본 발명 의 다른 실시 예 에 있 어 , 상기 주 포토 마스크 는 고밀도 차광막 패턴 영역 및 저밀 도 차광막 패턴 영역 을 포함 하 되 , 상기 보조 포토 마스크 의 상기 투명 영역 들 은 상기 고밀도 차광막 패턴 영역 에 대응 하 도록 배치 되 고 , 상기 보조 포토 마스크 의 상기 반투명 영역 들 은 상기 저밀 도 차광막 패턴 영역 에 대응 하 도록 배치 될 수 있 다 .