제 1 내지 제 4 센싱 영역 ( S 1 ~ S 4 ) 은 경계 분리 막 ( 130 ) 에 의해서 구획 될 수 있 다 . 즉 , 제 1 내지 제 4 센싱 영역 ( S 1 ~ S 4 ) 의 경계 에 경계 분리 막 ( 130 ) 이 형성 될 수 있 다 . 즉 , 경계 분리 막 ( 130 ) 은 도 11 의 가장 바깥쪽 의 사각형 및 큰 십자 형상 의 수평 단면 을 가질 수 있 다 .