여기 서 , 노즐 구 조체 ( 200 ) 가 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 이동 할 때 ( S 21 ) , 제 2 노즐 ( 202 ) 을 통해서 제 1 세정액 ( CL 12 ) 을 이 류체 형태 로 분사 한다 ( 도 4 의 ( a ) 참고 ) . 제 2 노즐 ( 202 ) 이 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 기울어져 있 기 때문 에 , 제 2 노즐 ( 202 ) 이 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 움직이 면서 , 기판 ( W ) 상 에 남 아 있 는 잔류물 / 불순물 등 을 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 밀어낸다 .