도 2 는 제 1 실시 예 에 따른 노광 장치 의 주요부 의 확대도 이 다 . 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 노광 장치 는 , 액체 L 1 의 액체 공급 및 회수 기구 ( 60 ) 와 액체 L 2 의 액체 공급 및 회수 기구 ( 70 ) 를 포함 한다 . 즉 , 노광 장치 는 , 액체 L 1 및 액체 L 2 의 각각 에 대하 여 공급 및 회수 기구 를 포함 한다 . 투영 광학계 ( 30 ) 의 최종 면 과 웨이퍼 ( 40 ) 에 의해 형성 된 공간 에 액체 L 1 을 공급 한다 . 액체 L 1 으로서 1 . 64 의 높 은 굴절 률 을 가진 포화 탄화 수소 계 의 액체 를 사용 한다 . 액체 L 1 과 혼합 하 지 않 는 액체 L 2 로서 초 순수 물 을 사용 한다 .