반응 가스 ( 60 ) 로 예 를 들 면 , O 2 , O 3 와 같 은 산소 원자 를 포함 하 는 가스 를 사용 할 경우 , 실리콘 박막 ( 110 ) 은 반응 가스 ( 60 ) 에 포함 된 산소 원자 와 반응 하 여 실리콘 산화 막 으로 형성 될 수 있 다 . 또는 반응 가스 ( 60 ) 로 예 를 들 면 , N 2 및 NH 3 와 같 은 질소 원자 를 포함 하 는 가스 를 사용 할 경우 , 실리콘 박막 ( 110 ) 은 반응 가스 ( 60 ) 에 포함 된 질소 원자 와 반응 하 여 실리콘 질 화 막 으로 형성 될 수 있 다 .