도 2 는 , 리프트 핀 ( 81 ) 의 선단 부근 의 구성 의 일례 를 나타내 는 확대 단면도 이 다 . 리프트 핀 ( 81 ) 의 선단 에 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 대전량 을 측정 하 기 위한 대전량 센서 ( 810 ) 가 마련 되 어 있 다 . 대전량 센서 ( 810 ) 는 , 처리 후 의 반도체 웨이퍼 ( W ) 가 리프트 핀 ( 81 ) 에 의해 밀 어 올려질 때 에 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 대전량 을 측정 하 고 , 측정 결과 를 제어 장치 ( 200 ) 에 출력 한다 . 대전량 센서 ( 810 ) 는 제 2 센서 의 일례 이 다 .