다른 실시 예 에 따르 면 , 도 1 을 참조 하 여 설명 한 것 처럼 , 기판 ( 10 ) 상 에 하 부막 ( 20 ) 및 제 1 희생 막 을 순서 대로 형성 하 고 , 제 1 희생 막 상 에 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 을 형성 한다 . 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 은 라인 형태 를 가질 수 있 으며 , 서로 평행 하 게 소정 간격 이격 되 어 배치 될 수 있 다 .