도 1 은 본 발명 의 1 측면 에 의한 측정 장치 ( 1 ) 을 도시 된 개략 단면도 이 다 . 측정 장치 ( 1 ) 는 피검 광학계 ( TOS ) 에 의해 발생 되 는 플레어 를 측정 한다 . 본 실시 형태 에서 , 피검 광학계 ( TOS ) 는 노광 장치 에 사용 되 는 투영 광학계 이 며 , 상기 측정 장치 ( 1 ) 는 상기 투영 광학계 에 의해 발생 된 로컬 플레어 를 측정 한다 . 로컬 플레어 는 , 수렴 각도 가 작 고 , 피검 광학계 ( TOS ) 의 상면 에 있 어서 , 입사광 의 극 주변 ( 1 ㎛ 내지 수십 ㎛ 이내 의 범위 ) 에 분포 한다 . 측정 장치 ( 1 ) 는 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 조명 장치 ( 10 ) , 측정 마스크 ( 20 ) , 및 측 정부 ( 30 ) 를 구비 한다 .