한편 , 종래 의 박막 증착 장치 ( 1 ) 에서 웨이퍼 를 서 셉 터 에 로딩 및 언로 딩시 서 셉 터 ( 20 ) 는 챔버 의 게이트 ( 111 ) 와 동일 한 높이 로 하강 하 여야 하 며 , 증착 공정 이 진행 될 때 에 는 샤워 헤드 ( 30 ) 에 밀접 하 게 배치 되 도록 상승 하 여야 한다 . 이 에 따라 , 종래 의 박막 증착 장치 ( 1 ) 에서 는 서 셉 터 ( 20 ) 를 상승 및 하강 시키 기 위한 승강 수단 을 구비 한다 .