상기 와 같 은 과제 를 해결 하 기 위하 여 본 발명 의 고압 고온 퍼지 가 가능 한 가스 공급 장치 의 퍼지 시스템 은 , 반응 가스 가 공급 되 는 가스 공급 라인 에서 진공 가스 의 공급 을 제어 하 는 진공 밸브 와 , 상기 진공 밸브 와 배기구 사이 에 설치 되 고 , 상기 진공 밸브 를 통해 공급 되 는 상기 진공 가스 에 의해 상기 가스 공급 라인 을 진공 상태 로 만드 는 진공 발생기 와 , 퍼지 가스 의 공급 을 제어 하 는 복수 의 퍼지 밸브 와 , 상기 반응 가스 가 충 진 되 는 실린더 와 , 상기 실린더 에 연결 되 고 , 상기 복수 의 퍼지 밸브 에 연결 되 어 상기 반응 가스 및 상기 퍼지 가스 를 배기 하 는 배기 밸브 와 , 상기 배기 밸브 와 상기 진공 발생기 사이 에 설치 되 고 , 상기 반응 가스 및 상기 퍼지 가스 의 배기 를 제어 하 는 배기 제어 밸브 를 포함 한 가스 공급 장치 의 퍼지 시스템 에 있 어서 , 상기 퍼지 가스 가 공급 되 는 퍼지 라인 는 일 측 은 가스 공급 라인 과 연결 되 며 , 타 측 은 저압 의 퍼지 가스 가 공급 되 는 저압 퍼지 라 인과 ; 일 측 은 가스 공급 라인 과 연결 되 며 , 타 측 은 고압 의 퍼지 가스 가 공급 되 는 고압 퍼지 라인 ; 으로 구성 되 어 있 고 , 상기 저압 퍼지 라인 과 고압 퍼지 라인 에 는 각각 역류 방지 밸브 및 퍼지 밸브 가 설치 되 어 있 는 것 을 특징 으로 한다 .