도 11 a 내지 도 12 c 는 본 개시 의 또 다른 실시 예 에 따라 FinFET 을 갖 는 반도체 디바이스 를 제조 하 기 위한 순차 적 프로세스 들 을 도시 한다 . 방법 의 추가 실시 예 에 대하 여 , 도 11 a 내지 도 12 c 에 의해 도시 된 프로세스 전 에 , 프로세스 동안 , 그리고 프로세스 후 에 추가 의 동작 이 제공 될 수 있 고 , 아래 에 기재 된 동작 중 의 일부 가 교체 되 거나 없 어 질 수 있 다는 것 을 이해 하 여야 할 것 이 다 . 동작 / 프로세스 의 순서 는 서로 바뀔 수 있 다 .