처리 유닛 ( 16 ) 에 반입 된 웨이퍼 ( W ) 는 , 처리 유닛 ( 16 ) 에 의해 처리 된 후 , 기판 반송 장치 ( 17 ) 에 의해 처리 유닛 ( 16 ) 으로부터 반출 되 어 , 전달 부 ( 14 ) 에 적재 된다 . 그리고 , 전달 부 ( 14 ) 에 적재 된 처리 가 끝난 웨이퍼 ( W ) 는 , 기판 반송 장치 ( 13 ) 에 의해 캐리어 적 재부 ( 11 ) 의 캐리어 ( C ) 로 복귀 된다 .