경우 ( B - 1 ) 과 경우 ( B - 2 ) 를 비교 하 면 , 다른 조건 을 동일 하 게 유지 하 면서 , 증착 온도 를 200 ℃ 에서 300 ℃ 로 올린 경우 , 증착 률 이 높 다는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , 경우 ( B - 2 ) 과 경우 ( B - 3 ) 를 비교 하 면 , 다른 조건 을 동일 하 게 유지 하 면서 , 플라 즈 마 전력 을 600 W 에서 1000 W 로 올린 경우 , 증착 률 이 높 아 지 는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , 경우 ( B - 4 ) 과 경우 ( B - 2 ) 를 비교 하 면 , 다른 조건 을 동일 하 게 유지 하 면서 , 암모니아 유량 을 100 sccm 에서 약 400 sccm 으로 높인 경우 , 증착 률 이 향상 되 었 음 을 알 수 있 었 다 .