동작 동안 , 각 웨이퍼 는 그 캐리어 의 회전 에 의해 야기 된 원심력 들 에 기인 하 여 캐리어 의 중심축 ( 25 ) 으로부터 먼 방향 으로 이동 하 는 경향 이 있 다 . 각 웨이퍼 는 로크 들 의 중간 부분 들 ( 52 ) 에 의해 포켓 에서 정확히 중심 으로 유지 된다 . 원심력 들 은 외부 로크 들 ( 50 b , 50 c ) 의 중간 부분 들 ( 52 ) 에 대하 여 각 웨이퍼 를 민다 . 이 부분 들 은 교대 ( abutment ) 요소 들 로서 작용 하 며 , 이것 은 웨이퍼 의 외부 로 의 이동 을 제한 한다 . 웨이퍼 를 정확 한 중심 에 위치 시키 는 것 은 웨이퍼 의 에지 와 포켓 의 주변 벽 사이 의 균일 한 거리 ( Dw ) 를 유지 시키 며 , 웨이퍼 와 포켓 벽 사이 의 직접 적 인 접촉 을 피한다 . 이것 은 웨이퍼 와 캐리어 사이 의 열 전달 을 최소 화 시키 고 , 또한 발생 하 는 임의 의 열 전달 이 웨이퍼 의 중심 주변 에서 실질 적 으로 방사상 으로 대칭 이 되 도록 보장 하 는 것 을 돕 는다 .