도 40 에 는 , 제 3 실시 형태 의 노광 장치 가 구비 하 는 스테이지 장치 및 센서 유닛 의 배치 를 나타내 는 평면도 가 도시 되 어 있 다 . 이 제 3 실시 형태 의 노광 장 치 는 , 전술 한 제 2 실시 형태 의 노광 장치 와 비교 하 여 , 인코더 시스템 의 구성 이 상이 할 뿐 , 그 밖 의 부분 의 구성 은 동일 하 다 . 따라서 , 이하 에서 는 상이점 인 인코더 시스템 을 중심 으로 설명 한다 . 또한 , 전술 한 제 2 실시 형태 와 동일 혹은 동등 한 구성 부분 에 대해서 는 동일 한 부호 를 사용 함 과 함께 설명 을 생략 한다 .