제어 장치 ( 100 ) 의 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 노즐 ( 31 ) 로부터 의 처리 액 의 토출 을 개시 하 기 전 에 , 송액 부 ( 210 ) 내 의 처리 액 의 압력 을 조절 한다 . 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 출력 밸브 ( 218 ) 가 개방 되 고 , 토출 밸브 ( 72 ) 가 폐쇄 된 상태 에서 , 송액 부 ( 210 ) 내 와 토출 부 ( 30 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 을 변경 한다 . 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 송액 부 ( 210 ) 내 와 토출 부 ( 30 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨 상태 에서 토출 밸브 ( 72 ) 를 개방 한다 .