본 실시 형태 에서 는 , 복수 의 제어판 ( 80 ) 의 X 축 방향 피치 는 , 복수 의 증착 원 개구 ( 61 ) 의 X 축 방향 피치 와 같 다 . 제어판 ( 80 ) 과 증착 원 개구 ( 61 ) 의 X 축 방향 의 위치 는 , 그 X 축 방향 피치 의 절반 만큼 어긋나 있 다 . 즉 , X 축 방향 에 있 어서 , 인접 하 는 2 개 의 제어판 ( 80 ) 의 중간 위치 에 1 개 의 증착 원 개구 ( 61 ) 가 배치 되 어 있 다 .