도 14 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 는 , 제 1 패턴 ( PA 1 ) 과 소정 의 위치 관계 로 형성 된 제 1 얼라이먼트 마크 ( RM 1 ) 를 구비 하 고 있 고 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 는 제 2 패턴 ( PA 2 ) 과 소정 의 위치 관계 로 형성 된 제 2 얼라이먼트 마크 ( RM 2 ) 를 구비 하 고 있 다 .