본 명세서 에서 , 리소그래피 공정 의 공정 모델 의 입력 들 의 값 들 을 얻 는 단계 ; 입력 들 의 값 들 에 의해 표현 되 는 처리 조건 하 에서 기판 상 에 형성 되 는 이미지 의 특성 들 의 제 1 세트 의 값 들 을 얻 는 단계 ; 이미지 의 특성 들 의 제 2 세트 의 시뮬레이션 된 값 들 을 얻 는 단계 ; 및 컴퓨터 를 사용 하 여 , 피처 벡터 ( feature vector ) 가 입력 들 의 값 들 을 포함 하 고 감시 신호 ( supervisory signal ) 가 특성 들 의 제 1 세트 의 값 들 을 포함 하 는 샘플 을 포함 한 트레이닝 데이터 ( training data ) 에 기초 하 여 , 및 제 2 특성 들 의 시뮬레이션 된 값 들 에 기초 하 여 공정 모델 을 결정 하 는 단계 를 포함 하 는 방법 이 개시 된다 .