상기 게이트 전극 구조물 은 상기 제 3 방향 으로 서로 이웃 하 는 상기 분리 구조물 들 에 의해 상기 제 3 방향 을 따라 서로 이격 되 도록 복수 개 로 형성 될 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 게이트 전극 구조물 은 기판 ( 100 ) 상 에서 상기 제 1 방향 을 따라 하층 에서 상층 으로 갈수록 상기 제 2 방향 으로 의 길이 가 점차 감소 하 는 계단 형상 을 가질 수 있 다 .