스핀 헤드 ( 110 ) 는 기판 ( S ) 을 고정 시켜 기판 ( S ) 을 회전 시키 며 기판 ( S ) 의 상부 로부터 공급 되 는 약액 또는 순수 에 의해 공정 이 이루어지 도록 한다 . 이때 , 기판 ( S ) 을 처리 하 는 공정 은 기판 ( S ) 의 회전 에 의한 원심력 을 이용 한 세정 공정 , 애칭 공정 이 될 수 있 다 . 스핀 헤드 ( 110 ) 는 하부 에 연결 된 구 동부 에 의해 회전 을 하 게 되 고 , 스핀 헤드 ( 110 ) 의 회전 에 의해 스핀 헤드 ( 110 ) 에 고정 된 기판 ( S ) 도 함께 회전 하 게 된다 .