본 발명 의 다른 일 양태 에 의하 면 절 연막 과 접촉 된 , 이 접촉 시 의 이 절 연막 보다 소수성 이 큰 표면 소수 화 막 으로서 , 그 반대 측 의 면 에서 배선 과 도 접촉 되 고 , 유황 원자 , 인 원자 및 질소 원자 로 이루어지 는 군 에서 선택 된 하나 이상 의 원자 를 포함 하 는 표면 소수 화 막 에 이용 되 는 표면 소수 화 막 형성 재료 로서 , 평균 분자량 이 1000 이 하인 조건 과 , 1 분자 내 에 포함 되 는 규소 원자 의 수 가 20 이 하인 조건 중 적어도 어느 하나 를 만족 시키 는 규소 화합물 을 함유 하 여 이루어지 는 표면 소수 화 막 형성 재료 가 제공 된다 .