안테나 ( 18 ) 로부터 유전체 창 ( 20 ) 을 통하 여 처리 공간 ( S ) 에 방사 되 는 마이크로파 는 , 챔버 ( 12 ) 내 의 처리 가스 를 여기 시 킨다 . 이 로써 , 처리 공간 ( S ) 내 에서 처리 가스 로부터 플 라즈 마가 생성 된다 . 피 가 공물 ( WP ) 은 , 생성 된 플 라즈 마 로부터 의 이온 및 / 또는 라디칼 과 같 은 화학종 에 의하 여 처리 된다 .