상기 제 2 홈 의 제 1 폴리 실리콘 막 상 에 상기 제 2 홈 이 매립 되 도록 절 연막 을 형성 하 는 단계 후 , 그리고 , 상기 절 연막 및 상기 제 1 홈 의 제 1 폴리 실리콘 막 상 에 상기 제 1 홈 이 매립 되 도록 금속 막 을 형성 하 는 단계 전 , 상기 제 1 홈 의 제 1 폴리 실리콘 및 상기 절 연막 상 에 베리 어 막 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 된 것 을 특징 으로 한다 .