액정 표시 장치 를 구성 하 는 박막 트랜지스터 기판 에서 는 , 화상 의 최 소단위 인 각 화소 의 스위칭 소자 로서 , 박막 트랜지스터 ( Thin Film Transistor , " 이하 "" TFT "" 라고도 칭함 ) 가 이용 된다 . 종래 ", TFT 로 는 , 반도체 층 이 비정질 실리콘 ( amorphous silicon ) 으로 이루어진 것 이 이용 되 어 왔으나 , 최근 , 비정질 실리콘 반도체 층 을 구비 한 TFT 대신 에 , 산화물 반도체 막 으로 이루어진 반도체 층 을 구비 한 TFT 가 제안 되 고 있 다 . 반도체 층 으로써 산화물 반도체 막 을 구비 한 TFT 는 , 고 ( 高 ) 이 동도 , 고 신뢰 성 및 저 ( 低 ) 오프 ( off ) 전류 등 의 양호 한 특성 을 나타내 므로 , 활발 하 게 연구 개발 이 이루어지 고 있 다 .