도 3 a 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 블록 체 ( 10 A ) 는 O 링 등 의 씰 부재 를 통해 대 기 측 게이트 밸브 ( AG 1 ) 에 접촉 하 는 씰 면 ( 11 a ) 을 가진다 . 상측 내부 공간 ( 11 U ) 에서 의 X 방향 의 양측 에서 , 제 1 블록 체 ( 10 A ) 의 내측 하 면 ( IL ) 에 는 배기 부 ( 11 b , 11 c ) 가 설치 된다 . 여기 서 , 배기 부 ( 11 b , 11 c ) 는 , 제 1 블록 체 ( 10 A ) 에 형성 된 구멍 ( 배기구 ) 이 다 .