위 와 같이 , 플라 즈 마 도핑 을 실시 하 면 폴리 실리콘 층 ( 13 A ) 의 표면 에 도 펀트 가 필요 이상 으로 과도 하 게 도핑 되 면서 막 내부 로 모두 도핑 되 지 못하 고 폴리 실리콘 층 ( 13 A ) 상부 에 도 펀트 층 ( 15 ) 이 형성 된다 . 도 펀트 층 ( 15 ) 은 높 은 도즈 를 갖 게 되 는데 이 에 대해 도 2 에서 자세히 살펴보 기 로 한다 .