이어서 , 제 3 구리 배선 ( 26 ) 을 포함 한 제 4 층간 절 연막 ( 25 ) 상 에 식각 정지 막 ( 27 ) 및 층간 절 연막 ( 28 ; 이하 , 제 5 층간 절 연막 이 라 함 ) 을 증착 한다 . 이어서 , 듀얼 다 마신 기법 을 적용 하 여 제 3 구리 배선 ( 26 ) 을 노출 시키 는 듀얼 다 마신 형태 의 패턴 홀 ( 미 도시 ) 을 제 5 층간 절 연막 ( 28 ) 내 에 형성 한다 .