본 실시 예 에서 는 로드 락 챔버 ( 30 ) 와 홀 수열 처리 유닛 ( 40 , 60 ) 상호 간 의 기판 ( W ) 이송 과 로드 락 챔버 ( 30 ) 와 짝 수열 처리 유닛 ( 50 ) 상호 간 의 기판 ( W ) 이송이 교대 로 이루어지 는 경우 를 예 로 들 어 설명 한다 . 즉 , 이 에프 이 엠 ( 20 ) 으로부터 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 1 챔버 ( 32 ) 로 의 기판 이송 과 이 에프 이 엠 ( 20 ) 으로부터 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 2 챔버 ( 34 ) 로 의 기판 이송 은 교대 로 이루어진다 . 또한 , 제 1 챔버 ( 32 ) 로부터 홀 수열 처리 유닛 ( 40 , 60 ) 으로 의 기판 이송 과 제 2 챔버 ( 34 ) 로부터 짝 수열 처리 유닛 ( 50 ) 으로 의 기판 이송 은 교대 로 이루어진다 .