레지스 트 패턴 ( 11 ) 은 , 제 1 패턴 부 ( 11 a ) 와 제 2 패턴 부 ( 11 b ) 를 포함 한다 . 레지스 트 패턴 ( 12 ) 은 , 제 1 패턴 부 ( 12 a ) 와 제 2 패턴 부 ( 12 b ) 를 포함 한다 . 제 1 패턴 부 ( 11 a , 12 a ) 는 , 레벤 손 형 마스크 에 의해 형성 되 는 부분 이 다 . 제 2 패턴 부 ( 11 b , 12 b ) 는 , 하프톤 형 마스크 에 의해 형성 되 는 부분 이 다 .