또한 , 상기 한 바 와 같이 배기 부 로서 의 배기 기구 ( 70 ) 의 배기 구멍 ( 71 ) 보다 웨이퍼 ( W ) 의 직경 방향 외측 에 외측 공간 ( S 1 ) 이 형성 되 어 있 고 , 외측 공간 ( S 1 ) 에 접속 된 제 2 기체 공급 부 로서 의 기체 유로 ( 82 ) 로부터 도 기체 가 공급 되 는 구성 으로 할 수 있 다 . 이 경우 , 기체 유로 ( 82 ) 로부터 공급 된 외측 공간 ( S 1 ) 을 이동 하 는 기체 도 배기 구멍 ( 71 ) 을 향해 이동 하 기 때문 에 , 상승류 의 흐트러짐 을 방지 할 수 있 고 , 승화 물 의 비산 을 억제 할 수 있 다 . 이때 , 기체 유로 ( 82 ) 가 , 서포트 링 ( 44 ) 측 , 즉 하방 에서 외측 공간 ( S 1 ) 에 대해 접속 되 어 있 으면 , 외측 공간 및 그 근방 에서 의 기체 의 체류 등 을 방지 할 수 있 다 .