또한 , 온도 조절 실 ( 332 ) 내 의 탑재 대 ( 210 ) 의 중심 으로부터 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 의 회전 중심 까지 의 거리 와 , 중간 실 ( 322 ) 내 의 탑재 대 ( 110 ) 의 중심 으로부터 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 의 회전 중심 까지 의 거리 는 , 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 의 회전 중심 으로부터 진공 처리 실 ( 40 ) 의 탑재 대 ( 41 ) 의 중심 까지 의 거리 이하 로 되 어 있 다 . 즉 , 온도 조절 실 ( 332 ) 내 의 탑재 대 ( 210 ) , 중간 실 ( 322 ) 내 의 탑재 대 ( 110 ) 는 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 의 아암 선회 범위 내 에 마련 되 어 있 다 .