이 진공 장치 ( 1 ) 는 반 입실 ( 11 ) 과 , 가 열실 ( 12 ) 과 , 진공 장치 ( 20 ) 와 , 반출 실 ( 14 ) 을 갖 고 있 다 . 반 입실 ( 11 ) 과 , 가 열실 ( 12 ) 과 , 진공 장치 ( 20 ) 와 , 반출 실 ( 14 ) 에는 각각 진공 배 기계 ( 19 a ∼ 19 d ) 가 접속 되 어 있 어 , 개별 적 으로 진공 배기 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .