또한 , 상기 상부 에어 분배 관 ( 113 ) 과 접하 는 제 1 에어 유로 ( 133 ) 의 종단 부 에 는 제 1 에어 유출 구 ( 135 ) 가 형성 되 어 있 고 , 상부 세정액 분배 관 ( 112 ) 과 접하 는 제 1 세정액 유로 ( 134 ) 의 종단 부 에 는 제 1 세정액 유출 구 ( 136 ) 가 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 하부 에어 분배 관 ( 123 ) 과 접하 는 제 2 에어 유로 ( 133 ') 의 종단 부 에 는 제 2 에어 유출 구 ( 135 ') 가 형성 되 어 있 고 , 하부 세정액 분배 관 ( 122 ) 과 접하 는 제 2 세정액 유로 ( 134 ') 의 종단 부 에 는 제 2 세정액 유출 구 ( 136 ') 가 형성 되 어 있 다 .