도 3 은 지주 및 지 지부 부근 의 막 두께 가 얇 아 진 웨이퍼 ( W ) 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 3 의 화살표 1000 은 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 영향 을 받 아 막 두께 가 얇 아 진 부분 을 나타내 고 있 다 . 도 3 의 ( a ) 는 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 영향 을 받 은 부분 과 영향 을 받 지 않 은 부분 의 막 두께 의 상태 가 극단 적 으로 다르 지 않 은 예 를 나타내 어 , 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 영향 을 제외 할 필요 가 없 는 예 를 나타내 고 있 다 . 또한 , 도 3 의 ( b ) 는 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 영향 을 받 은 부분 과 영향 을 받 지 않 은 부분 의 막 두께 의 상태 가 극단 적 으로 다른 예 를 나타내 어 , 지주 ( 83 ) 및 지지 부 ( 84 ) 의 영향 을 제외 할 필요 가 있 는 예 를 나타내 고 있 다 .