종래 의 경사 연마 장치 의 예 는 단일 연마 헤드 를 갖 는 연마 장치 와 다중 연마 헤드 를 갖 는 연마 장치 를 포함 한다 . 단일 연마 헤드 를 갖 는 연마 장치 에서 , 다중 스테이지 연마 는 연마 후 연마 테이프 를 다른 거칠 기 를 갖 는 다른 연마 테이프 와 교체 하 거나 또는 거친 연마 섹션 으로부터 고운 연마 섹션 으로 기판 을 전달 하 여 수행 되 었 다 . 반면 에 , 다중 연마 헤드 를 갖 는 연마 장치 에서 는 거친 연마 와 고운 연마 가 연속 적 으로 수행 될 수 있 다 .