공진기 소자 용 기판 ( 1021 ) 의 상면 에 는 절연 층 ( 미 도시 ) 이 형성 될 수 있 으며 , 상부 에 배치 되 는 구성 과 공진기 소자 용 기판 ( 1021 ) 을 전기 적 으로 격리 시킬 수 있 다 . 또한 , 절연 층 은 제조 과정 에서 캐 비티 ( 1026 ) 를 형성 하 는 경우 에칭 가스 에 의해 공진기 소자 용 기판 ( 1021 ) 이 식각 되 는 것 을 방지 하 는 역할 을 수행 한다 .