또한 , 도 2 에서 는 , 암 ( 4 ) 이 가장 펴져 핸드 ( 3 ) 가 가장 전방 측 까지 이동한 상태 가 도시 되 어 있 다 . 웨이퍼 ( 2 ) 에 대하 여 소정 의 처리 를 행하 는 처리 장치 는 , 로봇 ( 1 ) 의 전방 측 에 배치 되 어 있 고 , 도 2 에 도시 하 는 상태 에서 는 , 핸드 ( 3 ) 는 , 처리 장치 내 에 배치 되 어 있 다 . 또한 , 도 3 에서 는 , 암 ( 4 ) 이 오그라들 어 핸드 ( 3 ) 가 가장 후방 측 까지 이동한 상태 가 도시 되 어 있 다 . 본 형태 에서 는 , 이 상태 로 , 베이스 부재 ( 7 ) 에 대하 여 문형 프레임 ( 6 ) 이 회동 한다 . 즉 , 이 상태 로 , 로봇 ( 1 ) 이 선회 한다 . 또한 , 이 상태 일 때 , 로봇 ( 1 ) 의 선회 반경 이 가장 작아진다 .