이후 , 포토레지스트 ( PR ) 제 거시 하부 반사 방지 막 ( 미 도시 ) 를 동반 하 여 비정질 카본 막 ( 31 ) 을 제거 한 다음 에 , 포스트 크리 닝 ( post cleaning ) 공정 을 실시 하 는데 , 도 2 c 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 오버레이 마크 ( 10 B ) 의 단차 부위 에 남 아 있 는 난반사 방지 막 ( 32 ) 은 포토레지스트 ( PR ) 제거 후 에 도 그대로 남 게 되 며 , 포스트 크리 닝 ( post cleaning ) 공정 시 크리 닝 방향 에 따라 잔류 되 어 , 디 펙 트 소오 스 ( defect source ) 로 작용 한다 .