기판 ( 13 ) 은 , 복수 의 기판 을 이격 된 관계 로 유지 하 는 복수 의 이격 된 기판 유지 설비 를 포함 하 는 3 개 의 받침대 를 포함 할 수 있 는 기판 랙 ( 12 ) 내 에 위치 할 수 있 다 . 랙 ( 12 ) 은 동일 한 양 의 기판 을 유지 하 기 위한 받침대 를 따라 최대 50 내지 200 , 바람직 하 게 는 100 내지 180 개 의 이격 된 기판 유지 설비 를 가질 수 있 다 .