여기 서 , 주축 ( 40 ) 은 상기 복수 개 의 웨이퍼 ( 10 ) 가 해당 위치 에 이동 될 수 있 도록 소정 의 각도 로 회전 될 수 있 다 . 예컨대 , 상기 주축 ( 40 ) 은 60 ° 의 방위각 을 하나 의 기준 으로 6 번 에 걸쳐 인덱싱 되 어 360 ° 를 순차 적 으로 회전 될 수 있 다 . 이때 , 상기 스핀들 원판 ( 30 ) 또는 상기 제 1 풀리 ( 42 ) 와 , 상기 제 2 풀리 ( 60 ) 의 회전 비 는 1 : 6 정도 로 설정 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 모터 축 ( 72 ) 및 상기 풀리 축 ( 62 ) 이 한 번 회전 되 면 상기 주축 ( 40 ) 이 60 ° 로 회전 될 수 있 다 .