도 4 를 참조 하 면 , 챔버 ( 410 ) 내부 일 측 에 는 플 라즈 마 를 형성 하 도록 r - 전자 및 음 이온 의 운동 을 조절 하 는 타 겟 부 ( 420 ) 가 위치 한다 . 여기 서 , r - 전자 또는 r 작용 에 의해 방출 되 는 r 전자 작용 이 라 함 은 양 이온 이 음극 에 충돌 해서 2 차 전자 ( 전자 나 이온 의 입사 에 의해 고체 표면 으로부터 방출 되 는 전자 ) 를 방출 시키 는 작용 을 한다 .