불순물 주입 에 따라 전도 성 을 갖 는 폴리 실리콘 ( 230 ) 은 마이크 로 히터 ( 241 ) 의 역할 을 한다 . 마이크 로 히터 ( 241 ) 영역 은 외부 에서 인가 되 는 전원 에 의해 주울 열 ( Joule heat ) 이 발생 하 게 됨 으로써 , 히터 로써 작동 하 게 된다 . 여기 서 폴리 실리콘 ( 230 ) 내부 의 도핑 된 영역 으로서 의 마이크 로 히터 ( 241 ) 부분 과 불순물 주입 이 안 된 폴리 실리콘 인 멤 브레인 ( 242 ) 은 기본 적 으로 폴리 실리콘 재질 로 이루어져 열팽창 차이 가 작 기 때문 에 마이크 로 히터 ( 241 ) 구동 에 따른 멤 브레인 ( 242 ) 내구 성 이 향상 된다 .