본 발명 의 또 다른 양태 는 질병 검출 목적 으로 마이크 로 - 디바이스 또는 서브 - 장비 유닛 을 제조 하 기 위한 일련 의 새로운 제조 공정 흐름 에 관한 것 이 다 . 따라서 , 생물학 적 샘플 의 다양 한 특성 ( 기계 적 및 전기 적 특성 을 포함 함 ) 을 측정 할 수 있 는 두 개 의 프로브 를 구비 한 마이크 로 - 디바이스 가 새로운 제조 공정 흐름 을 이용 하 여 제조 된다 .