상기 구성 의 본 발명 의 제작 방법 으로서 , 제 1 레지스 트 마스크 가 오 목부 를 가지 는 경우 에 , 상기 제 1 레지스 트 마스크 는 다 계조 마스크 를 이용 하 여 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 다 계조 마스크 를 이용 함 으로써 , 간략 한 공정 으로 오목 부 를 가지 는 레지스 트 마스크 를 형성 할 수 있 다 . 또한 , 제 1 레지스 트 마스크 가 오 목부 를 가지 는 경우 , 후 에 형성 되 는 제 2 레지스 트 마스크 는 , 「 축소 레지스 트 마스크 」 라고 도 부를 수 있 다 .