여기 서 , 산소 활성 종 의 물리 적 충돌 에 의해 탄소 - 탄소 간 결합 및 탄소 - 수소 간 결합 이 깨지 는 물리 적 인 세정 및 물리 적 인 세정 에 의해 발생 하 는 탄소 성분 ( C ) , 수소 성분 ( H ) 및 산소 성분 ( O ) 이 상호 결합 하 여 CO 2 , H 2 O , CH 4 등 이 생성 되 는 화학 적 인 세정 이 진행 된다 .