「 내 파티클 성 」 의 지표 로서 「 휘도 Sa ( luminance Sa ) 」 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 여기 에서 말 하 는 「 휘도 Sa 」 란 투과 형 전자 현미경 ( TEM : Transmission Electron Microscope ) 에 의해 얻 어 진 구조물 의 명시 야상 의 디지털 흑백 화상 의 픽셀 정보 를 정량 화 해서 얻 은 지표 이 며 , 기공 률 이 매우 작 은 ( 0 . 01 ~ 0 . 1 %) 구조물 에 있 어서 추가 적 인 미세 한 ( 예 를 들 면 , 나노 레벨 ) 구조 를 평가 가능 한 지표 이 다 . 휘도 Sa 가 작 을수록 내 파티클 성 이 우수 하 다 . 「 휘도 Sa 」 란 산술 평균 높이 Sa 의 개념 을 디지털 TEM 화상 의 화상 처리 에 응용 한 것 이 다 .