본 발명 의 다른 양태 는 기판 의 노치 부분 을 연마 하 기 위한 연마 장치 를 제공 하 는 것 이 다 . 연마 장치 는 기판 을 수평 으로 보유 하 고 기판 을 회전 하 도록 구성 된 회전식 보유 기구 와 , 각각 이 연마 테이프 를 사용 하 여 기판 을 연마 하 도록 구성 된 복수 의 연마 헤드 모듈 과 , 복수 의 연마 헤드 모듈 을 서로 독립 적 으로 이동 시키 도록 구성 된 이동 기구 를 포함 한다 . 복수 의 연마 헤드 모듈 각각 은 연마 테이프 를 기판 의 노치 부분 과 활주 접촉 시키 도록 구성 된 연마 헤드 와 , 연마 테이프 를 상기 연마 헤드 에 공급 하 고 연마 테이프 를 상기 연마 헤드 로부터 회수 하 도록 구성 된 테이프 공급 및 회수 기구 를 포함 한다 .