그리고 , 상기 두께 의 조절 된 지지 보조 부재 ( 3 a ~ 3 d ) , 스 페이서 ( 12 a ~ 12 d ) 에 의해 , 실제로 웨이퍼 ( W ) 가 재치 되 는 면 [ 재치 면 ( 30 ) , 즉 각 지지 보조 부재 ( 3 a ~ 3 d , 3 e 의 상면 ) 의 각각 의 상대 적 위치 가 조정 되 고 , 이 들 재치 면 ( 30 ) 의 모두 로부터 얻 을 수 있 는 평면도 가 조정 된 것 이 되 고 있 다 . 지지 보조 부재 ( 3 a ~ 3 d ) , 스 페이서 ( 12 a ~ 12 d ) 의 조절 은 , 보트 자체 의 가공 에 비하 면 지극히 용이 하 고 , 높 은 정밀도 로 실시 할 수 있 다 . 따라서 , 지지 보조 부재 를 장착 한 보트 ( 1 ) 는 웨이퍼 의 재치 에 있 어서 , 효율 좋 게 평면도 가 조정 된 것 이 되 고 , 또한 이 를 이용 하 여 열처리 를 실시 하 는 경우 에 슬립 전위 를 효과 적 으로 억제 할 수 있 으므로 고품질 의 열처리 웨이퍼 를 제조 할 수 있 는 것 이 다 .