본 발명 의 일 실시 예 는 레이저 어닐링 공정 전 에 는 가공 대상물 에 조사 되 는 레이저 빔 의 균일 도 , 펄스 형상 및 출력 을 측정 하 여 제어 함 으로써 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 고 , 레이저 어닐링 공정 중 에 는 레이저 빔 의 펄스 형상 및 출력 을 실시간 으로 측정 하 여 제어 함 으로써 원 하 는 펄스 형상 및 출력 을 일정 하 게 구현 할 수 있 는 레이저 어닐링 장치 및 방법 을 제공 한다 .