주변 노광 유닛 ( 51 ) 에 의하 면 , 웨이퍼 ( W 1 또는 W 2 ) 의 X 축 방향 의 중심 과 주변 노광 유닛 ( 51 ) 의 길 이 방향 의 중심 이 거의 일치 한 상태 로 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 또는 WST 2 ) 를 Y 축 방향 으로 이동 시킴 으로써 , 웨이퍼 ( W 1 또는 W 2 ) 의 임의 의 주변 노광 영역 ( 예 를 들 어 도 13 의 영역 ( S 1 a , S 7 a , S 8 a , S 16 a , S 17 a , S 27 a , S 50 a , S 60 a , S 61 a , S 69 a , S 70 a , S 76 a ) 참조 ) 을 노광 하 여 임의 의 패턴 을 형성 할 수 있 다 .