웨이퍼 를 한 장 씩 수납 하 는 싱글 블레이드 및 복수 의 웨이퍼 를 한 번 에 수납 하 는 멀티 블레이드 를 구비 하 는 블레이드 유 니트 ; 상기 웨이퍼 를 한 장 씩 수납 하 는 경우 상기 싱글 블레이드 로써 작업 하 고 상기 복수 의 웨이퍼 를 한 번 에 수납 하 는 경우 상기 멀티 블레이드 로써 작업 할 수 있 도록 , 상기 싱글 블레이드 및 멀티 블레이드 중 어느 하나 를 선택 하 는 선택 수단 ; 을 포함 하 는 웨이퍼 이송 로봇 을 제공 한다 .