가압 플레이트 ( 40 ) 는 스테이지 ( 20 ) 상방 에서 설정 된 진공 압 에 의하 여 하강 하 여 3 개 의 로딩 부 ( 30 ) 를 동시 에 스테이지 ( 20 ) 의 외곽 으로 밀어내 므로 제 2 기판 ( S 2 ) 을 3 개 의 로딩 부 ( 30 ) 로부터 지지 해제 하 여 제 2 기판 ( S 2 ) 을 제 1 기판 ( S 1 ) 상 에 로딩 한 후 , 더 하강 하 여 제 2 기판 ( S 2 ) 을 가압 하 므로 제 2 기판 ( S 2 ) 을 제 1 기판 ( S 1 ) 상 에 접합 한다 .