상기 구동 부 ( 130 ) 의 구동 에 따라 상기 가열 플레이트 ( 110 ) 가 이송 된 상기 기판 을 향해 상승 한다 . 이때 , 상기 제 2 지지 부재 ( 150 ) 가 상기 축 ( 160 ) 에 의해 가이드 되 므로 상기 제 1 지지 부재 ( 120 ) 및 상기 가열 플레이트 ( 110 ) 의 흔들림 이 방지 된다 . 상기 가열 플레이트 ( 110 ) 의 흔들림 에 의한 상기 기판 가열 유닛 ( 100 ) 의 작동 중단 을 방지 할 수 있 다 .