프로파일러 구동 장치 ( 245 ) 는 , 프로파일러 컵 ( 244 ) 을 x 방향 으로 이동 시킨다 . 프로파일러 구동 장치 ( 245 ) 는 , 프로파일러 컵 ( 244 ) 을 적어도 제 1 퇴피 위치 ( 271 ) 와 제 1 측정 위치 ( 276 ) 의 사이 에서 이동 시킨다 . 제 1 측정 위치 ( 276 ) 는 , 빔 진행 방향 으로 보 아 교정 용 튜닝 컵 ( 247 ) 과 중첩 된다 . 환언 하 면 , 제 1 측정 위치 ( 276 ) 의 빔 진행 방향 과 직교 하 는 방향 ( x 방향 , y 방향 ) 의 위치 는 , 교정 용 튜닝 컵 ( 247 ) 의 빔 진행 방향 과 직교 하 는 방향 ( x 방향 , y 방향 ) 의 위치 와 동일 하 다 . 프로파일러 구동 장치 ( 245 ) 는 , 상술 한 실시 형태 와 동일 하 게 , 프로파일러 컵 ( 244 ) 을 복수 의 제 1 측정 위치 로 이동 시켜도 되 고 , 측 정면 ( MS ) 에 있 어서 의 x 방향 의 빔 전류 밀도 분포 의 측정 을 가능 하 게 해도 된다 .