종합 적 으로 볼 때 , 본 발명 의 기판 모듈 과 가요성 어레이 기판 의 제조 방법 에서 는 다양 한 공정 조건 을 통해 버퍼 층 을 경질 기판 위 에 증착 시킴 으로써 형성 되 는 응력 상태 를 필요 에 따라 조정 할 수 있 다 . 버퍼 층 의 열팽창 계수 가 경질 기판 의 열팽창 계수 보다 작 거나 동일 할 경우 , 공정 조건 을 조정 함 으로써 경질 기판 위 에서 생성 된 버퍼 층 의 응력 으로 박막 형성 공정 중 가요 성 기판 의 열팽창 수축 으로 나타난 응력 을 상쇄 시킬 수 있 다 . 또한 버퍼 층 의 열팽창 계수 가 가요 성 기판 과 경질 기판 의 사이 에 있 다면 , 박막 형성 공정 을 통해 가요 성 기판 에 나타난 밴 딩 현상 을 효과 적 으로 감소 시킬 수 있 다 . 따라서 온도 상승 과 하강 으로 인해 가요 성 기판 에 밴 딩 이나 변형 이 나타나 는 정도 를 크 게 줄여 , 박막 형성 공정 의 대위 ( Counterpoint ) 정확도 와 가요성 어레이 기판 의 공정 수율 을 높일 수 있 다 .