도 14 ( a ) 내지 ( d ) 는 , 본 발명 의 실시 의 형태 2 에 의한 패턴 수정 방법 을 도시 하 는 단면도 이 고 , 도 14 ( b ) 는 도 14 ( a ) 의 XIVB - XIVB 선 단면도 이 고 , 도 14 ( d ) 는 도 14 ( c ) 의 XIVD - XIVD 선 단면도 이 다 . 도 14 ( a ) , ( c ) 는 , 각각 도 8 ( a ) , ( c ) 와 대비 되 는 도면 이 다 . 이 패턴 수정 방법 에서 는 , 실시 의 형태 1 과 같 은 패턴 수정 장치 가 사용 된다 .