노광 장치 , 상기 노광 장치 를 이용 한 2 차원 홀로 그래픽 리소그래피 방법 및 광 결정 형성 방법 을 제공 한다 . 이 장치 는 스테이지 , 상기 스테이지 상 에 수직 으로 놓여진 제 1 거울 면 및 상기 스테이지 상 에 수직 으로 놓여 지 고 , 상기 제 1 거울 면 과 경사각 을 갖 는 제 2 거울 면 을 포함 한다 . 상기 스테이지 , 상기 제 1 거울 면 및 상기 제 2 거울 면 에 평행 광이 입사 되 고 , 상기 평행 광 을 발생 시키 는 광 발생 부 를 포함 한다 . 상기 제 1 거울 면 , 상기 제 2 거울 면 및 상기 스테이지 상 의 기판 상 에 평행 광 을 동시 에 입사 하 여 등간 격의 2 차원 간섭무늬 를 갖 는 노광 광 으로 상기 포토레지스트 를 노광 한다 . 상기 포토레지스트 를 현상 한다 . 제 1 평 행 광 , 제 2 평 행 광 및 제 3 평 행 광 에 의해 형성 된 등 간격 의 2 차원 간섭무늬 를 갖 는 노광 광 으로 상기 포토레지스트 를 노광 한다 . 상기 포토레지스트 를 현상 하 여 등간 격의 2 차원 노광 패턴 을 형성 하 고 , 상기 노광 패턴 을 마스크 로 사용 하 여 상기 기판 상 에 등간 격의 2 차원 광 결정 패턴 을 형성 한다 .