이 와 같이 , 제 1 및 제 2 희생 패턴 들 ( 34 , 64 ) 을 형성 함 에 따라 , 하 부막 ( 20 ) 상 에 는 실질 적 으로 라인 형태 의 상부 개구부 들 ( UH ) 을 갖 는 마스크 구조 체가 형성 될 수 있 다 . 그리고 , 상부 개구부 들 ( UH ) 은 제 1 및 제 2 희생 패턴 들 ( 34 , 64 ) 사이 에 하 부막 ( 20 ) 을 노출 시킬 수 있 다 . 마스크 구 조체 에 정의 된 상부 개구부 들 ( UH ) 의 폭 은 소정 영역 들 에서 서로 다르 게 형성 될 수 있 다 .