본 발명 에 따르 면 , 제 1 방법 단계 에서 는 , 실리콘 웨이퍼 들 은 , 수평 이송 경로 부 ( horizontal transport path ) 를 따라 정확 하 게 , 수평 위치 ( horizontal position ) 로 이송 된다 . 텍 스쳐 링 을 위한 식각 용액 이 위 로부터 ( from above ) 적용 되 거나 분무 ( spray on ) 되 는데 , 이러 한 목적 을 위하 여 노즐 들 , 서지 파이프 들 또는 이 와 유사 한 것 들 이 사용 될 수 있 으며 , 이것 들 은 그러 한 목적 을 위하 여 그 자체 로 알려져 있 다 . 실리콘 웨이퍼 들 의 아래 로부터 ( from below ) , 이러 한 방법 단계 에서 실리콘 웨이퍼 들 또는 실리콘 웨이퍼 들 의 하부 면 에 액체 가 전혀 적용 되 지 않 거나 거의 ( only little ) 적용 되 지 않 는다 . 아무튼 , 어떠 한 식각 액 등 이 하 부면 으로부터 분무 되 지 않 는다 . 이러 한 목적 을 위하 여 , 해당 하 는 적합 한 방식 으로 구현 된 장치 는 상부 면 을 웨 팅 하 기 위하 여 상기 이송 경로 부 상 에 , 상기 노즐 들 또는 서지 파이프 들 등등 을 포함 할 수 있 다 . 상기 하부 면 아래 에 , 이러 한 노즐 들 등등 은 전혀 제공 되 지 않 는다 .