예 로서 , 도 4 의 실시 예 는 혼합 용기 ( 404 ) 로 공급 될 액체 반응 물질 을 기화 하 기 위한 기화 지점 ( 403 ) 을 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 기화 지점 ( 403 ) 은 가열 된 기화기 일 수 도 있 다 . 이러 한 증발기 들 로부터 생산 된 포화 된 반응 물질 증기 는 다운 스트림 전달 파이프 에서 응결 될 수 도 있 다 . 양립 가능 하 지 않 은 가스 들 의 응결 된 반응 물질 로 의 노출 은 작 은 입자 들 을 생성 할 수 도 있 다 . 이 들 작 은 입자 들 은 파이프 를 막 고 , 밸브 동작 을 지연 시키 고 , 기판 을 오염 시키 는 등 을 할 수 도 있 다 . 이러 한 문제 들 을 해결 하 기 위한 일부 방법 들 은 잔류 반응 물질 을 제거 하 기 위해 전달 파이프 를 퍼지 및 / 또는 배기 하 는 것 을 포함 할 수 도 있 다 . 그러나 , 전달 파이프 를 퍼지 하 는 것 은 프로세스 스테이션 쓰루 풋 을 저하 시키 는 , 프로세스 스테이션 사이클 시간 을 상승 시킬 수 도 있 다 . 따라서 , 일부 실시 예 들 에서 , 기화 지점 ( 403 ) 의 전달 파이프 다운스 트림 은 열 추적 될 수 도 있 다 . 일부 예 들 에서 , 혼합 용기 ( 404 ) 가 또 한 열 추적 될 수 도 있 다 . 일 비 제한 적 예 에서 , 기화 지점 ( 403 ) 의 파이프 다운 스트림 은 혼합 용기 ( 404 ) 에서 대략 100 ℃ 에서 대략 150 ℃ 로 연장 하 는 상승 하 는 온도 프로 파일 을 갖 는다 .