기체 도입 배관 ( 421 ) 의 유입 단부 에 는 제 1 기체 공급원 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 연결 되 고 , 제 1 기체 공급원 은 기체 도입 배관 ( 421 ) 에 가압 된 기체 를 제공 한다 . 제 1 기체 공급원 이 제공 하 는 기체 는 질소 일 수 있 다 . 기체 도입 배관 ( 421 ) 의 유출 단부 는 액 저장실 의 상부 영역 에 배치 되 어 , 기체 도입 배관 ( 421 ) 으로부터 의 기체 는 액 저장실 의 상부 영역 에 공급 되 고 , 액 저장실 에 저장 된 처리 액 은 액 저장실 의 상부 영역 에 공급 된 기체 에 의하 여 가압 된다 .