이어서 , 조사량 변조 율 산출 공정 ( S 132 ) 으로서 , 변조 율 산 출부 ( 114 ) 는 , 각 화소 의 다중 묘화 의 노광 마다 , 대응 하 는 빔 의 노광 시간 의 변조 율 을 산출 한다 . 여기 서 변조 율 은 , 빔 위치 이탈 량 맵 과 , 빔 전 류량 맵 으로부터 다음 과 같이 산출 된다 . 빔 위치 이탈 량 맵 과 각 화소 의 다중 묘화 의 노광 마다 의 빔 의 관계 로부터 , 기판 ( 101 ) 이 받 는 도스 분포 에 빔 위치 이탈 의 영향 이 나타나 지 않 도록 하 기 위한 조사량 보정 계산 을 행하 고 , 위치 이탈 량 보정 을 위한 조사량 의 변조 율 을 , 각 화소 의 다중 묘화 의 노광 마다 산출 한다 . 변조 율 산 출부 ( 114 ) 는 , 각 화소 의 다중 묘화 의 노광 마다 , 각 화소 를 노광 하 는 빔 의 전 류량 을 , 빔 전 류량 맵 을 참조 하 여 구하 고 , 빔 의 전 류량 을 보정 하 기 위한 노광 시간 의 변조 율 을 산출 한다 .