다층 배선 구조 ( 630 ) 는 기판 ( 502 ) 상 에 차례 로 순차 적 으로 적층 되 고 상호 전기 적 으로 연결 되 는 제 1 콘 택 ( 116 A ) , 제 1 배선 층 ( 118 A ) , 제 2 콘 택 ( 116 B ) , 제 2 배선 층 ( 118 B ) , 제 3 콘 택 ( 116 C ) , 및 제 3 배선 층 ( 118 C ) 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 1 배선 층 ( 118 A ) , 제 2 배선 층 ( 118 B ) , 및 제 3 배선 층 ( 118 C ) 은 각각 금속 , 도전 성 금속 질화물 , 금속 실리사이드 , 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 배선 층 ( 118 A ) , 제 2 배선 층 ( 118 B ) , 및 제 3 배선 층 ( 118 C ) 은 텅스텐 , 몰리브덴 , 티타늄 , 코발트 , 탄탈럼 , 니켈 , 텅스텐 실리사이드 , 티타늄 실리사이드 , 코발트 실리사이드 , 탄탈럼 실리사이드 , 니켈 실리사이드 등 과 같 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 .