상기 화학식 1 에서 , R 3 작용기 는 빛 을 흡수 하 는 흡광 제 로서 작용 하 고 , R 5 작용기 는 경화제 와 반응 하 여 가 교 구조 를 형성 한다 . 따라서 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 유기 반사 방지 막 용 조성물 을 사용 하 여 형성 된 유기 반사 방지 막 은 기판 위 에 도포 된 후 베이 킹 공정 을 거치 면서 가 교 구조 가 형성 되 면서 경화 가 일어나 용매 에 대한 내용 해성 을 갖 게 된다 . 즉 , 반사 방지 막 이 형성 된 후 , 감광제 도포 시 에 반사 방지 막 이 감광제 의 용매 에 의해 용해 되 지 않 아 안정 성 을 갖 게 된다 .