진 공부 ( 10 ) 는 펌프 ( 11 ) , 예 를 들 어 터보 분자 펌프 ( turbo molecular pump ) 와 밸브 ( 12 ) , 그리고 배기구 ( 13 ) 를 포함 하 여 챔버 ( 20 ) 내부 를 증착 이 적합 한 진공 상태 로 유지 시킨다 . 또한 , 진 공부 ( 10 ) 는 챔버 ( 20 ) 내부 에 잔류 하 는 미 반응 가스 등 을 배출 하 기 위해 이용 된다 .