그 후 , 암모니아 원료 기체 로서 , 암모니아 플 라즈 마 를 발생 한다 ( 130 ) . 이때 , 암모니아 플 라즈 마 발생 은 반응기 에 예 를 들 어 RF ( radio frequency ) 전원 과 같 은 전원 을 이용 하 여 , 수 watt 내지 수 Kwatt 의 전력 을 인가 하 면서 , 반응기 에 암모니아 기체 를 공급 함 으로써 , 인시 츄 ( in - situ ) 로 발생 할 수 있 다 . 이때 , 전원 은 용량 결합 형태 의 전극 에 연결 된 주파수 13 . 56 MHz 또는 27 . 12 MHz 를 포함 할 수 있 고 , 전력 의 크기 는 약 100 W 내지 3000 W 일 수 있 다 .