이어서 , 도 9 를 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 형성 된 마스크 구 조체 ( MS ) 를 식각 마스크 로 이용 하 여 하 부막 ( 20 ) 이 패 터닝 될 수 있 다 . 즉 , 마스크 구 조체 ( MS ) 에 형성 된 상부 개구부 들 ( UH ) 이 하 부막 ( 20 ) 에 전사 됨 으로써 , 하 부막 ( 20 ) 하부 개구부 들 ( LH ) 이 형성 될 수 있 다 .