구체 적 으로 , 모델 은 미세 패턴 ( 100 ) 을 모델링 한다 . 여기 서 미세 패턴 ( 100 ) 은 트렌치 ( trench ) 형상 , 비 아홀 ( via hole ) 형상 , 라인 앤 스페이스 ( line and space ) 패턴 형상 등 벌크 ( bulk ) 형상 이 아닌 형상 이 면 무엇 이 든 가능 하 다 . 즉 , 미세 패턴 ( 100 ) 은 적어도 한 번 의 식각 공정 이 진행 된 패턴 을 의미 할 수 있 다 . 도 2 에서 는 예시 적 으로 트렌치 형상 을 도시 하 였으나 , 이 에 한정 되 지 않 는다 .