2 개 의 제 3 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 는 , 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 와 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) ( 도 16 참조 ) 를 거쳐서 로더 모듈 ( 22 ) 에 연결 된다 . 여기 에서 , 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 및 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 를 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 이 라 부른다 . 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 은 , 제 1 반송 유닛 ( 28 ) 및 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 에 대하 여 독립 해서 기판 ( W ) 을 제 3 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 에 반송 한다 . 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 은 로더 모듈 ( 22 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 과 직교 하 는 방향 ( X 방향 ) 으로 연장 한다 . 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 은 2 개 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 의 사이 및 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 ( 24 - 1 , 24 - 2 ) 의 사이 를 통과 한다 . 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 의 깊이 방향 ( X 방향 ) 의 길이 는 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 길이 보다 도 길 다 . 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 은 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 보다 도 아래쪽 에 배치 된다 . 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 제 3 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 에 이르 는 경로 의 도중 까지 는 , 제 1 , 제 2 및 제 3 반송 유닛 ( 28 , 31 , 83 ) 의 적어도 일부 가 겹치 고 , 도중 에 제 2 및 제 3 반송 유닛 ( 31 , 83 ) 만 이 겹치 게 되 고 , 최종 적 으로 는 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 만 이 단독 으로 존재 하 게 된다 .