하부 소스 레벨 반도체 층 ( 112 ) , 소스 콘택트 층 ( 114 ) , 및 상부 소스 레벨 반도체 층 ( 116 ) 을 포함 하 는 층 스택 은 매립 형 소스 층 ( 112 , 114 , 116 ) 을 구성 한다 . 매립 형 소스 층 ( 112 , 114 , 116 ) , 소스 레벨 절연 층 ( 117 ) , 및 소스 선택 레벨 전도성 층 ( 118 ) 을 포함 하 는 층 들 의 세트 는 인 - 프로세스 소스 레벨 재료 층 들 ( 10 ') 을 대체 하 는 소스 레벨 재료 층 들 ( 10 ) 을 구성 한다 .