언로 드락 챔버 ( 34 ) 는 공정 모듈 ( 20 ) 에서 인덱스 모듈 ( 10 ) 로 반송 되 는 기판 ( W ) 이 임시 로 머무른다 . 언로 드락 챔버 ( 34 ) 는 대기 상태 에서 진공 분위기 를 유지 하 며 , 인덱스 모듈 ( 10 ) 에 대해 차단 되 는 반면 , 공정 모듈 ( 20 ) 에 대해 개방 된 상태 를 유지 한다 . 언로 드락 챔버 ( 34 ) 에 기판 ( W ) 이 반입 되 면 , 내부 공간 을 인덱스 모듈 ( 10 ) 과 공정 모듈 ( 20 ) 각각 에 대해 밀폐 한다 . 이후 언로 드락 챔버 ( 34 ) 의 내부 공간 을 진공 분위기 에서 상압 분위기 로 치환 하 고 , 공정 모듈 ( 20 ) 에 대해 차단 된 상태 에서 인덱스 모듈 ( 10 ) 에 대해 개방 된다 .