한편 , 제 1 스텝 ( 박막 의 에칭 공정 ) 으로부터 제 2 스텝 ( 트리트 먼 트 공정 ) 으로 이행 할 때 , 밸브 ( 262 e , 261 e , 262 f , 261 f ) 나 , 밸브 ( 262 c , 261 c , 262 d , 261 d ) 를 개방 한 상태 로 하 고 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 대한 F 2 가스 , 또는 희석 된 F 2 가스 의 공급 을 유지 하 도록 해도 된다 .