또 , 제 1 지지 구조 ( 62 ) 의 전면 에 는 , Y 축 방향 을 따르 는 제 2 레일 ( 70 ) 이 제 1 레일 ( 64 ) 의 상방 에 고정 되 어 있 다 . 이 제 2 레일 ( 70 ) 에는 , 제 2 이 동 기구 ( 72 ) 등 을 개재 하 여 제 2 유지 유닛 ( 74 ) 이 연결 되 어 있 다 . 제 2 유지 유닛 ( 74 ) 은 , 예 를 들 어 , 프레임 ( 15 ) 의 상면 에 접촉 하 여 이 프레임 ( 15 ) 을 흡착 , 유지 하 고 , 제 2 이 동 기구 ( 72 ) 에 의해 승강 함 과 함께 , 제 2 레일 ( 70 ) 을 따라 Y 축 방향 으로 이동 한다 .