제 2 순환 유로 ( 232 ) 는 냉각 유체 공급 라인 ( 232 c ) 을 통해 냉각 유체 저 장부 ( 232 a ) 와 연결 된다 . 냉각 유체 저 장부 ( 232 a ) 에 는 냉각 유체 가 저장 된다 . 냉각 유체 저 장부 ( 232 a ) 내 에 는 냉각기 ( 232 b ) 가 제공 될 수 있 다 . 냉각기 ( 232 b ) 는 냉각 유체 를 소정 온도 로 냉각 시킨다 . 이 와 달리 , 냉각기 ( 232 b ) 는 냉각 유체 공급 라인 ( 232 c ) 상 에 설치 될 수 있 다 . 냉각 유체 공급 라인 ( 232 c ) 을 통해 제 2 순환 유로 ( 232 ) 에 공급 된 냉각 유체 는 제 2 순환 유로 ( 232 ) 를 따라 순환 하 며 유로 형성 판 ( 230 ) 을 냉각 한다 . 유로 형성 판 ( 230 ) 은 냉각 되 면서 지 지 판 ( 220 ) 과 기판 ( W ) 을 함께 냉각 시켜 기판 ( W ) 을 소정 온도 로 유지 시킨다 . 상술 한 바 와 같 은 이유 로 , 일반 적 으로 , 포커스 링 ( 240 ) 의 하부 는 상부 에 비해 낮 은 온도 로 제공 된다 .