그러나 , 2 개 의 언급 된 접근 법 들 은 일반 적 으로 리프팅 디바이스 의 제어 에 관한 추가 적 인 어려움 들 을 증가 시킨다 . 예 를 들 어 , 2 - 부분 정지 엘리먼트 는 오직 웨이퍼 의 원 하 는 연질 리프팅 만 을 제공 할 수 는 없 다 . 이 를 위해 , 드라이브 의 대응 적 으로 적응 된 제어기 가 또한 필요 하 다 . 제어기 대신 조절기 가 또한 증가 된 비용 으로 인한 추가 적 인 복잡 성 을 제공 하 고 , 예 를 들 어 , 시스템 에서 가능 한 교란 들 ( 예 를 들 어 , " 발생 하 는 마찰력 들 ) 을 인식 할 수 없 고 오히려 통상 적 으로 이러 한 교란 을 "" 오버 라이드 "" 하 려 시도 한다 . 따라서 ", 첫째 로 , 현저 하 게 더 복잡 한 시스템 이 제공 되 고 , 둘째 로 , 가능 한 에러 인식 이 제안 된 솔루션 들 에 의해 배제 된다 .