그리고 , 플레이트 에 는 반사막 ( 12 ) 이 형성 되 어 있 다 . 반사막 은 공정 챔버 에 마련 되 어 있 는 램프 , 예 를 들 어 IR ( infrared rays ) 램프 에서 조사 된 빛 ( 열 ) 이 기판 의 중앙부 까지 균일 하 게 전달 되 도록 하 기 위한 것 이 다 . 이 를 위해 , 반사막 ( 12 ) 은 램프 에서 조사 된 광 을 잘 반사 할 수 있 으며 내열성 이 우수 한 금속 성 물질 로 이루어지 는데 , 특히 본 실시 예의 경우 반사막 은 알루미늄 ( Al ) 으로 이루어진다 . 알루미늄 은 녹는점 이 높 아서 공정 온도 에서 도 변형 이 되 지 않 으며 , IR 램프 에서 조사 된 광 을 효율 적 으로 반사 할 수 있 으므로 , 반사막 ( 12 ) 으로 이용 되 기 에 매우 적합 한 소재 이 다 .