제 2 실시 형태 와 같이 3 상 클럭 을 이용 한 차지 펌프 회로 ( 6 ) 에 대해서 도 상기 제 1 실시 형태 를 적용 할 수 있 으며 , 제 1 실시 형태 와 유사 한 효과 가 얻 어 진다 . 도 34 에 나타낸 3 상 클럭 을 사용 함 으로써 , 정류 소자 로서 역방향 전류 가 큰 MOS 트랜지스터 를 이용 한 경우 일지라도 , 전하 를 효율 적 으로 전송 할 수 있 다 . 도 34 에 나타낸 바 와 같이 , 클럭 φ 3 - 2 가 GND 로부터 Vcc 로 상승 하 는 타이밍 에서 는 , 클럭 φ 3 - 1 은 Vcc 까지 상승 하 기 때문 에 , 접합 의 역방향 으로 전류 가 거의 흐르 지 않 는다 . 동일 한 타이밍 에서 클럭 φ 3 - 3 은 신속 하 게 GND 로 하강 하 기 때문 에 , 용량 소자 C 2 로부터 용량 소자 C 3 방향 으로 선택 적 으로 전류 가 흐르 기 쉽 다 . 역방향 회복 시간 은 전압 이 상승 하 는 측 의 기울기 ( slew rate ) 가 느린 램프 부분 에서 유지 할 수 있 다 . 따라서 , 승압 전위 측 으로부터 저 전위 측 으로 의 역류 가 보다 작 은 차지 펌프 회로 를 실현 할 수 있 다 .