도시 된 실시 형태 는 많 은 교정 절차 에 적합 하 지만 , 측정 된 높이 의 달성 가능 한 정확 도 및 해상도 를 제한 하 는 불 확실 성 의 대상 이 될 수 있 고 ( 예 를 들 어 , 레티 클 ( 255 ) 의 온도 , 굴절 률 의 변화 및 객관적으로 설정 의 어려움 ) , 정밀 한 카메라 초점 은 기계 제어 의 보조 하 에서 수행 될 때 에 도 모든 잠재 적 오차 원인 이 다 . 또한 , 요구 되 는 정밀 초점 조절 은 특히 조작자 에 의해 수행 될 때 , 시간 소모적 일 수 있 다 . 마지막 으로 , 기술 된 시스템 은 의도 적 으로 제공 되 는 기판 기준점 의 높이 를 용이 하 게 측정 할 수 있 지만 , 기판 의 임의 의 위치 에서 의 높이 를 동적 으로 측정 하 는 것 이 보다 어려울 수 있 다 ( 즉 , 어려움 에 기초 하 거나 잠재 적 으로 알려 지 지 않 은 피처 에 대한 이미지 처리 및 가변 초점 조절 에 의존 함 ) . 이러 한 모든 이유 때문 에 , 다수 의 고려 된 구 현예 는 도 4 a - c 와 관련 하 여 후술 되 는 실시 형태 를 유리 하 게 사용 하 고 , 이 는 특히 높이 측정 에 적용 되 는 바 와 같이 더욱 빠르 고 더 견고 한 교정 , 정렬 및 측정 을 제공 한다 . 이러 한 시스템 은 위 에서 언급 한 이미지 초점 조절 방법 에서 높이 측정 을 분리 하 지만 , 더 높 은 정밀도 와 속도 로 결과 를 얻 기 위해 여전히 상호 높이 측정 시스템 을 사용 한다 . 이 는 도 4 a - 4 c 와 관련 하 여 이하 에서 더 논의 될 것 이 다 .