통상 적 인 경우 에 실시 하 는 유기 또는 무기 스트립 용액 처리 후 의 메가 소닉 에너지 를 인가 하 는 탈 이 온수 세정 공정 으로 수행 된다 . 그러나 , 본 발명 에서 는 질소 가 용해 된 탈 이 온수 를 세정 용액 으로 사용 하 고 있 다 . 질소 의 마이크 로 버블 링 효과 에 의해 메가 소닉 에너지 로 인한 소리 압력 의 증가 가 감소 되 기 때문 에 금속 막 패턴 ( 226 a ) 의 식각 이 유발 되 지 않 는 것 으로 판단 된다 . 보통 의 경우 소닉 에너지 에 의한 물리 적 인 손상 이 액상 에서 보다 빠르 게 전달 되 기 때문 이 다 . 그래서 통상 적 으로 사용 되 는 탈 이 온수 를 그대로 사용 하 되 질소 가스 를 사용 하 면 질소 가스 가 버블 링 되 는 부위 에서 소닉 에너지 의 파장 이 느리 게 전달 되 어 하부 의 금속 막 패턴 ( 226 a ) 식각 이 유발 되 는 것 을 크 게 줄일 수 있 는 것 이 다 .