상기 무기물 박막 을 형성 하 는 단계 는 상기 희생 층 패턴 이 변형 되 지 않 는 온도 한도 내 에서 수행 하 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 빈 공간 은 상기 희생 층 패턴 이 제거 되 어 없 어 진 자리 이 다 . 따라서 , 상기 빈 공간 은 상기 희생 층 패턴 의 모양 과 크기 및 2 차원 적 인 배열 을 그대로 따른다 . 그러므로 상기 빈 공간 이 제어 된 모양 과 크기 및 2 차원 적 인 배열 을 갖 게 하 려면 상기 희생 층 패턴 의 모양 과 크기 및 2 차원 적 인 배열 을 정해야 한다 .