캐리어 가스 ( He , 헬륨 가스 ) 가 상기 에어로졸 챔버 에 공급 되 었 을 때 , 2 ㎛ 의 평균 입자 직경 을 갖 는 Cu 파우더 ( Cu powder ) 와 각각 다른 평균 입자 직경 ( 25 nm , 500 nm ) 을 갖 는 anatase 타입 의 세라믹 TiO 2 파우더 ( TiO 2 powder ) 는 캐리어 가스 를 이용 한 혼합 및 휘젓 기 에 의해 에어로졸 화 되 며 , 에어로졸 화 된 파우더 는 테 프 런 튜브 를 통해 주입 된 헬륨 가스 에 의해 슬릿 ( slit ) 노즐 로 전송 되 고 , 증착 챔버 에 분사 되 었 다 . 에어로졸 을 생성 하 기 전 에 , 증착 챔버 는 로터리 펌프 와 기계 부스터 펌프 로써 미리 비워져 가속 된 에어로졸 로부터 공기 저항 을 제거 하 였 다 .