본 발명 의 일 실시 에 에 따른 흡착 형 플 라즈 마 반 응부 ( 200 ) 는 플 라즈 마 중합 을 이용 한 파우더 ( P ) 미세 분말 의 박막 코팅 시 액상 모 노모 를 주입 시킬 수 있 는 버 블러 ( 미 도시 ) 를 장착 하 고 , 다양 한 반응 성 가스 ( O 2 , N 2 , NH 3 , CF 4 , 다양 한 전구체 등 ) 를 주입 하 여 표면 의 작용기 나 박막 의 물 성 을 제어 할 수 있 으므로 , 파우더 ( P ) 의 표면 에 대한 플 라즈 마 ( PL ) - CVD 를 자유 롭 게 수행 할 수 도 있 다 .