도 11 b 를 참조 하 면 , 게터 링 층 ( 365 ) , 단결정 층 ( 60 ) , 분리 층 ( 55 ) 및 보조 기판 ( 50 ) 을 연속 적 으로 패 터닝 하 여 상기 보조 기판 ( 50 ) 상 에 복수 의 돌출 패턴 들 ( 65 a ) 을 형성 한다 . 상기 돌출 패턴 들 ( 65 a ) 은 서로 이격 되 어 있 으며 , 상기 돌출 패턴 들 ( 65 a ) 사이 에 는 통기 영역 ( 70 ) 이 형성 된다 . 상기 돌출 패턴 ( 65 a ) 은 차례 로 적층 된 기단 부 ( 62 ) , 분리 패턴 ( 55 a ) , 단결정 패턴 ( 60 a ) 및 게터 링 패턴 ( 365 a ) 을 포함 한다 .