도 1 및 도 2 c 를 참조 하 면 , 저 선택 비 의 제 2 슬러리 조성물 을 이용 하 여 상변화 물질 층 ( 115 ) 에 대하 여 제 2 연마 공정 을 수행 한다 ( S 40 ) . 절 연막 ( 105 ) 의 상면 이 완전히 노출 될 때 까지 상기 제 2 연마 공정 을 수행 함 으로써 , 절 연막 ( 105 ) 의 상부 에 남 아 있 는 상변화 물질 층 ( 115 ) 과 , 상변화 물질 층 ( 115 ) 상 의 표면 산화 막 ( 120 ) 이 제거 되 고 , 절 연막 ( 105 ) 의 리세 스 ( 110 ) 를 채우 는 상변화 물질 층 패턴 ( 125 ) 이 형성 된다 .