상기 레이저 빔 의 에너지 범위 , 조사 회수 및 조사 시간 은 사용 한 도전 성 나 노 입자 및 경화 성 수지 의 종류 , 도전 막 의 두께 에 따라 상이 하 나 , 통상 적 으로 막 표면 에 존재 하 는 돌출부 중 최대 피크 의 높이 가 도전 막 두께 의 10 % 미만 이 되 도록 조절 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 , 60 mJ / cm 2 내지 200 mJ / cm 2 의 에너지 범위 를 갖 는 레이저 빔 을 사용 할 수 있 다 . 한편 , 상기 레이저 빔 으로서 펄스 형 레이저 ( 예 를 들 면 , 엑 시머 레이저 등 ) 를 사용 할 경우 , 예 를 들 면 , 1 회 내지 100 회 의 조사 가 바람직 하 다 . 또한 , 상기 레이저 빔 으로서 연속 형 레이저 를 사용 할 경우 , 예 를 들 면 , 1 초 내지 10 초 동안 조사 하 는 것 이 바람직 하 다 .