상기 복수 의 가스 분사 모듈 중 일부 의 가스 분사 모듈 은 상기 제 1 가스 분사 공간 에 설치 되 어 상기 기판 지지 부 의 국부 적 으로 대향 되 며 , 플라 즈 마 전원 에 따라 상기 제 1 가스 분사 공간 내부 에 플 라즈 마 를 형성 해 상기 제 1 가스 분사 공간 에 공급 되 는 제 1 가스 를 활성 화 시켜 분사 하 는 제 1 플 라즈 마 전극 ; 및 상기 제 2 가스 분사 공간 에 설치 되 어 상기 기판 지지 부 의 국부 적 으로 대향 되 며 , 플라 즈 마 전원 에 따라 상기 제 2 가스 분사 공간 내부 에 플 라즈 마 를 형성 해 상기 제 2 가스 분사 공간 에 공급 되 는 제 2 가스 를 활성 화 시켜 분사 하 는 제 2 플 라즈 마 전극 을 포함 하 여 구성 되 는 것 을 특징 으로 한다 .