도 1 및 도 3 을 참조 하 면 , 상기 가스 분배 판 ( 138 ) 은 상기 가스 주 입관 ( 132 ) 과 상기 분무 노즐 ( 110 ) 사이 에 존재 하 며 , 상기 가스 주 입관 ( 132 ) 을 통해 주입 된 상기 유동 화 가스 는 상기 가스 분배 판 ( 138 ) 의 규칙 적 인 구멍 을 통해 제 1 챔버 영역 내 로 고르 게 분산 된다 . 이때 , 상기 가스 분배 판 ( 138 ) 은 규칙 적 인 구멍 을 가진 분 배판 을 단독 으로 사용 할 수 도 있 고 , 여러 개 의 분배 판 이 적층 된 형태 의 것 을 사용 할 수 도 있 다 . 나아가 상기 분배 판 ( 138 ) 은 공급 된 가스 를 효과 적 으로 분배 할 수 있 는 구조 라면 어느 것 이 든 사용 될 수 있 으며 , 상기 분배 판 ( 138 ) 은 당업자 수준 에서 용이 하 게 설계 될 수 있 을 것 이 다 .