적재 대 ( 20 ) 의 하 면 중앙부 에 는 , 처리 용기 ( 10 ) 의 저 벽 에 형성 된 개구 ( 13 ) 를 통해서 당해 저 벽 을 관통 하 여 , 상하 방향 으로 연장 되 는 지지 부재 ( 22 ) 의 상단 부 가 접속 되 어 있 다 . 지지 부재 ( 22 ) 의 하단 부 는 승강 기구 ( 23 ) 에 접속 되 어 있 다 . 승강 기구 ( 23 ) 의 구동 에 의해 , 적재 대 ( 20 ) 는 일점쇄선 으로 나타내 는 반송 위치 와 , 그 상방 의 제 1 처리 위치 와 , 또한 그 상방 의 제 2 처리 위치 의 사이 를 , 상하 로 이동 할 수 있 다 . 반송 위치 란 , 처리 용기 ( 10 ) 의 반입 출구 ( 11 a ) 로부터 처리 용기 ( 10 ) 내 에 진입 하 는 웨이퍼 ( W ) 의 반송 기구 ( 도시 하 지 않 음 ) 와 후술 하 는 지지 핀 ( 26 a ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 전달 할 때 , 적재 대 ( 20 ) 가 대기 하 는 위치 이 다 . 또한 , 제 1 처리 위치 란 , 웨이퍼 ( W ) 에 스퍼터 에칭 처리 가 행하 여 지 는 위치 이 며 , 제 2 처리 위치 란 , 웨이퍼 ( W ) 에 ALE 처리 가 행하 여 지 는 위치 이 다 .