즉 , 알칼리 현상액 을 사용 한 포지티브 형 의 패턴 형성 방법 에서 는 현상 후 에 잔존 하 는 패턴 은 소수 적 ( 疎 水 的 ) 이 다 . 이것 에 대하 여 유기 용제 를 함유 한 현상액 을 사용 한 네거티브 형 의 패턴 형성 방법 에서 는 현상 후 에 잔존 하 는 패턴 은 친수 적 ( 親水 的 ) 이 다 . 그 때문 에 후자 의 경우 현상 후 에 잔존 하 는 패턴 은 극성 을 갖 고 있 다 . 그 때문 에 이 경우 형성 되 거나 또는 형성 되 어 있 는 패턴 상 에 현상액 으로부터 유래 된 파티클 이 부착 되 기 쉽 다 . 그 때문 에 이 경우 현상액 중 의 파티클 에 기인 해서 패턴 의 결함 밀도 가 증대 될 가능 성 이 있 다 .