상기 제 1 콘 택 플러그 ( 240 ) 의 폭 이 상기 제 1 층 도전 막 패턴 ( 224 ) 보다 작 을 경우 , 상기 제 1 콘 택 플러그 ( 240 ) 가 형성 된 부위 의 상기 제 1 층 도전 막 패턴 ( 224 ) 에 개구 가 생성 되 어 있 다 . 그리고 , 상기 개구 의 내 측벽 과 상기 제 1 콘 택 플러그 ( 240 ) 의 측벽 부위 가 서로 접촉 된다 .