또한 , 다이나믹 조정 ( Z 위치 보정 ) 용 의 렌즈 ( 도시 생략 ) 의 여기 량 을 바꾸 어 상기 의 측정 을 행하 여 , 초점 위치 를 바꾼 경우 의 위치 이탈 데이터 를 취득 하 고 , 기억 부 ( 142 ) 에 저장 한다 . 예 를 들 면 , 초점 위치 ( z ) 를 - 2 μ m , 0 μ m , 2 μ m 로 한 3 개 의 위치 이탈 데이터 를 취득 하 여 기억 부 ( 142 ) 에 저장 한다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 면 , 초점 위치 ( z ) 가 - 2 μ m , 0 μ m , 2 μ m 에 상당 하 는 위치 에 마크 상면 이 위치 하 는 마크 를 각각 이용 하 여 , 각각 의 마크 상면 에 포커스 를 맞춘 상태 로 멀티 빔 의 빔 위치 측정 을 행하 고 , 초점 위치 ( z ) 가 - 2 μ m , 0 μ m , 2 μ m 의 각각 의 경우 의 멀티 빔 의 빔 어레이 면 내 에서 의 빔 의 위치 이탈 분포 를 도시 한 위치 이탈 데이터 를 취득 하 여 기억 부 ( 142 ) 에 저장 한다 .