이제 도 2 a , 도 2 g , 도 2 h 및 도 13 a 내지 도 17 을 참조 하 여 , 기판 처리 도구 ( 200 ) 의 예시 적 인 동작 이 설명 될 것 이 다 . 한 양태 에서 , 기판 이송 챔버 ( 210 ) 가 제공 되 고 ( 도 17 , 블록 1700 ) , 전술 한 바 와 같이 복수 의 프로세스 모듈 ( PM ) 은 기판 이송 챔버 의 측면 ( 210 S 1 , 210 S 2 ) 중 적어도 하나 를 따라서 선형 으로 배열 된다 ( 도 17 , 블록 1710 ) . 한 양태 에서 , 프로세스 모듈 ( PM ) 및 / 또는 로드 락 ( LL 1 , LL 2 ) 은 또한 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 단부 벽 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 상 에 배열 된다 . 한 양태 에서 , 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 이 제공 되 고 , 기판 이송 챔버 ( 210 ) 에 연결 되 며 ( 도 17 , 블록 1705 ) , 여기 에서 , 구동 섹션 은 적어도 2 자유도 를 포함 하 고 , 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 각각 의 구동 샤프트 ( 380 S , 380 AS , 380 BS , 388 ) 는 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 다른 구동 샤프트 ( 380 S , 380 AS , 380 BS , 388 ) 와 의 공통 의 축 ( 어깨 부 축 ( SX ) 과 같 은 ) 을 중심 으로 회전 한다 . 한 양태 에서 , 기판 이송 아암 ( 250 ) 이 제공 되 고 ( 도 17 , 블록 1720 ) , 이송 아암 의 선회 축 ( 예 를 들 어 , 어깨 부 축 ( SX ) ) 이 전술 한 바 와 같이 기판 이송 챔버 ( 210 ) 에 대해 고정 장착 되 도록 기판 이송 챔버 ( 210 ) 내 에 선회 가능 하 게 장착 된다 . 또한 전술 한 바 와 같이 , 한 양태 에서 , 이송 아암 ( 250 ) 의 어깨 부 축 ( SX ) 은 구동 섹션 ( 300 A , 300 B , 300 C , 300 D ) 의 구동 샤프트 ( 380 S , 380 AS , 380 BS , 388 ) 와 의 공통 의 축 이 다 .