가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 은 복수 이 다 . 각 ( 各 ) 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 은 , 무엇 보다 ＩＦ 부 ( 5 ) 측 의 열 에 상하 방향 으로 적층 되 어서 , 각각 의 일 측 부가 ＩＦ 부 ( 5 ) 측 에 면하 고 있 다 . 계층 ( Ｋ ２ ) 에 설치 되 는 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 에 관해서 는 , 그 측 부 에 기판 ( Ｗ ) 의 반 송구 를 형성 하 고 있 다 . 그리고 , 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 에 대해서 는 , 후술 하 는 ＩＦ 용 반송 기구 ( ＴＩＦ ) 가 상기 반 송구 를 통해서 기판 ( Ｗ ) 을 반송 한다 . 그리고 , 이 들 계층 ( Ｋ ２ ) 에 배치 되 는 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 에서 는 노광 후 가열 ( ＰＥＢ ) 처리 를 행한다 . 따라서 , 계층 ( Ｋ ２ ) 에 설치 되 는 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 에서 행해 지 는 가열 / 냉각 처리 를 , 특별히 ＰＥＢ 처리 로 기재 한다 . 마찬가지 로 계층 ( Ｋ ４ ) 에 설치 되 는 가열 냉각 유닛 ( ＰＨＰ ) 에서 행해 지 는 가열 / 냉각 처리 를 , 특별히 ＰＥＢ 처리 로 기재 한다 .