또한 본 제 4 실시 형태 에 있 어서 도 , 투영 광학계 ( PL ) 와 액체 ( 물 ) ( Lq ) 를 통해 노 광광 ( 조명 광 ) ( IL ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 노광 하 는 액침 노광 이 실시 되 는 것 에 대응 하 여 , 조명 광 ( IL ) 을 사용 하 는 계측 에 사용 되 는 상기 조도 불 균일 센서 ( 94 ) , 조도 모니터 ( 97 ) 및 파 면 수차 계측기 ( 98 ) 그리고 공간 이미지 계측기 에서 는 , 투영 광학계 ( PL ) 및 물 을 통해 조명 광 ( IL ) 을 수 광 하 게 된다 . 또한 , 각 센서 는 , 예 를 들 어 광학계 등 의 일부 만 이 웨이퍼 테이블 에 탑재 되 어 있 어도 되 고 , 센서 전체 를 웨이퍼 테이블 에 배치 하 도록 해도 된다 . 전술 한 공간 이미지 계측 장치 ( 45 A , 45 B ) 에 대해서 도 동일 하 다 .