그리고 , 트랙 킹 제어 를 계속 하 면서 , 시프트 된 각 빔 의 묘화 위치 에 해당 샷 의 최대 묘화 시간 ( Ttr ) 내 의 각각 대응 하 는 묘화 시간 , 멀티 빔 ( 20 ) 중 ON 빔 의 각각 대응 하 는 빔 을 조사 한다 . 도 6 의 예 에서 는 , 좌표 ( 1 , 3 ) 의 빔 ( 1 ) 에 의하 여 , 시각 t = T 로부터 t = T + Ttr 까지 의 사이 에서 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 , 예 를 들 면 , 아래 로부터 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 화소 에 2 샷 째 의 빔 의 조사 가 행해진다 . 시각 t = T 로부터 t = 2 T 까지 의 사이 에서 XY 스테이지 ( 105 ) 는 , 예 를 들 면 , 2 빔 간 피 치분 만큼 - x 방향 으로 이동 한다 . 그 동안 , 트랙 킹 동작 은 계속 하 고 있 다 .