방사선 의 조사 에 의해 술폰산 을 발생 하 는 [ B ] 산 발생 제 로서 는 , 예 를 들 어 하 기 식 ( 4 - 1 ) 로 표시 되 는 화합물 ( 이하 , 「 화합물 ( 4 - 1 ) 」 이 라고 도 함 ) 등 을 들 수 있 다 . [ B ] 산발 생 제 가 하 기 구조 를 가짐 으로써 , [ A ] 중합체 의 구조 단위 ( I ) 과 의 상호 작용 등 에 의해 , 노광 에 의해 발생 하 는 산 의 레지스 트 막 중 의 확산 길이 가 보다 적절 하 게 짧아진다고 생각 되 고 , 그 결과 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 의 LWR 성능 등 을 더욱 향상 시킬 수 있 다 .