본 발명 은 변위 가능 한 레티 클 스테이지 상 에 장착 된 레티 클 에 의해 형성 된 패 터닝 된 방사선 빔 으로 기판 을 노광 하 는 단계 를 포함 하 는 디바이스 제조 방법 에 관한 것 으로 , 상기 방법 은 상기 레티 클 스테이지 에 대해 레티 클 표면 의 높이 및 경사 프로 파일 을 근사 화 하 는 비 - 선형 함수 를 결정 하 는 단계 , 및 상기 비 - 선형 함수 에 따라 상기 기판 의 노광 시 상기 레티 클 스테이지 의 변위 를 제어 하 는 단계 를 포함 한다 . 또한 본 발명 은 리소그래피 장치 및 컴퓨터 프로그램 에 관한 것 이 다 .