또한 , 아암 ( 5 ) ( 노즐 아암 의 일례 ) 은 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 과 , 노즐 블록 ( 20 ) ( 고정 부재 의 일례 ) 과 , 아 암부 ( 10 ) 와 , 이동 기구 ( 11 ) ( 회동 기구 의 일례 ) 를 구비 한다 . 아 암부 ( 10 ) 에 는 , 고정 부재 가 부착 된다 . 이동 기구 ( 11 ) 는 , 아 암부 ( 10 ) 를 수평 방향 으로 회동 시킨다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 기판 처리 에 따라 이동 기구 ( 11 ) 에 있 어서 의 회동 각도 를 설정 하 고 , 설정 한 회동 각도 로 처리 액 을 기판 ( W ) 에 토출 시킨다 .