본 발명 의 감광성 수지 조성물 은 , 경화 막 의 탄성 률 제어 에 따른 휨 억제 의 관점 에서 , 단 관능 중합 성 모노머 를 바람직 하 게 이용 할 수 있 다 . 단 관능 중합 성 모노머 로서 는 , n - 뷰 틸 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 2 - 에틸 헥 실 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 2 - 하이드 록 시에 틸 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 뷰 톡 시 에 틸 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 카비 톨 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 사이클 로 헥 실 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 벤질 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 페녹 시에 틸 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , N - 메틸 올 ( 메트 ) 아크릴아마이드 , 글 리시 딜 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 폴리에틸렌 글라이콜 모노 ( 메트 ) 아크릴 레이트 , 폴리프로필렌 글라이콜 모노 ( 메트 ) 아크릴 레이트 등 의 ( 메트 ) 아크릴산 유도체 , N - 바이닐 피 롤리 돈 , N - 바이닐 카프로락탐 등 의 N - 바이닐 화합물 류 , 알릴 글 리시 딜 에 터 , 다 이 알릴 프탈 레이트 , 트라이 알릴 트라이 멜리 테이트 등 의 알릴 화합물 류 등 이 바람직 하 게 이용 된다 . 단 관능 중합 성 모노머 로서 는 , 노광 전 의 휘발 을 억제 하 기 위하 여 , 상압 하 에서 100 ℃ 이상 의 비점 을 갖 는 화합물 도 바람직 하 다 .