베 이크 챔버 ( 620 ) 는 보호막 이 도포 된 기판 ( W ) 을 열처리 한다 . 베 이크 챔버 ( 620 ) 는 냉각 플레이트 ( 621 ) 또는 가열 플레이트 ( 622 ) 를 가진다 . 냉각 플레이트 ( 621 ) 에 는 냉각수 또는 열전 소자 와 같 은 냉각 수단 ( 623 ) 이 제공 된다 . 또는 가열 플레이트 ( 622 ) 에 는 열선 또는 열전 소자 와 같 은 가열 수단 ( 624 ) 이 제공 된다 . 가열 플레이트 ( 622 ) 와 냉각 플레이트 ( 621 ) 는 하나 의 베 이크 챔버 ( 620 ) 내 에 각각 제공 될 수 있 다 . 선택 적 으로 베 이크 챔버 들 ( 620 ) 중 일부 는 가열 플레이트 ( 622 ) 만 을 구비 하 고 , 다른 일부 는 냉각 플레이트 ( 621 ) 만 을 구비 할 수 있 다 .