본 발명 의 목적 은 , 상술 한 종래 기술 에 따른 문제점 을 해결 하 기 위한 것 으로서 , 플라 즈 마를 이용 한 반도체 제조 설비 에서 플 라즈 마 크린 공정 이 세팅 되 어 있 지 않 을 시 파티클 로 인한 품질 사고 를 예방 할 수 있 는 플 라즈 마 를 이용 한 반도제 제조 설비 및 그 설비 의 플 라즈 마 크린 설정 에러 방지 방법 을 제공 함 에 있 다 .