마이크로파 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 는 전체 제 어부 ( 70 ) 를 갖 고 있 다 . 전체 제 어부 ( 70 ) 는 , 마이크로파 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 의 각 구성 부 , 예 를 들 어 마이크로파 발진기 ( 40 ) , 히터 ( 5 ) 의 전원 , 배기 기구 ( 24 ) , 가스 공급 기구 ( 60 ) 의 밸브 나 유량 제어기 등 을 제어 하 는 CPU ( 컴퓨터 ) 를 갖 는 주 제 어부 와 , 입력 장치 ( 키보드 , 마우스 등 ) , 출력 장치 ( 프린터 등 ) , 표시 장치 ( 디스플레이 등 ) , 기억 장치 ( 기억 매체 ) 를 갖 고 있 다 . 기억 장치 에 는 , 마이크로파 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 에서 실행 되 는 각종 처리 의 파라미터 가 기억 되 어 있 고 , 또한 마이크로파 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 에서 실행 되 는 처리 를 제어 하 기 위한 프로그램 , 즉 처리 레시피 가 저장 된 기억 매체 가 세트 되 도록 되 어 있 다 . 주 제 어부 는 , 기억 매체 에 기억 되 어 있 는 소정 의 처리 레시피 를 호출 하 여 , 그 처리 레시피 에 기초 해서 마이크로파 플라스마 처리 장치 ( 100 ) 에 의해 소정 의 처리 가 행해 지 도록 제어 한다 .