하우징 ( 131 ) 은 그 측면 에 제 1 및 제 2 가스 공급 홀 ( 141 , 142 ) 을 구비 하 는 한편 하 단부 가 챔버 리드 ( 112 ) 에 결합 된다 . 제 1 및 제 2 가스 공급 홀 ( 141 , 142 ) 에 는 각각 제 1 및 제 2 가스 공급 관 ( 181 , 182 ) 이 연결 되 며 , 제 1 및 제 2 가스 공급 관 ( 181 , 182 ) 은 각각 제 1 가스 및 제 2 가스 를 공급 한다 .