S - D 서브시스템 및 / 또는 N - S - D 서브시스템 은 하나 이상 의 코팅 서브시스템 , 하나 이상 의 에칭 서브시스템 , 하나 이상 의 열처리 서브시스템 , 하나 이상 의 노광 서브시스템 , 하나 이상 의 산화 서브시스템 , 하나 이상 의 질화 서브시스템 , 하나 이상 의 현상 서브시스템 , 하나 이상 의 리소그래피 서브시스템 , 하나 이상 의 스캐너 관련 서브시스템 , 하나 이상 의 측정 서브시스템 , 하나 이상 의 검사 서브시스템 , 하나 이상 의 평가 서브시스템 , 하나 이상 의 시뮬레이션 서브시스템 , 하나 이상 의 예측 서브시스템 , 하나 이상 의 재 공정 서브시스템 , 하나 이상 의 보관 서브시스템 , 하나 이상 의 이송 프로시저 , 하나 이상 의 로드 락 프로시저 , 하나 이상 의 세정 프로시저 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 .