버퍼 유닛 ( 421 ) 은 그 내부 에 기판 ( W ) 이 놓이 는 슬롯 ( 미 도시 ) 이 제공 될 수 있 다 . 슬롯 은 제 3 방향 ( 13 ) 을 따라 이격 되 는 형태 로 복수 개 제공 될 수 있 다 . 버퍼 유닛 ( 421 ) 에서 이송 프레임 ( 412 ) 과 마주 보 는 면 , 이송 챔버 ( 422 ) 와 마주 보 는 면 등 은 개방 될 수 있 다 .