이어서 , 제 2 희생 절 연막 ( 203 ) 상 에 하드 마스크 ( 204 ) 와 반사 방지 막 ( 205 ) 을 형성 할 수 도 있 다 . 이때 , 하드 마스크 ( 204 ) 는 실리콘 질 화 막 또는 비정질 카본 막 으로 형성 할 수 있 다 . 반사 방지 막 ( 205 ) 은 BARC 막 으로 사용 되 는 물질 로 형성 하 거나 , 또는 하드 마스크 ( 204 ) 를 비정질 카본 막 으로 형성 하 는 경우 실리콘 산화 질화 막 으로 형 성 한다 .