냉각 탱크 의 파손 을 막 을 수 있 는 액체 공급 장치 가 제공 된다 . 액체 공급 장치 는 기판 처리 장치 로 액체 를 공급 하 는 약액 탱크 , 약액 탱크 와 순환 배관 으로 연결 된 냉각 탱크 , 냉각 탱크 로 냉매 를 공급 하 는 냉매 배관 및 냉매 배관 과 연결 되 어 냉각 탱크 의 압력 을 일정 이하 로 유지 하 는 압력 조 절부 를 포함 한다 .