FOUP 은 도 5 에 도시 한 것 과 같이 , 주로 생산 프로세스 에 직접 투입 하 기 에 적합 한 형태 이 다 . FOUP 셀 ( 10 ) 은 웨이퍼 를 유지 하 는 부분 이 다 . FOUP 셀 ( 10 ) 과 FOUP 도어 ( 20 ) 를 조립 한 것 을 FOUP ( 30 ) 이 라 한다 . FOUP ( 30 ) 에 는 복수 매 의 웨이퍼 가 수평 으로 적재 된다 . 웨이퍼 는 FOUP 도어 ( 20 ) 를 통하 여 수납 된다 . 만약 , 웨이퍼 카세트 를 이용 할 경우 , 적재 된 웨이퍼 가 노출 되 며 노출 정도 를 억제 하 려면 웨이퍼 카세트 를 감싸 는 별도 의 캐리어 박스 가 필요 한 데 비하 여 , FOUP ( 30 ) 은 적재 된 웨이퍼 에 대한 실링 ( sealing ) 특성 이 우수 하 므로 캐리어 박스 와 같 은 별도 의 보조 기구 가 필요 없 다 . 밀폐 성 을 유지 하 기 위해서 FOUP 도어 ( 20 ) 에 시일 부재 ( 22 ) 를 구비 하 고 , FOUP 도어 ( 20 ) 를 FOUP 셀 ( 10 ) 에 고정 하 기 위해 FOUP 도어 ( 20 ) 측 에 클램 핑 기구 ( 24 ) 를 구비 한다 . 리키지 ( leakage ) 구멍 ( 26 ) 및 웨이퍼 누름 부재 ( 28 ) 이 아울러 마련 된다 .