본 발명 에 따르 면 , 초음파 화학 적 반응 에 의해 입자 간 의 응집력 을 최소 화 하 고 균일 한 분산 성 의 우수 한 특징 을 갖 는 산화 인듐 분말 을 제조 할 수 있 다 . 그리고 , 제조 된 분말 을 사용 하 여 상대 밀도 99 . 7 % 이상 초고 밀도 의 ITO 타 겟 재 를 얻 을 수 있 으며 , 제조 된 ITO 타 겟 재 를 활용 한 스퍼터링 방법 에 의한 ITO 박막 형성 시 우수 한 박막 특성 을 제공 한다 .