본 발명 은 노이즈 의 유무 에 관계없이 검사 정밀도 를 높 게 유지 하 기 위한 것 으로서 , 검사대 상판 의 표면 에 형성 된 회로 의 전극 에 접촉 하 여 검사 신호 를 전달 하 는 프로브 조립 체 , 프로브 베이스 의 프린트 기판 을 통해 상기 프로브 조립 체 와 외부 장치 를 전기 적 으로 접속 하 는 접속 케이블 부를 구비 하 고 , 상기 접속 케이블 부 가 , 상기 접속 케이블 부를 상기 프로브 조립 체측 에 고정 하 는 FPC 플레이트 , 검사 에 따른 처리 를 실시 하 는 구동 용 집 적 회로 , 및 검사 에 공급 되 는 전기 신호 를 전달 하 는 FPC 케이블 을 구비 하 며 , 상기 구동 용 집 적 회로 가 상기 프로브 베이스 의 프린트 기판 에 부착 되 고 , 상기 FPC 케이블 이 상기 구동 용 집 적 회로 와 상기 프로브 조립 체 를 접속 하 는 프로브 유닛 및 검사 장치 이 다 . 상기 프로브 조립 체로 부터 FPC 케이블 까지 의 저항 은 10 Ω 이하 로 설정 했 다 .