본 실시 양태 에서 아이 소시아 네이트 종결 된 플 루 오로 알킬 은 하 기 공정 에 따라 제조 하 였 다 . 무수 톨루엔 ( 350 ㎖) 중 1 당량 의 2 -( 3 , 3 , 4 , 4 , 5 , 5 , 6 , 6 , 7 , 7 , 8 , 8 , 8 - 트라이 데카 플 루 오로 - 옥 틸 설파 닐 ) - 에틸아민 ( 0 . 1 mol ) 및 1 당량 의 트라이 에틸 아민 ( 0 . 1 mol ) 의 용액 을 0 ℃ ( 빙 냉조 ) 로 냉각 시켰 다 . 에틸 클로 로 포르 메이트 ( 0 . 11 mol ) 를 20 분 이내 에 적가 하 였 다 . 혼합물 을 교반 하 면서 실온 으로 가온 시켰 다 . 두 번 째 1 당량 의 트라이 에틸 아민 ( 0 . 1 mol ) 을 첨가 한 후 메틸 트라이 클로로 실란 ( 0 . 12 mol ) 을 30 - 40 ℃ 에서 적가 하 였 다 ( 첨가 시간 은 약 20 - 30 분 ) . 그 후 혼합물 을 100 ℃ 로 1 시간 동안 가열 하 였 다 . 혼합물 이 주위 온도 로 냉각 된 후 침전 된 암모늄 염 을 여과 해 내 었 다 . N 2 의 정상 ( steady ) 흐름 하 에서 , 톨루엔 및 생성 된 에 톡 시 메틸 다 이 클로로 실란 모두 를 26 . 67 kPa ( 200 mm Hg ) 에서 증류 해 내 었 다 . 잔류물 을 진공 에서 건조 시켜 표제 화합물 을 95 % 수율 로 연한 적갈색 액체 로서 수득 하 였 다 .