[ 0045 ] 어댑터 ( 318 ) 는 덮개 ( 340 ) 와 챔버 어댑터 ( 316 ) 사이 에 배치 되 고 , 가스 분배 플레이트 ( 326 ) 를 상부 에 지지 한다 . 가스 분배 플레이트 ( 326 ) 는 석영 샤워 헤드 일 수 있 다 . 가스 분배 플레이트 ( 326 ) 와 덮개 ( 340 ) 사이 에 플리 넘 ( plenum ) ( 348 ) 이 정의 된다 . 가스 분배 플레이트 ( 326 ) 는 , 덮개 ( 340 ) 에 형성 된 포트 ( 342 ) 를 통해 플 리 넘 ( 348 ) 내 로 유동 하 는 가스 들 이 , 프로세스 구역 ( 330 ) 에 배치 된 기판 ( 308 ) 에 걸쳐 분배 될 수 있 게 하 기 위해 , 복수 의 애퍼처 ( aperture ) 들 ( 327 ) 을 포함 한다 .