제 1 노즐 암 ( 440 ) 의 감광액 노즐 들 ( 442 a , 442 b ) 이 더 이상 공정 진행 에 사용 되 지 않 게 되 면 , 도 17 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 노즐 암 ( 440 ) 은 보관 포트 ( 490 ) 의 보관 위치 로 이동 한다 . 제 1 노즐 암 ( 440 ) 에 장착 된 감광액 노즐 들 ( 442 a , 442 b ) 과 유기 용제 노즐 ( 442 c ) 은 , 도 18 에 도시 된 바 와 같이 , 보관 포트 ( 490 ) 에 제공 된 노즐 수용 공간 ( 493 ) 에 수용 된다 . 노즐 수용 공간 ( 493 ) 의 하부 영역 으로 는 유기 용제 공급 유로 ( 494 a ) 를 통해 유기 용제 가 공급 되 고 , 노즐 수용 공간 ( 493 ) 내부 에 는 유기 용제 분위기 가 형성 된다 . 이때 , 감광액 노즐 들 ( 442 a , 442 b ) 과 유기 용제 노즐 ( 442 c ) 은 노즐 수용 공간 ( 493 ) 에 공급 된 유기 용제 로부터 일정 거리 이격 된 상태 로 유지 된다 .