도 9 를 참조 하 면 , 일루 미네 이터 ( IL ) 는 소스 컬렉터 모듈 ( SO ) 로부터 극자 외 방사선 빔 을 수용 한다 . EUV 방사선 을 생성 하 는 방법 들 은 EUV 범위 내 의 1 이상 의 방출 선 을 갖 는 적어도 하나 의 원소 , 예 를 들 어 크세논 , 리튬 또는 주석 을 갖 는 재료 를 플 라즈 마 상태 로 전환 하 는 단계 를 포함 하 며 , " 반드시 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 흔히 레이저 생성 플 라즈 마 ( "" LPP "") 라고 칭하 는 이러 한 한 방법 에서 ", 플라 즈 마는 선 - 방출 원소 를 갖 는 재료 의 액적 ( droplet ) , 스트림 또는 클러스터 와 같 은 연료 를 레이저 빔 으로 조사 함 으로써 생성 될 수 있 다 . 소스 컬렉터 모듈 ( SO ) 은 연료 를 여기 시키 는 레이저 빔 을 제공 하 는 레이저 ( 도 9 에 도시 되 지 않 음 ) 를 포함 한 EUV 방사선 시스템 의 일부분 일 수 있 다 . 결과 적 인 플라 즈 마는 출력 방사선 , 예 를 들 어 EUV 방사선 을 방출 하 며 , 이 는 소스 컬렉터 모듈 에 배치 된 방사선 컬렉터 를 이용 하 여 수집 된다 . 예 를 들 어 , CO 2 레이저 가 연료 여기 를 위한 레이저 빔 을 제공 하 는 데 사용 되 는 경우 , 레이저 및 소스 컬렉터 모듈 은 별도 의 개체 일 수 있 다 .