그래서 , 산 출부 ( 64 ) 는 , 개질 층 의 깊이 ( Depth ) 에 따른 복수 종류 의 정수 ( a ) 및 정수 ( b ) 를 , 미리 취득 해 두 어도 좋 다 . 그리고 , 산 출부 ( 64 ) 는 , ( 1 ) 식 에 이용 하 는 정수 ( a ) 및 정수 ( b ) 를 , 개질 층 의 깊이 ( Depth ) 에 따라 , 즉 , 설 정부 ( 63 ) 에 의해 설정 되 는 개질 층 의 높이 값 ( H 1 ) 및 웨이퍼 ( 1 ) 의 두께 ( T 1 ) 에 따라 전환 하 여도 좋 다 . 이 에 의해 , ( 1 ) 식 의 정밀도 를 높일 수 있 기 때문 에 , 집광 렌즈 ( 183 ) 의 높이 위치 ( Defocus ) 를 , 더욱 정확 하 게 산출 할 수 있 다 .