상기 기술 적 과제 를 이루 기 위한 본 발명 의 다른 양태 에 따르 면 , 반도체 소자 의 콘 택 구조 체가 제공 된다 . 상기 콘 택 구조 체 는 반도체 기판 상 에 제공 된 하부 절 연막 을 구비 한다 . 상기 하부 절 연막 내 에 하부 도전 성 패턴 이 제공 된다 . 상기 하부 도전 성 패턴 은 상기 하부 절 연막 의 상부 면 으로부터 상부 를 향하 여 돌출 된다 . 상기 하부 절 연막 및 상기 돌출 된 하부 도전 성 패턴 을 덮 는 식각 저지 막 이 제공 된다 . 상기 식각 저지 막 상 에 상부 절 연막 이 제공 된다 . 상기 상부 절 연막 및 상기 식각 저지 막 을 관통 하 여 상기 하부 도전 성 패턴 에 전기 적 으로 접속 된 상부 콘 택 플러그 가 제공 된다 .