상기 기판 세정 장치 에서 는 , 세 정구 를 지지 하 는 구조 ( 지주 등 ) 가 복잡 하 고 사이즈 가 커 , 넓 은 설치 스페이스 가 필요 했 다 . 그 때문 에 , 세정 기구 의 증설 등 의 설계 변경 을 행하 기 어려웠 다 . 또한 , 상기 기판 세정 장치 에서 는 , 기판 의 보호 를 위해 , 세 정구 가 기판 에 맞닿 을 때 에 기판 에 가해 지 는 하중 을 억제 하 는 것 등 이 요구 되 고 있 었 다 .