MEMS 스위치 는 일반 적 으로 기판 에 대해 상대 적 으로 운동 하 는 운동 요소 와 그것 을 구동 시키 는 구동 요소 로 이루어진다 . 구동 요소 는 서로 대향 하 도록 위치 된 두 개 의 전극 을 가지 며 , 운동 요소 는 구동 요소 의 전극 을 통해 인가 되 는 전압 에 의해 발생 되 는 정전기력 에 의해 구동 한다 . 즉 , 운동 요소 는 기판 에 대해 평행 한 방향 또는 수직 인 방향 으로 운동 하 거나 , 기판 에 대해 소정 의 각도 범위 내 에서 회전 운동 하 도록 구성 된다 .