개질 가능 층 증착 장치 ( 7 ) 는 기판 상 에 복사선 개질 가능 재료 ( 예 , 레지스 트 ) 를 코팅 하 기 위한 복사선 개질 가능 코팅 장치 를 포함 할 수 있 다 . 개질 가능 층 증착 장치 ( 7 ) 은 , 기판 을 회전 시키 기 위한 회전식 기판 테이블 ( 17 ) 과 기판 의 표면 에 액체 를 제공 하 기 위한 액체 디 스펜서 를 포함 할 수 있 다 . 액체 형태 의 복사선 개질 가능 재료 ( 예 , 레지스 트 ) 는 기판 에 제공 될 수 있 으면서 , 20 내지 60 초 동안 초 당 10 내지 100 rpm 으로 회전 할 수 있 다 .