한편 , 이 단계 에서 는 흡착 부 ( 2 f ) 에서 보유 지지 된 웨이퍼 ( 1 ) 는 식별 마크 ( 20 ) 가 어느 위치 에 있 는 것 인지 불분명 한 상태 이 다 . 이 로 인해 , 제 1 촬상부 ( 3 ) 에서 웨이퍼 ( 1 ) 의 외관 화상 을 촬상 하 는 동시 에 , 웨이퍼 ( 1 ) 의 외주 나 노치 ( 1 a ) 의 위치 에 의존 하 여 웨이퍼 위치 인식 장치 ( 3 b ) 에서 웨이퍼 ( 1 ) 의 위치 를 특정 한다 . 웨이퍼 ( 1 ) 의 현재 위치 가 특정 된 단계 에서 , 흡착 부 ( 2 f ) 를 축선 ( O 1 ) 주위 로 회전 시켜 , 노치 ( 1 a ) 가 소정 의 위치 에 배치 되 도록 웨이퍼 ( 1 ) 를 이동 한다 . 그리고 , 흡착 패드 ( 2 e ) 의 흡착 을 해제 하 면서 흡착 부 ( 2 f ) 를 스테이 지부 ( 2 ) 의 개구부 ( 2 c ) 로 복귀 시키 고 , 웨이퍼 ( 1 ) 를 스테이 지부 ( 2 ) 의 상면 ( 2 a ) 에 적재 한다 . 이 와 같이 적재 된 웨이퍼 ( 1 ) 는 식별 마크 ( 20 ) 의 형성 위치 가 스테이 지부 ( 2 ) 의 오목 형 상부 ( 2 h ) 와 겹치 도록 적재 된다 .