상기 구성 1 에 따른 발명 에 의하 면 , 크롬 을 함유 하 는 재료 로 이루어지 는 반 투광 성막 을 패 터닝 할 때 에 에칭 액 으로서 사용 되 는 질산 제 2 세륨 암모늄 과 과염소산 의 수용액 은 , 글래스 기판 에 대해 에칭 작용 을 갖 고 있 지 않 으므로 , 반 투광 성막 을 웨트 에칭 할 때 에 글래스 기판 표면 에 데미지 를 주 지 않 고 , 따라서 상기 과제 1 을 해결 할 수 있 다 .