그러나 , F 2 가스 에 HF 가스 를 첨가 한 혼합 가스 를 드라이클리닝 직후 의 성막 실 ( 101 ) 내 에 공급 하 면 [ 즉 , HF 가스 를 성막 실 ( 101 ) 내 에 직접 공급 하 면 ] , 공급 된 HF 가스 에 의해 성막 실 ( 101 ) 내 의 금속 부재 가 부식 되 어 금속 오염 이 생기 거나 , 성막 실 ( 101 ) 내 의 석영 부재 의 저 온부 에 있 어서 HF 의 다층 흡착 에 의한 석영 침식 이 현저 하 게 되 고 석영 부재 가 파손 되 는 경우 가 있 다 . 또한 , F 2 가스 에 H 2 가스 를 첨가 한 혼합 가스 를 성막 실 ( 101 ) 내 에 공급 하 면 , 성막 실 ( 101 ) 내 에서 F 2 가스 와 H 2 가스 와 의 반응 에 의해 HF 가스 가 생성 되 어 상술 한 금속 오염 이나 석영 부재 의 파손 등 이 생길 수 있 고 , 기타 , 조건 에 따라서 는 성막 실 ( 101 ) 내 에서 폭발 이 생기 는 위험 성 도 있 다 .