도 2 를 참조 하 면 , 상기 구동 부 ( 110 ) 는 상기 도어 ( 108 ) 를 상하 운동 시키 기 위한 구동력 을 제공 하 는 공 압 실린더 ( 112 ) 를 포함 한다 . 상기 공 압 실 리더 와 상기 도어 ( 108 ) 사이 에 는 이 들 을 연결 하 기 위한 연결 장치 가 마련 된다 . 여기 서 , 상기 연결 장치 는 상기 도어 ( 108 ) 를 일정 한 압력 으로 상기 챔버 바디 ( 102 ) 에 고정 시킬 수 있 도록 마련 된다 .