[ 0054 ] 몇몇 구현 들 에서 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 는 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 상 에서 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 가 제공 되 는 미리 결정 된 포지션 으로 운송 될 수 있 고 , 이동 가능 한 홀딩 디바이스 들 은 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 미리 결정 된 포지션 에 홀딩 하 기 위해 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 향해 이동 할 수 있 다 . 그런 후 에 , 기판 캐리어 ( 120 ) 는 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 상 에서 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 에 대응 하 는 미리 결정 된 포지션 으로 운송 될 수 있 다 . 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 홀딩 하 는 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 은 , 예컨대 , 척 킹 력 , 이를테면 자기력 또는 전자기력 을 사용 하 여 기판 캐리어 ( 120 ) 를 척 킹 함 으로써 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 홀딩 하 도록 구성 될 수 있 다 .