또한 Ⅵ ′ 족 원소 를 포함 하 는 전구체 로 는 Ⅲ ′ 족 원소 및 Ⅵ 족 원소 를 포함 하 는 단일 전구체 또는 Ⅲ ′ 족 원소 및 Ⅵ ′ 족 원소 를 포함 하 는 단일 전구체 를 사용 할 수 있 다 . 이러 한 형태 의 단일 전구체 는 [ R 2 M ( μ - ER , ) ] 2 에서 선택 된 단일 전구체 를 사용 할 수 있 다 . 여기 서 M 은 In , Ga , Al 등 의 Ⅲ 족 금속 원소 를 나타내 고 , R 과 R , 은 각각 독립 적 으로 C 1 ∼ C 6 의 알킬기 를 나타내 며 , E 는 S , Se , Te 등 의 Ⅵ 족 칼코겐 원소 를 나타내 고 , μ 는 Ⅵ 족 원자 와 Ⅲ 족 원자 가 이중 으로 브리지 ( bridge ) 된 결합 을 하 고 있 음 을 나타낸다 .