다른 관점 에서 , 상기 도관 들 은 다양 한 구조 를 갖 는다 . 예 를 들 어 , 복수 의 도관 은 상기 기판 표면 ( face ) 에 복수 의 개스 를 분배 하 도록 행동 할 수 있 다 . 나아가 , 적어도 2 개 의 이 와 같 은 도관 의 말 단부 는 상호 평행 하 게 배열 된 선형 ( linear ) 형상 으로 구성 되 거나 , 상호 동심원 으로 ( concentrically ) 배열 된 적어도 일부 가 원형 인 형상 으로 구성 되 거나 , 상기 말 단부 의 포트 들 은 하나 의 말단 단부 의 포트 가 다른 말단 단부 의 포트 에 인접 하 도록 배열 된다 . 적어도 3 개 의 개스 를 분배 할 수 있 는 적어도 3 개 의 도관 의 경우 , 도관 의 말단 단부 의 포트 들 은 하나 의 말단 단부 의 포트 가 다른 2 개 의 말단 단부 의 포트 들 사이 에 존재 하 도록 배열 된다 .