바람직 하 게 , 1 차 메탈 콘 택식 각 공정 시 메인 식각 가스 는 C 4 F 6 의 플 라즈 마 를 사용 하 고 , C 4 F 6 의 플 라즈 마 에 O 2 / Ar 혼합 가스 의 플 라즈 마 를 더 첨가 하 여 진행 한다 . 이 와 같이 , C 4 F 6 / O 2 / Ar 혼합 가스 의 플 라즈 마 를 사용 하 면 , 질화 막 에 대한 산화 막 의 식각 선택 비 가 5 : 1 이상 ( 5 : 1 ∼ 10 : 1 ) 이 된다 .