상기 처리 용기 ( 101 , 401 , 402 , 403 , 404 , 405 ) , 및 로드 록 실 ( 303 , 304 ) 은 , 반 송실 ( 301 ) 에 게이트 밸브 ( G ) 를 거쳐서 접속 되 어 있 다 . 상기 처리 용기 또는 로드 록 실은 , 게이트 밸브 ( G ) 를 개방 함 으로써 반 송실 ( 301 ) 과 연통 되 고 , 게이트 밸브 ( G ) 를 닫 음 으로써 반 송실 ( 301 ) 로부터 차단 된다 . 또한 , 동일 한 게이트 밸브 ( G ) 는 , 로드 록 실 ( 303 , 304 ) 과 , 피 처리 기판 반출 입실 ( 305 ) 이 접속 되 는 부분 에 도 마련 되 어 있 다 .