본 발명 은 세정액 이 오버 플로우 되 는 세 정조 ; 상기 세 정조 내측 에 구비 되 고 , 세워진 웨이퍼 들 이 안착 될 수 있 는 슬롯 ( slot ) 들 이 상면 에 일렬 로 구비 된 바 형태 의 지지 로드 ( support rod ) ; 상기 지지 로드 들 의 양측 단부 에 상기 지지 로드 들 의 길 이 방향 으로 이동 가능 하 게 장착 되 고 , 상기 세 정조 외부 까지 상향 연장 된 한 쌍 의 고정대 ( stand arm ) ; 및 상기 고정대 들 중 하나 에 연결 되 고 , 상기 고정대 를 상기 지지 로드 들 의 길 이 방향 으로 이동 시키 는 고정대 구동 부 ; 를 포함 하 는 웨이퍼 세정 장치 를 제공 한다 .