온도 조절 실 ( 332 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 수평 으로 탑재 되 는 , 평면 에서 보 아 원형 의 탑재 대 ( 210 ) 가 마련 되 어 있 다 . 탑 재 대 ( 210 ) 의 상부 에 는 , 정전 척 ( 211 ) 이 마련 되 어 있 다 . 또한 , 탑재 대 ( 210 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 실온 보다 높 은 소망 의 온도 로 가열 하 거나 , 상기 온도 로 웨이퍼 ( W ) 를 유지 하 기 위한 가열 기구 ( 212 ) 가 마련 되 어 있 다 . 가열 기구 ( 212 ) 는 예 를 들 면 저항 가열 히터 로 구성 된다 .