상기 공정 들 을 수행 하 기 위한 기판 처리 장치 는 기판 의 로딩 을 위한 기판 로더 와 , 상기 로더 에 의해 반입 된 기판 에 대한 식각 또는 세정 공정 을 수행 하 기 위한 제 1 처 리부 와 , 상기 식각 또는 세정 처리 된 기판 을 린스 액 을 이용 하 여 린스 처리 하 기 위한 제 2 처 리부 와 , 린스 처리 된 기판 을 건조 시키 기 위한 제 3 처 리부 와 , 상기 기판 을 반출 하 기 위한 언로 더 등 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 기판 처리 장치 는 필요 에 따라 기판 상 의 정전기 를 제거 하 기 위한 제전 장치 , 기판 의 일시 대기 를 위한 버퍼 챔버 등 을 더 포함 할 수 도 있 다 .