이어서 , 제 1 완충 막 ( 103 ) 상 에 제 1 희생 막 ( 104 ) 을 형성 한다 . 이때 , 제 1 희생 막 ( 104 ) 은 후속 트렌치 를 형성 하 기 위한 식각 공정 시 도전 막 ( 102 ) 을 보호 하 는 기능 을 수행 하 는 한편 , 후속 CMP ( Cemical Mechanical Polishing ) 공정 시 연마 정지 막 으로 도 기능 한다 .