도 2 b 에 도시 된 바 와 같이 평탄 화 된 층간 절 연막 ( 24 ) 상부 에 감광막 을 도포 한 후 마스크 를 사용 하 여 감광막 패턴 ( 26 ) 을 형성 하 고 , 도 2 c 에 도시 된 바 와 같이 감광막 패턴 ( 26 ) 을 마스크 로 하 여 층간 절 연막 ( 24 ) 을 식각 하 여 비 아홀 ( 28 ) 을 형성 한 후 , 감광막 패턴 ( 26 ) 을 제거 한다 .