상기 실시 형태 에서 는 , 본체 ( 12 ) 의 개구부 ( 12 a ) 를 덮개 체 ( 14 ) 로 봉지 할 때 , SiC 코팅 층 ( 16 ) 은 덮개 체 ( 14 ) 전체 를 덮 도록 형성 하 였었 다 . 그렇지만 , SiC 코팅 층 ( 16 ) 은 본체 ( 12 ) 와 덮개 체 ( 14 ) 의 외연 부와 의 접촉 개소 를 덮 는 구성 으로 하 면 좋 다 . 즉 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 덮개 체 ( 14 ) 의 중심 부근 에 는 SiC 코팅 층 ( 16 ) 을 마련 하 지 않 고 , 외주 상 에 SiC 코팅 층 ( 16 ) 을 배치 하 도록 해도 좋 다 . 이러 한 구성 으로 한 경우 라도 , 본체 ( 12 ) 의 개구부 ( 12 a ) 를 봉지 하 는 구성 에 변함 이 없 기 때문 이 다 .