우선 , 도 6 ( a ) 에 나타낸 바 와 같이 , 제 1 평면 플레이트 ( 6 - 1 ) 가 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 에 대기 하 고 있 다 . 제 1 평면 플레이트 ( 6 - 2 ) 는 , 제 2 플레이트 반입 반 출부 ( 16 ) 에 대기 하 고 있 다 . 제 1 워크 반입 반출 기구 ( 17 ) 의 핸들러 ( 19 ) 에 의해 , 워크 ( 9 - 1 ) 가 스테이지 장치 에 반입 되 고 , 제 1 플레이트 반입 반 출부 ( 15 ) 에 대기 하 고 있 는 제 1 평면 플레이트 ( 6 - 1 ) 상 에 놓여진다 . 여기 에서 , 제 1 평면 플레이트 ( 6 - 1 ) 의 이동 제어 는 , X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 4 , 21 - 9 ) 및 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 5 , 22 - 9 ) 에 의해 행해 지 고 있 고 , 제 2 평면 플레이트 ( 6 - 2 ) 는 X 방향 추력 발생 수단 ( 21 - 1 , 21 - 5 ) 및 Y 방향 추력 발생 수단 ( 22 - 1 , 22 - 6 ) 에 의해 행해 지 고 있 다 .