다음 으로 , 예 를 들 어 스퍼터링 법 에 의해 Ta 막 ( 32 ) 및 NiFe 막 ( 34 ) 을 , 예 를 들 어 전해 도금 법 에 의해 Cu 막 ( 36 ) 을 , 각각 퇴적 한 후 , 이 들 도전 막 을 CMP 법 에 의해 평탄 화 하 고 , 배선 홈 ( 30 ) 내 에 매립 된 기입 워드 선 ( 38 ) 을 형성 한다 ( 도 3 , 도 16 의 ( a ) ) . 또한 , 기입 워드 선 ( 38 ) ( WWL ) 은 , 도 1 에 나타낸 바 와 같이 , 워드 선 ( WL ) 의 연장 방향 과 평행 한 방향 으로 연장 하 여 형성 된다 .