도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , 구동 회로 ( 16 ) 는 회전자 ( 6 ) 를 X 축 둘레 로 회전 시킬 때 의 구동 주파수 ( f 1 ) 를 설정 하 는 X 축 주파수 설 정부 ( 161 ) 와 , 회전자 ( 6 ) 를 Y 축 둘레 로 회전 시킬 때 의 구동 주파수 ( f 2 ) 를 설정 하 는 Y 축 주파수 설 정부 ( 162 ) 와 , 회전자 ( 6 ) 를 Z 축 둘레 로 회전 시킬 때 의 구동 주파수 ( f 3 ) 를 설정 하 는 Z 축 주파수 설 정부 ( 163 ) 를 가지 고 있 다 . 또한 X 축 주파수 설 정부 ( 161 ) 에는 , 구동 주파수 ( f 1 ) 의 교류 전압 을 제 1 압 전 소자 부 ( 31 ) 와 제 2 압 전 소자 부 ( 32 ) 에 출력 하 는 X 축 구동 부 ( 164 ) 가 접속 되 어 있 다 . 마찬가지 로 , Y 축 주파수 설 정부 ( 162 ) 에는 , 구동 주파수 ( f 2 ) 의 교류 전압 을 제 2 압 전 소자 부 ( 32 ) 와 제 3 압 전 소자 부 ( 33 ) 에 출력 하 는 Y 축 구동 부 ( 165 ) 가 접속 되 어 있 다 . 또한 , Z 축 주파수 설 정부 ( 163 ) 에는 , 구동 주파수 ( f 3 ) 의 교류 전 압 을 제 1 압 전 소자 부 ( 31 ) 와 제 3 압 전 소자 부 ( 33 ) 에 출력 하 는 Z 축 구동 부 ( 166 ) 가 접속 되 어 있 다 .