도 11 은 본 개시 의 일 실시 예 에 따른 초음파 세정 공정 에 의해 세정 된 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 을 보여 주 는 도면 이 다 . 일 실시 예 에서 , 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 을 식각 하 는 단계 ( S 203 ) 는 상기 초음파 세정 공정 에 의해 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 을 세정 하 는 단계 를 선택 적 으로 포함 할 수 있 다 . 또한 , 상기 초음파 클리닝 공정 은 전술 한 상기 플 라즈 마 식각 공정 이후 에 수행 될 수 있 다 .