즉 , 마이크 로 구조 체 성 형부 ( 4 ) 에 의해 제조 되 는 마이크 로 구조 체 ( 13 g ) 는 도 16 의 우측 에 도시 된 바 와 같이 , 상부 가 원뿔형 ( 13 g ') 이 고 , " 하부 가 반구형 ( 13 g "") 인 형상 으로 형성 될 수 있 다 . 이때 ", 상부 ( 13 g ') 는 추가 고형물 ( 12 d ) 의 유동 화 에 의해 형성 된 것 이 고 , " 하부 ( 13 g "") 는 고형물 ( 12 ) 에 대응 하 는 것 이 다 . "