예컨대 , 도 13 을 동시 에 참조 하 면 , 도 14 a 는 단면 내측 챔버 도면 ( 1300 ) 의 예 를 도시 하 며 , 부가 적 으로 , 기판 세정 또는 건조 동작 동안 발생 하 는 액체 스트림 라인 들 의 대략 적 인 위치 들 의 예 를 도시 한다 . 도 14 a 에서 , 세정 유체 ( 예컨대 , 탈 이 온 수 또는 화학계 세정 액체 들 ) 는 분무 제트 들 ( 219 ) 로부터 기판 ( 119 ) 의 양면 들 및 가장 자리 들 을 향해 방출 되 며 ( 연속 적 또는 맥동 형 ) , 기판 ( 119 ) 은 챔버 ( 1100 ) 의 마스터 측 ( 1110 ) 과 동일 한 속력 으로 회전 ( 스 피닝 ) 하 거나 동일 한 속도 로 가속 된다 . 분무 제트 들 ( 219 ) 의 설계 에 따라 , 세정 유체 는 관련 기술 분야 에 알려져 있 는 바 와 같이 원형 , 타원 형 , 평탄 형 ( 예컨대 , 팬 형상 ) 또는 다양 한 다른 형상 들 또는 형상 들 의 조합 으로 형성 될 수 있 다 . 위 에 설명 된 바 와 같이 , 슬레이브 측 ( 1120 ) 은 마스터 측 ( 1110 ) 과 동일 한 속력 으로 회전 ( 또는 역회전 ) 하 거나 , 동일 한 속도 로 , 또는 상이 한 속력 들 또는 비율 들 , 또는 이 들 의 다양 한 조합 들 로 가속 될 수 있 다 . 이어서 , 배 출물 들 및 가스 들 은 , 존재 하 는 경우 , 배출 영역 들 ( 1031 ) 을 통해 외측 챔버 ( 도 14 a 에 도시 되 지 않 음 ) 내 로 , 액체 배기 포트 들 ( 도 14 a 에 도시 되 지 않 음 ) 내 로 , 그리고 수직 기판 세정 및 건조 메커니즘 이 위치 되 는 환경 에서 의 설비 배 출부 내 로 방출 된다 .