도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 검사 장치 ( 1 ) 는 X 선 튜브 ( 10 ) 와 , X 선 튜브 ( 10 ) 로부터 방사 되 는 X 선 에 피검 사체 를 노출 시킬 수 있 도록 피검 사체 를 지지 하 는 스테이지 ( 20 ) 와 , 피검 사체 를 투과 한 X 선 을 수용 하 기 위한 디텍터 ( 30 ) 와 , 스테이지 ( 20 ) 에 구비 된 지지 플레이트 ( 25 ) 의 진동 을 흡수 하 기 위한 진동 저감 부재 ( 40 ) 를 포함 할 수 있 다 .