전형 적 인 노광용 광원 은 방전 램프 이 다 . 방전 램프 는 , 온 된 직후 는 광 강도 가 안정 되 지 않 으며 , 안정 화 에 전형 적 으로 는 20 분 정도 를 필요 로 한다 . 따라서 , 광 조사 의 온 오프 의 단시간 으로 의 전환 을 위해 방전 램프 자체 를 단시간 에 온 오프 하 는 것 은 바람직 하 지 않 고 , 통상 , 그 목적 을 위해서 는 셔터 가 이용 된다 . 셔터 는 가동 부 를 가지 므로 , 동작 시 에 발진 ( 發 塵 ) 하 기 쉽 다 . 이 발진 에 의해 기판 이 오염 되 는 경우 가 있 다 .