세정 단계 ( ST 6 ) 는 , 가열 단계 ( ST 5 ) 를 실시 한 후 , 피 가 공물 ( 2 ) 을 세정 유닛 ( 40 ) 으로 세정 하 는 단계 이 다 . 세정 단계 ( ST 6 ) 에서 는 , 익스 팬 드 장치 ( 10 ) 는 , 가열 유닛 ( 30 ) 의 유지 테이블 ( 32 ) 의 흡인 유지 등 을 정지 한 후 , 제 2 반송 유닛 ( 52 ) 으로 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 을 세정 유닛 ( 40 ) 까지 반송 한다 . 세정 단계 ( ST 6 ) 에서 는 , 익스 팬 드 장치 ( 10 ) 는 , 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 을 세정 유닛 ( 40 ) 으로 세정 한 후 , 제 1 반송 유닛 ( 51 ) 으로 카세트 ( 13 ) 내 에 수용 한다 . 익스 팬 드 장치 ( 10 ) 는 , 카세트 ( 13 ) 내 의 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 의 익스 팬 드 시트 ( 3 ) 를 차례 로 확장 하 여 피 가 공물 ( 2 ) 을 개개 의 칩 ( 9 ) 으로 분할 하 고 , 카세트 ( 13 ) 내 의 모든 피 가 공물 유닛 ( 1 ) 의 익스 팬 드 시트 ( 3 ) 를 확장 하 여 피 가 공물 ( 2 ) 을 개개 의 칩 ( 9 ) 으로 분할 하 면 , 가공 동작 을 종료 한다 .