웨이퍼 캐리어 ( 140 ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 에 비해 작 은 지름 을 갖 는 원판 형상 으로 웨이퍼 ( W ) 를 장착 할 수 있 다 . 웨이퍼 캐리어 ( 140 ) 에 장착 된 웨이퍼 ( W ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 와 접촉 하 면서 회전 하 고 , 슬러리 공급 노즐 ( 150 ) 로부터 공급 된 슬러리 를 이용 한 화학 기계 적 연마 를 통하 여 웨이퍼 평탄 화 공정 이 진행 될 수 있 다 .