이때 , 하드 마스크 패턴 ( 105 A ) 으로 사용 된 비정질 카본 막 과 희생 막 패턴 ( 104 B ) 으로 사용 된 산화 막 계열 , 예컨대 BPSG 막 , TEOS 막 및 SOD 막 과 식각 선택 비 가 커서 희생 막 패턴 ( 104 B ) 이 모두 제거 되 어도 하드 마스크 패턴 ( 105 A ) 의 손실 ( loss ) 은 발생 하 지 않 는다 .