상기 글래스 기판 공급 부 ( 20 ) 는 글래스 기판 을 이송 하 는 제 2 반송 챔버 ( 21 ) 와 , 상기 제 2 반송 챔버 ( 21 ) 의 일 측 에 이웃 하 여 배치 되 는 2 개 의 글래스 스토커 ( 22 ) 가 배치 되 어 있 다 . 또한 상기 반송 챔버 ( 11 ) 와 제 2 반송 챔버 ( 21 ) 의 사이 에 는 글래스 기판 이 임시 보관 되 는 버퍼 챔버 ( 53 ) 가 구비 되 어 있 다 .