상기 서 셉 터 ( 120 ) 에 는 증착 하 고자 하 는 기판 ( W ) 이 안착 되 는데 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 안착 되 는 기판 ( W ) 은 서 셉 터 ( 120 ) 상 에 일정 한 간격 으로 배치 된다 . 도 3 을 참조 하 면 4 개 의 기판 ( W ) 이 서 셉 터 ( 120 ) 에 안착 되 어 있 으나 , 이러 한 기판 ( W ) 의 갯 수 는 하나 의 예시 에 불과 하 며 , 기판 ( W ) 내지 반응 실 ( R ) 의 크기 에 따라 6 개 또는 8 개 등 다양 한 갯 수 의 기판 ( W ) 을 장착 할 수 있 다 .