S - D 프로시저 는 서브시스템 에 의해 레시피 및 / 또는 모델 을 실시간 으로 조정 하 여 메모리 구조물 , 2 중 다 마신 구조물 , 트렌치 , 바이 및 멀티 게이트 트랜지스터 등 의 3 차원 구조물 을 처리 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 또한 , S - D 프로시저 는 서브시스템 에 의해 평가 , 검사 , 검증 , 및 / 또는 측정 레시피 및 / 또는 모델 을 실시간 으로 조정 하 여 3 차원 구조물 을 평가 , 검사 , 검증 , 및 / 또는 측정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 3 차원 구조물 은 두께 변동 의 S - D 감도 를 높일 수 있 으며 , 복수 의 방향 으로 구조물 모델 링 및 / 또는 측정 을 필요 로 할 수 있 다 . 평가 서브시스템 은 처리 량 문제 를 일으킬 수 있 고 S - D 프로시저 에서 샘플링 위치 및 구조물 을 동적 으로 조정 함 으로써 더 높 은 측정 처리 량 을 얻 을 수 있 다 .