다른 구 현예 에서 , 기화 된 반응물 을 형성 하 는 방법 이 개시 된다 . 상기 방법 은 반응물 소스 를 기화기 에 공급 하 는 단계 를 포함 할 수 있 으며 , 상기 기화기 는 제 1 온도 로 제 1 열 구역 에 배치 된다 . 상기 방법 은 상기 반응물 소스 를 기화 시켜 반응물 증기 를 형성 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 방법 은 , 상기 제 1 온도 에서 상기 반응물 증기 의 전체 증기 압력 이하 로 상기 기화기 내 의 압력 을 유지 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 방법 은 , 상기 반응물 증기 를 공정 제어 챔버 로 이송 하 는 단계 를 포함 할 수 있 으며 , 상기 공정 제어 챔버 는 상기 제 1 온도 보다 높 은 제 2 온도 로 제 2 열 구역 에 배치 된다 . 상기 방법 은 , 상기 공정 제어 챔버 에서 측정 된 압력 의 피드백 에 적어도 부분 적 으로 기초 하 여 , 상기 공정 제어 챔버 내 의 압력 을 조절 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .