도 3 은 , 하나 의 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 의 파형 발생기 에 있 어서 의 마이크로파 의 생성 원리 의 일례 를 나타내 는 도 이 다 . 일 실시 형태 에 있 어서 는 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 파형 발생기 ( 101 ) 는 , PLL ( Phase Locked Loop ) 발진기 및 IQ 디지털 변조기 를 갖 는다 . PLL 발진기 는 , 기준 주파수 와 위상 을 동기 ( 同期 ) 시킨 마이크로파 를 발진 한다 . IQ 디지털 변조기 는 , PLL 발진기 에 접속 되 어 있 다 . 파형 발생기 ( 101 ) 는 , PLL 발진기 에 있 어서 발진 되 는 마이크로파 의 주파수 를 제어기 ( 102 ) 에 의하 여 지정 된 설정 주파수 로 설정 한다 . 그리고 , 파형 발생기 ( 101 ) 는 , PLL 발진기 로부터 의 마이크로파 와 , 해당 PLL 발진기 로부터 의 마이크로파 는 90 ° 의 위상차 를 갖 는 마이크로파 를 , IQ 디지털 변조기 를 이용 하 여 변조 한다 . 이 로써 , 파형 발생기 ( 101 ) 는 , 대역 내 에 있 어서 복수 의 주파수 성분 을 갖 는 마이크로파 또는 단일 주파수 의 마이크로파 를 생성 한다 .