또한 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 ( 5 ) 의 외측 확산 부 ( 28 a ) 는 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 외주 면 을 따라 마련 된 제 1 외측 확산 부 ( 28 a 1 ) 와 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 외측 유로 ( 26 ) 의 단부 에 마련 된 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 를 포함 한다 . 이 에 의해 , 제 1 외측 확산 부 ( 28 a 1 ) 와 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 에 의해 , 외측 영역 ( F 1 ) 내 에서 의 전열 가스 를 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 으로 원활 하 게 확산 시킬 수 있 다 . 이 때문 에 , 외측 영역 ( F 1 ) 내 에서 의 전열 가스 의 압력 을 더욱 균일화 하 여 , 기판 ( 3 ) 의 온도 분포 제어 의 정밀도 를 높일 수 있 다 . 또한 , 제 1 외측 확산 부 ( 28 a 1 ) 와 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 가 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 있 으므로 , 제 1 외측 확산 부 ( 28 a 1 ) 와 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 의 가공 성 을 양호 하 게 확보 할 수 있 다 .