상기 게이트 절 연막 으로 사용 되 는 박막 을 형성 하 기 위한 물질 로 는 예컨대 HfO 2 , ZrO 2 , Ta 2 O 5 , Y 2 O 3 , Nb 2 O 5 , Al 2 O 3 , TiO 2 , CeO 2 , In 2 O 3 , RuO 2 , MgO , SrO , B 2 O 3 , SnO 2 , PbO , PbO 2 , Pb 3 O 4 , V 2 O 3 , La 2 O 3 , Pr 2 O 3 , Sb 2 O 3 , Sb 2 O 5 , CaO 등 을 예 를 들 수 있 다 . 이 들 은 단독 또는 혼합 하 여 사용 할 수 있 다 .