복수 액 식 연마제 를 사용 하 는 경우 , 본 실시 형태 에 따른 연마 방법 은 , 연마 공정 전 에 , 복수 액 식 연마제 에서 의 슬러리 와 첨 가액 을 혼합 하 여 연마제 를 얻 는 연마제 조제 공정 을 포함 하 고 있 어도 된다 . 연마제 용 저장액 을 사용 하 는 경우 , 본 실시 형태 에 따른 연마 방법 은 , 연마 공정 전 에 , 연마제 용 저장액 을 물 로 희석 하 여 연마제 를 얻 는 연마제 조제 공정 을 포함 하 고 있 어도 된다 .