그리고 제 어부 ( 108 ) 는 예 를 들 어 , 컨트롤러 , 프로그램 어 블 로직 컨트롤러 ( PLC ) 또는 컴퓨터 장치 등 으로 구비 되 어 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 공정 처리 에 따른 기판 이송 , 유체 공급 , 스핀 척 구동 등 의 제반 동작 을 제어 한다 . 제 어부 ( 108 ) 는 공정 처리 시 , 스핀 척 ( 104 ) 에 안착 된 기판 ( W ) 을 교차 척 킹 하 도록 제어 하 는 제어 프로그램 을 내부 에 구비 하 고 , 이 를 통해 공정 진행 에 따라 구동 부 ( 130 ) 를 제어 한다 .