본 발명 은 반응 챔버 및 상기 반응 챔버 가 구비 된 탄소 나노 튜브 생산 설비 , 그리고 탄소 나노 튜브 생산 방법 에 관한 것 으로 , 본 발명 에 따른 반응 챔버 는 합성 기판 이 반입 되 어 상기 합성 기판 상 에 탄소 나노 튜브 의 생 성 이 이루어지 는 반응 로 , 상기 반응 로 일 측 에 배치 되 는 제 1 플랜지 , 상기 반응 로 타 측 에 배치 되 는 제 2 플랜지 , 상기 반응 로 외부 에 배치 되 어 상기 반응 로 를 가열 시키 는 가 열 부 , 그리고 상기 가열 부재 를 제어 하 는 제 어부 를 포함 하 되 , 상기 가 열부 는 상기 반응 로 의 중앙 영역 을 가열 하 는 중앙부 가열기 , 상기 반응 로 의 양측 영역 을 가열 하 는 측 부 가열기 를 포함 하 고 , 상기 제 어부 는 상기 중앙부 가열기 와 상기 측 부 가열기 각각 을 독립 적 으로 제어 한다 . 본 발명 에 따르 면 , 탄소 나노 튜브 의 생 성 이 이루어지 는 반응 로 의 온도 를 구역 별 로 조절 이 가능 하 여 탄소 나노 튜브 의 생성 수율 을 증가 할 수 있 다 .