상기 의 경우 포토레지스트 ( 5 ) 패턴 을 식각 마스크 로 하 기 때문 에 단독 패턴 ( 100 a ) 와 조밀 패턴 ( 100 b ) 간 의 CD 차이 가 감소 하 는 효과 는 줄어들 수 있 으나 종래 의 포토 마스크 에 비하 면 포토레지스트 ( 5 ) 의 두께 가 얇 으므로 여전히 우수 한 CD 특성 을 가진다 . 또한 포토 마스크 제조 공정 이 간단 하 게 되 는 장점 이 있 으며 , 상기 하드 마스크 막 ( 4 ) 제거 가 쉽 고 원활히 될 수 있 다 .