기판 을 처리 하 는 방법 에 있 어서 , 처리 공간 내 에서 기판 의 둘레 를 감싸 는 링 부재 가 제공 된 지지 유닛 으로 기판 을 지지 하 고 기판 에 대해 소정 의 처리 를 수행 하 되 , 핸드 를 가지 는 반송 로봇 으로 상기 링 부재 를 반송 하 되 , 상기 핸드 로 상기 링 부재 를 반 송시 에 는 상기 핸드 상 에 캐리어 를 장착 한 상태 에서 상기 캐리어 로 상기 링 부재 를 지지 할 수 있 다 .