이어서 , 동작 ( 562 ) 에서 델타 맵 또는 통계 맵 에 기초 하 여 결함 이 보 고 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 임의 의 차이 강도 값 또는 델타 값 이 미리 정의 된 임계 값 을 초과 하 는지 여부 가 결정 될 수 있 다 . CD 결함 을 검출 하 기 위하 여 절대 임계 값 을 사용 하 는 대신 , 임계 값 은 애버리지 로부터 의 분산 양 을 기반 으로 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 애버리지 로부터 특정 백분율 을 초과 하 여 벗어나 는 델타 값 은 결함 으로서 정의 된다 . 예 를 들 어 , 대응 하 는 다이 - 등 가 패치 의 강도 평균 ( mean ) 이 100 그레이 스케일 이 면 , 1 그레이 스케일 의 델타 강도 는 결함 으로서 정의 될 수 있 다 . 특정 수 의 표준 편차 를 초과 하 여 변하 는 델타 강도 값 도 결함 으로서 정의 될 수 있 다 .