개시 되 는 사이드 스토리 지용 배기 유닛 이 웨이퍼 수용 카세트 부재 중 상기 웨이퍼 가 출입 되 는 방향 인 전면 부 에 배치 되 고 , 그 상면 에 복수 개 의 배기 대상 가스 유입 홀 이 형성 되 어 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 로부터 상기 배기 대상 가스 가 유입 되 는 배기 용 패널 부재 및 상기 배기 용 패널 부재 와 연통 되 어 상기 배기 용 패널 부재 로 유입 된 상기 배기 대상 가스 를 외부 로 배기 시키 는 배기 용 덕트 부재 를 포함 하 고 , 상기 웨이퍼 수용 카세트 부재 의 내부 에서 형성 된 상기 배기 대상 가스 는 상기 배기 대상 가스 유입 홀 을 통해 상기 배기 용 패널 부재 로 유입 되 고 , 상기 배기 용 패널 부재 로 유입 된 상기 배기 대상 가스 는 상기 배기 용 덕트 부재 를 통해 외부 로 배기 되 고 , 상기 와 같이 상기 배기 대상 가스 의 비산 을 방지 하 면서 효율 적 으로 배기 시킴 으로써 사이드 스토리지 내부 에 상기 배기 대상 가스 가 잔존 하 는 것 이 방지 될 수 있 게 되 는 장점 이 있 다 .