예 1 : 기판 세정 및 건조 장치 는 , 기판 을 수직 으로 유지 하 고 다양 한 속력 들 로 회전 시키 도록 구성 되 는 수직 기판 홀더 ; 장치 의 동작 동안 수직 기판 홀더 를 둘러싸 도록 구성 되 는 내측 차 폐부 및 외측 차 폐부 ― 내측 차 폐부 및 외측 차 폐부 각각 은 회전 속력 및 방향 중 적어도 하나 에서 다른 차 폐부 와 독립 적 으로 동작 하 도록 구성 됨 ―; 및 전면 측 분무 제트 어레이 및 후면 측 분무 제트 어레이 를 포함 하 며 , 전면 측 분무 제트 어레이 및 후면 측 분무 제트 어레이 각각 은 기판 의 적어도 하나 의 면 상 에 적어도 하나 의 유체 를 분무 하 도록 구성 된다 .