여기 서 , 본 발명 에 있 어서 의 코발트 용출량 이란 , 이하 의 조작 에 의해 구해진다 . 즉 , 코발트 또는 코발트 합금 을 함유 하 는 배선 및 전극 중 의 적어도 하나 를 갖 는 반도체 디바이스 용 기판 을 가로 세로 20 ㎜ 로 컷 하 고 ( 그 컷 후 의 기판 에 는 코발트 가 360 ㎍ 이상 함유 되 어 있 다 ) , 그것 을 본 발명 의 세정제 조성물 20 ㎖ 중 에 25 ℃ 의 조건 하 에서 30 분 간 침지 시킨다 . 그 후 , 그 컷 후 의 기판 을 꺼내 , 침지 후 의 세정제 조성물 중 의 코발트 농도 를 ICP 발광 분석 장치 에 의해 측정 하 여 , 코발트 용출량 ( ppb ) 을 구할 수 있 다 .