정확 도 및 정밀도 를 제한 하 는 2 가지 공통 적 인 쟁점 들 은 가공물 들 의 가변 적 인 평편 성 및 인터 로 게이팅 광학 측정 시스템 들 의 제어 축들 에 대한 가공물 들 의 가변 적 인 방향 이 다 . 균일 하 게 코팅 되 었 지만 오목 한 구형 으로 굴곡진 가공물 의 예 를 고려 하 면 , 가공물 의 중심 근처 에서 취해진 두께 측정 은 가공물 의 곡률 의 반지름 및 지름 에 비례 한 인자 들 에 의해 가공물 의 가장자리 에서 취해진 두께 측정 과 상이 할 수 있 다는 것 을 용이 하 게 알 수 있 다 . 미세 한 곡률 들 도 수십 옹스트롬 ( Angstram ) 의 막 두께 의 오 차 들 을 초래 할 수 있 다 .