도 18 은 연마 헤드 모듈 을 도시 한 단면도 이 고 , 도 19 는 도 18 의 선 ( D - D ) 을 따라 취해진 단면도 이 다 . 도 18 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 테이프 송출 기구 ( 42 ) 및 안내 롤러 ( 46 , 47 ) 를 갖 는다 . 연마 헤드 ( 90 ) 는 제 1 실시 예의 연마 헤드 ( 30 ) 와 동일 한 기초 구조 를 갖 지만 , 연마 헤드 ( 90 ) 가 가압 기구 를 포함 하 지 않 는다는 점 이 제 1 실시 예 와 다르 다 . 도 18 및 도 19 에 도시 된 바 와 같이 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 적어도 하나 의 선형 안 내부 ( 95 ) 를 통해 기울임 플레이트 ( 94 ) 에 커플링 된 진동 플레이트 ( 93 ) 상 에 고정 된다 . U 형 진동 수용 블록 ( 97 ) 이 진동 플레이트 ( 93 ) 의 일 단부 에 고정 된다 . 편심 샤프트 ( 98 a ) 를 갖 는 진동 샤프트 ( 98 ) 는 진동 수용 블록 ( 97 ) 에 커플링 된다 . 베어링 ( 99 ) 은 편심 샤프트 ( 98 a ) 에 장착 되 고 , 베어링 ( 99 ) 은 진동 수용 블록 ( 97 ) 내 에 형성 된 직사각 형 하우징 공간 에 결합 된다 . 베어링 ( 99 ) 은 하우징 공간 내 에 대략 적 으로 끼워질 수 있 도록 형성 된다 .