도 5 는 , 제 어 대상 과 제어 파라미터 의 일례 를 설명 하 는 도면 이 다 . 도 5 의 ( a ) 는 티칭 포지션 ( TP 1 ∼ TP 5 ) 을 지시 한 설정 개소 의 웨이퍼 ( W ) 와 , 모니터 웨이퍼 ( M 1 ∼ M 7 ) 의 상하 방향 에서 의 위치 관계 의 일례 를 나타낸 도면 이 다 . 또 , 도 5 의 ( a ) 는 도 4 와 동일 한 위치 관계 이 지만 , 티칭 포지션 ( TP 1 ∼ TP 5 ) 의 전부 를 베이스 의 위치 에서 지시 한 경우 이 기 때문 에 , 복수 매 의 웨이퍼 ( W ) 의 전부 가 동일 한 베이스 의 위치 에 배치 되 어 있 다 .