도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 웨이퍼 보 우트 ( 80 ) 는 , 상판 ( 81 ) 및 바닥 판 ( 82 ) 을 구비 하 고 , 상판 ( 81 ) 과 바닥 판 ( 82 ) 사이 에 지주 ( 83 ) 를 구비 한다 . 도 3 은 , 3 개 의 지주 ( 83 ) 가 설치 된 예 를 나타내 고 있 다 . 지주 ( 83 ) 의 수 는 , 3 개 이상 이 라면 용도 에 있 어서 다양 하 게 설정 할 수 있 고 , 예컨대 4 개 로 하 는 것 도 가능 하 다 .