상기 반응 공간 ( 150 ) 의 상측 , 보다 구체 적 으로 상부 커버 ( 120 ) 가 구획 하 는 공간 에 는 백 플레이트 ( 200 ) 가 위치 한다 . 백 플레이트 ( 200 ) 는 알루미늄 과 같 은 금속 재질 로 이루어질 수 있 으며 , 그 중앙 에 는 공정 가스 의 주입 을 위한 가스 도입부 ( 210 ) 가 구비 된다 . 가스 도입부 ( 210 ) 는 백 플레이트 ( 200 ) 를 관통 하 는 홀 일 수 있 으며 , 또는 홀 에 삽입 되 는 관 일 수 도 있 다 . 외부 의 가스 공급원 ( 미 도시 ) 으로부터 공급 되 는 공정 가스 는 이러 한 가스 도입부 ( 210 ) 를 거쳐 백 플레이트 ( 200 ) 의 하부 로 주입 될 수 있 게 된다 .