도 5 는 , 제 4 실시 형태 에 있 어서 의 노광 장치 ( 100 ) 의 구성 을 설명 하 기 위한 도 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 광학 부품 ( 201 ) 은 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 개구 ( 202 ) 와 는 반대 측 에 밀폐 공간 을 형성 하 도록 , 경통 ( 107 ) 에 취부 되 어 있 다 . 본 실시 형태 는 , 광학 부품 ( 201 ) 이 경통 ( 107 ) 에 취부 되 어 , 경통 ( 107 ) 의 내부 에 밀폐 공간 을 형성 한다고 하 는 점 에서 제 1 실시 형태 와 는 상이 하 다 .