상기 도파관 집합체 ( 203 ) , 보다 구체 적 으로 상기 부스터 는 적합 하 게 는 ( 작동 중 에 초음파 진동 하 는 ) 도파관 집합체 를 처리 챔버 하우징 으로부터 진동 격리 시키 도록 구성 된 장착 부재 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 , 그 의 상단 부 에서 챔버 하우징 ( 151 ) 상 에 , 예컨대 챔버 측벽 ( 157 ) 을 형성 하 는 튜브 ( 155 ) 상 에 장착 된다 . 즉 , 상기 장착 부재 는 챔버 하우징 의 내부 공간 ( 153 ) 내 에서 도파관 집합체 ( 구체 적 으로 혼 집합체 ( 133 ) ) 의 목적 하 는 횡 방향 위치 를 유지 하 고 챔버 하우징 내 에서 혼 집합체 의 세로 방향 ( longitudinal ) 및 횡 방향 ( transverse ) 변위 를 허용 하 면서 , 도파관 집합체 ( 203 ) 의 세로 방향 및 횡 방향 기계 적 진동 의 챔버 하우징 ( 151 ) 으로 의 전달 을 억제 한다 . 또한 , 장착 부재 는 ( 예컨대 , 부스터 , 혼 집합체 의 하단 부 와 함께 ) 챔버 ( 151 ) 의 입구 단부 ( 125 ) 를 적어도 부분 적 으로 폐쇄 한다 . 적합 한 장착 부재 구성 의 예 는 미국 특허 제 6 , 676 , 003 호 에 도시 되 고 설명 되 어 있 고 , 상기 미국 특허 의 전체 내용 은 본원 과 일치 하 는 범위 까지 본원 에 참 고 문헌 으로 편입 된다 .