구체 적 으로 , 전술 한 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 에서 는 비교 적 큰 입자 크기 를 가지 는 연마 입자 들 이 포함 된 슬러리 가 사용 되 기 때문 에 1 차 화학 적 기계 적 연마 공정 완료 후 에 희생 층 ( 125 ) 의 표면 에 스크래치 ( scratch ) 가 생길 수 있 다 . 따라서 , 상기 2 차 화학 적 기계 적 연마 공정 은 이러 한 희생 층 ( 125 ) 의 표면 에 생긴 스크래치 를 제거 하 고 , 또한 챔버 층 ( 120 ) 및 희생 층 ( 125 ) 의 평탄 도 를 더욱 향상 시키 기 위하 여 수행 될 수 있 다 .