실시 예 1 에서 제조 한 전구체 용액 과 Si 나노 입자 ( 입경 30 내지 50 nm , Nanostructured & Amorphous Materials , Inc . ( 미국 ) ) 를 산화 실리콘 과 Si 의 무게 비 가 1 : 0 . 1 이 되 도록 혼합 한 후 , 60 ℃ 배스 ( bath ) 에서 교반 하 면서 겔화 ( gellation ) 시킨 후 , 이 를 90 ℃ 오븐 에서 건조 시켰 다 . 　 이 겔 을 1000 ℃ 수소 분위기 하 에서 1 시간 동안 열처리 하 고 , 이 를 분쇄 하 여 입자 를 제조 하 였 다 .