본 발명인 진동체 스프레이 노즐 을 이용 한 미립자 제조 방법 은 우선 , 용매 함유 액체 공급 물 이 진동체 스프레이 노즐 에 공급 되 고 ( S 10 ) , 이후 용매 함유 액체 공급 물 이 진동체 스프레이 노즐 을 통해 소정 건조 챔버 에 수용 된 가열 건조 된 기체 에 액 적 으로 토출 됨 으로써 ( S 20 ) 일 실시 예 가 수행 될 수 있 다 .