플라 즈 마를 발생 하 기 위한 플 라즈 마 소스 는 여러 가지 가 있 는데 무선 주파 수 ( radio frequency ) 를 사용 한 용량 결합 플 라즈 마 ( capacitive coupled plasma ) 와 유도 결합 플 라즈 마 ( inductive coupled plasma ) 가 그 대표 적 인 예 이 다 . 용량 결합 플 라즈 마 소스 는 정확 한 용량 결합 조절 과 이온 조절 능력 이 높 아서 타 플 라즈 마 소스 에 비하 여 공정 생산력 이 높 다는 장점 을 갖 는다 .