도 1 , 도 2 a 및 도 2 b 를 참조 하 면 , 집적회로 소자 ( 100 ) 는 수평 방향 ( X 방향 및 Y 방향 ) 으로 연장 되 는 주면 ( 110 m ) 을 가지 는 기판 ( 110 ) 을 포함 할 수 있 다 . 기판 ( 110 ) 은 소자 활성 영역 ( AC ) 을 포함 할 수 있 고 , 소자 활성 영역 ( AC ) 은 복수 의 핀 형 ( fin - type ) 활성 영역 ( FA ) 을 포함 할 수 있 다 . 복수 의 핀 형 활성 영역 ( FA ) 은 기판 ( 110 ) 의 소자 활성 영역 ( AC ) 에서 기판 ( 110 ) 으로부터 돌출 될 수 있 다 . 복수 의 핀 형 활성 영역 ( FA ) 은 일 방향 ( 예컨대 , X 방향 ) 을 따라 상호 평행 하 게 연장 될 수 있 다 . 소자 활성 영역 ( AC ) 상 에서 복수 의 핀 형 활성 영역 ( FA ) 각각 의 사이 에 분리 절 연막 ( 129 ) 이 형성 될 수 있 다 . 복수 의 핀 형 활성 영역 ( FA ) 은 분리 절 연막 ( 129 ) 위 로 핀 ( fin ) 형상 으로 돌출 될 수 있 다 .