실시 예 15 . 실시 예 14 에 있 어서 , 상기 배리 어 층 은 제 1 폭 에 걸쳐 있 는 하부 표면 을 포함 하 고 , 상기 하부 금속 특징 부 는 상기 제 1 폭 과 는 실질 적 으로 동일 한 제 2 폭 에 걸쳐 있 는 상부 표면 을 포함 하 며 , 상기 배리 어 층 의 하부 표면 은 상기 하부 금속 특징 부 의 상부 표면 과 완전히 정렬 되 는 것 인 , 반도체 디바이스 구조물 .