예 를 들 면 타 겟 으로서 알루미늄 을 사용 하 여 , 가스 유량 ( 아르곤 : 0 ∼ 100 sccm , 산소 : 5 ∼ 100 sccm ) , 성막 압력 0 . 1 ∼ 2 . OPa , 성막 전력 0 . 5 ∼ 4 kW ( DC 또는 RF ) , T - S 간 거리 ( 타 겟 과 기판 간 거리 ) 를 50 ∼ 185 mm 로 하 여 행할 수 있 다 . 또한 , 제 2 절 연막 ( 122 ) 의 성막 전 에 불활성 가스 ( 예 를 들 면 아르곤 ) 를 사용 하 여 스퍼터 를 행하 는 경우 나 , 더미 기판 에 미리 성막 함 으로써 , 베이스 기판 ( 120 ) 위 에 제 2 절 연막 ( 122 ) 을 형성 할 경우 에 발생 하 는 먼지 를 저감 할 수 있 다 .