상기 화학식 1 로 표시 되 는 트리 알 킬 실릴 보 레이트 의 구체 적 인 예 로 는 트리스 ( 트리 메틸 실릴 ) 보레 이트 , 트리스 ( 트리 에틸 실릴 ) 보레 이트 , 트리스 ( 트리 프로필 실릴 ) 보레 이트 , 트리스 ( 트리 부틸 실릴 ) 보레 이트 , 트리스 ( 트리 펜틸 실릴 ) 보레 이트 , 트리스 ( 트리 헥 실실 릴 ) 보레 이트 , 트리스 ( 트리 헵틸실릴 ) 보레 이트 및 트리스 ( 트리 옥 틸 실릴 ) 보 레이트 로 이루어진 군 에서 선택 되 는 화합물 을 단독 또는 혼합 하 여 사용 할 수 있 다 .