특히 , 이 같 은 씰 디 스펜서 장치 ( 100 ) 중 갠트리 시스템 ( 160 ) 의 일부 인 씰 도포 장치 ( 172 ) 는 대형 기판 ( 120 ) 에 서로 다른 씰 패턴 ( 121 ) ( 122 ) 을 도포 하 여야 하 기 때문 에 상기 씰 디 스펜서 장치 ( 100 ) 에 저장 된 씰 패턴 데이터 에 따라 브리지 ( 150 ) 의 길 이 방향 으로 헤드 블럭 ( 170 ) 을 이동 시켜 공정 을 진행 해야 했 다 . 그러나 , 이러 한 공정 들 이 수 ㎛ 내 에서 이뤄지는 미세 한 부분 을 컨트롤 해야 하 는 장치 에서 이뤄 지 는데 , 각종 모터 ( 미 도시 ) 들 의 토크 변동 이나 스테이지 ( 120 ) 로부터 전파 되 는 진동 등 에 의한 외부 간섭 에 의해 정확 하 게 씰 도포 장치 ( 172 ) 를 이동 시켜 씰 을 도포 하 는 데 어려움 이 있 었 다 .