동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 초기 상대 위치 를 취득 하 기 위한 참조 웨이퍼 RW 의 매수 를 나타내 는 N 2 에 1 을 가산 한다 ( 도 21 의 스텝 10 참조 ) . 또한 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , " N 2 를 소정 의 반복수 Nx 와 비교 한다 ( 도 21 의 스텝 8 참조 ) . N 2 가 반복수 Nx 에 도달 하 지 않 으면 ( 도 21 의 스텝 11 ) 의 "" 예 "" 참조 ) ", 새로운 참조 웨이퍼 RW 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 시킨다 ( 도 21 의 스텝 2 참조 ) . 새로운 참조 웨이퍼 W 는 , 전회 의 초기 상대 위치 를 취득 한 참조 웨이퍼 RW 와 다른 참조 웨이퍼 RW 여도 되 고 , 동일 한 참조 웨이퍼 W 여도 된다 .