도 72 에 도시 된 일부 실시 예 에서 , 캘리 브레이 션 카트리지 ( 930 ) 는 NO 2 를 청소 하 기 전 에 션트 ( 934 ) 를 통해 플 라즈 마 챔버 ( 936 ) 로부터 센서 챔버 입력 으로 출력 NO / NO 2 - 함유 가스 흐름 을 보낸다 . 환경 조건 및 원 하 는 NO 및 NO 2 농도 수준 에 따라 플 라즈 마 활동 을 제어 함 으로써 센서 를 센서 보정 을 위해 알려진 높 거나 낮 은 값 에 노출 시킬 수 있 다 . 이 방법 의 정확도 는 추적 가능 한 캘 리브레 이 션 가스 를 사용 한 교정 과 같 은 수준 은 아니 지만 이 테스트 는 최소한 의 노력 으로 시스템 성능 문제 를 감지 할 수 있 다 . 도 72 는 캘 리브레 이 션 카트리지 ( 930 ) 의 실시 예 를 도시 한다 . 캘 리브레 이 션 카트리지 ( 930 ) 는 RFID 칩 ( 932 ) , 바코드 , 및 고유 한 기계 적 인터페이스 또는 제어기 에 의한 자동 식별 수단 을 포함 할 수 있 다 . 교정 카트리지 ( 930 ) 가 삽입 및 검출 되 면 시스템 은 자동 으로 교정 모드 로 진입 할 수 있 다 . 카트리지 대 카트리지 분산 이 이 수준 의 제어 를 보증 하 기 에 충분 한 경우 , RFID 칩 ( 932 ) 은 특정 카트리지 에 대한 교정 상수 를 또한 포함 할 수 있 다 . 2 D 바코드 를 포함 하 지만 이 에 제한 되 지 않 는 다른 식별 메커니즘 이 RFID 칩 대신 에 또는 RFID 칩 과 함께 사용 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 .