이 를 통해 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 나 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 에 접촉 할 정도 로 상향 솟 음 변형 이 발생 되 지 않 더라도 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 을 도입 하 는 데 필요 한 배출 유량 을 유량 센서 ( 259 S ) 로 측정 하 여 , 배출 유량 의 측정값 으로부터 웨이퍼 ( w ) 의 정상 적 인 척 킹 상태 를 감지 할 수 있 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .