층간 절연 층 ( 115 ) 상 에 는 소스 전극 ( SE ) 및 드레 인 전극 ( DE ) 이 배치 된다 . 소스 전극 ( SE ) 및 드레 인 전극 ( DE ) 은 전도성 이 좋 은 재료 를 포함 할 수 있 다 . 소스 전극 ( SE ) 및 드레 인 전극 ( DE ) 은 몰리브덴 ( Mo ) , 알루미늄 ( Al ) , 구리 ( Cu ) , 티타늄 ( Ti ) 등 을 포함 하 는 도전 물질 을 포함 할 수 있 고 , 상기 의 재료 를 포함 하 는 다층 또는 단층 으로 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 로 , 소스 전극 ( SE ) 및 드레 인 전극 ( DE ) 은 Ti / Al / Ti 의 다층 으로 형성 될 수 있 다 .