한편 , 구동 부 ( 210 ) 는 도 4 에 도시 된 바 와 같이 배 플 유닛 ( 180 ) 의 측 부 에 결합 되 는 것 도 가능 하 다 . 구동 부 ( 210 ) 가 이 와 같이 형성 되 는 경우 , 배 플 유닛 ( 180 ) 을 들 어 올리 거나 ( lift ) 끌어내려서 ( drag down ) 배 플 유닛 ( 180 ) 을 승강 시킬 수 있 다 . 도 4 는 도 1 의 기판 처리 시스템 에 구비 되 는 배 플 유닛 을 제어 하 는 배 플 유닛 제어 장치 의 제 2 실시 형태 를 보여 주 는 예 시도 이 다 .