RF 전류 로 하여금 코일 ( 433 ) 을 통해 흐르 게 하 도록 RF 전력 공급 부 ( 441 ) 로부터 코일 ( 433 ) 로 RF 전력 이 공급 된다 . 코일 ( 433 ) 을 통한 RF 전류 는 코일 ( 433 ) 을 중심 으로 전자기장 을 생성 한다 . 전자기장 은 상부 서브 - 챔버 ( 402 ) 내 에 유도 전류 를 생성 한다 . 웨이퍼 ( 419 ) 와 다양 한 생성 된 이온 들 및 라디칼 들 의 물리 적 및 화학 적 상호 작용 들 은 웨이퍼 ( 419 ) 의 피처 들 을 에칭 하 고 웨이퍼 ( 419 ) 상 에 층 들 을 선택 적 으로 증착 한다 .