[ 0036 ] 통상 적 으로 , 축 방향 으로 편향 가능 한 엘리먼트 ( 122 ) 는 , 진공 챔버 ( 130 ) 의 벽 에 밀 봉식 으로 ( sealingly ) 커플링 되 도록 그리고 / 또는 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 에 밀 봉식 으로 커플링 되 도록 구성 된다 . 따라서 , 매체 공급 라인 들 ( 140 ) 은 공급 통로 ( 124 ) 내부 에 제공 될 수 있 다 .