상기 제 2 도 전막 을 형성 하 는 단계 후 , 그리고 , 상기 제 2 도 전막 을 식각 하 는 단계 전 , 상기 제 2 도 전막 상 에 반사 방지 막 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 하 며 , 상기 반사 방지 막 은 Ti 막 으로 형성 하 고 , 상기 제 2 도전 막 은 TiN 막 , Al 막 및 W 막 으로 구성 된 그룹 으로부터 선택 되 는 어느 하나 의 금속 막 으로 형성 한다 .