또한 이온 주입 법 또는 플라스마 이온 도핑 법 으로 인 이온 을 첨가 하 는 경우 , 가속 전압 은 예 를 들 어 10 kV 이상 100 kV 이하 , 바람직 하 게 는 30 kV 이상 90 kV 이하 , 더 바람직 하 게 는 40 kV 이상 80 kV 이하 의 범위 로 할 수 있 다 . 또한 도즈 양 은 예 를 들 어 1 × 1013 ions / cm 2 이상 1 × 1017 ions / cm 2 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1014 ions / cm 2 이상 5 × 1016 ions / cm 2 이하 , 더 바람직 하 게 는 1 × 1015 ions / cm 2 이상 3 × 1016 ions / cm 2 이하 의 범위 로 할 수 있 다 .