그리고 , 유기 오염 물질 로서 프로필렌 글라이콜 모노 메틸 에 터 아세테이트 ( PGMEA ) 를 1300 ㎍/㎥ 의 농도 로 포함 하 고 , 산 성 오염 물질 로서 아세트산 을 10 ㎍/㎥ 의 농도 로 포함 하 는 공기 를 외기 로서 이용 한 경우 에 있 어서 의 , 이 들 보관 장치 ( 1 ) 및 대조 장치 ( 100 ) 내 의 초기 가스 농도 와 , 입구 필터 ( 40 ) 및 내부 필터 ( 50 ) 의 90 % 제거 예측 수명 및 80 % 제거 예측 수명 을 평가 하 였 다 . 보관 장치 ( 1 ) 및 대조 장치 ( 100 ) 에 의 외기 의 유입 속도 는 모두 0 . 15 m / 초 로 하 였 다 . 또한 , 보관 장치 ( 1 ) 에 있 어서 , 수 납실 ( 13 ) 을 통과 한 정화 기체 의 15 % 를 하우징 체부 댐퍼 ( 25 ) 로부터 해당 보관 장치 ( 1 ) 밖 으로 배출 하 고 , 나머지 85 % 의 정화 기체 를 순환 시켰 다 ( 즉 , 정화 기체 의 순환 율 은 85 % 로 하 였 다 ) .