본 발명 의 레지스 트 조성물 은 수지 ( A ) , 특히 수지 ( AA ) 및 산 발생 제 ( B ) 를 혼합 하 거나 , 또는 수지 ( A ) , 특히 수지 ( AA ) , 산 발생 제 ( B 1 ) , 및 또한 염기 성 화합물 ( C ) , 용매 ( D ) 및 기타 성분 ( F ) 를 필요 에 따라 혼합 하 여 제조 할 수 있 다 . 혼 합의 순서 에 는 특별히 제한 이 있 는 것 은 아니 다 . 혼합 은 임의 의 순서 로 행할 수 있 다 . 혼합 온도 는 화합물 ( a ) 로부터 유도 되 는 구조 단위 를 갖 는 수지 의 종류 및 화합물 ( a ) 로부터 유도 되 는 구조 단위 를 갖 는 수지 의 용매 ( D ) 에 대한 용해도 에 따라 10 내지 40 ℃ 의 범위 내 에서 적절 한 온도 로 조정 할 수 있 다 . 혼합 시간 은 혼합 온도 에 따라서 0 . 5 내지 24 시간 의 범위 내 에서 적절 한 시간 으로 조정 할 수 있 다 . 혼합 도구 에 특별 한 제한 은 없 다 . 교반 혼합 을 이용 할 수 있 다 .