도 5 는 , 본 발명 의 실시 예 2 에 따른 성막 속도 의 재현 성 의 검증 데이터 를 나타내 는 그래프 도 이 다 . 도 5 의 종축 은 질화 실리콘 막 의 성막 속도 ( 단위 ： Å / min ) 를 나타내 고 , 횡축 은 박막 형성 공정 의 실시 회수 ( 배치 회수 ) 를 나타낸다 . 도 5 에 의하 면 , 질화 실리콘 막 의 성막 속도 의 저하 는 ± 0 . 96 % 이내 이 며 , 클리닝 공정 직후 의 성막 속도 의 저하 를 억제 할 수 있 음 을 알 수 있 다 .