증착 된 유기 금속 텅스텐 ( OMW ) 필름 은 50 원자 % 이상 의 텅스텐 을 갖 는 텅스텐 풍부 필름 이 다 . 많 은 실시 예 에서 , 상기 텅스텐 - 풍부 필름 은 금속 텅스텐 , 즉 원소 상태 텅스텐 ( W ) 과 텅스텐 카바이드 ( WC ) 의 혼합물 이 다 . 전 구체 와 증착 조건 에 따라서 , 상기 필름 이 산소 와 질소 도 포함 할 수 있 다 . WC 및 질소 와 산소 불순물 은 필름 의 약 0 - 50 % 에 해당 하 는 것 이 통상 적 이 다 . 도 4 는 에틸 사이클 로 펜 타 디 에 닐 디 카보닐 니트로실 텅스텐 으로부터 증착 된 유기 금속 필름 의 조성 을 도시 한다 . 도면 에서 알 수 있 는 것 과 같이 , 층 은 > 70 % 의 텅스텐 을 가지 며 , 이때 , 약 ~ 17 % 의 탄소 와 , ~ 5 % 의 질소 와 , < 5 % 의 산소 를 갖 는다 . 거의 모든 탄소 를 카바이드 의 형태 로 가질 때 , 필름 은 약 3 : 1 의 금속 텅스텐 ( W ) : 텅스텐 카바이드 ( WC ) 를 갖 는다 . 약간 의 디 텅스텐 카바이드 ( W 2 C ) 가 또한 제공 될 수 있 다 .