플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 각 구성 부 는 제 어부 ( 50 ) 에 접속 되 어 제어 되 는 구성 으로 되 어 있 다 . 제 어부 ( 50 ) 는 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , CPU 를 구비 한 프로세스 제어기 ( 51 ) 와 , 이 프로세스 제어기 ( 51 ) 에 접속 된 사용 자 인터페이스 ( 52 ) 및 기억 부 ( 53 ) 를 구비 하 고 있 다 . 프로세스 제어기 ( 51 ) 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 에서 압력 , 온도 , 가스 유량 등 의 프로세스 조건 에 관계 되 는 각 구성 부 ( 예컨대 , 히터 전원 ( 5 a ) , 가스 공급 기구 ( 18 ) , 배기 장치 ( 24 ) , 마이크로파 발생 장치 ( 39 ) 등 ) 를 총괄 하 여 제어 하 는 제어 수단 이 다 .