다시 도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 상기 제 2 지지 부 ( 400 ) 는 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 의 상부 에서 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 를 지지 하 는 역할 을 한다 . 여기 서 , 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 는 실질 적 으로 , 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 와 동일 한 종류 일 수 있 다 . 이때 , 상기 제 2 웨이퍼 ( 40 ) 는 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 의 직경 이 약 300 ㎜ 일 경우 , 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 와 약 10 ㎜ 만큼 이격 될 수 있 다 .