종래 기술 에 따른 비휘발성 메모리 소자 는 컨트롤 게이트 픽업 구조 는 폴리 실리콘 피크 를 포함 한다 . 폴리 실리콘 피크 는 에치 백 ( etch - back ) 공정 을 통해 컨트롤 게이트 폴리 - 실리콘 층 를 형성 한다 . 폴리 실리콘 피크 란 , 그 과정 에서 포토 레지 스트로 인하 여 일부 가 식각 되 지 않 고 남 아 있 는 구성 을 말 한다 .