다음 에 , 상기 반도체 장치 가 갖 는 메모리 셀 의 제작 방법 의 일례 에 관해서 설명 한다 . 이하 에서 는 , 처음 에 하부 의 트랜지스터 ( 160 ) 의 제작 방법 에 관해서 도 8 a 내지 도 9 d 를 참조 하 여 설명 하 고 , 그 후 , 상부 의 트랜지스터 ( 162 ) 및 용량 소자 ( 164 ) 의 제작 방법 에 관해서 도 10 a 내지 도 11 b 를 참조 하 여 설명 한다 .