기판 지지 부재 ( 100 ) 는 공정 진행 중 기판 ( W ) 을 지지 하 며 , 공정 이 진행 되 는 동안 구동 부 ( 140 ) 에 의해 회전 된다 . 기판 지지 부재 ( 100 ) 는 원형 의 상부 면 을 가지 는 스핀 헤드 ( 110 ) 를 포함 하 며 , 스핀 헤드 ( 110 ) 의 상부 면 에 는 기판 ( W ) 을 지지 하 는 핀 부재 ( 120 ) 가 설치 된다 . 핀 부재 ( 120 ) 는 지지 핀 들 ( 122 ) 과 정렬 핀 들 ( 124 ) 을 가진다 . 지지 핀 들 ( 122 ) 은 스핀 헤드 ( 110 ) 의 상부 면 가장자리 부 에 일정 배열 을 이루 며 소정 간격 이격 되 도록 배치 되 고 , 스핀 헤드 ( 110 ) 로부터 상측 으로 돌출 되 도록 구비 된다 . 지지 핀 들 ( 122 ) 은 기판 ( W ) 의 하면 을 지지 하 여 기판 ( W ) 이 스핀 헤드 ( 110 ) 로부터 상측 방향 으로 이격 된 상태 에서 지지 되 도록 한다 . 지지 핀 들 ( 122 ) 의 외 측 에 는 정렬 핀 들 ( 124 ) 이 각각 배치 되 며 , 정렬 핀 들 ( 124 ) 은 상측 으로 돌출 되 도록 구비 된다 . 정렬 핀 들 ( 124 ) 은 다수 의 지지 핀 들 ( 122 ) 에 의해 지지 된 기판 ( W ) 이 스핀 헤 드 ( 110 ) 상 의 정 위치 에 놓이 도록 기판 ( W ) 을 정렬 한다 .