다음 으로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 도 60 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W 1 ) 의 주변 노광 을 속행 하 면서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 노광 개시 위치 로 이동 시킴 과 함께 , 도 61 에 도시 된 우측 로딩 포지션 을 향한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 - Y 방향 의 이동 을 개시 한다 . 웨이퍼 ( W 1 ) 의 노광 이 개시 된 시점 에서 는 주변 노광 은 종료 되 어 있 다 .