유리 기판 상 에 실시 예 1 ~ 24 의 중합 성 조성물 및 비 교예 1 ~ 4 의 비교 중합 성 조성물 을 스핀 코트 ( 3 ㎛ 두께 , 300 rpm× 7 초 ) 에 의해 도포 하 고 건조 한 후 90 ℃ 에서 100 초간 프리 베이 킹 을 실시 하 고 용제 를 제거 한 후 , 포토 마스크 를 사용 하 여 고압 수은 램프 로 100 mJ / ㎠ 노광 후 , 0 . 04 wt % KOH 수용액 을 사용 하 여 현상 을 실시 한 후 , 230 ℃ 에서 30 분 가열 하 여 패턴 을 제작 하 였 다 . 얻 어 진 패턴 의 20 ㎛ 부분 에 , 시마즈 사 다이나믹 미소 경도계 DUH - 211 을 이용 하 여 40 mN 로 하중 을 가하 고 제거 하 는 부하 - 제하 시험 을 실시 하 였 다 . 탄성 회복 률 ( %) 을 하 기 의 계산 식 에 의해 산출 하 였 다 .