편재화 촉진제 는 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 이 [ E ] 중합체 를 함유 하 는 경우 등 에 , [ E ] 중합체 를 , 보다 효율 적 으로 레지스 트 막 표면 에 편석 시키 는 효과 를 갖 는 것 이 다 . 당해 감방 사선 성 수지 조성물 에 편재화 촉진제 를 함유 시킴 으로써 , [ E ] 중합체 의 첨가량 을 종래 보다 도 적 게 할 수 있 다 . 따라서 , LWR 성능 등 을 손상 시키 지 않 고 , 레지스 트 막 으로부터 액 침액 으로 의 성분 의 용출 을 더 억제 하 는 것 이 나 , 고속 스캔 에 의해 액침 노광 을 보다 고속 으로 행하 는 것 이 가능 해 지 고 , 결과 적 으로 워터 마크 결함 등 의 액침 유래 결함 을 억제 하 는 레지스 트 막 표면 의 소수성 을 향상 시킬 수 있 다 . 이러 한 편재화 촉진제 로서 사용 할 수 있 는 것 으로서 는 , 비유전율 이 30 이상 200 이하 이 며 , 1 기압 에 있 어서 의 비점 이 100 ℃ 이상 인 저 분자 화합물 을 들 수 있 다 . 이러 한 화합물 로서 는 , 구체 적 으로 는 락톤 화합물 , 카르보 네이트 화합물 , 니트릴 화합물 , 다가 알코올 등 을 들 수 있 다 .