또한 , 본 발명 에 따른 기판 처리 방법 에 있 어서 , 상기 처 리조 의 상방 개구 의 상방 에 가동 식 셔터 가 설치 되 어 있 고 , 상기 처 리조 내 에서 처리 하 는 공정 은 , 상기 1 이상 의 기판 을 상기 처 리조 내 에 반송 하 기 위하 여 , 상기 1 이상 의 기판 을 수용 해야 할 상기 처 리조 내 의 위치 의 상방 이 개방 되 도록 , 상기 가동 식 셔터 를 이동 시키 는 공정 을 더 포함 하 도록 해도 좋 다 . 이러 한 기판 처리 방법 에 따르 면 , 처 리조 내 에 저류 된 처리 액 으로부터 의 방열 을 대폭 억제 할 수 있 다 .