기판 W 의 상면 을 순수 에 의해 세정 할 때 , 기판 W 의 외주 면 에 부착 잔류 되 는 처리 액 이나 간극 G 의 개 방단 에 잔류 되 는 처리 액 이 기판 W 의 하 면 측 에 들어갈 우려 가 있 다 . 그러나 , 상기 간극 G 에 는 상부 액체 공급 홈 ( 27 ) 으로부터 순수 가 공급 되 므로 , 그 순수 가 간극 G 에 충만 하 게 된다 .