( 6 ) 상술 한 실시 예 에서 는 , 처 리부 ( 3 ) 를 복수 의 처리 블록 ( Ｂａ , Ｂｂ ) 을 나란히 구성 했 지만 , 이 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 처 리부 ( 3 ) 를 1 개 의 상하 방향 으로 나누 어 진 계층 을 가지 는 단일 처리 블록 으로 구성 해도 좋 다 . 기판 처리 열 ( Ｌｕ ) 을 구성 하 는 단일 처리 블록 과 , 기판 처리 열 ( Ｌｄ ) 을 구성 하 는 단일 처리 블록 을 상하 에 적층 해도 좋 다 .