상기 1 차 및 2 차 정수부 를 거치 고 제 2 저수조 에 저장 된 작동 유체 는 고 순도 의 물 로서 , 약 1012 Ω · m 정도 의 전기 저항 을 갖 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 1 차 및 2 차 정수부 는 통상 의 초 정수 장치 와 같이 마이크 로 필터 , 삽 투 압 필터 , 또는 컴비네이션 필터 를 포함 하 여 구성 되 고 , 하나 또는 수개 의 중간 가압 펌프 ( 36 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 상기 중간 가압 펌프 ( 36 ) 로 는 로터리 펌프 , 왕복 펌프 , 또는 원심펌프 등 다양 한 펌프 를 적용 할 수 있 고 , 상기 출력 펌프 ( 35 ) 로 는 일정 한 압력 을 유지 하 기 위해 로터리 펌프 를 적용 하 는 것 이 바람직 하 다 .