능 부분 ( 제 1 능 부분 ( 41 ) ) 에 형성 되 는 제 1 내 파티클 층 ( 21 ) 의 내 파티클 성 을 제 2 내 파티클 층 ( 22 ) 의 내 파티클 성 보다 높 게 함 으로써 기재 ( 10 ) 가 도 7 ( a ) 및 도 7 ( b ) 에 나타낸 바 와 같 은 반구형 상일 경우 에 도 능 부분 ( 제 1 능 부분 ( 41 ) ) 에 있 어서 의 플라스마 데미지 를 경감 할 수 있 다 .