가스 공급 관 ( 232 a ) 으로부터 는 , 원료 ( 원료 가스 ) 로서 , Si , N 및 C 를 포함 하 는 아미노 실란 ( 제 1 아미노 실란 ) 이 , MFC ( 241 a ) , 밸브 ( 243 a ) , 노즐 ( 249 a ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 된다 . 원료 가스 란 , 기체 상태 의 원료 , 예 를 들 어 상온 상압 하 에서 액체 상태 인 원료 를 기화 함 으로써 얻 어 지 는 가스 나 , 상온 상압 하 에서 기체 상태 인 원료 등 이 다 . 제 1 아미노 실란 으로서 는 , 예 를 들 어 비스 ( 디에 틸 아미노 ) 실란 ( SiH 2 [ N ( C 2 H 5 ) 2 ] 2 , 약칭 : BDEAS ) 가스 를 사용 할 수 있 다 .