예컨대 , 이러 한 종류 의 센서 소자 를 이용 한 압력 센서 로서 , 피 측정 매체 의 압력 을 받 아 휘어지 는 다이어프램 ( 격막 ) 의 변위 를 정전 용량 의 변화 로서 검출 하 는 정전 용량 형 압력 센서 가 널리 알려져 있 다 . 이 정전 용량 형 압력 센서 는 , 가스 종 의존 성 이 적 기 때문 에 , 반도체 설비 를 비롯 하 여 공업 용도 로 자주 사용 되 고 있 다 . 예컨대 , 반도체 제조 장치 등 에 있 어서 의 제조 프로세스 중 의 진공 상태 를 계측 하 기 위해서 이용 되 고 있 으며 , 이 진공 상태 를 계측 하 기 위한 정전 용량 형 압력 센서 를 격막 진공계 라고 부르 고 있 다 . 또한 , 피 측정 매체 의 압력 을 받 아 휘어지 는 다이어프램 은 , 감압 ( 感 壓 ) 다이어프램 이 라고 불리 거나 , 센서 다이어프램 이 라고 불리 거나 하 고 있 다 .