제 3 가스 분사 모듈 ( 130 c ) 은 전술 한 제 2 가스 분사 영역 과 공간 적 으로 분리 되 도록 기판 지지 부 ( 120 ) 상 에 정의 된 제 3 가스 분사 영역 에 중첩 되 는 제 3 모듈 설치 부 ( 115 c ) 에 삽입 설치 되 어 제 3 가스 분사 영역 에 플 라즈 마 화 된 제 1 가스 를 하향 분사 한다 . 이 를 위해 , 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 c ) 은 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 접지 프레임 ( 210 ) , 접지 격벽 부재 ( 220 ) , 복수 의 절연 부재 ( 230 ) , 및 복수 의 플 라즈 마 전극 부재 ( 240 ) 를 포함 하 여 구성 되 는 것 으로 , 이러 한 구성 들 에 대한 설명 은 전술 한 설명 으로 대신 하 기 로 한다 . 이 와 같 은 구성 들 을 통해 , 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 c ) 은 급전 케이블 을 통해 플 라즈 마 전원 공급 부 ( 140 ) 에 전기 적 으로 접속 됨 으로써 플 라즈 마 전원 공급 부 ( 140 ) 로부터 플 라즈 마 전극 부재 ( 240 ) 에 공급 되 는 플 라즈 마 전원 에 따라 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 플 라즈 마 를 형성 하 여 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 공급 되 는 제 1 가스 를 플 라즈 마 화 하 여 상기 제 3 가스 분사 영역 에 하향 분사 한다 .