도 4 g 에 도시 된 바 와 같이 , 전면 에 실리콘 산화 막인 제 3 층간 절 연막 ( 46 ) 을 실링 한다 . 이때 , 제 1 층간 절 연막 ( 39 ) 과 제 2 층간 절 연막 ( 44 ) 사이 에 만들 어 진 빈 공간 ( 45 ) 의 입구 가 좁 아 , 즉 종횡비 가 작 아 제 3 층간 절 연막 ( 46 ) 을 실링 ( sealing ) 하 면 빈 공간 ( 45 ) 의 상부 가 밀폐 되 어 빈 공간 ( 45 ) 이 에 어 웨이브 가이드 ( air wave guide , 47 ) 로 바뀐다 . 즉 , 제 3 층간 절 연막 ( 46 ) 에 의해 상부 가 밀폐 됨 에 따라 빈 공간 의 내부 는 에어갭 ( Air gap ) 형태 가 된다 .