IZO 막 의 세정 , 즉 그 표면 의 가벼운 에칭 에 는 웨트 에칭 기술 을 이용 할 수 있 다 . 웨트 에칭 에 는 인산 과 질산 을 함유 하 는 적절 한 에칭 액 을 이용 할 수 있 다 . 그 와 같 은 에칭 액 으로서 , 인산 과 질산 과 아세트산 을 함유 하 는 혼합액 인 소위 PAN 액 을 이용 할 수 있 다 . 또한 , PAN 액 에 의해 티탄 은 용해 또는 손상 을 받 지 않 기 때문 에 , 설령 웨트 에칭 을 과도 하 게 행하 였 다고 하 여도 , 접속 배선 층 의 최상층 의 티탄 에 의 영향 은 거의 생기 지 않 는다 .