오버레이 분포 와 같 은 관심 대상 매개변수 분포 ( 3222 ) ( DB ) 가 결정 된다 . 이 는 디바이스 제조 공정 을 수행 하 는 중 에 오 차 또는 잔차 와 관련 된 제 1 매개변수 ( 2321 ) 의 제 1 분포 ( 2322 ) 이 다 . 분포 ( 2322 ) 를 결정 하 기 위해 , 제 1 매개변수 ( 2321 ) 의 제 1 값 의 분포 ( 2325 ) 가 획득 된다 . 이후 , 제 1 값 의 분포 ( 2325 ) 가 모델링 되 어 ( 2328 ) 제 1 모델링 된 값 의 분포 ( 2322 ) ( DB ) 를 획득 한다 . 따라서 , 이 실시 예 에서 , 결정 된 제 1 분포 ( 관심 대상 매개변수 ) 는 제 1 모델링 된 값 의 분포 ( 2322 ) ( DB ) 를 포함 하 고 있 다 .