이 처럼 , 본 발명 에서 는 상기 세정액 흡입 홀 및 세정액 배수 라인 을 통해 흡입 / 배출 된 세정액 을 정화 시킨 뒤 , 재 사용 함 으로써 파티클 에 의해 오염 된 세정액 에 의해 웨이퍼 가 2 차 오염 되 는 문제점 을 해소 할 수 있 게 된다 . 그리고 , 파티클 에 의해 오염 된 세정액 을 정화 시켜 재 사용 함 으로써 , 생산 비용 을 절감 할 수 있 는 효과 를 기대 할 수 있 다 .