( 6 ) 또한 , 청구 항 5 에 기재 된 발명 에 따르 면 , 상기 ( 1 ) ∼( 5 ) 에 더 하 여 , 가스 농도 센서 에 의해 스무 딩 처리 블록 내 의 용제 증기 의 상황 을 감시 할 수 있 고 , 또한 , 온도 센서 및 액면 높이 센서 로부터 의 검출 신호 에 기초 하 여 제어 수단 에 의해 기체 유량 조정 밸브 및 용제 증기 의 유량 조정 밸브 를 제어 함 으로써 , 스무 딩 처리 에 사용 되 는 용제 증기 의 유량 을 최적 의 상태 로 할 수 있 다 .