또한 , 특허 문헌 3 에 는 RLSA ( 등록 상표 ) 마이크로파 플라스마 처리 장치 에 있 어서 , 반송파 를 변조 함 으로써 소정 의 주파수 대역 폭 을 갖 는 마이크로파 를 생성 하 여 , 마이크로파 의 정재파 나 각 슬롯 으로부터 방사 된 마이크로파 끼리 의 간섭 등 에 의해 발생 하 는 전계 의 치우침 을 완화 하 는 것 이 기재 되 어 있 다 .