상기 일 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 식각 시스템 은 기판 의 주변 부들 을 각각 식각 하 는 제 1 및 제 2 식각 모듈 및 상기 제 1 및 제 2 식각 모듈 들 에 상기 기판 을 유출 입 시키 는 제 1 이송 모듈 을 갖 는 제 1 식각 장치 및 상기 제 1 식각 장치 에 인접 하 며 상기 기판 의 이면 들 을 각각 식각 하 는 제 3 및 제 4 식각 모듈 및 상기 제 3 및 제 4 식각 모듈 들 에 상기 기판 을 유출 입 시키 는 제 2 이송 모듈 을 갖 는 제 2 식각 장치 를 포함 한다 .