[ 0021 ] 본 개시 내용 에서 , " "" 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 트랙 "" 은 ", 캐리어 , " 특히 기판 캐리어 또는 마스크 캐리어 의 비접 촉식 이송 을 위해 구성 된 트랙 으로서 이해 되 어야 한다 . "" 트랙 "" 이 라는 용어 는 궤도 ( trajectory ) ", 경로 또는 라인 으로서 이해 될 수 있 다 . 따라서 , " 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 "" 제 1 트랙 "" 은 제 1 궤도 "," 제 1 경로 또는 제 1 라인 일 수 있 다 . 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 "" 제 2 트랙 "" 은 제 2 궤도 "," 제 2 경로 또는 제 2 라인 일 수 있 다 . "" 비접 촉식 "" 이 라는 용어 는 ", 캐리어 , 예컨대 , 기판 캐리어 또는 마스크 캐리어 의 중량 이 , 기계 적 인 접촉 또는 기계 적 인 힘 들 에 의해 홀딩 되 는 것 이 아니 라 자기력 에 의해 홀딩 된다는 의미 로 이해 될 수 있 다 . 특히 , 캐리어 는 기계 적 인 힘들 대신 에 자기력 들 을 사용 하 여 부상 또는 부유 상태 로 홀딩 될 수 있 다 . 예컨대 , 일부 구현 들 에서 , 특히 , 기판 캐리어 및 / 또는 마스크 캐리어 의 부상 , 이동 및 포지셔닝 동안 , 캐리어 와 이송 트랙 간 에 어떤 기계 적 인 접촉도 없 을 수 있 다 .