투영 렌즈 부 ( 110 ) 는 노 광원 ( 미 도시 ) 으로부터 입사 된 노광 빔 을 받아들인다 . 투영 렌즈 부 ( 110 ) 를 투과 한 노광 빔 은 이 머 젼 렌즈 부 ( 120 ) 로부터 공급 되 는 액체 조성물 ( 130 ) 로 입사 된다 . 액체 조성물 ( 130 ) 을 투과 한 노광 빔 은 웨이퍼 스테이지 ( 150 ) 위 에 안착 된 웨이퍼 ( 140 ) 의 상부 표면 에 입사 되 어 액침 노광 이 수행 된다 .