그 후 , 제품 상 추정 을 위해 , 오버레이 와 관련 된 하나 이상 의 유형 의 리소그래피 장치 처리 변수 의 오 차 또는 잔차 가 관심 대상 기판 에 대해 획득 되 며 , 그 의 오버레이 기여 도 가 결정 된다 . 예 를 들 어 , 투영 시스템 의 오버레이 기여 도 , 기판 높이 의 오버레이 기여 도 , 정렬 모델 잔차 의 오버레이 기여 도 , 및 / 또는 패 터닝 디바이스 및 / 또는 기판 서보 제어 의 오버레이 기여 도 가 관심 대상 기판 에 대하 여 획득 되 어 리소그래피 장치 의 기본 적 인 오버레이 기여 도 에 이를 수 있 다 . 실시 예 에서 , 기판 높이 의 오버레이 기여 도만 이 획득 된다 .