상기 다른 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 약액 공급 방법 에 따르 면 , 공정 챔버 로부터 전달 받 은 제 1 약액 을 제 1 탱크 에서 일차 적 으로 가열 한 후 , 연결 라인 을 통하 여 상기 가열 된 제 1 약액 을 분리 벽 을 기준 으로 타 측 에 배치 된 제 2 탱크 로 전달 하 고 , 제 2 탱크 에서 상기 전달 받 은 제 1 약액 과 이전 에 저장 되 거나 공급 된 제 2 약액 의 혼합 약액 을 이 차 적 으로 가열 시켜 외부 로 공급 한다 .