하부 커버 ( 270 ) 는 연결 부재 ( 273 ) 를 갖 는다 . 연결 부재 ( 273 ) 는 하부 커버 ( 270 ) 의 외측 면 과 하우징 ( 110 ) 의 내 측벽 을 연결 한다 . 연결 부재 ( 273 ) 는 하부 커버 ( 270 ) 의 외측 면 에 일정 한 간격 으로 복수 개 제공 될 수 있 다 . 연결 부재 ( 273 ) 는 지지 유닛 ( 200 ) 을 공정 챔버 ( 100 ) 내부 에서 지지 한다 . 또한 , 연결 부재 ( 273 ) 는 하우징 ( 110 ) 의 내 측벽 과 연결 됨 으로써 하부 커버 ( 270 ) 가 전기 적 으로 접지 ( grounding ) 되 도록 한다 .