환원 가스 공급원 ( 54 a ) 은 , 환원 가스 공급 라인 ( 54 b ) 을 통해 환원 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 한다 . 환원 가스 공급 라인 ( 54 b ) 에 는 , 상류 측 으로부터 유량 제어기 ( 54 c ) , 밸브 ( 54 e ) 및 오리피스 ( 54 f ) 가 개재 되 어 설치 되 어 있 다 . 환원 가스 공급 라인 ( 54 b ) 의 오리피스 ( 54 f ) 의 하류 측 은 , 가스 도입 구멍 ( 37 ) 에 접속 되 어 있 다 . 환원 가스 공급원 ( 54 a ) 으로부터 공급 되 는 환원 가스 는 웨이퍼 ( W ) 의 성막 중 에 연속 해서 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 된다 . 환원 가스 공급원 ( 54 a ) 으로부터 처리 용기 ( 1 ) 에 의 환원 가스 의 공급 및 정지 는 , 밸브 ( 54 e ) 에 의해 행해진다 . 후술 하 는 저류 탱크 ( 55 d , 56 d ) 에 의해 가스 공급 라인 ( 55 b , 56 b ) 에 는 비교 적 큰 유량 으로 가스 가 공급 되 지만 , 오리피스 ( 54 f ) 에 의해 가스 공급 라인 ( 55 b , 56 b ) 에 공급 되 는 가스 가 환원 가스 공급 라인 ( 54 b ) 으로 역류 하 는 것 이 억제 된다 .