또한 , 버퍼 층 ( 54 ) 은 , 타 겟 으로 비정질 반도체 를 사용 하 여 수소 , 또는 희가스 로 스퍼터링 하 여 비정질 반도체 막 을 형성 할 수 있 다 . 또한 , 분위기 중 에 불소 , 염소 , 브롬 , 또는 요오드 를 포함 하 는 기체 ( F 2 , Cl 2 , Br 2 , I 2 , HF , HCl , HBr , HI 등 ) 를 포함 하 게 함 으로써 , 불소 , 염소 , 브롬 , 또는 요오드 를 포함 하 는 비정질 반도체 막 을 형성 할 수 있 다 .