다음 에 , 버퍼 탱크 ( 80 ) 내 의 압력 을 제 1 압력 보다 도 높 은 제 2 압력 으로 조정 한다 ( 조정 공정 ) . 구체 적 으로 는 , 개폐 밸브 ( 105 , 106 ) 를 닫 고 , 개폐 밸브 ( 95 a , 95 b , 103 ) 를 연다 . 이 에 의해 , 캐리어 N 2 가스 공급원 ( 93 ) 으로부터 공급 되 는 N 2 가스 , 성막 원료 탱크 ( 91 ) 로부터 공급 되 는 WCl 6 가스 , 및 희석 N 2 가스 공급 라인 ( 100 ) 으로부터 공급 되 는 N 2 가스 가 버퍼 탱크 ( 80 ) 내 에 충전 된다 . 또한 , 압력 제어 밸브 ( 107 ) 의 개방 도 를 조정 함 으로써 , 버퍼 탱크 ( 80 ) 내 의 압력 을 제 2 압력 으로 조정 해도 된다 . 또한 , 제 2 압력 은 , 과거 에 처리 용기 ( 1 ) 내 에 WCl 6 가스 를 공급 해서 처리 를 행했 을 때 의 버퍼 탱크 ( 80 ) 내 의 압력 과 동등 한 압력 이 며 , 예 를 들 어 기억 부 에 미리 기억 되 어 있 어도 된다 . 과거 에 행하 여진 처리 로서 는 , 예 를 들 어 최근 에 동일 한 처리 레시피 로 행하 여진 처리 이 면 된다 .