일반 적 으로 어떤 물체 또는 시료 의 평면도 를 측정 하 는 경우 , 전자 현미경 또는 원자 현미경 을 사용 할 수 있 다 . 그러나 , 상기 전자 현미경 또는 상기 원자 현미경 을 사용 하 여 상기 평면도 의 측정 하 는 것 은 많 은 시간 이 소요 되 는 단점 이 존재 한다 . 상기 단점 을 극복 하 기 위하 여 , 시료 의 평면도 를 측정 할 때 광학 식 형상 측 정법 을 사용 할 수 있 다 .