또 , 원소 의 양 은 , 검출 깊이 에 의해서 도 좌우 된다 . 따라서 , 측정 시 , 검출기 의 시료 에 대한 추출 ( removal ) 각도 는 , 표준 적 으로 75 도로 정의 한다 ( 입사각 = 15 °). 측정 에 이용 하 는 X 선 은 , 통상 XPS 에서 가장 자주 사용 되 는 모노크롬 ( monochromated ) AlK α 선 을 이용 해서 제공 된다 .