스탬프 척 ( 110 ) 에 는 관통 구멍 ( 112 ) 이 형성 되 어 , 장착 된 상태 의 탄성 중합체 스탬프 가 보여진다 . 관통 구멍 ( 112 ) 은 아래 에서 후술 할 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 의 CCD ( Charge Coupled Device ) 카메라 ( 161 , 162 ) 의 상하 정렬 선 상 에 위치 하 여 , 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 는 탄성 중합체 스탬프 와 기판 의 정렬 위치 를 파악 할 수 있 다 .