다음 에 , 웨이퍼 건 조부 ( 4 ) 에서 는 세정 후 의 웨이퍼 ( W ) 를 스핀 건조 한다 . 이 경우 , 전해 가공 시 에 장착 한 웨이퍼 척 ( 21 ∼ 26 ) 을 웨이퍼 ( W ) 로부터 떼 어 내 어도 , 떼 어 내 지 않 아도 좋 다 . 이 후 , 이 웨이퍼 ( W ) 를 스핀 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 표면 에 부착 한 전해액 이나 물 을 떼 어 내 도록 분리 제거 할 수 있 다 .