제 1 탄소 나노 튜브 를 형성 시키 기 전 에 , 촉매 는 트렌치 의 저부 에 증착 될 수 있 다 . 이 방법 은 소스 전극 층 과 드레 인 전극 층 사이 에 측면 게이트 전극 층 을 형성 시키 는 것 을 포함 한다 . 이 방법 은 트렌치 내 나노 튜브 상 에 상부 게이트 절연체 를 형성 시키 고 ; 상부 게이트 절연체 상 에 상부 게이트 전극 을 형성 시키 는 것 을 포함 한다 .