반사막 ( 204 ) 은 EUV 노 광광 을 반사 하 는 기능 을 가지 며 , 각 층 의 굴절 률 이 상이 한 다층막 구조 를 갖 는다 . 구체 적 으로 는 , 반사막 ( 204 ) 은 Mo 재질 의 층 과 Si 재질 의 층 을 교대 로 40 층 내지 60 층 적층 하 여 형성 한다 . 반사막 ( 204 ) 은 이미지 감도 ( Image Contrast ) 를 좋 게 하 기 위하 여 13 . 5 ㎚ 파장 에 대한 높 은 반사 율 이 요구 되 는데 , 이러 한 다층 반사막 의 반사 강도 ( Reflection Intensity ) 는 노 광광 의 입사 각도 및 각 층 의 두께 에 따라 달라지 게 된다 . 예 를 들 어 , 노 광광 의 입사 각도 가 5 ∼ 6 ˚ 일 경우 , Mo 층 및 Si 층 이 각각 2 . 8 ㎚, 4 . 2 ㎚ 의 두께 로 형성 되 는 것 이 바람직 하 나 , High NA ( Numerical Aperture ) 공법 적용 을 위한 렌즈 의 확대 로 입사 각도 가 8 ∼ 14 ˚ 로 넓 어 질 경우 에 는 입사 각도 에 최적 화 된 반사 강도 를 가지 기 위하 여 Mo 층 은 2 ∼ 4 ㎚, Si 층 은 3 ∼ 5 ㎚ 의 두께 로 형성 될 수 있 다 .