상기 트렌치 내부 에 는 절연 물질 로 이루어지 는 소자 분리 막 패턴 ( 202 ) 이 구비 된다 . 상기 소자 분리 막 패턴 ( 202 ) 은 상기 기판 표면 으로부터 돌출 된 상부 면 을 갖 는다 . 상기 소자 분리 막 패턴 ( 202 ) 에 의해 상기 기판 은 액티브 영역 및 소자 분리 영역 으로 구분 된다 . 상기 액티브 영역 및 소자 분리 영역 은 제 1 방향 으로 연장 되 는 라인 형상 을 갖 고 서로 번갈 아 가 며 나란 하 게 배치 된다 . 상기 소자 분리 막 패턴 ( 202 ) 은 화학 기상 증착 공정 에 의해 형성 된 실리콘 산화물 로 이루어질 수 있 다 .