도 3 은 본 발명 의 실시 예 에 따른 [ 단위 사이클 2 ] 를 이용한 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 의 원자 층 증착 법 을 설명 하 기 위한 도면 으로서 , [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 을 원자 층 증착 법 에 의해 형성 할 때 가스 를 챔버 내 로 공급 하 는 개념 을 나타낸 도면 이 다 .