상기 와 같이 , 합착 된 상부 기판 ( 130 ) 과 하부 기판 ( 110 ) 이 절단 되 면 도 2 e 에 도시 된 바 와 같이 , 합착 된 상하부 기판 ( 130 , 110 ) 의 배면 에 마스크 ( 550 ) 를 위치 시키 고 플 라즈 마 ( plasma ) 처리 공정 을 진행 한다 . 상기 마스크 ( 550 ) 는 합착 된 상하부 기판 ( 130 , 110 ) 의 배면 에 부착 시키 거나 거의 이격 거리 없이 위치 시킨 다음 플라 즈 마 또는 자외선 조사 공정 을 진행 한다 . 하지만 , 경우 에 따라서 는 글라인 딩 작업 으로 합착 된 상하부 기판 ( 130 , 110 ) 의 가장자리 둘레 표면 의 합착 력 을 향상 시킬 수 있 다 .