지지 유닛 ( 440 ) 은 지지 판 ( 442 ) 과 구동축 ( 444 ) 을 가진다 . 지지 판 ( 442 ) 의 상면 은 대체로 원형 으로 제공 되 고 기판 ( W ) 보다 큰 직경 을 가질 수 있 다 . 지지 판 ( 442 ) 의 중앙부 에 는 기판 ( W ) 의 후면 을 지지 하 는 지지 핀 ( 442 a ) 이 제공 되 고 , 지지 핀 ( 442 a ) 은 기판 ( W ) 이 지지 판 ( 442 ) 으로부터 일정 거리 이격 되 도록 그 상단 이 지지 판 ( 442 ) 으로부터 돌출 되게 제공 된다 . 지지 판 ( 442 ) 의 가장자리 부 에 는 척 핀 ( 442 b ) 이 제공 된다 . 척 핀 ( 442 b ) 은 지지 판 ( 442 ) 으로부터 상부 로 돌출 되게 제공 되 며 , 기판 ( W ) 이 회전 될 때 기판 ( W ) 이 지지 유닛 ( 440 ) 으로부터 이탈 되 지 않 도록 기판 ( W ) 의 측 부를 지지 한다 . 구동축 ( 444 ) 은 구 동기 ( 446 ) 에 의해 구동 되 며 , 기판 ( W ) 의 저면 중앙 과 연결 되 며 , 지지 판 ( 442 ) 을 그 중심축 을 기준 으로 회전 시킨다 .