또한 본원 의 일 구 현예 에 따른 테이블 모듈 에 있 어서 , 상기 테이블 용 음압 전달 플레이트 구조 체 는 , 상기 컨버전 키트 의 복수 의 상기 진공 홀 이 형성 된 부분 과 대향 하 는 부분 이 Z 축 방향 일 측 으로 함몰 되 어 , 상기 음압 발생기 에 의한 음압 작용 및 음압 해제 를 상기 진공 홀 에 전달 하 는 테이블 용 제품 함몰 부 ; 및 상기 컨버전 키트 의 테두리 부분 중 적어도 일부 와 대향 하 는 부분 이 Z 축 방향 일 측 으로 함몰 되 어 상기 컨버전 키트 에 대한 진공 흡착 이 이루어지 는 테이블 용 키트 함몰 부 를 포함 할 수 있 다 .