캐리어 버퍼 장치 ( 101 ) ( 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 및 캐리어 반송 기구 ( 61 ) ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 및 제 2 처리 블록 ( 5 ) 중 높이 가 낮 은 쪽 의 블록 상 에 탑재 되 어 있 다 . 도 23 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 높이 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 높이 보다 낮 다 . 그 때문 에 , 캐리어 버퍼 장치 ( 101 ) 는 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 상 에 탑재 되 어 있 다 . 또한 , 도 23 에 있 어서 , 캐리어 버퍼 장치 ( 101 ) 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 최상 의 처리 층 ( A 3 ) 과 같 은 계층 에 배치 되 어 있 다 .