[ 0004 ] 상기 내용 을 고려 하 여 , 당업 계 의 문제 들 의 적어도 일부 를 극복 하 는 , 기판 의 진공 프로세싱 을 위한 새로운 캐리어 들 , 기판 의 진공 프로세싱 을 위한 시스템 들 , 및 진공 챔버 에서 의 기판 캐리어 및 마스크 캐리어 의 운송 을 위한 방법 들 이 유익 하 다 . 본 개시 내용 은 특히 , 진공 챔버 에서 효율 적 으로 운송 될 수 있 는 캐리어 들 을 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .