회합 도 1 ~ 3 의 콜로 이달 실리카 의 함유량 으로서 는 특별히 제한 되 지 않 으며 , 연마 액 전체 질량 에 대하 여 0 . 01 질량 % 이상 이 바람직 하 고 , 0 . 05 질량 % 이상 이 보다 바람직 하 며 , 10 질량 % 이하 가 바람직 하 고 , 5 질량 % 이하 가 보다 바람직 하 며 , 3 질량 % 이하 가 더 바람직 하 고 , 1 질량 % 이하 가 특히 바람직 하 다 .