상기 개구부 들 ( 105 ) 은 홀 모양 으로 형성 될 수 있 다 . 즉 , 상기 개구부 들 ( 105 ) 각각 은 그것 의 깊이 가 그것 의 폭 보다 적어도 5 배 이상 큰 모양 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 개구부 들 ( 105 ) 은 상기 기판 ( 10 ) 의 상부 면 ( 즉 , xy 평면 ) 상 에 2 차원 적 으로 형성 될 수 있 다 . 즉 , 상기 개구부 들 ( 105 ) 각각 은 x 및 y 방향 을 따라 다른 개구부 들 로부터 이격 되 어 형성 되 는 고립 된 영역 일 수 있 다 .