도 3 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 건조 챔버 를 나 탄 낸 도면 이 고 , 도 4 는 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 하부 하우징 에 형성 된 이 물질 배 출부 의 하나 의 예시 적 인 형상 을 나타낸 도면 이 고 , 도 5 는 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 하부 하우징 에 형성 된 이 물질 배 출부 의 다른 예시 적 인 형상 을 나타낸 도면 이 고 , 도 6 은 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 초기 가압 용 초임계 유체 의 확산 경로 를 나타낸 도면 이 고 , 도 7 은 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 건조 용 초임계 유체 의 확산 경로 를 나타낸 도면 이 고 , 도 8 은 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 건조 용 초임계 유체 에 유기 용제 가 용해 된 혼합 유체 의 배출 경로 를 나타낸 도면 이 고 , 도 9 는 본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 건조 공정 이 완료 되 는 경우 , 상부 하우징 과 하부 하우징 의 결합 면 에 구비 된 실링 부 및 그 주변 에 존재 하 는 파티클 의 기판 으로 의 유입 이 방지 되 는 원리 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 .