예컨대 , 기판 ( W ) 은 척 ( 220 ) 에 지지 된 상태 ( 핀 다운 공정 ; pin down process ) ( 도 4 참조 ) 및 리프트 핀 어셈블리 ( 260 ) 의 리프트 핀 ( 262 ) 들 에 의해 척 ( 220 ) 으로부터 들 어 올린 상태 ( 핀 업 공정 ; pin up process ) ( 도 5 참조 ) 에서 플라 즈 마 처리 될 수 있 다 .