정전 척 장치 에 있 어서 는 , ( i ) 웨이퍼 의 면내 온도 분포 ( 온도 차 ) 를 저감 시키 기 위하 여 , 시료 대 에 미세 한 홈 을 마련 하 고 , 당해 홈 에 기체 의 냉매 ( 예 를 들 면 헬륨 ) 를 유동 시킴 으로써 , 시료 대 에 재치 한 웨이퍼 를 냉각 하 는 기술 이 알려져 있 다 . 이 와 같 은 정전 척 장치 에 있 어서 균열 성 을 높이 기 위해서 는 , 냉매 의 가스 압 을 높여 냉각 효율 을 향상 시키 는 것 이 생각 된다 . 한편 , 냉매 의 가스 압 을 높이 는 경우 , 냉매 로부터 받 는 압력 에 의하 여 웨이퍼 가 탈리 하 지 않 도록 , 정전 척 장치 에 는 높 은 흡착 력 이 요구 된다 . 높 은 흡착 력 을 얻 기 위해서 는 , 정전 척 장치 의 기체 의 비유전율 이 높 은 것 이 바람직 하 다 .