이 와 같 은 방법 을 사용 하 면 , 콘 택 홀 낫 오픈 가능 성 은 어느 정도 줄일 수 는 있 으나 , 콘 택 과 접합 영역 간 접촉 면적 이 작 아 콘 택 저항 ( contact resistivity , Rc ) 이 크 며 , 이 에 따라 소자 의 성능 을 확보 하 기 가 어려운 단점 이 있 다 . 또한 , 공정 변이 ( variation ) 에 따른 콘 택 낫 오픈 ( not open ) 가능 성 이 여전히 크 다 .