이상 으로 설명 한 SEM 상 , 피복 률 및 인 큐 베이 션 시간 의 평가 결과 에 의하 면 , 실리콘 막이 Ru 함유 전구체 의 흡착 사이트 로서 기능 하 고 있 다고 생각 된다 . 이 와 같이 , 실리콘 막이 Ru 함유 전구체 의 흡착 사이트 로서 기능 함 으로써 , 설계 막 두께 가 얇 은 경우 에 도 절 연막 상 에 Ru 막 의 연속 막 을 형성 할 수 있 다 .