또한 , Y 간섭계 ( 17 ) 는 , 계측 빔 ( B 171 및 B 172 ) 으로부터 - Z 방향 으로 소정 거리 떨어져 , 다른 계측 빔 ( B 173 ) 을 반사면 ( 27 b ) 에 조사 하 고 , 계측 빔 ( B 173 ) 의 반사광 을 수 광 하 여 , 계측 빔 ( B 173 ) 의 조사 점 에서 의 반사면 ( 27 b ) 의 Y 축 방향 의 변위 ( 제 3 위치 정보 로서 기능 한다 ) 를 계측 하 고 , 그 계측 결과 를 주제 어 장치 ( 20 ) 로 전송 한다 . 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 제 3 위치 정보 와 , 제 1 및 제 2 위치 정보 에 기초 하 여 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 의 θ x 방향 의 회전 정보 ( 피칭 ( pitching ) 량 ) 를 산출 한다 .