300 mm 웨이퍼 의 처리 에 있 어서 , 외부 전극 부재 ( 30 ) 는 상부 전극 ( 12 ) 의 직경 을 약 15 인치 에서 약 17 인치 로 연장 하 기 위해 제공 된다 . 외부 전극 부재 ( 30 ) 는 연속 부재 ( 예 를 들 어 , 연속 적 인 폴리 - 실리콘 링 ) 이거 나 , ( 예 를 들 어 , 실리콘 으로 이루어진 세그먼트 와 같 은 링 구성 으로 마련 된 2 - 6 개 의 별개 의 세그먼트 를 포함 한 ) 분할 된 부재 일 수 있 다 . 복수 의 세그먼트 의 외부 전극 부재 ( 30 ) 를 포함 하 는 상부 전극 ( 12 ) 의 실시 형태 에서 , 세그먼트 는 하부 결합 재료 가 플 라즈 마 에 노출 되 지 않 도록 보호 하 기 위해서 서로 중첩 된 에지 들 을 갖 고 , 내부 에 가스 통로 를 갖 지 않 는 것 이 바람직 하 다 . 내부 전극 부재 ( 24 ) 는 , 상부 전극 ( 12 ) 과 하부 전극 ( 18 ) 사이 에 위치 된 플 라즈 마 반응 챔버 내 의 공간 에 처리 가스 를 주입 하 기 위해서 백 킹 부재 ( 14 ) 를 통해 연장 되 는 가스 통로 ( 32 ) 의 어레이 또는 패턴 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 . 선택 적 으로 , 또한 , 외부 전극 부재 ( 30 ) 는 상부 전극 ( 12 ) 과 하부 전극 ( 18 ) 사이 에 위치 된 플 라즈 마 반응 챔버 내 의 공간 에 처리 가스 를 주입 하 기 위해서 백 킹 부재 ( 14 ) 의 백 킹 링 ( 36 ) 을 통해 연장 되 는 가스 통로 ( 미 도시 ) 의 어레이 또는 패턴 을 포함 한다 .