막 두께 T 1 ( ㎛) 의 미 다 공막 에 대하 여 JIS P - 8117 에 준거 하 여 투기 도계 ( ASAHI SEIKO CO . , LTD . 제 , EGO - 1 T ) 로 측정 한 투기 저항 도 P 1 ( sec / 100 ㎤) 을 측정 했 다 . 또한 , 식 : P 2 =( P 1 × 16 ) / T 1 에 의해 막 두께 를 20 ㎛ 로 했 을 때 의 투기 저항 도 P 2 ( 5 ㎛ 환산 ) ( sec / 100 ㎤/ 5 ㎛) 를 산출 했 다 .