챔버 ( 11 ) 의 천정 의 개구 ( 開口 ) 에 는 , 외주 에 링 상 의 절연 부재 ( 28 ) 를 개재 시켜 샤워 헤드 ( 20 ) 가 설치 되 어 있 다 . 가스 공급원 ( 19 ) 은 , 프로세스 조건 에 따른 가스 를 공급 한다 . 가스 는 , 가스 배관 ( 21 ) 을 개재 시켜 샤워 헤드 ( 20 ) 내 에 들어가 , 챔버 ( 11 ) 내 로 샤워 상 으로 도입 된다 . 소스 파워 는 재 치대 ( 12 ) 와 샤워 헤드 ( 20 ) 사이 에 용량 적 ( 容量 的 ) 으로 인가 되 고 , 소스 파워 에 의해 가스 로부터 플 라즈 마가 생성 된다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 10 ) 는 , 제 어부 ( 30 ) 를 갖 는다 . 제 어부 ( 30 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 10 ) 의 전체 를 제어 한다 .