상기 목적 을 이루 기 위한 본 발명 은 , 플라 즈 마 가공 장치 의 챔버 에 설치 되 고 , 내부 가 상하 방향 으로 통공 된 다수 의 제 1 냉각기 체이 동로 가 형성 된 척 , 다수 의 웨이퍼 안착 홈 이 형성 되 고 , 상기 웨이퍼 안착 홈 저면 에 제 2 냉각기 체이 동로 가 통공 되 어 상기 척 의 상측 에 설치 된 트레이 , 상기 웨이퍼 안착 공 에 대응 되 는 웨이퍼 가공 홀 이 통공 되 어 상기 트레이 의 상측 을 덮 는 트레이 커버 부 , 상기 척 의 상단 가장자리 와 상기 트레이 의 웨이퍼 안착 홈 상단 가장자리 에 설치 되 는 실링 부재 , 상기 트레이 커버 를 하측 으로 가압 하 여 상기 척 과 트레이 및 트레이 커버 를 고정 시키 는 클램프 부 , 및 상기 트레이 의 웨이퍼 안착 홈 에 냉각 기체 가 공급 되 도록 상기 제 1 냉각기 체이 동로 와 제 2 냉각기 체이 동로 에 냉각 기체 를 공급 하 는 냉각기 체공 급부 를 포함 하 여 이루어진다 .