또한 , 도 12 를 참조 하 면 , 음압 제 어부 ( 12 ) 는 음압 작용 통로 ( 12112 , 12121 ) 와 연결 되 는 음압 발생기 ( 122 ) 를 포함 할 수 있 다 . 음압 발생기 ( 122 ) 는 제 2 음압 작용 관 ( 12121 ) 과 연결 되 고 , 제 2 음압 작용 관 ( 12121 ) 이 제 1 음압 작용 관 ( 12112 ) 과 연결 되 는 형태 로 , 음압 발생기 ( 122 ) 는 음압 작용 통로 ( 12112 , 12121 ) 과 연결 될 수 있 다 . 음압 발생기 ( 122 ) 는 음압 을 형성 하 여 음압 작용 통로 ( 12112 , 12121 ) 에 대해 음압 을 작용 하 거나 , 음압 형성 을 해제 하 여 음압 작용 통로 ( 12112 , 12121 ) 에 대해 음압 을 해제 할 수 있 다 . 음압 발생기 ( 122 ) 는 기체 ( 공기 , 에어 ) 를 공급 받 으면 음압 발생기 ( 122 ) 와 연결 된 음압 작용 통로 ( 12112 , 12121 ) 을 통해 기체 를 흡입 함 으로써 , 진공 홀 ( 114 ) 내 에 음압 을 발생 시킬 수 있 다 . 구체 적 으로 , 도 12 를 참조 하 면 , 음압 발생기 ( 122 ) 에 기체 가 공급 되 면 , 음압 발생기 ( 122 ) 는 제 2 음압 작용 관 ( 12121 ) 및 제 1 음압 작용 관 ( 12112 ) 내 의 기체 를 흡입 할 수 있 고 , 이 에 따라 , 도 15 를 참조 하 면 , 1 음압 작용 관 ( 12112 ) 과 Z 축 방향 타 측 으로 연통 된 함몰 부 ( 12111 ) 및 도 10 을 참조 하 면 , 함몰 부 ( 12111 ) 와 연통 된 진공 홀 ( 114 ) 내 의 기체 가 음압 발생기 ( 122 ) 로 빨아들여 지 며 제 2 음압 작용 관 ( 12121 ) , 제 1 음압 작용 관 ( 12112 ) , 함몰 부 ( 12111 ) 및 진공 홀 ( 114 ) 내 에 음압 이 형성 되 며 , 패키지 흡착 이 가능 해진다 .