구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 3 ) 는 기체 밸브 ( 98 ) 를 열 어 상면 노즐 ( 33 ) 의 기체 토출구 ( 96 ) 로부터 의 기체 의 토출 을 개시 시킨다 . 이 로 인해 , 기판 ( W ) 의 중앙부 에서 기판 ( W ) 의 외주 부 로 향하 는 옆쪽 의 환형 상 기류 가 기판 ( W ) 의 상방 에 형성 된다 . 이 환형 상 기류 와 기체 노즐 ( 42 ) 에서 토출 되 어 기판 ( W ) 의 상면 을 따라 외방 으로 흐르 는 기체 에 의해 형성 하 는 방사형 상 기류 를 합친 2 층 의 기류 에 의해 기판 ( W ) 의 상면 이 보호 된다 . 상면 노즐 ( 33 ) 의 기체 토출구 ( 96 ) 로부터 의 기체 의 토출 은 , 건조 공정 ( S 11 ) 개시 전 부터 개시 되 어도 좋 다 . 예 를 들 어 , 기체 토출구 ( 96 ) 로부터 의 기체 의 토출 은 제 1 액체 공급 공정 ( S 5 ) 의 개시 부터 개시 되 어도 좋 고 , 제 2 액체 공급 공정 ( S 7 ) 의 개시 부터 개시 되 어도 좋 다 .