본 발명 의 일 양태 는 방법 을 제공 하 며 , 이 방법 은 프로세스 관련 라인 에지 거칠 기 ( line edge roughness ; LER ) 의 파라미터 로부터 , 주어진 측정 불 확실 성 사양 ( specification ) 을 준수 하 는 데 필요 한 타 겟 요소 의 최소 치수 의 추정 을 유도 하 는 단계 와 , 추정 된 최소 치수 를 따르 는 타 겟 설계 파라미터 를 갖 도록 계측 타 겟 을 설계 하 는 단계 를 포함 하 며 , 상기 유도 하 는 단계 및 설계 하 는 단계 중 적어도 하나 는 , 적어도 하나 의 컴퓨터 프로세서 에 의해 수행 된다 .