플 라즈 마 에 대한 내식성 이 우수 하 고 플 라즈 마 분포 의 균일성 을 확보 하 며 , 전기전도도 및 열전도도 를 개선 하 고 구조 가 간단 한 보론 카바이드 코팅 층 을 포함 하 는 플 라즈 마 처리 장치 및 제조 방법 을 제시 한다 . 그 장치 및 방법 은 플 라즈 마 처리 를 위한 반응 공간 을 형성 하 는 챔버 및 챔버 의 내부 에 위치 하 고 플 라즈 마 와 접촉 하 는 부품 을 포함 하 고 , 그 부품 은 플라 즈 마 내 식성 이 있 고 부피 비저항 이 105 ~ 10 - 5 Ω ㆍ cm 인 보론 카바이드 이 다 .