이러 한 문제점 을 해소 하 기 위하 여 , " 도 2 에 도시 된 "" 가스 공급 장치 의 퍼지 시스템 및 방법 ""( 한국 등록 특허 공보 제 10 - 0863941 호 ", 특허 문헌 1 ) 에 는 진공 가스 공급 라인 과 진공 발생기 ( VG ) 사이 및 진공 가스 의 공급 라인 에 진공 밸브 ( AV 11 , AV 10 ) 을 설치 함 으로써 가스 공급 라인 의 퍼지 작업 시 에 반응 가스 에 직접 접촉 되 는 밸브 들 을 1 회 개방 하 고 , 반응 가스 에 직접 접촉 되 지 않 는 밸브 의 개폐 를 제어 하 여 퍼지 작업 을 수행 하 여 밸브 의 수명 을 연장 하 도록 한 바 있 다 .