기판 탑재 대 ( 70 ) 를 구성 하 는 하방 기재 ( 72 ) 에 는 , 직사각 형 평면 의 전체 영역 을 커버 하 도록 사행 한 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 가 마련 되 어 있 다 . 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 의 양단 에 는 , 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 에 대하 여 온도 조절 매체 가 공급 되 는 이송 배관 ( 72 b ) 과 , 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 를 유통 하 여 승 온 된 온도 조절 매체 가 배출 되 는 복귀 배관 ( 72 c ) 이 연통 하 고 있 다 .