상기 표면 소수 화 막 이 , 상기 절 연막 에 대한 손상 부여 를 수반 하 는 처리 후 에 설치 된 것 인 것 , 상기 규소 화합물 이 오르 가 노실 란 , 오르 가노 실란 의 가수 분해 물 및 축합물 그리고 이 들 혼합물 로 이루어지 는 군 에서 선택 된 것 인 것 , 상기 오르 가노 실란 을 가수 분해 하 여 얻 어 지 는 생성물 내 에 포함 되 는 성분 과 동일 한 물질 인 용매 를 포함 하 는 것 , 상기 오르 가노 실란 이 , 하 기 ( 2 ) ～( 4 ) 중 어느 하나 의 식 으로 나타내 는 화합물 을 하나 이상 포함 하 고 , 옵션 으로 하 기 식 ( 1 ) 로 나타내 는 화합물 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .