MFC ( 312 ) 로 제어 하 는 TMA 가스 의 공급 유량 은 , 예 를 들 어 10 내지 2000 sccm , 바람직 하 게 는 50 내지 1000 sccm , 보다 바람직 하 게 는 100 내지 500 sccm 의 범위 내 의 유량 으로 한다 . 유량 을 2000 sccm 이하 로 함 으로써 , 후술 하 는 잔류 가스 제거 를 적합 하 게 행할 수 있 음 과 함께 , 노즐 ( 410 ) 내 에서 TMA 가스 가 자기 분해 해서 노즐 ( 410 ) 의 내벽 에 퇴적 되 어 버리 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 유량 을 10 sccm 이상 으로 함 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 표면 에서 의 TMA 가스 의 반응 속도 를 높일 수 있 어 , 실용 적 인 성막 속도 를 얻 는 것 이 가능 하 게 된다 .