제 1 및 제 2 롤 폴리 싱 유닛 ( 10 , 20 ) 각각 은 , 기판 ( G ) 의 양쪽 표면 에 회전 가능 하 게 접촉 가압 되 어 기판 ( G ) 의 표면 을 세정 하 는 제 1 및 제 2 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 , polishing roll ) 과 , 제 1 및 제 2 폴리 싱 롤 ( 11 , 21 ) 을 지지 하 는 제 1 및 제 2 롤 샤프트 ( 12 , 22 ) 와 , 제 1 및 제 2 롤 샤프트 ( 12 , 22 ) 의 어느 일 측 에 결합 되 어 제 1 및 제 2 롤 샤프트 ( 12 , 22 ) 를 각각 독립 적 으로 회전 구동 시키 는 제 1 및 제 2 회 전구 동부 ( 13 , 23 ) 를 포함 한다 .