도 18 및 도 22 를 참조 하 면 , 제 2 질화 공정 을 통하 여 대 상체 ( 250 ) 상 에 하부 질화 막 ( 270 ) , 하부 산화 막 ( 268 ) , 상부 산화 막 ( 280 ) 및 상부 질화 막 ( 285 ) 을 포함 하 는 절연 구조물 ( 290 ) 을 형성 한다 ( 단계 S 280 ) . 상기 제 2 질화 공정 은 플 라즈 마 질화 공정 을 포함 할 수 있 다 . 상기 플 라즈 마 질화 공정 에 있 어서 , 질소 를 포함 하 는 제 4 반응 가스 를 상기 공정 챔버 내 에 로딩 된 대 상체 ( 250 ) 상 으로 공급 한 후 , 상기 제 4 반응 가스 에 약 1 , 000 ∼ 2 , 000 W 정도 의 전력 을 인가 하 여 대 상체 ( 250 ) 상부 에 질소 플 라즈 마 를 형성 한다 . 상기 질소 플 라즈 마 를 예비 상부 산화 막 ( 275 ) 과 반응 시킴 에 따라 예비 상부 산화 막 ( 275 ) 이 상부 산화 막 ( 280 ) 으로 변화 되 면서 상부 산화 막 ( 280 ) 상 에 상부 질화 막 ( 285 ) 이 형성 된다 . 예비 상부 산화 막 ( 275 ) 의 일부 가 상부 질화 막 ( 280 ) 으로 변화 되 기 때문 에 상부 산화 막 ( 275 ) 은 예비 상부 산화 막 ( 275 ) 에 비하 여 상부 질화 막 ( 280 ) 의 두께 만큼 감소 된 두께 를 가진다 .