실시 예 에서 , 경사 또는 기울어진 저 장소 는 저 장소 의 기 저부 에서 습식 밀봉재 의 바람직 한 분리 를 초래 하 기 에 적합 한 길이 를 포함 할 수 있 다 . 습식 시일 은 이러 한 섹션 의 가열 을 감소 시키 기 위해 응고 된 금속 섹션 을 덮 는 패러데이 케이지 를 포함 할 수 있 다 . 정합 플랜지 , 패스 너 및 습식 시일 의 임의 의 다른 구성 요소 는 Mo 및 BN 과 같 은 유도 결합 히터 로부터 RF 의 흡수 가 낮 은 재료 를 포함 할 수 있 다 . 습식 시일 의 냉각 루프 는 적어도 습식 시일 을 냉각 시킬 수 있 고 , 저 장소 ( 5 c ) , EM 펌프 자석 ( 5 k 4 ) , EM 펌프 튜브 ( 5 k 6 ) , 및 다른 EM 펌프 또는 셀 구성 요소 중 적어도 하나 를 추가 로 냉각 시키 는 것 과 같 은 더 큰 냉각 시스템 의 한 부분 을 포함 할 수 있 다 . 습식 시일 냉각 시스템 은 적어도 하나 의 냉각 루프 , 적어도 하나 의 펌프 , 적어도 하나 의 온도 센서 및 냉각제 흐름 제어기 를 포함 할 수 있 다 .