이러 한 플라 즈 마 생 성 부산물 은 잠재 적 으로 , 수직 입사 및 / 또는 스쳐 가 는 입사 ( grazing incidence ) 시의 EUV 반사 를 할 수 있 는 다중 - 레이어 미러 ( MLM ' s ) 를 포함 하 는 콜렉터 미러 , 계측 검출기 의 표면 , 플라 즈 마 형성 공정 을 이미 징하 는 데 에 사용 되 는 윈도우 , 및 레이저 입력 윈도우 를 포함 하 는 ( 그러나 그 에 한정 되 는 것 은 아님 ) 다양 한 플 라즈 마 챔버 광학 엘리먼트 를 가열 하 고 , 손상 시키 고 , 또는 그 의 동작 효율 을 감소 시킬 수 있 다 . 가열 , 고 에너지 이온 및 / 또는 찌꺼기 는 광 통과 를 감소 시키 는 재료 로 그것 들 을 코팅 하 고 , 그것 들 을 투과 하 고 , 예 를 들 면 , 구조 적 무결 성 및 / 또는 단파장 에서 광 을 반사 하 는 미러 의 기능 과 같 은 광학 특성 을 손상 시키 고 , 그것 들 을 부식 또는 침식 시키 고 및 / 또는 그것 들 로 확산 하 는 것 을 포함 하 는 다양 한 방식 으로 광학 소자 를 손상 시킬 수 있 다 . 따라서 , 일반 적 으로 플라 즈 마 생 성 찌꺼기 의 양 및 / 또는 효과 를 최소 화 하 는 것 이 바람직 하 다 .