본 발명자 는 , 연마 속도 를 개선 하 기 위해 , 실리콘 웨이퍼 등 의 연마 에 사용 되 는 연마 용 조성물 에 염기 성 화합물 을 함유 시킬 것 을 검토 하 고 있 다 . 그러나 , 연마 용 조성물 에 염기 성 화합물 을 함유 시키 면 , 연마 속도 는 개선 할 수 있 기 는 하 지만 , 실리콘 웨이퍼 의 외주 부인 에지 근방 이 중앙부 에 비하 여 과잉 으로 연마 되 는 경우 가 있 다 . 그 때문 에 , 연마 후 에 외주 부 의 두께 가 원 하 지 않 게 감소 하 는 사상 ( 에지 롤 오프 ) 이 생길 우려 가 있 다 .