제품 구조 체의 각각 의 층 은 상이 한 세트 의 프로세스 단계 를 필요 로 하 며 , 각각 의 층 에서 사용 되 는 장치 ( 126 ) 는 타입 이 완전히 상이 할 수 도 있 다 . 또한 , 심지어 장치 ( 126 ) 에 의해 적용 될 프로세싱 단계 가 명목상 동일 한 경우 에 도 , 대 규모 설비 에서 는 , 상이 한 기판 상 에서 단계 ( 126 ) 를 수행 하 기 위해 병렬 로 작동 하 는 아마도 동일 한 머신 이 여러 개 있 을 수 도 있 다 . 이 들 머신 사이 의 셋 업 또는 장애 에서 의 작 은 차이 는 , 그 들 이 상이 한 기판 에 상이 한 방식 으로 영향 을 준다는 것 을 의미 할 수 있 다 . 에칭 ( 장치 ( 122 ) ) 과 같 은 , 각각 의 층 에 대해 상대 적 으로 일반 적 인 단계 조차 도 , 명목상 동일 하 지만 그러나 스루풋 을 최대 화 하 기 위해 병렬 로 작동 하 고 있 는 몇몇 에칭 장치 에 의해 구현 될 수 도 있 다 . 실제로 , 또한 , 상이 한 층 은 , 에칭 될 재료 의 세부 사항 에 따라 상이 한 에칭 프로세스 , 예 를 들 면 , 화학 적 에칭 , 플라 즈 마 에칭 , 및 예 를 들 면 , 이방성 에칭 과 같 은 특수 요건 을 필요 로 한다 .