또한 , 빔 전압 을 DC 1 , 000 V 이상 으로 인가 하 는 경우 에 는 석영 플 라즈 마 챔버 내 의 플 라즈 마의 전위 레벨 과 플 라즈 마 챔버 주변 구성 의 접지 전위 레벨 이 큰 차이 를 가지 게 된다 . 이때 가스 노즐 에 방전 가스 를 공급 하 기 위한 가스 라인 을 접 지 전위 로부터 적절히 절연 하 지 않 을 경우 에 는 , 빔 전압 의 절연 파괴 ( break down ) 로 이어지 게 된다 .