이 어 , 제 2 제로 마스크 ( 미 도시 ) 를 이용 하 여 상기 제 1 에피 층 ( 104 ) 의 주변 영역 의 모서리 및 상기 제 1 게터 링 부 ( 102 ) 의 외곽 부 에 대응 되 는 소정 부위 를 제 2 깊이 식각 하 여 , 제 2 정렬 마크 ( 135 부위 ) 및 제 2 게터 링 부 ( 105 ) 를 형성 한다 . 이 때 , 상기 제 2 게터 링 부 ( 105 ) 에 는 더미 폴리 를 형성 하 여 , 인접 한 부위 와 의 단차 를 줄일 수 있 다 .