선택 적 인 플라 즈 마 제 한 부 는 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 와 같 은 유출 부 포트 ( 220 ) 의 길이 를 따라 실질 적 으로 중심 에 위치 될 수 있 다 . 다르 게 는 , 선택 적 인 플라 즈 마 제 한 부 는 실질 적 으로 , 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ') 와 같 은 유출 부 포트 ( 220 ) 의 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 단부 에 위치 될 수 있 다 . 다르 게 는 , 선택 적 인 플라 즈 마 제 한 부 는 실질 적 으로 , " 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 "") 와 같 은 유출 부 포트 ( 220 ) 의 프로세스 챔버 ( 230 ) 단부 에 위치 될 수 있 다 . 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 는 유출 부 포트 ( 220 ) 의 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 단부 와 프로세스 챔버 ( 230 ) 단부 사이 의 유출 부 포트 ( 220 ) 의 길이 를 따라 임의 의 곳 에 위치 될 수 있 다는 점 이 이해 되 야 한다 . "