최근 에 는 기판 을 세정 하 는 공정 에 초임계 유체 가 사용 된다 . 일 예 에 의하 면 , 세정 공정 은 이소프로필알코올 ( isopropyl alcohol ; 이하 , IPA ) 을 통해 기판 의 상부 면 을 세정 한 다음 , 이산화 탄소 ( CO 2 ) 를 초임계 상태 로 기판 의 상부 면 에 공급 하 여 기판 에 남 아 있 는 IPA 를 제거 하 는 방식 으로 진행 될 수 있 다 .