제 1 소자 분리 라이너 ( 161 ) 은 제 1 소자 분리 트렌치 ( 160 t ) 의 측벽 및 바닥 면 을 따라 연장 될 수 있 다 . 제 1 소자 분리 필링 막 ( 162 ) 은 제 1 소자 분리 라이너 ( 161 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 제 1 소자 분리 필링 막 ( 162 ) 는 제 1 소자 분리 트렌치 ( 160 t ) 를 채울 수 있 다 . 제 1 소자 분리 라이너 ( 161 ) 와 , 제 1 소자 분리 필링 막 ( 162 ) 은 서로 다른 물질 을 포함 할 수 있 다 .