상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 기판 얼라 인 방법 은 , 기판 을 회전 테이블 로 로딩 하 는 단계 ; 상기 로딩 된 기판 을 원하 는 위치 에 오 도록 회전 테이블 을 회전 시키 는 단계 ; 및 실린더 에 의해 주행 이 동하 는 복수 개 의 얼라 인 바 에 의해 상기 기판 을 정 위치 로 정렬 시키 는 단계 ; 를 포함 하 여 구성 되 는 것 을 특징 으로 한다 .