히터 ( 207 ) 의 내측 에 는 , 히터 ( 207 ) 와 동심원 형상 으로 반응 관 ( 203 ) 이 배치 되 어 있 다 . 반응 관 ( 203 ) 은 , 예 를 들 어 석영 ( SiO 2 ) 또는 탄화 실리콘 ( SiC ) 등 의 내열성 재료 에 의해 구성 되 고 , 상단 이 폐색 되 고 하단 이 개구 된 원통 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 반응 관 ( 203 ) 의 하방 에 는 , 반응 관 ( 203 ) 과 동심원 형상 으로 매니폴드 ( 209 ) 가 배치 되 어 있 다 . 매니폴드 ( 209 ) 는 , 예 를 들 어 스테인리스 ( SUS ) 등 의 금속 재료 에 의해 구성 되 고 , 상단 및 하단 이 개구 된 원통 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 매니폴드 ( 209 ) 의 상단 부 는 , 반응 관 ( 203 ) 의 하단 부 에 걸림 결합 하 고 있 어 , 반응 관 ( 203 ) 을 지지 하 도록 구성 되 어 있 다 . 매니폴드 ( 209 ) 와 반응 관 ( 203 ) 과 의 사이 에 는 , 시일 부재 로서 의 O 링 ( 220 a ) 이 설치 되 어 있 다 . 반응 관 ( 203 ) 은 히터 ( 207 ) 와 마찬가지 로 수직 으로 설치 되 어 있 다 . 주로 , 반응 관 ( 203 ) 과 매니폴드 ( 209 ) 에 의해 처리 용기 ( 반응 용기 ) 가 구성 된다 . 처리 용기 의 통 중 공부 에 는 처리 실 ( 201 ) 이 형성 된다 . 처리 실 ( 201 ) 은 , 복수 매 의 기판 으로서 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 수용 가능 하 게 구성 되 어 있 다 .