이 공급 기구 ( 18 ) 는 , 흡 기구 ( 71 ) 에 기체 를 공급 하 는 공급 배관 ( 181 ) 과 , 상기 공급 배관 ( 181 ) 과 상기 흡 기구 ( 71 ) 를 접속 하 는 조인트 부재 ( 182 ) 를 가지 는 구성 으로 하 는 것 이 고려 되 어 진다 . 또 , 공급 배관 ( 181 ) 은 , 조인트 부재 ( 182 ) 에 형성 된 접속 포트 ( P 3 ) 에 접속 되 어 있 다 . 도 15 의 구성 에서 는 , 흡 기구 ( 71 ) 는 , 구동축 ( 222 ) 의 외측 둘레 면 에 형성 되 어 있 고 , 공급 배관 ( 181 ) 의 기체 도입 구 ( 181 a ) 는 , 유해 한 분위기 와 벽 ( W ) 에 의해서 격리 된 분위기 에 마련 되 어 있 다 .