이러 한 경질 층 ( 102 ) 의 형성 방법 으로서 는 , 어떠 한 방법 이 어도 좋 지만 , 예 를 들 면 , 상기 재료 를 화학 기상 성 장법 ( CVD ) 이나 물리 기상 성 장법 ( PVD ) , 도금 법 등 을 사용 하 여 퇴적 시키 는 방법 이 있 다 . 예 를 들 면 , 백금 ( Pt ) 이나 니켈 ( Ni ) 등 의 금속 을 스퍼터링 이나 증착 에 의해 형성 하 면 된다 . 또 , 은거울 반응 을 이용 해 형성 해도 된다 . 또 , 불 소계 수지 등 의 재료 를 적용 하 는 경우 에 는 , 재료 를 녹인 용액 을 기층 ( 101 ) 의 패턴 ( 103 ) 상 에 적하 하 여 스핀 코트 하 는 방법 이나 , 상기 재료 를 녹인 용액 중 에 기층 ( 101 ) 을 침지 하 는 방법 등 을 이용 할 수 도 있 다 .