또한 상기 각 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 의 노광 동작 중 에 전술 한 인코더 시스템 을 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 제어 를 실시 하 는 것 으로 했 지만 , 예 를 들 어 얼라이먼트 동작 ( 적어도 얼라이먼트 계 ( ALG ) 에 의한 마크 검출 동작 을 포함 한다 ) , 및 / 또는 웨이퍼 의 교환 동작 등 에 있 어서 도 , 도 3 , 도 8 및 도 9 등 에 도시 한 인코더 시스템 을 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 제어 를 실시 해도 된다 . 이 경우 , 당연히 전술 한 위치 계측 계 의 전환 동작 이 불 필요 해진다 .