850 ℃ 이하 의 가상 온도 로 인해 TiO 2 - SiO 2 유리 ( 1 ) 의 Δ T 는 5 ℃ 이상 이 다 . 가상 온도 가 850 ℃ 초과 이 면 , Δ T 가 5 ℃ 미만 이 되 고 , TiO 2 - SiO 2 유리 ( 1 ) 을 EUVL 용 노광 장치 의 광학 부재 로서 사용 한 경우 에 , EUV 광 조사 시 의 광학 부재 의 열 팽창 계수 가 거의 0 이 되 지 않 을 우려 가 있 다 .