다른 일실 시예 에 따르 면 집 적 회로 에서 광 신호 와 마이크로파 신호 간 의 위상 차이 를 검출 하 는 위상 검출 방법 에 있 어서 , 멀티 모드 간섭 ( Multi - Mode Interference ) 커플러 가 입력 되 는 광 신호 를 분할 하 여 제 1 광 신호 및 제 2 광 신호 를 생성 하 고 , 서로 다른 두 포트 ( port ) 에 대하 여 루프 를 형성 하 고 , 상기 제 1 광 신호 및 제 2 광 신호 를 각각 상기 루프 의 반대 방향 으로 진행 시켜 상기 루프 로 입력 되 는 마이크로파 신호 에 의해 위상 이 변조 된 변조 신호 를 간섭 시키 고 , 상기 간섭 에 의해 생성 되 는 제 1 광 간섭 신호 및 제 2 광 간섭 신호 를 출력 하 는 단계 ; 및 상기 제 2 멀티 모드 간섭 커플러 로부터 출력 되 는 상기 제 1 광 간섭 신호 및 제 2 광 간섭 신호 의 세기 차이 에 대한 정보 를 전기 신호 로 변환 함 으로써 상기 광 신호 와 마이크로파 신호 간 의 타이밍 오 차 에 해당 하 는 전기 신호 를 검출 하 는 단계 를 포함 하 는 위상 검출 방법 이 개시 된다 .