그러나 , 이런 간단 한 프로그램 을 통해 검사 를 수행 하 는 경우 , 가령 도 1 의 수직 패턴 부분 의 왼쪽 윤곽선 은 일 직선 상 에 있 지 않 으므로 수평 부분 과 수직 부분 의 연결부 에서 선폭 증가 가 두 패턴 의 연결부 때문 인 것 으로 판단 되 지 않 는다 . 따 라서 , 도 1 과 같 은 패턴 은 종래 의 프로그램 상 에서 선폭 증가 부 가 에러 로 인한 것 으로 판단 되 고 , 이러 한 펠스 에러 의 숫자 가 늘어나 면 실제로 문제 를 일으키 는 에러 와 구분 하 는 것 이 어렵 게 된다 .