또한 , 상부 실리콘 기판 ( 24 ) 은 수직 평행 거동 또는 회전 거동 을 하 는 구 동판 ( 26 ) 을 구비 하 며 , 다수 의 구동 콤 전극 ( 27 ) 은 상기 구 동판 ( 26 ) 의 양 측면 에 수직 하 게 나란히 형성 되 어 있 다 . 상기 구 동판 ( 26 ) 은 상부 실리콘 기판 ( 24 ) 에 대하 여 수직 평행 운동 또는 회전 운동 이 가능 하 도록 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 토션 스프링 ( 29 ) 을 통해 상부 실리콘 기판 ( 24 ) 과 연결 된다 . 하부 실리콘 기판 ( 21 ) 의 경우 와 마찬가지 로 , 상기 상부 실리콘 기판 ( 24 ) , 구 동판 ( 26 ) , 구동 콤 전극 ( 27 ) 및 토션 스프링 ( 29 ) 은 하나 의 실리콘 기판 을 에칭 하 여 동일 평면 상 에 일체 로 형성 될 수 있 다 .