도 1 a 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( 100 ) 으로 실리콘 기판 또는 적층 세라믹 기판 을 화학 적 으로 세척 하 여 준비 한다 . 이러 한 기판 ( 100 ) 으로 는 내부 에 배 선부 ( 151 ) , 배 선부 ( 151 ) 의 일단 에 연결 되 며 기판 ( 100 ) 의 상면 에 부착 된 상면 단자 ( 152 ) 및 배 선부 ( 151 ) 의 타단 에 연결 되 며 기판 ( 100 ) 의 하면 에 부착 된 하 면 단자 ( 153 ) 가 형성 되 어 있 는 것 이 면 특별 한 제한 이 없 으나 , 바람직 하 게 는 세라믹 재질 로 이루어지 며 상용 되 는 스페이스 트랜스포머 가 사용 될 수 있 다 .