최적 의 대상물 평면 에서 이미지 의 품질 에 관한 z - 오프셋 의 영향 을 보상 하 고 , 비 - 선형 함수 를 결정 하 기 위하 여 , 레티 클 의 높이 및 경사 데이터 에 대응 하 는 제 1 데이터 세트 가 제 1 그리드 상 에서 결정 되 고 ; 레티 클 스테이지 설정 점 들 의 개수 에 대응 하 는 제 2 데이터 세트 가 제 2 그리드 상 에서 결정 되 며 ; 설정 점 들 의 시퀀스 가 비 - 선형 함수 에 의해 피팅 된다 . 이 실시 예의 자세 한 설명 은 도 4 와 관련 하 여 행해진다 .