- 제 1 기체 혼합물 의 전처리 는 제 1 기체 혼합물 을 반응기 에 도입 하 여 제 1 기체 혼합물 을 반응기 에서 반응 시킴 으로써 불소 공급원 으로부터 불소 를 해리 시켜 기체 혼합물 중 에 활성 불소 종 을 생성 하 고 , 제 1 기체 혼합물 을 대략 상온 으로 냉각 시키 고 , 제 1 기체 혼합물 을 기체 저장 시스템 에 도입 하 여 저장 하 는 것 을 포함 하 고 ;