제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 의 제거 공정 은 제 2 마스크 패턴 ( 600 ) 및 반사 방지 층 ( 400 ) 의 식각 이 억제 되 는 조건 하 에서 수행 할 수 있 다 . 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 의 제거 공정 은 예컨대 , 애 싱 ( ashing ) 및 스트립 ( strip ) 공정 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , 반사 방지 층 ( 400 ) 의 재료 에 따라 건식 또는 습식 식각 공정 을 이용 하 여 제 1 마스크 패턴 ( 500 ) 을 제거 할 수 도 있 다 .