금속 - 함유 층 은 저항 스위칭 금속 산화물 층 을 형성 하 기 위해 산화 될 수 도 있 다 . 금속 산화물 층 을 형성 하 는 데 이용 될 수 도 있 는 적절 한 산화 기술 은 산소 이온 의 이온 주입 , ( 예 를 들 어 , 급속 열 산화 기술 , 레이저 유도 열 산화 , 또는 노 산화 ( furnace oxidation ) 를 이용한 ) 열 산화 및 플 라즈 마 산화 를 포함 한다 .