이어서 , 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 스텝 S 203 , S 204 를 이 순 으로 실행 한다 . 스텝 S 203 에서 는 , 예 를 들 어 보충 준비 부 ( 115 ) 가 보충 부 ( 250 ) 로부터 송액 부 ( 210 ) 에 처리 액 을 보충 하 는 준비 로서 , 보충 부 ( 250 ) 내 와 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 차 를 축소 시키 도록 처리 액 공급 부 ( 29 A ) 를 제어 한다 . 스텝 S 204 에서 는 , 예 를 들 어 보충 제 어부 ( 116 ) 가 , 보충 부 ( 250 ) 내 와 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 차 가 축소 된 상태 에서 , 보충 부 ( 250 ) 로부터 송액 부 ( 210 ) 에 처리 액 을 보충 시키 도록 처리 액 공급 부 ( 29 A ) 를 제어 한다 . 스텝 S 203 의 보충 준비 및 스텝 S 04 의 보충 처리 의 상세 에 대해서 는 후술 한다 . 이상 에 의해 , 일련 의 액 처리 수순 이 종료 된다 .