상기 프로브 모듈 은 하나 이상 의 프로브 베이스 및 복수 의 프로브 를 포함 하 고 , 각 상기 프로브 는 켄 틸 레버 부분 및 점 접촉 부분 을 포함 하 고 , 상기 켄 틸 레버 부분 은 상기 프로브 베이스 에 고정 결합 되 는 고정부 및 상기 고정부 에 연결 되 며 상기 프로브 베이스 의 내 측면 으로부터 연장 되 는 외부 노 출부 를 구비 하 고 , 상기 점 접촉 부분 은 상기 외부 노 출부 에 연결 된다 . 상기 하나 이상 의 프로브 베이스 는 제 1 프로브 베이스 를 포함 하 고 , 상기 복수 의 프로브 는 상기 제 1 프로브 베이스 에 설치 되 며 상이 한 높이 에 위치 하 는 제 1 경계 프로브 및 제 2 경계 프로브 를 포함 하 고 , 상기 프로브 모듈 이 상기 복수 의 피 측정 유닛 을 검출 시 , 각 상기 피 측정 유닛 의 제 1 메인 에지 는 제 2 메인 에지 보다 상기 제 1 프로브 베이스 에 더 가까우며 , 상기 제 1 경계 프로브 및 상기 제 2 경계 프로브 는 켄 틸 레버 부분 이 상기 제 1 피 측정 유닛 및 상기 제 2 피 측정 유닛 의 제 1 메인 에지 의 상부 를 각각 지나 상기 제 1 경계 접점 및 상기 제 2 경계 접점 상부 로 각각 연장 되 어 , 점 접촉 부분 으로 상기 제 1 경계 접점 및 상기 제 2 경계 접점 과 각각 점 접촉 한다 .