도 3 및 도 4 를 참조 하 면 , 상기 크리 닝 부 ( 300 ) 는 그 중앙부 에 상기 회전축 ( 110 ) 이 관통 되 는 관통 홀 ( 310 a ) 이 형성 되 고 , 그 내부 에 챔버 ( 311 ) 가 형성 되 는 크리 닝 몸체 ( 310 ) 와 , 상기 챔버 ( 311 ) 로 질소 가스 와 같 은 세정 물질 을 공급 하 는 공 급기 ( 320 ) 와 , 상기 챔버 ( 311 ) 와 연통 되 도록 상기 크리 닝 몸체 ( 310 ) 에 형성 되 어 , 상기 세정 물질 을 상기 챔버 ( 311 ) 의 내부 로 안내 하 는 공급 유로 ( 330 ) 와 , 상기 공급 유로 ( 330 ) 와 상기 공 급기 ( 320 ) 를 연결 하 는 공급 튜브 ( 340 ) 와 , 상기 챔버 ( 311 ) 와 연결 되 도록 상기 크리 닝 몸체 ( 310 ) 의 외측 둘레 에 형성 되 는 분사 홀 들 ( 350 ) 을 갖 는다 . 여기 서 , 상기 관통 홀 ( 310 a ) 의 내 주면 과 상기 회전축 ( 110 ) 의 외면 은 서로 일정 거리 이격 될 수 있 다 .