도 11 a , 도 12 a 및 도 13 a 에 도시 된 일 실시 예 에서 , 이웃 쌍 의 후면 트렌치 들 ( 79 ) 은 제 1 후면 트렌치 ( 79 A ) 를 포함 하 며 , 이 제 1 후면 트렌치 는 , 제 1 수평 방향 ( hd 1 ) 을 따라 연장 된 제 1 수직 평면 ( VP 1 ) 주위 에 중심 을 두 고 제 1 수평 방향 ( hd 1 ) 을 따라 측 방향 으로 이격 되 는 제 1 후면 트렌치 세그먼트 들 ( 791 ) ; 제 1 수평 방향 ( hd 1 ) 에 수직 인 제 2 수평 방향 ( hd 2 ) 을 따라 제 1 수직 평면 ( VP 1 ) 으로부터 측 방향 으로 오프셋 된 제 2 후면 트렌치 세그먼트 들 ( 792 ) ; 및 제 2 후면 트렌치 세그먼트 들 ( 792 ) 을 제 1 후면 트렌치 세그먼트 들 ( 791 ) 의 각자 의 제 1 후면 트렌치 세그먼트 에 접속 시키 는 접속 후면 트렌치 세그먼트 들 ( 798 ) 을 포함 한다 . 일 실시 예 에서 , 접속 후면 트렌치 세그먼트 들 ( 798 ) 각각 은 , 제 1 수평 방향 ( hd 1 ) 에 대해 15 도 내지 90 도 범위 내 의 각도 로 있 는 각자 의 수평 방향 을 따라 측 방향 으로 연장 된다 .