기판 ( 103 ) 은 상대 적 으로 순수 실리콘 , 게르마늄 , 갈륨 비화물 , 또는 통상 적 으로 반도체 산업 계 에 사용 된 다른 반도체 재료 또는 게르마늄 , 탄소 , 등 과 같 은 하나 이상 의 부가 적 인 엘리먼트 들 과 혼합 된 실리콘 으로 이루어질 수 도 있 다 . 일 실시 예 에서 , 기판 ( 103 ) 은 다른 제조 프로세스 로부터 이전 에 증착 된 층 들 을 갖 는 반도체 기판 일 수 도 있 다 . 또 다른 실시 예 에서 , 기판 ( 103 ) 은 플 라즈 마 프로세싱 을 겪 을 수 도 있 는 유리 , 세라믹 또는 금속 시트 와 같 은 컴포넌트 일 수 도 있 다 .