상이 한 실시 예 에서 , ZRx , min 과 ZRy , min 중 더 작 은 것 은 50 ㎛ 이상 , 100 ㎛ 이상 , 200 ㎛ 이상 , 300 ㎛ 이상 , 500 ㎛ 이상 , 1 mm 이상 , 2 mm 이상 , 3 mm 이상 , 5 mm 이상 이거 나 , 50 ㎛ 내지 10 mm 의 범위 , 100 ㎛ 내지 5 mm 의 범위 , 200 ㎛ 내지 4 mm 의 범위 , 300 ㎛ 내지 2 mm 의 범위 , 등 이 다 .