도 3 a 는 하나 의 예시 적 인 구현 에서 , 퇴적 챔버 내부 의 더 균일 한 조명 을 달성 하 기 위해 2 개 의 광원 을 사용 하 는 , 광 산란 데이터 에 기초 하 여 퇴적 챔버 내부 에 존재 하 는 미립자 오염 물질 들 의 실시간 검출 을 구현 하 는 시스템 ( 300 ) 의 개략 도 이 다 . 도 2 a 및 도 2 b 에 각각 도시 된 시스템 들 ( 200 및 250 ) 둘 다 는 타 겟 영역 ( 예 를 들 어 , 상부 윈도우 ( 114 ) 아래 의 챔버 내부 의 가시 영역 ) 의 불 균일 한 조명 의 균 일도 를 갖 는다는 단점 을 가질 수 있 다 . 더 구체 적 으로 , 조명 의 균일 도 는 시스템 의 광학 축 에 수직 한 방향 에서 양호 할 수 있 지만 , 광학 축 , 예 를 들 어 도 3 a 의 x 축 을 따른 균일 도 는 현저히 적 을 수 있 다 . 이것 은 원통형 으로 확장 된 빔 에 대해 , 광 의 강도 가 빔 의 중심 ( 예 를 들 어 , 렌즈 의 초점 ) 으로부터 의 거리 에 반비례 하 여 감쇠 하 기 때문 에 발생 한다 . 도 3 a 의 셋 업 은 조명 의 균 일도 를 상당히 향상 시킨다는 이점 을 가질 수 있 다 . 시스템 ( 300 ) 은 제 1 광원 ( 108 ) 및 제 1 렌즈 ( 204 ) 에 추가 하 여 , 제 2 확장 광 빔 을 제공 하 기 위해 제 2 광원 ( 306 ) 및 제 2 렌즈 ( 308 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 빔 은 제 2 측면 윈도우 ( 310 ) 를 통해 퇴적 챔버 ( 102 ) 내 로 전달 될 수 있 다 . 도 3 a 에 도시 된 바 와 같이 2 개 의 빔 이 180 ° 각도 로 챔버 ( 102 ) 의 대향 측면 들 로부터 지향 되 는 경우 , 조명 의 최대 균 일도 가 달성 될 수 있 지만 , 180 ° 미만 의 각도 는 비록 더 작 은 정도 일지라도 여전히 실질 적 으로 균 일도 를 향상 시킬 수 있 다 .