조명 방사선 은 ( 도시 되 지 않 는 조명 시스템 ( 412 ) 을 통해 ) 기판 ( 830 ) 상 에 제공 되 는 타 겟 구 조체 를 조명 한다 . 도 7 에서 예시 되 는 바 와 같이 , 타 겟 구 조체 는 기판 의 평면 에서 공간 적 으로 분리 되 는 제 1 타 겟 및 제 2 타 겟 을 포함 한다 . 제 1 조명 방사선 은 제 1 타 겟 ( Ta ) 을 조명 하 고 제 2 조명 방사선 은 제 2 타 겟 ( Tb ) 을 조명 한다 . 제 1 조명 방사선 및 제 2 조명 방사선 은 각각 제 1 타 겟 및 제 2 타 겟 에 의해 산란 된다 . 산란 된 방사선 ( 도시 되 지 않 음 ) 은 검출 시스템 ( 또한 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 검출 되 고 프로세싱 유닛 에 의해 프로세싱 되 어 두 개 의 타 겟 의 측정치 를 동시 에 획득 한다 .