본 발명 에 있 어서 , 마이크 로 가스 센서 소자 의 중앙 부분 에서 3 개 의 감지 전극 ( 207 , 208 , 209 ) 을 구비 한 외팔보 배열 모양 의 미세 전극 가지 ( 210 ) 들 로 구성 되 는 감지 전극 들 의 간격 ( d ) ( microdelectrode finger spacing 또는 electrode spacing ) 은 상호 동일 하 며 0 . 1 ㎛ ~ 10 ㎛ 의 범위 이 다 .