Zr , V , Fe 3 성분 을 57 : 36 : 7 의 질량비 로 혼합 하 여 아크 멜 팅 법 으로 준비 한 3 성분 계 합금 인 고트 ( ingot ) 를 고상 시료 로 사용 하 여 복합 성분 의 나노 분말 을 제조 하 였 다 . 이때 , 상기 열 플 라즈 마 장치 ( 100 ) 에서 액상 / 기상 의 시료 주입 용 어댑터 를 제거 하 고 , 반응 챔버 ( 130 ) 의 플 라즈 마 불꽃 이 분사 되 는 위치 에 고상 의 시료 ( 133 ) 를 위치 시켜 , 표 3 과 동일 한 조건 에서 비 이송 식 으로 플 라즈 마 를 발생 시켜 수행 하 였 다 .