도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 연마 유닛 ( 3 A ) 은 , 연 마면 을 갖 는 연마 패드 ( 10 ) 가 설치 된 연마 테이블 ( 30 A ) 과 , 웨이퍼 를 보유 지지 하 고 또 한 웨이퍼 를 연마 테이블 ( 30 A ) 상 의 연마 패드 ( 10 ) 에 압박 하 면서 연마 하 기 위한 톱 링 ( 31 A ) 과 , 연마 패드 ( 10 ) 에 연마 액 이나 드레싱 액 ( 예 를 들 어 , 순수 ) 을 공급 하 기 위한 연마 액 공급 노즐 ( 32 A ) 과 , 연마 패드 ( 10 ) 의 연마 면 드레싱 을 행하 기 위한 드레서 ( 33 A ) 와 , 액체 ( 예 를 들 어 순수 ) 와 기체 ( 예 를 들 어 질소 가스 ) 의 혼합 유체 또는 액체 ( 예 를 들 어 순수 ) 를 안개 상태 로 하 여 연 마면 에 분사 하 는 아토 마이 저 ( 34 A ) 를 구비 하 고 있 다 .