진공 시스템 은 프로세싱 챔버 ( 100 ) 내 의 가스 들 의 유동 을 조절 하 기 위해서 스로틀 밸브 ( 127 ) 및 진공 펌프 ( 125 ) 를 포함 할 수 있 다 . 진공 펌프 ( 125 ) 는 챔버 바디 ( 112 ) 상 에 배치 되 는 진공 포트 ( 131 ) 에 연결 되 며 , " 이 는 라이너 ( 133 ) 내 에 형성 되 는 펌핑 채널 ( 129 ) 과 유체 연통 된다 . 진공 펌프 ( 125 ) 및 챔버 바디 ( 112 ) 가 프로세싱 챔버 ( 100 ) 내 의 가스 들 의 유동 을 조절 하 기 위해서 스로틀 밸브 ( 127 ) 에 의해 선택 적 으로 분리 된다 . "" 가스 ( gas ) "" 및 "" 가스 들 ( gases ) "" 이 라는 용어 는 호환 되 어 사용 되 며 ", 별도 로 표시 되 지 않 는 한 하나 또는 그 이상 의 전구체 들 , 반응물 들 , 촉매 들 , 캐리어 , 정화 제 ( purge ) , 세정제 ( cleaning ) , 이 의 조합 물 뿐 만 아니 라 챔버 바디 ( 112 ) 내측 으로 도입 되 는 임의 의 다른 유체 를 지칭 한다 .