유입 구 매니폴드 ( 11 ) 는 상부 부분 ( 12 ) 근처 에 설치 될 수 있 다 . 유입 구 매니폴드 ( 11 ) 는 반응물 증기 공급원 에 연결 될 수 있 고 , 이 는 탱크 또는 기화기 로부터 의 반응물 가스 를 유입 구 매니폴드 ( 11 ) 에서 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 안 으로 흐를 수 있 도록 한다 . 몇몇 채널 ( 42 ) 또는 분지 가 유입 구 매니폴드 ( 11 ) 내 에 형성 될 수 있 고 , 하나 또는 다수 의 가스 유입 구 애퍼처 ( 18 ) 와 , 예컨대 상부 플레 넘 ( 24 ) 에 의해 유체 연통 할 수 있 다 . 유입 구 매니폴드 ( 11 ) 를 통해 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 안 으로 들어가 는 반응물 증기 는 , 상부 샤워 헤드 플레이트 ( 13 ) 에 한정 된 채널 ( 15 ) 을 통해 이동 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 의 하부 부분 ( 14 ) 은 유입 구 포트 ( 18 ) ( 애퍼처 ) 및 유출 구 또는 배기 포트 ( 20 ) ( 애퍼처 ) 모두 를 포함 할 수 있 다 . 반응물 유입 구 애퍼처 ( 18 ) 는 상부 플레 넘 ( 24 ) 에 의해 유입 구 매니폴드 가스 채널 ( 42 ) 및 가스 유입 구 ( 16 ) 와 유체 연통 하 고 , 결과 적 으로 가스 를 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 로부터 흐르 게 하 고 반응 챔버 ( 3 ) 안 으로 유입 시킨다 . 일부 구 현예 에서 , 유출 구 또는 배기 애퍼처 ( 20 ) 는 펌프 ( 9 ) 와 같 은 진 공원 에 의해 인가 되 는 진공 압력 을 통해 잔류물 가스 를 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 안 으로 끌 어 당길 수 있 다 . 나타낸 바 와 같이 , 반응 챔버 가스 유출 구 포트 ( 7 ) 는 반응 챔버 ( 3 ) 로부터 가스 를 흡인 할 수 있 고 , 하나 이상 의 펌프 ( 9 ) 와 유체 연통 할 수 있 다 . 가스 유출 구 라인 ( 26 ) 은 하나 또는 복수 의 펌프 ( 9 ) 에 연결 될 수 있 고 , 이 는 진공 압력 을 생성 할 수 있 고 , 이 는 잔류물 및 다른 가스 를 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 의 배기 포트 ( 20 ) 안 으로 그리고 반응 챔버 배기 포트 ( 7 ) 안 으로 흡인 한다 . 샤워 헤드 장치 ( 10 ) 의 가스 유입 구 ( 16 ) 및 가스 유출 구 ( 26 ) 구조 는 , 반응물 챔버 배기 포트 ( 7 ) 와 함께 , 반응기 ( 2 ) 가 에 천 트 가스 및 이 의 부산물 에 대해 공간 적 으로 균일 한 부분 압력 , 체류 시간 , 및 온도 를 갖 도록 할 수 있 다 .