표 5 의 결과 로부터 , i 선 노광 의 스크리닝 평가 로 365 ㎚ 의 조사 에 대하 여 증감 효과 가 있 다고 인정 된 증감제 의 전구체 를 사용 한 경우 에 만 , 전자선 노광 에 의한 감방 사선 성 산 발생 제 로부터 의 산 발생 으로 전구체 가 증감제 로 변환 되 고 , 이것 에 이어지 는 365 ㎚ 의 광 의 전체 면 조사 에 의해 증감 효과 로 감방 사선 성 산 발생 제 의 분해 가 보다 촉진 되 고 , 그 결과 , 작 은 전자선 노광량 에서 의 중합체 의 탈 보호 , 해상 을 실현 할 수 있 었 던 것 으로 추측 된다 .