다음 으로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 + Y 방향 에 대한 주사 ( 스캔 ) 를 개시 하 고 , 도 51 에 도시 된 바 와 같이 , 얼라이먼트 영역 으로 이동 시킨다 . 그리고 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 인코더 ( 170 C , 170 D ) ( 및 간섭계 ( 209 , 229 ) ) 를 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 위치 좌표 를 계측 하 면서 , 인 헨스 드 · 글로벌 · 얼라이먼트 ( EGA ) 를 개시 한다 . 상세히 서술 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 X 축 방향 으로 이동 시킴 과 함께 , Y 축 방향 에 관하 여 스텝 이동 시키 면서 , 스텝 위치 마다 , 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 를 포함 하 는 적어도 하나 의 얼라이먼트 계 를 사용 하 여 , 웨이퍼 ( W 1 ) 상 의 특정 복수 의 쇼트 영역 ( 샘플 쇼트 영역 ) 에 부설 된 복수 의 얼라이먼트 마크 의 일부 를 검출 하 고 , 그 검출 결과 와 검 출시 에 있 어서 의 인코더 ( 170 C , 170 D ) 의 계측 값 을 관련 시켜 도시 가 생략 된 메모리 에 저장 한다 .