플래시 가열 처리 가 종료 된 후 , 게이트 밸브 ( 185 ) 가 프로세스 챔버 ( 6 ) 와 반송 챔버 ( 170 ) 사이 를 다시 개방 하 고 , 반송 로봇 ( 150 ) 이 반송 핸드 ( 151 b ) 에 의해 프로세스 챔버 ( 6 ) 로부터 플래시 가열 후 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 반출 한다 . 반도체 웨이퍼 ( W ) 를 취 출한 반송 로봇 ( 150 ) 은 , 프로세스 챔버 ( 6 ) 로부터 냉 각부 ( 140 ) 를 향하 도록 선회 한다 . 또 , 게이트 밸브 ( 185 ) 가 프로세스 챔버 ( 6 ) 와 반송 챔버 ( 170 ) 사이 를 폐쇄 함 과 함께 , 게이트 밸브 ( 184 ) 가 쿨 챔버 ( 141 ) 와 반송 챔버 ( 170 ) 사이 를 개방 한다 .