도 1 에 도신 된 본 실시 예의 정전 척 장치 ( 10 ) 은 워크 기판 ( W ) 을 흡착 고정 하 는 정전 척 ( 20 ) 과 정전 척 ( 20 ) 을 냉각 하 는 냉매 가 흐르 는 유로 를 갖 는 지지대 ( 40 ) 가 구비 되 어 있 다 . 정전 척 ( 20 ) 은 워크 기판 ( W ) 이 재치 되 는 유전체 플레이트 ( 21 ) 와 , 유전체 플레이트 ( 21 ) 를 지지 하 는 베이스 플레이트 ( 24 ) 와 , 유전체 플레이트 ( 21 ) 와 베이스 플레이트 ( 24 ) 사이 에 배치 된 워크 기판 ( W ) 를 흡착 하 도록 정전기력 을 야기 시키 기 위한 흡착 전극 ( 22 ) 을 구비 한다 . 유전체 플레이트 ( 21 ) 는 사파이어 플레이트 며 , 베이스 플레이트 ( 24 ) 는 알루미나 세라믹 이 다 . 흡착 전극 ( 22 ) 은 - 200 ℃ 이상 400 ℃ 이하 의 범위 에서 저항 변화 율 이 20 % 이하 이 다 . 그리고 유전체 플레이트 ( 21 ) 와 베이스 플레이트 ( 24 ) 가 흡착 전극 ( 22 ) 을 통해 일체 접합 되 어 있 다 .