도 5 내지 도 10 을 참조 하 면 , 리프트 핀 정렬 장치 는 레벨 링 센서 ( 300 ) , 제 어부 ( 80 ) 및 리프트 핀 구동 부 ( 230 ) 을 포함 할 수 있 다 . 레벨 링 센서 ( 300 ) 는 기판 플레이트 로부터 상승 된 복수 개 의 리프트 핀 들 ( 210 a , 210 b , 210 c ) 상 에 배치 되 어 상기 리프트 핀 들 이 이루 는 평면 의 지면 에 대한 기울기 를 검출 할 수 있 다 . 제 어부 ( 80 ) 는 레벨 링 센서 ( 300 ) 로부터 수신 된 센싱 값 들 에 기초 하 여 상기 리프트 핀 들 이 이루 는 평면 의 기울기 를 산출 하 고 상기 리프트 핀 들 을 수평 상태 로 정렬 하 기 위한 리프트 핀 제어 신호 를 출력 할 수 있 다 . 리프트 핀 구동 부 ( 230 ) 는 상기 리프트 핀 제어 신호 에 따라 상기 리프트 핀 들 을 이동 시킬 수 있 다 .