이때 , 상기 지지 로드 ( 150 ) 의 내부 에 는 소재 평판 ( 200 ) 의 진공 흡착 을 위한 에어 흡입관 ( 162 ) 을 내재 하 게 되 며 , 상기 픽업 헤드 ( 130 ) 는 진공 흡착 패드 ( 120 ) 가 핀 ( 140 ) 으로 연결 되 어 , 상기 수직 이 송 로드 ( 152 ) 의 왕복 운동 에 따라 진공 흡착 패드 ( 120 ) 가 수직 으로 이동 할 수 있 는 것 이 다 .