상기 도즈 오프셋 ( dose - offset ) 값 을 추출 하 는 단계 는 , 상기 패턴 선폭 차이 가 대등 하 게 나타나 는 상기 레이아웃 상 의 영역 을 시뮬레이션 윈도 ( window ) 영역 으로 설정 하 는 단계 , 및 상기 윈도 영역 별 로 해당 패턴 선폭 차이 를 보상 할 도즈 오프셋 값 들 을 각각 부여 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .