종래 에 는 , 선단 의 단면 형상 이 원호 형상 을 가지 는 촉 침자 와 , 촉 침자 를 피 측정 물 의 피 측 정면 에 접촉 주사 시키 기 위한 주사 기구 와 , 주사 궤적 의 좌표 데이터 를 측정 하 는 수단 과 , 수치 데이터 의 연산 처리 수단 을 구비 한 촉 침식 형상 측정기 에 있 어서 , 연산 처리 수단 이 , 상기 주사 궤적 의 복수 개 의 좌표 데이터 와 , 촉 침자 선단 반경 으로부터 접촉점 의 좌표 를 추정 하 고 , 추정 한 접촉점 좌표 의 밀도 로부터 피 측정 물 의 단부 에지 위치 를 검출 하 는 것 이 일본 특허 공개 공보 2000 - 298014 호 ( 단락 [ 0008 ] 내지 [ 0011 ] , 도 2 내지 도 4 , " 이하 에서 "" 특허 문헌 1 "" 이 라 함 ) 에 개시 되 어 있 다 . "