또한 , 처 리조 ( 40 ) 내 의 제 1 약액 은 처 리조 ( 40 ) 및 외조 ( 42 ) 와 순환 라인 ( 45 ) 에 의해 형성 되 는 순환로 에서 히터 ( 48 ) 에 의해 온도 조정 되 면서 순환 하 고 있 다 . 따라서 , 처 리조 ( 40 ) 에 저류 되 는 제 1 약액 의 양 은 많 아 지 지만 , 동일 한 제 1 약액 으로 다수 의 웨이퍼 를 순차 처리 해 갈 수 있 다 . 결과 로서 , 제 1 약액 의 사용량 을 저감 할 수 있 다 .