일부 실시 예 에서 , 지지 층 ( 20 ) , 유전체 층 ( 200 ) 및 CNT ( 100 ) 를 포함 하 는 적층 된 구조물 ( 29 ) 은 바닥 지지 층 ( 15 ) ( 및 기판 ( 100 ) ) 위 에 반복 적 으로 형성 된다 . 적층 된 구조물 ( 29 ) 의 수 는 1 개 , 또는 두 개 , 3 개 이상 처럼 매우 적 다 . 일부 실시 예 에서 , 적층 된 구조물 ( 29 ) 의 수 는 20 개 까지 이 다 .