도 2 에 따르 면 , 평탄 화제 를 사용 하 지 않 고 종래 기술 에 의해 전착 한 구리 박막 ( a ) 의 경우 전착 시간 이 경과 함 에 따라 단차 가 형성 되 고 , 특히 , 조밀 한 트렌치 가 모여 있 는 지역 일수록 더 큰 단차 를 형성 하 게 된다 . 반면 , 평탄 제 를 사용 하 여 전착 한 구리 박막 ( b ) 는 트렌치 의 크기 및 밀도 와 상관없이 저 착 이 종료 된 후 전면 에서 단차 가 없이 평탄 하 게 형성 된다 .