제 1 ~ 제 8 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 은 각각 기판 ( P ) 의 표면 이 대향 하 여 배치 되 는 하 면 ( 광 사 출면 ) 을 가지 는 종단 광학 소자 ( FL ) 를 구비 하 고 있 다 . 투영 모듈 ( PLa ~ PLh ) 의 하 면은 각각 거의 같 은 높이 ( 면 일 ( 面 一 ) ) 로 되 어 있 다 . 이 와 같이 , 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 및 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 각각 은 , 기판 스테이지 ( 4 ) 에 유지 된 기판 ( P ) 의 표면 이 대향 하 여 배치 되 는 복수 의 종단 광학 소자 ( FL ) 를 가지 고 , 종단 광학 소자 의 각각 으로부터 노광 광 ( EL ) 을 사출 한다 .