특허 문헌 1 에 는 , PVD 공정 등 을 위한 프로세스 챔버 를 4 개 갖 는 멀티 클러스터 툴 이 개시 되 어 있 다 . 이 멀티 클러스터 툴 에서 는 , 로봇 웨이퍼 반송 기구 를 포함 하 는 제 1 트랜스퍼 스페이스 와 제 2 트랜스퍼 스페이스 가 프리 클린 챔버 를 거쳐서 연결 되 어 있 다 . 프리 클린 챔버 는 , 제 1 트랜스퍼 스페이스 와 제 2 트랜스퍼 스페이스 사이 에서 웨이퍼 반송 을 실행 하 는 패스 스루 챔버 로서 도 이용 된다 .