또한 , 레이저 조사 유닛 ( 350 ) 은 조사 위치 및 대기 위치 로 이동 될 수 있 다 . 일 예 에 의하 면 , 조사 위치 는 기판 ( W ) 의 상면 에 레이저 를 조사 하 는 위치 일 수 있 다 . 또한 , 조사 위치 는 기판 ( W ) 의 상면 중 기판 의 에지 영역 에 레이저 를 조사 하 는 위치 일 수 있 다 . 대기 위치 는 기판 ( W ) 에 공정 처리 전 또는 공정 처리 가 완료 된 이후 에 레이저 조사 유닛 ( 350 ) 이 대기 하 는 위치 일 수 있 다 .