상기 핀 패턴 을 감싸 도록 돌출 된 형상 을 갖 는 돌기 형 게이트 를 형성 하 는 단계 는 , 상기 실리콘 에 피층 상 에 게이트 절 연막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 게이트 절 연막 상 에 표면 평탄 화 가 이루어진 폴리 실리콘 막 을 형성 하 는 단계 ; 상기 표면 평탄 화 가 이루어진 폴리 실리콘 막 상 에 금속 계 막 및 하드 마스크 막 을 차례 로 형성 하 는 단계 ; 및 상기 하드 마스크 막 , 금속 계 막 , 폴리 실리콘 막 및 게이트 절 연막 을 식각 하 여 돌기 형 게이트 를 형성 하 는 단계 ; 를 포함 한다 .