상부 플 라즈 마 챔버 ( 112 ) 는 상부 플 라즈 마 챔버 ( 112 ) 의 주변 부 에 정의 되 고 상부 플레이트 ( 100 A ) 에 연결 된 아 우터 구조 부재 ( 104 ) 에 의해 부분 적 으로 형성 된다 . 상부 플 라즈 마 챔버 ( 112 ) 는 또한 아 우터 구조 부재 ( 104 ) 내 의 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 위 에 배치 된 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 을 포함 한다 . 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 은 절연 부재 ( 141 ) 에 의해 상부 플레이트 ( 100 A ) 에 고정 된다 . 절연 부재 ( 141 ) 는 전기 적 인 절연 을 제공 하 도록 정의 된다 . 그러나 , 절연 부재 ( 141 ) 는 또한 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 과 , 절연 부재 ( 141 ) 와 인터페이스 하 는 다른 컴포넌트 들 사이 에 열전도 를 제공 하 도록 정의 된다 .