규화물 ( 48 ) 은 층 ( 44 ) 의 금속 또는 다른 재료 의 존재 시 에 층 ( 40 ) 에 가열 을 실시 함 으로써 형성 될 수 도 있 다 . 금속 규화물 층 ( 48 ) 을 형성 하 는 데 이용 된 열처리 는 금속 산화물 ( 46 ) 을 형성 하 는 데 이용 된 동일 열처리 의 일부 일 수 도 있 고 또는 별도 의 열처리 의 일부 일 수 도 있 다 . 하나 이상 의 열처리 동작 이 층 ( 46 및 48 ) 을 형성 하 는 데 이용 될 수 도 있 다 . 층 ( 46 ) 을 형성 하 기 위해 열 산화 를 수행 하 길 원할 때 , 이 들 동작 중 적어도 하나 의 동작 은 산소 환경 에서 수행 되 는 것 이 바람직 하 다 .