본 발명 에 의한 베이퍼 챔버 의 액 유로 부 는 , 제 1 주류 홈 , 제 2 주류 홈 및 제 3 주류 홈 을 갖 고 있 다 . 제 1 주류 홈 과 제 2 주류 홈 사이 에 , 제 1 연락 홈 을 개재 하 여 배열 된 복수 의 제 1 볼록 부를 포함 하 는 제 1 볼록 부 열 이 마련 되 어 있 다 . 제 2 주류 홈 과 제 3 주류 홈 사이 에 , 제 2 연락 홈 을 개재 하 여 배열 된 복수 의 제 2 볼록 부를 포함 하 는 제 2 볼록 부 열 이 마련 되 어 있 다 . 제 2 주류 홈 은 , 제 1 연락 홈 의 적어도 일부 가 제 2 볼록 부 에 대향 하 는 제 1 교 차부 와 , 제 2 연락 홈 의 적어도 일부 가 제 1 볼록 부 에 대향 하 는 제 2 교 차부 를 포함 하 고 있 다 .