제 1 가스 분사 플레이트 ( 139 a ) 는 제 1 면적 을 가지 도록 형성 되 어 상기 지지 프레임 ( 135 ) 의 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 에 삽입 설치 된다 . 이러 한 제 1 가스 분사 플레이트 ( 139 a ) 는 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 으로부터 공급 되 는 제 1 가스 ( G 1 ) 를 상기 제 1 분 할 공간 ( DS 1 ) 의 일 측 영역 에 하향 분사 한다 .