절연 캡 핑 층 ( 150 ) 의 양 측벽 상 에 는 절연 라이너 ( 160 ) 가 배치 될 수 있 다 . 절연 라이너 ( 160 ) 는 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 의 양 측벽 상 에서 제 2 방향 을 따라 연장 될 수 있 고 , 절연 라이너 ( 160 ) 의 바닥 면은 게이트 스 페이서 구조물 ( 140 ) 의 상면 과 접촉 할 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 절연 라이너 ( 160 ) 는 실리콘 질화물 을 포함 할 수 있 다 .