보다 세부 적 으로 , 일반 적 인 실링 튜브 ( 60 ) 에 공급 되 는 CDA 는 1 . 2 kgf 의 고압 이 며 , 실링 튜브 ( 60 ) 의 자체 적 인 탄성력 으로 인해 내부 압력 은 더욱 상승 한다 . 그리고 이러 한 내부 의 압력 상승 이 반복 되 면 결국 상대 적 으로 강도 가 약한 실링 튜브 ( 60 ) 의 봉 합부 가 압력 을 이기 지 못하 고 파열 되 어 리크 가 발생 되 는 바 , 이 경우 세정 챔버 ( 50 ) 의 입구 ( 52 ) 와 도어 ( 54 ) 사이 의 완전 한 밀폐 가 불 가능 하 므로 세정 챔버 ( 50 ) 내부 의 DI 와 같 은 액체 가 외부 로 유출 되 는 현상 이 나타난다 .