또한 , 상기 클램프 ( 420 ) 는 상기 트레이 커버 부 ( 300 ) 와 트레이 ( 200 ) 를 하측 으로 가압 하 여 상기 척 ( 100 ) 에 고정 시 키 는 것 으로 , 상기 척 ( 100 ) 의 트레이 안착 홈 ( 120 ) 에 안착 된 트레이 ( 200 ) 와 트레이 커버 부 ( 300 ) 를 하측 으로 가압 하 여 상기 트레이 ( 200 ) 와 트레이 커버 부 ( 300 ) 를 척 ( 100 ) 에 고정 시킴 으로 , 다수 의 웨이퍼 ( 1 ) 를 동시 에 고정 · 가공 시킬 수 있 게 된다 .