상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따른 고온 폐수 처리 장치 는 , 기판 처리 장치 에서 사용 된 고온 의 폐수 를 배출 하 기 위한 제 1 배관 과 , 상기 제 1 배관 과 연결 되 어 상기 고온 폐수 가 유입 되 는 열 교환 튜브 와 상기 열 교환 튜브 의 내부 로 상기 고온 폐수 의 온도 를 낮추 기 위한 냉각수 를 공급 하 는 냉각수 공급 부 를 포함 하 는 열 교환기 와 , 상기 열 교환기 와 연결 되 어 상기 열 교환기 에서 낮 아 진 온도 를 갖 는 폐수 를 배출 하 기 위한 제 2 배관 을 포함 할 수 있 다 .