유입 포트 ( 461 ) 를 통해 노즐 암 들 ( 440 , 440 ') 의 몸체 ( 441 ) 에 공급 된 온도 조절 유체 는 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 감광액 배관 들 ( 444 a , 444 b ) 과 유기 용제 배관 ( 444 c ) 사이 의 공간 을 통해 흐르 면서 감광액 배관 들 ( 444 a , 444 b ) 내 의 감광액 과 유기 용제 배관 ( 444 c ) 내 의 유기 용제 로 열 을 전달 한다 . 이러 한 방식 으로 감광액 배관 들 ( 444 a , 444 b ) 내 의 감광액 과 유기 용제 배관 ( 444 c ) 내 의 유기 용제 가 기 설정 된 온도 로 유지 될 수 있 다 .