로베르트 보쉬 게 엠 베하 ( Robert Bosch GmbH ) 에 의해 독창 적 으로 개발 된 보쉬 ( Bosch ) 프로세스 에 기초 한 딥 실리콘 에칭 은 , 실리콘 측벽 보호 를 위한 폴리머 증착 과 실리콘 에칭 사이 의 빠른 스위칭 을 수반 한다 . SF 6 및 C 4 F 8 은 각각 에칭 및 증착 ( 패 시베이 션 ) 싸이클 들 을 위한 주요 프로세스 가스 들 이 다 .