질량 분석 계 ( 214 ) 로 는 , 전하 에 대한 질량비 에 기초 하 여 기체 를 분석 하 는 사중 극자 질량 분석 계 ( QMA ; Quadrupole Mass Analyzer ) 를 사용 할 수 있 다 . 질량 분석 계 ( 214 ) 는 챔버 ( 211 ) 내 에서 샘플 ( 100 ) 의 단부 에 가깝 게 배치 되 어 샘플 ( 100 ) 단부 의 기체 를 주로 검출 하 는데 , 특히 배출 라인 ( 213 ) 과 인접 한 샘플 ( 100 ) 단부 에 배치 된다 .