또한 , 기존 과 같이 회전 테이블 을 90 도 또는 180 도 회전 시킬 때 마다 기판 을 정 위치 에 정렬 하 기 위해 얼라 인바 들 의 전진 이 동거리 가 서로 다른 것 이 아니 라 , 본 발명 에서 는 회전 테이블 에 얼라 인 수단 이 직접 장착 되 어 있 어 회전 테이블 회전 시 에 얼라 인 수단 도 함께 회전 이동 되 기 때문 에 기판 을 정 위치 에 정렬 하 기 위해 얼라 인바 들 의 전진 이동 거리 는 변화 하 지 않 게 된다 .