본 발명 의 일 측면 에 있 어서 , 상기 제 1 금속 층 을 형성 한 후 , 상기 제 1 금속 층 을 포함 한 상기 제 1 층간 절 연막 상 에 상기 제 1 금속 층 을 노출 시키 는 제 1 패턴 홀 이 형성 된 제 2 층간 절 연막 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 및 제 2 어닐링 공정 을 실시 하 고 상기 전체 구조물 을 냉각 시키 는 단계 와 , 상기 제 1 패턴 홀 내 에 고립 된 제 2 금속 층 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 2 금속 층 을 포함 한 상기 제 2 층간 절 연막 상 에 상기 제 2 금속 층 을 노출 시키 는 제 2 패턴 홀 이 형성 된 제 3 층간 절 연막 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 제 1 및 제 2 어닐링 공정 을 실시 하 고 상기 전체 구조물 을 냉각 시키 는 단계 와 , 상기 제 2 패턴 홀 내 에 고립 된 제 3 금속 층 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .