또한 , 상술 한 발명 에서 , 상기 입력 부 에 입력 되 는 정보 는 , 각 계층 에서 기판 에 행하 는 처리 종류 와 그 순번 에 관한 정보 인 것 이 바람직 하 다 . 각 계층 에서 기판 에 행하 는 처리 종류 와 그 순번 에 관한 정보 에 의하 면 , 제 어부 는 , 계층 마다 처리 유닛 에 대한 기판 반송 경로 를 정확 하 게 변경 할 수 있 다 .