특허 문헌 1 은 , 다공질 체 ( 多孔 質 體 ) 의 흡착 부재 ( 吸着 部材 ) 를 구비 하 는 기판 홀더 ( 基板 holder ) 를 개시 한다 . 그 흡착 부재 는 세라믹 계 ( ceramic 系 ) 로서 , 그 구멍 은 평균 지름 이 30 μ m 에서 50 μ m 이 다 . 이 기판 홀더 는 기판 의 관통 구멍 을 막 는 흡착 부위 를 구비 함 으로써 안정 된 흡착 을 제공 하 는 것 이 다 .