상기 와 같 은 경화 공법 에 의해 휨 교 정재 를 경화 시켜 휨 교정 층 을 형성 한 의사 웨이퍼 에 대하 여 , 휨 량 을 측정 하 였 다 . 휨 량 은 , 25 ℃ 에 있 어서 롱 죠 노기스 를 사용 하 여 측정 하 였 다 . 의사 웨이퍼 의 주변 부 의 2 점 을 기준 으로 하 여 중심부 의 휨 이 ± 2 mm 이하 이 면 양호 ( Ο ) 라고 하 였 다 . ± 2 내지 3 mm 는 △, ± 3 mm 를 초과 할 때 는 불량 ( × ) 이 라 판정 하 였 다 . 평가 결과 는 표 2 및 3 에 나타내 는 바 와 같 았 다 .