노치 연마 유닛 ( 255 ) , 경사 연마 유닛 ( 256 ) , 세 척 유닛 ( 260 ) 및 건조 유닛 ( 265 ) ( 이하 , 처리 유닛 으로 지칭 됨 ) 은 선형 선상 에 배열 되 고 전달 기구 ( 270 ) 는 처리 유닛 의 배열 방향 을 따라 배열 된다 . 전달 기구 ( 270 ) 는 웨이퍼 ( W ) 를 보유 하 기 위해 한 쌍 의 핸드 ( 171 ) 를 각각 구비 한 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 을 갖 는다 . 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 은 인접 한 처리 유닛 들 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 전달 하 도록 작동 가능 하 다 . 특히 , 핸드 유닛 ( 270 A ) 은 노치 연마 유닛 ( 255 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 제거 하 고 경사 연마 유닛 ( 256 ) 에 웨이퍼 를 전달 하 며 , 핸드 유닛 ( 270 B ) 은 경시 연마 유닛 ( 256 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 제거 하 고 세 척 유닛 ( 260 ) 으로 웨이퍼 를 전달 하 며 , 핸드 유닛 ( 270 C ) 은 세 척 유닛 ( 260 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 제거 하 고 웨이퍼 를 건조 유닛 ( 265 ) 으로 전달 한다 . 핸드 유닛 ( 270 A , 270 B , 270 C ) 은 처리 유닛 의 배열 방향 을 따라 선형 을 이동 가능 하 다 .