또한 , 예시 적 인 실시 예 에서 , 제 1 전극 ( 246 ) 및 제 2 전극 ( 248 ) 은 기판 ( 202 ) 의 내부 표면 ( 250 ) 상 에 본 딩 되 거나 장착 되 어서 , 제 1 전극 ( 246 ) 은 제 1 검증 질량 ( 210 ) 의 제 1 부분 ( 218 ) 에 실질 적 으로 근접 하 거나 그 아래 에 배치 되 고 , 제 2 전극 ( 248 ) 은 제 1 검증 질량 ( 210 ) 의 제 2 부분 ( 222 ) 에 실질 적 으로 근접 하 거나 그 아래 에 배치 된다 . 또한 , 제 3 전극 ( 252 ) 및 제 4 전극 ( 254 ) 은 커버 ( 204 ) 의 내부 표면 ( 257 ) 상 에 본 딩 되 거나 장착 되 어서 , 제 3 전극 ( 252 ) 은 제 2 검증 질량 ( 212 ) 의 제 1 부분 ( 230 ) 에 실질 적 으로 근접 하 거나 그 아래 에 배치 되 고 , 제 4 전극 ( 254 ) 은 제 2 검증 질량 ( 212 ) 의 제 2 부분 ( 234 ) 에 실질 적 으로 근접 하 거나 그 아래 에 배치 된다 .