시드 층 ( 206 ) 은 일 함수 층 ( 204 ) 위 에 형성 될 수 있 다 . 시드 층 ( 206 ) 은 구리 ( Cu ) , 티타늄 ( Ti ) , 탄탈럼 ( Ta ) , 티타늄 질화물 ( TiN ) , 탄탈럼 질화물 ( TaN ) 등 , 또는 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 고 , ALD , 스퍼터링 , 물리 적 기상 증착 ( PVD ) 등 에 의해 퇴적 될 수 있 다 .