그런데 , 일반 적 으로 는 , 처리 액 ( 보다 구체 적 으로 는 약액 ) 의 온도 가 높 으면 , 처리 액 에 의한 반응 이 활성 화 되 어 , 기판 에 대한 처리 의 진행 이 빨라진다 . 이 때문 에 , 가열 해서 고온 으로 유지 된 처리 액 이 기판 처리 에 사용 되 는 경우 가 있 다 . 그리고 , 상술 한 회수 라인 에 도 히터 등 이 설치 되 어 , 순환 이용 되 는 처리 액 의 온도 를 일정 하 게 유지 하 도록 이루어져 있 다 .