제 1 기준 은 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 또는 제 2 전극 ( 232 ) 과 기판 지지 부 ( 240 ) 중 적어도 하나 의 온도 가 모두 50 ℃ 이하 의 상온 인 경우 를 의미 한다 . 이 와 같이 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 또는 제 2 전극 ( 232 ) 과 기판 지지 부 ( 240 ) 중 적어도 하나 의 온도 가 모두 50 ℃ 이하 의 상온 인 경우 에 는 공정 이 시작 되 기 전 의 초기 상태 인 것 으로 판단 할 수 있 고 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 에 RF 전원 을 공급 하 더라도 RF 전원 에 의한 데미지 발생 의 염려 가 없 다 . 따라서 상기 비 교부 ( 270 ) 는 제 1 기준 에 해당 되 는 경우 인터 락 신호 ( Si ) 를 생성 하 지 않 는다 .