이온 생성 장치 ( 12 ) 는 , 불순물 원소 의 단체 인 제 1 고체 재료 ( 91 ) 와 불순물 원소 를 포함 하 는 화합물 인 제 2 고체 재료 ( 92 ) 를 혼합 한 원료 ( 90 ) 를 가열 하 여 증기 를 생성 하 기 위한 증기 생 성실 ( 68 ) 과 , 증기 생 성실 ( 68 ) 로부터 공급 되 는 증기 를 이용 하 여 불순물 원소 의 이온 을 포함 하 는 플 라즈 마 를 생성 하 는 플라 즈 마 생 성실 ( 78 ) 을 구비 한다 . 불순물 원소 는 , 알루미늄 이 어도 된다 .