도 5 는 기판 보관 부 ( 400 ) 와 제 1 이송 장치 ( 300 ) 의 평면도 이 고 , 도 6 은 기판 보관 부 의 측면도 이 다 . 도 5 와 도 6 을 참조 하 면 , 기판 보관 부 ( 400 ) 는 합성 기판 ( 10 ) 을 보관 하 는 카세트 ( 420 ) , 수직 레일 들 ( 442 ) , 수평 레일 ( 444 ) , 그리고 이동 프레임 들 ( 446 ) 을 가진다 . 수직 레일 들 ( 442 ) 은 제 1 영역 ( 240 ) 의 모서리 부분 에 각각 배치 된다 . 수직 레일 들 ( 442 ) 은 상하 방향 으로 긴 로드 형상 을 가지 며 , 이동 프레임 ( 446 ) 의 상하 이동 을 안내 한다 . 각각 의 수직 레일 ( 442 ) 에 는 수직 레일 ( 442 ) 을 따라 수직 구동 부 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 상하 로 이동 되 는 브라 켓 ( 448 ) 이 결합 된다 . 각각 의 이동 프레임 ( 446 ) 은 제 1 방향 ( 42 ) 을 따라 길 게 제공 되 며 , 서로 대향 되 도록 배치 된다 . 이동 프레임 ( 446 ) 은 브라 켓 ( 448 ) 에 고정 결합 되 어 브라 켓 ( 448 ) 과 함께 수직 레일 ( 442 ) 을 따라 상하 로 직선 이동 된다 . 각각 의 이동 프레임 ( 446 ) 의 양단 은 각각 제 1 방향 ( 42 ) 으로 서로 대향 되 는 브 라켓 들 에 고정 설치 되 며 , 이동 프레임 들 ( 446 ) 은 브라 켓 ( 448 ) 과 함께 상하 로 이동 된다 . 이동 프레임 ( 446 ) 상 에 는 수평 레일 ( 444 ) 이 고정 설치 된다 . 각각 의 수평 레일 ( 444 ) 은 제 2 방향 ( 44 ) 을 따라 길 게 제공 되 며 , 수평 레일 들 ( 444 ) 은 서로 대향 되 도록 배치 된다 . 수평 레일 ( 444 ) 은 제 1 영역 ( 240 ) 전체 영역 에 걸쳐 제공 되 며 , 수평 레일 ( 444 ) 상 에 는 수평 레일 ( 444 ) 을 따라 제 2 방향 ( 44 ) 으로 이동 가능 하 도록 카세트 ( 420 ) 가 장착 된다 .