하지만 , 본 발명 에서 는 스테이지 ( 100 ) 에서 기판 을 부분 적 으로 리프팅 시키 는 것 에 의하 여 , 기판 ( 10 ) 의 언로 딩 공정 이 기판 ( 10 ) 이 경사지 게 틸팅 된 상태 에서 행해질 수 있 다 . 이 와 같이 , 기판 ( 10 ) 의 언로 딩 공정 이 평평 한 상태 가 아닌 리프팅 상태 ( 경사지 게 틸팅 된 상태 ) 에서 행해 지 도록 하 는 것 에 의하 여 , 기판 ( 10 ) 의 언로 딩 공정 중 에 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 100 ) 사이 에 존재 하 는 액상 유체 에 의한 표면장력 의 영향 을 최소 화 할 수 있 으므로 , 비교 적 작 은 힘 으로 도 기판 ( 10 ) 을 스테이지 ( 100 ) 로부터 떼 어 내 는 것 이 가능 하 며 , 기판 ( 10 ) 을 떼 어 내 는 힘 에 의한 기판 ( 10 ) 의 손상 을 최소 화 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .