도 8 은 , 실시 형태 1 에서 의 묘화 방법 의 요부 공정 을 나타내 는 플로우 차트 도 이 다 . 도 8 에서 , 실시 형태 1 에서 의 묘화 방법 은 , 결함 빔 검출 공정 ( S 102 ) 과 , 결함 화소 수 최대 값 연산 공정 ( S 104 ) 과 , 묘화 시퀀스 선택 공정 ( S 108 ) 과 , 조사 시간 데이터 생성 공정 ( S 110 ) 과 , 데이터 배열 가공 공정 ( S 112 ) 과 , 데이터 전송 공정 ( S 114 ) 과 , 묘화 공정 ( S 120 ) 이 라고 하 는 일련 의 공정 을 실시 한다 . 묘화 공정 ( S 120 ) 내 에서 는 , 트랙 킹 공정 ( S 122 ) 과 , 샷 공정 ( S 124 ) 과 , 시프트 공정 ( S 126 ) 과 , 샷 공정 ( S 128 ) 과 , 트랙 킹 리셋 공정 ( S 129 ) 이 라고 하 는 일련 의 공정 을 실시 한다 .