이 를 통해 본 실시 예 에서 는 몸 체부 ( 510 ) 중심 영역 과 가장자리 영역 으로 인가 되 는 전원 의 별도 관리 가 가능 하 다 . 즉 , 고정 전원 공급 부 ( 540 ) 은 기판 고정 전원 을 제 1 전극 ( 520 ) 에 공급 한다 . 고정 전원 공급 부 ( 540 ) 의 기판 고정 전원 으로 직류 전압 ( DC ) 을 사용 한다 . 직류 전원 을 공급 받 은 제 1 전극 ( 520 ) 에 의해 몸 체부 ( 510 ) 중심 영역 에서 기판 ( 10 ) 을 파지 할 수 있 게 된다 . 직류 전원 으로 400 내지 2000 V 의 전압 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .