연마제 에서 의 방식제 의 함유량 에 대한 킬레이트제 의 함유량 의 질량비 ( 킬레이트제 / 방식제 ) 는 , 에칭 속도 와 연마 속도 를 양호 하 게 제어 하 는 관점 에서 , 10 / 1 ∼ 1 / 5 이 바람직 하 고 , 7 / 1 ∼ 1 / 5 이 보다 바람직 하 고 , 5 / 1 ∼ 1 / 5 이 더욱 바람직 하 고 , 5 / 1 ∼ 1 / 1 이 특히 바람직 하 다 .