또한 , 제 어 수단 ( 100 A ) 은 , 컴퓨터 ( 100 B ) 에 의해 제어 되 고 있 고 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 는 , 컴퓨터 ( 100 B ) 에 의해 동작 된다 . 컴퓨터 ( 100 B ) 는 , CPU ( 100 d ) 、 기록 매체 ( 100 e ) , 입력 수단 ( 100 f ) , 메모리 ( 100 g ) , 통신 수단 ( 100 h ) , 및 표시 수단 ( 100 i ) 을 가지 고 있 다 . 예컨대 , 기판 처리 에 따른 기판 처리 방법 의 프로그램 은 , 기록 매체 ( 100 e ) 에 기록 되 어 있 고 , 기판 처리 는 해당 프로그램 에 근거 하 여 , 실행 된다 . 또한 , 해당 프로그램 은 , 통신 수단 ( 100 h ) 에 의해 입력 되 거나 , 또는 입력 수단 ( 100 f ) 에 의해 입력 되 어도 좋 다 .