상기 연장 영역 ( ER ) 에서 , 상기 수직 전극 들 ( 140 ) 사이 에 더미 분리 패턴 들 ( 142 ) 이 제공 될 수 있 다 . 상기 더미 분리 패턴 들 ( 142 ) 은 상기 연장 영역 ( ER ) 에서 상기 전극 구 조체 들 ( SS ) 을 관통 할 수 있 다 . 상기 더미 분리 패턴 들 ( 142 ) 은 상기 수직 전극 들 ( 140 ) 과 동시 에 형성 되 어 상기 수직 전극 들 ( 140 ) 과 동일 한 층 들 을 포함 할 수 있 다 . 상기 더미 분리 패턴 들 ( 142 ) 은 제 1 방향 ( D 1 ) 으로 연장 하 며 상기 분리 절연 패턴 ( 19 ) 과 연결 될 수 있 다 . 상기 더미 분리 패턴 들 ( 142 ) 은 실리콘 산화물 또는 실리콘 산화 질화물 을 포함 할 수 있 다 .