또한 , 비 교예 로서 TiAlN 단일 막 과 BN 단일 막 을 각각 제조 하 였 는데 , 모재 가 장착 된 지그 ( jig ) 의 회전 없이 코팅 하 는 점 을 제외 하 고 는 상기 실시 예 에서 와 동일 한 장치 를 사용 하 여 동일 한 조건 에서 증착 을 수행 하 였 다 . 공전 을 하 지 않 았 기 때문 에 단일 의 TiAlN 이 증착 되 어 형성 된 TiAlN 단일 막 과 단일 의 BN 이 증착 되 어 형성 된 BN 단일 막 이 각각 얻 어 졌 다 .