이어서 , 게이트 밸브 ( G 16 ) 가 폐쇄 되 는 동시 에 , 온도 조절 실 ( 333 ) 에 대한 게이트 밸브 ( G 32 ) 가 개방 되 고 , 진공 반 송실 ( 313 ) 과 온도 조절 실 ( 333 ) 이 연통 된다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 503 ) 의 반송 아암 ( 513 ) 이나 온도 조절 실 ( 333 ) 내 의 웨이퍼 승강 기구 ( 220 ) 등 을 이용 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 가 온도 조절 실 ( 333 ) 내 의 미리 고온 이 된 탑재 대 ( 210 ) 에 탑재 된다 .