마모 임계 값 을 획득 한 후 , 계속 일반 적 인 제조 공정 작업 인 기판 전송 작동 을 진행 한다 . 동시 에 가속 계기 를 이용 하 여 전송 장치 ( 220 ) 의 진동 상태 를 진단 하 며 , 표시 유닛 ( 206 ) 에 나타나 는 측정값 의 변화 상황 을 관찰 한다 . 장치 가 작동 과정 에서 측정 한 값 이 마모 임계 값 에 도달 할 때 기계 를 중지 하 고 검사 하 는 작동 을 진행 하 며 , 이때 부품 을 교체 하 는 것 을 결정 할 수 있 어 이후 안전 한 작동 을 담보 한다 .