기판 ( S ) 이 소정 의 온도 로 가열 되 면 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 커버 ( 34 ) 가 커버 승강 장치 ( 35 ) 에 의해 가열 플레이트 ( 31 ) 로부터 상승 된다 . 따라서 , 냉각 유닛 ( 40 ) 이 가열 플레이트 ( 31 ) 와 커버 ( 34 ) 사이 의 공간 내 로 진입 할 수 있 다 . 또한 , 리프트 핀 ( 32 ) 이 리프트 핀 승강 장치 ( 33 ) 에 의하 여 상승 하 여 기판 ( S ) 을 가열 플레이트 ( 31 ) 로부터 상승 시킨다 .