측 정부 ( 260 ) 는 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 및 제 2 전극 ( 232 ) 과 기판 지지 부 ( 240 ) 중 적어도 하나 의 온도 를 측정 할 수 있 다 . 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 는 상기 제 1 전극 ( 231 ) 에 연결 된 열 교환기 ( 미 도시 ) 의 온도 를 기반 으로 측정 될 수 있 다 . 상기 기판 지지 부 ( 240 ) 의 온도 는 상기 기판 지지 부 ( 240 ) 에 연결 된 써 모 커플러 ( thermocoupler ) 와 같 은 온도 측정 수단 ( 242 ) 의 온도 를 기반 으로 측정 될 수 있 다 . 한편 , 상기 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 는 기판 지지 부 ( 240 ) 의 온도 를 통해 간접 적 으로 측정 할 수 도 있 고 온도 측정 수단 을 통해 직접 측정 할 수 도 있 다 .