도 1 은 본 개시 의 일 실시 형태 에 있 어서 의 플 라즈 마 처리 장치 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 1 에 나타내 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 처리 실 내 에 상부 전극 과 하부 전극 ( 서 셉 터 ) 을 대향 배치 하 여 상부 전극 으로부터 처리 가스 를 처리 실 내 에 공급 하 는 평행 평판 형 의 플 라즈 마 처리 장치 의 일례 이 다 .