또한 , 상기 피 처리 기판 ( W ) 의 반송 에 따른 동작 은 , 제 어부 ( 311 ) 에 의해 제어 되 는 구조 로 되 어 있 다 . 제 어부 ( 311 ) 는 , 도 2 에서 먼저 설명 한 컴퓨터 ( 100 B ) 에 접속 되 어 있 다 ( 접속 배선 은 도시 를 생략 ) . 기판 처리 장치 ( 300 ) 의 기판 처리 ( 피 처리 기판 ( W ) 의 반송 ) 에 따른 동작 은 , 컴퓨터 ( 100 B ) 의 기록 매체 ( 100 e ) 에 기억 된 프로그램 에 의해 실행 된다 . 또한 , 컴퓨터 ( 100 B ) 의 기록 매체 ( 100 e ) 에 기억 된 프로그램 에 의해 , 처리 용기 ( 401 ～ 405 ) 의 기판 처리 가 실행 되 는 구조 로 되 어 있 다 .