상술 과 같 은 기판 처리 장치 로서 , 복수 의 반 송실 이 직선형 상 으로 배열 되 도록 마련 된 반송 실열 과 상기 반송 실열 을 따라서 배열 되 도록 복수 의 처리 실 이 마련 된 처리 실열 을 갖 는 장치 가 고려 되 고 있 다 . 이 기판 처리 장치 에서 는 , 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기판 을 보 지 가능 하 게 구성 되 는 동시 에 선회 가능 하 며 또한 신축 가능 하 게 구성 된 반송 아암 ( 511 ) 을 갖 는 기판 반송 기구 ( 510 ) 가 각 반 송실 ( 500 ) 에 마련 되 며 , 기판 이 탑재 되 는 기판 탑재 영역 을 상면 에 갖 는 탑재 대 ( 610 ) 가 각 처리 실 ( 600 ) 에 마련 되 어 있 다 . 상술 의 처리 실열 을 구성 하 는 처리 실 ( 600 ) 은 , 상술 의 반송 실열 을 구성 하 는 서로 인접 하 는 2 개 의 반 송실 ( 500 ) 에 각각 게이트 밸브 ( 700 ) 를 거쳐서 접속 되 어 있 으며 , 상기 2 개 의 반 송실 ( 500 ) 모두 와 의 사이 에서 도 기판 의 반 입출 이 가능 하 도록 되 어 있 다 . 또한 , 예 를 들 면 처리 실 ( 600 ) 내 의 탑재 대 ( 610 ) 의 위치 는 , 스테이지 - 아암 사이 거리 ( M 1 ) 가 아암 사이 거리 ( M 2 ) 와 동일 해 지 는 위치 에 설정 되 어 있 다 . 스테이지 - 아암 사이 거리 ( M 1 ) 란 , 탑재 대 ( 610 ) 의 기판 탑재 영역 의 중심점 ( T 1 ) 으로부터 상기 처리 실 ( 600 ) 에 접속 된 2 개 의 반 송실 ( 500 ) 각각 의 반송 아암 ( 511 ) 의 선회 축 ( T 2 ) 까지 의 거리 이 며 , 아암 사이 거리 ( M 2 ) 란 , 상기 선회 축 ( T 2 ) 사이 의 거리 이 다 . 이 기판 처리 장치 에서 도 , 처리 실 ( 600 ) 과 반 송실 ( 500 ) 사이 에서 기판 을 반 입출 할 때 도 직선 적 으로 기판 이 반송 된다 . 그리고 , 기판 의 반 입출 각도 에 맞추 어 , 게이트 밸브 ( 700 ) 의 설치 각도 는 설정 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 기판 의 반 입출 방향 에 직교 하 도록 게이트 밸브 ( 700 ) 는 마련 되 어 있 다 .