그런데 , 산화물 중 에 는 반도체 특성 을 나타내 는 것 도 있 다 . 반도체 특성 을 나타내 는 산화물 로 는 , 예 를 들 어 산화 텅스텐 , 산화주석 , 인듐 - 갈륨 - 아연 계 의 산화물 ( In - Ga - Zn 계 산화물 ) 등 이 있 고 , 이러 한 반도체 특성 을 나타내 는 산화물 을 채널 형성 영역 으로 하 는 박막 트랜지스터 가 이미 알려져 있 다 ( 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2 ) . 또한 , 특히 , In - Ga - Zn 계 산화물 에 대해서 는 , 그 의 물 성 면 에서 의 연구 도 진행 되 고 있 다 ( 비 특허 문헌 1 ) .