예시 적 인 구 현예 에서 , 블록 S 6 은 제 1 금속 필러 ( 120 ) 로부터 수직 으로 연장 되 도록 제 2 금속 필러 ( 150 ) 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 이러 한 형성 은 다양 한 방법 중 어느 것 으로 수행 될 수 있 고 , 그 비 제한 적 인 예시 가 여기 서 제공 된다 . 예 를 들 어 , 블록 S 6 은 제 1 금속 필러 ( 120 ) 가 블록 S 2 에서 형성 된 것 과 동일 한 방식 으로 제 2 금속 필러 ( 150 ) 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 예 를 들 어 , 블록 S 6 은 제 1 금속 필러 ( 120 ) 가 형성 된 것 과 다른 방식 으로 제 2 금속 필러 ( 150 ) 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .