도 6 에 나타내 는 쉐어링 간섭법 의 수차 측정 장치 는 도 1 의 Shack - Hartmann 방식 의 수차 측정 장치 와 유사 한 구성 을 갖 지만 , 측 정부 ( 4 ) 에서 마이크 로렌즈 어레이 ( 4 b ) 를 대신 해서 평행 평면 판 ( 4 e ) 을 이용 하 고 있 는 점 이 도 1 의 구성 과 상이 하 다 . 이 실시 형태 에 따른 수차 측정 장치 에서 는 분리 부재 ( 3 ) 로부터 의 측정 광이 콜리메이터 렌즈 ( 4 a ) 에 의해 평행 광 으로 변환 되 어 평행 평면 판 ( 4 e ) 에 입사 되 고 , 평행 평면 판 ( 4 e ) 의 표면 에서 반사 된 표면 반사광 과 , 평행 평면 판 ( 4 e ) 의 뒷면 에서 반사 된 이면 반사광 이 CCD 카메라 ( 4 c ) 의 촬상면에 도달 한다 . 처리 계 ( 4 d ) 에서 는 표면 반사광 과 이면 반사광 의 간섭 에 관한 정보 에 기초 해서 결상 광학계 ( 10 ) 의 수차 를 측정 한다 .