바람직 한 실시 예 에서 , 회전자 는 , 전기 적 전도성 베어링 요소 , 특히 , 볼 베어링 및 / 또는 깊 은 그루브 볼 베어링 및 / 또는 각 접촉 볼 베어링 및 / 또는 구형 롤러 베어링 및 / 또는 축 베어링 및 / 또는 방사형 베어링 에 의해 , 장착 된다 . 전기 전도성 때문 에 , 정전기력 은 특히 , 기판 효율 성 에 바람직 하 게 가해질 수 있 다 .