타 겟 부 ( 420 ) 는 상호 간 자기 적 으로 대응 되 도록 대향 하 여 위치 하 는 제 1 단위 타 겟 부 ( 421 ) 과 제 2 단위 타 겟 부 ( 422 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 단위 타 겟 부 ( 421 ) 는 제 1 영구 자석 부 ( 421 a ) 를 포함 하 며 , 제 2 단위 타 겟 부 ( 422 a ) 는 제 2 영구 자석 부 ( 422 a ) 를 포함 할 수 있 다 . 이 와 같 은 구조 의 타 겟 부 ( 420 ) 는 제 1 단위 타 겟 부 ( 421 ) 와 제 2 단위 타 겟 부 ( 422 ) 의 사이 에 위치 하 는 자기장 ( M 2 ) 을 형성 하 게 된다 . 그 에 따라 , 제 1 단위 타 겟 부 ( 421 ) 와 제 2 단위 타 겟 부 ( 422 ) 의 사이 에서 순환 하 는 플 라즈 마 ( P 2 ) 영역 이 발생 하 게 된다 .