이제 도 5 를 참조 하 면 , 도 1 에 의해 설명 된 수직 기판 세정 및 건조 챔버 메커니즘 의 외관 의 3 차원 챔버 ( 500 ) 의 예 가 도시 된다 . 3 차원 챔버 ( 500 ) 는 , 3 차원 챔버 ( 500 ) 의 제 1 부분 ( 510 ) 에 기계 적 으로 결합 된 제 1 필터 유닛 ( 501 ) 및 3 차원 챔버 ( 500 ) 의 제 2 부분 ( 530 ) 에 결합 된 제 2 필터 유닛 ( 503 ) 을 포함 하 는 것 으로 도시 된다 .