표 1 에 는 본 발명 에 따른 식각 방법 에 따라 여러 가지 물질 층 들 을 Cl 2 , Ar , CH 4 및 H 2 를 포함 하 는 혼합 가스 의 플 라즈 마 를 이용 하 여 식각 한 경우 에 얻 어 진 식 각 율 의 측정 결과 가 나타나 있 다 . 여기 서 , 표 1 의 평가 를 위하 여 식각 가스 로서 Cl 2 , Ar , CH 4 및 H 2 를 각각 7 sccm , 7 sccm , 5 sccm 및 2 sccm 의 양 으로 공급 하 였 다 .