그러나 , 종래 의 스퍼터 건 ( 150 ) 은 플 라즈 마가 PES , PC , PET 등 의 폴리머 기판 을 직접 마주 보 고 있 기 때문 에 , 높 은 에너지 를 가진 플 라즈 마 에 의하 여 폴리머 기판 의 변형 이 생긴다 . 플 라즈 마 에 노출 이 되게 되 면 일반 적 으로 실리콘 ( Si ) 기판 이나 유리 기판 의 온도 가 250 ℃ ~ 300 ℃ 까지 올라가 기 때문 에 , 폴리머 기판 을 사용 하 는 Roll - to - Roll 공정 에 는 문제 를 야기 할 수 있 다 .