종래 , 액정 패널 이나 반도체 의 각종 기판 의 제조 장치 로서 이용 되 는 스테이지 장치 로서 , 복수 개 의 중 공재 ( 中空 材 ) 를 연결 하 여 구축 된 중공 파이프 구조 의 베이스 대 와 , 베이스 대 상 의 양측 에 마련 된 가이드 레일 과 , 가이드 레일 을 따라 안내 되 는 안내 슬라이더 를 가지 는 빔 을 구비 하 고 , 빔 이 가이드 레일 을 따라 이동하 는 스테이지 장치 가 알려져 있 다 ( 예컨대 , 특허 문헌 1 참조 ) .