9 . 항목 8 의 검출 시스템 에서 , 설정 패턴 은 센서 표면 의 제 1 영역 내 의 제 1 세트 의 동일 한 비교 결정 및 센서 표면 의 제 2 영역 내 의 제 2 세트 의 토글 링 비교 결정 을 포함 하 고 있 으며 , 빔 스폿 경 계부 결정 모듈 은 제 1 위치 를 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 의 위치 로서 결정 하 도록 구성 되 어 있 다 .