기판 ( 12 ) 은 히터 장치 ( heater device , 20 ) 위 에 위치 한다 . 히터 장치 ( 20 ) 는 , 예 를 들 어 알루미늄 과 같 은 금속 으로 된 히터 바디 ( 21 ) 를 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 히터 요소 ( 22 ) 는 , 열에너지 를 히터 바디 ( 21 ) 로 전달 하 기 위해 , 히터 바디 ( 21 ) 에 포함 되 거나 연결 되 어 있 다 . 한 실시 예 에서 , 히터 요소 ( 22 ) 는 히터 바디 ( 21 ) 에서 소켓 ( socket ) 에 삽입 된 전기 적 투입 식 히터 ( electrical immersion heater ) 이 다 . 다른 실시 예 에서 , 전기 적 가열 코일 은 히터 바디 ( 21 ) 내부 에 있 거나 히터 바디 ( 21 ) 의 아래 면 에 붙 어 있 다 . 또 다른 실시 예 에서 , 히터 요소 ( 22 ) 는 히터 바디 ( 21 ) 내 에 형성 된 채널 인데 , 상기 채널 을 통해 히터 유체 가 통과 한다 . 히터 요소 ( 22 ) 는 , 외부 에너지 소스 ( 미 도시 ) 로 연결 을 위한 커넥터 ( connector , 23 ) 를 추가 로 가진다 . 전기 적 가열 의 경우 , 커넥터 ( 23 ) 는 , 전류 소스 에 대한 연결 에 있 어서 갈바 닉 접촉 ( galvanic contact ) 을 하 는 것 이 바람직 하 다 . 가열 유체 를 통과 시키 기 위해 형성 된 채널 을 갖 는 실시 예 에서 , 상기 커넥터 ( 23 ) 는 가열 된 유체 소스 로 의 연결 을 위한 도관 인 것 이 바람직 하 다 . 가열 유체 는 , 예 를 들 어 물 또는 오일 일 수 있 다 . 또 다른 대안 은 , 히터 바디 ( 21 ) 로 적외선 복사 를 방출 하 도록 고안 된 , 적외선 복사 히터 를 히터 요소 ( 22 ) 로서 채택 하 는 것 이 다 . 또한 , 히터 요소 ( 22 ) 를 선택 된 온도 로 가열 하 고 일정 한 온도 오차 ( tolerance ) 내 에서 그 온도 를 유지 하 기 위한 수단 을 포함 하 는 , 온도 조절기 는 히터 장치 ( 20 ) 안 에 포함 된다 ( 미 도시 ) . 다른 형태 의 온도 조절기 가 본 기술 에서 잘 알려져 있 고 , 따라서 추가 적 인 자세 한 언급 은 하 지 않 는다 .