통상 적 으로 , 웨이퍼 세정 공정 시 웨이퍼 는 웨이퍼 가이드 ( wafer guide ) 라는 웨이퍼 수납 용기 에 수납 되 어 홀딩 ( holding ) 된 상태 로 세정 공정 을 거치 게 된다 . 도 1 은 현재 양산 되 고 있 는 웨이퍼 를 나타내 는 평면도 로서 , 웨이퍼 ( 10 ) 는 셀 영역 ( 12 ) 과 상기 셀 영역 ( 12 ) 을 둘러싸 고 있 는 웨이퍼 에지 영역 ( 14 ) 으로 이루어져 있 다 . 이때 , 상기 웨이퍼 가이드 는 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 웨이퍼 에지 영역 ( 14 ) 이 삽입 되 는 슬롯 부 가 형성 되 어 있 고 , 상기 슬롯 부 에 홀딩 된 채 로 상기 웨이퍼 ( 10 ) 를 세정 하 기 위한 복수 개 의 약액 조 간 에 이동 되 면서 상기 복수 개 의 약액 조 내부 에 담궈 지 도록 이동 된다 .