예컨대 , [ 도 3 ] 과 [ 도 4 ] 를 참조 할 때 대 면적 의 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 이 9 시 방향 으로 미세 하 게 기울어진 경우 9 시 주변 의 에어 베어링 ( 120 ) 을 높여 주 거나 3 시 주변 의 에어 베어링 ( 120 ) 을 낮춰 주 면 그 에 대응 하 여 상부 회동 플레이트 ( 210 ) 는 Z 축 방향 으로 미세 하 게 움직이 면서 현재 복수 의 에어 베어링 ( 120 ) 높이 에 따라 수평 상태 가 조정 될 수 있 다 .