제 1 회전축 ( 110 ) 및 제 1 이송 롤러 ( 120 ) 를 포함 하 는 제 1 이송 유닛 ( 105 ) 은 평판 형 기판 ( 10 ) 을 지면 에 대하 여 기울어진 상태 로 이송 한다 . 따라서 , 기판 이송 중 기판 상 에 공급 되 는 처리 액 이 작 은 양 으로 기판 전체 를 덮 을 수 있 다 . 또한 , 상기 처리 액 이 처리 공정 후 평판 형 기판 ( 10 ) 에 잔류 하 는 문제 가 억제 될 수 있 다 .