즉 , 제 1 신축 부 ( 320 ) 와 제 2 신축 부 ( 330 ) 중 어느 하나 만 의 길이 가 늘어나 면 , 예 를 들 어 , 제 1 신축 부 ( 320 ) 의 길이 가 늘어나 면 ( down ) , 지지 프레임 ( 210 ) 은 스테이지 ( 100 ) 에 대해 경사지 게 틸팅 될 수 있 으며 , 그립 유닛 ( 200 ) 에 그립 된 기판 ( 10 ) 역시 스테이지 ( 100 ) 에 대해 경사지 게 틸팅 된다 . 이 와 같이 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 100 ) 에 대해 경사지 게 틸팅 된 상태 에서 기판 ( 10 ) 의 로딩 이 이루어진다 .