상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 , 기판 의 표면 에 포토레지스트 도포 작업 이 이루어지 는 챔버 와 ; 상기 챔버 의 내부 에 설치 되 며 기판 이 안착 되 는 서포터 와 ; 상기 챔버 의 하부 에 연통 되 는 하부 배기 라인 과 ; 상기 챔버 의 내 벽면 을 따라 형성 되 며 , 상기 하부 배기 라인 과 연통 되 는 진공 라인 과 ; 상기 챔버 내측 공간 과 상기 진공 라인 의 상부 를 상호 연통 시키 는 상부 배기 라인 과 ; 상기 하부 배기 라인 을 통해 흡입력 을 발생 시키 는 감압 수단 을 포함 하 여 구성 된 액정 표시 장치 제조 용 진공 건조 장치 를 제공 한다 .