게다가 , 또는 별개 의 동작 으로서 , 기판 의 전면 측 및 후면 측 이 선택 된 세정 유체 또는 ( 예컨대 ) 탈 이온 수 의 제트 들 로 세정 되 는 동안 , 특수 한 단일 또는 다수 의 분무 가장자리 - 제트 들 은 기판 의 가장자리 ( 들 ) 에서 별개 로 지향 되 어 특수 한 세정 기능 들 또는 향상 된 가장자리 세정 을 수행 할 수 있 다 . 아래 에서 더 상세히 설명 되 는 바 와 같이 , 가장 자리 - 제트 들 은 또한 기판 의 표면 들 ( 면 들 ) 에서 지향 되 는 제트 들 에 공급 되 는 유체 들 과 동일 하 거나 상이 한 세정 유체 들 을 공급 받 을 수 있 다 .