도 2 를 참조 하 면 , 상기 노치 타입 ( b ) 웨이퍼 ( W ) 가 로딩 되 는 정전 척 ( 10 ) 의 상 부 에 는 플 라즈 마가 존재 하 는 가혹 한 조건 의 반응 챔버 내 에서 플 라즈 마의 확산 을 방지 하 고 웨이퍼 ( W ) 주변 에 플 라즈 마가 한정 되 어 형성 될 수 있 도록 에 지링 ( Edge ring ) ( 20 ) 이 구성 된다 .