헤드 본체 ( 31 ) 는 제 3 구 동부 ( 25 ) 를 통해 회전축 연결부 ( 24 ) 과 연결 되 어 있 다 . 제 3 구 동부 ( 25 ) 는 수축 신장 이 가능 하 여 헤드 본체 ( 31 ) 는 스테이지 ( 10 ) 판면 과 수직 인 제 3 방향 으로 왕복 운동 할 수 있 다 . 이 에 따라 헤드 본체 ( 31 ) 는 스테이지 ( 10 ) 와 접근 또는 이격 이 가능 하 다 .