상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 화학 기상 증착 장치 의 히터 써 포트 의 제 2 T . C 라인 은 중심관 체 외측 에 위치 하 되 , 원통형 세라믹 커버 내 에 상부 텐션 바 , 하부 텐션 바 의 일단 을 삽입 하 되 그 사이 에 코일 스프링 을 개재 시켜 상 , 하 텐션 바 가 탄성 적 으로 관 삽 되 고 , 상부 텐션 바 는 그 상단 이 세라믹 디스크 측 으로 탄성 적 으로 커버 되 는 탄성 커버 를 구비 함 이 바람직 하 다 .