본 발명 의 하나 의 측면 에 따르 면 , 가공 장치 로서 , 피 가 공물 을 유지 하 는 유지 면 과 상기 유지 면 을 둘러싸 는 프레임 체 를 갖 는 척 테이블 과 , 상기 척 테이블 에 유지 되 는 상기 피 가 공물 을 가공 하 는 가공 유닛 과 , 상기 척 테이블 과 상기 가공 유닛 을 상기 유지 면 에 대하 여 평행 한 X 축 방향 및 상기 X 축 방향 에 직교 하 는 Y 축 방향 으로 상대 적 으로 이동 시키 는 이동 유닛 과 , 상기 가공 유닛 에 장착 되 며 , 상기 이동 유닛 을 이동 시켜 측정 한 상기 유지 면 의 복수 의 좌표 ( X , Y ) 에 있 어서 의 높이 ( Z ) 를 높이 데이터 로서 측정 하 는 , 높이 측 정부 와 , 정보 매체 의 판독 이 가능 한 판 독부 와 , 제 어 유닛 을 구비 하 고 , 상기 척 테이블 은 , 상기 척 테이블 을 구별 하 는 식별 정보 가 기록 되 는 정보 매체 를 포함 하 고 , 상기 판 독부 는 , 상기 가공 장치 에 설치 된 상기 척 테이블 의 상기 정보 매체 를 판독 하 고 , 상기 제어 유닛 은 , 상기 높이 데이터 와 상기 식별 정보 를 관련 시켜 기록 하 는 높이 데이터 기록부 와 , 상기 판 독부 가 판독 한 상기 식별 정보 와 관련 된 상기 높이 데이터 에 기초 하 여 가공 중 의 상기 가공 유닛 의 높이 를 제어 하 는 가공 제 어부 를 포함 하 는 것 인 , 가공 장치 가 제공 된다 .