[ 0028 ] 도 1 b 를 예시 적 으로 참조 하 면 , 본원 에서 설명 되 는 임의 의 다른 실시 예 들 과 조합 될 수 있 는 실시 예 들 에 따라 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 130 ) 는 , 도 1 b 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 , 기판 이송 방향 과 상이 한 이동 방향 으로 이동 가능 하 도록 구성 된 적어도 하나 의 홀딩 엘리먼트 ( 131 ) 를 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 적어도 하나 의 홀딩 엘리먼트 ( 131 ) 는 , 기판 표면 의 평면 에 실질 적 으로 수직 하 는 방향 으로 , 예컨대 도 1 b 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같 은 z - 방향 으로 이동 가능 하 도록 구성 될 수 있 다 . 도 1 b 에서 , 적어도 하나 의 홀딩 엘리먼트 ( 131 ) 의 이동 방향 은 홀딩 엘리먼트 상 에 도시 된 양방향 화살표 에 의해 표시 된다 . 본원 에서 설명 되 는 다른 실시 예 들 과 조합 될 수 있 는 일부 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 130 ) , 특히 적어도 하나 의 홀딩 엘리먼트 ( 131 ) 는 x - 방향 및 / 또는 y - 방향 및 / 또는 z - 방향 으로 이동 가능 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예 로서 , 적어도 하나 의 홀딩 엘리먼트 는 , 스텝 퍼 액추에이터 , 브러시 리스 액추에이터 , DC ( 직류 ) 액추에이터 , 보이스 코일 액추에이터 , 압 전 액추에이터 , 및 이 들 의 임의 의 조합 으로 이루어진 그룹 으로부터 선택 된 적어도 하나 의 액추에이터 를 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 유리 하 게 , 마스크 캐리어 는 제 2 트랙 상 에서 미리 결정 된 포지션 으로 이송 될 수 있 는데 , 여기 서 홀딩 어 레인지 먼 트 , 특히 이동 가능 한 홀딩 엘리먼트 는 , 마스크 캐리어 를 미리 결정 된 포지션 에 홀딩 하 기 위해 마스크 캐리어 를 향해 이동 할 수 있 다 .