공정 챔버 ( 100 ) 내 의 상부 에 는 증착 또는 식각 공정 을 수행 할 수 있 도록 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 에 소스 가스 를 공급 하 는 가스 공급 부재 ( 600 ) 가 제공 된다 . 가스 공급 부재 ( 600 ) 는 샤워 헤드 및 샤워 헤드 를 지지 하 는 지 지축 ( 640 ) , 그리고 가스 공급 라인 ( 660 ) 을 포함 한다 .