도 1 에서 , 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 은 , 복수 의 기판 처리 장치 ( 100 ) ( 예 를 들 어 , 100 a , 100 b , 100 c , 100 d ) 를 갖 는다 . 기판 처리 장치 ( 100 ) 에 는 , 각각 , 제 1 제 어부 ( 260 ) ( 260 a , 260 b , 260 c , 260 d ) 와 , 제 3 제 어부 ( 280 ) ( 280 a , 280 b , 280 c , 280 d ) 와 , 데이터 송수 신부 ( 285 ) ( 285 a , 285 b , 285 c , 285 d ) 를 갖 는다 . 제 1 제 어부 ( 260 ) 는 , 제 3 제 어부 ( 280 ) 를 통해서 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 각 부 의 조작 을 실행 가능 하 게 구성 된다 . 또한 , 제 1 제 어부 ( 260 ) 는 , 데이터 송수 신부 ( 285 ) 와 데이터 송수 신부 ( 285 ) 에 접속 된 시스템 내 네트워크 ( 268 ) 를 통해서 , 다른 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 제 1 제 어부 ( 260 ) 나 제 2 제 어부 ( 조 작부 ) ( 274 ) , 중계 부 ( 275 ) 등 과 송수신 가능 하 게 구성 된다 . 제 3 제 어부 ( 280 ) 는 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 에 마련 된 각 부 의 동작 을 제어 가능 하 게 구성 된다 . 제 1 제 어부 ( 260 ) 와 제 3 제 어부 ( 280 ) 와 데이터 송수 신부 ( 285 ) 는 , 각각 서로 통신 가능 하 게 구성 된다 .