이후 , 도면 부호 ( c ) 와 같이 , 패 터닝 된 제 1 포토레지스트 층 ( 41 ) 을 기초 로 제 1 금속 층 ( 51 ) 을 증착 할 수 있 다 . 이때 , 제 1 금속 층 ( 51 ) 은 NiCo , CuAu , Cu , BeCu , Au , Fe , W 중 하나 이상 을 포함 하 는 재질 로 이루어질 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 NiCo 일 수 있 다 . 또한 , 제 1 금속 층 ( 51 ) 은 도금 공정 , 화학 적 기상 증착 법 ( CVD ) 및 물리 적 기상 증착 법 ( PVD ) 중 하나 이상 에 의해 형성 될 수 있 다 .