음향 감지 디바이스 의 실시 예 들 에서 , 차동 MEMS 센서 디바이스 들 의 하나 이상 의 쌍 중 적어도 하나 의 쌍 은 MEMS 음향 트랜스 듀 서 들 , 예 를 들 어 , 마이크로폰 들 또는 확성기 들 의 쌍 이 다 . 따라서 , 음향 감지 디바이스 는 마이크로폰 으로서 기능 하 도록 구성 될 수 있 다 . 음향 감지 디바이스 , 특히 , 본 명세서 에 개시 된 마이크로폰 은 음파 들 을 , 측정 될 수 있 는 전기 차동 신호 로 변환 하 기 위한 것 이 다 . 측정 된 전기 신호 는 , 예 를 들 어 , 본 명세서 에 설명 된 바 와 같 은 변환기 를 이용 하 여 증폭 될 수 있 다 . 간략 성 을 위해 , 음향 감지 디바이스 는 이하 에서 트윈 차동 MEMS 센서 디바이스 들 을 포함 하 는 음향 트랜스 듀 서 , 예 를 들 어 , 마이크로폰 으로서 설명 된다 .