3 차원 ( 3 - D ) Not - And ( NAND ) 소자 는 메모리 응용 분야 에서 활용 될 수 있 다 . 3 - D NAND 장치 는 서로 배치 된 이중층 의 적층 체 를 포함 할 수 있 다 . 이중층 은 , 예 를 들 어 산화물 및 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 다른 적층 체 에 다수 의 이중층 의 적층 체 를 배치 하 는 경우 , 층 에 대한 정렬 및 응력 그리고 상이 한 특징 부가 중요 해질 수 있 다 .