으로서 표현 될 수 있 다 . M 의 값 은 거울 들 ( 308 A , 308 B , 310 A , 310 B ) 의 각각 의 곡률 들 에 의해 결정 된다 . 일 실시 예 에서 , 거울 들 ( 308 A , 308 B , 310 A 및 310 B ) 의 곡률 들 은 , 빔 들 ( 306 A 및 306 B ) 이 노광 필드 ( 305 ) 의 전체 폭 을 가로질러 상호 간 에 공간 적 · 일시 적 간섭 성 을 보장 하 기 위해 , 이 들 이 노광 필드 ( 305 ) 에 도달 할 때 에 , 빔 들 ( 306 A 및 306 B ) 의 각각 의 경로 길이 들 이 실질 적 으로 동일 하 도록 선택 된다 . 빔 ( 306 A ) 은 빔 스플리터 ( 304 ) 와 오목 한 거울 ( 308 A ) 사이 에 길 이 a 를 갖 고 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 로부터 볼록 한 거울 ( 310 A ) 까지 길 이 a ' 를 가지 며 , " 볼록 한 거울 ( 310 A ) 과 평탄 한 거울 ( 312 A ) 사이 에 길 이 a "" 를 갖 고 ", 평탄 한 거울 ( 312 A ) 과 기판 ( 301 ) 사이 에 길 이 c 를 갖 는다 . 이 와 유사 하 게 , 빔 ( 306 B ) 은 빔 스플리터 ( 304 ) 와 오목 한 거울 ( 308 B ) 사이 에 길 이 b 를 갖 고 , 오목 한 거울 ( 308 B ) 로부터 볼록 한 거울 ( 310 B ) 까지 길 이 b ' 를 가지 며 , " 볼록 한 거울 ( 310 B ) 과 평탄 한 거울 ( 312 B ) 사이 에 길 이 b "" 를 갖 고 ", 평탄 한 거울 ( 312 B ) 과 기판 ( 301 ) 사이 에 길 이 d 를 갖 는다 . 거울 들 ( 308 A , 308 B , " 310 A 및 310 B ) 의 곡률 들 은 ( a + a '+ a "")+ c 가 ( b + b '+ b "")+ d 와 같 도록 선택 되 어 ", 노광 필드 ( 305 ) 의 전체 를 가로질러 실질 적 으로 균일 한 프린지 들 ( 303 ) 이 형성 된다 .