이 와 같이 , 본 발명 에 관한 기상 성 장용 서 셉 터 를 구비 하 는 기상 성장 장치 에서 에피 택 셜 웨이퍼 를 제조 한다면 , 웨이퍼 재치 면 에 메시 패턴 의 홈 에 의해 형성 된 다수 의 방형 볼록 부 를 가지 는 기상 성 장용 서 셉 터 에 있 어서 , 홈 깊이 가 웨이퍼 재치 면 에서 일정 하 지 않 고 , 중앙부 보다 외주 부 쪽 을 얕 게 함 으로써 , 웨이퍼 외 주부 온도 저하 에 따른 막 두께 저하 에 따른 에피 택 셜 층 의 막 두께 균일성 의 열화 , 웨이퍼 재치 시 의 휨 에 의한 흠집 발생 , 웨이퍼 이 면 외주 부로 의 실리콘 퇴적 에 의한 평탄 도 의 악화 등 의 문제 를 개선 할 수 있 다 .