본 발명 에 따른 화학 기상 성장 장치 에 는 챔버 와 , 상기 챔버 내 에 설치 된 서 셉 터 ( susceptor ) 와 , 상기 챔버 내 에 유기 금속 을 함유 하 는 원료 가스 를 공급 하 는 공급 수단 이 설치 되 어 있 다 . 또한 , 상기 공급 수단 으로부터 공급 된 유기 금속 을 가열 함 으로써 , 분해 시키 는 가열 수단 과 , 상기 유기 금속 의 분해 에 의해 생긴 탄소 및 탄화 수소 를 , 상기 서 셉 터 까지 도달 하 기 전 에 포획 하 는 포획 수단 이 설치 되 어 있 다 .