제 2 박막 ( 23 ) 증착 단계 ( S 160 ) 에서 는 , 상기 제 1 박막 ( 22 ) 상 에 제 2 박막 ( 23 ) 을 증착 할 수 있 다 . 이 는 상기 챔버 ( 10 ) 에서 진행 될 수 있 고 , 가스 분사 부 ( 200 ) 를 통해 분사 되 는 소스 물질 이 상기 제 1 박막 ( 22 ) 상 에 증착 하 여 제 2 박막 ( 23 ) 이 증착 될 수 있 다 . 상기 제 2 박막 ( 23 ) 증착 단계 ( S 160 ) 에서 는 챔버 ( 10 ) 에 플 라즈 마 를 발생 시킬 수 도 있 다 .