가상 챔버 ( 10 ) 는 기판 이 처리 되 는 공정 챔버 의 임피던스 를 구현 하 도록 임피던스 변조 가 가능 하 게 구성 되 는 가변 부하 정합 부 ( Variable Load Matcher ) 를 포함 한다 . 공정 챔버 는 예 를 들 어 , 기판 에 대하 여 식각 등 의 처리 가 행해 지 는 챔버 일 수 있 다 . 공정 챔버 의 임피던스 는 공정 챔버 의 레이아웃 에 따라 사전 에 계산 되 어 설정 되 거나 , 시뮬레이션 등 에 의해 산출 될 수 있 다 .