본 발명 의 에칭 액 조성물 에서 유기산 은 조성물 총 중량 에 대하 여 , 1 내지 60 중량 % 로 포함 되 는 것 이 바람직 하 며 , 더욱 바람직 하 게 는 1 내지 40 중량 % 로 포함 되 는 것 이 좋 다 . 유기산 이 1 중량 % 미만 으로 포함 되 면 공정 에 적합 한 산화 막 식각 속도 를 제공 하 지 못 하 며 , 60 중량 % 를 초과 하 면 질화 막 등 에 대한 식각 손실 이 크 게 발생 하 게 된다 .