베이스 기판 ( 10 ) 에 는 다수 의 센서 어레이 패턴 이 형성 되 고 각각 의 어레이 가 하나 의 초음파 센서 로 동작 할 수 있 다 . 그리고 하나 의 초음파 센서 에 는 다수 의 셀 이 기둥 형태 로 형성 된다 . 폴링 전극 형성 및 센서 전극 형성 에 대해서 는 후술 하 기 로 한다 . 한편 , 제 1 전도성 라드 ( 21 ) 는 편의 상 도면 번호 는 하나 만 표시 하 였으나 , 다수 의 어레이 패턴 에 모두 동일 하 게 적용 될 수 있 다 .