그리고 , 상기 마스크 ( 100 ) 는 소정 의 방법 으로 마스크 이동 스테이지 ( 110 ) 에 고정 되 며 , 상기 마스크 이동 스테이지 ( 110 ) 의 제어 에 따라 수 μ m 의 미소 한 거리 를 이동 할 수 있 다 . 상기 마스크 스테이지 ( 110 ) 는 그 규모 가 작 기 때문 에 이동 하 고 멈추 는 시간 이 상기 X - Y 스테이지 ( 150 ) 에 비해 현저히 작 다 .