이제 , 일예 로서 , 도 22 에 도시 된 상기 제 2 실시 형태 의 제 2 변형 예 를 설명 한다 . 도 1 및 도 5 에 도시 된 반사 플레이트 ( 25 A 및 25 B ) 대신 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 이동면 ( 정반 ( 12 ) ) 의 전체 면 에 대향 하 는 직사각 형 형상 의 반사 플레이트 ( 25 C ) 가 놓인다 . 하지만 , 반사 플레이트 ( 25 C ) 에는 , 경통 ( 40 ) 과 얼라인먼트 계 ( ALG ) 의 하단 부 를 삽입 하 기 위한 2 개 의 원형 형상 의 개구 가 형성 된다 . 또한 , 반사 플레이트 ( 25 C ) 는 투영 유닛 ( PU ) 등 을 유지 하 는 메인 프레임 의 하면 에 설치 된다 .