또한 , 하부 전극 ( 18 ) 의 상면 에서 제 1 정전 척 ( 21 ) 과 제 2 정전 척 ( 22 ) 사이 의 영역 에 는 절 연막 ( 181 ) 이 형성 된다 . 절 연막 ( 181 ) 은 일 예 로서 Al 2 O 3 , Y 2 O 3 등 으로 형성 된 용사 ( 溶射 ) 코팅 막 이 며 , 하부 전극 ( 18 ) 의 표면 이 챔버 ( 10 ) 의 내부 공간 ( 10 s ) 에 노출 되 지 않 도록 되 어 있 다 . 다만 , 절 연막 ( 181 ) 은 형성 되 어 있 지 않 을 수 도 있 다 .