이상 에서 는 주로 4 개 의 프로세스 모듈 에 대하 여 설명 하 였으나 , 본 발명 에 따른 웨이퍼 이송 장치 의 다른 일실 시예 는 도 14 내지 도 16 에 도시 한 것 처럼 5 개 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 이나 6 개 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 의 경우 에 도 적용 가능 하 다 . 물론 공간 이 허락 하 는 범위 라면 그 이상 도 가능 할 수 있 다 . 도 16 의 경우 는 6 개 의 프로세스 모듈 ( 140 ) 및 6 개 의 트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 대신 에 3 개 의 트윈 모듈 들 ( 130 ', 140 ') 이 이용 되 었 다 .