처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 의 밸브 ( 261 a , 261 b ) 보다 하류 측 에 는 , 각각 불활성 가스 공급 관 ( 232 c , 232 d ) 이 접속 된다 . 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 의 처리 가스 공급 관 ( 232 a ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 상류 측 에 는 , 가스 유량 제어기 로서 의 MFC ( mass flow controller , 241 c ) 를 개재 하 여 불활성 가스 공급원 으로서 의 N 2 가스 공급원 ( 273 ) 이 접속 된다 . 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 의 MFC ( 241 c ) 보다 상류 측 , 하류 측 에 는 각각 밸브 ( 262 c , 261 c ) 가 설치 된다 . 불활성 가스 공급 관 ( 232 d ) 의 처리 가스 공급 관 ( 232 b ) 과 의 접속 측 과 반대 측 인 상류 측 에 는 , 가스 유량 제어기 로서 의 MFC ( 241 d ) 를 개재 하 여 N 2 가스 공급원 ( 273 ) 이 접속 된다 . 정확 하 게 는 , 불활성 가스 공급 관 ( 232 d ) 의 상류 측 은 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 의 밸브 ( 262 c ) 보다 상류 측 에 접속 되 고 불활성 가스 공급 관 ( 232 d ) 은 밸브 ( 262 c ) 보다 상류 측 에서 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 으로부터 분기 하 도록 설치 된다 . 불활성 가스 공급 관 ( 232 d ) 의 MFC ( 241 d ) 보다 상류 측 , 하류 측 에 는 각각 밸브 ( 262 d , 261 d ) 가 설치 된다 . 주로 , 불활성 가스 공급 관 ( 232 c , 232 d ) , MFC ( 241 c , 241 d ) , 밸브 ( 262 c , 261 c , 262 d , 261 d ) , N 2 가스 공급원 ( 273 ) 에 의해 불활성 가스 공급계 가 구성 된다 . 한편 , 불활성 가스 공급계 에 는 처리 가스 나 클리닝 가스 를 희석 하 는 역할 도 있 으며 , 불활성 가스 공급계 는 , 처리 가스 공급계 나 클리닝 가스 공급계 의 일부 도 구성 한다 . 또한 , 불활성 가스 공급계 는 퍼지 가스 공급계 로서 도 기능 한다 .