열처리 유닛 ( 950 ) 은 제 3 본 체부 ( 930 ) 의 하면 에 배치 되 며 , 대상 기판 ( SUB ) 과 소정 거리 이격 될 수 있 다 . 열처리 유닛 ( 950 ) 은 조사 되 는 열 또는 적외선 에 의해 대상 기판 ( SUB ) 상 에 배치 된 다른 부재 들 이 손상 되 지 않 을 정도 로 이격 될 수 있 다 . 열처리 유닛 ( 950 ) 과 대상 기판 ( SUB ) 이 이격 된 간격 은 열처리 유닛 ( 950 ) 또는 제 3 본 체부 ( 930 ) 의 제 3 방향 ( DR 3 ) 으로 측정 된 길이 에 따라 달라질 수 있 다 . 열처리 유닛 ( 950 ) 의 종류 는 특별히 제한 되 지 않 으나 , 일 예 로 열처리 유닛 ( 950 ) 은 IR 조사 장치 일 수 있 다 . 또한 , 일 예 로 열처리 유닛 ( 950 ) 의 하면 에 는 차폐 장치 가 더 배치 될 수 도 있 다 . 상기 차폐 장치 는 대상 기판 ( SUB ) 이 손상 되 지 않 도록 열처리 유닛 ( 950 ) 에서 조사 되 는 열 또는 적외선 을 부분 적 으로 차단 할 수 도 있 다 .