이어서 제 2 전극 들 ( 18 ) 위 로 기판 ( 10 ) 전체 에 제 2 절연 층 ( 20 ) 을 형성 하 고 , 제 2 절연 층 ( 20 ) 위 에 제 3 전극 ( 22 ) 을 형성 한다 . 제 3 전극 ( 22 ) 은 유효 영역 전체 에 위치 할 수 있 으며 , 전압 인가 를 위한 패드 부 ( 221 ) 를 구비 한다 . 또한 제 3 전극 ( 22 ) 은 제 1 전극 ( 12 ) 의 유효 부들 ( 121 ) 과 제 2 전극 ( 18 ) 의 유효 부들 ( 181 ) 이 교차 하 는 영역 마다 적어도 하나 의 개구부 를 형성 한다 .