또한 , 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , XZ 간섭계 ( 116 및 126 ) 는 , 계측 축 ( LH ) 에 평행 하 고 , 하지만 , 계측 빔 ( B 1161 및 B 1261 ) 으로부터 - Z 방향 으로 소정 거리 떨어진 계측 빔 ( B 1163 및 B 1263 ) 을 각각 반사면 ( 27 a 및 27 c ) 에 조사 한다 . 그리고 , XZ 간섭계 ( 116 및 126 ) 는 , 계측 빔 ( B 1163 및 B 1263 ) 의 반사광 을 수 광 하 여 , 계측 빔 ( B 1163 및 B 1263 ) 의 조사 점 에서 의 반사면 ( 27 a 및 27 c ) 의 X 축 방향 의 변위 ( 제 6 및 제 7 위치 정보 로서 기능 한다 ) 를 계측 한다 . 제 6 및 제 7 위치 정보 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) 로 전송 된다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 4 위치 정보 와 제 6 위치 정보 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 롤링 량 ( θ y 1 으로 표기 ) 을 산출 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 5 위치 정보 와 제 7 위치 정보 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 롤링 량 ( θ y 2 로 표기 ) 을 산출 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Z 위치 ( Ze ) 와 상기 롤링 량 ( θ y 1 ) 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 Z 위치 를 산출 한다 . 또한 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Z 위치 ( Zf ) 와 상기 의 롤링 량 ( θ y 2 ) 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 Z 위치 를 산출 한다 .