이 도면 에서 도시 하 는 바 와 같이 본 발명 히터 써 포트 를 이용 한 화학 기상 증착 장치 는 챔버 의 상부 덮개 를 이루 되 그 내측 에 블럭 플레이트 ( 22 ) 와 샤워 헤드 ( 24 ) 를 구비 한 챔버 리드 ( 20 ) 와 , 상기 챔버 의 하방 을 이루 는 챔버 바디 ( 30 ) 와 , 상기 챔버 바디 ( 30 ) 와 챔버 리드 ( 20 ) 사이 에 형성 된 가스 입 , 출구 ( 40 ) ( 50 ) 와 , 벨로우즈 ( 60 ) , 받침대 ( 70 ) 및 히터 써 포트 ( 1 ) 로 이루어진다 .