상이 하 고 바람직 한 실시 예 에서 , 위치 결정 , 홀딩 및 이동 시스템 의 구동 부 ( 거친 및 / 또는 미세 구동 부 ) 는 , 작동 전압 및 / 또는 전류 및 / 또는 다른 전력 공급 을 사용 하 지 않 는 비 - 이동 된 상태 에서 , 이 들 은 각각 의 위치 를 유지 하 고 및 / 또는 정지 할 수 있 도록 구성 된다 . 다시 말 해 , 가이드 및 / 또는 베어링 을 포함 하 는 자체 - 홀딩 구동 부 가 바람직 하 게 사용 된다 .