블록 ( 44 ) 을 보 면 , 반응물 증기 는 기화기 의 하류 에 있 는 공정 제어 챔버 로 전달 될 수 있 다 . 공정 제어 챔버 는 제 1 온도 보다 높 은 제 2 온도 로 제 2 열 구역 에 배치 될 수 있 다 . 공정 제어 챔버 는 , 공정 제어 챔버 의 하류 에 배치 될 수 있 는 반응기 에 반응물 증기 의 공급 ( 또는 펄스 ) 을 계량 할 수 있 다 .