공정 챔버 ( 20 ) 는 진공 펌프 ( 53 ) 에 의해서 낮 은 공정 기압 으로 변경 된다 . 반면 , 열전달 가스 공급원 ( 50 ) 으로부터 열전달 가스 예 를 들 어 , N 2 가스 가 가스 공급 관 ( 52 ) 및 가스 유입 패스 ( 44 ) 를 통해서 가스 공급 로 ( 38 ) 로 유입 된다 . 그리고 복수 의 가스 분사구 ( 39 ) 를 통해서 열전달 가스 수 용부 ( 36 ) 로 분사 된다 . 그럼 으로 가 스 수 용부 ( 36 ) 는 공정 챔버 ( 20 ) 의 내부 보다 상대 적 으로 높 은 기압 이 된다 .