상기 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 134 a , 134 b , 134 c , 134 d ) 은 차례 로 적층 되 고 , 상기 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 134 a , 134 b , 134 c , 134 d ) 의 폭 들 은 높 아 질수록 감소 된다 . 또한 , 적어도 상기 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 134 b , 134 c , 134 d ) 의 일 측벽 들 은 서로 정렬 된다 . 이 에 따라 , 적어도 상기 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 134 b , 134 c , 134 d ) 의 타 측벽 들 은 계단 형상 을 가질 수 있 다 .