유기 용제 노즐 ( 442 c ) 은 프리 웨트 ( Pre - wet ) 공정 을 위한 유기 용제 를 기판 상 으로 토출 하 고 , 회전 구동 부재 ( 도 5 의 도면 참조 번호 412 ) 는 기판 지지 부재 ( 410 ) 를 회전 시켜 기판 ( W ) 을 회전 시킨다 . 기판 ( W ) 상 으로 유기 용제 가 공급 되 는 동안 기판 ( W ) 의 회전 에 의해 비산 되 는 유기 용제 는 용기 ( 420 ) 의 배기관 ( 426 ) 을 통해 외부 로 배출 된다 . 기판 ( W ) 상 으로 유기 용제 를 공급 하 는 프리 웨트 공정 이 완료 되 면 , 유기 용제 노즐 ( 442 c ) 내 의 유기 용제 는 석 백 밸브 ( 도 8 의 도면 참조 번호 453 c ) 의 흡입 작용 에 의해 토출 방향 의 반대 방향 으로 후퇴 한다 .