상기 제 어부 ( 8 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 설치 틀 ( 4 ) 의 우측 다 리부 ( 4 a ) 의 칸막이벽 ( 4 i , 4 j ) 사이 의 공간 에 설치 되 어 있 으며 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 6 ) 및 기타 각 부분 의 제어 를 행하 는 것 이 다 . 예컨대 제 어부 ( 8 ) 는 마이크로파 발생 장치 ( 14 a ) 에 의한 마이크로파 발생 의 동작 제어 , 플라 즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 각 플 라즈 마 발생 노즐 ( 18 a ) 에 공급 하 는 처리 가스 의 유량 제어 , 반송 장치 ( 2 ) 의 반송 롤러 ( 2 a ) 를 구동 하 는 구동 모터 의 동작 제어 및 워크 처리 장치 ( S ) 를 구성 하 는 각 부분 의 동작 을 연동 시켜 제어 하 는 전체 제어 등 을 행한다 .