본 발명 의 제 3 형태 에 따르 면 , 기판 ( P ) 을 노광 하 는 노광 방법 으로서 , 제 1 방향 의 다른 위치 에 규정 된 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 과 의 각각 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 하 는 것 과 ( S 2 ) , 기판 ( P ) 위 의 소정 영역 ( SH ) 이 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 대해서 상대 이동 되 도록 기판 ( P ) 을 제 1 방향 으로 이동 하 는 것 에 의해서 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 형성 되 는 제 1 패턴 상 과 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 형성 되 는 제 1 패턴 상 과 는 다른 제 2 패턴 상 으로 기판 ( P ) 위 의 소정 영역 ( SH ) 을 다중 노광 하 는 것 ( S 3 ) 을 포함 하 는 노광 방법 이 제공 된다 .