상기 한 거리 ( L 6 ) 및 거리 ( L 7 ) 중 적어도 한 쪽 이 , 상기 한 소정 의 거리 내 에 있 는 경우 에 는 , 레지스 트 패턴 대 응부 ( 43 ) 를 형성 하 는 영역 에 , 더미 활성 영역 ( 45 ) 을 설정 한다 . 레지스 트 패턴 대 응부 ( 43 ) 의 제 1 패턴 부 대 응부 ( 43 a ) 의 바로 아래 의 층 에 , 가상 적 으로 활성 영역 을 형성 하 도록 설정 한다 . 예 를 들 면 , 더미 활성 영역 ( 45 ) 을 설정 하 여 , 제 1 패턴 부 대 응부 ( 43 a ) 가 , 마치 게이트 전극 인 것 처럼 설정 을 행한다 .