제 어부 ( 50 ) 는 패턴 측정 장치 ( 1 ) 를 전체 적 으로 통괄 할 수 있 다 . 예 를 들 어 제 어부 ( 50 ) 는 상기 서술 한 바 와 같이 , 조사 부 ( 10 ) 에 의한 조사 , 이동 기구 ( 40 ) 에 의한 이동 및 승강 기구 ( 60 ) 에 의한 승강 을 제어 한다 . 또 제 어부 ( 50 ) 는 , 이미지 센서 ( 27 ) 에 의해 생성 된 촬상 화상 ( IM 1 ) 에 기초 하 여 , 패턴 의 형상 에 관한 값 ( 예 를 들 어 선폭 ) 을 산출 하 는 연산 처리 부로 도 기능 한다 .