상기 간섭계 ( 200 ) 가 비 - 대칭 적 인 시스템 이 기 때문 에 , 노광 필드 ( 214 ) 의 전체 폭 에 걸쳐 간섭성 매칭 에 따른 문제점 이 존재 할 수 있 다 . 전형 적 으로 이러 한 타입 의 이미 징 에 관해서 는 두 가지 타입 의 간섭 성 : ( 1 ) 공간 간섭성 ( 즉 , 공간 / 위치 기반 ) 및 ( 2 ) 일시 적 간섭성 ( 즉 , 시간 기반 ) 이 존재 하 며 , 이 는 아래 에 자세히 설명 하 기 로 한다 . 일반 적 으로 , 간섭 성 의 개념 은 위상 의 안정 성 또는 예측 가능 성 에 관한 것 이 다 . 기판 위치 에서 의 광선 들 은 빔 스플리터 ( 204 ) 상 의 동일 한 위치 로부터 따라간다 ( emulate ) .