본 실시 예 에서 는 상기 챔버 ( 110 ) 외측 상부 에 마련 된 감지 부 ( 160 ) 를 통해 상기 의 정렬 단계 에서 기판 ( 121 ) 과 마스크 사이 의 수평 을 측정 할 수 있 다 . 즉 , 상기 감지 부 ( 160 ) 는 상기 기판 ( 121 ) 과 마스크 프레임 ( 130 ) 간 의 거리 를 적어도 2 곳 이상 의 영역 에서 측정 하 여 이 거리 차 를 이용 하 여 그 수평 도 를 감지 한다 . 예 를 들 어 3 곳 의 영역 에서 각기 상기 마스크 프레임 ( 130 ) 과 기판 ( 121 ) 의 거리 를 측정 하 여 마스 크 프레임 ( 130 ) 과 기판 ( 121 ) 간 의 거리 차 를 계산 한다 . 이렇게 계산 된 값 들 을 비교 하 여 그 값 이 동일 할 경우 에 는 기판 ( 121 ) 과 마스크 프레임 ( 130 ) 이 수평 하 게 배치 되 었 고 , 만일 그 값 이 다른 경우 에 는 수평 하 지 않 게 배치 되 었 음 을 알 게 된다 . 이때 , 수평 하 지 않 을 경우 에 는 상기 의 기판 ( 121 ) 을 x - y - z - θ 방향 으로 움직여 그 수평 도 를 조절 한다 . 물론 본 발명 에서 는 이 에 한정 되 지 않 고 , 상기 조절 수단 ( 230 ) 의 미세 조정부 ( 232 ) 를 돌려 가 며 기판 ( 121 ) 과 마스크 의 수평 을 조절 할 수 있 다 .