선반 유닛 ( U 1 ) 은 각종 모듈 이 적층 되 어 구성 되 어 있 다 . 선반 유닛 ( U 1 ) 은 , 도 3 에 도시 된 것 과 같이 , 예 를 들 면 아래 부터 순차 적층 된 전달 모듈 ( TRS 1 , TRS 1 , CPL 11 , CPL 2 , BF 2 , CPL 3 , BF 3 , CPL 4 , TRS 4 ) 을 갖 는다 . 또한 , 도 1 에 도시 된 것 과 같이 , 선반 유닛 ( U 1 ) 의 근방 에 는 , 승강 이 자유 로운 전달 아암 ( D ) 이 설치 되 어 있 다 . 선반 유닛 ( U 1 ) 의 각 처리 모듈 끼리 사이 에서 는 전달 아암 ( D ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 가 반송 된다 .