상술 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 의 기판 이송 장치 는 적어도 하나 의 관절 로 이루어진 로봇 암 과 , 상기 로봇 암 의 끝단 에 연결 된 기판 지지 부 와 , 상기 기판 지지 부 의 일단 부 에 형성 된 기판 정렬 부재 를 포함 하 고 , 상기 기판 정렬 부재 는 상기 기판 지지 부 의 수평 및 수직 방향 으로 회동 가능 한 것 을 특징 으로 한다 .