원한다면 , 불소 원소 , 카보닐 플 루오 라이드 또는 , 선택 적 으로 질소 , 희가스 및 / 또는 산소 를 또한 함유 하 는 , 불소 원소 및 카보닐 플 루오 라이드 의 혼합물 을 당해 기술 로부터 공지 된 식각 가스 와 함께 적용 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 추가 식각 가스 로서 HBr , SF 6 또는 NF 3 과 함께 적용 시킬 수 있 다 . 이 경우 , 추가 가스 의 함량 은 바람직 하 게 가스 혼합물 의 20 중량 % 미만 이 다 . 바람직 한 구 현예 에서 , 불소 원소 , 카보닐 플 루오 라이드 또는 이 들 의 혼합물 은 , 전술 된 바 와 같이 특히 바람직 하 게 는 아르곤 , 산소 및 / 또는 질소 와 함께 , 유일 한 식각 가스 로서 적용 된다 . 여기 서 , 아르곤 , 산소 및 / 또는 질소 각각 은 전체 100 vol % 가 되 도록 하 는 잔량 으로 함유 된다 .