트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 에 구비 된 제 2 로봇 ( 131 ) 과 의 웨이퍼 이송 을 위해서 , 프로 세스 모듈 ( 140 ) 에 구비 된 샤프트 ( 910 ) 가 상하 이동 하 거나 , 또는 도 9 에 도시 된 바 와 같이 , 샤프트 ( 910 ) 는 고정 되 어 있 고 , 대신 에 샤프트 ( 910 ) 를 관통 하 여 로딩 핀 세트 ( 920 ) 가 모터 ( 930 ) 의 구동 에 의하 여 상하 이동 할 수 있 다 .