이러 한 세라믹 판 ( 10 ) 은 얇 게 하 여도 휨 이나 왜곡 이 발생 하 지 않 고 , 온도 제어 가 신속 , 용이 하 며 , 특히 발열체 에 인가 하 는 전압 이나 전류 를 변화 시켜 온도 제어 를 할 때 의 응답 성 이 우수 하 다는 장점 이 있 다 . 또한 , 세라믹 판 ( 10 ) 은 열전도 율 이 높 고 , 얇 기 때문 에 그 기판 의 표면 온도 가 발열 부 ( 20 ) 의 온도 변화 에 대하 여 민감 하 게 변화 한다는 등 의 장점 도 있 다 .