활성 광선 또는 방사선 의 예 로 는 적외선 광 , 가시 광 , 자외선 광 , 원자외선 광 , X 선 및 전자 빔 이 포함 된다 . 이 들 중 에서 , 250 nm 이하 , 보다 바람직 하 게 는 220 nm 이하 의 파장 을 갖 는 원자외선 광 이 바람직 하 다 . 구체 예 로 는 KrF 엑 시머 레이저 광 ( 248 nm ) , ArF 엑 시머 레이저 광 ( 193 nm ) , F 2 엑 시머 레이저 광 ( 157 nm ) , X 선 및 전자 빔 이 포함 되 고 , ArF 엑 시머 레이저 광 , F 2 엑 시머 레이저 광 , EUV ( 13 nm ) 및 전자 빔 이 바람직 하 다 .