기판 지지기 ( 16 ) 또는 지지 부 ( 17 ) 와 챔버 ( 10 ) 의 측벽 의 사이 에 는 , 배 플 플레이트 ( 48 ) 가 마련 되 어 있 다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 는 , 예 를 들 면 알루미늄 제 의 부재 에 산화 이트륨 등 의 세라믹 을 피복 함 으로써 구성 될 수 있 다 . 이 배 플 플레이트 ( 48 ) 에 는 , 다수 의 관통 구멍 이 형성 되 어 있 다 . 배 플 플레이트 ( 48 ) 의 하방 에 있 어서 는 , 배기관 ( 52 ) 이 챔버 ( 10 ) 의 바닥 부 에 접속 되 어 있 다 . 이 배기관 ( 52 ) 에 는 , 배기 장치 ( 50 ) 가 접속 되 어 있 다 . 배기 장치 ( 50 ) 는 , 자동 압력 제어 밸브 와 같 은 압력 제어기 , 및 터보 분자 펌프 등 의 진공 펌프 를 갖 고 있 으며 , 내부 공간 ( 10 s ) 의 압력 을 감압 할 수 있 다 .