버퍼링 ( 130 ) 은 링 형상 으로서 리 테이 너링 ( 120 ) 과 웨이퍼 ( W ) 에지 사이 에서 승강 하 도록 폴리 싱하 우징 ( 110 ) 에 설치 되 며 , 하 강시 웨이퍼 ( W ) 를 감싸 서 폴리 싱 시 리 테이 너링 ( 120 ) 의 가압 과 웨이퍼 ( W ) 와 의 마찰 에 의해 웨이퍼 ( W ) 주변 의 폴리 싱 패드 ( 21 ; 도 1 에 도시 ) 가 돌출 되 는 것 을 억제 한다 .