정확 한 정렬 은 우수 한 오버레이 성능 그 에 의하 여 높 은 생산 수율 을 보장 하 는 것 을 돕 는다 . 그러나 디바이스 를 생성 하 기 위하 여 설계 된 기판 상 의 공간 제약 은 그 기판 의 어느 곳 에서 나 정렬 마크 가 제공 될 수 없 다는 의미 한다 ( 결국 , 기판 의 그 대부분 은 디바이스 를 생성 하 기 위하 여 패턴 을 적용 하 는 데 사용 되 어야 한다 ) . 또한 , 시간 제약 은 제조 시스템 의 적절 한 처리 량 ( 예 를 들 어 , 시간 당 처리 된 생산 기판 의 수 ) 을 유지 하 면서 생산 중 에 측정 될 수 있 는 , 생산 기판 당 정렬 마크 의 수 를 제한 한다 .