다음 으로 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , 도 1 에 도시 된 매크로 카메라 ( 31 ) 를 이용한 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 의 검사 를 실시 한다 . 즉 , 제 어 유닛 ( 61 ) 은 , X 축 이동 기구 ( 51 ) 를 제어 하 여 , 매크로 카메라 ( 31 ) 를 웨이퍼 ( W ) 상 에서 X 축 방향 을 따라 주사 하 면서 , 웨이퍼 ( W ) 의 표면 ( 피연 삭면 ) 을 촬상하여 검사 한다 .