도 20 은 도 13 의 제 2 - 7 단계 ( S 27 ) 를 나타내 는 도면 이 다 . 제 3 감광제 패턴 ( 170 ) 은 마이크 로 - 나노 복합 패턴 이 구현 된 감광제 패턴 으로서 , 앞서 제작 한 제 1 니켈 기판 ( 150 ) 에 일정 한 두께 의 감광제 를 도포 한 후 , 제 2 포토 마스크 ( 160 ) 를 위치 시키 고 , 자외선 을 조사 하 여 현상 공정 을 거치 는 마이크 로 노광 공정 을 수행 하 여 구현 한다 .