빔 프로파일러 ( 264 ) 가 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 를 측정 하 기 위해서 는 가공 빔 ( LA ) 이 빔 프로파일러 ( 264 ) 에 입사 될 필요 가 있 다 . 이 를 위해 , 빔 프로파일러 ( 264 ) 가 스테이지 ( 272 ) 와 연동 하 도록 마련 됨 으로써 스테이지 ( 272 ) 의 움직임 에 의해 빔 프로파일러 ( 264 ) 를 가공 빔 ( LA ) 의 경로 상 에 위치 시킬 수 있 다 .