세정 모듈 ( 4 ) 은 , 예 를 들 면 도 8 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 의 천 정부 ( 39 ) 에 형성 된 오 목부 ( 50 ) 의 내부 에 형성 되 도록 구성 해도 좋 다 . 이 예 에서 는 , 세정 모듈 ( 4 ) 은 , 그 상면 에 있 어서 오 목부 ( 50 ) 의 천 정부 에 형성 된 승강 기구 ( 51 ) 와 접속 되 어 , 이 승강 기구 ( 51 ) 에 의해 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의한 웨이퍼 반송 을 저해 하 지 않 도록 오 목부 ( 50 ) 에 수용 되 는 수용 위치 와 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 내 에 있 어서 의 처리 위치 와 의 사이 에서 승강 되 도록 구성 되 어 있 다 . 도 8 중 「 52 」 는 승강 가이드 이 며 , 그 외 의 구성 은 도 4 에 나타내 는 진공 처리 장치 ( 2 ) 와 동일 하 다 .