다음 으로 , 처리 액 공급 부 ( 12 ) 에 대해 도 2 , 및 도 3 을 참조 하 여 설명 한다 . 도 2 는 제 1 실시 형태 에 따른 처리 액 공급 부 ( 12 ) 의 사시도 이 다 . 도 3 은 제 1 실시 형태 에 따른 처리 액 공급 부 ( 12 ) 의 평면도 이 다 . 한편 , 도 2 , 및 도 3 의 처리 액 공급 부 ( 12 ) 는 , 우측 아암 ( 5 R ) 에 설치 된 처리 액 공급 부 ( 12 ) 이 다 .