상기 분사 플레이트 ( 220 ) 는 확산 플레이트 ( 220 ) 의 저면 과 간격 을 두 고 설치 되 어 제 2 확산 공간 ( DS 2 ) 을 형성 하 기 위한 구성 으로서 판상 의 부재 로 형성 될 수 있 으며 가장 자리 는 별도 의 프레임 ( 미 도시 ) 또는 일체 화 된 프레임 에 의하 여 상부 리드 ( 120 ) 또는 챔버 본체 ( 110 ) 에 설치 될 수 있 다 . 여기 서 상기 분사 플레이트 ( 220 ) 는 다른 구성 과 결합 되 지 않 고 확산 플레이트 ( 210 ) 에 결합 될 수 있 음 은 물론 이 다 .