가스 공급 관 ( 232 h ) 으로부터 는 , 산소 ( O ) 함유 가스 가 , MFC ( 241 h ) , 밸브 ( 243 h ) , 가스 공급 관 ( 232 a ) , 노즐 ( 249 a ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 된다 . O 함유 가스 는 , 처리 가스 , 즉 , 산화제 로서 작용 한다 . O 함유 가스 로서 는 , 예 를 들 어 산소 ( O 2 ) 가스 를 사용 할 수 있 다 .