또한 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 얼라이먼트 시 에 는 , 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 에 각각 대향 하 는 헤드 유닛 ( 62 D ', 62 C ') 의 헤드 ( 168 , 167 ) ( 인코더 ( 170 D , 170 C ) ) 의 계측 값 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 및 회전 ( θ z 방향 의 회전 ) 을 제어 한다 .