이 에 따라 , 프로 버 용 카트리지 ( 10 ) 의 락킹 이 해제 되 는 현상 이 방지 되 고 , 웨이퍼 척 ( 140 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 와 접촉 중 인 프로브 카드 ( 123 ) 및 탐침 ( 125 ) 의 훼손 을 방지 할 수 있 으며 척 구조 체 ( 100 ) 및 프로브 카드 구 조체 ( 120 ) 의 정렬 상태 가 유지 되 어 웨이퍼 ( W ) 에 대한 테스트 정밀도 가 향상 될 수 있 다 .