배 플 ( 661 ) 은 챔버 속 으로 탑 노즐 을 통해 공급 된 공급원 가스 의 직접 흐름 을 위해 그리고 원격 으로 생성 된 플라스마 의 직접 흐름 을 위해 탑 노즐 근처 에 제공 될 수 있 다 . 탑 노즐 ( 645 ) 을 통해 제공 된 공급원 가스 는 챔버 속 으로 중심 통로 ( 662 ) 를 통해 안내 되 며 , 한편 세척 가스 공급 포트 ( 654 ) 를 통해 제공 된 원격 으로 생성 된 플라스마 종 은 배 플 ( 661 ) 에 의해 챔버 ( 613 ) 의 측 부 로 안내 된다 .