최적 의 대상물 평면 과 레티 클 표면 사이 의 정렬 을 결정 하 는 ( resolving ) 함수 를 연산 하 기 위하 여 , 레티 클 스테이지 표면 상 에 정의 된 다수 의 설정 점 들 ( y i , y i + 1 , y i + 2 ) 이 레티 클 ( 42 ) 에 피팅 된다 . 각각 의 설정 점 은 계산 되 는 다수 의 변수 들 , 즉 높이 ( z i ) , 제 1 경사 ( R x , i ) 및 제 2 경사 ( R y , i ) 에 의해 특성 화 된다 . 이러 한 파라미터 들 은 최적 의 대상물 평면 에 대해 레티 클 표면 의 최소 제곱법 을 이용 하 여 계산 되 며 , 이 는 도 5 를 참조 하 여 더 자세히 설명 하 기 로 한다 .