샤프트 ( 190 B ) 는 , 도시 되 지 않 은 스테핑 모터 등 의 구동 에 의해 Z 방향 으로 이동 한다 . 이 로써 , 이면 차 단판 ( 170 ) 이 Z 방향 으로 이동 가능 해 지 고 , 기판 ( W ) 에 대하 여 접근 또는 이 간 할 수 있 다 . 여기 서 , 샤프트 ( 190 B ) 의 동작 은 , 후술 하 는 제 어부 에 의해 제어 된다 .