그리고 , 하부 전극 ( 101 ) 과 상부 전극 ( 103 ) 사이 에 위치 하 는 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) ( 102 ) 은 도 1 및 도 3 의 원리 를 이용 하 여 원자 층 증착 법 ( Atomic Layer Deposition ; ALD ) 을 통해 증착 한 것 으로 , 단위 사이클 1 또는 단위 사이클 2 를 이용 하 여 총 25 Å ∼ 200 Å 두께 로 형성 한 것 이 다 .