제 6 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 에 따르 면 , 제 1 대기 반송 유닛 ( 107 ) 및 제 2 대기 반송 유닛 ( 108 ) 을 계층 구조 로 함 으로써 , 종래 의 평면 적 으로 전개 한 멀티 챔버 식 의 기판 처리 시스템 에 비해 , 기판 처리 시스템 전체 의 풋 프린트 가 저감 된다 . 또한 , 로더 모듈 에 연결 되 는 복수 의 대기 반송 유닛 ( 107 , 108 ) 을 설치 함 으로써 , 스루풋 ( 단위 시간 당 의 처리 매수 ) 의 향상 을 도모 할 수 있 다 .