연마 액 을 상기 제 1 연마 에 적용 하 는 경우 , 아졸 계 화합물 의 함유량 은 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 , 0 . 001 질량 % 이상 이 바람직 하 고 , 0 . 01 질량 % 이상 이 보다 바람직 하 며 , 2 질량 % 이하 가 바람직 하 고 , 1 . 3 질량 % 이하 가 보다 바람직 하 며 , 0 . 4 질량 % 이하 가 더 바람직 하 다 .