도 7 에 도시 한 바 와 같이 , 가스 도입 노즐 ( 34 ) 및 시스 관 ( 35 a , 35 b ) 에 는 , 커버 체 ( 221 ) 가 설치 되 어 있 다 . 커버 체 ( 221 ) 는 , 가스 도입 노즐 ( 34 ) 및 시스 관 ( 35 a , 35 b ) 을 상방 및 측방 으로부터 ( 장변 방향 및 단변 방향 에서 의 양 측면 을 ) 덮 도록 배치 되 어 있 다 . 커버 체 ( 221 ) 는 절연체 , 예 를 들 어 석영 에 의해 구성 되 어 있 다 . 또한 , 커버 체 ( 221 ) 에 는 , 활성 화 가스 인 젝 터 ( 220 ) 의 길 이 방향 을 따라서 연장 되 고 , 커버 체 ( 221 ) 의 양 측면 의 하단 부 로부터 외측 을 향해 플랜지 형상 으로 수평 으로 연장 되 는 기류 규제 면 ( 222 ) 이 설치 되 어 있 다 . 기류 규제 면 ( 222 ) 은 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 상류 측 으로부터 통류 하 는 O 3 가스 나 N 2 가스 의 커버 체 ( 221 ) 의 내부 영역 으로 의 침입 을 억제 하 기 위해서 , 기류 규제 면 ( 222 ) 의 하단 부면 과 회전 테이블 ( 2 ) 의 상면 과 의 사이 의 간극 치수 ( t ) 가 작아지 도록 , 또한 , 회전 테이블 ( 2 ) 의 중심 부측 으로부터 가스 류 가 빨라 지 는 회전 테이블 ( 2 ) 의 외주 측 을 향 할수록 , 그 폭 ( u ) 이 넓 어 지 도록 형성 되 어 있 다 . 도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 커버 체 ( 221 ) 는 , 진공 용기 ( 1 ) 의 천 장판 ( 11 ) 에 접속 되 는 복수 의 지지 부재 ( 223 ) 에 의해 지 지 되 어 있 다 .