그러나 , 복수 개 의 상기 배기 대상 가스 유입 홀 ( 121 ) 중 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 ( 101 ) 에서 상대 적 으로 멀리 배치 된 것 은 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 ( 101 ) 와 의 이격 거리 가 상대 적 으로 멀 어서 상대 적 으로 넓 은 범위 에 퍼진 상기 배기 대상 가스 를 유입 해야 하 기 에 , 그 폭 을 상대 적 으로 크 게 형성 한다 .