감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 가 열 경화 하 여 절연 층 이 웨이퍼 ( W ) 에 형성 되 고 나 서 , 챔버 ( 4 ) 의 가열 이 정지 된다 . 그리고 , 챔버 ( 4 ) 를 밀폐 하 고 , 또한 , 챔버 ( 4 ) 내 를 무산소 로 유지 한 상태 로 , 미리 정해진 시간 챔버 ( 4 ) 가 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 상 에서 방치 되 어 , 챔버 ( 4 ) 와 함께 웨이퍼 ( W ) 가 자연 냉각 된다 .