린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 는 린스 유체 에 인가 된 압력 에 따라 필요 한 제어 된 속도 로 기판 ( 207 ) 을 향해 린스 유체 ( 227 ) 를 분배 하 도록 구성 된다 . 일 실시 형태 에서 , 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) 에는 도관 ( 221 ) 내 의 린스 유체 ( 227 ) 의 압력 을 필요 한 압력 레벨 로 증가 시킬 수 있 는 압력 부 스팅 ( boosting ) 디바이스 가 장착 된다 . 다양 한 실시 형태 에서 , 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 는 매니폴드 에 부착 된 단일 의 노즐 , 다수 의 노즐 , 또는 특히 멀티 - 포트 린스 헤드 로서 구성 될 수 있 다 . 특정 한 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 의 실시 형태 에 관계없이 , 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 는 제어 된 패턴 으로 그리고 제어 된 유동 속도 로 린스 유체 ( 227 ) 가 기판 ( 207 ) 을 향하 도록 구성 된다 .