이어서 , 유전 막 ( 33 ) 및 플레이트 노드 ( 34 ) 을 차례 로 형성 하 여 , 스토리지 노드 ( 32 ) , 유전 막 ( 33 ) 및 플레이트 노드 ( 34 ) 로 이루어지 는 콘 케이브 구조 의 캐 패 시터 를 완성 한다 . 여기 서 , 플레이트 노드 ( 34 ) 형성 후 에 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) 을 선택 적 으로 딥 아웃 하 면 실린더 구조 가 되 고 , 도시 된 것 처럼 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) 을 남기 는 경우 에 는 콘 케이브 구조 가 된다 . 이하 , 캐 패 시터 의 구조 가 콘 케이브 구조 라 가정 하 여 설명 하 기 로 한다 .