즉 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 구동 이 실시 되 는 로트 처리 의 개시 에 앞서 , 예 를 들 어 장치 의 기 동시 등 에 , XY 평면 내 에 있 어서 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 정보 를 계측 하 는 인코더 시스템 의 일련 의 캘리 브레이 션 의 하나 로서 , 전술 한 각 이동 스케일 ( 회절 격자 ) 표면 의 아베 벗 어 남량 을 취득 하 기 위한 캘 리브레 이 션 처리 가 실시 된다 . 즉 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 인코더 시스템 의 이동 스케일 마다 , 회절 격자 의 주기 방향 에 관한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 에 대한 경사각 을 계측 하 는 간섭계 시스템 ( 118 ) 의 계측 값 에 기초 하 여 , 회절 격자 의 주기 방향 에 관하 여 XY 평면 에 대하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 각도 경사 시키 고 , 그 경사 전후 의 인코더 시스템 의 계측 값 과 간섭계 시스템 ( 118 ) 에서 계측 되 는 상기 각도 의 정보 에 기초 하 여 , 회절 격자 표면 의 아베 벗 어 남량 을 산출 한다 . 그리고 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 그 산출 한 정보 를 메모리 내 에 기억 한다 .