이 와 같이 하 면 , 플래시 광조 사 시 에 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 어느 하나 를 축 으로 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 휘어졌 다고 해도 , 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 방향 에서 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 휨 은 작 고 , 온도 측정 의 오차 도 최소한 으로 억제 할 수 있 다 . 또 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 ＜ 100 ＞ 방향 을 따른 2 개 의 직경 중 어느 하나 를 축 으로 하 여 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 휘어졌 다고 해도 , 상부 방사 온도계 ( 25 ) 의 광축 방향 에서 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 휨 은 동일 한 정도 가 되 기 때문 에 , 온도 측정 의 재현 성 은 높 게 유지 하 는 것 이 가능 해진다 .