토로 이달 형상 은 종래 의 베이스 에서 이용 되 는 유동 경로 의 길이 를 상당히 감소 한다 . 예 를 들 면 , 300 mm 기판 을 처리 하 기 에 적절 한 동등 한 크기 의 베이스 에서 , 본 발명 의 일 실시 예의 유동 경로 의 구성 은 유동 경로 의 길이 를 종래 의 기판 지지 부 의 베이스 에서 의 약 72 인치 로부터 약 6 인치 로 감소 한다 . 길이 에서 의 이러 한 감소 는 냉각 통로 의 입구 와 출구 사이 의 온도 강하 를 감소 하 여 , 기판 지지 페데 스탈 내 의 온도 구배 를 상당히 감소 시킨다 . 일 실시 예 에서 , 냉각 통로 의 입구 와 출구 사이 의 온도 델타 ( temperature delta ) 는 종래 의 기판 지 지부 에서 의 약 7 내지 약 17 ℃ 에 비해 약 0 . 1 내지 약 1 . 0 이 다 . 유체 입 구 온도 범위 는 ( -) 30 내지 약 ( +) 85 ℃ 사이 와 같 은 , (-) 100 ℃ 내지 약 ( +) 200 ℃ 일 수 있 다 . 방사형 유동 경로 의 이러 한 배치 에 의해 또 한 유동 저항 이 상당히 감소 되 어 선택 된 작동 압력 에서 더 큰 유체 유동 및 더 높 은 열 전달 율 을 허용 한다 .