이어서 , 하드 마스크 ( 104 ) 상 에 반사 방지 막 ( 107 ) 을 형성 할 수 있 다 . 이때 , 반사 방지 막 ( 107 ) 은 무 기계 반사 방지 막 또는 유기계 반사 방지 막 모두 사용 가능 하 며 , 예컨대 무기계 반사 방지 막 으로 는 비정질 탄소 ( amorphous carbon ) 가 함유 된 층 ( 105 ) 과 실리콘 산화 질화 막 ( SiON ) ( 106 ) 이 적층 된 적층 구조 로 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 .