도 18 및 도 20 을 참조 하 면 , 제 1 질화 공정 으로 대 상체 ( 250 ) 상 에 예비 하부 질화 막 ( 265 ) 및 제 2 예비 산화 막 ( 260 ) 을 형성 한다 ( 단계 S 260 ) . 상기 제 1 질화 공정 은 열 질화 공정 을 포함 할 수 있 다 . 이 와 같 은 열 질화 공정 에 있 어서 , 상기 공정 챔버 를 상대 적 으로 높 은 제 2 온도 및 상대 적 으로 높 은 제 2 압력 으로 유지 시킨 후 , 질소 를 포함 하 는 제 2 반응 가스 를 제 1 예비 산화 막 ( 255 ) 이 형성 된 대 상체 ( 200 ) 상 으로 제공 한다 . 상기 제 2 반응 가스 는 일산화질소 ( NO ) 가스 , 일산화이질소 ( N 2 O ) 가스 , 질소 가스 또는 암모니아 가스 중 에서 적어도 하나 의 가스 를 포함 할 수 있 다 .