( D 1 ) 성분 을 함유 하 는 레지스 트 조성물 로 함 으로써 , 레지스 트 패턴 을 형성 할 때 에 , 레지스 트 막 의 노광 부 와 미노 광부 의 콘트 라스트 를 보다 향상 시킬 수 있 다 . ( D 1 ) 성분 으로 는 , 노광 에 의해 분해 되 어 산 확산 제어 성 을 잃 는 것 이 면 특별히 한정 되 지 않 으며 , 하 기 일반식 ( d 1 - 1 ) 로 나타내 는 화합물 ( 이하 「 ( d 1 - 1 ) 성분 」 이 라고 한다 . ) , 및 하 기 일반식 ( d 1 - 2 ) 로 나타내 는 화합물 ( 이하 「 ( d 1 - 2 ) 성분 」 이 라고 한다 . ) 로 이루어지 는 군 에서 선택 되 는 1 종 이상 의 화합물 이 바람직 하 다 .