다음 으로 배기 밸브 ( 330 ) 를 잠궈 상기 챔버 ( 310 ) 를 완전 하 게 밀폐 시킨 후 진공 펌프 ( 340 ) 를 작동 시켜 상기 챔버 ( 310 ) 의 내부 가 진공 상태 가 되 도록 한다 . 상기 진공 펌프 ( 340 ) 의 작 동시 상기 배기 밸브 ( 330 ) 를 조절 하 여 상기 챔버 ( 310 ) 의 내부 가 저 진공 상태 즉 , 챔버 ( 310 ) 의 내부 압력 이 102 torr ~ 10 - 3 torr 가 되 도록 조절 하 게 된다 .