또한 , 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 는 수 평관 ( 67 ) 에 2 차원 으로 배열 되 고 , 또한 덮개 ( 53 ) 에 2 차원 으로 배열 되 어도 된다 . 기판 ( 2 ) 보다 하방 의 수평면 내 의 온도 분포 와 , 기판 ( 2 ) 보다 상방 의 수평면 내 의 온도 분포 의 양방 을 구할 수 있 어 , 수조 내 의 3 차원 의 온도 분포 를 구할 수 있 다 .