그래서 도 4 내지 도 7 을 참조 하 면 일반 적 인 평면 의 페이즈 마스크 장치 의 경우 노광 되 는 면적 이 커짐 에 따라 끝단 의 오차 율 이 점차 커지 는 경향 을 보인다 . 노광 면적 이 커질수록 끝단 의 각도 가 커지 기 때문 이 며 이 로 인해 대면 적 노광 시 일정 한 패 터닝 이 어렵 고 , 국소 면적 에서 만 일정 한 패 터닝 이 가능 하 다 .