회전 테이블 ( 2 ) 의 표면 부 에 는 , 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 회전 방향 ( 주위 방향 ) 을 따라 복수 ( 도시 의 예 에서 는 5 매 ) 의 기판 인 반도체 웨이퍼 ( 이하 「 웨이퍼 」 라고 함 ) ( W ) 를 적재 하 기 위한 원 형상 의 오 목부 ( 24 ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 도 3 에 는 편의 상 1 개 의 오 목부 ( 24 ) 에 만 웨이퍼 ( W ) 를 도시 한다 . 이 오 목부 ( 24 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 직경 보다 도 약간 , 예 를 들 어 4 ㎜ 큰 내경 과 , 웨이퍼 ( W ) 의 두께 에 대략 동등 한 깊이 를 갖 고 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 가 오 목부 ( 24 ) 에 수용 되 면 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 과 회전 테이블 ( 2 ) 의 표면 [ 웨이퍼 ( W ) 가 적재 되 지 않 은 영역 ] 이 동일 한 높이 가 된다 . 오 목부 ( 24 ) 의 저면 에 는 웨이퍼 ( W ) 의 이면 을 지지 하 고 웨이퍼 ( W ) 를 승강 시키 기 위한 , 예 를 들 어 3 개 의 승강 핀 이 관통 하 는 관통 구멍 ( 모두 도시 하 지 않 음 ) 이 형성 되 어 있 다 .