상기 SEM 은 전자 빔 을 발생 시키 는 전자총 을 포함 한다 . 전자총 으로부터 발생 된 전자 빔 은 집속 렌즈 , 편향 코일 , 대물 렌즈 및 셔터 의 조리개 를 순차 적 으로 통과 하 면서 포 커싱 된다 . 포 커싱 된 전자 빔 은 반도체 기판 상 으로 주사 된다 . 반도체 기판 으로부터 방출 된 이 차전자 들 이 검 출부 에서 검출 된다 . 검출 된 신호 는 증 폭부 에서 증폭 된 후 음극선관 내부 의 형 광면 에 주사 됨 으로써 , 반도체 기판 상 의 패턴 이미지 를 형성 하 게 된다 .