연마 하 는 장치 로서 는 , 연마 되 는 기판 을 유지 하 는 홀더 와 , 회전수 가 변경 가능 한 모터 등 에 접속 하 여 , 연마포 를 첩부 할 수 있 는 연마 정반 을 가지 는 일반 적 인 연마 장치 를 사용 할 수 있 다 . 연마포 로서 는 , 일반 적 인 부직포 , 발포 폴리우레탄 , 다공질 불소 수지 등 을 사용 할 수 있 고 , 특별히 제한 이 없 다 . 연마 조건 은 , 특별히 제한 은 없 지만 , 연마 정반 의 회전 속도 는 기판 이 튀어나오 지 않 게 200 rpm 이하 의 저회 전 이 바람직 하 다 . 피연 마막 을 가지 는 기판 의 연마포 에 의 압부 압력 은 1 ~ 100 KPa 인 것 이 바람직 하 고 , 연마 속도 의 피연 마면 내 균일 성 및 패턴 의 평탄 성 을 만족 시키 기 위해서 는 , 5 ~ 50 KPa 인 것 이 보다 바람직 하 다 .