도 3 b 에 도시 된 바 와 같이 , 감광막 패턴 ( 34 ) 을 제거 한다 . 여기 서 , 감광막 패턴 ( 34 ) 은 산소 ( O 2 ) 플 라즈 마로 제거 할 수 있 다 . 또는 산소 와 불 소계 가스 의 혼합 가스 를 이용한 플라 즈 마를 사용 할 수 있 다 . 이때 , 불 소계 가스 는 CF 4 , C 4 F 6 , CHF 3 , C 5 F 8 , C 3 F 8 , C 3 F 3 , C 6 F 6 , SF 6 및 NF 3 의 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 또는 둘 이상 의 혼합 가스 일 수 있 다 .