다음 으로 , 도 1 내지 도 3 을 참조 하 면서 , 본 실시 형태 에 관한 기판 처리 장치 의 동작 을 설명 한다 . 특히 , 측정 조 ( 24 ) 에 있 어서 의 압력 측 정부 ( 26 ) 로부터 의 측정 결과 에 따라 , 제 어부 ( 28 ) 가 처리 조 ( 14 ) 내 의 처리 액 ( 30 ) 의 농도 제어 를 실시 하 는 경우 를 설명 한다 . 여기 서 , 도 3 은 , 본 실시 형태 에 관한 기판 처리 장치 의 동작 을 예시 하 는 플로 차트 이 다 .