프로세스 를 모니터링 하 기 위한 신호 들 은 다양 한 프로세스 툴 센서 들 로부터 시스템 제어기 ( 550 ) 의 아날로그 및 / 또는 디지털 입력 접속 부들 에 의해 제공 될 수 도 있 다 . 프로세스 를 제어 하 기 위한 신호 들 은 프로세스 툴 ( 500 ) 의 아날로그 및 디지털 출력 접속 부들 에 출력 될 수 도 있 다 . 모니터링 될 수 도 있 는 프로세스 툴 센서 들 의 비 제한 적 인 예 들 은 질량 플로우 제어기 들 , 압력 센서 들 ( 예컨대 압력계 들 ) , 써 모 커플 들 , 등 을 포함 한다 . 적절히 프로그램 된 피드백 및 제 어 알고리즘 들 은 프로세스 조건 들 을 유지 하 도록 이 들 센서 들 로부터 데이터 를 사용 할 수 도 있 다 .