플 라즈 마의 발생 방법 은 HF 대역 ( 3 MHz 내지 30 MHz , 대표 적 으로 는 13 . 56 MHz ) 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 특히 , 13 . 56 MHz 의 고주파 전력 을 사용 함 으로써 , 플 라즈 마의 균일성 을 높일 수 있 고 , 제 6 세대 내지 제 10 세대 의 대면 적 기판 위 에 있 어서 도 균일성 이 높 은 플 라즈 마 를 반도체 막 에 노출 할 수 있 기 때문 에 대량 생산 에 적합 하 다 .