따라서 , 제 1 양태 에 따르 면 , 독립 청구 항 1 의 특징 들 을 갖 는 MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 가 제안 된다 . MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 는 오디오 에서 및 초음파 범위 에서 동작 가능 하 고 , 특히 , 제 1 전극 구 조체 를 포함 하 고 , 제 1 전극 구조 체의 도전 성 재료 는 복수 의 전기 적 으로 격리 된 전극 세그먼트 들 을 포함 한다 . MEMS 사운드 트랜스 듀 서 소자 는 제 1 전극 구조 체로 부터 이격 된 제 2 전극 구 조체 를 더 포함 하 고 , 제 1 전극 구조 체 및 제 2 전극 구조 체 는 오디오 사운드 트랜스 듀 서 로서 동작 가능 하 다 . 제 1 전극 구조 체의 복수 의 전기 적 으로 격리 된 전극 세그먼트 들 의 제 1 서브 세트 는 , 제 2 전극 구 조체 와 함께 , 초음파 또는 오디오 방출 기 로서 동작 가능 하 다 . 제 1 전극 구조 체의 복수 의 전기 적 으로 격리 된 전극 세그먼트 들 의 제 2 서브 세트 는 , 제 2 전극 구 조체 와 함께 , 초음파 또는 오디오 수신기 로서 동작 가능 하 다 .