본 발명 에 따른 기판 처리 챔버 내 이오 나이저 의 장착 구조 에 의하 면 , 바 형태 의 이오나 이 저 를 수평 인 상태 와 경사진 상태 로 선택 적 으로 고정 할 수 있 으므로 수평 인 상태 와 경사진 상태 로 고정 하 기 위한 고정 용 프레임 을 별도 로 설계 제작 할 필요 가 없 다 . 또한 이오 나이저 의 고정 각도 와 무관 하 게 동일 한 고정 프레임 을 이용 할 수 있 으므로 설비 품질 을 향상 시킬 수 있 다 .