제 3 가스 분사 모듈 ( 330 c ) 은 전술 한 제 3 가스 분사 영역 에 중첩 되 는 제 3 모듈 설치 부 ( 115 c ) 에 삽입 설치 되 어 가스 공급 수단 으로부터 공급 되 는 제 1 가스 를 플 라즈 마 화 하 지 않 고 그대로 상기 제 3 가스 분사 영역 에 하향 분사 한다 . 이 를 위해 , 제 3 가스 분사 모듈 ( 330 c ) 은 도 9 에 도시 된 제 1 가스 분사 모듈 ( 330 a ) 과 동일 한 구성 을 가지 므로 이 에 대한 설명 은 제 1 가스 분사 모듈 ( 330 a ) 에 대한 설명 으로 대신 하 기 로 한다 .