구제 처리 유닛 ( 16 b ) 은 , 보완 처리 프로세스 를 실행 가능 한 처리 유닛 ( 16 ) 이 라면 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 어 , 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 과 동일 구성 을 갖 는 정상 의 처리 유닛 ( 16 ) 을 , 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 으로서 적합 하 게 사용 할 수 있 다 . 제 어부 ( 18 ) ( 예 를 들 어 처리 실행 부 ( 25 ) ) 는 , 캐리어 적 재부 ( 11 ) 에 놓여 있 는 복수 의 웨이퍼 ( W ) 전체 의 기판 처리 프로세스 에 따라 , 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 을 선정 하 는 것 이 가능 하 다 . 전형 적 으로 는 , 복수 의 웨이퍼 ( W ) 각각 에 는 , 처리 ( 특히 기판 처리 프로세스 ) 의 순번 이 할당 됨 과 함께 , 그 처리 의 순번 에 따른 처리 유닛 ( 16 ) 이 할당 된다 . 구제 웨이퍼 의 보완 처리 프로세스 는 , 모든 미처리 웨이퍼 ( W ) 의 기판 처리 프로세스 완료 후 에 행하 여져 도 되 고 , 미처리 웨이퍼 ( W ) 의 일부 또는 전부 의 기판 처리 프로세스 에 앞서 행하 여져 도 된다 . 이 와 같이 하 여 구제 웨이퍼 에 는 보완 처리 프로세스 를 행하 기 위한 새로운 처리 의 순번 이 할당 되 어 , 당해 새로운 처리 의 순번 에 따른 처리 유닛 ( 16 ) 을 구제 처리 유닛 ( 16 b ) 으로서 사용 할 수 있 다 .