동공 패 싯 미러 ( 10 ) 및 3 개 의 EUV 미러 들 ( 12 , 13 , 14 ) 을 포함 하 는 하류 의 트랜스미션 광학 소자 ( 15 ) 는 , 필드 패 싯 들 ( 7 ) 을 투영 노광 장치 ( 1 ) 의 필드 면 ( 16 ) 내 로 이미 징하 는 역할 을 한다 . EUV 미러 ( 14 ) 는 그레 이징 입사 미러 ( grazing incidence mirror ) 이 다 . 레티 클 면 ( 17 ) 은 , z - 방향 으로 봤 을 때 , 대략 5 mm 내지 20 mm 의 거리 에서 필드 면 ( 16 ) 의 하류 에 배치 되 고 , 레티 클 면 ( 17 ) 은 , 유용 한 방사 의 다발 ( 3 ) 에 의해 , 투영 노광 장치 ( 1 ) 의 하류 의 투영 광학 소자 ( 20 ) 의 오브젝트 필드 ( 19 ) 와 일치 하 는 조명 영역 을 조명 하 는 , 레티 클 ( 18 ) 이 배열 된다 . 투영 노광 장치 ( 1 ) 에 있 어서 , 필드 패 싯 들 ( 7 ) 이 트랜스미션 광학 소자 ( 15 ) 에 의해 패 싯 이미지 들 을 형성 하 도록 이미 징 되 는 필드 면 ( 16 ) 은 , 투영 광학 소자 ( 20 ) 의 오브젝트 면 을 동시 에 형성 하 는 레티 클 면 ( 17 ) 과 일치 하 지 않 는다 . 유용 한 방사 의 다발 ( 3 ) 은 레티 클 ( 18 ) 에 의해 반사 된다 .