또한 , 연마 패드 ( 4 ) 의 들뜨 는 현상 이 발생 되 면 , 기존 의 연마 패드 ( 4 ) 를 새로운 연마 패드 ( 4 ) 로 교체 해 주 어야 하 는 유지 보수 작업 을 수행 하 여야 한다 . 그러나 , 이러 한 유지 보수 작업 은 작업자 의 부담 이 크 고 , 연마 패드 ( 4 ) 의 교체 로 인한 비용 이 증가 하 며 , 유지 보수 를 하 는 동안 에 는 공정 을 중단 하 여야 하 므로 , 설비 의 가동 률 이 저하 된다 .