또한 금속 산화 물막 을 형성 할 때 , 산소 가스 와 불활성 가스 ( 예 를 들 어 헬륨 가스 , 아르곤 가스 , 또는 제논 가스 등 ) 를 혼합 시켜 도 좋 다 . 또한 금속 산화 물막 을 형성 할 때 의 성막 가스 전체 에서 차지 하 는 산소 가스 의 비율 ( 이후 산소 유량 비 라고 도 함 ) 이 높 을수록 금속 산화 물막 의 결정 성 을 높일 수 있 어 신뢰 성 이 높 은 트랜지스터 를 실현 할 수 있 다 . 한편 , 산소 유량 비 가 낮 을수록 금속 산화 물막 의 결정 성 이 낮 아 져 온 전류 가 높 아 진 트랜지스터 로 할 수 있 다 .