본 발명 은 배면 드레 인 구조 웨이퍼 의 온 저항 측정 방법 에 관한 것 으로 , 웨이퍼 의 배면 에 마련 된 드레 인 을 공통 으로 사용 하 는 제 1 모스 트랜지스터 와 제 2 모스 트랜지스터 를 지나 는 전류 패스 를 형성 하 고 , 그 제 1 모스 트랜지스터 와 제 2 모스 트랜지스터 의 소스 간 저항 을 측정 하 도록 구성 된다 . 이 와 같 은 구성 의 본 발명 은 드레 인 에 직접 접촉 되 는 척 을 사용 하 지 않 고 도 , 배면 드레 인 구조 웨이퍼 의 온 저항 을 측정 할 수 있 게 되 어 , 테스트 의 신뢰 성 을 향상 시키 는 효과 가 있 으며 , 고가 의 척 을 사용 하 지 않 아도 되 기 때문 에 비용 을 절감 할 수 있 는 효과 가 있 다 .