또한 , 차 단판 ( 3 ) 은 예 를 들 면 , 원판 형상 이 다 . 차 단판 ( 3 ) 의 직경 은 예 를 들 면 , 기판 ( W ) 의 직경 과 거의 같 은 또는 기판 ( W ) 의 직경 보다 약간 크 다 . 차 단판 ( 3 ) 은 차 단판 ( 3 ) 의 하 면 이 수평 하 게 되 도록 배치 되 어 있 다 . 또한 , 차 단판 ( 3 ) 은 차 단판 ( 3 ) 의 중심 축선 이 스핀 척 ( 2 ) 의 회전축 선상 에 위치 하 도록 배치 되 어 있 다 . 차 단판 ( 3 ) 의 하 면은 스핀 척 ( 2 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 에 대향 하 여 있 다 . 차 단판 ( 3 ) 은 수평 한 자세 로 지지 축 ( 8 ) 의 하단 에 연결 되 어 있 다 . 차 단판 ( 3 ) 및 지지 축 ( 8 ) 은 차 단판 승강 기구 ( 9 ) 에 의해 , 연직 방향 으로 승강 된다 . 차 단판 승강 기구 ( 9 ) 는 차 단판 ( 3 ) 의 하 면 이 스핀 척 ( 2 ) 에 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 의 상면 에 근접 하 는 처리 위치 ( 도 2 에 나타내 는 위치 ) 와 , 처리 위치 의 위쪽 에 설치 된 퇴피 위치 ( 도 1 에 나타내 는 위치 ) 사이 에서 차 단판 ( 3 ) 을 승강 시킨다 .