이러 한 종래 의 현상 장치 는 , 기판 에 현상액 이 공급 된 경우 현상 ( developing ) 을 위하 여 일정 한 시간 이 경과 한 후 에 기판 이송 수단 에 의하 여 세정 장치 로 이동 되 는 구조 로 이루어져 처리 시간 이 증가 되 므로 생산 성 이 떨어지 며 , 또한 , 현상 장치 의 출구 측 에 기판 의 경사 이송 을 위한 경사 이송 장치 를 추가 로 설치 해야 하 므로 설치 공간 증대 와 함께 제조 비용 이 증대 될 수 있 는 문제점 이 있 다 .