이러 한 폴리 실리콘 층 ( 20 ) 의 형성 단계 에서 는 용융 된 실리콘 이 고체 실리콘 으로 상 변태 ( phase transformation ) 를 일으키 는 과정 에서 부피 팽창 이 이루어지 게 되 고 이러 한 부피 팽창 에 의해 결정립계 ( 20 b ) 가 표면 으로 솟아오르 는 일종 의 힐 락 영역 ( Ⅰ ) ( hillock ) 이 형성 되 게 된다 .