도 2 A ∼ 도 2 D 는 , 도 1 의 반송 성막 장치 에서 반송 되 고 있 는 반송 물 의 단면도 이 고 , 도 2 A 가 , 조출 롤 로부터 계속 내보내 지 는 제 1 보 호재 및 유리 기재 , 도 2 B 가 , 제 1 구동 롤 로 반송 되 는 유리 기재 , 도 2 C 가 , 냉각 장치 로 반송 되 는 유리 기재 및 투명 도전 층 , 도 2 D 는 , 권 취 롤 에 권 취 되 는 제 2 보 호재 , 투명 도전 층 및 유리 기재 를 나타낸다 .