상기 제 1 세트 의 포어 아 암 들 은 공통 축 또는 회전 에서 상기 제 1 상부 아암 에 연결 될 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 구동 벨트 조립 체 들 은 각각 적어도 한 세트 의 풀리 들 과 상기 풀리 들 사이 의 구동 벨트 를 포함 할 수 있 으며 , 상기 풀리 들 중 적어도 하나 는 비 원형 풀 리이다 . 상기 적어도 하나 의 비 원형 풀리 를 포함 하 는 상기 제 1 및 제 2 구동 벨트 조립 체 들 은 , 상기 제 1 상부 아암 이 제 1 방향 으로 회전 될 때 상기 제 1 세트 의 포어 아 암 들 을 이 들 사이 에 상대 적 인 회전 없이 이동 시키 도록 구성 될 수 있 으며 , 상기 적어도 하나 의 비 원형 풀리 를 포함 하 는 상기 제 1 및 제 2 구동 벨트 조립 체 들 은 , 상기 제 1 상부 아암 이 상기 제 1 방향 의 반대 인 제 2 방향 으로 회전 될 때 상기 제 1 세트 의 포어 아 암 들 을 이 들 사이 에 상대 적 인 회전 을 가지 며 이동 시키 도록 구성 될 수 있 다 . 상기 장치 는 상기 로봇 구동 장치 에 연결 된 제어기 를 더 포함 할 수 있 으며 , 상기 제어기 는 적어도 하나 의 프로세서 와 , 상기 모터 들 을 제어 하 기 위한 컴퓨터 코드 를 포함 하 는 적어도 하나 의 메모리 를 포함 한다 . 상기 장치 는 상기 로봇 구동 장치 가 연결 된 기판 이송 챔버 ( substrate transport chamber ) 와 , 상기 기판 이송 챔버 에 연결 된 다수 의 기판 스테이션 들 ( substrate stations ) 을 더 포함 할 수 있 으며 , 상기 로봇 아암 은 상기 기판 이송 챔버 내부 에 위치 하 고 , 상기 다수 의 기판 스테이션 들 은 , 상기 기판 이송 챔버 와 로봇 구동 장치 의 연결 축 으로부터 반경 방향 에 대하 여 오프셋 된 스테이션 들 과 , 상기 기판 이송 챔버 와 로봇 구동 장치 의 연결 축 으로부터 반경 방향 에 대하 여 오프셋 되 지 않 은 적어도 하나 의 스테이션 을 포함 하 며 , 상기 로봇 구동 장치 와 로봇 아암 은 , 상기 엔드 이펙터 들 이 상기 스테이션 들 에 대해 기판 들 을 삽입 및 제거 하 도록 상기 엔드 이펙터 들 을 이동 시키 도록 구성 된다 . 상기 로봇 구동 장치 와 로봇 아암 은 , 상기 제 1 세트 의 포어 아 암 들 상 의 엔드 이펙터 들 중 제 1 엔드 이펙터 와 상기 제 2 세트 의 포어 아 암 들 상 의 엔드 이펙터 들 중 제 2 엔드 이펙터 를 동시 에 상기 기판 이송 챔버 와 로봇 구동 장치 의 연결 축 으로부터 반경 방향 에 대하 여 오프셋 되 지 않 은 적어도 하나 의 스테이션 내부 로 이동 시키 도록 구성 될 수 있 다 . 상기 장치 는 상기 기판 이송 챔버 의 동 측 ( same side ) 에 상기 오프셋 기판 스테이션 들 중 두 개 를 포함 할 수 있 으며 , 상기 로봇 구동 장치 와 로봇 아암 은 , 상기 제 1 세트 의 포어 아 암 들 상 의 엔드 이펙터 들 중 제 1 엔드 이펙터 와 상기 제 2 세트 의 포어 아 암 들 상 의 엔드 이펙터 들 중 제 2 엔드 이펙터 를 동시 에 두 개 의 오프셋 스테이션 들 내부 로 각각 이동 시키 도록 구성 된다 . 상기 장치 는 상기 기판 이송 챔버 의 동 측 ( same side ) 에 상기 오프셋 기판 스테이션 들 중 두 개 를 포함 할 수 있 으며 , 상기 로봇 구동 장치 와 로봇 아암 은 , 상기 제 2 상부 아암 과 제 2 세트 의 포어 아 암 들 이 이동 하 지 않 는 동안 상기 제 1 엔드 이펙터 를 상기 두 개 의 오프셋 기판 스테이션 들 중 제 1 스테이션 내부 로 이동 시키 도록 구성 되 고 , 상기 로봇 구동 장치 와 로봇 아암 은 , 상기 제 1 상부 아암 과 제 1 세트 의 포어 아 암 들 이 이동 하 지 않 는 동안 상기 제 2 엔드 이펙터 를 상기 두 개 의 오프셋 기판 스테이션 들 중 제 2 스테이션 내부 로 이동 시키 도록 구성 된다 .