한편 , 상기 와 같 은 라인 타입 자기 정렬 콘 택 공정 을 이용 한 스토리지 노드 콘 택 형성 을 위한 식각 공정 시 에 상기 비트 라인 에 손상 이 가 지 않 도록 하드 마스크 로서 질화 막 을 사용 하나 , 상기 질화 막 만 으로 는 충분 한 식각 베리어 의 역할 을 충분히 수행 할 수 없 기 때문 에 하드 마스크 용 텅스텐 막 을 추가 로 증착 하 여 식각 마진 을 확보 하 고 있 다 .