또한 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 는 , 15 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 를 구비 하 고 있 다 . 도 7 에 나타내 는 바 와 같이 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 는 , 이 송부 ( SN 1 ) , 인도부 ( PS 1 ) 및 복귀 부 ( RT 1 ) 를 구비 하 고 있 다 . 이 송부 ( SN 1 ) , 인도부 ( PS 1 ) 및 복귀 부 ( RT 1 ) 는 각각 , 예 를 들 면 5 개 의 기판 재 치부 ( 31 ) 로 구성 되 어 있 다 . 버퍼 부 ( BU 2 , BU 3 ) 는 , 버퍼 부 ( BU 1 ) 와 같이 구성 되 어 있 다 . 버퍼 부 ( BU 2 ) 는 , 이 송부 ( SN 2 ) , 인도부 ( PS 2 ) 및 복귀 부 ( RT 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 버퍼 부 ( BU 3 ) 는 , 이 송부 ( SN 3 ) , 인도부 ( PS 3 ) 및 복귀 부 ( RT 3 ) 를 구비 하 고 있 다 .