구체 적 으로 , 도 10 에 도시 한 기판 얼라 이너 는 도 1 내지 도 4 의 기판 얼라 이너 ( 506 , 310 ) 에 이용 될 수 있 다 . 도 10 에 도시 한 기판 얼라 이너 는 기판 ( WA ) 을 고정 하 는 기판 척 ( 604 , 606 ) 및 기판 척 ( 604 , 606 ) 을 회전 시킬 수 있 는 회전축 ( 602 ) 을 포함 할 수 있 다 . 기판 ( WA ) 은 도 1 내지 도 4 의 기판 ( 102 ) 에 해당 할 수 있 다 .