컴포넌트 ( 24 ) 및 지지 부재 ( 34 ) 가 상이 한 열팽창 계수 를 가진 재료 들 로 구성 되 는 경우 에 , 탄성 중합체 재료 의 두께 는 열팽창 에 있 어서 차이 를 도모 하 기 위해 변화 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 8 에 있 어서 , 타일 들 ( 119 ) 은 실리콘 일 수 있 으며 배 킹 판 ( 336 ) 은 금속 ( 예 를 들 어 , 알루미늄 , 스테인 레스 강 , 구리 , 몰리브덴 , 또는 이 들 의 합금 ) 일 수 있 다 . 그러나 , 열팽창 계수 에 있 어서 더 큰 차이 를 가진 2 개 의 컴포넌트 들 ( 즉 , 알루미늄 과 실리콘 ) 이 본딩 되 는 경우 , 온도 경화 동안 또는 전극 의 동작 동안 의 가열 시 에 , 상이 한 열팽창 율 로 인해 탄성 중합체 본딩 재료 에서 비 균일 한 전단 응력 이 생성 된다 . 예 를 들 어 , 도 2 a 를 참조 하 면 , 원형 의 알루미늄 지지 부재 ( 134 ) 가 원형 의 정전 척 킹 적층 물 ( 124 ) 에 동심원 으로 본 딩 되 는 경우 에 , 지지 부재 ( 134 ) 및 기판 지지 부 ( 124 ) 의 중심 근방 의 탄성 중합체 본딩 재료 의 전단 응력 은 엘리 베이 팅 된 프로세싱 온도 에서 최소 이 다 . 그러나 , 알루미늄 지지 부재 ( 134 ) 의 외부 는 정전 척 킹 적층 물 ( 124 ) 의 외부 보다 더 큰 열팽창 량 을 겪 는다 . 그 결과 , 2 개 의 재료 가 본딩 될 때 , 상부 적층 물 ( 124 ) 또는 지지 부재 ( 134 ) 의 외주 에지 에서 최대 전단 응력 이 발생 하 며 , 여기 서 , 열팽창 의 차이 가 가장 크 다 .