SXR 방사선 의 편리 한 소스 는 , 레이저 로부터 의 적외선 펌프 방사선 ( infrared pump radiation ) 이 가스 상 매체 ( gaseous medium ) 와 의 상호 작용 에 의해 더 짧 은 파장 방사선 으로 변환 되 는 고차 고조파 생성 ( higher harmonic generation ; HHG ) 소스 를 포함 한다 . HHG 소스 는 , 예 를 들 면 , 미국 콜로라도 볼더 ( Boulder ) 의 KMLabs ( http : / / www . kmlabs . com / ) 으로부터 이용 가능 하 다 . 리소그래피 용 검사 장치 에서 의 적용 을 위해 HHG 소스 의 다양 한 수정 예 가 또한 고려 되 고 있 다 . 이 들 수정 예 중 일부 는 , 예 를 들 면 , 본 출원 의 우선 일 에 공개 되 지 않 은 , 2016 년 11 월 11 일자 의 유럽 특허 출원 번호 16198346 . 5 에서 개시 되 어 있 다 . 다른 수정 예 는 미국 특허 출원 15 / 388 , 463 및 국제 특허 출원 PCT / EP 2016 / 080103 에서 개시 되 는데 , 이 들 둘 모두 는 , 또한 본 출원 의 우선 일 에 아직 공개 되 지 않 은 2015 년 12 월 23 일자 의 유럽 특허 출원 번호 15202301 . 6 으로부터 의 우선권 을 주장 한다 . 이 들 출원 둘 모두 의 내용 은 참조 에 의해 본원 에 통합 된다 . 다른 타입 의 소스 는 , 상기 에서 언급 되 는 , 특허 출원 PCT / EP 2016 / 068479 에서 설명 되 는 역 콤프턴 산란 ( Inverse Compton scattering ; ICS ) 소스 이 다 .