액추에이터 ( 45 ) 가 작동 하 면 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 는 그 이동 방향 이 직동 가이드 ( 46 ) 에 안내 된 상태 에서 오프셋 축 OS 를 따라 수평 으로 이동 된다 . 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 위치 는 고정 되 어 있 다 . 이동 기구 ( 41 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 대해 상대 적 으로 수평 으로 이 동시 켜 서 , 스테이지 승강 기구 ( 51 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 대해 상대 적 으로 연직 방향 으로 이동 시킨다 .