에칭 액 회수 부 ( 26 ) 는 도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 에칭 액 을 회수 하 기 위한 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) , 및 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 을 상하 방향 으로 이동 시키 기 위한 에칭 액 회수 노즐 승강 수단 ( 28 ) 을 구비 하 고 있 다 . 또한 , 에칭 액 회수 부 ( 26 ) 는 에칭 액 회수 노즐 ( 27 ) 에 연통 된 에칭 액 회수 보 틀 ( 29 ) , 및 에칭 액 회수 보 틀 ( 29 ) 에 연통 된 에칭 액 흡인 펌프 ( EV ) 를 구비 하 고 있 다 .