공정 영역 에서 공정 을 마친 후 기판 안 치대 ( 12 ) 가 하강 하 면 도 2 에 도시 된 바 와 같이 리프트 핀 ( 12 ) 의 하단 이 챔버 저면 ( 11 a ) 에 닿 으면서 리프트 핀 ( 15 ) 의 상단 이 기판 안 치대 ( 12 ) 의 상부 로 돌출 된다 . 이때 기판 안 치대 ( 12 ) 에 안치 되 어 있 던 기판 ( s ) 은 리프트 핀 ( 15 ) 에 의해 들어올려 지 므로 기판 안 치대 ( 12 ) 로부터 분리 된다 .