투명 기판 상 에 대상 막 패턴 을 형성 하 고 , 대상 막 패턴 이 형성 된 투명 기판 상 에 펠리 클 을 부착 한다 . 대상 막 패턴 사이 의 간격 이 상대 적 으로 넓 은 영역 을 검출 하 고 , 대상 막 패턴 사이 의 간격 이 상대 적 으로 넓 은 영역 의 펠리 클 막 상 에 투과율 조절 막 패턴 을 형성 하 는 포토 마스크 의 제조 방법 을 제시 한다 .