또한 , 보호 영역 ( 153 ) 은 , 평면 에서 보 아 , 피에조 저항 영역 ( 152 ) 의 전역 을 덮 고 있 다 . 보호 영역 ( 153 ) 은 , 평면 에서 보 아 , 피에조 저항 영역 ( 152 ) 이상 의 면적 으로 되 어 있 다 . 또한 , 보호 영역 ( 153 ) 은 , 반도체 층 ( 151 ) 의 두께 방향 에 있 어서 , 피에조 저항 영역 ( 152 ) 보다 반도체 층 ( 151 ) 의 표면 측 에 형성 되 어 있 다 . 보호 영역 ( 153 ) 은 , 피에조 저항 영역 ( 152 ) 에 접하 여 형성 되 어 있 을 필요 는 없 다 .