선택 적 인 단계 ( 258 ) 에 도시 된 것 처럼 , 반응 성 혼합물 ( 210 ) 의 플 라즈 마 를 형성 하 는 것 이 유리 할 수 있 다 . 도 2 f 는 반응 성 혼합물 ( 210 ) 이 플 라즈 마 ( 212 ) 로 이온 화 되 었 음 을 도시 한다 . 몇몇 실시 예 들 에서 , 도핑 된 층 ( 206 ) 의 표면 근처 의 도 펀트 들 및 캡 핑 층 ( 204 ) 양자 모두 를 제거 하 기 위해 플 라즈 마 를 이용 하 는 것 이 도움 이 될 수 있 다 . 플라 즈 마는 용량 성 또는 유도 성 커플링 에 의해 원격 으로 또는 인 시튜 로 생성 될 수 있 다 . 불화 수소 ( HF ) 와 같 은 에 천 트 가 이러 한 목적 을 위해 이용 될 수 있 다 . 단계 ( 260 ) 에서 , 캡 핑 층 ( 204 ) 은 플 라즈 마 ( 212 ) 에 의해 기판 ( 200 ) 으로부터 에칭 된다 .