블록 S 2 는 이후 , 예 를 들 어 , UBM 구조 ( 110 a ) ( 또는 필러 시드 층 ) 상 에 제 1 금속 필러 ( 120 ) ( 또는 포스트 또는 다른 상호 연결 구조 ) 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 제 1 금속 필러 ( 120 ) 는 다양 한 특성 들 의 어느 것 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 금속 필러 ( 120 ) 는 원통 형상 , 타원 기둥 형상 , 사각 기둥 형상 등 일 수 있 다 . 제 1 금속 필러 ( 120 ) 는 예 를 들 어 , 도전 층 에 대해 여기 서 언급 된 물질 의 어느 것 을 포함 할 수 있 다 . 예 시 적 인 구 현예 에서 , 제 1 금속 필러 ( 120 ) 는 구리 ( 예 를 들 어 , 순수 구리 , 일부 불순물 을 갖 는 구리 등 ) , 구리 합금 등 을 포함 할 수 있 다 . 예 시 적 인 구 현예 에서 , 블록 S 2 ( 또는 예시 적 인 방법 100 의 다른 블록 ) 은 제 1 금속 필러 ( 120 ) 상 에 솔 더 캡 ( 또는 돔 ) 을 형성 하 는 것 을 또한 포함 할 수 있 다 . 블록 S 2 는 다양 한 방법 ( 예 를 들 어 , 전해 도금 , 무전 해 도금 , 화학 적 기상 증착 ( CVD ) , 금속 유기 화학 적 기상 증착 ( MOCVD ) , 스퍼터링 또는 물리 적 기상 증착 ( PVD ) , 원자 층 증착 ( ALD ) , 플라스마 증착 , 프린팅 , 스크린 프린팅 , 리소그래피 등 ) 의 어느 것 으로 제 1 금속 필러 ( 120 ) 를 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 으나 , 본 개시 의 범위 는 그 에 제한 되 지 않 는다 .