도 1 에 나타낸 로드 포트 ( 1 ) 는 , 복수 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 는 용기 ( 보관 용 용기 ) ( 2 ) 와 반도체 제조 장치 ( 도시 대략 ) 사이 의 인터페이스 부분 으로서 의 역할 을 하 는 유닛 이 고 , 설비 전방 단부 모듈 ( Equipment Front End Module ) ( EFEM ) 의 일부 를 구성 한다 . 설비 전방 단부 모듈 은 , 웨이퍼 반송 용 로봇 암 등 이 설치 되 는 국소 환경 을 형성 하 고 , 로봇 암 은 , 로드 포트 ( 1 ) 에 의해서 국소 환경 에 접속 된 용기 ( 2 ) 내 로부터 , 용기 ( 2 ) 내 에 수용 되 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 취 출 해 , 반도체 처리 장치 에 반송 한다 . 또한 , 용기 ( 2 ) 로 는 , 예 를 들 면 FOUP ( Front - Opening Unified Pod ) 등 을 들 수 있 다 .