플라 즈 마 처리 장치 ( 1 ) 는 또한 , 데포 실드 ( 100 ) 를 냉각 ( 열 을 제거 ) 하 는 부재 ( 수 냉 유닛 , 64 ) 를 구비 하 고 있 다 . 부재 ( 64 ) 는 상면 에서 보 았 을 때 에 대략 원환 형상 이 며 , 부재 ( 64 ) 의 단면 은 대략 직사각 형상 으로 되 어 있 다 . 또한 , 부재 ( 64 ) 는 챔버 본체 ( 12 ) 와 천 정부 ( 14 ) ( 부재 ( 32 ) ) 사이 에 끼워져 있 다 . 또한 , 부재 ( 64 ) 는 데포 실드 ( 100 ) 와 열전 도 가능 하 도록 접촉 하 고 있 다 . 도 1 의 예 에서 는 , 부재 ( 64 ) 의 내주 면 아랫 쪽 과 데포 실드 ( 100 ) 의 외주 면 윗 쪽 이 열 적 으로 접촉 하 고 있 다 . 부재 ( 64 ) 는 본체 ( 64 m ) 및 유로 ( 64 f ) 를 포함 하 고 있 다 . 본체 ( 64 m ) 는 , 예 를 들 어 , 알루미늄 으로 형성 되 어 있 다 . 유로 ( 64 f ) 는 부재 ( 64 ) 내 에서 대략 원환 형상 의 부재 ( 64 ) 를 일주 ( 一周 ) 하 도록 연장 되 어 있 다 . 냉매 가 칠러 유닛 ( 40 ) 으로부터 유로 ( 64 f ) 에 공급 된다 . 칠러 유닛 ( 40 ) 은 액상 의 냉매 ( 예 를 들 어 , 냉각수 ) 를 유로 ( 64 f ) 에 공급 한다 . 유로 ( 64 f ) 에 공급 된 냉매 는 칠러 유닛 ( 40 ) 으로 돌아간다 . 이러 한 칠러 유닛 ( 40 ) 은 , 예 를 들 어 , 4 L / min 이상 의 유량 으로 냉매 를 유로 ( 64 f ) 에 공급 할 수 있 다 .