챔버 ( 10 ) 의 내벽 에 는 차후 에 설명 될 유전체 패널 ( 20 ) 의 결합 을 위한 제 1 결합 홈 ( 11 ) 이 형성 되 고 , 챔버 ( 10 ) 의 개방 된 하단 에 는 차후 에 설명 될 제 2 전극 ( 40 ) 의 결합 을 위한 제 2 결합 홈 ( 13 ) 이 형성 된다 . 또한 챔버 ( 10 ) 에 는 플 라즈 마 방전 을 위한 중성 기체 를 챔버 ( 10 ) 내 로 공급 하 는 기체 공급 관 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 연결 된다 . 또한 챔버 ( 30 ) 의 상부 는 덮개 ( 15 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 구성 된다 .