도 1 은 본 발명 의 일부 실시 양태 에 따른 박막 전기 화학 에너지 저장 및 전환 장치 에 사용 하 기 위한 리튬 이온 박막 전해질 을 제조 하 기 위한 예시 적 공정 ( 100 ) 의 실시 양태 를 예시 한 것 이 다 . 공정 ( 100 ) 은 예 를 들 어 기계 적 으로 강하 고 실질 적 으로 전도성 인 스퍼터 표적 을 제조 하 는 단계 ( 단계 101 ) , 진공 증착 체임버 를 제공 하 는 단계 ( 단계 103 ) , 그 기계 적 으로 강하 고 실질 적 으로 전도성 인 스퍼터 표적 을 스퍼터링 하 는 단계 ( 단계 105 ) , 및 반응 성 스퍼터 가스 대기 중 에서 리튬 이온 박막 전해질 을 증착 시키 는 단계 ( 단계 107 ) 를 포함 한다 .