도 19 는 형성 된 유전체 층 에 대해 패 시베이 션 층 증착 두께 가 가지 는 효과 를 도시 한다 . 보다 구체 적 으로 , 선택 적 으로 형성 된 유전체 층 의 에지 의 위치 는 중간 중합체 패 시베이 션 층 의 두께 를 선택 함 으로써 하부 금속 성 표면 과 유전체 표면 사이 의 경계 에 대해 상대 적 으로 제어 될 수 있 다 . 패 시베이 션 층 증착 두께 가 증가 함 에 따라 , 제 1 표면 과 제 2 표면 모두 에서 패 시베이 션 층 두께 가 증가 된다 . 그러나 , 패 시베이 션 층 은 제 1 표면 상 에 선택 적 으로 증착 되 기 때문 에 , 제 2 표면 위 에서 의 패 시베이 션 두께 는 제 1 표면 위 에서 의 패 시베이 션 층 두께 보다 덜 증가 한다 . 따라서 , 패 시베이 션 에치 백 , 유전체 증착 및 패 시베이 션 제거 는 제 1 및 제 2 표면 경계 에 대해 가변 적 인 위치 를 갖 는 선택 적 유전체 층 을 생성 할 것 이 다 . 일부 구 현예 에서 , 패 시베이 션 층 이 증착 되 는데 , 이 는 도 19 의 도시 중 제 1 열 에 도시 된 바 와 같이 , 선택 적 으로 증착 된 유전체 층 과 제 1 및 제 2 표면 경계 사이 에 갭 을 생성 한다 . 일부 구 현예 에서 , 패 시베이 션 층 이 증착 되 는데 , 이 는 도 19 의 도시 중 제 2 열 에 도시 된 바 와 같이 , 선택 적 으로 증착 된 유전체 층 과 제 1 표면 사이 에 더 큰 갭 을 생성 한다 .