이하 에 , 개시 하 는 실시 형태 에 대해서 , 도면 에 기초 하 여 상세 하 게 설명 한다 . 또한 , 본 실시 형태 는 한정 적 인 것 이 아니 다 . 또한 , 각 실시 형태 는 , 처리 내용 을 모순 되 지 않 게 하 는 범위 에서 적절히 조합 하 는 것 이 가능 하 다 . 또한 , 본 명세서 및 도면 에 있 어서 , 실질 적 으로 동일 한 구성 에 대해서 는 , 동일 한 번호 를 부여 함 으로써 중복 된 설명 을 생략 한다 . 또한 , 이하 의 설명 중 , 기판 처리 장치 의 기판 적재 대 상 에 기판 으로서 의 웨이퍼 를 적재 한 경우 에 , 웨이퍼 에서 보 아 적재 대 측 을 하 , 반대 측 을 상 이 라고 칭한다 .