그리고 , 본 실시 형태 에서 는 , 게이트 전극 ( 11 aa ) 을 구성 하 는 금속 막 으로써 , 단층 구조 의 몰리 부 덴 막 을 예시 했으나 , 예 를 들 어 , 알루미늄 막 , 텅스텐 막 , 탄 탈막 , 크롬 막 , 티타늄 막 , 구리 막 등 의 금속 막 , 또는 , 이 들 의 합금 막 이나 금속 질화물 로 이루어진 막 에 의해 게이트 전극 ( 11 aa ) 을 , 50 ㎚∼ 300 ㎚ 의 두께 로 형성 하 는 구성 으로 하 여도 된다 .