보다 구체 적 으로 는 , 마더 기판 ( 10 ) 은 , 스 크 라 이브 처리 에 앞서 , 그 다른 쪽 주면 을 , 미리 대략 환상 의 링 ( 예 를 들 면 다 이싱 링 ) ( RG ) 에 길 게 설치 된 유지 테이프 ( 예 를 들 면 다 이싱 테이프 ) ( DT ) 에 첩부 시킨 상태 로 된다 . 그리고 , 이러 한 양상 으로 마더 기판 ( 10 ) 이 유지 테이프 ( DT ) 에 첩부 되 어 이루어진 해당 링 ( RG ) 이 스테이지 ( 101 ) 에 재치 고정 됨 으로써 , 마더 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 101 ) 에 재치 고정 된다 .