도면 번호 150 은 상기 덮개 플레이트 부재 ( 110 ) 의 저면 과 상기 바닥 체 ( 10 ) 중 상기 진공 배관 관통 홀 의 주변 부 상면 사이 에 오 링 ( O - ring ) 형태 로 개재 되 고 , 고무 재질 등 으로 이루어져서 , 상기 덮개 플레이트 부재 ( 110 ) 의 저면 과 상기 바닥 체 ( 10 ) 중 상기 진공 배관 관통 홀 의 주변 부 상면 사이 를 밀폐 시키 는 밀폐 부재 이 다 .