본 발명 에서 , 구동 포인트 위치 들 의 가중 된 평균 이 전극 의 중앙 과 워크 피스 통로 사이 에 있 도록 , 플라 즈 마 챔버 의 전극 상 에 하나 이상 의 RF 구동 포인트 들 에 RF 전력 이 결합 된다 . 가중 평균 은 상기 구동 포인트 위치 에 결합 되 는 RF 전력 의 시간 - 평균 레벨 에 의한 각각 의 구동 포인트 위치 의 가중 ( weighting ) 에 기초 한다 .