레이저 어닐링 공전 전 에 빔 프로파일러 ( 164 ) 에 의해 측정 된 제 1 출력 신호 ( S 1 ) 는 제 어부 ( 180 ) 에 입력 되 며 , 제 어부 ( 180 ) 는 이러 한 제 1 출력 신호 ( S 1 ) 을 이용 하 여 가공 대상물 ( 171 ) 에 조사 되 는 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 를 측정 할 수 있 다 . 제 어부 ( 180 ) 에 는 신호 증폭기 , 신호 변환기 , 정보 처리 장치 , 디스플레이 , 비 교부 등 이 포함 될 수 있 다 . 신호 증폭기 는 빔 프로파일러 ( 164 ) 에 의해 측정 된 제 1 출력 신호 ( S 1 ) 을 증폭 시키 며 , 신호 변환기 는 증폭 된 신호 를 디지털 신호 를 변환 시킨다 . 그리고 , 디지털 신호 는 정보 처리 장치 에 의해 데이터 로 처리 된 후 , 디스플레이 를 통해 출력 시킬 수 있 다 . 이러 한 과정 을 통해 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 가 얻 어 질 수 있 다 . 그리고 , 비 교부 는 가공 빔 ( LA ) 의 측정 된 균 일도 를 설정 된 가공 빔 ( LA ) 의 균일 도와 비교 하 게 된다 .