예 5 : 예 1 내지 예 4 중 하나 에서 와 같 은 MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) 로서 , 제 1 차동 출력 신호 는 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 ) 의 제 1 및 제 2 출력 탭 ( 18 , 19 ) 사이 에 제공 되 고 , 제 2 차동 출력 신호 는 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 20 ) 의 제 1 및 제 2 출력 탭 ( 28 , 29 ) 사이 에 제공 되 며 , 제 1 차동 MEMS 센서 ( 10 ) 의 제 1 출력 탭 ( 18 ) 은 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 ) 의 제 1 전극 구 조체 ( 14 ) 와 접속 되 고 , 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 ) 의 제 2 출력 탭 ( 19 ) 은 제 1 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 ) 의 제 2 전극 구 조체 ( 16 ) 와 접속 되 며 , 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 20 ) 의 제 1 출력 탭 ( 28 ) 은 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 20 ) 의 제 1 전극 구 조체 ( 24 ) 와 접속 되 고 , 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 20 ) 의 제 2 출력 탭 ( 29 ) 은 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 26 ) 의 제 2 전극 구 조체 ( 26 ) 와 접속 되 며 , 결합 된 제 1 및 제 2 차동 출력 신호 의 판독 은 제 1 및 제 2 차동 MEMS 센서 들 ( 10 , 20 ) 의 제 1 및 제 2 출력 탭 들 ( 18 , 19 , 28 , 29 ) 의 역 평행 접속 ( 15 , 17 ) 에 의해 제공 되 는 , MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) .