가스 공급 부 ( 60 ) 는 , 공급 하 는 가스 의 종류 에 따른 복수 의 매스 플로우 컨트롤러 ( 61 ) 를 구비 하 고 있 으며 , 각각 의 매스 플로우 컨트롤러 ( 61 ) 는 , 도시 하고 있 지 않 은 가스 봄베 와 접속 되 어 있 다 . 극간 ( 41 ) 에 공급 된 가스 는 , 극간 ( 41 ) 의 내부 에서 분산 된 후 , 샤워 플레이트 ( 5 ) 측 의 중앙부 를 포함 하 는 영역 에 배치 된 복수 의 관통 구멍 ( 51 ) 을 지나 처리 실 ( 40 ) 의 내부 에 공급 된다 .