또한 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 에 , 예 를 들 어 , 국제 공개 공보 제 2007 / 097379 호 에 개시 된 바 와 같 은 컨피덴셜 바 ( confidential bar ; CD 바 ) , 조도 불 균일 계측 센서 , 공간 이미지 계측기 , 파 면 수차 계측기 및 조도 모니터 등 의 각종 계측 장치 및 계측 부재 를 설치 할 수 있 다 .