인덱스 ( 20 ) 는 공정 처 리부 ( 30 ) 의 전 단부 에 설치 된다 . 인덱스 ( 20 ) 는 기판 들 이 수용 된 카세트 ( C ) 가 놓이 는 로드 포트 들 ( 22 a , 22 b , 22 c , 22 d ) 과 , 인덱스 로봇 ( 100 a ) 을 가진다 . 로드 포트 들 ( 22 a , 22 b , 22 c , 22 d ) 은 제 2 방향 ( 14 ) 을 따라 일 방향 으로 나란 하 게 배치 되 고 , 인덱스 로봇 ( 100 a ) 은 로드 포트 들 ( 22 a , 22 b , 22 c , 22 d ) 과 공정 처 리부 ( 30 ) 의 사이 에 위치 한다 . 기판 들 을 수용 하 는 용기 ( C ) 는 오버헤드 트랜스퍼 ( Overhead Transfer ) , 오버헤드 컨베이어 ( Overhead Conveyor ) , 또는 자동 안내 차량 ( Automatic Guided Vehicle ) 과 같 은 이송 수단 ( 미 도시 ) 에 의해 로드 포 트 ( 22 a , 22 b , 22 c , 22 d ) 상 에 놓인다 . 용기 ( C ) 는 전면 개방 일체식 포드 ( Front Open Unified Pod : FOUP ) 와 같 은 밀폐 용 용기 가 사용 될 수 있 다 . 인덱스 로봇 ( 100 a ) 은 로드 포트 ( 22 a , 22 b , 22 c , 22 d ) 에 놓인 용기 ( C ) 와 공정 처 리부 ( 30 ) 간 에 기판 을 이송 한다 .