계속 해서 , 상기 스 페이서 도전 층 ( 123 a ) 을 이방성 식각 하 여 상기 콘 택 홀 ( 119 ) 의 상부 측벽 상 에 스 페이서 도전 패턴 ( 123 ) 을 형성 한다 . 그 결과 , 상기 리세 스 도전 패턴 ( 121 ) 및 상기 스 페이서 도전 패턴 ( 123 ) 은 오목 한 상부 면 을 갖 는 도전 패턴 ( 125 ) 을 구성 할 수 있 다 .