상기 자외선 조사 장치 ( 10 ) 는 기존 의 합착 장치 에 사용 되 는 것 과 같이 챔버 의 일 측 에서 기판 의 표면 을 향해 자외선 을 조사 하 는 긴 램프 형상 ( 미 도시 ) 으로 형성 될 수 있 으나 아래 의 설명 과 같이 상부 스테이지 와 하부 스테이지 사이 에서 이동 가능 하 게 구성 함 이 바람직 하 며 , 이러 한 실시 예 가 본원 발명 의 청구 범위 를 제한 하 는 것 은 아니 다 .