도 21 c 는 본 발명 의 바람직 한 실시 예 에 따라 2 단계 급속 열처리 ( 도 19 참조 ) 를 실시 한 웨이퍼 에 대한 산소 석출 물 을 보여 주 는 도면 이 다 . 제 1 급속 열처리 를 1120 ℃ 에서 2 . 5 초 동안 실시 하 고 , 제 2 급속 열처리 를 1215 ℃ 에서 10 초 동안 실시 한 경우 이 다 . 그 이외 의 2 단계 급속 열처리 조건 들 은 도 17 a 를 참조 하 여 설명 한 급속 열처리 조건 ( 온도 상승 률 , 온도 하강 률 , 공정 가스 , 공정 가스 의 유량 등 ) 과 동일 하 기 때문 에 제시 하 지 않 음 을 밝혀둔다 .