이 에 기판 ( G ) 에 대한 세정 작업 이 중지 된 상태 에서 , 제 1 내지 제 4 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 , 31 , 41 ) 의 표면 에 대한 연마 작업 이 진행 되 면 , 제 1 내지 제 4 블레이드 구동 부 ( 51 b ~ 54 b ) 가 제 1 내지 제 4 작동 축심 ( 51 c ~ 54 c ) 을 기준 으로 하 여 제 1 내지 제 4 연마 블레이드 ( 51 a ~ 54 a ) 를 회전 시킨다 . 그러면 도 3 의 이점쇄선 으로 도시 한 바 와 같이 , 제 1 내지 제 4 연마 블레이드 ( 51 a ~ 54 a ) 의 선단 은 제 1 내지 제 4 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 , 31 , 41 ) 의 표면 에 접촉 된다 .