실리콘 증착 의 경우 , 제 1 가스 공급 라인 ( 163 ) 은 제 1 가스 로 수소 ( H 2 ) 가스 를 공급 할 수 있 고 , 제 2 가스 공급 라인 ( 164 ) 은 제 2 가스 로 실란 ( Silane ; SiH 4 ) , 디 실란 ( Disilane ; Si 2 H 6 ) , 트리 실란 ( Trisilane ; Si 3 H 8 ) , TEOS ( Tetraethylorthosilicate ) , DCS ( Dichlorosilane ) , HCD ( Hexachlorosilane ) , TriDMAS ( Tri - dimethylaminosilane ) 또는 TSA ( Trisilylamine ) 일 수 있 다 .