제 1 스테이지 ( 61 ) 는 제 1 마스크 ( M 1 ) 와 제 2 마스크 ( M 2 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 하 기 위한 것 이 다 . 제 1 스테이지 ( 61 ) 는 기판 위 의 하나 의 쇼트 영역 ( SH ) 의 주사 노광 중 에 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 제 1 패턴 전체 가 제 1 조명 영역 ( IA 1 ) 에 대해서 상대 이동 됨 ( 가로 지름 ) 과 동시 에 , 제 2 마스크 ( M ) 의 제 2 패턴 전체 가 제 2 조명 영역 ( IA 2 ) 에 대해서 상대 이동 ( 가로 지름 ) 되 도록 , Y 축 방향 으로 비교 적 큰 스트로크 를 가지 고 있 다 . 마스크 스테이지 ( 6 ) 는 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 하 기 위한 제 1 스테이지 구동 장치 ( 64 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 1 스테이지 구동 장치 ( 64 ) 는 , 예 를 들 면 리니어 모터 등 의 액 츄 에 이터 를 포함 한다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 스테이지 구동 장치 ( 64 ) 는 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 의 X 축 방향 양측 으로 설치 된 가동 자 ( 64 A ) 와 , 가동 자 ( 64 A ) 에 대응 하 여 설치 된 고정자 ( 64 B ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 제 1 스테이지 구동 장치 ( 64 ) 를 구동 하 는 것 에 의해 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 가능 하 다 . 제 1 스테이지 ( 61 ) 가 Y 축 방향 으로 이동 함 으로써 , 제 1 스테이지 ( 61 ) 위 의 제 2 , 제 3 스테이지 ( 62 , ( 62 , 63 ) ) , 나아가 서 는 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 도 이동 한다 .