기판 카세트 ( 50 ) 를 통째 로 로드 락 챔버 ( 30 ) 에 인입 하 지 않 고 외부 의 기판 카세트 ( 50 ) 로부터 기판 을 이송 하 여 로드 락 챔버 ( 30 ) 에 안치 하 는 경우 에 는 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 내부 에 기판 안치수 단인 슬롯 ( 32 ) 을 구비 한다 . 이 경우 외부 의 기판 카세트 ( 50 ) 와 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 사이 에 는 기판 ( s ) 이송 을 위한 기판 이 송로 봇 ( 미 도시 ) 이 설치 된다 .