이 로부터 , 도 5 e 의 공정 의 열처리 는 30 % 이하 의 산소 농도 의 분위기 중 에서 행할 필요 가 있 다는 것 을 알 수 있 다 . 한편 , 상기 도 5 e 의 공정 의 열처리 를 , 산소 를 포함 하 지 않 는 불활성 가스 분위기 중 에서 행하 였을 경우 에 는 , 상기 산화 이리듐 막 ( 16 ) 표면 의 산소 가 탈리 하 게 되 기 때문 에 , 열처리 분위기 는 적어도 0 . 1 % 의 산소 농도 가 필요 하 다고 생각 된다 . 본 실시 예 에서 는 그래서 상기 도 5 e 의 공정 의 열처리 를 , 산소 를 20 % 의 농도 로 포함 하 는 Ar / 산소 혼합 가스 분위기 중 에서 행하 고 있 지만 , 이러 한 열처리 는 1 % 이상 , 20 % 이하 의 산소 농도 로 행하 는 것 이 바람직 하 다고 생각 된다 .