또한 , 여기 서 는 , 소정 역치 로서 하나 의 역치 가 설정 되 고 , 그 역치 와 의 대소 관계 를 처리 분포 정보 판 단부 ( 221 f ) 가 판단 하 는 경우 를 예 로 들 지만 , 반드시 이것 에 한정 되 지 는 않 는다 . 즉 , 테이블 ( 221 g ) 에 는 , 소정 역치 로서 복수 의 역치 가 설정 되 어 있 어도 된다 . 복수 의 역치 가 설정 되 어 있 는 경우 에 는 , 예 를 들 어 각각 의 역치 에 따라서 웨이퍼 ( 200 ) 가 복수 의 다른 높이 ( 거리 ) 에 위치 하 도록 , 서 셉 터 승강 기구 ( 268 ) 에 의한 서 셉 터 ( 217 ) 의 승강 동작 을 제어 하 는 것 이 실현 가능 하 게 된다 .