도 1 은 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 워크 처리 장치 ( S ) 의 전체 구성 을 도시 한 사시도 이 다 . 도 2 는 도 1 에 도시 한 워크 처리 장치 ( S ) 를 구성 하 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 의 사시도 이 다 . 도 3 은 도 1 에 도시 한 워크 처리 장치 ( S ) 에 있 어서 설치 틀 ( 4 ) 의 걸 어 맞춤 부 ( 4 e ) 와 플라 즈 마 발생 장치 ( 6 ) 의 롤러 부재 ( 21 b ) 가 걸 어 맞춤 된 상태 를 도시 한 도면 이 다 . 도 4 는 도 3 에서 도시 한 걸 어 맞춤 부 ( 4 e ) 와 롤러 부재 ( 21 b ) 가 걸 어 맞춤 되 어 있 는 부분 을 확대 하 여 도시 한 도면 이 다 . 도 5 는 설치 틀 ( 4 ) 의 걸 어 맞춤 부 ( 4 e ) 와 플라 즈 마 발생 장치 ( 6 ) 의 롤러 부재 ( 21 b ) 간 걸 어 맞춤 이 해제 된 상태 를 도시 한 도 3 에 대응 하 는 도면 이 다 . 또한 , 도 1 및 도 2 에 있 어서 , X - X 방향 을 전후 방향 , Y - Y 방향 을 좌우 방향 , Z - Z 방향 을 상하 방향 이 라고 하 고 , - X 방향 을 전 방향 , + X 방향 을 후 방향 , - Y 방향 을 좌 방향 , + Y 방향 을 우 방향 , - Z 방향 을 하 방향 , + Z 방향 을 상 방향 이 라고 하 여 설명 한다 .