육면체 의 선형 으로 연장 된 측면 , 및 단부 기판 이송 개구 를 가지 는 선형 으로 연장 된 실질 적 으로 육면체 형상 의 기판 이송 챔버 로서 , 상기 육면체 의 선형 으로 연장 된 측면 중 적어도 하나 는 측면 기판 이송 개구 들 의 선형 어레이 를 가지 며 , 상기 단부 및 측면 기판 이송 개구 의 각각 의 개구 는 상기 기판 이송 챔버 의 안팎 을 통해 기판 을 이송 하 기 위해 상기 된 곳 들 에 배열 되 는 , 상기 선형 으로 연장 된 실질 적 으로 육면체 형상 의 기판 이송 챔버 ;