본 발명 의 일 실시 예 에 따라 , 상기 히터 일체 형 플 라즈 마 방전 소자 는 , 사파이어 기판 ; 사파이어 기판 의 양면 에 형성 된 플 라즈 마 방전 전극 층 ; 플라 즈 마 방전 전극 층 중 적어도 하나 상 에 형성 된 절연 층 ; 및 절연 층 상 에 형성 된 발열 전극 층 ; 을 포함 할 수 있 다 . 플 라즈 마 방전 전극 층 은 , 메 쉬 형 또는 단면 형 일 수 있 다 .