도 57 내지 도 61 은 , 본 발명 의 제 6 실시 형태 를 설명 한다 . 본 실시 형태 는 , 제 1 실시 형태 ( 도 1 내지 도 52 참조 ) 의 조 ( 17 ) 의 구조 를 다음 과 같이 변경 한 것 이 다 . 도 57 은 , 본 실시 형태 의 조 ( 17 ) 의 외관 을 도시 한다 . 본 실시 형태 의 조 ( 17 ) 는 , 도 58 , 도 59 에 도시 한 바 와 같이 절연체 로 이루어지 는 패드 부재 ( 207 ) 의 외면 의 프로브 선 단부 ( 3 a ) 와 의 접촉면 에 전기 패드 부재 ( 207 ) 의 마모 방지 용 의 마모 방지 부 ( 311 ) 를 갖 는다 .