도 11 a 내지 도 11 c 는 희생 패턴 들 ( 235 A 내지 235 C ) 의 형성 공정 을 나타내 는 도면 들 이 다 . 도 11 a 는 희생 패턴 들 ( 235 A 내지 235 C ) 의 레이아웃 을 나타내 고 , 도 11 b 는 도 11 a 에 도시 된 선 A - A ' 를 따라 절취 한 단면 을 나타내 고 , 도 11 c 는 도 11 a 에 도시 된 선 B - B ' 를 따라 절취 한 단면 을 나타낸다 .