이 와 같이 , 언급 한 전기 적 연결 에 의해 상기 기판 의 가장자리 부분 에 인접 하 는 부분 에 집중 적 으로 플 라즈 마가 형성 된다 . 즉 , 언급 한 바 와 같이 하부 전극 ( 30 ) 에 고주파 파워 를 인가 시키 고 상부 전극 은 접지 됨 으로써 , 상기 기판 의 가장자리 부분 에 플 라즈 마 를 집중 적 으로 형성 되 고 , 그 결과 상기 플 라즈 마 에 의해 상기 기판 의 가장자리 상부 , 측면 및 가장 자리 하부 에 흡착 된 이 물질 이 용이 하 게 식각 된다 .