가열 유닛 ( 3230 ) 은 가열 판 ( 3232 ) , 커버 ( 3234 ) , 그리고 히터 ( 3233 ) 를 가진다 . 가열 판 ( 3232 ) 은 상부 에서 바라볼 때 대체로 원형 의 형상 을 가진다 . 가열 판 ( 3232 ) 은 기판 ( W ) 보다 큰 직경 을 가진다 . 가열 판 ( 3232 ) 에 는 히터 ( 3233 ) 가 설치 된다 . 히터 ( 3233 ) 는 전류 가 인가 되 는 발열 저항체 로 제공 될 수 있 다 . 가열 판 ( 3232 ) 에 는 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 상하 방향 으로 구동 가능 한 리프트 핀 ( 3238 ) 들 이 제공 된다 . 리프트 핀 ( 3238 ) 은 가열 유닛 ( 3230 ) 외부 의 반송 수단 으로부터 기판 ( W ) 을 인수 받 아 가열 판 ( 3232 ) 상 에 내려놓 거나 가열 판 ( 3232 ) 으로부터 기판 ( W ) 을 들어올려 가열 유닛 ( 3230 ) 외부 의 반송 수단 으로 인계 한다 . 일 예 에 의하 면 , 리프트 핀 ( 3238 ) 은 3 개 가 제공 될 수 있 다 . 커버 ( 3234 ) 는 내부 에 하부 가 개방 된 공간 을 가진다 . 커버 ( 3234 ) 는 가열 판 ( 3232 ) 의 상부 에 위치 되 며 구 동기 ( 3236 ) 에 의해 상하 방향 으로 이동 된다 . 커버 ( 3234 ) 가 가열 판 ( 3232 ) 에 접촉 되 면 , 커버 ( 3234 ) 와 가열 판 ( 3232 ) 에 의해 둘러싸인 공간 은 기판 ( W ) 을 가열 하 는 가열 공간 으로 제공 된다 .