상기 제 1 공기실 ( 210 ) 은 기판 ( S ) 을 부상 시키 는 공기 가 분사 되 는 분사구 ( 211 ) 를 구비 하 고 있 으며 , 상기 팬 ( 230 ) 은 제 2 공기실 ( 220 ) 의 내부 에 설치 되 어 있 다 . 기판 ( S ) 은 분사구 ( 211 ) 의 위쪽 에 배치 되 므로 , 분사구 ( 211 ) 를 통해 분사 된 공기 가 기판 ( S ) 의 저 면부 를 가압 함 으로써 기판 ( S ) 이 부상 하 게 된다 .