웨이퍼 얼라인먼트 검출 계 ( 16 ) 는 검 출광 을 웨이퍼 ( 3 ) 상 의 웨이퍼 얼라인먼트 마크 ( 19 ) 및 스테이지 기준 플레이트 ( 11 ) 상 의 웨이퍼 얼라인먼트 검출 용 기준 마크 ( 18 ) 에 투사 하 는 투사 계 를 포함 하 고 있 다 . 상기 웨이퍼 얼라인먼트 검출 계 ( 16 ) 는 상기 웨이퍼 얼라인먼트 마크 ( 19 ) 및 상기 웨이퍼 얼라인먼트 검출 용 기준 마크 ( 18 ) 에 의해 반사 된 광 을 수 광 하 는 수 광계 도 포함 하 고 있 다 . 웨이퍼 얼라인먼트 검출 계 ( 16 ) 의 검출 결과 는 제어 장치 에 출력 된다 . 제 어 장치 는 웨이퍼 얼라인먼트 검출 계 ( 16 ) 에 의해 얻 어 진 검출 결과 에 의거 해서 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 를 XY 방향 으로 구동 하 여 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 에 의해 유지 된 웨이퍼 ( 3 ) 의 XY 방향 에 있 어서 의 위치 를 조정 한다 .