웨이퍼 W 의 주위 단부 는 리 테 이너 링 ( 40 ) 에 둘러싸여 있 고 , 연마 중 에 웨이퍼 W 가 톱 링 ( 31 A ) 으로부터 튀어나오 지 않 게 되 어 있 다 . 압력 실 P 3 을 구성 하 는 , 탄성 패드 ( 42 ) 의 부위 에 는 개구 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 형성 되 어 있 고 , 압력 실 P 3 에 진공 을 형성 함 으로써 웨이퍼 W 가 톱 링 ( 31 A ) 에 흡착 보유 지지 되게 되 어 있 다 . 또한 , 이 압력 실 P 3 에 질소 가스 , 건조 공기 , 압축 공기 등 을 공급 함 으로써 , 웨이퍼 W 가 톱 링 ( 31 A ) 으로부터 릴리스 되 게 되 어 있 다 .