전극 내 의 코발트 또는 철 함유량 은 각각 0 . 5 질량 % 보다 많 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 코발트 또는 철 함유량 각각 이 0 . 5 질량 % 보다 많 지 않 으면 , 이 들 성분 들 은 니켈 의 결정 입자 들 을 정련 하 는 이트륨 의 동작 을 방해 하 지 않 으므로 , 그 결과 전극 내 의 니켈 의 결정 입자 들 이 미세 하 게 형성 되 어 , 전극 의 스퍼터링 내성 을 더욱 향상 시킨다 .