기판 ( 200 ) 및 수직 구 조체 들 ( 230 ) 사이 에 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 이 배치 될 수 있 다 . 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 은 기판 ( 200 ) 과 수직 구 조체 들 ( 230 ) 을 연결 한다 . 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 은 적어도 한 층 의 수평 구 조체 들 ( 240 ) 과 접할 수 있 다 . 즉 , 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 은 최 하부 의 수평 구 조체 ( 250 ) 와 접하 도록 배치 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에 따르 면 , 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 은 복수 개 의 층 , 예 를 들 어 두 개 의 층 의 수평 구 조체 들 ( 240 ) 과 접하 도록 배치 될 수 도 있 다 . 한편 , 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 이 최 하부 의 수평 구 조체 ( 250 ) 와 접하 도록 배치 되 는 경우 , 최 하부 의 수평 구 조체 ( 250 ) 는 나머지 수평 구 조체 들 ( 240 ) 보다 두껍 게 배치 될 수 있 다 . 에피택시 얼 패턴 들 ( 222 ) 에 접하 는 최 하부 의 수평 구 조체 ( 250 ) 는 도 1 을 참조 하 여 기재 한 3 차원 플래시 메모리 의 어레이 의 접지 선택 라인 ( GSL ) 에 해당 할 수 있 으며 , 수직 구 조체 들 ( 230 ) 에 접하 는 나머지 수평 구 조체 들 ( 240 ) 은 복수 개 의 워드 라인 들 ( WL 0 - WL 3 ) 에 해당 할 수 있 다 .