본 개시 의 일부 구 현예 에서 , 메모리 ( 144 ) 에 저장 된 프로그램 은 , 순차 제어기 ( 142 ) 상 에서 실행 되 는 경우 에 전구체 분배 시스템 및 제거 시스템 을 활성 화 시켜 제 1 전구체 를 반응 챔버 ( 12 ) 에 제공 하 고 그 다음 반응 챔버 로부터 과잉 의 제 1 전구체 및 부산물 을 제거 하 기 위한 퍼지 사이클 , 그리고 후속 으로 제 2 전구체 를 반응 챔버 에 제공 하 고 그 다음 반응 챔버 로부터 과잉 의 제 2 전구체 및 부산물 을 제거 함 으로써 , 복사선 개질 가능 층 ( 106 ) 상 에 선택 적 증착 을 수행 하 도록 프로그래밍 될 수 있 다 .