플라 즈 마 전원 공급 부 ( 140 ) 는 소정 의 주파수 를 가지 는 플 라즈 마 전원 을 발생 하 고 , 급전 케이블 을 통해 플 라즈 마 전원 을 제 1 내지 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 b , 130 c , 130 d ) 각각 에 공통 적 으로 공급 하 거나 개별 적 으로 공급 한다 . 이때 , 플라 즈 마 전원 은 고주파 ( 예 를 들 어 , HF ( High Frequency ) 전력 또는 VHF ( Very High Frequency ) 전력 이 공급 된다 . 예 를 들 어 , HF 전력 은 3 ㎒ ~ 30 ㎒ 범위 의 주파수 를 가지 며 , VHF 전력 은 30 ㎒ ~ 300 ㎒ 범위 의 주파수 를 가질 수 있 다 .