제 1 및 제 2 의 열처리 유 니트 군 ( 22 , 23 ) 에 는 , 유리 기판 ( G ) 를 가열 하 는 복수 의 가열 처리 유 니트 와 유리 기판 ( G ) 를 냉각 하 는 냉각 처리 유 니트 가 다단 으로 적층 되 고 있 다 . 제 1 의 열처리 유 니트 군 ( 22 ) 와 제 2 의 열처리 유 니트 군 ( 23 ) 의 사이 에 는 이 유 니트 군 ( 22 , 23 ) 사이 에서 유리 기판 ( G ) 의 반송 을 실시 하 는 반 송체 ( 27 ) 이 설치 되 고 있 다 . 제 3 의 열처리 유 닉 복군 ( 26 ) 에 도 동일 하 게 가열 처리 유 니트 와 냉각 처리 유 니트 가 다단 으로 적층 되 고 있 다 .