여기 서 , 비 교예 1 은 , 상기 제 1 및 제 2 유동 간섭 부재 가 삭제 되 고 상기 제 1 초음파 발생 부 ( 400 ) 에 의하 여 초음파 만 발생 되 는 경우 이 고 , 비 교예 2 는 상기 제 1 유동 간섭 부재 가 삭제 된 상태 에서 상기 제 1 초음파 발생 부 ( 400 ) 에 의하 여 초음파 가 발생 되 는 경우 이 다 . 제 조예 1 내지 5 는 , 각각 본 발명 의 제 1 내지 제 5 실시 예 와 동일 한 조건 으로 수행 되 었 고 , 다만 , 상기 제 2 초음파 발생 부 ( 600 ) 에 의한 발생 되 는 초음파 의 조사 를 생략 되 었 다 .