다음 으로 , 제 1 비아 비아 체인 과 제 2 비아 체인 이 적층 된 비아 체인 의 저항 측정 방법 은 제 3 메탈 ( M 3 ) 까지 진행 한 후 제 3 메탈 ( M 3 ) 에 연결 된 제 2 패드 ( P 2 ) 와 제 3 패드 ( P 3 ) 에 프로브 를 콘 택하 고 , 제 1 패드 ( P 1 ) 와 제 4 패드 ( P 4 ) 의 저항 을 읽 는다 .