평가 사이트 는 , 프로세스 종속 적 사이트 , 측정 종속 적 사이트 , 검사 종속 적 사이트 , 층 종속 적 사이트 , 웨이퍼 종속 적 사이트 를 포함 할 수 있 고 , S - D 신뢰 도 데이터 는 정확 도 데이터 , S - D 처리 데이터 , S - D 측정 데이터 , S - D 검사 데이터 , S - D 시뮬레이션 데이터 , S - D 예측 데이터 , S - D 이력 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 한 S - D ( 마스크 작성 ) 데이터 에 대한 신뢰 도 값 을 포함 할 수 있 으며 , 제 1 마스크 작성 신뢰 도 요건 은 , 정확 도 한계 , 처리 데이터 한계 , 측정 데이터 한계 , 검사 데이터 한계 , 시뮬레이션 데이터 한계 , 예측 데이터 한계 , 및 / 또는 이력 데이터 한계 를 포함 한 마스크 작성 데이터 에 대한 신뢰 도 데이터 한계 를 포함 할 수 있 다 .