가스 공급 라인 에 는 소정 개수 의 압력 측정기 ( PT 1 A ~ PT 4 ) 가 적소 에 설치 되 며 , 압력 측정기 ( PT 1 ~ PT 4 ) 는 가스 공급 라인 의 압력 을 측정 하 여 그 결과 를 표시 한다 . 또한 , 가스 공급 라인 에 는 소정 개수 의 라인 필터 ( LF 1 A , LF 2 ) 가 설치 된다 . 공정 밸브 ( AV 3 ) 와 공정 챔버 사이 에 는 수동 밸브 ( MV 1 A ) 가 설치 되 어 반응 가스 가 공정 챔버 에 공급 되 는 것 을 최종 적 으로 제어 한다 .