도 4 a 는 제 1 실시 예 에 따른 방법 을 따라 동일 하 게 진행 하 여 비트 라인 사이 를 분리 시키 는 트렌치 ( 41 ) 를 매립 하 도록 제 2 층간 절 연막 ( 42 ) 을 형성 한 상태 이 다 . 제 2 층간 절 연막 ( 42 ) 까지 형성 하 는 방법 은 제 1 실시 예의 도 3 a 내지 도 3 g 를 참조 하 기 로 하 고 , 도면 부호 도 동일 하 게 적용 한다 .