일 실시 예 에서 , 제 1 라이너 층 ( 104 ) 및 제 2 라이너 층 ( 105 ) 이 각각 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물 을 포함 하 는 경우 , 흡착 층 ( 107 ) 은 불소 흡착 실리콘 산화물 을 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , 흡착 층 ( 107 ) 은 제 2 라이너 층 ( 105 ) 인 실리콘 질화물 의 컨 포 멀 한 증착 을 유도 할 수 있 다 .