처리 액 공급 부 ( 12 ) 는 , 노즐 블록 ( 20 ) 과 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 을 구비 한다 . 노즐 블록 ( 20 ) 은 , 아 암부 ( 10 ) 의 선단 에 부착 된다 . 즉 , 아 암부 ( 10 ) 에 는 , 노즐 블록 ( 20 ) ( 고정 부재 의 일례 ) 이 부착 된다 . 노즐 블록 ( 20 ) 에 는 , 아암 ( 5 ) 에 설치 된 처리 액 공급 관 ( 5 a ) 이 접속 된다 . 노즐 블록 ( 20 ) 에 는 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 처리 액 공급 로 ( 20 a ) 가 형성 된다 . 처리 액 공급 로 ( 20 a ) 에 는 , 처리 액 공급 관 ( 5 a ) 으로부터 공급 되 는 처리 액 이 흐른다 . 도 4 는 도 3 의 IV - IV 단면도 이 다 .