본 발명 의 일 실시 예 에 따른 실리콘 카바이드 단결정 의 제조 방법 은 종 결정 과 실리콘 계 용융 액 을 접촉 시켜 , 상기 종 결정 상 에 실리콘 카바이드 단결정 을 성장 시키 는 결정 성장 단계 를 포함 하 고 , 상기 실리콘 계 용융 액 은 Si 및 Ti 를 포함 하 며 , 상기 실리콘 계 용융 액 에서 의 상기 Ti 의 조성 은 26 내지 32 원자 % 이 다 .