상기 변형 조명 어퍼 처 ( aperture ) 는 , 상기 제 1 투 광부 들 을 선택 적 으로 투과 하 여 변형 된 상기 노광 광 에 의한 상기 투영 렌즈 부 에 대한 비대칭 주된 히팅 ( heating ) 을 상기 제 2 투 광부 들 을 투과 하 여 변형 된 상기 비 노광 광 에 의한 상기 투영 렌즈 부 에 대한 수직 한 방향 으로 의 비대칭 보상 히팅 ( heating ) 에 의해 보상 하 여 상기 투영 렌즈 부 의 열 적 평형 을 유도 하 게 상기 노광 광 및 비 노광 광 을 변형 시키 게 구성 될 수 있 다 .