스텝 205 에서 는 , 스텝 204 에서 얻 어 진 베스트 포커스 위치 의 차분 에 대응 하 는 구면 수 차량 을 , 스텝 201 에서 구한 각 조명조 건하 에서 의 구면 수차 의 베스트 포커스 위치 에 관한 데이터 에 의거 하 여 구한다 . 이 와 같이 , 도 3 의 차분 ( 24 ) 에 대응 하 는 구면 수차 의 양 ( 23 ) 으로서 투영 광학계 의 구면 수차 의 양 을 구할 수 있 다 .