본 발명 의 제 1 국면 은 상기 과제 를 해결 하 기 위하 고 , 이하 의 웨이퍼 반송 기구 를 제공 한다 . 즉 , 웨이퍼 를 반송 하 는 웨이퍼 반송 기구 에서 있 어서 , 웨이퍼 를 유지 하 는 웨이퍼 유지 수단 과 , 상기 웨이퍼 유지 수단 을 이동 하 는 이동 수단 을 구비 하 고 , 상기 웨이퍼 유지 수단 은 , 웨이퍼 의 외주 영역 을 흡인 유지 하 는 다공성 면 을 구비 한 흡인 유지 부 와 , 상기 흡인 유지 부 의 내측 에 배치 되 어 물 을 공급 하 는 물 공급 부 를 포함 하 는 웨이퍼 반송 기구 를 본 발명 의 제 1 국면 은 제공 한다 .