일부 실시 형태 에서 , 하이 - k 유전체 ( 1010 ) 는 PVD , CVD , PECVD , APCVD , SACVD , MOCVD , 또는 약 250 ℃ 미만 의 퇴적 온도 에서 ( 예컨대 , 약 180 ℃ 또는 약 210 ℃ 에서 ) 전술 한 유전체 재료 를 퇴적 할 수 있 는 기타 적절 한 CVD 기반 퇴적 공정 에 의해 퇴적 될 수 있 다 . 대안 적 으로 , 일부 실시 형태 에서 , 하이 - k 유전체 ( 1010 ) 는 약 250 ℃ 미만 의 온도 에서 ( 예컨대 , 약 180 ℃ 또는 약 210 ℃ 에서 ) 스핀코팅 될 수 있 다 .