또한 , 챔버 ( 10 ) 의 외측 의 측벽 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 반입 · 반출 용 의 개구부 ( 51 ) 가 마련 되 며 , 개구부 ( 51 ) 를 개폐 하 는 게이트 밸브 ( 52 ) 가 배치 된다 . 챔버 ( 10 ) 내 에 는 , 챔버 ( 10 ) 의 내벽 을 따라서 제 1 데포 실드 ( 71 ) 와 , 제 2 데포 실드 ( 72 ) 가 착 탈 가능 하 게 마련 되 어 있 다 . 제 1 데포 실드 ( 71 ) 는 , 데포 실드 의 상부 부재 이 며 , 챔버 ( 10 ) 의 개구부 ( 51 ) 보다 상부 에 마련 되 어 있 다 . 제 2 데포 실드 ( 72 ) 는 , 데포 실드 의 하부 부재 이 며 , 배 플 판 ( 50 ) 의 하부 에 마련 되 어 있 다 . 제 1 데포 실드 ( 71 ) 의 하부 는 , 후술 하 는 셔터 기구 ( 80 ) 의 밸브 체 ( 81 ) 의 상부 와 접촉 하 는 것 에 의해 개구부 ( 51 ) 를 폐쇄 한다 . 제 1 데포 실드 ( 71 ) 및 제 2 데포 실드 ( 72 ) 는 , 예 를 들 면 알루미늄 재 에 Y 2 O 3 등 의 세라믹스 를 피복 하 는 것 에 의해 구성 될 수 있 다 . 또한 , 제 1 데포 실드 ( 71 ) 의 하부 는 , 접촉 하 는 밸브 체 ( 81 ) 와 도통 가능 하 도록 도전 성 의 재질 , 예 를 들 면 스테인리스 스틸 이나 니켈 합금 등 으로 피복 되 어 있 다 .