또한 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 에서 는 , 시트 재치 동작 과 웨이퍼 유지 동작 과 수지 공급 동작 과 의 실시 순서 는 , 이 순서 로 한정 되 지 않 는다 . 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 점착 기 ( 1 ) 에서 는 , 구체 적 으로 는 , 시트 재치 동작 후 에 수지 공급 동작 이 실시 되 면 좋 고 , 웨이퍼 ( 200 ) 측 의 처리 동작 인 웨이퍼 유지 동작 과 일련 의 테이블 ( 30 ) 측 의 동작 처리 인 시트 재치 동작 및 수지 공급 동작 은 , 어느 쪽 이 먼저 실시 등 이 후 에 실시 되 어도 좋 으며 , 평행 하 여 실시 되 어도 좋 다 . 후술 하 는 수지 피복 동작 은 , 시트 재치 동작 , 웨이퍼 유지 동작 및 수지 공급 동작 의 모든 처리 동작 이 실시 된 후 에 실시 된다 .