그러나 , 웨이퍼 ( W ) 가 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 불 완전 하 게 척 킹 되 거나 웨이퍼 가 척 킹 되 지 아니한 경우 에 는 , 도 16 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 개구 ( 130 x , 150 x ) 에 접촉 하 거나 근접 하 지 는 않 았 지만 정상 적 인 웨이퍼 의 척 킹 파지 를 하 기 에 다소 높 게 상방 으로 볼록 하 게 돌출 되 어 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 체적 이 Vo 에서 V 1 으로 감소 하 게 된다 . 따라서 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 의 압력 을 설정 부압 ( Po ) 에 도달 하 는 데 필요 한 기체 의 배출 유량 은 보다 줄어들 게 된다 .