플 라즈 마 가 없 는 경우 , 세정 기체 혼합물 의 열 해리 를 촉진 하 려는 시도 로서 챔버 온도 를 증가 시킬 수 있 다 . 이러 한 고온 유형 세정 은 , 챔버 의 가열 이 전체 세정 공정 정지 시간 을 증가 시키 고 챔버 및 그 안 에 저장 되 는 성분 을 손상 시킬 수 도 있 으므로 상업 적 으로 덜 적합 하 다 . 이러 한 유형 의 가열 공정 에 도 추가 의 설비 가 필요 할 수 있 다 .