실시 예 에서 , 디바이스 제조 공정 을 수행 하 는 중 에 오 차 또는 잔차 와 관련 된 제 1 매개변수 의 제 1 분포 를 결정 하 는 것 ; 디바이스 제조 공정 을 수행 하 는 중 에 오 차 또는 잔차 와 관련 된 제 2 매개변수 의 제 2 분포 를 결정 하 는 것 ; 및 하드웨어 컴퓨터 에 의하 여 , 제 1 및 제 2 분포 에서 작동 하 는 함수 를 이용 하 여 디바이스 제조 공정 과 관련 된 관심 대상 매개변수 의 분포 를 결정 하 는 것 을 포함 하 는 방법 이 제공 된다 .