대기 반송 로봇 ( 106 ) 은 기판 을 직접 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 에 반송 한다 . 그 후 , 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 의 로더 모듈 ( 102 ) 측 의 게이트 밸브 ( 123 ) 를 닫 고 , 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 를 진공 배기 한다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 가 진공 상태 로 되 면 , 제 1 프로세스 챔버 ( 111 ) 측 의 게이트 밸브 를 열 고 , 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 와 제 1 프로세스 챔버 ( 111 ) 를 연통 시킨다 . 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 내 의 제 1 진공 반송 로봇 ( 124 ) 은 제 1 로드 록 챔버 ( 110 ) 로부터 미처리 의 기판 ( W ) 을 취 출하 고 , 그 취 출한 미처리 의 기판 을 제 1 프로세스 챔버 ( 111 ) 에 반송 한다 .