이 에 의해 , 제 1 처리 장치 도 제 2 처리 장치 ( 제 2 처리 층 , 제 3 처리 층 ) 도 인 덱 서 블록 에 연결 되 므로 , 스루풋 의 저하 를 억제 할 수 있 다 . 또 , 기판 버퍼 는 제 1 처리 장치 와 제 2 처리 층 의 중간 에 배치 되 어 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 기판 버퍼 를 개재 하 여 , 제 1 처리 장치 로부터 제 2 처리 층 으로 기판 을 반송 할 수 있 다 . 이 반송 은 , 인 덱 서 블록 에 의한 기판 반송 을 이용 하 지 않 고 행해 지 기 때문 에 , 인 덱 서 블록 에 의한 기판 반송 의 부담 을 경감 할 수 있 다 . 그렇 기 때문 에 , 스루풋 의 향상 을 도모 할 수 있 다 .