세정 공정 을 실시 한 후 , 세정 이 완료 된 웨이퍼 ( W ) 를 세정 수단 ( 66 ) 으로부터 반출 하 여 제 2 카세트 ( 52 b ) 에 반입 하 는 카세트 반입 공정 을 실시 한다 . 카세트 반입 공정 에서 는 , 우선 , 웨이퍼 반 출입 수단 ( 56 ) 의 다 관절 암 ( 70 ) 을 작동 시켜 , 스피너 테이블 ( 122 ) 에 놓여져 있 는 웨이퍼 ( W ) 에 유지 편 ( 72 ) 의 편면 을 밀착 시킨다 . 그 다음 에 , 스피너 테이블 ( 122 ) 의 흡착 척 ( 124 ) 의 상면 으로부터 에어 를 분출 하 는 것 에 의해 흡착 척 ( 124 ) 으로부터 웨이퍼 ( W ) 를 이격 시키 고 , 아울러 유지 편 ( 72 ) 으로 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 한다 . 그 다음 에 , 다 관절 암 ( 70 ) 을 작동 시켜 , 세정 이 완료 된 웨이퍼 ( W ) 를 세정 수단 ( 66 ) 으로부터 반출 하 여 , 제 2 카세트 ( 52 b ) 에 반입 한다 . 그리고 , 유지 편 ( 72 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 흡인 유지 를 해제 한다 .