일부 실시 예 에서 , 처리 시스템 은 또한 경계 부 정보 를 사용 하 여 노이즈 신호 의 효과 를 보상 함 으로써 이미지 재 구성 의 충실 도 를 향상 시킬 수 있 다 . 위 에서 논의 된 바 와 같이 , 이미지 재 구성 의 충실 도 는 전자 검출 디바이스 ( 244 ) 에 의해 생성 된 또한 웨이퍼 에 의해 방출 된 산란 일 차 전자 또는 이 차 전자 에 의해 야기 되 지 않 는 노이즈 신호 에 의해 저하 될 수 있 다 . 이 노이즈 신호 는 , 예 를 들 어 임의 의 전자 를 수신 하 지 않 고 생성 될 수 있 는 암전 류 ( dark current ) 를 포함 할 수 있 다 . 이 노이즈 신호 는 빔 스폿 내 에 위치 된 전자 감지 요소 에서 뿐 만 아니 라 빔 스폿 밖 에 위치 된 전자 감지 요소 에서 도 나타날 수 있 다 . 노이즈 신호 는 전자 감지 요소 들 각각 에 독립 적 인 불 규칙 노이즈 신호 일 수 있 거나 , 노이즈 신호 는 검출기 의 어떠 한 영역 또는 전체 의 각 감지 요소 에서 의 유사 한 패턴 및 동일 또는 상이 한 진폭 을 갖 는 전신 노이즈 신호 일 수 있 다 . 본 발명 의 실시 예 로 , 처리 시스템 은 일 차 경 계부 ( 312 ) 밖 에 위치 된 것 으로 결정 된 전자 감지 요소 의 출력 으로부터 수신 된 신호 를 배제 할 수 있 다 . 이 는 일 차 경 계부 ( 312 ) 밖 의 전자 감지 요소 로부터 의 무작위 노이즈 신호 를 제거 함 으로써 이미지 재 구성 의 충실 도 를 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 일부 실시 예 에서 , 처리 시스템 은 일 차 경 계부 ( 312 ) 밖 에 있 는 것 으로 결정 된 전자 감지 요소 의 출력 으로부터 의 노이즈 신호 를 나타내 는 값 을 얻 을 수 있 다 . 일 차 경 계부 ( 312 ) 내 에 위치 된 전자 감지 요소 의 출력 으로부터 세기 값 을 생성 한 후 , 처리 시스템 은 세기 값 에서 노이즈 신호 성분 을 나타내 는 값 을 뺄 수 있 다 . 세기 값 에 존재 하 는 전신 노이즈 ( systemic noise ) 신호 성분 을 제거 또는 감소 시킴 으로써 , 이미지 재 구성 의 충실 도 가 향상 될 수 있 다 .