또한 , 기판 스택 ( 20 ) 은 수직 채널 개구 ( 13 ) 내 에 그리고 수직 채널 개구 ( 13 ) 의 연장 방향 을 따라서 배치 되 는 제 3 화합물 반도체 레이어 ( 23 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 3 화합물 반도체 레이어 ( 23 ) 는 위 에서 - 설명 된 제 2 화합물 반도체 레이어 ( 22 ) 상 에 배치 될 수 있 고 제 2 화합물 반도체 레이어 ( 22 ) 로 갈바 닉 적 으로 연결 될 수 있 다 .