종래 에 는 , 전술 한 바 와 같이 구성 처리 장치 를 조립 할 경우 , 복수 개 의 구동 축 을 처리 장치 에 하나 씩 조립 하 여 내장 시켰 다 . 즉 , 처리 장치 의 챔버 에 는 , 상기 처리 장치 에 설치 되 는 구동축 의 개수 에 따른 장착 부 가 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 각 장착 부 에 베어링 을 설치 하 고 , 상기 베어링 에 상기 구동축 을 회전 가능 하 게 지지 하 여 장착 함 과 동시 에 , 각각 의 구동축 이 서로 평행 이 면서 기판 의 경사 각도 에 대응 하 는 각도 로 경사지 도록 위치 를 결정 하 였 다 .