매립 장벽 레이어 ( 41 ) 는 인터 포저 기판 ( 24 ) 의 일부 를 형성 한다 . 제 3 컨 택 들 ( 25 ) 를 노출 시키 기 위해 , 매립 장벽 레이어 ( 41 ) 는 제 3 컨 택 들 ( 25 ) 로부터 떨어져 면하 는 매립 장벽 레이어 ( 41 ) 의 측면 상 에 위치 되 는 인터 포저 기판 ( 24 ) 의 남 아 있 는 부분 과 동일 한 방식 으로 제거 된다 .