또한 , 본 발명 에 따르 면 복수 개 의 그립 퍼 에 의한 기판 의 그립 이 , 기판 의 일변 을 마주 하 는 기판 의 다른 일변 을 향하 는 방향 을 따라 순차 적 으로 해제 되 도록 하 는 것 에 의하 여 , 기판 의 밀림 현상 없이 기판 을 정확 한 위치 에 로딩 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 특히 , 복수 개 의 그립 퍼 중 일부 의 그립 이 해제 되 면 , 기판 의 일부 부위 가 스테이지 에 접촉 된 상태 에서 기판 의 나머지 부위 는 그립 유닛 에 그립 된 상태 ( 고정 상태 ) 로 유지 되 기 때문 에 , 기판 이 스테이지 에 최초 접촉 할 시 기판 의 위치 가 틀 어 짐 을 억제 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .