또한 , 본 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 10 ) 는 상기 의 태양 에 한정 되 는 것 은 아니 며 , 다양 한 변경 을 가할 수 있 다 . 특히 , 이상 의 설명 에 있 어서 는 , 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 을 , 웨이퍼 ( W ) 의 처리 에 적용 한 예 를 나타내 고 있 으나 , 이것 에 한정 되 지 않 으며 , LCD 기판 이나 CD 기판 등 의 처리 에 적용 하 는 것 도 가능 하 다 .