상기 와 같이 구성 된 본 발명 의 웨이퍼 이송 장치 에 의하 면 , 다수 개 의 웨이퍼 에 대한 공정 을 수행 하 는 공정 챔버 에 인입 용 및 인출 용 로드 락 챔버 를 설치 하 여 , 서로 다른 위치 에서 웨이퍼 의 인입 과 인출 이 동시 에 이루어지 게 되 어 웨이퍼 의 이송 시간 을 크 게 단축 시킬 수 있 어 생산 성 을 현저히 향상 시킬 수 있 다 .