본 발명 은 , 이러 한 목적 을 달성 하 기 위해서 , 다음 과 같 은 구성 을 취한다 . 즉 , 본 발명 에 따른 기판 처리 시스템 은 , 기판 을 수납 하 는 것 이 가능 한 캐리어 를 재치 하 기 위한 캐리어 재 치대 가 설치 된 인 덱 서 블록 과 , 제 1 처리 장치 와 , 제 2 처리 장치 를 구비 한다 . 상기 제 1 처리 장치 , 상기 인 덱 서 블록 및 상기 제 2 처리 장치 는 , 이 순서 대로 수평 방향 으로 직선 형상 으로 연결 되 어 있 다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 제 1 처리 장치 와 상기 제 2 처리 장치 의 중간 에 배치 되 고 , 복수 의 기판 을 재치 하 는 기판 버퍼 를 내부 에 구비 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 캐리어 로부터 기판 을 꺼내 고 , 꺼낸 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 제 1 처리 장치 는 , 상기 기판 버퍼 로부터 기판 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 에 대해서 소정 의 처리 를 행한다 . 또한 , 상기 제 1 처리 장치 는 , 상기 제 1 처리 장치 에서 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 제 2 처리 장치 는 , 상기 제 1 처리 장치 가 상기 기판 버퍼 에 반송 한 기판 을 상기 기판 버퍼 로부터 수취 하 고 , 수취 한 기판 에 대해서 소정 의 처리 를 행한다 . 또한 , 상기 제 2 처리 장치 는 , 상기 제 2 처리 장치 에서 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 제 2 처리 장치 에서 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 로부터 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 상기 캐리어 로 되돌린다 .