상기 공정 이 수행 되 는 동안 , 상기 배관 ( P 3 ) 을 통해 한 구간 으로 합쳐진 상기 가스 ( A ) 와 케미컬 ( B ) 혹은 상기 가스 또는 케미컬 각각 이 온 ( on ) 상태 의 상기 파이널 밸브 ( FV 1 ) 를 통하 여 , 상기 공급 제 어부 ( 10 ) 로부터 출력 되 고 , 상기 제 2 배관 ( P 5 ) 을 이용 하 여 상기 공정 챔버 ( 30 ) 로 공급 된다 .