먼저 , 도 4 에 나타난 바 와 같이 , 본 고안 에서 개시 되 는 기판 세정 장치 ( 100 ) 는 , 세정 이 이루어질 기판 ( S ) 을 기준 으로 기판 ( S ) 의 상측 에 배치 되 는 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 과 , 기판 ( S ) 의 하측 에 배치 되 는 하부 노즐 모듈 ( 120 ) 과 , 상 · 하부 노즐 모듈 ( 110 , 120 ) 을 지지 하 면서 이 류체 를 공급 하 는 이 류체 공급 모듈 ( 130 ) 및 , 상 · 하부 노즐 모듈 ( 110 , 120 ) 을 지지 하 는 지지 블록 ( 140 ) 을 구비 하 고 있 다 .