[ D ] 산 확산 제어 체 는 , 방사선 조사 에 의해 ( a ) 감방 사선 성 산 - 증 감체 발생 제 , ( c ) 감방 사선 성 산 발생 제 등 으로부터 발생 하 는 산 의 레지스 트 막 중 에 있 어서 의 확산 현상 을 제어 하 고 , 비조 사부 에 있 어서 의 바람직 하 지 않 은 화학 반응 을 억제 하 는 물질 이 다 . [ D ] 산 확산 제 어 체의 당해 레지스 트 재료 에 있 어서 의 함유 형태 로서 는 , 유리 의 화합물 ( 이하 , 적절히 「 [ D ] 산 확산 제 어제 」 라고 도 한다 ) 의 형태 여도 되 고 , 중합체 의 일부 로서 내장 된 형태 여도 되 고 , 이 들 의 양쪽 의 형태 여도 된다 .