먼저 도 1 을 참조 하 면 , 하나 의 실시 예의 측면 에 따라 예 를 들 면 , 레이저 산출 플 라즈 마 , EUV 광원 ( 10 ) 과 같 은 EUV 광원 의 개략 도 가 도시 된다 . 도 1 에 도시 되 고 , 하 기 에 더 상세히 기술 되 는 바 와 같이 , LPP 광원 ( 10 ) 은 일련 의 광 펄스 를 생성 하 고 전달 하 기 위한 시스템 ( 12 ) 을 포함 한다 . 도시 된 바 와 같이 , 시스템 ( 12 ) 은 펄스 ( 일부 경우 , 하나 이상 의 메인 펄스 와 하나 이상 의 프리 - 펄스 를 포함 하 는 ) 를 생성 하 는 디바이스 ( 14 ) , 적어도 일부 의 다운 스트림 반사 로부터 상기 디바이스 ( 14 ) 를 절연 하 는 절연체 ( 16 ) ( 하 기 에 도 2 를 참조 하 여 보다 상세히 기술 됨 ) , 및 펄스 성형 , 초점 맞추 기 , 스티어링 및 / 또는 상기 절연체 ( 16 ) 를 탈출 하 고 챔버 ( 26 ) 의 타 겟 위치 로 광 펄스 를 전달 하 는 펄스 의 초점 파워 를 조정 하 기 위한 선택 적 인 빔 전달 시스템 ( 18 ) ( 선택 적 인 컴포넌트 를 지시 하 기 위해 점선 으로 도시 됨 ) 을 포함 한다 . EUV 광원 ( 10 ) 에 대해 , 각각 의 광 펄스 는 시스템 ( 12 ) 으로부터 챔버 ( 26 ) 로 빔 경로 를 따라 진행 하 여 예 를 들 면 , 타원체 미러 ( 30 ) 의 초점 또는 그 근방 과 같 은 , 조사 영역 에 각각 의 타 겟 액적 을 조광 한다 .