하나 의 예시 적 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 처리 장치 가 제공 된다 . 플 라즈 마 처리 장치 는 , 챔버 , 마이크로파 발생기 , 안테나 , 및 동축 도파 로 를 구비 한다 . 안테나 는 , 챔버 내 에 마이크로파 를 방사 하 도록 구성 되 어 있 다 . 동축 도파 로 는 , 마이크로파 발생기 로부터 출력 되 는 마이크로파 를 마이크로파 발생기 와 안테나 의 사이 에서 전파 하 도록 구성 되 어 있 다 . 동축 도파 로 를 구성 하 는 하나 이상 의 동축 관 각각 의 내 도체 의 외주 면 의 직경 d 및 외 도체 의 내 주면 의 직경 D 는 , 이하 의 식 ( 1 ) , 식 ( 2 ) , 및 식 ( 3 ) 을 충족 시킨다 .