폴리 실록 산 ( Ia - 1 ) : ( Ib - 1 ) =( 80 중량 %):( 20 중량 %) 의 비율 로 혼합 한 후 , 폴리 실록 산 혼합물 을 35 % 의 PGMEA 용액 으로 조정 하 였 다 . 이 폴리 실록 산 혼합물 의 프리 베 이크 후 의 2 . 38 % TMAH 수용액 에 대한 용해 속도 를 측정 한 결과 , 137 Å / 초 이 었 다 . 이 실록 산 혼합물 에 , 4 - 4 '-( 1 -( 4 -( 1 -( 4 - 하이드 록 시 페놀 ) - 1 - 메틸 에틸 ) 페닐 ) 에 틸 리덴 ) 비스 페놀 의 디아조 나프 토 퀴논 2 . 0 몰 변 성체 ( 이하 「 PAC 」 이 라고 생략 한다 ) 를 , 폴리 실록 산 에 대해 12 중량 % 첨가 하 였 다 . 또한 계면 활성제 로서 신 에 츠 가 가 쿠 고 교사 제조 KF - 53 을 , 폴리 실록 산 에 대해 0 . 3 중량 % 가하 고 , 감광성 실록 산 조성물 을 수득 하 였 다 .