[ 0074 ] 프로세싱 챔버 ( 712 ) 는 기판 상 에 재료 를 증착 하 도록 구성 된 열 프로세싱 챔버 일 수 있 다 . 예컨대 , 프로세싱 챔버 ( 712 ) 는 재료 증착 챔버 , 이를테면 , 도 4 에 도시 된 프로세싱 챔버 ( 400 ) 와 유사 한 에피택시 챔버 일 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 프로세싱 챔버 ( 712 ) 는 , 캘리포니아 , 산타클라라 의 어 플 라이드 머 티어리 얼스 로부터 입수 가능 한 Centura ® RP EPI 챔버 이 다 . 프로세싱 챔버 ( 712 ) 는 블록 ( 104 ) 에서 위 에서 논의 된 바 와 같 은 에피 택 셜 성장 프로세스 , 및 블록 ( 106 ) 에서 위 에서 논의 된 바 와 같 은 퍼지 프로세스 를 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 다 .