진공 처리 시스템 ( 100 ) 에서 는 , 복수 의 대형 챔버 가 평면 에서 보 았 을 때 십 자형 으로 연결 되 어 있 다 . 중앙부 에 는 반 송실 ( 3 ) 이 배치 되 고 , 그 3 방면 의 측면 에 인접 해서 기판 ( S ) 에 대하 여 플 라즈 마 처리 를 실행 하 는 3 개 의 프로세스 챔버 ( 1 a , 1 b , 1 c ) 가 배치 되 어 있 다 . 또한 , 반 송실 ( 3 ) 의 나머지 한쪽 의 측면 에 인접 해서 로드 록 실 ( 5 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 들 3 개 프로세스 챔버 ( 1 a , 1 b , 1 c ) , 반 송실 ( 3 ) 및 로드 록 실 ( 5 ) 은 어느 것 이나 진공 챔버 로서 구성 되 어 있 다 . 반 송실 ( 3 ) 과 각 프로세스 챔버 ( 1 a , 1 b , 1 c ) 의 사이 에 는 도시 하 지 않 는 개구부 가 마련 되 어 있 고 , 상기 개구부 에 는 개폐 기능 을 갖 는 게이트 밸브 ( 7 a ) 가 각각 배치 되 어 있 다 . 또한 , 반 송실 ( 3 ) 과 로드 록 실 ( 5 ) 의 사이 에 는 게이트 밸브 ( 7 b ) 가 배치 되 어 있 다 . 게이트 밸브 ( 7 a , 7 b ) 는 폐쇄 상태 에서 각 챔버 의 사이 를 기밀 하 게 밀봉 하 는 동시 에 , 개방 상태 에서 챔버 간 을 연통 시켜서 기판 ( S ) 의 이송 을 가능 하 게 하 고 있 다 . 또한 , 로드 록 실 ( 5 ) 과 외부 의 대기 분위기 의 사이 에 도 게이트 밸브 ( 7 c ) 가 배치 되 어 구비 되 어 있 어서 , 폐쇄 상태 에서 로드 록 실 ( 5 ) 의 기밀 성 을 유지 하 는 동시 에 개방 상태 에서 로드 록 실 ( 5 ) 내 와 외부 의 사이 에서 기판 ( S ) 의 이송 을 가능 하 게 하 고 있 다 .