도 23 은 , 도 22 의 예시 적 인 챔버 설계 에 대한 완전 한 3 D 모의실험 기초 모델 의 예 를 도시 한다 . 다양 한 유체 들 ( 예컨대 , 액체 및 가스 들 ) 및 다양 한 공정 들 ( 예컨대 , 세정 및 건조 동작 들 둘 모두 ) 에 대한 완전 한 CFD 분석 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 또 한 도 22 의 예시 적 인 챔버 설계 를 사용 하 여 수행 되 었 다 . 다수 의 다른 차 폐부 및 핀 설계 들 , 크기 들 ( 예컨대 , 챔버 측벽 들 사이 의 거리 및 전체 직경 ) , 각도 들 및 곡률 들 이 또한 고려 되 었 다 .