본 실시 형태 에 있 어서 , 금속 함유 가스 인 원료 가스 가 노즐 ( 410 ) 의 가스 공급 구멍 ( 410 a ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 고 , 산소 함유 가스 인 반응 가스 가 노즐 ( 420 ) 의 가스 공급 구멍 ( 420 a ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 됨 으로써 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 에 원료 가스 ( 금속 함유 가스 ) 및 반응 가스 ( 산소 함유 가스 ) 가 공급 되 어 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 상 에 금속 산화 막 이 형성 된다 .