웨이퍼 외 주부 의 온도 저하 는 , 홈 의 깊이 와 도 관계 가 있 는데 , 홈 이 깊 을수록 온도 저하 가 큰 경향 이 있 다 . 또한 , 이면 으로 의 실리콘 퇴적 도 홈 이 깊 을수록 퇴적 되 기 쉬운 경향 이 있 으므로 , 외주 부 의 홈 깊이 는 얕 을수록 바람직 하 지만 , 완전 하 게 홈 을 없애 지 않 고 얕 은 홈 을 형성 해 놓 으면 , 가스 의 통로 가 막히 는 일 은 없 으며 , 서 셉 터로 의 재치 시 에 웨이퍼 가 쉽 게 슬라이딩 될 우려 가 없 다 . 따라서 , 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 ( 4 ) 에서 의 가장 얕 은 홈 깊이 는 0 . 01 ~ 0 . 08 mm 의 범위 , 상기 외 주부 ( 4 ) 보다 내측 의 중앙부 ( 5 ) 에서 의 가장 깊 은 홈 깊이 는 0 . 1 ~ 0 . 5 mm 의 범위 인 것 이 바람직 하 다 . 이 같 은 서 셉 터 라면 , 웨이퍼 외주 의 온도 저하 를 방지 하 고 , 이면 으로 의 실리콘 퇴적 을 개선 할 수 있 으며 , 또한 , 웨이퍼 의 슬라이드 나 휨 을 방지 할 수 있 다 .