즉 , 합착 기판 의 로딩 이 이루어지 지 않 은 상태 는 클램프 ( 422 ) 의 위치 가 스테이지 ( 410 ) 의 상면 에 근접 되 도록 하 고 , 합착 기판 의 로딩 이 이루 어 졌 을 경우 또는 , 스테이지 ( 410 ) 를 반전 시키 기 전 회전축 ( 421 ) 의 상향 이동 및 회전 그리고 , 하향 이동 을 순차 적 으로 수행 하 여 상기 스테이지 ( 410 ) 에 로딩 된 합착 기판 이 고정 될 수 있 도록 한다 .