도 2 a 내지 도 2 c 를 참조 하 여 반도체 소자 의 구조 를 살펴보 면 , 기판 ( 31 A ) 상 에 매트릭스 형태 로 소정 간격 이격 되 어 복수 의 필라 구조물 ( 101 ) 이 형성 된다 . 필라 구조물 ( 101 ) 은 바디 필라 ( 34 C ) , 헤드 필라 ( 34 A ) , 버퍼 막 패턴 ( 32 ) , 하드 마스크 패턴 ( 33 ) 및 제 1 캡 핑 막 ( 35 ) 을 포함 할 수 있 다 .