제 1 열처리 온도 에서 일정 시간 , 예 를 들 어 2 내지 9 시간 , 바람직 하 게 는 2 시간 동안 유지 시킨다 ( C 단계 ) . 이때 제 1 열처리 단계 는 웨이퍼 간 의 접합 력 향상 을 위한 것 이 기 때문 에 수소 이온 주 입부 ( 14 ) 에서 플레이크 가 일어나 지 않 을 정도 의 낮 은 온도 에서 수행 하 며 , 제 1 열처리 의 온도 와 시간 은 서로 반비례 하 게 , 즉 제 1 열처리 온도 가 높 으면 제 1 열처리 시간 은 짧 게 하 고 제 1 열처리 온도 를 상대 적 으로 낮 게 하 면 제 1 열처리 시간 은 상대 적 을 길 게 할 수 있 다 . 본 실시 예 에서 제 1 열처리 온도 는 200 ℃ 에서 2 시간 동안 수행 한다 .