( 해결 수단 ) 모델 데이터 는 포토 마스크 의 패턴 을 투과 한 광 의 분포 를 이 산값 으로 나타낸다 . 이 모델 데이터 는 , 소정 의 광학계 를 경유 한 광 의 강도 분포 를 산출 하 는 이미지 시뮬레이터 에 입력 된다 . 모델 데이터 생 성법 은 , 소정 의 함수 의 컷오프 주파수 가 , 당해 이 산값 의 공간 분해능 의 역수 의 4 분 의 1 이하 가 되 도록 , 모델 데이터 를 생성 하 는 공정 을 포함 한다 . 소정 의 함수 는 , 모델 데이터 에 포함 되 는 광 의 강도 분포 의 , 강도 변화 부분 이 따르 는 파형 을 서로 연결 하 여 얻 어 지 는 함수 이 다 .