반입 된 포드 ( 110 ) 는 회전식 포드 선반 ( 105 ) 의 지정 된 선반 판자 ( 117 ) 에 포드 반송 장치 ( 118 ) 에 의하 여 자동 적 으로 반송 되 어 수수 ( 授受 ) 되 고 , 일시 적 으로 보관 된 후 , 선반 판자 ( 117 ) 로부터 한 쪽 의 포드 오프너 ( 121 ) 로 반송 되 어 수수 되 고 , 일시 적 으로 보관 된 후 , 선반 판자 ( 117 ) 로부터 한 쪽 의 포드 오프너 ( 121 ) 로 반송 되 어 재 치대 ( 122 ) 로 이재 되 거나 , 또는 직접 포드 오프너 ( 121 ) 로 반송 되 어 재 치대 ( 122 ) 에 이재 된다 . 이 때 , 포드 오프너 ( 121 ) 의 웨이퍼 반입 반 출구 ( 120 ) 는 캡 착 탈 기구 ( 123 ) 에 의하 여 닫혀져 있 고 , 이재실 ( 124 ) 에 는 클린 에어 ( 133 ) 가 유통 되 고 , 충만 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 이재실 ( 124 ) 에 는 클린 에어 ( 133 ) 로서 질소 가스 가 충만 함 으로써 , 산소 농도 가 20 ppm 이하 로서 , 광체 ( 111 ) 내부 [ 대기 ( 大氣 ) 분위기 ] 의 산소 농도 보다 훨씬 낮 게 설정 되 어 있 다 .