전술 한 바 와 같이 제 1 또는 제 2 제어 형태 에서 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 하 면 , 처리 중 로트 에 관한 기판 처리 를 계속 수행 한 후 에 소정 의 타이밍 으로 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 한다 . 단 , 메인 터 넌 스 예약 정보 를 발한 후 이 어도 경우 에 따라서 는 어떠 한 이유 에 의해 메인 터 넌 스 처리 를 수행 하 는 타이밍 을 빠르 게 하 거나 또는 늦출 필요 가 발생 하 는 경우 도 있 다 . 그래서 제 3 제어 형태 에서 는 메인 터 넌 스 예약 정보 에 따라 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 타이밍 에 대해서 그 타이밍 의 소정 범위 에서 의 변경 을 접수 하 도록 한다 .