이러 한 시료 를 스텝 퍼 ( 가부 시 키가 이샤 히타치 세이사쿠 쇼 제 LD - 5050 iw ) 를 사용 하 여 패 터닝 하 며 , 폭 10 ㎛ 의 트렌치 패턴 을 수득 한다 . 다음 에 시료 전체 면 에 자외선 을 10 OmJ / cm 2 의 강도 로 조사 하 고 , 25 ℃ 80 % RH 의 수증기 분위기 에 2 분 동안 폭로 한 후 , 150 ℃ 에서 5 분 동안 포스트 베이 킹 한다 .