웨이퍼 ( W ) 는 게이트 밸브 ( 52 ) 를 개폐 시켜 반입 · 반출 된다 . 단 , 게이트 밸브 ( 52 ) 는 챔버 ( 10 ) 의 외측 ( 반송 실측 ) 에 배치 되 어 있 기 때문 에 , 개구부 ( 51 ) 가 반 송실 측 으로 개구 된 공간 이 측벽 에 형성 된다 . 그 때문 에 , 챔버 ( 10 ) 내 에서 생성 한 플 라즈 마 가 그 공간 까지 확산 되 어 , 플 라즈 마의 균일성 의 악화 나 게이트 밸브 ( 52 ) 의 시일 부재 의 열화 가 일어난다 . 그 때문 에 , 밸브 체 ( 81 ) 에 의해 제 1 데포 실드 ( 71 ) 와 , 제 2 데포 실드 ( 72 ) 사이 를 차단 하 는 것 에 의해 , 챔버 ( 10 ) 의 개구부 ( 51 ) 와 플라 즈 마 생 성 공간 ( S ) 을 차단 한다 . 또한 , 밸브 체 ( 81 ) 를 구동 하 는 승강 기구 ( 82 ) 가 , 예 를 들 면 제 2 데포 실드 ( 72 ) 의 하방 에 배치 된다 . 밸브 체 ( 81 ) 는 , 승강 기구 ( 82 ) 에 의해 상하 로 구동 되 며 , 제 1 데포 실드 ( 71 ) 와 , 제 2 데포 실드 ( 72 ) 사이 , 즉 개구부 ( 51 ) 를 개폐 한다 . 또한 , 밸브 체 ( 81 ) 및 승강 기구 ( 82 ) 를 통합 하 여 셔터 기구 ( 80 ) 라 칭하 여도 좋 다 .