즉 , 기판 ( 16 ) 을 카세트 ( 10 ) 에 수납 하 고자 하 는 경우 , 기판 ( 16 ) 을 로봇 암 ( 12 ) 에 로딩 한 후 회 전부 ( 14 ) 를 회전 시키 면 , 회 전부 ( 14 ) 의 회전 운동 이 로봇 암 ( 12 ) 의 직선 운동 으로 바뀌 어 , 로봇 암 ( 12 ) 이 기판 ( 16 ) 을 이재 하 고자 하 는 위치 ( 이하 , ' 교시 위치 ' 라 칭함 ) ( teaching position ) 로 이동한 다음 카세트 ( 10 ) 내부 로 전진 한다 . 따라서 , 로딩 하 고자 하 는 슬롯 ( 10 a ) 상 에 기판 ( 16 ) 을 로딩 ( loading ) 한다 .