정전 척 에 퇴적 한 퇴적물 과 반도체 웨이퍼 가 분자간력 에 의해 결합 한 경우 , 퇴적물 의 전하 가 저감 되 었 다고 해도 , 분자간력 에 기초 한 정 전척 과 반도체 웨이퍼 의 사이 의 흡 착력 은 저감 되 지 않 는다 . 복수 의 반도체 웨이퍼 에 대한 처리 가 행해 지 면 , 정전 척 에 퇴적 하 는 퇴적물 의 양 이 많 아 지 고 , 퇴적물 에 포함 되 는 불소 의 미 결합 손 이 많 아 진다 . 그 때문 에 , 정 전척 과 반도체 웨이퍼 의 사이 에서 분자간력 에 기초 한 흡착 력 이 증가 한다 .