도 4 및 도 5 에 도시 된 공용 로더 ( 400 ) 는 본체 ( 401 ) , 웨이퍼 가 수평 으로 안착 될 수 있 는 서로 다른 높이 의 복수 개 의 슬롯 ( 410 ) , 복수 개 의 슬롯 ( 410 ) 을 측면 에서 지지 하 는 측면 지지 부 ( 420 ) , 그리고 , 복수 개 의 슬롯 ( 410 ) 및 측면 지지 부 ( 420 ) 를 하부 에서 지지 하 는 하부 지지 부 ( 430 ) 를 구비 하 여 이루어진다 .