또한 , 게이트 절연 층 ( 146 ) 은 , 산소 를 화학량론 적 조성 비 보다 도 많이 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 , 게이트 절연 층 ( 146 ) 으로서 산화 갈륨 을 사용 한 경우 , 화학량론 적 조성 비 는 Ga 2 O 3 + α ( 0 < α < 1 ) 로 나타낼 수 있 다 . 또한 , 산화알루미늄 을 사용 한 경우 는 , Al 2 O 3 + α ( 0 < α < 1 ) 로 나타낼 수 있 다 . 또한 , 산화 갈륨 알루미늄 을 사용 한 경우 는 , GaxAl 2 - xO 3 + α ( 0 < x < 2 , 0 < α < 1 ) 로 나타낼 수 있 다 .