본 예시 적 인 실시 예 에서 , 예시 적 인 제 1 및 제 2 회전자 링크 들 ( 1004 , 1005 ) 은 이송 챔버 ( 120 ) 의 중앙 ( C ) 을 중심 으로 피 봇 할 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 제 1 및 제 2 회전자 링크 들 은 이송 챔버 내 의 임의 의 원 하 는 위치 를 중심 으로 피 봇 할 수 도 있 다 . 제 1 및 제 2 회전자 링크 들 ( 1004 , 1005 ) 은 축 ( 1201 ) 에 회전 가능 하 게 장착 될 수 있 으며 , 이 는 도 13 에 가장 잘 도시 된다 . 축 ( 1201 ) 은 이송 챔버 ( 120 ) 의 중앙 ( C ) 에 위치 할 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 축 ( 1201 ) 이 이송 챔버 내 의 임의 의 원 하 는 위치 에 위치 할 수 있 도록 이송 장치 가 구성 될 수 도 있 다 . 베어링 지지 슬리브 ( bearing support sleeve ) ( 1302 ) 는 축 ( 1201 ) 에 장착 될 수 있 다 . 베어링 지지 슬리브 ( 1302 ) 는 축 ( 1201 ) 위 에 미끄러져 끼워 ( slip fit ) 지 거나 가압 하 여 끼워 ( press fit ) 질 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 베어링 슬리브 를 축 에 끼우 는 것 은 임의 의 적절 한 방식 으로 이루어질 수 있 다 . 본 예 에서 , 베어링 ( 1301 A ) 은 베어링 슬리브 ( 1302 ) 의 상부 에 끼워 지 며 , 베어링 ( 1301 B ) 은 베어링 슬리브 ( 1302 ) 의 하부 에 끼워진다 . 베어링 들 ( 1301 A , 1301 B ) 은 수직 및 / 또는 방사상 하중 들 을 지지 하 기 위한 임의 의 적절 한 베어링 일 수 있 다 . 베어링 들 ( 1301 A , 1301 B ) 은 베어링 지지 슬리브 ( 1302 ) 에 가압 하 여 끼워질 수 있 다 . 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 베어링 을 지지 슬리브 에 끼우 는 것 은 임의 의 적절 한 방식 으로 이루어질 수 있 다 . 다른 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 축 ( 1201 ) 은 스플라인 축 ( spline shaft ) 일 수 있 으며 , 베어링 지지 슬리브 는 선형 스플라인 가이드 ( linear spline guide ) 들 ( 1304 ) 을 가질 수 있 으며 , 상기 선형 스플라인 가이드 들 은 베어링 지지 슬리브 가 회전 하 는 것 을 방지 하 는 동시 에 스플라인 축 을 따라 기판 이송 장치 ( 100 ) 가 수직 으로 이동 하 게 할 수 있 다 . 또 다른 대안 적 인 실시 예 들 에서 , 베어링 들 은 베어링 지지 슬리브 없이 축 에 장착 되 거나 또는 고정 될 수 있 다 .