도 13 은 이온 원 ( 200 ) 에 있 어서 생성 된 복수 종 의 이온 을 , 질량 분리 하 지 않 고서 반도체 기판 ( 119 ) 에 주입 하 는 이온 도핑 장치 의 구성 을 설명 하 는 개략 도 이 다 . 이온 원 ( 200 ) 에 는 가스 공급 부 ( 204 ) 로부터 수소 등 의 소정 의 가스 가 공급 된다 . 이온 원 ( 200 ) 에 는 필라멘트 ( 201 ) 가 구비 되 어 있 다 . 필라멘트 전원 ( 202 ) 은 필라멘트 ( 201 ) 로 아크 방전 전압 을 인가 하 고 , 필라멘트 ( 201 ) 에 흐르 는 전류 를 조절 한다 . 가스 공급 부 ( 204 ) 로부터 공급 된 가스 는 , 배 기계 에 의해 배기 된다 .