더욱이 , 제 1 신축 부 ( 320 ) 는 지지 프레임 ( 342 ) 의 좌우 이동 을 억제 할 수 있 으므로 , 다시 말 해서 , 지지 프레임 은 베이스 프레임 ( 310 ) 에 고정 장착 되 는 제 1 신축 부 ( 320 ) 에 연결 되 어 좌우 이동 이 원천 적 으로 억제 될 수 있 으므로 , 제 1 신축 부 ( 320 ) 와 제 2 신축 부 ( 330 ) 의 작 동시 지지 프레임 ( 342 ) 의 불 안정 한 유동 에 의한 기판 ( 10 ) 의 흔들림 을 최소 화 할 수 있 으며 , 흔들림 에 의한 그립 실패 를 방지 하 고 안정 성 및 신뢰 성 을 높이 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 따라서 , 지지 프레임 ( 342 ) 의 불 안정 한 유동 을 방지 하 기 위한 별도 의 가이드 수단 , 예 를 들 어 , 지지 프레임 의 상하 방향 을 따른 이동 을 가이드 하 는 가이드 부싱 을 별도 로 장착 하 지 않 아도 되 기 때문 에 , 구조 를 간소 화 하 고 설계 자유도 를 향상 시키 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 특히 , 적어도 일 측변 의 길이 가 1 m 보다 큰 길이 를 갖 는 대면 적 기판 ( 10 ) 은 지지 프레임 ( 342 ) 의 작 은 흔들림 에 도 크 게 요동 될 수 있 기 때문 에 , 지지 프레임 ( 342 ) 의 좌우 흔들림 을 최대한 억제 하 는 것 이 중요 하 다 .