이어서 , 지지대 들 ( 32 A ) 의 사이 에 제 1 희생 막 들 ( 33 ) 을 형성 한다 . 이때 , 지지대 들 ( 32 A ) 은 몰드 로서 역할 을 하 며 , 지지대 들 ( 32 A ) 사이 의 빈 공간 에 제 1 희생 막 들 ( 33 ) 을 형성 한다 . 예 를 들 어 , 지지대 들 ( 32 A ) 사이 의 빈 공간 이 채워 지 도록 물질 막 을 형성 한 후 , 지지대 들 ( 32 A ) 의 상부 면 이 노출 될 때 까지 평탄 화 공정 을 수행 함 으로써 , 제 1 희생 막 들 ( 33 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 제 1 희생 막 들 ( 33 ) 은 지지 용 막 ( 32 ) 에 대해 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 형성 되 며 , 티타늄 질화 막 일 수 있 다 .