증착 처리 를 마치 고 증착 실 ( 105 ) 로부터 배출 된 반송 캐리어 는 , 감속 실 ( 106 ) 에서 감속 되 어 , 마스크 분리 위치 ( P 3 ) 에 있 는 마스크 분리 실 ( 107 ) 로 반송 되 어 소정 위치 에서 정지 한다 . 여기 서 마스크 척 ( 311 ) 에 의한 마스크 ( M ) 의 로크 상태 가 해제 되 어 , 마스크 ( M ) 가 유리 기판 으로부터 분리 된다 .