제 2 고주파 전원 ( 62 ) 은 , 제 2 고주파 전력 을 발생 하 는 전원 이 다 . 제 2 고주파 전력 은 , 제 1 고주파 전력 의 주파수 보다 낮 은 주파수 를 갖 는다 . 제 1 고주파 전력 과 함께 제 2 고주파 전력 이 이용 되 는 경우 에 는 , 제 2 고주파 전력 은 기판 ( W ) 에 이온 을 인입 하 기 위한 바이어스 전압 용 고주파 전력 으로서 이용 된다 . 제 2 고주파 전력 의 주파수 는 , 예컨대 400 kHz ∼ 13 . 56 MHz 범위 내 의 주파수 이 다 . 제 2 고주파 전원 ( 62 ) 은 , 정 합기 ( 64 ) 및 전극 플레이트 ( 16 ) 를 통해 하부 전극 ( 18 ) 에 접속 되 어 있 다 . 정합 기 ( 64 ) 는 , 제 2 고주파 전원 ( 62 ) 의 출력 임피던스 와 부하 측 [ 하부 전극 ( 18 ) 측 ] 의 임피던스 를 정합 시키 기 위한 회로 를 갖 는다 .