여기 서 , 6 축 로봇 은 웨이퍼 검사 장치 에 고정 설치 되 는 기부 와 ; 상기 기부 상 에 회전 가능 하 게 설치 되 는 회전 구동 부 와 ; 제 1 단부 가 상기 회전 구동 부 와 연결 되 며 , 그 길 이 방향 축 과 직교 하 는 축 에 대하 여 소정 의 각도 범위 내 에서 선회 할 수 있 는 제 1 아암 과 ; 제 1 단부 가 상기 제 1 아암 의 제 2 단부 와 연결 되 며 , 상기 제 1 아암 의 길 이 방향 축 과 직교 하 는 축 에 대하 여 소정 각도 범위 내 에서 선회 할 수 있 고 , 그 길 이 방향 축 에 대하 여 회전 할 수 있 는 제 2 아암 과 ; 제 1 단부 가 상기 제 2 아암 의 제 2 단부 와 연결 되 며 , 상기 제 2 아암 의 길 이 방향 축 과 직교 하 는 축 에 대하 여 소정 각도 범위 내 에서 선회 할 수 있 고 , 그 길 이 방향 축 에 대하 여 회전 할 수 있 는 제 3 아암 ; 및 상기 제 3 아암 의 제 2 단부 와 연결 되 며 , 웨이퍼 를 안착 시키 는 웨이퍼 홀더 를 포함 하 며 , 웨이퍼 를 파지 한 상태 로 회전 시키 기 위한 웨이퍼 회전 유닛 을 더 포함 할 수 있 다 .