이 와 같 은 시트 플 라즈 마 성막 장치 로서 , 시트 플 라즈 마 를 생성 하 는 시트 플 라즈 마 변형 실과 , 상기 시트 플 라즈 마 변형 실에 연결 된 표면 처리 실 을 구비 하 고 , 시트 플 라즈 마 변형 실과 표면 처리 실 을 서로 전기 적 으로 절연 시키 고 또한 서로 상이 한 전위 가 되 도록 구성 된 시트 플 라즈 마 성막 장치 가 개시 되 어 있 다 ( 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 ) .