그러나 , 이러 한 기술 에 의할 경우 일 측 에서 타 측 으로 에어 의 분사 가 공동 을 거쳐 비대칭 적 으로 흐르 기 때문 에 에어 나이프 모듈 ( 110 ) 의 노즐 블록 ( 111 ) 하면 에 는 불 완전 한 와류 가 형성 되 어 석 션 부 로 에어 흐름 이 이루어지 지 못할 뿐 만 아니 라 , 노즐 블록 ( 111 ) 의 중앙 하면 에 상대 적 으로 매우 큰 공동 과 그 상부 의 공동 으로 인하 여 에어 흐름 이 일 측 의 노즐 블록 ( 111 ) 으로부터 타 측 의 노즐 블록 ( 111 ) 으로 원할 한 흐름 이 발생 되 기 어려워 잔여 분진 등 이 기판 ( 20 ) 에 남 는 문제 가 발생 되 고 있 다 .