상술 한 바 와 같이 , 본 발명 의 실시 예 에서 는 게이트 절 연막 , 활성 층 및 보호막 중 적어도 하나 를 형성 하 는데 있 어서 , 플라 즈 마 발생 을 위한 RF 전원 의 인가 ( On ) 및 중단 ( Off ) 을 교대 로 복수 번 반복 하 는 사이 클릭 화학 기상 증착 ( Cyclic CVD ) 방법 으로 형성 한다 . 즉 , RF 전원 의 인가 ( On ) 및 중단 ( Off ) 동작 이 교대 로 복수 번 반복 된다 . 따라서 , 시간 을 기준 으로 전체 공정 구간 은 , RF 전원 이 연속 으로 인가 되 는 구간 ( 전원 인가 구간 ) 과 RF 전원 이 연속 으로 인가 되 지 않 고 중단 된 구간 ( 전원 중단 구간 ) 이 교대 로 복수 회 반복 된다 .