그리고 , 두께 별 반사율 은 불순물 의 물질 에 따라 분류 될 수 있 다 . 도 4 는 이온 주입 에 이용 되 는 불순물 이 인 ( phosphorus ) 인 경우 를 예시 한 것 으로 , 이온 주입 공정 에서 불순물 로 이용 되 는 인 ( phosphorus ) , 붕소 ( boron ) 각각 에 대한 두께 별 반사 율 이 레이저 빔 의 입사각 5 ℃, 61 ℃, 71 ℃ 에 따라 분류 되 어 사전 에 설정 될 수 있 다 .