요컨대 , 산소 농도 ( a ) 는 웨이퍼 의 전면 ( FS ) 을 포함 하 는 제 1 기판 층 ( 110 a ) 에서 가장 낮 고 , 고농 도 보론 층 ( 120 ) 에서 가장 높 으며 , 웨이퍼 의 후면 ( BS ) 을 포함 하 는 제 2 기판 층 ( 110 b ) 에서 는 제 1 기판 층 ( 110 a ) 보다 는 높 고 고농 도 보론 층 ( 120 ) 보다 는 작 다 .