본 실시 예 에서 배기관 ( 30 ) 은 외벽 ( 301 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 하 였으나 , 외벽 ( 301 ) 내부 에 격벽 ( 미 도시 ) 을 두어 배기관 ( 30 ) 내부 의 공간 을 분리 할 수 도 있 다 . 이 경우 , 배기관 ( 30 ) 으로 배출 된 이 물질 등 이 격벽 과 외벽 사이 의 공간 에 집진 되 므 로 외부 충격 에 의해 이 물질 등 이 진공 용기 내부 로 재 비산 ( 再 飛散 ) 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .