다음 에 검출 전극 ( 15 ) 의 형상 에 대하 여 , 도 7 을 참조 하 여 설명 한다 . 검출 전극 ( 15 ) 은 , 대략 사각형 모양 ( 외주 에 위치 하 는 검출 전극 ( 15 ) 은 대략 삼각형 모양 ) 으로 형성 됨 과 아울러 , 복수 의 슬릿 ( slit ) ( 19 ) 이 형성 되 어 있 다 . 이 복수 의 슬릿 ( 19 ) 은 , 서로 평행 하 고 또한 대략 동일 한 간격 으로 형성 되 어 있 다 . 그리고 이 복수 의 슬릿 ( 19 ) 은 , 예 를 들 면 접속 부 ( 18 a , 18 b ) 가 접속 된 정점 을 연결 하 는 선 을 대칭축 으로 하 여 선대칭 으로 양측 6 개 씩 형성 되 어 있 다 . 또한 이 슬릿 ( 19 ) 은 , 검출 전극 ( 15 ) 의 외측 가장자리 로부터 내측 에 걸쳐서 연장 되 어 있 고 , 검출 전극 ( 15 ) 의 외측 가장자리 에서 개방 되 고 , 검출 전극 ( 15 ) 의 내측 에서 닫혀 있 다 . 그 결과 , 검출 전극 ( 15 ) 은 , 전체 로서 빗 모양 의 형상 을 하 고 있 다 . 또 , 이 슬릿 ( 19 ) 은 , 검출 전극 ( 15 ) 을 에칭 ( etching ) 함 으로써 형성 된다 .