도 6 에 보 면 기판 상 에 생성 된 미세 패턴 을 보여 주 며 여러 번 의 노광 이 아닌 노광 상태 에서 패턴 의 모양 을 다양 하 게 생성 한 패턴 이 다 . 즉 , 노광 상태 에서 다중 간섭 신호 와 기판 간 의 상대 위치 를 연속 적 으로 변경 시킴 으로써 기판 에 제작 되 는 미세 패턴 의 선폭 이 도 6 과 같이 도 5 에 비해 상대 적 으로 넓 어 지 도록 임의 로 조절 하 여 형성 가능 하 다 . 이 처럼 기판 상 에 생성 되 는 미세 패턴 의 모양 이 다양 하 게 형성 가능 하 다 .