상기 저유 전막 의 형성 방법 에 있 어서 , 상기 제 1 사후 세정 하 는 단계 는 , 다이렉트 플라 즈 마를 이용 하 여 상기 공정 챔버 내 에서 제 1 세정 가스 를 활성 화 하 여 상기 공정 챔버 를 세정 하 는 다이렉트 플라 즈 마 세정 단계 와 , 리모트 플 라즈 마 를 이용 하 여 상기 공정 챔버 외부 에서 활성 화 된 제 2 세정 가스 를 이용 하 여 상기 공정 챔버 를 세정 하 는 리모트 플 라즈 마 세정 단계 를 포함 할 수 있 다 .