본 발명 의 제 9 실시 예 에 의한 기판 처리 장치 는 , 상기 한 제 8 실시 예의 기판 처리 장치 의 구성 을 따르 되 , 챔버 ( 100 ) 에 제 1 삽 입 홀 ( 111 ) 및 제 2 삽 입 홀 ( 121 ) 과 연통 되 며 연결부 ( 220 ) 가 삽입 되 는 그루브 ( 160 ) 가 형성 된 점 에서 제 8 실시 예 와 구성 에 차이 가 있 다 .