이러 한 측정 기준 마크 ( 200 ) 를 이용 한 전자 빔 ( 109 ) 크기 측정 은 , 먼저 , 도 8 에 제시 된 바 와 같이 , 전자 빔 ( 109 ) 을 내측 홀 부 ( 201 ) 로부터 측정 담장 부 ( 230 ) 상 으로 스캔 한다 . 이때 , 검출 신호 ( 300 ) 는 베이스 ( base ) 상태 로 검출 되 고 , 도 9 에 제시 된 바 와 같이 , 스캔 되 는 전자 빔 ( 109 ) 이 측정 담장 부 ( 230 ) 의 내측 벽면 에지 ( 231 ) 에 도달 함 에 따라 신호 ( 300 ) 는 베이스 상태 에서 그 세기 가 증가 되 는 경향 으로 검출 된다 . 도 10 에 제시 된 바 와 같이 전자 빔 ( 109 ) 이 측정 담장 부 ( 230 ) 의 상 측면 상 으로 스캔 되 면서 신호 ( 300 ) 세기 는 계속 증가 하 고 , 도 11 에 제시 된 바 와 같이 , 전자 빔 ( 109 ) 이 측정 담장 부 ( 230 ) 의 상 측면 상 으로 완전히 올라갔 을 때 , 신호 ( 300 ) 의 세기 는 포화 된다 . 이후 , 전자 빔 ( 109 ) 의 스캔 이 측정 담장 부 ( 230 ) 의 반대쪽 외측 벽면 에지 ( 233 ) 에 도달 하 며 신호 ( 300 ) 세기 는 점차 감소 하 게 검출 된다 . 전자 빔 ( 109 ) 이 완전히 반대쪽 외측 벽면 에지 ( 233 ) 바깥 으로 스캔 되 어 옮겨져 외측 홀 부 ( 203 ) 내 에 위치 하 게 될 때 , 신호 ( 300 ) 는 베이스 상태 까지 감소 하 게 된다 .