상기 제어 처리 기구 C 는 제 1 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 에 대해서 , 초단 압력 센서 ( P 01 ) 에 의해 검지 하 는 압력 과 상기 메모리 에 격납 되 어 있 는 목표 압력 과 의 편차 를 이용 하 여 , 이 제 1 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 의 유량 제어 밸브 V 1 를 피드백 제어 한다 . 아울러 , 상기 제어 처리 기구 C 는 제 1 압력 센서 P 11 와 제 2 압력 센서 P 21 에 의해 검지 되 는 상기 유체 저항 R 1 에서 발생 하 는 압력 차 로부터 , 이 제 1 매스 플로우 컨트롤러 MFC 1 의 내부 유로 L 1 를 흐르 는 질량 유량 을 산출 한다 .