증착 을 100 ℃ 내지 300 ℃ 범위 의 온도 에서 13 . 56 MHz 플 라즈 마 를 갖 는 샤워 헤드 챔버 에서 표 5 에 제공 된 것 과 유사 한 조건 하 에서 규소 전구체 로서 1 - 디메틸아미노 - 1 , 1 , 3 , 3 , 5 , 5 , 7 , 7 - 옥 타 메틸 테트라 실록 산 및 O 2 플 라즈 마로 증착 을 수행 하 였 다 . 전 구체 를 운반 가스 흐름 과 함께 챔버 로 전달 하 였 다 . 단계 b 내지 단계 e 를 계측 을 위한 산화 규소 의 요망 되 는 두께 를 얻 기 위해 여러 차례 반복 하 였 다 . 1 , 1 , 3 , 3 , 5 , 5 , 7 , 7 - 옥 타 메틸 테트라 실록 산 과 는 달리 , 디메틸아미노 와 같 은 오가노 아미노 기로 하나 의 Si - H 기 를 대체 하 는 것 은 달리 미 반응 성 선형 올리 고 실록 산 을 양호 한 단차 피복 뿐 만 아니 라 2 . 5 Å / 사이클 보다 높 은 성장 률 을 갖 는 우수 한 ALD 전구체 로 만들 수 있 다 .