상기 목적 을 달성 하 기 위해 , 본 발명 은 화학 적 기계 적 연마 공정 시 사용 되 는 폴리 싱 패드 와 접촉 하 면서 컨 디셔 닝 하 기 위한 컨 디셔 닝 헤드 와 , 컨 디셔 닝 헤드 를 회전 하 기 위한 회전축 , 상기 회전축 을 지지 하 는 지 지부 , 상기 회전축 에 회전력 을 인가 하 기 위한 구동 모터 , 풀리 및 벨트 를 구비 한 패드 컨디 셔 너 의 에러 를 검출 하 기 위한 에러 검출 장치 에 있 어서 , 상기 컨 디셔 닝 헤드 가 폴리 싱 패드 를 향해 미리 설정 된 거리 이상 하강 하 면 이 를 감지 하 고 에러 신호 를 발생 하 는 다운 센 서부 ; 상기 컨 디셔 닝 헤드 가 폴리 싱 패드 의 반대 측 을 향해 미리 설정 된 거리 이상 승강 하 면 이 를 감지 하 고 에러 신호 를 발생 하 는 업 센 서부 ; 상기 컨 디셔 닝 헤드 를 회전 시키 기 위한 회전축 을 구동 하 는 풀리 의 회전수 를 검출 하 고 , 미리 설정 된 회전수 범위 를 벗어나 면 에러 신호 를 발생 하 는 회전수 검출 센서 부 ; 및 , 상기 다운 센서 부 및 업 센 서부 로부터 다운 및 업 에러 신호 를 인가 받 아 메인 장비 로 이 에러 신호 에 대응 하 는 알람 신호 를 메인 장비 로 인가 하 고 , 상기 회전수 검출 센 서부 로부터 인가 된 검출 신호 를 통 해 회전수 를 디스플레이 하 고 회전수 검출 이 급격히 저하 될 경우 알람 신호 를 메인 장비 로 인가 하 기 위한 제 어부 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 패드 컨디 셔 너 의 에러 검출 장치 를 제공 한다 .