도 1 은 종래 의 노광 장치 에서 패턴 간격 차이 에 따라 퓨 필 면 상 에 맺히 는 광 의 성분 을 나타낸 도면 으로 , 도 1 a 는 밀집 된 패턴 ( dense pattern ) 에 의해 맺히 는 광 의 성분 을 나타내 고 , 도 1 b 는 반 - 밀집 된 패턴 ( semi - dense pattern ) 에 의해 맺히 는 광 의 성분 을 나타내 고 , 도 1 c 는 반 - 고립 된 패턴 ( semi - isolated pattern ) 에 의해 맺히 는 광 의 성분 을 나타내 고 , 도 1 d 는 고립 된 패턴 ( isolated pattern ) 에 의해 맺히 는 광 의 성분 을 나타낸다 .