결함 검출 을 위한 이하 의 동작 들 을 수행 하 도록 하 는 컴퓨터 프로그램 동작 들 의 대안 적 인 실시 예 에서 , 상기 결함 이미지 또는 결함 이 포함 되 지 않 은 정상 이미지 중 적어도 하나 를 전처리 하 는 동작 은 : 상기 결함 이미지 또는 상기 정상 이미지 중 적어도 하나 인 , 전처리 대상 이미지 를 바이너리 이미지 로 변환 하 는 동작 ; 상기 바이너리 이미지 를 클로징 ( closing ) 하 여 클로징 된 이미지 를 획득 하 는 동작 ; 상기 바이너리 이미지 및 상기 클로징 된 이미지 의 차이 값 을 포함 하 는 디프 런 셜 ( differential ) 이미지 를 획득 하 는 동작 ; 및 상기 디프 런 셜 이미지 에 포함 된 바이너리 값 을 인버스 하 여 전처리 된 이미지 를 획득 하 는 동작 을 포함 할 수 있 다 .