도 1 에 도시 한 종래 의 라디칼 증착 장치 는 RF 전원 부 ( 19 ) 의 고주파 발생기 를 통하 여 고정 주파수 전압 을 인가 한다 . 플라 즈 마 발생 가스 는 이러 한 고주파 전압 에 의해 분해 되 어 중성 라디칼 을 형성 한다 . 플라 즈 마 발생 가스 의 상태 에 따라서 이 고정 주파수 전압 이 플 라즈 마 발생 가스 전부 를 분해 하 는 데 에 적절 치 못할 수 도 있 다 . 이 에 따라 라디칼 형성 이 극대 화 되 지 못하 여 막 증착 속도 에 한계 가 있 는 것 이 다 .