도전 성 격벽 ( 165 ) 의 단면 형상 은 역 테이퍼 형상 을 가질 수 있 다 . 즉 , 도전 성 격벽 ( 165 ) 의 측면 은 역 테이퍼 형상 을 가질 수 있 다 . 도전 성 격벽 ( 165 ) 의 측면 이 보조 전극 ( 135 ) 의 상면 과 이루 는 제 1 테이퍼 각도 ( θ 1 ) 는 95 ° 내지 130 ° 일 수 있 다 . 또한 , 제 1 테이퍼 각도 ( θ 1 ) 는 105 ° 내지 120 ° 일 수 있 으나 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .