리 테 이너 링 ( 40 ) 과 톱 링 본체 ( 38 ) 사이 에 는 탄성 백 ( 46 ) 이 배치 되 어 있 고 , 그 탄성 백 ( 46 ) 의 내부 에 는 압력 실 P 6 이 형성 되 어 있 다 . 리 테 이너 링 ( 40 ) 은 톱 링 본체 ( 38 ) 에 대하 여 상대 적 으로 상하 이동 가능 하 게 되 어 있 다 . 압력 실 P 6 에 는 유체 로 ( 56 ) 가 연통 하 고 있 고 , 가압 공기 등 의 가압 유체 가 유체 로 ( 56 ) 를 통하 여 압력 실 P 6 에 공급 되 도록 되 어 있 다 . 압력 실 P 6 의 내부 압력 은 압력 조정부 ( 후술 함 ) 에 의해 조정 가능 하 게 되 어 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 W 에 대한 압박 력 과 는 독립 적 으로 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 연마 패드 ( 10 ) 에 대한 압박 력 을 조정 할 수 있 다 .