일 실시 형태 에서 , 촉매 는 프로세스 챔버 ( 200 ) 로 공급 되 어 프로세스 챔버 ( 200 ) 내 의 기상 촉매 의 정적 압력 을 약 20 Torr 에서 약 1500 Torr ( 즉 , 약 2 bars ) 로 , 바람직 하 게 는 약 100 Torr 내지 약 760 Torr 로 증가 시킨다 . 프로세스 챔버 ( 200 ) 의 체적 은 약 1 . 1 리터 이 다 . 기상 촉매 의 접촉 시간 은 약 10 초 내지 약 60 초 , 바람직 하 게 는 약 20 초 내지 약 30 초 일 수 있 다 . 기상 촉매 에 의한 처리 가 완성 된 이후 에 , 약 5 Torr 미만 의 압력 이 달성 될 때 까지 , 잔류 하 는 기상 촉매 가 불활성 가스 의 동적 흐름 또는 진공 펌프 ( 240 ) 둘 중 하나 에 의해 프로세스 챔버 ( 200 ) 로부터 제거 된다 . 다른 실시 형태 에서 , 진공 펌프 ( 240 ) 및 / 또는 배압 조절기 ( 250 ) 의 동시 동작 도중 에 기상 촉매 를 프로세스 챔버 로 흐르 게 함 으로써 동적 진공 이 유지 될 수 있 다 .