도 2 a 는 본 발명 에 따라 제조 된 웨이퍼 의 휨 을 측정 하 는 단면도 , 도 2 b 는 본 발명 에 따라 제조 된 웨이퍼 의 구 부러짐 을 측정 하 는 단면도 이 다 . 도 2 a 및 도 2 b 를 참조 하 면 , 본 발명 에서 휨 은 흡착 고정 되 지 않 은 상태 에서 웨이퍼 의 기준면 ( reference plane ) 으로부터 중심 면 ( median surface ) 까지 의 최대 편차 와 최소 편차 의 차이 를 말 하 며 , 구 부러짐 은 흡착 고정 되 지 않 은 상태 에서 활 모양 으로 굽 은 웨이퍼 의 중심점 과 웨이퍼 의 기준면 으로부터 웨이퍼 중심 면 과 의 거리 를 말 한다 .