스크라이빙 유닛 ( 110 ) 은 예컨대 , 커터 휠 과 초음파 진동자 사이 에 기구 적 인 체결 없이 배치 되 도록 일체 형 의 모듈 로 구비 되 어 , 테이블 ( 104 ) 의 상부 면 ( 102 ) 에 로딩 된 기판 표면 에 스 크 라 이브 선 을 그 어 크랙 을 형성 한다 . 예컨대 , 본 발명 의 스크라이빙 유닛 ( 110 ) 은 종래 기술 의 스 크 라 이브 몸체 와 , 커터 휠 을 고정 지지 하 는 홀더 가 하나 로 결합 된 형태 즉 , 일체 형 의 스 크라이 브 헤드 ( 도 2 의 160 ) 를 구비 한다 . 스 크라이 브 헤드 ( 160 ) 는 몸체 내부 에 초음파 진동자 등 의 진동 발생 부재 를 구비 하 고 , 몸체 로부터 연장 되 는 홀더 ( 도 2 의 140 ) 에 커터 휠 ( 도 2 의 142 ) 이 설치 된다 . 스크라이빙 유닛 ( 110 ) 에 대한 구체 적 인 내용 은 다음 의 도 2 내지 도 5 를 이용 하 여 상세히 설명 한다 .