또한 상기 제 4 실시 형태 에서 는 , 노광 종료 후 , 일방 의 웨이퍼 스테이지 로부터 타방 의 웨이퍼 스테이지 로 액침 영역 ( 14 ) 을 건네 주 기 위해서 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 Y 축 방향 에 관하 여 소정 거리 이하 로 근접 시키 는 근접 상태 ( 스크럼 상태 ) 와 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 이간 시키 는 이간 상태 ( 스크럼 해제 상태 ) 의 전환 을 실시 한 후 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 노광 위치 의 - X 측 에 위치 하 는 제 1 귀환 경로 를 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 의 교환 이 실시 되 는 제 1 교환 위치 로 이동 되 고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 노광 위치 의 + X 측 에 위치 하 는 제 2 귀환 경로 를 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 의 웨이퍼 ( W 2 ) 의 교환 이 실시 되 는 제 2 교환 위치 로 이동 되 는 경우 에 대하 여 설명 하 였 다 . 즉 , 제 1 교환 위치 와 제 2 교환 위치 가 따로 따로 인 경우 에 대하 여 설명 하 였 다 . 그러나 이것 에 한정 되 지 않 고 , 제 1 교환 위치 와 제 2 교환 위치 가 동일 해도 된다 . 이러 한 경우 에 는 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 노광 위치 에 있 는 일방 의 웨이퍼 스테이지 에 유지 된 웨이퍼 의 노광 종료 후 , 일방 의 웨이퍼 스테이지 로부터 타방 의 웨이퍼 스테이지 로 액침 영역 ( 14 ) 을 건네 주 기 위해서 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 Y 축 방향 에 관하 여 소정 거리 이하 로 근접 시키 는 근접 상태 ( 스크럼 상태 ) 와 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 이간 시키 는 이간 상태 ( 스크럼 해제 상태 ) 의 전환 을 실시 시킴 과 함께 , 타방 의 웨이퍼 스테이지 로부터 이 간 된 일방 의 웨이퍼 스테이지 를 , X 축 방향 에 관하 여 노광 위치 의 일 측 에 위치 하 는 귀환 경로 를 따라 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 상 의 웨이퍼 의 교환 이 실시 되 는 교환 위치 로 이동 시키 도록 평면 모터 를 제어 하 는 구성 을 채용 하 는 것 으로 해도 된다 . 이러 한 경우 에 는 , 일방 의 웨이퍼 스테이지 를 X 축 방향 에 관하 여 노광 위치 의 일 측 에 위치 하 는 귀환 경로 를 따라 교환 위치 로 이동 시키 고 , 타방 의 웨이퍼 스테이지 를 X 축 방향 에 관하 여 노광 위치 의 타 측 에 위치 하 는 귀환 경로 를 따라 교환 위치 로 이동 시키 는 경우 등 에 비해 , 양 웨이퍼 스테이지 의 X 축 방향 에 관한 이동 범위 를 좁 게 설정 할 수 있 다 .