그리고 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 의 상면 은 다른 압력 챔버 ( C 2 , C 3 , C 4 ) 의 바닥 면 의 상면 에 비하 여 표면 거칠 기 가 보다 낮 게 정해진다 . 즉 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 은 매끄러운 표면 으로 상면 이 형성 됨 에 따라 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 이 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 를 밀폐 시킬 정도 로 상방 으로 볼록 하 게 변형 되 면 , 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 의 매끄러운 상면 이 개구 ( 130 x , 150 x ) 에 접촉 하 며 , 매끄러운 제 1 바닥 면 ( 111 Cs ) 의 상면 은 개구 ( 130 x , 150 x ) 의 둘레 에 밀착 되 면서 제 1 통로 ( 129 ) 나 제 1 공 압공 급로 ( 1551 ) 를 전부 밀폐 시키 는 작용 이 보다 용이 하 게 이루어진다 .