이상 의 구성 에 의하 면 , 기판 ( 10 ) 에 있 어서 의 X 방향 의 양단 에 각각 설치 되 는 협지 기구 ( 211 ) 의 높이 를 같 게 한 상태 에서 , 기판 Z 액 츄 에 이터 ( 250 ) 에 의해 , 기판 ( 10 ) 을 승강 시킴 으로써 , 기판 ( 10 ) 의 전면 을 마스크 ( 220 ) 에 대해 동시 에 접촉 시키 거나 , 이격 시킬 수 있 다 .