격벽 ( 2 ) 에 는 , 캐리어 반송 영역 ( S 1 ) 과 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 을 연통 시키 는 웨이퍼 ( W ) 의 반 송구 ( 20 ) 가 설치 되 어 있 다 . 반 송구 ( 20 ) 에 는 , 당해 반 송구 ( 20 ) 를 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 측 으로부터 막 는 개폐 도어 ( 5 ) 가 설치 되 어 있 다 . 개폐 도어 ( 5 ) 에 는 구동 기구 ( 50 ) 가 접속 되 어 있 고 , 구동 기구 ( 50 ) 에 의해 개폐 도어 ( 5 ) 는 전후 방향 및 상하 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 되 어 , 반 송구 ( 20 ) 가 개폐 된다 . 개폐 도어 ( 5 ) 및 반 송구 ( 20 ) 의 주위 의 구성 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 .