용매 의 분 율 은 수지 ( A ) 의 종류 에 따라 조정 할 수 있 으며 , 90 중량 ％ 이상 , 바람직 하 게 는 92 중량 ％ 이상 , 더 바람직 하 게 는 94 중량 ％ 이상 , 및 또한 바람직 하 게 는 99 . 9 중량 ％ 이하 , 더 바람직 하 게 는 99 중량 ％ 이하 일 수 있 다 . 레지스 트 조성물 이 이 와 같 은 범위 내 의 용매 를 함유 하 는 경우 , 이러 한 조성물 은 박막 레지스 트 필름 을 형성 하 는 데 바람직 하 여 , 30 내지 300 nm 두께 의 조성물 층 을 제조 하 는 데 사용 될 수 있 다 .