한편 , 화학 약품 을 이용 하 여 웨이퍼 를 세정 하 는 습식 세정 공정 은 통상 적 으로 세정액 에 웨이퍼 를 담그 는 웨이퍼 세정 과정 , 탈 이온 수 등 을 이용 하 여 상기 웨이퍼 에 묻 어 있 는 세정액 을 제거 하 는 린스 과정 , 그리고 상기 웨이퍼 표면 의 탈 이온 수 를 제거 하 는 건 조 과정 으로 나뉘 어 진행 된다 . 이때 , 상기 습식 세정 에 사용 되 는 세정액 은 제거 하 고자 하 는 불순물 의 종류 에 따라 산 성 또는 알칼리 성 세정액 이 사용 될 수 있 다 . 그리고 , 이러 한 세정액 은 세정 되 어 질 웨이퍼 의 종류 및 공정 상태 등 과 같 은 세정 조건 에 따라 그 농도 , 양 , 그리고 온도 등 의 조건 이 매우 세밀 하 게 조절 된다 .