본 발명 은 갈륨비소 ( 4 ) 를 이용 한 반도체 생산 을 위한 잉곳 ( 91 ) 을 생산 하 는 장치 에 관한 것 인데 , 내부 에 비소 투입 용기 ( 11 ) 와 , 상기 비소 투입 용기 ( 11 ) 를 회전 시키 고 승 하강 시키 는 로드 ( 12 ) 를 가진 상부 챔버 ( 10 ) 가 있 고 , 상기 상부 챔버 ( 10 ) 의 하단 에 비치 되 어 기체 를 보호 하 는 하부 챔버 ( 20 ) 가 있 다 . 또한 상기 하부 챔버 ( 20 ) 내부 에 벽면 을 형성 하 여 열 손실 을 막아주 는 단열층 ( 30 ) 이 있 고 , 상기 단열층 ( 30 ) 내부 에서 상부 와 하부 층 을 이루 어 열 을 공급 하 는 다중 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 가 있 다 . 그리고 상기 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 의 중심 에서 하부 챔버 ( 20 ) 의 급격 한 온도 감소 를 막아주 는 완 충관 ( 50 ) 이 있 고 , 상기 상 , 하부 히터 ( 41 , 42 ) 의 내부 에 비치 되 어 , 승하 강 수단 을 통해 회전 과 승 하강 운동 을 하 는 원통형 상 의 작 동구 ( 60 ) 가 있 다 . 하편 본 발명 은 상기 작 동구 ( 60 ) 내부 에 비치 되 어 끝단 에 씨드 ( 71 ) 를 투입 하 는 도가니 ( 70 ) 가 형성 된다 . 따라서 상부 챔버 ( 10 ) 의 비소 ( 1 ) 와 하부 챔버 ( 20 ) 도가니 ( 70 ) 내 의 갈륨 을 합성 하 여 잉곳 을 생산 한다 .