상기 와 같이 제 3 챔버 ( 113 ) 와 제 3 리턴 챔버 ( 123 ) 를 형성 하 기 위하 여 상기 제 3 슬라이딩 부재 ( 62 ) 의 단부 에 는 밀폐 를 위한 제 3 캡 부재 ( 64 ) 가 설치 되 고 , 상기 제 3 코어 부재 ( 61 ) 의 단부 측 에 는 외주 면 이 제 3 슬라이딩 부재 ( 62 ) 의 내 주면 과 밀착 되 는 제 5 실링 캡 ( 65 ) 이 설치 된다 . 그리고 상기 제 3 슬라이드 빔 ( 62 ) 의 타 측 단부 에 는 제 6 실링 캡 ( 66 ) 이 설치 된다 .