그런데 , 복수 의 반도체 웨이퍼 에 대한 처리 가 행해 지 는 과정 에서 , 정전 척 에 절연체 의 반응 부생 성물 ( 이른바 퇴적물 ) 이 퇴적 한다 . 정전 척 에 퇴적 한 퇴적물 은 , 정전 척 에 공급 된 전하 에 의해 대전 하 여 , 정전 척 에 공급 되 는 직류 전압 이 해제 되 어도 , 퇴적물 에 대전 한 전하 가 잔존 하 는 경우 가 있 다 . 퇴적물 이 대전 하 고 있 으면 , 반도체 웨이퍼 와 의 사이 에 정전기력 에 따른 흡착 력 이 잔존 한다 .