실시 예 2 는 , 어시스트 가스 로서 아르곤 가스 를 사용 한 점 을 제외 하 고 실시 예 1 과 공통 이 다 . 실시 예 2 에서 는 , 최대 1 mA 정도 의 알루미늄 의 1 가 이온 ( Al +) 의 빔 을 얻 을 수 있 었 다 . 실시 예 3 은 , 어시스트 가스 로서 포스핀 을 사용 한 점 을 제외 하 고 실시 예 1 , 2 와 공통 이 다 . 실시 예 3 에 있 어서 도 , 최대 1 mA 정도 의 알루미늄 의 1 가 이온 ( Al +) 의 빔 을 얻 을 수 있 었 다 . 실시 예 4 에서 는 , 어시스트 가스 를 사용 하 고 있 지 않 은 점 을 제외 하 고 실시 예 1 ~ 3 과 공통 이 다 . 실시 예 4 에 있 어서 도 , 최대 1 mA 정도 의 알루미늄 의 1 가 이온 ( Al +) 의 빔 을 얻 을 수 있 었 지만 , 플 라즈 마의 안정 성 이 저하 되 는 경향 이 보였 다 .