상기 소자 분리 용 트렌치 ( 206 ) , 예비 플로팅 게이트 전극 ( 204 a ) 사이 의 갭 부위 및 예비 플로팅 게이트 전극 ( 204 a ) 상부 면 을 따라 예비 제 1 절 연막 패턴 ( 208 ) 을 형성 한다 . 이 때 , 상기 예비 제 1 절 연막 패턴 내부 에 는 에어 터널 ( 210 ) 이 생성 되 도록 한다 . 상기 에 어 터널 ( 210 ) 은 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 206 ) 를 따라 연장 되 는 형상 을 갖 는다 .