본 실시 예 에서 는 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 204 a ) 이 절단 된 라인 형상 을 갖 는다 . 또한 , 상기 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 ( 204 a , 204 b ) 사이 의 갭 ( 208 ) 들 은 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 204 a ) 의 절단 된 부위 에서 서로 연결 되 어 있 는 형상 인 H 자 형상 을 갖 는다 .