도 2 및 도 3 의 분석 결과 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 열처리 후 , La - Al - O 조합 의 고유 전 율 절연 막 은 SiN 과 반응 하 여 전혀 다른 La 5 Si 3 NO 12 의 결정 구조 를 보였 다 . 또한 , 도 3 에서 알 수 있 는 바 와 같이 , Al 원소 는 결정 구조 에 포함 되 어 있 지 않 다는 것 을 알 수 있 었 다 . 즉 , Al 은 존재 는 하 지만 , 결정 화 에 참여 하 지 못하 고 그냥 금속 으로 남 아 있 게 된다 .