만일 , 상기 제 1 배선 ( 130 ) 이 주로 전력 분배 를 수행 하 면 , 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 을 관통 하 는 콘 택 플러그 들 ( 190 ) 의 개수 가 증가 한다 . 반대 로 , 상기 제 2 배선 ( 140 ) 이 주로 전력 분배 를 수행 하 면 , 상기 제 2 가스 확산 공간 ( 152 ) 을 콘 택 플러그 ( 190 ) 의 개수 는 감소 하나 , 제 2 노즐 들 ( 154 ) 이 배치 되 는 공간 은 제한 된다 . 따라서 , 제 2 노즐 배치 에 한계 가 있 다 . 따라서 , 상기 제 1 배선 ( 140 ) 에 의한 전력 분배 와 상기 제 2 배선 ( 130 ) 에 의한 전력 분배 의 적절 한 조화 가 요구 된다 .