많 은 기판 처리 어플리케이션 들 에서 , 기판 이송 장치 는 중앙 이송 챔버 내 에 장착 되 는 기판 이송 로봇 을 포함 한다 . 통상 적 으로 , 이송 로봇 은 암 조립 체 ( arm assembly ) 에 전원 을 공급 하 는 구동 장치 ( drive ) 를 제어 하 는 컨트롤러 를 갖 는다 . 암 조립 체 는 통상 적 으로 이송 챔버 안 에서 기판 지지 부 ( substrate support ) 또는 엔드 이펙터 ( end effector ) 상 의 기판 을 다양 한 처리 챔버 들 안 으로 또는 밖 으로 이송 하 도록 동작 한다 .