벌크 부분 이 제거 된 상변화 물질 층 ( 280 ) 에 대하 여 제 2 연마 공정 을 수행 하 여 개구 ( 275 ) 를 채우 는 상변화 물질 층 패턴 ( 285 ) 을 형성 한다 . 상기 제 2 연마 공정 은 절 연막 ( 270 ) 에 대한 상변화 물질 층 ( 280 ) 의 연마 선택 비 가 낮 은 제 2 슬러리 조성물 을 사용 하 여 수행 된다 . 상기 제 2 연마 공정 을 통해 절 연막 ( 270 ) 의 상면 상 에 남 아 있 는 상변화 물질 층 ( 280 ) 과 , 절 연막 ( 270 ) 의 상면 일부 및 제 1 연마 공정 으로 상변화 물질 층 ( 280 ) 의 상부 표면 에 형성 되 는 표면 산화 막 이 제거 되 고 , 상면 이 고르 게 평탄 화 된 상변화 물질 층 패턴 ( 285 ) 과 절 연막 ( 270 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 연마 공정 및 상기 제 1 및 제 2 슬러리 조성물 은 도 1 및 도 2 a 내지 도 2 c 를 참조 하 여 설명 한 공정 및 조성물 들 과 실질 적 으로 동일 하 며 , 이 에 대한 더 이상 의 설명 은 생략 한다 .