이상 과 같이 구성 되 는 에칭 장치 ( 1 ) 에 는 , 제 어부 ( 100 ) 가 마련 되 어 있 다 . 제 어부 ( 100 ) 는 , 예 를 들 어 CPU 나 메모리 등 을 구비 한 컴퓨터 에 의해 구성 되 고 , 프로그램 저 장부 ( 도시 하 지 않 음 ) 를 갖 고 있 다 . 프로그램 저 장부 에 는 , 에칭 장치 ( 1 ) 에서 의 후술 하 는 웨이퍼 처리 를 실현 하 기 위한 프로그램 등 이 저장 되 어 있 다 . 또한 , 상기 프로그램 은 , 컴퓨터 에 판독 가능 한 기억 매체 에 기록 되 어 있 던 것 으로서 , 당해 기억 매체 로부터 제 어부 ( 100 ) 에 인 스톨 된 것 이 어도 된다 . 또한 , 프로그램 의 일부 또는 모두 는 전용 하드웨어 ( 회로 기판 ) 로 실현 해도 된다 .