제 1 도체 층 과 , 제 2 도체 층 과 , 그 제 1 및 제 2 도체 층 사이 의 절연 층 으로 이루어지 는 적층 구조 를 포함 하 는 재료 기판 에 가공 을 실시 함 으로써 얻 어 진 마이크 로 요동 소자 로서 , 상기 가동 기능 부 는 상기 제 1 도체 층 에서 성형 된 부위 이 며 , 상기 제 2 구동 전극 및 상기 제 1 실드 전극 부 는 상기 제 2 도체 층 에서 성형 된 부위 인 부기 5 에 기재 된 마이크 로 요동 소자 .