이때 , 2 차 희생 막 ( 600 ) 의 증착 에 는 마찬가지 로 LPCVD 방식 을 이용 할 수 있 고 , 해당 2 차 희생 막 ( 600 ) 은 1 차 희생 막 ( 400 ) 과 동일 한 재질 로 이루어져 1 차 희생 막 ( 400 ) 에 대해 접착 ( adhesion ) 력 이 우수 하 도록 할 수 있 으며 , 즉 1 차 희생 막 ( 400 ) 이 SiN 인 경우 2 차 희생 막 ( 600 ) 도 SiN 로 형성 한다 .