도 6 을 참조 하 면 , 본 발명 의 제 1 실시 예의 변형 예 에 따른 기판 처리 장치 는 제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 각각 에서 분사 되 는 가스 의 종류 를 제외 하 고 는 도 2 에 도시 된 기판 처리 장치 와 동일 하 기 때문 에 , 이하 에서 는 제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 각각 에서 분사 되 는 가스 의 종류 에 대해서 만 설명 하 기 로 한다 .