그렇지만 , 투영 광학계 의 최종 렌즈 에 사용 되 는 LuAG 은 매우 고가 여서 , 투영 광학계 의 다른 렌즈 에 사용 하 는 것 은 최대한 피하 고 싶 다 . 또한 , LuAG 은 , 투과 율 이 낮 고 ( 광 흡수 가 크 고 ) , 또 온도 변화 에 따라 굴절 률 의 변화 가 크 기 때문 에 , 노광 시 의 수차 변동 을 억제 하 기 위해서 최대한 LuAG 를 이용 하 는 것 을 피하 고 싶 다 .