본 발명 은 박막 증착 장치 및 증착 방법 에 관한 것 으로 , 반응 챔버 ; 상기 반응 챔버 내 에 회전 가능 하 게 장착 되 며 , 적어도 하나 의 기판 이 안착 되 는 서 셉 터 ; 상기 반응 챔버 의 상부 에 장착 되 어 상기 반응 챔버 내 로 복수 개 의 가스 를 독립 적 으로 공급 하 는 가스 공급 부 ; 상기 복수 개 의 가스 가 공급 되 는 각 영역 의 경계 에 대응 하 도록 상기 서 셉 터 상부 에 장착 되 며 , 주변 의 가스 를 배기 하 는 배기 라인 을 구비 하 는 분리 배기 부 ; 및 상기 분리 배기 부 에 흡입력 을 제공 하 는 진공 펌프 부 ; 를 포함 하 여 , 소스 가스 와 반응 가스 를 분리 하 여 배기 할 수 있 으며 , 파티클 등 의 불순물 의 생 성 을 줄임 으로써 박막 의 성막 품질 을 향상 시킬 수 있 는 박막 증착 장치 및 그 증착 방법 을 제공 한다 .