그런 다음 , 도 7 에 도시 한 바 와 같이 , 화학 적 기계 연마 ( chemical mechanical polishing , CMP ) 공정 을 진행 하 여 절 연막 ( 110 ) 을 평탄 화 한다 . 이때 , 비 아홀 ( 111 , 113 , 115 ) 및 제 1 , 제 2 및 제 3 트렌치 ( 112 , 114 , 116 ) 내벽 에 만 확산 방지 막 ( 211 , 213 , 215 ) 이 존재 한다 .