최근 , 경질 취성 재료 로 이루어진 디스크 기판 에 대한 시장 의 수요 가 증가 하 고 있 다 . 디스크 기판 상 의 균열 이나 흠 에 기초 한 불량 률 이 상당히 감소 ( 2 % 미만 으로 ) 될 것 이 강하 게 요구 되 고 있 다 . 디스크 기판 상 의 균열 이나 흠 을 유발 하 는 미소 균열 은 특허 문헌 1 에 개시 된 바 와 같이 , 각주 형상 부재 의 측면 상 에 뿐 만 아니 라 모서리 부 상 에 도 존재 한다 . 따라서 , 부재 의 측면 과 모서리 부 상 의 미소 균열 을 제거 할 필요 가 있 다 .