적어도 상기 목적 을 달성 하 기 위해서 , 본 발명 은 상부 표면 , 상향 프레임 - 형 지지 표면 , 및 상부 표면 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 사이 에 배치 된 홈 을 가지 는 베이스 ; 및 하부 표면 및 하부 표면 을 둘러싸 는 플랜지 를 가지 는 커버 ; 를 포함 하 는 기판 을 보유 하 기 위한 기기 로서 , 베이스 는 상부 표면 에 기판 을 고정 하 기 위한 복수 의 접촉 요소 를 가지 며 , 상향 프레임 - 형 지지 표면 의 적어도 일부 는 상부 표면 과 동일 한 레벨 에 있 지 않 으며 , 플랜지 는 하향 프레임 - 형 지지 표면 및 바닥 표면 으로부터 하향 프레임 - 형 지지 표면 까지 아래 로 연장 하 는 내부 측면 을 가지 며 , 하향 프레임 - 형 지지 표면 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 은 베이스 의 상부 표면 과 커버 의 하부 표면 사이 에 기판 을 보유 하 기 위해서 서로 결합 하 며 , 플랜지 의 내부 측면 의 높이 상부 표면 및 하부 표면 사이 의 거리 보다 큰 기판 을 보유 하 기 위한 기기 를 개시 한다 .