본 발명 이 동작 의 임의 의 원리 로 제한 되 지 는 않 지만 , 발명자 들 은 임피던스 불연속성 들 이 RF 구동 포인트 들 ( 50 - 58 ) 에 , 전극 ( 20 - 28 ) 의 둘레 에 , 서 셉 터 ( 11 ) 의 둘레 에 , 그리고 플라 즈 마 경계선 에 존재 한다는 것 을 본 발명 의 이론 적 기반 으로 여긴다 . 이러 한 불연속성 들 은 전극 을 따라 정상파 ( standing wave ) 패턴 을 생성 하 고 , 여기 서 전기장 세기 는 전극 을 따르 는 위치 에 따라 변화 한다 .