종래 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 100 ) 에서 는 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 외측 모서리 부분 ( 12 b ) 에 설치 되 고 , 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 은 불활성 가스 가 가스 충 진부 ( 19 ) 의 외부 로 누설 되 는 것 을 방지 한다 . 본 발명 에 따른 기판 온도 조절 - 고정 장치 ( 10 ) 에서 는 , 외측 모서리 부분 ( 12 b ) 에 외측 밀봉 링 ( 102 b ) 이 설치 되 어 있 지 않 지만 , 불활성 가스 가 가스 충 진부 ( 19 ) 로부터 누설 되 지 않 는다 .