위 와 같 은 제 1 에어 유입 구 ( 131 ) 와 제 2 에어 유입 구 ( 131 '), 제 2 세정액 유입 구 ( 132 ') 및 제 1 세정액 유입 구 ( 132 ) 들 로부터 는 각각 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 과 하부 노즐 모듈 ( 120 ) 측 으로 향하 는 유로 들 이 연결 되 어 있 다 . 즉 , 제 1 에어 유입 구 ( 131 ) 로부터 는 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 의 상부 에어 분배 관 ( 113 ) 측 으로 연장 된 제 1 에어 유로 ( 133 ) 가 형성 되 어 있 고 , 제 2 에어 유입 구 ( 131 ') 로부터 는 하부 노즐 모듈 ( 120 ) 의 하부 에어 분배 관 ( 123 ) 측 으로 연장 된 제 2 에어 유로 ( 133 ') 가 형성 되 어 있 다 . 또 , 제 1 세정액 유입 구 ( 132 ) 로부터 는 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 의 상부 세정액 분배 관 ( 112 ) 측 으로 연장 된 제 1 세정액 유로 ( 134 ) 가 형성 되 어 있 고 , 제 2 세정액 유입 구 ( 132 ') 로부터 는 하부 세정액 분배 관 ( 122 ) 측 으로 연장 된 제 2 세정액 유로 ( 134 ') 가 형성 되 어 있 다 .