이 와 는 달리 , 란탄 족 원소 중 Gd 같이 크기 가 작 은 란탄 족 원소 의 경우 는 상당히 작 은 반응 성 을 갖 고 있 다 . 따라서 , Gd 또는 이 보다 작 은 크기 의 란탄 족 원소 를 포함 하 는 고유 전 율 절 연막 의 경우 에 는 , SiN 층 과 의 반응 성 을 상당히 줄일 수 있 기 때문 에 , 하부 층 인 SiN 전합 트랩 층 과 의 계면 반응 을 최소 화 할 수 있 어 , SiN 층 을 그대로 유지 할 수 있 으며 , 란탄 족 원소 를 포함 하 는 고유 전 율 절 연막 의 장점 인 높 은 유전 상수 와 큰 에너지 갭 을 가질 수 있 다 .