이 제 4 실시 형태 에 관련 된 디바이스 제조 시스템 에 의하 면 , 2 대 의 노광 장치 를 구비 하 고 있 기 때문 에 , 효율 적 으로 노광 을 실시 할 수 있 어 , 스루풋 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 이 제 4 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 실시 형태 와 동일 하 게 , 제 1 제어 모드 하 에서 , 제 1 노광 장치 ( EX 3 ) 및 제 2 노광 장치 ( EX 4 ) 에 의해 교대 로 노광 을 실시 하 는 것 이 바람직 하 며 , 이 경우 에 는 종래 장치 와 비교 하 여 최단 으로 처리 시간 이 1 / 2 이 된다 .