S - D 및 / 또는 N - S - D 프로시저 및 / 또는 결과 에 대해 정확 도 값 이 결정 될 수 있 고 , 그 정확 도 값 은 정확 도 한계 에 비교 될 수 있 으며 , 정확 도 값 이 정확 도 한계 를 충족 하 지 못한다면 개선 프로시저 가 수행 될 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 프로시저 가 수행 될 수 있 고 , 다른 사이트 가 이용 될 수 있 거나 , 다른 웨이퍼 가 이용 될 수 있 다 .