배리어 패턴 ( 37 ) 과 유전 막 층 ( 30 ) 에 도 비 아홀 이 형성 된 뒤 에 트랜 치 와 비 아홀 을 도전 막 으로 채우 는 공정 이 실시 된다 . 이 에 따라 제 1 비아 콘 택 ( 75 ) 는 캐 퍼 시터 하부 전극 ( 25 ) 에 일정 전압 을 인가 하 고 , 제 1 비아 콘 택 ( 73 ) 은 캐 퍼 시터 상부 전극 ( 35 ) 에 일정 전압 을 인가 하 여 캐 퍼 시터 사이 의 전위차 를 형성 하 도록 한다 . 동시 에 하부 메탈 패턴 ( 21 ) 과 상부 메탈 배선 을 연결 하 는 제 3 비아 콘 택 ( 71 ) 도 형성 된 다 .