종래 의 소프트 엑스레이 는 주로 작 은 선폭 의 노광 이 가능 하 고 , MEMS 분야 에서 고 종횡비 의 구조물 을 제작 하 는 데 에 있 어서 큰 이점 이 있 었 다 . 또한 , 소프트 엑스레이 는 광자 에너지 가 100 ∼ 1000 eV ( 1 ∼ 10 nm ) 의 빛 으로 , 높 은 수준 의 공간 분해능 을 지니 는 이미지 를 얻 을 수 있 으나 , 상기 한 바 와 같이 그 부피 가 크 고 설치 장소 에 공간 적 인 제한 이 있 으며 , 고가 이 기 때문 에 리 소그라 피 공정 에 사용 하 에는 적합 하 지 않 다는 문제점 이 있 었 다 .