아울러 , 상기 플 라즈 마 식각 장치 ( 100 ) 는 상기 상부 - 제 2 전극 ( 18 ) 과 제 1 절연체 ( 20 ) 사이 의 공간 ( 65 ) 으로 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 반응 가스 를 제공 하 는 부재 ( 26 ) 와 상기 스테이지 ( 12 ) 와 제 1 전극 ( 14 ) 사이 의 공간 ( 55 ) 으로 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 반응 가스 를 제공 하 는 부재 ( 28 ) 를 더 포함 한다 . 여기 서 , 상기 상부 - 제 2 전극 ( 18 ) 과 제 1 절연체 ( 20 ) 사이 의 공간 ( 65 ) 으로 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 반응 가스 를 제공 하 는 부재 ( 26 ) 의 경우 에 는 제 1 반응 가스 제 공부 로 표현 하 고 , 상기 스테이지 ( 12 ) 와 제 1 전극 ( 14 ) 사이 의 공간 ( 55 ) 으로 플 라즈 마 를 형성 하 기 위한 반응 가스 를 제공 하 는 부재 ( 28 ) 의 경우 에 는 제 2 반응 가스 제 공부 로 표현 한다 . 아울러 , 상기 제 1 반응 가스 제 공부 ( 26 ) 와 제 2 반응 가스 제 공부 ( 28 ) 각각 은 상기 상부 - 제 2 전극 ( 18 ) 과 제 1 절연체 ( 20 ) 사이 의 공간 ( 65 ) 과 상기 스테이지 ( 12 ) 와 제 1 전극 ( 14 ) 사이 의 공간 ( 55 ) 각각 과 연결 되 는 라인 과 상기 라인 상 에 설치 되 는 밸브 등 을 포함 하 는 것 이 적절 하 다 . 또한 , 상기 제 1 반응 가스 제 공부 ( 26 ) 와 제 2 반응 가스 제 공부 ( 28 ) 각각 으로 제공 되 는 반응 가스 는 아르곤 가스 등 을 포함 한다 .