상술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 특징 에 의하 면 , 탄소 나노 튜브 합성 장치 는 탄소 나노 튜브 의 생 성 공간 을 제공 하 는 반응 로 ; 상기 반응 로 를 가열 하 는 가열 부 ; 상기 반응 로 의 생 성 공간 에 위치 되 며 합성 기판 들 이 놓여 지 는 보트 ; 상기 반응 로 의 생 성 공간 으로 소스 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 ; 상기 반응 로 내 의 소스 가스 를 배기 하 는 가스 배기 부 ; 및 상기 반응 로 내 에 잔류 가스 가 남 아 있 는지 를 검출 하 여 , 상기 반응 로 로부터 합성 기판 의 언로 딩 을 단속 하 기 위한 잔류 가스 검 출부 를 포함 할 수 있 다 .