본 발명 의 다른 목적 을 달성 하 기 위한 반도체 제조 장치 용 부재 는 산화 이트륨 , 산화 알루미늄 , 산화 티타늄 및 질화 알루미늄 을 포함 하 며 상기 산화 알루미늄 에 대한 상기 산화 이트륨 의 중량 비 가 0 . 01 내지 0 . 7 인 질화 알루미늄 소 결체 로 이루어진 플레이트 ( plate ) , 상기 플레이트 에 매설 된 도전 성 부재 및 상기 도전 성 부재 에 연결 된 전력 공급 부 를 포함 한다 .