도 3 b 를 참조 하 면 , 상기 소자 분리 막 ( 320 ) 에 의하 여 정의 된 활성 영역 에 터널 절 연막 ( 325 ) 이 형성 된다 . 상기 소자 분리 막 ( 320 ) 이 가지 는 개구부 에 부유 게이트 막 ( 332 a ) 이 형성 된다 . 상기 부유 게이트 막 ( 322 a ) 을 덮 는 산화 막 ( 334 a ) 이 형성 된다 . 상기 부유 게이트 막 ( 332 a ) 및 상기 산화 막 ( 334 a ) 은 콘 포 멀 ( conformal ) 하 게 형성 될 수 있 다 . 상기 부유 게이트 막 ( 322 a ) 및 상기 산화 막 ( 334 a ) 이 형성 된 개구부 를 채우 는 마스크 막 ( 336 a ) 이 형성 된다 .