대물렌즈 ( 231 ) 는 웨이퍼 ( 222 , 223 ) 의 결함 유 , 무 를 정밀 검사 하 도록 배율 을 조절 할 수 있 다 . 초점 조정 축 ( 미 도시 ) 은 웨이퍼 ( 222 , 223 ) 의 결함 을 검사 하 기 위해 현미경 ( 230 ) 의 자체 높이 를 조절 하 여 초점 을 조정 하 는 역할 을 하 지만 , 본 발명 에서 는 6 축 로봇 ( 270 ) 에 의해 대물렌즈 에 초점 을 맞추 도록 조정 할 수 있 다 . 즉 , 본 발명 에서 는 6 축 로봇 ( 270 ) 이 초점 조정 의 기능 을 수행 할 수 도 있 다 . 접안렌즈 ( 235 ) 는 오퍼레이터 ( 240 ) 가 웨이퍼 ( 222 , 223 ) 를 관찰 하 기 위한 도구 이 다 .