도전 층 은 단층 구조 라도 좋 고 , 2 층 이상 의 적층 구조 로 해도 좋 다 . 예 를 들 면 , 티타늄 막 이나 질화 티타늄 막 의 단층 구조 , 실리콘 을 포함 하 는 알루미늄 막 의 단층 구조 , 알루미늄 막 위 에 티타늄 막 이 적층 된 2 층 구조 , 질화 티타늄 막 위 에 티타늄 막 이 적층 된 2 층 구조 , 티타늄 막 과 알루미늄 막 과 티타늄 막 이 적층 된 3 층 구조 등 을 들 수 있 다 . 또한 , 도전 층 을 , 티타늄 막 이나 질화 티타늄 막 의 단층 구조 로 하 는 경우 에 는 , 테이퍼 형상 을 갖 는 소스 전극 또는 드레 인 전극 ( 142 a ) , 및 소스 전극 또는 드레 인 전극 ( 142 b ) 으로 의 가공 이 용이 하 다는 장점 이 있 다 .