도 15 의 ( a ) 는 밀 어 올림 기구 ( 144 ) 를 도시 하 는 단면도 이 고 , 도 15 의 ( b ) 는 리 테이 너 링 에 접촉 했 을 때 의 밀 어 올림 기구 ( 144 ) 를 도시 하 는 단면도 이 다 . 밀 어 올림 기구 ( 144 ) 는 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 에 접촉 하 는 밀 어 올림 핀 ( 146 ) 과 , 밀어 올림 핀 ( 146 ) 을 상방 으로 누르 는 압박 기구 로서 의 스프링 ( 147 ) 과 , 밀어 올림 핀 ( 146 ) 및 스프링 ( 147 ) 을 수용 하 는 케이싱 ( 148 ) 을 구비 하 고 있 다 . 밀 어 올림 기구 ( 144 ) 는 , 밀어 올림 핀 ( 146 ) 이 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 하면 에 대향 하 는 위치 에 배치 된다 . 톱 링 ( 31 A ) 이 하강 하 면 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 하면 이 밀 어 올림 핀 ( 146 ) 에 접촉 한다 . 도 15 의 ( b ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 은 밀 어 올림 핀 ( 146 ) 에 밀 어 올려져 , 웨이퍼 W 보다 도 상방 의 위치 까지 이동 한다 .