도 1 e 를 참조 하 면 , 상기 제 2 캡 핑 층 ( 50 ) 이 형성 된 결과물 을 열처리 ( 60 ) 하 여 상기 광산 란 박막 ( 40 ) 으로부터 광 산란 체인 나노 입자 ( 42 ) 를 생성 시킨다 . 상기 나노 입자 ( 42 ) 는 입자 의 평균 직경 이 수 ∼ 수 십 nm 인 입자 로서 , 상기 광산 란 박막 ( 40 ) 구성 물질 인 Si , Ta , W 및 Mo 중 에서 선택 되 는 어느 하나 의 물질 로 이루어진다 .