도 1 을 참조 하 면 , 상기 챔버 ( 100 ) 는 기판 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 수용 하 는 챔버 바디 ( 102 ) 와 상기 챔버 바디 ( 102 ) ( body ) 를 개폐 하 기 위한 도어 ( 108 ) 와 상기 챔버 바디 ( 102 ) 와 도어 ( 108 ) 사이 에 구비 되 는 압력 센 서부 ( 110 ) 를 포함 하 여 구성 될 수 있 다 .