실시 예 에서 , 패 터닝 된 기판 오버레이 계측 데이터 는 위 에서 설명 된 바 와 같이 모니터 기판 의 측정 된 오버레이 핑거 프린트 일 수 있 다 . 따라서 이미 캡 처 되 고 있 는 데이터 가 사용 될 수 있 다 . 따라서 , 측정 된 초점 핑거 프린트 는 , 투영 시스템 의 오버레이 기여 도 , 기판 높이 의 오버레이 기여 도 , 정렬 모델 잔차 의 오버레이 기여 도 및 / 또는 패 터닝 디바이스 및 / 또는 기판 서보 제어 의 오버레이 기여 도와 같 은 , 리소그래피 장치 센서 정보 로부터 유도 된 것 과 같 은 리스 그래피 장치 영향 에 대해 보정 되 어 리소그래피 장치 의 기본 적 인 오버레이 기여 도 에 이를 수 있 다 . 실시 예 에서 , 측정 된 오버레이 핑거 프린트 데이터 는 제품 기판 의 제 1 패턴 전사 를 위해 한번 캡 처 될 것 이 며 , 그 후 ( 패턴 전사 들 사이 에서 의 모니터 기판 의 재 작업 으로 ) 제 2 패턴 전사 를 위해 캡 처 될 것 이 다 . 실시 예 에서 , 패 터닝 된 기판 오버레이 계측 데이터 는 제 1 패턴 전사 이후 하나 이상 의 모니터 기판 으로부터 측정 된 오버레이 핑거 프린트 와 제 2 패턴 전사 이후 하나 이상 의 모니터 기판 으로부터 측정 된 오버레이 핑거 프린트 간 의 차이 로부터 획득 된 오버레이 델타 ( delta ) 핑거 프린트 이 다 . 따라서 , 일련 의 모니터 기판 들 을 제품 층 과 거의 동시 에 노광 함 으로써 , 단기 드리프트 측면 에서 오버레이 에 대한 리소그래피 장치 기여 도 가 정량 화 될 수 있 다 . 즉 , 오버레이 델타 핑거 프린트 로 , 제 1 패턴 전사 와 제 2 패턴 전사 간 의 단기 드리프트 로 인한 필드 간 오버레이 에 관한 리소그래피 장치 기여 도 가 획득 될 수 있 다 .