또한 역세 정시 순수 공급 부 ( 22 ) 에 의해 공급 되 는 순수 는 필터 ( 21 ) 로 만 역 으 로 흘러야 하 므로 , 필터 상류 측 배관 ( 20 a ) 과 하류 측 배관 ( 20 b ) 으로 순수 가 흘러 나가 지 않 도록 상기 상류 측 배관 ( 20 a ) 과 하류 측 배관 ( 20 b ) 에 개폐 밸브 ( 15 , 16 , 17 ) 가 설치 되 고 , 역세 정시 에 는 이 들 개폐 밸브 ( 15 , 16 , 17 ) 를 잠가 줘야 한다 .