또한 , 예컨대 , 특허 문헌 1 ~ 3 에 이러 한 종류 의 탑재 대가 기재 되 어 있 다 . 특허 문헌 1 의 탑재 대 는 , 탑 플레이트 가 석영 , 폴리테트라플루오로에틸렌 등 의 절연재 에 의해 형성 되 고 , 그 윗면 에 금 증착 등 에 의해 형성 된 도전체 층 이 형성 되 고 , 그 아랫면 에 실드 부재 가 배치 되 어 있 다 . 특허 문헌 2 의 탑재 대 는 , 탑 플레이트 자체 가 스테인리스강 등 의 도전체 에 의해 형성 되 고 , 그 아랫면 에 절연 층 을 사이 에 두 고 실드 판 이 배치 되 어 있 다 . 특허 문헌 3 에 는 절연 재료 로 이루어지 는 탑 플레이트 의 윗면 에 만 도전체 막 이 형성 된 탑재 대가 기재 되 어 있 다 .