연마 입자 ( 콜로 이달 실리카 1 ) 10 . 00 질 량부 를 용기 에 넣 었 다 . 다음 으로 , 연마제 의 pH 가 10 . 0 이 되 도록 KOH 와 말론산 을 주입 한 후 , 초 순수 를 X 질 량부 주입 하 여 연마제 100 질 량부 를 얻 었 다 . 그리고 , 초 순수 의 배 합량 ( X 질 량부 ) 은 , 연마제 가 100 질 량부 로 되 도록 계산 하 여 조정 했 다 .