본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 조명계 ( IL 1 ) 의 광축 ( BX 1 ) 은 , 제 1 투영 계 ( PL 1 ) 의 광축 ( AX 1 ) 과 거의 직교 하 고 있 고 , 도 4 에 있 어서 는 Y 축 방향 과 평행 이 다 . 마찬가지 로 제 2 조명계 ( IL 2 ) 의 광축 ( BX 2 ) 은 , 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 광축 ( AX 2 ) 과 거의 직교 하 고 있 고 , 도 4 에 있 어서 는 Y 축 방향 과 평행 이 다 . 그리고 제 1 마스크 스테이지 ( 6 A ) 는 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 의 표면 과 Y 축 이 직교 하 도록 제 1 마스크 ( M 1 ) 를 유지 하 고 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 B ) 는 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 의 표면 과 Y 축 이 직교 하 도록 제 2 마스크 ( M 2 ) 를 유지 한다 .