한편 , 도 2 d 에서 보 는 바 와 같이 중앙 에 위치 하 는 금속 배선 ( 225 ) 은 CD ( critical dimension ) 가 더 길 게 형성 되 어 있 는데 , 금속 배선 ( 225 ) 의 CD 등 에 대해 식각 균일성 을 유지 하 기 위해 도 2 e 와 같 은 OE 단계 를 거친다 . OE 단계 에서 는 ME 단계 와 마찬가지 로 BCl 3 , Cl 2 , CHF 3 , N 2 등 의 가스 를 이용한 플라 즈 마 식각 을 한다 .