그 후 , 소정 의 처리 시간 , 예 를 들 어 10 내지 300 초 가 경과 하 면 , 고주파 전원 ( 273 ) 으로부터 의 전력 의 출력 을 정지 하 고 , 처리 실 ( 201 ) 내 에서 의 플라스마 방전 을 정지 한다 . 또한 , 밸브 ( 253 a , 253 b ) 를 닫 고 , O 2 가스 및 H 2 가스 의 처리 실 ( 201 ) 내로 의 공급 을 정지 한다 . 이상 에 의해 , 플라스마 처리 공정 ( S 140 ) 이 종료 된다 .