과열 수증기 는 , 포화 수증기 를 비점 보다 높 은 온도 로 가열 하 여 얻 어 지 는 가스 이 며 , 상압 하 에서 는 , 100 ℃ 를 초과 하 고 , 일반 적 으로 는 250 ℃ 이하 , 예 를 들 어 180 ℃ 이하 의 온도 이 며 , 또한 , 비점 을 초과 하 는 온도 로 의 가열 에 의해 불포화 수증기압 으로 된 가스 이 다 . 전 구체 막 을 형성 한 기재 를 과열 수증기 에 노출 시키 면 , 먼저 , 과열 수증기 와 , 비교 적 저온 의 전구체 막 사이 의 온도 차 에 의해 , 전 구체 막 표면 에서 결로 가 발생 하 고 , 이 에 의해 전구체 막 에 수분 이 공급 된다 . 결국 , 과열 수증기 와 전구체 막 사이 의 온도 차 가 작 아 짐 에 따라 , 전 구체 막 표면 의 수분 은 과열 수증기 에 의한 건 조 분위기 중 에서 기화 되 어 , 전 구체 막 표면 의 수분 량 이 점차 저하 된다 . 전 구체 막 표면 의 수분 량 이 저하 되 어 있 는 동안 , 즉 , 전 구체 막 이 건조 분위기 하 에 있 는 동안 , 기재 의 표면 전구체 막 은 과열 수증기 와 접촉 함 으로써 , 이 과열 수증기 의 온도 ( 상압 하 에서 는 100 ℃ 를 초과 하 는 온도 ) 로 가열 되 게 된다 . 따라서 , 과열 수증기 를 사용 하 면 , 전 구체 막 을 형성 한 기재 를 과열 수증기 에 노출 시키 는 것 만 으로 , 수분 공급 과 건조 가열 을 연속 적 으로 실시 할 수 있 다 .