도 7 및 도 8 을 참조 하 여 , 파티클 의 감소 를 더욱 상세 하 게 설명 하 도록 한다 . 설명 의 편의 를 위해 , 도 1 및 도 4 는 돌기 부 의 상부 면 의 직경 을 확대 하 고 돌기 부 의 밀집 상태 를 감소 시켜서 기판 온도 조절 - 고정 장치 를 개략 적 으로 나타내 었 지만 , 도 7 은 실제 의 기판 온도 조절 - 고정 장치 를 나타낸다 .