기판 처리 시스템 에 , 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 처리 를 행하 기 위한 제 1 프로세스 챔버 ( 23 ) 에 이르 고 , 기판 을 반송 하 기 위한 제 1 반송 유닛 ( 28 ) , 및 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 의 아래쪽 또는 위쪽 에 마련 되 어 , 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 처리 를 행하 기 위한 제 2 프로세스 챔버 ( 24 ) 에 이르 고 , 기판 을 반송 하 기 위한 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 을 마련 한다 . 제 1 프로세스 챔버 ( 23 ) 와 제 2 프로세스 챔버 ( 24 ) 는 상하 방향 으로 겹치 지 않 고 , 평면 적 으로 분리 된 위치 에 배치 된다 . 동시 에 , 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 의 적어도 일부 와 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 적어도 일부 가 상하 방향 으로 겹친다 .