제 1 전극 ( CPE 1 ) 및 제 2 전극 ( CPE 2 ) 사이 에 배치 된 제 2 절연 층 ( IL 2 ) 의 두께 ( d 1 ) 는 제 1 제어 전극 ( CE 1 ) 및 제 2 반도체 패턴 ( SP 2 ) 사이 에 배치 된 제 2 절연 층 ( IL 2 ) 의 두께 ( d 2 ) 보다 큰 것 일 수 있 다 . 제 1 전극 ( CPE 1 ) 및 제 2 전극 ( CPE 2 ) 사이 에 배치 된 제 2 절연 층 ( IL 2 ) 의 두께 ( d 1 ) 및 제 1 제어 전극 ( CE 1 ) 및 제 2 반도체 패턴 ( SP 2 ) 사이 에 배치 된 제 2 절연 층 ( IL 2 ) 의 두께 ( d 2 ) 각각 은 제 3 방향 ( DR 3 ) 으로 의 수직 거리 를 의미 하 는 것 일 수 있 다 .