본 발명 에 따른 레이저 스캔 을 이용 한 반도체 소자 불량 검색 방법 은 , 레이저 스캔 을 이용 한 반도체 소자 불량 검색 방법 으로서 , 반도체 집 적 회로 에 상기 집 적 회로 의 구동 전압 범위 의 최저 전압 보다 낮 은 전압 또는 상기 구동 전압 범위 내 의 전압 을 가지 는 임계 전압 을 인가 하 여 상기 집 적 회로 의 초기 상태 를 불량 또는 양호 로 판정 하 는 제 1 단계 와 , 상기 집 적 회로 의 국소 영역 에 레이저 를 주사 함 과 동시 에 상기 집 적 회로 에 상기 임계 전압 을 인가 하 여 상기 집 적 회로 의 최종 상태 를 판정 하 는 제 2 단계 를 포함 하 고 , 상기 집 적 회로 의 상기 초기 상태 가 불량 이 고 상기 최종 상태 가 양호 로 판정 된 경우 또는 상기 집 적 회로 의 상기 초기 상태 가 양호 이 고 상기 최종 상태 가 불량 으로 판정 된 경우 상기 레이저 가 주사 된 상기 집 적 회로 의 상기 국소 영역 에 불량 이 발생 한 것 으로 판정 하 는 것 을 특징 으로 한다 .