셋째 로 , 상기 제 1 부분 이 제 1 피치 ( PX ) 로 배열 될 때 , 상기 제 1 도메인 또는 상기 제 3 도메인 은 상기 제 1 피치 ( PX ) 의 1 / n 배 로 축소 된 피치 로 배열 될 수 있 으며 , 또한 상기 제 2 도메인 은 상기 제 1 피치 ( PX ) 의 1 / 2 n 배 축소 된 피치 로 배열 될 수 있 다 . 따라서 , 미세 패턴 의 패턴 밀도 를 제 1 부분 의 패턴 밀도 에 비해 향상 시킬 수 있 으며 , 또한 포 토리 소그라 피 공정 의 해 상 한계 를 초월 하 는 피치 를 갖 는 미세 패턴 을 형성 할 수 있 다 .