이때 챔버 ( 100 ) 내부 에 는 RF ( Radio Frequency ) 전력 또는 DC 전력 이 인가 됨 으로써 캐소드 전극 ( 200 ) 과 애노드 전극 ( 250 ) 간 에 플 라즈 마가 형성 되 고 , 가스 가 캐소드 전극 ( 200 ) 에 형성 된 가스 홀 ( 200 a ) 을 통해 하방 으로 분사 되 면서 웨이퍼 ( 300 ) 는 상부 에 도포 된 감광액 ( 400 ) 의 가스 홀 ( 400 a ) 과 동일 한 패턴 으로 식각 된다 .