한편 , 이 국소 적 으로 CO 농도 가 약 130 mTorr 까지 증대 한 분위기 중 에 , 보다 낮 은 , 예컨대 180 ℃ 의 온도 에서 웨이퍼 가 유지 되 어 있 는 경우 , 도 3 으로부터 알 수 있 듯이 상기 반응식 ( 1 ) 에 의한 금속 Ru 막 의 퇴적 속도 R 3 은 0 이 되 어 , 상기 웨이퍼 상 으로 의 금속 Ru 막 의 퇴적 을 억제 할 수 있 는 것 을 알 수 있 다 .