그리고 , 상기 폴리 싱 플 래 튼 ( 20 ) 은 그 상면 에 웨이퍼 ( W ) 의 표면 이 서로 접하 여 폴리 싱 이 이루어지 는 폴리 싱 패드 ( 26 ) 가 구비 되 며 , 그 하측 에 구동 수단 ( 미 도시 ) 에 연결 된 회전 구동축 ( 41 ) 이 형성 된다 . 따라서 , 폴리 싱 플 래 튼 ( 20 ) 은 구동 수단 에 의해 오비탈 ( orbital ) 운동 을 하 게 된다 .