유전체 층 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 유전체 재료 의 하나 이상 의 층 을 포함 할 수 있 다 . 상호 접속 구조 는 접촉 , 단층 / 다층 비아 , 전도성 라인 , 플러그 , 패드 , 및 / 또는 임의 의 다른 적절 한 전도성 구조 ( W , Co , Cu , Al , 도핑 된 실리콘 , 실리사이드 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 음 ) 를 포함 할 수 있 지만 이 에 제한 되 지 않 는다 .