본 발명 의 기술 적 과제 는 하부 하우징 에 형성 된 이 물질 배 출부 를 이용 하 여 건조 공정 종료 후 초임계 유체 최종 배출 시 실링 부 에 함침 ( impregnation ) 되 거나 실링 부 주변 에 존재 하 는 파티클 등 의 이 물질 을 외부 로 배출 함 으로써 이 물질 이 챔버 내부 의 기판 으로 유입 되 는 문제 를 방지 하 는 것 이 다 .