도 7 c 에 도시 하 는 바 와 같이 , 하프톤 마스크 ( 159 b ) 는 , 투광 성 을 갖 는 기판 ( 163 ) 및 그 위 에 형성 되 는 반투 과부 ( 167 ) 및 차 광부 ( 168 ) 로 구성 된다 . 반투 과부 ( 167 ) 는 , MoSiN , MoSi , MoSiO , MoSiON , CrSi 등 을 사용 할 수 있 다 . 차 광부 ( 168 ) 는 , 크롬 이나 산화 크롬 등 의 광 을 흡수 하 는 차광 재료 를 사용 하 여 형성 할 수 있 다 .