현상 블럭 ( 30 b ) 은 열처리 챔버 ( 3200 ) , 반송 챔버 ( 3400 ) , 그리고 액 처리 챔버 ( 3600 ) 를 가진다 . 현상 블럭 ( 30 b ) 의 열처리 챔버 ( 3200 ) , 그리고 반송 챔버 ( 3400 ) 는 도포 블럭 ( 30 a ) 의 열처리 챔버 ( 3200 ) , 그리고 반송 챔버 ( 3400 ) 와 대체로 유사 한 구조 및 배치 로 제공 되 므로 , 이 에 대한 설명 은 생략 한다 .