노광 장치 ( EX ) 의 종류 로서 는 , 기판 ( P ) 에 반도체 소자 패턴 을 노광 하 는 반도체 소자 제조 용 의 노광 장치 에 한정 되 지 않 고 , 액정 표시 소자 제조 용 또는 디스플레이 제조 용 의 노광 장치 나 , 박막 자기 헤드 , 마이크 로 머신 , MEMS , DNA 칩 , 촬상소자 ( CCD ) 혹은 레티 클 또는 마스크 등 을 제조 하 기 위한 노광 장치 등 에 도 넓 게 적용 할 수 있 다 .