본 실시 예 7 은 실시 예 1 내지 6 중 어느 하나 의 형상 가변 거울 을 레이저 가공 장치 에 적용 한 경우 이 다 . 도 9 에 레이저 가공 장치 의 구성도 를 나타낸다 . 레이저 발진기 ( 50 ) 로부터 출사 된 레이저 빔 ( 51 ) 은 , 광로 도중 의 반사 거울 ( 52 ) 등 에 의해 전송 되 어 , 2 조 ( 組 ) 의 갈바노미터 ( 53 ) 및 갈바노미터 ( 53 ) 의 회전 에 의해 회전 구동 되 는 갈바 노 스캐너 거울 ( galvano scanner mirror ) ( 54 ) 에 의해 2 차원 주사 되 고 , 집광 렌즈 ( 55 ) 에 의해 피 가 공물 ( 56 ) 상 에 위치 결정 , 조사 된다 . 피 가 공물 ( 56 ) 상 의 점선 으로 둘러싼 사각 의 범위 는 주사 가능 범위 ( 57 ) 이 다 . 피 가 공물 ( 56 ) 은 테이블 ( 58 ) 에 탑재 되 고 , 테이블 ( 58 ) 은 2 개 의 테이블 구동 장치 ( 59 ) 에 의해 2 차원 으로 소정 의 범위 에서 이동 가능 하 다 .