스퍼터링 에서 는 , 복합 산화물 의 소결 타 겟 을 이용 하 는 방법 , 복수 의 소결 타 겟 을 이용 하 여 코스 퍼터 를 이용 하 는 방법 , 합금 타 겟 을 이용 하 여 반응 성 스퍼터 를 이용 하 는 방법 등 을 이용 할 수 있 다 . 단 , 복수 의 소결 타 겟 을 이용 하 여 코스 퍼터 를 이용 하 는 방법 이나 , 합금 타 겟 을 이용 하 여 반응 성 스퍼터 를 이용 하 는 방법 에서 는 , 균일성 이나 재현 성 이 나빠 지 는 경우 나 , 비 국재 준위 의 에너지 폭 ( E 0 ) 이 커지 는 경우 등 이 있 어 , 이동도 가 저하 되 거나 , 역치 전압 이 커지 는 등 , 트랜지스터 특성 이 저하 될 우려 가 있 다 . 바람직 하 게 는 , 복합 산화물 의 소결 타 겟 을 이용 한다 .