[ A ] 중합체 로서 의 ( A - 1 ) 100 질 량부 , [ B ] 산 발생 제 로서 의 ( B - 1 ) 7 . 9 질 량부 , [ C ] 화합물 로서 의 ( Z - 1 ) 1 . 6 질 량부 , [ D ] 용매 로서 의 ( D - 1 ) 2 , 240 질 량부 및 ( D - 2 ) 960 질 량부 , [ E ] 중합체 로서 의 ( E - 1 ) 3 질 량부 및 [ F ] 편재화 촉진제 로서 의 ( F - 1 ) 30 질 량부 를 배합 하 고 , 구멍 직경 0 . 2 ㎛ 의 멤 브레인 필터 로 여과 함 으로써 감방 사선 성 수지 조성물 ( J - 1 ) 을 조제 하 였 다 .