도 2 는 , 도금 조 의 종단면 의 모식도 다 . 도 3 은 , 도 2 의 파선 A - A 를 따르 는 선 에 있 어서 의 단면도 다 . 동 도면 에서 는 , 설명 의 편의 상 , 도금 조 ( 34 ) 의 하나 의 도금 셀 ( 38 ) 의 부분 을 대표 적 으로 나타내 고 , 또한 오버플로 우조 ( 36 ) 를 생략 하 고 나타낸다 . 부호 60 은 , 도금 조 ( 34 ) 의 조벽 ( 60 ) 을 나타낸다 . 도금 셀 ( 38 ) 에 는 , 기판 ( W ) 을 보유 지지 하 는 기판 홀더 ( 18 ) 가 반입 되 어 , 도금액 Q 1 에 침지 된다 . 기판 ( W ) 의 피 도금 면 에 는 , 도금 막 을 형성 해야 할 위치 에 개구 가 형성 된 레지스 트 패턴 이 형성 되 어 있 다 . 도금 조 ( 34 ) 에 는 , 기판 홀더 ( 18 ) 의 기판 ( W ) 의 피 도금 면 에 대향 하 여 , 패들 ( 도시 생략 ) , 레귤레이션 플레이트 ( 61 ) , 및 애노드 ( 62 ) 가 이 순 으로 배치 되 어 있 다 . 패 들 은 , 기판 홀더 ( 18 ) 에 보유 지지 된 기판 ( W ) 의 근방 에 배치 되 고 , 패들 구동 장치 ( 46 ) 에 의해 패 들 이 기판 ( W ) 의 면 과 평행 하 게 왕복 운동 됨 으로써 , 도금액 Q 1 을 교반 한다 . 애노드 ( 62 ) 는 , 애노드 홀더 ( 63 ) 에 보유 지지 되 고 , 전원 ( 80 ) 의 정극 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 전원 ( 80 ) 의 부극 은 , 기판 홀더 ( 18 ) 내 의 배선 을 통해 기판 ( W ) 의 시드 층 과 전기 적 으로 접속 된다 . 레귤레이션 플레이트 ( 61 ) 는 , 전기장 조정 플레이트 의 일례 이 며 , 기판 홀더 ( 18 ) 와 애노드 ( 62 ) 사이 에 배치 되 어 , 기판 ( W ) 과 애노드 ( 62 ) 사이 의 전기장 의 흐름 을 조정 한다 . 이 예 에서 는 , 기판 ( W ) 은 , 각 형 ( 다각형 ) 기판 의 일례 인 사각형 의 기판 으로 한다 .