도 3 a 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 3 블록 체 ( 10 C ) 는 O 링 ( SL ) ( 도 4 참조 ) 을 통해 제 2 블록 체 ( 10 B ) 에 고정 접속 된다 . 상측 내부 공간 ( 11 U ) 에서 의 X 방향 의 양측 에서 , 제 3 블록 체 ( 10 C ) 의 내측 측면 ( IS ) 에 는 개구 ( 13 a ) 가 설치 된다 . 개구 ( 13 a ) 의 내부 에 는 벤트 필터 ( 13 b ) 가 설치 된다 . 개구 ( 13 a ) 의 외측 ( 외벽 부분 ) 에 는 가스 공급 부 ( 13 c ) 가 설치 된다 .