불소 원소 , 질소 및 아르곤 모두 를 함유 하 는 혼합물 을 적용 하 는 경우 에 , 불소 원소 의 함량 은 바람직 하 게 1 vol % 이상 이 다 . 불소 원소 의 함량 은 바람직 하 게 25 vol % 이하 이 다 . 아르곤 의 함량 은 바람직 하 게 4 vol % 이상 이 다 . 아르곤 의 함량 은 바람직 하 게 25 vol % 이하 이 다 . 질소 의 함량 은 바람직 하 게 4 vol % 이상 이 다 . 질소 의 함량 은 바람직 하 게 75 vol % 이하 이 다 .