그러나 , 톱 링 본체 와 리 테이 너 링 사이 에 배치 된 탄성 백 의 내부 를 대기 개방 한 상태 에서 , 리 테 이너 링 이 상승 되 면 , 탄성 백 의 내부 에 잔류 하 는 공기 에 기인 하 여 리 테 이너 링 이 정상 적 으로 상승 하 지 않 는 우려 가 있 다 . 이 상태 에서 , 웨이퍼 가 릴리즈 되 면 , 웨이퍼 가 리 테이 너 링 에 접촉 하 여 , 웨이퍼 가 파손 될 우려 가 있 다 .