또한 , 본 실시 예 에 있 어서 , 도 24 에 나타내 는 바 와 같이 , ID 블록 ( 2 ) 에 는 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 13 ) 가 설치 되 어 있 었 다 . 이러 한 점 에서 , 2 개 의 캐리어 ( C ) 로부터 교대 로 기판 ( W ) 을 취 출하 거나 , 2 개 의 캐리어 ( C ) 에 교대 로 기판 ( W ) 을 수납 하 거나 하 기 위하 여 , 4 개 의 오프너 ( 11 ~ 14 ) 가 설치 되 어도 된다 . 예 를 들 면 , 도 25 a 에 나타내 는 바 와 같이 , 기판 ( W ) 을 취 출하 기 위한 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 가 상하 에 배치 된다 . 또한 , 기판 ( W ) 을 수납 하 기 위한 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 가 상하 에 배치 된다 . 즉 , 2 개 의 오프너 ( 11 , 12 ) 는 , 제 1 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 핸드 ( 21 ) 및 진퇴 구동 부 ( 23 ) 의 승강 방향 을 따라 배치 되 고 , 2 개 의 오프너 ( 13 , 14 ) 는 , 제 2 기판 반송 기구 ( MHU 1 ) 의 핸드 ( 21 ) 및 진퇴 구동 부 ( 23 ) 의 승강 방향 을 따라 배치 된다 .