그러나 , 상기 탑재 대 구조 를 마이크로파 를 이용 하 는 플 라즈 마 처리 장치 에 채용 하 면 , 처리 용 기내 에 도입 되 는 마이크로파 가 , 처리 용기 내 의 도체 로부터 , 반도체 정도 의 저항 치 를 가진 비금속 재료 로 이루어지 는 히터 에 의해서 흡수 되 어 버린다 . 이 경우 , 히터 에 국소 적 인 이상 발열 이 발생 하 여 , 히터 자체 가 소모 되 어 단수 명화 된다고 하 는 문제 가 있 다 .