기재 ( 2 a ) 의 내부 에 는 유로 ( 20 ) 가 형성 되 어 있 다 . 유로 ( 20 ) 의 일방 의 단부 에 는 냉매 입 구 배관 ( 21 a ) 이 접속 되 어 있 다 . 유로 ( 20 ) 의 타방 의 단부 에 는 냉매 출구 배관 ( 21 b ) 이 접속 되 어 있 다 . 냉매 입 구 배관 ( 21 a ) 및 냉매 출구 배관 ( 21 b ) 은 도시 하 지 않 은 칠러 유닛 에 접속 되 어 있 다 . 유로 ( 20 ) 는 웨이퍼 ( 8 ) 의 하방 에 위치 하 여 웨이퍼 ( 8 ) 의 열 을 흡열 하 도록 기능 한다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 칠러 유닛 으로부터 냉매 입 구 배관 ( 21 a ) 및 냉매 출구 배관 ( 21 b ) 을 거쳐 유로 ( 20 ) 내 에 냉매 , 예 를 들 면 냉각수 또는 갈 덴 등 의 유기 용제 등 을 순환 시킴 으로써 , 배치 대 ( 2 ) 를 정해진 온도 로 제어 가능 하 게 구성 되 어 있 다 .