또한 상기 텅스텐 - 풍부 필름 은 매우 매끄럽 다 . ( 옥사이드 대 조군 의 0 . 25 에 비교 되 는 ) 옥사이드 상 에 증착 되 는 텅스텐 - 풍부 필름 의 RMS 거칠 기 가 약 0 . 304 인 것 으로 측정 되 었 다 . 덧붙이 자면 , 필름 이 성장 함 에 따라 거칠 기 가 증가 하 는 대부분 의 필름 과 달리 , 이 필름 은 성장 함 에 따라 거칠 기 가 일정 하 게 유지 됨 이 발견 된다 ( 옥사이드 상의 30 옹스트롬 필름 에 대하 여 0 . 304 , 옥사이드 상의 50 옹스트롬 필름 에 대하 여 0 . 307 ) . 이 는 OMW 필름 이 꽤 소립자 임 을 나타낸다 . 종종 WN , 또는 W 필름 은 작 은 두께 에서 매우 거친데 , 왜냐하면 , 이 들 은 큰 입자 로 성장 하 기 때문 이 다 . 특정 이론 에 구속 받 지 않 고 , 텅스텐 - 풍부 필름 에 존재 하 는 카바이드 가 입자 를 쪼개 서 ( breakin up ) , 매끄러운 필름 이 제공 될 수 있 다 .