[ 0036 ] 일부 실시 예 들 에서 유체 체적 을 회전 속도 들 과 매칭 시킴 으로써 유체 체적 이 최소 화 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 상 에서 의 잔류 욕 유체 의 동일 한 감소 를 생성 하 기 위해 , 보다 높 은 회전 속도 들 에 비해 더 낮 은 회전 속도 들 에서 보다 많 은 유체 가 사용 될 수 있 다 . 유체 의 양 을 제한 하 여 적절 한 재 수집 을 생성 하 기 위해 , 헤드 는 일부 실시 예 들 에서 약 100 RPM 이상 의 속도 로 회전 될 수 있 고 , 약 250 RPM 이상 , 약 400 RPM 이상 또는 그 초과 로 회전 될 수 있 다 . 제 1 유체 는 제 1 체적 유량 으로 전달 될 수 있 는 제 1 체적 의 유체 로서 전달 될 수 있 다 . 제 2 유체 는 제 2 체적 유량 으로 전달 될 수 있 는 제 2 체적 의 유체 로서 전달 될 수 있 다 . 제 2 동 작 은 기판 을 완전히 청소 또는 세정 하 도록 구성 될 수 있 기 때문 에 , 그리고 제 2 유체 는 욕 을 희석 시키 거나 오염 시키 지 않 을 수 있 기 때문 에 , 제 2 유체 는 제 1 유체 보다 더 높 은 체적 으로 , 더 긴 시간 동안 및 / 또는 더 높 은 체적 유량 으로 전달 될 수 있 다 .