그러나 , 도 6 b 를 참고 하 면 , 본 발명 의 실시 예 와 같이 기체 차단 클램프 와 기판 을 이격 시키 고 그 사이 에 불활성 기체 를 흐르 게 한 경우 있 는 기판 의 가장자리 에 증착 된 박막 의 표면 색 과 기판 의 다른 영역 에 증착 되 어 있 는 박막 표면 색 이 서로 크 게 차이 나 지 않 는다는 것 을 알 수 있 다 . 즉 , 기판 위 에 증착 된 박막 의 균 일도 가 높 아 졌 음 을 알 수 있 다 .