또한 고체 레이저 에서 는 YAG - SHG 고체 레이저 의 532 nm 가 바람직 한 것 으로서 들 수 있 다 . 또한 반도체 여기 고체 레이저 에서 는 532 · 355 · 266 nm 를 들 수 있 다 . 그 들 중 에서 도 종래 의 레지스 트 용 광중합 개시제 가 감도 를 갖 는다는 점 에서 는 355 nm 가 바람직 하 게 선택 된다 . 기체 레이저 에서 는 KrF 레이저 의 249 nm , ArF 레이저 의 193 nm 가 바람직 하 게 사용 된다 .