그리고 , 부편 향기 ( 209 ) 는 , 3 샷 째 의 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 이 경과 한 후 , 멀티 빔 ( 20 ) 을 일괄 적 으로 편향 함 으로써 , 각 빔 의 묘화 위치 ( 3 샷 째 의 묘화 위치 ) 를 다음 의 각 빔 의 묘화 위치 ( 4 샷 째 의 묘화 위치 ) 로 시프트 한다 . 그 동안 , 주편 향기 ( 208 ) 는 , 영역 ( 21 ) 의 기준 위치 ( A 0 ) 에 대하 여 , XY 스테이지 ( 105 ) 의 이동 에 추종 하 도록 , 트랙 킹 편향 을 행한다 . 트랙 킹 이 개시 되 는 시점 ( 시각 t = 0 ) 의 기준 위치 ( A 0 ) 는 , t = 4 T 의 시점 에서 - x 방향 으로 , 예 를 들 면 , 8 빔 간 피치 이동 한다 . 그 동안 , 주편 향기 ( 208 ) 는 트랙 킹 을 계속 한다 . 그리고 , 도 16 ( c ) 에 도시 한 바 와 같이 , 4 샷 째 의 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 이 경과 한 시각 ( t = 3 T + Ttr ) 의 시점 에서 트랙 킹 을 리셋 한다 .