이 와 같이 , 유체 분사 부 ( 400 ') 가 리프팅 핀 ( 350 ) 에 장착 되 면 리프팅 핀 ( 350 ) 이 기판 ( 10 ) 을 살 짝 만 들 어 올리 더라도 유체 를 분사 하 여 스테이지 ( 100 ) 와 기판 ( 10 ) 을 분리 할 수 있 으므로 , 기판 ( 10 ) 의 휨 변형 을 최소 화 하 면서 스테이지 ( 100 ) 에서 기판 ( 10 ) 을 분리 할 수 있 는 이점 이 있 다 .