일 실시 예 에서 , 상기 제 2 절연 막 은 상기 희생 막 패턴 에 대하 여 식각 선택 성 을 갖 는 물질 을 포함 할 수 있 다 . 상기 희생 막 패턴 은 습식 식각 공정 을 수행 하 는 것 에 의해 제거 될 수 있 다 . 예컨대 , 상기 희생 막 패턴 은 산화물 을 포함 하 고 , 상기 제 2 절연 막 은 질화물 을 포함 하 는 경우 , 상기 습식 식각 공정 은 불 산 용액 을 사용 하 는 것 에 의해 수행 될 수 있 다 . 또 , 상기 희생 막 패턴 은 질화물 을 포함 하 고 , 상기 제 2 절연 막 은 산화물 을 포함 하 는 경우 , 상기 습식 식각 공정 은 인산 용액 을 사용 하 는 것 에 의해 수행 될 수 있 다 .