[ 17 ] 기재 상 에 상기 [ 1 ] ∼ [ 11 ] 중 어느 하나 에 기재 된 감광성 수지 조성물 을 도포 하 여 도포 막 을 얻 는 단계 , 그 도포 막 에 활성 광선 을 조사 하 여 노광 부를 광 경화 시키 는 단계 , 현상액 을 사용 하 여 그 막 의 미경 화 된 부분 을 제거 하 는 단계 , 및 그 기재 마다 가열 하 는 단계 를 포함 하 는 경화 릴리프 패턴 의 형성 방법 .