실리콘 을 증착 하 는 단계 ( S 210 ) 및 제 1 퍼지 단계 ( S 220 ) 는 예 를 들 면 , 3 내지 10 회 반복 하 여 수행 될 수 있 다 . 각 실리콘 을 증착 하 는 단계 ( S 210 ) 에서 는 1 개 내지 수개 의 실리콘 원자 층 이 상기 기판 상 에 형성 될 수 있 다 . 따라서 실리콘 을 증착 하 는 단계 ( S 210 ) 및 제 1 퍼지 단계 ( S 220 ) 를 반복 적 으로 수행 하 면 ( S 230 ) , 비정질 의 실리콘 또는 다결정 성 을 가지 는 폴리 실리콘 으로 이루어지 는 실리콘 박막 이 상기 기판 상 에 형성 될 수 있 다 . 비정질 의 실리콘 또는 다결정 성 을 가지 는 실리콘 박막 은 수 내지 수십 Å 의 두께 를 가질 수 있 다 .