나아가 , 복수 의 가스 가 개스 들 이 상기 도관 포트 들 을 통해 분배 될 때 , 각 개스 포트 의 상대 적 인 공간 배열 은 적어도 일부 , 상기 개스 들 이 상기 기판 상 에 놓이 기 전 에 분리 되 어 있 는 것 이 바람직 한지 아니 면 상기 기판 상 에 놓이 기 전 에 개스 흐름 을 혼합 하 는 것 이 수용 가능 한지 에 의존 한다 . 전자 의 경우 , 각 개스 를 위한 포트 들 은 공간 적 으로 개별 그룹 으로 구분 ( segregate ) 되 고 / 되 거나 제 3 의 개스 를 위한 개재 포트 들 이 제공 되 는데 , 여기 서 제 3 개 스 는 비 - 반응 개스 이 며 혼합 을 막 는 , " 개스 간 의 "" 커튼 "" 으로 동작 가능 한 개스 가 선택 된다 . 후자 의 경우 ", 상이 한 개스 들 을 위한 포트 들 은 보다 적 은 제한 ( constraint ) 을 가지 면서 배열 될 수 있 다 .