상부 전극 ( 30 ) 은 천 정판 ( 34 ) 및 지 지체 ( 36 ) 를 포함 할 수 있 다 . 천 정판 ( 34 ) 의 하 면은 , 내부 공간 ( 10 s ) 쪽 하면 이 며 내부 공간 ( 10 s ) 을 구획 한다 . 천 정판 ( 34 ) 은 , 발생 하 는 주울 열 ( Joule ' s heat ) 이 적 은 저 저항 유전체 또는 반도체 로부터 형성 될 수 있 다 . 천 정판 ( 34 ) 은 , 천 정판 ( 34 ) 을 판 두께 방향 으로 관통 하 는 복수 개 의 가스 토출 구멍 ( 34 a ) 을 가진다 .