또 , 상술 한 각 실시 형태 가운데 , 노광 광 ( EL ) 의 광로 를 액체 로 채우 는 실시 형태 에 있 어서 는 , 투영 계 와 기판 ( P ) 과 의 사이 에 국소 적 으로 액체 를 채우 는 노광 장치 를 채용 하 고 있 으나 , 본 발명 은 , 예 를 들 면 일본국 특개평 6 - 124873 호 공보 , 일본국 특개평 10 - 303114 호 공보 , 미국 특허 제 5 , 825 , 043 호 등 에 개시 되 어 있 는 것 과 같 은 노광 대상 의 기판 의 표면 전체 가 액체 중 에 침지 되 어 있 는 상태 로 노광 을 행하 는 액침 노광 장치 에 도 적용 가능 하 다 .