외부 영역 과 격리 된 처리 영역 을 내부 에 구비 하 고 , 상기 처리 영역 에서 기판 을 처리 하 는 처리 용기 를 구성 하 는 , 제 1 도전 성 부재 와 제 2 도전 성 부재 의 접합 구조 체 에 있 어서 , 상기 제 1 도전 성 부재 와 상기 제 2 도전 성 부재 는 접합 계면 을 구비 하 고 , 상기 접합 계면 에 는 , 이격 되 어 배설 되 어 있 는 무단 형상 의 제 1 시 일 홈 과 제 2 시 일 홈 이 면하 며 , 상기 제 1 시 일 홈 에 제 1 시 일 부재 가 배설 되 고 , 상기 제 2 시 일 홈 에 제 2 시 일 부재 가 배설 되 어 있 으며 , 상기 제 1 시 일 홈 과 상기 제 2 시 일 홈 사이 에서 의 상기 접합 계면 의 표면 요철 에 의해 형성 되 는 간극 이 상기 외부 영역 에 연통 하 고 있 다 .