제 1 전극 ( 140 ) 은 하부 절연체 ( 130 ) 를 둘러싸 며 , 기판 의 주변 부 에 대응 되 도록 배치 된다 . 즉 , 제 1 전극 ( 140 ) 은 하부 절연체 ( 130 ) 를 이용 하 여 스테이지 ( 120 ) 와 전기 적 으로 절연 된다 . 따라서 , 스테이지 ( 120 ) 에 고주 파수 에너지 가 인가 될 경우 , 제 1 전극 ( 140 ) 은 전기 적 으로 접지 될 수 있 다 . 제 1 전극 ( 140 ) 은 , 예 를 들 면 , 링 형상 을 가질 수 있 다 . 한편 , 제 1 전극 ( 140 ) 은 스테이지 ( 120 ) 의 상면 보다 낮 은 상면 을 가진다 . 따라서 , 스테이지 ( 120 ) 가 기판 ( W ) 을 지지 할 경우 , 제 1 전극 ( 140 ) 은 기판 ( W ) 으로부터 이격 되 어 배치 된다 .