도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 용기 보관 설비 는 , 복수 의 처리 장치 ( 1 ) 를 경유 하 는 상태 로 주행 레일 ( 2 ) ( 이동 경로 에 상당 함 ) 이 천정 측 에 설치 되 고 , 이 주행 레일 ( 2 ) 을 따라 이동 가능 한 물품 반송 차 ( 3 ) ( 이동차 에 상당 함 ) 이 설치 되 어 있 다 . 물품 반송 차 ( 3 ) 가 , 반도체 기판 ( 기판 의 일례 ) 을 수납 한 용기 ( W ) 를 복수 의 처리 장치 ( 1 ) 사이 에서 반송 하 도록 구성 되 어 있 다 . 처리 장치 ( 1 ) 에서 는 , 반도체 기판 의 제조 도중 의 반제품 등 에 대하 여 소정 의 처리 를 행하 도록 구성 되 어 있 다 .