도 1 c 를 참조 하 면 , 상기 게이트 절 연막 ( 104 ) 상 에 상기 게이트 용 홈 ( H ) 을 매립 하 도록 , 바람직 하 게 는 , 1000 Å 정도 의 두께 로 P 형 폴리 실리콘 막 ( 106 ) 을 증착 한다 . 상기 P 형 폴리 실리콘 막 ( 106 ) 은 P 형 불순물 이 5 × 1018 ∼ 5 × 1022 이온 / cm 2 정도 의 도우즈 로 도핑 된 폴리 실리콘 막 으로 형성 한다 .