캐리어 시프 터 ( 100 d ) 는 , 반송 모듈 ( 301 ) 과 동일 한 반송 용 기구 를 가진다 . 캐리어 시프 터 ( 100 d ) 는 , 유리 기판 배출 실 ( 109 ) 에서 90 도 회전 된 반송 모듈 ( 301 ) 로부터 , 기판 을 배출 하 여 빈 반송 캐리어 ( 302 ) 를 수취 하 고 , 리턴 반송 로 ( 100 b ) 의 시점 ( 캐리어 전달 위치 ( P 5 ) ) 에 배치 된 방향 전환 기구 ( 방향 전환 용 의 반송 모듈 ) ( 110 ) 로 넘겨 준다 . 방향 전환 기구 ( 110 ) 는 반송 캐리어 ( 302 ) 를 , 평면 에서 보 았 을 때 반시 계 방향 으로 90 도 회전 하 고 , 리턴 반송 로 ( 100 b ) 를 구성 하 는 반송 모듈 ( 301 ) 로 반송 한다 . 반송 완료 후 , 방향 전환 기구 ( 110 ) 는 시계 방향 으로 90 도 회전 하 여 원래 의 위치 로 복귀 하 고 , 캐리어 시프 터 ( 100 d ) 로부터 다음 반송 캐리어 ( 302 ) 를 수취 가능 한 상태 가 된다 .