즉 , 종래 의 구성 은 , 2 회 의 첩부 처리 를 행함 으로써 환상 볼록 부 의 내측 구 석부 에 점착 테이프 를 밀착 시킬 수 있 다 . 그러나 점착 테이프 를 첩부 하 고 나 서 시간 이 경과 함 에 따라서 , 당해 내측 구 석부 로부터 웨이퍼 중심 을 향해 점착 테이프 가 박리 됨 으로써 내측 구 석부 에 공간 이 형성 된다고 하 는 문제 가 우려 된다 .