[ 0043 ] 제 2 포지션 에서 , 제 2 유체 노즐 ( 445 ) 은 헹굼 동작 을 위해 제 2 유체 를 기판 으로 전달 할 수 있 다 . 제 2 유체 노즐 ( 445 ) 은 일부 실시 예 들 에서 제 1 유체 노즐 ( 425 ) 보다 큰 크기 를 가질 수 있 으며 , 이 는 증가 된 유체 유량 을 제공 할 수 있 다 . 제 2 유체 노즐 ( 445 ) 은 제 1 유체 노즐 ( 425 ) 만큼 멀리 위어 ( 430 ) 를 통해 연장 되 지 않 을 수 있 는데 , 이 는 헤드 가 욕 으로부터 더 멀리 인출 되 는 것 에 기초 하 여 제 2 유체 노즐 ( 445 ) 이 보다 큰 접촉각 을 제공 할 수 있 기 때문 이 다 . 추가 적 으로 , 제 2 유체 노즐 ( 445 ) 은 제 1 유체 노즐 과 는 상이 한 노즐 각도 에 의해 특징지 어 질 수 있 으며 , 이 노즐 각도 도 역시 제 1 헹굼 동작 과 제 2 헹굼 동작 사이 에서 의 상이 한 헤드 포지션 에 적어도 부분 적 으로 기초 할 수 있 다 . 헤드 는 제 2 포지션 에서 의 회전 동안 에 이전 에 논의 된 임의 의 속도 들 로 회전 될 수 있 고 , 제 1 포지션 에서 보다 더 빠르 거나 느리 게 회전 될 수 있 다 . 헹굼 유체 는 기판 및 / 또는 시일 의 반경 방향 외부 에지 로부터 수집 채널 ( 435 ) 로 , 그리고 챔버 로부터 외부 로 슬링 될 수 있 다 .