버퍼 층 ( 20 ) 으로 는 BxAlyGa ( 1 - x - y ) N 막 , BxAlyInzGa ( 1 - x - y - z ) N 막 , BxInyGa ( 1 - x - y ) N 막 및 BxAlyIn ( 1 - x - y ) N 막 중 적어도 어느 하나 의 막 을 사용 한다 . 여기 서 , x 는 0 < x ≤ 0 . 3 이 고 , y 는 0 < y ≤ 0 . 3 이 고 , z 는 0 < z ≤ 0 . 3 이 다 .