구체 적 으로 는 , 불순물 의 활성 화 를 위한 열 공정 진행시 , 홈 의 구조 특징 상 비정질 실리콘 막 내 에 발생 된 씸 은 채널 영역 으로 이동 하 는 특성 을 갖 고 있 는데 , 본 발명 에서 는 비정질 실리콘 막 내 에 He 또는 Ar 불순물 을 이온 주입 시켜 , 이러 한 불순물 을 통해 열 공정 에 의한 씸 의 이동 을 방지 할 수 있 게 된다 .