한편 , 상기 케미컬 용액 공급 장치 ( 100 ) 와 파티클 감 시기 ( 300 ) 를 연결 하 는 제 1 공급 유로 ( 110 ) 에 는 필터 ( 200 ) 가 구비 되 고 , 상기 제 1 공급 유로 ( 110 ) 는 상기 필터 ( 290 ) 에서 분기 유로 ( 120 ) 와 메인 유로 ( 130 ) 로 분기 되 어 구성 되 며 , 상기 분기 유로 ( 120 ) 는 드레 인 밸브 ( 250 ) 와 연결 된다 .