가스 채널 ( 249 ) 은 측면 포트 ( 122 ) ( 도 1 b ) 를 통해 처리 용적 ( 139 ) ( 도 1 b ) 에 측면 가스 유동 ( 248 ) 을 제공 하 도록 각 이 져 있 다 . 측면 가스 유동 ( 248 ) 은 처리 중 인 기판 ( 101 ) 의 에지 프로 파일 을 조정 하 는 유동 경로 를 따라 유동 한다 . 유리 하 게 도 그리고 놀랍 게 도 , 측면 가스 유동 ( 248 ) 의 가스 유동 패턴 이 불 균일 한 횡 방향 확산 을 갖 도록 가스 채널 ( 249 ) 의 반각 들 을 변화 시키 는 것 은 기판 ( 101 ) 상 에 퇴적 된 재료 의 더 균일 한 두께 프로 파일 을 생성 한다 . 따라서 , 가스 채널 ( 249 ) 은 2 개 의 상이 한 반각 ( 250 a 및 250 b ) 을 갖 는다 . 하나 의 반각 ( 250 a , 250 b ) 은 29 . 5 도 내지 30 . 5 도 일 수 있 고 , 다른 하나 의 반각 ( 250 a 및 250 b ) 은 31 . 8 도 내지 32 . 8 도 일 수 있 다 . 반각 들 ( 250 a 및 250 b ) 은 기판 ( 101 ) 의 중심 축 라인 ( 210 ) 및 가스 채널 ( 249 ) 의 중심 교차점 ( 220 ) 을 사용 하 여 측정 된 각도 이 다 . 중심 축 라인 ( 210 ) 은 기판 ( 101 ) 의 중심 으로부터 가스 채널 ( 249 ) 의 개구 까지 연장 되 는 라인 이 다 . 중심 축 라인 ( 210 ) 은 제 1 측면 ( 232 ) 에 평행 하 다 . 일 구 현 에서 , 중심 축 라인 ( 210 ) 은 제 1 측면 ( 232 ) 에 평행 한 포인트 ( 212 ) 를 통해 연장 되 는 라인 이 다 . 포인트 ( 212 ) 는 각 진 개구 ( 246 ) 의 내부 에지 상 에 위치 한다 . 각 진 개구 ( 246 ) 는 ( 도 2 b 에 도시 된 바 와 같이 ) 원형 유입 구 ( 216 ) 를 갖 는다 . 원형 유입 구 ( 216 ) 는 확장 된 내부 공간 ( 214 ) 으로 이어진다 . 일 구 현 에서 , 확장 된 내부 공간 ( 214 ) 은 직사각 형 이 다 . 일 구 현 에서 , 포인트 ( 212 ) 는 각 진 개구 ( 246 ) 와 내부 공간 ( 214 ) 의 교차점 에 있 다 . 일 구 현 에서 , 확장 된 내부 공간 ( 214 ) 은 유입 구 채널 ( 249 ) 과 연통 한다 . 중심 교차점 ( 220 ) 은 가스 채널 ( 249 ) 의 개구 의 중간 포인트 이 다 . 중심 교차점 ( 220 ) 은 제 5 측면 ( 226 ) 에 평행 한 그리고 제 1 패 싯 ( 218 ) 이 각 진 측면 ( 202 ) 에 연결 되 는 포인트 와 교차 하 는 라인 에 의해 정의 된다 .