이 와 같이 , 본 발명 은 반 점검 출부 ( 320 ) 를 이용 하 여 세정 및 건조 가 완료 된 기판 ( 10 ) 에서 반점 을 검출 하 도록 하 는 것 에 의하 여 , 디바이스 를 양산 하 기 전 에 반점 이 발생 된 기판 ( 10 ) 을 배제 할 수 있 으므로 , 디바이스 양산 단계 에서 반점 에 의한 양산 률 저하 를 미연 에 방지 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .