도 10 을 참고 하 면 , 그라인더 의 표면 과 질화 갈륨 기판 의 표면 을 상호 접근 시키 는 속도 가 약 0 . 2 마이크로미터 / 초 인 경우 보다 약 0 . 3 내지 약 0 . 4 마이크로미터 / 초 경우 에서 표면 거칠 기 가 더 작아져서 표면 품질 이 더 개선 되 지만 , 이후 0 . 4 마이크로미터 / 초 보다 접근 속력 이 더 커 지 면 표면 거칠 기 값 이 더 커져서 표면 품질 이 저하 되 는 것 을 확인 할 수 있 다 . 따라서 , 최적 의 표면 거칠 기 를 달성 하 기 위해서 는 질화 갈륨 기판 을 그라인더 에 접근 시키 는 속도 가 약 0 . 3 내지 0 . 4 마이크로미터 / 초 인 경우 에 질화 갈륨 기판 의 표면 의 거칠 기 가 최소 로 되 어 표면 품질 이 상대 적 으로 가장 우수 하 게 되 는 것 을 알 수 있 다 .