대한민국 공개 특허 제 2012 - 0138290 호 는 식각 액 조성물 , 및 이 를 이용 한 금속 배선 과 박막 트랜지스터 기판 형성 방법 에 관한 것 으로서 , 식각 액 조성물 총 중량 에 대하 여 0 . 5 중량 % 내지 20 중량 % 의 과황산염 , 0 . 01 중량 % 내지 2 중량 % 의 불소 화합물 , 1 중량 % 내지 10 중량 % 의 무기산 , 0 . 5 중량 % 내지 5 중량 % 의 고리 형 아민 화합물 , 0 . 1 중량 % 내지 10 . 0 % 중량 의 술폰산 , 0 . 1 중량 % 내지 10 중량 % 의 유기산 과 그 의 염 중 적어도 하나 , 및 전체 조성물 의 총 중량 이 100 중량 % 가 되 도록 하 는 물 을 포함 하 는 식각 액 조성물 에 관련 된 내용 을 개시 하 고 있 다 .