제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 는 , 진공 배기 와 대기압 복귀 가 반복 해서 실행 되 는 작 은 방 으로 이루어진다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 에 는 , 진공 배기 하 기 위한 배기 장치 가 접속 됨 과 아울러 , 대기압 복귀 하 기 위한 질소 가스 또는 공기 의 퍼지 가스 공급계 가 접속 된다 . 압력 을 제어 하 기 위해서 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 내 의 압력 은 압력계 에 의해 측정 된다 . 진공 배기 와 대기압 복귀 를 용이 하 게 행할 수 있 도록 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 용적 은 필요 한 기능 을 충족 시키 면서 가능 한 한 작 게 설정 된다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 와 대기 반 송실 ( 25 ) 은 각각 게이트 밸브 ( 51 ) 를 거쳐서 연결 된다 .