또한 , 타 겟 중 의 Al 3 Ni 화합물 의 전 석출 량 에 대한 B 함유 입자 를 내포 하 는 Al 3 Ni 화합물 의 비율 과 , Al 3 Ni 화합물 에 대하 여 는 다음 과 같이 특정 했 다 . 우선 , 제작 한 각 타 겟 에 대하 여 , 그 중앙 부분 의 표면 을 주사 형 전자 현미경 으로 배율 200 배 로 관찰 했 다 . 도 2 에 , 실시 예 1 의 대표 적 인 SEM 관찰 결과 의 개략 도 를 나타낸다 .