그런 다음 에 수평 변위 이 동부 ( 141 ) 는 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 에서 측정 된 위치 정보 에 따라 수평 으로 거동 하 고 , 수직 변위 이 동부 ( 147 ) 는 설정 된 높이 만큼 상하 거동 한다 . 그러면 , 기판 척 ( 120 ) 에 장착 된 기판 은 수직 변위 이 동부 ( 147 ) 의 작동 에 따라 상부 로 상승 함 에 따라 스탬프 척 ( 110 ) 에 장착 된 탄성 중합체 스탬프 와 미세 접촉 한다 . 그리고 , 탄성 중합체 스탬프 와 기판 은 미세 접촉 시 작 은 수치 일지라도 접촉 하중 변화 를 발생 시키 고 , 이런 접촉 하중 변화 는 하중 측 정부 ( 150 ) 의 로드 셀 ( 151 ) 에 의해 감지 된다 .