양극 은 주로 구리 로 구성 되 고 , 음극 과 마주 보 는 쪽 에 타 겟 물질 이 배치 되 며 , 타 겟 물질 로 는 Cr , Fe , Co , Ni , W , Mo 등 의 고저 항 재료 들 이 사용 될 수 있 다 . 타 겟 물질 은 회전자 계 에 의해 회전 할 수 있 으며 , 타 겟 물질 이 회전 하 게 되 면 전자 충격 면적 이 증대 되 고 고정 된 경우 에 비해 열 축적 율 이 단위 면적 당 10 배 이상 증대 될 수 있 다 .