작동 시 에 , 도 2 및 도 4 에 도시 된 증착 위치 에서 , 웨이퍼 캐리어 ( 30 ) 는 스핀들 ( 16 ) 상 에 장착 된다 . 스핀들 ( 16 ) 은 테 이 퍼진 단부 ( 66 ) 를 가지 며 , 이러 한 테 이 퍼진 단부 는 삽 입체 의 테 이 퍼진 구멍 ( 60 ) 내 에 수용 된다 . 도시 된 특정 실시 예 에서 , 테 이 퍼진 단부 ( 66 ) 의 포함 되 는 각도 는 삽 입체 내 의 테 이 퍼진 구멍 의 포함 되 는 각도 보다 약간 작 아 , 스핀 들 은 스핀 들 의 말단 상류 단부 에서 만 삽 입체 ( 58 ) 와 맞물리 며 , 하류 또는 구멍 ( 60 ) 의 개방 단부 근처 에서 테 이 퍼진 단부 ( 66 ) 둘레 에 약간 의 틈새 를 가지 고 들어맞 는다 . 작동 위치 에서 , 플레이트 ( 32 ) 의 하류 표면 ( 36 ) 은 반응 챔버 의 가열 부재 ( 22 ) 와 대면 한다 . 허브 ( 40 ) , 특히 하 류 허브 부재 ( 54 ) 는 플레이트 ( 32 ) 의 중앙 영역 내 에 만 위치 되 고 , 주변 영역 내 의 플레이트 ( 32 ) 의 하류 표면 ( 36 ) 은 허브 에 의해 덮이 지 않 는다 . 따라서 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 주변 영역 내 의 플레이트 의 하류 표면 ( 36 ) 은 가열 부재 ( 22 ) 와 직접 대면 하 고 , 주변 영역 내 의 플레이트 의 하류 표면 ( 36 ) 과 가열 부재 ( 22 ) 사이 의 중실 ( solid ) 구조 가 개재 되 지 않 는다 . 따라서 , 가열 부재 로부터 플레이트 의 주변 영역 으로 의 방사 열전달 을 위한 직접 경로 가 있 다 . 이것 은 , 가열 부재 ( 22 ) 와 플레이트 ( 32 ) 사이 의 효율 적 인 열전달 을 촉진 한다 . 다시 말 해서 , 허브 ( 40 ) 는 가열 부재 와 주변 영역 내 의 플레이트 의 하류 표면 사이 에서 연장 되 지 않 으며 , 가열 부재 로부터 플레이트 로 의 열전달 에 간섭 하 지 않 는다 . 허브 를 사용 하 면 , 플레이트 로부터 스핀들 ( 16 ) 로 의 열전달 이 지연 된다 . 따라서 , 도 4 에서 가장 잘 알 수 있 듯이 , 플레이트 ( 32 ) 와 허브 부재 ( 48 , 52 ) 사이 에 물리 적 간섭 이 있 고 , 허브 부재 와 삽 입체 ( 58 ) 사이 에 추가 적 간섭 이 있 으며 , 또한 삽 입체 ( 58 ) 와 스핀들 ( 16 ) 사이 에 또 다른 간섭 이 있 다 . 이 들 간섭 은 모두 플레이트 로부터 스핀 들 로 의 열전달 을 감소 시키 는 바람직 한 효과 를 가진다 .