빔 정형 부 ( 30 ) 는 , 수속 / 발산 사 중극 렌즈 ( Q 렌즈 ) 등 의 수속 / 발산 장치 를 구비 하 고 있 고 , 질량 분석 부 ( 20 ) 를 통과 한 이온 빔 을 원하 는 단면 형상 으로 정형 하 도록 구성 되 어 있 다 . 빔 정형 부 ( 30 ) 는 , 예 를 들 면 전장식 의 삼 단사 중극 렌즈 ( 트리플렛 Q 렌즈 라고 도 함 ) 로 구성 되 고 , 3 개 의 사 중극 렌즈 ( 30 a , 30 b , 30 c ) 를 갖 는다 . 빔 정형 부 ( 30 ) 는 , 3 개 의 렌즈 장치 ( 30 a ~ 30 c ) 를 이용 함 으로써 , 이온 빔 의 수속 또는 발산 을 x 방향 및 y 방향 의 각각 에 대하 여 독립 적 으로 조정 할 수 있 다 . 빔 정형 부 ( 30 ) 는 , 자 장식 의 렌즈 장치 를 포함 해도 되 고 , 전장 과 자장 의 쌍방 을 이용 하 여 빔 을 정형 하 는 렌즈 장치 를 포함 해도 된다 .