이어서 , 비정질 카본 층 ( 13 ) 상 에 ARC SiON ( Anti Reflective Coating SiON , 14 ) , 하드 마스크 폴리 실리콘 ( 15 ) , 제 1 OBARC ( Organic Bottom ARC , 16 a ) 를 차례 로 증착 한다 . 여기 서 , ARC SiON ( 14 ) 은 400 Å ∼ 600 Å 두께 로 형성 하 고 , 하드 마스크 폴리 실리콘 ( 15 ) 은 200 Å ∼ 400 Å 두께 로 형성 하 며 , 제 1 OBARC ( 16 a ) 는 300 Å ∼ 400 Å 두께 로 형성 한다 .