도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 계측 관찰 검사 장치 는 , 주사 형 전자 현미경 ( 100 ) 과 컴퓨터 ( 120 ) 를 갖 는다 . 주사 형 전자 현미경 ( 100 ) 은 , 전자총 ( 하전 입 자원 ) ( 101 ) , 정전 편 향기 ( 1030 , 1032 ) , 전자 편 향기 ( 1031 , 1033 ) , 계측 관찰 검사 의 대상 인 시료 ( 104 ) , 반사판 ( 106 ) , 검출기 ( 110 ) , 신호 검출 시스템 ( 112 ) , 신호 처리 / 화상 생성 블록 ( 114 ) 및 편향 · 주사 제 어부 ( 130 ) 를 갖 는다 .