도 2 a 및 도 2 b 를 참조 하 여 설명 하 는 본 발명 의 제 2 실시 예 는 제 1 실시 예 와 대체로 동일 하 다 . 단 , 제 1 실시 예 에서 는 상기 제 1 마스크 층 ( 130 ) 의 위 에 버퍼 마스크 층 ( 132 ) 을 별도 의 막 으로서 형성 하 였으나 , 본 예 에서 는 제 1 마스크 층 ( 230 ) 의 일부 를 산화 시켜 버퍼 마스크 층 ( 230 a ) 을 형성 한다 . 이 에 대하 여 도 2 a 및 도 2 b 를 참 조 하 여 보다 상세히 설명 한다 . 도 2 a 및 도 2 b 에 있 어서 제 1 실시 예 에서 와 동일 한 참조 부호 는 동일 부재 를 나타낸다 .