Z 축 방향 이동 유닛 ( 42 ) 은 , Z 축 방향 ( 유지 면 ( 32 a ) 에 수직 인 방향 , 높이 방향 ) 에 평행 한 한 쌍 의 Z 축 가이드 레일 을 가진다 . 각 Z 축 가이드 레일 은 , 지지 부 ( 40 ) 의 일 측면 에 고정 되 어 있 다 . 각 Z 축 가이드 레일 에 는 , Z 축 이동판 ( 46 ) 이 슬라이드 가능 하 게 장착 되 어 있 다 .