로드 포트 ( 51 내지 53 ) 는 , 대기 반 송실 ( 40 ) 의 긴 변의 벽면 에 마련 되 어 있 다 . 로드 포트 ( 51 내지 53 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 수용 된 캐리어 ( C ) 또는 빈 캐리어 ( C ) 가 설치 된다 . 캐리어 ( C ) 는 , 예 를 들 어 FOUP ( Front Opening Unified Pod ) 이 다 .