또한 , 보트 ( 217 ) 를 웨이퍼 ( 200 ) 상 에 금속 함 유막 을 형성 하 는 처리 에서 사용 하 는 경우 , 당해 금속 함 유막 에 포함 되 는 금속 에 의해 코팅 을 행해도 된다 . 예 를 들 어 , 금속 함 유막 으로서 AlO 막 을 형성 하 는 처리 에서 보트 ( 217 ) 를 사용 하 는 경우 , AlO 막 에 포함 되 는 금속 인 알루미늄 ( Al ) 을 용사 함 으로써 , Al 로 상술 한 코팅 을 행해도 된다 .