또한 반사 층 ( 202 ) 과 단열층 ( 203 ) 을 적층 한 후 , 도 2 b 에 나타낸 바 와 같이 개 구부 ( 206 ) 를 형성 함 으로써 , 반사 층 ( 204 ) 및 단열층 ( 205 ) 이 각각 분리 형성 된다 . 개구부 ( 206 ) 를 형성 할 때 에 는 여러 가지 방법 을 사용 할 수 있 지만 , 드라이 에칭 법 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 드라이 에칭 법 을 사용 함 으로써 , 개구부 ( 206 ) 의 측벽 이 예리 해져 , 미세 한 패턴 을 성막 할 수 있 다 .