보호 절연 층 ( 144 ) 에 수소 가 포함 되 면 , 그 수소 의 산화물 반도체 층 ( 140 ) 에 의 침입 이나 , 수소 에 의한 산화물 반도체 층 ( 140 ) 중 의 산소 의 추출 등 이 발생 하 고 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 의 백 채널 측 이 저 저항 화 되 어 기생 채널 이 형성 될 우려 가 있 다 . 따라서 , 보호 절연 층 ( 144 ) 은 가능 한 한 수소 를 포함 하 지 않 도록 , 형성 방법 에 있 어서 는 수소 를 사용 하 지 않 는 것 이 중요 하 다 .