도 1 c 를 참조 하 면 , 단차 에 의한 금속 막 ( 108 ) 의 표면 거칠 기 를 완화 시키 기 위하 여 금속 막 ( 108 ) 상부 에 단차 보상 층 ( 110 ) 을 형성 한다 . 이때 , 단차 보상 층 ( 110 ) 은 반사 방지 막 ( Anti - Reflective - Coating ; ARC ) 또는 티타늄 질화 막 ( TiN ) 으로 형성 한다 .