마이크 로 히터 ( 241 ) , 전원 전극 ( 251 ) 및 온도 측정 전극 ( 252 ) 과 감지 전극 ( 280 , 도 8 ) 사이 에 전기 적 절연 을 위해 실리콘 산화 막 또는 질화 막 을 포함 하 는 제 2 절 연막 ( 260 ) 을 마이크 로 히터 ( 241 ) 상부 의 일정 영역 에 형성 한다 ( 도 6 ) . 제 2 절 연막 ( 260 ) 은 불순물 주입 에 의하 여 형성 된 마이크 로 히터 ( 241 ) 상단 에 형성 되 므로 종래 의 기술 과 같이 요철 구조 가 형성 되 지 않 아 열응력 발생 에 따른 내구 성 감소 를 최소 화 할 수 있 는 장점 을 갖 는다 .