상기 물리 기상 증착 방법 에 있 어서 , 고전압 에 의해 이온 화 된 아르곤 ( Argon ) 가스 를 이용 하 여 타 겟 ( target ) 으로부터 금속 입자 를 분리 시켜 웨이퍼 상 에 금속 박막 을 형성 하 게 된다 . 그러나 , 물리 기상 증착 방법 은 불 균일 한 막 질 특성 으로 인하 여 현재 는 극히 제한 된 공정 에 만 이용 되 고 있 다 .