본 발명 에서 는 산화 막 ( 20 ) 이 형성 된 기판 ( 10 ) 을 세제 에 일정 시간 동안 담그 고 난 후 , 기판 ( 10 ) 을 린 싱 ( linsing ) 하 는 순서 로 유기물 을 제거 한다 . 이때 사용 하 는 세제 는 황산 ( H 2 SO 4 ) 과 과산화수소 ( H 2 O 2 ) 를 4 : 1 비율 로 혼합 하 여 제조 한다 . 그리고 이 세제 에 기판 을 담그 는 시간 은 8 ~ 12 분 인 것 이 바람직 하 다 . 기판 을 세제 에 담그 는 시간 이 8 분 미만 인 경우 에 는 유기물 이 제거 되 지 않 는 문제 가 있 으며 , 12 분 을 초과 하 는 경우 에 는 기판 상 에 형성 되 어 있 는 산화 막 이 영향 을 받 을 수 있 어서 문제 가 있 다 .