이하 , 첨부 된 도면 을 참조 하 여 본 발명 의 일실 시예 에 따른 구조 를 상세 하 게 설명 한다 . 도 1 b 는 본 발명 의 일실 시예 따라 웨이퍼 가 장착 된 프레임 구조 를 도시 한 평면도 , 도 2 b 는 본 발명 의 일실 시예 에 따라 웨이퍼 가 장착 된 링 프레임 과 다 이싱 설비 의 척 ( Chuck ) 구조 를 도시 한 사시도 , 도 3 은 본 발명 의 일실 시예 에 따라 웨이퍼 가 장착 된 프레임 과 다 이싱 설비 의 척 ( Chuck ) , 그리고 베이스 구조 를 도시 한 단면도 이 다 .