추가 의 실시 형태 에 있 어서 , 각 구조물 의 각 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 802 a . .. 812 d ) 의 하위 요소 ( 803 ) 는 더미 필 ( 801 ) 구조 의 격자 구조 와 직교 하 게 정렬 될 수 있 다 . 이 점 에서 , 더미 필 ( 801 ) 의 라인 들 은 하위 요소 ( 803 ) 구조 의 라인 들 과 수직 하 게 연장 한다 . 출원인 은 , 패턴 요소 ( 예 를 들 면 , 802 a . .. 812 d ) 의 하위 요소 ( 803 ) 를 더미 필 구조 ( 801 ) 와 직교 하 게 정렬 함 으로써 , 주어진 오버레이 타 겟 의 계측 신호 가 하부 의 더미 필 구조 ( 801 ) 로부터 의 정보 에 의해 오염 되 는 위험 성 을 완화 시킨다는 것 을 알 았 다 .