기판 처리 시스템 ( 1000 ) 의 앞쪽 에 는 , IO 스테이지 ( 로드 포트 ) ( 1001 ) 가 설치 되 어 있 다 . IO 스테이지 ( 1001 ) 상 에 는 복수 의 포드 ( 1002 ) 가 탑재 되 어 있 다 . 포드 ( 1002 ) 는 , 기판 ( 200 ) 을 반송 하 는 캐리어 로서 사용 되 고 , 포드 ( 1002 ) 내 에 는 , 미처리 기판 ( 200 ) 이나 처리 가 끝난 기판 ( 200 ) 이 각각 수평 자세 로 복수 저장 되 도록 구성 되 어 있 다 .