본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 파손 방지 이재 로봇 시스템 의 제어 방법 에서 , 상기 제 2 단계 는 상기 이재 로봇 을 상기 카세트 의 상측 으로 이동 하 여 상측 변위 센서 에 의해 위치 를 감지 하 는 단계 와 , 상기 이 재 로봇 을 상기 카세트 의 하측 으로 이동 하 여 하측 변위 센서 에 의해 위치 를 감지 하 는 단계 , 상기 상측 변위 센서 및 상기 하측 변위 센서 에 의해 감지 된 위치 를 통해 상기 카세트 의 상하 슬롯 의 위 치 를 검출 하 는 단계 , 및 상기 검출 된 카세트 의 상하 슬롯 의 위치 에 의해 각 슬롯 의 위치 를 검출 하 는 단계 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .