알려진 측정 시스템 의 단점 은 , 그리드 플레이트 의 장착 디바이스 특히 플렉 셔 요소 들 이 그리드 플레이트 의 장착 에 약간 의 유연 성 을 도입 하 기 때문 에 , 그리드 플레이트 가 외부 영향 들 에 의해 이동 되 거나 변형 될 수 있 다는 것 이 다 . 예 를 들 어 , 기판 스테이지 의 이동 들 이 그리드 플레이트 에 변형 들 또는 이동 들 을 야기 할 수 있 는 압력 파 ( pressure wave ) 들 을 야기 할 수 있 다 . 이러 한 이동 들 및 / 또는 변형 들 은 측정 시스템 의 성능 에 악영향 을 준다 . 다른 측정 시스템 들 에서 , 유사 한 효과 들 이 일어날 수 있 으며 , 측정 시스템 의 정확 성 에 악영향 을 줄 수 있 다 .