제 1 절연 층 ( 121 ) 은 게이트 절연 기능 을 갖 는 게이트 절 연막 일 수 있 다 . 제 1 절연 층 ( 121 ) 은 실리콘 화합물 , 금속 산화물 등 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 절연 층 ( 121 ) 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 , 알루미늄 산화물 , 탄 탈륨 산화물 , 하프늄 산화물 , 지르코늄 산화물 , 티타늄 산화물 등 을 포함 할 수 있 다 . 이 들 은 단독 으로 또는 서로 조합 되 어 사용 될 수 있 다 . 제 1 절연 층 ( 121 ) 은 단 일 막 또는 서로 다른 물질 의 적층 막 으로 이루어진 다층막 일 수 있 다 .