여기 서 , 엔드 이펙터 ( 18 ) 는 일실 시예 로서 도 5 및 도 6 과 같이 , 상기 지지 로드 ( 16 ) 가 반도체 기판 ( 100 ) 로딩 / 언로 딩 을 위한 보트 로 의 인출 인입 경로 를 확보 하 기 위하 여 전면 개방 부 를 갖 게 형성 된 보트 프레임 으로부터 내측 방사상 으로 돌출 되 어 홀더 링 ( 12 ) 을 지지 하 며 , 이 에 의해 평면 상 홀더 링 ( 12 ) 의 외곽 공간 이 지지 로드 ( 16 ) 에 의해 점유 된 경우 지지 로드 ( 16 ) 가 평면 상 점유 하 는 공간 이 회피 된 홀더 링 ( 12 ) 내측 공간 으로 작업 이 수행 되 도록 양 측방 으로 돌출 된 지지 로드 ( 16 ) 의 간격 사이 로 삽입 되 는 폭 을 갖 고 그 길 이 방향 에 대하 여 는 엔드 이펙터 ( 18 ) 의 작업 경로 에 대해 내측 방향 으로 돌출 된 나머지 하나 의 지지 로드 ( 16 ) 를 수용 하 면서 반도체 기판 ( 100 ) 이 그립 되 도록 회피 홈 부 ( 24 ) 가 형성 된 탑 - 에지 - 그립 방식 의 엔드 이펙터 인 것 을 특징 으로 한다 .