즉 , 실리카 의 원료 로서 나노 실리카 와 테트라에틸 오르소 실리케이트 를 적정 비율 로 혼합 하 여 증류수 에 용해 또는 분산 시켜 콜리 이드 상 의 전구체 용액 을 제조 한 다음 , 분부 장치 를 이용 하 여 상기 용액 을 액 적 으로 분무 시키 고 , 분무 된 액적 을 열분해 시켜 실리카 분말 을 제조 하 는 , 분무 열분해법 을 사용 하 여 실리카 를 제조 하 는 것 이 다 .