이어서 , 상부 트랜지스터 ( 662 ) 및 용량 소자 ( 664 ) 의 제작 방법 에 대하 여 설명 한다 . 도 6 에 도시 한 구성 에 대응 하 는 제작 방법 을 도 12 a 내지 도 12 d 를 참조 하 여 설명 한다 . 도 7 에 도시 한 구성 에 대응 하 는 제작 방법 을 도 13 a 내지 도 13 d 를 참조 하 여 설명 한다 . 도 8 에 도시 한 구성 에 대응 하 는 제작 방법 을 도 14 a 내지 도 14 d 를 참조 하 여 설명 한다 . 도 9 에 도시 한 구성 에 대응 하 는 제작 방법 을 도 15 a 내지 도 15 d 를 참조 하 여 설명 한다 .