또한 , 실시 형태 와 관련 되 는 피 가 공물 의 가공 방법 은 , 스폿 형상 ( 151 ) 을 장축 이 X 축 방향 과 평행 한 타원 형상 으로 형성 하 고 , 상술 한 거리 ( 131 ) 가 되 는 위치 에 집 광점 ( 16 ) 을 설정 하 고 , 레이저 광선 ( 15 ) 을 조사 한다 . 스폿 형상 이 진원 ( 眞 圓 ) 형상 의 경우 , 집 광점 으로부터 누설 되 는 광은 분할 예정 라인 ( 104 ) 의 하방 에서 분할 예정 라인 ( 104 ) 의 외측 의 위치 에 조사 되 어 버릴 우려 가 있 다 . 이 에 반해 , 본 실시 형태 의 피 가 공물 의 가공 방법 은 , 스폿 형상 이 타원 형상 이 므로 X 　 방향 과 직교 하 는 Y 　 방향 으로 의 확대 를 작 게 할 수 있 고 , 집 광점 ( 16 ) 으로부터 누설 되 는 레이저 광이 분할 예정 라인 ( 104 ) 의 하방 에서 , 분할 예정 라인 ( 104 ) 보다 외측 이 아니 라 분할 예정 라인 ( 104 ) 의 폭 내 , 즉 직하 ( 直下 ) 로 들어가 조사 되 기 쉬워진다 . 또한 , 한 번 의 분할 예정 라인 ( 104 ) 에 따른 레이저 광선 ( 15 ) 의 조사 에 의해 , 개질 층 ( 121 ) 및 분할 기점 ( 129 ) 을 동시 에 형성 할 수 있 으므로 , 종래 와 같이 2 회 로 나누 어 가공 하 는 것 보다 도 개질 층 ( 121 ) 을 기점 으로 한 분 할 라인 과 분할 기점 ( 129 ) 을 기점 으로 한 분 할 라인 과 의 어긋남 이 작아진다 . 이 때문 에 , 실시 형태 와 관련 되 는 피 가 공물 의 가공 방법 은 , 종래 와 같이 피 가 공물 ( 101 ) 과 부재 ( 109 ) 를 별도 로 분할 했 을 경우 에 발생 할 우려 가 있 었 던 피 가 공물 ( 101 ) 의 분할 라인 과 부재 ( 109 ) 의 분할 라인 의 사이 에 생기 는 라인 어긋남 의 현상 을 크 게 억제 할 수 있 다는 작용 효과 를 발휘 한다 .