주석 전구체 는 Tetrakis ( dimethylamino ) tin ( TDMASn ) , Tetraethyltin ( TET ) , tetramethyltin ( TMT ) , Tin ( II ) acetylacetonate ( Sn ( acac ) 2 ) , SnCl 4 , dimethylamino - 2 - methyl - 2 - propoxy - tin ( II ) ( Sn ( dmamp ) 2 ) , 및 Bis [ bis ( trimethylsilyl ) amino ] tin ( II ) 중 적어도 하나 를 포함 하 고 , 산소 소스 는 오존 ( O 3 ) 또는 수증기 ( H 2 O ) 형태 로 제공 될 수 있 다 . 한편 , 퍼지 가스 는 질소 ( N 2 ) 또는 알 곤 ( Ar ) 과 같 은 비활성 가스 를 포함 할 수 있 다 .