반송 장치 ( 70 ) 는 , 반송 로봇 ( 71 ) 을 사용 하 여 , 반출 / 반입 유닛 ( 80 ) 과 본딩 장치 ( 30 ) 와 친수 화 처리 장치 ( 60 ) 의 상호 간 에서 기판 ( WT ) 을 반송 한다 . 반송 장치 ( 70 ) 는 , 우선 , 반출 / 반입 유닛 ( 80 ) 으로부터 친수 화 처리 장치 ( 60 ) 내 에 기판 ( WT ) 을 반송 한다 . 그리고 , 반송 장치 ( 70 ) 는 , 친수 화 처리 장치 ( 60 ) 에 있 어서 친수 화 처리 된 기판 ( WT ) 를 , 친수 화 처리 장치 ( 60 ) 로부터 본딩 장치 ( 30 ) 내 에 반송 한다 . 한편 , 반송 로봇 ( 71 ) 은 , 친수 화 처리 장치 ( 60 ) 로부터 받 은 기판 ( WT ) 에 대해 적절히 그 상하 를 반전 시킨 후 본딩 장치 ( 30 ) 내 에 반송 한다 .