액정 표시 장치 나 반도체 디바이스 등 의 제조 공정 에 있 어서 , 유리 기판 이나 반도체 기판 등 의 기판 을 처리 하 는 기판 처리 장치 가 이용 되 고 있 다 . 기판 처리 로서 는 , 예컨대 , 레지스 트 도포 처리 , 레지스 트 박리 처리 , 에칭 처리 , 세정 처리 , 건조 처리 가 있 다 . 기판 처리 장치 는 , 복수 의 반송 롤러 에 의해 기판 을 반송 하 면서 , 그 기판 에 대해 처리 용 의 유체 ( 예컨대 , 처리 액 이나 건조 용 의 기체 ) 를 가하 여 기판 을 처리 한다 .