이어서 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 122 a ) 을 제거 하 고 , 상기 기판 ( 110 ) 상 에 복수 의 제 2 개 구부 들 ( 123 b ) 을 갖 는 제 2 마스크 패턴 ( 122 b ) 을 형성 한다 . 상기 제 2 개 구부 들 ( 123 b ) 도 상기 일 방향 을 따라 서로 이격 되 어 배열 된다 . 상기 제 2 개 구부 들 ( 123 b ) 도 상기 일 방향 을 따라 등 간격 으로 배열 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 각 제 2 개 구부 들 ( 123 b ) 은 상기 일 방향 으로 제 2 폭 ( W 2 ) 을 갖 는다 . 상기 제 2 폭 ( W 2 ) 은 상기 제 1 폭 ( W 1 ) 과 동일 한 것 이 바람직 하 다 . 상기 제 2 개 구부 ( 123 b ) 들 은 상술 한 제 1 개 구부 ( 123 a ) 들 이 형성 된 지점 들 로부터 상기 일 방향 을 따라 제 1 이격 거리 ( D ) 만큼 이동한 지점 들 에 각각 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 특정 거리 ( D ) 는 0 보다 크 고 상기 제 1 폭 ( W 1 ) 과 같 거나 작 은 것 이 바람직 하 다 .