잔류 가스 검 출부 ( 170 ) 는 반응 로 ( 120 ) 내 에 잔류 하 는 소스 가스 ( 이하 , 잔류 가스 ) ( 특히 , 잔류 가스 중 에 수소 가스 ) 가 남 아 있 는지 를 검출 하 여 , 반응 로 ( 120 ) 로부터 합성 기판 ( 10 ) 의 언로 딩 을 단속 하 기 위한 것 이 다 . 잔류 가스 검 출부 ( 170 ) 는 가스 검출기 ( 172 ) 와 제 어부 ( 178 ) 를 포함 한다 . 가스 검출기 ( 172 ) 는 수소 가스 의 농도 를 검출 하 는 가스 센서 를 갖 는 검 출부 와 , 검 출부 로 검출 대상 기체 가 유입 되 는 제 1 , 2 흡입 포트 그리고 검 출부 를 통과 한 검출 대상 기체 가 배기 되 는 배출 포트 를 포함 한다 . 제 1 흡입 포트 는 가스 배기 부 ( 180 ) 의 가스 배기 덕트 ( 184 ) 에 연결 되 도록 설치 되 며 , 제 2 흡입 포트 는 외부 공기 가 유입 되 도록 설치 된다 . 가스 검출기 ( 172 ) 는 지속 적 으로 가스 를 흡입 하 는 압력 이 걸리 기 때문 에 , 가스 검출기 ( 172 ) 는 제 1 , 2 흡입 포트 에 설치 된 밸브 조작 을 통해 필요 한 단계 에서 만 반응 로 ( 120 ) 의 잔류 가스 를 검출 하 게 된다 . 즉 , 공정 중 에 는 반응 로 외부 의 가스 ( 공기 ) 가 유입 되 도록 제 2 흡입 포트 를 열 어 놓 고 , 공정 이 끝나 고 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 를 오픈 하 기 바로 전 에 는 제 1 흡입 포트 를 열 어 놓 고 반응 로 ( 120 ) 의 잔류 가스 를 검출 하 게 된다 .