본 실시 예 에서 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 가 상하 이동 가능 하 여 , 증착 공정 동안 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 사이 에 불활성 기체 를 흐르 게 함 으로써 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 을 이격 하 지만 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 를 반응기 내벽 ( 361 ) 등 에 고정 시켜 기계 적 으로 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 을 이격 할 수 도 있 다 . 이 처럼 , 본 발명 의 다른 한 실시 예 에서 는 기체 차단 클램프 ( 369 ) 가 기계 적 으로 기판 ( 370 ) 과 이격 되 고 , 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 사이 의 공간 을 통해 불활성 기체 가 흐를 수 있 다 . 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 증착 장치 의 기체 차단 클램프 ( 369 ) 는 상기 반응기 내부 벽 ( 361 a ) 와 일체 로 형성 되 어 기체 차단 클램프 ( 369 ) 와 기판 ( 370 ) 이 이격 되 도록 구성 될 수 있 다 .