도 4 f 를 참조 하 면 , 상기 하부 전극 콘 택 ( 430 ) 및 SOD 절 연막 ( 440 ) 을 포함 한 기판 결과물 상 에 상변환 막 ( 450 ) 과 상부 전극 용 금속 막 을 증착 한 후 , 상기 상부 전극 용 금속 막 과 상변환 막 ( 450 ) 을 식각 하 여 상기 하부 전극 콘 택 ( 430 ) 및 SOD 절 연막 ( 440 ) 상 에 상기 하부 전극 ( 410 ) 과 콘 택하 는 상변환 막 ( 450 ) 과 상부 전극 ( 460 ) 의 적층 패턴 을 형성 한다 .