기판 은 제 1 챔버 ( 11 ) 에 투입 되 어 제 1 챔버 ( 11 ) 내 에서 제 1 컬러 층 의 증착 이 이루어진다 . 이후 기판 은 제 2 챔버 ( 12 ) 로 이송 되 어 제 2 컬러 보조 층 과 제 2 컬러 층 의 증착 이 이루어진다 . 이후 기판 은 제 3 챔버 ( 13 ) 로 이송 되 어 제 3 컬러 보조 층 과 제 3 컬러 층 의 증착 이 이루어진다 .