한 패턴 과 다른 패턴 이 서로 만나 이루 는 패턴 에서 만나 는 부분 과 인접 한 부분 에서 선폭 은 광 간섭 효과 로 커진다 . 이런 , 선폭 이 확대 된 부분 은 현실 적 으로 반도체 장치 에 구현 되 는 경우 에 도 패턴 간 단락 과 같 은 문제 를 발생 시키 지 않 는다 . 따라서 , 한 패턴 과 다른 패턴 이 만남 으로 인하 여 선폭 이 한도 이상 으로 증가 되 는 부분 은 프로그램 에 의해 패턴 검사 방법 에서 에러 로 검출 되 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .