로드 락 모듈 ( 30 ) 은 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 조절 할 수 있 다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 대기압 과 진공 압 사이 에서 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 조절 할 수 있 다 . 로드 락 모듈 ( 30 ) 은 로드 포트 ( 200 ) 의 기판 컨테이너 ( 100 ) 에서 기판 ( 102 ) 을 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 할 때 로드 락 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 을 외부 의 압력 과 균형 을 이루 도록 대기압 으로 조절 할 수 있 다 .