이 는 , 전술 한 바 와 같이 , 증착 공정 에 의해 챔버 ( 3 ) 의 온도 가 수백 도 로 상승 하 고 이 로 인해 상부 챔버 ( 10 ) 의 상판 부 ( 13 ) 가 열팽창 하 게 되 는 경우 , 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 끼리 상호 연결 되 어 있 으면 단위 체크 플레이트 ( 61 ) 또한 상부 챔버 ( 10 ) 의 상판 부 ( 13 ) 의 열팽창 에 의하 여 열팽창 하 게 되 고 이 로 인해 형상 이 변형 되 거나 파손 될 우려 가 있 기 때문 이 다 .