상기 중합체 또는 화합물 ( A 1 ) ∼( A 27 ) , 첨가제 로서 가교제 ( CR 1 , CR 2 ) , 산 발생 제 ( AG 1 ) , 고 비점 용제 로서 ( S 1 ) 1 , 6 - 디아 세 톡 시 헥산 : 비점 260 ℃, ( S 2 ) γ - 부티 로 락톤 : 비점 204 ℃ 및 ( S 3 ) 트리 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 : 비점 242 ℃ 를 이용 하 고 , FC - 4430 ( 스미토모 쓰리 엠 ( 주 ) 제조 ) 0 . 1 질량 % 를 포함 하 는 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 ( PGMEA ) 및 / 또는 시클로헥사논 ( CyHO ) 용매 중 에 표 3 에 나타내 는 비율 로 용해 시키 고 , 0 . 1 ㎛ 의 불소 수지 제 필터 로 여과 함 으로써 유기 막 형성 용 조성물 ( UDL - 1 ∼ 23 , 비교 UDL - 1 ∼ 14 ) 을 각각 조제 했 다 .