상술 한 바 와 같이 본 발명 에 따르 면 , 기존 에 1 개 의 센서 를 이용 한 측정 결과 는 오 차 가 존재 하 게 되 기 때문 에 액추에이터 의 절대 변위 , 액추에이터 와 캔틸레버 의 상대 변위 를 각각 측정 하 는 2 개 의 센서 를 이용 하 여 이 두 신호 를 이용 함 으로써 액추에이터 의 수학 적 모델 및 제어기 의 특성 과 는 무관 하 게 정확 한 나노 형상 측정 정보 를 얻 을 수 있 다 .