고온 의 히팅 척 에 의해 기판 이 급속 도록 가열 되 면 기판 이 변형 ( warping ) 되 는 문제 가 발생 하 게 되 는데 , 이러 한 문제점 은 기판 이 균일 하 게 가열 되 지 않 기 때문 이 다 . 기판 의 변형 은 기판 에 구성 되 어 있 는 소자 에 매우 악영향 을 미치 며 , 변형 된 기판 은 후속 되 는 공정 에서 도 지속 적 인 많 은 문제점 을 야기 하 게 된다 . 또한 , 공정 진행 중 에 도 기판 은 균일 하 게 가열 되 어 유지 되 어야 한다 . 예 를 들 어 , 에 싱 공정 에서 에 싱 률 을 높이 기 위해서 는 기판 의 열 적 균일성 이 높 아야 한다 .