상술 된 하나 이상 의 구체 예 에서 , 산소 - 함유 플 라즈 마 공급원 은 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 불활성 가스 수증기 플 라즈 마 를 갖 는 산소 플 라즈 마 , 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 질소 산화물 ( N 2 O , NO , NO 2 ) 플라 즈 마 , 불활성 가스 를 갖 거나 가지 지 않 는 탄소 산화물 ( CO 2 , CO ) 플라 즈 마 , 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 으로부터 선택 된다 . 특정 구체 예 에서 , 산소 - 함유 플 라즈 마 공급원 은 불활성 가스 를 추가 로 포함 한다 . 이러 한 구체 예 에서 , 불활성 가스 는 아르곤 , 헬륨 , 질소 , 수소 , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 으로부터 선택 된다 . 대안 적 인 구체 예 에서 , 산소 - 함유 플 라즈 마 공급원 은 불활성 가스 를 포함 하 지 않 는다 .