한편 , 일 변형 예 에 따른 박막 증착 장치 ( 200 ) 는 에이징 단계 가 수행 되 는 별도 의 에이징 챔버 ( 230 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 도 16 은 일 변형 예 에 따라 에이징 챔버 ( 230 ) 를 더 포함 하 는 박막 증착 장치 ( 200 ) 를 개략 적 으로 도시 한 도면 이 다 . 도 16 을 참고 하 면 , 본 변형 예 에 따른 박막 증착 장치 ( 200 ) 는 에이징 챔버 ( 230 ) 를 더 포함 한다 . 에이징 챔버 ( 230 ) 는 복수 의 챔버 중 출입 챔버 ( 220 ) 및 공정 챔버 ( 210 ) 이외 의 별도 의 챔버 로 , 에이징 단계 가 수행 되 기 위하 여 광원 ( L ) 이 결합 된다 . 공정 챔버 ( 210 ) 내 에서 박막 의 증착 이 완료 된 기판 ( 110 ) 은 에이징 챔버 ( 230 ) 로 이동 되 어 광원 ( L ) 으로부터 조사 되 는 태양광 에 의해 에이징 될 수 있 다 .