다른 관점 으로서 , 본 발명 의 방법 은 , 일련 의 모델 신호 중 의 하나 이상 의 모델 신호 에 대하 여 , 공통 의 표면 높이 에 대한 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 유사 성 을 나타내 는 높이 오프셋 보상 된 가치 값 을 계산 하 는 단계 를 포함 한다 . 상기 높이 오프셋 보상 된 가치 값 을 계산 하 는 단계 는 , 주사 간섭계 신호 또는 주사 간섭계 신호 로부터 유도 된 정보 와 모델 신호 또는 모델 신호 로부터 유도 된 정보 의 상관 을 수행 하 는 단계 ; 및 상관 에 기초 해서 , 간섭계 신호 의 주파수 영역 표현 과 모델 신호 의 주파수 영역 표현 사이 의 높이 의존 적 위상 경사 를 판정 하 고 , 간섭계 신호 와 모델 신호 의 주파수 영역 표현 중 의 적어도 하나 의 계수 의 위상 을 보상 하 는 단계 를 포함 한다 . 본 발명 의 방법 은 또한 , 높이 오프셋 보상 된 가치 값 에 기초 해서 , 검사 대 상체 파라미터 를 판정 하 는 단계 를 포함 한다 .