가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 하부 플 라즈 마 챔버 ( 114 ) 의 아 우터 구조 부재 ( 106 ) 에 의해 고정 된 위치 에서 홀딩 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 을 통하 여 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 에 플라 즈 마 프로세스 가스 를 공급 하 도록 정의 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 또한 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 과 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 사이 에 제어 된 유체 연통 을 제공 하 는 스루홀 들 ( 117 ) 의 배열 을 포함 하 도록 정의 된다 . 스루홀 들 ( 117 ) 각각 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 플레이트 의 상부 면 으로부터 가스 분배 유닛 ( 115 ) 플레이트 의 하부 면 으로 가스 분배 유닛 ( 115 ) 플레이트 를 관통 하 여 연장 된다 .