또한 , 내측 상부 전극 ( 24 ) 의 전극 지 지체 ( 33 ) 에 는 상부 정합 기 ( 27 ) , 상부 급 전봉 ( 28 ) , 커넥터 ( 29 ) 및 상부 급 전통 ( 44 ) 을 거쳐서 상부 고주파 전원 ( 31 ) 이 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 상부 급 전통 ( 44 ) 의 도중 에 는 , 캐 패 시턴 스 를 가변 조정 할 수 있 는 가변 콘덴서 ( 45 ) 가 배치 되 어 있 다 . 또한 , 외측 상부 전극 ( 23 ) 및 내측 상부 전극 ( 24 ) 에 도 냉 매실 또는 냉각 쟈 켓 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 마련 하 여 , 외부 의 칠러 유닛 ( 도시 하 지 않 음 ) 으로부터 공급 되 는 냉매 에 의해 전극 의 온도 를 제어 하 여도 좋 다 .