상기 M 1 전구체 화합물 은 Ca 및 Sr 중 에서 선택 된 1 종 이상 의 금속 의 전구체 화합물 이 고 , M 2 전구체 화합물 은 Mg 및 Zn 중 에서 선택 된 1 종 이상 의 금속 의 전구체 화합물 이 다 . 예 를 들 어 , Ca 전구체 화합물 의 예 로서 , CaCO 3 , CaCl 2 , Ca ( NO 3 ) 2 등 이 있 다 . Sr 전구체 화합물 의 예 로서 , SrCO 3 , SrCl 2 , Sr ( NO 3 ) 2 등 이 있 다 . Mg 전구체 화합물 의 예 로서 , MgO , Mg ( OH ) 2 , MgCl 2 등 이 있 다 . Zn 전구체 화합물 의 예 로서 , ZnO , ZnCO 3 , ZnCl 2 등 이 있 다 . 또한 , Mn 전구체 화합물 로서 , MnCO 3 , Mn 2 O 3 , MnO 2 등 을 사용 할 수 있 다 . M 3 전구체 화합물 은 Ge 및 Sn 중 에서 선택 된 1 종 이상 의 금속 의 전구체 화합물 이 다 . Ge 전구체 화합물 의 예 로서 , GeO 2 , Ge , GeCl 4 등 이 있 다 . 또한 , Sn 전구체 화합물 로서 , SnO 2 , SnCl 2 , Sn - 아세테이트 등 을 사용 할 수 있 다 .