실시 형태 에 따른 온도 제어 방법 은 , 기판 ( 3 ) 이 적재 되 는 적 재면 ( 21 a ) 을 갖 는 기부 ( 21 ) 에 마련 된 환상 의 시일 밴드 ( 22 ) 에 , 기판 ( 3 ) 의 외주 측 을 따라 기판 ( 3 ) 을 지지 하 는 것 과 , 적 재면 ( 21 a ) 상 에 마련 된 환상 의 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 에 의해 , 적 재면 ( 21 a ) 에 적재 되 는 기판 ( 3 ) 의 직경 방향 에 있 어서 적 재면 ( 21 a ) 을 외측 영역 ( F 1 ) 과 내측 영역 ( F 2 ) 으로 나눔 과 함께 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 에 마련 된 제 1 돌기 ( 24 ) 에 의해 , 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 상단 면 ( 23 a ) 과 기판 ( 3 ) 사이 에 공극 ( G ) 을 두 고 기판 ( 3 ) 을 지지 하 는 것 을 갖 는다 . 그리고 , 온도 제어 방법 은 , 외측 영역 ( F 1 ) 및 내측 영역 ( F 2 ) 과 각각 연통 해서 기부 ( 21 ) 에 마련 된 외측 유로 ( 26 ) 및 내측 유로 ( 27 ) 을 개재 하 여 기판 ( 3 ) 과 적 재면 ( 21 a ) 사이 의 공간 에 공급 되 는 전열 가스 를 , 기부 ( 21 ) 에 마련 된 환상 의 확산 부 ( 28 ) 에 의해 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 둘레 방향 을 따라 확산 시키 는 것 을 갖 는다 .