로드 락 챔버 ( 30 ) 는 이 에프 이 엠 ( 20 ) 과 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 사이 에 배치 된다 . 로드 락 챔버 ( 30 ) 는 반입 챔버 ( 32 ) 및 반출 챔버 ( 34 ) 를 포함 한다 . 반입 챔버 ( 32 ) 는 이 에프 이 엠 ( 20 ) 으로부터 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 로 기판 ( W ) 이 이송 되 기 위한 챔버 이 고 , 반출 챔버 ( 34 ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 40 ) 로부터 이 에프 이 엠 ( 20 ) 으로 기판 ( W ) 이 이송 되 기 위한 챔버 이 다 . 반입 챔버 ( 32 ) 는 제 1 챔버 ( 32 a ) 및 제 2 챔버 ( 32 b ) 를 가진다 . 제 1 챔버 ( 32 a ) 와 제 2 챔버 ( 32 b ) 는 높이 가 서로 상이 하 도록 배치 된다 . 일 실시 예 로서 , 제 1 챔버 ( 32 a ) 는 제 2 챔버 ( 32 b ) 의 상부 에 배치 되 며 , 제 1 챔버 ( 32 a ) 와 제 2 챔버 ( 32 b ) 는 서로 적층 되 는 구조 를 가진다 . 반출 챔버 ( 34 ) 는 반입 챔버 ( 32 ) 와 대체로 동일 한 구조 를 가진다 . 즉 , 반출 챔버 ( 34 ) 는 상하 로 적층 되 는 제 1 챔버 ( 34 a ) 및 제 2 챔버 ( 34 b ) 를 가진다 .