진동 샤프트 ( 98 ) 는 풀리 ( p 9 , p 10 ) 및 벨트 ( b 5 ) 를 거쳐 모터 ( M 7 ) 에 커플링 된다 . 진동 샤프트 ( 98 ) 는 모터 ( M 7 ) 에 의해 회전 되 고 , 진동 샤프트 ( 98 ) 의 편심 샤프트 ( 98 a ) 는 편심 회전 을 수행 한다 . 이러 한 편심 샤프트 ( 98 a ) 의 편심 회전 은 선형 안 내부 ( 95 ) 에 의해 진동 플레이트 ( 93 ) 의 선형 왕복 운동 으로 전환 되 어 , 진동 플레이트 ( 93 ) 에 고정 된 연마 헤드 ( 90 ) 는 선형 왕복 운동 , 즉 진동 운동 을 수행 한다 . 연마 헤드 ( 90 ) 의 진동 방향 은 웨이퍼 ( W ) 의 접선 방향 에 수직 인 방향 이 다 . 이 실시 예 에서 , 진동 기구 가 진동 샤프트 ( 98 ) , 풀리 ( p 9 , p 10 ) , 벨트 ( b 5 ) , 모터 ( M 7 ) , 진동 수용 블록 ( 97 ) 및 다른 요소 에 의해 구성 된다 .