하우징 ( 1100 ) 은 기판 ( W ) 이 처리 되 는 처리 공간 ( 1106 ) 을 가진다 . 챔버 ( 1100 ) 는 원형 의 통 형상 으로 제공 된다 . 챔버 ( 1100 ) 은 금속 재질 로 제공 된다 . 예컨대 , 챔버 ( 1100 ) 는 알루미늄 재질 로 제공 될 수 있 다 . 챔버 ( 1100 ) 의 일 측벽 에 는 개구 가 형성 된다 . 개구 는 기판 ( W ) 이 반 출입 되 는 입구 로 기능 한다 . 개구 는 도어 ( 1120 ) 에 의해 개폐 된다 . 챔버 ( 1100 ) 의 바닥 면 에 는 하부 홀 ( 1150 ) 이 형성 된다 . 하부 홀 ( 1150 ) 에 는 감압 부재 ( 미 도시 ) 에 연결 된다 . 챔버 ( 1100 ) 의 처리 공간 ( 1106 ) 은 감압 부재 에 의해 배기 되 며 , 감압 분위기 가 형성 될 수 있 다 .