액정 패널 의 조립 제조 공정 에 있 어서 는 , 액정 표시 장치 용 패널 로 사용 하 는 2 장 의 유리 기판 사이 에 , 구 형상 의 분말 ( 스 페이서 ) 을 균일 하 게 산포 하 여 , 2 장 의 유리 기판 의 간극 을 균일 하 게 유지 하 는 방법 이 이용 되 고 있 다 . 스 페이서 가 유리 기판 상 에 응집 한 상태 로 산포 된 경우 , 2 장 의 유리 기판 의 간극 이 불 균일 하 게 되 기 때문 에 , 산포 된 스 페이서 를 제거 하 고 , 스 페이서 를 다시 산포 할 필요 가 있 다 . 그래서 , 유리 기판 상 에 산포 된 스 페이서 를 제거 하 는 장치 로서 , 초음파 발생기 를 구비 한 제 1 및 제 2 분출 노즐 과 , 이 들 사이 에 배치 된 1 개 의 흡인 노즐 을 구비 하 며 , 제 1 및 제 2 분출 노즐 로부터 유리 기판 의 표면 에 초음파 공기 를 분출 시켜서 중앙 의 흡인 노즐 에서 스 페이서 를 흡인 하 는 제진 ( 除塵 ) 장치 가 제안 되 어 있 다 ( 예컨대 , 일본 등록 실용 신안 제 3009694 호 , 일본 특허 출원 공개 제 1995 - 60211 호 공보 참조 ) .