구체 적 으로 는 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 의 모두 가 메탈 계 소수 화제 의 일례 인 소수기 를 갖 는 아민 이외 의 소수 화제 인 경우 에 는 , 소수 화 된 기판 ( W ) 에 순수 가 공급 되 어도 , 그 기판 ( W ) 의 소수성 이 대폭 저하 되 지 않 으므로 , 건조 전 린스 처리 에서 , 순수 를 기판 ( W ) 에 공급 하 여도 좋 다 . 한편 , 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 의 어느 하나 가 소수기 를 갖 는 아민 인 경우 에 는 , 건조 전 린스 처리 에서 순수 가 기판 ( W ) 에 공급 되 면 , 기판 ( W ) 의 소수성 이 대폭 저하 되 므로 , 건조 전 린스 처리 에서 용제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 .