클리닝 가스 로서 는 , 예 를 들 면 , NF 3 ( 3 불화 질소 ) 가스 , ClF 3 ( 3 불화 염소 ) 가스 , F 2 ( 불소 ) 가스 , 또는 이 들 가스 에 HF ( 불화 수소 ) 가 스나 H 2 ( 수소 ) 가스 를 첨가 한 혼합 가스 를 들 수 있 다 . 단 , NF 3 가스 는 500 ℃ 이하 의 저온 에서 는 열분해 하 기 어렵 기 때문 에 , NF 3 가스 를 에칭 가스 로서 이용 하 는 경우 에 는 , 성막 실 ( 101 ) 내 를 600 ℃ 이상 의 고온 으로 하 는 것 이 필요 하 다 . 이 때문 에 , F 2 가스 , ClF 3 가스 , HF 가스 를 이용 한 드라이클리닝 기술 의 개발 이 진행 되 고 있 다 . 특히 , F 2 가스 는 반응 성 이 강하 고 에칭 반응 이 진행 하 기 쉬운 가스 이 며 , HF 가스 를 첨가 하 는 것 으로써 에칭 반응 을 더욱 촉진 하 는 것 이 가능 하 다 . 특허 문헌 1 에 는 , F 2 가스 와 HF 가스 와 의 혼합 가스 를 이용 하 여 성막 실 ( 101 ) 내 의 온도 를 단계 적 으로 변화 시키 는 드라이클리닝 법 , 또는 성막 실 ( 101 ) 내 의 온도 를 일정 하 게 유지 하 거나 단계 적 으로 변화 시켜 , 클리닝 가스 를 F 2 가스 에 HF 가스 를 첨가 한 혼합 가스 로부터 F 2 가스 로 전환 하 는 드라이클리닝 법 이 개시 되 어 있 다 . 이러 한 방법 에 의하 면 , 성막 실 ( 101 ) 내부 에 잔류 한 부착물 이 남 지 않 도록 하 여 이 물질 발생 을 억제 할 수 있 다 .