라이너 ( 170 ) ( 또는 월 라이너 ( wall - liner ) ) 는 공정 가스 가 여기 되 는 과정 에서 발생 되 는 아크 방전 , 기판 처리 공정 중 에 발생 되 는 불순물 등 으로부터 하우징 ( 110 ) 의 내 측면 을 보호 하 기 위한 것 이 다 . 이러 한 라이너 ( 170 ) 는 하우징 ( 110 ) 의 내부 에 상부 와 하부 가 각각 개방 된 원통 형상 으로 제공 될 수 있 다 .