이 에 의해 , 분할 기점 형성 단계 ( ST 12 ) 에서 는 , 집 광점 ( 16 ) 이 맞추 어 진 위치 를 중심 으로 , 피 가 공물 ( 101 ) 의 내부 에 분할 예정 라인 ( 104 ) 을 따라 개질 층 ( 121 ) 의 라인 을 형성 하 고 , 아울러 집 광점 ( 16 ) 으로부터 이면 ( 107 ) 측 에 누설 된 레이저 광선 ( 15 ) 에 의해 , 개질 층 ( 121 ) 에 대해 두께 방향 으로 대향 하 는 부재 ( 109 ) 의 내부 의 위치 를 중심 으로 , 부재 ( 109 ) 의 내부 에 분할 예정 라인 ( 104 ) 을 따라 분할 기점 ( 129 ) 의 라인 을 형성 한다 .