막 이 플 라즈 마로 처리 된 구체 예 에서 , 플라 즈 마 공급원 은 수소 플 라즈 마 , 수소 및 헬륨 을 포함 하 는 플 라즈 마 , 수소 및 아르곤 을 포함 하 는 플 라즈 마 로 이루어진 군 으로부터 선택 된다 . 수소 플라 즈 마는 막 유전 상수 를 낮추 고 , 이후 플 라즈 마 애 싱 공정 에 대한 손상 저항 을 증가 시키 면서 벌크 중 탄소 함량 을 거의 변하 지 않 게 유지 시킨다 .