도 9 는 막 두께 의 변동 해석 의 일례 에 관해 설명 하 는 도면 이 다 . 도 9 에 나타내 는 막 두께 의 변동 해석 은 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 ( 동심 원상 ) 에 있 는 측 정점 의 막 두께 의 평균 을 구하 고 , 평균 에 대한 비율 로 측정 점 의 막 두께 의 변동 을 취급 함 으로써 행한다 . 이러 한 막 두께 의 변동 해석 에 의해 , 성막 온도 나 성막 시간 등 의 제어 조건 의 변화 에 의해 전체 의 평균 막 두께 가 변하 더라도 , 동일 한 기준 으로 막 두께 의 변동 을 해석 할 수 있 다 .