수직 압력 ( P 1 ) 은 구동 장치 에 구성 된 실린더 등 의 이송 장치 를 통해서 폴리 싱 헤드 ( 100 ) 를 상하 로 이송 시키 는데 , 폴리 싱 헤드 ( 100 ) 를 하부 방향 으로 이송 시키 면서 웨이퍼 ( W ) 가 테이블 ( 20 ) 상 의 폴리 싱 패드 ( 30 ) 와 밀착 될 때 가해 지 는 힘 이 며 , 공 압력 ( P 2 ) 는 구동축 ( 10 ) 내부 에 형성 된 관 통구 를 통해 폴리 싱 헤드 ( 100 ) 의 내부 에 가해 지 는 공기 의 압력 이 다 .