도 2 a , 2 b 및 2 c 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따라 기판 상 에 도전 성 박막 을 부착 하 는 것 의 흐름 도 , 측면 도 및 평면도 를 각각 도시 한다 . 도면 들 에서 도시 된 바 와 같이 본 발명 에 따라 도전 성 박막 을 부착 하 기 위한 검사 방법 은 먼저 기판 ( 22 ) 상부 에 골드 핑거 들 ( 24 ) 를 제공 하 기 위한 단계 S 1 을 수행 한다 . 도전 성 박막 ( 26 ) 이 골드 핑거 들 ( 24 ) 상 에 설치 된다 . 그 후 단계 S 2 가 수행 된다 . 광원 ( 27 ) 이 기판 ( 22 ) 의 면 들 을 비추 는 데 사용 된다 . 다음 에 , 단계 S 3 이 수행 된다 . 이미지 센서 ( 28 ) 가 도전 성 박막 ( 26 ) 의 반사광 을 수신 하 고 그레이 스케일 이미지 를 생성 한 다 . 그 후 에 , 단계 S 4 가 수행 된다 . 소프트웨어 가 두께 를 얻 기 위해 그레이 스케일 이미지 를 계산 하 는 데 사용 된다 . 마지막 으로 , 단계 S 5 가 수행 된다 . 도전 성 박막 ( 26 ) 이 잘못 부착 되 었 는지 를 판단 하 기 위해 두께 의 크기 가 판단 된다 . 두께 가 제 1 문턱 값 보다 작 으면 도전 성 박막 은 잘못 된 부착 으로서 판단 된다 . 그 때문 에 , 도전 성 박막 ( 26 ) 의 잘못 된 부착 이 보다 정밀 하 게 검사 될 수 있 고 , 잘 못 된 검사 의 발생 이 감소 될 수 있 다 .