본 발명 의 제 2 양태 에 따라 , 전극 과 접촉 되 고 평탄 한 형상 으로 이루어진 , 포스 프로브 의 종단 부 를 갖 는 반도체 검사 장치 가 제공 된다 . 그 다음 에 , 센스 프로브 의 종단 부가 포스 프로브 의 종단 부 와 접촉 되 어 , 센스 프로브 가 포스 프로브 와 접촉 되 도록 한다 . 이러 한 구성 을 가짐 으로써 , 센스 프로브 의 종단 부가 포스 프로브 의 평탄 한 면 에 형성 된 종단 부 의 어떤 부분 과 접촉 될 때 도 , 센스 프로브 를 포스 프로브 와 접촉 시키 는 것 이 가능 하 다 . 따라서 , 프로브 들 을 높 은 정확도 로 접촉 시키 는 것 이 가능 하 다 .