부동태화 가스 를 적용 시켜 트렌치 벽 에 보호 층 을 형성 함 으로써 이 들 트렌치 벽 이 식각 제 와 반응 하 는 것 을 방지 한다 . 부동태화 가스 의 성질 은 구조 체의 종류 에 따라 결정 된다 . 구 조체 로서 의 실리콘 에 대해서 는 , 브롬 공급원 ( 예 를 들 어 , 브롬 원소 또는 HBr ) 을 부동태화 가스 로서 적용 할 수 있 다 . 비휘발성 SiXBrY 화합물 로 된 층 을 보호 층 으로서 형성 한다 . 실리콘 과 함께 보호 층 을 형성 하 는 기타 공급원 으로 는 NO , NO 2 , CO 2 , CO , N 2 , O 2 , CS 2 또는 SiCl 4 와 N 2 의 조합 물 이 있 다 . 바람직 하 게 부동태화 가스 는 , 1 개 이상 의 불소 원자로 치환 되 는 1 내지 6 개 의 탄소 원자 를 갖 는 사이 클릭 , 선형 또는 분지 형 구조 의 포화 지방족 화합물 중 에서 선택 되 거나 , 또는 1 개 이상 의 불소 원자로 치환 되 는 2 내지 6 개 의 탄소 원자 를 갖 는 사이 클릭 , 선형 또는 분지 형 구조 의 불포화 지방족 화합물 중 에서 선택 된다 . 이 들 화합물 은 탄소 와 , 불소 와 , 선택 적 으로 는 수소 로 구성 된다 . 바람직 하 게 는 , 각각 의 포화 또는 불포화 화합물 의 수소 원자 들 중 50 % 이상 이 불소 원자 들 로 치환 된다 . 1 내지 6 개 의 탄소 원자 들 을 갖 는 포화 수소 불화 탄소 및 포화 불화 탄소 , 그리고 2 내지 6 개 의 탄소 원자 들 을 갖 는 불포화 수소 불화 탄소 및 불포화 불화 탄소 가 바람직 하 다 . 부동태화 가스 로서 적용 될 수 있 는 매우 바람직 한 화합물 로 는 , c - C 4 F 6 , c - C 5 F 8 , CH 2 F 2 , CHF 3 , CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , C 2 F 4 , C 4 F 6 및 C 4 F 8 가 있 다 . 또한 화합물 c - C 6 F 6 및 CF 3 I 도 적합 하 다 . C 4 F 6 가 부동태화 가스 로서 특히 바람직 하 다 . 전문가 는 이 들 적합 한 화합물 중 일부 의 비등점 이 상압 하 에 20 ℃ 를 초과 한다는 것 을 알 고 있 다 . 이 들 화합물 에 대해 , " "" 가스 "" 란 용어 가 "" 증기 "" 를 의미 하 는 것 으로 이해 해야 함 을 숙지 하 고 있 다 . 이 들 화합물 이 20 ℃ 에서 가스 상태 로 있 는 것 은 아니 지만 ", 이 들 이 더 이상 액체 가 아니 고 증기 형태 로 있 을 정도 의 낮 은 압력 에서 본 발명 의 방법 을 수행 하 기 때문 에 , 이 들 화합물 이 적합 하 다 . 전문가 는 또한 이 들 증기 가 기체 처럼 작용 한다는 것 을 알 고 있 다 .