도 1 f 를 참조 하 면 , 상기 개구부 ( 140 ) 에 노출 된 선택 된 가이드 패턴 ( 130 a ) 을 제거 하 여 갭 영역 ( 145 ) 을 형성 한다 . 상기 갭 영역 ( 145 ) 은 상기 선택 된 가이드 패턴 ( 130 a ) 이 제거 된 영역 이 다 . 이때 , 상기 제 1 및 제 2 가이드 패턴 들 ( 115 , 130 , 130 a ) 중 에서 비 선택 된 가이드 패턴 들 ( 115 , 130 ) 은 잔존 한다 . 상기 비 선택 된 가이드 패턴 들 ( 115 , 130 ) 은 적어도 서로 인접 한 상기 제 1 가이드 패턴 ( 115 ) 및 제 2 가이드 패턴 ( 130 ) 을 포함 한다 . 이 에 따라 , 갭 영역 ( 145 ) 이 형성 될 때 , 상기 벽부 들 ( 121 ) 중 에서 적어도 하나 의 양측 벽 은 상기 제 1 가이드 패턴 ( 115 ) 및 제 2 가이드 패턴 ( 130 ) 에 의하 여 덮혀 있 다 . 본 실시 예 와 같이 , 상기 선택 된 가이드 패턴 ( 130 a ) 이 상기 제 2 가이드 패턴 들 ( 130 , 130 a ) 중 에 하나 인 경우 에 , 상기 갭 영역 ( 145 ) 은 상기 빈 영역 ( 125 ) 과 동일 할 수 있 다 . 이 와 는 달리 , 상기 선택 된 가이드 패턴 이 상기 제 1 가이드 패턴 ( 115 ) 중 에 하나 인 경우 에 , 상기 갭 영역 ( 145 ) 은 인접 한 상기 예비 마스크 패턴 들 ( 120 a ) 사이 에 위치 한다 .