( D ) 메타크릴 레이트 모노머 란 , 상기 ( C ) 아크릴 레이트 모노머 의 아크릴 로 일기 를 메타크릴 로 일기 로 치환 한 화합물 이 다 . 본 발명 에 있 어서 는 , ( D ) 메타크릴 레이트 모노머 의 함유량 은 , ( C ) 아크릴 레이트 모노머 에 대해서 0 ∼ 5 질량 ％ 이 다 . ( D ) 메타크릴 레이트 모노머 의 함유량 이 5 질량 ％ 초과 인 경우 , 레지스 트 박리 시 에 , 경화 된 감광성 수지 층 의 박리 편 이 커져 , 레지스 트 박리 액 에 용해 되 지 않 게 된다 .