예 로서 , 상기 보조 셔틀 플레이트 ( 310 ) 에 설치 되 는 소자 안착 부 ( 311 ) 는 , 제 1 메인 이송 툴 ( 510 ) 에 픽업 된 소자 ( 1 ) 를 전달 받 고 그 직후 검사 될 소자 ( 1 ) 가 제 1 메인 이송 툴 ( 510 ) 에 의하 여 픽업 될 수 있 도록 열 방향 ( Y 축 방향 ) 으로 2 배 로 배치 될 수 있 다 .