또한 , 본 발명 이 발휘 하 는 효과 의 관점 에서 , 본 발명 의 일 형태 에 관한 표면 처리 조성물 은 , 질화규소 또는 산화 규소 를 포함 하 는 연마 완료 연마 대상물 의 표면 에 있 어서 의 유기물 잔사 를 저감 하 는 데 사용 되 는 것 이 바람직 하 고 , 질화규소 를 포함 하 는 연마 완료 연마 대상물 의 표면 에 있 어서 의 유기물 잔사 를 저감 하 는 데 사용 되 는 것 이 보다 바람직 하 다 . 이러 한 이유 는 , 후술 하 는 유기물 잔사 의 제거 작용 에 의한 유기물 잔사 의 제거 효과 가 후술 하 는 유기물 잔사 의 재 부착 억제 작용 에 의한 유기물 잔사 의 제거 효과 보다 강력 하 다고 추측 되 기 때문 이 며 , 또한 후술 하 는 산 성 조건 하 에 있 어서 의 질화규소 의 양전하 의 대전 이 , 산화 규소 의 양전하 의 대전 보다 강하 여 , 이온 성 관능기 함유 고분자 에 의한 유기물 잔사 의 제거 작용 이 보다 강력 해질 것 으로 추측 되 기 때문 이 다 . 그리고 , 이 들 연마 완료 연마 대상물 에 있 어서 의 , 제거 대상 으로 되 는 잔사 로서 는 , 유기물 잔사 인 것 이 특히 바람직 하 다 . 본 발명 은 유기물 잔사 에 대하 여 매우 현저 한 효과 를 발휘 하 기 때문 이 다 .