본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 에 있 어서 , ( A ) 성분 은 , 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 수지 성분 ( A 1 ) ( 이하 「 ( A 1 ) 성분 」 이 라고 도 한다 ) 을 함유 하 는 것 이 바람직 하 다 . ( A 1 ) 성분 을 사용 함 으로써 , 노광 전후 로 기재 성분 의 극성 이 변화 하 기 때문 에 , 알칼리 현상 프로세스 뿐 만 아니 라 , 용제 현상 프로세스 에 있 어서 도 , 양호 한 현상 콘트 라스트 를 얻 을 수 있 다 .