본 발명 은 상기 한 바 와 같 은 사정 에 기초 하 여 이루어진 것 이 며 , 고해상도 , 고 내열성 , 고 투명 성 이 며 , 가교제 나 실록 산 화합물 의 분자량 을 높이 지 않 고 열 경화 중 에 발생 하 기 쉬운 패턴 열화 가 억제 된 , 고감도 · 고잔 막 율 의 특성 을 갖 는 감광성 실록 산 조성물 을 제공 하 는 것 이 다 . 또한 , 본 발명 의 다른 목적 은 , 상기 의 감광성 실록 산 조성물 로 형성 된 TFT 기판 용 평탄 화 막 , 층간 절 연막 등 의 경화 막 , 및 이 경화 막 을 포함 하 는 고체 촬상 소자 , 반사 방지 필름 , 반사 방지 판 , 광학 필터 , 고 휘도 발광 다이오드 , 터치 패널 , 태양 전지 , 광도 파로 등 의 광학 디바이스 나 반도체 소자 를 제공 하 는 것 에 있 다 .