여기 서 , 스테이지 위치 기인 오 차 보정 정보 란 , 인코더 헤드 에 대한 그 비계 측 방향 ( 본 제 2 실시 형태 에서 는 , X 축 방향 및 Y 축 방향 이외 의 방향 , 예 를 들 어 θ x 방향 , θ y 방향 , θ z 방향 및 Z 축 방향 등 ) 에 관한 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 위치 ( 피 칭량 , 롤링 량 , 요 잉량 및 Z 위치 등 ) 가 인코더 의 계측 값 에 영향 을 주 는 정도 를 나타내 는 정보 이 다 . 또한 , 스테이지 위치 기인 오 차 보정 정보 는 , 대략 다음 과 같이 하 여 미리 취득 되 고 있 다 .