향상 된 특성 을 갖 는 질화 알루미늄 소 결체 및 이 를 포함 하 는 반도체 제조 장치 용 부재 에서 , 질화 알루미늄 소 결체 는 산화 이트륨 , 산화 알루미늄 , 산화 티타늄 및 질화 알루미늄 을 포함 하 며 산화 알루미늄 에 대한 산화 이트륨 의 중량 비 가 0 . 01 내지 0 . 7 이 다 . 상기 질화 알루미늄 소 결체 는 존슨 - 라벡 형 정전 척 으로 사용 되 기 에 적합 한 체적 저항 값 , 우수 한 열전도 성 및 명도 를 갖 는다 .