다시 도 1 을 참조 하 면 , 5 개 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 은 12 시 , 10 시 그리고 8 시 방향 에 위치 하 는 기판 지지 부 ( 210 ) 각각 으로 기판 을 로딩 / 언로 딩 하 기 위해 좌측 방향 으로 펼쳐지 는 3 개 의 회전 플레이트 암 과 , 2 시 그리고 4 시 방향 에 위치 하 는 기판 지지 부 ( 210 ) 각각 으로 기판 을 로딩 / 언로 딩 하 기 위해 우측 방향 방향 으로 펼쳐지 는 2 개 의 회전 플레이트 암 을 포함 한다 . 5 개 의 회전 플레이트 암 ( 610 ) 은 도 2 에서 도시 된 바 와 같이 , 2 , 4 , 8 , 10 , 12 방향 ( 부채꼴 형상 ) 으로 펼쳐지 도록 동작 하 며 회전 및 승강 과 하강 이 가능 하 다 .