도 2 를 참조 하 면 , 상기 작동 전극 ( 140 ) 에 는 복수 개 의 홈 으로 이루어진 나노 웰 구조 ( 147 ) 가 형성 된 산화 막 이 구비 될 수 있 으며 , 이 를 통해 진단 키트 의 분해능 을 향상 시킬 수 있 게 된다 . 상기 나노 웰 구조 ( 147 ) 는 상기 작동 전극 ( 140 ) 상부 에 구비 된 산화 막 ( SiO 2 ) 에 나노 사이즈 를 가지 는 복수 개 의 홈 이 형성 된 구조 로 , 다음 과 같 은 방법 으로 제조 될 수 있 다 .