이 와 같이 제 1 중심 원소 ( M ) 와 제 2 중심 원소 ( M ') 가 산소 와 함께 잔존 함 으로써 ( 도 3 d 에서 산소 는 도시 생략 ) 기판 ( 100 ) 위 에 산화 막 ( 100 NL ) 이 형성 될 수 있 다 . 산화 막 ( 100 NL ) 의 두께 가 원 하 는 두께 인지 의 여부 를 판단 하 여 ( S 3 ) ( 도 1 참조 ) 만 일 원 하 는 두께 보다 작 다면 이상 의 사이클 을 반복 할 수 있 다 . 또 , 상기 제 1 중심 원소 ( M ) 와 제 2 중심 원소 ( M ') 의 층 인 산화 막 ( 100 NL ) 은 다음 사이클 을 위한 기판 ( 100 N ) 으로서 작용 할 수 있 다 .