상기 와 같 은 웨이퍼 세 정공 정시 , 웨이퍼 는 웨이퍼 가이드 에 수납 된 상태 로 여러 단계 의 세정 과정 을 거치 게 되 는데 , 웨이퍼 에지 영역 에 형성 되 어 있 는 불 완전 한 패턴 들 은 웨이퍼 가이드 와 의 접촉 에 의해 리프트 오프 되 는 경우 가 빈번히 발생 된다 . 그리고 , 이 처럼 리프트 오프 된 패턴 들 은 세정액 의 흐름 에 따라 웨이퍼 전면 에 흐름 성 디 펙 을 유발 하 게 된다 .