그리고 건식 필름 포토레지스트 에 대한 노광 공정 은 손실 된 패턴 의 좌표 값 에 만 수행 하 는 것 이 바람직 하 며 , 노광 공정 에 사용 하 는 광원 은 아이 - 라인 ( I - line ) 인 것 이 바람직 하 다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따라 , 손실 된 패턴 보다 큰 건식 필름 포토레지스트 를 얻 는 단계 와 , 부착 된 건식 필름 포토레지스트 에 소정 압력 으로 눌러 주 는 단계 를 더 포함 하 는 것 바람직 하 다 .