제 1 노즐 들 ( 152 ) 은 상기 제 1 가스 확산 공간 ( 151 ) 에 연결 되 어 상기 가스 분배 반 의 하부 로 가스 를 분사 할 수 있 다 . 상기 제 1 노즐 들 ( 152 ) 은 상기 접지 전극 ( 120 ) 과 상기 전원 전극 ( 110 ) 사이 의 공간 에 제 1 가스 를 분사 할 수 있 다 . 제 1 노즐 들 ( 152 ) 은 제 1 방향 으로 정렬 될 수 있 다 .