잔류 CEC 가 0 내지 20 nm 의 두께 를 갖 는 수준 으로 CEC 를 제거 하 는 것 은 몇 개 의 단층 또는 그 이하 ( a few monolayers or less ) 에 해당 한다 . 바람직 하 게 는 , 나머지 CEC 의 두께 는 0 내지 10 nm , 더욱 바람직 하 게 는 0 내지 5 nm , 더욱더 바람직 하 게 는 실질 적 으로 0 nm 이 다 .