상기 예비 제 1 절 연막 패턴 ( 208 ) 내 에 형성 되 는 에어 터널 ( 210 ) 의 상부 는 유전 막 패턴 아래 로부터 플로팅 게이트 전극 ( 204 a ) 하 부면 과 동일 평면 의 사이 에 위치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 상기 에 어 터널 ( 210 ) 의 하부 는 상기 플로팅 게이트 전극 ( 204 a ) 의 하 부면 과 동일 평면 으로부터 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 206 ) 저면 사이 에 위치 하 는 것 이 바람직 하 다 .