기판 은 제 1 기판 보유 지지 부 ( 312 ) 에 의해 기판 의 제 1 변측 주연 부가 정전 척 플레이트 부 ( 31 ) 에 가장 먼저 보유 지지 되 고 , 이어서 제 3 기판 보유 지지 부 ( 314 ) 에 의해 기판 의 중앙부 가 보유 지지 되 며 , 제 2 기판 보유 지지 부 ( 313 ) 에 의해 기판 의 제 2 변측 주연 부 가 가장 늦 게 흡착 된다 . 이 를 통해 , 기판 중앙부 의 처짐 이 효과 적 으로 기판 의 제 2 변측 주연 부측 으로 펴질 수 있 도록 할 수 있 다 . 즉 , 제 1 변측 주연 부 , 중앙부 , 제 2 변측 주연 부 의 순서 로 기판 이 정 전척 플레이트 부 ( 31 ) 에 흡착 되 기 때문 에 , 기판 중앙부 의 처짐 이 제 2 변측 주연 부측 으로 펴질 수 있 게 되 어 , 기판 중앙부 에 주름 이 남 지 않 게 된다 .