( ⅲ ) 제 2 반응기 또는 제 2 복수 의 반응기 들 내 에서 , 플루오르화 촉매 의 존재 하 에서 고온 에서 기상 에서 ( ⅱ ) 단계 로부터 의 조성물 을 불화 수소 ( HF ) 와 반응 시켜 펜 타 플 루오 로 에탄 과 조성물 내 의 유기 화합물 의 총 중량 을 기준 으로 0 . 5 중량 % 미만 의 클로로 펜 타 플 루오 로 에탄 을 포함 하 는 조성물 을 생성 하 는 단계 를 포함 하 고 ,