" 마스크 하우스 ( 1530 ) 는 데이터 준비 ( 1532 ) 및 마스크 제작 ( 1544 ) 을 포함 한다 . 마스크 하우스 ( 1530 ) 는 IC 설계 레이아웃 다이어그램 ( 1522 ) 을 사용 하 여 IC 설계 레이아웃 다이어그램 ( 1522 ) 에 따라 IC 소자 ( 1560 ) 의 다양 한 층 을 제조 하 는 데 사용 될 하나 이상 의 마스크 ( 1545 ) 를 제조 한다 . 마스크 하우스 ( 1530 ) 는 IC 설계 레이아웃 다이어그램 ( 1522 ) 이 대표 데이터 파일 ( "" RDF "") 로 변환 되 는 마스크 데이터 준비 ( 1532 ) 를 수행 한다 . 마스크 데이터 준비 ( 1532 ) 는 RDF 를 마스크 제작 ( 1544 ) 에 제공 한다 . 마스크 제작 ( 1544 ) 은 마스크 라이터 를 포함 한다 . 마스크 라이터 는 RDF 를 마스크 ( 레티 클 ) ( 1545 ) 또는 반도체 웨이퍼 ( 1553 ) 와 같 은 기판 상 의 이미지 로 변환 한다 . IC 설계 레이아웃 다이어그램 ( 1522 ) 은 마스크 라이터 의 특정 특성 및 / 또는 IC 팹 ( 1550 ) 의 요건 을 따르 도록 마스크 데이터 준비 ( 1532 ) 에 의해 조작 된다 . 도 15 에서 ", 데이터 준비 ( 1532 ) 및 마스크 제작 ( 1544 ) 은 별도 의 요소 로서 예시 되 어 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 데이터 준비 ( 1532 ) 및 마스크 제작 ( 1544 ) 은 집합 적 으로 마스크 데이터 준비 로 지칭 될 수 있 다 .