여기 서 , 얼라인먼트 시 에 , 반송 캐리어 ( 302 ) 가 자기 부상 한 상태 에서 , 반송 모듈 ( 301 ) 에 대한 위치 를 미세 조정 하 도록 하 고 있 다 . 그 때문 에 , 얼라인먼트 전용 의 미동 조정 기구 를 별도 마련 하 지 않 고 , 반송 캐리어 구동 계 에 의해 얼라인먼트 를 실시 할 수 있 으므로 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 구성 의 간략 화 , 경량 화 에 도 유효 하 다 .