본 발명 은 기판 처리 장치 에 대한 것 이 다 . 본 발명 은 , 프레임 ; 상기 프레임 상부 에 구비 되 며 기판 이 로딩 되 는 스테이지 ; 상기 프레임 에 결합 되 는 헤드 유닛 지지대 ; 및 상기 헤드 유닛 지지대 에 X 축 방향 으로 이동 가능 하 게 장착 된 복수 의 디스 펜싱 헤드 유닛 ; 을 포함 하 고 , 상기 헤드 유닛 지지대 의 적어도 일 측 에 는 상기 복수 의 디스 펜싱 헤드 유닛 중 적어도 하나 의 디스 펜싱 헤드 유닛 에 대한 정비 작업 이 수행 되 는 정비 영역 이 형성 된 것 을 특징 으로 하 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 .