하지 ( 200 a ) 의 표면 상 에 SiN 층 이 형성 된 후 , 밸브 ( 243 c ) 를 닫 아 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 의 NH 3 가스 의 공급 을 정지 한다 . 그리고 , 스텝 A 에서 의 퍼지 와 마찬가지 의 처리 수순 에 의해 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 잔류 하 는 가스 등 을 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 배제 한다 ( 퍼지 ) .