( d ) 상기 공정 ( c ) 에서 얻 어 진 분 산액 을 습식 분급 장치 에 제공 하 고 , 적어도 30 ㎛ 를 넘 은 입자 지름 을 갖 는 다공질 실리카 계 입자 를 포함 한 침강 액 또는 침전물 을 분리 · 제거 하 는 것 에 의해 , 주로 0 . 5 ∼ 30 ㎛ 의 입자 지름 을 갖 는 다공질 실리카 계 입자 를 포함 한 분 산액 을 얻 는 공정 ,