이 에 따라 , 본 발명 에서 는 상기 도 2 의 ( b ) 에서 보여 지 는 바 와 같이 , 오버레이 키 를 사각형 이상 의 다각형 형태 예 를 들 어 팔각 형 형태 의 바 타입 으로 형성 시켜 , 오버레이 키 의 중심 을 기점 으로 X , Y 축 의 각각 의 축 에서 만나 는 두 개 의 오버레이 키 ( 300 , 302 ) 중 하나 가 손상 되 어 검출 이 불 가능 하 게 되 는 경우 에 는 45 ° 또는 135 ° 방향 으로 그려져 있 는 다른 오버레이 키 ( 308 , 310 ) 를 이용 하 여 두 레이 어간 센터 값 을 측정 함 으로써 , 오버레이 정렬 을 수행 할 수 있 게 된다 .