실시 예 3 ( 도 4 ) 는 공정 ( 100 ) 의 예시 적 실시 양태 를 제공 하 며 , 여기 서 스퍼터링 표적 ( 401 ) 은 실시 예 2 에 의해 예시 된 바 와 같 은 LiO 2 ( 307 ) 대신 에 Li 3 N ( 407 ) 을 포함 하 고 , 그 와 같이 제조 된 스퍼터 표적 ( 401 ) 은 적어도 질소 및 산소 를 함유 하 는 플 라즈 마 플룸 ( 403 ) 에서 DC , 펄스 화 DC , AC 또는 RF 스퍼터링 된다 .