또한 , 성막 장치 ( 1 ) 에서 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 에 대하 여 , 당해 리프트 핀 ( 30 ) 을 지지 가능 하 게 구성 된 부재 인 핀 지지 부재 ( 100 ) 와 , 당해 리프트 핀 ( 30 ) 을 지지 가능 하 게 구성 됨 과 함께 지지 한 당해 리프트 핀 ( 30 ) 을 상하 방향 으로 이동 시키 는 핀 이동 기구 ( 110 ) 가 마련 되 어 있 다 .