도 14 를 참조 하 면 , 채널 부 ( C ) 의 단부 ( E ) 가 소스 전극 ( S ) 의 단부 보다 함입 되 지 않 았 음 을 확인 할 수 있 다 . 즉 , 마스크 내 에 더미 하프톤 부 를 형성 함 으로써 채널 부 가장자리 의 과잉 식각 이 방지 되 므로 , 채널 부 ( C ) 의 길 이 및 폭 을 충분히 확보 할 수 있 다 . 또한 , 마스크 의 소스 전극 패턴 부 와 드레 인 전극 패턴 부 의 이 격폭 을 노광기 의 스캔 방향 에 따라 서로 상이 하 게 형성 함 으로써 채널 부 ( C ) 의 폭 이 균일 하 게 형성 되 고 채널 부 ( C ) 오픈 불량 이 발생 하 지 않 았 음 을 확인 할 수 있 다 .