도 4 d 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따른 복수 의 동심 형 회전 가능 플로우 제어 플레이트 들 ( 407 A , 407 B , 407 C ) 에 의해 정의 된 플로우 제어 플레이트 어셈블리 ( 401 A ) 의 상 부도 를 나타낸다 . 각각 의 각각 의 동심 형 회전 가능 플로우 제어 플레이트 ( 407 A , 407 B , 407 C ) 는 스루홀 들 ( 117 ) 이 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에서 개방 또는 폐쇄 되 는 , 중심 에서 에 지부 까지 의 제어 를 제공 하 도록 독립 적 으로 설정 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 플로우 제어 플레이트 어셈블리 ( 401 A ) 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 면 에 동심 형 으로 배치 된 중앙 디스크 ( 407 A ) 및 복수 의 동심 형 링 들 ( 407 B / 407 C ) 을 포함 한다 . 도 4 d 의 특정 구성 은 예 로서 제공 된 것 임 을 알 아야 한다 . 다른 실시 형태 들 은 도 4 d 에 도시 된 것 과 는 상이 한 수 의 동심 형 회전 가능 플로우 제어 플레이트 들 을 포함 할 수 도 있 다 .