갠트리 ( 31 ) 는 스테이지 이동 모듈 ( 23 ) 에 의한 스테이지 ( 21 ) 의 이동 경로 의 상측 에 제공 되 어 베이스 ( 10 ) 의 상면 으로부터 상측 으로 이격 된다 . 갠트리 ( 31 ) 는 , X 축 방향 으로 연장 되 고 , 갠트리 구동 모듈 ( 32 ) 에 의하 여 Y 축 방향 으로 이동 된다 . 갠트리 구동 모듈 ( 32 ) 은 복수 의 리니어 모터 를 포함 할 수 있 다 .