수직 기판 세정 및 건조 챔버 내 에서 가스 및 액체 유동 들 을 더 효율 적 으로 지향 시키 기 위한 노력 으로 , 챔버 의 수십 개 의 물리 적 배열 및 치수 가 , 예컨대 , 유한 요소 및 유한 용적 분석 을 사용 하 여 , 전산 유체 역학 ( CFD ) 분석 을 사용 하 여 모의실험 들 을 수행 하 는 배열 들 및 치수 들 의 조합 들 각각 의 다수 의 반복 들 에 대해 고려 되 었 다 . 초기 에 , 모의실험 들 은 2 차원 모델 을 사용 하 여 수행 되 었 고 , 나중 에 3 차원 ( 3 D ) 모델 들 을 사용 하 는 것 으로 확장 되 었 고 , 더 나중 에 , 3 D 에서 모의실험 들 이 수행 되 고 4 차원 인 시간 이 부가 되 었 다 ( 그 에 의해 , 유동 , 압력 , 와도 크기 , Q - 기준 , 및 통상 의 기술자 에게 알려져 있 는 다른 관심 유체 파라미터 들 을 추가 로 보조 하 는 시간 이 정확 한 애니메이션 들 이 생성 됨 ) . 반복 들 각각 에 대한 배열 들 및 치수 변경 들 은 , 챔버 의 직경 을 변화 시키 는 것 , 챔버 의 벽 들 사이 의 거리 들 을 변경 하 는 것 ( 및 결과 적 으로 는 , 기판 으로부터 챔버 벽 들 까지 의 거리 들 의 변화 들 ) , 가스 유량 들 , 가스 유동 방향 들 , 및 배기 경로 들 의 다양 한 배치 들 을 변경 하 는 것 을 포함 한다 . 부가 적 인 세부 사항 들 이 챔버 들 의 다양 한 설계 들 에 부가 되 었 다 . 그러나 , 아래 의 설명 은 , 관심 기판 에 대한 특정 세트 의 형상 들 및 치수 들 에 대한 추가 적 인 CFD 모델링 , 모의실험 , 및 분석 에 대해 고려 될 인자 들 을 통상 의 기술자 가 인식 할 수 있 게 한다 .