도 1 및 도 3 을 참조 하 면 , 메인 공급 부 ( 300 ) 는 메인 에어 홀 ( 110 ) 로 에어 를 공급 하 는 역할 을 수행 한다 . 메인 공급 부 ( 300 ) 와 메인 에어 홀 ( 110 ) 은 메인 배관 ( 310 ) 으로 연결 될 수 있 다 . 메인 에어 홀 ( 110 ) 은 메인 공급 부 ( 300 ) 를 통하 여 공급 된 에어 를 분사 할 수 있 다 . 메인 에어 홀 ( 110 ) 에서 분사 된 에어 의 압력 으로 기판 이 부상 할 수 있 다 .