일본국 특개 2018 - 91919 호 공보 의 기체 공급 기구 에 있 어서 는 , 2 매 의 광학 소자 의 상하 방향 으로 기체 공급 기구 를 배치 하 고 있 기 때문 에 , 각 광학 소자 에 이르 는 빛 의 광로 에 따라서 는 , 기체 공급 기구 에 의해 빛 이 차광 되 어 버릴 우려 가 있 다 . 기체 공급 기구 의 배치 를 연구 함 으로써 , 광학 소자 에 이르 는 빛 이 차광 될 리스크 를 저감 시킬 수 있 다 .