임프 린트 재 는 열 을 사용 하 는 열 사이클 법 또는 광 을 사용 하 는 광경 화법 에 의해 경화 될 수 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 예 로서 광경 화법 이 사용 된다 . 광경 화법 에서 는 , 임프 린트 재 로서 미경 화 자외선 경화 성 수지 를 기판 ( 2 ) 위 로 공급 하 고 , 몰드 ( 1 ) 와 임프 린트 재 를 서로 접촉 시킨 상태 에서 임프 린트 재 에 광 ( 자외선 ) 을 조사 함 으로써 당해 임프 린트 재 를 경화 시킨다 .