한편 , 상기 스페이스 막 ( 250 ) 은 평탄 화 ( planarization ) 특성 이 좋 고 , 실리콘 ( Si ) 과 의 식각 선택 비 의 조절 이 용이 한 물질 이 면 모두 사용 이 가능 하 다 . 상기 HSQ 는 평탄 하 지 않 은 기판 에서 도 실리콘 기판 과 의 식각 선택 비 조절 이 용이 하 여 탐침 구조 형성 이 용이 하 기 때문 에 예시 로 들 어 설명 한다 .