또한 , 각 기체 배 출부 ( 107 ) 에 의해 배출 되 는 기체 의 유량 의 합계 가 , 각 기체 공급 부 ( 105 ) 로부터 공급 되 는 기체 의 유량 의 합계 보다 도 많 아 지 도록 , 각 배기 기구 ( 107 c ) 에 있 어서 의 배 기력 및 각 기체 공급 부 ( 105 ) 에 있 어서 의 기체 의 공급량 이 제어 된다 . 각 기체 배 출부 ( 107 ) 에 의해 배출 되 는 기체 의 유량 의 합계 와 , 각 기체 공급 부 ( 105 ) 에 의해 공급 되 는 기체 의 유량 의 합계 의 차분 에 해당 하 는 양 의 기체 가 , 경통 103 에 설치 된 개구 로부터 경통 103 의 내부 공간 으로 흡인 된다 .