실시 예 는 실리콘 웨이퍼 의 표면 에 화학 적 산화 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 화학 적 산화 막 이 형성 된 실리콘 웨이퍼 의 표면 에 금속 원소 를 공급 하 는 단계 ; 및 상기 실리콘 웨이퍼 를 열처리 하 여 , 상기 금속 원소 를 상기 실리콘 웨이퍼 의 벌크 내 로 확산 시키 는 단계 를 포함 하 는 실리콘 웨이퍼 의 결함 측정 방법 을 제공 한다 .