정 전척 ( 10 ) 은 반도체 가공 공정 의 특성 상 내습성 은 크 게 문제 되 지 않 으나 , 내열 성 은 정전 척 ( 10 ) 에 악영향 을 끼칠 수 있 다 . 보다 자세 하 게 설명 하 면 , 에폭시 수지 또는 페놀 수지 가 대부분 을 차지 하 고 있 기 전도성 접착제 ( 50 ) 는 약 250 ℃ 의 내열 온도 를 갖 는다 . 그러나 많 은 반도체 가공 공정 이 200 내지 500 ℃ 하 에서 수행 되 기 때문 에 , 전도성 접착제 ( 50 ) 의 특성 이 변할 수 있 게 된다 .