더 구체 적 으로 말 하 면 , 평균 분자량 이 1000 이 하인 조건 과 , 일분자 내 에 포함 되 는 규소 원자 의 수 가 20 이 하인 조건 중 적어도 어느 하나 를 만족 시키 는 규소 화합물 을 함유 하 여 이루어지 는 재료 를 표면 소수 화 막 형성 재료 로서 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 원 하 는 막 두께 의 표면 소수 화 막 을 용이 하 게 형성 할 수 있 기 때문 이 다 . 평균 분자량 이 1000 을 초과 및 / 또는 일분자 내 에 포함 되 는 규소 원자 의 수 가 20 을 초과 하 면 , 표면 소수 화 막 이 두꺼워 지 고 , 유전 율 이 커지 는 등 , 다른 특성 이 악화 되 는 경우 가 많 다 .