계속 해서 , 도 37 및 도 38 에 도시 한 바 와 같이 , 칼럼 방향 으로 서로 인접 하 는 소스 측 홀 ( 45 b ) 의 상부 를 칼럼 방향 으로 연결 하 도록 선택 게이트 트랜지스터 절연 층 ( 44 ) 을 파내 어 , 소스 선 배선 홈 ( 45 c ) 을 형성 한다 . 소스 선 배선 홈 ( 45 c ) 은 칼럼 방향 으로 단변 , 로우 방향 으로 장변 을 각각 갖 는 직사각 형상 의 개구부 를 갖 도록 형성 한다 . 동시 에 , 제 1 플러그 홀 ( 85 a ) 의 상부 에서 선택 게이트 트랜지스터 절연 층 ( 44 ) 이 파내 어 주변 영역 ( Ph ) 에 제 1 배선 홈 ( 85 b ) 을 형성 한다 .