정전 척 ( 6 ) 은 상면 이 평탄 한 원반 형상 으로 형성 되 어 있 다 . 정전 척 ( 6 ) 의 상면 은 웨이퍼 ( 8 ) 가 배치 되 는 배치 면 ( 6 e ) 으로 되 어 있 다 . 정전 척 ( 6 ) 은 절연체 ( 6 b ) 의 사이 에 전극 ( 6 a ) 을 개재 시켜 구성 되 어 있 다 . 전극 ( 6 a ) 에 는 직류 전원 ( 12 ) 이 접속 되 어 있 다 . 정전 척 ( 6 ) 은 전극 ( 6 a ) 에 직류 전원 ( 12 ) 으로부터 직류 전압 이 인가 됨 으로써 생기 는 쿨롱력 에 의해 웨이퍼 ( 8 ) 를 흡착 한다 .