제 3 반응물 은 산소 일 수 있 거나 산소 를 포함 할 수 있 다 . 예 로서 , 제 3 반응물 은 물 , 과산화수소 , 및 오존 중 하나 이상 일 수 있 거나 이 를 포함 할 수 있 다 . 제 3 반응물 을 반응 챔버 에 도입 하 기 위한 펄스 / 흐름 시간 은 , 예 를 들 어 약 0 초과 내지 1 초 미만 , 또는 약 0 . 1 내지 0 . 5 초 ( 예 , 0 . 3 초 ) 범위 일 수 있 다 .