그러나 , 종래 에 는 상기 와 같이 리프트 오프 된 패턴 들 에 의해 웨이퍼 전면 에 흐름 성 디 펙 이 발생 되 거나 , 세정액 이 오염 되 는 문제점 을 해소 할 수 있 는 방안 이 마련 되 어 있 지 않 았 다 . 따라서 , 웨이퍼 손실 이 커지 고 , 세정액 의 오염도 가 증가 하 여 결과 적 으로 반도체 디바이스 의 신뢰 성 및 생산 성 이 저하 되 는 문제점 이 있 었 다 .