한편 , 제 1 패턴 ( 27 ) 을 형성 하 는 과정 에서 하드 마스크 패턴 ( 26 ) 은 모두 소모 되 어 제거 될 수 있 다 . 하지만 , 제 1 패턴 ( 27 ) 을 형성 하 는 과정 에서 하드 마스크 패턴 ( 26 ) 이 모두 소모 되 지 않 고 , 일부 가 잔류 할 경우 에 는 추가 적 으로 하드 마스크 패턴 ( 26 ) 을 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 .