또한 , 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 의 외부 에 는 처리 가스 공급원 ( 38 ) 이 배치 되 어 있 다 . 처리 가스 공급원 ( 38 ) 은 , 중심 버퍼 실 ( 35 ) 및 주변 버퍼 실 ( 36 ) 에 처리 가스 를 소망 의 유량 비 로 공급 한다 . 구체 적 으로 는 , 처리 가스 공급원 ( 38 ) 으로부터 의 가스 공급 관 ( 39 ) 이 도중 에 2 개 의 분기 관 ( 39 a , 39 b ) 으로 분기 되 어 중심 버퍼 실 ( 35 ) 및 주변 버퍼 실 ( 36 ) 에 각각 접속 된다 . 분기 관 ( 39 a , 39 b ) 은 각각 유량 제어 밸브 ( 40 a , 40 b ) ( 유량 제어 장치 ) 를 갖 는다 . 처리 가스 공급원 ( 38 ) 으로부터 중심 버퍼 실 ( 35 ) 및 주변 버퍼 실 ( 36 ) 까지 의 유로 의 컨덕턴스 는 동일 해 지 도록 설정 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 유량 제어 밸브 ( 40 a , 40 b ) 의 조정 에 의해 , 중심 버퍼 실 ( 35 ) 및 주변 버퍼 실 ( 36 ) 에 공급 하 는 처리 가스 의 유량 비 를 임의 로 조정 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 또한 , 가스 공급 관 ( 39 ) 에 는 매스 플로우 컨트롤러 ( MFC ) ( 41 ) 및 개폐 밸브 ( 42 ) 가 배치 되 어 있 다 .