이 구성 에서 는 , 플라 즈 마 발생 부 가 워크 상 에 배치 되 는 설치 위치 로부터 플 라즈 마 발생 장치 를 수평 방향 으로 인출 할 수 있 으므로 , 워크 를 지지 하 는 지 지부 상 으로부터 플 라즈 마 발생 부 가 벗어난 위치 에 플 라즈 마 발생 장치 를 인출 하 여 지 지 부 에 방해 받 지 않 고 플 라즈 마 발생 부 의 유지 관리 를 행할 수 있 다 . 이 에 따라 플 라즈 마 발생 부 의 유지 관리 작업 을 용이 하 게 행할 수 있 다 .