실질 적 인 저 성장 반응물 은 He , Ne , Ar , Kr , Xe , N 2 , NH 3 및 N 2 H 4 중 하나 이상 을 포함 할 수 있 고 , 이 는 ( 직접 식 또는 원 격식 ) 플 라즈 마 에 의해 선택 적 으로 활성 화 될 수 있 다 . 잠재 적 인 성장 반응물 과 조합 된 질소 는 오목 부 의 상부 에서 비교 적 낮 은 성장 을 초래 할 수 있 다 . 일부 경우 에 , 잠재 적 성장 반응물 을 제공 하 기 전 에 실질 적 인 저 성장 반응물 을 제공 하 는 것 이 유리 할 수 있 다 .