단일 라인 에 대한 운용 방식 2 에서 와 같이 초기 기판 투입 시 전처리 및 얼라 인 완료 되 어 기판 이 합착 된 마스크 를 필요 한 개수 만큼 미리 버퍼 챔버 에 적재 해 두 었 다가 T 1 간격 으로 연속 적 으로 투입 하 고 , 첫 번 째 3 스택 증착 된 1 순환 기판 이 증착 시작 지점 으로 순환 되 어 돌아오 면 그때 부터 LL 부터 TM 2 라인 을 통해 공정 을 거친 새 기판 을 A 모델 라인 에 2 T 1 간격 으로 투입 한다 . 디 마스크 1 챔버 에 도착 하 는 기판 들 중 하나 걸러 도착 하 는 6 스택 증착 완료 기판 은 마스크 를 분리 하 여 TM 4 를 통해 금속 증착 라인 으로 투입 하 고 , 3 스택 증착 기판 은 리턴 라인 으로 순환 시켜 3 스택 을 한번 더 증착 하 여 6 스택 이 되게 한다 .