제 2 반송 장치 ( 700 ) 의 제 2 반송 부 ( 700 b ) 는 회전 왕복 운동 을 하 면서 제 1 반송 장치 ( 600 ) 로부터 처리 된 5 장 의 기판 을 인계 받 아 나온다 . 이어 제 1 반송 장치 ( 600 ) 의 스핀들 ( 620 ) 이 승강 하 여 로딩 위치 에 정렬 된다 . 제 2 반송 장치 ( 700 ) 의 제 1 반송 부 ( 700 a ) 가 화전 왕복 운동 을 하 면서 처리 전 기판 들 을 제 1 반송 장치 ( 600 ) 로 인계 한다 . 기판 교환 이 완료 되 면 , 제 1 기판 출입구 ( 202 ) 가 폐쇄 되 고 , 상술 한 바 와 같이 제 1 반송 장치 ( 600 ) 는 기판 을 기판 지지 부 ( 210 ) 들 로 반송 한다 .