처리 위치 에 있 어서 , 제 어 장치 ( 520 ) 는 , 히터 ( 506 ) 를 동작 시킴 과 함께 , 가스 공급 부 ( 504 ) 를 제어 하 여 , Ru 함유 가스 등 의 프로세스 가스 나 캐리어 가스 를 가스 토출 기구 ( 503 ) 로부터 본체 용기 ( 501 ) 내 에 공급 시킨다 . 이 에 의해 , 기판 상 에 Ru 막 을 형성 하 는 공정 S 12 의 처리 등 의 소정 의 처리 가 행하 여진다 . 처리 후 의 가스 는 , 환상 부재 ( 514 ) 의 상면 측 의 유로 를 통과 하 여 , 배기관 ( 501 b ) 을 통해서 배기 부 ( 519 ) 에 의해 배기 된다 .