배 기실 ( 3 c ) 은 그 외연 이 저부 구 조체 ( 2 ) 의 외연 의 위치 와 거의 동일 한 위치 로 되 도록 설정 되 어 있 다 . 하 면 부 ( 3 b ) 에 있 어서 의 주변 부 에 는 , 배 기실 ( 3 c ) 과 연통 되 는 , 복수 의 외주 배기구 ( 3 d ) 가 , 둘레 방향 으로 등 간격 으로 형성 되 어 있 다 . 외주 배기구 ( 3 d ) 는 , 열 판 ( 13 ) 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 의 외연 보다 도 외측 의 위치 에 개구 되 어 있 다 .