상기 에서 논의 된 것 처럼 , 기판 ( 201 ) 은 일반 적 으로 처리 동안 그 중심 주위 로 회전 한다 . 기판 ( 201 ) 은 시계 방향 또는 반시 계 방향 으로 회전 할 수 있 다 . 기판 ( 201 ) 의 회전 은 출구 ( 234 ) 로부터 떨어져 측면 가스 유동 ( 248 ) 을 끌어당길 수 있 고 , 이 에 의해 측면 가스 유동 ( 248 ) 은 기판 ( 201 ) 상 에서 증가 된 효과 를 가질 수 있 다 .