수정 진동자 ( 30 ) 에 사용 되 는 수 정판 ( 31 ) 은 비교 적 온도 특성 이 우수 한 AT ? 컷 ( AT - cut ) 을 한 수정 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 도 5 의 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 전 극막 ( 33 ) 측 의 이면 을 곡면 으로 하 고 , 성막 재료 가 퇴적 되 는 전 극막 ( 32 ) 측 표면 은 평면 으로 하 는 것 이 수정 진동자 ( 30 ) 의 진동 의 안정 성 을 높일 수 있 다 .