도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 히팅 척 ( 30 ) 은 기판 처리 공정 을 수행 하 는 공정 챔버 ( 20 ) 의 내부 에 장착 된다 . 공정 챔버 ( 20 ) 는 예 를 들 어 , 포토레지스트 제거 를 위한 에 싱 챔버 이 다 . 공정 챔버 ( 20 ) 의 상부 에 는 플 라즈 마 발생기 ( 10 ) 가 장착 된다 . 플 라즈 마 발생기 ( 10 ) 는 방전관 헤드 ( 11 ) 와 다 수개 의 방전관 브리지 ( 12 ) 를 구비 한다 .