구동 롤러 ( 13 ) 를 지지 하 는 지지 프레임 ( 140 ) 이 구비 된다 . 지지 프레임 ( 140 ) 은 각 구동 롤러 ( 13 ) 의 양측 에 구비 되 어서 구동 롤러 ( 13 ) 를 지지 하 도록 형성 된다 . 여기 서 , 지지 프레임 ( 140 ) 은 구동 롤러 ( 13 ) 를 지지 하 면서 , 후술 하 는 연마 패드 교체 부 ( 15 ) 의 수평 이동 가이드 ( 150 ) 에 접촉 되 도록 형성 된다 .