가스 공급 기구 ( 60 ) 는 , 가스 공급원 ( 61 a ∼ 61 d ) , 매스 플로우 컨트롤러 ( MFC ) ( 62 a ∼ 62 d ) 및 밸브 ( 63 a ∼ 63 d ) 를 가진다 . 가스 공급원 ( 61 a ) 은 , 예 를 들 면 에칭 용 의 처리 가스 의 공급원 이 다 . 가스 공급원 ( 61 b ) 은 , 예 를 들 면 질소 가스 의 공급원 이 다 . 가스 공급원 ( 61 c ) 은 , 예 를 들 면 산소 가스 의 공급원 이 다 . 가스 공급원 ( 61 d ) 은 , 예 를 들 면 CF 4 가스 의 공급원 이 다 .