종래 의 광 주사 장치 에 있 어서 광원 에서 출사 된 광 이 빔 편 향기 의 입 사면 을 기준 으로 S 편광 상태 이 면 , 좌우 의 광량 ( 즉 , 제 1 , 7 영역 부 ) 이 중앙 대비 약 10 % 저하 되 는 문제 가 발생 할 수 있 다 . 이 경우 도 2 a 와 같이 커버 글래스 ( 111 ) 를 코팅 하 는 코팅 물질 ( 121 ) 을 TiO 2 로 하 여 , 커버 글래스 ( 111 ) 의 중앙부 ( 즉 , 제 4 영역 부 ) 은 210 nm 의 두께 로 코팅 하 고 커버 글래스 ( 111 ) 의 양 끝 부분 ( 즉 , 제 1 , 7 영역 부 ) 은 180 nm 의 두께 로 코팅 할 수 있 다 . 이러 한 코팅 두께 의 변화 로 불 균일 한 광량 비 를 보정 하 여 광량 비 를 균일 하 게 만들 수 있 다 .