한 실시 의 형태 에 따르 면 , 대상물 의 검사 대상 영역 을 투과 한 X 선 을 복수 의 검 출면 에서 촬상함에 의해 , 검사 대상 영역 의 상 의 재 구성 처리 를 실행 하 기 위한 X 선 검사 장치 가 제공 된다 . 이 X 선 검사 장치 는 , 복수 의 검 출면 에서 촬상하기 위한 , 검 출면 의 수 보다 도 적 은 복수 의 X 선 검출기 와 , 복수 의 X 선 검출기 중 의 일부 와 다른 일부 를 독립 적 으로 이동 시키 는 검출기 구동 부 와 , 검사 대상 영역 을 투과 한 X 선 이 , 각각 검 출면 이 되 는 복수 의 촬상 위치 로 이동한 복수 의 X 선 검출기 에 입사 하 도록 대응 시켜서 X 선 을 출력 하 는 X 선 출력 부 와 , X 선 검사 장치 의 동작 의 제어 를 행하 는 제 어부 를 구비 한다 . 제 어부 는 , 각 X 선 검출기 의 노광 타이밍 과 , 검출기 구동 부 를 제어 하 는 화상 취득 제 어부 와 , X 선 출력 부 를 제어 하 기 위한 X 선 출력 제 어부 와 , 복수 의 검 출면 에서 촬 상한 , 검사 대상 영역 을 투과 한 X 선 의 강도 분포 의 데이터 에 의거 하 여 , 검사 대상 영역 의 상 데이터 를 재 구성 하 는 화상 재 구성 처 리부 를 포함 한다 . 화상 취득 제 어부 및 X 선 출력 제 어부 는 , 복수 의 X 선 검출기 중 의 일부 를 복수 의 촬상 위치 중 의 제 1 의 위치 에서 촬상시키는 처리 와 , 복수 의 X 선 검출기 중 의 다른 일부 를 복수 의 촬상 위치 중 의 제 1 의 위치 와 는 다른 제 2 의 위치 로 이동 시키 는 처리 를 병행 하 여 실행 한다 .