마지막 으로 식각 이 완료 된 반도체 소자 의 단면 을 살펴보 면 , 위 에서 아래 로 갈수록 폭 이 감소 하 는 상부 트렌치 ( 23 a ) 와 수직 프로 파일 을 갖 는 하부 트렌치 ( 23 b ) 가 연결 된 소자 분리 용 트렌치 ( 23 ) 가 형성 된다 . 이때 , 하부 트렌치 ( 23 b ) 의 폭 은 상부 트렌치 ( 23 a ) 의 최 소폭 이하 의 값 을 갖 게 되 며 , 하부 트렌치 ( 23 b ) 의 최 상부 는 상부 트렌치 ( 23 a ) 와 의 연결부 로서 상부 트렌치 ( 23 a ) 보다 경사 가 완화 된 곡면 을 갖 는다 .