가스 라인 ( GL ) 은 , 헤드 ( 32 ) 내 에 있 어서 , 헤드 ( 32 ) 에 마련 된 복수 의 가스 분사구 ( 32 a ) 에 접속 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 복수 의 가스 분사구 ( 32 a ) 는 , 원반 형상 의 헤드 ( 32 ) 의 대략 전체 영역 에 걸쳐 분포 되 도록 배치 되 어 있 어도 좋 다 . 또한 , 복수 의 가스 분사구 ( 32 a ) 는 , 축선 ( AX 2 ) 에 직교 하 는 방향 으로 배열 되 어 있 어도 좋 다 . 또한 , 본 실시 형태 에 있 어서 , 헤드 ( 32 ) 는 , 스테이지 ( 16 ) 의 배치 영역 ( PR ) 보다 큰 평면 사이즈 를 갖 고 있 다 . 즉 , 헤드 ( 32 ) 는 , 스테이지 ( 16 ) 와 복수 의 타 겟 ( 20 ) 사이 에 개재 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 를 덮 을 수 있 는 사이즈 를 갖 고 있 다 . 또한 , 헤드 ( 32 ) 는 , 복수 의 가스 분사구 ( 32 a ) 의 배열 방향 으로 연장 되 는 장척 ( 長尺 ) 형상 의 평면 형상 을 갖 고 있 어도 좋 다 .