플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 상부 전극 ( 30 ) 을 더 구비 하 고 있 다 . 상부 전극 ( 30 ) 은 , 기판 지지기 ( 16 ) 의 상방 에 마련 되 어 있 다 . 상부 전극 ( 30 ) 은 , 부재 ( 32 ) 와 함께 챔버 본체 ( 12 ) 의 상부 개구 를 폐쇄 하 고 있 다 . 부재 ( 32 ) 는 , 절연 성 을 갖 고 있 다 . 상부 전극 ( 30 ) 은 , 이 부재 ( 32 ) 를 통하 여 챔버 본체 ( 12 ) 의 상부 에 지지 되 어 있 다 .