또한 , 실시 형태 에서 는 , 척 테이블 ( 10 ) 은 , 테이블 유닛 ( 2 ) 의 X 축 이동 유닛 ( 31 ) 에 의해 X 축 방향 으로 이동 하 는 테이블 커버 ( 3 ) 에 형성 되 고 , X 축 이동 유닛 ( 31 ) 에 의해 X 축 방향 으로 자유 롭 게 이동 할 수 있 도록 형성 된 회전 이동 유닛 ( 34 ) 에 의해 축심 둘레 로 자유 롭 게 회전 할 수 있 도록 지 지 되 어 있 다 . 또한 , 테이블 커버 ( 3 ) 의 상면 은 , 수평 방향 을 따라 평탄 하 게 형성 되 어 있 다 .