본 발명 에 따르 면 , 질화 알루미늄 소 결체 는 산화 이트륨 , 산화 알루미늄 , 산화 티타늄 및 질화 알루미늄 을 포함 하 며 산화 알루미늄 에 대한 산화 이트륨 의 중량 비 가 0 . 01 내지 0 . 7 이 되 도록 포함 함 으로써 존슨 - 라벡 형 정전 척 에 적합 한 체적 저항 값 을 갖 는다 . 또한 낮 은 명도 와 높 은 상대 밀도 를 가짐 으로써 우수 한 열 전도 성 을 보여 향상 된 특성 을 갖 는 반도체 제조 장치 용 부재 에 적합 하 게 사용 될 수 있 다 .