기판 ( 101 ) 은 x 방향 과 y 방향 으로 연장 되 는 상면 을 가질 수 있 다 . 기판 ( 101 ) 은 반도체 물질 , 예컨대 Ⅳ 족 반도체 , Ⅲ - Ⅴ 족 화합물 반도체 또는 Ⅱ - Ⅵ 족 화합물 반도체 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , Ⅳ 족 반도체 는 실리콘 , 게르마늄 또는 실리콘 - 게르마늄 을 포함 할 수 있 다 . 기판 ( 101 ) 은 벌크 웨이퍼 , 에피 택 셜 층 , 에피 택 셜 층 , SOI ( Silicon On Insulator ) 층 , 또는 SeOI ( Semiconductor On Insulator ) 층 등 으로 제공 될 수 도 있 다 .