베이스 부 ( 30 ) 는 제 1 챔버 몸체 ( 12 a ) 의 하부 에 배치 된다 . 베이스 부 ( 30 ) 는 스테이지 를 구성 하 는 상술 한 정전 척 ( 40 ) , 절 연부 ( 50 ) , 냉 각부 ( 60 ) 및 전극 부 ( 70 ) 를 지지 한다 . 베이스 부 ( 30 ) 는 제 1 챔버 몸체 ( 12 a ) 와 절연 되 는 것 이 바람직 하 다 . 정전 척 ( 40 ) 은 기판 ( S ) 을 선택 적 으로 척 킹 하 도록 마련 된다 . 정전 척 ( 40 ) 은 외부 로부터 공급 되 는 전원 에 따라 기판 ( S ) 을 선택 적 으로 척 킹 한다 .