한편 , 상술 한 음압 제 공부 ( 22 ) 는 챔버 하우징 ( 110 ) 의 내부 를 음압 으로 형성 하 기 위해 음압 컴프레서 ( 221 ) , 음압 탱크 ( 222 ) 및 배출 라인 ( 223 ) 을 포함 할 수 있 다 . 이 때 , 음압 컴프레서 ( 221 ) 는 음압 탱크 ( 222 ) 내부 를 진공 에 가까운 음압 상태 로 형성 시킬 수 있 다 .