상기 세정 장치 ( 20 ) 와 상기 탈취 장치 ( 30 ) 에 는 기 액 혼 화부 ( 80 ) 가 마련 되 고 , 상기 기 액 혼 화부 ( 80 ) 는 상기 세정 장치 ( 20 ) 와 상기 탈취 장치 ( 30 ) 에 설치 되 는 기 액 혼 화기 ( 81 ) 들 로 이루어지 며 , 상기 기 액 혼 화기 ( 81 ) 는 상기 세정 외부 하우징 ( 21 ) 과 상기 세정 내부 하우징 ( 22 ) 사이 에 나사 체결 되 고 , 상기 상 부관 ( 322 a ) 과 상기 하 부관 ( 33 ) 사이 에 나사 체결 되 어 고정 된다 .