상기 이격 공간 을 통하 여 상기 제 1 공간 ( R 1 ) 에서 상기 제 2 공간 ( R 2 ) 으로 공기 가 이동 할 때 , 제 1 공간 ( R 1 ) 의 존재 하 는 미세 한 입자 ( particle ) 들 이 상기 기판 ( S ) 이 수용 된 상기 제 2 공간 ( R 2 ) 으로 유입 되 어 패턴 형성 의 정밀도 가 떨어지 는 문제 가 발생 될 수 있 다 . 또한 , 상기 제 1 공간 ( R 1 ) 과 상기 제 2 공간 ( R 2 ) 사이 에 기류 가 형성 됨 에 따라 , 상기 챔버 ( 40 ) 내 에 불 균일 한 온도 편차 가 발생 될 수 있 다 .