즉 , 제 1 기판 내지 제 5 기판 ( 510 ~ 550 ) 중 제 4 기판 ( 540 ) 을 제외 한 기판 들 은 같 은 평면 내인 제 1 영역 ( 501 ) 에 배치 될 수 있 으며 , 제 4 기판 ( 540 ) 은 제 1 영역 ( 501 ) 과 다른 평면 인 , 제 2 영역 ( 502 ) 에 배치 될 수 있 다 . 제 2 영역 ( 502 ) 은 제 1 영역 ( 501 ) 에서 단차 가 형성 된 영역 이 다 . 즉 , 제 3 기판 ( 530 ) 의 하부 에 제 4 기판 ( 540 ) 이 배치 될 수 있 다 .