프로 젝 션 렌즈 부 ( 340 ) 는 포토 마스크 를 통과 한 광이 투영 되 는 역할 을 한다 . 프로 젝 션 렌즈 부 ( 340 ) 는 다 수개 의 렌즈 를 포함 하 고 있 으며 , 프로 젝 션 렌즈 부 ( 340 ) 에 는 포토 마스크 를 통과 한 광 의 성분 이 맺히 는 퓨 필 면 이 존재 한다 . 이러 한 , 퓨 필 면 내 에 입사 되 는 광 의 성분 의 형태 및 정도 에 따라 패턴 의 콘트 라스트 가 결정 되 어 웨이퍼 상 에 패턴 을 형성 한다 .