도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 이송 배관 ( 72 b ) 과 복귀 배관 ( 72 c ) 에 는 각각 , 이송 유로 ( 87 ) 와 복귀 유로 ( 88 ) 가 연통 하 고 있 으며 , 이송 유로 ( 87 ) 와 복귀 유로 ( 88 ) 는 칠러 ( 86 ) 에 연통 하 고 있 다 . 칠러 ( 86 ) 는 온도 조절 매체 의 온도 나 토출 유량 을 제어 하 는 본 체부 와 , 온도 조절 매체 를 압송 하 는 펌프 를 갖 는다 ( 모두 도시 하 지 않 음 ) . 또한 , 온도 조절 매체 로서 는 냉매 가 적용 되 며 , 이 냉매 에 는 갈 덴 ( Galden ) ( 등록 상표 ) 이나 플 루 오리 너트 ( Fluorinert ) ( 등록 상표 ) 등 이 적용 된다 . 도시 예의 온도 조절 형태 는 , 하방 기재 ( 72 ) 에 온도 조절 매체 를 유통 시키 는 형태 이 지만 , 하방 기재 ( 72 ) 가 히터 등 을 내장 하 며 , 히터 에 의해 온도 조절 하 는 형태 라도 좋 으며 , 온도 조절 매체 와 히터 의 쌍방 에 의해 온도 조절 하 는 형태 라도 좋 다 . 또한 , 히터 대신 , 고온 의 온도 조절 매체 를 유통 시키 는 것 에 의해 가열 을 수반 하 는 온도 조절 을 실행 하 여도 좋 다 . 또한 , 저항체 인 히터 는 텅스텐 이나 몰리브덴 , 혹은 이 들 금속 중 어느 하나 의 종과 알루미나 나 티탄 등 의 화합물 로 형성 된다 . 또한 , 도시 예 는 하방 기재 ( 72 ) 에 온도 조절 매체 유로 ( 72 a ) 가 형성 되 어 있 지만 , 예 를 들 면 상방 기재 ( 71 ) 나 정전 척 ( 76 ) 이 온도 조절 매체 유로 를 갖 고 있 어도 좋 다 .