도시 되 지 는 않 았 으나 , 상기 웨이퍼 스테이지 ( 110 ) 는 스테이지 구 동부 ( 미 도시 ) 에 의해 수평 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 될 수 있 으며 , 상기 스테이지 구 동부 는 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 로드 및 언 로드 를 위해 상기 가이드 레일 들 ( 106 ) 의 단부 에 인접 하 는 웨이퍼 로드 / 언 로드 영역 ( 도 1 에서 점선 으로 표시 된 영역 ) 으로 상기 웨이퍼 스테이지 ( 110 ) 를 이동 시킬 수 있 다 . 또한 , 상기 스테이지 구 동부 는 상기 다이 들 ( 20 ) 을 선택 적 으로 픽업 하 기 위하 여 상기 웨이퍼 스테이지 ( 110 ) 를 이동 시킬 수 있 다 . 즉 , 상기 스테이지 구 동부 는 상기 다이 들 ( 20 ) 중 에서 픽업 하 고자 하 는 다이 ( 20 ) 가 상기 다 이 이 젝 터 ( 116 ) 의 상부 에 위치 되 도록 상기 웨이퍼 스테이지 ( 110 ) 의 위치 를 조절 할 수 있 다 .