상기 서브 스트레이트 는 NiTi 합금 이 고 ; 상기 형상 기억 합금 은 실온 에서 마텐자이트 계 결정 구조 이 고 , 10 % 의 소성 변형 능력 이 있 으며 , 상기 희토류 영구 자석 박막 의 화학 조성 은 Rex ( FeyTM 1 - y ) zB 1 - x - z 이 고 , 여기 서 Re 는 희토류 세륨 ( Ce ) 원소 이 고 , y = 100 at % 이 다 . 상기 박막 은 서브 스트레이트 와 의 경계 면 에서 3 % 의 결정격자 변형 이 존재 하 고 , 상기 박막 의 두께 는 500 nm 이 다 .