검사 부 ( LSCM ) 에 의한 기판 ( W ) 의 검사 후 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 1 , BU 2 , BU 3 ) 의 복귀 부 ( RT 7 , RT 8 , RT 9 ) 중 어느 하나 로부터 검사 후 의 기판 ( W ) 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 ( W ) 을 오프너 ( 13 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로 되돌린다 . 처리 후 의 기판 ( W ) 이 모두 수납 된 후 , 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 오프너 ( 13 ) 의 재 치대 ( 16 ) 로부터 출력 포트 ( 72 ) 에 캐리어 ( C ) 를 반송 한다 . 외부 반송 기구 ( OHT ) 는 , 출력 포트 ( 72 ) 로부터 캐리어 ( C ) 를 반송 한다 .