상기 노광 공정 을 실시 하 는 단계 는 상기 다이폴 X 조명 계 에 광원 을 입사 하 여 X 방향 의 상기 편광 원 을 출력 하 는 단계 와 , 상기 레티 클 에 상기 편 광원 을 조사 하 여 통과 시키 는 단계 와 , 상기 레티 클 을 통과 한 상기 편광 원 이 노광 렌즈 에 입사 시켜 상 기 편광 원 을 포커 싱하 는 단계 , 및 상기 웨이퍼 에 상기 노광 렌즈 를 통과 한 상기 편광 원 을 조사 하 는 단계 를 포함 한다 .