여기 에 도시 되 지 않 은 대안 의 실시 예 에서 는 , 별도 의 컴포넌트 들 을 사용 하 면 ( 서로 조합 되 어 제공 되 는 것 이 바람직 하 지만 ) , 한 편 의 과잉 의 프로세스 가스 의 흡입 과 , 다른 한편 의 기판 ( 4 ) 뿐 만 아니 라 전극 및 / 또는 운반기 ( 3 ) 에 대한 정지 표면 의 제공 에 관하 여 , 흡입 장치 ( 8 ) 의 기능 들 이 또한 분리 되 도록 할 수 있 다 .