도전 층 ( 406 ) 의 형성 후 에 , 도전 층 ( 406 ) 상 에 CNT 시드 층 ( 407 ) 이 형성 된다 . 일부 실시 예 에서 , CNT 시드 층 ( 407 ) 은 약 1000 내지 약 5000 옹스트롬 의 질화 티탄 또는 질화 탄탈 일 수 도 있 는데 , 그러나 이외 물질 들 및 / 또는 두께 가 사용 될 수 도 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 , CNT 시드 층 ( 407 ) 의 표면 은 CNT 들 이 시드 층 상 에 직접 형성 될 수 있 게 표면 에 요철 을 갖 도록 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , CNT 시드 층 ( 407 ) 은 CMP 또는 에치 백 공정 에 의해 요철 표면 이 되 거나 아니 면 텍스처 링 될 수 있 다 . 하나 이상 의 실시 예 에서 , 적어도 약 850 내지 약 4000 옹스트롬 , 더 바람직 하 게 는 약 4000 옹스트롬 의 산술 평균 표면 거칠 기 Ra 를 갖 도록 CNT 시드 층 ( 407 ) 이 요철 표면 이 될 수 있 다 . 이외 표면 거칠 기 들 이 사용 될 수 도 있 다 .