로드 락 챔버 ( 130 ) 는 대기압 에서 동작 되 는 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 이 구비 된다 . 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 은 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 와 캐리어 ( 120 ) 사이 에서 4 장 의 기판 ( W ) 을 동시 에 반송 하 기 위해 동작 한다 . 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 은 캐리어 ( 120 ) 로부터 일 회 동작 에 4 장 의 기판 ( W ) 을 반출 하 여 트랜스퍼 챔버 ( 300 ) 로 반입 할 수 있 는 4 개 의 앤드 이 팩터 를 구비 한 암 구조 를 갖 는 로봇 으로 구성 된다 . 그리고 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 은 승강 및 하강 이 가능 하 다 . 도시 하 지 않 았 지만 , 캐리어 ( 120 ) 에 25 장 의 기판 이 수납 되 어 있 는 경우 , 맨 마지막 에 1 장 의 기판 이 남 게 되 며 , 이때 에 는 4 장 의 기판 을 동시 에 반송 하 는 암 구조 로 는 1 장 의 기판 을 반송 할 수 없 기 때문 에 , 이러 한 경우 를 대비 하 여 1 장 의 기판 만 을 반송 할 수 있 는 싱글 앤드 이 팩터 를 구비 한 암 구조 를 추가 로 구성 할 수 있 다 . 대기압 반송 로봇 ( 110 ) 은 본 실시 예 에서 보여 주 는 암 구조 의 방식 이외 에 도 통상 적 인 반도체 제조 공정 에서 사용 되 는 다양 한 로봇 들 이 사용 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 8 장 의 기판 ( W ) 을 두 개 의 암 으로 핸들 링 할 수 있 는 블레이드 구조 의 더블 암 을 구비 한 로봇 이나 , 4 개 이상 의 암 을 구비 한 로봇 또는 이 들 을 혼합 적 으로 채용 한 로봇 등 과 같 은 다양 한 구조 의 로봇 들 이 사용 될 수 있 다 .