상기 CNT 네트워크 박막 의 제조 는 본 발명 에서 특별히 한정 하 지 않 으며 , 공지 된 바 의 습식 방법 또는 건식 방법 을 사용 하 여 형성 할 수 있 다 . 상기 습식 방법 으로 는 CNT 를 포함 하 는 분산 용액 을 사용 하 는 것 으로 , 각종 증발 법 , 여과법 , 에 어 브 러 슁법 ( airbrushing ) 및 코팅 을 사용 하 는 기판 피복 법 이 가능 하 며 , 건식 방법 으로 는 화학 기상 증착 법 ( CVD ) 및 물리 기상 증착 법 ( PVD ) 등 이 가능 하 다 . 또한 패 터닝 을 위해 코팅 또는 증착 시 별도 의 마스크 를 사용 하 여 수행 하 거나 , CNT 네트워크 박막 형성 후 리소그래피 ( lithography ) 와 같 은 통상 의 식각 공정 을 통해 패턴 을 형성 한다 .