산화물 반도체 층 ( 144 ) 에 접하 는 절연 층 은 산소 분위기 하 에서 의 열처리 나 , " 산소 도핑 등 에 의해 절연 재료 를 화학 양론 적 조성 비 보다 산소 가 많 은 상태 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . "" 산소 도핑 "" 은 산소 를 벌크 에 첨가 하 는 것 을 말 한다 . "" 벌크 "" 라는 용어 는 산소 를 박막 표면 뿐 만 아니 라 박막 내부 에 첨가 하 는 것 을 명확히 하 는 취지 에서 이용 하 고 있 다는 점 에 주목 한다 . 또한 "," "" 산소 도핑 "" 에 는 "," 플라 즈 마 화 한 산소 를 벌크 에 첨가 하 는 "" 산소 플 라즈 마 도핑 "" 이 포함 된다 . 산소 도핑 은 이온 주입 법 또는 이온 도핑 법 을 이용 해서 행할 수 있 다 . "