다른 예 에 의하 면 , 상기 온도 조절 부재 는 상기 노즐 암 내 에 상기 처리 액 배관 들 을 감싸 도록 제공 되 는 온도 조절 유체 공급 관 , 상기 노즐 암 내 에 상기 온도 조절 유체 공급 관 을 감싸 고 이 와 통하 도록 제공 되 는 온도 조절 유체 배출관 , 상기 온도 조절 유체 공급 관 과 연결 되 는 온도 조절 유체 공급 라인 , 그리고 상기 온도 조절 유체 배출관 과 연결 되 는 온도 조절 유체 배출 라인 을 포함 할 수 있 다 .