본 발명 의 술포 늄 염 은 , 통상 의 술포 늄 염과 상이 하 고 친수성 이 높 은 페놀 성 수산기 나 에틸렌글리콜 쇄 를 갖 고 있 고 , 특정 음 이온 과 조합 한 본 발명 의 술포 늄 염 을 레지스 트 재료 에 이용 한 경우 에 는 액침 수로 의 용출 도 적 고 , 또 패턴 의존 성 ( 다크 브라이트 차 ) 이 적 어 화학 증폭 형 레지스 트 재료 의 광산 발생 제 로서 매우 유용 하 다 .