즉 , 고 안정 성 흡착제 를 이용 한 배기가스 의 처리 장치 ( 100 ) 의 플 라즈 마 반응 모듈 ( 105 ) 에서 플라 즈 마 불꽃 ( P ) 에 의해 배기가스 의 유해 성분 을 분해 하나 , 불소 가 처리 되 지 않 을 수 있 고 , 플라 즈 마 반응 후 에 HF 등 이 생성 될 수 있 다 . 이렇게 생성 된 HF 등 은 흡착 반응 모듈 ( 110 ) 에 의해 불소 가 흡착 되 고 , 흡착 되 지 않 은 HF 등 은 다수 의 분사 모듈 ( 120 , 130 , 140 , 150 ) 에 의해 습식 처리 된다 .