또한 , 외측 스토퍼 들 ( 121 a , 121 b ) 은 내측 스토퍼 들 ( 122 a , 122 b ) 로부터 적어도 제 2 간격 ( L 2 ) 만큼 외측 방향 으로 이격 된 위치 에 구비 되 는데 , 제 2 간격 ( L 2 ) 은 제 1 간격 ( L 1 ) 보다 더 클 뿐 아니 라 지 지 로드 ( 120 ) 에 웨이퍼 들 ( W ) 을 안착 시키 는 로봇 암 ( 미 도시 ) 의 수평 방향 으로 두께 보다 더 크 게 설정 될 수 있 다 .