바람직 하 게 는 , 상기 제 1 정렬 유닛 ( 25 ) 은 상기 기판 이 고정 된 상기 기판 이 정 렬을 정밀 하 게 하 기 위해 , 기판 상 의 정렬 마크 를 인식 하 기 위한 이미지 인식 장치 와 이미지 인식 에 필요 한 광원 조사 장치 , 그리고 상기 마크 를 일치 시키 기 위한 정렬 장치 등 으로 구성 된 제 1 위치 결정 유닛 ( 26 ) 을 포함 하 여 구성 될 수 도 있 다 .