상기 제 1 금속 전구체 는 제 1 금속 산화물 을 형성 할 수 있 는 것 으로 , Sn , Si , Ti , Ge , Pb , Bi , Sb 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 에서 선택 된 1 종 의 금속 을 포함 하 는 염화물 , 수산화물 , 옥시 수산화물 , 질산염 , 탄산염 , 초산염 , 옥살산염 , 시트르 산염 , 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 군 에서 선택 된 1 종 을 사용 할 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .