그렇지만 , ＬＣＤ 나 ＯＬＥＤ 등 의 플랫 패널 디스플레이 용 의 노광 장치 는 , 처리 하 는 기판 의 사이즈 가 크 기 때문 에 , 청 정도 가 높 은 공기 를 내뿜 는 광학 부품 및 그 부근 의 공간 도 커진다 . 따라서 , 플랫 패널 디스플레이 용 의 노광 장치 에 있 어서 , 반 도 체용 의 노광 장치 와 마찬가지 의 기류 를 형성 하 기 위해서 는 , 반 도 체용 의 노광 장치 에서 필요 해 지 는 유량 의 약 100 배 의 유량 이 필요 해진다 .