베이스 부재 ( 21 ) 를 챔버 ( 12 ) 의 장 착면 ( 12 a ) 에 장착 하 여 고정 한 후 에 , 구동축 ( 27 ) 의 내부 외 통체 ( 32 ) 로부터 돌출 된 선 단부 에 구동 롤러 ( 17 ) 를 장착 하 여 고정 한다 . 또한 , 베이스 부재 ( 21 ) 의 급 기공 ( 58 ) 에 기체 공급 관 ( 59 ) 을 접속 한다 . 그 에 따라 , 챔버 ( 12 ) 에 구동 기구 ( 18 ) 를 조립 하 여 장착 할 수 있 다 .