다음 으로 , 본 발명 의 노광 장치 및 노광 방법 의 제 5 실시 형태 에 대해 설명 한다 . 도 7 은 , 제 5 실시 형태 를 나타내 는 개략 구성도 이 다 . 본 실시 형태 의 제 4 실시 형태 와 다른 부분 은 , 제 1 광학계 ( 31 ) 및 제 2 광학계 ( 32 ) 가 오 목면 미러 ( 341 , 342 ) 를 가지 고 있 는 점 에 있 다 . 이하 에서 는 , 그 차이 를 중심 으로 설명 하 고 , 상술 의 제 4 실시 형태 와 동일 또는 동등 한 구성 부분 에 대해서 는 동일 부호 를 부여 하 며 , 그 설명 을 간략 혹은 생략 한다 .