수로 ( 104 ) 는 베이스 플레이트 ( 106 ) 의 하부 면 ( 106 b ) 에 형성 된 냉각수 유입 부 ( 104 a ) 와 냉각수 배 출부 ( 104 b ) 를 포함 한다 . 냉각수 유입 부 ( 104 a ) 와 냉각수 배 출부 ( 104 b ) 는 , 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 의 외부 에 설치 된 냉각수 제어 장치 ( 미 도시 ) 와 접속 되 어 있 다 . 냉각수 제어 장치 ( 미 도시 ) 는 냉각수 유입 부 ( 104 a ) 로부터 수로 ( 104 ) 로 냉각수 를 주입 하 고 , 냉각수 배 출부 ( 104 b ) 로부터 냉각수 를 배출 한다 . 냉각수 가 순환 함 에 따라 베이스 플레이트 ( 106 ) 가 냉각 되 고 , 베이스 바디 ( 102 ) 는 접착 층 ( 105 ) 을 통해 냉각 된다 .