또한 , 제 어부 ( Cnt ) 는 , 가스 공급 부 ( 30 ) 의 유량 제어기 ( 30 b ) 에 제어 신호 를 송출 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 가스 공급 부 ( 30 ) 로부터 소정 의 유량 의 가스 가 처리 용기 ( 12 ) 내 에 공급 된다 . 또한 , 제 어부 ( Cnt ) 는 , 배기 장치 ( 14 ) 에 제어 신호 를 송출 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 처리 용기 ( 12 ) 내 의 압력 이 소정 의 압력 으로 설정 된다 . 또한 , 제 어부 ( Cnt ) 는 , 구동 장치 ( 34 b ) 에 제어 신호 를 송출 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 헤드 ( 32 ) 의 위치 가 설정 된다 . 예컨대 , 개구 ( AP ) 를 통해 노출 되 는 타 겟 ( 20 ) 으로부터 방출 되 는 물질 을 웨이퍼 ( W ) 에 퇴적 시키 는 경우 에 는 , 헤드 ( 32 ) 를 제 2 영역 ( R 2 ) 에 위치 시킬 수 있 다 . 또한 , 웨이퍼 ( W ) 에 퇴적 된 금속 을 산화 시키 는 경우 에 는 , 헤드 ( 32 ) 를 제 1 영역 ( R 1 ) 에 위치 시킬 수 있 다 . 또한 , 제 어부 ( Cnt ) 는 , 히터 전원 ( HP ) 에 제어 신호 를 송출 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 헤드 ( 32 ) 를 가열 할 수 있 어 , 헤드 ( 32 ) 를 흐르 는 산화 가스 를 가열 할 수 있 다 .