불소 원소 와 아르곤 만 을 함유 하 는 혼합물 을 적용 하 는 경우 에 , 아르곤 의 함량 은 바람직 하 게 50 vol % 이상 이 다 . 바람직 하 게 , 아르곤 의 함량 은 99 vol % 이하 이 다 . 불소 원소 의 함량 은 바람직 하 게 1 vol % 이상 이 다 . 바람직 하 게 , 불소 원소 의 함량 은 50 vol % 이하 , 특히 25 vol % 이하 이 다 .