상기 SOG 층 을 형성 하 는 단계 는 SOG 용액 을 도포 하 는 단계 및 상기 SOG 용액 을 열처리 를 하 는 단계 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 상기 SOG 용액 은 , 실리 게이트 ( silicate ) , 실록 산 ( siloxane ) , MSQ ( Methyl SilseQuioxane ) , HSQ ( Hydrogen SilseQuioxane ) , 또는 폴리 실라 잔 ( polysilazane ) 을 포함 하 는 것 이 더욱 바람직 하 다 . 그리고 상기 열처리 는 산소 ( O 2 ) , 수증기 ( H 2 O ) , 또는 대기 ( air ) 중 의 분위기 에서 150 ∼ 500 ℃ 사이 의 온도 로 하 는 것 이 바람직 하 다 .