도 3 을 참조 하 여 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 의 증착 예 를 자세히 설명 하 면 다음 과 같 다 . 증착 공정 을 설명 하 기 앞서 , 단위 사이클 은 ( Zr - Nb / N 2 / O 3 / N 2 ) 를 단위 사이클 로 하 고 , 이 단위 사이클 을 Q 회 반복 진행 한다 . 단위 사이클 에서 Zr - Nb 는 단일 분자 소스 이 고 , N 2 는 퍼지 가스 이 며 , O 3 은 산소 공급원 이 다 . 그리고 , 단위 사이클 진행시 0 . 1 torr ∼ 10 torr 의 압력 과 100 ℃∼ 350 ℃ 의 기판 온도 를 유지 하 는 챔버 내 에서 진행 한다 .