이제 도 13 을 참조 한다 . 도 13 은 본 개시 내용 의 일부 실시 예 에 따라 반도체 소자 ( 100 , 200 , 300 , 400 , 700 , 800 , 900 , 1000 , 1100 또는 1200 ) 를 제조 하 는 방법 ( 1300 ) 의 흐름 도 이 다 . 도 13 에 예시 된 공정 의 이전 , 도중 및 이후 에 추가 적 인 동작 이 제공 될 수 있 으며 , 아래 에 설명 되 는 동작 의 일부 는 방법 ( 1300 ) 의 추가 실시 예 에서 대체 또는 제거 될 수 있 음 을 이해 해야 한다 . 방법 ( 1300 ) 은 동작 ( 1301 - 1307 ) 을 포함 한다 . 도 13 에 예시 된 동작 의 순서 는 본 개시 내용 의 다른 실시 예 에 따라 변경 될 수 있 다 .