일반식 ( a 1 - r 2 - 1 ) , ( a 1 - r 2 - 3 ) 또는 ( a 1 - r 2 - 4 ) 로 나타내 는 산 해리 성기 에 대한 설명 은 , 상기 서술 한 바 와 같 다 . 그 중 에서 도 , EB 용 또는 EUV 용 에 있 어서 반응 성 이 높 아 져 적합 하 다는 점 에서 , 산 해리 성기 가 고리 형기 인 것 을 선택 하 는 것 이 바람직 하 다 .