단 하나 의 광원 만 이 배치 된 경우 에 도 2 - 빔 셋 업 의 이점 들 이 활용 될 수 있 다 . 도 4 는 하나 의 예시 적 인 구현 에서 , 퇴적 챔버 내부 의 더 균일 한 조명 을 달성 하 기 위해 단일 광원 및 빔 스플리터 를 사용 하 는 , 광 산란 데이터 에 기초 하 여 퇴적 챔버 내부 에 존재 하 는 미립자 오염 물질 들 의 실시간 검출 을 구현 하 는 시스템 ( 400 ) 의 개략 도 이 다 . 시스템 ( 400 ) 은 단일 광원 ( 108 ) 및 빔 스플리터 ( 412 ) 를 갖 는다 . 빔 스플리터 ( 412 ) 는 광원 ( 108 ) 에 의해 생성 된 빔 의 일부 ( 예 를 들 어 , 1 / 2 ) 를 재 지향 시킬 수 있 다 . 재 지향 된 빔 은 또한 거울 들 ( 414 ( 1 ) -( 3 ) ) 과 같 은 거울 들 의 시스템 을 통해 , 그리고 제 2 렌즈 ( 308 ) 및 제 2 측면 윈도우 ( 310 ) 를 통해 챔버 ( 102 ) 내 로 재 지향 될 수 있 다 . 도시 된 구현 에서 , 3 개 의 거울 ( 414 ) 이 사용 된다 . 다른 구현 들 에서 , 거울 들 의 수 는 3 보다 크 거나 작 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , 분할 된 빔 을 제 1 렌즈 ( 204 ) 로부터 챔버 를 가로질러 제 2 렌즈 ( 308 ) 에 직접 전달 하 기 위해 2 개 의 거울 이 면 충분 할 수 있 다 .