커버 승강 장치 ( 35 ) 는 커버 ( 34 ) 를 승강 시키 도록 구성 된다 . 기판 ( S ) 이 가열 플레이트 ( 31 ) 상 으로 반입 될 때 , 커버 ( 34 ) 는 커버 승강 장치 ( 35 ) 에 의하 여 상승 될 수 있 다 . 기판 ( S ) 이 가열 되 는 가열 공간 을 형성 하 기 위해 , 커버 ( 34 ) 는 커버 승강 장치 ( 35 ) 에 의해 하강 되 어 가열 플레이트 ( 31 ) 에 인접 하 게 위치 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 커버 승강 장치 ( 35 ) 는 공 압 또는 유압 을 사용 하 는 액추에이터 , 전자기 적 상호 작용 에 의해 작동 되 는 리니어 모터 , 또는 볼 스 크류 기구 로 구성 될 수 있 다 .