도 7 d 를 참조 하 면 , 소스 / 드레 인 영역 들 ( SD ) 을 형성 할 때 희생 게이트 구 조체 들 ( SGS ) 상 에 잔여물 ( L ) 이 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 희생 게이트 구 조체 ( SGS ) 가 소스 가스 들 및 / 또는 도우 펀트 가스 와 반응 하 여 생성 된 잔여물 ( L ) 이 형성 될 수 있 다 . 제 1 가스 공급원 ( 220 a ) 이 제 1 가스 공급 라인 ( 230 a ) 을 통해 식각 가스 를 공급 하 여 , 잔여물 ( L ) 을 제거 할 수 있 다 . 제 1 공정 가스 의 온도 를 상대 적 으로 높 게 제어 함 으로써 , 상대 적 으로 적 은 유량 으로 잔여물 ( L ) 을 효과 적 으로 제거 할 수 있 다 .