변형 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 이동 기구 ( 11 ) 의 일부 를 , 노즐 블록 ( 20 , 51 ) , 또는 아 암부 ( 10 ) 에 배치 해도 좋 다 . 예컨대 , 변형 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 이동 기구 ( 11 ) ( 회동 기구 의 일례 ) 에 의해 , 아 암부 ( 10 ) 에 대해 , 노즐 블록 ( 51 ) ( 고정 부재 의 일례 ) 을 회동 시킨다 . 이 에 의해 , 변형 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 기판 처리 중 에 , 처리 액 의 토출 각도 를 변경 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 변형 예 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 처리 액 을 기판 ( W ) 의 둘레 가장자리 에 균일 하 게 토출 할 수 있 고 , 기판 ( W ) 의 둘레 가장자리 를 정밀 도 좋 게 에칭 할 수 있 다 .