그러나 , 반드시 이 에 국한 되 지 않 고 , 도 6 의 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 300 ) 와 같이 , 배기 통로 ( 40 ) 는 , 상방 이 개방 된 형태 로 형성 될 수 도 있 다 . 이 와 같 은 , 커버 부 ( 50 ) 는 , 샤워 헤드 ( 700 ) 로부터 분사 되 는 각종 처리 가스 의 분사 압력 과 같 은 여러 공정 조건 에 따라 선택 적 으로 적용 될 수 있 다 .