제 1 가스 공급 라인 ( 110 ) 에서 는 제 1 가스 가 공급 되 고 , 제 2 가스 공급 라인 ( 120 ) 에서 는 제 2 가스 가 공급 되 고 , 제 3 가스 공급 라인 ( 130 ) 에서 는 제 3 가스 가 공급 된다 . 제 1 가스 , 제 2 가스 , 제 3 가스 는 각각 분리 되 어 공급 된다 . 제 1 가스 공급 라인 ( 110 ) , 제 2 가스 공급 라인 ( 120 ) 및 제 3 가스 공급 라인 에 는 프로세스 가스 들 의 경우 와 마찬가지 로 , 각 세정 가스 들 의 개폐 를 조절 하 기 위한 밸브 ( V / V 1 , V / V 2 등 ) 및 각 세정 가스 들 의 유량 을 조절 하 기 위한 유량 조절기 ( Mass Flow Controller ; MFC 1 , MFC 2 등 ) 등 이 순차 적 으로 결합 되 어 있 다 .