좁 은 스페이스 에서 대형 기판 을 반송 할 수 있 는 진공 장치 를 제공 한다 . 본 발명 의 진공 장치 ( 20 ) 는 하부 롤러 와 , 가압 롤러 와 , 가압 기구 를 복수 씩 갖 고 있 으며 , 기판 ( 7 ) 은 반송 롤러 ( 23 ) 와 반송 롤러 ( 23 ) 사이 의 위치 에서 , 하부 롤러 와 가압 롤러 사이 에 끼워 넣 어 지 므로 , 기판 ( 7 ) 이 전도 되 지 않 는다 . 기판 ( 7 ) 은 가압 롤러 에 접촉 하 고 가압 롤러 를 되 밀 어 가압 롤러 와 하부 롤러 사이 에 끼워 넣 어 지 므로 , 기판 ( 7 ) 이 끼워 넣 어 질 때 에 파손 되 지 않 는다 .