특히 , 고온 열처리 과정 에서 반도체 기판 의 실리콘 격자 의 결정 결함 인 슬립 이 웨이퍼 가 대구경 화 됨 에 따라 더욱 발생 하 기 용이 한데 , 이러 한 문제 들 을 해결 하 기 위해 홀더 가 사용 되 며 , 홀더 는 반도체 기판 의 0 . 7 R ( Radius ) 위치 에서 그 저부 를 지지 하 여 구조 적 으로 처짐 을 방지 하 고 있 는 것 이 다 .