근래 컴퓨터 와 같 은 정보 매체 의 급속 한 보급 에 따라 반도체 장치 도 비약 적 으로 발전 하 고 있 다 . 그 기능 면 에 있 어서 , 반도체 장치 는 고속 으로 동작 하 는 동시 에 대용량 의 저장 능력 을 가져야 한다 . 이러 한 요구 에 부응 하 기 위하 여 제조 원자 는 낮 으면서 집적도 , 신뢰 도 및 데이터 를 액세스 ( access ) 하 는 전기 적 특성 은 향상 된 반도체 소자 를 제조 하 기 위한 공정 설비 나 공정 기술 의 개발 이 절실히 요구 된다 .