각 스트라이프 영역 ( 32 ) 을 묘화 할 때 , x 방향 을 향해 XY 스테이지 ( 105 ) 가 이동 하 는 중 , 각 샷 으로 노광 되 는 화소 가 , 편 향기 ( 209 ) 에 의하 여 y 방향 으로 이동 하 도록 ( 스캔 하 도록 ) 빔 어레이 를 편향 하 고 , 샷 빔 을 연속 하 여 순서 대로 조사 해 가 는 래스터 스캔 방식 으로 묘화 한다 .