참고 로 , 본 발명 에 기판 ( 10 ) 이 라 함 은 , 패턴 이 형성 되 며 적어도 일 측변 의 길이 가 1 m 보다 큰 사각형 기판 ( 10 ) 으로 형성 된다 . 일 예 로 , 화학 기계 적 연마 공정 이 수행 되 는 피 처리 기판 ( 10 ) 으로서 , 1500 ㎜* 1850 ㎜ 의 사이즈 를 갖 는 6 세대 유리 기판 ( 10 ) 이 피 처리 기판 ( 10 ) 으로 사용 된다 . 경우 에 따라서 는 7 세대 및 8 세대 유리 기판 이 피 처리 기판 으로 사용 되 는 것 도 가능 하 다 .