또한 본 발명 에 따른 게이트 밸브 는 로드 락 챔버 및 반송 챔버 사이 에 설치 되 어 챔버 의 진공 펌핑 시에 게이트 밸브 내 의 압력 이 펌핑 되 는 챔버 와 동일 한 압력 상태 를 유지 하 도록 함 으로써 게이트 밸브 가 개방 될 때 게이트 밸브 내 의 압력 이 로드 락 챔버 및 반송 챔버 내부 의 압력 에 영향 을 주 는 것 을 방지 할 수 있 는 이점 이 있 다 .