한편 , " 어떤 처리 유닛 ( 16 ) 에 대해서 이상 이 발생 해서 처리 대상 의 웨이퍼 ( W ) ( 구제 웨이퍼 ) 에 대한 기판 처리 프로세스 가 완료 되 지 않 은 경우 ( S 12 의 "" 예 "")", 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 당해 어떤 처리 유닛 ( 16 ) 에서 구제 처리 프로세스 를 실행 한다 ( S 13 ) . 즉 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 이상 이 발생 한 후 에 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 에서 구제 웨이퍼 에 대한 구제 처리 프로세스 를 실행 하 도록 , 구제 레시피 정보 에 따라서 이상 처리 유닛 ( 16 a ) 의 기판 보유 지지 기구 ( 30 ) 및 처리 유체 공급 부 ( 40 ) 를 제어 한다 .