제 2 통부 ( 22 ) 의 일 측 에 는 밸브 ( 47 ) 에 의해 개폐 가능 한 제 1 진공 펌프 접속구 ( 38 ) 가 설치 되 어 있 다 . 제 1 진공 펌프 접속구 ( 38 ) 에 는 도시 되 지 않 은 진공 펌프 ( 예 를 들 면 , 터보펌프 ) 가 접속 되 어 있 다 . 이 진공 펌프 에 의해 진공 흡인 되 고 , 수 송공 간 ( 40 ) 은 원주 플 라즈 마 ( 49 ) 를 수송 가능 한 레벨 의 진공도 까지 빠르 게 감압 된다 .