평가 서브시스템 ( 150 ) 은 S - D 프로시저 및 / 또는 N - S - D 프로시저 를 이용 하 여 하나 이상 의 웨이퍼 를 평가 , 측정 , 검사 , 정렬 , 검증 및 / 또는 보관 할 수 있 는 하나 이상 의 S - D 평가 요소 ( 152 ) 를 포함 할 수 있 다 . 내부 이송 디바이스 ( 153 ) , 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 및 / 또는 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 은 S - D 프로시저 및 / 또는 N - S - D 프로시저 를 이용 하 여 하나 이상 의 웨이퍼 를 이송 , 측정 , 검사 , 정렬 및 / 또는 보관 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 는 평가 서브시스템 ( 150 ) 이 S - D 프로시저 및 / 또는 N - S - D 프로시저 를 이용 하 여 하나 이상 의 웨이퍼 상 에 , 평가 프로시저 , 검사 프로시저 , 온도 제 어 프로시저 , 측정 프로시저 , 정렬 프로시저 , 검증 프로시저 및 / 또는 보관 프로 시저 를 수행 할 수 있 는 하나 이상 의 S - D 평가 요소 ( 152 ) 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 하나 이상 의 S - D 평가 요소 ( 152 ) 는 웨이퍼 상 의 특징 부 및 / 또는 구조물 을 측정 하 는 데 이용 될 수 있 는 광학 계측 프로 시저 를 수행 하 는 데 이용 될 수 있 고 , 하나 이상 의 S - D 평가 요소 ( 152 ) 는 웨이퍼 표면 의 측정 을 수행 하 는데 이 용 될 수 있 다 . 또한 , 하나 이상 의 S - D 평가 요소 ( 152 ) 는 웨이퍼 의 굴곡 을 결정 하 거나 웨이퍼 들 의 하나 이상 의 표면 을 측정 및 / 또는 검사 하 는 데 이용 될 수 있 다 . S - D 평가 요소 ( 152 ) 는 S - D 평가 프로시저 및 / 또는 N - S - D 평가 프로시저 를 수행 할 수 있 다 . 하나 이상 의 컨트롤러 ( 154 ) 는 웨이퍼 가 제대로 처리 되 고 있 는지 의 여부 또는 재 공정 프로시저 가 필요 한 지 의 여부 를 결정 하 기 위해 S - D 프로시저 및 / 또는 N - S - D 프로시저 를 수행 할 수 있 다 . 내부 이송 디바이스 ( 153 ) , 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 및 / 또는 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 이 결함 웨이퍼 를 재 공정 서브시스템 에 이송 할 수 있 다 .