제 1 에피 택 셜 패턴 ( 150 ) 는 서로 인접 하 는 제 1 게이트 구 조체 ( 120 , 120 _ 1 ) 및 제 1 핀 - 컷 게이트 구 조체 ( 120 _ 2 ) 사이 에 형성 될 수 있 다 . 제 1 에피 택 셜 패턴 ( 150 ) 는 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 상 에 형성 될 수 있 다 . 제 2 에피 택 셜 패턴 ( 250 ) 는 서로 인접 하 는 제 2 게이트 구 조체 ( 220 , 220 _ 1 ) 및 제 2 핀 - 컷 게이트 구 조체 ( 220 _ 2 ) 사이 에 형성 될 수 있 다 . 제 2 에피 택 셜 패턴 ( 250 ) 는 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 상 에 형성 될 수 있 다 . 제 1 에피 택 셜 패턴 ( 150 ) 및 제 2 에피 택 셜 패턴 ( 250 ) 은 각각 에피 택 셜 성장 ( epitaxial growth ) 공정 을 통해 형성 될 수 있 다 .