본 발명 의 다른 관점 에 있 어서 , 상기 제 1 가스 공급 유닛 은 상기 제 1 가스 충전 용기 와 제 1 가스 제어 장치 가 각각 단일 로 구성 되 고 , 상기 제 1 가스 제어 장치 는 상기 제 1 가스 충전 용기 로부터 제공 받 은 제 1 가스 를 제어 한 다음 , 소정 의 유속 과 유량 을 갖 는 하나 의 제 1 가스 가 공급 되 도록 구성 될 수 있 다 .