상기 장치 는 , 기판 을 제 1 및 제 2 반응기 ( 6 , 7 ) 로 및 이 로부터 이송 하 기 위해 기판 핸들러 를 포함 하 는 기판 이송 장치 ( 51 ) 를 가질 수 있 다 . 기판 핸들러 는 , 복수 의 기판 을 이격 된 관계 로 유지 하 도록 구성 된 랙 의 복수 로 이격 된 기판 유지 설비 로 및 이 로부터 기판 을 이송 하 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 제 1 반응기 ( 6 ) 는 제 1 반응기 ( 6 ) 내 에서 기판 랙 을 수용 하 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 기판 이송 장치 ( 51 ) 는 , 제 1 반응기 ( 6 ) 에서 랙 을 이동 시키 도록 구성 되 고 배열 된 엘리베이터 를 포함 할 수 있 다 .