도 1 및 도 2 에 도시 한 바 와 같이 , 도포 장치 ( 1 ) 는 , 기판 ( 9 ) 을 유지 하 는 기판 유지 부 ( 11 ) , 기판 유지 부 ( 11 ) 를 기판 ( 9 ) 의 주면 에 평행 한 소정 의 방향 ( 즉 , 도 1 중의 Y 방향 이 며 , 이하 , 「 부 주사 방향 」 이 라고 한다 . ) 으로 수평 이동 하 는 기판 이동 기구 ( 12 ) , 및 , 기판 유지 부 ( 11 ) 를 기판 ( 9 ) 의 주면 에 수직 인 회전축 을 중심 으로 회전 하 는 기판 회전 기구 ( 12 a ) 를 구비 한다 . 기판 유지 부 ( 11 ) 는 , 내부 에 히터 에 의한 가열 기구 ( 도시 생략 ) 를 구비 한다 .