그래서 , 본 발명 에서 는 , 프로세스 종료 후 에 , 제 어부 ( 30 ) 가 , 발광 강도 변환 테이블 ( 80 ) 에 의해 추정 된 ＰＥＭ 에 의해 추정 한 성막 속도 Ｒp 와 , 흡광도 측 정부 에 의해 추정 한 성막 속도 Ｒa 를 비교 하 여 , 차분 Δ R ( = Ｒp - Ｒa ) 을 구한다 . 그리고 , 제 어부 ( 30 ) 는 , Δ R 이 어떤 역치 이상 이 되 면 , 성막 속도 Ｒa 에 근거 하 여 , 성막 속도 Ｒp 의 값 을 보정 한다 .