상기 저압 플라 즈 마는 고가 의 고 성능 진공 펌프 를 이용 해 10 - 5 내지 10 - 7 Torr 이하 의 초기 진공 ( Base Pressure ) 환경 을 만든 후 , 원 하 는 공정 가스 를 이용 해 수 밀리 토르 ( mTorr ) 내지 수 토르 ( Torr ) 의 공정 압력 에서 플라 즈 마를 발생 시킨다 . 상압 플 라즈 마 에 비해 고진공 을 요구 하 기 때문 에 이 에 적합 한 진공 용기 를 사용 해야 하 며 , 잔공 상태 를 모니터링 할 수 있 는 게이지 ( Gauge ) 및 각종 방전 가스 조절 장치 등 을 사용 해야 하 지만 , 모든 공정 이 초기 진공 상태 에서 가공 목적 에 적합 한 공정 가스 를 주입 해 사용 하 기 때문 에 공정 재현 성 이 우수 하 며 고품위 표면 처리 에 적합 하 다 .