본 발명 은 , 정화 가스 유입 구 ( purge gas inlet ) ( 3 ) 를 통해 정화 가스 원 ( purge gas source ) ( 5 ) 에 연결 되 어 있 는 하우징 ( housing ) ( 2 ) , 상기 정화 가스 원 ( 5 ) 과 상기 정화 가스 유입 구 ( 3 ) 사이 에 배치 된 유입 구 밸브 ( inlet valve ) ( 6 ) , 상기 하우징 ( 2 ) 의 내부 압력 을 감시 하 는 압력계 또는 압력 모니터 ( pressure monitor ) ( 10 ) , 상기 하우징 ( 2 ) 의 설정 - 내부 압력 을 유지 하 도록 상기 유입 구 밸브 ( 6 ) 를 제어 하 도록 형성 된 제어 장치 ( 11 ) , 상기 정화 가스 원 ( 5 ) 과 상기 정화 가스 유입 구 ( 3 ) 사이 에 있 는 , 정화 가스 유입 을 검출 하 는 유량계 ( 7 ) 및 상기 정화 가스 유입 의 추이 곡선 및 상기 추이 곡선 이 임계 값 을 초과 하 는 경우 , 시점 을 사전 에 계산 하 는 평가 장치 ( 13 ) 를 구비 한 양 압 외함 ( pressurized enclosure ) 에 관한 것 이 다 .