바람직 한 다른 실시 형태 에서 는 , 제 1 구동 전극 은 . 축심 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 하 고 또한 제 2 구동 전극 을 향하 여 연장 되 는 복수 의 전극 치 를 갖 고 , 제 1 및 제 2 단 연장 부 는 , 그 제 1 구동 전극 에서 가장 끝 에 위치 하 는 2 개 의 전극 치 를 이루 고 , 제 2 구동 전극 은 축심 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 하 고 또한 제 1 구동 전극 을 향하 여 연장 되 는 복수 의 전극 치 를 갖 는다 . 구동 기구 에 대한 이 와 같 은 구성 은 , 구동 기구 외 에 의 전계 누출 , 나아가 서 는 소자 외 에 의 전계 누출 을 억제 하 는 점 에서 바람직 하 다 .