패 터닝 된 포토레지스트 상 에 감지 용액 을 코팅 하 는 단계 ( d ) 는 유연 한 절연성 기판 상 에 감지 용액 을 용액 공정 으로 코팅 할 수 있 고 , 감지 용액 은 스핀 코팅 ( Spin - coating ) , 슬릿 다이 코팅 ( Slit dye coating ) , 잉크젯 프린팅 ( Ink - jet printing ) , 스프레이 코팅 ( spray coating ) 및 딥 코팅 ( dip coating ) 중 어느 하나 의 용액 공정 을 이용 하 여 코팅 되 어 형성 될 수 있 고 , 바람직 하 게 는 , 감지 용액 은 스핀 코팅 방법 으로 코팅 될 수 있 으며 , 스핀 코팅 은 기판 상 에 용액 을 일정량 떨어뜨리 고 기판 을 고속 으로 회전 시켜서 용액 에 가해 지 는 원심력 으로 코팅 하 는 방법 이 다 .