금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 ( 102 ) 에 포함 되 는 금속 원자 와 실리콘 원자 의 조성 비 는 , 절 연막 의 형성 후 의 비유전율 이 소망 의 값 이 되 도록 , 필요 에 따라 변경 하 는 것 이 가능 하 다 . 금속 및 실리콘 으로 이루어진 막 ( 102 ) 에 포함 되 는 실리콘 원자 의 농도 ( 함유율 ) 는 , 10 원자 % 이상 인 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 금속 원자 와 실리콘 원자 와 의 합계 에 대한 실리콘 원자 의 비율 을 10 원자 % 이상 으로 설정 하 는 것 으로 , 막 의 내열성 이 향상 하 는 것 이 가능 하 고 막 중 의 결정 성장 을 억제 하 는 것 이 가능 하 다 . 더욱 , 후술 의 질화 시 에 막 중 에 포함 된 질소 의 양 을 증가 시키 는 것 이 가능 하 다 . 이 공정 에서 금속 원자 와 실리콘 원자 를 퇴적 하 는 동안 , 금속 원자 와 실리콘 원자 와 의 조성 비 는 반드시 일정 할 필요 는 없 고 , 깊이 방향 으로 변화 하 는 조성 비 를 이용 해도 된다 .