[ 005 ] 일부 다른 실시 예 들 에서 , 로드 포트 도어 오프너 가 제공 된다 . 로드 포트 도어 오프너 는 , 퍼지 가스 유입 포트 ; 적어도 하나 의 배기 배출 포트 ; 및 도킹 된 기판 캐리어 와 협력 하 여 둘레 채널 을 정의 하 는 리지 벽 을 포함 하 며 , 리지 벽 은 포트 들 에 근접 한 개구 들 을 포함 하 고 , 도어 오프너 는 유입 포트 로부터 리지 벽 의 개구 들 중 적어도 하나 로 퍼지 가스 를 지향 시키 도록 배치 된 전환기 구조 를 더 포함 한다 .