이때 , 상기 클램 핑 부 ( 40 ) 가 상기 챔버 ( 10 ) 와 결합 또는 분리 되 는 과정 에서 마찰 에 의해 파티클 ( p ) 이 다량 발생 하 며 , 상기 파티클 ( p ) 이 상기 제 1 하우징 ( 11 ) 과 상기 제 2 하우징 ( 12 ) 사이 에 형성 되 는 개구부 ( 15 ) 를 통해 상기 챔버 ( 10 ) 내부 에 유입 될 수 있 었 다 .