빔 형상 형성 후 의 스폿 패턴 인 전자 빔 은 , 축소 렌즈 ( 11 ) 에 의해 빔 형상 이 축소 된다 . 시료 ( 2 ) 에 묘화 되 는 전자 빔 의 시료 ( 2 ) 에 있 어서 의 조사 위치 는 , 주 편 향기 드라이버 ( 27 ) 에 의해 제어 된 주 편 향기 ( 15 ) 와 부 편 향기 드라이버 ( 28 ) 에 의해 제어 된 부 편 향기 ( 16 ) 에 의해 제어 된다 . 주 편 향기 드라이버 ( 27 ) 는 , 시료 ( 2 ) 에 있 어서 의 소정 의 부 편향 영역 에 전자 빔 을 위치 결정 , 즉 프레임 영역 ( 52 ) 의 위치 결정 을 한다 . 또한 , 부 편 향기 드라이버 ( 28 ) 는 서브 필드 영역 ( 53 ) 내 의 패턴 묘화 위치 의 위치 결정 을 행한다 .