상기 기판 지지 부 ( 120 ) 는 외부 의 기판 로딩 장치 ( 미 도시 ) 로부터 로딩 되 는 적어도 하나 의 기판 ( W ) 을 지지 한다 . 이때 , 기판 지지 부 ( 120 ) 는 원판 형태 를 가질 수 있 다 . 그리고 , 상기 기판 ( W ) 은 반도체 기판 또는 웨이퍼 가 될 수 있 다 . 이 경우 , 기판 처리 공정 의 생산 성 향상 을 위해 기판 지지 부 ( 120 ) 에 는 복수 의 기판 ( W ) 이 일정 한 간격 을 가지 도록 원 형태 로 배치 되 는 것 이 바람직 하 다 .