도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 반도체 제조 공정 용 온도 조절 시스템 에 사용 되 는 혼합 교반기 ( 140 ) 는 교반기 탱크 ( 144 ) 의 내부 에 결합 되 어 진다 . 혼합 교반기 ( 140 ) 의 상부 에 는 전원 을 공급 하 기 위한 전원 공급 부 ( 142 ) 가 교반기 탱크 ( 144 ) 의 상부 에 설치 된다 . 또한 , TCU ( 160 ) 는 교반기 탱크 ( 144 ) 의 내부 에 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .