본 발명 에 따른 진공 클리닝 장치 는 , 프로세스 챔버 ( 111 ) 의 하부 에 구비 된 터보 펌프 ( 112 ) 와 , 상기 터보 펌프 ( 112 ) 의 양측 에 형성 된 컷오프 밸브 ( 113 ) 와 , 상기 컷오프 밸브 ( 113 ) 의 양측 하단 부 에 구비 되 며 다 수개 의 플랜지 이음 으로 체결 되 는 배출 배관 ( 114 ) 을 포함 하 는 커스 터 머 장비 ( 100 ) 와 , 상기 배출 배관 ( 114 ) 에 연결 되 는 집합 배관 ( 200 ) 과 , 상기 집합 배관 ( 200 ) 의 하단 에 연결 되 는 벨로우즈 ( 300 ) 와 , 상기 벨로우즈 ( 300 ) 의 하단 에 연결 되 는 배기 배관 ( 410 ) 이 구비 된 진공 펌프 ( 400 ) 로 구성 된다 .