바람직 하 게 는 , 하이포 플 루오 라이트 ( hypofluorite ) , 플 루오 로퍼 옥사이드 및 / 또는 플 루 오로 트리 옥사이드 중 어느 것 도 반응기 에 도입 되 거나 반응기 내 에서 의도 적 으로 형성 되 지 않 는다 . 또한 가스 혼합물 에 는 CN 결합 및 수소 를 함유 하 는 화합물 이 함유 되 어 있 지 않 다 . 바람직 하 게 , 식각 대상물 에 는 WC ( 텅스텐 카바이드 ) 또는 그 의 합금 이 함유 되 어 있 지 않 다 .