또한 , 본 발명 에 따른 챔버 와 , 상기 챔버 내 에 플 라즈 마 를 발생 시키 는 플 라즈 마 발생 수단 과 , 상기 챔버 의 온도 를 측정 하 는 온도 측정 수단 과 , 챔버 의 주변 에 마련 된 냉각 수단 과 , 상기 챔버 의 온도 에 따라 제어 신호 를 생성 하 는 제어 신호 생 성부 와 , 상기 제어 신호 에 따라 상기 냉각 수단 과 상기 플 라즈 마 발생 수단 의 동작 을 제어 하 는 온도 유지 수단 을 포함 하 는 기판 처리 시스템 을 제공 한다 .