여기 서 , 산화물 반도체 층 ( 644 ) 은 수소 등 의 불순물 이 충분히 제거 됨 으로써 또는 충분 한 산소 가 공급 됨 으로써 고 순도 화 된 것 이 바람직 하 다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 어 산화물 반도체 층 ( 644 ) 의 수소 농도 는 5 × 1019 atoms / ㎤ 이하 , 바람직 하 게 는 5 × 1018 atoms / ㎤ 이하 , 보다 바람직 하 게 는 5 × 1017 atoms / ㎤ 이하 로 한다 . 또한 , 산화물 반도체 층 ( 644 ) 의 알칼리 금속 원소 의 농도 를 저감 시키 면 된다 . 예 를 들 어 , Na 의 농도 는 5 × 1016 atoms / ㎤ 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1016 atoms / ㎤ 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 1 × 1015 atoms / ㎤ 이하 로 하 고 , Li 의 농도 는 5 × 1015 atoms / ㎤ 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 atoms / ㎤ 이하 로 하 고 , K 의 농도 는 5 × 1015 atoms / ㎤ 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 atoms / ㎤ 이하 로 하 면 된다 .