기판 형상 측 정부 ( 110 ) 는 두 개 의 2 D 카메라 ( 221 , 222 ) 를 이용 하 는 경우 , 제 1 2 D 카메라 ( 221 ) 를 기판 ( 230 ) 의 상부 에 설치 하 여 기판 ( 230 ) 에 대한 ( x , y ) 정보 를 획득 하 고 , 제 2 2 D 카메라 ( 222 ) 를 기판 ( 230 ) 의 측 부 에 설치 하 여 기판 ( 230 ) 에 대한 ( y , z ) 정보 를 획득 하 여 , 기판 에 대한 ( x , y , z ) 정보 를 획득 할 수 있 다 .