또한 본 발명 은 , N ( N 은 3 이상 의 정수 ) 개 의 기판 을 안치 할 수 있 는 기판 안치 수단 을 구비 하 는 하나 이상 의 공정 챔버 ; 내부 에 안치 할 수 있 는 기판 의 수 가 2 N 개인 제 1 로드 락 챔버 ; 내부 에 안치 할 수 있 는 기판 의 수 가 N 개인 하나 이상 의 제 2 로드 락 챔버 ; 상기 공정 챔버 , 상기 제 1 로드 락 챔버 및 상기 제 2 로드 락 챔버 와 각각 연결 되 며 , 내부 에 기판 이 송 을 위한 기판 이 송 수단 을 구비 하 는 이송 챔버 를 포함 하 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 .