이 와 같 은 제 1 가스 분사 모듈 ( 130 a ) 은 플 라즈 마 전원 공급 부 ( 140 ) 로부터 플 라즈 마 전극 부재 ( 240 ) 에 공급 되 는 플 라즈 마 전원 에 따라 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 플 라즈 마 를 형성 하 여 가스 분사 공간 ( 212 ) 에 공급 되 는 제 1 가스 를 플 라즈 마 화 하 여 상기 제 1 가스 분사 영역 에 하향 분사 한다 .