절연 층 ( 212 d ) 은 불순물 ( 대표 적 으로 는 물 및 수소 등 ) 이 들어가 는 것 을 방지 하 는 기능 을 갖 는다 . 절연 층 ( 212 d ) 으로서 는 , 질화 실리콘 막 , 질화 산화 실리콘 막 , 또는 산화 질화 실리콘 막 을 사용 할 수 있 다 . 특히 , 절연 층 ( 212 d ) 으로서 는 PECVD 법 에 의하 여 형성 되 는 질화 실리콘 막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . PECVD 법 에 의하 여 형성 되 는 질화 실리콘 막 은 높 은 막 밀도 를 얻 기 쉽 기 때문 에 바람직 하 다 . 또한 , PECVD 법 에 의하 여 형성 되 는 질화 실리콘 막 의 수소 농도 가 높 은 경우 가 있 다 .