받침대 는 세장형 일 수 있 고 기판 표면 에 수직 인 방향 으로 연장 될 수 있 다 . 복수 의 기판 은 기판 랙 ( 12 ) 에 서로 에 대해 병렬 로 위치 할 수 있 다 . 기판 랙 ( 12 ) 과 조명 시스템 ( 41 ) 의 구성 은 , 조명 ( 41 ) 이 기판 랙 ( 12 ) 의 측 부 로부터 기판 랙 내 의 기판 중 적어도 하나 의 상부 표면 상 으로 자외선 을 조사 시킨다 . 도시 된 바 와 같이 , 조명 시스템 은 4 개 의 측 부 로부터 기판 에 자외선 을 조사 하 기 위해 4 개 의 부품 을 포함 할 수 있 다 . 4 개 의 측 부 로부터 조사 하 는 것 은 기판 상 에 수용 된 조사 의 균일성 을 개선 할 수 있 다 . 조명 시스템 은 기판 표면 을 조사 하 는 1 개 , 2 개 , 3 개 또는 4 개 의 부품 을 가질 수 도 있 다 .