이러 한 일련 의 처리 중 노광 공정 을 수행 하 는 데 에 소요 되 는 시간 은 다른 공정 들 을 수행 하 는 데 에 소요 되 는 시간 보다 길 다 . 따라서 , 하나 의 기판 에 대해 노광 처리 를 수행 하 는 시간 동안 , 노광 처리 가 수행 될 다른 기판 을 노광 공정 으로 적절 하 게 반송 하 고 노광 처리 가 완료 된 또 다른 기판 을 노광 공정 으로부터 후행 공정 으로 적절 하 게 반송 함 으로써 , 복수 의 기판 에 대한 일련 의 처리 를 최소 의 시간 으로 효율 적 으로 수행 하 여 , 복수 의 기판 에 대한 처리 효율 을 향상 시킬 수 있 는 기판 반송 장치 를 갖 는 기판 처리 장치 가 요구 된다 .