상기 증발 챔버 ( 200 ) 는 외형 을 형성 하 는 제 1 챔버 바디 ( 201 ) 와 , 상기 제 1 챔버 바디 ( 201 ) 내 에 구성 되 어 열 을 발생 시키 는 발열체 로 이루어진 제 1 가열 수단 ( 230 ) 과 , 챔버 내부 ( 202 ) 내 구성 되 어 고체 의 반응 물질 이 수용 되 는 수용체 ( 220 ) 와 , 상기 증발 챔버 ( 200 ) 내부 ( 202 ) 의 공기 를 배출 시키 기 위한 진공 펌프 ( 210 ) 와 , 상기 진공 펌프 ( 210 ) 측 으로 챔버 내부 ( 202 ) 의 공기 가 빠져나가 는 통로 를 제공 하 는 배출구 ( 212 , 213 ) 를 포함 한다 .