본 발명 에 따른 기판 건조 챔버 에 있 어서 , 상기 완충 부재 는 PI ( polyimide ) 계열 , PA ( polyamide ) 계열 , PFA ( perfluoroalkoxy alkanes ) 계열 , PTFE ( polytetrafluoroethylene ) 계열 , PVDF ( polyvinylidene fluoride ) 계열 , PCTFE ( p o lychlorotrifluoroethylene ) 계열 , PP ( polypropylene ) 계열 , PEEK ( polyetherether ketone ) 계열 중 에서 선택 된 하나 로 이루어진 필름 재질 을 갖 는 것 을 특징 으로 한다 .