여기 에서 , 상기 일관 공정 에 의한 초전 도 테이프 제조 장치 에 있 어서 , 박막 을 이루 는 특정 성분 이 기판 에 증착 되 도록 다 수개 의 물질 공급 부 가 내부 에 포함 된 증착 챔버 와 ; 상기 증착 챔버 와 부분 연통 되 며 , 상기 증착 챔버 측 의 연통 된 부분 으로 노출 되 어 상기 물질 공급 부 에 의해 특정 성분 이 증착 되 도록 형성 된 기판 과 , 외주 면 에 상기 기판 이 감겨져 회전 되 는 드럼 과 , 상기 기판 을 열처리 시키 는 히터 와 , 내부 에 산 소 를 공급 시키 는 산 소공 급부 로 이루어진 반응 챔버 와 ; 상기 증착 챔버 와 반응 챔버 사이 에 형성 되 어 증착 챔버 와 반응 챔버 의 분위기 를 분리 시키 는 분리 챔버 ; 를 포함 하 여 구성 되 는 것 이 바람직 하 다 .