다음 에 , 기판 ( 13 ) 의 이면 ( 13 b ) 측 으로부터 , 기판 ( 13 ) 에 대해서 는 투과성 을 가지 며 버퍼 층 ( 21 a ) 에 대해서 는 흡수성 을 갖 는 펄스 레이저 빔 을 조사 하 여 , 버퍼 층 ( 21 a ) 을 파괴 한다 ( 버퍼 층 파괴 단계 ) . 도 5 는 버퍼 층 파괴 단계 에 있 어서 의 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 를 나타내 는 단면도 이 다 .