이때 , 위상 반 전막 ( 104 ) 및 차광성 막 ( 110 ) 은 NO , N 2 O , NO 2 , N 2 , O 2 , CO 2 , CO , CH 4 중 적어도 하나 이상 의 반응 성 가스 를 함께 사용 하 는 것 이 바람직 하 며 , 상기 반응 성 가스 외 에 산소 ( O ) , 질소 ( N ) , 탄소 ( C ) 를 제공 할 수 있 는 가스 를 자유 롭 게 사용 하 여 형성 할 수 있 다 .