상기 제 2 질화 공정 을 수행 하 는 동안 , 상기 공정 챔버 는 약 400 ∼ 600 ℃ 정도 의 상대 적 으로 낮 은 제 3 온도 및 약 0 . 5 ∼ 1 . 5 Torr 정도 의 상대 적 으로 높 은 제 3 압력 으로 유지 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 공정 챔버 의 상기 제 3 온도 는 약 500 ℃ 정도 가 될 수 있 으며 , 상기 제 3 압력 은 약 0 . 95 Torr 정도 가 될 수 있 다 . 또한 , 상기 제 3 반응 가스 는 약 1 ∼ 3 분 동안 대 상체 ( 150 ) 상 에 형성 된 제 2 예비 산화 막 ( 160 ) 상 으로 제공 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 3 반응 가스 는 약 2 분 동안 상기 공정 챔버 내 로 공급 될 수 있 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 제 3 반응 가스 는 캐리어 가스 와 함께 상기 공정 챔버 내 로 도입 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 제 3 반응 가스 에 대한 상기 캐리어 가스 사이 의 유량 비 는 약 1 . 0 ： 10 ∼ 15 정도 가 될 수 있 다 .