노광 후 의 알칼리 현상 비 노광 부분 의 제거 되 지 않 는 부분 의 감광성 수지 조성물 을 제거 하 는 목적 으로 행해져 이 현상 에 의해 원 하 는 패턴 이 형성 된다 . 이 알칼리 현상 에 적합 한 현상액 으로 는 , 예 를 들 면 알칼리 금속 이나 알칼리 토류 금속 의 탄산염 의 수용액 등 을 사용 할 수 있 다 . 특히 , 탄산 나트륨 , 탄산칼륨 , 탄산 리튬 등 의 탄산염 을 1 ∼ 3 중량 % 를 함유 하 는 미만 알칼리 수용액 을 이용 하 여 10 ∼ 50 ℃, 바람직 하 게 는 20 ∼ 40 ℃ 의 온도 내 에서 현상기 또는 초음파 세 정기 등 을 이용 하 여 수행 한다 .