상기 챔버 부 ( 291 e ) 와 상기 지지 장치 고정부 ( 291 d ) 는 원통 형상 을 가질 수 있 다 . 그리고 상기 챔버 부 ( 291 e ) 의 외경 은 상기 플랜 지부 ( 291 f ) 의 외경 보다 작 게 형성 되 고 , 상기 지지 장치 고정부 ( 291 d ) 의 외경 은 상기 챔버 부 ( 291 e ) 의 외경 보다 작 게 형성 될 수 있 다 .