우수 한 막 질 과 스텝 커버리지 를 제공 할 수 있 는 사이 클릭 박막 증착 방법 을 제공 한다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 사이 클릭 박막 증착 방법 은 , 기판 이 로딩 된 챔버 의 내부 에 실리콘 전구체 를 주입 하 여 기판 상 에 실리콘 을 증착 하 는 단계 및 챔버 의 내부 에서 미 반응 실리콘 전구체 및 반응 부산물 을 함께 제거 하 는 제 1 퍼지 단계 를 반복 하 여 , 기판 상 에 실리콘 박막 을 형성 하 는 단계 , 챔버 의 내부 에 플 라즈 마 분위기 를 형성 하 여 , 실리콘 박막 을 실리콘 이 포함 되 는 절 연막 으로 형성 하 는 단계 를 포함 한다 .