또 , 도입 구 ( 20 ) 로부터 반응 가스 를 공급 하 여 , 샤워 플레이트 ( 220 ) 를 통하 여 반응 가스 를 서 셉 터 ( S ) 상 에 유하 시 킨다 . 이 때 , 반응 가스 는 정류판 인 샤워 플레이트 ( 220 ) 를 통과 하 여 정류 되 고 , 하방 의 서 셉 터 ( S ) 를 향하 여 거의 연직 으로 유하 되 어 , 이른바 종 플로우 를 형성 한다 .