평가 결과 , ArF ( 193 nm ) 및 KrF ( 248 nm ) 파장 에서 반사 방지 막 으로서 사용 가능 한 굴절 율 및 흡수도 가 있 음 을 확인 하 였 다 . 통상 적 으로 반도체 반사 방지 막 으로 사용 되 는 재료 의 굴절 율 범위 는 1 . 4 ~ 1 . 8 정도 이 며 , 중요 한 것 이 흡광 계수 인데 이것 은 흡수도 가 클수록 좋 으나 , 통상 k 수치 가 0 . 3 이상 이 면 반사 방지 막 으로 사용 하 는 데 문제 가 없 기 때문 에 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 하드 마스크 조성물 은 반사 방지 막 으로 사용 할 수 있 음 을 알 수 있 다 .