상기 승강 핀 ( 550 ) 이 상기 개 폐공 ( 211 ) 을 차폐 할 때 진 공기 가 동작 되 어 기판 의 진공 흡입 을 중지 시키 게 된다 . 이 진 공기 는 기판 감지 핀 ( 220 ) 의 구동 에 따라 동작 되 기 도 한다 . 즉 , 상기 기판 감지 핀 ( 220 ) 이 하강 되 면 기판 ( 600 ) 이 상기 캐 비티 블럭 ( 200 a , 200 b ) 의 상면 에 안착 되 는 것 이 므로 , 상기 진 공기 가 동작 되 어 상기 기판 ( 600 ) 을 흡입 하 게 된다 . 또한 , 상기 승강 핀 ( 550 ) 이 상승 되 어 상기 개 폐공 ( 211 ) 을 차폐 할 경우 에 는 상기 진 공기 의 동작 을 정지 시켜 공기 의 흡입 을 중단 하 게 되 는 것 이 다 .