제 1 희생 게이트 ( 222 ) 의 높이 가 클수록 후속 공정 에서 , 예 를 들 어 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 의 제거 공정 또는 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 가 제거 된 제 2 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) ( 도 13 참조 ) 내 에 게이트 전극 ( 120 ) 을 매립 하 는 공정 에서 , 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 의 종횡비 가 커질 수 있 다 . 이러 한 경우 에 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 으로 의 에 천트 , 또는 소스 물질 의 공급 이 원활 하 지 않 을 수 있 다 . 여기 서 는 리세 스 영역 ( 220 R 2 ) 으로 의 에 천트 , 또는 소스 물질 의 공급 이 국부 적 으로 원활 하 지 않 은 현상 을 로딩 효과 ( loading effect ) 라고 지칭 하 도록 한다 .