본 발명 은 상기 와 같이 구성 되 어 있 고 , 반송 롤러 의 회전 축선 이 연직 이 면 기판 을 얹 을 수 없 기 때문 에 , 회전축 과 수평면 이 이루 는 각도 는 0 ° 이상 이 며 최대 로 도 90 ° 미만 이 다 . 반송 롤러 의 회전 축선 과 수평면 이 이루 는 각도 는 , 기판 의 경사 각도 ( θ : 일례 로서 2 ° ∼ 5 ° 의 각도 ) 와 동일 각도 로 할 수 있 다 .