이러 한 제 1 틸팅 수단 ( 3 ) 은 기판 ( G ) 을 픽업 하 는 한 쌍 의 핸드 지그 ( 5 ) 와 , 핸드 지그 ( 5 ) 를 수평 방향 으로 이송 시키 는 수평 가이드 바 ( 9 ) 와 , 상기 수평 가이드 바 ( 9 ) 를 수직 방향 으로 승 하강 시키 는 수직 가이드 바 ( 10 ) 와 , 상기 수직 가이드 바 ( 10 ) 를 회전 시킴 으로써 기판 ( G ) 을 틸팅 시키 는 모터 조립 체 ( 26 ) 와 , 상기 모터 조립 체 ( 26 ) 를 지지 하 고 , 상기 제 1 이송 수단 ( 1 ) 에 연결 되 는 지지 플레이트 ( 7 ) 를 포함 한다 .