따라서 , 본 발명 은 상기 도핑 된 폴리 실리콘 막 과 금속 막 사이 의 계면 반응 을 억제 함 으로써 , 상기 계면 반응 이 발생 되 는 화합물 에 의해 게이트 절 연막 의 특성 이 저하 되 는 GOI 페일 을 방지 할 수 있 으며 , 또한 , 상기 도핑 된 폴리 실리콘 막 과 텅스텐 막 의 계면 에 비 정상 적 인 이 물질 들 이 발생 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .