개시 된 방법 들 ( 예 를 들 어 , 도 1 에 도시 된 방법 들 ( 100 ) 및 아래 의 예 들 ) 은 계측 센서 에 의해 제공 되 는 상이 한 측정 된 양 들 사이 의 영향 및 상호 관계 를 특성 화 하 고 , 종래 기술 의 확률 적 노이즈 의 제어 할 수 없 는 영향 을 모니터 , 감쇠 및 / 또는 방지 한다 ( 이하 도 2 참조 ) . 또한 , 개시 된 방법 은 샘플링 의 수 ? 및 공간 분포 및 / 또는 측정 장소 / 타 겟 의 면적 / 크기 가 확률 적 노이즈 의 영향 에 불 충분 함 을 증명 하 고 , 정확 도 검증 , 리소그래피 후 오버레이 제어 , 및 에칭 후 오버레이 제 어 또는 로트 배치 를 가능 하 게 한다는 점 에서 종래 기술 의 위험 을 완화 시킨다 .