본 발명 의 적층 체 는 , 예 를 들 면 상술 의 본 발명 의 감광성 폴리 실록 산 수지 조성물 을 기재 상 에 도포 하 는 공정 및 도포 막 을 80 ∼ 150 ℃ 로 가열 하 는 공정 을 이 순서 대로 포함 하 는 제조 방법 에 의해 얻 을 수 있 다 . 또한 , 감광성 폴리 실록 산 수지 조성물 을 기재 상 에 도포 하 는 방법 으로서 는 경화 막 의 제조 방법 으로서 예시 한 방법 등 을 들 수 있 다 . 또한 , 도포 막 을 80 ∼ 150 ℃ 에서 가열 하 는 방법 으로서 는 경화 막 의 제조 방법 으로서 예시 한 방법 등 을 들 수 있 다 . 가열 온도 를 80 ℃ 이상 으로 함 으로써 , 반응 을 충분히 진행 시켜 경도 , 내약품성 , 기판 밀착 성 을 보다 향상 시킬 수 있 다 . 한편 , 가열 온도 를 150 ℃ 이하 로 함 으로써 , 과잉 한 반응 과 그것 에 따른 응력 을 억제 하 여 기판 밀착 성 을 보다 향상 시킬 수 있 다 . 본 발명 의 감광성 실록 산 수지 조성물 은 저온 경화 가능 하 기 때문 에 , 150 ℃ 이하 의 온도 에서 충분히 경화 시킬 수 있 다 .