현상 속도 가 60 초 이상 을 넘어가 게 되 면 , 주어진 공정 시간 안 에 제조 가 불가 하 고 , 30 초 이상 을 넘어가 게 되 면 , 패턴 표면 의 거칠 기 가 균일 하 지 않 게 되 며 , Uniformity 또한 감소 될 수 있 다 . 본원 발명 의 실시 예 1 내지 5 는 현상 속도 가 30 초 미만 이 고 , 감도 가 60 이하 로 우수 하 였으며 , 패턴 안정 성 및 테이퍼 선폭 모두 우수 한 효과 를 가짐 을 확인 하 였 다 . 반면 , 비 교예 1 의 경우 , 산란 입자 가 포함 되 지 않 아 , 패턴 안정 성 이 불안 하 며 , 패턴 의 불 균형 을 일으켰 다 . 비 교예 2 의 경우 , 아크릴 수지 만 으로 결합 하 게 되 면 , 산란 입자 와 청색 착색제 를 카 도계 바인더 수지 만큼 강하 게 지지 하 지 못하 여 , 박리 가 되 었 으며 , 비 교예 3 의 경우 , 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드 를 포함 하 지 않 는 광중합 성 화합물 의 경우 , 현상 속도 가 현저히 떨어졌으며 , 긴 현상 속도 에 의해 , 패턴 안정 성 과 패턴 의 불 균형 이 일어남 을 확인 하 였 다 .