더욱이 , 본 발명 에서 는 기판 이 리프팅 되 는 동안 기판 과 스테이지 의 사이 에 강제 적 으로 유체 를 분사 하 는 것 에 의하 여 , 기판 이 리프팅 되 는 동안 기판 과 스테이지 사이 에 존재 하 는 액상 유체 에 의한 표면장력 의 영향 을 보다 약화 시킬 수 있 으므로 , 스테이지 로부터 기판 이 보다 쉽 게 분리 되 게 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .