도 2 a 및 도 3 a 를 참조 하 면 , 금속 함 유막 ( 115 ) 상 에 보호막 ( 217 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 보호막 ( 217 ) 은 산화 막 , 질화 막 및 / 또는 산화 질화 막 으로 형성 될 수 있 다 . 상기 보호막 ( 217 ) 상 에 수동 소자 영역 ( 70 ) 내 의 리세 스 영역 을 정의 하 는 마스크 패턴 ( 119 ) 을 형성 할 수 있 다 .