발수 , 발유 성 에 관련 해서 , 플 루 오로 알킬기 함유 ( 메타 ) 아크릴 레이트 단량체 와 실리콘 쇄 함유 에틸렌 성 불포화 단량체 의 공중 합체 를 함유 하 는 포토레지스트 조성물 이 개시 되 어 있 고 , 포토레지스트 조성물 고형분 에 대하 여 0 . 001 ~ 0 . 05 질량 ％ 범위 의 공중 합체 의 첨가 가 기재 되 어 있 다 ( 예 를 들 면 일본 특허 공개 평 9 - 54432 호 공보 참조 ) .