도 8 d 를 참조 하 면 , 상기 제 1 개 구부 ( 260 a ) 에 노출 된 제 1 활 성부 ( 105 a ) 상 에 제 1 계면 층 ( 207 a ) 을 형성 할 수 있 으며 , 상기 제 2 개 구부 ( 260 b ) 에 노출 된 제 2 활 성부 ( 105 b ) 상 에 제 2 계면 층 ( 207 b ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 1 및 제 2 계면 층 들 ( 207 a , 207 b ) 은 산화 공정 에 의하 여 형성 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 제 1 및 제 2 계면 층 들 ( 207 a , 207 b ) 은 상기 제 1 및 제 2 개 구부 들 ( 260 a , 260 b ) 에 노출 된 제 1 및 제 2 활성 부들 ( 105 a , 105 b ) 상 에 한정 적 으로 형성 될 수 있 다 .