로드 락 챔버 ( 300 ) 는 프런트 엔드 모듈 ( 200 ) 과 전달 챔버 ( 400 ) 를 연결 하 며 이 들 간 에 운반 되 는 기판 을 중간 적재 하 는 부분 으로 , 일반 적 으로 두 개 의 로드 락 챔버 ( 300 a , 300 b ) 를 사용 한다 . 그리고 이 들 로드 락 챔버 ( 300 ) 중 제 1 로드 락 챔버 ( 300 a ) 는 프런트 엔드 모듈 ( 200 ) 에서 전달 챔버 ( 400 ) 를 통해 각 공정 챔버 ( 500 ) 로 반입 될 기판 을 중간 적재 하 는 로더 ( loader ) 로 , 제 2 로드 락 챔버 ( 300 b ) 는 공정 챔버 ( 500 ) 로부터 전달 챔버 ( 400 ) 를 거쳐 저 장부 로 반출 되 는 기판 을 중간 적재 하 는 언로 더 ( unload ) 역할 을 할 수 있 다 .