도 3 e 를 참조 하 면 , 상변화 물질 층 ( 280 ) 에 제 1 및 제 2 연마 공정 을 수행 하 여 상변화 물질 층 패턴 ( 285 ) 을 형성 한다 . 상기 제 1 연마 공정 은 절 연막 ( 270 ) 에 대한 상변화 물질 층 ( 280 ) 의 연마 선택 비 가 높 은 제 1 슬러리 조성물 을 사용 하 여 수행 된다 . 상기 제 1 연마 공정 은 절 연막 ( 270 ) 의 상면 이 부분 적 으로 노출 될 때 까지 수행 하 거나 , 절 연막 ( 270 ) 의 상면 이 노출 되 지 않 고 상변화 물질 층 ( 280 ) 이 절 연막 ( 270 ) 의 상면 상 에 부분 적 으로 남 아 있 을 때 까지 수행 될 수 있 다 . 이 에 따라 절 연막 ( 270 ) 의 상면 상 에 형성 되 어 있 는 상변화 물질 층 ( 280 ) 의 벌크 부분 이 제거 될 수 있 다 .