마찬가지 로 , 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 복수 의 광학 소자 가운데 , 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 상면 에 가장 가까운 종단 광학 소자 ( FL 2 ) 의 하 면 ( 사 출면 ) 은 기판 스테이지 ( 4 ) 에 유지 된 기판 ( P ) 의 표면 이 대향 하 여 배치 된다 . 제 2 패턴 형성 장치 ( 3 B ) 로 패턴 화 된 노광 광 ( EL ) 은 제 2 투영 계 ( PL 2 ) 의 종단 광학 소자 ( FL 2 ) 의 하면 으로부터 사출 된다 .