도 1 내지 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 이 , 평면 에서 보 아 베어링 ( 13 ) 의 내 주연 내 에 포함 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 전환 유닛 ( 12 ) 은 , 검사 대상 기판 ( P ) 과 대향 하 는 단부 면 ( 12 a ) 측 에서 개구 ( 14 f ) 에 끼워 넣 은 상태 에서 , 하우징 ( 14 ) 에 고정 되 어 있 다 . 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 이 , 평면 에서 보 아 베어링 ( 13 ) 의 내 주연 내 에 포함 되 어 있 음 으로써 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 의 질량 이 동체 부 ( 14 a ) 의 중심축 근방 으로 모이 기 쉽 다 . 이 로써 , 당해 전기 검사 장치 는 , 전기 검사 헤드 ( 11 ) 및 전환 유닛 ( 12 ) 을 작 은 관성 모멘트 로 회전 시킬 수 있 고 , 편심 이 작아져 회전 이 안정 된다 . 그 결과 , 복수 의 프로브 ( 11 a ) 를 검사 대상 기판 ( P ) 에 대하 여 고정 밀도 로 빠르 게 위치 결정 할 수 있 다 .