본 발명 에 의하 면 , 하부 금속 배선 상부 에 대해서 만 증착 막 을 선택 적 으로 형성 함 으로써 , 유전 상수 ( k ) 를 증가 시키 지 않 는 확산 방지 막 혹은 캡 핑 막 으로서 의 역할 을 충분히 수행 할 수 있 다 . 또한 , 본 발명 은 하부 금속 배선 에 대한 어택 을 방지 할 수 있 기 때문 에 하부 금속 배선 의 오픈 을 방지 하 기 위한 희생 막 형성 과정 이 필요 치 않 아 전체 공정 이 간소 화 되 는 효과 가 있 다 .