따라서 , 상기 하드 마스크 의 손실 이 과도 하 게 발생 하 게 되 면 콘 택 매립 물질 과 비트 라 인간 의 합선 이 발생 하 게 되 는 문제 가 있 어 , 이 합선 현상 을 방지 하 기 위해서 라인 타입 에서 는 종래 의 홀 타입 보다 비트 라인 의 하드 마스크 높이 가 증가 되 었 고 , 이 에 따라 , 비트 라 인간 의 종횡비 ( aspact ratio ) 증가 로 인해 비트 라 인간 의 매립 물질 이 완전히 매립 하 지 못하 고 보이드 ( void ) 가 발생 되 어 후속 공정 이 매우 어려워 지 게 된다 .