또한 , MEMS 미러 ( 1 ) 는 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 과 , 온도 모니터 용 저항 ( 온도 모니터 용 소자 ) ( 14 ) 과 , 배선 ( 17 a , 17 b ) 과 , 배선 ( 18 a , 18 b ) 과 , 전극 패드 ( 23 a , 23 b ) 와 , 전극 패드 ( 24 a , 24 b ) 를 가지 고 있 다 . 덧붙여 , 도 2 에서 는 , 설명 의 편의 상 , 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 및 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 을 파선 으로 나타내 고 , 배선 ( 17 a , 17 b ) 및 배선 ( 18 a , 18 b ) 을 실선 으로 나타낸다 .