제 2 절연 층 ( 112 ) 을 사이 에 둔 채 서로 중첩 하 는 제 1 전극 ( 510 ) 및 제 2 전극 ( 520 ) 은 제 1 서브 - 커패시터 ( LC 1 ) 를 형성 할 수 있 고 , 제 3 절연 층 ( 113 ) 을 사이 에 둔 채 서로 중첩 하 는 제 2 전극 ( 520 ) 및 제 3 전극 ( 530 ) 은 제 2 서브 - 커패시터 ( LC 2 ) 를 형성 할 수 있 다 . 로드 보상 커패시터 는 병렬 연결 된 제 1 서브 - 커패시터 ( LC 1 ) 및 제 2 서브 - 커패시터 ( LC 2 ) 를 포함 할 수 있 으며 , 이 와 관련 하 여 도 9 는 제 3 로드 보상 커패시터 ( Clm 3 ) 를 도시 한다 .