상술 된 것 처럼 , 2 개 의 코팅 격실 들 에 의해 단일 펌프 격실 이 접하 는 , 3 개 의 격실 들 또는 베 이 들 의 구성 을 포함 하 는 다양 한 멀티 - 모듈 코팅 기 들 이 이용 될 수 있 다 . 도 7 A 및 도 7 B 에 도시 된 실시 예 들 에 따라 , 이러 한 단일 펌프 격실 ( 200 ) 은 2 개 의 하프 베 이 들 , 즉 코팅 격실 ( 미 도시 ) 에 인접 하 게 위치 될 수 있 는 하나 의 파브 베이 ( 202 ) 및 또 다른 코팅 격실 ( 미 도시 ) 에 인접 하 게 위치 될 수 있 는 앞서 언급 된 하프 베이 ( 202 ) 에 인접 한 또 다른 하프 베이 ( 204 ) 를 포함 할 수 있 다 . 코팅 될 기판 ( 미 도시 ) 은 앞서 개시 된 것 처럼 , 펌프 격실 의 측면 들 과 결합 된 갭 또는 슬롯 ( 224 ) 을 경유 하 여 펌프 격실 ( 200 ) 을 통과 할 수 있 다 . 하프 베 이 들 ( 202 , 204 ) 각각 에 는 3 개 의 터보 분자 형 펌프 들 ( 206 ) 이 장착 될 수 있 으며 , 이 는 인접 한 코팅 격실 의 펌핑 을 위해 , 하프 베이 의 상부 에서 지지 될 수 있 다 . 각각 의 하프 베이에 는 확 산 펌프 ( 208 ) 가 장착 될 수 있 으며 , 이 는 총체 적 으로 도 7 에 도시 된 것 처럼 , 격실 을 지나 는 기판 의 통과 와 관련 된 통로 ( 216 ) 의 펌핑 을 위해 , 하프 베이 의 또 다른 단부 ( 214 ) 에서 지지 될 수 있 는 2 개 의 터보 분자 형 펌프 ( 206 ) 및 하프 베이 의 단부 ( 212 ) 에서 지지 될 수 있 다 . 도 7 A 에서 , 2 개 의 터보 분자 형 펌프 들 ( 206 ) 은 각각 의 하프 베이 와 결합 되 게 도시 되 었 으며 , 하프 베이 ( 202 ) 와 결합 된 확산 펌프 ( 208 ) 만 을 볼 수 있 고 , 하프 베이 당 단지 하나 의 터보 분자 형 펌프 ( 210 ) 만 을 볼 수 있 다 . 이접 한 코팅 격실 들 ( 미 도시 ) 및 통로 ( 216 ) 의 펌핑 은 각각 앞서 개시 된 것 처럼 , 개구 들 또는 슬롯 들 ( 220 , 222 ) 을 통해 달성 될 수 있 다 . 적절 한 배 플 링 ( 218 ) 및 적절 한 배 플 링 ( 219 ) 이 펌프 격실 ( 200 ) 내 에서 사용 되 어 , 이 들 격실 들 의 하프 베 이 들 의 부분 들 이 개별 적 으로 펌핑 되 고 통로 의 부분 들 또는 다양 한 컨덕턴스 슬롯 들 이 각각 개별 적 으로 펌핑 될 수 있 다 .