상기 세척 용액 공급 부 ( 11 ) 는 제 1 , 2 클린 장치 ( 10 , 30 ) 의 최 상단 에 위치 되 어 , 세 척 용액 이 저장 되 어 세 척 시트 ( S ) 에 세 척 용액 인 IPA ( 이소프로필 알콜 ) 이 공급 되 는 곳 이 다 . 작업자 가 별도 의 작업자 투 입부 ( 29 ) 에서 세 척 용액 을 수동 투입 하 면 , 펌프 와 센서 등 에 의해 세 척 용액 공급 부 ( 11 ) 로 세척 용액 이 공급 되 는 구조 이 다 .