상술 한 바 와 같 은 목적 을 구현 하 기 위한 본 발명 의 화학 적 기계 적 연마장 치 의 연마 패드 제작 방법 은 피연 마물 표면 의 형상 과 역 형상 을 갖 는 기본 형 제작 단계 ; 상기 기본 형 에 이 형성 이 좋 은 물질 을 사용 하 여 피연 마물 표면 의 형상 과 동일 한 형상 을 갖 는 이형성 몰드 제작 단계 ; 상기 이형성 몰드 에 폴리머 를 부어서 피연 마물 표면 의 형상 과 역 형상 을 갖 는 연마 패드 제작 단계 ; 를 포함 하 여 이루어진 것 을 특징 으로 한다 .