다음 에 , 제 2 도 전막 ( 110 ) 위 에 제 1 레지스 트 마스크 ( 170 ) 를 형성 한다 ( 도 26 ( A ) 및 도 27 ( A ) 을 참조 ) . 제 1 레지스 트 마스크 ( 170 ) 는 , 실시 형태 1 의 제 1 레지스 트 마스크 ( 112 ) 와 는 다른 것 으로 , 오 목부 가 형성 되 지 않 고 , 전면 이 대략 동일 한 두께 가 되 도록 형성 되 어 있 다 . 즉 , 제 1 레지스 트 마스크 ( 170 ) 는 다 계조 마스크 를 이용 하 지 않 고 형성 할 수 있 다 .