이러 한 낙 입 기구 대신 에 , 예 를 들 면 진공 흡착 에 의해 웨이퍼 를 유지 하 여 , 웨이퍼 의 수평 위치 를 위치 결정 하 는 포크 가 이용 되 는 경우 가 있 다 . 그러나 , 진공 흡착 에 의해 웨이퍼 를 유지 하 는 포크 에서 는 , 낙 입 기구 가 없 기 때문 에 , 수평 면내 에 있 어서 의 웨이퍼 의 위치 어긋남 이 발생 하 기 쉽 다고 하 는 문제 가 있 다 . 또한 , 이 와 같 은 경우 에 는 , 어떠 한 원인 에 의해 포크 또는 기판 에 이상 이 발생 하 는 경우 도 생각 된다 . 나아가 , 센서 에 이상 이 발생 하 는 경우 도 생각 된다 .