EUV 광원 ( 10 ) 은 광원 ( 10 ) 에 의해 생성 된 EUV 광 의 다양 한 특성 을 측정 하 기 위한 하나 이상 의 EUV 계측 기기 를 포함 한다 . 이러 한 특성 들 은 예 를 들 면 , 강도 ( 예 를 들 면 총 강도 또는 특정 한 스펙트럼 대역 내 에서 의 강도 ) , 스펙트럼 대역폭 , 편광 , 빔 위치 , 포인팅 등 을 포함 한다 . EUV 광원 ( 10 ) 에 대해 , 상기 기기 ( 들 ) 는 , " 예 를 들 면 픽오프 미러 를 이용 하 거나 또는 "" 수집 되 지 않 은 ( uncollected ) "" EUV 광 을 샘플링 하 여 EUV 출력 의 일부 를 샘플 림 함 으로써 ", 예 를 들 면 포토 리소그래피 스캐너 와 같 은 다운 스트림 툴 이 온라인 인 동안 , 동작 하 도록 구성 되 고 , 및 / 또는 예 를 들 면 EUV 광원 ( 10 ) 의 전체 EUV 출력 을 측정 함 으로써 , 예 를 들 면 포토 리소그래피 스캐너 와 같 은 다운 스트림 툴 이 오프라인 인 동안 , 동작 할 수 있 다 .