이어서 , 계수 산 출부 ( 112 ) 가 , 위치 이탈 데이터 에 기초 하 여 , 시료 에 주 는 도스 분포 를 보정 하 기 위해 , 화소 마다 의 조사량 , 즉 , 멀티 빔 의 각 샷 의 각 빔 의 조사량 을 보정 하 는 보정 조사량 산출 에 이용 하 는 보정 계수 ( 기준 계수 ) 를 산출 한다 ( 스텝 S 2 ) . 위치 이탈 량 으로부터 보정 계수 를 구하 는 수법 은 , 공지 의 것 을 사용 할 수 있 다 . 산출 된 기준 계수 데이터 는 기억 부 ( 144 ) 에 저장 된다 .