캡 ( 133 ) 을 장착 함 으로써 , 지지 픽 ( 119 ) 이 기판 처리 시스템 ( 100 ) 에 있 어서 의 시스템 구성 부재 인 챔버 벽 등 에 접촉 한 경우 에 도 , 고가 의 CFRP 재료 에 의해 구성 되 는 지지 픽 ( 119 ) 의 본체 ( 131 ) 를 보호 할 수 있 다 . 이 경우 , 캡 ( 133 ) 이 파손 해도 캡 ( 133 ) 만 을 교환 하 면 되 기 때문 에 , 지지 픽 ( 119 ) 의 본체 ( 131 ) 의 수명 을 장기 화 할 수 있 다 . 또한 , 캡 ( 133 ) 에 의해 지 지 픽 ( 119 ) 의 본체 ( 131 ) 의 손상 을 막 을 수 있 으므로 , 본체 ( 131 ) 의 손상 부위 로부터 CFRP 재료 의 탄소 섬유 가 박리 하 거나 , 벗겨지 거나 하 여 파티클 원인 이 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 더욱이 , 본체 ( 131 ) 의 손상 부위 에 유리 조각 등 이 혼입 하 여 파티클 원인 이 되 는 것 도 방지 할 수 있 다 .