본 발명 은 기술 적 해결책 으로 고 효율 화학 기상 증착 법 그래핀 주름 제거 방법 을 제공 한다 . 상기 방법 은 고온 환경 에서 제어 가능 한 양성자 를 주입 하 고 , 온도 환경 및 양성자 를 생성 하 는 수소 플 라즈 마 전력 과 시간 을 정확 하 게 제어 함 으로써 , 구리 , 니켈 등 각종 금속 및 그 합금 , 산화 규소 , 탄화규소 등 각종 비금속 기판 에서 주름 없 는 초 평탄 그래핀 필름 을 직접 성장 시키 거나 , 주름 있 는 그래핀 의 주름 을 제거 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 구체 적 인 단계 는 하 기 와 같 다 .