그러나 , 비 교예 에 따른 수지 성형 장치 로서 , 예 를 들 면 도 36 A 에 나타내 는 바 와 같이 , 몰드 ( M ) 의 둘레 부를 유지 하 는 유지 부 ( 9033 ) 와 , 기판 ( WT ) 에 수지 ( R 2 ) 를 도포 하 는 디 스펜서 ( 9033 ) 와 , 기판 ( WT ) 을 지지 하 는 스테이지 ( 9031 ) 를 구비 하 는 것 이 제안 되 어 있 다 . 여기 서 , 유지 부 ( 9033 ) 는 , 몰드 ( M ) 의 중앙부 에 공기압 을 가하 는 것 에 의해 ( 도 36 A 의 화살표 AR 901 참조 ) , 몰드 ( M ) 의 중앙부 를 휘 게 한다 . 수지 성형 장치 는 , 디 스펜서 ( 9033 ) 에 의해 기판 ( WT ) 상 에 사전 도포 된 성형 전 의 수지 ( R 2 ) 가 몰드 ( M ) 의 하방 에 배치 되 도록 스테이지 ( 9031 ) 를 이동 시킨다 . 그리고 , 수지 성형 장치 는 , 예 를 들 면 도 36 B 에 나타내 는 바 와 같이 , 대기 중 에서 , 몰드 ( M ) 를 휘 게 한 상태 에서 , 스테이지 ( 9031 ) 를 몰드 ( M ) 에 접근 시키 는 것 에 의해 ( 도 36 B 의 화살표 AR 902 참조 ) , 몰드 ( M ) 를 수지 ( R 2 ) 에 접촉 시킨다 . 그 후 , 몰드 ( M ) 를 수지 에 가압 해 가 는 것 에 의해 , 도 36 C 에 나타내 는 바 와 같이 , 수지 성형 한다 . 이 때 , 몰드 중앙부 에서부터 수지 에 접촉 하 고 , 순차 외 주부 로 접촉 이 확산 되 어 가 기 때문 에 기포 가 방출 되 어 수지 성형 되 는 구조 이 다 .