일부 추가 실시 예 들 에서 , 제 1 N - S - D 이송 서브시스템 ( 401 ) 및 / 또는 제 2 N - S - D 이송 서브시스템 ( 402 ) 은 포함 될 수 있 는 S - D 및 / 또는 N - S - D 웨이퍼 를 수납 할 수 있 다 . S - D 웨이퍼 는 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 460 ) 및 / 또는 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 470 ) 으로 이송 될 수 있 다 . 웨이퍼 와 연관 된 데이터 는 S - D 신뢰 도 데이터 및 / 또는 N - S - D 신뢰 도 데이터 를 포함 할 수 있 다 .