게이트 구 조체 들 ( GS ) 각각 은 , 앞서 설명 한 바 와 같이 , 게이트 절 연막 ( 111 ) , 게이트 도전 패턴 ( 113 ) , 및 캡 핑 절연 패턴 ( 115 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 게이트 스 페이서 들 ( 121 ) 이 게이트 구 조체 들 ( GS ) 의 양 측벽 들 상 에 배치 될 수 있 다 . 여기 서 , 캡 핑 절연 패턴 ( 115 ) 은 라운드 진 바닥 면 을 가질 수 있 으며 , 라운드 진 표면 이 게이트 도전 패턴 ( 113 ) 의 상면 과 접촉 할 수 있 다 . 캡 핑 절연 패턴 ( 115 ) 의 라운드 진 표면 과 게이트 스 페이서 들 ( 121 ) 의 측벽 들 이 접촉 할 수 있 다 .