평판 형상 의 압 전 진동판 으로부터 물 저류 부 내 에 저류 된 물 에 전해 지 는 초음파 진동 은 , 물 저류 부 의 내벽 에서 반사 된다 . 그 때문 에 , 반사 된 초음파 진동 과 압 전 진동판 으로부터 발진 되 는 초음파 진동 이 상쇄 되 는 경우 가 있 다 . 이 경우 , 세 정수 를 통해 웨이퍼 에 전파 되 는 초음파 진동 이 약해져 , 초음파 세 정수 의 세정력 이 저하 한다고 하 는 문제 가 있 다 .