그래서 , 수지 필름 을 기판 으로 한 전자 디바이스 의 제조 방법 이 각종 검토 되 기 시작 하 고 있 고 , 신 세대 디스플레이 에서 는 기존 의 TFT 설비 를 전용 가능 한 프로세스 에서 제조 검토 가 진행 되 고 있 다 . 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 , 2 및 3 에서 는 유리 기판 상 에 아몰 퍼스 실리콘 박막층 을 형성 하 고 , 그 박막층 상 에 플라스틱 기판 을 형성 한 후 에 , 유리면 측 으로부터 레이저 를 조사 하 여 , 아몰 퍼스 실리콘 의 결정 화 에 따라 발생 하 는 수소 가스 에 의해 플라스틱 기판 을 유리 기판 으로부터 박리 하 는 방법 이 개시 되 어 있 다 .