이렇게 기판 ( 131 ) 이 컨베이어 ( 미 도시 ) ( 미 도시 ) 상 에서 필요 한 공정 을 수행 하 기 위해 이동한 후 원 하 는 위치 로 이동 하 기 위해 회전 이 요구 될 때 회전 수단 ( turn unit ) , 즉 회전 테이블 ( 121 ) 에 의해 일정 각도 , 예 를 들 어 90 도 또는 180 도 만큼 회전 이 동한 후 로봇 ( 미 도시 ) 에 의해 각 공정 장비 또는 기타 장비 로 이동 하 게 된다 .