절연체 들 ( 112 ) 은 상기 전원 전극 들 ( 110 ) 과 상기 가스 분배 판 ( 160 ) 사이 에 개재 되 어 상기 전원 전극 들 ( 110 ) 과 나란히 연장 될 수 있 다 . 상기 절연체 들 ( 112 ) 은 스트립 라인 형태 일 수 있 다 . 상기 절연체 ( 112 ) 는 이웃 한 접지 전극 들 ( 120 ) 사이 의 공간 을 채울 수 있 다 . 상기 절연체 ( 112 ) 는 제 1 절연체 층 ( 112 a ) 과 제 2 절연체 층 ( 112 b ) 의 복 층 구조 를 가질 수 있 다 . 플 라즈 마 에 직접 노출 되 는 제 1 절연체 ( 112 a ) 는 세라믹 , 알루미나 , 사파이어 와 같이 스퍼터링 에 강한 물질 일 수 있 다 . 플 라즈 마 에 노출 되 지 않 는 제 2 절연체 층 ( 112 b ) 은 테 프론 , 강화 플라스틱 , 유리 , 쿼츠 와 같 은 물질 일 수 있 다 .