예 를 들 면 , 상기 본체 ( 110 ) 내부 에 는 반도체 소자 들 이 형성 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 지지 하 기 위한 척 ( 112 ) 이 배치 될 수 있 으며 , 상기 프로브 카드 ( 20 ) 는 상기 척 ( 112 ) 의 상부 에 배치 될 수 있 다 . 상세히 도시 되 지 는 않 았 으나 , 상기 프로브 카드 ( 20 ) 는 카드 홀더 ( 114 ) 에 의해 지지 될 수 있 으며 , 상기 본체 ( 110 ) 는 상기 카드 홀더 ( 114 ) 를 파지 하 기 위한 그 리퍼 유닛 들 ( 미 도시 ) 을 구비 할 수 있 다 . 아울러 , 상기 본체 ( 110 ) 는 상기 척 ( 112 ) 상 으로 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 로드 하 고 상기 척 ( 112 ) 으로부터 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 언 로드 하 기 위한 로더 유닛 ( 116 ) 을 포함 할 수 있 다 .