다음 으로 , 상기 상부 마스크 층 ( 410 ) 및 하부 마스크 층 ( 420 ) 으로 노출 된 상기 서브 마운트 기판 ( 100 ) 의 제 1 내지 제 4 영역 들 ( B 1 , B 2 , B 3 , B 4 ) 을 식각 하 여 제 1 관통 홀 ( 431 ) 및 제 2 관통 홀 ( 432 ) 을 형성 하 고 , 상기 서브 마운트 기판 ( 100 ) 상부 의 중앙 영역 ( A ) 을 식각 하 여 실장 용 홈 ( 110 ) 을 형성 한다 ( 도 7 b ) .