패턴 ( 11 ) 을 갖 는 기판 ( 10 ) 을 준비 하 는 단계 ; 기판 ( 10 ) 상 에 패 터닝 용 박막층 ( 20 ) 을 형성 하 는 단계 ; 상기 패 터닝 용 박막층 ( 20 ) 에 식각 유도 용 패턴 ( 21 ) 과 , 이 에 연결 된 에어 바 용 패턴 ( 22 ) 을 형성 하 는 단계 는 앞서 설명 한 제 1 실시 예 와 동일 한 단계 이 므로 반복 되 는 설명 을 방지 하 기 위해 자세 한 설명 을 생략 한다 .