상기 노광 종료 에 앞서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 주변 노광 유닛 ( 51 ) 을 사용 하 여 웨이퍼 ( W 2 ) 에 대한 주변 스캔 노광 을 개시 한다 ( 도 69 참조 ) . 이 주변 노광 이 개시 되 는 시점 에서 는 , 도 69 에서 알 수 있 는 바 와 같이 , 2 D 헤드 ( 1662 , 1661 ) 가 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 에 대향 하 고 있 기 때문 에 , 이후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 2 D 헤드 ( 1662 , 1661 ) , 즉 , 인코더 ( 170 E , 170 F ) 의 계측 값 에 기초 한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 XY 평면 내 의 위치 정보 의 계측 도 개시 한다 .