도 3 c 를 참조 하 면 , 식각 공정 ( 또는 마스크 공정 ) 을 통해 절연 물질 ( 105 a ) 의 상부 일부 를 선택 적 으로 노출 시키 는 상부 금속 층 ( 107 ) 을 완성 한 후 , 절연 물질 ( 105 a ) 과 상부 금속 물질 ( 107 a ) 의 상부 에 산화 막 등 의 사이드 웰 형성 물질 ( 108 ) 을 형성 한다 . 바람직 하 기 로 , 사이드 웰 형성 물질 ( 108 ) 은 열 산화 ( thermal oxide ) 계열 은 높 은 온도 로 인하 여 BEOL 레벨 을 열화 시키 기 때문 에 사용 하 지 않 으며 , 플 라즈 마 강화 화학 기상 증착 ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition : PECVD ) 공정 을 통해 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 아울러 , 사이드 웰 형성 물질 ( 108 ) 은 PE TEOS / PE SRO 등 의 BEOL 공정 에 이용 되 는 산화 막 을 사용 하 여 500 Å ∼ 3000 Å 의 두께 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .