본 발명 에서 , 수증기 또는 유기 화합물 증기 의 분압 은 , 포화 증기압 에 대한 백분율 을 20 ％ 내지 99 ％ 의 범위 에서 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 참고 로 , 전 구체 에 증기 를 흡습 하 여 주변 부 형상 또는 전체 형상 이 적절 한 형상 으로 정형 된 도전 성 박막 의 전구체 ( 17 ) 는 , 기판 이 도 3 에 도시 된 챔버 ( 13 ) 로부터 인출 되 어 , 상기 전구체 의 물 또는 유기 화합물 이 기화 한 후 에 도 정형 된 형상 을 유지 한다 .