상기 산 성기 구조 및 광가 교 관능기 를 폴리 실록 산 중 에 도입 함 으로써 , 알칼리 현상 할 수 있 는 레지스 트 재료 로서 적용 할 수 있 다 . 상기 산 성기 구조 및 광가 교 관능기 의 폴리 실록 산 중 으로 의 도입 방법 으로 는 , 특별히 한정 되 지 않 지만 , 화학 적 으로 안정 적 인 Si - C 결합 에 의해 도입 할 수 있 는 하이드로 실릴 화 반응 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .