액체 공급 부 ( 270 ) 는 , 투영 광학계 ( 100 ) 의 최종 렌즈 와 웨이퍼 ( 240 ) 와 의 사이 의 공간 또는 간극 에 액체 LW 를 공급 한다 . 액체 공급 부 ( 270 ) 는 , 액체 공급 배관 ( 272 ) 을 포함 한다 . 액체 공급 부 ( 270 ) 는 , 투영 광학계 ( 100 ) 의 최종 렌즈 의 주위 에 배치 된 액체 공급 배관 ( 272 ) 을 거쳐서 그 공간 에 액체 LW 를 공급 한다 . 이 에 따라 , 투영 광학계 ( 100 ) 와 웨이퍼 ( 240 ) 와 의 사이 의 공간 에 는 , 액체 LW 의 에 의해 얇 은 액막이 형성 된다 .