실시 예 에서 , 하나 이상 의 처리 변수 의 기여 도 는 패턴 또는 패 터닝 디바이스 특정 적 일 수 있 다 ; 즉 , 기여 도 는 어떤 실제 패 터닝 디바이스 또는 패 터닝 디바이스 에 의해 제공 될 특정 패턴 에 특정 적 이 다 . 이 기여 도 는 더 기판 독립 적 일 수 있 다 . 따라서 , 패턴 또는 패 터닝 디바이스 특정 기여 도 는 미리 특징지 어 질 수 있 으며 다양 한 조합 공정 을 위하 여 이후 에 데이터베이스 로부터 획득 될 수 있 다 . 그러 한 변수 의 예 는 패 터닝 디바이스 피처 CD , 어시스트 피처 의 형상 및 / 또는 위치 , 해상도 향상 기술 ( RET ) 에 의해 적용 된 조정 등 을 포함 할 수 있 지만 , 이 에 제한 되 지 는 않 는다 .