도 5 는 요부 ( 5 ) 의 SEM 이미지 를 나타내 는데 , 이것 은 폴리머 층 들 의 라미 네이션 에 의해 형성 된 장치 ( 1 ) 에서 CO 2 레이저 로 드릴링 하 고 , 차후 에 전극 ( 21 ) 을 활성 화 시키 도록 전기 방전 을 인가 함 으로써 형성 된다 . 그 이미지 는 , 비록 레이저 의 특징 을 최적 화 시킴 으로써 향상 될 수 있 는 것 이 희망 된다고 할지라도 , 요부 ( 5 ) 의 기하 형상 이 그러 한 형성 방법 을 이용 하 여 불량 하 게 한정 되 고 , 요부 둘레 의 상당 한 표면 손상 및 직경 의 가변성 이 있 다는 점 을 나타낸다 .