반송 스테이지 ( 22 ) 에 는 그 중 심부 를 길 이 방향 을 따라 연장 하 는 안내 레일 ( 28 ) 이 형성 되 고 , 이 안내 레일 ( 28 ) 에 상기 반송 아 암부 ( 20 ) 가 슬라이드 이동 가능 하 게 지 지 되 어 있 다 . 이 안내 레일 ( 28 ) 에 는 이동 기구 로서 , 예 를 들 면 , 볼 나사 ( 30 ) 가 병설 ( 竝設 ) 되 어 있 으며 , 이 볼 나사 ( 30 ) 에 상기 반송 아 암부 ( 20 ) 의 기부 ( 基部 ; 34 ) 가 끼워져 장착 되 어 있 다 . 따라서 , 이 볼 나사 의 단부 ( 端部 ) 에 형성 한 구동 모터 ( 32 ) 를 회전 구동 함 으로써 반송 아 암부 ( 20 ) 는 안내 레일 ( 28 ) 을 따라 이동 하 게 된다 .