기판 ( 110 ) 의 저면 이 하부 노즐 관 들 ( 122 , 132 ) 의 상부 에 위치 되 고 기판 ( 110 ) 의 측면 이 양측 의 측방 노즐 관 들 ( 141 , 143 , 146 , 148 ) 사이 에 위치 되 면 , 제 어부 ( 170 ) 는 기판 ( 110 ) 의 하부 및 측면 에 대응 되 는 노즐 관 들 중 수직 노즐 관 들 의 밸브 들 ( 151 , 153 , 155 ) 을 개구 시킨다 ( S 52 ) . 개구 된 밸브 들 ( 151 , 153 , 155 ) 에 의해 유입 된 공기 는 하부 수직 노즐 들 ( 124 ) 을 통해 분사 됨 으로써 도 7 과 같이 기판 ( 110 ) 을 부상 시킨다 . 그리고 , 유입 된 공기 는 측방 수직 노즐 들 ( 142 , 147 ) 을 통해 분사 됨 으로써 도 7 과 같이 부상 시 기판 ( 110 ) 의 이탈 을 방지 한다 .