복수 의 기판 을 하나 의 로트 로서 취급 하 는 경우 , 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 에 따라서 는 각 기판 의 처리 품질 이 문제 가 될 수 있 다 . 예컨대 어떤 로트 에 대한 처리 도중 에 메인 터 넌 스 처리 를 개재 하 면 메인 터 넌 스 처리 의 전후 에서 처리 조건 이 바뀌 고 , 동일 로트 내 에서 처리 품질 에 편차 가 발생 할 우려 가 있 다 . 또한 예컨대 메인 터 넌 스 처리 의 실행 을 너무 미루 면 , 적절 한 타이밍 을 놓쳐 기판 의 처리 품질 에 악영향 이 미칠 우려 가 있 다 . 또한 예컨대 어떤 타이밍 으로 메인 터 넌 스 처리 를 수행 할지 의 판단 을 보수 작업자 등 에게 맡기 면 그 보수 작업자 등 의 부담 이 커지 고 , 게다가 적절 하 게 판단 할 수 있 다는 보장 도 없 다 .