하 기 에서 는 본 발명 의 연마 용 슬러리 의 제조 공정 과 그 결과물 로서 제조 된 연마 용 슬러리 의 특성 분석 으로 나누 어 각 부분 을 구체 적 으로 설명 한다 . 하 기 의 본 발명 을 구체 적 인 예시 를 들 어 설명 하 는 부분 에서 는 연마제 의 한 예 로서 세리아 를 사용 하 고 , 밀링 공정 이후 에 숙성 ( aging ) 공정 을 도입 하 여 숙성 시간 , 온도 및 숙성 방법 에 따른 평균 입 도 및 분산 안정 성 에 대한 특성 변화 를 살펴본다 . 또한 이렇게 제조 된 연마 용 세리아 슬러리 의 공정 조건 에 따른 산화 막 연마 속도 및 선택 비 등 의 CMP 결과 에 대해 살펴본다 . 다음 에서 설명 되 는 본 발명 은 여러 가지 다른 형태 로 변형 될 수 있 으며 , 본 발명 의 범위 가 아래 의 설명 으로 한정 되 는 것 은 아니 다 .