본 발명 < 2 > 에 관한 에칭 제 에서 의 ( B ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 의 사용 농도 는 상기 에 칭제 중 의 농도 로 통상 0 . 1 중량 %~ 3 중량 %, 바람직 하 게 는 0 . 1 중량 %~ 2 중량 %, 보다 바람직 하 게 는 0 . 15 중량 %~ 1 중량 %, 더 바람직 하 게 는 0 . 2 중량 %~ 0 . 6 중량 % 이 다 .