일 실시 예 에서 , 상기 기판 은 제 1 영역 및 제 2 영역 을 갖 고 , 상기 블록 공중 합체 층 은 상기 제 1 영역 및 상기 제 2 영역 상 에 형성 될 수 있 다 . 상기 상 분리 된 블록 공중 합체 층 은 상기 제 1 영역 및 상기 제 2 영역 상 에서 제 1 도메인 - 제 2 도메인 - 제 3 도메인 - 제 2 도메인 의 동일 한 도메인 반복 단위 를 가질 수 있 다 . 상기 제 1 내지 제 3 도메인 들 중 상기 제 1 영역 상 에서 선택 적 으로 제거 되 는 부분 과 상기 제 2 영역 상 에서 선택 적 으로 제거 되 는 부분 은 서로 다를 수 있 다 .