또한 , 흡착 스테이지 의 상면 에 기판 을 진공 흡착 하 면 , 기판 의 처리 액 에 의한 처리 및 세정액 에 의한 세정 을 행한 후 , 기판 을 흡착 스테이지 로부터 인출 할 때 는 기판 과 흡착 스테이지 의 상면 사이 의 진공 상태 를 파괴 해야 만 하 므로 , 이 파괴 에 수고 가 드 는 경우 가 있 거나 , 진공 파괴 시 에 기판 에 충격 을 주 어 손상 시킬 우려 도 있 다 .