본 발명 의 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 건조 모듈 은 , 상기 하부 적외선 조명 유닛 의 일 측 에 배치 되 며 상기 반도체 패키지 들 의 하부 면 상 으로 에어 를 분사 하 여 상기 반도체 패키지 들 의 하 부면 을 건조 하 기 위한 하부 에어 나이프 와 , 상기 상부 적외선 조명 유닛 의 일 측 에 배치 되 며 상기 반도체 패키지 들 의 상부 면 상 으로 에어 를 분사 하 여 상기 반도체 패키지 들 의 상부 면 을 건조 하 기 위한 상부 에어 나이프 를 더 포함 할 수 있 다 .