본 발명 의 일 예 에 따른 레티 클 제조 방법 은 , 레티 클 기판 상 에 반사 층 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 반사 층 상 에 흡수 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 반사 층 과 상기 반사 층상 의 흡수 패턴 을 검사 하 는 단계 를 포함 한다 . 여기 서 , 상기 반사 층 과 상기 반사 층상 의 흡수 패턴 을 검사 하 는 단계 는 : 상기 레티 클 기판 을 상온 보다 낮 은 온도 로 냉각 하 는 단계 ; 상기 반사 층 과 상기 흡수 패턴 에 레이저 빔 을 조사 하 는 단계 ; 및 상기 레이저 빔 을 수신 하 여 상기 반사 층 내 의 결함 과 상기 흡수 패턴 상 의 결함 을 검출 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .