특히 , 상기 분리 부재 중 어느 한쪽 은 고정 하 고 다른 한 쪽 을 나머지 에 대해 수직 방향 으로 구동 시켜 압축력 을 제공 하 고 , 무기물 박막 또는 계면 층 파괴 로 상기 질화물 반도체 층 과 기판 이 분리 된 직후 에 압축력 을 해제 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 때 , 상기 제 어부 는 상기 질화물 반도체 층 과 기판 이 분리 되 는 종말점 검출 을 통해 상기 구동 부 를 제어 하 여 상기 분리 부재 의 상대 적 이동 을 멈추 거나 서로 에 대해 이격 시킬 수 있 다 . 상기 종말점 검출 을 위한 분리 감 지부 를 더 포함 할 수 있 다 . 상기 분리 감 지부 는 분리 부재 사이 의 거리 측정 또는 압력 모니터링 방법 에 의한 것 일 수 있 다 .