청구 항 8 의 발명 에 의하 면 , 면방 위가 ( 100 ) 면 인 기판 의 ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 이 제 1 방사 온도계 및 제 2 방사 온도계 의 광축 과 일치 하 도록 기판 을 서 셉 터 에 재치 하 기 때문 에 , 플래시 광 조사 에 의해 기판 에 휨 이 생긴 경우 에 도 , 제 1 방사 온도계 또는 제 2 방사 온도계 중 어느 하나 의 광축 방향 에서 는 기판 에 거의 휨 이 생기 지 않 기 때문 에 , 방사 율 도 거의 변화 되 지 않 고 , 기판 의 상면 의 온도 를 정확 하 게 측정 할 수 있 다 .