도 21 a 는 아르곤 ( Ar ) 가스 와 산소 ( O 2 ) 가스 의 혼합 가스 를 사용 하 여 일반 적 인 급속 열처리 ( 도 1 참조 ) 를 실시 한 웨이퍼 에 대한 산소 석출 물 을 보여 주 는 도면 이 다 . 도 21 a 는 아르곤 ( Ar ) 가스 와 산소 ( O 2 ) 가스 의 혼합 가스 를 사용 하 여 1200 ℃ 에서 5 초 동안 일반 적 인 급속 열처리 를 실시 한 경우 를 보여 주 고 있 다 .