이러 한 도면 에 있 어서 , 6 - 1 은 제 1 평면 플레이트 , 6 - 2 는 제 2 평면 플레이트 , 9 - 1 , 9 - 2 는 워크 , 14 는 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 에 구획 되 는 플레이트 ( 6 ) 상 에 유지 된 워크 ( 9 ) 를 처리 하 는 워크 처 리부 , 15 , 16 은 , 스테이지 베이스 ( 1 ) 상 에 구획 되 고 , 각각 워크 처 리부 ( 14 ) 에 인접 해 배치 되 어 워크 처 리부 ( 14 ) 에 미처리 워크 ( 9 ) 를 유지 한 플레이트 ( 6 ) 를 반입 또는 워크 처 리부 ( 14 ) 로부터 처리 가 완료 된 워크 ( 9 ) 를 유지 한 플레이트 ( 6 ) 를 반출 하 는 제 1 플레이트 반입 반 출부 및 제 2 플레이트 반입 반 출부 , 17 , 18 은 각각 플레이트 반입 반 출부 ( 15 , 16 ) 의 플레이트 ( 6 ) 상 에 장치 외부 로부터 미처리 워크 ( 9 ) 를 반입 또는 플레이트 반입 반 출부 ( 15 , 16 ) 의 플레이트 ( 6 ) 상 의 처리 가 완료 된 워크 ( 9 ) 를 장치 외부 로 반출 하 는 제 1 워크 반입 반출 기구 및 제 2 워크 반입 반출 기구 , 19 는 핸들러 , 21 - 1 ∼ 21 - 14 는 X 방향 추력 발생 수단 , 22 - 1 ∼ 22 - 13 은 Y 방향 추력 발생 수단 이 다 .