또한 , 가장 널리 이용 되 고 있 는 엑 시머 레이저 어닐링 법 도 짧 은 시간 에 열처리 되 어 기판 에 손상 을 주 지 않 는 것 으로 알려져 있 지만 , 이 역시 일정 한 열 은 기판 에 전달 되 는 것 으로 알려져 있 어 플라스틱 기판 등 을 이용 하 는 것 은 어려운 문제점 이 있 고 , 레이저 어닐링 법 이 기본 적 으로 고가 의 비용 이 드 는 공정 이 므로 설사 기판 변형 문제 가 없 다 하 더라도 보다 저가 의 공정 비용 으로 소자 를 제조 하 지 못하 는 문제점 을 여전히 안 고 있 다 .