또한 , 클리닝 스테이지 ( 91 ) 에 의한 클리닝 부재 ( 93 ) 의 Z 축 방향 의 이 동량 ( 하단 위치 ) 은 , 푸 셔 본 체부 ( 33 ) 의 프로브 ( 81 ) 에 대한 이 동량 ( 하단 위치 ) 을 근거 로 결정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 에 따라 클리닝 부재 ( 93 ) 의 프로브 ( 81 ) 에 대한 접촉 압 은 프로브 ( 81 ) 에 데미지 를 주 지 않 는 호적 한 크기 로 할 수 있 다 .