[ 0035 ] 캐리어 ( 들 ) 의 비접 촉식 공중부양 및 / 또는 운송 은 , 운송 동안 에 , 예컨대 , 안내 레일 들 과 의 기계 적 접촉 에 기인 하 여 생성 되 는 입자 들 이 존재 하 지 않 는다는 점 에서 유익 하 다 . 비접 촉식 공중부양 및 / 또는 운송 을 사용 할 때 , 입자 생성 이 최소 화 되 기 때문 에 , 기판 ( 10 ) 상 에 증착 되 는 층 들 의 개선 된 순도 및 균일성 이 제공 될 수 있 다 .