상기 리프트 핀 들 ( 120 ) 은 상기 핀홀 들 ( 114 ) 에 각각 삽입 되 며 , 상기 척 ( 110 ) 을 관통 하 여 Z 축 방향 으로 이동 하 도록 구비 될 수 있 다 . 상기 리프트 핀 들 ( 120 ) 은 상기 척 ( 110 ) 으로 로딩 되 는 상기 기판 ( 10 ) 의 하 부면 을 지지 하 여 상기 척 ( 110 ) 상 에 안착 시킬 수 있 다 .