또한 상기 캡 공급 부 는 상기 캡 부재 를 반입 또는 반송 하 는 제 3 반송 챔버 ; 상기 캡 부재 를 플 라즈 마 처리 하 는 적어도 하나 이상 의 플 라즈 마 챔버 ; 및 플 라즈 마 처리 된 상기 캡 부재 에 흡습제 를 부착 하 는 흡습제 부착 모듈 ; 을 포함 하 여 이루어지 되 , 상기 플 라즈 마 챔버 및 부착 모듈 각각 은 상기 제 3 반송 챔버 에 이웃 하 여 배치 되 는 1 차 처 리부 ; 및