무기성 재료 로 이루어지 는 막 중 가장 낮 은 유전율 을 나타내 는 CVD - SiO 2 막 이 라도 약 4 의 비유전율 을 갖 는다 . 최근 , 저 유전율 CVD 막 으로서 연구 된 SiOF 막 은 약 3 . 3 ~ 3 . 5 의 비유전율 을 갖 지만 , 이 들 은 높 은 흡습 성 으로 인하 여 사용 시 에 유전 율 이 높 아 진다는 결점 을 갖 는다 .