다음 으로 , 반송 장치 ( 30 ) 에 대하 여 상세히 설명 한다 . 상술 한 바 와 같이 , 반송 장치 ( 30 ) 는 처 리조 ( 40 ) 의 웨이퍼 수용 가능 매수 미만 의 매수 , 구체 적 인 예 로서 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 를 동시 에 반송 할 수 있 다 . 그리고 , 반송 장치 ( 30 ) 는 전달 유닛 ( 25 ) 이나 , 처 리조 ( 40 ) , 린스 장치 ( 50 ) 및 처리 유닛 ( 60 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수취 할 수 있 다 . 또한 , 반송 장치 ( 30 ) 는 전달 유닛 ( 25 ) 이나 , 처 리조 ( 40 ) , 린스 장치 ( 50 ) 및 처리 유닛 ( 60 ) 으로 웨이퍼 ( W ) 를 인도 할 수 있 다 .