이때 , 상기 공진 부 ( 53 ) 를 구성 하 고 있 는 한 수개 의 공진 유 니트 ( 53 a , 53 b ) 중 측면 에 도입 공 ( 53 c ) 에 의해 개구 된 공진 유 니트 ( 53 b ) 와 개구 되 지 않 은 공진 유 니트 ( 53 a ) 를 교호 로 배치 시켜 줌 으로써 대형 시료 의 화학 증착 에서 도 마이크로파 도입 창인 유전체 창 ( 6 ) 의 오염 을 막 을 수 있 는 것 이 다 .