도 1 에 도시 한 바 와 같이 이온 화 장치 ( 105 ) 를 통과 한 하전 입자 ( 140 ) 는 서로 다른 크기 의 제 1 하 전입자 ( 140 a ) , 제 2 하 전입자 ( 140 b ) 및 제 3 하 전입자 ( 140 c ) 를 포함 한다 . 또한 , 세 개 의 하전 입자 ( 140 ) 중 에서 제 1 하 전입자 ( 140 a ) 의 입경 이 가장 크 고 , 제 3 하 전입자 ( 140 c ) 의 입경 이 가장 작 다 .