티타늄 을 포함 하 는 제 1 소스 와 질소 를 포함 하 는 제 2 소스 를 먼저 0 . 7 내지 5 . 0 Torr 의 압력 및 400 내지 600 ℃ 의 온도 에서 반응 시켜 제 1 반응물 을 형성 하 고 , 상기 제 1 반응물 에 알루미늄 을 포함 하 는 제 3 소스 와 질소 를 포함 하 는 제 4 소스 를 0 . 7 내지 5 . 0 Torr 의 압력 및 400 내지 600 ℃ 의 온도 에서 반응 시켜 제 2 반응물 을 형성 한다 . 상기 공정 을 목적 하 는 두께 의 티타늄 알루미늄 질화 막 ( 126 ) 을 획득 할 때 까지 다수 회 반복 한다 .