상기 한 본 발명 의 목적 을 실현 하 기 위한 하나 의 특징 에 따른 약액 공급 시스템 은 , 반도체 생산 장치 에 공급 되 는 약액 을 저장 하 는 공급 탱크 ; 상기 공급 탱크 와 결합 되 고 , 상기 공급 탱크 와 상기 반도체 생산 장치 사이 의 압력 차이 에 의해 상기 공급 탱크 의 상기 약액 을 상기 반도체 생산 장치 로 공급 하 는 배출 라인 ; 상기 공급 탱크 와 결합 되 고 , 유입 펌프 를 포함 하 여 상기 공급 탱크 내부 압력 보다 높 은 압력 으로 상기 약액 을 상기 공급 탱크 로 유입 시키 는 유입 라인 ; 상기 공급 탱크 내부 로 질소 가스 를 유입 하 거나 상기 공급 탱크 내부 의 질소 가스 를 외부 로 배출 하 는 가스 조절 유닛 ; 및 상기 반도체 생산 장치 와 연동 되 어 상기 반도체 생상 장치 에서 의 약액 공급 신호 를 수신 하 고 , 상기 가스 조절 유닛 을 제어 하 여 상기 공급 탱크 내부 의 압력 을 조절 하 며 , 상기 유입 펌프 를 제어 하 여 상기 유입 라인 의 상기 약액 유입 압력 을 조절 하 는 제어 유닛 을 포함 한다 .