이러 한 포토 마스크 의 배면 전체 연마 공정 은 국부 연마 로 인해 발생 할 수 있 는 국부 연마 영역 과 연마 되 지 않 는 부분 간 의 미세 한 조도 나 거칠 기 차이 , 두께 차이 로 발생 하 는 투과율 의 변화 를 발생 하 지 않 도록 균일 한 두께 와 거칠 기 로 전체 적 으로 포토 마스크 의 배면 을 0 . 001 ~ 0 . 003 mm 정도 제거 하 게 되 는 바 , 종래 의 국부 연마 에서 발생 하 는 문제 를 미연 에 방지 할 수 있 게 되 며 , 투과율 의 균 일도 를 확보 할 수 있 게 된다 .