또한 , 광전류 를 저감 하 고 싶 은 경우 는 , 원소 X 는 Zr , Hf , Ge , Si , Ti 가 바람직 하 다 . 또한 , 플라 즈 마 내성 을 높 게 하 여 후 공정 에서 특성 이 변화 되 기 어렵 게 하 고 싶 은 경우 는 , 원소 X 는 Cu , Ni , Co , Fe , Cr , Mn , W , Mo , V 및 Nb 가 바람직 하 다 .