방법 ( 600 ) 은 퇴적 챔버 의 조명 된 영역 으로부터 발생 하 는 산란 된 광 의 강도 를 검출 함 으로써 광 산란 데이터 를 수집 하 는 단계 를 계속 할 수 있 다 ( 620 ) . 산란 된 광은 하나 이상 의 윈도우 를 통해 챔버 로부터 빠져 나올 수 있 으며 , 이 들 은 하나 이상 의 입사 광 빔 이 그 를 통해 챔버 로 들어가 는 윈도우 들 과 동일 하 거나 상이 할 수 있 다 . 광 산란 데이터 를 수집 하 는 단계 는 광 의 강도 에 민감 한 임의 의 디바이스 또는 재료 를 사용 하 여 산란 된 광 의 강도 를 검출 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 광 산란 데이터 를 수집 하 는 단계 는 산란 된 광 의 초점 을 예 를 들 어 카메라 의 광 센서 어레이 상 에 맞추 는 하나 이상 의 렌즈 를 갖 는 디지털 또는 아 날로 그 카메라 로 수행 될 수 있 다 . 각각 의 광 센서 는 챔버 의 조명 된 영역 의 카메라 의 시야 내 의 작 은 영역 에 대응 할 수 있 다 . 특정 광 센서 ( 예 를 들 어 , 픽셀 ) 에 도달 하 는 산란 된 광 의 강도 에 따라 , 광 센서 는 신호 의 크기 가 산란 된 광 의 강도 를 나타내 도록 아날로그 신호 ( 예 를 들 어 , 전류 신호 또는 전압 신호 ) 를 생성 할 수 있 다 . 아 날로 그 신호 는 아날로그 - 디지털 변환기 ( ADC ) 에 입력 될 수 있 으며 , 이 는 광 센서 에 도달 하 는 산란 된 광 의 강도 에 대응 하 는 디지털 값 을 출력 할 수 있 다 . 이 디지털 값 은 픽셀 의 위치 에 대한 참조 와 함께 메모리 디바이스 에 저장 될 수 있 다 . 메모리 디바이스 는 카메라 의 메모리 디바이스 , 또는 카메라 에 통신 가능 하 게 결합 된 컴퓨팅 디바이스 ( 예 를 들 어 , 컴퓨팅 디바이스 ( 116 ) ) 의 메모리 디바이스 일 수 있 다 . 결과 적 으로 , 메모리 디바이스 는 카메라 의 광 센서 들 의 어레이 에 대한 산란 된 광 의 강도 의 디지털 화 된 매핑 을 저장 할 수 있 다 . 다음 으로 , 컴퓨팅 디바이스 는 카메라 의 광 센서 들 각각 또는 일부 를 챔버 의 조명 된 영역 내 에서 카메라 의 시야 의 대응 하 는 위치 에 연관 시킴 으로써 광 산란 데이터 를 생성 할 수 있 다 . 따라서 , 광 산란 데이터 는 산란 된 광 의 강도 와 산란 된 광이 발생 하 는 조명 된 영역 내 의 위치 간 의 대응 관계 를 포함 할 수 있 다 .