1 차 측정 한 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 가 적정 값 일 경우 , 화학 기계 적 연마 공정 을 실시 한다 ( 스텝 504 ) . 1 차 측정 한 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 가 적정 값 이 아닐 경우 , 화학 기계 적 연마 패드 컨디 셔 너 ( 180 ) 를 이용 하 여 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 을 연마 하 는 화학 기계 적 연마 패드 컨 디셔 닝 공정 을 실시 한다 ( 스텝 506 ) .