기판 의 식각 또는 세정 공정 진행시 제 1 및 제 2 약액 공급 부재 ( 220 , 240 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 및 하 면 으로 공급 되 는 약액 ( 식각 액 또는 세정액 ) 은 60 ~ 70 ℃ 의 고온 으로 유지 된다 . 그런데 , 스핀 헤드 ( 110 ) 는 폴리염화비닐 ( PVC ) 수지 로 이루어지 기 때문 에 , 기판 으로 공급 되 는 고온 의 약액 에 의해 열 변형 될 수 있 다 . 본 발명 에서 는 이 를 방지 하 기 위해 스핀 헤드 ( 110 ) 의 상면 에 약액 차단 판 ( 150 ) 을 제공 한다 .