[ 0076 ] 몇몇 구현 들 에서 , 구동 구조 는 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 제 1 방향 으로 비접 촉식 으로 이동 시키 도록 구성 된 제 1 구동 하위 ( sub ) - 구조 ( 510 ) , 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 제 1 방향 으로 비접 촉식 으로 이동 시키 도록 구성 된 제 2 구동 하위 - 구조 ( 512 ) 를 포함 한다 . 제 1 구동 하위 - 구조 ( 510 ) 는 제 1 부분 , 예컨대 , 제 1 트랙 ( 112 ) 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 구동 하위 - 구조 는 추가 적 인 제 1 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 1 트랙 ( 132 ) 을 포함 할 수 있 다 . 유사 하 게 , 안내 구조 는 , 기판 캐리어 ( 120 ) 를 비접 촉식 으로 공중 부양 시키 도록 구성 된 제 1 안내 하위 - 구조 ( 520 ) , 및 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 비접 촉식 으로 공중 부양 시키 도록 구성 된 제 2 안내 하위 - 구조 ( 522 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 안내 하위 - 구조 ( 520 ) 는 제 2 부분 , 예컨대 , 제 2 트랙 ( 114 ) 을 포함 할 수 있 고 , 제 2 안내 하위 - 구조 ( 522 ) 는 추가 적 인 제 2 부분 , 예컨대 , 추가 적 인 제 2 트랙 ( 134 ) 을 포함 할 수 있 다 .