여기 서 , 반 투광 성막 ( 17 ) 은 , 예 를 들 면 금속 Cr 로 이루어지 는 스퍼터 타 겟 을 이용 하 여 , 아르곤 가스 를 이용한 스퍼터링 법 , 혹은 질소 , 산소 , 메탄 , 이산화 탄소 , 일산화질소 가스 , 탄산 가스 , 탄화수소 계 가스 , 또는 이 들 의 혼합 가스 등 의 반응 성 가스 를 이용 한 반응 성 스퍼터링 법 에 의해 형성 할 수 있 다 . 그 막 두께 는 , 필요 한 반 투광 성막 의 투과율 ( 예 를 들 면 20 ∼ 60 ％) 에 의해 적절 하 게 선정 된다 .