도 10 a 에 도시 하 는 바 와 같이 , 그레이 톤 마스크 ( 159 a ) 는 투광 성 을 갖 는 기판 ( 163 ) 및 그 위 에 형성 되 는 차 광부 ( 164 ) 및 회절 격자 ( 165 ) 로 구성 된다 . 차 광부 ( 164 ) 는 빛 투과 율 이 0 % 이 다 . 한편 , 회절 격자 ( 165 ) 는 슬릿 , 도트 , 메 쉬 등 의 광 투 과부 의 간격 을 , 노광 에 사용 되 는 빛 의 해상도 한계 이하 의 간격 으로 함 으로써 빛 의 투과율 을 제어 할 수 있 다 . 또한 , 회절 격자 ( 165 ) 는 주기 적 인 슬릿 , 도트 , 메 쉬 , 혹은 비 주기 적 인 슬릿 , 도트 , 메 쉬 중 의 어느 쪽 이 라도 사용 할 수 있 다 .