상기 ( S 4 ) 단계 의 실란 용액 은 옥 타 데 실 트리 클로로 실란 ( octadecyltrichlorosilane , OTS ) , 퍼플 루오 로 데 실 트리 클로로 실란 ( p e r f luorodecyltrichlorosilane , FDTS ) , 다 이 클로 로디 메틸 실란 ( dichlorodimethylsilane , DIMS ) 등 을 사용 하 는 것 이 좋 다 .