리페 어 부분 의 바로 위 에 대물 렌즈 ( 32 ) 의 광축 이 위치 결정 되 었 으면 , 다음 에 , 3 차원 위치 결정 기구 ( 2 ) 를 작동 하 여 , 대물 렌즈 ( 32 ) 의 광축 을 가리 는 겹치 는 위치 로부터 동 광축 을 가리 지 않 는 대피 위치 로 전사 헤드 ( 1 ) 를 대피 시킨 후 , 레이저 조사 광학계 ( 3 k ) 전체 를 강하 시키 면서 , 전자 카메라 ( 37 ) 의 핀트 판정 출력 을 감시 하 고 , 핀트 가 맞 은 시점 까지 의 강하 거리 로부터 , 소정 의 기준 높이 로부터 리페 어 대상물 윗면 까지 의 거리 ( A ) 를 취득 한다 .