( 2 ) 현상 에서 는 다색 파 노광 의 영향 ( 투과광 이나 반사광 에 기초 하 는 간섭 이나 , 색 수차 의 영향 등 ) 을 검토 하 는 것 보다 도 , 단색 파 노광 에 비해 큰 노 광광 강도 를 확보 한 쪽 이 종합 적 인 생산 면 에서 유리 하 다고 하 는 이유 로부터 초고압 수은 등 의 i 선 ∼ g 선 의 넓 은 파장 대역 을 이용 하 여 다색 파 노광 을 실시 하 고 있 다 . FPD 용 대형 마스크 를 렌즈 방식 의 대형 노광 장치 에 탑재 하 여 사용 하 는 경우 에 도 , 상기 ( 2 ) 의 이유 등 으로부터 , 초고압 수은 등 의 i 선 ∼ g 선 의 넓 은 파장 대역 을 이용 하 여 다색 파 노광 을 실시 하 고 있 다 .