또한 , 본 발명 의 제 5 목적 은 마이크 로 리소그래피 용 투사 노광 장치 용 조명 광학 기기 용 레이저 의 조명 광선 다발 을 조절 하 기 위해 , 도입부 에 서술 된 광학 기기 조절 유닛 에 의해 달성 된다 . 이 경우 에 레이저 는 하나 이상 의 일관 된 레이저 모드 및 레이저 출력 을 갖 는다 . 또한 , 조명 광선 다발 은 분산 , 광선 또는 다발 프로파일 , 및 편광 상태 를 가지 며 , 본 발명 에 따르 는 광학 기기 조절 유닛 은 적어도 분산 및 / 또는 광선 또는 다발 프로파일 , 및 / 또는 레이저 출력 과 다중 미러 어레이 ( MMA ) 사이 의 조명 광선 다발 의 편광 상태 를 변경 한다 .