센터 링 스테이지 ( 10 ) 및 지지 축 ( 30 ) 의 내부 에 는 , 그 축 방향 으로 연장 되 는 제 1 진공 라인 ( 15 ) 이 마련 되 어 있 다 . 이 제 1 진공 라인 ( 15 ) 은 , 지지 축 ( 30 ) 의 하단 에 고정 된 회전 조인트 ( 44 ) 를 통하 여 진 공원 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 연결 되 어 있 다 . 제 1 진공 라인 ( 15 ) 의 상단 개구부 는 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 내 에 있 다 . 따라서 , 제 1 진공 라인 ( 15 ) 내 에 진공 을 형성 하 면 , 웨이퍼 W 의 중심 측 영역 이 진공 흡인 에 의해 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 에 보유 지지 된다 .