웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 Y 축 방향 으로 직선 적 으로 이동 하 는 동안 에 , 다점 AF 계 ( 90 ) 에 의해 X 축 방향 으로 소정 간격 으로 설정 된 복수 의 검 출점 에 있 어서 의 웨이퍼 ( W ) 표면 의 면 위치 정보 가 검출 되 고 , X 축 방향 을 따라 일렬 로 배열 된 복수 의 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) 에 의해 웨이퍼 상 의 서로 상이 한 위치 의 마크 가 각각 검출 되 고 , 주변 노광 시스템 ( 51 ) 에 의해 웨이퍼 의 결손 쇼트 의 일부 가 노광 된다 . 이 로써 , 마크 의 검출 동작 과 면 위치 정보 ( 포커스 정보 ) 의 검출 동작 과 주변 노광 동작 을 무 관계 로 실시 하 는 경우 에 비해 스루풋 을 향상 시킬 수 있 다 .