제어 버튼 부 ( 170 ) 는 카세트 ( C ) 를 수평 위치 로부터 경사지 게 안착 하 기 위한 버튼 ( 미 도시 ) 과 , 웨이퍼 들 ( W ) 의 에지 검사 를 위한 회전 버튼 ( 171 ) 과 , 웨이퍼 들 의 회전 을 중단 하 기 위한 정지 버튼 ( 172 ) 과 , 웨이퍼 들 ( W ) 의 노치 정렬 을 위한 노치 정렬 버튼 ( 173 ) 이 포함 될 수 있 으나 , 한정 되 지 아니한다 .