세정 유닛 ( 60 ) 은 대략 원기둥 형상 의 본체 ( 도면 부호 생략 ) 중앙 에 고압 으로 N 2 , Ar 과 같 은 비활성 기체 를 분사 하 는 분사 홀 ( 62 ) 이 형성 되 고 , 상기 분사 홀 ( 62 ) 을 중심 으로 그 주변 에 원주 방향 을 따라 등 간격 으로 배치 된 복수 의 흡입 홀 ( 64 ) 을 갖 는다 . 상기 분사 홀 ( 62 ) 은 헤드 를 향하 여 고압 , 바람직 하 게 는 , 30 kpa 이상 의 분출 압 ( Blowing pressure / vantury pressure ) 으로 상기 기체 를 분사 하 여 헤드 상 의 이물 및 세정액 을 분리 하 며 , 흡입 홀 ( 64 ) 은 상기 기체 에 의해 헤드 로부터 분리 된 이물 및 세정액 을 흡입 하 여 배기 한다 .