제어 장치 ( 520 ) 는 , 승강 기구 ( 510 ) 를 제어 해서 스테이지 ( 505 ) 를 처리 위치 로 이동 시킨다 . 이때 , 스테이지 ( 505 ) 가 상승 함 으로써 , 승강 핀 ( 512 ) 상 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 가 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 에 적재 된다 . 또한 , 환상 부재 ( 514 ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 상면 외 주부 와 접촉 하 여 , 환상 부재 ( 514 ) 의 자중 에 의해 웨이퍼 ( W ) 를 스테이지 ( 505 ) 의 적 재면 에 압박 한다 .