설명 및 예시 의 목적 으로 , 상기 한 새롭 고 상세 한 예 는 마이크 로 전자 및 / 또는 나노 - 제조 기술 및 관련 된 공정 흐름 을 이용 하 여 고도 로 민감 하 고 , 다기능 적 이 고 , 강력 하 며 , 소형 화 된 검출 디바이스 를 제조 하 는 방식 을 보여 주 지만 , 고 성능 검출 디바이스 의 설계 및 제조 에 마이크 로 전자 및 나노 - 제조 기술 을 적용 하 는 원칙 적 이 고 일반 적 인 접근 법 이 고려 되 고 교시 되 어 있 으며 , 이 는 박막 증착 , 패 터닝 ( 리소그래피 및 에칭 ) , 평탄 화 ( 화학 기계 적 연마 를 포함 함 ) , 이온 주입 , 확산 , 세정 , 다양 한 물질 , 공정 및 단계 의 조합 , 및 다양 한 공정 순서 및 흐름 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 제조 공정 의 다양 한 조합 으로 확대 될 수 있 고 또한 확대 되 어야 한다 . 예 를 들 어 , 대안 적 인 검출 디바이스 설계 및 제조 공정 흐름 에서 , 관련 된 물질 ( 상기 예 에서 이용 됨 ) 의 수 는 4 개 미만 이 거나 또는 4 개 를 초과 할 수 있 으며 , 공정 단계 의 수 는 특별 한 요구 및 성능 목표 에 따라 , 입증 된 공정 순서 보다 적 거나 많 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , 일부 질환 검출 적용 에서 , 검출 팁 과 측정 중 인 생물학 적 대상 간 의 접촉 을 강화 함 으로써 측정 민감 성 을 향상 시키 기 위해 , 생체 물질 - 기반 의 박막 과 같 은 제 5 재료 를 사용 하 여 금속 검출 팁 을 코팅 할 수 있 다 .