계속 해서 , 도 2 의 ( f ) 내지 ( i ) 에 도시 된 바 와 같이 , 염소 ( 204 ) 의 흡착 및 루테늄 막 ( 205 ) 의 형성 을 교대 로 반복 해서 행함 으로써 , 오 목부 ( 203 ) 에 루테늄 막 ( 205 ) 을 매립 한다 . 이때 , 염소 ( 204 ) 의 흡착 및 루테늄 막 ( 205 ) 의 형성 을 교대 로 반복 해서 행함 으로써 오목 부 ( 203 ) 에 루테늄 막 ( 205 ) 을 매립 하 므로 , 오 목부 ( 203 ) 의 저면 ( 203 c ) 으로부터 점차 상방 으로 성막 이 진행 되 는 보텀 업 성막 이 촉진 된다 . 그 결과 , 오 목부 ( 203 ) 의 애 스펙 트 비 ( 오 목부 ( 203 ) 의 개구 폭 에 대한 깊이 의 비 ) 가 높 은 경우 에 도 오목 부 ( 203 ) 에 보이 드 , 심 등 의 발생 이 억제 된 루테늄 막 ( 205 ) 을 형성 할 수 있 다 . 즉 , 고애 스펙 트 비 의 오 목부 ( 203 ) 에 매립 특성 이 양호 한 루테늄 막 ( 205 ) 을 형성 할 수 있 다 .