추가 적 인 구 현예 에서 , 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 은 캐리어 가스 입력 부 ( 미 도시 ) 를 추가 로 포함 할 수 있 어서 , 캐리어 가스 ( 예 , 질소 ) 가 제 1 전구체 를 통해 통과 하 거나 버블 링 되 어 제 1 전구체 가 캐리어 가스 에 혼입 될 수 있 도록 하 고 , 후속 하 여 캐리어 가스 / 제 1 전구체 증기 는 적절 한 수단 에 의해 반응 챔버 ( 12 ) 로 전달 될 수 있 다 .