그리고 상기 기화 부 는 , 상기 제 1 배출관 이 설치 된 제 1 기화 챔버 와 , 상기 제 2 배출관 이 설치 된 제 2 기화 챔버 를 포함 하 고 , 상기 바이패스 부 는 , 일 측 이 상기 제 2 배출관 과 연결 되 고 타 측 이 제 1 이 송관 에 설치 된 제 1 바이패스 부 에 연결 된 제 2 바이패스 부 를 더 포함 하 고 , 상기 제 2 바이패스 부 는 상기 제 1 분 해 챔버 의 다이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 상기 제 2 배출관 을 통해 상기 제 2 분 해 챔버 로 선택 적 으로 공급 한다 .