스핀 헤드 ( 100 ) 는 , 기판 ( W ) 이 상향 이격 된 상태 에서 지지 되 도록 설치 된 지지 부재 를 갖 는다 . 지지 부재 는 스핀 헤드 ( 100 ) 의 상면 가장자리 부 에 소정 간격 이격 되 어 돌출 되 도록 설치 된 다수 의 척 킹 핀 ( 110 ) 과 , 각각 의 척 킹 핀 ( 110 ) 안쪽 에 돌출 되 도록 설치 된 다수 의 지지 핀 ( 120 ) 을 포함 한다 .