이 로 인해 , 감합 홈 ( FG ) 에 감합 된 베이스 부재 ( 20 ) 에 고정 된 복수 의 기판 지지 핀 ( 30 ) 뿐 이 아니 라 , 내측 하 면 ( IL ) 에 직접 적 으로 형성 된 홈 에 감합 된 베이스 부재 ( 20 ) 에 고정 된 복수 의 기판 지지 핀 ( 30 ) 에 의해 기판 ( S ) 을 지지 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 상술 한 실시 형태 에 의해 얻 어 지 는 효과 와 더불 어 , 기판 ( S ) 을 지지 하 는 기판 지지 핀 ( 30 ) 의 개수 가 많 아 지 고 , 기판 ( S ) 이 보다 대형 화 하 더라도 기판 ( S ) 의 휨 양 을 줄이 면서 , 로드 락 챔버 ( 10 ) 의 내부 에서 기판 ( S ) 을 수평 으로 유지 할 수 있 다는 효과 도 얻 을 수 있 다 .