도 33 내지 도 38 은 예시 적 인 실시 예 들 에 따른 반도체 장치 ( 100 C ) 의 제조 방법 을 공정 순서 에 따라 도시 한 개략 도 들이 다 . 도 33 내지 도 35 는 도 2 의 B 2 - B 2 ' 선 을 따른 단면 에 대응 하 는 단면 들 이 고 , 도 36 내지 도 38 은 도 35 의 CX 5 부분 에 대응 하 는 확대 단면도 들 이 다 .