소자 기판 ( 10 ) 은 석영 유리 로 이루어진다 . 유기 EL 장치 ( 1 ) 등 은 , 소자 기판 ( 10 ) 측 과 는 반대 의 측 으로 빛 을 사출 하 는 톱 이 미션 ( top emission ) 형 의 유기 EL 장치 이 다 . 따라서 , 소자 기판 ( 10 ) 은 투명 성 을 필요 로 하 지 않 는다 . 그러나 , 소자 기판 ( 10 ) 은 구동 용 TFT ( 112 ) 등 을 고온 폴리 실리콘 프로세스 에 의해 형성 할 때 의 기체 ( 基體 ) 로서 도 기능 하 고 있 다 . 그 때문 에 , 대략 1000 도 까지 의 가열 에 견디 고 , 그리고 당해 가 열 시 에 불순물 을 석출 하 지 않 을 것 이 필요 하 다 . 이러 한 조건 을 만족 하 기 위해서 , 소자 기판 ( 10 ) 에 는 석영 유리 가 이용 되 고 있 다 .