제 1 수납 케이스 적 재 대 ( 6 ) 및 제 2 수납 케이스 적 재 대 ( 8 ) 에 는 , 도 1 및 도 2 에 도시 한 바 와 같이 복수 의 웨이퍼 ( 1 ) 를 수납 한 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 가 제 1 수납 케이스 적 재 대 ( 6 ) 의 상면 ( 6 a ) 에 , 복수 의 웨이퍼 ( 1 ) 를 수납 가능 한 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 가 제 2 수납 케이스 적 재 대 ( 8 ) 의 상면 ( 8 a ) 에 적재 되 어 있 다 . 여기 서 , 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 및 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 는 각각 대략 직사각 형 상자 형상 으로 형성 되 는 동시 에 , 제 1 수납 케이스 적 재 대 ( 6 ) 및 제 2 수납 케이스 적 재 대 ( 8 ) 에 설치 된 상태 에서 반송 부 ( 9 ) 측 을 향하 는 각각 의 일 측면 ( 5 a , 7 a ) 이 개방 되 어 있 다 . 또한 , 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 및 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 는 각각 의 내부 에 다 수단 의 슬롯 이 나란히 설치 되 고 , 각 슬롯 내 에 1 매 씩 의 웨이퍼 ( 1 ) 가 삽입 되 어 복수 의 웨이퍼 ( 1 ) 를 규칙 적 으로 1 개 의 로트 로서 정렬 하 는 것 으로 되 어 있 다 . 또한 , 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 및 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 는 예 를 들 어 제 1 수납 케이스 적 재 대 ( 6 ) 및 제 2 수납 케이스 적 재 대 ( 8 ) 에 구동 수단 이 마련 됨 으로써 승강 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 이 구동 수단 에 예 를 들 어 도시 하 지 않 은 제어 수단 이 접속 되 고 , 제 1 수납 케이스 ( 5 ) 및 제 2 수납 케이스 ( 7 ) 의 각각 을 적절 하 게 1 슬롯 만 큼씩 승강 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .