상술 한 패러데이 실드 ( 600 ) 는 실드 부 ( 200 ) 외 측면 에 위치 하 여 실드 부 ( 200 ) 내측 에 형성 되 는 플 라즈 마 를 기판 에지 영역 에 집중 시킨다 . 패러데이 실드 ( 600 ) 는 실드 부 ( 200 ) 와 안테나 부 ( 410 ) 사이 공간 에 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이때 , 패러데이 실드 ( 600 ) 는 패러데이 효과 를 이용 하 여 안테나 부 에 위치 한 코일 위치 로 플 라즈 마의 형성 이 집중 되 는 것 을 방지 하 여 챔버 내부 에 균일 한 플 라즈 마가 형성 되 도록 돕 는 역할 을 하 고 , 실드 부 ( 200 ) 의 내측 벽면 에 코일 이 위치 하 는 부분 에 만 식각 부산물 과 폴리머 ( polymer ) 들 이 쌓이 지 못하 도록 스퍼터링 ( sputting ) 되 는 현상 을 방지 하 여 공정 챔버 내측 전면 에 골고루 최소량 의 식각 부산물 과 폴리머 들 이 쌓이 도록 작 용 하 여 , 장비 사용 시간 을 늘리 고 공정 진행 중 챔버 내측 에 퇴적 된 불순물 들 이 불 규칙 하 게 떨어져 나와 파티클 을 생성 하 는 문제 가 발생 하 는 것 을 막 아 줄 수 있 다 .