설명 전반 에 걸쳐 , " 용어 "" ALD 또는 ALD - 유사 "" 는 하 기 공정 들 을 포함 하 지만 이 로 제한 되 지 않 는 공정 을 지칭 한다 : a ) 규소 전구체 및 반응 성 가스 를 포함 하 는 각 반응물 은 단일 웨이퍼 ALD 반응기 ", 반 - 배치 ALD 반응기 , 또는 배치 로 ALD 반응기 와 같 은 반응기 에 순차 적 으로 도입 하 고 ; b ) 규소 전구체 및 반응 성 가스 를 포함 하 는 각 반응물 은 반응기 의 상이 한 섹션 에 기판 을 이동 시키 거나 회전 시킴 으로써 기판 에 노출 되 고 각 섹션 이 불활성 가스 커튼 , 즉 , 공간 적 ALD 반응기 또는 롤 투 롤 ( roll to roll ) ALD 반응기 에 의해 분리 된다 .