도 3 을 참조 하 면 , 기판 온도 를 100 ℃∼ 350 ℃, 압력 을 0 . 1 torr ∼ 10 torr 로 유지 한 상태 에서 Zr 원자 와 Nb 원자 가 하나 의 분자 로 구성 된 ZrNb ( MMP ) 2 ( OiPr ) 5 를 챔버 내부 로 0 . 1 초 ∼ 3 초간 플로우 시켜 기판 에 ZrNb ( MMP ) 2 ( OiPr ) 5 를 흡착 시킨다 . ZrNb ( MMP ) 2 ( OiPr ) 5 에서 ' MMP ' 는 메 톡 시 메틸 - 2 - 프로 폭 사이드 ( Methoxy methyl 2 propoxide ) 이 고 , ' OiPr ' 은 이소 프로 폭 사이드 ( Iso propoxide ) 이 다 .