이상 에서 살펴본 바 와 같이 , 본 발명 은 하부 전극 물질 로서 우수 한 열 적 안정 성 을 가진 Ru / RuO 2 박막 을 적용 하 고 , 표면적 을 극대 화 시킨 3 차원 기둥 구조 의 캐 패 시터 를 구현 함 으로써 실린더 구조 보다 더 높 은 종횡비 에서 무너짐 현상 이 발생 하 지 않 으면서 , 동시 에 높 은 충전 용량 을 확보 할 수 있 다 .