하나 의 도메인 이 다른 도메인 으로부터 보정 을 받아들이 는 경우 , 이 두 도메인 사이 에 양호 한 상관 관계 가 존재 할 가능 성 이 높 으면서 많 은 양 의 데이터 포인트 가 주어진다 . 예 를 들 어 , 스캐너 는 정렬 측정 으로부터 의 정보 를 사용 하 여 기판 그리드 ( 변형 ) 를 보정 한다 . 정렬 모델 내 에서 사용 되 는 최대 5 차 다항식 성분 의 매개변수 에 대한 정렬 과 오버레이 간 에 밀접 한 상관 관계 가 있 다는 가정 이 있 다 . 즉 , 도메인 B ( 오버레이 ) 는 도메인 A ( 정렬 ) 로부터 보정 을 받아들이 며 도메인 A 와 도메인 B 간 에 는 밀접 한 상관 관계 가 있 다 .