동작 ( 1005 ) 에서 , 프로세스 가스 ( 110 ) 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 에 전달 된다 . 동작 ( 1010 ) 에서 , 프로세스 가스 ( 110 ) 는 플 라즈 마 챔버 ( 210 ) 에서 제 1 압력 으로 유지 된다 . 제 1 압력 은 플 라즈 마 챔버 의 유출 부 포트 들 ( 220 ) 의 세트 에 연결 되 는 프로세스 챔버 ( 230 ) 의 압력 의 2 배 이상 과 같 거나 또는 2 배 이상 까지 일 수 있 다 .