도 22 a 는 , 일 실시 형태 에 따른 , 기판 Wf 의 막 두께 나 요철 · 높이 에 관련 된 정보 를 처리 하 기 위한 제어 회로 의 예 를 나타낸다 . 우선 처음 에 , 부분 연마 용 제 어부 는 , HMI ( Human Machine Interface ) 로 설정 된 연마 처리 레시피 와 파라미터 를 결합 하 고 , 기본 적 인 부분 연마 처리 레시피 를 결정 한다 . 이때 , 부분 연마 처리 레시피 와 파라미터 는 HOST 로부터 부분 연마 장치 ( 1000 ) 에 다운로드 된 것 을 사용 해도 된다 . 다음 에 레시피 서버 는 기본 적 인 부분 연마 처리 레시피 와 프로세스 Job 의 연마 처리 정보 를 결합 하 고 , 처리 하 는 기판 Wf 마다 의 기본 적 인 부분 연마 처리 레시피 를 생성 한다 . 부분 연마 레시피 서버 는 처리 하 는 기판 Wf 마다 의 부분 연마 처리 레시피 와 부분 연마 용 데이터베이스 내 에 저장 되 어 있 는 기판 표면 형상 데이터 와 , 또한 유사 기판 에 관한 과거 의 부분 연마 후 의 기판 표면 형상 등 의 데이터 나 사전 에 취득 한 연마 조건 의 각 파라미터 에 대한 연마 속도 데이터 를 결합 하 고 , 기판 마다 의 부분 연마 처리 레시피 를 생성 한다 . 이때 , 부분 연마 용 데이터베이스 에 저장 되 어 있 는 기판 표면 형상 데이터 는 부분 연마 장치 ( 1000 ) 내 에서 측정 된 해당 기판 Wf 의 데이터 를 사용 해도 되 고 , 미리 HOST 로부터 부분 연마 장치 ( 1000 ) 에 다운로드 된 데이터 를 사용 해도 된다 . 부분 연마 레시피 서버 는 그 부분 연마 처리 레시피 를 레시피 서버 경유 , 혹은 직접 부분 연마 장치 ( 1000 ) 에 송신 한다 . 부분 연마 장치 ( 1000 ) 는 수 취한 부분 연마 처리 레시피 를 따라 기판 Wf 를 부분 연마 한다 .