이러 한 다양 한 기판 처리 공정 에서 대부분 은 기판 상 에 여러 가지 화학 약품 을 도포 하 여 이루어진다 . 기판 상 에 화학 약품 을 도포 하 는 방법 은 여러 가지 방법 이 있 으나 주로 사용 되 는 방법 은 기판 을 회전 시키 고 , 기판 의 표면 에 약액 을 분비 하 여 , 회전력 과 원심력 에 의해 약액 이 기판 의 표면 에 고르 게 작용 되 도록 하 는 것 이 다 .