톱 링 본체 ( 38 ) 및 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 내측 에 형성 된 공간 내 에 는 , 웨이퍼 W 에 맞닿 는 원형 의 탄성 패드 ( 42 ) 가 수용 되 어 있 다 . 탄성 패드 ( 42 ) 는 톱 링 본체 ( 38 ) 의 하면 에 설치 되 어 있 다 . 탄성 패드 ( 42 ) 에 는 , 4 개 의 압력 실 ( 에어백 ) P 1 , P 2 , P 3 , P 4 가 마련 되 어 있 다 . 압력 실 P 1 , P 2 , P 3 , P 4 에 는 각각 유체 로 ( 51 , 52 , 53 , 54 ) 를 통해 가압 공기 등 의 가압 유체 가 공급 되 거나 , 혹은 진공 화 가 되 도록 되 어 있 다 . 중앙 의 압력 실 P 1 은 원형 이 고 , 다른 압력 실 P 2 , P 3 , P 4 는 환상 이 다 . 이 들 압력 실 P 1 , P 2 , P 3 , P 4 는 , 동심 상 에 배열 되 어 있 다 .