척 ( 130 ) 은 제 2 처 리조 ( 150 ) 에 공급 되 는 제 2 처리 액 ( 155 ) 에 의해 가열 되 는데 , 가열 과 함께 부가 적 으로 세정 될 수 도 있 다 . 제 2 처리 액 ( 155 ) 은 제 2 처 리조 ( 150 ) 에 연결 되 어 있 는 제 2 처리 액 공급 부 ( 157 ) 로부터 공급 될 수 있 다 . 이 때 , 제 2 처리 액 ( 155 ) 은 예 를 들 어 , 순수 ( DI ) 가 사용 될 수 있 다 .