본 발명 은 , 제 13 관점 에서 보 면 , 노광 빔 으로 물체 를 노광 하 는 노광 방법 으로서 , 서로 직교 하 는 제 1 축 및 제 2 축 을 포함 하 는 소정 평면 내 를 이동 할 수 있 는 이 동체 에 물체 를 유지 시키 는 공정 과 ; 상기 노광 이 실시 되 는 노광 위치 와 , 상기 제 1 축 과 평행 한 방향 에 관하 여 상기 노광 위치 로부터 떨어져 배치 되 는 상기 물체 의 교환 위치 사이 에 형성 되 고 , 상기 물체 상 에서 상기 노광 이 실시 되 는 영역 과 상이 한 주변 영역 의 적어도 일부 를 노광 하 는 주변 노광 시스템 을 사용 하 여 , 상기 노광 위치 및 상기 교환 위치 중 일방 으로부터 타방 으로 의 상기 이 동체 의 이동 동작 과 병행 하 여 , 상기 주변 영역 의 노광 동작 의 적어도 일부 를 실시 하 는 공정 을 포함 하 는 제 2 노광 방법 이 다 .