도 2 에서 보 는 바 와 같이 Quandt 등 에 의해 제작 된 캔틸레버 를 먼저 고려 하 였 다 . 그 들 은 실험 을 통해 캔틸레버 의 길 이 방향 으로 인가 되 는 자기장 에 의한 횡 방향 변위 를 측정 하 였 다 . 구해진 횡 방향 변위 로부터 자기 변형 상수 를 계산 하 였 다 . 두 번 째 로 Honda 등 에 의해 제작 된 Tb - Fe 박막 과 Sm - Fe film 박막 이 증착 된 캔틸레버 가 고려 되 었 다 . 그 들 역시 회전 자기장 을 인가 하 고 캔틸레버 의 횡 방향 변위 를 측정 하 였 다 . 그러나 Honda 등 은 그 들 의 논문 에서 기판 및 자기 변형 재료 의 기계 적 물 성 을 보 고 하 지 않 았 다 . 이 에 본 발명 에서 는 비슷 한 화학 적 조성 을 갖 는 자기 변형 박막 의 물 성 을 이용 하 였 다 . 앞 에서 했 던 방법 과 똑같이 Tb - Fe 박막 과 Sm - Fe 박막 의 자기 변형 상수 가 계산 되 었 으며 이 를 도 4 와 도 5 에 각 각 나타내 었 다 . Tb - Fe 박막 의 경우 계산 된 두 자기 변형 상수 들 은 거의 두 배 에 달하 는 매우 큰 차이 가 발생 함 을 확인 할 수 있 다 . Sm - Fe 박막 의 경우 역시 상당 한 차이 가 관찰 되 었 다 .