제 2 트렌치 ( 235 ) 를 형성 하 는 공정 은 도 2 에 도시 된 셀 어레이 영역 ( CAR ) 에 상부 홀 들 을 형성 하 는 공정 과 동시 에 진행 될 수 있 다 . 상부 홀 들 은 도 2 에 도시 된 셀 어레이 영역 ( CAR ) 의 셀 플러그 들 ( CPL ) 이 형성 될 영역 을 정의 한다 . 또한 , 제 2 트렌치 ( 235 ) 및 상부 홀 들 을 형성 하 는 동안 , 도 2 에 도시 된 셀 어레이 영역 ( CAR ) 에 제 2 더미 홀 들 이 형성 될 수 있 다 . 제 2 더미 홀 들 은 도 2 에 도시 된 셀 어레이 영역 ( CAR ) 의 더미 플러그 들 ( DPL ) 이 형성 될 영역 을 정의 한다 . 도면 에 도시 되 진 않 았 으나 , 상부 홀 들 및 제 2 더미 홀 들 은 도 2 에 도시 된 셀 어레이 영역 ( CAR ) 에 형성 된 셀 매립 패턴 들 을 노출 시킬 수 있 다 .