구체 적 으로 는 , 정 합기 ( 274 ) 는 , RF 센서 ( 272 ) 에서 검출 된 플라스마 가 발생 했 을 때 의 공진 코일 ( 212 ) 로부터 의 반사파 전력 에 기초 하 여 , 반사파 전력 이 최소 가 되 도록 고주파 전원 ( 273 ) 의 임피던스 혹은 출력 주파수 를 증가 또는 감소 시킨다 . 임피던스 를 제어 하 는 경우 , 정 합기 ( 274 ) 는 , 미리 설정 된 임피던스 를 보정 하 는 가변 콘덴서 제어 회로 에 의해 구성 되 고 , 주파수 를 제어 하 는 경우 , 정 합기 ( 274 ) 는 , 미리 설정 된 고주파 전원 ( 273 ) 의 발진 주파수 를 보정 하 는 주파수 제어 회로 에 의해 구성 된다 . 또한 , 고주파 전원 ( 273 ) 과 정합 기 ( 274 ) 는 일체 로서 구성 되 어도 된다 .