본 실시 예 에서 는 , 압력 챔버 ( 510 ) 는 기판 ( 1 ) 의 위치 에 따라 서로 다른 크기 의 압력 을 인가 하 도록 형성 된다 . 즉 , 압력 챔버 ( 510 ) 는 기판 ( 1 ) 의 중앙 과 가장자리 에서 서로 다른 크기 의 압력 을 인가 함 으로써 연마 패드 ( 12 ) 가 기판 ( 1 ) 에 균일 한 압력 으로 접촉 되 어 균일 한 연마 가 이루어지 도록 한다 . 또한 , 압력 챔버 ( 510 ) 는 기판 ( 1 ) 의 중앙 과 가장자리 에 서로 다른 크기 의 압력 을 가할 수 있 도록 압력 챔버 ( 510 ) 의 크기 가 기판 ( 1 ) 의 중앙 과 가장자리 에서 서로 다른 크기 로 형성 된다 .