여러 실시 형태 들 에서 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 은 전기 및 열 의 양호 한 전도체 이 며 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에서 수행 될 프로세스 들 과 화학 적 으로 양립 가능 한 , 알루미늄 , 스테인 레스 스틸 등 과 같 은 금속 으로 형성 될 수 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 에서 플 라즈 마 에 노출 된 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 의 부분 들 은 플 라즈 마 저항성 재료 의 커버링 에 의해 보호 된다 . 일 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 저항성 재료 는 코팅 으로서 형성 된다 . 다른 실시 형태 에서 , 플라 즈 마 저항성 재료 는 보호 성 구조물 , 예 를 들 어 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 을 등각 으로 보호 하 는 플레이트 로서 형성 된다 . 이 들 실시 형태 어느 것 에서 도 , 플라 즈 마 저항성 재료 는 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 에 고정 되 어 플 라즈 마 저항성 재료 와 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 사이 의 적절 한 전기 전도 및 열전도 를 보장 한다 . 여러 실시 형태 들 에서 , 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 을 보호 하 는 데 이용 된 플 라즈 마 저항성 코팅 / 커버링 은 실리콘 , 실리콘 카바이드 , 실리콘 옥사이드 , 이트륨 옥사이드 등 으로 형성 될 수 있 다 .