다층 반사막 ( 204 ) 에 대한 반사 율 을 EUV Reflectometer 장비 를 이용 하 여 13 . 5 ㎚ 에서 측정 한 결과 , 67 . 7 % 를 나타내 었 으며 , 박막 스트레스 를 Ultra - flat 장비 를 이용 하 여 측정 한 결과 TIR 이 625 ㎚ 를 나타내 었 다 . 이후 AFM 장비 를 이용 하 여 표면 거칠 기 를 측정 한 결과 , 0 . 125 ㎚ Ra 를 나타내 었 다 .