허브 는 반응 챔버 의 스핀들 상 의 플레이트 를 위해 견고 한 마운 팅 을 제공 한다 . 스핀 들 은 플레이트 와 직접 맞물리 지 않 기 때문 에 , 스핀 들 은 사용 시 에 플레이트 를 균열 시키 는 경향 이 없 다 . 이것 은 , 고체 탄화규소 와 같 은 취성 재료 로 형성 된 플레이트 를 사용 할 때 중요 할 수 있 다 . 현재 까지 , 고체 탄화규소 로부터 회전 웨이퍼 캐리어 플레이트 를 구성 하 는 것 은 가능 하 지 않 았 는데 , 그것 은 스핀 들 이 사용 시 에 플레이트 를 균열 시키 는 경향 이 있 기 때문 이 다 . 이러 한 균열 시키 려는 경향 은 , 웨이퍼 캐리어 상 에 부과 되 는 국부 적 응력 을 심각히 증가 시키 는 테 이 퍼진 스핀들 에 의해 심화 될 것 이 다 . 그러나 , 본 출원 에 기술 된 바 와 같이 , 허브 를 사용 하 면 , 고체 탄화규소 로부터 형성 되 는 웨이퍼 캐리어 플레이트 가 플레이트 에 대한 손상 의 위험 이 덜 하 면서 회전 디스크 반응 로 내 에서 사용 될 수 있 게 한다 .