게이트 전극 ( 120 ) 양 측벽 상 에 는 게이트 스 페이서 구조물 ( 140 ) 이 배치 될 수 있 고 , 게이트 전극 ( 120 ) 의 상면 상 에 는 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 이 배치 될 수 있 다 . 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 의 양 측벽 상 에 는 절연 라이너 ( 160 ) 가 배치 될 수 있 고 , 절연 라이너 ( 160 ) 의 바닥 면은 게이트 스 페이서 구조물 ( 140 ) 의 상면 과 접촉 할 수 있 다 . 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 과 절연 라이너 ( 160 ) 사이 및 절연 캡 핑 층 ( 150 ) 과 게이트 스 페이서 구조물 ( 140 ) 사이 에 는 자연 산화 막 ( 162 ) 이 배치 될 수 있 다 . 게이트 스 페이서 구조물 ( 140 ) , 절연 캡 핑 층 ( 150 ) , 절연 라이너 ( 160 ) 및 자연 산화 막 ( 162 ) 에 대한 상세 한 사항 은 도 1 내지 도 3 에서 설명 된 바 를 참조 할 수 있 다 .