한편 , 상기 제 3 연결 공 ( 135 ) 및 제 4 연결 공 ( 135 ) 과 각각 연통 하 는 제 1 토출 포트 ( 113 a ) 및 제 2 토출 포트 ( 113 b ) 가 반응 챔버 ( 110 ) 의 일 측 가장 자리 에 형성 되 어 있 다 . 이 로 인해 가스 공급 부 ( 130 ) 의 상부 에서 만 토출 라인 ( 161 , 162 ) 이 외부 로 노출 되 고 반응 챔버 ( 110 ) 의 측면 에서 는 외부 로 노출 되 지 않 을 수 있 다 . 이 와 같이 토출 라인 ( 161 , 162 ) 이 반응 챔버 ( 110 ) 내부 를 통과 하 여 진공 펌프 부 ( 150 ) 에 연결 되 도록 함 으로써 토출 라인 ( 161 , 162 ) 을 포함 한 전체 배기 라인 의 장착 상태 를 견고 하 게 할 수 있 다 .