도 3 및 도 4 를 참조 하 면 , 검사 모듈 ( 32 ) 은 기판 상 에 형성 된 검사 용 회로 칩 ( 31 ) 과 , 신호 배선 들 ( 35 , 36 ) , 및 프로브 들 ( probe ) ( 37 ) 을 구비 한다 . 검사 용 회로 칩 ( 31 ) 은 타이밍 신호 발생기 와 레벨 쉬프 터 를 포함 하 여 검사 용 게이트 제어 신호 와 게이트 구동 전압 들 을 발생 한다 .