[ 0016 ] 도 1 a 에서 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 는 제 1 포지션 에 있 다 . 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 는 , 진공 챔버 ( 130 ) 에서 ( 예컨대 , 증착 챔버 또는 프로세싱 챔버 에서 ) 소스 운반 경로 를 따라 이동 가능 할 수 있 다 . 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 가 소스 운반 경로 를 따라 예컨대 제 1 포지션 과 제 2 포지션 사이 에서 이동하 는 동안 , 증발 된 재료 가 하나 이상 의 기판 들 을 향해 지향 될 수 있 다 . 따라서 , 소스 운반 경로 는 제 1 포지션 과 제 2 포지션 사이 에서 연장 될 수 있 다 .