레지스 트 A 에서 의 ( CD 값 의 최대 값 － CD 값 의 최소 값 ) 은 , 레지스 트 B 에서 의 ( CD 값 의 최대 값 － CD 값 의 최소 값 ) 보다 도 크 다 . 즉 , 레지스 트 A 는 , 광학 근접 효과 가 레지스 트 B 보다 도 크 다 . 이 와 같이 , 레지스 트 의 종류 에 따라서 도 , OPE 특성 이 상이 하 다 . 이 때문 에 , OPE 특성 이 우수 한 레지스 트 를 선택 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 , ( CD 값 의 최대 값 － CD 값 의 최소 값 ) 의 값 이 큰 레지스 트인 경우 에 는 , 피치 가 작 은 패턴 을 형성 하 면 기대 값 으로부터 크 게 벗어날 가능 성 이 있 다 . 그 때문 에 , 광학 근접 보정 을 행한 경우 에 는 , 피치 가 작 은 패턴 에서 는 , 마스크 제조 한계 이하 의 사이즈 로 될 가능 성 이 있 다 . 도 9 에서 는 , 레지스 트 A 보다 도 레지스 트 B 를 이용 하 는 것 이 바람직 하 다 .