일 실시 예 에서 , 샤워 헤드 ( 112 ) 는 플레이트 - 형 구성 을 가질 수 도 있 고 프로세싱 영역 ( 234 ) 으로 플 라즈 마 를 도입 하 기 위해 하 단 표면 을 따라 배치 된 복수 의 노즐 들 ( 112 a ) 을 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 노즐 들 ( 112 a ) 은 샤워 헤드 ( 112 ) 의 하단 표면 전체 에서 균일 하 게 분포 된다 . 다른 실시 예 들 에서 , 노즐 들 ( 112 a ) 은 하단 표면 의 일 섹션 으로부터 균일 하 게 분포 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( 103 ) 의 목표 된 부분 만 이 플 라즈 마 프로세스 를 겪 게 되 는 실시 예 들 에서 , 노즐 들 ( 112 a ) 은 목표 된 부분 의 사이즈 에 대응 하 는 샤워 헤드 ( 112 ) 의 하단 표면 상 에 분포 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 샤워 헤드 ( 112 ) 의 직경 은 적어도 기판 ( 103 ) 의 직경 만큼 클 수 도 있 다 . 또 다른 예시 적 인 실시 예 에서 , 샤워 헤드 ( 112 ) 의 직경 은 기판 ( 103 ) 의 직경 보다 작 거나 보다 크 다 .