에칭 액 회수 공정 에서 는 에칭 액 회수 부 ( 26 ) 에 있 어서 의 에칭 액 회수 노즐 승강 수단 ( 28 ) 에 의해 , 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 이 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 형성 된 에칭 액 층 ( EL ) 에 접하 는 높이 에 배치 된다 . 그리고 , 에칭 액 흡인 펌프 ( EV ) 가 구동 되 고 , 에칭 액 회수 보 틀 ( 29 ) 안 이 감압 된다 . 이 로써 , 에칭 액 회수 보 틀 ( 29 ) 에 연통 되 어 있 는 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 이 , 에칭 액 층 ( EL ) 을 형성 하 고 있 는 에칭 액 을 웨이퍼 ( W ) 의 상면 으로부터 빨 아 올린다 . 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 에 의해 빨 아 올려진 에칭 액 은 에칭 액 회수 보 틀 ( 29 ) 내 에 축적 되 어 회수 된다 .