본 발명 에 따른 플 라즈 마 전력 모니터링 장치 는 , 상용 교류 전원 을 정류 하 고 , 정류 된 전압 을 소정 레벨 의 직류 전압 으로 유지 하 도록 구성 된 정류기 및 DC 링크 ; 상기 직류 전압 을 고주파 신호 로 증폭 하 여 출력 하 도록 구성 된 전력 증폭기 ; 상기 전력 증폭기 와 부하 사이 의 전기 적 신호 를 검출 하 여 전기 적 검출 신호 를 출력 하 도록 구성 된 RF 센서 ; 메인 컨트롤러 로부터 출력 되 는 동기 제어 신호 에 제어 되 어 소정 주파수 의 동기 신호 를 출력 하 도록 구성 된 동기 신호 발생기 ; 및 상기 RF 센서 로부터 출력 되 는 전기 적 검출 신호 를 상기 고주파 신호 의 기본파 및 고조파 에 대응 하 는 발진 주파수 와 믹 싱하 여 불 요파 의 주파수 대역 및 크기 를 모니터링 하 도록 구성 된 스펙트럼 모니터 를 포함 한다 .