일반 적 으로 , 상기 웨이퍼 가이드 ( 110 ) 의 슬롯 부 ( 128 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 수납 할 경우 , 웨이퍼 의 에지 영역 에 형성 되 어 있 는 불 완전 한 패턴 들 은 상기 슬롯 부와 의 접촉 으로 인해 리프트 오프 된다 . 그리고 , 이 처럼 리프트 오프 된 패턴 들 은 세정액 에 포함 된 상태 로 웨이퍼 전면 으로 퍼져 흐름 성 디 펙 을 유발 하 게 되 고 , 바스 내부 의 세정액 또한 이 처럼 리프트 오프 된 패턴 들 에 의해 오염 되 는 문제점 이 있 다 .