일 구 현예 에 따라 조명 시스템 에 적합 한 장치 ( 1 ) 가 도 1 및 도 2 에 표시 될 수 있 다 . 상기 장치 ( 1 ) 는 하우징 ( 2 ) 을 포함 할 수 있 고 , " 일반 적 으로 소위 "" 클린 룸 "" 에 부분 적 으로 또는 완전히 설치 될 수 있 다 . 하우징 ( 2 ) 외 에 특히 ", 도 2 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 격벽 ( 3 내지 5 ) 이 존재 할 수 있 다 . 하우징 ( 2 ) 은 격벽 ( 3 ) 으로 반응기 영역 ( 21 ) 을 구분 할 수 있 다 . 기판 핸들링 챔버 ( 22 ) 는 하우징 ( 2 ) 과 격벽 ( 3 , 4 ) 사이 에서 구분 될 수 있 다 . 카세트 핸들링 챔버 ( 23 ) 는 격벽 ( 4 , 5 ) 과 하우징 ( 2 ) 사이 에서 구분 될 수 있 다 . 장치 ( 1 ) 는 카세트 도입부 ( 33 ) 를 추가 로 포함 할 수 있 다 .