이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 기판 처리 장치 는 , 제 1 조 와 , 제 1 경로 와 , 제 2 경로 와 , 측정 조 ( 24 ) 와 , 압력 측 정부 ( 26 ) 를 구비 한다 . 제 1 조 는 , 기판 ( 12 ) 을 처리 하 기 위한 처리 액 ( 30 ) 을 저류 시킨다 . 제 1 경로 는 , 제 1 조 의 상부 로부터 넘쳐 나온 처리 액 ( 30 ) 을 제 1 조 의 하부 로 귀환 시킨다 . 제 2 경로 는 제 1 경로 로부터 분기 된다 . 측 정조 ( 24 ) 는 , 제 2 경로 로부터 유입 된 처리 액 ( 30 ) 을 저류 시킨다 . 압력 측 정부 ( 26 ) 는 , 측정 조 ( 24 ) 의 상부 로부터 처리 액 ( 30 ) 이 넘쳐 나오 고 있 는 상태 에서 , 측정 조 ( 24 ) 내 의 소정 의 깊이 에 있 어서 처리 액 ( 30 ) 의 압력 을 측정 한다 . 여기 서 , 제 1 조 는 , 예 를 들 어 , 처 리조 ( 14 ) 에 대응 하 는 것 이 다 . 또 , 제 1 경로 는 , 예 를 들 어 , 순환 경로 ( 20 ) 에 대응 하 는 것 이 다 . 또 , 제 2 경로 는 , 예 를 들 어 , 분기 경로 ( 22 ) 에 대응 하 는 것 이 다 .