리소그래피 장치 는 기판 또는 기판 의 일부분 상 에 원하 는 패턴 을 적용 시키 는 기계 이 다 . 리소그래피 장치 는 , 예 를 들 어 평판 디스플레이 , 집 적 회로 ( IC ) 및 미세 구조 들 을 수반 하 는 다른 디바이스 들 의 제조 시 에 사용 될 수 있 다 . 종래 의 장치 에서 , 통상 적 으로 마스크 또는 레티 클 이 라 칭하 는 패 터닝 디바이스 가 평판 디스플레이 ( 또는 다른 디바이스 ) 의 개별 층 에 대응 하 는 회로 패턴 을 생성 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 이 패턴 은 기판 상 에 제공 된 방사선 감응 재 ( 예 를 들 어 , 포토레지스트 ) 층 상 으로 의 이미 징 에 의해 , 기판 ( 예 를 들 어 , 유리판 ) 의 전체 또는 일부분 상 으로 전사 될 수 있 다 .