한쪽 분기 통로 부분 ( 24 A ( 24 B ) ) 에 의 처리 액 의 공급 이 정지 되 는 에러 로서 는 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 부속 되 는 배관 으로부터 의 처리 액 의 누설 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 부속 되 는 온도 조 절부 ( 50 A ) 의 고장 , 액 처 리부 ( 60 A ) 에서 의 배 기압 의 저하 , 액 처 리부 ( 60 A ) 측 의 메인 터 넌 스 패널 의 개방 등 이 예시 된다 .