이상 설명 한 바 와 같이 , ＰＥＭ 과 흡광 도 측정 은 성막 속도 의 추정 에 사용 하 는 물리 적 파라미터 가 상이 하 지만 , 모두 스퍼터 입자 의 여기 와 자연 방출 에 관한 현상 을 관측 하 는 것 이 다 . 일반 적 으로 , 기저 상태 로부터 여기 하 기 쉬운 준위 는 어느 정도 한정 되 기 때문 에 , ＰＥＭ 과 흡광 도 측정 으로 관측 대상 으로서 선택 되 는 휘선 은 일치 하 기 쉽 다 . 예 를 들 면 , Ｓｉ 의 경우 251 ｎｍ 전후 의 파장 의 광 , Ｎｂ 이 면 410 ｎｍ 전후 의 파장 의 광이 관측 된다 . 관측 하 는 파장 광은 , 금속 타 겟 에 포함 되 는 원자 중 에서 , 적절 하 게 선택 하 면 좋 다 . 이하 , ＰＥＭ 및 흡광 도 측정 에 있 어서 관측 대상 으로서 선택 하 는 휘선 을 특성 파장 광이 라고 기술 한다 .