즉 , 종래 에 비해 추가 적 으로 위상 반전 패턴 ( 104 ) 상 의 중간 부분 에 차광 패턴 ( 106 ) 이 형성 되 며 , 해당 차광 패턴 ( 106 ) 은 빛 의 투과 를 완벽 하 게 차단 할 수 있 도록 불 투명 ( opaque ) 한 재질 로 형성 될 수 있 고 , 일 예 로 , Cr 또는 CrOx 를 포함 하 는 재질 로 형성 될 수 있 다 .