개시 된 세정 및 건조 챔버 는 복수 의 세정 액체 들 및 다른 유체 들 을 분배 하 며 , 그 에 의해 , 기판 의 모든 표면 들 로부터 입자 들 , 잔류물 들 , 유기 오염물 들 , 무기 오염물 들 , 및 금속 성 오염물 들 을 제거 하 기 위한 다양 한 세정 옵션 들 이 제공 될 수 있 다 . 또한 , 개시 된 세정 및 건조 챔버 는 , 비 호환 성 배 출물 들 ( 예컨대 , 산 , 염기 , 또는 용매 들 ) 의 제거 를 용이 하 게 하 기 위해 별개 의 전환 가능 배출 부들 을 포함 할 수 있 다 . 그러 한 전환 가능 배 출부 들 은 관련 기술 분야 에 알려져 있 다 .