또한 , 상기 반응 실 ( R ) 의 바닥 면 가장자리 에 는 복수 개 의 배기 홀 ( 111 ) 이 형성 될 수 있 다 . 배기 홀 ( 111 ) 은 소스 가스 영역 ( SA ) 과 대응 하 는 부분 에 형성 된 제 1 배기 홀 ( 111 a ) 및 반응 가스 영역 ( RA ) 과 대응 하 는 부분 에 형성 된 제 2 배기 홀 ( 111 b ) 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 여기 서 , 제 1 , 2 배기 홀 ( 111 a , 111 b ) 은 서 셉 터 ( 120 ) 의 하부 에 위치 하 는 것 이 효과 적 이 다 .