이러 한 문제 를 개선 하 기 위해 , 본 실시 예 에서 는 냉각 기능 을 갖 는 그리드 리 테 이너 ( 170 ) 를 이용 해 상기 그리드 전극 ( 160 ) 을 지지 함 으로써 , 그리드 전극 ( 160 ) 의 가열 에 의한 문제 를 해결 할 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 그리드 리 테 이너 ( 170 ) 는 링 형 으로 이루어져 상기 그리드 전극 ( 160 ) 의 하부 테두리 를 지지 하 며 , 열전도 율 이 우수 한 재질 로 이루어지 고 , 내부 에 는 냉각 유체 가 통과 하 는 이동 통로 가 마련 되 고 , 일 측 에 는 상기 이동 통로 로 냉각 유체 를 공급 및 회수 하 기 위한 포트 가 마련 될 수 있 다 . 즉 , 상기 포트 를 통해 이동 통로 로 냉각 유체 를 순환 시키 면 , 그리드 리 테 이너 ( 170 ) 에 지지 되 는 그리드 전극 ( 160 ) 을 효과 적 으로 냉각 시킬 수 있 다 .