당해 차이 가 기준 값 보다 작 을 때 에 는 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 가 실제 의 패턴 ( P 1 ) 을 반영 하 고 있 다고 생각 된다 . 따라서 , 당해 차이 가 기준 값 보다 작 을 때 에 는 , 판 정부 ( 53 ) 는 그 모델 데이터 ( MD 1 ) 에서 채용 한 패턴 형상 을 , 실제 의 패턴 ( P 1 ) 의 형상 으로 파악 한다 . 요컨대 , 판 정부 ( 53 ) 는 이 패턴 형상 을 측정 형상 으로 간주 한다 . 판 정부 ( 53 ) 는 , 이 패턴 형상 을 나타내 는 데이터 ( 여기 서 는 선폭 ( W 1 ) 을 나타내 는 데이터 ) ( WD 1 ) 를 출력 해도 된다 . 제 어부 ( 50 ) 는 이 데이터 ( WD 1 ) 를 측정 데이터 로서 표시 부 ( 70 ) 에 표시 해도 된다 .