완전 분리 단계 에서 사용 되 는 진공 척 ( 30 ) 은 헤드 툴 ( T ) 의 하단 에 사각 블록 형태 로 형성 되 고 , 투명 한 쿼츠 로 형성 된다 . 진공 척 ( 30 ) 은 중앙 측 으로 레이저 조사기 ( 20 ) 에서 방출 되 는 레이저 가 통과 하 며 , 레이저 가 통과 하 는 중앙 을 기준 으로 상 , 하 , 좌 , 우 네 방향 에 는 마이크 로 LED 를 흡착 및 파지 하 기 위한 진공 구멍 ( 31 ) 이 상하 로 연장 형성 된다 .