그 다음 으로 는 진공 을 제어 하 는 진공 펌프 ( 50 ) 에 연결 되 되 냉각 된 콜드 트랩 ( 40 ) 을 통해 상기 분해 단계 ( S 30 ) 또는 증착 단계 ( S 50 ) 를 마치 고 상기 분 해부 ( 20 ) 또는 증착 챔버 ( 30 ) 로부터 이송 된 페럴 린 부산물 을 응축 시키 는 냉각 단계 ( S 60 ) ; 를 진행 하 여 가시성 페럴 린 필름 성막 공정 이 마무리 된다 .