제 어부 ( 23 ) 는 도 8 a 에 나타내 는 타이밍 에 따라서 제 1 조명계 ( 21 ) 의 제 1 광원 ( 21 a ) 의 펄스 발진 을 제어 하 고 , 또 도 8 b 에 나타내 는 타이밍 에 따라서 제 2 조명계 ( 22 ) 의 제 2 광원 ( 22 a ) 의 펄스 발진 을 제어 한다 . 구체 적 으로 는 제 어부 ( 23 ) 는 제 1 조명계 ( 21 ) 로부터 의 측정 광 의 공급 타이밍 과 제 2 조명계 ( 22 ) 로부터 의 배 경광 의 공급 타이밍 이 서로 어긋나 도록 결상 광학계 ( 10 ) 의 수차 측정 에 필요 한 펄스 수 만큼 제 1 광원 ( 21 a ) 을 발진 시키 고 , 또 실제 의 사용 조건 에 가까운 광 입사 상태 를 구현 하 기 위해서 필요 한 펄스 빈도 로 제 2 광원 ( 22 a ) 을 발진 시킨다 .