소스 / 드레 인 도전 패턴 군 은 층간 절 연막 ( 23 ) 상 에 소스 / 드레 인 금속 층 을 형성 한 후 , 제 4 마스크 를 이용 한 포토 리소그래피 공정 및 식각 공정 으로 패 터닝 함 으로써 형성 된다 . 소스 / 드레 인 금속 층 은 알루미늄 계 금속 및 내 식성 이 강한 금속 이 이중층 이상 으로 적층 되 어 이용 된다 . 내 식성 이 강한 금속 은 알루미늄 계 금속 상부 에 적층 되 어 알루미늄 계 금속 의 상면 이 노출 되 지 않 도록 한다 .