제 2 층간 절 연막 ( 141 ) 이 제 1 층간 절 연막 ( 135 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 제 2 층간 절 연막 ( 141 ) 은 제 1 내지 제 4 활성 콘 택 패턴 들 ( ACP 1 ~ ACP 4 ) 및 게이트 콘 택 패턴 들 ( GCP ) 의 상면 들 을 덮 을 수 있 다 . 제 2 층간 절 연막 ( 141 ) 과 제 1 층간 절 연막 ( 135 ) 사이 에 식각 정지 막 ( 미 도시 ) 이 배치 될 수 도 있 다 . 식각 정지 막 은 제 2 층간 절 연막 ( 141 ) 과 제 1 층간 절 연막 ( 135 ) 에 대해 식각 선택 성 을 갖 는 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 .