그러나 , 제 1 절 연막 ( 116 ) 에서 와 같이 HDP 산화 막 의 두께 가 얇 을 경우 에 는 이러 한 현상 이 미비 하 고 , 또한 후속 으로 증착 되 는 PSZ ( polysilazane ) 막 에 의해 트렌치 ( 112 ) 가 완벽 하 게 채워 지 기 때문 에 본 발명 에서 는 제 1 절 연막 ( 116 ) 형성 시 의 이러 한 현상 에 대해서 는 무시 하 기 로 한다 .