지금 부터 , 본 발명 을 따르 는 제 1 공정 은 상부 기판 홀더 에 고정 된 임의 의 추가 기판 에 의해 계속 될 수 있 고 공정 단계 104 에서 시작 하 여 반복 될 수 있 다 . 이 에 따라 발생 할 수 있 은 가장 큰 오차 는 결합 되 어야 하 는 최 하부 기판 과 최 상부 기판 사이 에서 오차 를 가진 정렬 과 관련 된다 . 기판 스택 을 통해 정렬 오차 의 전파 는 발생 하 지 않 는다 .