상기 기판 지지 부 ( 120 ) 는 로봇 암 ( 110 ) 의 끝단 구체 적 으로 는 , 제 1 관절 ( 114 ) 에 연결 된 제 2 관절 ( 116 ) 의 타 측 에 연결 되 어 있 으며 , 도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 플레이트 ( 130 ) 와 , 상기 플레이트 ( 130 ) 의 일 측 에서 연장 형성 되 는 다수 의 지지대 ( 140 ) 를 포함 하 고 , 상기 지지대 ( 140 ) 상 에 는 이동 가능 한 기판 정렬 부재 ( 150 ) 가 형성 되 어 있 다 .