일 실시 형태 에서 는 , 도 17 에 가 상선 ( 일점쇄선 ) 으로 도시 하 는 바 와 같이 , 편심 검출 기구 ( 54 ) 는 , 촬상 장치 ( 85 ) 와 웨이퍼 W 사이 에 , 비산 된 연마 액 이 촬상 장치 ( 85 ) 에 도달 하 는 것 을 방해 하 는 셔터 ( 91 ) 를 마련 해도 된다 . 이 셔터 ( 91 ) 도 도시 하 지 않 은 액추에이터 에 연결 되 어 있 다 . 이 액추에이터 를 작동 시킴 으로써 , 셔터 ( 91 ) 는 , 촬상 장치 ( 85 ) 와 웨이퍼 W 사이 에 위치 하 는 차단 위치 와 , 촬상 장치 ( 85 ) 와 웨이퍼 W 사이 로부터 대피 한 촬영 위치 사이 를 이동 한다 . 셔터 ( 91 ) 가 촬영 위치 에 있 을 때 , 촬상 장치 ( 85 ) 는 , 웨이퍼 W 의 주연 부 의 화상 을 취득 할 수 있 다 .