커버 ( 70 ) 는 , 원통 상 으로 형성 되 어 있 다 . 커버 ( 70 ) 의 내경 은 웨이퍼 ( W ) 의 외경 보다 크 다 . 커버 ( 70 ) 는 , 기판 보유 지지 기구 ( 40 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 ( W ) 를 외주 측 으로부터 둘러싸 도록 배치 할 수 있 다 . 커버 ( 70 ) 의 상단 을 포함 하 는 부분 은 , 상방 을 향해 서서히 직경 축소 된다 . 커버 ( 70 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 회전 시켰 을 때 의 세정액 의 비말 을 받 을 수 있 다 .