비전 검사 장치 ( 51 ) 는 지정 된 검사 위치 에서 제 1 정렬 마크 ( 150 a ) 가 포함 된 이미지 ( 도 13 과 같 은 ) 를 획득 하 는 제 1 카메라 ( CA 1 ) 와 제 2 정렬 마크 ( 150 b ) 가 포함 된 이미지 ( 도 14 와 같 은 ) 를 획득 하 는 제 2 카메라 ( CA 2 ) 를 포함 한다 . 또한 도면 에 별 도로 도시 하 지 않 았 지만 , 태양 전지 ( C 1 ∼ C 4 ) 를 이송 하 는 스테이지 ( 400 ) 를 2 차원 방향 에서 조정 하 는 구동 부를 포함 하 고 있 다 .