더욱 상세 하 게 는 , 각각 의 거품기 에 담긴 데카 메 실 사이클 로 펜 타실 옥제 인과 사이클 로 헥산 을 증발 시켜 기상 으로 만들 고 운반 기체 를 거품기 에 유입 한 다음 , 데카 메 실 사이클 로 펜 타실 옥제 인과 사이클 로 헥산 을 각각 운반 기체 와 함께 거품기 밖 으로 배출 하 고 플 라즈 마 증착 용 반응 로 에 동시 에 유입 시킨 후 , 반응 로 의 플 라즈 마 를 이용 하 여 화학 기상 증착 하 여 반응 로 내 의 기판 에 박막 을 증착 한 후 , 후 열처리 를 수행 하 여 박막 을 제조 한다 .