본 실시 형태 에서 는 , 측정 패턴 ( 210 ) 의 차 광부 ( 212 ) 의 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 길이 ( L 1 ) 와 차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 길이 ( L 3 ) 가 L 1 > L 3 + 2 b 를 만족 시키 는 경우 를 예시 하 였 다 . 그러나 , 차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 과 직교 하 는 방향 의 길이 ( L 3 ) 가 개구부 ( 322 ) 의 폭 방향 의 길이 ( t ) 보다 충분히 긴 경우 에 는 , 상기 길이 ( L 1 ) 및 ( L 3 ) 는 반드시 상기 관계 를 만족 시킬 필요 는 없 다 . L 1 = L 3 또는 L 1 > L 3 이 면 , 상기 관계 로부터 어긋남 이 측정 정밀도 에 주 는 영향 이 작 기 때문 에 상기 와 마찬가지 의 효과 를 얻 을 수 있 다 .