복수 의 퍼지 밸브 ( AV 1 A , AV 11 , AV 7 , AV 15 , AV 16 ) 는 실린더 ( 100 ) 를 교체 하 고자 하 여 가스 공급 라인 ( 도 1 의 실선 표시 ) 을 퍼지 하 는 경우 에 퍼지 가스 ( N 2 ) 가 공급 되 도록 퍼지 가스 공급 라인 에 설치 되 며 , 각각 의 퍼지 밸브 ( AV 1 A , AV 11 , AV 7 , AV 15 , AV 16 ) 사이 에 는 퍼지 가스 및 반응 가스 의 역류 를 방지 하 는 역류 방지 밸브 ( CV 1 , CV 6 ) 가 설치 된다 .