덧붙여 세정액 공급 장치 ( 132 ) , 부압 발생 장치 ( 152 ) 등 의 동작 의 제어 는 예 를 들 면 상술 의 제 어부 ( 145 ) 에 의해 행해 지 고 있 어 세정액 공 급구 ( 130 ) 으로부터 의 세정액 의 토출 의 타이밍 이나 토출 압 , 배기구 ( 150 ) 으로부터 의 배기 의 타이밍 이나 배 기압 등 은 제 어부 ( 145 ) 에 의해 제어 되 고 있 다 .