또한 , 본 발명 에 따른 플 라즈 마 소스 의 제어 방법 은 내측 하부 에 처리 하 고자 하 는 기판 이 장착 된 전도성 챔버 내부 에 플 라즈 마 를 발생 시키 기 위하 여 , 상기 챔버 와 상기 챔버 의 내부 또는 외부 에 마련 된 유도 코일 중 적어도 어느 하나 에 고주파 전원 을 인가 하 는 제 1 단계 와 상기 고주파 전원 을 제어 하 여 챔버 내부 에 형성 되 는 플라 즈 마 쉬스 의 간격 또는 프로 파일 중 적어도 어느 하나 를 제어 하 는 제 2 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .