일반 적 으로 차광막 등 의 기능 성 박막 은 금속 을 함유 하 는 타 겟 을 이용한 스퍼터링 법 에 의해 형성 되 고 , 레지스 트 막 은 기판 위 에 레지스 트 용액 을 떨어뜨리 고 기판 을 회전 시켜 기판 전체 면 위 에 레지스 트 용액 이 넓 게 퍼지 도록 하 는 스핀 코팅 방식 에 의해 형성 되 거나 , 긴 노즐 을 통해 레지스 트 용액 을 공급 하 고 노즐 을 기판 면 에 스캔 하 는 스캔 코팅 방식 에 의해 형성 되 거나 , 스캔 코팅 방식 과 스핀 코팅 방식 을 혼용 하 기 도 한다 .