또한 제 어 장치 ( 916 ) 는 , 기판 스테이지 ( 909 ) 를 ＸＹ 방향 으로 이동 시키 는 이동 수단 도 제어 할 수 있 게 연동 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 제 어 장치 ( 916 ) 는 , 레이저 발진 장치 ( 903 ) 도 제어 할 수 있 게 연동 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 제 어 장치 ( 916 ) 는 , 위치 마커 를 인식 하 기 위한 촬상소자 ( 908 ) 를 갖 는 위치 얼라인먼트 기구 와 연동 시키 는 것 이 바람직 하 다 .