기판 처리 장치 가 제공 된다 . 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 는 , 기판 이 고정 되 며 회전 가능 한 스핀 헤드 와 , 스핀 헤드 의 주위 을 둘러쌓아 구비 되 며 적층 식 으로 배치 되 는 복수 의 단 으로 이루어진 보울 과 , 보울 의 복수 의 단 사이 에 구비 되 며 공정 시 사용 된 약액 이 배출 되 는 약액 배출구 를 포함 한다 .