신규 및 / 또는 추가 측정 데이터 , 검사 데이터 및 / 또는 평가 데이터 가 필요 할 경우 , 추가 S - D 데이터 는 웨이퍼 상 의 하나 이상 의 사이트 로부터 획득 될 수 있 다 . 예컨대 , 웨이퍼 상 의 주기 적 인 게이팅 , 주기 적 인 어레이 및 / 또는 기타 주기 적 인 구조물 등 의 측정 특징 부 는 도 3 에 도시 한 하나 이상 의 사이트 에서 측정 될 수 있 다 .