또한 , 본 발명 에 따른 미세 물질 배출관 ( 30 ) 은 가스 공급 관 ( 20 ) 을 수용 한 상태 로 동심원 상 에 이격 되 도록 구비 된다 . 미세 물질 배출관 ( 30 ) 은 외통 ( 10 ) 내부 에 위치 되 는 단부 가 제 2 볼텍스 튜브 관 ( 16 ) 에 인접 하 게 돌출 되 어 상부 로 갈수록 직경 이 확장 되 는 제 1 흡입 콘 ( 52 ) 이 설치 되 고 , 제 1 흡입 콘 ( 52 ) 과 대향 하 는 위치 에 상부 로 갈수록 직경 이 좁 아 지 는 제 2 흡입 콘 ( 54 ) 이 이격 되 도록 설치 되 는 미세 물질 흡 입부 ( 50 ) 가 구비 된다 .