시각 t ＝ 125 초 에서 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 에서 의 노광 처리 시간 이 75 초 에 이르 고 있 기 때문 에 , 제 1 기판 ( P 1 ) 의 노광 처리 가 종료 되 고 , 주제 어부 ( 6 ) 의 제어 하 에서 , 노광 된 제 1 기판 ( P 1 ) 이 주 노광 장치 ( EX 1 ) 로부터 반출 되 어 , 현 상부 ( D ) 로 반송 된다 . 이 때 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에서 는 , 제 2 기판 ( P 2 ) 의 노광 처리 중 이 고 , 도포 부 ( C ) 도 제 3 기판 ( P 3 ) 의 도포 처리 중 이 다 .