도 2 의 ( d ) 에 도시 된 바 와 같이 , 터널 링 절 연막 ( 205 ) 상 에 공지 의 방법 을 통하 여 나노 결정 ( 206 ) 을 형성 한다 . 여기 서 나노 결정 ( 206 ) 층 은 폴리 실리콘 층 , 비정질 실리콘 층 , 금속 산화물 층 , 실리콘 질화 막 층 , 실리콘 나노 결정 층 , 금속 나노 결정 층 , 실리콘 산화물 나노 결정 층 또는 금속 산화물 나노 결정 층 중 어느 하나 로 형성 할 수 있 다 .