도 2 에 도시 되 는 것 처럼 , 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) 의 일단 은 , 배선 ( 15 a ) 을 통해서 전극 패드 ( 21 a ) 에 접속 되 어 있 다 . 배선 ( 15 a ) 은 절연 층 ( 26 ) 과 절연 층 ( 27 ) 의 사이 에 형성 되 어 있 고 ( 도 3 참조 ) , 제 1 가동 부 ( 3 ) 로부터 , 한쪽 의 제 1 연결부 ( 5 ) , 제 2 가동 부 ( 4 ) 및 한쪽 의 제 2 연결부 ( 6 ) 를 통해서 , 지지 부 ( 2 ) 로 연장 되 어 있 다 . 전극 패드 ( 21 a ) 는 절연 층 ( 26 ) 과 절연 층 ( 27 ) 의 사이 에 형성 되 어 있 고 ( 도 3 참조 ) , 절연 층 ( 27 ) 에 형성 된 개구 로부터 외부 로 노출 되 어 있 다 . 배선 ( 15 a ) 및 전극 패드 ( 21 a ) 는 , 예 를 들 면 , 텅스텐 , 알루미늄 , 금 , 은 , 동 또는 알루미늄 계 합금 등 의 금속 재료 에 의해서 일체 적 으로 형성 되 어 있 다 . 덧붙여 , 제 1 구동 용 코일 ( 11 ) 과 배선 ( 15 a ) 은 , 절연 층 ( 26 ) 에 형성 된 개구 를 통해서 서로 접속 되 어 있 다 .