따라서 , 바람직 하 게 는 모든 실시 형태 들 에서 제 2 복제 도구 및 기판 을 서로 를 향해 이동 시키 는 단계 는 , 접촉 스 페이서 가 기판 에 맞대 어 져 놓이 도록 하 기 전 에 , 각각 제 2 복제 도구 를 제 1 복제 도구 와 정렬 시키 거나 또는 제 1 복제 도구 로부터 복제 된 구조 체 와 정렬 시키 는 하위 - 단계 를 포함 한다 . 제 2 복제 도구 가 어떠 한 접촉 스 페이서 도 포함 하 지 않 는 경우 에 , 예 를 들 어 제 2 복제 도구 가 복제 재료 의 얇 은 필름 에 맞대 어 져 놓여 기판 표면 의 큰 부분 을 덮 을 수 있 는 비 - 접촉 스 페이서 를 포함 하 는 경우 에 , x - y 정렬 의 하위 - 단계 는 또한 제 2 복제 도구 가 그것 의 z 위치 에 도달 한 후 종료 될 수 있 다 .