" 본원 에서 사용 된 "" 장치 ( apparatus ) "" 또는 "" 마이크 로 - 디바이스 ( micro - device ) "" 또는 "" 마이크 로 디바이스 ( micro device ) "" 라는 용어 는 광범위 한 재료 ", 특성 , 형태 , 및 복잡도 와 집적도 중 임의 의 것 일 수 있 다 . 이 용어 는 단일 물질 에서부터 다수 의 서브 유닛 및 다수 의 기능 을 갖 는 다수 의 물질 을 포함 하 는 매우 복잡 한 디바이스 에 이르 는 응용 에 대한 일반 적 인 의미 를 갖 는다 . 본 발명 에서 고려 되 는 복잡 성 은 일련 의 원 하 는 특성 을 갖 는 매우 작 은 단일 입자 에서부터 다양 한 기능 유닛 이 내부 에 포함 된 상당히 복잡 하 고 통합 된 유닛 을 포괄 한다 . 예 를 들 어 , 간단 한 마이크 로 - 디바이스 는 원 하 는 경도 , 원 하 는 표면 전하 또는 표면 에 흡착 된 원 하 는 유기 화학 물질 을 갖 는 100 옹스트롬 과 같이 작 은 직경 의 단일 구형 제품 일 수 있 다 . 더욱 복잡 한 마이크 로 디바이스 는 센서 , 간단 한 계산기 , 메모리 유닛 , 논리 유닛 , 및 커터 가 모두 통합 된 1 밀리미터 디바이스 일 수 있 다 . 전자 의 경우 , 입자 는 퓸드 ( fumed ) 또는 콜로이드 침전 공정 을 통해 형성 될 수 있 는 반면 , 다양 한 구성 요소 가 통합 된 디바이스 는 다양 한 집 적 회로 제조 공정 을 사용 하 여 제조 될 수 있 다 . 곳 에 따라서 , 마이크 로 - 디바이스 또는 마이크 로 디바이스 는 서브 - 장비 유닛 ( sub - equipment unit ) 을 나타낸다 .