하지만 , 상기 의 종래 의 기술 은 반도체 제조 공정 라인 상 에서 실제 화학 증착 공정 에 전구체 기체 가 사용 되 기 직전 에 단순 한 전구체 의 변질 여부 만 을 확인 하 여 생산 라인 상 의 불량 을 방지 하 기 위한 기술 로 , 화학 증착 공정 에 사용 되 는 전구체 물질 자체 의 열적 , 화학 적 , 물리 적 안정 성 에 대한 정보 를 제공 하 지 못하 는 한계 가 있 다 .