본 발명 에서 의 용제 증기 로 는 , 예컨대 , 아세톤 , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 ( PGMEA ) , N 메틸 2 피 롤리 돈 ( NMP ) 의 각 증기 를 이용 할 수 있 다 . 보다 바람직 한 사용법 으로 , KrF ( 파장 이 248 ㎚ 인 광원 ) 용 레지스 트 막 에 대해서 는 , PGMEA 가 적합 하 고 , ArF ( 파장 이 193 ㎚ 인 광원 ) 용 레지스 트 막 에 대해서 는 NMP 가 적합 하 다 .