상기 에어 갭 ( 114 a ) 은 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 108 ) 를 따라 형성 된 플로팅 게이트 전극 들 ( 104 b ) 사이 에 각각 구비 된다 . 그러므로 , 상기 소자 분리 용 트렌치 ( 108 ) 내부 에 는 서로 구분 된 복수 개 의 에어 갭 ( 114 a ) 이 구비 된다 . 상기 에 어 갭 ( 114 a ) 의 수직 단면 은 상 , 하로 긴 형상 을 갖 는 타원 형상 을 갖 거나 또는 상부 가 평탄 한 형상 을 가지 고 하부 는 상 , 하로 긴 타원 형상 을 가질 수 있 다 .