상기 광학 식 형상 측 정법 의 일종 인 PSI ( Phase shift interferometry ) 법 은 , 상기 물체 광 의 위상 을 규칙 적 으로 변화 시키 면서 복수 의 간섭 무늬 를 획득 한 후 , 상기 복수 의 간섭 무늬 를 소정 의 연산 처리 함 으로써 상기 시료 의 표면 의 두께 , 형상 등 의 정보 를 수득 하 는 방법 을 의미 한다 . 이 때 , 상기 물체 광 의 위상 변화 량 단위 는 120 °, 90 °, 60 ° 일 수 있 으나 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .