또한 , 기판 ( W ) 의 상면 상 의 일부 의 제 1 액체 만 을 제 2 액체 로 치환 함 으로써 , 링 형상 의 제 1 액 막 ( F 1 ) 이 적어도 기판 ( W ) 상면 의 외주 부 에 남 고 , 제 2 액체 가 제 1 액 막 ( F 1 ) 의 내측 에 모인다 . 이 로 인해 , 제 2 액 막 ( F 2 ) 과 제 2 액 막 ( F 2 ) 의 측방 을 감싸 는 제 1 액 막 ( F 1 ) 을 기판 ( W ) 의 상면 에 비교 적 용이 하 게 형성 할 수 있 다 .