[ 0069 ] 도 5 는 진공 시스템 ( 400 ) 의 개략 적 인 측면도 를 도시 한다 . 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) 는 , 진공 챔버 ( 130 ) 로부터 제 2 진공 챔버 ( 440 ) 옆 , 특히 아래 의 공간 으로 연장 된다 . 특히 , 제 2 진공 챔버 ( 440 ) 아래 의 공간 은 대기 환경 의 공간 일 수 있 다 . 따라서 , 구동 유닛 ( 320 ) 은 , 제 2 진공 챔버 ( 440 ) 아래 의 공간 에 배치 될 수 있 다 .