퍼지 가스 공급원 ( 308 ) 은 도관 ( 308 A ) 을 통해 반응 챔버 ( 302 ) 로 연결 될 수 있 으며 , 다양 한 불활성 또는 비활성 ( noble ) 가스 를 반응 챔버 ( 302 ) 로 선택 적 으로 공급 하 여 반응 챔버 로부터 전 구체 가스 또는 폐가스 를 제거 하 는 것 을 돕 는다 . 공급 될 수 있 는 다양 한 불활성 또는 비활성 가스 는 고체 , 액체 또는 저장 된 기체 형태 로부터 유래 될 수 있 다 .