또 다른 실시 예 는 실리콘 부품 을 어닐링 하 는 방법 을 제공 하 며 , 상기 방법 은 ( a ) 엔 클로저 에 실리콘 부품 을 제공 하 는 단계 , ( b ) 엔 클로저 에 질소 가스 를 주입 하 는 단계 , ( c ) 엔 클로저 의 온도 를 어닐링 온도 로 램 핑 업 하 고 제 1 시간 기간 동안 부품 을 어닐링 하 는 단계 , ( d ) 엔 클로저 의 질소 를 비활성 가스 로 대체 하 고 제 2 시간 기간 동안 부품 을 어닐링 하 는 단계 , ( e ) 엔 클로저 의 비활성 가스 를 환원 가스 로 대체 하 고 제 3 시간 기간 동안 부품 을 어닐링 하 는 단계 , 및 ( f ) 온도 를 램 핑 다운 함 으로써 환원 가스 에서 부품 을 냉각 시키 는 단계 를 포함 한다 .