이 는 스퍼터링 이 증가 되 면서 증가 되 고 증착 이 증가 되 면서 감소 된다 . E / D 의 정의 에서 사용 된 바 와 같이 , " "" 순 증착 률 ( net deposition rate ) "" 은 다시 증착 과 스퍼터링 이 동시 에 발생 되 는 경우 에 측정 된 증착 률 이 다 . 그러나 "" 공급원 만 의 증착 률 ( source - only deposition rate ) "" 은 프로세스 방법 이 스퍼터링 없이 수행 되 는 때 측정 된 증착 률 이 다 . 본 발명 의 구체 예 는 D / S 비율 의 관점 에서 ", 본원 에 기재 되 어 있 다 . D / S 및 E / D 는 정확히 역 ( reciprocal ) 이 아니 지만 , 이 들 은 역 ( inversely ) 관계 이 고 이 들 사이 의 전환 은 당업자 에 이해 될 것 이 다 .