판 단부 ( 92 ) 는 , 테이프 ( T 3 ) 의 중심 이 링 프레임 ( F ) 의 중심 과 일치 하 여 점착 되 어 있 지 않 다고 판단 했 을 경우 에 는 , 경보음 을 울리 거나 또는 에러 를 표시 하 는 등 을 행하 여 , 작업자 에게 상기 판단 을 통지 한다 . 판 단부 ( 92 ) 에 의한 상기 판단 이 실시 된 후 에 , 상기 판단 된 불량 인 웨이퍼 세트 는 , 도시 하 지 않 는 반송 수단 에 의해서 웨이퍼 카세트 에 수용 되 지만 , 작업자 는 상기 불량 인 웨이퍼 세트 가 수용 되 고 있 는 웨이퍼 카세트 의 선반 의 위치 를 파악 할 수 있 기 때문 에 , 그 후 , 상기 불량 인 웨이퍼 세트 를 웨이퍼 카세트 로부터 제거 할 수 있 다 .