도 8 은 , 도 7 의 플 라즈 마 처리 시스템 ( 480 ) 의 특징 들 중 대부분 을 포함 하 는 플 라즈 마 처리 시스템 ( 490 ) 의 일부 를 예시 하 는 개략 적 인 단면도 이 다 . 그러나 , 시스템 ( 490 ) 은 , 도 4 , 6 , 및 7 의 시스템 들 ( 400 , 470 및 480 ) 에 도시 된 측 부 - 주입 마이크로파 입력 ( 466 ) 대신 에 , 최 상부 - 주입 마이크로파 입력 ( 468 ) 으로부터 전력 공급 된다 . 다른 실시 예 들 이 , 입력 ( 468 ) 과 같 은 최 상부 - 주입 마이크로파 입력 들 을 이론 적 으로 사용 할 수 있 지만 , 그러 한 입력 들 을 그러 한 실시 예 들 의 이동 가능 한 플레이트 들 과 통합 하 는 것 은 어려울 수 있 다 . 시스템 ( 480 ) 과 같이 , 시스템 ( 490 ) 은 소형 형태 로 , 특히 , 하나 이상 의 측 부 - 주입 마이크로파 입력 들 ( 466 ) 을 통합 하 는 것 이 문제 인 응용 들 에 제공 될 수 있 다 .