여기 서 , 상기 검사 대상물 ( T ) 은 상기 이송 모듈 ( 500 ) 에 의해 연속 적 으로 이송 되 며 상기 검사 모듈 ( 100 ) 과 상기 보수 모듈 ( 400 ) 을 연속 하 여 통과 하 도록 구성 되 어 있 기 때문 에 , 상기 검사 모듈 ( 100 ) 에서 도전 성 패턴 ( P 1 ) 의 결함 을 검사 하 기 위한 검사 속도 ( Vinsp ) , 상기 제 1 결함 보수 속도 ( Vclose ) 와 상기 제 2 결함 보수 속도 ( Vopen ) 도 중 상대 적 으로 느린 속도 에 대응 하 도록 상기 이송 속도 ( Vop ) 가 조절 된다 .