도 6 내지 도 8 은 본 발명 의 다른 실시 예 를 보인 개략 적 단면도 들 및 저면 사시도 로써 , 도 6 의 마스크 척 ( 60 ) 의 진공 흡착 부 ( 61 ) 는 , 마스크 ( 20 ) 가 안착 되 도록 마스크 척 ( 60 ) 의 저면 에 오목 하 게 형성 되 는 안착 부 ( 62 ) 와 , 안착 부 ( 62 ) 와 외부 를 연결 하 도록 마스크 척 ( 60 ) 내부 에 형성 되 는 공기 유로 ( 63 ) 로 이루어진다 . 공기 유로 ( 63 ) 는 , 안착 부 ( 62 ) 에 연결 되 는 복수 의 제 1 공기 유로 ( 64 ) 들 과 , 제 1 공기 유로 ( 64 ) 들 과 진공 펌프 ( 40 ) 에 연결 되 는 제 2 공기 유로 ( 65 ) 로 이루어진다 . 여기 서 제 2 공기 유로 ( 65 ) 는 비교 적 넓 은 하나 의 챔버 형태 로 이루어진다 .