최근 반도체 소자 의 미세화 와 고 효율 , 고출력 LED 개발 등 으로 CVD 기술 중 금속 유기 화학 적 기상 증착 법 ( Metal Organic Chemical Vapor Deposition ; MOCVD ) 가 각광 받 고 있 으며 , 이러 한 MOCVD 는 화학 적 기상 성 장법 ( CVD ) 중 의 한 가지 로 유기 금속 의 열분해 반응 을 이용 해 반도체 기판 상 에 금속 화합물 을 퇴적 . 부착 시키 는 화합물 반도체 의 기상 성 장법 을 말 한다 .