본 발명 은 제 1 로봇 암 과 제 2 로봇 암 을 이용 하 여 2 개 의 기판 을 수용 하 는 기판 이 송 수단 에서 각 로봇 암 에 수용 된 기판 의 유무 를 판 단함 에 있 어서 , 판 단시점 에 제 1 로봇 암 과 제 2 로봇 암 에 안치 된 기판 이 서로 에 대하 여 반경 방향 으로 돌출 되 도록 하 고 상기 돌출 된 부분 을 감지 함 으로써 기판 의 유무 를 판단 하 는 기판 이 송 수단 에 관한 것 이 다 .