이 후 , 제 1 물질 막 들 및 제 2 물질 막 들 의 물 성 에 따라 다양 한 방식 으로 후속 공정 이 진행 될 수 있 다 . 일 실시 예 로서 , ST 3 단계 는 슬릿 ( 131 ) 을 통해 도 5 a 에 도시 된 제 2 물질 막 들 ( 113 ) 을 도 5 d 에 도시 된 도전 패턴 들 ( 143 ) 로 교체 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .