상기 유기 알칼리 화합물 이 상기 레지스 트 박리 액 조성물 에 포함 되 는 경우 포토레지스트 제거 능력 과 기판 하부 의 금속 의 부식성 이 같이 강화 되 어 , 제거 능력 이 뛰어난 성능 을 나타내 는 경우 , 하부 금속 에 관한 부식 성 도 높 아 지 기 때문 에 금속 층 의 데미지 가 심해질 수 있 으며 , 금속 의 데미지 를 최소 화 하 기 위하 여 부식 성 을 저하 시키 는 경우 제거 능력 이 떨어지 기 때문 에 박리 속도 의 저하 와 용해 력 을 함께 떨어뜨리 는 반 상호 작용 을 일으키 는 문제 가 있 다 .