차광성 막 ( 110 ) 은 동일 한 식각 용액 에 대하 여 함께 식각 가능 한 물질 로 이루어지 고 , 상호 상이 한 조성 또는 조성 비 를 가지 며 , 1 회 이상 적층 되 어 구성 된 2 층 이상 의 다층막 또는 연속 막 의 형태 로 구성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이때 , 차광성 막 ( 110 ) 을 구성 하 는 박막 들 은 조성 , 조성 비 , 두께 등 의 변수 에 따라 동일 식각 물질 에 대하 여 식각 속도 가 다르 기 때문 에 상기 변수 들 을 고려 하 여 적절히 배치 될 수 있 다 .