복수 개 의 처 리조 에 는 각각 서로 다른 제 1 처리 액 ( 115 ) 이 공급 될 수 있 고 , 각 각 의 제 1 처리 액 ( 115 ) 은 서로 다른 공정 온도 로 가열 되 어 공급 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 식각 공정 에서 황산 은 약 145 ℃, 인산 은 약 150 내지 165 ℃, SC ­ 1 은 약 50 내지 80 ℃ 로 공급 될 수 있 다 .