또 , 상기 한 3 ) 노광 하 는 단계 전 에 , 틀 의 개구부 를 기판 에 가압 한 상태 에서 , 기판 마다 50 ∼ 150 ℃ 에서 1 분 간 ∼ 30 분 간 가열 하 는 단계 , 또는 상기 한 3 ) 노광 하 는 단계 후 , 또한 , 4 ) 틀 을 박리 하 는 단계 전 에 , 기판 마다 150 ℃ ∼ 260 ℃ 에서 1 분 간 ∼ 5 시간 가열 하 는 단계 를 추가 로 실시 해도 된다 .