[ 표 1 ] 및 [ 표 2 ] 의 결과 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 접합 웨이퍼 의 접합 계면 에 존재 하 는 섬 형상 의 산화물 의 존재 또는 부재 와 섬 형상 의 산화물 의 크기 는 식각 깊이 가 액티브 층 의 두께 와 동일 하 게 될 때 확인 될 수 있 다 . 또한 , 실시 예 1 에 있 어서 는 식각 깊이 가 액티브 층 + 550 ㎚ 두께 에 도달 할 때 까지 섬 형상 의 산화물 의 개수 및 크기 가 변하 지 않 고 일정 하 고 , 실시 예 2 에 있 어서 는 식각 깊이 가 액티브 층 + 600 ㎚ 두께 에 도달 할 때 까지 섬 형상 의 개수 및 크기 가 변하 지 않 고 일정 하 지만 , 식각 깊이 가 상기 총 값 을 초과 하 는 경우 에 는 섬 형상 의 산화물 의 개수 및 크기 가 작아지 게 됨 을 알 수 있 다 .