베이스 ( 68 ) 의 상면 에 는 , 착 탈 위치 ( A ) 에 인접 하 여 , 세 정수 를 분사 하 는 세 정수 노즐 ( 120 ) 이 설치 되 어 있 다 . 그리고 , 거친 연삭 가공 및 마무리 연삭 가공 이 실시 된 후 에 착 탈 위치 ( A ) 에 위치 된 웨이퍼 ( W ) 의 상면 ( 연삭 면 ) 을 향해 세 정수 노즐 ( 120 ) 로부터 세 정수 가 분사 되 는 것 에 의해 , 웨이퍼 ( W ) 의 상면 이 세정 된다 .