계속 해서 탑재 대 ( 3 ) 의 각 진 부분 의 분해 사시도 인 도 4 를 함께 참조 하 여 설명 한다 . 이 도 4 에 도시 된 바 와 같이 처리 용기 ( 21 ) 의 바닥 판 ( 23 ) 의 표면 에 는 스 페이서 ( 33 ) 의 형상 에 대응 하 여 루프 형상 의 홈 ( 26 ) 이 형성 되 어 있 고 , 또한 하부 전극 ( 31 ) 의 하면 에 는 스 페이서 ( 33 ) 의 홈 ( 34 ) 에 대응 하 고 서로 겹치 도록 루프 형상 의 홈 ( 35 ) 이 형성 되 어 있 다 .