이 와 같이 마스크 가 마스크 척 의 가이드 에 결합 되 려면 이 들 사이 에 는 결합 공차 가 형성 된다 . 그런데 이러 한 결합 공차 는 마스크 가 마스크 척 에 장착 된 상태 에서 미세 하 게 좌우 로 유동 되 는 문제 를 유발 하 게 된다 . 이러 한 마스크 의 좌우 흔들림 은 정밀 한 패턴 을 정확 하 게 인쇄 해야 하 는 반도체 웨이퍼 의 인쇄 에 바람직 하 지 못하 였으며 , 불량 생산 의 원인 이 되 었 다 .