제 2 기판 얼라 이너 ( 310 ) 는 이송 챔버 ( 500 ) 로 기판 ( 102 ) 으로 이송 하 기 전 에 기판 ( 102 ) 의 위치 나 방향 을 얼 라인 할 수 있 다 . 아울러서 , 필요 에 따라서 로드 락 챔버 ( 300 ) 으로부터 기판 컨테이너 ( 100 ) 로 이송 하 기 전 에 기판 ( 102 ) 의 위치 나 방향 을 얼 라인 할 수 있 다 .