일부 실시 예 에서 는 하나 이상 의 웨이퍼 가 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 에 의해 수납 될 수 있 으며 , 그 S - D 이송 서브시스템 ( 101 , 102 ) 은 처리 시스템 ( 100 ) 내 의 하나 이상 의 서브시스템 ( 110 , 115 , 120 , 125 , 130 , 135 , 140 , 145 , 150 및 155 ) 에 연결 될 수 있 다 . 각각 의 웨이퍼 위 에 는 하나 이상 의 층 이 있 을 수 있 고 , 각 웨이퍼 는 그 와 연관 된 웨이퍼 데이터 를 가질 수 있 으며 , 웨이퍼 데이터 는 이력 데이터 및 / 또는 실시간 데이터 를 포함 할 수 있 다 . S - D 이송 서브시스템 은 웨이퍼 를 재 공정 서브시스템 및 / 또는 보관 위치 에 보낼 시기 를 결정 하 기 위해 비지니스 규칙 을 이용 할 수 있 다 . 이 들 비지니스 규칙 은 웨이퍼 가 처리 될 때 ( 추가 층 을 취득 할 때 ) 상이 할 수 있 다 .