판정 공정 ( 단계 S 25 ) 에서 4 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 어느 것 도 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 를 검출 하 고 있 지 않 다고 판정 했 을 때 는 , 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 26 ) , 모듈 간 이동 공정 ( 단계 S 27 ) 및 재차 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 28 ) 을 행한다 .