도 3 b 및 도 4 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 지지 핀 ( 30 ) 의 고정단 ( 33 ) 과 베이스 부재 ( 20 ) 사이 에 는 홈 커버 ( 21 ) ( 커버 ) 가 배치 되 어 있 다 . 홈 커버 ( 21 ) 는 감합 홈 ( FG ) 이 연재 하 는 방향 ( X 방향 ) 으로 연장 하 고 , Y 방향 에서 의 홈 커버 ( 21 ) 의 폭 은 베이스 부재 ( 20 ) 의 폭 보다 크 다 . 상기 와 같이 베이스 부재 ( 20 ) 는 감합 홈 ( FG ) 에 감합 하 고 있 으나 , 홈 커버 ( 21 ) 는 감합 홈 ( FG ) 의 내부 에 설치 되 지 않 는다 .