화학 기계 적 연마 패드 ( 130 - 1 ) 의 표면 의 홈 부 ( 134 ) 에 는 연마 슬러리 ( 도 2 의 152 ) 가 채워 지 거나 이송 되 는 통로 일 수 있 다 . 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 - 1 ) 의 표면 의 홈 부 ( 134 ) 및 돌출부 ( 136 ) 간 의 높이 차이 가 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 를 결정 한다 . 도 7 은 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 가 초기 상태 로써 적정 값 보다 크 므로 연마 정밀도 가 향상 되 어 웨이퍼 평탄 화 의 신뢰 성 을 향상 될 수 있 다 .