이제 도 3 을 참조 하 면 , 제 1 하드 마스크 층 ( 170 ) 은 제 1 방향 으로 배치 된 라인 및 공간 패턴 을 사용 하 여 MRAM 스택 ( 158 ) 상 에 증착 되 고 패 터닝 된다 . 일부 예 들 에서 , 제 1 하드 마스크 층 ( 170 ) 은 텅스텐 ( W ) , 탄탈룸 ( Ta ) , 탄탈룸 나이트 라이드 ( TaN ) , 티타늄 나이트 라이드 ( TiN ) 또는 다른 내화 금속 들 로 이루어진다 . 일부 예 들 에서 , 제 1 하드 마스크 층 ( 170 ) 은 탄소 마스크 및 반응 성 이온 에칭 을 사용 하 여 패 터닝 된다 .