여기 서 , 상술 한 로드 락 챔버 는 대기압 상태 와 진공 상태 를 번갈 아 가 면서 외부 로부터 처리 되 지 않 은 기판 을 받아들이 거나 처리 가 끝난 기판 을 외부 로 반출 하 는 역할 을 하 며 , 상술 한 반송 챔버 는 기판 을 각 챔버 들 간 에 반송 하 기 위한 운송 로봇 이 구비 되 어 있 어서 처리 가 예정 된 기판 을 로드 락 챔버 에서 공정 챔버 로 전달 하 거나 , 처리 가 완료 된 기판 을 공정 챔버 에서 로드 락 챔버 로 전달 하 는 역할 을 하 며 , 상술 한 공정 챔버 는 진공 중 에서 플라 즈 마를 이용 하 거나 열 에너지 를 이용 하 여 기판 상 에 막 을 성막 하 거나 에칭 을 수행 하 는 역할 을 한다 .