부분 연마 장치 ( 1000 ) 의 스테이지 ( 400 ) 는 회전 구동 기구 ( 410 ) 를 구비 하 고 , 회전축 ( 400 A ) 을 중심 으로 회전 가능 및 / 또는 각도 회전 가능 하 게 구성 된다 . 여기 서 , 「 회전 」 이 란 , 일정 한 방향 으로 연속 적 으로 회전 하 는 것 을 의미 하 고 있 으며 , 「 각도 회전 」 이 란 , 소정 의 각도 범위 에서 원주 방향 으로 운동 ( 왕복 운동 도 포함 함 ) 하 는 것 을 의미 하 고 있 다 . 또한 , 다른 실시 형태 로서 , 스테이지 ( 400 ) 는 , 보유 지지 된 기판 Wf 에 직선 운동 을 부여 하 는 이동 기구 를 구비 하 도록 해도 된다 .