프로 빙 패드 ( 110 ) 에 전자 빔 ( 1 ) 이 조사 되 는 테스트 패턴 ( 100 ) 을 이미지 로 획득 하 여 ( S 3 ) , 획득 된 이미지 를 통해서 전자 빔 ( 1 ) 이 조사 되 는 프로 빙 패드 ( 110 ) 의 메탈 라인 ( 130 ) 과 전자 빔 ( 1 ) 이 조사 되 지 않 는 프로 빙 패드 ( 120 ) 의 메탈 라인 ( 140 ) 간 명도 차이 가 있 는지 를 판단 함 으로써 메탈 브리지 여부 를 판단 한다 ( S 4 ) . 즉 , 프로 빙 패드 ( 110 , 120 ) 중 어느 하나 의 프로 빙 패드 ( 110 ) 에 전자 빔 ( 1 ) 을 조사 함 으로써 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 전하 의 차징 ( charging ) 이 일어나 는 프로 빙 패드 ( 110 ) 에 연결 되 는 메탈 라인 ( 130 ) 이 전하 의 차징 이 일어나 지 않 는 프로 빙 패드 ( 120 ) 에 연결 되 는 메탈 라인 ( 140 ) 에 비하 여 어둡 게 보이 게 되 면 반도체 소자 는 정상 이 며 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 메탈 브리지 ( a ) 의 형성 으로 인해 어느 하나 의 프로 빙 패드 ( 110 ) 에 전하 를 차징 함 으로써 두 메탈 라인 ( 130 , 140 ) 모두 에 전하 가 차징 되 는 경우 두 메탈 라인 ( 130 , 140 ) 모두 어둡 게 보이 게 되 는 경우 메탈 브리지 ( a ) 가 형성 된 것 으로서 비 정상 임 을 나타낸다 .