또한 , 상기 실란 화합물 의 1 회 투 입량 은 1 내지 20 범위 이내 인 것 을 특징 으로 한다 . 이 와 같 은 투입 방식 을 통해 종래 투입 과정 에서 발생 되 는 입자 간 의 뭉침현상을 해결 하 고 , 반응 효율 을 높임 으로써 , 생산량 을 향상 시킬 수 있 다 . 실란 화합물 의 양 과 온도 및 시간 에 따라 투입 속도 를 조절 함 으로써 종래 문제 를 보다 개선 시킬 수 있 다 .