그리고 , 성막 온도 를 유지 하 여 , 일정 시간 원료 가스 를 도입 함 으로써 , 매우 얇 은 열분해 탄소 층 ( 3 ) 을 흑연 기재 ( 2 ) 의 표면 에 성막 한다 ( 도 3 의 ( b ) ) . 또한 , 캐리어 가스 로서 는 , Ar 등 의 불활성 가스 를 사용 할 수 있 다 . 또한 , 이 매우 얇 은 열분해 탄소 층 은 , 임의 이 며 형성 하 지 않 아도 된다 .