상기 와 같이 , 금속 막 ( 108 ) 상부 에 단차 보상 층 ( 110 ) 을 500 Å 내지 530 Å 의 두께 로 형성 하 여 111 방향 을 갖 는 그레인 과 200 방향 을 갖 는 그레인 경계 면 에 핀 홀 이 발생 하 지 않 도록 함 으로써 후속 공정 인 마스크 형성 공정 시 현상액 또는 린스 ( rinse ) 로 인한 이 물질 이 핀 홀로 침투 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 이 로 인하 여 마스크 를 형성 하 기 위한 식각 공정 시 발행 하 는 링 결함 을 방지 함 으로써 패턴 불량 을 방지 할 수 있 다 .