다음 으로 , 스토리지 노드 콘 택 ( 29 ) 을 포함 한 식각 멈춤 막 ( 28 ) 상 에 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) 은 캐 패 시터 구조 , 즉 스토리지 노드 식각 을 통해 캐 패 시터 의 스토리지 노드 가 형성 될 홀 을 제공 하 기 위한 것 으로 , 14000 Å ∼ 28000 Å 두께 로 형성 한다 .