바람직 한 제 3 구 현예 에서 , 불소 원소 와 카보닐 플 루오 라이드 가 함께 적용 된다 . 카보닐 플 루 오 라 이드 에 대한 불소 원소 의 몰 비 는 바람직 하 게 1 : 99 내지 99 : 1 의 범위 에 속한다 . 바람직 하 게 , 불소 원소 와 카보닐 플 루오 라이드 의 혼합물 은 산소 및 / 또는 비활성 가스 로 희석 되 며 , 바람직 하 게 는 질소 나 또는 희가스 로 희석 된다 . 혼합물 을 바람직 하 게 는 제 1 구 현예 에서 전술 한 바 와 같이 구성 하 며 , " 단 "" 불소 원소 "" 대신 에 "" 불소 원소 와 카보닐 플 루오 라이드 의 혼합물 "" 을 사용 한다 . 불소 원소 와 아르곤 의 부피 의 합 이 60 vol % 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 촉매 의 존재 하 에서 ", F 2 와 COF 2 가 서로 반응 함 으로써 하이포 플 루 오 라이 트인 플 루 오 로 옥시 트리플 루오 로 메탄 을 특히 형성 할 수 있 다는 것 을 주목 한다 . 본 발명 의 방법 에서 , 바람직 하 게 이러 한 반응 은 수행 되 지 않 는다 . 따라서 , 이러 한 촉매 는 식각 단계 가 수행 되 는 반응기 내 에 존재 하 지 않 는다 .