상기 커버 트레이 부 ( 260 ) 는 커버 트레이 스톡 커 ( 26 a ) , 커버 트레이 피더 ( 26 b ) 및 커버 트레이 트랜스퍼 ( 265 ) 를 포함 한다 . 상기 커버 트레이 트랜스퍼 ( 265 ) 는 상기 제 1 방향 에 교차 하 는 제 2 방향 으로 상기 커버 트레이 를 이송 한다 . 상기 커버 트레이 는 상기 트레이 그룹 에 포함 되 고 최 상부 에 위치 한 트레이 를 덮 도록 구비 된다 . 이 로써 , 상기 트레이 상 에 위치 한 반도체 소자 들 을 외부 충격 으로부터 보호 할 수 있 다 .