우선 , 종래 기술 에 해당 하 는 도 4 b 를 참조 하 면 , 자기 정렬 콘 택 ( SAC ) 식각 시 , 외부 에 좁 은 면적 ( W 2 ) 으로 노출 된 게이트 하드 마스크 층 ( 도 1 b , 14 A ) 의 상부 면 에 는 그만큼 적 은 양 의 식각 부산물 ( POL ) 이 잔류 하 여 게이트 하드 마스크 층 ( 14 A ) 이 과도 하 게 손실 되 는 것 이 다 . 또한 , 게이트 하드 마스크 층 ( 14 A ) 의 상부 면 이 둥글 기 때문 에 식각 부산물 ( POL ) 이 상부 면 으로 부 터 흘러내려 , 손실 이 더욱 심해진다 .