포크 ( 17 a , 17 b ) 를 퇴피 시킨 후 , 로드 록 실 ( 5 ) 의 대기 측 의 게이트 밸브 ( 7 c ) 를 닫 는다 . 그 후 , 로드 록 실 ( 5 ) 내 를 배기 하 여 , 내부 를 소정 의 진공도 까지 감압 한다 . 다음 에 , 반 송실 ( 3 ) 과 로드 록 실 ( 5 ) 과 의 사이 의 게이트 밸브 ( 7 b ) 를 열 고 , 반송 장치 ( 23 ) 의 포크 ( 101 ) 에 의해 로드 록 실 ( 5 ) 의 기판 수 용부 ( 27 ) 에 수용 된 기판 ( S ) 을 수취 한다 .