스텝 S 109 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 노광 및 웨이퍼 스테이지 WS 의 Y 방향 으로 의 스캔 을 행한다 . 이때 , 노광 시 에 , 면 위치 검출 장치 에 의해 검출 된 숏 영역 의 면 형상 데이터 에 근거 하 여 , Z 방향 및 기울기 방향 으로 의 스테이지 구동 에 의해 , 거의 노광 슬릿 단위 로 웨이퍼 표면 의 높이 방향 의 형상 에 대한 조정 도 행해진다 . 스텝 S 110 에서 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 다른 노광 해야 할 숏 영역 ( 미 노광 숏 영역 ) 이 있 는지 판단 하 여 , 미 노광 숏 이 없 어 질 때 까지 , 상기 한 동작 을 반복 한다 . 모든 노광 숏 의 노광 이 종료 하 면 , 스텝 S 111 에서 웨이퍼 ( 3 ) 가 회수 되 고 , 노광 처리 가 종료 한다 .