이때 도면 에 도시 하 지 는 않 았 지만 구리도금 막 ( 140 ) 증착 전 에 , 상기 트렌치 내부 에 는 구리 와 확산 을 방지 하 기 위한 메탈 베리 어막 과 구리 의 증착 이 용이 하 게 이루어지 도록 구리 시드 막 을 형성 할 수 있 다 . 예컨대 , 상기 메탈 베리 어 막 은 PVD , CVD 또는 ALD 방법 을 이용 하 여 Ta , TaN , TaSiN 및 TiSiN 중 어느 하나 를 사용 하 여 형성 할 수 있 다 . 또한 , 상기 구리 시드 막 은 PVD , CVD 또는 ALD 방법 을 이용 하 여 구리 를 이용 하 여 형성 할 수 있 다 .