종래 기술 로 는 도 1 과 같이 일본 공개 특허 평 10 - 180206 호 가 있 는데 그 구성 은 초음파 진동 에너지 를 피 세척 물 로 전달 하 고 피세 척 물 의 상부 에 구비 된 노즐 바 를 통해 세척액 을 분사 하 여 세척 하 는 플로우 방식 의 자동 세척기 이 며 , 또 다른 종래 기술 로 는 도 2 와 같이 대한민국 공개 특허 10 - 2001 - 0081472 호 가 있 었 는데 도 1 의 구성 에 세척액 을 회수 하 는 유로 상 에 제 1 필터 와 플럭스 를 여과 하 는 제 2 필터 를 부가 한 것 이 다 .