종래 부터 , 반도체 제조 설비 등 에 있 어서 사용 되 는 진공계 를 비롯 한 압력 센서 에 있 어서 는 , 이른바 MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems ) 기술 을 이용 하 여 소형 의 다이어프램 을 갖 는 센서 소자 를 채용 하 는 경우 가 많 다 . 이 센서 소자 는 , 다이어프램 으로 압력 매체 를 수압 ( 受 壓 ) 하 고 , 이 에 의해 발생 한 변위 를 어떠 한 신호 로 변환 하 는 것 을 그 주 된 검출 원리 로 하 고 있 다 .