우선 , 반송 장치 ( 30 ) 에 의해 처리 유닛 ( 60 ) 내 에 반송 되 어 온 1 장 의 웨이퍼 ( W ) 가 처리 유닛 ( 60 ) 의 유지 기구 ( 62 ) 에 의해 유지 된다 . 유지 기구 ( 62 ) 는 대략 원형 형상 의 판면 을 갖 는 웨이퍼 ( W ) 를 그 판면 의 중심 을 축심 으로 해서 회전 시킨다 . 이 동작 에 앞서 또는 병행 하 여 , 공급 액량 이상 검출기 ( 90 ) 의 공급 보 틀 ( 91 ) 내 에 , 지지 높이 가 미리 조절 된 액면 센서 의 지지 위치 까지 , 제 2 약액 ( 예컨대 , 불화 수소 수용액 ) 이 공급 된다 .