도 3 내지 도 5 에 도시 된 압력 센서 는 , 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 및 제 2 금속 구 조체 ( 43 ) 가 베이스 ( 41 ) 의 상면 중앙부 에 서로 이격 되 어 상 방향 으로 돌출 설치 되 되 , 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 및 제 2 금속 구 조체 ( 43 ) 는 공기 에 노출 된 빗 모양 의 맞물린 구조 를 형성 한다 . 즉 , 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 는 일 지점 으로부터 연속 적 으로 형성 되 는 디 긋 자 형태 를 취하 고 , 제 2 금속 구 조체 ( 43 ) 는 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 의 일 지점 과 다른 일 지점 으로부터 연속 적 으로 형성 되 어 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 와 일정 하 게 일정 거리 ( d ) 가 이격 되 도록 형성 되 는 ' ㄷ ' 자 형태 를 취할 수 있 다 . 제 1 금속 구 조체 ( 42 ) 및 제 2 금속 구 조체 ( 43 ) 의 재질 은 알루미늄 ( Al ) 일 수 있 다 . 알루미늄 을 이용 하 면 Al 2 O 3 가 생성 됨 으로 추가 적 산화 에 의한 부식 을 막 을 수 있 다 . 단위 면적 당 감도 ( Sensitivity ) 를 최대 화 하 기 위해서 DRC rule 에 부합 하 는 선 에서 금속 구 조체 ( 42 , 43 ) 사이 의 거리 ( D ) 와 금속 구 조체 ( 42 , 43 ) 의 너비 ( W ) 를 가장 작 은 길이 로 결정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 실제로 는 금속 구 조체 ( 42 , 43 ) 에 너비 가 존재 하 기 때문 에 도 6 에서 와 같이 Fringe capacitance ( Cfrb , Cfrt ) 와 bottom capacitance ( Cbot ) 가 존재 하 며 , 실제 공기 와 접촉 하 는 부분 은 CCC 와 Cfrt 로 전체 캐 패 시 턴 스 의 대략 52 % 정도 를 차지 한다 . Bottom capacitance 의 영향 을 최소 화 하 기 위해 floating cap 으로서 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .