이 감광성 조성물 을 유리 기판 상 에 400 rpm 으로 10 초간 스핀 코트 하 고 , 100 ℃ 의 핫 플레이트 상 에서 2 분 간 프리 베 이크 했 다 . 다음 으로 , 공기 중 에서 프록시 미티 노광기 TME - 150 PRC ( 상품명 ; 주식회사 탑 콘 ) 를 사용 하 여 , 파장 컷 필터 를 통해 350 ㎚ 이하 의 광 을 커트 하 고 g 선 ( 436 ㎚), h 선 ( 405 ㎚), i 선 ( 365 ㎚) 을 취 출하 여 , 노광 했 다 . 노광량 은 적산 광량계 UIT - 102 ( 상품명 ; 우시오 전기 주식회사 ) , 수광 기 UVD - 365 PD ( 상품명 ; 우시오 전기 주식회사 ) 로 측정 하 여 50 mJ / ㎠ 로 했 다 . 노광 후 의 도막 을 2 . 38 중량 ％ 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 수용액 을 사용 하 여 25 ℃ 에서 60 초간 현상 한 후 , 도막 을 순수 로 20 초간 세정 한 후 100 ℃ 의 핫 플레이트 로 2 분 간 건조 했 다 . 또한 , 오븐 중 230 ℃ 에서 30 분 간 포스트 베 이크 하 고 , 막 두께 4 . 0 ㎛ 의 경화 막 부착 유리 기판 을 얻 었 다 .