서 셉 터 ( 30 , Susceptor ) 는 하부 챔버 ( 20 ) 내 의 증착 공간 ( S ) 에서 횡 방향 으로 배치 되 어 로딩 ( loading ) 되 는 유리 기판 ( G ) 을 지지 한다 . 보통 은 증착 대상물 인 유리 기판 ( G ) 의 면적 보다 큰 구조물 로 형성 되 며 , 서 셉 터 ( 30 ) 의 상면 은 유리 기판 ( G ) 이 정밀 하 게 수평 상태 로 로딩 될 수 있 도록 거의 정반 ( Surface plate ) 으로 제조 된다 .