제 1 도 전막 ( 102 ) 은 도전 성 재료 에 의해 형성 한다 . 제 1 도 전막 ( 102 ) 은 예 를 들 면 티탄 , 몰리브덴 , 크롬 , 탄탈 , 텅스텐 , 알루미늄 , 구리 , 네오디뮴 , 니오브 혹은 스칸듐 등 의 금속 재료 또는 이 들 을 주성분 으로 하 는 합금 재료 등 의 도전 성 재료 를 이용 하 여 형성 할 수 있 다 . 단 , 후 의 공정 ( 제 1 절 연막 ( 104 ) 의 형성 등 ) 에 견딜 수 있 는 정도 의 내열 성 은 필요 하 고 , 후 의 공정 ( 제 2 도 전막 ( 110 ) 의 에칭 등 ) 에서 식각 또는 부식 되 지 않 는 재료 를 선택 하 는 것 을 필요 로 한다 . 이 한정 에 있 어서 , 제 1 도 전막 ( 102 ) 은 특정 재료 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .