즉 , 캐 패 시터 식각 시 식각 정지 막 으로 사용 되 는 캐 패 시터 하부 에 형성 되 는 질화 막 을 식각 정지 막 으로 사용 하 여 질화 막 에 대해 높 은 식각 선택 비 를 갖 는 식각 조건 으로 1 차 콘 택 식각 을 충분 한 과도 식각 으로 행하 여 모든 콘 택 이 캐 패 시터 하부 질화 막 에서 정지 되 게 한다 . 이어서 2 차 로 질화 막 에 대해 식각 비 가 높 은 식각 조건 으로 캐 패 시터 하부 질화 막 및 하부 산화 막 과 비트 라인 하드 마스크 질화 막 을 식각 하 는 방법 이 있 다 . 따라서 , 과도 식각 으로 인한 질화 막 이 손실 되 어도 하부 에 식각 정지용 질화 막 이 있 기 때문 에 과도 식각 에 따른 소자 간 쇼트 를 방지 할 수 있 다 .