여기 서 , 상기 층간 절연 막 은 캐 패 시터 를 포함 하 는 제 3 층간 절 연막 인 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 제 3 층간 절 연막 하부 에 는 비트 라인 을 포함 하 는 제 2 층간 절 연막 이 구비 되 고 , 상기 제 2 층간 절 연막 하부 에 는 게이트 및 랜딩 플러그 를 포함 하 는 제 1 층간 절 연막 이 구비 되 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 스 페이서 물질 층 은 산화 막 ( Oxide ) , 질화 막 ( Nitride ) 또는 이 들 의 혼합 층 중 선택 된 어느 하나 를 이용 하 여 형성 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 산화 막 ( Oxide ) 은 PE - TEOS 막 을 사용 하 고 , 상기 질화 막 ( Nitride ) 은 PE - Nitride 막 을 사용 하 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 스 페이서 물질 층 은 300 ~ 700 Å 의 두께 로 형성 하 는 것 을 특징 으로 한다 .