웨이퍼 ( W ) 의 편심 이 소정 의 한계 치를 넘어서 면 , 연마 장치 는 경보 를 발생 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 의 중심 설정 이 다시 수행 되 거나 또는 중심 설정 안 내부 ( 165 ) 의 위치 가 조절 되 게 한다 . 상술 된 작동 에서 , 웨이퍼 ( W ) 는 정밀 하 게 연마 될 수 있 다 . 또한 , 웨이퍼 편심 으로 인한 연마 중 웨이퍼 ( W ) 손상 이 방지 될 수 있 다 .