본 고안 은 반도체 제조 용 열처리로 ( Furnace ) 의 히터 부 와 단열 블럭 의 결합 구 조 에 관한 것 으로서 , 보다 상세 하 게 는 반도체 제조 용 열처리로 의 히터 부 와 단열 블럭 의 조립 시 결합 되 는 결합 면 을 예각 을 이루 도록 하 여 , 열기 류 의 흐름 을 완벽히 차단 하 여 온도 안정 성 및 재현 성 을 높일 수 있 도록 열처리로 의 단열 블럭 결합 구조 에 관한 것 이 다 .