유체 분사 부 ( 300 ) 는 경로 제 공부 ( 400 ) 와 의 결합 을 위한 결합 부 ( 320 ) 가 구비 될 수 있 다 . 유체 분사 부 ( 300 ) 는 결합 부 ( 320 ) 를 통해 경로 제 공부 ( 400 ) 에 결합 된 상태 에서 경로 제 공부 ( 400 ) 를 따라 이동 할 수 있 다 . 결 합부 ( 320 ) 에 는 구동 수단 ( 미 도시 ) 이 구비 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 구동 모터 가 결합 부 ( 320 ) 에 구비 될 수 있 다 . 구동 모터 는 경로 제 공부 ( 400 ) 를 따라 유체 분사 부 ( 300 ) 를 이동 시키 는 구동력 을 발생 시킬 수 있 다 . 또는 , 구동 수단 은 선형 모터 ( LM ; Linear Motor ) 일 수 도 있 다 . 구동 수단 이 선형 모터 인 경우 구동 수단 과 경로 제 공부 ( 400 ) 간 의 마찰 이 방지 되 기 때문 에 유체 분사 부 ( 300 ) 의 이동 에 따른 파티클 의 발생 이 방지 될 수 있 다 .