1 ) 감광성 수지 조성물 을 도포 하 여 도포 막 을 얻 는 단계 : 먼저 , 감광성 수지 조성물 을 실리콘 웨이퍼 , 세라믹 기판 , 알루미늄 기판 , 그 외 원 하 는 각종 기재 상 에 도포 한다 . 도포 장치 또는 도포 방법 으로 는 , 스핀 코터 , 다 이 코터 , 스프레이 코터 , 침지 , 인쇄 , 블레이드 코터 , 롤 코팅 등 을 이용 할 수 있 다 . 도포 된 기재 를 80 ∼ 200 ℃ 에서 시간 10 초 ∼ 1 시간 소프트 베 이크 한다 .