작업자 는 , 이 와 같 은 순서 로 포커스 링 ( 35 ) 의 교환 을 실행 한 후 , 어댑터 ( 96 ) 를 분리 했 을 때 와 반대 의 순서 로 어댑터 ( 96 ) 를 제 2 게이트 ( 95 ) 에 장착 한다 . 그리고 , 작업자 는 유지 보수 장치 ( 100 ) 의 케이스 ( 101 ) 내 를 대기압 으로 되돌린다 . 도 10 a 및 도 10 b 는 포커스 링 ( 35 ) 의 교환 이 완료 한 상태 를 도시 하고 있 다 . 도 10 a 는 제 1 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 평면도 이 다 . 도 10 b 는 제 1 실시 형태 에 따른 유지 보수 장치 를 개략 적 으로 도시 하 는 단면도 이 다 . 또한 , 도 10 b 는 도 10 a 의 파선 A - A 를 도 10 a 의 하측 으로부터 투영 한 단면도 이 다 .