노광 장치 ( EX ) 는 서로 다른 노광 조건 에서 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 각각 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 할 수 있 다 . 노광 조건 은 기판 ( P ) 에 대한 노광 광 ( EL ) 의 조사 조건 을 포함 한다 . 기판 ( P ) 에 대한 노광 광 ( EL ) 의 조사 조건 은 예 를 들 면 제 1 , 제 2 패턴 의 상 등 에 따라 각각 최적 화 됨 과 동시 에 상술 의 조명 조건 , 투영 계 ( PL 1 , PL 2 ) 의 개구수 등 을 포함 한다 .