가공 이송 유닛 ( 30 ) 은 , X 축 방향 으로 연장 되 는 한 쌍 의 가이드 레일 ( 31 ) , 가이드 레일 ( 31 ) 상 에 배치 된 X 축 테이블 ( 32 ) , 가이드 레일 ( 31 ) 과 평행 으로 연장 되 는 볼나사 ( 33 ) 및 볼나사 ( 33 ) 를 회전 시키 는 구동 모터 ( 35 ) 를 구비 하 고 있 다 . 한 쌍 의 가이드 레일 ( 31 ) 은 , X 축 방향 에 평행 으로 , Y 축 테이블 ( 24 ) 의 상면 에 배치 되 어 있 다 . X 축 테이블 ( 32 ) 은 , 한 쌍 의 가이드 레일 ( 31 ) 상 에 , 이 들 가이드 레일 ( 31 ) 을 따라 슬라이드 가능 하 게 설치 되 어 있 다 . X 축 테이블 ( 32 ) 상 에 는 , 척 테이블 부 ( 40 ) 가 배치 되 어 있 다 .