분리 감 지부 ( 250 ) 는 압력 모니터링 방법 에 의해서 도 구현 될 수 있 다 . 이것 은 무기물 박막 ( 30 ') 이 압축력 을 견디 는 동안 에 는 서서히 증가 하 는 압력 이 감지 되 다가 압축력 에 의해 무기물 박막 ( 30 ') 이 파괴 되 는 순간 에 급격 한 압력 변화 가 발생 하 는 원리 를 이용 한다 . 이 방법 을 구현 하 려면 무기물 박막 ( 30 ') 에 걸리 는 압력 을 모니터링 할 수 있 도록 분리 감 지부 ( 250 ) 를 구성 한다 . 바람직 하 기 로 는 이 때 의 분리 감 지부 ( 250 ) 는 로드 셀 ( load cell ) 구성 을 취한다 . 로드 셀 은 분리 부재 ( 210 , 220 ) 중 어느 하나 에 장착 하 거나 , 분리 부재 ( 210 , 220 ) 중 어느 하나 를 로드 셀 자체 로 구현 하 는 것 에 의할 수 도 있 다 . 로드 셀 은 가해 지 는 압축력 에 따른 압력 변화 를 모니터링 하 는 장치 로서 로드 셀 을 통해 압력 이 해제 되 거나 급격히 변화 되 는 순간 을 질화물 반도체 층 ( 50 ) 과 기판 ( 10 ) 이 분리 된 것 으로 분리 점 으로 판단 하 고 , 분리 점 위치 에 도달 한 이후 에 는 가압 력 을 완전히 해제 하 거나 제 2 분리 부재 ( 220 ) 를 상방 으로 들 어 올릴 수 있 도록 구동 부 ( 230 ) 를 제어 함 으로써 제 2 분리 부재 ( 220 ) 의 구동 을 조절 한다 .