본 발명 의 다른 양태 에 있 어서 , 시스템 ( 1100 ) 의 검출기 ( 1110 ) 는 시스템 ( 1100 ) 의 1 차 광축 ( 1107 ) 을 따라 배치 될 수 있 다 . 이 점 에서 , 카메라 ( 1110 ) 가 시료 ( 1114 ) 의 표면 으로부터 상 데이터 ( imagery data ) 를 수집 하 도록 배열 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 일반 적 으로 , 광 은 시료 ( 1114 ) 의 표면 으로부터 반사 한 후 에 , 주 대물렌즈 ( 1109 ) 및 빔 스플리터 ( 1108 ) 를 경유 하 여 검출기 ( 1110 ) 의 촬 상면 까지 1 차 광축 ( 1107 ) 을 따라 전파 한다 . 이 기술 분야 에서 공지 된 임의 의 검출기 도 본 발명 의 구현 을 위해 사용 될 수 있 는 것 으로 인정 된다 . 예 를 들 면 , 검출기 ( 1110 ) 는 전하 결합 소자 ( CCD ) 기반 카메라 시스템 을 포함 할 수 있 다 . 다른 예 로서 , 검출기 ( 1110 ) 는 시간 지연 적분 ( time delay integration : TDI ) - CCD 기반 카메라 시스템 을 포함 할 수 있 다 . 다른 양태 에 있 어서 , 검출기 ( 1110 ) 는 컴퓨터 시스템 ( 도시 생략 됨 ) 과 통신 적 으로 결합 될 수 있 다 . 이 점 에서 , 디지털 상 데이터 가 검출기 ( 1110 ) 로부터 유선 신호 ( 예 를 들 면 , 구리 선 , 광섬유 케이블 등 ) 또는 무선 신호 ( 예 를 들 면 , 무선 RF 신호 ) 와 같 은 신호 를 통해 컴퓨터 시스템 에 전송 될 수 있 다 .