광 조사 부 ( 230 ) 에 의해 기판 ( S ) 상 으로 조사 된 광 은 기판 ( S ) 상 의 약액 등 에 의해 반사 될 수 있 다 . 광 보 정부 ( 240 ) 는 이 와 같이 기판 ( S ) 상 에서 반사 된 광이 입사 되 면 , 이 광 에서 수차 ( aberration ) 를 보정 하 는 역할 을 한다 . 광 보 정부 ( 240 ) 는 이 를 위해 대물 렌즈 로 구현 될 수 있 다 .