이어서 , 도 8 에 도시 된 바 와 같이 , 더미 패턴 ( 109 ) 에 의해 형성 된 단차 면 을 따라 유전체 막 ( 110 ) 을 형성 한다 . 이때 , 유전체 막 ( 110 ) 은 산화 막 - 질화 막 - 산화 막 , 예컨대 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) - 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) - 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 의 적층 구조 로 형성 하 거나 , 유전 율 이 실리콘 산화 막 보다 높 은 3 . 9 이상 인 금속 산화물 층 , 예컨대 알 루미 늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) , 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) 또는 하프늄 산화 막 ( HfO 2 ) 중 선택 된 어느 하나 로 형성 할 수 있 다 . 또한 , 이 들 이 혼합 된 혼합 막 또는 이 들 의 적층 막 으로 형성 할 수 도 있 다 .