웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 각각 에 는 , 3 개 의 인코더 헤드 ( 이하 , 간단 하 게 헤드 라 칭한다 ) , 또는 더욱 구체 적 으로 는 , X 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 2 개 의 X 헤드 와 , Y 축 방향 을 계측 방향 으로 하 는 하나 의 Y 헤드 가 계측 빔 을 상방 ( + Z 방향 ) 으로 사출 하 도록 상방 을 향하 여 탑재 된다 . 더욱 구체 적 으로 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 에 는 , 도 2 ( B ) 에 나타낸 바 와 같이 , - X 측 단부 및 - Y 측 단부 부근 에 는 X 헤드 ( EX 1 ) 와 Y 헤드 ( EY ) 가 X 축 방향 으로 인접 하 여 배치 되 고 , - X 측 단부 의 Y 축 방향 중앙 부근 에 는 X 헤드 ( EX 2 ) 가 배치 된다 .