이 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 , 설 정부 ( 63 ) 에 의해 설정 된 개질 층 의 높이 값 ( H 1 ) 에 따라 , 산 출부 ( 64 ) 가 , 집광 렌즈 ( 183 ) 의 적절 한 높이 위치 를 산출 할 수 있 다 . 따라서 , 먼저 , 공기 와 웨이퍼 ( 1 ) 의 굴절 률 의 비 에 따라 집광 렌즈 ( 183 ) 의 높이 위치 를 대략 구하 고 , 그 후 , 이 집광 렌즈 ( 183 ) 의 높이 위치 를 , 미리 실시 된 실험 결과 에 따라 미 조정 한다고 하 는 2 단계 의 조정 을 실시 할 필요 가 없 다 . 따라서 , 레이저 가공 에 있 어서 의 집광 렌즈 ( 183 ) 의 높이 위치 를 , 더욱 용이 하 게 결정 할 수 있 다 . 또한 , 미 조정 을 위한 번거 로운 실험 을 실시 할 필요 도 없 다 .