유량 조 절부 에 는 배기구 ( 32 ) 의 송풍량 을 조절 을 위해 배기구 ( 32 ) 의 공기 를 흡입 하 는 배기 팬 ( 미 도시 ) 과 , 배기 팬 ( 32 ) 의 출력 을 조절 하 는 인버터 ( 36 ) 가 포함 될 수 있 다 . 여기 서 , 배기 팬 ( 미 도시 ) 은 제 어부 ( 50 ) 으로부터 전달 되 는 제어 정보 에 따라 배기구 ( 32 ) 에서 실험 공간 ( 11 ) 의 공기 배기 를 위한 흡입력 을 발생 시킬 수 있 다 . 또한 , 인버터 ( 36 ) 는 제 어부 ( 50 ) 로부터 전달 되 는 제어 정보 에 따라 배기 팬 ( 미 도시 ) 의 출력 을 조절 할 수 있 다 .