분사기 ( 220 ) 는 서 셉 터 ( 210 ) 에 안착 된 기판 ( 110 ) 으로 반응 원료 및 소스 원료 를 분사 하 는 수단 으로서 , 챔버 ( 200 ) 내부 에서 서 셉 터 ( 210 ) 와 마주 보 도록 또는 대향 위치 된다 . 예컨대 분사기 ( 220 ) 는 서 셉 터 ( 210 ) 의 상측 에 위치 하 도록 마련 되 어 RF 전원 과 접지 전원 이 연결 된 전위차 를 가지 는 전극 이 마주 보 고 설치 될 수 있 다 .