상기 의 광학 필터 ( 120 ) 는 플 라즈 마 빛 을 필터 링 한다 . 광학 필터 ( 120 ) 에 의해 필터링 된 광 은 검 출부 ( 130 ) 에 제공 된다 . 검 출부 ( 130 ) 는 챔버 윈도우 ( 20 ) 의 플 라즈 마 빛 을 검사 하 여 식각 공정 을 모니터링 한다 . 여기 서 , 광학 필터 ( 120 ) 는 자신 으로 입력 된 광 중 특정 파장 대 의 광 만 을 투과 시키 는 역할 을 할 수 있 다 . 물론 이 에 한정 되 지 않 고 다양 한 형태 의 광학 용 필터링 을 수행 하 는 부재 를 사용 할 수 있 다 . 상기 검 출부 ( 130 ) 는 CCD 카메라 와 같 은 광 검출 수단 을 구비 할 수 있 다 .