도 12 는 대표 샷 영역 이 설정 되 는 방식 의 일례 를 도시 한다 . 도 12 의 OA 1 에 도시 된 예 에서 는 , 샷 영역 그룹 Group A 및 샷 영역 그룹 Group B 각각 에서 가장 작 은 처리 순번 ( 가장 작 은 ID 번호 ) 을 갖 는 샷 영역 이 대표 샷 으로서 할당 되 도록 대표 샷 이 설정 된다 . 대표 샷 영역 이 도 12 에 도시 된 OA 1 에서 와 같이 설정 되 는 경우 , 샷 번호 ( ID 번호 ) 와 개별 적 으로 임프 린트 처리 의 순서 를 규정 할 필요 가 없 고 , 샷 번호 의 순서 로 임프 린트 처리 를 행하 는 것 이 허용 된다 . 따라서 , 도 12 의 Imprint Order # 1 에 도시 된 임프 린트 처리 순서 를 나타내 는 번호 는 도 10 에 도시 된 샷 영역 의 위치 를 나타내 는 ID 번호 와 동일 하 다 . 단 , 이 경우 , 2 개 의 대표 샷 영역 을 임프 린트 시퀀스 와 별도 로 계측 할 필요 가 있 기 때문 에 , 스루풋 ( 생산 성 ) 의 저하 를 유발 할 수 있 다 .