여기 서 , 멀티 빔 중 에 는 , 조사 시간 을 제어 할 수 없 는 복수 의 결함 빔 이 혼재 하 는 경우 가 있 다 . 이러 한 멀티 빔 을 이용 하 여 묘화 처리 를 행하 는 경우 , 예 를 들 면 , 트랙 킹 동작 을 리셋 할 때 의 빔 의 되돌림 양 ( 거리 ) 과 복수 의 결함 빔 간 의 거리 가 일치 되 어 버리 면 , 예 를 들 면 , 인접 하 는 화소 열 끼리 가 , 이러 한 복수 의 결함 빔 에 의해 조사 되 어 버린다고 하 는 문제 가 있 었 다 . 또한 , 복수 의 결함 빔 이 소정 의 주기 로 발생 하 는 경우 , 이러 한 복수 의 결함 빔 의 발생 주기 의 정수 배 의 값 과 빔 의 되돌림 양 이 일치 되 어 버리 면 , 빔 간 피치 로 둘러싸인 같 은 소 영역 내 의 많 은 화소 가 이러 한 복수 의 결함 빔 에 의해 조사 되 어 버린다 . 그 경우 , 이러 한 소 영역 내 에 묘화 되 는 패턴 의 정밀도 가 나빠져 버린다 . 그 때문 에 , 멀티 빔 내 에 복수 의 결함 빔 이 발생 하 는 경우 에 도 , 각 소 영역 내 에서 결함 빔 에 의해 조사 되 는 화소 수 를 저감 하 고자 한다 .