- 이미지 센서 를 위한 외부 접속 단자 의 형성 을 위해 남겨진 표면 영역 상 에 , 박 형 화 된 실리콘 기판 을 관통 하 여 적어도 하나 의 국부 적 인 접촉 개구 를 식각 하 는 단계 로서 , 접촉 개구 는 실리콘 기판 의 전면 으로부터 수행 되 는 제조 단계 들 동안 형성 된 제 1 도전 성 레이어 를 국부 적 으로 노출 시키 는 , 상기 접촉 개구 를 식각 하 는 단계 ;