또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 가스 공급 부 ( 170 B ) 는 , 스핀 베이스 ( 51 A ) 를 향하 여 가스 를 공급 한다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 가스 공급 공 ( 1700 B ) 으로부터 스핀 베이스 ( 51 A ) 에 분사 된 가스 는 , 일부 가 간극 영역 ( 180 ) 으로 흘러 들어가 고 , 다른 일부 가 이면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 및 케이싱 ( 171 ) 내 로 흘러 들어간다 . 그 때문 에 , 처리 액 등 이 간극 영역 ( 180 ) 으로 비집 고 들어가 는 것 에 더 하 여 , 처리 액 등 이 이 면 차 단판 ( 170 ) 의 하방 및 케이싱 ( 171 ) 내 로 비집 고 들어가 는 것 도 억제 할 수 있 다 .