기부 ( 21 ) 의 적 재면 ( 21 a ) 은 , 기판 ( 3 ) 에 대향 하 는 표면 이 며 , 시일 밴드 ( 22 ) 와 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 상 의 복수 의 제 1 돌기 ( 24 ) 와 , 적 재면 ( 21 a ) 상 의 복수 의 제 2 돌기 ( 25 ) 를 개재 하 여 , 기판 ( 3 ) 이 적재 되 는 면 이 다 . 시일 밴드 ( 22 ) 는 , 기부 ( 21 ) 의 적 재면 ( 21 a ) 에 마련 되 어 있 고 , 적 재면 ( 21 a ) 으로부터 의 높이 가 15 [ ㎛] 로 형성 되 어 있 다 . 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 는 , 기부 ( 21 ) 의 적 재면 ( 21 a ) 상 에 마련 되 어 있 고 , 시일 밴드 ( 22 ) 와 동심원 상 으로 배치 되 어 있 다 .