본 발명 의 특별 한 특징 은 전극 을 가진 정전식 기판 홀더 를 구비 하 는 것 에 있 는데 , 이 는 회전 을 수반 하 지 않 고 , 홀딩 표면 으로부터 이격 되 어 있 으며 , 홀딩 표면 에 갈 바닉 접촉 을 사용 하 지 않 고 설계 되 어 있 으며 , 전기 적 으로 절연 기계식 구성 이 다 . 그 결과 , 이동 된 기계식 부분 은 완전히 갈바 닉 적 이 고 , 공간 적 으로 정전식 모듈 로부터 분리 되 고 , 이 는 유지 력 생 성과 관련 된다 .