레시피 및 제 어부 ( 90 ) 가 적용 하 는 프로그램 은 , 예 를 들 면 하드 디스크 나 콤팩트 디스크 , 광 자기 디스크 등 에 기억 되 어도 좋 다 . 또한 , 레시피 등 은 CD - ROM , DVD , 메모리 카드 등 의 가반 성 의 컴퓨터 에 의한 판독 이 가능 한 기억 매체 에 수용 된 상태 에서 제 어부 ( 90 ) 에 세트 되 고 , 판독 되 는 형태 라도 좋 다 . 제 어부 ( 90 ) 는 그 외 에 , 커 멘 드 의 입력 조작 등 을 실행 하 는 키보드 나 마우스 등 의 입력 장치 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 의 가동 상황 을 가시 화 하 여 표시 하 는 디스플레이 등 의 표시 장치 및 프린터 등 의 출력 장치 와 같 은 유저 인터페이스 를 갖 고 있 다 .