포지티브 형 레지스 트 재료 에 있 어서 , 첨가형 산 발생 제 는 바람직 하 게 는 베이스 폴리머 100 중량 부 에 대하 여 0 . 1 ∼ 50 중량 부 , 더 바람직 하 게 는 1 ∼ 40 중량 부 의 양 으로 사용 된다 . 베이스 폴리머 가 반복 단위 ( d 1 ) 내지 ( d 3 ) 을 포함 하 고 및 / 또는 첨가형 산발 생 제 가 첨가 되 는 경우 , 포지티브 형 레지스 트 재료 는 화학 증폭 포지티브 형 레지스 트 재료 로서 기능 한다 .