( b ) 상기 하부 금속 배선 상부 에 층간 절 연막 을 증착 시키 는 단계 와 , ( c ) 상기 층간 절 연막 상부 에 상기 하부 금속 배선 과 대응 되 게 서로 분리 된 두 개 의 배선 으로 상부 금속 배선 을 형성 시키 는 단계 와 , ( d ) 상기 상부 금속 배선 양 끝단 에 형성 된 비 아홀 을 통해 상기 상 / 하부 금속 배선 을 전기 적 으로 연결 시키 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .