상기 기준 검사 감도 를 설정 하 는 공정 은 상기 시료 를 상기 제 1 결함 들 이 상대 적 으로 많 은 제 3 영역 과 상기 제 1 결함 들 이 상대 적 으로 작 은 제 4 영역 으로 설정 하 고 , 검사 감도 를 변화 시키 면서 상기 시료 의 결함 을 검출 하 고 , 검사 감도 에 따라 상기 제 3 영역 의 결함 개수 와 상기 제 4 영역 의 결함 개수 의 비 를 구한 후 , 상기 시료 의 특성 을 고려 하 여 상기 결함 개수 비 가 증가 하 는 구간 에서 의 상기 검사 감도 범위 중 에서 기준 검사 감도 를 구하 여 이루어진다 .