냉각 재킷 ( 23 ) 내 에 는 냉매 의 통로 ( 23 A ) 가 형성 되 고 , 이 통로 ( 23 ) 에 는 냉매 의 공급 부 ( 23 B ) 가 접속 되 어 있 다 . 이 공 급부 ( 23 B ) 에 는 냉매 탱크 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 접속 되 고 , 냉매 탱크 의 냉매 가 공급 부 ( 23 B ) 를 거쳐 냉각 재킷 ( 23 ) 의 유로 ( 23 A ) 내 를 순환 하 여 탑 플레이트 ( 21 ) 를 냉각 해서 , 저 온 검사 를 하 도록 하 고 있 다 . 또한 , 도시 하고 있 지 않 지만 , 냉각 재킷 ( 23 ) 의 아랫면 에 는 면 히터 가 배치 되 고 , 면 히터 에 의해 탑 플레이트 ( 21 ) 를 가열 하 여 , 고온 검사 를 행하 도록 하 고 있 다 .