제 1 빔 분할기 ( 250 ) 에서 반사 된 가공 빔 ( LA ) 은 웨이퍼 등 과 같 은 가공 대상물 ( 271 ) 상 에 조사 되 어 레이저 어닐링 공정 을 수행 할 수 있 다 . 여기 서 , 가공 대상물 ( 271 ) 은 수평 으로 이동 가능 하 게 마련 되 는 스테이지 ( 272 ) 에 장착 될 수 있 다 . 한편 , 도면 에 는 도시 되 어 있 지 않 지만 제 1 빔 분할기 ( 250 ) 와 가공 대상물 ( 271 ) 사이 의 광 경로 상 에 는 이미 징 렌즈 등 과 같 은 광학계 가 더 마련 될 수 도 있 다 .