기판 이송 장치 ( 300 ) 는 다수 의 기판 들 이 수용 되 어 있 는 용기 를 지지 하 기 위한 로드 포트 ( 310 ) , 상기 로드 포트 ( 310 ) 및 로드 락 챔버 ( 320 ) 사이 에 배치 되 며 , 내부 에 상기 기판 ( 10 ) 을 이송 하 기 위한 이송 로봇 ( 미 도시 ) 을 갖 는 기판 이송 모듈 ( 320 ) , 소정 의 압력 상태 에서 상기 기판 이 대기 할 수 있 는 로드 락 챔버 ( 320 ) 및 로드 락 챔버 ( 320 ) , 박막 형성 장치 ( 410 ) 및 플 라즈 마 식각 장치 ( 420 ) 사이 에 상기 기판 을 이송 하 기 위한 이 송암 ( 350 ) 을 포함 한다 .