본 발명 은 상변화 메모리 ( Phase - change Random Access Memory , PRAM ) 의 on / off ( set / reset ) 반복 동작 에 의한 칼 코 게나 이드 ( chalcogenide ) 계 PRAM 물질 의 피로 측정 과 원인 을 자동 규명 하 고 제어 하 는 상변화 메모리 의 피로 ( fatigue ) 측정 시스템 , 그 제어 방법 및 제 어 프로그램 이 기록 된 기록 매체 에 관한 것 으로서 , 반복 펄스 를 발생 하 는 펄스 발생기 ( pulse generator ) 와 , 자체 제작 된 텅스텐 히터 팁 을 구비 하 고 , 상기 펄스 를 입력 받 아 PRAM 의 칼 코 게나 이드 계 게르마늄 ( Ge ) - 안티몬 ( Sb ) - 텔 룰 라이드 ( Te ) 금속 합금 셀 ( GST cell ) 에 상변화 를 일으키 는 원자 힘 현미경 ( AFM ) 과 , 상기 Ge 2 Sb 2 Te 5 ( GST ) 셀 에서 의 상변화 에 따른 파라미터 를 측정 하 는 매개변수 분석기 ( parameter analyzer ) 를 포함 한다 .