액정 패널 의 스위칭 소자 로 사용 되 는 박막 트랜지스터 는 비정질 실리콘 층 을 증착 한 후 에 이 를 결정 화 시켜 만드 는데 , 상기 결정 화 방법 으로 는 ELA ( Eximer Laser Annealing ) 와 SLS ( sequential lateral solidification ) 등 이 있 다 . 여기 서 ELA 방법 은 버티 칼 성장 을 유도 하 는 방법 으로서 SLS 방법 에 비하 여 결정 화 특성 은 떨어지 나 기판 전체 에 대한 균일 도 는 더 좋 으므로 양산 화 에 가장 적극 적 으로 검토 되 고 있 다 . 이 방법 은 보편 적 으로 투과 율 이 상당히 높 은 쿼츠 ( quartz ) 재질 의 챔버 윈도우 를 통하 여 레이저 를 챔버 안 에 조사 한다 .