매칭 동작 ( 단계 250 ) 에서 , 실험 적 간섭계 신호 는 부합 하 는 모델 신호 를 식별 하 는 라이브러리 검색 에 의해 라이브러리 와 비교 된다 . 도 6 은 표면 구조 정보 에 대한 대 상체 ( 145 ) 를 분석 하 는 데 에 사용 되 는 라이브러리 검색 의 플로 차트 를 나타낸다 . 간섭계 신호 를 취득 하 고 ( 단계 600 ) , 모델 신호 의 라이브러리 ( 단계 610 ) 를 생성 한다 . 이어서 , 간섭계 신호 와 모델 신호 를 비교 한다 ( 단계 630 ) . 이러 한 비교 에 기초 해서 , 표면 구조 를 특징짓 는 검사 대 상체 파라미터 의 판정 을 위해 사용 되 는 매칭 모델 신호 를 식별 한다 ( 단계 640 ) .