또는 상기 서 셉 터 ( 120 ) 는 도 8 의 ( a ) 에 도시 된 바 와 같이 , 일 측 이 개방 된 원통 용기 형태 로 이루어지 며 , 상기 용기 의 내부 에 흑연 이나 SiC 또는 이 들 의 혼합물 을 포함 하 는 재질 로 형성 되 는 로드 ( 124 ) 가 일정 간격 이격 된 형태 로 이루어질 수 있 다 . 또는 도 8 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 서 셉 터 ( 220 ) 가 양 측 이 개방 된 관 의 형태 로 이루어지 며 , 그 내부 에 흑연 이나 SiC 또는 이 들 의 혼합물 을 포함 하 는 재질 로 형성 되 는 로드 ( 224 ) 가 일정 간격 이격 된 형태 로 이루어질 수 도 있 다 .