본 실시 예의 기재 ( 2 a ) 는 , 동축 케이블 을 포함 하 는 급전 경로 ( 28 ) 에 의해 바이어스 용 고주파 전원 ( 20 ) 과 당해 급전 경로 ( 28 ) 상 에 배치 된 바이어스 용 고주파 전력 정합 기 ( 21 ) 를 통해 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 . 바이어스 용 고주파 전원 ( 20 ) 으로부터 기재 ( 2 a ) 에 인가 되 는 바이어스 용 고주파 전력 은 , 고주파 전원 ( 8 ) 으로부터 상부 전극 ( 4 ) 에 인가 되 는 플라스마 생성 용 고주파 전력 과 는 다른 주파수 ( 본 예 에서 는 4 ㎒) 이 다 . 또한 , 급전 경로 ( 28 ) 상 에 는 , 저항 또는 코일 등 의 소자 ( 32 ) 가 배치 되 고 , 당해 소자 ( 32 ) 는 접지 된 바이어스 용 고주파 전력 정합 기 ( 21 ) 및 바이어스 용 고주파 전원 ( 20 ) 과 접속 되 어 있 다 .