복수 의 포크 부 ( 48 ) 의 선 단부 ( 전후 방향 의 외측 단부 ) 의 상면 에 는 , 기판 ( 2 ) 의 단부 의 하면 이 접촉 하 는 복수 의 패드 ( 50 , 51 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , 2 개 의 포크 본체 ( 17 ) 의 상면 에 도 기판 ( 2 ) 의 단부 의 하면 이 접촉 하 는 복수 의 패드 ( 50 ) 가 설치 되 어 있 다 . 즉 , 핸드 ( 3 ) 는 , 기판 ( 2 ) 의 단부 의 하면 이 접촉 하 는 복수 의 패드 ( 50 , 51 ) 를 구비 하 고 있 다 . 패드 ( 51 ) 는 , 고무 로 형성 되 어 있 다 . 예 를 들 어 , 패드 ( 51 ) 는 , 불소 고무 로 형성 되 어 있 다 . 패드 ( 51 ) 에 는 , 기판 ( 2 ) 의 단부 가 적재 된다 . 본 형태 의 패드 ( 51 ) 는 , 제 2 패드 이 다 .