도 22 에 도시 된 바 와 같이 , 이 실시 예 에 따른 연마 장치 는 제 2 실시 예의 X - 축 이동 기구 [ X - 축 레일 ( 106 ) , X - 축 안 내부 ( 108 ) 및 X - 축 공기 실린더 ( 113 ) ] 에 대응 하 는 기구 를 갖 지 않 지만 , 제 2 실시 예의 Y - 축 이동 기구 [ Y - 축 레일 ( 107 ) , X - 축 안 내부 ( 109 ) 및 X - 축 공기 실린더 ( 114 ) ] 에 대응 하 는 기구 를 갖 는다 . 선형 이동 기구 각각 은 제 2 실시 예 에 따른 Y - 축 이동 기구 의 대응 요소 와 동일 한 선형 레일 ( 130 ) , 선형 안 내부 및 선형 액추에이터 를 포함 한다 .