도 4 는 , 잔류 흡착 력 저감 방법 의 일례 를 나타내 는 플로우 차트 이 다 . 도 4 에 예시 되 는 잔류 흡착 력 저감 방법 은 , 제 어 장치 ( 200 ) 의 제어 에 따라 본체 ( 100 ) 가 동작 함 으로써 실현 된다 . 잔류 흡착 력 저감 방법 은 처리 방법 의 일례 이 다 . 또한 , 도 4 에 예시 된 처리 가 실행 되 기 전 에 , 더미 웨이퍼 등 을 이용 하 여 , 하중 센서 ( 84 ) 에 의해 리프트 핀 ( 81 ) 에 걸리 는 초기 하중 값 ( L 0 ) 이 측정 되 고 , 대전량 센서 ( 810 ) 에 의해 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 초기 대전량 ( Q 0 ) 이 측정 된다 . 그리고 , 제 어 장치 ( 200 ) 의 취득 부 ( 201 ) 는 , 측정 된 초기 하중 값 ( L 0 ) 및 초기 대전량 ( Q 0 ) 을 취득 하 여 , DB ( 203 ) 내 에 저장 한다 .