도 7 에 나타내 는 수차 측정 장치 는 결상 광학계 ( 10 ) 를 통과 한 측 정광 과 배 경광 을 분리 하 는 분리 부재 로서 , 결상 광학계 ( 10 ) 의 상면 에 배치 되 어 측정 광 및 배 경광 의 공급 타이밍 에 따라서 모터 ( 6 a ) 의 작용 에 의해 회전 하 는 선택 적 차광성 의 회전판 ( 6 b ) 을 갖 는 초퍼 ( 6 ) 를 구비 하 고 있 다 . 회전판 ( 6 b ) 은 불투 광제 의 원판 에 의해 형성 되 고 , 예 를 들 면 회전판 ( 6 b ) 의 회전축 에 대해서 대칭 인 위치 에 한 쌍 의 관 통공 ( 6 c ) 이 , 투 광부 로서 설치 되 어 있 다 .