제 어부 ( 100 ) 는 , 예컨대 이하 의 순서 로 도포 · 현상 처리 를 실행 하 도록 도포 · 현상 장치 ( 2 ) 를 제어 한다 . 먼저 제 어부 ( 100 ) 는 , 캐리어 ( C ) 내 의 웨이퍼 ( W ) 를 선반 유닛 ( U 10 ) 에 반송 하 도록 전달 아암 ( A 1 ) 을 제어 하 고 , 이 웨이퍼 ( W ) 를 처리 모듈 ( 11 ) 용 의 셀 에 배치 하 도록 승강 아암 ( A 7 ) 을 제어 한다 .