본 발명 은 나아가 전기 적 소자 를 제조 하 는 방법 을 제공 한다 . 상기 방법 은 기판 상 에 하부 전극 을 증착 하 고 , 상기 하부 전극 위 로 절연체 를 증착 하 고 , 상기 절연체 내 에 개구 를 형성 하 고 , 선택 적 으로 상기 개구 위 로 항복 층 및 / 또는 확산 장벽 층 을 증착 하 고 , 상기 개구 위 로 활물질 을 증착 하 며 , 상기 활물질 위 로 상면 전극 을 증착 하 는 단계 들 을 포함 한다 . 상기 방법 은 상기 봉쇄 층 이 결여 된 상응 하 는 구조 들 에 대응 하 는 활물질 의 휘발 을 허용 하 는데 충분 할 정도 의 고온 에서 수행 되 는 추가 적 인 공정 단계 들 을 더 포함 할 수 있 다 .