한편 반응 실 내부 의 온도 를 요구 되 는 높 은 온도 에서 유지 하 지 위하 여 , 반응 실벽 ( 361 ) 의 바깥 면 에 별도 의 가열 장치 ( 366 , 367 ) 가 배치 된다 . 상기 가열 장치 ( 366 , 367 ) 가 공급 하 는 열 이 외벽 ( 300 ) 을 통해 전도 되 어 유실 되 는 것 을 최소 화 하 기 위하 여 , 가열 장치 ( 366 , 367 ) 가 설치 되 어 있 는 반응 실벽 ( 361 ) 은 플랜지 실린더 형태 의 기체 통로 집합 관 ( 315 ) 에 의해서 챔버 외벽 ( 300 ) 에 기계 적 으로 접합 되 어 고정 된다 . 이러 한 구조 에 따르 면 , 예 를 들 어 반응 실 내부 의 온도 가 300 ℃ 내외 로 유지 되 는 경우 에 도 외벽 ( 300 ) 의 온도 는 약 65 ℃ 이하 로 유지 될 수 있 다 . 또한 증착 장치 의 열 손실 이 너무 심하 거나 온도 구배 를 조절 할 필요 가 있 는 경우 에 는 별도 의 삽입 형 가열 장치 ( 나타내 지 않 음 ) 를 기체 통로 집합 관 ( 315 ) 에 부착 할 수 있 다 .