이 와 같이 , CD 가 균일 하 지 않 은 불량 패턴 에 의해 패턴 간격 이 균일 하 지 않 은 영역 의 멤 브레인 박막 위 에 투과광 의 투과율 을 낮추 어 주 는 투과율 조절 막 을 두께 를 달리 하 여 형성 하 므로 , 포토 마스크 상 에 작 은 CD 를 갖 는 불량 패턴 ( 111 ) 이 형성 되 더라도 웨이퍼 노광 시 패턴 CD 를 보정 해 줄 수 있 다 .