플라 즈 마 발생 수단 은 기판 ( 100 ) 의 플 라즈 마 처리 를 위해 스테이지 ( 200 ) 과 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 사이 에 플 라즈 마 를 형성 하 는 역할 을 한다 . 본 실시 예 는 스테이지 ( 200 ) 가 하부 전극 으로 기능 하 고 , 플라 즈 마 차 폐부 ( 300 ) 가 상부 전극 으로 기능 하 도록 구성 된다 . 이때 , 플라 즈 마 차 폐부 ( 300 ) 는 접지 전원 에 접속 되 고 , 스테이지 ( 200 ) 는 전원 공급 부 ( 530 ) 와 접속 되 어 플 라즈 마 전원 을 인가 받 는다 . 본 실시 예의 전원 공급 부 ( 530 ) 는 스테이지 ( 200 ) 에 고주파 ( Radio Frequency ) 전원 을 공급 하 며 , 임피던스 정합 부 ( 531 ) 를 통해 고주파 전원 의 최대 파워 ( power ) 와 스테이지 ( 200 ) 의 부하 ( load ) 사이 의 임피던스 ( impedance ) 를 정합 ( matching ) 하 여 공급 한다 . 물론 , 상기 플 라즈 마 발생 수단 은 이 에 한정 되 지 않 으며 , 스테이지 ( 200 ) 과 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 사이 에 플 라즈 마 를 형성 할 수 만 있 다면 어떠 한 수단 으로 도 변경 가능 하 다 . 예 를 들 어 , 플라 즈 마 발생 을 위한 전극 은 안테나 의 형태 로 챔버 ( 100 ) 외측 에 설치 될 수 있 고 , 고주파 ( RF ) 전원 대신 직류 ( DC ) 전원 이 사용 될 수 도 있 다 . 또한 , 스테이지 ( 200 ) 에 접 지 전원 에 인가 되 고 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 에 고주파 전원 이 인가 될 수 도 있 다 .