그런데 , 플랫 패널 디스플레이 디바이스 , 예 를 들 어 액정 표시 소자 가 형성 되 는 유리 기판 은 액정 표시 소자 의 대형 화 에 따라 대형 화 되 고 있 다 . 예 를 들 어 , 액정 텔레비전 은 , 50 인치 를 초과 하 는 대화면 의 액정 텔레비전 이 시장 에 도입 되 고 있 다 . 이 와 같 은 유리 기판 의 대형 화 에 따라 노광 장치 에 의한 노광 시간 이 길 어 져 , 디바이스 의 생산 성 이 저하 되 고 있 다 . 또한 , 노광 전 의 기판 에 대하 여 포토레지스트 ( 감광제 ) 를 도포 하 는 도포 장치 ( 도포 부 ) , 및 노광 을 종료 한 기판 을 현상 하 는 현상 장치 ( 현상 부 ) 의 처리 시간 은 , 기판 에 형성 되 는 패턴 이나 그 레이아웃 등 에 상관없이 거의 일정 한 것 에 비해 , 노광 장치 의 처리 시간 은 기판 의 크기 , 레이아웃 , 패턴 의 종류 등 에 따라 상이 하 다 .