이하 에서 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 전자 빔 검사 방법 에 대하 여 설명 한다 . 도 6 a , b , c 는 엔드 이펙터 ( 132 ) 의 동작 상태 를 설명 하 기 위한 도면 이 고 , 도 7 a , b , c , d , e , f , g , h 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 전자 빔 검사 시스템 에서 기판 ( 10 ) 을 로드 락 챔버 ( 100 ) 에서 검사 챔버 로 이송 하 는 동작 상태 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 .