종래 의 코어 ( 154 ) 의 경우 , 코어 ( 154 ) 의 자장 이 강해 지 는 방향 은 , 이미 설명 한 바 와 같이 도 4 의 ( a ) 에 도시 하 는 제 1 방향 ( 122 ) 이 다 . 따라서 , 도 6 에 있 어서 는 , 제 1 방향 ( 122 ) 과 , 코어 ( 154 ) 의 회전 방향 ( 162 ) 이 거의 일치 한다 . 이 경우 , 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 코어 ( 154 ) 가 에지 영역 ( 158 ) 으로 출입 할 때 , 웨이퍼 ( WH ) 의 에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 반경 방향 ( 170 , 178 ) ( 제 1 방향 ( 122 ) ) 에 있 어서 센서 형상 이 짧 고 , 반경 방향 ( 164 ) 에 직교 하 는 방향 ( 제 2 방향 ( 148 ) ) 으로 길 어 진다 .