상기 상 , 하부 서 셉 터 ( 121 , 122 ) 의 표면 에 는 증착 대상물 인 웨이퍼 ( 2 ) 가 로딩 될 수 있 도록 함몰 형성 되 는 원반 형 의 포켓 ( 121 a , 122 a ) 을 구비 하 며 , 이러 한 상 , 하 부서 셉 터 ( 121 , 122 ) 은 포켓 ( 121 a , 122 a ) 에 로딩 되 는 웨이퍼 ( 2 ) 가 서로 마주 하 도록 배치 된다 .