이러 한 FeRAM 에서 는 비산 화 분위기 중 에서 의 처리 에 따른 강유전체 막 의 특성 열화 를 회복 시키 기 위하 여 FeRAM 의 제조 공정 에서 반복 산소 분위기 중 에서 의 열처리 를 행할 필요 가 있 다 . 강유전체 커패시터 를 구성 하 는 강유전체 막 은 비산 화 분위기 중 에서 의 처리 에 의해 용이 하 게 산소 결손 이 생기 고 , 이 에 따라 반전 전하량 이나 누설 전류 값 등 의 강유전체 막 으로서 의 특성 이 열화 하 게 된다 . 이 때문 에 종래 부터 , 상부 전극 으로서 Pt 등 의 산소 분위기 중 에서 도 산화 하 기 어려운 금속 이나 , IrOx 나 RuOx 등 의 도전 성 산화물 이 이용 되 고 있 다 .