본 발명 의 실시 예 에 따른 카세트 세정 장치 는 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 을 수납 하 기 위한 카세트 ( 102 ) 가 안착 되 는 스테이지 ( stage ) ( 301 ) 와 , 상기 스테이지 ( 301 ) 의 하부 에 구비 되 어 상기 카세트 ( 102 ) 의 무게 에 따라 서로 다른 크기 의 전기 적 인 신호 를 출력 하 는 다수 의 무게 측 정부 ( 302 ) 와 , 상기 각 무게 측 정부 ( 302 ) 에서 출력 되 는 전기 적 인 신호 에 따라 기판 의 존재 여부 를 판단 하 는 제 어부 ( 303 ) 와 , 그리고 상기 제 어부 ( 303 ) 로부터 의 판단 된 결과 에 따라 경고 음 을 발생 하 는 알람 부 가 구비 되 어 있 다 .