본 실시 예 에서 센서 구조물 ( 110 ) 는 복수 의 매트릭스 형태 로 패 터닝 될 수 있 다 . 따라서 , 매트릭스 내부 , 외부 에서 습식 식각 공정 이 모두 진행 될 수 있 으며 , 센서 구조물 ( 110 ) 을 부유 시키 기 위한 습식 시각 공정 의 시간 이 단축 될 수 있 다 . 즉 , 센서 구조물 ( 110 ) 은 압 저항 방식 의 마이크로폰 이 적용 되 는 장치 의 요구 사항 에 대응 하 여 다양 한 크기 로 형성 될 수 있 다 .