제 1 내지 제 6 실시 예 에 따른 액체 공급 장치 ( 100 ~ 105 ) 에서 는 냉각 탱크 ( 30 ) 의 압력 이 높 아 지 는 경우 , 냉매 를 배출 하 는 드레 인 배관 ( 61 ) 을 포함 하 지만 , 제 7 실시 예 에 의한 액체 공급 장치 ( 106 ) 에서 는 압력 조절 용 냉매 회수 부 ( 57 ) 를 포함 한다 . 일정 압력 이상 이 되 면 냉매 는 릴리프 밸브 ( 62 ) 를 통해 회수 배관 ( 56 ) 으로 배출 되 고 , 회수 배관 ( 62 ) 을 통해 압력 조절 용 냉매 회수 부 ( 57 ) 로 공급 된다 . 압력 조절 용 냉매 회수 부 ( 57 ) 로 냉매 가 회수 됨 에 따라 냉매 배관 ( 40 ) 의 압력 은 낮 아 질 수 있 다 . 압력 조절 용 냉매 회수 부 ( 57 ) 에 보관 되 던 냉매 는 다시 냉매 배관 ( 40 ) 으로 재 공급 될 수 있 다 . 냉매 의 손실 을 막 으면서 도 냉각 탱크 ( 30 ) 의 압력 을 일정 하 게 조절 할 수 있 다 . 회수 배관 용 밸브 ( 56 ) 는 냉매 가 냉매 배관 ( 40 ) 으로 재 공급 되 는 것 을 조절 할 수 있 다 .