또한 , 상기 열처리 는 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 에 대한 탈수 화 , 탈수소 화 의 효과 가 있 기 때문 에 , 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 등 으로 부를 수 도 있 다는 점 을 주목 하 라 . 이 와 같 은 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 는 , 산화물 반도체 층 형성 후 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 위 에 소스 층 및 드레 인 층 을 적층 시킨 후 , 또는 소스 층 및 드레 인 층 위 에 보호 절연 층 을 형성 한 후 , 등 의 타이밍 에서 행하 는 것 이 가능 하 다 . 또 , 이 와 같 은 탈수 화 처리 , 탈수소 화 처리 는 , 1 회 에 한정 하 지 않 고 복수 회 행해 도 좋 다 .