플라 즈 마 발생 실 ( 140 ) 은 처리 실 ( 120 ) 의 외부 에 위치 한다 . 일 예 에 의하 면 , 플라 즈 마 발생 실 ( 140 ) 은 처리 실 ( 120 ) 의 상부 에 위치 되 며 처리 실 ( 120 ) 에 결합 된다 . 플라 즈 마 발생 실 ( 140 ) 은 방 전실 ( 142 ) 과 확산 실 ( 144 ) 을 가진다 . 방 전실 ( 142 ) 과 확산 실 ( 144 ) 은 상하 방향 으로 순차 적 으로 제공 된다 . 방 전실 ( 142 ) 은 중공 의 원통 형상 을 가진다 . 상부 에서 바라볼 때 방 전실 ( 142 ) 내 공간 은 처리 실 ( 120 ) 내 공간 보다 좁 게 제공 된다 . 방 전실 ( 142 ) 내 에서 가스 로부터 플 라즈 마가 발생 된다 . 확산 실 ( 144 ) 내 공간 은 아래 로 갈수록 점진 적 으로 넓 어 지 는 부분 을 가진다 . 확산 실 ( 144 ) 의 하단 은 처리 실 ( 120 ) 의 상단 과 결합 되 며 , 이 들 사이 에 는 외부 와 의 밀폐 를 위해 실링 부재 ( 미 도시 ) 가 제공 된다 .