공정 ( IV ) 는 , 제 1 절연 층 에 조화 처리 를 실시 하 는 공정 이 다 . 통상 , 이 공정 ( IV ) 에 있 어서 , 스미 어 의 제거 도 수행 된다 . 따라서 , 조화 처리 는 , 디 스미 어 처리 라고 불리 는 경우 가 있 다 . 조화 처리 의 예 로서 는 , 팽윤 액 에 의한 팽윤 처리 , 산화제 에 의한 조화 처리 , 및 , 중화 액 에 의한 중화 처리 를 이 순 으로 수행 하 는 방법 을 들 수 있 다 .