가스 분배 판 ( 18 ) 은 후방 플레이트 ( 14 ) 와 버퍼 공간 ( 26 ) 을 가지 고 , 후방 플레이트 ( 14 ) 로부터 연장 되 어 연결 되 는 지지대 ( 28 ) 에 거치 되 거나 고정 된다 . 그리고 , 공정 챔버 ( 12 ) 의 내부 에서 기판 을 처리 하 면서 , 열 변형 에 기인 하 여 가스 분배 판 ( 18 ) 의 중앙부 가 하부 로 처지 는 현상 을 방지 하 기 위하 여 , 가스 공급 관 ( 14 ) 의 중앙부 와 대응 되 는 후방 플레이트 ( 14 ) 를 볼트 ( 34 ) 에 의해 결합 시킨다 . 볼트 ( 34 ) 에 의한 결합 에 의해 , 기판 처리 과정 에서 발생 할 수 있 는 열변 형 에 기인 한 가스 분배 판 ( 18 ) 의 변형 을 방지 하 여 , 가스 분배 판 ( 18 ) 과 기판 안 치대 ( 22 ) 의 간격 을 균일 하 게 유지 시킨다 .