플라 즈 마 생 성부 ( 400 ) 는 이 에 한정 되 지 않 고 , 용량 성 결합 에 의한 플 라즈 마 발생 장치 ( CCP ; Capacitively coupled plasma ) , 하이브리드 타입 의 플 라즈 마 발생 장치 , ECR ( Electron cyclotorn resonance ) 플라 즈 마 발생 장치 , SWP ( Surface wave plasma ) 발생 장치 등 을 사용 할 수 있 다 . 상기 전원 공급 부 ( 420 ) 와 안테나 부 ( 410 ) 사이 에 임피던스 매칭 을 위한 매칭 수단 ( 미 도시 ) 을 더 포함 할 수 도 있 다 .