상기 로터 들 ( 13 ) 을 회전 시키 어 상기 흡입구 로부터 상기 펌프 실 ( 17 ) 내부 로 기체 를 빨아들이 고 , 상기 빨아들인 기체 를 상기 배출구 를 통하 여 배출 한다 . 즉 , 상기 흡입구 는 공정 챔버 에 연결 되 고 , 상기 배출구 는 가스 정화 기 ( scrubber ) 에 연결 된다 . 상기 실린더 벽 에 마련 된 상기 흡입구 를 통하 여 상기 공정 챔버 로부터 상기 펌프 실 ( 17 ) 내부 로 공정 부산물 이 흡입 되 고 상기 배출구 를 통하 여 상기 펌프 실 ( 17 ) 내부 로부터 상기 가스 정화 기 를 향하 여 배출 된다 .