본 제 1 발명 의 반도체 제조 장치 는 , 반도체 제조 프로세스 를 실행 하 는 반도체 제조 장치 로서 , 제 1 모드 로 의 로그인 의 입력 , 제 2 모드 로 의 로그인 의 입력 및 반도체 제조 장치 를 동작 시키 기 위한 1 이상 의 파라미터 인 장치 동작 파라미터 의 변경 의 입력 을 접수 하 는 입력 접수부 와 , 제 1 모드 로 로그인한 사용자 로부터 의 입력 에 의해 변경 될 수 있 는 장치 동작 파라미터 인 고객 운용 파라미터 를 격납 하 는 고객 운용 파라미터 격납 부 와 , 제 2 모드 로 로그인한 사용자 로부터 의 입력 에 의해 변경 될 수 있 는 장치 동작 파라미터 인 서비스 파라미터 를 격납 하 는 서비스 파라미터 격납 부 와 , 상기 입력 접수부 가 제 1 모드 로 의 로그인 의 입력 을 접수 한 경우 에 제 1 모드 로 의 로그인 의 처리 를 행하 고 , 상기 입력 접수부 가 제 2 모드 로 의 로그인 의 입력 을 접수 한 경우 에 제 2 모드 로 의 로그인 의 처리 를 행하 는 로그인 처 리부 와 , 제 1 모드 로 로그인한 사용자 로부터 상기 입력 접수부 가 장치 동작 파라미터 의 변경 의 입력 을 접수 한 경우 , 상기 고객 운용 파라미터 격납 부 의 고객 운용 파라미터 를 변경 하 는 고객 운용 파라미터 변경 부 와 , 제 2 모드 로 로그인한 사용자 로부터 상기 입력 접수부 가 장치 동작 파라미터 의 변경 의 입력 을 접수 한 경우 , 상기 서비스 파라미터 격납 부 의 서비스 파라미터 를 변경 하 는 서비스 파라미터 변경 부 와 , 상기 고객 운용 파라미터 또는 상기 서비스 파라미터 의 어느 한 쪽 을 적어도 판독 하 여 , 당해 판독 한 파라미터 에 따라서 , 반도체 제조 프로세스 를 실행 하 기 위한 동작 을 행하 는 처 리부 와 , 상기 고객 운용 파라미터 와 상기 서비스 파라미터 를 비교 하 여 , 양자 가 다른지 아닌지 를 판단 하 는 판 단부 와 , 상기 판 단부 에 있 어서 의 판단 이 , 상기 고객 운용 파라미터 와 상기 서비스 파라미터 가 다르 다는 판단 인 경우 에 , 상기 고객 운용 파라미터 와 상기 서비스 파라미터 가 다른 것 을 나타내 는 정보 인 비교 정보 를 출력 하 는 출력 부를 구비 하 는 반도체 제조 장치 이 다 .