여기 서 , 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 에 인가 되 는 전원 으로서 펄스 전원 을 사용 할 수 있 다 . 펄스 전원 을 이용 한 펄스 마그네트론 스퍼터링 법 은 피 처리 물 상 에서 의 이온 / 중성 비 ( ion / neutral ratio ) 및 금속 이온 분 율 ( metal ion fraction ) 의 증가 에 의한 고밀도 박막 을 얻 을 수 있 으므로 분체 ( S ) 상 에 박막 을 증착 시키 기 에 유용 하 다 .