도 11 을 참조 하 면 , 상기 제 4 희생 절 연막 ( 19 ) 과 상기 제 1 희생 절 연막 ( 7 ) 을 순차 적 으로 제거 하 여 상기 제 1 절 연막 들 ( 5 ) 의 상부 면 들 , 상기 활성 기둥 들 ( AP ) 의 측면 들 , 상기 스 페이서 들 ( 17 ) 의 측면 들 과 하 부면 들 그리고 상기 캐 핑 패턴 들 ( 21 ) 의 상부 면 들 을 노출 시킨다 .