일 실시 예 에 따르 면 , 상기 반사체 를 형성 하 는 단계 는 , 상기 기판 내 에 제 1 원소 이온 주입 공정 을 수행 하 여 평판 형태 의 제 1 원소 주입 층 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 기판 내 에 제 2 원소 이온 주입 공정 을 선택 적 으로 수행 하 여 상기 제 1 원소 주입 층 상 에 복수 의 제 2 원소 주입 층 들 을 형성 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 제 2 원소 주입 층 들 은 상기 제 1 원소 주입 층 의 폭 에 비하 여 작 은 폭 들 을 갖 고 , 상기 제 2 이온 주입 층 들 은 상기 제 1 이온 주입 층 과 접촉 하 고 , 상기 제 2 이온 주입 층 들 은 옆 으로 서로 이격 된다 .