상술 한 바 와 같이 탄소 가 전기 적 으로 활성 화 되 는 것 에 대하 여 연구 가 미진 한데 , 실리콘 웨이퍼 내 에 존재 하 는 탄소 를 검출 하 는 방법 과 도 관련 이 있 다 . 현재 탄소 를 검출 하 는데 가장 일반 적 으로 사용 되 는 방법 은 상온 FT - IR ( Fourier Transform Infrared Spectroscopy ) 로서 실리콘 웨이퍼 를 추가 적 인 전처리 없이 바로 측정 할 수 있 다는 장점 이 있 다 .