다음 으로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 3 개 의 포스 얼라이먼트 쇼트 영역 에 부설 된 얼라이먼트 마크 를 검출 하 는 위치 를 향한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 + Y 방향 으로 의 이동 을 개시 한다 . 이 때 , 포커스 매핑 은 속행 되 고 있 다 . 한편 , 계측 스테이지 ( MST ) 는 , 상기 노광 개시 대기 위치 에서 대기 하 고 있 다 .