패 터닝 디바이스 는 투과 형 또는 반사 형 일 수 있 다 . 패 터닝 디바이스 의 예 로 는 마스크 , 프로그램 가능 한 거울 어레이 및 프로그램 가능 한 LCD 패널 들 을 포함 한다 . 마스크 는 리소그래피 분야 에서 잘 알려져 있 으며 , 바이너리 ( binary ) 형 , 교번 위상 - 시프트 형 및 감쇠 위상 - 시프트 형 과 같 은 마스크 타입 , 및 다양 한 하이브리드 ( hybrid ) 마스크 타입 들 을 포함 한다 . 프로그램 가능 한 거울 어레이 의 일 예시 는 작 은 거울 들 의 매트릭스 구성 을 채택 하 며 , 그 각각 은 입사 하 는 방사선 빔 을 상이 한 방향 으로 반사 시키 도록 개별 적 으로 기울어질 수 있 다 . 기울어진 거울 들 은 거울 매트릭스 에 의해 반사 되 는 방사선 빔 에 패턴 을 부여 한다 .