분할 기점 형성 단계 ( ST 12 ) 는 , 유지 단계 ( ST 11 ) 의 실시 후 에 , 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 피 가 공물 ( 101 ) 의 표면 ( 103 ) 측 으로부터 , 피 가 공물 ( 101 ) 에 대해 투과성 을 갖 는 파장 의 레이저 광선 ( 15 ) 을 피 가 공물 ( 101 ) 의 내부 에 집 광점 ( 16 ) 을 맞춘 상태 에서 조사 하 여 , 피 가 공물 ( 101 ) 의 내부 에 개질 층 ( 121 ) 을 형성 하 고 , 아울러 집 광점 ( 16 ) 으로부터 이면 ( 107 ) 측 에 누설 된 레이저 광선 ( 15 ) 에 의해 부재 ( 109 ) 에 분할 기점 ( 129 ) 를 형성 하 는 단계 이 다 .