약액 공급 장치 가 제공 된다 . 본 발명 의 실시 예 에 따른 약액 공급 장치 는 주입 된 약액 을 저장 하 는 약액 저장 탱크 와 저장 된 약액 을 반도체 공정 장비 에 공급 하 는 공급 부 를 포함 하 는 약액 공급 장치 에 있 어서 , 약액 공급 장치 는 약액 의 종류 에 따라 개별 적 인 모듈 로 형성 되 어 분리 와 결합 이 가능 한 것 을 특징 으로 한다 .