도 7 을 참조 하 면 , 일부 실시 예 들 에서 , 단자 ( 702 ) 를 통해 디스크 ( 202 ) 내부 의 전극 ( 710 ) 에 전력 이 전달 될 수 있 다 . 단자 ( 702 ) 는 , 단자 ( 702 ) 의 임의 의 수직 운동 중 에 , 충분 한 전기 적 접속 을 유지 하 기 위해 , 스프링 요소 ( 708 ) 를 통해 전도체 ( 706 ) 에 전기 적 으로 커플링 될 수 있 다 . 디스크 ( 202 ) 의 전극 ( 710 ) 에 대해 인가 되 는 힘 은 전극 ( 710 ) 을 향해 단자 ( 702 ) 를 편향 시키 는 적합 한 스프링 ( 707 ) 에 의해 제어 될 수 있 다 . 요소 ( 703 , 704 및 705 ) 들 이 단자 ( 702 ) 를 위한 하우징 을 제공 할 수 있 으며 , 열 제 어 판 ( 204 ) 또는 전력 피드 쓰루 ( 711 ) 부근 의 임의 의 다른 전도성 요소 들 로부터 전기 요소 들 ( 예컨대 , 단자 ( 702 ) 와 전도체 ( 706 ) ) 을 전기 적 으로 격리 시키 기 에 적합 한 절연 물질 로 제조 될 수 있 다 . 전력 피드 쓰루 ( 711 ) 는 , 영역 ( 713 ) ( 예컨대 , 처리 챔버 내부 의 처리 체적 ) 과 영역 ( 714 ) ( 예컨대 , 처리 체적 으로부터 격리 된 영역 ) 사이 에 진공 밀봉 접속 을 생성 하 도록 , 용접 , 납땜 또는 다른 유사 한 접합 기술 을 이용 하 여 매니폴드 ( 235 ) 에 커플링 될 수 있 다 .