이상 과 같 은 지 지체 형성 막 ( 27 ) 을 형성 함 으로써 , 제 1 지 지체 구멍 ( 21 ) 중 에 매립 된 지 지체 형성 막 ( 27 ) 의 일부 ( 27 a ) 와 단결정 에피 택 셜 막 ( 17 ) 의 한쪽 면 ( 17 a ) 이 밀착 된 상태 로 되 어 있 다 . 한편 , 제 2 지 지체 구멍 ( 22 ) 중 에 매립 된 지 지체 형성 막 ( 27 ) 의 일부 ( 27 b ) 와 단결정 에피 택 셜 막 ( 17 ) 의 다른 쪽 면 ( 17 b ) 이 밀착 된 상태 로 되 어 있 다 .