연마 장치 는 , 연마 대상물 을 연마 하 기 위한 연마 패드 를 보유 지지 하 기 위한 연마 테이블 과 , 연마 대상물 을 보유 지지 하 여 연마 패드 에 압박 하 기 위해 톱 링 ( 보유 지지 부 ) 을 구비 한다 . 연마 테이블 과 톱 링 은 각각 , 구동 부 ( 예 를 들 어 모터 ) 에 의해 회전 구동 된다 . 연마제 를 포함 하 는 액체 ( 슬러리 ) 를 연마 패드 상 에 흐르 게 하 고 , 거기 에 톱 링 에 보유 지지 된 연마 대상물 을 압박 접촉 시킴 으로써 , 연마 대상물 은 연마 된다 .