일부 실시 예 에서 , 정전 척 은 , 디스크 로서 , 기판 을 위 에 지지 하 는 제 1 측면 및 디스크 를 열 제어 판 에 선택 적 으로 커플링 하 기 위한 계면 을 제공 하 도록 제 1 측면 에 반대 되 는 제 2 측면 을 가지 고 , 디스크 에 기판 을 정전기 적 으로 커플링 하 기 위해 제 1 측면 에 근접 하 여 디스크 내 에 배치 된 제 1 전극 , 및 열 제 어 판 에 디스크 를 정전기 적 으로 커플링 하 기 위해 제 2 측면 에 근접 하 여 디스크 내 에 배치 된 제 2 전극 을 갖 는 , 디스크 ;