여기 서 , 소정 의 프로세스 웨이퍼 ( W ) 를 막 형성 장치 ( 300 ) 및 노광 장치 ( 400 ) 를 사용 해서 처리 한 결과 는 , 상면 정보 로서 정보 처리 장치 ( 1200 ) 에 피드백 될 수 있 다 . 이 경우 , 정보 처리 장치 ( 1200 ) 는 , 피드백 된 상면 정보 에 기초 하 여 드롭 레시피 를 보정 또는 갱신 할 수 있 다 .