도 3 은 종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 가 흡착 상태 에서 기판 ( 107 ) 을 고정 한 상태 를 개략 적 으로 나타낸 단면도 이 다 . 본 도면 에서 , 도 1 및 도 2 의 구성 요소 와 동일 한 구성 요소 에 대해서 는 동일 한 참조 부호 를 붙이 고 , 그 설명 을 생략 하 도록 한다 . 도 3 에서 참조 부호 107 은 기판 을 나타내 고 , 참조 부호 109 는 불활성 가스 가 충 진 되 는 가스 충 진부 를 나타낸다 . 도 3 에 나타낸 바 와 같이 , 베이스 바디 ( 102 ) 의 복수 돌기 부 ( 102 c ) 와 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 의 상부 면 에 는 기판 ( 107 ) 이 고정 된다 . 기판 ( 107 ) 의 온도 는 베이스 플레이트 ( 106 ) 에 내장 된 히터 ( 미 도시 ) 또는 수로 ( water path ) ( 104 ) 에 의해 조절 된다 .