스 페이서 들 의 형성 동안 직면 하 는 문제 들 중 하나 는 하 단부 의 스 페이서 의 폭 과 상단 부 의 스 페이서 의 폭 간 차인 , 스 페이서 의 푸팅 ( footing ) 이 다 . 이상 적 으로 , 스 페이서 는 곧 아야 한다 . 주석 옥사이드 스 페이서 들 이 티타늄 옥사이드 스 페이서 들 에 대해 실험 적 으로 비교 되 었 다 . 주석 옥사이드 스 페이서 들 에 대한 H 2 플 라즈 마 에칭 의 사용 으로 , 푸팅 이 1 ㎚ 보다 작 게 상당히 감소 될 수 있 다는 것 이 도시 되 었 다 . 그러나 , 티타늄 옥사이드 는 H 2 플 라즈 마 에 의해 전혀 에칭 될 수 없 다 . 티타늄 옥사이드 스 페이서 가 HBr / N 2 / 아르곤 플 라즈 마 를 사용 하 여 에칭 될 때 , 이 의 푸팅 은 보다 큰 스 페이서 높이 및 CD 손실 을 희생 하 여 2 . 4 ㎚ 만 제거 되 었 다 .