제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 에 는 기판 ( S ) 이 탑재 될 수 있 다 . 일 예 로서 , 기판 ( S ) 은 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 의 상면 에 직접 접촉 하 도록 탑재 될 수 있 다 . 다른 예 로서 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 안착 패드 ( 411 ) 가 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 의 상면 으로부터 돌출 될 수 있 으며 , 기판 ( S ) 은 안착 패드 ( 411 ) 상 에 탑재 될 수 있 다 . 기판 ( S ) 이 안착 패드 ( 411 ) 에 탑재 됨 에 따라 , 기판 ( S ) 의 하 면은 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 의 상면 으로부터 이격 될 수 있 다 . 따라서 , 기판 ( S ) 의 하면 과 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 의 상면 사이 에 는 이격 공간 이 형성 될 수 있 으며 , 이격 공간 내 에서 가스 가 유동 할 수 있 다 . 따라서 , 이격 공간 내 에서 유동 하 는 가스 에 의해 기판 ( S ) 과 제 1 냉각 플레이트 ( 41 ) 사이 에서 열 교환 이 균일 하 게 이루어질 수 있 으며 , 이 에 따라 , 기판 ( S ) 이 전체 적 으로 균일 하 게 냉각 될 수 있 다 .