도 3 및 도 4 는 상기 제 2 센서 ( 220 ) 및 제 2 가이드 ( 220 ) 의 실시 예 들 을 도시 한 것 으로 , 도 3 ( B ) 는 도 3 ( A ) 의 B - B ' 단면 이 며 , 도 4 ( B ) 는 도 4 ( A ) 의 C - C ' 단면 이 다 . 상기 제 2 센서 ( 210 ) 및 상기 제 2 가이드 ( 220 ) 는 상기 전구체 보관 용기 ( 300 ) 의 측면 에 구비 된다 . 도 3 ( A ) 내지 도 3 ( C ) , 도 4 ( A ) 내지 도 4 ( C ) 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 제 2 센서 ( 210 ) 는 제 2 받침대 ( 221 ) 위 에 고정 되 며 , 상기 제 2 받침대 ( 221 ) 에 는 제 2 받침대 돌기 ( 222 ) 가 형성 되 어 있 다 . 상기 제 2 가이드 ( 220 ) 에 는 제 2 가이드 홈 ( 223 ) 이 형성 되 어 있 으며 , 상기 제 2 받침대 돌기 ( 222 ) 는 상기 제 2 가이드 홈 ( 223 ) 에 끼워진다 . 이 와 같이 됨 으로써 상기 제 2 받침대 ( 221 ) 는 상기 제 2 가이드 ( 220 ) 를 따라 슬라이딩 이동 할 수 있 도록 형성 되 며 , 상기 제 2 센서 ( 210 ) 는 상기 제 2 받침대 ( 221 ) 와 함께 상 기 전구체 보관 용기 ( 300 ) 의 측면 에 밀착 된 채 이동 가능 하 게 된다 .