즉 , 상기 상 , 하부 스테이지 ( 18 , 20 ) 를 두께 방향 으로 관통 하 여 형성 된 다 수개 의 리프트 핀 홀 을 통과 할 수 있 도록 소정 간격 을 갖 는 다 수개 의 리프트 핀 ( Lift pin : 22 , 24 ) 을 구비 시켜 이 리프트 핀 ( 22 , 24 ) 이 그 리프트 핀 홀 을 따라 상승 및 하강 하 면서 기판 ( S ) 을 들어올리 거나 상 , 하부 챔버 ( 14 , 16 ) 의 내부 로 반입 된 기판 ( S ) 을 상 , 하부 스테이지 ( 18 , 20 ) 상 에 안착 시키 는 역할 을 하 게 된다 .