제 3 영역 ( 20 c ) 은 , 제 1 영역 ( 20 a ) 과 제 2 영역 ( 20 b ) 사이 에 설치 되 어 있 다 . 제 3 영역 ( 20 c ) 은 , 제 1 영역 ( 20 a ) , 제 2 영역 ( 20 b ) 및 제 3 영역 ( 20 c ) 을 일체 화 하 도록 제 1 영역 ( 20 a ) 과 제 2 영역 ( 20 b ) 에 접속 되 어 있 다 . 즉 , 정전 척 ( 20 A ) 의 본체 는 , 일체 화 되 어 있 다 . 정전 척 ( 20 A ) 의 본체 , 즉 , 제 1 영역 ( 20 a ) , 제 2 영역 ( 20 b ) , 및 제 3 영역 ( 20 c ) 은 , 단일 의 유전체 재료 로 형성 될 수 있 다 . 즉 , 제 1 영역 ( 20 a ) , 제 2 영역 ( 20 b ) 및 제 3 영역 ( 20 c ) 을 구성 하 는 유전체 재료 는 , 동일 할 수 있 다 . 예컨대 , 정전 척 ( 20 A ) 의 본체 는 , 산화알루미늄 , 질화알루미늄 이 라고 하 는 세라믹스 로 형성 될 수 있 다 . 이 정전 척 ( 20 A ) 에서 는 , 제 2 영역 ( 20 b ) 의 두께 와 제 3 영역 ( 20 c ) 의 두께 는 , 서로 같 다 .