또한 , 상술 의 실시 형태 에서 , 핫 플레이트 ( 21 ) 는 기판 ( W ) 의 하면 에 접한 상태 가 아니 고 , 기판 ( W ) 의 하면 에서부터 이격 된 상태 에서 기판 ( W ) 을 가열 하 도록 해도 좋 다 . 구체 적 으로 는 , 플레이트 승강 유닛 ( 27 ) 은 근접 위치 와 하위 치 사이 에 핫 플레이트 ( 21 ) 를 승강 시킨다 . 근접 위치 는 핫 플레이트 ( 21 ) 의 복수 의 돌출부 ( 25 ) 가 기판 ( W ) 의 하면 에 소정 간격 을 두 고 대향 하 는 위치 이 다 . 근접 위치 에 배치 된 핫 플레이트 ( 21 ) 에 의해 기판 ( W ) 이 가열 된다 . 기판 ( W ) 의 온도 는 핫 플레이트 ( 21 ) 의 가열 온도 를 변경 함 으로써 변경 되 어도 좋 고 , 기판 ( W ) 과 핫 플레이트 ( 21 ) 의 간격 을 변경 ( 즉 , 근접 위치 의 높이 위치 를 변경 ) 함 으로써 변경 되 어도 좋 다 .