제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 은 제 1 소자 분리 트렌치 ( 160 t ) 를 채울 수 있 다 . 제 1 소자 분리 트렌치 ( 160 t ) 의 일부 는 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 에 의해 정의 될 수 있 다 . 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 은 제 1 더미 게이트 구 조체 ( 120 _ 1 ) 와 제 2 더미 게이트 구 조체 ( 220 _ 1 ) 사이 와 , 제 1 더미 패턴 적층 체 ( 115 _ 1 ) 및 제 2 더미 패턴 적층 체 ( 215 _ 1 ) 사이 와 , 제 1 하부 패턴 ( 110 ) 및 제 2 하부 패턴 ( 210 ) 사이 로 연장 된다 . 제 1 소자 분리 막 ( 160 ) 은 기판 의 두께 방향 ( Z ) 으로 길 게 연장 될 수 있 다 .