본 발명 에서 사용 되 는 금속 산화제 는 , 과산화수소 ( H 2 O 2 ) 가 특히 바람직 하 다 . 산화제 로서 는 그 외 에 도 질산 , 과 요오드산칼륨 , 차아염소산 , 오 존수 등 을 들 수 있 지만 , 본 발명 의 구체 적 인 태양 에 있 어서 는 , 과산화수소 이외 의 산 을 사용 하 면 , 구리 등 의 배선 금속 의 연마 속도 가 빨라 지 기 쉬워 , 최종 적 으로 피연 마면 의 평탄 성 이 없 어 지 는 경향 이 있 다 .