하지만 , 종래 에 사용 되 는 검사 장치 특히 , 가스 폐기물 혹은 이 에 포함 된 잔여물 을 검사 하 는 장치 는 제조 설비 에 적용 하 기 에 는 너무 큰 크기 와 , 설치 및 운용 을 위한 막대 한 비용 이 소비 되 는 단점 이 있 다 . 일례 로 , 질량 분석법 을 이용 하 는 검사 장치 의 경우 제조 설비 의 가스 압력 을 낮추 어 검사 장치 로 전달 해야 하 는 번거 로움 으로 인해 검사 장치 의 크기 가 커지 는 것 과 아울러 , 가스 압력 을 낮추 는 장치 를 설치 함 으로 인해 설치 비용 이 커지 는 문제점 이 있 었 다 . 이 질량 분석 검사 장치 의 경우 필라멘트 로부터 발생 되 는 열전자 가 가스 분자 를 이온 화 시키 고 , 이 분자 의 에너지 변화 를 측정 함 으로써 원 하 는 결과 를 얻 게 된다 . 이 와 같 은 질량 분석 검사 장치 의 필 라멘 트 는 검사 를 위한 기압 보다 낮 은 압력 에서 는 비 선형 성 을 가지 고 , 높 은 기압 에서 는 필라멘트 가 파괴 되 는 특성 이 있 다 . 하지만 , 제조 공정 에서 의 가스 압력 은 대체로 검사 를 위한 압력 보다 1000 배 이상 높 은 압력 을 나타내 기 때문 에 이 를 바로 적용 하 여 검사 를 할 수 있 는 방법 이 없 었 다 .