액원 ( 51 ) 은 , 송액 부 ( 60 ) 에 보충 되 는 처리 액 의 공급원 이 다 . 압송 부 ( 53 ) 는 , 액원 ( 51 ) 으로부터 송액 부 ( 60 ) 에 처리 액 을 송출 한다 . 압송 부 ( 53 ) 는 , 예 를 들 어 액원 ( 51 ) 으로부터 공급 된 처리 액 을 일시 적 으로 저류 하 고 , 당해 처리 액 을 가압 한 상태 에서 송액 부 ( 60 ) 에 송출 한다 . 혹은 , 압송 부 ( 53 ) 는 , 예 를 들 어 액원 ( 51 ) 내 의 처리 액 을 흡입 함 으로써 처리 액 을 받아들여 , 받아들인 처리 액 을 송액 부 ( 60 ) 에 송출 한다 . 압송 부 ( 53 ) 는 , 예 를 들 어 펌프 ( 56 ) 와 , 펌프 구동 부 ( 57 ) 와 , 압력 측 정부 ( 54 ) 를 구비 한다 .