예 를 들 어 , 필링 된 탄성 중합체 재료 는 플 라즈 마 마모 될 수 도 있 으며 플 라즈 마 프로세싱 동안 전도성 필러 입자 를 방출 할 가능 성 을 갖 는다 . 플 라즈 마 프로세싱 동안 , 이온 또는 라디칼 ( radical ) 이 통로 또는 갭 으로 이동 하 여 그 통로 또는 갭 주위 의 결합 계면 ( joint interface ) 에서 필링 된 탄성 중합체 재료 의 마모 를 야기 할 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 플라 즈 마 마모 된 탄성 중합체 재료 로부터 생기 는 알루미늄 합금 필러 입자 가 웨이퍼 상 에 증착 되 어 에칭 프로세스 동안 결함 을 야기 할 수 있 다 . 전도성 필터 입자 의 방출 을 저감 시키 는 일 실시 형태 에서 , 시트 점착제 의 영역 은 상이 한 필러 입자 밀도 로 개별 적 으로 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 통로 또는 갭 을 통하 여 이동한 이온 또는 라디칼 에 노출 된 결합 계면 에서 의 시트 점착제 의 영역 은 언필 링 ( unfill ) 될 수 있 는 한편 ( 필러 입자 가 없 다 ) , 이온 또는 라디칼 에 노출 되 지 않 은 시트 점착제 의 다른 영역 은 필러 입자 를 포함 할 수 있 다 . 선택 적 으로 , 상이 한 물리 적 특성 을 갖 도록 개별 적 으로 형성 된 시트 점착제 의 영역 은 공면 ( coplanar ) 일 수 있 다 .