상기 도핑 된 규산염 유리질층 은 인 ( Phosphorus ) , 붕소 ( Boron ) , 또는 불소 ( Florin ) 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 그리고 상기 산화 하 는 단계 는 산소 ( O 2 ) , 수증기 ( H 2 O ) , 또는 수산기 래디컬 ( OH radical ) 의 분위기 에서 하 는 것 이 바람직 하 며 , 350 ∼ 750 ℃ 사이 의 온도 로 하 는 것 이 더욱 바람직 하 다 .