도 14 에 도시 된 실시 예 에 따르 면 , 하부 패턴 ( 22 ) 은 2 차원 적 으로 배열 되 는 하부 개구부 들 ( LH ) 을 정의 할 수 있 다 . 하부 패턴 ( 22 ) 에 정의 된 하부 개구부 들 ( LH ) 은 제 1 방향 ( x 축 방향 ) 에서 의 폭 과 , 제 1 방향 에 수직 한 제 2 방향 ( y 축 방향 ) 에서 의 폭 이 서로 다를 수 있 다 . 이 실시 예 에 따르 면 , 하부 패턴 ( 22 ) 에서 , 제 1 부분 들 ( 22 a ) 간 의 피치 ( P 1 ) 와 제 2 부분 들 ( 22 b ) 간 의 피치 ( P 2 ) 가 서로 다를 수 있 다 . 그리고 , 제 1 방향 에서 하부 개구부 들 ( LH ) 간 의 간격 과 , 제 2 방향 에서 하부 개구부 들 ( LH ) 간 의 간격 은 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 .