하우징 ( 58 ) 은 그 내부 에 노즐 ( 56 ) 을 수용 하 고 , 노즐 ( 56 ) 의 토출구 ( 56 b ) 로부터 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 을 향해서 토출 한 압축 공기 와 , 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 을 쓸 어 낸 압축 공기 가 통과 하 도록 토출구 ( 56 b ) 에 대향 하 는 위치 에 X 방향 으로 연장 하 는 개구부 ( 58 a ) 를 구비 하 고 있 다 . 하우징 ( 58 ) 은 , 기판 ( 10 ) 의 표면 ( 10 a ) 을 쓸 어 내 어 개구부 ( 58 a ) 를 통과 한 압축 공기 가 노즐 ( 56 ) 의 소정 의 곡 률 을 갖 는 볼록 형상 ( 56 c ) 을 따라 진행 하 는 , 일정 한 높이 를 갖 는 통로 ( 58 b ) 를 형성 함 과 동시 에 , 이 압축 공기 를 배기관 ( 12 ) 으로 배기 하 기 위한 원 형관 형상 부재 ( 60 ) 를 구비 하 고 있 다 . 원 형관 형상 부재 ( 60 ) 는 하우징 ( 58 ) 내 의 노즐 ( 56 ) 의 상방 에 노즐 ( 56 ) 의 토출구 ( 56 b ) 가 연장 하 는 방향 을 따라서 배치 되 고 , 상부 에 슬릿 형상 의 개구 ( 60 a ) 를 갖 는다 .