상기 표 2 를 참조 하 면 , 실시 예 1 내지 5 의 흑색 감광성 수지 조성물 ( 화학식 1 의 실란 화합물 포함 하 는 흑색 감광성 수지 조성물 ) 은 하프톤 마스크 를 이용 한 노광 공정 에서 단차 가 기준치 인 1 . 1 ~ 1 . 3 ㎛ 내 에 형성 되 어 단차 마진 이 우수 한 것 을 보인 반면 비 교예 1 내지 3 의 조성물 은 단차 기준치 범위 에서 벗어나 는 결과 를 보여 단차 마진 이 부족 함 을 확인 할 수 있 었 다 .