Co 막 을 성막 한 실리콘 기판 을 가로 세로 20 ㎜ 로 컷 하 였 다 . 또한 , 컷 후 의 실리콘 기판 에 는 코발트 가 360 ㎍ 이상 함유 되 어 있 었 다 . 계속 해서 , 실시 예 1 의 세정제 조성물 20 ㎖ 중 에 그 기판 을 25 ℃ 의 조건 하 에서 30 분 간 침지 시켰 다 . 그 후 , 기판 을 꺼내 , 침지 후 의 세정제 조성물 중 의 Co 농도 를 ICP 발광 분석 장치 ( Seiko Instruments 사 제조 , 형식 「 SPS 1700 HVR 」 ) 에 의해 측정 하 였 다 . 구해진 Co 농도 로부터 , 30 분 간 용출 된 , Co 용출량 ( ppb ) 을 구하 였 다 .