레티 클 ( 520 ) 은 회로 패턴 을 가지 고 , 레티 클 스테이지 ( 525 ) 에 의해 지 지 및 구동 된다 . 레티 클 ( 520 ) 에 의해 발생 된 회절 광은 , 투영 광학계 ( 530 ) 를 통하 여 웨이퍼 ( 540 ) 에 투영 된다 . 상기 노광 장치 ( 500 ) 는 스텝 앤드 스캔 방식 의 노광 장치 이 기 때문 에 , 레티 클 ( 520 ) 과 웨이퍼 ( 540 ) 를 주사 함 으로써 , 레티 클 ( 520 ) 의 패턴 을 웨이퍼 ( 540 ) 에 전사 한다 .