MEMS 스위치 ( 30 ) 는 고정부 ( anchor ) ( 38 ) 에 의해 기판 ( 32 ) 에 기계 적 으로 결합 되 거나 고정 된 가동 액추에이터 ( 33 ) [ 종종 비 임 ( beam ) 이 라 칭함 ] 를 더 포함 한다 . 일 실시 예 에서 , " 가동 액추에이터 ( 33 ) 는 도전 성 이 어서 전류 가 고정부 ( 38 ) 의 기부 에서 의 "" 소스 "" 접점 ( 도시 생략 ) 으로부터 가동 액추에이터 ( 33 ) 를 통해 ", 그리고 기판 접점 ( 35 ) ( 종종 드레 인 접점 이 라 칭함 ) 을 통해 흐를 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 가동 액추에이터 ( 33 ) 는 금 또는 금 합금 으로 형성 되 지만 , 가동 액추에이터 ( 33 ) 는 MEMS 스위치 의 디자인 에 따라 저항 성 또는 비 도전 성 재료 및 하나 이상 의 응력 보상 층 을 더 포함 할 수 도 있 다 . 유사 하 게 , 기판 접점 ( 35 ) 은 다양 한 도전 성 재료 또는 조성물 또는 이 들 의 합금 으로 형성 될 수 도 있 다 . 일 실시 예 에서 , 기판 접점 ( 35 ) 은 예 를 들 어 금 또는 금 합금 으로 제조 될 수 있 다 . 기판 ( 32 ) 은 임의 의 원 하 는 전기 전위 에서 바이어 싱 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 기판 과 가동 액추에이터 ( 33 ) 사이 의 임의 의 인력 ( 예 를 들 어 , 이 들 에 한정 되 는 것 은 아니 지만 정전기 및 자기 인력 과 같 은 ) 을 감소 시키 기 위해 , 기판 은 가동 액추에이터 ( 33 ) 와 동일 한 전기 전위 에서 바이어 싱 될 수 있 다 . 이 는 기판 접점 전극 을 통해 또는 기판 ( 32 ) 에 고정부 ( 38 ) 를 전기 적 으로 접속 함 으로써 성취 될 수 있 다 .