척 프레임 ( 309 ) 의 정전 척 ( 308 ) 에 유리 기판 ( G ) 을 보유 지지 한 상태 로 , 마스크 ( M ) 를 유리 기판 ( G ) 에 대하 여 얼라인먼트 를 행하 면서 접근 시켜 , 마스크 ( M ) 가 유리 기판 ( G ) 에 접촉 한 상태 로 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 을 마스크 ( M ) 측 으로 이동 시킨다 . 이 에 의해 , 마스크 ( M ) 가 유리 기판 ( G ) 및 정전 척 ( 308 ) 을 사이 에 두 고 자기 흡착 척 ( 307 ) 에 자기 적 으로 흡착 된다 . 이 에 의해 , 유리 기판 ( G ) 과 마스크 ( M ) 가 서로 위치 맞춤 된 상태 로 , 척 프레임 ( 309 ) 에 척 킹 되 고 , 결과 로서 반송 캐리어 ( 302 ) 에 보유 지지 되게 된다 .