파일 로 트 전원 부 ( 204 ) 는 입력 되 는 교류 전압 을 정류 하 여 얻 은 직류 를 파일 로트 전류 로 제공 한다 . 파일 로 트 전원 부 ( 204 ) 의 플러스 전극 은 플 라즈 마 가스 노즐 ( 154 ) 에 연결 된다 . 파일 로 트 전원 부 ( 204 ) 는 파일 로 트 전류 제어 신호 ( PL 1 , PL 2 ) 에 응답 하 여 대응 하 는 파일 로 트 전류 를 출력 한다 . 또한 파일 로 트 전원 부 ( 204 ) 는 파일 로 트 전류 발생 여부 를 검출 한 검출 신호 ( PLON ) 와 파일 로 트 출력 부 의 쇼트 상태 를 검 출한 검출 신호 ( PLSH ) 를 제 어부 ( 500 ) 에 제공 한다 .