공정 챔버 의 일 측 에 는 기판 이 드나들 수 있 는 통로 가 형성 되 며 , 통로 는 도어 유닛 에 의해 개폐 된다 . 도어 유닛 은 통로 를 개폐 하 는 개폐 부재 를 포함 하 며 , 폐쇄 위치 에서 개폐 부재 의 내 측면 은 공정 챔버 의 내 측면 상 에 배치 된다 . 개폐 부재 는 통로 의 내측 입구 를 개폐 하 는 내측 도 어 , 통로 의 외측 입구 를 개폐 하 는 외측 도 어 , 그리고 내측 도어 와 외측 도어 를 연결 하 는 연결 부재 를 포함 한다 .