상기 한 기판 ( 1 ) 의 표면 에 감광성 수지 조성물 층 ( 2 ) 을 형성 시킨다 . 감광성 수지 조성물 층 ( 2 ) 은 임의 의 것 을 사용 할 수 있 다 . 이러 한 감광성 수지 조성물 층 ( 2 ) 은 일반 적 으로 중합체 와 감광제 와 용제 를 함유 하 여 이루어진 감광성 수지 조성물 을 기판 ( 1 ) 위 에 도포 함 으로써 형성 시킨다 . 감광성 수지 조성물 에 함유 되 는 성분 은 목적 하 는 소자 나 패턴 의 종류 등 에 따라 임의 로 선택 된다 . 사용 할 수 있 는 중합체 로서 는 실라 잔 구조 를 갖 는 중합체 , 아크릴 중합체 , 실란 올 실리콘 , 폴리 이미드 등 을 들 수 있 다 . 사용 되 는 감광제 는 조합 되 는 중합체 의 종류 나 , 노출 에 사용 되 는 광원 등 에 따라 적당 하 게 선택 된다 . 구체 적 으로 는 나프 토 퀴논 디 아지드 함유 화합물 , 트리 페닐 설 포 늄 화합물 , 디페닐 요오 도 늄 화합물 , 트리아진 화합물 등 을 들 수 있 다 . 또한 , 용제 로서 는 상기 한 중합체 및 감광제 를 균일 하 게 용해 또는 분산 할 수 있 는 것 으로부터 선택 된다 . 구체 적 으로 는 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 , 아세트산 부틸 , 크실렌 , 톨루엔 , 노난 , 노닐 알콜 등 을 들 수 있 다 .