제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 평면 형상 이 다각형 ( 바람직 하 게 는 , 8 개 의 변 을 가지 는 다각형 ) 으로 형성 된다 . 그 다각형 의 하나 의 변 ( 30 a ) ( 로더 모듈 ( 22 ) 과 대향 하 는 변 ) 에 각각 게이트 밸브 를 거쳐서 상하 2 개 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 가 연결 되 고 , 다른 2 개 의 변 ( 30 b ) ( 상기 변 ( 30 a ) 과 반대 측 에서 로더 모듈 ( 22 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 대하 여 경사져 향하 고 있 는 변 ) 에 각각 게이트 밸브 를 거쳐서 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 가 연결 된다 . 2 개 의 변 ( 30 b ) 의 사이 에서 상기 길 이 방향 ( Y 방향 ) 과 평행 하 게 연장 하 고 있 는 1 변 ( 30 c ) 에 는 , 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 나 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 등 을 유지 보수 하 기 위한 사다리 ( 37 ) 를 마련 할 수 있 다 . 사다리 ( 37 ) 는 바닥 ( 38 ) 과 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 사이 에 가설 해 놓 는다 . 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 상면 에 는 , 개폐 가능 한 커버 ( 39 ) 가 부착 된다 . 작 업원 이 사다리 ( 37 ) 에 올라 , 커버 ( 39 ) 를 열 고 , 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 내부 ( 제 2 진공 반송 로봇 등 ) 를 유지 보수 한다 . 또한 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 를 유지 보수 할 때 는 , 작 업원 이 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 상 을 이동하 여 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 에 가설 해 놓 은 사다리 ( 33 ) 에 오른다 .