중공 의 지지 샤프트 ( 112 ) 는 정전 척 ( 150 ) 에 대해 유체 공급원 ( 142 ) , 가스 공급원 ( 141 ) , 척 킹 력 공급원 ( 140 ) 및 하나 또는 그 초과 의 RF 소오 스 ( 117 ) 들 ( 예컨대 , RF 플 라즈 마 전력 공급원 및 / 또는 RF 바이어스 전력 공급원 ) 을 커플링 하 기 위한 도관 을 제공 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , RF 전력 공급원 ( 117 ) 은 RF 정합 네트워크 ( 116 ) 를 통해 정전 척 에 커플링 될 수 있 다 .