매핑 센서 로 는 , 예 를 들 어 투과 형 센서 가 이용 된다 ( 특허 문헌 1 참조 ) . 이 경우 , 매핑 센서 는 , 광축 을 수평 방향 을 향하 게 한 상태 에서 , 전후 방향 으로 진퇴 가능 하 고 또 한 상하 방향 으로 승강 이동 가능 한 매핑 디바이스 ( 매핑 암 이나 매핑 프레임 등 ) 의 선 단부 등 에 장착 된다 . 매핑 디바이스 를 전진 시켜 매핑 센서 를 용기 의 개구부 에 삽입 하 고 , 하강 이동 시킴 으로써 , 상기 매핑 센서 로 , 용기 내 에 수용 된 기판 의 수용 상태 를 인식 하 는 것 이 가능 하 게 되 어 있 다 .