도면 에 도시 된 바 와 같이 상기 척부 ( 511 ) 의 직경 은 상기 기판 ( 10 ) 의 직경 보다 작 은 것 이 바람직 하 다 . 그리고 , 고정 몸 체부 ( 512 ) 의 직경 은 상기 척부 ( 511 ) 의 직경 보다 큰 것 이 바람직 하 다 . 물론 고정 몸 체부 ( 512 ) 의 직경 이 기판 ( 10 ) 의 직경 보다 클 수 도 있 다 . 이 를 통해 척부 ( 511 ) 상 에 위치 한 기판 ( 10 ) 의 에지 하측 영역 에 공간 이 형성 되 고 , 이 공간 으로 플 라즈 마의 유입 이 자유 롭 게 될 수 있 어 기판 ( 10 ) 에지 하측 영역 의 식각 이 원활히 수행 될 수 있 다 .