그 결과 , 전 웨이퍼 의 평균치 로 7 . 71 μ m 와 실시 예 1 보다 는 나쁜 결과 였 지만 , 종래 의 와이어 쏘 로 절단 한 웨이퍼 의 Warp 에 비해 개선 되 어 있 었 다 . 실시 예 1 에 비해 Warp 의 개선 이 적 은 것 은 , 워크 의 절단 개시 시 의 슬러리 의 공급 온도 와 워크 의 온도 와 의 차이 를 3 ℃ 으로 했 기 때문 에 , 워크 의 절단 개시 시 의 워크 의 온도 의 변화 에 의한 Warp 의 악화 의 억제 가 실시 예 1 에 비해 충분 하 지 않 았 기 때문 이 다 .