또한 , 본 실시 예 에 따른 수지 성형 장치 ( 2 ) 에서 는 , 촬상부 ( 2041 ) 가 , 헤드 ( 2033 H ) 를 기판 ( WT ) 에 있 어서 의 수지 부 ( R ) 가 형성 되 는 위치 에 대향 시킨 상태 에서 , 몰드 ( M ) 의 연직 상방 ( + Z 방향 ) 으로부터 , 몰드 ( M ) 의 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 와 기판 ( WT ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 2 a , MC 2 b ) 를 촬상 한다 . 이 에 의해 , 수지 성형 장치 ( 2 ) 는 , 몰드 ( M ) 의 얼라인먼트 마크 ( MM 1 a , MM 1 b ) 와 기판 ( WT ) 의 얼라인먼트 마크 ( MM 2 a , MM 2 b ) 를 고정 밀도 로 인식 할 수 있 기 때문 에 , 기판 ( WT ) 에 대한 몰드 ( M ) 의 얼라인먼트 정밀도 가 향상 되 는 이점 이 있 다 .