그리고 정공 차단 층 과 전자 전달 층 으로 각각 2 , 9 - dimethyl - 4 , 7 - diphenyl - 1 , 10 - phenanthroline ( BCP ) 와 Tris ( 8 - hydroxyquinolinato ) aluminum ( Alq 3 ) 를 10 - 60 nm 의 두께 로 진공 증착 하 였 다 . 그리고 전자 주입 층 인 LiF 를 진공 증착 으로 박막 을 순차 적 으로 형성 한 후 캐소드 인 Al 전극 을 형성 시켜서 유기 전계 발광 소자 를 제작 하 였 다 . 진공 증착 을 위한 진공도 는 4 x 10 - 6 torr 이하 로 유지 하 면서 증착 시켜 박막 을 형성 하 였 다 . 증착 시 막 두께 및 막 의 성장 속도 는 crystal sensor 를 이용 하 여 조절 하 였 고 발광 면적 은 4 ㎟ 이 고 구동 전압 은 직류 전압 으로 forward bias voltage 를 사용 하 였 다 .