여기 서 , L 은 원판 인 레티 클 과 피 노광 기판 인 웨이퍼 와 의 사이 의 물체 - 상 간 의 거리 로서 , 대략 1 m 이 고 , γ 은 레티 클 과 웨이퍼 사이 에 존재 하 는 축소 투영 광학 렌즈 의 유리 충전율 로서 , 광축 중심 에 대하 여 약 90 % 정도 이 며 , c 는 2 . 99 × 108 m / s 인 광속도 이 고 , na 는 1 . 00 인 공기 의 굴절률 이 고 , ng 는 1 . 47 인 유리 의 굴절률 이 다 . 그 결과 , t 1 = 4 . 7 × 10 - 9 sec .