상기 층간 절 연막 ( 180 ) 은 상기 스 트랩 핑 영역 ( 105 a , 105 b , 105 c ) 에서 상기 액티브 패턴 들 ( 111 - 126 ) 의 일부분 을 노출 시키 는 스 트랩 핑 콘 택 들 ( 173 , 177 ) 을 포함 한다 . 상기 스 트랩 핑 콘 택 들 ( 173 , 177 ) 은 상기 스 트랩 핑 영역 들 ( 105 a , 105 b , 10 c ) 마다 하나 씩 배열 된다 . 상기 스 트랩 핑 콘 택 들 ( 173 , 177 ) 에 도전 성 플러그 들 ( 174 , 178 ) 이 각각 형성 된다 . 상기 워드 라인 들 ( 131 - 146 ) 은 상기 액티브 패턴 들 ( 111 - 126 ) 을 따라 오버랩 되 어 배열 되 고 , 상기 스 트랩 핑 콘 택 들 ( 173 , 177 ) 을 통해 상기 액티브 패턴 들 ( 111 - 126 ) 에 전기 적 으로 연결 된다 .