상술 한 리프터 ( 15 ) 의 승강 이나 , 진공 펌프 ( 39 ) 의 작동 / 정지 , 인라인 히터 ( 29 , 37 ) 의 온도 제 어 , 처리 액 밸브 ( 9 ) , 증기 밸브 ( 25 ) , 불활성 가스 밸브 ( 35 ) , 진공 밸브 ( 43 ) , 호흡 밸브 ( 45 ) , QDR 밸브 ( 51 ) , 유량 제어 밸브 ( 67 ) 등 의 제어 밸브 의 개폐 제어 등 은 , 본 발명 에 있 어서 의 「 제어 수단 」 에 상당 하 는 제 어부 ( 89 ) 가 통괄 적 으로 제어 한다 . 또한 , 압력계 ( 47 ) 및 농도계 ( 87 ) 의 출력 신호 는 , 제 어부 ( 89 ) 에 주어진다 .