측정 마스크 ( 20 F ) 및 측 정부 ( 30 F ) 를 사용 해서 X 방향 으로 로컬 플레어 를 측정 하 는 경우 를 생각 한다 . 차광판 ( 320 ) 의 개구부 ( 322 ) 의 위치 를 측정 패턴 ( 210 ) 의 차 광부 ( 212 ) 의 투영 상 의 위치 와 맞추 어서 , 광량 센서 ( 340 ) 을 X 방향 으로 한 스텝 씩 이동 시키 면서 로컬 플레어 를 측정 한다 . 한편 , 측정 마스크 ( 20 F ) 및 측 정부 ( 30 F ) 를 사용 해서 Y 방향 으로 로컬 플레어 를 측정 하 는 경우 를 생각 한다 . 차광판 ( 320 ) 개구 부 ( 322 ') 의 위치 를 측정 패턴 ( 210 ') 의 차 광부 ( 212 ) 의 투영 상 의 위치 와 맞추 어서 , 동일 한 방법 으로 로컬 플레어 를 측정 한다 .