본 발명 의 제 12 형태 는 , 복수 의 카세트 를 배치 가능 한 복수 의 포트 가 마련 됨 과 아울러 , 포트 에 배치 된 카세트 내 의 기판 을 반송 하 는 대기 반송 로봇 이 마련 되 는 로더 모듈 과 , 상기 로더 모듈 과 기판 을 처리 하 기 위한 적어도 하나 의 제 1 프로세스 챔버 의 사이 에서 기판 을 반송 하 기 위한 제 1 반송 유닛 과 , 상기 제 1 반송 유닛 과 는 높이 가 다른 위치 에 마련 되 고 , 상기 로더 모듈 과 기판 을 처리 하 기 위한 적어도 하나 의 제 2 프로세스 챔버 의 사이 에서 기판 을 반송 하 기 위한 제 2 반송 유닛 을 구비 하 고 , 상기 제 1 반송 유닛 은 , 상기 대기 반송 로봇 에 의해 기판 이 반송 되 는 제 1 로드 록 챔버 , 및 상기 제 1 로드 록 챔버 에 반송 된 기판 을 상기 적어도 하나 의 제 1 프로세스 챔버 에 반송 하 는 제 1 진공 반송 로봇 이 마련 되 는 제 1 트랜스퍼 챔버 를 포함 하 고 , 상기 제 2 반송 유닛 은 , 상기 대기 반송 로봇 에 의해 기판 이 반송 되 는 제 2 로드 록 챔버 , 및 상기 제 2 로드 록 챔버 에 반송 된 기판 을 상기 적어도 하나 의 제 2 프로세스 챔버 에 반송 하 는 제 2 진공 반송 로봇 이 마련 되 는 제 2 트랜스퍼 챔버 를 포함 하 고 , 상기 적어도 하나 의 제 1 프로세스 챔버 와 상기 적어도 하나 의 제 2 프로세스 챔버 는 , 상하 방향 으로 겹치 지 않 고 , 상기 제 1 반송 유닛 의 적어도 일부 와 상기 제 2 반송 유닛 의 적어도 일부 가 , 상하 방향 으로 겹치 는 기판 처리 시스템 을 이용 한 반도체 소자 의 제조 방법 이 다 .