도 12 에 , 본 실시 예 에 있 어서 의 S 149 의 리크 전류 에 대한 화상 의 명도 의 보정 값 의 산출 법 에 대해서 나타낸다 . 제 1 조사 시간 에서 취득 한 명도 의 시간 변화 ( 111 ) , 제 2 조사 시간 에서 취득 한 명도 의 시간 변화 ( 112 ) , 제 3 조사 시간 에서 취득 한 명도 의 시간 변화 ( 113 ) 로부터 , 조사 시간 이 길 어 짐 에 따라 , 전자선 조사 의 대전 에 의해 명도 가 저하 하 는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , 제 3 조사 시간 에서 는 명도 의 저하 가 포화 되 어 있 다 . 제 3 조사 시간 의 명도 는 , 대전 에 의한 시료 의 내부 전계 에 의해 흐르 는 리크 전류 를 반영 하 고 있 다 . 제 1 내지 제 3 조사 시간 에서 취득 한 명도 의 시간 변화 ( 114 ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 본 실시 예 에서 는 , 본 리크 전류 에 의한 명도 의 변화 를 선형 ( 線形 ) 으로 보정 했 다 . 보정 명도 SC 를 수식 6 에 나타낸다 .