이 중 , 도 5 의 ( a ) 는 데이터 취득 부 ( 401 ) 에 의해 추출 된 , 1 사이클 단계 분 의 압력 데이터 의 일례 이 며 , 횡축 은 시간 을 , 종축 은 압력 을 나타내 고 있 다 . 또한 , 부호 501 은 , 상기 사이클 단계 에 있 어서 의 목표 가스 압력 을 나타내 고 있 고 , 부호 502 는 , 상기 사이클 단계 에 있 어서 측정 된 압력 데이터 를 나타내 고 있 다 .