이 와 같이 , 본 발명 은 HARP 막 과 같 은 단차 피복성 이 우수 한 막 을 제 1 매립 절 연막 으로 사용 하 여 도 1 의 B 영역 에서 와 같이 폭 이 작 은 제 1 트렌치 를 매립 하 고 , 그런 다음 , HDP - CVD 산화 막 을 제 2 매립 절 연막 으로 사용 하 여 도 1 의 C 영역 에서 와 같이 폭 이 큰 제 2 트렌치 를 매립 한다 .