차 광부 ( 212 ) 는 피검 광학계 ( TOS ) 의 상면 에 , 차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 보다 종횡 의 치수 가 큰 투 영상 을 형성 한다 . 측정 마스크 ( 20 ) 를 통과 하 는 광 의 양 을 충분히 확보 하 기 위해서 , 차 광부 ( 212 ) 의 폭 방향 ( 제 1 방향 ) 과 직교 하 는 방향 ( 제 2 방향 ) 의 차 광부 ( 212 ) 의 길이 ( L 1 ) 가 그 폭 방향 의 차 광부 ( 212 ) 의 길이 ( 2 a ) 보다 충분히 길 어 지 도록 설정 된다 . 보다 , 구체 적 으로 는 , 그 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 차 광부 ( 212 ) 의 길이 ( L 1 ) 는 그 폭 방향 의 차 광부 ( 212 ) 의 길이 ( 2 a ) 의 10 배 이상 인 것 이 바람직 하 다 .