다음 에 , 실시 형태 와 관련 되 는 피 가 공물 의 가공 방법 을 설명 한다 . 도 2 는 , 실시 형태 와 관련 되 는 피 가 공물 의 가공 방법 을 나타내 는 흐름 도 이 다 . 도 3 은 , 도 2 의 분할 기점 형성 단계 ( ST 12 ) 를 실시 하 는 가공 장치 ( 10 ) 의 사시도 이 다 . 도 4 는 , 도 3 에 도시 된 가공 장치 ( 10 ) 의 레이저 조사 유닛 의 구성 을 모식 적 으로 도시 한 도면 이 다 . 도 5 는 , 도 4 에 도시 된 레이저 조사 유닛 이 조사 한 레이저 광선 의 스폿 형상 의 일례 를 도시 한 웨이퍼 의 주요부 의 평면도 이 다 . 도 6 은 , 도 2 의 분할 기점 형성 단계 ( ST 12 ) 를 설명 하 는 단면도 이 다 . 도 7 및 도 8 은 , 도 2 의 분할 단계 ( ST 14 ) 를 설명 하 는 단면도 이 다 . 실시 형태 와 관련 되 는 피 가 공물 의 가공 방법 은 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 유지 단계 ( ST 11 ) 와 , 분할 기점 형성 단계 ( ST 12 ) 와 , 점착 단계 ( ST 13 ) 와 , 분할 단계 ( ST 14 ) 를 구비 한다 .