광선 ( 64 ) 은 상기 본드 헤드 ( 50 ) 의 상부 로부터 상기 본드 헤드 ( 50 ) 에 통합 된 빔 스플리터 ( 56 ) 위 의 상기 중공 형 공간 ( 52 ) 을 통해 상기 본드 헤드 ( 50 ) 내 로 도입 된다 . 상기 광선 ( 64 ) 의 일부 는 상기 제 1 빔 스플리터 ( 56 ) 로부터 거리 ( D 1 ) 에 있 는 기준 높이 ( Rv ) 에서 상기 빔 스플리터 ( 56 ) 를 통해 상기 미러 ( 58 ) 위 로 전달 된다 . 상기 미러 ( 56 ) 는 상기 본드 헤드 ( 50 ) 의 위치 를 결정 하 기 위한 미러 기준 마크 들 을 갖 는다 .