또한 , 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 는 상기 제 2 압력 측 정부 ( 542 ) 에서 측정 되 는 압력 을 기반 으로 상기 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 하 는 연마 액 의 압력 을 조절 하 여 주 는 압력 조 절부 ( 550 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 상세히 설명 하 면 , 제 2 순환 부 ( 500 ) 는 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 에서 이송이 시작 된 연마 액 이 피 공급 장치 ( M ) 를 통해 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 되 는 순환 유로 를 가진다 . 이때 순환 되 는 연마 액 은 각각 의 상기 피 공급 장치 ( M ) 에서 필요 한 시점 에 뽑 아 사용 하 게 된다 . 이때 , 복수 개 의 피 공급 장치 ( M ) 가 동시 에 연마 액 을 사용 할 경우 순환 되 는 연마 액 의 양 이 줄어들 게 되 어 연마 액 을 일정 한 속도 로 순환 시킬 경우 , 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 하 는 연마 액 의 압력 이 낮 아 지 며 일부 피 공급 장치 ( M ) 로 공급 되 는 연마 액 의 양 이 부족 하 게 되 는 문제 가 발생 할 수 있 으므로 , 본 발명 에서 는 상기 제 2 압력 측 정부 ( 542 ) 에서 측정 되 는 압력 이 일정 이하일 경우 상기 압력 조 절부 ( 550 ) 에서 유로 의 단면적 을 감소 시켜 피 공급 장치 ( M ) 를 통과 하 는 제 2 순환 부 ( 500 ) 를 통과 하 는 연마 액 이 충분 한 압력 을 가질 수 있 게 한 것 이 다 .