[ 0090 ] 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 장치 의 실시 예 들 은 , 운송 방향 및 / 또는 수직 방향 으로 의 기판 포지셔닝 에 높 은 정밀도 를 허용 하 는 공중부양 되 는 기판 캐리어 이동 을 제공 한다 . 또한 , 본원 에서 설명 되 는 바 와 같 은 장치 의 실시 예 들 은 , 예컨대 , 수평 및 / 또는 수직 및 / 또는 회전 정렬 에 의해 , 마스크 캐리어 에 대한 기판 캐리어 의 개선 된 정렬 을 제공 한다 .