그리고 연마 패드 ( 12 ) 의 교체 가 필요 한 경우 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 연마 위치 ( PP ) 에서 연마 패드 ( 12 ) 를 교체 하 기 위한 유지 보수 위치 ( MP ) 로 연마 모듈 을 이동 시킨다 . 유지 보수 위치 ( MP ) 로 이동하 는 동안 에 는 한 쌍 의 롤러 ( 131 , 132 ) 는 그 사이 의 간격 이 유지 된 상태 에서 , 수평 이동 가이드 ( 150 ) 를 따라 수평 방향 으로 이동 된다 .