또 , 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 에 의한 기판 반송 은 , 다음 과 같이 행해도 된다 . 1 회 째 의 기판 반송 에 있 어서 , 캐리어 ( C ) 의 아래 로부터 1 , 4 , 7 매 째 의 기판 ( W ) 을 동시 에 꺼내 고 , 꺼낸 3 매 의 기판 ( W ) 을 처리 층 ( A 1 ) 이 수취 할 수 있 는 상태 로 만든다 . 2 회 째 의 기판 반송 에 있 어서 , 캐리어 ( C ) 의 아래 로부터 2 , 5 , 8 매 째 의 기판 ( W ) 을 동시 에 꺼내 고 , 꺼낸 3 매 의 기판 ( W ) 을 처리 층 ( A 2 ) 이 수취 할 수 있 는 상태 로 만든 다 . 그리고 , 3 회 째 의 기판 반송 에 있 어서 , 캐리어 ( C ) 의 아래 로부터 3 , 6 , 9 매 째 의 기판 ( W ) 을 동시 에 꺼내 고 , 꺼낸 3 매 의 기판 ( W ) 을 처리 층 ( A 3 ) 이 수취 할 수 있 는 상태 로 만든 다 . 이 에 의해 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 부담 , 각 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 의 제 3 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 의 부담 을 저감 할 수 있 다 . 또 , 처리 후 의 기판 ( W ) 을 노광 장치 ( EXP ) 에 반송 하 는 효율 을 향상 시킬 수 있 다 . 이 이유 를 설명 한다 . 노광 장치 ( EXP ) 는 , 캐리어 ( C ) 내 의 기판 ( W ) 의 수납 위치 에 의해 노광 하 는 순서 가 프로그램 되 어 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 기판 ( W ) 의 수납 위치 의 순서 대로 노광 장치 ( EXP ) 에 기판 ( W ) 을 반송 할 필요 가 있 다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 그 내부 에서 기판 ( W ) 의 수납 위치 의 순서 대로 효율 적 으로 처리 및 반송 을 한다 . 이 에 의해 , 노광 장치 ( EXP ) 에 도 기판 ( W ) 의 수납 위치 의 순서 대로 효율 적 으로 기판 ( W ) 을 반송 할 수 있 으므로 , 스루풋 을 향상 시킬 수 있 다 .