도 1 의 예 는 , 데이터 항목 으로서 , " "" 알람 발생 """," "" 웨이퍼 처리 매수 """," "" 누적 막 두께 """," "" RISK 품 발생 """," "" 메인 터 넌 스 이력 """," "" 파트 관리 ( 파트 A 의 통전 시간 ) "" 가 포함 되 는 것 을 나타내 고 있 다 . 또한 ", 축적 데이터 ( 130 ) 에 포함 되 는 데이터 항목 은 , 이 들 에 한정 되 는 것 이 아닌 것 은 물론 이 다 .