개방 도 조정 기능 을 구비 한 개폐 밸브 ( 26 A ( 26 B ) ) 는 , 분기 통로 부분 ( 24 A ( 24 B ) ) 을 흐르 는 처리 액 의 유량 을 조절 할 수 있 고 , 또한 분기 통로 부분 ( 24 A ( 24 B ) ) 의 처리 액 의 흐름 을 차단 할 수 있 다 . 유량계 ( 25 A ( 25 B ) ) 는 , 분기 통로 부분 ( 24 A ( 24 B ) ) 을 흐르 는 처리 액 의 유량 을 감시 할 수 있 다 .