이어서 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 스텝 S 03 , S 04 를 이 순 으로 실행 한다 . 스텝 S 03 에서 는 , 예 를 들 어 벤트 준비 부 ( 113 ) 가 , 송액 부 ( 60 ) 로부터 보충 부 ( 50 ) 로 처리 액 을 되돌리 는 벤트 의 준비 로서 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 처리 액 공급 부 ( 29 ) 를 제어 한다 . 스텝 S 04 에서 는 , 예 를 들 어 벤트 제 어부 ( 114 ) 가 , 보충 부 ( 50 ) 내 와 송액 부 ( 60 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 상태 에서 , 송액 부 ( 60 ) 로부터 보충 부 ( 50 ) 로 처리 액 을 되돌리 도록 ( 벤트 를 실행 시키 도록 ) 처리 액 공급 부 ( 29 ) 를 제어 한다 . 벤트 준비 처리 및 벤트 처리 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 .