상기 실시 형태 에 따르 면 , 양쪽 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 에 처리 액 을 흘릴 때 사용 되 는 고회 전 ( RW ) 으로 펌프 ( 30 ) 를 구동 한 상태 에서 , 먼저 , 한 쪽 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 만 대 유량 으로 처리 액 을 흘리 고 , 그 후 다른 쪽 분기 통로 부분 ( 24 B ) 에 만 대 유량 으로 처리 액 을 흘리 고 있 다 . 여기 서 「 대 유량 」 이 란 , 액 처리 장치 의 통상 운전 시 에 1 개 의 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 을 흐르 는 처리 액 의 유량 의 예 를 들 어 약 2 배 이 다 . 그러나 , 여기 서 의 「 대 유량 」 은 , 액 처리 장치 의 통상 운전 시 ( 처 리부 ( 60 A , 60 B ) 에서 예정 대로 순차 처리 가 행하 여 지 고 있 을 때 ) 에 1 개 의 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 을 흐르 는 처리 액 의 유량 보다 도 큰 유량 이 면 된다 . 이러 한 조작 을 행함 으로써 , 순환 통로 ( 20 ) ( 주 통로 부분 ( 22 ) 그리고 제 1 및 제 2 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) ) 내 에 잔류 하 고 있 는 에어 ( 기포 ) 를 단시간 에 배출 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 의 양쪽 에 접속 된 모든 액 처 리부 ( 60 ) 에 의 처리 액 공급 의 준비 를 단시간 에 완료 시킬 수 있 다 . 액 처리 장치 의 통상 운전 중 에 는 , 순환 통로 ( 20 ) 내 에 는 에어 ( 기포 ) 가 전혀 존재 하 고 있 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .