그리고 , 챔버 ( 1 ) 내 를 배기 해서 소정 의 압력 으로 하 고 , 가스 공급 기구 ( 60 ) 로부터 소정 의 가스 를 챔버 ( 1 ) 내 에 도입 하 면서 , 마이크로파 를 도입 하 여 , 챔버 ( 1 ) 내 에 , 예 를 들 어 Ar 가스 등 의 플라스마 생성 가스 및 질화 가스 를 도입 하 면서 , 마이크로파 발진기 ( 40 ) 로부터 소정 의 파워 의 마이크로파 를 발진 시키 고 , 발진 한 마이크로파 를 도파관 ( 39 ) 에 TE 모드 에서 전파 시켜 , 모드 변환기 ( 38 ) 에서 TEM 모드 로 변환 시킴 과 함께 , TEM 모드 의 마이크로파 를 동축 도파관 ( 37 ) 에 전파 시켜 , 지 파재 ( 33 ) , 슬롯 안테나 ( 31 ) 의 슬롯 ( 32 ) 및 마이크로파 투 과판 ( 28 ) 을 거쳐서 챔버 ( 1 ) 내 에 방사 시킨다 .