웨이퍼 테이블 ( WTB ) ( 웨이퍼 스테이지 ( WST ) ) 의 상면 에 는 , 도 3 의 평면도 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 를 둘러싸 고 , 복수 ( 여기 서 는 각 10 개 ) 의 X 헤드 ( 이하 , 적절히 헤드 라고 약기 한다 ) ( 661 ∼ 6610 ) 및 Y 헤드 ( 이하 , 적절히 헤드 라고 약기 한다 ) ( 641 ∼ 6410 ) 가 형성 되 어 있 다 . 상세히 서술 하 면 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상면 의 + Y 측 단부 ( 端部 ) 및 - Y 측 단부 에 는 , X 헤드 ( 661 , 662 , … , 665 및 666 , 667 , … , 6610 ) 가 X 축 방향 을 따라 소정 간격 으로 배치 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 상면 의 + X 측 단부 및 - X 측 단부 에 는 , Y 헤드 ( 641 , 642 , … , 645 및 646 , 647 , … , 6410 ) 가 Y 축 방향 을 따라 소정 간격 으로 배치 되 어 있 다 . Y 헤드 ( 641 ∼ 6410 ) 및 X 헤드 ( 661 ∼ 6610 ) 의 각각 으로 는 , 예 를 들 어 미국 특허 제 7 , 238 , 931 호 명세서 , 혹은 국제 공개 제 2007 / 083758 호 팜플렛 ( 대응 미국 특허 출원 공개 제 2007 / 0288121 호 명세서 ) 등 에 개시 된 헤드 ( 인코더 ) 와 동일 한 구성 의 것 이 사용 되 고 있 다 . 또한 , 이하 에서 는 Y 헤드 ( 641 ∼ 6410 ) 및 X 헤드 ( 661 ∼ 6610 ) 를 , 각각 Y 헤드 ( 64 ) 및 X 헤드 ( 66 ) 라고 도 기술 한다 .