또한 , 본 발명 은 ( a ) 하이드록실기 를 포함 하 는 알칼리 화합물 , 유기산 , 및 물 을 포함 하 는 마스크 세정액 예비 - 조성물 을 제조 하 는 단계 ; ( b ) 암모늄염 화합물 , 과산화수소 및 물 을 포함 하 는 마스크 세정액 예비 - 조성물 을 제조 하 는 단계 ; 및 ( c ) 상기 ( a ) 단계 에서 제조 된 예비 - 조성물 과 ( b ) 단계 에서 제조 된 예비 - 조성물 을 혼합 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 마스크 세정액 조성물 의 제조 방법 을 제공 한다 .