일 예 에 의하 면 , 로딩 챔버 ( 10 ) , 크리 닝 챔버 ( 30 ) , 공정 챔버 ( 40 ) , 그리고 언로 딩 챔버 ( 20 ) 는 순차 적 으로 일렬 로 배치 되 고 , 공정 챔버 ( 40 ) 내 에서 마스크 부착 챔버 ( 42 ) , 증착 챔버 ( 44 ) , 그리고 마스크 제거 챔버 ( 46 ) 는 동일 방향 으로 순차 적 으로 일렬 로 배치 된다 . 공정 챔버 ( 40 ) 의 수 는 다양 하 게 변화 될 수 있 으며 , 예 컨 대 증착 장치 ( 1 ) 가 유기 전계 발광 소자 제조 에 사용 되 는 장치 인 경우 , 공정 챔버 ( 40 ) 는 약 20 개 가 제공 될 수 있 다 . 각각 의 챔버 에 는 내부 의 유지 보수 등 이 용이 하 도록 도어 ( 52 ) 가 설치 되 며 , 공정 진행시 챔버 내부 가 고진공 을 유지 하 도록 진공 펌프 ( 미 도시 ) 가 설치 된 배기관 ( 54 ) 이 연결 되 는 진공 포트 ( 미 도시 ) 가 제공 된다 . 상술 한 바 와 달리 챔버 들 의 배열 은 다양 하 게 변화 될 수 있 다 . 예컨대 , 장치 가 일 방향 으로 매우 길 어 지 지 않 도록 공정 챔버 들 ( 40 ) 은 ' ㄷ ' 자 형상 으로 배열 되 거나 지그재그 형상 으로 배열 될 수 있 다 .