본 발명 의 일 실시 예 에서 , 복수 의 지지대 ( support posts ) 를 포함 하 는 화학 기상 증착 장치 내 에서 화학 기상 증착 공정 중 에 반도체 웨이퍼 를 지지 하 기 위한 서 셉 터 로서 , 서 셉 터 는 대향 하 는 ( opposing ) 상부 표면 과 하부 표면 을 갖 는 몸체 를 포함 한다 . 적어도 하나 의 오 목부 ( recess ) 는 상기 화학 기상 증착 공정 중 에 하나 의 반도체 웨이퍼 를 수용 하 기 위해 상기 몸체 의 상기 상부 표면 으로부터 아래 방향 으로 연장 된다 . 복수 의 지지 보스 가 상기 몸체 의 상기 하부 표면 으로부터 아래 방향 으로 연장 된다 . 각각 의 상기 지지 보스 들 은 상기 서 셉 터 의 상기 몸체 의 상기 하부 표면 으로 축 방향 으로 연장 되 는 ( extending axially ) 보스 개구 를 포함 한다 . 상기 보스 개구 는 상기 지지대 에 상기 서 셉 터 를 마운트 ( mount ) 하 기 위해 , 상기 화학 기상 증착 장치 의 상기 지지대 들 중 하나 의 자유단 ( free end ) 을 수용 할 수 있 도록 크기 와 모양 이 조정 된다 .