한편 , 제 1 핸드 ( 60 ) 와 제 2 핸드 ( 70 ) 에 는 각각 웨이퍼 의 로딩 과 언로 딩 을 감지 할 수 있 는 센서 가 구비 되 며 , 이러 한 센서 는 제 1 핸드 암축 ( 45 ) 과 제 2 핸드 암축 ( 55 ) 의 원주 까지 신호선 이 연결 되 며 , 상기 원주 의 외 주연 에 슬립 접점 되 는 신호선 이 결합 되 어 본체 의 제 어부 로 결합 된다 .