( 2 ) 진공 분위기 와 대기압 분위기 가 반복 하 여 발생 함 으로써 , O 링 이 덮개 에 눌려 부수 어 지 거나 O 링 에 복원력 이 생기 거나 한다 . 이 로 인해 , O 링 과 덮개 사이 에 생긴 마찰 에 의해 O 링 에서 파티클 이 발생 하 고 , 로드 락 챔버 의 내부 공간 으로 비산 하 여 기판 에 파티클 이 부착 한다는 문제 가 있 다 . 더욱이 , 근래 에 는 반송 대상 의 기판 이 대형 화 하 고 있 고 , 예 를 들 면 , 한 변이 1500 mm 를 넘 는 대형 기판 을 반송 하 기 위해서 로드 락 챔버 도 대형 화 하 고 있 다 . 이 에 따라 , 덮개 면적 의 증가 에 따라 덮개 의 휨 양 도 증가 하 고 , 진공 분위기 및 대기압 분위기 의 반복 생성 에 의해 O 링 과 덮개 사이 에서 의 마찰 량도 종래 보다 증가 한다 . 더욱이 , O 링 과 덮개 사이 의 마찰 뿐 아니 라 , 로드 락 챔버 를 구성 하 는 부재 와 덮개 의 접촉 에 기인 하 는 마찰 에 의해 파티클 이 발생 하 고 , 기판 에 파티클 이 부착 한다는 문제 가 있 다 .