이상 에서 와 같이 설명 된 본 발명 에 따른 테스트 핸들러 용 개폐 장치 ( 500 ) 는 , 설명 의 편의 를 위하 여 소크 챔버 ( 400 A ) 의 수용 입구 에 설치 되 는 것 을 예 로 하 여 설명 하 였 지만 , 앞서 종래 기술 에서 설명 한 바 와 같이 , 테스트 부 와 출력 대기 부 사이 를 차단 하 는 차 단벽 과 같이 , 서로 열차 단 이 필요 한 양 공간 을 차단 하 는 구조물 에 형성 된 수용 입 구 또는 출구 에 바람직 하 게 적용 할 수 있 다 .