본 명세서 에 있 어서 의 반응 층 이란 , 10 mm× 10 mm 의 피연 마면 을 구비 하 는 코발트 기판 ( 코발트 로 이루어지 는 기판 ) 을 , 10 mL 의 연마 액 에 침지 하 고 , 코발트 기판 과 연마 액 을 25 ℃ 에서 24 시간 접촉 시켰 을 때 , 코발트 기판 의 피연 마면 상 에 형성 되 는 반응 층 을 의도 한다 . 또한 , 연마 액 에 코발트 기판 을 침지 할 때 에 는 , 코발트 기판 과 다른 기판 ( 예 를 들 면 , 실리콘 기판 ) 을 적층 한 적층 체 를 연마 액 에 침지 하 는 형태 여도 된다 .