복수 의 존 ( ZA , ZB ) 의 각각 에 는 1 개 이상 ( 도 2 a 에서 는 1 개 ) 의 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 가 배치 된다 . 따라서 , 수조 내 온도 의 수평 방향 분포 를 측정 할 수 있 다 . 또한 , 존 ( ZA , ZB ) 마다 , 처리 액 ( 3 ) 의 수조 내 온도 를 감시 하 면서 , 처리 액 ( 3 ) 의 가열 온도 를 조정 할 수 있 다 .