따라서 , 퍼지 가스 영역 ( PA 1 , PA 2 ) 의 대략 가운데 부분 에 는 퍼지 가스 가 상대 적 으로 적 거나 거의 존재 하 지 않 는 영역 ( 일 점 쇄선 표시 부분 참조 ) 이 형성 될 수 있 다 . 이 와 같 은 영역 을 분리 영역 ( SS ; Separating Section ) 이 라고 하 면 , 이 분리 영역 ( SA ) 은 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 과 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 사이 에 형성 되 거나 또는 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 및 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 의 하부 에 형성 될 수 도 있 다 .