또는 , 스퍼터링 법 을 이용 하 여 게이트 절연 층 으로서 의 기능 을 갖 는 절연 층 을 성막 할 때 , 산소 가스 , 또는 불활성 가스 ( 예 를 들 어 아르곤 등 의 희 ( 稀 ) 가스 , 또는 질소 ) 와 산소 의 혼합 가스 를 도입 함 으로써 , 게이트 절연 층 으로서 의 기능 을 갖 는 절연 층 에 산소 과잉 영역 을 형성 하 여도 좋 다 . 또한 , 스퍼터링 법 에 의한 성막 후 , 열처리 를 하 여도 좋 다 .