그리고 , 상부 지그 ( 20 ) 의 상면 에 는 실리콘 링 ( 24 ) 이 설치 된다 . 부연 하 면 , 상부 지그 ( 20 ) 의 상면 에 일정 깊이 의 끼움 홈 ( 23 ) 이 형성 되 는데 , 이 끼움 홈 ( 23 ) 은 상부 지그 ( 20 ) 의 가장자리 부분 에 형성 된 다수 의 흡착 홀 ( 21 ) 을 안쪽 과 바깥쪽 에서 둘러싸 도록 형성 된다 . 이 끼움 홈 ( 23 ) 에 실리콘 링 ( 24 ) 이 설치 되 어 흡착 홀 ( 21 ) 을 통해 반 도 체용 쿼츠 제품 의 모재 에 가해 지 는 진공 압 의 누설 을 방지 한다 .