한편 , 전송로 ( 20 ) 측 과 의 임피던스 비정합 에 따라 반도체 제조 장비 임피던스 정합 기 ( 30 ) 로부터 되돌아오 는 반사파 를 측정 하 는 제 1 , 제 2 반사파 센서 ( 60 ) ( 61 ) 는 예컨대 전압 , 전류 센서 로서 전압 과 전류 를 같이 검출 하 거나 , 혹은 전압 이나 전류 중 하나 만 을 검출 하 여 반사파 의 크기 를 측정 할 수 도 있 다 .