일부 구 현예 에서 , 기판 은 단계 13 에서 제 2 노출 시간 동안 제 2 기상 전구체 또는 반응물 과 접촉 된다 . 일부 구 현예 에서 , 제 2 전구체 는 제 4 온도 에서 기화 되 어 제 2 기상 전구체 를 형성 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 제 2 반응물 증기 는 제 2 온도 에서 가스 라인 을 통해 기판 에 전송 된다 . 일부 구 현예 에서 , 제 5 전송 온도 는 제 1 기화 온도 보다 높 다 . 일부 구 현예 에서 , 기판 은 제 4 온도 보다 높 은 제 6 온도 에서 제 2 기상 전구체 와 접촉 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 제 6 온도 는 제 1 기상 전구체 가 기판 과 접촉 하 는 제 3 온도 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 .