제 1 내지 제 5 스 페이서 ( 141 , 142 , 143 , 144 , 145 ) 각각 은 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 내지 제 5 스 페이서 ( 141 , 142 , 143 , 144 , 145 ) 각각 은 실리콘 질화물 ( SiN ) , 실리콘 산질 화물 ( SiON ) , 실리콘 산화물 ( SiO 2 ) , 실리콘 산탄 화물 ( SiOC ) , 실리콘 탄질 화물 ( SiCN ) , 실리콘 산탄 질화물 ( SiOCN ) 및 이 들 의 조합 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 지만 , 본 발명 의 기술 적 사상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 제 1 내지 제 5 스 페이서 ( 141 , 142 , 143 , 144 , 145 ) 각각 은 서로 동일 한 물질 을 포함 할 수 도 있 지만 , 본 발명 의 기술 적 사상 이 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 . 즉 , 다른 몇몇 실시 예 에서 , 제 1 내지 제 5 스 페이서 ( 141 , 142 , 143 , 144 , 145 ) 각각 은 서로 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 .