그리고 , 도 4 ( a ) , 도 4 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 「 Cu 막 이 있 는 반사 」 의 특성 과 「 Cu 막 제거 후 의 반사 」 의 특성 , 즉 「 Ta 막 이 있 는 반사 」 의 특성 은 , 상기 0 . 1 ∼ 3 GHz 의 소요 주파수 범위 중 , 특히 2 ∼ 2 . 8 GHz 부근 의 소정 주파수 영역 에 있 어서 변화 가 크 다 . 이 와 마찬가지 로 , 「 Cu 막 이 있 는 투과 」 의 특성 과 「 Cu 막 제거 후 의 투과 」 의 특성 , 즉 「 Ta 막 이 있 는 투과 」 의 특성 은 , 상기 2 ∼ 2 . 8 GHz 부근 의 소정 주파수 영역 에 있 어서 변화 가 크 다 .