상기 누출 감지 센서 ( 50 ) 는 리드선 ( L ) 으로 제 어부 ( C ) 에 연결 되 며 , 누출 감지 센서 ( 50 ) 로부터 누출 의 발생 신호 가 감지 되 면 제 어부 ( C ) 는 즉시 반도체 칩 제조 공정 장치 의 가동 을 중지 시키 게 된다 . 이 로 인해 2 차 적 으로 발생 할 수 있 는 안전사고 를 미연 에 방지 할 수 있 게 된다 .