비아 ( VA ) 및 상부 도전 라인 ( UCL ) 이 형성 될 수 있 다 . 비아 ( VA ) 및 상부 도전 라인 ( UCL ) 을 형성 하 는 것 은 , 기판 ( 100 ) 의 전면 상 에 배리 어 물질 을 컨 포 멀 하 게 형성 하 는 것 , 상기 배리 어 물질 상 에 금속 물질 을 형성 하 는 것 , 및 평탄 화 공정 을 통해 상기 배리 어 물질 및 상기 금속 물질 의 일부 를 제거 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .