반응 관 ( 203 ) 내 가 퍼지 된 후 , 반응 관 ( 203 ) 내 의 압력 을 압력 컨트롤러 ( 248 ) 에 의하 여 , 웨이퍼 반송 압력 이 되 도록 조정 한다 . 반응 관 ( 203 ) 내 의 압력 이 반송 압력 으로 된 후 , 처리 완료 된 웨이퍼 ( 200 ) 는 , 제 1 웨이퍼 이재기 ( 112 ) 에 의하 여 반응 관 ( 203 ) 으로부터 제 1 반 송실 ( 103 ) 로 반출 된다 . 즉 , 제 1 처리 로 ( 202 ) 에서 웨이 퍼 ( 200 ) 에 대한 처리 가 완료 하 고 , 퍼지 가 종료 하 면 , 게이트 밸브 ( 244 ) 가 열리 고 처리 완료 된 2 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 는 제 1 웨이퍼 이재기 ( 112 ) 에 의하 여 제 1 반 송실 ( 103 ) 로 반송 된다 . 반출 후 , 게이트 밸브 ( 244 ) 는 닫혀 진다 .