처리 실 ( 120 ) 의 일 측벽 에 는 윈도우 ( 128 ) 가 제공 된다 . 윈도우 ( 128 ) 의 외측 에 는 검출 유닛 ( 600 ) 의 검출기 ( 610 ) 가 설치 된다 . 윈도우 ( 128 ) 는 기판 지지 유닛 에 지지 된 기판 의 상태 및 플 라즈 마 공정 진행시 발생 되 는 방사광 을 검출 할 수 있 도록 투명 한 석영 소재 로 이루어질 수 있 다 .