여기 서 , 본 발명 에 따른 반도체 소자 의 스 크 라 이브 영역 내 의 패턴 으로 얼라인먼트 키 에 대해서 설명 하 며 , 이 는 반도체 웨이퍼 의 정렬 을 목적 으로 하 는 얼라인먼트 키 뿐 만 아니 라 , 적층 구조 를 가지 는 소자 에서 이전 단계 와 현재 단계 사이 의 층간 정렬 상태 를 나타내 는 지수 로서 오버레이 마크 ( overlay mark ) 도 적용 될 수 있 다 .