결론 적 으로 , 그래프 들 ( 803 내지 807 ) ( 역 평행 MEMS 구성 ) 은 MEMS 트랜스 듀 서 에 대한 충격 이 적용 된 후 의 , 예 를 들 어 , 핑거 탭핑 후 의 개선 된 복원 동작 을 보여준다 . 그래프 들 ( 803 내지 807 ) 은 ± 0 . 5 V 의 오프셋 바이어스 전압 및 5 % 의 커패시턴스 비대칭 에서 도 50 % 초과 의 개선 된 충격 복원 동작 을 보여준다 . 도 8 로부터 , 역 평행 구성 에서 획득 된 신호 는 단일 차동 MEMS 센서 디바이스 로부터 또는 평행 으로 결합 된 차동 MEMS 센서 디바이스 들 로부터 획득 된 신호 보다 더 빠르 게 0 으로 복귀 한다는 것 이 도출 될 수 있 다 . 그래프 들 ( 801 , 802 ) 과 그래프 들 ( 803 내지 807 ) 사이 의 비교 는 , 역 평행 구성 이 기계 적 또는 압력 충격 , 예 를 들 어 , 핑거 탭핑 으로 인한 탭 노이즈 ( tap noise ) 에 노출 될 때 트랜스 듀 서 의 강건 성 을 개선 하 는 것 으로 보여질 수 있 는 바 와 같이 , MEMS 트랜스 듀 서 의 역 평행 구성 의 이점 을 증명 한다 .