상기 샤워 헤드 ( 20 ) 는 챔버 ( 1 ) 의 천정 벽 부분 에 지지 테이블 ( 2 ) 에 대향 하 도록 마련 되 어 있 다 . 이 샤워 헤드 ( 20 ) 는 그 하면 에 다수 의 가스 토출 구멍 ( 22 ) 이 마련 되 어 있 고 , 또한 그 상부 에 가스 도입부 ( 20 a ) 를 갖 고 있 으며 , 또한 그 내부 에 는 공간 ( 21 ) 이 형성 되 어 있 다 . 가스 도입부 ( 20 a ) 에 는 밸브 ( 23 ) 를 갖 는 가스 공급 배관 ( 24 ) 이 접속 되 어 있 으며 , 이 가스 공급 배관 ( 24 ) 의 타단 에 는 에칭 가스 및 희석 가스 로 이루어지 는 처리 가스 를 공급 하 는 처리 가스 공급계 ( 25 ) 가 접속 되 어 있 다 .