본 발명 은 실리콘 나노 와이어 기반 압 저항 방식 의 마이크로폰 및 그 제조 방법 이 제공 된다 . 실리콘 나노 와이어 기반 압 저항 방식 의 마이크로폰 의 제조 방법 은 실리콘 기판 에 실리콘 나노 와이어 및 센서 구조물 을 형성 하 는 제 1 단계 ; 상기 실리콘 나노 와이어 및 상기 센서 구조물 을 둘러싸 는 멤 브레인 을 형성 하 는 제 2 단계 ; 및 상기 실리콘 기판 에 공동 ( cavity ) 을 형성 하 여 상기 멤 브레인 을 부유 시키 고 , 벤트 홀 을 형성 하 는 제 3 단계 를 포함 한다 .