게이트 층 이 유전체 층 위 에 형성 되 고 , 마스크 층 이 게이트 층 위 에 형성 된다 . 게이트 층 은 유전체 층 위 에 퇴적 된 다음 , CMP 등 에 의해 평탄 화 될 수 있 다 . 마스크 층 은 게이트 층 위 에 퇴적 될 수 있 다 . 게이트 층 은 예컨대 폴리 실리콘 으로 형성 될 수 있 지만 다른 재료 도 사용 될 수 있 다 . 마스크 층 은 예컨대 실리콘 질화물 등 으로 형성 될 수 있 다 .