[ 0054 ] 도 6 은 , 도 5 a 및 5 b 를 참조 하 여 예시 적 으로 설명 되 는 바 와 같이 , 제 1 자기 가 이 딩 구조 인 제 1 가이 딩 구조 ( 111 ) 및 제 1 자기 구동 구조 인 제 1 구동 구조 ( 112 ) 를 갖 는 포지셔닝 어 레인지 먼 트 의 개략 적 측면도 를 도시 한다 . 또한 , 도 6 은 , 포지셔닝 어 레인지 먼 트 가 , 제 2 자기 가 이 딩 구조 인 제 2 가이 딩 구조 ( 121 ) 뿐 만 아니 라 제 2 자기 구동 구조 인 제 2 구동 구조 ( 122 ) 를 가질 수 있 다는 것 을 도시 한다 . 따라서 , 도 6 을 예시 적 으로 참조 하 면 , 도 5 a 및 5 b 를 참조 하 여 설명 되 는 바 와 같 은 제 1 트랙 ( 110 ) 의 선택 적 피처 들 이 또한 , 필요 한 부분 만 약간 수정 하 여 ( mutatis mutandis ) , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 포지셔닝 어 레인지 먼 트 의 제 2 트랙 ( 120 ) 에 적용 될 수 있 다는 것 이 이해 되 어야 한다 . 특히 , 마스크 캐리어 ( 160 ) 는 도 5 a 및 5 b 를 참조 하 여 설명 되 는 바 와 같 은 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 151 ) 및 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 152 ) 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 도 5 a 및 5 b 를 참조 하 여 설명 되 는 바 와 같이 , 제 2 가이 딩 구조 ( 121 ) 는 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 113 ) 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 구동 구조 ( 122 ) 는 복수 의 추가 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 114 ) 을 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 기판 캐리어 의 부상 및 이송 을 제어 하 기 위한 기판 캐리어 제어기 ( 155 ) 와 유사 하 게 , 마스크 캐리어 의 부상 및 이송 을 제어 하 기 위한 마스크 캐리어 제어기 가 제공 될 수 있 다 . 특히 , 마스크 캐리어 의 부상 및 이송 을 제어 하 기 위한 원리 는 , 필요 한 부분 만 약간 수정 하 여 , 도 5 a 및 5 b 를 참조 하 여 설명 된 바 와 같 은 기판 캐리어 의 부상 및 이송 을 제어 하 기 위한 원리 에 대응 한다 .