특정 실시 예 에서 , 본 발명 은 포토 리소그래피 레티 클 을 검사 하 기 위한 시스템 에 관한 것 이 다 . 시스템 은 전술 한 동작 중 적어도 일부 를 수행 하 도록 구성 된 적어도 하나 의 메모리 및 적어도 하나 의 프로세서 를 포함 한다 . 다른 실시 예 들 에서 , 본 발명 은 전술 한 동작 들 중 적어도 일부 를 수행 하 기 위하 여 명령어 들 이 저장 된 컴퓨터 판독 가능 매체 에 관한 것 이 다 .