[ 0023 ] 특히 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 의 제 1 단부 는 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 에 커플링 될 수 있 다 . 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 의 공급 통로 ( 124 ) 는 진공 챔버 ( 130 ) 의 벽 을 통해 연장 될 수 있 다 . 특히 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 는 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 로부터 진공 챔버 ( 130 ) 의 개구 를 통해 대기 환경 ( 180 ) 으로 연장 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 의 제 2 단부 는 진공 챔버 ( 130 ) 의 벽 에 커플링 된다 . 다른 실시 예 들 에서 , 공급 어 레인지 먼 트 는 , 진공 챔버 밖 에서 진공 챔버 의 환경 내 로 연장 된다 .