반도체 소자 는 박막 증착 과 식각 공정 을 실시 하 여 제작 된다 . 즉 , 증착 공정 을 실시 하 여 기판 의 소정 영역 에 박막 을 형성 하 고 , 식각 마스크 를 이용 한 식각 공정 을 실시 하 여 불 필요 한 박막 의 일부 를 제거 하 여 기판 상 에 원하 는 소정 의 회로 패턴 ( pattern ) 또는 회로 소자 를 형성 함 으로써 제작 된다 . 이러 한 증착 공정 및 식각 공정 은 원 하 는 회로 패턴 을 얻 을 때 까지 수차례 반복 되 는 것 이 일반 적 이 다 .