도 12 및 13 을 참조 하 면 , 최상층 절 연막 ( 110 ) 및 패드 ( 240 ) 상 에 제 1 층간 절 연막 ( 250 ) 을 형성 한 후 , 제 1 층간 절 연막 ( 250 ) , 상기 몰드 구조물 에 포함 된 절 연막 들 ( 110 ) 및 제 1 희생 막 들 ( 120 ) , 및 제 1 불순물 영역 ( 102 ) 을 관통 하 는 제 1 개 구 ( 260 ) 를 형성 할 수 있 으며 , 이때 제 1 불순물 영역 ( 102 ) 하부 의 기판 ( 100 ) 부분 도 부분 적 으로 제거 될 수 있 다 .