이러 한 방식 으로 , 경사 부분 의 제 1 영역 의 거친 연마 가 종료 된 직후 , 제 2 영역 의 거친 연마 와 제 1 영역 의 마무리 연마 가 동시 에 시작 된다 . 그 결과 , 총 연마 시간 이 단축 될 수 있 다 . 4 개 의 연마 헤드 ( 30 ) 가 이 실시 예 에서 와 같이 제공 되 면 , 4 개 의 연마 헤드 ( 30 ) 중 2 개 의 연마 헤드 에 거친 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 A ) 와 나머지 2 개 의 연마 헤드 ( 30 ) 에 고운 연마 결정 을 갖 는 연마 테이프 ( 23 B ) 를 장착 하 는 것 이 가능 하 다 . 또한 , 연마 결정 의 크기 를 감소 시키 기 위해 거칠 기 가 다양 한 연마 결정 을 갖 는 다중 연마 테이프 를 웨이퍼 ( W ) 와 연속 적 으로 접촉 시켜 다 단계 연마 ( 예컨대 , 3 단계 연마 또는 4 단계 연마 ) 를 형성 할 수 있 다 . 또한 , 연마 결정 의 거칠 기 가 동일 한 복수 의 연마 테이프 를 사용 하 는 것 도 가능 하 다 . 거친 연마 가 오랜 시간 을 필요 로 할 것 으로 예상 되 면 , 복수 의 연마 헤드 조립 체 에 의해 거친 연마 가 수행 될 수 도 있 다 .