상기 광학계 ( 102 ) 와 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 사이 에 다 수개 의 반사 거울 들 ( M 1 , M 2 , M 3 ) 이 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 광학계 ( 102 ) 를 통과 한 광 은 상기 반사 거울 들 ( M 1 , M 2 , M 3 ) 에 의해 반사 되 어 상기 보조 포토 마스크 ( 104 ) 로 입사 될 수 있 다 .