상기 상부 스 페이서 ( 41 ) 는 상기 홀 ( 36 H ) 의 측벽 상 에 형성 될 수 있 다 . 상기 상부 스 페이서 ( 41 ) 는 상기 하부 스 페이서 ( 38 ) 를 덮 을 수 있 다 . 상기 상부 스 페이서 ( 41 ) 는 상기 하부 스 페이서 ( 38 ) 보다 두 꺼 울 수 있 다 . 상기 상부 스 페이서 ( 41 ) 의 하부 표면 은 상기 하부 스 페이서 ( 38 ) 및 상기 하부 플러그 ( 37 ) 에 접촉 될 수 있 다 . 상기 상부 스 페이서 ( 41 ) 의 상단 은 상기 제 2 층간 절연 층 ( 36 ) 의 상부 표면 보다 낮 은 레벨 에 형성 될 수 있 다 . 상기 상부 스 페이서 ( 41 ) 의 상부 에 상기 홀 ( 36 H ) 의 측벽 이 노출 될 수 있 다 . 상기 홀 ( 36 H ) 의 바닥 에 상기 하부 플러그 ( 37 ) 가 노출 될 수 있 다 .