또한 본 발명 에 따른 소자 검사 장치 는 , 트레이 와 소자 교환 을 수행 함 과 아울러 테스트 모듈 과 소자 교환 을 수행 하 는 보조 셔틀 부를 구비 하 고 보조 셔틀 부 와 소자 교환 을 위하 여 테스트 모듈 을 이동 가능 하 게 설치 함 으로써 , 소자 교환 을 신속 하 게 수행 하 고 장치 의 크기 를 컴팩트 하 게 구성 할 수 있 는 이점 이 있 다 .