제 2 이송 도어 ( 330 ) 는 챔버 ( 310 ) 의 다른 측면 , 즉 , 제 1 이송 도어 ( 320 ) 의 상대편 측면 인 전달 챔버 ( 400 ) 와 인접 하 는 부위 에 형성 된다 . 제 2 이송 도어 ( 330 ) 는 개폐 가 가능 한 구조 이 며 , 공정 을 진행할 기판 ( 10 ) 을 전달 챔버 ( 400 ) 로 이송 하 거나 공정 이 끝난 기판 ( 10 ) 을 로드 락 챔버 ( 300 ) 로 이송 할 때 에 는 개방 된다 . 또한 , 제 2 이송 도어 ( 330 ) 는 챔버 ( 310 ) 내부 로 펌핑 작업 또는 벤 팅 작업 을 할 때 에 는 차단 된다 . 제 2 이송 도어 ( 330 ) 의 개폐 는 실린더 등 과 같 은 액 츄 에 이터 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 통해 이루어진다 .