트랜지스터 에 포함 되 는 산화물 반도체 층 은 , 수소 나 물 등 의 불순물 이 충분히 제거 되 고 , 또 산소 가 충분히 공급 됨 으로써 고 순도 화 된 것 이 바람직 하 다 . 예 를 들 어 , 산화물 반도체 층 의 수소 농도 는 5 × 1019 atoms / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 5 × 1018 atoms / cm 3 이하 , 더 바람직 하 게 는 5 × 1017 atoms / cm 3 이하 로 한다 . 또한 , 상술 한 산화물 반도체 층 중 의 수소 농도 는 2 차 이온 질량 분석법 ( SIMS : Secondary Ion Mass Spectroscopy ) 으로 측정 되 는 것 이 다 .