상세 하 게 는 , 먼저 , 작업자 가 , 도면 에 나타내 는 척 테이블 부 ( 40 ) 의 척 테이블 ( 43 ) 에 , 웨이퍼 ( 1 ) 를 배치 한다 . 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 척 테이블 ( 43 ) 의 유지 면 ( 43 a ) 을 흡 인원 에 연통 하 여 , 유지 면 ( 43 a ) 에 웨이퍼 ( 1 ) 를 흡인 유지 시킨다 . 또한 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 클램프 부 ( 45 ) 를 제어 하 여 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 주위 의 링 프레임 ( F ) 을 사방 으로부터 협지 고정 한다 .