플 라즈 마 ( 예컨대 , 미국 특허 제 5 , 464 , 667 호 ( Kohler 등 ) 에 기술 된 아르곤 플라 즈 마 또는 탄소 풍부 플 라즈 마 ) 및 별개 의 공급원 으로부터 의 적어도 하나 의 성분 을 포함 하 는 적어도 하나 의 증발 된 유기 재료 는 코팅 의 형성 중 에 상호 작용 되 도록 허용 된다 . 플라 즈 마는 증발 된 유기 재료 를 활성 화 시킬 수 있 는 것 이 다 . 이 는 공지 의 방식 또는 본 명세서 에 기술 된 포인트 소스 ( point source ) 를 사용 하 여 생성 될 수 있 다 . 즉 , 플라 즈 마는 이러 한 반응 성 화학종 이 여전히 진공 에서 응축 하 여 중합체 화 된 코팅 을 형성 할 수 있 을지라도 , 증발 된 유기 재료 가 예컨대 라디칼 형성 , 이온 화 등 의 결과 로 반응 성 이 되 도록 유발 할 수 있 다 . 대안 적 으로 , 증발 된 유기 재료 가 전체 코팅 두께 가 중합체 화 되 는 방식 으로 표면 상 에서 응축 됨 에 따라 , 플라 즈 마는 증발 된 유기 재료 와 상호 작용 할 수 있 다 . 따라서 , 플라 즈 마 및 증발 된 유기 재료 는 기판 의 표면 에서 또는 기판 의 표면 과 접촉 시키 기 전 에 상호 작용 할 수 있 다 . 어느 쪽 이 든 , 증발 된 유기 재료 및 플 라즈 마의 상호 작용 은 유기 재료 ( 예컨대 , 실리콘 으로부터 메틸기 의 손실 ) 의 반응 성 형태 를 제공 하 여 , 예컨대 중합 및 / 또는 가 교결 합의 결과 로서 코팅 의 형성 에 따른 재료 의 치밀 화 를 가능 하 게 한다 .