이 클러스터 를 생성 시키 는 방법 은 , 특별히 한정 되 지 않 지만 , 예 를 들 어 CVD 로 내 의 압력 을 상승 시키 거나 , 온도 를 상승 시키 거나 , 탄화수소 의 분압 을 높이 거나 함 으로써 , 일시 적 으로 열분해 반응 의 밸런스 를 무너뜨리 고 , 열분해 를 촉진 시켜 , 공중 에서 열분해 탄소 의 파티클 을 생성 시키 고 , 그것 들 을 침적 시킴 으로써 , 매우 얇 은 열분해 탄소 층 ( 3 ) 의 표면 에 열분해 탄소 의 클러스터 를 복수 형성 시킬 수 있 다 .