이어서 , 도 3 b 에 도시 된 바 와 같이 , 질화 막 ( 202 ) 을 연마 정지 막 으로 이용 한 CMP 공정 을 실시 하 여 도전 막 ( 203 A ) 을 연마 한다 . 이때 , CMP 공정 은 도전 막 ( 203 A ) 과 질화 막 ( 202 ) 간 의 높 은 연마 선택 비 를 갖 는 연마 조건 으로 실시 한다 . 예컨대 , 도전 막 ( 203 A ) 이 텅스텐 으로 이루어진 경우 연마 조건 은 하 기 표 1 과 같 다 .