이 도 9 에 도시 된 구성 의 인코더 시스템 을 구비 한 스테이지 장치 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 투영 광학계 ( PL ) 의 하방 에 위치 하 는 , 노광 시 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동 범위 내 에서 는 , 적어도 2 개 의 인접 하 는 2 D 헤드 ( 68 i , " 68 i + 1 ; i = 1 ∼ 4 중 어느 것 ) 가 스케일 부재 ( 46 B "") 에 동시 에 대향 한다 . 즉 "," 스케일 부재 ( 46 B "") 에 대향 하 는 2 D 헤드 ( 68 i ", 68 i + 1 ) 에 의해 구성 되 는 2 개 의 2 차원 인코더 의 계측 값 이 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 된다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 이 들 2 개 의 인코더 의 계측 값 에 기초 하 여 산출 되 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 축 및 Y 축 방향 의 위치 정보 와 θ z 방향 의 회전 정보 에 기초 하 여 , 웨이퍼 스테이지 구동 계 ( 27 ) 를 통해 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 제어 를 실시 한다 . 이 로써 , 상기 실시 형태 와 완전히 동일 하 게 , 고 정밀 한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 2 차원 구동 이 가능 해진다 .