이 와 같이 피 가 공물 ( 2 ) 의 이면 ( 8 ) 에 점착 된 익스 팬 드 시트 ( 3 ) 에 방사상 으로 인 장력 이 작용 하 면 , 피 가 공물 ( 2 ) 은 , 도 9 에 도시 한 바 와 같이 , 분할 예정 라인 ( 6 ) 에 따라 개질 층 ( 101 ) 이 형성 되 고 있 으므로 , 개질 층 ( 101 ) 을 기점 으로서 , 분할 예정 라인 ( 6 ) 을 따라 개개 의 칩 ( 9 ) 으로 분할 된다 . 또한 , 피 가 공물 ( 2 ) 은 , 칩 ( 9 ) 사이 가 확장 되 어 , 칩 ( 9 ) 사이 에 간격 이 형성 된다 . 익스 팬 드 단계 ( ST 2 ) 에서 는 , 익스 팬 드 장치 ( 10 ) 는 , 익스 팬 드 유닛 ( 20 ) 의 확장 드럼 ( 22 ) 을 하강 시킨다 . 그러면 , 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 은 , 익스 팬 드 시트 ( 3 ) 가 일단 확장 하 고 있 기 때문 에 , 도 10 에 도시 한 바 와 같이 , 환형 영역 ( 102 ) 의 익스 팬 드 시트 ( 3 ) 에 이완 부분 ( 3 - 5 ) 가 형성 된다 .