마이크 로 요동 소자 어레이 Y 2 에서 , 프레임 ( 31 ) 의 제 1 층 부 ( 31 a ) 는 , 각 부분 ( 31 a ') 을 제외 하 고 , 모든 마이크 로 요동 소자 X 2 에 걸쳐 연속 되 어 있 고 , 따라서 모든 마이크 로 요동 소자 X 2 에서 의 구동 전극 ( 12 ) 과 , 요 동부 ( 10 ) 의 실드 전극 부 ( 14 ) 와 , 프레임 ( 21 ) 의 제 1 층 부 ( 21 a ) 의 일부 ( 실드 전극 부 ( 21 a ')) 및 제 2 층 부 ( 21 b ) 의 일부 ( 실드 전극 부 ( 21 b ')) 와 , 실드 전극 부 ( 24 ) 는 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .