로봇 핸드 ( RH 1 ) 는 복수 개 구비 하 여 복수 개 의 기판 ( WA ) 을 이송 할 수 있 다 . 기판 ( WA ) 은 도 1 내지 도 3 의 기판 ( 102 ) 에 해당 할 수 있 다 . 회전축 ( CX 1 ) 은 로봇 암 ( AR 1 ) 에 연결 되 고 수평 레일 ( HL 1 ) 및 수직 레일 ( VL 1 ) 상 에 연결 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 이송 로봇 ( 410 ) 은 수평 레일 ( HL 1 ) 을 따라 전후 방향 ( 또는 좌우 방향 ) 및 수직 레일 ( VL 1 ) 을 따라 상하 방향 으로 이동 할 수 있 다 . 이송 로봇 ( 410 ) 은 회전축 ( CX 1 ) 이 회전 함 에 따라 회전 방향 으로 회전 할 수 있 다 .