도 23 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기판 처리 장치 ( 301 ) 는 제어 장치 ( 327 ) ( 제어 장치 ) 를 구비 하 고 있 다 . 스핀 모터 ( 306 ) , 차 단판 승강 기구 ( 308 ) , 및 소수 화제 공급 유닛 ( 318 ) 은 제어 장치 ( 327 ) 에 의해 제어 된다 . 또한 , 기판 처리 장치 ( 301 ) 에 구비 된 각 밸브 의 개폐 는 제어 장치 ( 327 ) 에 의해 제어 된다 . 도 21 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 스핀 척 ( 302 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시킨 상태 에서 , 약액 노즐 ( 309 ) 또는 용제 노즐 ( 312 ) 을 처리 위치 에 위치 시켜 , 약액 노즐 ( 309 ) 또는 용제 노즐 ( 312 ) 로부터 처리 액 을 토출 시킨다 ( 도 21 에서 는 , 약액 노즐 ( 309 ) 로부터 처리 액 이 토출 되 어 있 는 상태 가 도시 되 어 있 다 ) . 약액 노즐 ( 309 ) 또는 용제 노즐 ( 312 ) 로부터 토출 된 처리 액 은 스핀 척 ( 302 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 공급 된다 . 그리고 , 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 공급 된 처리 액 은 기판 ( W ) 의 회전 에 의한 원심력 을 받 아 기판 ( W ) 위 를 바깥쪽 으로 퍼져 간다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 처리 액 이 공급 되 어 , 기판 ( W ) 이 처리 액 에 의해 처리 된다 .