챔버 내 에서 공정 이 수행 된 후 기판 을 회수 하 기 위하 여 기판 을 지지 하 는 리프트 핀 들 이 상승 하 는 동작 이 수행 된다 . 또한 , 기판 을 고정 시키 기 위하 여 플레이트 에 가해진 정전기력 을 제거 한 후 리프트 핀 업 동작 이 수행 되 는데 , 이 를 디 척 킹 ( Dechucking ) 이 라 한다 . 다만 , 디 처 킹 동작 이 수행 될 때 간헐 적 으로 플레이트 에 인가 되 는 DC 전압 이 차단 되 더라도 플레이트 에 정전기력 이 잔존 하 는 현상 이 발생 하 며 , 플레이트 에 정전기력 이 잔존 하 는 상태 에서 리프트 핀 업 동작 이 수행 되 면 기판 이나 리프트 핀 에 손상 이 발생 할 수 있 다 .