이 는 원칙 적 으로 추가 고차 항 들 을 포함 하 는 확장 에 의해 에어리얼 이미지 의 실제 스루 - 포커스 동작 의 임의 의 충분 한 표현 으로 확장 될 수 있 다 . 다항식 기본 함수 들 의 선택 이 포커스 를 통한 에어리얼 이미지 의 급수 전개 를 표현 할 단 하나 의 가능 성 이 며 , 본 발명 의 방법 들 은 이 실시 예 에 결코 제한 되 지 않 음 - 예 를 들 어 , 기본 함수 들 은 베셀 함수 ( Bessel Function ) , 르장드르 함수 ( Legendre Function ) , 체비쇼프 함수 ( Chebyshev Function ) , 삼각 함수 ( Trigonometric function ) 등 과 같 은 특수 함수 일 수 있 음 - 을 유의 한다 . 또한 , 공정 윈도우 라는 용어 는 가장 일반 적 으로 디 포커스 및 노광 도즈 에 걸쳐 변동 들 을 스팬 ( span ) 하 는 것 으로 이해 되 지만 , 공정 윈도우 개념 은 NA 및 시그마 등 과 같 은 추가 또는 대안 적 인 파라미터 변동 들 을 포함 하 도록 일반 화 되 고 확장 될 수 있 다 .