게르마늄 을 주성분 으로 하 는 반도체 막 ( 61 ) 의 형성 공정 에서 글 로 방전 플 라즈 마의 생 성 은 , 3 MHz 부터 30 MHz , 대표 적 으로 는 13 . 56 MHz , 27 . 12 MHz 의 고주파 전력 , 또는 30 MHz 보다 크 고 300 MHz 정도 까지 의 VHF 대 의 고주파 전력 , 대표 적 으로 는 60 MlHz 를 인가 하 는 것 으로 행하 여진다 .