제 1 상부 절연 층 ( 411 ) 은 도전 성 포스트 ( 160 ) 의 상면 ( 161 ) 의 일부 를 노출 시키 는 비아 오프닝 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 상부 절연 층 ( 411 ) 의 상면 의 일부분 , 제 1 상부 절연 층 ( 411 ) 의 상기 비아 오프닝 의 내 측벽 , 및 제 1 상부 절연 층 ( 411 ) 의 비아 오프닝 을 통하 여 노출 된 도전 성 포스트 ( 160 ) 의 상면 ( 161 ) 의 일부분 상 에 는 제 1 상부 씨드 층 ( 425 ) 이 배치 될 수 있 다 . 제 1 상부 씨드 층 ( 425 ) 의 일부 는 제 1 상부 도전 성 라인 패턴 ( 421 ) 과 제 1 상부 절연 층 ( 411 ) 의 상면 사이 에 개재 되 고 , 제 1 상부 씨드 층 ( 425 ) 의 다른 일부 는 제 1 상부 도전 성 비아 패턴 ( 423 ) 의 측벽 을 둘러싸 고 제 1 상부 도전 성 비아 패턴 ( 423 ) 과 도전 성 포스트 ( 160 ) 의 상면 ( 161 ) 사이 에 개재 될 수 있 다 .