축 분 흡착기 ( 120 ) 에 는 다수 의 세라믹 막 ( 121 ) 이 구비 된다 . 특히 , 평 막 형태 의 SiC ( 실리콘 카바이드 ) 세라믹 막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . SiC 세라믹 막 은 기계 적 , 열적 , 화학 적 세정 방법 이 다양 하 게 결합 되 어 사용 될 수 있 어서 축 분과 같 은 고농 도 오염물 흡착 에 바람직 하 다 .