여기 서 , 다층 레지스 트 법 이란 , 기판 상 에 , 적어도 1 층 의 유기 막 ( 하층 유기 막 ) 과 , 적어도 1 층 의 레지스 트 막 ( 상층 레지스 트 막 ) 을 형성 하 고 , 상층 레지스 트 막 에 형성 한 레지스 트 패턴 을 마스크 로 하 여 하층 유기 막 의 패 터닝 을 실시 하 는 방법 으로 , 고애 스펙 트 비 의 패턴 을 형성 할 수 있 는 것 으로 알려져 있 다 . 즉 , 다층 레지스 트 법 에 의하 면 , 하층 유기 막 에 의해 소요 되 는 두께 를 확보 할 수 있 기 때문 에 , 레지스 트 막 을 박막 화 할 수 있 어 , 고애 스펙 트 비 의 미세 패턴 형성 이 가능 해진다 .