델타 - 강도 맵 이 생성 되 었 다면 , 레티 클 이 그러 한 맵 에 기초 하 여 검사 를 통과 하 는지 여부 가 결정 될 수 있 다 . 강도 변동 이 사전 정의 된 또는 통계 - 기반 임계 치 를 초과 하 면 , 대응 하 는 패치 는 그 후 더 신중 하 게 검토 되 어 , 레티 클 에 결함 이 있 고 더 이상 사용 될 수 없 는지 의 여부 를 결정 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , SEM 을 사용 하 여 결함 영역 을 검토 하 여 임계 치수 ( CD ) 가 사양 을 벗어났 는지 여부 를 결정 할 수 있 다 . 이 검토 공정 은 보고 된 후보 결함 중 임의 의 것 에 대해 구현 될 수 있 다 .