전도성 층 ( 406 ) 의 형성 후 CNT 시 딩 층 ( 407 ) 은 전도성 층 ( 406 ) 상 에 형성 된다 . 몇몇 실시 예 에서 , CNT 시 딩 층 ( 407 ) 은 다른 재료 및 / 또는 두께 를 사용 할 수 있 지만 티타늄 또는 탄탈 질화물 의 약 1000 내지 약 5000 옹스트롬 일 수 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 CNT 시 딩 층 ( 407 ) 의 표면 은 CNT 가 시 딩 층 상 에 직접 형성 되 도록 거칠 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , CNT 시 딩 층 ( 407 ) 은 CMP 또는 에치 백 공정 에 의해서 거칠 거나 또는 그렇 지 않 으면 직물 화 될 수 있 다 . 하나 이상 의 실시 예 에서 CNT 시 딩 층 ( 407 ) 은 약 850 내지 4000 옹스트롬 이상 , 더 바람직 하 게 는 약 4000 옹스트롬 이상 의 산수 의 평균 표면 거칠 음 Ra 을 가지 도록 하 기 위해서 거칠 을 수 있 다 . 다른 표면 거칠 음 을 사용 할 수 있 다 .