본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 웨이퍼 를 지지 하 는 웨이퍼 척 , 상기 웨이퍼 척 하부 에 배치 되 는 몸 체부 를 포함 하 는 척 구조 체 , 상기 웨이퍼 척 상부 에 결합 되 고 상기 웨이퍼 를 검사 하 는 프로브 카드 구조 체 및 상기 몸 체부 및 상기 프로브 카드 구 조체 에 각각 구비 되 어 상기 몸 체부 와 상기 프로브 카드 구조 체 사이 의 상대 회전 에 의하 여 상호 체결 되 는 락킹 부 를 포함 하 는 프로 버 용 카트리지 를 제공 한다 .