상기 본 발명 의 태양 에 따른 방법 의 일 구 현예 에 따르 면 , 상기 하나 이상 의 제 1 도핑 영역 들 에 도 펀트 를 도입 하 는 단계 는 상기 하나 이상 의 제 1 및 제 2 도핑 영역 들 에 도 펀트 를 균일 하 게 도입 하 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 하나 이상 의 제 2 도핑 영역 들 에 도 펀트 를 도입 하 는 단계 는 마스크 를 통해서 상기 하나 이상 의 제 2 도핑 영역 들 에 추가 적 인 도 펀트 를 도입 하 는 단계 를 포함 한다 .