도 8 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 스테이지 장치 또는 리소그래피 장치 에서 적용 될 수 있 는 측정 시스템 을 나타낸다 . 이 실시 예 에서 는 , 제 2 실시 예의 피드백 위치 제어 시스템 ( 15 ) 및 수동 댐퍼 가 조합 된다 . 댐퍼 및 위치 제어 시스템 ( 15 ) 은 모두 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 주 평면 에 실질 적 으로 수직 인 방향 으로 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 변위 들 을 억제 하 도록 제공 된다 . 수동 댐퍼 는 특히 공진 주파수 범위 에서 의 변위 억제 를 위해 제공 되 는 한편 , 피드백 제어 시스템 은 특히 더 낮 은 주파수 범위 들 에서 의 변위 억제 를 위해 설계 된다 .