도 5 는 시트 점착제 ( 123 ) 의 일 실시 형태 를 도시 한다 . 시트 점착제 ( 123 ) 는 엘리 베이 션 조그 ( 68 ; 작 은 단차 ) 를 갖 는 다양 한 폭 의 복수 의 평탄 한 원형 또는 반원형 링 일 수 도 있 다 . 표면 들 ( 70 및 72 ) 은 컴포넌트 결합 면 내 의 리세 스 ( 미 도시 , 그러나 지지 부재 의 중간 층 ( 134 ) 내 의 리세 스 ( 135 및 137 ) 와 유사 ) 에 본딩 될 수 도 있 으며 , 또는 표면 ( 70 ) 은 챔버 라이너 ( 118 ) 의 결합 면 과 같 은 리세 스 없 는 컴포넌트 결합 면 에 본 딩 될 수 도 있 다 . 표면 들 ( 74 및 76 ) 은 리세 스 ( 135 , 137 ) 와 유사 한 지지 부재 의 중간 층 ( 134 ) 의 결합 면 내 의 리세 스 에 본 딩 될 수 도 있 으며 , 또는 표면 ( 76 ) 은 도 1 a 의 챔버 라이너 의 지지 부재 ( 138 ) 와 같 은 리세 스 없 는 지지 부재 에 본 딩 될 수 도 있 다 .