각 프로세스 모듈 ( 140 ) 의 로딩 용 높이 ( 940 b ) 및 언로 딩 용 높이 ( 940 c ) 는 서로 다른 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 , 인접 한 프로세스 모듈 들 의 로딩 용 높이 ( 940 b ) 가 동일 할 경우 에 는 제 2 로봇 ( 131 ) 의 충돌 이 발생 할 수 있 으므로 적어도 인접 한 프로세스 모듈 들 의 로딩 용 높이 ( 140 b ) 는 서로 다른 것 이 바람직 하 며 , 이 에 따라 제 2 로봇 ( 131 ) 각각 의 아 암 들 의 높이 도 다른 것 이 바람직 하 다 .