일 실시 예 에 따르 면 , 상기 방법 은 상기 더미 층 을 형성 하 기 전 에 , 상기 기판 전면 상 에 고유 전막 을 형성 하 는 것 ; 및 상기 고유 전막 상 에 금속 함 유막 을 형성 하 는 것 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 더미 게이트 패턴 을 형성 하 는 것 은 , 상기 제 1 영역 내 의 상기 더미 층 , 금속 함 유막 및 고유 전막 을 연속 적 으로 패 터닝 하 여 차례 로 적층 된 고유 전 패턴 , 금속 함유 패턴 및 더미 게이트 패턴 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .