마이크 로 요동 소자 X 3 의 구동 시 에 는 , 상술 한 바 와 같이 요 동부 ( 10 ') 의 구동 전극 ( 17 ) 에 소정 의 기준 전위 가 부여 된다 . 구동 전극 ( 17 ) 에 대한 기준 전위 의 부여 는 프레임 ( 21 ) 의 제 1 층 부 ( 21 a ) , 연결부 ( 22 ) 의 토션 바 ( 22 a ) 및 요 동부 ( 10 ') 의 들보 부 ( 13 ) 를 통하 여 실현 할 수 있 다 . 기준 전위 는 , 예 를 들 면 그라운드 전위 이 며 , 바람직 하 게 는 일정 하 게 유지 된다 . 그리고 , 기준 전위 보다 도 높 은 구동 전위 를 구동 전극 ( 26 ) 에 부여 함 으로써 , 구동 전극 ( 17 , 26 ) 간 에 정전 인력 을 발생 시킬 수 있 다 . 구동 전극 ( 17 , 26 ) 간 에 소정 이상 의 정전 인력 이 발생 하 면 , 구동 전극 ( 17 ) 은 구동 전극 ( 26 ) 에 인입 된다 . 그 때문 에 , 요 동부 ( 10 ') 또는 랜드 부 ( 11 ) 는 축심 A 1 주위 로 요동 동작 하 고 , 상기 정전 인력 과 각 토션 바 ( 22 a ) 의 비틀림 저항력 의 총합 이 균형 을 이루 는 각도 까지 회전 변위 한다 . 이 와 같 은 요동 동작 에서 의 회전 변위 량 은 구동 전극 ( 26 ) 에 대해 부여 하 는 구동 전위 를 조정 함 으로써 , 조절 할 수 있 다 . 또한 , 구동 전극 ( 17 , 26 ) 간 의 정전 인력 을 소멸 시키 면 , 각 토션 바 ( 22 a ) 는 그 자연 상태 로 복귀 한다 . 이상 과 같 은 요 동부 ( 10 ') 또는 랜드 부 ( 11 ) 의 요동 구동 에 의해 , 랜드 부 ( 11 ) 위 에 설치 된 미러 면 ( 11 a ) 에서 반사 되 는 광 의 반사 방향 을 적절 하 게 절환 할 수 있 다 .