주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 의 동작 은 , 동작 예 1 에서 설명 한 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 의 동작 과 마찬가지 이 다 . 따라서 , 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 의 동작 설명 은 생략 한다 . 주 반송 기구 ( Ｔ ４ ) 는 , 기판 ( Ｗ ) 을 반송 하 는 동작 을 일체 행하 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 제 5 컨트롤러 ( 97 ) 는 , 주 반송 기구 ( Ｔ ４ ) 를 정지 시킨 상태 로 하 게 한다 .