구체 적 으로 , 롤러 ( 31 ) 는 수 용부 ( 32 ) 내 에서 회전 하 는 동시 에 그 상측 의 슬릿 노즐 ( 20 ) 로부터 슬릿 에 잔류 된 잔류 액 을 토출 받 으며 , 수 용부 ( 32 ) 는 하측 에 저장 된 세정액 에 롤러 ( 31 ) 를 침지 시켜 롤러 ( 31 ) 외연 의 토출 액 을 제거 한다 . 그리고 세정 모듈 은 롤러 ( 31 ) 표면 에 감광액 희석 을 위한 용매 예컨대 , 솔 벤트 ( solvent ) 를 공급 하 는 제 1 분사 노즐 ( 41 ) 과 , 롤러 ( 31 ) 외연 에 접촉 하 여 이 물질 을 제거 하 는 나이프 ( 42 ) 와 , 세정액 을 분사 하 는 제 2 분사 노즐 ( 43 ) 과 , 롤러 ( 31 ) 의 세정액 침지 후 재차 세정액 분사 하 는 제 3 분사 노즐 ( 44 ) 과 , 잔류 세정액 제거 하 는 나이프 ( 45 ) 및 , 건조 공기 를 분사 하 는 제 4 분사 노즐 ( 46 ) 로 구성 된다 .