이 와 같이 , 상기 기상 성 장용 서 셉 터 에 있 어서 , 상기 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 에서 의 가장 얕 은 홈 깊이 가 0 . 01 ~ 0 . 08 mm 의 범위 이 며 , 상기 외 주부 보다 내측 의 중앙부 에서 의 가장 깊 은 홈 깊이 가 0 . 1 ~ 0 . 5 mm 의 범위 이 면 , 웨이퍼 의 외주 부 온도 저하 를 방지 하 고 , 웨이퍼 이 면 외주 부로 의 실리콘 퇴적 을 개선 시킬 수 있 으며 , 또한 , 웨이퍼 의 슬라이드 나 휨 을 방지 할 수 있 다 .