슬러리 의 종류 는 연마 되 는 대상 의 종류 에 따라 크 게 산화물 ( oxide ) 용 슬러리 , 금속 용 슬러리 , 폴리 실리콘 ( poly silicon ) 용 슬러리 로 구분 된다 . 산화물 용 슬러리 는 층간 절 연막 및 STI ( Shallow Trench Isolation ) 공정 에 사용 되 는 실리콘 산화물 층 ( SiO 2 Layer ) 을 연마 할 때 사용 되 는 슬러리 로서 , 크 게 연마 입자 , 탈 이온 수 , pH 안정 제 및 계면 활성제 등 의 성분 으로 구성 된다 . 이 중 연마 입자 는 연마 기계 로부터 압력 을 받 아 기계 적 으로 표면 을 연마 하 는 작용 을 하 는 것 으로 주로 실리카 ( SiO 2 ) , 세리아 ( CeO 2 ) , 알루미나 ( Al 2 O 3 ) 등 이 사용 된다 .