본 실시 형태 의 레지스 트 조성물 에 는 , 감도 열화 의 방지 나 , 레지스 트 패턴 형상 , 노광 후 시간 경과 적 안정 성 등 의 향상 의 목적 으로 , 임의 의 성분 으로서 , 유기 카르복실 산 , 그리고 인 의 옥소 산 및 그 유도체 로 이루어지 는 군 에서 선택 되 는 적어도 1 종 의 화합물 ( E ) ( 이하 「 ( E ) 성분 」 이 라고 한다 ) 를 함유 시킬 수 있 다 .