또한 , 상기 베이스 하 면 ( 115 ) 에 는 제 6 오픈 영역 ( OR 6 ) 이 구비 될 수 있 다 . 제 6 오픈 영역 ( OR 6 ) 은 , 하부 에 결합 되 는 제 1 기판 ( 161 ) 의 제 1 리 지드 영역 ( RO 1 ) 을 노출 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 6 오픈 영역 ( OR 6 ) 은 제 1 기판 ( 161 ) 의 제 1 리 지드 영역 ( RO 1 ) 상 에 배치 된 제 1 공진 부 ( 161 a ) 및 제 2 공진 부 ( 161 b ) 를 노출 할 수 있 다 . 바람직 하 게 , 제 6 오픈 영역 ( OR 6 ) 은 y 축 방향 으로 제 1 공진 부 ( 161 a ) , 제 2 공진 부 ( 161 b ) , 제 1 전도체 ( 123 ) 및 제 2 전도체 와 오버랩 되 어 정렬 될 수 있 다 .