상술 한 실시 형태 에서 는 진공 챔버 의 내부 에 배치 되 는 상기 기판 ( S ) 의 4 개 의 모서리 부 에 대응 하 는 위치 에 위치 결정 기구 ( 41 , 42 , 43 , 44 ) 가 설치 된 구조 에 대해 설명 하 였으나 , 위치 결정 기구 의 개수 는 한정 되 지 않 는다 . 상술 한 4 개 의 위치 결정 기구 에 더불 어 , 반송 방향 ( TD ) 에 평행 한 기판 ( S ) 의 단면 에 접촉 하 는 롤러 를 구비 한 위치 결정 기구 가 로드 락 챔버 ( 10 ) 의 내부 에 설치 되 어도 좋 다 .