여기 서 , 상기 캐리어 기판 ( 10 ) 은 50 [ um ] 내지 300 [ um ] 의 두께 로 형성 될 수 있 다 . 상기 캐리어 기판 ( 10 ) 의 두께 가 50 [ um ] 이상 인 경우 후속 공정 에 필요 한 강성 을 제공 할 수 있 다 . 또한 , 상기 캐리어 기판 ( 10 ) 의 두께 가 300 [ um ] 이하 인 경우 후속 공정 에서 상기 캐리어 기판 ( 10 ) 을 제거 가 가능 하 다 .