네덜란드 벨트 호벤 의 ASML 로부터 입수 가능 한 DoseMapperTM 방법 및 독일 Zeiss 로부터 입수 가능 한 CDC 보정 방법 론 과 같 은 CD 보정 방법 에 대한 델타 맵 구현 의 보다 정확 한 사용 을 위하 여 에어리얼 이미 징 모드 에서 작동 하 는 것 에 대한 이점 이 있 을 수 있 다 . 델타 값 Δ I / I 는 Δ I / I = - Δ D / D 에 의한 부분 도즈 보정 Δ D / D 와 관련 이 있 다 . 이 관계 는 고해상도 모드 보다 에어리얼 검사 모드 에서 더 정확 하 게 옳 을 수 있 지만 , 두 모드 모두 에서 충분 할 수 있 다 .