실험 예 8 에서 얻 어 진 PMMA 도메인 - PAMS 도메인 - PS 도메인 - PAMS 도메인 을 반복 단위 로 구비 하 는 라멜라 형태 의 자기 조립 구조 가 형성 된 블록 공중 합체 층 상 에 UV ( Hg - Arc lamp , 1 kW ) 를 20 분 간 조사 한다 . UV 조사 는 진공 챔버 내 에서 수행 하 였 다 . 그 결과 , PAMS 도메인 과 PMMA 도메인 에 선택 적 으로 광분해 반응 이 일어났 다 . 광분해 반응 이 일어난 웨이퍼 를 2 wt % 의 아세트산 수용액 으로 세척 하 여 , 광분 해 된 PAMS 도메인 과 PMMA 도메인 을 제거 하 였 다 . 상기 PAMS 도메인 과 PMMA 도메인 이 제거 된 웨이퍼 를 증류수 를 이용 하 여 세척 하 여 산 을 제거 하 였 다 . 세척 된 웨이퍼 를 100 ℃ 에서 60 초 가열 하 여 건조 시켰 다 . 건조 된 웨이퍼 를 SEM 을 통해 관찰 하 여 , PMMA 도메인 및 그 양측 의 PAMS 도메인 들 이 제거 되 어 형성 된 폭 105 nm 의 스페이스 와 PS 도메인 으로 이루어진 폭 35 nm 의 라인 을 갖 는 미세 마스크 패턴 이 형성 된 것 을 확인 하 였 다 . 상기 미세 마스크 패턴 은 라인 폭 과 스페이스 폭 의 비 는 1 : 3 이 며 , 패턴 피치 는 140 nm 이 었 다 .