로드 락 챔버 ( 220 ) 는 하나 또는 복수 개 가 제공 된다 . 일 예 에 의하 면 , 로드 락 챔버 ( 220 ) 는 두 개 가 제공 된다 . 두 개 의 로드 락 챔버 들 ( 220 ) 중 하나 에 는 공정 진행 을 위해 처리 모듈 ( 200 ) 로 유입 되 는 기판 ( W ) 들 이 일시 적 으로 머무르 고 , 다른 하나 에 는 공정 이 완료 되 어 처리 모듈 ( 200 ) 로부터 유출 되 는 기판 ( W ) 들 이 일시 적 으로 머무를 수 있 다 . 로드 락 챔버 ( 220 ) 내 에서 기판 ( W ) 들 은 서로 상하 로 이격 되 어 서로 대향 되 도록 놓인다 . 로드 락 챔버 ( 220 ) 에 는 기판 ( W ) 의 가장자리 영역 일부 를 지지 하 는 슬롯 들 이 복수 개 제공 될 수 있 다 .