도 2 를 참조 하 면 , 챔버 ( 200 ) 의 상부 에 배치 된 제 1 탱크 ( 300 ) 는 전달 라인 ( 310 ) 을 통하 여 공정 챔버 ( 도시 되 지 않 음 ) 로부터 전달 된 제 1 약액 을 일차 적 으로 가열 시킨다 . 그 후 , 제 1 탱크 ( 300 ) 는 가열 된 제 1 약액 을 분리 벽 ( 210 ) 을 관통 하 여 형성 된 연결 라인 ( 410 ) 을 통하 여 제 2 탱크 ( 400 ) 에 전달 한다 .