도 47 의 ( A ) 에 도시 된 바 와 같이 , 미러 ( 822 ) 와 마이크 로렌즈 어레이 ( 823 ) 사이 에 마스크 ( 824 ) 를 제공 하 여도 좋 다 . 마스크 ( 824 ) 는 각 마이크 로 렌즈 에 대응 한 복수 의 개구부 를 포함 한다 . 상기 개구부 의 형상 을 레이저 빔 ( 827 ) 의 형상 으로 반영 할 수 있 고 , 도 47 의 ( A ) 에 도시 된 바 와 같이 마스크 ( 824 ) 가 원형 의 개구부 를 포함 하 는 경우 에 는 , 원형 의 레이저 빔 ( 827 ) 을 얻 을 수 있 다 . 마스크 ( 824 ) 가 직사각 형 의 개구부 를 포함 하 는 경우 에 는 , 직사각 형 의 레이저 빔 ( 827 ) 을 얻 을 수 있 다 . 마스크 ( 824 ) 는 예 를 들 어 , 트랜지스터 의 채널 형성 영역 만 을 결정 화 시키 는 경우 에 효과 적 이 다 . 또한 , 마스크 ( 824 ) 는 도 47 의 ( B ) 에 도시 된 바 와 같이 광학계 유닛 ( 821 ) 과 미러 ( 822 ) 사이 에 제공 되 어도 좋 다 .