x - 선 검출기 ( 514 ) 는 애 퍼 쳐 ( 515 ) 를 갖 고 , 하전 입자 빔 ( 520 ) 이 기판 ( 200 ) 상 에 충돌 하 기 전 에 애 퍼 쳐 를 통과 한다 . 이 차 전자 들 ( 524 ) 및 후방 산란 된 전자 들 은 애 퍼 쳐 를 통해 전파 될 수 있 다 . 애 퍼 쳐 ( 515 ) 는 , x - 선 검출기 ( 514 ) 의 중심 에 또는 x - 선 검출기 ( 514 ) 의 중심 밖 에 위치 될 수 있 다 .