상술 한 실시 형태 에서 는 , 플라스마 를 사용 해서 기판 표면 에 대하 여 산화 처리 나 질화 처리 를 행하 는 예 에 대해서 설명 했 지만 , 이 들 처리 에 한하 지 않 고 , 플라스마 를 사용 해서 기판 에 대하 여 처리 를 실시 하 는 모든 기술 에 적용 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 플라스마 를 사용 해서 행하 는 기판 표면 에 소정 의 막 을 형성 하 는 성막 처리 , 형성 된 막 에 대한 개질 처리 나 도핑 처리 , 산화 막 의 환원 처리 , 당해 막 에 대한 에칭 처리 , 레지스 트 의 애 싱 처리 등 에 적용 할 수 있 다 .