본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 EUV 노광 마스크 는 투명 기판 과 상기 투명 기판 상부 에 구비 된 반사 층 과 , 상기 반사 층 상부 에 구비 되 는 버퍼 층 과 , 상기 버퍼 층 상부 에 구비 되 는 흡수 층 과 , 상기 흡수 층 , 상기 버퍼 층 상기 반사 층 이 식각 되 어 상기 투명 기판 이 노출 되 도록 경계 영역 에 구비 되 는 반사 방지 층 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .