또한 바람직 하 게 는 , 기판 상 에 는 복수 의 결함 부가 존재 하 고 , 제 1 의 스텝 에서 는 , 상방 필름 에 레이 저광 을 조사 하 여 각각 복수 의 결함 부 를 수정 하 기 위한 복수 의 마스크 패턴 을 형성 한 후 , 복수 의 마스크 패턴 이 하방 필름 에 위치 하 도록 필름 을 권 취하 고 , 제 2 의 스텝 에서 는 , 상방 필름 의 일부 를 이 동시 켜 서 , 하방 필름 에 형성 된 복수 의 마스크 패턴 을 노출 시키 고 , 제 3 및 제 4 의 스텝 에서 는 , 복수 의 결함 부 를 하나 씩 순차 적 으로 선택 하 고 , 선택 한 각 결함 부 에 그것 에 대응 하 는 마스크 패턴 을 소정 의 간격 을 두 고 대치 시키 고 , 그 마스크 패턴 을 통하 여 그 결함 부 에 수정 액 을 도포 한다 .