도 3 a 에 나타내 는 바 와 같이 , 로드 락 챔버 ( 10 ) 를 구성 하 는 5 개 의 블록 체 중 , 2 개 의 블록 체 , 즉 , 제 1 블록 체 ( 10 A ) 및 제 5 블록 체 ( 10 E ) 는 배기 부 를 가진다 . 4 개 의 배기 부 ( 11 b , 11 c , 15 b , 15 c ) 는 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 4 개 의 모서리 영역 ( 角 領域 ) ( K ) 에 대응 하 는 위치 에 설치 된다 . 다시 말 하 면 , 4 개 의 배기 부 는 기판 ( S ) 의 4 개 의 모서리 부 에 대응 하 는 위치 에 설치 된다 .