이 때 , 동시 에 , 불활성 가스 공급원 으로서 의 N 2 가스 공급원 ( 273 ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 로 N 2 가스 를 공급 하 고 , 클리닝 가스 인 F 2 가스 를 희석 하 도록 해도 된다 . 이 경우 , 예 를 들 면 밸브 ( 262 c , 261 c , 262 d , 261 d ) 가 열림 으로써 N 2 가스 공급원 ( 273 ) 으로부터 불활성 가스 공급 관 ( 232 c , 232 d ) 내 에 각각 공급 된 N 2 가스 는 , 각각 MFC ( 241 c , 241 d ) 에서 원 하 는 유량 이 되 도록 제어 된 후 , 불활성 가스 공급 관 ( 232 c , 232 d ) 을 지나 , 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 을 경유 하 여 노즐 ( 230 a , 230 b ) 로부터 처리 실 ( 201 ) 내 로 도입 된다 . N 2 가스 는 , 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 내 에서 F 2 와 혼합 되 게 된다 . N 2 가스 의 공급 유량 을 제어 함 으로써 , F 2 가스 의 농도 를 제어 하 는 것 도 가능 하 다 .