또한 , 기판 ( P ) 을 - Y 방향 으로 이동 하 는 것 에 의해 , 기판 ( P ) 위 의 쇼트 영역 ( SH ) 은 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 대해서 도 상대 이동 된다 . 그리고 , 제 어 장치 ( 7 ) 는 쇼트 영역 ( SH ) 의 + Y 측 의 엣지 ( G 2 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 - Y 측 의 엣지 에 도달 했 을 때 에 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 대한 노광 광 ( EL ) 의 조사 를 정지 한다 . 이것 에 의해 , 쇼트 영역 ( SH ) 의 제 2 주사 노광 이 완료 된다 . 본 실시 형태 에서 는 제 2 조명계 ( IL 2 ) 의 마스크 블라인드 계 에 의해서 , 제 2 주사 노광 의 종료 직전 , 즉 엣지 ( G 2 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 + Y 측 의 엣지 에 도달 한 시점 으로부터 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 폭 이 서 서 히 좁 아 져 가 고 , 엣지 ( G 2 ) 가 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 - Y 측 의 엣지 에 도달 한 시점 에서 그 폭 이 제로 가 된다 . 이것 에 의해 , 제 2 주사 노광 의 종료 전 에 , 기판 ( P ) 위 에서 쇼트 영역 ( SH ) 에 대해 + Y 방향 의 쇼트 영역 의 불 필요 한 노광 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 마스크 블라인드 계 에 의해서 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 의 폭 을 변경 한다 , 즉 제 1 , 제 2 주사 노광 의 개시 및 종료 를 제어 하 는 것 으로 했 지만 , 예 를 들 면 상술 의 DMD 에 의해서 주사 노광 의 개시 및 종료 의 제어 를 실시 해도 된다 . 이 경우 , 조명 광학계 에 마스크 블라인드 계 를 설치 하 지 않 아도 좋 고 , 혹은 마스크 블라인드 계 에 주사 노광 의 개시 및 종료 를 제어 하 는 기능 을 갖 게 하 지 않 아도 좋 다 .