일 실시 예 에 따른 운송 유닛 ( 700 ) 은 제 1 이 동부 ( 710 ) , 제 2 본 체부 ( 720 ) 및 복수 의 지지대 ( 760 , 770 ) 을 포함 한다 . 쌍극자 정렬 장치 ( 1000 ) 의 운송부 ( TA ) 는 제 1 방향 ( DR 1 ) 으로 연장 된 제 3 레일 ( RL 3 ) 과 제 4 레일 ( RL 4 ) 을 포함 하 고 , 운송 유닛 ( 700 ) 은 제 3 레일 ( RL 3 ) 과 제 4 레일 ( RL 4 ) 상 에 배치 된다 . 운송 유닛 ( 700 ) 은 제 3 레일 ( RL 3 ) 과 제 4 레일 ( RL 4 ) 상 에서 별도 의 이동 부재 를 통해 제 1 방향 ( DR 1 ) 으로 이동 할 수 있 다 . 운송 유닛 ( 700 ) 의 이동 에 따라 전계 형성 유닛 ( 100 ) 은 제 1 방향 ( DR 1 ) 으로 이동 하 여 열처리 부 ( HA ) 에 위치 할 수 있 다 .