이 와 같이 , 본 제 4 실시 형태 에서 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 + Y 방향 으로 이동 시키 면서 , X 축 방향 으로 지그재그 형상 으로 왕복 이동 시켜 , 그 이동 경로 상 에 있 어서 의 복수 지점 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 위치 결정 하 고 , 위치 결정시 마다 5 개 의 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) 중 적어도 2 개 를 동시 에 사용 하 여 얼라이먼트 마크 를 검출 한다 . 따라서 , 본 제 4 실시 형태 에 의하 면 , 웨이퍼 ( W 1 ) 상 의 복수 의 샘플 쇼트 영역 에 있 어서 의 얼라이먼트 마크 의 위치 정보 를 단일 얼라이먼트 계 에 의해 얼라이먼트 마크 를 순차 검출 하 는 경우 등 에 비해 , 현격히 단시간 에 얻 을 수 있 다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W 1 ) 상 의 모든 쇼트 영역 을 샘플 쇼트 영역 으로 하 는 경우 라도 , 단시간 의 계측 이 가능 하 다 .