예 를 들 어 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 건조 챔버 에서 수행 되 는 초임계 건조 기술 에 따르 면 , 챔버 내 에서 표면 이 알코올 등 과 같 은 유기 용제 로 습윤 되 어 있 는 기판 ( W ) 에 초임계 상태 의 이산화 탄소 를 공급 함 으로써 웨이퍼 상 의 알코올 이 초임계 이산화 탄소 유체 에 용해 된다 . 그리고 알코올 을 용해 하 고 있 는 초임계 이산화 탄소 유체 를 서서히 챔버 에서 배출 함 으로써 패턴 의 도괴 없이 기판 ( W ) 을 건조 할 수 있 다 .