도 3 및 도 13 을 참조 하 면 , 매립 절 연막 ( 110 ) 상 에 제 1 층간 절 연막 ( 120 ) 이 형성 될 수 있 다 . 적층 구 조체 ( ST ) 를 패 터닝 하 여 , 서로 수평 적 으로 이격 된 복수 개 의 적층 구 조체 들 ( ST ) 이 형성 될 수 있 다 . 적층 구 조체 들 ( ST ) 은 제 2 방향 ( D 2 ) 을 따라 연장 되 면서 , 제 1 방향 ( D 1 ) 을 따라 배열 될 수 있 다 . 서로 인접 하 는 적층 구 조체 들 ( ST ) 사이 에 트렌치 ( TR ) 가 정의 될 수 있 다 . 트렌치 들 ( TR ) 은 기판 ( 100 ) 의 일부 를 노출 할 수 있 다 . 트렌치 들 ( TR ) 은 적층 구 조체 들 ( ST ) 을 따라 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 연장 될 수 있 다 .