제 1 버퍼 모듈 ( 300 ) 은 프레임 ( 310 ) , 제 1 버퍼 ( 320 ) , 제 2 버퍼 ( 330 ) , 냉각 챔버 ( 350 ) , 그리고 제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 을 가진다 . 프레임 ( 310 ) 은 내부 가 빈 직육면체 의 형상 으로 제공 되 며 , 인덱스 모듈 ( 200 ) 과 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) 사이 에 배치 된다 . 제 1 버퍼 ( 320 ) , 제 2 버퍼 ( 330 ) , 냉각 챔버 ( 350 ) , 그리고 제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 은 프레임 ( 310 ) 내 에 위치 된다 . 냉각 챔버 ( 350 ) , 제 2 버퍼 ( 330 ) , 그리고 제 1 버퍼 ( 320 ) 는 순차 적 으로 아래 에서부터 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 배치 된다 . 제 1 버퍼 ( 320 ) 는 후술 하 는 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) 의 도포 모듈 ( 401 ) 과 대응 되 는 높이 에 위치 되 고 , 제 2 버퍼 ( 330 ) 와 냉각 챔버 ( 350 ) 는 후술 하 는 도포 및 현상 모듈 ( 400 ) 의 현상 모듈 ( 402 ) 과 대응 되 는 높이 에 위치 된다 . 제 1 버퍼 로봇 ( 360 ) 은 제 2 버퍼 ( 330 ) , 냉각 챔버 ( 350 ) , 그리고 제 1 버퍼 ( 320 ) 와 제 2 방향 ( 14 ) 으로 일정 거리 이격 되게 위치 된다 .