또한 , 본 발명 은 웨이퍼 를 식각 하 여 , 일면 이 평탄 하 고 타 면 이 개구 되 어 소정 길이 를 갖 는 사각기둥 형태 로 형성 되 는 제 1 몸 체부 와 , 상기 제 1 몸 체부 의 개구 된 면 에 결합 되 어 고주파 가 전송 되 는 전송 공간 을 형성 하 는 제 2 몸 체부 및 상기 제 1 몸 체부 의 내측 상면 에서 돌출 되 어 고주파 가 전송 되 는 길 이 방향 으로 연장 되 는 리 지부 를 포함 하 고 , 상기 제 1 몸 체부 및 상기 리 지부 는 , 상기 웨이퍼 가 식각 되 어 형성 되 는 베이스 층 및 상기 베이스 층 의 일면 에 형성 된 금속 층 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 도파관 을 제공 한다 .