예시 적 으로 , 터널 링 절 연막 은 열 산화 막 을 포함 할 것 이 다 . 전하 저장 막 은 질화 막 또는 금속 산화 막 ( 예 를 들 면 , 알루미늄 산화 막 , 하프늄 산화 막 등 ) 을 포함 할 것 이 다 . 블로킹 절연 막 은 은 단일 층 또는 다층 으로 형성 될 수 있 다 . 블로킹 절연 막 은 터널 링 절 연막 및 전하 저 장막 보다 높 은 유전 상수 를 갖 는 고유 전막 ( 예 를 들 면 , 알루미늄 산화 막 , 하프늄 산화 막 등 ) 일 수 있 다 . 예 시 적 으로 , 터널 링 절 연막 , 전하 저 장막 , 그리고 블로킹 절연 막 은 ONO ( oxide - nitride - oxide ) 를 구성 할 수 있 다 .