외부 검사 장치 는 제 1 입력 패드 ( ITP 1 ) 및 제 3 입력 패드 ( ITP 3 ) 사이 에 제 1 검사 전압 을 인가 하 고 , 제 3 입력 패드 ( ITP 3 ) 를 통해 제 1 측정 전류 를 수신 하 며 , 제 1 검사 전압 및 제 1 측정 전류 에 기초 하 여 제 1 루프 의 제 1 저항 값 을 산출 할 수 있 다 . 여기 서 , 제 1 루프 의 제 1 저항 값 은 제 1 및 제 3 입력 패드 들 ( ITP 1 , ITP 3 ) 의 저항 값 들 ( 또는 , 압착 저항 값 , 본딩 저항 값 , 접촉 저항 값 ) , 제 1 내지 제 4 출력 패드 들 ( OTP 1 내지 OTP 4 ) 의 저항 값 및 제 1 검사선 ( TL 1 ) 의 저항 값 을 포함 하 며 , 아래 의 [ 수학식 5 ] 와 같이 표현 될 수 있 다 .