도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 챔버 ( 50 ) 에 그 내부 를 투영 할 수 있 도록 절연체 창 ( 51 ) 이 삽입 된 형태 로 구성 되 며 , 절연체 창 ( 51 ) 이 구성 된 이외 의 챔버 ( 50 ) 내벽 에 는 증착 방지 커버 ( 52 ) 와 접착 보조 수단 ( 53 ) 이 구비 된다 . 절연체 창 ( 51 ) 의 챔버 ( 50 ) 내향 측 에 는 별도 의 보호 커버 ( 52 ) 가 더 설치 되 어 절연체 창 ( 51 ) 에 직접 식각 부산물 이 퇴적 되 는 것 을 방지 한다 .