산화층 ( 51 ) 은 알루미늄 을 함유 하 는 반도체 화합물 , 예 를 들 면 , AlAs , AlGaAs , InAlGaAs 등 을 포함 할 수 있 다 . 실시 예 에 따른 산화층 ( 51 ) 은 중앙 에 산화 되 지 않 은 비산 화 영역 ( 53 ) 이 배치 될 수 있 다 . 즉 , 산화층 ( 51 ) 은 중앙 에 비산 화 영역 ( 53 ) 이 형성 될 수 있 다 .