그립 유닛 ( 200 ) 은 기판 ( 10 ) 을 그립 하 도록 마련 된다 . 여기 서 , 그립 유닛 ( 200 ) 이 기판 ( 10 ) 을 그립 한다 함 은 , 그립 유닛 ( 200 ) 이 기판 ( 10 ) 을 이송 또는 움직임 가능 한 상태 로 파지 하 는 것 으로 이해 되 며 , 그립 유닛 ( 200 ) 의 그립 방식 에 의해 본 발명 이 제한 되 거나 한정 되 는 것 은 아니 다 . 일 예 로 , 그립 유닛 ( 200 ) 은 부착 , 흡착 또는 가압 방식 으로 기판 ( 10 ) 을 그립 하 도록 구성 될 수 있 다 .