다음 에 , 본 발명 의 특징 부인 제 3 층 , 즉 탄소막 을 , 상술 한 대전 방지 막 의 제 2 층 위 에 형성 한다 . 이 탄소막 은 도 5 를 참조 하 여 이하 에 설명 한 것 처럼 형성 한다 . 우선 , 진공 기밀 용기 ( 진공계 ; 2301 ) 중 에 , 일정 범위 전자선 을 주사 할 수 있 는 전자총 ( 2304 ) 을 설치 함 으로써 , 지정 된 범위 에 균일 하 게 전자선 을 조사 할 수 가 있 게 되 어 있 다 . 전자총 ( 2304 ) 은 , 택트 타임 ( tact time ) 단축 을 위해 , 복수 설치 해도 상관없 다 .