청구 항 5 의 광학 막 평면 화 방법 과 청구 항 6 의 광학 막 평면 화 방법 은 슬라이딩 면 을 형성 시킴 으로써 광학 막 의 막 응력 을 제거 해서 광학 막 의 평면 화 를 도모 한다는 점 에서 는 일치 하 고 있 지만 , 청구 항 5 의 광학 막 평면 화 방법 에서 는 슬라이딩 면 의 형성 공정 을 광학 막 형성 공정 보다 먼저 행하 고 ( 선 슬라이딩 ) , 청구 항 6 의 광학 막 평면 화 방법 에서 는 슬라이딩 면 의 형성 공정 을 광학 막 형성 공정 보다 뒤 에 행하 는 ( 후 슬라이딩 ) 점 에서 상위 한다 .