제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 각각 은 챔버 리드 ( 115 ) 의 제 1 내지 제 4 모듈 설치 부 ( 115 a , 115 b , 115 c , 115 d ) 각각 에 삽입 설치 되 어 기판 지지 부 ( 120 ) 의 중심점 을 기준 으로 X 축 및 Y 축 방향 , 또는 대각선 방향 으로 서로 대칭 된다 .