한편 , 게이트 라인 ( 220 ) 의 상면 및 노출 된 제 1 액티브 영역 ( 110 ) 상 에 는 제 1 및 제 2 실리사이드 막 ( 412 , 414 , 416 ) 이 형성 된다 . 이 때 , 게이트 라인 ( 220 ) 상 에 는 제 1 실리사이드 막 ( 414 ) 이 , 제 1 액티브 영역 ( 110 ) 상 에 는 제 2 실리사이드 막 ( 412 , 416 ) 이 형성 될 수 있 다 .