조사 시간 데이터 생성 공정 ( S 110 ) 으로서 , 조사 시간 데이터 생 성부 ( 56 ) 는 , 화소 ( 36 ) 마다 의 조사 시간 데이터 를 생성 한다 . 기억 장치 ( 140 ) 로부터 묘화 데이터 를 읽 어 내 고 , 복수 단의 데이터 변환 처리 를 실시 하 여 , 조사 시간 데이터 를 생성 한다 . 조사 시간 데이터 는 , 화소 ( 36 ) 마다 에 생성 되 어 , 묘화 시간 ( 조사 시간 ) 이 연산 된다 . 예 를 들 면 , 대상 화소 ( 36 ) 에 패턴 을 형성 하 지 않 은 경우 , 빔 조사 가 없 어 지 므로 , 묘화 시간 제로 혹은 빔 조사 없 음 의 식별 코드 가 정의 된다 . 여기 에서 는 , 1 회 의 멀티 빔 의 샷 에서 의 최대 묘화 시간 ( Ttr ) ( 최대 노광 시간 ) 이 미리 설정 된다 . 실제로 조사 되 는 각 빔 의 조사 시간 은 , 산출 된 패턴 의 면적 밀도 에 비례 하 여 구하 면 바람직 하 다 . 또한 , 최종 적 으로 산출 되 는 각 빔 의 조사 시간 은 , 도시 하 지 않 은 근접 효과 , 포 깅 효과 , 로딩 효과 등 의 치수 변동 을 일으키 는 현상 에 대한 치수 변동 분 을 조사량 에 의해 보정 한 보정 후 의 조사량 에 상당 하 는 시간 으로 하 면 바람직 하 다 . 또한 , 그 밖 의 요인 에 의한 위치 이탈 을 주위 의 화소 를 포함 한 복수 의 화소 의 조사량 의 배분 에 의해 보정 한 보정 후 의 조사량 에 상당 하 는 시간 으로 하 면 바람직 하 다 . 따라서 , 실제로 조사 되 는 각 빔 의 조사 시간 은 빔 마다 상이 할 수 있 다 . 각 빔 의 묘화 시간 ( 조사 시간 ) 은 , 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 내 의 값 으로 연산 된다 .