이 어 , 도 20 을 참조 하 면 , 제 2 절 연막 ( 150 ') 의 일부 를 패 터닝 하 여 산화물 층 ( 370 ') 을 노출 시키 고 , 제 2 절 연막 ( 150 ') 상 에 제 4 컨 택 홀 ( CT 4 ) 과 제 5 컨 택 홀 ( CT 5 ) 을 형성 한다 . 도 20 의 제 2 절 연막 ( 150 ') 은 제 4 컨 택 홀 ( CT 4 ) 및 제 5 컨 택 홀 ( CT 5 ) 에 배치 되 는 제 2 소스 전극 ( 430 ) 및 제 2 드레 인 전극 ( 440 ) 을 따라 상면 일부 가 식각 됨 으로써 제 1 층간 절 연막 ( 150 ) 을 형성 할 수 있 다 .