기판 반송 장치 ( 100 ) 는 , 상하 2 단 으로 설치 되 는 핸드 부 ( 10 ) ( 상측 의 핸드 부를 상측 핸드 부 ( 11 ) , 하측 의 핸드 부를 하측 핸드 부 ( 12 ) 라고 함 ) , 상측 및 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 일단 인 각 근원 측 ( 11 b , 12 b ) 을 지지 함 과 동시 에 , 각각 의 상측 및 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 를 그 연장 방향 으로 왕복 이동 시키 는 이 동부 ( 20 ) , 상측 또는 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 어느 한 쪽 을 전진 시켰 을 때 및 기판 ( W ) 을 올려 놓 았 을 때 의 휨 에 따른 상측 또는 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 선 단부 ( 11 a , 12 a ) 의 수평 방향 에 대한 기울기 를 검출 하 는 기울기 검 출부 ( 30 ) , 상측 및 하측 핸드 부 ( 11 , 12 ) 의 선 단부 ( 11 a , 12 a ) 의 기울기 를 캔 슬 ( cancel ) 하 도록 핸드 부 ( 10 ) 전체 를 피칭 ( pitching ) 요동 시키 는 기울기 보 정부 ( 40 ) 를 구비 한다 .