다른 예시 적 인 실시 예 에 따라서 , 기판 이송 장치 가 제공 된다 . 상기 기판 이송 장치 는 , 프레임 ; 실질 적 으로 상기 프레임 의 주변 근처 에 선형 으로 분포 되 는 제 1 고정자 ; 실질 적 으로 상기 프레임 의 주변 근처 에 선형 으로 분포 되 는 제 2 고정자 ; 및 제 1 기판 이송 암 을 포함 하 며 , 상기 제 1 기판 이송 암 은 , 상기 프레임 내 에 위치 하 는 회전 중심 을 중심 으로 회전 가능 하 며 , 각각 원위 단부 를 갖 는 제 1 및 제 2 회전자 들 , 각각 상기 제 1 및 제 2 회전자 들 의 각각 의 원위 단부 에 제 1 단부 에서 회전 가능 하 게 결합 되 는 제 1 및 제 2 암 링크 들 , 및 상기 제 1 및 제 2 링크 들 의 각각 의 제 2 단부 에 회전 가능 하 게 결합 되 는 제 1 기판 지지 부 를 가지 며 , 상기 제 1 및 제 2 고정자 들 은 상기 제 1 및 제 2 회전자 들 에 합력 을 가하 도록 구성 되 고 , 상기 합력 은 상기 제 1 및 제 2 암 링크 들 의 주변 에 위치 한다 .