일 실시 형태 에서 는 , 동축 관 ( 21 d ) 의 내 도체 는 , 원통 상 으로 형성 되 어 있 다 . 상술 한 도관 ( 36 ) 은 , 동축 관 ( 21 d ) 의 내 도체 의 내 구멍 을 통과 하 고 있 다 . 또 , 상술 한 바 와 같이 , 슬롯 판 ( 30 ) 의 중앙부 에 는 , 도관 ( 36 ) 이 통과 가능 한 관통 구멍 ( 30 d ) 이 형성 된다 . 도관 ( 36 ) 은 , 동축 관 ( 21 d ) 의 내 도체 의 내 구멍 을 통과 하 여 연재 되 어 있 으며 , 가스 공급계 ( 38 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 동축 관 ( 21 d ) 의 내 도체 는 , 그 중 을 통과 하 여 도관 ( 36 ) 이 연재 되 기 때문 에 , 중공 ( 中空 ) 구조 를 가질 필요 가 있 다 . 한편 , 동축 도파 로 ( 21 ) 의 동축 관 중 동축 관 ( 21 d ) 이외 의 동축 관 ( 21 a , 21 b , 21 c ) 각각 의 내 도체 는 , 중공 구조 를 갖 지 않 아도 된다 .