독립 형 ( Stand - alone ) 방식 으로 도포 공정 과 현상 공정 이 진행 될 경우 상기 도포 모듈 과 상기 현상 모듈 중 어느 하나 의 모듈 은 하층 에 배치 되 고 , 다른 하나 의 모듈 은 상층 에 배치 되 며 , 상기 제 1 이송 모듈 은 복 층 구조 의 모듈 들 중 상기 도포 모듈 에 기판 을 반 출입 하 고 , 상기 제 2 이송 모듈 은 복 층 구조 의 모듈 들 중 상기 현상 모듈 에 기판 을 반 출입 할 수 있 다 .