도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 센서 ( 55 ) ( 온 도검 출부 ( 56 ) ) 가 기판 ( 21 a ) 의 온도 ( 열 ) ( 물리량 ) 를 검출 한다 . 이 와 같이 검출 된 온도 는 , 물리량 전달 매체 ( 60 ) 로 전달 되 는 과정 에서 검출 신호 ( 전기 신호 ) 가 되 어 변환기 ( 54 ) 에 입력 된다 . 변환기 ( 54 ) 는 , 여기 서 는 구동 회로 이 다 . 변환기 ( 구동회 로 ) ( 54 ) 는 입력 된 검출 신호 ( 전기 신호 ) 를 전송 신호 ( 구동 전류 ) 로 변환 하 여 전자파 방사기 ( LED ) ( 58 ) 에 입력 한다 . 전자파 방사기 ( 58 ) 는 구동 전류 에 따른 광 신호 를 방사 한다 . 방사 된 광 신호 는 진공 챔버 ( 1 ) 의 외부 에 설치 된 도시 하 지 않 은 수신기 에 의해 수신 된다 . 이 에 따라 기재 ( 21 a ) 의 온도 정보 가 진공 챔버 ( 1 ) 의 외부 로 추출 된다 .