요컨대 , 본 실시 형태 에 관련 된 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 사용 하 면 , 높 은 위치 분해능 으로 , 또한 위치 정밀도 로 높 은 시뮬레이션 화상 이 얻 어 지 므로 , 이 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 패턴 위치 측정 또는 선폭 측정 의 알고리즘 의 평가 에 이용 하 고 있 는 것 이 다 . 요컨대 , 신뢰 성 이 높 은 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 알고리즘 의 평가 에 이용 하 는 것 이 다 .