구체 적 으로 , 본 실시 례 에서 는 도 1 에 나타내 는 수차 측정 장치 에서 20 W ( = 200 mJ / pulse× 100 Hz ) 의 출력 을 갖 는 XeCl 엑 시머 레이저 ( 1 a ) 를 100 Hz 로 발진 시키 면서 결상 광학계 ( 10 ) 의 파면 수차 의 시간 적 변화 를 측정 했 다 . 이 때 , 결상 광학계 ( 10 ) 에 입사 되 는 광속 의 에너지 밀도 는 현행 의 투영 형 결정 화 장치 와 같 다 . 측정 의 결과 , XeCl 엑 시머 레이저 ( 1 a ) 의 발진 을 개시 한 직후 의 결상 광학계 ( 10 ) 의 파면 수차 는 RMS ( root mean square : 자승 평균 평방근 ) 로 0 . 05 λ 로 양호 했 지만 , 발진 개시 로부터 수초 정도 경과 한 후 에 는 파 면 수차 는 0 . 1 λ 정도 까지 열화 되 고 , 그 후 에 도 파 면 수차 는 서서히 열화 된다는 것 을 알 수 있 다 .