기판 처리 장치 ( 1 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 과 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 , 제 2 도 통부 ( 91 ) 와 , 이동 기구 ( 11 ) 를 구비 한다 . 제 1 도 통부 ( 90 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 에 접촉 하 여 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 과 도통 한다 . 제 2 도 통부 ( 91 ) 는 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 에 접촉 함 으로써 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 과 도통 하 여 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 을 제전 한다 . 이동 기구 ( 11 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) , 및 제 1 도 통부 ( 90 ) 의 위치 를 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 제 2 도 통부 ( 91 ) 가 접촉 하 는 접촉 위치 와 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 제 2 도 통부 ( 91 ) 가 접촉 하 지 않 는 비 접촉 위치 로 전환 한다 .