내주 벽부 ( 52 ) 는 , 내 직경 이 웨이퍼 ( 11 ) 의 외직 경 보다 크 고 또 한 외직 경이 환형 프레임 ( 12 ) 의 내 직경 보다 작 은 원통형 으로 형성 되 어 있 다 . 내주 벽부 ( 52 ) 의 내주 면 ( 521 ) 은 , 내주 측 으로 감 에 따라 하측 으로 향하 는 경사면 으로 형성 되 어 있 다 . 저면 ( 522 ) 에 는 , 단면 이 원호 형상 의 홈 이 전체 둘레 에 걸쳐 설치 되 고 , 이 홈 에 O 링 ( 50 ) 이 끼워져 있 다 . O 링 ( 50 ) 은 , 탄성 을 갖 는 고무 등 으로 형성 되 어 있 다 . 저면 ( 522 ) 은 , 점착 테이프 ( 13 ) 의 표면 에 접촉 가능 하 다 . 구체 적 으로 는 , 점착 테이프 ( 13 ) 의 표면 중 에서 , 웨이퍼 ( 11 ) 와 환형 프레임 ( 12 ) 의 사이 의 부분 에 저면 ( 522 ) 이 접촉 한다 . 상벽 부 ( 53 ) 는 , 링 형상 으로 형성 되 고 , 외주 벽부 ( 51 ) 의 상단 과 내주 벽부 ( 52 ) 의 상단 을 연결 하 고 있 다 . 저 벽부 ( 54 ) 는 , 내 직경 이 환형 프레임 ( 12 ) 의 내 직경 보다 작 은 링 형상 으로 형성 되 고 , 외주 벽부 ( 51 ) 의 도 6 의 우측 의 단부 를 제외 하 고 , 도 7 의 좌측 에 도시 한 바 와 같이 , 연결부 ( 55 ) 를 통해 외주 벽부 ( 51 ) 와 외연 부가 일체 로 연결 되 어 있 다 . 한편 , 도 7 의 우측 의 단부 에 도시 한 저 벽부 ( 54 ) 는 , 외주 벽부 ( 51 ) 의 도 7 의 우측 의 단부 와 연결 되 지 않 기 때문 에 , 외주 벽부 ( 51 ) 와 저 벽부 ( 54 ) 의 사이 에 외주 측 개구 ( 57 ) 가 개구 되 어 있 다 . 외주 측 개구 ( 57 ) 는 , 도 7 의 화살표 IN 로 나타낸 바 와 같이 , 프레임 유닛 ( 1 ) 을 출입 할 수 있 도록 형성 되 어 있 다 . 또한 , 저 벽부 ( 54 ) 의 직경 방향 의 폭 은 , 관통 구멍 ( 66 ) 의 대직 경부 ( 662 ) 의 폭 과 동일 하 다 . 또한 , 저면 ( 522 ) 과 저 벽부 ( 54 ) 의 사이 에 는 , 내주 측 개구 ( 58 ) 이 설치 된다 .