한편 , 평행 광 발생 부 ( 106 ) 의 광학 렌즈 들 ( 116 ) 은 온도 가 상승 하 게 되 면 팽창 하 게 되 어 곡 률 이 달라지 게 되 므로 노광 장치 는 일정 한 온도 를 유지 하 여야 한다 . 이 를 위해 , 노광 장치 의 온도 를 감지 하 기 위한 온도 센서 와 , 감지 된 온도 에 의해 노광 장치 의 온도 를 상승 시키 거나 하강 시키 는 온도 제 어부 를 추가 로 구비 할 수 도 있 다 .