그리고 , 이 들 시료 에 대해서 , 상부 전극 과 그 위 의 컨 택트 플러그 사이 의 컨 택트 저항 을 , 1 매 의 웨이퍼 내 의 복수 장소 에서 측정 하 였 다 . 도 11 은 컨 택트 저항 을 나타낸 그래프 이 고 , 도 12 는 평균 컨 택트 저항 을 나타낸 그래프 이 며 , 도 13 은 컨 택트 저항 의 편차 ( 3 σ ) 를 나타낸 그래프 이 다 . 또한 , 시효 처리 ( aging treatment ) 후 의 컨 택트 저항 의 상승 률 도 구하 였 다 . 즉 , 150 ℃ 로 96 시간 의 시효 처리 를 행하 고 , 그 전후 의 컨 택트 저항 을 비교 하 였 다 . 도 14 는 컨 택트 저항 의 상승 률 을 나타낸 그래프 이 다 .