이 와 같 은 장치 및 방법 에 의해 제조 된 리튬 2 차 전지 의 음극 활물질 로 사용 되 는 급 냉 응고 실리콘 계 합금 분말 의 미세 조직 을 개념 적 으로 보여 주 는 도면 이 도 10 에 도시 되 어 있 다 . 도 10 에서 검 은 원 으로 표기 된 부분 이 실리콘 입자 의 석출 물 이 며 , 흰 부분 이 기 지상 을 나타낸다 . 본 출원 의 발명자 는 다음 과 같 은 조건 하 에서 실험 을 하 여 도 10 과 매우 유사 한 미세 조직 을 가지 는 실리콘 계 합 금문 말 을 얻 을 수 있 었 다 . 즉 , 플라 즈 마 용사 장치 가 채용 된 고속 분사 모듈 ( 20 ) 을 사용 하 였 고 , 그 고속 분사 모듈 ( 20 ) 에 공급 된 실리콘 계 합금 분말 의 입자 크기 는 90 ㎛ 였으며 , 용융물 의 분사 각도 는 10 °, 분사 속도 는 150 m / s 이 고 , 상기 회전체 ( 30 a ) 의 직경 은 200 mm , 그 회전체 ( 30 a ) 의 회전 속도 는 4000 rpm , 상기 회전체 ( 30 a ) 에 충돌 후 비산 되 는 입자 들 의 선속도 는 71 . 3 m / s 였 다 . 이 와 같이 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따르 면 기지 상 에 실리콘 석출 물 이 미세 하 고 균일 하 게 분포 된 미세 조직 을 가지 는 100 nm 이하 의 실리콘 석출 물 들 이 균일 하 게 분포 된 조직 을 가지 는 합금 분말 을 제조 할 수 있 는 제조 장치 및 방법 을 제공 할 수 있 는 효과 가 있 다 .