가스 분배 유닛 ( 115 ) 이 RF 리턴 경로 전극 , 플라 즈 마 프로세스 가스 매니폴드 , 및 유체 플로우 배 플 플레이트 로서 작용 한다는 것 을 이해 해야 한다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 , 우수 한 전기 및 열 전도체 이 고 , 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 내 에서 수행 되 는 프로세스 들 과 화학 적 으로 양립 가능 한 금속 , 예 를 들 어 알루미늄 , 스테인리스 스틸 등 으로 형성 될 수 있 다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 RF 리턴 경로 전극 기능 을 가능 하 게 하 기 위해 기준 접지 전위 또는 바이어스 전압 중 어느 하나 에 전기 적 으로 접속 될 수 있 다 . 이 로써 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 대해 접 지 전극 을 제공 한다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 전극 ( 107 B ) 및 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 대략 일 대 일 전력 투 접 지 표면 영역 을 형성 한다 . 전극 ( 107 B ) 에 관한 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 구성 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 내 에 용량 결합 형 플 라즈 마의 형성 을 가능 하 게 한다 .