도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 배기 매니폴드 ( 72 ) 는 스핀 들 의 최 상부 아래 및 웨이퍼 캐리어 ( 50 ) 아래 의 챔버 ( 12 ) 의 주변 부 둘레 에서 연장 된다 . 배기 매니폴드 ( 72 ) 는 통로 또는 채널 ( 78 ) 을 정의 한다 . 비록 채널 ( 78 ) 은 원통 형 또는 고리 형 과 같이 도시 되 지만 , 다른 실시 예 들 은 , 예컨대 정사각형 , 육각형 , 십각형 , 또는 임의 의 다른 적절 한 형태 를 포함 하 는 다른 형태 를 구비 하 는 채널 ( 78 ) 을 포함 할 수 있 다 .