우선 도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 박막 증착 장치 ( 100 ) 는 반응 실 ( R ) 을 형성 하 는 반응 챔버 ( 110 ) ; 반응 챔버 ( 110 ) 내 에 회전 가능 하 게 장착 되 며 , 적어도 하나 의 기판 ( W ) 이 안착 되 는 서 셉 터 ( 120 ) ; 반응 챔버 ( 110 ) 의 상부 에 장착 되 어 반응 실 ( R ) 내 로 복수 개 의 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부 ( 130 ) ; 상기 복수 개 의 가스 가 공급 되 는 각 영역 의 경계 에 대응 하 도록 서 셉 터 ( 120 ) 상부 에 장착 되 며 , 주변 의 가스 를 배기 하 는 배기 라인 ( 141 , 142 ) 을 구비 한 분리 배기 부 ( 140 ) ; 반응 챔버 ( 110 ) 의 가장자리 에 형성 된 배기 홀 ( 111 ) ; 및 분리 배기 부 ( 140 ) 에 흡입력 을 제공 하 는 진공 펌프 부 ( 150 ) 를 포함 한다 .