따라서 게이트 밸브 가 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 반송 챔버 ( 200 ) 의 게이트 ( 110 , 210 ) 들 을 개방 하 는 경우 , 상대 적 으로 높 은 압력 인 게 이브 밸브 의 내부 공간 ( VS ) 의 압력 이 로드 락 챔버 ( 100 ) 및 반송 챔버 ( 200 ) 의 내부 공간 ( S 1 , S 2 ) 의 압력 에 영향 을 주 는 문제점 이 있 다 .