본 발명 이 적용 되 는 기판 처리 장치 ( 10 ) 에 있 어서 는 , 웨이퍼 등 의 기판 을 반송 하 는 캐리어 ( carrier ) 로서 는 FOUP ( front opening unified pod . 이하 포드 라고 한다 ) 가 사용 되 어 있 다 . 또한 , 이하 의 설명 에 있 어서 , 전후좌우 는 도 1 을 기준 으로 한다 . 즉 , 도 1 이 나타내 고 있 는 지면 ( 紙面 ) 에 대하 여 , 전 은 지면 의 아래 , 후 는 지면 의 위 , 좌우 는 지면 의 좌우 로 한다 .