상기 와 같 은 기술 적 과제 를 달성 하 기 위하 여 본 발명 에 따른 라디칼 증착 장 치 는 , 제 1 샤워 헤드 및 제 2 샤워 헤드 를 포함 하 는 2 단계 구조 의 샤워 헤드 를 채용 하 여 상기 제 1 샤워 헤드 에 전력 을 인가 함 으로써 상기 제 1 샤워 헤드 와 제 2 샤워 헤드 사이 의 공간 에서 플라 즈 마를 발생 시키 는 라디칼 증착 장치 에 있 어서 , 상기 전력 인가 를 위한 RF 전원 부 가 , 고정 주파수 를 가진 신호 를 출력 하 는 표준 신호 발생기 ; 가변 주파수 를 가진 신호 를 출력 하 는 가변 신호 발생기 ; 상기 표준 신호 발생기 및 가변 신호 발생기 로부터 신호 를 입력 받 아 합성 변조 하 여 출력 하 는 변조기 ; 상기 변조기 로부터 출력 된 변조 신호 를 입력 받 아 증폭 출력 하 는 앰프 ; 및 상기 앰프 의 출력 신호 에 대해 최대 전력 전송 을 위한 매칭 박스 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .