참고 로 , 본 실시 예의 도면 은 , 본 실시 예의 기판 세정 장치 에 대해 개념 적 으로 도시 하 고 있 는 도면 에 불과 하 다 . 따라서 도 2 및 도 3 을 참조 할 때 , 제 1 내지 제 4 드레싱 유닛 ( 51 ~ 54 ) 은 장치 본체 ( 1 ) 와 는 별개 로 결합 되 어 있 는 것 처럼 보이 기 는 하지만 실질 적 으로 제 1 내지 제 4 드레싱 유닛 ( 51 ~ 54 ) 역시 별도 의 연결 수단 에 의해 장치 본체 ( 1 ) 에 결합 된 요소 로 본다 .