그 레이톤 노광용 마스크 는 슬릿 , 도트 등 의 패턴 이 적어도 하나 이상 , 주기 적 혹은 비 주기 적 으로 배치 된 개구 패턴 을 가지 고 있 다 . 또한 , 노광 장치 의 해 상 한계 이하 의 라인 및 스페이스 로 이루어지 는 마스크 의 개구 의 스페이스 로 구성 되 는 광 강도 저감 기능 을 가지 는 보조 패턴 의 광 강도 는 10 ∼ 70 % 의 범위 에서 조정 가능 하 게 되 어 있 다 .