상기 측 정부 는 상기 제어 컴퓨터 의 제 어하 에 상기 직류 측정 전압 을 상기 웨이퍼 및 상기 제 1 테스트 패드 에 인가 하 여 상기 게이트 전류 를 측정 하 는 직류 측정 장치 와 , 상기 제어 컴퓨터 의 제 어하 에 상기 커패시턴스 측정 전압 을 상기 웨이퍼 및 상기 제 1 및 제 2 테스트 패드 에 인가 하 여 상기 게이트 커패시턴스 를 측정 하 는 커패시턴스 측정 장치 를 구비 하 는 것 을 특징 으로 한다 .