GeO 2 가 생성 된 위치 를 확인 하 기 위하 여 상기 비 교예 1 , 비 교예 2 및 실시 예 1 의 TEM ( transmission electron microscopy ) , EDX ( energy dispersive X - ray spectroscopy ) 및 SIMS ( secondary ion mass spectroscopy ) 분석 을 실시 하 였 다 .