본 발명 은 액정 표시 장치 ( LCD ) , 플 라즈 마디스 플레이 패널 ( PDP ) 등 과 같 은 평면 표시 장치 ( Flat Panel Display ) 를 제조 하 기 위하 여 기판 을 처리 하 는 기판 처리 장치 에 관한 것 으로서 , 구체 적 으로 는 기판 이 송장 치 의 내부 에서 기판 을 이송 하 는 기판 이 송 수단 에 관한 것 이 다 .