홀 ( HO ) 아래 의 제 2 트렌치 ( TR 2 ) 의 일부 를 채운 제 1 예 비막 ( 230 a ) 및 제 2 예 비막 ( 240 a ) 이 제거 됨 에 따라 , 제 2 트렌치 ( TR 2 ) 의 일부 가 다시 개방 될 수 있 다 . 제 2 트렌치 를 ( TR 2 ) 의 일부 가 다시 개방 되 면서 , 노출 된 절연 패턴 들 ( 211 ) 의 측벽 들 ( 211 b ) 은 기판 ( 100 ) 의 상면 에 대하 여 기울기 를 가질 수 있 다 .