상기 셀 어레이 는 비트 라인 ( bit line ) ; 워드 라인 ( word line ) ; 소스 라인 ( source line ) ; 상기 기판 의 제 1 액티브 영역 에 형성 된 비트 라인 컨 택 ; 및 상기 기판 의 제 2 액티브 영역 에 형성 된 소스 라인 컨 택 ; 을 더 포함 하 고 , 상기 워드 라인 은 상기 컨트롤 게이트 폴리 - 실리콘 층 상 에 형성 된 적어도 하나 의 컨 택 플러그 와 연결 될 수 있 다 .