상기 와 같 은 본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 압력 센서 부를 이용 하 여 챔버 바디 와 도어 사이 에 작용 하 는 밀폐 압력 을 일정 하 게 유지 시킬 수 있 다 . 따라서 , 챔버 에 진공 누설 의 발생 이나 또는 오 링 등 의 설비 손상 이 억제 되 어 챔버 의 수명 이 길 어 지 고 상기 챔버 를 이용 하 여 수행 하 는 기판 가공 공정 의 신뢰 성 이 향상 될 수 있 다 .