즉 , 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 웨이퍼 ( 100 ) 의 상부 ( 110 ) 에 웨이퍼 두께 의 60 % 미만 , 바람직 하 게 는 약 50 % 의 깊이 를 갖 는 홈 ( 101 ) 을 형성 하 고 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 상기 웨이퍼 ( 100 ) 의 하부 ( 120 ) 에 는 웨이퍼 두께 의 40 % 미만 의 홈 ( 102 ) 을 형성 한다 . 또 상기 웨이퍼 ( 100 ) 에서 홈 ( 101 ) 과 홈 ( 102 ) 의 형성 은 동시 에 실행 할 수 도 있 다 .