본 발명 에서 의 절연 막 은 도체 사이 를 절연 할 목적 으로 사용 되 는 막 을 의미 하 고 , 구체 적 으로 「 절 연막 」 으로 지칭 되 는지 의 여부 를 묻 지 않 는다 . 구체 적 으로 는 반도체 장치 의 층간 절 연막 이나 배선 분리 절 연막 이나 이 들 막 의 보호막 ( 예컨대 CMP 의 종점 을 결정 하 기 위한 스토퍼 막 ) 을 들 수 있 다 . 막 두께 에 대해서 도 특별히 제한 은 없 고 , 사용 되 는 장소 에 대해서 도 특별히 제한 은 없 다 .