표 4 및 표 6 에 나타낸 바 와 같이 , 실시 예의 감방 사선 성 수지 조성물 은 , ArF 노광 을 행한 경우 에 는 , LWR 성능 , 해상 성 , 단면 형상 의 직사각 형성 , 초점 심도 및 막 수축 억제 성 이 모두 양호 하 고 , 또한 전자선 노광 을 행한 경우 에 는 감도 및 LWR 성능 이 양호 하 였 다 . 이 와 같이 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 은 , LWR 성능 , 해상 성 , 단면 형상 의 직사각 형성 , 초점 심도 및 막 수축 억제 성 이 우수 하 다고 판단 된다 . 이 에 비해 , 비 교예 의 감방 사선 성 수지 조성물 은 , 상기 성능 중 의 적어도 일부 가 양호 하 지 않 았 다 . 여기 서 , 일반 적 으로 전자선 노광 에 의하 면 , EUV 노광 의 경우 와 동일 한 경향 을 나타내 는 것 이 알려져 있 다 . 따라서 , 실시 예의 감방 사선 성 수지 조성물 에 의하 면 , EUV 노광 의 경우 에 있 어서 도 , 감도 , LWR 성능 이 우수 하 다고 추측 된다 .