바람직 하 게 , 공 초점 센서 ( 321 ) 는 기판 ( 10 ) 에 대해 이동 하 면서 복수 의 지점 에서 반점 을 검출 한다 . 보다 구체 적 으로 , 공 초점 센서 ( 321 ) 는 , 제 1 방향 ( 예 를 들 어 , X 축 방향 ) 과 제 1 방향 에 수직 한 제 2 방향 ( 예 를 들 어 , Y 축 방향 ) 중 어느 하나 이상 의 방향 을 따라 기판 ( 10 ) 에 대해 이동 하 면서 기판 ( 10 ) 의 표면 을 스캔 할 수 있 다 .