그 후 에 , 도 9 a 내지 도 9 d 와 유사 하 게 , 도 12 a 내지 도 12 c 에 도시 된 바 와 같이 , 병합 된 베이스 에피 텍 셜 층 ( 108 ') 위 에 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 109 ') 이 형성 된다 . 도 12 a 는 평면도 이 고 , 도 12 b 는 도 12 a 의 Y 1 - Y 1 에 대응 하 는 단면도 이 고 , 도 12 c 는 도 12 a 의 X 2 - X 2 에 대응 하 는 단면도 이 다 . 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 109 ') 의 재료 , 구성 및 / 또는 구조물 은 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 109 ) 의 것 들 과 동일 하 다 . 일부 실시 예 에서 , 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 109 ') 은 갭 ( 112 ) 에 형성 되 지 않 는다 .