절 연막 ( 103 a ) 은 아래쪽 으로부터 의 불순물 확산 을 방지 할 수 있 는 치밀 한 막 인 것 이 바람직 하 다 . 절 연막 ( 103 a ) 은 절 연막 ( 103 a ) 의 피형 성면 측 의 부재 ( 예 를 들 어 기판 등 ) 에 포함 되 는 금속 원소 , 수소 , 물 등 을 차단 할 수 있 는 막 인 것 이 바람직 하 다 . 그러므로 , 절 연막 ( 103 a ) 에 는 절 연막 ( 103 b ) 보다 성막 속도 가 느린 조건 에서 성막 한 절 연막 을 적용 할 수 있 다 .