이 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 반도체 웨이퍼 인쇄 장치 용 마스크 진공 흡착 장치 는 , 웨이퍼 들 이 장착 되 며 장착 된 상기 웨이퍼 들 의 둘레 를 지지 하 는 웨이퍼 척 ; 상기 웨이퍼 척 의 상부 에 위치 되 고 상기 웨이퍼 에 스 탬핑 할 패턴 이 형성 되 며 상기 패턴 에 잉크 가 분사 되 는 마스크 ; 상기 마스크 가 흡착 되 어 장착 되 도록 진공 흡착 부 가 형성 되 고 상기 웨이퍼 척 상부 에 승강 되 도록 설치 되 며 장착 된 상기 마스크 를 상기 웨이퍼 에 스 탬핑 하 는 마스크 척 ; 상기 마스크 척 의 진공 흡착 부 에 연결 되 고 이 를 진공 처리 하 여서 상기 마스크 가 상기 진공 흡착 부 에 흡착 되 도록 하 는 진공 펌프 ; 상기 진공 펌프 에 연결 되 어서 이 를 제어 하 는 컨트롤러 ; 로 이루어진 것 을 특징 으로 한다 .