도 3 에 나타낸 바 와 같이 , 전 구체 분배 시스템 은 , 가스 전달 시스템 ( 112 ) , 적어도 가스 라인 ( 124 , 126 , 128 및 130 ) , 및 가스 분배 기 ( 132 ) 를 포함 할 수 있 지만 , 전 구체 분배 시스템 은 , 예 를 들 어 추가 가스 라인 , 밸브 , 액추에이터 , 밀봉 부 , 및 가열 요소 와 같이 도 3 에 나타내 지 않 은 추가 구성 요소 를 포함 할 수 있 음 에 유의 해야 한다 .