다음 으로 , 배기 기구 ( 42 ) 에 포함 되 는 압력 제어기 ( 42 _ 1 ) 의 상세 에 대해 설명 한다 . 압력 제어기 ( 42 _ 1 ) 에 는 , 조 작단 ( 예컨대 , 압력 제어 밸브 ) 이나 압력 센서 , 압력 센서 에 의해 측정 된 압력 데이터 와 목표 가스 압력 ( 목표 값 ) 의 편차 에 따른 제어 데이터 를 출력 하 는 컨트롤러 등 이 포함 된다 . 한편 , 여기 서 는 , 주로 , 컨트롤러 의 기능 구성 과 , 상기 컨트롤러 가 동작 할 때 에 참조 하 는 레시피 에 대해 설명 한다 .