특히 , 세정 공정 은 1 차 세정 공정 과 2 차 세정 공정 으로 나누 어 진행 하 는데 , 1 차 세정 공정 은 H 2 SO 4 : H 2 O 2 를 20 ∼ 50 : 1 의 비율 로 혼합 하 여 80 ℃∼ 90 ℃ 의 온도 에서 진행 하 고 , 2 차 세정 공정 은 NH 4 OH : H 2 O 2 : 탈 이온 수 ( DI Water ) 를 1 : 2 ∼ 5 : 10 ∼ 50 의 비율 로 혼합 하 여 실온 에서 진행 하 는 것 을 특징 으로 한다 .