데이터 베이스 ( data base ) ( 202 ) 는 APC 시스템 에서 공정 제어 를 수행 하 는 반도체 소자 의 스텝 ( step ) 별 단위 공정 을 진행 하 는 다양 한 반도체 장비 의 공정 조건 데이터 를 저장 하 고 있 으며 , 포토 공정 제어 를 위한 노출 ( expose ) , CD 값 및 포토 공정 중 스텝 퍼 장비 ( 206 ) 에서 의 노광 공정 제어 를 위한 오버레이 값 등 의 포토 공정 조건 데이터 를 저장 하 고 있 다 .