본 발명 은 , 적어도 하나 의 최 하부 기판 ( 4 u , 4 ) , 중간 기판 ( 4 o , 4 ') 및 상부 기판 ( 4 o ', 4 ” ) 을 가지 는 기판 스택 ( 9 , 9 '," 9 "") 을 형성 하 기 위해 적어도 3 개 의 기판 ( 4 o ", 4 u , 4 , 4 '," 4 """," 4 ""'", 4 o ') 을 결합 하 는 방법 에 관한 것 이 고 , - 중간 기판 ( 4 o , 4 ') 을 최 하부 기판 ( 4 u , 4 ) 에 대해 정렬 하 고 중간 기판 ( 4 o , 4 ') 을 최 하부 기판 ( 4 u , 4 ) 에 결합 하 는 단계 , 및 다음 에 상부 기판 ( 4 o ', 4 ” ) 을 정렬 하 고 상부 기판 ( 4 o ', 4 ” ) 을 중간 기판 ( 4 o , 4 ') 에 결합 시키 는 단계 를 포함 하 는 방법 에 있 어서 , 상부 기판 ( 4 o ', 4 ” ) 가 중간 기판 ( 4 o , 4 ) 에 최 하부 기판 ( 4 u , 4 ) 에 대해 정렬 된다 .