일반 적 으로 레이저 프로세스 장치 에서 는 엑 시머 레이저 , YAG 레이저 , CO 2 레이저 등 과 같 은 대 출력 의 광원 이 이용 된다 . 이 다양 한 장치 에서 는 고 에너지 밀도 의 광속 이 결상 광학계 를 통과 하 기 때문 에 결상 광학계 를 구성 하 고 있 는 렌즈 , 미러 등 의 광학 부품 , 렌즈 틀 , 하우징 등 의 부속 부품 ( 이하 광학 부품 과 부속 부품 을 총칭 해서 광학 부품 이 라고 하 겠 다 ) 이 광 조사 에 의해 가열 되 고 , 더 나아가 열팽창 에 의해 변형 된다 . 이 광학 부품 들 의 열팽창 에 의한 변형 을 막 기 위해서 방열판 , 액체 ( 물 ) , 기체 ( 공기 ) , 펠티에 소자 등 을 이용 해서 결상 광학계 를 냉각 하 는 것 이 행해 지 고 있 다 .