또한 , 상술 한 발명 에서 , 상기 제 어부 는 , 시운전 을 행하 는 처리 유닛 이 있 는 계층 에서 는 , 해당 시운전 을 행하 는 처리 유닛 에 만 기판 을 반송 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 해당 시운전 을 행하 는 처리 유닛 에 만 기판 을 반송 시킴 으로써 , 해당 처리 유닛 이 기판 에 행하 는 처리 품질 을 적합 하 게 시험 , 검증 , 확인 할 수 있 다 .