다음 으로 , 제 9 공정 에 있 어서 , 제 8 공정 후 에 , 가열 기구 ( 61 ) 의 하류 측 에 설치 된 보호막 피복 기구 ( 62 ) 의 터널 형상 의 통과 구멍 내부 를 소자 가 부착 된 망형 직조 기재 ( 1 ) 가 통과 하 는 동안 에 , 스프레이 법 에 의해 , 소자 가 부착 된 망형 직조 기재 ( 1 ) 의 상하 양면 에 가요 성 과 광 투과성 을 구비 한 절연성 보호막 ( 6 ) ( 실란 커플링 제 의 피막 ) 을 피복 한다 . 한편 , 상기 제 9 공정 이 청구 항 5 의 피복 공정 에 상당 하 는 것 이 다 .