그러나 , 수용성 폴리머 임 에 도 , 가교 된 보호 층 코팅 은 유기 용매 와 친화성 을 갖 는다 . 따라서 , 코팅 된 제 1 PR 마스크 의 상부 상 에 제 2 PR 재료 가 액체 - 도포 되 는 경우 에 , " 액체 PR 재료 의 유기 용매 는 가교 된 영역 이 "" 겔 ( gel ) "" 을 형성 하 게 하 고 제 1 PR 패턴 이 팽창 ( swell ) 및 / 또는 변형 되게 하 여 ", 라인 - 에지 거칠 기 ( LER ) , 라인 왜곡 ( distortion ) , 및 / 또는 라인 리프팅 ( lifting ) 및 결함 들 을 유발 한다 . 또한 , 오리지널 임계 치수 ( CD ) 를 보존 하 기 위해 , 제 1 PR 패턴 상 의 가교 된 코팅 이 가능 한 한 얇 은 것 이 바람직 하 지만 , 이 는 변형 문제 들 을 악화 시킨다 .