 , 계측 스테이지 ( MST ) 에 형성 된 각종 센서 가 종합 하 여 센서 군 ( 99 ) 으로서 도시 되 어 있 다 .