냉 각부 ( CP ) 는 , 기판 ( W ) 을 냉각 시킨다 . 냉 각부 ( CP ) 는 , 플레이트 ( 55 ) 와 , 예 를 들 면 수랭식 의 냉각 기구 를 구비 하 고 있 다 . 검사 부 ( LSCM ) 는 , CCD 카메라 또는 이미지 센서 를 이용 하 여 , 도포 후 의 기판 ( W ) 을 검사 한다 . 검사 부 ( LSCM ) 는 , CCD 카메라 또는 이미지 센서 와 , 검사 용 프로그램 을 실행 시키 는 제 어부 ( 예 를 들 면 CPU ) 를 구비 하 고 있 다 . 또한 , 냉 각부 ( CP ) 및 검사 부 ( LSCM ) 는 , ID 블록 ( 2 ) 이 아니 라 , 후술 하 는 5 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 , B 1 , B 2 ) 의 각각 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 이 경우 , 3 개 의 복귀 부 ( RT 7 , RT 8 , RT 9 ) 는 , 설치 되 지 않 아도 된다 .