웨이퍼 중심 좌표 의 산출 방법 으로서 는 , 공지 된 어느 수법 이 이용 되 어도 좋 다 . 예컨대 , 중심 산 출부 ( 62 ) 는 , 인식 한 3 점 의 외주 좌표 중 인접 하 는 2 점 을 연결 하 는 2 개 의 직선 을 작성 하 고 , 이 들 2 개 의 직선 의 수직 이등분선 을 각각 구한다 . 그리고 , 중심 산 출부 ( 62 ) 는 , 2 개 의 수직 이등분선 의 교점 을 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심 으로서 산출 할 수 있 다 .