도 1 은 종래 기술 에 따른 증착 장치 의 한 예 를 도시 하 는 단면도 이 다 . 도 1 을 참고 하 면 , 종래 기술 에 따른 증착 장치 ( 100 ) 는 반응기 내부 를 규정 하 는 기판 지 지대 ( 160 ) 와 반응 기벽 ( 122 ) 을 포함 한다 . 반응 기벽 ( 122 ) 은 히터 ( 204 ) 로 둘러싸여 있 다 . 증착 공정 동안 기판 ( 156 ) 이 기판 지지대 ( 160 ) 에 장착 된다 .