처리 된 기판 을 갖 는 랙 은 , 기판 이송 장치 ( 51 ) 의 엘리베이터 를 이용 해 제 1 반응기 ( 6 ) 로부터 하강 될 수 있 다 . 증착 된 층 을 갖 는 기판 은 , 기판 이송 장치 ( 51 ) 의 기판 핸들러 를 이용 해 랙 으로부터 제 2 반응기 ( 7 ) 의 기판 홀더 ( 50 ) 로 이송 될 수 있 다 . 제 2 반응기 ( 7 ) 내 기판 홀더 ( 50 ) 상 의 기판 의 증착 된 층 은 , 100 내지 500 nm 의 범위 내인 자외선 을 조사 받 을 수 있 다 .