또한 , 종형 열처리 장치 ( 1 ) 에 는 , 예 를 들 어 컴퓨터 로 이루어지 는 제 어부 ( 1 A ) 가 설치 되 어 있 다 . 제 어부 ( 1 A ) 는 , 프로그램 , 메모리 , CPU 로 이루어지 는 데이터 처 리부 등 을 구비 하 고 있 다 . 프로그램 에 는 , 제 어부 ( 1 A ) 로부터 종형 열처리 장치 ( 1 ) 의 각 부 에 제어 신호 를 보내 어 , 이미 설명 한 각 처리 공정 을 진행 시키 도록 명령 ( 각 스텝 ) 이 내장 되 어 있 다 . 그 제어 신호 에 의해 캐리어 ( C ) 의 반송 , 웨이퍼 ( W ) 의 반송 , 덮개 ( 41 ) 의 개폐 , 개폐 도어 ( 5 ) 의 개폐 , 캐리어 ( C ) 내 에 의 불활성 가스 의 공급 , 후술 하 는 개폐 밸브 ( 82 ) 의 개폐 등 의 동작 이 제어 되 어 , 웨이퍼 ( W ) 의 반송 및 처리 가 행하 여진다 . 프로그램 은 , 컴퓨터 기억 매체 , 예 를 들 어 플렉시블 디스크 , 콤팩트 디스크 , 하드 디스크 , MO ( 광자기 디스크 ) 및 메모리 카드 등 의 기억 매체 에 저장 되 어 제 어부 ( 1 A ) 에 인 스톨 된다 .