기체 인입 매니폴드 ( 14 ) 는 또한 동작 동안 에 원하 는 온도 로 소자 의 온도 를 유지 하 기 위해 기체 분배 소자 를 통해 액체 를 순환 시키 도록 배열 된 냉각수 시스템 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 연결 될 수 있 다 . 유사 한 냉각수 배열 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 챔버 ( 12 ) 의 벽 들 을 냉각 시키 기 위해 제공 될 수 있 다 .