여기 에 기재 된 다양 한 실시 예 또는 예 는 기존 의 기술 이상 의 여러 이점 을 제공 한다 . 예 를 들 어 , 본 개시 에서 는 , 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 상 의 하나 이상 의 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 을 사용 함 으로써 , 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 및 FET 의 채널 에 적합 한 응력 을 인가 하 는 것 이 가능 하 다 . 또한 , 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 은 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 의 거친 표면 을 평평 하 게 할 수 있 고 , 따라서 소스 / 드레 인 구조물 에 대한 금속 콘 택 과 의 계면 특성 을 개선 하 는 것 이 가능 하 다 . 모든 이점 들 이 반드시 여기 에 설명 된 것 은 아니 고 어떠 한 특정 이점도 모든 실시 예 또는 예 에 요구 되 는 것 이 아니 며 다른 실시 예 또는 예 가 다른 이점 을 제공 할 수 있 다는 것 을 이해 하 여야 할 것 이 다 .