노즐 구 조체 ( 200 ) 는 제 1 저 장부 ( 210 ) 및 제 2 저 장부 ( 220 ) 와 유체 적 으로 연결 된다 . 제 1 저 장부 ( 210 ) 는 예 를 들 어 , 순수 ( DIW , Deionized Water ) ) 를 저장 하 고 , 제 2 저 장부 ( 220 ) 는 예 를 들 어 , 건조 공기 ( CDA , Clean Dry Air ) 를 저장 할 수 있 다 . 선택 모듈 ( 230 ) 은 적어도 하나 의 밸브 와 , 적어도 하나 의 배관 을 포함 하 여 , 컨트롤러 ( 미 도시 ) 의 지시 에 따라 , 순수 및 / 또는 건조 공기 를 노즐 구 조체 ( 200 ) 에 전달 한다 .