상기 가스 공급 부 ( 140 ) 는 반응 가스 를 플 라즈 마 챔버 ( 130 ) 내부 의 플 라즈 마 생 성 공간 ( 131 ) 으로 공급 하 기 위해 선 단부 가 플 라즈 마 챔버 ( 130 ) 내 에 배치 되 는 가스 노즐 ( 141 ) 과 , 상기 플 라즈 마 챔버 ( 130 ) 챔버 와 베이스 ( 120 ) 를 관통 하 여 상기 가스 노즐 ( 141 ) 에 연결 되 는 가스 라인 ( 144 ) 과 , 상기 가스 라인 ( 144 ) 이 컨테이너 ( 110 ) 를 관통 하 는 부위 에 배치 되 는 제 1 피드 스루 ( 142 ) 와 , 상기 가스 라인 ( 144 ) 이 베이스 ( 120 ) 를 관통 하 는 부위 에 배치 되 는 제 2 피드 스루 ( 143 ) 를 포함 한다 . 한편 , 상기 가스 공급 부 ( 140 ) 의 절연 성 및 내열 성 을 확보 하 기 위해 , 상기 가스 노즐 ( 141 ) 과 제 1 피드 스루 ( 142 ) 및 제 2 피드 스루 ( 143 ) 는 세라믹 재질 의 파이프 형태 로 이루어지 고 , 상기 가스 라인 ( 144 ) 은 테 프론 ( Teflon ) 을 포함 하 는 절연 재질 의 튜브 형태 로 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .