본 발명 의 제 4 양태 에 따르 면 , 에너지 빔 으로 물체 를 노광 하 는 제 1 노광 방법 이 제공 되 며 , 이 방법 은 : 적어도 재치 된 물체 에 대한 노광 이 수행 되 는 노광 위치 를 포함 하 는 제 1 영역 과 , 제 1 영역 의 제 1 방향 의 일 측 에 위치 하 고 , 적어도 물체 의 교환 이 수행 되 는 제 2 영역 과 , 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 의 제 3 영역 을 포함 하 는 소정 범위 내 에서 물체 를 유지 하 여 소정 평면 에 실질 적 으로 따라서 이동 가능 한 이 동체 의 , 제 3 영역 의 소정 평면 내 의 위치 정보 를 , 이 동체 의 소정 평면 에 실질 적 으로 평행 한 일면 에 대향 하 는 , 소정 평면 에 평행 한 면 상 의 제 3 영역 에 대응 하 는 위치 에 배치 된 제 1 격자 부 에 대향 하 는 , 이 동체 의 일면 에 설치 된 인코더 헤드 의 출력 에 기초 하 여 계측 하 고 , 또한 , 이 동체 에 설치 된 반사면 에 계측 빔 을 조사 하 는 간섭계 시스템 을 이용 하 여 , 적어도 제 1 영역 과 제 2 영역 에서 의 이 동체 의 위치 정보 를 계측 하 는 계측 공정 을 포함 하 며 , 제 3 영역 은 , 계측 빔 이 반사면 으로부터 벗어난 이 동체 의 이동 경로 를 포함 한다 .