연속 해서 , 코팅 되 어야 할 부분 을 , 코팅 시스템 에서 영구히 장착 되 는 방사 히터 를 이용 하 여 , 약 500 ℃ 에 까지 가열 하 였 다 . 가열 단계 후 에 , 그 부분 의 표면 을 0 . 2 Pa 의 압력 에서 아르곤 분위기 에서 - 100 내지 - 250 V 의 DC 바이어스 전압 을 이용 하 여 아르곤 에칭 에 의하 여 세정 하 였 다 .