또한 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 나 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 의 메인 터 넌 스 ( 보수 ) 의 실행 중 에 , 보수 용 PC ( 502 ) 를 사용 하 여 , 중계 부 ( 275 ) 의 기억 장치 로부터 , 축 적 데이터 를 판독 해도 된다 . 또한 , 중계 부 ( 275 ) 로부터 , 상위 장치 ( 500 ) , 해석 서버 ( 501 ) 등 에 축적 데이터 를 송신 해도 된다 .