상기 제 3 실리콘 절 연막 ( 50 ) 은 탄소 또는 질소 를 포함 하 여 형성 될 수 있 고 , 보다 구체 적 으로 SiN 또는 SiCN 으로 이루 어 진 것 을 포함 하 여 형성 될 수 있 다 . 상기 제 3 실리콘 절 연막 ( 50 ) 은 산소 를 포함 하 지 않 고 , 탄소 또는 질소 를 포함 하 여 형성 되 어 화학 적 내성 이 강하 고 , 전기 적 특성 이 향상 될 수 있 다 . 상기 제 3 실리콘 절 연막 ( 50 ) 은 후속 공정 시 실리콘 절 연막 의 습식 내성 을 향상 시킬 수 있 다 .