구체 적 으로 , 제 1 조명계 ( 21 ) 는 예 를 들 면 XeCl 엑 시머 레이저 와 같 은 제 1 광원 ( 21 a ) 과 , 제 1 광원 ( 21 a ) 으로부터 의 광 을 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면상 에 집광 하 는 제 1 조명 광학계 ( 21 b ) 과 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면 에서 입사광 으로부터 패턴 광 을 생성 하 고 , 이 패턴 광 을 측정 광 으로서 결상 광학계 ( 10 ) 로 입사 시키 는 패턴 광 생 성 부재 ( 21 c ) 를 갖 는다 . 도 7 에서 는 패턴 광 생 성 부재 ( 21 c ) 로서 도 1 에 나타내 는 핀홀 부재 ( 2 ) 를 이용 하 는 구성 을 예시 하 고 있 지만 , 예 를 들 면 도 5 a 에 나타내 는 핀홀 부재 ( 2 a ) 나 도 5 b 에 나타내 는 핀홀 부재 ( 2 b ) 등 을 이용 할 수 도 있 고 , 패턴 광 생 성부 재 ( 21 c ) 의 설치 를 생략 할 수 도 있 다 .