예컨대 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 후 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 기 전 에 호스트 장치 ( 500 ) 또는 입출력 장치 ( 261 ) 로부터 메인 터 넌 스 처리 를 앞당기 는 취지 의 지시 정보 가 보내 져 오 면 , 그 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 타이밍 을 빠르 게 하 도록 그 타이밍 의 변경 을 접수 한다 . 또한 구체 적 으로 는 메인 터 넌 스 제 어부 ( 260 g ) 는 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 타이밍 을 빠르 게 하 는 데 있 어서 적어도 지시 정보 를 받 은 시점 에서 기판 처리 장치 ( 100 ) 로 기판 처리 중 인 웨이퍼 ( 200 ) 에 대해서 는 상기 기판 처리 를 완료 시키 고 , 진공 반송 로봇 ( 2700 ) 또는 대기 반송 로봇 ( 2220 ) 으로 반송 중 인 웨이퍼 ( 200 ) 에 대해서 는 포드 ( 2001 ) 에 회수 한다 . 그리고 웨이퍼 ( 200 ) 를 포드 ( 2001 ) 에 회수 하 면 , 변경 전 의 타이밍 ( 예컨대 처리 중 로트 가 완료 되 는 타이밍 ) 이 되 기 이전 이 어도 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 한다 .