제 2 식각 저지 패턴 ( 240 ) 상 에 제 3 식각 저지 패턴 ( 250 ) 이 컨 포 멀 하 게 제공 될 수 있 다 . 제 3 식각 저지 패턴 ( 250 ) 은 제 2 방향 ( D 2 ) 으로 연장 할 수 있 다 . 다시 말 하 면 , 제 3 식각 저지 패턴 ( 250 ) 은 기판 ( 100 ) 의 상면 에 평행 하 게 연장 할 수 있 다 . 일 예 로 , 제 3 식각 저지 패턴 ( 250 ) 은 AlOx , AlN 및 AlOC 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 일 예 로 , 제 3 식각 저지 패턴 ( 250 ) 의 두께 는 15 Å 내지 30 Å 일 수 있 다 .