도 6 을 참조 하 면 , 본 발명 의 변형 된 일 예 로서 , 실리콘 나이트 라이드 멤 브레인 박막 이 상하 로 노출 되 어 구현 된 구조 체 ( 100 ) 를 이소프로필 알콜 층 ( 500 ) 을 거치 면서 탈 이온 수 ( DIW , 400 ) 로부터 분리 함 으로써 , 상기 실리콘 나이트 라이드 멤 브레인 박막 을 건조 시키 는 단계 를 수행 할 수 있 다 . 구체 적 으로 , 구 조체 ( 100 ) 를 지지 하 는 지 지부 ( 215 ) 를 배스 ( 210 ) 내 에 고정 한 상태 에서 표면 에 이소프로필 알콜 층 ( 500 ) 이 형성 된 탈 이 온수 ( DIW , 400 ) 를 배스 ( 210 ) 의 하방 으로 드레 인 시킴 으로써 구현 할 수 있 다 .