또한 , 피스톤 상하 이동 기구 ( 103 ) 는 장치 프레임 ( 125 ) 상 에 지지 판 ( 116 ) 및 피스톤 ( 111 ) 을 화살표 ( A 1 ) 방향 으로 구동 시키 기 위한 리니어 액추에이터 를 구비 하 고 있 다 . 구체 적 으로 는 구 동원 으로서 장치 프레임 ( 125 ) 상 에 고정 설치 된 전동 모터 ( 119 ) 와 , 전동 모터 ( 119 ) 의 구동축 에 연결 된 도시 되 지 않 은 기어 를 구비 하 고 , 지지 판 ( 116 ) 에 고정 된 볼 나사 ( 120 ) 가 상기 기어 에 나사 결합 되 어 있 다 . 따라서 , 전동 모터 ( 119 ) 를 구동 하 면 전동 모터 ( 119 ) 에 연결 된 기어 가 회동 하 고 , 이 에 따라 볼 나사 ( 120 ) 가 이동 하 여 볼 나사 ( 120 ) 에 연결 된 지 지판 ( 116 ) 도 화살표 ( A 1 ) 방향 으로 상하 이동 한다 . 또한 , 전동 모터 ( 119 ) 로서 는 서보 모터 나 스텝 핑 모터 가 이용 된다 .