상술 한 기판 안착 수단 ( 120 ) 을 지지 하 는 지지 수단 ( 200 ) 은 상기 챔버 ( 110 ) 의 관 통공 을 관통 하 여 상기 기판 안착 수단 ( 120 ) 을 지지 하 는 복수 의 지지 축 ( 210 ) 과 , 상하 운동 을 하 는 지 지판 ( 220 ) 과 , 상기 지지 판 ( 220 ) 과 복수 의 지지 축 ( 210 ) 사이 에 마련 되 어 상기 복수 의 지지 축 ( 210 ) 의 미세 높이 를 조절 하 는 조절 수단 ( 230 ) 을 포함 한다 . 이 를 통해 상기 지지 판 ( 220 ) 의 상하 운동 이 조절 수단 ( 230 ) 을 통해 복수 의 지지 축 ( 210 ) 전체 로 전달 되 어 기판 안착 수단 ( 120 ) 을 승강 시킬 수 있 게 된다 . 그리고 , 상기 조절 수단 ( 230 ) 을 통해 복수 의 지지 축 ( 210 ) 각각 의 높이 를 미세 조정 하 여 기판 안착 수단 ( 120 ) 의 수평 정도 를 미세 하 게 조절 할 수 있 다 .