도면 부호 220 에서 , 필요 한 평가 프로시저 의 개수 는 하나 이상 의 S - D 처리 시퀀스 , 웨이퍼 데이터 및 S - D 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 각각 의 S - D 웨이퍼 마다 결정 될 수 있 다 . 또한 , 필요 한 평가 프로시저 의 개수 는 하나 이상 의 N - S - D 처리 시퀀스 , 웨이퍼 데이터 및 N - S - D 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 각각 의 N - S - D 웨이퍼 마다 결정 될 수 있 다 . 대안 으로 , 추가 데이터 가 이용 될 수 있 다 .