중간 실 ( 322 ) 의 내부 에 있 어서 의 탑재 대 ( 110 ) 의 하방 에 는 , 기판 승강 기구 로서 의 웨이퍼 승강 기구 ( 120 ) 가 배설 되 어 있 다 . 웨이퍼 승강 기구 ( 120 ) 는 웨이퍼 승강 부재 ( 121 ) 와 지지 기둥 ( 122 ) 과 승강 기구 ( 123 ) 를 갖 는다 . 웨이퍼 승강 부재 ( 121 ) 의 상면 측 에 는 상하 방향 으로 연장 되 는 지지 핀 ( 121 a ) 이 복수 , 예 를 들 면 3 개 마련 되 어 있 다 . 또한 , 지지 기둥 ( 122 ) 은 상하 방향 으로 연장 되 고 , 그 상단 이 웨이퍼 승강 부재 ( 121 ) 의 하면 에 접속 되 며 , 그 하단 이 승강 기구 ( 123 ) 에 접속 되 어 있 다 . 승강 기구 ( 123 ) 는 웨이퍼 승강 부재 ( 121 ) 를 상하 방향 으로 구동 한다 . 승강 기구 ( 123 ) 의 구동 에 의해 웨이퍼 승강 부재 ( 121 ) 가 상하동 하 는 것 에 의해 , 지지 핀 ( 121 a ) 이 탑재 대 ( 110 ) 에 마련 된 관통 구멍 ( 110 a ) 을 거쳐서 상기 탑재 대 ( 110 ) 의 상면 으로부터 돌 몰 ( 突 沒 ) 된다 . 또한 , 웨이퍼 승강 부재 ( 121 ) 가 상하동 하 고 , 지지 핀 ( 121 a ) 이 상하동 하 는 것 에 의해 , 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 나 제 2 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 102 ) 로부터 삽입 되 는 웨이퍼 반송 기구 ( 50 ) 의 반송 아암 ( 51 ) 과 상기 지지 핀 ( 121 a ) 사이 나 , 탑재 대 ( 110 ) 와 상기 지지 핀 ( 121 a ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 의 주고받 음 을 실행 할 수 있 다 .