램프 히터 ( 162 ) 는 쿼츠 ( Quartz ) 재질 의 램프 관 속 에 텅스텐 재질 의 필라멘트 가 내장 된 것 이 주로 이용 되 며 , 1000 ℃ 이상 의 고온 을 얻 을 수 있 다 . 이러 한 램프 히터 ( 162 ) 는 회전축 ( 131 ) 의 제 1 내부 유로 ( 151 ) 을 통하 여 공급 되 는 제 1 가스 의 반응 성 을 높이 기 위하 여 제 1 가스관 ( 163 ) 을 가열 시키 는 역할 을 한다 .