기판 의 표면 에 세정 재료 가 도포 된다 . 세정 재료 는 기판 의 표면 상 에 존재 하 는 오염물 들 을 포집 하 는 하나 이상 의 중합 성 재료 들 을 포함 한다 . 린스 유체 는 제어 된 속도 로 기판 의 표면 상 에 도포 되 어 , 세정 재료 내 에 포집 된 세정 재료 및 오염물 들 을 기판 의 표면 으로부터 제거 한다 . 린스 유체 의 제어 된 속도 는 세정 재료 로 하여금 린스 유체 에 의해 충격 을 받 을 때 탄성 방식 으로 작용 하 게 하 도록 설정 되 어 , 기판 의 표면 으로부터 의 오염물 제거 를 향상 시킨다 .