노즐 부 ( 60 ) 는 복수 개 의 약액 공급 부 ( 50 ) 로부터 서로 다른 약액 들 예 를 들 어 , 식각 액 , 세정액 등 을 공급 받 아서 기판 ( W ) 으로 약액 을 분사 하 는 복수 개 의 노즐 ( 66 ) 들 과 , 노즐 ( 66 ) 들 과 구동 부 ( 64 ) 를 체결 하 는 복수 개 의 노즐 지지 용 아암 ( 62 , 64 ) 들 을 포함 한다 .