제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 압력 이 공정 압력 에 도달 하 면 , 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 내 에 공정 가스 가 공급 된다 . 공정 가스 는 공정 가스 라인 ( 182 ) 및 제 1 공급 라인 ( 180 ) 을 통해 공급 된다 . 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 내 에 전계 가 형성 되 면 공정 가스 로부터 플라스마 가 생성 되 며 , 생성 된 플라스마 는 웨이퍼 ( W ) 표면 을 에칭 한다 . 공정 가스 는 에칭 하 고 자 하 는 막 에 따라 결정 된다 .