수지 공급 동작 에서 는 , 구체 적 으로 는 , 우선 , 제 어부 ( 70 ) 가 , 웨이퍼 검 출부 ( 110 ) 에서 얻 은 웨이퍼 직경 과 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 ( 201 ) 에 피복 하 는 액상 수지 ( 301 ) 에 대해 소망 하 는 수지 두께 ( 311 ) ( 도 5 참조 ) 에 기초 하 여 , 액상 수지 ( 301 ) 의 적절 한 공급량 을 산출 한다 . 또한 , 액상 수지 ( 301 ) 에 대해 소망 하 는 수지 두께 ( 311 ) 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 ( 201 ) 에 피복 하 는 수지 ( 302 ) 에 대해 소망 하 는 수지 두께 ( 312 ) ( 도 9 참조 ) 와 , 액상 수지 ( 301 ) 가 경화 하 여 수지 ( 302 ) 가 될 때 의 수축 률 에 기초 하 여 , 산출 된다 .