반도체 소자 가 개시 된다 . 반도체 소자 는 기판 , 금속 - 산화물 - 반도체 소자 및 특징 부를 포함 한다 . 금속 - 산화물 - 반도체 소자 는 기판 내 에 배치 된다 . 특징 부 는 금속 - 산화물 - 반도체 소자 에 인접 하 게 배치 된다 . 특징 부 는 제 1 깊이 로 기판 내 로 연장 되 고 , 금속 - 산화물 - 반도체 소자 는 제 1 깊이 보다 작 은 제 2 깊이 로 기판 내 로 연장 된다 .