[ 0068 ] 몇몇 구현 들 에서 , 홀딩 어 레인지 먼 트 는 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 , 예컨대 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 홀딩 하 도록 구성 된 하나 또는 그 초과 의 제 1 홀딩 디바이스 들 ( 412 ) 및 / 또는 기판 캐리어 ( 120 ) 를 홀딩 하 도록 구성 된 하나 또는 그 초과 의 제 2 홀딩 디바이스 들 ( 422 ) 을 포함 한다 . 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 은 , 기판 운송 방향 ( 즉 , 제 1 방향 ) 과 상이 한 이동 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 은 , 기판 표면 의 평면 에 대해 실질 적 으로 수직 인 방향 으로 , 예컨대 , 제 3 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 될 수 있 다 . 도 4 a 에서 , 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 의 이동 방향 은 , 하나 또는 그 초과 의 홀딩 디바이스 들 상 에 도시 된 양쪽 화살표 들 에 의해 표시 된다 .