제 1 반사판 ( 17 a ) 은 카세트 ( 10 ) 에 기판 ( 40 ) 을 수납 하 고자 로딩 ( loading ) 할 경우 에 로봇 암 ( 34 ) 의 이재 위치 를 지정 하 기 위한 것 이 고 , 제 2 반사판 ( 17 b ) 은 카세트 ( 10 ) 에 수납 된 기판 ( 40 ) 을 취 출 할 경우 에 로봇 암 ( 34 ) 의 이재 위치 를 지정 하 기 위한 것 이 다 .