그렇지만 , 일본 특허 공개 2018 - 63406 호 공보 에 나타낸 광학계 는 , 광학 소자 가 밀집 배치 되 기 때문 에 , 발열원 이 밀집 해 온도 가 상승 하 기 쉽 고 , 특히 제 2 오 목면 미러 에 상당 하 는 광학 소자 는 , 광로 가 집중 하 기 때문 에 온도 가 상승 하 기 쉽 다고 생각 될 수 있 다 . 광학 소자 나 광학 소자 보유 부재 , 그 주변 공간 의 기체 온도 가 상승 했 을 경우 , 특히 노광 광 에 대하 여 직교 하 는 방향 에 온도 의 경사 가 있 을 경우 , 밀도 의 차 로부터 생기 는 굴절 률 의 차이 에 의해 , 노광 광 을 굴절 시켜 , 기판 위 에 형성 되 는 패턴 상 을 변형 시켜 버릴 수 있 다 .