에 어 베어링 ( 15 ) 은 연마 패드 ( 12 ) 의 내 주면 에서 기판 ( 1 ) 에 대해서 연마 패드 ( 12 ) 를 지지 하 는 제 1 베어링 ( 151 ) 과 , 패드 컨디 셔 너 ( 17 ) 에 대해서 연마 패드 ( 12 ) 를 지지 하 는 제 2 베어링 ( 152 ) 을 포함 한다 . 제 1 베어링 ( 151 ) 은 연마 패드 ( 12 ) 내측 에서 하부 에 구비 되 고 , 제 2 베어링 ( 152 ) 은 연마 패드 ( 12 ) 내측 에서 상부 에 구비 된다 . 또한 , 에 어 베어링 ( 15 ) 은 기판 ( 1 ) 의 가장자리 까지 가압 할 수 있 도록 , 에 어 베어링 ( 15 ) 의 너비 가 적어도 기판 ( 1 ) 의 폭 과 같 거나 더 길 게 형성 된다 .