도 2 를 참조 하 면 , 본 발명 의 기화기 ( 100 ) 는 기화 챔버 ( 155 ) 및 기화 촉진 수단 을 구비 한다 . 액체 원료 ( L ) 는 액체 원료 공급 부 ( 115 ) 에 저장 되 며 MFC ( 110 ) ( mass flow controller ) 에 의하 여 그 유량 이 조절 되 면서 제 1 노즐 ( 116 ) 로 분사 된다 . 제 1 노즐 ( 116 ) 에서 분사 된 액체 원료 ( L ) 는 고온 으로 가열 된 기화 챔버 ( 155 ) 의 열 에 의하 여 기화 된다 . 기화 챔버 ( 155 ) 는 히터 ( 150 ) 에 의하 여 가열 된다 .