상기 가스 제 공부 ( 130 ) 는 챔버 내 에서 플라 즈 마 방전 이 이루어질 수 있 는 분위기 가스 를 상기 챔버 내부 로 제공 할 뿐 만 아니 라 , 기판 ( 102 ) 에 형성 된 막 을 식각 하 는 데 적용 되 는 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 반응 가스 를 플 라즈 마 발생 부 에 포함 된 샤워 헤드 를 통해 상기 챔버 내 로 제공 하 는 역할 을 한다 .