직접 기판 위 의 원 하 는 영역 에 탄소 나노 튜브 를 생성 하 기 위해서 는 먼저 촉매 역할 을 하 는 촉매 금속 이 필요 하 다 . 그 재질 로 는 코발트 ( Co ) , 철 ( Fe ) , 또는 니켈 ( Ni ) 등 이 주로 사용 되 고 , 그 증착 방법 은 주로 DC 혹은 RF 스퍼터링 법 을 이용 할 수 있 다 . 상기 한 방법 을 이용 하 여 1 - 50 ㎚ 의 두께 로 증착 하 면 이 는 탄소 나노 튜브 를 성장 할 수 있 는 촉매 역할 을 하 게 된다 .