일반 적 으로 코팅 시스템 은 코 팅기 ( coaer ) 를 포함 하 며 일부 접속 되 는 원격 유 니트 들 을 포함 한다 . 일반 적 으로 코 팅기 ( 코팅 시스템 으로 도 불림 ) 는 하나 의 프로세스 모듈 에서 다음 프로세스 모듈 로 기판 또는 기판 들 이 통과 할 수 있 도록 직렬 로 배열 되 는 다수 의 프로세스 모듈 들 , 또는 챔버 들 을 포함 한다 . 일반 적 으로 기판 은 롤러 들 에 의해 상류 - 대 - 하류 방향 에서 기판 통과 선 을 따라 코팅 기 를 통해 지 지 되 고 이동 된다 . 일반 적 으로 , 기판 은 한쪽 단부 에서 또는 상류 단부 에서 코팅 기 에 진입 하 며 , 기판 이 물질 들 또는 상이 한 물질 들 로 코팅 되 는 다수 의 프로세스 모듈 을 통과 하 며 , 또 다른 단부 , 또는 하류 단부 에서 코팅 기 를 벗어난다 . 기판 은 평행 하 거나 또는 거의 평행 하 며 코팅 기 를 통해 수평 또는 거의 수평 평면 을 따라 이동 하 도록 배향 되 거나 , 수직 으로 또는 거의 수직 이 며 코팅 기 를 통해 수직 또는 거의 수직 인 평면 을 따라 이동 하 도록 배향 되 거나 , 또는 다르 게 배향 되 고 코팅 기 를 따라 이동 할 수 있 다 .