이 와 같 은 문제 에 대하 여 , 트렌치 측벽 의 경사도 를 증가 시킴 으로써 ( 도 1 b 참조 ) 트렌치 내부 의 절 연막 갭 필 특성 을 향상 시킬 수 있 다 . 그러나 , 트렌치 측벽 의 경사도 를 증가 시키 는 경우 , 최근 소자 의 집적 도 증가 에 따라 필수 적 으로 이용 되 고 있 는 리 세스 게이트 ( recess gate ) 공정 시 소자 분리 막 과 리세 스 의 경 계부 에 첨 점 형태 의 뿔 ( horn ) 이 발생 한다 . 이러 한 뿔 은 문턱 전압 ( Threshold Voltage : Vt ) 을 감소 시키 는 등 소자 의 전기 적 특성 을 열화 시키 는 문제점 을 초래 한다 .