상기 한 실시 예 1 에서 는 , X 축 방향 에 있 어서 , 인접 하 는 제어판 ( 80 ) 의 중앙 에 증착 원 개구 ( 61 ) 가 배치 되 어 있 다 . 따라서 , 가장 증착 입자 밀도 가 높 은 증착 원 개구 ( 61 ) 의 바로 위 의 영역 에 제어 공간 ( 81 ) 이 배치 된다 . 이 구성 은 , 제어판 ( 80 ) 에 충돌 하 고 포착 되 는 증착 입자 를 적 게 할 수 있 으므로 , 재료 이용 효율 이나 증착 레이트 의 저하 방지 의 관점 으로부터 유리 하 다 .