또한 , 상기 플라 즈 마 쉬스 의 간격 과 프로 파일 을 계측 하 기 위한 플 라즈 마 계측 장치 를 더 포함 하 고 , 상기 제 어부 는 계측 된 플라 즈 마 쉬스 의 간격 과 프로 파일 을 판단 하 고 , 판단 결과 에 따라 상기 챔버 에 인가 되 는 전원 의 세기 , 유도 코일 에 인가 되 는 전원 의 세기 또는 전원 이 인가 되 는 챔버 의 면적 중 적어도 어느 하나 를 제어 하 는 것 을 특징 으로 한다 .