연마 입자 는 , 연마제 중 에 있 어서 양 의 제타 전위 를 가지 고 있 다 . 연마제 ( 예 를 들 면 , pH 가 2 . 0 ∼ 4 . 0 인 연마제 ) 중 에서 양 의 전하 를 가지 는 연마 입자 를 사용 함 으로써 , 정전 적 ( 靜電 的 ) 으로 연마 입자 가 TEOS 막 에 작용 하 므로 , TEOS 막 의 연마 속도 가 높 아 지 기 쉬운 것 으로 여겨진다 .