상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따른 기판 이송 장치 는 , 다수 의 기판 들 을 수납 하 는 용기 를 지지 하 기 위한 로드 포트 와 상기 기판 들 을 가공 하 기 위한 기판 가공 모듈 사이 에 배치 되 며 상기 기판 들 이 이송 되 는 공간 을 제공 하 는 기판 이송 챔버 와 , 상기 기판 이송 챔버 내 에 배치 되 어 상기 기판 들 을 이송 하 기 위한 기판 이송 로봇 과 , 상기 기판 이송 챔버 내 에 배치 되 어 상기 용기 의 도어 를 상하 방향 으로 개폐 하 기 위한 도어 오프너 와 , 상기 도어 오프너 가 상기 용기 의 도어 를 개방 하 면서 하강 하 는 동안 상기 용기 내 에 수납 된 기판 들 의 수납 상태 를 스캐닝 하 기 위한 발광 부 와 수 광부 를 포함 하 는 제 1 센서 와 , 상기 제 1 센서 의 발광 부 및 수 광부 가 각각 장착 되 며 상기 발광 부 및 수 광부 가 개방 된 용기 에 수납 된 기판 들 과 인접 하 여 배치 되 도록 상기 도어 오프너 의 상부 에 회전 가능 하 도록 배치 된 한 쌍 의 맵 핑 암 들 과 , 상기 맵 핑 암 들 이 상기 기판 들 과 인접 하 는 기 설정 된 위치 들 에 각각 위치 시키 기 위하 여 상기 맵 핑 암 들 의 위치 를 감지 하 는 제 2 센서 를 포함 한다 .