도 6 의 ( B ) 를 참조 하 여 , 본 공정 에서 는 제 1 홈 ( 58 ) 과 제 2 홈 ( 60 ) 의 깊이 나 폭 이 크 게 다르 므로 , 양자 의 교차 하 는 개소 에서 금속 버어 가 발생 하 는 것 이 억제 된다 . 또한 , 양자 가 교차 하 는 개소 에서 금속 버어 가 발생 했 다고 해도 , 그 양 은 종래 예 와 비교 하 면 매우 적 다 . 따라서 , 도전 성 의 금속 버어 에 기인 한 쇼트 등 이 억제 된다 . 또한 , 도 6 의 ( B ) 를 참조 하 여 , 제 2 홈 ( 60 ) 의 하방 에 형성 되 는 제 4 홈 ( 64 ) [ 도 5 의 ( B ) 참조 ] 과 제 1 홈 ( 58 ) 이 교차 함 으로써 , 기판 ( 50 ) 을 관통 하 는 구멍 부 가 형성 된다 .