솔 더 레지스 트 는 , 본 발명 의 감광성 수지 조성물 을 사용 하 므로 , 해상 성 이 우수 하 다 . 따라서 , 마스크 패턴 에서 의 노광 패턴 으로서 는 , 예 를 들 어 , 회로 폭 ( 라인 ; L ) 과 회로 간 의 폭 ( 스페이스 ; S ) 의 비 ( L / S ) 가 100 ㎛/ 100 ㎛ 이하 ( 즉 , 배선 피치 200 ㎛ 이하 ) , L / S ＝ 80 ㎛/ 80 ㎛ 이하 ( 배선 피치 160 ㎛ 이하 ) , L / S ＝ 70 ㎛/ 70 ㎛ 이하 ( 배선 피치 140 ㎛ 이하 ) , L / S ＝ 60 ㎛/ 60 ㎛ 이하 ( 배선 피치 120 ㎛ 이하 ) 의 패턴 이 사용 가능 하 다 . 또한 , 피치 는 , 회로 기판 의 전체 에 걸쳐 동일 할 필요 는 없 다 .