건식 진공 펌프 는 제품 의 제조 시 청정 한 환경 및 / 또는 저압 환경 을 제공 하 기 위해 산업 프로세스 에서 광범위 하 게 사용 된다 . 적용 대상 은 제약 , 반도체 및 플랫 패널 제조 산업 을 포함 한다 . 이러 한 펌프 는 본질 적 으로 건식 ( 또는 오일 이 없 는 ) 펌핑 메카 니즘 을 포함 하 지만 , 효과 적 이 기 위해서 는 윤활 을 필요 로 하 는 펌핑 메카 니즘 을 구동 시키 기 위한 베어링 및 변속 기어 와 같 은 몇몇 의 구성 요소 를 포함 할 수 도 있 다 . 건식 펌프 의 예 는 루츠 ( Roots ) , " 노데이 ( Northey ) [ 또는 "" 클로 ( claw ) ""] 스 크류 및 스크롤 펌프 를 포함 한다 . 루츠 및 / 또는 노데이 로터 구성 요소 를 포함 하 는 건식 펌프 는 일반 적 으로 맞물림 로터 구성 요소 의 각각 의 쌍 을 각각 수용 하 는 복수 의 펌핑 챔버 를 형성 하 는 스테이 터 구성 요소 를 포함 하 는 다중 스테이지 포지티브 변위 펌프 이 다 . 로터 구성 요소 는 역회전 샤프트 상 에 위치 되 며 ", 각각 의 챔버 내 에 동일 한 타입 의 프로 파일 을 가질 수 있 거나 , 또는 프로파일 이 챔버 마다 변경 될 수 있 다 .