산화 금속 용해제 의 함유량 은 , 텅스텐 재료 의 양호 한 연마 속도 가 얻 기 쉬운 관점 에서 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 001 질량 % 이상 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 002 질량 % 이상 , 더욱 바람직 하 게 는 0 . 005 질량 % 이상 , 특히 바람직 하 게 는 0 . 01 질량 % 이상 , 극히 바람직 하 게 는 0 . 05 질량 % 이상 , 매우 바람직 하 게 는 0 . 1 질량 % 이상 , 더 한층 바람직 하 게 는 0 . 2 질량 % 이상 이 다 . 산화 금속 용해제 의 함유량 은 , 텅스텐 재료 의 에칭 을 억제 하 여 피연 마면 의 거칠 기 를 저감 하 기 쉬운 관점 에서 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 20 질량 % 이하 , 보다 바람직 하 게 는 10 질량 % 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 5 질량 % 이하 , 특히 바람직 하 게 는 3 질량 % 이하 , 극히 바람직 하 게 는 1 질량 % 이하 이 다 . 이러 한 관점 에서 , 산화 금속 용해제 의 함유량 은 , 연마 액 의 전체 질량 을 기준 으로 하 여 , 바람직 하 게 는 0 . 001 ∼ 20 질량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 002 ∼ 10 질량 %, 더욱 바람직 하 게 는 0 . 005 ∼ 5 질량 %, 특히 바람직 하 게 는 0 . 01 ∼ 5 질량 %, 극히 바람직 하 게 는 0 . 05 ∼ 3 질량 %, 매우 바람직 하 게 는 0 . 1 ∼ 1 질량 %, 더 한층 바람직 하 게 는 0 . 2 ∼ 1 질량 % 이 다 .