터널 링 유전 막 ( 140 ) 은 블로킹 유전 막 ( 125 ) 및 복수 의 전하 저 장막 ( 130 ) 을 덮 으며 제 3 방향 ( Z 방향 ) 을 따라 굴곡 을 가지 며 연장 될 수 있 다 . 터널 링 유전 막 ( 140 ) 은 블로킹 유전 막 ( 125 ) 및 복수 의 전하 저 장막 ( 130 ) 상 을 대체 적 으로 컨 포 멀 하 게 덮 을 수 있 다 . 터널 링 유전 막 ( 140 ) 은 실리콘 산화 막 으로 이루어질 수 있 다 .