그리고 , 상기 저장 전극 콘 택 플러그 를 형성 하 는 단계 는 상기 랜딩 플러그 가 노출 되 도록 상기 하드 마스크 층 , 상기 캡 핑 질화 막 , 상기 캡 핑 산화 막 및 상기 식각 정지 막 을 식각 하 여 저장 전극 콘 택 홀 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 저장 전극 콘 택 홀 에 도전 층 을 매립 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .