도전 패턴 들 ( 257 ) 각각 은 도프 트 실리콘 막 , 금속 실리사이드 막 , 및 금속 막 중 적어도 어느 하나 를 포함 할 수 있 다 . 도전 패턴 들 ( 257 ) 각각 은 저 저항 배선 을 위해 텅스텐 등 의 저 저항 금속 을 포함 할 수 있 다 . 도전 패턴 들 ( 257 ) 각각 은 티타늄 질화 막 , 텅스텐 질화 막 , 탄 탈륨 질화 막 등 의 베리 어막 을 더 포함 할 수 있 다 .