예컨대 , 도 1 에서 도시 된 바 와 같 은 프로세스 챔버 ( 100 ) 의 내부 분위기 를 진공 으로 유지 하 기 위해서 는 진공 펌프 ( 2 ) 가 필요 하 며 , 상기 진공 펌프 ( 2 ) 와 프로세스 챔버 ( 100 ) 의 사이 에 는 진공 라인 들 ( 11 , 13 ) 과 연결 어셈블리 들 ( 10 , 12 ) 이 설치 될 수 있 다 . 상기 연결 어셈블리 들 ( 10 , 12 ) 은 진공 라인 들 ( 11 , 13 ) 을 서로 기밀 성 있 게 유지 하 기 위해 도 2 와 같 은 연결부 구조 를 갖 는다 .