폴리 실록 산 ( Ia - 1 ) : ( Ib - 2 ) =( 75 중량 %):( 25 중량 %) 의 비율 로 혼합 한 후 , 폴리 실록 산 혼합물 을 35 % 의 PGMEA 용액 으로 조정 하 였 다 . 이 폴리 실록 산 혼합물 의 프리 베 이크 후 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 를 측정 한 결과 , 252 Å / 초 이 었 다 . 이 실록 산 혼합물 에 , PAC 를 폴리 실록 산 에 대해 12 중량 % 첨가 하 였 다 . 또한 계면 활성제 로서 신 에 츠 가 가 쿠 고 교사 제조 KF - 53 을 , 폴리 실록 산 에 대해 0 . 3 중량 % 가하 고 , 감광성 실록 산 조성물 을 수득 하 였 다 .