위 에서 조제 한 유기 막 형성 용 조성물 ( UDL - 1 ∼ 23 , 비교 UDL - 1 ∼ 14 ) 을 실리콘 기판 상 에 도포 하 고 , 산소 농도 가 0 . 2 % 이하 로 관리 된 질소 기류 하 , 400 ℃ 에서 60 초간 소성 한 후 , 막 두께 를 측정 하 고 , 그 위 에 PGMEA 용매 를 디스 펜스 하 고 , 30 초간 방치 하 여 스핀 드라이 , 100 ℃ 에서 60 초간 베 이크 하 여 PGMEA 를 증발 시키 고 , 막 두께 를 측정 하 여 PGMEA 처리 전후 의 막 두께 의 차 를 구했 다 .