여기 서 , 헤드 ( 33 H ) 의 중 공부 ( 415 , 416 ) 는 , 회동 부재 ( 361 ) 의 회전 에 연동 하 여 축 ( BX ) 을 중심 으로 회전 한다 . 예 를 들 면 , 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 정방 형 형상 을 구비 하 는 칩 ( CP ) 의 중심 을 끼 고 대향 하 는 모서리 부 각각 에 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b ) 가 마련 되 어 있 는 것 으로 한다 . 이 경우 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 가 칩 ( CP ) 의 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b ) 가 마련 된 2 개 의 모서리 부 를 연결 하 는 대각선 상 에 위치 할 때 , 제 1 촬상부 ( 35 a , 35 b ) 가 중 공부 ( 415 , 416 ) 를 통해 얼라인먼트 마크 ( MC 1 a , MC 1 b ) 의 촬상 데이터 를 취득 할 수 있 다 .