상기 슬릿 노즐 ( 20 ) 은 그 저 단부 에 기판 ( S ) 의 너비 ( W ) 에 대응 하 는 길이 의 슬릿 ( 미 도시 ) 이 형성 되 어 정반 ( 10 ) 의 일 측 에서 대기 하 다가 기판 ( S ) 에 감광액 도포 할 시 기판 ( S ) 측 으로 전진 이 동하 며 상기 슬릿 을 통하 여 기판 ( S ) 표면 에 감광액 도포 하 고 , 감광액 도포 작업 이 완료 되 면 정반 ( 10 ) 일 측 으로 후진 이 동하 여 대기 한다 .