이 플 라즈 마 처리 방법 에 의하 면 , ( 나 ) 의 공정 에 의하 여 처리 실과 반 송실 사이 의 압력 차 가 적 은 상태 에서 시료 를 처리 실 내 로 반입 하 는 것 이 가능 해져 이 물 의 감 아 올림 등 에 의한 이물 의 시료 에 의 부착 을 저감 할 수 있 다 . 또 ( 다 ) 및 ( 라 ) 의 공정 에 의하 여 플 라즈 마 처리 를 신속 하 게 개시 할 수 있 음 과 동시 에 , 처리 실 내 의 압력 의 변동 을 작 게 억제 할 수 있 어 , 스루풋 의 향상 과 , 이 물 의 감 아 올림 에 의한 이물 의 시료 에 의 부착 을 저감 할 수 있 다 . 또한 ( 바 ) 의 공정 에 의하 여 플 라즈 마 처리 종료 시 의 압력 의 변동 을 작 게 하 는 것 이 가능 해져 , 이 물 의 감 아 올림 등 에 의한 이물 의 시료 에 의 부착 을 저감 할 수 있 다 . 아울러 ( 사 ) 의 공정 에 의하 여 , 흡착 전극 의 작용 에 의한 시료 의 정전기 를 제전 할 수 있 다 . 그리고 ( 아 ) 의 공정 에 의하 여 처리 실과 반 송실 사이 의 압력 차 가 적 은 상태 에서 시료 를 반 송실 로 반출 하 는 것 이 가능 해져 , 이 물 의 감 아 올림 등 에 의한 이물 의 시료 에 의 부착 을 저감 할 수 있 다 .