이 와 같이 , 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 는 다양 한 배열 구조 를 가질 수 있 으며 , 도 42 에 도시 된 바 와 같이 , 원형 으로 배열 된 구조 를 가질 수 있 다 . 그리고 복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 는 기판 이 수평 으로 진행 되 는 구조 뿐 만 아니 라 비 수평 상태 예 를 들 어 , 수직 으로 진행 되 는 구조 로 설치 될 수 도 있 다 . 이상 과 같 은 연속 기판 처리 시스템 은 상술 한 실시 예 뿐 만 아니 라 연속 된 피 처리 대상물 을 처리 하 기 위한 롤 - 투 - 롤 ( roll - to - roll ) 방식 으로 변형 실시 될 수 있 다 .