제 1 관통 전극 ( 210 ) 은 예 를 들 어 , 구리 ( Cu ) , 알루미늄 ( Al ) 또는 텅스텐 ( W ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 관통 전극 ( 210 ) 과 제 2 베이스 기판 ( 201 ) 인 반도체 물질 사이 에 는 , 라이너 와 배리 어막 을 더 포함 할 수 있 다 . 배리 어 막 은 예 를 들 어 , Ta , TaN , Ti , TiN , Ru , Co , Ni , NiB , WN 등 을 포함 할 수 있 다 . 라이너 는 예 를 들 어 , 저 유전율 을 갖 는 실리콘 산화물 또는 탄소 도핑 된 실리콘 산화물 등 을 포함 할 수 있 다 .