다른 방법 실시 예 에서 , 제 1 레이아웃 데이터 가 수신 된다 . 제 1 레이아웃 데이터 는 제 1 기판 의 표면 상 에 형성 된 복수 의 이산 도전 성 구조물 을 나타낸다 . 복수 의 이산 도전 성 구조물 은 표면 상 의 제 1 영역 에 형성 된 제 1 이 산 도전 성 구조물 을 포함 한다 . 제 1 영역 의 패턴 밀도 값 이 결정 된다 . 제 1 이 산 도전 성 구조물 의 높이 값 이 결정 된다 . 제 1 영역 의 패턴 밀도 값 은 제 1 이 산 도전 성 구조물 의 높이 값 에 기반 하 여 조정 된다 . 제 1 그리드 영역 의 레이아웃 은 조정 된 패턴 밀도 값 에 기반 하 여 결정 된다 . 복수 의 이산 도전 성 구조물 은 제 1 그리드 영역 의 레이아웃 에 적어도 부분 적 으로 기반 하 여 표면 상 에 형성 된다 .