이 에 비하 여 , 본 실시 형태 의 타 겟 구 조체 ( 100 ) 에서 는 , 타 겟 ( 110 ) 의 아래쪽 의 제 2 영역 ( 132 ) 에 있 어서 , 냉각 재킷 ( 130 ) 과 백 킹 플레이트 ( 150 ) 가 접합 되 어 있 지 않 은 비 접합 영역 ( 145 ) 으로 되 어 있 다 . 이것 에 의해 , 타 겟 ( 110 ) 의 변형 에 추종 하 여 , 냉각 재킷 ( 130 ) 도 변형 될 수 있 기 때문 에 , 타 겟 ( 210 ) 이 냉각 재킷 ( 230 ) 으로부터 박리 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .