도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 의 일 측벽 에 는 기판 ( S ) 이 챔버 ( 10 ) 의 내부 공간 으로 반입 되 거나 챔버 ( 10 ) 의 내부 공간 으로부터 반출 되 는 출입구 ( 11 ) 가 형성 된다 . 그리고 , 챔버 ( 10 ) 의 출입구 ( 11 ) 에 는 출입구 ( 11 ) 를 개폐 하 기 위한 셔터 유닛 ( 50 ) 이 구비 된다 .