도 1 은 본 발명 의 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 전자 빔 묘화 장치 의 구성도 이 다 . 이 전자 빔 묘화 장치 의 시료 실 ( 1 ) 내 에 , 전자 빔 묘화 되 는 마스크 등 의 시료 ( 2 ) 가 설치 된 스테이지 ( 3 ) 가 설치 되 어 있 다 . 스테이지 ( 3 ) 는 , 스테이지 구동 회로 ( 4 ) 에 의해 X 방향 [ 지면 ( 紙面 ) 에 있 어서 의 좌우 방향 ] , Y 방향 ( 지면 에 있 어서 의 수직 방향 ) 으로 구동 된다 . 스테이지 ( 3 ) 의 이동 위치 는 , 레이저 측장 계 등 을 이용 한 위치 회로 ( 5 ) 에 의해 측정 된다 .