도 4 d 는 본 발명 의 일 실시 형태 에 따라 , 다수 의 동심 회전 가능 한 플로우 제어 플레이트 들 ( 407 A , 407 B , 407 C ) 에 의해 정의 된 플로우 제어 플레이트 어셈블리 ( 401 A ) 의 상 면도 를 나타낸다 . 각각 의 동심 회전 가능 한 플로우 제어 플레이트 ( 407 A , 407 B , 407 C ) 는 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 내 에서 쓰루 홀 들 ( 117 ) 이 개방 또는 폐쇄 되 는 센터 투 에지 제어 를 제공 하 도록 독립 적 으로 설정 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 플로우 제어 플레이트 어셈블리 ( 401 A ) 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 상부 표면 상 에서 동심 방식 으로 배치 된 동심 디스크 ( 407 A ) 및 다수 의 동심 링 들 ( 407 B / 407 C ) 을 포함 한다 . 도 4 d 의 특정 구성 이 예시 로서 제공 됨 을 이해 해야 한다 . 다른 실시 형태 들 은 도 4 d 에 나타낸 것 과 상이 한 수 의 동심 의 회전 가능 한 제어 플레이트 들 을 포함 한다 .