웨이퍼 캐리어 보디 ( 52 ) 는 CVD 프로세스 를 오염 시키 지 않 고 그 프로세스 에서 우연히 발생 되 는 온도 들 을 견딜 수 있 는 물질 들 로 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 디스크 의 더 큰 부분 이 대부분 또는 완전히 , 그라 파이트 , 실리콘 카바이드 , 또는 다른 내화 물질 ( refractory materials ) 과 같 은 물질 로부터 형성 될 수 도 있 다 . 보디 ( 52 ) 는 일반 적 으로 서로 평행 하 게 그리고 일반 적 으로 그 디스크 의 중심축 ( 54 ) 에 수직 으로 연장 된 일반 적 으로 평면 인 최 상부 및 저부 표면 들 을 구비 한다 . 보디 ( 52 ) 는 또한 , 그 최 상부 표면 으로부터 보디 ( 52 ) 로 아래쪽 으로 연장 된 복수 의 일반 적 으로 원형 인 웨이퍼 - 유지 포켓 들 ( 56 ) 을 구비 하 며 , 각 포켓 은 웨이퍼 ( 58 ) 를 유지 하 도록 적응 된다 . 한 예 에서 , 웨이퍼 캐리어 보디 ( 52 ) 는 직경 에 있 어서 약 500 mm 내지 약 1000 mm 일 수 있 다 .