또한 , 지지 핀 ( 16 ) 의 일부 또는 전체 를 CrO 막 으로 코팅 하 고 , 지지 핀 ( 16 ) 에서 의 적어도 웨이퍼 ( 200 ) 와 의 접촉 개소 를 , 또한 SiO 막 으로 코팅 해도 된다 . SiO 막 으로 코팅 되 는 부분 으로서 는 , 적어도 웨이퍼 ( 200 ) 와 의 접촉 개소 에 실시 하 면 되 며 , 더욱 바람직 하 게 는 , 지주 ( 15 ) 로부터 돌출 된 부분 전체 에 실시 된다 . 이 에 의해 , CrO 막 에 의한 코팅 에서 는 , 금속 오염 을 충분히 억제 할 수 없 는 경우 에 도 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 접촉 하 는 개소 를 SiO 막 으로 코팅 함 으로써 금속 오염 을 보다 확실 하 게 억제 하 는 것 이 가능 하 다 .