이러 한 증착 장비 의 챔버 에 대한 주기 적 인 관리 ( PM ) 를 수행 하 거나 또는 타 겟 교환 시 에 초기 증착 과정 이 제대로 수행 되 는 지 여부 를 확인 하 는 과정 이 요구 된다 . 이때 , 구리 시드 층 ( 201 , 203 ) 에 도 1 에 제시 된 바 와 같이 응집 현상 이 발생 되 었 는 지 여부 를 확인 해야 한다 . 이러 한 확인 과정 은 증착 된 구리 시드 층 ( 201 , 203 ) 의 반사 율 측정 하 여 수행 한다 .