실시 예 1 과 는 상이 한 양이온 개시제 를 폴리머 합성 시 에 사용 한 실시 예 11 에서 는 , 텅스텐 에칭 속도 , 텅스텐 연마 속도 , 및 산화 규소 연마 속도 가 양호 했 다 . 한편 , 비 이온 개시제 를 사용 한 비 교예 9 , 및 음 이온 개시제 를 사용 한 비 교예 10 에서 는 , 텅스텐 에칭 속도 가 각각 8 . 9 nm / min 및 6 . 8 nm / min 이 며 , 에칭 의 충분 한 억제 효과 가 얻 어 지 지 않 았 다 . 이 는 , 음전하 의 텅스텐 재료 에 대한 흡착 능이 , 양 이온 개시제 를 사용 한 폴리머 보다 저하 되 었 기 때문 인 것 으로 여겨진다 .