제 2 환형 부재 ( 26 b ) 는 , 정전 척 ( 20 A ) 의 제 2 영역 ( 20 b ) 상 에 탑재 된다 . 제 2 환형 부재 ( 26 b ) 의 재질 은 , 한정 되 지 않 지만 , 실리콘 , 실리콘 탄화물 또는 석영 등 으로 형성 될 수 있 다 . 기판 ( W ) 은 , 그 에지 영역 이 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 상 에 위치 하 도록 , 정전 척 ( 20 A ) 상 에 배치 된다 . 기판 ( W ) 의 단면 은 , 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 의 외측 단면 보다 외측 에 위치 하 고 있 지만 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 제 1 환형 부재 ( 26 a ) 의 외측 단면 과 동일 하 거나 또는 외측 단면 보다 내측 에 위치 하 여도 좋 다 .