He 이온 의 입자 하나 당 질량 은 4 이 어서 , Ar 이온 의 입자 하나 당 질량 18 보다 작 다 . 그러므로 , 식 ( 3 ) 으로부터 , He 이온 의 입자 하나 당 운동량 은 Ar 이온 의 입자 하나 당 운동량 보다 작 다 . 이상 으로부터 , He 가스 를 사용 하 면 , Ar 가스 를 사용 할 때 보다 텅스텐 층 ( 130 ) 표면 이 스퍼터링 되 기 어려워져 , 텅스텐 층 ( 130 ) 의 스퍼터링 일 드 가 저하 되 는 쪽 으로 작용 한다 . 또한 , 홀 바닥 에서 텅스텐 층 ( 130 ) 이 노출 되 었 을 때 에 텅스텐 층 ( 130 ) 표면 이 스퍼터링 되 어 텅스텐 층 ( 130 ) 의 스퍼터링 일 드 가 상승 하 더라도 , 그 후 , CF 계 가스 의 전구체 가 텅스텐 층 ( 130 ) 표면 에 퇴적 하 여 보호막 으로서 작용 한다 . 따라서 , 텅스텐 층 ( 130 ) 의 손 실량 이 억제 가능 함 을 알 수 있 다 .