일반 적 으로 , 물품 이송 장치 는 증착 , 노광 , 식각 , 세정 등 과 같 은 가공 공정 을 수행 하 기 위해 웨이퍼 , 인쇄 회로 기판 , 레티 클 등 과 같 은 물품 을 이송 한다 . 상기 물품 들 은 FOUP , FOSB , 매거진 , 레티 클 포드 등 에 적재 된 상태 로 이송 될 수 있 다 . 상기 물품 이송 장치 는 상기 가공 공정 이 이루어지 는 건물 들 사이 에서 상기 물품 을 이송 하 거나 , 상기 건물 들 내부 에서 상기 물품 을 이송 한다 .