아울러 , 가시성 페럴 린 필름 성막 장비 ( 1 ) 에 는 일 측 이 상기 제 1 이 송관 ( P 3 ) 및 제 2 이 송관 ( P 4 ) 에 각각 연결 되 고 타 측 이 상기 콜드 트랩 ( 40 ) 에 연결 되 어 상기 제 1 이 송관 ( P 3 ) 및 제 2 이 송관 ( P 4 ) 를 다 이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 상기 콜드 트랩 ( 40 ) 으로 선택 적 으로 이송 시킬 수 있 는 한 쌍 의 제 1 바이패스 부 ( 61 ) 를 포함 하 는 바이패스 부 ( 60 ) 를 더 포함 한다 .