상기 의 직접 합성법 에 의한 테트라 알 콕 시 실란 의 순도 를 개선 할 수 있 다고 주장 하 고 있 나 , 고압 하 에서 진행 되 어 고압 반응 용기 가 필요 하 거나 , 또한 트리 알 콕 시 실란 등 의 다양 한 알 콕 시 실란 이 동시 에 생성 되 고 , 연속 공정 이 불 가능 하 다는 등 의 문제점 이 있 다 . 또한 사용 하 는 실리콘 금속 은 고순 도 금속 실리콘 을 사용 하 고 있 으 며 , 폐 실리콘 을 사용 한 방법 은 언급 되 어 있 지 않 았 다 .