" 단계 ( S 5 ) 에서 ' 고 메 쉬 "" 라고 언급 되 는 용어 의 기술 적 의미 는 그라인더 입자 의 메 쉬 값 이 상대 적 으로 크 다는 것 을 의미 한다 . 따라서 ", 고 메 쉬 그라인딩 단계 ( S 5 ) 는 제 1 평탄 화 단계 에서 의 제 1 메 쉬 값 보다 는 상대 적 으로 큰 제 2 메 쉬 값 을 가지 는 제 2 그라인더 입자 로 된 제 2 그라인더 를 상기 제 1 그라인더 로 그라인딩 한 질화 갈륨 기판 표면 에 회전 시켜 질화 갈륨 기판 을 그라인딩 하 는 제 2 평탄 화 단계 에 해당 한다 .