또한 , 기판 ( 603 ) 위 에 단결정 실리콘 층 을 형성 하 는 방법 으로서 , 스마트 컷 ( 등록 상표 ) 으로 대표 되 는 UNIBOND ( 등록 상표 ) , ELTRAN ( Epitaxial Layer Transfer ) ( 등록 상표 ) , 유전체 분리 법 , PACE ( Plasma Assisted Chemical Etching ) 법 등 을 사용 할 수 있 다 .