도 6 을 참조 하 면 , 도 6 에서 는 소오 스 드레 인 영역 의 금속 실리사이드 층 ( 280 a , 280 b ) 이 깊 지만 전반 적 으로 불순물 이온 주입 층 ( 260 a , 260 b ) 에 의해 감싸 진 상태 를 이루 고 있 다 . 이런 형태 는 소오 스 드레 인 영역 에 대한 불순물 이온 주입 을 할 때 높 은 에너지 와 낮 은 농도 , 낮 은 도즈 ( dose ) 량 을 적용 하 여 이루어질 수 있 고 , 이온 주입 에서 틸 트 이온 주입 을 하 여 이루어질 수 있 다 .