구체 적 으로 는 , 상부 에 제 1 펌프 가 설치 되 며 내부 에 제 1 약액 이 저장 되 는 제 1 약액 탱크 와 상부 에 제 2 펌프 가 설치 되 며 내부 에 제 2 약액 이 저장 되 는 제 2 약액 탱크 가 각각 외부 에 분리 설치 되 며 , 하부 일 측 에 가스 유입 구와 상부 일 측 에 가스 배출구 를 포함 하 며 , 상기 가스 유입 구와 상기 가스 배출구 사이 내부 에 세정 공간 이 형성 되 는 본체 , 일 측 에 상기 제 1 약액 이 공급 되 는 제 1 약액 공급 부 와 타 측 에 제 1 약액 이 배출 되 는 제 1 약액 배 출부 가 형성 되 며 , 하부 에 제 1 다공 플레이트 가 설치 되 어 상기 세정 공간 에 형성 되 는 제 1 반응 챔버 , 일 측 에 상기 제 2 약액 이 공급 되 는 제 2 약액 공급 부 와 타 측 에 제 2 약액 이 배출 되 는 제 2 약액 배 출부 가 형성 되 며 , 하부 에 제 2 다공 플레이트 가 설치 되 어 상기 제 1 반응 챔버 상측 세정 공간 에 형성 되 는 제 2 반응 챔버 및 일 측 에 제 2 약액 분리 배 출부 가 형성 되 어 상기 제 1 반응 챔버 와 상기 제 2 반응 챔버 사이 에 설치 되 는 약액 분리 플레이트 를 포함 한다 .