도 27 은 본 발명 의 제 4 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 을 나타낸다 . 이 예의 기판 처리 시스템 은 , 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 의 상측 계층 의 반송 유닛 ( 28 ) ( 도 5 의 ( b ) 참조 ) 만 을 구비 하 고 , 하측 의 계층 의 반송 유닛 ( 31 ) ( 도 5 의 ( c ) 참조 ) 을 구비 하 지 않 고 있 는 점 에서 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 과 다르 다 . 반송 유닛 ( 28 ) 의 구성 은 , 제 1 실시 형태 의 기판 처리 시스템 의 상측 의 계층 의 반송 유닛 ( 28 ) 과 동일 하 다 . 즉 , 반송 유닛 ( 28 ) 은 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 및 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 를 구비 한다 . 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 의 적어도 일부 , 및 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 일부 는 로더 모듈 ( 22 ) 과 상하 방향 으로 겹쳐 있 다 .