보다 상세 하 게 설명 하 면 , Co 의 부식 및 기판 표면 의 잔류물 저감 의 양립 의 효과 를 보다 높이 기 위해서 는 , 상기 일반식 ( 1 ) 에 있 어서 , 바람직 한 R 2 는 , 수소 원자 또는 탄 소수 1 ∼ 4 의 알킬기 이 고 , 보다 바람직 한 R 2 는 , 수소 원자 또는 메틸기 이 고 , 특히 바람직 한 R 2 는 , 메틸기 이 다 .