도 4 는 , 기판 검사 용 의 광학 검사 장치 10 의 일례 를 나타내 는 개략 적 인 사시도 이 다 . 광학 검사 장치 10 은 , 판상 부재 의 검사 기판 28 을 싣 는 검사 기판 지지 장치 20 과 , 광학 장치 14 와 , 제 어 장치 16 을 구비 한다 . 검사 기판 지지 장치 20 은 구 동 모터 22 a , 22 b 를 구비 하 고 있 고 , 이 들 에 의하 여 흡착 테이블 22 를 X - Y 방향 의 임의 의 위치 로 이동 할 수 있 다 .