또한 , 예 를 들 어 상기 실시 형태 에서 는 TCP 및 프로브 카드 ( 8 ) 의 수직 축 둘레 의 위치 맞춤 과 평면 방향 의 위치 맞춤 을 따로따로 수행 하 도록 했 지만 , 본 발명 은 이 에 한정 되 지 않 고 , 양자 를 동시 에 수행 하 여도 좋 다 . 구체 적 으로 는 스텝 S 03 , S 05 에서 취득 한 테스트 패드 의 좌표 데이터 ( Xpd 1 , Ypd 1 ) 및 ( Xpd 2 , Ypd 2 ) 와 , 프로브 ( 81 ) 의 선 단부 의 좌표 데이터 ( Xpb 1 , Ypb 1 ) 및 ( Xpb 2 , Ypb 2 ) 에 근거 하 여 수직 축 둘레 의 위치 어긋남 량 및 X 축 방향 및 Y 축 방향 의 위치 어긋남 량 을 구하 고 , 그러 한 위치 어긋남 량 에 근거 하 여 프로브 카드 스테이지 ( 7 ) 를 수직 축 둘레 / X 축 방향 / Y 축 방향 으로 이 동시 켜 서 테스트 패드 와 프로브 ( 81 ) 의 위치 맞춤 을 수행 하 여도 좋 다 . 이 에 따라 TCP 와 프로브 카드 ( 8 ) 의 위치 어긋남 보정 의 작업 시간 이 보다 단축 된다 .