그 후 , 도 2 c 및 도 3 c 에 나타나 있 는 바 와 같이 , 외측 을 향한 정 ( 正 ) 응력 ( positive stress ) 을 주위 에 가하 는 절연 성 의 팽창 막 ( 11 ) 을 응력 인가 막 으로서 전체 면 에 형성 한다 . 팽창 막 ( 11 ) 으로서 는 , 예 를 들 면 열 CVD ( chemical vapor deposition ) 법 에 의해 형성 된 실리콘 질화 막 을 들 수 있 다 .