기판 의 종류 는 , 용도 에 따라 적절히 정할 수 있 지만 , 실리콘 , 질화 실리콘 , 폴리 실리콘 , 산화 실리콘 , 어모퍼스 실리콘 등 의 반도체 제작 기판 , 석영 , 유리 , 광학 필름 , 세라믹 재료 , 증착 막 , 자 성막 , 반사막 , Ni , Cu , Cr , Fe 등 의 금속 기판 , 종이 , SOG ( Spin On Glass ) , TFT ( 박막 트랜지스터 ) 어레이 기판 , 플라 즈 마 디스플레이 패널 ( PDP ) 의 전 극판 등 특별히 제약 되 지 않 는다 . 본 발명 에서 는 , 특히 반도체 제작 기판 이 바람직 하 고 , 실리콘 기판 이 보다 바람직 하 다 .