한편 , 도 3 은 본 발명 에 따른 막 증착 장치 에 포함 되 는 전기장 인가 부 의 다른 구성 을 보여 주 는 도면 으로 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 플레이트 ( 170 ) 의 제 2 플레이트 ( 175 ) 대향 면 상 에 기판 ( 140 ) 을 안착 시키 기 위한 리 세스 ( R ') 를 형성 하 여 리세 스 ( R ') 안 에 기판 ( 140 ) 을 놓 고 , 제 1 플레이트 ( 170 ) 에 전원 ( 185 ) 을 연결 하 고 제 2 플레이트 ( 175 ) 에 접 지 장치 ( 180 ) 를 연결 하 여 기판 ( 140 ) 의 위 에서 전기장 을 인가 하 는 전기장 인가 부 ( 190 ) 를 구성 할 수 도 있 다 .