지 지체 ( 36 ) 의 상판 ( 38 ) 의 각 구멍 ( 38 b ) 에 는 각 프로브 ( 34 ) 의 하단 부 ( 34 b ) , 중간부 ( 34 c ) 및 상단 부 ( 34 a ) 가 순차 적 으로 통과 되 고 , 또한 하판 ( 40 ) 의 구멍 ( 40 b ) 에 는 각 프로브 ( 34 ) 의 하단 부 ( 34 b ) 가 통과 되 어 있 지만 , 중간부 ( 34 c ) 는 그 통과 가 저지 되 어 있 다 . 또한 , 각 프로브 ( 34 ) 는 , 그 중간부 ( 4 c ) 에 있 어서 지 지체 ( 36 ) 의 스 페이서 ( 42 ) 의 구멍 ( 42 a ) 을 거쳐서 연장 되 어 있 다 . 이 에 따라 , 각 프로브 ( 34 ) 는 그 상단 부 ( 34 a ) 및 하 단부 ( 34 b ) 의 일부분 이 각각 지 지체 ( 36 ) 의 상판 ( 38 ) 및 하판 ( 40 ) 에서 상방 및 하방 으로 돌출 한 상태 로 지 지체 ( 36 ) 에 대해서 상하 방향 으로 상대 이동 가능 하 게 지 지 되 어 있 다 . 또한 , 각 프로브 ( 34 ) 의 상단 부 ( 34 a ) 는 , 프로브 헤드 ( 28 ) 가 배선 기판 ( 22 ) 에 고정 될 때 , 배선 기판 ( 22 ) 에 설치 된 각 전극 ( 미 도시 ) 에 맞닿 은 상태 에 놓여진다 .