기판 컨테이너 ( 100 ) 와 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 가 밀착 할 경우 , 반도체 소자 의 제조 공정 중 에 기판 이 외기 로부터 오염 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 아울러서 , 아이 솔 레 이 션 챔버 ( 250 ) 에 는 퍼지 가스 를 공급 하 는 가스 공급 홀 ( 254 ) 이 설치 될 수 있 다 . 따라서 , 반도체 소자 의 제조 공정 중 에 기판 ( 102 ) 이 오염 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .