공급 제 어부 ( 100 ) 는 외부 로부터 적어도 한 개 이상 의 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 을 공급 받 아 공정 챔버 ( 300 ) 에서 수행 되 는 해당 공정 의 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 유량 및 속도 를 제어 한다 . 상기 조절 된 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 이 3 웨이 밸브 ( 3 WV 1 ) 로 공급 된다 .