하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 , 159 및 195 ) 는 실시간 S - D 처리 를 제공 하 기 위해 제어 전략 , 제 어 계획 , 제 어 모델 , 및 / 또는 레시피 매니저 로서 작동 할 수 있 는 APC , R 2 R , FDC , 및 / 또는 S - D 프로시저 를 수행 할 수 있 다 . S - D 제 어 및 / 또는 분석 전략 / 계획 은 웨이퍼 처리 시퀀스 내 에 복수 의 프로세스 단계 들 을 포함 할 수 있 으며 , 실시간 데이터 및 / 또는 수집 된 데이터 를 분석 하 여 에러 상태 를 확립 하 는 데 이용 될 수 있 다 . S - D 분석 프로시저 는 콘 덱스 트 가 매칭 될 경우 에 실행 될 수 있 다 . S - D 분석 프로시저 의 실행 시 에 , 하나 이상 의 분석 계획 이 실행 될 수 있 다 . S - D 계획 은 , 데이터 결함 ( data failure ) 이 발생 하 고 , 실행 문제 가 발생 하 거나 제어 문제 가 발생 할 경우 에 에러 를 일으킬 수 있 다 . S - D 데이터 수집 계획 및 / 또는 분석 계획 은 S - D 프로시저 가 작동 하 지 않 기 때문 에 웨이퍼 의 하나 이상 의 평가 사이트 에서 의 데이터 를 거부 할 수 있 거나 데이터 를 거부 할 수 있 다 . 예컨대 , 동적 S - D 콘 텍스트 매칭 은 각 사이트 에서 커스텀 구성 을 제공 한다 .