기화 되 는 불 산 을 최소 화 한 고순 도 삼 불화 질소 제조 용 전해조 및 이 를 이용 한 삼 불화 질소 의 제조 방법 { THE ELECTROLYZER FOR MANUFACTURING NITROGEN TRI - FLUORIDE TO MINIMIZE THE AMOUNT OF A VAPORIZED HYDROGEN FLOURIDE AND THE MANUFACTURING METHOD USING THE SAME }