또한 기판 랙 ( 12 ) 의 형상 , 및 제 어 시스템 으로부터 이용 가능 한 랙 ( 12 ) 의 회전 위치 에 관한 정보 를 사용 하 여 , 랙 ( 12 ) 의 전술 한 일부 ( 12 a ) 를 조사 하 는 조명 시스템 ( 41 ) 의 부품 전력 을 끄 거나 제한 할 수 있 다 . 따라서 , 감소 된 양 의 복사선 은 기판 랙 ( 12 ) 의 일부 ( 12 a ) 에 의해 수용 될 수 있 고 , 감소 된 복사선 은 조사 하 거나 가열 하 도록 의도 되 지 않 은 장치 의 일부 를 조사 하 고 가열 하 는 지지 부재 의 주변 을 통해 기판 랙 ( 12 ) 으로부터 산란 할 수 있 다 .