이렇게 , 본 실시 형태 에서 는 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 따른 기체 ( 204 ) 의 흐름 ( 기류 ) 을 형성 함 으로써 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 높 은 청 정도 를 갖 는 기체 ( 204 ) 로 채우 고 있 다 ( 커버 하 고 있 다 ) . 따라서 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 이 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 낮 은 청 정도 를 갖 는 기체 ( 205 ) 에 노출 되 는 것 이 억제 되 기 때문 에 , 광학 부품 ( 201 ) 에 흐림 이 발생 하 는 것 을 저감 할 수 있 다 .