또한 , 상기 설명 에서 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 및 WTB 2 ) 에 , 처마 부 ( 23 a 및 23 b ) 가 각각 설치 되 는 경우 에 대해서 설명 하 였 지만 , 예 를 들 어 , 도 4 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 에 처마 부 ( 23 c ) 를 설치 하 고 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 에 처마 부 ( 23 c ) 와 감합 하 는 단차 부 ( 23 d ) 를 설치 할 수 있 다 . 또는 반대 로 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 에 단 차부 를 설치 할 수 있 고 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 에 처마 부 를 설치 할 수 있 다 . 이 경우 에 도 , 처마 부 ( 23 c ) 와 단 차부 ( 23 d ) 가 서로 감합 한 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 스크럼 상태 에서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 접촉 , 및 반사 미러 ( 27 f ) 와 반사 미러 ( 27 e ) 의 접촉 을 회피 할 수 있 는 길이 로 처마 부 ( 23 c ) 의 길이 가 설정 되 어야 한다 .