최근 에 사용 되 는 정화 기술 로 챔버 로부터 이격 된 위치 에서 정화 가스 ( NF 3 , SF 6 , F 2 등 의 플루오린 계열 가스 ) 를 원격 플 라즈 마 소스 ( Remote Plasma Source ) 에 흘려 플 라즈 마 및 라디컬 ( 이 를 정화 물질 이 라 함 ) 을 생성 하 고 , 이 를 가스 피드 스루 관 ( Gas Feedthrough Pipe ) 과 알루미늄 관 ( 미 도시 ) 을 통해 챔버 에 주입 한 후 , 챔버 내 의 잔류물 과 반응 해 정화 작업 을 일으키 도록 한 것 이 개시 된 바 있 다 .