본 발명 은 슬러리 공급 장치 에 관한 것 으로서 , 연마 액 이 제조 및 보관 되 는 연마 액 탱크 와 , 연마 액 탱크 로 연마 액 제조 에 사용 되 는 원료 와 세정 에 사용 되 는 세정 물질 을 공급 하 는 공급 부 와 , 연마 액 탱크 에서 제조 된 연마 액 을 이송 하 는 순환 펌프 와 , 순환 펌프 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 연마 액 탱크 로 재 주입 하 는 제 1 순환 부 와 , 순환 펌프 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 피 공급 장치 를 거쳐 연마 액 탱크 로 재 주입 시키 는 제 2 순환 부를 포함 하 여 이루어져 , 탱크 내부 에서 연마 액 의 제조 와 보관 이 모두 가능 하 며 연마 액 을 순환 시켜 연마 액 의 상태 를 일정 하 게 유지 할 수 있 는 슬러리 공급 장치 에 관한 것 이 다 .