이 와 같이 , 해석 장치 ( 140 ) 에서 는 , 미리 정해진 주기 마다 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 의 과거 의 상태 를 나타내 는 지표 로서 , 가동 률 을 산출 한다 . 이 에 의해 , 작업자 는 , 가동 률 을 감시 하 여 , 가동 률 이 저하 한 경우 에 ( 이상 이 검지 되 기 전 에 ) , 저하 의 원인 에 따른 처치 를 실시 할 수 있 다 . 이 결과 , 작업자 는 , 기판 처리 장치 ( 120 _ 1 ) 에서 의 이상 의 발생 을 미연 에 막 을 수 있 다 .