여기 서 , 측면 검사 부 ( 290 ) 에 위치 한 웨이퍼 ( 223 ) 는 6 축 로봇 ( 270 ) 에 의해 카세트 ( 210 ) 에 내장 된 웨이퍼 ( 220 ) 가 언 로딩 된 후 , 이동 된 것 이 다 . 또한 , 측면 검사 부 ( 290 ) 에 위치 한 웨이퍼 ( 224 ) 는 웨이퍼 측면 검사 후 , 6 축 로봇 ( 270 ) 에 의해 카세트 ( 210 ) 로 로딩 될 수 있 다 . 또한 , 측면 검사 부 ( 290 ) 에 위치 한 웨이퍼 ( 224 ) 는 6 축 로봇 ( 260 ) 에 의해 매크로 검사 부 ( 250 ) 또는 미크 로 검사 부 ( 280 ) 에 위치 한 웨이퍼 ( 221 , 222 ) 가 이송 될 수 도 있 다 .