상기 자외선 조사 유닛 ( 52 ) 은 , 도 6 에 도시 하 는 바 와 같이 , 처리 용기 ( 52 a ) 내 에 회전 배치 대 ( 52 b ) 를 구비 하 고 , 처리 용기 ( 52 a ) 내 의 상면 에 는 자외선 조사 부 ( 52 c ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 처리 용기 ( 52 a ) 의 측 부 에 는 웨이퍼 반입 출구 ( 52 d ) 가 형성 되 고 , 이 웨이퍼 반입 출구 ( 52 d ) 에 는 , 도시 하 지 않 은 개폐 기구 에 의해 개폐 가능 한 셔터 ( 52 e ) 가 설치 되 어 있 다 .