또한 , 본 발명 의 제 2 목적 은 , 조명 광학 기기 의 오브젝트 필드 의 오브젝트 필드 포인트 의 출사 동공 에서 강도 분포 가 투사 노광 장치 의 광원 의 시간 적 및 / 또는 공간 적 변동 에 대해 안정 화 되 도록 , 도입부 에서 서술 된 유형 의 다중 미러 어레이 ( MMA ) 를 갖 는 마이크 로 리소그래피 용 투사 노광 장치 용 조명 광학 기기 를 개선 하 는 것 이 다 .