상기 와 같이 , 본 발명 에 따른 액정 표시 소자 의 진공 장치 에서 는 로드 락 ( 132 ) 의 내부 에 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 를 설치 하 고 그 외부 에 도 상기 로드 락 컨베이어 ( 150 ) 와 연결 되 는 제 1 컨베이어 ( 153 ) 및 제 2 컨베이어 ( 154 ) 를 설치 하 여 상기 컨베이어 ( 150 , 153 , 154 ) 를 통해 로드 락 ( 132 ) 에 기판 ( 101 ) 을 공급 하 고 취 출한 다 . 따라서 , 로보트 에 의해 기판 을 공급 하 던 종래 에 비해 신속 한 기판 ( 101 ) 의 공급 및 취 출 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 로드 락 ( 132 ) 의 양 측면 에 입 구 ( 137 a ) 및 출구 ( 137 b ) 를 설치 하 고 기판 ( 101 ) 의 공급 및 취 출 을 상기 입구 ( 137 a ) 및 출구 ( 137 b ) 을 통해 하 므로 , 연속 적 인 기판 ( 101 ) 의 공급 및 취 출 이 가능 하 게 되 어 공정 을 신속 하 게 진행 할 수 있 게 된다 .