정전 척 ( 188 ) 은 일반 적 으로 세라믹 또는 유사 유전체 재료 로 형성 되 고 전원 ( 128 ) 을 이용 하 여 제어 되 는 하나 이상 의 클램 핑 전극 ( 186 ) 을 포함 한다 . 추가 의 일 실시 예 에서 , 정전 척 ( 188 ) 은 제 2 정합 네트워크 ( 124 ) 를 통하 여 기판 바이어스 의 전원 ( 122 ) 으로 결합 되 는 하나 이상 의 RF 전극 ( 도시 안 됨 ) 을 포함 할 수 있 다 . 정전 척 ( 188 ) 은 기능 적 으로 하나 또는 둘 이상 의 기판 히터 를 포함 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 동심 히터 ( 184 A , 184 B ) 로서 도시 된 , 두 개 의 동심 및 독립 적 으로 제어 가능 한 저항성 히터 는 기판 ( 150 ) 의 에지 대 중앙 온도 프로 파일 을 제어 하 기 위해 이용 된다 .