본 발명 의 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 의 복수 의 기판 보유 지지 부 ( 312 , 313 , 314 ) 에 는 , 복수 의 기판 보유 지지 부 중 기판 의 어느 한 장변 ( 제 1 변 ) 측 에 배치 된 제 1 기판 보유 지지 부 ( 312 ) 로부터 기판 의 다른 장변 ( 제 2 변 ) 측 에 배치 된 제 2 기판 보유 지지 부 ( 313 ) 를 향해 순차 적 으로 ( 도 5 의 화살표 참조 ) 전압 이 인가 된다 . 즉 , 도 5 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 기판 보유 지지 부 ( 312 ) 에 먼저 전압 이 인가 되 고 , 이어서 , 제 2 기판 보유 지지 부 ( 313 ) 에 전압 이 인가 된다 . 도 5 ( b ) 에 도시 한 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 에 있 어서 는 , 제 1 기판 보유 지지 부 ( 312 ) 에 가장 먼저 전압 이 인가 되 고 , 이어서 , 제 3 기판 보유 지지 부 ( 314 ) , 제 2 기판 보유 지지 부 ( 313 ) 의 순서 로 흡착 전압 이 인가 된다 .