한편 , 플 라즈 마가 기체 분산 그리드 ( 142 ) 와 기판 ( 156 ) 사이 의 반응 실 ( 154 ) 에서 만 발생 하 게 하 기 위하 여 반응 기벽 ( 122 ) 과 동일 한 전위 를 갖 는 플 라즈 마 발생 차 단벽 ( 128 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 플라 즈 마 발생 차 단벽 ( 128 ) 은 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) 과 의 사이 에 틈 이 형성 되 도록 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) 과 반응 기벽 ( 122 ) 사이 에 설치 된다 . 이때 , 고주파 접속 단자 ( 166 ) 는 반응 기벽 ( 122 ) , 플라 즈 마 발생 차 단벽 ( 128 ) 및 샤워 헤드 절연 벽 ( 138 ) 을 관통 하 여 샤워 헤드 ( 130 ) 에 연결 되 고 , 반응 기벽 ( 122 ) 및 플 라즈 마 발생 차 단벽 ( 128 ) 과 전기 적 으로 절연 되 도록 설치 된다 .