CAAC 구조 란 복수 의 나노 결정 ( 최대 직경 이 10 ㎚ 미만 인 결정 영역 ) 을 가지 는 박막 등 의 결정 구조 의 하나 이 고 , 각 나노 결정 은 c 축 이 특정 의 방향 으로 배향 하 고 , 또한 a 축 및 b 축 은 배향 성 을 가지 지 않 고 , 나노 결정 들 이 입계 를 형성 하 지 않 고 연속 적 으로 연결 된다는 특징 을 가지 는 결정 구조 이 다 . 특히 CAAC 구조 를 가지 는 박막 은 각 나노 결정 의 c 축 이 박막 의 두께 방향 , 피형 성면 의 법선 방향 , 또는 박막 의 표면 의 법선 방향 으로 배향 하 기 쉽 다는 특징 을 가진다 .