기판 처리 장치 에서 의 리프트 핀 정렬 방법 에 있 어서 , 기판 플레이트 로부터 상승 된 복수 개 의 리프트 핀 들 상 에 레벨 링 센서 를 배치 시킨다 . 상기 레벨 링 센서 로부터 상기 리프트 핀 들 이 이루 는 평면 의 각도 를 나타내 는 롤 ( φ ) 및 피치 ( θ ) 의 측정값 들 을 획득 한다 . 롤 ( φ ) 및 피치 ( θ ) 의 측정값 들 로부터 상기 평면 의 회전 변환 행렬 ( T ) 을 산출 한다 . 상기 회전 변환 행렬 ( T ) 을 이용 하 여 상기 평면 이 지면 과 평행 이 되 도록 상기 리프트 핀 들 의 이동 거리 들 을 산출 한다 . 상기 산출 된 이동 거리 들 만큼 상기 리프트 핀 들 을 이동 시켜 상기 리프트 핀 들 을 레벨 링 한다 .