이상 의 상세 한 설명 은 본 발명 의 수개 의 실시 형태 를 개시 하 고 있 지만 , 본 개시 내용 은 단지 예시 적 인 것 일 뿐 본 발명 을 제한 하 기 위한 것 이 아니 라는 것 을 이해 할 필요 가 있 다 . 개시 된 구체 적 인 형태 및 동작 은 전술 한 것 들 과 상이 할 수 있 고 , 또한 본 명세서 에 설명 된 방법 은 반도체 소자 의 제작 이외 의 다른 맥락 에 도 이용 될 수 있 다는 것 을 인식 할 필요 가 있 다 .