상기 양 압 외함 이 정화 가스 배출구 를 통해 상기 하우징 을 벗어나 는 정화 가스 량 을 측정 하 는 또 다른 유량계 를 이용 하 는 경우 에 한 해 , 상기 정화 가스 유입 과 상기 정화 가스 배출구 를 통해 방출 되 는 상기 정화 가스 량 의 차이 도 검출 될 수 있 다 . 이 와 같 은 차이 는 바로 누출 에 의한 정화 가스 손실 에 상응 한다 .