도 2 는 본 발명 에 따른 반도체 제조 설비 의 웨트 스테이션 을 보인 종단 면도 이 고 , 도 3 은 본 발명 에 따른 반도체 제조 설비 의 웨트 스테이션 의 척 을 보인 평면도 이 며 , 도 4 는 본 발명 에 따른 반도체 제조 설비 의 웨트 스테이션 에 있 어서 , 노즐 의 분사 방향 을 설명 하 는 도면 이 고 , 도 5 는 본 발명 에 따른 반도체 제조 설비 의 웨트 스테이션 에 있 어서 , 웨이퍼 세팅 을 설명 하 는 도면 이 다 .