도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 의 척 의 개략 적 인 사시도 이 다 . 도 2 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 의 척 의 개략 적 인 일부 투과 사시도 이 다 . 도 3 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 의 제 1 자성체 및 제 2 자성체 를 나타낸 평면도 이 다 . 도 4 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 처리 장치 의 개략 적 인 단면도 이 다 .