특히 , 상기 로드 락 챔버 와 기판 이송 장치 사이 에서 기판 을 교환 할 때 , 이전 의 대기압 상태 에서 진공 상태 로 전환 되 기 때문 에 이 에 의해 로드 락 챔버 내 에서 정렬 된 기판 은 약간 의 틀 어 짐 이 발생 되 고 , 이 에 의해 틀어진 기판 은 기판 이송 장치 를 통해 공정 챔버 내 로 인입 되 어 공정 이 수행 되 고 , 이 에 의해 소자 불량 을 발생 시키 며 , ZrO 2 , TiN 설비 에서 는 기판 이 정 위치 에서 0 . 5 mm 만 벗어나 도 공정 에 상당 한 영향 을 미치 므로 , 약간 의 오 정렬 이 발생 된 기판 은 상기 공정 에 상당 한 악영향 을 미치 게 된다 .