본 발명 은 복합 희토류 영구 자석 박막 을 공개 하 였으며 , 상기 박막 은 서브 스트레이트 및 서브 스트레이트 상 에서 장 하 는 희토류 영구 자석 박막 을 포함 하 고 , 여기 서 상기 서브 스트레이트 는 형상 기억 합금 이 다 . 상기 서브 스트레이트 는 마텐자이트 계 상 변환 특징 을 갖 는 형상 기억 합금 이 될 수 있 으며 , Ni 계 , Cu 계 , Fe 계 합금 으로부터 선택 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 형상 기억 합금 은 실온 에서 마텐자이트 계 결정 구조 이 고 , 1 %~ 10 % 의 소성 변형 능력 이 있 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 희토류 영구 자석 박막 의 화학 조성 은 Rex ( FeyTM 1 - y ) zB 1 - x - z 인 것 이 바람직 하 고 , 여기 서 , Re 는 희토류 원소 중 의 적어도 하나 이 고 , TM 는 Co , Nb , Ga , V , Mo , Zr , Cr , W , Ni , Al , Cu , Ti 또는 Si 중 의 적어도 하나 이 며 , x = 0 ~ 99 . 9 at % 이 고 , y = 80 ~ 100 at % 이 고 , z = 50 ~ 90 at % 이 다 . 상기 박막 은 서브 스트레이트 의 경계 면 에서 0 . 5 % 보다 큰 결정격자 변형 이 존재 한다 . 상기 박막 의 두께 는 1 ~ 500 nm 인 것 이 바람직 하 다 .