기판 을 취 출 할 경우 에 는 , 로봇 암 ( 34 ) 을 취 출하 고자 하 는 기판 이 수납 된 백 선반 프레임 ( 16 ) 의 위치 보다 아래 로 이동 시킨 다음 , 카세트 ( 10 ) 내 로 전진 시키 고 업 ( up ) 하 여 해당 백 선반 프레임 ( 16 ) 상 에 수납 된 기판 ( 40 ) 을 언 로딩 하 고 , 이후 후진 동작 을 수행 한다 . 이러 한 이재 동작 은 제 2 반사판 ( 17 b ) 과 위치 감지 센서 ( 35 ) 를 통해 체크 한 후 수행 될 것 이 다 .