이 와 는 다른 예 로 , 상기 매립 막 은 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 . 상기 개구부 내 에 절연 물질 이 매립 됨 으로써 , 소자 분리 용 패턴 이 형성 될 수 있 다 . 이 와 는 다른 예 로 , 상기 매립 막 을 형성 하 지 않 고 , 상기 식각 대상 막 패턴 을 하드 마스크 로 사용 하 여 , 하부 에 형성 된 막 을 식각 할 수 도 있 다 .