도 18 은 종래 의 클러스터 형 의 기판 처리 시스템 과 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 과 의 풋 프린트 를 비교 한 평면도 ( 프로세스 챔버 의 수 가 4 개 인 경우 , 도면 내의 ( a ) 는 클러스터 형 의 기판 처리 시스템 을 나타내 고 , 도면 내의 ( b ) 는 제 1 실시 형태 의 기판 처리 시스템 을 나타낸다 ) 이 다 .