또 , 제 3 층간 절 연막 ( 317 ) 은 필요 에 따라서 형성 하 면 좋 고 , 제 3 층간 절 연막 ( 317 ) 을 형성 하 지 않 는 경우 는 제 2 층간 절 연막 ( 316 ) 을 형성 한 후 에 제 1 층간 절 연막 , 제 2 층간 절 연막 ( 316 ) 및 게이트 절 연막 ( 313 ) 을 선택 적 으로 에칭 하 여 콘택트 홀 을 형성 한다 .