또한 , 스텝 C 를 행하 기 전 에 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 부재 의 표면 ( 반응 관 ( 203 ) 의 내벽 이나 보트 ( 217 ) 의 표면 등 ) 에 Si 막 을 미리 형성 ( 프리 코팅 ) 하 여 , 이 Si 막 ( 프리 코팅 막 ) 을 의사 촉매 로서 사용 할 수 도 있 다 . 프리 코팅 막 으로서 의 Si 막 은 , 예 를 들 어 모노 실란 ( SiH 4 ) 가스 등 의 실란 계 가스 를 사용 하 여 , CVD 법 에 의해 형성 할 수 있 다 . Si 막 은 아몰 퍼스 ( 비정질 ) 상태 의 Si 막 이 어도 되 고 , 폴리 ( 다결정 ) 상태 의 Si 막 이 어도 되 고 , 아몰 퍼스 와 폴리 의 혼정 상태 의 Si 막 이 어도 된다 .