이 특정 XY 병진 스테이지 는 단지 예 로서 제공 되 는 것 일 뿐 , 기존 또는 이후 생성 된 XY 병진 스테이지 의 다른 구성 이 본 발명 에서 유용 한 것 으로 발견 될 수 있 다는 것 을 알 수 있 을 것 이 다 . 본 명세서 의 개시 로부터 알 수 있 는 바 와 같이 , 본 발명 에 사용 된 변환 스테이지 는 XY 스테이지 의 정확 한 제어 를 허용 하 고 x 및 y 스테이지 의 정확 한 위치 정보 를 제공 하 는 것 만 이 필요 할 뿐 이 다 . 예 를 들 어 , 스 크류 드라이브 를 이용 한 변환 스테이지 에서 , 피드백 은 이동 된 거리 에 정비례 하 는 신호 를 제공 하 는 회전식 인코더 ( rotary encoders ) 의 형태 일 수 있 다 . 다른 변환 스테이지 에서 , 선형 인코더 ( linear encoder ) 는 스테이지 의 위치 의 피드백 을 직접 제공 하 는 데 사용 될 수 있 다 .