반송 로봇 ( 150 ) 은 , 연직 방향 을 따른 축 을 중심 으로 화살표 150 R 로 나타내 는 바 와 같이 선회 가능 하 게 됨 과 함께 , 복수 의 아암 세그먼트 로 이루어지 는 2 개 의 링크 기구 를 가지 며 , 그 들 2 개 의 링크 기구 의 선단 에 는 각각 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 는 반송 핸드 ( 151 a , 151 b ) 가 설치 된다 . 이 들 반송 핸드 ( 151 a , 151 b ) 는 상하 로 소정 의 피치 만큼 떨어져 배치 되 며 , 링크 기구 에 의해 각각 독립 적 으로 동일 수평 방향 으로 직선 적 으로 슬라이드 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 또 , 반송 로봇 ( 150 ) 은 , 2 개 의 링크 기구 가 설치 되 는 베이스 를 승강 이동 함 으로써 , 소정 의 피치 만큼 떨어진 상태 인 채 로 2 개 의 반송 핸드 ( 151 a , 151 b ) 를 승강 이동 시킨다 .