일부 실시 예 들 에서 , 기판 ( S ) 을 신속 하 게 냉각 하 기 위해 , 열 전도성 가스 ( 예컨대 , 아르곤 , 헬륨 등 ) 가 디스크 ( 202 ) 와 열 제어 판 ( 204 ) 사이 의 계면 ( 218 ) 에 제공 될 수 있 다 . 예컨대 , 일부 실시 예 들 에서 , 챔버 내 의 작동 압력 은 약 30 mTorr 미만 일 수 있 다 . 약 2 내지 약 20 Torr 사이 의 전도성 가스 를 제공 함 으로써 , 디스크 ( 202 ) 와 열 제어 판 ( 204 ) 사이 의 압력 이 유지 될 수 있 다 . 가스 의 존재 는 디스크 ( 202 ) 와 열 제어 판 ( 204 ) 사이 의 열 전달 을 개선 하 고 , 이 에 따라 , 증대 된 냉각 속도 를 제공 한다 . 또한 , 디스크 ( 202 ) 와 열 제어 판 ( 204 ) 사이 의 열 전달 률 을 더 개선 하 여 기판 ( S ) 과 디스크 ( 202 ) 의 신속 한 냉각 을 더 용이 하 게 하 도록 , 열 제 어 판 ( 204 ) 에 대한 디스크 ( 202 ) 의 클램 핑 압력 을 증대 시키 기 위해 척 킹 력 이 디스크 ( 202 ) 의 전극 ( 408 ) 에 제공 되 거나 증대 될 수 있 다 .