도 4 를 참조 하 면 , 기판 ( 180 ) 상 에 포토레지스트 패턴 및 무기물 패턴 중 적어도 어느 하나 의 패턴 ( 182 ) 이 형성 된 마스터 몰드 ( 184 ) 상 에 폴 리디 메틸 실록 세인 ( Polydimethylsiloxane : PDMS ) 및 소량 의 경화제 ( curing agent ) 가 포함 된 성형 물질 ( 135 ) 이 도포 된다 . 여기 서 , 성형 물질 ( 135 ) 은 액상 고분자 전구체 상태 이 다 . 이후 , 성형 물질 ( 135 ) 이 자외선 ( UV ) 경화 또는 열 경화 공정 에 의해 경화 된 후 마스터 몰드 ( 184 ) 와 분리 됨 으로써 기준면 ( 134 b ) 및 기준면 ( 134 b ) 에서 함입 된 홈 ( 134 a ) 을 가지 는 소프트 몰드 ( 134 ) 가 형성 된다 .