개시 된 실시 예의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 프로세스 모듈 선형 어레이 는 실질 적 으로 공통 의 레벨 에서 적어도 하나 의 선형 으로 연장 된 측면 을 따라서 분포 된 적어도 6 개 의 프로세스 모듈 기판 홀딩 스테이션 을 제공 하 며 , 상기 기판 홀딩 스테이션 의 각각 은 상기 대응 하 는 측면 이송 개구 를 통해 상기 기판 이송 아암 의 공통 의 엔드 이펙터 로 접근 한다 .