린스 장치 ( 50 ) 는 린스 조 ( 51 ) 와 순 수원 ( 純水 源 ; 57 ) 을 연결 하 는 순수 공급 라인 ( 56 ) 을 갖 고 있 다 . 순수 공급 라인 ( 56 ) 은 유량 제어 가 가능 한 개폐 밸브 ( 56 a ) 를 각각 통하 여 , 모든 수 용부 ( 50 a ) 에 접속 되 어 있 다 . 따라서 , 린스 장치 ( 50 ) 의 수 용부 ( 50 a ) 로 의 단위 시간 당 순수 공급량 은 각 수 용부 ( 50 a ) 에 대응 하 는 개폐 밸브 ( 56 a ) 를 조작 함 으로써 , 수 용부 ( 50 a ) 마다 설정 될 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 , 린스 조 ( 51 ) 로부터 흘러 넘친 순수 는 린스 조용 싱크 ( 55 ) 내 에 회수 되 어 , 린스 조용 싱크 ( 55 ) 의 하부 에 접속 된 배수 라인 ( 58 ) 을 거쳐 폐기 되 도록 되 어 있 다 .