플라 즈 마 챔버 및 압력 센서 이외 에 , 유로 는 분기 된다 . 밸브 가 있 는 분 로 경로 는 분석 을 위해 제품 가스 를 가스 센서 팩 으로 유도 하 는 수단 을 제공 한다 . 분기 후 의 비례 밸브 는 플 라즈 마 챔버 내 에 배압 을 제공 하 여 상승 효과 및 낮 은 주변 압력 을 보상 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 밸브 는 플 라즈 마 챔버 내 에서 배압 을 증가 시키 고 NO 생성 을 증가 시키 기 위해 더 높 은 고도 에서 더 작 은 오리피스 를 사용 한다 . 비례 밸브 후 , 생성 가스 는 두 경로 각각 에 대해 필터 , 스캐빈저 및 필터 ( FSF ) 를 포함 하 는 스캐빈저 카트리지 를 통해 흐른다 . 첫 번 째 경로 는 벤 틸 레이터 응용 분야 에 사용 되 는 반면 , 두 번 째 경로 는 두 번 째 경로 의 흐름 디렉터 위치 에 따라 벤 틸 레이터 또는 수동 백 회로 용 가스 를 제거 할 수 있 다 . 첫 번 째 ( 도면 왼쪽 ) 흐름 경로 에서 FSF 뒤 에 위치 한 비례 밸브 는 측면 사이 의 흐름 제한 뿐 만 아니 라 FSF 이후 가스 를 샘플링 하 는 수단 을 제공 한다 .