일부 실시 예 들 에서 , 기판 처리 방법 은 , 처리 챔버 내부 에 배치 된 정전 척 의 디스크 의 제 1 측면 에 기판 을 클램 핑 하 는 단계 로서 , 제 1 측면 에 근접 하 여 정전 척 내부 에 배치 된 제 1 전극 에 전력 을 제공 함 으로써 기판 을 클램 핑 하 는 단계 ; 및 제 1 측면 과 반대 인 디스크 의 제 2 측면 과 디스크 에 커플링 된 열 제어 판 사이 에 배치 된 계면 을 통한 열 전도율 을 선택 적 으로 증대 시키 거나 감소 시킴 으로써 , 디스크 와 열 제어 판 사이 의 열 전달 률 을 제어 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .