도 4 는 본 실시 형태 에 관한 정보 처리 시스템 의 일례 의 구성도 이 다 . 도 4 에 나타낸 정보 처리 시스템 은 , 기판 처리 장치 ( 200 ) , 막 두께 측정 장치 ( 210 ) 및 특이점 검출 보정 장치 ( 220 ) 가 , 인터넷 이나 LAN 등 의 통신 네트워크 ( N ) 를 통해 데이터 통신 가능 하 게 접속 되 어 있 다 . 또 , 도 4 의 정보 처리 시스템 은 일례 이 며 , 네트워크 ( N ) 대신 에 USB 등 의 기록 미디어 를 통해 데이터 이동 하 도록 해도 좋 다 .