또한 , 세정 처리 를 행하 기 위한 장치 로서 , 연마 정반 ( 플 래 턴 ) 으로부터 연마 완료 연마 대상물 을 분리 한 후 , 당해 대상물 을 세정 브러시 로 문지르 는 세정 용 설비 를 구비 하 고 있 는 연마 장치 를 들 수 있 다 . 이러 한 연마 장치 를 사용 함 으로써 , 연마 완료 연마 대상물 의 세정 처리 를 보다 효율 적 으로 행할 수 있 다 .