다양 한 구 현예 에서 , 개시 된 구 현예 와 함께 사용 된 에칭 공정 의 에칭 등 각성 은 50 % 초과 ; 80 % 초과 ; 90 % 초과 ; 95 % 초과 ; 98 % 초과 ; 또는 99 % 초과 일 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 에칭 선택도 를 또한 제어 할 수 있 다 . 에칭 선택도 는 백분 율 로 주어질 수 있 고 , [ ( 표면 A 상 의 에칭 된 재료 ) - ( 표면 B 상 의 에칭 된 재료 ) ] / ( 표면 A 상 의 에칭 된 재료 ) 에 의해 산출 될 수 있 다 . 에 칭량 은 다양 한 방식 으로 측정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 에 칭량 은 에칭 된 재료 의 감소 된 두께 로 주어질 수 있 거나 , 원래 존재 하 는 것 과 에칭 공정 후 에 남 아 있 는 것 의 비교 에 기초 하 여 에칭 된 재료 의 측정 량 으로 주어질 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 에칭 공정 에 대한 선택도 는 약 10 % 초과 , 약 50 % 초과 , 약 75 % 초과 , 약 85 % 초과 , 약 90 % 초과 , 약 93 % 초과 , 약 95 % 초과 , 약 98 % 초과 , 약 99 % 초과 , 또는 약 99 . 5 % 를 초과 한다 . 일부 구 현예 에서 , 에칭 된 특징 부 의 종횡비 는 약 2 : 1 , 3 : 1 , 5 : 1 , 10 : 1 , 20 : 1 , 40 : 1 , 또는 100 : 1 초과 일 수 있 다 .