이후 , 포토레지스트 필름 ( 128 ) 상 에 는 회절 패턴 ( 129 a ) 을 갖 는 회절 마스크 ( 129 ) 가 배치 되 고 , 회절 마스크 ( 129 ) 의 회절 패턴 ( 129 a ) 을 통해 광이 포토레지스트 필름 을 통과 하 여 포토레지스트 필름 ( 128 ) 중 회절 패턴 ( 129 a ) 과 대응 하 는 부분 은 광 에 의하 여 현상 된다 . 이때 , 회절 패턴 ( 129 a ) 을 통과 하 는 광 은 회절 패턴 ( 129 a ) 에 의하 여 회절 되 어 포토레지스트 필름 ( 128 ) 은 회절 패턴 ( 129 a ) 의 면적 보다 넓 은 면적 이 광 에 의하 여 노광 된다 .