부유 촉매 기상 성장 ( CCVD ) 법 을 이용 하 여 , 전기로 에 의해 1300 ℃ 로 가열 된 , 내경 φ 60 ㎜, 길 이 1600 ㎜ 의 알루미나 관 내부 에 , 탄소 원인 데카 하이드로 나프탈렌 , 촉매 인 페로 센 , 및 반응 촉진제 인 티오펜 을 , 체적 비율 로 각각 100 : 4 : 1 로 함유 하 는 원료 용액 ( ℓ) 을 , 스프레이 분무 에 의해 공급 하 였 다 . 캐리어 가스 는 , 수소 를 9 . 5 ℓ/ min 으로 공급 하 였 다 . 얻 어 진 CNT 를 회수 기 에서 시트 상 으로 회수 하 고 , 이것 들 을 모아 CNT 집합체 를 제조 하 고 , 추가 로 CNT 집합체 를 묶 어 CNT 선재 를 제조 하 였 다 . 얻 어 진 CNT 선재 를 , 대기 하 에 있 어서 500 ℃ 로 가열 하 고 , 추가 로 산 처리 를 실시 함 으로써 고순 도화 를 실시 하 였 다 .