또한 , 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 는 제 2 트랜스퍼 ( 712 ) 로 기판 을 전달 하 도록 구성 된다 . 한편 , 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 및 제 2 트랜스퍼 ( 712 ) 사이 에 는 기판 을 회전 시키 는 제 1 회 전 스테이지 ( 731 ) 가 구비 될 수 있 다 . 이 경우 , 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 는 제 1 회 전 스테이지 ( 731 ) 를 통하 여 제 2 트랜스퍼 ( 712 ) 로 기판 을 전달 할 수 있 다 .