검증 유닛 ( 30 ) 은 고주파 유닛 ( 30 ) 으로 공정 레시피 에 관련 되 는 제어 신호 를 출력 하 고 , 고주파 유닛 ( 30 ) 으로부터 제어 신호 에 따른 공정 파라미터 를 수집 하 여 고주파 유닛 ( 20 ) 을 검증 할 수 있 다 . 또한 검증 유닛 ( 30 ) 은 임피던스 정합 부 ( 22 ) 및 케이블 의 효율 을 검증 할 수 있 다 .