제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 470 ) 은 제 2 개수 의 제 2 S - D 이송 요소 ( 471 , 472 , 473 , 474 및 475 ) 에 연결 될 수 있 는 제 2 S - D 전달 요소 ( 477 ) 를 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 는 제 2 S - D 이송 요소 가 제 2 S - D 전달 요소 ( 477 ) 에 동적 으로 연결 또는 연결 해제 될 수 있 고 하나 이상 의 방향 ( 479 ) 으로 이동 할 수 있 다 . 또한 , 연결 및 / 또는 연결 해제 는 S - D 일 수 있 고 , 제 2 S - D 전달 요소 ( 477 ) , 제 2 S - D 이송 요소 , 웨이퍼 데이터 , 시스템 데이터 , 처리 시퀀스 데이터 , 이송 시퀀스 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 결정 될 수 있 다 . 제 2 S - D 전달 요소 ( 477 ) 는 하나 이상 의 레벨 ( 도시 생략 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 한 가지 이상 의 속도 로 동작 할 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 웨이퍼 이송 기술 이 이용 될 수 도 있 다 .