도 14 의 ( b ) 를 참조 하 면 , 디 퓨 져 형성 물질 ( 890 ) 을 복수 의 공동 ( 835 ') 에 형성 하 고 , 이 를 경화 시킨 후 , 도 14 의 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 포토레지스트 층 ( 830 ) 으로부터 경화 된 디 퓨 져 형성 물질 ( 890 ) 을 분리 하 여 도 12 에 도시 된 디 퓨 져 ( 100 ') 를 형성 ( 디 퓨 져 형성 단계 ) 할 수 있 다 .