그런데 , 종래 와 같이 캐리어 ( 13 ) 의 두께 를 웨이퍼 ( 10 ) 가공 최종 두께 에 근 접하 게 가공 하 여 평탄 도 를 조정 하 는 방법 을 적용 할 경우 , 웨이퍼 ( 10 ) 가 연마 됨 에 따라 두께 가 얇 아 져 캐리어 ( 13 ) 두께 에 근접 하 게 되 면 캐리어 ( 13 ) 전체 면 이 직접 연마 패드 에 접촉 하 면서 상부 정반 ( 15 ) 및 하부 정반 ( 11 ) 에 장비 부하 가 심하 게 걸리 고 , 캐리어 ( 13 ) 의 기어 치 ( teeth ) 가 심하 게 손상 되 는 현상 이 발생 한다 .