하프 미러 ( 25 ) 를 투과 하 여 분할 된 레이 저광 은 반사경 ( 24 ) 에 조사 된다 . 이 반사경 ( 24 ) 으로 반사 된 반사광 은 하프 미러 ( 25 ) 로 되돌아오 고 , 이 하프 미러 ( 25 ) 로 반사 된 빛 과 참 조경 ( 27 ) 으로부터 반사 된 빛 이 간섭 하 여 , 포토 디텍터 ( 29 ) 에 입사 하 여 전기 신호 로 변환 되 고 , 계수기 ( 26 ) 로 이동 테이블 ( 21 ) 의 좌표 가 계측 된다 .