본 발명 은 생산 성 을 증대 또는 극대 화 할 수 있 는 반도체 제조 설비 에 관한 것 으로 , 그 의 설비 는 외부 로부터 독립 된 공간 을 제공 하 여 반도체 제조 공정 이 수행 되 는 챔버 ; 상기 챔버 의 일 측 으로 연결 되 는 배기관 으로 상기 챔버 내부 의 공기 를 펌핑 하 는 진공 펌프 ; 상기 챔버 의 측벽 에 형성 된 포트 를 통해 상기 챔버 의 내부 와 연통 되 는 내부 공간 을 갖 고 , 상기 챔버 의 외부 로 돌출 되 도록 형성 된 배관 ; 상기 배관 의 말단 에 연결 되 어 상기 챔버 내부 의 진공도 를 감지 하 는 진공 센서 ; 및 상기 진공 센서 의 교체 시 상기 챔버 내부 의 진공 이 파괴 시키 지 않 기 위해 상기 진공 센서 와 상기 챔버 사이 의 상기 배관 에서 개폐 동작 되 도록 형성 된 진공 단속 밸브 를 포함 하 여 이루어진다 .