더미 측 유전 막 ( MLd ) 에 의해 돌출부 ( PP ) 로부터 이격 된 더미 소스 적층 체 ( DS ) 는 적어도 하나 의 보호막 및 적어도 하나 의 희생 소스 막 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 더미 소스 적층 체 ( DS ) 는 제 1 소스 막 ( SL 1 ) 및 제 3 소스 막 ( SL 3 ) 사이 에 적층 된 제 1 보호막 ( L 1 ) , 희생 소스 막 ( L 2 ) 및 제 2 보호막 ( L 3 ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 보호막 ( L 1 ) 및 제 2 보호막 ( L 3 ) 은 희생 소스 막 ( L 2 ) 과 다른 식각 률 을 갖 는 물질 로 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 보호막 ( L 1 ) 및 제 2 보호막 ( L 3 ) 은 산화물 을 포함 하 고 , 희생 소스 막 ( L 2 ) 은 실리콘 막 을 포함 할 수 있 다 .