예시 적 인 루이스 염기 아민 은 , 암모니아 ( NH 3 ) , 메틸 아민 ( CH 3 NH 2 ) , 디 메틸 아민 ( ( CH 3 ) 2 NH ) 또는 트리 메틸 아민 ( N ( CH 3 ) 3 ) 또는 대응 하 는 제 1 , 제 2 , 또는 제 3 차 에틸 치환 된 아민 을 포함 할 수 있 다 . 예 시 적 인 유기산 은 아세트산 , 트리플 루 오로 아세트산 , 트리클로로아세트산 , 시트르산 , 다른 전체 할로겐 화 된 또는 부분 적 으로 할로겐 화 된 약산 을 포함 할 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 유기산 은 물 과 혼합 되 어 , 기화 되 는 수성 용액 ( aqueous solution ) 을 형성 할 수 있 다 . 특정 루이스 염기 아민 또는 유기산 에 따라 , 루이스 염기 아민 촉매 또는 유기산 의 응축 을 방지 하 기 위한 프로세스 챔버 ( 200 ) 및 기판 지 지체 ( 210 ) 의 온도 및 정적 압력 이 선택 된다 . 유기산 촉매 가 사용 되 는 경우 , 표면 - 결합 된 Si - OH 기와 의 알 콕 시실 란 반응 을 최대 화 하 기 위해 , 과잉 기상 유기산 이 알 콕 시실 란 보수제 및 / 또는 밀봉 제 의 도입 이전 에 배기 되 어 기상 에서 의 유기산 과 알 콕 시실 란 사이 의 반응 을 방지 하 는 것 이 바람직 하 다 .