간섭계 시스템 ( 118 ) 은 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 계측 용 Y 간섭계 ( 16 ) , X 간섭계 ( 126 , 127 , 128 ) 및 Z 간섭계 ( 43 A , 43 B ) , 그리고 계측 스테이지 ( MST ) 의 위치 계측 용 Y 간섭계 ( 18 ) 및 X 간섭계 ( 130 ) 등 을 포함 한다 . Y 간섭계 ( 16 ) 및 3 개 의 X 간섭계 ( 126 , 127 , 128 ) 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 반사면 ( 17 a , 17 b ) 에 각각 간섭계 빔 ( 측장 빔 ) ( B 4 ( B 41 , B 42 ) , B 5 ( B 51 , B 52 ) , B 6 , B 7 ) 을 조사 한다 . 그리고 , Y 간섭계 ( 16 ) 및 3 개 의 X 간섭계 ( 126 , 127 , 128 ) 는 각각 의 반사광 을 수광 하고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 를 계측 하 여 , 이 계측 한 위치 정보 를 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 한다 .