일반 적 으로 , 게이트 전극 물질 로 는 비정질 폴리 실리콘 막 을 사용 하 고 되 는데 , 그 이유 는 , 큰 결정화 를 갖 는 폴리 실리콘 막 은 식각 공정 시 식각 이 제대로 이루어지 지 않 게 되 어 , 잔류 성 결함 ( residue defect ) , 또는 , 스텝 커버리지 ( step coverage ) 의 문제 , 그리고 , 증착 장비 의 파티클 ( particle ) 발생 율 증가 의 문제점 을 안 고 있 기 때문 이 다 .