이어서 , 공정 챔버 ( 102 ) 를 제 2 인터 퍼징 하 는 단계 ( S 24 ) 가 이어질 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 2 인터 퍼징 하 는 단계 ( S 24 ) 는 공정 챔버 ( 102 ) 내 탄소 ( C ) 를 줄이 기 위해서 탄소 와 반응 하 여 휘발 할 수 있 는 처리 , 예컨대 O 2 플 라즈 마 처리 를 포함 할 수 있 다 . 제 2 인터 퍼징 하 는 단계 ( S 24 ) 는 전술 한 제 1 인터 퍼징 하 는 단계 ( S 14 ) 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 고 , 따라서 중복 된 설명 은 생략 된다 .