따라서 상술 한 종래 기술 의 문제점 을 해결 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 는 , MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems ) 공정 을 이용 하 여 실리콘 웨이퍼 로 형성 된 실리콘 기판 상 에 서로 연통 되 는 마이크 로 채널 을 형성 한 후 , 마이크 로 채널 상 에 전처 리부 , 혼 합부 및 측 정부 로 구성 되 는 유로 를 형성 하 여 , 광촉매 전처리 와 광반응 을 일으킨 후 색상 변화 를 검출 하 는 것 에 의해 시료 내 의 총 유기 탄소 량 을 검출 할 수 있 도록 하 는 총 유기 탄소 분석 소자 , 총 유기 탄소 분석 장치 및 총 유기 탄소 분석 방법 을 제공 하 는 것 을 기술 적 과제 로 한다 .