그 때문 에 , 도 9 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 2 개 의 공정 에 의하 여 슬릿 ( 150 ) 을 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 제 1 공정 에 있 어서 는 , 돌출부 ( 133 ) 의 X 축 을 따른 단부 의 연장 상 의 개 시점 ST 1 로부터 가공 을 개시 하 여 슬릿 ( 150 ) 과 유전체 기판 의 경계 를 따라 레이저 를 조사 하 고 , 돌출부 ( 133 ) 의 X 축 을 따른 다른 쪽 단부 의 연장 상 의 종료 점 ED 1 에서 일단 레이저 의 조사 를 종료 한다 . 그리고 제 2 공정 에 있 어서 는 , 돌출부 ( 133 ) 의 Y 축 을 따른 단부 의 연장 상 의 개 시점 ST 2 로부터 레이저 의 조사 를 재개 하 여 , 돌출부 ( 133 ) 의 Y 축 을 따른 다른 쪽 단부 의 연장 상 의 종료 점 ED 2 까지 Y 축 을 따라 레이저 를 조사 한다 .