본 발명 의 일 실시 예 에 따르 면 , 실질 적 으로 정지 상태 인 프레임 에 대해 대상물 테이블 을 위치 시키 는 스테이지 장치 가 제공 되 고 , 상기 스테이지 장치 는 : 대상물 테이블 ; 실질 적 으로 정지 상태 인 프레임 에 대해 대상물 테이블 을 위치 시키 도록 구성 된 위치 설정 디바이스 ; 대상물 테이블 의 제 1 위치 의존 적 신호 를 제공 하 도록 구성 된 측정 시스템 - 상기 측정 시스템 은 : 대상물 테이블 상 에 장착 된 제 1 측정 시스템 부분 ; 실질 적 으로 정지상 태인 프레임 상 에 장착 된 제 2 측정 시스템 부분 을 포함 하 고 , 사용 시 상기 제 1 및 제 2 측정 시스템 부분 은 제 1 위치 의존 적 신호 를 제공 하 도록 서로 상호 작동 함 -; 위치 설정 디바이스 를 제어 하 는 제어 신호 를 발생 시키 도록 구성 된 제어기 ; 실질 적 으로 정지상 태인 프레임 상 에 제 2 측정 시스템 부분 을 장착 하 도록 구성 된 장착 디바이스 ; 실질 적 으로 정지 상태 인 프레임 에 대한 제 2 측정 시스템 부분 의 위치 를 나타내 는 제 2 위치 의존 적 신호 를 제공 하 도록 구성 된 위치 센서 를 포함 하 며 , 상기 제어기 는 제어기 의 입력 단자 ( input terminal ) 에서 제 1 및 제 2 위치 의존 적 신호 들 을 수신 하 도록 배치 되 고 , 상기 제어 신호 는 제 1 및 제 2 위치 의존 적 신호 모두 에 기초 한다 .