특정 계측 모델 을 적용 함 으로써 도출 된 , 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 에 대한 확률 노이즈 의 영향 을 결정 하 는 단계 를 포함 하 는 방법 을 제공 한다 : 랜덤 합성 노이즈 의 복수 의 노이즈 실현 을 생성 하 는 단계 ; 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 에 대한 생 성 된 노이즈 실현 및 수정 된 데이터 세트 를 생성 하 고 , 적어도 하나 의 계측 메트 릭 을 사용 하 여 , 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 및 수정 된 데이터 세트 에 대한 메트 릭 값 을 비교 하 고 , 여기 서 비교 는 추정 된 노이즈 를 제공 한다 . 주어진 오버레이 계측 데이터 세트 에 대한 영향 을 가지 며 , 생 성 , 추가 및 비교 중 적어도 하나 는 적어도 하나 의 컴퓨터 프로세서 에 의해 수행 된다 .