일 실시 예 에서 , 콘 형 섹션 ( 104 b ) 의 측벽 은 축 방향 길이 를 따라 가변 한다 . 본 발명 의 예시 적 인 실시 예 에 따라 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 의 다양 한 섹션 들 ( 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) , 콘 형 섹션 ( 104 b ) , 및 실린더 형 섹션 ( 104 c ) ) 의 축 방향 길이 들 은 서로 실질 적 으로 동일 하 지 않 다 . 예 를 들 어 , 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 내 로 도입 된 가스 를 안정 화 하 기 충분 하 지만 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 내 로 가스 플로우 를 방해 하 기 충분히 길 지 않 은 축 방향 길이 를 갖 는다 . 콘 형 섹션 ( 104 b ) 의 축 방향 길이 는 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 보다 길 수 도 있 다 . 일 실시 예 에서 , 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) 의 축 방향 길이 는 콘 형 섹션 ( 104 b ) 및 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 의 축 방향 길이 보다 짧 다 . 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 의 축 방향 길이 는 콘 형 섹션 ( 104 b ) 보다 짧 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 주변 컴포넌트 들 의 특정 한 치수 들 에 따라 , 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) , 콘 형 섹션 ( 104 b ) 및 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 의 축 방향 길이 들 은 보다 길 거나 보다 짧 을 수 도 있 다 . 여전히 다른 실시 예 들 에서 , 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) , 콘 형 섹션 ( 104 b ) 및 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 의 축 방향 길이 들 은 동일 할 수 도 있 다 .