일 실시 형태 에 따르 면 , 상기 실리콘 몰드 ( 110 ) 의 상부 를 제거 하 는 단계 는 , 실리콘 제거 율 이 2000 Å / min 내지 3000 Å / min 인 것 일 수 있 다 . 상기 실리콘 제거 율 이 2000 Å / min 미만 인 경우 식각 속도 가 느려 공정 시간 이 오래 걸리 는 문제 가 있 고 , 3000 Å / min 초과 인 경우 실리콘 몰드 가 과잉 식각 되 어 압 전 물질 층 이 무너질 수 있 는 문제 가 있 다 .