또한 증착 용 기판 ( 901 ) 에 조사 되 는 레이저 스폿 의 형상 은 , 사각형 또는 선상 으로 하 는 것 이 바람직 하 고 , 구체 적 으로 는 , 짧 은 변이 1 mm ∼ 5 mm , 또한 긴 변이 10 mm ∼ 50 mm 인 사각형 으로 하 면 된다 . 또한 대면 적 기판 을 사용 할 경우 에 는 , 처리 시간 을 단축 하 기 위해서 , 레이저 스폿 의 긴 변 을 20 cm ∼ 100 cm 로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 도 9 에 나타내 는 레이저 발진 장치 및 광학계 를 복수 설치 해서 대 면적 의 기판 을 단시간 에 처리 해도 좋 다 . 구체 적 으로 는 , 복수 의 레이저 발진 장치 로부터 레이저 빔 을 각각 조사 해서 기판 1 매 에 있 어서 의 처리 면적 을 분담 해도 좋 다 .