상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 기판 이송 및 세정 장치 는 로딩 된 기판 을 수력 에 의해 부상 시키 기 위한 ① 수압 부력 유닛 과 상기 수압 부력 유닛 상 에서 부상 된 ⑧ 기판 을 부상 된 상태 로 다음 공정 위치 로 이동 되 게 물 을 분사 하 는 ③ 기판 이송용 분사 유닛 과 상기 ① 물 수압 부력 유닛 과 ③ 상기 기판 이송용 분사 유닛 각각 으로 소정 물 을 공급 하 기 위한 ⑦ 물탱크 ( 집수 ) 공급 부 를 포함 하 여 , 상기 ⑧ 기판 이 물 부력 에 의해 부상 된 상태 로 이송 되 면서 세정 되 는 특징 으로 한다 .