본 실시 형태 에서 는 , 확대 각 θ 가 ( 4 - 1 ) 에 따르 므로 , 확대 각 θ 는 , 증착 원 개구 ( 61 ) 의 개구 직경 Dn 및 증착 원 개구 ( 61 ) 의 상단 부 로부터 제어판 ( 80 ) 의 하단 부 까지 의 Z 축 방향 간격 Lz 에 의존 하 지 않 는다 . 따라서 , 뭉개 짐 부분 의 폭 We 는 , 개구 직경 Dn 이나 간격 Lz 의 정밀도 에 영향 을 받 지 않 기 때문 에 , 뭉개 짐 부분 의 폭 We 를 , 실시 형태 1 보다 도 고정 밀도 로 제어 할 수 있 다 .