요부 ( 935 ) 에서 는 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 씰 홈 ( 931 a ) 에 수납 된 O 링 등 의 씰 부재 ( 931 b ) 또는 씰 홈 ( 933 a ) 에 수납 된 O 링 등 의 씰 부재 ( 933 b ) 가 밸브 박스 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 에 접촉 한 상태 에서 눌러 진다 . 씰 부재 ( 931 b , 933 b ) 가 눌러진 상태 에서 , 요부 ( 935 ) 는 , 밸브 박스 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 과 챔버 벽부 ( 912 ) 와 의 사이 를 밀폐 가능 한 깊이 치수 를 가진다 .