상기 제 3 버퍼 층 ( 133 ) 성장 단계 ( S 650 ) 는 금속 유기 화학 기상 증착 공정 이 진행 되 는 챔버 내부 압력 이 400 ~ 600 torr , 챔버 내부 온도 는 1050 ~ 1250 ℃, 기판 을 회전 시키 는 스핀 척 의 회전 속도 는 900 ~ 1100 RPM 으로 10 ~ 20 분 간 제 3 버퍼 층 ( 133 ) 을 성장 시킨다 .