도 5 c 를 참조 하 면 , 제 2 컨 택 홀 ( H 2 ) 의 내부 및 하드 마스크 패턴 ( 510 ) 의 상면 에 제 2 도전 성 배리 어막 ( 142 a ) 을 형성 하 고 , 제 2 도전 성 배리 어막 ( 142 a ) 위 에 제 2 금속 막 ( 140 a ) 을 형성 한다 . 제 2 금속 막 ( 140 a ) 은 제 2 도전 성 배리 어막 ( 142 a ) 위 에서 제 2 컨 택 홀 ( H 2 ) 을 채울 수 있 다 .