이러 한 패 시베이 션 층 은 일부 실시 예 들 에서 , 먼저 ( a ) 맨드릴 의 측벽 들 및 수평 표면 들 모두 위 에 패 시베이 션 재료 ( 예 를 들 어 , 실리콘 옥사이드 , 실리콘 나이트 라이드 , 실리콘 카바이드 , 또는 탄소 ) 를 컨 포 멀 하 게 증착 하 고 , 이어서 ( b ) ( 예 를 들 어 , 에칭 후 에 측벽 에서 패 시베이 션 층 재료 의 적어도 50 , 또는 적어도 80 ％ 가 남 도록 ) 측벽 들 로부터 패 시베이 션 층 을 완전히 제거 하 지 않 고 수평 표면 들 로부터 패 시베이 션 층 을 완전히 제거 함 으로써 형성 될 수 있 다 .