웨이퍼 ( WH ) 의 에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 , 센서 의 출력 의 보정 이 필요 해 지 는 경우 가 있 다 . 제 2 방향 ( 148 ) 으로 짧 은 본 실시 형태 의 센서 ( 50 ) 는 , 보정 을 필요 로 하 는 범위 를 좁 게 할 수 있 다 . 웨이퍼 ( WH ) 의 에지 영역 ( 158 ) 에 있 어서 , 보정 을 필요 로 하 지 않 는 정확 하 게 측정 할 수 있 는 범위 가 종래 기술 보다 , 에지 에 가까워진다 . 따라서 종래 보다 에지 영역 ( 158 ) 에서 의 검출 정밀도 를 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 웨이퍼 ( WH ) 내 로 센서 가 실질 적 으로 완전히 들어간다는 것 은 , 센서 의 외경 이 웨이퍼 ( WH ) 내 로 실질 적 으로 완전히 들어간다고 하 는 것 은 아니 며 , 센서 가 생성 하 는 자장 이 웨이퍼 내 로 실질 적 으로 완전히 들어간다고 하 는 의미 이 다 .