이송 회로 ( 8 ) 는 공급원 ( 2 ) 로부터 하 류 단부 또는 단부 들 을 향해 이송 되 는 가스 의 온도 를 조절 하 기 위한 온도 조절 부재 ( 9 ) 를 포함 한다 . 이러 한 온도 조절 부재 ( 9 ) 는 특히 이하 에서 상세히 설명 되 는 바 와 같이 결정 된 온도 로 이송 되 는 가스 를 유도 하 도록 설계 된다 . 특히 , 조절 부재 ( 9 ) 는 공급원 ( 2 ) 로부터 의 가스 ( 공급원 으로부터 의 가스 가 결정 된 온도 보다 높 은 온도 일 때 ) 를 냉각 및 / 또는 가스 를 가온 하 는 방식 으로 ( 공급원 으로부터 의 가스 가 결정 된 온도 보다 낮 은 온도 일 때 ) 구성 될 수 있 다 .