또 절연 성 및 절연 내압성 이 우수 한 박막 이 얻 어 진다는 관점 에서 , 폴리 실록 산 화합물 이 상기 화합물 ( 1 ) 에 기재 된 다면체 구조 를 갖 는 실세 스 퀴옥 산 으로 나타내 는 화합물 인 것 이 바람직 하 고 , 그 중 에서 도 분자 중 에 Si 원자 6 ∼ 24 개 로 형성 되 는 다면체 골격 을 갖 는 폴리 실록 산 구조 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 .