본 발명 은 , 기판 , 상기 기판 상 에 적층 된 반사막 , 상기 반사막 상 에 적층 된 흡수 막 을 포함 하 며 , 상기 흡수 막 은 복수 의 흡수 층 과 하나 이상 의 중간층 이 교대 로 배치 된 구조 를 가지 며 , 각각 의 상기 흡수 층 은 Pt 또는 Pt 에 경원 소 물질 이 포함 된 Pt 화합물 로 구성 되 고 , 상기 중간층 은 Pt 를 제외 한 금속 물질 또는 상기 금속 물질 에 경원 소 물질 이 포함 된 금속 화합물 로 구성 되 는 것 을 특징 으로 하 는 EUV 용 블랭크 마스크 를 제안 한다 .