정 전척 ( 308 ) 은 , 세라믹 등 의 판형 상 부재 이 며 , 내부 전극 에 전압 을 인가 하 고 , 유리 기판 ( G ) 과 의 사이 에 작용 하 는 정전 력 에 의해 유리 기판 ( G ) 을 흡착 하 는 것 이 며 , 척 프레임 ( 309 ) 의 하측 가장자리 에 상하 로 이동 불 가능 하 게 고정 되 어 있 다 . 정 전척 ( 308 ) 은 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 복수 의 척 판 ( 308 a ) 으로 분할 되 어 있 고 ( 도면 에서 는 6 장 ) , 각 척 판 ( 308 a ) 의 변 끼리 가 복수 의 리브 ( 309 b ) 에 의해 고정 되 어 있 다 . 리브 ( 309 b ) 는 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 지지 틀 이 간섭 하 지 않 도록 복수 로 나뉘 어 져 있 다 .