그 결과 , 도 32 에 도시 한 바 와 같이 , 플 라즈 마의 강도 와 박막 ( 의 막 두께 ) 의 수축 률 이 거의 비례 관계 에 있 음 을 알 았 다 . 그 로 인해 , 상술 한 제 3 실시 형태 에서 설명 한 바 와 같이 , 막 두께 방향 에 걸쳐서 균질 한 막 질 을 형성 하 기 위해서 는 , 당해 막 두께 방향 에 걸쳐서 플 라즈 마의 강도 를 조정 하 면 됨 을 알 수 있 다 .