이상 기술 한 바 와 같이 , 이 플로우 의 얼라인먼트 동작 은 , 반송 캐리어 및 그것 에 보유 지지 되 는 유리 기판 ( G ) 이 자기 부상 한 상태 에서 , 자력 에 의해 반송 캐리어 의 위치 를 조정 함 으로서 행해진다 . 이 구성 에서 는 반송 캐리어 와 반송 모듈 이 비 접촉 이 기 때문 에 , 마찰 등 의 영향 이 억제 되 며 , 또한 고정 밀도 인 위치 결정 이 가능 해진다 . 또한 , 얼라인먼트 에 반송 캐리어 를 반송 하 기 위한 구동 용 코일 과 구동 용 마그넷 에 의해 발생 하 는 자력 을 이용 하 기 때문 에 , 얼라인먼트 용 으로 다른 구동 수단 을 마련 할 필요 가 없 다 . 그 결과 , 장치 의 구성 을 간이화 함 과 함께 비용 을 저감 하 는 것 이 가능 하 다 .