제 1 쿨링 유 니트 ( 138 ) 에 처리 완료 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 반송 하 면 , 제 1 웨이퍼 이재기 ( 112 ) 는 예 비실 ( 122 ) 의 기판 재 치대 ( 140 ) 에 미리 준비 된 웨이퍼 ( 200 ) 를 전술 한 동작 과 마찬가지 로 , 2 매 동시 에 픽업 하 여 제 1 처리 로 ( 202 ) 로 반송 하 고 , 제 1 처리 로 ( 202 ) 내 에서 2 매 의 웨이퍼 ( 200 ) 에 대해서 동시 에 원하 는 처리 가 이루어진다 .