기판 을 프로세싱 하 기 위해 사용 된 시스템 은 기판 이 제조 동작 ( 예 를 들 어 , PECVD 프로세스 ) 을 겪 는 프로세스 챔버 내 에 형성 된 프로세싱 영역 으로 플 라즈 마 를 공급 하 도록 구성 된다 . 일 실시 예 에서 , 플라 즈 마는 리모트 로 생성 되 고 샤워 헤드 를 통해 프로세싱 영역 으로 공급 된다 . 또 다른 실시 예 에서 , 플라 즈 마는 프로세싱 영역 내 에 인시 츄 로 생성 된다 . 플라 즈 마는 예 를 들 어 , 기판 의 상단 표면 상 에서 증착 동작 을 수행 하 도록 사용 될 수 도 있 다 .