또는 , 상기 반응기 는 , 마이크로웨이브 가 유입 되 는 도파관 에 결합 되 며 , 내부 에 플 라즈 마가 형성 되 는 공간 이 형성 되 고 , 플라 즈 마 가스 가 유입 되 는 컨 덕 터 , 상기 도파관 으로부터 상기 컨 덕 터로 유입 되 는 마이크로웨이브 를 투과 시키 도록 상기 컨 덕 터 가 상기 도파관 과 연통 되 도록 개구 된 부분 에 구비 되 는 쿼츠 , 상기 아 우터 컨 덕 터 의 내부 에 상기 아 우터 컨 덕 터 와 동축 으로 배치 되 고 , 내부 에 금속 화합물 전구체 가 투입 되 는 공간 이 형성 되 며 , 조사 되 는 마이크로웨이브 에 의해 가열 되 어 기화 영역 을 형성 하 는 서 셉 터 를 포함 하 며 , 상기 서 셉 터 에서 배출 된 금속 화합물 전구체 가 상기 컨 덕 터 내부 에서 플라 즈 마 반응 되 는 플 라즈 마 반응 영역 이 형성 될 수 있 다 .