일루 미네 이터 ( IL ) 는 빔 의 편광 ( polarization ) 을 변경 하 도록 작동 가능 할 수 있 으며 , 조정기 ( AM ) 를 이용 하 여 편광 을 조정 하 도록 작동 가능 할 수 있 다 . 일루 미네 이터 ( IL ) 의 퓨 필 평면 에 걸친 방사선 빔 의 편광 상태 는 편광 모드 로 지칭 될 수 있 다 . 상이 한 편광 모드 들 의 사용 은 더 큰 콘트 라스트 가 기판 ( W ) 상 에 형성 된 이미지 에서 달성 되 도록 할 수 있 다 . 방사선 빔 은 편광 되 지 않 을 수 있 다 . 대안 적 으로 , 일루 미네 이터 는 방사선 빔 을 선형 적 으로 편광 시키 도록 배치 될 수 있 다 . 방사선 빔 의 편광 방향 은 일루 미네 이터 ( IL ) 의 퓨 필 평면 에 걸쳐 변화 할 수 있 다 . 방사선 의 편광 방향 은 일루 미네 이터 ( IL ) 의 퓨 필 평면 내 의 상이 한 영역 들 에서 상이 할 수 있 다 . 방사선 의 편광 상태 는 조명 모드 에 의존 하 여 선택 될 수 있 다 . 다중 극 조명 모드 의 경우 , 방사선 빔 의 각 극 의 편광 은 일루 미네 이터 ( IL ) 의 퓨 필 평면 내 의 그 극 의 위치 벡터 에 대체 적 으로 수직 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 쌍극자 조명 모드 의 경우 , 방사선 은 쌍극자 의 2 개 의 마주 하 는 섹터 를 이등분 하 는 라인 에 실질 적 으로 수직 인 방향 으로 선형 적 으로 편광 될 수 있 다 . 방사선 빔 은 2 개 의 상이 한 직교 방향 중 한 방향 으로 편광 될 수 있 으며 , 이 는 X - 편광 및 Y - 편광 상태 로 지칭 될 수 있 다 . 사중 극자 조명 모드 의 경우 , 각 극 의 섹터 에서 의 방사선 은 그 섹터 를 이등분 하 는 라인 에 실질 적 으로 수직 인 방향 으로 선형 적 으로 편광 될 수 있 다 . 이 편광 모드 는 XY 편광 으로 지칭 될 수 있 다 . 마찬가지 로 , 육 극자 조명 모드 의 경우 , 각 극 의 섹터 에서 의 방사선 은 그 섹터 를 이등분 하 는 라인 에 실질 적 으로 수직 인 방향 으로 선형 적 으로 편광 될 수 있 다 . 이 편광 모드 는 TE 편광 으로 지칭 될 수 있 다 .