구체 적 으로 , 하나 의 특히 바람직 한 구 현예 로서 , 상기 필터 어셈블리 는 배출구 의 내부 표면 을 덮 는다 . 상기 필터 어셈블리 는 약 0 . 5 미크론 내지 약 20 미크론 의 포어 사이즈 를 갖 는 필터 를 포함 한다 . 보다 적합 하 게 는 , 상기 필터 어셈블리 는 약 1 미크론 내지 약 5 미크론 , 보다 더 적합 하 게 는 약 2 미크론 의 포어 사이즈 를 갖 는 필터 를 포함 한다 . 필터 어셈블리 에 사용 되 는 필터 의 개수 및 포어 사이즈 는 전형 적 으로 처리 챔버 내 에서 혼합 되 는 입자 및 배합 물 에 의존 한다 .