상기 유체 분 사 부 는 상기 스테이지 에 안착 된 상기 기판 의 더미 영역 과 대면 하 도록 배치 된 분사 노즐 과 , 상기 분사 노즐 에 유체 를 공급 하 는 유체 라인 을 포함 할 수 있 으며 , 상기 리프트 핀 은 상기 더미 영역 과 대응 하 는 위치 에 복수 개 가 구비 되 고 , 상기 각 리프트 핀 마다 상기 분사 노즐 복수 개 가 둘러싸 며 배치 될 수 있 다 .