도시 된 실시 형태 에서 , 샤워 헤드 전극 의 상부 전극 ( 12 ) 은 내부 전극 부재 ( 24 ) , 및 옵션 의 외부 전극 부재 ( 30 ) 를 포함 한다 . 내부 전극 부재 ( 24 ) 는 원통형 플레이트 ( 예 를 들 어 , 실리콘 으로 이루어진 플레이트 ) 가 바람직 하 고 플 라즈 마 - 노출 하부 표면 ( 26 ) 및 상부 표면 ( 28 ) 을 포함 한다 . 내부 전극 부재 ( 24 ) 는 처리 되 는 웨이퍼 보다 더 작 은 , 동일 한 , 또는 더 큰 직경 ( 플레이트 가 실리콘 으로 이루어진 경우 약 8 인치 ( 약 200 mm ) 까지 또는 약 12 인치 ( 약 300 mm ) 까지 ) 를 가질 수 있 다 . 바람직 한 실시 형태 에서 , 샤워 헤드 전극 어셈블리 ( 10 ) 는 300 mm 또는 이 보다 더 큰 직경 을 갖 는 반도체 웨이퍼 와 같 은 큰 기판 을 처리 하 기 에 충분히 크 다 . 300 mm 웨이퍼 에 있 어서 , 상부 전극 ( 12 ) 은 적어도 직경 이 300 mm 이 다 . 그러나 , 샤워 헤드 전극 은 다른 웨이퍼 사이즈 또는 원 이 아닌 구성 을 갖 는 기판 을 처리 하 도록 사이즈 될 수 있 다 . 도시 된 실시 형태 에서 , 내부 전극 부재 ( 24 ) 는 기판 ( 20 ) 보다 더 넓 다 .