전술 한 유전체 패널 ( 20 ) 의 상부 면 에 는 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 이 고정 되 는데 , 이 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 은 고주파 전압 이 가해질 경우 2 차 전자 를 방출 시키 는 역할 을 하 는 것 으로 , 플 라즈 마 에 의한 세정 작업 이 수회 에 걸쳐 이루어질 수 있 도록 유전체 패널 ( 20 ) 에 접하 는 하단 이 다 수개 로 분기 되 어 형성 된다 .