게이트 밸브 는 , 챔버 의 외측 ( 반송 실측 ) 에 배치 되 어 있 으므로 , 개구부 가 반 송실 측 으로 개구 된 공간 이 측벽 에 형성 된다 . 챔버 내 에서 생성 된 플 라즈 마가 개구부 의 공간 까지 확산 되 면 , 플 라즈 마의 균일성 이 악화 되 거나 , 그 플 라즈 마 에 의해 게이트 밸브 의 시일 부재 가 열화 된다 . 그 때문 에 , 챔버 및 데포 실드 의 개구부 는 , 셔터 에 의해 차단 되 도록 구성 된다 . 또한 , 셔터 는 , 예 를 들 면 셔터 의 구동 부가 개구부 의 하방 에 배치 되 며 , 구 동부 에 의해 개폐 구동 된다 .