공정 챔버 ( 102 ) 외부 에 는 세정 가스 를 활성 화 시키 기 위한 리모트 플 라즈 마 리액터 ( 116 ) 가 제공 될 수 있 고 , 리모트 플 라즈 마 리액터 ( 116 ) 는 가스 전달 라인 ( 113 ) 을 통해서 샤워 헤드 ( 110 ) 에 는 연결 될 수 있 다 . 도 1 에 는 가스 전달 라인 들 ( 112 , 113 ) 이 별도 로 분리 되 어 샤워 헤드 ( 110 ) 에 연결 되 는 것 으로 도시 되 었 으나 , 가스 전달 라인 들 ( 112 , 113 ) 이 하나 로 합쳐져서 샤워 헤드 ( 110 ) 에 연결 될 수 도 있 다 .