[ 0042 ] 본 기술 의 실시 예 들 에 따라 추가 의 회수 헹굼 을 수행 함 으로써 , 슬링 - 오프 동작 이후 에 기판 상 에 보유 된 잔 류량 의 욕 유체 의 적어도 30 % 가 회수 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 보유 된 잔 류량 의 욕 유체 의 약 40 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 50 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 55 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 60 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 65 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 70 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 75 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 80 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 85 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 약 90 % 이상 이 회수 될 수 있 거나 , 또는 그 초과 가 회수 될 수 있 다 .