일부 실시 예 에서 , 샘플 표면 에 광학 적 으로 결합 되 는 위치 로 공간 필터 ( 가령 , 시야 구경 ( field stop ) ) 가 광학 경로 에 포함 되 어 , 샘플 과 상호 작용 하 는 측정 된 광선 의 측면 범위 를 제한 할 수 있 고 , 공간 필터 는 입사 선속 ( incident beam ) 경로 , 또는 샘플 과 검출기 사이 의 광 경로 중 하나 에 위치 된다 .