본 구성 에 의하 면 , 몰드 ( M ) 의 주위 에 있 어서 국소 적 으로 진공도 를 높여 처리 할 수 있 기 때문 에 , 예 를 들 면 대 규모 챔버 를 마련 할 필요 가 없 는 이점 이 있 다 . 또한 , 캡 ( 8524 ) 과 몰드 ( M ) 의 사이 의 틈 을 가능 한 작 게 하 는 것 에 의해 , 기판 ( WT ) 상 에 있 어서 인접 하 는 수지 부 사이 의 거리 를 단축 할 수 있 다 . 한편 , 수지 성형 장치 는 , 몰드 ( M ) 의 요부 ( MT ) 에 수지 ( R 1 ) 를 주입 할 때 실행 하 는 캡 ( 8524 ) 내 의 에어 퍼지 와 , 몰드 ( M ) 를 기판 ( WT ) 에 가압 할 때 실행 하 는 캡 ( 8524 ) 내 의 에어 퍼지 를 모두 실행 해도 좋 다 .