본 발명 은 탄소 나노 튜브 의 대량 생산 을 위한 탄소 나노 튜브 생산 자동 화 시스템 에서 탄소 나노 튜브 의 합성 이 진행 되 는 장치 에 관한 것 이 다 . 본 발명 의 탄소 나노 튜브 합성 장치 는 탄소 나노 튜브 의 생 성 공간 을 제공 하 는 반응 로 , 반응 로 를 가열 하 는 가 열 부 , 반응 로 의 생 성 공간 에 위치 되 며 합성 기판 들 이 놓여 지 는 보트 , 반응 로 의 생 성 공간 으로 소스 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 , 반응 로 내 의 소스 가스 를 배기 하 는 가스 배기 부 및 반응 로 내 에 잔류 가스 가 남 아 있 는지 를 검출 하 여 , 반응 로 로부터 합성 기판 의 언로 딩 을 단속 하 기 위한 잔류 가스 검 출부 를 포함 할 수 있 다 . 본 발명 에 의하 면 , 반응 로 내부 에 잔류 가스 가 설정 농도 이상 남 아 잔류 하 고 있 는 경우 반응 로 의 개방 을 사전 에 차단 함 으로써 , 잔류 가스 가 외부 로 유출 되 는 것 을 사전 에 차단 할 수 있 어 안전 한 공정 진행 이 가능 하 다 .