도 3 에 , 유지 테이블 ( 11 ) 의 회전 각도 와 중심 간 거리 ( r ) 의 관계 의 일례 를 도시 한다 . 이 도면 에 도시 된 바 와 같이 , 중심 간 거리 ( r ) 는 , 유지 테이블 ( 11 ) 의 회전 각도 ( θ ) 에 따라 , 코사인 커브 를 그리 도록 변동 한다 . 한편 , 중심 간 거리 ( r ) 가 마이너스 인 것 은 , 측정 개시 했 을 때 의 웨이퍼 ( W ) 의 중심 ( C 1 ) 이 , 유지 면 ( 12 ) 의 중심 ( C 0 ) 보다 - X 측 에 있 는 것 을 의미 한다 .