이러 한 유전체 층 ( 115 ) 의 적어도 일부 면 은 보호막 ( 116 ) 에 의하 여 덮이 는 것 이 바람직 하 다 . 도 1 내지 도 3 에서 는 유전체 층 ( 115 ) 의 전면 ( 全面 ) 이 보호막 ( 116 ) 에 의해 덮여 있 는 것 으로 도시 되 어 있 다 . 보호막 ( 116 ) 은 예컨대 MgO 등 의 물질 을 증착 하 여 형성 한다 . 이러 한 보호막 ( 116 ) 은 제 1 유전체 층 ( 115 ) 을 보호 하 는 역할 외 에 2 차 전자 를 방출 하 여 방전 을 더욱 활성 화 시키 는 역할 도 한다 .