도 1 은 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 가시성 페럴 린 필름 성막 장비 의 개념 도 , 도 2 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 분 배기 를 도시 한 작동 도 , 도 3 및 도 4 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 제 1 바이패스 부 를 도시 한 작동 도 , 도 5 는 본 발명 의 제 1 실시 예 에 따른 제 2 바이패스 부 를 도시 한 작 동도 이 다 .