개시 되 는 반도체 디스플레이 제조 설비 용 진공 배관 지지 구조 가 슬리브 부재 와 , 덮개판 부재 를 포함 함 에 따라 , 상기 덮개판 부재 를 구성 하 는 돌출 걸림 체 가 상기 슬리브 부재 를 구성 하 는 내측 플랜지 의 저면 에 맞물림 으로써 , 볼트 등 별도 의 고정 수단 이 없이 도 , 상기 덮개판 부재 와 상기 슬리브 부재 가 서로 결합 될 수 있 게 되 고 , 상기 덮개판 부재 가 상기 슬리브 부재 에서 임의 이탈 방지 될 수 있 게 되 고 , 그 에 따라 바닥 체 에 결합 되 는 상기 슬리브 부재 와 진공 배관 이 연결 된 상기 덮개판 부재 사이 의 기밀 성 이 확보 되 면서 도 , 상기 슬리브 부재 와 상기 덮개판 부재 의 결합 이 간편 하 게 이루어질 수 있 게 되 는 장점 이 있 다 .