이러 한 정전 척 은 기판 에지 영역 의 막 또는 파티클 을 제거 하 기 위한 에지 식각 장치 에서 도 기판 의 고정 을 위해 사용 되 고 있 다 . 그러나 , 기판 에지 식각 장치 는 기판 에지 영역 을 노출 하 고 , 노출 된 영역 내 에 플 라즈 마 를 집중 시켜야 한다 . 기존 의 정전 척 은 세라믹 내 에 단일 의 전극 을 형성 하 고 , 상기 전극 에 직류 ( DC ) 전원 또는 고주파 ( RF ) 전원 을 공급 하 였 다 . 이 로 인해 정전 척 몸체 상부 의 코팅 막 의 수명 이 단축 되 는 문제 가 발생 하 였 다 . 특히 이러 한 정 전척 을 기판 에지 식각 을 위한 장치 에 사용 하 는 경우 기판 에지 영역 에서 의 플 라즈 마 밀도 가 저하 되 어 기판 에지 영역 의 원활 한 식각 이 이루어지 지 않 는 문제 가 발생 하 였 고 , 비 식각 영역 인 기판 중심 영역 이 플 라즈 마 에 의해 손상 을 입 는 문제 가 발생 하 였 다 .