따라서 , 본 실시 예 에서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 접촉면 은 거칠 지 않 지만 , 화학 적 연마 및 기계 적 연마 가 실시 된 면 인 것 이 바람직 하 다 . 이 경우 에 , 접촉면 으로부터 오목 부를 제거 하 여 , 탑 재면 의 미세 한 볼록 부를 접촉면 에 확실히 박히 게 되 어 제거 할 수 있 고 , 이 로 인해 보다 확실 하 게 탑 재면 을 평활 한 모양 으로 할 수 있 다 .