본 실시 형태 에 관련 된 표면 처리 제 는 , 구리 기판 을 , 25 ℃, 1 분 간 침지 시킨 후 의 상기 구리 기판 의 표면 의 접촉각 이 90 ° 이상 이 된다 . 그 때문 에 , 본 실시 형태 에 관련 된 표면 처리 제 는 , 구리 를 포함 하 는 기판 에 대하 여 , ALD 법 을 사용 한 기판 표면 의 영역 선택 적 인 제막 에 바람직 하 게 적용 할 수 있 다 . 본 실시 형태 에 관련 된 표면 처리 제 는 , 구리 기판 을 , 25 ℃, 1 분 간 침지 시킨 후 의 상기 구리 기판 의 표면 의 접촉각 이 92 ° 이상 이 되 는 것 이 바람직 하 고 , 95 ° 이상 이 되 는 것 이 더욱 바람직 하 다 .