캡 ( 139 ) 은 그 일부분 인 삽입부 ( 139 b ) 가 지지 픽 ( 119 ) 의 본체 ( 131 ) 의 선단 부분 에 삽입 되 어서 장착 되 어 있 다 . 캡 ( 139 ) 은 기판 처리 시스템 ( 100 ) 에 있 어서 의 시스템 구성 부재 인 챔버 벽 등 과 의 접촉 시 의 충격 으로부터 지지 픽 ( 119 ) 의 선단 을 보호 한다 . 또한 , 캡 ( 139 ) 에서 는 , 삽입부 ( 139 b ) 를 각통 형상 의 본체 ( 131 ) 의 내면 에 밀착 한 상태 에서 끼워 넣 는 것 에 의해 , 중공 형상 의 본체 ( 131 ) 를 내측 으로부터 보강 하 는 기능 을 갖 게 할 수 있 다 . 즉 , 캡 ( 139 ) 에 의해 , 지지 픽 ( 119 ) 의 선단 부근 에서 는 정면 ( X 방향 ) 으로부터 의 충격 뿐 만 아니 라 , 지지 픽 ( 119 ) 의 측방 이나 상하 방향 ( 예 를 들 면 Y 방향 이나 Z 방향 ) 으로부터 의 충격 에 대해서 도 내 충격 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 따라서 , 지지 픽 ( 119 ) 의 선단 부분 에 있 어서 , 본체 ( 131 ) 의 파손 을 최대한 방지 할 수 있 다 .