증착 사이클 ( 306 ) 중 에 , 제 2 반응물 은 반응 챔버 에 도입 될 수 있 다 . 제 2 반응물 의 유량 과 제 2 반응물 에 대한 펄스 시간 은 , 도 1 및 도 2 와 연관 하 여 전술 한 단계 ( 106 및 218 ) 중 의 제 2 반응물 의 유량 과 동일 하 거나 유사 할 수 있 다 . 그 다음 , 예시 된 바 와 같이 , 제 1 반응물 , 퍼지 가스 , 및 선택 적 으로 제 3 반응물 을 계속 해서 흐르 게 함 으로써 , 제 2 반응물 은 단계 ( 316 ) 중 에 퍼지 될 수 있 다 . 제 3 반응물 을 추가 단계 ( 예 , 단계 ( 318 ) 이외 에 단계 ( 312 내지 316 및 320 ) ) 를 위해 흐르 게 하 는 경우 , 제 3 반응물 은 단계 ( 318 ) 에서 어느 시간 동안 활성 화 될 수 있 어서 , 화학 흡착 된 재료 와 반응 하 여 증착 된 재료 를 형성 하 는 제 3 반응물 로부터 형성 된 제 2 활성 종이 ( 예 를 들 어 , 오직 ) 단계 ( 318 ) 중 에 형성 되 도록 한다 . 대안 적 으로 , 제 3 반응물 은 단계 ( 318 ) 중 에 만 흐를 수 있 다 . 제 3 반응물 의 활성 화 를 위한 예시 적 인 전력 수준 및 시간 은 아래 표 2 에 제공 된다 .