상기 제 4 단계 는 , 챔버 내 에서 상기 침탄 방지 조성물 이 코팅 된 금속 의 표면 에 플 라즈 마 를 수행 되 되 , 산소 와 아르곤가스 를 50 : 50 의 비율 로 혼합 하 여 캐리어 가스 로 이용 하 고 , 챔버 내 의 초기 진공도 는 10 - 3 torr 이 고 , 캐리어 가스 를 주입 한 후 에 는 10 - 2 torr 가 되 도록 유지 하 며 , 플라 즈 마 처리 의 파워 와 처리 시간 은 각각 100 W 에서 1 분 동안 수행 할 수 있 다 .