기계식 모듈 ( 6 ') 에 대한 이동 의 제 6 자유도 의 분포 의 논리 적 시퀀스 가 실시 예 에서 순차 적 으로 구축 된다 . 그러므로 , 기판 ( 4 ) 에서 보이 는 바 와 같이 , z - 방향 으로 의 병진 ( 6 a ) 이 실행 되 고 , 이 는 , 특히 처리 장비 ( 3 ) 와 기판 ( 4 ) 사이 의 거리 를 설정 하 기 위해 , 기판 ( 4 ) 의 상승 및 하강 을 실시 한다 .