유체 로 ( 56 ) 에 는 , 탄성 백 ( 46 ) 의 내부 ( 보다 구체 적 으로 는 , 압력 실 P 6 ) 에 진공 을 형성 하 기 위한 진공 라인 ( 210 ) 이 접속 되 어 있 다 . 진공 라인 ( 210 ) 에 는 , 진공 장치 ( 211 ) 및 진공 밸브 ( 개폐 밸브 ) ( 212 ) 가 설치 되 어 있 다 . 진공 밸브 ( 212 ) 는 , 제 어 장치 ( 5 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .