도 1 에 는 , 제 1 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 의 개략 구성 이 도시 되 어 있 다 . 노광 장치 ( 100 ) 는 , 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 의 투영 노광 장치 , 즉 , 이른바 스캐너 이 다 . 후술 하 는 바 와 같이 , 본 실시 형태 에서 는 투영 광학계 ( PL ) 가 형성 되 어 있 고 , 이하 에서 는 , 이 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) 과 평행 한 방향 을 Z 축 방향 , 이것 에 직교 하 는 면내 에서 레티 클 과 웨이퍼 가 상대 주사 되 는 방향 을 Y 축 방향 , Z 축 및 Y 축 에 직교 하 는 방향 을 X 축 방향 으로 하 고 , X 축 , Y 축 , 및 Z 축 둘레 의 회전 ( 경사 ) 방향 을 각각 θ x , θ y , 및 θ z 방향 으로 하 여 설명 한다 .