본 발명 의 바람직 한 태양 에 따르 면 , 적산 전력 밀도 1 ~ 500 W · hr / ㎠ 의 스퍼터링 에 사용 된 경우 에 발생 할 수 있 는 이상 방전 회수 가 30 회 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 15 회 이하 이 다 . 이 와 같이 낮 은 이상 방전 회수 는 본 발명 에 따른 스퍼터링 타 겟 트 를 사용 하 는 것 에 의해 실현 되 고 , 그것 에 의해 , 장시간 안정 적 으로 마그네트론 방전 을 행할 수 있 고 , 우수 한 특성 의 스퍼터 막 을 제조 할 수 있 다 .