스퍼터링 에 의하 는 경우 , 먼저 플 라즈 마 처리 에 의해 증착 대상 의 표면 에 산화 막 을 제거 하 고 , 스퍼터링 기기 를 이용 하 여 증착 용 타 겟 에 인가 되 는 전력 을 약 0 . 1 내지 약 10 W / cm 2 의 범위 로 하 여 증착 공정 을 진행할 수 있 다 . 증착 시간 은 , 증착 재료 및 증착 필름 의 두께 와 스퍼터 공정 조건 에 따라 달라질 수 있 지만 , 예 를 들 어 약 10 내지 약 300 분 동안 진행 할 수 있 으며 , 작동 시 압력 은 약 0 . 1 내지 약 50 mTorr 로 진행 할 수 있 다 .