제 2 공정 챔버 ( 52 ) 는 척 ( 52 b ) 에 안착 된 기판 ( W ) 상 에 소정 의 반도체 제조 공정 을 수행 한다 . 공정 이 완료 된 기판 ( W ) 은 다시 제 2 공정 챔버 ( 52 ) 로부터 제 2 지지 부 재 ( 120 ) 로 이송 된 후 제 1 로봇 암 ( 44 a ) 에 의해 제 2 챔버 ( 34 ) 로 이송 되 어 진 후 로봇 암 ( 22 ) 에 의해 수납 부재 ( C ) 로 반송 된다 .