또한 , 전극 패턴 폭 방향 단부 와 차광 부재 의 폭 방향 단부 와 의 간격 L 이 , 1 ㎛≤ L ≤ 10 ㎛ 이 고 , 차광 부재 의 전극 폭 방향 의 폭 T 가 , 2 ㎛≤ T ≤ 10 ㎛ 를 만족 시키 도록 제작 한 샘플 에서 는 , Tg 를 매우 작 게 ( 2 ㎛ 이하 ) 하 는 것 이 가능 해져 , 더욱 전극 폭 방향 에서 의 높이 변동 이 작 은 전극 이 형성 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 .