도 10 을 참조 하 면 , 스테이지 ( 120 ) 의 제 1 및 제 2 가동 부 ( 122 , 123 ) 가 X 축 및 Y 축 방향 으로 이동 하 는 구조 하 에서 , 스테이지 ( 120 ) 가 Z 축 방향 을 따라 이동 가능 한 경우 다수 의 진동 저감 부재 ( 140 ) 의 배치 는 전술 한 진동 저감 부재 ( 40 ) 의 배치 와 다소 상이 할 수 있 다 .