벨트 형 의 연마 패드 를 용이 하 게 교체 할 수 있 는 기판 연마 장치 가 개시 된다 . 기판 연마 장치 는 서로 평행 하 게 배치 된 한 쌍 의 구동 롤러 , 상기 한 쌍 의 구동 롤러 의 외주 면 에 감겨서 회전 함 에 따라 기판 을 연마 하 는 벨트 형태 의 연마 패드 및 상기 한 쌍 의 구동 롤러 를 상기 기판 이 연마 되 는 연마 위치 에서 상기 연마 패드 를 교체 하 기 위한 유지 보수 위치 로 이동 시키 는 연마 패드 교체 부 를 포함 하 여 구성 된다 .