" 국내 반도체 장비 RF 엔지니어링 육성 절실 " 
 건전 한 반도체 생태 계 조성 을 위해 ' RF ( 고주파 ) 엔지니어링 ' 양성 이 절실 하 다는 의견 이 나왔 다 . 
 지난 5 일 경기 용인시 명지 대학교 자연 캠퍼스 에서 열린 ' 반도체 장비 RF 엔지니어링 전문가 회의 ' 에서 국내외 장비 업계 관계자 들 은 플 라즈 마 공정 근간 이 되 는 RF 시스템 기술 개발 이 국내 에서 도 활성 화 돼야 한다고 입 을 모았 다 . 
 RF 시스템 은 반도체 핵심 부품 중 하나 다 . 오늘날 반도체 공정 에서 필수 적 으로 쓰이 는 플 라즈 마 를 발생 시키 고 유지 하 기 위한 고주파 전력 장치 를 말 한다 . 
 플라 즈 마는 물질 의 네 번 째 상태 로 , 강한 에너지 를 받 은 기체 입자 를 말 한다 . 과거 플라 즈 마는 반도체 공정 회로 에서 집 적 회로 를 깎 아 내 는 식각 공정 에 주로 쓰였 지만 최근 에 는 실리콘 웨이퍼 위 에 얇 은 박막 을 씌우 는 증착 과정 에서 도 활용 된다 . 공정 이후 웨이퍼 를 깔끔 하 게 씻 어 내 는 후 공정 과정 에서 도 쓰인다 . 
 홍상진 명지 대학교 교수 는 “ 플라 즈 마를 사용 하 는 공정 이 전체 공정 의 65 % 이상 을 차지 한다 ” 고 설명 했 다 . 
 이 때 플 라즈 마 에 에너지 를 전달 하 기 위해 RF 시스템 을 쓴다 . 전력 을 생산 하 는 RF 제너 레이터 , 이 전력 을 손실 없이 전달 하 기 위한 RF 매 처 등 으로 구성 된다 . 플 라즈 마 를 활용 하 는 장비 의 ' 엔진 ' 역할 을 하 는 셈 이 다 . 
 그러나 업계 관계자 와 전문가 들 은 국내 RF 시스템 경쟁력 이 외산 장비 · 부품 기업 보다 미진 하 다고 설명 한다 . 현재 반도체 소자 업체 전 공정 장비 국산화 율 이 10 % 안팎 인 상황 에서 , 핵심 부품 인 RF 시스템 의존 도 또한 개선 되 지 않 는 상황 이 라는 게 업계 중론 이 다 . 
 이 에 국내 장비 부품 업계 에서 RF 엔지니어링 을 양성 해 미래 반도체 공정 흐름 에 대응 해야 한다는 목소리 가 곳곳 에서 나오 고 있 다 . 
 왕현철 원익 IPS 부장 은 “ 반도체 장비 성능 향상 의 핵심 은 RF 시스템 ” 이 라며 “ 지속 적 인 기술 향상 을 위해 업체 간 협력 하 고 , 국내 반도체 장비 RF 엔지니어 양성 이 필요 하 다 ” 고 강조 했 다 . 
 이번 반도체 장비 RF 엔지니어링 전문가 회의 도 이런 맥락 에서 열렸 다 . 국내 대표 반도체 장비 기업 인 원익 IPS , 세 메스 , 피에스 케이 , 테스 뿐 만 아니 라 외국 계 기업 인 어드밴스 드 에너지 , 엠케이 에스 , 코 멧 테크놀러지 등 업계 관계자 30 여 명 이 참석 해 향후 RF 기술 발전 방안 과 상생 협력 방안 을 논의 했 다 . 향후 교류 회 , 회의 , 기술 세미나 등 을 개최 하 고 관련 기술 홍보 관도 운영 할 방침 이 다 . 
 홍 교수 는 “ 경쟁사 들 이 힘 을 모아 생태 계 조성 을 위해 힘 을 모은 것 은 이례 적 ” 이 라고 평가 했 다 . 
 이날 회의 에 참석 한 박근 오 코리아 스펙 트 랄 프로 덕 츠 부사장 은 “ 국내 장비 기업 이 더 적극 적 으로 참여 해서 기술 교류 의 장 이 마련 될 수 있 다면 , 외국 장비 기업 기술 을 더욱 빠르 게 추격 할 수 있 는 계기 가 될 것 ” 이 라고 말 했 다 .