플라 즈 마를 균일 하 게 형성 할 수 있 는 플 라즈 마 장치 및 이 를 이용한 플라 즈 마 제 어 방법 이 개시 되 어 있 다 . 상기 방법 은 기판 을 식각 하 기 위한 플 라즈 마 를 형성 한 후 성 된 플 라즈 마로 부터 방출 되 는 광 의 파장 별 세기 를 실시간 으로 검출 함 으로써 상기 광 의 파장 별 세기 를 상기 플 라즈 마 상태 를 나타내 는 전압 신호 값 으로 생성 한다 . 이후 상기 전압 신호 값 을 제공 받 아 상기 플 라즈 마 상태 를 실시간 으로 모니터링 한 후 플 라즈 마 상태 의 모니터링 값 을 제공 받 아 상기 플 라즈 마 형성 요소 들 의 변화 값 을 제어 함 으로써 상기 플 라즈 마 를 안정 한 상태 로 유지 시킨다 . 이 와 같 은 방법 은 균일 한 밀도 를 갖 는 플 라즈 마 를 형성 하 기 위해 상기 플 라즈 마 를 실시간 으로 모니터링 하 는 동시 에 제어 할 수 있 다 .