상술 한 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 은 , 평판 표시 소자 제조 장치 의 챔버 내부 에 설치 되 어 기판 이 승강 되게 하 는 리프트 핀 모듈 에 있 어서 , 상기 리프트 핀 모듈 은 , 다 수개 가 일정 간격 으로 전극 에 배열 되 는 리프트 핀 ; 상기 전극 에 구비 되 되 상기 리프트 핀 이 내부 에 삽입 되 며 기체 가 전극 과 기판 과 의 접촉 공간 으로 유입 될 수 있 도록 경로 가 구비 되 는 핀 하우징 ; 을 포함 하 여 이루어짐 으로써 , 상기 핀 하우징 에 가스 및 에어 가 기판 과 하부 전극 과 의 접촉 공간 으로 주입 될 수 있 는 경로 가 형성 되 어 압력 차 에 의해 기판 이 파손 되 는 것 을 방지 하 므로 바람직 하 다 .