본 발명 은 , 기판 반송 유닛 을 갖 는 진공 반 송실 에 복수 의 진공 처리 실 이 접속 되 어 구성 되 어 , 당해 복수 의 진공 처리 실 의 유효 한 활용 을 가능 하 게 하 는 진공 처리 장치 , 이 진공 처리 장치 를 이용 한 진공 처리 방법 및 , 이 진공 처리 방법 을 당해 진공 처리 장치 에 실행 시키 는 컴퓨터 프로그램 을 기억 한 컴퓨터 가독 기억 매체 에 관한 것 이 다 .