먼저 , 각 패턴 들 에 대한 EL 값 을 산출 하 기 위해 도 4 b 에 도시 된 바 와 같이 , 목표 선폭 값 과 동일 한 선폭 을 가지 는 테스트 마스크 를 노광 에너지 를 변경 시켜 가 면서 노광 시켰 을 때 변화 되 는 선폭 값 을 측정 하 여 그 값 들 을 도시 한다 . 도시 된 예 에서 는 각 패턴 들 에 대해 노광 에너지 를 7 번 변경 시켜 가 면서 노광 했 을 때 각각 의 경우 변화 되 는 선폭 의 값 을 도시 하 였 다 . 이때 EL 의 값 은 각 그래프 에서 의 기울기 값 으로 정의 된다 .