웨이퍼 ( W ) 는 공정 설비 ( 2 ) 내 에서 소정 의 공정 이 수행 된다 . 공정 설비 ( 2 ) 는 복수 의 공정 모듈 들 ( 20 ) 을 포함 하 며 , 공정 모듈 ( 20 ) 은 웨이퍼 ( W ) 에 대한 공정 을 수행 하 는 공정 챔버 ( process chambers ) ( 10 ) 및 공정 챔버 ( 10 ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 이송 하 는 트랜스퍼 챔버 ( transfer chambers ) ( 30 ) 를 가진다 . 트랜스퍼 챔버 들 ( 30 ) 은 프레임 ( 50 ) 에 연결 되 며 , 프레임 ( 50 ) 과 대체로 나란 하 게 배치 된다 . 트랜스퍼 챔버 들 ( 30 ) 의 전방 에 는 공정 챔버 들 ( 10 ) 이 각각 연결 된다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 내부 는 상압 상태 를 유지 한다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 와 공정 챔버 ( 10 ) 의 사이 에 는 도어 ( 도 3 의 130 ) 가 설치 된다 . 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 와 공정 챔버 ( 10 ) 간 에 웨이퍼 ( W ) 가 이동 하 는 경우 도어 ( 130 ) 가 개방 된다 .