본 명세서 에 기술 된 플 라즈 마 중합체 필름 은 이 들 의 무기 성분 이 실질 적 으로 화학량론 이하 이 며 , 실질 적 으로 탄소 가 풍부 하 고 이 는 이 들 의 유기 특성 을 나타낸다 . 규소 를 함유 하 는 필름 에서 , 예컨대 DLG 의 경우 에 산소 대 규소 의 비 는 바람직 하 게 는 1 . 8 미만 ( 이산화규소 의 비 는 2 . 0 임 ) , 가장 바람직 하 게 는 1 . 5 미만 이 고 , 탄소 함량 은 약 10 % 이상 이 다 . 탄소 함량 은 바람직 하 게 는 약 20 % 이상 , 가장 바람직 하 게 는 약 25 % 이상 이 다 .