하부 금속 특징 부 ( 232 ) 및 상부 금속 특징 부 ( 236 ) 는 각각 갭 충전 능력 및 전도 성 을 조정 하 도록 상이 한 금속 조성 을 갖 는다 . 단층 전도성 특징 부 와 비교 하 면 , 구리 와 같 은 하나 의 금속 이 트렌치 를 채우 며 상부 로부터 하부 로 연장 하 고 , 이 는 진보 된 기술 노드 에서 트렌치 의 높 은 종횡비 로 인해 갭 충전 문제 와 저항 문제 둘 다를 경험 한다 . 더 나 은 갭 충전 능력 을 갖 도록 하나 의 금속 이 선택 된다면 , 이 는 전도 성 을 희생 할 것 이 며 , 높 은 저항 으로 이어질 것 이 다 .