클러스터 장치 ( 1 ) 는 , 기판 ( S ) 에 대한 처리 ( 예컨대 , 성막 ) 를 행하 는 복수 의 성막 장치 ( 11 ) 와 , 사용 전후 의 마스크 ( M ) 를 수납 하 는 복수 의 마스크 스톡 장치 ( 12 ) 와 , 그 중앙 에 배치 되 는 반 송실 ( 13 ) 을 구비 한다 . 반 송실 ( 13 ) 은 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 복수 의 성막 장치 ( 11 ) 및 마스크 스톡 장치 ( 12 ) 각각 과 접속 된다 .