이 실시 형태 에 따르 면 , 스테이지 ( 3 ) 에 배치 된 웨이퍼 ( W ) 를 가 열부 에 의해 가열 해서 열처리 하 는 데 있 어서 , 가 열부 의 출력 제어 를 안정 되게 행할 수 있 다 . 이 예 에서 는 , 제 1 온도 보다 도 저온 의 영역 에서 측정 정밀도 가 높 은 제 1 온도 측 정부 와 , 제 1 온도 보다 도 높 은 온도 인 제 2 온도 보다 고온 의 영역 에서 측정 정밀도 가 높 은 제 2 온도 측 정부 를 사용 해서 온도 의 측정 을 행하 고 있 다 . 그러나 , 양자 는 높 은 정밀도 로 온도 측정 할 수 있 는 온도 영역 이 다르 기 때문 에 , 아무런 대응 도 하 지 않 고 제 1 온도 측 정부 와 제 2 온도 측 정부 사이 를 전환 하 면 , 양자 간 에 측정 온도 에서 어긋남 이 발생 하 는 경우 가 있 다 .