상기 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위해서 , 기판 을 제 1 위치 에서 제 2 위치 로 이송 시키 며 승강 운동 ( z 축 운동 ) , 회전 운동 ( 축 운동 ) 및 반경 방향 운동 ( r 축 운동 ) 이 가능 한 기판 이 송 수단 에 있 어서 , 본 발명 의 기판 이 송 수단 은 기판 을 수용 하 는 제 1 로봇 암 ; 상기 제 1 로봇 암 에 위치 한 기판 의 유무 를 감지 하 는 제 1 기판 감지 센서 ; 상기 제 1 로봇 암 과 상하 로 이격 되 고 상기 제 1 로봇 암 에 대해서 반경 방향 으로 기판 이 돌출 되 도록 기판 을 수용 하 는 제 2 로봇 암 ; 상기 제 2 로봇 암 에 수용 된 기판 의 돌출 된 부분 을 감지 하 는 제 2 기판 감지 센서 를 포함 한다 .