지지 프레임 ( 131 ) 은 제 1 및 제 2 가스 분사 공간 ( S 1 , S 2 ) 을 포함 하 도록 형성 되 어 커버 플레이트 ( 132 ) 와 가스 분사 플레이트 ( 133 , 134 ) 를 지지 한다 . 상기 지지 프레임 ( 131 ) 은 절연 물질 ( 예 를 들 어 , 세라믹 재질 ) 로 이루어져 커버 플레이트 ( 132 ) 와 가스 분사 플레이트 ( 133 , 134 ) 를 전기 적 으로 절연 시킨다 . 이러 한 지지 프레임 ( 131 ) 은 제 1 모듈 설치 부 ( 115 a ) 에 삽입 설치 되 거나 , 제 1 모듈 설치 부 ( 115 a ) 에 중첩 되 도록 챔버 리드 ( 115 ) 의 상면 에 설치 된다 . 이 에 따라 , 상기 지지 프레임 ( 131 ) 의 하부 면은 챔버 리드 ( 115 ) 의 하 부면 과 동일 하 게 위치 하 거나 , 챔버 리드 ( 115 ) 의 하 부면 으로부터 상기 기판 지지 부 ( 120 ) 쪽 으로 돌출 될 수 있 다 .