측벽 스 페이서 들 ( 122 ) 과 하드 마스크 ( 120 ) 위 에 보호 층 ( 124 ) 이 배치 된다 . 보호 층 ( 124 ) 은 하드 마스크 ( 120 ) 위 에서부터 하부 절연 구조물 ( 110 ) 까지 연속 적 으로 연장 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 보호 층 ( 124 ) 은 탄화물 , 산화물 , 질화물 , TEOS ( Tetraethyl orthosilicate ) 등 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 하드 마스크 ( 120 ) 와 보호 층 ( 124 ) 은 각각 약 50 옹스트롬 과 약 150 옹스트롬 사이 의 범위 내 의 두께 를 가질 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 하드 마스크 ( 120 ) 와 보호 층 ( 124 ) 은 각각 약 100 옹스트롬 과 동일 한 두께 를 가질 수 있 다 .