제 ２ 실시 형태 의 유량 비율 제어 장치 ( 100 ) 는 , 도 3 에 나타내 듯이 , 메인 유로 ML 의 종단 으로부터 분기 시킨 2 개 의 분기 유로 BL 1 , BL 2 상 에 초단 압력 센서 P 01 , P 02 를 상류 로 하 여 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 , MFC 2 를 각각 설치 하 고 , 이 들 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 , MFC 2 를 제어 하 기 위한 제어 처리 기구 C 를 구비 한 것 이 다 .