상부 챔버 부분 내 다양 한 컴포넌트 들 의 상세 들 이 이제 기술 될 것 이 다 . 일 실시 예 에서 , 상부 챔버 부분 ( 102 ) 의 챔버 벽 ( 102 a ) 의 하단 부 가 스 페이서 ( 212 ) 의 측면 연장 부 ( 218 ) 를 실질 적 으로 둘러싼다 . 챔버 벽 ( 102 a ) 의 하단 부분 은 챔버 벽 ( 102 a ) 의 하단 측 으로부터 프로세싱 영역 ( 234 ) 을 향해 방사상 내측 으로 돌출 하 는 연장 립 ( 102 b ) 을 포함 한다 . 연장 립 ( 102 b ) 은 , 상부 챔버 부분 ( 102 ) 이 하부 챔버 부분 ( 101 ) 으로부터 이동 될 때 , 상부 챔버 부분 ( 102 ) 과 스 페이서 ( 212 ) 의 리프팅 을 인 에 이 블 하 도록 스 페이서 ( 212 ) 를 실질 적 으로 지지 하 는 스 페이서 ( 212 ) 의 측면 연장 부 ( 218 ) 의 부분 아래 에 도달 한다 . 윈도우 ( 107 ) 가 챔버 내외 로 기판 ( 103 ) 의 방해 받 지 않 는 이동 을 허용 하 는 위치 의 하부 챔버 부분 ( 101 ) 의 챔버 벽 ( 101 a ) 내 에 형성 된다 .