제 1 내지 제 3 실시 형태 에서 는 , HF 가스 와 NH 3 가스 가 혼합 된 분위기 하 에서 웨이퍼 ( W ) 를 가스 처리 함 으로써 , 자연 산화 막 을 반응 생성물 로 변질 시켰 다 . 그러나 , 자연 산화 막 을 반응 생성물 로 변질 시키 는 수법 은 , 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 어 , 불소 를 함유 하 는 가스 로서 는 , HF 가스 대신 에 NF 3 가스 를 사용 하 도록 해도 된다 .