상기 순환 필터 ( 132 ) 는 상기 순환 탱크 ( 131 ) 및 상기 순환 펌프 ( 133 ) 사이 의 순환 라인 ( 135 ) 상 에 구비 된다 . 상기 순환 필터 ( 132 ) 는 상기 순환 펌프 ( 133 ) 로 제공 되 는 용해제 로부터 의 이 물질 을 제거 하 여 높 은 순도 의 용해제 가 상기 순환 펌프 ( 133 ) 로 제공 될 수 있 도록 구비 된다 .