레이저 ( 820 ) 는 펄스 레이저 가 바람직 하 지만 , 처리 의 목적 에 적합 한 파장 및 강도 의 광 을 출력 하 기 만 하 면 CW 레이저 이 어도 좋 다 . 대표 적 으로 는 , 파장 351 nm 내지 353 nm ( XeF ) 또는 파장 308 nm ( XeCl ) 등 의 자 외광 을 방출 하 는 엑 시머 레이저 를 사용 할 수 있 다 . 또는 , YAG 레이저 또는 파이버 레이저 등 의 고체 레이저 의 2 배 파 ( 515 nm 또는 532 nm 등 ) 또는 3 배 파 ( 343 nm 또는 355 nm 등 ) 를 사용 하 여도 좋 다 . 복수 의 레이저 ( 820 ) 를 제공 하 여도 좋 다 .