상기 한 바 에 따르 면 , 기판 ( 400 ) 을 로딩 또는 언로 딩 하 는 경우 , 실제 배치 된 카세트 ( 100 ) 의 위치 에서 변위 센서 ( 300 ) 를 통해 감지 되 는 수치 를 참조 하 여 교시 위치 로 설정 함 으로써 기판 ( 400 ) 의 휨 현상 이나 , 로봇 암 ( 230 ) 의 떨림 현상 , 교시 자 의 실수 혹은 교시 자 마다 다른 기준 에 의해 기판 ( 400 ) 이 파손 되 는 우려 를 방지 할 수 있 다 .