도 7 b 를 참조 하 면 , 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 의 상면 을 노출 시키 도록 제 2 절 연막 ( 180 ) 및 스토퍼 절 연막 ( 160 ) 을 관통 하 는 제 3 컨 택 홀 ( H 3 b ) 을 형성 한다 . 제 3 컨 택 홀 ( H 3 b ) 에 의하 여 제 2 도전 성 플러그 ( CP 2 b ) 의 측벽 이 노출 될 수 있 다 . 제 3 컨 택 홀 ( H 3 b ) 은 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 의 상면 에 대응 하 는 깊이 까지 형성 되 므로 , 제 3 컨 택 홀 ( H 3 ) 을 형성 하 기 위한 식각 공정 에서 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 를 구성 하 는 도전 성 물질 이 손상 되 거나 누설 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .