샤워 플레이트 ( 5 ) 와 그 위쪽 에 배치 된 안테나 인 상부 전극 ( 4 ) 은 , 이 들 이 진공 용기 ( 10 ) 에 장착 된 상태 에서 이 들 사이 에 극간 ( 41 ) 이 형성 된다 . 극간 ( 41 ) 에 는 , 이것 과 연결 된 진공 용기 ( 10 ) 의 외부 의 가스 공급 부 ( 60 ) 와 접속 하 는 가스 도입 라인 ( 6 ) 으로부터 상부 전극 ( 4 ) 내 에 실시 된 가스 유로 를 통해 가스 가 도입 된다 .