도 3 을 참조 하 면 , Ta 1 - xMnxOy 박막 내부 에서 , 탄탈럼 산화물 은 대부분 Ta 2 O 5 형태 로 존재 하 고 망가니즈 산화물 은 MnO , MnO 2 및 Mn 2 O 3 형태 로 존재 함 으로 확인 할 수 있 다 . 그리고 망가니즈 원소 와 탄탈럼 원소 는 약 53 . 45 : 46 . 55 의 비율 로 상기 Ta 1 - xMnxOy 박막 에 포함 되 어 있 음 을 확인 할 수 있 다 . 이 로부터 TaxMnyOz 박막 에 있 어서 , 망가니즈 원소 와 탄탈럼 원소 합 에 대한 망가니즈 원소 이 비율 은 약 0 . 60 at % 까지 , 바람직 하 게 는 약 0 . 55 at % 까지 는 안정 적 으로 구리 확산 방지 막 으로 기능 할 수 있 을 것 으로 판단 된다 .