제 2 반도체 칩 ( 500 ) 은 제 2 관통 전극 들 ( 520 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 제 2 관통 전극 들 ( 520 ) 은 제 2 반도체 칩 ( 500 ) 을 수직 으로 관통 할 수 있 다 . 제 2 관통 전극 들 ( 520 ) 은 제 2 반도체 칩 ( 500 ) 의 전면 ( 500 a ) 을 향해 연장 되 어 , 제 2 재배 선 층 ( 510 ) 의 제 2 도전 패턴 ( 514 ) 에 접속 될 수 있 다 .