스텝 S 105 에서 는 , 노광 을 행하 기 전 의 캘리 브레이 션 이 행해진다 . 구체 적 으로 는 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 스테이지 좌표계 에 있 어서 의 기준 부재 에 형성 된 기준 마크 SM 의 설계 된 좌표 위치 에 근거 하 여 , 검출 장치 ( 100 ) 의 복수 의 검출기 의 광축 위 에 기준 마크 SM 이 배치 되 도록 웨이퍼 스테이지 WS 를 이동 시킨다 . 제 어부 ( 1100 ) 는 , 복수 의 검출기 의 광축 에 대한 기준 마크 SM 의 위치 시프트 를 계측 하 고 , 그 위치 시프트 에 근거 하 여 , XY 좌표 의 원점 이 광축 과 일치 하 도록 스테이지 좌표계 를 재 설정 한다 . 그 후 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 투영 광학계 ( 35 ) 의 광축 과 검출 장치 ( 100 ) 의 광축 사이 의 설계 된 위치 관계 에 근거 하 여 , 기준 마크 SM 가 노광 광 의 광축 위 에 위치 하 도록 웨이퍼 스테이지 WS 를 이동 시킨다 . 그리고 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , TTL 검출 계 ( 미 도시 ) 에 의해 , 투영 광학계 ( 35 ) 를 거쳐 노광 광 의 광축 에 대한 기준 마크 의 위치 시프트 를 계측 한다 .