그 결과 , 전 웨이퍼 의 평균치 로 8 . 22 μ m 와 실시 예 1 보다 는 나쁜 결과 였 지만 , 종래 의 와이어 쏘 로 절단 한 웨이퍼 의 Warp 에 비해 개선 되 어 있 었 다 . 실시 예 1 에 비해 Warp 의 개선 이 적 은 것 은 , 절단 중 에 공급 하 는 슬러리 의 공급 온도 의 상승 폭 을 15 ℃ 를 넘 도록 했 기 때문 에 , 워크 이외 의 와이어 쏘 기 구부 의 온도 가 상승 하 여 , 와이어 쏘 의 워크 보관 유지 정도 나 워크 이송 정도 의 저하 가 발생 하 는 것 에 의한 Warp 로 의 악영향 이 발생 했 기 때문 이 라고 생각 할 수 있 다 .