본 발명 에 따르 면 , 다른 거칠 기 를 갖 는 연마 테이프 를 보유 한 복수 의 연마 헤드 가 기판 을 연마 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 연마 작동 이 종료 된 연마 헤드 는 기울임 운동 을 통해 다른 연마 각도 로 기울어지 고 , 다른 연마 헤드 가 연마 된 동일 부분 을 추가 로 연마 할 수 있 다 . 따라서 , 연마 헤드 조립 체 중 하나 에 의한 연마 작업 이 종료 되 길 기다리 지 않 고 , 다른 연마 헤드 조립 체가 연마 된 동일 부분 을 연마 할 수 있 다 . 또한 , 연마 테이프 가 쉽 게 교체 될 수 있 기 때문 에 , 전체 연마 시간 이 단축 될 수 있 다 .