도 4 에 도시 된 검사 장치 는 핀홀 어레이 ( 509 ) ( 또는 레티 큘러 시트 ( 152 ) ) 및 어퍼 처 슬릿 과 같 은 광학 수단 을 포함 하 는 3 차원 이미지 재생성 장치 ( 500 ) ; 3 차원 이미지 재생성 장치 ( 500 ) 로 하여금 미리 규정 된 테스트 패턴 을 디스플레이 하 게 하 기 위한 신호 프로세싱 디바이스 ( 422 ) ; 3 차원 이미지 재생성 장치 ( 500 ) 상 에 디스플레이 된 테스트 패턴 을 촬영 하 는 촬영 광학 시스템 ( 412 ) ; 및 취해진 검사 이미지 를 분석 하 는 분석 디바이스 ( 413 ) 를 포함 한다 .