예 를 들 면 , 도 16 에 도시 된 것 과 같이 , 포크 ( 3 A ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 가 , 기준 위치 ( SP ) 에 없 고 , 포크 ( 3 A ) 에서 비어져 나와 있 을 때 를 생각 한다 . 그리고 , 원 으로 둘러싸인 영역 I 에 있 어서 , 웨이퍼 ( W ) 가 평면 에서 보 아 리니어 이미지 센서 ( 52 C ) 와 전혀 겹치 고 있 지 않 은 것 으로 한다 . 이 때 , 리니어 이미지 센서 ( 52 C ) 에서 는 , 도 17 의 파선 으로 나타내 는 것 과 같이 , 포크 ( 3 A ) 로 차단 되 어 있 지 않 은 영역 에 있 어서 , 모든 화소 의 수광량 이 제 2 값 ( n 2 ) 으로 되 어 , 어느 화소 의 수광량 도 제 1 값 ( n 1 ) 으로 는 되 지 않 는다 . 따라서 , 어느 한 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 의 포크 ( 3 A ) 로 차단 되 어 있 지 않 은 영역 에 있 어서 , 모든 화소 의 수광량 이 제 2 값 ( n 2 ) 이 며 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 ( E ) 를 검출 하 지 않 을 때 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 포크 ( 3 A ) 로부터 밀려나와 있 다고 판정 할 수 있 다 .