또한 , 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 과 상기 제 2 어미자 영상 ( 134 ) 의 선폭 이 일치 되 는 부분 이 있 는지 가 상기 비 교부 ( 400 ) 에서 확인 된다 . 이때 , 상기 어미자 ( 130 ) 의 트랜 치 내부 또는 양각 주변 에 고착 된 슬러리 ( 150 ) 에 의해 왜곡 되 어 나타나 는 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 의 일정 치 않 은 선폭 이 상기 제 2 어미자 영상 ( 134 ) 의 선폭 과 전혀 일치 하 지 않 거나 , 일정 수준 이하 로 일치 될 경우 오버레이 계측 이 불 가능 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 비 교부 ( 400 ) 는 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 의 선폭 과 상기 제 2 어미자 영상 ( 134 ) 의 선폭 과 전혀 일치 하 지 않 거나 일정 수준 이하 로 일치 될 경우 , 후속 의 오버레이 계측 공정 을 위해 노광 설비 에서 수행 되 는 노광 공정 이 더 이상 이루어지 지 못하 도록 상기 노광 설비 에 인터 락 제어 신호 를 출력 할 수 있 다 . 반면 , 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 의 선폭 과 상기 제 2 어미자 영상 ( 134 ) 의 선폭 이 일정 수준 이상 일치 될 경우 , 상기 비 교부 ( 400 ) 에서 상기 제 2 어미자 영상 ( 134 ) 의 선폭 과 일치 된 선폭 을 갖 는 부분 의 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 이 선택 적 으로 취 출 된다 . 예컨대 , 상기 제 2 어미자 영상 ( 134 ) 의 선폭 과 일치 된 선폭 을 갖 는 부분 이 선택 적 으로 취 출 된 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 은 제 3 어미자 영상 ( 136 ) 이 라 칭할 수 있 다 . 상기 오버레이 패턴 영상 에서 아들자 ( 140 ) 영상 이 상기 제 1 어미자 영상 ( 132 ) 과 함께 취 출 된다 .