먼저 , 세정 과정 을 수행 함 에 있 어서 , 일반 적 으로 , 유기물 은 H 2 SO 4 등 과 같 은 산 을 사용 하 여 제거 하 고 , 자연 산화 막 은 플루오르화 수소 수용액 을 사용 하 여 제거 한다 . 그리고 , 파티클 또는 금속 불순물 은 RCA 세정 으로 불리우 는 습식 세정 을 통하 여 제거 되 는데 , 예컨대 파티클 은 암모니아 ( NH 4 OH ) 수용액 과 과산화수소 ( H 2 O 2 ) 및 물 ( H 2 O ) 의 혼합액 인 SC - 1 을 사용 하 여 제거 하 고 , 금속 불순물 은 염산 ( HCl ) , 과산화수소 및 물 의 혼합액 인 SC - 2 를 사용 하 여 제거 한다 .