한편 , 가스 토출 부 ( 50 ) [ 의 대향 면 ( 50 a ) ] 의 둘레 가장자리 보다 내측 에서 의 배기 구멍 ( 71 ) 의 배치 는 특별히 한정 되 지 않 는다 . 단 , 웨이퍼 ( W ) 의 전체 둘레 에 걸쳐 그 둘레 가장자리 보다 외측 으로 향하 는 기체 의 흐름 을 대략 균등 하 게 억제 하 기 위해서 는 , 가스 토출 부 ( 50 ) [ 의 대향 면 ( 50 a ) ] 의 중앙 부근 에 배기 구멍 ( 71 ) 을 배치 하 는 것 이 고려 된다 . 웨이퍼 ( W ) 의 외주 에 형성 되 는 기체 유로 ( 81 , 82 ) 와 배기 구멍 ( 71 ) 과 의 거리 에 큰 변동 이 생기 지 않 도록 배기 구멍 ( 71 ) 을 배치 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 전체 둘레 에 있 어서 그 주변 으로 의 승화 물 의 비산 을 억제 할 수 있 다 .