[ 0037 ] 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 제 1 치수 ( H ) 및 추가 적 인 제 1 치수 ( H ') 는 제 1 거리 ( D ) 및 제 2 거리 ( D ') 와 동등 하 거나 그 미만 이 다 . 다시 말 해서 , 기판 캐리어 ( 120 ) 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 는 제 1 부분 들 과 제 2 부분 들 사이 의 갭 ( gap ) 보다 더 작 다 . 제 1 갭 ( G 1 ) 은 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 ( 110 ) 의 제 1 부분 과 기판 캐리어 ( 120 ) 의 제 1 에지 ( 예컨대 , 하부 에지 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 제 2 갭 ( G 2 ) 은 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 ( 110 ) 의 제 2 부분 과 기판 캐리어 ( 120 ) 의 제 2 에지 ( 예컨대 , 상부 에지 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 제 1 에지 및 제 2 에지 는 기판 캐리어 ( 120 ) 의 대향 하 는 에지 들 일 수 있 다 . 유사 하 게 , 추가 적 인 제 1 갭 ( G 1 ') 은 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 ( 130 ) 의 추가 적 인 제 1 부분 과 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 제 1 에지 ( 예컨대 , 하부 에지 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 추가 적 인 제 2 갭 ( G 2 ') 은 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 ( 130 ) 의 추가 적 인 제 2 부분 과 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 제 2 에지 ( 예컨대 , 상부 에지 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 제 1 에지 및 제 2 에지 는 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 대향 하 는 에지 들 일 수 있 다 .