분리 구조물 ( 200 a ) 과 게이트 캡 핑 층 ( 166 ) 은 서로 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 게이트 캡 핑 층 ( 166 ) 은 SiN 을 포함 할 수 있 고 , 분리 구조물 ( 200 a ) 은 SiOC 를 포함 할 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 분리 구조물 ( 200 a ) 과 하부 절연 층 ( 190 ) 은 서로 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 하부 절연 층 ( 190 ) 은 SiO 2 와 같 은 산화물 을 포함 할 수 있 고 , 분리 구조물 ( 200 a ) 은 SiOC 를 포함 할 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .