도 1 을 참조 하 면 , 먼저 비정질 탄소 패턴 이 형성 된 기판 상 에 유기 반사 방지 막 을 형성 한다 ( 단계 S 110 ) . 구체 적 으로 , 상기 기판 의 예 로서 는 식각 대상 막 이 형성 된 실리콘 기판 또는 식각 대상 막 이 형성 된 SOI 기판 을 들 수 있 다 . 또한 , 상기 식각 대상 막 의 예 로서 , 폴리 실리콘 막 , 실리콘 질화 막 , 실리콘 산화 막 , 금속 질 화 막 , 금속 막 등 을 들 수 있 다 . 상기 식각 대상 막 은 단일 또는 둘 이상 이 혼합 적층 된 구조 를 가질 수 있 다 .