도면 을 다시 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 양면 연마장 치 의 캐리어 플레이트 구조 는 , 웨이퍼 ( 10 ) 를 유지 하 기 위한 웨이퍼 ( 10 ) 유지 구멍 ( 11 a ) 을 확대 성형 하 여 , 유지 구멍 ( 11 a ) 내부 에 웨이퍼 ( 10 ) 를 고정 하 는 고무 패드 ( 12 a ) 가 부착 된 홀더 ( 12 ) 를 삽입 하 여 연마 시 웨이퍼 ( 10 ) 의 외주 부 ( Edge ) 가 캐리어 플레이트 ( 11 ) 와 접촉 하 지 않 고 종래 와 동일 하 게 상부 정반 ( 23 ) 및 하부 정반 ( 24 ) 의 회전 운동 에 의한 유지 구멍 ( 11 a ) 내부 에서 의 선회 운동 을 가능 하 게 하 여 웨이퍼 ( 10 ) 외 주부 의 표면 거칠 기 변형 을 방지 한다 .