또한 , 상기 본 발명 은 게다가 , " "" 1 × 10 － 5 Pa 이하 의 압력 하 에서 상기 막 에 상 기 전류 를 흐르 게 하 는 것 과 ""; "" 제 1 보조 전극 과 제 2 보조 전극 을 접속 하 도록 상기 막 이 배치 되 고 ", 상기 제 1 보조 전극 과 상기 제 2 보조 전극 간 에 전압 펄스 를 인가 함 으로써 , " 상기 막 에 상기 전류 를 흐르 게 하 는 것 과 ""; "" 상기 막 은 상기 제 1 입자 와 상기 제 2 입자 가 불 균질 하 게 혼재 하 는 것 과 ""; "" 상기 제 1 입자 및 제 2 입자 의 평균 입자 크기 가 5 nm 이상 20 nm 이하 인 것 "" 을 한층 더 특징 으로 한다 . "