도 11 ( a ) 는 일반 적 인 CVD 법 에 의해 형성 한 실리콘 산화 막 의 막 속 에 포함 되 는 불순물 ( H , C , N , Cl ) 의 농도 를 나타내 는 그래프 도 이 고 , 도 11 ( b ) 는 본 실시 형태 의 제 2 순서 에 의해 형성 한 실리콘 산화 막 의 막 속 에 포함 되 는 불순물 ( H , C , N , Cl ) 의 농도 를 나타내 는 그래프 도 .