상기 에 있 어서 주 전자석 ( 2 ) 은 반응 조 ( 1 ) 의 플 라즈 마 반응 실 ( 11 ) 하부 측 에 자장 을 발생 시켜 반응 실 의 각종 금속 화합물 에 대한 전자 에 가속 력 을 부가 시켜 주 는 역할 을 수행 하 고 , 상기 부 전자석 ( 3 ) 은 편광 필름 ( 8 ) 근처 의 자장 모양 을 바꾸 어 주 어 기판 위 의 플 라즈 마 균 일도 를 개선 하 고 전자 의 감금 율 을 높여 주 는 역할 을 수행 하 게 된다 .