본 실시 예 에서 는 챔버 ( 10 ) 의 챔버 윈도우 ( 20 ) 에 레이 저광 을 조사 하 여 식각 공정 챔버 내부 에서 발생 하 는 폴리머 가 챔버 윈도우 ( 20 ) 에 쌓이 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 즉 , 레이저 를 이용 하 여 챔버 윈도우 ( 20 ) 에 위치 하 는 폴리머 사슬 을 끊 어 식각 공정 중 챔버 윈도우 ( 20 ) 를 세정 한다 .