앞서 설명 된 실시 예 에 따르 면 , 일 방법 이 제공 된다 . 그러 한 방법 은 , 예 를 들 어 , 기판 을 제공 하 는 단계 와 기판 상 에 제 1 세트 의 기둥 을 형성 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 본 방법 은 제 1 세트 의 기둥 상 에 스 페이서 재료 를 퇴적 하 여 제 1 패턴 의 홀 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 는데 , 홀 들 중 적어도 하나 는 제 1 세트 의 기둥 들 사이 에 배치 되 고 , 퇴적 이후 에 , 스 페이서 재료 가 제 1 세트 의 제 1 기둥 과 제 1 세트 의 가장 가까운 인접 기둥 사이 의 공간 을 채운다 .