주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 에지 노광 유닛 ( ＥＥＷ ２ ) 으로부터 받아들인 기판 ( Ｗ ) 을 지지 해서 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ ) 에 액세스 한다 . 그리고 , 지지 하 고 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ Ａ ) 에 재치 하 고 ( 스텝 Ｓ １１ ａ ) , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ５ Ｂ ) 에 재치 되 어 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 지지 한다 ( 스텝 Ｓ １６ ａ ) .