도 3 은 , 광축 AX 에 직교 하 고 , 공급 노즐 61 , 회수 노즐 62 , 공급 노즐 71 및 회수 노즐 72 를 포함 한 면 에 있 어서 의 도 2 에 나타낸 노광 장치 의 단면도 이 다 . 도 2 및 도 3 에 나타낸 바 와 같이 , 액체 L 1 의 액체 공급 및 회수 기구 ( 60 ) 는 , 투영 광학계 ( 30 ) 의 최종 면 과 웨이퍼 ( 40 ) 와 의 사이 에 형성 된 공간 에 , 공급 노즐 61 을 이용 해서 액체 L 1 를 공급 한다 . 이렇게 함 으로써 , 액체 L 1 의 액 막 을 형성 한다 . 또 , 액체 공급 및 회수 기구 ( 60 ) 는 회수 노즐 62 를 이용 해서 액체 L 1 를 회수 하 고 , 정제 기구 및 탈 가스 기구 ( 모두 미 도시 ) 를 통해서 액체 L 1 을 순환 시킨다 .