상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 광학 적 근접 보정 검증 방법 은 , N - 1 번 째 광학 적 근접 보정 을 행하 고 시뮬레이션 을 통해 제 N - 1 에러 들 을 산출 하 는 단계 ; N 번 째 광학 적 근접 보정 을 행하 고 시뮬레이션 을 통해 제 N 에러 들 을 산출 하 는 단계 ; 상기 산출 된 제 N - 1 에러 들 및 제 N 에러 들 의 좌표 정보 로써 , 상기 제 N - 1 에러 들 의 위치 들 과 상기 제 N 에러 들 의 위치 들 을 비교 하 는 단계 ; 상기 비교 를 바탕 으로 상기 제 N - 1 에러 들 과 위치 가 불 일치 하 는 제 N 에러 들 , 상기 N 번 째 광학 적 근접 보정 으로 에러 가 수정 된 제 N - 1 에러 들 , 및 상기 N 번 째 광학 적 근접 보정 으로 에러 가 수정 되 지 않 은 제 N 에러 들 의 에러 정보 들 을 , 상기 위치 불 일치 및 수정 여부 가 구별 되 게 나누 어 출력 하 는 단계 ; 및 상기 출력 된 에러 정보 들 을 분 석 하 여 광학 적 근접 보정 을 수정 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .