( 1 ) 제조 장치 의 작동 프로세스 , 제조 장치 에 공급 된 가스 의 종류 및 가스 의 유량 의 정보 가 진공 펌프 장치 및 / 또는 배기 가스 처리 장치 를 제어 하 기 위해 제어기 내 에 입력 되 기 때문 에 , 진공 펌프 장치 는 최적 의 펌핑 능력 에서 작동 될 수 있 고 , 배기 가스 처리 장치 는 제조 장치 에 공급 된 가스 의 종류 및 가스 의 유량 에 따라 최적 의 처리 능력 에서 작동 될 수 있 다 . 따라서 , 진공 펌프 장치 내 의 전력 소비 가 프로세스 성능 을 저하 하 지 않 고 감소 될 수 있 다 . 또한 , 배기 가스 처리 장치 내 의 연료 , 전력 소비 등 이 감소 될 수 있 고 , 에너지 절약 이 성취 될 수 있 다 .