먼저 , 도 6 의 ( a ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 W 를 준비 한다 . 다음 에 , 하 지 막 성막 장치 에 있 어서 , 도 6 의 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 하 지 막 ( 407 ) 으로서 , 예 를 들 어 TiN 막 을 오 목부 를 따르 도록 성막 한다 . 다음 에 , 금속 막 성막 장치 에 있 어서 , 도 6 의 ( c ) 에 나타내 는 바 와 같이 , TiN 막 위 에 텅스텐 막 ( 408 ) 을 성막 한다 . 또한 , 텅스텐 막 ( 408 ) 의 성막 방법 에 대해서 는 , 본 실시 형태 에 관한 텅스텐 막 의 형성 방법 과 마찬가지 이 다 .