또한 , 정전 척 ( 1 ) 에는 , 리프트 핀 ( 도시 생략 ) 이 삽입 되 는 리프트 핀 구멍 ( 19 ) 등 이 , 정전 척 ( 1 ) 을 두께 방향 으로 관통 하 도록 복수 지점 에 형성 되 어 있 다 . 이 리프트 핀 구멍 ( 19 ) 은 , 반도체 웨이퍼 ( 3 ) 를 냉각 시키 기 위해서 제 1 주면 ( A ) 측 에 공급 되 는 냉각 용 가스 의 유로 ( 즉 냉각 용 가스 구멍 ) 로서 도 사용 된다 .