광원 ( 108 ) 에 의해 생성 된 입사 광 빔 은 퇴적 챔버 ( 102 ) 의 영역 을 조명 할 수 있 다 . 이러 한 조명 된 영역 은 웨이퍼 ( 104 ) 에 또는 근처 에 위치 되 는 챔버 의 부분 일 수 있 거나 , 웨이퍼 ( 104 ) 로부터 소정 거리 만큼 떨어져 있 을 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 조명 된 영역 은 측면 윈도우 ( 110 ) 를 통해 볼 수 있 는 챔버 ( 102 ) 의 일부 의 단면 슬라이스 일 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 는 조명 된 영역 이 챔버 ( 102 ) 의 작 은 부분 일 수 있 는 반면 , 다른 구현 들 에서 는 조명 된 영역 이 챔버 ( 102 ) 의 상당 한 부분 일 수 있 다 .