또한 , 간섭계 ( 300 ) 는 선택 적 으로 제어기 ( 316 ) , 및 오목 한 거울 ( 308 A ) , 볼록 한 거울 ( 310 A ) 및 평탄 한 거울 ( 312 A ) 에 각각 커플링 된 액추에이터 들 ( 318 , 320 및 322 ) 의 사용 을 통한 동적 빔 폭 조정 을 포함 한다 . 제어기 ( 316 ) 는 검출기 ( 314 ) 에 커플링 된다 . 검출기 ( 314 ) 는 기판 ( 301 ) 상 에 형성 된 간섭 패턴 ( 303 ) 의 프린지 들 의 콘트 라스트 를 감지 하 고 , 감지 된 콘트 라스트 를 나타내 는 신호 를 생성 하 도록 구성 된다 . 제어기 ( 316 ) 는 검출기 ( 314 ) 에 의해 생성 된 신호 를 수신 하 고 , 간섭 패턴 ( 303 ) 의 프린지 들 의 콘트 라스트 를 증가 시킬 볼록 한 거울 ( 310 A ) 및 / 또는 오목 한 거울 ( 308 A ) 의 방위 및 / 또는 위치 의 조정 을 나타내 는 제어 신호 를 생성 한다 . 액추에이터 들 ( 318 및 320 ) 은 제어 신호 를 수신 하 고 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 및 / 또는 볼록 한 거울 ( 310 A ) 의 위치 , 형상 및 / 또는 방위 를 각각 조정 한다 . 예 를 들 어 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 및 / 또는 볼록 한 거울 ( 310 A ) 은 해당 업계 에 알려진 바 와 같이 변형 가능 한 거울 들 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제어기 ( 316 ) 는 , 오목 한 거울 ( 308 A ) 을 결정 된 거리 만큼 이동 시킴 으로써 , 또는 오목 한 거울 ( 308 A ) 을 사전 설정 된 양 만큼 변형 시킴 으로써 , 간섭 패턴 ( 303 ) 의 프린지 들 의 콘트 라스트 가 증가 될 수 있 다는 것 을 결정 할 수 있 다 . 이러 한 실시 예 에서 , 제어기 ( 316 ) 는 액추에이터 ( 318 ) 에 의해 수신 된 대응 하 는 제어 신호 를 생성 한다 . 그 후 , 액추에이터 ( 318 ) 는 오목 한 거울 ( 308 A ) 의 위치 또는 형상 을 사전 설정 된 거리 또는 양 만큼 조정 한다 .