도 1 은 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 A , 103 B ) ( 일반 적 으로 는 , 총칭 하 여 제 2 회전 가능 차 폐부 ( 103 ) 로 본원 에서 또한 지칭 됨 ) 가 기판 교환 을 위해 이동하 는 차폐 부임 을 표시 하 지만 , 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 는 , 본원 에서 제공 되 는 개시 내용 을 읽 고 이해 할 시 , 다른 실시 예 들 에서 , 제 1 회전 가능 차 폐부 ( 101 ) 가 제 2 차 폐부 ( 103 ) 를 향해 그리고 그 로부터 멀 어 지 게 이동 하 는 것 을 이해 할 것 이 다 . 또 다른 실시 예 들 에서 , 제 1 차 폐부 ( 101 ) 및 제 2 차 폐부 ( 103 ) 둘 모두 가 서로 를 향해 그리고 서로 로부터 멀 어 지 게 측 방향 으로 이동 하 도록 구성 될 수 있 다 . 따라서 , 본원 에 포함 된 개시 내용 전반 에 걸쳐 표기법 의 간결성 을 위해 , 제 2 차 폐부 ( 103 ) 는 이동 가능 차 폐부 로서 표시 될 것 이 다 .