데이터 저장 디바이스 ( 718 ) 는 하나 이상 의 실행 가능 명령어 세트 ( 722 ) 가 저장 되 는 컴퓨터 판독 가능 저장 매체 ( 또는 보다 구체 적 으로 , 비 - 일시 적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체 ) ( 728 ) 를 포함 할 수 있 다 . 본 개시 내용 의 하나 이상 의 양태 에 따르 면 , 실행 가능 명령어 들 ( 722 ) 은 광 산란 데이터 에 기초 하 여 퇴적 챔버 내부 에 존재 하 는 미립자 오염 물질 들 의 실시간 검출 의 방법 ( 600 ) 을 구현 하 는 실행 가능 명령어 들 을 포함 할 수 있 다 .