본 발명 은 캔틸레버 의 열 기록 또는 열 감지 를 이용 한 SPM 기반 나노 정보 저장 장치 의 헤드 및 그 제조 방법 에 관한 것 이 며 , 구체 적 으로 는 상기 나노 정보 저장 장치 의 헤드 에 있 어서 캔틸레버 본체 와 탐침 을 질화 막 을 사용 하 여 구성 함 으로써 캔 틸레 버 의 균 일도 를 높이 고 탐침 의 내마모성 을 향상 시키 는 SPM 기반 나노 정보 저장 장치 의 헤드 및 그 제조 방법 에 관한 것 이 다 .