기판 지지 유닛 ( 200 ) 은 공정 챔버 ( 100 ) 의 처리 공간 내 에서 기판 ( 10 ) 을 지지 한다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 기판 지지 유닛 은 정전 척 ( electrode chuck ) 이 사용 될 수 있 다 . 기판 지지 유닛 ( 200 ) 은 척 ( 220 ) 과 지지 축 ( 240 ) 그리고 리프트 핀 어셈블리 ( 260 ) 를 포함 할 수 있 다 .