바람직 한 방법 및 실시 는 빌트인 압축 응력 을 갖 는 실리콘 질화물 을 응력 받 은 BOX 구조 체 내 응력 기 층 으로서 증착 할 수 있 다 . 응력 받 은 BOX 구 조체 를 생성 하 고 사용 하 기 위한 바람직 한 방법 은 , 웨이퍼 결합 공정 에 앞서 , 호스트 웨이퍼 상 에 실리콘 질화물 을 증착 하 기 이전 및 이후 에 박형 산화물 층 을 증착 시킬 수 있 다 . 이러 한 특히 바람직 한 응력 받 은 BOX 구조 체 는 실리콘 질화물 층 의 양쪽 면 에 , 질화물 층 과 비교 하 여 박형인 , 실리콘 산화물 층 을 제공 하 여 질화물 층 과 인접 실리콘 층 사이 의 직접 접촉 을 방지 한다 . 더욱이 , 활성 실리콘 층 을 질화물 표면 대신 산화물 표면 에 결합 시키 는 것 이 바람직 할 수 있 다 .