도 5 는 본 고안 의 레이저 에칭 장치 의 도광기 ( 53 ) 의 입체 구성 을 도시 한 도면 이 다 . 도광기 ( 53 ) 는 레이저 광선 ( 52 ) 을 부품 ( 56 ) 에 닿 게 하 는 위치 를 조정 하 는 진동 미러 식 주사 계통 ( 57 ) 과 , 레이저 광선 ( 52 ) 을 부품 ( 56 ) 에 수직 으로 닿 게 하 는 수직 광 발생 장치 ( 59 ) 를 포함 한다 .