지지 플레이트 ( 50 ) 는 , 그 상부 에 플 라즈 마 화 된 공정 가스 를 공급 시키 기 위한 가스 공급 부 ( 15 ) 와 상부 챔버 ( 10 ) 내 에 결합 되 어 있 는 후방 플레이트 ( 44 ) 와 연결 라인 ( 14 ) 에 의해 전기 적 으로 연결 되 어 있 는 고주파 전원 부 ( 12 ) 등 이 장착 되 어 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 가스 공급 부 ( 15 ) 로부터 공급 되 는 공정 가스 가 가스유 입관 ( 18 ) 을 통해 버퍼 공간 ( B ) 으로 공급 될 수 있 고 , 후방 플레이트 ( 44 ) 가 고주파 전원 부 ( 12 ) 에 의해 공급 되 는 고주파 전력 에 의해 전극 을 띠 게 됨 으로써 버퍼 공간 ( B ) 으로 유입 된 공정 가스 를 플 라즈 마 화 할 수 있 다 .