웨이퍼 ( W ) 가 투영 광학계 ( PL ) ( 투영 유닛 ( PU ) ) 의 하방 에 위치 하 는 , 노광 시 의 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 이동 범위 내 에서 는 , Y 헤드 ( 64 i ( i = 1 ∼ 5 중 어느 것 ) , 64 j ( j = i + 5 ) ) 가 스케일 부재 ( 46 C , 46 A ) 에 각각 대향 함 과 함께 , X 헤드 ( 66 p ( p = 1 ∼ 5 중 어느 것 ) , 66 q ( q = p + 5 ) ) 가 스케일 부재 ( 46 B , 46 D ) 에 각각 대향 한다 . 즉 , 스케일 부재 ( 46 C , 46 A ) 에 각각 대향 하 는 Y 헤드 ( 64 i , 64 j ) 에 의해 구성 되 는 1 쌍 의 Y 리니어 인코더 ( 50 C , 50 A ) ( 도 4 참조 ) 와 , 스케일 부재 ( 46 B , 46 D ) 에 각각 대향 하 는 X 헤드 ( 66 p , 66 q ) 에 의해 구성 되 는 1 쌍 의 X 리니어 인코더 ( 50 B , 50 D ) ( 도 4 참조 ) 의 합계 4 개 인코더 의 계측 값 이 주제 어 장 치 ( 20 ) 에 공급 되 도록 되 어 있 다 . 1 쌍 의 Y 리니어 인코더 ( 50 C , 50 A ) 와 1 쌍 의 X 리니어 인코더 ( 50 B , 50 D ) 를 포함 하 여 도 4 의 인코더 시스템 ( 50 ) 이 구성 되 어 있 다 .