퍼지 노즐 ( 7 ) 은 본 실시 형태 에서 는 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 를 집약 해서 이루어지 는 노즐 유닛 으로서 구성 되 어 있 고 , 차폐 판 ( 6 ) 을 사이 에 두 고 숫돌 ( 3 ) 과 는 반대 측 의 위치 에 배치 되 어 있 다 . 여기 에서 , 퍼지 노즐 ( 7 ) 은 차폐 판 ( 6 ) 과 마찬가지 로 , 유리 기판 ( 2 ) 을 삽입 통과 시키 기 위한 슬릿 을 갖 고 , 이 슬릿 을 사이 에 두 고 대향 하 는 한 쌍 의 사면 ( 12 , 12 ) 에 는 각 사면 ( 12 , 12 ) 의 길 이 방향 을 따라 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 가 각각 일렬 로 배치 되 어 있 다 . 또한 , 이 들 노즐 개구부 ( 11 ) 는 일률 적 으로 동일 한 방향 을 지향 하 도록 배치 되 어 있 다 . 그 때문 에 퍼지 노즐 ( 7 ) 의 사면 ( 12 , 12 ) 사이 ( 슬릿 ) 에 유리 기판 ( 2 ) 의 일부 를 삽입 통과 시키 고 , 그 단면 ( 2 a ) 을 숫돌 ( 3 ) 에 접촉 시킨 상태 에서 는 이 들 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 로부터 분사 된 퍼지 수 ( 예 를 들 면 , 순수 ) ( 13 ) 가 상기 복수 의 노즐 개구부 ( 11 ) 와 유리 기판 ( 2 ) 의 평면 사이 에 커튼 상 의 수벽 을 형성 하 도록 되 어 있 다 . 또한 , 퍼지 노즐 ( 7 ) 에 설치 된 슬릿 의 폭 치수 에 관해서 는 차폐 판 ( 6 ) 의 슬릿 ( 10 ) 과 마찬가지 로 , 삽입 통과 되 는 유리 기판 ( 2 ) 의 두께 에 따라 설정 되 는 것 이 좋 고 , 바람직 하 게 는 연삭 시 의 유리 기판 ( 2 ) 의 흔들림 의 정도 를 고려 해서 설정 되 는 것 이 좋 다 .