제 1 예시 적 인 실시 예 에 따른 노광 장치 에 있 어서 는 , 웨이퍼 ( 40 ) 를 레티 클 ( 20 ) 의 패턴 으로 노광 한다 . 투영 광학계 ( 30 ) 와 웨이퍼 ( 40 ) 와 의 사이 에서 노광 광 은 액체 로 채워진 광로 를 갖 는다 . 따라서 , 웨이퍼 ( 40 ) 의 노광 중 에 , 액체 L 1 의 액 막 및 액체 L 2 의 액막이 형성 된다 .