도 2 를 참조 하 면 , 먼저 감광막 이 도포 된 웨이퍼 를 프리 얼라 이너 ( pre - aligner ) 에 로딩 ( loading ) 시킨다 ( S 210 ) . 웨이퍼 가 로딩 되 면 프리 얼라 이너 를 통해 웨이퍼 상 에 형성 된 플랫 존 ( flat - zone ) 이 설정 된 방향 에 있 도록 프리 얼라인 ( pre - align ) 을 실시 한다 ( S 220 ) . 이후 웨이퍼 를 플랫 존 정렬 상태 가 유지 되게 스테이지 로 이송 시킨다 ( S 230 ) . 그리고 , 스테이지 상 에 이송 된 웨이퍼 에 대하 여 얼라 인 키 에 의한 웨이퍼 의 회전 여부 를 감지 한다 ( S 240 ) . 웨이퍼 가 회전 하 지 않 은 경우 정렬 마크 를 노광 하 는 노광 공정 을 수행 한다 ( S 250 ) . 만약 웨이퍼 가 회전 한 경우 웨이퍼 의 위치 를 보정 하 고 ( S 260 ) , 웨이퍼 의 위치 보정 후 정렬 마크 를 노광 하 는 노광 공정 을 수행 한다 ( S 250 ) .