도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1000 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 고 , 도 2 는 도 1 의 기판 처리 장치 ( 1000 ) 의 기판 지지대 ( 100 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 사시도 이 다 . 그리고 , 도 3 은 도 2 의 Ⅲ - Ⅲ 선 을 따라 취한 단면 을 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 고 , 도 4 는 도 2 의 Ⅳ - Ⅳ 선 을 따라 취한 단면 을 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 며 , 도 5 는 도 2 의 Ⅳ - Ⅳ 선 을 따라 취한 단면 의 다른 실시 예 를 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 6 은 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 300 ) 를 개략 적 으로 나타내 는 사시도 이 고 , 도 7 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 100 ) 의 포켓 홈 ( 20 ) 에 안착 된 기판 ( S ) 의 상면 과 하면 에 발생 하 는 압력 을 해석 한 결과 를 나타내 는 이미지 이 다 .