또한 , 상기 에서 제 1 막 은 , 마이크로파 플 라즈 마 스퍼터링 법 ( 주파수 100 MHz 이상 의 마이크로파 를 사용 하 는 스퍼터링 법 ) , RF 스퍼터링 법 ( 주파수 1 kHz 이상 100 MHz 미만 의 전자파 를 사용 하 는 스퍼터링 법 ) , AC 스퍼터링 법 ( 주파수 1 kHz 미만 , 전형 적 으로 는 100 Hz 이하 의 교류 를 사용 하 는 스퍼터링 법 , 사이클 스퍼터링 법 이 라고 도 함 ) 이나 DC 스퍼터링 법 ( 직류 를 사용 하 는 스퍼터링 법 , 전압 을 펄스 형상 으로 인가 하 는 펄스 DC 스퍼터링 법 을 포함 함 ) 중 어느 하나 로 제작 되 면 좋 다 .