구리 층 ( 110 ) 표면 의 불순물 을 제거 하 기 위해 , 세 정조 ( 20 ) 에서 수세 가 이루어질 수 있 다 . 또는 , 구리 층 ( 110 ) 표면 의 불순물 을 제거 하 기 위해 산세 ( acid cleaning ) 가 수행 되 고 , 이어서 산세 에 사용 된 산 성 용액 제거 를 위한 수세 ( water cleaning ) 가 수행 될 수 도 있 다 . 세정 공정 은 생략 될 수 도 있 다 .