인덱스 로봇 ( 2200 ) , 제 1 로봇 ( 4602 ) , 그리고 제 2 로봇 ( 4606 ) 의 핸드 는 모두 반송 로봇 ( 3422 ) 의 핸드 ( 3420 ) 와 동일 한 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 선택 적 으로 열처리 챔버 의 반송 플레이트 ( 3240 ) 와 직접 기판 ( W ) 을 주고받 는 로봇 의 핸드 는 반송 로봇 ( 3422 ) 의 핸드 ( 3420 ) 와 동일 한 형상 으로 제공 되 고 , 나머지 로봇 의 핸드 는 이 와 상이 한 형상 으로 제공 될 수 있 다 .