반도체 디바이스 , FPD ( Flat Panel Display ) , 유기 EL ( Organic Electro Luminescence ) 의 소자 , 태양 전지 의 제조 에 있 어서 , 반도체 기판 이나 유리 기판 등 에 는 , 성막 , 에칭 , 애 싱 , 산화 , 질화 , 도핑 , 확산 등 의 각종 처리 가 실시 된다 . 이 들 의 처리 에 있 어서 , 플라 즈 마를 이용 할 경우 에 는 , 감압 된 프로세스 챔버 내 에서 실행 된다 .