측정 마스크 ( 20 F ) 및 측 정부 ( 30 F ) 를 사용 하 는 경우 에 는 , 예 를 들 면 , X 방향 의 로컬 플레어 를 측정 하 는 동안 에 , Y 방향 의 로컬 플레어 를 측정 하 기 위한 개구부 ( 322 ') 에 광이 입사 하 지 않 도록 그것 들 을 배치 하 는 것 이 중요 하 다 . 이 에 의해 , 측정 패턴 ( 210 ) 의 투영 상 의 위치 로부터 개구부 ( 322 ') 가 충분히 떨어지 도록 할 필요 가 있 다 . 이 때문 에 , 측정 패턴 ( 210 ) 및 ( 210 ') 이 서로 직교 하 도록 ( 도 14 참조 ) , 개구부 ( 322 ) 및 ( 322 ') 를 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그러나 , 측정 패턴 ( 210 ) 의 형 셩 영역 이나 광량 센서 ( 340 ) 의 크기 에 여유 가 있 는 경우 에 는 , 각각 이 동시 에 서로 근접 하 지 않 는 한 개구부 ( 322 ) 및 ( 322 ') 를 자유 롭 게 형성 할 수 있 다 .