제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 의 상면 들 및 절연 패턴 들 ( 211 ) 의 측벽 들 에 의해 제 1 내지 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 2 , TR 3 ) 이 정의 될 수 있 다 . 제 1 트렌치 ( TR 1 ) 는 제 1 하부 도전 라인 ( LCL 1 ) 위 에 제공 될 수 있 고 , 제 2 트렌치 ( TR 2 ) 는 제 2 하부 도전 라인 ( LCL 2 ) 위 에 제공 될 수 있 고 , 제 3 트렌치 ( TR 3 ) 는 제 3 하부 도전 라인 ( LCL 3 ) 위 에 제공 될 수 있 다 . 제 1 내지 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 2 , TR 3 ) 은 제 1 방향 ( D 1 ) 으로 연장 할 수 있 다 . 제 1 내지 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 2 , TR 3 ) 은 제 2 방향 ( D 2 ) 을 따라 순차 적 으로 배열 될 수 있 다 . 각각 의 제 1 내지 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 2 , TR 3 ) 은 2 개 의 절연 패턴 들 ( 211 ) 사이 에 제공 될 수 있 다 . 제 1 및 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 3 ) 의 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 의 폭 은 서로 동일 할 수 있 다 . 제 1 및 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 3 ) 의 제 2 방향 으로 의 폭 이 제 1 폭 ( W 1 ) 으로 정의 될 수 있 다 .