여기 서 , 노광 장치 의 상면 형상 은 , 예 를 들 어 상면 만곡 으로서 평가 될 수 있 는 형상 이 다 . 스텝 퍼 로서 구성 된 노광 장치 에서 는 , 노광 장치 의 상면 형상 은 , 노광 장치 의 투영 광학계 의 상면 ( 베스트 포커스 면 ) 과 기준 표면 ( 설계 상 의 상면 ) 사이 의 차분 의 2 차원 분포 로서 평가 될 수 있 다 . 스캐너 ( 주사 노광 장치 ) 로서 구성 된 노광 장치 에서 는 , 노광 장치 의 상면 형상 은 실효 적 인 상면 형상 을 의미 한다 . 즉 , 스캐너 로서 구성 된 노광 장치 의 상면 형상 은 , 노광 장치 에 의한 주사 노광 의 결과 에 드러나 는 , 기판 의 피노 광면 과 투영 광학계 의 상면 ( 베스트 포커스 면 ) 사이 의 차분 의 2 차원 분포 로서 평가 될 수 있 다 . 기판 의 피노 광면 은 , 예 를 들 어 포토레지스트 층 ( 1 ) 의 두께 방향 의 중심 의 집합 으로 이루어지 는 면 이 다 . 스캐너 로서 구성 된 노광 장치 에서 는 , 주사 노광 동안 의 기판 의 위치 제어 정밀도 는 노광 장치 의 실효 적 인 상면 형상 에 영향 을 준다 . 예 를 들 어 , 주사 노광 동안 의 기판 의 위치 제어 정밀도 가 나쁘 면 , 실효 적 인 상면 형상 은 이상 적 인 형상 과 는 크 게 상이 해진다 . 즉 , 주사 노광 동안 의 기판 의 위치 제어 정밀도 가 나쁘 면 , 이 는 , 실효 적 으로 는 , 투영 광학계 의 상면 만곡 수차 가 클 때 생성 되 는 것 과 마찬가지 의 디 포커스 를 일으킬 수 있 다 .