도 11 , 도 12 에 나타내 는 바 와 같이 제조 장치 ( 50 A ) 는 , 상류 측 으로부터 하류 측 을 향하 여 , 공급 측 안내 롤러 ( 51 ) 와 , 안내판 ( 52 ) 과 , 종 광 기구 ( 53 ) 와 , 셔틀 기구 ( 54 ) 와 , 바디 기구 ( 55 ) 와 , 제 1 도포 기구 ( 57 ) 겸 제 2 도포 기구 ( 58 ) 인 도포 기구 ( 56 ) 와 , 반도체 소자 공급 기구 ( 59 ) 와 , 가열 기구 ( 61 ) 와 , 가열 가압 기구 ( 65 ) 와 , 인출 기구 ( 63 ) 를 구비 하 고 있 는데 , 상기 실시 예 1 로부터 보호막 피복 기구 ( 62 ) 를 생략 하 고 가열 가압 기구 ( 65 ) 를 추가 한 것 이외 에 는 , 상기 실시 예 1 과 같 으므로 , 상기 실시 예 1 과 같 은 구성 요소 에 대해서 는 같 은 부호 를 사용 하 여 그 에 대한 설명 을 생략 하 고 , 가열 가압 기구 ( 65 ) 에 대해서 만 설명 하 기 로 한다 .