또 , 본 실시 형태 의 투영 계 에 있 어서 , 예 를 들 면 , 국제 공개 제 2004 / 019128 호 팜플렛 ( 대응 미국 특허 공개 제 2005 / 0248856 호 ) 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , 종단 광학 소자 의 상면 ( 像 面 ) 측 의 광로 에 더 하 여 , 종단 광학 소자 의 물 체면 측 의 광로 도 액체 로 채우 도록 하 여도 좋 다 . 또한 , 종단 광학 소자 의 표면 의 일부 ( 적어도 액체 ( LQ ) 와 의 접촉면 을 포함 한다 ) 또는 전부 에 , 친액성 및 / 또는 용해 방지 기능 을 가진 박막 을 형성 해도 된다 . 또한 , 석영 은 액체 ( LQ ) 와 의 친화성 이 높 고 , 또한 용해 방지 막 도 불 필요 하 지만 , 형석 은 적어도 용해 방지 막 을 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .