인접 하 는 처리 블록 ( Ｂａ , Ｂｂ ) 의 동일 한 계층 ( Ｋ １ , Ｋ ２ ) 의 주 반송 기구 ( Ｔ １ , Ｔ ２ ) 끼리 는 기판 ( Ｗ ) 을 주고받 기 가능 하 며 , 계층 ( Ｋ １ , Ｋ ２ ) 이 기판 처리 열 ( Ｌｕ ) 을 구성 한다 . 마찬가지 로 , 주 반송 기구 ( Ｔ ３ , Ｔ ４ ) 끼리 는 기판 ( Ｗ ) 을 주고받 기 가능 하 며 , 계층 ( Ｋ ３ , Ｋ ４ ) 이 기판 처리 열 ( Ｌｄ ) 을 구성 한다 .