도 10 에 도시 된 것 과 같이 , 기판 반송 방법 은 , 수취 공정 ( 단계 S 11 ) , 후퇴 공정 ( 단계 S 12 ) , 검출 공정 ( 단계 S 13 ) , 중심 위치 산출 공정 ( 단계 S 14 ) , 판정 공정 ( 단계 S 15 ) , 선택 공정 ( 단계 S 16 또는 단계 S 16 '), 어긋남 량 계산 공정 ( 단계 S 17 ) 및 반송 공정 ( 단계 S 18 ) 을 갖 는다 .