제 2 가이드 롤 ( 28 ) 은 , 제 1 가이드 롤 ( 26 ) 로부터 반송 되 는 유리 기재 ( 1 ) 를 성막 영역 ( 33 ) 으로 안내 ( 가이드 ) 한다 . 제 2 가이드 롤 ( 28 ) 은 , 제 1 가이드 롤 ( 26 ) 의 하류 측 또한 스퍼터 타깃 ( 29 ) 의 상류 측 에 배치 되 어 있 다 . 제 2 가이드 롤 ( 28 ) 의 구성 은 , 제 1 가이드 롤 ( 26 ) 의 구성 과 동일 하 다 .