본 발명 에 따른 이러 한 양상 의 또 다른 구 현예 는 카보닐 플 루오 라이드 및 부동태화 가스 , 그리고 선택 적 으로 질소 , 희가스 및 / 또는 수소 - 방출 가스 를 또한 함유 하 는 혼합물 에 관한 것 이 다 . 이 들 혼합물 은 식각 및 부동태화 를 동시 에 수행 하 는 경우 에 적합 하 다 . 아르곤 이 존재 하 는 것 이 매우 바람직 하 다 .