도 2 d 를 참조 하 면 , 트렌치 절 연막 ( 212 ) 를 포함 하 는 전체 구조 상부 에 티타늄 / 티타늄 나이트 라이드 ( Ti / TiN ) 의 적층 막 등 과 같 은 베리어 금속 층 ( barrier metal layer ; 도시 하 지 않 음 ) 을 형성 한 후 텅스텐 ( W ) 등 과 같 은 금속 물질 을 형성 한다 . 그리고 상기 금속 물질 에 대해 화학 기계 적 연마 방법 과 같 은 평탄 화 공정 이나 에치 백 공정 을 실시 하 여 금속 배선 ( 214 ) 을 형성 한다 .