결정 된 위상차 데이터 세트 [ 즉 , 소정 시간 ( t ) 에 걸쳐 각각 의 인 스턴스 에 결정 된 위상차 ] 에 근거 하 여 , 제어기 ( 2005 ) 는 구동 신호 제어 스케줄 ( 예컨대 , 도파관 조립 체 의 진동 을 개시 한 후 의 경과 시간 의 함수 등 의 인 스턴스 의 함수 또는 이러 한 진동 개시 에 따르 는 경과 사이클 의 개수 의 함수 ) 을 결정 하 도록 소정 시간 ( t ) 의 기간 에 걸쳐 각각 의 인 스턴스 를 위해 더욱 작동 가능 하 여 , 다음 의 여기 처리 의 소정 시간 ( t ) 의 기간 에 걸쳐 각각 의 인 스턴스 에 구동 신호 를 제어 하 기 위해 구동 신호 발생기 ( 2007 ) 로 보내 진다 . 특히 , 제어기 ( 2005 ) 는 진동 하 는 도파관 조립 체 ( 150 ) 의 부하 하 에서 제어 회로 ( 2003 ) 의 결정 된 상 각도 를 타깃 또는 소정 의 상 각도 근방 으로 이동 시키 도록 , 필요 하 다면 구동 신호 의 주파수 를 조절 하 는 각각 의 인 스턴스 에서 적절 한 알고리즘 또는 다른 소프트웨어 혹은 펌웨어 를 거쳐 결정 한다 . 주파수 의 큰 변화 또는 단체 를 위한 조절 용 포 텐 셜 을 감소 시키 기 위해 , 다수 의 여기 처리 를 걸쳐 점차 적 으로 또는 증분 적 으로 조절 하 는 것 이 적절 하 다 . 예 를 들 면 , 일 실시 예 에서 의 주파수 조절 은 하나 의 여기 처리 로부터 다음 의 경우 로 약 2 내지 약 5 Hz 가 적절 하 다 . 그러나 , 본 발명 의 범위 로부터 벗어나 지 않 고서 이러 한 범위 이외 로 조절 될 수 있 다 .