한편 , 여기 서 사용 되 는 화학 증폭 형 레지 스트로 서 는 , 단분자막 을 형성 하 는 공정 에서 레지스 트 막 상 에 는 단분자막 이 형성 되 지 않 는 것 이 바람직 하 고 , 레지스 트 재료 에 결합제 로서 사용 되 는 중합체 에 는 중합 단위 로서 , 수산기 를 포함 하 는 단량체 유닛 이 포함 되 지 않 은 것 이 가장 바람직 하 지만 , 단량체 유닛 전체 에 대하 여 수산기 를 포함 하 는 단량체 유닛 을 5 몰 ％ 까지 함유 하 는 것 은 허용 된다 . 따라서 , 이 의미 에서 도 레지스 트 의 타입 으로서 는 , 메카 니즘 상 수산기 의 존재 가 필수 인 노볼락 계 레지스 트 가 아니 라 화학 증폭 형 포지티브 형 레지스 트 가 선택 된다 .