그 다음 으로 는 상기 기화 부 ( 10 ) 에 설치 된 제 1 배출관 ( P 1 ) 및 제 2 배출관 ( P 2 ) 을 통해 기화 된 다이 머 페럴 린 을 독립 적 인 온도 제어 가 가능 한 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 및 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 를 포함 하 는 분 해부 ( 20 ) 로 이송 하 는 제 1 이송 단계 ( S 20 ) 를 진행 한다 .