도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 다점 AF 계 ( 90 ) ( 90 a , 90 b ) 의 검출 영역 ( AF ) 의 양 단부 근방 에 , 기준 축 ( LV 0 ) 에 관하 여 대칭 배치 로 각 1 쌍 의 Z 위치 계측 용 면 위치 센서 의 헤드 ( 이하 「 Z 헤드 」 라고 약기 한다 ) ( 72 a , 72 b 및 72 c , 72 d ) 가 형성 되 어 있 다 . Z 헤드 ( 72 a ∼ 72 d ) 는 , 도시 가 생략 된 메인 프레임 의 하면 에 고정 되 어 있 다 .