노광 파장 은 , 예 를 들 어 400 nm 이하 , 300 nm 이하 , 또는 200 nm 이하 , 예 를 들 어 248 nm ( 예 를 들 어 , KrF 엑 시머 레이저 광 ) 또는 193 nm ( 예 를 들 어 , ArF 엑 시머 레이저 광 ) 일 수 있 다 . 노광 에너지 는 일반 적 으로 , 예 를 들 어 노광 장치 및 감광성 조성물 의 성분 에 따라 약 10 내지 80 mJ / cm 2 이 다 .