예 를 들 어 , 지주 ( 15 ) 의 직경 이 작아지 면 , 성막 가스 의 흐름 을 방해 하 기 어려우므로 체류 가 일어나 기 어렵 다 . 또한 , 지주 ( 15 ) 의 표면 적 이 작아지 기 때문 에 , 성막 가스 의 소비 가 감소 한다 . 따라서 , 각 지주 ( 15 ) 부근 의 막 두께 의 저하 에 의한 막 두께 균일성 의 저하 를 경감 할 수 있 다 . 또한 , 지주 ( 15 ) 의 직경 을 작 게 하 는데 수반 하 여 , 지지 핀 ( 16 ) 의 직경 도 작 게 할 필요 가 있 다 . 그러나 본 실시 형태 에 따르 면 , 지지 핀 ( 16 ) 을 지주 ( 15 ) 와 동일 하 게 금속 부재 인 스테인리스 로 구성 함 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 가능 한 강도 를 확보 할 수 있 다 .