센서 어레이 ( 220 ) 는 복수 개 의 센서 들 ( 222 , 224 , 226 ) 을 포함 할 수 있 다 . 센서 어레이 ( 220 ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 와 접촉 하 지 않 는 비 접촉 센서 어레이 일 수 있 다 . 센서 어레이 ( 220 ) 는 주 센서 ( 222 ) 및 보조 센서 ( 224 , 226 ) 를 포함 할 수 있 다 .