도 8 a 내지 도 8 e 는 본 개시 의 실시 예 에 따라 FinFET 을 갖 는 반도체 디바이스 를 제조 하 기 위한 순차 적 프로세스 의 다양 한 단계 들 중 의 하나 를 도시 한다 . 도 8 b 는 도 8 a 의 라인 X 1 - X 1 에 대응 하 는 단면도 이 고 , 도 8 c 는 도 8 a 의 라인 Y 1 - Y 1 에 대응 하 는 단면도 이 고 , 도 8 d 및 도 8 e 도 8 b 의 영역 ( SD ) 의 확대도 이 다 .