센서 ( 220 ~ 226 ) 들 은 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 하나 의 플 래 이트 ( 208 ) 가 복수 개 의 영역 들 로 분할 되 는데 , 각각 의 분할 된 영역 에서 기판 의 온도 를 측정 하 도록 플 래 이트 ( 208 ) 의 중앙 ( C ) , 중간 ( M 1 , M 2 ) 및 가장 자리 ( E ) 부위 에 각각 배치 된다 . 이 때 , 중간 부분 ( M 1 , M 2 ) 의 센서 는 플 래 이트 ( 208 ) 의 중앙 부위 와 가장자리 부위 사이 에 서로 다른 간격 으로 각각 배치 된다 .