지금 부터 설명 하 고 있 는 사항 은 현재 범용 적 을 사용 되 고 있 는 ESC 구조 에서 사용 되 는 내용 이나 본 특허 에서 는 형성 시키 는 방법 이 기존 의 ESC 와 는 전혀 다르 다 . 본 특허 에서 600 번 인 ESC 위 에서 공정 을 진행 하 고자 하 는 모재 를 ESC 면 과 일정 한 거리 만 큰 이격 시키 그 사이 에 공정 중 에 모재 로 부 터 열 을 빼앗 기 위한 Gas 가 일정 한 압력 으로 유지 되 어 지 는 공간 을 만들 기 위한 원형 또는 원기둥 형태 의 돌기 가 필요 한다 .