이 로써 , 제 1 및 제 2 채널 홀 들 ( 714 a , 714 b ) 과 파이프 게이트 도전 층 ( 704 ) 의 트렌치 ( 706 ) 의 내부 가 채널 층 ( 730 a , 730 b , 730 c ) 으로 채워진다 . 또한 , 다층막 ( 728 ) 도 제 1 및 제 2 채널 홀 들 ( 714 a , 714 b ) 및 파이프 게이트 도전 층 ( 704 ) 의 트렌치 ( 718 ) 내 에 만 잔류 된다 . 다시 말 해 , 제 1 및 제 2 채널 홀 들 ( 714 a , 714 b ) 과 파이프 게이트 도전 층 ( 704 ) 의 트렌치 ( 706 ) 내 에서 , 채널 층 ( 730 a , 730 b , 730 c ) 은 다층막 ( 728 ) 으로 감싸 진다 . 최 하부 절연 층 ( 710 a ) 의 하부 에 는 절연성 베리 어막 ( 720 ) 이 잔류 하 고 , 잔류 하 는 절연성 베리 어막 ( 720 ) 에 의해 상부 로 향하 는 다층막 ( 728 ) 의 표면 이 보호 된다 .