이 에 의해 , 복수 의 웨이퍼 를 수직 방향 으로 한 번 에 지지 하 여 열처리 할 수 있 는 구조 로 되 어 있 어 , 효율 좋 게 다수 매 의 웨이퍼 를 열처리 할 수 있 다 . 홈 ( 7 ) 의 수 [ 지지 부 ( 2 ) 의 수 ] 는 특히 한정 되 지 않 고 , 보트 ( 1 ) 를 넣 는 열처리로 의 크기 등 에 의해 , 그때 마다 결정 할 수 있 다 .