시스템 제어기 ( 430 ) 는 , 일부 구 현예 들 에서 , 시스템 에 통합 되 거나 , 시스템 에 커플링 되 거나 , 이 와 달리 시스템 에 네트 워킹 되 거나 , 또는 이 들 의 조합 으로 될 수 있 는 컴퓨터 에 커플링 되 거나 이 의 일부 일 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , " 제어기 는 웨이퍼 프로세싱 의 원격 액세스 를 가능 하 게 할 수 있 는 공장 ( fab ) 호스트 컴퓨터 시스템 의 전부 또는 일부 이 거나 "" 클라우드 "" 내 에 있 을 수 도 있 다 . 컴퓨터 는 제조 동작 들 의 현 진행 을 모니터링 하 고 ", 과거 제조 동작 들 의 이력 을 조사 하 고 , 복수 의 제조 동작 들 로부터 경향 들 또는 성능 계측 치 들 을 조사 하 고 , 현 프로세싱 의 파라미터 들 을 변경 하 고 , 현 프로세싱 을 따르 는 프로세싱 단계 들 을 설정 하 고 , 또는 새로운 프로세스 를 시작 하 기 위해서 시스템 으로 의 원격 액세스 를 인 에 이 블 할 수 도 있 다 . 일부 예 들 에서 , 원격 컴퓨터 ( 예 를 들 어 , 서버 ) 는 로컬 네트워크 또는 인터넷 을 포함 할 수 도 있 는 네트워크 를 통해서 프로세스 레시피 들 을 시스템 에 제공 할 수 있 다 . 원격 컴퓨터 는 차후 에 원격 컴퓨터 로부터 시스템 으로 전달 될 파라미터 들 및 / 또는 설정 사항 들 의 입력 또는 프로그래밍 을 인 에 이 블 하 는 사용 자 인터페이스 를 포함 할 수 도 있 다 . 일부 예 들 에서 , 시스템 제어기 ( 430 ) 는 하나 이상 의 동작 들 동안 에 수행 될 프로세스 단계 들 각각 에 대한 파라미터 들 을 특정 한 , 데이터 의 형태 의 인스트 럭 션 들 을 수신 한다 . 이 파라미터 들 은 제어기 가 제어 하 거나 인터 페이 싱 하 도록 구성 된 툴 의 타입 및 수행 될 프로세스 의 타입 에 특정 적 일 수 도 있 다는 것 이 이해 되 어야 한다 . 따라서 , 상술 한 바 와 같이 , 시스템 제어기 ( 430 ) 는 예 를 들 어 서로 네트 워킹 되 어서 함께 공통 목적 을 위해서 , 예 를 들 어 본 명세서 에 기술 된 프로세스 들 및 제어 들 을 위해서 협력 하 는 하나 이상 의 개별 제어기 들 을 포함 함 으로써 분산 될 수 도 있 다 . 이러 한 목적 을 위한 분산 형 제어기 의 예 는 챔버 상 의 프로세스 를 제어 하 도록 조합 되 는 , ( 예 를 들 어 , 플랫 폼 레벨 에서 또는 원격 컴퓨터 의 일부 로서 ) 원격 으로 위치 한 하나 이상 의 집 적 회로 들 과 통신 하 는 챔버 상 의 하나 이상 의 집 적 회로 들 일 수 있 다 .