또 , 본 발명 의 레지스 트 재료 는 , 여러 가지 수축 방법 에 의해 현상 후 의 패턴 치수 를 축소 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 서멀 플로우 , RELACS , SAFIRE , WASOOM 등 기지 의 방법 에 의해 홀 사이즈 를 수축 할 수 있 다 . 특히 폴리머 Tg 가 낮 은 수소 화 ROMP 폴리머 ( 시클로올레핀 개환 복분해 중합체 수소 첨가물 ) 등 을 블 렌 드한 경우 , 서멀 플로우 에 의해 홀 사이즈 를 효과 적 으로 축소 할 수 있 다 .