일 실시 예 에서 , 전하 터널 링 층 ( 112 ) , 전하 트랩 층 ( 114 ) 및 전하 장벽층 ( 116 ) 은 , 각각 상유 전 층 일 수 있 다 . 일 예 로서 , 전하 터널 링 층 ( 112 ) 은 실리콘 산화물 을 포함 할 수 있 다 . 전하 트랩 층 ( 114 ) 은 실리콘 질화물 을 포함 할 수 있 다 . 전하 장벽층 ( 116 ) 은 실리콘 산화물 을 포함 할 수 있 다 .