일 실시 형태 는 대응 하 는 하나 이상 의 패드 를 구비 한 기판 에 구리 부분 과 본딩 캡 을 포함 하 는 하나 이상 의 구리 기둥 범프 를 포함 하 는 다이 를 본 딩 하 는 방법 에 관한 것 이 다 . 본 실시 행태 에 있 어서 , 상기 방법 은 상기 하나 이상 의 구리 기둥 범프 의 본딩 캡 이 상기 하나 이상 의 패드 와 접촉 하 도록 상기 기판 상 에 상기 다이 를 위치 결정 하 는 스텝 과 , 상기 기판 에 상기 다이 를 본 딩 하 기 위해 상기 하나 이상 의 구리 기둥 범프 에 열 기계 에너지 를 적용 하 는 스텝 을 포함 한다 . 일실 시예 에 있 어서 , 상기 다이 를 위치 결정 하 는 스텝 과 열 기계 에너지 를 적용 하 는 스텝 은 실질 적 으로 동시 에 수행 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에 있 어서 , 상기 본딩 캡 은 솔 더 캡 일 수 있 고 , 열 기계 에너지 를 적용 하 는 스텝 은 상기 솔 더 캡 을 적어도 부분 적 으로 용융 시켜서 상기 기판 에 상기 다이 를 본 딩 하 기 위해 충분 한 열 기계 에너지 를 적용 하 는 스텝 을 포함 한다 . 또 다른 실시 예 에 있 어서 , 열 기계 에너지 를 적용 하 는 스텝 은 상기 기판 에 상기 다이 를 가압 하 기 위해 기계 적 압력 을 적용 하 면서 상기 하나 이상 의 구리 기둥 범프 에 초음파 에너지 를 적용 하 는 스텝 을 포함 한다 . 상기 방법 은 초음파 에너지 와 기계 적 압력 을 적용 하 기 전 에 상기 다 이 및 / 또는 상기 기판 을 예열 하 는 스텝 을 포함 할 수 도 있 다 .