상기 이송 장치 ( 420 ) 는 상기 그립 장치 ( 410 ) 를 상기 공급 및 배 출부 ( 100 ) 에서 상기 테스트 부 ( 200 ) 로 이송 하 거나 , 상기 테스트 부 ( 200 ) 에서 상기 공급 및 배 출부 ( 100 ) 또는 상기 불량 적 재부 ( 300 ) 로 이송 한다 . 상기 이송 장치 ( 420 ) 는 도 2 , 도 4 , 및 도 5 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , X 축 이 송부 ( 421 ) , Z 축 이 송부 ( 422 ) , 및 Y 축 이 송부 ( 423 ) 를 포함 한다 .