또 , 본 실시 형태 에 대해서 도 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 구 동압 을 검출 하 는 구 동압 센서 ( 81 ) 대신 에 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 스위치 조작 등 에 의한 개폐 동작 을 검지 하 는 개폐 검지 기구 를 마련 한 변형 예 를 구성 할 수 도 있 다 . 이 경우 , 개폐 검지 기구 에 의해 유체 제어기 ( 2 ) 의 개폐 동작 이 검지 되 면 , 이러 한 정보 가 네트워크 ( NW 1 , NW 2 ) 를 경유 하 여 보정 처 리부 ( 92 ) 에 공급 된다 . 이 에 따라 , 보정 처 리부 ( 92 ) 에 의해 소정 의 문턱 값 이 보정 되 면 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 개폐 에 의한 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 와 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 에 의해 야기 된 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 를 구별 하 여 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 판별 할 수 있 다 .