이 장치 에 따르 면 , 계측 장치 에 포함 되 는 인코더 시스템 에 의해 , 제 3 영역 을 통과 하 여 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 를 이동 하 는 제 1 이 동체 의 소정 평면 내 의 위치 정보 가 계측 된다 . 또한 , 계측 장치 에 의해 , 제 5 영역 을 통과 하 여 제 1 영역 과 제 4 영역 사이 를 이동 하 는 제 2 이 동체 의 소정 평면 내 의 위치 정보 가 계측 된다 . 따라서 , 소정 평면 에 평행 한 면 상 의 제 3 영역 및 제 5 영역 에 대응 하 는 위치 에 제 1 및 제 2 격자 부 를 배치 하 는 것 만 으로 , 제 3 영역 을 통과 하 여 제 1 영역 과 제 2 영역 사이 를 이동 할 때 의 제 1 이 동체 의 위치 , 및 제 5 영역 을 통과 하 여 제 1 영역 과 제 4 영역 사이 를 이동 할 때 의 제 2 이 동체 의 위치 를 제어 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .