단계 S 71 은 , 단계 S 61 과 같 다 . 이 단계 를 간단 하 게 설명 한다 . 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 예 를 들 면 오프너 ( 11 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로부터 기판 ( W ) 을 꺼낸다 . 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 는 , 꺼낸 기판 ( W ) 을 예 를 들 면 버퍼 부 ( BU 2 ) 의 이 송부 SN 2 ( SN 3 ) 에 반송 한다 .