모델 생 성부 ( 51 ) 는 이 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 에 출력 한다 . 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 는 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 로 나타나 는 광이 패턴 측정 장치 ( 1 ) 의 광학계 를 경유 하 여 이미지 센서 ( 27 ) 의 촬상면에 결상 되 었 을 때 의 당해 촬상면 상 의 광 강도 분포 ( 이하 , 시뮬레이션 강도 분포 라고 도 부른다 ) 를 산출 한다 . 요컨대 , 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 는 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 와 , 패턴 측정 장치 ( 1 ) 의 광학계 의 광학 특성 에 기초 하 여 , 시뮬레이션 강도 분포 를 산출 한다 . 광학 특성 은 , 예 를 들 어 렌즈 의 개구수 , 광 의 파장 및 시그마 등 이 다 . 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 의 알고리즘 으로 는 , 공지 된 것 을 채용 하 면 된다 . 예 를 들 어 이 알고리즘 에 있 어서 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 에 대해 고속 푸리에 변환 및 역고 속 푸리에 변환 이 실시 된다 . 이미지 시뮬레이터 ( 52 ) 는 , 산출 한 시뮬레이션 강도 분포 를 나타내 는 데이터 ( SD 1 ) 를 판 정부 ( 53 ) 에 출력 한다 .