RF 전력 이 가스 전달 조립 체 ( 200 ) 내 에 포함 되 는 용적 들 ( 261 , 262 , 및 263 ) 내 에서 가스 혼합물 의 플 라즈 마 를 점 화 시키 기 위해서 전극 ( 240 ) 에 인가 될 수 있 다 . RF 전력 은 약 5 와트 내지 약 600 와트 , 바람직 하 게 는 , 100 와트 미만 , 예 를 들 어 약 60 와트 미만 , 약 50 와트 미만 , 및 보다 바람직 하 게 는 약 40 와트 미만 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 가스 혼합물 을 점 화 하 고 세정 플 라즈 마 를 형성 하 기 위하 여 프로세스 동안 더 낮 은 RF 전력 이 이용 된다 . RF 전력 은 약 5 와트 내지 약 50 와트 , 바람직 하 게 는 약 15 와트 내지 약 30 와트 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 . 일 예 에서 , 플라 즈 마는 약 30 와트 이하 의 RF 전력 으로 생성 된다 . 다른 예 에서 , 플라 즈 마는 약 15 와트 이하 의 RF 전력 으로 생성 된다 . 일반 적 으로 전력 이 인가 되 는 주파수 는 매우 낮 은데 , 예 를 들 어 100 ㎑ 미만 이 다 . 바람직 하 게 , 주파수 는 약 50 ㎑ 내지 약 90 ㎑ 의 범위 내 에 있 을 수 있 다 .