제 1 홈 ( 159 A 1 ) 은 제 1 메모리 패턴 ( 123 P 1 ) 의 측벽 을 개구 하 도록 제 1 메모리 패턴 ( 123 P 1 ) 과 코 어절 연막 ( 127 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 홈 ( 159 A 1 ) 은 제 1 메모리 패턴 ( 123 P 1 ) 을 사이 에 두 고 도 5 d 에 도시 된 게이트 적층 체 ( 150 ) 의 측벽 에 마주 할 수 있 다 . 채널 막 을 식각 하 는 동안 , 제 1 메모리 패턴 ( 123 P 1 ) 이 도 5 d 에 도시 된 게이트 적층 체 ( 150 ) 의 도전 패턴 들 ( 143 ) 중 최하층 도전 패턴 이 노출 되 지 않 도록 보호막 역할 을 할 수 있 다 .