이후 , 지지 플레이트 ( 50 ) 에 지지 되 어 상부 챔버 ( 10 ) 의 외측 에 위치 하 는 가스 공급 부 ( 15 ) 및 고주파 전원 부 ( 12 ) 에 의해 생성 되 는 플 라즈 마 화 된 공정 가스 가 가스유 입관 ( 18 ) 을 통해 후방 플레이트 ( 44 ) 및 가스 분배 판 ( 42 ) 에 의해 형성 되 는 버퍼 공간 ( B ) 으로 유입 된 후 , 가스 분배 판 ( 42 ) 의 오리피스 ( 미 도시 ) 를 따라 서 셉 터 ( 30 ) 의 상면 에 로딩 된 유리 기판 ( G ) 으로 고르 게 증착 된다 .