예 를 들 어 , 염소 ( Cl ) 가 첨가 된 산화 성 분위기 중 에서 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 에 열 산화 처리 를 행함 으로써 , 염소 산화 된 산화 막 ( 512 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이 경우 , 산화 막 ( 512 ) 은 , 염소 원자 를 함유 하 는 막 이 된다 . 이 와 같 은 염소 산화 에 의해 , 외인 성 의 불순물 인 중금속 ( 예 를 들 어 , Fe , Cr , Ni , Mo 등 ) 을 포집 하 여 금속 의 염화물 을 형성 하 고 , 이것 을 밖 으로 제거 하 여 단결정 반도체 기판 ( 510 ) 의 오염 을 저감 시킬 수 있 다 .