본 발명 의 기판 가열 장치 는 , 반도체 웨이퍼 등 의 기판 을 급속 가열 할 때 에 , 플래시 램프 와 인덕턴스 로 이루어지 는 직렬 회로 에 대해 , 병렬 로 다이오드 가 접속 되 고 , 이 플래시 램프 와 직렬 로 반도체 스위치 가 접속 된 점 등 회로 를 이용 하 여 , 이 플래시 램프 를 점등 시킬 때 , 상기 반도체 스위치 를 적어도 1 회 , 온 , 오프 시키 는 제 1 구동 신호 와 , 이 제 1 구동 신호 가 출력 된 후 , 상기 반도체 스위치 를 1 회 만 온 으로 하 는 상기 제 1 구동 신호 중 1 개 의 구동 신호 에 의해 상기 반도체 스위치 가 온 이 되 는 기간 보다 긴 제 2 구동 신호 를 출력 한다 .