상기 반 투과막 을 형성 한 때 에 사용 하 는 불활성 가스 로 는 아르곤 ( Ar ) , 헬륨 ( He ) , 네온 ( Ne ) , 제논 ( Xe ) 등 으로 이루어진 군 으로부터 적어도 1 종 이상 을 선택 하 여 사용 하 고 , 활성 가스 로 는 산소 ( O 2 ) , 질소 ( N 2 ) , 일산 화 탄소 ( CO ) , 이산화 탄소 ( CO 2 ) , 아산화질소 ( N 2 O ) , 산화질소 ( NO ) , 이산화질소 ( NO 2 ) , 암모니아 ( NH 3 ) , 메탄 ( CH 4 ) 등 으로 이루어진 군 으로부터 적어도 1 종 이상 을 선택 하 여 사용 한다 . 상기 진공 챔버 의 진공도 는 0 . 3 내지 10 mTorr , 인가 전력 은 0 . 3 내지 30 kW 인 조건 에서 , 상기 반응 성 가스 의 혼합 비율 은 불활성 가스 : 질소 : 이산화 탄소 : 메탄 을 0 내지 100 % : 0 내지 95 % : 0 내지 95 % : 0 내지 95 % 로 할 수 있 다 . 그리고 상기 이산화 탄소 또는 질소 또는 이산화 탄소 및 질소 대신 에 산소 , 아산화질소 , 산화질소 및 이산화질소 중 적어도 어느 하나 를 사용 할 수 있 다 .