제 1 가이드 롤 ( 26 ) 은 , 제 1 구동 롤 ( 22 ) 로부터 제 1 제 전기 ( 25 ) 를 통과 하 여 반송 되 는 유리 기재 ( 1 ) 를 , 스퍼터 장치 ( 12 ) 의 제 2 가이드 롤 ( 28 ) 로 안내 ( 가이드 ) 한다 . 제 1 가이드 롤 ( 26 ) 은 , 제 1 제 전기 ( 25 ) 의 하류 측 이 며 제 2 가이드 롤 ( 28 ) 의 상류 측 에 배치 되 어 있 다 .