상술 한 실시 예 에서 , 구동 용 마그넷 ( 305 a , 305 b ) 은 반송 캐리어 ( 302 ) 의 상면 에 마련 되 며 , 반송 모듈 ( 301 ) 상 에 구동 용 마그넷 ( 305 a , 305 b ) 에 대향 하 도록 배치 된 구동 용 코일 ( 306 a , 306 b ) 에 의해 상부 로부터 흡인 되 는 구성 으로 되 어 있 다 . 그러나 , 자석 유닛 과 코일 유닛 의 배치 는 이 로 한정 되 지 않 고 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 측면 에 구동 용 마그넷 을 배치 하 고 , 구동 용 마그넷 에 대향 하 는 반송 모듈 ( 301 ) 상 의 위치 에 복수 의 코일 을 배치 하 고 , 반송 캐리어 ( 302 ) 의 측면 에서 자기 부상 에 의해 보유 지지 하 는 것 도 가능 하 다 .