또한 , 계층 구조 를 채용 하 여 , 제 1 및 제 2 반송 유닛 ( 28 , 31 ) 을 상하 의 방향 으로 겹침 으로써 , 시스템 전체 적 인 풋 프린트 ( 즉 , 점유 면적 ) 의 축소 를 도모 할 수 있 다고 하 는 우수 한 효과 를 동시 에 달성 할 수 있 다 . 계층 구조 는 , 상하 방향 으로 겹치 는 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 , 29 - 1 , 29 - 2 ) 및 트랜스퍼 챔버 ( 27 , 30 ) 의 상하 방향 의 두께 를 작 게 하 는 기술 에 의해 도 서포트 된다 . 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 , 29 - 1 , 29 - 2 ) 의 내부 에 반송 로봇 을 마련 하 지 않 는 것 으로 , 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 , 29 - 1 , 29 - 2 ) 의 부피 를 최소 화 하 고 , 두께 를 작 게 할 수 있 고 , 계층 구조 에 겹쳐도 전체 의 높이 를 억제 할 수 있 다 . 또한 , 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 , 29 - 1 , 29 - 2 ) 의 부피 를 최소 화 함 으로써 , 대기압 과 진공 을 전환 하 기 위해서 압력 을 승강 시키 는 시간 의 단축 을 도모 할 수 있 다 . 트랜스퍼 챔버 ( 27 , 30 ) 에 있 어서 는 , 채용 하 는 진공 반송 아암 의 높이 방향 의 치수 를 제한 하 는 것 으로 , 계층 구조 에 겹쳐도 전체 의 높이 를 제한 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .