상기 제 1 가스 분사 플레이트 ( 139 a ) 는 상기 지지 프레임 ( 131 ) 의 일 측 하 부면 ( 131 c ) 과 격벽 부재 ( 135 d ) 에 의해 지 지 되 어 제 1 분 할 공간 ( DS 1 ) 의 일 측 영역 에 중첩 된다 . 이 에 따라 , 제 1 가스 분사 플레이트 ( 139 a ) 의 상부 면은 제 1 가스 분사 공간 ( S 1 ) 을 사이 에 두 고 제 1 커버 플레이트 ( 136 ) 의 하부 면 에 대향 된다 . 그리고 , 제 1 가스 분사 플레이트 ( 139 a ) 의 하부 면은 상기 제 1 분 할 공간 ( DS 1 ) 의 일 측 영역 에 대응 되 는 기판 지지 부 ( 120 ) 의 상면 소정 영역 에 국부 적 으로 대향 된다 .