상술 한 바 와 같이 , 리 세스 게이트 와 소자 분리 막 의 단차 로 인한 텅스텐 실리사이드 응력 ( stress ) 차이 로 라이트 산화 및 버퍼 산화 막 증착 후 , 텅스텐 실리사이드 의 이상 산화 현상 이 발생 하 고 , 이후 LPC 식각 시 텅스텐 실리사이드 의 측면 부가 손실 되 어 오픈 됨 으로써 , SAC 페일 을 유발 하 는 문제 가 있 다 .