특히 , 상기 세정액 유입 구와 에어 유입 구와 세정액 유로 와 에어 유로 와 세정액 유출 구 및 에 어 유출 구 는 , 상기 상부 노즐 모듈 로 연통 하 는 제 1 세정액 유입 구 와 제 1 에어 유입 구 와 제 1 세정액 유로 와 제 1 에어 유로 와 제 1 세정액 유출 구 및 제 1 에어 유출 구 로 이루어짐 과 아울러 , 상기 하부 노즐 모듈 로 연통 하 는 제 2 세정액 유입 구 와 제 2 에어 유입 구 와 제 2 세정액 유로 와 제 2 에어 유로 와 제 1 세정액 유출 구 및 제 2 에어 유출 구 로 이루어질 수 있 다 .