제 1 버퍼 부 ( 100 ) 및 제 2 버퍼 부 ( 200 ) 는 기판 ( W ) 을 회전 시키 거나 기판 ( W ) 의 위치 를 변경 시키 는 등 의 기능 을 수행 하 지 않 으며 , 단순히 기판 ( W ) 을 지지 하 는 기능 만 을 수행 한다 . 따라서 , 제 1 지지 부재 ( 110 , 210 ) 및 제 2 지지 부재 ( 120 , 220 ) 에 는 종래 기술 에 따른 버퍼 부 ( 도 1 a 의 참조 번호 ( 70 , 80 ) ) 와 다르 게 기판 ( W ) 의 오리엔트 각의 정렬 을 위한 기판 회전 수단 및 감지 센서 들 이 구비 되 지 않 는다 .