이러 한 구성 에 따르 면 , 인 덱 서 ( 110 ) 에 의해 2 매 의 기판 이 동시 에 반입 되 어 이송 된 후 , 제 1 기판 이송 유닛 ( 300 ) 에 의해 1 매 씩 순차 적 으로 후행 공정 으로 이송 될 수 있 다 . 그리고 , 제 1 기판 이송 유닛 ( 300 ) 에 의해 1 매 씩 순차 적 으로 이송 된 2 매 의 기판 은 제 2 기판 이송 유닛 ( 400 ) 에 의해 함께 후행 공정 으로 동시 에 반송 될 수 있 다 .