설명 이 용이 하 도록 실리사이드 막 들 ( 90 , 100 , 110 ) 을 에 미터 영역 ( 60 ) 상부 에 형성 되 는 에 미터 용 실리사이드 막 ( 90 ) 과 베이스 콘 택 ( 80 ) 상부 에 형성 되 는 베이스 용 실리사이드 막 ( 110 ) 과 콜렉터 콘 택 ( 70 ) 상부 에 형성 되 는 콜렉터 용 실리사이드 막 ( 100 ) 으로 정의 할 때 , 에 미터 영역 ( 60 ) 상부 에 는 에 미터 영역 ( 60 ) 보다 작 은 치수 ( dimension ) 를 갖 는 에 미터 용 실리사이드 막 ( 90 ) 을 구비 하 고 , 베이스 콘 택 ( 80 ) 상부 에 는 베이스 콘 택 ( 80 ) 보다 작 은 치수 를 갖 는 베이스 용 실리사이드 막 ( 110 ) 를 구비 하 고 , 콜렉터 콘 택 ( 70 ) 상부 에 는 콜렉터 콘 택 ( 70 ) 보다 작 은 치수 를 갖 는 콜렉터 용 실리사이드 막 ( 100 ) 을 구비 한다 .