레이저 현미경 을 사용 하 여 , 세선 의 직선 성 , 및 레지스 트 패턴 의 폭 과 세선 의 폭 의 어긋남 을 평가 하 였 다 . 세선 의 직선 성 에 대해서 는 , 세선 에 사행 을 확인 할 수 있 었 던 것 을 「 -」 이라고 평가 하 고 , 세선 에 사행 을 확인 할 수 없 었 던 것 을 「 +」 이라고 평가 하 였 다 . 또한 , 레지스 트 패턴 의 폭 과 세선 의 폭 의 어긋남 에 대해서 는 , 하 기 식 ( A ) 로부터 , 에칭 처리 전 의 레지스 트 패턴 의 폭 과 , 형성 된 세선 상부 의 폭 의 차 의 절댓값 「 L 1 」 을 산출 하 여 평가 하 였 다 . 「 L 1 」 의 값 이 「 0 」 일 경우 에 는 , 에칭 처리 전 의 레지스 트 패턴 의 폭 과 , 형성 된 세선 의 폭 이 동일 하 여 , 원 하 는 폭 의 세선 이 형성 된 것 을 의미 한다 . 한편 , 「 L 1 」 의 값 이 클수록 , 에칭 처리 전 의 레지스 트 패턴 의 폭 과 , 형성 된 세선 의 폭 의 차 가 커서 , 원 하 는 폭 의 세선 이 형성 되 지 않 은 것 을 의미 한다 . 평가 결과 를 표 4 에 나타내 었 다 .