웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 는 , 예컨대 고 순도 의 석영 유리 로 이루어지 고 , 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 복수 매 , 예컨대 100 ∼ 150 장 정도 의 원판 형 의 웨이퍼 ( W ) 가 수평 이 되 는 상태 로 , 예컨대 4 ∼ 20 mm 의 범위 내 의 미리 정해진 간격 ( 피치 ) 으로 상하 로 다단 으로 유지 되 도록 , 예컨대 피 처리 체 유지 용 홈 등 의 피 처리 체 유지 부가 지주 ( 83 ) 에 형성 되 어 있 고 , 덮개 체 ( 20 ) 가 최하 위치 에 있 는 상태 에 있 어서 , 이 재 장치 ( 30 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 의 이재 가 행해진다 .