도 3 은 본 발명 의 예시 적 인 실시 예 에 따른 주사 형 노광 장치 의 개략 구성 을 나타낸다 . 이 노광 장치 는 , 엑 시머 레이저 나 i 선 램프 등 의 광원 ( 101 ) 과 , 광원 ( 101 ) 으로부터 의 빛 을 감쇠 시키 는 복수 의 감광 율 을 가진 광학 부재 ( 122 ) 와 , 레이저 빔 등 의 코 히 어 런 트 ( coherent ) 빛 의 각도 를 진동 시키 는 것 으로 , 불 균일 한 조도 를 제거 하 기 위한 광학 유닛 ( 102 ) 과 , 광원 ( 101 ) 으로부터 의 광 빔 을 정형 하 고 , 그 광 빔 을 인 코 히 어 런 트 ( incoherent ) 광 빔 으로 변환 하 는 빔 정형 광학 유닛 ( 103 ) 과 , 2 차 광원 인 옵티컬 인 테 그레 이터 ( optical integrator ; 105 ) , 옵티컬 인 테 그레 이터 ( 105 ) 로부터 의 광 빔 으로 마스킹 블레이드 ( masking blade ; 109 ) 의 면 을 조명 하 는 콘덴서 렌즈 ( 106 ) 를 포함 한다 . 이 광학 부재 ( 122 ) 의 대표 적 인 예 로서 투과 율 이 다른 ND 필터 가 있 다 .