또한 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 출하 검사 데이터 는 , 온도 어긋남 , 압력 치 어긋남 , 제 어 밸브 조정 , 제로 점 알 람 , 외부 리크 체크 , 내부 리크 체크 , 및 , 유량 보정 ㆍ 검사 의 각 항목 중 , 1 개 또는 복수 의 항목 을 갖 는다 . 그 결과 , 유량 제어기 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 산출 할 수 있 다 .