에러 구분 ( S 306 ) 단계 를 통하 여 , 제 N - 1 에러 들 과 위치 가 불 일치 하 는 제 N 에러 를 쉽 게 파악 할 수 있 으므로 , N 번 째 광학 적 근접 보정 으로 인해 오히려 다른 에러 가 많 아 졌 는지 , 또는 수정 을 요하 지 않 는 틀린 에러 ( false error ) 인지 등 에 대해 , 빨리 분석 할 수 있 게 된다 .