따라서 , 본 발명 은 카운터 도핑 을 이용 한 듀얼 폴리 게이트 형성 시 의 하드 마스크 질화 막 의 필링 현상 을 방지 할 수 있 으므로 , 소자 신뢰 성 을 확보 할 수 있 음 은 물론 제조 수율 을 향상 시킬 수 있 고 , 더 나아가 , 저 전력 ( low power ) 및 고속 ( high speed ) 소자 의 구현 에 크 게 기여 할 것 이 다 .