본 발명 은 도 1 내지 9 에서 처럼 , 제 1 단계 ( 도 2 에 도시 ) : 상부 챔버 ( 10 ) 에 는 비소 ( As ) 을 하부 챔버 ( 20 ) 에 는 갈륨 ( Ga ) 를 셋 팅 하 고 , 상기 상 , 하부 챔버 ( 10 , 20 ) 에 불활성 기체 를 이용 하 여 압력 을 주 는 단계 를 거친다 . 즉 , 상부 챔버 ( 10 ) 에 는 비소 ( 1 ) 를 투입 하 고 하부 챔버 ( 20 ) 에 는 갈륨 ( 2 ) 을 투입 한다 . 더욱 자세 하 게 는 상기 상부 챔버 ( 10 ) 내 의 비소 투입 용기 ( 11 ) 내부 에 비소 ( 1 ) 를 투입 하 고 상기 하부 챔버 ( 20 ) 내 의 도가니 ( 70 ) 에 는 갈륨 ( 2 ) 을 투입 하 고 그 상단 으로 산화 붕소 ( 3 ) 투입 한다 . 물론 이렇게 상온 의 상태 에서 투입 된 상기 물질 들 은 모두 고체 의 상태 이 다 . 그리고 이 상부 챔버 ( 10 ) 와 하부 챔버 ( 20 ) 의 내부 에 는 불활성 기체 를 투입 하 여 어느 정도 의 일정 한 압력 이 유지 될 수 있 도록 유도 한다 .