예 를 들 어 , 제 1 트렌치 ( 114 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 에 대해 열처리 공정 을 수행 하 여 제 1 트렌치 ( 114 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 의 측면 및 바닥 면 을 산화 시킴 으로써 산화 막 을 형성 할 수 있 다 . 또는 증착 공정 을 통해 , 제 1 트렌치 ( 114 ) 및 제 2 트렌치 ( 116 ) 의 측면 및 바닥 면 에 절 연막 을 증착 시킴 으로써 게이트 절 연막 ( 144 ) 을 형성 할 수 있 다 .