또 , 실시 예 1 과 비 교예 4 의 결과 에서 명백 한 바 와 같이 , 알칼리 로서 유기 아민 ( TMAH ) 을 사용 하 였을 경우 에 , Cu 는 전혀 에칭 되 지 않 았 고 , 또 Ti 도 거의 에칭 되 지 않 았 으나 , 알칼리 로서 본 발명 < 1 > 에 관한 에칭 제 에서 의 무기 알칼리 ( KOH ) 를 사용 하 였을 경우 에 는 , Ti 를 선택 적 으로 에칭 할 수 있 다는 것 , 즉 , Cu 가 거의 에칭 되 지 않 고 Ti 를 효율 적 으로 에칭 하 는 것 을 알 수 가 있 었 다 .