제 6 실시 예 는 , 노광 광 뿐 만 아니 라 , 렌즈 광학계 를 이용 해 행해 지 는 주사 얼라인먼트 의 경우 에 도 같 은 위치 보정 을 적용 하 는 예 이 다 . 레티 클 스테이지 상 에 위치 된 얼라인먼트 광학계 는 , 레티 클 스테이지 의 이동 중 에 렌즈 를 통해 웨이퍼 상 의 얼라인먼트 마크 혹은 웨이퍼 스테이지 상 의 기준 마크 를 동적 으로 관찰 해 , 위 치 어 긋 남량 을 계측 하 고 있 다 . 본 제 6 실시 예 에서 는 , 스테이지 이동 속도 에 의존 하 는 빛 의 전파 지연 분 에 해당 하 는 위치 어긋남 량 을 , 보정 값 으로서 그 계측 값 에 더한다 . 이 경우 , 레티 클 측 에서 나온 빛 은 웨이퍼 상 의 마크 에서 반사 되 어 , 다시 레티 클 측 의 현미경 까지 돌아온다 . 왕로 의 빛 의 지연 에 대한 보정 은 , 전술 한 실시 예 에 준하 지만 , 귀로 의 반사광 에 관해서 도 마찬가지 로 지연 의 보정 을 행하 여 , 계측 값 에 반영 한다 .