성막 장치 ( 10 ) 는 , 복수 의 마그넷 ( 26 ) 을 각각 주사 ( 走査 ) 하 기 위한 복수 의 주사 기구 ( 28 ) 를 구비 하 고 있 다 . 복수 의 주사 기구 ( 28 ) 각각 은 , 복수 의 마그넷 ( 26 ) 중 대응 하 는 마그넷 ( 26 ) 을 , 중심 축선 ( AX 1 ) 을 중심 으로 하 는 원 의 접선 방향 에 있 어서 주사 할 수 있 다 . 주사 기구 ( 28 ) 는 , 안 내부 ( 28 a ) 와 구동 장치 ( 28 b ) 를 갖 고 있 다 . 안 내부 ( 28 a ) 는 , 상기 접선 방향 으로 연장 되 는 레일 과 같 은 안 내체 이 다 . 구동 장치 ( 28 b ) 는 , 안 내부 ( 28 a ) 를 따라 마그넷 ( 26 ) 을 이동 시키 기 위한 동력 을 발생 한다 .