상기 SOG 막 ( 202 ) 은 매립 특성 이 우수 한 막 으로서 , 퍼 - 하이드로 폴리 실라 잔 ( Per - hydro polysilazane ) , 하이드로 - 실세 스큐 옥산 ( Hydro - silsesquioxane ) , 메틸 - 실세 스큐 옥산 ( Methyl - silsesquioxane ) , 실록 산 ( siloxane ) 중 어느 하나 의 용액 을 도포 한 후 , 퍼니스 ( Furnace ) 에서 300 ∼ 1000 ℃ 의 온도 로 열처리 하 여 형성 한다 .