이러 한 문제 를 해결 하 기 위해 최근 들 어 마스크 를 대체 한 DMD ( Digital Micro - mirror Device ) 를 채용 한 마스크 리스 노광 장치 가 연구 되 고 있 다 . 여기 서 , DMD 는 패턴 형상 을 미리 전기 적 신호 로 받 고 그 전기 적 신호 에 따라 광원 에서 나온 광 을 선택 적 으로 반사 하 여 기판 상 에 일정 한 패턴 형상 의 광 을 조사 시킬 수 있 다 . 이때 , DMD 에 있 어서 광 의 선택 적 조사 는 각각 의 단위 미러 의 각도 를 조절 하 여 수행 될 수 있 다 .