본 발명 의 일 양태 에 따른 웨이퍼 의 가공 방법 에서 는 , 프레임 유닛 을 형성 할 때 에 , 풀 층 을 갖 는 점착 테이프 를 사용 하 지 않 고 , 풀 층 을 구비 하 지 않 는 폴리에스테르 계 시트 를 이용 하 여 프레임 과 , 웨이퍼 를 일체 화 한다 . 폴리에스테르 계 시트 를 통해 프레임 과 웨이퍼 를 일체 화 시키 는 일체화 공정 은 , 열 압착 에 의해 실현 된다 .