상기 세라믹 히터 ( 5 ) 는 , 판상 ( 상세 하 게 는 원반 형상 ) 이 며 , 흡착 용 전극 ( 즉 정전 전극 ) ( 11 ) , 발열 부 ( 13 ) 등 을 구비 한 판상 ( 상세 하 게 는 원반 형상 ) 세라믹 기판 ( 15 ) 으로 구성 되 어 있 다 . 또 , 흡착 용 전극 ( 11 ) , 발열 부 ( 13 ) 는 , 세라믹 기판 ( 15 ) 에 매설 되 어 있 고 , 이 세라믹 기판 ( 15 ) 은 전기 절연 성 을 갖 는 절연 기판 이 다 .