본 발명 에 관련 되 는 에칭 제 는 ( A ) 과산화수소 , ( B ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 및 ( C ) 염기 성 화합물 과 , ( D - 1 ) 동 방식제 또는 / 및 ( D - 2 ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 이외 의 산화력 을 갖 지 않 는 2 종 이상 의 음 이온 종 0 . 01 중량 %~ 3 중량 % 를 상기 한 농도 가 되 도록 물 에 혼합 용 해 함 으로써 조제 할 수 가 있 다 . 또한 , 각 성분 은 적절 한 순서 로 물 에 순차 첨가 혼합 하 여도 , 모든 성분 을 첨가 한 후 물 에 용해 시켜 도 좋 다 . 이 와 같이 하 여 조제 한 본 발명 의 에칭 제 는 사용 전 에 여과 처리 등 을 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또 , 여기 에서 사용 되 는 물 은 증류 , 이온 교환 처리 등 에 의해 정제 된 증류수 , 정제 수 , 이온 교환수 , 초 순수 등 이 면 좋 다 .