상기 실시 예 1 에서 와 동일 하 게 LiNiO 2 상대 전극 을 제조 하 였 다 . 그 후 에 , 상기 LiNiO 2 박막 상 에 NiO 타 겟 을 이용 하 여 RF 스퍼터링 으로 NiO 를 증착 하 였 다 . 증착 조건 은 RF 파워 900 W , 아르곤 가스 의 공급량 100 sccm , 작업 압력 10 mTorr 이 었 다 . 증착 된 NiO 박막 의 두께 는 10 내지 20 ㎚ 이 었 다 .