예컨대 , 도 4 ( 위 에 설명 된 중앙 배기 챔버 설계 ) 를 동시 에 참조 하 면 , 도 18 은 , 도 4 에 도시 된 수직 기판 세정 및 건조 챔버 메커니즘 의 일부분 의 다양 한 예시 적 인 물리 적 치수 들 에 기반 하 는 전산 유체 역학 ( CFD ) 분석 의 예 로부터 의 다양 한 와동 점성 등 치선 들 을 도시 한다 . 도 18 은 , 기판 의 대향 하 는 면 들 에 걸쳐 , 가스 유입 구 스트림 들 로부터 회전 가능 차 폐부 들 의 개구 들 ( 예컨대 , 가스 배기 영역 들 ) 로 의 스트림 라인 들 의 양호 한 분산 을 도시 한다 .