이 와 같이 , 본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 타원 계측기 의 데이터 분석 방법 은 편광 변환 소자 의 회전 이 포함 되 는 광 검출기 에서 획득 되 는 반사광 의 세기 를 결정 하 는 변수 를 회전 변수 ( 회전각 ( θ n ) , 회전 계수 ( Rn ) ) 와 위치 변수 ( Xi ) 로 분리 하 고 , 각각 의 오 차 함수 ( En , Ei ) 를 정의 하 여 이원화 된 최소 제곱법 을 적용 하 여 회전각 및 퓨리 에 계수 를 추정 함 으로써 , 기존 분석 방법 대비 매우 빠르 고 정확 하 며 , 회전 오 차 에 둔감 한 시편 의 구조 분석 이 가능 하 다 .