감광성 수지 조성물 을 구리 기판 상 에 스핀 도포 하 고 , 건조 시켜 30 ㎛ 두께 의 도포 막 을 수지 층 으로서 형성 하 였 다 . 이어서 , 웨이퍼 상 에 형성 한 도포 막 을 , 알칼리 수용액 에 용해 되 지 않 는 감광성 수지 조성물 의 경우 , 시클 로 펜 타 논 을 사용 하 여 현상기 ( D - SPIN 636 형 , 일본 , 다 이 닛폰 스크린 제조사 제조 ) 로 스프레이 현상 하 고 , 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트 로 린스 함 으로써 도포 막 을 완전히 용해 시켰 다 . 알칼리 수용액 에 용해 되 는 감광성 수지 조성물 의 경우 , 평행 광 마스크 얼라 이너 ( PLA - 501 FA , 일본 , 캐 논사 제조 ) 에 의해 , 500 mJ / ㎠ 의 에너지 를 전체 면 에 조사 후 , AZ 일렉트로닉 마테 리알 즈 사 제조 의 알칼리 현상액 ( AZ 300 MIF 디벨로 퍼 , 2 . 38 질량 ％ 수산화 테트라메틸 암모늄 수용액 ) 을 사용 하 여 현상기 로 패들 현상 하 고 , 순수 로 린스 함 으로써 도포 막 을 완전히 용해 시켰 다 . 용해 후 의 구리 기판 을 이하 의 기준 에 기초 하 여 평가 하 였 다 ：