제 1 정합 기 ( 33 ) 는 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 의 내부 ( 또는 출력 ) 임피던스 에 부하 임피던스 를 정합 시킨다 . 제 2 정합 기 ( 35 ) 는 제 2 고주파 전원 ( 34 ) 의 내부 ( 또는 출력 ) 임피던스 에 부하 임피던스 를 정합 시킨다 . 이 로써 , 처리 용기 ( 2 ) 내부 에 플 라즈 마가 생성 되 어 있 을 때 에 는 , 제 1 고주파 전원 ( 32 ) 및 제 2 고주파 전원 ( 34 ) 각각 에 대해 , 내부 임피던스 와 부하 임피던스 가 겉 으로 보 아 일치 하 도록 기능 한다 .