일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 감압 유닛 ( 366 ) 이 상기 중공 공간 ( 31 ) , 상기 제 1 기체 관로 ( 361 ) 또는 상기 제 2 기체 관로 ( 362 ) 내 에 배치 된다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 감압 유닛 ( 366 ) 이 상기 중공 공간 ( 31 ) 내 에 , 상기 공급 포트 ( 35 ) 로부터 멀 어 지 도록 배치 된다 . 일부 의 실시 형태 에 있 어서 , 상기 압력 조정 시스템 ( 36 ) 이 복수 의 감압 유닛 ( 366 ) 을 가진다 . 이 복수 의 감압 유닛 ( 366 ) 의 수량 과 위치 는 특별히 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 , 상기 중공 공간 ( 31 ) 의 상기 내부 측벽 에 서로 간격 을 두 고 배치 하 거나 , 및 ( 또는 ) 상기 제 1 기체 관로 ( 361 ) 내 의 임의 의 위치 , 및 ( 또는 ) 상기 제 2 기체 관로 ( 362 ) 의 임의 의 위치 로 할 수 있 다 . 단 , 본 발명 은 이 들 에 한정 되 지 않 는다 .