단계 S 206 에서 , 편심 상태 해석 부 ( 226 ) 는 예컨대 도 11 에 나타내 는 바 와 같 은 새롭 게 성막 된 성막 결과 가 입력 된다 . 단계 S 208 로 진행 하 여 , 편심 상태 해석 부 ( 226 ) 는 새롭 게 성막 된 성막 결과 로부터 예컨대 도 10 에 나타낸 바 와 같이 , 현 Run 의 막 두께 의 변동 평가 를 행한다 . 단계 S 210 으로 진행 하 여 , 학습 기능 부 ( 228 ) 는 모델 기억 부 ( 224 ) 에 기억 되 어 있 는 모델 을 입력 한다 .