다음 으로 , 도 9 를 참조 하 면 , 기판 ( 110 ) 의 배면 쪽 을 식각 하 여 잉크 공급 을 위한 잉크 피드 홀 ( 111 ) 을 형성 한다 . 상기 잉크 피드 홀 ( 111 ) 은 트렌치 ( 113 ) 내 에 채워진 희생 층 ( 125 ) 의 하면 이 노출 될 때 까지 상기 기판 ( 110 ) 의 배면 을 식각 함 으로써 형성 될 수 있 다 . 그리고 , 마지막 으로 도 10 을 참조 하 면 , 트렌치 ( 113 ) , 잉크 챔버 ( 122 ) 및 리스트 릭터 ( 124 ) 내 에 채워진 희생 층 ( 125 ) 을 제거 하 게 되 면 열 구동 방식 잉크젯 프린트 헤드 가 완성 된다 . 상기 희생 층 ( 125 ) 은 노즐 들 ( 132 ) 및 잉크 피드 홀 ( 11 ) 을 통하 여 상기 희생 층 ( 125 ) 만 을 선택 적 으로 식각 하 는 식각 액 을 주입 함 으로써 제거 될 수 있 다 . 이러 한 희생 층 의 제거 에 의하 여 상기 챔버 층 ( 120 ) 에 는 잉크 챔버 들 ( 122 ) 및 이 잉크 챔버 들 ( 122 ) 과 잉크 피드 홀 ( 111 ) 을 연결 하 는 리스트 릭터 ( 124 ) 가 형성 된다 . 여기 서 , 전술 한 바 와 같이 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 또는 1 차 및 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 을 통하 여 챔버 층 ( 120 ) 과 희생 층 ( 125 ) 을 원하 는 높이 로 균일 하 게 형성 할 수 있 으므로 , 이러 한 희생 층 ( 125 ) 의 제거 로 인하 여 잉크 챔버 들 ( 122 ) 도 원 하 는 높이 로 균일 하 게 형성 될 수 있 다 .