상기 차광막 을 형성 할 때 에 사용 하 는 불활성 가스 로 는 아르곤 ( Ar ) , 헬륨 ( He ) , 네온 ( Ne ) , 제온 ( Xe ) 등 에서 적어도 1 종 이상 을 선택 하 여 사용 하 고 , 반응 성 가스 로 는 산소 ( O 2 ) , 질소 ( N 2 ) , 일산 화 탄소 ( CO ) , 이산화 탄소 ( CO 2 ) , 아산화질소 ( N 2 O ) , 산화질소 ( NO ) , 이산화질소 ( NO 2 ) , 암모니아 ( NH 4 ) , 메탄 ( CH 4 ) 등 에서 적어도 1 종 이상 을 선택 하 여 사용 한다 .