도 3 f 및 도 4 f 를 참조 하 면 , 상기 식각 된 SOG 절 연막 부분 상 에 잔류 되 어 있 는 보호막 을 제거 한다 . 상기 보호막 의 제거 는 20 ∼ 300 ℃ 온도 에서 산소 플 라즈 마 식각 공정 으로 수행 한다 . 상기 카본 폴리머 막 으로 이루어진 보호막 에 대해 산소 플 라즈 마 식각 공정 을 진행 하 면 , 하 기 의 식 1 과 같이 , 상기 SOG 절 연막 ( 206 ) 의 소실 없이 상기 보호막 만 을 제거 할 수 있 다 .