진공 처리 실 ( 403 ) 에 있 어서 의 처리 가 종료 되 면 , 게이트 밸브 ( G 15 ) 가 개방 되 고 , 진공 처리 실 ( 403 ) 과 진공 반 송실 ( 313 ) 이 연통 된다 . 그리고 , 웨이퍼 반송 기구 ( 503 ) 의 반송 아암 ( 513 ) 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 가 진공 처리 실 ( 403 ) 로부터 반출 되 고 , 진공 반 송실 ( 313 ) 내 에 반입 된다 .