본 발명 은 상기 와 같 은 문제 를 해결 하 기 위하 여 , 다수 개 의 웨이퍼 에 대하 여 동시 에 공정 을 진행 하 는 공정 챔버 에 웨이퍼 의 인입 을 전용 으로 하 는 로드 락 챔버 와 , 이 와 인접 하 여 공정 이 완료 된 웨이퍼 의 인출 을 전용 으로 하 는 로드 락 챔버 를 각각 설치 하 고 , 공정 이 완료 된 후 회전 하 는 스테이지 에 대하 여 웨이퍼 의 인출 과 인입 을 2 개 의 로드 락 챔버 에서 동시 에 수행 함 으로써 웨이퍼 의 교체 시간 을 단축 할 수 있 는 웨이퍼 이송 장치 를 제공 함 에 그 목적 이 있 다 .