보호막 ( 60 ) 은 , 예 를 들 면 스퍼터링 법 , ECR ( Electron Cyclotron Resonance : 전자 싸이클 로 트론 공명 ) 스퍼터링 법 , CVD ( Chemical Vapor Deposition : 화학 기상 성장 ) 법 , ECR - CVD 법 , ECR - 플라 즈 마 CVD 법 , 증착 법 , EB 법 ( Electron Beam : 전자 빔 증착 법 ) 등 주지 의 방법 으로 형성 할 수 있 다 . 그 중 에서 도 ECR - 스퍼터링 법 , ECR - CVD 법 , ECR - 플라 즈 마 CVD 법 등 으로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .