일 실시 형태 에서 , 금속 이온 오염 수준 이 낮 기 때문 에 오늄 염 을 사용 할 수 있 다 . 오늄 염 에 는 요오 도 늄 , 설 포 늄 및 포스 포 늄 착염 이 포함 되 지만 , 이 로 한정 되 지 않 는다 . 일반 적 으로 유용 한 오늄 염 은 일반식 Y + X - 일 수 있 다 . Y 는 아릴 다이 알킬 설 포 늄 , 알 킬 다 이 아릴 설 포 늄 , 트라이 아릴 설 포 늄 , 다 이 아릴 요오 도 늄 및 테트라 아릴 포스 포 늄 양이온 을 포함 할 수 있 고 , 여기 에서 각각 의 알킬 및 아릴기 는 치환 될 수 있 다 . X 는 PF 6 -, SbF 6 -, CF 3 SO 3 - , ( CF 3 SO 2 ) 2 N -, ( CF 3 SO 2 ) 3 C -, ( C 6 F 5 ) 4 B - 음 이온 을 포함 할 수 있 다 .