도어 ( 410 ) 는 공정 챔버 ( 260 ) 의 개구 ( 266 ) 를 차단 할 수 있 다 . 도어 ( 410 ) 는 직사각 형 형상 또는 슬릿 형상 을 가질 수 있 다 . 도어 ( 410 ) 는 개구 ( 266 ) 에 대응 하 는 형상 을 가질 수 있 다 . 도어 ( 410 ) 는 개구 ( 266 ) 와 대응 하 거나 개구 ( 266 ) 보다 큰 크기 를 가질 수 있 다 . 또한 도어 ( 410 ) 에 는 개구 ( 266 ) 를 더욱 기밀 하 게 차단 할 수 있 도록 실링 부재 ( 미 도시 ) 가 제공 될 수 있 다 . 실링 부재 는 개구 ( 266 ) 의 형상 과 동일 또는 유사 하 게 제공 될 수 있 다 . 또한 , 실링 부재 는 도어 ( 410 ) 에서 개구 ( 266 ) 를 차단 하 는 면 에 제공 될 수 있 다 .