또한 , 안착 부 ( 113 ) 는 탄성 을 갖 는 재질 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 러버 를 포함 하 는 재질 로 이루어질 수 있 다 . 또한 , 안착 부 ( 113 ) 는 포 러스 ( porous ) 재질 일 수 있 다 . 안착 부 ( 113 ) 는 테이블 플레이트 구 조체 ( 11 ) 의 하부 로부터 공급 되 는 진공 에어 를 통해 각 패키지 ( P ) 를 흡착 할 수 있 도록 적어도 하나 의 홀 을 포함 할 수 있 다 .