용기 ( 10 ) 로 는 전면 개방 일체 식 포드 ( Front Open Unified Pod : FOUP ) 와 같 은 밀폐 용 용기 ( 10 ) 가 사용 될 수 있 다 . 용기 ( 10 ) 는 오버헤드 트랜스퍼 ( Overhead Transfer ) , 오버헤드 컨베이어 ( Overhead Conveyor ) , 또는 자동 안내 차량 ( Automatic Guided Vehicle ) 과 같 은 이송 수단 ( 도시 되 지 않 음 ) 이나 작업자 에 의해 로드 포트 ( 22 ) 에 놓일 수 있 다 .