광원 ( 401 ) 은 기판 ( 492 ) 에 패턴 을 형성 하 기 위한 광 을 생성 한다 . 이 를 위해 , 광원 ( 401 ) 은 높 은 에너지 를 가지 는 광 의 생 성 을 위해 주로 레이저 방식 의 광원 이 사용 될 수 있 으나 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 또한 , 광원 ( 401 ) 에서 생성 되 는 광 은 패턴 의 형성 에 적합 하 도록 자외선 , 적외선 과 같 은 가시광선 외 의 광선 일 수 있 으나 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 특히 , 노광 장치 를 위한 광원 ( 401 ) 은 미세 한 패턴 의 형성 을 위해 기판 ( 492 ) 상 의 패턴 재료 가 흡수 하 기 용이 한 파장 의 단일 광선 을 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .