즉 , 유체 제어기 ( 2 ) 를 개폐 시키 기 위해 에어 의 압력 이 변화 되 면 , 피스톤 ( 223 ) 의 상하 운동 에 의해 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 이 변화 한다 . 그 때문 에 보정 처 리부 ( 532 ) 는 , 판별 처 리부 ( 531 ) 가 이 에어 의 압력 에 의한 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 의 변화 와 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 에 의해 야기 된 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 의 변화 를 구별 하 여 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 판별 할 수 있 도록 소정 의 문턱 값 을 보정 한다 . 구체 적 으로 는 , 에어 가 도입 된 경우 에 는 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 이 감소 하 기 때문 에 문턱 값 을 낮 은 값 으로 보정 하 고 , 에어 가 배출 된 경우 에 는 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 이 상승 하 기 때문 에 문턱 값 을 높 은 값 으로 보정 한다 . 이 결과 , 판별 처 리부 ( 531 ) 는 , 에어 의 압력 변화 에 따른 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 에 관계없이 , 유체 의 누출 등 의 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 에 의해 야기 된 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 를 판별 할 수 있 다 .