또한 , 한쪽 측 에 만 라인 폭 0 . 5 ㎛, 스페이스 폭 0 . 75 ㎛ 를 배치 한 그 레이톤 마스크 를 사용 하 여 노광 한 영역 의 배선 의 단면 이 도 4 ( B ) 에 상당 한다 . 한쪽 의 테이퍼 각 은 약 70 ° 이 며 , 다른 한쪽 의 측면 은 한쪽 보다 완만 하 게 되 어 있 고 , 서로 다른 테이퍼 각 을 가지 고 있 다 . 다른 한쪽 의 측면 은 , 기판 으로부터 가까운 쪽 의 테이퍼 각 이 약 30 ° 이 고 , 기판 으로부터 먼 쪽 의 테이퍼 각 은 약 60 ° 이 다 .