한편 , 마스크 분리 위치 ( P 7 ) 에 있 어서 마스크 ( M ) 를 분리 한 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 반 전실 ( 113 ) 에 있 어서 진행 방향 으로 180 도 회전 된다 . 이 에 의해 정전 척 ( 308 ) 의 유리 기판 보유 지지 면 이 상면 측 을 향한 상태 가 된다 . 그리고 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 리턴 반송 로 ( 100 b ) 의 종점 인 캐리어 복귀 위치 ( P 8 ) 에 있 는 방향 전환 기구 ( 114 ) 에 의해 , 시계 방향 으로 90 도 회전 된다 . 계속 해서 , 캐리어 시프 터 ( 100 f ) 로 넘겨 주 고 , 증착 처리 공정 반송 로 ( 100 a ) 의 시점 인 , 유리 기판 반입 위치 ( P 1 ) 에 있 는 기판 반 입실 ( 101 ) 로 반송 된다 . 방향 전환 기구 ( 114 ) 는 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 넘겨 준 후 에 반시 계 방향 으로 90 도 회전 하 여 원래 의 상태 로 돌아간다 . 한편 , 기판 반 입실 ( 101 ) 내 에 반입 된 반송 캐리어 ( 302 ) 는 , 추가 로 반시 계 방향 으로 90 도 회전 되 어 , 외부 로부터 반입 되 는 다음 유리 기판 ( G ) 을 보유 지지 가능 한 초기 위치 로 복귀 한다 .