도 6 d ' 를 참조 하 면 , 다른 양태 가 기재 된다 . 이 양태 에서 , 비아 ( 96 ) 는 도 6 d 에서 보다 더 넓 게 에칭 되 지만 ; 여기 서 에칭 은 알루미늄 계층 ( 42 b ) 의 내측 부분 에서 저지 된다 . 따라서 , 추가 적 인 ( 절연 된 ) 에칭 저지 층 ( 42 ES ) 이 존재 하 지 않 고 ; 대신 층 ( 42 b ) 이 에칭 저지 층 으로서 기능 을 한다 . 이 경우 에 ( 도 6 d '), 비아 ( 90 ) 에 남 아 있 는 유전체 층 ( 82 ) 이 존재 하 지 않 는다 ( 도 6 c ' 에 도시 되 지 않 음 ) .