이러 한 측정 빔 검출 유닛 ( 160 ) 에 의해 검출 된 제 2 출력 신호 ( S 2 ) 는 제 어부 ( 180 ) 에 입력 되 며 , 제 어부 ( 180 ) 는 이 제 2 출력 신호 ( S 2 ) 을 이용 하 여 레이저 빔 ( L ) 의 출력 및 펄스 형상 을 얻 을 수 있 다 . 그리고 , 이 와 같이 얻 어 진 레이저 빔 ( L ) 의 펄스 형상 으로부터 레이저 빔 ( L ) 의 펄스폭 및 펄스 에너지 를 알 수 있 게 된다 . 이어서 , 제 어부 ( 180 ) 는 레이저 빔 ( L ) 의 출력 및 펄스 형상 을 설정 된 출력 및 펄스 형상 과 비교 하 여 그 차이 가 설정 된 기준 범위 내이 면 레이저 어닐링 공정 을 계속 수행 하 게 된다 . 한편 , 레이저 빔 ( L ) 의 측정값 과 설정 값 사이 의 차이 가 설정 된 기준 범위 를 벗어나 는 경우 에 는 제 어부 ( 180 ) 는 레이저 발진기 ( 110 ) 나 감쇠기 ( 120 ) 를 제어 하 여 레이저 빔 ( L ) 의 출력 및 펄스 형상 을 설정 된 값 으로 조절 함 으로써 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 게 된다 .