도 7 은 샤워 헤드 챔버 에서 2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 에 의해 증착 된 PEALD 산화 규소 막 의 TEM 이미지 를 제공 하 는데 , 이 는 단차 피복 이 우수 하 고 , 2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 이 고정 기 를 가지 고 있 는 바 PEALD 산화 규소 에 대한 양호 한 전구체 일 수 있 음 을 나타낸다 .