챔버 ( 12 ) 는 챔버 의 최 상부 단부 에서 의 최 상부 플랜지 ( top flange ) ( 22 ) 와 챔버 의 저부 단부 에서 의 기저 플레이트 ( 24 ) 사이 에서 연장 된 원통형 벽 ( 20 ) 을 구비 한다 . 벽 ( 20 ) , 플랜지 ( 22 ) , 및 기저 플레이트 ( 24 ) 는 기체 인입 매니폴드 ( 14 ) 로부터 방출 된 기체 들 을 포함 할 수 있 는 그 사이 의 밀폐 하 여 씰 링 ( seal ) 된 내부 영역 ( 26 ) 을 정의 한다 . 비록 챔버 ( 12 ) 가 원통형 으로 도시 되 었 지만 , 다른 실시 예 들 은 예컨대 원뿔 또는 다른 회전 표면 , 정사각형 , 육각형 , 십각형 , 또는 임의 의 다른 적절 한 형태 를 포함 하 는 다른 형태 를 구비 하 는 챔버 를 포함 할 수 있 다 .