본원 의 제 2 측면 에 따른 테이블 모듈 은 , Z 축 방향 으로 진공 홀 복수 개 가 형성 되 는 컨버전 키트 ; 및 Z 축 방향 으로 의 타면 상 에 상기 컨버전 키트 가 배치 되 어 , 음압 발생기 와 상기 진공 홀 을 연통 시키 는 테이블 용 음압 전달 플레이트 구 조체 를 포함 하 되 , 상기 테이블 용 음압 전달 플레이트 구조 체 는 상기 컨버전 키트 를 진공 흡착 가능 하 고 , 상기 테이블 용 음압 전달 플레이트 구조 체 구 조체 의 상기 컨버전 키트 에 대한 진공 흡 착시 , 상기 컨버전 키트 는 상기 테이블 용 음압 전달 플레이트 구 조체 에 고정 되 고 , 상기 테이블 용 음압 전달 플레이트 구조 체의 상기 컨버전 키트 에 대한 진공 흡착 해제 시 , 상기 컨버전 키트 는 상기 테이블 용 음압 전달 플레이트 구조 체로 부터 제거 가능 하 다 .