추가 로 , 본 발명 의 추가 적 인 실시 형 테 에 따르 면 , 단일 리프트 - 오프 단계 플라 즈 몬 도파 로 와 함께 단일 에치 포 토닉 도파 로 ( 스트립 ) 을 포함 하 여 , 더 적 은 에칭 및 리프트 - 오프 단계 와 관련 된 전제 제조 비용 을 줄이 는 특정 한 구성 요소 가 제공 된다 . 추가 로 , 저렴 한 제조 와 조합 되 는 , 종래 기술 의 감 도 보다 높 게 감도 를 증가 시킬 수 있 는 통합 형 MZI 플 라즈 모 - 포 토닉 센서 의 설계 방법 이 제공 된다 .