본 발명 은 루이스 염기성 용매 를 이용 한 금속 또는 금속 산화물 박막 의 제조 방법 에 관한 것 으로서 , 유기 금속 전구체 와 이 와 화학 적 으로 반응 하 지 않 는 루이스 염기성 용매 를 함유 하 는 용액 을 박막 원료 로서 사용 하 여 화학 증착 ( CVD ) 또는 원자 적 층 증착 ( ALD ) 을 수행 하 는 것 을 특징 으로 하 며 , 이러 한 본 발명 의 방법 에 의하 면 , 기존 유기 금속 전구체 의 불 안정 한 물 성 에 기인 하 여 발생 하 는 전구체 의 열분해 및 분말 의 생 성 을 초래 하 지 않 으면서 원 하 는 금속 또는 금속 산화물 박막 을 안정 하 게 증착 시킬 수 있 다 .