아울러 본 발명 은 상기 의 기재 에 따른 세정 챔버 의 도어 실링 방법 으로서 , 상기 도어 가 닫혀 상기 실링 튜브 가 상기 도어 의 가장자리 를 따라 근접 대면 되 는 단계 와 ; 상기 펌프 가 상기 노즐 을 통해 기체 를 주입 하 여 상기 실링 튜브 의 부피 를 팽창 시킴 으로써 상기 도어 의 가장자리 를 따라 밀착 시키 는 단계 와 ; 상기 펌프 가 상기 노즐 을 통해 기체 를 흡입 하 여 상기 실링 튜브 의 부피 를 축소 시킴 으로써 상기 도어 의 가장자리 로부터 이격 시키 는 단계 와 ; 상기 도어 가 열리 는 단계 를 포함 하 는 세정 챔버 의 도어 실링 방법 을 제공 한다 .