본 실시 예 에 의하 면 , 상기 와 같이 경시 변화 에 따라서 투영 광학계 의 구면 수차 가 변화 되 었 다고 해도 , 투영 광학계 의 구면 수차 를 측정 할 수 있 다 . 투영 광학계 의 구면 수차 는 , 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 항상 일정 한 조명조 건하 에서 의 베스트 포커스 위치 와 , 구면 수차 에 대해서 베스트 포커스 위치 가 일차 적 으로 변화 하 는 구면 수차 측정 용 의 조명조 건하 에서 의 베스트 포커스 위치 간 의 차분 으로부터 구할 수 있 다 .