도 3 및 도 21 을 함께 참조 하 면 , 집적회로 소자 ( 200 ) 는 활성 영역 ( AC ) 을 가지 는 기판 ( 102 ) 을 포함 한다 . 복수 의 채널 홀 ( CHH ) 각각 에 는 기판 ( 102 ) 에 접하 고 채널 홀 ( CHH ) 을 부분 적 으로 채우 는 반도체 패턴 ( 120 ) , 반도체 패턴 ( 120 ) 에 접하 고 채널 홀 ( CHH ) 내 에서 제 3 방향 ( Z 방향 ) 으로 연장 되 는 채널 막 ( 150 ) , 채널 막 ( 150 ) 의 내부 공간 을 채우 는 매립 절 연막 ( 156 ) , 채널 막 ( 150 ) 에 접하 고 채널 홀 ( CHH ) 의 입구 측 상부 를 채우 는 드레 인 영역 ( 158 ) 을 포함 할 수 있 다 . 복수 의 드레 인 영역 ( 158 ) 은 절연 패턴 ( 114 ) 에 의해 상호 절연 될 수 있 다 .