도 3 a 의 쉬 스 형상 은 쉬스 의 간격 이 전체 적 으로 넓 을 뿐 만 아니 라 물체 표면 양단 에서 의 간격 이 중앙 보다 더 넓 은 불 균일 한 형상 을 나타내 는데 , 이 는 종래 의 플 라즈 마 소스 에서 전원 이 인가 되 는 전극 ( 이하 전원 전극 이 라 함 ) 의 면적 이 접 지 전극 ( 본 실시 예의 경우 기판 ) 의 면적 보다 작 은 것 에 기인 한다 .