또한 , 처리 액 공급 기구 ( 4 ) 는 중심축 노즐 ( 14 ) 과 , 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 을 포함 한다 . 중심축 노즐 ( 14 ) 은 차 단판 ( 3 ) 의 중심 축선 을 따라 배치 되 어 있 다 . 중심축 노즐 ( 14 ) 은 지지 축 ( 8 ) 의 내부 에서 상하 로 뻗 어 있 다 . 중심축 노즐 ( 14 ) 은 차 단판 ( 3 ) 및 지지 축 ( 8 ) 과 함께 승강 한다 . 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 은 차 단판 ( 3 ) 의 위쪽 에서 중심축 노즐 ( 14 ) 에 접속 되 어 있 다 . 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 으로부터 중심축 노즐 ( 14 ) 에 는 , 예 를 들 면 , 소수 화제 , 용제 , 및 린스 액 등 의 처리 액 이 공급 된다 . 중심축 노즐 ( 14 ) 에 공급 된 처리 액 은 중심축 노즐 ( 14 ) 의 하단 으로부터 아래쪽 으로 토출 된다 . 그리고 , 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 토출 된 처리 액 은 차 단판 ( 3 ) 의 중앙부 를 상하 로 관통 하 는 관통 구멍 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 통하 여 , 차 단판 ( 3 ) 의 하 면 중앙부 로부터 아래쪽 으로 토출 된다 ( 도 2 참조 ) . 이 에 의해 , 스핀 척 ( 2 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 처리 액 이 공급 된다 .