도 5 a 는 초기 노광 필드 의 노광 시 측정 되 는 온도 분포 이 며 , 온도 변화 가 웨이퍼 ( 321 ) 의 국부 적 인 영역 에 국한 되 고 있 음 을 보여 주 고 있 다 . 도 5 b 는 노광 이 진행 됨 에 따라 웨이퍼 ( 321 ) 의 온도 변화 분포 가 확산 되 고 , 도 5 c 에 제시 된 바 와 같이 웨이퍼 ( 321 ) 영역 전체 에 걸쳐 온도 변화 가 측정 됨 을 보여 주 고 있 다 . 이 와 같이 노광 필드 별 노광 을 수행 함 에 따라 축적 되 는 노광 에너지 에 의해 웨이퍼 ( 321 ) 전체 영역 의 온도 분포 변화 가 유발 되 는 광역 열 적 효과 가 관측 된다 . 이러 한 광역 열 적 효과 에 의한 웨이퍼 ( 321 ) 온도 변화 분포 는 도 7 의 노광 필드 별 온도 분포 그래프 ( 710 ) 와 같이 측정 될 수 있 다 .