도 13 은 포트 ( 21 - 1 ∼ 21 - 6 ) 중 의 1 개 , 예 를 들 면 , 포트 ( 21 - 1 ) 상 의 카세트 로부터 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 또는 23 - 2 ) 에 이르 기 까지 의 기판 ( W ) 의 흐름 을 나타낸다 . 한쪽 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 ) 은 , 포트 ( 21 - 1 ) 상 의 카세트 ( 78 ) 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 대기 반 송실 ( 25 ) 에 인입 한다 ( Ａ → B ) . 다음 으로 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 ) 은 기판 을 오리 엔터 ( 61 ) 까지 반송 하 고 , 기판 의 노치 또는 오리엔테이션 플랫 ( orientation plat ) 등 을 검출 해서 기판 ( W ) 의 방향 을 검출 하 기 위한 오리 엔터 ( orienter ) ( 61 ) 위 에 기판 ( W ) 을 싣 는다 ( B → C ) . 다음 으로 , 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 ) 은 오리 엔터 ( 61 ) 에서 위치 정렬 된 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 한쪽 의 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 ) 에 반입 한다 ( Ｃ → D ) . 여기 에서 , 한쪽 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 ) 이 오리 엔터 ( 61 ) 까지 기판 ( W ) 을 반송 한 후 , 다른 쪽 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 2 ) 이 오리 엔터 ( 61 ) 로부터 그 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 다른 쪽 의 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 2 ) 에 그 기판 ( W ) 을 반입 하 도록 해도 좋 다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 ) 가 진공 배기 되 면 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 이 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 ) 로부터 기판 ( W ) 을 인입 하 고 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 를 경유 한 후 , 한쪽 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 ) 에 기판 ( W ) 을 넘겨준다 ( Ｄ → E → F ) .