상기 정렬 마크 는 도체 트랙 들 사이 에서 피치 ( pitch ) 를 갖 고 서로 평행 인 상기 도체 트랙 ( conductor track ) 들 의 세트 를 포함 하 고 , 상기 정렬 마크 로부터 회절 된 방사선 이 수집 되 고 , 상기 세트 내 의 트랙 들 의 피치 는 제품 의 표면 을 따라 위치 의 함수 로서 변하 며 , 상기 방사선 의 수집 된 회절 이 일어나 는 각도 들 은 위치 의 함수 로서 세트 내 의 트랙 들 의 피치 의 변동 패턴 에 의존 한다 .