제 1 게이트 절 연막 ( 135 ) 및 제 2 게이트 절 연막 ( 235 ) 는 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 과 접촉 할 수 있 다 . 제 1 게이트 절 연막 ( 135 ) 는 제 1 에피 택 셜 패턴 ( 150 ) 과 접촉 할 수 있 다 . 제 2 게이트 절 연막 ( 235 ) 는 제 2 에피 택 셜 패턴 ( 250 ) 과 접촉 할 수 있 다 . 제 1 더미 패턴 적층 체 ( 115 _ 1 ) 의 최상면 에서 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 1 폭 ( W 11 ) 은 , 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 의 상면 에서 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 의 제 2 폭 ( W 12 ) 과 동일 할 수 있 다 .