본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 고전압 콘 택 영역 주변 에 셀 영역 의 콘 택 과 동일 또는 유사 한 너비 를 갖 는 다수 의 더미 패턴 을 형성 하 여 다이폴 조명 계 의 분해능 을 증가 시켜 균일 한 패턴 을 형성 하 고 , 더미 패턴 은 하부 액티브 영역 과 전기 적 으로 격리 하 여 균일 한 패턴 을 갖 는 고전압 콘 택 을 형성 할 수 있 다 .