이 와 같이 형성 된 제 1 희생 패턴 ( 32 ) 은 라인 형태 를 갖 는 제 1 부분 들 ( 32 a ) 과 제 1 부분 들 ( 32 a ) 사이 에서 서로 이격 된 제 2 부분 들 ( 32 b ) 을 포함 한다 . 이 때 , 하 부막 ( 20 ) 상 에서 제 1 부분 들 ( 32 a ) 의 높이 와 제 2 부분 들 ( 32 b ) 의 높이 가 다를 수 있 다 . 즉 , 제 1 희생 패턴 ( 32 ) 에서 제 1 부분 ( 32 a ) 의 상면 은 제 2 부분 ( 32 b ) 의 상면 보다 위 에 위치 할 수 있 다 . 다시 말 해 , 제 1 부분 ( 32 a ) 과 제 2 부분 ( 32 b ) 사이 에 높이 차 가 존재 한다 . 또한 , 제 1 희생 패턴 ( 32 ) 의 제 2 부분 들 ( 32 b ) 상 에 제 2 희생 패턴 ( 64 ) 이 위치 할 수 있 다 . 여기 서 , 제 2 희생 패턴 ( 64 ) 의 높이 는 제 1 부분 들 ( 32 a ) 과 제 2 부분 들 간 의 높이 차 보다 클 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 2 희생 패턴 ( 64 ) 의 상면 이 제 1 희생 패턴 ( 32 ) 의 제 1 부분 ( 32 a ) 의 상면 보다 위 에 위치 할 수 있 다 .