또한 , 산 성 양이온 교환 수지 인 앰버 리스트 15 J · WET ( 오가노 사제 , 이하 , 15 J 라고 기재 한다 ) 를 5 . 2 부 사용 하 고 , 사전 에 PGMEA 로 세정 을 실시 하 여 , 배출 되 는 PGMEA 중 의 수분 함유량 이 300 ppm 으로 저감 한 것 을 확인 했 다 . 계속 해서 , 세정 한 15 J 에 수지 용액 200 부 를 40 분 에 걸쳐 통 액 하 여 , 금속 이온 농도 를 저감 시켰 다 . 얻 어 진 산분 해성 수지 중 의 금속 이온 농도 를 분석 했 다 . 표 1 에 는 , 세정 종료 시 의 이온 교환 수지 로부터 배출 되 는 유기 용매 중 의 수분 함유량 , 통 액 후 의 산분 해성 수지 의 중량 평균 분자량 ( Mw ) 및 금속 이온 농도 를 나타냈 다 .