또한 , 이 열처리 에서 는 리튬 , 나트륨 , 칼륨 등 의 알칼리 금속 도 반도체 성 산화물 층 ( 104 a ) 의 표면 부근 에 편석 하 고 , 나아가 증발 하 기 때문 에 , 반도체 성 산화물 층 ( 104 a ) 에서 도 절연성 산화물 층 ( 104 b ) 에서 도 그 농도 가 충분히 낮 아 진다 . 이 들 은 트랜지스터 에서 는 바람직 하 지 않 은 원소 이 므로 , 트랜지스터 를 구성 하 는 재료 에 는 가능 한 한 포함 되 지 않 도록 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 들 의 알칼리 금속 은 아연 이상 으로 증발 하 기 쉬우므로 , 가열 처리 공정 은 이 들 을 제거 하 는 데 에 도 유효 하 다 .