복수 의 제어 그리드 ( 27 ) 가 , 멀티 빔 의 위치 이탈 이 없 는 이상 적 인 조사 위치 ( 이상 위치 ) 가 된다 . 제 어 그리드 ( 27 ) 의 배 열 피치 는 빔 사이즈 와 같 은 크기 로 한정 되 는 것 은 아니 고 , 편 향기 ( 209 ) 의 편향 위치 로서 제어 가능 한 임의 의 크기 여도 상관없 다 . 그리고 , 각 제어 그리드 ( 27 ) 를 중심 으로 한 , 제 어 그리드 ( 27 ) 의 배열 피치 와 동일 한 사이즈 로 메 쉬 형상 으로 가상 분할 된 복수 의 화소 ( 36 ) 가 설정 된다 .