제 1 센서 ( 450 ) 와 제 2 센서 ( 460 ) 는 동일 한 층 에 형성 된 형태 에 있 어서 , 도 11 d 및 도 11 e 에 도시 된 제 1 센서 ( 450 ) 와 제 2 센서 ( 460 ) 각각 은 도 14 a 에 도시 된 바 와 같이 마름 모꼴 형태 의 복수 의 센서 로 구성 될 수 있 다 . 여기 서 복수 의 제 1 센서 ( 450 ) 는 제 1 축 방향 으로 서로 이어진 형태 이 고 , 복수 의 제 2 센서 ( 460 ) 는 제 1 축 방향 과 직교 하 는 제 2 축 방향 으로 서로 이어진 형태 이 며 , 제 1 센서 ( 450 ) 및 제 2 센서 ( 460 ) 중 적어도 하나 는 각각 의 복수 의 마름 모꼴 형태 의 센서 가 브릿지 를 통해 연결 되 어 제 1 센서 ( 450 ) 와 제 2 센서 ( 460 ) 가 서로 절연 된 형태 일 수 있 다 . 또한 , 이 때 , 도 13 에 도시 된 제 1 센서 ( 450 ) 와 제 2 센서 ( 460 ) 는 도 14 b 에 도시 된 형태 의 센서 로 구성 될 수 있 다 .