이 제 2 반 송실 ( 3 ) 에 는 , 기판 반송 유닛 인 제 2 반송 아암 ( 32 ( 32 A , 32 B ) ) 이 형성 되 어 있 다 . 이 반송 아암 ( 32 ) 에 의해 , 로드 록 실 ( 22 , 23 ) 과 각 진공 처리 실 ( 31 A ~ 31 F ) 과 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 가 반입 · 반출 된다 . 이 들 제 2 반송 아암 ( 32 A , 32 B ) 은 , 도 2 ~ 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 연직 축 둘레 로 회전 이 자유 롭 고 , 신축 이 자유 로운 다관 절 아암 과 , 이 다 관절 아암 의 선단 에 부착 되 는 , 평면 형상 이 대략 U 자 형상 인 지지 아암 ( 33 ) 을 가지 며 , 공통 의 기대 ( 34 ) 의 위 에 배치 되 어 있 다 . 이 기대 ( 34 ) 의 ± X 방향 의 외연 근처 의 이면 에 하방 으로 뻗 는 지 지부 ( 35 ) ( 도 3 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이 지지 부 ( 35 ) 는 , 하단 에 있 어서 , 이동 기구 ( 36 ) 에 접속 되 어 있 다 . 이 이동 기구 ( 36 ) 에 의해 , 기대 ( 34 ) 나아가 서 는 제 2 반송 아암 ( 32 ) 이 , Y 방향 으로 뻗 는 가이드 레일 ( 37 ) 을 따라서 슬라이드 이동 할 수 있 다 .