본 발명 에서 상기 하드 마스크 조성물 은 산 또는 염기 성 촉매 하 에서 화학식 1 로 표시 되 는 화합물 과 화학식 2 로 표시 되 는 화합물 로부터 생성 되 는 중합체 또는 화학식 4 의 반복 단위 및 화학식 5 와 화학식 6 의 반복 단위 중 적어도 하나 를 포함 하 는 중합체 는 전체 조성 에 대해 1 ~ 50 중량 % 인 것 이 바람직 하 며 , 보다 바람직 하 게 는 1 ~ 30 중량 % 를 포함 한다 .