추가 로 , 본 발명 은 CMOS 칩 에 평평 하 게 통합 되 는 나노미터 스케일 의 Si 3 N 4 포 토닉 도파 로 및 나노미터 스케일 의 플 라즈 몬 도파 로 를 이용 하 는 광학 적 Mach - Zehnder 간섭계 ( MZI ) 바이오센서 를 제안 한다 . 본 발명 은 , 시험 받 는 피 분석 물 또는 가스 가 플라 즈 몬 도파 로 를 덮 고 있 을 때 간섭계 의 플 라즈 몬 도파 로 부분 에서 일어나 는 잘 알려져 있 는 굴절 률 변화 를 이용 하 여 화학 적 및 / 또는 물리 적 양 을 검출 하 는 것 을 목표 로 한다 . 추가 적 인 , 즉 제 2 Mach - Zehnder 간섭계 ( MZI ) 가 광학 적 위상 변 이 기 와 함께 가변 광학 감쇠기 ( VOA ) 로서 사용 되 고 , 독립 적 인 위상 변 이 기 가 한 분 지부 에 포함 되 고 , 그리하여 , 센서 를 최적 으로 균형 잡 고 종래 기술 로 얻 어 질 수 있 는 것 보다 훨씬 아래 의 측정 감도 를 얻 기 위해 간섭계 의 하측 분 지부 가 사용 된다 . 센서 설계 는 저렴 한 재료 및 제조 공정 과 조합 되 어 대량 생산 을 가능 하 게 해준다 .