도 4 는 , 추가 노광 장치 ( 16 B ) 의 구성 을 , 선 ( IV - IV ) ( 도 1 및 도 6 ) 을 따라 개략 적 으로 나타내 는 단면도 이 다 . 또한 도 4 에 있 어서 는 , 추가 노광 장치 ( 16 B ) 뿐 만 아니 라 , 그 에 따라 노광 되 는 패턴 ( 801 ) 이 형성 된 기판 ( 800 ) 도 도시 되 어 있 다 . 도 5 는 , 광원 유닛 ( 100 ) ( 도 4 ) 의 구성 을 개략 적 으로 나타내 는 하면 도 이 다 . 도 6 은 , 파선 부 ( VI ) ( 도 5 ) 의 확대도 이 다 .