도 6 및 그 와 관련 된 설명 을 다시 참조 하 면 , 실시 예 에서 , 매개변수 화 된 모델 ( 206 ) 의 하나 이상 의 변수 는 하나 이상 의 다른 변수 보다 계산 된 방사선 분포 에 더 강한 영향 을 미칠 수 있 다 . 예 를 들 어 , 하나 이상 의 변수 의 작 은 백분율 변화 는 계산 된 방사선 분포 의 상당 한 차이 를 초래 할 수 있 다 . 이러 한 변수 는 강력 한 변수 ( strong variable ) 로 지칭 될 수 있 다 . 강력 한 변수 는 피처 의 임계 치수 를 포함 할 수 있 지만 , 이 에 제한 되 지 는 않 는다 . 다른 한편 으로 , 하나 이상 의 다른 변수 의 상당 한 백분율 변화 는 계산 된 방사선 분포 의 작 은 차이 를 초래 할 수 있 다 . 이러 한 변수 는 약한 변수 ( weak variable ) 로 지칭 될 수 있 다 . 약한 변수 는 피처 의 측벽 각도 , 피처 의 높이 , 층 의 두께 , 현상 중 의 레지스 트 손실 , 피처 의 푸팅 ( footing ) , 층 의 굴절 률 , 층 의 흡수 및 층 의 흡광 계수 를 포함 할 수 있 지만 , 이 에 제한 되 지 는 않 는다 .