상판 ( 81 ) 및 바닥 판 ( 82 ) 은 , 중앙 영역 에 각각 개구 ( 81 a ) 및 개구 ( 82 a ) 를 갖 는 원환 형상 으로 형성 되 어도 좋 다 . 또한 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 는 , 지주 ( 83 ) 외 에 , 필요 에 따라서 보강 기둥 을 구비 하 고 있 어도 좋 다 . 보강 기둥 은 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 의 강도 를 높이 기 위해 보강 용 으로 설치 되 는 지지 기둥 이 며 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 는 지 지부 ( 84 ) 를 갖 지 않 는다 . 예컨대 , 중심 안쪽 의 지주 ( 83 a ) 와 좌측 의 지주 ( 83 b ) 사이 , 및 중심 안쪽 의 지주 ( 83 a ) 와 우측 의 지주 ( 83 c ) 사이 에 , 보강 기둥 을 1 개 씩 설치 하 는 구성 으로 해도 좋 다 . 또 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 는 웨이퍼 보 우트 지지대 와 동일 한 재질 인 석영 을 포함 하 며 , 용도 에 따라서 여러 가지 재료 로 구성 될 수 있 다 .