일부 실시 예 들 에서 , 도 2 내지 도 7 과 관련 하 여 이하 에 보다 충분히 설명 되 는 디스크 ( 202 ) 는 , 일반 적 으로 , 기판 - 대향 면 ( 220 ) 및 이 와 대체로 반대 되 는 열 제어 판 - 대향 면 ( 222 ) 을 가진 본체 ( 245 ) 를 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 기판 - 대향 면 ( 220 ) 은 디스크 ( 202 ) 와 기판 ( S ) 사이 의 열 전달 을 용이 하 게 하 기 위하 여 디스크 ( 202 ) 와 기판 ( S ) 사이 의 계면 ( 216 ) 에 가스 , 예컨대 헬륨 ( He ) , 아르곤 ( Ar ) 등 과 같 은 불활성 가스 , 또는 다른 열 전달 유체 의 흐름 을 제공 하 는 것 을 용이 하 게 하 도록 하나 또는 그 초과 의 제 1 관 통공 ( 239 ) 들 에 커플링 된 하나 또는 그 초과 의 제 1 그루브 ( 238 ) 들 을 포함 할 수 있 다 . 열 전달 가스 는 하나 또는 그 초과 의 제 1 그루브 ( 238 ) 들 과 유체 소통 하 는 디스크 ( 202 ) 내 의 하나 또는 그 초과 의 제 1 홀 ( 239 ) 들 을 통해 상기 하나 또는 그 초과 의 제 1 그루브 ( 238 ) 들 에 전달 될 수 있 다 . 추가 로 , 일부 실시 예 들 에서 , 열 제 어 판 - 대향 면 ( 222 ) 은 디스크 ( 202 ) 와 열 제어 판 ( 204 ) 사이 의 계면 ( 218 ) 에 가스 또는 다른 열 전달 유체 의 흐름 을 제공 하 는 것 을 용이 하 게 하 도록 하나 또는 그 초과 의 제 2 관 통공 ( 241 ) 들 에 커플링 된 하나 또는 그 초과 의 제 2 그루브 ( 240 ) 들 을 포함 할 수 있 다 .