상부 전극 ( 120 ) 에 는 , 확산 실 ( 126 ) 로부터 의 가스 를 처리 실 ( 102 ) 내 에 공급 하 는 다수 의 가스 공급 구멍 ( 128 ) 이 형성 되 어 있 다 . 각 가스 공급 구멍 ( 128 ) 은 , 하부 전극 ( 110 ) 에 탑재 된 웨이퍼 W 와 상부 전극 ( 120 ) 의 사이 에 가스 를 공급 할 수 있 도록 배치 되 어 있 다 .