제 4 서브 접지 레일 ( 314 ) 은 제 3 서브 접지 레일 ( 313 ) 에서 분지 되 어 , 제 2 방향 ( DR 2 ) 을 연장 될 수 있 다 . 제 4 서브 접지 레일 ( 314 ) 은 제 1 셀 영역 ( R 1 ) , 제 2 셀 영역 ( R 2 ) 및 비교 영역 ( R 3 ) 에 걸쳐 배치 될 수 있 다 . 제 5 서브 접지 레일 ( 315 ) 은 비교 영역 ( R 3 ) 상 에서 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 연장 될 수 있 다 . 제 5 서브 접지 레일 ( 315 ) 은 제 1 서브 접지 레일 ( 311 ) 과 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 이격 될 수 있 다 . 제 5 서브 접지 레일 ( 315 ) 은 제 2 서치 라인 ( SL 2 ) 과 교차 될 수 있 다 . 제 6 서브 접지 레일 ( 316 ) 은 비교 영역 ( R 3 ) 상 에서 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 연장 될 수 있 다 . 제 6 서브 접지 레일 ( 316 ) 은 제 2 서브 접지 레일 ( 312 ) 과 제 2 방향 ( DR 2 ) 으로 이격 되 고 , 제 5 서브 접지 레일 ( 315 ) 과 제 1 방향 ( DR 1 ) 으로 이격 될 수 있 다 . 제 6 서브 접지 레일 ( 316 ) 은 제 2 서치 라인 ( SL 2 ) 과 교차 될 수 있 다 .