반 점검 출부 ( 320 ) 로서 는 기판 ( 10 ) 의 표면 에서 반점 을 검출 할 수 있 는 다양 한 비 접촉 센싱 수단 이 사용 될 수 있 다 . 바람직 하 게 반 점검 출부 ( 320 ) 로서 는 색 수차 ( cromatic aberration ) 원리 를 이용 하 여 기판 ( 10 ) 에서 반점 을 검출 하 는 공 초점 센서 ( 321 ) ( chromatic conforcal sensor ) 가 사용 된다 .