이러 한 의사 촉매 막 을 사용 하 는 경우 의 선택 성장 에서 의 처리 수순 , 처리 조건 은 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 상 에 의사 촉매 막 을 형성 하 는 것 , 및 스텝 B 를 불 실시 로 하 는 것 이외 는 , 상술 한 양태 의 처리 수순 , 처리 조건 과 마찬가지 로 할 수 있 다 . 이 와 같이 , Si 막 , SiN 막 , SiC 막 , SiCN 막 , SiRN 막 , SiRC 막 , SiRCN 막 등 을 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 에 도 , 베 어 웨이퍼 를 의사 촉매 로서 사용 하 는 경우 와 마찬가지 의 효과 가 얻 어 진다 .