반 송실 ( 4 ) 에도 , 도입 구 ( 15 ) 와 배기구 ( 16 ) 가 형성 되 어 있 다 . 도입 구 ( 15 ) 는 , 배관 ( 도시 생략 ) 을 통하 여 질소 가스 가 들 어 있 는 봄베 에 접속 되 어 있 어 , 반 송실 ( 4 ) 내 에 질소 가스 를 도입 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 또 , 배기구 ( 16 ) 는 , 배관 ( 도시 생략 ) 을 통하 여 진공 펌프 ( 도시 생략 ) 에 접속 되 어 있 어 , 반 송실 ( 4 ) 내 의 가스 가 이곳 으로부터 배출 되 도록 되 어 있 다 .