- 퇴적 공정 의 상류 에 사용 되 고 , 상기 지점 들 의 세트 에서 의 각각 의 지점 및 각각 의 작 동기 에 대하 여 , 상기 지점 에서 의 코팅 두께 의 변화 를 상기 작 동기 에 제공 된 제어 신호 의 적어도 하나 의 성분 값 의 변화 에 연결 시키 는 양 적 관계 를 포함 하 는 조정 모델 의 개발 을 포함 하 는 제 2 예비 모델링 단계 와 ,