상부 하우징 ( 11 B ) 을 상승 시킨 시점 에서 웨이퍼 ( W ) 로 의 점착 테이프 ( DT ) 의 첩부 및 점착 테이프 ( DT ) 의 절단 은 완료 되 어 있 으므로 , 핀치 롤러 ( 115 ) 를 상승 시켜 점착 테이프 ( DT ) 의 닙을 해제 한다 . 그 후 , 닙 롤러 ( 115 ) 를 이동 시켜 테이프 회수 부 ( 74 ) 를 향해 절단 후 의 불 필요 한 점착 테이프 ( DT ) 를 권 취하 여 회수 해 감 과 함께 , 테이프 공급 부 ( 71 ) 로부터 소 정량 의 점착 테이프 ( DT ) 를 조출 한다 .