이어서 , 도시 되 진 않 았 지만 , 제 2 절 연막 ( 109 B ) 이 후퇴 되 어 노출 된 트렌치 가 매립 되 도록 소자 분리 막 용 제 3 절 연막 ( 미 도시 ) 을 형성 한다 . 이때 , 상기 제 3 절연 막 은 제 2 절 연막 ( 109 B ) 보다 단단 하 여 후속 EFH 를 조절 하 기 위한 습식 식각 공정 과 연마공 정에 유리 한 HDP 막 으로 형성 할 수 있 다 . 이 로써 , 소자 분리 막 은 HDP - SOD - HDP 적층 구조 를 갖 는다 .