다양 한 공정 처리 법 들 에서 , 도 7 을 참조 하 여 위 에 설명 된 바 와 같이 , 기판 은 건조 동작 동안 2200 rpm 으로 ( 또는 그 보다 높 게 ) 회전 할 수 있 다 . 기판 의 물리 적 크기 ( 예컨대 , 직경 ) , 질량 , 및 회전 속력 과 같 은 인자 들 에 따라 , 이동 가능 핑거 및 정지 상태 핑거 가 동축 으로 있 는 것 으로부터 의 임의 의 오프셋 은 위험 한 흔들림 및 진동 을 생성 할 수 있 다 . 그 때 , 하나 이상 의 캠 리턴 스프링 ( 909 ) 은 기판 을 제자리 에 유지 하 지 못할 수 있 어서 , 그 에 의해 , 잠재 적 으로 치명 적 인 고장 ( 예컨대 , 기판 의 방출 및 파괴 ) 이 초래 될 수 있 다 . 이러 한 잠재 적 인 문제 를 해결 하 기 위해 , 음 의 고정 메커니즘 ( 도 9 에 도시 되 지 않 음 ) 이 캠 리턴 핑거 ( 907 ) 에서 애 퍼 쳐 ( 913 ) ( 예컨대 , 개구 또는 구멍 ) 와 맞물린다 .