이 경우 , 웨이퍼 상 의 하나 의 직경 에 대해 수직 이 아닌 방향 으로 ( 즉 , 비스듬히 ) , 가늘 고 긴 직사각 형 의 코어 는 웨이퍼 에 들어가 거나 , 혹은 나온다 . 이 때문 에 , 코어 가 웨이퍼 상 에 모두 들어가 거나 혹은 모두 나올 때 까지 의 거리 는 , 웨이퍼 상 의 하나 의 직경 에 대해 수직 인 방향 으로 들어가 거나 , 혹은 나올 때 까지 의 거리 보다 길 어 진다 . 코어 가 웨이퍼 상 에 모두 들어가 거나 혹은 모두 나올 때 까지 의 거리 상 에 센서 가 있 는 동안 , 센서 의 검출 신호 는 부 정확 해져 , 웨이퍼 의 에지 영역 에서 의 막 두께 의 검출 정밀도 의 저하 를 초래 한다 .