이때 , 로딩 핀 세트 ( 920 ) 는 2 단 업 ( up ) 이 가능 할 수 있 다 . 이 경우 , 로딩 핀 세트 ( 920 ) 는 로드 락 모듈 ( 120 ) 로부터 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 웨이퍼 를 이송 하 기 위하 여 제 2 로봇 ( 131 ) 이 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 진입 한 경우 , 초기 높이 ( 940 a ) 에서 미리 정해진 로딩 용 높이 ( 940 b ) 까지 업 ( up ) 하 고 , 프로세스 모듈 ( 140 ) 로부터 로드 락 모듈 ( 120 ) 로 웨이퍼 를 이송 하 기 위하 여 제 2 로봇 ( 131 ) 이 프로세스 모듈 ( 140 ) 로 진입 한 경우 , 초기 높이 에서 언 로딩 용 높이 ( 940 c ) 까지 업 ( up ) 하 도록 할 수 있 다 .