여기 서 는 희생 게이트 절연 층 패턴 ( 224 ) 상 에 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 및 제 2 희생 게이트 ( 226 ) 가 순차 적 으로 적층 된 구조 를 희생 게이트 스택 ( 220 ) 으로 지칭 하 도록 한다 . 제 2 희생 게이트 ( 226 ) 는 입구 가 확장 된 제 1 리세 스 영역 ( 220 R 1 ) 을 채우 도록 형성 됨 에 따라 , 제 2 희생 게이트 ( 226 ) 의 제 2 폭 ( W 12 ) 이 제 1 희생 게이트 ( 222 ) 의 제 1 폭 ( W 11 ) 보다 클 수 있 다 . 이 에 따라 희생 게이트 스택 ( 220 ) 은 그 상부 폭 이 하부 폭 보다 큰 T - 형상 을 갖 도록 형성 될 수 있 다 .