에칭 공정 에서 는 에칭 액 공급 부 ( 23 ) 에 있 어서 의 에칭 액 공급 노즐 승강 수단 ( 25 ) 에 의해 , 에칭 액 공급 노즐 ( 24 ) 이 소정 의 높이 에 배치 된다 . 그리고 , 에칭 액 공급 노즐 ( 24 ) 이 에칭 액 공급원 ( ES ) 에 연통 되 고 , 에칭 액 공급 노즐 ( 24 ) 로부터 , 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 에 지지 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 , 소 정량 의 에칭 액 이 적하 된다 . 이 로써 , 에칭 액 공급 부 ( 23 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 , 표면장력 으로 에칭 액 층 ( EL ) 을 형성 한다 . 그리고 , 에칭 액 층 ( EL ) 의 형성 으로부터 , 약 3 분 간 대기 한다 . 이 로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 이 에칭 ( 약액 가공 ) 된다 .