2012 년 산업 안전 보건 연구원 조사 에서 는 반도체 공장 의 웨이퍼 가공 라인 에서 10 여 종 의 휘발 성 유기 화합물 이 검출 됐 지만 노출 기준 이 1 % 이상 검출 된 시료 가 없 다고 보 고 했 다 . 2009 년 서울대 산학 협력 단 이 삼성전자 기흥 반도체 공장 에서 측정 한 물질 들 은 어느 것 도 노출 허용치 를 넘기 지 않 았 다 .