도 18 에 , 증착 원 개구 ( 61 ) 의 일부 및 제어판 ( 80 ) 의 일부 를 확대 해서 나타낸다 . 본 실시 예 3 은 , 1 개 의 증착 원 개구 ( 61 ) 로부터 방출 된 증착 입자 가 , 당해 증착 원 개구 ( 61 ) 의 바로 위 에 위치 하 는 제어판 ( 80 ) 의 양측 의 2 개 의 제 어 공간 ( 81 ) 을 통과 한다는 점 에서 , 실시 형태 1 의 실시 예 1 ( 도 13 ) 및 실시 형태 2 의 실시 예 2 ( 도 15 ) 와 상이 하 다 . 본 실시 예 3 에서 는 , 증착 원 개구 ( 61 ) 로부터 방출 된 증착 입자 는 , 당해 증착 원 개구 ( 61 ) 의 바로 위 의 제어판 ( 80 ) 을 사이 에 끼우 는 2 개 의 제 어 공간 ( 81 ) 보다 도 더욱 외측 의 제 어 공간 ( 81 ) 을 통과 할 수 는 없 다 . 본 실시 예 3 의 상기 이외 의 구성 은 , 제어판 ( 80 ) 의 치수 및 배치 위치 를 제외 하 고 , 실시 예 1 과 동일 하 다 . 증착 장치 의 구조 , 유기 증착 막 의 패턴 형성 프로세스 등 도 , 실시 예 1 과 동일 하 다 .