한편 상기 하우징 ( 200 ) 은 합착 기판 ( 210 ) 이 로딩 되 는 합착 기판 지지대 ( 220 ) 가 구비 되 어 있 으며 , 상기 하우징 ( 200 ) 의 내부 상단 에 상기 합착 기판 ( 210 ) 과 대향 되게 설치 되 며 , 합착 기판 ( 210 ) 의 시 일재 ( 211 ) 경화 위치 를 조절 할 수 있 도록 마스크 기판 ( 230 ) 을 진공 흡착 또는 정전 흡착 하 여 지지 하 는 마스크 기판 지지대 ( 231 ) 가 구비 된다 .