이번 에 개시 된 일 실시 형태 에 따른 에칭 방법 및 플 라즈 마 처리 장치 는 , 모든 점 에서 예시 로서 제한 적 인 것 은 아니 라고 생각 되 어야 한다 . 상기 한 실시 형태 는 , 첨부 한 청구 범위 및 그 주지 를 일탈 하 지 않 고 , 다양 한 형태 로 변형 및 개량 이 가능 하 다 . 상기 복수 의 실시 형태 에 기재 된 사항 은 , 모순 되 지 않 는 범위 에서 다른 구성 도 취할 수 있 고 , 또한 , 모순 되 지 않 는 범위 에서 조합 할 수 있 다 .