상방 기재 ( 71 ) 에 는 열전쌍 등 의 온도 센서 가 배설 되 어 있 으며 , 온도 센서 에 의한 모니터 정보 는 제 어부 ( 90 ) 에 수시 송신 된다 . 그리고 , 송신 된 모니터 정보 에 근거 하 여 , 상방 기재 ( 71 ) 및 기판 ( G ) 의 온도 조절 제어 가 제 어부 ( 90 ) 에 의해 실행 된다 . 보다 구체 적 으로 는 , 제 어부 ( 90 ) 에 의해 , 칠러 ( 86 ) 로부터 이송 유로 ( 87 ) 에 공급 되 는 온도 조절 매체 의 온도 나 유량 이 조정 된다 . 그리고 , 온도 조정 이나 유량 조정 이 실행 된 온도 조절 매체 가 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 에 순환 되 는 것 에 의해 , 기판 탑재 대 ( 70 ) 의 온도 조절 제어 가 실행 된다 . 또한 , 열전쌍 등 의 온도 센서 는 예 를 들 면 하방 기재 ( 72 ) 나 정전 척 ( 76 ) 에 배설 되 어도 좋 다 .