제 2 제 어부 ( 조 작부 ) ( 274 ) 는 , 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 을 조작 하 는 조 작부 로서 구성 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 제 어부 ( 274 ) 는 , 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 이 갖 는 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 각각 제어 가능 하 게 구성 된다 . 또한 , 제 2 제 어부 ( 274 ) 는 , 네트워크 ( 503 ) 를 통해서 상위 장치 ( HOST ) ( 500 ) 나 해석 서버 ( 501 ) 와 , 제 1 제 어부 ( 260 ) 와 제 3 제 어부 ( 280 ) 의 어느 것 또는 양쪽 과 통신 가능 하 게 구성 된다 . 또한 , 보수 용 PC ( 502 ) 와 접속 가능 하 게 구성 되 어 있 어도 된다 .