이 위 에 , 유기 EL 소자 의 전하 수송 층 ( 13 ) , 발광 층 ( 14 ) , 전하 수송 층 ( 15 ) 을 증착 법 에 의해 형성 하 고 , 또한 , 상부 전극 ( 16 ) 으로서 투명 도전 막 을 증착 및 스퍼터링 으로 형성 하 고 , 밀봉 층 ( 17 ) 으로서 SiN 막 을 Cat - CVD 를 이용 하 여 형성 하 여 , 유기 EL 표시 장치 를 제작 하 였 다 . 제작 한 유기 EL 표시 장치 는 TFT 의 안정 성 이 양호 하 기 때문 에 고 휘도 이 며 긴 수명 의 특성 을 나타냈 다 .