본 발명 은 기판 결함 검출 장치 및 그 방법 에 관한 것 으로서 , 더욱 상세 하 게 는 촬상부와 조명 부 사이 에 피검 사체 ( 기판 ) 를 놓 고 , 촬상부와 조명 부 에 위치 한 편광판 를 별도 의 구동 수단 을 이용 해 편광 각도 를 회전 시킴 과 동시 에 위상각 을 변화 하 여 표면 에 있 는 결함 을 자동 으로 검출 할 수 있 게 하 는 기판 결함 검출 장치 에 관한 것 이 다 .