도 11 b 및 도 11 c 에 도시 된 바 와 같이 , 베이스 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 108 ') 의 상부 표면 은 거칠 거나 평평 하 지 않 다 . 일부 실시 예 에서 , 핀 하부 구조물 ( 100 A ) 위 의 중심 영역 에서 X 방향 ( 소스 - 드레 인 방향 ) 을 따라 측정 된 표면 거칠 기 ( Ra ) 는 약 2 nm 내지 약 10 nm 범위 내 에 있 다 .