마이크 로 전자 기계 시스템 ( MEMS ) 은 마이크 로 기계 소자 , " 작 동기 및 전자 기기 를 포함 한다 . 마이크 로 기계 소자 는 기판 및 / 또는 증착 ( 혹은 침착 ( deposition ) ; 이하 본 명세서 에서 는 "" 증착 "" 이 라 표기 함 ) 된 재료 층 의 일부 를 에칭 해 내 거나 층 들 을 추가 하 여 전기 및 전자 기계 장치 를 형성 하 는 증착 ", 에칭 및 / 또는 기타 미세 기계가공 ( micromachining ) 공정 들 을 이용 하 여 형성 될 수 도 있 다 . MEMS 장치 의 한 유형 은 간섭계 변조기 ( interferometric modulator ) 라 불린다 . 본 명세서 에서 이용 되 는 바 와 같이 , 간섭계 변조기 또는 간섭계 광 변조기 ( interferometric light modulator ) 라는 용어 는 광학 적 간섭 의 원리 를 이용 하 여 광 을 선택 적 으로 흡수 및 / 또는 반사 하 는 장치 를 의미 한다 . 소정 의 실시 형태 에 있 어서 , 간섭계 변조기 는 1 쌍 의 도전 판 을 포함 할 수 도 있 는데 , 상기 1 쌍 의 도전 판 중 어느 하나 또는 양쪽 모두 가 전체 또는 부분 적 으로 투과 형 및 / 또는 반사 형 일 수 도 있 고 적절 한 전기 신호 의 인가 시 상대 운동 을 할 수 있 다 . 특정 실시 형태 에 있 어서 , 하나 의 도전 판 은 기판 에 증착 된 고정 층 을 포함 할 수 도 있 고 , 다른 하나 의 도전 판 은 공기 간극 ( air gap ) 에 의해 고정층 과 는 분리 된 금속 막 을 포함 할 수 도 있 다 . 본 명세서 에서 보다 더 상세히 설명 하 는 바 와 같이 , 도전 판 의 상대 적 위치 에 의해서 간섭계 변조기 에 입사 되 는 광 의 광학 적 간섭 은 변화 될 수 있 다 . 이러 한 장치 들 의 적용 범위 는 광범위 하 며 , 기존 의 제품 들 을 개선 시키 는 데 있 어서 , 그리고 아직 개발 되 지 않 은 새로운 제품 들 을 만들 어 내 는 데 있 어서 이러 한 유형 의 장치 특성 들 이 사용 될 수 있 도록 이 들 장치 의 특징 들 을 이용 및 / 또는 변경 하 는 것 은 해당 기술 분야 에서 유용 할 것 이 다 .