상기 관점 에서 , 본 발명 은 아래 에서 서명 되 는 바 와 같 은 제어 방법 을 제공 한다 . 도 4 는 , 본 실시 형태 에 따른 임프 린트 장치 ( 100 ) 에 의한 접촉 공정 에서 사용 되 는 힘 압인 프로 파일 을 생성 하 는 공정 을 도시 하 는 흐름 도 이 다 . 이 공정 의 각 단계 는 제어 유닛 ( 11 ) 에 의해 행해질 수 있 다 .