또한 각각 의 흡착 플레이트 ( 220 ) 의 내부 에 는 예 를 들 어 공 압 실린더 등 으로 이루어진 제 1 구 동부 ( 225 ) 가 구성 된다 . 여기 에서 제 1 구 동부 ( 225 ) 는 각각 의 패드 지 지부 ( 230 ) 를 구동 하 여 흡착 패드 ( 235 ) 를 개별 적 으로 또는 그룹 별 로 구동 시킨다 . 이때 , 제 1 구 동부 ( 225 ) 의 구동 은 물론 제 어부 ( 200 ) 로부터 제어 신호 를 인가 받 아 개별 혹은 그룹 별 로 이루어진다 .