폴리머 를 제거 하 기 위해 패 시베이 션 막 식각 단계 에 이어서 산소 분위기 에서 애 싱 조건 으로 폴리머 제거 를 실시 하 는 단계 는 시간 상 으로 20 내지 40 초 정도 진행 하 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 시간 상 20 초 미만 이 되 면 폴리머 가 충분히 제거 되 지 않 아 폴리머 로 인한 종래 의 문제점 이 나타날 수 있 고 , 40 초 를 넘어서 면 특히 60 초 이상 진행 되 면 드러난 패드 메탈 패턴 상면 에 일부 산화 막 이 형성 되 고 , 불소 화합물 도 형성 되 어 패드 메탈 패턴 상면 에 적층 된 형태 로 남 을 수 있 다 . 이런 상태 로 기판 에 범 핑 메탈 층 을 형성 하 면 패드 구조 에서 패드 메탈 패턴 과 범 핑 메탈 패턴 사이 의 계면 저항 이 높 아 질 수 있 다 . 패드 메탈 패턴 표면 의 산화 로 인한 메탈 산화 막 은 메탈 이 구리 나 알미늄 일 경우 , 산화 구리 나 알루미나 가 된다 .