특정 실시 예 에서 , 방법 ( 100 ) 은 주어진 측정 불 확실 성 사양 을 준수 하 는 데 필요 한 타 겟 요소 의 최소 치수 를 프로세스 관련 LER 의 파라미터 로부터 유도 하 는 단계 ( 단계 250 ) , 추정 된 최소 치수 를 따르 는 타 겟 설계 파라미터 ( 예 를 들 어 , 세그먼트 화 파라미터 ) 를 가지 도록 계측 타 겟 ( 예 를 들 어 , 주기 적 및 세그먼트 화 된 구조 를 가진 세그먼트 화 된 오버레이 타 겟 ) 을 설계 하 는 단계 ( 단계 260 ) 및 발생 가능 하 게 는 , LER 에 기인 한 , 설계 된 타 겟 의 오버레이 측정 의 불 확실 성 오차 를 추정 하 는 단계 ( 단계 270 ) 를 더 포함 하 며 , LER 은 위 에서 설명 한 K 3 S 와 같 은 메트 릭 값 에 대한 하한 으로 기능 할 수 있 다 .