도 2 의 코 팅기 에서 , 증착 또는 코팅 격실 들 및 펌핑 격실 들 과 같이 상이 한 기능 들 을 갖 는 프로세스 격실 들 은 상호 교환 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 이러 한 코 팅기 에서 , 격실 들 ( A 5 , B 2 ) 은 예 를 들 어 스퍼터링 에 의해 기판 상 에 물질 을 증착 하 는 데 이용 되 는 프로세스 격실 들 일 수 있 고 , 프로세스 격실 들 ( A 5 , B 2 ) 사이 에 위치 되 는 격실 들 ( A 6 및 Bl ) 은 적절 한 진공 을 제공 하 는 데 이용 되 는 펌프 격실 들 일 수 있 다 . 도 3 은 수직 단면 도로 도시 된 코팅 기 의 측면 으로부터 본 코 팅기 ( 2 ) 일부 의 개략 도 이 다 . 도시 된 것 처럼 , 상류 에서 하류 로 , 코 팅기 ( 2 ) 는 프로세스 모듈 ( A ) 과 관련 되 는 펌프 격실 ( A 6 ) , 슬릿 밸브 챔버 ( 8 ) , 및 프로세스 모듈 ( B ) 과 관련 된 펌프 격실 ( B 1 ) 을 포함 한다 . 펌프 격실 들 ( A 6 , Bl ) 각각 에 는 펌프 격실 의 상부 에 각각 위치 되 는 펌프 들 ( 16 , 18 ) 뿐 만 아니 라 , 앞서 언급 된 몇 개 의 롤러 들 ( 10 ) 이 장착 된다 . 펌프 격실 들 ( A 6 , Bl ) 각각 에 는 통상 적 으로 각각 하나 이상 의 펌프 들 ( 16 , 18 ) 이 장착 된다 . 펌프 들 ( 16 , 18 ) 각각 은 보조 펌프 ( backing pump ) 또는 몇 개 의 보조 펌프 들 ( 미 도시 ) 과 추가 로 결합 될 수 있 다 .