바람직 하 게 , 이온 주 입시 사용 되 는 원소 는 B , C , Si , O , Ge , As , P 및 N 으로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 어느 하나 이 고 , 가속 전압 ( 이온 주입 에너지 ) 은 5 keV ∼ 3 MeV 이 고 , 입사각 은 0 ∼ 89 . 9 ° 로 한다 . 이러 한 이온 주입 에 의해 저유 전상수 물질 ( 23 ) 의 k 값 이 변화 된다 .