환원 가스 공급원 ( 55 a ) 은 , 가스 공급 라인 ( 55 b ) 을 통해 환원 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 한다 . 가스 공급 라인 ( 55 b ) 에 는 , 상류 측 으로부터 유량 제어기 ( 55 c ) , 저류 탱크 ( 55 d ) 및 밸브 ( 55 e ) 가 개재 되 어 설치 되 어 있 다 . 가스 공급 라인 ( 55 b ) 의 밸브 ( 55 e ) 의 하류 측 은 , 환원 가스 공급 라인 ( 54 b ) 에 접속 되 어 있 다 . 환원 가스 공급원 ( 55 a ) 으로부터 공급 되 는 환원 가스 는 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 되 기 전 에 저류 탱크 ( 55 d ) 에서 일단 저류 되 고 , 저류 탱크 ( 55 d ) 내 에서 미리 정해진 압력 으로 승압 된 후 , 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 된다 . 저류 탱크 ( 55 d ) 로부터 처리 용기 ( 1 ) 에 의 환원 가스 의 공급 및 정지 는 , 밸브 ( 55 e ) 에 의해 행해진다 . 이 와 같이 저류 탱크 ( 55 d ) 에 환원 가스 를 일단 저류 함 으로써 , 비교 적 큰 유량 으로 안정 적 으로 환원 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 할 수 있 다 .