스테이지 는 제 1 챔버 몸체 ( 12 a ) 에 의해 형성 된 공정 공간 ( 12 b ) 에 배치 되 어 공정 공간 ( 12 b ) 으로 인입 된 기판 ( S ) 을 지지 한다 . 스테이지 는 본 발명 의 일 실시 예 로서 , 베이스 부 ( 30 ) , 정전 척 ( 40 ) , 절 연부 ( 50 ) , 냉 각부 ( 60 ) 및 전극 부 ( 70 ) 를 포함 한다 .