버퍼링 승강 수단 ( 140 ) 은 웨이퍼 ( W ) 를 초 순수 로 폴리 싱 함 으로써 웨이퍼 ( W ) 표면 에 부착 된 파티클 을 제거 하 는 경우 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 버퍼링 ( 130 ) 을 상승 시켜서 웨이퍼 ( W ) 둘레 에 초 순수 가 충돌 하 는 공간 을 확보 하 도록 함 으로써 웨이퍼 ( W ) 의 에지 부분 에 대한 초 순수 의 클리닝 효율 을 증대 시킨다 .