FAB 처리 량 에 대한 주요 인자 는 기판 이 로딩 되 고 처리 되 며 처리 후 에 언 로딩 되 는 처리 도구 의 처리 량 , 및 프로세스 모듈 이 주어진 FAB 공간 에 얼마나 효율 적 으로 설치 되 는가 ( 즉 , 얼마나 많 은 처리 도구 가 주어진 FAB 공간 에 설치 되 는지 및 처리 량 을 위해 최적 화 된 구성 을 가지 는가 ) 이 다 . 다른 한편 으로 , 더욱 작 은 이송 챔버 에 대한 요구 는 처리 도구 에서 처리 방안 을 수행 하 기 위해 더욱 긴 처리 시간 을 초래 하 였으며 , 계수 인자 의 적용 에 의해 처리 량 에 대한 보다 긴 처리 시간 의 영향 을 완화 시키 도록 시도 되 는 400 mm 및 450 mm 및 가능 하 게 더욱 큰 기판 과 같 은 기판 크기 에서 의 대응 하 는 증가 를 초래 하 였 다 . 한층 증가 하 는 기판 크기 를 이용 하 여 기판 을 처리 하 는 결과 는 예 를 들 어 더욱 큰 처리 도구 구성 요소 및 더욱 긴 처리 시간 이 다 . 예 를 들 어 , 더욱 긴 도달 범위 ( reach ) 를 가지 는 이송 장치 는 더욱 큰 기판 을 처리 하 기 위해 요구 된다 . 더욱 큰 기판 을 처리 하 기 위해 더욱 큰 풋 프린트 를 가지 는 더욱 큰 처리 챔버 , 이송 챔버 및 로드 락 ( load lock ) 이 또한 요구 된다 . 더욱 큰 처리 도구 구성 요소 를 구비 하 는 종래 의 처리 도구 ( 100 ) 의 하나 의 예 가 도 1 에 도시 되 어 있 으며 , 이송 챔버 ( 114 ) , 이송 챔버 ( 114 ) 내 에 배치 된 기판 이송 아암 ( 150 ) , 이송 챔버 ( 114 ) 에 결합 된 로드 락 ( 110 , 112 ) , 및 이송 챔버 ( 114 ) 에 결합 된 프로세스 모듈 ( 120 , 122 , 124 , 126 , 128 , 130 ) 을 포함 한다 . 여기 에서 , 3 개 의 프로세스 모듈 은 이송 챔버 의 측면 의 각각 에 결합 되 며 , 여기 에서 , 기판 이송 아암 ( 150 ) 이 상부 아암 링크 ( 152 ) , 팔뚝 링크 ( forearm link ) ( 154 ) , 및 엔드 이펙터 ( 156 , 158 ) 를 포함 한다 . 도 1 은 3 개 의 링크 구성 ( 여기 에서 링크 중 하나 는 엔드 이펙터 ( 156 ) 이 다 ) 과 다른 엔드 이펙터 ( 158 ) 를 가지 는 종래 의 이송 아암 ( 150 ) 을 가지 는 종래 의 이송 챔버 ( 114 ) 를 도시 하고 , 이러 한 종래 의 접근 방식 의 한계 를 예시 한다 . 예 를 들 어 , 도 1 에 도시 된 종래 의 구성 은 처리 시간 을 보상 하 도록 프로세스 모듈 용량 및 효율 이 약간 증가 하 는 도 1 a 에 도시 된 바 와 같 은 종래 의 육각형 평면 형태 처리 도구 ( 100 ') 의 길이 와 폭 비율 ( 또는 종횡비 ) 이 실질 적 으로 유사 하 다 .