한편 , 샤워 헤드 ( 140 ) 가 센터 영역 ( center zone ) , 미들 영역 ( middle zone ) , 에지 영역 ( edge zone ) 등 으로 분할 되 는 경우 , 제 2 가스 공급 유닛 ( 160 ) 은 샤워 헤드 ( 140 ) 의 각 영역 으로 공정 가스 를 공급 하 기 위해 가스 분배 기 ( 미 도시 ) 와 가스 분배 라인 ( 미 도시 ) 을 더 포함 할 수 있 다 .