도 3 c 에 도시 된 바 와 같이 , 게이트 하드 마스크 층 ( 104 ) 의 상부 면 이 평탄 해 지 도록 층간 절 연막 ( 106 ) 을 평탄 화 한다 . 평탄 화 의 예 로 는 화학 적 기계 적 연마 ( chemical mechanical polishing ) 또는 에치 백 ( etch back ) 방식 등 이 있 다 . 만약 화학 적 기계 적 연마 공정 으로 평탄 화 를 진행할 때 에 는 , 게이트 하드 마스크 층 ( 104 ) 을 연마 타 겟 으로 진행 하 는 것 이 바람직 하 다 .