[ 0063 ] 도 8 을 예시 적 으로 참조 하 면 , 본원 에서 설명 되 는 임의 의 다른 실시 예 와 조합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따라 , 2 개 의 기판 들 , 예컨대 제 1 기판 ( 101 A ) 및 제 2 기판 ( 101 B ) 은 각각 의 이송 트랙 들 , 특히 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 제 1 트랙 ( 110 ) 상 에 지지 될 수 있 다 . 또한 , 상부 에 마스크 캐리어 들 을 제공 하 기 위한 2 개 의 트랙 들 , 예컨대 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 2 개 의 제 2 트랙 들 ( 120 ) 이 제공 될 수 있 다 . 특히 , 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 의 이송 을 위한 트랙 들 은 도 1 내지 6 을 참조 하 여 설명 되 는 바 와 같이 구성 될 수 있 다 .