제 1 처리 유닛 ( 40 ) 은 제 1 공정 챔버 들 ( process chabmer ) ( 42 ) 및 제 1 트랜스퍼 챔버 ( first transfer chamber ) ( 44 ) 를 포함 한다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 공정 시 기판 ( W ) 을 처리 하 는 공정 을 수행 한다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 44 ) 의 양측 에 각각 하나 씩 배치 된다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 은 서로 동일 한 구성 및 구조 를 가진다 . 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 에 는 기판 ( W ) 이 출입 되 기 위한 기판 출입구 ( 42 a ) 가 제공 된다 . 또한 , 제 1 공정 챔버 들 ( 42 ) 의 내부 에 는 공정 시 기판 ( W ) 을 지지 하 는 척 ( chuck ) ( 42 b ) 이 구비 된다 .