이러 한 플래시 램프 를 사용 한 열처리 장치 에 있 어서 는 , 극히 높 은 에너지 를 갖 는 플래시 광 을 순간 적 으로 반도체 웨이퍼 의 표면 에 조사 하 기 때문 에 , 순식간 에 반도체 웨이퍼 의 표면 온도 가 급속히 상승 하 기 만 할 뿐 , 이면 온도 는 그 정도 로 는 상승 하 지 않 는다 . 이 때문 에 , 반도체 웨이퍼 의 표면 만 에 급격 한 열팽창 이 발생 하 여 반도체 웨이퍼 가 상면 을 볼록 하 게 휘 듯이 변형 된다 . 그리고 , 다음 의 순간 에 는 반동 으로 반도체 웨이퍼 가 하 면 을 볼록 하 게 휘 듯이 변형 되 어 있 었 다 .