도 9 는 , 복수 의 할로겐 램프 ( HL ) 의 배치 를 나타내 는 평면도 이 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 상하 2 단 에 각 20 개 씩 의 할로겐 램프 ( HL ) 가 설치 되 어 있 다 . 각 할로겐 램프 ( HL ) 는 , 장척 의 원통 형상 을 가지 는 봉 형상 램프 이 다 . 상단 , 하단 모두 20 개 의 할로겐 램프 ( HL ) 는 , 각각 의 길 이 방향 이 유지 부 ( 7 ) 에 유지 되 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 주면 을 따라 ( 즉 수평 방향 을 따라 ) 서로 평행 이 되 도록 배열 되 어 있 다 . 따라서 , 상단 , 하단 모두 할로겐 램프 ( HL ) 의 배열 에 의해 형성 되 는 평면 은 수평면 이 다 .