커넥터 ( 130 ) 에 는 도전 성 부재 ( 120 ) 에 전원 을 공급 하 기 위한 전원 공급 부 ( 140 ) 가 연결 된다 . 전원 공급 부 ( 140 ) 로부터 도전 성 부재 ( 120 ) 로 공급 되 는 파워 는 다양 하 게 선택 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 전원 공급 부 ( 140 ) 로부터 도전 성 부재 ( 120 ) 로 플레이트 ( 110 ) 상부 에 정전기장 을 생성 하 기 위하 여 직류 척 킹 전압 이 공급 될 수 있 고 , 플라스마 ( plasma ) 를 생성 하 기 위해서 는 고주파 바이어스 전력 이 공급 될 수 있 으며 , 전도성 부재 ( 120 ) 로부터 열 을 생성 하 기 위해서 는 일반 적 인 교류 전압 이 공급 될 수 도 있 다 .