비접 촉식 세정 유닛 ( 500 ) 은 기판 ( 10 ) 의 표면 에 물리 적 으로 비 접촉 ( non - contact ) 되 며 세정 을 수행 가능 한 다양 한 구조 로 제공 될 수 있 다 . 이하 에서 는 비접 촉식 세정 유닛 ( 500 ) 이 제 1 비접 촉식 세정 유닛 ( 502 ) 및 제 2 비접 촉식 세정 유닛 ( 504 ) 을 포함 하 여 구성 된 예 를 들 어 설명 하 기 로 한다 . 경우 에 따라서 는 비접 촉식 세정 유닛 이 단 하나 의 세정 유닛 만 으로 구성 되 는 것 도 가능 하 다 .