이상 에서 와 같 은 본 발명 은 , 컨트롤러 를 조작 하 여서 진공 펌프 를 작동 시킨 후 마스크 척 의 안착 부 에 마스크 를 위치 시키 면 공기 유로 및 안착 부 에 작용 하 는 진공 펌프 의 흡입력 에 의해 마스크 가 안착 부 에 흡착 되 므로 마스크 가 마스크 척 에 진공 흡착 되 며 , 이 에 따라 마스크 를 마스크 척 의 하부 에 위치 시키 는 비교 적 간단 한 작업 으로 마스크 를 마스크 척 에 장착 할 수 있 다 . 또한 , 마스크 의 둘레 가 마스크 척 의 안착 부 에 안착 된 후 흡착 되 면 마스크 가 마스크 척 에 정확 하 게 세팅 된 상태 가 되 며 , 이 에 따라 마스크 를 웨이퍼 상 에 스 탬핑 할 시 정확 하 게 스 탬핑 된다 . 그리고 , 마스크 척 에 는 다양 한 크기 의 마스크 가 안착 될 수 있 도록 다단 의 안착 부 가 형성 되 어 있 으므로 여러 크기 의 마스크 를 하나 의 마스크 척 에 진공 흡착 시킬 수 있 으며 , 이 에 따라 마스크 척 의 호환 성 이 향상 된다 .