앞서 설명 된 것 과 같이 , 본 발명 의 실시 형태 에 는 수많 은 세정액 조성물 이 적절 하 다 . 본 발명 의 바람직 한 실시 형태 에 따르 면 , 기판 을 세정 하 는 단계 40 은 앞서 설명 된 세정액 조성물 을 사용 하 여 수행 되 고 , 세정액 내 의 용 존 산소 의 농도 는 약 1 ppm 미만 으로 유지 된다 . 이 는 , 본 발명 의 실시 형태 를 위한 임의 로 선택 된 세정액 에 대해 , 기판 을 세정 할 때 세정액 내 의 용 존 산소 농도 는 약 1 ppm 미만 으로 유지 되 는 것 이 바람직 하 다 .