척 테이블 ( 20 ) 에 배치 된 워크 셋 트 ( W 1 ) 가 , 도 2 에 나타낸 절삭 기구 ( 41 ) 에 의해 절삭 가공 되 고 , 척 테이블 ( 20 ) 이 지지대 ( 10 ) 상 으로 복귀 된 후 , 제 어부 ( 14 ) 는 , 반송 수단 ( 30 ) 을 제어 하 여 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 척 테이블 ( 20 ) 로부터 제거 하 고 , 스피너 세정 유닛 ( 24 ) 으로 반송 한다 .