거치대 ( 410 ) 는 스테이지 ( 200 ) 와 플라 즈 마 차 폐부 ( 300 ) 사이 의 공간 에 기판 ( 10 ) 을 거치 하 고 , 상기 기판 ( 10 ) 을 상하 로 이동 시켜 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 200 ) 사이 의 간격 및 기판 ( 10 ) 과 플 라즈 마 차 폐부 ( 300 ) 사이 의 간격 을 조절 한다 . 이러 한 거치대 ( 410 ) 는 챔버 ( 100 ) 의 상부 에 설치 되 어 상측 에서 하측 으로 신축 되 는 아 암부 ( 413 ) 및 상기 아 암부 ( 413 ) 의 끝단 에서 내측 으로 절곡 되 어 상면 에 기판 ( 10 ) 의 에지 영역 이 거치 되 는 거 치부 ( 411 ) 를 포함 한다 .