또한 , 산화물 반도체 로서 In - Zn 계 산화물 재료 를 사용 하 는 경우 , 사용 하 는 타깃 의 조성 비율 은 원자 수 비율 로 In : Zn = 50 : 1 내지 1 : 2 ( mol 수 비율 로 환산 하 면 In 2 O 3 : ZnO = 25 : 1 내지 1 : 4 ) , 바람직 하 게 는 In : Zn = 20 : 1 내지 1 : 1 ( mol 수 비율 로 환산 하 면 In 2 O 3 : ZnO = 10 : 1 내지 1 : 2 ) , 더 바람직 하 게 는 In : Zn = 15 : 1 내지 1 . 5 : 1 ( mol 수 비율 로 환산 하 면 In 2 O 3 : ZnO = 15 : 2 내지 3 : 4 ) 로 한다 . 예 를 들 어 , In - Zn 계 산화물 반도체 의 형성 에 사용 되 는 타깃 은 원자 수 비율 이 In : Zn : O = X : Y : Z 인 경우 에 Z > 1 . 5 X + Y 로 한다 .