구체 적 으로 , 상기 각 블록 의 경계 로부터 경계 이미지 를 획득 한다 . 그리고 , 상기 기 설정 된 레퍼런스 이미지 와 비교 하 여 상기 블록 의 경계 를 정렬 시킨다 . 즉 , 상기 경계 이미지 와 레퍼런스 이미지 를 비교 하 여 이미지 가 가장 일 치도 가 높 아 지 도록 상기 반도체 기판 ( 10 ) 을 정렬 시킨다 . 따라서 , 상기 블록 의 경계 가 오 정렬 됨 으로 인한 결함 발생 을 방지 하 고 , 결함 검사 의 정확 성 과 신뢰도 를 향상 시킬 수 있 다 .