도 10 은 종형 열처리로 의 일례 를 도시 한 개략 도 이 다 . 종형 열처리로 ( 220 ) 의 반응 실 ( 222 ) 의 내부 에 반입 된 열처리 용 보트 ( 210 ) 에 는 다수 의 웨이퍼 ( W ) 가 수평 으로 지지 를 받 고 있 다 . 열처리 시 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 는 , 반응 실 ( 222 ) 의 주위 에 설치 된 히터 ( 224 ) 에 의해 가열 되 게 된다 . 열처리 중 , 반응 실 ( 222 ) 에 는 가스 도입 관 ( 226 ) 을 거쳐 가스 가 도입 되 고 , 상측 으로부터 하측 으로 향해 흘러 가스 배기관 ( 228 ) 으로부터 외부 로 배출 된다 . 사용 하 는 가스 는 열처리 의 목적 에 따라서 다르 지만 , 주로 H 2 , N 2 , O 2 , Ar 등 이 이용 된다 . 불순물 확산 의 경우 에 는 , 이러 한 가스 를 불순물 화합물 가스 의 캐리어 가스 로서 도 사용 한다 .