불소 이온 및 / 또는 탄소 이온 의 주입 은 보다 얕 은 접합 이 형성 되 게 할 수 있 는 한편 , 복수 의 주 입종 ( implantation species ) 의 이용 은 제조 공정 의 효율 에 악영향 을 끼칠 수 있 다 . 예컨대 , 종래 의 접합 형성 은 단지 단일 주입 단계 ( 예컨대 붕소 이온 의 주입 단계 ) 를 필요 로 하 지만 , 다른 종이 주입 되 는 공정 은 추가 의 별도 의 주입 단계 를 필요 로 한다 . 붕소 , 탄소 및 불소 가 기판 에 주입 되 어야 하 는 경우 , 3 개 의 별도 의 주입 이 요구 될 수 있 다 . 이 들 주입 사이 에 , 이온 주입 장치 ( implanter ) 의 다른 구성 요소 와 자석 은 주입 되 는 종 의 상이 한 질량 에 맞 게 재 조절 될 수 있 다 . 추가 로 , 현재 의 이온 소스 기술 에 있 어서 , 각각 의 주입 은 상이 한 소스 공급 재료 를 필요 로 할 수 있 는데 , 이것 은 주입 들 사이 에 , 소스 가 정지 되 고 이전 공급 재료 를 펌핑 하 며 , 새로운 공급 재료 를 도입 하 고 소스 를 재 시작 하 는 비교 적 시간 소모 적 인 순서 가 뒤따라야 한다는 것 을 의미 한다 .