웨이퍼 들 및 다른 기판 들 의 표면 들 의 세정 및 건조 는 반도체 마이크 로 전자 디바이스 들 의 제조 에서 가장 중요 한 단계 들 중 하나 이 다 . 화학 적 오염물 들 및 불순물 들 의 입자 들 의 존재 는 제조 된 제품 들 의 수율 을 현저 하 게 감소 시키 고 생산 된 반도체 디바이스 들 ( 예컨대 , 집 적 회로 ) 및 관련 된 또는 동종 의 디바이스 들 의 성능 및 신뢰 성 에 상당 한 영향 을 미칠 수 있 다는 것 이 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 에게 잘 알려져 있 다 .