덮개 체 ( 52 ) 는 , 덮개 체 본체 ( 52 a ) 와 , 처리 가스 를 토출 시키 는 샤워 헤드 ( 52 b ) 를 구비 하 고 있 다 . 샤워 헤드 ( 52 b ) 는 , 덮개 체 본체 ( 52 a ) 의 하부 에 장착 되 어 있 고 , 샤워 헤드 ( 52 b ) 의 하 면 이 덮개 체 ( 52 ) 의 내면 ( 하 면 ) 으로 되 어 있 다 . 또한 , 샤워 헤드 ( 52 b ) 는 , 챔버 ( 40 ) 의 천 정부 를 구성 하 고 , 탑재 대 ( 42 ) 의 상방 에 설치 되 어 있 으며 , 탑재 대 ( 42 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 에 대하 여 상방 으로부터 각종 가스 를 공급 하 도록 되 어 있 다 . 샤워 헤드 ( 52 b ) 의 하면 에 는 , 가스 를 토출 시키 기 위한 복수 의 토출구 ( 52 c ) 가 하 면 전체 에 개구 하 여 형성 되 어 있 다 .