도 2 c 에 는 , 비 - 제로 오 버레 이 오 차 를 나타내 는 복합 격자 ( 110 , 120 ) 의 단면 이 도시 되 어 있 다 . 제 2 격자 ( 120 ) 의 라인 ( 121 ) 들 에 는 제 1 격자 의 제 2 라인 ( 112 ) 에 대한 오버레이 오차 ( 오 정렬 ) ( ε ) 가 표시 되 어 있 다 . 결과 적 으로 , 도 2 c 에 도시 된 복합 격자 는 비대칭 이 다 - 즉 , 제 2 격자 ( 120 ) 의 라인 ( 121 ) 들 은 제 1 격자 ( 110 ) 의 제 2 라인 ( 112 ) 들 과 비교 하 여 거리 ε 만큼 시프트 된다 - .