재치 판 ( 11 ) , 지지 판 ( 12 ) , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 및 절연재 층 ( 14 ) 을 포함 시킨 전체 의 두께 , 즉 , 정전 척부 ( 2 ) 의 두께 는 , 일례 로서 0 . 7 mm 이상 또한 5 . 0 mm 이하 이 다 . 또한 , 정전 척부 ( 2 ) 의 두께 에 는 돌기 부 ( 11 b ) 가 포함 된다 . 바꾸 어 말 하 면 , 정전 척부 ( 2 ) 의 두께 는 , 지지 판 ( 12 ) 의 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 과 접하 는 면 과 는 반대 의 면 으로부터 돌기 부 ( 11 b ) 의 상면 까지 의 최소 치수 이 다 .