ID 블록 ( 2 ) 은 , 현상 처리 가 행해진 기판 ( W ) 을 기판 버퍼 ( BF ) 로부터 예 를 들 면 오프너 ( 13 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 로 되돌린다 . 즉 , 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 복귀 부 ( RT 1 ) 로부터 기판 ( W ) 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 예 를 들 면 오프너 ( 13 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 에 반송 한다 .