이러 한 제조 단계 중 상기 제 1 산화 막 을 형성 하 는 단계 및 제 2 산화 막 을 형성 하 는 단계 중 어느 하나 의 단계 , 예 를 들 어 , 제 2 산화 막 을 형성 하 는 단계 에서 베이스 기판 ( 121 ) 의 측면 부 및 상면 일부 를 더 식각 하 여 상기 제 1 연장 부 ( 1233 ) 및 제 2 연장 부 ( 1234 ) 가 형성 되 도록 할 수 있 다 .