Z 헤드 ( 1711 ∼ 1715 ) 및 Z 헤드 ( 1731 ∼ 1735 ) 로 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 또는 WTB 2 ) , 구체 적 으로 는 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 에 대하 여 상방 으로부터 광 을 조사 하 고 , 그 반사광 을 수 광 하 여 그 광 의 조사 점 에 있 어서 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 또는 WTB 2 ) 표면 의 Z 축 방향 의 위치 정보 를 계측 하 는 센서 헤드 , 일례 로서 CD 드라이브 장치 등 으로 사용 되 는 광 픽업 과 같 은 구성 의 광학 식 변위 센서 의 헤드 가 사용 되 고 있 다 .