본 발명 은 , 처리 액 공급 모드 시 기체 도입 배관 과 액 공급 배관 을 개방 하 고 기체 주입 배관 과 배기 배관 을 폐쇄 함 으로써 , 기체 도입 배관 으로부터 의 기체 압력 에 의하 여 처리 액 을 액 토출 유닛 으로 공급 하 고 , 기체 주입 배관 으로 역류 되 는 처리 액 을 액 저장실 로 리턴 시켜 처리 액 을 교반 하 는 액 공급 유닛 과 액 공급 방법 을 제공 한다 . 또 , 본 발명 은 이 를 이용 하 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 .