[ A ] 중합체 는 상기 화학식 2 로 표시 되 는 구조 단위 ( II ) 를 더 갖 는 것 이 바람직 하 다 . [ A ] 중합체 는 , 상기 구조 단위 ( I ) 뿐 만 아니 라 상기 구조 단위 ( II ) 를 더 가짐 으로써 , 가교제 또는 가교 성기 와 의 반응 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 해당 레지스 트 하층 막 형성 용 조성물 로부터 형성 되 는 레지스 트 하층 막 은 레지스 트 막 과 의 인터 믹 싱 을 일으키 기 어렵 다 .