단계 S 705 에서 , 가동 률 산 출부 ( 303 ) 는 , 대상 구간 중 , 기판 을 처리 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 시간 길이 가 차지 하 는 비율 을 , 가동률 로서 산출 한다 . 또한 , 표시 제 어부 ( 304 ) 는 , 가동 률 산 출부 ( 303 ) 로부터 산출 된 가동 률 을 관리 화면 에 표시 하 며 , 과거 에 산출 된 가동 률 을 합하 여 관리 화면 에 표시 한다 .