또한 , 처리 액 공급 기구 는 용제 노즐 ( 312 ) ( 제 1 용제 공급 유닛 ) 과 , 제 1 용제 공급 배관 ( 313 ) 과 , 제 1 용제 밸브 ( 314 ) 와 , 초음파 진동자 ( 315 ) ( 물리력 부여 유닛 , 진동 부여 유닛 ) 를 포함 한다 . 제 1 용제 공급 배관 ( 313 ) 은 용제 노즐 ( 312 ) 에 접속 되 어 있 다 . 제 1 용제 밸브 ( 314 ) 는 제 1 용제 공급 배관 ( 313 ) 에 개재 되 어 있 다 . 제 1 용제 밸브 ( 314 ) 가 열리 면 , 제 1 용제 공급 배관 ( 313 ) 으로부터 용제 노즐 ( 312 ) 에 제 1 용제 ( 액체 ) 가 공급 된다 . 또한 , 제 1 용제 밸브 ( 314 ) 가 닫히 면 , 제 1 용제 공급 배관 ( 313 ) 으로부터 용제 노즐 ( 312 ) 에 의 제 1 용제 의 공급 이 정지 된다 . 초음파 진동자 ( 315 ) 의 진동 은 용제 노즐 ( 312 ) 로부터 토출 되 는 제 1 용제 에 부여 된다 . 용제 노즐 ( 312 ) 은 노즐 이 동기 구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 연결 되 어 있 다 . 노즐 이 동기 구 는 스핀 척 ( 302 ) 의 위쪽 에 설치 된 처리 위치 와 , 용제 노즐 ( 312 ) 이 스핀 척 ( 302 ) 의 위쪽 으로부터 퇴피 하 는 퇴피 위치 ( 도 21 및 도 22 에 나타내 는 위치 ) 사이 에서 용제 노즐 ( 312 ) 를 이동 시킨다 . 처리 위치 는 용제 노즐 ( 312 ) 로부터 토출 된 제 1 용제 가 스핀 척 ( 302 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 공급 되 도록 설정 되 어 있 다 .