" 본 명세서 에서 사용 된 "" 방사선 "" 및 "" 빔 "" 이 라는 용어 는 이온 빔 또는 전자 빔 과 같 은 입자 빔 뿐 만 아니 라 ", ( 예 를 들 어 , 365 , 248 , 193 , 157 또는 126 nm , 또는 그 정도 의 파장 을 갖 는 ) 자 외 ( UV ) 방사선 및 ( 예 를 들 어 , 5 내지 20 nm 범위 내 의 파장 을 갖 는 ) 극자 외 ( EUV ) 방사선 을 포함 하 는 모든 형태 의 전자기 방사선 을 포괄 한다 .