상기 와 같이 웨이퍼 세트 가 형성 된 후 에 , 테이프 ( T 2 ) 의 중심 이 링 프레임 ( F ) 의 중심 ( 개구 ( Fc ) 의 중심 ) 과 일치 하 여 점착 되 어 있 는지 여부 를 확인 하 기 위해서 , 도 1 , 도 5 , 및 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 테이프 마운 터 ( 1 ) 는 , 링 프레임 ( F ) 의 상면 ( Fa ) 에서 테이프 ( T 2 ) 가 점착 되 어 있 어야 할 영역 의 측정 점 에 측정 광 을 투광 하 는 투광 부 ( 60 ) ( 도 6 에 만 도시 ) 와 , 측 정점 에서 반사 한 반사광 을 수 광 하 는 수 광부 ( 61 ) ( 도 6 에 만 도시 ) 를 포함 하 는 센서 ( 6 ) 와 , 수 광부 ( 61 ) 가 수광 하 는 수광량 에 대한 기준치 를 설정 하 는 설 정부 ( 90 ) 와 , 테이프 ( T 2 ) 의 중심 이 링 프레임 ( F ) 의 중심 ( 개구 ( Fc ) 의 중심 ) 과 일치 하 여 점착 되 어 있 는지 여부 를 판단 하 는 판 단부 ( 92 ) 를 포함 하 고 있 다 .