도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 생산 속도 의 면 에서 보 면 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 샘플 들 ( New ITEM ) 의 생산 속도 는 매 기판 처리 시 마다 사후 세정 이 부가 되 는 샘플 들 ( 1 x CLN ) 의 생산 속도 보다 는 빠르 지만 , 매 2 개 의 기판 처리 시 마다 사후 세정 이 부가 되 는 샘플 들 ( 2 x CLN ) 의 생산 속도 보다 는 느린 것 을 알 수 있 다 .