일반 적 으로 , 기판 상 의 복제 위치 의 수 는 복제 도구 상 의 복제 영역 의 수 와 동일 할 것 이 지만 , 예 를 들 어 복제 위치 가 모두 사용 되 지 는 않 아 , 결과 적 으로 복제 위치 모두 에 대응 하 지 는 않 는 복제 영역 이 도구 내 에 존재 하 는 특수 한 경우 가 고려 될 수 있 다 . 또한 , 도구 가 소정 의 복제 위치 에 대한 복제 영역 외 에 , 기판 의 평탄 한 , 예비 - 구조 화 되 지 않 은 부분 에 대한 복제 영역 을 추가 로 포함 하 는 경우 가 있 을 수 있 다 . 이 들 특수 한 경우 는 다음 의 설명 에서 논의 되 지 않 는다 .