[ 0035 ] 언급 된 바 와 같이 , 제 1 유체 는 기판 으로부터 의 잔류 욕 유체 및 제 1 유체 가 기판 으로부터 슬링 될 때 욕 내 로 전달 될 수 있 는 회수 형 헹굼 에 사용 될 수 있 다 . 따라서 , 일부 실시 예 들 에서 , 최소 의 제 1 유체 가 사용 될 수 있 다 . 세정 은 헤드 의 회전 속도 , 슬링 - 오프 시간 , 사용 된 제 1 유체 의 양 뿐 만 아니 라 , 제 1 유체 의 온도 와 같 은 환경 적 특성 들 을 포함 하 는 요인 들 의 조합 으로 일어날 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 슬링 - 오프 동작 은 시스템 컴포넌트 들 에 따라 , 약 100 RPM 이상 내지 약 1 , 000 RPM 또는 그 이상 까지 와 같 은 다양 한 회전 속도 들 로 수행 될 수 있 다 . 웨이퍼 의 크기 는 또한 사용 된 속도 에 영향 을 줄 수 있 으며 , 여기 서 각 운동량 ( angular momentum ) 감소 로 인해 보다 작 은 웨이퍼 들 에 대해서 는 보다 빠른 회전 속도 들 이 사용 될 수 있 고 , 그렇 지 않 으면 , 예컨대 보다 빠른 회전 으로 보상 되 지 않 는 경우 슬링 의 효과 가 감소 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 보다 높 은 회전 속도 들 은 헤드 에 영향 을 줄 수 있 으며 , 이 는 헤드 의 수직 방향 또는 반경 방향 워 블 ( wobble ) 과 같 은 소 정량 의 섭동 ( perturbation ) 을 야기 할 수 있 다 . 따라서 , 일부 실시 예 들 에서 , 헤드 는 약 1 , 500 RPM 이하 , 약 1 , 200 RPM 이하 , 약 1 , 000 RPM 이하 , 약 800 RPM 이하 , 약 700 RPM 이하 , 약 600 RPM 이하 , 또는 그 미만 으로 회전 될 수 있 고 , 이 는 다시 시스템 크기 , 컴포넌트 들 및 작동 조건 들 에 적어도 부분 적 으로 기초 할 수 있 다 .