웨이퍼 가 정지 되 어 있 는 상태 에서 , 프리 웨트 노즐 로부터 상기 의 약액 이 소 정량 , 웨이퍼 의 중심부 에 공급 된다 . 그 후 , 웨이퍼 가 예 를 들 면 500 rpm ( rotation per minute ) 정도 의 제 1 속도 V 1 로 회전 되 어 , 웨이퍼 상 의 약액 이 웨이퍼 의 표면 의 전체 면 에 확산 되 고 , 웨이퍼 의 표면 전체 가 약액 에 의하 여 젖 은 상태 가 된다 .