아울러 , 기판 ( 10 ) 의 연마 공정 은 , 스테이지 ( 100 ) 는 위치 가 고정 되 고 , 연마 벨트 ( 130 ) 가 스테이지 ( 100 ) 에 대해 수평 이동 하 는 것 에 의해 행해질 수 있 다 . 경우 에 따라서 는 연마 벨트 의 위치 가 고정 되 고 , 스테이지 가 연마 벨트 에 대해 수평 이동 하 는 것 에 의해 기판 의 연마 공정 이 행해 지 도록 구성 하 는 것 도 가능 하 다 .