도시 된 실시 형태 의 카세트 재 치부 ( 54 ) 는 , 연삭 가공 전 의 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 제 1 카세트 ( 52 a ) 가 재치 되 는 제 1 카세트 재 치부 ( 54 a ) 와 , 연삭 가공 후 의 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 는 제 2 카세트 ( 52 b ) 가 재치 되 는 제 2 카세트 재 치부 ( 54 b ) 를 가진다 . 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 연삭 장치 ( 50 ) 는 직방체 형상 의 베이스 ( 68 ) 를 구비 하 고 있 고 , 제 1 카세트 재 치부 ( 54 a ) 및 제 2 카세트 재 치부 ( 54 b ) 는 , 베이스 ( 68 ) 의 상면 에 서로 간격 을 두 고 배치 되 어 있 다 .