게이트 전극 ( 104 ) 의 상부 로 는 층간 절 연막 ( 105 ) 이 형성 되 고 , 컨 택 홀 을 통해 소스 전극 ( 106 ) 및 드레 인 전극 ( 107 ) 이 각각 반도체 층 ( 102 ) 의 소스 및 드레 인 영역 에 접하 도록 형성 된다 . 소스 전극 ( 106 ) 및 드레 인 전극 ( 107 ) 을 이루 는 물질 은 Au , Pd , Pt , Ni , Rh , Ru , Ir , Os 외 에 도 , Al , Mo , Al : Nd 합금 , MoW 합금 등 과 같 은 2 종 이상 의 금속 으로 이루어진 합금 을 사용 할 수 있 으며 이 에 한정 되 지 는 않 는다 .