그런데 , 패턴 을 형성 하 는 과정 에서 여러 가지 공정 이상 등 의 이유 로 패턴 선폭 의 차이 가 발생 될 수 있 다 . 특히 , 정상 패턴 보다 작 은 선폭 을 가진 불량 패턴 ( 250 ) 이 포토 마스크 상 에 구현 되 면 수정 하 는 데 어려움 이 있 어 포토 마스크 를 폐기 ( reject ) 처분 하 고 포토 마스크 를 다시 제작 해야 한다 .