도 18 은 , 실시 형태 3 에서 의 빔 의 되돌림 양 과 , 복수 의 결함 빔 의 발생 주기 가 일치 되 어 버리 는 경우 의 서브 조사 영역 의 묘화 상황 의 일예 를 설명 하 기 위한 도면 이 다 . 도 17 ( a ) 내지 도 17 ( c ) 에 도시 한 바 와 같이 , 트랙 킹 제어 기간 중 의 시프트 편향 시 에 , 오프셋 양 으로서 빔 간 피치 ( P ) 사이즈 분 만큼 여분 으로 + y 방향 으로 시프트 하 는 묘화 시퀀스 로 묘화 처리 를 진행 시켜 감 으로써 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 화소 열 이 묘화 되 는 경우 , 이러 한 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 에서 는 , 아래 로부터 1 단 째 와 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 2 개 의 화소 가 결함 빔 의 빔 1 에 의해 묘화 되 지만 , 아래 로부터 3 단 째 와 4 단 째 및 오른쪽 으로부터 1 번 째 의 2 개 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 1 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 1 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 마찬가지 로 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 화소 열 이 묘화 되 는 경우 , 이러 한 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 에서 는 , 아래 로부터 1 단 째 와 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 2 개 의 화소 가 결함 빔 의 빔 9 에 의해 묘화 되 지만 , 아래 로부터 3 단 째 와 4 단 째 및 오른쪽 으로부터 2 번 째 의 2 개 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 9 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 9 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 마찬가지 로 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 오른쪽 으로부터 3 번 째 의 화소 열 이 묘화 되 는 경우 , 이러 한 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 에서 는 , 아래 로부터 1 단 째 와 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 3 번 째 의 2 개 의 화소 가 결함 빔 의 빔 17 에 의해 묘화 되 지만 , 아래 로부터 3 단 째 와 4 단 째 및 오른쪽 으로부터 3 번 째 의 2 개 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 17 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 17 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 마찬가지 로 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 화소 열 이 묘화 되 는 경우 , 이러 한 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 에서 는 , 아래 로부터 1 단 째 와 2 단 째 및 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 2 개 의 화소 가 결함 빔 의 빔 25 에 의해 묘화 되 지만 , 아래 로부터 3 단 째 와 4 단 째 및 오른쪽 으로부터 4 번 째 의 2 개 의 화소 는 , 결함 빔 의 빔 25 을 대신 하 여 1 행 하측 의 정상 빔 의 빔 ( 25 ) 에 의해 묘화 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 빔 의 되돌림 양 과 , 복수 의 결함 빔 의 발생 주기 가 모두 , 8 빔 간 피치 로 일치 되 어 버리 는 경우 에 도 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 내 의 전체 16 화소 가 , 모두 결함 빔 에 의해 묘화 되 지 않 고 , 결함 빔 에 의해 묘화 되 는 화소 수 를 사선 으로 나타낸 8 화소 , 즉 , 주목 서브 조사 영역 ( 29 ) 의 1 / 2 로 저감 할 수 있 다 .