이어서 , 도 2 f 와 같이 , 개방 구 ( 402 ) 를 갖 는 1 차 희생 막 ( 400 ) 상 에 대해 2 차 희생 막 ( 600 ) 을 증착 하 여 형성 하 며 , 이 에 따라 1 차 희생 막 ( 400 ) 의 상부 에 2 차 희생 막 ( 600 ) 이 쌓이 도록 형성 됨 과 아울러 개방 구 ( 402 ) 내 의 측벽 측 및 하부 측 에 2 차 희생 막 ( 600 ) 이 쌓여 형성 되 고 , 개방 구 ( 402 ) 내 의 측벽 측 에 존재 하 는 2 차 희생 막 ( 600 ) 은 해당 개방 구 ( 402 ) 의 폭 을 줄이 는 스 페이서 ( spacer ) ( 600 a ) 로 형성 된다 .