연소 화학 기상 증착 방법 에 적용 되 는 장치 의 개략 도 가 도 1 에 제시 되 어 있 다 . 도 1 은 당 업계 에서 평균 적 인 지식 을 가진 자 에게 본 발명 을 보다 완전 하 게 설명 하 기 위해서 제공 은 하나 의 예시 로서 , 본 발명 이 여기 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 도면 에서 의 형상 및 크기 등 은 보다 명확 한 설명 을 위해 과장 되 어 표현 된 것 이 다 . 도 1 에서 공기 는 산화 가 스로 도 이용 되 고 , 전 구체 의 캐리어 가스 로 도 이용 되 도록 구성 된 것 이 다 .