선택 적 으로 , 반도체 처리 장치 ( 30 ) 는 제 1 , 제 2 또는 제 3 반응물 및 / 또는 에 천트 및 / 또는 첨가제 의 플 라즈 마 를 생성 하 도록 구성 되 고 배열 된 제어기 와 작동 가능 하 게 연결 된 RF 공급원 을 구비 할 수 있 다 . 플 라즈 마 강화 원자 층 증착 ( PEALD ) 은 하나 이상 의 반응물 을 활성 화 시키 기 위한 플 라즈 마 공급원 을 포함 하 는 네덜란드 Almere 의 ASM International NV 사 로부터 이용 가능 한 Eagle ® XP 8 PEALD 반응기 에서 수행 될 수 있 다 .