이 와 같 은 본 발명 의 목적 을 구현 하 기 위한 기판 캐리어 장치 는 , 복수 개 의 반도체 칩 어 탯치 영역 들 을 갖 는 모기 판 을 수납 하 는 수납 홈 및 수납 홈 에 배치 된 모 기판 을 진공 압 으로 고정 하 기 위한 적어도 1 개 의 진공 홀 을 갖 는 제 1 모 기판 고정 부재 ; 및 상기 제 1 모 기판 고정 부재 의 밑면 에 배치 되 는 베이스 기판 , 상기 베이스 기판 내 에 구비 되 어 상기 진공 홀 에 진공 압 을 발생 하 는 진공 배관 및 상기 진공 배관 에 배치 된 개폐 밸브 를 갖 는 제 2 모 기판 고정 부재 ; 를 포함 한다 .