편심 검지 위치 는 , 상기 상승 위치 보다 낮 고 , 또한 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 보다 높 은 위치 에 있 다 . 즉 , 편심 검지 위치 는 , 상승 위치 와 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 사이 에 있 다 . 편심 검지 위치 에 있 는 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 제 1 기판 보유 지지 면 ( 10 a ) 과 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 제 2 기판 지지 면 ( 20 a ) 사이 의 거리 는 , 예 를 들 어 5 ㎜ 내지 10 ㎜ 의 범위 에 있 다 .