통상 의 기술자 는 , 주어진 기판 또는 산업 에 대한 공정 처리 법 을 개발 하 기 위해 많 은 동작 들 , 동작 들 의 반복 들 , 동작 들 의 시퀀스 들 등 이 이용 될 수 있 다는 것 을 인식 할 것 이 다 . 따라서 , 도 7 을 참조 하 여 상세히 설명 된 동작 들 은 단지 예 로서 주어지 며 , 본원 에 개시 된 수직 기판 세정 및 건조 메커니즘 의 최종 사용 자 의 요구 들 에 기반 하 여 상당히 달라질 수 있 다 . 추가 로 , 동작 들 각각 은 주어진 기판 유형 및 크기 에 대해 프로그래밍 가능 하 다 . 더욱이 , 스핀 속력 , 차 폐부 회전 속력 , 탈 이 온 수 및 화학 물질 들 둘 모두 에 대한 분 무 시간 , 맥동 형 제트 분무 의 액 적 크기 또는 이 들 의 변형 들 과 같 은 동적 공정 파라미터 들 각각 이 다양 한 기판 유형 들 , 크기 들 , 및 응용 들 에 대해 설계 될 수 있 다 .