먼저 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( W 2 a ) 에 형성 된 제 1 배선 층 ( L 1 ) 의 상면 ( L 1 a ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( W 2 a ) 에 감광성 열 경화 수지 를 도포 한다 . 예컨대 , 웨이퍼 ( W ) 는 , 도시 하 지 않 는 스핀 코터 에 반입 되 고 , 스핀 코터 의 회전 하 는 유지 테이블 상 에서 액체 공급 노즐 로부터 액 형 의 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) ( 예컨대 , 포지티브 형 감광성 폴리 이미드 수지 ) 가 적하 되 어 , 도 2 에 나타내 는 바 와 같이 , 제 1 배선 층 ( L 1 ) 의 상면 ( L 1 a ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( W 2 a ) 전체 면 에 똑같 은 두께 의 감광성 열 경화 수지 ( J 1 ) 의 막 이 형성 된다 . 또한 , 제 1 배선 층 ( L 1 ) 의 상면 ( L 1 a ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( W 2 a ) 전체 면 에 네거티브 형 감광성 폴리 이미드 수지 막 을 형성 하 여도 좋 다 .