XY 병진 스테이지 는 당업 계 에 잘 알려져 있 다 . 그것 들 은 여러 가지 중 에서 도 스텝 퍼 ( stepper ) , 서보 ( servo ) 또는 선형 모터 로 구동 될 수 있 다 . XY 병진 스테이지 의 구성 은 X 및 Y 스테이지 의 직교 정렬 에서 마이너 한 오류 가 실제로 경험 되 지만 , 전형 적 으로 z - 축 포커스 암 ( 16 ) 에 하나 의 단일 축 스테이지 를 부착 하 고 변환 축 이 서로 90 도 인 채 로 제 1 스테이지 에 제 2 단일 축 스테이지 를 부착 한다 . 직교 정렬 은 일반 적 으로 공지 된 용어 이 며 , x 와 y 축 을 따라 정확 하 게 이동하 는 두 스테이지 에 대해 , y - 축 에 대한 이동 라인 이 x - 축 의 이동 라인 에 직교 해야 한다는 사실 을 말 한다 . 두 이동 라인 들 이 직교 하 지 않 는 경우 , x - 축 이동은 y - 방향 으로 의 위치 오류 를 일으킨다 . 직교 오류 는 y - 방향 으로 발생 하 는 위치 오류 측면 에서 이론 상 의 x - 축 방향 과 경험 적 인 x - 축 이동 방향 간 오프셋 정도 로 표현 될 수 있 다 . 이 는 또한 x - 방향 이동 길 이 당 y 위치 오프셋 ( 예 를 들 어 , 400 mm X - 방향 이동 당 10 마이크 론 y 위치 이동 ) 으로 표현 될 수 있 다 .