또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 프로세스 데이터 로서 압력 데이터 를 예 로 들 어 설명 하 였으나 , 압력 데이터 이외 의 프로세스 데이터 ( 예컨대 , 유량 데이터 , 온도 데이터 ) 에 대해서 도 마찬가지 로 적용 가능 한 것 은 물론 이 다 . 예컨대 , 가스 공급 기구 ( 5 ) 가 처리 용기 ( 1 ) 내 에 처리 가스 를 공급 할 때 의 유량 데이터 를 프로세스 데이터 로 하 고 , 상기 프로세스 데이터 에 있 어서 의 이상 을 검지 하 도록 구성 해도 좋 다 . 혹은 , 처리 용기 ( 1 ) 내 의 온도 데이터 를 프로세스 데이터 로 하 고 , 상기 프로세스 데이터 에 있 어서 의 이상 을 검지 하 도록 구성 해도 좋 다 .