상기 와 같 은 목적 을 이루 기 위한 본 발명 은 다 수개 의 특정 가스 를 선택 적 으로 공급 할 수 있 도록 다 수개 의 특정 가스 유입 로 에 각각 설치 된 다 수개 의 솔레노이드 밸브 와 , 다 수개 의 솔레노이드 밸브 에 의해 선택 된 특정 가스 의 유입량 을 조절 하 기 위한 제 1 MFC 와 , 제로 가스 의 유입량 을 조절 하 기 위한 제 3 MFC 및 제 4 MFC 와 , 제 1 MFC 와 제 3 MFC 를 통해 유입 된 특정 가스 와 제 로 가스 를 혼합 하 여 희석 된 1 차 희석 가스 의 유입량 을 조절 하 기 위한 제 2 MFC 와 , 제 2 MFC 의 입력단 에 설치 되 어 제 2 MFC 의 유입량 을 초과 하 는 1 차 희석 가스 를 버리 기 위한 제 1 워터 트랩 과 , 제 2 MFC 와 제 4 MFC 를 통해 유입 된 1 차 희석 가스 와 제 로 가스 를 혼합 하 여 2 차 희석 하 여 출력 하 는 출력 단과 , 입력 된 희석 비율 및 필요 유량 에 따라 다 수개 의 솔레노이드 밸브 및 제 1 내지 제 4 MFC 를 작동 을 제어 하 기 위한 제 어부 를 포함 하 여 이루어진 것 을 특징 으로 한다 .