실리콘 은 내부 전극 부재 ( 24 ) 및 외부 전극 부재 ( 30 ) 의 플 라즈 마 노출 표면 들 에 대해 바람직 한 재료 이 다 . 두 개 의 전극 모두 는 플 라즈 마 처리 동안 기판 의 오염 을 최소 화 하 고 또 한 플 라즈 마 처리 동안 매끄럽 게 마모 시킴 으로써 , 미세 입자 를 최소 화 하 는 고순 도 , 단결정 실리콘 으로 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 . 상부 전극 ( 12 ) 의 플 라즈 마 - 노출 된 표면 을 위해 사용 될 수 있 는 대안 적 인 재료 는 예 를 들 어 SiC 또는 AlN 을 포함 한다 .