이때 , 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 의 수평 방향 회전 에 따른 주변 구성 과 의 마찰 을 최소 화 할 수 있 도록 Z 축 방향 으로 의 이동 이 가능 하 도록 구성 되 는데 , 이 를 위해 에어 베어링 ( 120 ) , 지지 부재 ( 130 ) , 상부 회동 플레이트 ( 210 ) , 하부 회동 플레이트 ( 220 ) , 구동 모터 ( 300 ) 를 구비 할 수 있 다 .