또한 , " 제조 프로세스 및 이송 시퀀스 는 FAB 생산 성 의 대 손실 없이 종래 의 프로세스 로 불 가능 한 것 인 FAB ( 제조 플랜트 ) 이용 에 의 최소 영향 으로 웨이퍼 "" 미리 이송 ""( 즉 ", 로트 수납 전 에 하나 의 완성 웨이퍼 를 처리 및 평가 하 기 ) 을 이용 하 여 개발 및 완성 될 수 있 다 . 예컨대 , S - D 이송 시퀀스 를 이용 하 여 , " 웨이퍼 "" 미리 이송 "" 은 메인 로트 가 업 스트림 처리 되 는 동안 에칭 및 검사 를 통해 처리 될 수 있 다 . 이 에 ", 전체 처리 량 에 의 최소 영향 으로 업 스트림 제조 프로세스 를 조정 할 수 있 다 .