보정 조치 는 , 1 ) 가능 한 한 많 은 웨이퍼 를 처리 하 고 남 아 있 는 웨이퍼 는 보관 하 는 단계 , 2 ) 가능 한 한 많 은 웨이퍼 를 처리 하 고 , 처리 요소 가 이용 가능 하 게 되 는 곧 남 아 있 는 웨이퍼 를 처리 하 는 단계 , 3 ) 가능 한 한 많 은 웨이퍼 를 처리 하 고 , 처리 요소 가 다른 서브시스템 에서 이용 가능 하 게 되 는 곧 남 아 있 는 하나 이상 의 웨이퍼 를 또 다른 서브시스템 에 이송 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .