세라믹 정전 척 은 한국 특허 공개 제 2009 - 0075887 호 에 소개 된 것 과 같이 제 1 그린 시트 의 일면 에 전극 을 인쇄 하 고 그 위 에 제 2 그린 시트 를 적층 하 는 공정 과 , 제 1 및 제 2 그린 시트 를 함께 공 소결 하 는 공정 을 거쳐 제조 될 수 있 다 . 공 소결 에 의해 제조 된 정전 척 은 소결 과정 중 발생 하 는 내부 응력 으로 인해 휘어지 는 문제 가 있 다 . 이 내부 응력 은 세라믹 재료 와 전극 재료 간 의 열팽창 차이 등 으로 인해 발생 할 수 있 다 .