도 3 을 참조 하 면 , 건식 식각 공정 ( DE ) 및 습식 식각 공정 ( WE ) 에 따라 플루오린 ( F ) 의 분포 가 다르 게 나타나 는 것 을 알 수 있 다 . 도 2 e 에서 상술 한 바 와 같이 , 제 1 식각 공정 으로 건식 식각 공정 ( DE ) 을 실시 하 면 , 제 2 절 연막 ( 212 ) 의 두께 를 균일 한 두께 로 잔류 시키 면서 플루오린 ( F ) 의 양 도 줄일 수 는 있 지만 , 제 2 절 연막 ( 212 ) 의 표면 부근 에 여전히 많 은 양 의 플루오린 ( F ) 이 분포 함 을 알 수 있 다 .