본 실시 형태 에 따르 면 , 도 6 의 ( b ) 에 나타내 는 위쪽 의 계층 의 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 과 , 도 6 의 ( c ) 에 나타내 는 아래 의 계층 의 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 이 서로 간섭 또는 의존 하 는 일 없이 각각 독립 해서 기판 ( W ) 을 반송 하 므로 , 각각 의 반송 유닛 ( 28 , 31 ) 에 접속 되 어 있 는 복수 의 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 내 의 처리 의 상황 에 따라 높 은 반송 효율 로 로더 모듈 ( 22 ) 과 의 사이 에서 반송 을 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 종래 의 단일 루트 밖에 가질 수 없 는 시스템 에 비해서 스루풋 , 즉 , 시스템 전체 적 인 단위 시간 당 의 기판 ( W ) 의 처리 매수 를 높일 수 있 다 . 또한 , 제 1 진공 반송 로봇 ( 56 ) 과 제 2 진공 반송 로봇 ( 58 ) 이 독립 되 어 있 으므로 , 어느 한쪽 이 고장 나 도 , 나머지 의 하나 의 진공 반송 로봇 ( 56 , 58 ) 을 작동 시킬 수 있 어 , 기판 처리 시스템 전체 가 정지 하 는 일 이 없 다 .