시스템 제어기 ( 550 ) 는 상기 기술 된 증착 프로세스 들 을 구현 하 기 위한 프로그램 인스트 럭 션 들 을 제공 할 수 도 있 다 . 프로그램 인스트 럭 션 들 은 DC 전력 레벨 , RF 바이어스 전력 레벨 , 압력 , 온도 , 등 과 같 은 다양 한 프로세스 파라미터 들 을 제어 할 수 도 있 다 . 인스트 럭 션 들 은 본 명세서 에 기술 된 다양 한 실시 예 들 에 따른 막 스택 들 의 인 - 시 츄 증착 을 동작 시키 기 위한 파라미터 들 을 제어 할 수 도 있 다 .