상기 소수 화제 공급 유닛 은 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 상기 소수 화제 의 증기 를 공급 하 는 유닛 을 포함 하 고 있 어도 좋 다 . 상기 제어 장치 는 상기 소수 화제 공급 유닛 을 제어 함 으로써 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 상기 소수 화제 의 증기 를 공급 하 는 증기 공급 공정 을 포함 하 는 상기 소수 화 공정 을 행하 고 , 상기 건조 유닛 을 제어 함 으로써 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 부착 되 어 있 는 상기 소수 화제 를 증발 시키 는 증발 공정 을 포함 하 는 상기 건조 공정 을 행하 여도 좋 다 . 이 경우 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .