포토 장비 는 그대로 사용 하 면서 집적도 를 높이 는 패턴 기술 을 향상 시키 는 것 이 패턴 공정 의 주 된 이슈 가 된다 . 이 를 RET ( Resolution Enhancement Technology ) 라고 도 표현 한다 . RET 의 하나 로서 , 현재 의 포토 리소그래피 노광 툴 에 부과 된 한계 들 을 극복 하 기 위해서 는 , 진보 된 포토 리소그래피 에서 아주 중요 한 모 멘 텀 으로 흔히 광 근접 성 보정 ( OPC : Optical Proximity Correction ) 이 라는 작업 을 통한 마스크 데이터 의 수정 이 얻 어 진다 .