다음 , 마스크 패턴 ( 54 ) 을 마스크 로 하 여 절연 층 ( 140 ) 을 식각 하 여 도 27 과 같이 게이트 절 연막 ( 144 d 2 ) 및 더미 절 연막 ( 144 d 3 ) 을 형성 한다 . 이 때 의 식각 은 건식 식각 을 이용 할 수 있 다 . 게이트 절 연막 ( 144 d 2 ) 의 가장자리 는 마스크 패턴 ( 54 ) 의 부분 ( 54 a ) 의 가장자리 에 대응 하 여 형성 될 수 있 고 , 더미 절 연막 ( 144 d 3 ) 의 가장자리 는 마스크 패턴 ( 54 ) 의 부분 ( 54 b ) 의 가장자리 에 대응 하 여 형성 될 수 있 다 .