이때 , 상기 제 1 고정대 와 상기 제 2 고정대 의 유동 은 실질 적 으로 , 정밀 하 게 제어 가 가능 하 면서 오염 가능 성 이 적 은 공 압 방식 을 사용 하 는 것 이 바람직 할 수 있 다 . 하지만 , 상기 이송 챔버 ( 200 ) 의 사이즈 가 매우 방대 하 여 제 1 고정대 와 제 2 고정대 에 큰 동력 이 필요 하 다면 유압 방식 을 사용 할 수 도 있 다 .