다음 으로 , 도 11 및 도 12 에 도시 된 바 와 같이 , 적층 체 ML 2 상 에 유전체 층 ( 65 ) 을 형성 하 고 , 그 위 에 상부 선택 게이트 USG 로서 기능 하 는 실리콘 층 을 형성 하 며 , 그 위 에 유전체 층 ( 66 ) 을 또한 형성 한다 . 따라서 , 유전체 층 ( 65 ) , 상부 선택 게이트 USG 및 유전체 층 ( 66 ) 으로 구성 되 는 적층 체 ML 3 이 형성 된다 .