도 7 을 참조 하 면 , 본 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 반응 공간 을 제공 하 는 챔버 ( 100 ) 와 , 상기 챔버 ( 100 ) 내부 의 하부 에 설치 되 는 스테이지 ( 200 ) 와 , 상기 스테이지 ( 200 ) 에 대향 하 여 상기 챔버 ( 100 ) 내부 의 상부 에 설치 되 는 플 라즈 마 차폐 부 ( 600 ) 와 , 상기 스테이지 ( 200 ) 와 상기 플 라즈 마 차 폐부 ( 600 ) 사이 에 기판 ( 10 ) 을 거치 하 는 거치대 ( 710 ) 및 상기 스테이지 ( 200 ) 와 상기 플 라즈 마 차 폐부 ( 600 ) 사이 에 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 플 라즈 마 발생 수단 ( 810 , 820 ) 을 포함 한다 .