일부 구 현예 에서 , 시스템 구성 ( 1 ) 은 플라 즈 마 , 라디칼 또는 여기 종 을 위한 공급원 을 포함 하 지 않 는다 . 일부 구 현예 에서 , 시스템 구성 ( 1 ) 은 플라 즈 마 , 라디칼 또는 여기 종 형성 을 위한 RF , 마이크로파 또는 ICP 공급원 을 포함 하 지 않 는다 . 일부 구 현예 에서 , 시스템 구성 ( 1 ) 은 플 라즈 마 기반 공정 과 호환 하 지 않 거나 이 를 사용 될 수 없 다 .