제 1 정전 척 ( 21 ) 에 는 뒷면 과 측면 의 사이 에서 면 따 기 한 테이퍼 면 ( 211 ) 이 형성 되 어 있 다 . 테이퍼 면 ( 211 ) 은 법선 벡터 의 상하 방향 성분 이 아랫 방향 그리고 법선 의 직경 방향 성분 이 바깥 방향 ( 도 2 의 지면 에서 오른쪽 방향 ) 으로 되 어 있 다 . 에지 링 ( 25 ) 에 는 , 법선 벡터 의 상하 방향 성분 이 윗 방향 그리고 법선 의 직경 방향 성분 이 안쪽 방향 ( 도 2 의 지면 에서 왼쪽 방향 ) 인 테이퍼 면 ( 251 ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 에지 링 ( 25 ) 에 는 내 측면 ( 252 ) 이 형성 되 어 있 다 .