두께 75 ㎛ 의 FEP 필름 ( Toray Advanced Film Co . , Ltd . 제 , " "" 토요 플 론 ( 등록 상표 ) "" 의 편면 에 플 라즈 마 처리 를 했 다 . 플 라즈 마 처리 로서 는 실시 예 1 과 동일 한 조건 에서 실시 했 다 . 이어서 ", 구리 막 1 을 40 nm 두께 형성 한 이외 는 모두 실시 예 1 과 동일 한 조건 에서 금속화 필름 을 얻 었 다 .