일 실시 예 에서 , 플라 즈 마 챔버 ( 104 ) 는 확산 기 ( 106 ) 가 수용 되 는 상단 부 의 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) , 좁 은 목 섹션 ( 104 a ) 바로 아래 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) , 및 콘 형 섹션 ( 104 b ) 바로 아래 그리고 샤워 헤드 ( 112 ) 의 상단 표면 ( 112 b ) 위 의 보다 넓 은 실린더 형 섹션 ( 104 c ) 을 갖 는 콘 형태 로 형성 된다 .