따라서 , 복수 의 이 기여 도 는 유도 된 핑거 프린트 를 생성 하 기 위해 조합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제품 기판 상 의 초점 핑거 프린트 는 , 예 를 들 어 이 기판 의 비 평탄 성 으로 인한 초점 기여 도 의 합성 , 기판 노광 동안 리소그래피 장치 의 투영 시스템 과 관련 된 초점 오 차 , 노광 동안 기판 위치 제어 루프 에 의하 여 생성 된 높이 오 차 , 및 리소그래피 장치 의 초점 설정 의 잔류 핑거 프린트 일 수 있 다 . 이 의 예 가 도 9 에 관하 여 아래 에 설명 되 어 있 다 .