상기 제 1 배선 ( 140 ) 은 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 상기 제 1 배선 ( 140 ) 은 한 평면 에 배치 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 제 1 배선 ( 140 ) 은 상기 가스 분배 판 ( 160 ) 에 매설 될 수 있 다 . 상기 제 1 배선 ( 140 ) 은 외부 전력 공급 라인 ( 149 ) 을 통하 여 제공 받 은 RF 전력 을 전원 전극 들 ( 110 ) 에 분배 하 기 위한 1 차 분배 회로 이 다 . 상기 제 1 배선 ( 140 ) 을 통하 여 분배 된 RF 전력 은 상기 제 2 배선 ( 130 ) 을 통하 여 재 분배 되 어 최종 적 으로 상기 전원 전극 들 ( 110 ) 에 제공 될 수 있 다 . 상기 제 2 배선 ( 130 ) 은 한 평면 에 배치 될 수 있 다 .