한편 노광 장비 에서 사용 되 는 광원 의 파장 이 반도체 소자 의 최소 선폭 ( minimum feature size ) 에 근접 하 면서 빛 의 회절 , 간섭 등 에 의해 패턴 의 왜곡 현상 이 나타나 기 시작 한다 . 즉 레티 클 상 의 이미지 를 웨이퍼 에 투영 시키 는 광학계 는 푸 리 어 변환 ( Fourier transformation ) 으로 표현 하 게 되 면 저 대역 필터 ( low - pass filter ) 로 작용 하 게 된다 .