도 1 및 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 당해 보유 지지 유닛 ( 3 ) 은 , 검사 대상 기판 ( P ) 에 대하 여 , 이 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 방향 으로부터 접촉 가능 한 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 갖 는 전기 검사 헤드 ( 11 ) 와 복수 의 프로브 ( 11 a ) 로 의 접속 을 전환 가능 한 회로 를 갖 는 전환 유닛 ( 12 ) 을 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 방향 으로 직결 한 상태 에서 보유 지지 가능 한 하우징 ( 14 ) 과 , 하우징 ( 14 ) 을 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 과 평행 한 축 ( A ) 의 주위 로 회전 가능 하 게 지지 하 는 베어링 ( 13 ) 을 구비 한다 .