상기 실시 예 및 비 교예 에서 각각 제조 된 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 을 가로 , 세로 가 각각 2 인치 인 유리 기판 ( Eagle 2000 , 코닝 사 제조 상 에 각각 도포 하 여 스핀 코팅 한 다음 , 90 ℃ 에서 125 초간 프리 베 이크 하 였 다 . 상기 프리 베 이크 된 기판 을 상온 으로 냉각 한 후 노광기 ( UX - 1100 SM , Ushino ㈜ 제조 ) 를 이용 하 여 50 mJ / cm 2 의 노광량 ( 365 nm 기준 ) 으로 도막 전면 에 광 을 조사 하 였 다 . 광 조사 후 , 테트라 암모늄 하이드 록 사이드 수용액 ( 테트라 암모늄 하이드 록 사이드 2 . 38 중량 %, 물 97 . 62 중량 %)( CPD - 18 , 동우 화 인 켐 ( 주 ) 제조 ) 에 상기 도막 을 25 ℃ 에서 60 초간 침지 하 여 현상 하 고 , 수세 후 120 ℃ 의 오븐 에서 30 분 간 포스트 베 이크 를 실시 하 였 다 . 이 때 , 노광 후 의 막 두께 와 포스트 베 이크 공정 종료 후 의 막 두께 를 측정 하 여 하 기 수학식 1 을 이용 하 여 현상 잔 막 율 을 측정 하 였으며 , 그 결과 를 하 기 표 2 에 기재 하 였 다 . 상기 잔 막 율 은 높 을수록 성능 이 우수 한 것 을 의미 한다 .