먼저 도 8 을 참조 하 면 , 종래 의 방법 을 이용 하 여 매립 절 연막 을 증착 하 는 경우 , 보론 ( B ) 및 포스 포 러스 ( P ) 의 농도 가 고루 분포 하 고 있 는 것 을 확인 할 수 있 다 . 다음 에 열처리 를 진행 하 면 도 9 에 도시 한 바 와 같이 , 불순물 이 확산 되 는 것 을 확인 할 수 있 다 . 이 에 대하 여 본 발명 의 실시 예 에 따라 매립 절 연막 을 증착 한 후 측정 한 SIMS 프로파일 데이터 인 도 10 을 참조 하 면 , 보론 ( B ) 의 농도 와 포스 포 러스 ( P ) 의 농도 가 구분 되 어 있 다 . 이 에 따라 매립 절 연막 이 비에스 지 ( BSG ) 막 , 피에스 지 ( PSG ) 막 및 비피 에 스지 ( BPSG ) 막 으로 구분 되 어 형성 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , 열처리 공정 을 진행 한 후 측정 한 데이터 인 도 11 을 참조 하 면 , 열처리 후 에 도 매립 절 연막 의 깊이 에 따라 보론 ( B ) 의 농도 및 포스 포 러스 ( P ) 의 농도 분포 가 확실 하 게 구분 되 며 , 이 는 확산 방지 막 에 의해 불순물 의 과도 확산 이 방지 되 는 것 으로 이해 될 수 있 다 .