도 5 는 , 제 2 실시 형태 에 따른 가스 용해액 제조 장치 의 모식도 이 다 . 도 1 과 동일 한 요소 에 는 동일 한 부호 를 붙이 고 그 설명 을 생략 한다 . 또한 , 제 어부 ( 24 ) 와 압력 센서 ( 21 ) 및 압력 조정 밸브 ( 22 ) 사이 의 배선도 생략 한다 . 도 5 에 나타낸 바 와 같이 , 제 2 실시 형태 에 따른 가스 용해액 제조 장치 ( 1 d ) 는 , 제 1 실시 형태 에 따른 가스 용해액 제조 장치 ( 1 ) 에 비하 여 , 기 액 분리 탱크 ( 17 b ) 의 내부 구조 가 변경 되 었 고 , 유량 센서 ( 23 ) 와 , 펌프 ( 11 ) 를 제어 하 는 제 어부 ( 24 ) 를 더 구비 한다 . 유량 센서 ( 23 ) 는 , 펌프 ( 11 ) 와 노즐 ( 13 ) 사이 의 배관 ( P 3 ) 에 설치 되 고 , 펌프 ( 11 ) 로부터 토출 된 액체 의 유량 을 검지 한다 . 즉 유량 센서 ( 23 ) 는 , 기 액 분리 탱크 ( 17 b ) 에 공급 되 는 액체 의 유량 을 검지 한다 . 제 어부 ( 24 ) 는 , 유량 센서 ( 23 ) 에 접속 되 어 있 고 , 유량 센서 ( 23 ) 에 의해 검출 된 유량 을 유량 센서 ( 23 ) 로부터 취득 한다 . 또한 제 어부 ( 24 ) 는 , 액면 감시 센서 ( 19 ) 에 접속 되 어 있 고 , 액면 감시 센서 ( 19 ) 에 의해 검출 된 액면 높이 를 액면 감시 센서 ( 19 ) 로부터 취득 한다 .