스테이지 기준 플레이트 ( 11 ) 는 웨이퍼 스테이지 ( 4 ) 의 복수 의 코너 에 배치 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 1 개 의 스테이지 기준 플레이트 ( 11 ) 가 복수 의 레티 클 얼라인먼트 기준 마크 ( 17 ) 및 웨이퍼 얼라인먼트 검출 용 기준 마크 ( 18 ) 를 포함 하 고 있 어도 된다 . 레티 클 얼라인먼트 기준 마크 ( 17 ) 와 웨이퍼 얼라인먼트 검출 용 기준 마크 ( 18 ) 의 XY 방향 의 위치 관계 는 주 어 지 는 것 으로 가정 한다 . 상기 레티 클 얼라인먼트 기준 마크 ( 17 ) 와 웨이퍼 얼라인먼트 검출 용 기준 마크 ( 18 ) 에 공통 의 마크 를 사용 하 여도 된다 .