일부 실시 예 들 에서 , 시스템 제어기 ( 550 ) 에 의해 조정 된 파라미터 들 은 프로세스 조건 들 과 관련 될 수 도 있 다 . 비 제한 적 인 예 들 은 프로세스 가스 조성 및 플로우 레이트 들 , 온도 , 압력 , ( RF 바이어스 전력 레벨 들 과 같 은 ) 플라 즈 마 조건 들 , 등 을 포함 한다 . 이 들 파라미터 들 은 사용 자 인터페이스 를 활용 하 여 입력 될 수 도 있 는 , 레시피 의 형태 로 사용 자 에게 제공 될 수 도 있 다 .