가스 공급 관 ( 232 c ) 으로부터 는 , 질소 ( N ) 함유 가스 인 질화 수소 계 가스 가 , MFC ( 241 c ) , 밸브 ( 243 c ) , 노즐 ( 249 c ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 된다 . 질화 수소 계 가스 는 , 성막 가스 , 즉 , N 소스 ( 질화 가스 , 질 화제 ) 로서 작용 한다 . 질화 수소 계 가스 로서 는 , 예 를 들 어 암모니아 ( NH 3 ) 가스 를 사용 할 수 있 다 .