헤드 유닛 ( 162 A ) 은 , 전술 한 이동 스케일 ( 39 A ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 X 축 방향 의 위치 ( X 위치 ) 및 Y 축 방향 의 위치 ( Y 위치 ) 를 계측 하 는 다안 ( 여기 서 는 5 안 ) 의 2 차원 인코더 ( 이하 , 적절히 「 인코더 」 라고 약기 한다 ) ( 170 A ) ( 도 47 참조 ) 를 구성 한다 . 동일 하 게 , 헤드 유닛 ( 162 B ) 은 , 전술 한 이동 스케일 ( 39 B ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 의 X 위치 및 Y 위치 를 계측 하 는 다안 ( 여기 서 는 5 안 ) 의 2 차원 인코더 ( 170 B ) ( 도 47 참조 ) 를 구성 한다 . 여기 서 , 헤드 유닛 ( 162 A 및 162 B ) 이 각각 구비 하 는 5 개 의 2 D 헤드 ( 164 i 또는 165 j ) ( 즉 , 계측 빔 ) 의 X 축 방향 의 간격 ( WD ) 은 , 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) ( 보다 정확 하 게 는 2 차원 격자 ) 의 X 축 방향 의 폭 보다 약간 좁 게 설정 되 어 있 다 .