웨이퍼 보트 ( 80 ) 는 , 석영 에 의해 형성 되 는 보 온통 ( 75 ) 을 개재 해서 테이블 ( 74 ) 상 에 적재 되 어 있 다 . 테이블 ( 74 ) 은 , 처리 용기 ( 10 ) 의 하단 개구부 를 개폐 하 는 덮개 ( 60 ) 를 관통 하 는 회전축 ( 72 ) 의 상단 부 에 지지 된다 . 회전축 ( 72 ) 의 관 통부 에 는 , 예 를 들 어 자성 유체 시일 ( 73 ) 이 마련 되 어 있 어 , 회전축 ( 72 ) 을 기밀 하 게 시일 한 상태 에서 회전 가능 하 게 지지 하 고 있 다 . 또한 , 덮개 ( 60 ) 의 상면 외 주부 에 는 , 예 를 들 어 O 링 등 의 시일 부재 ( 61 ) 가 마련 되 어 있 어 , 처리 용기 ( 10 ) 내 를 밀폐 할 수 있 다 .