바람직 하 게 는 , 표면 텅스텐 불순물 은 0 . 01 ppbw 이상 500 ppbw 이하 이 다 . 바람직 하 게 는 , 표면 텅스텐 불순물 은 10 ppbw 이상 500 ppbw 이하 이 다 . 바람직 하 게 는 , 표면 텅스텐 불순물 은 1 ppbw 이상 10 ppbw 이하 이 다 . 바람직 하 게 는 , 표면 텅스텐 불순물 은 0 . 01 ppbw 이상 1 ppbw 이하 이 다 .