유지 테이블 ( 10 ) 은 , 원반 형상 이 며 , 피 가 공물 ( 200 ) 을 유지 하 는 유지 면 ( 11 ) 이 다공성 세라믹 등 으로 형성 되 어 있 다 . 또한 , 유지 테이블 ( 10 ) 은 , X 축 이동 유닛 에 의해 이동 가능 하 고 회전 구 동원 에 의해 회전 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . 유지 테이블 ( 10 ) 은 , 도시 하 지 않 는 진공 흡 인원 과 접속 되 고 , 진공 흡 인원 에 의해 흡인 됨 으로써 , 피 가 공물 ( 200 ) 을 흡인 , 유지 한다 . 또한 , 유지 테이블 ( 10 ) 의 주위 에 는 , 환형 프레임 ( 211 ) 을 클램프 하 는 클램프 부 ( 12 ) 가 복수 설치 되 고 있 다 .