증착 챔버 ( 10 ) 의 내부 는 진공 으로 유지 되 며 , 증착 챔버 ( 10 ) 의 입구 와 출구 에 각각 입 구 측 이송 챔버 ( 51 ) 와 출구 측 이송 챔버 ( 52 ) 가 위치 한다 . 증착 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 는 기판 ( 60 ) 을 이송 하 는 이송 로봇 ( 70 ) 이 위치 한다 . 이송 로봇 ( 70 ) 은 입구 측 이송 챔버 ( 51 ) 의 기판 을 기판 지지 부 ( 20 ) 로 이동 시키 고 , 증착 이 완료 된 기판 ( 60 ) 을 출구 측 이송 챔버 ( 52 ) 로 이동 시킨다 .