또한 , 좁 은 전해조 내부 에서 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 가 생성 됨 에 따라 음극 ( anode ) 에서 발생 한 삼 불화 질소 ( NF 3 ) 가스 는 양극 ( cathode ) 에서 발생 한 수소 ( H 2 ) 가스 와 혼합 되 어 폭발 의 가능 성 이 커지 게 되 므로 , 챔버 간 생성 가스 의 혼합 방지 및 안전 성 을 향상 시키 기 위해 불소 수지 로 코팅 한 분 리판 을 설치 한다 .