상기 복수 의 볼 스 크류 ( 72 ) 는 스 크류 축 ( 73 ) 과 볼 부쉬 ( 74 ) 로 이루어지 며 , 브라 켓 ( 71 ) 의 둘레 방향 을 따라 서로 이격 되 어 복수 개 배치 된다 . 본 실시 예 에서 는 브라 켓 ( 71 ) 의 무게 중심 에 대하 여 대칭 되 도록 3 개 배치 된다 . 상기 볼 스 크류 ( 72 ) 의 스 크류 축 ( 73 ) 은 상하 방향 으로 길 게 배치 되 어 브라 켓 ( 71 ) 의 통공 에 끼워 지 는데 , 그 외주 면 에 는 나사산 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 이 스 크류 축 ( 73 ) 은 챔버 ( 40 ) 의 하측 에 결합 된 베어링 ( 75 ) 에 끼워져 회전 가능 하 게 지지 된다 . 상기 볼 부쉬 ( 74 ) 는 스 크류 축 ( 73 ) 에 끼워 지 며 상기 브라 켓 ( 71 ) 의 상면 에 결합 된다 . 이 볼 부쉬 ( 74 ) 의 내측 에 는 이른바 리턴 피스 ( 미 도시 ) 가 형성 되 어 있 으며 , 볼 부쉬 ( 74 ) 와 스 크류 축 ( 73 ) 사이 에 는 리턴 피스 를 따라 순환 하 는 다수 의 볼 ( 미 도시 ) 이 배치 된다 . 스 크류 축 ( 73 ) 이 회전 되 면 볼 부쉬 ( 74 ) 가 스 크류 축 ( 73 ) 을 따라 승강 되 는데 , 볼 스 크류 의 구조 및 기능 은 이미 공지 되 것 인 바 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 . 한편 , 복수 의 볼 스 크류 ( 72 ) 중 어느 하나 의 볼 스 크류 의 스 크류 축 , 본 실시 예 에서 는 챔버 ( 40 ) 의 중앙부 쪽 에 배치 된 스 크류 축 은 나머지 볼 스 크류 의 스 크류 축 에 비하 여 길 게 형성 되 어 있 다 .