n 형 도전 형 을 갖 는 버퍼 ( 85 ) 를 에칭 할 때 , 섬 형상 의 산화물 반도체 막 ( 59 ) 이 에칭 되 지 않 고 , 선택 적 으로 n 형 도전 형 을 갖 는 버퍼 ( 85 ) 를 에칭 하 는 조건 ( 에칭 선택 비율 이 높 은 조건 ) 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 섬 형상 의 산화물 반도체 막 ( 59 ) 및 n 형 도전 형 을 갖 는 버퍼 ( 85 ) 의 에칭 선택 비율 이 낮 은 경우 에 는 , n 형 도전 형 을 갖 는 버퍼 ( 85 ) 를 에칭 할 때 섬 형상 의 산화물 반도체 막 ( 59 ) 의 일부 도 에칭 되 어 , 홈 부 ( 오 목부 ) 를 갖 는 형상 이 될 경우 도 있 다 .