본 발명 은 상기 문제점 을 해결 하 기 위해 안출 된 것 으로서 , 초전 도 테이프 를 이루 는 특정 성분 을 공급 하 는 증착 챔버 와 , 상기 특정 성분 을 드럼 에 감긴 기판 상 에 증착 시키 고 열처리 과정 을 수행 하 는 반응 챔버 및 상기 증착 챔버 및 반응 챔버 의 분위기 를 분리 시키 는 분리 챔버 에 의해 모든 초전 도 테이프 제조 과정 이 동일 한 환경 하 에서 이루어지 는 일관 공정 에 의한 초전 도 테이프 제조 방법 및 장치 의 제공 을 그 목적 으로 한다 .