전술 한 것 과 같이 , 이 류체 형태 의 제 1 세정액 ( CL 11 , CL 12 ) 을 생성 하 기 위해서 , 노즐 구 조체 ( 200 ) 는 제 2 저 장부 ( 220 ) 로부터 건조 공기 를 제공 받 는다 . 따라서 , 기판 ( W ) 의 건조 를 위해서 , 제 2 저 장부 ( 220 ) 의 건조 공기 를 사용 하 면 되 고 , 별도 의 건조 공기 제 공부 를 구비 할 필요 가 없 다 .