도 3 a 내지 도 3 e 를 참조 하 여 상술 한 워드 라인 들 ( WL , WL _ D 또는 WL _ S ) 은 메모리 셀 들 의 게이트 들 로 이용 되 고 , 드레 인 셀렉 트 라인 들 ( DSL ) 각각 은 드레 인 셀렉 트 트랜지스터 의 게이트 로 이용 되 고 , 소스 셀렉 트 라인 들 ( SSL ) 각각 은 소스 셀렉 트 트랜지스터 의 게이트 로 이용 된다 . 다층막 과 다층 패턴 들 ( ML , ML 1 , ML 2 ) 은 데이터 를 저장 하 는 데이터 저 장막 을 포함 할 수 있 다 . 다층막 과 다층 패턴 들 ( ML , ML 1 , ML 2 ) 은 데이터 저 장막 이외 에 , 데이터 저 장막 을 사이 에 두 고 마주 하 도록 배치 된 터널 절 연막 및 블로킹 절 연막 을 포함 할 수 있 다 .