냉각 재킷 ( 23 ) 은 , 상술 한 바 와 같이 도전 성 재료 에 의해 형성 되 어 있 다 . 도전 성 재료 는 , 도전 성 이 있 는 금속 이 라면 특별히 제한 되 지 않 는다 . 냉각 재킷 ( 23 ) 의 도전 성 재료 로서 는 , 예컨대 , 무산소 구리 가 바람직 하 다 . 이 냉각 재킷 ( 23 ) 에 는 동축 케이블 ( 51 ) 의 외부 도체 ( 51 B ) 가 접속 되 고 , 냉각 재킷 ( 23 ) 은 , 탑 플레이트 ( 21 ) 와 같 은 검사 용 신호 가 인가 되 어 , 탑 플레이트 ( 21 ) 로부터 전류 가 누설 하 지 않 도록 하 고 있 다 . 냉각 재킷 ( 23 ) 의 두께 는 , 반도체 웨이퍼 W 의 크기 에 따라 바람직 한 범위 가 다르 다 . 본 실시 예 에서 는 , 냉각 재킷 ( 23 ) 은 , 10 . 0 ㎜ 의 두께 로 형성 되 어 있 다 .