얼라이먼트 계 ( ALG ) 는 , 투영 광학계 ( PL ) 의 - Y 측 에 소정 간격 을 두 고 배치 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 얼라이먼트 계 ( ALG ) 로서 , 예 를 들 어 웨이퍼 상 의 레지스 트 를 감광 시키 지 않 는 브로드밴드 검출 광속 ( 光束 ) 을 대상 마크 에 조사 하 고 , 그 대상 마크 로부터 의 반사광 에 의해 수 광면 에 결상 ( 結像 ) 된 대상 마크 의 이미지 와 도시 생략 된 지표 ( 각 얼라이먼트 계 내 에 형성 된 지표 판 상 의 지표 패턴 ) 의 이미지 를 촬상 소자 ( CCD 등 ) 를 사용 하 여 촬상 하 고 , 그 들 의 촬상 신호 를 출력 하 는 화상 처리 방식 의 FIA ( Field Image Alig ㎚ ent ) 계 가 사용 되 고 있 다 . 얼라이먼트 계 ( ALG ) 로부터 의 촬상 신호 는 , 도 6 의 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 된다 .