예 를 들 어 , 파지 기구 ( 68 a ) 로 프레임 ( 15 ) 을 파지 하 여 제 1 유지 유닛 ( 68 ) 을 Y 축 방향 으로 이동 시키 면 , 수 용부 ( 38 ) 내 의 프레임 ( 15 ) 을 1 쌍 의 가이드 레일 ( 60 ) 에 인출 하 거나 , 또는 , 1 쌍 의 가이드 레일 ( 60 ) 상 의 프레임 ( 15 ) 을 수 용부 ( 38 ) 에 삽입 할 수 있 다 . 또한 , 1 쌍 의 가이드 레일 ( 60 ) 에서 프레임 ( 15 ) 의 위치 를 맞춘 후 에 는 , 제 1 유지 유닛 ( 68 ) 으로 이 프레임 ( 15 ) ( 피 가 공물 ( 11 ) ) 을 흡착 , 유지 하 여 척 테이블 ( 56 ) 에 반입 한다 .