부가 적 으로 또는 대안 적 으로 , 원 하 는 CD , 초점 및 / 또는 오버레이 성능 을 달성 하 기 위하 여 기판 대 기판 변동 은 추가 적 인 개별 기판 레벨 제어 ( 예 를 들 어 , 로트 레벨 제어 와 비교 ) 및 관련 모니터링 을 요구 할 수 있 다 . 이 는 로트 당 더 많 은 기판 을 측정 하 는 것 으로 이어질 수 있 으며 , 따라서 아마도 계측 장비 생산 성 의 실제 한계 를 넘 어 , 사용 되 는 측 정량 을 증가 하 게 한다 .