제조 라인 ( 100 ) 을 반송 모듈 ( 301 ) 에 의해 반송 캐리어 ( 302 ) 가 이동 하 는 동안 , 제조 라인 상 의 다양 한 위치 에 있 어서 , 유리 기판 ( G ) , 마스크 ( M ) , 및 반송 캐리어 가 구비 하 는 정전 척 ( 308 ) 등 의 적층 관계 가 변화 되 거나 , 반전 처리 에 의해 상하 가 180 ° 역전 하 거나 한다 . 이 에 도 1 에서 는 , 유리 기판 ( G ) , 마스크 ( M ) , 및 정전 척 ( 308 ) 의 상하 관계 의 이해 를 돕 기 위해서 , 주된 위치 마다 부호 를 나타내 고 있 다 . 즉 , 유리 기판 ( G ) 의 성막 되 는 측 의 면 ( 피 성 막 면 ) 이 맨 위 에 오 는 경우 는 부호 G 1 , 성막 되 지 않 는 측 의 면 이 맨 위 에 오 는 경우 는 부호 G 2 로 나타낸다 . 또한 , 정 전척 ( 308 ) 의 기판 흡착 측 이 맨 위 에 오 는 경우 는 부호 C 1 , 기판 을 흡착 하 지 않 는 측 이 맨 위 에 오 는 경우 는 부호 C 2 로 나타낸다 . 또한 , 마스크 ( M ) 의 성막 측 의 면 이 맨 위 에 오 는 경우 는 부호 M 1 , 성막 되 지 않 는 측 이 맨 위 에 오 는 경우 는 부호 M 2 로 나타낸다 . 부호 는 , 각 반 전실 에서 는 반 전후 의 상태 를 나타내 고 , 반입 실 이나 배출 실 에서 는 반 입후 · 배출 후 의 상태 를 나타낸다 .