기층 ( 101 ) 은 , 환상 올레핀 개환 중합 / 수소 첨 가체 ( COP ) 나 환상 올레핀 공중 합체 ( COC ) 등 의 환상 올레핀 계 수지 , 아크릴 수지 , 폴리카보네이트 ( polycarbonate ) , 비닐에테르 , 퍼플 루오 로 알 콕 시알 칸 ( PFA ) , 폴리테트라플루오로에틸렌 ( PTFE ) , 폴리스티렌 , 폴리 이미드 계 수지 등 의 열가소성 수지 로 이루어지 는 필름 에 의해 형성 된다 . 또 , 패턴 의 치수 안정 성 의 관점 으로부터 , 기층 ( 101 ) 에 사용 하 는 열가소성 수지 의 흡수율 은 3 % 이하 인 것 이 바람직 하 다 .