램프 를 광원 으로 사용 할 경우 에 는 , 플래시 램프 ( 크세논 플래시 램프 , 크립톤 플래시 램프 등 ) , 크세논 램프 , 메탈 할 라이드 램프 와 같 은 방전등 , 할로겐 램프 , 텅스텐 램프 와 같 은 발열 등 을 사용 할 수 있 다 . 플래시 램프 는 단시간 ( 0 . 1 밀리 초 내지 10 밀리 초 ) 로 상당히 강도 가 높 은 빛 을 반복 해서 , 대 면적 에 조사 할 수 있 으므로 , 제 1 기판 의 면적 에 상관없이 , 효율 적 으로 균일 하 게 가열 할 수 있 다 . 또한 발광 시키 는 시간 의 간격 을 변화 시킴 으로써 증착 용 기판 ( 707 ) 의 가열 을 제어 할 수 있 다 . 또한 플래시 램프 는 발광 시간 이 짧 기 때문 에 , 대향 기판 으로 의 열전도 를 억제 할 수 있 다 . 또한 플래시 램프 를 사용 함 으로써 , 급가 열 이 용이 해 지 고 , 히터 를 사용 했 을 경우 와 비교 해서 상하 기구 나 셔터 등 을 간략 화 할 수 있 다 . 따라서 , 더욱 성막 장치 의 소형 화 를 꾀할 수 있 다 .