여기 서 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 밀착 부 ( 130 ) 의 최 하단 에 돌출 된 접촉 링 ( 131 ) 의 하단 ( 131 s ) 에 부분 적 으로 또는 전체 적 으로 접촉 하 거나 근접 하 게 되 면 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 에 의하 여 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 와 제 1 통로 ( 129 ) 의 공 압 이 소통 하 는 것 을 방해 받 게 된다 . 이 에 따라 , 압력 조 절부 ( 150 ) 로부터 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 어 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 압력 을 설정 부압 ( Po ) 으로 낮추 지만 제 1 통로 ( 129 ) 내 의 압력 은 낮추 지 못하 거나 느리 게 낮 아 지 는 상태 가 된다 .