즉 , 먼저 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 반송 수단 ( 30 ) 이 , 척 테이블 ( 20 ) 의 유지 면 ( 23 ) 에 배치 되 는 워크 셋 트 ( W 1 ) 의 상방 에 배치 된다 . 이 도면 에 나타내 는 바 와 같이 , 프레임 유지 부 ( 31 ) 의 유지 부 ( 32 ) 는 , 흡인 밸브 ( 36 ) 를 통해 흡 인원 ( 37 ) 에 접속 된다 . 흡인 밸브 ( 36 ) 가 개방 됨 으로써 , 유지 부 ( 32 ) 가 흡 인원 ( 37 ) 에 연통 되 어 , 유지 부 ( 32 ) 가 흡인력 을 갖 는다 . 또한 , 도 4 에 나타내 는 상태 에서 는 , 흡인 밸브 ( 36 ) 는 폐쇄 되 어 있 다 .