막 두께 와 균일성 은 분광 엘 립 소 미터 ( spectroscopic ellipsometer ) 를 이용 하 여 측정 하 였 다 . 막 의 밀도 를 결정 하 기 위한 목적 으로 뿐 만 아니 라 두께 를 확인 하 기 위한 목적 으로 X - 선 반사계 ( XRR : X - ray reflectometry ) 도 사용 되 었 다 . 막 의 조성 은 러더퍼드 후방 산란 분광계 ( RBS : Rutherford backscattering spectroscopy ) 및 X - 선 광전자 분광계 ( XPS : X - ray photoelectron spectroscopy ) 둘 모두 에 의하 여 조사 되 었 다 .