불소 원소 및 카보닐 플 루오 라이드 는 희석제 나 추가 화합물 을 사용 하 지 않 고 그 자체 로 적용 될 수 있 다 . 이 들 을 비활성 가스 로 희석 하 거나 , 또는 산소 및 / 또는 부동태 를 갖 는 가스 나 증발기 체의 존재 하 에서 희석 하 거나 , 또는 심지어 부동태화 가스 의 존재 하 에서 산소 및 / 또는 비활성 가스 로 희석 하 여 적용 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 질소 및 희가스 ( noble gases ) 로 구성 된 군 에서 선택 되 는 희석제 가 바람직 하 다 . 더욱이 , 산소 , 수소 또는 부동태화 가스 와 같 은 첨가제 를 추후 에 기술 되 는 바 와 같이 첨가 할 수 있 다 .