기판 ( 10 ) 은 보트 ( 120 ) 에 놓이 며 , 기판 ( 10 ) 상 에서 는 탄소 나노 튜브 의 합성 이 이루어진다 . 기판 ( 10 ) 은 바닥 면 을 이루 는 하부 벽 ( 12 ) 과 , 하부 벽 ( 12 ) 의 상측 에 상부 가 개방 된 일정 한 공간 ( S ) 이 형성 되 도록 공간 ( S ) 의 측면 을 감싸 는 측벽 ( 14 ) 을 가진다 . 측벽 ( 14 ) 은 하부 벽 ( 12 ) 상부 의 공간 ( S ) 이 상측 으로 갈수록 넓 어 지 도록 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 하부 벽 ( 12 ) 의 가장자리 를 따라가 며 하부 벽 ( 12 ) 에 수직 한 방향 으로 제 1 측벽 ( 14 a ) 이 형성 되 고 , 제 2 측벽 ( 14 b ) 이 제 1 측벽 ( 14 a ) 의 상단 으로부터 위쪽 으로 외향 경사지 게 연장 형성 될 수 있 다 .