그리고 감온 실 ( 50 ) 의 가스 ( 52 ) 가 수축 되 면 , 하측 의 다이 아프 램 ( 60 ) 이 상부 로 변형 되 고 , 다 이 아프 램 ( 60 ) 이 상부 로 변형 되 면 , 하측 의 작동 로드 ( 70 ) 가 상부 로 운동 하 면서 제 1 및 제 2 밸브 ( 42 , 44 ) 의 가압 을 해제 하 며 , 해제 된 제 1 및 제 2 밸브 ( 42 , 44 ) 는 제 1 및 제 2 교축 유로 ( 35 , 36 ) 에 대해 근접 하 면서 개 도량 을 감소 시킨다 .