그리고 , 캐소드 ( 12 ) 에 13 . 56 ㎒ 의 제 1 고주파 전원 을 인가 시키 고 , 동시 에 12 . 56 ㎒ 의 제 2 고주파 전원 을 코일 ( 11 ) 에 인가 하 면 , 공정 가스 의 전자 들 이 여기 되 면서 충돌 하 여 이온 의 밀도 를 증가 시켜 캐소드 ( 12 ) 와 코일 ( 11 ) 사이 에 일정 한 플 라즈 마영 역 을 형성 하 게 된다 .