먼저 , 소스 영역 및 드레 인 영역 이 되 는 에피 탁 셜 층 ( 26 ) 은 선택 적 에 피 탁 셜 성장 ( SEG ) 또는 고상 에피택시 ( SPE ) 로 성장 시킨 에피 탁 셜 층 이 다 . 그리고 , 에피 탁 셜 층 ( 26 ) 내 에 는 불순물 이 도핑 되 지 않 거나 , 또는 인 ( phosphorus ) , 비소 ( As ) 또는 보론 ( boron ) 중 에 선택 된 어느 하나 의 불순물 이 도핑 되 어 있 으므로 써 소스 영역 및 드레 인 영역 의 역할 을 한다 . 불순물 의 도핑 농도 는 1 E 17 ∼ 1 E 21 atoms / cm 3 이 다 . 그리고 , 에피 탁 셜 층 의 두께 는 400 ∼ 1200 Å 이 다 .