상기 실시 예 1 ~ 3 및 비 교예 1 ~ 2 에서 제조 한 세정제 100 ㎖ 를 각각 용량 250 ㎖ 의 비이 커 에 넣 고 , 표면 에 SiON 막 이 형성 된 STS 을 담지 시킨 직후 부터 10 분 동안 침지 세정 을 하 였 다 . 상기 세 정물 을 꺼내 어 30 초 동안 탈 이 온수 에 린스 를 실시 하 였 다 . 질소 가스 로 세 정물 표면 의 물 을 제거 한 후 건조 하 고 , 부식 정도 를 육안 으로 관찰 하 였 다 .