수지 부착기 ( 1 ) 는 , 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 임시 배치 테이블 ( 11 ) 의 직경 방향 을 둘러싸 고 , 원주 방향 으로 등 간격 으로 배열 되 어 설치 된 지지대 ( 16 - 1 , 16 - 2 ) 를 더 구비 하 는 것 이 바람직 하 다 . 지지대 ( 16 - 1 ) 는 , 제 1 측 정부 ( 12 ) 및 제 2 측 정부 ( 13 ) 가 설치 된 미리 정해진 위치 에 설치 되 어 있 고 , 제 1 측 정부 ( 12 ) 및 제 2 측 정부 ( 13 ) 의 각 접촉 부 가 삽입 되 는 관통 구멍 ( 16 - 3 ) 이 연직 방향 에 따라 형성 되 어 있 다 . 지지대 ( 16 - 1 , 16 - 2 ) 는 , 상면 의 높이 가 임시 배치 테이블 ( 11 ) 의 유지 면 ( 11 - 1 ) 과 동일 하 게 형성 되 어 있 고 , 이 상면 에서 웨이퍼 ( 200 ) 의 외연 을 이면 ( 205 ) 측 으로부터 지지 한다 . 수지 부착기 ( 1 ) 는 , 지지대 ( 16 - 1 , 16 - 2 ) 를 더 구비 하 는 경우 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 휘 지 않 게 지 지 할 수 있 으므로 , 두께 측 정부 ( 10 ) 가 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 를 보다 정확 하 게 측정 하 는 것 을 가능 하 게 한다 .