마스크 재료 는 , 증착 될 때 하부 에 놓인 기판 을 손상 시키 지 않 는 임의 의 재료 일 수 있 다 . 마스크 는 또한 레이저 광 에 대해 투과성 일 수 있 다 . 최소 홀 크기 는 50 nm , 바람직 하 게 는 적어도 100 - 200 nm 일 수 있 다 . 마스크 의 두께 는 10 내지 100 nm , 예컨대 10 내지 40 nm 일 수 있 다 .