나머지 X 간섭계 ( 226 , 229 ) 는 , X 간섭계 ( 217 , 227 ) 와 동일 한 다축 간섭계 로 이루어지 고 , 모두 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 및 WTB 2 ) 의 X 위치 및 θ y 회전 량 ( 롤링 량 ) 을 계측 하 기 위해서 사용 된다 . 또한 X 간섭계 ( 229 ) 는 , 전술 한 기준 축 ( LA ) 을 측 장축 으로 한다 .