전도성 라이너 층 을 증착 하 기 이전 에 , 가스 제거 공정 또는 예비 세정 공정 중 의 하나 이상 이 수행 될 수 있 다 . 본 발명 의 신규 한 다마 신 - 개구 - 형성 공정 동안 에 다루 기 힘든 유기 금속 폴리머 는 형성 되 지 않 았 으므로 , 단지 경미 한 예비 세정 만 이 요구 된다 . 이산화규소 를 포함 하 는 희생 층 의 서브 층 ( 503 ) 증착 이전 에 유전체 층 의 표면 이 가스 제거 공정 과 함께 전처리 되 었 다면 , 희생 층 의 보유 된 서브 층 ( 503 ) 에 의해 표면 이 실드 ( Sealed ) 되 었 으므로 , 전도성 라이너 층 의 증착 이전 에 과도 하 게 긴 가스 제거 공정 이 요구 되 지 않 는다 .