( 1 ) 성장 기판 을 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 시스템 에 놓 고 , 적절 한 반응 분위기 와 압력 으로 조정 하 며 , 동시 에 적절 한 결합 정합 전력 을 조정 하 고 , 기판 이 일정 온도 로 가열 되 면 플 라즈 마 반응 을 개시 한다 . 상기 플 라즈 마 보조 화학 기상 증착 시스템 은 플 라즈 마 발생기 , 진공 시스템 , 가열 시스템 등 을 포함 한다 . 여기 에서 플라 즈 마 발생기 전력 의 조절 가능 범위 는 5 내지 1000 W , 진공 시스템 의 조절 가능 압력 범위 는 10 - 5 내지 105 Pa , 시스템 의 조절 가능 가열 온도 범위 는 25 내지 1000 ℃ 이 다 .