다음 , 공정 챔버 ( 100 ) 내 에 플라스마 를 생성 한다 ( S 20 ) . 플라스마 를 생성 하 는 구체 적 인 방법 은 다음 과 같 다 . 먼저 , 가스 공급 부재 ( 600 ) 를 이용 하 여 웨이퍼 ( W ) 의 상부 에 소스 가스 를 공급 한다 . 제 2 공급 라인 ( 660 ) 내부 를 흐르 는 소스 가스 는 가스 공급 라인 ( 620 ) 및 공급 홀 ( 108 ) 을 통해 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 공급 된다 . 다음 , 공급 된 소스 가스 를 방전 시킨다 . 코일 ( 520 ) 을 이용 하 여 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 에너지 를 인가 하 면 에너지 는 공정 챔버 ( 100 ) 의 측벽 을 통하 여 웨이퍼 ( W ) 의 상부 로 전달 되 며 , 웨이퍼 ( W ) 의 상부 에 공급 된 소스 가스 를 방전 시켜 소스 가스 로부터 플라스마 를 생성 한다 .