실험 예 1 에서 사용 한 레지스 트 박리 액 과 필터 및 아스피레이터 를 동일 하 게 사용 하 였으며 , 포토레지스트 를 130 ℃ 에서 48 시간 동안 베 이킹 을 실시 하 여 솔 벤트 를 휘발 시켜 고형 화 한 뒤 막자사발 을 이용 하 여 분쇄 후 일정 한 크기 의 채 를 이용 하 여 거른 뒤 사용 하 였 다 . 분쇄 된 포토레지스트 를 60 ℃ 에서 10 분 이상 승 온 시킨 레지스 트 박리 액 에 투입 후 60 ℃ 에서 20 분 간 500 rpm 으로 교반 시킨 뒤 필터 통과 속도 를 측정 하 였 다 . 그 결과 는 하 기 의 표 2 에 나타내 었 다 .