그리고 노광 시스템 ( 130 ) 은 예컨대 , 공정 처 리부 ( 104 ) 와 상호 기판 이송 을 위한 인터페이스 부 ( 미도 시 됨 ) 를 구비 하 여 , 인터페이스 부 를 통해 공정 처 리부 ( 104 ) 로부터 도포 공정 이 처리 된 기판 을 받 아서 노광 공정 을 처리 하 고 , 노광 공정 처리 된 기판 을 현상 공정 을 처리 하 기 위하 여 , 다시 공정 처 리부 ( 104 ) 로 제공 한다 .