또한 , 제 2 보정 조치 를 적용 하 는 것 은 , a 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 에 최대 개수 의 평가 사이트 를 결정 하 는 단계 와 , b 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 에 최소 개수 의 평가 사이트 를 결정 하 는 단계 와 , c 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 에 대한 제 1 신뢰 도 맵 을 작성 하 는 단계 와 , d 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 에 필수 평가 사이트 의 개수 를 결정 하 는 단계 와 , e 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 에 신규 사이트 를 선택 하 는 단계 와 , f 2 ) 추가 의 신규 S - D 평가 프로시저 를 이용 하 여 추가 S - D 평가 웨이퍼 에 대해 신규 의 추가 신뢰 도 데이터 를 확립 하 는 단계 로서 , 추가 S - D 웨이퍼 상 의 신규 사이트 에 있 는 S - D 라이브러리 관련 특징 부가 평가 되 는 것 인 확립 단계 와 , g 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 에 대한 제 1 신뢰 도 맵 에 신규 사이트 를 추가 하 는 단계 와 , h 2 ) 신규 의 추가 신뢰 도 데이터 를 추가 S - D 평가 웨이퍼 에 대한 신규 의 제 1 신뢰도 에 비교 하 는 단계 와 , i 2 ) 추가 의 신규 제 1 신뢰 도 한계 가 충족 될 경우 , 추가 의 S - D 평가 웨이퍼 상 의 신규 사이트 에 있 는 S - D 라이브러리 관련 특징 부 를 그 와 연관 된 추가 의 신규 제 1 레벨 의 신뢰도 를 갖 는 추가 의 신규 고 신뢰 도 특징 부 로서 식별 하 고 , 제 1 S - D 평가 웨이퍼 를 그 와 연관 된 추가 의 신규 제 1 레벨 의 신뢰도 를 갖 는 고 신뢰 도 웨이퍼 로서 식별 하 며 , 추가 의 신규 고 신뢰 도 특징 부 및 추가 S - D 평가 웨이퍼 와 연관 된 신규 의 추가 라이브러리 관련 평가 데이터 를 S - D 평가 라이브러리 에 저장 하 는 단계 와 , j 2 ) 추가 의 신규 제 1 신뢰 도 한계 가 충족 되 지 않 을 경우 , 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 의 신규 사이트 에 있 는 S - D 라이브러리 관련 특징 부 를 그 와 연관 된 신규 신뢰 도 데이터 를 갖 는 추가 의 신규 미 검증 특징 부 로서 식별 하 고 , 필수 사이트 의 개수 를 1 씩 줄이 며 , 시찰 한 사이트 의 개수 를 1 씩 늘리 는 식별 단계 와 , k 2 ) 추가 S - D 평가 웨이퍼 상 의 필수 사이트 의 개수 가 0 보다 많 을 경우 단계 e 2 ) - j 2 ) 를 반복 하 는 단계 와 , l 2 ) 필수 사이트 의 개수 가 0 일 때 추가 S - D 평가 웨이퍼 의 평가 를 정지 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .