게이트 하드 마스크 ( 16 ) 를 형성 하 는 공정 에서 게이트 절 연막 ( 12 ) 에 스트레스 가 인가 되 지만 이 는 증착 에 의한 스트레스 뿐 이 므로 게이트 절 연막 ( 12 ) 의 신뢰 성 열화 에 영향 을 미치 지 않 는다 . 또한 , 게이트 하드 마스크 ( 16 ) 형성 시 하부 층 들 이 증착 공정 에서 완충 막 역할 을 해 주 기 때문 에 게이트 절 연막 ( 12 ) 에 인가 되 는 스트레스 는 미미 하 다 .