도 14 a 및 도 14 b 를 참조 하 면 , 도 13 에 도시 된 제 1 내지 제 3 희생 패턴 들 ( 235 A 내지 235 C ) 이 제거 됨 에 따라 , 서로 이웃 한 제 1 스 페이서 패턴 들 ( 241 A 1 , 241 A 1 ) 사이 와 , 서로 이웃 한 제 3 스 페이서 패턴 들 ( 241 C 1 , 241 C 2 ) 사이 에서 마스크 막 ( 233 ) 이 노출 될 수 있 다 . 마찬가지 로 , 도 13 에 도시 된 서로 이웃 한 제 2 스 페이서 패턴 들 ( 241 B 1 , 241 B 2 ) 사이 에서 마스크 막 ( 233 ) 이 노출 될 수 있 다 .