서 셉 터 ( 74 ) 는 기대 링 ( 71 ) 에 설치 된 4 개 의 연결부 ( 72 ) 에 의해 지지 된다 . 도 3 은 , 서 셉 터 ( 74 ) 의 평면도 이 다 . 또한 , 도 4 는 , 서 셉 터 ( 74 ) 의 단면도 이 다 . 서 셉 터 ( 74 ) 는 , 유지 플레이트 ( 75 ) , 가이드 링 ( 76 ) 및 복수 의 기판 지지 핀 ( 77 ) 을 구비 한다 . 유지 플레이트 ( 75 ) 는 , 석영 으로 형성 된 대략 원형 의 평판 형 부재 이 다 . 유지 플레이트 ( 75 ) 의 직경 은 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 직경 보다 크 다 . 즉 , 유지 플레이트 ( 75 ) 는 , 반도체 웨이퍼 ( W ) 보다 큰 평면 사이즈 를 갖 는다 .