본 발명 의 일 실시 예 에 의한 반도체 제조장 비용 수냉식 온도 조절기 의 분기 배관 내설 형 프레임 은 온도 조절기 의 프레임 구조 에 열매체 와 냉각수 를 공급 및 회수 하 는 배관 ( pipe ) , 분기 배관 ( manifold ) , 바이패스 밸브 ( bypass valve ) 등 을 결합 시켜 배관 라인 을 단순 화 시킴 으로써 간결 한 디자인 을 구현 하 기 위한 것 이 다 . 즉 , 온도 조절기 에 냉각수 ( PCW ) 를 공급 및 회수 하 는 라인 의 구성 부분 과 온도 조절 을 위한 열매체 ( coolant ) 를 공급 및 회수 하 는 라인 의 구성 부분 을 프레임 을 활용 하 여 구성 한다 . 또한 , 단 열 효과 를 높일 수 있 도록 프레임 을 2 중 배관 구조 로 형성 할 수 도 있 다 .