에 어 베어링 ( 15 ) 은 연마 패드 ( 12 ) 와 접촉 되 는 부분 의 일 면 이 개방 된 박스 형태 의 메인 프레임 ( 511 ) 과 , 메인 프레임 ( 511 ) 내부 공간 을 복수 의 영역 ( 이하 에서 는 ' 압력 챔버 ( 510 ) ' 라 함 ) 으로 구획 하 는 복수 의 격벽 ( 512 ) 과 , 메인 프레임 ( 511 ) 의 개방 된 면 에 구비 되 는 멤 브레인 ( 513 ) 을 포함 하 여 구성 된다 .