투영 광학계 ( 530 ) 에 의해 발생 된 로컬 플레어 를 측정 하 기 위한 측정 장치 의 측정 마스크 ( 20 ) 및 측 정부 ( 30 ) 는 , 상술 한 어떠 한 형태 도 적용 가능 하 고 , 여기 서 상세 한 설명 ( 구성 및 측정 동작 ) 은 생략 한다 . 레티 클 ( 520 ) 의 일부 에 , 상술 한 로컬 플레어 를 측정 하 기 위한 측정 패턴 을 형성 하 여도 된다 .