상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 은 , 웨이퍼 표면 에 박막 을 기상 성장 시키 기 위한 기상 성장 장치 에 있 어서 웨이퍼 를 지지 하 기 위한 서 셉 터 로서 , 그 서 셉 터 에 는 웨이퍼 를 수용 할 수 있 는 우묵 한 부분 이 형성 되 고 , 그 우묵 한 부분 의 바닥 면 에 는 메시 패턴 의 홈 에 의해 다수 의 방형 ( 方形 ) 볼록 부가 형성 되 어 있 으며 , 상기 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 에서 의 홈 깊이 가 중앙부 보다 얕 은 것 을 특징 으로 하 는 기상 성 장용 서 셉 터 이 다 .