처리 용기 내 에 실리콘 함유 가스 를 공급 하 는 방법 으로서 는 , 공정 S 11 과 마찬가지 로 , 예 를 들 어 저류 탱크 에 저류 된 실리콘 함유 가스 를 , 처리 용기 와 저류 탱크 의 사이 에 마련 된 밸브 의 개폐 에 의해 처리 용기 내 에 공급 하 는 방법 을 이용 할 수 있 다 . 이렇게 저류 탱크 에 저류 된 실리콘 함유 가스 를 , 처리 용기 와 저류 탱크 의 사이 에 마련 된 밸브 의 개폐 에 의해 처리 용기 내 에 공급 하 는 경우 , 밸브 의 개폐 시간 · 횟수 에 따라 실리콘 함유 가스 의 유량 및 유속 을 제어 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 실리콘 함유 가스 의 유량 및 유속 의 제 어성 이 향상 된다 . 또한 , 밸브 를 열 어 가스 덩어리 가 처리 용기 내 에 도입 된 후 , 단시간 에 밸브 가 폐쇄 되 기 때문 에 , 연속 해서 가스 를 공급 하 는 경우 에 비해 , 후속 가스 의 압력 의 영향 을 받 지 않 아 , 상기 가스 덩어리 가 처리 용기 내 에서 보다 균등 하 게 확산 한다 . 그 때문 에 , 실리사이드 화 의 면내 균일성 이 향상 된다 .