아암 클리닝 처리 는 제 2 반송 아암 ( 14 ) 의 웨이퍼 지지 영역 을 세정 하 기 위해 행해진다 . 제 2 반송 아암 이 진공 처리 실 ( 16 ) 로 들어가 면 , 진공 처리 실 ( 16 ) 내 의 잔류 처리 가스 가 제 2 반송 아암 ( 14 ) 에 부착 되 기 때문 에 , 진공 처리 실 ( 16 ) 로 의 출입 이 반복 되 면 , 반송 아암 ( 14 ) 에 막 이 퇴적 되 어 버린다 . 이 막 이 벗겨지 면 웨이퍼 에 부착 되 는 경우 가 있 기 때문 에 , 반송 아암 ( 14 ) 에 퇴적 된 막 은 파티클 ( particle ) 오염 의 원인 이 될 수 있 다 . 이 를 방지 하 기 위해서 는 반송 아암 ( 14 ) 을 세정 하 는 것 이 효과 가 있 으며 , 따라서 , 아암 클리닝 처리 가 행해 지 는 모듈 이 필요 하 게 된다 .