도 1 b 를 참조 하 면 , 상기 제 1 가이드 패턴 들 ( 115 ) 을 갖 는 기판 ( 100 ) 전면 상 에 마스크 막 ( 120 ) 을 콘 포말 ( conformal ) 하 게 형성 한다 . 상기 마스크 막 ( 120 ) 은 상기 제 1 가이드 패턴 ( 115 ) 의 측벽 및 상부 면 과 , 상기 제 1 가이드 패턴 들 ( 115 ) 사이 의 상기 식각 대상 막 의 표면 을 따라 실질 적 으로 콘 포말 하 게 형성 된다 . 이 에 따라 , 서로 인접 한 상기 제 1 가이드 패턴 들 ( 115 ) 사이 에 는 빈 영역 ( 125 ) 이 형성 된다 . 즉 , 상기 제 1 가이드 패턴 ( 115 ) 양측 에 상기 빈 영역 ( 125 ) 이 형성 된다 . 상기 빈 영역 ( 125 ) 의 바닥 면 및 측벽 은 상기 마스크 막 ( 120 ) 으로 형성 된다 . 즉 , 상기 빈 영역 ( 125 ) 은 상기 마스크 막 ( 120 ) 으로 둘러싸이 고 위 가 개방 된 형태 이 다 . 상기 제 1 가이드 패턴 들 ( 115 ) 이 나란히 배열 된 라인 형태 로 형성 됨 으로써 , 상기 빈 영역 ( 115 ) 은 상기 제 1 가이드 패턴 들 ( 115 ) 과 평행 한 홈 형태 로 형성 된다 .