증착 위치 ( 232 ) 의 도가니 ( 231 ) 로부터 증발 한 성막 재료 의 증발 입자 가 기판 ( S ) 에 퇴적 되 는 것 을 일시 적 으로 ( 예컨대 , 증착 위치 ( 232 ) 의 도가니 ( 231 ) 의 증발 레이트 가 소정 값 에 도달 할 때 까지 ) 막 기 위해 , 증발원 셔터 ( 가 동식 개폐 수단 , 26 ) 가 각각 의 증발원 ( 23 ) 상방 에 회동 가능 하 게 설치 된다 . 예컨대 , 본 실시 예 에 따른 증발원 셔터 ( 26 ) 는 , 제 1 증발원 ( 23 a ) 의 상방 에 설치 된 제 1 증발원 셔터 ( 26 a ) 와 , 제 2 증발원 ( 23 b ) 의 상방 에 설치 된 제 2 증발원 셔터 ( 26 b ) 를 포함 한다 .