전원 공급 부 ( 40 ) 는 고주파 발생기 ( 41 ) 및 정합 기 ( 42 ) 를 포함 하 며 , 챔버 ( 20 ) 에 고주파 전원 을 인가 하 여 즉 , 기판 지지대 ( 21 ) 에 전원 을 인가 하 여 챔버 ( 20 ) 내부 에서 반응 소오 스 가 이온 화 되 도록 한다 . 또한 , 기판 지지대 ( 21 ) 에 고주파 전원 이 인가 되 므로 기판 지지대 ( 21 ) 에 고주파 전원 에 의한 발열 을 방지 하 기 위한 목적 으로 냉각수 유로 를 설치 할 수 있 다 .