반사 방지 막 ( 910 ) 상 에 제 3 버퍼 층 ( 930 ) 이 배치 될 수 있 다 . 제 3 버퍼 층 ( 930 ) 은 상부 패드 ( 851 , 852 ) 를 형성 하 기 위한 패 터닝 공정 에서 센싱 소자 층 ( 20 c ) 이 손상 되 는 것 을 방지 하 기 위한 것 이 다 . 예 를 들 어 , 제 3 버퍼 층 ( 930 ) 으로 는 약 3000 - 8000 Å 두께 의 실리콘 산화 막 을 사용 할 수 있 다 .