최종 하드 마스크 조성물 에 있 어서 ( c ) 가교제 성분 및 ( d ) 산 촉매 를 더 포함 하 여 이루어지 는 경우 , 본 발명 의 하드 마스크 조성물 은 ( a ) 자외선 영역 에서 강한 흡수 특성 을 갖 는 바 이 카바졸 계 형태 의 공중 합체 또는 이 들 공중 합체 의 혼합물 ( blend ) 1 ~ 30 중량 %, 보다 바람직 하 게 는 3 ~ 15 중량 %, ( c ) 가교제 성분 0 . 1 ~ 5 중량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 1 ~ 3 중량 %, ( d ) 산 촉매 0 . 001 ~ 0 . 05 중량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 001 ~ 0 . 03 중량 %, 및 ( b ) 나머지 성분 으로 유기 용매 를 사용 하 여 총 100 중량 % 로 이루어질 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 유기 용매 75 ~ 98 중량 % 를 함유 하 는 것 이 바람직 하 다 .