얼라인먼트 부 ( 130 ) 의 얼라인먼트 챔버 ( 131 ) 및 냉 각부 ( 140 ) 의 쿨 챔버 ( 141 ) 와 인 덱 서부 ( 101 ) 사이 에 는 각각 게이트 밸브 ( 181 , 182 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또 , 반송 챔버 ( 170 ) 와 얼라인먼트 챔버 ( 131 ) , 쿨 챔버 ( 141 ) 및 플래시 가 열부 ( 160 ) 의 프로세스 챔버 ( 6 ) 사이 에 는 각각 게이트 밸브 ( 183 , 184 , 185 ) 가 설치 된다 . 열처리 장치 ( 100 ) 내 에서 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 반송 될 때 에 는 , 적절히 이 들 게이트 밸브 가 개폐 된다 . 또 , 얼라인먼트 챔버 ( 131 ) , 쿨 챔버 ( 141 ) 및 반송 챔버 ( 170 ) 의 내부 가 청정 하 게 유지 되 도록 각각 에 질소 가스 공급 부 ( 도시 생략 ) 로부터 고 순도 의 질소 가스 가 공급 되 고 , 잉여 의 질소 가스 는 적절히 배기관 으로부터 배기 된다 .