DFR 로부터 보호 필름 을 벗겨 내 고 , 30 ㎛ 두께 의 TiCu 합금 기재 에 , 실시 예 1 ∼ 16 , 비 교예 1 ∼ 5 의 감광성 수지 층 을 각각 첩부 하 였 다 . 다음 으로 , 포토 마스크 ( 라인 / 스페이스 = 30 ㎛/ 30 ㎛, 40 ㎛/ 40 ㎛, 50 ㎛/ 50 ㎛) 를 개재 하 여 , 초고압 수은 등 으로 감광성 수지 층 을 노광 하 였 다 . 노광 후 , 실온 에서 10 분 간 방치 하 고 , 이어서 PET 필름 을 벗겨 내 어 , 감광성 수지 층 의 표면 에 , 1 질량 ％ 의 탄산 나트륨 수용액 ( 30 ℃) 을 , 스프레이 압 0 . 1 ㎫ 로 10 초간 스프레이 하 고 , 미노 광부 의 감광성 수지 층 을 제거 하 여 , 알칼리 현상 을 행하 였 다 . 그 후 , 20 ℃, 스프레이 압 0 . 1 ㎫ 로 30 초간 수세 를 행하 고 , 건조 시켰 다 . 계속 해서 , 120 ℃, 20 분 간 의 베 이크 처리 를 실시 하 였 다 .