반사 방지 막 ( 130 ) 은 외부 로부터 반도체 기판 ( 110 ) 의 전면 으로 입사 되 는 빛 의 반사 를 최소 화 하 기 위하 여 , 반도체 기판 ( 110 ) 의 전면 위 에 위치 하 며 , 알루미늄 산화 막 ( AlOx ) , 실리콘 질화 막 ( SiNx ) , 실리콘 산화 막 ( SiOx ) 및 실리콘 산화 질화 막 ( SiOxNy ) 중 적어도 하나 로 형성 될 수 있 다 .