도 3 에 있 어서 , 서 셉 터 ( S ) 는 원반 형상 을 나타내 고 있 고 , 성막 실 ( 2 ) 에서 의 성막 처리 시 에 는 서 셉 터 ( S ) 상 에 웨이퍼 ( W ) 가 재치 된다 . 또한 , 서 셉 터 ( S ) 의 형상 은 이것 에 한정 되 는 것 이 아니 며 , 예 를 들 어 , 링 형상 이 어도 된다 . 또 , 서 셉 터 ( S ) 는 도 4 에 나타내 는 형상 으로 할 수 도 있 다 .