최초 에 음극 ( 2 ) 에 대하 여 설명 한다 . 규소 분말 과 이산화 규소 분말 을 소정 의 비율 로 배합 하 고 , 혼합 , 조입 ( 造粒 ) 및 건조 한 혼합 조입 원료 를 원료 로 하 여 , 상기 도 3 에 나타내 는 장치 를 이용 하 여 석출 기판 상 에 저급 산화 규소 를 석출 시켰 다 . 석출 된 저급 산화 규소 는 , 알루미나 제 볼 밀 을 사용 하 여 24 시간 분쇄 하 여 평균 입자 직경 ( D 50 ) 이 4 . 8 ㎛ 인 분말 로 했 다 . 이 저급 산화 규소 ( SiOx ) 의 분말 은 , x ＝ 1 을 만족 하 고 있 다 .