센서 도그 ( 18 ) 로 는 , 예 를 들 면 슬릿 캠 이 이용 된다 . 슬릿 캠 에 는 , 복수 의 슬릿 이 상하 방향 으로 일정 한 간격 을 두 고 배치 되 어 있 다 . 각 슬릿 의 슬릿 위치 는 , 매핑 센서 ( 20 ) 에 의한 촬상 화상 ( 51 ) 의 취득 과 동시 에 , 위치 검출 센서 ( 60 ) 에 의해서 검출 된다 . 슬릿 의 수 및 피치 는 , 용기 ( 2 ) 에 설치 된 복수 의 수용 선반 ( 8 ) 의 수 및 피치 에 대응 하 고 있 다 . 이러 한 구성 으로 함 으로써 , 제 어부 ( 40 ) 는 위치 검출 센서 ( 60 ) 에서 검출 된 위치 검출 신호 에 의거 해 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 대한 매핑 센서 ( 20 ) 의 상대 위치 를 파악 하 는 것 이 가능 해진다 .