도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 2 개 의 유체 매니폴드 ( 305 ) 는 , 기판 ( 119 ) 을 겨냥 한 탈 이 온 수 또는 다른 화학 적 세정 유체 들 의 팬 분무 를 분배 하 고 기판 ( 119 ) 의 직경 ( 또는 다른 특성 치수 ) 에 유효 하 게 적용 되 는 방식 으로 배열 되 는 분 무 제트 어 레이 들 ( 도 3 에 도시 되 지 않 음 ) 과 함께 기판 ( 119 ) 의 양측 상 에 하나 씩 존재 한다 . 분무 제트 어 레이 들 ( 115 , 117 ) 은 또한 , 제트 들 중 인접 한 제트 들 이 서로 중첩 되 어 기판 의 전체 전방 또는 후방 표면 뿐 만 아니 라 가장 자리 ( 또는 비 - 원형 기판 의 경우 에 는 가장 자리 들 ) 를 세정 하 도록 배열 될 수 있 다 . 제트 들 을 중첩 함 으로써 , 농축 된 화학 물질 들 을 사용 하 지 않 고 도 미립자 들 , 막 들 , 잔류물 들 등 의 더 높 은 제거 가 달성 될 수 있 다 . 더욱이 , 세정 동작 동안 의 기판 ( 119 ) 의 회전 은 세정 동안 완전 한 기판 ( 면 및 가장 자리 ( 들 ) ) 유효 적용 범위 ( coverage ) 를 보장 한다 .