도 7 은 , 전술 한 바 와 같이 듀얼 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 와 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 를 갖 는 반응기 ( 2 ) 를 나타낸다 . 이동식 서 셉 터 ( 50 ) 는 , 동적 반응 공간 을 갖 는 반응기 ( 2 ) 를 생성 할 수 있 다 . 동적 인 반응 공간 은 , 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 와 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 사이 의 거리 를 조절 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 반응 공간 은 매 사이클 마다 , 매 절반 사이클 마다 , 또는 원 하 는 경우 언제 라도 주기 적 으로 변경 될 수 있 다 . 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 는 외부 운동 구동 유닛 ( 52 ) 을 통해 조절 될 수 있 다 . 외부 운동 구동 유닛 ( 52 ) 은 아날로그 또는 디지털 모터 를 포함 할 수 있 고 , 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 에 기계 적 으로 그리고 전기 적 으로 연결 될 수 있 고 , 이 에 따라 외부 운동 구동 유닛 ( 52 ) 은 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 를 ( 예 를 들 어 , 위 아래 로 ) 조절 할 수 있 다 . 장치 ( 1 ) 에 연결 된 외부 운동 구동 유닛 ( 52 ) 을 이용 해 , 웨이퍼 ( 6 ) 와 샤워 헤드 장치 ( 10 ) ( 또는 교차 유동 반응기 의 경우 상부 플레이트 ) 사이 의 갭 은 원 하 는 경우 시간 에 따라 변경 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 는 1 mm 내지 200 mm 의 범위 ; 2 mm 내지 100 mm 의 범위 ; 2 mm 내지 50 mm 의 범위 ; 또는 3 mm 내지 30 mm 범위 의 거리 를 이동 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 서 셉 터 플레이트 는 0 . 1 mm 내지 50 mm 의 범위 ; 0 . 1 mm 내지 30 mm 의 범위 ; 또는 0 . 1 mm 내지 20 mm 범위 의 거리 를 이동 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 외부 운동 구 동기 ( 52 ) 는 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 를 회전 시킬 수 있 다 . 다양 한 구 현예 에서 , 제 어 시스템 은 모터 구 동기 와 전기 적 으로 통신 할 수 있 으며 , 제 어 시스템 은 에칭 중 에 이동식 서 셉 터 플레이트 ( 50 ) 와 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 사이 의 거리 를 조절 하 도록 구성 된다 .