한편 , 플라 즈 마 식각 장치 는 일정 주기 로 유지 보수 를 위한 예방 정비 ( preventive maintenance ) 공정 을 필요 로 한다 . 그리고 , 예방 정비 공정 은 고주파 매칭 네트워크 의 불안 및 챔버 세정 을 원인 으로 해서 정기 또는 비 정기 적 으로 도 이루어진다 . 여기 서 , 예방 정비 공정 은 챔버 ( 10 ') 가 개방 되 도록 커버 부재 ( 12 ') 를 리액터 ( 11 ') 로부터 분리 하 여 진행 된다 . 그런데 , 코일 부재 ( 30 ') 가 챔버 의 상면 , 즉 커버 부재 ( 12 ') 의 상면 에 배치 되 어 있 어서 , 커버 부재 ( 12 ') 의 분리 및 재결합 과정 에서 코일 부재 ( 30 ') 의 위치 가 변화 하 게 되 므로 , 커버 부재 ( 12 ') 와 코일 부재 ( 30 ') 사이 의 접촉 불량 및 정렬 불량 이 발생 하 게 된다 . 그리고 , 이러 한 접촉 및 정렬 불량 을 제거 하 기 위해서 는 많 은 시간 과 노력 이 요구 되 어 전체 적 인 예방 정비 공정 시간 이 증가 하 게 되 는 문제점 이 있 었 다 .