도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 제어 장치 ( 22 ) 를 구비 하 고 있 다 . 스핀 모터 ( 7 ) , 차 단판 승강 기구 ( 19 ) , 노즐 이 동기 구 ( 13 ) , 및 각 소수 화제 공급 유닛 ( 16 , 17 ) 은 제어 장치 ( 22 ) 에 의해 제어 된다 . 또한 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 구비 된 각 밸브 의 개폐 는 제어 장치 ( 22 ) 에 의해 제어 된다 . 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 스핀 척 ( 2 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시킨 상태 에서 , 약액 노즐 ( 10 ) 을 처리 위치 에 위치 시켜 , 약액 노즐 ( 10 ) 로부터 약액 을 토출 시킨다 . 약액 노즐 ( 10 ) 로부터 토출 된 약액 은 스핀 척 ( 2 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 공급 된다 . 그리고 , 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 에 공급 된 약액 은 기판 ( W ) 의 회전 에 의한 원심력 을 받 아 기판 ( W ) 위 를 바깥쪽 으로 퍼져 간다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 약액 이 공급 되 어 , 기판 ( W ) 이 약액 에 의해 처리 된다 .