하나 의 부피 측정 센서 ( 40 ) 는 상기 측정 용 개구 ( 46 ) 및 센서 ( 48 ) 를 다수 구비 ( 이하 , 다점 부피 측정 센서 ) 하 여 박막 증착 공정 이 진행 되 는 동안 순차 로 상기 증착 가스 의 공급 유량 을 측정 한다 . 최근 에 는 상기 측정 용 개구 및 센서 가 12 개 배치 된 12 점 센서 가 널리 이용 되 고 있 다 . 그러나 , 이 와 같 은 다점 부피 측정 센서 라 할지라도 약 1 주일 정도 증착 공정 에 이용 되 면 더 이상 의 부피 측정 이 불 가능 하 게 된다 . 이 에 따라 , 상기 박막 증착 장치 의 가동 을 중지 하 고 상기 다점 부피 측정 센서 ( 40 ) 자체 를 교환 해 주 어야 하 며 , 1 주일 간격 으로 상기 박막 증착 장치 의 가동 을 중단 하 여야 하 는 문제점 이 있 다 . 상기 박막 증착 장치 의 가동 이 중단 되 면 상기 공정 챔버 내부 의 공정 조건 ( 온도 , 압력 , 진공도 등 ) 을 재 조정 하 여야 하 므로 , 재 조정 에 소요 되 는 시간 과 비용 만큼 박막 증착 공정 의 생산 성 이 저하 된다 .