일 구 현 에서 , 가스 가 측면 포트 ( 122 ) 를 통해 측면 가스 유동 ( 148 ) 을 따라 처리 용적 ( 139 ) 으로 유동 되 도록 가스 주입기 ( 147 ) 가 베이스 링 ( 140 ) 에 결합 된다 . 가스 주입기 ( 147 ) 는 측면 가스 유동 ( 148 ) 의 유량 을 제어 하 도록 구성 된 유동 조정 디바이스 ( 146 ) 를 통해 가스 소스 ( 152 ) 와 유체 연통 한다 . 가스 소스 ( 152 ) 는 하나 이상 의 가스 소스 ( 153 , 154 ) 를 포함 할 수 있 다 . 하나 의 예시 적 인 예 에서 , 가스 소스 ( 152 ) 는 측면 포트 ( 122 ) 에 대해 수소 라디칼 들 을 생성 하 는 원격 플 라즈 마 소스 ( RPS ) 이 다 . 램프 들 로 기판 을 가열 하 고 , 슬릿 밸브 ( 137 ) 로부터 처리 챔버 ( 100 ) 내 로 수소 및 산소 를 주입 하 는 RadOx ® 프로세스 에 있 어서 , 가스 주입기 ( 147 ) 는 수소 라디칼 들 을 처리 용적 ( 139 ) 내 로 주입 하 도록 구성 된다 . 가스 주입기 ( 147 ) 로부터 도입 되 는 수소 라디칼 들 은 기판 ( 101 ) 의 에지 를 따라 반응 속도 를 개선 하 여 , 개선 된 두께 균일성 을 갖 는 산화물 층 으로 이어진다 . 측면 가스 유동 ( 148 ) 은 약 5 slm 내지 약 25 slm 의 범위 의 유량 을 가질 수 있 다 . 300 mm 직경 을 갖 는 기판 에 대해 , 이 유량 은 약 0 . 007 slm / ㎠ 내지 약 0 . 035 slm / ㎠ 의 범위 이 다 . 측면 가스 유동 ( 148 ) 의 조성 및 유량 은 개선 된 두께 균일성 을 갖 는 산화물 층 을 형성 하 는 데 에 있 어서 중요 한 인자 들 이 다 .