상기 과제 를 해결 하 기 위해 , 본 발명 에 따른 반도체 설비 의 구동 벨트 장력 관리 시스템 은 , 구동 벨트 를 이용 하 여 구동 하 는 구동 유닛 과 , 상기 구동 벨트 의 정전기 에 의해 발생 되 는 전위 를 측정 하 는 정전기 측정 유닛 과 , 상기 구동 벨트 의 장력 을 조절 하 는 장력 조절 유닛 을 구비 하 는 반도체 설비 및 모든 전위 값 각각 에 대응 되 는 구동 벨트 의 장력 값 이 기재 된 전위 변환 장력 정보 가 저장 된 저 장부 와 , 상기 전위 변환 장력 정보 를 참조 하 여 상기 측정 된 전위 값 에 대응 되 는 장력 값 을 산출 하 고 상기 산출 된 장력 값 이 허용 범위 내 인지 판단 하 는 장력 산 출부 를 구비 하 는 구동 벨트 장력 제어 용 PC 를 포함 한다 .