예 를 들 면 인 덱 서 블록 , 제 1 처리 블록 및 제 2 처리 블록 이 이 순서 대로 배치 되 어 있 다고 한다 . 이 경우 , 제 2 처리 블록 에서 처리 된 기판 을 인 덱 서 블록 에 반송 하 기 위해서 , 제 1 처리 블록 에 의한 처리 없이 , 제 1 처리 블록 을 통과 시켜야 한다 . 그러나 , 제 1 처리 블록 도 제 2 처리 블록 도 인 덱 서 블록 에 연결 되 어 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 제 1 처리 블록 을 개재 시키 지 않 고 제 2 처리 블록 으로부터 인 덱 서 블록 으로 기판 을 직접 반송 할 수 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 스루풋 의 저하 를 억제 할 수 있 다 . 또 , 기판 버퍼 는 2 개 의 처리 블록 의 중간 에 배치 되 어 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 기판 버퍼 를 개재 하 여 , 제 1 처리 블록 으로부터 제 2 처리 블록 으로 기판 을 반송 할 수 있 다 . 이 반송 은 , 인 덱 서 블록 에 의한 기판 반송 을 이용 하 지 않 고 행해 지 기 때문 에 , 인 덱 서 블록 에 의한 기판 반송 의 부담 을 경감 할 수 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 스루풋 의 향상 을 도모 할 수 있 다 .