또한 , 웨이퍼 를 세정 하 기 전 에 , 고정대 들 사이 의 간격 을 좁 게 조정 함 으로서 , 웨이퍼 세정 시 에 지지 로드 들 의 양측 단부 에 안착 되 는 웨이퍼 들 과 고정대 들 사이 의 간격 을 적정 거리 를 확보 하 고 , 지지 로드 들 의 양측 단부 에서 정체 된 세정액 의 유동 을 개선 하 여 세정 성능 을 향상 시키 고 , 웨이퍼 들 이 지지 로드 들 의 길 이 방향 을 따라 안착 된 위치 에 상관없이 웨이퍼 의 세정 편차 를 개선 시킬 수 있 다 .