상기 가스 탱크 ( 110 ) 하부 에 는 X - Y 스테이지 ( 180 ) 위 에 기판 ( 190 ) 이 위치 하 며 , 상기 기판 ( 190 ) 의 양 측면 에 는 일정 간격 이격 되 어 제 2 보 조차 단막 ( 195 ) 이 형성 되 어 스테이지 ( 180 ) 가 이동 하 면서 N 2 조사 시 상기 기판 ( 190 ) 으로 산소 의 이동 을 차단 하 는 역할 을 한다 .