촬상 장치 ( 85 ) 는 , 웨이퍼 W 가 1 회전 하 는 동안 의 웨이퍼 W 주연 부 의 연속 정지 화상 을 취득 하 고 , 처 리부 ( 65 ) 는 , 취득 된 연속 정지 화상 으로부터 웨이퍼 W 의 편심 량 과 , 편심 방향 ( 즉 , 최대 편심 점 ) 을 결정 한다 . 보다 구체 적 으로 는 , 처 리부 ( 65 ) 는 , 촬상 장치 ( 85 ) 에 의해 취득 된 각 정지 화상 에 있 어서 의 웨이퍼 W 의 주연 부 의 위치 로부터 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 ( 또는 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 ) 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 을 결정 하 고 , 또한 , 로터리 인코더 ( 38 ) ( 또는 로터리 인코더 ( 59 ) ) 로부터 보내온 신호 로부터 편심 방향 ( 최대 편심 점 ) 을 결정 한다 .