또한 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 상기 진공 펌프 부 ( 150 ) 는 제 1 배기 홀 ( 111 a ) 및 제 1 토출 라인 ( 161 ) 과 연결 된 제 1 진공 펌프 ( 151 ) 및 제 2 배기 홀 ( 111 b ) 및 제 2 토출 라인 ( 162 ) 과 연결 된 제 2 진공 펌프 ( 152 ) 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 이 로 인해 , 반응 챔버 ( 110 ) 내부 뿐 만 아니 라 외부 에서 도 소스 가스 와 반응 가스 의 배기 구조 를 완전히 별개 로 구성 할 수 있 고 , 마지막 까지 소스 가스 와 반응 가스 의 혼합 을 방지 할 수 있 다 .