또 , 본 발명 의 세정 방법 은 , 물리력 에 의한 세정 방법 , 특히 , 세정 브러시 를 사용 한 스 크 러브 세정 이나 주파수 0 . 5 메가헤르츠 이상 의 초음파 세정 을 병용 하 면 , 기판 에 부착 된 미립자 에 의한 오염 의 제거 성 이 더욱 향상 되 어 , 세정 시간 의 단축 으로 도 이어지 므로 바람직 하 다 . 특히 , CMP 후 의 세정 에 있 어서 는 , 수지 제 브러시 를 사용 하 여 스 크 러브 세정 을 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 수지 제 브러시 의 재질 은 , 임의 로 선택 할 수 있 지만 , 예 를 들 어 PVA ( 폴리비닐 알코올 ) 나 그 변 성물 인 PVF ( 폴리비닐 포르 말 ) 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .