수지 ( HR ) 로서 는 시판 품 을 사용 하 거나 또는 상기 수지 를 종래 방법 ( 예 를 들 면 , 라디칼 중합 ) 으로 합성 할 수 있 다 . 통상 의 합성 방법 의 예 는 모노머 종 및 개시제 를 용매 에 용해 시키 고 , 그 용액 을 가열 하 여 중합 하 는 일괄 중합법 ; 및 가열 용매 에 모노머 종과 개시제 용액 을 1 ~ 10 시간 에 걸쳐 적하 첨가 하 는 적하 중합법 을 포함 한다 . 이 들 중 , 적하 중합법 이 바람직 하 다 . 반응 용매 의 예 는 테트라 히 드로 푸란 , 1 , 4 - 디옥산 , 디 이소프로필 에 테르 등 의 에테르 류 나 메틸에틸케톤 및 메틸 이 소 부틸 케톤 등 케톤 , 에틸 아세테이트 등 에스테르 용매 , 디 메틸 포름 아미드 및 디 메틸 아세트아미드 등 아미드 용매 및 후술 하 는 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 , 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 및 시클로헥사논 등 본 발명 의 조성물 을 용해 한 용매 를 포함 한다 . 본 발명 의 포지티브 레지스 트 조성물 에 사용 되 는 것 과 동일 한 용매 를 이용 하 는 중합 이 더욱 바람직 하 다 . 이 는 보존 시 의 입자 의 발생 을 억제 할 수 있 게 한다 .