캐리어 버퍼 장치 ( 8 ) 는 , 도 3 , 도 5 와 같이 , 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 와 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 을 구비 하 고 있 다 . 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 및 캐리어 보관 선반 ( 63 ) ( 즉 캐리어 버퍼 장치 ( 8 ) ) 은 , ID 블록 ( 2 ) 및 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 위 에 탑재 되 어 있 다 . 캐리어 반송 기구 ( 61 ) 는 , 4 개 의 오프너 ( 11 ~ 14 ) 의 각각 의 재 치대 ( 16 ) 와 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 의 사이 에서 캐리어 ( C ) 를 반송 한다 . 캐리어 보관 선반 ( 63 ) 은 , 캐리어 ( C ) 를 보관 한다 .