" 마이크 로 전자 공학 에 적용 되 는 에피 택 셜 반응기 는 기판 상 에 매우 평탄 하 게 그리고 균일 하 게 일정 물질 ( 일반 적 으로 반도체 물질 ) 을 얇 은 층 으로 증착 하 기 위하 여 설계 된다 ( 이러 한 공정 을 흔히 "" 에피 택 셜 성장 "" 이라고 부른다 ) . 일반 적 으로 "," 증착 전후 의 기판 을 "" 웨이퍼 "" 라 부른다 . "