마지막 으로 , 스 패 터 증착 에 의해 투명 화소 전극 을 형성 한다 . 스 패 터 증착 의 조건 은 사용 하 는 투명 화소 전극 의 종류 에 따라서 , 공지 의 적절 한 방법 을 채용 하 면 된다 . 예 를 들 어 , ITO 를 성막 하 는 경우 에 는 , 진공 분위기 나 Ar 등 의 불활성 분위기 하 에서 , 압력 을 대략 1 ㎜ Torr 정도 , 기판 온도 를 대략 실온 내지 250 ℃ 로 제어 하 여 , 대략 50 내지 300 ㎚ 정도 의 ITO 막 을 성막 하 는 것 이 바람직 하 다 .