일반 적 으로 웨이퍼 검사 장치 는 웨이퍼 를 제조 한 후 , 웨이퍼 의 결함 유 , 무 를 검사 하 는 장치 로서 , 육안 으로 이루어지 는 매크로 검사 ( macro inspection ) 와 현미경 과 같 은 장비 를 이용 하 는 미크 로 검사 ( micro inspection ) 를 수행 한다 . 이러 한 매크로 검사 와 미크 로 검사 는 웨이퍼 의 이동 을 위해서 로봇 을 이용 한다 .