열 처리 는 산소 분위기 중 에서 행할 수 있 지만 , 먼저 질소 또는 불활성 가스 , 또는 감압 하 에서 열 처리 를 행하 고 나 서 산소 를 포함 하 는 분위기 중 에서 열 처리 를 행하 여도 좋 다 . 우선 탈수 화 · 탈수소 화 를 행하 고 나 서 산소 를 산화물 반도체 에 첨가 함 으로써 , 열 처리 의 효과 를 더 높일 수 있 다 . 또한 , 나중 에 산소 를 첨가 하 는 경우 는 , 산소 이온 을 전계 로 가속 시켜 산화물 반도체 막 에 주입 하 는 방법 을 적용 하 여도 좋 다 .