한편 , 도 8 의 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 의 중심점 기준 ± 45 ° 내 에 , 7 점 이상 의 측정 점 이 없 다면 , 특이점 보 정부 ( 226 ) 는 단계 S 112 에 있 어서 , 보정 대상 점 의 특이점 을 기준 으로 , 특이점 과 동심원 상 의 근접 하 는 2 점 의 평균치 를 구한다 . 단계 S 114 에 있 어서 특이점 보 정부 ( 226 ) 는 단계 S 112 에서 구한 평균치 로 특이점 을 갱신 함 으로써 특이점 을 보정 한다 .