일정량 의 기체 를 기체 유출 구 ( 104 ) 를 통하 여 압력 조정 수단 ( 100 ) 외부 로 방출 한 후 , 버퍼 챔버 ( 30 ) 내 의 압력 과 기준 압력 이 같 아 지 게 되 는 경우 에 는 상기 다 이 아프 램 ( 110 ) 이 탄성 복원 하 여 기체 유입 구 ( 102 ) 와 기체 유출 구 ( 104 ) 를 막 기 때문 에 버퍼 챔버 ( 30 ) 내 의 압력 은 기준 압력 과 같 은 상태 로 준 평형 상태 ( quasi - equilibrium ) 에 도달 하 게 되 므로 미세 압력 을 발생 및 제어 할 수 있 다 .