연속 절연 층 들 ( 예컨대 , 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 및 제 2 절연 층 들 ( 232 ) ) 과 연속 희생 재료 층 들 ( 예컨대 , 제 1 희생 재료 층 ( 142 ) 및 제 2 희생 재료 층 들 ( 242 ) ) 의 수직 교번 시퀀스 는 , 이 들 을 관통 하 여 후면 트렌치 들 ( 79 ) 을 형성 함 으로써 , 절연 층 들 ( 각각 은 도 9 의 프로세싱 단계 들 에서 제공 되 는 바 와 같 은 , 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 및 제 2 절연 층 들 ( 232 ) 의 패턴 화 된 부분 임 ) 과 희생 재료 층 들 ( 각각 은 도 9 의 프로세싱 단계 들 에서 제공 된 바 와 같 은 , 제 1 희생 재료 층 들 ( 142 ) 및 제 2 희생 재료 층 들 ( 242 ) 의 패턴 화 된 부분 임 ) 의 교번 스택 들 로 분할 될 수 있 다 . 본 발명 의 설명 을 위해 , 연속 절연 층 들 의 각각 의 패턴 화 된 부분 들 은 본 명세서 에서 절연 층 으로 지칭 되 고 , 연속 희생 재료 층 의 각각 의 패턴 화 된 부분 은 본 명세서 에서 희생 재료 층 으로 지칭 된다 . 절연 층 들 ( 132 , 232 ) 과 희생 재료 층 들 ( 142 , 242 ) 의 교번 스택 들 은 후면 트렌치 들 ( 79 ) 에 의해 측 방향 으로 이격 된다 .