비 교부 ( 270 ) 는 상기 측 정부 ( 260 ) 로부터 전달 된 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 와 상기 제 2 전극 ( 232 ) 의 온도 의 온도 차이 값 이 제 1 설정 범위 내 에 있 는지 를 비교 하 여 제 1 설정 범위 를 벗어나 거나 , 상기 제 1 전극 ( 231 ) 의 온도 와 상기 기판 지지 부 ( 240 ) 의 온도 의 온도 차이 값 이 제 2 설정 범위 내 에 있 는지 를 비교 하 여 제 2 설정 범위 를 벗어나 는 경우 RF 전원 의 공급 을 중지 시키 는 인터 락 신호 ( Si ) 를 생성 하 여 제 어부 에 전달 할 수 있 다 .