상기 이송 유닛 ( 700 ) 은 상기 스토커 ( 600 ) 와 상기 칩 본더 ( 500 ) 사이 에 구비 되 며 , 상기 기판 들 을 이송 할 수 있 다 . 상기 이송 유닛 ( 700 ) 은 수평 방향 및 수직 방향 으로 이동 할 수 있 으며 , 회전 도 가능 할 수 있 다 . 상기 이송 유닛 ( 700 ) 은 상기 기판 의 하 부면 을 지지 하 거나 , 진공 력 으로 상기 기판 을 고정 할 수 있 다 .