일반 적 인 도어 유닛 은 기판 을 반송 하 는 도중 외부 의 물체 와 충돌 하 더라도 계속 하 여 상승 한다 . 이 에 , 도어 유닛 이 외부 의 물체 ( 예컨대 , 기판 이나 반송 로봇 등 ) 와 충돌 하 게 되 면 도어 뿐 아니 라 외부 의 물체 가 파손 되 는 것 을 막 기 어렵 다 . 또한 , 도어 유닛 이 외부 의 물체 와 충돌 하 는 경우 도어 유닛 의 구동 을 멈추 기 위해 별도 의 밸브 를 설치 하 는 방안 을 고려 해 볼 수 있 으나 , 이러 한 밸브 의 조작 은 사용 자 가 직접 해야 하 고 , 충돌 이 이루어지 는 짧 은 시간 동안 이 를 조작 하 기 어렵 다 . 그러나 , 본 발명 의 일 실시 예 에 의하 면 , 스위치 블레이드 ( 452 ) 가 외부 의 물체 와 충돌 하 는 경우 실린더 부재 ( 430 ) 내 의 가스 를 외부 로 배출 시켜 곧바로 도어 ( 410 ) 가 승강 하 는 것 을 중단 시킨다 . 이 에 , 도어 유닛 ( 400 ) 이 외부 의 물체 와 충돌 하 더라도 도어 ( 410 ) 나 반송 로봇 ( 300 ) 등 의 외부 의 물체 가 파손 되 는 것 을 막 을 수 있 다 .