고주파 전원 ( 273 ) 은 , 공진 코일 ( 212 ) 에 고주파 전력 ( RF 전력 ) 을 공급 하 는 것 이 다 . RF 센서 ( 272 ) 는 , 고주파 전원 ( 273 ) 의 출력 측 에 마련 되 어 , 공급 되 는 고주파 의 진행파 나 반사파 의 정보 를 모니터 하 는 것 이 다 . RF 센서 ( 272 ) 에 의해 모니터 된 반사파 전력 은 , 정 합기 ( 274 ) 에 입력 된다 . 정합 기 ( 274 ) 는 , RF 센서 ( 272 ) 로부터 입력 된 반사파 의 정보 에 기초 하 여 , 반사파 가 최소 가 되 도록 , 고주파 전원 ( 273 ) 의 임피던스 나 출력 되 는 고주파 전력 의 주파수 를 제어 하 는 것 이 다 .