따라서 절 연막 의 상대 적 인 연마 속도 를 낮추 어서 고 선택 비 의 슬러리 조성물 을 제조 하 기 위해서 는 연마제 의 함량 이 3 . 5 중량 % 보다 낮 은 약 2 중량 % 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 연마제 의 함량 이 약 1 . 8 중량 % 이 하임 을 알 수 있 다 . 또한 , 절 연막 의 상대 적 인 연마 속도 를 높여서 저 선택 비 의 슬러리 조성물 을 제조 하 기 위해서 는 연마제 의 함량 이 1 중량 % 를 초과 하 는 약 2 . 1 중량 % 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 2 . 2 중량 % 이상임 을 알 수 있 다 .