도 3 은 본 발명 에 따른 스퍼터링 장치 의 캐소드 모듈 에서 TM ( Target - magnet ) 거리 를 설명 하 기 위한 단면도 로서 , 스퍼터링 장치 의 캐소드 모듈 에서 자석 은 스퍼터링 장치 의 플 라즈 마 를 유지 시켜 주 는 역할 을 수행 하 고 , 자장 의 분포 및 세기 에 의해 타 겟 물질 의 사용 효율 및 스퍼터링 의 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .