본 발명 의 에칭 제 에 관련 되 는 ( c - 2 ) 유기 아민 은 본 발명 < 2 > 에 관한 에칭 제 에 만 사용 되 고 , 상기 ( c - 1 ) 무기 알칼리 와 마찬가지 로 용액 의 pH 를 소정 의 범위 로 유지 하 면서 과산화수소 로 산화 된 W 막 이나 TiW 합금 막 등 의 산화물 을 용해 시키 는 목적 을 위하 여 사용 되 는 것 이 다 . 상기 유기 아민 의 구체 예 로 는 테트라메틸 암모늄 수 히드록시 드 ( TMAH ) , 수산화 콜린 등 을 예 로 들 수 있 고 , 그 중 에서 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 ( TMAH ) 가 바람직 하 다 .