이 식각 공정 은 C 4 F 6 또는 C 4 F 8 과 같 은 CF 계열 의 식각 가스 를 이용 하 는데 , 이 CF 계열 의 식각 가스 는 식각 정지 막 ( 103 ) 과 의 식각 선택 비 가 높 기 때문 에 식각 정지 막 ( 103 ) 의 하부 층 ( 102 ) 에 데미지 ( damage ) 를 주 지 않 으면서 희생 막 ( 104 ) 을 용이 하 게 식각 할 수 있 게 한다 .