예 를 들 어 , 제 1 관통 전극 ( 210 ) 이 FEOL ( front end of line ) 공전 전 에 형성 되 는지 , FEOL ( front end of line ) 공정 과 BEOL ( Back end of line ) 공정 사이 에 형성 되 는지 에 따라 , 제 1 관통 전극 ( 210 ) 가 연장 되 는 모양 이 상이 할 수 있 다 . 또는 , 제 1 관통 전극 ( 210 ) 이 BEOL ( Back end of line ) 공정 중 또는 후 에 형성 되 는지 에 따라 , 제 1 관통 전극 ( 210 ) 가 연장 되 는 모양 이 상이 할 수 있 다 .