또한 , 상기 제 1 하우징 ( 20 ) 및 제 2 하우징 ( 30 ) 의 내부 에 는 상기 제 1 시일 ( 60 ) 및 제 2 시일 ( 70 ) 이 저어 널 ( 10 ) 측 으로 가압 하 는 가압 가스 가 공급 되 는 가압 가스 이동 홈 ( 90 ) 이 형성 되 어 있 고 , 상기 가압 가스 이동 홈 ( 90 ) 에 는 가압 가스 오리피스 ( 91 ) 가 연결 되 어 있 다 .