베이스 판 ( 1302 ) 의 상부 ( 1316 ) 는 부가 적 으로 내부 채널 ( 1318 ) 및 외측 냉각 채널 ( 1320 ) 을 포함 한다 . 내부 채널 ( 1318 ) 은 베이스 판 ( 1302 ) 을 통하 여 형성 된 입구 ( 1322 ) 를 통하 여 공급 된다 . 외부 채널 ( 1320 ) 은 베이스 판 ( 1302 ) 을 통하 여 형성 된 입구 ( 1324 ) 를 통하 여 공급 된다 . 냉각 유체 공급 부 ( 1328 , 1330 ) 는 바닥 커버 판 ( 1306 ) 에 제공 되 고 입구 ( 1320 , 1322 ) 와 정렬 되 어 헬륨 , 질소 또는 다른 유체 와 같 은 유체 가 베이스 조립 체 를 통하 여 냉각 채널 ( 1318 , 1322 ) 로 루팅 되 어 조립 체 ( 1300 ) 및 정전 척 ( 118 ) 사이 의 열 전달 을 강화 하 도록 한다 . 통공 ( 1326 ) 은 입구 ( 1322 , 1324 ) 로 냉각 공급 부 ( 1328 , 1330 ) 의 결합 을 용이 하 게 하 도록 채널 분리 판 ( 1304 ) 내 에 제공 된다 .