일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 구리 전구체 는 예 를 들 면 Cu ( dmap ) 2 또는 구리 ( I ) N , N '- 디 이소프로필 아세트 아미 디네이 트 를 포함 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 구리 전구체 는 구리 베타 디 케토 네이트 화합물 , 구리 베타 디 케트 이미 네 이토 화합물 , 구리 아미노 알 콕 사이드 화합물 , 예 를 들 면 Cu ( dmae ) 2 , Cu ( deap ) 2 또는 Cu ( dmamb ) 2 , 구리 아 미디 네이트 화합물 , 예 를 들 면 Cu ( sBu - amd ) ] 2 , 구리 사이클 로 펜 타 디 에 닐 화합물 , 구리 카보닐 화합물 및 이 들 의 조합 으로 이루어진 그룹 으로부터 선택 될 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , X ( acac ) y 또는 X ( thd ) y 화합물 이 사용 되 며 , 여기 서 X 는 구리 이 고 , y 는 일반 적 으로 2 또는 3 이 지만 꼭 그러 하 지만은 않 고 , thd 는 2 , 2 , 6 , 6 - 테트라메틸 - 3 , 5 - 헵탄 디오네 이토 이 다 . 일부 구 현예 에서 , 할로겐 비 함유 구리 전구체 는 구리 ( II ) 아세테이트 , [ Cu ( HMDS ) ] 4 또는 Cu ( nhc ) HMDS ( 1 , 3 - 디 - 이소프로필 - 이미 다 졸린 - 2 - 일리 덴 구리 헥사 메틸 디 실 라지드 ) 또는 Cu - 베타 디 케트 이미 네이트 , 예 를 들 면 Cu ( dki ) VTMS ( dki = 디 케트 이미 네이트 ) 이 다 .