종래 HDP - CVD 산화 막 을 단독 으로 매립 절 연막 으로 적용 하 는 경우 에 도 2 에 도시 된 바 와 같이 폭 이 작 은 제 1 트렌치 ( T 1 ) 내 에 보이드 ( void ) 가 발생 하 였 고 , 또한 , 종래 HARP 막 을 단독 으로 매립 절 연막 으로 적용 하 는 경우 에 는 도 3 c 에 도시 된 바 와 같이 폭 이 큰 제 2 트렌치 ( T 2 ) 내 에 심 ( seam ) 이 잔류 되 어 문제 를 유발 한다 .