다음 에 제 어부 ( 100 ) 는 , 선반 유닛 ( U 10 ) 의 웨이퍼 ( W ) 를 처리 모듈 ( 12 ) 내 의 도포 유닛 ( U 1 ) 및 열처리 유닛 ( U 2 ) 에 반송 하 도록 반송 아암 ( A 3 ) 을 제어 하 고 , 이 웨이퍼 ( W ) 의 하층 막 상 에 레지스 트 막 을 형성 하 도록 도포 유닛 ( U 1 ) 및 열처리 유닛 ( U 2 ) 을 제어 한다 . 그 후 제 어부 ( 100 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 선반 유닛 ( U 10 ) 에 복귀 시키 도록 반송 아암 ( A 3 ) 을 제어 하 고 , 이 웨이퍼 ( W ) 를 처리 모듈 ( 13 ) 용 의 셀 에 배치 하 도록 승강 아암 ( A 7 ) 을 제어 한다 .