일부 실시 예 에서 , 제 1 절 연막 패턴 ( 112 ) 은 비금속 계 유전 막 으로 이루어지 고 , 제 2 절 연막 패턴 ( 114 ) 은 금속 계 유전 막 으로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 절 연막 패턴 ( 112 ) 은 실리콘 산화 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산질 화 막 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 2 절 연막 패턴 ( 114 ) 은 하프늄 산화물 ( HfO ) , 하프늄 실리케이트 ( HfSiO ) , 하프늄 산화 질화물 ( HfON ) , 하프늄 실리콘 산화 질화물 ( HfSiON ) , 란타늄 산화물 ( LaO ) , 란타늄 알루미늄 산화물 ( LaAlO ) , 지르코늄 산화물 ( ZrO ) , 지르코늄 실리케이트 ( ZrSiO ) , 지르코늄 산화 질화물 ( ZrON ) , 지르코늄 실리콘 산화 질화물 ( ZrSiON ) , 탄 탈륨 산화물 ( TaO ) , 티타늄 산화물 ( TiO ) , 바륨 스트론튬 티타늄 산화물 ( BaSrTiO ) , 바륨 티타늄 산화물 ( BaTiO ) , 스트론튬 티타늄 산화물 ( SrTiO ) , 이트륨 산화물 ( YO ) , 알루미늄 산화물 ( AlO ) , 또는 납 스칸듐 탄 탈륨 산화물 ( PbScTaO ) 중 에서 선택 되 는 적어도 하나 의 물질 로 이루어질 수 있 다 .