상기 금속 증발원 ( 61 ) 은 , 전력 을 공급 하 는 전원 ( 61 a ) 과 , 상기 전원 ( 61 a ) 으로부터 전력 을 제공 받 으며 가스 공급 관 ( 61 d ) 을 통해 외부 로부터 유입 된 아르곤가스 를 이온 화 하 는 이온 발생 부 ( 61 c ) 와 , 상기 이온 발생 부 ( 61 c ) 앞 에 설치 되 는 판상 의 금속 소스 ( 61 b ) 로 이루어진다 . 상기 금속 소스 ( 61 b ) 는 코팅 할 금속 예컨대 알루미늄 이나 크롬 또는 은 이나 금 으로 제작 된 금속판 으로서 회전 드럼 ( 17 ) 으로부터 소정 간격 이격 되 어 있 다 .