처리 용기 와 , 상기 처리 용기 의 내부 에 마련 된 처리 가스 를 공급 하 는 길 이 방향 으로 연장 된 형상 의 인 젝 터 와 , 상기 인 젝 터 에 고정 된 홀더 와 , 상기 홀더 에 고정 되 어 있 고 , 상기 처리 용기 의 내부 에 배치 된 제 1 자석 과 , 상기 제 1 자석 과 는 구획 판 에 의해 이격 된 상기 처리 용기 의 외측 에 배치 되 어 있 는 제 2 자석 과 , 상기 제 2 자석 을 회전 시키 는 구동 부 를 갖 고 , 상기 제 1 자석 과 상기 제 2 자석 은 자기 로 결합 하 여 있 고 , 상기 구 동부 에 의해 상기 제 2 자석 을 회전 시킴 으로써 , 상기 제 2 자석 과 자기 로 결합 하 여 있 는 상기 제 1 자석 이 회전 하 여 , 상기 인 젝 터 가 상기 길 이 방향 을 축 으로 회전 하 는 기판 처리 장치 에 의해 상기 과제 를 해결 한다 .