계면 층 의 모양 은 희생 층 패턴 ( 20 ) 의 모양 에 따라 다양 한 구성 이 가능 하 다 . 도 1 에 도시 한 예 에서 는 기판 ( 10 ) 에 수직 인 단면 이 직사각 형 인 희생 층 패턴 ( 20 ) 을 형성 하 여 , 무기물 박막 ( 30 ') 에 의해 정의 되 는 빈 공간 ( C ) 도 단면 이 직사각형 을 가진다 . 빈 공간 ( C ) 의 단면 은 도 3 에 다양 한 예 로 도시 하 는 바 와 같이 , ( a ) 정사각형 , 또는 ( b ) 상면 보다 하면 이 넓 은 사다리꼴 모양 또는 반대 로 ( c ) 상면 보다 하면 이 좁 은 사다리꼴 모양 일 수 도 있 다 . 이러 한 예 들 에서 , 무기물 박막 ( 30 ') 은 기판 과 접촉 하 는 다리 부 및 다 리부 로부터 연장 되 어 기판 과 평행 한 상면 부 를 가지 고 , 다 리부 는 기판 과 수직 이 거나 소정 의 기울기 를 가진다 . 그러나 , 상면 부 가 반드시 기판 과 평행 해야 하 는 것 은 아니 다 . 상면 부가 convex 또는 concave 와 같 은 곡면 을 가질 수 도 있 고 , 빈 공간 단면 이 삼각형 인 경우 처럼 상면 부 가 없 을 수 도 있 다 . 다 리부 또한 반드시 직선 형태 를 가져야 하 는 것 은 아니 가 . 다리 부도 convex 또는 concave 와 같 은 곡면 을 가질 수 도 있 고 , 직선형 이 지만 기판 과 의 기울기 가 변할 수 도 있 다 .