먼저 도 3 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 이재 로봇 시스템 은 양 측벽 및 후면 에 기판 ( 40 ) 을 수납 할 수 있 도록 복수 개 의 선반 프레임 이 구비 된 카세트 ( 10 ) 와 , 기판 ( 40 ) 을 수납 하 여 카세트 ( 10 ) 내 에 로딩 ( loading ) 또는 언로 딩 ( unloading ) 하 는 이재 로봇 ( 30 ) , 카세트 ( 10 ) 내 선반 프레임 을 기준 으로 상측 및 하측 에 각각 부착 되 는 복수 개 의 반사판 ( 17 a , 17 b ) , 이 재 로봇 ( 30 ) 의 로봇 암 ( 34 ) 에 부착 되 는 위치 감지 센서 ( 35 ) , 및 이 재 로봇 ( 30 ) 을 제어 하 는 이재 로봇 제어기 ( 50 ) 를 포함 한다 .