프로브 스테이지 ( 22 ) 에 는 , 도면 의 간략 화 를 위해 도시 되 어 있 지 않 는 프레임 부재 를 통하 여 사각형 틀 ( 20 ) 위 에 지지 된 프로브 베이스 ( 24 ) 가 설치 되 어 있 고 , 상기 프로브 베이스 에 는 다수 의 프로브 유닛 ( 26 ) 이 지지 되 어 있 다 . 또 , 도시 한 예 에서 는 , 프로브 베이스 ( 24 ) 위 에 는 프로브 유닛 ( 26 ) 의 각 프로브 와 이것 에 대응 하 는 액정 표시 패널 ( 12 ) 의 상기 전극 ( 14 ) 과 의 위치 맞춤 을 정확 하 게 행하 기 위한 얼라이먼트 카메라 ( 28 ) 가 지지 되 어 있 다 . 프로브 유닛 ( 26 ) 은 종래 잘 알려져 있 듯이 , 각각 에 설치 된 각 프로브 가 액정 표시 패널 ( 12 ) 의 전극 ( 14 ) 에 접하 도록 , 각 프로브 를 일체 적 으로 승강 시킨다 .