한 측면 에서 , 구리 또는 구리 합금 물질 을 갖 는 마이크 로 전자 장치 로부터 구리 또는 구리 합금 물질 을 에칭 하 는 용액 이 기재 되 며 , 이때 상기 용액 은 니켈 함유 물질 에 대하 여 선택 적 으로 구리 또는 구리 합금 을 에칭 한다 . 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) 및 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) 및 하나 이상 의 용매 ( D ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) 및 하나 이상 의 부식 방지 성분 ( E ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) 및 하나 이상 의 산화 방지 제 ( F ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) , 하나 이상 의 부식 방지 성분 ( E ) 및 하나 이상 의 산화 방지 제 ( F ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) 및 하나 이상 의 염기 성 화합물 ( G ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) , 하나 이상 의 부식 방지 성분 ( E ) 및 하나 이상 의 염기 성 화합물 ( G ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) , 하나 이상 의 산화 방지 제 ( F ) 및 하나 이상 의 염기 성 화합물 ( G ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 . 또 다른 실시 양태 에서 , 상기 용액 은 분자 내 산 기 를 갖 는 하나 이상 의 킬레이트 화제 ( A ) , 과산화수소 ( B ) , 분자 내 옥시 에틸렌 쇄 를 갖 는 하나 이상 의 계면 활성제 ( C ) , 하나 이상 의 용매 ( D ) , 하나 이상 의 부식 방지 성분 ( E ) , 하나 이상 의 산화 방지 제 ( F ) 및 하나 이상 의 염기 성 또는 산 성 화합물 ( G ) 를 포함 할 수 있 거나 , 이 들 로 구성 될 수 있 거나 , 이 들 로 본질 적 으로 구성 될 수 있 다 .