로드 / 언 로드 부 ( 2 ) 는 , 다수 의 웨이퍼 ( 기판 ) 을 스톡 하 는 웨이퍼 카세트 가 적재 되 는 2 개 이상 ( 본 실시 형태 에서 는 4 개 ) 의 프론트 로드 부 ( 20 ) 를 구비 하 고 있 다 . 이 들 의 프론트 로드 부 ( 20 ) 는 , 하우징 ( 1 ) 에 인접 하 여 배치 되 고 , 기판 처리 장치 의 폭 방향 ( 긴 변 방향 과 수직 인 방향 ) 을 따라 배열 되 어 있 다 . 프론트 로드 부 ( 20 ) 에 는 , 오픈 카세트 , SMIF ( Standard Manufacturing Interface ) 포드 , 또는 FOUP ( Front Opening Unified Pod ) 를 탑재 할 수 있 게 되 어 있 다 . 여기 서 , SMIF , FOUP 는 , 내부 에 웨이퍼 카세트 를 수납 하 고 , 격벽 으로 덮 음 으로써 , 외부 공간 과 는 독립 된 환경 을 유지 할 수 있 는 밀폐 용기 이 다 .