여기 에서 는 , 산화 질화규소 막 이란 , 그 조성 으로서 , 질소 보다 도 산소 의 함유량 이 많 은 것 으로 , 레더 포드 후방 산란 법 ( RBS : Rutherford Backscattering Spectrometry ) 및 수소 전방 산란 법 ( HFS : Hydrogen Forward Scattering ) 을 사용 하 여 측정 한 경우 에 , 조성 범위 로서 산소 가 50 내지 70 원자 %, 질소 가 0 . 5 내지 15 원자 %, 실리콘 이 25 내지 35 원자 %, 수소 가 0 . 1 내지 10 원자 % 의 범위 로 포함 되 는 것 을 말 한다 . 또한 , 질화 산화 규소 막 이란 , 그 조성 으로서 , 산소 보다 도 질소 의 함유량 이 많 은 것 으로 , RBS 및 HFS 를 사용 하 여 측정 한 경우 에 , 조성 범위 로서 산소 가 5 내지 30 원자 %, 질소 가 20 내지 55 원자 %, 실리콘 이 25 내지 35 원자 %, 수소 가 10 내지 30 원자 % 의 범위 로 포함 되 는 것 을 말 한다 . 단 , 산화 질화 실리콘 또는 질화 산화 실리콘 을 구성 하 는 원자 의 합계 를 100 원자 % 로 하 였을 때 , 질소 , 산소 , 실리콘 및 수소 의 함유 비율 이 상기 한 범위 내 에 포함 되 는 것 으로 한다 .