구체 적 으로 , 상기 연결 구조 의 방법 은 , 바닥 부 가 상기 제 1 전극 ( 120 ) 의 가장자리 를 노출 시키 는 제 1 전도성 플러그 ( 172 ) 를 형성 하 는 단계 ; 바닥 부 가 상기 제 2 전극 ( 140 ) 의 가장자리 를 노출 시키 는 제 2 전도성 플러그 ( 171 ) 를 형성 하 는 단계 ; 바닥 부가 상기 연결 단 ( 165 ) 을 노출 시키 는 제 3 전도성 플러그 ( 173 ) 를 형성 하 는 단계 를 포함 한다 .