처리 실 ( 201 ) 내 의 잔류 가스 를 제거 한 후 , 밸브 ( 324 ) 를 개방 하 여 , 가스 공급 관 ( 320 ) 내 에 반응 가스 인 O 3 가스 를 흘린다 . O 3 가스 는 , MFC ( 322 ) 에 의해 유량 조정 되 어 , 노즐 ( 420 ) 의 가스 공급 구멍 ( 420 a ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 의 웨이퍼 ( 200 ) 에 대하 여 공급 되 어 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 된다 . 즉 웨이퍼 ( 200 ) 는 O 3 가스 에 폭로 된다 . 이때 , 밸브 ( 524 ) 를 개방 하 여 , 가스 공급 관 ( 520 ) 내 에 N 2 가스 를 흘려도 된다 . N 2 가스 는 , MFC ( 522 ) 에 의해 유량 조정 되 어 , O 3 가스 와 함께 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 된다 . N 2 가스 는 , 가스 공급 관 ( 510 ) , 노즐 ( 410 ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 배기관 ( 231 ) 으로부터 배기 된다 . 또한 , 가스 공급 관 ( 320 ) 의 밸브 ( 324 ) 의 상류 측 에 플 러쉬 탱크 ( 321 ) 가 마련 되 어 있 을 경우 에 는 , 밸브 ( 324 ) 를 개방 했 을 때 , 플 러쉬 탱크 ( 321 ) 내 에 저류 된 O 3 가스 가 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 게 된다 .