제 1 처리 유닛 ( 40 ) 은 제 1 공정 챔버 들 ( process chabmer ) ( 42 ) 및 제 1 트랜스퍼 챔버 ( first transfer chamber ) ( 100 ) 를 포함 한다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 공정 시 기판 ( W ) 을 처리 하 는 공정 을 수행 한다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 트랜스퍼 챔버 ( 100 ) 의 양측 에 각각 하나 씩 배치 된다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 서로 동일 한 구성 및 구조 를 가지 며 , 각각 의 높이 는 동일 하 게 배치 된다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 에 는 기판 ( W ) 이 출입 되 기 위한 기판 출입구 ( 42 a ) 가 제공 된다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 각각 에 제공 되 는 기판 출입구 ( 42 a ) 는 서로 동일 한 높이 를 가진다 . 또한 , 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 의 기판 출입구 ( 42 a ) 의 높이 는 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 상부 챔버 ( 32 a , 34 a ) 에 제공 되 는 기판 출 입구 ( 32 a ', 34 a ') 와 동일 한 높이 를 가질 수 있 다 . 선택 적 으로 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 서로 상이 한 공정 을 수행 할 수 있 다 .