그리고 , 프로세스 제 어부 ( 204 ) 는 , 프로세스 를 종료 할지 의 여부 를 판정 한다 ( S 21 ) . 프로세스 를 속행 하 는 경우 ( S 21 : No ) , 다시 단계 S 10 에 나타내 어 진 처리 가 실행 된다 . 한편 , 프로세스 를 종료 하 는 경우 ( S 21 : Yes ) , 본 플로우 차트 에 나타내 어 진 잔류 흡착 력 저감 방법 은 종료 된다 .