지지 부 ( 13 ) 와 챔버 본체 ( 12 ) 측벽 사이 에 는 , 배 플 플레이트 ( 48 ) 가 구비 되 어 있 다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 는 , 예 를 들 어 , 알루미늄 으로 형성 된 모재 의 표면 에 내부 식성 을 갖 는 막 ( 산화 이트륨 등 의 막 ) 을 형성 함 으로써 구성 된다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 에 는 복수 개 의 관통 구멍 이 형성 되 어 있 다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 의 아랫 쪽 이 면서 챔버 본체 ( 12 ) 의 저부 에 는 , 배기구 ( 12 e ) 가 구비 되 어 있 다 . 배기구 ( 12 e ) 에 는 배기관 ( 52 ) 을 사이 에 두 고 배기 장치 ( 50 ) 가 접속 되 어 있 다 . 배기 장치 ( 50 ) 는 압력 조정 밸브 및 터보 분자 펌프 등 과 같 은 진공 펌프 를 포함 한다 .