특히 , 컨테이너 바디 가 도시 된 10 개 의 단위 ( 예 를 들 어 , 시간 을 나타내 는 축의 0 에서 10 까지 의 단위 ) 의 기간 동안 연속 퍼징 조건 하 에서 25 개 의 기판 을 수용 하 도록 설정 된다 . 실험 을 위해 , 센서 가 내장 된 복수 의 시험 용 기판 ( 예 를 들 어 , 본 도면 에서 로딩 된 슬롯 1 / 13 / 25 로 각각 표시 된 세 가지 ) 이 컨테이너 바디 에 로딩 된다 . 각각 의 시험 용 기판 에 는 상이 한 위치 에 배치 된 5 개 의 센서 ( 예 를 들 어 , 라벨 B / C / F / L / R 로 표시 됨 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이후 , 전방 도어 가 설치 되 어 , 컨테이너 시스템 의 전방 개구 가 밀봉 된다 .