또한 , 이 물질 제거 라인 ( 900 ) 은 그 단부 가 가공 챔버 ( 100 ) 를 관통 하 여 내부 공간 ( 110 ) 에 위치 되 기 때문 에 승강 트레이 ( 400 ) 승강 시 간섭 이 발생 되 지 않 도록 , 트레이 프레임 ( 410 ) 에 는 이 물질 제거 라인 이 관통 될 수 있 도록 승강 홈 ( 412 ) 이 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .