동원 파츠 의 주요 생산품 으로 는 프로세스 체임버 와 샤워 헤드 등 이 있 다 . 프로세스 체임버 는 반도체 웨이퍼 에 메모리 소자 를 형성 하 기 위한 핵심 장치 로 , 공정 가스 나 고주파 에 대한 내식 과 내마모성 을 갖춘 내구 성 이 뛰어난 제품 이 다 . 샤워 헤드 는 원자 층 디 포지션 ( deposition ) 장비 에 사용 되 는 장치 로 최신 메모리 같이 고 사양 의 칩 을 제조 할 때 주요 공정 인 절 연막 형성 을 위한 제품 이 다 .