수지 부착기 ( 1 ) 는 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 카세트 ( 81 , 82 ) 와 , 반입 반 출부 ( 83 ) 과 , 반송 부 ( 86 ) 를 더 구비 한다 . 카세트 ( 81 , 82 ) 는 , 모두 복수 의 슬롯 을 구비 한 웨이퍼 ( 200 ) 용 의 수용기 이 다 . 카세트 ( 81 ) 는 , 수지 부착기 ( 1 ) 에 의한 가공 처리 전 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 수용 하 고 , 카세트 ( 82 ) 는 , 수지 부착기 ( 1 ) 에 의한 가공 처리 후 의 웨이퍼 ( 200 ) 를 수용 한다 .