본 명세서 에 설명 된 바람직 한 본 발명 의 실시 예 내 에서 레이저 스캐너 의 사용 은 , 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 지만 , 플라잉 스폿 ( flying spot ) 스캐너 ( 일반 적 으로 벡터 기반 모드 ) 및 래스터 ( raster ) 스캐너 ( 일반 적 으로 래스터 기반 모드 ) 를 포함 하 는 다수 의 상이 한 다양 한 스캐너 를 포함 할 수 도 있 다 . 스캐너 는 레이저 펄스 를 대물 렌즈 필드 크기 내 의 정확 한 위치 로 분배 하 는 데 사용 된다 . 본 발명 은 이 맥락 에서 사용 될 수 도 있 는 레이저 스캐너 의 유형 에 한정 을 두 지 않 는다 .