한편 , 본 실시 형태 에 있 어서 의 검 출부 로서 , 리니어 이미지 센서 대신 에 카메라 를 이용 하 여 , 카메라 의 화상 에 기초 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 위치 를 검출 하 더라도 좋 다 . 카메라 를 이용 하 는 경우 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 4 점 의 위치 정보 를 얻 을 수 있 으면 된다 . 따라서 , 반드시 4 대 의 카메라 를 이용 할 필요 는 없 으며 , 1 대 의 카메라 를 이용 하 여 4 점 의 위치 정보 를 얻 는 것 이 라도 좋 다 . 1 대 의 카메라 를 이용 하 는 경우 에 는 , 예 를 들 면 , 2 개 의 포크 ( 3 A , 3 B ) 의 위쪽 에 위치 하 도록 , 지지 부재 를 통해 베이스 ( 31 ) 에 부착 할 수 있 다 .