스루홀 들 ( 117 ) 에 의해 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 통과 하 는 라디칼 / 중성 입자 플럭스 를 제거 하 도록 이온 들 이 스루홀 ( 117 ) 을 관통 하 여 진행 할 때 , 스루홀 들 ( 117 ) 은 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 내 의 하전 된 성분 들 , 즉 , 이온 들 이 전기 적 으로 접지 된 가스 분배 유닛 ( 115 ) 과 충돌 할 가능 성 을 증가 시키 도록 경사 진다 . 일 실시 형태 에서 , 각도 ( 303 ) 는 스루홀 ( 117 ) 내 에서 의 기준 방향 ( 301 ) 에서 인터럽트 되 지 않 은 시선 ( line of sight ) 이 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 통과 하 는 것 을 방지 하 기 에 충분히 크 다 .