도 3 과 함께 다시 참조 하 면 , 도 3 은 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 다축 변위 플랫 폼 ( 2 ) 과 충전 모듈 위치 맞춤 장치 ( 3 ) 의 사시도 이 다 . 본 실시 예의 충전 모듈 위치 맞춤 장치 ( 3 ) 는 지지 프레임 ( 33 ) , 슬라이딩 베이스 ( 34 ) , 제 1 조준 모듈 ( 31 ) 및 제 2 조준 모듈 ( 32 ) 을 포함 하 고 , 지지 프레임 ( 33 ) 은 상기 다축 변위 플랫 폼 ( 2 ) 의 양 측변 에 브리 징 ( bridging ) 연결 되 며 상대 적 으로 슬라이딩 할 수 있 다 . 지지 프레임 ( 33 ) 에 는 수평 슬라이딩 레일 ( 331 ) 이 설치 되 고 , 슬라이딩 베이스 ( 34 ) 는 상기 수평 슬라이딩 레일 ( 331 ) 에 커플링 되 며 상대 적 으로 슬라이딩 할 수 있 다 .