상기 비정질 실리콘 층 을 다 결정 실리콘 층 으로 결정 화 하 는 방법 은 고상 결정 화법 ( Solid Phase Crystallization ) , 금속 유도 결정 화법 ( Metal Induced Crystallization ) , 금속 유도 측면 결정 화법 ( Metal Induced Latral Crystallization ) , 엑 시머 레이저 결정 화법 ( Excimer Laser Crystallization ) , 및 SLS 법 ( Sequential Lateral Solidification ) 등 이 있 다 .