그러나 , 교정 을 위해 척 에 대해 단부 이펙터 의 중심 을 맞추 는 종래 기술 이 갖 는 단점 들 이 존재 한다 . 무엇 보다 도 , 많 은 타입 의 척 및 프로세싱 모듈 이 현존 한다 . 따라서 , 교정 을 수행 하 기 위해 기계 적 고정기 접근 방식 을 사용 하 기 위해서 는 , 다수 의 기계 적 고정기 가 제조 되 고 구입 되 어야 한다 . 또한 , 하나 이상 의 하드 금속 에지 또는 표면 을 가질 수 도 있 는 물리 적 기계 적 고정기 를 척상 에 부착 하 는 것 은 , 척 을 잠재 적 으로 손상 시킬 수 도 있 다 . 또한 , ( 예 를 들 어 , 단부 이펙터 가 생산 공정 에 후속 하 여 척 에 대해 중심 이 맞 지 않 을 수 도 있 는 문제 에 응답 하 여 ) 일부 플 라즈 마 사이클 이 프로세싱 모듈 에서 실행 된 이후 에 이러 한 교정 이 필드 에서 행해 지 는 경우 에 , 척상 의 물리 적 교정 고정기 의 부착 은 척상 에 또는 척 근처 의 증착 된 입자 가 프로세싱 챔버 로 박리 되 게 할 수 도 있 다 . 후속 프로세싱 사이클 동안 , 이러 한 입자 는 바람직 하 지 못한 입자 오염물 을 구성 한다 .