제 1 게이트 스 페이서 ( 140 ) 은 제 1 내부 스 페이서 ( 142 ) 와 , 제 1 외부 스 페이서 ( 141 ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 내부 스 페이서 ( 142 ) 는 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 1 활성 패턴 적층 체 ( 115 , 115 _ 1 ) 사이 와 , 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 1 핀 - 컷 패턴 적층 체 ( 116 ) 사이 와 , 기판 의 두께 방향 ( Z ) 으로 서로 인접 한 시트 패턴 ( 115 NS , 115 NS _ 1 , 116 NS ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 외부 스 페이서 ( 141 ) 은 제 1 활성 패턴 적층 체 ( 115 , 115 _ 1 ) 및 제 1 핀 - 컷 패턴 적층 체 ( 116 ) 상 에 배치 될 수 있 다 .