도 5 를 참조 하 여 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 의 전기 적 인 접속 구조 에 대하 여 상세 하 게 설명 한다 . 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 는 , 전환 유닛 ( 12 ) 과 대향 하 는 단부 면 ( 11 c ) 으로부터 전환 유닛 ( 12 ) 측 으로 돌출 되 는 복수 의 핀 ( 11 d ) 을 갖 고 있 다 . 핀 ( 11 d ) 은 , 단부 면 ( 11 c ) 에 마련 되 는 관통 구멍 ( 11 e ) 을 관통 한 상태 에서 보유 지지 부 ( 11 b ) 에 보유 지지 되 어 있 다 . 핀 ( 11 d ) 은 , 각각 일 대 일 로 프로브 ( 11 a ) 에 접속 되 어 있 다 .