상기 탈 이 온 수 는 상기 레지스 트 박리 액 조성물 에 추가 로 포함 될 수 있 다 . 상기 탈 이 온 수 가 더 포함 되 는 경우 알칼리 화합물 의 활성 화 를 향상 시켜 박리 속도 를 증가 시킬 수 있 으며 , 상기 알코올계 화합물 및 비 양자 성 극성 용매 와 혼합 이 용이 하 여 박리 공정 후 탈 이 온수 에 의한 린스 공정 에서 상기 레지스 트 박리 액 조성물 이 잔류 하 지 않 고 빠른 시간 에 완전 하 게 제거 될 수 있 도록 하 는 이점 이 있 다 .