본 발명 은 탄소 나노 튜브 의 대량 생산 을 위한 탄소 나노 튜브 생산 자동 화 시스템 에서 탄소 나노 튜브 의 합성 이 진행 되 는 장치 에 관한 것 이 다 . 본 발명 의 탄소 나노 튜브 합성 장치 는 탄소 나노 튜브 의 생 성 공간 을 제공 하 는 반응 로 , 반응 로 를 가열 하 는 가 열 부 , 반응 로 의 생 성 공간 에 위치 되 며 합성 기판 들 이 놓여 지 는 보트 , 반응 로 의 생 성 공간 으로 소스 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 , 반응 로 내 의 소스 가스 를 배기 하 는 가스 배기 부 및 보트 아래 로 유입 되 는 소스 가스 를 보트 에 놓여진 합성 기판 으로 유도 하 는 가스 유도 부재 를 포함 할 수 있 다 . 이러 한 본 발명 에 의하 면 , 소스 가스 의 사용 효율 을 높일 수 있 고 , 소스 가스 의 흐름 을 합성 기판 으로 유도 하 여 탄소 나노 튜브 의 생산 성 을 향상 시킬 수 있 다 .