Y 방향 이 동부 ( 313 ) 는 , X 방향 이 동부 ( 311 ) 의 하방 ( - Z 방향 ) 에 , 2 개 의 Y 방향 구동 부 ( 323 ) 를 통해 배치 되 어 있 다 . 2 개 의 Y 방향 구동 부 ( 323 ) 는 , 각각 Y 방향 으로 연장 마련 되 고 X 방향 으로 이격 하 여 배치 되 어 있 다 . Y 방향 구동 부 ( 323 ) 는 , 리니어 모터 및 슬라이드 레일 을 구비 하 고 , Y 방향 이 동부 ( 313 ) 를 X 방향 이 동부 ( 311 ) 에 대해 Y 방향 으로 이동 시킨다 . 기판 탑 재부 ( 315 ) 는 , Y 방향 이 동부 ( 313 ) 에 고정 되 어 있 다 . 기판 탑 재부 ( 315 ) 는 , X 방향 구동 부 ( 321 ) 및 Y 방향 구동 부 ( 323 ) 의 이동 에 상응 하 여 , X 방향 및 Y 방향 으로 이동 한다 . 또한 , X 방향 이 동부 ( 311 ) 의 중앙부 에 는 , 평면 에서 볼 때 직사각 형 의 개구부 ( 312 ) 가 마련 되 고 , Y 방향 이 동부 ( 313 ) 의 중앙부 에 도 , 평면 에서 볼 때 직사각 형 의 개구부 ( 314 ) 가 마련 되 어 있 다 . 기판 탑 재부 ( 315 ) 의 중앙부 에 는 , 평면 에서 볼 때 원형 의 개구부 ( 316 ) 가 마련 되 어 있 다 . 그리고 , 이 들 의 개구부 ( 312 , 314 , 316 ) 를 통해 기판 ( WT ) 상 의 마크 를 적 외 투과 카메라 ( 41 ) 에 의해 인식 한다 . 또한 , 적외선 조사 부 ( 미 도시 ) 를 배치 하 는 것 에 의해 기판 ( WT ) 에 적외선 을 조사 하 여 기판 ( WT ) 을 가열 할 수 도 있 다 .