일례 로 , 배 플 유닛 제어 장치 ( 200 ) 는 공 압 실린더 를 이용 하 여 구현 되 는 경우 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 커버 부재 ( 310 ) , 피스톤 부재 ( 320 ) 및 공 압 제 공부 ( 330 ) 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 도 6 은 도 1 의 기판 처리 시스템 에 구비 되 는 배 플 유닛 을 제어 하 는 배 플 유닛 제어 장치 의 제 4 실시 형태 를 보여 주 는 예 시도 이 다 .