또한 , 성막 장치 는 , 오토 연속 플로우 에 있 어서 의 유량 계측 후 에 , 바이패스 플로우 에 있 어서 의 유량 계측 을 하 는 예 를 나타냈 지만 , 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 캐리어 가스 의 유량 을 대 유량 에서 소유 량 으로 변경 할 때 , 캐리어 가스 의 유량 이 동일 한 유량 일 때 , 오토 연속 플로우 에 있 어서 의 유량 계측 후 에 , 바이패스 플로우 에 있 어서 의 유량 계측 을 순차 실시 해도 된다 . 구체 적 으로 는 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 매스 플로우 컨트롤러 ( 94 ) 를 제어 하 여 , 캐리어 가스 의 유량 을 대 유량 에서 소유 량 으로 단계 적 으로 변화 시킨다 . 또한 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 각 단계 의 캐리어 가스 의 유량 이 동일 한 유량 일 때 , 오토 연속 플로우 에 있 어서 의 유량 계측 을 행하 고 , 매스 플로우 컨트롤러 ( 94 ) 의 제어 값 ( 예 를 들 어 , 밸브 개방 도 ) 을 유지 한 채 개폐 밸브 ( 95 a , 95 b , 96 a , 96 b , 99 ) 의 개폐 를 전환 하 여 , 바이패스 플로우 에 있 어서 의 유량 계측 을 행한다 . 이 에 의해 , 캐리어 가스 의 유량 과 전구체 의 픽업 유량 의 관계 를 고정 밀도 로 계측 할 수 있 다 . 또한 , 계측 한 유량 관계 에 기초 하 여 , 관계식 을 도출 ( 교정 ) 할 수 있 다 .