본 발명 에 따르 면 , 기판 을 보유 하 기 위한 기기 및 상기 기기 를 제조 하 는 방법 은 다음 의 이점 이 있 다 : 커버 및 베이스 가 서로 접촉 및 결합 될 때 , 커버 및 베이스 사이 의 접촉 표면 구조 로 인해 , 공동 에 들어간 기류 는 베이스 의 상부 표면 과 동일 한 레벨 으로 진행 하 지 않 으며 ; 접촉 표면 의 표면 표면 거칠 기 는 0 . 2 내지 0 . 4 마이크 로 인치 의 평균 거칠 기 를 가지 지 않 아도 입자 의 진행 을 효과 적 으로 막 을 수 있 으며 , 이 에 따라 본 발명 은 입자 가 없 어 오염 이 없 으며 , 제조 의 용이성 이 향상 된 기기 및 상기 기기 의 제조 방법 을 제공 한다 .