교반기 , 온도계 , 냉각관 을 구비 한 2 L 의 플라스크 에 , 25 중량 % TMAH 수용액 36 . 5 g , IPA 800 ml , 물 2 . 0 g 을 주입 하 고 , 이어서 적하 깔때기 에 페닐 트리 메 톡 시실 란 39 . 7 g , 메틸 트리 메 톡 시실 란 34 . 1 g , 테트라 메 톡 시실 란 7 . 6 g 의 혼합 용액 을 조정 하 였 다 . 그 혼합 용액 을 10 ℃ 에서 적하 하 고 , 동온 에서 24 시간 교반 한 후 , 10 % HCl 수용액 을 가하 여 중화 하 였 다 . 중 화액 에 톨루엔 400 ml , 물 100 ml 를 첨가 하 고 , 2 층 으로 분리 시켜 , 수득 된 유기 층 을 감압 하 농축 함 으로써 용매 를 제거 하 고 , 농축물 에 고형분 농도 40 중량 % 가 되 도록 PGMEA 를 첨가 조정 하 였 다 . 수득 된 폴리 실록 산 5 의 분자량 ( 폴리스티렌 환산 ) 은 , Mw = 1 , 430 이 었 다 . 수득 된 수지 용액 을 실리콘 웨이퍼 에 프리 베 이크 후 의 막 두께 가 2 ㎛ 가 되 도록 도포 하 고 , 5 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 를 측정 한 결과 , 1 , 200 Å / 초 이 었 다 .