상기 하드 마스크 막 은 산화 막 , 비정질 카본 막 , SiON 막 및 반사 방지 막 이 순 차 적 으로 적층 된 구조 이 다 . 상기 플로팅 게이트 용 도전 막 및 상기 콘트롤 게이트 용 도전 막 은 폴리 실리콘 막 으로 형성 한다 . 상기 금속 전극 층 은 WSix 로 형성 하 며 , 상기 금속 전극 층 은 MS ( Monosilane ) 또는 DCS ( Dichlorosiline ) 방식 으로 형성 한다 .