로드 / 언 로드 부 ( 2 ) 는 가장 깨끗 한 상태 를 유지 할 필요 가 있 는 영역 이 다 . 로드 / 언 로드 부 ( 2 ) 의 내부 는 , 기판 처리 장치 의 외부 , 연 마부 ( 3 ) 및 세 정부 ( 4 ) 중 어느 것 보다 도 높 은 압력 으로 상시 유지 되 고 있 다 . 로드 / 언 로드 부 ( 2 ) 에 는 , HEPA 필터 , ULPA 필터 , 또는 케미컬 필터 등 의 클린 에어 필터 를 갖 는 필터 팬 유닛 ( 도시 하 지 않 음 ) 이 마련 되 어 있 다 . 이 필터 팬 유닛 으로부터 는 , 파티클 , 유독 증기 , 및 유독 가스 등 이 제거 된 클린 에어 가 상시 분출 되 고 있 다 .