이 격막 진공계 ( 1 ) 에서 는 , 도입부 ( 10 A ) 로부터 의 피 측정 매체 ( 기체 ) 가 센서 다이어프램 ( 31 ) 에 도달 하 고 , 이 피 측정 매체 의 압력 과 기준 진 공실 ( 34 ) 의 차압 에 의해 센서 다이어프램 ( 31 ) 이 휘어지 며 , 센서 다이어프램 ( 31 ) 의 이면 과 센서 대좌 ( 35 ) 의 내면 사이 에 설치 되 어 있 는 고정 전극 ( 37 ) 과 가동 전극 ( 38 ) 의 간격 이 변화 하 여 , 이 고정 전극 ( 37 ) 과 가동 전극 ( 38 ) 으로 구성 되 는 콘덴서 의 용량 값 ( 정전 용량 ) 이 변화 한다 . 이 정전 용량 의 변화 를 격막 진공계 ( 1 ) 의 외부 로 취 출 함 으로써 , 피 측정 매체 의 압력 이 측정 된다 .