본 개시 의 다양 한 구 현예 는 기판 의 표면 상 에서 트렌치 또는 핀 사이 의 영역 과 같 은 오목 부를 충 진하 는 방법 에 관한 것 이 다 . 본 개시 의 다양 한 구 현예 가 이전 의 방법 의 문제점 을 해결 하 는 방식 은 이하 에서 보다 상세히 논의 되 면서 , 일반 적 으로 본 개시 의 다양 한 구 현예 는 원 하 는 재료 , 예컨대 유전체 재료 로 고 종횡비 오 목부 를 이음매 없이 충 진하 기에 적절 한 개선 방법 과 장치 를 제공 한다 . 이하 에서 더욱 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 예시 적 인 방법 은 오목 부 의 하부 영역 에 비해 오 목부 의 상부 영역 에서 재료 의 증착 을 초기 에 억제 하 여 오 목부 의 이음매 없 는 충 진 을 용이 하 게 할 수 있 다 . 또한 , 본 개시 의 예시 는 , 하부 및 / 또는 둘러싸 는 재료 의 산화 를 완화 할 수 있 는 재료 의 저온 증착 을 허용 한다 . 추가 적 으로 , 고 품질 의 증착 재료 는 , 증착 된 재료 의 후처리 어닐링 없이 오 목부 내 에 형성 될 수 있 고 , 이 는 오목 부 충 진 재료 의 품질 을 개선 하 기 위해 종종 달리 수행 된다 .