본 발명 은 , 기판 의 표면 에 진공 증착 에 의해 소망 하 는 패턴 의 박막 ( 재료 층 ) 을 형성 하 는 장치 에 바람직 하 게 적용 할 수 있 다 . 기판 의 재료 로 는 유리 , 고분자 재료 의 필름 , 금속 등 의 임의 의 재료 를 선택 할 수 있 고 , 또한 증착 재료 로서 도 유기 재료 , 금속 성 재료 ( 금속 , 금속 산화물 등 ) 등 의 임의 의 재료 를 선택 할 수 있 다 . 본 발명 의 기술 은 , 구체 적 으로 는 , 유기 전자 디바이스 ( 예 를 들 면 , 유기 EL 표시 장치 , 박막 태양 전지 ) , 광학 부재 등 의 제조 장치 에 적용 가능 하 다 . 그 중 에서 도 , 유기 EL 표시 장치 의 제조 장치 는 , 기판 의 대형 화 또는 표시 패널 의 고정 밀화 에 따라 기판 과 마스크 의 얼라인먼트 정밀도 및 밀착 정밀도 의 더 나 은 향상 이 요구 되 고 있 기 때문 에 , 본 발명 의 바람직 한 적용 예의 하나 이 다 .