가스 분배 판 ( 31 ) 과 후방 플레이트 ( 32 ) 사이 에 는 현가 지지 부재 ( 35 ) 가 마련 되 어 있 다 . 현가 지지 부재 ( 35 ) 는 버퍼 공간 ( B ) 내 의 증착 물질 이 외부 로 누출 되 지 않 도록 할 뿐 만 아니 라 대략 400 kg 정도 의 무거운 중량 을 갖 는 가스 분배 판 ( 31 ) 을 후방 플레이트 ( 32 ) 에 대해 현가 지지 한다 . 뿐 만 아니 라 현가 지지 부재 ( 35 ) 는 증착 공정 시 대략 200 ℃ 정도 로 가열 된 가스 분배 판 ( 31 ) 이 X 축 , Y 축 및 Z 축 방향 중 적어도 어느 한 방향 으로 열팽창 하 는 것 을 보상 하 는 역할 도 겸한다 .