얻 어 진 시료 에 대해서 , 산화 막 의 두께 를 글 로 방전 발광 분광 분석 장치 ( GDS ) 로 측정 하 였 다 . GDS 는 , 가부 시 키가 이샤 리가 쿠 제 GDA 750 을 사용 하 였 다 . 산화 막 의 두께 의 정량 은 , 시료 의 표층 으로부터 깊이 방향 에 있 어서 의 각 원소 의 농도 프로 파일 을 GDS 로 확인 하 여 , 산소 농도 가 최댓값 의 절반 이 되 는 깊이 를 확인 하 여 행하 였 다 . 이 깊이 위치 로부터 표층 까지 의 치수 를 산화 막 의 두께 로 하 였 다 . 그 결과 를 표 3 내지 표 11 에 나타낸다 .