특히 , 열처리 는 1 차 와 2 차 로 나누 어 진행 하 는 데 1 차 열처리 에 의해 제 1 플러그 ( 24 ) 와 금속 층 이 반응 하 여 금속 실리사이드 층 ( 25 ) 을 형성 하 고 , 이때 절연물 들 및 소자 분리 막 ( 11 A ) 이 반응 하 지 않 도록 온도 및 열처리 시간 을 조절 하 여 진행 할 수 있 고 , 2 차 열처리 는 안정 적 인 금속 실리사이드 층 을 형성 하 기 위해 실시 할 수 있 다 .