본 발명 은 국부 적 으로 결정 방향 이 다르 게 증착 되 어 단차 가 발생 된 금속 막 상 에 단차 에 의한 표면 거칠 기 ( roughness ) 를 완화 시키 기 위하 여 단차 보상 층 을 형성 하 되 , 그레인 바운더리 ( grain boundary ) 의 단차 가 있 는 부분 에서 핀 홀 ( pin hole ) 이 발생 하 지 않 도록 단차 보상 층 을 충분 한 두께 로 형성 함 으로써 , 불량 발생 을 억제 하 고 공정 의 신뢰 성 을 향상 시킬 수 있 다 .