즉 , 돌출 그립 부재 ( 211 a ) 와 함몰 그립 부재 ( 211 b ) 가 베이스 리 테 이너 링 ( 110 ) 의 음각 부재 ( 111 ) 와 양각 부재 ( 112 ) 에 각각 끼워진 상태 로 베이스 리 테 이너 링 ( 110 ) 과 하부 커버 링 ( 210 ) 이 본딩 결합 되 기 때문 에 본 발명 에 따른 리 테 이너 링 장치 가 [ 도 1 ] 상 의 웨이퍼 캐리어 ( 20 ) 에 연결 된 상태 로 폴리 싱 테이블 ( 10 ) 의 상면 에서 회전 운동 이나 직선 운동 을 하 는 과정 에서 받 는 측 방향 외력 으로부터 좀 더 강한 내구 성 을 갖 게 된다 .