아암 기대 ( 53 ) 의 내부 에 는 , 복수 의 아 암부 를 포함 하 는 아암 기구 ( 54 ) 를 구동 하 기 위한 회전 구동 기구 ( 도시 는 생략 ) 가 수용 되 어 있 고 , 각 아 암부 의 관절 부 에 배치 형성 되 는 모터 와 협동 하 여 , 아암 기구 ( 54 ) 의 선 단부 에 배치 형성 된 U 자 형상 의 로봇 핸드 ( 55 ) 를 원하 는 위치 에 위치 시킬 수 있 다 . 로봇 핸드 ( 55 ) 에는 , 복수 의 흡 인공 이 형성 되 어 있 고 , 아암 기구 ( 54 ) , 아암 기대 ( 53 ) 를 통해 그 흡 인공 에 대해 부압 이 공급 된다 . 제 1 카세트 ( 42 ) 의 개구부 ( 42 a ) 로부터 , 또는 제 2 카세트 ( 43 ) 의 개구부 ( 43 a ) 로부터 웨이퍼 를 반 출입 하 는 것 이 가능 하 게 구성 되 어 있 고 , 아암 기구 ( 54 ) 및 로봇 핸드 ( 55 ) 의 동작 에 의해 , 원 하 는 웨이퍼 를 흡착 하 여 , 도 1 에서 척 테이블 ( 35 ) 이 위치 시켜 져 있 는 반 출입 위치 에 반송 한다 . 그 반 출입 위치 에 위치 시켜진 척 테이블 ( 35 ) 에 반송 된 웨이퍼 는 , 척 테이블 ( 35 ) 상 에 규정 된 각도 로 정확 하 게 재치 되 어 , 흡인 유지 된다 . 척 테이블 ( 35 ) 에 흡인 유지 된 웨이퍼 는 , 지주 ( 33 ) 내 에 배치 형성 된 회전 구동 수단 ( 도시 는 생략 한다 ) 에 의해 , 소정 의 각도 만큼 회전 된 후 , 촬상 유닛 ( 6 ) 의 바로 아래 에 위치 시켜 져 얼라인먼트 가 실시 되 고 , 레이저 광선 조사 유닛 ( 4 ) 의 집광기 ( 4 a ) 의 바로 아래 에 위치 시켜 져 , 레이저 가공 이 실시 된다 .