도 1 및 도 5 를 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 파우더 흡착 수단 ( 500 ) 은 플라 즈 마 반 응부 ( 200 ) 의 내부 압력 을 변동 시켜 처 리부 ( 210 ) 에 흡입 압력 ( V ) 이 작용 되 도록 압력 을 전달 하 는 진공 펌프 ( 510 ) , 상기 진공 펌프 ( 510 ) 의 펌핑 ( pumping ) 압력 을 플 라즈 마 반 응부 ( 200 ) 로 인가 하 거나 제어 할 수 있 는 진공 펌프 밸브 ( 530 ) , 그리고 챔버 부 ( 100 ) 또는 플라 즈 마 반 응부 ( 200 ) 와 진공 펌프 ( 510 ) 를 연결 하 는 유로 ( 550 ) 를 포함 할 수 있 다 .