이 패턴 수정 방법 에서 는 , 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 결함 부 ( 2 a ) 에 따른 형상 의 구멍 ( 3 a ) ( 마스크 패턴 ) 이 뚫린 필름 ( 3 ) 을 마스크 로서 사용 한다 . 결함 부 ( 2 a ) 에 구멍 ( 3 a ) 을 위치 맞춤 한 상태 에서 , 필름 ( 3 ) 은 기판 ( 1 ) 의 윗면 에 간극 ( G ) 을 두 고 대치 된다 . 필름 ( 3 ) 은 , 예 를 들 면 박막 의 폴리 이미드 필름 이 고 , 그 폭 은 마스크 로서 사용 하 는데 충분 한 폭 이 라면 좋 고 , 예 를 들 면 , 5 ㎜ 내지 15 ㎜ 정도 로 슬릿 한 롤 형상 필름 이 다 . 필름 ( 3 ) 의 두께 ( Ft ) 는 , 그 아래 가 비쳐 보일 정도 의 것 이 바람직 하 고 , 예 를 들 면 10 내지 25 ㎛ 정도 이 다 .