플라스마 의 에너지 를 제어 하 기 위한 펄 싱 된 마이크로파 에너지 를 제어 하 기 위한 펄 싱 된 마이크로파 방사선 을 사용 하 는 통상 의 마이크로파 플라스마 화학 적 가공 처리 시스템 은 90 % 과량 의 매우 높 은 크랙 킹 효율 을 갖 는다 . 이 들 통상 의 시스템 은 그러나 분당 표준 리터 ( slm ) 1 미만 의 낮 은 가스 유속 , 및 플라스마 내 작 은 가스 용적 을 사용 하 고 , 그 결과 생산 율 은 낮 고 생산 단가 는 높 다 . 이 들 통상 의 시스템 은 고주파 마이크로파 펄 싱 ( 예 를 들 어 대략 100 Hz 초과 ) 을 사용 하 면서 가스 유속 및 가스 용적 을 증가 시킬 수 없 는데 , 그 이유 는 플라스마 가 큰 용적 및 가스 가 사용 되 는 경우 펄스 를 유지 하 기 에 충분히 신속히 점 화 할 수 없 기 때문 이 다 .