다음 으로 , 저 주파 음파 발생 부 ( 140 ) 가 상기 저주파 음원 을 수신 하 여 상기 응집 챔버 ( 162 ) 들 의 내부 로 저주파 음파 를 출력 하 는 것 에 의해 , 정화 영역 또는 응집 채널 부 ( 160 ) 내 를 흐르 는 유체 에 포함 된 미세 입자 들 을 진동 시켜 서로 응집 시키 는 미세 입자 응집 단계 ( S 50 ) 를 수행 한다 .