개시 된 실시 예의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 상기 엔드 이펙터 는 제 1 엔드 이펙터 이 고 , 상기 기판 이송 아암 은 제 1 엔드 이펙터 와 공통 인 상기 기판 이송 아암 의 공통 의 팔뚝 링크 로부터 독립 적 인 제 2 엔드 이펙터 를 가져서 , 상기 제 1 및 제 2 엔드 이펙터 는 공통 의 회전축 을 중심 으로 상기 팔뚝 에 대해 선회 되 며 , 상기 제 2 엔드 이펙터 는 상기 단부 및 측면 기판 이송 개구 의 각각 에 공통 된다 .