그래서 웨이퍼 의 표면 에 가장 가까운 위치 에 집 광점 이 위치 할 때 의 집광기 의 높이 를 특정 하 는 방법 이 알려져 있 다 ( 예컨대 , 특허 문헌 2 참조 ) . 이 방법 에서 는 , 웨이퍼 의 표면 측 에 레이저 빔 을 조사 한 상태 로 , 집광기 의 높이 를 상이 한 복수 의 높이 에 위치 키 시 면서 , Z 축 에 직교 하 는 X 축 방향 을 따라서 웨이퍼 와 집광기 를 상대 적 으로 움직임 으로써 , 웨이퍼 에 직선형 의 가공 흔적 을 형성 한다 .