또한 , USP 7 , 598 , 016 ( JP - A 2008 - 239918 ) 에 기재 된 폴리머 형 의 켄 처 가 사용 될 수 있 다 . 상기 폴리머 형 켄 처 는 코트 후 의 레지스 트 표면 에 배향 함 으로써 레지스 트 의 구 형성 을 높인다 . 폴리머 형 켄 처 는 , 액침 리소그래피 에서 의 경우 와 같이 보호막 을 적용 했 을 때 의 레지스 트 패턴 의 막 감소 나 패턴 톱 의 라운 딩 을 방지 하 는 데 효과 적 이 다 .