제 1 저유 전막 형성 후 , 공정 챔버 ( 102 ) 내 에 는 부산물 이 남 아 있 을 수 있 다 . 예 를 들 어 , 공정 챔버 ( 102 ) 의 내벽 , 샤워 헤드 ( 110 ) 의 표면 및 기판 지지대 ( 104 ) 의 표면 상 에 탄소 화합물 이 남 아 있 을 수 있 다 . 이러 한 탄소 부산물 은 이 후 단계 에서 파티클 의 소스 가 될 수 있 다 . 따라서 , 제 1 인터 퍼징 하 는 단계 ( S 14 ) 는 공정 챔버 ( 102 ) 의 내벽 , 샤워 헤드 ( 110 ) 의 표면 및 기판 지지대 ( 104 ) 의 표면 들 중 적어도 하나 상 에 남 아 있 는 탄소 를 제거 하 도록 수행 될 수 있 다 .