도 4 는 종래 반도체 디바이스 테스트 시스템 의 테스트 헤드 냉각 방식 을 설명 하 기 위한 도 이 다 . 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 종래 의 반도체 디바이스 테스트 시스템 의 테스트 헤드 냉각 은 외부 에 냉각기 ( Chiller ) ( 50 ) 를 둔 상태 에서 이러 한 냉각기 ( 50 ) 에 의해 냉각 된 물 또는 액체 를 배관 ( 52 ) 을 통해 테스트 헤드 기판 ( 30 ) 주위 로 순환 시키 는 방식 으로 이루어진다 .