도 1 에 도시 된 실시 형태 에 있 어서 , 부분 연마 장치 ( 1000 ) 는 , 제 어 장치 ( 900 ) 를 구비 한다 . 부분 연마 장치 ( 1000 ) 의 각종 구동 기구 는 제어 장치 ( 900 ) 에 접속 되 어 있 으며 , 제 어 장치 ( 900 ) 는 , 부분 연마 장치 ( 1000 ) 의 동작 을 제어 할 수 있 다 . 또한 , 제 어 장치 는 , 기판 Wf 의 피 연마 영역 에서 의 목표 연마 량 을 계산 하 는 연산 부를 구비 한다 . 제 어 장치 ( 900 ) 는 , 연산 부 에 의해 계산 된 목표 연마 량 에 따라서 , 연마 장치 를 제어 하 도록 구성 된다 . 또한 , 제 어 장치 ( 900 ) 는 , 기억 장치 , CPU , 입출력 기구 등 을 구비 하 는 일반 적 인 컴퓨터 에 소정 의 프로그램 을 인 스톨 함 으로써 구성 할 수 있 다 .