핸드 ( 21 ) 는 , 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 1 개 의 기초 부분 ( 21 A ) 과 , 그 기초 부분 ( 21 A ) 으로부터 나누 어 진 2 개 의 선단 부분 ( 21 B , 21 C ) 을 갖 고 , Y 자 형상 , U 자 형상 또는 2 쌍 의 포크 형상 과 같이 구성 되 어 있 다 . 기초 부분 ( 21 A ) 및 , 2 개 의 선단 부분 ( 21 B , 21 C ) 에 는 , 기판 ( W ) 을 흡착 함 으로써 기판 ( W ) 을 유지 하 기 위한 흡착 부 ( 27 A , 27 B , 27 C ) 가 설치 되 어 있 다 . 3 개 의 흡착 부 ( 27 A ~ 27 C ) 는 , 예 를 들 면 , 배관 을 개재 하 여 접속 되 는 펌프 에 의해서 흡 착력 이 부여 되 도록 구성 되 어 있 다 . 또한 , 2 개 의 기판 반송 기구 ( MHU 1 , MHU 2 ) 는 각각 , 2 개 의 핸드 ( 21 ) 를 구비 하 고 있 는데 , 3 개 이상 의 핸드 ( 21 ) 를 구비 하 고 있 어도 된다 .