표면 처리 ( 111 ) 동안 에 사용 되 는 불소 플 라즈 마의 불소 는 제 1 라이너 층 ( 104 ) 의 표면 에 흡착 될 수 있 다 . 제 1 라이너 층 ( 104 ) 의 표면 에 부분 적 으로 불소 흡착 층 ( 107 ) 이 형성 될 수 있 다 . 불소 흡착 층 ( 107 ) 은 후속 공정 시 증착 억제 물질 ( Inhibitor ) 로 작용 할 수 있 다 .