한편 , 환원 성 의 가스 ( 예 를 들 면 수소 ) 를 포함 한 분위기 하 에서 , " PdO 등 의 금속 산화물 의 도전 성막 에 "" 통전 포 밍 "" 처리 를 실시 하 는 방법 에서 는 "," "" 통전 포 밍 "" 처리 에 필요 로 하 는 전력량 은 금속 으로 형성 되 는 도전 성막 에 "" 통전 포 밍 "" 처리 를 실시 하 는 경우 에 비해 억제 할 수 있 다 . 그러나 ", 환원성 가스 를 함유 한 분위기 의 제어 나 , 도전 성막 의 환원 가능 한 레벨 의 제어 가 필요 하 므로 , " 금속 으로 형성 되 는 도전 성막 에 진공 중 에서 "" 통전 포 밍 "" 처리 를 실시 하 는 경우 에 비해 복잡 하 게 된다 . 또 "," "" 통전 포 밍 "" 처리 에 의해 도전 성막 ( 4 ) 에 발생 하 는 열 을 이용 하 여 도전 성막 의 저항 을 서서히 변화 시킬 필요 가 있 으므로 "," "" 통전 포 밍 "" 처리 에 필요 로 하 는 시간 도 길 어 진다 . 또 ", 다수 의 도전 성막 의 시트 에 대해서 , " 환원 분위기 하 에서 "" 통전 포 밍 "" 처리 를 실시 하 면 ", 모든 도전 성막 의 시트 를 동시 에 처리 할 수 없 기 때문 에 , 처리 중 에 도전 성막 의 저항 값 이 변화 되 고 , 결과 적 으로 형성 되 는 간극 의 형상 에 분산 을 발생 시키 기 쉬워 지 는 경우 가 있 다 .