도 16 에 도시 하 는 바 와 같이 , 거리 ( DS 1 ) 가 107 ㎛ 보다 큰 경우 에서 는 정전 용량 의 채널 간 격차 ( 소자 격차 ) 가 비교 적 크 다 . 또한 , 거리 ( DS 1 ) 가 107 ㎛ 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 86 ㎛ 이하 에서 , 정전 용량 의 채널 간 격차 ( 소자 격차 ) 가 비교 적 작 다 . 즉 , 인덕 터 적층 부 ( 7 ) 에 있 어서 , 인덕 터 도체 부 ( 121 내지 128 ) 와 계면 ( P ) 의 이격 거리 를 100 ㎛ 이하 로 함 으로써 , 정전 용량 의 채널 간 격차 ( 소자 격차 ) 가 비교 적 작 게 되 어 있 다 .