상세 하 게 는 도 1 에 도시 된 바 와 같이 액상 의 유기 금속 전구체 가 담긴 용 기 ( 110 ) ; 상기 용기 ( 110 ) 에 상기 유기 금속 전구체 에 잠기 게 배관 되 어 반응 기체 또는 상기 유기 금속 전구체 를 버블 링 하 여 기화 시키 는 불활성 기체 를 주입 하 기 위한 주입 파이프 ( 120 ) ; 상기 용기 ( 110 ) 에 상기 유기 금속 전구체 액상 위 에 놓이 도록 배관 되 어 기화 된 상기 유기 금속 전구체 가 포함 된 기체 를 배출 하 기 위한 배출 파이프 ( 130 ) ; 상기 용기 ( 110 ) 외부 에 구비 된 온도 조 절부 ( 141 ) , 진동 발생기 ( 142 ) , 초음파 발생기 ( 143 ) 및 주입 파이프 ( 120 ) 를 포함 하 는 열악 환경 조성부 ( 140 ) ; 상기 용기 ( 110 ) 에 구비 된 분광 수단 ( 150 ) 을 포함 하 여 구비 되 는 특징 이 있 다 .