자기 흡착 척 ( 307 ) 은 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 척 본체 ( 307 x ) 와 , 척 본체 ( 307 x ) 의 배면 ( 유리 기판 ( G ) 과 대향 하 는 측 과 는 반대 측 ) 으로부터 캐리어 본체 ( 302 ) 측 으로 Z 축 방향 ( 도면 의 상 방향 ) 으로 연장 되 는 2 개 의 가이드 로드 ( 307 a ) 를 가지 고 있 다 . 이 가이드 로드 ( 307 a ) 가 캐리어 본체 ( 302 A ) 의 프레임 에 마련 된 통형 상 가이드 ( 307 b ) 에 자유 롭 게 미끄럼 이동 가능 하 게 삽입 되 며 , 척 프레임 ( 309 ) 내 를 상하 로 이동 가능 하 게 되 어 있 다 .