그리고 , 상기 제 1 이송 블록 ( 340 a , 340 b ) 과 제 2 이송 블록 ( 350 a , 350 b ) 의 안정 적 인 수평 이 동 을 안내 하 기 위한 가이드 부재 를 더 포함 하 되 , 상기 가이드 부재 는 LM 블록 ( LMB ) 과 LM 레일 ( LMR ) 로 구성 되 는 LM 가이드 로서 , 상기 LM 블록 ( LMB ) 은 상기 제 1 이송 블록 ( 340 a , 340 b ) 및 제 2 이송 블록 ( 350 a , 350 b ) 에 장착 되 고 , 상기 LM 레일 ( LMR ) 은 상기 상부 플레이트 ( 200 ) 의 제 1 이송 홈 ( 320 a , 320 b ) 및 제 2 이송 홈 ( 330 a , 330 b ) 의 외측 에 각각 고정 설치 되 는 제 1 고정 블록 ( 380 a , 380 b ) 및 제 2 고정 블록 ( 390 a , 390 b ) 에 장착 된다 .