진공 흡착 방식 으로 기판 을 파지 하 기 위하 여 이 동부 ( 200 ) 에 는 에어 홀 ( 210 ) ( 도 3 참조 ) 이 구비 될 수 있 다 . 에 어 홀 ( 210 ) 은 기판 을 향하 는 이 동부 ( 200 ) 의 일면 에 배치 될 수 있 다 . 기판 을 향하 는 이 동부 ( 200 ) 의 일면 에 기판 이 밀착 하 여 고정 될 수 있 는 것 으로서 , 이하 해당 면 을 진공 흡 입면 이 라 한다 . 또한 , 이 동부 ( 200 ) 에 구비 된 에어 홀 ( 210 ) 을 진공 에어 홀 이 라 한다 .