밀 봉실 ( 110 ) 을 세정 하 기 위해 밀 봉실 ( 110 ) 내 에 한 쌍 의 노즐 이 배치 된다 . 예컨대 , 고온 SPM 세정 공정 이 마무리 된 후 에 , 한 쌍 의 노즐 은 밀 봉실 ( 110 ) 을 세정 하 도록 탈 이온 수 를 분사 하 여 , SPM 잔여물 을 제거 한다 . 노즐 의 개수 는 제한 되 지 않 는다 . 밀 봉실 ( 110 ) 이 세정 될 수 있 는 한 , 노즐 의 임의 의 개수 및 분포 가 허용 가능 하 다 . 챔버 ( 101 ) 의 하부 벽 ( 1013 ) 상 에 그리고 챔버 ( 110 ) 의 내부 에 는 배기 구멍 ( 115 ) 및 드레 인 구멍 ( 116 ) 이 형성 된다 . 밀 봉실 ( 110 ) 내 의 가스 , 증기 및 흄 은 배기 구멍 ( 115 ) 을 통해 배출 될 수 있 다 . 밀 봉실 ( 110 ) 내 의 액체 는 드레 인 구멍 ( 116 ) 을 통해 배출 될 수 있 다 . 밀 봉실 ( 110 ) 내 에 깨끗 한 공기 를 공급 하 기 위해 챔버 ( 101 ) 의 상부 벽 ( 1011 ) 상 에 는 팬 필터 유닛 ( FFU ) ( 117 ) 이 배치 된다 .