베이스 플레이트 ( 106 ) 는 정 전척 ( 101 ) 을 지지 하 기 위해 사용 된다 . 베이스 플레이트 ( 106 ) 에 는 히터 ( heater ) ( 미 도시 ) 와 수로 ( water path ) ( 104 ) 가 설치 되 어 있 고 , 이 에 따라 베이스 바디 ( 102 ) 의 온도 를 조절 한다 . 전압 이 인가 된 때 에 는 히터 ( 미 도시 ) 가 가열 되 어서 접착 층 ( 105 ) 을 통해 베이스 바디 ( 102 ) 를 가열 한다 .