제 어부 ( 1100 ) 는 , 상기 와 같 은 검출 장치 ( 100 ) 에 의해 얻 어 진 계측 의 결과 에 근거 하 는 글로벌 얼라인먼트 법 을 사용 하 여 , 웨이퍼 ( 3 ) 상 의 숏 영역 ( 34 ) 의 배열 ( 격자 배열 ) 의 시프트 , 배 율 또는 회전 을 계산 한다 . 제 어부 ( 1100 ) 는 , 그 계산 결과 에 근거 하 여 각 항목 의 보정 이나 사다리꼴 보정 을 행하 고 , 격자 배열 의 규칙 성 을 결정 한다 . 그 후 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 기준 베이스 라인 과 격자 배열 의 규칙 성 으로부터 보정 계수 를 구하 고 , 그 결과 에 근거 하 여 웨이퍼 ( 3 ) 와 노광 광 의 얼라인먼트 를 행한다 .