검 출부 ( 3 ) 는 구동 부 ( 2 ) 와 상호 작용 하 여 압력 을 측정 할 수 있 다 . 검 출부 ( 3 ) 는 메인 제 어부 ( 1 ) 에 의해 제어 되 는 검출 모듈 용 제 어부 ( 31 ) 와 , 검출 모듈 용 제 어부 ( 31 ) 에 의해 제어 되 고 메인 제 어부 ( 1 ) 에 신호 를 전송 하 는 검출 모듈 용 데이터 버스 ( 32 ) 와 , 검출 모듈 용 데이터 버스 ( 32 ) 에 의해 제어 되 는 복수 개 ( Q 개 ) 의 검출 모듈 ( 33 ) 을 포함 할 수 있 다 . 복수 개 의 검출 모듈 ( 33 ) 각각 은 서로 이격 된 상태 로 평행 하 게 마련 되 는 복수 개 ( M 개 ) 의 검출 전극 ( 331 ) 을 포함 할 수 있 다 . 검출 전극 ( 331 ) 은 구동 전극 ( 231 ) 과 교차 하 는 방향 으로 마련 될 수 있 다 . 검출 전극 ( 331 ) 은 도 1 에서 가로 방향 으로 마련 된 것 으로 도시 된다 . 검출 전극 ( 331 ) 이 3 개 로 마련 되 는 것 으로 도시 되 나 ( 즉 , M = 3 ) , 이 에 제한 되 지 않 음 을 밝혀 둔다 .