한편 , 패드 ( 240 ) 의 상면 에 는 콘 택 플러그 ( 340 ) 가 형성 될 수 있 으며 , 콘 택 플러그 ( 340 ) 의 상면 에 는 비트 라인 ( 360 ) 이 형성 될 수 있 다 . 콘 택 플러그 ( 340 ) 는 제 1 및 제 2 층간 절 연막 들 ( 250 , 330 ) 을 관통 하 여 패드 ( 240 ) 상면 에 접촉 할 수 있 으며 , 비트 라인 ( 360 ) 은 제 3 층간 절 연막 ( 350 ) 을 관통 하 여 콘 택 플러그 ( 340 ) 상면 에 접촉 할 수 있 다 .