또한 , 도 13 내지 도 16 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 에 따르 는 챔버 ( 311 ) 는 상기 회전축 ( 110 ) 의 중심 축선 ( c ) 과 수직 을 이루 는 법선 ( l ) 을 기준 으로 서로 대칭 이 되 는 경사면 을 구비 할 수 있 다 . 따라서 , 상기 챔버 ( 311 ) 의 내부 로 공급 되 는 질소 가스 가 제 1 분사 홀 들 ( 351 ) 을 통하 여 분사 되 는 경우 에 , 그 분사 되 는 양 을 조절 할 수 있 다 .