또한 , 도 16 및 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 관통 구멍 ( TH ) ( 또는 개구부 ) 의 분포 는 Dn 방향 으로 멤 브레인 ( 120 ) 의 최대 변위 위치 를 중심 으로 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 멤 브레인 ( 120 ) 의 최대 변위 위치 가 멤 브레인 ( 120 ) 의 중심 에 위치 하 면 , 관통 구멍 ( TH ) 의 분포 는 Dn 방향 으로 멤 브레인 ( 120 ) 의 중심 주위 를 중심 으로 할 수 있 다 . 다른 측면 에서 , 평면도 에서 , 모든 개구부 를 포함 하 는 최소 영역 의 중심 은 멤 브레인 ( 120 ) 의 Dn 방향 에서 의 멤 브레인 변위 의 범위 가 임계 값 보다 큰 영역 에 대응 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 16 에서 , 평면도 에서 , 모든 관통 구멍 ( TH ) 을 포함 하 는 최소 영역 ( 예컨대 , 도 16 에 도시 된 직사각 형 영역 ( OPR ) ) 은 Dn 방향 에서 의 변위 범위 가 예컨대 1 . 5 μ m 보다 큰 멤 브레인 ( 120 ) 의 영역 에 대응 할 수 있 지만 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 경우 에 따라 , 모든 개구부 를 포함 하 는 최소 영역 의 중심 은 멤 브레인 ( 120 ) 의 중심 또는 멤 브레인 ( 120 ) 의 최대 변위 위치 에 대응 할 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 경우 에 따라 , 개구부 중 하나 ( 예컨대 , 도 16 의 중심 관통 구멍 ( TH ) ) 가 멤 브레인 ( 120 ) 의 중심 또는 멤 브레인 ( 120 ) 의 Dn 방향 에서 의 최대 변위 위치 에 대응 할 수 있 지만 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 경우 에 따라 , 평면도 에서 , 개구부 중 하나 ( 예컨대 , 도 16 의 중앙 관통 구멍 ( TH ) ) 는 Dn 방향 에서 의 변위 범위 가 임계 값 ( 예컨대 , 1 . 5 μ m ) 보다 큰 멤 브레인 ( 120 ) 의 영역 에 대응 할 수 있 다 . 유사 하 게 , 모든 개구부 를 포함 하 는 최소 영역 은 또한 도 18 및 도 19 에 도시 된 실시 예 에 도 존재 하 지만 , 도면 을 명확 하 게 하 기 위해 , 이 들 최소 영역 은 도 18 및 도 19 에서 생략 된다 .