방사선 은 다수 의 파장 을 포함 할 수 도 있 다 . 방사선 이 또한 단색 성 인 경우 , 측정치 계산 ( 예 를 들 면 , 재 구성 ) 이 단순 화 될 수 도 있 지만 , 그러나 HHG 에서 는 여러 가지 파장 을 갖 는 방사선 을 생성 하 는 것 이 더 쉽 다 . 가스 셀 ( 332 ) 내 의 가스 의 부피 는 HHG 공간 을 정의 하 지만 , 공간 은 완전히 밀폐 될 필요 는 없 고 정적 인 부피 대신 가스 의 흐름 이 사용 될 수 도 있 다 . 가스 는 , 예 를 들 면 , 네온 ( Ne ) 또는 아르곤 ( Ar ) 과 같 은 비활성 기체 ( noble gas ) 일 수 도 있 다 . 이 들 은 디자인 선택 의 문제 이 며 , 심지어 , 동일 한 장치 내 에서 의 선택 가능 한 옵션 일 수 도 있 다 . 상이 한 파장 은 , 예 를 들 면 , 상이 한 재료 의 구조 체 를 이미 징 할 때 , 상이 한 레벨 의 콘트 라스트 를 제공 할 것 이 다 . 금속 구조 체 또는 실리콘 구조 체의 검사 를 위해 , 예 를 들 면 , ( 탄소 기반 의 ) 레지스 트 의 피쳐 를 이미 징하 기 위해 , 또는 그러 한 상이 한 재료 의 오염 을 검출 하 기 위해 사용 되 는 파장 에 대해 , 상이 한 파장 이 선택 될 수 도 있 다 . 하나 이상 의 필터링 디바이스 ( 344 ) 가 제공 될 수 도 있 다 . 예 를 들 면 , 알루미늄 ( Al ) 의 얇 은 막 ( membrane ) 과 같 은 필터 는 , 기본 IR 방사선 이 검사 장치 안 으로 더 통과 하 는 것 을 차단 하 는 역할 을 할 수 도 있 다 . 가스 셀 에서 생성 되 는 고조파 파장 중 에서 하나 이상 의 특정 한 고조파 파장 을 선택 하 기 위해 격자 가 제공 될 수 도 있 다 . SXR 방사선 이 공기 중 에서 이동 할 때 흡수 된다는 점 을 유념 하 여 , 빔 경로 의 일부 또는 전부 는 진공 환경 내 에 포함 될 수 도 있 다 . 방사선 소스 ( 310 ) 및 조명 광학 기기 ( illumination optics ) ( 312 ) 의 다양 한 컴포넌트 는 , 동일 한 장치 내 에서 상이 한 계측 ' 레시피 ' 를 구현 하 도록 조정 가능 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상이 한 파장 및 / 또는 편광 이 선택 가능 하 게 만들 어 질 수 있 다 .