식 ( 3 ) 중 , X 는 상기 와 같 다 . R 1 은 수소 원자 또는 노르 보르 난 , 시클로헥산 , 트리시 클로 데칸 , 아 다만 탄 , 데칼린 , 비시 클로 옥 틸 및 아세나프텐 으로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 1 종 이상 의 관능기 를 나타내 고 , 트리시 클로 데칸 이 바람직 하 다 . 복수 의 R 1 은 동일 해도 되 고 상이 해도 된다 . Y 는 - CO - 또는 단결합 을 나타내 고 , Z 는 산소 원자 또는 황 원자 를 나타내 며 , 복수 의 Y 및 Z 는 동일 해도 되 고 상이 해도 된다 . 하 층막 의 굴절 률 을 향상 시키 려면 Z 가 황 원자 인 것 이 바람직 하 지만 , 에칭 내성 이 저하 하 는 경우 가 있 다 . 원 하 는 성능 에 의해서 Z 는 적절히 선택 하 면 되 지만 , 경제 성 과 성능 의 밸런스 를 고려 하 면 , 산소 원자 가 바람직 하 다 .