스퍼터 성막 하 여 얻 어 진 막 의 막 두께 는 , 단차 계 에 의해 측정 할 수 있 다 . 또 , 막 의 캐리어 농도 는 반 데르 포우 ( van der pauw ) 법 에 의한 홀 ( hall ) 측정 에 의해 구할 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 막 이 부착 된 유리 등 의 기판 을 약 가로세로 10 ㎜ 로 잘라 내 어 , 네 모서리 에 인듐 등 의 전극 을 부여 하 고 , 홀 측정 장치 에 세트 함 으로써 , 막 의 저항률 , 캐리어 농도 , 이동도 를 측정 할 수 있 다 . 막 이 비정질 인 것 은 X 선 회절 을 실시 하 여 확인 할 수 있 다 . 막 의 조성 은 형광 X 선 분석 에 의해 측정 할 수 있 다 .