하부 기체 공급 홈 ( 12 ) 에 는 , 일단 을 하부 측 벽부 ( 4 ) 의 외주 면 에 개구 시킨 급액 구멍 ( 17 ) 의 타단 이 연통 되 어 있 다 . 이 급액 구멍 ( 17 ) 의 타단 에 는 , 액체 공 급로 로서 의 급액 관 ( 18 ) 의 일단 이 엘보 형 의 접속 구체 ( 18 a ) 를 통하 여 접속 되 어 있 다 . 이 급액 관 ( 18 ) 의 타단 에 는 순수 공급 펌프 ( 19 ) 의 토출 측 이 접속 되 어 있 다 . 이 순수 공급 펌프 ( 19 ) 의 흡인 측 은 도시 하 지 않 은 세정액 으로서 의 순수 의 공급 탱크 에 접속 되 어 있 다 .