이 에 따라 , 본 개시 의 일 태양 은 바닥 면 , 기판 의 통과 를 가능 하 게 하 는 전방 개구 , 및 전방 개구 와 는 반대쪽 에서 후방 개구 를 구비 하 며 , 상기 후방 개구 를 덮 는 필터 부재 를 수용 하 도록 구성 되 는 컨테이너 바디 ; 상기 컨테이너 바디 와 밀봉 맞물림 을 달성 하 는 후방 커버 로서 , 상기 후방 커버 와 상기 필터 부재 는 협력 하 여 완충 격실 을 획정 하 는 것 인 후방 커버 ; 및 상기 후방 커버 의 높이 방향 을 따라 연장 되 며 , 상기 완충 격실 에 연결 된 유출 구 를 갖 는 제 1 가스 안내 채널 을 포함 하 는 , 기판 컨테이너 시스템 을 제공 한다 .