상기 증착 시스템 에서 6 스택 증착 으로 운용 하 는 또 다른 방식 으로 A 모델 라인 에 T 1 간격 으로 기판 을 연속 투입 하 고 , 첫 번 째 3 스택 증착 기판 이 증착 시작 지점 인 얼라 인 l 챔버 에 도착 하 면 , A 모델 라인 으로 는 기판 투입 을 중지 하 고 , 이때 부터 는 B 모델 라인 에 같 은 T 1 간격 으로 기판 을 투입 한다 .