상기 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 공진 변경 부 는 , 상기 압전체 층 에서 발생 하 는 가청 주파수대 의 공진 주파수 를 비 가청 주파수대 로 변경 시킬 수 있 다 . 상기 공진 변 경부 는 , 상기 기판 이 패턴 식각 되 어 형성 된 것 일 수 있 다 . 상기 탄성 박막 은 , 산화 규소 계열 물질 또는 질화 규소 계열 물질 로 이루어지 는 것 일 수 있 다 . 상기 압전체 층 은 , PZT , PMN - PT , PVDF , ZnO , AlN 및 Lead - free 압전체 중 어느 하나 의 물질 로 이루어진 단층 구조 이 거나 Ti , Pt , PZT 및 Pt 로 이루어지 는 다층 구조 일 수 있 다 . 상기 기판 은 DRIE 건식 식각 또는 비등방성 Si 식각 방법 을 이용 하 여 식각 된 것 일 수 있 다 .