선형 액추에이터 ( 67 ) 는 위치 설정 모터 와 볼 스크루 의 조합 또는 공기 실린더 를 포함 할 수 있 다 . 선형 액추에이터 ( 67 ) , 레일 ( 63 ) 및 안 내부 ( 62 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 반경 방향 을 따라 연마 헤드 ( 30 ) 를 선형 이동 시키 기 위한 이동 기구 를 구성 한다 . 특히 , 이동 기구 는 웨이퍼 ( W ) 를 향한 그리고 웨이퍼 로부터 멀 어 지 는 방향 으로 레일 ( 63 ) 을 따라 연마 헤드 ( 30 ) 를 이동 시키 도록 작동 한다 . 한편 , 테이프 공급 및 회수 기구 ( 2 A ) 는 기부 플레이트 ( 65 ) 에 고정 된다 .