당해 전기 검사 장치 는 , 구동 기구 ( 2 ) 에 의해 전기 검사 헤드 ( 11 ) 의 3 차원 에서 의 위치 결정 이 가능 하 고 , 또한 전술 한 구 동원 에 의해 전기 검사 헤드 ( 11 ) 를 축 ( A ) 의 주위 로 회전 가능 하 게 구성 되 어 있 다 . 전기 검사 헤드 ( 11 ) 의 축 ( A ) 의 주위 의 회전 각도 로서 는 , 특별히 한정 되 지 않 지만 360 ° 초과 가 바람직 하 다 . 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 와 전환 유닛 ( 12 ) 이 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 방향 으로 직결 되 므로 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 회전 시키 기 위한 간섭 회피 용 의 공간 을 작 게 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 의 축 ( A ) 의 주위 의 회전 각도 를 크 게 하 기 쉽 다 .