도 4 a 및 4 b 를 참조 하 면 , MEMS 스위치 는 트렌치 ( 120 ) , 신호 라인 ( 110 ) 및 접지 라인 ( 111 ) 이 형성 된 기판 ( 100 ) , 기판 ( 100 ) 양 끝단 에 형성 된 지 지부 ( 112 ) 및 지지 부 ( 112 ) 에 의해 지 지 되 고 기판 ( 100 ) 과 소정 간격 이격 된 깊 은 주름 ( 미 도시 ) 이 형성 된 이동판 부 ( 150 ) 를 포함 한다 .