검출기 ( 21 ) 에 있 어서 , 광원 ( 61 ) 으로부터 출사 된 빛 은 , 조명 광학계 62 , 63 을 통해 , 웨이퍼 ( 3 ) 와 공역 의 위치 에 배치 된 조명 개구 조리개 ( 64 ) 에 도달 한다 . 이 때 , 조명 개구 조리개 ( 64 ) 에서 의 광속 직경 은 광원 ( 61 ) 에서 의 광속 직경 보다 도 충분히 작 다 . 조명 개구 조리개 ( 64 ) 를 통과 한 빛 은 , 조명 광학계 66 , 미러 M 2 , 릴레이 렌즈 ( 67 ) 를 통해 편광 빔 스플리터 ( 68 ) 로 안내 된다 . 여기 에서 , 편광 빔 스플리터 ( 68 ) 는 , Y 방향 에 평행 한 P 편광 빛 을 투과 하 고 , X 방향 에 평행 한 S 편광 의 빛 을 반사 한다 . 이 때문 에 , 편광 빔 스플리터 ( 68 ) 를 투과 한 P 편광 의 빛 은 , 검출 개구 조리개 ( 69 ) 를 통해 λ / 4 판 ( 70 ) 을 통과 해서 원 편광 으로 변환 되 고 , 대물 광학계 ( 71 ) 를 통과 하 여 , 웨이퍼 ( 3 ) 위 에 형성 된 마크 ( 32 ) 를 쾰러 조명 한다 ( Koehler - illuminate ) .