제 1 기판 ( 110 ) 과 제 2 기판 ( 120 ) 사이 에 는 내부 공간 을 한정 하 는 측벽 ( 130 ) 이 형성 된다 . 측벽 ( 130 ) 은 플렉서블 한 재료 로 설치 될 수 있 다 . 측벽 ( 130 ) 또는 제 1 기판 ( 110 ) ( 또는 제 2 기판 ( 120 ) ) 에 는 진공 장치 ( 104 ) 가 연결 된다 . 진공 장치 ( 104 ) 는 내부 공간 의 압력 을 소정 압력 , 예컨대 10 - 4 torr 이하 로 유지 시킨다 . 이러 한 압력 유지 이유 는 후술 된다 .