이러 한 공정 은 , 상기 회 전부 ( 4 ) 가 로딩 공정 ( 2 a ) 이 완료 된 테스트 트레이 ( T ) 를 수평 상태 에서 수직 상태 로 회전 시킨 후 에 , 상기 회 전부 ( 4 ) 또는 상기 챔버 부 ( 5 ) 에 설치 되 는 이송 수단 이 수직 상태 로 회전 된 테스트 트레이 ( T ) 를 상기 회 전부 ( 4 ) 에서 상 기 제 1 챔버 ( 51 ) 로 이송 함 으로써 이루어질 수 있 다 .