또한 , 상기 폴리 카르복시산 계 폴리머 는 , 불포화 카르복시산 에 유래 하 는 구조 단위 를 가지 는 음 이온 계 폴리머 이 다 . 음 이온 계 폴리머 대신 , 불포화 카르복시산 에 유래 하 는 구조 단위 를 가지 지 않 는 양이온 계 폴리머 ( 폴리 알릴아민 등 ) 를 단독 으로 , 사용 한 경우 , 양 이온 계 폴리머 는 , 텅스텐 재료 에 대하 여 에칭 억제 효과 를 나타낼 수 있 지만 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 ( 산화 규소 등 ) 에 대하 여 매우 견고 하 게 흡착 하 는 것 으로 여겨 지 며 , 텅스텐 재료 및 절연 재료 의 연마 속도 를 과잉 으로 저하 시킨다 . 이 와 같 은 텅스텐 재료 및 절연 재료 의 연마 속도 의 과잉 한 저하 는 , 상기 폴리 카르복시산 계 폴리머 에서 는 관찰 되 지 않 는다 .