또한 , 제 1 , 제 2 및 제 3 패턴 부 각각 이 복수 의 서브 패턴 부 들 로 분할 되 고 , 제 1 패턴 부 및 제 3 패턴 부 가 서로 반대 되 는 패턴 을 갖 거나 , 제 1 , 제 2 및 제 3 패턴 부 가 서로 대응 되 는 패턴 을 가짐 에 따라 , 제 1 , 제 2 및 제 3 패턴 부가 별도 의 스캔 으로 인식 됨 에 다른 경계선 의 형성 을 보다 억제 할 수 있 다 .