본 형태 의 산업 용 로봇 ( 1 ) ( 이하 , 「 로봇 ( 1 ) 」 이 라고 함 ) 은 , 반송 대상물 인 반도체 웨이퍼 ( 2 ) ( 이하 , 「 웨이퍼 ( 2 ) 」 라고 함 ) 를 반송 하 기 위한 수평 다 관절 형 로봇 이 다 . 로봇 ( 1 ) 은 , 예 를 들 어 웨이퍼 ( 2 ) 에 대하 여 소정 의 처리 를 행하 는 처리 장치 ( 도시 생략 ) 로부터 의 웨이퍼 ( 2 ) 의 반출 및 처리 장치 에 의 웨이퍼 ( 2 ) 의 반입 을 행한다 . 웨이퍼 ( 2 ) 는 , 원판 형 으로 형성 되 어 있 다 .