이어서 , 제 2 포토레지스트 패턴 ( 46 ) 을 식각 장벽 으로 하 여 제 3 층간 절 연막 ( 45 ) 을 부분 식각 한다 . 이 에 따라 , X - X ' 방향 에서 는 필라 구조물 ( 101 ) 사이 를 일부 채우 는 형태 가 되 는 제 3 층간 절 연막 ( 45 A ) 이 잔류 한다 . 한편 , Y - Y ' 방향 에서 는 제 3 층간 절 연막 ( 45 ) 이 식각 되 지 않 고 필라 구조물 ( 101 ) 사이 에 잔류 한다 .