도 5 a , 도 5 b 에 나타내 는 핀홀 부재 ( 2 a , 2 b ) 도 도 1 , 도 4 에 나타내 는 핀홀 부재 ( 2 ) 와 동일 하 게 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면 에서 입사광 으로부터 핀홀 패턴 광 을 생성 하 고 , 이 핀홀 패턴 광 을 측정 광 으로서 결상 광학계 ( 10 ) 로 입사 시킨다 . 그러나 이것 에 한정 되 지 않 고 , 즉 , 상기 핀홀 부재 를 사용 하 지 않 고 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면상 의 유효 영역 ( 10 a ) 내 에서 핀홀 패턴 광 이외 의 적당 한 형상 의 패턴 광 을 생성 하 고 , 이 소정 형상 의 패턴 광 을 측정 광 으로서 결상 광학계 ( 10 ) 로 입사 시킬 수 도 있 다 .