상기 하이드록실기 를 포함 하 는 알칼리 화합물 은 pH 조절 제 이 며 , 수용액 상태 에서 마스크 표면 과 마스크 상부 에 부착 된 금속 의 계면 에 침투 하 여 빠른 시간 에 마스크 표면 으로부터 금속 을 탈착 시키 는 기능 을 수행 한다 . 상기 하이드록실기 를 포함 하 는 알칼리 화합물 은 용제 에 포함 되 어 하이드 록 사이드 이온 을 배출 하 며 , 산화 된 금속 의 용해 를 촉진 하 는 역할 을 하 며 또한 , 파티클 ( particle ) 의 재 흡착 을 방지 하 며 세정 효과 를 향상 시킨다 .