척 테이블 ( 11 ) ( 유지 테이블 의 일례 ) 은 , 웨이퍼 ( 100 ) 를 흡착 유지 하 는 유지 면 ( 11 a ) 을 구비 하 고 , 모터 ( 19 ) 에 연결 되 어 회전 가능 하 게 설치 되 고 있 다 . 또한 , 척 테이블 ( 11 ) 은 , 볼 나사 ( 20 ) , 너트 , 펄스 모터 ( 21 ) 등 에 의한 주지 구성 의 X 축 이동 수단 ( 22 ) 에 의해서 유지 면 ( 11 a ) 에 대해서 수평 방향 이 되 는 X 축 방향 으로 이동 가능 하 게 설치 된다 . 이 에 따라 , 가공 장치 ( 10 ) 는 , 척 테이블 ( 11 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 100 ) 를 , 촬상 유닛 ( 12 ) 이나 가공 유닛 ( 13 ) 에 대해서 상대 적 으로 X 축 방향 으로 이동 시킬 수 있 다 .