본 개시 에서 , " "" Si - O 결합 을 함유 하 는 "" 은 Si - O 결합 또는 Si - O 결합 들 에 의해 실질 적 으로 구성 되 는 주 골격 을 갖 고 / 갖 거나 Si - O 결합 또는 Si - O 결합 들 에 의해 실질 적 으로 구성 되 는 치환기 를 갖 는 Si - O 결합 또는 Si - O 결합 들 인 것 을 특징 으로 하 는 것 을 지칭 할 수 있 다 . Si - O 결합 을 함유 하 는 유전체 막 은 약 2 내지 10 ", 전형 적 으로 는 약 4 내지 8 의 유전 상수 를 갖 는 SiO 막 , SiOC 막 , 및 SiON 막 을 포함 하나 , 이 에 제한 되 지 않 는다 .