진공 증착 에 있 어서 는 , 도가니 내 의 증착 재료 가 , 돌비 ( 突沸 ) 등 에 의해 , 액체상 또는 고체상 의 상태 로 도가니 밖 으로 튀어나오 게 되 는 스플래시 ( splash ) 라고 불리 는 현상 이 생기 는 경우 가 있 다 . 이 와 같이 , 액체상 또는 고체상 의 증착 재료 가 증착 대상 인 기판 에 도달 하 면 , 성막 중 의 막 ( 금속 막 , 유기 막 , 및 봉지 막 등 ) 이 파손 되 어 결함 품 이 된다 . 이 에 , 그 대책 으로 , 도가니 용기 본체 의 개구부 에 , 중판 ( 中板 ) 을 설치 하 는 기술 이 알려져 있 다 . 도 8 을 참조 하 여 , 종래 예 에 따른 도가니 에 대해 설명 한다 . 도 8 은 종래 예 에 따른 도가니 의 개략 구성도 이 다 .