세정 에 사용 된 세 정수 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 으로부터 흘러넘쳐 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 의 간극 을 통해서 , 화살표 ( B ) 에 의해 나타내 는 바 와 같이 , 세정액 용 보 틀 ( 32 ) 내 에 흘러 떨어져 축적 및 회수 된다 . 이 와 같이 하 여 , 세정 유닛 ( 31 ) 은 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 의 간극 으로부터 흘러 떨어지 는 세 정수 를 회수 한다 .