도 14 를 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 , 금속 막 을 포함 하 는 기판 ( W ) 에 메탈 계 소수 화제 의 일례 인 소수기 를 갖 는 아민 을 공급 한 후 에 , 그 기판 ( W ) 에 순수 를 공급 하 면 , 기판 ( W ) 의 소수성 이 대폭 저하 하 여 버린다 . 따라서 , 기판 ( W ) 이 소수 화 되 고 나 서 건조 할 때 까지 , 기판 ( W ) 에 순수 가 접촉 되 지 않 는 상태 가 확보 됨 으로써 , 소수기 를 갖 는 아민 이 기판 ( W ) 에 공급 된 경우 에 , 기판 ( W ) 의 소수성 이 대폭 저하 되 는 것 이 방지 된다 . 이 에 의해 , 패턴 ( P ) 의 도괴 를 억제 또는 방지 할 수 있 다 .