그리고 , 산 출부 ( 64 ) 는 , 집광 렌즈 ( 183 ) 의 집 광점 ( C ) 을 웨이퍼 ( 1 ) 의 상면 ( US ) 으로부터 단계 적 으로 내리 면서 , 높이 가 다른 적어도 2 점 에 집광 렌즈 ( 183 ) 를 위치 시켜 , 웨이퍼 ( 1 ) 내 에 , 깊이 [ 도 5 의 ( b ) 의 Depth ] 가 다른 적어도 2 개 의 개질 층 을 형성 한다 .