일산 화 탄소 플 라즈 마 를 주 에칭 제 로 사용 하 는 예시 적 용도 에서 , 공정 은 티타늄 질화물 , 니켈 산화물 , 티타늄 질화물 의 적층 에 관해 설명 되 었 다 . 다른 예 는 , 반도체 접합 다이오드 의 위 또는 아래 에 전이 금속 또는 전이 금속 산화물 을 갖 는 수직 배향 된 반도체 접합 다이오드 를 형성 한 다음 , 일산 화탄 소계 플 라즈 마로 반도체 접합 다이오드 위 또는 아래 의 구조물 을 플 라즈 마 에칭 하 는 것 이 포함 된다 .