본 발명 에 따른 다중 간섭 현상 을 이용 한 미세 패턴 의 형성 방법 은 포토 레지스터 가 도포 된 기판 상 에 미세 패턴 을 형성 하 기 위한 미세 패턴 의 형성 방법 에 있 어서 , 다중 간섭 현상 에 의해 다중 간섭 신호 가 싱크 파형 을 발생 하 도록 상기 포토 레지스터 에 노광 하 는 단계 ; 상기 노광 에 의해 상기 기판 상 에 제 1 패턴 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 기판 을 이동 하 여 생성 된 다중 간섭 신호 의 형태 로 노광 시켜 상기 기판 상 에 제 2 패턴 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 며 , 상기 제 1 패턴 과 제 2 패턴 은 다중 간섭 신호 의 주기 를 변경 하 여 상기 기판 상 에 노광 된 노광 부위 의 위치 를 변경 시킴 으로써 변경 된 주기 로 패턴 형성 이 가능 한 것 을 특징 으로 한다 .