일부 구 현예 에서 , 증착 된 재료 에 N 이나 O 이외 의 원소 를 제공 하 는 다른 반응물 이 사용 될 수 있 다 . 이 들 반응물 은 N 또는 O 제 2 반응물 에 추가 로 사용 되 거나 , 그 자체 가 제 2 반응물 로서 작용 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 일부 구 현예 에서 , 황 반응물 이 황화물 을 증착 하 는 데 사용 될 수 있 고 , 탄소 반응물 이 탄소 를 증착 하 는 데 사용 될 수 있 고 , 또는 실리콘 반응물 이 규화물 을 증착 하 는 데 사용 될 수 있 다 .