도 5 는 , 제 1 실시 형태 에 따른 기판 적 재 대 ( 5 ) 의 주요부 를 확대 해서 도시 하 는 종단 면도 이 다 . 도 4 및 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 외측 확산 부 ( 28 a ) 는 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 컨덕턴스 밴드 ( 23 ) 의 외주 면 을 따라 마련 된 제 1 외측 확산 부 ( 28 a 1 ) 와 , 적 재면 ( 21 a ) 에 개구 되 어 외측 유로 ( 26 ) 의 단부 에 마련 된 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 를 포함 한다 . 제 2 외측 확산 부 ( 28 a 2 ) 는 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 기판 ( 3 ) 의 직경 방향 에 있 어서 , 시일 밴드 ( 22 ) 의 내 주면 으로부터 간격 을 두 고 배치 되 어 있 다 .