처리 실 ( 201 ) 내 , 즉 , 웨이퍼 ( 200 ) 가 존재 하 는 공간 이 원 하 는 압력 ( 진공도 ) 으로 되 도록 , 진공 펌프 ( 246 ) 에 의해 처리 실 ( 201 ) 내 가 진공 배기 ( 감압 배기 ) 된다 . 이때 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 은 압력 센서 ( 245 ) 로 측정 되 고 , 이 측정 된 압력 정보 에 기초 하 여 APC 밸브 ( 244 ) 가 피드백 제어 된다 . 또한 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 웨이퍼 ( 200 ) 가 원 하 는 처리 온도 ( 제 1 온도 ) 로 되 도록 , 히터 ( 207 ) 에 의해 가열 된다 . 이때 , 처리 실 ( 201 ) 내 가 원 하 는 온도 분포 로 되 도록 , 온도 센서 ( 263 ) 가 검출 한 온도 정보 에 기초 하 여 히터 ( 207 ) 로 의 통전 상태 가 피드백 제어 된다 . 또한 , 회전 기구 ( 267 ) 에 의한 웨이퍼 ( 200 ) 의 회전 을 개시 한다 . 처리 실 ( 201 ) 내 의 배기 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 가열 , 회전 은 , 모두 적어도 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 처리 가 종료 될 때 까지 의 동안 에 는 계속 해서 행하 여진다 .