도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 처리 로 ( 202 ) 는 , 가열 기구 ( 온도 조정부 ) 로서 의 히터 ( 207 ) 를 갖 는다 . 히터 ( 207 ) 는 원통 형상 이 며 , 유지 판 에 지지 됨 으로써 수직 으로 설치 되 어 있 다 . 히터 ( 207 ) 는 , 가스 를 열 로 활성 화 ( 여기 ) 시키 는 활성 화 기구 ( 여기 부 ) 로서 도 기능 한다 .