본 발명 은 코안 다 진공 노즐 및 팩 킹 링 을 구비 한 진공 척 진공 패드 에 관한 것 으로 보다 상세 하 게 는 얇 은 판 형태 의 가공물 의 평면 가공 시 상기 얇 은 판 형태 의 가공물 을 진공 척의 진공 패드 에 흡착 고정 함 에 있 어 큰 진공 압력 없이 도 높 은 진공도 로 진공 흡착 할 수 있 으며 , 불 균일 한 진공 흡착 으로 인한 상기 얇 은 판 형태 의 가공물 의 휨 발생 에 따른 평탄 도 저하 를 방지 하 기 위한 코안 다 진공 노즐 및 팩 킹 링 을 구비 한 진공 척 진공 패드 에 관한 것 이 다 .