본 발명 의 범프 본딩 장치 에 있 어서 , 위치 수정 클릭 이동 기구 는 , 본딩 스테이지 가 고정 된 슬라이더 에 부착 된 프레임 과 , 위치 수정 클릭 이 고정 된 가동 기판 과 , 프레임 에 부착 되 며 , 가동 기판 을 본딩 스테이지 의 코너 부 를 향하 는 방향 을 따라 안내 하 는 가이드 와 , 가이드 를 따라 설치 되 며 , 가동 기판 을 탄성 바이어스 시키 는 스프링 과 , 가동 기판 에 부착 되 며 , 스프링 과 협동 함 과 아울러 링크 에 결합 하 여 본딩 스테이지 의 이동 에 연동 하 여 가동 기판 을 가이드 를 따라 이동 시키 는 동작 암 을 갖 도록 하 여도 바람직 하 다 . 또한 캠 구동 기구 는 , 프레임 에 회전 이 자유 롭 게 부착 되 고 , 일단 에 캠 팔 로 워 가 부착 되 며 , 타단 이 링크 에 결합 하 여 본딩 스테이지 의 이송 방향 으로 의 이동 에 연동 하 여 캠 팔 로 워 를 이동 시키 는 회전 암 과 , 가동 기판 에 설치 되 며 , 캠 팔 로 워 가 결합 하 여 본딩 스테이지 의 이송 방향 으로 의 이동 에 연동 하 여 가동 기판 을 본딩 스테이지 코너 부 와 반대 방향 을 향하 여 이동 시킴 과 아울러 가동 기판 을 위치 수정 클릭 이 퇴피 위치 에 오 는 위치 에 유지 하 는 캠 면 을 포함 하 도록 하 여도 바람직 하 다 .