즉 , 본 발명 의 유량 비율 제어 장치 는 , 유체 가 유통 ( 流 通 ) 하 는 내부 유로 상 에 , 당해 내부 유로 를 흐르 는 유체 유량 을 제어 하 는 유량 제어 밸브 , 제 1 압력 센서 , 유체 저항 및 제 2 압력 센서 를 이 순 으로 직렬 로 배설 ( 配 設 ) 해 놓 고 , 각 압력 센서 로 검지 된 검지 압력 에 기초 하 여 상기 유체 유량 을 측정 가능 하 게 구성 한 차압 식 유량 제어 장치 와 , 상기 유량 제어 장치 에 지령 을 부여 하 여 이 를 제어 하 는 제어 처리 기구 를 구비 한 것 으로서 , 메인 유로 의 종단 으로부터 분기 시킨 복수 의 분기 유로 상 에 상기 유량 제어 장치 를 각각 설치 해 놓 고 , 하나 의 분기 유로 상 에 설치 한 유량 제어 장치 에 대해서 는 , 제 2 압력 센서 가 상류 측 으로 되 도록 배치 함 과 아울러 , 그 제 2 압력 센서 로 검지 된 검지 압력 이 미리 정한 목표 압력 으로 되 도록 당해 유량 제어 장치 를 동작 시키 는 한편 , 다른 분기 유로 상 에 설치 한 유량 제어 장치 에 대해서 는 유량 제어 밸브 가 상류 측 으로 되 도록 배치 함 과 아울러 , 모든 유량 제어 장치 로부터 출력 되 는 측정 유량 의 총량 과 미리 설정 한 유량 비율 로부터 다른 분기 유로 상 에 설치 한 유량 제어 장치 로 흘려야 할 목표 유량 을 상기 제어 처리 기구 에 산출 시켜 그 목표 유량 으로 되 도록 당해 유량 제어 장치 를 동작 시키 는 것 을 특징 으로 한다 .