16 . 단계 12 - 15 를 총 6 개 의 사이클 만큼 반복 적 으로 수행 하 여 , 전자 차단 층 상 에 정공 주입 층 을 형성 하 여 , 자외선 LED 에피택시 얼 웨이퍼 를 획득 한다 . 여기 서 정공 주입 층 은 6 개 의 서브 층 을 포함 하 되 , 서브 층 각각 은 적층 설치 된 P 형 AluGa 1 - uN 층 및 P 형 AlvGa 1 - vN 층 을 포함 한다 .