제 1 이 송부 ( 3100 ) 는 제 1 방향 으로 연장 형성 된 제 1 가이드 부재 ( 3110 ) , 제 1 가이드 부재 ( 3110 ) 상 에 탑재 된 상태 로 제 1 가이드 부재 ( 3110 ) 를 따라 활주 가능 한 이송 테이블 ( 3120 ) , 이송 테이블 ( 3120 ) 의 하부 에 장착 되 어 제 1 가이드 부재 ( 3110 ) 를 따라 이동 가능 한 이송 블록 ( 미 도시 ) , 제 1 가이드 부재 ( 3110 ) 및 이송 블록 중 적어도 하나 를 구동 시키 는 제 1 이송 구동 부 ( 3130 ) 를 포함 한다 . 상술 한 바 와 같 은 실시 예 에 따른 제 1 이 송부 ( 3100 ) 는 리니어 모터 가이드 일 수 있 고 , 제 1 가이드 부재 ( 3110 ) 에 는 리니어 스케일 이 마련 되 어 있 다 .