상부 절연체 ( 170 ) 는 스테이지 ( 120 ) 에 대향 하 도록 배치 된다 . 상부 절연체 ( 170 ) 는 , 예 를 들 면 , 챔버 ( 110 ) 의 상부 에 배치 된다 . 상부 절연체 ( 170 ) 에 는 그 내부 에 냉각 가스 가 흐를 수 있 도록 홀 ( 175 ) 이 형성 된다 . 상부 절연체 ( 170 ) 에 형성 된 홀 ( 175 ) 을 통하 여 후술 하 는 냉각 유닛 ( 180 ) 은 냉각 가스 를 기판 ( W ) 의 상부 를 향하 여 공급 한다 .