상기 화학식 2 의 화합물 은 페닐 트리 메 톡 시 실란 이 다 . 본 물질 에 포함 하 는 페닐 그룹 은 DUV 영역 에서 흡수 스펙트럼 을 나타내 는 점 을 활용 하 여 반사 방지 특성 이 높 은 재료 를 제공 함 과 동시 에 Ph - 기 의 농도 비 를 조절 함 으로써 특정 파장 에서 원 하 는 흡수도 와 굴절 률 을 가진 하드 마스크 조성물 을 제공 할 수 있 다 .