또한 , 상기 캐 패 시터 상부 전극 형성 단계 와 도전체 층 형성 단계 는 상기 베이스 기판 과 상기 베이스 기판 에 형성 된 홈 및 상기 절연 층 상 에 도전 성 층 을 형성 하 는 단계 및 상기 캐 패 시터 상부 전극 이 형성 될 영역 과 상기 홈 의 내 측면 이외 의 영역 에 형성 된 상기 도전 성 층 을 식각 하 는 단계 를 통해 상기 캐 패 시터 상부 전극 과 상기 도전체 층 을 동시 에 형성 한다 .