또한 , 비 교예 3 과 같이 , 급격 하 게 홈 깊이 를 변화 시키 면 , 에피 택 셜 층 의 막 두께 형상 이 그 부위 에서 변하 여 , 나노 토폴로지 와 같 은 평탄 성 품질 에 영향 을 끼칠 우려 가 있 다는 것 을 알 게 되 었 다 . 그러므로 , 홈 깊이 를 변화 시키 는 경우 에 는 , 급격 하 게 변화 시키 는 것 이 아니 라 , 실시 예 1 과 같이 서서히 변화 시키 는 것 이 바람직 하 다는 것 이 명백 해졌 다 .