도 31 및 도 32 는 , 패들 교반 이동 속도 와 , 조정 판 의 형상 및 조정 판 과 기판 의 거리 의 양쪽 을 바꾼 경우 에 , 기판 상 에 형성 된 범프 의 높이 의 면내 균일성 을 나타내 는 그래프 이 다 . 도 31 및 도 32 에서 , 도 33 에 나타내 는 바 와 같이 , 평면 상 에서 서로 직교 하 는 축 을 X 축 , Y 축 으로 하 고 있 다 . 도 31 은 , 패들 교반 이동 속도 의 절대값 의 평균 을 20 cm / sec 로 설정 하 고 , 통형 상부 가 아닌 , 두께 5 mm 의 평판 으로 , 중앙부 에 하나 의 개구 를 가지 는 조정 판 을 사용 하 고 , 기판 과 의 거리 를 35 mm 로 하 여 도금 을 행한 경우 이 며 , 범프 ( 도금 막 ) 의 높이 는 , W 형 의 경향 으로 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 . 도 32 는 , 패들 교반 이동 속도 의 절대값 의 평균 을 83 cm / sec 로 설정 하 고 , 도 7 에 나타내 는 조정 판 을 사용 하 여 , 기판 과 통형 상부 의 선단 과 의 거리 를 15 mm 로 하 여 도금 을 행한 경우 이 다 . 이 경우 , 범프 ( 도금 막 ) 의 높이 는 , 도 31 에 비하 여 평탄 하 게 되 어 있 어 , 면내 의 균일성 이 개선 되 어 있 는 것 을 알 수 있 다 .