도 13 은 , 도 11 및 도 12 의 대안 적 인 챔버 설계 ( 1100 ) 의 예시 적 인 단면 내부 부분 도면 ( 1300 ) 의 부가 적 인 세부 사항 들 을 도시 한다 . 도 13 의 내측 챔버 도면 ( 1300 ) 은 , 배출 영역 들 ( 1301 ) , 배 출물 및 가스 배기 영역 들 ( 1303 ) , 챔버 내측 코어 영역 ( 1305 ) , 및 에 어 나이프 분리 영역 들 ( 1307 ) ( 도 11 의 가스 분산 디바이스 들 ( 1111 ) 의 내측 부분 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 된다 . 에 어 나이프 분리 영역 들 ( 1307 ) 은 , ( 유체 매니폴드 ( 305 ) ( 도 3 ) 의 중앙 으로부터 비롯 되 는 ) 중앙 유입 가스 공급 시스템 의 가스 유입 구들 ( 111 , 113 ) ( 예컨대 , 도 3 참조 ) 과 , 이러 한 시스템 들 이 세정 및 건조 동작 들 동안 서로 에 대해 작동 하 지 않 도록 균형 을 이룰 수 있 다 .