그러나 , 종래 에 는 배수 라인 을 통한 수분 배 출시 챔버 내 의 건조 작업 이 정지 되 는 단점 이 있 었 다 . 즉 , 진공 건조 작업 이 진행 되 는 상황 에서 챔버 내 수분 배출 이 필요 할 때 진공 건조 를 잠시 정지 시켜야 하 는 문제 가 발생 하 고 , 이러 한 수분 배 출시 챔버 내 진공 유지 를 위해 추가 적 인 밀폐 구조 가 채용 되 어야 하 는 구조 적 문제점 도 있 었 다 . 또한 , 종래 에 는 챔버 내 물 이 저장 되 는 물 저 장통 을 작업자 가 수동 으로 오픈 하 여 드레 인 해야 하 는 번거 로움 이 있 었 다 .