도 7 a 를 참조 하 면 , 로봇 ( 미 도시 ) 에 의해 로딩 된 기판 ( 131 ) 을 일정 각도 , 예 를 들 어 90 또는 180 도 회전 시키 는 회전 테이블 ( 121 ) 과 회전 후 의 기판 ( 131 ) 을 정 위치 로 정렬 하 기 위한 기판 얼라 인 수단 ( 미 도시 ) 즉 , 얼라 인 바 ( 107 ) 를 구비 한 기판 얼라 인 장치 를 준비 한다 . 이때 , 상기 기판 얼라 인 장치 ( 미 도시 ) 는 회전 테이블 ( 121 ) 의 회전 시 에 간섭 되 지 않 도록 상기 회전 테이블 ( 21 ) 하면 에 구비 되 어 있 다 .