이 를 위한 가열 부재 ( 120 ) 는 일례 로 기판 ( S ) 의 형상 에 대응 되 는 평판 형상 일 수 있 다 . 기판 ( S ) 이 원형 의 웨이퍼 인 경우 , 가열 부재 ( 120 ) 도 웨이퍼 와 유사 한 크기 의 원판 형상 일 수 있 다 . 이 와 다르 게 , 기판 ( S ) 이 사각형 의 유리 기판 인 경우 , 가열 부재 ( 120 ) 도 유리 기판 과 유사 한 형상 일 수 있 다 .