도 7 은 본 발명 의 테스트 헤드 장치 를 채택 한 반도체 디바이스 테스트 시스템 에서 소켓 보드 의 신호 전송 특성 을 보인 그래프 이 다 . 본 발명 의 테스트 헤드 장치 에 따르 면 , 동축 케이블 을 사용 하 지 않 을 뿐 만 아니 라 서브 기판 ( 110 ) , 즉 드라이버 / 컴 패 레이터 혼 성 칩 ( 113 ) 과 소켓 보드 ( 100 ) 를 한 번 의 커넥터 연결 ( 111 ) , ( 104 ) 에 의해 직접 접촉 시키 고 있 기 때문 에 이 들 사이 의 임피던스 가 잘 관리 되 고 , 이 에 따라 도 7 에 굵 은 선 으로 도시 한 바 와 같이 소켓 보드 ( 100 ) 에서 의 신호 전송 특성 이 2 . 5 ㎓( 1 . 6 Gbps ) 의 동작 속도 에서 도 종래 ( 가 는 선 ) 에 비해 충분히 양호 함 을 알 수 가 있 다 .