본 발명 에 따른 기판 반송 장치 는 , 도 4 및 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( 131 ) 의 진행 방향 과 평행 하 도록 일직선 으로 연결 된 회전축 지지대 ( 109 ) 및 외벽 ( 129 ) 과 , 상기 기판 ( 131 ) 의 하단 을 받치 고 상기 기판 ( 131 ) 을 전진 시키 는 복수 개 의 반송 롤러 ( 105 ) 와 , 상기 외벽 ( 129 ) 에서 외부 전원 으로부터 전력 을 공급 받 는 모터 ( 미 도시 ) 에 연결 되 어 상기 반송 롤러 ( 105 ) 를 일 방향 으로 회전 시키 는 복수 개 의 회전축 ( 101 ) 과 , 상기 복수 개 의 반송 롤러 ( 105 ) 와 인접 된 위치 에 상기 기판 ( 131 ) 이 외부 로 이탈 하 는 것 을 방지 하 면서 기판 을 얼라 인하 기 위해 장착 된 얼라 인 롤러 ( 121 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .