도 1 은 본 발명 에 따른 디램 소자 의 제조 방법 을 설명 하 기 위하 여 도시 한 소자 의 레이아웃 도 이 다 . 또한 도 2 a 내지 도 2 m 은 본 발명 에 따른 디램 소자 의 제조 방법 을 설명 하 기 위하 여 순차 적 으로 도시 한 소자 의 단면도 이 다 . 도 3 a 내지 도 3 m 은 본 발명 에 따른 디램 소자 의 제조 방법 을 설명 하 기 위하 여 순차 적 으로 도시 한 소 자 의 단면도 이 다 . 특히 , 도 2 a 내지 도 2 m 은 도 1 의 선 B 를 따라 절단 한 단면 을 도시 하 였 고 , 도 3 a 내지 도 3 m 은 도 1 의 선 C 를 따라 절단 한 단면 을 도시 하 였 다 .