보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 보충 하 기 위한 준비 를 행하 도록 구성 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 보충 부 ( 50 ) 로부터 송액 부 ( 60 ) 에 의 처리 액 의 보충 전 에 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 고 , 당해 압력 차 를 축소 시킨 상태 에서 전환 밸브 ( 71 ) 를 개방 한다 . 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 예 를 들 어 전환 밸브 ( 71 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 을 변경 한다 . 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 보충 준비 를 개시 시키 기 전 의 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 에 비하 여 , 보충 준비 후 에 있 어서 상기 압력 차 를 적어도 축소 시키 고 있 으면 된다 . 일례 로서 , 보충 준비 부 ( 115 ) 는 , 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 이 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 에 대략 일치 하 도록 , 보충 부 ( 50 ) 내 의 압력 을 변경 한다 .