시판 되 는 유리 기판 ( 코닝 사 제조 , 유리판 # 1737 , 세로 10 ㎝ × 가로 10 ㎝) 에 모델 오염 물질 로서 n - 트리 아콘 탄 ( 도쿄 화성 공업 주식회사 제조 ) 10 ㎎ 을 70 ℃ 의 핫 플레이트 ( PMC Industries 사 제조 , 디지털 핫 플레이트 시리즈 730 ) 상 에서 1 분 간 융 착 시킴 으로써 , 오염 기판 을 제조 하 였 다 . 세정제 1000 g 을 2 ℓ 의 유리제 비커 에 취하 고 , 제조 한 오염 기판 을 침지 하 고 , 초음파 세 정기 ( 200 ㎑) 내 에서 30 ℃, 5 분 간 세정 하 였 다 . 세정 후 , 기판 을 꺼내 초 순수 로 충분히 린스 를 실시 한 후 , 질소 가스 로 블로우 하 여 건조 시키 고 , 하 기 평가 점 에 따라 , 기판 표면 의 세정 성 을 미분 간섭 현미경 ( Nikon 사 제조 , OPTIPHOT - 2 , 배율 400 배 ) 으로 평가 하 였 다 . 또한 , 본 평가 는 대기 로부터 의 오염 을 방지 하 기 위해 , 클래스 1 , 000 ( FED - STD - 209 D , 미국 연방 규격 , 1988 년 ) 인 클린 룸 내 에서 실시 하 였 다 .