반송 장치 ( 300 ) 는 그 길 이 방향 이 제 1 방향 ( 92 ) 으로 제공 될 수 있 다 . 버퍼 유닛 ( 200 ) 은 인덱스 모듈 ( 10 ) 과 반송 장치 ( 300 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 액 처리 장치 ( 400 ) 와 세정 장치 ( 500 ) 는 반송 장치 ( 300 ) 의 측 부 에 배치 될 수 있 다 . 액 처리 장치 ( 400 ) 와 반송 장치 ( 300 ) 는 제 2 방향 ( 94 ) 을 따라 배치 될 수 있 다 . 세정 장치 ( 500 ) 와 반송 장치 ( 300 ) 는 제 2 방향 ( 94 ) 을 따라 배치 될 수 있 다 . 버퍼 유닛 ( 200 ) 은 반송 장치 ( 300 ) 의 일단 에 위치 될 수 있 다 .