또한 , 제 1 반송 영역 ( 12 ) 의 상하 방향 에 2 단 으로 배치 된 로드 포트 ( 14 ) 의 사이 에 는 , 캐리어 보관 선반 ( 18 ) 이 설치 되 어 있 다 . 캐리어 보관 선반 ( 18 ) 은 , 제 2 반송 영역 ( 13 ) 에 도 설치 되 어 있 지만 , 종형 열처리 장치 ( 1 ) 내 에 캐리어 ( C ) 를 많이 보관 할 수 있 도록 하 기 위해서 , 제 1 반송 영역 ( 12 ) 의 로드 포트 ( 14 ) 가 존재 하 지 않 는 위치 에 도 설치 할 수 있 다 .