크라이 오 펌프 ( 20 ) 는 , 프로세스 챔버 ( 10 ) 에 접속 되 어 있 다 . 이 크라이 오 펌프 ( 20 ) 에 는 , 보통 2 단식 의 GM ( 기포드 ㆍ맥마흔 ( Gifford - McMahon ) 식 ) 냉동기 ( 30 ) 가 사용 되 며 , 온도 가 높 은 1 단 ( 냉각 ) 스테이지 ( 21 ) 에 는 열 실드 ( 24 ) 를 마련 하 여 2 단 ( 냉각 ) 스테이지 ( 22 ) 를 피복 ( 被覆 ) 하 고 있 다 .