제 5 실시 형태 에 대해서 설명 한다 . 도 9 는 , 제 5 실시 형태 에 따른 투영 광학계 ( 11 ) 를 도시 하 는 모식도 다 . 본 실시 형태 의 기류형 성부 ( 21 ) 는 , 도 2 에서 도시 한 제 1 실시 형태 와 아울러 , 메니스커스 렌즈 ( 18 ) 의 외주 부 에 기류 를 유입 시키 는 흡인 기구 ( 51 ) ( 흡 인부 ) 를 구비 한다 . 한편 , 도 5 에서 도시 한 실시 형태 에 흡인 기구 ( 51 ) 를 설치 함 으로써 , 본 실시 형태 를 실현 하 는 것 도 가능 하 다 .