도 9 에 , 본 발명 의 제 2 실시 예 에 관한 반도체 장치 의 시험 장치 의 평면도 를 도시 한다 . 또한 , 도 10 에 , 도 9 의 선 Y - Y 으로 잘라 , 화살표 로 도시 하 는 방향 에서 본 도면 을 도시 한다 . 또한 , 도 9 및 도 10 에서 , 도 1 및 도 2 에 도시 한 장소 와 동 일 한 장소 에 는 동일 한 번호 를 부여 하 고 , 그 설명 을 생략 한다 .