그 후 , 연마 이전 과 연마 이후 의 막 두께 의 차이 를 연마 시간 으로 나누 어 연마 속도 를 계산 한다 . 여기 에서 막 두께 는 케이엘 에 이 텐 코 ( KLA Tencor ) 사 의 P 15 서피스 프로 필러 ( surface profiler ) 를 이용 하 여 측정 한다 . Δ hR , Δ hG , Δ hB 는 각각 R , G , B 컬러 레지스 트 의 평균 연 마량 을 대표 한다 .