본 실시 형태 에 의하 면 , 준비 공정 에 있 어서 제 1 패러데이 컵 및 제 3 패러데이 컵 의 각각 에 의하 여 측정 되 는 빔 전류 측정값 에 근거 하 여 , 제 1 패러데이 컵 의 재교 정의 필요 여부 나 메인 터 넌 스 의 필요 여부 를 자동 적 으로 검지 할 수 있 다 . 제 1 패러데이 컵 의 재 교정 이 필요 하 다는 것 이 검지 된 경우 에 는 , 교정 공정 을 자동 실행 함 으로써 , 제 1 패러데이 컵 의 교정 파라미터 를 적절 한 값 으로 자동 갱신 할 수 있 다 . 그 결과 , 이온 주입 장치 ( 10 ) 를 장기간 에 걸쳐 연속 적 으로 사용 하 는 경우 여도 , 제 1 패러데이 컵 이 고정 밀도 로 교정 된 상태 를 유지 할 수 있 고 , 제 1 패러데이 컵 을 이용 하 는 측정 의 정밀도 가 높 은 상태 를 유지 할 수 있 다 .