본 발명 에 의하 면 고순 도 정전 척 은 알루미나 함량 이 99 . 9 질량 % 이상 인 유전 층 ; 유전 층 에 일면 이 접합 되 고 저 융점 의 소결 보조제 를 0 . 5 질량 % 이상 함유 하 며 유전 층 보다 알루미나 함량 이 낮 은 절연 층 ; 및 유전 층 과 절연 층 사이 , 절연 층 내부 중 적어도 어느 하나 에 형성 된 전극 ; 을 포함 할 수 있 다 . 유전 층 과 절연 층 간 에 는 이질 적 인 접합 층 이 없 다 .