본 실시 예 에서 는 상기 산화 이리듐 막 ( 16 ) 이 앞서 상술 한 바 와 같이 비 화학량론 조성 을 갖 고 있 기 때문 에 , 도 5 e 의 열처리 의 결과 , 상기 강유전체 막 ( 15 ) 을 구성 하 는 PZT 막 으로부터 IrOx 막 ( 16 ) 으로 Pb 의 확산 이 생겨 , 상기 강유전체 막 ( 15 ) 과 산화 이리듐 막 ( 16 ) 사이 에 평탄 한 계면 이 형성 된다 . 그 결과 , 상기 강유전체 커패시터 ( 10 ) 에 전압 을 인가 하 였을 경우 , 상기 강유전체 막 ( 15 ) 에 동일 한 전계 가 유기 되 어 , 강유전체 커패시터 ( 10 ) 에 낮 은 구동 전압 으로 분극 반전 을 유기 하 는 것 이 가능 해진다 .