이 와 같이 본 발명 의 일 실시 예의 기판 접합 장치 는 진공 챔버 내 에 설치 되 는 스테이지 상 에 제 1 기판 이 위치 하 고 , 로딩 부 에 지지 되 는 제 2 기판 을 제 1 기판 상 에 근접 시켜 서로 의 사이 에 진공 을 설정 하 여 , 제 1 기판 상 에 로딩 한 후 , 가압 플레이트 로 제 2 기판 을 제 1 기판 에 가압 하 여 접합 한다 . 따라서 제 1 , 제 2 기판 이 접합 되 는 대향 면 들 사이 에 잔류 하 는 기포 가 최소 화 또는 허용 범위 이내 로 제거 될 수 있 다 .