패 시베이 션 층 ( 170 ) 은 실란 과 암모니아 를 사용 하 여 화학 기상 증착 법 ( CVD ) 을 통해 성막 된다 . 이 에 따라 , 화학 기상 증착 법 에 의한 패 시베이 션 층 ( 170 ) 의 성막 과정 에서 이용 된 실란 과 암모니아 로부터 수소 가 발생 할 수 있 다 . 발생 한 수소 는 확산 ( diffusion ) 에 의해 패 시베이 션 층 ( 170 ) 내 에 포함 될 수 있 다 .