제 1 도 전막 ( 214 ) 의 상부 가 노출 되 도록 상기 희생 막 의 상부 를 부분 적 으로 제거 한다 . 상기 희생 막 은 화학 기계 적 연마 공정 및 / 또는 에치 - 백 공정 을 이용 하 여 부분 적 으로 제거 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 1 개 구 ( 208 ) 및 제 2 개 구 ( 210 ) 내 에 는 희생 막 패턴 들 ( 216 ) 이 형성 된다 .