예 를 들 어 , 2 a 에 도시 된 바 와 같이 렌즈 에 결함 이 발생 되 었 을 때 웨이퍼 상 에 샷 을 주 는 경우 , 이때 상기 샷 을 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 영역 ( 11 , 12 , 13 , 14 ) 으로 구분 하 는 경우 , 상기 웨이퍼 상 에 상기 각 영역 마다 서로 다른 프로 파일 을 갖 는 패턴 이 형성 된다 . 제 2 및 제 3 영역 의 패턴 은 거의 동일 한 경사 프로 파일 을 가지 지만 , 제 1 영역 은 상기 제 2 및 제 3 영역 보다 샤프 ( sharp ) 한 경사 프로 파일 을 가지 며 , 상기 제 4 영영 은 상기 제 2 및 제 3 영역 보다 완만 한 경사 프로 파일 을 갖 는다 .