도 23 은 도 6 을 참조 하 여 설명 된 구조 에 수평 구 조체 ( HS ) 가 형성 된 것 을 도시 하 는 도면 이 다 . 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 의하 여 노출 된 상기 제 2 희생 막 들 ( 130 ) 을 선택 적 으로 제거 하 여 제 2 리세 스 영역 ( 미 도시 ) 을 형성 하 고 , 상기 제 2 리세 스 영역 을 채우 는 수평 구 조체 ( HS ) 를 형성 할 수 있 다 . 상기 수평 구 조체 ( HS ) 를 형성 하 는 것 은 상기 제 2 리세 스 영역 의 내벽 을 덮 는 수평 패턴 ( 220 ) 및 상기 제 2 리세 스 영역 의 나머지 공간 을 채우 는 제 1 도전 패턴 ( 230 ) 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 . 상기 수평 구 조체 ( HS ) 의 형성 시 , 상기 제 1 희생 막 ( 111 ) 은 식각 되 지 않 고 잔존 할 수 있 다 .