수동형 공진기 ( Resonator ) 기술 은 마이크로파 대 에서 Q ( Quality factor : 주파 수 선택 특성 품질 ) 값 과 주파수 의 안정도 를 높이 기 위하 여 수정 을 박막 으로 만들 어 공진기 를 만드 는 방식 으로 계속 발전 하 여 오 고 있 다 . 근래 에 레이저 를 이용 한 미세 가공 기술 의 발전 으로 인하 여 박막 을 초 소형 으로 정밀 하 게 만들 수 있 게 되 었 다 .