지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 추가 필수 사이트 가 이용 될 경우 , 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 또한 다음 의 단계 들 을 수행 하 도록 구성 될 수 있 으며 , 그 단계 들 은 , a 3 ) 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 남 아 있 는 사이트 의 수 로부터 사이트 를 선택 하 는 단계 로서 , 이 사이트 는 그 와 연관 된 제 1 검증 특징 부 를 갖 는 것 인 선택 단계 와 , b 3 ) 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 사이트 로부터 지연 된 미 검증 데이터 를 획득 하 는 단계 로서 , 그 사이트 는 그 와 연관 된 지연 된 미 검증 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 갖 는 것 인 획득 단 계 와 , c 3 ) 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 사이트 를 이용 하 여 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 에 대한 지연 된 검증 데이터 를 확립 하 는 단계 로서 , 그 지연 된 검증 데이터 는 지연 된 피 검증 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 하 는 것 인 확립 단계 와 , d 3 ) 지연 된 미 검증 데이터 와 지연 된 검증 데이터 간 의 지연 된 차이 를 이용 하 여 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 상 의 사이트 에 대한 지연 된 신뢰 도 값 을 확립 하 는 단계 와 , e 3 ) 지연 된 신뢰 도 값 , 지연 된 차이 , 추가 신뢰 도 값 , 추가 차이 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 미 검증 S - D 프로시저 에 대한 지연 된 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , f 3 ) 지연 된 리스크 인자 , 지연 된 신뢰 도 값 , 지연 된 차이 , 제 1 리스크 인자 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 미 검증 S - D 프로시저 에 대한 지연 된 합계 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , g 3 ) 지연 된 합계 리스크 인자 가 지연 된 임계 한도 이하일 경우 , 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 그 와 연관 된 지연 된 합계 리스크 인자 를 갖 는 피 검증 프로 시저 로서 식별 하 며 , 남 아 있 는 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 고 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 와 , h 3 ) 지연 된 합계 리스크 인자 가 추가 임계 한도 보다 클 경우 , 제 1 미 검증 S - D 프로시저 를 그 와 연관 된 추가 의 제 2 리스크 인자 를 갖 는 추가 미검 증 프로시저 로서 식별 하 고 , 남 아 있 는 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 며 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 와 , i 3 ) 남 아 있 는 지연 된 S - D 웨이퍼 의 개수 가 0 보다 많 을 경우 단계 a 3 ) 내지 h 3 ) 을 반복 하 는 단계 와 , j 3 ) 남 아 있 는 지연 된 S - D 웨이퍼 의 수 가 0 일 때 검증 을 정지 하 는 단계 를 포함 한다 .