편광 변환 소자 는 편광기 ( Polarizer : P ) , 분석기 ( Analyzer : A ) , 보상 기 ( Compensator : C ) 및 위상 변조기 ( Phase Modulator : PM ) 를 포함 하 는데 , 이 들 소자 들 의 기능 은 동일 하 다 . 즉 , 분광 타원 계측기 는 이 들 편광 변환 소자 중 어느 하나 를 N 번 또는 N 구간 만큼 회전 시키 면서 광 검출기 로부터 얻 어 진 반사광 의 세기 ( In , 여기 서 , n = 0 , 1 , ..., N - 1 ) 를 분석 하 고 이 로부터 시편 의 특성 값 인 두께 와 굴절 률 을 측정 한다 .