처리 용기 ( 20 ) 는 , 금속 창 ( 50 ) 에 의해 상하 2 개 의 공간 으로 구획 되 어 있 으며 , 상방 공간 인 안테나 실 ( A ) 은 상부 챔버 ( 13 ) 에 의해 형성 되 며 , 하방 공간 인 처리 영역 ( S ) ( 처리 실 ) 은 하부 챔버 ( 17 ) 에 의해 형성 된다 . 처리 용기 ( 20 ) 에 있 어서 , 상부 챔버 ( 13 ) 와 하부 챔버 ( 17 ) 의 경계 가 되 는 위치 에 는 직사각 형 환상 의 지지 프레임 ( 14 ) 이 처리 용기 ( 20 ) 의 내측 에 돌출 되 도록 하 여 배설 되 어 있 으며 , 지지 프레임 ( 14 ) 에 금속 창 ( 50 ) 이 장착 되 어 있 다 .