브러시 유닛 ( 580 ) 은 가이드 레일 ( 584 ) , 도포 용 브러시 ( 587 ) , 그리고 이 동체 ( 588 ) 를 포함 한다 . 가이드 레일 ( 584 ) 은 합성 기판 ( 10 ) 이 놓여 지 는 스테이지 ( 590 ) 의 양측 에 길 이 방향 으로 설치 된다 . 이 동체 ( 588 ) 는 가이드 레일 ( 584 ) 에 이동 가능 하 게 설치 되 며 , 이 동체 ( 588 ) 는 리니어 모터 구동방식 , 실린더 구동방식 , 모터 구동방식 과 같 은 공지 의 직선 이동 구 동부 ( 586 ) 에 의해 직선 이동 된다 . 도포 용 브러시 ( 587 ) 는 스테이지 ( 590 ) 의 상부 에 위치 되 며 , 촉매 ( 20 ) 를 합성 기판 ( 10 ) 전면 에 균일 한 두께 로 펴 준다 . 도포 용 브러시 ( 587 ) 는 그 양단 이 이 동체 ( 588 ) 에 연결 되 어 이 동체 ( 588 ) 와 함께 슬라이드 방식 으로 이동 된다 . 도포 용 브러시 ( 587 ) 는 진행 방향 에 대하 여 특정 경사면 을 가진 금속 또는 비금속 재질 의 플레이트 형상 으로 제공 될 수 있 다 .