도 4 에 도시 하 는 바 와 같이 , 승강 기구 ( 64 ) 는 , 예 를 들 어 유체 공급 부 ( 도시 생략 ) 로부터 실린더 ( 64 d ) 로 의 유체 의 공급 유량 을 조정 함 으로써 실린더 ( 64 d ) 의 내압 을 높여 , 승 강체 ( 64 e ) 를 하강 시킨다 . 세 정구 ( 63 ) 는 승 강체 ( 64 e ) 에 연결 되 어 있 으므로 , 승 강체 ( 64 e ) 에 연동 하 여 세 정구 ( 63 ) 도 하강 한다 . 세 정구 ( 63 ) 의 세정 부재 ( 63 c ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 맞닿 는다 . 이때 의 세 정구 ( 63 ) 의 위치 를 하강 위치 P 2 라고 한다 .