상기 단일 막 으로서 구리 계 금속 막 은 구리 ( Cu ) 막 또는 구리 를 주성분 으로 하 며 알루미늄 ( Al ) , 마그네슘 ( Mg ) , 칼슘 ( Ca ) , 티타늄 ( Ti ) , 은 ( Ag ) , 크롬 ( Cr ) , 망간 ( Mn ) , 철 ( Fe ) , 지르코늄 ( Zr ) , 니오븀 ( Nb ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 팔라듐 ( Pd ) , 하프늄 ( Hf ) , 탄 탈륨 ( Ta ) 및 텅스텐 ( W ) 등 으로부터 선택 되 는 1 종 이상 의 금속 을 포함 하 는 구리 합금 막 등 을 들 수 있 다 .