제 어부 ( 130 ) 는 , ＣＰＵ 나 메모리 등 을 포함 하 는 정보 처리 장치 ( 컴퓨터 ) 로 구성 되 고 , 기억 부 에 기억 된 프로그램 에 따라 , 노광 장치 ( 100 ) 의 각부 를 제어 한다 . 제 어부 ( 130 ) 는 , 예 를 들 면 , 마스크 ( 102 ) 를 통해 기판 ( 105 ) 을 노광 해서 기판 ( 105 ) 에 마스크 ( 102 ) 의 패턴 을 전사 하 는 처리 ( 노광 ) 를 제어 한다 .