일부 실시 예 에서 , 각각 의 제 1 패턴 부 ( 114 a ) 는 제 3 측 표면 ( S 3 ) 및 제 3 측 표면 ( S 3 ) 의 반대 측 에 있 는 제 4 측 표면 ( S 4 ) 을 갖 고 , 각각 의 제 2 패턴 부 ( 114 b ) 는 제 5 측 표면 ( S 5 ) 및 제 5 측 표면 ( S 5 ) 의 반대 측 에 있 는 제 6 측 표면 ( S 6 ) 을 갖 는다 . 일부 실시 예 에서 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 3 측 표면 ( S 3 ) 의 단면 프로파일 과 제 4 측 표면 ( S 4 ) 의 단면 프로파일 은 실질 적 으로 서로 대칭 이 다 . 제 3 측 표면 ( S 3 ) 의 단면 프로파일 과 제 4 측 표면 ( S 4 ) 의 단면 프로파일 은 서로 거울상 일 수 있 다 . 이러 한 구성 에 의해 , 제 3 측 표면 ( S 3 ) 의 단면 프로파일 과 제 4 측 표면 ( S 4 ) 의 단면 프로파일 은 실질 적 으로 서로 동일 한 것 으로 간주 될 수 있 다 . 마찬가지 로 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 5 측 표면 ( S 5 ) 의 단면 프로파일 과 제 6 측 표면 ( S 6 ) 의 단면 프로파일 은 실질 적 으로 서로 대칭 이 므로 , 제 5 측 표면 ( S 5 ) 의 단면 프로파일 과 제 6 측 표면 ( S 6 ) 의 단면 프로파일 은 실질 적 으로 서로 동일 한 것 으로 간주 될 수 있 다 . 또한 , 일부 실시 예 에서 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 3 측 표면 ( S 3 ) 의 단면 프로파일 은 제 5 측 표면 ( S 5 ) 의 단면 프로파일 과 실질 적 으로 동일 하 다 . 즉 , 제 2 격리 패턴 ( 114 ) 에서 , 제 1 패턴 부 ( 114 a ) 및 제 2 패턴 부 ( 114 b ) 는 측 표면 의 실질 적 으로 일관된 ( consistent ) 단면 프로 파일 을 갖 는다 . 일부 실시 예 에서 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 측 표면 ( S 1 ) 의 단면 프로파일 은 제 3 측 표면 ( S 3 ) 의 단면 프로파일 과 실질 적 으로 동일 하 다 . 즉 , 격리 층 ( 110 ) 에서 , 제 1 격리 패턴 ( 112 ) 및 제 2 격리 패턴 ( 114 ) 은 측 표면 의 실질 적 으로 일관 된 단면 프로 파일 을 갖 는다 . 특정 실시 예 에서 , 제 1 격리 패턴 ( 112 ) 의 측 표면 의 단면 프로파일 과 제 2 격리 패턴 ( 114 ) 의 측 표면 의 단면 프로파일 사이 의 프로파일 치수 차이 는 약 10 % 미만 이 다 .