인듐 - 틴 - 옥사이드 ( ITO ) 기판 은 이소프로필 알코올 에서 10 분 , 아세톤 에서 10 분 , 이소프로필알코올 에서 10 분 동안 초음파 세척기 로 세척 한 후 , 건조 시킨 것 을 사용 하 였 다 . 상기 건조 된 인듐 - 팀 - 옥사이드 ( ITO ) 기판 상 에 징크 옥사이드 ( ZnO ) 용액 을 스핀코팅 한 후 , 200 ℃ 에서 30 분 간 열처리 하 였 다 .