본 발명 의 제 1 양태 에 따른 마스크 부착 장치 는 , 기판 의 성막 면 과 는 반대 측 의 면 을 보유 지지 하 기 위한 정전 척 플레이트 부 와 , 상기 정전 척 플레이트 부 에 전력 을 공급 하 기 위한 급전 단자 부 와 , 자력 발생 부 를 가지 며 , 상기 자력 발생 부 로부터 의 자력 을 상기 기판 및 상기 정전 척 플레이트 부 를 사이 에 두 고서 마스크 에 인가 하 기 위한 자력 인가 수단 을 포함 하 고 , 상기 급전 단자 부를 상기 기판 의 상기 성막 면 을 포함 하 는 평면 상 에 투영 한 영역 은 , 상기 자력 발생 부 를 상기 기판 의 상기 성막 면 을 포함 하 는 평면 상 에 투영 한 영역 과 중복 하 지 않 는다 .