전술 한 바 를 달성 하 기 위해 본 발명 의 목적 에 따르 면 , 기판 상 에 형성 된 에칭 층 을 에칭 하 기 위한 방법 이 제공 된다 . 제 1 포토레지스트 ( PR ) 마스크 의 제 1 마스크 된 피 쳐 들 을 갖 는 제 1 포토레지스트 ( PR ) 마스크 가 에칭 층 상 에 제공 된다 . 적어도 하나 의 싸이클 을 포함 하 는 프로세스 에 의해 제 1 PR 마스크 상 에 보호 코팅 이 제공 된다 . 각각 의 싸이클 은 , ( a ) 증착 가스 를 사용 하 여 , 제 1 마스크 피 쳐 들 의 표면 위 에 증착 층 을 증착 하 기 위한 증착 페이즈 , 및 ( b ) 프로파일 형상 화 가스 를 사용 하 여 , 증착 층 의 프로 파일 을 형상 화 하 기 위한 프로파일 형상화 페이즈 를 포함 한다 . 액체 PR 재료 는 보호 코팅 을 갖 는 제 1 PR 마스크 위 에 도포 된다 . PR 재료 는 제 2 마스크 피 쳐 들 로 패 터닝 되 고 , 제 1 및 제 2 마스크 피 쳐 들 은 제 2 PR 마스크 를 형성 한다 . 제 1 PR 마스크 를 통해 에칭 층 이 에칭 된다 .