본 발명 에서 사용 되 는 공중 합체 [ A ] 의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 ( 이하 , " "" Mw "" 라 함 ) 은 바람직 하 게 는 2 × 103 내지 1 × 105 ", 보다 바람직 하 게 는 5 × 103 내지 5 × 104 이 다 . Mw 가 2 × 103 미만 이 면 , 현상 마진 이 불 충분 해 지 는 경우 가 있 어 , 얻 어 지 는 피막 의 잔 막 률 등 이 저하 되 거나 , 또한 얻 어 지 는 층간 절 연막 또는 마이크 로 렌즈 의 패턴 형상 , 내열성 등 이 떨어질 수 있 고 , 한편 1 × 105 를 초과 하 면 , 감도 가 저하 되 거나 패턴 형상 이 떨어질 수 있 다 . 또한 , 분자량 분포 ( 이하 , " "" Mw / Mn "" 이 라 함 ) 는 바람직 하 게 는 5 . 0 이하 ", 보다 바람직 하 게 는 3 . 0 이하 인 것 이 바람직 하 다 . Mw / Mn 이 5 . 0 을 초과 하 면 , 얻 어 지 는 층간 절 연막 또는 마이크 로 렌즈 의 패턴 형상 이 떨어질 수 있 다 . 상기 공중 합체 [ A ] 를 포함 하 는 감방 사선 성 수지 조성물 은 현상 할 때 에 현상 잔여물 이 생기 지 않 고 용이 하 게 소정 패턴 형상 을 형성 할 수 있 다 .