본 발명 에 따른 방법 은 , 저렴 한 SiX 4 또는 적절 한 유기 할로겐 실란 및 메탄 ( 무 해 ) 또는 알칸 , 알켄 , 알킨 및 방향 족 으로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 기타 휘발 성 화합물 을 이용 하 여 실시 함 으로써 , 전술 한 문제 를 방지 한다 . 이러 한 물질 들 은 플라 즈 마 활성 화 됨 으로써 , 특히 바람직 한 Me 2 SiX 2 , MeSiX 3 및 ( X 3 Si ) 2 CH 2 이 합성 된다 . 다른 이점 은 , 메탄 을 다른 휘발 성 탄화수소 및 기타 그룹 들 로 치환 시켜 실리콘 상 에 증착 시킬 수 있 다는 것 이 다 ( Ein weiterer Vorteil ist , dass durch Ersatz von Methan durch andere fluchtige Kohlenwasserstoffe auch andere Gruppen an das Silizium gehangt werden konnen . ) .