상기 식 ( B 1 ) 로 나타내 는 화합물 은 , 흡광 계수 가 높 고 , 보호막 형성 제 에 알칼리 와 함께 첨가 한 경우 에 도 높 은 흡광 계수 를 나타낸다 . 그래서 , 상기 식 ( B 1 ) 로 나타내 는 화합물 을 흡광 제 ( B ) 로서 함유 하 는 보호막 형성 제 를 사용 하 여 보호막 을 형성 하 면 , 다 이싱 용 마스크 형성 시 에 보호막 의 부분 적 인 레이저 에 의한 분해 를 양호 하 게 실시 할 수 있 다 .