도 17 을 참조 하 여 , 본 실시 예의 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 에 대해 설명 한다 . 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 3 개 의 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 은 , 도 10 에 나타내 는 도포 유닛 ( PR ) 을 대신 하 여 , 예 를 들 면 , 도포 유닛 ( BARC ) 을 구비 하 고 있 다 . 도포 유닛 ( BARC ) 은 , 기판 ( W ) 에 반사 방지 막 을 형성 하 는 것 이 다 . 즉 , 각 처리 층 ( A 1 ~ A 3 ) 은 , 기판 ( W ) 에 반사 방지 막 을 형성 한다 . 또 , 각 처리 층 ( B 1 ~ B 3 ) 은 , 기판 ( W ) 의 반사 방지 막 상 에 포토레지스트 막 을 형성 한다 . 또한 , 도 18 은 , 실시 예 3 에 따른 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 동작 을 설명 하 기 위한 플로 차트 이 다 .