도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 30 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 접선 에 평행 하 게 연장 하 는 축 ( Ct ) 에 대해 회전 가능 한 아암 ( 60 ) 의 일 단부 에 고정 된다 . 아암 ( 60 ) 의 다른 단부 는 풀리 ( p 3 , p 4 ) 및 벨트 ( b 2 ) 를 거쳐 모터 ( M 4 ) 에 커플링 된다 . 모터 ( M 4 ) 가 소정 각도 만큼 시계 방향 및 반 시계 방향 으로 회전 하 면 , 아암 ( 60 ) 은 소정 각도 만큼 축 ( Ct ) 주위 를 회전 한다 . 이 실시 예 에서 , 모터 ( M 4 ) , 아암 ( 60 ) , 풀리 ( p 3 , p 4 ) 및 벨트 ( b 2 ) 는 연마 헤드 ( 30 ) 를 기울이 는 기울 임 기구 를 구성 한다 .