상기 의 예 가 제 1 및 제 2 타 겟 에 적용 되 고 있 는 방사선 의 두 개 의 별개 의 스팟 을 나타내 지만 , 두 개 의 타 겟 을 단일 의 스팟 으로 채우 는 것 에 의해 두 개 의 타 겟 에서 의 비대칭 성 의 측정치 가 획득 될 수 있 을 것 이 다 . 그러 한 실시 형태 에서 , 제 1 및 제 2 방사선 은 단일 의 방사선 빔 의 일부분 일 것 이 다 . 그러 한 실시 형태 에서 , 명백 하 게 , 상이 한 특성 을 갖 는 제 1 및 제 2 방사선 을 생성 하 기 위한 설비 는 제한 될 것 이 거나 또는 완전히 상실 될 것 이 지만 , 그러나 소스 설계 및 동작 은 단순 화 될 것 이 다 . 또한 , 타 겟 구 조체 의 에지 또는 타 겟 구 조체 사이 의 계면 에서 의 산란 에 의해 야기 되 는 노이즈 가 회절 신호 에 있 을 수 도 있 다 .