이제 도 22 를 참조 하 면 , 세정 및 건조 효능 에 대한 임의 의 영향 들 을 고려 하 기 위해 챔버 측벽 들 사이 의 거리 가 더 큰 CFD 분석 에 대해 고려 된 다른 예시 적 인 챔버 설계 의 일부분 이 도시 된다 ( 모든 치수 들 은 밀리미터 단위 임 ) . 도 22 에서 , 측벽 들 은 약 200 mm 떨어져 있 는 반면 , 도 4 에서 , 측벽 들 은 약 100 mm 떨어져 있 다 ( 도 4 및 도 22 둘 모두 에서 기판 의 두께 는 무시 됨 ) .