한편 , 본 발명 의 실시 에 에 따른 웨이퍼 검사 방법 은 6 축 로봇 을 이용 하 여 매크로 검사 , 미크 로 검사 , 측면 검사 를 용이 하 게 수행 할 수 있 지만 , 이 에 한정 되 지 않 으며 , 다른 검사 를 더 수행 할 수 있 다 . 일례 로서 AOI ( automatde optical inspection ) 검사 를 더 수행 할 수 있 다 .