도 6 을 참조 하 면 , 노출 된 상기 제 2 희생 절 연막 ( 9 ) 에 대하 여 이방성 식각 공정 을 진행 하 여 상기 제 3 희생 절 연막 ( 11 ) 과 상기 활성 기둥 ( AP ) 사이 의 상기 제 2 희생 절 연막 ( 9 ) 을 제거 하 고 상기 제 3 희생 절 연막 ( 11 ) 과 상기 제 1 희생 절 연막 ( 7 ) 사이 에 상기 제 2 희생 절 연막 ( 9 ) 을 남긴다 . 이 로써 상기 활성 기둥 ( AP ) 과 상기 제 3 희생 절 연막 ( 11 ) 의 측면 이 노출 되 고 이 들 사이 에 갭 영역 ( 13 ) 이 형성 된다 .