기판 처리 장치 가 개시 된다 . 그러 한 기판 처리 장치 는 현상액 혹은 세정액 이 저장 되 어 기판 을 디 핑 방식 에 의하 여 처리 하 는 적어도 하나 이상 의 챔버 와 , 상기 기판 을 각 챔버 로 이송 시키 기 위한 적어도 하나 이상 의 이송 수단 과 , 그리고 상기 이송 수단 에 각각 구비 되 며 , 기판 을 픽업 / 틸팅 시켜 상기 챔버 중 어느 한 챔버 로 디 핑 시키 기 위한 틸팅 수단 을 포함 한다 . 이러 한 기판 처리 장치 는 핸드 지그 에 의하 여 기판 을 픽업 하 여 이송 시킴 으로 기판 이 대형 화 되 는 경우 에 도 편평도 를 용이 하 게 유지 할 수 있 는 장점 이 있 다 .