본 실시 형태 에서 는 , 코일 유닛 을 구성 하 는 각 코일 ( 14 a ) 에 공급 되 는 전류 의 크기 및 방향 이 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 된다 . 평면 모터 ( 30 ) 와 , 전술 한 Z · 틸 트 구동 기구 를 포함 하 여 , 도 6 의 웨이퍼 스테이지 구동 계 ( 27 ) 가 구성 되 어 있 다 . 또한 , 평면 모터 ( 30 ) 로서 , 자기 부상 방식 의 평면 모터 를 사용 해도 된다 .