일부 실시 예 들 에서 , 플라 즈 마는 하나 이상 의 플 라즈 마 모니터 들 에 의해 인 시 츄 모니터링 될 수 도 있 다 . 일 시나리오 에서 , 플라 즈 마 전력 은 하나 이상 의 전압 , 전류 센서 들 ( 예 를 들 어 , VI 프로브 들 ) 에 의해 모니터링 될 수 도 있 다 . 또 다른 시나리오 에서 , 플라 즈 마 밀도 및 / 또는 프로세스 가스 농도 는 하나 이상 의 OES ( optical emission spectroscopy ) 센서 들 에 의해 측정 될 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 하나 이상 의 플 라즈 마 파라미터 들 은 이러 한 인 시 츄 플라 즈 마 모니터 들 로부터 의 측정치 들 에 기초 하 여 프로그램 적 으로 조정 될 수 도 있 다 . 예 를 들 어 , OES 센서 는 플 라즈 마 전력 의 프로그램 적 인 제어 를 제공 하 기 위해 피드백 루프 에서 사용 될 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 플라 즈 마 및 다른 프로세스 특성 들 을 모니터링 하 기 위해 다른 모니터 들 이 사용 될 수 도 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 이러 한 모니터 들 은 이 로 제한 되 는 것 은 아니 지만 , 적외선 ( IR ) 모니터 들 , 음향 모니터 들 , 및 압력 트랜스 듀 서 들 을 포함 할 수 도 있 다 .