본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위해 안출 된 것 으로서 , 본 발명 의 목적 은 촬상부와 조명 부 사이 에 피검 사체 ( 기판 ) 를 놓 고 , 촬상부와 조명 부 에 위치 한 편광판 를 별도 의 구동 수단 을 이용 해 편광 각도 를 회전 시킴 과 동시 에 위상각 을 변화 하 여 표면 에 있 는 결함 을 자동 으로 검출 할 수 있 게 하 는 기판 결함 검출 장치 를 제공 하 는데 있 다 .