방법 은 표준 셀 영역 내 에 직사각 형 스페이스 를 가진 표준 셀 영역 을 레이아웃 하 는 단계 를 포함 한다 . 표준 셀 영역 은 직사각 형 스페이스 를 마주 보 는 제 1 하부 경계 를 갖 는 표준 셀 의 제 1 열 , 및 직사각 형 스페이스 를 마주 보 는 사이드 경계 를 가진 복수 의 표준 셀 을 포함 한다 . 복수 의 표준 셀 은 표준 셀 의 하부 열 을 포함 한다 . 메모리 어레이 는 직사각 형 스페이스 내 에 레이아웃 되 고 , 하부 열 의 제 2 하부 경계 및 메모리 어레이 의 제 3 하부 경계 는 동일 직선 에 정렬 된다 . 필러 셀 영역 은 직사각 형 스페이스 내 에 레이아웃 된다 . 필러 셀 영역 은 , 표준 셀 의 제 1 열 의 제 1 하부 경계 와 접촉 하 는 제 1 상부 경계 , 및 메모리 어레이 의 제 2 상부 경계 와 접촉 하 는 제 4 하부 경계 를 포함 한다 .