또한 , Yamamoto 등 은 입방정 암염 형 구조 를 갖 는 Ti , Cr , Al , V 등 의 질화물 , 탄질 화물 , 탄화물 로 이루어진 경질 피막 층 ( A 층 ) 에 , 비 암염 형 구조 를 갖 는 경질 피막 층 ( B 층 ) 을 반복 적 으로 삽입 하 여 , A 층 의 주상 성장 을 억제 함 으로써 입자 미세화 를 통한 경도 및 내마모성 이 개선 된 경질 피막 소재 를 제안 한 바 있 다 . [ 일본 특허 공개 제 2005 - 213637 호 ] 즉 , 입방정 암염 형 구조 를 갖 는 경질 피막 층 ( A 층 ) 사이 에 결정 구조 가 상이 한 비 암염 형 구조 를 갖 는 경질 피막 층 ( B 층 ) 을 삽입 하 여 , 경질 피막 층 ( A 층 ) 의 연속 적 인 결정 성장 을 억제 하 여 입자 를 미세 화 하 는 효과 를 얻 음 으로써 막 의 경도 및 내마모성 을 향상 시키 고자 하 였 다 . 이러 한 목적 달성 을 위해서 는 , A 층 의 두께 가 2 내지 200 nm 이 고 , B 층 의 두께 가 0 . 5 nm 이상 ( 바람직 하 기 로 는 1 nm 이상 ) 이 고 , 또한 B 층 은 A 층 두께 의 1 / 2 이하 의 범위 로 조절 되 어야 만 하 는 기술 조건 을 제안 하 고 있 다 . 그러나 , 일본 특허 공개 제 2005 - 213637 호 는 서로 다른 결정 구조 를 갖 는 막 층 을 증착 시켜 입자 미세화 에 의한 경도 향상 만 을 고려 하 고 있 을 뿐 , 증착 과정 에서 인가 한 바이어스 전압 에 의해 두 상간 의 계면 전이 영역 이 넓 어 져 오히려 경도 값 을 감소 시킬 수 도 있 고 , 특히 고온 조건 에서 는 두 상간 의 계면 전이 가 보다 활발 하 여 경도 값 을 더욱 감소 시킬 수 있 다는 고온 에서 의 구조 적 안정 성 과 이 에 따른 경도 의 변화 양상 에 대해서 는 전혀 고려 하 지 못했 다 .