그러나 , 특허 문헌 2 에 기재 된 조성물 은 막 두께 를 두껍 게 하 면 구리 또는 구리 합금 상 에서 변색 이 발생 한다는 문제 가 있 었 다 . 따라서 , 본 발명 은 구리 또는 구리 합금 상 에서 도 변색 을 일으키 지 않 는 경화 막 을 부여 하 는 감광성 수지 조성물 , 그 감광성 수지 조성물 을 사용 하 여 패턴 을 형성 하 는 경화 릴리프 패턴 의 제조 방법 , 그리고 반도체 장치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .