일부 의 경우 , 웨이퍼 상태 데이터 는 필요 한 평가 관련 사이트 의 개수 , 시찰 한 평가 관련 사이트 의 개수 , 남 아 있 는 평가 관련 사이트 의 개수 , " 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . S - D 평가 프로시저 는 "" 평가 될 "" 사이트 ", 웨이퍼 , 프로시저 , 및 / 또는 라이브러리 에 대해 결정 될 수 있 고 , S - D 평가 프로시저 는 하나 이상 의 검증 , 평가 , 측정 , 검사 , 및 / 또는 테스트 프로 시저 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , " S - D 평가 프로시저 는 "" 검증 될 "" 사이트 ", 웨이퍼 , 프로시저 , 및 / 또는 라이브러리 에 대 해 결정 될 수 있 다 . 이용 될 S - D 평가 서브시스템 및 / 또는 S - D 평가 요소 는 이용 할 검증 서브시스템 을 식별 하 는 데 이용 될 수 있 는 S - D 평가 프로시저 를 이용 하 여 식별 될 수 있 다 .