단계 S 33 에 있 어서 , 접촉면 과 탑 재면 의 마찰 을 크 게 하 기 위해서 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 열팽창 계수 를 될 수 있 는 한 크 게 해야 한다 . 따라서 , 단계 S 33 에서 , 가스 도입 샤워 헤드 ( 29 ) 및 서 셉 터 ( 12 ) 가 , 각각 공급 가능 한 최대 의 고주파 전력 ( 예컨대 , 가스 도입 샤워 헤드 ( 29 ) 는 3300 W , 서 셉 터 ( 12 ) 는 3800 W ) 을 공급 하 고 , 열전 도 가스 공급 유닛 은 접촉면 및 탑 재면 사이 의 갭 에 의 헬륨 가스 의 공급 을 정지 한다 . 이 에 따라 , 플 라즈 마의 에너지 를 높일 수 있 기 때문 에 , 플라 즈 마는 대량 의 열에너지 를 웨이퍼 ( W ) 에 전달 할 수 있 고 , 또한 , 웨이퍼 ( W ) 로부터 ESC ( 13 ) 에 의 열전 도 효율 을 저하 시킬 수 있 다 . 그 결과 , 웨이퍼 ( W ) 를 용이 하 게 고온 으로 가열 할 수 있 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 열팽창 량 을 크 게 하 여 , 탑 재면 의 평활 화 를 촉진 할 수 있 다 .