도 10 을 참조 하 여 , 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 의하 여 노출 된 상기 제 2 희생 막 들 ( 130 ) 을 선택 적 으로 제거 하 여 제 2 리세 스 영역 ( 210 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 2 리세 스 영역 ( 210 ) 은 상기 트렌치 들 ( 200 ) 로부터 수평 적 으로 연장 되 어 형성 되 는 갭 영역 일 수 있 으며 , 상기 예비 상부 절연 패턴 ( 152 ) 의 측벽 을 노출 시키 도록 형성 될 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 , 상기 제 2 리세 스 영역 ( 210 ) 의 외곽 경계 ( outer boundary ) 는 그것 의 상 / 하부 에 위치 하 는 상기 절 연막 들 ( 120 ) 및 상기 트렌치 들 ( 200 ) 에 의해 한정 된다 . 또한 , 상기 제 2 리세 스 영역 ( 210 ) 의 내부 경계 ( internal boundary ) 는 그것 을 수직 하 게 관통 하 는 상기 예비 상부 절연 패턴 ( 152 ) 에 의해 정의 된다 .