지지대 ( 4 ) 는 , 볼트 부재 , 접착제 , 자석 및 진공 흡착 등 에 의해 워크 ( 3 ) 에 첩부 되 어 고정 되 는 바 , 본 실시 형태 에서 는 , 진공 흡착 에 의해 워크 ( 3 ) 에 첩부 된다 . 지지대 ( 4 ) 는 , 탄성 부재 로 이루어진 고진공 흡착 패드 ( 4 A ) 와 배기관 ( 4 B ) 을 포함 한 고정 수단 을 갖 고서 , 별도 로 구비 되 는 배기 수단 에 의한 배기 에 의해 흡착 패드 ( 4 A ) 가 워 크 ( 3 ) 에 흡착 되 어 고정 된다 . 배기 수단 은 이 젝 터 , 진공 펌프 등 에 의해 실현 된다 . 흡착 패드 ( 4 A ) 의 탄성 에 의해 , 워크 ( 3 ) 의 표면 ( 3 A ) 이 평탄 , 평활 하 지 않 은 경우 라도 , 접합 장치 ( 1 ) 를 확실 하 게 워크 ( 3 ) 에 고정 할 수 가 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 배기 수단 을 진공 펌프 로 실현 하 고 , 워크 ( 3 ) 의 표면 ( 3 A ) 의 기준 축선 ( L ) 상 에서 의 법선 ( 法線 ) 이 뻗 는 방향 이 , 제 3 방향 ( Z ) 에 일치 하 게 된다 .