그리고 , 상기 복수 약액 조 ( 116 - 1 , 116 - 2 . .. 116 - n ) 와 초순 수조 ( 114 ) 및 건 조부 ( 118 ) 를 통과 한 웨이퍼 들 은 합체 부 ( 112 ) 상 에 이미 대기 하 는 카세트 ( C ) 와 합체 과정 을 거쳐 , 컨베이어 에 의한 제 2 카운터 부 ( 120 ) 및 언로 딩 부 ( 122 ) 로 의 이송 되 는 일련 의 세정 과정 을 거치 게 된다 . 여기 서 , 상기 제 2 카운터 부 ( 120 ) 에서 의 웨이퍼 매수 확인 은 이전 의 제 1 카운터 부 ( 104 ) 에서 확인 된 웨이퍼 매수 와 비교 하 여 그 사이 구간 에 대한 웨이퍼 누락 이 발생 하 였 는지 의 여부 를 확인 하 는 것 이 다 .