플 라즈 마샤 워 장치 ( 40 ) 는 , 에너지 슬릿 ( 38 ) 의 하류 측 에 위치 한다 . 플 라즈 마샤 워 장치 ( 40 ) 는 , 이온 빔 의 빔 전 류량 에 따라 이온 빔 및 웨이퍼 ( W ) 의 표면 ( 웨이퍼 처리 면 ) 에 저 에너지 전자 를 공급 하 고 , 이온 주입 으로 발생 하 는 웨이퍼 처리 면 의 정 ( 正 ) 전하 의 차 지업 을 억제 한다 . 플 라즈 마샤 워 장치 ( 40 ) 는 , 예 를 들 면 이온 빔 이 통과 하 는 샤워 튜브 와 , 샤워 튜브 내 에 전자 를 공급 하 는 플 라즈 마발 생 장치 를 포함 한다 .