주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 액체 공급 장치 ( 5 ) ( 도 7 참조 ) 를 제어 하 여 , 액체 공급 관 ( 31 A ) 을 통해 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 ( W 1 ) ( 또는 웨이퍼 ( W 2 ) ) 사이 에 액체 를 공급 하 고 , 또한 , 액체 회수 장치 ( 6 ) ( 도 7 참조 ) 를 제어 하 여 , 액체 회수 관 ( 31 B ) 을 통해 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 ( W 1 ) ( 또는 웨이퍼 ( W 2 ) ) 사이 로부터 액체 를 회수 한다 . 이 동작 동안 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 공급 되 는 액체 의 양 과 회수 되 는 액체 의 양 이 항상 동일 하 도록 , 액체 공급 장치 ( 5 ) 와 액체 회수 장치 ( 6 ) 를 제어 한다 . 따라서 , 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 ( W 1 ) ( 또는 웨이퍼 ( W 2 ) ) 사이 의 공간 에 는 일정량 의 액체 ( Lq ) 가 항상 대체 되 어 유지 되 고 , 이 에 의해 , 액침 영역 ( 14 ) ( 예 를 들 어 , 도 6 , 도 8 등 참조 ) 이 형성 된다 . 본 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 에서 는 , 조명 광 ( IL ) 을 , 액침 영역 ( 14 ) 을 형성 하 는 액체 ( Lq ) 를 통해 웨이퍼 ( W 1 ) ( 또는 웨이퍼 ( W 2 ) ) 에 조사 함 으로써 , 웨이퍼 ( W 1 ) ( 또는 웨이퍼 ( W 2 ) ) 의 노광 이 수행 된다 . 여기 서 , 액침 영역 ( 14 ) 은 , 액침 공간 으로 지칭 될 액체 ( Lq ) 로 채워진 3 차원 공간 이 지만 , 공간 은 간극 을 의미 하 기 도 하 기 때문 에 , 이러 한 오해 를 피하 기 위해 , 본 명세서 에서 는 액침 영역 이 라는 용어 를 사용 한다 .