많 은 실시 예 에서 , 부착 메커니즘 ( 302 ) 은 우측 부 ( 312 ) 에 근접 하 여 ( 예 를 들 어 , 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 보다 우측 부 ( 312 ) 에 더 근접 하 여 ) 그리고 좌측 부 ( 311 ) 에 근접 하 여 ( 예 를 들 어 , 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 보다 좌측 부 ( 311 ) 에 더 근접 하 여 ) 마스크 구조물 ( 301 ) 에 커플링 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 일부 실시 예 에서 , 부착 메커니즘 ( 302 ) 이 , 부착 메커니즘 ( 302 ) 을 마스크 구조물 ( 301 ) 에 커플링 시키 기 위해서 , 마스크 구조물 ( 301 ) ( 예 를 들 어 , 층 ( 들 ) ( 307 ) ) 내 에 형성 된 하나 이상 의 개구 의 세트 ( 예 를 들 어 , 개구 의 다수 의 세트 ) 를 통해서 꿰 어 지 거나 통과 할 때 , 부착 메커니즘 ( 302 ) 은 우측 부 ( 312 ) 에 근접 하 여 ( 예 를 들 어 , 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 보다 우측 부 ( 312 ) 에 더 근접 하 여 ) 위치 된 개구 의 제 1 세트 및 좌측 부 ( 311 ) 에 근접 하 여 ( 예 를 들 어 , 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 보다 좌측 부 ( 311 ) 에 더 근접 하 여 ) 위치 된 개구 의 제 2 세트 를 통해서 꿰 어 지 거나 통과 할 수 있 다 . 추가 적 인 실시 예 에서 , 부착 메커니즘 ( 302 ) 은 또한 우측 부 ( 312 ) 에 근접 하 여 위치 된 개구 의 제 1 세트 와 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 사이 에 위치 된 하나 이상 의 개구 의 세트 ( 예 를 들 어 , 2 개 의 세트 , 3 개 의 세트 , 등 ) 을 통해서 꿰 어 지 거나 통과 할 수 있 고 , 및 / 또는 좌측 부 ( 311 ) 에 근접 하 여 위치 된 개구 의 제 2 세트 와 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 사이 에 위치 된 하나 이상 의 개구 의 세트 ( 예 를 들 어 , 2 개 의 세트 , 3 개 의 세트 , 등 ) 을 통해서 꿰 어 지 거나 통과 할 수 있 다 . 일부 실시 예 에서 , 우측 부 ( 312 ) 에 근접 하 여 위치 된 개구 의 제 1 세트 와 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 사이 에 위치 된 개구 의 세트 ( 들 ) 가 개구 의 다수 의 세트 를 포함 할 때 , 개구 의 다수 의 세트 가 점진 적 으로 우측 부 ( 312 ) 로부터 더 멀리 그리고 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 에 더 근접 하 여 배열 될 수 있 다 . 이러 한 또는 다른 실시 예 에서 , 좌측 부 ( 311 ) 에 근접 하 여 위치 된 개구 의 제 2 세트 와 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 사이 에 위치 된 개구 의 세트 ( 들 ) 가 개구 의 다수 의 세트 를 포함 할 때 , 개구 의 다수 의 세트 가 점진 적 으로 좌측 부 ( 311 ) 로부터 더 멀리 그리고 마스크 구조물 ( 301 ) 의 중심 에 더 근접 하 여 배열 될 수 있 다 .