도 17 을 참조 하 면 , 상기 제 1 절 연막 패턴 ( 226 ) , 스 페이서 ( 220 ) , 식각 저지 막 패턴 ( 216 a ) , 제 1 더미 패턴 ( 222 ) 및 제 2 더미 패턴 ( 228 ) 의 노출 된 표면 을 따라 제 2 절 연막 ( 230 ) 을 형성 한다 . 상기 제 2 절 연막 ( 230 ) 은 상기 제 1 절 연막 패턴 ( 226 ) 과 동일 한 물질 로 형성 하 거나 또는 서로 다른 절연 물질 로 형성 할 수 있 다 . 상기 제 2 절 연막 ( 230 ) 을 형성 하 면 , 상기 제 1 절 연막 패턴 ( 226 ) 사이 부위 에 리세 스 부 ( 231 ) 가 생성 된다 .