도 3 은 장치 본체 의 하부 ( 172 ) 상 에 배치 된 하나 의 토로 이드 형 센서 ( 174 ) 를 포함 하 는 예시 적 인 SEM 측정 장치 ( 170 ) 를 도시 한다 . 장치 ( 170 ) 는 예 를 들 어 제 1 위치 에서 의 제 1 측정 및 제 1 위치 에 대하 여 좌우 대칭 인 제 2 위치 에서 의 제 2 측정 과 같 은 다수 의 위치 에서 측정 을 수행 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 일 측면 에서 , 장치 ( 170 ) 는 비 - 일시 적 인 컴퓨터 판독 가능 매체 상 에 저장 된 명령 들 에 의해 구성 되 어 , 다수 의 위치 에서 취해진 측정치 의 특성 또는 측정치 와 관련 된 또는 도출 된 파라미터 , 예 를 들 어 복수 의 측정치 로부터 각각 도출 된 SEM 값 의 공통 평균치 로부터 의 평균값 또는 각 값 의 차이 중 하나 이상 을 결정 할 수 있 다 . 일 측면 에서 , 장치 ( 170 ) 는 측정 과 관련 된 하나 이상 의 파라미터 , 예 를 들 어 2 개 의 좌우 대칭 위치 에서 취해진 측정치 로부터 도출 된 SEM 값 사이 의 델타 를 표시 하 도록 구성 된 디스플레이 를 포함 한다 .