노광 시스템 ( SS ) 을 구성 하 는 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 , 도 6 및 도 7 을 참조 하 면서 설명 한다 . 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 는 , 반송 장치 ( 90 ) 에 의해 반송 된 외경 이 500 ㎜ 를 초과 하 는 크기 의 플랫 패널 표시 소자 용 의 기판 상 에 , 조명계 ( IL ) 로부터 의 노광 용 조명 광 ( 노 광광 ; EL ) 에 의해 조명 되 는 마스크 ( M ) 의 패턴 을 , 투영 광학계 ( PL ) 를 통하 여 전사 노 광 한다 . 또한 , 외경 이 500 ㎜ 를 초과 하 는 크기 란 , 기판 의 일 변 또는 대각선 이 500 ㎜ 를 초과 하 는 크기 를 의미 한다 .