가스 이 송부 ( 141 ) 는 상기 지지 부재 ( 131 ) 내부 를 관통 하 고 , 가스 를 이송 할 수 잇 다 . 즉 , 가스 이 송부 ( 141 ) 는 베이스 부 ( 133 ) 와 접촉 부 ( 132 ) 의 내부 를 관통 할 수 있 고 , 접촉 부 ( 132 ) 는 가스 를 기판 ( S ) 의 저면 에 토출 할 수 있 다 . 한편 , 도 9 의 ( a ) 및 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 접촉 부 ( 132 ) 내부 에서 의 가스 이 송부 ( 141 ) 의 형상 은 다양 한 형상 일 수 있 으므로 , 특정 형상 으로 한정 하 지 는 않 는다 .