상기 유체 분사 부 ( 120 ) 는 도 3 에 도시 된 바 와 같이 분사 노즐 ( 121 ) 과 , 그 분사 노즐 ( 121 ) 에 유체 를 공급 하 는 유체 라인 ( 122 ) 및 유체 공급 펌프 ( 123 ) 등 을 구비 하 고 있 으며 , 한 리프트 핀 ( 110 ) 마다 복수 의 분사 노즐 ( 121 ) 이 둘러싸 고 있 는 형태 로 배치 되 어 있 다 . 물론 , 분사 노즐 ( 121 ) 역시 기판 ( 10 ) 의 더미 영역 ( 12 ) 에 대응 하 는 위치 에 배치 된다 . 따라서 , 유체 공급 펌프 ( 123 ) 가 가동 되 면서 유체 라인 ( 122 ) 을 따라 유체 가 공급 되 면 분사 노즐 ( 121 ) 을 통해 기판 ( 10 ) 을 향해 유체 가 분사 되 며 , 그 분사 되 는 힘 에 의해 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 300 ) 로부터 이격 된다 .