구동 전극 ( 12 ) 은 , 제 1 실리콘 층 에 유래 하 는 부위 이 며 , 한 쌍 의 아암 ( 12 A , 12 B ) , 복수 의 전극 치 ( 12 a ) 및 복수 의 전극 치 ( 12 b ) 를 갖 는다 . 아암 ( 12 A , 12 B ) 은 , 도 1 에 도시 한 화살표 D 방향 으로 평행 하 며 , 본 발명 에서 의 제 1 및 제 2 단 연장 부 에 해당 한다 . 전 극치 ( 12 a ) 는 , 도 1 및 도 4 에 도시 한 바 와 같이 아암 ( 12 A ) 으로부터 아암 ( 12 B ) 측 으로 연장 되 고 , 또한 도 1 에 도시 한 바 와 같이 아암 ( 12 A ) 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 한다 . 전 극치 ( 12 b ) 는 , 아암 ( 12 B ) 으로부터 아암 ( 12 A ) 측 으로 연장 되 고 , 또한 아암 ( 12 B ) 의 연장 방향 으로 이격 하 여 병렬 한다 . 또한 , 구동 전극 ( 12 ) 은 , 마이크 로 요동 소자 X 1 의 구동 시 에 소정 의 기준 전위 ( 예 를 들 면 그라운드 전위 ) 가 부여 되 기 위한 부위 이 다 . 이 와 같 은 구동 전극 ( 12 ) 은 , 본 발명 에서 의 제 1 구동 전극 에 해당 한다 .