그 결과 , 절 연막 의 산화 막 환산 막 두께 는 1 . 61 nm 이 며 , 플랫 밴드 ( flat band ) 전압 은 0 . 33 V 이 며 , C - V 커브 의 히스테리시스 는 30 mV 였 다 . 또 , 리키지 전류 값 은 2 . 4 × 10 - 6 A / cm 2 ( Vg = Vfb － 1 V ) 로 , 양호 한 결과 를 얻 을 수 있 었 다 .