필라 ( 520 ) 는 복수 개 의 층 으로 구성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 필라 ( 520 ) 의 최외각 층 은 게이트 절연 층 ( 521 ) 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 게이트 절연 층 ( 521 ) 은 실리콘 산화물 ( Silicon Oxide ) 을 포함 할 수 있 다 . 게이트 절연 층 ( 521 ) 은 필라 ( 520 ) 에 콘 포말 ( conformal ) 하 게 증착 될 수 있 다 .