일부 구 현예 들 에서 , 실리콘 이 산화물 을 포함 하 는 증착 된 박막 들 은 불순물 로서 2 at -% 미만 의 질소 를 갖 는다 . 다른 구 현예 들 에서 , 상기 막 들 은 불순물 로서 1 at -% 미만 의 질소 , 또는 0 . 5 at -% 미만 의 질소 를 포함 한다 . 유사 하 게 , 일부 구 현예 들 에서 , 상기 박막 들 은 불순물 로서 1 at -% 미만 의 탄소 를 포함 하 고 , 일부 경우 에 있 어서 는 불순물 로서 0 . 5 at -% 미만 의 탄소 를 포함 한다 .