도 1 a 와 도 1 b 를 참조 하 면 , 측정 대상 웨이퍼 ( 10 ) 는 탐침 장치 ( 20 , probe station ) 내부 의 척 ( 21 , chuck ) 위 에 위치 한다 . 정전 용량 측정 장치 ( 30 , LCR meter ) 의 고주파 단자 ( 31 ) 는 웨이퍼 ( 10 ) 의 게이트 ( 11 , gate ) 에 연결 되 고 , 저 주파 단자 ( 32 ) 는 웨이퍼 ( 10 ) 의 기판 ( 12 , substrate ) 에 연결 된다 . 탐침 장치 ( 20 ) 와 정전 용량 측정 장치 ( 30 ) 는 각각 제어 컴퓨터 ( 40 ) 와 연결 되 어 제어 된다 .