연마 속도 는 , 연마 전후 에서 의 피연 마막 의 막 두께 를 측정 하 여 얻 어 지 는 막 두께 차 로부터 산출 했 다 . TEOS 막 및 SiH 4 막 의 막 두께 측정 시 에 는 , 막 두께 측정 장치 ( 나노 메트 릭스 사 제조 , 상품명 : NanoSpac ) 를 사용 했 다 . 평가 용 칩 내 의 5 점 을 임의 로 선택 하 고 , 그 평균값 을 막 두께 로서 산출 했 다 . 연마 속도 의 측정 결과 를 표 1 에 나타내 었 다 .