플라 즈 마를 발생 시키 기 위하 여 , 전원 들 ( 122 , 124 ) ( 예 를 들 어 , 라디오 주파수 ) 은 동축 RF 케이블 들 ( 175 ) 에 의하 여 전원 들 ( 122 , 124 ) 과 연결 된 정합 회로 ( 128 ) 를 통하 여 샤워 플레이트 ( 120 ) 에 전기 적 으로 연결 된다 . 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 이러 한 전원 들 ( 122 , 124 ) 은 수백 kHz 내지 수십 MHz 의 주파수 들 을 공급 하 여 플 라즈 마 를 발생 시킬 수 있 다 . 바람직 한 실시 예 에 있 어서 , 양 전원 들 ( 122 , 124 ) 은 동일 한 주파수 들 을 가질 수 있 고 , 또는 웨이퍼 공정 처리 중 에 막 품질 의 제어 를 개선 하 기 위하 여 , 상기 전원 들 은 하나 는 높 고 하나 는 낮 은 다른 주파수 들 을 가질 수 있 다 . 본 기술 분야 의 당업자 는 , 라디오 주파수 전원 들 과 는 다른 전원 들 , 예 를 들 어 마이크로웨이브 전원 들 을 이용 할 수 있 음 을 이해 할 수 있 다 .