도 1 e 에 도시 된 바 와 같이 , 세정 공정 을 진행 한다 . 여기 서 , 세정 공정 은 금속 계 도전 층 을 형성 하 기 전 에 실시 하 는 전세정 공정 으로 마스크 패턴 ( 14 ) 제 거시 세정 공정 과 열처리 전세정 공정 을 생략 했 기 때문 에 마스크 패턴 ( 14 ) 시 잔류물 및 열처리 전세정 공정 에서 제거 되 는 불순물 이 충분히 제거 되 도록 실시 할 수 있 다 .