도 2 는 , 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) 의 구성 을 나타내 는 개념 도 이 다 . 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 성형 애퍼처 부재 ( 203 ) 에 는 , 세로 ( y 방향 ) m 열 Х 가로 ( x 방향 ) n 열 ( m , n ≥ 2 ) 의 개구 ( 22 ) 가 소정 의 배열 피치 로 형성 되 어 있 다 . 각 개구 ( 22 ) 는 , 모두 같 은 치수 형상 의 직사각 형 으로 형성 된다 . 각 개구 ( 22 ) 는 , 같 은 외경 의 원형 이 여도 상관없 다 . 이 들 복수 의 개구 ( 22 ) 를 전자 빔 ( 200 ) 의 일부 가 각각 통과 함 으로써 , 멀티 빔 ( 20 a 내지 20 e ) 이 형성 된다 .