상기 와 같 은 에치 백 공정 에 있 어서 , 도 8 a 에 도시 하 는 것 과 같 은 리세 스 혹은 도 8 b 에 도시 하 는 것 과 같 은 풋 팅 을 일으키 지 않 고서 , 도 7 의 ( c ) 에 도시 하 는 것 과 같 은 이상 적 인 측벽 구조 를 작성 하 기 위해서 는 , 상기 막 두께 설정 치 ( THs ) 는 , 기판 이 노출 되 기 바로 앞 의 작 은 치수 로 선택 되 는 것 이 바람직 하 며 , 예컨대 1 nm 로 선정 된다 .