상세히 서술 하 면 , Y 간섭계 ( 207 ) 는 도 46 에 도시 된 바 와 같이 , 전술 한 기 준축 ( LV 0 ) 을 Y 축 방향 에 관한 실질 적 인 측 장축 으로 하 는 다축 간섭계 이 다 . Y 간섭계 ( 207 ) 는 , Y 축 과 평행 한 적어도 3 개 의 측장 빔 을 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 반사면 ( 27 b ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 반사면 ( 27 f ) ) 에 조사 하 고 , 그 들 의 반사광 을 수 광 하 여 , 각 측장 빔 의 조사 점 에 있 어서 의 반사면 ( 27 b ) ( 또는 27 f ) 의 Y 축 방향 의 위치 정보 를 계측 한다 . 이 들 위치 정보 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) ( 도 47 참조 ) 로 보내 진다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Y 간섭계 ( 207 ) 에서 계측 된 위치 정보 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 WTB 2 ) 의 Y 축 방향 에 관한 위치 ( Y 위치 ) , θ z 회전 량 ( 요 잉량 ) 및 θ x 회전 량 ( 피 칭량 ) 을 산출 한다 .