상기 의 문제점 을 해결 하 기 위해 , 본 발명 에서 는 기존 불소 카본 고무 ( FLUORO CARBON RUBBER ) 재질 의 열 적 인 문제점 및 제조품 과 로봇 암 ( ROBOT ARM ) 사이 의 완충 작용 을 해결 하 고 , 열 적 인 견딤 이 우수 하 여 수명 이 기존 에 비해 증가 할 수 있 게 재질 의 개선 을 수행 하 였으며 , 웨이퍼 ( WAFER ) 와 LCD 용 유리 ( GLASS ) 의 슬라이딩 ( SLIDING ) 현상 을 해결 하 기 위해서 단위 면적 당 격자 의 밀도 를 높였으며 , 격자 형상 을 개선 하 여 엠보싱 처리 격자 의 형상 으로 설계 개선 한 반도체 및 LCD 이송용 로봇 암 에 부착 된 엠보싱 형상 표면 을 갖 는 고무 진공 패드 및 그 성형 방법 을 제공 하 는데 그 목적 이 있 다 .