도 5 는 HBr 가스 의 양 을 일정 하 게 한 상태 에서 O 2 가스 의 양 이 증가 함 에 따라 변화 하 는 트렌치 의 프로 파일 을 나타낸 도면 이 고 , 도 6 은 HBr 가스 의 양 을 일정 하 게 한 상태 에서 SF 6 가스 및 NF 3 가스 의 양 이 감소 함 에 따라 변화 하 는 트렌치 의 프로 파일 을 나타낸 도면 이 다 . 도 5 및 도 6 을 참조 하 면 , O 2 가스 의 양 이 증가 하 거나 SF 6 가스 및 NF 3 가스 의 양 이 감소 할수록 ( 즉 , 본 도면 들 의 우측 으로 갈수록 ) 트렌치 측벽 의 보잉 발생 이 억제 되 면서 특히 , 트렌치 하부 측벽 의 경사도 가 감소 함 을 알 수 있 다 . 이때 , 적절 한 O 2 가스 의 유량 은 15 ~ 30 sccm 정도 이 고 , 적절 한 SF 6 가스 및 NF 3 가스 의 유량 은 각각 10 ~ 30 sccm 및 20 ~ 60 sccm 정도 이 다 .