진공 피드 쓰루 ( 146 ) 는 열 제어 판 ( 134 ) 내부 에 ( 또는 다른 적합 한 위치 에 ) 제공 될 수 있 으며 , 상기 진공 피드 쓰루 는 처리 체적 ( 119 ) 내부 의 분위기 와 처리 체적 외부 의 분위기 ( 예컨대 , 중공 의 샤프트 ( 112 ) 내부 와 챔버 ( 100 ) 의 외부 ) 사이 에 격리 를 유지 하 면서 , 열 제 어 판 ( 134 ) 을 통하 는 전도체 ( 152 , 154 ) 들 과 도관 ( 148 ) 의 통과 를 용이 하 게 한다 .