한편 , 로드 락 ( 132 ) 에 는 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 가 설치 되 어 있 다 . 상기 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 는 로드 락 ( 132 ) 의 입구 ( 137 a ) 및 출구 ( 137 b ) 에 설치 된 제 1 컨베이어 ( 153 ) 및 제 2 컨베이어 ( 154 ) 와 연결 된다 . 도 4 a 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 제 1 컨베이어 ( 153 ) 및 제 2 컨베이어 ( 154 ) 는 이전 공정 이 종료 된 기판 을 로드 락 ( 132 ) 으로 입력 시키 고 출력 시키 는 것 으로서 , 기판 ( 101 ) 이 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 와 제 1 컨베이어 ( 153 ) 를 통해 외부 로부터 로드 락 ( 132 ) 으로 공급 되 고 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 와 제 2 컨베이어 ( 154 ) 를 통해 외부 로 취 출 되 는 것 이 다 .