계속 해서 , 도 9 에 도시 한 바 와 같이 , 금속 재료 시트 M 이 하프 에칭 되 어 , 밀봉 공간 ( 3 ) 의 일부 를 구성 하 는 하측 증기 유로 오 목부 ( 12 ) 가 형성 된다 . 이 경우 , 먼저 , 금속 재료 시트 M 의 상면 Ma 에 도시 하 지 않 은 제 1 레지스 트 막 이 , 포토 리소그래피 기술 에 의해 , 복수 의 하측 유로 벽부 ( 13 ) 및 하측 주연 벽 ( 14 ) 에 대응 하 는 패턴 형 으로 형성 된다 . 계속 해서 , 제 1 하프 에칭 공정 으로서 , 금속 재료 시트 M 의 상면 Ma 가 하프 에칭 된다 . 이것 에 의해 , 금속 재료 시트 M 의 상면 Ma 중 제 1 레지스 트 막 의 레지스 트 개구 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 대응 하 는 부분 이 하프 에칭 되 어 , 도 9 에 도시 한 바 와 같 은 하측 증기 유로 오 목부 ( 12 ) , 하측 유로 벽부 ( 13 ) 및 하측 주연 벽 ( 14 ) 이 형성 된다 . 이때 , 도 2 및 도 4 에 도시 하 는 하측 주입 유로 오 목부 ( 17 ) 도 동시 에 형성 되 고 , 또한 도 4 에 도시 한 바 와 같 은 외형 윤곽 형상 을 갖 도록 금속 재료 시트 M 이 상면 Ma 및 하면 으로부터 에칭 되 어 , 소정 의 외형 윤곽 형상 이 얻 어 진다 . 제 1 하프 에칭 공정 후 , 제 1 레지스 트 막 이 제거 된다 . 또한 , 하프 에칭 이란 , 재료 를 관통 하 지 않 는 오목 부를 형성 하 기 위한 에칭 을 의미 하 고 있 다 . 이 때문 에 , 하프 에칭 에 의해 형성 되 는 오 목부 의 깊이 는 하측 금속 시트 ( 10 ) 의 두께 의 절반 인 것 에 한정 되 지 는 않 는다 . 에칭 액 에 는 , 예 를 들 어 염화 제 이철 수용액 등 의 염화철 계 에칭 액 , 또는 염화 구리 수용액 등 의 염화 구리 계 에칭 액 을 사용 할 수 있 다 .