가령 , 금속 식각 공정 을 진행 하 게 되 면 웨이퍼 가장자리 영역 에 금속 잔류물 이 다수 존재 ( 원형 결함 , circle defect ) 하 게 되 어 후속 어닐링 ( annealing ) 공정 등 에서 상기 금속 이 산화 막 과 붙 어 있 지 못하 고 떨어지 게 되 어 정상 패턴 을 브릿지 ( bridge ) 시키 는 등 의 문제 를 가져왔 다 .