도 14 d 를 참조 하 면 , 상기 제 1 희생 마스크 패턴 ( 406 a ) 이 제거 된 부위 에 끊겨 진 제 1 라인 패턴 ( 412 a ) 이 형성 된다 . 상기 제 1 라인 패턴 ( 412 a ) 들 양 측 에 는 돌출 된 부위 없이 연장 되 는 제 2 라인 패턴 ( 412 b ) 이 형성 된다 . 또한 , 상기 제 2 라인 패턴 ( 412 b ) 양 측 으로 라인 및 스페이스 가 반복 배치 되 는 제 3 라인 패턴 ( 412 c ) 이 구비 된다 . 본 실시 예의 경우 , 제 2 및 제 3 라인 패턴 ( 412 b , 412 c ) 이 동일 한 형상 을 갖 는다 .