전술 과 같이 , 제 2 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 102 ) 및 제 3 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 201 ) 에 는 게이트 밸브 ( G 31 , G 32 ) 가 마련 되 며 , 제 1 웨이퍼 반입 · 반 출구 ( 101 ) 에 는 게이트 밸브 는 마련 되 어 있 지 않 다 . 이것 은 중간 실 ( 322 ) 과 온도 조절 실 ( 332 ) 에서 는 게이트 밸브 ( G 31 , G 32 ) 가 진공 반 송실 ( 31 ) 의 연결 방향 , 즉 장치 안길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 관하 여 서로 상이 한 측 에 마련 되 며 , 게이트 밸브 ( G 31 , G 32 ) 는 또한 장치 폭 방향 ( X 방향 ) 에서 상이 한 위치 에 마련 되 는 것 을 의미 한다 .