본 발명 은 바람직 한 접착성 과 스텝 커버리지 를 갖 는 , 극 박 ( ultra thin ) 의 낮 은 저항성 텅스텐 풍부 장벽 층 을 제공 한다 . 상기 턴 스텐 풍부 층 은 ( 금속 텅스텐 ( W ) 과 텅스텐 함유 화합물 ( 가령 , 텅스텐 카바이드 ) 을 포함 하 여 ) 50 원자 % 이상 의 텅스텐 이 다 . 많 은 실시 예 에서 , 층 은 텅스텐 과 텅스텐 카바이드 ( WC ) 의 혼합물 이 다 .