제 2 프로세스 챔버 에서 소정 의 처리 가 종료 되 면 , 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 은 , 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 또는 24 - 2 ) 로부터 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 내 에 인입 ( 반출 ) 하 고 , 다음 처리 를 실행 하 는 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 다른 쪽 또는 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 중 어느 하나 에 그 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 넘겨 준다 . 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 에 기판 ( W ) 이 넘겨 지 면 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 측 의 게이트 밸브 ( 71 또는 72 ) 를 닫 을 수 있 고 , 대기 반 송실 ( 25 ) 측 의 게이트 밸브 ( 73 또는 74 ) 를 열 수 있 다 . 이후 , 기판 ( W ) 이 반입 된 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 가 대기압 에 복귀 하 고 나 서 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 또는 60 - 2 ) 은 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 또는 29 - 2 ) 로부터 처리 완료 의 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 그 취 출한 기판 ( W ) 을 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 상 중 어느 하나 의 카세트 에 되돌린다 .