또한 , 측정 시스템 의 높 은 정확 성 은 기판 스테이지 의 스캐닝 이동 시 , 즉 기판 의 스캐닝 또는 노광 시 에 특히 바람직 하 다 . 본 발명 에 따른 그 리핑 디바이스 ( 25 ) 는 기판 스테이지 의 스캐닝 이동 시 그리드 플레이트 ( 6 ) 를 고정 하 는 데 사용 되 어 , 이 스캐닝 이동 시 외 적 외란 들 로 인한 그리드 플레이트 의 이동 또는 변형 을 실질 적 으로 억제 할 수 있 다 . 스캐닝 이동 전 과 후 에 , 그 리핑 디바이스 ( 25 ) 들 은 두 스캐닝 이동 들 사이 에서 메트로 - 프레임 ( 3 ) 의 여 하한 의 형상 변화 들 이 보상 될 수 있 도록 자유 위치 에 배치 될 수 있 다 . 이 방식 으로 , 예 를 들 어 압력 파 들 에 의해 야기 된 그리드 플레이트 ( 3 ) 에 대한 외 적 외란 들 및 메트로 - 프레임 ( 3 ) 에서 의 외란 들 이 모두 보상 될 수 있 으며 , 이 에 따라 측정 시스템 의 정확 성 이 증가 된다 .