그런데 도 8 에 도시 된 바 와 같이 기판 안 치대 ( 12 ) 가 홈 포지션 에 위치 한 상태 에서 기판 안 치대 ( 12 ) 의 온도 를 높이 면 , 기판 안 치대 ( 12 ) 는 열팽창 을 하 고 지 지 부재 ( 120 ) 는 챔버 저면 ( 11 a ) 에 밀착 되 어 있 으므로 리프트 핀 ( 110 ) 에 힘 이 가해져서 부러지 는 경우 가 발생 할 수 있 다 .