이상 과 같이 , 도시 된 실시 형태 의 웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) 에 있 어서 는 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 로 웨이퍼 ( W ) 의 외주 영역 을 흡인 유지 하 므로 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 는 면적 을 작 게 할 수 있 음 과 동시 에 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 로 흡인 유지 한 웨이퍼 ( W ) 에 물 을 공급 하 는 것 에 의해 웨이퍼 ( W ) 에 부착 한 연삭 부스러기 가 건조 되 지 않 고 고체 화 하 지 않 는다 . 또한 , 웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) 에 있 어서 는 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 로 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 는 면적 이 작 기 때문 에 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 과 웨이퍼 ( W ) 의 상면 의 사이 에 연삭 부스러기 가 낄 우려 가 저감 한다 . 따라서 , 웨이퍼 반송 기구 ( 2 ) 에 의하 면 , 웨이퍼 ( W ) 에 부착 한 연삭 부스러기 에 기인 하 여 웨이퍼 ( W ) 가 손상 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 .