도 32 는 본 발명 의 실시 예 들 에 따른 절연 구조물 들 의 두께 에 대한 질소 의 농도 를 측정 한 결과 를 나타내 는 그래프 이 다 . 도 32 에 있 어서 , " "" XI "" 은 라디칼 산화 공정 및 열 질화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 질소 의 농도 를 나타내 고 "," "" XII "" 는 라디칼 산화 공정 및 질소 어닐링 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 질소 의 농도 를 가리킨다 . 또한 "," "" XIII "" 은 라디칼 산화 공정 및 플 라즈 마 질화 공정 을 통해 수득 된 절연 구조물 의 두께 에 따른 질소 의 농도 를 의미 한다 . "