본 발명 은 실리사이드 시드 를 이용 한 실리콘 박막 , 이 를 포함 하 는 태양 전지 및 실리콘 박막 와 태양 전지 를 제조 하 는 방법 에 관한 것 으로서 , 기판 상 에 금속 층 을 증착 하 고 그 위 에 희석 된 실리콘 잉크 로부터 실리콘 입자 를 형성 한 후 열처리 하 여 실리사이드 시드 를 형성 하 는 공정 과 실란 조성물 을 적층 하 고 용매 를 제거 하 여 실리콘 박막 을 형성 하 는 공정 을 포함 하 고 그 로부터 제조 된 실리콘 박막 을 이용 한 태양 전지 를 제공 한다 .