선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 가 또한 도시 되 어 있 다 . 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 와 프로세스 챔버 ( 230 ) 사이 에 원하 는 압력 차 를 제공 하 기 위하 여 사용 될 수 있 다 . 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 는 , 플 라즈 마가 플라 즈 마 챔버 ( 210 ) 로부터 프로세스 챔버 ( 230 ) 로 보내 지 는 것 이 실질 적 으로 방지 되 도록 , 충분히 작 거나 및 / 또는 바이어스 될 수 있 다 . 또한 , 플라 즈 마 제 한 부 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 로부터 이온 들 을 추출 하 고 그 이온 들 을 프로세스 챔버 내 로 그 다음 웨이퍼 상 으로 인출 하 기 하 기 위해 바이어스 될 수 있 다 . 예 로서 , 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 는 플 라즈 마 시스 ( sheath ) 두께 의 2 배 이하 인 직경 을 가질 수 있 고 이렇게 하 여 플 라즈 마 시스 는 플 라즈 마가 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 를 통과 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 는 약 0 . 1 mm 와 약 2 . 0 mm 사이 에서 선택 된 직경 ( 예 를 들 면 , 0 . 1 mm , 0 . 2 mm , 0 . 5 mm , 1 . 0 mm , 2 . 0 mm ) 을 가질 수 있 다 . 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 의 종횡비 는 플 라즈 마 제 한부 의 유효 성 을 조정 하 기 위하 여 사용 될 수 있 다는 점 에 유의 해야 한다 . 예 로서 , 더 높 은 종횡비 ( 즉 , 길 이 / 폭 ) 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 는 실질 적 으로 플 라즈 마 를 제한 할 수 있 는 한편 , 뉴트럴 또는 라디컬 종 수송 에 최소 영향 을 미친다 . 또한 더 큰 직경 유출 부 오리피스 가 사용 될 수 있 다는 점 도 이해 되 야 한다 . 예 로서 , 선택 적 인 플라 즈 마 제 한부 ( 214 ) 가 생략 될 수 있 고 유효 제한 부 는 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 의 폭 이 다 . 플 라즈 마 챔버 유출 부들 ( 220 ) 의 폭 은 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 와 프로세스 챔버 ( 230 ) 양자 모두 에서 실질 적 으로 등압 을 허용 하 기 에 충분히 실질 적 으로 넓 을 수 있 다 .