도 12 A 및 도 12 B 는 1000 rpm 의 스핀 속도 로 8 인치 실리콘 웨이퍼 에 상기 한 바 와 같이 도포 된 조성물 6 에 대한 중합체 접착 층 두께 의 측정 위치 ( 1200 ) 를 예시 한다 . 샘플 의 고형물 필름 두께 측정 을 Metrosol , Inc . ( Austin , TX ) 로부터 이용 가능 한 광학 계측 학 시스템 을 갖 는 분광 반사계 측 법 에 의해 수행 하 였 다 . 도 12 A 에 묘사 된 59 개 측정 위치 로 , 평균 층 두께 는 1 . 09 nm 이 고 , 최대 측정 두께 가 1 . 22 nm 이 고 , 최소 측정 두께 가 0 . 94 nm 이 고 , 표준 편차 가 0 . 05 nm 인 것 으로 측정 되 었 다 . 도 12 B 에 묘사 된 49 개 측정 위치 로 , 모델 VUV - 7000 을 사용 하 여 평균 층 두께 는 1 . 01 nm 이 고 , 최대 측정 두께 가 1 . 07 nm 이 고 , 최소 측정 두께 가 0 . 95 nm 이 고 , 표준 편차 가 0 . 03 nm 인 것 으로 측정 되 었 다 .