여기 에서 , 도 8 은 본 발명 의 제 1 실시 예 에 관계 한 반도체 장치 의 시험 장치 의 제 4 변형 예 를 도시 하 는 도면 이 며 , 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 개구부 ( 12 ) 에서 잘라서 본 도면 이 다 . 또한 , 도 8 에서 , 도 2 에 도시 하 는 장소 와 동일 한 장소 에 는 , 동 일 한 번호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 생략 한다 .