[ 0026 ] 이제 도 6 및 도 7 을 참조 하 면 , 실시 예 들 에 따른 로드 포트 ( 108 ) 의 예시 적 인 도어 오프너 ( 114 ) 의 상세 한 평면 도 및 등 각도 가 각각 도시 된다 . 도어 오프너 ( 114 ) 는 기판 캐리어 도어 ( 302 ) 와 접촉 하 는 것 으로 도시 된다 . 도어 오프너 ( 114 ) 는 퍼지 가스 유입 포트 ( 602 ) 및 3 개 의 배기 가스 배출 포트 들 ( 604 , 606 , 608 ) 을 포함 하 며 , 각각 의 포트 는 도어 오프너 ( 114 ) 의 상이 한 코너 에 배치 된다 . 도어 오프너 ( 114 ) 의 둘레 는 3 개 의 개구 들 ( 614 , 616 , 618 ) 을 포함 하 는 리지 벽 ( 504 ) 을 포함 한다 . 도어 오프너 ( 114 ) 의 주 표면 과 캐리어 도어 ( 302 ) 사이 의 , 그리고 둘레 채널 ( 502 ) 의 공기 를 효과 적 으로 퍼징 하 는 향상 된 유동 을 용이 하 게 하 기 위해 , 개구 들 은 도시 된 바 와 같이 대각선 반대편 코너 들 에 로케 이 팅 된다 . 퍼지 가스 유입 포트 ( 602 ) 에 근접 한 전환기 구조 ( 620 ) 는 초승달 또는 아크 - 형상 같이 형상 화 될 수 있 고 , 가스 가 둘레 채널 ( 502 ) 내 로 푸시 되 도록 리지 벽 ( 504 ) 의 개구 ( 614 ) 를 향해 유동 을 지향 시키 도록 배치 될 수 있 다 . 다른 형상 들 이 사용 될 수 있 다 . 전환기 구조 ( 620 ) 는 또한 , 도어 오프너 ( 114 ) 상 의 다른 구조 들 , 이를테면 , 캐리어 도어 고정 피처 들 ( 622 , 624 ) 및 캐리어 도어 래치 키 위치 들 ( 626 , 628 ) 주위 의 유동 을 개선 하 는 것 을 돕 는다 .