상기 기판 을 지지 하 기 위해 상기 가열 플레이트 ( 20 ) 를 상승 시키 는 경우 , 상기 베이스 플레이트 ( 40 ) 와 상기 가열 플레이트 ( 20 ) 사이 의 간격 이 커진다 . 따라서 , 상기 지지 부재 ( 20 ) 를 상승 시키 는 상기 구동 부 ( 30 ) 의 구동축 이 약간 흔들리 더라도 상기 지지 부재 ( 20 ) 및 상기 지지 부재 ( 20 ) 에 의해 지지 되 는 상기 가열 플레이트 ( 10 ) 는 크 게 흔들릴 수 있 다 . 상기 가열 플레이트 ( 10 ) 의 흔들림 으로 인해 상기 기판 가열 유닛 ( 1 ) 의 작동 이 중단 될 수 있 다 . 상기 가열 플레이트 ( 10 ) 의 흔들림 이 멈춘 후 , 다시 상기 기판 가열 유닛 ( 1 ) 을 작동 시켜야 한다 . 따라서 , 상기 기판 가열 유닛 ( 1 ) 을 이용 하 여 상기 기판 을 가열 하 는 데 많 은 시간 이 소요 될 수 있 다 .