즉 , 종래 포토 공정 시 얼라인먼트 트리 ( alignment tree ) 는 , 커런트 레이어 는 서브 레이어 에 얼라인먼트 를 실시 하 고 , 포스트 레이어 는 커런트 레이어 에 얼라 인시 키 는 구조 로 , 배선공 정의 패턴 형성 시 커런트 레이어 의 오버레이 가 서브 레이어 의 영향 을 받 게 됨 으로써 , 이전 롯 트 들 의 커런트 레이어 에서 의 스텝 퍼 입 / 출력 값 만 을 고려 한 다음 롯 트 에 대한 스텝 퍼 입력 값 예측 만 으로 는 정확 한 오버레이 제어 가 어려웠 음 은 전술 한 바 와 같 다 .