그리고 , 이송 샤프트 들 ( 220 ) 의 상측 에 는 이송 샤프트 들 ( 220 ) 의 배열 방향 을 따라 가이드 롤러 들 ( 240 ) 배치 될 수 있 으며 , 가이드 롤러 들 ( 240 ) 은 이송 샤프트 들 ( 220 ) 에 의해 이동 되 는 기판 지지 부재 ( 210 ) 의 상단 부 측면 과 접촉 회전 하 여 기판 지지 부재 ( 210 ) 의 이동 을 안내 한다 .