케이싱 ( 14 ) 이 케이싱 ( 12 ) 을 둘러싸 도록 제공 된다 . 케이싱 ( 12 ) 및 케이싱 ( 14 ) 은 동심 으로 배열 된다 . 레이디얼 베어링 ( 18 ) 이 케이싱 ( 12 ) 과 케이싱 ( 14 ) 사이 에 제공 되 어 , 케이싱 ( 12 ) 은 레이디얼 베어링 ( 18 ) 에 의해 회전 가능 하 게 지지 된다 . 이러 한 구조 에서 , 회전식 보유 기구 ( 3 ) 는 중심축 ( Cr ) 에 대해 웨이퍼 ( W ) 를 회전 시킬 수 있 으며 중심축 ( Cr ) 을 따라 웨이퍼 ( W ) 를 상승 및 하강 시킬 수 있 다 .