종래 에 는 캐리어 플레이트 에 형성 된 웨이퍼 의 유지 구멍 내 에 웨이퍼 를 직접 삽입 유지 한 후 , 상부 정반 ( 23 ) 과 하부 정반 ( 24 ) 에 압력 을 가하 여 웨이퍼 의 양면 을 연마 하 는 방식 으로 연마 시 , 캐리어 플레이트 와 웨이퍼 가 접촉 하 여 웨이퍼 의 외주 부 에 스크래치 ( scratch ) 등 의 변형 을 발생 시켰 다 .