즉 , 종래 에 는 세정액 의 준위 가 안전 준위 에 근접 한 상태 인 경우 에 도 세정액 의 농도 가 일정 이하 로 저하 되 면 약액 의 추가 적 인 공급 이 이루어지 게 됨 에 따라 세정액 이 세 정조 를 범람 하 여 세 정조 주변 의 여타 장비 로 유입 되 는 문제점 이 있 다 . 이 와 같 은 세정액 은 매우 강한 화학 적 특성 을 갖 기 때문 에 주변 장비 에 유입 될 경우 장비 의 부식 및 손상 을 유발 하 는 문제점 이 있 다 .