전도성 물질 로 이루어진 나선 흐름 유도 판 ( 332 ) 은 기체 분산 기구 ( 330 , 335 ) 의 상부 를 이루 는 분 산관 ( 330 ) 와 전기 적 및 기계 적 으로 연결 되 어 있 다 . 기체 분산 기구 ( 330 , 335 ) 는 분 산관 ( 330 ) 및 분산 판 ( 335 ) 으로 구성 되 는데 , 분산 판 ( 335 ) 은 기판 ( 370 ) 과 평행 하 게 기판 ( 370 ) 위 에 배치 되 며 , 복수 의 분사 구멍 ( 334 ) 을 가진다 . 분 산관 ( 330 ) 은 나선 흐름 유도 판 ( 332 ) 의 직경 에 맞 게 구멍 난 상부 끝 부분 과 분산 판 ( 335 ) 에 맞 게 구멍 난 하부 끝 부분 을 가지 는 나팔관 형태 를 가진다 .