시점 t 8 에서부터 미리 정해진 시간 이 경과 하 면 ( 시점 t 9 ) , 온도 조 절부 ( 50 ) 의 전기 히터 모듈 에 의 급전 을 개시 하 여 , 처리 액 의 가열 을 개시 한다 . 전기 히터 모듈 에 대한 공급 전력 은 , 상술 한 피드백 제어 ( 피드 포워드 제어 를 조합 해도 됨 ) 를 사용 한 온도 조절 방법 에 의해 제어 할 수 있 다 .