비아 층 ( 165 ) 은 단차 를 포함 할 수 있 다 . 비아 층 ( 165 ) 은 영역 별 로 다른 높이 를 갖 는 단차 구조 를 포함 할 수 있 다 . 비아 층 ( 165 ) 은 제 1 높이 를 갖 는 제 1 영역 ( 165 _ 1 ) , 제 1 높이 보다 낮 은 제 2 높이 를 갖 는 제 2 영역 ( 165 _ 2 ) 및 제 2 높이 보다 낮 은 제 3 높이 를 갖 는 제 3 영역 ( 165 _ 3 ) 을 포함 할 수 있 다 . 비아 층 ( 165 ) 의 높이 는 제 1 기판 ( 110 ) 의 일면 과 같 은 기준면 으로부터 측정 될 수 있 다 . 비아 층 ( 165 ) 은 각 영역 내 에서 는 하부 에 배치 된 패턴 의 형상 이나 유무 에 무관 하 게 대체로 평탄 한 표면 을 가질 수 있 다 . 각 영역 의 경계 에서 비아 층 ( 165 ) 은 단차 구조 를 가질 수 있 다 .