이때 상기 비 교부 ( 270 ) 는 상기 측 정부 ( 260 ) 로부터 전달 된 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 와 상기 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 사이 의 온도 차이 값 이 제 1 설정 범위 내 에 있 고 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 와 상기 기판 지지 부 ( 240 ) 의 온도 의 온도 차이 값 이 제 2 설정 범위 내 에 있 는지 에 대해 제 4 기준 내지 제 6 기준 을 기반 으로 판단 하 여 인터 락 신호 ( Si ) 의 생성 여부 를 결정 할 수 있 다 .