예컨대 , 로드 락 챔버 ( 30 ) 로부터 제 3 처리 유닛 ( 60 ) 의 제 3 공정 챔버 ( 62 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 하 는 과정 을 설명 하 면 , 이 에프 이 엠 ( 20 ) 의 로봇 암 ( 22 ) 은 로드 포트 ( 10 ) 에 안착 된 수납 부재 ( C ) 로부터 기판 정렬 기 ( substrate aligner ) ( 24 ) 로 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 기판 정렬 기 ( 24 ) 는 기판 ( W ) 의 오리엔트 각 을 정렬 시킨다 . 오리엔트 각이 정렬 된 기판 ( W ) 은 로봇 암 ( 22 ) 에 의해 로드 락 챔버 ( 30 ) 의 제 1 챔버 ( 32 ) 에 안착 된다 . 이때 , 도 1 a 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 챔버 ( 32 ) 에 안착 된 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 는 제 1 방향 ( Z 1 ) 을 향한다 . 상기 제 1 방향 ( Z 1 ) 은 기판 ( W ) 이 제 1 챔버 ( 32 ) 에 안착 되 었 을 때 , 기판 ( W ) 의 노치 ( W 1 ) 가 제 1 처리 유닛 ( 40 ) 의 로봇 암 ( 44 a ) 을 향하 는 방향 이 다 .