척 테이블 ( 35 ) 상 에 웨이퍼 ( 10 ) 를 재치 하 여 흡인 유지 하 였 다면 , 이송 기구 ( 20 ) 를 작동 하 여 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 촬상 유닛 ( 6 ) 의 바로 아래 에 척 테이블 ( 35 ) 을 위치 시켜 , 척 테이블 ( 35 ) 상 에 흡인 유지 된 웨이퍼 ( 10 ) 를 촬상 하 고 , 얼라인먼트 공정 을 실시 한다 . 얼라인먼트 공정 을 실시 할 때 에 는 , 지주 ( 33 ) 내 에 수용 된 도시 되 지 않 은 회전 구동 수단 을 작동 하 여 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 결정 방위 를 소정 의 방향 으로 위치 시키 기 위해 , 웨이퍼 ( 10 ) 를 유지 한 척 테이블 ( 35 ) 을 R 1 로 나타내 는 방향 으로 180 ° 회전 시킨다 . 촬상 유닛 ( 6 ) 은 , 제 어 유닛 ( 100 ) 및 표시 유닛 ( 8 ) 에 접속 되 어 있 고 , 얼라인먼트 공정 에 의해 , 레이저 광선 조사 유닛 ( 4 ) 의 집광기 ( 4 a ) 에 의해 레이저 광선 ( LB ) 이 조사 되 는 위치 와 , 웨이퍼 ( 10 ) 의 피 가공 위치 ( 분할 예정 라인 ( 14 ) ) 의 위치 맞춤 을 실시 한다 .