수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 도 8 ( A ) 및 도 8 ( B ) 에 도시 한 바 와 같이 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 이 동부 ( 50 ) 가 상대 적 으로 접근 시키 고 웨이퍼 ( 200 ) 에 액상 수지 ( 301 ) 를 피복 하 는 수지 피복 동작 을 실시 한다 . 여기 서 , 수지 점착 기 ( 1 ) 는 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 제 어부 ( 70 ) 가 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 미리 정해진 수지 두께 ( 312 ) 의 수지 ( 302 ) 를 피복 하 도록 , 상관 관계 데이터 저 장부 ( 71 ) 에 기록 된 상관 관계 데이터 ( 73 ) 를 참조 하 여 , 온도 측 정부 ( 15 ) 가 측정 한 온도 에 상당 하 는 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 과 의 상대 적 인 이 동량 ( 27 ) 을 이 동부 ( 50 ) 에 설정 한다 .