제 1 내지 제 4 예비 게이트 구조물 들 ( 162 , 164 , 166 , 168 ) 은 기판 ( 100 ) 상 에 순차 적 으로 적층 된 제 1 내지 제 4 터널 절 연막 패턴 들 ( 112 , 114 , 116 , 118 ) , 제 1 내지 제 4 플로팅 게이트 들 ( 122 , 124 , 126 , 128 ) , 제 1 내지 제 4 유전 막 패턴 들 ( 132 , 134 , 136 , 138 ) , 제 1 내지 제 4 예비 컨트롤 게이트 들 ( 142 , 144 , 146 , 148 ) 및 제 1 내지 제 4 게이트 마스크 들 ( 152 , 154 , 156 , 158 ) 을 각각 포함 한다 .