또 , 상술 한 기판 처리 시스템 에 있 어서 , 상기 인 덱 서 블록 , 상기 제 1 처리 장치 및 상기 제 2 처리 장치 중 적어도 어느 하나 의 위 에 탑재 되 고 , 상기 캐리어 를 보관 하 기 위한 캐리어 보관 선반 과 , 상기 인 덱 서 블록 , 상기 제 1 처리 장치 및 상기 제 2 처리 장치 중 적어도 어느 하나 의 위 에 탑재 되 고 , 상기 캐리어 재 치대 와 상기 캐리어 보관 선반 의 사이 에서 상기 캐리어 를 반송 하 는 캐리어 반송 기구 를 더 구비 하 고 있 는 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 면 , 인 덱 서 블록 의 측면 에 캐리어 보관 선반 및 캐리어 반송 기구 가 배치 되 어 있 으면 , 캐리어 보관 선반 및 캐리어 반송 기구 가 배치 된 만큼 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 가 커진다 . 이 점 은 , 본 발명 에 의하 면 , 캐리어 보관 선반 및 캐리어 반송 기구 가 , 인 덱 서 블록 , 제 1 처리 블록 및 제 2 처리 블록 중 적어도 어느 하나 와 , 평면 에서 볼 때 겹친다 . 그렇 기 때문 에 , 기판 처리 장치 의 풋 프린트 의 증가 를 억제 할 수 있 다 .