입구 필터 ( 40 ) 에 의해서 정화 된 기체 는 하우징 체부 ( 20 ) 내 의 앞쪽 유로 ( 32 ) 에 유입 한다 . 앞쪽 유로 ( 32 ) 에 유입 한 정화 기체 는 송풍기 ( 60 ) 를 개재 해서 수납부 ( 10 ) 의 전실 ( 12 ) 에 유입 된다 . 전실 ( 12 ) 에 유입 한 정화 기체 는 더욱 내부 필터 ( 50 ) 를 개재 해서 수 납실 ( 13 ) 에 유입 된다 .