가스 고리 ( 637 ) 는 또한 복수 의 산 화기 가스 노즐 ( 640 ) ( 이 의 단지 하나 만 도시 됨 ) 을 가진다 , 이 는 바람직 한 구체 예 에서 공급원 가스 노즐 ( 639 ) 과 공동 평면 에 있 고 이 보다 더 짧 다 , 그리고 일 구체 예 에서 바디 플레 넘 ( 641 ) 으로부터 가스 를 수용 한다 . 일부 구체 예 에서 , 챔버 ( 613 ) 으로 가스 를 주입 하 기 전 에 , 공급원 가스 와 산 화기 가스 를 혼합 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 다른 구체 예 에서 , 산 화기 가스 및 공급원 가스 는 , 바디 플레 넘 ( 641 ) 과 가스 고리 플레 넘 ( 636 ) 사이 의 개구 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 제공 함 에 의해 가스 가 챔버 ( 613 ) 으로 주입 되 기 전 에 혼합 될 수 있 다 . 일부 구체 예 에서 , 제 3 , 제 4 및 제 5 가스 공급원 인 , 634 C , 634 D , 및 634 D ', 그리고 제 3 및 제 4 가스 흐름 제어기 인 635 C 및 635 D ' 는 가스 전달 라인 ( 638 ) 을 통해 가스 를 바디 플레 넘 에 제공 한다 . 추가 밸브 예 를 들 어 643 B ( 다른 밸브 는 도시 되 어 있 지 않 음 ) 은 흐름 제어기 로부터 챔버 로 가스 를 차단 할 수 있 다 . 본 발명 의 특정 구체 예 를 수행 함 에 있 어서 , 공급원 ( 634 A ) 은 실란 SiH 4 공급원 을 포함 하 고 , 공급원 ( 634 B ) 은 분자 질소 N 2 공급원 을 포함 하 며 , 공급원 ( 634 C ) 은 TSA 공급원 을 포함 하 고 , 공급원 ( 634 D ) 은 아르곤 Ar 공급원 을 포함 하 고 , 공급원 ( 634 D ') 은 디 실란 Si 2 H 6 공급원 을 포함 한다 .