프로세싱 챔버 ( 100 ) 는 챔버 바디 ( body ) ( 102 ) , 덮개 조립 체 ( 104 ) , 및 지지 조립 체 ( 106 ) 를 포함 한다 . 덮개 조립 체 ( 104 ) 는 챔버 바디 ( 102 ) 의 상부 단부 에 위치 된다 . 지지 조립 체 ( 106 ) 는 챔버 바디 ( 102 ) 에 의해 정의 된 내부 볼륨 ( 108 ) 에 있 는 것 으로 제시 된다 . 챔버 바디 ( 102 ) 는 챔버 바디 ( 102 ) 의 측벽 에 형성 된 슬릿 밸브 개구 ( 110 ) 를 포함 한다 . 슬릿 밸브 개구 ( 110 ) 는 기판 핸들링 로봇 ( 미 도시 ) 에 의한 내부 볼륨 ( 108 ) 으로 의 접근 을 허용 하 도록 선택 적 으로 개방 및 폐쇄 된다 .