연마 패드 ( 130 ') 캐리어 ( 132 ') 는 연마 패드 ( 130 ') 를 자전 시킬 수 있 는 다양 한 구조 로 형성 될 수 있 으며 , 연마 패드 ( 130 ') 캐리어 ( 132 ') 의 구조 에 의해 본 발명 이 제한 되 거나 한정 되 는 것 은 아니 다 . 일 예 로 , 연마 패드 ( 130 ') 캐리어 ( 132 ') 는 하나 의 몸체 로 구성 되 거나 , 복수 개 의 몸체 가 결합 되 어 구성 될 수 있 으며 , 구동 샤프트 ( 미 도시 ) 와 연결 되 어 회전 하 도록 구성 된다 . 또한 , 연마 패드 ( 130 ') 캐리어 ( 132 ') 에 는 연마 패드 ( 130 ') 를 기판 ( 10 ) 의 표면 에 가압 하 기 위한 가 압부 ( 예 를 들 어 , 공 압 으로 연마 패드 ( 130 ') 를 가압 하 는 공 압 가 압부 ) 가 구비 된다 .