본 발명 은 유해 가스 처리 를 위한 플 라즈 마 가스 스 크 러버 및 그 의 제어 방법 에 관한 것 으로 , 본 발명 은 플 라즈 마 처리 기 , 냉각 세척 챔버 , 냉각 챔버 , 및 저장조 를 포함 하 므로써 , 기존 에 분해 가 어렵 던 유해 가스 특히 , PFC ( Perfluorocompound ) 가스 등 을 확실히 정화 할 수 가 있 고 , 다단 의 정화 과정 을 거쳐 유해 가스 를 효과 적 으로 허용 농도 이하 까지 무해 화 시킬 수 있 으며 , 유해 가스 의 무해 화 효능 을 극대 화 시키 는 우수 한 효과 가 있 다 .