다음 으로 , 사이드 월 절연 층 ( 118 ) 을 형성 한다 ( 도 12 ( D ) 참조 ) . 사이드 월 절연 층 ( 118 ) 은 , 절연 층 ( 112 ) 을 덮 도록 절연 층 을 형성 한 후 에 , 상기 절연 층 에 이방성 의 높 은 에칭 처리 를 적용 함 으로써 , 자기 정합 적 으로 형성 할 수 있 다 . 또 , 이 때 , 절연 층 ( 112 ) 을 부분 적 으로 에칭 하 고 , 게이트 층 ( 110 ) 의 상면 과 , 한 쌍 의 불순물 영역 ( 114 a , 114 b ) 의 상면 을 노출 시키 면 좋 다 .