보호 영역 ( 17 ) 은 사이드 마진 ( 16 ) 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 이 경우 , 도 6 의 ( a ) 에서 예시 한 바 와 같이 , 사이드 마진 ( 16 ) 의 전체 가 보호 영역 ( 17 ) 으로 되 어 있 어도 되 지만 , 사이드 마진 ( 16 ) 의 일부 가 보호 영역 ( 17 ) 으로 되 어 있 어도 된다 . 예 를 들 어 , 도 6 의 ( b ) 에서 예시 한 바 와 같이 , 사이드 마진 ( 16 ) 에 있 어서 , 보호 영역 ( 17 ) 보다 도 용량 영역 ( 14 ) 측 에 평균 입경 이 작 은 영역 이 개재 하 고 있 어도 된다 . 또는 , 사이드 마진 ( 16 ) 에 있 어서 , 용량 영역 ( 14 ) 과 반대 측 에 평균 입경 이 작 은 영역 이 개재 하 고 있 어도 된다 . 보호 영역 ( 17 ) 이 사이드 마진 ( 16 ) 의 일부 를 이루 는 경우 , 보호 영역 ( 17 ) 은 용량 영역 ( 14 ) 에 있 어서 의 적층 칩 ( 10 ) 의 측면 측 의 단부 테두리 를 덮 는 면적 을 갖 는 층 형상 을 이루 는 것 이 바람직 하 다 . 보호 영역 ( 17 ) 이 프로톤 의 확산 침입 을 억제 하 는 관점 에서 , 보호 영역 ( 17 ) 은 적층 칩 ( 10 ) 의 측면 으로부터 용량 영역 을 향하 는 방향 에 있 어서 , 2 . 0 ㎛ 이상 의 두께 를 갖 고 있 는 것 이 바람직 하 고 , 5 . 0 ㎛ 이상 의 두께 를 갖 고 있 는 것 이 보다 바람직 하 다 .