증착 공정 시 에 는 , 중앙 지지 핀 ( 372 ) 이 하강 하 여 기판 ( 370 ) 을 기판 지지대 ( 360 ) 에 장착 한 상태 에서 공 압 실린더 ( 384 ) 에 연결 된 기판 지지대 ( 360 ) 및 가열 판 ( 365 ) 이 위쪽 으로 이동 하 여 반응 실 외부 벽 ( 361 ) 과 기판 지지대 ( 360 ) 위 가장 자리 에 배치 되 어 있 는 기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 의 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 의 상단 이 밀착 되 어 반응 실 을 규정 한다 . 이때 , 기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 의 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 보다 높이 가 낮 고 상하 이동 이 가능 한데 , 반응 실 을 규정 할 때 에 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 의 하부 표면 일부 는 기판 지지대 ( 360 ) 와 이격 되 고 동시 에 일부 는 기판 ( 370 ) 상부 가장자리 와 접촉 하 게 된다 . 따라서 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 의 상부 표면 은 반응 실 의 내부 벽 ( 361 ) 에 대해 , 기체 차단 클램프 와 기체 차단 클램프 림 ( 368 ) 과 의 높이 차 만큼 의 간격 으로 이격 되 어 있 다 . 한편 , 아래 에서 상세히 설명 하 는 바 와 같이 , 증착 공정 동안 에 는 반응 실벽 ( 361 ) 사이 의 공간 을 통해 유입 된 불활성 기체 가 기체 차단 클램프 ( 369 ) 하부 를 통해 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 의 가장자리 표면 사이 를 지나 게 되 어 , 이러 한 불활성 기체 의 유압 으로 인하 여 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 기판 지지대 ( 360 ) 및 기판 ( 370 ) 상부 가장자리 로부터 이격 되게 된다 . 기체 차 단부 ( 368 , 369 ) 사이 의 불활성 기체 흐름 에 대하 여 아래 에서 상세히 설명 한다 .