또한 전술 한 바 와 같이 , 실리콘 박막 ( 110 ) 이 우수 한 막 질 과 스텝 커버리지 를 가질 수 있 기 때문 에 , 실리콘 이 포함 되 는 절 연막 ( 120 a ) 또한 우수 한 막 질 과 스텝 커버리지 를 가질 수 있 다 . 특히 , 실리콘 이 포함 되 는 절 연막 ( 120 a ) 은 플 라즈 마 분위기 에서 형성 되 므로 , 더욱 좋 은 막 질 을 가질 수 있 다 .