웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 에서 는 , 우선 , 이 동부 ( 50 ) 가 , 유지 부 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 을 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 으로부터 충분히 이격 한 상태 로 한다 . 웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 에서 는 , 다음 에 , 반송 부 ( 86 ) 가 , 이면 ( 205 ) 측 을 연직 방향 의 상방 을 향한 상태 에서 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 유지 부 ( 20 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 의 하방 에 반송 한다 . 웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 에서 는 , 유지 부 ( 20 ) 가 , 유지 면 ( 20 - 1 ) 의 하방 에 반송 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 상방 을 향해진 이면 ( 205 ) 측 을 유지 면 ( 20 - 1 ) 으로 흡인 한다 . 이 에 의해 , 웨이퍼 유지 단계 ( ST 13 ) 에서 는 , 유지 부 ( 20 ) 가 , 범프 ( 204 ) 가 탑재 된 표면 ( 201 ) 측 을 하방 의 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 에 대향 시킨 상태 에서 , 유지 면 ( 20 - 1 ) 에 웨이퍼 ( 200 ) 를 흡인 유지 한다 .