가스 도입 구 ( 241 ) 에 는 공통 가스 공급 관 ( 242 ) 이 접속 된다 . 공통 가스 공급 관 ( 242 ) 에 는 제 1 가스 공급 관 ( 243 a ) , 제 2 가스 공급 관 ( 244 a ) , 제 3 가스 공급 관 ( 245 a ) 이 접속 된다 . 제 1 가스 공급 관 ( 243 a ) 을 포함 하 는 제 1 가스 공급 부 ( 243 ) 로부터 는 제 1 처리 가스 ( 상세 는 후술 ) 가 주로 공급 되 고 , 제 2 가스 공급 관 ( 244 a ) 을 포함 하 는 제 2 가스 공급 부 ( 244 ) 로부터 는 제 2 처리 가스 ( 상세 는 후술 ) 가 주로 공급 된다 . 제 3 가스 공급 관 ( 245 a ) 을 포함 하 는 제 3 가스 공급 부 ( 245 ) 로부터 는 주로 퍼지 가스 가 공급 된다 .