도 3 과 도 4 를 참조 하 면 , 배출 유닛 ( 400 ) 은 제 1 관 ( 410 ) , 그리고 제 2 관 ( 420 ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 관 ( 410 ) 은 기판 ( W ) 에 대한 에지 처리 중 발생 하 는 부산물 이 기판 ( W ) 에 재 부착 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 관 ( 410 ) 은 부산물 과 기판 ( W ) 의 에지 영역 에 공급 되 는 처리 액 을 장치 의 외부 로 배출 할 수 있 다 .