처리 챔버 ( 81 ) 에서 의 스테이지 ( 82 ) 의 하방 측 에 는 가 열실 ( 83 ) 이 형성 되 고 , 이 가 열실 ( 83 ) 의 내부 에 는 , 복수 의 가열 램프 ( 84 ) 가 마련 되 어 있 다 . 가열 램프 ( 84 ) 는 , 예 를 들 어 텅스텐 램프 나 할로겐 램프 등 으로 이루어지 는 램프 본체 ( 841 ) 와 , 반사경 ( 842 ) 을 구비 하 고 있 고 , 스테이지 ( 82 ) 를 향해서 소정 의 파장 의 광 을 조사 하 도록 구성 되 어 있 다 .