제 1 및 제 2 마이크로폰 ( 712 - 1 , 712 - 2 ) 의 각각 은 실리콘 으로 제조 된 제 1 및 제 2 진동 부재 를 갖 는 실리콘 마이크로폰 ( Si 마이크로폰 ) 이 기 도 하 다 . 실리콘 마이크로폰 을 도입 하 는 것 은 제 1 및 제 2 마이크로폰 ( 712 - 1 , 712 - 2 ) 을 소형 화 하 며 복잡 화 한다 . 이 경우 제 1 및 제 2 마이크로폰 ( 712 - 1 , 712 - 2 ) 은 단일 반도체 기체상 에 수행 되 기 도 한다 . 제 1 및 제 2 마이크로폰 ( 712 - 1 , 712 - 2 ) 은 소위 MEMS ( 마이크 로 일렉트릭 미 캐 니 컬 시스템 ) 로서 수행 되 기 도 한다 . 제 1 및 제 2 진동 부재 ( 12 , 22 ) 는 그 중심 들 사이 의 거리 가 예 를 들 어 5 . 2 mm 또는 그 이하 가 되 도록 배치 되 기 도 한다 .