마지막 으로 , 도 5 e 는 다양 한 카메라 및 고 정밀 센서 에 대한 교정 블록 의 일례 를 제공 하 기 위해 사용 되 는 기준 블록 ( 591 ) 의 일례 를 도시 한다 . 이러 한 특정 예 에서 , " 이러 한 교정 블록 은 도 5 a 의 참조 번호 529 로 표시 된 장치 일 수 있 다 . [ 도 4 b 의 교정 블록 ( 472 ) 의 디자인 은 또한 유사 하 다 . ] 교정 블록 은 "" L - 형상 "" 이 고 ", 장착 플레이트 및 타 겟 플레이트 부 ( 592 및 593 ) 를 포함 하 며 , 후자 는 카메라 와 관련 된 고 정밀 센서 사이 의 xy 거리 에 대한 교정 기준 을 제공 한다 . 연마 된 시트 금속 의 플레이트 ( 예 를 들 어 , 스테인리스 스틸 또는 다른 표면 ) 는 정밀 센서 에 의한 이미지 화 를 위해 고 반사 표면 을 제공 하 는 데 사용 된다 . 간략 하 게 , 앞 에서 논의 된 바 와 같이 , 돌출부 / 개구 ( 이런 경우 개구 ) 는 먼저 저 해상도 카메라 에 의해 , 두 번 째 는 고해상도 카메라 에 의해 , 그리고 마지막 으로 제공 된 이송 축 중 하나 와 관련 된 고 정밀 센서 에 의해 이미 화 되 고 ; 이송 축 과 관련 된 위치 피드백 시스템 으로부터 의 위치 는 카메라 및 이 와 관련 된 고 정밀 센서 가 이러 한 개구 ( 595 ) 의 중심 을 검출 하 는 위치 에서 판독 된다 . 이 들 위치 는 이 들 두 측정 장치 사이 의 xy 오프셋 을 계산 하 는 데 사용 된다 . 바람직 하 게 , 개구 ( 595 ) 는 타 겟 플레이트 부 를 통해 전체 구멍 을 나타내 지 않 으므로 , 이 는 일관 성 없 는 ( 즉 , 노이즈 있 는 ) 센서 판독 을 제공 할 수 있 고 - 오히려 , 이러 한 타 겟 플레이트 부 는 구멍 위치 와 구멍 중심 의 식별 을 허용 하 는 방식 으로 고 정밀 센서 신호 구별 을 제공 하 는 타 겟 을 제공 하 는 것 이 다 . 도면 번호 597 및 598 로 표시 된 바 와 같이 , 타 겟 플레이트 부 는 추가 의 교정 기능 을 위해 추가 의 가변 크기 의 개구 를 제공 할 수 있 다 .