그 후 , 연마 헤드 모듈 ( 70 A ) 은 노치 부분 을 향해 이동 하 고 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 연마 테이프 ( 75 ) 를 노치 부분 과 활주 접촉 시켜 , 노치 부분 을 연마 한다 . 특히 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 연마 테이프 ( 75 ) 가 노치 부분 과 활주 접촉 하 도록 진동 운동 을 수행 한다 . 연마 중 , 스윙 기구 는 웨이퍼 ( W ) 가 수평 평면 에서 노치 부분 에 중심 을 갖 는 스윙 운동 을 하 게 하 고 , 연마 헤드 ( 90 ) 는 노치 부분 에 중심 을 갖 는 기울 임 운동 을 수행 한다 .