이 와 같이 , Y 간섭계 ( 206 , 207 , 208 , 209 ) 및 X 간섭계 ( 217 , 218 , 226 , 227 , 228 , 229 ) 를 포함 하 는 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 사용 함 으로써 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 , WTB 2 ) 의 5 자유도 ( X , Y , θ x , θ y , θ z ) 방향 의 위치 정보 를 계측 할 수 있 다 . 또한 다축 간섭계 , 예 를 들 어 각 X 간섭계 는 , 45 ° 경사져 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 에 설치 되 는 반사면 을 통해 , 투영 유닛 ( PU ) 을 유지 하 는 메인 프레임 의 일부 에 설치 되 는 도시 가 생략 된 반사면 에 레이저 빔 을 조사 하 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 Z 위치 를 검출 하 도록 해도 된다 .