복수 의 하부 상호 연결 층 들 ( 108 ) 은 하부 유전체 구조물 ( 106 ) 내 에 배열 된다 . 복수 의 하부 상호 연결 층 들 ( 108 ) 은 복수 의 하부 ILD 층 들 ( 106 a ~ 106 c ) 중 하나 에 의해 각각 둘러싸인 , 도전 성 콘택트 ( 202 ) , 상호 연결 배선 ( 204 ) , 및 상호 연결 비아 ( 206 ) 를 포함 한다 . 예 를 들 어 , 도전 성 콘택트 ( 202 ) 는 제 1 하부 ILD 층 ( 106 a ) 에 의해 둘러싸 일 수 있 고 , 상호 연결 배선 들 ( 204 ) 중 첫 번 째 것 은 제 2 하부 ILD 층 ( 106 b ) 에 의해 둘러싸 일 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 상호 연결 배선 ( 204 ) 과 상호 연결 비아 ( 206 ) 는 각각 금속 코어 를 둘러싸 는 확산 배리어 층 을 포함 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 금속 코어 는 구리 , 텅스텐 , 알루미늄 등 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 확산 배리 어 층 은 탄 탈륨 질화물 , 티타늄 질화물 등 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 금속 코어 와 확산 배리 어 층 은 실질 적 으로 동 평면 을 이루 는 최 상면 들 을 가질 수 있 다 . 다른 실시 예 들 에서 , 확산 배리 어 층 은 금속 코어 의 최외각 가장자리 들 로부터 수직 위 로 연장 될 수 있 다 .