반면 , 도 9 를 참조 하 면 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 에서 , 이 류체 형태 의 제 1 세정액 ( CL 11 , CL 12 ) 을 제조 할 때 에 는 , 제 2 탱크 ( 152 ) 에 저장 된 회수 세정액 을 이용 한다 . 즉 , 리 사이클 모듈 ( 260 ) 에서 제 2 탱크 ( 152 ) 에 저장 된 회수 세정액 을 선택 모듈 ( 230 ) 에 제공 한다 . 회수 세정액 과 건조 가스 를 이용 하 여 이 류체 형태 의 제 1 세정액 ( CL 11 , CL 12 ) 을 제조 한다 . 전술 한 것 과 같이 , 서로 다른 오염도 의 세정액 ( CL 11 , CL 12 , CL 2 ) 을 서로 다른 탱크 ( 151 , 152 ) 에 회수 하 였 기 때문 에 , 오염도 가 낮 은 , 회수 된 세정액 ( CL 2 ) 을 재 활용 할 수 있 다 .