한편 , 상기 공정 챔버 ( 100 ) 내 에서 이온 주입 공정 , 화학 기상 증착 공정 , 또는 건식 식각 공정 이 연속 적 으로 이루어지 고 있 는 상황 에서 상기 이온 게이지 가 불량 이 발생 되 어 교체 될 수 있 다 . 상기 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 고진공 상태 를 상압 으로 변경 하 고자 할 경우 , 상기 고진공 펌프 ( 210 ) 를 정지 시키 기 위한 대기 시간 이 요구 된다 . 또한 , 상기 상압 상태 에서 상기 진공 센서 ( 400 ) 를 교체 한 후 , 상기 고진공 펌프 ( 210 ) 와 저 진공 펌프 ( 220 ) 로 상기 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 공기 를 펌핑 하 여 고진공 상태 로 만들 기 위한 예비 시간 이 요구 된다 . 이 와 같 은 고진공 펌프 ( 210 ) 의 정지 대기 시간 과 , 진공 펌핑 의 예비 시간 은 생산 성 을 떨어뜨리 는 주요 한 원인 이 될 수 있 기 때문 에 고진공 상태 에서 상기 진공 센서 ( 400 ) 를 교체 토록 해야 만 한다 .