따라서 , 이 예 에서 진공 펌프 장치 에서 , 압력 센서 ( 28 ) 및 N 2 가스 를 도입 하 기 위한 파이프 ( 29 ) 가 제 2 진공 펌프 ( 20 ) 의 제 1 단 스 크류 부 ( 25 ) 와 제 2 단 스 크류 부 ( 26 ) 사이 의 단간 부 ( 27 ) 에 제공 되 어 단 간부 ( 27 ) 의 압력 을 측정 하 고 측정 된 압력 값 에 따라 N 2 가스 도입 파이프 ( 29 ) 로부터 펌프 의 내부 로 도입 된 N 2 가스 의 양 을 제어 한다 . N 2 가스 도입 파이프 ( 29 ) 는 희석 용 N 2 유닛 ( 4 ) 에 접속 된다 .