또한 , 일본국 특허 공개 2016 - 201526 호 공보 에 는 , ID 블록 과 처리 블록 의 사이 에 배치 된 수도 ( 受渡 ) 블록 을 구비 한 기판 처리 시스템 이 개시 되 어 있 다 . 수도 블록 은 , 상하 방향 으로 배치 된 복수 의 버퍼 부 와 , 복수 의 버퍼 부 를 사이 에 두 고 배치 된 2 개 의 이전 장치 를 구비 하 고 있 다 . 2 개 의 이전 장치 는 , ID 블록 과 처리 블록 이 배치 되 는 방향 ( X 방향 ) 과 직교 하 는 수평 방향 ( Y 방향 ) 으로 배치 되 어 있 다 .