레지스 트 막 을 노광 하 는 방법 으로서 는 , 예 를 들 면 레지스 트 막 에 , 소정 의 마스크 를 통과 시켜 활성 광선 또는 방사선 을 조사 하 는 방법 을 들 수 있 다 . 또 , 레지스 트 막 에 전자 빔 을 조사 하 는 방법 의 경우 는 , 마스크 를 통하 지 않 고 조사 해도 된다 ( 이것 을 , " "" 직 묘 ( 直 描 ) "" 라고도 한다 ) . "