이 와 같 은 본 발명 의 방법 에 의하 면 , 기존 유기 금속 전구체 의 불 안정 한 물 성 에 기인 하 여 발생 하 는 전구체 의 열분해 및 분말 의 생 성 을 초래 하 지 않 으면서 원 하 는 금속 또는 금속 산화물 박막 을 안정 하 게 증착 시킬 수 있 다 . 또한 , 기존 에 는 과량 의 운반 기체 를 사용 하 여야 하 고 , 심한 경우 사용 하 는 고가 의 유기 금속 전구체 의 95 % 이상 이 사용 되 지 못한 채 배출 되 었 으나 , 본 발명 의 개선 된 방법 에서 는 전구체 의 안정 화 에 기인 하 여 전구체 활용 도 를 획기적으로 높일 수 있 으므로 생산 원가 를 낮출 수 있 다 .