상기 설명 에서 는 , 각각 의 기판 에 대해 임프 린트 처리 가 평가 되 고 대표 샷 영역 이 갱신 되 는 것 을 예 로서 상정 하 고 있 다 . 그러나 , 기판 마다 임프 린트 처리 를 평가 하 는 대신 에 , 로트 마다 임프 린트 처리 를 평가 할 수 있 거나 , 또는 임의 의 시간 동안 의 모니터링 을 통해 얻 어 진 통계 데이터 에 기초 하 여 평가 가 이루어질 수 있 고 평가 결과 에 기초 하 여 대표 샷 이 갱신 될 수 있 다 . 상술 한 프로파일 또는 RMS 값 으로부터 의 최대 차분 값 이 미리 결정 된 허용 값 ( 임계 치 ) 을 초과 하 는 경우 , 경고 가 발행 될 수 있 다 . 단계 S 56 에서 는 , 유사 한 평가 결과 를 갖 는 샷 영역 이 동일 한 그룹 으로 그룹 화 되 도록 각각 의 샷 영역 에서 의 계측 의 평과 결과 에 기초 하 여 그룹 화 를 갱신 할 수 있 다 . 상술 한 평가 방법 이외 에 , 다양 한 방법 이 임프 린트 처리 를 평가 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 그룹 내 의 샷 영역 의 평균 프로 파일 이 기준 으로서 채용 될 수 있 다 .