도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 각각 의 분할 금속 창 ( 57 ) 이 갖 는 가스 도입 관 ( 55 ) 은 안테나 실 ( A ) 내 에서 한 개소 에 모이 며 , 상방 으로 연장 되 는 가스 도입 관 ( 55 ) 은 상부 챔버 ( 13 ) 의 천 장판 ( 12 ) 에 개설 되 어 있 는 공 급구 ( 12 a ) 를 기밀 하 게 관통 한다 . 그리고 , 가스 도입 관 ( 55 ) 은 기밀 하 게 결합 된 가스 공급 관 ( 61 ) 을 거쳐서 처리 가스 공급원 ( 64 ) 에 접속 되 어 있 다 .