또한 , 일반 적 인 반도체 소자 의 불량 검출 시스템 의 컴퓨팅 장치 에서 는 반사광 의 편광 위상 정보 를 통하 여 뮬러 ( Muller ) 행렬 을 생성 하 였 고 , 이 를 통해 심층부 의 분석 을 판단 하 였 다 . 상기 뮬러 행렬 은 코 히 어 런 트 ( coherent ) 광 의 편광 상태 를 기술 하 는 행렬 표현식 으로서 , 다음 의 식 으로 표현 될 수 있 다 .