한편 , 상기 반도체 기판 ( 10 ) 상 에 상기 전자 빔 ( 31 ) 이 조사 되 면 상기 반도체 기판 ( 10 ) 표면 으로부터 이 차 전자 ( 31 ) 및 반사 전자 , X 선 , 후방 산란 전자 가 발생 하 고 , 상기 반도체 기판 ( 10 ) 으로 흡수 되 는 흡수 전자 및 상기 반도체 기판 ( 10 ) 을 투과 하 는 투과 전자 등 의 신호 가 발생 한다 .