이때 , 기판 ( 180 A ) 의 제 1 열 팽창 계수 와 제 1 절연 층 ( 152 , 154 , 156 ) 을 이루 는 적어도 2 개 의 다층 의 체적 열 팽창 계수 의 평균치 ( CTEAVE ) ( 이하 , ' 제 1 평균치 ' 라 함 ) 간 의 차이 가 ± 3 x 10 - 6 / K 보다 작 거나 ± 9 x 10 - 6 / K 보다 클 경우 , 제 1 절연 층 ( 152 , 154 , 156 ) 을 파괴 할 정도 의 잔류 응력 이 존재 할 가능 성 이 있 다 . 따라서 , 기판 ( 180 A ) 의 제 1 열 팽창 계수 와 제 1 평균치 간 의 차이 는 ± 3 x 10 - 6 / K 내지 ± 9 x 10 - 6 / K 이하 , 예 를 들 어 , ± 4 x 10 - 6 / K 이하 일 수 있 으나 , 실시 예 는 이 에 국한 되 지 않 는다 .