상기 이온 발생 부 ( 61 c ) 는 플 라즈 마발 생기 를 내장 하 며 유도 된 플 라즈 마 를 이용 하 여 아르곤가스 를 이온 화 하 는 것 이 다 . 아울러 상기 이온 발생기 ( 61 c ) 의 내부 에 는 전기장 발생기 ( 미 도시 ) 도 설치 된다 . 상기 전기 장발 생기 는 아르곤 이온 을 금속 소스 ( 61 b ) 측 으로 가속 충돌 시켜 금속 소스 ( 61 b ) 로부터 금속 물질 입자 가 튀어나오 도록 하 는 역할 을 한다 .