이어서 , 제 1 포토레지스트 패턴 ( 160 ) 을 식각 방지 막 으로 이용 하 여 액티브 층 ( 140 ) 을 식각 한다 . 이때 , 액티브 층 ( 140 ) 의 식각 공정 은 . 예 를 들 어 , 건식 식각 공정 으로 진행 될 수 있 다 . 상기 액티브 층 ( 140 ) 이 식각 된 후 남겨진 반도체 층 ( 142 ) 는 박막 트랜지스터 의 채널 부 에 해당 한다 .