전자기 방사선 을 생성 하 는 방사선 소스 ( S 0 ) 는 애노드 ( 1 ) , 캐소드 ( 2 ) 및 방전 공간 ( 4 ) 을 포함 한다 . 상기 애노드 ( 1 ) 및 캐소드 ( 2 ) 는 방전 공간 ( 4 ) 내 의 물질 ( P ) 에서 방전 ( 16 ) 을 생성 하 고 플 라즈 마 ( 16 ) 를 형성 하 여 전자기 방사선 을 생성 하 도록 구성 된다 . 또한 , 상기 방사선 소스 ( S 0 ) 는 상기 방전 공간 ( 4 ) 근처 의 일 위치 에 상기 물질 ( P ) 의 적어도 1 이상 의 성분 을 공급 하 도록 구성 되 고 배치 된 연료 공급 부 ( 14 ) 를 포함 한다 . 상기 연료 공급 부 ( 14 ) 는 애노드 ( 1 ) 및 캐소드 ( 2 ) 로부터 소정 거리 에 위치 된다 . 또한 , 상기 방사선 소스 ( S 0 ) 는 상기 애노드 ( 1 ) 및 / 또는 캐소드 ( 2 ) 상 에 또는 그 근처 에 냉각 및 / 또는 보호 층 을 생 성 및 / 또는 유지 하 도록 구성 되 고 배치 된 추가 공급 부 ( 10 ) 를 포함 한다 .