상기 산화제 공급 장치 ( 80 a ) 는 상기 산화제 ( 18 ) 를 상기 반응 챔버 ( 10 ) 내 로 공급 하 기 위한 장치 일 수 있 다 . 상기 산화제 공급 장치 ( 80 a ) 내 에 상기 산화제 ( 18 ) 가 저장 될 수 있 고 , 상기 산화제 ( 18 ) 는 상기 산화제 공급 장치 ( 80 a ) 로부터 상기 반응 챔버 ( 10 ) 내부 로 배관 ( 82 ) 을 통하 여 공급 될 수 있 다 . 상기 산화제 공급 장치 ( 80 a ) 와 상기 반응 챔버 ( 10 ) 는 상기 배관 ( 82 ) 에 의하 여 연결 될 수 있 고 , 상기 배관 ( 82 ) 에 는 상기 산화제 ( 18 ) 의 유량 을 제어 할 수 있 는 유량 제어 장치 ( 84 ) 가 제공 될 수 있 다 .