그리고 게이트 전극 들 ( 22 ) 과 제 1 절연 층 ( 18 ) 위 로 제 3 전극 인 집속 전극 ( 26 ) 이 형성 된다 . 집속 전극 ( 26 ) 하부 에 는 제 2 절연 층 ( 28 ) 이 위치 하 여 게이트 전극 ( 22 ) 과 집속 전극 ( 26 ) 을 절연 시키 며 , 집속 전극 ( 26 ) 과 제 2 절연 층 ( 28 ) 에 도 전자 빔 통과 를 위한 개구부 ( 261 , 281 ) 가 마련 된다 .