그 다음 에 는 , 게이트 ( 150 ) 사이 의 영역 중 활성 영역 ( 120 ) 에 해당 하 는 부분 에 소스 / 드레 인 불순물 이온 주입 공정 을 수행 한다 . 여기 서 는 , 리세 스 영역 ( 170 a ) 하부 에 소스 / 드레 인 영역 ( 160 ) 을 형성 하 며 , 게이트 문턱 전압 을 높이 기 위하 여 불순물 이온 주 입량 을 증가 시키 지 않 아도 되 므로 게이트 리 프레쉬 ( Refresh ) 특성 을 향상 시킬 수 있 다 .