상기 화학식 1 로 표시 되 는 　 방향 족 고리 ( aromatic ring ) 함유 중합체 와 화학식 2 로 표시 되 는 방향 족 고리 　 함유 중합체 와 의 혼합물 은 이면 층 패턴 화 시 요구 되 는 에칭 내성 에 있 어 교호 효과 가 있 는 경우 가 있 어 , 적절 한 비율 로 혼합 되 어 사용 될 경우 본래 의 중합체 에 대해 하드 마스크 조성물 로서 지녀야 할 물 성 즉 , 통상 적 으로 사용 되 는 용매 ( 이를 테 면 , PGMEA ( propylene glycol monomethyl ether aceate ) ) 에 대한 용해도 , 저장 안정 성 , 도포 와 베 이크 ( bake ) 후 용매 에 대한 내화 학성 등 에서 화학식 1 로 표시 되 는 중합체 단독 사용 시 와 동등 하 거나 보다 유리 한 특성 을 나타낼 수 있 다 .