한편 , 공정 진행 후 기판 이송 을 위해 프록시 미티 핀 ( 22 ) 에 안착 된 기판 을 상승 시킬 때 , 도 3 과 같이 기판 과 핫플레이트 ( 20 ) 사이 에 순간 적 인 음압 이 발생 하 여 기판 의 에지 부분 에 진동 이나 충격 등 의 스퀴즈 이펙트 ( squeeze effect ) 가 발생 할 수 있 다 . 이러 한 스퀴즈 이펙트 는 기판 의 위치 틀 어 짐 에 의한 공정 에러 , 가공 균일 도 저하 등 을 유발 할 수 있 다 .