본 발명 은 산화 인듐 , 산화 주석 , 및 칼슘 함유 화합물 로 이루어지 며 , 상기 산화 인듐 과 상기 산화 주석 의 질량비 는 90 : 10 내지 91 : 9 이 고 인듐 원자 대비 칼슘 원자 의 비율 이 0 . 001 내지 10 at % 인 것 을 특징 으로 하 는 산화 인듐 주석 소 결체 를 제공 한다 . 본 발명 의 산화 인듐 주석 소 결체 는 상대 밀도 가 99 % 이상 을 나타내 며 , 상기 소 결체 로부터 형성 된 본 발명 의 산화 인듐 주석 타 겟 은 DC 스퍼터링 시 노듈 및 아 킹 의 발생 이 감소 하 여 장시간 성막 이 가능 하 다 .