챔버 ( 310 ) 내부 가 밀폐 되 면 , 진공 펌프 ( 361 ) 와 펌핑 라인 상 의 펌핑 제어 밸브 ( 362 ) 를 제어 하 여 챔버 ( 310 ) 내부 의 공기 ( 365 ) 를 배출 시킴 으로써 진공 압 을 제공 하 는 펌핑 작업 이 이루어진다 ( S 503 ) . 챔버 ( 310 ) 내부 를 진공 상태 로 형성 하 기 위해서 는 벤 팅 용 가스 ( 375 ) 를 공급 하 기 위한 벤 팅 라인 상 의 벤 팅 제어 밸브 ( 372 ) 를 차단 한 상태 에서 펌핑 라인 상 의 펌핑 제어 밸브 ( 362 ) 를 개방 하 는 것 이 바람직 하 다 .