또한 , 상기 제 1 , 2 클린 장치 ( 10 , 30 ) 는 세 척 용액 이 저장 되 어 공급 되 는 세척 용액 공급 부 ( 11 ) ; 세척 시트 ( S ) 가 공급 되 기 위해 권 취 되 어 있 는 공급 휠 ( 14 ) ; 상기 공급 휠 ( 14 ) 에 대응설 치 되 어 , 공급 되 는 세척 시트 ( S ) 의 양 을 감지 하 는 시트 공급량 감지 센서 ( 15 ) ; 상기 공급 휠 ( 14 ) 로부터 다수 의 이송 롤 을 통해 이송 되 는 세척 시트 ( S ) 에 , 상기 세 척 용액 을 사전 분사 하 는 제 1 분 사부 ( 17 ) ; 상기 제 2 클린 부 ( 21 ) 를 거치 며 세 척 공정 에 사용 된 세척 시트 ( S ) 를 권 취하 여 회수 하 는 회수 휠 ( 27 ) ; 로 이루어지 는 것 을 특징 으로 한다 .