제 2 처리 유닛 ( 50 ) 은 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 의 타 측 에 배치 된다 . 제 2 처리 유닛 ( 50 ) 은 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) , 버퍼 부 ( buffer member ) ( 54 ) , 그리고 제 2 트랜스퍼 챔버 ( second transfer chamber ) ( 200 ) 를 가진다 . 제 2 공정 챔버 들 ( 52 ) 각각 은 상술 한 제 1 공정 챔버 ( 42 ) 와 동일 한 구성 및 구조 를 가진다 . 제 2 공정 챔버 ( 52 ) 은 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 200 ) 의 양측 에 각각 하나 씩 배치 된다 .