그러나 , 구리 는 알루미늄 에 비해 실리콘 이나 산화물 내 에서 매우 빠른 확산 도 를 가지 고 있 으므로 구리 의 확산 을 차단 해 줄 수 있 는 확산 방지 막 이 필요 하 다 . 확산 방지 막 은 구리 와 전혀 반응 하 지 않 는 금속 인 탄탈럼 ( Ta ) , 티타늄 ( Ti ) , 코발트 ( Co ) , 루테늄 ( Ru ) 등 의 금속 재료 , TaN , TiN , WN , TaSiN 등 의 질화물 재료 등 으로 형성 되 고 있 다 .