일부 실시 형태 에 있 어서 , 무 정형 다이아몬드 유사 필름 은 무 정형 다이아몬드 유사 필름 층 을 침착 시키 기 위한 플 라즈 마 를 형성 하 는 처리 기체 를 변화 시키 거나 펄 싱 ( pulsing ) 시켜 형성 된 하나 이상 의 무 정형 다이아몬드 유사 필름 층 들 또는 무정형 다이아몬드 유사 필름 층 이 포함 된다 . 예컨대 , 제 1 무정형 다이아몬드 유사 필름 의 베이스 층 이 형성 된 다음 , 제 2 무정형 다이아몬드 유사 필름 의 제 2 층 이 제 1 층 상 에 형성 될 수 있 고 , 여기 에서 , 제 1 층 은 제 2 층 과 상이 한 조성 을 갖 는다 . 일부 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 무정형 다이아몬드 유사 필름 층 이 실리콘 오 일 플 라즈 마로 부터 형성 된 다음 , 제 2 무정형 다이아몬드 유사 필름 층 이 실리콘 오 일 및 실란 플 라즈 마로 부터 형성 된다 . 다른 실시 형태 에 있 어서 , 둘 이상 의 교대 하 는 조성 의 무 정형 다이아몬드 유사 필름 층 이 형성 되 어 무 정형 다이아몬드 유사 필름 이 생성 된다 .