본 발명 에 이용 하 는 중합체 를 얻 는데 사용 하 는 알킬 나프탈렌 은 α - 메틸나프탈렌 , β - 메틸나프탈렌 , 1 , 2 - 디 메틸나프탈렌 , 1 , 3 - 디 메틸나프탈렌 , 1 , 4 - 디 메틸나프탈렌 , 1 , 5 - 디 메틸나프탈렌 , 1 , 6 - 디 메틸나프탈렌 , 1 , 7 - 디 메틸나프탈렌 , 1 , 8 - 디 메틸나프탈렌 , 2 , 3 - 디 메틸나프탈렌 , 2 , 6 - 디 메틸나프탈렌 , 2 , 7 - 디 메틸나프탈렌 , 트리 메틸나프탈렌 , 테트라 메틸나프탈렌 , 아세나프텐 , 메틸 아세나프텐 , 시클 로 헥 실 나프탈렌 , 노 르보 닐 나프탈렌 , 트리시 클로 데카 닐 나프탈렌 , 아 다만 틸 나프탈렌 , 데카 닐 나프탈렌 및 비시 클로 옥 틸 나프탈렌 의 군 으로부터 선택 되 는 1 종 또는 2 종 이상 의 혼합물 이 다 . 원료 조달 의 우위 성 과 수지 제조 의 용이 함 , 광학 특성 등 을 종합 적 으로 고려 했 을 때 에 는 1 , 5 -, 2 , 6 -, 2 , 7 -, 1 , 8 - 디 메틸나프탈렌 내지 아세나프텐 이 바람직 하 고 , 1 , 5 - 디 메틸나프탈렌 이 특히 바람직 하 다 . 이 들 알킬 나프탈렌 은 193 ㎚ 에 대한 투명 성 이 높 고 , 또한 굴절 률 이 높 기 때문 에 ArF 엑 시머 레이 져 를 이용 한 노광 기술 에 적합 한 하층 막 재료 로서 뛰어난 성능 을 나타낸다 .