한편 , 상기 주 , 부 전자석 ( 2 ) ( 3 ) 사이 에서 반응 조 ( 1 ) 의 외측 에 고정 설치 되 어 공진 을 통해 마이크로파 들 을 합성 하 여 유전체 창 ( 6 ) 을 통해 반응 조 ( 1 ) 의 플 라즈 마 반응 실 ( 11 ) 측 으로 전달 하 는 상기 공진기 ( 5 ) 는 크 게 속 이 빈 4 개 의 사각 관 체 를 상호 연결 시켜 사각 틀 체 형상 을 갖 도록 제작 한다 .