도 60 에 도시 된 위치 로부터 더욱 - Y 방향 으로 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 이동 하 면 , X 간섭계 ( 228 ) 로부터 의 측장 빔 이 반사면 ( 27 e ) 에 닿 기 시작 한다 . 그래서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , X 간섭계 ( 227 ) 로부터 의 측장 빔 이 반사면 ( 27 e ) 에 닿 아 있 는 동안 에 , X 간섭계 ( 227 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 X 간섭계 ( 228 ) 의 계측 값 을 프리 셋 한다 .