기판 지지 구 로서 의 보트 ( 217 ) 는 , 복수 매 , 예 를 들 어 25 내지 200 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 수평 자세 이 면서 또한 서로 중심 을 맞춘 상태 에서 연직 방향 으로 정렬 시켜 다단 으로 지지 하 도록 , 즉 , 간격 을 두 고 배열 시키 도록 구성 되 어 있 다 . 보트 ( 217 ) 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 . 보트 ( 217 ) 의 하부 에 는 , 예 를 들 어 석영 이나 SiC 등 의 내열성 재료 에 의해 구성 되 는 단 열부 ( 218 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 구성 에 의해 , 히터 ( 207 ) 로부터 의 열 이 시 일 캡 ( 219 ) 측 에 전해 지 기 어렵 게 되 어 있 다 .