또한 , 상기 한 다른 기술 적 과제 를 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 은 입자 측정 방법 을 제공 한다 . 이 방법 은 광 방출 부 로부터 입사광 을 방출 시키 는 것 , 입사광 을 제 1 편 광부 에서 제 1 방향 성분 으로 편광 시키 는 것 , 제 1 방향 성분 의 입사광 을 광 변환 부 에서 1 차원 광 으로 변환 시키 는 것 , 1 차원 광 을 플 라즈 마 챔버 내 의 입자 로 조사 시켜 산란광 을 생성 시키 는 것 , 제 2 편 광부 에서 산란광 의 제 1 방향 성분 만 을 통과 시키 는 것 및 광 검 출부 에서 제 1 방향 성분 의 산란광 을 검출 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .