제 1 산화물 반도체 층 에 사용 하 는 산화물 반도체 로서 는 , 4 원계 금속 산화물 인 In - Sn - Ga - Zn - O 계 산화물 반도체 나 , 3 원계 금속 산화물 인 In - Ga - Zn - O 계 산화물 반도체 , In - Sn - Zn - O 계 산화물 반도체 , In - Al - Zn - O 계 산화물 반도체 , Sn - Ga - Zn - O 계 산화물 반도체 , Al - Ga - Zn - O 계 산화물 반도체 , Sn - Al - Zn - O 계 산화물 반도체 나 , 2 원계 금속 산화물 인 In - Zn - O 계 산화물 반도체 , Sn - Zn - O 계 산화물 반도체 , Al - Zn - O 계 산화물 반도체 , Zn - Mg - O 계 산화물 반도체 , Sn - Mg - O 계 산화물 반도체 , In - Mg - O 계 산화물 반도체 , In - Ga - O 계 산화물 반도체 나 , In - O 계 산화물 반도체 , Sn - O 계 산화물 반도체 , Zn - O 계 산화물 반도체 등 을 사용 할 수 있 다 . 또한 , 상기 산화물 반도체 에 SiO 2 을 포함 해도 좋 다 . 여기 에서 , 예 를 들 면 , In - Ga - Zn - O 계 산화물 반도체 란 , 인듐 ( In ) , 갈륨 ( Ga ) , 아연 ( Zn ) 을 갖 는 산화 물막 이 라는 의미 이 며 , 그 화학량론 비 는 특별히 상관없 다 . 또한 , In 과 Ga 와 Zn 이외 의 원소 를 포함 해도 좋 다 .