서 셉 터 ( 30 ) 의 상면 으로 유리 기판 ( G ) 이 얹혀 지 면서 로딩 되 거나 취 출 되 기 위해 서 셉 터 ( 30 ) 에 는 로딩 되 거나 취 출 되 는 유리 기판 ( G ) 의 하면 을 안정 적 으로 지지 하 는 복수 의 리프트 핀 ( 31 , Lift Pin ) 이 더 구비 되 어 있 다 . 리프트 핀 ( 31 ) 들 은 서 셉 터 ( 30 ) 를 관통 하 도록 서 셉 터 ( 30 ) 에 설치 되 어 있 다 .