제 1 접속 배관 ( 81 a ) 은 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 과 폐색 공간 ( 54 ) 을 접속 하 는 가스 배관 이 다 . 제 1 접속 배관 ( 81 a ) 은 , 일단 이 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 과 연통 하 고 , 타단 이 폐색 공간 ( 54 ) 과 연통 하 고 있 다 . 제 1 접속 배관 ( 81 a ) 에 는 , 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 측 에서부터 역 지 밸브 ( 85 a ) , 필터 ( 83 a ) , 개폐 밸브 ( 82 a ) 및 오리피스 ( 84 a ) 가 이 순서 로 설치 되 어 있 다 .