몇몇 실시 양태 에서 , 상기 용매 증발 공정 은 용매 를 제거 하 고 마이크 로 입자 를 생성 하 기 위해 분무 건조 또는 유동층 장치 를 사용 한다 . 몇몇 실시 양태 에서 , 상기 용매 증발 공정 은 스 피닝 디스크 를 사용 한다 . 예 를 들 면 , 상기 스 피닝 디스크 는 U . S . 특허 제 7 , 261 , 529 호 및 U . S . 특허 제 7 , 758 , 778 호 에 기재 되 어 있 는 바 와 같 은 스 피닝 디스크 이 다 .