상기 와 같이 제 1 벨로우즈 ( 37 ) 의 내부 에 코일 스프링 으로 구성 된 탄성 부재 ( 42 ) 를 배치 함 으로써 , 상기 기체 공급 배출 부재 ( 33 ) 로부터 기체 가 배출 될 경우 , 상기 탄성 부재 ( 42 ) 의 복원력 을 상기 개폐 부재 ( 32 ) 에 작용 시켜 보다 신속 한 본 개폐 부재 ( 32 ) 의 이동 을 구현 할 수 있 다 .