도 3 은 , 도 1 의 기판 처리 시스템 의 동압 화 수단 의 제 1 구성 예 를 도시 하 는 종단 면도 이 다 . 도 4 는 , 도 1 의 기판 처리 시스템 의 개폐 도어 ( 5 ) 근방 의 횡단면 도 이 다 . 또한 , 도 3 및 도 4 에서 는 , 캐리어 적 재 대 ( 16 ) 에 의해 , 캐리어 ( C ) 가 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 과 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 주고받 기 위한 수수 위치 로 이동한 상태 를 나타내 고 있 다 .