그리고 , 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 스텝 S 21 내지 S 23 과 마찬가지 의 제어 를 실행 함 으로써 , 토출 밸브 ( 72 ) 가 개방 된 상태 에서 , 노즐 ( 31 ) 로부터 처리 액 을 토출 시켜도 된다 . 이때 , 도 17 의 ( b ) 에 도시 된 바 와 같이 , 압송 부 ( 64 ) ( 펌프 ( 76 ) ) 로부터 필터 ( 63 ) 를 거쳐서 토출 부 ( 30 ) 에 처리 액 이 보내 진다 . 처리 액 의 토출 중 에 있 어서 , 전환 밸브 ( 71 ) 및 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 가 폐쇄 되 고 , 제 1 접속 밸브 ( 67 ) 및 토출 밸브 ( 72 ) 가 개방 된 상태 에서 , 토출 준비 부 ( 111 ) 는 , 예 를 들 어 압력 측 정부 ( 69 ) 의 측정값 에 기초 하 여 펌프 구동 부 ( 77 ) 를 제어 함 으로써 , 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 을 조절 한다 .