도 10 e 에 도시 된 바 와 같이 , 광학 공명 공동 부 ( 1060 ) 는 전방 전도체 ( 1050 ) 위 에 형성 된다 . 예시 된 실시 형태 에 있 어서 , 광학 공명 공동 부 ( 1060 ) 는 증착 된 투명층 이 지만 , 도 3 a 및 도 3 b 에 관하 여 위 에서 설명 된 바 와 같이 , 다른 구성 에서 는 해당 공동 부 는 기둥 부 , 지지 부 혹은 레일 등 과 같 은 스 페이서 에 의해 규정 된 공기 간극 ( 도 3 b 참조 ) ; 단일 의 투명 한 전도 성 혹은 유전체 층 ; 다수 의 전도 성 혹은 유전체 투명 층 에 의해 형성 된 복합체 ; 혹은 공기 간극 과 하나 이상 의 투명 층 과 의 조합 에 의해 형성 된 복합체 를 포함 할 수 있 다 . 투명 재료 의 단일 층 의 광학 공명 공동 부 는 제조 를 간략 화 하 여 비용 을 저감 시킬 수 있 다 . 다수 의 층 및 / 또는 공기 간극 을 구비 한 복합 구조 체 는 형성 되 어 있 는 IMOD 마스크 에서 의 그 의 광학 적 역할 에 부가 해서 장치 패 시베이 션 혹은 스크래치 내성 등 과 같 은 다수 의 기능 을 하 는 다수 의 층 을 이용 할 수 있 다 .