본 실시 예 에서 는 게이트 하드 마스크 막 ( 83 ) 을 질화 막 으로 형성 하 였 기 때문 에 , 이 에 대응 하 는 식각 가스 즉 , SF 6 와 CHF 및 Ar 의 혼합 가스 의 유량 을 증가 시켜 게이트 하드 마스크 막 ( 83 ) 의 폭 을 감소 시킨다 . 또는 소스 파워 를 증가 시키 거나 , 바이어스 파워 를 감소 시켜 게이트 하드 마스크 막 ( 83 ) 의 폭 을 감소 시킨다 .