도 4 는 도 1 b 에 개략 도시 된 내부 인 젝 터 의 하나 의 비 - 제한 적 인 실시 예의 평면도 를 도시 한다 . 인 젝 터 ( 94 ) 는 상대 적 으로 얇 은 , 평면 형상 으로 , 상기 인 젝 터 의 면 에 이어지 는 3 개 의 선형 , 평행 도관 포트 어레이 를 갖 는 구조 이 다 . 내부 인 젝 터 ( 81 ) 와 유사 한 내부 인 젝 터 ( 94 ) 는 3 개 의 도관 ( 83 a , 83 b , 83 c ) 을 갖 는데 , 이 도관 들 은 밀봉 채널 로서 평면 물질 에 형성 될 수 있 으며 , 각각 도관 인 렛 ( 85 a , 85 b , 85 c ) 로부터 4 개 의 선형 배열 된 도관 포트 까지 구불구불 한 코스 를 형성 한다 . 특히 , 채널 ( 83 b ( 83 c ) ) 은 개스 를 도관 포트 93 b ( 93 c , 각각 ) 의 선형 어 레이로 개스 를 운반 한다 . 하지만 , 도관 은 도관 ( 83 a ) 의 말 단부 가 도관 포트 ( 93 a 및 93 d ) 의 선형 어레이 로 가스 를 운반 하 는 하부 도관 ( 95 , 97 ) 으로 나뉘 는 대안 어레이 를 도시 한다 . 따라서 , 단일 인 렛 포트 ( 85 a ) 로부터 의 개스 가 아울렛 포트 ( 93 a , 93 d ) 로 운반 되 어 이 양 어레이 로부터 성장 챔버 내 로 분배 되 어 도관 포트 어레이 ( 93 c ) 로부터 분배 되 는 개스 를 에워싸 는 커튼 을 형성 한다 . 상기 3 개 의 도관 의 구불구불 한 코스 는 개스 도관 을 통한 개스 전달 시간 을 늘리 는데 , 이것 은 실질 적 으로 도 5 와 관련 하 여 기술 된 이 발명 의 바람직 한 실시 예 와 관련 하 여 유용 한 특징 이 다 .