도 18 b 및 19 b 를 참조 하 면 , 상기 제 1 내지 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 a ~ 104 c ) 을 제거 한다 . 이 때 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 110 a ) 에 의해 덮혀 있 는 제 1 내지 제 3 희생 마스크 패턴 ( 104 a ~ 104 c ) 은 제거 되 지 않 는다 . 또한 , 페리 영역 에 형성 되 어 있 는 제 2 마스크 패턴 ( 110 b ) 은 제거 되 지 않 는다 .