한편 , Mo - Ti 합금 을 포함 하 는 확산 방지 층 ( 500 ) 의 두께 는 100 nm 내지 100 μ m 일 수 있 다 . 확산 방지 층 ( 500 ) 의 두께 가 상기 범위 내일 때 열전 소재 층 ( 300 ) 의 산화 를 효과 적 으로 억제 할 수 있 고 , 또 열전 소재 층 ( 300 ) 과 의 열팽창 계수 차이 로 인한 막 응력 을 완화 하 여 막 분리 를 방지 할 수 있 다 . 상기 와 같 은 확산 방지 층 ( 500 ) 내 합금 물질 의 사용 및 이 와 조합 한 두께 제어 를 통한 개선 효과 의 현저 함 을 고려 할 때 확산 방지 층 의 두께 는 보다 구체 적 으로 150 nm 내지 100 μ m , 보다 더 구체 적 으로 는 150 nm 내지 10 μ m 일 수 있 다 .