본 발명 에 따른 중공 음극 방전 스퍼터링 시스템 은 금속 과 비금속 을 포함 한 다양 한 재질 의 증착 층 ( 401 ) 을 상기 기판 ( 40 ) 상 에 형성 할 수 있 다 . 그리고 , 상기 음극 어셈블리 ( 21 ) 의 재질 은 증착 하 고자 하 는 원자 의 종류 에 따라 다양 하 게 구현 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 증착 하 고자 하 는 원자 가 알루미늄 일 경우 , 상기 음극 어셈블리 ( 21 ) 는 알루미늄 으로 제작 될 수 있 다 . 또한 , 증착 하 고자 하 는 원자 가 스테인 레스 스틸 일 경우 , 상기 음극 어셈블리 ( 21 ) 는 스테인 레스 스틸로 제작 될 수 있 다 . 필요 할 경우 , 상기 음극 어셈블리 ( 21 ) 를 알루미늄 으로 제작 하 고 , 음극 어셈블리 ( 21 ) 의 내벽 에 스테인 레스 스틸 코팅 층 을 형성 할 수 도 있 다 .