도 7 e 를 참조 하 면 , BCl 3 및 Cl 2 와 같 은 염소 계 에칭 제 는 비아 ( 102 ) 를 비아 ( 102 ') 로 연장 하 는 데 사용 되 고 ; 도시 되 는 바 와 같이 , 이러 한 에칭 은 에칭 저지 층 ( 42 ES ') 에서 저지 된다 . 다음 으로 , 에칭 저지 층 ( 42 ES ') 은 SiO 2 또는 SiNx 가 에칭 저지 층 ( 42 ES ') 으로 사용 될 때 불소 계 인 건식 에칭 화학 물질 을 사용 하 여 비아 홀 ( 102 ') 의 하부 로부터 제거 된다 . 불소 계 습식 에칭 은 도 7 f 에 도시 되 는 바 와 같이 SiO 2 및 Al 2 O 3 저지 층 ( 42 ES '), 및 일부 SiNx 층 ( 42 ES ') 을 제거 하 는데 적합 하 다 .