본 실험 예 에서 는 도 1 에 도시 한 질화 규소 막 의 증착 방법 에 따라 질화 규소 막 을 증착 하 였 다 . 이때 , 서로 다른 질소 원료 기체 를 공급 하 였으며 , 다른 조건 은 동일 하 였 다 . 도 1 에 도시 한 순서도 에서 질소 스스 기체 를 공급 하 는 단계 ( 130 ) 에서 , 질소 플 라즈 마 를 발생 한 경우 ( A - 1 ) , 플라 즈 마 없이 암모니아 기체 를 공급 한 경우 ( A - 2 ) , 그리고 본원 발명 의 실시 예 와 같이 암모니아 플 라즈 마 를 발생 한 경우 ( A - 3 ) 에 대하 여 각기 질화 규소 막 을 증착 하 였 다 .