상기 터널 절 연막 ( 21 ) 은 전하 의 터널 링 을 위한 막 으로 , 제 1 및 제 2 불순물 영역 ( 13 ) ( 15 ) 과 접촉 하 도록 상기 기판 ( 11 ) 상 에 형성 된다 . 상기 터널 링 절 연막 ( 21 ) 은 터널 링 산화 막 으로서 예컨대 , SiO 2 또는 다양 한 high - k 산화물 로 형성 되 거나 이 들 의 조합 으로 이루어진 산화물 로 형성 될 수 있 다 .