예 비실 ( 122 ) 내 가 미리 설정 된 압력 치가 되 면 , 게이트 밸브 ( 130 ) 가 열리 고 , 예 비실 ( 122 ) 과 제 1 반 송실 ( 103 ) 이 연통 된다 . 이어서 , 제 1 반 송실 ( 103 ) 의 제 1 웨이퍼 이재기 ( 112 ) 는 기판 재 치대 ( 140 ) 로부터 웨이퍼 ( 200 ) 를 2 매 씩 픽업 하 여 제 1 반 송실 ( 103 ) 로 반입 한다 . 게이트 밸브 ( 130 ) 가 닫혀진 후 , 제 1 반 송실 ( 103 ) 과 제 1 처리 로 ( 202 ) 가 연통 된다 . 즉 , 반응 관 ( 203 ) 내 의 온도 가 히터 ( 207 a ) , ( 207 b ) 에 의하 여 처리 온도 로 유지 된 상태 에서 , 게이트 밸브 ( 244 ) 가 열리 고 , 제 1 웨이퍼 이재기 ( 112 ) 에 의하 여 반응 관 ( 203 ) 내 에 웨이퍼 ( 200 ) 가 반입 되 어 , 웨이퍼 지지대 ( 217 ) 에 재치 된다 . 본 예 에서 는 , 웨이퍼 지지대 ( 217 ) 에 는 2 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 가 재치 되 고 , 2 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 가 동시 에 처리 된다 . 또한 , 동시 에 처리 하 는 2 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 의 열 이력 을 동일 하 게 하 기 위해 웨이퍼 ( 200 ) 는 2 매 동시 에 반응 관 ( 203 ) 내 로 반송 된다 . 웨이퍼 ( 200 ) 가 반응 관 ( 203 ) 내 에 반입 됨 과 동시 에 웨이퍼 ( 200 ) 의 처리 온도 까지 승 온 ( preheat ) 이 개시 된다 . 웨이퍼 지지대 ( 217 ) 에 는 웨이퍼 ( 200 ) 를 1 매 만 재치 할 수 도 있 으며 , 한 번 에 1 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 처리 하 도록 해도 된다 . 그 경우 , 웨이퍼 지지대 ( 217 ) 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 하 지 않 는 지 지부 에 는 더미 ( dummy ) 웨이퍼 를 재치 하 는 것 이 좋 다 .