검사 유닛 39 는 슬라이드 베이스 61 에 탑재 되 어 있 다 . 슬라이드 베이스 61 의 이면 에 는 , 가이드 레일 51 을 따라 슬라이드 가능 한 상태 로 당해 가이드 레일 51 에 상측 으로부터 장착 된 슬라이더 62 가 부착 되 어 있 다 . 이 들 가이드 레일 51 및 슬라이더 62 에 의하 여 X 축 리니어 가이드 63 이 구성 되 어 있 고 , X 축 슬 라이드 베이스 61 은 갠트리 빔 38 의 상면 을 따라 X 축 방향 으로 슬라이드 가능 하 다 . 또한 슬라이드 베이스 61 의 이면 에 는 리니어 모터 고정자 의 홈 에 삽입 된 상태 로 지지 되 는 리니어 모터 가동 자 ( 도면 에 는 나타내 지 않 는다 ) 가 부착 되 어 있 다 . 이 들 리니어 모터 고정자 및 리니어 모터 가동 자 에 의하 여 검사 유닛 39 가 탑재 되 어 있 는 슬라이드 베이스 61 을 X 축 방향 으로 슬라이드 시키 기 위한 X 축 리니어 모터 가 구성 되 어 있 다 .