이러 한 장치 ( 10 ) 는 상기 가스유 입구 ( 14 ) 의 하부 단 에 구비 된 노즐 ( 16 ) 이 상기 챔버 내부 중앙 에 배치 되 는 바 , 상기 노즐 ( 16 ) 의 노즐 공 ( 16 a ) 을 통하 여 반응 가스 인 소스 가스 ( source gas ) 와 캐리어 가스 ( carrier gas ) 가 상기 챔버 ( 11 ) 내부 의 중앙 으로 공급 된다 .