또한 , 상기 공급 부 ( 200 ) 는 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 슬러리 를 공급 하 는 슬러리 공급 부 ( 210 ) 와 , 연마 액 제조 에 사용 되 는 첨가제 를 공급 하 는 첨가제 공급 부 ( 220 ) 와 , 슬러리 희석 에 사용 되 는 초 순수 를 공급 하 는 초 순수 공급 부 ( 230 ) 와 , 연마 액 탱크 ( 100 ) 세정 에 사용 되 는 물 을 공급 하 는 세 정수 공급 부 ( 240 ) 와 , 세정제 를 공급 하 는 세정제 공급 부 ( 250 ) 중 어느 하나 이상 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .