위치 데이터 추출 수단 ( 24 ) 은 구동 부 ( 4 ) 의 위치 추정 을 행하 는 시각 tk 의 근방 시각 의 위치 데이터 를 추출 한다 . 추출 하 는 위치 데이터 수 는 보 간 하 는 다항식 의 차수 n 에 대응 하 여 , 적어도 , 다항식 의 차수 n 에 대해서 , 위치 데이터 의 개수 는 ( n ＋ 1 ) 필요 하 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 ( 9 ) 의 노치 ( 91 ) 의 위치 를 추정 하 므로 , 구동 부 ( 4 ) 는 얼라 이너 ( 7 ) 의 턴테이블 ( 71 ) 을 회전 하 는 제 2 모터 ( 43 ) 및 제 2 인코더 ( 44 ) 로 되 어 있 다 .