[ 0091 ] 이제 도 6 을 참조 하 면 , 제 1 자기 안내 하위 - 구조 인 제 1 안내 하위 - 구조 ( 520 ) 및 제 1 자기 구동 하위 - 구조 인 제 1 구동 하위 - 구조 ( 510 ) 를 갖 는 장치 의 개략 적 인 측면도 가 예시 된다 . 또한 , 도 6 은 , 장치 가 제 2 안내 하위 - 구조 ( 522 ) , 예컨대 , 제 2 자기 안내 하위 - 구조 뿐 만 아니 라 , 제 2 구동 하위 - 구조 ( 512 ) , 예컨대 , 제 2 자기 구동 하위 - 구조 를 가질 수 있 다는 것 을 도시 한다 . 도 6 을 예시 적 으로 참조 하 면 , 도 5 a 및 5 b 에 관하 여 설명 된 바 와 같 은 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 의 선택 적 특징 들 은 또한 , 필요 한 변경 을 가하 여 , 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 에 적용 될 수 있 다는 점 이 이해 되 어야 한다 . 특히 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 는 , 도 5 a 및 5 b 에 관하 여 설명 된 바 와 같 은 제 1 수동 자기 엘리먼트 ( 142 ) 및 제 2 수동 자기 엘리먼트 ( 144 ) 를 포함 할 수 있 다 . 또한 , 도 5 a 및 5 b 에 관하 여 설명 된 바 와 같이 , 제 2 안내 하위 - 구조 ( 522 ) 는 복수 의 능동 자기 엘리먼트 들 ( 523 ) 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 구동 하위 - 구조 ( 512 ) 는 복수 의 추가 적 인 능동 자기 엘리먼트 들 ( 513 ) 을 포함 할 수 있 다 . 기판 캐리어 ( 120 ) 의 공중부양 및 운송 을 제어 하 기 위한 기판 캐리어 제어기 ( 530 ) 와 유사 하 게 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 공중부양 및 운송 을 제어 하 기 위한 마스크 캐리어 제어기 가 제공 될 수 있 다 . 특히 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 공중부양 및 운송 을 제어 하 는 원리 는 , 필요 한 변경 을 가하 여 , 도 5 a 및 5 b 에 관하 여 설명 된 바 와 같 은 기판 캐리어 ( 120 ) 의 공중부양 및 운송 을 제어 하 는 원리 에 대응 한다 .