도 2 a 에서 마이크로파 에너지 209 는 공급 가스 내 마이크로파 플라스마 206 및 / 또는 FEWG 205 의 길이 의 길 이 L 1 ( 도 2 a 에 보여 지 는 ) 을 갖 는 플라스마 구역 내 공정 재료 를 생성 한다 . 길 이 L 1 을 갖 는 플라스마 구역 은 FEWG LB 의 부분 내 에 위치 하 고 , 여기 서 , 상기 횡단 면적 은 보다 작 고 마이크로파 에너지 밀도 는 길 이 L A 에서 보다 높 다 . 일부 구 현예 에서 , 공정 재료 와 는 상이 한 공급 가스 를 사용 하 여 마이크로파 플라스마 206 을 생성 한다 . 공급 가스 는 예 를 들 어 , 수소 , 헬륨 , 질소 , 비활성 가스 , 예 를 들 어 , 아르곤 , 또는 하나 초 과 유형 의 가스 의 혼합물 일 수 있 다 . 다른 구 현예 에서 , 공급 가스 는 공정 재료 와 동일 하 고 , 여기 서 , 공정 재료 는 별개 의 성분 들 이 생성 되 는 재료 이 다 .