기판 ( 50 ) 의 가장자리 근처 ( ED ) 에서 , 보론 카바이드 에 지링 ( 40 ) 과 의 부피 비저항 차이 는 플 라즈 마 분포 균일성 에 큰 영향 을 준다 . 여기 서 , 균일성 은 플 라즈 마 분포 의 변화 정도 를 말 하 는 것 으로 , 균일성 이 작 으면 플 라즈 마 분포 가 급격 하 게 변하 고 , 크 면 플 라즈 마 분포 의 변화 가 완만 하 다 . 이 를 위해 , 보론 카바이드 에 지링 ( 40 ) 의 부피 비저항 은 기판 ( 50 ) 의 부피 비저항 과 유사 하 거나 낮 은 것 이 바람직 하 다 . 이렇게 되 면 , 플라 즈 마 분포 는 기판 ( 50 ) 의 가장자리 를 벗어나 보론 카바이드 에 지링 ( 40 ) 으로 확장 되 므로 , 기판 ( 50 ) 의 가장자리 는 상대 적 으로 높 은 균일성 을 가진다 . 상기 균일성 은 플 라즈 마 밀도 및 기판 ( 50 ) 을 향한 직진 성 이 우수 하 다는 것 을 의미 한다 . 즉 , 상기 에치 링 의 부피 비저항 은 상기 기판 의 부피 비저항 과 유사 하 거나 낮 은 것 으로 , 상기 기판 의 중심부 와 가장자리 사이 의 플 라즈 마의 분포 불 균일 을 완화 한다 . 도면 에서 는 기판 ( 50 ) 의 가장자리 를 벗어나 는 상태 를 가장 자리 근처 ( ED ) 로 표현 하 였 다 .