본 발명 의 일 실시 예 에 있 어서 , 상기 공간 분할 부재 를 상하 로 이동 시키 는 제 2 구동 부재 를 더 포함 할 수 있 다 . 여기 서 , 상기 제 2 구동 부재 는 , 상기 공정 챔버 의 측벽 과 평행 한 제 2 몸 체부 및 상기 몸 체부 로부터 상기 공간 분할 부재 를 향하 여 돌출 되 며 , 상기 공간 분할 부재 의 이면 을 부분 적 으로 지지 하 는 복수 의 제 2 지지 부들 을 포함 할 수 있 다 .