웨이퍼 교환 ( 새로운 웨이퍼 ( W 2 ) 의 로딩 ) 과 간섭계 ( 19 , 117 , 및 127 ) 의 리셋 이 완료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 얼라인먼트 계 ( ALG ) 를 이용 하 여 기준 마크 판 ( FM 2 ) 상 의 제 2 기준 마크 를 검출 한다 . 그 다음 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 얼라인먼트 계 ( ALG ) 의 지표 중심 ( index center ) 을 기준 으로 이용 하 는 제 2 기준 마크 의 위치 를 검출 하 고 , 그 검출 결과 와 , 검출 시 의 간섭계 ( 19 , 117 , 및 127 ) 에 따른 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 위치 계측 의 결과 에 기초 하 여 , 기준 축 ( LA ) 및 기준 축 ( LV 0 ) 을 좌표축 으로 이용 하 는 직교 좌표계 ( 얼라인먼트 좌표계 ) 에서 의 제 2 기준 마크 의 위치 좌표 를 산출 한다 .