이하 , 본 발명 의 진공 용기 를 FPD 기판 ( B ) 에 대하 여 에칭 처리 를 실행 하 는 플 라즈 마 처리 장치 에 적용 한 예 에 관하 여 , 도 1 을 참조 하 여 설명 한다 . 도 1 의 플 라즈 마 처리 장치 ( 2 ) 는 기판 ( B ) 에 대하 여 에칭 처리 를 실시 하 기 위해 접지 되 었 고 , 각 진 통 ( 筒 ) 형상 의 처리 용기 ( 21 ) 를 구비 하 고 있 으며 , 이 처리 용기 ( 21 ) 는 특허 청구 범위 에 있 어서 의 진공 용기 에 해당 한다 . 처리 용기 ( 21 ) 는 평면 형상 이 사각 형상 으로 구성 된 알루미늄 으로부터 이루어지 고 , 천장부 가 개구 된 용기 본체 ( 21 A ) 와 이 용기 본체 ( 21 A ) 의 천장 개구부 를 막 도록 마련 된 상부 덮개 ( 21 B ) 를 구비 하 고 있 다 . 이 들 용기 본체 ( 21 A ) 와 상부 덮개 ( 21 B ) 는 처리 용기 ( 21 ) 내 의 처리 공간 ( S ) 의 기밀 성 을 유지 하 기 위해서 O 링 ( 22 a ) 을 거쳐서 접합 되 어 있 다 . 또한 , 용기 본체 ( 21 A ) 의 측벽 에 는 기판 ( B ) 의 반 송구 ( 22 ) 가 개구 되 어 있 고 , 게이트 밸브 ( G ) 에 의해 개폐 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 도면 중 도면 부호 ( 22 b ) 는 게이트 밸브 ( G ) 가 닫힌 상태 에서 처리 공간 ( S ) 의 기밀 성 을 유지 하 기 위한 O 링 이 다 .