일 측면 에 따르 면 , 상기 반도체 용 고 선택 비 식각 액 중 , 상기 무기산 의 함량 은 , 85 중량 % 내지 90 중량 % 인 것 일 수 있 다 . 상기 무기산 의 함량 이 85 중량 % 미만 일 경우 , 식각 의 효과 가 미미 할 수 있 으며 , 90 중량 % 를 초과 할 경우 , 강산 의 과다 첨가 로 인하 여 , 산화 막 이 과 식각 되 고 실리콘 파티클 을 유발 할 수 있 다 .