앞서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 슬릿 타입 의 분사구 를 가지 는 혼합 유체 분사 장치 는 대 면적 을 가지 는 세 정면 에 적용 될 수 있 는데 , 세정 되 어야 하 는 대상 인 기판 등 의 크기 가 증가 하 면 , 그 에 따라 슬릿 의 폭 또한 증가 되 어야 한다 . 구체 적 으로 , 길이 가 약 3500 mm 인 세 정면 에 적용 될 경우 혼합 유체 가 분사 되 는 유속 및 유량 을 결정 하 는 슬릿 간격 ( 180 ) 은 길 이 방향 으로 일정 하 게 유지 될 필요 가 있 다 .