이러 한 과제 를 해결 하 기 위하 여 본 발명 의 일실 시예 에 따른 초크 랄 스키 법 에 의한 단결정 성장 장치 는 실리콘 융액 이 배치 되 는 하부 챔버 , 상기 실리콘 융액 으로부터 성장 하 는 잉곳 이 인상 되 는 상부 챔버 , 및 상기 상하부 챔버 사이 를 연결 하 는 중간 챔버 를 포함 하 며 , 상기 하부 챔버 에 가스 를 공급 하 는 가스 유입 라인 의 유입 구 의 방향 이 지면 에 수직 하 게 형성 되 도록 구성 되 어 있 다 .