상기 산화물 소 결체 는 상대 밀도 를 95 ％ 이상 으로 하 는 것 이 바람직 하 다 . 산화물 소 결체 의 상대 밀도 가 95 ％ 미만 이 면 , 막 의 캐리어 농도 의 편차 가 커지 는 것 에 추가 하 여 , 그 산화물 소 결체 를 스퍼터링 타깃 으로서 이용 하 여 스퍼터 성막 한 경우 , 스퍼터 시간 의 경과 에 수반 되 어 , 노듈 의 발생 이 많 아 져 이상 방전 의 발생 빈도 가 높 아 져 , 얻 어 지 는 막 특성 이 열화 된다 . 상대 밀도 는 바람직 하 게 는 97 ％ 이상 , 전형 적 으로 는 95 ∼ 99 ％ 이 다 .