상술 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 에 따른 건식 식각 장치 는 , 기판 이 그 내부 의 소정 의 공간 에 안착 되 는 챔버 와 , 상기 챔버 의 일면 에 상기 챔버 의 내부 가 투영 되 도록 장착 되 는 절연 체부 와 , 상기 챔버 의 내벽 에 형성 되 는 증착 방지 부 , 및 상기 챔버 에 장착 되 며 상기 기판 을 건식 식각 할 수 있 게 상기 챔버 내부 의 소정 의 공간 에 플 라즈 마 를 발생 시키 도록 플 라즈 마 발생 원 이 포함 된 건식 식각 장치 에 있 어서 , 상기 절연 체부 및 상기 증착 방지 부 의 상기 챔버 내부 에서 발생 되 는 플 라즈 마 와 인접 되 는 일면 은 동일 재질 로 이루어지 는 것 을 특징 으로 한다 .