이동 계측 방식 에서 는 , 기판 스테이지 ( 200 ) 를 이동 시키 면서 , 기판 ( 210 ) 에 설치 된 마크 ( 211 ) 에 광 ( 레이저 ) 을 조사 한다 . 그리고 , 마크 ( 211 ) 로부터 반사 된 광 의 강도 의 변화 와 기판 스테이지 ( 200 ) 의 위치 를 병행 하 여 계측 함 으로써 마크 ( 211 ) 의 위치 를 구하 고 있 다 .