또한 , 상기 반응 가스 공급 부 ( 50 ) 로부터 반응 가스 ( 50 ') 를 투입 하 는 것 과 동시 에 불소 가스 공급 부 ( 40 ) 로부터 미소 량 의 불소 가스 ( 40 ') 를 불 규칙 적 으로 투입 한다 . 여기 서 , 투입 되 는 불소 가스 ( 40 ') 는 헥사 플 루 오로 에 탄 ( C 2 F 6 ) 가스 이 며 , 투입 되 는 불소 가스 ( 40 ') 의 공급량 은 5 내지 10 cc / min 이내 로 투입 된다 .