전술 한 바 와 같이 우수 한 특성 을 갖 는 탄화규소 를 전자 소자 에 응용 하 기 위해서 는 소자 제작 에 필요 한 단결정 박막 성장 , 박막 의 도핑 컨트롤 , 산화 막 형성 , 금속 접합 , 선택 적 도핑 , 식각 기술 등 제반 공정 기술 이 확립 되 어야 하 며 , 그 중 에서 도 가장 중요 한 기술 중 의 하나 는 산화 막 와 탄화규소 사이 의 고품위 계면 을 갖 는 구조 를 제조 하 는 기술 이 다 .