본 발명 은 마이크 로 전기 배선 접합 장치 및 그 접합 방법 에 관한 것 으로 , 특히 국부 적 인 가열 ( localized heating ) 이 가능 하 여 미소 국조 물 의 접합 에 유용 한 방법 으로 알려진 레이저 빔 ( beam ) 을 이용 하 여 마이크 로 와이어 와 마이크 로 구조 물간 의 전기 적 상호 연결 방법 을 제공 하 기 위한 전기 배선 접합 장치 및 그 접합 방법 에 관한 것 이 다 .