한 쌍 의 엔드 - 이펙터 들 , 예 를 들 어 엔드 - 이펙터 들 ( 302 및 306 ) 에 의한 픽 킹 작업 후 에 다른 쌍 의 엔드 - 이펙터 들 , 이 특정 예 에서 엔드 - 이펙터 들 ( 304 및 308 ) 에 의한 배치 작업 이 뒤따르 는 순서 는 한 쌍 의 수직 으로 적층 된 반경 방향 스테이션 들 에서 한 쌍 의 웨이퍼 들 을 신속히 교체 하 는 데 사용 될 수 있 다 ( 한 쌍 의 적층 된 반경 방향 스테이션 들 에서 신속 한 교체 작동 ) .