이 경우 , 물 을 포함 하 는 린스 액 이 기판 에 공급 된다 . 그 후 , 린스 액 및 제 1 소수 화제 를 용해 시킬 수 있 는 제 1 용제 가 기판 에 공급 된다 . 이 에 의해 , 기판 에 부착 되 어 있 는 린스 액 이 제 1 용제 로 치환 된다 . 따라서 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 는 린스 액 이 제거 된 상태 로 기판 에 공급 된다 . 그 때문 에 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 가 린스 액 에 포함 되 는 물 에 접촉 하 는 것 이 방지 된다 . 따라서 , 물 에 접촉 함 으로써 활성 이 저하 되 는 소수 화제 가 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 로서 사용 되 고 있 는 경우 에 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 의 활성 이 저하 되 는 것 이 방지 된다 . 이 에 의해 , 기판 을 충분히 소수 화 시킬 수 있 다 .