다음 도 14 및 도 15 를 참조 하 면 , 본 실시 예 는 앞 에서 설명 한 도 12 및 도 13 의 실시 예의 특징 을 모두 포함 하 며 여기 서 동일 한 설명 은 생략 한다 . 본 실시 예 에서 제 1 블록 ( BL 1 ) 의 스테이지 의 열 방향 폭 ( W 1 ) 과 제 3 블록 ( BL 3 ) 의 화 소행 의 열 방향 폭 ( W 2 ) 이 동일 하 고 , 제 2 블록 ( BL 2 ) 의 스테이지 의 열 방향 폭 ( W 3 ) 과 제 4 블록 ( BL 4 ) 의 화 소행 의 열 방향 폭 ( W 4 ) 이 서로 동일 할 수 있 다 .