상술 된 코 팅기 에서 , 3 개 의 컨덕턴스 슬롯 들 ( 미 도시 ) 과 관련 하 여 적절 한 가스 격리 를 제공 하 기 위해 단일 펌프 격실 ( 250 ) 이 사용 될 수 있 다 . 컨덕턴스 슬롯 들 은 앞서 개시 된 것 처럼 도 7 B 의 컨덕턴스 슬롯 들 ( 201 , 203 , 205 ) 과 유사 한 방식 으로 구성 된다 . 컨덕턴스 슬롯 들 은 도 7 B 에 도시 된 길 이 들일 수 있 으며 , 이 는 동일 하 거나 , 대략 동일 하 거나 또는 상이 할 수 있 다 . 컨덕턴스 슬롯 길이 들 또는 컨덕턴스 슬롯 들 전체 길이 는 펌프 격실 ( 94 ) 또는 이 들 의 하프 베 이 들 과 관련 된 가스 격리 비율 을 결정 하 는 팩터 들일 수 있 다 . 이러 한 파라미터 들 은 예 를 들 어 , 도 6 과 관련 하 여 앞서 개시 된 것 일 수 있 다 . 단일 펌프 격실 이 코팅 기 에 사용 되 어 , 원 하 는 경우 또는 요구 에 따라 , 프로세스 또는 코팅 격실 들 사이 에서 허용 가능 한 가스 격리 레벨 을 제공 할 수 있 다 . 또한 , 이러 한 펌프 격실 은 도 6 과 관련 된 펌프 격실 을 중심 으로 앞서 개시 된 길 이 및 가스 격리 비율 에 상응 한다 .