추가 로 , 기판 ( 6 ) 이 금속 의 진공 흡 판 으로 장치 대로 운반 될 때 , 전반 적 인 흡 판 의 흡인력 이 불 균일 하 여 흡인 된 기판 ( 6 ) 이 변형 될 소지 를 제공 하 게 된다 . 특히 , 기판 ( 6 ) 이 변형 되 면 미세 한 균열 의 깊이 가 불 균일 하 게 될 수 도 있 다 . 이 와 더불 어서 , 종래 기술 에 따른 금속 진공 흡 판 은 절단 할 때 잔존 해 있 는 냉각제 를 신속 하 고 깨끗 하 게 제거 할 수 없 기 때문 에 절단 의 품질 에 영향 을 미치 게 된다 .