한편 , 연마 액 을 상기 제 2 연마 에 적용 하 는 경우 , 연마 액 이 2 종 이상 인 아졸 계 화합물 을 함유 할 ( 바람직 하 게 는 , 벤조 트라이아졸 골격 을 갖 는 화합물 과 , 벤조 트라이아졸 계 화합물 과 는 다른 화합물 을 함유 할 ) 때 는 , 각각 의 함유량 으로서 는 특별히 제한 되 지 않 으며 , 연마 액 중 에 있 어서 가장 함유량 이 적 은 아졸 계 화합물 에 대한 , 그 이외 의 아졸 계 화합물 의 함유량 의 질량비 가 , 0 . 05 이상 인 것 이 바람직 하 고 , 0 . 5 이상 이 보다 바람직 하 며 , 50 이하 가 바람직 하 고 , 10 이하 가 보다 바람직 하 다 . 또 , 벤조 트라이아졸 골격 을 갖 는 화합물 의 함유량 이 , 벤조 트라이아졸 계 화합물 과 는 다른 화합물 의 함유량 보다 많 은 것 이 바람직 하 다 .