본 발명 에 따른 증착 장치 및 이 를 이용 한 증착 방법 은 증착 챔버 의 일 측 및 타 측 에 각각 내부 압력 이 조절 되 는 공급 챔버 및 배출 챔버 를 설치 하 고 , 원료 물질 이 저장 되 는 저장 용기 를 공급 챔버 , 증착 챔버 및 배출 챔버 를 따라 이동 시켜 진공 상태 에서 저장 용기 를 용이 하 게 교체 할 수 있 는 기술 적 특징 을 제시 한다 .