( 4 ) 극 박 압전체 의 두께 는 이온 주입 할 때 의 에너지 로 정해진다 . 따라서 , 연마 와 같이 기판 의 굴곡 에 두께 가 좌우 될 일 이 없 어 , 극 박 압전체 라도 안정 된 두께 가 얻 어 진다 . 압전체 박막 의 두께 는 SAW 의 음속 ( 주파수 = 음속 / 파장 이 므로 주파수 가 결정 된다 ) 을 결정 하 므로 중요 하 다 . 본 발명 의 복합 압 전 기판 은 일정 한 두께 의 압 전 박막 을 형성 할 수 있 으므로 , SAW 디바이스 의 특성 이 안정 된다 .