상기 1 차 세정 단계 에서 는 가스 분리 형 샤워 헤드 에 제 1 가스 및 제 2 가스 를 공급 하 여 반응 챔버 내부 를 1 차 세정 한다 . 상기 1 차 퍼지 단계 에서 는 퍼지 를 실시 하 여 상기 1 차 세정 단계 이후 , 상기 반응 챔버 내부 에 잔류 하 는 물질 을 제거 한다 . 상기 2 차 세정 단계 에서 는 도파관 으로부터 제 3 가스 를 공급 하 여 상기 반응 챔버 내 부를 2 차 세정 한다 . 상기 2 차 퍼지 단계 에서 는 퍼지 를 실시 하 여 상기 2 차 세정 단계 이후 , 상기 반응 챔버 내부 에 잔류 하 는 물질 을 제거 한다 .