기판 의 반송 을 실시 하 는 기판 반송 부 ( 4 ) 와 , 상기 기판 을 노광 할 수 있 는 복수 의 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 를 구비 하 고 , 상기 복수 의 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 의 가동 상태 가 원 하 는 상태 로 되 도록 , 상기 기판 반송 부 ( 4 ) 와 상기 복수 의 노광 부 ( EX 1 , EX 2 ) 를 연휴 제어 하 는 제 어부 ( 6 ) 를 구비 한다 . 기판 의 이용 효율 을 향상 시킴 과 함께 , 디바이스 의 제조 효율 을 향상 시킬 수 있 다 .