구체 적 으로 는 , 인가 하 는 전력 이나 발생 시키 는 자계 강도 또는 적용 하 는 장치 의 외형 등 을 감안 하 여 , 공진 코일 ( 212 ) 은 , 예 를 들 어 800 kHz 내지 50 MHz , 0 . 5 내지 5 KW 의 고주파 전력 에 의해 0 . 01 내지 10 가우스 정도 의 자장 을 발생 할 수 있 도록 , 50 내지 300 mm 2 의 유효 단면 적 이 며 또한 200 내지 500 mm 의 코일 직경 으로 되 어 , 플라스마 생성 공간 ( 201 a ) 을 형성 하 는 방 의 외주 측 에 2 내지 60 회 정도 권회 된다 .