스퍼터링 용 프레임 ( 50 ) 은 기본 적 으로 점착 필름 ( 53 ) 의 점 착면 이 상부 를 향한 상태 로 제 2 매거진 ( m 2 ) 에 적재 되 어 있 으며 , 본 발명 에서 제 2 링 그 리퍼 ( 142 ) 또는 로딩 픽커 ( 142 ) 가 180 도 플립 핑 ( 상하 반전 ) 기능 을 갖 도록 구성 되 어 , 제 2 매거진 ( m 2 ) 으로부터 제 2 이 송부 ( 140 ) 에 의해 인출 된 스퍼터링 용 프레임 ( 50 ) 은 제 2 이 송부 ( 140 ) 에 의해 상부 작업 테이블 ( 150 ) 에 로딩 되 는 과정 에서 상하 반전 된 상태 로 상부 작업 테이블 ( 150 ) 의 진공 척 ( 152 ) 에 로딩 되 도록 구성 될 수 있 다 .