수 광소자 ( 84 ) 의 수 광면 은 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 하 면 ( K 1 ) 및 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 하 면 ( K 2 ) 과 광학 적 으로 서로 공역 인 위치 ( 또는 그 근방 ) 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 예 를 들 면 투영 계 ( PL ) 의 구성 등 에 의해서 는 , 제 1 , 제 2 광학계 ( 31 , 32 ) 에 관하 여 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 하 면 ( K 1 ) 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 하 면 ( K 2 ) 이 광학 적 으로 공역 으로 되 지 않 는 경우 가 있 다 . 이 경우 , 검 출광 ( Ls ) 의 광로 에 보정 광학계 를 설치 하 고 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 하 면 ( K 1 ) 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 하 면 ( K 2 ) 을 광학 적 으로 공역 인 관계 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .