여기 서 나열 된 원소 들 은 산소 에 대해 높 은 화학 적 친화성 을 갖 고 , 이 에 따라 순수 금속 또는 비 합금 형태 에서 매우 빠르 게 산화 된다 . 도핑 원소 들 이 산화물 형태 로 존재 하 는 경우 , 이 들 은 전기 전도성 이 아닐 것 이 고 , 이 에 따라 증착 공정 에서 기상 ( vapor phase ) 으로 만들 기 가 매우 어려울 것 이 다 . 붕소 화물 , 탄화물 , 질화물 및 규화물 과 같 은 세라믹 화합물 또는 Al - 계 합금 의 형태 에서 , 이러 한 원소 들 은 산화 로부터 대체로 보호 된다 .