각 지주 ( 83 ) 는 , 미리 정해진 간격 으로 수직 방향 으로 형성 된 지 지부 ( 84 ) 를 갖 는다 . 지지 부 ( 84 ) 는 갈고리 와 같이 평판 형 으로 작 게 내측 으로 돌출 되 어 있 기 때문 에 , 갈고리 라고 불러도 좋 다 . 지지 부 ( 84 ) 의 간격 은 , 용도 에 따라서 적절 하 게 설정 하 면 되 지만 , 예컨대 전술 한 바 와 같이 , 1 개 의 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 에서 , 50 ∼ 150 장 의 웨이퍼 ( W ) 를 배열 할 수 있 는 간격 으로 설정 해도 좋 다 . 지지 부 ( 84 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 할 수 있 다면 형상 은 상관없 지만 , 예컨대 중심 방향 으로 연장 되 는 수평면 을 갖 는 직사각 형 으로 형성 되 어도 좋 다 . 또 , 각 지주 ( 83 ) 의 지지 부 ( 84 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 수평 인 상태 로 지지 할 수 있 도록 , 동일 한 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 는 각 지지 부 ( 84 ) 끼리 동일 한 높이 로 설정 된다 . 또한 , 지주 ( 83 ) 가 3 개 인 경우 는 , 1 개 의 지주 ( 83 a ) 가 , 웨이퍼 ( W ) 를 탑재 하 는 정면 에서 볼 때 , 중심 안쪽 에 배치 되 고 , 다른 2 개 의 지주 ( 83 b , 83 c ) 가 지주 ( 83 a ) 에 대하 여 대칭 으로 배치 된다 .