더미 게이트 전극 층 ( 181 ) 이 폴리 실리콘 인 경우 , 적합 한 에칭 프로세스 는 불소 화학 을 사용 할 수 있 다 . 불소 화학 은 , 테트라 플 루 오로 메탄 ( CF 4 ) , 플 루 오로 포름 ( CHF 3 ) , 디 플 루 오로 메탄 ( 예컨대 , CH 2 F 2 ) , 육 플루오르화 황 ( SF 6 ) , 헥사 플 루 오로 에 탄 ( C 2 F 6 ) , 헥사 플 루 오로 프로필렌 ( C 3 F 6 ) , 옥 타 플 루 오로시 클로 부탄 ( C 4 F 8 ) , 퍼플 루오 로시 클로 펜텐 ( C 5 F 8 ) , 또 다른 적합 한 플루오르 화합물 ( 들 ) , 전술 한 바 의 임의 의 조합 등 으로 생성 된 플 라즈 마 를 사용 할 수 있 다 . 아르곤 , 산소 , 및 다른 적합 한 가스 가 또 한 에칭 화학 에 포함 될 수 있 다 .