구체 적 으로 , 본 발명 에 있 어서 , 상기 구리 막 , 티타늄 막 은 구리 막 / 티타 뮴막의 순 으로 적층 된 이중 금속 막 , 티타늄 막 / 구리 막 의 순 으로 적층 된 이중 금속 막 을 포함 할 수 있 다 . 또한 , 구리 막 과 티타늄 막 이 3 층 이상 으로 교대 로 적층 된 다중 금속 막 , 예컨대 구리 막 / 티타늄 막 / 구리 막 의 삼중 금속 막 , 티타늄 막 / 구리 막 / 티타늄 막 의 삼중 금속 막 , 구리 막 / 티타늄 막 / 구리 막 / 티타늄 막 / 구리 막 의 다중 금속 막 등 도 포함 한다 . 상기 티타늄 막 의 두께 는 예컨대 100 내지 300 Å 일 수 있 으나 이 에 한정 되 지 않 으며 , 상기 구리 막 의 두께 는 통상 2000 내지 7000 Å 일 수 있 으나 역시 이 에 한정 되 지 않 는다 .