도 1 및 도 2 를 참조 로 하 면 , 고정부 ( 400 ) 와 , 마스크 스테이지 ( 150 ) 는 회전 전 상태 , 즉 최초 동작 전 상태 를 유지 한다 . 즉 , 제 1 , 2 모터 ( 511 , 521 ) 의 제 1 , 2 엔 코더 ( 512 , 522 ) 로부터 검출 되 는 회전각 이 0 ° 인 상태 일 수 있 다 . 즉 , 상기 제 1 , 2 엔 코더 ( 512 , 522 ) 에서 검출 되 는 회전각 이 0 ° 인 경우 는 , 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 마스크 ( 100 ) 로 입사 되 는 광 의 광경 로 와 상기 마스크 ( 100 ) 의 상면 과 서로 수직 을 이 루 는 상태 이 다 .