배 출물 진공 배기 를 증가 시키 기 위해 회전 가능 차 폐부 들 의 회전 속력 이 증가 될 수 있 다 . 이러 한 세정 동작 동안 , 고순 도 가스 ( 예컨대 , 초 고순 도 질소 ) 가 가스 분산 디바이스 들 중 적어도 하나 에 의해 챔버 내 로 도입 되 어 , 회전 하 는 수직 기판 에 근접 한 , 수분 이 풍부 한 환경 의 탈수 를 용이 하 게 한다 .