상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 유기 박막 두께 측정 방법 은 , 상기 유기 박막 두께 측정 유닛 을 소스 공급 부재 상부 의 유기 물질 이 증발 하 는 영역 내 에 배치 하 고 , 상기 복수 개 의 감지 부재 들 중 어느 하나 의 감지 부재 를 상기 용기 의 개구부 를 통해 노출 시켜 기판 상 에 증착 되 는 유기 물질 의 두께 를 측정 하 되 , 상기 필터 부재 를 이용 하 여 상기 개구부 를 통해 상기 노출 된 감지 부재 로 유입 되 는 유기 물질 의 양 를 줄이 는 것 을 특징 으로 한다 .