처 리조 ( 40 ) 는 저류 된 처리 액 에 웨이퍼 ( W ) 를 침지 하 여 상기 웨이퍼 ( W ) 를 처리 하 기 위한 조이 다 . 그리고 , 처 리조 ( 40 ) 에 는 , 예컨대 가열 된 제 1 약액 , 예컨대 80 ℃ 정도 로 유지 된 황산 수용액 이 저류 되 도록 되 어 있 다 . 도 3 에 도시 하 는 바 와 같이 , 외조 ( 42 ) 와 처 리조 ( 40 ) 사이 에 는 순환 라인 ( 45 ) 이 설치 되 어 있 다 . 이 순환 라인 ( 45 ) 에 는 펌프 등 의 처리 액 토출 기구 ( 46 ) 와 , 필터 ( 47 ) 와 , 히터 ( 48 ) 가 사이 에 설치 되 어 있 다 . 즉 , 외조 ( 42 ) 로 흘러 넘친 처리 액 은 액체 토출 기구 ( 46 ) 에 의해 순환 라인 ( 45 ) 을 통과 하 여 다시 처 리조 ( 40 ) 내 로 복귀 된다 . 이때 , 처리 액 속 에 혼입 되 어 있 던 파티클 등 은 필터 ( 47 ) 에 의해 제거 된다 . 또한 , 히터 ( 48 ) 에 의해 순환 라인 ( 45 ) 안 에 흐르 는 처리 액 의 온도 가 조정 되 어 , 처 리조 ( 40 ) 내 의 처리 액 의 온도 가 미리 설정 된 범위 내 에 유지 되 도록 되 어 있 다 . 이러 한 처리 액 의 순환 공급 방법 에 따르 면 , 처리 액 을 소실 시켜 버리 지 않 고 순환 재 이용 할 수 있 다 . 단 , 순환 라인 ( 45 ) 은 처리 액원 ( 49 ) 에 도 접속 되 어 있 으며 , 적절히 프레시 ( fresh ) 한 처리 액 을 처 리조 ( 40 ) 에 공급 할 수 도 있 도록 되 어 있 다 .