한편 , 본 발명 의 전달 축 지 지체 ( 600 ) 의 외부 를 둘러싸 는 별도 의 외부 케이스 ( 670 ) 를 설치 하 고 , 이 외부 케이스 ( 670 ) 와 전달 축 지 지체 ( 600 ) 사이 에 자성 유체 실 수단 ( 660 ) 을 설치 하 여 , 진공 챔버 ( 200 ) 와 로봇 지지 통 ( 330 ) 간 의 공기 소통 을 차단 할 수 있 게 한다 .