WCl 6 가스 공급 기구 ( 51 ) 는 , WCl 6 을 수용 하 는 원료 용기 인 성막 원료 탱크 ( 91 ) 를 갖 고 있 다 . WCl 6 은 상온 에서 고체 인 고체 원료 이 다 . 성막 원료 탱크 ( 91 ) 의 주위 에 는 히터 ( 91 a ) 가 마련 되 어 있 어 , 성막 원료 탱크 ( 91 ) 내 의 성막 원료 를 적절 한 온도 로 가열 하 여 , WCl 6 을 승화 시키 도록 되 어 있 다 . 성막 원료 탱크 ( 91 ) 내 에 는 상술 한 WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 이 상방 으로부터 삽입 되 어 있 다 .