본 발명 에 따른 유기 금속 전구체 는 CVD 및 ALD 에 통상 적 으로 사용 되 는 것 이 면 모두 사용 할 수 있 으며 , 그 의 대표 적 인 예 는 다음 과 같 은 화합물 로 표시 된다 : MRy , M ( OR ) y , M ( NR 1 R 2 ) y , M ( acac ) y , M ( Cp ) y , M ( CpRx ) y , M ( CO ) y , 또는 MHz - NR 1 R 2 R 3 . 여기 서 , M 는 금속 이 고 ; R , R 1 , R 2 및 R 3 는 각각 독립 적 으로 알 킬 또는 아릴 이 고 ; acac 는 아세틸 아 세토 네 이 트이 고 ; Cp 는 사이클 로 펜 타 다인 이 고 ; x , y 및 z 는 각각 독립 적 으로 1 내지 6 의 정수 이 다 . 상기 M 으로서 나타내 어 지 는 금속 의 바람직 한 예 로 는 주기율표 ( IUPAC 에 의한 번호 체계 에 근거 ) 상 2 족 ( Mg , Ca , Sr , Ba ) , 3 족 ( Sc , Y , La ) , 4 족 ( Ti , Zr , Hf ) , 5 족 ( V , Nb , Ta ) , 6 족 ( Mo , W , Cr ) , 8 족 ( Ru ) , 9 족 ( Rh , Co , Ir ) , 10 족 ( Ni , Pd , Pt ) , 11 족 ( Cu ) , 12 족 ( Zn , Cd ) , 13 족 ( Al , Ga , In ) , 14 족 ( Ge , Sn , Pb ) , 15 족 ( Bi ) 원소 및 란타나이드 ( lanthanide ) 계열 금속 을 들 수 있 다 .