가스 배기 부 ( 180 ) 는 반응 로 ( 120 ) 내부 의 가스 배기 를 위한 것 으로 , 가스 배기 덕트 ( 184 ) , 가스 배기 덕트 ( 184 ) 에 연결 되 는 메인 배기 라인 ( 185 ) 그리고 상기 메인 배기 라인 ( 185 ) 으로부터 분기 되 는 제 1 배기 라인 ( 186 ) 과 제 2 배기 라인 ( 187 ) 을 포함 한다 . 가스 배기 덕트 ( 184 ) 는 반응 로 ( 120 ) 의 타단 에 설치 되 는 플랜지 ( 134 ) 에 설치 된다 . 제 1 배기 라인 ( 186 ) 은 일반 송풍 배기 라인 이 고 , 제 2 배기 라인 ( 187 ) 은 진공 라인 이 며 , 이 들 배기 라인 들 에 는 제 1 , 2 밸브 ( 186 a , 187 a ) 가 설치 된다 .