따라서 , 이 를 리 페어 ( repair ) 할 수 있 는 리 페어 공정 이 필요 하 나 , 제조 공정 도중 효율 적 인 리 페어 공정 이 부족 한 실정 이 며 , 리페 어 공정 이 제대로 수행 되 지 않 는 경우 에 는 손상 이 발생 한 기판 들 을 전량 폐기 해야 하 는 문제점 뿐 만 아니 라 , 후속 공정 의 장비 내 에서 파손 으로 인한 가동 률 의 저하 가 초래 되 고 있 다 .