한편 , 전술 한 본 발명 의 실시 예의 경우 에 는 하부 구조물 과 콘 택하 는 콘 택 플러그 와 금속 배선 을 동시 에 형성 하 는 듀얼 다 마신 ( Dual Damascene ) 공정 을 적용 하 였 지만 , 상기 콘 택 플러그 와 금속 배선 을 싱글 다 마신 ( Single Damascene ) 다마 신 공정 을 적용 하 여 따로 형성 하 는 방법 도 가능 하 다 .