또 , 제 3 기판 ( 500 ) 의 표면 , 즉 제 2 기판 ( 400 ) 과 의 접합면 에 는 도 25 에 나타내 는 바 와 같이 , 홈 부 ( 506 ) , 홈 부 ( 507 a , 507 b ) 및 홈 부 ( 508 ) 가 형성 되 어 있 다 . 홈 부 ( 506 ) 는 본 체부 ( 510 ) 중 , 구멍 ( 502 ) 에 대해서 지 지 부 ( 122 ) 와 반대 측 의 영역 에 , 예 를 들 면 지그재그형 상 으로 설치 되 어 있 다 . 이 홈 부 ( 506 ) 의 내 벽면 에 는 상기 의 개질 촉매 ( 165 ) ( 도 21 참조 ) 가 담지 되 어 있 다 . 이 홈 부 ( 506 ) 는 제 2 기판 ( 400 ) 의 홈 부 ( 406 ) 에 대응 하 고 있 고 , 제 2 기판 ( 400 ) 과 제 3 기판 ( 500 ) 이 중첩 될 때 에 , 홈 부 ( 406 ) 와 대향 하 도록 되 어 있 다 .