또한 , 산 성 양이온 교환 필터 인 40 QSH 에 PGMEA 200 부 를 통 액 하 여 세정 을 실시 하 여 , 배출 되 는 PGMEA 중 의 수분 함유량 을 측정 했 다 . 수분 함유량 은 940 ppm 였 다 . 계속 해서 , 세정 한 40 QSH 에 수지 용액 200 부 를 30 분 에 걸쳐 통 액 했 다 . 통 액 후 의 산분 해성 수지 중 의 중량 평균 분자량 ( Mw ) 및 아세 탈기 의 보호 율 을 측정 하 여 , 분해 나 탈 보호 의 유무 를 확인 했 다 . 표 1 에 는 , 세정 종료 시 의 이온 교환 필터 로부터 배출 되 는 유기 용매 중 의 수분 함유량 , 통 액 후 의 산분 해성 수지 의 중량 평균 분자량 ( Mw ) 및 아세 탈기 의 보호 율 을 나타냈 다 .