본 발명 은 생산 수율 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 스핀들 어셈블리 를 개시 한다 . 그 의 어셈블리 는 , 복수 개 의 웨이퍼 를 지지 하 도록 형성 된 복수 개 의 스핀들 포크 ; 상기 복수 개 의 스핀들 포크 가 결합 되 는 스핀들 원판 ; 상기 스핀들 원판 의 중심 에 결합 되 어 상기 스핀들 원판 을 회전 시키 도록 형성 된 주축 ; 상기 주축 또는 상기 주축 둘레 에 형성 된 제 1 풀리 의 외주 면 을 따라 무한궤도 를 갖 고 상기 주축 을 회전 시키 는 회전 동력 을 전달 하 는 벨트 ; 상기 주축 또는 상기 제 1 풀리 에 대응 되 는 상기 벨트 의 내측 에서 상기 벨트 를 회전 시키 는 제 2 풀리 ; 상기 제 2 풀리 의 중심 에서 상기 제 2 풀리 를 회전 시키 는 풀리 축 ; 상기 풀리 축 을 회전 시키 는 회전 동력 을 생성 하 는 모터 ; 상기 모터 에서 생성 된 회전 동력 에 의해 일 방향 으로 회전 되 는 모터 축 ; 및 상기 모터 축 및 상기 풀리 축 에서 연장 되 면서 서로 어긋난 방향 으로 결합 되 는 복수 개 의 요철 을 이용 하 여 상기 모터 축 과 상기 풀리 축 을 맞물려 회전 시키 도록 형성 된 요철 플랜지 축이음 장치 를 포함 하 여 이루어진다 .