리소그래피 시스템 에서 사용 되 는 광 의 파장 이 감소 함 에 따라 , 분해능 이 전형 적 으로 개선 된다 . 예 를 들 어 , 몇몇 리소그래피 시스템 들 은 극자 외 ( EUV ) 범위 내 의 광 을 이용 하 여 구현 된다 . 하지만 , 이러 한 시스템 들 의 대다수 는 , 이러 한 시스템 들 의 분해능 을 , 예 를 들 어 약 26 nm 라인 / 공간 ( L / S ) 으로 제한 하 는 열악 한 , 예 를 들 어 약 0 . 25 의 개구수 를 견딘다 .