종래 에 는 , 처리 공간 ( S ) 과 하부 공간 ( 14 a ) 의 구획 을 실행 하 기 위해서 , 스 페이서 ( 14 ) 는 이음매 나 간극 등 이 마련 되 지 않 고 일체 적 으로 형성 되 었 고 , 다시 말 하 면 일체 형상 의 것 이 사용 되 고 있 고 , 그리고 도 14 에 도시 하 는 바 와 같이 O 링 ( 10 , 10 ) 을 거쳐서 하부 전극 ( 12 ) 과 처리 용기 ( 11 ) 의 저면 에 스 페이서 ( 14 ) 를 끼우 도록 구성 하 고 있 었 다 . 도면 중 도면 부호 ( 10 a ) 는 O 링 ( 10 ) 을 안내 하 기 위해서 스 페이서 ( 14 ) 의 형상 을 따라 마련 된 홈 이 다 .