도 9 ( a ) 는 , 도 2 의 제품 처리 공정 후 에 아르곤 플 라즈 마로 잔사 구성 성분 을 수집 한 기판 에 X 선 을 입사 하 여 , 표면 상태 를 검출 한 결과 를 나타낸다 . 도 9 ( b ) 는 , 도 9 ( a ) 의 영역 Q 를 확대 한 도면 이 다 . 도 9 ( c ) 는 , 본 실시 형태 에 따른 클리닝 실시 후 에 아르곤 플 라즈 마로 잔사 구성 성분 을 수집 한 기판 에 X 선 을 입사 하 여 , 표면 상태 를 검출 한 결과 를 나타낸다 . 도 9 ( d ) 는 , 도 9 ( c ) 의 영역 Q 를 확대 한 도면 이 다 .