상기 한 방법 에 따른 디지털 광 프로세스 장치 는 , 화면 센서 , 상기 센서 에 대한 광 스위치 ( switch ) 작동 을 하 는 마이크 로 미러 ( micro mirror ) , 및 상기 미러 를 구동 하 는 미러 구동 부를 포함 하 되 , 상기 미러 구동 부 는 , 상기 미러 구동 을 위한 에스램 ( SRAM ) 소자 의 배선 으로서 의 하부 금속 층 , 상기 하부 금속 층 을 덮 는 하부 금속 층간 절연 층 , 상기 하부 금속 층간 절연 층 상 에 상기 하부 금속 층 을 가리 게 중첩 된 광 경로 차단 플레이트 , 상기 하부 금속 층간 절연 층 상 에 상기 광 경로 차단 플레이트 를 노출 하 게 형성 된 상부 금속 층간 절연 층 , 상기 상부 금속 층간 절연 층 상 에 배선 으로서 형성 된 상부 금속 층 , 및 상기 상부 금속 층 을 덮 는 표면 반사 방지 층 을 포함 할 수 있 다 .