종래 , 전자 방출 소자 로서 는 일본국 특개 2000 － 231872 호 공보 , 일본국 특개평 1 － 112633 호 공보 , 일본국 특개평 1 － 93024 호 공보 , 일본국 특개평 10 － 50208 호 공보 및 일본국 특개평 09 － 330649 호 공보 에 개시 되 는 표면 전도 형 전자 방출 소자 가 공지 되 어 있 다 . 도 15 A 내지 도 15 D 를 참조 하 면서 표면 전도 형 전자 방출 소자 의 제작 공정 의 일례 를 이하 에 나타낸다 .