이상 과 같이 , 본 발명 의 실시 예 들 은 상부 에 기판 이 안착 되 는 스테이지 , 상기 스테이지 의 상방 에 배치 되 어 기판 에 형성 된 정렬 마크 를 촬상 하 는 카메라 , 상기 스테이지 의 하방 에 배치 되 어 특정 한 지점 에 가상 마크 를 생성 하 는 가상 마크 생성 장치 , 상기 카메라 는 상기 가상 마크 를 촬상 하 고 , 상기 촬상된 가상 마크 를 기초 로 카메라 의 정렬 여부 를 판단 하 는 제어 장치 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 기판 정렬 카메라 얼라 인 시스템 을 제공 함 으로써 , 저 비용 으로 간단 하 게 카메라 의 위치 , 방향 또는 광축 ( 수직 방향 ) 을 정확 하 게 정렬 시킬 수 있 고 카메라 정렬 을 통해 기판 을 정확 하 게 정렬 시킬 수 있 으므로 기판 불량 률 을 효과 적 으로 감소 시킬 수 있 다 .