상기 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 은 2 개 가 구비 된다 . 상기 제 2 라인 패턴 ( 114 b ) 은 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 과 동일 한 방향 으로 연장 되 고 끊겨 진 부위 가 없 는 연장 라인 ( L 3 ) 과 , 상기 연장 라인 ( L 3 ) 으로부터 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 으로 향하 는 방향 으로 측방 돌출 되 는 돌출 패턴 ( L 4 ) 을 포함 한다 . 상기 돌출 패턴 ( L 4 ) 은 상기 제 1 라인 패턴 ( 114 a ) 의 끊겨 진 부위 와 인접 하 게 배치 된다 . 이 때 , 상기 돌출 패턴 은 얼라인 마진 을 충분 하 게 하 도록 하 기 위하 여 제 2 희생 마스크 패턴 ( 104 b ) 에 연결 라인 ( L 2 ) 이 구비 됨 으로써 생성 되 는 것 이 다 . 상기 제 3 라인 패턴 ( 114 c ) 은 라인 및 스페이스 가 반복 되 는 형상 을 갖 는다 .