도 8 에 나타내 는 바 와 같이 , D 102 에 주목 하 는 장치 ID 를 입력 한다 . 이 에 따라 , 장치 상태 값 기억 부 ( 29 ) 에 저장 된 해당 하 는 장치 ID 의 장치 간 차 진단 값 을 취득 하 고 , D 104 와 같이 , 센서 마다 그래프 로 표시 한다 . 이 결과 , 기준 이 되 는 플라스마 처리 장치 ( 1 ) 와 의 장치 간 차 가 큰 센서 를 판단 할 수 있 고 , 조정 등 에 이용 할 수 있 다 .