처리 온도 ( 제 1 온도 ) : 500 내지 650 ℃, 바람직 하 게 는 600 내지 650 ℃, 처리 압력 : 0 . 2 내지 760 Torr ( 26 . 6 내지 101080 Pa ) , 바람직 하 게 는 0 . 5 내지 2 Torr ( 66 . 5 내지 266 Pa ) , N 2 가스 공급 유량 : 1000 내지 5000 sccm , 가스 공급 시간 : 60 내지 300 초 , 바람직 하 게 는 60 내지 120 초 가 예시 된다 . 또한 , 스텝 2 에서 의 처리 압력 은 , 후술 하 는 제 2 개질 스텝 에서 의 처리 압력 보다 도 낮 게 하 는 것 이 바람직 하 다 .