도 14 에 도시 된 측정 마스크 ( 20 F ) 는 , X 및 Y 방향 의 각각 으로 1 개 의 차 광부 ( 212 ) 를 가지 고 있 지만 , 상술 한 바 와 같이 , X 및 Y 방향 의 각각 으로 복수 의 차 광부 ( 212 ) 를 가지 고 있 어도 된다 . 서로 다른 폭 을 가진 차 광부 ( 212 ) 및 개구부 ( 214 ) 를 가진 복수 의 측정 패턴 ( 210 ) 을 측정 마스크 ( 20 F ) 에 형성 해도 된다 .