채널 막 들 ( 30 ) 이 게이트 라인 들 ( 20 ) 및 절연 층 들 ( 21 ) 을 관통 하 여 기판 ( 10 ) 에 수직 한 방향 으로 형성 될 수 있 다 . 채널 막 들 ( 30 ) 의 바닥 면은 기판 ( 10 ) 상면 에 접촉 될 수 있 다 . 채널 막 들 ( 30 ) 은 제 1 방향 ( FD ) 및 제 2 방향 ( SD ) 을 따라서 소정 간격 으로 이격 되 어 배열 될 수 있 다 .