한편 , 유기 물질 로 이루어진 감광액 ( 30 ) 제조 시 , 상기 감광액 ( 30 ) 에 무기 불순물 인 이온 성 이물 ( 32 ) 이 소량 포함 될 수 있 다 . 이러 한 이온 성 이물 ( 32 ) 은 슬릿 코팅 시 기판 ( 2 ) 상 에 도포 되 는 감광액 ( 30 ) 에 존재 할 수 있 다 . 이 처럼 기판 ( 2 ) 상 에 도포 된 감광액 ( 30 ) 에 이온 성 이물 ( 32 ) 이 존재 하 게 되 면 , 상기 감광액 ( 30 ) 의 경화 공정 을 통해 형성 된 유기 막 에 상기 이온 성 이물 ( 32 ) 이 그대로 존재 하 게 된다 .