도면 부호 655 에서 는 평가 프로시저 가 수행 될 수 있 다 . 제 1 라이브러리 관련 평가 데이터 가 제 1 S - D 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 로부터 획득 될 수 있 고 , 제 1 사이트 는 그 와 연관 된 제 1 라이브러리 관련 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 가질 수 있 다 . 제 1 피 예측 데이터 가 제 1 S - D 웨이퍼 상 의 제 1 사이트 에 대해 확립 될 수 있 고 , 제 1 피 예측 데이터 는 예측 된 측정 및 / 또는 검사 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 신뢰 도 값 은 제 1 라이브러리 관련 평가 데이터 및 제 1 피 예측 데이터 를 이용 하 여 계산 된 제 1 라이브러리 관련 차이 를 이용 하 여 제 1 사이트 에 대해 확립 될 수 있 다 . 제 1 리스크 인자 는 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 라이브러리 관련 차이 , 웨이퍼 데이터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 사이트 에 대해 확립 될 수 있 다 . 제 1 합계 리스크 인자 는 제 1 리스크 인자 , 제 1 신뢰 도 값 , 제 1 라이브러리 관련 차이 , 웨이퍼 데 이 터 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 이용 하 여 제 1 사이트 에 대해 확립 될 수 있 다 .