상기 제 2 패턴 층 ( 722 ) 의 피치 간격 이 약 10 nm 미만 인 경우 , 상기 리세 스 ( 250 ) 를 형성 하 는 단계 에서 식각 액 이 상기 제 2 오픈 영역 ( 725 ) 내부 에 효과 적 으로 유입 되 지 않 을 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 제 2 오픈 영역 ( 725 ) 의 최 하부 에 위치 한 상기 버퍼 층 ( 200 ) 의 상면 ( 201 ) 에 상기 식각 액 이 효과 적 으로 제공 되 지 않 을 수 있 다 .