[ 0009 ] 본 개시 내용 의 또 다른 양상 에 따르 면 , 기판 캐리어 를 마스크 캐리어 에 대해 포지셔닝 하 기 위한 방법 이 제공 된다 . 방법 은 , 기판 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 1 트랙 을 사용 함 으로써 기판 캐리어 를 제 1 포지션 에 포지셔닝 하 는 단계 ; 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 제 2 트랙 을 사용 함 으로써 마스크 캐리어 를 제 2 포지션 에 포지셔닝 하 는 단계 ; 제 1 트랙 과 제 2 트랙 간 에 배열 된 홀딩 어 레인지 먼 트 를 사용 함 으로써 마스크 캐리어 를 홀딩 하 는 단계 ; 및 기판 캐리어 를 마스크 캐리어 에 대해 정렬 하 는 단계 를 포함 한다 .