도시 하 지 않 은 HF 의 공급원 으로부터 공급 되 는 HF 는 , 탱크 ( 10 ) 에 직접 공급 되 어 , 탱크 ( 10 ) 내 에서 DIW 와 혼합 되 어도 된다 . 도시 하 지 않 은 HF 의 공급원 으로부터 공급 되 는 HF 는 , 예 를 들 어 개폐 밸브 ( 706 ) 와 개폐 밸브 ( 707 ) 의 사이 에 접속 된 도시 하 지 않 은 HF 공급 라인 에 의해 DIW 공급 라인 ( 702 ) 에 공급 되 어도 된다 . 이 경우 , DIW 공급 라인 ( 702 ) 내 에서 HF 와 혼합 됨 으로써 생성 된 DHF 가 탱크 ( 10 ) 에 공급 된다 .