본 발명 의 일 실시 예 는 쉘로우 트렌치 분리 의 제조 중 에 다양 한 산화물 들 을 균일 하 게 제거 하 기 위해서 적용 될 수 있 다 . STI 는 서브 - 0 . 25 ( sub - 0 . 25 ) 미크론 제조 를 위해 이용 되 는 소자 분리 기술 의 주 형태 이 다 . STI 제조 는 일반 적 으로 트렌치 마스크 및 식각 , 측벽 산화 , 트렌치 충 진 및 평탄 화 를 포함 한다 . 도 4 a 내지 도 4 i 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 쉘로우 트렌치 분리 를 형성 하 기 위한 제조 순서 의 개략 적 인 단면도 이 다 .