가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 각각 은 그것 을 통한 유체 플로우 를 최적 화 하 도록 정의 되 며 , 동시 에 그것 으로 의 플 라즈 마의 불리 한 침입 을 방지 한다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 쓰루 홀 들 ( 117 ) 각각 을 통해 / 각각 으로 의 유체 플로우 및 플 라즈 마 침입 은 그 크기 에 정비례 한다 . 이 에 따라 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 각각 을 , 그 크기 가 그것 을 통한 적절 한 유체 플로우 를 제공 하 기 에 충분히 크 도록 유지 하 면서 그 내부 로 의 불리 한 플 라즈 마 침입 을 방지 하 기 에 충분히 작 도록 정의 할 필요 가 있 다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 직경 은 약 0 . 1 ㎜ 내지 약 3 ㎜ 로 연장 하 는 범위 내 에서 크기 가 정해진다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 직경 은 약 0 . 5 ㎜ 내지 약 5 ㎜ 로 연장 하 는 범위 내 에서 크기 가 정해진다 . 그러나 , 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 쓰루 홀 들 ( 117 ) 은 , 직경 크기 가 그 를 통해 적절 한 유체 플로우 를 제공 하 고 , 동시 에 그 내부 에서 의 플 라즈 마 침입 의 적절 한 억제 를 제공 하 는 한 , 본질 적 으로 임의 의 직경 크기 를 갖 도록 각각 정의 된다 .