제어 수단 은 , 용제 농도 측정 수단 에 의해 측정 된 용제 의 농도 가 높 은 경우 , 제 어 밸브 를 제어 하 여 순수 유량 을 증가 시키 고 , 용제 농도 측정 수단 에 의해 용제 의 농도 가 낮 은 경우 , 제 어 밸브 를 제어 하 여 순수 유량 을 감소 시키 므로 , 챔버 로부터 배기 된 기체 에 포함 되 는 용제 농도 의 변동 에 관계없이 , 용제 농도 를 저감 할 수 있 다 .