투광 성 ( light - transmissive ) 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 레티 클 ( 220 ) 의 전면 에 평행 하 게 장착 된다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 EUV 조명 시스템 ( 210 ) 에서 볼 때 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 레티 클 ( 220 ) 의 전방 에 장착 될 수 있 다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 이 부착 되 는 프레임 을 포함 하 는 펠리 클 ( 230 ) 에 포함 될 수 있 다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 EUV 방사선 에 투과성 을 갖 는다 . EUV 방사선 은 15 nm 보다 짧 은 파장 , 바람직 하 게 는 13 . 3 nm 내지 13 . 7 nm 범위 의 전자기 방사선 ( 즉 , 광 ) 일 수 있 다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 예 로서 80 % 이상 의 , 바람직 하 게 는 90 % 를 초과 하 는 EUV 단일 - 통과 투과율 ( single - pass transmission ) 을 제공 할 수 있 다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 에 의해 투과 된 광 중 에서 , 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 에 의해 분획 ( fraction ) 이 산란 될 수 있 다 . 따라서 , 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 에 의해 투과 된 광 은 비 - 산란 분획 ( non - scattered fraction ) 및 산란 분획 ( scattered fraction ) 을 포함 할 수 있 다 . 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 의 구조 는 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 이 우선 적 산란 축 ( 214 , preferential scattering axis ) 을 따라 투과 된 광 을 산란 시키 도록 되 어 있 다 . 이해 될 수 있 는 바 와 같이 , 우선 적 산란 축 을 따라 투과 된 광 의 산란 을 제공 하 는 펠리 클 멤 브레인 ( 232 ) 은 등방성 ( isotropic ) 조명 분포 ( illumination distribution ) 의 광 으로 조명 되 면 등방성 조명 분포 를 우선 적 산란 축 ( 214 ) 에 평행 한 장축 을 갖 는 타원 형 산란 패턴 으로 산란 시킬 수 있 다 .