본 발명 은 다층 으로 미스 컷 ( miscut ) 된 기판 을 이용 하 여 정렬 및 밀도 를 조절 할 수 있 는 나노 구 조체 의 제조 방법 에 관한 것 으로 , 특히 다층 으로 미스 컷 된 기판 의 평평 한 부분 인 테라스 ( terrace ) 부분 에 나노 구 조체 들 이 잘 성장 되 기 때문 에 하나 의 기판 에 밀도 와 정렬 을 조절 할 수 있 도록 미스 컷 을 실시 하 여 기판 을 형성 하 고 , 이 를 HVPE 법 등 을 이용 한 나노 구 조체 제조 장치 에 설치 하 여 원 하 는 방향 으로 정렬 되 고 , 원 하 는 밀도 를 갖 도록 형성 되 는 나노 구 조체 의 제조 방법 을 제공 한다 .