이하 에서 는 , 제 1 내지 제 3 채널 홀 들 ( 130 , 150 , 160 ) 을 합쳐서 채널 홀 구조물 ( 170 ) 로 지칭 하 기 로 한다 . 또한 , 기판 ( 100 ) 상 에 순차 적 으로 적층 된 상기 제 1 내지 제 3 몰드 들 을 함께 몰드 구조물 로 지칭 하 기 로 한다 . 즉 , 상기 채널 홀 구조물 ( 170 ) 은 상기 제 1 방향 으로 연장 되 어 상기 몰드 구조물 을 관통 할 수 있 다 .