본 형태 의 산업 용 로봇 ( 1 ) ( 이하 , 「 로봇 ( 1 ) 」 이 라고 함 ) 은 , 예 를 들 어 반송 대상물 인 유기 EL ( 유기 일렉트로 루미 네 센스 ) 디스플레이 용 유리 기판 ( 2 ) ( 이하 , 「 기판 ( 2 ) 」 라고 함 ) 을 반송 하 기 위한 수평 다 관절 형 로봇 이 다 . 유리 기판 ( 2 ) 은 , 직사각 형 의 평판 형 으로 형성 되 어 있 다 . 본 형태 의 로봇 ( 1 ) 은 , 비교 적 온도 가 높 아 져 있 는 기판 ( 2 ) 을 진공 중 에서 반송 한다 . 로봇 ( 1 ) 은 , 기판 ( 2 ) 이 탑재 되 는 핸드 ( 3 ) 와 , 핸드 ( 3 ) 가 선단 측 에 회동 가능 하 게 연결 되 는 암 ( 4 ) 과 , 암 ( 4 ) 의 기단 측 이 회동 가능 하 게 연결 되 는 본 체부 ( 5 ) 를 구비 하 고 있 다 .