게다가 , 동공 의 해상도 및 동공 의 크기 , 조명 광학 기기 에서 광 손실 및 동공 에서 외래 광선 은 또한 고려 해야 할 제한 사항 이 다 . 조명 광학 기기 에서 광 손실 은 투사 노광 장치 의 기판 또는 웨이퍼 의 수율 의 감소 를 가져 온다 . 예 를 들 면 산란광 또는 고스트 이미지 에 의해 생긴 동공 에서 외래 광 은 최악 의 경우 획득 할 수 없 는 출사 동공 의 원 하 는 특정 구조 를 가져온다 . 일반 적 으로 , 동공 에서 미세 한 해상도 가 외래 광 에 의해 방지 되 기 때문 에 , 외측 또는 내측 σ 에서 약간 만 변화 하 는 고리 모양 의 세팅 사이 에서 변화 가 가능 하 지 않 게 한다 . 광 손실 및 외래 광이 다중 미러 어레이 ( MMA ) 를 갖 는 조명 광학 기기 에서 피해야 하 는 것 이 면 , 회절 효과 로 인해 다중 미러 어레이 ( MMA ) 의 미러 의 최소 에지 길이 에 대해 더 낮 은 한계 가 , 그러므로 , 투사 노광 장치 의 조명 광학 기기 의 파장 λ 의 함수 로서 있 는 것 을 고려 해야 할 필요 가 있 다 .