상기 유기 금속 산화물 층 을 형성 하 는 단계 는 , 상온 내지 120 ℃ 에서 실시 되 고 , 바람직 하 게 는 40 ℃ 내지 100 ℃; 더 바람직 하 게 는 60 ℃ 내지 100 ℃ 에서 실시 될 수 있 다 . 즉 , TR - CVD 의 적용 시 유기 금속 산화물 층 의 기화 공정 에 의한 증착 을 유도 하 기 위해서 60 ℃ 내지 100 ℃ 에서 실시 될 수 있 다 .