검사 시스템 을 구비 한 물품 반송 설비 ( article transport facility ) 의 실시 형태 에 대하 여 도면 을 참조 하 여 설명 한다 . 도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 물품 반송 설비 에 는 , 천정 ( ceiling ) 근처 를 주행 경로 ( travelling path ) ( L ) 를 따라 주행 하 여 물품 으로서 의 용기 ( W ) ( 도 2 참조 ) 를 반송 하 는 물품 반송 차 ( 1 ) 와 , 용기 ( W ) 에 수용 되 어 있 는 기판 에 대하 여 처리 를 행하 는 처리 장치 ( 2 ) 와 , 그 처리 장치 ( 2 ) 에 인접 하 는 상태 로 바닥 면 상 에 설치 된 반송 대상 개소 ( 箇 所 ) 로서 의 지지대 ( 3 ) 와 , 검사 시스템 ( 4 ) 이 설치 되 어 있 다 . 그리고 , 본 실시 형태 에서 는 , 반도체 기판 을 수용 하 는 FOUP ( Front Opening Unified Pod ) 를 용기 ( W ) ( 물품 ) 로 하 고 있 다 .