다음 에 각각 의 조건 으로 성막 된 산화알루미늄 막 의 표면 에 대해 원자간력 현미경 ( AFM : Atomic Force Microscopy ) 을 사용 하 여 측정 을 행했 다 . 그 후 에 각각 의 조건 으로 성막 된 산화알루미늄 을 사용 하 여 , 단결정 실리콘 기판 과 유리 기판 을 본 딩 시켜서 , 밀착 성 을 관찰 했 다 . 여기 에서 는 , 본딩 을 시작 한 후 , 단결정 실리콘 기판 위 에 형성 된 산화 실리콘 막 과 유리 기판 위 에 형성 된 산화알루미늄 막 의 전체 면 이 밀착 할 때 까지 의 속도 를 측정 하 여 비교 를 행했 다 .