상기 전면 기판 모듈 ( 60 ) 은 , 전면 기판 ( 61 ) 과 , 전면 기판 ( 61 ) 의 동일 한 면상 에 일정 한 폭 과 높이 를 가지 는 한 쌍 의 유지 전극 ( 65 ) 이 형성 되 어 있 고 , 상기 유지 전극 ( 65 ) 을 매립 하 는 전면 유전체 층 ( 66 ) 이 형성 되 어 있 다 . 상기 유전체 층 ( 66 ) 상 에 는 보호막 층 ( 67 ) 이 형성 되 어 있 다 .