제 2 물질 막 들 을 도전 패턴 들 로 교체 하 는 단계 는 도 5 a 에 도시 된 제 2 물질 막 들 ( 113 ) 을 슬릿 ( 131 ) 을 통해 선택 적 으로 제거 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 이 로써 , 도 5 b 에 도시 된 바 와 같이 제 1 물질 막 들 ( 111 ) 사이 에 제 1 개 구부 들 ( 133 ) 이 정의 될 수 있 다 .