적어도 하나 의 전도성 재료 가 비아 공동 들 내 에서 다양 한 아래 에 놓인 전도성 재료 부분 들 바로 위 에 침착 될 수 있 다 . 적어도 하나 의 전도성 재료 는 금속 성 라이너 재료 ( 예컨대 , TiN , TaN , 또는 WN ) , 및 금속 성 충전 재료 ( 예컨대 , W , Cu , Mo , Co , Ru , 또는 이 들 의 합금 ) 를 포함 할 수 있 다 .