넥스 틴 , 성능 30 % 개선 한 웨이퍼 패턴 검사 장비 연말 출시 - 전자 부품 전문 미디어 디 일 렉 
 승인 2019 . 09 . 24 11 : 28 
 딥 UV 활용 이지스 2 
 웨이퍼 패턴 결함 장비 넥 스틴 이지스 . 
 반도체 전 공정 검사 · 계측 장비 전문 업체 넥스 틴 이 기존 대비 검사 감도 를 30 % 높인 신 형 장비 이지스 2 ( AEGIS ) 를 연말 출시 할 계획 이 다 . 회사 는 오 는 10 월 8 일 서울 코엑스 에서 개최 되 는 반도체 대전 ( SEDEX ) 2019 에 전시관 을 차리 고 주 요 고 객사 에 이 같 은 사실 을 알린다 . 
 넥스 틴 은 2010 년 설립 된 반도체 전 공정 검사 장비 업체 다 . 2014 년 국내 최초 로 2 D 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 인 이지스 ( AEGIS ) 를 개발 완료 했 다 . 주요 반도체 대형 고 객사 에 공급 을 성사 시켰 다 . 
 반도체 웨이퍼 미세 결함 을 파악 하 는 것 은 공정 과정 중 핵심 과제 로 꼽힌다 . 통상 제조 업체 는 전수 조사 가 아닌 무작위 선별 검사 를 거친다 . 무작위 선별 검사 라 하 더라도 반도체 회로 선폭 이 점점 좁혀 지 면서 웨이퍼 미세 패턴 불량 검사 수요 는 많 아 지 고 있 다 . 
 넥스 틴 대표 제품 인 이지스 는 자외선 ( UV ) 과 UV 보다 더 짧 은 파장 의 ' 딥 UV ' 를 활용 해 웨이퍼 표면 을 촬영 한 뒤 문제 가 없 는 완성 웨이퍼 와 비교 해 결함 을 찾아내 는 장비 다 . 정상 이미지 와 작업 중 인 웨이퍼 패턴 이미지 를 비교 하 는 방식 으로 결함 을 검출 한다 . 통계 자료 도 제공 해 양산 수율 을 높이 는데 기여 한다 . 1 x 나노 및 그 이하 노드 반도체 제조 공정 에서 활용 되 고 있 다 . 
 이지스 2 는 검사 감도 를 의미 하 는 신호 대비 잡음 비 ( SNR ) 가 기존 장비 대비 30 % 높 아 질 것 으로 회사 에선 기대 했 다 . 감도 를 높이 기 위해 광학 구조 를 뜯어고치 고 센서 역시 성능 좋 은 제품 으로 교체 했 다 . 검사 감도 가 높 아 졌 다는 것 은 그 동안 검출 해낼 수 없 었 던 패턴 결함 을 잡아낼 수 있 다는 의미 로 해석 할 수 있 다 . 
 넥스 틴 경쟁사 는 세계 최대 반도체 계측 검사 장비 전문 업체 인 KLA 다 . 이 회사 는 2 년 주기 로 웨이퍼 패턴 결함 장비 를 업그레이드 해서 고 객사 에 제공 한다 . 박태훈 넥스 틴 대표 는 " 경쟁사 장비 업그레이드 주기 에 맞춰 회사 도 그 만큼 경쟁력 을 높인 장비 를 지속 내놓 을 것 " 이라고 말 했 다 . 
 넥스 틴 은 2 D 에서 한 단계 더 나아간 3 D 웨이퍼 패턴 검사 장비 아이리스 ( IRIS ) 개발 에 도 매진 하 고 있 다 . 이 장비 는 단면 이 아닌 3 D 검사 가 가능 해 실리콘 관통 전극 ( TSV ) 공정 작업 시 구멍 ( Hole ) 이 정확 하 게 뚫렸 는지 를 검사 할 수 있 다 . 이 같 은 검사 장비 가 개발 된다면 이 는 세계 최초 사례 라는 것 이 넥스 틴 설명 이 다 . 지금 까지 는 이 같 은 검사 없이 TSV 작업 을 해 왔 다 . 그러나 향후 TSV 공정 생산량 이 늘어나 면 검사 장비 가 꼭 필요 할 것 으로 보인다 . 넥스 틴 은 내년 여름 께 아이리스 장비 개발 을 완료 하 고 해외 유력 고객 사 에 첫 공급 을 시도 한다 . 
 연구개발 ( R & D ) 자금 을 모으 기 위해 기술 상장 도 진행 중 이 다 . 오 는 11 월 상장 절차 에 본격 돌입 한다 . 내년 상반기 중 으로 는 상장 을 한다는 것 이 목표 다 . 상장 을 통해 모은 자금 으로 신 장비 를 개발 한다 . 
 넥스 틴 은 반도체 전 공정 검사 장비 분야 에서 세계 적 경쟁력 을 보유 했 다는 점 을 상장 과정 에서 적극 알릴 계획 이 다 . 듀얼 미러 초 첨 면 어셈블리 ( Dual - Mirror Focal Plane Assembly ) 등 이 대표 기술 이 다 . 355 나노미터 ( nm ) 하이 파워 펄스 레이저 ( High - power Pulsed Laser ) 에서 조사 된 빛 을 여러 개 고성능 이미지 센서 로 분할 해 , 최고 속도 로 넓 은 영역 검사 가 가능 하 다 . 이 기술 은 특허 등록 돼 있 다 . 한국 에서 이 같 은 기술 을 보유 한 업체 는 넥스 틴 이 유일 하 다 . 넥스 틴 은 검사 장비 R & D 를 위해 이미지 프로세싱 기술 강국 인 이스라엘 에 현지 연구소 를 운영 하 고 있 다 . 
 박태훈 대표 는 “ 최고 성능 의 결함 검사 및 계측 솔루션 을 지속 공급 해 관련 분야 에서 세계 적 기업 으로 성장 할 것 ” 이 라고 말 했 다 .