Z 헤드 ( 72 a ∼ 72 d ) 로 는 , 예 를 들 어 CD 드라이브 장치 등 으로 사용 되 는 광 픽업 과 동일 한 광학 식 변위 센서 의 헤드 가 사용 된다 . Z 헤드 ( 72 a ∼ 72 d ) 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 에 대하 여 상방 으로부터 계측 빔 을 조사 하 고 , 그 반사광 을 수 광 하 여 , 조사 점 에 있 어서 의 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 면 위치 를 계측 한다 . 또한 본 실시 형태 에서 는 , Z 헤드 의 계측 빔 은 , 전술 한 Y 스케일 ( 39 Y 1 , 39 Y 2 ) 을 구성 하 는 반사 형 회절 격자 에 의해 반사 되 는 구성 을 채용 하 고 있 다 .