여기 서 , 스플래시 의 발생 에 따라 성막 중 의 막 이 파손 되 는 문제 는 , 성막 재료 가 금속 재료 인 경우 에 특히 문제 가 된다 . 따라서 , 본 실시 예 에 따른 노즐 유닛 , 도가니 , 증발원 및 증착 장치 는 , 증착 재료 가 금속 재료 인 경우 에 특히 유용 하 다 . 단 , 그 밖 의 재료 인 경우 에 도 , 효과 가 있 음 은 말 할 필요 도 없 다 .