검사 용 프로브 는 검사 회로 의 검사 접점 에 접촉 하 는 제 2 접촉 부재 , 상기 제 1 접촉 부재 의 하단 에 접촉 하 는 제 3 접촉 부재 , 및 상기 제 2 접촉 부재 와 상기 제 3 접촉 부재 사이 에 배치 되 며 , 상기 제 2 접촉 부재 와 상기 제 3 접촉 부재 중 적어도 하나 를 탄성 적 으로 바이어스 시키 는 탄성체 를 가진 프로브 를 더 포함 할 수 있 다 .