종래 에 는 안테나 코일 ( 110 ) 이 대기압 조건 하 에서 챔버 ( 100 ) 상부 에 배치 된다 . 플 라즈 마 공정 시 챔버 ( 100 ) 내부 는 진공 상태 로 유지 되 고 안테나 코일 ( 110 ) 의 대기압 상태 로 유지 되 기 때문 에 챔버 ( 100 ) 상부 에 안테나 코일 ( 110 ) 의 위치 를 고정 하 기 위해 도 2 에 도시 된 바 와 같이 금속 재질 의 프레임 ( 200 ) 이 제공 된다 .