또한 , 정전 척 ( 14 ) 의 상면 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 가 흡착 보지 되 는 부분 에 는 , 정전 척 ( 14 ) 의 상면 으로부터 돌출 가능 한 리프트 핀 으로서 의 복수 의 푸 셔 핀 ( 예 를 들 면 3 개 ) 이 배치 되 어 있 다 . 이 들 푸 셔 핀 은 모터 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 볼 나사 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 거쳐서 접속 되 며 , 볼 나사 에 의해 직선 운동 으로 변환 된 모터 의 회전 운동 에 기인 하 여 정전 척 ( 14 ) 의 상면 으로부터 자유 자재 로 돌출 된다 . 이 에 의해 , 푸 셔 핀 은 정전 척 ( 14 ) 및 서 셉 터 ( 13 ) 를 관통 하 고 , 내측 공간 에 있 어서 돌 몰 ( 突 沒 ) 상하동 한다 . 웨이퍼 ( W ) 에 에칭 처리 를 실시 하 는 경우 에 있 어서 정전 척 ( 14 ) 이 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 보지 할 때 에 는 , 푸 셔 핀 은 정전 척 ( 14 ) 에 수용 된다 . 에칭 처리 가 실시 된 웨이퍼 ( W ) 를 플 라즈 마 생 성 공간 ( S ) 으로부터 반출 할 때 에 는 , 푸 셔 핀 은 정전 척 ( 14 ) 으로부터 돌출 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 정전 척 ( 14 ) 으로부터 이격 시켜 상방 으로 들 어 올린다 .