이 와 같 은 잔사 제거 처리 가 종료 된 후 , 제 2 웨이퍼 반송 장치 ( 17 ) 의 반송 아암 ( 17 a ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 로드 로크 실 ( 3 ) 에 수용 하 고 , 게이트 밸브 ( 22 ) 를 닫 은 후 , 로드 로크 실 ( 3 ) 을 대기 로 복귀 시키 고 , 제 1 웨이퍼 반송 기구 ( 11 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 반입 출부 ( 2 ) 의 캐리어 ( C ) 에 수납 한다 .