여기 서 , 격자 투영 수단 ( 1 ) 은 검사 대상 ( 3 ) 예 를 들 면 반도체 패키지 와 같 은 대상 의 표면 에 일정 패턴 의 영상 이 생성 되 도록 하 는 것 으로 , 빛 을 조사 하 는 광원 ( 11 ) 과 광원 ( 11 ) 의 후단 에 배치 되 어 검사 대상 ( 3 ) 표면 에 일정 패턴 의 그림자 영 상 을 생성 하 는 격자 수단 ( 12 ) 과 , 격자 수단 ( 12 ) 의 후단 에 배치 되 어 격자 수단 ( 12 ) 에 의해 생성 된 영상 을 후단 으로 투영 시키 는 투영 광학계 ( 16 ) 와 , 투영 광학계 ( 16 ) 로부터 투영 된 광 을 검사 대상 ( 3 ) 표면 으로 반사 시키 는 반사 미러 ( 14 ) 등 으로 구성 되 며 , 검사 대상 표면 에 동축 조명 을 조사 하 기 위한 동축 조명 수단 ( 4 ) 과 반사 미러 ( 5 ) 를 더 구비 할 수 있 다 .