다음 , 기판 냉각기 ( 411 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 냉각 한다 ( S 320 ) 기판 냉각기 ( 411 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 상온 보다 낮 은 온도 로 냉각 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 냉각기 ( 411 ) 는 레티 클 기판 ( 2 ) 을 약 145 K 까지 냉각 시킬 수 있 다 . 반사 층 ( 4 ) 및 흡수 패턴 ( 6 ) 은 레티 클 기판 ( 2 ) 의 온도 와 동일 한 온도 로 냉각 될 수 있 다 .