웨이퍼 스테이지 ( WST ) 는 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 스테이지 본체 ( 30 ) 와 그 상부 의 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 을 갖 고 , 스테이지 본체 ( 30 ) 의 저부 에 는 , 상기 코일 유닛 과 함께 , 자기 부상 형 의 평면 모터 를 구성 하 는 , 복수 의 자석 을 갖 는 자석 유닛 ( 31 ) 이 형성 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 코일 유닛 은 , X 축 방향 구동 코일 및 Y 축 방향 구동 코일 뿐 만 아니 라 Z 축 방향 구동 코일 도 갖 고 있 고 , 이 들 코일 유닛 와 상기 서술 한 자석 유닛 에 의해 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 X 축 방향 , Y 축 방향 , Z 축 방향 , θ x 방향 , θ y 방향 및 θ z 방향 의 6 자유 도 방향 으로 구동 하 는 , 전자력 구동 방식 ( 로렌츠 력 구동 방식 ) 의 무빙 마그넷 형 평면 모터 ( 2 차원 리니어 액추에이터 ) 가 구성 되 어 있 다 . 상기 평면 모터 를 포함 하 여 , 웨이퍼 스테이지 구동 계 ( 27 ) 가 구성 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 코일 유닛 을 구성 하 는 각 코일 에 공급 되 는 전류 의 크기 및 방향 이 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 제어 된다 .