도 1 을 참조 하 면 , 반응 챔버 ( 100 ) 는 반응 로 ( reaction tube ) ( 120 ) , 제 1 및 제 2 플랜지 ( flange ) ( 132 , 134 ) , 가 열부 ( heating member ) ( 140 ) , 제 어부 ( control member ) ( 150 ) 그리고 보트 ( boat ) ( 160 ) 를 갖 는다 . 반응 로 ( 120 ) 는 석영 ( quartz ) 또는 그라 파이트 ( graphite ) 등 과 같이 열 에 강한 재질 로 이루어진다 . 반응 로 ( 120 ) 는 대체로 원통 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 반응 로 ( 120 ) 의 전단 과 하단 에 는 반응 로 ( 120 ) 내부 를 외부 로부터 밀폐 하 는 제 1 및 제 2 플랜지 ( 132 , 134 ) 가 설치 된다 . 반응 로 ( 120 ) 내 에 는 합성 기판 ( 10 ) 들 이 놓여 지 는 보트 ( 160 ) 가 설치 된다 .