먼저 , 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 31 ) 를 개방 함 과 함께 , 반송 기구 ( 402 ) 를 제어 하 여 , 예 를 들 어 로드 포트 ( 601 ) 의 캐리어 ( C ) 에 수용 된 웨이퍼 ( W ) 를 로드 로크 실 ( 301 ) 에 반송 시킨다 . 전체 제 어부 ( 700 ) 는 , 게이트 밸브 ( G 31 ) 를 닫 고 , 로드 로크 실 ( 301 ) 내 를 진공 분위기 로 한다 .