이러 한 스퍼터링 장치 의 작용 을 살펴보 면 , 먼저 , 컴프레서 모듈 에서 공급 되 는 고압 의 헬 률 가스 가 펌프 모듈 의 팽창기 로 전달 되 고 , 팽창기 에서 고압 의 헬 률 가스 를 팽창 하 면서 단 열팽창 으로 인한 온도 의 저하 를 일으킨다 . 이러 한 온도 의 저하 는 팽창기 와 접촉 된 배 플 어레이 ( 21 ) 와 콜드 헤드 어레이 ( 22 ) 를 각각 80 K 와 15 K 로 냉각 시킨다 .