도 5 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 입출력 장치 ( 16 ) 에 조작 표시 화면 ( 18 ) 으로서 표시 되 고 , 예 를 들 면 관리자 에 의하 여 조작 되 는 유저 설정 화면 ( 300 ) 을 예시 하 는 도면 이 다 . 이 유저 설정 화면 ( 300 ) 에 는 , 유저 명 , 각 유저 가 속하 는 그룹 명 및 각 유저 에 대응 하 는 패스워드 가 표시 되 고 , 각 항목 을 편집 ( 갱신 , 수정 , 입력 등 ) 할 수 있 다 .