도 19 는 , 전기 특성 의 종류 , 혹은 특징 량 을 판정 하 기 위한 공정 을 나타내 는 플로우 차트 이 다 . 도 3 의 스텝 106 과 같이 , 복수 의 차단 시간 의 각각 에서 , 화상 생성 을 행하 고 ( 스텝 1901 , 1902 ) , 설정 된 수 의 화상 ( 차단 조건 ) 을 취득 후 , 차단 시간 의 변화 와 화상 으로부터 추출 되 는 특징 량 ( 명도 ) 의 변화 를 나타내 는 커브 ( 함수 ) 를 생 성 ( 스텝 1903 ) 하 고 , 그것 을 결함 종 이나 결함 의 특징 량 ( 정전 용량 , 전기 저항 ) 과 관련지 어 기억 된 참조 데이터 와 비교 ( 스텝 1904 ) 하 여 , 결함 종 및 결함 의 특징 량 의 적어도 한 쪽 을 특정 한다 ( 스텝 1905 ) . 상기 커브 는 , 조사 조건 이 서로 다른 복수 의 화상 취득 조건 에 의해 얻 어 진 2 이상 의 화상 데이터 로부터 추출 되 는 2 이상 의 특징 으로부터 생성 되 는 정보 이 다 . 후술 하 는 실시 예 에서 는 , 이 커브 를 S 커브 라고 할 경우 도 있 다 .