그리고 , 초단파 의 고주파 전원 이 인가 되 는 경우 전자 의 온도 가 종래 에 비해 낮 음 을 검증 하 기 위해서 , 종래 의 코일 부재 에 13 . 56 MHz 의 고주파 전원 을 인가 하 고 본 실시 예의 코일 부재 ( 30 ) 에 27 . 12 MHz 의 고주파 전원 을 인가 하 여 식각 가스 를 플 라즈 마 상태 로 유도 하 면 , 발생 된 전자 가 각각 약 3 . 2 eV 및 약 2 . 5 eV 의 에너지 를 가지 도록 형성 됨 을 확인 할 수 있 다 . 따라서 , 본 실시 예 에 있 어서 는 종래 에 비해 식각 가스 가 플라 즈 마 상태 로 유도 되 더라도 더 낮 은 에너지 를 가지 게 됨 을 알 수 있 다 .