본 발명 을 따르 는 제 1 기판 홀더 ( 1 ) 를 실제 크기 와 다르 게 개략 적 으로 도시 한 도 4 a 의 평면도 를 참고 할 때 , 특히 다수 의 고정 요소 ( 2 ) 가 ( 부분 적 으로 도시 된 ) 기판 ( 4 ) 을 고정 하 기 위해 형성 되 는 기판 홀더 플레이트 를 포함 한다 . 고정 요소 ( 2 ) 는 진공 채널 의 일부분 으로서 진공 고정 , 특히 진공 개구부 인 것 이 바람직 하 다 . 바람직 하 게 기판 홀더 ( 1 ) 의 각각 의 변 부 ( 1 s ) 로부터 동일 한 거리 에 배열 된 복수 의 , 특히 적어도 2 개 의 리세 스 ( 3 ) 들 이 기판 홀더 플레이트 에 포함 된다 . 리세 스 ( 3 ) 는 바람직 하 게 연속 적 으로 형성 된 구멍 들 이 며 , 상기 실시 예 에서 원형 으로 구성 된다 . 그러나 , 리 세스 ( 3 ) 는 모든 형상 , 특히 직사각 형 형상 을 가질 수 있 다 . 밀링 가공 된 복잡 한 형상 의 리세 스 ( 3 ) 도 가능 하 다 .