다음 에 , 절연 표면 을 가지 는 기판 ( 101 ) 위 에 , 제 1 도전 층 ( 103 ) 을 형성 한다 . 제 1 도전 층 ( 103 ) 은 텅스텐 , 티탄 , 크롬 , 탄탈 , 또는 몰리브덴 등 의 고 융점 금속 , 또는 질화 탄탈 등 의 고 융점 금속 을 주성분 으로 하 는 합금 혹은 화합물 을 200 nm ∼ 600 nm 의 두께 로 형성 한다 . 또한 , 배선 의 저 저항 화 를 도모 하 기 위해 , 알루미늄 , 금 , 구리 등 의 금속 막 과 상기 고 융점 금속 의 적층 으로 하 여도 좋 다 .