또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 이 동부 ( 190 ) 의 동작 에 의해 이면 차 단판 ( 170 ) 이 이동 하 고 , 그것 에 의해 간극 영역 ( 180 ) 의 Z 방향 의 폭 이 변동 하 고 있 지만 , 스핀 베이스 ( 51 A ) 에 유지 된 기판 ( W ) 을 이 면 차 단판 ( 170 ) 에 대하 여 상대 적 으로 이동 시킴 으로써 , 간극 영역 ( 180 ) 의 Z 방향 의 폭 이 변동 하 는 경우 여도 된다 .