도 2 d 를 참조 하 면 , 상변환 막 ( 26 ) 을 포함 한 절 연막 ( 25 ) 상 에 상부 전극 용 도전 막 ( 27 ) 과 반사 방지 막 ( 28 ) 을 차례 로 형성 한다 . 여기 서 , 상기 상부 전극 용 도전 막 ( 27 ) 으로서 는 바람직 하 게 TiN , Al 또는 W 등 과 같 은 금속 막 을 형성 하 며 , 상기 반사 방지 막 ( 28 ) 으로서 는 Ti 막 을 형성 한다 .