소자 표면 전극 ( element surface electrode ; 제 2 전극 패드 ( 27 ) ) 은 층간 절 연막 ( 13 ) 을 개재 하 여 내부 전극 ( 26 ) 상 에 형성 된다 . 내부 전극 ( 26 ) 과 소자 표면 전극 ( 27 ) 사이 의 층간 절 연막 ( 13 ) 내 에 는 , 이러 한 내부 전극 과 소자 표면 전극 을 전기 적 으로 연결 하 기 위한 컨 택트 플러그 ( 28 ) 가 형성 된다 . 소자 표면 전극 ( 27 ) 은 컨 택트 플러그 ( 28 ) 와 내부 전극 ( 26 ) 을 통해 전압 을 인가 하 거나 신호 를 판독 하 는 데 사용 된다 . 특히 다 이 선별 테스트 를 수행 하 는 경우 , 니 들 은 소자 표면 전극 ( 27 ) 과 접촉 하 게 된다 .