퍼지 가스 또는 캐리어 가스 가 식각 가스 혼합물 에 첨가 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 아르곤 , 헬륨 , 수소 , 질소 , 또는 이 의 혼합물 과 같 은 임의 의 적합 한 퍼지 / 캐리어 가스 가 이용 될 수 있 다 . 통상 적 으로 , 전체 식각 가스 혼합물 은 암모니아 및 삼 불화 질소 의 부피 에 의해 약 0 . 05 % 내지 약 20 % 이 며 , 나머지 는 캐리어 가스 이 다 . 캐리어 가스 는 약 200 sccm 내지 약 5 , 000 sccm , 바람직 하 게 는 약 500 sccm 내지 약 4 , 000 sccm , 보다 바람직 하 게 는 약 1 , 000 sccm 내지 약 3 , 000 sccm 의 범위 내 에서 프로세싱 챔버 로 의 유속 을 가질 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 퍼지 또는 캐리어 가스 가 , 챔버 바디 ( 112 ) 내 의 압력 을 안정 화 시키 기 위해서 반응 가스 들 전 에 챔버 바디 ( 112 ) 내측 으로 우선 도입 된다 . 챔버 바디 ( 112 ) 내부 의 동작 압력 은 가변 일 수 있 다 . 일반 적 으로 , 챔버 바디 ( 112 ) 의 내부 압력 은 약 500 mTorr 내지 약 30 Torr , 바람직 하 게 는 약 1 Torr 내지 약 10 Torr , 보다 바람직 하 게 는 약 3 Torr 내지 약 6 Torr 의 범위 내 의 압력 에 있 을 수 있 다 .