본 발명 에 있 어서 는 , 인접 하 는 각 도통 로 의 중심 간 거리 ( 도 1 에서 는 부호 9 로 나타내 는 부분 . 이하 , 「 피치 」 라고 도 한다 ) 는 30 ∼ 500 ㎚ 인 것 이 바람직 하 고 , 40 ∼ 200 ㎚ 인 것 이 보다 바람직 하 고 , 50 ∼ 140 ㎚ 인 것 이 더욱 바람직 하 다 . 피치 가 이 범위 이 면 , 도통 로 직경 과 도통 로 간 의 폭 ( 절연성 격벽 두께 ) 과 의 균형 을 맞추 기 쉽 다 .