1 . 스텝 모드 에서 , 지지 구 조체 ( MT ) 와 기판 테이블 ( WT ) 은 기본 적 으로 정지 상태 로 유지 되 는 한편 , 방사선 빔 에 부여 된 전체 패턴 은 한 번 에 타 겟 부분 ( C ) 상 으로 투영 된다 ( 즉 , 단일 정적 노광 ) . 상이 한 타 겟 부분 ( C ) 이 노광 될 수 있 도록 기판 테이블 ( WT ) 은 그 후 X 및 / 또는 Y 방향 으로 이동 ( shift ) 된다 . 스텝 모드 에서 , 노광 필드 의 최대 크기 는 단일 정적 노광 시 에 이미 징 되 는 타 겟 부분 ( C ) 의 크기 를 제한 한다 .