즉 , 오버레이 불량 , 틸 트 불량 및 폴리곤 불량 과 같 은 반도체 소자 ( 측정 대상물 ) 심층부 의 비대칭 불량 은 측정 대상물 ( 20 ) 표면 으로부터 반사 되 는 단순 광 의 이미지 만 으로 는 검출 이 어렵 고 , 상기 반사 되 는 광 의 비대칭 반사 특성 및 광학 적 변경 을 통해 얻 어 지 는 뮬러 행렬 의 특정 성분 으로 판단 되 었 다 .