본 발명 의 다른 목적 은 제 1 절 연막 이 형성 된 기판 상 에 폴리 실리콘 을 형성 하 는 단계 ; 상기 폴리 실리콘 에 불순물 주입 을 하 여 마이크 로 히터 를 형성 하 는 단계 ; 상기 마이크 로 히터 양단 에 전극 을 형성 하 는 단계 ; 상기 마이크 로 히터 의 상부 에 제 2 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 제 2 절 연막 상부 에 감지 물질 을 형성 하 는 단계 ; 및 상 기 감지 물질 상 에 감지 전극 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 는 마이크 로 가스 센서 의 제조 방법 에 의해 달성 된다 .