전극 , 배선 을 형성 하 는 도전 막 ( 511 , 512 ) 은 , 금속 막 , 합금 막 또는 금속 화합 물막 으로 형성 할 수 있 다 . 예 를 들 면 탄탈 , 질화 탄탈 , 텅스텐 , 티타늄 , 몰리브덴 , 알루미늄 , 구리 , 크롬 또는 니오브 등 으로 된 금속 막 , 이 들 의 금속 원소 의 합금 으로 된 막 또는 이 들 의 금속 화합 물막 등 이 있 다 . 이 들 의 막 은 CVD 법 이나 스퍼터링 법 에 의해 형성 할 수 있 다 .