가스 도입 구 ( 234 ) 에 는 , 산소 함유 가스 로서 의 산소 ( O 2 ) 가스 를 공급 하 는 산소 함유 가스 공급 관 ( 232 a ) 의 하류 단과 , 수소 함유 가스 로서 의 수소 ( H 2 ) 가스 를 공급 하 는 수소 함유 가스 공급 관 ( 232 b ) 의 하류 단과 , 불활성 가스 로서 의 아르곤 ( Ar ) 가스 를 공급 하 는 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 의 하류 단 이 합류 하 도록 접속 되 어 있 다 . 산소 함유 가스 공급 관 ( 232 a ) 에 는 , 상류 측 부터 이 순 으로 , O 2 가스 공급원 ( 250 a ) , 유량 제어 장치 로서 의 매스 플로우 컨트롤러 ( MFC ) ( 252 a ) , 개폐 밸브 로서 의 밸브 ( 253 a ) 가 마련 되 어 있 다 . 수소 함유 가스 공급 관 ( 232 b ) 에 는 , 상류 측 부터 이 순 으로 , H 2 가스 공급원 ( 250 b ) , MFC ( 252 b ) , 밸브 ( 253 b ) 가 마련 되 어 있 다 . 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 에 는 , 상류 측 부터 이 순 으로 , Ar 가스 공급원 ( 250 c ) , MFC ( 252 c ) , 밸브 ( 253 c ) 가 마련 되 어 있 다 . 산소 함유 가스 공급 관 ( 232 a ) 과 수소 함유 가스 공급 관 ( 232 b ) 과 불활성 가스 공급 관 ( 232 c ) 이 합류 한 하류 측 에 는 , 밸브 ( 243 a ) 가 마련 되 고 , 가스 도입 구 ( 234 ) 의 상류 단 에 접속 되 어 있 다 . 밸브 ( 253 a , 253 b , 253 c , 243 a ) 를 개폐 시킴 으로써 , MFC ( 252 a , 252 b , 252 c ) 에 의해 각각 의 가스 의 유량 을 조정 하 면서 , 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b , 232 c ) 을 통해서 , 산소 함유 가스 , 수소 가스 함유 가스 , 불활성 가스 등 의 처리 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .