기판 처리 장치 ( 1 ) 는 복수 매 의 기판 ( 2 ) 을 유지 하 는 기판 유지 부 ( 7 ) 를 가진다 . 기판 유지 부 ( 7 ) 는 기판 ( 2 ) 의 외주 를 둘레 방향 으로 간격 을 두 고 유지 하 는 복수 의 유지봉 ( 71 ) 과 , 복수 의 유지봉 ( 71 ) 의 각각 의 일단 에 연결 되 는 미 도시 의 연결판 을 가진다 . 복수 의 유지봉 ( 71 ) 의 각각 은 , 상기 연결판 으로부터 , 기판 ( 2 ) 의 배열 방향 인 X 축 방향 으로 연장 되 어 있 고 , 그 긴 방향 에 간격 을 두 고 복수 의 유지 홈 을 가진다 . 복수 의 유지봉 ( 71 ) 은 유지 홈 에서 기판 ( 2 ) 을 연직 으로 유지 한다 .