우선 제 1 공정 에 의해서 라멜라 층 을 형성 했 다 . 표 3 에 나타내 는 것 과 같이 , 라멜라 층 을 형성 하 는 조건 은 , 조건 T 1 ∼ 조건 T 4 의 4 가지 로 했 다 . 조건 T 1 ∼ 조건 T 3 에서 는 , AlCl 3 가스 , TiCl 4 가스 및 H 2 가스 를 포함 하 는 제 1 혼합 가스 와 , NH 3 가스 및 Ar 가스 를 포함 하 는 제 2 혼합 가스 로 혼합 가스 를 형성 했 다 . 조건 T 4 에서 는 , AlCl 3 가스 , TiCl 4 가스 및 H 2 가스 에 더 하 여 , C 2 H 4 가스 를 포함 하 는 제 1 혼합 가스 와 , NH 3 가스 및 Ar 가스 를 포함 하 는 제 2 혼합 가스 로 혼합 가스 를 형성 했 다 . 조건 T 1 ∼ 조건 T 4 에 있 어서 , 혼합 가스 에 있 어서 의 AlCl 3 / ( AlCl 3 + TiCl 4 ) 의 체적 비 , CVD 장치 ( 1 ) 내 의 온도 조건 및 압력 조건 은 , 각각 표 3 에 나타내 는 것 과 같 다 .