계측 을 가능 하 게 하 기 위해 , 하나 이상 의 타 겟 이 기판 상 에 제공 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , 타 겟 은 특별 하 게 설계 되 며 주기 적 구조 체 를 포함 할 수 있 다 . 실시 예 에서 , 타 겟 은 디바이스 패턴 의 일부 , 예 를 들 어 디바이스 패턴 의 주기 적 구조 이 다 . 실시 예 에서 , 디바이스 패턴 은 메모리 디바이스 의 주기 적 구조 체 ( 예 를 들 어 , 바이 폴라 트랜지스터 ( BPT ) , 비트 라인 콘택트 ( BLC ) 등 구 조체 ) 이 다 .