( 7 ) 상기 실란 커플링 제 의 하나 이상 은 비닐 트리 메 톡 시실 란 , 비닐 트리 에 톡 시실 란 , 비닐 트리 아세 톡 시실 란 , 2 -( 3 , 4 - 에폭시 시클 로 헥 실 ) 에틸 트리 메 톡 시실 란 , 3 - 글리 시독 시프 로 필 트리 메 톡 시실 란 , 3 - 글리 시독 시프 로 필 메틸 디 에 톡 시실 란 , 3 - 글리 시독 시프 로 필 트리 에 톡 시실 란 , p - 스티 릴 트리 메 톡 시실 란 , 3 - 메타크릴 옥시 프로필 메틸 디 메 톡 시실 란 , 3 - 메타크릴 옥시 프로필 트리 메 톡 시실 란 , 3 - 메타크릴 옥시 프로필 메틸 디 에 톡 시실 란 , 3 - 메타크릴 옥시 프로필 트리 에 톡 시실 란 , 및 3 - 아크릴 옥시 프로필 트리 메 톡 시 실란 으로 이루어진 군 에서 선택 되 는 ( 1 ) ~( 6 ) 중 어느 하나 에 기재 된 반도체 소자 용 층간 절 연막 형성 용 도포 액 의 보존 방법 .