본 발명 의 노광 설비 용 냉각 시스템 에 있 어서 , 상기 챔버 의 하측 에 연결 되 고 , 상기 반사판 을 통해 상기 반사 미러 로 전달 되 는 평행 광 의 경로 를 확보 해 주 는 보조 챔버 ; 를 더 포함 하 되 , 상기 보조 챔버 의 측면 에 설치 되 어 내부 온도 를 일정 하 게 유지 시킬 수 있 도록 저온 의 물 이 공급 및 순환 되 는 수 냉 순환 관 ; 이 구비 된다 .