도 14 를 참조 하 면 , 적층 물 ( ST ) 을 관통 하 는 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 을 형성 한다 . 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 은 식각 정지 막 ( 34 ) 을 노출 시키 는 깊이 를 가지 며 , 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 의 저면 에 식각 정지 막 ( 34 A ) 이 일부 잔류 될 수 있 다 . 식각 정지 막 ( 34 ) 에 의해 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 의 깊이 를 용이 하 게 제어 할 수 있 으며 , 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 이 지지대 ( 32 A ) 를 완전히 관통 하 여 소스 막 ( 31 ) 이 노출 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 은 식각 정지 막 ( 34 ) 에 비해 좁 은 폭 을 갖 는다 . 따라서 , 제 2 슬릿 ( SL 2 ) 이 오 정렬 되 더라도 소스 막 ( 31 ) 이 노출 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .