이때 , 절 연막 ( 202 ) 의 증착 방법 으로 는 저압 화학 기상 증착 ( LPCVD : low pressure chemical vapor deposition ) 법 또는 플 라즈 마 화학 기상 증착 ( PECVD : plasma enhanced chemical vapor deposition ) 법 , 열 산화 ( thermal oxidation ) 법 등 을 사용 한다 .