여기 서 , 상기 리 세스 게이트 영역 의 식각 깊이 는 500 ~ 2000 Å 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 트렌치 는 상기 리 세스 게이트 영역 의 깊이 보다 300 ~ 1000 Å 더 깊 게 형성 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 에피 택 셜 성장 층 의 두께 는 100 ~ 1500 Å 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 소스 / 드레 인 영역 의 두께 는 100 ~ 2000 Å 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 소스 / 드레 인 영역 에 는 N 형 불순물 이온 이 주입 된 것 을 특징 으로 한다 .