일부 또는 모든 처리 변수 , 또는 이 와 관련 된 매개변수 의 값 은 적절 한 방법 에 의해 결정 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 값 은 다양 한 계측 툴 ( 예 를 들 어 , 기판 계측 툴 ) 로 획득 된 데이터 로부터 결정 될 수 있 다 . 이 값 은 패 터닝 공정 에서 의 장치 의 다양 한 센서 또는 시스템 ( 예 를 들 어 , 리소그래피 장치 의 레벨 링 센서 또는 정렬 센서 와 같 은 센서 , 리소그래피 장치 의 제어 시스템 ( 예 를 들 어 , 기판 또는 패 터닝 디바이스 테이블 제어 시스템 ) , 트랙 툴 의 센서 등 ) 로부터 획득 될 수 있 다 . 값 은 패 터닝 공정 의 운영 자 로부터 의 값 일 수 있 다 .