본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 상기 기판 처리 장치 에 는 상기 기판 처리 장 치 의 온도 를 조절 하 기 위한 냉각수 를 제공 하 는 제 1 냉각수 공급 배관 및 상기 기판 처리 장치 로 공급 되 는 냉각수 의 유량 을 조절 하 기 위한 제 1 유량 제어 밸브 가 연결 되 어 있 으며 , 상기 냉각수 공급 부 는 상기 열 교환 튜브 와 연결 된 제 2 냉각수 공급 배관 및 상기 열 교환 튜브 로 공급 되 는 냉각수 의 유량 을 조절 하 기 위한 제 2 유량 제어 밸브 를 포함 할 수 있 다 .