본원 발명 과 비교 를 위하 여 가상 의 실시 예 를 상정 하 면 , 여러 대 의 웨이퍼 이송 로봇 을 구비 한 상태 에서 각 이송 로봇 이 웨이퍼 를 한 장 씩 수납 하 는 실시 예 와 , 여러 대 의 웨이퍼 이송 로봇 중 일부 는 웨이퍼 를 한 장 씩 수납 하 고 다른 일부 는 웨이퍼 를 여러 장 씩 수납 하 는 실시 예 를 들 수 있 다 . 그러나 , 이러 한 실시 예 들 은 웨이퍼 이송 로봇 의 설치 공간 이 불 필요 하 게 증가 되 므로 공정 배치 에 있 어서 비 효율 적 이 며 , 웨이퍼 이송 로봇 에 의한 불순물 누출 가능 성 이 증가 하 므로 본원 발명 에 비하 여 비 효율 적 이 다 .