다공성 물질 의 플 라즈 마 처리 방법 은 미국 특허 제 6 , 878 , 419 호 및 제 7 , 125 , 603 호 에 제공 되 고 , 또한 입자 의 플 라즈 마 처리 방법 및 장치 는 미국 특허 제 6 , 015 , 597 호 및 제 6 , 197 , 120 호 에 제공 되 며 , 이 들 개 시물 은 본원 에 참조 로서 인용 된다 . 일반 적 으로 , 플라 즈 마 처리 는 진공 하의 결합제 를 예 를 들 어 , 테트라메틸 실란 ( TMS ) 의 형태 의 실란 또는 산소 ( O 2 ) 와 같 은 기체 로 처리 함 으로써 달성 된다 . TMS 처리 를 위해 , TMS 를 대략 100 cc / 분 의 유속 으로 유리 챔버 에 30 분 동안 도입 하 였 다 . 산소 처리 를 위해 , 산소 기체 를 대략 180 cc / 분 의 유속 으로 유리 챔버 에 30 분 동안 도입 하 였 다 . 병 용 처리 를 위해 , TMS 및 O 2 처리 를 각각 순서 대로 30 분 동안 수행 하 였 다 . 일반 적 으로 , TMS 또는 산소 기체 가 챔버 내 에 존재 하 는 경우 의 압력 은 약 133 Pa ( 1 torr ) 을 초과 하 지 않 았 다 . 다음 , 챔버 내 물질 을 펄스 방식 으로 RF 플 라즈 마 처리 하 였 다 . 펄 싱 ( Pulsing ) 을 사용 하 여 , 기체상 중합 으로 인한 분말 가루 의 형성 을 최소 화 하 였 다 . 우선 결합제 를 TMS 분위기 에서 처리 하 고 , 그런 다음 이 어서 O 2 분위기 에서 처리 하 는 처리 에서 , 이론 에 구애 되 지 않 으면서 , 산화 규소 가 중합체 결합제 의 표면 상 에 침착 되 는 것 으로 생각 된다 . O 2 기체 단독 처리 에 대해 , 이론 에 구애 되 지 않 으면서 , 중합체 표면 이 산화 되 는 것 으로 생각 된다 . TMS , 및 연이 은 O 2 처리 와 유사 한 이점 이 O 2 단독 처리 에서 나타났 다 . TMS 기체 단독 처리 에 관해서 는 , 친수성 효과 를 제외 하 고는 , 다른 처리 와 유사 한 이점 이 나타났 다 .