또한 , 다공질 부재 ( 6 ) 에 Ar 가스 를 공급 하 고 , 다공질 부재 ( 6 ) 의 외 주연 으로부터 상기 Ar 가스 의 공급 위치 를 향하 여 , Ar 가스 의 농도 가 높 아 지 는 농도 구배 를 형성 하 고 있 다 . 그 때문 에 Ar 가스 의 공급 위치 에 가까운 가스 의 중심 측 의 영역 일수록 대기 분위기 가 진입 하 기 어려워진다 . 이 에 의해 더욱 대기 분위기 가 O 링 ( 62 ) 까지 도달 하 기 어려워져 , 가스 공급 배관 ( 4 ) 내로 의 대기 의 진입 을 보다 억제 할 수 있 다 .