전도체 층 은 텅스텐 ( W ) , 코발트 ( Co ) , 구리 ( Cu ) , 알루미늄 ( Al ) , 다 결정 실리콘 ( 폴리 실리콘 ) , 도핑 된 실리콘 , 실리사이드 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 전도성 재료 를 포함 할 수 있 다 . 유전체 층 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 유전체 재료 를 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 전도체 층 은 W 와 같 은 금속 층 을 포함 하 고 유전체 층 은 실리콘 산화물 을 포함 한다 .