다음 에 상기 포스트 베이 킹 처리 를 한 기판 을 수계 알칼리 현상액 으로 현상 함 으로써 레지스 트 패턴 이 얻 어 진다 . 현상액 은 알코올 류 등 의 유기 용제 를 소량 첨가 하 는 것 도 가능 하 고 , 농도 도 특별히 한정 되 는 것 은 아니 지만 , 일반 적 으로 는 2 . 38 규정 의 수산화 테트라메틸 암모늄 수용액 이 사용 된다 . 특히 시판 되 는 ArF 레지스 트 를 사용 하 는 경우 이 면 , 이 현상액 으로 양호 한 패턴 이 얻 어 지 도록 조정 하 기 때문 에 , 이 용액 을 현상액 으로 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .