내부 반사 패턴 막 ( 150 ) 은 내부 반사 패턴 트렌치 ( 140 ) 를 완전히 채울 수 있 다 . 이 에 따라서 , 내부 반사 패턴 막 ( 150 ) 의 상면 은 기판 ( 100 ) 의 상면 과 동일 한 레벨 일 수 있 다 . 이 는 경계 분리 막 ( 130 ) 도 마찬가지 일 수 있 다 . 즉 , 경계 분리 막 ( 130 ) , 기판 ( 100 ) 의 상면 및 내부 반사 패턴 막 ( 150 ) 의 상면 이 모두 동일 한 평면 일 수 있 다 .