이러 한 CVD 또는 ALD 에 사용 되 는 유기 금속 물질 은 반드시 높 은 증기압 을 가지 고 사용 온도 에서 액체 로 존재 하 여야 하 므로 , 유기 금속 물질 의 증기압 과 융점 은 CVD 또는 ALD 에 해당 물질 을 사용 할 수 있 는지 를 결정 하 는 중요 한 요인 이 된다 . 예 를 들 어 , 트리메틸아민 알란 ( TMAA ) 은 높 은 증기압 과 열안 정성 을 가져 박막 증착 에 유망 한 전구체 로서 기대 되 었 으나 ( 미국 특허 제 4 , 923 , 717 호 , 및 문헌 [ Chem . Mater . , 1 , 339 ( 1989 ) ; E . R . Abernathy et al . , Appl . Phys . Lett . , 56 , 2654 ( 1990 ) ] 참조 ) , 사용 온도 에서 고체 로 존재 하 기 때문 에 박막 증착 장치 에 일정 한 속도 로 유입 되 기 어렵 다는 문제점 을 갖 는다 .