상기 제 3 단계 ( S 213 c ) 에 이어서 , 상기 ALD 단위 반응 ( S 213 ) 의 제 4 단계 ( S 213 d ) 를 수행 할 수 있 다 . 상기 제 4 단계 ( S 213 d ) 에서 는 상기 고주파 방전 을 중단 하 고 H 2 가스 및 Ar 가스 만 을 공급 할 수 있 다 . 상기 제 4 단계 ( S 213 d ) 중 에 , 상기 ALD 반응 챔버 에 잔류 하 는 TiCl 4 가스 및 반응 부산물 이 외부 로 배출 될 수 있 다 .