본 실시 예 에서 , 상기 기판 ( 160 ) 은 웨이퍼 레벨 기판 이 고 , 상기 압 전 변환기 ( 200 ) 의 개수 는 대응 되 게 복수 개이 다 . 따라서 , 상기 제 1 전극 ( 120 ) 의 개수 는 복수 개이 고 , 상기 제 2 전극 ( 140 ) 의 개수 는 복수 개이 며 , 상기 제 2 전극 ( 140 ) 과 상기 제 1 전극 ( 120 ) 은 대향 되게 설치 된다 .