맨드릴 및 ESL 의 재료 들 은 후속 하 는 노출 된 주석 옥사이드 의 존재 시 맨드릴 재료 의 선택 적 인 에칭 , 및 노출 된 주석 옥사이드 의 존재 시 ESL 재료 의 선택 적 인 에칭 을 허용 하 도록 선택 된다 . 따라서 , 주석 옥사이드 의 에칭 레이트 에 대한 ESL 재료 의 에칭 레이트 의 비 는 1 보다 크 고 , 보다 바람직 하 게 약 1 . 5 보다 크 고 , 예컨대 제 1 에칭 화학 물질 에 대해 약 2 보다 크 다 . 유사 하 게 , 주석 옥사이드 의 에칭 레이트 에 대한 맨드릴 재료 의 에칭 레이트 의 비 는 1 보다 크 고 , 보다 바람직 하 게 약 1 . 5 보다 크 고 , 예컨대 제 2 에칭 화학 물질 에 대해 약 2 보다 크 다 .