또 다른 예 로서 , 윤곽 은 에지 배치 위치 및 / 또는 오 차 를 평가 하 는 데 사용 될 수 있 다 ( 이 는 브리 징 과 같 은 결함 을 식별 하 기 위해 사용 될 수 도 있 다 ) . 사실상 , 이 기술 은 전산 ( computational ) 계측 형태 를 제공 하 여 에지 배치 오차 를 결정 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 예측 된 윤곽 으로 , " "" 가상 "" 에지 배치 오 차 가 예측 될 수 있 다 . 이 는 ", 예 를 들 어 에지 배치 오차 구동 ( edge placement error driven ) 인 다중 패 터닝 결함 예측 에 사용 될 수 있 다 . 따라서 , 에지 배치 오차 구동 결함 은 CD 및 초점 핑거 프린트 를 이용 하 여 추정 될 수 있 다 .