에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 의 센서 출력 의 상승 이 빠르 다는 것 은 , 「 센서 출력 이 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 금속 막 을 검지 하 기 시작 한 상태 」 로부터 「 센서 의 출력 이 최대 가 된 상태 」 로 될 때 까지 의 이행 시간 이 짧 은 것 을 의미 한다 . 이것 은 , 「 센서 출력 이 반도체 웨이퍼 ( WH ) 의 금속 막 을 검지 하 기 시작 한 상태 」 로부터 「 센서 의 출력 이 최대 가 된 상태 」 까지 의 동안 에 센서 가 이동 하 는 거리 가 짧 다고 해도 된다 . 센서 출력 의 상승 이 빠를수록 , 센서 의 검출 신호 가 불충분 ( 즉 , 센서 의 출력 이 최대 가 아닌 상태 ) 하 며 웨이퍼 의 에지 영역 ( 158 ) 에서 의 막 두께 의 검출 정밀도 가 낮 은 범위 가 , 좁 아 진다 .