즉 , 데이터 메모리 ( 310 ) 에 는 초기 공정 수행 시 그리드 플레이트 ( 200 ) 로 동일 하 게 공급 된 초기 전원 에 의해 획득 된 공정 완료 된 기판 상 의 박막 두께 를 근거 로 공정 완료 된 박막 의 기준 두께 와 의 차이 를 갖 는 비 균일 영역 에 대해 해당 비 균일 영역 이 균일 영역 과 동일 한 박막 두께 를 갖 도록 각 그리드 전극 의 해당 전극 라인 에 대한 초기 전원 정보 를 갱신 하 여 생성 된 챔버 의 고유 공정 환경 에 대응 되 는 기준 전원 정보 가 저장 된다 .