제 1 , 제 2 가스 분산 및 분사 단계 ( S 513 ) 에서 는 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 의 가스 분리 모듈 ( 220 ) 에서 제 1 가스 및 제 2 가스 가 분리 분산 되 어 , 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 의 가스 분사 모듈 ( 230 ) 에서 플 라즈 마 화 되 어 공통 으로 반응 챔버 ( 160 ) 내부 로 분사 된다 . 제 1 , 제 2 가스 분산 및 분사 단계 ( S 513 ) 는 가스 분리 형 샤워 헤드 ( 140 ) 에서 이루어진다 .