제 2 하우징 ( 530 ) 은 제 1 방향 ( x 축 방향 ) 에 교차 하 는 제 2 방향 ( y 축 방향 ) 으로 관통 하 여 제 2 가스 공 급구 ( 528 ) 를 구비 한다 . 제 2 가스 공 급구 ( 528 ) 는 고온 영역 통로 ( 523 ) 에 연결 되 는 제 2 내부 통로 ( P 22 ) 에 과불 화합물 ( PFCs ) 을 포함 하 는 대상 가스 를 공급 한다 .