근래 에 멀티미디어 플레이어 나 개인 용 컴퓨터 등 과 같 은 정보 매체 의 급속 한 보급 에 따라 메모리 반도체 등 과 같 은 반도체 장치 도 비약 적 으로 발전 하 고 있 다 . 그 기능 면 에 있 어서 , 상기 반도체 장치 는 고속 으로 동작 하 는 동시 에 메모리 인 경우 대용량 의 저장 능력 을 가질 것 이 요구 된다 . 이러 한 요구 에 부응 하 여 반도체 소자 는 집적도 , 신뢰 도 및 응답 속도 등 을 향상 시키 는 방향 으로 제조 기술 이 지속 적 으 로 발전 되 고 있 다 . 특히 하이 퍼포먼스 디바이스 를 사용 자 들 이 요구 함 에 따라 그러 한 반도체 소자 를 제조 하 는 제조 설비 의 성능 안정 성 은 매우 중요 하 다 .