처리 액 공급 유닛 ( 430 ) 은 기판 지지 부재 ( 410 ) 상 에 놓인 기판 ( W ) 의 상면 으로 처리 액 을 공급 한다 . 처리 액 공급 유닛 ( 430 ) 은 기판 지지 부재 ( 410 ) 의 양측 에 각각 제공 되 는 제 1 노즐 암 ( 440 ) 과 제 2 노즐 암 ( 440 ') 을 포함 한다 . 제 1 노즐 암 ( 440 ) 과 제 2 노즐 암 ( 440 ') 은 후술 할 대기 포트 들 ( 480 , 480 ') 과 보관 포트 들 ( 490 , 490 ') 의 배열 방향 에 수직 하 게 배치 된다 . 제 1 노즐 암 ( 440 ) 과 제 2 노즐 암 ( 440 ') 은 구동 부재 ( 470 ) 에 의해 대기 포트 들 ( 480 , 480 ') 과 보관 포트 들 ( 490 , 490 ') 의 배열 방향 에 평행 한 방향 으로 직선 이동 된다 .