도 9 내지 도 13 에 도시 된 바 에 의하 면 , 본 실시 예의 커버 ( 200 ) 는 평판 형 기판 에 대한 처리 공정 을 수행 하 는 처리 챔버 ( 10 ) 에 적용 될 수 있 다 . 상기 커버 ( 200 ) 는 상기 처리 챔버 ( 10 ) 의 상부 에 힌지 결합 된 커버 플레이트 ( 210 ) , 상기 커버 플레이트 ( 210 ) 에 인접 하 도록 상기 처리 챔버 ( 10 ) 의 상부 에 힌지 결합 되 며 적어도 하나 의 로드 ( 222 ) 와 고정 바 ( 224 ) 를 포함 하 는 고정 부재 ( 220 ) , 상기 커버 플레이트 ( 210 ) 의 개방 상태 를 유지 하 기 위한 걸 림 턱 ( 230 ) 및 상기 커버 플레이트 ( 210 ) 를 닫 는 동안 상기 고정 바 ( 224 ) 를 안내 하 는 적어도 하나 의 안내 부재 ( 240 ) 를 포함 할 수 있 다 . 상기 걸림 턱 ( 230 ) 은 상기 고정 바 ( 224 ) 가 구속 되 는 제 1 고정 홈 ( 232 ) 을 가질 수 있 다 .