전술 한 실시 행태 를 사용 하 는 도 10 에 나타나 있 는 바 와 같 은 3 개 의 내포 형 ( nested ) MZI 센서 는 , 앞 실시 형태 에서 설명 한 바 와 같이 , 플라 즈 몬 도파 로 ( 1007 ) 를 갖 는 3 개 의 상측 분 지부 및 가열기 ( 1005 ) 와 VOA ( 1008 ) 를 갖 는 하측 분 지부 의 세 복사 물 을 포함 한다 . 칩 의 입력 부 와 출력 부 에 있 는 공통 적 인 광학 분할기 및 공통 적 인 결합기 가 모든 3 개 의 MZI 에 대해 사용 된다 . 각 MZI 센서 는 광학 분할기 ( 1003 ) 를 통해 바이오센서 에 동시 에 주입 되 는 3 개 의 파장 중 에서 개별 적 인 파장 을 사용 한다 . 각 MZI 는 또한 들어오 는 광학 신호 로부터 작동 파장 을 선택 하 기 위해 분 지부 의 입력 부 에서 또한 입력 분할기 뒤 에서 광학 필터 ( 1006 ) 를 포함 한다 . 종래 기술 에 공통 적 인 링 공명기 가 광학 필터 또는 유사 한 기능 을 갖 는 다른 광학 필터 로서 사용 될 수 있 다 .