도 5 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 이송 챔버 ( 502 ) 와 슬릿 밸브 ( 504 ) 사이 의 인터페이스 ( 500 ) 의 단면도 이 다 . O - 링 ( 508 ) 은 이송 챔버 ( 502 ) 와 슬릿 밸브 ( 504 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . O - 링 ( 508 ) 은 슬릿 밸브 ( 504 ) 의 제 1 그루브 ( 518 ) 내 에 부분 적 으로 배치 될 수 있 다 . 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 506 ) 는 슬릿 밸브 ( 504 ) 와 이송 챔버 ( 502 ) 사이 에 배치 될 수 있 다 . 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 506 ) 는 슬릿 밸브 ( 504 ) 내 로 들어갈 수 있 어 ( countersink ) 슬릿 밸브 외부 로 거리 ( T ) 로 연장 한다 . 예 를 들 면 , 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 506 ) 는 제 1 그루브 ( 518 ) 의 방사상 외측 에 배치 되 는 하나 또는 둘 이상 의 제 2 그루브 ( 528 ) 중 하나 이상 내 에 배치 될 수 있 다 .