또한 , 추가 적 으로 화학 기상 증착 ( Chemical Vapor Deposition ; CVD ) , 이미 만들 어 진 단결정 기판 표면 에 산화 막 , 질화 막 , 폴리 실리콘 층 등 을 형성 하 기 위한 저압 화 학기 상 증착 ( Low Pressure Chemical Vapor Deposition ; LPCVD ) , 플라 즈 마 화학 기상 증착 ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ; PECVD ) 혹은 단결정 기판 위 에 그 와 똑같 은 원자 배열 을 가진 단결정 층 을 쌓 는 에피택시 성장 ( Epitaxial Growth ) 등 의 박막 을 증착 하 는 공정 이 수행 되 기 도 한다 .