이송 배관 ( 400 ) 은 상기 저장 탱크 ( 200 ) 에서 유체 제어 장치 ( 100 ) 가 설치 된 부분 과 유체 취급 장치 ( 300 ) 를 연결 할 수 있 다 . 이러 한 이송 배관 ( 400 ) , 저장 탱크 ( 200 ) 및 유체 취급 장치 ( 300 ) 는 일반 적 인 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 에 포함 된 것 일 수 있 으므로 , 이 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .