WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) , 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) , 제 2 H 2 가스 공급 라인 ( 63 ) , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 66 ) , 제 1 플래시 퍼지 라인 ( 67 ) , 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 68 ) 및 제 2 플래시 퍼지 라인 ( 69 ) 의 가장 하류 측 에 는 , 각각 ALD 시 에 가스 를 전환 하 기 위한 개폐 밸브 ( 73 , 74 , 75 , 76 , 77 , 78 , 79 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) , 제 2 H 2 가스 공급 라인 ( 63 ) , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 66 ) , 제 1 플래시 퍼지 라인 ( 67 ) , 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 ( 68 ) 및 제 2 플래시 퍼지 라인 ( 69 ) 의 개폐 밸브 의 상류 측 에 는 , 각각 유량 제어기 로서 의 매스 플로 컨트롤러 ( 82 , 83 , 84 , 85 , 86 , 87 ) 가 설치 되 어 있 다 . 매스 플로 컨트롤러 ( 83 ) 는 , 제 2 H 2 가스 공급 라인 ( 63 ) 에서 의 SiH 4 가스 공급 라인 ( 63 a ) 의 합류점 의 상류 측 에 설치 되 어 있 고 , 매스 플로 컨트롤러 ( 83 ) 와 합류점 과 의 사이 에 는 개폐 밸브 ( 88 ) 가 설치 되 어 있 다 . 또한 , SiH 4 가스 공급 라인 ( 63 a ) 에 는 , 상류 측 에서부터 순서 대로 매스 플로 컨트롤러 ( 83 a ) 및 개폐 밸브 ( 88 a ) 가 설치 되 어 있 다 . 따라서 , 제 2 H 2 가스 공급 라인 ( 63 ) 을 통해서 H 2 가스 및 SiH 4 가스 중 어느 하나 또는 양쪽 이 공급 가능 하 게 되 어 있 다 . WCl 6 가스 공급 라인 ( 61 ) 및 제 1 H 2 가스 공급 라인 ( 62 ) 에 는 , 단시간 에 필요 한 가스 의 공급 이 가능 하 도록 , 각각 버퍼 탱크 ( 80 , 81 ) 가 설치 되 어 있 다 . 버퍼 탱크 ( 80 ) 에 는 , 그 내부 의 압력 을 검출 가능 한 압력계 ( 80 a ) 가 설치 되 어 있 다 .