실시 예 1 과 동일 하 게 하 여 배선 기판 ( 100 a ) , 배선 기판 ( 100 A ) 을 제조 하 였 다 . 배선 기판 ( 100 A ) 으로 는 , 하나 는 , 실시 예 1 과 동일 한 캐비 티 용 구멍 ( 15 ) 을 갖 는 것 을 형성 하 고 , 다른 하나 는 , 한층 큰 캐비 티 용 구멍 ( 15 ) 을 갖 는 것 을 형성 하 였 다 . 그리고 , 2 장 의 배선 기판 ( 100 B ) 을 하층 측 에 적층 시키 고 , 1 장 의 배선 기판 ( 100 a ) 을 그 위 의 캐비 티부 저면 에 적층 시키 고 , 그 위 에 실시 예 1 과 동일 한 캐비 티 용 구멍 ( 15 ) 을 갖 는 배선 기판 ( 100 A ) 을 적층 시키 고 , 추가 로 그 위 에 한층 큰 캐비 티 용 구멍 ( 15 ) 을 갖 는 배선 기판 ( 100 A ) 을 적층 시켰 다 . 그리고 , 계단 형상 의 캐비 티부 ( 220 ) 와 동일 한 형상 , 두께 의 폴리 이미드 수지 제 의 스 페이서 ( 260 ) 를 캐 비 티부 ( 220 ) 가 되 는 위치 에 배치 하 고 , 실시 예 1 과 동일 하 게 하 여 열압 착함 으로써 , 5 층 구성 이 고 , 계단 형상 의 캐비 티부 ( 220 ) 를 갖 는 다층 배선 기판 ( 200 A ) 을 제조 하 였 다 .