기판 의 주 표면 상 에 박막 을 형성 하 는 공정 과 , 상기 박막 상 에 레지스 트 막 을 도포 하 는 공정 을 포함 하 는 포토 마스크 블랭크 의 제조 방법 으로서 , 상기 레지스 트 막 을 도포 하 기 전 에 , 상기 기판 의 일부 영역 에 불소 ( F ) 를 함유 하 는 재료 를 포함 하 는 도포 방지 막 을 형성 하 는 공정 을 더 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 포토 마스크 블랭크 의 제조 방법 .