대한민국 특허 공개 번호 2003 - 45499 에 는 분무 열분해법 으로 실리카 를 제조 하 는 방법 에 대하 여 소개 하 고 있 다 . 이 방법 은 나노 실리카 ( Fumed silica ) 및 테트라에틸 오르소 실리케이트 ( TEOS ) 를 물 에 분산 또는 용해 시켜 0 . 02 ∼ 3 M 의 실리카 전구체 용액 을 제조 하 는 공정 , 상기 전구체 용액 을 분무 장치 에 투입 하 여 0 . 1 ∼ 100 ㎛ 직경 의 액적 을 생성 시키 는 공정 및 상기 생성 된 액적 을 고온 의 관형 반응기 ( 200 ∼ 1 , 500 ℃) 또는 화염 반응기 ( 1000 ∼ 2500 ℃) 내 로 투입 하 여 건조 및 열분해 시켜 실리카 를 얻 는 공정 으로 상기 실리카 를 제조 하 는 것 을 소개 하 고 있 다 .