상술 한 과제 를 해결 하 고 , 목적 을 달성 하 기 위해서 , 본 발명 의 수지 점착 기 는 , 웨이퍼 의 한쪽 의 면 에 소망 하 는 두께 의 수지 를 피복 하 는 수지 점착 기 로서 , 웨이퍼 를 유지 하 는 유지 부 와 , 상기 유지 부 와 대향 하 는 테이블 과 , 상기 테이블 에 액상 수지 를 공급 하 는 수지 공급 부 와 , 상기 유지 부 와 상기 테이블 을 상대 적 으로 접근 시키 는 이 동부 와 , 웨이퍼 에 피복 된 상기 액상 수지 를 경화 시키 는 경화 부를 포함 하 는 가공 실과 , 상기 가 공실 내 의 온도 를 측정 하 는 온도 측 정부 와 , 각 기구 를 제어 하 는 제 어부 를 포함 하 고 , 상기 제 어부 는 , 상이 한 온도 의 상기 가공 실 에 있 어서 상기 이 동부 를 동일 한 양 만큼 움직였 을 때 에 피복 되 는 수지 의 두께 의 측정 의 결과 에 기초 하 여 취득 되 고 , 상이 한 온도 에 있 어서 도 피복 되 는 수지 의 두께 를 일정 하 게 하 기 위한 데이터 로서 온도 와 온도 마다 의 상기 이 동부 의 이 동량 과 의 상관 관계 데이터 를 기록 하 는 상관 관계 데이터 저 장부 를 포함 하 고 , 상기 상관 관계 데이터 를 참조 하 여 상기 온도 측 정부 가 측정 한 온도 에 상당 하 는 이 동량 을 상기 이 동부 에 설정 하 고 , 웨이퍼 에 미리 정해진 두께 의 수지 를 피복 한다 .