고주파 발생 부 ( 122 ) 는 중앙 통제부 ( 180 ) 의 제어 에 따라 사파이어 튜브 ( 120 ) 내부 로 유입 된 가스 를 플 라즈 마로 변환 하 기 위한 고주파 신호 를 코일 ( 121 ) 에 공급 한다 . 이 를 위해 , 고주파 발생 부 ( 122 ) 는 코일 ( 121 ) 과 전기 적 으로 연결 되 며 , 도 4 a 에서 와 같이 제 1 케이스 ( 102 ) 내부 에 마련 된 안착 부 ( 118 ) 에 고정 될 수 있 다 . 특히 , 본 발명 에서 는 고주파 신호 에 의한 이온 화 효율 을 향상 시키 기 위해 고주파 발생 부 ( 122 ) 가 약 440 MHz 정도 의 신호 를 발생 하 여 코일 ( 121 ) 에 공급 하 게 된다 . 하지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 .