도 5 d 를 참조 하 면 , 채널 홀 ( CHH ) 내 의 블로킹 유전 막 ( 125 ) 을 덮 는 예비 전하 저 장막 ( 130 P ) 을 형성 한다 . 예비 전하 저 장막 ( 130 P ) 은 블로킹 유전 막 ( 125 ) 을 덮 으며 제 3 방향 ( Z 방향 ) 을 따라 굴곡 을 가지 며 연장 되 며 , 제 1 홈 ( GR 1 ) 에 대응 되 는 제 2 홈 ( GR 2 ) 을 가지 도록 형성 될 수 있 다 . 예비 전하 저 장막 ( 130 P ) 은 실리콘 질화 막 으로 이루어질 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 예비 전하 저 장막 ( 130 P ) 은 제 1 홈 ( GR 1 ) 을 모두 채울 수 있 다 .