도 3 을 참조 하 면 , 양액 순환 부 ( 20 ) 는 양단 이 각각 양액 배출 구멍 ( 13 a ) 과 양액 공급 구멍 ( 15 a ) 에 연결 된 배관 ( 21 ) 과 , 펌프 ( 23 ) 와 , 양액 공급 탱크 ( 25 ) 와 , 필터 ( 27 ) 와 , 밸브 ( 29 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이 경우 펌프 ( 23 ) 와 , 양액 공급 탱크 ( 25 ) 와 , 필터 ( 27 ) 와 , 밸브 ( 29 ) 는 각각 배관 ( 21 ) 에 순차 적 으로 설치 된다 .