상기 과제 를 해결 하 기 위하 여 , 본 발명 은 진공 조 와 , 상기 진공 조 내 의 저 벽 측 에 위치 하 며 , 일 반송 직선 이 연장 되 는 방향 을 따라 배치 된 복수 의 반송 롤러 와 , 상기 진공 조 내 의 천장 측 에 위치 하 며 , 상기 반송 직선 이 연장 되 는 방향 을 따라 배치 된 복수 의 상부 롤러 와 , 상기 반송 롤러 를 회전 축선 을 중심 으로 각각 회전 시키 는 회전 장치 를 가지 며 , 상기 반송 롤러 는 , 상기 회전 축선 이 서로 평행 하 게 배치 되 어 측면 이 동일 한 상기 반송 직선 과 접촉 하 도록 배치 되 고 , 기판 이 , 연직 축선 으로부터 소정 의 경사 각도 기울어져 , 상기 반송 직선 을 따른 방향 을 향하 게 된 반송 자세 로 , 상기 반송 롤러 의 측면 상 에 얹혀졌 을 때 에 , 상기 상부 롤러 는 , 상기 기판 의 표면 중 , 하방 을 향하 는 아래 표면 에 측면 이 접촉 하 는 위치 에 배치 되 고 , 상기 반송 롤러 가 회전 하 여 , 상기 반송 롤러 상 의 상기 기판 이 상기 반송 자세 를 유지 하 면서 상기 반송 직선 을 따른 방향 으로 이동 할 때 에 , 상기 상부 롤러 는 , 상기 기판 의 상기 아래 표면 의 상부 와 접촉 하 면서 회전 하 도록 구성 된 진공 장치 로서 , 복수 의 하부 롤러 와 , 복수 의 가압 롤러 와 , 스프링 으로 이루어지 는 가압 기구 를 가지 며 , 상기 하부 롤러 의 회전 축선 의 위치 는 , 상기 진공 조 에 대하 여 정지 ( 靜止 ) 되 고 , 상기 가압 롤러 는 , 상기 가압 기구 에 의해 되 밀릴 수 있 도록 상기 하부 롤러 에 가압 되 고 , 상기 하부 롤러 는 측면 이 , 상기 반송 롤러 상 에서 상기 반송 자세 인 상기 기판 의 상기 아래 표면 의 하부 와 접촉 가능 한 위치 에 배치 되 어 , 상기 기판 이 상기 반송 자세 로 상기 반송 롤러 상 을 이동 하 면 , 상기 기판 은 상기 가압 롤러 를 되 밀 어 상기 하부 롤러 와 상기 가압 롤러 사이 에 삽입 되 고 , 상기 기판 은 상기 하부 롤러 와 상기 가압 롤러 사이 에 끼워져 , 상기 하부 롤러 와 상기 가압 롤러 를 회전 시키 면서 이동 하 도록 구성 된 진공 장치 이 다 .