이 와 같 은 기판 ( G ) 의 세정 작업 중 에 , 제 1 내지 제 4 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 , 31 , 41 ) 의 표면 은 마모 될 수 있 으며 , 이러 한 마모 량 은 감지 부 ( 61 , 71 ) 와 센서 기준 부 ( 62 , 72 ) 간 의 상호 작용 에 따른 상대 적 인 변위 에 따라 체크 된다 . 체크 결과 , 만약 에 , 제 1 내지 제 4 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 , 31 , 41 ) 의 표면 에 대한 연마 작업 이 실시 되 어야 한다고 판단 되 면 , 전술 한 기판 ( G ) 세정 작업 은 일단 중지 된다 .