따라서 , 도 6 에 도시 된 프로세스 챔버 ( 208 , 209 , 210 , 211 ) 의 척 ( 111 ) 의 내부 에 는 서로 독립 적 으로 제어 될 수 있 는 3 개 의 냉각수 로 가 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 냉각수 로 는 출입구 ( 250 ) 주변 영역 ( P 1 ) 과 대응 되 는 영역 에 밀집 되 고 , 제 2 냉각수 로 는 챔버 의 중심 영역 ( P 2 ) 과 대응 되 는 영역 에 밀집 되 고 , 제 3 냉각수 로 는 챔버 내부 의 외곽 영역 ( P 3 ) 과 대응 되 는 영역 에 밀집 된다 .