기저 상태 의 스퍼터 입자 X 가 있 는 여기 준위 로 천 이 하 고 , 여기 된 스퍼터 입자 X ＊ 가 자연 방출 에 의해 h ν 의 광 ( 특성 파 장광 ) 을 방출 한다 . h 는 프랑크 정수 , ν 은 광 의 주파수 다 . 여기 준위 에 의 천이 는 , 기저 상태 의 스퍼터 입자 X 에 어떠 한 방법 으로 에너지 를 주 는 것 에 의해 실현 될 수 있 다 . 스퍼터 입자 X 에 플 라즈 마중 의 전자 e 에 의해 에너지 가 주어지 는 전자 충돌 여기 의 경우 는 , ( 1 ) 식 과 같 아 진다 . 또한 , 특성 파장 광 에 의한 여기 의 경우 는 ( 2 ) 식 과 같 아 진다 .