더욱 상세히 설명 하 면 , 도 15 A 는 이온 전류 II 가 보상 전류 IC 와 같 을 때 기판 ( 1210 ) 표면 에서 의 주기 적 전압 기능 을 나타내 고 ; 도 15 B 는 이온 전류 II 가 보상 전류 IC 보다 클 때 기판 ( 1210 ) 표면 에서 의 전압 파형 을 나타내 며 ; 도 15 C 는 , 이온 전류 가 보상 전류 IC 보다 적 을 때 기판 ( 1210 ) 표면 에서 의 전압 파형 을 나타낸다 .