히터 ( 143 ) 는 절연 부재 ( 141 ) 및 아 우터 구조 부재 ( 104 ) 양쪽 모두 와 접촉 하 여 이 들 위 에 배치 된다 . 히터 ( 143 ) 는 상부 플레이트 ( 100 A ) 에 또한 고정 된다 . 추가 로 , 복수 의 냉각 채널 들 ( 145 ) 이 상부 플레이트 ( 100 A ) 내 에 정의 된다 . 냉매 유체 는 냉각 채널 들 ( 145 ) 을 통하 여 플로우 하 여 상부 플레이트 ( 100 A ) 로부터 멀리 열 을 배출 시킨다 . 일 실시 형태 에서 , 냉매 유체 는 물 이 다 . 그러나 , 다른 실시 형태 들 은 냉매 유체 가 상부 플레이트 ( 100 A ) 의 재료 와 화학 적 으로 양립 가능 한 한 , 물 이외 의 냉매 유체 를 이용 할 수 도 있 다 . 일 실시 형태 에서 , 챔버 ( 100 ) 의 여러 부분 들 로부터 의 열전대 측정 온도 피드백 을 이용 하 여 히터 ( 143 ) 및 냉각 채널 들 ( 145 ) 을 통하 여 상부 플레이트 ( 100 A ) 의 온도 를 제어 한다 . 히터 ( 143 ) 및 냉각 채널 들 ( 145 ) 에 의해 샤워 헤드 전극 ( 101 ) 의 온도 및 그 에 따른 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 ) 의 온도 가 제어 될 수 있 다 .