배기 가스 처리 장치 ( 5 ) 에 는 , 질량 유량 제어기 ( MFC 1 , MFC 2 , MFC 3 ) 가 연료 , 산소 및 공기 를 위한 각각 의 파이프 내 에 제공 되 고 , 버너 ( 41 ) 로 의 연료 , 산소 및 공기 의 공급량 이 자동 으로 조정 될 수 있 다 . 또한 , 차단 밸브 ( V 11 , V 12 , V 13 ) 가 연료 , 산소 및 공기 를 위한 각각 의 파이프 내 에 제공 되 고 , 버너 ( 41 ) 로 의 연료 , 산소 및 공기 의 공급 이 배기 가스 처리 를 필요 로 하 지 않 는 제조 장치 ( 1 ) 의 제조 프로세스 에서 정지 될 수 있 다 . 또한 , 질량 유량 제어기 ( MFC 4 ) 및 차단 밸브 ( V 14 ) 가 N 2 가스 파이프 내 에 제공 된다 .