증류기 로부터 회수 되 는 하부 분획 은 불화 수소 , 클로 로 테트라 플 루 오로 에 탄 및 디 클로로 트리플 루 오로 에탄 과 더불 어 전형 적 으로 또한 펜 타 플 루 오로 에 탄 , 클로 로 펜 타 플 루 오로 에 탄 및 디 클로 로 테트라 플 루 오로 에 탄 중 하나 이상 을 소량 함유 할 것 이 다 . 이 분획 은 전형 적 으로 이 공정 의 ( ⅴ ) 단계 로 재순환 된다 .