먼저 , 측정 대상 웨이퍼 ( 14 ) 를 계측 장비 와 전기 적 연결 을 위한 자동 프로브 스테이션 ( 10 ) 에 위치 시키 고 , 프로브 카드 ( 20 ) 를 웨이퍼 ( 14 ) 의 제 1 및 제 2 테스트 패드 에 연결 한다 . 다음 으로 , 게이트 전류 를 측정 하 기 위하 여 , 직류 측정 장치 ( 42 ) 및 커패시턴스 측정 장치 ( 44 ) 를 프로브 카드 ( 20 ) 에 접속 시킨다 . 여기 서 , 게이트 전류 를 측정 할 경우 측 정부 ( 40 ) 의 로우 단자 ( 50 ) 는 웨이퍼 ( 14 ) 의 게이트 전극 에 접속 된 제 1 테스트 패드 에 접속 되 고 , 하이 단자 ( 52 ) 는 액티브 전극 에 접속 된 제 2 테스트 패드 및 웨이퍼 ( 14 ) 에 접속 된다 . 이때 , 외부 의 빛 또는 전자파 에 의한 측정 데이터 의 왜곡 을 방지 하 기 위하 여 암상자 ( Dark box or Shielding Box ) 를 이용 하 여 자동 프로브 스테이션 ( 10 ) 을 외부 의 영향 으로부터 차폐 시키 도록 한다 . 제 1 단계 ( S 1 )