금속 실리사이드 층 이 형성 된 뒤 에 는 잔류 금속 층 을 제거 하 여 금속 실리사이드 층 ( 80 a , 80 b , 90 ) 만 남기 도록 한다 . 금속 층 제거 를 위해서 는 금속 종류 별 로 여러 가지 화학 물질 을 사용 할 수 있 다 . 예컨데 , 높 은 식각 선택 성 이 있 는 식각 물질 인 황산 ( H 2 SO 4 ) 용액 을 사용 할 수 있 다 .