접지 전극 들 ( 120 ) 은 가스 분배 판 ( 160 ) 의 하부 면 에서 돌출 되 어 일정 한 폭 과 두께 를 가지 고 제 1 방향 으로 나란히 연장 될 수 있 다 . 하나 의 전원 전극 ( 110 ) 의 양 측 에 는 접지 전극 들 ( 120 ) 이 배치 될 수 있 다 . 따라서 , 플 라즈 마 가 없 는 경우 , 전원 전극 들 각각 은 동일 한 임피던스 를 가질 수 있 다 . 또한 , 전원 전극 ( 110 ) 과 접지 전극 ( 120 ) 사이 의 간격 은 일정 할 수 있 다 . 상기 접 지 전극 ( 120 ) 은 도전체 이 다 . 스퍼터링 저항성 을 가지 도록 상기 접지 전극 ( 120 ) 의 표면 은 절연체 로 코팅 될 수 있 다 .