층간 절 연막 을 식각 하 여 비 아홀 및 트렌치 를 형성 하 기 위해서 는 층간 절 연막 하부 에 층간 절 연막 의 식각 이 정지 되 도록 하 는 식각 정지 막 을 형성 해야 한다 . 식각 정지 막 으로 는 층간 절 연막 과 식각 선택 비 가 다른 물질 을 이용 하 여 형성 하 는데 , 예컨데 층간 절 연막 을 산화 막 으로 형성 하 므로 식각 정지 막 은 질화 막 을 이용 하 여 형성 한다 . 그런데 , 질화 막 은 유전 상수 가 높 기 때문 에 금속 배선 사이 의 캐 패 시턴 스 를 증가 시키 게 되 고 , 이 에 따라 RC 딜레이 가 커지 게 된다 . 따라서 , 배 선간 의 간격 이 좁 아 지 면 소자 동작 에 치명 적 인 악영향 을 미치 게 되 어 질화 막 을 이용 한 식각 정지 막 은 배 선간 의 간격 을 최소 화 화 는 게 한계 로 작용 하 게 된다 . 도 1 은 질화 막 을 식각 정지 막 으로 이용 할 경우 질화 막 의 두께 에 따른 비트 라인 의 RC 딜레이 를 나타낸 그래프 이 다 . 여기 서 , A 는 산화 막 에 의한 RC 딜레이 를 나타낸 것 이 며 , B 는 100 Å 의 두께 로 질화 막 을 형성 한 경우 , C 는 200 Å 의 두께 로 질화 막 을 형성 한 경우 , 그리고 D 는 300 Å 의 두께 로 질화 막 을 형성 한 경우 의 RC 딜레이 를 나타낸 것 이 다 . 도시 된 바 와 같이 질화 막 두께 가 증가 함 에 따라 RC 딜레이 가 커짐 을 알 수 있 다 .