기판 을 냉각 해 23 ℃ 로 온도 조절 후 슬릿 모양 노즐 을 갖 는 유리 기판 용 코터 ( FAS · 아시아 사제 , 상품명 : MH - 1600 ) 로 상기 표 에 기재 된 조성 으로 이루어지 는 감광성 수지 조성물 K 1 을 도포 했 다 . 계속 해서 진공도 를 10 - 5 Pa 로 하 고 , 온도 100 ℃ 의 진공 건조 장치 에서 2 분 간 건조 해서 약 막 두께 2 . 3 ㎛ 의 감광성 수지 조성물 층 K 1 을 얻 었 다 .