먼저 , 기판 로딩 부 ( 100 ) 로부터 공급 된 기판 ( S ) 은 기판 이 송부 ( 700 ) 에 의해 플 라즈 마 세 정부 ( 300 ) 로 이송이 된다 . 플라 즈 마 세 정부 ( 300 ) 에서 는 앞서 설명 한 바 와 같이 대기압 대면 적 글 로우 플 라즈 마 발생 장치 에 의해 기판 ( S ) 의 표면 을 세정 하 고 , 세정 된 기판 ( S ) 은 기판 이 송부 ( 700 ) 에 의해 초음파 본딩 부 ( 400 ) 로 보내 어 진다 .