현재 웨이퍼 에 추가 사이트 가 필요 할 경우 , 수행 될 수 있 는 단계 는 , a ) 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 수 로부터 신규 사이트 를 선택 하 는 단계 로서 , 이 신규 사이트 는 제 1 S - D 작성 프로 시저 를 이용 하 여 작성 되 었 던 그 와 연관 된 신규 미 검증 평가 특징 부 를 갖 는 것 인 선택 단계 와 , b ) 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 신규 사이트 로부터 신규 웨이퍼 검증 데이터 를 획득 하 는 단계 로서 , 이 신규 웨이퍼 검증 데이터 는 신규 S - D 측정 및 / 또는 신규 S - D 검사 데이터 를 포함 하 는 것 인 취득 단계 와 , c ) 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 신규 사이트 에 대한 신규 피 검증 데이터 를 확립 하 는 단계 로서 , 이 신규 피 검증 데이터 는 신규 피 검증 추정 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 하 는 것 인 확립 단계 와 , d ) 신규 웨이퍼 검증 데이터 와 신규 피 검증 데이터 를 이용 하 여 계산 된 신규 웨이퍼 검증 차이 를 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 신 규 사이트 에 대한 신규 신뢰 도 값 을 확립 하 는 단계 와 , e ) 신규 신뢰 도 값 , 신규 웨이퍼 검증 차이 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 웨이퍼 검증 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 상 의 신규 사이트 에 대한 신규 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , f ) 신규 리스크 인자 , 신규 신뢰 도 값 , 신규 웨이퍼 검증 차이 , 제 1 리스크 인자 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 웨이퍼 검증 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 S - D 평가 웨이퍼 에 대한 신규 합계 리스크 인자 를 확립 하 는 단계 와 , g ) 신규 의 합계 리스크 인자 가 신규 웨이퍼 검증 한계 이하일 경우 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 를 그 와 연관 된 신규 의 합계 리스크 인자 를 갖 는 제 1 피 검증 S - D 웨이퍼 로서 식별 하 며 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 고 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 며 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 와 연관 된 제 1 S - D 작성 프로 시저 를 신규 피 검증 S - D 프로시저 로서 식별 하 는 단계 와 , h ) 신규 의 합계 리스크 인자 가 신규 웨이퍼 검증 한계 보다 클 경우 , 신규 사이트 를 그 와 연관 된 신규 의 제 1 리스크 인자 를 갖 는 신규 미 검증 사이트 로서 식별 하 며 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 고 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 단계 로서 , 제 1 피 검증 웨이퍼 는 그 와 연관 된 신규 피 검증 웨이퍼 데이터 를 갖 는 것 인 단계 와 , i ) 필수 사이트 의 개수 가 0 보다 많 을 경우 단계 a ) 내지 h ) 를 반복 하 는 단계 와 , j ) 필수 사이트 의 개수 가 0 일 때 S - D 라이브러리 작성 프로세스 를 정지 하 는 단계 를 포함 한다 .