상부 분기 라인 ( 624 ) 과 하부 분기 라인 ( 626 ) 은 메인 공급 라인 ( 622 ) 으로부터 분기 된다 . 상부 분기 라인 ( 624 ) 은 상체 ( 622 ) 에 결합 되 어 지 지체 ( 540 ) 에 놓인 기판 ( W ) 의 상부 에서 세정 유체 를 공급 한다 . 일 예 에 의하 면 , 상부 분기 라인 ( 624 ) 은 상체 ( 522 ) 의 중앙 에 결합 된다 . 하부 분기 라인 ( 626 ) 은 하체 ( 524 ) 에 결합 되 어 지 지체 ( 540 ) 에 놓인 기판 ( W ) 의 하부 에서 세정 유체 를 공급 한다 . 일 예 에 의하 면 , 하부 분기 라인 ( 626 ) 은 하체 ( 524 ) 의 중앙 에 결합 될 수 있 다 . 하체 ( 524 ) 에 는 배기 유닛 ( 550 ) 이 결합 된다 . 하부 분기 라인 ( 626 ) 이 하체 ( 524 ) 의 중앙 에 결합 되 는 경우 , 배기 유닛 ( 550 ) 의 배기 포트 는 하체 ( 524 ) 의 중앙 으로부터 편향 되게 위치 될 수 있 다 . 바디 ( 520 ) 의 처리 공간 ( 502 ) 내 의 초임계 유체 는 배기 유닛 ( 550 ) 을 통해서 바디 ( 520 ) 의 외부 로 배기 된다 .