상기 스테이지 구 동부 ( 214 ) 는 회전 구동 부 ( 미 도시 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 상기 회전 구동 부 는 상기 스테이지 ( 211 ) 를 회전 시킬 수 있 다 . 상기 회전 구동 부 는 모터 와 벨트 등 을 이용 하 여 구성 될 수 있 으며 , 상기 제 1 X 축 구동 부 ( 215 ) 및 상기 제 1 Y 축 구동 부 ( 216 ) 에 의해 상기 X 축 방향 및 상기 Y 축 방향 으로 이동 할 수 있 다 .