위상 반 전막 을 이루 는 각 박막 들 ( 104 a , . .. 104 n ) 은 조성 , 조성 비 , 두께 등 의 변수 에 따라 동일 식각 용액 에 대하 여 상이 한 식각 속도 및 표면 반사 율 을 갖 기 때문 에 상기 변수 들 을 고려 하 여 위상 반 전막 의 패턴 형성 시 패턴 가장자리 부분 의 단면 경사 를 가파르 게 형성 되 도록 하 고 , 반사 율 을 조절 하 기 위하 여 적절히 배치 하 여 구성 한다 .