" 상기 섹션 "" 2 . 발명 의 기본 적 원리 들 "" 에서 설명 된 바 와 같이 ", 대안 적 인 실시 예 는 후 방벽 ( 20 ) 상의 RF 구동 포인트 보다 는 샤워 헤드 ( 22 ) 상의 RF 구동 포인트 에 직접 임피던스 매칭 네트워크 의 RF 출력 부 를 접속 시키 는 것 이 다 . 다른 대안 적 인 실시 예 는 가스 유입 구 매니폴드 의 일부 가 아니 고 샤워 헤드 를 포함 하 지 않 는 전극 에 임피던스 매칭 네트워크 의 RF 출력 부 를 접속 시키 는 것 이 다 .