본 발명 에 따르 면 , 마이크로파 의 발진 주파수 를 변조 함 으로써 플라스마 밀도 분포 를 조정 할 수 있 도록 하 고 , 안테나 부 의 챔버 의 외부 의 복수 위치 의 온도 를 측정 함 으로써 플라스마 밀도 분포 를 모니터 하 므로 , 모니터 된 플라스마 밀도 분포 에 기초 하 여 마이크로파 의 발진 주파수 를 제어 함 으로써 고정 밀도 로 플라스마 밀도 분포 를 제어 할 수 있 다 .