도 12 는 실시 예 에 따라 기판 상 의 강력 한 변수 의 값 을 결정 하 는 ( 기판 상 의 강력 한 변수 의 계측 을 수행 하 는 것 을 방지 할 수 있 는 ) 방법 의 흐름 을 보여 주 고 있 다 . 이 공정 은 복수 의 상이 한 강력 한 변수 의 값 들 을 얻 는데 적용 될 수 있 다 . 도시 된 바 와 같이 , 기판 에 대한 강력 한 변수 ( 1640 ) 의 핑거 프린트 는 ( 초점 , 선량 , MSD , 수차 , 퓨 필 형상 등 과 같 은 , 그리고 다 이 / 필드 마다 공간 적 으로 특정 될 수 있 고 그리고 적용 조건 하 에서 기판 전체 에 걸쳐 반복 될 수 있 거나 또는 기판 전체 에 걸쳐 공간 적 으로 특정 될 수 있 는 , ) 리소그래피 장치 와 관련 된 하나 이상 의 변수 의 제 1 그룹 으로부터 의 제 1 기여 도 ( 1610 ) , ( 에칭 , 현상 등 과 같 은 , 그리고 기판 전체 에 걸쳐 공간 적 으로 특정 될 수 있 는 , ) 리소그래피 장치 에서 의 패턴 전사 전 에 또는 후 에 하나 이상 의 제조 공정 에 관련 된 하나 이상 의 변수 의 제 2 그룹 으로부터 의 제 2 기여 도 ( 1620 ) , 및 ( 마스크 CD 등 과 같 은 , 그리고 다 이 / 필드 마다 공간 적 으로 특정 될 수 있 고 적용 조건 들 하 에서 기판 전체 에 걸쳐 반복 될 수 있 거나 또는 기판 에 걸쳐 공간 적 으로 특정 될 수 있 는 , ) 패 터닝 공정 에서 사용 된 패 터닝 디바이스 에 관련 된 하나 이상 의 변수 의 제 3 그룹 으로부터 의 제 3 기여 도 ( 1630 ) 를 조합 함 으로써 얻 을 수 있 다 . 강력 한 변수 ( 1640 ) 의 핑거 프린트 는 타 겟 ( 30 ') 의 일부분 과 같 은 , 기판 의 임의 의 의 특정 부분 에 대해 얻 을 수 있 다 .