시간 계측 부 ( 89 ) 는 타이밍 신호 를 출력 한다 . 본딩 헤드 제 어부 ( 82 ) 는 , 본 작동 , 전처리 작동 또는 클리닝 작동 에 따라서 , 타이밍 신호 에 기초 하 여 타이밍 을 재 면서 , 본딩 헤드 ( 2 ) 를 소정 거리 로 승강 시키 고 , 소정 거리 로 평행 이동 시키 는 구동 신호 를 출력 한다 . 본딩 스테이지 제 어부 ( 83 ) 는 , 전처리 작동 또는 클리닝 작동 에 따라서 , 타이밍 신호 에 기초 하 여 타이밍 을 재 면서 , 본딩 스테이지 ( 3 ) 를 소정 거리 로 승강 시키 고 , 소정 거리 로 평행 이동 시키 는 구동 신호 를 출력 한다 . 가열 제 어부 ( 88 ) 는 , 본 작동 및 전처리 작동 시 에 , 헤드 측 의 히터 ( 21 ) 와 스테이지 측 의 히터 ( 31 ) 의 온 오프 의 구동 신호 를 출력 한다 .