다음 은 상술 한 기판 처리 장치 를 이용 하 여 기판 ( W ) 을 처리 하 는 과정 을 설명 한다 . 반송 로봇 ( 3422 ) 은 기판 ( W ) 을 지지 한 채 로 하우징 ( 810 ) 의 개구 를 통해 하우징 ( 810 ) 내 에 반입 된다 . 반송 로봇 ( 3422 ) 은 기판 지지 유닛 ( 830 ) 으로 기판 ( W ) 을 인계 하 고 , 하우징 ( 810 ) 의 외부 로 이동 된다 . 카메라 ( 920 ) 는 기판 ( W ) 이 반입 되 는 과정 영상 을 획득 하 고 , 기판 ( W ) 이 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에 놓여 지 면 기판 ( W ) 의 안착 상태 를 촬영 한다 . 기판 ( W ) 의 안착 상태 를 감지 한다 . 기판 ( W ) 은 회전 되 고 , 노즐 헤드 ( 840 ) 는 대기 위치 에서 공정 위치 로 이동 된다 . 카메라 ( 920 ) 는 노즐 헤드 ( 840 ) 가 이동 되 는 과정 영상 을 획득 한다 . 노즐 헤드 ( 840 ) 는 공정 위치 에서 프리 웨트 액 및 감광액 을 순차 공급 한다 . 액 이 공급 되 는 중 에 는 액 의 토출 상태 , 액 막 상태 , 그리고 기판 ( W ) 안착 상태 를 촬영 한다 . 액 처리 공정 이 완료 되 면 , 노즐 헤드 ( 840 ) 는 공정 위치 에서 대기 위치 로 이동 된다 . 카메라 ( 920 ) 는 노즐 헤드 ( 840 ) 가 이동 되 는 과정 영상 을 획득 한다 . 반송 로봇 ( 3422 ) 은 하우징 ( 810 ) 개구 를 통해 하우징 ( 810 ) 내 에 반입 하 고 , 기판 지지 유닛 ( 830 ) 에 놓여진 기판 ( W ) 을 들 어 올려 하우징 ( 810 ) 의 외부 로 반출 한다 . 카메라 ( 920 ) 는 기판 ( W ) 이 반출 되 는 과정 영상 을 획득 한다 .