유지 테이블 ( 53 ) 에서 는 , 회 전부 ( 57 ) 의 모터 ( 59 ) 에 의해 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 유지 하 고 있 는 유지 테이블 ( 53 ) 이 일체 적 으로 회전 된다 ( 회전수 는 , 예 를 들 어 , 7500 rpm 이 다 ) . 이 에 따라 , 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 에 지지 되 어 , 유지 테이블 ( 53 ) 의 유지 면 ( 56 ) 에 흡인 유지 되 고 있 는 웨이퍼 ( W ) 가 , 예 를 들 어 웨이퍼 ( W ) 의 중심 을 축 으로 하 여 회전 된다 . 이 에 따라 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 잔존 하 고 있 는 액체 ( 예 를 들 어 , 제 1 액 및 제 2 액 ) 가 기화 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 이 건조 된다 .