그리고 , 사용 되 지 않 는 이송 펌프 의 경우 유체 가 이송 펌프 를 거치 지 않 고 바이패스 유로 로 진입 하 게 하 기 위하 여 , 사용 되 지 않 는 이송 펌프 로 이동하 는 관로 에 위치 된 밸브 를 닫 아 주 어야 하 고 , 복수 개 의 이송 펌프 를 서로 직렬 연결 하 여 사용 할 경우 어느 하나 의 펌프 가 고장난 상황 에서 다른 하나 의 펌프 를 교체 사용 할 수 있 는 장점 이 있 음 은 물론 이 며 , 제 1 이송 펌프 ( 510 A ) 와 제 2 이송 펌프 ( 510 B ) 는 동시 가동 되 거나 각각 의 펌프 모터 회전수 를 조절 하 여 이송 펌프 ( 510 ) 를 통해 순환 되 는 연마 액 의 양 을 순간 적 으로 늘리 거나 줄일 수 있 으므로 , 상기 피 공급 장치 ( M ) 에서 많 은 양 의 연마 액 이 동시 사용 되 는 경우 에 도 이 를 충분히 공급 할 수 있 다 .