EBSP 측정 데이터 의 분석 에 는 전용 소프트 ( TSL 제 OIM ana 1 ysis 등 ) 를 이용 하 였 다 . 측정 영역 에서 의 결정 방위 를 해석 하 고 , 그 중 에서 < 111 >, < 100 > 방위 등 의 결정립 의 비율 을 구하 였 다 . 본딩 와이어 의 와이어 길 이 방향 을 기준 으로 방위 를 결정 하 고 , 각각 의 결정 방위 의 각도 차이 가 15 ° 이내 인 것 까지 포함 하 였 다 . 그 결정립 의 비율 의 산출 법 으로 대하 여 , 측정 영역 의 전체 면적 을 모집단 으로 하 여 산출 하 는 각 방위 의 비율 ( 이하 , 면적 비율 이 라고 부른다 ) 과 측정 영역 내인 신뢰도 를 기준 으로 동정 ( 同定 ) 된 결정 방위 만 의 면적 을 모집단 으로 하 여 산출 하 는 각 방위 의 비율 ( 이하 , 방위 비율 이 라 부른다 ) 의 2 종류 를 구하 였 다 . 후자 의 방위 비율 을 구하 는 과정 에서 는 결정 방위 가 측정 할 수 없 는 부위 , 또는 측정 할 수 있 어도 방위 분석 의 신뢰도 가 낮 은 부위 등 은 제외 하 고 계산 하 였 다 . 여기 서 , 신뢰도 란 해석 소프트 에 파라미터 를 준비 하 고 있 는 경우 가 있 는데 , 예 를 들 면 Confidential Index ( CI 값 ) , Image Quality ( IQ 값 ) 등 여러 종 의 파라미터 를 이용 하 여 , 시료 상태 , 해석 목적 등 에 따라서 판정 기준 을 선정 하 는 것 이 바람직 하 다 .