화상 을 통한 평가 의 대상물 인 상기 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 는 상기 이송 스테이지 ( 160 ) 의 중앙부 에 배치 되 어 있 는 웨이퍼 렌즈 받침대 ( 142 ) 상 에 놓여진다 . 상기 웨이퍼 렌즈 받침대 ( 142 ) 는 도 8 에 도시 되 어 있 는 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 의 형상 에 대응 되 도록 원형 의 형상 을 가지 며 , 그 가장자리 에 는 상기 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 가 걸쳐 지 도록 턱 이 진 단차 가 형성 되 어 있 다 . 또한 도 8 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 원형 의 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 의 외주 면 일부 에 는 직선 으로 절단 된 부분 이 있 는데 , 상기 직 선부 에 대응 하 는 형상 의 단차 를 웨이퍼 렌즈 받침대 ( 142 ) 에 형성 함 으로써 상기 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 가 정확 한 방향 으로 정렬 되 도록 할 수 있 다 .