특히 , 상기 기판 ( 10 ) 은 공정 챔버 내 에 배치 되 는 고온 의 히터 상 에 위치 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 공정 챔버 내 에서 상기 기판 ( 10 ) 을 지지 하 기 위한 지지 부재 ( 20 ) , 예 를 들 면 진공 척 또는 정 전척 의 내부 에 는 히팅 부재 가 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 전기 저항 열선 과 같 은 히팅 부재 가 스테인리스 스틸 재질 의 바디 내부 에 구비 될 수 있 으며 , 상기 바디 상 에 는 알루미늄 또는 알루미늄 합금 재질 의 핫 플레이트 가 구비 될 수 있 다 . 상기 바디 와 상기 핫 플레이트 의 내부 에 는 냉각 을 위한 냉각수 가 제공 되 는 냉각 라인 이 형성 될 수 있 다 . 상기 냉각 라인 은 제 1 냉각수 공급 배관 ( 30 ) 과 연결 되 어 있 으며 , 또한 상기 지지 부재 ( 20 ) 의 냉각 에 사용 된 고온 폐수 를 배출 하 기 위한 제 1 배관 ( 110 ) 과 연결 될 수 있 다 . 즉 , 상기 제 1 냉각수 공급 배관 ( 30 ) 을 통해 공급 된 냉각수 에 의해 발생 되 는 열 교환 을 통해 상기 기판 지지 부재 ( 20 ) 의 온도 를 낮출 수 있 으며 , 상기 열 교환 에 의해 발생 되 는 고온 폐수 는 상기 제 1 배관 ( 110 ) 을 통해 배출 될 수 있 다 .