본 발명 에 따른 집적회로 소자 는 , 기판 상 에서 상기 기판 의 주면 에 평행 한 수평 방향 으로 연장 되 고 상기 주면 에 수직 인 수직 방향 을 따라 상호 중첩 되 어 있 는 복수 의 워드 라인 구조물 ; 상기 복수 의 워드 라인 구조물 각각 의 사이 에 개재 되 고 상기 수평 방향 으로 연장 되 는 복수 의 절 연막 ; 상기 복수 의 워드 라인 구조물 및 상기 복수 의 절 연막 을 관통 하 는 채널 홀 내 에서 상기 수직 방향 으로 연장 된 채널 막 ; 상기 채널 홀 내 에 상기 복수 의 워드 라인 구조물 및 상기 복수 의 절 연막 을 덮 으며 연장 되 는 블로킹 유전 막 ; 상기 채널 홀 내 에 상기 블로킹 유전 막 상 에 배치 되 는 적어도 하나 의 전하 저 장막 ; 및 상기 채널 홀 내 에 상기 블로킹 유전 막 및 상기 적어도 하나 의 전하 저 장막 을 덮 는 터널 링 유전 막 , 및 상기 터널 링 유전 막 을 덮 는 채널 막 ; 을 포함 하 고 , 상기 채널 막 을 향하 는 상기 복수 의 절 연막 의 측벽 은 상기 복수 의 워드 라인 구조물 의 측벽 보다 돌출 되 고 , 상기 블로킹 유전 막 의 상기 채널 막 을 향하 는 표면 은 상기 복수 의 워드 라인 구조물 각각 에 대응 되 는 복수 의 홈 을 가지 며 , 상기 적어도 하나 의 전하 저 장막 의 적어도 일부분 은 상기 블로킹 유전 막 의 상기 복수 의 홈 에 배치 된다 .