한편 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 기체 주입 배관 ( 441 ) 의 내벽 에 는 기체 주입 배관 ( 441 ) 을 따라 유출 되 는 기체 가 와류 를 형성 하 도록 유도 하 는 와류 형성 홈 ( 442 ) 이 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기체 주입 배관 ( 441 ) 의 내벽 에 나선 형 으로 감긴 돌기 를 형성 하 여 나선 형 돌기 사이 를 와류 형성 홈 ( 442 ) 으로 할 수 있 다 . 와류 형성 홈 ( 442 ) 에 의하 면 , 기체 주입 배관 ( 441 ) 을 따라 유출 되 는 기체 가 와류 를 형성 하 므로 액 저장실 에 저장 된 처리 액 을 보다 효과 적 으로 교반 할 수 있 다 .