채널 연결 패턴 ( 330 ) 은 기판 ( 100 ) 상 에 형성 되 어 상기 제 3 방향 으로 서로 이웃 하 는 상기 분리 구조물 들 사이 에서 상기 제 2 방향 으로 연장 되 어 각 채널 들 ( 260 ) 의 하부 외측 벽 에 접촉 할 수 있 으며 , 상기 제 3 방향 을 따라 서로 이격 되 도록 복수 개 로 형성 될 수 있 다 . 채널 연결 패턴 ( 330 ) 은 예 를 들 어 , n 형 의 불순물 이 도핑 된 폴리 실리콘 을 포함 할 수 있 다 . 한편 , 채널 연결 패턴 ( 330 ) 의 내부 에 는 에어 갭 ( 340 ) 이 형성 될 수 있 다 .