도 3 은 본 발명 에 따른 가스 감지 용 마이크 로 스펙트로미터 의 하부 기판 의 다른 평면도 로서 , 가스 감지 용 마이크 로 스펙트로미터 의 하부 기판 상부 에 형성 된 홈 ( 110 ) 은 상호 이격 되 어 평행 한 제 1 내지 3 수평 형 홈 ( 111 , 113 , 115 ) 과 ; 상기 제 1 수평 형 홈 ( 111 ) 과 제 2 수평 형 홈 ( 113 ) 일단 에 수직 방향 으로 연결 된 제 1 수직 형 홈 ( 112 ) 과 ; 상기 제 2 수평 형 홈 ( 113 ) 타단 과 제 3 수평 형 홈 ( 115 ) 에 수직 방향 으로 연결 된 제 2 수직 형 홈 ( 114 ) 으로 이루어진다 .