즉 , 상기 ( 2 ) 또는 ( 3 ) 의 경우 , ( A ) 성분 은 , 「 노광 에 의해 산 을 발생 하 고 , 또한 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 기재 성분 」 이 된다 . ( A ) 성분 이 노광 에 의해 산 을 발생 하 고 , 또한 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 기재 성분 인 경우 , 후술 하 는 ( A 1 ) 성분 이 , 노광 에 의해 산 을 발생 하 고 , 또한 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 고분자 화합물 인 것 이 바람직 하 다 . 이 와 같 은 고분자 화합물 로 는 , 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 구성 단위 를 갖 는 수지 를 사용 할 수 있 다 . 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 구성 단위 를 유도 하 는 모노머 에 는 , 공지 된 것 을 사용 할 수 있 다 . 본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 은 , 상기 ( 1 ) 의 경우 인 것 이 특히 바람직 하 다 .