반면 에 , 본원 에 기재 된 것 과 같이 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 계면 활성제 ( C ) 를 포함 하 지 않 은 비 교실 시예 1 및 비 교실 시예 2 에서 는 , 구리 시드 층 이 빨리 에칭 되 지만 니켈 또한 에칭 되 어 기형 의 범프 가 생성 된다 . 결과 적 으로 , 상기 웨이퍼 는 사용 될 수 없 다 . 또한 킬레이트 화제 ( A ) 대신 황산 을 사용 한 비 교실 시예 3 에서 는 , 구리 시드 층 이 빨리 에칭 되 지만 니켈 또한 에칭 되 어 기형 의 범프 가 생성 된다 . 결과 적 으로 , 상기 웨이퍼 는 사용 될 수 없 다 . 킬레이트 화제 ( A ) 를 포함 하 지 않 은 비 교실 시예 4 에서 는 , 구리 시드 층 과 니켈 중 어느 것 도 에칭 되 지 않 았 다 . 과산화수소 ( B ) 를 포함 하 지 않 은 비 교실 시예 5 에서 는 , 구리 시드 층 과 니켈 중 어느 것 도 에칭 되 지 않 았 다 .