본 발명 에서 다 수개 의 솔레노이드 밸브 의 출력 단 에 연결 되 어 제 어부 의 제어 에 따라 제 1 MFC 로 유입 되 는 특정 가스 의 압력 을 일정 하 게 유지 하 기 제 1 레 귤 레이터 와 , 제 3 MFC 와 제 4 MFC 로 유입 되 는 제로 가스 의 유입 압력 을 제 어부 의 제어 에 따라 일정 하 게 유지 하 기 위해 각각 설치 된 제 2 레 귤 레이터 및 제 3 레 귤 레이터 를 더 포함 하 여 이루어진 것 을 특징 으로 한다 .