또한 , 종래 기술 에 따른 증착 장치 ( 100 ) 는 반응 기벽 ( 122 ) 의 소정 영역 및 기판 지지대 ( 160 ) 를 둘러싸 외관 을 형성 하 며 , 개폐 가 가능 한 불활성 기체 유입 구 ( 190 ) 및 불활성 기체 유출 구 ( 192 ) 를 갖 는 반응기 몸체 ( 200 ) 를 더 포함 할 수 있 고 , 반응 실 ( 154 ) 내 의 기체 를 배출 하 기 위한 기체 유출 관 ( 118 ) 을 포함 하 고 , 기체 유출 관 ( 118 ) 은 진공 펌프 ( 198 ) 에 연결 된다 .