상기 포토다이오드 패턴 ( 145 ) 상부 표면 에 는 상기 하드 마스크 패턴 ( 155 ) 이 형성 되 어 있 으므로 상기 포토다이오드 패턴 ( 145 ) 사이 의 소자 분리 트랜 치 ( 147 ) 내벽 에 상기 BF 2 이온 이 주입 되 어 배리 어막 ( 160 ) 을 형성 하 게 된다 . 추가 적 으로 상기 BF 2 이온 주입 후 어닐링 공정 이 진행 될 수 도 있 다 .