상기 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 의 기판 처리 시스템 의 일 면 ( aspect ) 은 , 상부 가 개구 되 는 하우징 ; 상기 하우징 의 상부 를 덮 어 상기 하우징 의 내부 를 밀폐 시키 며 , 윈도우 부재 및 상기 윈도우 부재 상 에 설치 되 며 상기 하우징 의 내부 에 플 라즈 마 를 발생 시키 는 안테나 부재 를 구비 하 는 상부 모듈 ; 상기 하우징 의 내부 상측 에 설치 되 며 , 기판 을 처리 하 기 위한 공정 가스 를 상기 하우징 의 내부 로 유입 시키 는 샤워 헤드 ; 상기 하우징 의 내부 하측 에 설치 되 며 , 상기 기판 을 지지 하 는 지지 유닛 ; 및 상기 지지 유닛 을 냉각 시키 는 냉각 장치 를 이용 하 여 상기 상부 모듈 을 냉각 시켜 상기 상부 모듈 의 내부 온도 를 제어 하 는 상부 모듈 온도 제어 장치 를 포함 한다 .