조명 분포 는 레티 클 의 리소그래피 패턴 에 대해 최적 화 될 수 있 어서 , 소스 픽셀 은 주로 소스 - 동공 평면 에서 2 개 의 대향 하 는 사분면 에 속하 며 , 우선 적 산란 축 은 기하학 적 소스 - 동공 축 에 대해 45 ° 이하 의 각도 로 배향 될 수 있 다 ( 바람직 하 게 는 0 °). 기하학 적 소스 - 동공 축 은 상기 2 개 의 대향 사분면 을 각각 동일 한 크기 의 2 개 의 8 분원 ( octants ) 으로 분할 하 게끔 연장 되 도록 형성 된다 .