이 와 같이 , 제 1 노즐 로부터 의 처리 액 의 토출 실행 및 토출 정지 는 , 제 1 공급 배관 을 개폐 밸브 로 개폐 함 으로써 전환 되 는 것 이 아니 라 , 제 1 공급 배관 에서 의 압력 손실 과 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 의 대소 관계 를 변경 함 으로써 전환 된다 . 제 1 공급 배관 은 , 개폐 밸브 로 닫히 는 것 이 아니 라 , 이상 ( 異常 ) 시 이외 에 는 항상 열려 있 다 . 따라서 , 제 1 공급 배관 을 개폐 밸브 로 개폐 하 는 경우 에 비해 , 제 1 노즐 에 공급 된 처리 액 에 포함 되 는 이물 의 양 이 적 다 . 이것 에 의해 , 처리 액 에 포함 되 는 이물 로 기판 이 오염 되 는 것 을 억제 또는 방지 할 수 있 어 , 기판 의 청 정도 를 높일 수 있 다 .