또한 , 반도체 장치 의 미세화 가 진행 됨 으로써 , 반도체 장치 의 배선 저항 을 무시 할 수 없 게 되 고 있 다 . 따라서 , 지금 까지 사용 되 어 온 금 또는 알루미늄 배선 에서 보다 저항 이 낮 은 구리 또는 구리 합금 의 배선 으로 의 변경 이 이루어지 고 있 다 . 그러나 , 종래 의 감광성 수지 조성물 에서 는 , 조성물 중 의 화합물 이 구리 또는 구리 합금 과 반응 하 기 쉽 기 때문 에 , 구리 또는 구리 합금 의 변색 이 발생 한다는 문제 가 있 었 다 .