위치 제어기 ( 48 ) 는 기판 픽스 처 ( 14 ) 의 위치 를 제어 하 도록 사용 될 수 도 있 다 . 특히 , 위치 제어기 ( 48 ) 는 기판 ( 16 ) 을 위치 시키 기 위해 기판 픽스 처 ( 14 ) 의 로테이션 및 틸팅 축 을 중심 으로 틸팅 각도 를 제어 한다 . 광학 적 엔드 포인트 ( 46 ) 가 기판 ( 16 ) 및 / 또는 기판 픽스 처 ( 14 ) 에 상대 적 인 이온 빔 의 위치 를 센싱 하 도록 사용 될 수 도 있 다 . 터보 펌프 ( 50 ) 가 프로세싱 챔버 ( 12 ) 내 압력 을 제어 하 기 위해 그리고 / 또는 프로세싱 챔버 ( 12 ) 로부터 반응 물질 들 을 배출 하 기 위해 사용 될 수 도 있 다 . 제어기 ( 54 ) 가 플 라즈 마 생성기 ( 34 ) , 가스 전달 시스템 ( 20 ) , 플 라즈 마 브리지 중성 화기 ( 44 ) , 위치 제어기 ( 48 ) 및 / 또는 터보 펌프 ( 50 ) 를 제어 하 도록 사용 될 수 도 있 다 .