프로브 지지대 ( 130 ) 및 프로브 유닛 ( 150 ) 은 서브 스테이지 ( 110 ) 상 에 배치 된다 . 프로브 지지대 ( 130 ) 는 서브 스테이지 ( 110 ) 상 에서 프로브 유닛 ( 150 ) 이 배치 되 는 공간 을 제공 할 수 있 다 . 구체 적 으로 프로브 지지대 ( 130 ) 는 서브 스테이지 ( 110 ) 상 의 적어도 일 측 에 배치 되 어 , 일 측 부가 연장 된 방향 을 따라 연장 될 수 있 다 . 일 예 로 , 도면 에 도시 된 바 와 같이 프로브 지지대 ( 130 ) 는 서브 스테이지 ( 110 ) 상 의 좌우 측 측 부 에서 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 연장 되 어 배치 될 수 있 다 . 다만 , 이 에 제한 되 지 않 으며 , 프로브 지지대 ( 130 ) 는 더 많 은 수 포함 될 수 있 으며 경우 에 따라서 는 서브 스테이지 ( 110 ) 의 상하 측 에 도 배치 될 수 있 다 . 즉 , 프로브 지지대 ( 130 ) 는 전계 형성 유닛 ( 100 ) 에 포함 되 는 프로브 유닛 ( 150 ) 의 수 , 또는 배치 나 구조 등 에 따라 그 구조 가 달라질 수 있 다 .