도 15 는 , 도 11 및 도 12 의 대안 적 인 챔버 설계 ( 1100 ) 의 챔버 의 내부 부분 ( 1500 ) 의 개략 도 의 예시 적 인 치수 들 을 도시 한다 . 예컨대 , 도 15 는 300 mm 반도체 웨이퍼 에 대한 챔버 설계 의 예 를 도시 한다 . 그러나 , 통상 의 기술자 는 , 예시 적 인 치수 들 이 , 다양 한 크기 들 의 기판 들 및 그러 한 기판 들 에 대한 청 정도 요건 들 을 수용 하 도록 용이 하 게 수정 될 수 있 다는 것 을 인식 할 것 이 다 . 따라서 , 관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 는 , 도 15 내 에서 제공 되 는 물리 적 치수 들 이 단지 예시 적 이 라는 것 을 인식 할 것 이 다 . ( 위 에 언급 된 바 와 같이 , " 본원 에서 사용 되 는 바 와 같 은 "" 예시 적 "" 이 라는 용어 는 일 예 또는 예 들 의 세트 만 을 지칭 하 며 ", 본원 에서 개시 되 는 개시 된 주제 의 부분 들 을 구현 함 에 있 어 반드시 바람직 하 거나 가장 양호 한 방식 인 것 으로서 해석 되 어서 는 안 된다 . ) 결과 적 으로 , 도 15 에 의해 주 어 진 물리 적 치수 들 은 개시 된 주제 를 설명 하 고 이해 함 에 있 어 통상 의 기술자 에게 도움 이 되 는 것 으로서 간주 되 어야 하 고 , 따라서 , 개시 된 주제 의 범위 를 제한 하 는 것 으로 보 아서 는 안 된다 .