도 1 은 공정 챔버 에 기판 을 반입 또는 반출 하 는 슬롯 밸브 를 도시 하고 있 는데 , 공정 챔버 ( 미 도시 ) 의 일 측 에서 기판 을 반입 또는 반출 하 도록 슬롯 ( 20 ) 이 형성 된 슬롯 밸브 본체 ( 10 ) , 슬롯 을 개폐 하 는 개 폐부 ( 30 ) 및 슬롯 밸브 본체 ( 10 ) 를 가열 하 는 카트리지 히터 ( 40 ) 를 포함 하 여 구성 된다 .