제 1 하부 전극 들 ( 230 a ) 의 각각 은 상부 콘 택 플러그 ( TCP ) , 관통 전극 ( 120 ) , 제 1 하부 콘 택 플러그 ( BCP 1 ) , 제 3 연결 배선 ( CL 3 ) , 제 4 하부 콘 택 플러그 ( BCP 4 ) , 제 1 연결 배선 ( CL 1 ) 및 제 1 패드 콘 택 플러그 ( PCP 1 ) 를 통해 제 1 패드 ( 330 ) 와 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 .