상기 중합체 의 중량 평균 분자량 ( Mw ) 의 하한 으로서 는 , 1 , 000 이 바람직 하 고 , 3 , 000 이 보다 바람직 하 고 , 5 , 000 이 보다 바람직 하 다 . 상기 Mw 의 상한 으로서 는 200 , 000 이 바람직 하 고 , 50 , 000 이 보다 바람직 하 고 , 10 , 000 이 더욱 바람직 하 다 . 상기 중합체 의 수 평균 분자량 ( Mn ) 에 대한 Mw 의 비 의 상한 으로서 는 5 가 바람직 하 고 , 3 이 보다 바람직 하 고 , 2 . 2 가 더욱 바람직 하 다 . 상기 비 의 하한 으로서 는 , 통상 1 이고 , 1 . 5 가 바람직 하 다 . 상기 중합체 는 전체 면 조사 후 의 가열 공정 중 의 산 촉매 반응 에 의해 , 현상 공정 에 있 어서 일부 조사 부가 현상액 에 가 용 또는 불용 이 되 는 것 이 다 .