이 때 에 는 , 다음 의 선택 공정 ( 단계 S 16 ') 에 있 어서 , 4 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 , 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 를 검출 한 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 이외 의 3 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 의 검출 값 을 선택 한다 . 도 14 이 도시 하 는 예 에서 는 , 3 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 A , 52 C , 52 D ) 의 검출 값 을 선택 한다 .