와이어 표면 의 막 두께 측정 에 는 AES 에 의한 깊이 분석 을 사용 하 여 결정립계 의 농화 등 원소 분포 의 관찰 에 는 AES , EPMA 등 에 의한 면 분석 , 선 분석 을 실시 하 였 다 . AES 에 의한 깊이 분석 에서 는 Ar 이온 으로 스 패 터 하 면서 깊이 방향 으로 측정 하 고 , 깊이 의 단위 는 SiO 2 환산 으로 표시 하 였 다 . 본딩 와이어 중 의 도전 성 금속 농도 는 ICP 분석 , ICP 질량 분석 등 에 의하 여 측정 하 였 다 .