한편 , 초미세 전기 기계 시스템 ( Micro - Electro - Mechanical Systems ; MEMS ) 이 라고 하 여 , 센서 밸브 , 기어 , 반사경 및 반도체 칩 작 동기 등 의 작 은 기계 장치 와 컴퓨터 를 조합 시킨 기술 이 요즘 새롭 게 각광 받 고 있 다 . MEMS 는 ‘ 스마트 메터 ( smart meter ) ' 라고도 하 며 , 반사경 이나 센서 와 같 은 기계 장치 제작 시 에 넣 는 작 은 실리콘 칩 의 마이크 로 회로 를 가진 장치 로서 , 자동차 에어백 에서 감지 된 속도 와 보호자 의 체중 에 맞 게 에어백 을 팽창 시키 는 장치 , 화물 수송 의 연속 추적 과 취급 과정 을 알 수 있 는 전 세계 적 위치 시스템 센서 , 비행기 날개 의 표면 공기 저항 에 따라 공기 흐름 의 변화 를 감지 하 여 상호 작용 하 는 센서 , 20 나노초 의 속도 로 광 신호 를 낼 수 있 는 광 스위칭 장치 , 센서 조작 냉온 장치 , 대기 압력 에 반응 하 는 물질 의 유연 성 을 변화 시키 는 빌딩 내 센서 등 여러 용도 로 쓰이 고 있 다 .