상기 순수 정제 유닛 ( 6 ) 에 의해 순수 로 정제 된 가공 수 는 , 가공 수 공급 로 ( 105 ) 위 에 배치 형성 된 펌프 ( P ) 의 작용 에 의해 배관 ( 111 ) 을 통해서 온도 조정 유닛 ( 8 ) 을 구성 하 는 열 교환기 ( 8 b ) 에 도입 된다 . 온도 조정 유닛 ( 8 ) 은 , 액체 를 냉각 시키 는 액체 냉 각부 ( 8 a ) 와 , 액체 냉 각부 ( 8 a ) 에서 냉각 된 액체 ( 냉각액 ) 를 순환 시키 는 순환로 ( 81 , 82 ) 를 구비 하 고 , 열 교환기 ( 8 b ) 는 순환로 ( 81 , 82 ) 위 에 배치 형성 된다 . 열 교환기 ( 8 b ) 에 도입 된 가공 수 는 , 순환로 ( 81 , 82 ) 를 순환 하 는 냉각액 에 의해 가공 장치 ( N ) 에 사용 될 때 에 적절 한 22 ∼ 23 ℃ 정도 의 온도 로 조정 되 고 , 가공 수 공급 로 ( 105 ) 를 통해서 가공 장치 ( N ) 에 공급 된다 .