데이터 취득 부 ( 401 ) 는 취득 부 의 일례 이 며 , 압력 제어기 ( 42 _ 1 ) 에 포함 되 는 압력 센서 에 의해 측정 된 압력 데이터 를 , I / F 부 ( 307 ) 를 통해 취득 한다 . 또한 , 데이터 취득 부 ( 401 ) 는 , 압력 제 어부 ( 210 ) 로부터 통지 되 는 레시피 ( 230 ) 의 ALD 사이클 에 포함 되 는 각 사이클 단계 에 기초 하 여 , 취득 한 압력 데이터 를 , 사이클 단계 단위 로 추출 하 고 , 구간 추출 부 ( 402 ) 에 통지 한다 .