그러나 반드시 이 에 한정 하 는 것 은 아니 고 분사 모듈 ( 200 ) 이 X 축 및 Y 축 으로 이동 하 고 , 구동 부 ( 100 ) 에 의해 스테이지 ( 124 ) 가 Z 축 으로 이동 할 수 도 있 다 . 또는 분사 모듈 ( 200 ) 이 Z 축 으로 이동 하 고 , 구동 부 ( 100 ) 에 의해 스테이지 ( 124 ) 가 X 축 및 Y 축 으로 이동 할 수 도 있 다 . 즉 , 분사 모듈 ( 200 ) 과 스테이지 ( 124 ) 가 상대 적 으로 X 축 , Y 축 , Z 축 및 회전 할 수 있 는 구성 이 면 특별히 제한 하 지 않 는다 .