다음 에 , 탈기 를 계속 한 상태 에서 광반응 성 수지 ( 20 ) 를 온수 용융 시트 ( 10 ) 상 에 도포 한다 ( 단계 1200 ) . 도 17 의 ( c ) 는 이 상태 의 개략 단면도 이 다 . 다음 에 탈기 를 계속 한 상태 로 마스크 ( 30 ) 의 패턴 ( 32 ) 을 광반응 성 수지 ( 20 ) 에 노광 시킨다 ( 단계 1300 ) . 도 17 의 ( d ) 는 노광 중 인 상태 를 도시 하 는 개략 단면도 이 다 .