불 균일 성 은 , 조명 라인 이 단축 의 방향 으로 반도체 층 위 로 이동 되 면 , " 특히 빔 장축 을 따라 그리고 이 에 대해 수직 으로 빔 단축 을 따라 발생 할 수 있 다 . 이러 한 불 균일 성 을 "" 무라 ( Mura ) "" 라고 한다 . 소위 "" 스캔 무라 ( Scan Mura ) "" 는 빔 축 을 따른 불 균일 성 에서 유래 하 며 ", 스캔 방향 또는 공급 방향 으로 연장 되 는 스트립 형 불 균일 성 으로서 나타난다 . 이것 에 대해 수직 으로 , " 소위 "" 샷 무라 ( Shot Mura ) "" 가 발생 하 는데 ", 이 는 공급 중 에 펄스 사이 의 강도 의 변동 에 기인 한다 .