본 발명 에 따른 제 3 공정 단계 에서 , 상부 기판 의 상부 내부 정렬 마크 의 측정 이 이루어진다 . 상부 , 내부 정렬 마크 는 바람직 하 게 는 하부 렌즈 시스템 의 시야 에 이미 위치 되 어 있 으므로 , 광학 그룹 이 변위 될 필요 가 없 다 . 현재 개별 렌즈 시스템 의 변위 는 더 이상 허용 되 지 않 는다 . 상부 내부 정렬 마크 가 측정 되 면 상부 샘플 홀더 위치 와 상부 내부 정렬 마크 사이 에 고유 한 할당 이 존재 하 게 된다 . 특히 , 상부 샘플 홀더 는 추가 공정 으로 고정 된다 .