상기 와 같이 , 이 스테이지 장치 에 있 어서 는 , 평면 플레이트 ( 6 ) 가 그 이동 범위 내이 면 , 어느 위치 ( 좌표 ) 에 있 어도 , 4 개 의 추력 발생 수단 이 반드시 평면 플레이트 ( 6 ) 하 가 되 도록 배치 되 어 있 다 . 즉 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 이동은 , 2 개 의 X 방향 추력 발생 수단 과 2 개 의 Y 방향 추력 발생 수단 에 의해 행해 지 고 있 다 . 그러나 , 평면 플레이트 ( 6 ) 를 XY θ 방향 으로 이동 시키 기 위해서 는 , 선출 원 ( 일본 특허 출원 2006 - 34071 ) 에서 도 서술 한 바 와 같이 , 추력 발생 수단 은 3 개 ( X 방향 추력 발생 수단 2 개 와 Y 방향 추력 발생 수단 1 개 , 또는 X 방향 추력 발생 수단 1 개 와 Y 방향 추력 발생 수단 2 개 ) 이 면 X 방향 , Y 방향 및 θ 방향 으로 이동 시키 는 것 이 가능 하 다 . 따라 서 , 평면 플레이트 ( 6 ) 의 이동 범위 내 에 있 어서 는 , 적어도 3 개 의 추력 발생 수단 이 평면 플레이트 ( 6 ) 하 에 오 도록 추력 발생 수단 을 배치 해도 된다 . 예 를 들 면 , 도 4 ( e ) ∼ 도 5 ( h ) 에 있 어서 는 , 4 개 의 추력 발생 수단 중 , Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 3 ) 을 제거 해도 된다 .