지지 테이블 ( 2 ) 의 내부 에 는 냉 매실 ( 17 ) 이 마련 되 어 있 으며 , 이 냉 매실 ( 17 ) 에 는 냉매 가 냉매 도 입관 ( 17 a ) 을 거쳐서 도입 되 고 냉매 배출관 ( 17 b ) 으로부터 배출 되 어 순환 하 고 , 그 냉열 이 지지 테이블 ( 2 ) 을 거쳐서 웨이퍼 W 에 대해 전열 되 고 , 이것 에 의해 웨이퍼 W 의 처리 면 이 원 하 는 온도 로 제어 된다 .