보다 구체 적 으로 , 초기 가압 용 초임계 유체 의 확산 경로 를 나타낸 도 4 및 유기 용제 가 용해 된 초임계 유체 의 배출 경로 를 나타낸 도 6 에 예시 된 바 와 같이 , 건조 공정 의 대상 인 기판 ( W ) 을 배치 하 기 위하 여 필수 적 으로 요구 되 는 기판 배치 판 ( 40 ) 을 이용 하 여 건조 공정 완료 후 챔버 개방 시 재 유입 되 는 파티클 을 차단 하 고 , 건조 공정 의 초기 에 기판 ( W ) 표면 으로 직접 향하 는 초기 가압 용 초임계 유체 의 흐름 을 방지 하 여 기판 ( W ) 에 형성 된 패턴 의 도괴 를 방지 할 수 있 고 , 초기 가압 용 초임계 유체 에 함유 될 수 있 는 파티클 이 기판 ( W ) 에 퇴적 되 는 문제 를 방지 하 거나 퇴적 량 을 감소 시킬 수 있 고 , 기판 배치 판 ( 40 ) 이 차지 하 는 부피 로 인한 챔버 의 내부 용적 ( working volume ) 을 감소 시켜 건조 공정 시간 을 단축 할 수 있 다 .