본 발명 은 X 선 회절 분석 을 이용 한 활성산소 의 정량 적 측정 방법 에 관한 것 으로 , 더욱 구체 적 으로 는 실리콘 기판 위 에 광 감응 물질 을 증착 하 고 상기 광 감응 물질 위 에 유기물 박막 이 코팅 된 광 감응 물질 시편 과 실리콘 기판 위 에 피 산화제 박막 이 증착 된 피 산화제 박막 시편 을 준비 하 는 단계 ( 단계 1 ) ; 상기 단계 1 에서 얻 은 두 시편 을 하나 의 팩 에 진공 포장 시키 는 단계 ( 단계 2 ) ; 상기 단계 1 의 광 감응 물질 과 는 다른 종류 의 광 감응 물질 이 증착 된 광 감응 물질 시편 과 단계 1 의 피 산화제 박막 시편 을 준비 하 여 이 들 두 시편 을 별도 의 팩 에 진공 포장 시키 는 단계 ( 단계 3 ) ; 상기 단계 2 및 3 의 진공 팩 에 800 ~ 1000 nm 의 근적외선 을 조사 하 여 활성산소 를 발생 시키 는 단계 ( 단계 4 ) ; 및 상기 상이 한 광 감응 물질 시편 으로부터 발생 된 활성산소 에 의해 산화 된 각각 의 피 산화제 박막 시편 에 대해 X 선 회절 분석 을 수행 하 는 단계 ( 단계 5 ) 를 포함 하 는 X 선 회절 분석 을 이용 한 활성산소 의 정량 적 측정 방법 을 제공 함 으로써 , 피산 화제 박막 인 철 박막 에 형성 된 Fe 2 O 3 ( 104 ) 및 Fe 3 O 4 ( 440 ) 피크 의 강도 비 로부터 철 박막 의 두께 를 구하 고 , 이 로부터 활성산소 의 양 을 구할 수 있 다 .