이 예시 에서 , 라인 ( 121 ) 은 제 1 격자 ( 110 ) 의 제 2 라인 ( 112 ) 들 의 최 상부 상 에 위치 된다 . 제 2 격자 ( 120 ) 는 하나 의 트렌치 ( 122 ) 및 하나 의 라인 ( 121 ) 의 폭 과 같 은 방향 X 1 으로 의 피치 ( P ') 를 갖 는다 . 제 2 격자 ( 120 ) 의 피치 ( P ') 는 제 1 격자 ( 110 ) 의 피치 ( P ) 와 실질 적 으로 같 아 지 도록 선택 된다 . 일 실시 예 에서 , 제 2 격자 ( 120 ) 의 라인 ( 121 ) 은 제 1 격자 ( 110 ) 의 제 2 라인 ( 112 ) 과 실질 적 으로 같 은 폭 을 가질 수 있 다 .