이어서 , 절연 층 ( 150 ) 및 전극 ( 152 ) 위 에 절연 층 ( 154 ) 을 형성 한다 . 절연 층 ( 150 ) , 절연 층 ( 154 ) 에 , 게이트 전극 ( 148 ) 에 까지 도달 하 는 개구 를 형성 한 후 , 개구 에 전극 ( 170 ) 을 형성 하 고 , 절연 층 ( 154 ) 위 에 전극 ( 170 ) 에 접하 는 배선 ( 171 ) 을 형성 한다 ( 도 13 b 참조 ) . 그 개구 의 형성 은 , 마스크 등 을 사용 한 선택 적 인 에칭 에 의해 행해진다 .