도 29 는 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 와 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 과 , 웨이퍼 W 의 중심 wf 와 의 위치 관계 를 나타내 는 도면 이 다 . 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 wf 의 편심 량 은 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 웨이퍼 W 의 중심 wf 까지 의 거리 , 즉 편심 벡터 Pv 의 크기 | Pv | 로 표시 된다 . 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 wf 의 편심 방향 은 , 각도 기준선 PL 로부터 의 편심 벡터 Pv 의 각도 β 로 표시 된다 . 결정 된 웨이퍼 W 의 편심 량 ( | Pv |) 및 편심 방향 ( 각도 β ) 는 , 동작 제 어부 ( 75 ) 로 보내 진다 .