정렬 마커 ( alignment marker ) 를 이용 하 여 광소자 모듈 웨이퍼 와 OSA 웨이퍼 를 정렬 하 는 방법 은 예 를 들 어 , 투명 기판 인 경우 광학 현미경 을 사용 하 는 제 1 방법 , 정렬 될 웨이퍼 중 하나 에 스루홀 을 형성 하 고 이 를 통하 여 다른 웨이퍼 와 정렬 하 는 제 2 방법 , 적외선 ( IR ) 에 투명 한 Si 웨이퍼 인 경우 투과 전자 현미경 ( TEM ; transmission electron microscope ) 의 반대편 을 IR 광 을 배치 하 고 정렬 마커 를 정렬 하 는 제 3 방법 , 하나 의 웨이퍼 의 전면 에 정렬 마커 를 배치 하 고 다른 하나 의 웨이퍼 의 배면 에 정렬 마커 를 배치 하 여 광학 현미경 으로 정렬 마커 를 정렬 하 는 제 4 방법 , 정렬 될 2 개 의 웨이퍼 의 전면 에 각각 정렬 마커 를 배치 하 고 웨이퍼 사이 에 2 쌍 의 현미경 을 배치 하 고 정렬 마커 를 정렬 하 는 제 5 방법 , 2 개 의 현미경 세트 와 변형 웨이퍼 테이블 을 이용 하 여 정렬 마커 를 정렬 하 는 제 6 방법 ( 3 DAlign Method ) 중 하나 를 선택 하 여 사용 할 수 있 다 .