이전 에 는 , 퇴적물 을 제거 하 는 방법 으로서 기판 처리 장치 로부터 처리 실 을 구성 하 는 반응 관 을 떼 어 내 고 , HF 수용액 의 세 정조 에 있 어서 반응 관 내벽 에 부착 한 퇴적물 을 제거 하 는 웨트 클리닝 법 이 주류 였 는데 , 최근 , 반응 관 을 떼 어 낼 필요 가 없 는 드라이클리닝 법 을 이용 하 게 되 었 다 . 예 를 들 면 , F 2 ( 불소 ) 가스 에 HF ( 불화 수소 ) 가스 나 H 2 ( 수소 ) 가스 를 첨가 한 혼합 가스 를 처리 실 내 에 공급 하 는 드라이클리닝 법 등 이 알려져 있 다 ( 예 를 들 면 특허 문헌 1 ~ 3 참조 ) .