예 10 : 예 1 내지 예 9 중 하나 에서 와 같 은 MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) 로서 , 트윈 구성 으로 결합 된 차동 MEMS 센서 디바이스 들 ( 10 , 20 ) 의 2 개 이상 의 쌍 들 이 역 평행 방식 으로 서로 결합 되 고 , 제 1 및 제 2 차동 MEMS 센서 디바이스 ( 10 , 20 ) 의 커패시턴스 비대칭 들 로부터 초래 되 는 감소 된 신호 비대칭 을 갖 는 센서 출력 신호 를 제공 하 는 , MEMS 트랜스 듀 서 ( 30 ) .