위상 반 전막 ( 104 ) 을 형성 하 는 각 박막 ( 104 a , . .. 104 n ) 들 은 조성 및 조성 비 가 동일 한 단일 막 형태 , 조성 또는 조성 비 가 변하 는 연속 막 의 형태 로 구성 할 수 있 다 . 여기 서 , 상기 연속 막 은 플 라즈 마 가 켜진 상태 에서 스퍼터링 공정 중 반응 성 가스 , 파워 , 압력 등 과 같 은 공정 변수 를 변경 하 여 형성 하 는 막 을 지칭 한다 .