하부 공간 ( H 1 ) 의 기압 보다 상부 공간 ( H 2 ) 의 기압 쪽 이 높 아 짐 으로써 , 도 21 에 도시 하 는 바 와 같이 , 양 공간 의 사이 에 차압 Fb 가 발생 한다 . 그리고 점착 테이프 ( DT ) 는 변형 된 상태 를 유지 하 면서 차압 Fb 에 의해 프레스 테이블 ( 63 ) 로부터 이격 되 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 이면 에 첩부 된다 . 즉 , 점착 테이프 ( DT ) 는 전체 적 으로 대략 균일 한 장력 으로 되 어 있 는 상태 에서 웨이퍼 ( W ) 의 이면 전체 에 걸쳐 첩부 되 어 간다 . 이때 , 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 내측 구 석부 ( Kf ) 를 포함 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 와 점착 테이프 ( DT ) 사이 의 에어 는 배출 되 고 , 간극 이 찌부러진 상태 에서 점착 테이프 ( DT ) 가 웨이퍼 ( W ) 에 접착 된다 .