후속 하 여 , 방사선 은 조명 시스템 ( IL ) 을 가로지르 며 , 이 는 패 터닝 디바이스 ( MA ) 에서 의 방사선 세기 의 원 하 는 균일 성 뿐 아니 라 , 패 터닝 디바이스 ( MA ) 에서 의 방사선 빔 ( 21 ) 의 원 하 는 각도 분포 를 제공 하 도록 배치 된 패 싯 필드 거울 디바이스 ( 22 ) 및 패 싯 퓨 필 거울 디바이스 ( 24 ) 를 포함 할 수 있 다 . 지지 구 조체 ( MT ) 에 의해 유지 되 어 있 는 패 터닝 디바이스 ( MA ) 에서 의 방사선 빔 ( 21 ) 의 반사 시 , 패 터닝 된 빔 ( 26 ) 이 형성 되 고 , 패 터닝 된 빔 ( 26 ) 은 투영 시스템 ( PS ) 에 의하 여 반사 요소 들 ( 28 , 30 ) 을 통해 기판 테이블 ( WT ) 에 의해 유지 되 어 있 는 기판 ( W ) 상 으로 이미 징 된다 .