상부 전극 ( 30 ) 은 , 천판 ( 34 ) 및 지 지체 ( 36 ) 를 포함 할 수 있 다 . 천판 ( 34 ) 의 하 면은 , 내부 공간 ( 10 s ) 측 의 하면 이 며 , 내부 공간 ( 10 s ) 을 구획 한다 . 천판 ( 34 ) 은 , 발생 하 는 주 울열 이 적 은 저 저항 의 도전체 또는 반도체 로 형성 될 수 있 다 . 천판 ( 34 ) 은 , 천판 ( 34 ) 을 그 판두 께 방향 으로 관통 하 는 복수 의 가스 토출 구멍 ( 34 a ) 을 갖 는다 .