표 2 에서 알 수 있 는 바 와 같이 DBS 첨가 시킨 연마 슬러리 의 경우 , 첨가 되 지 않 은 조성물 과 비교 해 볼 때 , 연마 속도 는 DBS 가 적 은 양 이 첨가 되 면 약간 증가 하 였으며 100 ppm 을 첨가 해도 거의 감소 하 지 않 았 으며 , 웨이퍼 의 연마 평탄 도 는 DBS 가 첨가 되 지 않 은 경우 7 . 62 % 에서 25 ppm 첨가 하 면 2 . 18 % 로 크 게 개선 되 는 것 을 알 수 있 다 .