소스 공급 부재 ( 300 ) 는 도가니 ( 310 ) 와 가열 부재 ( 320 ) 를 포함 한다 . 도가니 ( 310 ) 는 증착 하 고자 하 는 유기 물질 을 수용 한다 . 도가니 ( 310 ) 는 기판 ( 3 ) 의 너비 ( 기판 이송 방향 에 수직 한 기판 의 일변 ) 에 대응 하 도록 연장 형성 된 선형 구조 의 통 형상 을 가진다 . 도가니 ( 310 ) 의 상부 면 에 는 도가니 ( 310 ) 내 의 증발 된 유기 물질 ( 플룸 ) 이 기판 ( 3 ) 상 에 공급 될 수 있 도록 다수 의 홀 들 ( 312 ) 이 형성 된다 . 가열 부재 ( 320 ) 는 유기 물질 로부터 플룸 ( Flume ) 이 발생 하 도록 도가니 ( 310 ) 를 가열 하 여 유기 물질 에 열 을 제공 한다 . 가열 부재 ( 320 ) 로 는 코일 형상 의 열선 이 사용 될 수 있 으며 , 가열 부재 ( 320 ) 는 도가니 ( 310 ) 의 측벽 내 에 배치 되 거나 도가니 ( 310 ) 의 측벽 을 감싸 도록 배치 될 수 있 다 . 이 와 달리 가열 부재 ( 320 ) 대신 도가니 ( 310 ) 로 레이저 를 조사 하 는 레이저 조사 부재 ( 미 도시 ) 가 사용 될 수 도 있 다 .