도 5 b 를 참조 하 면 , 제 1 절 연막 ( 170 ) , 게이트 절연 캡 핑 층 ( 128 ) , 및 제 1 도전 성 플러그 ( CP 1 ) 상 에 개구 ( 510 H ) 가 형성 된 하드 마스크 패턴 ( 510 ) 을 형성 한다 . 상기 하드 마스크 패턴 ( 510 ) 의 개구 ( 510 H ) 는 제 2 도전 성 플러그 ( CP 2 ) 가 형성 될 부분 의 게이트 절연 캡 핑 층 ( 128 ) 의 일부 를 노출 시킬 수 있 다 .