구체 적 으로 는 , 노즐 ( 41 a ∼ 41 d ) 에 는 , 밸브 ( 61 a ) 를 통해서 DHF 공급원 ( 71 a ) 이 , 밸브 ( 61 b ) 를 통해서 DIW 공급원 ( 71 b ) 이 , 밸브 ( 61 c ) 를 통해서 IPA 공급원 ( 71 c ) 이 , 밸브 ( 61 d ) 를 통해서 N 2 공급원 ( 71 d ) 이 각각 접속 된다 .