도 6 은 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 의해 수행 되 는 기판 ( W ) 의 기판 처리 예 에 대해서 설명 하 기 위한 공정도 이 다 . 도 7 a 내지 도 7 f 는 , 기판 처리 예 가 수행 될 때 의 기판 ( W ) 상태 를 나타내 는 모식도 이 다 . 도 8 a 내지 8 d 는 , 각 상태 의 기판 ( W ) 을 위 에서 본 모식도 이 다 . 이하 에서 는 , 도 2 내지 도 6 을 참조 한다 . 도 7 a 내지 도 7 f 및 도 8 a 내지 도 8 d 에 대해서 는 적절히 참조 한다 .