상기 공급 제 어부 ( 100 ) 는 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 유량 및 속도 제어 를 위한 유량 속도 제어기 들 ( MFC 3 , MFC 4 ) 과 상기 유량 속도 제어기 들 ( MFC 3 , MFC 4 ) 로부터 받 은 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 이동 을 위한 배관 ( P 10 ) 과 상기 가스 ( A ) 또는 케미컬 ( B ) 의 최종 출력 여부 를 결정 하 는 파이널 밸브 ( FV 2 ) 를 구비 한다 .