본 발명 에 따른 라디칼 증착 장치 에 있 어서 , 상기 표준 신호 발생기 의 고정 주파수 는 13 . 56 MHz , 27 . 12 MHz , 54 . 24 MHz 및 2 . 45 GHz 중 의 어느 하나 이 고 , 상기 가변 신호 발생기 의 가변 주파수 는 10 ㎐~ 500 ㎑ 이 며 , 상기 가변 신호 발생기 는 펄스 ( pulse ) 파 , 톱니파 , 나사 산파 및 사인파 중 의 어느 하나 를 출력 하 는 것 일 수 있 다 .