그 후 , 위 에서 설명 된 초점 추정 단계 와 유사 하 게 , 제품 상 CD 의 추정 이 획득 될 수 있 다 . 실시 예 에서 , CD 와 관련 된 하나 이상 의 유형 의 리소그래피 장치 처리 변수 의 오 차 또는 잔차 가 관심 대상 기판 에 대해 획득 되 고 그 의 CD 기여 도 가 결정 된다 . 예 를 들 어 , 초점 , 초점 블러 및 / 또는 선량 의 CD 기여 도 가 관심 대상 기판 에 대해 획득 될 수 있 다 . 부가 될 수 있 는 추가 유형 의 기여 도 는 측정 에 의해 획득 될 수 있 는 , 특정 관심 대상 기판 을 위하 여 사용 되 는 패 터닝 디바이스 에 기인 하 는 패 터닝 디바이스 오차 의 CD 기여 도 이 다 .