도 5 에서 , 하전 입자 광학 기기 ( 510 ) 는 하나 이상 의 전자 검출기 , 이를테면 이 차 전자 검출기 ( 512 ) 를 포함 하 고 , 또한 , x - 선 광자 들 ( 522 ) 을 검출 하 기 위한 x - 선 검출기 ( 514 ) 를 포함 한다 . x - 선 검출기 ( 514 ) 는 , 하전 입자 광학 기기 ( 510 ) 의 컬럼 ( 511 ) 과 기판 ( 200 ) 사이 에 위치 된다 . 이 차 전자 검출기 ( 512 ) 는 , 컬럼 내 에 위치 되 는 렌즈 내 ( in - lens ) 검출기 이 다 . ( a ) 하전 입자 광학 기기 ( 510 ) 는 이 차 전자 검출기 대신 하나 이상 의 후방 산란 검출기 를 포함 할 수 있 고 , ( b ) 하전 입자 광학 기기 ( 510 ) 는 이 차 전자 검출기 에 부가 하 여 하나 이상 의 후방 산란 검출기 를 포함 할 수 있 다는 것 이 유의 되 어야 한다 .