일부 구현 들 에서 , 방법 ( 600 ) 은 퇴적 챔버 의 조명 된 영역 내부 의 입자 분포 에 기초 하 여 , 퇴적 챔버 내 의 웨이퍼 상 에 성장 된 재료 의 품질 을 추정 하 는 단계 를 계속 할 수 있 다 ( 640 ) . 이 는 컴퓨팅 디바이스 에 의해 , 결정 된 입자 분포 를 컴퓨팅 디바이스 의 메모리 디바이스 내 에 또는 컴퓨팅 디바이스 가 액세스 할 수 있 는 임의 의 다른 저장 위치 ( 예 를 들 어 , 클라우드 ) 에 저장 된 캘 리브레 이 션 데이터 와 비교 함 으로써 행해질 수 있 다 .