시스템 ( 100 ) 의 부분 으로 도시 된 요소 들 은 예 로써 열거 되 며 , 포괄 적 인 것 이 아니 다 . 많 은 다른 가능 한 요소 들 , 예컨대 : 가스 및 / 또는 진공 배관 , 압력 및 / 또는 유동 제어기 들 ; 전극 들 , 자기 코어 들 및 / 또는 다른 전자기 장치 ; 기계 , 압력 , 온도 , 화학 , 광학 및 / 또는 전자 센서 들 ; 관측 및 / 또는 다른 접근 포트 들 ; 등 이 또한 포함 될 수 있 지만 , 예시 의 명확 성 을 위해 도시 되 지 않 는다 . 시스템 ( 100 ) 내 에 도시 된 요소 들 의 내부 연결 들 및 협동 이 또한 , 예시 의 명확 성 을 위해 도시 되 지 않 는다 . RF 생성기 ( 165 ) 에 추가 하 여 , 다른 유용 설비 들 , 예컨대 , 가스 공급 부들 ( 155 ) , 진공 ( 160 ) , 및 / 또는 범용 전력 ( 170 ) 이 시스템 ( 100 ) 과 연결 될 수 있 다 . 시스템 ( 100 ) 에 도시 된 요소 들 과 유사 하 게 , 시스템 ( 100 ) 과 연결 된 것 으로 도시 된 유용 설비 들 은 포괄 적 이 기 보다 는 예시 적 인 것 으로 의도 되 고 ; 다른 유형 들 의 유용 설비 들 , 예컨대 , 가열 또는 냉각 유체 들 , 가압 된 공기 , 네트워크 능력 들 , 폐기물 처리 시스템 들 등 이 시스템 ( 100 ) 과 또한 연결 될 수 있 지만 , 예시 의 명확 성 을 위해 도시 되 지 않 는다 .