상기 제 1 입사각 가변 부 ( 510 ) 는 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 에 연결 된 제 1 회전축 ( 513 ) 과 , 상기 제 1 회전축 ( 513 ) 에 연결 되 는 제 1 모터 ( 511 ) 와 , 상기 제 1 모터 ( 511 ) 에 장착 되 어 상기 마스크 스테이지 ( 150 ) 의 회전각 을 검출 하 는 제 1 엔 코더 ( 512 ) 로 구성 된 제 1 구 동부 와 상기 제 1 구 동부 와 전기 적 으로 연결 된 제 어부 ( 530 ) 를 구비 한다 .