스테이지 ( 505 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 적재 하 는 부재 이 다 . 스테이지 ( 505 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 기 위한 히터 ( 506 ) 가 마련 되 어 있 다 . 또한 , 스테이지 ( 505 ) 는 , 스테이지 ( 505 ) 의 하 면 중심부 로부터 하방 을 향해서 신장 되 어 , 본체 용기 ( 501 ) 의 저부 를 관통 하 는 일단 이 승강 판 ( 509 ) 을 통해서 승강 기구 에 지지 된 지 지부 ( 505 a ) 를 갖 는다 . 또한 , 스테이지 ( 505 ) 는 , 단 열 링 ( 507 ) 을 통하 여 , 온도 조절 부재 인 온도 조절 재킷 ( 508 ) 상 에 고정 된다 . 온도 조절 재킷 ( 508 ) 은 , 스테이지 ( 505 ) 를 고정 하 는 판부 와 , 판부 로부터 하방 으로 연장 되 어 , 지지 부 ( 505 a ) 를 덮 도록 구성 된 축 부 와 , 판부 로부터 축 부를 관통 하 는 구멍 부 를 갖 고 있 다 .