본 실시 형태 에 따른 워크 처리 장치 ( S ) 는 , 후술 하 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 의 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 에 있 어서 소정 의 가스 를 플 라즈 마 화 함 과 아울러 그 플 라즈 마 화 된 가스 를 처리 대상 인 워크 ( W ) 에 조사 하 여 각종 처리 를 시여 하 는 것 이 다 . 이 워크 처리 장치 ( S ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 반송 장치 ( 2 ) 와 , 설치 틀 ( 4 ) 과 , 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 와 , 제 어부 ( 8 ) 와 , 조작 부 ( 10 ) 를 구비 하 고 있 다 .