마스크 수용 용기 ( 120 ) 는 장치 본체 ( 110 ) 의 제 1 영역 ( S 1 ) 에 복수 개 가 배치 된다 . 마스크 수용 용기 ( 120 ) 에 는 복수 개 의 마스크 ( 미 도시 ) 가 수용 된다 . 일예 로서 , 각각 의 마스크 수용 용기 ( 120 ) 에 수용 되 는 마스크 의 종류 는 서로 다를 수 있 다 . 한편 , 마스크 수용 용기 ( 120 ) 에 는 가스 공급 관 ( 150 ) 에 연결 된다 . 이 에 따라 , 마스크 수용 용기 ( 120 ) 의 내부 로 직접 가스 ( 예 를 들 어 , 불활성 가스 인 N 2 ) 가 공급 될 수 있 다 . 한편 , 마스크 수용 용기 ( 120 ) 에 수용 되 는 마스크 는 EUV ( Extreme Ultraviolet ) 용 마스크 일 수 있 다 .