다음 으로 , 웨이퍼 ( W ) 의 유동 이 설명 될 것 이 다 . 내부 에 복수 의 웨이퍼 ( W ) ( 25 개 의 웨이퍼 ) 를 저장 할 수 있 는 웨이퍼 카세트 가 적재 포트 ( 240 ) 에 장착 되 면 , 웨이퍼 카세트 는 웨이퍼 ( W ) 가 기판 처리 장치 내 로 적재 될 수 있 도록 자동 으로 개방 된다 . 웨이퍼 카세트 가 개방 된 후 에 , 제 1 전달 로봇 ( 245 ) 이 웨이퍼 카세트 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 제거 하 고 , 노치 정렬 기 ( 248 ) 상 으로 웨이퍼 ( W ) 를 전달 한다 . 노치 정렬 기 ( 248 ) 는 노치 정렬 기 이동 기구 ( 250 ) 에 의해 웨이퍼 ( W ) 와 함께 제 2 전달 로봇 ( 257 ) 부근 의 위치 로 이동 된다 . 이러 한 이동 중 , 노치 정렬 기 ( 248 ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 노치 부분 의 위치 를 검지 하 고 소정 위치 에 노치 부분 이 있 도록 웨이퍼 ( W ) 를 회전 시킨다 .