여기 에 나타내 는 제 1 보호막 형성 용 시트 ( 2 ) 는 제 1 지지 시트 로서 제 1 기재 상 에 제 1 중간층 이 적층 되 어 , 상기 제 1 중간층 상 에 제 1 점착제 층 이 적층 되 어 이루어지 는 것 을 사용 하 고 있 다 . 즉 , 제 1 보호막 형성 용 시트 ( 2 ) 는 제 1 기재 ( 11 ) 를 구비 하 고 , 제 1 기재 ( 11 ) 상 에 제 1 중간층 ( 14 ) 을 구비 하 며 , 제 1 중간층 ( 14 ) 상 에 제 1 점착제 층 ( 13 ) 을 구비 하 고 , 제 1 점착제 층 ( 13 ) 상 에 경화 성 수지 층 ( 경화 성 수지 필름 ) ( 12 ) 을 구비 하 여 구성 되 어 있 다 . 제 1 지지 시트 ( 102 ) 는 제 1 기재 ( 11 ) , 제 1 중간층 ( 14 ) 및 제 1 점착제 층 ( 13 ) 이 이 순서 로 적층 되 어 이루어지 는 적층 체이 고 , 제 1 지지 시트 ( 102 ) 의 한쪽 면 ( 102 a ) 상 , 즉 제 1 점착제 층 ( 13 ) 의 한쪽 면 ( 13 a ) 상 에 경화 성 수지 층 ( 12 ) 이 형성 되 어 있 다 .