" 여기 서 "" 업 스트림 "" 은 증착 을 위한 물질 의 흐름 의 상류 쪽 을 가리키 고 "," "" 다운 스트림 "" 은 증착 을 위한 물질 의 흐름 의 하류 쪽 을 가리킨다 . 도 8 d 와 같 은 하부 전극 ( 220 ) 에 있 어서 ", 하부 전극 ( 220 ) 의 하부 에 는 기판 이 위치 하 고 , 증착 을 위한 물질 은 상부 로부터 하부 를 향하 여 전달 되 므로 하부 전극 ( 220 ) 의 상단 ( T ) 쪽 이 업 스트림 이 고 하단 ( B ) 쪽 이 다운스 트림 으로 지칭 될 수 있 다 .