프로세스 챔버 ( 260 ) 는 기판 ( W ) 에 대해 소정 의 공정 을 수행 한다 . 예컨대 , 프로세스 챔버 ( 260 ) 는 애 싱 , 증착 , 식각 , 또는 측정 등 과 같 은 공정 을 수행 하 는 챔버 일 수 있 다 . 또한 , 프로세스 챔버 ( 260 ) 는 기판 을 가열 하 는 공정 을 수행 하 는 챔버 일 수 있 다 . 프로세스 챔버 ( 260 ) 는 트랜스퍼 챔버 ( 240 ) 의 측 부 에 하나 또는 복수 개 가 제공 된다 . 프로세스 챔버 ( 260 ) 가 복수 개 제공 되 는 경우 , 각각 의 프로세스 챔버 ( 260 ) 는 기판 ( W ) 에 대해 서로 동일 한 공정 을 수행 할 수 있 다 . 선택 적 으로 프로세스 챔버 ( 260 ) 가 복수 개 제공 되 는 경우 , 프로세스 챔버 ( 260 ) 들 은 순차 적 으로 기판 ( W ) 에 대해 일련 의 공정 을 수행 할 수 있 다 .