선택 적 으로 , 드레 인 선택 레벨 격리 구조물 들 ( 72 ) 이 , 절연 캡 층 ( 70 ) , 및 드레 인 선택 레벨 들 에 위치 된 희생 재료 층 들 ( 42 ) 의 서브 세트 를 통해 형성 될 수 있 다 . 드레 인 선택 레벨 격리 구조물 들 ( 72 ) 은 , 예 를 들 어 , 드레 인 선택 레벨 격리 트렌치 들 을 형성 하 고 드레 인 선택 레벨 격리 트렌치 들 을 실리콘 산화물 과 같 은 유전체 재료 로 충전 함 으로써 형성 될 수 있 다 . 유전체 재료 의 잉여 부분 들 은 절연 캡 층 ( 70 ) 의 상부 표면 위 로부터 제거 될 수 있 다 .