이온 의 첨 가시 에 사용 하 는 가스 로서 는 , 수소 가스 , 희가스 등 이 있 지만 , 본 실시 의 형태 에서 는 수소 가스 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이온 도핑 법 으로 수소 가스 를 사용 했 을 경우 , 생성 하 는 이온 종 은 , H +, H 2 + 및 H 3 + 이 지만 , H 3 + 이 가장 많이 첨가 되 는 것 이 바람직 하 다 . H 3 + 은 H +, H 2 + 보다 도 이온 의 첨가 효율 이 좋 으며 , 첨가 시간 의 단축 을 도모 할 수 있 다 . 또한 후 의 공정 에 있 어서 박리 층 에 균열 이 생기 기 쉽 다 .