웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 1 ) 는 , 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) ( 전술 한 노광 영역 의 중심 ) 을 통과 하 는 X 축 에 평행 한 축 ( 기준 축 ) 을 통과 하 는 측 장축 을 따라 측장 빔 을 반사면 ( 17 X ) 에 대하 여 조사 한다 . 이 웨이퍼 X 간섭계 ( 18 X 1 ) 는 , 투영 유닛 ( PU ) 의 경통 ( 40 ) 의 측면 에 고정 된 X 고정 경 의 반사면 을 기준 으로 하 는 반사면 ( 17 X ) 의 변위 를 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 X 축 방향 에 관한 위치 정보 로서 계측 한다 .