상기 실리콘 전구체 는 테트라 알킬 실리케이트 ; 알릴 , 아릴 , 아민 , 알킬 , 또는 알 콕 시 로 치환 된 알 콕 시실 란 ; 또는 알릴 , 아릴 , 아민 , 알킬 , 또는 알 콕 시 로 치환 된 알킬 실란 등 이 바람직 하 게 사용 될 수 있 다 . 본 명세서 에서 특별히 언급 되 지 않 는 한 아릴 은 탄 소수 3 내지 6 을 가지 는 아릴 이 며 , 상기 알킬 과 알 콕 시 는 탄 소수 1 내지 5 의 알킬 과 알 콕 시 를 의미 한다 .