도 12 를 참조 한다 . 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 2 개 의 다 관절 아암 ( 65 , 66 ) 을 구비 하 고 있 다 . 제 1 다관 절 아암 ( 65 ) 의 일단 ( 一端 ) 에 는 파지 부 ( 67 ) 가 설치 되 고 , 제 2 다관 절 아암 ( 66 ) 의 일단 에 는 파지 부 ( 68 ) 가 설치 되 어 있 다 . 제 1 다관 절 아암 ( 65 ) 의 타단 은 , 지주 형상 의 승강 구동 부 ( 69 ) 에 상하 방향 으로 이동 가능 하 게 지 지 되 고 , 제 2 다관 절 아암 ( 66 ) 의 타단 은 , 승강 구동 부 ( 69 ) 에 상하 방향 으로 이동 가능 하 게 지 지 되 어 있 다 .