예 로써 , 모듈러 코 팅기 ( 60 ) 는 상류 단부 에서 하 류 단부 로 , 펌프 격실 ( P ) , 다수 의 코팅 격실 들 , 이를 테 면 예 를 들 어 2 개 의 코팅 격실 들 ( CC ) 및 또 다른 펌프 격실 ( P ) 의 세트 구성 의 프로세스 모듈 들 ( 62 ) 로 구성 되 어 , 도 5 A 에 도시 된 것 처럼 6 개 격실 들 ( 62 ) 의 세트 구성 ( 예 를 들 어 , PCCPCC ) 이 형성 될 수 있 다 . 이 경우 , 하나 의 펌프 격실 이 인접 한 코팅 격실 들 과 접하 고 , 펌프 격실 의 상류 측 에 하나 가 그리고 펌프 격실 의 하류 측 에 또 다른 하나 가 있 을 때 , 펌프 격실 은 상류 측 으로부터 의 프로세스 가스 가 하류 측 으로 펌핑 하 기에 충분 하 다 . 그러나 , 이러 한 경우 , 단일 펌프 격실 은 , 특히 , 상류 프로세스 가스 및 하류 가스 가 상이 하 거나 또는 호환 성 이 없 는 경우 , 최대 ( at the most ) 약 5 대 1 의 가스 격리 비율 과 관련 되 는 허용 가능 한 또는 원 하 는 가스 격리 를 제공 하 기 에 충분 치 못하 다 .