제 2 지지 부들 ( 422 b ) 간 의 상하 간격 은 제 1 지지 부들 ( 422 a ) 간 의 상하 간격 보다 넓 게 제공 된다 . 상술 한 구조 로 인해 카세트 ( 420 ) 전체 높이 는 줄 이 면서 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 언 로딩 된 합성 기판 ( 10 ) 의 상면 에 생성 된 탄소 나노 튜브 ( 30 ) ( CNT ) 가 인접 한 합성 기판 ( 10 ) 과 접촉 되 지 않 도록 하 는 공간 을 충분히 제공 할 수 있 다 .