본 실시 형태 에 따른 포크 ( 3 A , 3 B ) 는 , 진공 흡착 부 ( 41 A ∼ 41 D ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 유지 클로 ( 4 A ∼ 4 D ) 에 유지 한다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 수평 위치 를 위치 결정 할 수 있 도록 , 포크 ( 3 A , 3 B ) 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 주위 를 둘러싸 도록 가이드 를 설치 하 고 , 가이드 의 내측 을 경사지 게 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 포크 ( 3 A , 3 B ) 의 소정 위치 에 떨어뜨려 넣 는 낙 입 기구 를 가질 필요 가 없 다 . 따라서 , 레지스 트 막 등 의 도포 막 이 도포 처리 된 웨이퍼 ( W ) 를 얹 어 놓 을 때 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 에 도포 되 어 있 는 도포 막 이 가이드 와 접촉 하 여 벗겨져 , 파티클 을 발생 시킬 우려 는 없 다 .