또한 , 폴리 실리콘 게이트 전극 ( 37 ´) 은 제 1 폴리 실리콘 막 ( 37 a ) 과 제 2 폴리 실리콘 막 ( 37 b ) 사이 에 개재 된 제 3 폴리 실리콘 막 ( 37 c ) 을 더 포함 한다 . 제 3 폴리 실리콘 막 ( 37 c ) 은 제 2 폴리 실리콘 막 ( 37 b ) 의 불순물 이 제 1 폴리 실리콘 막 ( 37 a ) 으로 확산 되 어 제 1 폴리 실리콘 막 ( 37 a ) 의 농도 가 변화 하 는 것 을 방지 하 기 위한 확산 방지 막 으로 작용 하 며 , 언 드 포드 폴리 실리콘 막 을 사용 한다 .