상기 차광막 및 반사 방지 막 은 투명 기판 으로부터 상 위막 으로 갈수록 구성 성분 이 변하 도록 제조 되 는 연속 막 또는 저 투과막 과 고 투과막 이 2 층 이상 으로 겹쳐서 구성 되 는 것 도 가능 하 다 . 즉 상기 c 1 ) , d 1 ) 단계 의 차광막 과 반사 방지 막 은 , 투명 기판 쪽 으로 갈수록 질소 의 함량 이 높 아 지 는 막 구분 이 없 는 연속 막 또는 2 층 이상 의 막 으로 구성 하 는 것 이 가능 하 다 .