한 양태 에서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 는 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 연장 및 후퇴 와 보완 적 으로 선회 축 ( SX ) 으로부터 멀 어 지 고 이 를 향하 여 방향 ( 296 ) 으로 프레임 ( 예 를 들 어 , 상부 아암 ( 250 UA ) 의 프레임 ( 250 UAF ) 과 같 은 ) 에 대해 이동하 는 활동 성 웨이트 이 다 . 예 를 들 어 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 연장 됨 에 따라서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 는 어깨 부 축 ( SX ) 으로부터 멀 어 지 게 방향 ( 296 ) 으로 이동 하 고 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 후퇴 됨 에 따라서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 는 어깨 부 축 ( SX ) 을 향하 여 방향 ( 296 ) 으로 이동 한다 . 한 양태 에서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 는 기판 이송 아암 ( 250 ) 에 동작 가능 하 게 결합 된 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 적어도 하나 의 구동축 ( drive axis ) 에 의해 기판 이송 아암 프레임 ( 예 를 들 어 , 상부 아암 ( 250 UA ) 의 프레임 ( 250 UAF ) 과 같 은 ) 에 대해 이동 되 어 , 임의 의 적절 한 방식 으로 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 관절 식 연결 을 수행 한다 . 예 를 들 어 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 는 임의 의 적절 한 방식 으로 ( 예 를 들 어 , 밴드 및 풀리 드라이브 또는 임의 의 다른 적절 한 드라이브 변속 을 통하 는 것 과 같이 ) 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 에 의해 작동 되 는 임의 의 적절 한 슬라이드 ( 247 SL ) 상 에서 상부 아암 ( 250 UA ) 내 에 ( 또는 선회 샤프트 ( 247 PA ) 내 에 ) 장착 될 수 있 다 . 한 양태 에서 , 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 적어도 하나 의 구동축 은 선회 축 으로부터 멀 어 지 고 이 를 향하 여 방향 ( 296 ) 으로 의 밸러스트 웨이트 부재 ( 247 ) 의 이동 을 수행 하 고 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 연장 및 후퇴 를 수행 하 여서 , 적어도 하나 의 구동축 은 밸러스트 웨이트 부재 ( 246 ) 의 운동 및 기판 이송 아암 ( 250 ) 의 연장 및 후퇴 를 위한 공통 의 구동축 이 다 . 예 를 들 어 , 도 3 a 내지 도 3 d 를 참조 하 여 , 외부 구동 샤프트 ( 380 S ) 는 어깨 부 축 ( SX ) 을 중심 으로 상부 아암 ( 250 UA ) 을 회전 시키 기 위해 상부 아암 ( 250 UA ) 에 결합 될 수 있 다 . 중간 구동 샤프트 ( 380 AS ) 는 팔꿈치 축 ( EX ) 을 중심 으로 팔뚝 ( 250 FA ) 을 회전 시키 기 위해 팔뚝 ( 250 FA ) 에 결합 될 수 있 다 ( 본 명세서 에 기술 된 밴드 및 풀리 배열 을 통하 는 것 과 같이 ) . 내부 구동 샤프트 ( 들 ) ( 380 BS , 388 ) 는 손목 축 ( WX ) 을 중심 으로 엔드 이펙터 ( 들 ) ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 를 회전 시키 기 위해 엔드 이펙터 ( 들 ) ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 에 결합 될 수 있 다 ( 예 를 들 어 , 본 명세서 에 기술 된 밴드 및 풀리 배열 을 통하 는 것 과 같이 ) . 중간 구동 샤프트 ( 380 AS ) 는 또한 어깨 부 풀리 ( 410 ) , 및 어깨 부 축 ( SX ) 에 대해 팔꿈치 풀리 ( 411 ) 반대편 의 상부 아암 ( 250 UA ) 상 에 배치 된 다른 풀리 ( 412 ) 를 포함 하 는 밴드 및 풀리 배열 을 통하 는 것 과 같이 임의 의 적절 한 방식 으로 밸러스트 웨이트 부재 ( 246 ) 에 결합 될 수 있 다 . 밴드 ( 400 A ', 400 B ') 는 풀리 ( 410 , 412 ) 를 연결 할 수 있 고 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 246 ) 는 임의 의 적절 한 선형 슬라이드 ( 247 SL ) 를 따라서 방향 ( 296 ) 으로 이동 하 도록 임의 의 적절 한 방식 으로 밴드 ( 400 A ', 400 B ') 중 하나 에 결합 될 수 있 다 . 알 수 있 는 바 와 같이 , 풀리 ( 410 ) 와 풀리 ( 411 ) 사이 의 풀리 크기 비율 은 풀리 ( 410 ) 와 풀리 ( 412 ) 사이 의 풀리 크기 비율 과 다를 수 있 어서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 246 ) 의 이동은 아암 연장 / 후퇴로 교정 된다 ( 예 를 들 어 , 어깨 부 풀리 ( 410 ) 는 밴드 ( 400 A , 400 B ) 가 결합 되 는 제 1 지름 및 밴드 ( 400 A ', 400 B ') 가 결합 되 는 제 2 지름 을 포함 할 수 있 으며 , 여기 에서 제 1 및 제 2 지름 은 풀리 ( 411 , 412 ) 중 각각 의 것 에 대응 한다 ) . 다른 양태 에서 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 246 ) 가 방향 ( 296 ) 으로 이동 하 도록 , 밸러스트 웨이트 부재 ( 246 ) 는 임의 의 적절 한 방식 으로 상부 아암 ( 250 UA ) , 팔뚝 ( 250 FA ) 및 엔드 이펙터 ( 250 E , 250 E 1 , 250 E 2 ) 중 어느 하나 와 공동 으로 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 임의 의 적절 한 구동 샤프트 ( 380 S , 380 AS , 380 BS , 388 ) 에 결합 될 수 있 다 .