서 셉 터 ( 2 ) 를 지지 하 는 지지 부재 ( 23 ) 는 , 서 셉 터 ( 2 ) 의 저면 중앙 으로부터 처리 용기 ( 1 ) 의 저 벽 에 형성 된 구멍 부 를 관통 해서 처리 용기 ( 1 ) 의 하방 으로 연장 되 고 , 그 하단 이 승강 기구 ( 24 ) 에 접속 되 어 있 다 . 승강 기구 ( 24 ) 에 의해 서 셉 터 ( 2 ) 가 지지 부재 ( 23 ) 를 통해 , 도 1 에서 나타내 는 처리 위치 와 , 그 하방 의 이점쇄선 으로 나타내 는 웨이퍼 의 반송 이 가능 한 반송 위치 와 의 사이 에서 승강 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 지지 부재 ( 23 ) 의 처리 용기 ( 1 ) 의 하방 에 는 , 플랜 지부 ( 25 ) 가 설치 되 어 있 고 , 처리 용기 ( 1 ) 의 저면 과 플랜 지부 ( 25 ) 의 사이 에 는 , 처리 용기 ( 1 ) 내 의 분위기 를 외기 와 구획 하 고 , 서 셉 터 ( 2 ) 의 승강 동작 에 따라 신축 하 는 벨로우즈 ( 26 ) 가 설치 되 어 있 다 .