밸브 ( 55 e ) 를 개방 하 고 나 서 소정 의 시간 이 경과 한 후 , 제 어부 ( 9 ) 는 , 밸브 ( 55 e ) 를 폐쇄 함 과 함께 , 밸브 ( 51 e ) 를 개방 함 으로써 , 저류 탱크 ( 51 d ) 에 저류 된 SiH 4 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 에 흡착 시킨다 . 이때 , 밸브 ( 55 e ) 가 폐쇄 됨 으로써 , SiH 4 가스 공급원 ( 55 a ) 으로부터 가스 공급 라인 ( 55 b ) 에 공급 되 는 SiH 4 가스 가 저류 탱크 ( 55 d ) 에 저류 되 어 , 저류 탱크 ( 55 d ) 내 가 승압 한다 . 이후 , 반복 해서 , 밸브 ( 51 e ) 와 밸브 ( 55 e ) 를 교대 로 개방 함 으로써 , SiH 4 가스 를 저류 탱크 ( 51 d , 55 d ) 에 저류 해서 승압 한 상태 로 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 한다 .