도 1 에 나타난 바 와 같이 , 종래 의 버블 제트 형 세정 장치 는 , 위 · 아래 가 서로 대칭 을 이루 는 상부 노즐 모듈 ( 1 ) 과 하부 노즐 모듈 ( 2 ) 을 구비 하 고 있 다 . 특히 , 상부 노즐 모듈 ( 1 ) 은 상부 세정액 분배 관 ( 1 a ) 과 상부 에어 분배 관 ( 1 b ) 및 상부 노즐 ( 1 c ) 들 로 이루어져 있 다 . 또한 , 하부 노즐 모듈 ( 2 ) 역시 하부 세정액 분배 관 ( 2 a ) 과 하부 에어 분배 관 ( 2 b ) 및 하부 노즐 ( 2 c ) 들 로 이루어져 있 다 . 상부 세정액 분배 관 ( 1 a ) 과 하부 세정액 분배 관 ( 2 a ) 으로 는 예컨대 탈 이 온수 ( deionized water ) 가 공급 되 며 , 상부 에어 분배 관 ( 1 b ) 과 하부 에어 분배 관 ( 2 b ) 으로 는 에어 가 공급 된다 . 세정 하 고자 하 는 기판 은 이러 한 상부 노즐 모듈 ( 1 ) 과 하부 노즐 모듈 ( 2 ) 사이 로 통과 하 게 된다 .