일부 추가 실시 예 들 에 있 어서 , 본 발명 은 S - D 프로시저 를 검증 하 기 위한 방법 및 장치 를 제공 한다 . 피 검증 S - D 작성 프로시저 는 피 처리 웨이퍼 상 의 하나 이상 의 위치 에 하나 이상 의 피 검증 평가 특징 부 를 생성 할 수 있 다 . 리스크 인자 가 감소 하 면 , 프로시저 를 검증 하 는 데 필요 한 사이트 의 개수 도 저감 되 므로 , 이것 이 처리율 상승 을 제공 할 수 있 다 . 또한 , 신뢰 도 값 이 상승 할 경우 , 프로시저 를 검증 하 는 데 필요 한 사이트 의 개수 도 저하 될 수 있 으며 , 이것 은 처리 량 상승 을 제공 할 수 있 다 . 완제품 ( mature product ) 에 있 어서 , 더 적 은 수 의 웨이퍼 와 더 적 은 수 의 사이트 를 이용 하 여 검증 판정 이 이루어질 수 있 다 . 한 단계 에서 , 하나 이상 의 사이트 종속 ( S - D ) 웨이퍼 는 하나 이상 의 처리 서브시스템 내 의 하나 이상 의 S - D 처리 요소 에 연결 될 수 있 는 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 에 의해 수납 될 수 있 다 . 각각 의 웨이퍼 는 그 와 연관 된 웨이퍼 데이터 를 가질 수 있 고 , 웨이퍼 데이터 는 이력 데이터 및 / 또는 실시간 데이터 를 포함 할 수 있 다 . 다양 한 단계 에서 , 각 웨이퍼 마다 S - D 웨이퍼 상태 데이터 가 결정 될 수 있 고 , S - D 웨이퍼 상태 데이터 를 이용 하 여 제 1 검증 웨이퍼 세트 가 확립 될 수 있 으며 , 제 1 검증 웨이퍼 세트 는 다수 의 S - D 웨이퍼 를 포함 할 수 있 다 . 필수 검증 사이트 의 개수 , 시찰 한 검증 사이트 의 개수 , 남 아 있 는 검증 사이트 의 개수 가 S - D 웨이퍼 상태 데이터 로부터 각 검증 웨이퍼 마다 결정 될 수 있 다 . 다음 으로 , 웨이퍼 데이터 , S - D 웨이퍼 상태 데이터 , 필수 검증 사이트 의 개수 , 시찰 한 검증 사이트 의 개수 , 남 아 있 는 검증 사이트 의 개수 , 또는 이 들 의 조합 을 이용 하 여 제 1 검증 웨이퍼 세트 내 의 제 1 검증 웨이퍼 에 대해 제 1 프로시저 검증 시퀀스 가 확립 될 수 있 고 , 그 프로시저 검증 시퀀스 를 이용 하 여 제 1 검증 웨이퍼 에 대해 제 1 S - D 검증 프로시저 가 결정 될 수 있 으며 , 이 프로시저 는 하나 이상 의 처리 프로 시저 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 S - D 처리 요소 를 이용 할 수 있 다면 , 제 1 검증 웨이퍼 는 제 1 처리 서브시스템 에 연결 된 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 제 1 처리 서브시스템 내 의 제 1 S - D 처리 요소 로 이송 될 수 있 다 . 제 1 S - D 처리 요소 를 이용 할 수 없 다면 , 제 1 검증 웨이퍼 는 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 제 1 시간 동안 지연 될 수 있 다 .