상기 기판 처리 장치 는 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 을 향해 처리 액 을 토출 하 는 제 2 노즐 과 , 상기 제 1 공급 배관 으로부터 상기 제 2 노즐 에 처리 액 이 흐르 도록 항상 열려 있 으며 , 상기 제 1 공급 배관 으로부터 상기 제 2 노즐 에 처리 액 을 안내 하 는 제 2 공급 배관 을 더 구비 한다 . 상기 제 1 압력 손실 규정 유닛 은 , 상기 제 1 공급 배관 및 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 이 상기 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 보다 커 지 도록 상기 제 1 공급 배관 및 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 을 규정 한다 . 상기 제 1 토출 밸브 는 , 상기 제 1 리턴 배관 의 유로 면적 을 감소 시킴 으로써 , 상기 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 상기 제 1 공급 배관 및 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 크 게 하 여 , 상기 공통 배관 내 의 처리 액 을 상기 공통 배관 으로부터 상기 제 1 공급 배관 및 제 2 공급 배관 에 흐르 게 하 는 상기 제 1 토출 실행 상태 와 , 상기 제 1 토출 실행 상태 일 때 보다 상기 제 1 리턴 배관 의 유로 면적 을 증가 시킴 으로써 , 상기 제 1 리턴 배관 에서 의 압력 손실 을 상기 제 1 공급 배관 및 제 2 공급 배관 에서 의 압력 손실 보다 작 게 하 여 , 상기 공통 배관 내 의 처리 액 을 상기 공통 배관 으로부터 상기 제 1 리턴 배관 에 흐르 게 하 는 상기 제 1 토출 정지 상태 로 전환 된다 .