불화 수소 가스 품질 을 조종 반도체 등 제조 공정 의 식각 또는 세정 처리 과정 의 운영 되 는 현지 기계 또는 시스템 에 맞 는 최적 의 초 고순 도 의 불화 수소 를 현지 에서 조절 발생 시켜 반도체 등 제조 공정 의 식각 또는 세정 처리 에 최적 화 하 여 제공 하 기 위하 여 도출 한 것 을 특징 으로 하 는 불화 수소 농도 및 순도 를 조절 하 고 가열 하 여 불화 수소 가스 품질 을 조종 하 는 시스템 인 것 이 다