제 1 얼라인 키부 ( 110 ) 는 플랫 존 ( 101 ) 에 인접 하 여 배치 되 는 라벨 ( 102 ) 과 평행 하 게 마련 된다 . 제 1 얼라인 키부 ( 110 ) 는 Y - 얼라인 키 ( 111 ) 와 T - 얼라인 키 ( 112 ) 를 구비 한다 . 도면 에 는 제 1 얼라인 키부 ( 110 ) 에 얼라 인 키 ( 111 , 112 ) 가 두 개 인 상태 를 도시 하 였으나 , 그 수 는 이 에 한정 되 지 않 는다 . Y - 얼라인 키 ( 111 ) 와 T - 얼라인 키 ( 112 ) 는 웨이퍼 의 회전 여부 가 감지 될 수 있 도록 하 는 역할 을 한다 .