처리 용기 ( 410 ) 의 측벽 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 반입 또는 반출 하 기 위한 반입 출구 ( 411 ) 가 형성 되 어 있 다 . 반입 출구 ( 411 ) 는 게이트 밸브 ( 412 ) 에 의해 개폐 된다 . 처리 용기 ( 410 ) 의 본체 상 에 는 , 단면 이 직사각 형상 을 이루 는 원환 상 의 배기 덕트 ( 413 ) 가 마련 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 413 ) 에 는 , 내 주면 을 따라서 슬릿 ( 413 a ) 이 형성 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 413 ) 의 외벽 에 는 , 배기구 ( 413 b ) 가 형성 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 413 ) 의 상면 에 는 , 처리 용기 ( 410 ) 의 상부 개구 를 막 도록 천장 벽 ( 414 ) 이 마련 되 어 있 다 . 배기 덕트 ( 413 ) 와 천장 벽 ( 414 ) 사이 는 시일 링 ( 415 ) 으로 기밀 하 게 밀봉 되 어 있 다 .