상기 ONO - 1 Pre Cln FN 공정 은 ' Cln F 공정 ' 과 ' Cln N 공정 ' 을 차례 로 진행 하 는 세정 을 일컫 는 것 으로 , Cln F 공정 은 HF 용액 을 이용 한 세정 이 고 , Cln N 공정 은 NH 4 OH 수용액 을 이용 한 세정 이 다 . 그리고 , ONO - 1 Pre Cln FN 공정 이 라 함 은 후속 ONO 유전 막 을 증착 하 기 전 에 실시 하 는 전세정 ( Pre cleaning ) 공정 을 의미 한다 .