수산기 전구체 관능기 X ' 는 소위 보호기 로 보호 된 수산기 , 또는 비시 날 디 올 ( vicinal diol ) 이 다 . 그 와 같 은 보호기 로서 는 , 다수 의 것 이 공지 되 어 있 고 , 대표 적 인 것 으로서 는 아실기 , 옥 실라 닐 기 , 아세 탈기 등 을 들 수 있 다 . 이 들 전구체 관능기 중 , 후속 공정 에 있 어서 , 얻 어 진 단분자막 상 의 특정 부위 에 만 인식 용 재료 를 고정 시키 기 위해서 는 레지스 트 를 사용 하 여 단분자막 의 특정 부위 를 마스크 하 지 만 , 여기 서 화학 증폭 형 레지스 트 를 사용 하 는 경우 에 는 , 단분자막 이 염기 성 물질 로 오염 되 지 않 은 것 이 바람직 하 고 , 산 성 처리 로 탈 보호 할 수 있 는 것 이 바람직 하 다 . 산 성 조건 에서 탈 보호 할 수 있 는 것 으로서 는 , 상기 예 중 에서 는 옥 실라 닐 기 나 아세 탈기 를 들 수 있 다 . 또한 , 아세 탈기 중 , X ' 가 메 톡 시메 톡 시기 인 것 이나 옥 실라 닐 기 인 것 은 , 입체 적 으로 작 기 때문 에 단분자막 의 형성 이 용이 하 다 .