그리고 , 본 발명 은 아크 챔버 에 높 은 아크 전압 을 형성 하 여 열전자 의 운동 성 을 이끌 어 내 지 않 고 , 코일 에 의하 여 형성 되 는 자기장 에 의하 여 열전자 의 운동 에너지 를 향상 시키 기 때문 에 이러 한 소스 부 와 빔 라 인부 를 연결 하 는 소스 부싱 에 전압 이 집중 되 어 이온 오염 ( ion contamination ) 이 발생 되 는 것 을 방지 할 수 있 고 , 이 로 인하 여 장비 의 사용 수명 을 증가 시킬 수 있 다 .