제 1 스테이지 ( 221 ) 와 제 2 스테이지 ( 222 ) 의 다른 차원 에 대한 직선 운동 은 서로 직교 하 는 방향 으로 각각 의 스테이지 ( 221 ) ( 222 ) 하부 에 설치 된 볼스크 류 와 모터 그리고 엘 엠 가이드 로 수행 될 수 있 고 , 그 외 에 리니어 모터 , 타이밍 벨트 등 과 같 은 구성 을 부분 적 으로 또는 전체 적 으로 채택 하 여 실시 할 수 있 다 .