예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 레벨 링 센서 ( 300 ) 는 기판 플레이트 상 에서 처리 되 는 기판 에 대응 하 는 형상 을 가질 수 있 다 . 도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 레벨 링 센서 ( 300 ) 는 포토 마스크 기판 에 대응 하 는 정사각형 형상 을 갖 는 마스크 형 레벨 링 센서 일 수 있 다 . 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 레벨 링 센서 ( 300 ) 는 웨이퍼 에 대응 하 는 원반 형상 을 갖 는 웨이퍼 형 레벨 링 센서 일 수 있 다 .