또한 , 스 페이서 ( 63 ) 에 관해서 도 스 페이서 ( 33 ) 와 마찬가지 로 스 페이서 부품 ( 63 A , 63 B ) 으로 분할 되 어 있 지만 , 이 들 부품 간 의 간극 은 패킹 ( 66 ) 에 의해 막혀 있 으므로 처리 공간 ( S ) 이 대기 분위기 인 상부 공간 ( 6 A ) 으로부터 구획 되 어 , 처리 공간 ( S ) 이 진공 되 었 을 때 에 그 진공도 가 유지 된다 . 따라서 , 스 페이서 ( 63 ) 는 각 스 페이서 부품 ( 63 A , 63 B ) 마다 제조 할 수 있 기 때문 에 , 제조 하 기 위해서 필요 한 재료 의 치수 가 작 게 억제 될 수 있 어 , 스 페이서 ( 63 ) 의 제조 가 용이 해 지 고 , 또한 재료 의 치수 가 작 게 억제 되 는 것 에 의해 사용 할 수 있 는 재질 선정 의 폭 이 넓 어 진다 .