본 발명 은 S - D 작성 프로시저 , S - D 평가 프로시저 및 S - D 이송 시퀀스 를 포함 할 수 있 는 사이트 종속 ( S - D ) 처리 시퀀스 를 이용 하 여 웨이퍼 를 처리 하 는 방법 을 제공 할 수 있 다 . S - D 작성 프로시저 는 S - D 처리 요소 를 이용 하 여 수행 될 수 있 고 , S - D 평가 프로시저 는 S - D 평가 요소 를 이용 하 여 수행 될 수 있 으며 , S - D 이송 시퀀스 는 사이트 종속 이송 서브시스템 을 이용 하 여 수행 될 수 있 다 . 사이트 종속 데이터 는 사이트 종속 라이브러리 및 / 또는 데이터베이스 에 저장 될 수 있 다 .