이 와 같이 여러 가지 신뢰 성 측정 결과 , 데카 메 실 사이클 로 펜 타실 옥제 인과 사이클 로 헥산 전구체 를 사용 하 여 플 라즈 마 보강 CVD 방법 으로 중합 된 PPDMCPSO : CHex 박막 을 후 열처리 한 박막 은 유전 성 , 박막 두께 변동 성 , 화학 적 결합 구조 변동 성 , 강도 , 탄성 률 에서 우수 한 특성 을 가지 는 것 으로 나타났 다 .