또 , 열처리로 ( 10 ) 는 , 로드 록 실 의 천 장면 을 이루 는 베이스 플레이트 ( 130 ) 상 에 설치 된다 . 로드 록 실은 , 진공 으로 하 거나 대기압 으로 하 거나 하 는 압력 조정 이 가능 한 웨이퍼 의 대기실 이 며 , 그 천 장면 상 에 열처리로 ( 10 ) 가 설치 된다 . 제 어부 ( 140 ) 는 , 기판 처리 장치 전체 의 동작 을 제어 하 기 위한 연산 처리 부이 며 , 예컨대 , 컴퓨터 로 구성 되 어도 좋 다 .