플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 는 , 전원 장치 ( 70 ) 를 더 구비 하 고 있 다 . 전원 장치 ( 70 ) 는 , 도전 성 부재 에 양극 성 의 전압 을 인가 하 도록 구성 되 어 있 다 . 도전 성 부재 는 , 기판 지지기 ( 16 ) 상 에 재치 되 는 기판 ( W ) 보다 챔버 ( 10 ) 의 측벽 의 가까이 에서 연재 된다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 도전 성 부재 는 , 에지 링 ( ER ) 이 다 .