상기 모터 ( 81 ) 는 챔버 ( 40 ) 의 외측 에 설치 되 며 정역 회전 이 가능 하 다 . 또한 , 모터 ( 81 ) 의 회전축 ( 81 a ) 의 회전 속도 를 감속 시키 기 위하 여 기어 박스 ( 미 도시 ) 가 설치 될 수 있 는 바 , 본 명세서 에서 모터 ( 81 ) 의 회전축 이 라고 함 은 실제 모터 의 회전축 ( 81 a ) 은 물론 기어 박스 가 설치 되 는 경우 에 는 회전 속도 가 제어 된 상태 로 기어 박스 로부터 연결 되 어 나온 회전축 을 포함 하 는 개념 이 다 .