도 6 a 는 본원 에 기술 된 실시 예 에 따른 공급 장치 ( 105 ) 를 세척 하 기 위한 방법 및 장치 의 일 실시 예 를 개략 적 으로 도시 한다 . 이 실시 예 에서 , 사용 후 공급 장치 ( 105 ) 는 공동 ( 500 ) 주위 에 배치 된 하나 이상 의 제트 ( 502 ) 가 제공 될 수 있 는 공동 ( 500 ) 내 에 배치 될 수 있 다 . 공급 장치 ( 105 ) 는 공동 및 물 내 에 위치 될 수 있 고 및 / 또는 또 다른 세 척 용액 이 제트 ( 502 ) 를 통해 공급 장치 상 으로 주입 될 수 있 다 . 사용 된 물 및 / 또는 세 척 용액 은 드레 인 ( 504 ) 을 통해 공동 ( 500 ) 로부터 배출 될 수 있 다 . 도 6 b 는 도 6 a 의 장치 를 가지 고 또는 그 자체 에 의해 사용 될 수 있 는 본원 에 기술 된 실시 예 에 따른 공급 장치 ( 105 ) 를 세척 하 기 위한 방법 및 장치 의 다른 실시 예 를 개략 적 으로 도시 한다 . 도 6 b 에 도시 된 바 와 같이 , 공급 장치 ( 105 ) 는 공급 장치 ( 105 ) 의 상부 에 위치 된 환형 링 ( 600 ) 을 구비 할 수 있 다 . 환형 링 ( 600 ) 은 하나 이상 의 제트 를 포함 할 수 있 고 및 / 또는 튜브 ( 604 ) 에 의해 물 및 / 또는 세 척 용액 의 공급원 에 연결 되 는 환형 개구 ( 602 ) 를 형성 한다 . 활성 화 될 때 , 물 및 / 또는 세 척 용액 이 하나 이상 의 제트 들 및 / 또는 환형 개구 ( 602 ) 를 통해 유동 하 여 공급 장치 의 외부 표면 을 세척 할 수 있 다 .