실드 전극 부 ( 36 ) 는 , 도 15 에 잘 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 제 1 실리콘 층 에 유래 하 는 부위 이 며 , 프레임 ( 31 ) 의 제 1 층 부 ( 31 a ) 의 일부 와 연속 한다 . 또한 , 실드 전극 부 ( 36 ) 는 , 도 19 에 도시 한 바 와 같이 절연 층 ( 39 ) 을 개재 하 여 구동 전극 ( 34 ) 에 접합 한다 . 실드 전극 ( 36 ) 및 구동 전극 ( 34 ) 은 전기 적 으로 분리 되 어 있 다 .