또 , 조명 광 ( IL ) 은 , ArF 엑 시머 레이저 광 ( 파장 193 ㎚) 에 한정 되 지 않 고 , KrF 엑 시머 레이저 광 ( 파장 248 ㎚) 등 의 자 외광 이나 , F 2 레이저 광 ( 파장 157 ㎚) 등 의 진공 자 외광 이 어도 된다 . 예 를 들 어 미국 특허 7 , 023 , 610 호 명세서 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , 진공 자 외광 으로서 DFB 반도체 레이저 또는 파이버 레이저 로부터 발진 되 는 적 외역 , 또는 가시 역 의 단일 파장 레이저 광 을 , 예 를 들 어 에르븀 ( 또는 에르븀 과 이테르븀 의 양방 ) 이 도핑 된 파이버 앰프 로 증폭 시키 고 , 비 선형 광학 결정 을 사용 하 여 자 외광 에 파장 변환 시킨 고조파 를 사용 해도 된다 .