보트 ( 217 ) 는 , 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 2 매 의 평행 한 판 으로서 의 저판 ( 12 ) 및 천 장판 ( 11 ) 과 , 저판 ( 12 ) 과 천장 판 ( 11 ) 의 사이 에 대략 수직 으로 마련 된 복수 개 , 예 를 들 어 3 개 의 지주 ( 15 ) 를 갖 는다 . 지주 ( 15 ) 는 원 주상 을 하 고 있 다 . 웨이퍼 ( 200 ) 를 안정 하 면서 도 또한 심플 하 게 지지 하 기 위해서 는 , 지주 ( 15 ) 의 수 는 3 개 인 것 이 바람직 하 지만 , 3 개 초과 이 어도 된다 . 보트 ( 217 ) 의 적어도 지주 ( 15 ) 는 , 예 를 들 어 금속 부재 인 스테인리스 에 , 금속 산화물 의 막 ( 금속 산화 막 ) 인 크롬 산화 막 ( CrO 막 ) 을 코팅 ( 피복 ) 한 것 으로 구성 된다 . 스테인리스 로서 는 , 예 를 들 어 SUS 316 L , SUS 836 L , SUS 310 S 가 바람직 하 다 . 스테인리스 에 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 나 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 형성 되 는 막 의 특성 을 저하 시키 는 경우 가 있 는 금속 원소 ( 예 를 들 어 , Fe , Ni , Cr , Cu 등 ) 가 포함 되 어 있 다 . 이 들 금속 원소 가 불순물 로서 , 웨이퍼 ( 200 ) 나 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 형성 되 는 막 내 에 들어가 는 것 을 금속 오염 이 라고 칭한다 .