도 1 에 본 실시 예 에 있 어서 의 주사 전자 현미경 의 일례 를 나타낸다 . 주사 전자 현미경 은 단속 조사 계 , 전자 광학계 , 이 차 전자 검출 계 , 스테이지 기구 계 , 화상 처리 계 , 제 어계 , 조작 계 에 의해 구성 되 어 있 다 . 단속 조사 계 는 전자 선원 ( 1 ) , 펄스 전자 생성기 ( 4 ) 에 의해 구성 되 어 있 다 . 본 발명 에서 는 , 별도 펄스 전자 생성기 ( 4 ) 를 마련 하 는 구성 으로 했 지만 , 펄스 전자 를 조사 가능 한 전자 선원 을 이용 해도 실시 가능 하 다 .