임프 린트 처리 가 개시 되 면 , 단계 S 10 에서 , 제 어 유닛 ( 11 ) 은 , 기판 ( 2 ) 의 샷 영역 이 공급 유닛 ( 7 ) 아래 의 위치 로 오 도록 기판 스테이지 ( 3 ) 를 제어 한다 . 그 후 , 제 어 유닛 ( 11 ) 은 , 기판 ( 2 ) 에 형성 된 복수 의 샷 영역 중 에서 임프 린트 처리 의 대상 이 될 특정 샷 영역 ( 대상 샷 영역 ) 에 임프 린트 재 를 공급 하 도록 공급 유닛 ( 7 ) 을 제어 한다 . 대상 샷 영역 에 임프 린트 재 가 공급 된 후 , 제 어 유닛 ( 11 ) 은 대상 샷 영역 이 몰드 ( 1 ) ( 패턴 영역 ( 1 a ) ) 아래 에 배치 되 도록 기판 스테이지 ( 3 ) 를 제어 한다 .