또 , 기억 부 ( 42 b ) 에 기억 된 노광 시간 데이터 는 노광 장치 ( 12 ) 의 운전 이력 을 나타내 는 데이터 로서 축적 된다 . 이 와 같이 노광 시간 데이터 를 축적 하 여 둠 으로써 , 만일 , 노광 불량 이 발생 한 경우 , 과거 의 노광 시간 데이터 를 참조 함 으로써 노광 장치 ( 12 ) 의 운전 상황 을 분석 하 여 , 불량 발생 의 원인 을 추적 할 수 있 다 .