제 1 콘 택 - 레벨 유전체 층 들 ( 290 ) 및 제 1 상호 연결 - 레벨 유전체 층 들 ( 960 ) 각각 은 도핑 되 지 않 은 실리케이트 유리 , 도핑 된 실리케이트 유리 , 유기 실리케이트 유리 , 실리콘 질화물 , 유전체 금속 산화물 , 또는 이 들 의 조합 과 같 은 유전체 재료 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 접합 유전체 층 ( 970 ) 은 도핑 되 지 않 은 실리케이트 유리 ( 예 를 들 어 , 실리콘 산화물 ) 또는 도핑 된 실리케이트 유리 와 같 은 실리콘 산화물 재료 를 포함 할 수 있 고 / 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 이루어질 수 있 다 . 제 1 접합 유전체 층 ( 970 ) 의 두께 는 100 nm 내지 3 , 000 nm 의 범위 일 수 있 지만 , 더 작 거나 더 큰 두께 도 또한 채용 될 수 있 다 . 제 1 접합 유전체 층 ( 970 ) 은 , 예 를 들 어 화학 적 기계 적 연마 ( chemical mechanical polishing , CMP ) 공정 과 같 은 평탄 화 공정 에 의해 제공 될 수 있 는 평탄 한 상부 표면 을 가질 수 있 다 . 제 1 상호 연결 - 레벨 유전체 층 들 ( 960 ) 의 최 상부 층 은 유전체 확산 장벽 층 ( 명확히 도시 되 지 않 음 ) 일 수 있 으며 , 이 는 10 nm 내지 300 nm 범위 의 두께 를 갖 는 실리콘 질화물 층 일 수 있 다 .