그리고 , 측정 된 패턴 컬 랩스 가 발생 하 는 노광 조건 ( Ec ) 및 패턴 브리지 가 발생 하 는 노광 조건 ( Eb ) 에 따라 특정 노광 조건 을 산출 한다 ( 단계 408 ) . 여기 에서 , 특정 노광 조건 은 패턴 컬 랩스 및 패턴 브리지 가 발생 하 는 각각 의 노광 조건 의 중간값 으로 산출 하 며 , 이 는 ( Ec + Eb ) / 2 의 값 으로 특정 노광 조건 을 산출 한다 . 이 후 , 산출 된 특정 노광 조건 에 따라 마스크 ( 300 ) 에 대한 광 강도 분포 를 재 측정 하 고 , 재 측정 된 광 강도 분포 를 단계 404 에서 의 광 강도 분포 와 비교 할 수 있 다 .