본 발명 의 일 실시 예 에 따른 코팅 장비 의 작동 방법 은 노즐 부 에서 프라이밍 롤러 부 로 포토레지스트 를 방출 하 는 단계 , 발광 부 는 노즐 부 및 프라이밍 롤러 부 사이 의 일정 간격 을 향해 빛 을 조사 하 는 단계 및 수 광부 는 발광 부 에서 조사 한 빛 을 수 광 하 여 노즐 부 와 프라이밍 롤러 부 의 간격 의 변화 를 감지 하 는 단계 를 포함 한다 .