도 1 및 2 에 도시 되 는 바 와 같이 , RF 전력 공급 부 ( 30 ) 는 전극 의 후 방벽 ( 20 ) 상의 RF 구동 포인트 ( 51 ) 에서 전극 ( 20 - 28 ) 에 전력 을 공급 하 기 위하 여 접속 된다 . ( 상기 개시 되 는 바 와 같이 , 회로 는 또한 RF 전력 공급 부 의 출력 부와 RF 구동 포인트 사이 에 접속 되 는 종래 의 임피던스 매칭 네트워크 ( 40 ) 를 포함 한다 . )