한편 , LTP 공정 은 , 강제 냉각 기구 ( 400 ) 를 이용 하 지 않 고 , 컨트롤러 ( 240 ) 에 의해 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 를 강하 시키 면서 , 처리 실 ( 201 ) 내 를 가스 퍼지 하 도록 , 히터 ( 206 ) 와 퍼지 가스 공급계 와 배 기계 를 제어 함 으로써 도 실시 할 수 있 는데 , 강제 냉각 기구 ( 400 ) 를 이용 하 여 처리 실 ( 201 ) 내부 온도 를 급격 하 게 변동 시킨 쪽 이 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 누적 된 박막 에게 미치 는 열 충격 을 크 게 할 수 있 고 , 파티클 배출 효과 를 높 게 할 수 있 으므로 바람직 하 다 . 또한 , LTP 공정 은 , 박막 형성 공정 을 실시 할 때 매회 실시 해도 되 고 , 소정 의 주기 로서 정기 적 으로 실시 해도 된다 . 전체 적 인 파티클 배출 효과 를 고려 하 면 , LTP 공정 은 , 박막 형성 공정 을 실시 할 때 매회 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .