한편 , 게이트 ( 100 ) 의 양 측면 에 는 스 페이서 ( 20 ) 가 형성 되 어 있 고 , 게이트 ( 100 ) 및 스 페이서 ( 20 ) 를 포함 한 전면 에 는 SAC ( Self Aligned Contact ) 질화 막 ( 22 ) 이 형성 되 어 있 으며 , SAC 질화 막 ( 22 ) 상 에 는 층간 절 연막 ( 23 ) 이 형성 되 어 있 다 .