후방 플레이트 ( 114 ) 와 가스 분배 판 ( 118 ) 사이 의 버퍼 공간 ( 126 ) 에서 , 가스 공급 관 ( 136 ) 에서 공급 되 는 소오 스 가스 의 원활 한 확산 을 위하 여 설치 하 는 배 플 ( 148 ) 에 도 제 3 관 통공 ( 170 ) 을 설치 한다 . 가스 분배 판 ( 118 ) 의 다수 의 체결 공 ( 164 ) 은 완전히 관통 되 지 않 는다 . 그리고 , 다수 의 제 1 볼트 ( 144 ) 에 의해 , 상부 리드 ( 114 ) 와 가스 분배 판 ( 118 ) 의 간격 을 조절 할 수 있 다 .