또한 , 일부 실시 예 들 에서 , 프로세싱 스테이션 ( 400 ) 을 위한 압력 제어 가 버터플라이 밸브 ( 418 ) 에 의해 제공 될 수 도 있 다 . 도 4 의 실시 예 에 도시 된 바 와 같이 , 버터플라이 밸브 ( 418 ) 는 다운 스트림 진공 펌프 ( 미 도시 ) 에 의해 제공 된 진공 을 쓰 로 틀 한다 . 그러나 , 일부 실시 예 들 에서 , 프로세싱 스테이션 ( 400 ) 의 압력 제어 는 또한 프로세싱 스테이션 ( 400 ) 에 도입 된 하나 이상 의 가스 들 의 플로우 레이트 를 변화 시킴 으로써 조정 될 수 도 있 다 .