도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 이온 주입 설비 는 , 도전 성 불순물 이온 을 생성 하 는 이온 소스 ( 102 ) 와 , 소정 의 질량 을 갖 는 도전 성 불순물 이온 을 분리 추출 하 는 질량 분석기 ( 104 ) 와 , 상기 질량 분석기 ( 104 ) 에서 분리 추출 된 도전 성 불순물 이온 을 집중 시키 는 제 1 자기 집중 전극 ( 106 ) 과 , 상기 제 1 자기 집중 전극 ( 106 ) 에서 집중 된 상기 도전 성 불순물 이온 의 이온 빔 ( 100 ) 의 선폭 과 도즈 를 제어 하 여 X 축 방향 ( 예 를 들 어 제 2 방향 ) 으로 스캐닝 시키 는 스캐닝 시스템 ( 108 ) 과 , 상기 스캐닝 시스템 ( 108 ) 에서 스캐닝 된 이온 빔 ( 100 ) 을 Z 축 방향 ( 예 를 들 어 , 제 1 방향 ) 으로 가속 시키 는 가속 장치 ( 109 ) 와 , 상기 가속 장치 ( 109 ) 에서 가속 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 을 이용 하 여 이온 주입 공정 이 수행 되 도록 외부 로부터 독립 된 공간 을 제공 하 는 챔버 ( 130 ) 와 , 상기 챔버 ( 130 ) 의 일 측 을 통해 상기 가속 장치 ( 109 ) 에서 가속 된 상기 이온 빔 ( 100 ) 에 노출 되 는 웨이퍼 ( W ) 를 고정 시키 고 상기 웨이퍼 를 Y 축 방향 ( 예 를 들 어 , 제 3 방향 으로 이동 시키 는 타깃 ( target , 120 ) 과 , 상기 타깃 ( 120 ) 또는 상기 타깃 ( 120 ) 에 고정 된 웨이퍼 에 인접 하 여 형성 되 며 상기 Z 축 방향 으로 입사 되 는 이온 빔 ( 100 ) 을 수용 하 여 X 축 방향 으로 이동 되 면서 상기 스캐닝 시스템 ( 109 ) 에 의해 스캐닝 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 량 을 모니터링 하 고 , 상기 X 축 방향 에 대하 여 회전축 을 두 고 회전 되 면서 유사시 에 Y 축 방향 으로 가변 되 는 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 선폭 에 유연 하 게 대처 하 여 상기 이온 빔 ( 100 ) 의 도즈 량 을 모니터링 하 도록 형성 된 페러 데 이 시스템 ( 110 ) 을 포함 하 여 구성 된다 .