도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 카세트 ( 420 ) 는 점선 으로 표시 된 대기 위치 와 실선 으로 표시 된 로딩 / 언로 딩 위치 ( X 2 ) ( 반응 챔버 와 연결 되 는 제 1 게이트 밸브 ( 222 ) 바로 앞 ) 사이 에서 수평 이동 된다 . 대기 위치 ( X 1 ) 는 제 1 영역 ( 240 ) 의 하부 영역 ( 244 ) 내 위치 이 고 로딩 / 언로 딩 위치 ( X 2 ) 는 제 1 영역 ( 240 ) 의 상부 영역 ( 242 ) 내 위치 이 다 . 카세트 ( 420 ) 는 반응 챔버 ( 100 ) 로 / 로부터 합성 기판 ( 10 ) 을 로딩 / 언로 딩 할 때 와 제 2 이송 장치 ( 700 ) 에 의한 합성 기판 ( 10 ) 이 송시 로딩 / 언로 딩 위치 ( X 2 ) 로 이동 되 며 , 합성 기판 ( 10 ) 의 온도 를 낮추 기 위해 대기 할 때 에 는 대기 위치 ( X 1 ) 로 이동 한다 .