제 1 마스크 막 ( 14 ) 에 의하 여 노출 되 는 제 1 박막 ( 12 ) 의 표면층 은 , 도 3 b 에서 와 같이 , 일정 한 두께 만큼 식각 되 어 요 홈 부 ( 12 A ) 가 형성 되 게 한다 . 이 요 홈 부 ( 12 A ) 는 , 제 2 마스크 막 ( 20 ) 은 도 1 b 에서 의 요 홈 부 와 마찬가지 로 , 동일 한 깊이 를 가지 게 형성 되 어 제 1 마스크 막 ( 14 ) 에 의하 여 노출 되 는 제 1 박막 ( 12 ) 상 의 패턴 형성 영역 의 용적량 을 2 차 적 으로 확장 시킨다 . 다시 말 하 여 , 요 홈 부 ( 12 A ) 는 상기 의 패턴 형성 영역 의 하부 에 자체 에 의한 제 2 잉여 의 공간 을 마련 한다 .