H 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 503 은 , H 2 가스 를 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 하 는 공정 이 다 . H 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 503 에서 는 , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 및 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 L 4 를 통해 N 2 가스 ( 연속 N 2 가스 ) 의 공급 을 계속 한 상태 에서 , 개폐 밸브 V 2 를 개방 한다 . 이 에 의해 , 수소 함유 가스 공급원 GS 2 로부터 수소 함유 가스 공급 라인 L 2 를 통해 H 2 가스 를 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 한다 . 이 때 , H 2 가스 는 , 버퍼 탱크 T 2 에 일단 저류 된 후 에 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 된다 . H 2 가스 를 공급 하 는 공정 S 503 에 의해 , 기판 W 위 에 흡착 된 WCl 6 이 환원 된다 . 이 때 의 H 2 가스 의 유량 은 , 충분히 환원 반응 이 생기 는 양 으로 할 수 있 다 . 또한 , 연속 수소 함유 가스 공급 라인 L 7 에 의해 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 되 는 H 2 가스 의 유량 은 , 수소 함유 가스 공급 라인 L 2 에 의해 처리 공간 ( 37 ) 에 공급 되 는 H 2 가스 의 유량 보다 도 작 다 .