가열 스테이션 ( 9 ) 및 냉각 스테이션 ( 10 ) 은 , 기판 의 베 이킹 과 냉각 각각 을 위해 공정 처리 부분 ( 4 ) 에 제공 될 수 있 다 . 가열 스테이션 ( 9 ) 및 냉각 스테이션 ( 10 ) 은 기판 핸들러 ( 6 ) 에 의해 기판 을 또한 공급 받 을 수 있 다 . 기판 을 리 쏘 그래피 투영 장치 에 이송 하 기 전 에 가열 및 / 또는 냉각 이 필요 할 수 있 다 .