상기 이형제 처리 공정 은 , 상기 요철 패턴 ( P ) 의 표면 상 에 UV 처리 를 실시 하 여 본딩 ( bonding ) 을 제거 한 후 , 상기 UV 처리 가 이루어진 요철 패턴 ( P ) 표면 에 이 형제 를 도포 하 는 과정 을 통해 이루어지 며 , 상기 이 형제 로 는 트리 클로로 실란 ( Trichlorosilane : Heptadecafluoro - 1 , 1 , 2 , 2 - tetra - hydrodecyl ) 을 포함 하 는 실란 계열 화합물 또는 실리콘 오일 등 을 사용 할 수 있 다 .