도 2 A 에 도시 된 바 와 같이 , 기둥 ( 121 a ) 과 기둥 ( 121 b ) 사이 와 같 은 , 가장 인접 한 기둥 들 ( 121 ) 의 중심 사이 의 거리 는 B 이 다 . 예시 된 실시 예 에서 , B 는 실질 적 으로 폭 A 의 2 배 와 같 은데 , 이 는 여기 에서 설명 되 는 바 와 같이 행과 열 로 배열 되 는 홀 패턴 을 형성 하 는 데 에 유리 하 다 . 폭 A 가 거리 B 의 1 / 2 보다 큰 실시 예 에서 는 , 이하 설명 되 는 바 와 같이 치수 ( C , D 및 E ) 를 실현 하 기 위해 , 트리밍 단계 14 동안 에 선택 적 으로 디 파인 가능 한 층 ( 120 ) 의 기둥 ( 121 ) 을 트리밍 한다 . 도 2 A 및 도 2 B 에 도시 된 마스크 패턴 은 중심 이 정사각형 의 꼭지점 에 위치 하 는 기둥 ( 121 ) 을 포함 하 지만 , 이하 더욱 상세 하 게 설명 되 는 바 와 같이 , 다른 패턴 도 가능 하 다 .