리드 조립 체 ( 200 ) 는 서로 적층 되 는 다수 의 부품 을 포함 한다 . 예 를 들 어 , 리드 조립 체 ( 200 ) 는 리드 림 ( lid rim ; 210 ) , 가스 전달 조립 체 ( 220 ) , 및 최 상부 플레이트 ( 250 ) 를 포함 한다 . 리드 림 ( 210 ) 은 리드 조립 체 ( 200 ) 를 형성 하 는 부품 들 의 중량 을 유지 하 도록 설계 되 며 , 내부 챔버 부품 들 에 접근 을 제공 하 기 위해서 챔버 바디 ( 112 ) 의 상부 표면 에 연결 된다 . 가스 전달 조립 체 ( 220 ) 는 리드 림 ( 210 ) 의 상부 표면 에 연결 되 며 상기 표면 과 최소 열 접촉 ( minimum thermal contact ) 을 형성 하 도록 배열 된다 . 리드 조립 체 ( 200 ) 의 부품 들 은 예 를 들 어 , 고도 로 마감 된 표면 ( highly finished surface ) 을 갖춘 알루미늄 합금 과 같 은 낮 은 열 저항 및 높 은 열 전도 성 을 가지 는 재료 로 구성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 바람직 하 게 , 부품 들 의 열 저항 은 약 5 × 10 - 4 ㎡ K / W 미만 이 다 .