구체 적 으로 설명 한다 . 오프너 ( 13 ) ( 또는 오프너 ( 14 ) ) 에 는 , 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 에 의해서 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 의 재 치대 ( 16 ) 또는 빈 캐리어 선반 ( 74 ) 으로부터 , 빈 캐리어 ( C ) 가 반송 되 어 있 다 . 오프너 ( 13 , 14 ) 에 대한 기판 ( W ) 의 반송 은 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 2 ) 에 의해서 행해진다 .