본 발명 의 실시 예 에 따르 면 , 상기 기판 처리 방법 은 상기 로드 락 챔버 로부터 멀 어 지 는 방향 으로 상기 제 2 처리 유닛 으로부터 연장 되 는 제 3 처리 유닛 을 더 구비 하 여 기판 을 처리 하 되 , 상기 제 2 처리 유닛 으로부터 상기 제 3 처리 유닛 에 제공 되 는 공정 챔버 로 의 기판 이송 은 상기 제 3 처리 유닛 에 제공 되 며 상기 제 2 로봇 과 동일 한 높이 에서 기판 을 이송 하 는 이송 로봇 에 의해 이루어지 고 , 상기 로드 락 챔버 와 상기 제 2 처리 유닛 상호 간 의 기판 이송 은 상기 제 1 로봇 이 구비 되 는 블레이드 의 수 보다 많 은 수 의 블레이드 를 가지 는 로봇 에 의해 이루어진다 .