저해 층 ( 104 ) 은 , 개구 영역 ( 106 ) 에 개구 를 갖 는다 . 또한 , 본 명세서 에 있 어서 , 개구 의 「 바닥 면 형상 」 이 란 , 개구 가 형성 된 층 의 기판 측 면 에 있 어서 의 개구 의 형상 을 의미 한다 . 개구 의 바닥 면 형상 을 개구 의 바닥 면 이 라 칭하 는 경우 가 있 다 . 또한 , 피복 영역 의 「 평면 형상 」 이 란 , 피복 영역 을 기판 의 주면 에 투영 시킨 경우 의 형상 을 의미 한다 . 피복 영역 의 평면 형상 의 면적 을 피복 영역 의 면적 이 라 칭하 는 경우 가 있 다 . Si 웨이퍼 ( 102 ) 의 표면 은 기판 의 주면 의 일례 여도 좋 다 .