이후 , 제 2 스 페이서 ( 300 ) 를 식각 마스크 로 사용 하 여 이 에 의해 커버 되 지 않 는 제 2 블로킹 막 ( 280 ) 부분 을 식각 할 수 있 다 . 이때 , 제 1 층간 절 연막 ( 250 ) 상면 의 제 2 블로킹 막 ( 280 ) 부분 도 함께 제거 될 수 있 으며 , 기판 ( 100 ) 상부 의 제 2 불순물 영역 ( 104 ) 도 부분 적 으로 제거 될 수 있 다 .