또한 , 상기 반응 가스 공급 부 ( 40 ) 는 상기 메인 반응 가스 밸브 ( 36 ) 의 전단 에 연결 되 는 가스 공급 라인 ( 32 ) 을 통해 상기 복수 의 반응 가스 의 유동 을 단속 하 는 실란 가스 밸브 , 이산화질소 가스 밸브 , 아르곤가스 밸브 , 또는 가스 밸브 와 같 은 복수 의 서브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) 를 포함 하 여 이루어진다 . 마찬가지 로 , 상기 세정 가스 공급 부 ( 50 ) 는 상기 메인 세정 가스 밸브 ( 38 ) 의 전단 에 연결 되 는 상기 가스 공급 라인 ( 32 ) 을 통해 상기 복수 개 의 세정 가스 의 유동 을 단속 하 는 삼 불화 질소 가스 밸브 , 또는 산소 가스 밸브 와 같 은 복수 의 서브 세정 가스 밸브 ( 52 a , 52 b ) 를 포함 하 여 이루어진다 . 도시 되 지 는 않 았 지만 , 상기 반응 가스 공급 부 ( 40 ) 및 상기 세정 가스 공급 부 ( 50 ) 는 각각 상기 서브 반응 가스 밸브 ( 42 a , 42 b , 42 c , 42 d , 42 e ) 및 상기 서브 세정 가스 밸브 ( 52 a , 52 b ) 의 전단 에서 복수 의 반응 가스 및 복수 의 세정 가스 의 유량 을 각각 제어 하 도록 형성 된 복수 의 질량 유량 제어기 ( mass flow controller ) 를 더 포함 하 여 이루어진다 .