상기 퍼지 가스 분사 모듈 ( 130 e ) 은 챔버 리드 ( 115 ) 와 기판 지지 부 ( 120 ) 사이 에 공간 적 으로 분리 된 복수 의 분할 공간 ( DS 1 , DS 2 , DS 3 , DS 4 ) 사이 사이 에 정의 된 복수 의 퍼지 가스 분사 공간 ( PGS ) 에 중첩 되 도록 챔버 리드 ( 115 ) 에 설치 된다 . 이 에 따라 , 기판 지지 부 ( 120 ) 상 에 는 복수 의 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 과 퍼지 가스 분사 모듈 ( 130 e ) 이 공간 적 으로 분리 되 도록 교대 로 배치 된다 .