이러 한 플 라즈 마 산화 공정 으로 형성 되 는 얇 은 산화 막 의 두께 는 5 ~ 10 Å 정도 가 됨 이 바람직 하 며 , 플라 즈 마 산화 공정 의 수행 시간 에 따라 이 두께 는 조절 이 가능 하 다 . 또한 , 플라 즈 마 산화 공정 은 게이트 형성 을 위한 식각 이 수행 되 는 챔버 와 동일 챔버 내 에서 수행 되 는 것 이 바람직 하 며 , 500 ~ 1200 W 의 탑 파워 ( top power ) 및 / 또는 50 ~ 200 W 의 바텀 파워 ( bottom power ) 를 인가 한 조건 에서 수행 되 고 , 60 ~ 200 sccm 정도 의 산소 플 라즈 마 를 사용 하 여 수행 될 수 있 다 .