반응식 1 에서 소스 물질 이 반응 하 여 생성 된 CpZr ( NMe 2 ) 2 ( H ) 와 반응식 2 에서 생성 된 BH 3 는 열 안정 성 이 불량 하 고 , Si ( NMe 2 ) 4 는 고체 상태 로 되 어 파티클 을 형성 할 수 있 다 . 따라서 이러 한 원 하 지 않 는 반응 의 생성물 들 은 원 하 는 위치 에 원하 는 두께 의 산화 막 을 형성 하 는 데 방해 가 될 수 있 다 .