도 15 를 참조 하 면 , 제 1 개 구 ( 260 ) 의 저면 상 에 형성 된 제 2 블로킹 막 ( 280 ) 부분 을 통해 기판 ( 100 ) 상부 에 불순물 을 주입 함 으로써 제 2 불순물 영역 ( 104 ) 을 형성 할 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 불순물 은 인 , 비소 와 같 은 n 형 불순물 을 포함 할 수 있 다 .