그 후 , 상승 된 상부 챔버 ( 14 ) 의 하 강시 구동축 ( 26 ) 의 축 중심 과 상부 챔버 ( 14 ) 에 구비 된 결합 부재 ( 14 b ) 의 중심 이 일치 하 지 않 으므로 위치 결정 수단 의 하우징 ( 32 a ) 내 주면 이 위치 결정 핀 ( 30 ) 과 편심 되 면서 상기 하우징 ( 32 a ) 의 내 주면 이 마모 되 고 결국 파티클 ( Particle ) 이 발생 된다 . 더욱이 , 상기 구동 수단 의 축 중심 과 위치 결정 수단 의 축 중심 이 일치 할 경우 에 만 정확 하 게 어 라인 이 되 어 구동 수단 과 위치 결정 수단 을 정확 한 위치 에 도달 시켜야 하 는 문제점 이 있 었 다 .