또 , 전달 수단 ( C ) , 전달 아암 ( D ) 및 후술 하 는 인터페이스 아암 ( F ) 도 , 본 발명 에 있 어서 의 기판 반송 장치 에 상당 하 는 것 이 다 . 이하 에서 는 , 기판 반송 장치 로서 , 반송 아암 ( A 1 ∼ A 4 ) , 전달 수단 ( C ) , 전달 아암 ( D ) 및 후술 하 는 인터페이스 아암 ( F ) 을 대표 하 여 , 반송 아암 ( A 1 ∼ A 4 ) 에 관해서 설명 하 는 것 으로 한다 .