한 예 로서 , 유리 기판 은 , 가 열실 내부 에서 반송 되 는 사이 에 500 내지 600 ℃ 까지 온도 를 올려서 소정 시간 동안 유지 시킨 후 ( 균일 열처리 ) , 서 냉실 내부 에서 반송 되 는 사이 에 350 내지 450 ℃ 정도 까지 온도 를 낮추 고 ( 서 냉처리 ) , 냉각 실 내부 에서 반송 되 는 사이 에 끄집어낼 수 있 는 온도 까지 급 냉 된다 ( 냉각 처리 ) ( 예 를 들 어 , 아래 의 특허 문헌 1 참조 ) . 냉각 실에 는 수냉식 핀 쿨러 , 팬 필터 유닛 ( 이하 , FFU 라고 칭함 ) 이 구비 되 어 있 다 . 수냉식 핀 쿨러 는 , 처리 대상물 을 냉각 한다 . FFU 는 처리 대상부 가 통과 하 는 영역 의 투명도 를 확보 한다 .