레이저 프로세스 장치 에서 이용 되 는 결상 광학계 에 는 결상 성능 이 양호 한 것 , 즉 수차 가 작 게 억제 되 는 것 이 요구 된다 . 이 를 위해 결상 광학계 의 수차 를 측정 하 는 여러 가지 방법 이 개발 되 고 또한 실시 되 고 있 다 . 결상 광학계 의 대표 적 인 수차 측정 방법 으로서 다양 한 간섭계 에 의한 측정 방법 , 하트만 ( Hartmann ) 법 , 샥 크 - 하트만 ( Shack - Hartmann ) 법 , 푸코 ( Foucault ) 법 , 론 키 ( Ronchi ) 법 등 이 알려져 있 다 .