도 3 , 도 4 에 있 어서 , 사각형 프레임 형상 의 반송 캐리어 ( 302 ) 의 캐리어 본체 ( 302 A ) 하면 에 는 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 과 정 전척 ( 308 ) 을 겹쳐서 수납 한 척 프레임 ( 309 ) 이 부착 되 어 있 다 . 자기 흡착 척 ( 307 ) 은 마스크 ( M ) 를 자기 적 으로 흡착 하 고 , 정전 척 ( 308 ) 은 유리 기판 ( G ) 을 정전 력 에 의해 흡착 한다 . 캐리어 본체 ( 302 A ) 의 사각형 프레임 상면 에 는 , 정 전척 ( 308 ) 에 전하 를 대전 시키 는 제 어부 가 내장 된 정전 척 제어 유닛 ( 제어 박스 ( 312 ) ) 이 배치 되 어 있 다 .