웨이퍼 척 ( 140 ) 에 는 방사 홈 ( 142 ) 이 복수 개 로 형성 될 수 있 다 . 방사 홈 ( 142 ) 은 링 형상 이 며 , 복수 개 의 방사 홈 ( 142 ) 은 일정 간격 이격 되 어 형성 될 수 있 다 . 이때 , 방사 홈 ( 142 ) 은 웨이퍼 척 ( 140 ) 의 중심부 에서 외측 으로 갈수록 직경 이 크 게 형성 될 수 있 다 .