웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 노광 이 완료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 , 도 11 에 도시 된 스크럼 상태 이동 영역 ( AS ) 내 의 각각 의 소정 위치 ( 우측 스크럼 포지션 ) 를 향한 구동 을 개시 한다 . 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 우측 스크럼 포지션 의 이동 개시 후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 계측 에 이용 되 는 Y 간섭계 를 , Y 간섭계 ( 17 ) 로 부터 Y 간섭계 ( 16 ) 로 전환 한다 . 또한 이 때 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 인코더 헤드 ( EX 1 및 EX 2 , 및 EY ) 를 이용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 위치 를 계측 하 고 , 그 계측 결과 에 기초 하 여 , 헤드 ( EX 1 및 EX 2 , 및 EY ) 및 대응 하 는 스케일 ( SX 2 및 SY 2 ) 의 배치 에 의해 규정 되 는 경로 ( 직선 경로 ) 를 따라 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 를 이동 시킨다 .