본 발명 은 , 파티클 의 비산 을 억제 하 는 것 이 가능 한 기판 처리 시스템 을 제공 하 는 것 이 다 . 일 실시 형태 의 기판 처리 시스템 은 , 기판 을 수용 하 는 캐리어 를 기판 처리 장치 에 대하 여 반송 하 기 위한 캐리어 반송 영역 과 , 상기 캐리어 반송 영역 과 격벽 에 의해 구획 되 고 , 상기 캐리어 에 수용 되 는 상기 기판 을 처리 로 에 반송 하 기 위한 기판 반송 영역 과 , 상기 격벽 에 형성 되 고 , 상기 캐리어 반송 영역 과 상기 기판 반송 영역 과 의 사이 에서 상기 기판 을 반송 하 기 위한 반 송구 와 , 상기 반 송구 를 개폐 하 는 개폐 도어 와 , 상기 기판 반송 영역 의 압력 과 , 상기 캐리어 와 상기 개폐 도어 에 둘러싸인 공간 의 압력 을 대략 동일 한 압력 으로 하 는 동압 화 수단 을 구비 한다 .