본원 명세서 에 개시 되 는 기술 의 제 1 양태 는 , 기판 을 처리 하 기 위한 처리 액 을 저류 시키 는 제 1 조 와 , 상기 제 1 조 의 상부 로부터 넘쳐 나온 상기 처리 액 을 , 상기 제 1 조 의 하부 로 귀환 시키 는 제 1 경로 와 , 상기 제 1 경로 로부터 분기 되 는 제 2 경로 와 , 상기 제 2 경로 로부터 유입 된 상기 처리 액 을 저류 시키 는 측 정조 와 , 상기 측 정조 의 상부 로부터 상기 처리 액 이 넘쳐 나오 고 있 는 상태 에서 , 상기 측 정조 내 의 소정 의 깊이 에 있 어서 상기 처리 액 의 압력 을 측정 하 는 압력 측 정부 를 구비 한다 .