상기 이송 유닛 은 레이저 ( 100 ) 에서 발생 된 레이저 빔 이 기판 ( 10 ) 의 전 영역 으로 조사 되 도록 스테이지 ( 300 ) 를 상하좌우 이동 시킨다 . 이 와 같이 , 상기 이송 유닛 이 기판 ( 10 ) 을 지지 하 는 스테이지 를 이송 함 에 따라 , 실리콘 결정 화 마스크 ( 400 ) 는 기판 ( 10 ) 에 대하 여 상대 적 으로 상하좌우 이동 되 고 , 그 결과 실리콘 결정 화 마스크 ( 400 ) 를 투과 한 레이저 빔 은 기판 ( 10 ) 의 전 영역 으로 조사 된다 .