또한 , [ E ] 중합체 는 , 알칼리 해리성 기 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 . [ E ] 중합체 가 알칼리 해리성 기 를 가지 면 , 알칼리 현상 시 에 레지스 트 막 표면 을 소수성 으로부터 친수 성 으로 효과 적 으로 바꿀 수 있 어 , 당해 감방 사선 성 수지 조성물 의 현상 결함 억제 성 이 보다 향상 된다 . 「 알칼리 해리성 기 」 란 , 카르복시기 , 히드록시기 등 의 수소 원자 를 치환 하 는 기 이 며 , 알칼리 수용액 ( 예 를 들 어 , 23 ℃ 의 2 . 38 질량 ％ 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 수용액 ) 중 에서 해리 되 는 기 를 말 한다 .