도 20 에 도시 하 는 바 와 같이 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 풋 프린트 가 저감 할 뿐 만 아니 라 , 제 1 및 제 2 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 주위 의 어두운 부분 에 빈 영역 이 존재 한다 . 이 빈 영역 을 이용 함 으로써 , 제 1 및 제 2 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 주위 에 점검 스페이스 를 확보 할 수 있 다 . 또한 , 이 빈 영역 을 이용 함 으로써 , 제 1 및 제 2 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 형상 을 , 도 21 ( a ) 에 나타내 는 형상 으로부터 도 21 ( b ) 에 나타내 는 형상 으로 설계 변경 할 수 있 어 , 제 1 및 제 2 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 , 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 설계 의 자유도 를 올릴 수 있 다 .