도 9 는 본 발명 의 다른 실시 형태 에 따른 더미 필 ( 801 ) 의 존재 하 의 오버레이 타 겟 ( 900 ) 의 상면 도 이 다 . 타 겟 ( 900 ) 은 동일 한 대칭 필요 조건 뿐 만 아니 라 직교 패턴 요소 및 더미 필 정렬 을 갖 는다는 점 에서 타 겟 ( 800 ) 과 유사 하 다 . 그러나 , 타 겟 ( 900 ) 은 계측 처리 의 구현 에 적합 한 정사각형 치수 의 타 겟 을 나타내 고 있 다 .