또한 노광 시 에 노광량 을 10 mJ 부터 100 mJ 까지 10 mJ 간격 으로 늘려 패 터닝 된 포토 스 페이서 의 형상 , 현상 공정 에 있 어서 의 탈락 의 유무 를 확인 해서 감광성 수지 층 을 경화 하 는 데 에 최저 한 필요 한 노광량 을 조사 했 다 . 노광량 이 필요량 에 미치 지 못할 때 에 는 포토 스 페이서 가 탈락 되 거나 , 형태 나 크기 가 일정 하 지 않 게 되 었 다 . 감광성 수지 층 을 경화 하 는 데 에 최저 한 필요 한 노광량 은 40 mJ / ㎠ 였 다 .