압송 부 ( 256 ) 는 , 저류 탱크 ( 254 ) 로부터 제 1 접속 부 ( 230 ) 를 통해서 송액 부 ( 210 ) 를 향해서 처리 액 을 송출 한다 . 압송 부 ( 256 ) 는 , 저류 탱크 ( 254 ) 로부터 처리 액 을 받아들이 고 , 받아들인 처리 액 을 가압 해서 제 1 접속 부 ( 230 ) 에 송출 한다 . 압송 부 ( 256 ) 는 , 예 를 들 어 펌프 ( 266 ) 와 , 펌프 구동 부 ( 272 ) 와 , 압력 측 정부 ( 274 ) 를 구비 한다 .