[ 00104 ] 본원 에서 설명 되 는 실시 예 들 에 따르 면 , 진공 챔버 에서 의 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 의 운송 을 위한 방법 은 , 컴퓨터 프로그램 들 , 소프트웨어 , 컴퓨터 소프트웨어 제품 들 , 및 상호 관계 된 제어기 들 을 사용 하 여 수행 될 수 있 으며 , 상호 관계 된 제어기 들 은 , 장치 의 대응 하 는 컴포넌트 들 과 통신 하 는 , CPU , 메모리 , 사용 자 인터페이스 , 및 입력 및 출력 디바이스 들 을 가질 수 있 다 .