도시 한 실시 예 에서 는 하나 의 불활성 기체 통로 ( 362 ) 를 통해 기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 로 불활성 기체 가 유입 되 지만 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 증착 장치 는 반응기 내벽 ( 361 a ) 과 외벽 ( 361 b ) 사이 에 복수 의 불활성 기체 통로 를 포함 할 수 있 고 , 이 불활성 기체 통로 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 사이 의 통로 와 연결 될 수 있 다 . 또한 , 본 발명 의 다른 한 실시 예 에 따른 증착 장치 는 반응기 내벽 ( 361 a ) 과 외벽 ( 361 b ) 사이 에 복수 의 불활성 기체 통로 를 포함 할 수 있 고 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 사이 에 도 복수 의 통로 를 가질 수 있 어 , 서로 연결 될 수 있 다 .