본 발명 은 스펙트럼 장치 기술 분야 에 관한 것 이 며 , 특히 광변조 마이크 로 나노 구조 , 마이크 로 통합 스펙트로미터 및 스펙트럼 변조 방법 에 관한 것 이 다 . 상기 광변조 마이크 로 나노 구조 는 광전 검출 층 상 에 위치 한 광변조 층 을 포함 하 며 , 광변조 층 은 입사광 을 변조 하 여 광전 검출 층 에 차분 응답 을 형성 하 고 오리지널 스펙트럼 을 재 구성 하 여 획득 함 으로써 기존 의 스펙트로미터 가 정밀 광학 부재 에 과도 하 게 의존 하 여 스펙트로미터 가 체적 이 크 고 무거우 며 비싼 결함 을 해결 한다 . 상기 광변조 층 은 밑판 과 적어도 하나 의 변조 유닛 을 포함 하 며 , 밑판 은 광전 검출 층 에 설치 되 고 , 각 변조 유닛 은 밑판 에 위치 하 고 , 각 변조 유닛 내 에 는 밑판 내 로 관통 되 는 여러 개 의 변조 홀 이 설치 되 며 , 동일 변조 유닛 내 의 각 변조 홀 은 특정 된 배치 규칙 을 갖 는 2 차원 그래픽 구조 로 배치 됨 으로써 , 서로 다른 2 차원 그래픽 구조 를 이용 하 여 서로 다른 파장 을 갖 는 광 에 대한 변조 작용 을 실현 하 여 스펙트로미터 의 분석 정확도 를 높인다 .