바람직 한 형태 에서 , 본 발명 의 감열 작동 소자 는 , Ni - Fe 합금 으로 형성 된 층 과 , Ni - Mn - Fe 합금 혹은 Mn - Ni - Cu 합금 으로 형성 된 층 으로 구성 된 바이메탈 요소 와 , 적어도 Ni - Mn - Fe 합금 혹은 Mn - Ni - Cu 합금 의 표면 이 니켈 도금 층 으로 덮여 있 으며 , 해당 니켈 도금 층 은 니켈 스트라이크 도금 층 및 니켈 본 도금 층 으로 형성 되 어 있 다 .