바람직 하 게 , " "" 부동태화 가스 "" 란 용어 는 N 2 ", CO 2 , CO , CHF 2 Cl , 02 또는 CO 를 제외 한 무기 또는 유기 화합물 을 가리키 며 ; 적합 한 부동태화 가스 는 , 열 적 조건 ( 200 ℃ 이상 ) 또는 플 라즈 마 조건 하 에서 실리콘 과 반응 하 여 저 휘발 성 의 실리콘 화합물 을 형성 하 는 화합물 이 거나 , 또는 부동태 층 을 형성 함 으로써 식각 에 맞서 구 조체 를 보호 하 는 화합물 이 다 . 특히 바람직 하 게 , " "" 부동태화 가스 "" 란 용어 는 1 개 이상 의 불소 원자로 치환 되 는 1 내지 6 개 의 탄소 원자 들 을 갖 는 사이 클릭 ", 선형 또는 분지 형 구조 의 포화 지방족 화합물 중 에서 , 또는 하나 이상 의 불소 원자로 치환 되 는 2 내지 6 개 의 탄소 원자 들 을 갖 는 사이 클릭 , 선형 또는 분지 형 구조 의 불포화 지방족 화합물 중 에서 선택 되 는 유기 화합물 1 종 이상 을 가리킨다 . 이 들 화합물 은 탄소 및 불소 , 그리고 선택 적 으로 수소 로 구성 된다 . 바람직 하 게 , 포화 또는 불포화 화합물 각각 의 수소 원자 들 의 50 % 이상 이 불소 원자 들 로 치환 된다 . 1 내지 5 개 의 탄소 원자 들 을 갖 는 포화 수소 불화 탄소 및 포화 불화 탄소 ; 그리고 2 내지 5 개 의 탄소 원자 들 을 갖 는 불포화 수소 불화 탄소 및 불화 탄소 가 바람직 하 다 . 부동태화 가스 로서 함유 되 는 매우 바람직 한 화합물 로 는 , c - C 4 F 6 , c - C 5 F 8 , CH 2 F 2 , CHF 3 , CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , C 2 F 4 , C 4 F 6 및 C 4 F 8 가 있 다 . C 4 F 6 가 부동태화 가스 로서 특히 바람직 하 다 . 또한 화합물 c - C 6 F 6 및 CF 3 I 도 적합 하 다 . 카보닐 플 루오 라이드 와 부동태화 가스 의 혼합물 은 질소 , 산소 및 / 또는 희가스 를 더 함유 할 수 있 다 . 부동태화 가스 가 과불 화 탄소 화합물 인 조건 에서 는 , 심지어 불소 원자 도 함유 될 수 있 다 .