감도 를 향상 시킬 목적 에서 카르복실기 를 분자 내 에 갖 는 유기 화합물 을 첨가 해도 된다 . 구체 적 으로 는 , 탄소 원자 수 4 ∼ 20 의 카르복실 산 화합물 이 바람직 하 고 , 직 사슬 구조 , 분기 또는 고리 형 구조 를 갖 고 , 그 유기 기 의 탄소 수 가 6 ∼ 12 인 것 이 보다 바람직 하 다 . 구체 적 으로 는 , 소르브산 , 라우르산 , 미리스트산 , 아디프산 , 2 - 메틸 - 4 - 펜텐 산 , 4 - 메틸 - 2 - 펜텐 산 , 2 - 메틸 - 2 - 펜텐 산 , 2 - 메틸 - n - 발레 르 산 , 3 - 메틸 - n - 발레 르 산 , 4 - 메틸 - n - 발레 르 산 , 2 - 에틸 부티르산 , 헵탄 산 , 옥탄산 , n - 노난 산 , 이소노 난산 , 데칸 산 , DL - 류신 산 , 2 - 헵텐산 , 2 - 옥 텐 산 , 2 - 노넨 산 , 2 - 데 센 산 , 9 - 데 센 산 , 2 - 도 데 센 산 , 10 - 운 데 센 산 , 3 - 시클 로 헥 센 - 1 - 카르복실 산 , 1 - 시클 로 헥 센 - 3 - 카르복실 산 , 시클로헥산 카르복실 산 , 시클 로 펜틸 아세트산 , 시클 로 헥 실 아세트산 , 시클 로 헥 실 프로피온산 , 4 - 시클로헥산 부티르산 , 5 - 노르 보르 넨 - 2 - 카르복실 산 , p - 아니스산 , 2 , 4 - 디하 이드 록 시 벤조산 , 3 , 5 - 디하 이드 록 시 벤조산 , o - 톨 루 일산 , m - 톨 루 일산 , p - 톨 루 일산 , o - 아니스산 , m - 아니스산 , p - 아니스산 , 살리실산 , 2 , 4 - 디하 이드 록 시 벤조산 , 3 , 5 - 디하 이드 록 시 벤조산 , 3 - 페닐 락트산 , 4 - 하이드 록 시 페닐 락트산 , 4 - 하이드 록 시 만 델 산 , 3 , 4 - 디하 이드 록 시 만 델 산 , 4 - 하이드 록 시 - 3 - 메 톡 시 만 델 산 , 2 - 메 톡 시 - 2 -( 1 - 나프 틸 ) 프로피온산 , 만델 산 , 아트 로 락트산 , 아세틸 만 델 산 , - 메 톡 시 페닐 아세트산 등 을 들 수 있 다 . 이 들 카르복실 산 화합물 중 에서 , m - 톨 루 일산 , - 메 톡 시 페닐 아세트산 이 감도 의 향상 , 현 상시 의 패턴 기재 와 의 밀착 성 이 높 다는 점 에서 , 특히 바람직 하 다 . ( G ) 카르복실 산 화합물 을 첨가 하 는 경우 의 첨가량 은 5 ∼ 20 질 량부 가 바람직 하 고 , 5 ∼ 10 질 량부 가 더욱 바람직 하 다 . 카르복실 산 화합물 의 배 합량 이 5 질 량부 이상 이 면 노광 부 의 현상 잔사 가 적어져 , 감도 도 향상 되 고 , 또 , 실리콘 기판 과 의 밀착 성 도 양호 하 다 . 20 질량 부 이하 이 면 경화 시 에 의한 막 감소 가 적 어 , 경화 후 의 막 의 인장 신장 률 도 양호 하 다 .