조정 축 ( 132 ) 은 그 일단 이 상기 챔버 ( 110 ) 내측 에 마련 된 마스크 안착 수단 ( 131 ) 에 접속 되 고 , 그 타단 은 상기 챔버 ( 110 ) 를 관통 하 여 챔버 ( 110 ) 외측 에 마련 된 조정 판 ( 133 ) 에 접속 된다 . 이 를 위해 상기 챔버 ( 110 ) 에 는 조정 축 ( 132 ) 이 관통 하 는 관 통공 이 형성 되 어 있 다 . 상기 챔버 ( 110 ) 외측 으로 노출 된 조정 축 ( 132 ) 의 외부 둘레 를 따라 신축 이 자유 로운 원통 형상 의 벨로우즈 관 을 포함 하 는 밀폐 완충 부재 ( 134 ) 가 마련 되 는 것 이 바람직 하 다 .