상기 전극 구 조체 들 ( SS ) 및 상기 상부 층간 절 연막 ( 131 ) 을 덮 는 제 1 상부 절 연막 ( 11 ) 이 제공 될 수 있 다 . 제 1 상부 절 연막 ( 11 ) 을 관통 하 는 제 1 내지 제 3 콘 택 들 ( CT 1 , CT 2 , CT 3 ) 이 제공 될 수 있 다 . 상기 제 1 내지 제 3 콘 택 들 ( CT 1 , CT 2 , CT 3 ) 은 이하 제조 방법 을 통하 여 설명 되 는 것 과 같이 , 동일 한 증착 공정 을 통하 여 동시 에 형성 되 는 콘 택 들 일 수 있 다 . 상기 제 1 내지 제 3 콘 택 들 ( CT 1 , CT 2 , CT 3 ) 은 그 상면 들 이 서로 동일 한 레벨 일 수 있 다 . 일 예 로 , 상기 제 1 내지 제 3 콘 택 들 ( CT 1 , CT 2 , CT 3 ) 의 상면 들 은 상기 제 1 상부 절 연막 ( 11 ) 의 상면 과 동일 레벨 일 수 있 다 . 상기 제 1 내지 제 3 콘 택 들 ( CT 1 , CT 2 , CT 3 ) 은 텅스텐 , 티타늄 및 / 또는 이 들 의 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 상기 제 1 내지 제 3 콘 택 들 ( CT 1 , CT 2 , CT 3 ) 은 티타늄 질화물 층 및 텅스텐 층 의 이중층 일 수 있 다 .