그리드 플레이트 ( 6 ) 는 렌즈 기둥 ( 4 ) 을 위한 중심 홀 을 포함 하 고 , 3 개 의 플렉 셔 요소 들 ( 8 ) , 예 를 들 어 리프 - 스프링 들 을 포함 한 장착 디바이스 ( 7 ) 를 이용 하 여 메트로 - 프레임 ( 3 ) 에 장착 된다 . 플렉 셔 요소 들 ( 8 ) 은 실질 적 으로 수평 인 평면 에서 가상 원 ( 9 ) 의 원주 상 에 동일 한 각도 로 배치 된다 . 가상 원 ( 9 ) 의 중심 은 실질 적 으로 리소그래피 장치 의 렌즈 기둥 ( 4 ) 의 중심축 ( A - A ) 과 대응 한다 . 메트로 - 프레임 ( 3 ) 은 온도 또는 다른 외부 영향 들 로 인해 형상 이 변할 수 있 다 . 알려진 리소그래피 장치 에서 , 메트로 - 프레임 의 이 형상 변화 는 렌즈 기둥 ( 4 ) 의 중심축 에 대해 실질 적 으로 대칭 이 다 . 플렉 셔 요소 들 ( 8 ) 은 그리드 플레이트 ( 6 ) 에 실질 적 인 형상 변화 를 도입 하 지 않 고 렌즈 기둥 ( 4 ) 의 중심축 에 대해 반경 방향 으로 메트로 - 프레임 ( 3 ) 의 변화 들 을 허용 하 도록 배치 된다 . 그리드 플레이트 ( 6 ) 의 형상 또는 위치 에 있 어서 비교 적 작 은 변화 가 여전히 일어날 수 있 다 . 플렉 셔 요소 들 ( 8 ) 의 메트로 - 프레임 측 의 이동 방향 은 도 6 에서 양방향 화살표 ( double - headed arrow ) 들 로 도시 된다 . 메트로 - 프레임 ( 3 ) 의 형상 변화 가 렌즈 기둥 의 중심축 ( A - A ) 에 대해 실질 적 으로 대칭 이 기 때문 에 , 그리드 플레이트 ( 6 ) 는 그 위치 밖 으로 이동 되 지 않 을 것 이 다 .