도 6 은 , 도 5 의 챔버 메커니즘 ( 500 ) 의 내부 부분 ( 600 ) 의 3 차원 예 를 도시 한다 . 도 6 에서 는 외측 챔버 및 회전 가능 차 폐부 들 이 제거 되 어 있 다 . 도 1 내지 도 3 을 참조 하 여 위 에 설명 된 바 와 같이 , 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) ( 도 1 참조 ) 의 다양 한 구성 요소 들 이 특정 예시 적 인 실시 예 에서 도시 된다 . 예컨대 , 기판 ( 119 ) 은 , 3 개 의 핑거 암 ( 121 ) 과 핑거 - 단부 캡 ( 123 ) 조합 ( 도 6 에서 는 2 개 만 이 가시 적 임 ) 에 장착 되 어 제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 와 제 2 측 분무 제트 어레이 ( 117 ) 사이 에 그 들 로부터 이격 되 어 위치 된 것 으로 도시 된다 . 추가 로 , 분무 제트 들 ( 219 ) 의 다양 한 것 들 이 제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 상 에서 가시 적 이 다 .