종래 에 는 일반 적 으로 티타늄 나이트 라이드 ( TiN ) 로 장벽 층 을 형성 하 여 왔 다 . 그런데 , 고온 다습 조건 의 가혹 조건 테스트 ( HAST ) 를 진행 하 는 과정 에서 퓨즈 절단 후 에 는 상기 장벽층 ( 110 ) 도 노출 되 므로 , 티타늄 나이트 라이드 ( TiN ) 의 경우 대기 ( O 2 ) 와 반응 하 여 쉽 게 산화 가 일어났 다 . 장벽층 ( 110 ) 이 산화 되 면 층간 절 연막 에 크랙 ( crack ) 이 발생 하 게 되 고 이 로 인해 퓨즈 불량 을 야기 할 수 있 다 .