즉 , 첨부 된 도 2 는 일반 적 인 세정 챔버 ( 50 ) 에 대한 개략 적 인 사시도 로서 , 세정 공간 을 정의 하 는 세정 챔버 ( 50 ) 및 이 의 일 측 에 마련 된 입구 ( 52 ) 와 상기 입구 ( 52 ) 를 개폐 하 는 도어 ( 54 ) 가 나타나 있 고 , 이중 도어 ( 54 ) 는 슬라이딩 ( sliding ) 방식 으로 입 구 ( 52 ) 를 여닫 도록 이 보다 큰 면적 을 나타낸다 .