포커스 링 ( 1250 ) 은 플 라즈 마 를 기판 ( W ) 으로 집중 시킨다 . 포커스 링 ( 1250 ) 은 플 라즈 마 를 기판 ( W ) 으로 집중 시킨다 . 포커스 링 ( 1250 ) 은 링 형상 으로 제공 되 며 , 유전 판 ( 1210 ) 의 둘레 를 따라 배치 된다 . 포커스 링 ( 1250 ) 의 상면 은 유전 판 ( 1210 ) 에 인접 한 내측 부가 외측 부 보다 낮 도록 단차 져서 제공 될 수 있 다 . 포커스 링 ( 1250 ) 의 상면 내측 부 는 유전 판 ( 1210 ) 의 상면 중앙 영역 과 동일 높이 에 위치 할 수 있 다 . 포커스 링 ( 1250 ) 의 상면 내측 부 는 유전 판 ( 1210 ) 의 외측 에 위치 하 는 기판 ( W ) 의 가장자리 영역 을 지지 한다 . 포커스 링 ( 1250 ) 은 플라스마 가 형성 되 는 영역 의 중심 에 기판 이 위치 하 도록 전기장 형성 영역 을 확장 시킨다 .