서브 스테이지 ( 110 ) 는 대상 기판 ( SUB ) 이 배치 되 는 공간 을 제공 할 수 있 다 . 또한 , 서브 스테이지 ( 110 ) 상 에 는 프로브 지지대 ( 130 ) , 프로브 유닛 ( 150 ) 및 얼라 이너 ( 180 ) 가 배치 될 수 있 다 . 서브 스테이지 ( 110 ) 의 형상 은 특별히 제한 되 지 않 으나 , 일 예 로 , 서브 스테이지 ( 110 ) 는 도면 에 도시 된 바 와 같이 양 변이 제 1 방향 ( DR 1 ) 및 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 연장 된 사각형 의 형상 을 가질 수 있 다 . 다만 , 서브 스테이지 ( 110 ) 의 전반 적 인 평면 형상 은 대상 기판 ( SUB ) 의 평면 상 형상 에 따라 달라질 수 있 다 . 예 를 들 어 대상 기판 ( SUB ) 이 평면 상 직사각 형 일 경우 , 도면 에 도시 된 바 와 같이 서브 스테이지 ( 110 ) 의 형상 은 직사각 형 일 수 있 고 , 대상 기판 ( SUB ) 이 원형 의 평면 을 갖 는 경우 , 서브 스테이지 ( 110 ) 도 평면 상 형상 이 원형 일 수 있 다 .