제어 장치 ( 22 ) 가 제 1 밸브 ( 27 ) 를 열 면 , 제 1 탱크 ( 23 ) 에 저류 된 제 1 소수 화제 가 , 제 1 유량 조정 밸브 ( 28 ) 의 개도 에 따른 유량 으로 집합 배관 ( 31 ) 에 공급 된다 . 마찬가지 로 , 제 어 장치 ( 22 ) 가 제 2 밸브 ( 29 ) 를 열 면 , 제 2 탱크 ( 24 ) 에 저류 된 희석 용제 가 제 2 유량 조정 밸브 ( 30 ) 의 개도 에 따른 유량 으로 집합 배관 ( 31 ) 에 공급 된다 . 이 에 의해 , 제 1 소수 화제 및 희석 용제 가 집합 배관 ( 31 ) 내 에서 혼합 된다 . 그 때문 에 , 희석 용제 가 제 1 소수 화제 에 용해 되 어 , 제 1 소수 화제 가 희석 된다 . 그리고 , 희석 된 제 1 소수 화제 가 집합 배관 ( 31 ) 으로부터 처리 액 공급 배관 ( 15 ) 으로 공급 되 어 , 중심축 노즐 ( 14 ) 로부터 토출 된다 . 제 1 소수 화제 는 희석 된 상태 로 중심축 노즐 ( 14 ) 에 공급 되 어도 좋 고 , 희석 되 지 않 고 중심축 노즐 ( 14 ) 에 공급 되 어도 좋 다 . 예 를 들 면 , 제 1 소수 화제 가 메탈 계 소수 화제 의 일례 인 유기 실리콘 화합물 인 경우 에 는 , 제 1 소수 화제 는 희석 되 지 않 고 중심축 노즐 ( 14 ) 에 공급 되 는 것 이 바람직 하 다 .