도 5 를 참조 하 면 , 본 발명 에 따른 노광 장비 는 광원 ( 40 ) 및 상기 광원 ( 40 ) 으로부터 소정 거리 이격 되 도록 입력 렌즈 ( 66 ) 가 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 광원 ( 40 ) 으로부터 조사 된 광 은 상기 입력 렌즈 ( 66 ) 로 입사 하 여 상기 입력 렌즈 ( 66 ) 를 통과 할 수 있 다 . 상기 입력 렌즈 ( 66 ) 로부터 소정 거리 이격 되 도록 제 1 반사 거울 ( 68 a ) , ND 필터 ( 70 ) 및 제 1 콘덴서 렌즈 ( 74 a ) 가 차례 로 배치 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 상기 입력 렌즈 ( 66 ) 를 통과 한 광 은 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 로 입사 될 수 있 다 . 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 로 입사 된 광 은 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 에 의해 반사 될 수 있 다 . 상기 제 1 반사 거울 ( 68 a ) 에 의해 반사 된 광 은 상기 ND 필터 ( 70 ) 로 입사 되 어 상기 ND 필터 ( 70 ) 를 통과 할 수 있 다 .