그리고 , 도 50 에 도시 된 위치 로 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 이동 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 새로운 웨이퍼 ( W 1 ) 에 대한 웨이퍼 얼라이먼트 ( 및 그 밖 의 전처리 계측 ) 의 개시 에 앞서 , Y 간섭계 ( 209 ) 및 X 간섭계 ( 229 ) , 그리고 2 차원 인코더 ( 170 D , 170 C ) 의 리셋 ( 원점 의 재 설정 ) 을 실행 한다 .