상세 하 게 는 , 상기 제 2 Al 산화물 층 은 당해 Al 산화물 층 중 의 O 원자 수와 Al 원자 수 의 비인 [ O ] / [ Al ] 이 0 . 30 이하 이 고 , 바람직 하 게 는 0 . 25 이하 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 20 이하 이 다 . 또한 , 상기 Al 산화물 층 의 최 박부 의 두께 는 10 ㎚ 이하 이 고 , 바람직 하 게 는 8 ㎚ 이하 , 보다 바람직 하 게 는 6 ㎚ 이하 이 다 .