반면 , 도 6 ( c ) 의 흡착 패드 ( 521 c ) 는 하면 에 찢어짐 , 편마모 등 에 의한 불량 흡착 패드 이 다 . 다시 말 해 , 흡착 패드 ( 521 c ) 의 하면 중 일부분 에 찢어짐 , 편마모 로 인하 여 , 흡착 패드 ( 521 c ) 와 접촉 센서 ( 611 ) 가 접촉 했 음 에 도 불구 하 고 이격 공간 이 발생 한 상태 인 것 이 다 . 따라서 , 도 6 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 쏘 팅 픽커 ( 520 ) 가 하강 하 여 흡착 패드 ( 521 c ) 의 하면 이 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 에 접촉 될 때 , 흡착 패드 ( 521 c ) 의 하면 과 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 사이 에 흡착 패드 ( 521 c ) 의 높이차 에 의한 이격 공간 이 발생 하 게 된다 . 따라서 , 흡착 패드 ( 521 c ) 의 하면 과 접촉 센서 ( 611 ) 의 상면 사이 에 는 밀폐 된 상태 를 형성 하 지 못하 여 진공 리크 가 발생 하 므로 , 공 압 센서 ( 550 ) 에서 측정 된 쏘 팅 픽커 ( 520 ) 의 공 압 은 기 설정 된 목표 공 압 을 만족 할 수 없 게 된다 .