진 공실 에서 편평 한 기판 을 운송 하 기 위한 장치 는 이미 공지 되 어 있 으며 , 이 편평 한 기판 의 한 측면 에 대향 해서 , 그 편평 한 기판 상 으로 지향 된 보어 ( bore ) 들 을 갖 는 기체 채널 ( gas channel ) 이 제공 된다 ( WO 2004 / 096678 A 1 ) . 여기 에서 이용 가 능한 기체 쿠션 은 기판 이 지지 부 ( support ) 에 놓여 손상 되 는 것 을 방지 한다 .