또한 , 본 발명 은 , 예 를 들 어 일본 특허 공개 공보 평 10 - 163099 호 , 일본 특허 공개 공보 평 10 - 214783 호 ( 대응 하 는 미국 특허 제 6 , 341 , 007 호 , 제 6 , 400 , 441 호 , 제 6 , 549 , 269 호 및 제 6 , 590 , 634 호 ) , 일본 공표 특허 공보 제 2000 - 505958 호 ( 대응 하 는 미국 특허 제 5 , 969 , 441 호 ) 등 에 개시 되 어 있 는 바 와 같 은 복수 의 기판 스테이지 를 구비 한 트윈 스테이지 ( 멀티 스테이지 ) 형 의 노광 장치 에 도 적용 할 수 있 다 . 멀티 스테이지 형 의 노광 장치 에 관하 여 , 지 정국 및 선택 국 의 국내 법령 이 허용 하 는 한 에서 , 상기 미국 특허 의 개시 를 원용 하 여 본문 기재 의 일부 로 한다 .