도 2 는 반도체 웨이퍼 상 의 검사 영역 을 조사 하 기 위한 광 나노 젯 계측 시스템 ( 200 ) 의 구성도 이 다 . 하나 의 예시 적 인 실시 예 에서 , 광 나노 젯 계측 시스템 ( 200 ) 은 광학 소스 ( 202 ) , 광학 렌즈 ( 204 ) , 광섬유 ( 214 ) , 유전체 마이크 로 스피어 ( 216 ) , 검출기 ( 208 ) , 및 프로세서 ( 226 ) 를 포함 한다 .