상기 제 1 배관 ( 110 ) 에 는 상기 고온 폐수 의 역류 를 방지 하 기 위한 제 1 체크 밸브 ( 114 ) 가 추가 적 으로 설치 될 수 있 다 . 상기 제 1 배관 ( 110 ) 내 에서 상기 고온 폐수 가 상기 지지 부재 ( 20 ) 로 역류 하 는 경우 , 상기 고온 폐수 의 역류 는 상기 지지 부재 ( 20 ) 의 안정 성 을 저하 시킬 뿐 만 아니 라 상기 지지 부재 ( 20 ) 의 냉각 효율 을 저하 시켜 기판 ( 10 ) 의 처리 공정 을 불 안정 하 게 하 는 원인 으로 작용 할 수 있 다 . 그러나 , 본 실시 예 에 따르 면 , 상기 제 1 배관 ( 110 ) 내 의 압력 불 안정 및 상기 고온 폐수 의 역류 는 상기 안전 밸브 ( 112 ) 및 제 1 체크 밸브 ( 114 ) 에 의해 충분히 억제 또는 방지 되 므로 시스템 안정 성 이 크 게 향상 될 수 있 으며 , 상기 고온 폐수 를 안 전하 게 배출 할 수 있 다 .