구체 적 으로 , 로컬 타입 의 기판 처리 장치 는 인 덱 서 와 , 공정 을 처리 하 는 복수 개 의 프로세스 유닛 예컨대 , 도포 유닛 , 현상 유닛 및 , 베 이크 유닛 등 을 포함 하 는 공정 처 리부 로 구성 된다 . 인 덱 서 는 기판 에 대한 유저 ( user ) 와 프로세스 유닛 과 의 기판 공급 및 회수 를 위한 인터페이스 를 처리 한다 .