제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 은 각각 기판 ( 100 ) 으로부터 돌출 되 어 있 을 수 있 다 . 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 은 각각 제 1 방향 ( X 1 ) 을 따라 길 게 연장 될 수 있 다 . 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 은 길 이 방향 인 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 정렬 될 수 있 다 . 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 은 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 이격 될 수 있 다 .