제 1 기체 주 입부 ( 121 ) 는 팬 ( fan ) 이나 펌프 ( pump ) 등 을 포함 할 수 있 으며 , 챔버 유닛 ( 110 ) 의 일 측면 에 부착 되 어 챔버 유닛 ( 110 ) 외부 의 기체 를 수용 공간 ( 112 ) 내부 로 강제 로 주입 하 고 , 주입 된 기체 는 수평 으로 갠트리 장치 ( 20 ) 주변 을 지나 , 제 1 기류 유도 유닛 ( 120 ) 에 대향 하 도록 챔버 유닛 ( 110 ) 에 마련 되 어 있 는 배기구 ( 113 ) 를 통하 여 배출 된다 .