또 , 제 4 , 제 5 실시 형태 에 있 어서 , 제 1 마스크 ( M 1 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 이 통과 하 는 제 1 광학계 ( 31 ) 의 일부 의 광학 소자 와 , 제 2 마스크 ( M 2 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 이 통과 하 는 제 2 광학계 ( 32 ) 의 일부 의 광학 소자 를 이동 및 / 또는 경사 가능 하 게 하 고 , 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 투영 되 는 패턴 상 과 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 투영 되 는 패턴 상 을 각각 독립 적 으로 조정 하 도록 하 여도 좋 다 .