그러나 , 본 실시 형태 의 로드 포트 ( 1 ) 에 의하 면 , 촬상 화상 ( 51 ) 에 의거 해 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 상태 를 검출 하 므로 , 종래 의 반사 형 광 센서 를 이용 하 는 경우 에 있 어서 의 상술 한 염려 가 없 고 , 높 은 정밀도 의 검출 을 행할 수 있 다 . 따라서 , 예 를 들 면 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 유무 를 검출 하 는 매핑 작업 을 양호 한 정밀도 로 행할 수 있 다 .