기판 ( 100 ) 과 버퍼 층 ( 110 ) 사이 에 는 배리어 층 ( 미 도시 ) 이 더 포함 될 수 있 다 . 배리 어 층 은 기판 ( 100 ) 등 으로부터 의 불순물 이 실리콘 반도체 층 으로 침투 하 는 것 을 방지 하 거나 최소 화 하 는 역할 을 할 수 있 다 . 배리 어 층 은 산화물 또는 질화물 과 같 은 무기물 및 / 또는 유기물 을 포함 할 수 있 으며 , 무기물 과 유기물 의 단층 또는 다층 구조 로 이루어질 수 있 다 .