또 , 콘 택 플러그 들 ( BC ) 은 제 2 층간 절 연막 ( 120 ) 에 불순물 영역 들 ( 103 ) 을 노출 시키 는 콘 택 홀 들 을 형성 하 고 , 상기 콘 택 홀 들 을 매립 하 는 도전 막 을 퇴적 시키 고 , 상기 도전 막 을 평탄 화 및 노드 분리 함 으로써 형성 될 수 있 다 . 상기 콘 택 플러그 들 ( BC ) 은 불순물 이 도핑 된 폴리 실리콘 막 , 금속 막 , 도전 성 금속 질화 막 , 및 금속 실리사이드 막 중 의 어느 하나 또는 이 들 의 조합 으로 형성 될 수 있 다 .