이어서 , 상기 구리 막 3 위 에 에칭 레지스 트 를 형성 했 다 . 도금 레지스 트 로서 는 TOKYO OHKA KOGYO CO . ," LTD . 의 "" PMER P - LA 900 PM "" 을 사용 하 여 레지스 트 두께 20 ㎛ 로 L / S = 50 / 50 ㎛ 의 배선 패턴 의 에칭 레지스 트 를 형성 했 다 . 도금 레지스 트 형성 후 ", 염화 제 2 철 계 의 에칭 액 을 사용 하 여 구리 막 1 및 구리 막 2 , 구리 막 3 을 샤워 방식 으로 에칭 했 다 . 에칭 후 는 에칭 레지스 트 를 알칼리 성 의 박리 액 으로 제거 하 여 배선 을 형성 했 다 .