도 5 에 , 결함 의 전기 저항 R 과 정전 용량 C 를 독립 적 으로 해석 해 결함 을 분류 하 는 검사 의 공정 의 플로우 차트 를 나타낸다 . 우선 , 도 3 의 플로우 차트 에서 작성 한 검사 레시피 를 읽 어 들인다 ( S 121 ) . 다음 으로 , 검사 하 는 영역 을 지정 한다 ( S 122 ) . 다음 으로 , 검사 레시피 로부터 읽 어 들인 광학 조건 을 제 어 전 령부 ( 28 ) 로부터 설정 한다 ( S 123 ) . 다음 으로 , 복수 의 단속 조건 을 설정 한다 ( S 124 ) . 다음 으로 , 검사 장소 로 이동 한다 ( S 125 ) . 다음 으로 복수 의 단속 조건 에서 화상 을 취득 한다 ( S 126 ) .