이상 에서 설명 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 면 , 가변 테이블 에 흡착 또는 부상 되 는 작업대 상물 의 사이즈 에 대응 되게 흡착 유체 또는 부상 유체 를 공급 하 는 캠 방식 밸브 개폐 스위치 를 구비 함 으로써 , 가변 테이블 측 으로 공급 되 는 불 필요 한 유체 를 차단 할 수 있 어 에너지 손실 을 최소 화 할 수 있 을 뿐 만 아니 라 구조 가 단순 하 여 제작 단가 를 현저히 낮출 수 있 다 .