캐리어 보관 선반 및 캐리어 반송 기구 가 , 인 덱 서 블록 및 2 개 의 처리 블록 에 대하 여 수평 방향 으로 설치 되 면 , 그 만큼 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 가 커진다 . 이러 한 점 에서 , 캐리어 보관 선반 및 캐리어 반송 기구 가 , 2 개 의 처리 블록 중 한쪽 과 평면 에서 보 았 을 때 에 겹치 도록 배치 된다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 의 증가 를 억제 할 수 있 다 . 또한 , 캐리어 보관 선반 및 캐리어 반송 기구 는 , 제 1 처리 블록 및 제 2 처리 블록 중 높이 가 낮 은 쪽 의 블록 상 에 탑재 되 어 있 다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 의 높이 를 억제 할 수 있 다 .