본 발명 에 따르 면 , 센서 에 대한 광 스위치 ( switch ) 작동 을 하 는 미러 ( mirror ) 를 구동 하 는 에스램 ( SRAM ) 의 배선 으로서 의 하부 금속 층 을 형성 하 고 , 하부 금속 층 을 덮 는 하부 금속 층간 절연 층 을 형성 하 고 , 하부 금속 층간 절연 층 상 에 하부 금속 층 을 가리 는 광 경로 차단 플레이트 를 형성 하 고 , 광 경로 차단 플레이트 를 덮 는 상부 금속 층간 절연 층 을 형성 하 고 , 상부 금속 층간 절연 층 상 에 배선 으로서 의 상부 금속 층 을 형성 하 고 , 상부 금속 층 을 덮 는 표면 반사 방지 층 을 형성 하 는 디지털 광 프로세스 ( DLP ) 를 위한 미러 소자 형성 방법 을 제시 한다 . 또한 , 이 와 같 은 미러 소자 를 포함 하 는 DLP 장치 를 제시 한다 .