본 실시 형태 1 의 열 경화 공정 에 있 어서 는 , 전원 ( 462 ) 으로부터 전력 이 공급 된 히터 ( 360 ) 가 발열 하 여 , 챔버 배치 테이블 ( 46 ) 에 배치 되 어 챔버 내 가 무산소 로 되 어 있 는 챔버 ( 4 ) 가 히터 ( 360 ) 에 의해 미리 정해진 온도 에 이 를 때 까지 가열 된다 . 그리고 , 챔버 ( 4 ) 가 가열 됨 으로써 웨이퍼 ( W ) 가 가열 되 고 , 또한 가열 된 웨이퍼 ( W ) 의 열 로 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 가 열 경화 하 여 절연 층 이 형성 된다 . 또한 , 열 경화 공정 에 있 어서 는 , 진공 펌프 ( 429 ) 에 의한 챔버 ( 4 ) 내 의 흡인 을 계속 하 고 있 어도 좋 고 , 챔버 ( 4 ) 내 가 무산소 가 된 후 , 흡인 을 정지 하 여 제 1 개 폐 밸브 ( 421 a ) 를 폐쇄 하 여도 좋 다 . 또한 , 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 는 , 230 ℃ 내지 400 ℃ 로 가열 함 으로써 경화 한다 .