상기 서술 한 Z 헤드 ( 1711 ∼ 1715 ) , Z 헤드 ( 1731 ∼ 1735 ) , Z 헤드 ( 741 ∼ 745 ) 및 Z 헤드 ( 761 ∼ 765 ) 는 , 도 47 에 도시 된 바 와 같이 , 신호 처리 · 선택 장치 ( 160 ) 를 통해 주제 어 장치 ( 20 ) 에 접속 되 어 있 다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 신호 처리 · 선택 장치 ( 160 ) 를 통해 Z 헤드 ( 1711 ∼ 1715 ) , Z 헤드 ( 1731 ∼ 1735 ) , Z 헤드 ( 741 ∼ 745 ) 및 Z 헤드 ( 761 ∼ 765 ) 중 에서 임의 의 Z 헤드 를 선택 하 여 작동 상태 로 하 고 , 그 작동 상태 로 한 Z 헤드 에서 검출 한 면 위치 정보 를 신호 처리 · 선택 장치 ( 160 ) 를 통해 수취 한다 . 본 제 4 실시 형태 에서 는 , Z 헤드 ( 1711 ∼ 1715 ) , Z 헤드 ( 1731 ∼ 1735 ) , Z 헤드 ( 741 ∼ 745 ) 및 Z 헤드 ( 761 ∼ 765 ) 와 , 신호 처리 · 선택 장치 ( 160 ) 를 포함 하 여 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 WTB 2 ) 의 Z 축 방향 및 XY 평면 에 대한 경사 방향 의 위치 정보 를 계측 하 는 면 위치 계측 시스템 ( 180 ) 이 구성 되 어 있 다 .