상기 방법 은 하나 이상 의 조명 파라미터 를 변화 시키 는 단계 와 , 이러 한 변화 에 대응 하 는 반사 된 빛 의 복수 의 패턴 을 수집 하 는 단계 와 , 검출 된 빛 패턴 을 나타내 는 각각 의 상 데이터 를 대응 하 는 모델 상 과 비교 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 조명 파라미터 가 이하 , 즉 , 샘플 표면 에 대한 광선 의 입사각 , 입사 광선 의 파장 , 입사 광선 의 발산 각도 , 샘플 의 영역 을 조명 하 는 조명원 과 샘플 표면 사이 의 회전 각도 , 입사 광선 의 편각 으로부터 선택 된다 .