본 실시 형태 에 따른 연마 액 은 , 필요 에 따라 , 금속 방식제 ( 금속 의 방식제 ) 를 함유 할 수 있 다 . 금속 방식제 는 , 텅스텐 재료 와 , 텅스텐 재료 이외 의 금속 ( 예 를 들 면 , 동 ) 을 동시 에 연마 할 때 상기 금속 의 표면 을 보호 하 기 위해 사용 할 수 있 다 . 금속 방식제 로서 , 예 를 들 면 , 2 - 머 캅 토벤 조티 아졸 ; 1 , 2 , 3 - 트리아졸 , 1 , 2 , 4 - 트리아졸 , 3 - 아미노 - 1 H - 1 , 2 , 4 - 트리아졸 , 벤조 트리아졸 , 1 - 하이드 록 시 벤조 트리아졸 , 1 - 하이드 록 시프 로 필 벤조 트리아졸 , 2 , 3 - 디카르 복시 프로필 벤조 트리아졸 , 4 - 하이드 록 시 벤조 트리아졸 , 4 - 카르복실 ( - 1 H -) 벤조 트리아졸 , 4 - 카르복실 ( - 1 H -) 벤조 트리아졸 메틸 에스테르 , 4 - 카르복실 ( - 1 H -) 벤조 트리아졸 부틸 에스테르 , 4 - 카르복실 ( - 1 H -) 벤조 트리아졸 옥 틸 에스테르 , 5 - 헥 실 벤조 트리아졸 , [ 1 , 2 , 3 - 벤조 트리아졸 릴 - 1 - 메틸 ] [ 1 , 2 , 4 - 트리아졸 릴 - 1 - 메틸 ] [ 2 - 에틸 헥 실 ] 아민 , 톨 릴 트리아졸 , 나프 토 트리아졸 , 비스 [ ( 1 - 벤조 트리아졸 릴 ) 메틸 ] 포스폰산 등 의 트리아졸 계 방식제 ( 트리아졸 골격 을 가지 는 화합물 ) ; 피리미딘 , 1 , 2 , 4 - 트리아졸 로 [ 1 , 5 - a ] 피리미딘 , 1 , 3 , 4 , 6 , 7 , 8 - 헥사 하이드로 - 2 H - 피리 미드 [ 1 , 2 - a ] 피리미딘 , 1 , 3 - 디페닐 - 피리미딘 - 2 , 4 , 6 - 트 리온 , 1 , 4 , 5 , 6 - 테트라 하이드로 피리미딘 , 2 , 4 , 5 , 6 - 테트라 아미노 피리미딘 술 페이트 , 2 , 4 , 5 - 트리 하이드 록 시 피리미딘 , 2 , 4 , 6 - 트리 아미노 피리미딘 , 2 , 4 , 6 - 트리 클로로 피리미딘 , 2 , 4 , 6 - 트리 메 톡 시 피리미딘 , 2 , 4 , 6 - 트리 페닐 피리미딘 , 2 , 4 - 디 아미노 - 6 - 하이드 록 실 피리미딘 , 2 , 4 - 디 아미노 피리미딘 , 2 - 아세트아미드 피리미딘 , 2 - 아미노 피리미딘 , 2 - 메틸 - 5 , 7 - 디페닐 -( 1 , 2 , 4 ) 트리아졸 로 ( 1 , 5 - a ) 피리미딘 , 2 - 메틸 술파 닐 - 5 , 7 - 디페닐 -( 1 2 , 4 ) 트리아졸 로 ( 1 , 5 - a ) 피리미딘 , 2 - 메틸 술파 닐 - 5 , 7 - 디페닐 - 4 , 7 - 디 하이드로 -( 1 , 2 , 4 ) 트리아졸 로 ( 1 , 5 - a ) 피리미딘 , 4 - 아미노 피라졸 로 [ 3 , 4 - d ] 피리미딘 등 의 피리미딘 계 방식제 ( 피리미딘 골격 을 가지 는 화합물 ) 가 있 다 . 배선 금속 이 동 을 포함 하 는 경우 에 는 , 방식 작용 이 우수 한 관점 에서 , 트리아졸 계 방식제 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 금속 방식제 는 , 1 종류 를 단독 으로 사용 할 수 도 있 고 , 2 종류 이상 을 병용 할 수 도 있 다 .