기판 ( W ) 의 반출 입시 에 는 , 반송 로봇 이 , 개구부 ( 50 B ) 를 처리 실 ( 50 ) 내 에 로봇 핸드 를 사용 하 여 액세스 한다 . 이 로써 , 스핀 척 ( 51 ) 의 상면 에 미처리 의 기판 ( W ) 을 배치 시키 거나 , 또는 , 스핀 척 ( 51 ) 으로부터 처리 완료 된 기판 ( W ) 을 제거 하 거나 할 수 있 다 .