도 1 은 일 실시 예 에 따른 정전 분무 의 원리 를 나타낸 도면 이 다 . 도 1 를 참조 하 면 , 정전 분무 는 마이크 로 노즐 ( 2 ) 의 토출 방향 에 접 지 전극 ( 25 ) 을 배치 시키 고 , 마이크 로 노즐 ( 2 ) 로 공급 되 는 액체 에 고전압 원 ( 21 ) 을 통해 전압 을 인가 함 으로써 발생 하 는 액체 의 표면 변화 특성 을 이용 하 여 액체 를 미립 화 ( Atomization ) 시키 는 기술 이 다 . 정전 분무 는 인가 되 는 전압 , 유량 , 액체 의 표면장력 , 전기전도도 , 공급 유량 등 에 의해 다양 한 분 무 특성 이 존재 하 는데 , 그 중 안정 적 으로 미세 액적 을 분무 할 수 있 는 콘 제트 ( Cone jet ) 모드 정전 분무 가 가장 많이 활용 된다 . 콘 제트 ( Cone jet ) 모드 정전 분무 는 액체 의 표면장력 과 외부 전기력 의 상호 작용 을 통해 노즐 끝단 에 만들 어 진 테일러 콘 ( Taylor cone ) ( 22 ) 에서 1 차 미립 화 를 통해 제트 ( Jet ) ( 23 ) 를 형성 하 고 , 레일리 ( Rayleigh ) 분열 로 인한 2 차 미립 화 를 통해 분무 노즐 크기 의 수십 배 에서 수백 배 만큼 작 은 크기 의 미세 액적 ( 24 ) 을 분무 하 는 과정 이 다 . 따라서 수십 마이크로미터 의 직경 을 가지 는 마이크 로 노즐 ( 2 ) 을 분무 소재 로 사용 하 게 되 면 수백 나노미터 크기 의 액적 을 얻 을 수 있 게 되 며 , 이렇게 하전 된 미세 물 액적 은 상기 제습 시스템 에서 응결핵 으로써 의 역할 을 하 게 된다 . 또한 정전 분무 특성 상 노즐 의 직경 이 감소 할수록 콘 제트 ( Cone jet ) 모드 정전 분무 개시 전압 이 감소 하 기 때문 에 마이크 로 노즐 어레이 를 사용 할 경우 보다 더 안정 적 인 분무 가 가능 하 다 .