그 후 , 유전체 ( 10 ) 의 일 측 에 형성 된 산소 유입공 ( 11 ) 을 통해 유입 된 산소 는 스 페이서 ( 21 ) 에 의해 형성 된 지그재그 형태 로 형성 된 이동구 간 ( 22 ) 을 따라 이동 하 면서 방전 밀도 가 높 은 철망 ( 23 ) 을 통과 하 면서 오존 ( O 3 ) 으로 변환 되 고 , 변환 된 오존 은 오존 배출 공 ( 12 ) 을 따라 외부 로 배출 된다 . 이때 , 오존 변환 시 발생 된 열 은 유전체 ( 10 ) 및 고전압 전극 ( 20 ) 의 외부 에 위치 하 는 지 지판 ( 30 , 31 ) 의 냉각수 에 의해 냉각 된다 .