초음파 조건 하 에서 아세톤 , 이소프로필 알콜 및 탈 이 온수 를 사용 하 여 패 터닝 된 ITO 코팅 글라스 기판 을 세 척하 였 다 . NiOx 나노 입자 용액 의 젖 음성 을 향상 시키 기 위해 ITO 기판 을 사용 하 기 전 에 약 5 분 동안 산소 플 라즈 마 처리 를 수행 한 후 , ITO 층 상부 에 NiOx 나노 입자 용액 ( 20 mg / ml ) 을 스핀 캐스팅 ( 2000 rpm , 20 s ) 하 였 고 , 이어서 150 ℃ 에서 10 분 동안 어닐링 하 였 다 .