일 실시 형태 에 있 어서 , 플 라즈 마 에 노출 되 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 의 부분 들 은 플라 즈 마 내성 재료 의 피복 에 의해 보호 된다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 내성 재료 는 코팅 으로서 형성 된다 . 다른 실시 형태 에 있 어서 , 플라 즈 마 내성 재료 는 보호 구조 , 예 를 들 어 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 컨 포 멀 하 게 피복 하 는 플레이트 로서 형성 된다 . 이 들 실시 형태 들 중 어느 것 에 있 어서 , 플라 즈 마 내성 재료 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 되 어 플 라즈 마 내성 재료 와 가스 분배 유닛 ( 115 ) 사이 에서 적절 한 전기 및 열 전도 를 보장 한다 . 플라 즈 마 내성 보호 구조 의 일 실시 형태 에 있 어서 , 보호 구조 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 아래 에 배치 될 때 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 과 외주 구조 ( 108 ) 사이 의 압착 에 의해 또는 다수 의 잠금장치 들 에 의해 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 될 수 도 있 다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 보호 하 기 위해 사용 되 는 플라 즈 마 내성 코팅 / 보호 구조 는 실리콘 , 실리콘 카바이드 , 실리콘 옥사이드 , 이트륨 옥사이드 또는 노출 되 는 플 라즈 마 프로세스 들 에 대하 여 적절 한 플라 즈 마 내성 , 전기 전도 및 열 전도 를 제공 하 는 본질 적 으로 임의 의 다른 재료 로 형성 될 수 있 다 .