타 겟 챔버 60 ( 도 11 및 도 12 , 자기 시스템 ( 10 ) 용 ) 또는 타 겟 챔버 70 ( 도 13 및 도 14 , 선형 시스템 ( 11 ) 용 ) 은 약 0 내지 약 100 torr , 약 100 mtorr 내지 약 30 torr , 적절 하 게 는 약 0 . 1 내지 약 10 torr , 적절 하 게 는 약 100 mtorr 내지 약 30 torr 의 압력 의 타 겟 가스 로 채워질 수 있 다 . 타 겟 챔버 ( 60 또는 70 ) 의 특정 지오 메트리 는 주요 적용 에 따라 변할 수 있 으며 , 많 은 변형 을 포함 할 수 있 다 . 타 겟 챔버 는 적절 하 게 는 선형 시스템 ( 14 ) 에 대해 약 10 cm 내지 약 5 m 길 이 , 및 약 5 mm 내지 약 100 cm 직경 의 원통형 일 수 있 다 . 적절 하 게 는 , 타 겟 챔버 ( 70 ) 는 선형 시스템 ( 14 ) 에 대해 약 0 . 1 m 내지 약 2 m 길 이 , 및 약 30 내지 50 cm 직경 일 수 있 다 .