또한 , 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따라 , 6 축 로봇 이 구비 된 웨이퍼 검사 장치 를 이용 하 여 웨이퍼 를 검사 하 는 방법 은 전술 한 6 축 로봇 이 구비 된 웨이퍼 검사 장치 를 이용 하 여 웨이퍼 를 검사 하 는 방법 으로서 , 웨이퍼 를 카세트 에서 언 로딩 하 는 단계 ; 와 상기 6 축 로봇 에 의해 파지 된 상태 로 다양 한 위치 로 배치 되 는 웨이퍼 의 표면 및 이면 을 조명 장치 로 조사 하 고 , 웨이퍼 를 육안 으로 검사 하 는 단계 ; 와 웨이퍼 를 6 축 로봇 에 의해 파지 된 상태 로 현미경 을 통하 여 정밀 검사 하 는 단계 ; 와 검사 가 끝난 웨이퍼 를 상기 카세트 로 로딩 하 는 단계 를 포함 한다 .