상기 하부 챔버 ( 120 ) 의 본체 ( 121 ) 의 저면 중앙부 에 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 수직 승강 을 위한 캐소드 승강 부 ( 125 ) 가 수직 관통 하 여 설치 된다 . 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 는 에칭 처리 할 웨이퍼 ( 도시 안 됨 ) 를 고정 시킨다 . 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 가 최상 위치 에서 상기 본체 ( 111 ) 의 저면 개구부 ( 117 ) 를 밀봉 시킨다 . 상기 하부 챔버 ( 120 ) 의 본체 ( 121 ) 의 측벽 및 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 내부 에 헬륨 ( He ) 과 같 은 냉각 매체 의 흐름 을 위한 통로 ( 127 ) 가 형성 된다 . 또한 , 상기 웨이퍼 ( 도시 안 됨 ) 의 수직 승강 을 위해 상기 정전 척 캐소드 부 ( 123 ) 의 정해진 부분 에 웨이퍼 리프트 핀 ( 128 ) 이 각각 일정 간격 을 두 고 수직 관통 하 여 설치 되 고 아울러 상기 하부 챔버 ( 120 ) 의 본체 의 내측 저 면부 에 상기 리프트 핀 ( 128 ) 을 수직 승강 시키 기 위한 리프트 핀 구동 부 ( 129 ) 가 설치 된다 . 또한 , 상기 상부 챔버 ( 110 ) 의 내부 압력 은 상기 본체 ( 111 ) 의 개구부 ( 119 ) 를 밀봉 시키 도록 설치 된 , 상기 트 로 틀 밸브 를 갖 는 폐 루프 압력 제어 시스템 ( 도시 안 됨 ) 에 의해 제어 된다 .