상술 한 바 와 같이 , 상술 한 바 와 같이 , 본 발명 의 온도 조절 장치 는 다중 입력 및 다중 출력 하 는 다중 제어 전역 온도 제어 기법 ( MIMO Control ) 을 적용 함 으로써 , 웨이퍼 전 영역 에 대한 온도 를 제어 하 고 , 이 로 인해 웨이퍼 전 영역 에 대한 온도 균일성 확보 및 , 하이브리드 제어 를 통하 여 S 영역 에서 의 최적 화 된 안정 해 를 구할 수 있 다 .