레이저 가공 을 끝낸 웨이퍼 ( 10 ) 를 제 1 카세트 ( 42 ) 에 수용 하 였 다면 , 제 1 카세트 ( 42 ) 에 수용 된 다른 미 가공 의 웨이퍼 ( 10 ) 를 순차 반출 하 고 , 척 테이블 ( 35 ) 상 에 재치 하 여 , 상기 한 순서 에 의해 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 내부 에 개질 층 ( 18 ) 을 형성 하 는 레이저 가공 을 실시 한다 . 레이저 가공 이 실시 된 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 는 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 중심 ( P ) 과 노치 ( 16 ) 를 연결 하 는 방향 이 , 제 1 카세트 ( 42 ) 의 개구 ( 42 a ) 의 중앙 을 지나 Y 축 방향 으로 연장 되 는 중앙선 ( C ) 상 에 대해 시계 방향 으로 45 ° 회전 한 방향 으로 위치 시켜 지 고 , 제 1 카세트 ( 42 ) 에 수용 된다 .