기판 ( W ) 의 가열 은 기판 ( W ) 이 지지 플레이트 ( 1320 ) 상 에 직접 놓인 상태 에서 이루어지 고 , 기판 ( W ) 의 냉각 은 기판 ( W ) 이 놓인 반송 플레이트 ( 3240 ) 가 냉 각판 ( 3222 ) 에 접촉 된 상태 에서 이루어진다 . 냉 각판 ( 3222 ) 과 기판 ( W ) 간 에 열전달 이 잘 이루어지 도록 반송 플레이트 ( 3240 ) 는 열전달 율 이 높 은 재질 로 제공 된다 . 일 예 에 의하 면 , 반송 플레이트 ( 3240 ) 는 금속 재질 로 제공 될 수 있 다 .