또한 , 에칭 대상 막 에 대한 바탕 층 으로 는 , 텅스텐 층 ( 130 ) 을 예 로 들 지만 , 바탕 층 이 이 에 한정 되 지 는 않 으며 , 도전 층 이 면 된다 . 도전 층 의 다른 예 로 는 금속 층 또는 실리콘 층 일 수 있 다 . 금속 층 으로 는 , 텅 스턴 이외 에 도 , 티탄 ( Ti ) , 알루미늄 ( Al ) , 구리 ( Cu ) 등 을 들 수 있 다 . 한편 , 실리콘 층 의 일 예 로 는 , 다 결정 실리콘 ( poly - Si ) , 비결정 실리콘 등 으로 이루어지 며 도전 성 을 갖 는 실리콘 함유층 을 들 수 있 다 .