공용 로더 ( 121 ) 의 하부 지지 부 ( 430 ) 는 본체 ( 401 ) 내부 에 구비 되 는 공용 로더 구동 용 제 1 모터 ( 미 도시 ) 에 의해 수직 방향 으로 이동 이 가능 한 것 일 수 있 다 . 상기 의 예 에서 , 제 1 로봇 ( 111 ) 으로부터 웨이퍼 들 이 공용 로더 ( 400 ) 의 하부 4 개 의 슬롯 에 안착 될 경우 의 높이 와 공용 로더 ( 400 ) 의 상부 4 개 의 슬롯 에 안착 된 웨이퍼 들 이 제 1 로봇 ( 111 ) 으로 로딩 될 경우 의 높이 는 같 을 수 있 다 . 이 경우 , 공용 로더 ( 400 ) 의 하부 지지 부 ( 430 ) 가 수직 방향 으로 적절히 이동 하 면 제 1 로봇 ( 111 ) 의 상하 이동 없이 도 공용 로더 ( 400 ) 와 제 1 로봇 ( 111 ) 간 의 웨이퍼 이송이 자유 로워진다 .