본 발명 은 기판 을 수납 하 는 기판 지지대 및 그 를 구비 하 여 기판 을 처리 할 수 있 는 기판 처리 장치 에 관한 것 으로서 , 적어도 하나 의 기판 을 지지 할 수 있 도록 원판 형상 으로 형성 되 는 디스크 와 , 상기 기판 의 적어도 테두리 부분 이 안착 될 수 있 도록 , 상기 기판 과 대응 되 는 형상 으로 상기 디스크 의 상면 으로부터 오목 하 게 형성 되 는 적어도 하나 의 포켓 홈 부 와 , 상기 기판 의 적어도 테두리 부분 을 지지 하 는 단 턱 부를 한정 하 도록 상기 포켓 홈 부 의 가장자리 로부터 내측 으로 소정 간격 이격 되 어 상기 포켓 홈 부 의 바닥 면 의 적어도 일부 로부터 오목 하 게 형성 되 어 , 상기 기판 이 상기 단 턱 부 상 에 안착 된 경우 상기 기판 의 하부 에 여유 공간 을 형성 하 는 여유 공간 형성 부 및 상기 디스크 의 외주 면 으로부터 상기 여유 공간 형성 부 의 적어도 일부분 을 연결 하 는 배기 통로 를 포함 할 수 있 다 .