도 19 a ( 도 1 에 도시 된 기준 단면 C - C 를 따른 절단 을 나타냄 ) 는 일단 제 1 이중 물질 실리사이드 전구체 층 ( 201 ) 이 영역 ( 50 N ) 에서 제거 되 면 어닐링 공정 ( 도 19 a 에서 209 로 표시 된 물결 선 으로 표시 됨 ) 이 수행 되 어 제 1 상 실리사이드 층 ( 205 ) 의 상 을 다른 상 으로 시프트 시킬 수 있 음 을 도시 한다 . 특정 실시 예 에서 , 어닐링 공정 ( 209 ) 은 약 1 초 내지 약 60 초 , 예컨대 , 약 30 초 의 시간 동안 약 400 ℃ 내지 약 450 ℃ 사이 에 있 는 것 과 같이 , 제 1 이중 물질 실리사이드 전구체 층 ( 201 ) 의 퇴적 온도 보다 높 은 온도 에서 수행 되 는 급속 열 어닐링 일 수 있 지만 , 임의 의 적합 한 온도 및 시간 이 사용 될 수 있 다 . 그러나 밀리 초 레이저 어닐링 , 플래시 어닐링 , 스파이크 어닐링 , 또는 종래 의 소크 어닐링 과 같 은 임의 의 적합 한 어닐링 공정 이 사용 될 수 있 다 .