상기 노즐 부 주형 부 가 형성 될 부분 을 노출 시키 는 단계 는 , 상기 몰드 베이스 중 상기 마이크 로 기둥 주형 부 가 형성 될 부분 을 에칭 하 는 단계 이후 에 수행 되 고 , 상기 몰드 를 형성 하 는 단계 는 , 상기 몰드 베이스 중 상기 마이크 로 기둥 주형 부 가 형성 될 부분 및 상기 노즐 부 주형 부 가 형성 될 부분 이 모두 노출 된 상태 에서 , 상기 몰드 베이스 를 벌크 에칭 하 는 단계 를 더 포함 하 고 , 상기 몰드 베이스 를 벌크 에칭 하 는 단계 에 의해 , 상기 마이크 로 기둥 주형 부 및 상기 노즐 부 주형 부가 동시 에 형성 될 수 있 다 .