특정 실시 예 에서 , LER 및 / 또는 그 PSD 상 의 상한 은 , 계측 또는 디바이스 구조 의 주어진 기존 의 고해상도 광학 이미지 를 사용 하 여 LER 및 / 또는 PSD 추정 을 추출 함 으로써 광학 계측 측정 ( 들 ) 으로부터 추정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , LER 에 대한 상한 추정 ( 들 ) 은 식 13 에서 의 표현 을 역전 시킴 으로써 커널 3 시그마 및 / 또는 타 겟 구조 의 광학 콘트 라스트 와 같 은 계측 메트 릭 으로부터 유도 될 수 있 다 .