도 6 b 에 나타내 는 공정 에서 는 제 2 절연 층 ( 206 ) 에 , 홈 부 ( 207 a ) 및 홀 부 ( 207 b ) ( 해당 홀 부 ( 207 b ) 는 상기 절연 층 ( 205 ) 도 관통 ) 로 이루어지 는 개구부 를 , 예컨대 불소 를 구성 원소 로서 포함 하 는 플루오르 카본 계 의 에칭 가스 를 이용한 플라 즈 마 에칭 법 등 에 의해 형성 한다 ( 에칭 ( 개구부 형성 ) 공정 ) .