다음 에 , 제 1 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 에 대해 , 도 10 을 참조 하 여 설명 한다 . 도 10 은 , 제 1 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 을 나타내 는 플로 차트 이 다 . 도 10 의 제 1 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 은 , 도 4 의 제 1 실시 형태 에 따른 클리닝 방법 과 동일 처리 에 동일 스텝 번호 를 붙이 고 있 다 . 즉 , 도 10 의 제 1 실시 형태 의 변형 예 에 따른 클리닝 공정 에서 는 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) 및 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 16 ) 을 , 제 2 ∼ 제 4 클리닝 공정 ( 스텝 S 12 ∼ S 14 ) 전 에 행한다 . 그리고 , 이 순서 로 스텝 S 15 , S 16 , S 12 ∼ S 14 의 처리 를 소정 횟수 X 행한다 . 또한 , 제 5 클리닝 공정 ( 스텝 S 15 ) 및 제 6 클리닝 공정 ( 스텝 S 16 ) 을 , 소 루프 처리 로서 이 순서 로 소정 횟수 Y 행한다 ( 스텝 S 18 ) . 달리 말 하 면 , 예 를 들 어 , 횟수 Y 의 스텝 S 15 ∼ S 16 , 및 스텝 S 12 ∼ S 14 를 이 순서 로 횟수 X 행한다 .