여기 서 , 가스 공급계 ( 200 ) 의 구체 적 구성 예 에 대하 여 설명 한다 . 여기 서 의 가스 공급계 ( 200 ) 는 , 처리 실 ( 102 ) 내 에 4 종 의 처리 가스 ( C 4 F 8 가스 , C 4 F 6 가스 , O 2 가스 , Ar 가스 ) 를 선택 적 으로 공급 할 수 있 도록 구성 한 경우 이 다 . 이 들 가스 중 , C 4 F 8 가스 , C 4 F 6 가스 는 , 모두 에칭 가스 로서 번갈 아 공급 되 고 , O 2 가스 , Ar 가스 는 필요 에 따라 이 들 가스 와 함께 공급 된다 .