본 발명 의 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 제 1 연마 공정 에 사용 되 는 상기 제 1 슬러리 조성물 은 약 1 : 5 내지 약 1 : 1 , 000 의 범위 의 연마 선택 비 ( 절 연막 : 상변화 물질 층 ) 를 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 1 슬러리 조성물 이 약 1 : 5 미만 의 연마 선 택 비 를 가지 는 경우 에 는 , 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 연마 시간 이 길 어 져 공정 효율 이 떨어지 고 절 연막 ( 105 ) 이 연마 정지 막 으로서 적절히 기능 하 지 못할 수 있 다 . 또한 , 제 1 슬러리 조성물 의 연마 선택 비 가 약 1 : 1 , 000 을 초과 하 는 경우 에 는 , 상변화 물질 층 ( 115 ) 의 연마 속도 를 정확히 제어 하 기 어려울 수 있 다 . 따라서 상기 제 1 슬러리 조성물 은 약 1 : 5 내지 약 1 : 1 , 000 의 연마 선택 비 를 가지 는 것 이 바람직 하 다 .