상기 기판 ( SUB ) 은 복수 개 의 영역 들 을 포함 하 며 , 상기 영역 들 중 적어도 2 개 는 서로 다른 면적 을 가질 수 있 다 . 일 예 에 있 어서 , 상기 기판 ( SUB ) 은 두 개 의 영역 을 가질 수 있 으며 , 상기 두 영역 은 서로 다른 면적 을 가질 수 있 다 . 또한 , 실시 예 에 있 어서 , 상기 기판 ( SUB ) 은 세 개 의 영역 을 가질 수 있 다 . 이 경우 , 세 영역 모두 가 서로 다른 면적 을 가지 거나 , 세 영역 중 두 개 의 영역 만 서로 다른 면적 을 가질 수 있 다 . 일 예 에 있 어서 , 상기 기판 ( SUB ) 은 4 개 이상 의 영역 을 가질 수 도 있 다 .