[ 0059 ] 일부 실시 예 들 에서 , 증착 장치 ( 100 ) 는 서비스 영역 또는 유지 보수 영역 을 포함 할 수 있 으며 , 여기 서 , 도 3 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 진공 챔버 와 서비스 영역 사이 에 폐쇄 가능 한 통로 ( 330 ) 가 제공 될 수 있 다 . 폐쇄 가능 한 통로 ( 330 ) 는 , 진공 챔버 와 서비스 영역 사이 에서 증착 소스 를 이동 시키 기 위해 개방 될 수 있 다 . 증착 소스 는 , 예컨대 , 서비스 또는 유지 보수 를 위해 , 서비스 영역 내 로 전달 될 수 있 다 .