이상 과 같이 , 캐리어 가스 의 유량 과 전구체 의 픽업 유량 의 관계 를 고정 밀도 로 계측 할 수 있 다 . 제 어부 ( 6 ) 는 , 계측 한 유량 관계 에 기초 하 여 , 관계식 을 도출 ( 교정 ) 한다 . 예 를 들 어 , 최소 제곱법 에 의해 관계식 을 도출 한다 . 그리고 , 스텝 S 102 ( 도 2 참조 ) 에서 의 성막 처리 에서 는 , 스텝 S 101 에서 얻 어 진 관계식 을 사용 하 여 , 원료 가스 의 공급 을 제어 한다 .