특허 문헌 1 에 는 , 복수 의 단속 ( 斷續 ) 조건 으로 이루어지 는 복수 의 SEM 화상 을 이용 하 여 , 시료 의 전기 특성 을 해석 하 는 방법 이 기재 되 어 있 다 . 특허 문헌 2 에 는 , 복수 의 단속 조건 으로부터 얻 어 지 는 이 차 전자 의 검출 신호 를 이용 하 여 , 시료 의 대전 ( 帶電 ) 완화 의 시정수 ( 時 定數 ) 를 해석 하 는 방법 이 기재 되 어 있 다 . 특허 문헌 3 에 는 , 복수 의 단속 조건 에서 얻 어 지 는 화상 의 합성 화상 으로부터 , 시료 의 대전 완화 의 시정수 를 해석 하 는 방법 이 기재 되 어 있 다 .