본 마이크 로 요동 소자 는 , 제 1 및 제 2 구동 전극 간 에 전압 을 인가 함 으로써 구동 할 수 있 다 . 구체 적 으로 는 , 본 마이크 로 요동 소자 의 구동 시 에 는 , 제 1 구동 전극 에 소정 의 기준 전위 가 부여 된다 . 기준 전위 는 예 를 들 면 그라운드 전위 이 다 . 그리고 , 기준 전위 보다 도 높 은 소정 의 구동 전위 를 제 2 구동 전극 에 부여 함 으로써 , 제 1 및 제 2 구동 전극 간 에 정전 인력 을 발생 시켜 , 상기 정전 인력 을 구동력 으로서 , 요 동부 를 요동 동작 또는 회전 변위 시킬 수 있 다 . 기준 전위 와 구동 전위 의 전위차 를 조절 함 으로써 , 발생 하 는 정전 인력 을 조절 할 수 있 고 , 따라서 요 동부 의 회전 변위 량 을 조절 할 수 있 다 .