그리고 , 공간 이미지 계측 동작 이 종료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 전술 한 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 를 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 계측 플레이트 ( 30 ) 상 의 기준 마크 ( FM ) 를 검출 하 였을 때 의 검출 결과 와 상기 공간 이미지 의 계측 결과 에 기초 하 여 , 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 의 베이스 라인 을 산출 한다 . 이 때 , 전술 한 웨이퍼 ( W 1 ) 의 주변 노광 은 속행 되 고 있 다 .