가열 부재 ( 124 ) 및 냉각 부재 ( 125 ) 는 기판 ( W ) 이 공정 온도 를 유지 할 수 있 도록 하 기 위해 지 지 유닛 ( 120 ) 의 내부 에 설치 될 수 있 다 . 일례 로 , 가열 부재 ( 124 ) 는 정전 척 ( 122 ) 의 내부 에 설치 될 수 있 으며 , 냉각 부재 ( 125 ) 는 베이스 ( 121 ) 의 내부 에 설치 될 수 있 다 .