하지만 , 종래 의 페러 데이 시스템 은 Z 축 방향 으로 입사 되 는 이온 빔 에 대하 여 페러 데이 컵 이 X 축 방향 으로 이동 되 면서 상기 이온 빔 의 도즈 량 을 모니터링 할 수 있 도록 형성 되 어 있 으나 , 상기 페러 데이 컵 이 Y 축 방향 으로 이동 될 수 없 어 상기 Y 축 방향 으로 가변 되 는 상기 이온 빔 의 선폭 변화 에 유연 하 게 대처 하 지 못하 여 이온 주입 불량 을 야기 시킬 수 있 기 때문 에 생산 수율 이 줄어드 는 문제점 이 있 었 다 .