상기 4 급 암모늄 하이드 록 사이드 는 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ( TMAH ) , 테트라에틸 암모늄 히드록시 드 ( TEAH ) , 테트라 프로필 암모늄 히드록시 드 ( TPAH ) , 테트라 부틸 암모늄 히드록시 드 ( TBAH ) , 및 에틸 트리 메틸 암모늄 히드록시 드 ( ETMAH ) 로 이루어진 군 으로부터 선택 되 는 하나 이상 일 수 있 고 , 바람직 하 게 는 상기 4 급 암모늄 하이드 록 사이드 는 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ( TMAH ) , 테트라에틸 암모늄 히드록시 드 ( TEAH ) 및 에틸 트리 메틸 암모늄 히드록시 드 ( ETMAH ) 일 수 있 다 .