( 1 ) 전원 에 의해 충전 되 는 콘덴서 와 , 상기 콘덴서 에 축적 된 전하 에 의해 방전 하 는 플래시 램프 와 , 상기 콘덴서 와 플래시 램프 의 사이 에 접속 된 인덕턴스 와 , 상기 플래시 램프 에 방전 을 개시 시키 기 위한 트리거 장치 로 이루어지 는 램프 가열 장치 에 의해 , 기판 을 가열 하 는 기판 가열 장치 에 있 어서 , 상기 플래시 램프 와 인덕턴스 로 이루어지 는 직렬 회로 에 대해 , 병렬 로 다이오드 를 접속 하 고 , 또 , 상기 플래시 램프 에 직렬 로 반도체 스위치 를 접속 한다 .