제어 장치 ( 70 ) 는 , 처리 실 ( 13 ) 또는 처리 실 ( 14 ) 에서 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 , 반송 기구 ( 21 ) 를 제어 해서 로드 로크 실 ( 31 ) 의 스테이지 ( 31 a ) 또는 로드 로크 실 ( 32 ) 의 스테이지 ( 32 a ) 에 반송 시킨다 . 제 어 장치 ( 70 ) 는 , 로드 로크 실 ( 31 ) 또는 로드 로크 실 ( 32 ) 내 를 대기 분위기 로 한다 . 제 어 장치 ( 70 ) 는 , 게이트 밸브 ( 67 ) 또는 게이트 밸브 ( 68 ) 를 개방 함 과 함께 , 반송 기구 ( 41 ) 를 제어 하 여 , 로드 로크 실 ( 32 ) 의 웨이퍼 ( W ) 를 예 를 들 어 로드 포트 ( 53 ) 의 캐리어 ( C ) 에 반송 해서 수용 시킨다 .