여기 에서 , 상기 한 쌍 의 아암 ( 146 , 146 ') 의 타단 부 는 회동 지지 부 ( 148 ) 에 고정 되 는데 , 상기 회동 지지 부 ( 148 ) 는 상기 아암 ( 146 , 146 ') 을 상하 방향 으로 틸팅 시킬 수 있 는 구조 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 이러 한 틸팅 구조 를 구비 하 게 되 면 , 상기 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 를 웨이퍼 렌즈 받침대 ( 142 ) 에 놓 거나 들어낼 때 , 상기 아암 ( 146 , 146 ') 을 상하 로 움직임 으로써 보다 용이 하 게 작업 할 수 있 게 된다는 장점 이 있 다 .