본 발명 의 친환경 용 반도체 연마 패드 조성물 에 있 어서 초미립자 열팽창 성 마이크로캡슐 은 아크릴로나이트릴 코 폴리머 로 이루어진 캡슐 막 내부 에 이소 - 부탄가스 팽창제 가 내포 되 어 있 으며 평균 입자 는 5 ∼ 50 ㎛ 이 고 , 막 의 두께 는 2 ∼ 15 ㎛ 이 며 , 내압 성 은 300 ∼ 1000 kg / ㎠ 인 것 을 특징 으로 한다 .