부가 적 으로 , 제 2 ILD ( 108 ) 는 유동 성 CVD 방법 에 의해 형성 된 유동 성 필름 일 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 ILD ( 108 ) 는 PSG , BSG , BPSG , USG 등 과 같 은 유전체 물질 로 형성 되 고 , CVD 및 PECVD 와 같 은 임의 의 적합 한 방법 에 의해 퇴적 될 수 있 다 . 그러나 임의 의 적합 한 물질 또는 제조 방법 이 사용 될 수 있 다 .