이상 의 스텝 S 1 내지 S 4 를 단시간 에 1 사이클 실시 함 으로써 , 얇 은 텅스텐 단위막 을 형성 하 고 , 이 들 스텝 의 사이클 을 복수 회 반복 함 으로써 원 하 는 막 두께 의 텅스텐 막 을 성막 한다 . 이때 의 텅스텐 막 의 막 두께 는 , 상기 사이클 의 반복수 에 의해 제어 할 수 있 다 . 또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 반입 공정 , 감압 공정 및 성막 공정 을 이 순서 대로 행하 는 경우 를 예 로 들 어 설명 했 지만 , 반입 공정 과 감압 공정 을 동시 에 행해도 된다 .