본 발명 은 핀 리프팅 디바이스 및 / 또는 직접 적 으로 , 이 를 구비 한 핀 리프팅 디바이스 에 대한 드라이브 개념 에 관한 것 이 다 . 드라이브 는 복원 디바이스 를 갖 는 공 압 ( 리프트 ) 실린더 의 형태 로 제안 된다 . 공 압 설계 에 의해 , 전기 적 으로 구동 되 는 드라이브 들 에 비해 전자기장 의 결과 로서 의 가능 한 간섭 영향 들 이 회피 된다 . 따라서 , 이러 한 방식 으로 , 이 에 구비 된 진공 챔버 에서 더 신뢰 가능 한 처리 공정 이 이미 제공 된다 .