챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 에 는 챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 가이드 ( 132 , 134 ) 를 들 어 올리 기 위한 승강 구름 장치 ( 140 ) 가 설치 된다 . 승강 구름 장치 ( 140 ) 는 챔버 커버 ( 130 ) 를 균형 있 게 들어올리 기 위해서 챔버 커버 ( 130 ) 의 양측 각각 에 두 개 이상 설치 되 는 것 이 바람직 한데 , 도 2 에서 는 최소 로 두 개 가 설치 되 는 경우 가 도시 되 었 다 . 승강 구름 장치 ( 140 ) 는 승 하강 가능 하 게 설치 되 는 승강대 ( 141 ) 와 수평 회전 원판 ( 142 ) 을 포함 하 여 이루어진다 . 수평 회전 원판 ( 142 ) 은 승강대 ( 141 ) 에 수평 회전 가능 하 게 결합 된다 .