화 소수 의 변화 로부터 , 포크 굴곡 이 수 mm 정도 로서 그대로 웨이퍼 ( W ) 의 반송 을 계속 할 수 있 다고 판정 된 경우 에 는 , 상기 반송 공정 ( 단계 S 18 ) 과 같 은 식 으로 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 고 , 반송 종료 후 에 , 제 어부 ( 6 ) 의 알람 발생 부 ( 64 ) 에 의해 알람 을 발생 시킨다 . 그러나 , 화 소수 의 변화 가 크 고 , 포크 굴곡 이 이상 이 라고 판정 된 경우 에 는 웨이퍼 ( W ) 의 반송 을 중지 하 여 알람 을 발생 시킨다 .