다음 으로 회전 축 ( 20 ) 은 상기 기판 척 ( 10 ) 과 결합 되 며 , 기판 척 을 회전 시키 는 회전 동력 을 전달 한다 . 즉 이 회전 축 ( 20 ) 은 자신 이 회전 하 면서 자신 과 결합 되 어 있 는 기판 척 ( 10 ) 을 회전 시킨다 . 그러면 기판 척 ( 10 ) 에 장착 되 어 있 는 기판 ( S ) 이 함께 회전 하 면서 기판 하 면 또는 상면 에 대한 세정 작업 이 진행 되 는 것 이 다 . 본 실시 예 에 따른 기판 세정 장치 에서 는 기판 ( S ) 을 회전 시키 면서 세정 작업 을 진행 하 므로 , 기판 의 일 지점 에 세정액 을 분사 하 여도 기판 의 모든 지점 에 세정액 을 분사 한 것 과 동일 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .