또한 , 버퍼 층 ( 54 ) 을 미결정 반도체 막 ( 53 ) 의 표면 위 에 형성 함 으로써 , 미결정 반도체 막 ( 53 ) 에 포함 되 는 결정립 의 표면 의 자연 산화 를 방지 하 는 것 이 가능 하 다 . 특히 , 비정질 반도체 와 미 결정립 이 접하 는 영역 에서 는 , 국부 응력 에 의해 균열 이 들어가 기 쉽 다 . 이 균열 이 산소 에 접하 면 결정립 은 산화 되 고 , 산화 규소 가 형성 되 게 된다 .