도 8 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 마이크로파 유도가열 장치 ( 100 ) 는 , 마이크로파 를 입력 받 는 마이크로파 도파관 형태 의 마이크로파 입력 부 ( 110 ) , 마이크로파 입력 부 ( 110 ) 에 결합 된 마이크로파 커플러 ( 120 ) , 마이크로파 커플러 ( 120 ) 로부터 소정 의 거리 이격 되 어 있 으며 마이크로파 커플러 ( 120 ) 로부터 상기 마이크로파 를 전달 받 아 동작 하 는 유전체 공진기 ( 130 ) , 마이크로파 입력 부 ( 110 ) , 마이크로파 커플러 ( 120 ) , 유전체 공진기 ( 130 ) 를 감싸 마이크로파 의 외부 누설 을 막아주 는 금속 몸체 ( 140 ) , 금속 몸체 ( 140 ) 의 외곽 에 결합 되 며 , 금속 몸체 ( 140 ) 의 내부 와 외부 사이 의 열린 공간 ( 전도성 박막 등 의 가열 대상 소재 ( 10 ) 가 로딩 / 언로 딩 되 는 경로 주변 에서 금속 몸체 ( 140 ) 의 내부 와 외부 사이 의 소통 되 는 공간 ) 에서 마이크로파 의 외부 누설 이 차단 되 도록 보조 하 기 위하 여 , 입력 마이크로파 의 주파수 보다 약간 더 높 은 공진 주파수 를 가지 며 열린 공간 주위 에 결합 되 는 도파관 ( waveguide ) 또는 공진기 ( cavity resonator ) 형태 의 마이크로파 누설 차 단부 ( 150 ) 를 포함 한다 .