누름 부재 ( 67 ) 는 O 링 ( 66 c ) 의 하방 에 배치 되 어 있 고 , 평면 으로 보 아 O 링 ( 66 c ) 과 마찬가지 인 환상 으로 되 어 있 다 . 누름 부재 ( 67 ) 는 도시 하 지 않 은 구동 기구 에 의해 승강 이동 이 가능 하 게 되 어 있 고 , 상승 함 으로써 O 링 ( 66 c ) 에 맞닿 을 수 있 도록 구성 되 어 있 다 . 진공 장치 ( 68 ) 는 , O 링 ( 66 c ) 과 누름 부재 ( 67 ) 의 맞닿 음 에 의해 형성 되 는 , 프레스 테이블 ( 66 ) 과 점착 테이프 ( DT ) 사이 의 공간 을 감압 하 도록 구성 되 어 있 다 . 진공 장치 ( 68 ) 의 동작 은 제 어부 ( 102 ) 에 의해 제어 된다 .