필요 에 따라 , 채널 층 ( 122 ) 의 직경 을 줄여야 필요 가 있 다 . 채널 층 ( 122 ) 의 직경 을 줄이 는 방법 은 , 먼저 노출 된 채널 층 ( 122 ) 을 열 산화 시켜 채널 층 ( 122 ) 의 표면 에 열 산화 막 을 형성 한다 . 그 후 , 열 산화 막 을 희석 된 HF , NH 4 F 또는 HF 와 탈 이온 수 의 혼합액 인 BOE ( Buffered Oxide Etchant ) 을 사용 한 등방성 습식 식각 에 의해 제거 한다 . 열 산화 막 을 형성 하 는 단계 와 열 산화 막 을 제거 하 는 단계 를 반복 적 으로 수행 하 면 , 원 하 는 직경 의 채널 층 을 형성 할 수 있 다 .