진공 성막 장치 ( 100 ) 를 사용 하 여 기재 ( 21 a ) 상 에 성막 을 하 는 경우 , 작업자 는 , 그 성막 을 행하 기 전 에 , 기재 ( 21 a ) 를 기재 홀더 ( 6 a ) 의 기재 부 착면 상 에 소정 의 고정구 ( 36 ) 를 사용 하 여 부착 한다 . 이때 기재 ( 21 a ) 의 뒷면 과 기재 부 착면 이 접촉 하 도록 기재 ( 21 a ) 를 기재 홀더 ( 6 a ) 에 부착 한다 .