도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 폐액 처리 장치 ( 1 ) 는 , 가공 장치 ( N ) 가 배출 하 는 폐액 을 일단 수용 하 는 폐액 수용 탱크 ( 2 a ) 와 , 적어도 그 폐액 여과 유닛 에서 발생 한 거품 을 흡인 하 는 거품 용 수봉 식 펌프 ( 9 ) 와 , 거품 용 수봉 식 펌프 ( 9 ) 가 흡인 한 거품 을 회수 하 여 폐액 으로서 저수 하 는 봉수 저수 탱크 ( 2 b ) 와 , 폐액 수용 탱크 ( 2 a ) 의 폐액 과 봉수 저수 탱크 ( 2 b ) 에 저수 된 폐액 을 여과 하 여 청수 로 정제 하 는 폐액 여과 유닛 ( 4 ) 과 , 폐액 여과 유닛 ( 4 ) 에 의해 여과 된 청수 를 저수 하 는 청수 저수 탱크 ( 5 ) 와 , 청수 저수 탱크 ( 5 ) 에 저수 된 청수 를 순수 로 정제 하 는 순수 정제 유닛 ( 6 ) 과 , 순수 정제 유닛 ( 6 ) 에 의해 정제 된 순수 를 소정 의 온도 로 조정 하 는 온도 조정 유닛 ( 8 ) 을 구비 하 고 있 다 .