제 어부 ( 6 ) 는 , ALD 법 에 의한 성막 프로세스 를 실행 하 는 경우 의 레시피 ( 복수 의 ALD 사이클 을 포함 하 는 레시피 ) 를 생성 하 는 생 성부 로서 기능 한다 . 또한 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 생성 한 레시피 를 HDD ( 110 ) 또는 RAM ( 120 ) 에 설정 하 는 설 정부 로서 기능 한다 . 또한 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 설정 한 레시피 에 포함 되 는 복수 의 ALD 사이클 을 실행 함 으로써 실행 부 로서 기능 한다 .