도 6 ( A ) 는 , 웨이퍼 의 + Y 측 에지 근방 이 투영 유닛 ( PU ) 의 바로 아래 가 되 는 위치 에 웨이퍼 스테이지 가 있 는 상태 를 나타내 는 도면 , 도 6 ( B ) 는 , 웨이퍼 의 중심 에서 볼 때 X 축 및 Y 축 에 대하 여 45 ° 를 이루 는 방향 의 에지 근방 이 투영 유닛 ( PU ) 의 바로 아래 가 되 는 위치 에 웨이퍼 스테이지 가 있 는 상태 를 나타내 는 도면 이 다 .