상기 유량 속도 제어기 들 ( MFC 3 , MFC 4 ) 은 상기 공정 챔버 ( 300 ) 에서 의 사용 을 위한 적어도 하나 이상 의 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 을 외부 로부터 입력 받 는다 . 이 때 , 상기 공정 챔버 ( 300 ) 에서 수행 되 는 공정 에서 요구 한 만큼 의 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 유량 및 속도 를 조절 한다 .