도 5 내지 도 8 로 나타낸 구성 과 같이 , 용량 소자 ( 164 ) 의 유전체 층 으로서 트랜지스터 ( 162 ) 의 게이트 절연 층 ( 146 ) 을 이용 하 는 경우 는 , 비트 선 ( BL ) 으로서 기능 하 는 배선 ( 158 ) 과 용량 소자 ( 164 ) 의 사이 에 , 트랜지스터 ( 160 ) , 트랜지스터 ( 162 ) 가 이 순서 로 직렬 로 전기 적 으로 접속 되 는 구성 이 바람직 하 다 . 도 9 에 나타낸 구성 과 같 은 트렌치 형 이나 스택 형 의 용량 소자 를 이용 하 는 경우 는 , 비트 선 ( BL ) 으로서 기능 하 는 배선 ( 158 ) 과 용량 소자 ( 164 ) 의 사이 에 , 트랜지스터 ( 162 ) , 트랜지스터 ( 160 ) 가 이 순서 로 직렬 로 전기 적 으로 접속 되 어 있 는 구성 이 바람직 하 다 . 즉 , 트랜지스터 ( 162 ) 를 통하 지 않 고서 , 트랜지스터 ( 160 ) 의 소스 와 드레 인 중 의 한 쪽 이 용량 소자 ( 164 ) 에 전기 적 으로 접속 되 는 구성 이 바람직 하 다 .