상술 한 바 와 같이 , 본 실시 형태 와 관련 되 는 SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 는 기능 면 ( 12 ) 이 막 두께 의 영향 을 받 을 일 이 없 다 . 이 때문 에 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , SiC 로 구성 되 는 막 의 두께 를 두껍 게 함 으로써 , 비 기능 면 ( 14 ) 에 형성 된 홈 의 폭 이 협소 해졌 다 하 더라도 , 기능 면 ( 12 ) 은 원 하 는 정밀도 를 유지 할 수 있 다 . 따라서 , 중량물 을 배치 하 거나 혹은 유지 하 는 경우 라도 , 공작 정밀도 가 높 은 SiC 막 단체 구 조체 ( 10 ) 를 제공 하 는 것 이 가능 해진다 .