그리고 , 신축 용 모터 ( 53 b ) ( 도 4 참조 ) 가 제어 되 어 , 반송 아암 ( 521 ) 이 신장 되 고 , 반송 아암 ( 521 ) 에 보 지 된 웨이퍼 ( W ) 가 상술 의 선 ( L 11 ) 을 따라서 직선 적 으로 반송 되 며 , 구체 적 으로 는 , 상기 웨이퍼 ( W ) 의 중심 이 상술 의 선 ( L 11 ) 을 따라서 움직이 도록 반송 된다 . 도 6 의 ( C ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 는 처리 실 ( 421 ) 내 의 탑재 대 ( 43 ) 의 상방 까지 , 구체 적 으로 는 , 상기 웨이퍼 ( W ) 의 중심 이 상기 탑재 대 ( 43 ) 의 웨이퍼 탑재 영역 ( 43 a ) 의 중심 ( P 5 ) 과 일치 하 는 위치 까지 반송 된다 .