셀 적층 체 ( STc ) 는 교대 로 적층 된 층간 절 연막 들 ( ILD ) 및 도전 패턴 들 ( CP 1 내지 CPn ) 을 포함 한다 . 셀 적층 체 ( STc ) 는 더미 적층 체 ( STd ) 와 동일 한 높이 에 배치 된다 . 층간 절 연막 들 ( ILD ) 은 더미 층간 절 연막 들 ( ILD ') 과 동일 한 레벨 들 에 배치 되 고 , 도전 패턴 들 ( CP 1 내지 CPn ) 은 희생 절 연막 들 ( SC ) 과 동일 한 레벨 들 에 배치 된다 .