또한 본 제 4 실시 형태 에 의하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 에 의해 , 웨이퍼 스테이 지 ( WST 1 , WST 2 ) 를 XY 평면 내 에서 구동 하 는 평면 모터 ( 151 ) 가 제어 됨 과 함께 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W 1 ) 의 노광 이 종료 되 었 을 때 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 노광 위치 의 X 축 방향 의 일 측 ( - X 측 ) 에 위치 하 는 제 1 귀환 경로 에 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 상 의 웨이퍼 ( W 1 ) 의 교환 이 실시 되 는 좌측 로딩 포지션 으로 이동 되 고 , 또한 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W 2 ) 의 노광 이 종료 되 었 을 때 에 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 가 노광 위치 의 X 축 방향 의 타 측 ( + X 측 ) 에 위치 하 는 제 2 귀환 경로 를 따라 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 의 웨이퍼 ( W 2 ) 의 교환 이 실시 되 는 우측 로딩 포지션 으로 이동 된다 . 따라서 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 에는 X 축 방향 의 일 측 으로부터 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 에는 X 축 방향 의 타 측 으로부터 , 각각 배선 · 배관 용 케이블 을 장착 함 으로써 , 그 들 케이블 의 얽힘 을 방지 할 수 있 음 과 함께 , 그 길이 를 최대한 짧 게 할 수 있 다 .