도전 막 ( 201 ) 은 기판 ( 201 ) 의 후면 에 형성 된다 . 도전 막 ( 201 ) 은 낮 은 면저항 값 을 가져 정전 척 ( Electronic - Chuck ) 과 EUV 용 블랭크 마스크 의 밀착 성 을 향상 시키 며 , 정전 척 과 의 마찰 에 의해 파티클 이 발생 하 는 것 을 방지 하 는 기능 을 한다 . 도전 막 ( 201 ) 은 100 Ω / □ 이하 의 면저항 을 가지 며 , 바람직 하 게 는 , 50 Ω / □ 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 20 Ω / □ 이하 의 면저항 을 갖 는다 .