집 적 회로 의 제조 나 액정 디스플레이 의 제조 등 의 반도체 제조 공정 에서 생산 성 을 높이 기 위해서 는 수율 을 높이 유지 하 면서 도 기판 처리 량 을 높일 수 있 는 공정 기술 이 요구 된다 . 높 은 생산 성 은 최종 제품 의 가격 경쟁력 에 매우 밀접 한 영향 을 주 는 것 으로 이 를 높이 기 위한 기술 적 개발 의 노력 이 계속 되 고 있 다 .