성막 장치 ( 11 ) ( 증착 장치 라고 도 부름 ) 에서 는 , 증발원 에 수납 된 성막 재료 가 히터 에 의해 가열 되 어 증발 하 고 , 마스크 를 통해 기판 상 에 성막 된다 . 반송 로봇 ( 14 ) 과 의 기판 ( S ) / 마스크 ( M ) 의 주고받 음 , 기판 ( S ) 과 마스크 ( M ) 의 상대 위치 의 조정 ( 얼라인먼트 ) , 마스크 ( M ) 상 으로 의 기판 ( S ) 의 고정 , 성막 ( 증착 ) 등 의 일련 의 성막 프로세스 는 , 성막 장치 ( 11 ) 에 의해 행해진다 .