상기 중합체 의 조제 에 는 , 2 종 이상 의 Y - X 나 Y - X 와 는 다른 할로겐화물 이나 토실 레이트 및 메 실 레이트 를 요구 성능 에 맞춰 조합 할 수 있 다 . 평탄 화 특성 의 향상 에 기여 하 는 측쇄 구조 , 에칭 내성 , 내열 성 에 기여 하 는 강직 한 방향 환 구조 를 포함 하 는 화합물 을 임의 의 비율 로 조합 할 수 있 다 . 이 들 화합물 을 이용 하 여 제조 한 중합체 를 이용 한 유기 막 형성 용 조성물 은 매립 / 평탄 화 특성 과 에칭 내성 을 높 은 차원 에서 양립 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .