이 와 같 은 내용 을 근거 로 할 때 , 제 2 라인 패턴 ( 22 a ) 을 독립 적 인 개별 라인 패턴 으로 하 기 위하 여 본 발명 은 제 1 패턴 ( 15 ) 의 레이아웃 을 변경 하 여야 한다 . 즉 , 제 1 라인 패턴 ( 14 a ) 에 제 1 방향 , 즉 해상도 조절 방향 에 단부 를 갖 는 조그 패턴 을 형성 하 여 제 2 라인 패턴 ( 22 a ) 을 제 2 방향 으로 단선 시킬 수 있 다 .