도 23 을 참조 한다 . 제 1 처리 블록 ( 3 ) 은 , 상하 방향 으로 겹쳐 쌓 듯이 배치 된 3 개 의 처리 층 ( C 1 , A 1 , A 2 ) 을 구비 하 고 있 다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 , 상하 방향 으로 겹쳐 쌓 듯이 배치 된 3 개 의 처리 층 ( C 2 , B 1 , B 2 ) 을 구비 하 고 있 다 . 처리 층 ( C 1 ) 은 , 처리 층 ( C 2 ) 및 버퍼 부 ( BU 1 ) 와 같 은 계층 에 배치 되 어 있 다 . 처리 층 ( A 1 ) 은 , 처리 층 ( B 1 ) 및 버퍼 부 ( BU 2 ) 와 같 은 계층 에 배치 되 어 있 다 . 처리 층 ( A 2 ) 은 , 처리 층 ( B 2 ) 및 버퍼 부 ( BU 3 ) 와 같 은 계층 에 배치 되 어 있 다 . 본 실시 예 에 있 어서 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 는 , 2 개 의 이 송부 ( SN 9 , SN 10 ) 및 2 개 의 복귀 부 ( RT 4 , RT 5 ) 를 구비 하 고 있 다 . 버퍼 부 ( BU 2 ) 는 , 2 개 의 이 송부 ( SN 2 , SN 11 ) 및 인도부 ( PS 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 버퍼 부 ( BU 3 ) 는 , 2 개 의 이 송부 ( SN 3 , SN 12 ) 및 인도부 ( PS 3 ) 를 구비 하 고 있 다 . 각 이 송부 ( SN 9 ~ SN 12 ) 및 복귀 부 ( RT 4 , RT 5 ) 등 은 , 복수 매 의 기판 ( W ) 을 재치 하 는 것 이 가능 하 다 .