일부 실시 예 들 에서 , 유체 또는 전기 적 누설 을 방지 하 기 위해 , 매니폴드 ( 235 ) , 하우징 ( 224 ) 및 진공 판 ( 217 ) 사이 에 O 링 들 , 절연체 들 , 가스 킷 들 등 이 배치 될 수 있 다 . 예컨대 , 일부 실시 예 들 에서 , 진공 판 ( 217 ) 에 커플링 될 때 라디오 주파수 ( RF ) 간섭 을 저감 하 거나 방지 하 기 위해 , RF 가스 킷 ( 522 ) 이 하우징 ( 224 ) 의 정상 에 배치 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , RF 가스 킷 ( 522 ) 은 또한 , 열 제 어 판 ( 202 ) 에 대한 RF 전력 의 보다 효율 적 인 전달 을 위해 열 제 어 판 ( 202 ) 에 하우징 ( 224 ) 을 전기 적 으로 커플링 시키 도록 기능 할 수 있 다 .