도 5 b 는 도 5 a 의 조명 시스템 의 상 부도 를 도시 한다 . 조명 시스템 이 하나 의 측 부 로부터 만 제공 되 는 경우 , 기판 ( 13 ) 의 일부분 가 직접 조사 될 수 있 다 . 기판 을 화살표 ( 95 ) 에 의해 도시 된 방향 으로 회전 시키 는 회전 장치 를 장치 에 제공 함 으로써 , 기판 ( 13 ) 이 균일 하 게 조사 되 는 것 이 보장 될 수 있 다 .