상술 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 이송 모듈 및 상기 이송 모듈 을 구비 하 는 기판 처리 장치 , 그리고 기판 처리 방법 은 공정 시 복 층 구조 의 로드 락 챔버 및 높이 가 상이 한 공정 챔버 들 , 그리고 상하 로 대향 되 도록 설치 되 는 로봇 들 을 구비 하 고 , 각각 의 로봇 들 이 독립 적 으로 기판 들 을 이송 함 으로써 기판 의 처리 량 을 향상 시킨다 .