이 어 , 슬릿 노즐 부 ( 120 ) 의 유입 구 ( 132 ) 로 유입 된 감광액 ( 180 ) 에 존재 하 는 이온 성 이물 ( 182 ) 이 포집 되 도록 제 1 및 제 2 전극 부 ( 160 , 162 ) 사이 에 전계 를 형성 한다 ( S 20 ) . 이때 , 제 1 및 제 2 전극 부 ( 160 , 162 ) 는 전원 공급 부 ( 170 ) 로부터 제공 된 소정 크기 의 출력 전압 , 예 를 들 어 , 200 V 내지 20000 V 의 출력 전압 을 사용 하 여 전계 를 형성 할 수 있 다 .