도 1 a 에 도시 된 바 처럼 , 오직 명료 성 목적 을 위해서 , 플라 즈 마 부산물 은 기판 ( 102 ) 의 일 측면 으로부터 인출 되 고 재결합 산물 ( 120 ) 은 기판 ( 102 ) 의 반대 측면 으로부터 인출 된다는 것 에 유의 해야 한다 . 실제 실시 에서 , 당업자 는 재결합 산물 ( 120 ) 및 플 라즈 마 부산물 ( 18 ) 양자 모두 가 섞이 고 기판 ( 102 ) 의 양쪽 측면 들 로부터 펌프 들 ( 108 ) 또는 다른 수단 으로 인출 된다는 것 을 깨달 을 것 이 다 .