기판 처리 에 사용 되 는 레시피 는 , 처리 내용 에 따라 개별 로 준비 하 고 , 전기 통신 회선 이나 외부 기억 장치 ( 123 ) 를 통해서 기억 장치 ( 121 c ) 내 에 저장 해 두 는 것 이 바람직 하 다 . 그리고 , 처리 를 개시 할 때 , CPU ( 121 a ) 가 , 기억 장치 ( 121 c ) 내 에 저장 된 복수 의 레시피 중 에서 , 기판 처리 의 내용 에 따라 적정 한 레시피 를 적절히 선택 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 에 의해 , 1 대 의 기판 처리 장치 에서 다양 한 막 종 , 조성 비 , 막 질 , 막 두께 의 막 을 재현 성 좋 게 형성 할 수 있 게 된다 . 또한 , 오퍼레이터 의 부담 을 저감 할 수 있 어 , 조작 미스 를 피하 면서 처리 를 신속 하 게 개시 할 수 있 게 된다 .