반송 로봇 ( 3422 ) 이 후단 액 처리 챔버 ( 3604 ) 에서 기판 ( W ) 을 반출 하 여 열처리 챔버 ( 3200 ) 으로 기판 ( W ) 을 반입 한다 . 열처리 챔버 ( 3200 ) 에 는 상술 한 가열 공정 및 냉각 공정 이 순차 적 으로 진행 되 고 , 각 열처리 공정 이 완료 되 면 , 반송 로봇 ( 3422 ) 은 기판 ( W ) 을 후단 버퍼 ( 3804 ) 로 반송 한다 . 인터페이스 모듈 ( 40 ) 의 제 1 로봇 ( 4602 ) 이 후단 버퍼 ( 3804 ) 에서 기판 ( W ) 을 반출 하 여 보조 공정 챔버 ( 4200 ) 로 반송 한다 .