플라 즈 마 생 성 장치 는 표면 들 에 의해 플 라즈 마가 금속 오염 되 는 것 을 방지 하 기 위해 , 유리 와 같 은 비금속 재료 내 에 통합 된 RF 공중선 ( radio frequency aerial ) ( 20 ) 및 유전체 ( 22 ) 를 포함 한다 . 다른 실시 예 에서 는 , 유전체 튜브 주위 에 감겨져 있 는 나선 형 공중선 이 이용 될 수 있 다 .