예컨대 , 도 10 에 도시 하 는 것 과 같이 , 마이크로파 전송 선로 ( 58 ) 를 구성 하 는 동축관 ( 66 ) 의 내부 도체 ( 68 ) 를 중 공관 으로 구성 하 고 , 이 중 공관 ( 68 ) 을 처리 가스 공급 부 ( 80 ) 의 중심 가스 공 급로 에 이용 하 는 것 도 가능 하 다 . 이 경우 , 중공 관 ( 68 ) 과 연속 되 도록 래디 얼 라인 슬롯 안테나 ( 55 ) 의 중심 을 관통 하 는 가스 토출구 ( 150 ) 를 형성 한다 . 래디 얼 라인 슬롯 안테나 ( 55 ) 의 중심 은 래디 얼 도파 로 의 중심 이 며 , 이 장소 에 가스 토출 용 의 관통 구멍 ( 150 ) 을 형성 하 더라도 , 래디 얼 라인 슬롯 안테나 ( 55 ) 의 전자파 방사 특성 의 균일성 에 영향 을 미치 는 일 이 없 고 , 더구나 광학 모니터 장치 ( 100 ) 와 의 저촉 또는 상반 관계 는 일절 없 다 .