본 발명 의 제 2 실시 예 에 따른 소자 검사 장치 는 , 도 7 내지 도 9 g 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 은 , 소자 ( 1 ) 가 안착 되 며 검사 를 위한 테스트 소켓 ( 111 ) 이 X 축 방향 및 Y 축 방향 으로 n×m ( n , m 은 2 이상 의 자연수 ) 의 배열 로 배치 되 며 상하 로 적층 되 어 배치 되 는 복수 의 테스트 모듈 ( 110 ) 들 과 , 테스트 모듈 ( 110 ) 각각 의 상측 에 설치 되 어 각 테스트 소켓 ( 111 ) 에 대응 되 어 검사 시 에 테스트 소켓 ( 111 ) 에 가압 하 고 상하 이동 에 의하 여 소자 ( 1 ) 를 테스트 소켓 ( 111 ) 로부터 픽업 하 는 복수 의 가압 툴 ( 120 ) 들 을 포함 하 는 하나 이상 의 테스트 부 ( 100 ) 와 ; 검사 될 소자 ( 1 ) 들 이 적재 된 트레이 ( 20 ) 로부터 소자 ( 1 ) 를 로딩 하 고 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 를 언 로딩 하 는 로딩 / 언로 딩 위치 ( P 1 ) 와 테스트 모듈 ( 110 ) 와 소자 ( 1 ) 를 교환 하 는 소자 교환 위치 ( P 2 ) 사이 를 이동하 는 하나 이상 의 보조 셔틀 부 ( 300 ) 와 ; 검사 될 소자 ( 1 ) 들 이 적재 된 트레이 ( 20 ) 들 이 위치 되 는 로딩 부 ( 410 ) 와 ; 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 들 이 적재 되 는 트레이 ( 20 ) 들 이 위치 된 언로 딩 부 ( 420 ) 를 포함 하 며 , 테스트 부 ( 100 ) 의 각 테스트 모듈 ( 110 ) 은 , 가압 툴 ( 120 ) 의 직하 방 에 위치 되 는 검사 위치 ( M 1 ) 와 보조 셔틀 부 ( 300 ) 와 소자 ( 1 ) 를 교환 하 기 위한 교환 위치 ( M 2 ) 사이 에서 이동 가능 하 게 설치 되 며 , 교환 위치 ( M 2 ) 에 위치 된 테스트 모듈 ( 110 ) 로부터 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 를 픽업 하 고 검사 될 소자 ( 1 ) 를 적재 하 며 , 소자 교환 위치 ( P 2 ) 에 위치 된 보조 셔틀 부 ( 300 ) 에 대하 여 검사 될 소자 ( 1 ) 를 픽업 하 고 검사 를 마친 소자 ( 1 ) 를 적재 하 는 제 1 메인 이송 툴 ( 510 ) 을 포함 한다 .