현상 공정 에서 , 알칼리 현상액 을 이하 와 같이 사용 한다 . 레지스 트 조성물 의 알칼리 현상액 은 수산화 나트륨 , 수산화 칼륨 , 탄산 나트륨 , 규산나트륨 , 메타규산나트륨 및 암모니아수 와 같 은 무기 알칼리 , 에틸아민 및 n - 프로필 아민 과 같 은 1 급 아민 , 디 에틸아민 및 디 - n - 부틸 아민 과 같 은 2 급 아민 , 트리 에틸아민 및 메틸 디 에틸아민 과 같 은 3 급 아민 , 디 메틸 에탄올아민 및 트리 에탄올아민 과 같 은 알콜 아민 , 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 및 테트라에틸 암모늄 히드록시 드 와 같 은 4 급 암모늄염 , 및 피롤 및 피 페리 딘 과 같 은 환상 아민 의 알칼리 성 수용액 이 다 .