벌크 도금 까지 완료 되 어 모든 다마 신 패턴 에 구리 가 갭 필 된 후 에 는 , 형성 된 구리 도금 층 ( 20 ) 의 표면 에 캐 핑 막 ( 30 ) 을 형성 한다 . 캐 핑 막 ( 30 ) 은 구리 이외 의 금속 으로 형성 되 며 , 탄 탈륨 ( Ta ) , 마그네슘 ( Mg ) , 티타늄 ( Ti ) 등 으로 형성 될 수 있 다 . 특히 , 도 3 에서 보 듯이 , 캐 핑 막 은 제 1 캐 핑 막 ( 32 ) 및 제 2 캐 핑 막 ( 34 ) 의 이 중막 으로 형성 될 수 있 는데 , 이 경우 제 1 캐 핑 막 ( 32 ) 으로 는 티타늄 , 탄 탈륨 , 마그네슘 등 이 이용 될 수 있 으며 , 제 2 캐 핑 막 ( 34 ) 으로 는 티타늄 질화 막 ( TiN ) , 탄 탈륨 질화 막 ( TaN ) 등 이 이용 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 1 캐 핑 막 ( 32 ) 을 탄 탈륨 막 또는 티타늄 막 으로 형성 하 고 제 2 캐 핑 막 ( 34 ) 을 탄 탈륨 질화 막 또는 티타늄 질화 막 으로 형성 하 면 , 제 2 캐 핑 막 ( 34 ) 이 산소 의 유입 을 방지 하 여 그 하부 의 제 1 캐 핑 막 ( 32 ) 이 산화 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 제 1 캐 핑 막 ( 32 ) 및 제 2 캐 핑 막 ( 34 ) 은 물리 기상 증착 ( Physical Vapor Deposition ) 또는 화학 기상 증착 ( Chemical Vapor Deposition ) 을 이용 해서 형성 할 수 있 다 .