상기 와 같이 하 여 , 주제 어부 ( 6 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 기판 ( P ) 의 각각 의 영역 을 분할 하 여 노광 하 기 위한 제 1 노광 데이터 및 제 2 노광 데이터 를 작성 하 고 , 그러 한 제 1 노광 데이터 및 제 2 노광 데이터 에 기초 하 여 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 를 제어 한다 ( 제 2 제어 모드 ) . 이 때문 에 , 노광 시스템 ( SS ) 은 , 동일 기판 상 의 복수 의 쇼트 영역 이 , 예 를 들 어 노광 패턴 의 종류 , 사이즈 및 레이아웃 중 적어도 하나 가 상이 한 쇼트 영역 을 포함 하 는 경우 에 도 , 주제 어부 ( 6 ) 에 의해 노광 데이터 를 작성 하 여 , 또는 미리 레이아웃 에 따라 작성 된 노광 데이터 에 의해 , 기판 ( P ) 을 효율 적 으로 노광 할 수 있 다 . 도 2 에서 는 , 디바이스 ( 화면 ) 의 사이즈 , 및 기판 ( P ) 상 에서 의 방향 이 상이 한 기판 을 나타냈 지만 , 단순히 디바이스 패턴 이 상이 한 화면 을 갖 는 기판 이 어도 된다 . 이 와 같이 , 2 대 의 노광 장치 에 , 예 를 들 어 종류 및 / 또는 사이즈 가 상이 한 마스크 패턴 을 할당 하 여 기판 ( P ) 을 분할 노광 함 으로써 , 1 장 의 기판 의 노광 동작 중 에서 의 마스크 의 교환 을 생략 할 수 있 고 , 또한 노광 장치 마다 마스크 를 복수 준비 할 필요 가 없 어 진다 .