에칭 이 종료 된 기재 를 관찰 한 결과 , 실시 예 1 ∼ 실시 예 16 에서 는 , 사이드 에칭 이 진행 된 부분 의 레지스 트 패턴 에 있 어서 , 결손 은 발생 되 지 않 았 다 . 또 , 에칭 액 이 기재 와 감광성 수지 층 사이 로 침입 한 경우 에 는 , 레지스 트 패턴 의 선폭 과 에칭 후 의 기재 의 선폭 에 차 가 발생 되 어 버리 게 되 기 때문 에 , 에칭 액 의 침 수량 ( 레지스 트 패턴 의 보텀 선폭 － TiCu 합금 기재 의 톱 선폭 ) 의 상황 을 관찰 했 지만 , 침 수량 은 5 ㎛ 이하 로서 , 덜컹거림 이 없 어 , 양호 한 에칭 결과 였 다 .