이 는 , 상기 반출 측 반 전부 ( 700 ) 로 반입 된 기판 ( 1 ) 이 세 정부 ( 300 ) 로 반송 되 기 위해서 는 제 1 반입 롤러 부 ( 710 ) 가 하향 이동 되 기 때문 이 다 . 즉 , 상기 각 제 2 스토퍼 ( 740 ) 를 역사 다리 꼴 형상 으로 형성 할 경우 기판 ( 1 ) 이 하향 이동 되 더라도 상기 기판 ( 1 ) 이 상기 제 2 스토퍼 ( 740 ) 와 접촉 됨 은 완전히 방지 될 수 있 게 된다 .