에칭 장치 의 일 실시 형태 는 , 기판 을 유지 하 는 기판 유지 부 와 , 상기 기판 유지 부를 회전축 선 둘레 로 회전 시키 는 회전 구동 부 와 , 상기 기판 유지 부 에 의해 유지 된 기판 의 주연 부 를 향해 에칭 액 을 토출 하 는 액 토출 부 와 , 적어도 상기 회전 구동 부 와 상기 액 토출 부 를 제어 함 으로써 상기 에칭 장치 의 동작 을 제어 하 도록 구성 된 제 어부 를 구비 하 고 , 상기 제 어부 는 , 상기 액 토출 부 에 의해 토출 된 에칭 액 이 기판 의 주연 부 의 착 액 점 에 착 액 한 후 에 즉시 기판 으로부터 이탈 하 는 즉시 이탈 조건 으로 기판 의 에칭 이 행해 지 도록 , 상기 회전 구 동부 에 의해 회전 되 는 기판 의 회전 속도 , 상기 액 토출 부 로부터 의 에칭 액 의 토출 속도 , 상기 액 토출 부 로부터 의 에칭 액 의 토출 방향 중 적어도 하나 를 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 .