플라 즈 마 손상 된 JSR LKD - 5109 층 을 갖 는 제 1 샘플 은 기상 n - 프로필 트리 메 톡 시 실란 ( n - PTMS ) 보수제 와 접촉 하 기 전 에 기상 트리플 루 오로 아세트산 촉매 와 접촉 하 여 위치 되 었 다 . 플 라즈 마 손상 된 JSR LKD - 5109 층 을 갖 는 제 2 샘플 은 초임계 CO 2 ( SCCO 2 ) 내 에서 용해 된 트리플 루 오로 아세트산 촉매 및 n - PTMS 보수제 로 처리 되 었 다 . 제 3 샘플 은 보수 되 지 않 은 플 라즈 마 손상 된 JSR LKD - 5109 층 을 갖 는 대조 샘플 이 었 다 . 제 4 샘플 은 증착 된 JSR LKD - 5109 층 ( 즉 , 플라 즈 마 에칭 이 수행 되 지 않 은 층 ) 을 갖 는 다른 대조 샘플 이 다 . 샘플 들 은 SEM ( scanning electron microscopy ) 에 의해 분석 되 어 에칭 된 트렌치 의 측벽 을 따라서 보수 의 정도 를 특징 화 하 고 , SIMS ( secondary ion mass spectrometry ) 에 의해 분석 되 어 약 150 ㎚ 의 깊이 까지 JSR LKD - 5109 층 의 표면 상부 의 탄소 대 실리콘 의 비율 을 특징 화 하 였 다 .