얻 어 진 산분 해성 수지 에 대해서 , 사용 된 개시제 및 연쇄 이동제 , 중량 평균 분자량 , 분산도 ( Mw / Mn ) 및 투과율 을 이하 표 1 에 나타낸다 . 투과율 에 대해서 는 , 프로필렌글리콜 모노 아세테이트 : 프로필렌글리콜 = 6 : 4 의 수지 용액 ( 수지 의 함유량 : 10 중량 %) 을 석영 유리 기판 상 에 스핀 도포 하 고 , 120 ℃ 에서 프리 베이 킹 하 여 막 압 160 ㎚ 의 레지스 트 막 을 형성 하 여 투과율 을 파장 193 ㎚ 에서 의 막 의 흡광도 로부터 산출 했 다 .