장벽층 ( 424 ) 이 실리사이드 형성 금속 층 ( 422 ) 상 에 증착 된다 . 장벽층 ( 424 ) 은 약 20 내지 약 500 옹스트롬 , 바람직 하 게 약 100 옹스트롬 의 질화 티탄 , 또는 질화 탄탈 , 질화 텅스텐 과 같 은 또 다른 적합 한 장벽층 , 하나 이상 의 장벽층 들 의 조합 들 등 일 수 있 다 . 다른 장벽층 물질 들 및 / 또는 두께 들 을 사용 될 수 있 다 .