한편 , 도 3 k 내지 도 3 v 는 너비 방향 으로 피라미드 모양 의 탐침 끝 을 형성 하 기 위한 공정 단면 을 나타낸 것 이 다 . 이때 , 이등방성 식각 이 이미 되 어 있 는 상태 에서 다른 방향 으로 또 한번 이 를 적용 하 여 피라미드 모양 을 만드 는 것 에 는 어려움 이 따르 기 때문 에 다음 과 같 은 HSQ 전사 의 방법 으로 피라미드 형태 의 탐침 끝 모양 을 형성 하 게 된다 .