도 2 를 참고 하 면 , 두께 측정 장치 는 레이저 ( 20 ) , 제 1 수광 센서 ( 40 ) , 제 2 수광 센서 ( 50 ) , 및 제어기 ( 60 ) 를 포함 한다 . 여기 서 , 레이저 ( 20 ) 와 제어기 ( 60 ) 는 반도체 공정 용 챔버 ( 10 ) 외부 에 배치 되 고 , 제 1 수광 센서 ( 40 ) 와 제 2 수광 센서 ( 50 ) 는 챔버 ( 10 ) 내부 에 배치 된다 .