공정 시작 과 함께 가 열부 ( 140 ) 에 전원 이 공급 된다 . 반응 로 ( 120 ) 는 가 열부 ( 140 ) 에 의해 공정 온도 ( 500 - 1100 도 ) 로 가열 되 는데 , 반응 로 ( 120 ) 가 공정 온도 로 승 온 되 기 까지 대략 20 - 50 분 정도 가 소요 될 수 있 다 . 가 열부 ( 140 ) 에 의해 반응 로 ( 120 ) 가 가열 되 고 있 는 상태 ( 또는 반응 로 가 공정 온도 로 가열 된 상태 ) 에서 합성 기판 이 반응 로 ( 120 ) 의 내부 공간 으로 로딩 된다 . 합성 기판 ( 10 ) 들 이 반응 로 ( 120 ) 에 로딩 되 면 , 반응 로 ( 120 ) 내부 공간 에 있 는 산소 를 제거 하 게 된다 . 산소 제거 과정 은 진공 배기 라인 ( 187 ) 을 개방 ( 송풍배 기라 인 차단 ) 하 여 반응 로 ( 120 ) 내부 를 진공 상태 ( 진공도 10 torr 이하 ) 로 만들 어 일정 시간 유지 한 다음 진공 배기 라인 ( 187 ) 을 차단 하 는 1 단계 , 반응 로 ( 120 ) 내부 로 불활성 가스 를 공급 하 여 반응 로 내부 를 상압 상태 로 만들 고 , 송풍 배기 라인 ( 186 ) 을 개방 하 여 불활성 가스 를 배기 하 는 2 단계 로 이루어진다 . 산소 제거 단계 는 , 송풍 배기 라인 ( 186 ) 을 개방 한 상태 에서 반응 로 내부 로 불활성 가스 를 계속 공급 하 여 반응 로 내부 의 산소 를 송풍 배기 라인 ( 186 ) 으로 배기 하 는 단일 단계 만 으로 도 이루어질 수 있 다 . 그러나 이러 한 단일 단계 만 으로 는 산소 를 완벽 하 게 제거 하 기 어렵 고 또 한 불활성 가스 가 많이 소모 되 는 단점 이 있 다 .