바람직 한 일 양태 에 있 어서 , 상기 연마 용 조성물 을 사용 하 는 연마 공정 은 , 파이널 폴리 싱 보다 상류 의 폴리 싱 공정 이 다 . 그 중 에서 도 , 랩 핑 공정 을 마친 예비 폴리 싱에 바람직 하 게 적용 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 랩 핑 공정 을 거친 양면 연마 공정 ( 전형 적 으로 는 1 차 연마 공정 ) 이나 , 해당 양면 연마 공정 을 거친 기판 에 대하 여 행해 지 는 최초 의 편면 연마 공정 ( 전형 적 으로 는 최초 의 2 차 연마 공정 ) 에 있 어서 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 . 상기 양면 연마 공정 및 최초 의 편면 연마 공정 에서 는 , 파이널 폴리 싱에 비하 여 요구 되 는 연마 레이트 가 크 다 . 그 때문 에 , 여기 에 개시 되 는 연마 용 조성물 은 , 양면 연마 공정 및 최초 의 편면 연마 공정 중 적어도 한쪽 ( 바람직 하 게 는 양쪽 ) 에 있 어서 연마 대상물 의 연마 에 사용 되 는 연마 용 조성물 로서 적합 하 다 .