게이트 금속 패턴 의 형성 을 상세히 설명 하 면 , 하부 기판 ( 145 ) 상 에 스퍼터링 방법 등 의 증착 방법 을 통해 게이트 금속 층 이 형성 된다 . 이어서 , 제 1 마스크 를 이용 한 포토 리소그래피 공정 과 식각 공정 으로 게이트 금속 층 이 패 터닝 됨 으로써 게이트 라인 ( 102 ) , 게이트 전극 ( 108 ) , 게이트 패드 하부 전극 ( 122 ) , 공통 라인 ( 116 ) 을 포함 하 는 게이트 금속 패턴 이 형성 된다 . 게이트 금속 층 으로 는 Al , Mo , Cr 계 등 의 금속 이 단일 층 또는 이중층 구조 로 이용 된다 .