위 와 같이 , 상기 로봇 암 ( 51 ) 이 상기 카세트 ( 10 ) 에 기판 ( 1 , 10 ) 을 수납 하 거나 취 출하 기 위해서 는 상하 로 적재 된 기판 들 사이 에 상기 로봇 암 ( 51 ) 의 포크 부 ( 52 ) 가 삽입 되 기 위한 충분 한 공간 이 존재 하 여야만 한다 . 따라서 , 높이 가 제한 된 상기 카세트 ( 10 ) 내 에 는 한정 된 양 , 예 를 들 어 대략 20 여 장 의 기판 ( 1 , 2 ) 만 이 수납 될 수 있 다 .