다음 , 상기 하부 구리 배선 ( 202 ) 이 형성 되 어 있 는 제 1 층간 절 연막 ( 201 ) 상 에 유전 막 ( 203 ) 및 하드 마스크 ( 204 ) 를 차례 로 증착 한다 . 상기 유전 막 ( 203 ) 은 SiN 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 . 또한 , 상기 하드 마스크 ( 204 ) 는 실리콘 카바이드 계열 의 물질 또는 무기 반사 방지 막 ( BARC ; bottom anti - reflective cating ) 을 이용 하 여 형성 할 수 있 다 .