가열 부재 ( 120 ) 는 열 을 발생 시켜서 기판 ( S ) 을 가열 한다 . 이 를 위한 가열 부재 ( 120 ) 는 일례 로 발열 코일 ( 미 도시 ) 을 포함 할 수 있 다 . 기판 ( S ) 이 후술 할 지지 유닛 ( 130 ) 에 의해 가열 부재 ( 120 ) 에 일정 거리 이격 된 상태 에서 , 가열 부재 ( 120 ) 에서 발생 된 열 이 가열 부재 ( 120 ) 와 기판 ( S ) 사이 의 공간 을 통하 여 기판 ( S ) 에 전달 될 수 있 다 . 즉 , 기판 ( S ) 은 복사열 에 의해 간접 적 으로 가열 되 면서 열처리 공정 이 실시 될 수 있 다 .