또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 스테인리스 에 의해 구성 된 지주 ( 15 ) 와 지지 핀 ( 16 ) 양쪽 에 대하 여 금속 산화 막 또는 비금 속막 의 적어도 한쪽 으로 코팅 한다 . 이 에 의해 , 보트 ( 217 ) 에 대하 여 한 번 의 처리 로 코팅 을 실시 할 수 있 다 . 스테인리스 의 표면 에 의 CrO 막 의 형성 은 , 예 를 들 어 스테인리스 에 대한 부동태화 처리 에 의해 행할 수 있 다 . 또한 , CrO 막 대신 에 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 성막 처리 에서 형성 되 는 막 과 동일 한 막 종 ( 예 를 들 어 AlO 막 등 ) 으로 코팅 을 행하 는 경우 , 웨이퍼 ( 200 ) 가 탑재 되 어 있 지 않 은 상태 의 보트 ( 217 ) 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 반입 하 여 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 성막 처리 와 마찬가지 의 처리 를 행함 으로써 , 코팅 을 행해도 된다 .