상기 3 차원 구조 의 미세 전극 ( 102 ) 은 다양 한 형태 의 3 차원 구조 로 구현 될 수 있 는데 일 실시 예 로 피라미드 구조 , 사면체 구조 , 오면체 구조 , 다면체 구조 , 사각기둥 구조 , 오각기둥 구조 , 육각기둥 구조 , 다 각기둥 구조 , 원기둥 구조 , 또는 원뿔 구조 등 으로 이루어질 수 있 다 . 도 2 및 도 3 은 각각 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 제작 된 프리즘 구조 의 미세 전극 , 피라미드 구조 의 미세 전극 을 나타낸 사진 이 다 .