미처리 기판 캐리어 선반 ( 73 ) 은 , 입력 포트 ( 71 ) 에 재치 된 캐리어 ( C ) 이 며 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 의 각 재 치대 ( 16 ) 중 어느 것 에 도 반송 할 수 없 었 던 미처리 의 기판 ( W ) 이 수납 된 캐리어 ( C ) 를 재치 한다 . 빈 캐리어 선반 ( 74 ) 은 , 예 를 들 면 오프너 ( 11 ) 의 재 치대 ( 16 ) 에서 기판 ( W ) 이 모두 취 출 된 캐리어 ( C ) 를 재치 한다 . 처리 완료 기판 캐리어 선반 ( 75 ) 은 , 처리 완료 된 기판 ( W ) 이 수납 된 캐리어 ( C ) 이 며 , 2 개 의 출력 포트 ( 72 ) 중 어느 것 에 도 반송 할 수 없 었 던 캐리어 ( C ) 를 재치 한다 . 처리 완료 란 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 의한 처리 가 행해 지 고 있 는 것 을 말 한다 . 출력 포트 ( 72 ) 는 , 처리 완료 된 기판 ( W ) 이 수납 된 캐리어 ( C ) 를 외부 반송 기구 ( OHT ) 에 인도 하 기 위한 선반 이 다 . 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 재 치대 ( 16 ) 및 각 선반 ( 71 ~ 75 ) 의 사이 에서 캐리어 ( C ) 를 자유자재 로 이동 할 수 있 다 .