본 발명 에 따른 식각 액 조성물 은 불소 화합물 을 포함 한다 . 본 발명 에 따른 식각 액 조성물 이 불소 화합물 을 포함 할 경우 티타늄 막 의 식각 이 용이 한 이점 이 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 불소 화합물 은 상기 식각 액 조성물 내 에서 불소 이온 또는 다 원자 불소 이온 으로 해리 될 수 있 는 화합물 로서 , 티타늄 막 의 식각 을 가능 하 게 하 며 , 상기 식각 에 의해 발생 할 수 있 는 잔사 를 제거 하 는 역할 을 수행 할 수 있 다 .