따라서 , 이 와 같이 신속 하 게 혼합 된 공 용매 와 초임계 유체 의 혼합 유체 를 혼합 유체 공급 관 ( 240 ) 을 통하 여 베젤 ( 300 ) 로 공급 할 수 있 게 됨 에 따라 , 기판 ( W ) 의 패턴 사이 에 잔류 하 는 이 물질 을 신속 하 게 용해 및 제거 할 수 있 게 되 므로 , 기판 처리 시간 을 단축 할 수 있 으며 , 이 물질 의 세정 및 건조 성능 을 향상 시킬 수 있 다 .