또 , 실시 예 1 B , 11 B ~ 14 B 의 대비 로부터 , 아졸 계 화합물 의 함유량 이 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 , 0 . 12 ~ 3 . 5 질량 %( 바람직 하 게 는 0 . 12 ~ 0 . 8 질량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 12 ~ 0 . 5 질량 %) 인 경우 , 피연 마면 에서 의 디싱 및 이 로전 이 보다 발생 하 기 어렵 고 , 경시 안정 성 이 보다 우수 했 다 .