본 개시 의 일 형태 에 의한 기판 적재 대 는 , 기판 이 적재 되 는 적 재면 을 갖 는 기부 와 , 기부 에 마련 되 고 , 기판 의 외주 측 을 따라 기판 을 지지 하 는 환상 의 지지 부재 와 , 적재 면 상 에 마련 되 고 , 적 재면 에 적재 되 는 기판 의 직경 방향 에 있 어서 적 재면 을 외측 영역 과 내측 영역 으로 나누 는 환상 의 격벽 과 , 외측 영역 및 내측 영역 에서 의 적재 면 상 에 마련 되 고 , 격벽 의 상단 면 과 기판 사이 에 공극 을 두 고 기판 을 지지 하 는 복수 의 돌기 와 , 외측 영역 과 연통 해서 기부 에 마련 되 고 , 기판 과 적 재면 사이 의 공간 에 공급 되 는 전열 가스 가 흐르 는 외측 유로 와 , 내측 영역 과 연통 해서 기부 에 마련 되 고 , 전열 가스 가 흐르 는 내측 유로 와 , 기부 에 마련 되 고 , 전열 가스 를 격벽 의 둘레 방향 을 따라 확산 시키 는 환상 의 확산 부를 구비 한다 .