본 발명 에 개시 되 고 고려 되 는 장치 와 관련 하 여 , 확산 펌프 들 및 터보 분자 형 펌프 들 이외 의 펌프 들 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 극저온 펌프 들 또는 다른 고진공 펌프 들 이 펌핑 애플리케이션 에 적합 하 게 제공 되 어 사용 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 이러 한 임의 의 펌프 는 단독 으로 , 또는 다른 펌프 들 과 결합 되 어 , 이를 테 면 예 를 들 어 , 약 10 - 3 Torr 내지 약 10 - 7 Torr 또는 약 10 - 8 Torr , 이를 테 면 약 10 - 4 Torr 이하 , 또는 분자 또는 전이 유동 범위 ( transitional flow regime ) 와 관련 된 압력 의 , 타 겟 면적 의 대략 적 인 높 은 진공 조건 을 달성 하 기 에 적합 한 용량 을 가질 수 있 다 . 부가 적 으로 , 임의 의 적절 한 조합 및 / 또는 펌프 들 의 수 가 이용 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 단지 일례 로써 , 일반 적 으로 펌프 가 충분히 작 은 풋 프린트 및 / 또는 충분히 작 은 또는 비교 적 부담 이 없 는 ( non - cumbersome ) 지지 조건 을 갖 는 경우 , 이러 한 다수 의 펌프 들 은 대형 풋 프린트 를 갖 는 다수 의 펌프 들 또는 보다 많이 다소 부담 스런 지지 조건 을 가지 는 다수 의 펌프 들 을 중심 으로 이용 될 수 있 다 . 펌프 들 은 임의 의 적절 한 방식 및 임의 의 적절 한 위치 에서 펌프 격실 과 관련 되 어 구성 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 예 를 들 어 , 이를 테 면 상부 및 / 또는 바닥 부 ( 적절 한 경우 ) 및 / 또는 격실 의 단부 및 / 또는 이 와 유사 한 것 을 통해 , 임의 의 적절 한 펌프 또는 펌프 들 에 대한 임의 의 적절 한 방식 의 장착 또는 지지 가 이용 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 또한 , 임의 의 적절 한 펌프 또는 펌프 들 의 조합 이 하나 이상 의 코팅 격실 들 의 펌핑 과 관련 하 여 및 / 또는 기판 통로 의 펌핑 과 관련 하 여 사용 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 .