또한 상기 각 실시 형태 에서 는 , 노즐 유닛 ( 32 ) 의 하면 과 투영 광학계 ( PL ) 의 선단 광학 소자 의 하 단면 이 거의 동일 한 면 인 것 으로 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 노즐 유닛 ( 32 ) 의 하면 을 , 선단 광학 소자 의 사 출면 보다 투영 광학계 ( PL ) 의 이미지 면 ( 즉 웨이퍼 ) 의 근처 에 배치 해도 된다 . 즉 , 국소 액침 장치 ( 8 ) 는 상기 서술 한 구조 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 유럽 특허 출원 공개 제 1420298 호 명세서 , 국제 공개 제 2004 / 055803 호 팜플렛 , 국제 공개 제 2004 / 057590 호 팜플렛 , 국제 공개 제 2005 / 029559 호 팜플렛 ( 대응 미국 특허 출원 공개 제 2006 / 0231206 호 명세서 ) , 국제 공개 제 2004 / 086468 호 팜플렛 ( 대응 미국 특허 출원 공개 제 2005 / 0280791 호 명세서 ) , 일본 공개 특허 공보 2004 - 289126 호 ( 대응 미국 특 허 제 6 , 952 , 253 호 명세서 ) 등 에 기재 되 어 있 는 것 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2004 / 019128 호 팜플렛 ( 대응 미국 특허 출원 공개 제 2005 / 0248856 호 명세서 ) 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , 선단 광학 소자 의 이미지 면 측 의 광로 에 추가 하 여 , 선단 광학 소자 의 물 체면 측 의 광로 도 액체 로 채우 도록 해도 된다 . 또한 , 선단 광학 소자 표면 의 일부 ( 적어도 액체 와 의 접촉면 을 포함 한다 ) 또는 전부 에 , 친액성 및 / 또는 용해 방지 기능 을 갖 는 박막 을 형성 해도 된다 . 또한 , 석영 은 액체 와 의 친화성 이 높 고 또한 용해 방지 막 도 불 필요 하 지만 , 형석 은 적어도 용해 방지 막 을 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .