본 명세서 전반 에 걸쳐 , 치수 , 방향 및 배향 은 때때로 다음 의 도면 들 중 몇몇 에 또한 도시 되 는 직교 좌표계 에 적용 된다 . 이때 , x - y 평면 은 복제 도구 및 기판 의 큰 , 전체 적 으로 평탄 한 면 에 의해 규정 된다 . z - 방향 은 그것 에 수직 한 방향 이 다 . 이러 한 좌표계 의 정의 는 본 명세서 전반 에 걸쳐 그리고 모든 도면 에 대해 사용 된다 . 예 를 들 어 , " 복제 된 구조 체의 z - 치수 는 항상 기판 의 큰 표면 에 수직 하 게 측정 되 는 복제 된 구조 체의 두께 를 나타낸다 . 용어 "" 측 방향 "" 및 "" 반경 방향 "" 은 x - y 평면 에서 의 방향 을 지칭 ( 그리고 광학 요소 축 또는 광학 요소 중심선 을 지칭 할 수 있 음 ) 하 는 반면 에 "," "" 두께 "" 는 z - 방향 으로 의 연장 범위 를 지칭 한다 . "