이 와 같이 , 임피던스 비정합 이 이루어지 면 RF 전력 발생기 의 출력 전력 은 많 은 손실 을 하 고 반도체 제조 장비 임피던스 정합 기 측 에서 되돌아오 는 반사파 는 커 지 게 된다 . 그리고 임피던스 비정합 이 이루어지 고 반사파 가 많 으면 RF 전력 발생기 는 발진 을 하 여 비 정상 적 으로 동작 을 할 수 있 으며 , 또한 입력 임피던스 비정합 으로 인해 반도체 제조 장비 의 임피던스 정합 기도 안정 된 동작 을 할 수 없 게 되 는 문제점 이 있 다 .