또한 , 유지 테이블 ( 10 ) 은 , 그 내부 에 광 디바이스 웨이퍼 ( 11 ) 를 가열 하 기 위한 가열 유닛 ( 가열 수단 ) ( 20 ) 을 구비 한다 . 예컨대 , 가열 유닛 ( 20 ) 은 히터 등 에 의해 구성 되 고 , 전력 의 공급 에 의해 발열 하 는 원반 형 의 발열체 ( 22 ) 를 구비 한다 . 이 발열체 ( 22 ) 는 , 발열체 ( 22 ) 의 상측 에 마련 되 며 알루미늄 등 의 금속 을 포함 하 는 원반 형 의 금속 플레이트 ( 24 ) 와 , 발열체 ( 22 ) 의 하측 에 마련 된 원반 형 의 단열 부재 ( 26 ) 에 의해 끼워 넣 어 져 있 다 .