또한 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 화소 열 이 묘화 되 는 경우 , 이러 한 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 에서 는 , 아래 로부터 1 단 째 및 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 화소 가 결함 빔 의 빔 9 에 의해 묘화 되 지만 , 아래 로부터 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 9 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 9 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 그리고 , 아래 로부터 3 단 째 및 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 9 을 대신 하 여 정상 빔 의 빔 10 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 그리고 , 아래 로부터 4 단 째 및 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 9 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 10 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 .