또한 상기 각 실시 형태 에서 는 , 스텝 · 앤드 · 스캔 방식 등 의 주사 형 노광 장치 에 본 발명 이 적용 된 경우 에 대하 여 설명 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 스 테퍼 등 의 정지형 노광 장치 에 본 발명 을 적용 해도 된다 . 또한 , 쇼트 영역 과 쇼트 영역 을 합성 하 는 스텝 · 앤드 · 스티치 방식 의 투영 노광 장치 , 프록시 미티 방식 의 노광 장치 , 또는 미러 프로 젝 션 · 얼라 이너 등 에 도 본 발명 은 적용 할 수 있 다 .