실링 부재 ( 5200 ) 는 브라 켓 ( 5100 ) 에 설치 된다 . 실링 부재 ( 5200 ) 는 제 2 개 구 ( 41 ) 를 감싸 는 링 형상 으로 제공 된다 . 예컨대 , 실링 부재 ( 5200 ) 는 O 링 일 수 있 다 . 실링 부재 ( 5200 ) 는 몸 통부 ( 5220 ) 및 실링 부 ( 5240 ) 를 가진다 . 몸 통부 ( 5220 ) 는 브라 켓 ( 5100 ) 에 결합 되 며 , 제 2 개 구 ( 41 ) 내 에 위치 된다 . 실링 부 ( 5240 ) 는 몸 통부 ( 5220 ) 로부터 연장 되 어 제 2 개 구 ( 41 ) 로부터 돌출 되게 위치 된다 . 실링 부 ( 5240 ) 는 공정 모듈 ( 30 ) 을 향하 는 방향 을 연장 되게 제공 된다 . 가스 라인 은 실링 부재 ( 5200 ) 의 내부 공간 에 가스 를 공급 하 거나 , 그 내부 공간 으로부터 가스 를 배출 한다 . 가스 라인 을 통한 가스 공급 에 의해 실링 부재 ( 5200 ) 는 팽창 또는 수축 가능 하 도록 제공 된다 . 실링 부재 ( 5200 ) 의 내부 공간 에 가스 공급 이 이루어지 면 실링 부재 ( 5200 ) 는 팽창 된다 . 이 와 반대 로 , 가스 공급 이 중지 되 거나 가스 배출 이 이루어지 면 실링 부재 ( 5200 ) 는 수축 된다 . 실링 부재 ( 5200 ) 는 팽창 시 실링 부 ( 5240 ) 가 공정 모듈 ( 30 ) 이 제공 되 는 영역 까지 연장 되게 위치 된다 . 이 와 달리 실링 부재 ( 5200 ) 는 수축 시 실링 부 ( 5240 ) 가 공정 모듈 ( 30 ) 까지 연장 되 지 않 게 제공 된다 . 예컨대 , 실링 부재 ( 5200 ) 는 수축 시 실링 부 ( 5240 ) 가 제 2 개 구 ( 41 ) 내 에 위치 될 수 있 다 .