광 발생 부 ( 10 ) , 제 1 편 광부 ( 20 ) 및 플 라즈 마 챔버 ( 40 ) 가 광 의 진행 방향 과 일치 하 지 않 을 경우 , 광 발생 부 ( 10 ) 와 플라 즈 마 챔버 ( 40 ) 사이 에 는 광 의 경로 를 바꿔 주 기 위한 적어도 하나 이상 의 반사 거울 ( M ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 반사 거울 ( M ) 은 주로 이상 적 인 45 도 의 각도 를 갖 게 회전 된 형태 일 수 있 다 .