그리고 테이프 흡착 부 ( 2141 ) 에 의해 수지 테이프 ( 213 ) 가 진공 흡착 됨 으로써 , 수지 테이프 ( 213 ) 의 시험 도포면 ( 2131 ) 이 , 테이프 흡착 부 ( 2141 ) 의 유지 평면 ( 2145 ) 상 에 평활 한 상태 로 고정 되 어 기판 ( 9 ) 의 상면 ( 91 ) ( 도 1 참조 ) 와 같 은 높이 가 된다 . 시험 도포 스테이 지부 ( 21 ) 에서 는 , 테이프 흡착 부 ( 2141 ) 및 테이프 압 압부 ( 2142 ) 가 , 수지 테이프 ( 213 ) 의 시험 도포면 ( 2131 ) 을 고정 하 는 테이프 고정부 가 된다 . 테이프 압 압부 ( 2142 ) 는 , 테이프 흡착 부 ( 2141 ) 에 의한 수지 테이프 ( 213 ) 의 흡착 후 , 압 압부 승강 기구 ( 2143 ) 에 의해 상승 하 여 수지 테이프 ( 213 ) 로부터 이격 함 과 더불 어 , 압 압부 이동 기구 ( 2144 ) 에 의해 ( ＋ Y ) 방향 으로 이동하 여 , 시험 도포면 ( 2131 ) 상 으로부터 퇴피 ( 退避 ) 한다 .