척 테이블 ( 20 ) 의 상부 에 있 어서 의 케이스 ( 12 ) 의 전면 에 는 , 반송 수단 ( 30 ) 이 마련 된다 . 반송 수단 ( 30 ) 은 , 가 배치 수단 ( 18 ) 상 의 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 유지 하 여 , 척 테이블 ( 20 ) 에 반송 및 배치 한다 . 또한 , 반송 수단 ( 30 ) 은 , 척 테이블 ( 20 ) 과 스피너 세정 유닛 ( 24 ) 사이 에서 , 워크 셋 트 ( W 1 ) 를 반송 한다 .