제 2 공정 챔버 ( 220 ) 는 에칭 공정 이 이루어지 는 내부 공간 을 제공 하 며 , 공정 진행시 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 공간 은 외부 로부터 차단 된다 . 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 일 측 에 는 웨이퍼 ( W ) 가 출입 하 는 통로 ( 222 ) 가 형성 된다 . 통로 ( 222 ) 는 슬릿 도어 ( slit door ) ( 도시 안 됨 ) 와 같 은 개폐 부재 에 의해 개폐 된다 . 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 타 측 에 는 제 2 공급 홀 ( 226 ) 이 형성 된다 . 후술 하 는 제 2 공급 라인 ( 280 ) 을 통해 공급 되 는 가스 는 제 2 공급 홀 ( 226 ) 을 통해 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 내부 로 유입 된다 . 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 의 바닥 벽 에 는 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 내 가스 를 배출 하 는 제 2 배기 홀 ( 224 ) 이 형성 된다 . 제 2 배기 홀 ( 224 ) 은 후술 하 는 제 2 플레이트 ( 240 ) 의 둘레 에 형성 되 며 , 제 2 배기 홀 ( 224 ) 에 는 후술 하 는 제 2 배기 라인 ( 260 ) 이 형성 된다 .