TiO 2 - SiO 2 유리 ( 1 ) 에서 , 가상 온도 의 편차 가 50 ℃ 이내 , OH 농도 의 편차 가 50 ppm 이내 인 경우 , 열 팽창 계수 분포 가 적어도 1 개 의 면 내 에 있 어서 50 mm× 50 mm 의 면적 내 에서 300 ppb / ℃ 이내 일 수 있 게 하 고 , 이 에 따라 EUVL 용 노광 장치 의 광학 부재 로서 적합 하 다 .