이때 특히 위 와 같 은 현상 은 도 2 에서 보여 지 는 바 와 같이 하부 의 구리 막 ( Cu ) 과 연결 되 는 비 아홀 패턴 ( via hole pattern ) 의 바닥 ( bottom ) 부분 ( 106 ) 에서 자주 발생 하 게 되 는데 , 이 와 같이 접촉 불량 으로 인해 구리 시드 ( seed ) 막 ( 104 ) 과 구리 배리어 ( barrier ) 막 ( 103 ) 의 탄 탈륨 막 ( 102 ) 사이 가 벌어지 는 경우 비 아홀 ( via hole ) 또는 트렌치 ( trench ) 패턴 의 불량 으로 이어져 소자 의 전기 적 특성 이 나빠 지 는 문제점 이 있 었 다 .