본 실시 형태 의 카세트 재치 기구 ( 40 ) 는 , 복수 의 웨이퍼 를 수용 하 는 제 1 카세트 ( 42 ) 및 제 2 카세트 ( 43 ) 를 재치 하 는 카세트 재치 영역 ( 41 , 41 ) 을 구비 하 고 있 다 . 오퍼레이터 는 , 각 카세트 재치 영역 ( 41 , 41 ) 에 대해 , 미 가공 의 웨이퍼 가 수용 된 제 1 카세트 ( 42 ) , 제 2 카세트 ( 43 ) 를 소정 의 방향 으로 가지런 하 게 하 여 재치 한다 . 제 1 카세트 ( 42 ) , 제 2 카세트 ( 43 ) 에 수용 된 각 웨이퍼 가 가공 되 고 , 가공 이 완료 된 웨이퍼 가 제 1 카세트 ( 42 ) , 제 2 카세트 ( 43 ) 에 수용 되 었 다면 , 카세트 재치 영역 ( 41 ) 으로부터 후 공정 의 적절 한 장치 에 반송 된다 .