도 4 를 참조 하 건데 , 상기 기판 유지 대 ( 23 ) 는 , 매설 된 제 1 저항 히터 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 온도 T 1 로 가열 되 고 , 상기 웨이퍼 ( W ) 의 외경 과 대략 같 은 크기 를 갖 고 상기 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 는 지 지부 ( 23 A ) 를 포함 하 며 , 상기 지지 부 ( 23 A ) 의 외측 에 는 , 상기 지지 부 ( 23 A ) 에 접하 여 마련 되 고 , 제 2 저항 히터 ( 도시 하 지 않 음 ) 에 의해 상기 온도 T 1 보다 도 높 은 온도 T 3 ( T 1 < T 3 ) 으로 가열 되 는 링 형상 의 온도 제 어부 ( 23 B ) 가 마련 되 어 있 다 .