위 와 같이 측벽 산화 막 ( 27 ) 및 라이너 질화 막 ( 28 ) 을 형성 해 주 므로써 , 후속 고밀 도 플 라즈 마산 화 막 공정 진행시 트렌치 ( 26 ) 측벽 의 어택 을 방지 할 수 있 다 . 특히 , 측벽 산화 막 ( 27 ) 을 라디칼 산화 방식 으로 형성 하 므로써 트렌치 ( 26 ) 측벽 의 어택 을 더욱 효과 적 으로 방지 할 수 있 다 .