다음 , 도 9 h 에 나타낸 바 와 같이 알루미늄 산화 막 ( 121 ) 및 백금 막 ( 118 ) 을 패 터닝 한다 . 이 에 따라 , 강유전체 커패시터 ( C ) 를 형성 한다 . 그 후 , 회복 어닐링 을 행한다 . 또한 , 전체 면 에 알루미늄 산화 막 ( 122 ) 을 형성 하 고 , 회복 어닐링 을 행한다 . 계속 해서 , 알루미늄 산화 막 ( 122 ) 위 에 TEOS 를 이용 하 여 NSG 막 ( 123 ) 을 형성 하 고 , 그 표면 을 평탄 화 한다 .