일부 실시 예 들 에서 , 방법 들 은 기판 공정 처리 구역 내 로 부가 적 인 질소 함유 전구체 를 유동 시키 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 예 시 적 인 방법 들 은 , 기판 공정 처리 구역 내 로 플 라즈 마 유출물 들 을 유동 시키 고 질소 함유 전구체 를 유동 시키 는 사이클 마다 적어도 약 0 . 2 Å 을 제거 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 질소 함유 전구체 는 , 물 - 메틸아민 용액 , 물 - 에틸아민 용액 , 디 에틸아민 , 프로필 아민 , 디 프로필 아민 , 물 - 디 에틸아민 용액 , 및 N - 에틸 메틸아민 으로 이루어진 전구체 들 의 군 으로부터 선택 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 플라 즈 마 유출물 들 은 약 500 W 또는 그 미만 의 플 라즈 마 전력 으로 생성 될 수 있 다 .