유동 제어 캐비 티 가 너무 깊 지 않 아야 한다는 요건 과 깊 은 연결 영역 의 이점 을 조합 하 는 것 은 본 발명 의 조합 된 바람직 한 실시 형태 를 형성 한다 : 여기 에서 , 표면 영역 은 한편 으로 는 스 페이서 웨이퍼 의 두께 를 규정 하 는 돌출부 와 , 다른 한편 으로 는 접착제 를 침착 시키 기 위한 및 / 또는 초과 접착제 를 흡수 하 기 위한 국부 적 유동 제어 캐비 티 를 포함 한다 . 비교 적 깊 은 연결 영역 은 적당 한 양 의 접착제 가 스 페이서 영역 상 에 접착 되 는 기판 에 도달 되 도록 하 기 에 는 너무 깊 을 것 이 다 . 따라서 , 이 들 하나 이상 의 국부 적 유동 제어 캐비 티 는 스 페이서 영역 의 상부 표면 내 에 배치 된다 . 접착제 는 이 들 유동 제어 캐비 티 내 에 침착 되 고 , 스 페이서 를 다른 표면 에 접합 할 때 이미 설명 된 바 와 같 은 접착제 의 유동 이 일어난다 .