스텝 S 101 에서 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 캐리어 N 2 가스 공급원 ( 93 ) 으로부터 성막 원료 탱크 ( 91 ) 에 공급 되 는 캐리어 가스 인 N 2 가스 와 , 캐리어 가스 에 의해 성막 원료 탱크 ( 91 ) 로부터 픽업 된 전구체 ( 원료 가스 , WCl 6 가스 ) 의 유량 의 관계식 을 교정 하 는 캘 리브레 이 션 공정 을 행한다 . 또한 , 캘 리브레 이 션 공정 에서 의 관계식 의 교정 은 , 도 4 등 을 사용 해서 후술 한다 .