제 1 외부 스 페이서 ( 124 ) 는 예 를 들 어 , 실리콘 질화물 ( SiN ) , 실리콘 산질 화물 ( SiON ) , 실리콘 산화물 ( SiO 2 ) , 실리콘 산탄 질화물 ( SiOCN ) , 실리콘 붕소 질화물 ( SiBN ) , 실리콘 산붕 소질 화물 ( SiOBN ) , 실리콘 산탄 화물 ( SiOC ) 및 이 들 의 조합 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .