도 9 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 분무 건 모듈 을 나타내 는 도면 이 다 . 도 9 를 참조 하 면 , 분무 건 모듈 ( 200 ) 은 자기 유도 코일 ( 270 ) 을 더 포함 한다 . 자기 유도 코일 ( 270 ) 은 노즐 ( 220 ) 의 둘레 를 따라 복수 회 권선 된다 . 자기 유도 코 ( 270 ) 일 에 는 전류 가 인가 되 며 , 인가 된 전류 에 의해 노즐 ( 220 ) 내부 에 는 자기장 이 발생 한다 . 자기장 은 활성 화 가스 가 안정 적 으로 라디칼 상태 를 유지 하 도록 돕 는다 .