히터 ( 208 ) 에 전류 를 공급 하 여 작동 시켜 , 히터 ( 208 ) 로부터 발하 여 지 는 열 에 의해 서 셉 터 ( S ) 를 가열 한다 . 서 셉 터 ( S ) 의 온도 가 , 성막 온도 인 1500 ℃ ∼ 1700 ℃ 까지 사이 의 소정 온도 , 예 를 들 어 , 1650 ℃ 에 도달 할 때 까지 서서히 가열 한다 . 이 때 , 챔버 ( 201 ) 의 벽 부분 에 형성 된 유로 ( 203 a , 203 b ) 에 냉각수 를 흐르 게 함 으로써 , 과도 하 게 챔버 ( 201 ) 가 승 온 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .