흡 착면 ( 73 ) 이 웨이퍼 ( W ) 를 유지 한 후 , 도 11 에 나타내 는 바 와 같이 , 기울기 변경 수단 ( 85 ) 이 , 반송 아암 ( 74 ) 의 상면 ( 74 a ) 에 있 어서 반송 아암 ( 74 ) 의 선단 방향 ( + X 방향 ) 으로 이동 함 으로써 , 상면 ( 74 a ) 과 연결부 ( 76 ) 의 직경 확대 부 ( 81 ) 사이 에 , 웨 지부 ( 86 ) 를 진입 시켜 간다 .