압력 제 어부 ( 210 ) 는 , 압력 제어기 ( 42 _ 1 ) 에 포함 되 는 압력 센서 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 측정 된 압력 데이터 를 취득 하 고 , 목표 가스 압력 과 의 편차 에 따른 제어 데이터 를 출력 한다 . 이 에 의해 , 압력 제어기 ( 42 _ 1 ) 에 포함 되 는 조 작단 ( 예컨대 , 압력 제어 밸브 ) 이 제어 되 어 , 처리 용기 ( 1 ) 내 의 가스 압력 이 목표 가스 압력 으로 제어 된다 .