처리 용기 ( 10 ) 의 측 부 에 는 , 처리 용기 ( 10 ) 를 둘러싸 도록 해서 가열 수단 ( 40 ) 이 마련 되 어 있 어 , 처리 용기 ( 10 ) 에 수용 되 는 웨이퍼 ( W ) 를 가열 할 수 있 다 . 가열 수단 ( 40 ) 은 , 예 를 들 어 복수 의 존 으로 분할 되 어 있 고 , 연직 방향 상측 으로부터 하측 을 향해서 , 독립 적 으로 발열량 이 제어 가능 한 복수 의 히터 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 형성 되 어 있 다 . 또한 , 가열 수단 ( 40 ) 은 , 복수 의 존 으로 분할 되 지 않 고 , 1 개 의 히터 에 의해 구성 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 가열 수단 ( 40 ) 의 외주 에 는 , 단열재 ( 50 ) 가 마련 되 어 있 어 , 열 적 안정 성 이 확보 되 어 있 다 .