또한 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 상기 포커스 캘 리브레 이 션 후반 처리 와 전후 하 여 , 다음 과 같 은 Pri - BCHK 의 후반 처리 를 실시 한다 . 즉 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 투영 광학계 ( PL ) 에 의해 투영 된 레티 클 ( R ) 상의 1 쌍 의 계측 마크 의 투영 이미지 ( 공간 이미지 ) 를 , 공간 이미지 계측 장치 ( 45 ) 를 사용 하 여 , 예 를 들 어 미국 특허 출원 공개 제 2002 / 0041377 호 명세서 등 에 개시 된 방법 과 동일 하 게 , 1 쌍 의 공간 이미지 계측 슬릿 패턴 ( SL ) 을 사용 한 슬릿 스캔 방식 의 공간 이미지 계측 동작 으로 각각 계측 하 고 , 그 계측 결과 ( 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 XY 위치 에 따른 공간 이미지 강도 ) 를 메모리 에 기억 한다 . 이 Pri - BCHK 의 후반 처리 시 에 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 XY 평면 내 의 위치 는 X 스케일 ( 39 X 2 ) 에 대향 하 는 X 헤드 ( 664 ) ( 인코더 ( 70 D ) ) 와 , Y 스케일 ( 39 Y 1 , 39 Y 2 ) 에 대향 하 는 2 개 의 Y 헤드 ( 673 , 682 ) ( 인코더 ( 70 E 1 , 70 F 1 ) ( 또는 Y 헤드 ( 65 j , 64 i ) ( 인코더 ( 70 A , 70 C ) ) 에 기초 하 여 제어 된다 .