도 1 및 도 2 를 참조 하 여 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 웨이퍼 자동 도금 시스템 의 도금 및 도금액 제거 장치 를 설명 하 면 , 로딩 장치 ( 20 ) 에서 적재 된 피 도금 면 을 가진 웨이퍼 ( 1 a ) 를 반송 장치 ( 30 ) 로 인출 하 여 도금액 ( 2 ) 이 환류 되 는 도금 부 ( 510 ) 의 도금 조 ( 520 ) 로 이송 해 침 적 도금 하 고 , 도금 된 웨이퍼 ( 1 b ) 를 정수 된 물 ( 3 ) 로 바람직 하 게 는 , 세 정수 를 사용 하 여 세정 하 는 구조 로 , 장방형 의 하우징 ( 10 ) 과 , 상기 하우징 ( 10 ) 의 내부 에 장착 되 며 피 도금 면 을 가진 웨이퍼 ( 1 a ) 가 적재 되 는 로딩 장치 ( 20 ) 와 , 상기 로딩 장치 ( 20 ) 에 적재 된 피 도금 웨이퍼 ( 1 a ) 를 인출 하 여 도금 및 언로 딩 을 위한 장치 들 로 순차 적 으로 반송 하 는 반송 장치 ( 30 ) 와 , 상기 반송 장치 ( 30 ) 에 의해 반송 된 피 도금 웨이퍼 ( 1 a ) 를 정렬 하 는 정렬 장치 ( 40 ) 와 , 상기 정렬 된 피 도금 웨이퍼 ( 1 a ) 를 도금 처리 하 기 위해 반송 장치 로 인출 하 여 도금액 이 환류 되 는 도금 부 ( 510 ) 의 도금 조 ( 520 ) 로 이송 해 침 적 도금 하 고 , 도금 된 웨이퍼 ( 1 b ) 에 묻 은 도금액 을 승강 캡 부 ( 560 ) 의 질소 가스 분사 노즐 ( 576 ) 로 질소 가스 를 고압 분사 하 여 제거 하 는 도금 및 도금액 제거 장치 ( 500 ) 와 , 상기 도금 및 도금액 제거 장치 ( 500 ) 에서 도금 및 도금액 제거 처리 된 웨이퍼 ( 1 c ) 를 흡착 및 회전 시켜 정수 된 물 로 세정 한 후 , 세정 된 웨이퍼 에 묻 은 물 을 바로 고속 회전 으로 탈수 하 여 건조 시키 는 세정 장치 ( 600 ) 와 , 상기 세정 장치 ( 600 ) 에서 세정 처리 된 웨이퍼 ( 1 d ) 가 외부 로 반출 되 도록 반송 장치 ( 30 ) 에 의해 반송 적재 되 는 언로 딩 장치 ( 70 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .