에칭 하 는 동안 , 에칭 되 는 표면 은 잔류물 이 없이 유지 되 는 반면 , 패 시베이 팅 부산물 은 에칭 된 측벽 에 점착 되 는 것 을 보장 할 필요 가 있 다 . 이온 보조 ( ion assistance ) 는 어떠 한 패 시베이 팅 부산물 도 에칭 되 는 표면 에 잔류 하 지 않 음 을 보장 하 는 것 을 돕 는다 . 이러 한 이온 보조 는 첨가 된 가스 들 에 의해 제공 될 수 있 다 . 이러 한 것 은 , 패 시베이 팅 부산물 이 에칭 되 는 표면 에 남 아 있 으면 에칭 을 중단 시키 거나 불 완전 하 게 할 수 있 기 때문 에 중요 하 다 . 어떠 한 경우 에 도 , 측벽 에 점착 되 는 부산물 은 이후 종래 의 세 척 공정 에서 제거 되 고 , 이러 한 공정 은 아래 에 더 상세히 설명 되 지 는 않 을 것 이 다 .