제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 공간 에 는 제 2 플레이트 ( 240 ) 가 설치 된다 . 제 2 플레이트 ( 240 ) 는 지지 축 ( 244 ) 에 의해 지지 된다 . 웨이퍼 ( W ) 는 제 2 플레이트 ( 240 ) 의 상부 면 에 놓여진다 . 제 2 플레이트 ( 240 ) 의 내부 에 는 히터 ( 242 ) 가 설치 된다 . 히터 ( 242 ) 는 제 2 플레이트 ( 240 ) 의 상부 면 에 안착 된 웨이퍼 ( W ) 를 공정 온도 로 가열 한다 . 제 2 플레이트 ( 240 ) 상 에 는 복수 의 지지 돌기 들 ( 240 a ) 이 설치 되 며 , 웨이퍼 ( W ) 의 배면 은 복수 의 지지 돌기 들 ( 240 a ) 에 의해 지지 된다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 는 제 1 플레이트 ( 240 ) 의 상부 면 으로부터 일정 거리 이격 된 상태 를 유지 한다 .