엔드 이펙터 측정 모듈 및 이 를 이용 한 엔드 이펙터 모니터링 장치 를 개시 한다 . 본 발명 은 웨이퍼 가 EFEM 에서 반도체 공정 장비 로 들어가 는 공 급구 에 설치 되 어 엔드 이펙터 의 이동 경로 를 측정 하 고 , 측정 된 이동 경로 를 이용 하 여 엔드 이펙터 의 틀 어 짐 을 모니터링 함 으로써 , 로봇 암 의 오동작 발생 을 자동 으로 확인 할 수 있 으며 , 로봇 암 의 유지 및 보수 를 쉽 게 관리 할 수 있 다 .