소성 을 실시 하 려면 , 반드시 전 ( 前 ) 공정 에서 의 건조 와 명확 하 게 조작 을 나눌 필요 는 없 다 . 예 를 들 어 , 375 ℃ 에서 소성 을 실시 하 는 경우 , 실온 으로부터 375 ℃ 까지 를 3 시간 에 승 온 시킨 후 , 375 ℃ 에서 20 분 간 유지 시키 는 방법 이나 , 실온 으로부터 50 ℃ 간격 으로 단계 적 으로 375 ℃ 까지 승 온 ( 각 간격 에서 20 분 간 유지 ) 하 고 , 최종 적 으로 375 ℃ 에서 20 분 간 유지 시키 는 등 의 단계 적 인 건 조 - 열 이미드 화법 을 이용 할 수 도 있 다 . 그 때 , 미소 성 복합 막 의 단부 를 SUS 제 의 형틀 등 에 고정 시켜 변형 을 방지 하 는 방법 을 채택 해도 된다 .