다음 으로 혼합 을 실시 한다 . 혼합 이 불 충분 하 면 , 제조 한 타깃 중 에 각 성분 이 편석 되 어 , 고 저항률 영역 과 저 저항률 영역 이 존재 하 게 되 어 , 스퍼터 성막 시 에 고 저항률 영역 에서 의 대전 등 에 의한 아 킹 등 의 이상 방전 의 원인 이 되 기 때문 에 , 충분 한 혼합 이 필요 하 다 . 그러 기 위해서 는 예 를 들 어 , 슈퍼 믹서 로 대기 중 에서 , 회전수 2000 ∼ 4000 rpm , 회전 시간 3 ∼ 5 분 혼합 한다 . 원료 분말 은 산화물 이 기 때문 에 분위기 가스 는 , 특히 원료 의 산화 를 방지 할 필요 가 없 기 때문 에 , 아르곤 등 의 고가 의 가스 를 사용 할 필요 는 없 고 , 대 기여 도 상관없 다 . 혼합 방법 으로 는 그 밖 에 볼 밀 에 의한 장시간 혼합 등 의 방법 이 어도 되 고 , 그 밖 의 방법 이 라도 원료 의 균일 혼합 이 라는 취지 를 실현 할 수 있 는 방법 이 면 상관없 다 .