상기 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 도전 성 구조물 의 제조 방법 으로 , 먼저 기판 상 에 제 1 층간 절 연막 을 형성 한다 . 상기 제 1 층간 절 연막 상 에 제 1 층 도전 막 패턴 들 을 형성 한다 . 상기 제 1 층 도전 막 패턴 들 을 덮 으면서 , 상기 제 1 층 도전 막 패턴 들 사이 에 리세 스 를 갖 는 절 연막 구조물 을 형성 한다 .