도 4 a 내지 도 4 e 를 참조 하 면 , 박막 증착 장치 ( 100 d ) 는 케비 티 를 정의 하 는 진공 용기 를 포함 한다 . 상기 박막 증착 장치 ( 100 d ) 는 복수 의 접지 전극 들 ( 120 ) , 상기 접 지 전극 들 ( 120 ) 사이 에 배치 되 고 상기 접지 전극 ( 120 ) 의 양면 에 대향 하 게 배치 된 전원 전극 들 ( 110 ) , 제 1 가스 공급 라인 ( 163 ) 을 통하 여 상기 접지 전극 ( 120 ) 과 전원 전극 ( 110 ) 사이 에 공급 된 제 1 가스 를 이용 하 여 플 라즈 마 를 형성 하 는 복수 의 플 라즈 마 영역 들 , 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 및 상기 접 지 전극 ( 120 ) 을 통하 여 공급 된 제 2 가스 를 이용 하 여 상기 플 라즈 마 영역 들 의 주변 에서 상기 플 라즈 마 와 상호 작용 하 는 반응 영역 , 및 상기 반응 영역 에 배치 된 기판 홀더 를 포함 하 고 , 상기 기판 홀더 상 에 배치 된 기판 에 박막 이 형성 된다 .