또한 본 실시 예 는 대기 로부터 상기 측정 공간 측 으로 가스 가 유동 되 는 경로 상 에 구비 되 는 제 3 솔레노이드 밸브 ( 40 a ) 와 , 상기 측정 공간 으로부터 대기 측 으로 가스 가 유동 되 는 경로 상 에 구비 되 는 제 4 솔레노이드 밸브 ( 40 b ) 와 , 상기 측정 공간 으로부터 대기 측 으로 가스 가 유동 되 는 경로 상 에 구비 되 는 제 2 펌프 ( 60 ) 를 더 포함 한다 .