제 1 식각 저지 패턴 ( 230 ) 은 제 1 내지 제 3 하부 도전 라인 들 ( LCL 1 , LCL 2 , LCL 3 ) 의 상면 및 제 1 절연 층 ( 210 ) 을 컨 포 멀 하 게 덮 을 수 있 다 . 제 1 식각 저지 패턴 ( 230 ) 은 제 1 내지 제 3 트렌치 들 ( TR 1 , TR 2 , TR 3 ) 각각 의 일부 를 채울 수 있 다 .