챔버 상부 ( 202 ) 는 하나 이상 의 유출 부 ( 234 ) 들 을 포함 할 수 있 다 . 유출 부들 ( 234 ) 은 저압 소스 ( lower pressure source ) ( 예 를 들 면 , 진공 펌프 ) 에 연결 된다 . 유출 부들 ( 234 ) 은 저압 소스 가 플 라즈 마 챔버 ( 230 ) 의 중심 근처 로부터 플 라즈 마 부산물 ( 118 ) 및 재결합 산물 ( 120 ) 을 빼내 는 것 을 허용 한다 . 결과 적 으로 , 플라 즈 마 부산물 ( 118 ) 및 재결합 산물 ( 120 ) 은 플 라즈 마 ( 410 ) 및 프로세스 챔버 에서 플 라즈 마 에 의해 발생 되 는 뉴트럴 종 ( 412 ) 과 간섭 을 일으키 지 않 는다 .