실시 예 1 과 비 교예 1 을 비교 하 면 , 펜 타 센 만 으로 400 Å 의 후막 을 제조 하 면 수지상 ( 樹枝 狀 ) 의 휨 이 있 는 막 구조 가 되 지만 , Al 2 O 3 ( 5 Å ) 층 과 의 적층 구조 로 하 면 펜 타 센 박막 의 균일 한 초격자 구조 가 얻 어 질 뿐 만 아니 라 , 적층 체의 표면 조도 가 2 nm 로 매우 평탄 해진다 .