( 스텝 S 504 ) 처 리부 ( 108 ) 는 스텝 S 501 , 스텝 S 502 및 , 스텝 S 503 에서 판독 한 1 이상 의 파라미터 에 따라서 처리 를 실행 한다 . 상위 처리 로 리턴 한다 . 이러 한 처리 의 실행 에 의해 반도체 가 제조 될 수 있 다 . 또한 , 1 이상 의 파라미터 에 따른 처리 의 실행 에 대해서 는 , 공지 기술 이 기 때문 에 상세 한 설명 을 생략 한다 .