뿐 만 아니 라 상부 패널 ( 60 ) 과 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 사이 에 개재 된 코일 스프링 ( 70 ) 에 의해 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 이 유전체 패널 ( 20 ) 측 으로 탄성 바이어스 됨 에 따라 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 과 유전체 패널 ( 20 ) 사이 의 접촉 상태 가 계속 적 으로 유지 될 수 있 어 2 자 전자 의 방출 량 이 증가 되 고 그 결과 플 라즈 마 발생 효율 도 대폭 증대 될 수 있 어 플 라즈 마 에 의한 처리 대상물 ( 3 ) 의 세정 효과 를 더욱 증가 시킬 수 있 게 된다 .