반송 라인 ( A ) 의 제 3 의 열처리 유 니트 군 ( 26 ) 과 반송 라인 ( B ) 의 제 4 의 열처리 유 니트 군 ( 30 ) 의 사이 에 는 , 이 유 니트 군 ( 26 , 30 ) 간 의 유리 기판 ( G ) 의 반송 을 실시 하 는 반 송체 ( 41 ) 이 설치 되 고 있 다 . 이 반 송체 ( 41 ) 은 후술 하 는 인터페이스 스테이션 ( 5 ) 의 익스텐션 · 쿨링 유 니트 ( 60 ) 에 대해서 도 유리 기판 ( G ) 를 반송 할 수 있 다 .