종래 기술 에 따른 기판 처리 장치 의 전극 부 ( 130 ) 는 기판 측 으로 돌출 된 복수 의 돌출 전극 ( 131 a ) 을 포함 하 는 제 1 전극 ( 131 ) 과 상기 돌출 전극 ( 131 a ) 이 관통 되 는 제 2 가스 분사 홀 ( 132 a ) 이 형성 된 제 2 전극 ( 132 ) 을 구비 하 며 상기 제 1 전극 ( 131 ) 과 상기 제 2 전극 ( 132 ) 을 절연 시키 는 절연 수단 ( 133 ) 을 더 포함 할 수 있 다 .