상기 제 1 약액 의 제 2 증발 속도 를 계산 하 는 단계 는 , 상기 제 1 약액 이 상기 미세 패턴 의 측벽 영역 에서 벗어나 는 증발 속도 , 상기 미세 패턴 의 모서리 영역 에서 벗어나 는 증발 속도 및 상기 미세 패턴 의 바닥 영역 에서 벗어나 는 증발 속도 를 고려 하 여 계산 할 수 있 다 . 상기 제 1 약액 이 상기 미세 패턴 의 측벽 영역 에서 벗어나 는 증발 속도 는 , 상기 제 1 약액 이 상기 미세 패턴 의 모서리 영역 에서 벗어나 는 증발 속도 보다 빠를 수 있 다 .