상기 과제 를 해결 하 기 위한 본 발명 의 청구 항 4 는 , 시료 에 본 딩 하 는 캐 필러 리 와 , 이 캐 필러 리 에 일정 한 오프셋 량 을 가지 고 배열 설치 된 검출 카메라 를 구비 하 며 , 본딩 후 의 본딩 부 의 압착 볼 을 검출 하 는 방법 에 있 어서 , 패드 의 인접 하 는 두 변 에 대한 압착 볼 의 에지 가 명확 한 제 1 패드 를 설정 하 고 , 이 제 1 패드 의 상기 두 변 부터 의 대응 하 는 에지 까지 의 폭 을 각각 검출 하 고 , 이 검출 값 이 미리 설정 한 허용 범위 에 있 는지 여부 를 비교 하 고 , 허용 범위 밖 인 경우 에 는 압착 볼 이 허용 범위 가 되 도록 상기 오프셋 량 을 보정 함 과 아울러 , 상기 인접 하 는 두 변 이외 의 다른 인접 하 는 두 변 에 대한 압착 볼 의 에지 가 명확 한 제 2 패드 를 설정 하 고 , 이 제 2 패드 의 상기 두 변 부터 의 대응 하 는 에지 까지 의 폭 을 각각 검출 하 고 , 상기 제 1 패드 와 상기 제 2 패드 의 검출 값 에 의해 압착 볼 지름 및 압착 볼 의 위치 어긋남 을 산출 하 는 것 을 특징 으로 한다 .