제 1 지지 부재 ( 211 ) 의 기판 지지 면부 ( 215 ) 는 기판 을 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 에 전체 적 으로 편평 하 게 부착 하 기 위해 제 2 지지 부재 ( 212 ) 의 기판 지지 면부 ( 215 ) 보다 높이 가 높 도록 설치 될 수 있 다 . 또한 , 제 1 지지 부재 ( 211 ) 의 탄성 체부 ( 216 ) 의 탄성 계수 를 제 2 지지 부재 ( 212 ) 의 탄성 체부 ( 216 ) 의 탄성 계수 와 다르 게 ( 예컨대 , 더 크 게 ) 하 거나 탄성 체부 ( 216 ) 의 길이 를 다르 게 ( 예컨대 , 더 길 게 ) 하 여 제 1 지지 부재 ( 211 ) 가 기판 을 지지 하 는 지지력 을 제 2 지지 부재 ( 212 ) 가 기판 을 지지 하 는 지지력 과 다르 게 ( 예컨대 , 더 크 게 ) 할 수 있 다 .