단계 135 에서 는 , 기판 에 주입 한 제 2 종 에 대한 주입 파라 메터 가 선택 된다 . 이온 주입 장치 의 자석 과 다른 구성 요소 는 또한 주입 할 도 펀트 의 소망 하 는 질량 과 에너지 를 선택 하 기 에 적절 할 수 있 게 재 조정 될 수 있 다 ( 예컨대 , 이온 주입 장치 의 가속 전압 과 자기장 을 조정 할 수 있 음 ) . 이온 소스 ( 60 ) 와 이송 라인 ( 62 ) 이 주입 단계 들 사이 에서 퍼지 되 지 않 는다는 것 이 명백 하 다 . 전술 한 바 와 같이 , 선택 되 는 특정 주입 파라 메터 는 요인 의 개수 에 따라 변할 수 있 다 . 불소 가 주입 할 제 2 종 이 고 , BF 3 소스 가스 가 컨테이너 ( 52 ) 에 포함 되 는 예시 적 인 실시 예 에 따르 면 , 주입 에너지 는 대략 10 내지 500 나노미터 의 깊이 에서 대략 1014 내지 1015 이온 / ㎠ 의 기판 에서 의 농도 를 얻 기 위해 1 내지 50 keV 값 을 갖 도록 선택 될 수 있 다 .