레지스 트 모델 파라미터 들 이 PW 공간 에 걸쳐 연속 적 으로 변한다고 알려진 경우 , AI 및 TCC 들 에 대해 앞서 도입 된 것 과 유사 한 급수 전개 및 적합 이 모델 캘 리브레 이 션 시 레지스 트 모델 파라미터 들 에 적용 될 수 있 다 . 이 경우 , 선형 미분 필터 ( aP ) 가 계산 되 고 수학식 25 에서 사용 될 수 있 으며 , 이 는 고차 항 들 을 포함 하 도록 직접 적 인 방식 으로 확장 될 수 도 있 다 . 이 상황 에서 , 레지스 트 모델 파라미터 들 뿐 만 아니 라 , 에어리얼 이미지 변동 들 도 전 PW 영역 에 걸쳐 매끄럽 게 보 간 된다 . P 및 aP 는 테스트 또는 게이지 패턴 들 로부터 의 실험 적 인 웨이퍼 데이터 에 기초 한 스루 - PW 모델 캘 리브레 이 션 단계 에서 결정 될 수 있 다 .