상기 전극 간거리 측정 단계 ( S 710 ) 에서 는 공정 챔버 , 상부 전극 인 제 1 전극 및 하부 전극 인 제 2 전극 을 포함 하 는 전극 부 , 기판 지지 부 및 RF 전원 공급 부 를 포함 하 는 기판 처리 장치 에서 상기 제 1 전극 ( 231 ) 과 제 2 전극 ( 232 ) 사이 의 전극 간거리 를 측정 할 수 있 다 . 이때 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 과 제 2 전극 ( 232 ) 사이 의 전 극간 거리 는 초기 상태 또는 공정 이 진행 되 어 열팽창 이 완료 된 후 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 돌출 전극 ( 231 a ) 과 제 2 전극 ( 232 ) 사이 의 최 단거리 를 의미 한다 .