상기 의 레지스 트 패턴 형성 에 있 어서 , 상기 Eop 로 , 초점 을 적절히 상하 로 어긋나 게 하 여 , 상기 레지스 트 패턴 의 형성 과 동일 하 게 하 여 레지스 트 패턴 을 형성 하 였 다 . 이 때 , 스페이스 부분 이 형성 할 수 있 는 범위 의 초점 심도 폭 ( DOF , 단위 : ㎛) 을 구하 였 다 . 그 결과 를 「 DOF ( ㎛)」 로서 표 2 에 나타냈 다 .