상기 기술 적 과제 를 이루 기 위한 본 발명 의 다른 일 실시 예 에 따른 서 셉 터 는 , 진공 척 을 포함 하 는 서 셉 터 에 있 어서 , 상기 진공 척 은 , 기판 이 안착 되 며 상기 기판 을 진공 흡착 하 여 고정 시키 는 기판 안착 부 ; 상기 기판 안착 부 의 상면 에 소정 간격 으로 형성 되 고 , 상기 기판 과 접촉 하 여 상기 기판 을 지지 하 는 복수 개 의 엠보싱 ; 상기 기판 안착 부 의 하부 에서 상기 기판 을 상기 기판 안착 부 에 로딩 또는 언로 딩 시키 는 리프트 핀 이 삽입 되 는 리프트 핀홀 ; 및 상기 리프트 핀홀 을 격리 시켜 상기 리프트 핀홀 의 안쪽 영역 인 중심 영역 및 상기 중심 영역 을 둘러싸 는 가장자리 영역 에 진공 을 형성 하 기 위한 제 2 격벽 ; 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .