도시 된 것 과 같이 , 상기 예비 제 1 도전 패턴 ( 206 a ) 및 콘 택 플러그 ( 216 ) 는 상기 스 페이서 ( 214 ) 에 의해 서로 절연 되 어 있 다 . 그러므로 , 상기 스 페이서 ( 214 ) 의 증착 두께 를 조절 하 여 콘 택 플러그 ( 216 ) 의 폭 및 예비 제 1 도전 패턴 ( 260 a ) 과 콘 택 플러그 ( 216 ) 사이 의 간격 을 조절 할 수 있 다 .