서브시스템 들 ( 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) , 컨트롤러 들 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 및 159 ) , 및 / 또는 시스템 컨트롤러 ( 195 ) 는 고급 프로세스 제어 ( APC ) 애플리케이션 , 결함 검출 및 분류 ( FDC ) , 및 / 또는 런 투 런 ( R 2 R ) 애플리케이션 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 는 S - D APC 애플리케이션 , S - D FDC 애플리케이션 , 및 / 또는 S - D R 2 R 애플리케이션 이 수행 될 수 있 다 .