도 2 에 도시 된 진공 펌프 장치 ( 3 ) 에 따르 면 , 희석 용 N 2 가스 는 펌프 의 내부 에 유동 하 는 프로세스 가스 의 유량 에 대응 하 기 위해 최종 압 축단 의 흡기 측 을 통해 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 으로부터 펌프 의 내부 로 도입 된다 . 따라서 , 펌프 의 펌핑 성능 에 악영향 을 미치 지 않 고 또한 운전 비용 을 증가 시키 지 않 고 , 프로세스 가스 가 압축 되 어 펌프 의 내부 에서 가장 농축 되 는 최종 압 축단 으로 의 고체 물질 의 부착 또는 부식 의 발생 이 방지 될 수 있 다 .