구체 적 으로 는 , 레이저 측장 시스템 ( 122 ) 이 , 미러 ( 210 ) 에 레이저 를 조사 하 고 , 미러 ( 210 ) 로부터 반사광 을 수 광 함 으로써 XY 스테이지 ( 105 ) 의 위치 를 측장 한다 . 측장 된 XY 스테이지 ( 105 ) 의 위치 는 , 제 어 계산기 ( 110 ) 로 출력 된다 . 제 어 계산기 ( 110 ) 내 에서 는 , 묘 화 제 어부 ( 59 ) 가 이러 한 XY 스테이지 ( 105 ) 의 위치 정보 를 편향 제어 회로 ( 130 ) 로 출력 한다 . 편향 제어 회로 ( 130 ) 내 에서 는 , XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 에 맞추 어 , XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 에 추종 하 도록 , 빔 편향 하 기 위한 편향 량 데이터 ( 트랙 킹 편향 데이터 ) 를 연산 한다 . 디지털 신호 인 트랙 킹 편향 데이터 는 , DAC 앰프 ( 유닛 ) ( 134 ) 로 출력 되 고 , DAC 앰프 ( 유닛 ) ( 134 ) 는 , 디지털 신호 를 아 날로 그 신호 로 변환 한 후 , 증폭 하 여 , 트랙 킹 편향 전압 으로서 주편 향기 ( 208 ) 로 인가 한다 .