임의 의 적절 한 구성 이 산화물 ( 46 ) 및 규화물 ( 48 ) 을 형성 하 기 위해 이용 될 수 도 있 다 . 20 분 미만 동안 350 ℃ 내지 750 ℃ 의 온도 범위 에서 ( 예 를 들 어 , 550 ℃ 에서 1 ~ 10 분 동안 ) 급속 열 산화 ( RTO ) 를 이용 하 여 산화 가 수행 될 수 도 있 다 . 산화 는 또한 , 더 높 은 온도 의 노 ( furnace ) 에서 , 또는 레이저 유도 가열 을 이용 하 여 수행 될 수 도 있 다 . 원한다면 , 산화 는 또한 ( 통상 적 으로 어닐링 동작 에 의해 후속 되 는 ) 산소 이온 을 층 ( 44 ) 으로 주입 함 으로써 형성 될 수 도 있 다 . 이 들 기술 의 조합 이 또한 이용 될 수 도 있 다 .