도 3 에서 의 반사 축 ( R ) 은 반사각 ( θ r ) 을 나타내 는데 , 반사각 ( θ r ) 은 , 자연 적 으로 , 기판 ( W ) 및 타 겟 ( T ) 의 평면 에 수직 인 축 ( N ) 에 대한 , 조명 방사선 빔 ( 456 ) 의 입사각 ( θ i ) 의 함수 이 다 . 방사선 빔 ( 456 ) 은 , 검출 시스템 ( 418 ) 에 의해 옵션 사항 으로 검출 되 는 , 또는 버려질 수 도 있 는 0 차 빔 ( 458 ) 안 으로 적어도 부분 적 으로 반사 된다 . 원칙 적 으로 , 비대칭 성 또는 주목 하 는 다른 파라미터 는 ( 0 차 ) 반사 스펙트럼 으로부터 측정 될 수 있 지만 , 그러나 비대칭 성 정보 는 , 도시 되 는 바 와 같이 , 반사 축 ( R ) 의 양 측 에서 비스듬히 회절 되 는 고차 회절 빔 ( 460 + 및 460 -) 에서 더 강할 것 이 다 . 고차 회절 빔 은 1 차 , 2 차 , 3 차 , 등등 의 회절 차수 의 임의 의 조합 일 수 도 있 다 . 간략 화 를 위해 , 임의 의 제한 을 나타내 지 않 으면서 , " 단순히 "" 고 차 "" 또는 "" 1 차 "" 빔 을 언급 할 것 이 다 . 상이 한 차수 의 상대 적 인 각도 는 ", 공지 된 방식 으로 , 방사선 의 파장 ( 들 ) 및 타 겟 에 존재 하 는 격자 구조 체의 공간 적 주기 에 의존 할 것 이 다 . 도면 에서 도시 되 는 각도 는 , 순전히 , 원리 의 예시 를 위한 것 이 다 .