그리고 워크 기판 ( W ) 에 흐르 는 전류 값 을 측정 하 여 사파이어 플레이트 로 이루어지 는 유전체 플레이트 ( 21 ) 의 저항 값 의 변화 를 확인 할 수 있 다 . 또한 워크 기판 ( W ) 의 표면 전위 의 변화 , 예 를 들 면 상승 을 측정 하 여 급전 전극 ( 25 ) 과 흡착 전극 ( 22 ) 의 저항 값 의 변화 를 확인 할 수 있 다 .