상술 한 바 와 같이 , 균일 한 직경 ( 예 를 들 어 1 mm ) 과 같 은 균일 한 단면 의 홀 들 을 가지 도록 상기 샤워 플레이트 를 변형 하 여 높 은 세정 속도 를 달성 할 수 있 다 . 상기 홀 가공 영역 을 적절 한 직경 으로 감소 시켜 개선 할 수 있 는 막 두께 균 일도 가 감소 되 는 문제점 외 에 도 , 종래 의 샤워 플레이트 를 대신 하 여 균일 한 단면 홀 들 을 가지 는 개선 된 샤워 플레이트 를 이용 하 는 경우 에 는 , 기생 플 라즈 마 , 또는 비 정상 플 라즈 마가 발생 하 는 다른 문제점 이 있 다 . 이러 한 문제점 들 은 도 7 a 에 도시 되 어 있 고 , 하 기 에 설명 된다 .