이어서 , 열처리 를 실시 하 여 금속 실리사이드 층 ( 25 ) 을 형성 한다 . 금속 실리사이드 층 ( 25 ) 은 제 1 플러그 ( 24 ) 의 일부 와 금속 층 이 반응 하 여 형성 되 는 것 으로 , 금속 실리사이드 층 ( 25 ) 이 형성 되 면서 제 1 플러그 ( 24 A ) 는 일부 두께 잔류 한다 . 금속 실리사이드 층 ( 25 ) 은 티타늄 실리사이드 층 , 코발트 실리사이드 층 , 니켈 실리사이드 층 및 몰리브덴 실리사이드 층 으로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 일 수 있 다 .