도 2 로 되돌아가 서 , 액 공급 부 ( 40 ) 는 , 복수 의 액 분사 부 ( 41 ) 를 갖 는다 . 이 액 공급 부 ( 40 ) 는 , 세정 처리 실 ( 22 ) 내 에 설치 되 고 , 반송로 ( H 1 ) 를 이동 하 는 기판 ( W ) 에 각 액 분사 부 ( 41 ) 로부터 세정액 ( 처리 액 의 일례 ) 을 분사 하 여 공급 한다 . 각 액 분사 부 ( 41 ) 는 , 반송 부 ( 30 ) 에 의한 기판 ( W ) 의 반송 을 방해 하 지 않 고 , 반송로 ( H 1 ) 를 사이 에 두 고 이격 되 어 대향 하 도록 반송로 ( H 1 ) 의 상하 에 7 개 씩 설치 된다 . 이 들 액 분사 부 ( 41 ) 는 , 반송로 ( H 1 ) 를 향해 샤워 형 으로 세정액 을 토출 한다 . 한편 , 반송로 ( H 1 ) 의 하방 에 위치 하 는 각 액 분사 부 ( 41 ) 는 , 각 반송 롤러 ( 31 A ) 를 피하 여 반송로 ( H 1 ) 에 세정액 을 토출 하 도록 배치 된다 . 세정액 이 각 액 분사 부 ( 41 ) 에 의해 반송로 ( H 1 ) 를 향해 분사 되 어 , 그 반송 로 ( H 1 ) 를 이동 하 는 기판 ( W ) 의 상면 및 하면 의 양면 에 세정액 이 공급 된다 . 액 분사 부 ( 41 ) 로서 는 , 예컨대 , 복수 의 관통 구멍 을 갖 는 샤워 파이프 나 복수 의 샤워 노즐 을 구비 하 는 파이프 가 이용 된다 .