도 11 은 또한 가스 분산 디바이스 들 ( 1111 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 되 며 , 이러 한 디바이스 들 각각 은 , 가스 유입 채널 ( 1121 ) ( 이를테면 , 원형 또는 다른 단면 을 갖 는 튜브 ) 을 따라 유입 가스 ( 예컨대 , 초 고순 도 질소 ) 의 주변 부 주위 에 가스 를 분산 시키 는 다수 의 개구 들 을 포함 하 는 다공성 영역 ( 1113 ) 을 포함 한다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 가스 분산 디바이스 들 ( 1111 ) 은 가스 유입 채널 ( 1121 ) 로부터 유입 되 는 가스 를 수용 하 도록 나사 결합 , 압입 끼워 맞춤 , 화학 적 접착 또는 다른 방식 으로 부착 될 수 있 다 . 다공성 영역 ( 1119 ) 으로부터 의 가스 는 유입 가스 가 기판 ( 도 11 에 도시 되 지 않 음 ) 의 면 상 에 충돌 하 는 것 을 우회 시킨다 . 따라서 , 가스 분산 디바이스 들 ( 1111 ) 은 도 2 의 가스 분산 메커니즘 들 ( 215 , 217 ) 과 동일 하 거나 유사 하 게 기능 할 수 있 다 . 가스 분산 메커니즘 들 은 본 개시 내용 의 전산 유체 역학 ( CFD ) 분석 부분 에서 아래 에 더 상세히 설명 된다 .