배기 부 ( 4 ) 는 , 처리 용기 ( 1 ) 내 의 가스 를 배기 한다 . 배기 부 ( 4 ) 는 , 배기구 ( 13 b ) 에 접속 된 배기 배관 ( 41 ) 과 , 배기 배관 ( 41 ) 에 접속 된 배기 기구 ( 42 ) 를 갖 는다 . 처리 용기 ( 1 ) 내 의 가스 는 슬릿 ( 13 a ) 을 통해 배기 덕트 ( 13 ) 에 이르 고 , 배기 덕트 ( 13 ) 로부터 배기 배관 ( 41 ) 을 지나 배기 기구 ( 42 ) 에 의해 배기 된다 . 배기 기구 ( 42 ) 는 , 압력 제어기 ( 42 _ 1 ) 와 진공 펌프 ( 42 _ 2 ) 를 갖 는다 .