상기 산 발생 제 는 광산 발생 제 ( photoacid generator ) 또는 열 산 발생 제 ( thermal acid generator ) 일 수 있 다 . 상기 광산 발생 제 는 , 예 를 들 어 , 오늄 염 ( onium salt ) 계 , 나이트로 벤질 계 , 설폰산 에스터 계 , 디아조메탄 계 , 글리 옥심 계 , N - 하이드 록 시 이미드 설폰산 에스터 계 및 할로 트리아진 계 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 상기 열 산 발생 제 는 상기 제 1 하 부막 ( ULa 1 ) 의 경화 동안 가교 반응 을 촉진 하 거나 증진 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 열 산 발생 제 는 사이클 로 헥 실 p - 톨루엔 설 포 네이트 , 메틸 p - 톨루엔 설 포 네이트 , 사이클 로 헥 실 2 , 4 , 6 - 트리 이소프로필 벤젠 설 포 네이트 , 2 - 나이트로 벤질 토실 레이트 , 트리스 ( 2 , 3 - 디브 로모 프로필 ) - 1 , 3 , 5 - 트리아진 - 2 , 4 , 6 - 트 리온 , 유기 설폰산 의 알킬 에스터 류 와 그 염 들 , 도데 실 벤젠설폰산 의 트리 에틸아민 염 , p - 톨루엔 설폰산 의 암모늄염 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .