본 발명 의 제 2 실시 예 는 클러스터 형 스퍼터링 장치 를 설명 한 것 으로 , 각 마그넷 ( 336 a , 336 b , 336 c ) 을 이동 시켜 캐소드 ( 314 ) 와 의 거리 를 조정 하 여 플 라즈 마 영역 ( 320 ) 에서 의 자기장 의 세기 를 제어 함 으로써 , 서로 상이 한 물질 의 증착 공정 을 단일 스퍼터링 장치 로 수행 할 수 있 으므로 , 스퍼터링 장치 의 운용 폭 을 확대 시킬 수 있 어 스터 퍼 링 장치 에 대한 성능 을 향상 시킬 수 있 다 . 나아가 여러 대 의 스퍼터링 장치 를 구비 하 지 않 아도 됨 으로써 , 구입 비용 을 절감 하 고 점유 면적 을 획기적으로 줄일 수 있 다 .