단일 펌프 격실 은 원 하 는 경우 또는 요구 에 따라 , 프로세스 또는 코팅 격실 들 사이 에서 허용 가능 한 가스 격리 레벨 을 제공 하 기 에 충분 할 수 있 다 . 코 팅기 에서 이용 될 때 , 이러 한 단일 펌프 격실 은 약 20 이상 대 1 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 약 35 대 1 의 가스 격리 비율 에 해당 할 수 있 다 . 단일 펌프 격실 의 사용 은 , 특히 상당 량 의 가스 격리 격실 들 이 이용 되 는 예 를 들 어 , 6 내지 8 개 의 물질 층 들 과 같이 , 5 개 이상 의 물질 층 들 을 갖 는 기판 을 코팅 하 는 데 이용 되 는 대형 의 , 멀티 - 모듈 코팅 기와 관련 하 여 , 장비 비용 , 코팅 기 풋 프린트 , 구성 시간 및 노력 , 동작 시간 및 노력 , 및 코팅 기 복잡 성 및 / 또는 이 와 유사 한 것 들 의 감소 와 관련 하 여 바람직 하 다 . 다양 한 멀티 - 모듈 코팅 기 들 은 예 를 들 어 본 발명 에서 개시 되 는 것 처럼 , 2 개 의 코팅 격실 들 에 의해 단일 펌프 에 의해 접하 게 되 는 3 개 의 격실 들 또는 베 이 들 의 구성 을 포함 한다 .