본 실시 형태 에서 는 중간 광학계 ( 30 ) 가 제 1 공역 위치 ( CP 1 ) , 제 2 공역 위치 ( CP 2 ) 의 근방 에 배치 되 어 있 기 때문 에 , 중간 광학계 ( 30 ) 의 대형 화 나 투영 계 ( PL ) 의 장대 화 ( 長 大化 ) 를 초래 하 는 일 없이 , 제 1 , 제 2 광학계 ( 31 , 32 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 을 제 3 광학계 ( 33 ) 로 유도 할 수 있 다 .