제 10 실시 예 에서 , 본 발명 은 위 의 임의 의 실시 예 들 에서 와 같 은 현미경 검사 방법 을 제공 하 며 , 이미지 센서 를 회전 시키 는 단계 는 , 표본 의 축 - 정의 피처 를 식별 하 는 단계 로서 , 상기 축 - 정의 피처 는 원 하 는 x '- 방향 으로 진행 하 는 검출 가능 한 형태 를 가지 는 , 상기 식별 하 는 단계 ; 및 검출 가능 한 형태 에 실질 적 으로 평행 하 게 픽셀 로우 를 정렬 시키 기 위해 컴퓨터 비전 을 사용 하 는 단계 를 포함 하 며 , 오프셋 의 각도 를 결정 하 는 단계 는 , XY 병진 스테이지 의 x - 방향 에 실질 적 으로 평행 하 게 픽셀 로우 를 정렬 시키 는 상기 단계 이후 의 위치 에서 이미지 센서 를 회전 시키 는 단계 이후 의 위치 로 이미지 센서 의 회전 의 정도 를 측정 하 는 단계 를 포함 한다 .