도 6 b 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 실리콘 이 포함 된 제 2 퍼지 단계 를 수행 한 모습 을 나타내 는 단면도 이 다 . 도 6 a 및 도 6 b 를 함께 참조 하 면 , 잔류 한 반응 가스 ( 60 ) 또는 반응 부산물 을 제거 하 는 제 2 퍼지 단계 를 수행 하 여 , 실리콘 이 포함 되 는 절 연막 ( 120 a ) 를 형성 한다 . 실리콘 이 포함 되 는 절 연막 ( 120 a ) 은 예 를 들 면 , 실리콘 산화 막 또는 실리콘 질화 막 일 수 있 다 .