이어서 , 실리콘 이 다량 함유 된 하드 마스크 층 ( 33 ) 상 에 감광막 패턴 ( 34 ) 을 형성 한다 . 여기 서 , 감광막 패턴 ( 34 ) 을 형성 하 기 전 에 감광막 패턴 ( 34 ) 의 노광 시 반사 방지 역할 을 하 기 위해 반사 방지 막 을 형성 할 수 있 다 . 이때 , 반사 방지 막 은 OBARC ( Organic Bottom Anti Reflection Coating ) 과 같 은 유기 반사 방지 막 으로 형성 할 수 있 다 .