각 조성물 을 , 언더 코트 층 ( 후지필름 일렉트로닉 머 티어리 얼즈 ( 주 ) 제 , CT - 4000 L , 두께 0 . 1 μ m ) 이 마련 된 8 인치 ( = 203 . 2 mm ) 의 유리 웨이퍼 상 에 , 건조 후 의 두께 가 4 . 0 μ m 가 되 도록 스핀 코터 를 이용 하 여 도포 하 고 , 110 ℃ 의 핫플레이트 를 이용 하 여 30 분 간 가열 처리 ( 프리 베 이크 ) 를 행했 다 . 이어서 , i 선 스 테퍼 노광 장치 FPA - 3000 i 5 +( Canon ( 주 ) 제 ) 를 사용 하 여 , 365 nm 의 파장 의 광 을 50 mJ / cm 2 로부터 50 mJ / cm 2 씩 노광량 을 늘리 면서 밀착 노광량 으로 , 2 μ m× 2 μ m 의 패턴 을 갖 는 마스크 를 통하 여 조사 하 여 노광 했 다 . 또한 , 밀착 노광량 이란 , 제조 된 패턴 의 95 % 이상 이 유리 웨이퍼 에 밀착 되 어 있 는 노광량 이 다 .