x '- 방향 에 실질 적 으로 평행 한 픽셀 로우 , 및 오프셋 의 각도 가 알려져 있 으면 , 이미지 센서 에 대한 표본 에 대한 위치 를 확립 하 는 단계 로서 , 제 1 위 치 는 이미지 센서 의 시야 내 에 표본 의 적어도 일부 를 배치 하 는 , 상기 확립 하 는 단계 ; 및 XY 병진 스테이지 로 원 하 는 x '- 방향 을 따라 제 2 위치 로 표본 을 이동 시키 는 단계 로서 , 제 2 위 치 는 이미지 센서 의 시야 내 에 표본 의 적어도 제 2 부분 을 배치 하 고 , 제 2 위 치 는 표본 의 y '- 방향 으로 실질 적 으로 이동 되 지 않 으며 , y '- 방향 은 표본 의 x '- 방향 과 직 교인 , 상기 이동 시키 는 단계 에 의해 표본 에 걸쳐 유리 한 스캐닝 이 달성 될 수 있 다 . 상기 이동 시키 는 단계 에서 , 이동은 상기 결정 하 는 단계 에서 결정 된 오프셋 의 각도 에 기초 된다 .