처리 실 ( 102 ) 의 저면 에 는 , 배기구 ( 142 ) 가 형성 되 어 있 고 , 배기구 ( 142 ) 에 접속 된 배기 장치 ( 140 ) 에 의해 배기 하 는 것 에 의해 , 처리 실 ( 102 ) 내 를 소정 의 진공도 로 유지 할 수 있 다 . 처리 실 ( 102 ) 의 측벽 에 는 , 게이트 밸브 G 가 마련 되 어 있 다 . 이 게이트 밸브 G 를 여 는 것 에 의해 , 처리 실 ( 102 ) 내로 의 웨이퍼 W 의 반입 및 처리 실 ( 102 ) 내 로부터 의 웨이퍼 W 의 반출 이 가능 하 게 된다 .