그 다음 , 상기 순환 펌프 부 ( 1300 ) 에서 는 상기 수조 ( 1200 ) 로부터 오존 ( O 3 ) 과 냉각수 ( H 2 O ) 의 혼합물 을 공급 받 고 상기 오존 발생 부 ( 1100 ) 로 부 터 의 오존 ( O 3 ) 을 공급 받 아 이 를 혼합 한 후 상기 오존 발생 부 ( 1100 ) 로 배출 된다 . 이때 , 상기 오존 발생 부 ( 1100 ) 로 공급 되 는 혼합물 ( H 2 O + O 3 ) 은 상기 오존 발생 부 ( 100 ) 의 방전 공간 에서 발생 된 고열 을 냉각 시킨 후 다시 배출 됨 으로써 순환 하 게 된다 .