안테나 유닛 ( 193 ) 은 상부 전극 으로 기능 하 는 것 으로서 , 폐 루프 를 형성 하 도록 제공 되 는 코일 이 장착 된 것 이 다 . 이러 한 안테나 유닛 ( 193 ) 은 상부 전원 ( 131 ) 으로부터 공급 되 는 전력 을 기초 로 하우징 ( 110 ) 의 내부 에 자기장 및 전기장 을 생성 하 여 , 샤워 헤드 유닛 ( 140 ) 를 통해 하우징 ( 110 ) 의 내부 로 유입 된 가스 를 플 라즈 마로 여기 시키 는 기능 을 한다 .