본 명세서 에 있 어서 , 실릴 기 는 - Si ( Y 101 ) ( Y 102 ) ( Y 103 ) 의 화학식 으로 표시 될 수 있 고 , 상기 Y 101 , Y 102 및 Y 103 는 각각 수소 ; 치환 또는 비 치환 된 알킬기 ; 치환 또는 비 치환 된 아릴기 ; 또는 치환 또는 비 치환 된 헤테로 고리 기 일 수 있 으나 , 이 에 한정 되 지 않 는다 . 상기 실릴 기 의 예 로 트리 알 킬 실릴 기 , 트리 아릴 실릴 기 를 들 수 있 으며 , 구체 적 으로 트리 메틸 실릴 기 , 트리 에틸 실릴 기 , tert - 부틸 디 메틸 실릴 기 , 비닐 디 메틸 실릴 기 , 프로 필디 메틸 실릴 기 , 트리 페닐 실릴 기 , 디페닐 실릴 기 , 페닐 실릴 기 등 이 있 으나 이 에 한정 되 지 않 는다 .