일부 실시 예 들 에서 , ( 하나 이상 의 물리 적 또는 논리 적 제어기 들 을 포함 할 수 도 있 는 ) 시스템 제어기 ( 430 ) 는 프로세스 챔버 ( 424 ) 의 동작 들 중 일부 또는 전부 를 제어 한다 . 시스템 제어기 ( 430 ) 는 하나 이상 의 메모리 디바이스 들 및 하나 이상 의 프로세서 들 을 포함 할 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 장치 ( 400 ) 는 프로세스 가스 들 의 플로우 레이트 들 을 제어 하 기 위한 스위칭 시스템 을 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제어기 는 본 명세서 에 제공 된 임의 의 방법 들 의 단계 들 을 유발 하 는 프로그램 인스트 럭 션 들 을 포함 한다 .