온도 제 어부 ( 150 ) 는 , 상술 한 처리 로 ( 202 ) 의 외주 부 에 설치 된 히터 ( 338 ) 에 의하 여 처리 실 ( 202 ) 내 의 온도 를 제어 한다 . 가스 제 어부 ( 152 ) 는 , 처리 로 ( 202 ) 의 가스 배관 ( 340 ) 에 설치 된 MFC ( mass flow controller ) ( 342 ) 로부터 의 출력 치 를 토대 로 처리 로 ( 202 ) 내 에 공급 하 는 반응 가스 의 공급량 등 을 제어 한다 . 압력 제 어부 ( 154 ) 는 , 처리 로 ( 202 ) 의 배기 배관 ( 344 ) 에 설치 된 압력 센서 ( 346 ) 의 출력 치 를 토대 로 밸브 ( 348 ) 를 개폐 함 으로써 처리 실 ( 202 ) 내 의 압력 을 제어 한다 . 이 와 같이 , 온도 제 어부 ( 150 ) 등 의 서브 컨트롤러 는 , CPU ( 140 ) 로부터 의 제어 지시 를 토대 로 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 각 부 [ 히터 ( 338 ) , MFC ( 342 ) 및 밸브 ( 348 ) 등 ] 의 제어 를 실시 한다 .