기판 ( 101 ) 의 원 하 는 위치 에 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 이 조사 되 면 , 이러 한 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 이 조사 된 것 에 기인 하 여 기판 ( 101 ) 으로부터 멀티 1 차 전자 빔 ( 20 ) 의 각 빔 에 대응 하 는 , 반사 전자 를 포함 하 는 2 차 전자 의 다발 ( 멀티 2 차 전자 빔 ( 300 ) ) 이 방출 된다 .