처리 실 ( 201 ) 의 바닥 측 중앙 에 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 적재 하 는 기판 적 재부 로서 의 서 셉 터 ( 217 ) 가 배치 되 어 있 다 . 서 셉 터 ( 217 ) 는 , 예 를 들 어 질화알루미늄 ( AlN ) , 세라믹스 , 석영 등 의 비금속 재료 로 형성 되 어 있 고 , 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 형성 되 는 막 등 에 대한 금속 오염 을 저감 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .