반면 에 종래 의 저 가 형 노광 장치 용 광축 확인 기 의 경우 , 집광 된 빛 이 최종 적 으로 조사 되 는 면 에 조도 측정기 를 설치 하 여 목표치 이상 의 조도 가 나오 는 위치 를 확 인 함 으로써 , 광축 을 확인 하 고 정렬 하 는 방식 이 일반 적 이 다 . 이러 한 종래 의 저 가 형 노광 장치 용 광축 확인 기 는 간접 적 으로 광축 을 확인 하 는 것 이 므로 , 그 정확 성 이 낮 은 문제점 이 있 다 . 또한 , 종래 의 저 가 형 노광 장치 용 광축 확인 기 의 경우 , 정확 성 을 높이 기 위해서 는 집광 된 빛 이 조사 되 는 면적 전체 에 걸쳐 다수 의 위치 에서 확인 을 수차례 진행 해야 하 는 번거 로움 이 있 었 다 .