덧붙여 , 상기 써 멀 스프레더 와 직접 접촉 되 어 가열 을 진행 하 는 가열 패드 , 온도 센서 를 포함 하 는 가열 부 를 통해 , 상기 작동 유체 를 소 정량 증발 시키 면서 , 동시 에 상기 써 멀 스프레더 내 의 불순물 을 외부 로 배출 하 도록 하 고 , 상기 가 열부 와 가압 수단 을 동시 에 구동 할 수 있 도록 하 여 , 진공 펌프 등 과 같 은 별도 의 진공 형성 수단 을 구비 하 지 않 고 도 , 작동 유체 의 증발 진행 중 에 상기 써 멀 스프레더 에 대한 밀봉 을 진행할 수 있 도록 함 으로써 , 작업 성 및 생산 성 을 보다 향상 시킬 수 있 는 효과 를 제공 할 수 있 다 .