제 1 하부 평탄 화 막 ( 180 ) 은 실리콘 산화 막 계열 의 물질 , 실리콘 질화 막 계열 의 물질 , 수지 또는 이 들 의 조합 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 제 1 하부 평탄 화 막 ( 180 ) 으로 는 예 를 들 어 , 약 3000 - 8000 Å 두께 의 실리콘 산화 막 을 사용 할 수 있 다 . 단 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .