도 5 를 참조 하 면 , 상기 스 페이서 ( 110 ) 사이 의 갭 부위 를 매립 하 면서 상기 예 비 제 1 도전 패턴 ( 102 a ) 상 에 제 2 도 전막 ( 도시 안 됨 ) 을 형성 한다 . 이 후 , 상기 스 페이서 ( 110 ) 사이 에 만 도전 물질 이 남 아 있 도록 상기 제 2 도 전막 의 일부분 을 제거 하 여 콘 택 플러그 ( 112 ) 를 형성 한다 . 이 때 , 상기 콘 택 플러그 ( 112 ) 의 상부 면 이 상기 예비 제 1 도전 패턴 ( 102 a ) 의 상부 면 보다 낮 게 되 도록 상기 제 2 도 전막 을 제거 하 는 것 이 바람직 하 다 .