일부 실시 예 에서 , 제 1 일 함수 금속 층 을 퇴적 시키 는 단계 및 제 2 일 함수 금속 층 을 퇴적 시키 는 단계 는 , 제 1 일 함수 금속 층 으로서 p 형 일함수 금속 층 을 퇴적 시키 고 제 2 일 함수 금속 층 으로서 n 형 일함수 금속 층 을 퇴적 시키 는 단계 ; 또는 제 1 일 함수 금속 층 으로서 n 형 일함수 금속 층 을 퇴적 시키 고 제 2 일 함수 금속 층 으로서 p 형 일함수 금속 층 을 퇴적 시키 는 단계 를 포함 한다 .