이상 에서 와 같이 , 본 발명 은 프로필렌글리콜 ( Propylene glycol ) 용액 및 에틸렌글리콜 ( Ethylene glycol ) 용액 중 어느 하나 에 불 산 ( HF ) 및 아민 ( Amine ) 계 물질 을 첨가 한 화학 용액 , 즉 , 저 선택 비 화학 용액 을 사용 한 FRD ( dHF and Rinsing Dryer ) 방법 으로 SOD 막 으로 소자 분리 막 이 형성 된 웨이퍼 를 세정 함 으로써 수분 마크 의 생 성 을 방지 할 수 있 다 .