반응기 ( 40 ) 의 온도 가 조절 될 수 있 고 , 액상 공정 은 실온 에서 끓는점 사이 의 온도 에서 행해질 수 있 고 , 기화 된 반응 혼합물 ( 70 ) 중 전구체 의 부분압 은 반응기 온도 및 액체 의 평균 체류 시간 모두 에 의존 하 고 , 많 은 경우 에서 40 ℃ 초과 의 반응기 온도 가 유리 하 다는 것 이 입증 되 었 다 . 반응기 온도 가 실온 이상 으로 설정 되 는 경우 , 기화 된 반응 혼합물 의 응축 을 방지 하 기 위해 기화 된 혼합물 ( 70 ) 을 위한 ( 파이프 , 호스 ) 라인 은 가열 장치 ( 60 ) 에 의해 반응기 온도 초과 의 온도 , 예 를 들 면 10 ℃ 초과 로 유지 되 어야 만 한다 . 코팅 된 기판 이 존재 하 고 ( 도시 생략 ) 그 다음 통상 적 인 CVD 공정 이 일어나 는 오븐 에 기화 된 반응 혼합물 ( 70 ) 이 도입 된다 . 여기 서 는 대기압 하 에서 상기 CVD 공정 이 일어날 수 있 기 때문 에 , 오븐 은 대체로 특별히 복잡 한 봉합 을 필요 로 하 지 않 는다 . 그러나 , 코팅 공정 은 다른 압력 하 , 예 를 들 면 감압 하 에서 도 이루어지 는 것 으로 가정 된다 .