상기 복합 소 결체 는 500 W 의 출력 및 100 W 바이어스 의 CF 4 / 02 플 라즈 마 에 대하 여 3 시간 노출 된 경우 , 표면 조도 ( Ra ) 가 5 배 이하 로 증가 할 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 4 배 이하 , 더 바람직 하 게 는 3 . 5 배 이하 로 증가 할 수 있 으며 , 더욱 바람직 하 게 는 3 배 이하 , 가장 바람직 하 게 는 1 . 5 배 이하 로 증가 할 수 있 다 .