표면 측 조성 경사 층 은 , 전이 금속 과 질소 및 / 또는 산소 를 함유 하 는 규소 재료 로 이루어지 며 , 전이 금속 과 규소 의 함 유비 ( 전이 금속 : 규소 ) 는 1 : 2 내지 1 : 9 ( 원 자비 ) , 바람직 하 게 는 1 : 2 내지 1 : 6 ( 원 자비 ) 이 다 . 또한 , 탄소 등 의 경 원소 를 포함 할 수 도 있 지만 , 품질 의 제어 상 에서 는 , 질소 및 산소 이외 의 경 원소 는 합계 3 원자 ％ 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 특히 질소 , 산소 및 탄소 이외 의 경 원소 를 불순 물량 을 초과 하 는 양 으로 포함 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .