본 명세서 에서 , 기판 상 의 위치 또는 처리 조건 을 얻 는 단계 ; 처리 조건 또는 위치 에 기초 하 여 제 1 공정 모델 로 의 제 1 입력 들 을 결정 하 는 단계 - 상기 제 1 공정 모델 은 기계 학습 모델 임 - ; 제 1 입력 들 로부터 제 1 공정 모델 의 출력 을 결정 하 는 단계 ; 처리 조건 또는 위치 에 기초 하 여 제 2 공정 모델 로 의 제 2 입력 들 을 결정 하 는 단계 - 상기 제 2 공정 모델 은 비 - 기계 학습 모델 임 - ; 제 2 입력 들 로부터 제 2 공정 모델 의 출력 을 결정 하 는 단계 ; 제 1 공정 모델 의 출력 과 제 2 공정 모델 의 출력 간 의 편차 를 결정 하 는 단계 ; 편차 가 조건 을 만족 시킨다는 판단 시 , 제 1 공정 모델 을 조정 하 는 단계 를 포함 하 는 방법 이 개시 된다 .