냉각 재킷 ( 130 ) 은 제 1 영역 ( 131 ) 과 , 제 2 영역 ( 132 ) 을 갖 는다 . 제 1 영역 ( 131 ) 은 , 냉각 재킷 ( 130 ) 의 표면 에 수직 인 방향 에서 보 아 냉각 재킷 ( 130 ) 의 외주 측 의 영역 인 주위 부이 며 , 타 겟 ( 110 ) 의 스퍼터 면 ( 111 ) 보다 외측 의 영역 , 바꿔 말 하 면 플 라즈 마가 발생 하 는 영역 보다 외측 의 영역 이 다 . 제 2 영역 ( 132 ) 은 , 제 1 영역 ( 131 ) 보다 내측 의 영역 이 며 , 타 겟 ( 110 ) 의 스퍼터 면 ( 111 ) 보다 내측 의 영역 , 바꿔 말 하 면 플 라즈 마가 발생 하 는 영역 이 다 .