몇몇 실시 예 에서 , 제 1 절 연막 ( 182 ) 은 기판 ( 100 ) 의 상면 , 제 1 적층 구 조체 ( SS 1 ) 의 측면 및 제 2 적층 구 조체 ( SS 2 ) 의 측면 을 따라 컨 포 멀 하 게 연장 될 수 있 다 . 제 2 절 연막 ( 184 ) 은 제 1 절 연막 ( 182 ) 상 에 형성 될 수 있 다 . 몇몇 실시 예 에서 , 제 2 절 연막 ( 184 ) 은 제 1 절 연막 ( 182 ) 상 의 공간 을 채우 는 필링 절 연막 일 수 있 다 .