( 6 ) 식 의 간략 화 를 위해 , 이하 와 같 은 전제 를 정의 한다 . 주로 플 라즈 마 에 의해 여기 된 특성 파 장광 을 관측 하 고 있 는 Ｉt 1 을 , 참조 광 의 강도 I 0 [ 1 / s ] 에 대하 여 정수 배 의 비 p 를 갖 는 Ｉt 1 = ｐＩ 0 로 정의 한다 . 본 전제 는 어느 정도 의 시간 척도 로 평균 화 함 으로써 플 라즈 마 에 의한 발광 의 차이 가 어느 정도 수속 하 는 것 을 고려 한 모델 이 다 . 또한 , 스퍼터 입자 X 에 의해 감쇠 하 는 특성 파 장광 의 비율 을 정수 k 로 나타내 면 , 외란 광 을 고려 하 여 Ｉt 2 =( k + p ) I 0 가 된다 . 따라서 ( 6 ) 식 으로부터 , 1 회 의 측정 시간 을 Δ t [ s ] 로 하 면 측정 값 은 다음 식 으로 나타낸다 .