광도 파로 ( 15 ) 의 형성 은 석영 으로 이루어진 기판 ( 20 ) 상면 에 산화 막 ( 21 ) 을 증착 시키 고 , 상기 산화 막 ( 21 ) 의 상면 에 는 포토레지스트 ( 22 ) 를 도포 한다 . 그 후 광도 파로 ( 15 ) 형성 을 위한 트렌치 ( trench , 28 ) 가 형성 될 부분 의 상면 에 도포 된 포토레지스트 ( 22 ) 를 제거 한다 ( 도 1 의 ( a ) ) .