상술 한 제 1 공정 S 303 , 퍼지 공정 S 304 , 제 2 공정 S 305 및 퍼지 공정 S 306 을 순서 대로 행하 는 사이클 을 1 회 이상 ( 소정 횟수 ( N ')) 행함 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 소정 의 두께 의 ZrO 막 이 형성 된다 . 상술 한 사이클 은 , 복수 회 반복 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같이 , ZrO 막 을 형성 하 는 경우 에 는 , TEMAZ 가스 와 O 3 가스 를 서로 혼합 하 지 않 도록 ( 시분할 해서 ) 교대 로 웨이퍼 ( 200 ) 에 대하 여 공급 한다 .