캡 부재 ( 40 ) 의 중앙부 에 는 , 처리 공간 ( S ) 내 에 처리 가스 나 퍼지 가스 를 도입 하 기 위한 가스 도입 로 ( 44 ) 가 형성 되 어 있 다 . 가스 도입 로 ( 44 ) 는 , 캡 부재 ( 40 ) 의 중앙부 를 관통 하 고 , 그 하단 이 , 적재 대 ( 20 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 의 중앙부 와 대향 하 도록 마련 되 어 있 다 . 또한 , 캡 부재 ( 40 ) 의 중앙부 에 는 유로 형성 부재 ( 40 a ) 가 감입 되 어 있 고 , 이 유로 형성 부재 ( 40 a ) 에 의해 , 가스 도입 로 ( 44 ) 의 상측 은 분기 되 어 , 각각 덮개 ( 13 ) 를 관통 하 는 가스 도입 로 ( 45 ) 와 연통 하 고 있 다 .