도 3 은 코팅 챔버 ( 1 ) 의 흡입 노즐 로 의 연결 ( 9 ) 을 더욱 상세히 도시 하 며 , 이 경우 , 도시 된 실시 예 는 흡입 채널 ( 13 ) 상 에 ( 특히 도 4 에서 도 볼 수 있 는 바 와 같이 , 수직 영역 들 ) 두 개 의 출구 들 을 가지 며 , 상기 출구 들 은 공통 라인 을 통하 여 코팅 챔버 의 흡입 노즐 로 안내 될 수 있 다 .