노광 장치 ( 100 ) 에서 는 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 노즐 유닛 ( 32 ) 의 + X 측 , + Y 측 , - X 측 , 및 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 의 - Y 측 에 , 4 개 의 헤드 유닛 ( 62 A , 62 B , 62 C 및 62 D ) 이 각각 배치 되 어 있 다 . 또한 , 헤드 유닛 ( 62 C , 62 A ) 각각 의 - Y 측 이 고 또 한 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 와 거의 동일 한 Y 위치 에 , 헤드 유닛 ( 62 E , 62 F ) 이 각각 형성 되 어 있 다 . 헤드 유닛 ( 62 A ∼ 62 F ) 은 , 지지 부재 를 통해 , 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 메인 프레임 ( 도시 생략 ) 에 매달린 상태 로 고정 되 어 있 다 .