적외선 가열기 ( 16 ) 들 의 유형 은 매우 높 은 온도 를 허용 하 는 것 이 다 . 달성 가능 한 온도 범위 는 1800 ℃ 내지 3000 ℃ 이 며 , 이것 은 필요 하 다면 적외선 가열기 의 필라멘트 가 동작 중 에 그 온도 에서 존재 한다는 것 을 의미 한다 . 이러 한 종류 의 적외선 가열기 는 실리콘 웨이퍼 의 가열 에 특히 적합 하 며 , 그 이유 는 이러 한 온도 에서 적외선 가열기 에 의해 방출 되 는 방사 파장 이 실리콘 에 의해 적외선 방사 가 매우 양호 하 게 흡수 될 수 있 게 하 기 때문 이 다 . 이 에 따라 , 400 ℃, 특히 450 ℃, 특히 500 ℃ 를 초과 하 는 매우 높 은 웨이퍼 온도 를 얻 을 수 있 다 . 또한 , 고 웨이퍼 온도 는 , 후속 하 는 반사 방지 또는 패 시베이 션 층 의 증착 에 대하 여 , 특히 , 수소 를 함유 하 는 가스 및 / 또는 층 에 의한 패 시베이 션 에 대하 여 유익 하 다 .