평편 한 기판 들 의 공지 의 공기 쿠션 이송 과 대조 적 으로 , 본 발명 에서 는 기판 이 고도 의 동압 ( dynamic pressure ) - 즉 , 기체 제트 에 의해 실현 됨 - 에 의해 몇몇 위치 에서 국소 적 으로 단단히 유지 되 며 , 즉 중앙 에 고정 된다 . 챔버 체적 속 으로 의 기체 스트림 으로부터 발생 하 는 정압 ( static pressure ) 이 이 기판 을 이송 평면 으로부터 벗어나 게 하 는 것 을 저지 한다 .