제 1 소자 분리 막 ( 160 ) , 제 1 내부 스 페이서 ( 142 ) 및 제 2 내부 스 페이서 ( 242 ) 는 절연 패턴 을 구성 할 수 있 다 . 절연 패턴 은 기판 의 두께 방향 ( Z ) 으로 길 게 연장 되 는 라인 절연 패턴 과 , 라인 절연 패턴 의 측벽 으로부터 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 돌출 되 고 , 라인 절연 패턴 과 접촉 하 는 돌출 절연 패턴 을 포함 할 수 있 다 .