본 실시 형태 에 따른 에칭 처리 방법 에서 는 , 사용 되 는 플 루 오로 카본 가스 를 C 4 F 6 가스 로 하 고 , 사용 되 는 희가스 를 He 가스 로 하 였 다 . 비 교예 에서 는 , 사용 되 는 플 루 오로 카본 가스 를 C 4 F 6 가스 로 하 고 , 사용 되 는 희가스 를 Ar 가스 로 하 였 다 . 즉 , 본 실시 형태 에 따른 에칭 처리 방법 에서 는 , 희가스 를 , 비 교예 에서 사용 하 는 Ar 가스 로부터 Ar 가스 보다 가벼운 He 가스 로 변경 하 였 다 . Ar 가스 는 무거운 희가스 ( heavy noble gas ) 의 일 예이 며 , He 가스 는 Ar 가스 보다 가벼운 가벼운 희가스 ( light noble gas ) 의 일 예 이 다 .