종래 의 슬러리 공급 장치 는 장치 의 안정 성 및 교반 효율 을 높이 기 위하 여 연마 액 이 제조 및 저장 되 는 연마 액 탱크 의 용량 을 작 게 만들 어 져 , 연마 액 탱크 외 에 도 연마 액 제조 에 사용 되 는 슬러리 가 보관 되 는 슬러리 탱크 가 별도 로 구비 되 어야 했 기 때문 에 , 장치 의 구성 이 복잡 해 지 고 각 구성 요소 를 연결 하 는 배관 또한 많 아 지 는 문제점 이 있 었 다 .