코팅 을 수행 함 에 있 어서 , 타깃 ( 코팅 소스 또는 쇼트 ( short ) 용 소스 로 도 알려짐 ) 은 플라 즈 마 , 전기 아크 에 의한 , 그리고 마지막 이 지만 중요 한 것 으로 코팅 챔버 내 에서 의 가열 에 의한 열 응력 을 받 는다 . 코팅 소스 들 의 과도 한 가열 을 피하 기 위해 , 이 들 은 후면 으로부터 냉각 된다 . 이러 한 냉각 은 타깃 의 후면 의 직접 수 냉 ( direct water cooling ) 에 의해 또는 강성 구리 배 킹 플레이트 ( rigid copper backing plate ) 또는 가요 성 구리 멤 브레인 ( flexible copper membranes ) 을 통한 간접 냉각 에 의해 수행 될 수 있 다 .