기판 지지대 ( 21 ) 의 아래 에 는 틀 형상 의 마스크 대 ( 22 ) 가 설치 되 며 , 마스크 대 ( 22 ) 에 는 기판 ( 10 ) 상 에 형성 될 박막 패턴 에 대응 하 는 개구 패턴 을 갖 는 마스크 ( 221 ) 가 놓여진다 . 특히 , 스마트폰 용 유기 EL 소자 를 제조 하 는 데 사용 되 는 마스크 는 미세 한 개구 패턴 이 형성 된 금속제 마스크 로서 , FMM ( Fine Metal Mask ) 라고 도 부른다 .