또 , 상술 한 제 1 및 제 2 실시 형태 에서 는 조명계 본체 ( 1 ) 와 핀홀 부재 ( 2 ) 로 이루어지 는 조명계 가 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 물체 면 에서 공간 적 으로 분리 된 측 정광 과 배 경광 을 결상 광학계 ( 10 ) 에 공급 하 고 있 다 . 그러나 , 이것 에 한정 되 지 않 고 조명계 가 시간 적 으로 분리 된 측 정광 과 배 경광 을 결상 광학계 로 공급 할 수 도 있 다 . 그 일례 인 제 3 실시 형태 에 따른 , 측 정광 과 배 경광 을 시간 적 으로 분리 해서 결상 광학계 에 공급 하 는 타입 의 수차 측정 장치 를 도 7 을 참조 해서 설명 하 겠 다 .