한편 , 제 2 용제 는 제 1 소수 화제 및 제 2 소수 화제 를 용해 시킬 수 있 다 . 따라서 , 제 1 소수 화 공정 이 행하 여진 후 에 제 2 용제 를 기판 에 공급 함 으로써 , 기판 에 부착 되 어 있 는 제 1 소수 화제 를 제 2 용제 로 치환 하 고 , 제 1 소수 화제 를 기판 으로부터 제거 할 수 있 다 . 그리고 , 제 2 용제 린스 공정 이 행하 여진 후 에 제 2 소수 화제 를 기판 에 공급 함 으로써 , 기판 에 부착 되 어 있 는 제 2 용제 를 제 2 소수 화제 로 치환 하 고 , 기판 으로부터 제 2 용제 를 제거 할 수 있 다 . 따라서 , 제 1 소수 화제 와 제 2 소수 화제 가 용이 하 게 혼합 되 지 않 는 경우 이 어도 , 기판 에 부착 되 어 있 는 제 1 소수 화제 를 제 2 소수 화제 로 치환 할 수 있 다 . 이 에 의해 , 제 2 소수 화제 를 기판 에 반응 시켜 , 제 2 소수 화제 에 의해 기판 을 소수 화 할 수 있 다 .