상기 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 초점 조절 방법 으로 , 전자 빔 을 집 광부 에 통과 시켜 피사체 의 표면 상 으로 주사 시킨다 . 상기 집 광부 에 포함 된 어느 하나 의 집광 부재 에 대하 여 , 초점 조절 을 위해 인가 되 는 전기 적 조건 의 범위 로써 제 1 범위 내 의 복수 의 단계 로 전기 적 조건 을 가변 시켜 인가 한다 . 상기 제 1 범위 내 에서 가변 되 는 전기 적 조건 들 에 따라 상기 피사체 를 통해 흘러나오 는 2 차 전자 의 양 을 디지털 신호 변화 를 통하 여 화상 평가 치 로 변환 하 여 상기 화상 평가 치 를 측정 한다 . 상기 측정 된 화상 평가 치 들 의 최대 값 이 피크 치가 아닌 경우 , 상기 측정 된 화상 평가 치 의 최대 값 이 위치 하 는 전기 적 조건 을 포함 하 면서 상기 제 1 범위 와 이웃 하 는 전기 적 조건 범위 로써 제 2 범위 를 재 설정 한다 . 상기 집광 부재 에 대해 , 상기 제 2 범위 내 에서 복수 의 단계 로 전기 적 조건 을 가변 시켜 인가 한다 . 상기 제 2 범위 내 에서 가변 되 는 상기 전기 적 조건 에 따라 상기 피사체 을 통해 흘러나오 는 2 차 전자 를 통해 화상 평가 치 를 측정 한다 . 다음 에 , 상기 측정 된 화상 평가 치 들 의 최대 값 이 피크 치 인 경우 , 상기 피크 치 의 화상 평가 치 에 대응 하 는 전기 적 조건 으로 상기 집광 부재 를 세팅 한다 .