상기 V 족 원소 를 포함 하 는 V 족 양이온 전구체 로 는 알킬 포스핀 ( alkyl phosphine ) , 트리스 트리 알 킬 실릴 포스핀 ( tris ( trialkylsilyl phosphine ) ) , 트리스 디 알 킬 실릴 포스핀 ( tris ( dialkylsilyl phosphine ) ) , 트리스 디알 킬 아미노 포스핀 ( tris ( dialkylamino phosphine ) ) , 아세 닉 옥사이드 ( arsenic oxide ) , 아세 닉 클로라이드 ( arsenic chloride ) , 아세 닉 설 페이트 ( arsenic sulfate ) , 아세 닉 브로마이드 ( arsenic bromide ) , 아세 닉 아이 오다 이드 ( arsenic iodide ) , 나이트 릭 옥사이드 ( nitric oxide ) , 나이트 릭 산 ( nitric acid ) , 암모늄 나이트 레이트 ( ammonium nitrate ) 등 으로 이루어진 군 에서 선택 되 는 1 종 이상 일 수 있 다 .