기판 ( 101 ) 상 에 , 제 1 방향 을 따라 신장 되 는 제 1 내지 제 4 하부 워드 라인 들 ( DW 1 ~ DW 4 ) 이 제 2 방향 을 따라 순차 적 으로 제공 된다 . 제 1 내지 제 4 하부 워드 라인 들 ( DW 1 ~ DW 4 ) 은 제 2 방향 을 따라 미리 설정 된 거리 만큼 이격 되 어 제공 된다 . 제 1 방향 을 따라 순차 적 으로 배치 되 며 , 제 2 방향 을 따라 제 1 내지 제 4 하부 워드 라인 들 ( DW 1 ~ DW 4 ) 을 관통 하 는 제 1 하부 필라 들 ( DP 1 ) 이 제공 된다 . 및 , 제 1 방향 을 따라 순차 적 으로 배치 되 며 , 제 2 방향 을 따라 제 1 내지 제 4 하부 워드 라인 들 ( DW 1 ~ DW 4 ) 을 관통 하 는 제 2 하부 필라 들 ( DP 2 ) 이 제공 된다 . 실시 예 에 있 어서 , 제 1 하부 필라 들 ( DP 1 ) 및 제 2 하부 필라 들 ( DP 2 ) 은 제 2 방향 을 따라 평행 하 게 배치 될 수 있 다 .