이 에 따라 , 각 채널 홀 들 ( 250 ) 내 제 1 에피택시 얼 층 ( 202 ) 상 에 는 전하 저장 구조물 ( 300 ) , 채널 ( 310 ) 및 충전 패턴 ( 320 ) 이 순차 적 으로 적층 될 수 있 다 . 이때 , 전하 저장 구조물 ( 300 ) 은 저면 중앙부 가 뚫린 컵 형상 으로 형성 될 수 있 고 , 채널 ( 310 ) 은 컵 형상 으로 형성 될 수 있 으며 , 충전 패턴 ( 320 ) 은 필라 ( pillar ) 형상 으로 형성 될 수 있 다 .