이 에 의해 , 아암 ( 5 ) 은 , 기판 ( W ) 에 접촉 하 여 비산 한 처리 액 이 , 기판 ( W ) 의 직경 방향 내측 에 부착 되 는 것 을 억제 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 아암 ( 5 ) 은 , 에칭 을 행하 지 않 는 개소 에 , 비산 한 처리 액 이 부착 되 는 것 을 억제 할 수 있 고 , 파티클 의 발생 을 억제 할 수 있 다 .