또한 , 상기 에서 는 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 에서 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 이 인출 되 고 , 상기 제 2 카세트 ( 32 ) 에 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 이 적재 되 는 것 으로 설명 되 었 지만 , 상기 제 1 카세트 ( 30 ) 및 상기 제 2 카세트 ( 32 ) 각각 에서 상기 제 1 이 송부 ( 430 ) 에 의해 상기 웨이퍼 링 ( 26 ) 들 의 인출 과 적재 가 모두 이루어질 수 도 있 다 .