불소 계 불활성 액체 의 구체 예 로 는 , C 3 HCl 2 F 5 , C 4 F 9 OCH 3 , C 4 F 9 OC 2 H 5 , C 5 H 3 F 7 등 의 불 소계 화합물 을 주성분 으로 하 는 액체 등 을 들 수 있 고 , 비점 이 70 ∼ 180 ℃ 인 것 이 바람직 하 고 , 80 ∼ 160 ℃ 인 것 이 보다 바람직 하 다 . 불소 계 불활성 액체 가 상기 범위 의 비점 을 갖 는 것 이 면 , 노광 종료 후 에 , 액침 에 사용 한 매체 의 제거 를 , 간편 한 방법 으로 실시 할 수 있 으므로 바람직 하 다 .