커버 부재 ( 22 ) 는 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 상하 단부 가 개구 되 는 원통 형상 으로 형성 된다 . 이 커버 부재 ( 22 ) 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 측벽 을 따라 연장 되 어 당해 측벽 과 사이 에서 보텀 퍼지 가스 의 유로 를 형성 하 는 유로 형성 부 ( 22 a ) 를 갖 고 , 또 한 유로 형성 부 ( 22 a ) 의 상단 의 둘레 방향 을 따라 , 내측 을 향해서 수평 방향 으로 신장 되 는 걸 림 부 ( 22 b ) 를 갖 는다 . 걸림 부 ( 22 b ) 는 , 적재 대 본체 ( 21 ) 의 상면 에 걸림 고정 된다 . 또한 , 걸림 부 ( 22 b ) 는 , 그 두께 가 웨이퍼 ( W ) 보다 도 두꺼워 지 도록 형성 되 어 있 다 .