하 기 표 1 의 섬유 사 또는 섬유 직물 을 다발 ( 110 ) 상태 로 회전 하 면서 , 반응기 ( 120 ) 의 내부 온도 를 50 ~ 300 ℃ 범위 로 유지 하 되 , 섬유 사 또는 섬유 직물 의 녹는점 보다 5 ~ 150 ℃ 낮 게 설정 하 고 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 130 ) 내 의 플 라즈 마 출력 밀도 를 2 . 0 W / cm 2 로 고정 한다 . 고주파 유도 열 플 라즈 마 로서 , 통상 적 인 주파수 인 13 . 56 MHz 의 주파수 를 사용 하 고 , 대기압 상태 로 , 플라 즈 마 발생 장치 를 이용 하 여 고순 도 산소 ( O 2 , 99 %) 200 sccm 을 넣 어 주 면서 플 라즈 마 를 발생 시켜 반응기 ( 120 ) 에서 저온 플 라즈 마 를 실시 한다 .