이후 , 상기 금속 층 ( 721 ) 을 열처리 하 는 단계 가 진행 될 수 있 다 . 상기 열처리 하 는 단계 는 상기 금속 층 ( 721 ) 의 효과 적 인 결합 을 위해 진행 될 수 있 다 . 자세 하 게 , 열처리 하 는 단계 는 상기 버퍼 층 ( 200 ) 과 상기 금속 층 ( 721 ) 사이 의 결합 관계 를 개선 하 기 진공 상태 에서 진행 될 수 있 다 . 더 자세 하 게 , 상기 열처리 하 는 단계 는 약 3 mTorr 이하 의 저 진공 상태 에서 진행 될 수 있 다 . 또한 , 상기 금속 층 ( 721 ) 을 열처리 하 는 단계 는 상기 금속 층 ( 721 ) 이 설정 된 피치 간격 및 두께 를 가지 는 제 2 패턴 층 ( 722 ) 으로 변형 시키 기 위해 진행 될 수 있 다 .