상술 한 제 1 공정 S 303 , 퍼지 공정 S 304 , 제 2 공정 S 305 및 퍼지 공정 S 306 을 차례 로 행하 는 사이클 을 소정 횟수 ( N ) 행함 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 AlO 막 이 형성 된다 . 이 사이클 의 횟수 는 , 최종 적 으로 형성 하 는 AlO 막 에서 필요 로 하 는 막 두께 에 따라서 적절히 선택 된다 . 판정 공정 S 307 에서 는 , 이 소정 횟수 가 실행 되 었 는지 여부 를 판정 한다 . 소정 횟수 가 행하 여 졌으면 , " "" 예 ""( Y ) 판정 으로 해서 ", 성막 공정 S 300 을 종료 한다 . 소정 횟수 가 행하 여 지 지 않 았 으면 , " "" 아니 오 ""( N ) 판정 으로 해서 ", 성막 공정 S 300 을 반복 한다 . 또한 , 이 사이클 은 , 복수 회 반복 하 는 것 이 바람직 하 다 . AlO 막 의 두께 ( 막 두께 ) 는 , 예 를 들 어 10 내지 150 nm , 바람직 하 게 는 40 내지 100 nm , 보다 바람직 하 게 는 60 내지 80 nm 로 한다 . 150 nm 이하 로 함 으로써 표면 조도 를 작 게 할 수 있 고 , 10 nm 이상 으로 함 으로써 하 지 막 과 의 응력 차 에 기인 하 는 막 박리 의 발생 을 억제 할 수 있 다 .