그러나 , 척 테이블 의 유지 면 에 는 , 수 ㎛ 단위 의 높이 의 편차 나 경사 가 존재 하 는 경우 가 있 다 . 이 때문 에 , 1 개소 의 원점 위치 를 유지 면 전체 면 에 적용 하 면 , 절 입 깊이 의 정밀도 에 오차 를 발생 시킬 우려 가 있 다 . 또한 , 스핀들 을 인덱싱 이송 방향 ( Y 축 방향 ) 으로 이동 시키 는 Y 축 이동 유닛 이나 척 테이블 을 가공 이송 방향 ( X 축 방향 ) 으로 이동 시키 는 X 축 이동 유닛 도 그 진 직성 ( 眞 直 性 ) 에 한계 가 있 다 . 이 때문 에 , 매우 높 은 정밀도 로 절 입 깊이 를 제어 하 고자 하 는 경우 , 척 테이블 전체 면 에 있 어서 의 원점 위치 를 등록 하 고 , 그 와 함께 X , Y , Z 의 각 축 의 이동 을 보정 할 필요 가 있 다 .