이 를 도 5 c 를 참조 하 여 설명 하 면 , 제 1 기판 ( 161 ) 의 제 1 마커 ( 194 a ) 를 형성 하 기 위해 제 1 스캐너 ( 151 ) 에 제 1 가지 레이저 빔 ( BL 1 ) 이 일시 적 으로 공급 된다 . 이 에 따라 제 1 기판 ( 161 ) 에 는 제 1 마커 ( 194 a ) 의 제 1 점 ( P 11 ) 이 형성 된다 . 그리고 , 제 1 스캐너 ( 151 ) 가 제 1 마커 ( 194 a ) 의 제 2 점 ( P 12 ) 을 형성 하 기 위해 초점 을 맞추 는 동안 , 제 2 스캐너 ( 152 ) 에 의해 제 2 마커 ( 194 b ) 의 제 1 점 ( P 21 ) 이 형성 된다 . 이 를 위해 , 제 2 음향 광학 변조기 ( 132 ) 에 의해 제 2 가지 레이저 빔 ( BL 2 ) 이 제 2 스캐너 ( 152 ) 에 일시 적 으로 공급 된다 . 이 에 따라 , 제 2 스캐너 ( 152 ) 는 제 2 기판 ( 162 ) 상 에 제 2 마커 ( 194 b ) 의 제 1 점 ( P 21 ) 을 형성 한다 .