매체 운반 기구 부 ( 6 ) 에 있 어서 , 매체 파지 기구 부 ( 24 ) , X 축 반송 기구 부 ( 28 ) 및 Z 축 반송 기구 부 ( 32 ) 가 구비 되 고 , 매체 파지 기구 부 ( 24 ) 및 X 축 반송 기구 부 ( 28 ) 가 탑재 된 Z 축 반송 기구 부 ( 32 ) 는 가이드 레 일부 ( 40 ) 에 미끄럼 이동 가능 하 게 지지 되 는 동시 에 , 타이밍 벨트 ( 42 , 44 ) 로 판형 의 밸 런 서 ( 46 ) 에 연결 되 어 있 다 . 밸 런 서 ( 46 ) 의 중량 은 매체 파지 기구 부 ( 24 ) 및 X 축 반송 기구 부 ( 28 ) 가 탑재 된 Z 축 반송 기구 부 ( 32 ) 와 동일 중량 이 다 . 타이밍 벨트 ( 42 ) 는 도르래 ( 48 , 50 ) 에 현가 되 고 , 또한 타이밍 벨트 ( 44 ) 는 도르래 ( 52 , 54 ) 에 현가 됨 으로써 , 매체 파지 기구 부 ( 24 ) 및 X 축 반송 기구 부 ( 28 ) 가 탑재 된 Z 축 반송 기구 부 ( 32 ) 와 , 밸 런 서 ( 46 ) 가 현수 되 어 균형 잡혀 있 다 . 따라서 , Y 축 반송 기구 부 ( 30 ) 에 의해 타이밍 벨트 ( 42 ) 가 이동 하 면 , Z 축 반송 기구 부 ( 32 ) 를 타이밍 벨트 ( 42 ) 의 이동 방향 에 따라서 승강 시킬 수 있 고 , 즉 Y 축 방향 에 용이 하 게 이동 시킬 수 있 다 . 이러 한 매체 운반 기구 부 ( 6 ) 의 구성 은 매체 운반 기구 부 ( 8 ) 에 대해서 도 마찬가지 이 므로 , 동일 부호 를 붙여 그 설명 을 생략 한다 .