본 발명 에 따른 집적회로 소자 의 제조 방법 은 , 기판 상 에 복수 의 제 1 막 및 복수 의 제 2 막 이 교대 로 1 층 씩 적층 된 구조물 을 형성 하 는 단계 ; 상기 구조물 을 관통 하 여 상기 기판 을 노출 시키 는 채널 홀 을 형성 하 는 단계 ; 상기 채널 홀 내 에서 , 상기 복수 의 제 1 막 의 일부분 을 제거 하 여 상기 채널 홀 과 연통 되 는 복수 의 인 덴트 공간 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 채널 홀 내 에 상기 복수 의 제 1 막 및 상기 복수 의 제 2 막 을 덮 는 블로킹 유전 막 , 및 상기 블로킹 유전 막 을 덮 는 전하 저 장막 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 하 되 , 상기 채널 홀 과 상기 복수 의 인 덴트 공간 사이 에서 상기 복수 의 제 2 막 의 모서리 에 라운드 부 를 가지 도록 한다 .