8 . 조항 1 내지 6 중 임의 의 것 에서 정의 되 는 바 와 같 은 검사 장치 로서 , 상기 조명 시스템 은 , 제 1 및 제 2 타 겟 을 포함 하 는 타 겟 평면 에 대해 비 수직 의 입사각 에서 방사선 으로 제 1 타 겟 및 제 2 타 겟 을 조명 하 도록 동작 가능 하 되 , 제 1 검출 위치 및 제 2 검출 위치 는 입사각 및 타 겟 평면 에 의해 정의 되 는 반사 의 축 을 중심 으로 비대칭 적 으로 배열 된다 .