제 6 층간 절 연막 ( 440 ) 은 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 과 같 은 산화물 을 포함 하 도록 형성 될 수 있 으며 , 이 에 따라 하부 의 제 5 층간 절 연막 ( 340 ) 에 병합 될 수 도 있 다 . 제 1 내지 제 4 콘 택 플러그 들 ( 452 , 454 , 456 , 458 ) 은 예 를 들 어 , 텅스텐 , 티타늄 , 탄 탈륨 , 구리 , 알루미늄 등 의 금속 및 / 또는 티타늄 질화물 , 탄 탈륨 질화물 , 텅스텐 질화물 등 의 금속 질화물 을 포함 하 도록 형성 될 수 있 다 .