이 곤란 에 대처 하 기 위해 , 진공 반 송실 ( 15 ) 을 크 게 하 고 , 진공 반 송실 ( 15 ) 에 접속 될 수 있 는 모듈 수 를 늘려 , 부속 모듈 을 접속 하 는 것 도 생각 될 수 있 다 . 그러나 , 이러 한 구성 에서 는 장치 의 점유 면적 ( 풋 프린트 ) 이 커져 버려 , 제 2 반송 아암 ( 14 ) 의 이동 영역 이 커지 기 때문 에 , 당해 반송 아암 ( 14 ) 의 스루풋 이 저하 되 어 버린다는 문제 가 발생 한다 . 또한 , 진공 반 송실 ( 15 ) 을 크 게 하 고 , 그곳 에 접속 되 는 모듈 수 를 늘리 면 , 장치 전체 나 제 2 반송 아암 ( 14 ) 의 사양 을 대폭 으로 변경 하 지 않 으면 안 되 어 , 설계 등 에 수고 와 시간 을 요한다는 문제 도 있 다 . 또한 , 예비 진 공실 ( 13 ) 에 부속 모듈 을 형성 하 는 것 도 생각 될 수 있 지만 , 예비 진 공실 ( 13 ) 을 감압 과 상압 으로 선택 적 으로 유지 할 때 에 , 복잡 한 압력 조정 이 필요 해져 , 이 압력 조정 에 의해 스루풋 이 저하 된다는 문제 도 발생 할 경우 가 있 다 .