테이블 ( 104 ) 은 평평 하 며 대체로 직사각 형태 의 상부 면 ( 102 ) 을 가진다 . 테이블 ( 104 ) 의 상부 면 ( 102 ) 은 기판 과 유사 하 거나 이 보다 큰 면적 을 가진다 . 예컨대 , 테이블 ( 104 ) 의 상부 면 ( 102 ) 에 는 진공 라인 과 연결 되 는 복수 의 홀 ( 미도 시 됨 ) 들 이 형성 되 어 , 기판 을 진공 흡입 하 여 테이블 상부 면 ( 102 ) 에 고정 시킨다 . 또 테이블 ( 104 ) 은 하단 부 에 상부 면 ( 102 ) 을 회전 시키 는 회전 유닛 ( 106 ) 이 배치 되 며 , 회전 유닛 ( 106 ) 은 예컨대 , 모터 등 으로 구비 되 어 , 스크라이빙 유닛 ( 110 ) 이 상부 면 ( 102 ) 에 로딩 된 기 판 표면 에 서로 직교 하 는 방향 으로 스 크 라 이브 선 을 형성 할 수 있 도록 기판 을 회전 시킨다 .