도 15 는 본 개시 내용 의 양태 에 따라 화학 액 내 의 입자 를 검출 하 는 방법 의 일부 실시 예 에서 의 검출 장치 의 일부 를 예시 한 개략 도 이 고 , 도 16 a 및 도 16 b 는 본 개시 내용 의 양태 에 따른 검출 결과 를 나타낸 도면 이 다 . 11 단계 에서 , 검출 장치 가 제공 된다 . 일부 실시 예 에서 , 검출 장치 는 제 1 검출기 ( 202 a ) 와 같 은 검출기 를 포함 하 고 , 제 1 검출기 ( 202 a ) 는 대략 100 ㎛ 내지 대략 1000 ㎛ 의 길이 ( L ) 의 관통 비아 ( 250 a ) 를 가진다 .