로딩 된 기판 을 수력 에 의해 부상 시키 기 위한 수압 부력 유닛 과 수압 부력 유닛 상 에서 부상 된 기판 을 부상 된 상태 로 전송 및 산세 . 수세 구간 수압 분사 이송용 분사 유닛 과 수압 부력 유닛 과 기판 이송용 분사 유닛 각각 으로 소정 , 수압 을 공급 하 기 위한 수 압공 급부 를 포함 하 여 , 기판 이 수압 부력 에 의해 부상 된 상태 로 이송 되 면서 , 수압 에 의해 세정 되 는 것 을 특징 으로 하 는 기판 이송 및 세정 장치 이 다 .