도 10 a 및 도 10 b 는 본 발명 에 따른 제 4 공정 단계 ( 103 ) 의 저면 개략 도 및 각각 의 측면도 를 도시 하 며 , 여기 서 상부 외부 정렬 마크 ( 6 ol ' 및 6 or ') 가 측정 된다 . 본 발명 에 따른 상기 정렬 단계 에서 , 상부 외부 정렬 마크 ( 6 ol ' 및 6 또는 ') 의 위치 가 저장 된다 . 상부 기판 ( 2 o ) 의 측정 위치 에서 상부 샘플 홀더 ( 12 o ) 의 위치 의 저장 이 아직 수행 되 지 않 은 경우 , 여전히 상기 공정 단계 에서 수행 될 수 있 다 .