도 3 f 를 참조 하 면 , 상기 트렌치 ( T ) 를 형성 하 기 위한 식각 공정 시 발생 된 식각 데미지 를 회복 시키 기 위해 상기 측벽 홈 을 포함 한 트렌치 ( T ) 내 에 열 산화 막 ( 미 도시 ) 을 형성 한 후 , 소자 의 리프 레 쉬 특성 을 향상 시키 기 위해 열 산화 막 이 형성 된 트렌치 ( T ) 를 포함 한 제 2 마스크 패턴 ( M 2 ) 상 에 선형 질화 막 ( 미 도시 ) 을 형성 한다 .