트래핑 된 공기 가 EFEM 내 로 침투 되 도록 놔둔 후 에 전체 EFEM 볼륨 을 퍼징 아웃 시킴 으로써 O 2 오염 을 핸들링 하 는 종래 기술 의 방법 을 사용 하 면 , EFEM 볼륨 으로부터 의 O 2 의 47 . 947 PPM 을 10 PPM 으로 감소 시키 기 위해 , 0 . 3 시간 동안 150 LPM 의 N 2 ( 예컨대 , 이 는 2700 L 의 N 2 임 ) 가 주입 될 수 있 거나 , 또는 0 . 05 시간 동안 1000 LPM 의 N 2 ( 이 는 3000 L 의 N 2 임 ) 가 주입 될 수 있 다 . 예 시 적 인 EFEM 볼륨 을 퍼 징하 기 위한 유량 과 시간 사이 의 관계 가 도 11 의 그래프 ( 1100 ) 에 도시 된다 . 완벽 한 확산 을 가정 하 더라도 , 퍼지 레이트 와 시간 의 변동 은 로그 관계 에 의해 영향 을 받 는다 . 그러나 , 확산 이 완벽 해지지 않 을 것 이 므로 , 위 의 계산 들 및 그래프 ( 1100 ) 는 최상 의 경우 의 소비 시나리오 들 을 나타낸다 .