전자 빔 ( 102 ) 은 , 정전 편 향기 ( 1030 ) 에 의한 전자 빔 에 대한 정전 편향 벡터 ( E 101 ) 와 전자 편 향기 ( 1031 ) 에 의한 전자 빔 에 대한 전자 편향 벡터 ( B 101 ) 를 중첩 시킨 벡터 와 , 정전 편 향기 ( 1032 ) 에 의한 전자 빔 에 대한 정전 편향 벡터 ( E 111 ) 와 전자 편 향기 ( 1033 ) 에 의한 전자 빔 에 대한 전자 편향 벡터 ( B 111 ) 를 중첩 시킨 벡터 에 의해 , 설정 한 주사 영역 을 주사 한다 .