본 발명 은 적층 형 반도체 장치 에 관한 것 으로 , 베이스 다이 ; 및 상기 베이스 다 이 상 에 적층 되 어 복수 개 의 관통 전극 을 통해 할당 된 채널 과 통신 하 는 복수 개 의 코어 다이 를 포함 하 고 , 상기 각 코어 다이 는 , 할당 된 채널 정보 에 따라 활성 화 되 며 , 상기 관통 전극 들 중 에서 열 ( Column ) 방향 으로 연결 된 관통 전극 들 에 대하 여 하위 방향 으로 신호 를 전달 하 는 다운 스캔 및 상위 방향 으로 신호 를 전달 하 는 업 스캔 을 수행 하 는 관통 전극 스캔 부 ; 및 상기 다운 스캔 및 상기 업 스캔 에 따라 상기 관통 전극 들 의 불량 여부 를 검출 하 는 불량 검 출부 를 포함 할 수 있 다 .