본 발명 에 의하 면 , 구동 롤러 를 회전 구동 시키 는 구동 기구 를 구성 하 는 복수 개 의 구동축 을 베이스 부재 에 장착 하 고 , 상기 베이스 부재 를 챔버 에 장착 한다 . 그러므로 , 복수 개 의 구동축 을 소정 의 정밀도 로 사전 에 베이스 부재 에 장착 해 두 면 , 상기 베이스 부재 를 통하 여 복수 개 의 구동축 을 한 번 에 챔버 에 장착 할 수 있 으므로 , 복수 개 의 구동축 을 하나 씩 챔버 에 장착 하 는 번거 로운 작업 을 행하 지 않 아도 된다 .