정리 하 면 도 3 에 따른 이상 여부 검출 방법 은 고주파 프로브 와 분광 분석기 를 구비 한 복합 센서 를 사용 하 여 이상 여부 를 검출 하 는 방법 이 며 , 도 4 에 따른 이상 여부 검출 방법 은 광학 프로브 와 분광 분석기 를 구비 한 복합 센서 를 사용 하 여 이상 여부 를 검출 하 는 방법 이 고 , 도 5 에 따른 이상 여부 검출 방법 은 고주파 프로브 , 분광 분석기 및 광학 프로브 를 모두 구비 한 복합 센서 를 사용 하 여 이상 여부 를 검출 하 는 방법 이 다 .