본 발명 의 실용 적 인 추가 적 인 개발 에 따르 면 , 제 1 컨 택 들 을 상기 제 4 컨 택 들 로 연결 시키 는 것 및 제 1 지지 엘리먼트 들 을 제 3 지지 엘리먼트 들 로 연결 시키 는 것 은 제 1 하이브리드 - 본딩 방법 에 의해 동시 에 수행 되 거나 , 그리고 / 또는 제 2 컨 택 들 을 제 5 컨 택 들 로 연결 시키 는 것 및 제 2 지지 엘리먼트 들 을 제 4 지지 엘리먼트 들 로 연결 시키 는 것 은 제 2 하이브리드 - 본딩 방법 에 의해 동시 에 수행 된다 . 예 를 들 어 , CU / 산화물 - 하이브리드 본딩 이 이러 한 목적 에 적합 할 수 있 다 . 이것 은 전체 적 으로 상기 방법 을 단순 화 시킨다 .