상기 d ) 의 용매 는 감광성 수지 조성물 을 기판 등 에 코팅 하 기 위해서 사용 하 며 , 구체 적 인 예 로 는 , 디 에틸렌글리콜 디메틸에테르 ( Diethylene glycol dimethyl ether ) , 디 에틸렌글리콜 메틸 에틸에테르 , 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트 ( propylene glycol methyl ether acetate ) , 프로필렌글리콜 에틸에테르 아세테이트 , 프로필렌글리콜 프로필 에 테르 아세테이트 , 프로필렌글리콜 메틸에테르 프로 피오 네이트 ( Propylene glycol methyl ether propionate ) , 프로필렌글리콜 에틸에테르 프로 피오 네이트 , 프로필렌글리콜 프로필 에 테르 프로 피오 네이트 , 프로필렌글리콜 메틸에테르 , 프로필렌글리콜 에틸에테르 , 프로필렌글리콜 프로필 에 테르 , 프로필렌글리콜 부틸 에 테르 , 디 프로필렌글리콜 디메틸에테르 , 디포 로 필 렌 글리콜 디에틸에테르 , 부틸렌 글리콜 모노 메틸에테르 ( butylene glycol monomethyl ether ) , 부틸렌 글리콜 모노 에틸에테르 , 디 부틸렌 글리콜 디메틸에테르 , 및 디 부틸렌 글리콜 디에틸에테르 , 디 에틸렌글리콜 부틸 메틸에테르 , 디 에틸렌글리콜 부틸 에틸에테르 , 트리 에틸렌글리콜 디메틸에테르 , 트리 에틸렌글리콜 부틸 메틸에테르 , 디 에틸렌글리콜 터 셔리 부틸 에 테르 , 테트라 에틸렌글리콜 디메틸에테르 , 디 에틸렌글리콜 에 틸 헥 실에 테르 , 디 에틸렌글리콜 메틸 헥 실에 테르 , 디 프로필렌글리콜 부틸 메틸에테르 , 디 프로필렌글리콜 에 틸 헥 실에 테르 및 디 프로필렌글리콜 메틸 헥 실에 테르 등 을 사용 할 수 있 으며 , 단독 또는 2 종 이상 혼합 하 여 사용 할 수 있 다 .