용량 성 커플링 시스템 이 도 1 a 에 도시 되 고 RF 소스 에 커플링 된 안테나 가 가스 를 플 라즈 마 상태 로 에 너자 이징 하 는 시스템 이 도 1 b 에 도시 되 지만 , 챔버 는 다양 한 플라 즈 마 생 성 소스 가 상부 에 탑재 되 는 것 을 허용 하 는 모듈 식 디자인 을 가질 수 있 다 . 챔버 는 임의 의 적절 한 재료 로 이루어질 수 있 으며 , 바람직 한 실시 형태 에 따라 , 그 챔버 는 단일 조각 의 ( single piece ) 알루미늄 또는 알루미늄 합금 으로 이루어진다 .