폴리 실록 산 ( Ia ) 가 화학식 2 의 실리카 화합물 을 충분히 많이 함유 하 고 있 으면 , 폴리 실록 산 ( Ib ) 에 있 어서 화학식 2 의 실리카 화합물 은 반드시 필요 하 지 는 않 다 . 그러나 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 의 화학식 2 의 함유량 을 많 게 하 여 「 패턴 」 열화 방지 의 기능 을 지나치 게 부가 시키 면 , 감도 저하 의 문제 등 을 생각 할 수 있 기 때문 에 , 화학식 2 의 실리카 화합물 을 , 폴리 실록 산 ( Ia ) 및 폴리 실록 산 ( Ib ) 양자 의 폴리 실록 산 의 구성 성분 으로서 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .