이미 징 시스템 ( 240 ) 은 레티 클 ( 220 ) 에 의해 반사 된 후 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 을 통해 투과 된 상기 광 의 일부 를 캡처 ( capture ) 하 도록 구성 된 수용 콘 ( 260 , acceptance cone ) 을 갖 는다 . 이미 징 시스템 ( 240 ) 은 캡 처 된 부분 을 타 겟 웨이퍼 ( 250 ) 상 으로 투영 ( project ) 하 도록 구성 된다 . 이미 징 시스템 ( 240 ) 은 광학계 를 포함 할 수 있 다 . 광학계 는 반사 성 광학계 ( reflective optics ) 일 수 있 다 .