저부 구 조체 ( 2 ) 는 , 도시 하 지 않 은 상기 하우징 의 기대 ( 5 ) 상 에 지지 부재 ( 6 ) 를 개재 하 여 지 지 되 어 있 다 . 저부 구 조체 ( 2 ) 는 , 에 지부 ( 11 ) 보다 도 내측 에 오 목부 가 형성 되 고 편평 한 원통체 로 이루어지 는 지지대 ( 12 ) 를 구비 하 고 있 다 . 지지대 ( 12 ) 의 오 목부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 적재 하 기 위한 적 재 부인 열 판 ( 13 ) 이 마련 되 어 있 다 .