본 명세서 에 사용 된 바 와 같 은 , 주석 옥사이드 는 주석 ( Sn ) 및 산소 ( O ) 를 포함 하 고 , 선택 가능 하 게 수소 를 포함 할 수 도 있 는 재료 들 을 지칭 한다 . 본 명세서 에 사용 된 바 와 같 은 , 주석 옥사이드 는 소량 의 다른 원소 들 , 예컨대 탄소 , 및 질소 를 더 포함 할 수 도 있 고 , 다른 원소 들 의 총 량 은 10 atomic ％ 이 하이다 ( 함량 의 계산 에 수소 가 포함 되 지 않 음 ) . 예 를 들 어 ALD - 증착 된 주석 옥사이드 는 약 0 . 5 내지 5 atomic ％ 의 탄소 를 함유 할 수 있 다 . 주석 옥사이드 는 예 를 들 어 , ALD , PECVD , 또는 PVD 에 의해 증착 될 수 있 다 . 주석 옥사이드 의 화학량론 은 일반 적 으로 가변 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 주석 대 산소 의 원 자비 는 약 1 : 2 ( SnO 2 ) 이 다 . 1 : 2 의 주석 대 산소 화학량론 으로부터 작 은 편차 가 SnO 2 에서 가능 하 고 , SnO 2 구 조체 의 범위 내 에 있 다는 것 이 이해 된다 . 예 를 들 어 , O 대 Sn 원 자비 는 SnO 2 의 일부 예 들 에서 약 2 . 0 내지 2 . 3 이 다 . 본 명세서 에 사용 된 바 와 같이 약 1 . 5 내지 2 . 5 의 O 대 Sn 비 를 갖 는 주석 옥사이드 들 이 SnO 2 재료 의 범위 내 에 있 다 . 본 명세서 에 기술 된 주석 옥사이드 재료 들 은 인듐 주석 옥사이드 재료 들 , 및 다른 혼합 된 옥사이드 들 로부터 구별 된다 .