한편 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 상면 에 는 , 전술 한 실시 형태 에서 Y 헤드 ( 646 , 647 , … , 6410 ) 가 배치 되 어 있 던 위치 에 X 헤드 ( 661 , 662 , … , 665 ) 가 각각 배치 되 어 있 다 . 또한 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 상면 에 는 , 전술 한 실시 형태 에서 X 헤드 ( 661 , 662 , … , 665 ) 가 배치 되 어 있 던 위치 에 Y 헤드 ( 641 , 642 , … , 645 ) 가 각각 배치 되 어 있 다 .