한편 , 상기 제 2 범위 내 에서 화상 평가 치 를 측정 하 는 단계 를 수행 한 이 후 에 , 상기 측정 된 화상 평가 치 들 의 최대 값 이 피크 치가 아닌 경우 , 상기 측정 된 화상 평가 치 의 최대 값 이 위치 하 는 전기 적 조건 을 포함 하 면서 상기 제 1 범위 와 이웃 하 는 범위 로써 제 n 범위 ( n 은 3 이상 의 정수 ) 를 재 설정 하 는 단계 와 , 상기 집광 부재 에 대해 상기 제 n 범위 내 에서 복수 의 단계 로 전기 적 조건 을 가변 시켜 인가 하 는 단계 , 상기 제 n 범위 내 에서 복수 의 단계 로 가변 된 전기 적 조건 에 따라 상기 피사체 을 통해 흘러나오 는 2 차 전자 를 통해 화상 평가 치 를 측정 하 는 단계 , 상기 화상 평가 치 의 최대 값 이 피크 치 인지 확인 하 는 단계 및 상기 화상 평가 치 의 최대 값 이 전압 값 의 피크 치가 아닌 경우 , 상기 기재 된 단계 를 반복 수행 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .