도 21 a 를 참조 한다 . 기판 재 치부 ( 31 ) 는 , 3 개 의 지지 핀 ( 35 ) 이 장착 되 어 있 다 . 3 개 의 지지 핀 ( 35 ) 은 , 연직 축 ( AX 2 ) 둘레 로 배치 되 어 있 다 . 또한 , 3 개 의 지지 핀 ( 35 ) 은 , 예 를 들 면 육각 렌치 등 의 L 자 의 공구 ( TL ) 로 기판 재 치부 ( 31 ) 의 하 면 ( 31 R ) 측 ( 도 22 a 참조 ) 으로부터 조작 함 으로써 , 기판 재 치부 ( 31 ) 에 대하 여 착 탈 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 도 21 a 에 있 어서 , 기판 재 치부 ( 31 ) 에 는 , 12 개 의 구멍 부 ( 91 ) 가 연직 축 ( AX 2 ) 둘레 로 등 간격 으로 링 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 구멍 부 ( 91 ) 의 개수 는 임의 로 설정 된다 .