스위칭 재료 로서 의 비정질 실리콘 재료 에 대하 여 , 폴리 실리콘 재료 는 버퍼 층 을 위해 이용 될 수 있 다 . 폴리 실리콘 재료 는 바람직 하 게 는 p + 형 ( type ) 불순물 특성 을 가지 고 , 이것 은 특정 실시 예 에서 붕소 종 ( boron species ) 을 이용 하 여 제공 된다 . p + 폴리 실리콘 재료 는 적어도 실란 ( silane ) , 디 실란 ( disilane ) , 또는 적당 한 클로로 실란 ( chlorosilane ) 을 전구체 ( precursor ) 로서 이용 하 는 화학 기상 증착 기술 을 이용 하 여 증착 될 수 있 다 .