종래 의 기판 스핀 장치 ( 10 ) 는 상술 한 바 와 같이 기판 ( 20 ) 의 척 킹 을 위해 구 동원 으로서 다 수개 의 에어 실린더 ( 18 ) 를 사용 하 고 있 다 . 에 어 실린더 ( 180 ) 를 사용 할 경우 복잡 한 배관 을 형성 하 여야 하 고 , 자동 스위치 방식 ( Auto Switch type ) 을 사용 하 는 경우 센서 를 추가 로 설치 하 여야 하 는 등 의 문제점 이 있 다 . 게다가 , 에 어 실린더 ( 18 ) 에 취부 되 는 링 ( ring ) 형 자성체 ( 17 ) 는 취급 상 파손 의 위험 과 제작 과정 의 어려움 으로 인한 수급 불 안정 등 의 문제점 이 있 다 .