한편 , 도 12 에 도시 하 는 바 와 같이 , 보완 처리 프로세스 를 필요 로 하 지 않 는 이상 이 제 1 기판 약액 처리 의 한창 중 에 발생 한 경우 , 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 완결 레시피 정보 에 따라서 , 제 1 기판 약액 처리 의 나머지 의 실행 만 을 스킵 할 수 있 다 . 그리고 , 처리 실행 부 ( 25 ) 는 , 그 후 에 계속 되 는 제 1 기판 린스 처리 , 제 2 기판 약액 처리 , 제 2 기판 린스 처리 및 건조 처리 를 구제 웨이퍼 에 대하 여 실행 할 수 있 다 .