다단 이송기 ( 720 ) 는 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 로부터 기판 을 전달 받 고 제 4 트랜스퍼 ( 714 ) 로 기판 을 전달 하 도록 구성 된다 . 다단 이송기 ( 720 ) 는 제 3 트랜스퍼 ( 713 ) 로 기판 을 전달 하 도록 구성 된다 . 다단 이송기 ( 720 ) 는 제 1 트랜스퍼 ( 711 ) 로부터 기판 을 전달 받 도록 구성 된다 .