이 에 따라 , 웨이퍼 의 전면 에 고른 압력 을 가해 주 는 것 이 매우 중요 한데 , 비례 공 압제 어 시스템 인 EPC ( Electro - Pneumatic Controller ) 가 그 역할 을 수행 하 게 되 며 , 상기 EPC 는 정밀 하 게 공 압 을 제어 할 수 있 는 성능 을 갖추 어야 하 고 특히 웨이퍼 연마 과정 중 에 발생 하 는 미세 한 진동 이나 기울어짐 의 영향 을 EPC 의 제어 소프트웨어 가 최소 화 함 으로써 가공 정밀도 가 저하 되 는 것 을 막 을 수 있 어야 한다 .