산화 물막 ( 104 ) 은 , 수소 나 물 등 이 혼입 되 기 어려운 방법 으로 제작 하 는 것 이 바람직 하 다 . 성막 시 의 분위기 는 , 희가스 ( 대표 적 으로 는 아르곤 ) 분위기 하 에서 , 산소 분위기 하 에서 , 또는 희가스 와 산소 의 혼합 분위기 하 등 으로 하 면 좋 다 . 또한 , 산화 물막 ( 104 ) 에 의 수소 , 물 , 수산기 , 수소화물 등 의 혼입 을 방지 하 기 위해서 , 수소 , 물 , 수산기 , 수소화물 등 의 불순물 이 충분히 제거 된 고순 도 가스 를 사용 한 분위기 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .