다음 으로 , 스텝 2 에서 구한 영역 S 1 의 X - Z 단면 ( 1 ) 과 , 영역 S 2 의 X - Z 단면 ( 2 ) 을 산출 한다 ( 스텝 3 ) . 이 계산 은 , 프로세스 디바이스 시뮬레이션 에 의해 행한다 . 다음 으로 , 스텝 3 에서 구한 각각 의 단면 형상 에 대하 여 , 좌표 데이터 와 물성 데이터 를 판독 한다 ( 스텝 4 , 스텝 5 ) .