전술 한 바 와 같이 , 알칼리 성 수용액 중 에서 는 , OH - 가 풍부 하 게 존재 하 기 때문 에 , 콜로 이달 실리카 등 의 파티클 표면 이 부 로 대전 되 고 , 세정 대상 이 되 는 기판 표면 도 동일 하 게 부 로 대전 된다 . 액 중 의 제타 전위 가 동 부호 로 제어 됨 으로써 , 전기 적 인 반발 력 이 발생 한다 . 그 결과 , 기판 표면 으로부터 의 상기 파티클 의 제거 를 용이 하 게 할 수 있 고 , 또 , 한 번 제거 한 파티클 이 기판 표면 에 재 부착 되 는 것 을 방지 할 수 도 있 다 .