여기 에 개시 되 는 연마 용 조성물 은 , 실리콘 을 연마 하 기 위한 연마 용 조성물 로서 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 단결정 또는 다결정 의 실리콘 웨이퍼 를 연마 하 기 위한 연마 용 조성물 로서 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 . 이하 , 여기 에 개시 되 는 연마 용 조성물 을 사용 하 여 연마 대상물 을 연마 하 는 방법 의 적합 한 일 양태 에 대하 여 설명 한다 .