차 단막 ( 62 ) 에 의해서 펌프 ( 50 ) 의 가운데 로 흐름 이 변경 된 가스 는 배 플 어레이 ( 51 ) 로 전달 되 고 , 배 플 어레이 ( 51 ) 는 공정 챔버 ( 40 ) 에서 전달 되 는 가스 중 에서 수증기 와 같이 증기압 이 낮 은 가스 를 응축 하 여 포집 하 며 , 응축 되 지 않 는 가스 를 분산 하 여 콜드 헤드 어레이 ( 52 ) 로 전달 된다 .