레지스 트 패턴 ( 10 ) 은 , 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 와 제 2 패턴 부 ( 10 b ) 를 포함 한다 . 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 는 , 예 를 들 면 전계 효과 트랜지스터 의 게이트 전극 의 부분 이 다 . 제 2 패턴 부 ( 10 b ) 는 , 예 를 들 면 게이트 전극 을 접속 하 기 위한 배 선부 의 부분 이 다 . 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 는 , 미세 선 이나 치수 정밀도 가 요구 되 는 부분 의 패턴 이 다 . 제 2 패턴 부 ( 10 b ) 는 , 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 보다 도 치수 가 크 거나 , 제 1 패턴 부 ( 10 a ) 보다 도 치수 정밀도 가 엄하 지 않 거나 하 는 패턴 이 다 .