다음 , 도 10 및 도 11 에서 보 는 바 와 같이 , 질화 규소 또는 산화 규소 를 적층 하 여 게이트 절 연막 ( 140 ) 을 형성 하 고 , 그 상부 에 금속 막 을 적층 하 고 패 터닝 하 여 스위칭 제어 전극 ( 124 a ) 및 끝 부분 ( 129 ) 을 포함 하 는 게이트 선 ( 121 ) 및 구동 제어 전극 ( 124 b ) 을 형성 한다 .