도 3 은 정렬 마크 의 일 실시 예의 일부분 의 평면도 를 나타낸다 . 이 부분 은 전 도성 트랙 들 ( 30 ) ( 예시 의 방식 으로 일부 만 표시 됨 ) 을 포함 하 며 , 이 는 모두 동일 한 방향 으로 방위 된다 . 도 3 a 는 대안 적 인 정렬 마크 의 일부분 을 나타낸다 . 트랙 들 ( 30 ) 의 피치 , 즉 연속 한 트랙 들 의 시작 부 ( start ) 간 의 거리 ( 트랙 밀도 , 단위 거리 당 트랙 들 의 개수 의 역 ) 는 위치 의 함수 로서 변한다 . 제 1 및 제 2 피치 값 ( P 1 및 P 2 ) 각각 으로 제 1 및 제 2 영역 들 ( 32 및 34 ) 이 교번 하 는 것 이 구별 될 수 있 다 . 피치 값 들 의 변동 의 패턴 - 이 도면 의 경우 에 는 영역 들 ( 32 및 34 ) 의 교번 - 은 측정 을 위해 사용 되 는 회절 을 야기 한다 . 따라서 , 트랙 들 ( 30 ) 의 방향 변동 들 의 패턴 대 신 에 , 피치 의 변동 패턴 이 위치 를 측정 하 기 위한 선택 가능 한 회절 차수 들 을 생성 하 는 데 사용 된다 . 회절 의 각도 들 은 피치 변동 의 이 패턴 의 피치 , 즉 격자 의 개별 적 인 바 아들 ( bars ) 로서 의 영역 들 함수 에 의존 한다 . 개별 적 인 트랙 들 ( 30 ) 의 피치 는 이 패턴 의 기초 가 되 고 , 영역 들 ( 32 및 34 ) 의 패턴 의 피치 보다 반드시 더 작 다 . 개별 적 인 트랙 들 은 위치 를 측정 하 기 위한 선택 가능 한 회절 차수 들 을 생성 하 는 데 회절 격자 의 개별 적 인 바 아들 로서 효과 적 으로 사용 되 지 않 는다 . 트랙 들 의 피치 가 전형 적 으로 방사선 의 파장 보다 훨씬 더 작 고 , 동일 한 피치 에서 의 개별 적 인 트랙 들 의 반복 들 의 주기성 이 넓 은 영역 들 에 걸쳐 연장 되 지 않 기 때문 에 , 이러 한 것 으로서 그 효과 는 작 다 .