티칭 포지션 최적화 장치 ( 220 ) 는 본 실시 형태 에 관한 편심 을 없애 는 프로그램 이 실행 된 정보 처리 장치 이 다 . 티칭 포지션 최적화 장치 ( 220 ) 는 , 사전 에 작성 된 후술 하 는 모델 , 입력 된 막 두께 의 측정 결과 , 및 입력 된 티칭 포지션 을 이용 하 여 , 후술 하 는 바 와 같이 편심 의 영향 을 가장 줄일 수 있 다고 예상 되 는 티칭 포지션 을 계산 한다 .