셀프 리 프레쉬 제 어 회로 ( 58 ) 는 커맨드 디코더 ( 60 ) 에서 출력 되 는 명령 에 응답 하 여 집적회로 소자 ( 10 ) 의 셀프 리 프레쉬 동작 을 제어 할 수 있 다 . 커맨드 디코더 ( 60 ) 는 어드레스 카운터 , 타이머 및 코어 전압 발생 부 를 구비 할 수 있 다 . 상기 어 드레스 카운터 는 커맨드 디코더 ( 60 ) 로부터 출력 되 는 셀프 리 프레쉬 진입 명령 에 응답 하 여 셀프 리 프레쉬 대상 이 되 는 로우 어드레스 를 지정 하 기 위한 로우 어드레스 를 발생 하 여 로우 디코더 ( 52 ) 로 인가 할 수 있 다 . 상기 어 드레스 카운터 는 커맨드 디코더 ( 60 ) 로부터 출력 되 는 셀프 리 프레쉬 종료 ( self refresh exit ) 명령 에 응답 하 여 카 운 팅 동작 을 중단 할 수 있 다 .