도 5 에서 는 , x 방향 으로 4 개 의 멀티 빔 이 존재 하 고 빔 사이즈 의 4 배 의 간격 으로 배열 되 어 있 는 예 를 나타낸다 . y 방향 으로 4 행 또는 상이 한 행의 멀티 빔 이 존재 하 고 있 어도 되 지만 , 각 행의 멀티 빔 은 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 폭 에 대응 하 는 , 빔 피치 폭 의 영역 을 묘화 하 므로 , 도 5 는 복수 행 있 는 멀티 빔 어레이 중 , 어느 행의 빔 어레이 와 , 이 들 이 노광 해야 하 는 화소 를 나타낸다고 생각 해도 된다 .