제어 장치 ( 60 ) 는 , 준비 공정 에 있 어서 각종 패러데이 컵 에 의하 여 측정 되 는 빔 전류 측정값 간 의 비율 에 근거 하 여 , 교정 공정 의 필요 여부 를 판정 해도 된다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 예 를 들 면 초기 상태 의 교정 공정 에 있 어서 제 1 패러데이 컵 과 제 3 패러데이 컵 에 의하 여 측정 되 는 빔 전 륫값 간 의 비율 의 초깃값 과 , 준비 공정 에 있 어서 제 1 패러데이 컵 과 제 3 패러데이 컵 에 의하 여 측정 되 는 빔 전 륫값 간 의 비율 을 비교 하 고 , 양자 의 차 가 제 1 임 곗값을 초과 할 경우 에 교정 공정 을 실행 하 도록 해도 된다 . 제 어 장치 ( 60 ) 는 , 초기 상태 의 교정 공정 에 있 어서 제 1 패러데이 컵 과 제 3 패러데이 컵 에 의하 여 측정 되 는 빔 전 륫 값 의 비율 의 초깃값 간 과 준비 공정 에 있 어서 제 1 패러데이 컵 과 제 3 패러데이 컵 에 의하 여 측정 되 는 빔 전 륫값 간 의 비율 의 차 가 제 1 임 곗 값 보다 큰 제 2 임 곗값을 초과 할 경우 에 측정 계 에 어떠 한 이상 이 발생 했 다고 간주 하 고 얼러 트 를 출력 해도 된다 .