이온 빔 ( B ) 은 , 웨이퍼 ( W ) 가 위치 하 는 주입 범위 ( 62 ) 와 , 주입 범위 ( 62 ) 보다 외측 의 모니터 범위 ( 64 L , 64 R ) 를 포함 하 는 조사 범위 ( 66 ) 에 걸쳐 왕복 주사 된다 . 좌우 의 모니터 범위 ( 64 L , 64 R ) 의 각각 에 는 , 좌우 의 사이드 컵 ( 42 L , 42 R ) 이 배치 되 어 있 다 . 좌우 의 사이드 컵 ( 42 L , 42 R ) 은 , 주입 공정 에 있 어서 모니터 범위 ( 64 L , 64 R ) 까지 오 버스 캔 되 는 이온 빔 ( B ) 을 측정 할 수 있 다 . 주입 위치 ( 70 ) 의 x 방향 의 위치 는 , 주입 범위 ( 62 ) 와 일치 한다 . 주입 위치 ( 70 ) 의 y 방향 의 위치 는 , 이온 빔 ( B ) 또는 스캔 빔 ( SB ) 의 y 방향 의 위치 와 일치 한다 . 주입 위치 ( 70 ) 의 z 방향 의 위치 는 , 웨이퍼 처리 면 ( WS ) 의 z 방향 의 위치 와 일치 한다 .