일반 적 으로 ' RTP ' 라고 일컬 어 지 는 빠른 열처리 는 , 수초 내 에 상온 으로부터 약 1000 ℃ 로 갈 수 있 는 매우 순간 적 인 강렬 한 열 의 폭발 에 기판 을 노출 시킨다 . RTP 기술 은 증착 된 필름 또는 결정 격자 의 특성 을 변화 시키 는 데 이용 된다 . RTP 는 일반 적 으로 기판 표면 의 어닐링 , 실리콘 화합물 화 ( silicidation ) 및 산화 와 같 은 처리 를 포함 한다 .