본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 공간 분할 부재 ( 140 ) 는 척 ( 110 ) 보다 큰 직경 을 가질 수 있 다 . 공간 분할 부재 ( 140 ) 가 척 ( 110 ) 보다 큰 직경 을 가질 경우 , 상기 제 1 공간 에서 기판 을 처리 할 때 발생 하 는 이 물질 이 기판 및 척 의 상부 로 낙하 하 여 상기 제 2 공간 에서 처리 되 는 기판 에 공정 불량 이 발생 하 는 현상 이 억제 될 수 있 다 .