하지만 , 본 발명 에서 는 스테이지 ( 100 ) 에 대해 기판 ( 10 ) 이 선택 적 으로 틸팅 되 도록 하 는 것 에 의하 여 , 기판 ( 10 ) 의 로딩 공정 이 기판 ( 10 ) 이 틸팅 된 상태 에서 행해질 수 있 다 . 이 와 같이 , 기판 ( 10 ) 의 로딩 공정 이 평평 한 상태 가 아닌 경사지 게 틸팅 된 상태 에서 행해 지 도록 하 는 것 에 의하 여 , 기판 ( 10 ) 의 로딩 공정 중 에 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 100 ) 의 사이 에 존재 하 는 공기 또는 액상 유체 가 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 100 ) 사이 에서 외측 으로 빠져나가 게 할 수 있 으므로 , 기판 ( 10 ) 의 로딩 공정 중 에 공기 층 또는 액체 층 에 의한 기판 ( 10 ) 의 부유 현상 을 최소 화 하 고 , 기판 ( 10 ) 의 자세 및 위치 가 틀 어 짐 을 억제 할 수 있 으며 , 의도 한 위치 에 정확 하 게 기판 ( 10 ) 을 위치 시키 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .