라인 패턴 구조물 및 이 의 형성 방법 에서 , 라인 패턴 구조물 은 끊어진 부위 를 포함 하 는 라인 형상 을 갖 는 적어도 하나 의 제 1 라인 패턴 을 포함 한다 . 최 외곽 에 위치 하 는 상기 제 1 라인 패턴 과 이웃 하 여 상기 제 1 라인 패턴 과 평행 한 연장 라인 과 , 상기 제 1 라인 패턴 의 끊어진 부위 와 인접 하 는 영역 에서 상기 제 1 라인 패턴 방향 으로 향하 도록 상기 연장 라인 으로부터 돌출 된 적어도 하나 의 돌출 패턴 을 포함 하 는 2 개 의 제 2 라인 패턴 을 포함 한다 . 상기 라인 패턴 구조물 은 불량 이 감소 되 고 간단 한 공정 을 통해 형성 될 수 있 다 .