본 발명 은 상기 과제 를 해결 하 기 위하 여 이루어진 것 으로 , 시트 플 라즈 마 에 모서리 를 발생 시키 지 않 음 으로써 플 라즈 마 밀도 를 감소 시키 지 않 고 , 스퍼터링 효율 이 좋 은 플 라즈 마 성막 장치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 . 또한 시트 플 라즈 마 에 모서리 를 발생 시키 지 않 음 으로써 안전 하 게 운전 할 수 가 있 는 플 라즈 마 성막 장치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .