상기 가스 공급 부 ( 10 ) 가 교체 되 면 , 상기 도 2 에서 설명 한 바 와 같이 , 상기 지지 부 ( 530 ) 는 제 1 구 동부 ( 513 , 도 1 참조 ) 의 구동 에 의해 X 축 동 ( E ) - 서 ( W ) 방향 으로 이동 하 여 밸브 ( 20 ) 와 상기 밸브 커넥터 감지 부 ( 410 ) 가 Z 축 남 ( S ) - 북 ( N ) 방향 으로 마주 보 도록 위치 하 며 , 상기 도 2 내지 도 5 에서 설명 한 상기 밸브 커넥터 ( 30 ) 의 얼라인먼트 단계 가 수행 된다 . ( 도 6 ( a ) )