이 에 따라 , 도 5 b 에 도시 된 바 와 같이 , 오프닝 ( 14 ) 을 채우 는 필라 구조물 ( 21 ') 이 형성 될 수 있 다 . 필라 구조물 ( 21 ') 은 오프닝 ( 14 ) 의 측벽 에 형성 된 블록 킹 층 ( 15 ) , 블록 킹 층 ( 15 ) 의 측벽 에 형성 된 전하 저장 층 ( 17 ) , 전하 저장 층 ( 17 ) 의 측벽 에 형성 된 터널 절연 층 ( 18 ) , 터널 절연 층 ( 18 ) 의 측벽 에 형성 된 채널 층 ( 19 ) , 채널 층 ( 19 ) 의 측벽 에 형성 된 코어 절연 층 ( 20 ) 을 포함 할 수 있 다 . 필라 구조물 ( 21 ') 은 불소 흡착 층 ( 16 D , 16 D ') 을 더 포함 할 수 있 다 . 불소 흡착 층 ( 16 D ) 는 블록 킹 층 ( 15 ) 과 전하 저장 층 ( 17 ) 사이 에 위치 할 수 있 다 . 불소 흡착 층 ( 16 D ') 은 전하 저장 층 ( 17 ) 과 터널 절연 층 ( 18 ) 사이 에 위치 할 수 있 다 .