본 개시 내용 에 의해 이중 멤 브레인 및 이 중 백 플레이트 구성 둘 다를 포함 하 기 위해 , 차동 MEMS 센서 디바이스 는 전극 구 조체 들 의 단어 ( wording ) 를 이용 하 여 설명 되 고 , 여기 서 제 3 전극 구조 체 는 중앙 백 플레이트 또는 중앙 멤 브레인 인 것 으로서 설명 된다 . 본 개시 내용 의 실시 예 들 은 도 1 내지 도 10 을 참조 하 여 더 상세히 논의 될 것 이 다 .