상기 과제 를 해결 하 는 방법 을 여러 가지 검토 한 결과 , 기판 의 표면 온도 를 목표 가 되 는 원 하 는 온도 까지 단숨에 상승 시키 는 것 이 아니 라 , 기판 온도 를 일단 상기 원 하 는 온도 보다 낮 은 제 2 온도 까지 상승 시켜 단시간 그 온도 로 유지 하 거나 , 승 온 레이트 를 억제 하 면서 온도 를 상승 시키 고 , 그 후 , 기판 의 표면 온도 를 목표 가 되 는 원 하 는 온도 까지 상승 시킴 으로써 , 기판 이 변형 이나 깨 짐 을 일으키 는 것 을 감소 시킬 수 있 는 것 을 알아내 었 다 .