박리 계기 형성 공정 에서 는 박리 계기 형성 가공 에 이어서 , 잉곳 ( 2 ) 과 집 광점 ( FP ) 을 상대 적 으로 인덱스 이송 한다 . 도시 한 실시 형태 에서 는 인덱스 이송 에 있 어서 , 집 광점 ( FP ) 을 이동 시키 지 않 고 집 광점 ( FP ) 에 대해 척 테이블 ( 14 ) 을 Y 방향 이동 수단 에 의해 Y 방향 으로 소정 인덱스 량 ( Li ) 만큼 인덱스 이송 하 고 있 다 . 박리 계기 형성 공정 의 인덱스 이송 에 있 어서 의 인덱스 량 은 , 박리 층 형성 공정 의 인덱스 이송 에 있 어서 의 인덱스 량 과 동일 하 면 된다 . 그리고 , 박리 계기 형성 가공 과 인덱스 이송 을 교대 로 반복 함 으로써 , 박리 층 ( 22 ) 이 형성 되 는 외주 영역 의 전부 또는 일부 ( 도시 한 실시 형태 에서 는 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 박리 층 ( 22 ) 이 형성 된 외주 영역 의 일부 ) 에 박리 의 계기 ( 23 ) 를 형성 할 수 있 다 . 박리 의 계기 ( 23 ) 는 , 박리 층 ( 22 ) 에 있 어서 의 다른 부분 과 비교 하 여 , 펄스 레이저 광선 ( LB ) 의 조사 횟수 가 많 고 강도 가 보다 저하 되 어 있 기 때문 에 박리 가 발생 하 기 쉽 고 , 박리 의 기점 이 되 는 부분 이 다 . 박리 의 계기 ( 23 ) 의 폭 ( Ls ) ( 도시 한 실시 형태 에서 는 Y 방향 에 있 어서 의 폭 ) 은 10 ㎜ 정도 이 면 된다 . 또한 , 박리 계기 형성 공정 에서 는 , 박리 계기 형성 가공 과 인덱스 이송 을 교대 로 반복 함 으로써 , 잉곳 ( 2 ) 의 동일 부분 에 박리 계기 형성 가공 을 복수 회 ( 예 를 들 어 4 회 ) 실시 해도 된다 . 또 , 박리 계기 형성 공정 은 박리 층 형성 공정 전 에 실시 해도 된다 .