이상 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 은 전해 가 공부 , 세 정부 및 건 조부 를 구성 하 는 하나 의 모듈 이 하나 의 반송 계 에 의해 연결 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 전해 가 공부 , 세 정부 및 건 조부 에 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 기 위한 수단 은 1 대 설치 하 면 좋 고 , 이 경우 , 전해 가 공부 , 세 정부 및 건 조부 에 있 어서 웨이퍼 ( W ) 를 연속 적 으로 반송 할 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 반송 계 의 비용 삭감 이 가능 하 게 됨 과 동시 에 , 웨이퍼 반송 수단 의 가동 률 이 향상 한다 .