다음 으로 , 기판 ( W ) 을 건조 시키 는 건 조 처리 ( 건조 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 110 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 스핀 모터 ( 7 ) 를 제어 하 여 , 차 단판 ( 3 ) 을 처리 위치 에 위치 시킨 상태 에서 , 기판 ( W ) 을 고회 전 속도 ( 예 를 들 면 , 수천 rpm ) 로 회전 시킨다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 용제 에 큰 원심력 이 작용 하 여 , 용제 가 기판 ( W ) 의 주위 로 털 어 내 진다 . 이 와 같이 하 여 , 용제 가 기판 ( W ) 으로부터 제거 되 어 , 기판 ( W ) 이 건조 된다 ( 건조 처리 ) . 그리고 , 건조 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여진 후 는 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 스핀 모터 ( 7 ) 를 제어 하 여 , 스핀 척 ( 2 ) 에 의한 기판 ( W ) 의 회전 을 정지 시킨다 . 또한 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 차 단판 승강 기구 ( 9 ) 를 제어 하 여 , 차 단판 ( 3 ) 을 처리 위치 로부터 퇴피 위치 로 이동 시킨다 . 그 후 , 처리 가 끝난 기판 ( W ) 이 반송 로봇 에 의해 스핀 척 ( 2 ) 으로부터 반출 된다 .