도 6 은 Mo 막 의 평균 응력 이 막 의 응력 범위 에 영향 을 주 지 않 고 가스 흐름 을 변경 하 여 조정 될 수 있 음 을 도시 한다 . 200 mm Si 웨이퍼 상 에 6 kW , 200 ℃ 에서 증착 된 220 nm 및 440 nm Mo 막 에 대해 , 도 6 a 는 평균 응력 대 Ar 흐름 을 도시 하고 , 도 6 b 는 웨이퍼 내 응력 범위 대 Ar 흐름 을 도시 한다 .