일반 적 으로 말 하 면 , 제어기 는 인스트 럭 션 들 을 수신 하 고 , 인스트 럭 션 들 을 발행 하 고 , 동작 을 제어 하 고 , 세정 동작 들 을 인 에 이 블 하 고 , 엔드 포인트 측정 들 을 인 에 이 블 하 는 등 을 하 는 다양 한 집 적 회로 들 , 로직 , 메모리 , 및 / 또는 소프트웨어 를 갖 는 전자 장치 로서 규정 될 수 도 있 다 . 집 적 회로 들 은 프로그램 인스트 럭 션 들 을 저장 하 는 펌웨어 의 형태 의 칩 들 , 디지털 신호 프로세서 들 ( DSP ) , ASIC ( application specific integrated circuit ) 으로서 규정 되 는 칩 들 및 / 또는 프로그램 인스트 럭 션 들 ( 예 를 들 어 , 소프트웨어 ) 을 실행 하 는 하나 이상 의 마이크로프로세서 들 , 또는 마이크 로 제어기 들 을 포함 할 수 도 있 다 . 프로그램 인스트 럭 션 들 은 반도체 기판 상 에서 또는 반도체 기판 에 대한 특정 프로세스 를 실행 하 기 위한 동작 파라미터 들 을 규정 하 는 , 다양 한 개별 설정 사항 들 ( 또는 프로그램 파일 들 ) 의 형태 로 제어기 로 또는 시스템 으로 전달 되 는 인스트 럭 션 들 일 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 동작 파라미터 들 은 하나 이상 의 층 들 , 재료 들 , 금속 들 , 산화물 들 , 실리콘 , 이산화 실리콘 , 표면 들 , 회로 들 , 및 / 또는 기판 의 다이 들 의 제조 동안 에 하나 이상 의 프로세싱 단계 들 을 달성 하 도록 프로세스 엔지니어 에 의해서 규정 된 레시피 의 일부 일 수 도 있 다 .