본 실시 형태 의 검사 방법 은 , 피 검사 시료 상 에 형성 된 제 1 패턴 에 , 전자 빔 의 조사 를 행하 고 , 조사 에 의해 제 1 패턴 으로부터 생기 는 제 1 검사 화상 을 취득 하 고 , 제 1 검사 화상 에 포함 되 는 제 1 윤곽 에 평행 인 방향 으로 제 1 사이즈 를 갖 고 , 제 1 윤곽 에 수직 인 방향 으로 제 1 사이즈 보다 작 은 제 2 사이즈 를 갖 는 국소 영역 을 사용 하 여 평활 화 를 행하 여 , 평활 화 에 의해 생성 된 제 2 윤곽 을 포함 하 는 제 2 검사 화상 을 취득 하 고 , 제 2 검사 화상 과 소정 의 기준 화상 을 비교 한다 .