동작 ( 160 ) 에서 , 근접 헤드 ( 100 ) 는 ( 예 를 들 어 , 방향 ( 122 ) 으로 ) 기판 ( 108 ) 에 대해 상대 적 으로 이동 되 어 기판 표면 ( 108 A ) 을 따라 메니스커스 ( 102 ) 를 이동 시킬 수 있 다 . 측면 ( 104 A ) 은 메니스커스 가 방향 ( 122 ) 으로 기판 표면 ( 108 A ) 을 따라 이동 함 에 따라 메니스커스 ( 102 ) 의 리딩 에지 를 형성 한다 . 메니스커스 ( 102 ) 는 기판 표면 ( 108 A ) 상 에 있 는 오염물 ( 120 ) 을 제거 할 수 있 다 . 오염물 ( 120 ) 은 액체 방울 , 고체 잔류물 또는 임의 의 다른 오염물 및 그 들 의 결합 ( 예 를 들 어 , 액체 용액 내 의 고체 오염물 ) 일 수 있 다 .