이러 한 세정 처리 를 행하 기 위한 장치 로서 는 , 카세트 에 수용 된 복수 매 의 연마 완료 연마 대상물 을 동시 에 표면 처리 하 는 뱃 치식 세정 장치 , 1 매 의 연마 완료 연마 대상물 을 홀더 에 장착 하 여 표면 처리 하 는 낱장 식 세정 장치 등 이 있 다 . 세정 시간 의 단축 등 의 관점 에서 는 , 낱장 식 세정 장치 를 사용 하 는 방법 이 바람직 하 다 .