광원 ( 110 ) 에 의한 여기 는 진폭 자체 안정 화 발진 주파수 를 초래 할 수 있 고 주파수 안정 성 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 광학 상호 작용 은 종래 의 품질 요인 및 이득 검출 절충 을 분리 ( decouple ) 하 는 역할 을 할 수 있 으며 , 고 종횡비 에칭 단계 에서 미크론 크기 의 전극 간격 과 는 대조 적 으로 균일 하 고 큰 간격 의 레이아웃 을 용이 하 게 함 으로써 디바이스 제조 를 단순 화 할 수 있 다 . 또한 , 여기 에 기술 된 광학 드라이브 및 판독 특징 은 종래 의 정전기 MEMS 디바이스 에 인가 된 AC 및 / 또는 DC 구동 신호 의 결과 로서 도입 된 에러 와 같 은 종래 의 에러 소스 를 감소 시키 거나 제거 할 수 있 다 .