단계 S 13 에서 , 제 어 유닛 ( 11 ) 은 , 변형 유닛 ( 5 ) 에 의해 패턴 영역 ( 1 a ) 을 변형 시킨 상태 에서 몰드 ( 1 ) 와 기판 ( 2 ) 이 서로 근접 하 도록 임프 린트 헤드 ( 4 ) 를 제어 하 고 , 몰드 ( 1 ) 와 기판 ( 2 ) 상 의 임프 린트 재 를 서로 접촉 시킨다 ( 접촉 단계 ) . 예 를 들 어 , 제 어 유닛 ( 11 ) 은 , 변형 유닛 ( 5 ) 에 의해 패턴 영역 ( 1 a ) 을 변형 시킨 상태 에서 몰드 ( 1 ) 와 임프 린트 재 사이 의 접촉 을 개시 시키 고 , 몰드 ( 1 ) 와 임프 린트 재 사이 의 접촉 영역 을 서서히 확대 시키 도록 제어 를 수행 한다 .