잉여 부분 제거 단계 ( ST 17 ) 에서 는 , 구체 적 으로 는 , 우선 , 반송 부 ( 86 ) 가 , 경화 단계 ( ST 16 ) 까지 의 처리 를 거쳐 표면 ( 201 ) 에 수지 ( 302 ) 가 피복 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 , 유지 부 ( 20 ) 로부터 잉여 부분 제 거부 ( 110 ) 에 반송 하 고 , 피복 된 수지 ( 302 ) 측 을 연직 방향 의 하방 측 으로서 , 유지 테이블 ( 111 ) 상 에 재치 한다 .