따라서 , 화학 기계 적 연마 ( Chemical Mechanical Polishing : CMP ) 공정 을 수행 하 여 층간 절 연막 ( 120 ) 상부 를 평탄 화 한다 . 이때 , 층간 절 연막 ( 120 ) 표면 에 존재 하 는 불순물 입자 또는 연마 공정 을 위한 슬러리 ( Slurry ) 입자 들 에 의해서 층간 절 연막 ( 120 ) 의 표면 이 손상 된다 . 손상 부분 에 는 쐐기 형 틈 이 생겨서 스크래치 ( 125 ) 가 발생 한다 .