도 38 을 참조 하 면 , 상기 영구 결합 층 ( 950 ) 을 사용 하 여 상기 지지 베이스 ( 900 ) 및 상기 기판 ( 960 ) 을 결합 하 고 , 상기 영구 결합 층 ( 950 ) 은 상기 압 전 변환기 ( 990 ) ( 도 37 에 도시 된 바 와 같 음 ) 와 상기 기판 ( 960 ) 사이 에 위치 하 며 , 상기 제 2 전극 ( 940 ) 은 상기 캐 비티 ( 951 ) ( 도 36 에 도시 된 바 와 같 음 ) 를 커버 한다 .