히팅 제어 신호 는 온도 유지 수단 ( 500 ) 에 제공 되 어 플 라즈 마 생 성 수단 ( 120 ) 을 구동 시켜 챔버 ( 100 ) 내 에 플 라즈 마 를 발생 시킨다 ( S 140 ) . 즉 , 기판 ( 101 ) 의 인출 과 동시 에 꺼져 있 던 플라 즈 마 생 성 수단 ( 120 ) 을 다시 구동 시켜 챔버 ( 100 ) 의 온도 를 상승 시키 게 된다 . 이때 , 가스 공급 수단 ( 130 ) 은 비활성 가스 를 공급 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 쿨링 제어 신호 는 온도 유지 수단 ( 500 ) 에 제공 되 어 냉각 수단 ( 300 ) 즉 , 쿨링 팬 을 구동 시켜 챔버 ( 100 ) 의 온도 를 하강 시키 게 된다 ( S 150 ) .