이제 , 도 11 a , 11 b 및 12 를 참조 하 면 , 듀얼 ( dual ) 엔드 이펙터 이송 장치 ( 1100 , 1200 ) 가 도시 된다 . 듀얼 엔드 이펙터 이송 장치 ( 1100 , 1200 ) 는 예컨대 2 개 의 이송 장치 ( 도 11 a 의 1000 ', 1100 ', 또는 도 11 b 의 1000 '', 1100 '')( 도 11 b ) 를 가질 수 있 다 . 상기 듀얼 엔드 이펙터 이송 장치 에서 , 하나 의 이송 장치 가 다른 이송 장치 위 에 위치 할 수 있 으며 , 예컨대 , 도 11 a 에서 , 이송 장치 ( 1100 ') 는 이송 장치 ( 1000 ') 위 에 위치 하 는 것 으로 도시 된다 . 이송 장치 들 ( 1000 ', 1100 ', 1000 '' 및 1100 '') 은 상술 된 이송 장치 ( 1000 ) 와 실질 적 으로 유사 하 다 . 따라서 동일 한 특징 부들 에 는 동일 한 참조 번호 가 부여 될 것 이 다 . 도 11 a , 11 b 및 12 에 도시 된 예시 적 인 실시 예 들 에서 회전자 들 은 축 ( 1201 ') 상 에 지지 되 는 것 으로 설명 되 고 있 지만 , 상기 회전자 들 은 도 2 내지 9 를 참조 로 위 에서 설명 된 바 와 같이 셀프 - 베어링 방식 으로 지지 될 수 있 음 을 이해 해야 한다 . 또한 , 도 11 a , 11 b 및 12 의 예시 적 인 구동 시스템 은 도 2 를 참조 로 위 에서 설명 된 바 와 같 은 Z - 구동 유닛 을 포함 할 수 있 으 며 , 여기 서 Z - 구동 유닛 은 이송 챔버 및 / 또는 축 ( 1201 ') 에 결합 될 수 있 음 을 알 아야 한다 .