관심 대상 매개변수 에 대한 패 터닝 된 기판 계측 데이터 ( 500 ) 는 적어도 2 개 의 기여 도 를 가질 수 있 다 . 따라서 , 패 터닝 된 기판 계측 데이터 내 의 하나 이상 의 다른 기여 도 를 제거 함 으로써 패 터닝 된 기판 계측 데이터 내 의 하나 이상 의 기여 도 가 획득 될 수 있 다 . 따라서 , 패 터닝 된 기판 계측 데이터 ( 500 ) 로부터 기여 도 ( 520 ) 를 제거 ( 505 ) 함 으로써 기여 도 ( 510 ) 가 획득 될 수 있 다 . 요소 ( 505 ) ( 및 도면 의 다른 요소 ) 는 마이너스 기호 를 나타내 지만 , 505 에서 의 연산 은 뺄셈 일 필요 는 없 으며 , 예 를 들 어 이 는 신경망 등 의 사용 을 통하 여 곱셈 , ( 디 ) 컨 볼루 션 일 수 있 다 . 기여 도 ( 520 ) 는 기여 도 ( 470 ) 와 같 은 유도 된 기여 도 일 수 있 거나 , 기여 도 ( 430 , 440 및 450 ) 중 임의 의 하나 이상 과 같 은 , 다른 데이터 로부터 유도 된 기여 도 일 수 있 다 . 또한 다수 의 기여 도 가 제거 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 처리 변수 ( 530 ) 와 관련 된 선택 적 인 기여 도 ( 540 ) 는 기여 도 ( 520 ) 와 함께 패 터닝 된 기판 계측 데이터 ( 500 ) 로부터 제거 될 수 있 다 . 인식 될 바 와 같이 , 패 터닝 공정 을 이용 한 다수 의 기판 의 처리 로부터 의 데이터 는 패 터닝 된 기판 계측 데이터 를 획득 하 기 위해 사용 될 수 있 다 .