좌우 의 한 쌍 의 가이드 레일 44 의 사이 에 는 , 이 들 과 평행 하 게 연장 되 고 옆 으로 개구 하 는 단면 이 편평 한 홈 인 리니어 모터 고정자 45 가 배치 되 어 있 다 . 또한 리니어 모터 고정자 45 와 일방 의 가이드 레일 44 의 사이 에 는 갠트리 부 34 의 슬라이드 위치 를 검출 하 기 위한 리니어 스케일 46 이 배치 되 어 있 다 .