상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 웨이퍼 이송 장치 는 , 웨이퍼 를 회전 하 는 다 수개 의 웨이퍼 스테이지 가 구비 된 공정 챔버 로 인입 또는 공정 챔버 로부터 인출 하 는 웨이퍼 이송 장치 에 있 어서 , 수납 된 다 수개 의 웨이퍼 를 회전 하 는 각각 의 웨이퍼 스테이지 에 차례 로 인입 하 는 인입 용 로드 락 챔버 ; 상기 인입 용 로드 락 챔버 와 인접 하 게 설치 하 고 , 공정 챔버 내 에서 공정 이 완료 된 웨이퍼 를 회전 하 는 웨이퍼 스테이지 로부터 차례 로 인출 하 여 수납 하 는 인출 용 로드 락 챔버 ; 및 상기 공정 챔버 에서 의 공정 진행 중 , 인입 용 로드 락 챔버 로 웨이퍼 를 인입 하 고 , 상기 인출 용 로드 락 챔버 로부터 웨이퍼 를 인출 하 는 로봇 을 포함 하 되 , 상기 공정 챔버 내 에서 공정 이 완료 된 후 , 회전 하 는 웨이퍼 스테이지 중 인접 한 2 개 의 웨이퍼 스테이지 에 대하 여 각각 웨이퍼 의 인출 과 인입 이 동시 에 이루어지 도록 구성 한다 .