이미지 재 구성 의 충실 도 는 이미지 가 웨이퍼 구조 를 얼마나 가깝 게 나타내 는지 를 결정 한다 . 충실 도 는 웨이퍼 에 의해 방출 된 일차 전자 또는 이 차 전자 와 관련 되 지 않 은 노이즈 신호 에 의해 저하 될 수 있 다 . 다양 한 잠재 적 인 노이즈 신호 의 소스 가 있 다 . 예 를 들 어 , 전자 검출기 는 임의 의 전자 를 받아들이 거나 받아들이 지 않 고 암전 류 ( dark current ) 를 생성 할 수 있 다 . 검출 된 전자 에 실제로 비례 하 는 전류 에 암 전류 가 부가 될 수 있 으며 , 이 에 의하 여 오류 데이터 가 이미지 재 구성 에 도입 된다 . 더욱이 , 전자 검출기 는 또한 오작동 으로 인해 전류 를 생성 하 지 않 을 수 있 거나 받아들여진 전자 의 수 를 반영 하 지 않 는 전 류량 을 생성 할 수 있 다 . 또한 , 웨이퍼 를 스캐닝 하 는 복수 의 일차 전자 빔 이 있 고 검사 중 인 웨이퍼 에 의해 복수 의 전자 빔 이 방출 되 는 경우 , 전자 광학 서브 - 시스템 에서 의 수차 및 분산 의 영향 으로 인하 여 웨이퍼 로부터 방출 된 인접 빔 들 로부터 의 전자 들 은 전자 검출기 표면 의 동일 한 위치 에 도달 할 수 있 다 . 결과 적 으로 , 인접 한 전자 빔 들 에 의해 형성 된 빔 스폿 들 은 부분 적 으로 중첩 되 어 크로스 토크 ( crosstalk ) 로 이어질 수 있 다 . 이 들 모두 는 노이즈 성분 으로서 전자 검출기 의 출력 신호 에 추가 될 수 있 다 . 결과 적 으로 , 전자 검출기 의 출력 신호 는 검사 중 인 특정 웨이퍼 구조 와 관련 이 없 는 노이즈 성분 을 포함 할 수 있 으며 , 결과 적 으로 이 출력 신호 에 기초 한 이미지 재 구성 의 충실 도 는 저하 될 수 있 다 .