3 ) 현상액 을 사용 하 여 막 의 미경 화 된 부분 을 제거 하 는 단계 : 당해 단계 는 침지 법 , 패들법 또는 회전 스프레이 법 등 의 방법 에 의해 실시 할 수 있 다 . 현상액 으로 는 , 본 발명 에 관련 된 감광성 수지 조성물 의 양 ( 良 ) 용매 를 단독 으로 또는 양용매 와 빈 ( 貧 ) 용매 를 적절히 혼합 하 여 사용 할 수 있 다 . 양용매 로 는 , N - 메틸 - 2 - 피 롤리 돈 , N - 아세틸 - 2 - 피 롤리 돈 , N , N - 디 메틸 아세트아미드 , N , N - 디 메틸 포름 아미드 , 디 메틸 술 폭 사이드 , 감마 부티 로 락톤 , - 아세틸 - 감마 부티 로 락톤 , 시클 로 펜 타 논 , 시클로헥사논 , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 , 메틸에틸케톤 , 메틸 이 소 부틸 케톤 등 을 , 빈용매 로 는 , 메탄올 , 에탄올 , 이소프로판올 , 물 등 을 들 수 있 다 .