도 20 은 본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 연마 장치 의 다른 예 를 도시 한 평면도 이 다 . 도 21 은 도 20 의 화살표 ( E ) 에 의해 지시 된 방향 으로부터 본 연마 장치 의 측면도 이 다 . 이 실시 예 에서 는 , 4 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B , 70 C , 70 D ) 이 웨이퍼 ( W ) 의 중심 에 대해 대칭 으로 배열 된다 . 4 개 의 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B , 70 C , 70 D ) 은 단일 커플링 샤프트 ( 111 ) 를 거쳐 서로 에 커플링 되 어 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A , 70 B , 70 C , 70 D ) 모두 는 X - 축 방향 으로 동기 적 으로 이동 한다 .