BSE 형 전자 방출 소자 는 반도체 의 사이즈 를 반도체 중 의 전자 의 평균 자유 행정 보다 작 은 치수 영역 까지 축소 하 면 전자 가 산란 하 지 않 고 주행 하 는 원리 를 이용 하 여 오 믹 전극 상 에 금속 또는 반도체 로 이루어지 는 전자 공급 층 을 형성 하 고 , 전자 공급 층위 에 절연 층 과 금속 박막 을 형성 하 여 오 믹 전극 과 금속 박막 에 전원 을 인가 하 는 것 에 의하 여 전자 가 방출 되 도록 한 소자 이 다 .