활성 광선 으로서 X 선 , 전자선 , 자외선 , 가시광선 등 을 이용 할 수 있 지만 , 본 발명 에 있 어서 는 , 200 ∼ 500 ㎚ 의 파장 인 것 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 패턴 의 해상도 및 취급 성 의 관점 에서 , 그 광원 파장 은 특히 UV - i 선 ( 365 ㎚) 이 바람직 하 고 , 노광 투영 장치 로 는 스텝 퍼 가 특히 바람직 하 다 .