예 를 들 어 실리콘 질화물 에 기초 한 이러 한 알칼리 장벽 층 은 반드시 화학 양론 ( stoichiometric ) 을 만족 시킬 필요 는 없 다 . 이 장벽 층 은 자연히 부 화학 양론 ( substoichiometric ) 이 거나 심지어 그리고 바람직 하 게 는 초 화학 양론 적 ( superstoichiometric ) 일 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 이 장벽 층 은 SixNy 로 이루어지 며 , 또 SixNy 에서 Si 가 풍부 할 때 알칼리 장벽 효과 가 모두 보다 더 효율 적 이 라는 것 이 밝혀졌 기 때문 에 여기 서 x / y 비 는 적어도 0 . 76 , 바람직 하 게 는 0 . 80 내지 0 , 90 이 다 .