제어기 ( 140 ) 는 중앙 처리 유닛 ( CPU ) ( 144 ) , 메모리 ( 142 ) , 및 지지 회로 ( 146 ) 를 포함 한다 . 제어기 ( 140 ) 는 식각 반응기 ( 100 ) 의 부품 에 결합 되 어 제어 하 고 , 공정 이 챔버 ( 110 ) 내 에서 수행 될 뿐 만 아니 라 집 적 회로 fab 의 데이터베이스 와 의 기능 적 데이터 교환 을 용이 하 게 할 수 있 다 .