보다 구체 적 인 일례 로서 , 다음 과 같 은 방법 을 채용 해도 된다 . 즉 , 모델 생 성부 ( 51 ) 는 과거 의 차이 데이터 ( DD 1 ) 의 변화 에 기초 하 여 , 다음 의 모델 데이터 ( MD 1 ) 로서 채용 하 는 선폭 ( W 1 ) 을 결정 해도 된다 . 구체 적 인 일례 로서 , 제 1 모델 데이터 ( MD 1 ) 의 선폭 ( W 1 ) 이 , 촬상 화상 ( IM 1 ) 보다 넓 은 선폭 을 나타내 고 있 었 던 경우 에 대해 고찰 한다 . 제 어부 ( 50 ) 는 , 차이 데이터 ( DD 1 ) 로부터 산출 되 는 선폭 의 차이 를 수정 한 제 2 모델 데이터 ( MD 1 ) 혹은 , 그 선폭 을 과잉 으로 보정 한 제 2 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 작성 한다 . 그 후 , 이 제 2 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 입력 하 여 시뮬레이션 결과 를 얻 고 , 얻 어 진 시뮬레이션 강도 분포 와 촬상 강도 분포 의 차이 를 구한다 . 이 결과 , 시뮬레이션 결과 가 촬상 강도 분포 ( IM 1 ) 보다 여전히 넓 은 경우 에 는 , 더욱 선폭 을 작 게 보정 한 제 3 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 하 고 , 동일 한 계산 을 실시 한다 . 한편 , 시뮬레이션 강도 분포 가 촬상 강도 분포 ( IM 1 ) 보다 좁 아 진 경우 에 는 , 선폭 을 크 게 한 제 3 모델 데이터 ( MD 1 ) 를 생성 하 고 , 동일 한 계산 을 실시 한다 . 또한 , 상기 와 같이 선폭 의 차이 를 과잉 으로 보정 하 는 방법 은 , SOR ( successive over - relaxation ) 로서 수치 해석 의 하나 의 수법 으로 잘 알려져 있 고 , 과잉 으로 보정 하 는 계수 는 테스트 나 경험 에 의해 결정 되 고 있 다 .