또 , 상기 각 실시 형태 에 있 어서 , 센서 도그 ( 18 ) 를 이용 하 여 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 대한 매핑 센서 ( 20 ~ 20 E ) 의 상대 위치 를 검출 하 도록 구성 했 는데 , 센서 도그 ( 18 ) 를 이용 하 는 경우 로 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예 를 들 면 , 도어 부 ( 14 ) 의 승강 이동 을 인코더 로 검출 해 , 인코더 로부터 의 출력 신호 에 의거 해 반도체 웨이퍼 ( W ) 에 대한 매핑 센서 ( 20 ~ 20 E ) 의 상대 위치 를 검출 해도 무방 하 다 .