도 9 는 , 기판 의 전위 와 도전 성 부재 의 전위 의 또 다른 일례 를 나타내 는 타이밍 차트 이 다 . 도 9 에 나타내 는 바 와 같이 , 일 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 C ) 의 전원 장치 ( 76 ) 는 , 기판 ( W ) 의 전위 가 0 이상 인 기간 내 에서 도전 성 부재 ( 74 ) 에 인가 하 는 양극 성 의 전압 보다 높 은 양극 성 의 전압 을 , 기판 ( W ) 의 전위 가 음인 기간 내 에서 도전 성 부재 ( 74 ) 에 인가 해도 된다 . 이 예 에서 는 , 기판 ( W ) 의 전위 가 음인 기간 내 에서 의 도전 성 부재 ( 74 ) 의 양 의 전위 VC 는 , 기판 ( W ) 의 전위 가 0 이상 인 기간 내 에서 의 도전 성 부재 ( 74 ) 의 양 의 전위 VD 보다 높 아 진다 .