본 개시 에서 , " "" 어닐링 "" 은 재료 를 처리 하 는 중 에 재료 가 안정 한 형태 ", 예컨대 성분 에 존재 하 는 말 단기 ( 예컨대 , 알코 올기 와 히드록시기 ) 가 더욱 안 정한 기 ( 예컨대 , Si - Me 기 ) 로 치환 되 고 / 되 거나 더욱 안 정한 형태 ( 예컨대 , Si - O 결합 ) 를 형성 함 으로써 막 을 조밀화 시키 는 공정 을 지칭 한다 .