그리고 , 웨이퍼 유지 수단 ( 4 ) 에 있 어서 는 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 에 웨이퍼 ( W ) 를 유지 한 상태 에서 밸브 ( 28 ) 를 개방 하 는 것 에 의해 , 물 공급원 ( 32 ) 의 물 을 물 공급 부 ( 10 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 공급 하 도록 되 어 있 다 . 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 공급 된 물 은 , 인접 하 는 세그먼트 ( 12 ) 와 세그먼트 ( 12 ) 의 사이 부터 유출 되 며 , 인접 하 는 세그먼트 ( 12 ) 와 세그먼트 ( 12 ) 의 사이 부터 유출 되 는 물 의 기세 는 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 를 둘러싸 며 배치 되 어 있 는 환형 벽 ( 18 ) 에 의해 억제 된다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 물 의 층 이 형성 되 어 , 웨이퍼 ( W ) 에 부착 한 연삭 부스러기 가 건조 되 지 않 고 고체 화 하 지 않 는다 .