상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 와 상기 웨이퍼 척 ( 122 ) 사이 에 다 수개 의 반사 거울 들 ( M 5 , M 6 , M 7 , M 8 ) 이 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 로부터 반사 된 광이 상기 반사 거울 들 ( M 5 , M 6 , M 7 , M 8 ) 을 통해 반사 된 후 에 상기 웨이퍼 척 ( 122 ) 에 입사 할 수 있 다 .