본 발명 의 실시 예 에 따르 면 상기 트렌치 , 접지 라인 및 신호 라인 은 상기 기판 의 일 방향 으로 서로 이격 되 어 형성 되 고 , 상기 지지 부 는 상기 일 방향 과 수직 방향 의 상기 기판 의 양 끝단 에 형성 된다 . 한편 , 상기 신호 라인 은 상기 기판 의 중앙부 에 형성 되 고 , 상기 지지 부 는 상기 기판 양 끝단 각각 에 형성 되 며 , 상기 접 지 라인 은 상기 신호 라인 과 지지 부 사이 로 각각 형성 되 고 , 상기 트렌치 는 상기 지지 부 와 접지 라인 사이 에 각각 및 상기 신호 라인 과 접지 라인 사이 에 각각 형성 된다 .