본 발명 에 의하 면 , 접속 부재 가 상기 제 1 챔버 의 진공 측 에 노출 되 는 접속 방식 이 어도 , 접속 부재 가 상기 제 1 챔버 의 대기 측 에 노출 되 는 접속 방식 이 어도 , 게이트 밸브 를 제 1 챔버 에 접속 할 때 에 겸용 가능 하 고 , 또 , 진공 장치 에 의 실장 시 에 게이트 밸브 를 상이 한 구조 의 것 으로 교환 하 지 않 고 , 실장 을 행하 는 것 이 가능 하 게 된다고 하 는 효과 를 얻 을 수 있 다 .