도 4 c 를 참조 하 면 , 이후 , 예 를 들 어 사진 식각 공정 등 을 이용 하 여 제 2 도전 층 ( 5 ) 의 일부분 , 즉 결함 접지 구조 ( DGS ) ( 6 ) 를 위한 부분 만 을 제거 하 고 제 2 도전 층 ( 5 ) 의 나머지 필요 한 부분 을 모두 남김 으로써 상기 결함 접지 구조 ( DGS ) ( 6 ) 를 통하 여 유전체 층 ( 1 ) 의 저면 을 노출 시킨다 . 여기 서 , 상기 결함 접지 구조 ( DGS ) ( 6 ) 는 1 개 의 사각형 패턴 이 며 , 신호선 패턴 ( 4 ) 과 동일 수직선 상 에 위치 한다 . 상기 결함 접지 구조 ( DGS ) ( 6 ) 의 가로 와 세로 의 치수 가 각각 W 1 , W 2 이 다 . 물론 , 상기 제 2 도전 층 ( 5 ) 에 1 개 의 결함 접지 구조 ( 6 ) 를 형성 하 는 대신 에 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 복수 개 , 예 를 들 어 3 개 의 사각형 결함 접지 구조 ( 6 a ) 를 형성 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 상기 결함 접지 구조 ( 6 ) 는 도면 에 도시 하 지 않 았 으나 , 신호선 패턴 ( 4 ) 과 동일 수직선 상 에 위치 하 지 않 아도 좋 다 .