이 와 같이 구성 함 으로써 플 라즈 마 발생 장치 를 설치 틀 로부터 이탈 하 는 작업 을 실시 할 때 롤러 부재 의 소 직경 부 는 가이드 레일 상 을 회동 이동 하 므로 플 라즈 마 발생 장치 를 인출 방향 으로 이동 시키 는 것 이 용이 해 지 고 , 게다가 이동 하 는 중 에 롤러 부재 의 대직 경부 는 가이드 레일 의 폭 방향 내측 과 접촉 하 는 상태 가 유지 되 므로 , 플라 즈 마 발생 장치 를 인출 방향 으로 이동 시키 는 작업 을 안정 적 으로 실시 가능 해진다 .