또한 본 제 3 실시 형태 에서 는 , 세 컨 더리 얼라이먼트 계 의 베이스 라인 계 측시 등 에 , 고정 스케일 ( 39 C ', 39 D ') 에 FD 바 ( 46 ) 상의 1 쌍 의 2 D 헤드 ( 176 ) 가 대향 하 고 , 그 1 쌍 의 2 D 헤드 ( 176 ) 에 의해 , FD 바 ( 46 ) 의 X , Y 위치 및 θ z 회전 이 계측 된다 . 이하 에서 는 , 고정 스케일 ( 39 C ', 39 D ') 에 각각 대향 하 는 1 쌍 의 2 D 헤드 ( 176 ) 에 의해 구성 되 는 인코더 를 인코더 ( 170 C ', 170 D ') ( 도 41 참조 ) 라고 한다 .