도 3 b 를 참조 하 면 , 제 1 예 비막 ( 230 a ) 을 형성 할 수 있 다 . 제 1 예 비막 ( 230 a ) 은 하부 예비 막 ( 231 a ) 및 상부 예비 막 ( 232 a ) 을 포함 할 수 있 다 . 제 1 예 비막 ( 230 a ) 은 제 1 절연 층 ( 210 ) 및 제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 을 컨 포 멀 하 게 덮 도록 형성 될 수 있 다 .