이 에 반해 , 텅스텐 막 을 성막 하 기 전 에 , 성막 원료 탱크 ( 91 ) 내 를 감압 하 지 않 고 텅스텐 막 의 성막 을 개시 하 면 , 도 6 의 파선 으로 나타내 는 바 와 같이 , 성막 공정 의 초기 단계 에서 , 1 회 당 공급 되 는 WCl 6 가스 의 유량 이 커진다 . 이 때문 에 , WCl 6 가스 에 의해 TiN 막 이 에칭 되 어 , 필요 한 막 두께 보다 도 얇 아 져버릴 우려 가 있 다 .