도 1 및 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 에 는 , 3 개 의 기준 지지 부재 ( 3 ) , 복수 의 보조 지지 부재 ( 4 ) 가 설치 되 고 , 그 위 에 평면 플레이트 ( 6 ) 가 에어 부상 에 의해 지지 된다 . 스테이지 베이스 ( 1 ) 상의 3 개 의 기준 지지 부재 는 , 평면 플레이트 ( 6 ) 가 이동 범위 내 에 있 어서 어디 로 이동 해도 , 항상 평면 플레이트 ( 6 ) 하 에 있 고 , 평면 플레이트 ( 6 ) 를 지지 할 수 있 는 위치 에 배치 된다 . 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 에 는 , 평면 플레이트 ( 6 ) 를 이동 시키 기 위한 추력 을 발생 시키 는 추력 발생 수단 ( 2 ) 이 복수 , 예 를 들 면 , 도 2 에 있 어서 는 9 개 의 추력 발생 수단 ( X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 ∼ 21 - 4 ) , Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 ∼ 22 - 5 ) ) 이 설치 된다 . 추력 발생 수단 은 , 이웃 하 는 추력 발생 수단 의 자극 이 나열 되 는 방향 이 서로 직교 하 도록 배치 된다 . 즉 , 평면 플레이트 ( 6 ) 를 X 방향 으로 이동 시키 는 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 ∼ 21 - 4 ) 과 Y 방향 으로 이동 시키 는 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 ∼ 22 - 5 ) 이 교대 로 나열 되 어 배치 된다 . 평면 플레이트 ( 6 ) 는 , X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 ∼ 21 - 4 ) 과 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 ∼ 22 - 5 ) 으로부터 의 추력 에 의해 , 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 의 소정 의 범위 내 를 이동 한다 .