그 후 , 노광 된 막 이 형성 되 어 있 는 유리 웨이퍼 를 스핀 샤워 현상기 ( DW - 30 형 , ( 주 ) 케 미트 로 닉스 제 ) 의 수평 회전 테이블 상 에 재치 하 고 , CD - 2060 ( 테트라메틸 암모늄 하이드 록 사이드 수용액 , 후지필름 일렉트로닉 머 티어리 얼즈 ( 주 ) 제 ) 을 이용 하 여 , 23 ℃ 에서 65 초간 퍼 들 현상 을 행하 여 , 유리 웨이퍼 상 에 패턴 을 형성 했 다 . 패턴 이 형성 된 유리 웨이퍼 를 진공 척 방식 으로 수평 회전 테이블 에 고정 하 여 , 회전 장치 에 의하 여 유리 웨이퍼 를 회전수 50 rpm 으로 회전 시키 면서 , 그 회전 중심 의 상방 에서부터 순수 를 분출 노즐 로부터 샤워 상 으로 공급 하 여 린스 처리 를 행하 고 , 그 후 스프레이 건조 하 여 패턴 을 제조 했 다 . 이하 의 기준 으로 경화 성 을 평가 했 다 .