열적 ALD 및 PEALD 에 의해 기판 상 에 산화물 막 을 퇴적 하 는 방법 은 , 반응 챔버 내 에 기판 을 제공 하 는 단계 ; 상기 반응 챔버 에서 열적 ALD 에 의해 상기 기판 상 에 제 1 산화물 막 을 퇴적 하 는 단계 ; 및 진공 을 파괴 하 지 않 고 , 상기 반응 챔버 내 에서 PEALD 에 의해 상기 제 1 산화물 막 상 에 제 2 산화물 막 을 연속 적 으로 퇴적 시키 는 단계 를 포함 한다 .