구체 적 으로 는 , 도 44 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기판 온도 가 125 ℃ 인 경우 에 는 1 aA / ㎛( 1 × 10 - 18 A / ㎛) 이하 , 85 ℃ 인 경우 에 는 100 zA / ㎛( 1 × 10 - 19 A / ㎛) 이하 , 실온 ( 27 ℃) 인 경우 에 는 1 zA / ㎛( 1 × 10 - 21 A / ㎛) 이하 로 할 수 있 다 . 바람직 하 게 는 , 125 ℃ 에 있 어서 0 . 1 aA / ㎛( 1 × 10 - 19 A / ㎛) 이하 로 , 85 ℃ 에 있 어서 10 zA / ㎛( 1 × 10 - 20 A / ㎛) 이하 로 , 실온 에 있 어서 0 . 1 zA / ㎛( 1 × 10 - 22 A / ㎛) 이하 로 할 수 있 다 .