열 경화 공정 에서 는 , 본 실시 형태 1 과 같이 , 챔버 ( 4 ) 를 가열 함 으로써 웨이퍼 ( W ) 가 가열 되 고 , 또한 가열 된 웨이퍼 ( W ) 의 열 로 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 를 열 경화 시켜 절연 층 을 형성 함 으로써 , 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 를 단시간 에 경화 시켜 절연 층 을 형성 하 는 것 이 가능 해진다 .