본 발명 에서 지지막 ( 204 ) 으로 사용 되 는 절 연막 ( 202 ) 과 금속 막 ( 203 ) 을 조합 한 구성 막 은 기존 에 마이크 로 가스 센서 에서 기본 구성 막 으로 사용 되 어 왔 던 취성 이 있 고 , 열전도도 가 나쁜 SiO 2 막 이나 Si 3 N 4 막 의 단일 층 이나 적층 또는 여러 층 을 두께 를 달리 한 구조 에 비해 탄성 계수 와 열전도도 가 우수 하 다 . 이때 탄성 계수 가 클수록 구조 상 의 기계 적 인 복원력 이 크 고 , 또한 열전도도 가 클수록 박막 내 의 온도 불 균일 성 이 감소 되 어 열응력 이 감소 된다 . 따라서 본 발명 의 지지막 ( 204 ) 은 마이크 로 가스 센서 소자 를 열 충격 , 기계 적 충격 으로부터 견딜 수 있 는 내구 성 을 부여 하 는 역할 을 한다 .