도 3 은 , 기판 건조 동작 동안 의 도 1 및 도 2 의 메커니즘 들 의 부가 적 인 세부 사항 들 을 도시 한다 . 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 건조 동작 동안 , 가스 ( 예컨대 , 질소 , N 2 ) 가 제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 및 제 2 측 분무 제트 어레이 ( 117 ) 의 제 1 측 가스 유입 구 ( 111 ) 및 제 2 측 가스 유입 구 ( 113 ) 를 통해 각각 도입 된다 . 도시 된 바 와 같이 , 제 1 측 분무 제트 어레이 ( 115 ) 및 제 2 측 분무 제트 어레이 ( 117 ) 는 정적 매니폴드 들 로서 고려 될 수 있 는데 , 그 이유 는 , 분무 제트 어 레이 들 이 , 액체 공급 라인 들 ( 도 2 참조 ) 을 통해 복수 의 분무 제트 들 로 액체 들 을 운송 할 뿐 만 아니 라 가스 유입 구들 ( 111 , 113 ) 을 통해 가스 들 을 운송 하 도록 기능 하 기 때문 이 다 . 다양 한 실시 예 에서 , 분무 제트 어 레이 들 은 유체 매니폴드 ( 305 ) 내 에 위치 되 고 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 및 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 내 에 동심 으로 또는 거의 동심 으로 위치 될 수 있 다 . 다양 한 실시 예 들 에서 , 유체 매니폴드 들 은 정적 ( 회전 가능 하 지 않 음 ) 이 고 , 복수 의 베어링 들 ( 303 ) 또는 관련 기술 분야 에 알려져 있 는 다른 기계식 또는 전기식 디바이스 들 에 의해 회전 가능 차 폐부 들 ( 101 , 103 ) 내 에 위치 된다 .