기판 은 온도 감응 형 특징 부를 포함 할 수 있 고 , 따라서 이 들 감응 형 특징 부 에 손상 을 주 는 것 을 피하 기 위해 온도 는 특정 최대치 로 제한 될 수 있 다 . 이 는 , 반응 성 을 위해 기판 의 온도 가 바람직 하 게 높 을 수 있 는 반면 에 , 기판 상 의 온도 감응 형 특징 부를 손상 시키 지 않 도록 기판 의 온도 가 바람직 하 게 낮 아 질 수 있 는 모순 적 인 요건 을 유도 할 수 있 다 .