도 6 a 에 나타내 는 바 와 같이 , 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 는 액 공급 부 ( 6 ) 의 수 평관 ( 67 ) 에 장착 되 어도 된다 . 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 를 지지 하 는 전용 의 부재 가 불 필요 해진다 . 또한 , 수 평관 ( 67 ) 은 처리 액 ( 3 ) 에 침지 된 상태 의 기판 ( 2 ) 보다 하방 에 배치 되 므로 , 기판 ( 2 ) 보다 하방 의 수평면 내 에서 2 차원 으로 수조 내 온도 센서 ( 81 ) 를 배열 할 수 있 어 , 기판 ( 2 ) 보다 하방 의 수평면 내 의 온도 분포 를 구할 수 있 다 .