상기 복수 의 진공 유로 ( 628 a , 628 b ) 는 진공 압 발생 장치 ( 629 ) 와 연결 된다 . 상기 진공 압 발생 장치 ( 629 ) 는 상기 중심 진공 유로 ( 628 a ) 및 중심 흡착 홀 ( 627 a ) 을 통해 상기 중심 영역 ( CA ) 에 진공 압 을 제공 하 며 , 상기 가장 자리 진공 유로 ( 628 b ) 와 가장자리 흡착 홀 ( 627 b ) 을 통해 가장 자리 영역 ( EA ) 에 진공 압 을 제공 한다 . 이때 상기 진공 압 발생 장치 ( 629 ) 는 상기 중심 영역 ( CA ) 과 상기 가장자리 영역 ( EA ) 에 동일 한 진공 압 을 제공 할 수 도 있 고 서로 다른 진공 압 을 제공 할 수 도 있 다 .