본 발명 은 웨이퍼 이송용 기 ( Front Opening Unified Pod , FOUP , pod 등 이하 이송용 기 혹은 후프 라 함 ) 개방 장치 ( Opener , 이하 오프너 라 함 ) 의 웨이퍼 이송용 기 잠금 및 이 송장 치 에 관한 것 으로 , 특히 , 실린더 를 이용 하 여 후프 테이블 의 구동 안정 성 이 향상 되 고 구조 가 간단 화 한 후프 오프너 의 웨이퍼 이송용 기 잠금 및 이 송장 치 에 관한 것 이 다 .