에칭 의 형상 을 양호 한 것 으로 하 기 위해서 는 웨이퍼 W 의 온도 를 조절 하 는 것 도 유효 하 다 . 그 때문 에 냉 매실 ( 17 ) 이 마련 되 어 있 으며 , 이 냉 매실 ( 17 ) 에 냉매 가 순환 되 고 , 그 냉열 이 지지 테이블 ( 2 ) 을 거쳐서 웨이퍼 W 에 대해 전열 되 며 , 이것 에 의해 웨이퍼 W 의 처리 면 이 원 하 는 온도 로 제어 된다 .