순수 한 실리콘 은 도전 성 이 아니 므로 , 실리콘 스퍼터 타 겟 들 은 DC 또는 MF 스퍼터링 에서 이용 가능 하 도록 , 예 를 들 면 , 붕소 로 도핑 되 어야 한다 . 또한 층 내 에 포함 되 어 있 는 첨가제 붕소 , 알루미늄 또는 티타늄 은 부정 적 인 영향 을 미치 지 않 는다 . Si 3 N 4 는 층 재료 로서 소량 의 산소 만 을 포함 한다 .