먼저 , 와전류 센 서부 ( 210 ) 에 의해 와전류 를 이용 하 여 연마 중 인 웨이퍼 의 두께 가 측정 되 고 , 적외선 센 서부 ( 220 ) 에 의해 적외선 을 이용 하 여 연마 중 인 웨이퍼 의 두께 가 측정 되 며 , 광 변위 센 서부 ( 230 ) 에 의해 레이저 광 을 이용 하 여 연마 중 인 웨이퍼 의 두께 가 측정 되 고 , 압력 센 서부 ( 240 ) 에 의해 압력 을 이용 하 여 연마 중 인 웨이퍼 의 두께 가 측정 되 며 , 음향 방출 센 서부 ( 250 ) 에 의해 음향 을 이용 하 여 연마 중 인 웨이퍼 의 두께 가 측정 된다 .