클러스터 장치 ( 1 ) 에 는 기판 ( S ) 의 흐름 방향 으로 상류 측 으로부터 의 기판 ( S ) 을 해당 클러스터 장치 ( 1 ) 로 전달 하 는 패스 실 ( 15 ) 과 , 해당 클러스터 장치 ( 1 ) 에서 성막 처리 가 완료 된 기판 ( S ) 을 하 류 측 의 다른 클러스터 장치 로 전달 하 기 위한 버퍼 실 ( 16 ) 이 연결 된다 . 반 송실 ( 13 ) 의 반송 로봇 ( 14 ) 은 상류 측 의 패스 실 ( 15 ) 로부터 기판 ( S ) 을 받 아서 , 해당 클러스터 장치 ( 1 ) 내 의 성막 장치 ( 11 ) 중 하나 ( 예컨대 , 성막 장치 ( 11 a ) ) 로 반송 한다 . 또한 , 반송 로봇 ( 14 ) 은 해당 클러스터 장치 ( 1 ) 에서 의 성막 처리 가 완료 된 기판 ( S ) 을 복수 의 성막 장치 ( 11 ) 중 하나 ( 예컨대 , 성막 장치 ( 11 b ) ) 로부터 받 아서 , 하류 측 에 연결 된 버퍼 실 ( 16 ) 로 반송 한다 .