또한 , 본 발명 의 실시 예 에 의하 면 , 액 토출 유닛 으로 처리 액 을 공급 하 는 동안 ( 처리 액 공급 모드 ) 에 는 기체 주입 배관 으로 역류 된 처리 액 을 액 리턴 배관 에 의하 여 액 처리 실 로 리턴 시키 는 방식 으로 액 처리 실에 저장 된 처리 액 에 유동 을 발생 시켜 처리 액 이 응집 되 거나 침전 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .