제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 공간 에 는 제 1 플레이트 ( 140 ) 가 설치 된다 . 제 1 플레 이트 ( 140 ) 는 지지 축 ( 142 ) 에 의해 지지 된다 . 웨이퍼 ( W ) 는 제 1 플레이트 ( 140 ) 의 상부 면 에 놓여진다 . 제 1 플레이트 ( 140 ) 는 접지 되 며 , 후술 하 는 코일 ( 170 ) 과 함께 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 전계 를 형성 한다 . 제 1 플레이트 ( 140 ) 상 에 는 복수 의 지지 돌기 들 ( 140 a ) 이 설치 되 며 , 웨이퍼 ( W ) 의 배면 은 복수 의 지지 돌기 들 ( 140 a ) 에 의해 지지 된다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 는 제 1 플레이트 ( 140 ) 의 상부 면 으로부터 일정 거리 이격 된 상태 를 유지 한다 .