이후 , 도 9 에 도시 된 바 와 같이 배출 챔버 ( 300 ) 에 위치 한 원료 물질 이 소진 된 제 1 저장 용기 ( 500 ) 는 배출 챔버 ( 300 ) 의 외부 로 배출 된다 . 이 과정 에서 배출 챔버 ( 300 ) 의 진공 은 깨지 게 되 며 , 제 2 저장 용기 ( 510 ) 가 증착 챔버 ( 100 ) 로부터 배출 챔버 ( 300 ) 로 이송 되 기 전 에 배출 챔버 ( 300 ) 의 내부 압력 은 다시 조절 된다 . 또한 , 제 2 저장 용기 ( 510 ) 는 노즐 ( 720 ) 에 부착 되 어 증착 공정 이 계속 수행 되 게 되 며 , 이때 원료 물질 이 충 진 된 제 3 저장 용기 ( 520 ) 가 공급 챔버 ( 200 ) 내부 로 공급 되 어 연속 적 인 증착 공정 이 이루어지 게 된다 .