노광 장치 ( 100 ) 는 , 추가 로 레티 클 ( R ) 의 상방 에 노광 파장 의 광 을 사용 한 TTR ( Through The Reticle ) 얼라이먼트 계 로 이루어지 는 1 쌍 의 레티 클 얼라이먼트 검출 계 ( 13 A , 13 B ; 도 1 에서 는 도시 생략 , 도 6 참조 ) 를 구비 하 고 있 다 . 레티 클 얼라이먼트 검출 계 ( 13 A , 13 B ) 의 검출 신호 는 , 도시 생략 된 얼라이먼트 신호 처리 계 를 통하 여 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 된다 .