이어서 , 기판 ( 31 ) 상 에 절 연막 ( 35 ) 을 형성 한 후 , 절 연막 ( 35 ) 상 에 하드 마스크 막 ( 36 ) 을 형성 한다 . 이때 , 절 연막 ( 35 ) 은 산화 막 ( Oxide ) 이 고 , 하드 마스크 막 ( 36 ) 은 질화 막 ( Nitride ) 이 다 . 이 와 같 은 하드 마스크 막 ( 36 ) 은 후속 공정 인 절 연막 ( 35 ) 식각 시 감광막 대신 절 연막 ( 35 ) 을 식각 하 여 콘 택 홀 을 패 터닝 할 수 있 는 하드 마스크 역할 을 한다 .