시일 부재 ( 26 ) 는 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 테이퍼 면 ( 211 ) 과 에지 링 ( 25 ) 의 테이퍼 면 ( 251 ) 에 맞닿 는다 . 그리하여 , 탄성체 인 시일 부재 ( 26 ) 의 복원력 에 의해 , 에지 링 ( 25 ) 에 는 , 직경 방향 성분 이 바깥 방향 이 며 직경 방향 에 수직 인 상하 방향 성분 이 아랫 방향 ( 하부 전극 ( 18 ) 을 향하 는 방향 ) 인 힘 이 작용 한다 . 이 로써 , 에지 링 ( 25 ) 이 제 2 정전 척 ( 22 ) 으로부터 들뜨 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 또한 , 에지 링 ( 25 ) 과 제 2 정전 척 ( 22 ) 의 밀착 성 을 향상 시켜 하부 전극 ( 18 ) 과 에지 링 ( 25 ) 사이 의 전열 성 을 향상 시킬 수 있 다 .