상기 제 2 영역 의 제 1 층간 절 연막 ( 214 ) 상 에 는 상기 스 페이서 ( 220 ) 와 동일 한 물질 로 이루어지 는 제 1 더미 패턴 ( 222 ) 들 이 구비 된다 . 상기 제 1 더미 패턴 ( 222 ) 들 은 매우 좁 은 선폭 을 가지 면서 조밀 하 게 배치 되 는 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 , 상기 제 1 더미 패턴 ( 222 ) 들 은 사진 공정 의 한계 선폭 및 패턴 간격 을 갖 는다 .