예 를 들 어 , ZrO 2 / Al 2 O 3 / Ta 2 O 5 ( ZAT ) 유전 막 ( 101 ) 에서 각 유전 막 의 두께 조합 은 , 65 Å / 5 Å / 51 Å , 65 Å / 4 Å / 51 Å , 65 Å / 4 Å / 49 Å , 65 Å / 3 Å / 49 Å , 65 Å / 3 Å / 46 Å 과 같이 비대칭 적 인 두께 조합비 를 가지 며 , 탄 탈륨 산화 막 ( 31 ) 보다 지르코늄 산화 막 ( 33 ) 을 더 두껍 게 증착 한다 .