수 광부 ( 132 ) 는 , 예컨대 포토다이오드 등 의 광전 변환 소자 를 갖 고 , 광 파이버 ( 106 ) 의 복로 케이블 ( 106 b ) 을 통해 보내 져 온 반도체 웨이퍼 ( W ) 표면 으로부터 의 반사광 ( HB ) 을 185 nm ∼ 785 nm 영역 내 의 다수 의 스펙트럼 으로 분해 하 여 , 각 스펙트럼 마다 반사광 강도 , 즉 반사 율 을 나타내 는 전기 신호 ( 반사 율 신호 SHB ) 를 생성 한다 .