또한 절 연막 ( 103 b ) 은 산소 를 흡인 하 기 어려운 절 연막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 바꿔 말 하 면 , 산소 가 확산 되 기 어려운 절 연막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 로써 , 절 연막 ( 103 c ) 으로부터 반도체 층 ( 108 ) ( 또는 반도체 층 ( 108 ) 이 되 는 금속 산화 물막 ) 에 산소 를 공급 하 기 위한 열 처리 를 수행 할 때 에 절 연막 ( 103 c ) 으로부터 절 연막 ( 103 b ) 측 으로 산소 가 확산 되 어 반도체 층 ( 108 ) 에 공급 되 는 산소 의 양 이 저감 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 .