각 반송 롤러 ( 31 A ) 는 , 기판 ( W ) 의 반송 방향 ( A 1 ) ( 이하 , 반송 방향 ( A 1 ) 이 라고 함 ) 을 따라 반송로 ( H 1 ) 의 하방 에 소정 간격 으로 늘 어서 있 다 . 각 가압 롤러 ( 31 B ) 는 , 각각 , 각 반송 롤러 ( 31 A ) 에 반송 로 ( H 1 ) 를 사이 에 두 고 이격 되 어 대향 하 도록 반송로 ( H 1 ) 의 상방 에 위치 되 고 , 전술 한 각 반송 롤러 ( 31 A ) 의 소정 간격 과 동일 한 소정 간격 으로 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 늘 어서 있 다 . 이 들 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 는 , 처리 실 ( 20 ) 내 에 회전 가능 하 게 설치 되 고 , 구 동원 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 서로 동기 하 여 회전 하 도록 구성 된다 . 반송 롤러 ( 31 A ) 는 시계 방향 으로 회전 하 고 , 가압 롤러 ( 31 B ) 는 반시 계 방향 으로 회전 한다 . 본 실시 형태 에서 는 , 도 1 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 각 반송 롤러 ( 31 A ) 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따르 는 수평 의 반송 로 ( H 1 ) 를 형성 한다 .