일부 구 현예 에서 , 산화 막 은 연속 적 인 2 단계 공정 을 사용 하 여 형성 되 고 , 상기 2 단계 공정 은 기판 의 하부 층 이 플 라즈 마 에 노출 되 는 것 을 피함 으로써 치수 열화 및 / 또는 하부 층 의 산화 를 방지 하 도록 제 1 단계 로서 열적 ALD 를 제 2 단계 로서 PEALD 를 포함 한다 . 일부 구 현예 에서 , 제 1 단계 및 제 2 단계 는 동일 반응 챔버 에서 연속 적 으로 수행 된다 . 일부 구 현예 에서 , 반응물 이 비 여기 상태 에 있 을 때 조차 열적 ALD 를 위한 반응물 및 전 구체 의 반응도 는 PEALD 에 대한 것 보다 높 기 때문 에 , 열적 ALD 를 위한 반응물 은 PEALD 를 위한 반응물 과 상이 한 유동 경로 를 통해 반응 챔버 에 공급 된다 . 열적 ALD 를 위한 전구체 는 PEALD 를 위한 전구체 와 상 이 할 수 있 거나 상이 하 지 않 을 수 있 다 .