단계 ( 104 ) 는 퍼지 서브 단계 를 포함 할 수 있 다 . 퍼지 서브 단계 중 에 , 과잉 의 반응물 ( 들 ) 및 반응 부산물 이 있 으면 , 예 를 들 어 퍼지 가스 펄스 및 / 또는 펌핑 시스템 에 의해 발생 된 진공 에 의해 반응 공간 / 기판 표면 으로부터 제거 될 수 있 다 . 퍼지 가스 는 제한 없이 임의 의 불활성 가스 , 예컨대 아르곤 ( Ar ) , 질소 ( N 2 ) 및 / 또는 헬륨 ( He ) 일 수 있 다 . 퍼지 ( 즉 , 퍼지 가스 펄스 ) 또는 다른 반응물 제거 단계 가 개재 되 는 경우 , 하나 의 페이즈 는 일반 적 으로 다른 페이즈 를 바로 따르 는 것 으로 간주 된다 . 퍼지 서브 단계 중 에 퍼지 가스 의 유량 은 약 500 sccm 내지 약 4500 sccm , 또는 약 2000 sccm 내지 약 4000 sccm 범위 일 수 있 다 . 퍼지 서브 단계 중 에 가스 흐름 의 시간 은 약 0 . 1 초 내지 약 2 초 , 또는 약 0 . 2 초 내지 약 1 초 범위 일 수 있 다 .