또한 , 상술 한 실시 형태 의 제 1 예 에서 는 , Al 함유 가스 로서 TMA 가스 를 사용 하 는 예 에 대해서 설명 했 지만 , 이 에 한정 하 지 않 고 , 예 를 들 어 염화알루미늄 ( AlCl 3 ) 등 을 사용 해도 된다 . O 함유 가스 로서 는 , O 3 가스 를 사용 하 는 예 에 대해서 설명 했 지만 , 이 에 한정 하 지 않 고 , 예 를 들 어 산소 ( O 2 ) , 물 ( H 2 O ) , 과산화수소 ( H 2 O 2 ) , O 2 플라스마 와 수소 ( H 2 ) 플라스마 의 조합 등 도 적용 가능 하 다 . 불활성 가스 로서 는 , N 2 가스 를 사용 하 는 예 에 대해서 설명 했 지만 , 이 에 한정 하 지 않 고 , 예 를 들 어 Ar 가스 , He 가스 , Ne 가스 , Xe 가스 등 의 희가스 를 사용 해도 된다 .