모재 준비 단계 ( S 10 ) 는 구체 적 으로 , 알루미늄 합금 으로 이루어진 판재 나 덩어리 ( ingot ) 를 기계 가공 하 여 특정 알루미늄 부재 의 형상 으로 가공 하 는 형상 가공 단계 와 , 상기 형상 가공 된 모재 를 열처리 하 는 열처리 단계 와 , 상기 모재 의 표면 을 세정제 를 이용 하 여 화학 적 으로 세정 하 는 화학 세정 단계 와 , 상기 모재 의 표면 을 연마 하 는 연마 단계 를 포함 할 수 있 다 . 상기 형상 가공 단계 는 , 상기 모재 ( 11 ) 를 두께 방향 으로 관통 하 며 , 내경 ( ID ) 이 0 . 1 내지 1 mm 인 복수 의 홀 ( hole ) ( 15 ) 을 형성 하 는 단계 를 구비 한다 . 상기 복수 의 홀 ( 15 ) 을 구비 한 알루미늄 부재 ( 10 ) ( 도 3 참조 ) 는 예컨대 , 증착 챔버 내 의 디 퓨 져 ( diffuser ) , 샤워 헤드 ( shower head ) 일 수 있 다 . 상기 화학 세정 단계 와 연마 단계 는 , 표면 에 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 으로 된 피막 이 적층 되 지 않 은 베어 ( bare ) 상태 의 모재 ( 11 ) 를 형성 하 기 위한 방법 의 일 예 이 다 .