산화 인듐 주석 을 함유 하 고 있 는 ITO 필름 은 높 은 전도율 과 가시광선 의 투과성 등 의 우수 한 특성 으로 인하 여 액정 디스플레이 ( LCD ) , 유기 발광 소자 ( OLED ) , 플라 즈 마 디스플레이 ( PDP ) 소자 등 의 디스플레이 장치 에서 투명 박막 전극 으로 많이 사용 되 고 있 다 . 이러 한 ITO 투명 박막 전극 은 화학 기상 증착 법 ( CVD ) , 원자 층 화학 증착 법 ( ALD ) , 스퍼터링 법 ( sputtering ) 등 에 의하 여 형성 될 수 있 으나 , 박막 형성 의 용이성 과 대면 적 기판 에 의 적용 용이성 등 의 이유 로 스퍼터링 법 이 널리 이용 되 고 있 다 .