한편 , 상기 하드 마스크 를 형성 하 기 전 , 상기 도전 막 을 보호 하 기 위해 완충 막 ( 미 도시 ) 을 더 형성 할 수 도 있 다 . 이때 , 상기 완충 막 은 상기 하드 마스크 와 높 은 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 형성 하 며 , 예컨대 , 상기 하드 마스크 가 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) 으로 형성 된 경우 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 으로 형성 한다 .