또한 상기 축 의 하단 에 는 상기 가열 수단 을 상기 챔버 내부 공간 과 격리 하 기 위한 케이스 가 연결 될 수 있 으며 , 이때 상기 가스 분 사 부 는 , 상기 케이스 의 내부 공간 과 격리 되 며 상기 가스관 으로부터 공급 되 는 원료 물질 이 유입 되 는 확산 공간 ; 원료 물질 을 상기 챔버 의 내부 로 분사 하 는 분사 홀 을 포함 할 수 있 다 .