도 29 는 , 스텝 S 204 의 보충 제어 수순 의 일례 를 나타내 는 흐름 도 이 다 . 도 29 에 도시 된 바 와 같이 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 먼저 스텝 S 241 , S 242 를 실행 한다 . 스텝 S 241 에서 는 , 예 를 들 어 보충 제 어부 ( 116 ) 가 , 보충 부 ( 250 ) 의 압송 부 ( 256 ) ( 펌프 ( 266 ) ) 로부터 송액 부 ( 210 ) 의 압송 부 ( 214 ) ( 펌프 ( 216 ) ) 에 보내 지 는 처리 액 의 보충 압력 , 및 당해 처리 액 의 보충 유량 을 조절 한다 . 일례 에서 는 , 보충 제 어부 ( 116 ) 는 , 제 1 실시 형태 에서 의 보충 압력 · 보충 유량 의 조절 과 마찬가지 로 , 보충 압력 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 256 ) 및 압송 부 ( 214 ) 의 어느 한 쪽 을 제어 하 면서 , 보충 유량 을 목표 값 에 추종 시키 도록 압송 부 ( 256 ) 및 압송 부 ( 214 ) 의 다른 쪽 을 제어 한다 .