구체 적 으로 는 , 밸브 ( 243 g ) 를 개방 하 여 , 가스 공급 관 ( 232 g ) 내 에 SiH 3 R 가스 를 흘린다 . SiH 3 R 가스 는 , MFC ( 241 g ) 에 의해 유량 조정 되 어 , 가스 공급 관 ( 232 c ) , 노즐 ( 249 c ) 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 배기구 ( 231 a ) 로부터 배기 된다 . 이때 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대하 여 SiH 3 R 가스 가 공급 된다 ( SiH 3 R 가스 공급 ) . 이때 , 밸브 ( 243 d , 243 e ) 를 개방 하 여 , 노즐 ( 249 a , 249 b ) 각각 을 통해서 처리 실 ( 201 ) 내 에 N 2 가스 를 공급 한다 . N 2 가스 의 공급 은 불 실시 로 해도 된다 .