몇 개 의 실시 형태 에서 는 , 예 를 들 어 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 시일 장치 ( 30 ) ( 도 2 에 있 어서 의 시일 장치 ( 30 A 및 30 B ) ) 의 공급 관 ( 42 ) 의 출구 개구 ( 42 b ) 및 배출관 ( 44 ) 의 입구 개구 ( 44 a ) 는 , 둘레 방향 에 있 어서 배기 덕트 ( 19 ) ( 덕트 ) 와 정지 후드 ( 18 ) 의 접속 부 ( 52 ) 와 는 어긋나 게 위치 한다 .