도 3 과 도 4 에 나타낸 바 와 같이 , 하부 측 벽부 ( 4 ) 의 상면 의 하부 기체 공급 홈 ( 11 ) 의 일 측 과 하부 액체 공급 홈 ( 12 ) 의 일 측 및 이 들 홈 ( 11 , 12 ) 사이 의 부분 에 는 , 각각 주위 방향 전체 길이 에 걸쳐서 O ( 오 ) 링 ( 32 ) 이 설치 되 어 있 다 . 이 들 O 링 ( 32 ) 에 의해 하부 측 벽부 ( 4 ) 의 상면 과 상부 측 벽부 ( 5 ) 의 하면 과 의 대향 면 사이 에 서 의 하부 기체 공급 홈 ( 11 ) 과 하부 액체 공급 홈 ( 12 ) 의 밀폐 성 이 유지 되 어 있 다 .