스텝 S 104 에서 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 면 위치 검출 장치 ( 미 도시 ) 를 사용 하 여 , 웨이퍼 ( 3 ) 상 의 면 위치 를 검출 해서 웨이퍼 전체 면 의 형상 을 계측 한다 . 이때 , 스텝 S 103 에서 검출 장치 의 구동 과 고정 을 실시 할 경우 에 는 , 스텝 S 104 를 스텝 S 103 과 병행 하 여 행해도 된다 .