그러나 , 종래 에 는 복수 개 의 상기 배기 대상 가스 유입 홀 중 상기 사이드 스토리지 에 상대 적 으로 근접 된 것 으로 는 상기 부압 에 의한 상기 배기 대상 가스 의 유입 이 용이 하 였으나 , 상기 사이드 스토리지 에 상대 적 으로 멀리 있 는 것 은 상기 배기 대상 가스 에 대한 상기 부압 의 영향 이 상대 적 으로 작아지 면서 상기 배기 대상 가스 가 유입 되 지 못하 고 , 그 에 따라 상기 배기 대상 가스 가 상기 배기 유닛 주변 에 잔존 하 게 될 뿐 만 아니 라 , 그러 한 잔존 된 상기 배기 대상 가스 가 비산 되 면서 웨이퍼 를 재 오염 시키 는 문제 가 있 었 다 .