상기 한 화상 받아들이 기에 있 어서 는 , 우선 , 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 가 도 3 에 있 어서 제 1 촬상부 ( 43 a ) 의 경통 부 ( 43 d ) 바로 아래 의 미리 설정 된 위치 ( XY 좌표 ) 로 이동 하 도록 스테이지 구 동부 ( 42 c ) 를 제어 한다 . 그리고 , 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 가 경통 부 ( 43 d ) 의 바로 아래 에 위치 부여 되 면 , 제 1 촬상부 ( 43 a ) 에 의해서 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 를 촬상 한다 . 화상 처 리부 ( 43 b ) 는 , 제 1 촬상부 ( 43 a ) 의 촬상 화상 에 기초 하 여 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 위치 에 관한 데이터 ( 이하 「 위치 데이터 」 라고 부른다 . ) 를 검출 한다 . 여기 서 는 , 위치 데이터 는 XY 좌표 이 다 . 제 1 촬상부 ( 43 a ) 의 위치 에 어긋남 이 생기 지 않 으면 , 이 위치 데이터 는 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 이동 위치 의 좌표 와 일치 한다 . 또한 , 화상 처 리부 ( 43 b ) 는 , 얼라인먼트 마크 ( PM ) 의 위치 데이터 를 검출 하 는 것 이 지만 , 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 위치 데이터 를 검출 하 는 기능 도 구비 한다 . 이 와 같이 하 여 검출 한 타 겟 마크 ( 42 j 4 ) 의 위치 데이터 는 제어 장치 ( 110 ) 에 송신 된다 .