다수 의 발광 다이오드 ( 102 ) 는 인쇄 회로 기판 ( 112 ) 상 에 실장 된다 . 이러 한 다수 의 발광 다이오드 ( 102 ) 는 동시 에 온 / 오프 되 거나 개별 적 으로 온 / 오프 되 어 감광 성막 을 노광 시키 는 광 을 생성 한다 . 즉 , 발광 다이오드 ( 102 ) 는 노광 공정 에 이용 되 는 단파장 의 광 , 예 를 들 어 100 ~ 400 nm 파장 의 자외선 을 생성 한다 . 이 와 같이 , 발광 다이오드 ( 102 ) 는 단파장 의 광 을 사용 하 므로 종래 방전 램프 에서 생성 된 장파장 의 광 중 불 용광 을 필터 링 하 는 종래 의 광학 필터 가 불 필요 하 다 . 따라서 , 본 발명 에 따른 노광 장치 의 구조 는 단순 해져 비용 을 절감 할 수 있 음 과 아울러 설치 공간 을 최소 화 할 수 있 다 . 또한 , 발광 다이오드 ( 102 ) 의 수명 은 수만 내지 수십만 시간 대로 반영구 적 이 므로 발광 다이오드 ( 102 ) 의 교체 기간 및 휴지 기간 이 불 필요 하 므로 실사 용 시간 이 증가 하 게 된다 . 또한 , 발광 다이오드 ( 102 ) 는 순간 적 인 온 / 오프 가 가능 해 필요 한 순간 에 만 점 등 가능 하 기 때문 에 소비 전력 이 저감 된다 . 뿐 만 아니 라 , 발광 다이오드 ( 102 ) 는 종래 방전 램프 에 주입 되 는 수은 등 의 유해 물질 을 사용 하 지 않 으므로 친환경 적 이 다 .