포톤 수 의 불 균일 을 줄이 기 위해서 , 레지스 트 막 의 흡수성 을 높여 레지스 트 막 내 에 흡수 되 는 포톤 의 수 를 증가 시키 는 시도 가 있 었 다 . 예컨대 할로겐 중 에서 요오드 는 파장 13 . 5 nm 의 EUV 에 높 은 흡수 를 갖 는다 . 특허 문헌 1 내지 3 은 EUV 레지스 트 재료 로서 요오드화 수지 를 이용 하 는 것 을 제안 하 고 있 다 . 이러 한 요오드화 폴리머 를 이용 하 는 경우 , EUV 흡수 증가 로 인해 레지스 트 막 중 에 흡수 되 는 포톤 의 수 가 증가 한다 . 그래서 산 의 발생량 이 증가 하 여 , 감도 가 상승 하 고 , LWR 및 CDU 가 개선 되 는 것 이 기대 된다 . 그러나 , 실제로 요오드화 폴리머 는 현상액 또는 알칼리 수용액 에 의 용해 성 이 매우 낮 기 때문 에 , 용해 콘트 라스트 가 저하 하 여 LWR 및 CDU 가 열화 된다 . 빛 의 흡수 및 용해 콘트 라스트 가 만족 스러운 레지스 트 재료 가 요구 되 고 있 다 .