하나 이상 의 실시 형태 에서 , 불 연속 에 관한 데이터 를 분석 함 으로써 위치 가 획득 되 는 상부 전극 및 척 의 위치 는 , 상부 전극 과 척 사이 의 상대 적 오프셋 을 계산 하 기 위해 이용 될 수 도 있 다 . 상부 전극 및 척 의 위치 양자 가 빔 의 좌표계 에서 확인 되 기 때문 에 , 그 들 의 위치 를 비교 하 고 상대 적 오프셋 을 획득 할 수 있 다 . 상대 적 오프셋 값 은 현장 기술자 가 임의 의 바람직 하 지 못한 상부 전극 / 척 오프셋 을 다루 고 프로세스 문제 를 더욱 효율 적 으로 고장 수리 하 는 것 을 도울 수 있 는 유용 한 정보 를 산출 할 수 도 있 다 .