본 발명 의 실시 예 들 에 따른 하드 마스크 용 조성물 에 사용 되 는 용매 는 특별히 제한 되 는 것 은 아니 며 , 상술 한 중축 합체 에 충분 한 용해 성 을 갖 는 유기 용매 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 용매 는 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 ( propylene glycol monomethyl ether acetate ; PGMEA ) , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 ( propylene glycol monomethyl ether ; PGME ) , 사이클로헥사논 , 에 틸락 테이트 , 감마 - 부티 로 락톤 ( γ - butyrolactone ; GBL ) , 아세틸 아세톤 ( acetyl acetone ) 등 을 포함 할 수 있 다 .