이상 설명 한 바 와 같이 , 본 실시 형태 의 로드 포트 ( 1 ) 에 의하 면 , 소형 화 를 도모 하 면서 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 형상 에 영향 을 받 지 않 고 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상태 를 양호 한 정밀도 로 또한 고속 으로 검출 할 수 있 다 . 따라서 , 용기 ( 2 ) 의 수용 선반 ( 8 ) 에 대한 각 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 수용 상태 ( 겹침 배치 의 유무 , 비스듬 한 배치 의 유무 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 유무 등 ) 를 , 신속 하 게 판단 할 수 있 다 . 특히 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 유무 를 검출 하 는 매핑 작업 을 높 은 정밀도 로 또한 고속 으로 행할 수 있 다 .