시점 t 36 에서 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 부속 되 는 액 처리 장치 의 구성 요소 의 에러 가 해소 된 것 으로 하 자 . 그러면 , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 의 개폐 밸브 ( 26 A ) 가 열린다 . 이 에 의해 , 제 1 및 제 2 분기 통로 부분 ( 24 A , 24 B ) 양쪽 을 통하 여 처리 액 이 흐르 게 된다 . 유량계 ( 25 A ) 에 의한 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 내 의 처리 액 유량 의 감시 도 개시 된다 . 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 내 에서 의 처리 액 의 온도 및 처리 액 의 유량 이 안정 되 면 ( 시점 t 37 ) , 제 1 분기 통로 부분 ( 24 A ) 에 접속 된 모든 액 처 리부 ( 60 ) 에 의 처리 액 공급 의 준비 도 완료 된다 ( Ready 상태 ) . 이상 에 의해 액 처리 장치 는 , 통상 운전 상태 로 복귀 하 게 된다 .