상기 중합체 또는 화합물 ( A 1 ) ∼( A 15 ) 및 ( R 1 ) ∼( R 3 ) , 첨가제 로서 가교제 ( XL ) , 산 발생 제 ( AG ) , 고 비점 용제 로서 ( S 1 ) 1 , 6 - 디아 세 톡 시 헥산 : 비점 260 ℃ 및 ( S 2 ) 트리 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 : 비점 242 ℃ 를 이용 하 여 , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 ( PGMEA ) 또는 시클로헥사논 ( CyHO ) , FC - 4430 [ 스미토모 쓰리 엠 ( 주 ) 제조 ] 0 . 1 질량 % 를 포함 하 는 용매 중 에 표 3 에 나타내 는 비율 로 용해 시키 고 , 0 . 1 ㎛ 의 불소 수지 제 의 필터 로 여과 함 으로써 유기 막 형성 용 조성물 ( UDL - 1 ∼ 17 , 비교 UDL - 1 ∼ 4 ) 을 각각 조제 하 였 다 .