감압 산화 처리 에서 사용 하 는 수소 함유 가스 로서 의 H 2 가스 는 , 간헐 적 으로 , 즉 , 도 12 , 13 과 같이 산화 처리 시 에 있 어서 만 공급 하 도록 해도 되 고 , 연속 적 으로 , 즉 , 도 14 , 15 에 나타내 는 바 와 같이 각 스텝 을 반복 하 는 동안 , 항상 공급 하 도록 해도 된다 . 한편 , 도 14 , 15 는 , H 2 가스 를 연속 적 으로 흘리 는 경우 의 제 1 순서 , 제 2 순서 에 있 어서 의 가스 공급 및 플 라즈 마 파워 공급 의 타이밍 도 를 각각 나타낸다 .