이 어 , 도 40 및 도 41 에서 도시 한 바 와 같이 , 기판 ( 110 ) 상부 에 제 1 게이트 절 연막 을 적층 하 고 그 상부 에 금속 막 을 적층 한 다음 , 마스크 를 이용 한 사진 식각 공정 으로 패 터닝 하 여 스위칭 제어 전극 ( 124 a ) 및 끝 부분 ( 129 ) 을 포함 하 는 게이트 선 ( 121 ) 및 구동 제어 전극 ( 124 b ) 을 형성 한다 .