계속 하 여 , 상기 제 1 및 제 2 희생 마스크 패턴 ( 264 a , 264 b ) 의 측벽 에 스 페이서 패턴 ( 266 ) 을 형성 한다 . 이 때 , 상기 스 페이서 패턴 들 ( 266 ) 사이 에 는 갭 ( 268 a , 268 b ) 들 이 생성 된다 . 이 때 , 상기 스 페이서 패턴 ( 266 ) 의 선폭 과 상기 갭 ( 268 a , 268 b ) 들 의 폭 은 동일 하 며 , 그 폭 은 각각 F 일 수 있 다 .