b ) 플라 즈 마 처리 중 에 , 혼합 된 가스 ( f ) 는 제 2 플레이트 전극 ( aa ) 내 의 개구 ( ee ) 를 통해 플 라즈 마 챔버 ( c ) 로 전달 된다 . 플 라즈 마 ( c ) 가 상부 전극 과 하부 전극 사이 의 간격 에 걸쳐서 퍼지 기 때문 에 , 제 2 전극 ( aa ) 에 화학 반응 의 가능 성 이 존재 한다 . 이 들 반응 은 미립자 의 형성 을 초래 할 수 있 으며 , 미립자 는 그 후 기판 ( d ) 에 끌 어 당겨져 기판 에 들러 붙 어서 기판 상 에 원치 않 는 미립자 를 생성 할 수 있 다 . 이 는 증가 된 결함 밀도 및 처리 된 기판 의 낮 은 수율 을 초래 할 수 있 다 .