이때 , 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 는 별도 의 제 1 이 송암 ( 20 ) 을 통해 이송 된다 . 구체 적 으로 , 상기 제 1 이 송암 ( 20 ) 은 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 를 실질 적 으로 평면 방향 ( x , y ) 을 따라 이송 시킨다 . 또한 , 상기 제 1 이 송암 ( 20 ) 의 끝단 에 는 상기 제 1 웨이퍼 ( 10 ) 가 실질 적 으로 안착 및 제거 되 는 제 1 블 레이트 ( 20 ) 가 결합 된다 .