상세히 설명 하 면 , 위 에서 설명 한 바 와 같이 연마 액 은 슬러리 와 , 첨가제 와 , 초 순수 를 혼합 되 어 이루어지 며 , 배 합비 를 맞추 기 위해서 는 각 용액 의 주입 양 조절 이 매우 중요 하 므로 , 슬러리 를 공급 하 는 슬러리 공급 부 ( 210 ) 와 , 연마 액 제조 에 사용 되 는 첨가제 를 공급 하 는 첨가제 공급 부 ( 220 ) 가 서로 다른 유로 단면적 을 가지 는 복수 개 의 분기 유로 를 가지 는 제 1 주 입부 ( P 1 ) 를 통해 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 되 고 , 연마 액 제조 에 사용 되 는 초 순수 를 공급 하 는 초 순수 공급 부 ( 230 ) 또한 서로 다른 유로 단면적 을 가지 는 복수 개 의 분기 유로 가 형성 되 는 제 2 주 입부 ( P 2 ) 를 통해 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 되 게 하 여 , 연마 액 제조 에 사용 되 는 각 용액 이 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 공급 되 는 양 을 보다 정확 하 게 조절 할 수 있 게 한 것 이 다 .