* 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 발생 장치 는 13 . 56 Mhz 내지 200 Mhz 의 RF 전원 을 복수 의 라인 형상 의 전원 전극 들 에 인가 한다 . 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 발생 장치 는 전원 전극 들 에 전력 을 분배 하 는 전력 분배 부 ( 제 1 배선 및 제 2 배선 ) 를 가스 분배 판 내부 에 장착 시킨다 . 이 에 따라 , 최소 의 외부 전력 공급 라인 을 가지 고 효율 적 인 플 라즈 마 방전 이 가능 하 다 . 또한 , 전력 분배 부 는 동축 케이블 구조 를 가지 도록 설계 된다 . 또한 , 상기 외부 전력 공급 라인 으로부터 전원 전극 들 사이 의 임피던스 는 실질 적 으로 동일 하 다 . 따라서 , 안정 적 으로 전력 분배 된 균일 한 플 라즈 마 형성 이 가능 하 다 . 또한 , 제 1 가스 확산 공간 및 제 2 가스 확산 공간 은 가스 를 분배 하 면서 , 간단 한 구조 로 전원 전극 들 에 전력 분배 가 수행 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 제조 원가 를 절감 시키 고 유지 보수 가 용이 하 다 .