이후 , 상기 검사 대상물 ( T ) 이 상기 제 1 영역 ( B ) 을 경유 하 여 제 2 영역 ( C ) 으로 이동 하 면 , 도 6 의 ( c ) 와 같이 상기 두 번 째 제 2 모니터링 부 ( 330 ) 가 상기 기준 마커 ( R ) 의 위치 를 다시 측정 하 고 , 기존 의 기준 마커 ( R ) 위치 정보 와 비교 하 여 위치 변화 량 을 도출 한다 .