도 32 의 ( c ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 잉 여부 ( Tm ) 의 길이 는 웨이퍼 ( W ) 의 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 높이 보다 길 다 . 그 때문 에 , 점착 테이프 ( DT ) 가 프레스 테이블 ( 63 ) 로부터 이격 되 어 웨이퍼 ( W ) 에 첩부 될 때 , 잉 여부 ( Tm ) 부분 의 점착 테이프 ( DT ) 가 함몰 부 ( Vc ) 로부터 이격 됨 으로써 , 당해 잉여 부 ( Tm ) 에 있 어서 짧 게 줄어들 여지 가 발생 한다 .