일 형태 에서 는 , 상기 얼라 이 너 는 , 상기 이동 기구 및 상기 센터 링 스테이지 회전 기구 의 동작 을 제어 하 는 동작 제 어부 를 더 구비 하 고 , 상기 동작 제 어부 는 , 기계 학습 에 의해 구축 된 학습 완료 모델 이 저장 된 기억 장치 와 , 상기 센터 링 스테이지 에 보유 지지 된 상기 기판 의 중심 의 , 상기 센터 링 스테이지 의 축심 으로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 상기 학습 완료 모델 에 입력 하 였을 때 , 상기 기판 의 중심 을 상기 프로세스 스테이지 의 중심 에 맞추 기 위한 상기 센터 링 스테이지 의 회전 량 및 이 동량 을 출력 하 는 연산 을 실행 하 는 처리 장치 를 구비 하 고 있 다 .