이 에 따라 하부 트렌치 배리 어막 ( 160 ) 은 하부 비아 금속 배선 ( 141 , 143 ) 및 하부 층간 절 연막 ( 110 ) 과 접촉 하 는 부분 의 하부 트렌치 배리 어막 ( 161 , 163 , 167 ) 이 남 고 , 하부 트렌치 씨드 막 ( 170 ) 은 하부 트렌치 배리 어막 ( 161 , 163 , 167 ) 과 접촉 하 는 하부 트렌치 씨드 막 ( 171 , 173 , 177 ) 만 이 남 는다 . 그리고 하부 트렌치 씨드 막 ( 171 , 173 , 177 ) 과 접촉 하 는 제 2 금속 박막 ( 180 ) 만 이 남 아 하부 트렌치 금속 배선 ( 181 , 183 , 187 ) 이 형성 된다 .