서포트 링 ( 44 ) 은 , 하부 챔버 ( 42 ) 의 상단 ( 42 a ) 에 부착 된 평판 형 또한 환형 의 부재 여도 좋 다 . 서포트 링 ( 44 ) 은 , 그 외주 측 단부 ( 44 a ) 가 하부 챔버 ( 42 ) 의 상단 ( 42 a ) 에 대해 고정 되 고 , 내주 측 이 처리 공간 ( S ) 의 중앙 측 으로 돌출 되 며 , 상면 에서 보 았 을 때 에 내주 측 단부 ( 44 b ) 가 열 판 ( 21 ) 과 겹치 는 위치 로 된다 . 또한 , 서포트 링 ( 44 ) 의 내주 측 단부 ( 44 b ) 는 , 상면 에서 보 았 을 때 에 열 판 ( 21 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 와 는 겹치 지 않 는 위치 로 된다 . 서포트 링 ( 44 ) 의 하 면 ( 44 c ) 과 열 판 ( 21 ) 의 배치 면 ( 21 a ) 사이 는 이격 되 어 있 고 , 이 공간 은 처리 공간 ( S ) 에 연통 되 어 있 는 기체 유로 ( 81 ) 의 일부 가 된다 . 상기 한 기체 유로 ( 81 ) 및 서포트 링 ( 44 ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 보다 하방 으로부터 챔버 ( 41 ) 내 에 기체 를 공급 하 는 기체 공급 부 로서 기능 한다 .