다음 에 제 어부 ( 100 ) 는 , 선반 유닛 ( U 11 ) 의 웨이퍼 ( W ) 를 노광 장치 ( 3 ) 에 송출 하 도록 전달 아암 ( A 8 ) 을 제어 한다 . 그 후 제 어부 ( 100 ) 는 , 노광 처리 가 실시 된 웨이퍼 ( W ) 를 노광 장치 ( 3 ) 로부터 수용 하 여 , 선반 유닛 ( U 11 ) 에 있 어서 의 처리 모듈 ( 14 ) 용 의 셀 에 배치 하 도록 전달 아암 ( A 8 ) 을 제어 한다 .