상기 그리퍼 ( 1 ) 는 , 하부 가 간격 조 절부 의 엘 엠 블록 및 볼스크 류 블록 과 체결 되 고 , 상부 에 는 복수 개 의 엘 엠 블록 이 가이드 되 는 엘 엠 가이드 가 설치 된 베이스 플레이트 부 ( 11 ) 와 ; 상기 엘 엠 블록 중 어느 하나 에 설치 되 어 전 후진 하 는 이송 블록 부 ( 12 ) 와 ; 상기 이송 블록 부를 전 후진 시키 는 동력 전달 부 ( 13 ) 와 ; 상기 이송 블록 부 에 설치 되 고 , 수평 방향 으로 압력 을 제공 하 는 수 평가 압부 ( 141 ) 와 수 평가 압부 의 가압 에 의해 하향 회전 하 는 회전 레버 부 ( 142 ) 와 회전 레버 부 의 회전 방향 에 따라 승 하강 하 는 상측 클램프 죠 ( 143 ) 및 상측 클램프 죠 와 맞물리 게 고정 된 하측 클램프 죠 ( 144 ) 로 구성 되 어 마스크 를 파지 하 는 파지 부 ( 14 ) 로 구성 된다 .