상부 플 라즈 마 챔버 ( 112 ) 및 하부 플 라즈 마 챔버 ( 114 ) 양쪽 모두 가 개개 의 한정 된 플 라즈 마들 을 인 클로즈 함 을 알 아야 한다 . 한정 된 플라 즈 마는 그 체류 시간 ( residence time ) 이 플 라즈 마 영역 내 에서 의 , 즉 상부 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 / 109 ) 내 에서 의 볼륨 , 압력 및 플로우 를 제어 함 으로써 제어 될 수 있 다는 점 에서 유용 하 다 . 플 라즈 마 체류 시간 은 라디칼 / 중성 이온 형성 에서 의 팩 터 인 해리 프로세스 에 영향 을 준다 . 상부 및 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 들 ( 103 / 109 ) 은 압력 및 온도 에 대하 여 미소 하 게 그리고 잘 제어 된다 .