일반 적 으로 , 공통 대칭 중심 ( 110 ) 에 대한 타 겟 구조물 의 90 도 회전 대칭 을 형성 하 고 각 패턴 요소 의 대칭 중심 ( 112 ) 에 대한 개별 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 502 a - 512 d ) 의 180 도 회전 대칭 을 형성 하 는 ( 그러나 90 도 회전 대칭 은 형성 하 지 않 음 ) 임의 의 패턴 요소 및 타 겟 구조물 방식 은 본 발명 의 구현 을 위해 적합 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 도 5 에 도시 된 타 겟 구조물 및 패턴 요소 방식 은 단순히 예시 하 는 것 으로 해석 되 어야 하 고 제한 하 는 것 으로 생각 하 여서는 안 된다 .