이러 한 종래 기술 의 문제점 을 해결 하 기 위한 것 으로 , 본 발명 의 목적 은 노광 스테이지 의 하부 에 촬영 부를 구비 하 여 구비 된 촬영 부를 이용 하 여 하나 의 마이크 로 미러 가 온 된 상태 에서 촬영 된 다수 의 이미지 를 기반 으로 촬영 부 의 정렬 상태 를 판단 하 고 , 적어도 두 개 의 마이크 로 미러 가 온 된 상태 에서 촬영 된 다수 의 이미지 를 기반 으로 DMD 의 정렬 상태 를 판단 하 도록 한 , 노광 광학계 에서 DMD 를 정렬 하 기 위한 장치 및 그 방법 을 제공 하 는데 있 다 .