그리고 , 외기 와 접촉 하 여도 제 1 배선 층 ( L 1 ) 의 제 2 배선 층 과 의 접속 부분 ( L 1 c ) 에 산화 막 을 형성 하 는 반응 을 일으키 지 않 게 될 때 까지 냉각 된 웨이퍼 ( W ) [ 상온 까지 냉각 된 웨이퍼 ( W ) ] 가 , 챔버 ( 4 ) 로부터 꺼내 어 져 제 2 배선 층 을 형성 하 기 위한 도시 하 지 않 는 스퍼터링 장치 에 반송 된다 .