온도 측 정부 ( 15 ) 는 , 제 1 실시 형태 에서 는 , 도 5 에 도시 한 바 와 같이 , 유지 부 ( 20 ) 의 흡착 부 ( 20 - 2 ) 의 유지 면 ( 20 - 1 ) 을 향해서 프레임 ( 20 - 3 ) 의 내부 의 구멍 에 장착 된 열전대 ( 15 - 1 ) 와 , 유지 부 ( 20 ) 의 옆 에 테이블 ( 30 ) 의 유지 면 ( 31 ) 을 향해서 장착 된 방사형 온도계 ( 15 - 2 ) 를 포함 한다 . 온도 측 정부 ( 15 ) 는 , 제 1 실시 형태 에서 는 , 열전대 ( 15 - 1 ) 로 가 공실 ( 10 ) 내 의 유지 부 ( 20 ) 의 온도 를 측정 하 고 , 방사형 온도계 ( 15 - 2 ) 로 테이블 ( 30 ) 의 온도 를 측정 한다 . 온도 측 정부 ( 15 ) 는 , 본 발명 에서 는 , 상기 제 1 실시 형태 의 형태 로 한정 되 지 않 고 , 가공 실 ( 10 ) 내 의 온도 를 측정 할 수 있 는 형태 이 면 어떠 한 형태 라도 좋 지만 , 상기 한 제 1 실시 형태 와 같이 , 액상 수지 ( 301 ) 의 피복 에 직접 관여 하 는 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 중 적어도 어느 하나 의 온도 를 측정 하 는 것 이 바람직 하 고 , 양쪽 모두 의 온도 를 측정 하 는 것 이 보다 바람직 하 다 .