여기 서 , 전 ( 前 ) 처리 로서 기판 표면 을 물 로 세정 하 고 200 ℃ 에서 1 시간 동안 소성 한 후 , UV 오존 처리 를 370 초 동안 수행 하 였 다 . 그 후 , 내부 압력 이 약 10 - 4 Pa 까지 감소 된 진공 증착 장치 에 기판 을 도입 하 고 , 진공 증착 장치 내 의 가 열실 에서 170 ℃ 에서 30 분 동안 진공 소성 을 수행 한 후 , 기판 을 약 30 분 동안 방랭 하 였 다 .