도 17 은 본 발명 의 제 2 실시 형태 에 의한 기판 처리 장치 ( 201 ) 의 개략 구성 을 나타내 는 모식도 이 다 . 도 18 은 본 발명 의 제 2 실시 형태 에 의한 제 1 소수 화제 공급 유닛 ( 216 ) 의 개략 구성 을 나타내 는 모식도 이 다 . 이 도 17 및 도 18 에 있 어서 , 전술 한 도 1 ∼ 도 16 에 도시 된 각 부 ( 部 ) 와 동등 한 구성 부분 에 대하 여 는 도 1 등 과 동일 한 참조 부호 를 붙여 그 설명 을 생략 한다 .