도 1 내지 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 당해 전기 검사 장치 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 에 대하 여 , 이 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 방향 으로부터 접촉 가능 한 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 갖 는 전기 검사 헤드 ( 11 ) 와 , 복수 의 프로브 ( 11 a ) 로 의 접속 을 전환 가능 한 회로 ( 이하 , 「 전환 회로 」 라고 도 함 ) 를 갖 는 전환 유닛 ( 12 ) 과 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 검사 대상 기판 ( P ) 의 법선 과 평행 한 축 의 주위 로 회전 가능 하 게 지지 하 는 베어링 ( 13 ) 을 구비 한다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 보유 지지 하 는 하우징 ( 14 ) 을 구비 한다 . 전기 검사 헤드 ( 11 ) , 전환 유닛 ( 12 ) , 베어링 ( 13 ) 및 하우징 ( 14 ) 은 , 당해 전기 검사 장치 의 본체 ( 1 ) 를 구성 한다 . 또한 , 베어링 ( 13 ) 및 하우징 ( 14 ) 은 , 그 자체 가 본 발명 의 일 양태 인 보유 지지 유닛 ( 3 ) 을 구성 한다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 를 3 차원 으로 위치 결정 가능 한 구동 기구 ( 2 ) 를 구비 한다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 베어링 ( 13 ) 의 중심축 ( 이하 , 단순히 「 축 ( A ) 」 이 라고 도 함 ) 의 주위 로 회전 시키 는 모터 등 의 구 동원 ( 도시 하 지 않 음 ) 과 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 도전 패턴 의 도통 이나 절연 , 전기 저항 , 임피던스 등 을 계측 가능 한 계측 부 ( 도시 하 지 않 음 ) 와 , 베어링 ( 13 ) 의 외 륜 을 고정 가능 한 프레임 체 ( 15 ) 를 구비 한다 . 상기 구 동원 은 , 하우징 ( 14 ) 을 회전 시킴 으로써 , 이 하우징 ( 14 ) 에 보유 지지 되 는 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 하우징 ( 14 ) 과 일체 적 으로 회전 시킨다 . 또한 , 당해 전기 검사 장치 는 , 검사 대상 기판 ( P ) 의 위치 정보 를 취득 하 는 화상 처리 디바이스 ( 도시 하 지 않 음 ) , 이 화상 처리 디바이스 에 의해 취득 한 위치 정보 에 기초 하 여 구동 기구 ( 2 ) 를 구동 제어 하 는 컨트롤러 ( 도시 하 지 않 음 ) , 검사 대상 기판 ( P ) 을 복수 의 프로브 ( 11 a ) 와 대향 하 는 위치 로 반송 하 는 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 등 을 더 구비 하 고 있 어도 된다 .