또한 , 제 3 층간 절 연막 ( 317 ) 으로서 , 실록 산 을 사용 한 절 연막 , 및 이 들 의 적층 구조 를 사용 하 는 것 도 가능 하 다 . 실록 산 은 , 실리콘 ( Si ) 과 산소 ( 0 ) 의 결합 을 골격 구조 로 구성 된다 . 치환기 로서 , 적어도 수소 를 포함 하 는 화합물 ( 예 를 들 면 알킬기 , 방향 족 탄화수소 ) 이 사용 된다 . 치환기 로서 , 불소 를 사용 하 여도 좋 다 . 또는 치환기 로서 , 적어도 수소 를 포함 하 는 화합물 및 불소 를 사용 하 여도 좋 다 .