게이트 절 연막 ( GI ) 은 유기 절 연막 및 무기 절 연막 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 유기 절연 막 은 광 을 투과 시킬 수 있 는 유기 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 유기 절연 막 은 포토레지스트 , 폴리아 크릴 계 수지 ( polyacrylates resin ) , 에폭시 계 수지 ( epoxy resin ) , 페놀 수지 ( phenolic resin ) , 폴리아미드 계 수지 ( polyamides resin ) , 폴리 이미드 계 수지 ( polyimides rein ) , 불포화 폴리에스테르 계 수지 ( unsaturated polyesters resin ) , 폴리페닐 렌 에테르 계 수지 ( poly - phenylene ethers resin ) , 폴리페닐 렌 설파이드 계 수지 ( poly - phenylene sulfides resin ) , 및 벤조 사이클 로 부 텐 수지 ( Benzocyclobutenes resin ) 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 무기 절연 막 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 및 실리콘 산질 화물 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .