액침 영역 ( 14 ) 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상 으로 의 이동 이 완료 되 면 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 탑재 된 인코더 헤드 ( EX 1 , EX 2 , 및 EY ) 가 각각 의 대응 하 는 스케일 ( SX 1 및 SY 1 ) 에 대향 한다 . 따라서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 XY 평면 내 의 위치 계측 을 XZ 간섭계 ( 116 ) 와 Y 헤드 ( EY ) 를 이용 하 는 계측 으로부터 X 헤드 ( EX 1 및 EX 2 ) 와 Y 헤드 ( EY ) 를 이용 하 는 계측 으로 전환 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 3 개 의 헤드 ( EX 1 및 EX 2 , 및 EY ) 및 대응 하 는 스케일 ( SX 1 및 SY 1 ) 의 배치 에 의해 설정 되 는 제 1 대기 영역 ( AW 1 ) 내 의 경로 를 따라 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 , 도 12 에 도시 된 제 1 로딩 포지션 으로 이동 시킨다 . 제 1 로딩 포지션 으로 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 도착 후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Y 간섭계 ( 19 ) 와 XZ 간섭계 ( 117 및 127 ) 를 이용 하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 계측 으로 전환 한다 .