지금 까지 설명 한 바 와 같이 , 펠리 클 을 포토 마스크 에 탈 부착 시킬 때 , 마스크 접착제 를 이용 하 지 않 고 , 내부 로 의 공기 주입 이나 내부 로부터 의 공기 배출 에 의해 형성 되 는 진공 상태 또는 진공 상태 해제 에 의해 프레임 과 포토 마스크 가 부착 또는 탈착 되 도록 함 으로써 , 펠리 클 을 포토 마스크 에 탈 부착 하 는 과정 에서 이 물질 이나 성장 성 이 물 발생 의 원인 이 되 는 자유 물 이 발생 되 지 않 으며 , 또한 펠리 클 탈 부착 과정 에서 포토 마스크 가 손상 되 는 것 을 억제 할 수 있 다는 이점 을 제공 한다 .