25 개 웨이퍼 의 로트 가 처리 시스템 에서 처리 되 고 있 을 경우 , 25 개 의 병렬 처리 경로 를 제공 함 으로써 처리 량 이 상승 할 수 있 지만 , 이것 은 비 실용 적 이 다 . 그러 나 , S - D 처리 시스템 ( 100 ) 은 하나 이상 의 25 웨이퍼 로트 를 효율 적 으로 그리고 비용 면 에서 효과 적 으로 처리 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 또한 , S - D 처리 시스템 ( 100 ) 은 더 적 은 및 / 또는 더 많 은 웨이퍼 로트 를 효율 적 으로 그리고 비용 면 에서 효과 적 으로 처리 하 는 데 이용 될 수 있 다 .