예컨대 , 도 2 내지 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 는 , 기판 ( S ) 이 단 턱 부 ( 31 ) 상 에 안착 될 시 디스크 ( 10 ) 로부터 기판 ( S ) 으로 열전달 을 돕 도록 그 중심부 에 그 바닥 면 ( 21 ) 으로부터 기둥 형상 으로 단 턱 부 ( 31 ) 와 동일 한 높이 로 돌출 되게 형성 되 는 제 1 열 전달 부 ( 32 ) 및 단 턱 부 ( 31 ) 의 내주 면 ( 31 a ) 과 제 1 열 전달 부 ( 32 ) 의 외주 면 ( 32 a ) 사이 에 단 턱 부 ( 31 ) 와 동일 한 높이 로 배기 통로 ( 40 ) 방향 이 개방 된 링 형상 으로 돌출 되게 형성 되 는 제 3 열 전달 부 ( 33 ) 를 포함 할 수 있 다 .