여기 에서 , 복수 의 기판 처리 장치 ( 1 ) 가 설치 되 는 경우 의 그 들 의 설치 방법 에 대하 여 설명 한다 . 양산 공장 에 있 어서 , 외부 반송 기구 ( OHT ) 로부터 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 캐리어 ( C ) 를 반입 및 반출 하 기 위하 여 , 외부 반송 기구 ( OHT ) 의 레일 ( 77 ) 하방 에 는 , 캐리어 ( C ) 의 수 용부 ( 포트 ( 71 , 72 ) ) 가 필요 하 다 . 도 14 에 나타내 는 바 와 같이 , 외부 반송 기구 ( OHT ) 는 , 복수 ( 도 14 에서 는 2 개 ) 의 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 캐리어 ( C ) 를 반송 한다 . 여기 에서 , 한정 된 공장 내 스페이스 에 있 어서 , 외부 반송 기구 ( OHT ) 가 캐리어 ( C ) 를 각 기판 처리 장치 ( 1 ) 에 효율 적 으로 반송 하 기 위하 여 , 레일 ( 77 ) 하방 에 각 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 수 용부 가 집합 하 여 배치 되 어 있 는 것 이 바람직 하 다 . 그 때문 에 , 캐리어 ( C ) 의 수 용부 만 이 레일 ( 77 ) 하방 에 배치 되 도록 기판 처리 장치 ( 1 ) 의 설치 위치 및 설치 방향 이 결정 된다 . 예 를 들 면 , 양산 공장 내 에 콤팩트 하 게 배치 하 기 위하 여 , 복수 의 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 도 14 에 나타내 는 바 와 같이 , 가로 로 늘어서 서 ( Y 방향 ) 배치 된다 . 또한 , 캐리어 ( C ) 의 수 용부 가 레일 ( 77 ) 하방 에 배치 되 도록 , 복수 의 기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 같 은 방향 으로 설치 된다 .