프로브 모듈 에 있 어서 , 측면 에지 가 서로 인접 한 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 을 동시 에 측정 하 기 위한 것 으로 , 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 은 제 1 메인 에지 및 서로 인접 한 측면 에지 와 인접 한 제 1 및 제 2 경계 접점 을 각각 포함 하 고 , 상기 프로브 모듈 은 프로브 베이스 및 상기 프로브 베이스 상 에 설치 된 상이 한 높이 의 제 1 및 제 2 경계 프로브 를 포함 하 고 , 상기 프로브 모듈 이 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 을 검출 시 , 각 상기 피 측정 유닛 의 제 1 메인 에지 는 제 2 메인 에지 보다 상기 프로브 베이스 와 더 가깝 고 , 제 1 및 제 2 경계 프로브 는 켄 틸 레버 부분 이 제 1 및 제 2 피 측정 유닛 의 제 1 메인 에지 의 상부 를 지나 제 1 및 제 2 경계 접점 의 상부 로 연장 되 어 점 접촉 부분 으로 제 1 및 제 2 경계 접점 과 점 접촉 하 고 , 이러 한 방식 으로 , 제 1 및 제 2 경계 프로브 는 상호 간섭 을 피할 수 있 다 .