실시 예 2 에 따른 수지 성형 장치 ( 2 ) 에 있 어서 , 몰드 ( M ) 가 헤드 ( 2033 H ) 에 유지 된 상태 에서 , 몰드 ( M ) 를 진동 시키 는 가진 부 ( 미 도시 ) 를 구비 하 는 것 이 어도 좋 다 . 이 경우 , 수지 성형 장치 는 , 예 를 들 면 도 18 에 나타내 는 임프 린트 처리 의 스텝 S 202 의 처리 에 있 어서 , 가진 부 에 의해 몰드 ( M ) 를 진동 시키 도록 하 면 된다 . 여기 서 , 수지 성형 장치 는 , 가진 부 에 의해 몰드 ( M ) 를 진동 시키 면서 몰드 ( M ) 의 요부 ( MT ) 에 수지 ( R 1 ) 를 주입 하 는 것 이 어도 좋 다 . 혹은 , 수지 성형 장치 는 , 몰드 ( M ) 의 요부 ( MT ) 에 수지 ( R 1 ) 를 주입 한 후 , 가진 부 에 의해 몰드 ( M ) 를 진동 시키 는 것 이 어도 좋 다 .