그리고 , 비트 라인 을 개방 시키 기 위해 메탈 콘 택식 각 공정 을 진행 해야 할 절연 막 은 비트 라인하드 마스크 ( 26 b ) , 제 3 층간 절 연막 ( 27 ) , 식각 멈춤 막 ( 28 ) , 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) , 제 5 층간 절 연막 ( 35 ) 의 총 5 층 구조 이 다 . 따라서 , 후술 하 겠 지만 , 비트 라인 ( 26 a ) 을 개방 시킬 때 까지 의 절 연막 구조 가 비트 라인하드 마스크 ( 26 b ) 와 제 3 층간 절 연막 ( 27 ) , 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) 및 제 5 층간 절 연막 ( 35 ) 으로 이루어진 층간 절 연막 의 중간 에 식각 멈춤 막 ( 28 ) 이 삽입 된 구조 를 갖 는다 . 그리고 , 비트 라인하드 마스크 ( 26 b ) 와 식각 멈춤 막 ( 28 ) 은 질화 막 으로 형성 한 것 이 며 , 제 3 층간 절 연막 ( 27 ) , 제 4 층간 절 연막 ( 30 ) 및 제 5 층간 절 연막 ( 35 ) 은 BPSG 와 같 은 산화 막 으로 형성 한 것 이 다 .