상기 물리 기상 증착 방법 에서 는 , 높 은 진공 상태 가 유지 되 는 챔버 의 상부 에 증착 될 소스 물질 이 놓여진 히터 가 설치 되 고 , 웨이퍼 는 챔버 내 에 히터 로부터 이격 되게 배치 된다 . 히터 가 소스 물질 을 고온 으로 가열 하 면 , 소스 물질 이 기화 되 어 웨이퍼 상 으로 이동한 후 , 웨이퍼 상 에서 고화 되 어 박막 을 형성 하 게 된다 .