그런데 전술 한 데이터 전극 구조 에서 는 데이터 전극 들 위 로 플 라즈 마 강화 화학 기상 증착 ( PE - CVD ) 장비 를 이용 하 여 플 라즈 마 세정 이나 증착 과 같 은 후속 공정 을 진행할 때 , 플 라즈 마 에서 발생 하 는 아크 또는 국부 적 인 전류 발생 등 에 의해 선폭 이 얇 은 데이터 전극 부위 가 손상 될 수 있 다 . 데이터 전극 의 손상 은 단선 으로 이어져 제품 불량 을 유발 한다 .