캐리어 이송 유닛 ( 200 ) 은 로딩 / 언로 딩 유닛 ( 100 ) 의 전방 에 배치 되 고 , 로딩 / 언로 딩 유닛 ( 100 ) 의 인 / 아웃 포트 ( 110 ) 에 놓인 캐리어 ( C ) 를 캐리어 테이블 ( 300 ) 로 이송 한다 . 캐리어 테이블 ( 300 ) 은 기판 이송 유닛 ( 400 ) 의 통로 ( 410 ) 을 중심 으로 서로 마주 보 도록 통로 ( 410 ) 의 양측 에 배치 되 며 , 캐리어 이송 유닛 ( 200 ) 으로부터 전달 된 캐리어 ( C ) 가 놓인다 . 그리고 , 캐리어 테이블 ( 300 ) 은 캐리어 ( C ) 의 도어 를 개방 하 기 위한 오프 터 ( Opner , 310 ) 를 가진다 .