다양 한 실시 예 들 에서 , 하나 이상 의 입력 메시지 는 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 및 159 ) 에 의해 수신 및 / 또는 처리 될 수 있 고 , 하나 이상 의 출력 메시지 는 하나 이상 의 컨트롤러 ( 114 , 119 , 124 , 129 , 134 , 139 , 144 , 149 , 154 및 159 ) 에 의해 작성 및 / 또는 송신 될 수 있 다 . 일부 예 들 에서 는 , 입력 메시지 가 S - D 데이터 및 N - S - D 데이터 를 포함 하 는 포맷 팅 된 메시지 일 수 있 다 . 컨트롤러 는 서브시스템 을 위한 개별 N - S - D 메시지 및 / 또는 S - D 메시지 를 작성 하 기 위해 포맷 팅 된 메시지 를 처리 할 수 있 다 . S - D 메시지 는 라이브러리 와 데이터베이스 에서 의 검색 시간 을 단축 하 고 계산 에러 를 줄이 며 정확도 를 향상 시키 기 위해 이용 될 수 있 는 S - D 웨이퍼 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 라이브러리 공간 내부 의 소형 의 프로파일 공간 은 S - D 데이터 를 이용 하 여 식별 될 수 있 다 . 또 , S - D 두께 및 / 또는 온도 데이터 가 이용 될 수 있 고 , S - D 프로시저 는 이 데이터 를 이용 하 여 프로파일 라이브러리 로부터 프로 파일 을 실시간 으로 결정 함 으로써 , 측정 시간 을 단축 하 고 처리율 을 상승 시킬 수 있 다 . 컨트롤러 는 이용 할 수 있 는 S - D 메시지 가 입력 메시지 에 포함 되 는 시기 를 결정 하 기 위해 입력 메시지 를 실시간 으로 조사 할 수 있 고 , 및 / 또는 컨트롤러 는 실시간 으로 S - D 메시지 를 추출 할 수 있 는 방법 을 결정 할 수 있 다 . 메시지 는 XML 포맷 및 / 또는 SML 포맷 을 이용 할 수 있 다 . 시스템 은 복수 의 서브시스템 에 대해 송신 , 분리 및 / 또는 구문 해석 되 는 S - D 메시지 로 예외 처리 를 제공 및 관리 할 수 있 다 .