일실 시예 에서 , 상기 마이크로파 모듈 은 , 상기 금속 막 표면 에서 깊이 1 ㎛ 까지 를 선택 적 으로 가열 할 수 있 다 . 상기 마이크로파 모듈 은 , 200 ℃ 내지 500 ℃ 의 온도 분위기 에서 상기 금속 막 을 가열 할 수 있 다 . 상기 마이크로파 의 주파수 는 수 ㎓ 이 고 , 상기 마이크로파 의 폭 은 10 ㎝ 내지 15 ㎝ 일 수 있 다 .