상기 희생 층 의 증착 이전 에 하나 이상 의 유전체 층 전처리 공정 이 수행 될 수 있 다 . 상기 희생 층 의 증착 이전 의 상기 유전체 층 전처리 공정 은 , 습식 세척 공정 , 가스 제거 공정 , 플라 즈 마 세 척 공정 , 플라 즈 마 치밀 화 ( Densification ) 공정 , 및 시릴 레이 션 ( Silylation ) 공정 을 포함 하 는 그룹 으로부터 선택 되 는 하나 이상 의 전처리 공정 에 의해 수행 될 수 있 다 . 잔여물 제거 공정 이후 에 , 희생 층 의 하나 이상 의 서브 층 이 보유 되 어 상기 다 마신 인터 커넥트 시스템 의 최종 구조 에 포함 되 도록 하 기 위해서 는 , 상기 전처리 공정 이 추가 적 으로 요구 될 수 있 다 .