상기 설명 한 것 과 같이 , 본 발명 에 의하 면 끊어진 라인 패턴 을 포함 하 는 라인 패턴 구조물 을 형성 할 수 있 다 . 상기 라인 패턴 구조물 은 반도체 소자 의 비트 라인 , 워드 라인 과 같 은 신호 라인 으로 사용 될 수 있 다 . 또한 , 상기 라인 패턴 구조물 은 소자 분리 막 패턴 으로 사용 될 수 있 다 . 상기 라인 패턴 구조물 을 이용 하 여 고집 적도 를 갖 는 반도체 소자 를 제조 할 수 있 다 .