먼저 , 인듐 주석 산화물 박막 이 형성 된 제 1 유리 기판 을 준비 하 였 다 . 상기 인듐 주석 산화물 박막 위 에 산화 티타늄 슬러리 인 나노 옥사이드 - D ( 제 품명 , 솔라 로 닉스 , 스위스 ) 를 닥터 블레이드 법 을 이용 하 여 도포 하 였 다 . 상기 산화 티타늄 슬러 리가 도포 된 제 1 유리 기판 을 핫 플레이트 로 옮겨 약 100 ℃ 에서 약 15 분 간 건조 하 였 다 . 다음 으로 , 상기 제 1 유리 기판 을 자외선 - 오존 클리너 의 챔버 안 으로 옮겨 산소 분위기 하 에서 약 30 분 간 자외선 - 오존 처리 하 였 다 . 자외선 - 오존 처리 된 상기 제 1 유리 기판 을 전기 히터 로 옮겨 공기 중 에서 약 450 ℃ 로 약 30 분 간 열처리 하 였 다 . 상기 열처리 된 제 1 유리 기판 을 약 80 ℃ 의 핫 플레이트 로 옮겨 약 10 분 간 냉각 하 여 약 8 ㎛ 의 두께 를 갖 는 산화 티타늄 층 을 얻 었 다 .