본 실시 예의 방법 에 있 어서 , 상기 정보 저 장막 을 개재 하 는 것 은 상기 수직 채널 을 따라 수직 연장 되 며 상기 수직 채널 과 접하 는 터널 절 연막 을 형성 하 고 ; 상기 수직 채널 과 상기 게이트 사이 로부터 상기 게이트 의 상면 및 하 면 상 으로 연장 되 며 상기 게이트 와 접하 는 블록 킹 절 연막 을 형성 하 고 ; 그리고 상기 터널 및 블록 킹 절 연막 들 사이 에 개재 되 며 , 상기 터널 절 연막 혹은 상기 블록 킹 절 연막 을 따라 트랩 절 연막 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .