이상 과 같이 , 전자 광학 화상 취득 기구 ( 155 ) 는 , 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 을 사용 하 여 , 패턴 이 형성 된 기판 ( 웨이퍼 ) ( 101 ) 상 을 주사 하 고 , 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 이 조사 된 것 에 기인 하 여 기판 ( 웨이퍼 ) ( 101 ) 으로부터 방출 되 는 , 멀티 2 차 전자 빔 ( 300 ) 을 검출 한다 . 멀티 검출기 ( 222 ) 에 의해 검출 된 각 측정 용 화소 ( 36 ) 로부터 의 2 차 전자 의 검출 데이터 ( 2 차 전자 화상 ) 는 , 측 정순 으로 검출 회로 ( 106 ) 에 출력 된다 . 검출 회로 ( 106 ) 내 에서 는 , 도시 하 지 않 은 A / D 변환기 에 의해 , 아날로그 의 검출 데이터 가 디지털 데이터 로 변환 되 어 , 스트라이프 패턴 메모리 ( 123 ) 에 저장 된다 . 그리고 , 예 를 들 어 1 개 의 칩 ( 332 ) 분 의 검출 데이터 가 축적 된 단계 에서 , 칩 패턴 데이터 로서 , 위치 회로 ( 107 ) 로부터 의 각 위치 를 나타내 는 정보 와 함께 , 비교 회로 ( 141 ) 에 전송 된다 .