여기 서 , 본 실시 형태 에서 는 적 외광선 이 유연 구조 체의 섬유 다발 ( 11 ) 에 의해 그 광축 을 웨이퍼 ( 1 ) 의 주면 ( 1 c ) 에 대해 비스듬히 교차 하 는 방향 으로 하 면서 웨이퍼 ( 1 ) 에 조사 되 므로 , 도 11 에 도시 한 바 와 같이 오목 형상 의 식별 마크 ( 20 ) 를 제외 한 대략 평면 형상 의 주면 ( 1 c ) 에 있 어서 정반사 된다 . 한편 , 오목 형상 의 도트 의 집합체 인 식별 마크 ( 20 ) 에서 는 조사 한 적 외광선 이 그 오목 형상 에 따라서 난반사 하 는 것 이 된다 . 본 실시 형태 에서 는 IR 카메라 ( 16 ) 가 광학계 의 광축 을 주 면 ( 1 c ) 에 직교 하 는 방향 을 향해 설치 되 어 있 으므로 , IR 카메라 ( 16 ) 는 식별 마크 ( 20 ) 를 제외 한 주면 ( 1 c ) 에서 정반사 한 반사광 을 수 광 하 지 않 고 , 식별 마크 ( 20 ) 로 난반사 한 반사광 중 IR 카메라 ( 16 ) 의 광학계 의 광축 방향 으로 반사 한 반사광 만 을 수 광 하 여 화 상 을 촬상 하 는 것 이 된다 . 이 에 의해 , 촬상한 화상 에 는 예 를 들 어 도 12 에 도시 한 바 와 같이 제 1 실시 형태 와 달리 주 면 ( 1 c ) 의 식별 마크 ( 20 ) 부근 에 형성 된 예 를 들 어 IC ( 1 d ) 의 패턴 등 은 존재 하 지 않 고 , 식별 마크 ( 20 ) 만 이 선명 하 게 찍혀 나오 게 된다 .