이하 , " 웨이퍼 를 낱장 으로 장입 토록 형성 된 로드 락 챔버 가 채용 되 는 "" AMT 사 "" 의 "" P 5000 설비 "" 와 같 은 반도체 제조 설비 에 대하 여 설명 하 기 로 한다 . 상기 로드 락 챔버 는 상기 공정 챔버 와 마찬가지 로 진공 펌프 의 펌핑 에 의해 소정 의 진공 압 을 갖 도록 설정 되 어 있 다 . 이때 ", 상기 진공 펌프 의 펌핑 동작 은 연속 적 으로 이루어지 기 때문 에 상기 로드 락 챔버 가 대기 중 에 노출 되 거나 상기 로드 락 챔버 와 상기 공정 챔버 가 서로 연통 될 경우 , 상기 로드 락 챔버 를 상기 진공 펌프 의 펌핑 으로부터 독립 시켜야만 한다 . 따라서 , 상기 로드 락 챔버 와 상기 진공 펌프 사이 에 연결 되 는 펌핑 라인 을 통해 유동 되 는 공기 를 단속 하 기 위해 개폐 동작 되 는 펌핑 밸브 가 상기 펌핑 라인 에 형성 되 어 있 다 . 상기 펌핑 밸브 는 상기 로드 락 챔버 에 형성 된 복수 개 의 밸브 와 연동 되 어 개폐 동작 될 수 있 다 . 또한 , 상기 로드 락 챔버 는 일 측 측벽 에서 상기 공정 챔버 와 연통 되록 개폐 동작 되 는 슬릿 밸브 와 , 상기 슬릿 밸브 에 대향 되 는 타 측 측벽 에서 상기 로드 락 챔버 의 내부 를 대기 중 에 노출 시키 면서 외부 의 웨이퍼 가 장입 되 도록 개폐 동작 되 는 도어 ( 예 를 들 어 , 인풋 아웃풋 밸브 ) 와 , 상기 도어 가 열리 기 전 에 상기 로드 락 챔버 내부 에 퍼지 가스 또는 대기 중 의 공기 를 유입 시키 도록 열려 지 는 벤트 밸브 각각 의 개폐 동작 에 의해 내부 의 압력 이 변화 되 도록 설계 되 어 있 다 . 따라서 , 상기 펌핑 밸브 , 상기 슬릿 밸브 , 상기 도어 , 및 상기 벤트 밸브 의 개폐 동작 에 의한 상기 로드 락 챔버 내부 의 압력 과 웨이퍼 이송 의 관계 를 살펴보 면 다음 과 같 다 .