증착 라인 이후 금속 증착 을 위한 금속 증착 라인 이 배열 되 는 것 도 단일 모델 용 과 같 고 , 금속 증착 라인 에 기판 을 전달 할 TM 4 와 TM 7 챔버 가 금속 증착 라인 시작점 에 배열 되 며 , 금속 증착 라인 의 종료 지점 각각 에 TM 5 와 TM 8 챔버 가 배열 되 고 , 분기 배열 된 이 들 은 패스 챔버 에 의해 TM 9 챔버 로 통합 된다 .