도 5 에 도시 된 일체화 공정 에서 는 , 예컨대 , 내부 에 열 원 을 구비 하 는 히트 롤러 ( 6 ; heat roller ) 를 사용 한다 . 도 5 에 도시 된 일체화 공정 에 있 어서 도 , 우선 흡 인원 ( 2 b ) 에 의한 부압 을 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 에 작용 시켜 , 대기압 에 의해 폴리올레핀 계 시트 ( 9 ) 를 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 밀착 시킨다 .