( A ) 성분 의 수지 는 알칼리 가용 성기 를 갖 는 반복 단위 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 알칼리 가용 성기 의 예 로 는 카르복시기 , 술폰아미드 기 , 술포닐 이미드기 , 비스 술 포 닐 이미드기 , 및 α - 위치 가 전자 흡인 성 기 로 치환 된 지방족 알콜 ( 예컨대 , 헥사 플 루 오로 이소프로판올 기 ) 이 열거 된다 . 카르복시기 함유 반복 단위 를 갖 는 수지 가 보다 바람직 하 다 . 수지 가 알칼리 가용 성기 를 갖 는 반복 단위 를 갖 는 경우 , 콘택트 홀 형성 시 의 해상도 가 향상 된다 . 알칼리 가용 성기 를 갖 는 반복 단위 로 는 아크릴산 또는 메타크릴산 에 의한 반복 단위 와 같 은 수지 의 주 쇄 에 직접 알칼리 가용성 기 가 결합 되 어 있 는 반복 단위 , 연결기 를 통해서 수지 의 주 쇄 에 알칼리 가용성 기 가 결합 되 어 있 는 반복 단위 , 및 알칼리 가용 성기 를 갖 는 중합 개시제 또는 연쇄 이동제 를 사용 하 여 중합 시 에 폴리머 쇄 의 말단 에 도입 된 알칼리 가용 성기 를 갖 는 반복 단위 중 어느 하나 가 바람직 하 다 . 연결기 는 단환 또는 다환식 탄화수소 구조 를 가져도 좋 다 . 아크릴산 또는 메타크릴산 에 의한 반복 단위 가 특히 바람직 하 다 .