상기 구리 계 금속 막 은 막 의 구성 성분 중 에 구리 ( Cu ) 를 포함 하 는 것 으로 , 단일 막 및 이 중막 이상 의 다층막 을 포함 하 는 개념 이 다 . 보다 상세 하 게 상기 구리 계 금속 막 은 구리 또는 구리 합금 ( Cu alloy ) 의 단일 막 ; 또는 상기 구리 막 및 구리 합금 막 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 막 과 몰리브덴 막 , 몰리브덴 합금 막 , 티타늄 막 및 티타늄 합금 막 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 막 을 포함 하 는 다층막 을 포함 하 는 개념 이 다 .