표 1 에 나타낸 바 와 같이 , 실시 예 1 내지 14 의 연마 용 조성물 을 사용 한 경우 에 는 모두 30 nm / 분 을 초과 하 는 연마 속도 로 질화 규소 를 연마 할 수 있 었 다 . 그 에 비하 여 유기산 을 고정 화 한 콜로 이달 실리카 를 함유 하 지 않 은 비 교예 1 내지 3 의 연마 용 조성물 의 경우 및 술폰산 을 고정 화 한 콜로 이달 실리카 를 함유 하 고 있 지만 pH 가 6 을 상회 하 는 비 교예 4 의 연마 용 조성물 의 경우 에 는 질화 규소 의 연마 속도 에 관해서 얻 어 진 값 은 낮 았 다 . 또한 , 콜로 이달 실리카 를 함유 하 지 않 은 비 교예 5 의 연마 용 조성물 인 경우 에 는 질화 규소 를 전혀 연마 할 수 없 었 다 .