본 발명 의 에칭 액 조성물 은 , ( E ) 불화물 이온 공급원 ( 이하 , 「 ( E ) 성분 」 이 라고 도 기재 함 ) 을 함유 한다 . 에칭 액 조성물 중 의 ( E ) 성분 의 농도 는 , 0 . 001 내지 1 질량 ％ 의 범위 이 다 . ( E ) 성분 의 농도 가 0 . 001 질량 ％ 미만 이 면 , ( E ) 성분 의 배합 효과 를 얻 지 못하 는 경우 가 있 다 . 한편 , ( E ) 성분 의 농도 를 1 질량 ％ 초과 로 하 더라도 , ( E ) 성분 의 배합 효과 는 그 이상 향상 되 지 않 는다 . ( E ) 성분 의 농도 는 , 더욱 바람직 하 게 는 0 . 005 내지 0 . 8 질량 ％ 의 범위 이 다 .