도 5 에 나타낸 바 와 같이 , 자기 흡착 척 ( 307 ) 의 척 본체 ( 307 x ) 는 , 사각 형상 의 프레임 ( 307 x 1 ) 과 , 마스크 ( M ) 에 형성 된 차폐 패턴 에 대응 하 는 패턴 의 격자 형상 의 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 과 , 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 에 부착 되 는 자기 흡착 기구 를 구비 한다 . 자기 흡착 기구 는 , 자기 저항 조정부 ( 402 ) 를 갖 는 백 요크 로서 의 요크 판 ( 307 x 3 ) 과 , 요크 판 ( 307 x 3 ) 에 부착 되 는 영구 자석 인 흡착 마그넷 ( 401 ) 을 구비 한 구성 으로 되 어 있 다 . 흡착 마그넷 ( 401 ) 은 , 요크 판 ( 307 x 3 ) 의 하면 인 주면 ( 400 ) 에 부착 된다 . 요크 판 ( 307 x 3 ) 은 지지 프레임 ( 307 x 2 ) 의 하면 에 부착 되 어 있 다 .