방사 온도계 ( 120 , 140 ) 는 , 열처리 장치 ( 1 ) 전체 의 컨트롤러 인 제 어부 ( 3 ) 와 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 방사 온도계 ( 120 , 140 ) 에 의해 각각 측정 된 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 하 면 및 상면 의 온도 는 제 어부 ( 3 ) 에 전달 된다 . 제 어부 ( 3 ) 는 , 적산 부 ( 31 ) 및 깨 짐 판 정부 ( 32 ) 를 구비 한다 . 적산 부 ( 31 ) 및 깨 짐 판 정부 ( 32 ) 는 , 제 어부 ( 3 ) 의 CPU 가 소정 의 처리 프로그램 을 실행 함 으로써 실현 되 는 기능 처 리부 이 다 . 적산 부 ( 31 ) 및 깨 짐 판 정부 ( 32 ) 의 처리 내용 에 대해서 는 추가 로 후술 한다 .