도면 부호 840 에서 , 하나 이상 의 S - D 평가 프로시저 는 하나 이상 의 S - D 평가 요소 에 이송 되 었 던 하나 이상 의 S - D 평가 웨이퍼 를 이용 하 여 수행 될 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 S - D 평가 프로시저 는 , 지연 되 었 다가 하나 이상 의 S - D 평가 요소 들 이 이용 가능 해질 때 그 요소 들 에 이송 된 하나 이상 의 S - D 평가 웨이퍼 를 이용 하 여 수행 될 수 있 다 .