도 2 를 참조 하 면 , 오버레이 키 ( 102 ) , 얼라인 키 ( 104 ) 가 형성 된 반도체 기판 ( 100 ) 을 마련 한다 . 상기 오버레이 키 ( 102 ) 는 반도체 기판 ( 100 ) 의 상기 오버레이 키 형성 영역 ( A ) 되 고 , 상기 얼라 인 키 ( 104 ) 는 얼라 인 키 형성 영역 ( B ) 을 포함 한다 . 상기 오버레이 키 및 얼라 인 키 는 비정질 탄소 를 포함 한다 . 상기 오버레이 키 ( 102 ) 및 얼라 인 키 ( 104 ) 에 대한 구체 적 인 설명 은 위 에서 설명 하 였 기 때문 에 생략 한다 .