반응 성 스퍼터링 에 있 어서 , ＰＥＭ 을 사용 해서 천 이 모드 를 유지 할 경우 , 투입 전력 을 일정 하 게 해서 반응 성 가스 유량 을 제어 하 면 피드백 루프 를 간략 화 할 수 있 으므로 , 제어 가 용이 해서 적합 하 다 . 제 1 의 수 광부 ( 20 ) 를 , 플라 즈 마 밀도 가 높 고 , 또 스퍼터 입자 ( 40 ) 의 밀도 가 높 은 타 겟 전극 ( 33 ) 근방 에 배치 하 고 , ( 3 ) 식 에 나타내 는 특성 파 장광 을 제 1 의 광검 출부 ( 21 ) 에서 측정 한다 . 제 1 의 광검 출부 ( 21 ) 는 , 분광기 를 사용 해서 파장 분해 해서 특성 파 장광 의 광 강도 를 측정 하 면 , 측정 계 가 간편 해져 적합 하 다 . 제 1 의 연산 부 ( 22 ) 는 , 제 1 의 광검 출부 ( 21 ) 로 검출 한 특성 파 장광 의 광 강도 에 근거 하 여 , 반응 성 가스 유량 의 지령 값 을 연산 하 고 , 제 어부 ( 30 ) 에 보낸다 . 제 어부 ( 30 ) 는 , 반응 성 가스 유량 의 지령 값 을 매스 플로우 콘트 롤러 ( 31 ) 에 설정 한다 .