저부 ( 14 b ) 는 , 판상 , 바람직 하 게 는 원판 상 이 다 . 저부 ( 14 b ) 는 , 동체 부 ( 14 a ) 의 검사 대상 기판 ( P ) 측 의 단부 개구 를 막 고 있 다 . 저부 ( 14 b ) 는 , 동체 부 ( 14 a ) 의 중심축 과 수직 으로 배치 된다 . 저부 ( 14 b ) 는 , 전환 유닛 ( 12 ) 이 관통 하 는 개구 ( 14 f ) 를 갖 는다 . 개구 ( 14 f ) 는 , 예 를 들 어 대향 하 는 한 쌍 의 측연 부 를 갖 는 직사각 형상 이 다 . 또한 , 하우징 ( 14 ) 은 , 전환 유닛 ( 12 ) 을 개구 ( 14 f ) 를 관통 한 상태 에서 고정 하 는 고정부 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 갖 고 있 어도 된다 .