본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 이송 모듈 ( 35 ) 은 기판 을 회전 시켜 기판 을 반전 시킨다 . 즉 , 이송 모듈 ( 35 ) 은 몸 체부 및 상기 몸 체부 와 연결 되 어 회전 가능 한 블레이드 를 포함 한다 . 따라서 , 제 1 식각 모듈 ( 21 ) 에서 주변 부 상 의 이 물질 을 제거 된 기판 을 반전 시켜 기판 의 제 2 면 이 노출 되 도록 하 여 제 2 공정 챔버 ( 27 ) 에 로딩 한다 . 제 2 식각 모듈 ( 21 ) 은 노출 된 기판 의 제 2 면 을 식각 하 여 제 2 면 에 잔류 하 는 이 물질 을 제거 한다 .