상기 방법 에 의해 제조 된 인듐 산화물 과 평균 1 차 입자경 이 80 ㎚ 이 고 , 입 도 분포 에 의한 부피 기준 50 % 에 해당 되 는 입경 이 0 . 20 ㎛ 이 며 , 비표 면적 이 7 . 5 ㎡/ g 인 산화 주석 분말 을 중량 기준 9 : 1 비율 로 슬러리 분산 용 탱크 에 투입 하 고 , 습식 비즈 밀 에 의한 분산 매체 로 지르 코니아 비즈 의 크기 0 . 1 ~ 0 . 6 mm , 슬러리 유량 1 . 2 ~ 3 ℓ/ min 의 속도 로 비즈 밀 처리 하 여 재 분산 시키 며 타 겟 재의 제조 시 대면 적 성 형체 를 얻 기 위하 여 결합제 를 0 . 4 % ~ 0 . 8 % 혼입 하 여 재 분산 하 는 과정 ( S 11 ) 과 분무식 조립 건조기 에서 온도 120 ~ 180 ℃ 에서 분무 건조 하 여 조립 하 는 과정 을 거쳐 도 5 와 같이 전자 주사 현미경 으로 관찰 된 미분 말 의 조립 체인 60 ~ 70 ㎛ 의 구상성 이 뛰어나 고 흐름 성 이 뛰어난 조립 분말 을 수득 한다 . 조립 된 분말 은 420 x 250 x 10 ㎜ 성 형체 를 얻 기 위해 직사각 형 의 금형 에 충 진 되 고 가압 성형 하 여 플레이트 를 얻 는다 ( S 12 ) . 이렇게 얻 어 진 ITO 성 형체 플레이트 를 고온 의 산소 가압 형 의 전기로 에 알루미나 를 주재료 로 하 는 내화물 위 에 성 형체 를 장입 하 고 , 1200 ~ 1600 ℃ 의 온도 로 1 ~ 3 시간 동안 가열 하 여 ITO 타 겟 재 를 소결 공정 을 통해 얻 는다 ( S 13 ) .