그런데 , 포토 마스크 를 보관 한 후 , 전달 하 는 과정 에서 보관 박스 를 구성 하 는 물질 로부터 Cl , NH 3 , SO 4 등 과 같 은 이온 들 이 아웃 개 싱 ( outgassing ) 되 어 검출 되 고 있 다 . 보관 박스 에 보관 된 포토 마스크 는 전달 기간 동안 장소 및 위치 등 에 의해 온도 가 변하 게 되 는데 , 온도 가 높 아 지 면 보관 박스 로 부 터 아웃 개 싱 되 는 이온 들 은 더욱 증가 된다 .