웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 는 , 도 1 , 도 3 ( A ) , 및 도 3 ( B ) 등 에 도시 된 바 와 같이 , 스테이지 본체 ( 91 ) 와 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 을 포함 하 여 , 전술 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 와 , 대칭 이 기 는 하 지만 유사 한 방식 으로 구성 되 어 있 다 . 하지만 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에서 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 의 기준 마크 ( FM 1 ) 의 배치 와 대칭 인 배치 로 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상면 에 기준 마크 판 ( FM 2 ) 이 설치 되 어 있 고 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 처마 부 ( 23 a ) 와 거의 대칭 인 배치 로 처마 부 ( 23 b ) 가 설치 되 어 있 다 .