이러 한 펌프 바디 ( 30 ) 의 유로 는 도 6 a 및 도 6 b , 7 a 내지 도 7 c 에 자세히 도시 한 바 와 같이 저압 펌핑 공간 ( 33 ) 및 고압 펌핑 공간 ( 34 ) 의 일 측 에 연결 되 는 흡입 유로 ( 35 ) , 제 1 흡입 유로 ( 36 ) , 제 2 흡입 유로 ( 39 ) 와 저압 펌핑 공간 ( 33 ) 및 고압 펌핑 공간 ( 34 ) 의 타 측 에 연결 되 는 제 1 배출 유로 ( 43 ) , 제 2 배출 유로 ( 46 ) , 저압 유배 출유 로 ( 57 ) , 회수 유로 ( 58 ) 가 형성 되 어 있 다 .