상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 는 상기 제 2 소스 가스 ( S 2 ) 를 수용 하 여 플 라즈 마 ( P ) 를 발생 시키 고 , 상기 와 같이 발생 된 플 라즈 마 ( P ) 에서 라디칼 ( P 1 ) 을 상기 웨이퍼 ( W ) 로 제공 할 수 있 도록 , 상기 제 2 소스 라인 ( 125 ) 이 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 에 연결 된다 . 그리고 , 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 하부 는 상기 배 플 플레이트 ( 105 ) 를 통해 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 내부 와 연통 된다 .