상기 수지 조성물 에 함유 되 는 폴리 실록 산계 화합물 로 는 , 특별히 한정 되 는 것 은 아니 지만 , 분자 중 에 Si 원자 3 ∼ 10 개 로 형성 되 는 고리 형 폴리 실록 산 구조 를 갖 는 것 이 바람직 하 고 , 액상 으로 용액 을 도포 할 수 있 으며 또 한 경화 후 에 가교 밀도 가 치밀 한 구조 가 되 어 높 은 절연 성 을 갖 는 박막 이 될 수 있 다 . 고리 형 폴리 실록 산 구조 중 에 가교 반응점 을 갖 지 않 는 것 은 아웃 가스 , 블리드 등 , 막 의 신뢰 성 을 손상 시키 는 원인 이 되 기 때문 에 가교 성 반응기 를 갖 고 있 는 것 이 바람직 하 고 , 하 기 일반식 ( V )