파형 발생기 ( 101 ) 는 , 감쇠기 ( 163 ) 에 접속 되 어 있 다 . 감쇠기 ( 163 ) 는 , 예 를 들 면 인가 전압 값 에 의하 여 감쇠 량 ( 감쇠 율 ) 을 변경 가능 한 기기 이 다 . 감쇠기 ( 163 ) 에 는 , 파워 제 어부 ( 162 ) 가 접속 되 어 있 다 . 파워 제 어부 ( 162 ) 는 , 프로세서 를 가질 수 있 다 . 파워 제 어부 ( 162 ) 는 , 제어기 ( 102 ) 로부터 설정 프로 파일 을 취득 한다 . 설정 프로 파일 은 , 레시피 로 특정 된 설정 파워 에 따라 , 제어기 ( 100 ) 로부터 제어기 ( 102 ) 로 지정 된다 . 파워 제 어부 ( 162 ) 는 , 취득 한 설정 프로 파일 에 근거 하 여 , 감쇠기 ( 163 ) 에 있 어서 의 마이크로파 의 감쇠 율 ( 감쇠 량 ) 을 결정 한다 . 파워 제 어부 ( 162 ) 는 , 인가 전압 값 을 이용 하 여 , 감쇠기 ( 163 ) 에 있 어서 의 마이크로파 의 감쇠 율 ( 감쇠 량 ) 을 , 결정 된 감쇠 율 ( 감쇠 량 ) 로 제어 한다 . 감쇠기 ( 163 ) 에서 는 , 마이크로파 발생기 ( 16 ) 에 의하 여 출력 되 는 마이크로파 의 파워 가 설정 파워 에 따른 파워 가 되 도록 , 파형 발생기 ( 101 ) 에 의하 여 출력 된 마이크로파 의 감쇠 율 ( 감쇠 량 ) 이 조정 된다 .