제 1 발 광부 ( 510 ) 는 도 6 과 같이 가상 마크 ( A ) 를 생성 하 여 카메라 ( 400 ) 를 정렬 시킬 경우 에 만 제어 장치 ( 600 ) 에 의해 켜 질 ( on ) 수 있 고 , 제 2 발 광부 ( 530 ) 는 도 7 과 같이 정렬 마크 ( 710 ) 를 비춰서 기판 ( 700 ) 을 정렬 시킬 경우 에 만 제어 장치 ( 600 ) 에 의해 켜 질 ( on ) 수 있 다 .