마이크 로 요동 소자 X 2 에서 , 한 쌍 의 구동 전극 ( 12 , 23 ) 은 요 동부 ( 10 ) 에 관한 구동력 을 발생 시키 기 위한 구동 기구 또는 액 튜 에 이터 를 구성 하 고 , 또한 한 쌍 의 구동 전극 ( 33 , 34 ) 은 프레임 ( 21 ') 에 관한 구동력 을 발생 시키 기 위한 구동 기구 또는 액 튜 에 이터 를 구성 한다 .