또한 , 반응 산물 은 플 라즈 마 반응 조 에서 - 80 ℃ 의 저온 ( Tiefkuhlkon ) 축합 되 고 , 수집 기 ( collecting vessel ) 에 수집 된다 . 바람직 하 기 로 는 , 유기 할로겐 실란 은 증류 바셀 ( 10 ) 에서 증류 컬 럼 으로 증류 되 고 , 수집 기에 수집 된다 . 반응 조 와 수집 기 는 SiX 4 로 헹군다 .