도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 냉각 시스템 ( 79 ) 와 레이저 시스템 및 스크라이버 ( 78 ) 는 기판 의 절단 방향 을 따라서 순서 대로 배열 된다 . 레이저 절단 장치 가 기판 을 절단 할 때 , 우선 적 으로 스크라이버 ( 78 ) 를 통해 기판 의 한 표면 상 에 일정 한 깊이 를 갖 는 미세 한 균열 을 형성 한다 . 그런 다음 에 , 집광 렌즈 ( 77 ) 에서 집광 된 레이저 는 미세 한 균열 을 따라서 기판 에 조사 되 어 기판 을 가열 시킨다 . 그러므로 기판 이 열팽창 되 어 기판 내부 에 응력 이 형성 된다 .