그 후 , XY θ 액 츄 에 이터 등 에 의해 기판 보유 지지 유닛 ( 210 ) 이 이동 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 ( 220 ) 의 얼라인먼트 가 행해진다 . 그리고 , 얼라인먼트 종료 후 , 마스크 ( 220 ) 상 에 기판 ( 10 ) 이 재치 되 어 , 기판 ( 10 ) 이 마스크 ( 220 ) 에 접촉 한 상태 가 된다 . 한편 , 기판 ( 10 ) 을 마스크 ( 220 ) 에 접촉 시키 는 공정 에 대해서 는 , 전술 한 바 와 같이 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 에 의해 기판 ( 10 ) 의 전면 을 마스크 ( 220 ) 에 대해 동시 에 접촉 시킬 수 도 있 고 , 복수 설치 된 협지 기구 Z 액 츄 에 이터 ( 251 ) 를 독립 적 으로 제어 함 으로써 , 기판 ( 10 ) 을 X 방향 의 일단 측 에서 타단 측 을 향해 점차 로 마스크 ( 220 ) 에 대해 접촉 시킬 수 도 있 다 . 기판 ( 10 ) 이 마스크 ( 220 ) 에 재치 된 후 , 냉 각판 Z 액 츄 에 이터 ( 252 ) 에 의해 , 냉 각판 ( 230 ) 이 강하 되 어 , 기판 ( 10 ) 의 마스크 ( 220 ) 와 는 반대 측 의 면 에 냉 각판 ( 230 ) 이 접촉 한다 . 단 , 기판 ( 10 ) 을 마스크 ( 220 ) 에 접촉 시키 는 동작 과 , 냉 각판 ( 230 ) 을 기판 ( 10 ) 에 접촉 시키 는 동작 에 대해서 는 , 동시 병행 으로 행하 는 것 도 가능 하 다 .