이때 , 플라 즈 마 발생 용 가스 로 공급 되 는 가스 는 기본 가스 ( 제 1 가스 ) 로 질소 를 사용 할 수 있 다 . 이 는 질소 가 플 라즈 마 발생 이 용이 하 고 또 한 가격 이 저렴 하 다는 장점 이 있 기 때문 이 다 . 또한 , 플 라즈 마의 밀도 , 플라 즈 마 처리 효율 등 을 고려 하 여 경우 에 따라 보조 가스 ( 제 2 가스 ) 로 는 N 2 , SF 6 , CF 4 , O 2 , Ar , NH 3 , NF 3 등 또는 이 들 의 조합 을 을 포함 할 수 있 으나 , 반드시 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .