특정 실시 예 에서 , 방법 ( 100 ) 은 이하 에 개시 된 바 와 같이 , 오버레이 계측 데이터 세트 에 대한 확률 적 노이즈 의 영향 을 결정 하 는 단계 , 광학 또는 SEM 기반 오버레이 의 최소 요구 된 타 겟 크기 또는 측정 영역 에 대한 LER 및 / 또는 PSD 의 영향 을 결정 하 는 단계 및 / 또는 광학 계측 측정 으로부터 LER / PSD 를 추정 하 는 단계 중 임의 의 것 을 포함 할 수 있 다 .