다음 에 베이스 기판 ( 120 ) 위 에 Si 계 의 절 연막 이외 의 제 2 절 연막 ( 122 ) 을 형성 한다 ( 도 1 ( b - 3 ) 참조 ) . 제 2 절 연막 ( 122 ) 은 , 알루미늄 , 마그네슘 , 스트론튬 , 티타늄 , 탄탈 , 지르코늄 , 이트륨 으로부터 선택 된 하나 또는 복수 의 원소 를 포함 하 는 산화 막 또는 질화 막 을 사용 할 수 있 다 .