Si 를 포함 하 는 원료 로서 는 , HCD 이외 에 , TCS ( SiCl 4 ) , DCS ( SiH 2 Cl 2 ) , SiH 4 등 의 무기 원료 뿐 아니 라 , 아미노 실란 계 의 4 DMAS [ Si ( N ( CH 3 ) 2 ) ) 4 ) ] , 3 DMAS [ Si ( N ( CH 3 ) 2 ) ) 3 H ) ] , 2 DEAS [ Si ( N ( C 2 H 5 ) 2 ) 2 H 2 ) ] , BTBAS [ SiH 2 ( NH ( C 4 H 9 ) ) 2 ) ] 등 의 유기 원료 를 사용 해도 된다 .