도 2 는 본 발명 에 따른 다결정 실리콘 제조 장치 의 반응 로 의 구성 예의 개략 을 설명 하 는 도면 이 다 . 반응 로 ( 100 ) 는 벨 자 ( 1 ) 의 하부 에 마련 된 베이스 플레이트 ( 5 ) 상 에 , 베이스 플레이트 ( 5 ) 로부터 절연 된 전극 ( 10 ) 을 구비 하 고 있 고 , 해당 전극 ( 10 ) 은 절연체 재료 로 이루어지 는 고정 기구 부 ( 17 ) 를 거쳐서 전극 홀더 ( 13 ) 에 접속 되 고 , 전극 홀더 ( 13 ) 에 실리콘 심선 ( 15 ) 이 보 지 된 카본 제 의 심선 홀더 ( 14 ) 가 고정 된다 . 전극 ( 10 ) 으로부터 공급 되 는 전류 가 전극 홀더 ( 13 ) , 심선 홀더 ( 14 ) 를 통과 하 도록 접속 되 고 , 원료 가스 의 반응 에 의해 실리콘 심선 ( 15 ) 상 에 다결정 실리콘 ( 16 ) 이 석출 된다 .