최근 , 이러 한 문제 를 해결 하 기 위하 여 이 머 전 리 소그라 피 법 이 보 고 되 고 있 다 . 기존 에 노광 장비 에서 노광 렌즈 와 감광막 이 형성 된 웨이퍼 중간 의 노광 빔 의 매체 로서 굴절 률 1 . 0 의 값 을 갖 는 공기 가 사용 되 어 온 반면 에 , 이 머 전 리 소그라 피 법 에서 는 중간 매체 로서 1 . 0 이상 의 굴절 률 을 갖 는 물 ( H 2 O ) 또는 유기 용매 등 의 다른 유체 들 을 적용 함 으로써 , 같 은 노광 파장 의 광원 을 사용 해도 보다 단파장 의 광원 을 사용 하 거나 높 은 개구수 의 렌즈 를 이용 한 것 과 같 은 효과 를 달성 할 수 있 으며 , 초점 심도 의 저하 도 없 다 .