상술 한 실시 형태 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 로드 락 챔버 ( 10 ) 에 따르 면 , 감합 홈 ( FG ) 에 베이스 부재 ( 20 ) 가 감합 되 고 , 베이스 부재 ( 20 ) 에 고정 된 복수 의 기판 지지 핀 ( 30 ) 에 의해 기판 ( S ) ( 처 리전 기판 ( SP ) , 처리 종료 된 기판 ) 을 지지 할 수 있 다 . 이 구성 에 따라 , 종래 의 구조 와 같 은 승강 기구 를 로드 락 챔버 ( 10 ) 에 설치 할 필요 가 없 고 , 승강 기구 의 구동 에 따른 진동 에 기인 하 는 파티클 이 감겨 올라가 는 것 과 비산 을 방지 할 수 있 다 .