또한 , 상기 한 실시 형태 에 있 어서 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 접촉 하 는 측 의 리프트 핀 ( 81 ) 의 선단 에 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 대전량 을 측정 하 는 대전량 센서 ( 810 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 정 전척 ( 40 ) 과 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 사이 에 잔류 하 는 정전기력 에 기초 한 흡착 력 의 증가 를 검출 할 수 있 다 .