테이프 공급 및 회수 기구 ( 2 A ) 는 연마 테이프 ( 23 ) ( 즉 , 연마 공구 ) 를 연마 헤드 조립 체 ( 1 A ) 에 공급 하 기 위한 공급 릴 ( 24 ) 과 , 웨이퍼 ( W ) 의 연마 에 사용 되 었 던 연마 테이프 ( 23 ) 를 회수 하 기 위한 회수 릴 ( 25 ) 을 포함 한다 . 공급 릴 ( 24 ) 은 회수 릴 ( 25 ) 위 에 배열 된다 . 모터 ( M 2 ) 가 커플링 ( 27 ) 을 거쳐 공급 릴 ( 24 ) 과 회수 릴 ( 25 ) 에 각각 커플링 된다 [ 도 1 은 공급 릴 ( 24 ) 에 커플링 된 모터 ( M 2 ) 와 커플링 ( 27 ) 만 을 도시 한다 ] . 모터 ( M 2 ) 각각 은 연마 테이프 ( 23 ) 에 소정 의 인 장력 을 가하 기 위해 소정 의 회전 방향 에 일정 한 토크 를 가하 도록 구성 된다 .