이 재 로봇 ( 30 ) 은 회 전부 ( 33 ) 및 두 개 의 로봇 암 ( 34 ) 으로 구성 되 어 있 고 , 회 전부 ( 33 ) 에 로봇 암 ( 34 ) 이 연결 되 어 있 으며 , 각 로봇 암 ( 34 ) 에 는 기판 ( 40 ) 을 진공 으로 흡착 하 여 고정 하 기 위한 흡착 패드 ( 미 도시 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이러 한 이재 로봇 ( 30 ) 은 높이 의 조절 이 가능 하 여 원 하 는 위치 의 사이드 선반 프레임 및 백 선반 프레임 ( 16 ) 에 기판 ( 40 ) 을 수납 하 거나 취 출 할 수 있 다 .