상기 필름 건조장 치 는 덕트 , 불활성 가스 공급 부 , 및 불활성 가스 순환 부를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 덕 트 는 건 조부 에 위치 하 는 상기 캐리어 본체 및 레일 을 덮 는다 . 상기 불활성 가스 공급 부 는 덕트 에 불활성 가스 를 공급 하 고 , 덕트 의 불활성 가스 를 정화 한다 . 상기 불활성 가스 순환 부 는 상기 불활성 가스 공급 부 에 의해 가압 된 상태 로 유지 된 덕트 로부터 불활성 가스 를 회수 하 고 , 상기 회수 된 불활성 가스 를 상기 불활성 가스 공급 부 로 공급 한다 . 상기 덕트 에서 불활성 가스 의 공급 위치 및 회수 위치 는 리턴 경로 부재 의 근방 인 것 이 바람직 하 다 . 상기 리턴 경로 부재 는 상기 건 조부 의 출구 측 레일 의 끝 에 설치 된다 .