통합 차폐 전극 을 갖 는 연결 구조 를 포함 하 는 이온 가속 장치 및 그 방법 이 개시 된다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 이온 주입 시스템 의 이온 가속 장치 는 제 1 요소 , 상기 제 1 요소 에 포함 되 고 , 제 1 커넥터 및 상기 제 1 커넥터 주위 의 제 1 분리 차폐 전극 을 구비 하 는 제 1 연결 시스템 , 그리고 상기 제 1 요소 와 는 상이 한 제 2 요소 에 포함 되 고 , 상기 제 1 커넥터 에 연결 되 는 제 2 연결 시스템 을 포함 하 며 , 상기 제 1 분리 차폐 전극 은 상기 제 2 연결 시스템 이 상기 제 1 요소 와 연결 되 는 상기 제 1 요소 의 제 1 경계 표면 에 인접 한 제 1 차폐 부분 을 구비 하 고 , 단면상 으로 상기 제 1 차폐 부분 은 U - 형상 이 다 .