또한 , 산화 막 을 개재 함 이 없이 , 직접 접합 시키 는 경우 는 , 통상 의 세정 ( SC 1 ) 을 행한 후 , 웨이퍼 끼리 를 접합 시키 게 된다 . 그러나 , 이 경우 도 일반 적 인 세정 에서 는 , 실리콘 웨이퍼 표면 에 2 nm 이상 의 산화 막 이 형성 되 고 , 상기 와 같 은 , 접합 공정 의 열처리 에 의해 , 접합 계면 에 국소 적 인 산화물 이 잔류 해 버린다 .