본 발명 에 따르 면 , 주어진 문제 에 따라 대응 하 는 해결책 이 바람직 하 다 . 매칭 마크 가 열등 한 품질 로 생성 되 는 것 으로 알려져 있 는 경우 , 매칭 마크 는 서로 근접 하 여 생성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 정렬 마크 에 의해 심하 게 왜곡 및 / 또는 구부러진 기판 에 대한 더 높 은 정렬 정확도 가 달성 되 는 경우 , 각 기판 측면 의 정렬 마크 는 서로 더 멀 어 지 게 된다 . 전술 한 통계 적 오류 결정 가능 성 은 공지 된 방법 모두 에 적용 될 수 있 다 .