본 발명 의 목적 은 간단 하 면서 도 비용 - 효율 적 인 제조 공정 을 가능 하 게 하 는 , 서두 에 언급 된 유형 의 스 페이서 웨이퍼 및 스 페이서 웨이퍼 를 제조 하 기 위한 방법 을 제공 하 는 것 이 다 . 다른 목적 은 생성 된 웨이퍼 스택 의 품질 및 양품 률 ( yield ) 을 개선 하 는 스 페이서 웨이퍼 를 제공 하 는 것 이 다 .