기압 제 어부 ( 450 ) ( 도 8 참조 ) 는 , 펌프 및 전자 밸브 를 구비 한다 . 펌프 가 구동 됨 으로써 , 폐 색실 ( C ) 내 의 기체 가 급 배기관 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 통하 여 외부 로 배출 된다 . 그 결과 , 폐 색실 ( C ) 내 가 대략 진공 상태 로 된다 . 전자 밸브 가 폐쇄 됨 으로써 , 폐 색실 ( C ) 내 의 기밀 성 이 유지 된다 . 또한 , 전자 밸브 ( 33 ) 가 개방 됨 으로써 , 감압 상태 의 폐 색실 ( C ) 내 에 외부 로부터 기체 가 도입 되 어 , 폐 색실 ( C ) 내 의 기압 이 상승 한다 . 또한 , 폐 색실 ( C ) 내 에 는 , 폐 색실 ( C ) 내 의 기압 을 검출 하 는 압력 센서 가 마련 되 어 있 다 . 컨트롤러 ( 71 ) 는 , 펌프 를 구동 시켜 도 폐 색실 ( C ) 내 의 기압 이 저하 되 지 않 는 경우 에 는 , 전사 장치 ( 40 ) 가 고장났 다는 취지 를 작업자 에게 경고 하 는 처리 , 및 전사 공정 의 실행 을 금지 하 는 처리 중 적어도 어느 것 을 실행 한다 .