제 1 이송 로봇 ( 304 ) 은 복수 개 의 로봇 핸드 들 ( 312 ) 을 포함 하 여 기판 컨테이너 ( 100 ) 에 포함 된 복수 개 의 기판 ( 102 ) 를 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 를 거쳐 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 기판 스테이지 ( 306 ) 로 이송 할 수 있 다 . 아울러서 , 제 1 이송 로봇 ( 304 ) 은 복수 개 의 로봇 핸드 들 ( 312 ) 을 포함 하 여 기판 스테이지 ( 306 ) 에 포함 된 복수 개 의 기판 ( 102 ) 을 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 를 거쳐 기판 컨테이너 ( 100 ) 로 이송 할 수 있 다 .