상기 플로팅 게이트 전극 ( 104 b ) 이 서로 대향 하 는 부위 의 소자 분리 용 트렌치 ( 108 ) 내 에 는 제 1 에어 갭 ( 126 a ) 을 포함 하 는 제 1 절 연막 패턴 ( 126 ) 이 구비 된다 . 상기 제 1 에어 갭 ( 126 a ) 은 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 108 ) 의 연장 방향 인 제 1 방향 으로 연장 되 는 에어 터널 의 형상 을 갖 는다 . 상기 콘트롤 게이트 전극 ( 118 a ) 사이 의 개구부 ( 128 ) 에 는 제 2 방향 으로 연장 되 는 제 2 절 연막 패턴 ( 130 ) 이 구비 된다 .