도 4 를 참조 하 여 계속 하 면 , 편광기 ( 들 ) 및 / 또는 브루스터 윈도우 가 오 실 레이터 ( 400 ) 및 / 또는 증폭기 ( 406 a - b ) 에서 채용 되 어 , 증폭기 챔버 ( 406 c ) 를 탈출 한 광 이 제 1 편광 방향 을 가지 도록 한다 . 도 4 는 또한 EUV 광원 이 상기 증폭기 챔버 ( 406 a , b , c ) 를 통과 해서 뻗 어 있 는 빔 경로 ( 408 ) 를 따라서 배치 되 고 , 액적 ( 도 4 에 도시 되 지 않 음 ) 이 상기 빔 경로 ( 408 ) 와 상호 작용 하 는 조사 위치 와 증폭기 챔버 ( 406 c ) 사이 에 개재 되 는 광학 절연체 ( 412 ) 를 포함 한다 . 절연체 ( 412 ) 는 예 를 들 면 , 광 반사시 , 선형 편광 광 을 원형 으로 편광 된 광 으로 변환 하 고 , 원형 편광 된 광 을 선형 편광 된 광 으로 변환 하 는 위상 지 연기 미러 를 포함 한다 . 따라서 , 위상 지 연기 미러 로부터 연속 하 여 2 번 반사 된 제 1 편광 방향 을 가지 는 최초 의 광 은 제 1 편광 방향 으로부터 90 ° 회전 되 고 , 즉 , 상기 2 번 반사 된 광이 상기 제 1 편광 방향 에 직교 하 는 방향 으로 선형 으로 편광 된다 . 위상 지 연기 미러 에 추가 하 여 , 절연체 ( 412 ) 는 또한 예 를 들 면 , 제 1 편광 방향 에 대해 직교 하 는 방향 으로 선형 으로 변 광 된 광 을 흡수 하 는 절연체 미러 와 같 은 , 선형 편광 필터 를 포함 한다 . 이러 한 배치 로 , 예 를 들 면 , 액적 과 같 은 타 겟 재료 로부터 빔 경로 ( 408 ) 상 에서 반사 된 광 은 광학 절연체 ( 412 ) 에 의해 흡수 되 고 , 증폭기 ( 406 a , b , c ) 로 재 입사 할 수 없 다 . 예 를 들 면 , " CO 2 레이저 로 사용 하 기 에 적합 한 유닛 이 상표명 Queller 및 / 또는 "" 절연체 상자 "" 로 Kugler GmbH ", Heiligenberger Str . 100 , 88682 , Salem , Germany 로부터 획득 될 수 있 다 . 일반 적 으로 , 광학 절연체 ( 412 ) 는 광이 증폭기 디바이스 ( 14 ') 로부터 액 적 으로 실질 적 으로 방해 받 지 않 고 흐르 는 반면 , 다시 반사 되 는 광 중 약 1 % 만 이 광학 절연체 ( 412 ) 를 통해 누설 하 고 증폭기 ( 406 a , b , c ) 에 도달 하 도록 기능 한다 .