구체 적 으로 , 제 1 챔버 ( 910 ) 의 외부 가 되 는 대기 측 에 다양 한 장치 가 배치 되 어 있 는 경우 에서 , 제 1 챔버 ( 910 ) 의 외부 가 좁 은 상태 에서 접속 부재 ( 932 ) 를 체결 하 는 작업 을 행할 때 에 , 작 업원 이 필요 로 하 는 공간 이 부족 해도 , 장치 의 작동 시 에 제 1 챔버 ( 910 ) 의 진공 측 이 되 는 내부 에서 접속 부재 ( 932 ) 를 체결 할 수 있 다 . 게이트 밸브 ( 100 ) 를 제 1 챔버 ( 910 ) 에 대해 분리 하 거나 혹은 장착 을 행하 는 공정 은 , 메인 터 넌 스 등 의 장치 를 작동 시키 지 않 은 상태 에서 행해진다 . 이 때문 에 , 작 업원 이 제 1 챔버 ( 910 ) 에 설치 된 메인 터 넌 스 구 ( 口 ) 등 으로부터 , 제 1 챔버 ( 910 ) 의 내부 에서 접속 부재 ( 932 ) 의 체결 ㆍ 해제 작업 을 행할 수 있 다 . 특히 , FPD 를 제조 하 는 장치 등 , 제 1 챔버 ( 910 ) 의 내부 용적 이 큰 장치 에서 는 , 접속 부재 ( 932 ) 의 체결 ㆍ 해제 작업 을 용이 하 게 행하 는 것 이 가능 해진다 .