상기 기술 적 과제 를 이루 기 위한 본 발명 의 다른 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 의 인터 락 방법 은 , 제 1 전극 및 제 2 전극 사이 의 전극 간거리 를 측정 하 는 전극 간거리 측정 단계 ; 상기 전극 간거리 가 설정 범위 내 에 있 는지 를 판단 하 는 전극 간거리 판단 단계 ; 상기 판단 결과 에 따라 인터 락 신호 를 생성 하 는 인터 락 신호 생성 단계 ; 및 상기 인터 락 신호 에 따라 RF 전원 의 공급 을 차단 하 는 RF 전원 공급 차단 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .