제 1 도 통부 ( 95 ) 는 , 본 체부 ( 95 a ) 와 , 아 암부 ( 95 b ) 를 구비 한다 . 본 체부 ( 95 a ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 에 부착 되 고 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 에 접촉 한다 . 예컨대 , 본 체부 ( 95 a ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 의 제 1 본 체부 ( 35 ) 에 접촉 한다 . 본 체부 ( 95 a ) 에 는 , 제 1 본 체부 ( 35 ) 가 미끄럼 이동 가능 한 구멍 이 형성 된다 .