콘 택 플러그 들 ( BC ) 은 제 1 층간 절 연막 ( 122 ) 상 에 콘 택 홀 ( CH ) 을 채우 는 도전 막 을 증착 하 고 , 도전 막 을 평탄 화 함 으로써 형성 될 수 있 다 . 콘 택 플러그 ( BC ) 는 불순물 이 도핑 된 폴리 실리콘 막 , 금속 막 , 금속 질화 막 및 금속 실리사이드 막 중 적어도 어느 하나 또는 이 들 의 조합 으로 형성 될 수 있 다 .