이 경우 에 , 만들 어 지 는 소자 는 실리콘 / 실리콘 상 의 실리콘 / 산화물 적층 이 되게 된다 . 이 를 위해 , 인클로저 ( 30 ) 는 단결정 실리콘 타 겟 ( 24 ) 을 포함 한다 . 다른 적 층 을 구현 하 기 위해서 는 , 하나 또는 수개 의 금속 또는 반도체 또는 절연 타 겟 이 원 하 는 산화물 에 대응 하 도록 인클로저 내부 에 설치 되 어야 한다 .