계속 해서 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 을 홈 위치 에 위치 시키 고 , 덮개 체 ( 82 ) 를 상승 시켜 , 지지 아암 ( 33 ) 으로 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 는 제 2 반송 아암 ( 32 ) 을 반송 위치 까지 이동 시키 고 , 승강 로드 ( 87 ) 를 반송 위치 까지 상승 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 가 승강 로드 ( 87 ) 에 의해 제 2 반송 아암 ( 32 ) 으로부터 수취 된다 . 이때 , 덮개 체 ( 82 ) 는 반송 위치 보다 도 상방 에 위치 하 고 있 다 . 또한 , 덮개 체 ( 82 ) 의 승강 기구 ( 83 ) 는 , 승강 로드 ( 87 ) 가 반송 위치 에 있 을 때 에 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 과 승강 로드 ( 87 ) 와 의 사이 의 웨이퍼 ( W ) 의 인수 인도 를 저해 하 지 않 는 위치 에 형성 되 어 있 다 . 이어서 , 예 를 들 면 승강 로드 ( 87 ) 를 재치 위치 까지 내리 고 , 이것 에 의해 재 치부 ( 84 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 올려놓 은 후 , 덮개 체 ( 82 ) 를 내려서 제 2 오 목부 ( 41 ) 의 상부 개구 가 기밀 하 게 막혀 , 덮개 체 ( 82 ) 와 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 의해 구획 공간 ( S ) 이 형성 된다 .