이 에 대해 제 1 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 ) 에 의하 면 , 플 라즈 마로 부터 데포 실드 ( 100 ) ( 제 1 데포 실드 ( 110 ) ) 내 벽면 으로 열 이 들어오 면 , 제 1 데포 실드 ( 110 ) , 열전 도 매체 , 제 2 데포 실드 ( 120 ) , 부재 ( 64 ) 를 통해 유로 ( 64 f ) 의 냉매 로 전열 된다 . 이 로써 , 기판 ( W ) 의 처리 갯 수 가 증가 하 더라도 , 데포 실드 ( 100 ) ( 제 1 데포 실드 ( 110 ) ) 내 벽면 의 온도 를 안정 화 시킬 수 있 으며 , 기판 ( W ) 에서 의 플 라즈 마 처리 속도 ( 예 를 들 어 , 에칭 율 ) 도 안정 화 시킬 수 있 다 .