상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 막 증착 장치 는 , 내부 에 기판 이 장입 되 며 상압 으로 유지 되 는 챔버 , 반응 가스 를 상기 챔버 내 에 도입 하 는 가스 공급계 , 도입 되 는 상기 반응 가스 를 해리 시키 기 위하 여 열 을 방출 하 는 발열체 , 및 상기 기판 에 전기장 을 인가 하 기 위한 전기장 인가 부를 포함 한다 .