다음 으로 비 교예 에 대해서 설명 한다 . 도 10 에 본 발명 의 실시 예 에 대한 비 교예 로서 의 플라스마 처리 장치 ( 200 ) 를 나타낸다 . 비교 예의 플라스마 처리 장치 ( 200 ) 의 전체 적 인 구성 은 도 1 에서 설명 한 실시 예 에서 설명 한 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 와 마찬가지 의 부분 에 는 같 은 번호 를 부여 하 여 , 설명 의 중복 을 피한다 . 도 10 에 나타낸 플라스마 처리 장치 ( 200 ) 는 , 요크 와 코일 의 구성 이 도 1 에서 설명 한 실시 예 에 있 어서 의 미들 코일 ( 83 ) , 미들 요크 ( 84 ) 를 구비 하 고 있 지 않 은 점 에 있 어서 서로 다르 다 .