또한 , 상기 배향 제 어막 ( 70 A , 70 C ) 은 Ti 막 또는 TiN 막 에 한정 되 는 것 은 아니 고 , Pt 막 , Ir 막 , Re 막 , Ru 막 , Pd 막 , Os 막 , 또는 이 들 막 을 구성 하 는 원소 의 합금 으로 구성 하 는 것 도 가능 하 다 . 또한 , 상기 배향 제 어막 ( 70 A , 70 C ) 으로서 는 Ti , Al , Ir , Pt , Ru , Pd , Os , Rh , PtOx , IrOx , RuOx , PdOx 중 어느 하나 로 이루어진 단층 막 또는 적층 막 을 사용 하 는 것 이 가능 하 다 .