외벽 부 ( 112 ) 는 바닥 부 ( 111 ) 의 가장자리 로부터 상방 으로 실질 적 인 수직 방향 을 향해 연장 될 수 있 다 . 외벽 부 ( 112 ) 에 기판 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 출입 하 는 게이트 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 설치 되 어 있 다 . 반응기 덮개 ( 113 ) 가 외벽 부 ( 112 ) 의 상면 에 결합 되 면 반응기 ( 110 ) 내부 에 처리 공간 이 형성 될 수 있 다 .