절연 층 ( 81 ) 의 일부 에 개구부 ( 38 ) 가 제공 되 어 있 다 . 개구부 ( 38 ) 에서 , 도전 층 들 ( 33 a 및 21 ) 이 전기 적 으로 서로 접속 되 어 있 다 . 절연 층 ( 82 ) 의 일부 에 개구부 ( 72 및 74 ) 가 제공 되 어 있 다 . 개구부 ( 72 ) 에서 , 도전 층 들 ( 53 및 51 ) 이 전기 적 으로 서로 접속 되 어 있 다 . 개구부 ( 74 ) 에서 , 도전 층 들 ( 53 및 33 c ) 이 전기 적 으로 서로 접속 되 어 있 다 . 도전 층 ( 51 및 33 c ) 은 도전 층 ( 53 ) 을 개재 하 여 전기 적 으로 서로 접속 되 어 있 다 .