기판 마크 의 추가 분류 는 기판 의 중심 에 대한 위치 를 통해 이루어진다 . 기판 의 중심 에 가장 가까운 정렬 마크 를 내부 정렬 마크 라고 한다 . 중심 에서 가장 먼 정렬 마크 를 외부 정렬 마크 라고 한다 . 상세 한 설명 에서 본 발명 에 따른 공정 를 가능 한 한 간단 하 게 유지 하 기 위해 , 후속 텍스트 에서 기판 표면 측면 당 2 개 의 정렬 마크 만 언급 될 것 이 다 . 기판 표면 측면 당 동일 한 정렬 마크 의 반복 된 측정 에 대한 본 발명 에 따른 실시 예의 2 개 이상 의 정렬 마크 또는 연장 에 대한 본 발명 에 따른 실시 예의 연장 은 유사 한 고려 에 기초 하 여 이루어진다 . 기판 표면 측면 당 동일 한 정렬 마크 의 반복 측정 으로 본 발명 에 따른 실시 예의 2 개 이상 의 정렬 마크 또는 연장 에 대한 본 발명 에 따른 실시 예의 연장 은 또한 , 도시 된 흐름 도 에서 루프 에 의해 그래픽 으로 개시 된다 .