본 발명 의 제 1 측면 에서 의 마이크 로 요동 소자 는 추가 프레임 과 , 프레임 및 추가 프레임 을 연결 하 고 , 또한 프레임 의 요동 동작 의 , 축심 과 교차 하 는 방향 으로 연장 되 는 추가 축심 을 규정 하 는 추가 연결부 와 , 프레임 의 요동 동작 의 구동력 을 발생 시키 기 위한 구동 기구 를 더 구비 하 여도 된다 . 본 마이크 로 요동 소자 는 , 이 와 같 은 구성 을 구비 하 는 소위 2 축 형 가동 소자 이 어도 된다 .