기판 ( S ) 이 저속 RPM 으로 회전 하 는 경우 에 는 원심력 이 약하 므로 약액 또는 순수 가 기판 ( S ) 을 이탈 할 수 없 다 . 따라서 , 스핀 헤드 ( 110 ) 의 가장자리 에 도달 한 약액 또는 순수 는 본 발명 에 따른 유로 ( 160 ) 를 따라 흘러내려 스핀 헤드 ( 110 ) 의 아래 로 유출 된다 . 스핀 헤드 ( 110 ) 의 아래 에 는 유출 된 약액 을 담 는 약액 회수 커버 ( 150 ) 가 형성 되 어 있 는데 , 유로 ( 160 ) 를 통해 유출 된 약액 은 약액 회수 커버 ( 150 ) 에 모아 지 게 된다 . 약액 회수 커버 ( 150 ) 의 아래 에 는 배출관 ( 155 ) 이 형성 되 어 있 는데 , 배출관 ( 155 ) 은 약액 회수 탱크 ( 미 도시 ) 와 연결 되 어 약액 회수 탱크 ( 미 도시 ) 로 약액 을 분리 하 여 처리 또는 재 활용 할 수 있 다 . 이때 , 약액 회수 탱크 ( 미 도시 ) 는 고속 RPM 에서 바울 ( 140 ) 을 통해 유출 된 약액 과 함께 모아질 수 있 도록 함 이 바람직 하 다 .