이상 과 같이 , 본원 실시 형태 의 노광 장치 ( EX ) 는 , 본원 청구 의 범위 에 거론 된 각 구성 요소 를 포함 하 는 각종 서브시스템 을 , 소정 의 기계 적 정밀도 , 전기 적 정밀도 , 광학 적 정밀도 를 유지 하 도록 , 조립 하 는 것 으로 제조 된다 . 이 들 각종 정밀도 를 확보 하 기 위해서 , 이 조립 의 전후 에 는 , 각종 광학계 에 대해서 는 광학 적 정밀도 를 달성 하 기 위한 조정 , 각종 기계 계 에 대해서 는 기계 적 정밀도 를 달성 하 기 위한 조정 , 각종 전기 계 에 대해서 는 전기 적 정밀도 를 달성 하 기 위한 조정 이 행해진다 . 각종 서브시스템 으로부터 노광 장치 에 의 조립공 정은 , 각종 서브시스템 상호 의 기계 적 접속 , 전기 회로 의 배 선접 속 , 기압 회로 의 배관 접속 등 이 포함 된다 .