본 발명 에 따른 박막 트랜지스터 용 접합 구조 의 제조 방법 에서 는 상기 광산 란 박막 을 형성 하 기 전 에 , 상기 제 1 보호막 위 에 실리콘 또는 금속 으로 도핑 된 탄화물 박막 으로 이루어지 는 제 1 캡 핑 층 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 또 한 , 본 발명 에 따른 박막 트랜지스터 용 접합 구조 의 제조 방법 에서 는 상기 광산 란 박막 을 열처리 하 기 전 에 , 상기 광산 란 박막 위 에 실리콘 또는 금속 으로 도핑 된 탄화물 박막 으로 이루어지 는 제 2 캡 핑 층 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .