본 발명 에서 는 , 차광막 을 기판 측 조성 경사 층 과 표면 측 조성 경사 층 만 으로 구성 할 수 있 지만 , 양 층 사이 에 중간 층 을 형성 할 수 도 있 다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 면 도 1 ( B ) 에 나타낸 바 와 같 은 , 투명 기판 ( 1 ) 상 에 차광막 ( 2 ) 가 형성 되 고 , 차광막 ( 2 ) 가 투명 기판 ( 1 ) 측 에서부터 기판 측 조성 경사 층 ( 21 ) 및 표면 측 조성 경사 층 ( 22 ) 를 가지 며 , 양 층 사이 에 중간층 ( 23 ) 이 형성 되 어 있 는 것 을 들 수 있 다 .