상기 에서 설명 한 바 와 같 은 본 발명 의 반도체 제조장 비용 수냉식 온도 조절기 의 분기 배관 내설 형 프레임 에 의하 면 , 열매체 ( coolant ) 와 냉각수 ( PCW ) 를 공급 및 회수 하 기 위한 배관 을 온도 조절기 의 프레임 내 에 형성 함 으로써 온도 조절기 내부 에 설치 되 는 배관 을 최적 화 하 여 냉각 효율 을 높임 과 동시 에 복잡 한 배관 구조 를 단순 화 하 여 온도 조절기 의 크기 를 줄이 고 반도체 제조 장비 의 공간 활용 도 를 높일 수 있 는 효과 가 있 다 .