이때 , 제 어 장치 ( 520 ) 는 , 전열 가스 공급 부 ( 516 ) 를 제어 하 여 , 스테이지 ( 505 ) 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 의 이면 과 스테이지 ( 505 ) 의 적재 면 사이 에 전열 가스 를 공급 한다 . 또한 , 제 어 장치 ( 520 ) 는 , 퍼지 가스 공급 부 ( 517 ) 를 제어 하 여 , 환상 부재 ( 514 ) 의 하면 과 스테이지 ( 505 ) 의 상면 사이 에 퍼지 가스 를 공급 한다 . 퍼지 가스 는 , 환상 부재 ( 514 ) 의 하 면 측 의 유로 를 통과 하 여 , 배기관 ( 501 b ) 을 통해서 배기 부 ( 519 ) 에 의해 배기 된다 .