φ 6 인치 의 유리 기판 상 에 , 크롬 막 ( 두께 50 nm ) 을 스퍼터링 에 의해 형성 했 다 . 유리 기판 상 에 형성 된 크롬 막 상 에 , 감광성 불소 계 아크릴 계 수지 ( 폴리 아크릴산 의 에틸렌 쇄 ( 鎖 ) 의 수소 가 불소 로 치환 된 수지 ) 의 도포 막 ( 두께 : 1 μ m ) 을 형성 했 다 . 도포 막 을 포토 리소그래피 법 ( 재료 도포 , 프리 베 이크 ( PRE - BAKE ) , 노광 , 현상 , 포스트 베 이크 ) 에 의해 패 터닝 하 고 , 크롬 막 의 일부 를 노출 시키 는 뱅크 를 형성 했 다 . 다음 에 기판 상 에 노출 된 크롬 막 을 혼합산 을 이용 해 웨트 에칭 하 여 유리 기판 을 노출 시켜 본 발명 의 모델 ( 모델 1 ) 을 제작 했 다 .