코팅 은 스핀 코팅 또는 딥 코팅 방법 으로 수행 하 였 다 . 스핀 코팅 을 하 는 경우 , 준비 된 기판 에 소량 의 상기 실시 예 1 의 폴리 실세 스 퀴옥산 용액 을 떨어뜨린 후 스핀코팅 기 ( spin coater ) 를 이용 하 여 1 , 500 rpm 에서 30 초간 코팅 하 였 다 . 딥 코팅 을 하 는 경우 , 준비 된 기판 을 상기 실시 예 1 의 폴리 실세 스 퀴옥산 용액 에 12 시간 동안 방치 하 여 기판 표면 에 폴리 실세 스 퀴옥산을 흡착 시킴 으로써 코팅 하 였 다 .