기판 ( 202 ) 은 노광 시 반사광 의 정밀도 를 높이 기 위하 여 높 은 평탄 도 ( Flatness ) 가 요구 된다 . 평탄 도 는 TIR ( Total Indicated Reading ) 값 으로 표현 되 고 , 기판 ( 202 ) 은 낮 은 TIR 값 을 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 기판 ( 202 ) 의 평탄 도 는 132 mm 2 영역 또는 142 mm 2 영역 에서 100 ㎚ 이하 , 바람직 하 게 는 50 ㎚ 이하 이 다 .