추가 실시 예 들 에 있 어서 , 하나 이상 의 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 를 이용 할 수 없 는 경우 , " S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 최단 시간 동안 웨이퍼 를 "" 지연 "" 및 / 또는 "" 보관 "" 하 도록 S - D 이송 시퀀스 가 확립 될 수 있 거나 ", 하나 이상 의 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 를 이용 할 수 없 는 경우 , " S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 미리 정해진 시간 동안 웨이퍼 를 "" 지연 "" 및 / 또는 "" 보관 "" 하 도록 S - D 이송 시퀀스 가 확립 될 수 있 거나 ", 제 1 서브시스템 에서 하나 이상 의 처리 요소 및 / 또는 평가 요소 를 이용 할 수 없 는 경우 , S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 웨이퍼 를 또 다른 서브시스템 에 이송 하 도록 S - D 이송 시퀀스 가 확립 될 수 있 다 .