이러 한 , 상기 금속 층 ( 11 , 13 ) 의 내측 부 ( B 2 ) 는 금속 층 ( 11 , 13 ) 의 두께 를 부분 식각 함 으로써 형성 될 수 있 는데 , 이러 한 부분 식각 과정 에서 상기 금속 층 ( 11 , 13 ) 의 내측 부 ( B 2 ) 와 외측 부 ( B 1 ) 사이 에 경사진 측면 을 갖 는 경사부 ( B 3 ) 가 형성 될 수 있 다 .