또한 , 참고 예 에서 텅스텐 막 ( 408 ) 을 성막 할 때 , 텅스텐 막 ( 408 ) 을 성막 하 기 위한 원료 가스 ( WCl 6 ) 에 의해 하 지 막 ( 407 ) 이 모두 에칭 되 면 , 텅스텐 막 ( 408 ) 을 성막 할 수 없 다 . 이 에 반하 여 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 하 지 막 ( 407 ) 을 사용 하 지 않 아도 텅스텐 막 ( 406 ) 을 성막 할 수 있 다 .