특정 구체 예 에서 , 본원 에 기술 되 고 개시 된 방법 에서 사용 되 는 조성물 은 용매 를 추가 로 포함 한다 . 예 시 적 인 용매 는 비 제한 적 으로 , 에테르 , 3 차 아민 , 알킬 탄화수소 , 방향 족 탄화수소 , 3 차 아미노 에 테르 , 및 이 들 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 특정 구체 예 에서 , 규소 전구체 의 비등점 과 용매 의 비등점 간 의 차이 는 40 ℃ 이하 이 다 . 일부 구체 예 에서 , 조성물 은 규소 - 함유 막 을 위한 반응기 챔버 에 직접 액체 주입 을 통해 전달 될 수 있 다 .