가스 분배 판 ( 160 ) 은 상기 진공 용기 의 상판 일 수 있 다 . 상기 진공 용기 의 상판 에 는 제 1 가스 공급 라인 ( 163 ) 에 연결 된 제 1 가스 확산 공간 ( 151 ) 및 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 에 연결 된 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 을 포함 하 여 상기 제 1 가스 와 상기 제 2 가스 를 공급 할 수 있 다 .