또한 , 반송 스테이지 ( 22 ) 의 타단 ( 他端 ) 에 는 웨이퍼 의 위치 결정 을 행하 는 방향 위치 결정 장치 로서 의 오리 엔터 ( 36 ) 가 형성 되 고 , 추가 로 , 반송 스테이지 ( 22 ) 의 도중 에 는 , 상기 이재실 ( 8 ) 과 의 사이 를 연결 하 기 위해 진공 흡인 가능 하 게 이루어진 2 개 의 로드 록 실 ( 38 A , 38 B ) 이 형성 된다 . 각 로드 록 실 ( 38 A , 38 B ) 내 에 는 웨이퍼 ( W ) 를 올려 놓 는 피 반 송체 재 치대 ( 40 A , 40 B ) 가 형성 됨 과 함께 , 각 로드 록 실 ( 38 A , 38 B ) 의 전후 에 는 이재실 ( 8 ) 혹은 반송 스테이지 ( 22 ) 로 연통 하 기 위한 게이트 밸브 ( 42 A , 42 B 및 44 A , 44 B ) 가 각각 형성 된다 .