다만 , 2 종류 의 고체 재료 를 혼합 시킴 으로써 플 라즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 로부터 인출 가능 하 게 되 는 이온 빔 의 전 류량 이 증가 하 는 메커니즘 의 상세 는 알려져 있 지 않 다 . 발명자 의 가설 로서 , 2 종류 의 고체 재료 를 혼합 하 여 가열 함 으로써 , 증기 생 성실 ( 68 ) 에서 불순물 원소 를 포함 하 는 중간 화합물 이 생성 되 는 것 을 생각 할 수 있 다 . 증기 생성 장치 ( 60 ) 로부터 플라 즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 에 중간 화합물 을 포함 하 는 증기 가 공급 됨 으로써 , 단독 의 고체 재료 를 이용 하 는 경우 보다 증기 에 포함 되 는 불순물 원소 의 양 이 증가 하 는 것 을 생각 할 수 있 다 . 순 알루미늄 과 삼 불화 알루미늄 을 이용 하 는 경우 라면 , AlF 나 AlF 2 와 같 은 중간 화합물 의 증기 가 증기 생성 장치 ( 60 ) 에 의하 여 생성 되 어 , 플라 즈 마 생 성 장치 ( 70 ) 에 공급 되 는 것 을 생각 할 수 있 다 .