상기 기술 적 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 초음파 장치 모니터링 방법 은 , 초음파 장치 를 모니터링 하 는 방법 에 있 어서 , 상기 진동자 에 일정 주파수 의 전기 신호 를 인가 하 는 단계 와 , 상기 인가 된 전기 신호 에 따른 전류 및 주파수 를 측정 하 는 단계 와 , 상기 측정 된 전류 및 주파수 를 통해 세정 장치 의 이상 작동 및 고장 여부 를 판별 하 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 이상 작동 여부 판별 은 측정 된 전류 및 주파수 를 기준 값 과 비교 하 여 적어도 하나 이상 의 오 차 가 검출 될 경우 이상 작동 또는 고장 상태 로 판정 하 되 , 상기 이상 작동 및 고장 여부 를 판별 하 는 단계 에서 주파수 가 변화 된 경우 진동자 의 특성 변화 에 의한 이상 작동 상태 인 것 으로 판정 하 고 , 전류 값 이 변화 된 경우 에 있 어서 는 저항 값 의 변화 에 의해서 전류 값 이 변화 된 것 으로서 진동자 의 특성 변화 나 압 전소 자 가 진동판 으로부터 탈착 된 것 으로 판정 한다 .