금속 산화 물막 ( 114 f ) 은 예 를 들 어 산소 를 포함 한 분위기 하 에서 성막 하 는 것 이 바람직 하 다 . 특히 산소 를 포함 한 분위기 하 에서 스퍼터링 법 으로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 로써 금속 산화 물막 ( 114 f ) 의 성막 시 에 절연 층 ( 110 ) 에 산소 를 공급 할 수 있 다 . 또한 금속 산화 물막 ( 114 f ) 의 성막 시 에 반도체 층 ( 108 ) 에 산소 가 공급 되 어도 좋 다 .