한편 , 고정자 ( 152 ) 는 , 베이스 반 ( 12 ) 의 내부 에 매트릭스 형상 으로 배열 된 복수 의 전기자 코일 ( 구동 코일 ) ( 57 ) 을 갖 는 전기자 유닛 에 의해 구성 되 어 있 다 . 전 기자 코일 ( 57 ) 로서 , 본 제 4 실시 형태 에서 는 X 구동 코일 및 Y 구동 코일 이 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 복수 의 X 구동 코일 및 Y 구동 코일 을 포함 하 는 전기자 유닛 으로 이루어지 는 고정자 ( 152 ) 와 , 전술 한 자석 유닛 으로 이루어지 는 가동 자 ( 56 ) 에 의해 , 전자력 구동 방식 ( 로렌츠 력 구동 방식 ) 의 무빙 마그넷 형 평면 모터 ( 151 ) 가 구성 되 어 있 다 .