N 형 불순물 은 제 1 및 제 2 게이트 측벽 도전 막 ( 10 - 1 , 10 - 2 ) 의 저부 까지 는 도달 하 지 않 기 때문 에 , 제 1 및 제 2 게이트 측벽 도전 막 ( 10 - 1 , 10 - 2 ) 직하 의 게이트 산화 막 ( 3 ) 부분 이 그 이온 주입 에 의해 데미지 를 받 는 일 은 없 다 . 또 , N 형 불순물 은 게이트 ( 5 ) 의 저부 까지 는 도달 하 지 않 기 때문 에 , 게이트 ( 5 ) 직하 의 게이트 산화 막 ( 3 ) 부분 이 그 이온 주입 에 의해 데미지 를 받 는 일 은 없 다 .