제 2 보조 센서 ( 226 ) 는 주 센서 ( 222 ) 를 보조 하 여 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 또는 그 변화 를 측정 할 수 있 는 음향 센서 ( microphone sensor ) 일 수 있 다 . 음향 센서 는 음향 방출 센서 ( acoustic emission sensor ) 일 수 있 다 . 음향 방출 센서 는 음향 방출 ( AE ) 파 를 받 아 음향 방출 신호 로 바꾸 는 변환기 일 수 있 다 . 음향 센서 는 마이크로폰 센서 일 수 있 다 . 음향 센서 는 화학 기계 적 연마 공정 을 진행 함 에 따라 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 에서 방출 되 는 음향 을 측정 하 여 전기 적 신호 를 방출 하 는 센서 일 수 있 다 .