제 1 저장 용기 ( 500 ) 가 공급 된 공급 챔버 ( 200 ) 의 내부 압력 을 조절 하 는 과정 은 , 외부 로부터 제 1 저장 용기 ( 500 ) 의 공급 에 의하 여 비 진공 상태 인 대기 상태 의 공급 챔버 ( 200 ) 의 내부 압력 을 진공 상태 로 조절 한다 . 이 는 공급 챔버 ( 200 ) 의 배기 펌프 를 조절 하 여 이루어질 수 있 으며 , 진공 상태 로 유지 되 는 증착 챔버 ( 100 ) 와 는 별도 로 내부 압력 이 조절 되 어 이루어진다 .