펠리 클 막 ( 120 ) 은 투명 한 막 예 를 들 면 , 빛 의 투과성 이 좋 은 실리콘 ( si ) 으로 이루어질 수 있 다 . 여기 서 , 홀 패턴 ( 121 ) 들 은 수십 nm ~ 수 ㎛ 사이즈 로 형성 된 것 이 바람직 하 며 , 정사각형 모양 으로 형성 될 수 있 다 . 프레임 ( 130 ) 는 테두리 에 홀 패턴 ( 131 ) 들 이 배열 된 펠리 클 막 ( 120 ) 이 마스크 기판 ( 100 ) 상 에 일정 간격 배치 되 도록 지지 하 는 역할 을 한다 . 접착제 ( 131 ) 는 프레임 ( 130 ) 가 펠리 클 막 ( 120 ) 과 마스크 기판 ( 100 ) 에 고정 되 어 접착 되 는 역할 을 한다 .