불순물 을 금속 산화물 층 ( 560 ) 에 선택 적 으로 첨가 함 으로써 저 저항 영역 이 형성 된다 . 불순물 로서 는 인 , 비소 , 안티모니 , 붕소 , 알루미늄 , 실리콘 , 질소 , 헬륨 , 네온 , 아르곤 , 크립톤 , 제논 , 인듐 , 플루오린 , 염소 , 타이타늄 , 아연 , 및 탄소 등 이 있 다 . 불순물 의 첨가 방법 으로서 는 플라스마 처리 법 , 이온 주 입법 , 이온 도핑 법 , 플라스마 잠입 이온 주 입법 등 이 있 다 . 도전 층 ( 563 ) 을 마스크 에 사용 하 여 금속 산화물 층 ( 560 ) 에 불순물 을 첨가 함 으로써 저 저항 영역 을 자기 정합 적 으로 형성 할 수 있 다 .