도 1 및 도 2 에 도시 한 바 와 같이 챔버 ( 12 ) 는 가대 ( 11 ) 에 부착 되 고 , 본딩 스테이지 ( 13 ) 와 반송로 ( 14 ) 를 둘러싸 는 단차 가 있 는 상자 형 형상 이 며 , 공급 스택 ( 53 ) 으로부터 챔버 ( 12 ) 내부 의 반송 로 ( 14 ) 에 공급 되 는 기판 ( 41 ) 이 들어가 는 측 의 측판 에 는 입 구 슬롯 ( 51 ) 이 설치 되 고 , 챔버 ( 12 ) 의 반송 로 ( 14 ) 로부터 본딩 처리 가 종료 된 제품 을 제품 스택 ( 54 ) 에 배출 하 는 측 의 측판 에 는 출구 슬롯 ( 52 ) 이 설치 되 어 있 다 . 또 챔버 ( 12 ) 의 본딩 스테이지 ( 13 ) 를 둘러싸 는 측 의 상면 판 ( 12 a ) 은 본딩 스테이지 ( 13 ) 와 본딩 암 ( 16 ) 사이 에 설치 되 고 , 상면 판 ( 12 a ) 에 는 본딩 암 ( 16 ) 에 부착 된 캐 필러 리 ( 17 ) 가 관통 하 는 캐 필러 리용 구멍 ( 55 ) 이 설치 되 어 있 다 . 본딩 스테이지 ( 13 ) 보다 반송 로 ( 14 ) 의 반송 방향 상류 측 에 있 는 세정 위치 ( 27 ) 를 덮 는 상면 판 ( 12 b ) 은 상면 판 ( 12 a ) 과 단차 를 가지 고 배치 되 어 있 다 .