상기 다른 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 상변화 메모리 소자 의 형성 방법 에 있 어서 , 개구 를 갖 는 절 연막 패턴 을 형성 한다 . 상기 개구 를 매립 하 도록 상기 절 연막 패턴 상 에 , 티타늄 을 포함 하 는 제 1 소스 및 질소 를 포함 하 는 제 2 소스 를 반응 시켜 반응물 을 형성 하 고 , 알루미늄 을 포함 하 는 제 3 소스 및 질소 를 포함 하 는 제 4 소스 를 상기 반응물 과 반응 시켜 티타늄 알루미늄 질화 막 을 형성 한다 .