도 2 , 도 3 을 참조 한다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , ID 블록 ( 인 덱 서 블록 ) ( 2 ) , 제 1 처리 블록 ( 3 ) , 제 2 처리 블록 ( 5 ) , IF 블록 ( 인터페이스 블록 ) ( 6 ) 및 캐리어 버퍼 장치 ( 8 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 1 처리 블록 ( 3 ) , ID 블록 ( 2 ) , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 및 IF 블록 ( 6 ) 은 , 이 순서 대로 수평 방향 으로 직선 형상 으로 연결 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 은 , ID 블록 ( 2 ) 에 대해서 수평 방향 ( X 방향 ) 으로 연결 되 어 있 다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 은 , ID 블록 ( 2 ) 을 사이 에 끼 도록 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 반대 측 에 배치 되 고 , ID 블록 ( 2 ) 에 연결 되 어 있 다 . IF 블록 ( 6 ) 은 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 을 사이 에 끼우 고 ID 블록 ( 2 ) 의 반대 측 에 배치 되 고 , 제 2 처리 블록 ( 5 ) 에 연결 되 어 있 다 . 또한 , 도 2 , 도 3 에 있 어서 , 부호 PP 는 , 예 를 들 면 , 처리 액 을 이송 하 기 위한 배관 및 전기 배선 등 을 수용 하 기 위한 수 용부 이 다 . 또 , 본 실시 예 에 있 어서 , 제 1 처리 블록 ( 3 ) 은 , 본 발명 의 제 1 처리 장치 에 상당 한다 . 제 2 처리 블록 ( 5 ) 및 IF 블록 ( 6 ) 은 , 본 발명 의 제 2 처리 장치 에 상당 한다 .