동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 기억 장치 ( 110 ) 에 전기 적 으로 저장 된 프로그램 에 따라서 , 상술 한 센터 링 동작 을 포함 하 는 연마 프로세스 를 실행 한다 . 즉 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 편심 검출 기구 ( 54 ) 의 편심 검 출부 ( 60 ) ( 또는 편심 검 출부 ( 60 A ) ) 를 동작 시켜서 , 편심 검지 위치 에 있 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 , 얼라 이너 를 동작 시켜 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 맞추 고 , 스테이지 승강 기구 ( 51 ) 를 동작 시켜서 , 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로부터 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로 전달 하 여 , 보유 지지 시키 고 , 편심 검출 기구 ( 54 ) 의 편심 검 출부 ( 60 ) ( 또는 편심 검 출부 ( 60 B ) ) 를 동작 시켜 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 고 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 내 에 있 는지 여부 를 확인 하 고 , 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 이 소정 의 허용 범위 내 에 있 는 경우 에 , 웨이퍼 W 의 주연 부 의 연마 를 개시 하 는 스텝 을 실행 한다 . 상술 한 바 와 같이 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 센터 링 동작 을 실행 하 기 전 에 , 센터 링 준비 동작 을 실행 해도 된다 . 이 경우 , 센터 링 동작 은 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 대한 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 의 초기 상대 위치 와 , 웨이퍼 W 의 편심 량 | Pv | 및 편심 방향 ( 각도 β ) 에 기초 하 여 실행 된다 .