본 발명 에 따른 케미컬 용액 의 파티클 모니터링 장치 및 방법 은 케미컬 용액 을 실시간 으로 모니터링 하 여 케미컬 용액 에 파티클 이 혼합 된 경우 이 를 드레 인 시키 고 , 케미컬 용액 에 이상 이 없 는 경우 다시 정상 공정 을 수행 하 므로 , 작업자 의 개입 이 없 더라도 오염 된 케미컬 용액 을 자동 으로 배출 시키 고 공정 을 연속 적 으로 진행 할 수 있 는 장점 이 있 다 .