또한 , 반도체 기판 ( 500 ) 대신 에 , 알루미노 실리케이트 유리 , 알루미노 보로 실리케이트 유리 , 바륨 보로 실리케이트 유리 와 같 은 전자 공업 용 으로 이용 되 는 각종 유리 기판 , 석영 기판 , 세라믹 기판 , 사파이어 기판 을 들 수 있 다 . 또한 , 질화 실리콘 과 산화알루미늄 을 주성분 으로 한 열팽창 계수 가 실리콘 에 가까운 세라믹 기판 을 이용 하 여도 된다 .