도 2 a 를 참조 하 면 , 코팅 장비 는 코팅 공정 을 수행 하 기 에 앞서 고농도 화 된 포토 레지스 트 ( 500 ) 를 제거 하 기 위하 여 노즐 부 ( 100 ) 에서 프라이밍 롤러 부 ( 200 ) 로 포토 레지스 트 ( 500 ) 를 방출 한다 . 고농도 화 된 포토 레지스 트 ( 500 ) 의 제거 공정 은 각각 의 기판 ( 300 ) 을 코팅 하 기 전 마다 매번 해 주 는 것 이 바람직 하 다 . 그러나 한 기판 을 코팅 하 고 난 후 다음 기판 ( 300 ) 을 코팅 하 기 전 까지 의 대기 시간 이 짧 다면 , 일정량 의 기판 ( 300 ) 을 코팅 하 고 난 후 주기 적 으로 고농도 화 된 포토 레지스 트 ( 500 ) 를 제거 해 줄 수 있 다 .