LWR 성능 , 해상 성 , 단면 형상 의 직사각 형성 , 초점 심도 및 막 수축 억제 성 이 우수 한 감방 사선 성 수지 조성물 , 레지스 트 패턴 형성 방법 , 산 확산 제 어제 , 카르복실 산염 및 카르복실 산 의 제공 을 목적 으로 한다 . 본 발명 은 , 산 해리성 기 를 갖 는 중합체 와 , 감방 사선 성 산발 생체 와 , 하 기 식 ( 1 ) 로 표시 되 는 화합물 과 , 용매 를 함유 하 는 감방 사선 성 수지 조성물 이 다 . 하 기 식 ( 1 ) 중 , X 는 산소 원자 또는 황 원자 이 다 . R 1 은 수소 원자 또는 탄 소수 1 내지 20 의 1 가의 유기 기이 다 . R 2 내지 R 5 는 각각 독립 적 으로 수소 원자 또는 탄 소수 1 내지 20 의 1 가의 유기 기이 거나 , 또는 이 들 기 중 2 개 이상 이 서로 합해져서 이 들 이 결합 하 는 탄소 원자 와 함께 구성 되 는 환원 수 3 내지 20 의 지환 구조 또는 지방족 복소 환 구조 를 나타낸다 . Zn + 는 n 가 의 양이온 이 다 . n 은 1 내지 3 의 정수 이 다 .