이러 한 결정 화 방법 에 따라 , " 엑 시머 레이저 빔 을 위상 시프 터 ( 광 변조 소자 ) 에 조사 하 고 비 단결정 반도체 막 ( 다결정 반도체 막 또는 비 단결정 반도체 막 ) 에 이 프로세스 에 의해 얻 어 지 는 프레넬 ( Fresnel ) 회절상 또는 결상 광학계 에 의해 형성 되 는 상 을 조사 하 여 결정 화 반도체 막 을 생성 하 는 "" 위 상 제 어 엑 시머 레이저 어닐링 ( ELA ; Excimer Laser Annealing ) 방법 "" 이 알려져 있 다 . 위상 제어 ELA 방법 의 상세 설명 은 예 를 들 면 ", Surface Science , Vol . 21 , No . 5 , pp . 278 - 287 , 2000 . 에 개시 되 어 있 다 .