도 6 을 참조 하 면 , 제 2 개 구 ( 300 ) 에 의해 노출 된 희생 막 구조물 ( 140 ) 을 제거 하 여 , 예비 전하 저장 구조물 ( 250 ) 의 하부 외측 벽 을 노출 시키 는 제 1 갭 ( 320 ) 을 형성 할 수 있 으며 , 나아가 제 1 갭 ( 320 ) 에 의해 노출 된 예비 전하 저장 구조물 ( 250 ) 부분 을 제거 하 여 채널 ( 260 ) 의 하부 외측 벽 을 노출 시킬 수 있 다 .