도전 막 ( 402 ) 은 , 유리 기판 ( 404 ) 의 , 제 1 패턴 ( 414 ) 이 마련 되 어 있 지 않 은 이면 에 마련 되 어 있 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 유리 기판 ( 404 ) 은 , 도전 막 ( 402 ) 과 반사막 ( 406 ) 의 사이 에 마련 되 어 있 다 . 도전 막 ( 402 ) 은 , 도시 하 지 않 은 정전 척 에 EUV 마스크 ( 400 ) 의 고정 을 행하 기 위해 마련 되 어 있 다 . 도전 막 ( 402 ) 은 , 예 를 들 어 CrN ( 질화 크롬 ) 을 포함 한다 .