게이트 ( 100 ) 는 예 를 들 어 , 터널 절 연막 ( 13 ) , 부유 게이트 막 ( 14 ) , 층간 유전 막 ( 17 ) , 제 어 게이트 막 ( 18 A , 18 B ) 및 하드 마스크 막 ( 19 ) 이 적층 된 구조 를 가지 며 , 층간 유전 막 ( 17 ) 의 일부 가 제거 됨 으로써 부유 게이트 막 ( 14 ) 과 제어 게이트 막 ( 18 A ) 은 버팅 콘 택 ( butting contact ) 을 이룬다 .