더욱이 , 상기 와 같 은 특징 을 갖 는 SiC 막 구 조체 에서 상기 덮개 체 는 상기 개구부 에 감합 되 는 보스 부 와 , 상기 보스 부 의 외주 에 돌출 되 어 상기 개구부 를 덮 는 플랜 지부 를 갖 도록 하 면 좋 다 . 이러 한 특징 을 갖 는 것 에 따르 면 , 구조 체가 미소 한 것 이 었 다 하 더라도 , 덮개 체의 위치 결정 과 개구부 의 봉지 를 용이 하 게 실시 하 는 것 이 가능 해진다 .