상기 와 같 은 본 발명 에 따르 면 , 커넥터 의 전기 적 연결 신뢰 성 을 향상 시켜 전도성 부재 및 발열체 에 파워 를 안정 적 으로 공급 할 수 있 다 . 따라서 정 전척 을 이용 한 척 킹 공정 및 플라스마 가공 공정 그리고 히터 를 이용 한 가열 공정 등 을 효과 적 으로 수행 할 수 있 다 . 최종 적 으로 는 우수 한 반도체 장치 및 면광원 등 을 제조 할 수 있 다 .