도 4 는 도전 성막 이 형성 된 웨이퍼 에 대하 여 마이크 로 대 에 있 어서 의 주파수 의 변화 에 대한 투과 계수 및 반사 계수 의 각 변화 특성 예 를 나타내 는 특성 도 이 며 , 도 4 ( a ) 는 Cu 막 에 대한 변화 특성 예 를 나타내 는 특성 도 , 도 4 ( b ) 는 Ta 막 등 에 대한 변화 특성 예 를 나타내 는 특성 도 , 도 4 ( c ) 는 웨이퍼 의 유무 에 대한 변화 특성 을 나타내 는 특성 도 .