처리 실 ( 40 ) 의 내부 의 시료 대 ( 2 ) 의 아래쪽 이 며 진공 용기 ( 10 ) 의 하부 에 는 , 처리 실 ( 40 ) 의 내부 를 배기 하 는 배기 부 ( 45 ) 와 연통 ( 連通 ) 하 는 배기 용 개구 ( 42 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 배기 용 개구 ( 42 ) 와 배기 부 ( 45 ) 의 도시 하고 있 지 않 은 진공 펌프 사이 에서 이 들 을 연결 하 는 배기 의 경로 ( 43 ) 의 내부 에 는 , 판 형상 의 밸브 인 압력 조정 밸브 ( 44 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 압력 조정 밸브 ( 44 ) 는 , 배기 의 경로 ( 43 ) 의 단면 을 가로질러 배치 된 판 형상 의 밸브 이 며 , 이 판 형상 의 밸브 가 축 방향 으로 회전 하 여 유로 에 대한 단면적 을 증감 시킨다 .