도 4 를 참조 하 면 , 구동 모터 ( 310 ) 에서 발생 된 회전력 이 벨트 ( 330 ) 에 의해 회전축 ( 200 ) 으로 전달 되 어 스핀 헤드 ( 100 ) 가 회전 된다 . 이 에 따라 , 스핀 헤드 ( 100 ) 상 에 장착 된 기판 ( W ) 이 회전 한다 . 이 때 , 회전축 ( 200 ) 에 설치 된 백 노즐 어셈블리 ( 400 ) 의 약액 분사 부 ( 420 ) 에 형성 된 다수 의 분사 홀 ( 422 ) 들 로부터 기판 ( W ) 배면 의 반경 방향 으로 복수 의 지점 에 약액 이 분사 된다 . 그리고 , 이 와 동시 에 스핀 헤드 ( 100 ) 와 노즐 몸체 ( 410 ) 의 사이 로 는 약액 의 침투 를 방지 하 기 위한 질소 퍼지 가스 가 퍼지 가스 공급 라인 ( 416 ) 을 통해 공급 된다 . 또한 , 기판 의 배면 에 는 식각 균일 도 조 절 을 위한 질소 가스 가 가스 공급 라인 ( 414 ) 을 통해 공급 된다 .