본 발명 은 램프 에서 발생 된 빛 ( 열 ) 이 플레이트 사이 에 배치 된 기판 의 중심 까지 효율 적 으로 전달 함 으로써 플 라즈 마 를 균일 하 게 형성 하 고 , 그 결과 기판 에 균일 한 반사 방지 막 을 형성 할 수 있 도록 구조 가 개선 된 기판 이송용 보트 에 관한 것 이 다 . 본 발명 에 따른 기판 이송용 보트 는 기판 에 대한 처리 를 위한 공정 챔버 로 기판 을 반입 / 반출 하 기 위한 것 으로 , 평판 형상 으로 형성 되 며 , 상호 대면 하 도록 이격 되게 배치 되 며 , 그 사이 에 기판 이 탑재 되 는 복수 의 플레이트 와 , 복수 의 플레이트 를 상호 결합 하 는 결합 부 를 포함 하 며 , 복수 의 플레이트 는 도전 성 소재 로 이루어지 되 , 공정 챔버 의 내부 에 설치 된 램프 에서 조사 된 열 을 반사 하 는 반사막 이 표면 에 코팅 되 어 있 다 .