도 12 를 참조 하 면 , 우선 , 처리 가 시작 되 면 ( S 300 ) , 연산 부 ( 70 ) 의 검사 대상 위치 제 어부 ( 80 ) 로부터 의 명령 에 의해 , 검사 대상 위치 제어 기구 는 , 검사 대상 의 검사 부분 ( 시야 ) 를 촬상 가능 한 위치 로 이동 한다 ( S 302 ) . 즉 , 투시화 상 을 촬상하기 위해 , 검사 대상 을 실 은 스테이지 와 X 선 검출기 를 소정 의 위치 로 이동 한다 . 통상 , 검사 에서 는 , 검사 위치 의 특정 을 위해 광학 카메라 ( 도시 생략 ) 가 탑재 되 어 있 기 때문 에 , 광학 카메라 의 화상 을 기초 로 위치 를 정하 는 것 이 가능 하 다 . 그 밖 의 방법 으로서 , 검사 대상 의 CAD 데이터 를 기초 로 자동 적 으로 정하 여도 좋 고 , 작업자 가 육안 으로 행하 여도 좋 다 .