웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 , 스크럼 상태 이동 영역 ( AS ) 내 를 스크럼 상태 를 유지 한 채 로 - X 방향 으로 이동 함 에 따라 , 선단 렌즈 ( 191 ) 와 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 사이 의 공간 에 형성 된 액침 영역 ( 14 ) 은 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 의 영역 으로부터 , 처마 부 ( 23 a ) , 처마 부 ( 23 b ) , 그 다음 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상 의 영역 으로 순차 적 으로 이동 한다 . 도 5 에 는 , 전술 한 방식 으로 , 액침 영역 ( 14 ) 이 처마 부 ( 23 a ) 를 지나 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 으로부터 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상 으로 이동한 직후 의 상태 가 도시 되 어 있 다 .