또 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 노광 광 ( EL ) 으로서 ArF 엑 시머 레이저 빛 을 발생 하 는 광원 장치 로서 , ArF 엑 시머 레이저 를 사용 해도 되 나 , 예 를 들 면 , 국제 공개 제 1999 / 46835 호 팜 플릿 ( 대응 미국 특허 7 , O 23 , 610 호 ) 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , DFB 반도체 레이저 또는 섬유 레이저 등 의 고체 레이저 광원 , 파이버 앰프 등 을 가지 는 광 증 폭부 및 파장 변환 부 등 을 포함 하 고 , 파장 193 ㎚ 의 펄스 빛 을 출력 하 는 고조파 발생 장치 를 사용 해도 된다 . 또한 , 상기 실시 형태 에서 는 , 상술 한 각 조명 영역 과 제 1 , 제 2 노광 영역 ( 단 , 제 6 , 제 7 실시 형태 는 제외 ) 이 각각 직사각 형 모양 인 것 으로 하 였으나 , 다른 형상 , 예 를 들 면 원호 형상 등 이 라도 된다 .