오퍼레이터 인터페이스 서버 ( 100 ) 는 각 공정 을 수행 하 기 위한 공정 조건 을 입력 시켜 해당 공정 을 시작 하 도록 하 고 , 모니터 웨이퍼 사용 유무 를 체크 한다 . 유저 인터페이스 서버 ( 102 ) 는 엔지니어 가 원 격지 에서 공정 설비 ( 106 ) 의 상태 를 조회 한다 . 호스트 컴퓨터 ( 104 ) 는 상기 오퍼레이터 인터페이스 서버 ( 100 ) 로부터 각 공정 을 시작 하 기 위한 명령 을 받 아 다수 의 공정 설비 ( 106 ) 를 제어 하 고 상기 공정 설비 ( 106 ) 로부터 제조 공정 중 에 발생 되 는 데이터 를 실시간 으로 수집 하 여 오퍼레이터 인터페이스 서버 ( 100 ) 로 제공 하 며 , 상기 오퍼레이터 인터페이스 서버 ( 100 ) 로부터 트랙 인 명령 이 입력 될 시 다수 의 공정 설비 ( 106 ) 별 플 라즈 마 크린 세팅 유무 를 체크 하 여 플 라즈 마 크린 세팅 이 되 어 있 지 않 을 시 트랙 인 방지 신호 를 발생 하 여 플 라즈 마 크린 미적 용 페일 상태 를 표시 하 도록 제어 한다 . 다수 의 공정 설비 ( 106 ) 는 상기 호스트 컴퓨터 ( 104 ) 의 제어 명령 에 의해 웨이퍼 를 투입 시켜 반도체 제조 공정 을 진행 한다 .