또한 , 도 9 및 도 10 을 참조 하 면 , 테이블 플레이트 구 조체 ( 11 ) 는 안착 부 ( 113 ) 를 포함 할 수 있 다 . 도 11 을 참조 하 면 , 안착 부 ( 113 ) 는 제 1 플레이트 ( 111 ) 상측 에 배치 될 수 있 다 . 또한 , 안착 부 ( 113 ) 는 복수 개 의 진공 홀 ( 114 ) 이 덮이 도록 배치 될 수 있 다 . 또한 , 도 11 을 참조 하 면 , 안착 부 ( 113 ) 상 에 패키지 가 안착 될 수 있 다 . 진공 홀 ( 114 ) 에 음압 이 형성 되 면 , 안착 부 ( 113 ) 상 에 안착 된 패키지 ( P ) 는 테이블 플레이트 구 조체 ( 11 ) 에 흡착 될 수 있 다 .