노 에서 의 가스 들 은 정화 되 며 박스 ( 202 ) 를 참조 로 개시 된 것 과 동일 하 거나 동일 하 지 않 을 수 있 는 제 2 비활성 가스 로 박스 ( 204 ) 에서 대체 된다 . Ar , He , Ne , Kr 및 Xe 와 같 은 비활성 가스 는 제 2 비활성 가스 로서 사용 하 기 에 적합 하 다 . 일 실시 예 에서 , 제 2 비활성 가스 는 박스 ( 202 ) 를 참조 로 개시 된 것 과 동일 하 며 , 종래 의 압력 조건 , 즉 , 약 30 mbar 내지 약 50 mbr 의 압력 이 이용 된다 . 실리콘 성장 은 약 2 시간 내지 약 12 시간 범위 의 제 3 시간 기간 동안 이러 한 조건 하 에서 지속 된다 .