타 겟 의 벌크 저항 은 20 m Ω 이하 가 바람직 하 고 , 10 m Ω 이하 가 보다 바람직 하 고 , 5 m Ω 이하 가 더 바람직 하 며 , 2 m Ω cm 이하 가 특히 바람직 하 다 . 20 m Ω 보다 크 면 DC 스퍼터링 으로 의 성막 시 에 타 겟 이 파손 될 우려 가 있 다 . 또한 , 이상 방전 에 의해 스파크 가 발생 하 여 타 겟 이 깨지 거나 , 스파크 에 의해 튀 어 나간 입자 가 성막 기판 에 부착 되 어 산화물 반도체 막 으로서 의 성능 을 저하 시키 거나 하 는 경우 가 있 다 . 또한 , 방전 시 에 타 겟 이 깨 질 우려 도 있 다 .