마지막 질소 건조 단계 후 , 쿠폰 을 플라스틱 핀셋 홀더 로부터 제거 하 고 , 덮여 진 플라스틱 캐리어 안 에 두 었 다 . 그 다음 에 , 포스트 ( post ) - 두께 또는 시트 저항 을 4 - 포인트 프로브 , 금속 성 필름 ( Co 또는 W 합금 ) 용 CDE Resmap 273 에 의해 , 또는 Woollam M - 2000 X 를 사용 하 는 유전체 필름 ( TiOx , TiN 또는 AlOx ) 용 타원 편광 법 에 의해 , 가공 후 시험 쿠폰 표면 상 에서 수집 하 였 다 .