상기 제조 된 산화 인듐 분말 을 산화 주석 분말 과 중량 기준 9 : 1 로 혼합 하 여 슬러리 탱크 에 순수 와 분말 중량 대비 50 % 의 슬러리 로 습식 분산 된 슬러리 를 제조 하 고 , 결합제 로 폴리비닐 알코올 을 0 . 5 % 혼입 한 후 , 비즈 밀 매체 0 . 6 ㎜ 의 지르 코니아 비즈 로 분산 시켰 다 . 180 ℃ 에서 분무 건조 후 , 조립 분말 의 입경 은 중심 입경 이 60 ㎛ 로 측정 되 었 으며 , 수득 된 조립 분말 을 가압 성형 하 고 1550 ℃ 에서 3 시간 동안 산소 가압 1 . 0 kgf / ㎠ 분위기 에서 소결 하 였 다 . 이렇게 하 여 얻 어 진 아이티오 타 겟 의 소결 밀도 는 6 . 72 g / ㎤ 이 었 다 .