제 1 유전 막 ( 24 ) 은 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 이 고 , 제 2 유전 막 ( 25 ) 은 제 1 유전 막 ( 24 ) 보다 유전 상수 가 큰 물질 로 일반 적 으로 고유 전 물질 막 을 사용 하 며 , Al 2 O 3 , HfO 2 , HfxAlyOz , ZrO 2 , HfxZryOz 및 ZrAlO 의 그룹 에서 선택 된 어느 한 물질 을 사용 하 며 , 본 발명 의 제 1 실시 예 에서 는 Al 2 O 3 를 사용 한다 .