기판 을 세정 하 는 방법 의 바람직 한 실시 형태 는 사실상 앞서 설명 된 착화 제 , 사실상 전술 된 부식 억제제 , 사실상 전술 된 표면 활성제 , 사실상 전술 된 산소 스캐빈저 , 사실상 전술 된 환원제 , 및 사실상 전술 된 수용성 용매 와 같 은 하나 이상 의 첨가제 를 또한 포함 하 는 세정액 을 사용 한다 . 이 는 , 본 발명 의 추가 적 인 실시 형태 는 세정액 에 제공 된 이러 한 첨가제 의 조합 으로 설명 된다 . 더욱 상세 하 게 는 , 첨가제 및 첨가제 의 조합 은 기판 을 세정 하 는 방법 의 다른 실시 형태 들 을 정의 하 는 다른 조성물 을 갖 는 세정액 을 제조 한다 . 첨가제 및 첨가제 의 양 의 조합 은 , 세정액 이 캡 의 두께 를 실질 적 으로 축소 시키 지 않 고 기판 을 세정 하 는 데 효과 적 이 되 도록 , 선택 된다 . 기판 을 세정 하 는 방법 의 바람직 한 실시 형태 에 대한 추가 적 인 바람직 한 조성물 의 목록 은 프로세스 흐름 ( 20 ) 의 실시 형태 에 대해 앞서 설명 된 세정액 을 포함 하 지만 이 에 한정 하 지 않 는다 .