또한 상기 캐리어 플레이트 ( 11 ) 의 운동 은 , 이 캐리어 플레이트 ( 11 ) 의 표면 ( 또는 이면 ) 과 평행 한 면내 에서 의 운동 으로서 , 그 운동 의 방향 은 한 쌍 의 연마 정반 사이 에 유지 된 웨이퍼 ( 10 ) 가 그 대응 하 는 유지 구멍 ( 11 a ) 내 에서 선회 시켜 지 도록 캐리어 플레이트 ( 11 ) 의 자전 을 동반 하 지 않 는 원운동 이 다 .