에지 영역 ( 120 ) 에 금속 막 ( 210 ) 을 형성 하 기 위한 스퍼터링 공정 에서 타 겟 ( 미 도시 ) 과 증착 면 ( 글라스 기판 ( 100 ) 의 측면 ( 103 ) ) 을 서로 수직 으로 배치 한 후 에 진행 된다 . 이 경우 , 에지 영역 에 챔퍼면이 없 는 경우 는 측면 스퍼터링 시 글라스 기판 의 전면 에 존재 하 는 에지 영역 과 후면 에 존재 하 는 에지 영역 에 금속 증착 이 제대로 안 되 거나 원 하 는 두께 만큼 증착 되 지 않 는 문제 가 있 다 . 하지만 본 개시 의 일 실시 예 와 같이 에지 영역 에 챔퍼면이 있 는 경우 챔퍼 면 까지 원 하 는 두께 로 금속 증착 이 이루어지 기 때문 에 금속 막 ( 210 ) 으로부터 패 터닝 됨 으로써 형성 되 는 측면 배선 ( 240 ) 은 양호 한 품질 을 가질 수 있 다 .