이러 한 구조 로 인해 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 램프 장착 부 ( 500 ) 및 이 에 배치 되 는 자외선램프 ( 300 ) 는 챔버 ( 10 ) 의 상하 방향 으로 기판 지지 부 ( 100 ) 에 배치 되 는 봉 지재 ( 20 ) 와 오버랩 ( overlap ) 되 지 않 거나 극히 일부 만 오버랩 되 므로 , 자외선램프 ( 300 ) 로부터 조사 되 는 자외선 이 기 판지 지부 ( 100 ) 에 배치 되 는 봉 지재 ( 20 ) 에 효과 적 으로 입사 할 수 있 도록 자외선 의 조사 방향 을 조절 할 필요 가 있 다 .