여기 서 , 상기 메인 가스 공급 밸브 ( 34 ) 의 리크 가 발생 되 지 않 을 경우 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 는 상기 배기 부 ( 20 ) 의 진공 펌프 ( 24 ) 의 펌핑 에 의해 미리 설정 된 일정 한 진공도 로 유지 될 수 있 으나 , 상기 메인 가스 공급 밸브 ( 34 ) 의 리크 가 발생 되 었 을 경우 , 설정 된 값 이하 의 진공도 로 유지 될 수 있 다 . 따라서 , 설비 컴퓨터 는 상기 진공 센서 에서 출력 되 는 감지 신호 를 이용 하 여 프로세스 챔버 ( 10 ) 내부 의 진공도 가 떨어지 는 것 으로 판단 될 경우 , 상기 메인 가스 공급 밸브 ( 34 ) 의 리크 가 유발 된 것 으로 판단 할 수 있 다 . 반면 , 상기 프로세스 챔버 ( 10 ) 내부 의 진공도 에 변화 가 없 을 경우 , 상기 메인 가스 공급 밸브 의 리크 가 발생 되 지 않 은 것 으로 파악 될 수 있 다 .