상기 와 같 은 그루브 라인 ( 112 - 115 ) 및 진공 홀 ( 119 ) 의 배치 로 인하 여 정반 ( 110 ) 상 에 글래스 기판 ( 200 ) 이 장착 되 는 경우 정반 ( 110 ) 의 중앙부 에서 가장 자리 부 로 갈수록 시간 차 에 의한 순차 적 밀착 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 이러 한 시간 차 에 의한 정반 ( 110 ) 과 글래스 기판 ( 200 ) 과 의 접촉 으로 인해 정반 ( 110 ) 과 글래스 기판 ( 200 ) 사이 의 공기층 형성 이 최소 화 된다 .