도 1 b 는 EUVL 장치 ( 20 ) 의 소스 - 동공 평면 에서 수용 콘 ( 260 ) 의 단면 ( 262 ) 이 중첩 된 비대칭 조명 분포 ( 212 ) 를 도시 한다 . 비대칭 조명 분포 ( 212 ) 는 광 이 레티 클 ( 220 ) 을 조명 하 는 상이 한 각도 / 방향 의 분포 로서 보여질 수 있 다 . 도 1 b 에 도시 된 예 에서 , 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 에 의해 도입 되 는 광 산란 은 도시 되 지 않 았 다 . 비대칭 조명 분포 ( 212 ) 는 소스 픽셀 ( 213 ) 의 분포 로서 도시 되 어 있 다 . 도 1 b 에 도시 된 예 에서 , 소스 픽셀 ( 213 ) 은 주로 소스 - 동공 평면 에서 제 1 사분면 ( 2622 ) 및 제 2 사분면 ( 2624 ) 내 에 속한다 . 다시 말 해서 , 소스 픽셀 ( 213 ) 은 주로 소스 - 동공 평면 에서 2 개 의 대향 하 는 사분면 ( 2622 , 2624 ) 내 에 속한다 . 기하학 적 소스 - 동공 축 ( 263 ) 은 도 1 b 에 도시 된 바 와 같이 제 1 사분면 ( 2622 ) 과 제 2 사분면 ( 2624 ) 을 동일 한 크기 의 8 분원 으로 나누 도록 연장 된다 .