세부 적 으로 투명 기판 과 인접 한 제 1 층 은 Ar : N 2 = 50 sccm : 50 sccm , 공정 파워 는 1 . 2 kW , 제 2 층 은 Ar : N 2 = 90 sccm : 26 sccm , 공정 파워 는 1 . 35 kW , 제 3 층 은 Ar : N 2 = 90 sccm : 18 sccm , 공정 파워 는 1 . 45 kW 에서 위상 반 전막 을 제조 하 였 다 .