상기 와 같이 하 여 기재 표면 에 본 발명 의 표면 처리 제 를 막 형성 한 후 , 이 막 ( 이하 , 「 전구체 막 」 이 라고 도 함 ) 에 수분 을 공급 한다 . 수분 의 공급 방법 은 특별히 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 , 전 구체 막 ( 및 기재 ) 과 주위 분위기 의 온도 차 에 의한 결로 나 , 수증기 ( 스팀 ) 의 분사 등 의 방법 을 사용 해도 된다 .