또한 , 상기 샘플 1 ～ 8 위 에 탄탈 을 20 ㎚, 그 위 에 산화 방지 막 200 ㎚ 를 더 성막 하 고 , 세바스티안 법 을 이용 하 여 20 점 의 밀착 강도 측정 을 행하 였 다 . 측정 에 는 콰 드 그룹 사제 의 장치 세바스티안 파이브 를 이용 하 였 다 . 탄탈 과 절 연막 계면 으로 박리 된 개수 를 표 1 에 나타낸다 . 박리 가 보다 적 은 쪽 이 실제 배선 층 에서 의 EM 내성 이 보다 커진다고 생각 할 수 있 다 .