또한 , 전해 가공 을 행하 고 있 던 상기 암 의 선단 에 있 는 전극 은 , 웨이퍼 ( W ) 의 가공 위치 로부터 벗어난다 . 웨이퍼 가공 위치 로부터 벗어난 대기 위치 에 는 , 순수 로 채워진 포트 가 있 고 , 거기 에 전극 재료 를 침지 하 여 전극 에 부착 한 전해액 을 세정 한다 . 포트 에 는 순수 가 끊임없이 공급 되 어 , 오버플로 우한 상태 로 하 고 있 다 . 또한 , 초음파 가 카본 브 러쉬 와 같 은 전극 재료 라도 , 브 러쉬 간 에 모세관 현상 에 의해 배어나 온 전해액 도 깨끗 하 게 씻 어 낸다 .