일반 적 으로 표면 결함 은 열처리 와 수소 처리 에 의하 여 제거 될 수 있 는 데 반하 여 결정 경계 내 의 결함 은 제거 하 기 어렵 다 . 따라서 수소 처리 등 을 거친 박막 에서 는 결정 경계 내 의 결함 이 전체 결함 의 주요 원인 이 된다 . 또한 수소 처리 등 을 거친 박막 에서 결정 크기 가 두께 정도 인 박막 에 비하 여 결정 크기 가 두께 의 두 배 의 크기 를 갖 는 박막 에서 의 결함 의 수 는 두 배 작아지 므로 캐리어 의 이동도 와 수명 은 증가 하 게 된다 .