상기 와 같 은 구성 을 가지 는 본 발명 에 따른 게이트 밸브 는 가압 모듈 ( 320 ) 의 구동 에 의해 지 지 부재 ( 330 ) 및 밸브 부재 ( 310 ) 가 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 게이트 ( 110 ) 및 반송 챔버 ( 200 ) 의 게이트 ( 210 ) 각각 을 밀폐 함 과 동시 에 지지 부재 ( 330 ) 및 밸브 부재 ( 310 ) 각각 이 상대 적 으로 지지 역할 을 수행 함 으로써 , 종래 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 과 연통 되게 구성 되 었 던 게이트 밸브 와 는 달리 게이트 밸브 의 내부 공간 ( VS ) 와 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 공간 ( S 1 ) 은 서로 차단 된다 .