도 14 는 본 발명 의 실시 형태 에 관한 로봇 제어 시스템 의 시스템 구성 을 나타내 는 블록 도 이 다 . 도 15 는 본 발명 의 실시 형태 에 관한 로봇 제어 시스템 에 적용 이 가능 한 로봇 을 나타내 는 도면 이 다 . 도 16 은 본 발명 의 실시 형태 에 관한 얼라 이너 와 척 으로 유지 되 고 있 는 웨이퍼 를 나타내 는 평면도 이 다 .