본 발명 은 소프트 리소그래피 공정 에 사용 되 는 미세 접촉 인쇄 장치 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 탄성 중합체 스탬프 를 이용 한 미세 접촉 인쇄 장치 에 관한 것 이 다 . 본 발명 은 하부 에서 상부 로 거동 하 는 미세 접촉 스탬 핑 방식 으로 개선 함 으로써 , 패턴 형상 의 파괴 없이 보다 미세 한 패턴 을 전이 시킬 수 있 다 . 또한 , 본 발명 은 볼 스크루 또는 모터 에 의해 변위 제어 하 는 종래 기술 과 달리 피에조 엑 츄 에 이터 ( Piezo actuator ) 를 이용 함 으로써 변위 를 보다 미세 하 게 제어 한다 . 또한 , 본 발명 은 CCD 카메라 를 이용 함 으로써 탄성 중합체 스탬프 와 기판 과 의 위치 를 보다 정교 하 게 정렬 할 뿐 아니 라 , 다층 ( multi - layer ) 공정 을 가능 하 게 한다 .