본 발명 에 따른 포토 마스크 보호 를 위한 펠리 클 은 , 펠리 클 멤 브레인 ; 상기 펠리 클 멤 브레인 을 지지 하 는 프레임 ; 상기 프레임 의 일 단부 에 부착 되 어 상기 프레임 과 상기 펠리 클 멤 브레인 을 부착 시키 는 막 접착제 ; 및 상기 프레임 의 다른 단부 에 부착 되 어 상기 프레임 과 포토 마스크 를 흡착 시키 는 흡착 패드 를 구비 한다 .