증착 을 표 5 에서 제공 된 조건 하 에서 규소 전구체 로서 TMCTS 및 O 2 플 라즈 마 를 이용 하 여 수행 하 였 다 . TMCTS 를 증기 드로우 방법 에 의해 챔버 로 전달 하 고 , 운반 가스 를 사용 하 지 않 았 다 . 단계 b 내지 단계 e 를 계측 ( metrology ) 을 위해 산화 규소 의 요망 되 는 두께 를 얻 기 위해 여러 차례 반복 하 였 다 . 막 증착 파라미터 및 증착 GPC 및 웨이퍼 균일성 은 표 6 에 나타내 었 다 . 증착 웨이퍼 는 불량 한 균일성 을 나타내 었 으며 , GPC 는 전구체 펄스 가 증가 함 에 따라 포화 를 나타내 지 않 았 는데 , 이 는 TMCTS 에 대한 CVD 증착 을 지시 하 고 , 이 에 따라 , ALD 전구체 로서 적합 하 지 않 음 을 나타내 는 것 이 다 .