이 와 같 은 시일 구 조체 에 있 어서 진공 챔버 의 개구부 를 기밀 하 게 시일 할 때 는 , 개구부 의 주위 의 시 일면 에 접촉 시켜 , 개구부 내 를 기밀 하 게 밀봉 하 는 O 링 이 이용 되 며 , 특히 내열성 , 내식성 이 뛰어난 엘라스토머 의 O 링 이 이용 된다 . 그렇지만 , 이 와 같 은 엘라스토머 의 O 링 을 이용 한 시 일 구 조체 에 있 어서 는 O 링 을 투과 하 는 기체 , 예 를 들 면 대기 의 투과 가 문제 가 되 어 , 대기 의 투과 를 억제 한 시 일 구 조체 가 요구 되 고 있 다 .