특허 문헌 3 에 는 , 클러스터 형 의 기판 처리 시스템 의 풋 프린트 를 저감 하 기 위해서 , 프로세스 챔버 ( 101 , 102 ) 및 로드 록 챔버 ( 2 , 2 ) 를 각각 상하 방향 으로 2 단 으로 적층 하 고 , 중앙 의 트랜스퍼 챔버 ( 3 ) 에 마련 한 진공 반송 로봇 ( 42 ) 을 상하 방향 으로 이동 할 수 있 도록 하 여 , 진공 반송 로봇 ( 42 ) 이 상하 2 단의 로드 록 챔버 ( 2 , 2 ) 와 상하 2 단의 프로세스 챔버 ( 101 , 102 ) 의 사이 에서 기판 을 반송 하 도록 한 다단식 의 기판 처리 시스템 이 개시 되 어 있 다 .