표시 장치 의 생산 제조 설비 에 사용 되 는 청정 유지 시스템 에 있 어서 , 청정 유지 시스템 은 표시 장치 의 생산 제조 설비 를 수용 하 는 수용 공간 을 형성 하 는 챔버 유닛 과 , 챔버 유닛 의 일 측면 에 부착 되 어 , 수용 공간 내 에서 수평기 류 를 형성 하 는 제 1 기류 유도 유닛 을 포함 한다 . 이 에 의하 여 , 이 물질 이 작업 대상 에 영향 을 주 는 것 을 최소 화 할 수 있 다 .