또 다른 실시 예 에서 , 평행 한 라인 들 의 그룹 은 기판 ( 도시 되 지 않 음 ) 상 에 원하 는 피처 들 의 세트 를 형성 하 도록 트리밍 될 수 있 다 . 도 5 a , 도 5 b 및 도 5 c 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 트리밍 된 노광 을 형성 하 는 예시 적 인 처리 단계 들 을 도시 한다 . 도 5 a 에서 , 평행 한 라인 들 ( 500 ) 이 기판 상 에 형성 된다 . 일 실시 예 에서 , 도 3 를 참조 하 여 설명 된 간섭계 ( 300 ) 는 평행 한 라인 들 ( 500 ) 을 형성 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 도 5 b 에서 는 , 피처 들 이 최종 패턴 에 요구 됨 에 따라 , 영역 들 ( 502 a 및 502 b ) 이 선택 된다 . 영역 들 ( 502 a 및 502 b ) 은 도 5 b 에서 실질 적 으로 직사각 형 으로 도시 된다 . 하지만 , 당업자 라면 알 수 있 는 바 와 같이 , 상이 한 타입 의 형상 으로 된 영역 들 이 선택 될 수 있 다 . 그 후 , 도 5 c 에서 , 선택 된 영역 들 ( 502 a 및 502 b ) 외부 의 영역 들 이 노광 되 며 , 선택 된 영역 들 ( 504 a 및 504 b ) 만 을 남겨 최종 패턴 ( 504 ) 이 되게 한다 .