상기 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 의한 유기 박막 증착 장치 는 , 기판 상 에 유기 박막 을 증착 하 는 장치 에 있 어서 , 공정 챔버 와 ; 상기 공정 챔버 내 에 설치 되 며 , 증착 면 이 아래 방향 을 향하 도록 기판 을 지지 하 는 기판 지지 부재 와 ; 상기 기판 지지 부재 에 지지 된 상기 기판 으로 유기 물질 을 공급 하 는 복수 개 의 분사 홀 들 이 상이 한 경사각 을 가지 도록 형성 된 선형 소스 공급 부재 와 ; 상기 기판 의 중심부 를 지나 는 수직 축 을 중심 으로 상기 선형 소스 공급 부재 를 회전 시키 는 회전 부재 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .