일부 실시 예 들 에서 , 제 1 서브 레일 ( 111 ) 및 제 2 서브 레일 ( 113 ) 사이 의 간격 을 조절 하 기 위하 여 , 제 1 서브 레일 ( 111 ) 및 제 2 서브 레일 ( 113 ) 중 적어도 하나 는 가이드 레일 ( 116 ) 에 이동 가능 하 도록 설치 될 수 있 다 . 제 1 서브 레일 ( 111 ) 및 제 2 서브 레일 ( 113 ) 중 적어도 하나 는 가이드 레일 ( 116 ) 을 따라 일 방향 ( 예컨대 , Y 방향 ) 으로 이동하 여 , 제 1 서브 레일 ( 111 ) 과 제 2 서브 레일 ( 113 ) 사이 의 간격 은 검사 대상 ( S ) 의 폭 에 맞 도록 조절 될 수 있 다 . 좀 더 구체 적 으로 , 제 1 레 일부 ( 110 ) 에 는 제 1 서브 레일 ( 111 ) 및 제 2 서브 레일 ( 113 ) 사이 에서 연장 하 는 제 1 가이드 샤프트 ( 114 ) 가 설치 될 수 있 고 , 상기 제 1 가이드 샤프트 ( 114 ) 에 결합 된 종동 풀리 ( 118 ) 는 벨트 와 같 은 동력 전달 부재 에 의하 여 원 동축 ( 117 ) 에 연결 될 수 있 다 . 구동 모터 ( 미 도시 ) 에 의하 여 원 동축 ( 117 ) 및 제 1 가이드 샤프트 ( 114 ) 가 회전 운동 할 수 있 으며 , 제 1 서브 레일 ( 111 ) 및 제 2 서브 레일 ( 113 ) 중 적어도 하나 는 제 1 가이드 샤프트 ( 114 ) 의 회전 운동 에 의하 여 선형 이동 되 도록 구성 될 수 있 다 .