또한 , 현재 , 현상액 으로 는 일반 적 으로 2 . 38 % TMAH 수용액 이 사용 되 고 있 기 때문 에 , 폴리 실록 산 ( Ib ) 및 폴리 실록 산 ( I ) 의 용해 속도 를 상기 의 범위 로 설정 했 지만 , 가령 , 이것 과 는 상이 한 TMAH 농도 의 수용액 이 현상액 으로서 사용 되 는 경우 에 있 어서 는 , 폴리 실록 산 ( Ib ) 및 폴리 실록 산 ( I ) 의 용해 속도 는 , 사용 된 현상액 에 대한 용해 속도 가 , 상기 2 . 38 % TMAH 수용액 을 현상액 으로서 사용 했 을 때 의 용해 속도 와 동일 한 범위 가 되 도록 되 면 , 본 발명 과 같 은 효과 를 수득 할 수 있 다 . 또한 , 현상액 으로서 TMAH 이외 의 수산화 나트륨 등 의 무기 알칼리 수용액 이 사용 되 는 경우 라도 마찬가지 이 다 .