한편 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 온도 를 측정 하 는 방사 온도계 ( 140 ) 는 , 적외선 센서 ( 141 ) 및 온도 측정 유닛 ( 142 ) 을 구비 한다 . 적외선 센서 ( 141 ) 는 , 서 셉 터 ( 74 ) 에 유지 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상면 으로부터 방사 된 적 외광 을 수 광 한다 . 적외선 센서 ( 141 ) 는 , 플래시 광이 조사 된 순간 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 급격 한 온도 변화 에 대응 할 수 있 도록 , InSb ( 인듐 안티몬 ) 의 광학 소자 를 구비 하 고 있 다 . 적외선 센서 ( 141 ) 는 , 온도 측정 유닛 ( 142 ) 과 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 수광 에 응답 하 여 발생 한 신호 를 온도 측정 유닛 ( 142 ) 에 전달 한다 . 온도 측정 유닛 ( 142 ) 은 , 적외선 센서 ( 141 ) 로부터 출력 된 적 외광 의 강도 를 나타내 는 신호 를 온도 로 변환 한다 . 온도 측정 유닛 ( 142 ) 에 의해 구해진 온도 가 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 온도 이 다 . 또한 , 서 셉 터 ( 74 ) 의 온도 를 측정 하 는 방사 온도계 ( 130 ) 도 대체로 방사 온도계 ( 120 , 140 ) 와 동일 한 구성 을 구비 하 고 있 다 .