상기 제 2 레 귤 레이터 ( 24 , 34 ) 는 상기 1 차 감압 으로 550 psig 의 압력 이 된 SiH 4 가스 를 75 psig 의 압력 으로 감압 한다 . 이 와 같 은 2 차 감압 에 의해 상기 SiH 4 가스 는 보상 된 7 ℃ 의 온도 에서 공정 압력 인 75 psig , - 37 ℃ 의 온도 가 되 며 , 이 는 상기 제 1 및 제 2 가스 공급 라인 ( 30 , 40 ) 을 지나 면서 약 7 ℃ 의 온도 로 보상 된다 .