도 10 a 및 도 10 b 에 예시 한 바 와 같이 , 지지 부재 ( 34 ) 는 컴포넌트 ( 24 ) 의 제 1 통로 들 ( 32 ) 및 지지 부재 ( 34 ) 의 제 2 통로 들 ( 44 ) 이 유체 소통 하 고 있 도록 컴포넌트 ( 24 ) 에 결합 된다 . 점착 을 강화 하 기 위해 , 프라이머 ( 46 ) 가 또 한 컴포넌트 ( 24 ) 의 본딩 표면 ( 28 ) 에 인가 된 것 과 동일 한 소정 의 패턴 으로 지지 부재 ( 34 ) 의 로드 베어링 표면 ( 38 ) 에 인가 될 수 있 다 . 대안 의 실시 형태 에서 , 지지 부재 ( 34 ) 또는 컴포넌트 ( 24 ) 는 원 하 는 가스 분배 패턴 으로 온도 제 어 또는 프로세스 가스 공급 을 위해 하나 이상 의 가스 를 분배 하 기 위해 플 레 넘 을 포함 할 수 도 있 다 . 다른 실시 형태 에서 , 통로 들 ( 32 ) 은 하나 이상 의 통로 들 ( 44 ) 과 유체 소통 하 고 있 을 수 있 다 .