이러 한 양태 에서 , 인서 트 모듈 ( 200 M 3 , 200 M 5 ) 들 의 길이 ( L 1 ) 는 인서 트 모듈 ( 200 M 4 , 200 M 6 ) 의 길이 ( L 2 ) 보다 길 고 ; 인서 트 모듈 ( 200 M 4 , 200 M 6 ) 의 길이 ( L 2 ) 는 인서 트 모듈 ( 200 M 7 , 200 M 8 ) 의 길이 ( L 3 ) 보다 길 다 . 또한 , 인서 트 모듈 이 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 의 유무 에 관계없이 측면 개구 , 각각 의 측면 상 의 하나 의 측면 개구 ( 270 A , 270 B ) , 및 각각 의 측면 상의 2 개 의 측면 개구 ( 270 A , 270 B ) 를 가지 지 않 는 것 으로서 도시 되 어 있 지만 , 다른 양태 에서 인서 트 모듈 은 임의 의 적절 한 수 및 가변 길이 를 기판 이송 챔버 ( 210 ) 에 제공 하 기 위한 임의 의 적절 한 길이 의 측면 개구 ( 270 A , 270 B ) , 임의 의 적절 한 수 의 측면 개구 ( 270 A , 270 B ) , 및 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 하나 이상 의 단부 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 에 배치 된 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 를 가질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 7 , 도 8 , 도 9 a , 도 9 b , 도 10 , 도 11 및 도 12 를 참조 하 여 , 측면 길이 ( L ) 대 폭 ( W ) ( 도 2 a 참조 ) 종횡비 가 높 은 종횡비 ( 3 : 1 이상 과 같 은 ) 로부터 단일 ( 예 를 들 어 , 1 : 1 ) 종횡비 로 변하 는 구성 사이 에서 구성 이 선택 가능 한 가변 구성 을 선택 적 으로 가지 는 기판 이송 챔버 ( 210 ) 가 도시 되 며 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 은 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 각각 의 선택 가능 한 구성 에 공통 된다 .