또한 , 상기 에서 설명 한 바 와 같이 , 기체 유로 ( 81 ) 가 열 판 ( 21 ) 으로부터 의 열 을 전열 가능 하 게 되 어 있 는 경우 , 기체 유로 ( 81 ) 를 이동 하 는 기체 가 열 판 으로부터 의 열 에 의해 가열 된 상태 로 챔버 내 에 공급 할 수 있 다 . 따라서 , 기체 유로 ( 81 ) 로부터 의 기체 의 공급 에 의한 챔버 ( 41 ) 내 의 온도 변동 등 을 억제 할 수 있 다 .