실리콘 웨이퍼 의 탄소 농도 를 FT - IR 로 확인 하 여 0 . 4 내지 1 ppma 의 농도 를 가지 는 제 1 군 과 0 . 01 내지 0 . 067 ppma 의 농도 를 가지 는 제 2 군 을 선택 하 여 , 상기 실리콘 웨이퍼 로 쇼트 키 다이오드 를 준비 와 상기 쇼트 키 다이오드 를 전기 적 으로 활성 화 , 및 상기 쇼트 키 다이오드 의 불순물 농도 를 확인 을 진행할 수 있 다 .