또 , FPD ( flat 　 panel 　 display , 플랫 패널 디스플레이 ) 의 제조 등 에서 는 , 기판 의 대형화 가 진행 되 어 , FPD 를 제조 하 는 진공 장치 에서 도 장치 의 대형화 가 현저 하 다 . 이 때문 에 , 진공 장치 를 구성 하 는 개개 의 부품 에서 의 소형 화 가 요구 되 고 있 다 . 게다가 , 장치 의 대형 화 에 수반 하 여 , 챔버 의 외측 에서 의 공간 이 감소 한 것 에 의해 , 비 특허 문헌 1 에 기재 된 일본 공업 규격 에 근거 하 는 상기 의 접속 구조 에서 는 , 체결 부재 에 의한 체결 이 곤란 을 초래 하 게 되 었 다 . 이 때문 에 , 게이트 밸브 를 , 유로 를 가지 는 챔버 에 대해 직접 접속 하 는 것 이 요망 되 고 있 다 .