펜 타 플 루오 로 에탄 을 주 생성물 로 수득 하 기 위해서 는 , 두 단계 로 조작 을 수행 하 는 것 이 추천 된다 . 따라서 , 문헌 EP 811 592 는 2 - 단계 공정 을 제공 하 는데 , 상기 공정 은 촉매 존재 하 에서 , 60 내지 150 ℃ 온도 로 , 액체 상 에서 PER 을 HF 과 반응 시켜 123 및 / 또는 1 , 1 , 2 - 트리 클로로 - 2 , 2 - 디 플 루 오로 에 탄 ( 122 ) 을 생성 하 고 , 이어서 제 1 단계 에서 형성 된 123 및 / 또는 122 를 촉매 의 존재 하 , 250 내지 450 ℃ 온도 로 증기 상 에서 HF 와 반응 시키 는 것 이 다 .