* 제 1 플랜지 ( 132 ) 는 반응 로 ( 120 ) 의 전단 에 배치 된다 . 제 1 플랜지 ( 132 ) 에 는 가스 공급 부 ( 미도 시 됨 ) 로부터 공급 되 는 소스 가스 를 반응 로 ( 120 ) 내부 로 공급 시키 는 적어도 하나 의 가스 공급 라인 ( 182 ) 이 설치 된다 . 가스 공급 라인 ( 182 ) 은 공정 시 가스 공급원 ( 미도 시 됨 ) 으로부터 반응 로 ( 120 ) 내부 로 소스 가스 를 공급 시킨다 . 여기 서 , 소스 가스 로 는 주로 아세틸렌 , 에틸렌 , 메탄 , 벤젠 , 크실렌 , 일산 화 탄소 및 이산화 탄소 로 이루어지 는 그룹 에서 선택 된 적어도 하나 가 사용 될 수 있 다 . 소스 가스 는 열분해 에 의해 라디칼 로 분해 되 며 , 이 라디칼 들 이 합성 기판 위 에 도포 된 촉매 와 반응 하 여 탄소 나노 튜브 를 합성 한다 .