또한 , 상기 편광 필름 에 투명 도전 막 을 증착 시켜 주 는 플 라즈 마장 치 는 펄스 형 마이크로파 의 합성 을 이용 한 대면 적 전자 싸이클 로 트론 공진 플라 즈 마장 치 로써 , 저 면 이 트여 진 사각 함 체 형상 을 갖 고 그 내부 에 플 라즈 마 반응 실 을 구비 한 반응 조 와 ; 모서리 부가 원형 을 이루 도록 사각 형태 로 코일 이 권 취 된 형태 에서 상기 반응 조 의 외측 하부 와 상부 에 각각 설치 되 어 자장 을 발생 시키 는 주 , 부 전자석 과 ; 2 . 45 ㎓ 의 마이크로파 를 공진기 의 양측 으로 발생 시켜 주 는 한 쌍 의 마이크로파 발생기 와 ; 속 이 빈 4 개 의 사각 관 체 를 상호 연결 시켜 사각 틀 체 형상 을 갖 고 , 양측 에 위치 된 사각 관체인 도입부 중앙 에 는 상기 마이크로파 발생기 들 이 각각 연결 되 는 마이크로파 분기 구가 형성 된 구성 을 갖 고 상기 주 , 부 전자석 사이 에서 반응 조 의 외측 에 고정 설치 되 어 공진 을 통해 마이크로파 들 을 합성 하 여 반응 조 의 플 라즈 마 반응 실 측 으로 전달 하 는 공진기 와 ; 상기 공진기 의 전 , 후 사각 관 체 내측 부 와 상기 반응 조 의 외측 면 사이 에 설치 되 어 상기 공진기 의 도입 공과 도파 부 을 통해 λ ｇ 의 파장 을 갖 고 전달 되 는 정재파 의 합성 마이크로파 를 반응 조 의 플 라즈 마 반응 실 내 로 전달 하 는 유전체 창과 ; 편광 필름 의 상방 부 에 위치 한 상기 플 라즈 마 반응 실 의 바닥 면 에 설치 되 어 각종 금속 화합물 을 균일 하 게 분사 시키 는 전구체 노즐 로 구성 한 것 을 특징 으로 한다 .