100 번 은 알루미늄 금속 이 며 ESC 의 모재 가 된다 . 300 은 100 번 의 모재 를 가공 후 형성 시킨 Anodizing 피막 층 이 다 . 본 특허 에서 이 층 을 1 차 Anodizing 피막 층 으로 칭한다 . 그림 에서 보 듯이 1 차 피막 층 을 형성 시킬 때 701 번 과 같 은 Gas 가 이동 되 는 통로 를 가공 해서 1 차 피막 층 이 현성 되 때 가스 의 통로 부도 Anodizing 이 형성 된다 . 502 번 은 DC - Power 가 공급 되 어 지 는 금속 이 며 이 금속 은 본 특허 에서 DC 로 드 라고 명명 한다 . DC 로 드 는 주변 의 ESC 의 모재 가 되 는 Al 와 501 번 의 절연재 로 전기 적 으로 절연 되 어 있 다 . 그림 의 500 번 DC - Power 공급 유닛 으로 부 터 502 의 DC 로드 를 통해서 400 번 인 DC - Power 전극 층 에 필요 에 따라서 양 의 전하 를 또는 음 의 전하 를 공급 하 게 된다 .