상기 산 성 액 의 농도 는 0 . 01 % 이상 10 % 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 상기 산 성 액 의 농도 가 10 % 를 초과 하 게 되 면 , 상기 액체 조성물 이 포토레지스트 막 또는 TARC 를 녹일 수 있 기 때문 에 이후 에 패 터닝 할 때 문제 를 일으킬 수 있 으며 , 상기 산 성 액 의 농도 가 0 . 01 % 미만 이 되 면 물 의 수소 결합력 을 낮추 는 효과 가 미미 해져 결과 적 으로 물 만 사용 하 는 것 과 차이 가 없 어 지 기 때문 이 다 .