구체 적 으로 는 , SOG 용액 ( 400 ) 의 도포 는 실리 게이트 ( silicate ) , 실록 산 ( siloxane ) , MSQ ( Methyl SilseQuioxane ) , HSQ ( Hydrogen SilseQuioxane ) , 또는 폴리 실라 잔 ( polysilazane ) 등 의 케미컬 ( chemical ) 을 이용 하 여 스핀 코팅 ( spin coating ) 방식 으로 이루어진다 .