도 2 는 본 실시 형태 에 따른 압 전 트랜스 의 구조 예 를 도시 하 는 도면 이 다 . 도 2 의 ( a ) 는 압 전 트랜스 의 단면도 ( 후술 하 는 도 3 b 의 IIa - IIb 선 을 따른 단면도 ) 로 , 지지 기판 ( 16 ) , 바람직 하 게 는 반도체 기판 상 에 절연 층 ( 17 ) 이 퇴적 되 고 , 이 절연 층 ( 17 ) 의 원 하 는 위치 에 공극 ( 18 ) 이 마련 되 어 있 다 . 압전체 의 압 전 베이스 [ 구동 부측 압전체 ( 1 ) , 발전부 측 압전체 ( 5 ) , 좌측 부 전극 ( 6 ) 및 우측 부 전극 ( 7 ) 으로 이루어짐 ] ( 27 ) 는 , 도 1 의 ( a ) 및 도 1 의 ( b ) 에 도시 한 상부 전극 ( 2 ) 상 의 노드 점 ( 11 ) , 하부 전극 ( 3 ) 상 의 노드 점 ( 12 ) , 좌측 부 전극 ( 6 ) 상 의 노드 점 ( 13 ) 및 우측 부 전극 ( 7 ) 상 의 노드 점 ( 14 ) 에 대해 각각 비아 ( 19 , 21 , 23 및 25 ) 를 통해 상부 전극 배선 ( 20 ) , 하부 전극 배선 ( 22 ) , 좌측 부 전극 배선 ( 24 ) 및 우측 부 전극 배선 ( 26 ) 에 전기 적 으로 접속 되 는 동시 에 , 배선 에 의해 물리 적 으로 보유 지지 되 어 있 다 . 또한 , 좌측 부 전극 ( 6 ) 의 단부 는 절연 층 ( 17 ) 의 측벽 에 있 어서 고정 되 고 , 반대 로 우측 부 전극 ( 7 ) 의 단부 는 절연 층 ( 17 ) 의 측벽 에 있 어서 지 지 되 어 있 지 않 고 자유 롭 게 되 어 있 다 . 도 2 의 ( b ) 는 압 전 트랜스 의 평면도 를 도시 하 는 것 이 며 , 구동 부측 압전체 ( 1 ) , 발전부 측 압전체 ( 5 ) , 좌측 부 전극 ( 6 ) 및 우측 부 전극 ( 7 ) 으로 이루어지 는 압 전 베이스 ( 27 ) 는 공극 ( 18 ) 의 상부 윤곽 [ 절연 층 ( 17 ) 의 상단 부 의 윤곽 ] ( 28 ) , 바닥 부 윤곽 [ 절연 층 ( 17 ) 의 하단 부 의 윤곽 ] ( 29 ) 에 대해 , 도 2 의 ( a ) 에 관한 설명 과 같이 도 2 의 ( b ) 에 도시 한 위치 관계 로 배치 된다 .