이러 한 목적 으로 실리콘 웨이퍼 를 양면 연마장 치 에서 의 연마 단계 는 , 실리콘 웨이퍼 단위 면적 당 연마 하중 100 ∼ 150 gf / ㎠ 으로 하 고 , 상하 정반 rpm 을 5 ∼ 10 , 연마제 를 공급 하 여 1 ∼ 3 분 동안 연마 하 는 제 1 연마 단계 와 , 실리콘 웨이퍼 단위 면적 당 연마 하중 250 ∼ 300 gf / ㎠ 으로 하 고 , 상하 정반 rpm 을 15 ∼ 20 , 상기 연마제 를 공급 하 여 15 ∼ 30 분 동안 연마 하 는 제 2 연마 단계 와 , 실리콘 웨이퍼 단위 면적 당 하중 을 100 ∼ 150 gf / ㎠ 으로 하 고 , 상하 정반 rpm 을 15 ∼ 20 , 초 순수 를 공급 하 여 1 ∼ 2 분 동안 연마 하 는 제 3 연마 단계 와 , 실리콘 웨이퍼 단위 면적 당 연마 하중 을 100 ∼ 150 gf / ㎠, 상하 정반 rpm 을 15 ∼ 20 , 계면 활성제 를 공급 하 여 1 ∼ 2 분 동안 연마 하 는 제 4 연마 단계 를 포함 한다 .