또한 , 제 어부 ( 3 ) 에 는 표시 부 ( 33 ) 및 입력 부 ( 34 ) 가 접속 되 어 있 다 . 제 어부 ( 3 ) 는 , 표시 부 ( 33 ) 에 여러 가지 정보 를 표시 한다 . 입력 부 ( 34 ) 는 , 열처리 장치 ( 1 ) 의 오퍼레이터 가 제 어부 ( 3 ) 에 여러 가지 커맨드 나 파라미터 를 입력 하 기 위한 기기 이 다 . 오퍼레이터 는 , 표시 부 ( 33 ) 의 표시 내용 을 확인 하 면서 , 입력 부 ( 34 ) 로부터 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 처리 순서 및 처리 조건 을 기술 한 처리 레시피 의 조건 설정 을 행할 수 도 있 다 . 표시 부 ( 33 ) 및 입력 부 ( 34 ) 로서 는 , 쌍방 의 기능 을 겸비 한 터치 패널 을 이용 할 수 도 있 으며 , 본 실시 형태 에서 는 열처리 장치 ( 1 ) 의 외벽 에 설치 된 액정 의 터치 패널 을 채용 하 고 있 다 .