제 5 실시 형태 에서 는 , 제 1 실시 형태 , 제 3 실시 형태 , 및 제 4 실시 형태 에 관련 된 작용 효과 에 더 하 여 , 다음 의 작용 효과 를 나타낼 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 제 5 실시 형태 에서 는 , 상류 히터 ( 26 ) 에 의해 가열 된 약액 을 더 가열 하 는 하류 히터 ( 55 A ~ 55 D ) 가 , 약액 노즐 ( 21 A ~ 21 D ) 마다 설치 되 어 있 다 . 따라서 , 기판 ( W ) 에 착 액 했 을 때 의 약액 의 온도 를 기판 ( W ) 의 회전축 선 ( A 1 ) 으로부터 의 거리 에 따라 변경 할 수 있 다 . 기판 ( W ) 상 에서 의 약액 의 온도 는 회전축 선 ( A 1 ) 으로부터 떨어짐 에 따라서 저하 되 는 경향 이 있 다 . 기판 ( W ) 의 회전축 선 ( A 1 ) 으로부터 떨어짐 에 따라서 약액 의 온도 를 높 게 하 면 , 기판 ( W ) 상 에서 의 약액 의 온도 의 불 균일 을 저감 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 처리 의 균일성 을 높일 수 있 다 .