상기 종래 기술 에 있 는 과제 를 해결 하 기 위해 , 연구 , 분석 , 여러 번 의 시행 착오 , 실험 및 시험 을 통해 , 본 발명자 들 은 초저주파 RF 전원 에 의해 구동 되 는 용량 결합 형 플 라즈 마 식각 반응기 를 제안 한다 . 상기 초저주파 RF 전원 ( LF ) 이 상기 용량 결합 형 플 라즈 마 반응기 의 하부 전극 에 공급 되 고 , 그 주파수 의 범위 는 10 KHz 이상 이 고 300 KHz 이하 이 다 . 고주파 RF 전원 ( HF ) 이 하부 전극 또는 상부 전극 에 가 되 고 , 그 RF 주파수 는 4 MHz 이상 이 고 , 바람직 하 게 는 13 . 56 MHz 또는 27 MHz 또는 60 MHz 이 다 .