마스크 층 제거 용 보 틀 ( 42 ) 은 에칭 액 용 보 틀 ( 22 ) 과 동일 한 구성 을 가지 고 있 다 . 즉 , 마스크 층 제거 용 보 틀 ( 42 ) 은 도 5 및 도 8 에 나타내 는 바 와 같이 , 상부 에 개구 ( 42 a ) 를 가지 고 있 다 . 개구 ( 42 a ) 는 웨이퍼 ( W ) 의 직경 보다 크 고 , 다리 ( 8 ) 를 개재 하 여 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 를 걸 어 맞출 수 있 도록 형성 되 어 있 다 . 즉 , 마스크 층 제거 공정 에서 는 도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , 마스크 층 제거 용 보 틀 ( 42 ) 의 개구 ( 42 a ) 에 , 고정 부재 ( 9 ) 를 갖 는 다리 ( 8 ) 를 개재 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 하 고 있 는 웨이퍼 지지 부재 ( 3 ) 가 걸 어 맞춰진다 . 마스크 층 제거 용 보 틀 ( 42 ) 은 제 2 보 틀 의 일례 에 상당 한다 .