처리 액 공급 부 ( 70 ) 는 , 탱크 ( 10 ) 에 처리 액 을 공급 ( 또는 보충 ) 할 수 있 다 . 처리 액 공급 부 ( 70 ) 로부터 공급 되 는 처리 액 으로서 , DHF ( 희 불 산 ) 가 예시 된다 . 처리 액 공급 부 ( 70 ) 는 , HF ( 불 산 ) 의 공급원 으로부터 공급 된 HF 를 , DIW ( 순수 ) 의 공급원 으로부터 공급 된 DIW 에 의해 희석 함 으로써 DHF 를 생성 하 는 기능 을 갖 고 있 어도 된다 . 이 경우 , DIW 공급원 및 HF 의 공급원 은 , 반도체 장치 제조 공장 의 공장 용력 으로서 제공 되 는 것 으로 할 수 있 다 . 처리 액 공급 부 ( 70 ) 는 , 미리 조합 된 처리 액 을 저류 하 는 탱크 ( 탱크 ( 10 ) 와 는 별도 의 탱크 ) 를 구비 하 고 있 어도 된다 . 처리 액 공급 부 ( 70 ) 는 , 복수 의 성분 을 혼합 하 여 이루어지 는 처리 액 을 공급 하 는 것 이 어도 되 고 , 단일 성분 의 처리 액 을 공급 하 는 것 이 어도 된다 .