한편 , 본 발명 은 중심 영역 ( CA ) 에 진공 이 형성 되 어 기판 이 진공 척 에 밀착 되 는 경우 기판 의 가장자리 부분 이 들뜨 지 않 도록 하 기 위해 상기 기판 안착 부 ( 321 ) 의 가장자리 에 형성 된 단 턱 부 ( 325 ) 를 더 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 이때 , 상기 단 턱 부 ( 325 ) 의 높이 ( H 1 ) 는 상기 제 1 격벽 ( 324 ) 의 높이 보다 높 거나 같 게 되 도록 형성 하 여 기판 의 가장자리 부분 이 들뜨 지 않 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 .