도 10 은 , 모델 의 설계 선폭 과 , 상기 와 같이 산출 한 선폭 의 관계 를 나타내 는 그래프 이 다 . 도 10 은 , 도 9 의 모델 강도 분포 를 사용 하 여 산출 한 선폭 이 나타나 있 다 . 또한 , 도 9 및 도 10 에 있 어서 의 시뮬레이션 조건 ( 예 를 들 어 광학계 의 파라미터 등 ) 은 서로 동일 하 다 . 도 10 에 예시 하 는 바 와 같이 , 이 모델 강도 분포 를 사용 한 경우 의 산출 정밀도 는 낮 은 것 을 알 수 있 다 . 여기 서 , 산출 정밀도 를 나타내 는 지표 로서 편차 를 도입 한다 . 여기 서 말 하 는 편차 란 , 도 10 의 플롯 점 을 직선 근사 하 여 얻 어 진 직선 ( VL 1 ) 과 , 각 플롯 점 의 차이 의 최대 값 이 다 . 편차 가 작 을수록 산출 정밀도 는 높 다 . 도 10 의 결과 에서 는 , 편차 는 7 [ ㎚] 였 다 .