시스템 소프트웨어 는 다양 한 서로 다른 방식 으로 설계 , 또는 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 다양 한 챔버 구성 요소 의 서브루틴 , 또는 제 어 객체 는 , 본 발명 의 증착 공정 을 실행 하 기 위한 챔버 구성 요소 의 작업 을 제어 하 기 위해 쓰여질 수 있 다 . 이러 한 목적 을 위한 프로그램 , 또는 프로그램 의 섹션 의 예 로 는 기판 포지셔닝 코드 ( substrate positioning code ) , 공정 기체 제어 코드 , 압력 제어 코드 , 가열기 제어 코드 및 플라스마 제어 코드 가 있 다 .