따라서 , 실시 예 에서 , 이 2 개 의 가정 ( 즉 , 어떤 하나 이상 의 처리 변수 ( 예 를 들 어 , 초점 ) 의 값 이 윤곽 형상 을 예측 할 수 있 고 어떤 하나 이상 의 다른 처리 변수 ( 예 를 들 어 , CD ) 가 윤곽 크기 를 예측 할 수 있 다는 가정 ) 을 고려 해 볼 때 , 하나 이상 의 기여 도 / 핑거 프린트 에서 선택 된 값 을 기초 로 피처 에 대한 윤곽 형상 및 크기 가 예측 될 수 있 다 . 특히 , 기판 상 의 모든 위치 에 대해 , 하나 이상 의 관심 대상 피처 에 대한 완전 한 윤곽 이 예측 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , 관심 대상 피처 는 결정 된 핫 스폿 ( hot spot ) 이 다 .