트리 메틸 보레 이트 타입 의 클러스터 분자 가 실리콘 기판 에 주입 되 는 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 클러스터 분자 의 주입 에너지 는 대략 1 내지 100 keV 의 값 을 갖 도록 선택 될 수 있 다 . 이러 한 클러스터 주입 은 대략 0 . 115 keV 내지 11 . 5 keV 의 등가 의 탄소 주입 에너지 와 , 대략 0 . 106 keV 내지 10 . 6 keV 의 등가 의 붕소 주입 에너지 를 초래 할 것 이 며 , 주입 된 탄소 원자 의 선량 은 주입 된 붕소 원자 의 선량 의 3 배 보다 클 것 이 다 .