또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 도 , 하나 의 종단 광학 소자 ( FL ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 이 조사 되 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 의 중심 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 중심 과 의 Y 축 방향 의 거리 는 , 도 2 에 나타낸 바 와 같이 , 기판 ( P ) 위 의 하나 의 쇼트 영역 보다 도 작 다 . 또 , 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 은 그 일부 가 기판 위 에서 중복 되 어 있 어도 좋 다 . 본 실시 형태 의 투영 계 ( PL ) 는 , 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 가 배치 되 는 물 체면 측 에 2 개 의 시야 를 가지 는 쌍두 형 의 반사 굴절계 이 며 , 그 2 개 의 시야 내 의 패턴 의 상 이 기판 ( P ) 이 배치 되 는 상면 측 의 하나 의 시야 내 의 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 에 각각 투영 된다 .