열처리 장치 의 진공 배기 는 먼저 2 대 의 Piston pump 를 가동 하 여 수 torr 까지 배기 한 후 root pump 를 가동 하 여 5 X 10 - 3 torr 까지 배기 한다 . 4 대 의 Cryopump 는 가동 전 에 항상 완전 재생 ( full regeneration ) 과정 을 거쳐 가동 준비 상태 가 되 며 , 챔버 내 진공 이 5 X 10 - 3 torr 에 도달 하 게 되 면 메인 밸브 를 열 어서 진공 배기 하 도록 구성 된다 .