상기 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 및 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) 를 수평 으로 배치 된 상태 에서 경사진 상태 로 유지 하 도록 하 는 경사 유도 수단 ( 25 ) 은 , 쳄버 ( 11 ) 또는 지지 부 ( 15 ) 의 일 측 에 수평 방향 으로 이동하 는 걸림 부 ( 25 a ) 를 포함 하 는 액 츄 에 이터 로 이루어질 수 있 다 . 즉 , 일정 한 길이 를 수평 으로 반복 이동 할 수 있 는 걸 림 부 ( 25 a ) 를 구비 하 며 공 압 등 으로 작동 하 는 액 츄 에 이터 에 의하 여 걸림 부 ( 25 a ) 가 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 또는 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) 의 하부 측 으로 이동한 경우 에 상기 지지 부 ( 15 ) 가 하강 하 면 상기 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 또는 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) 의 힌지 결합 부 반대편 이 상기 걸림 부 ( 25 a ) 와 접촉 하 여 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 또는 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) 가 경사진 상태 로 되 고 , 기판 ( G 1 , G 2 ) 들 이 경사진 상태 로 이송 되 는 것 이 다 . 본 발명 에서 상기 경사 유도 수단 ( 25 ) 의 구조 는 , 본 발명 을 설명 하 는 도면 에서 도시 한 예 에 한정 되 는 것 은 아니 고 , 상기 지지 부 ( 15 ) 등 에 배치 되 어 상기 제 1 경사 이 송부 ( 17 ) 및 제 2 경사 이 송부 ( 19 ) 를 수평 상태 에서 일정 한 경사각 을 가지 도록 할 수 있 는 것 이 면 어느 것 이나 다양 하 게 적용 될 수 있 다 .