투영 광학 모듈 ( PLa ∼ PLg ) 은 각각 , 복수 의 광학 소자 에 의해 구성 되 어 있 으며 , 노광 영역 ( 투영 영역 ) 을 설정 하 는 시야 조리개 및 결상 특성 조정 장치 등 을 구비 하 고 있 다 . 결상 특성 조정 장치 는 , 복수 의 광학 소자 중 특정 광학 소자 를 구동 함 으로써 패턴 이미지 의 결상 특성 을 조정 하 는 것 으로서 , 이미지 시프트 , 스케일링 , 로테이션 및 이미지 면 위치 ( 이미지 면 경사 ) 등 을 조정 할 수 있 다 . 또한 , 투영 광학 모듈 ( PLa ∼ PLg ) 각각 을 구성 하 는 광학 소자 ( 렌즈 등 ) 는 경통 의 내부 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 결상 특성 조정 장치 로 는 , 일부 의 광학 소자 ( 렌즈 ) 사이 를 밀봉 하 여 내부 압력 을 조정 하 는 기구 등 이 어도 된다 .