지지막 ( 160 ) 은 제 1 내지 제 3 희생 막 들 ( 110 , 120 , 130 ) 에 대해 식각 선택 비 를 갖 는 물질 , 예 를 들 어 , 불순물 이 도핑 된 폴리 실리콘 혹은 불순물 이 도핑 되 지 않 은 폴리 실리콘 을 포함 할 수 있 다 . 다만 , 지지막 ( 160 ) 은 먼저 불순물 이 도핑 되 거나 도핑 되 지 않 은 비정질 실리콘 을 증착 한 후 , 별도 의 열처리 공정 을 수행 하 거나 혹은 이후 다른 막 들 의 증착 공정 에서 발생 하 는 열 에 의해 결정 화 되 어 , 불순물 이 도핑 되 거나 도핑 되 지 않 은 폴리 실리콘 을 포함 하 도록 형성 될 수 도 있 다 .