이 예 에서 웨이퍼 ( W ) 는 , 보유 지지 부재 ( 32 ) 에 의해 스테이지 ( 3 ) 의 상방 에 , 스테이지 ( 3 ) 표면 과 대향 하 도록 보유 지지 된다 . 보유 지지 부재 ( 32 ) 는 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 는 예 를 들 어 3 개 의 보유 지지 암 ( 321 , 322 , 323 ) 과 , 이 들 보유 지지 암 ( 321 내지 323 ) 이 결합 된 회전축 ( 324 ) 을 구비 하 고 있 다 . 예 를 들 어 보유 지지 암 ( 321 내지 323 ) 은 , 스테이지 ( 3 ) 로부터 약간 부상 한 상태 에서 , 회전축 ( 324 ) 의 상단 을 중심축 으로 해서 120 도 간격 으로 수평 방향 으로 방사형 으로 연장 되 도록 구성 된다 . 예 를 들 어 보유 지지 암 ( 321 내지 323 ) 의 길 이 방향 의 중간 위치 에 는 도시 하 지 않 은 돌기 가 마련 되 고 , 웨이퍼 ( W ) 는 , 각 보유 지지 암 ( 321 내지 323 ) 의 돌기 가 맞닿 는 3 점 에서 지지 된다 . 이러 한 보유 지지 부재 ( 32 ) 는 , 스테이지 ( 3 ) 로부터 의 열 을 차폐 하 지 않 도록 , 예 를 들 어 투명 한 석영 에 의해 형성 된다 .