또한 , 반도체 막 ( 704 ) 은 공지 의 기술 에 의해 결정 화 하 여도 좋 다 . 공지 의 결정 화 방법 으로 는 , 레이 저광 을 사용 한 레이저 결정 화법 , 촉매 원소 를 사용 하 는 결정 화법 이 있 다 . 또는 , 촉매 원소 를 사용 하 는 결정 화법 과 레이저 결정 화법 을 조합 하 여 사용 할 수 도 있 다 . 또한 , 기판 ( 700 ) 으로서 석영 과 같 은 내열성 이 우수 한 기판 을 사용 하 는 경우 , 전열 로 를 사용 한 열결 정화 방법 , 적 외광 을 사용 한 램프 어 닐 결정 화법 , 촉매 원소 를 사용 하 는 결정 화법 과 , 950 ℃ 정도 의 고온 어 닐 을 조합 한 결정법 을 사용 하 여도 좋 다 .