챔버 ( 100 ) 는 외부 배출 펌프 ( 137 ) 에 내부 캐비 티 ( 100 D ) 의 유체 연결 을 제공 하 는 외부 포트 ( 135 ) 를 포함 하 여 , 내부 캐비 티 ( 100 D ) 내 로부터 가스 들 및 / 또는 파티클 들 을 제거 하 기 위해 외부 포트 ( 135 ) 를 통해 네 가 티 브 압력 이 가해질 수 있 다 . 일 실시 형태 에 있 어서 , 챔버 ( 100 ) 는 내부 캐 비티 ( 100 D ) 내부 로 의 웨이퍼 ( 113 ) 의 삽입 및 대응 하 는 내부 캐 비티 ( 100 D ) 로부터 의 웨이퍼 ( 113 ) 의 제거 를 가능 하 게 하 기 위해 챔버 벽 ( 100 C ) 의 섹션 내 에 형성 된 게이트 밸브 ( 102 ) 를 또한 포함 한다 . 그 폐쇄 위치 에서 , 게이트 밸브 ( 102 ) 는 외부 환경 으로부터 내부 캐 비티 ( 100 D ) 의 격리 를 유지 하 도록 정의 된다 . 다양 한 실시 형태 들 에 있 어서 , 배출 펌프 ( 137 ) 는 , 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 비티 ( 100 D ) 로부터 유체 플로우 를 도출 하 기 위해 외부 포트 ( 135 ) 에서 흡입 을 적용 할 수 있 는 한 , 상이 한 방식 으로 구현 될 수 있 다 .