종래 의 가스 공급 장치 는 공정 작업 중 에 는 퍼지 밸브 ( AV 1 A , AV 7 , AV 9 ) 가 폐쇄 된 상태 를 유지 하 며 , 진공 밸브 ( AV 8 ) 도 폐쇄 된다 . 또한 , 배기 밸브 ( AV 4 A , AV 5 A ) 는 폐쇄 되 고 공정 밸브 ( AV 2 A , AV 3 A ) 가 개방 된 상태 를 유지 하 여 실린더 ( 100 ) 에서 공급 되 는 반응 가스 는 공정 밸브 ( AV 2 A ) 와 압력 조정기 ( REGA ) 와 , 공정 밸브 ( AV 3 A ) 와 , 수동 밸브 ( MV 1 A ) 를 거쳐 공정 챔버 에 공급 된다 .