패드 컨디 셔 너 ( 12 ) 는 연마 공정 시 패드 컨 디셔 닝 ( pad conditioning ) 을 수행 한다 . 패드 컨 디셔 닝 은 연마 패드 ( 120 ) 의 눌려 진 패드 표면 의 거칠 기 를 복원 시켜 주 어 연마 패드 ( 120 ) 의 정상 상태 를 지속 적 으로 유지 해 줌 으로써 , 연마 패드 ( 120 ) 의 프로파일 ( profile ) 을 회복 시키 는 공정 이 다 . 또한 , 패드 컨디 셔 너 ( 12 ) 는 회전 및 왕복 운동 을 병행 하 면서 연마 패드 ( 120 ) 에 분사 된 슬러리 입자 들 을 연마 패드 ( 120 ) 전반 에 균일 하 게 도포 시킨다 . 그리고 , 슬러리 공급 부재 ( 14 ) 는 공정 시 연마 패드 ( 120 ) 표면 으로 슬러리 ( slurry ) 를 공급 한다 .