전극 ( 502 ) , 전극 ( 503 ) 및 절연 층 ( 628 ) 상 에 도전 층 을 형성 하 고 , 당해 도전 층 을 선택 적 으로 에칭 하 여 , 게이트 전극 ( 648 ) , 전극 ( 649 ) , 전극 ( 504 ) 을 형성 한다 ( 도 14 a 참조 ) . 당해 도전 층 은 , 도 12 a 내지 도 12 d 에 도시 한 제작 방법 에 있 어서 , 게이트 전극 ( 648 ) , 전극 ( 649 ) 을 형성 하 기 위하 여 사용 한 도전 층 과 마찬가지 의 재료 로 하 고 , 마찬가지 의 방법 으로 제작 할 수 있 으므로 설명 은 생략 한다 .