도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 스테이지 장치 ( 1 ) 의 베이스 프레임 ( 2 ) 상 에 는 , 액정 패널 등 을 탑재 하 기 위한 워크 정반 ( 15 ) 이 설치 된다 . 베이스 프레임 ( 2 ) 에 있 어서 , 워크 정반 ( 15 ) 이 탑재 되 는 영역 을 탑재 영역 ( 2 e ) 으로 한다 . 이 탑 재 영역 ( 2 e ) 은 , 베이스 프레임 ( 2 ) 보다 X 축 방향 및 Y 축 방향 에 있 어서 작 게 되 며 , 상세히 는 , X 축 방향 에 있 어서 , 부재 ( 2 f , 2 g ) 보다 내측 영역 으로 되 어 있 다 . 다만 , 스테이지 장치 ( 1 ) 가 수송차 로 수송 될 때 , 이 워크 정반 ( 15 ) 이 설치 된 상태 로 수송차 에 적재 된다 .