게이트 전극 ( 65 ) 은 , 알루미늄 , 크롬 , 구리 , 탄탈 , 티타늄 , 몰리브덴 , 텅스텐 중 에서 선택 된 금속 원소 , 또는 상술 한 금속 원소 를 성분 으로 하 는 합금 이나 , 상술 한 금속 원소 를 조합 한 합금 등 을 사용 하 여 형성 할 수 있 다 . 또한 , 망간 , 마그네슘 , 지르코늄 , 베릴륨 중 어느 하나 또는 복수 로부터 선택 된 금속 원소 를 사용 하 여도 좋 다 . 또한 , 게이트 전극 ( 65 ) 은 단층 구조 라도 좋 고 , 2 층 이상 의 적층 구조 로 하 여도 좋 다 . 예 를 들 어 , 실리콘 을 포함 하 는 알루미늄 막 의 단층 구조 , 알루미늄 막 위 에 티타늄 막 을 적층 하 는 2 층 구조 , 질화 티타늄 막 위 에 티타늄 막 을 적층 하 는 2 층 구조 , 질화 티타늄 막 위 에 텅스텐 막 을 적층 하 는 2 층 구조 , 질화 탄 탈막 위 에 텅스텐 막 을 적층 하 는 2 층 구조 , 티타늄 막 과 그 티타늄 막 위 에 알루미늄 막 을 적층 하 고 , 또한 그 위 에 티타늄 막 을 형성 하 는 3 층 구조 등 이 있 다 .