본 발명 에 따르 면 , 게이트 용 폴리 실리콘 막 ( 420 ) 을 제거 하 기 위해 층간 절 연막 ( 430 ) 및 금속 배선 등 의 막 제거 시 습식 식각 을 이용 하 고 , 게이트 용 폴리 실리 콘 막 ( 420 ) 의 상부 에 존재 하 는 이 물질 을 제거 한 후 게이트 용 폴리 실리콘 막 ( 420 ) 을 제거 하 여 게이트 산화 막 ( 410 ) 을 드러냄 으로서 , 이 물질 에 의해 게이트 용 폴리 실리콘 막 ( 420 ) 이 제대로 제거 되 지 않 아 게이트 산화 막 ( 410 ) 의 검사 가 제대로 이루 어지 못하 는 종래 의 문제점 을 해결 할 수 있 다 .