구동 부 ( 104 , 140 ) 는 제 1 및 제 2 구동 부를 포함 하 며 , 제 어부 ( 102 ) 의 제어 를 받 아서 스핀 헤드 ( 130 ) 및 약액 포집 장치 들 ( 110 ) 를 구동 한다 . 즉 , 제 1 구 동부 ( 104 ) 는 공정 진행 중 에 노즐 부 ( 160 ) 로부터 공급 되 는 약액 에 대응 하 여 스핀 헤드 ( 130 ) 의 위치 를 상하 로 구동 시키 고 , 스핀 헤드 ( 130 ) 를 회전 시킨다 . 제 2 구 동부 ( 140 ) 는 예 를 들 어 , 약액 포집 장치 들 ( 110 : 112 ~ 116 ) 에 대응 하 여 복수 개 의 모터 ( 142 ~ 146 ) 들 을 구비 하 고 , 각각 의 모터 ( 142 ~ 146 ) 들 은 각각 의 약액 포집 장치 들 ( 110 ) 을 회전 시킨다 . 이 는 노즐 부 ( 160 ) 로부터 공급 되 는 약액 들 에 대응 하 여 스핀 헤드 ( 130 ) 의 공정 위치 에서 약액 을 회수 하 는 약액 포집 장치 들 ( 110 ) 을 개별 적 으로 회전 시킨다 . 이 때 , 약액 포집 장치 ( 110 ) 각각 에 는 공 압 베어링 ( 120 : 122 ~ 126 ) 이 장착 되 고 , 모터 ( 142 ~ 146 ) 들 의 동력 을 공 압 베어링 ( 120 ) 에 전달 하 는 동력 전달 부재 ( 180 ) 에 의해 약액 포집 장치 ( 110 ) 를 회전 시킨다 . 물론 , 여기 서 는 설명 되 지 않 았 지만 , 다른 실시 예 로서 스핀 헤드 와 약액 포집 장치 를 같이 회전 시키 는 구조 로 체결 하 고 , 하나 의 구동 부를 이용 하 여 스핀 헤드 와 약액 포집 장치 를 동시 에 회전 시키 거나 , 또는 하나 의 모터 를 이용 하 여 각각 의 약액 포집 장치 들 을 회전 시킬 수 도 있 음 은 자명 하 다 하 겠 다 .