이 후 , 커버 부재 ( 5 ) 를 상승 시켜 퇴피 위치 에 위치 시키 고 또 한 컵 체 ( 2 ) 를 하강 시킨다 . 이어서 , 하우징 ( 11 ) 의 셔터 ( 12 ) 를 열 어 도시 하 지 않 은 외부 의 웨이퍼 반송 기구 의 반송 암 ( 도시 하 지 않 음 ) 을 하우징 ( 11 ) 내 에 진입 시키 고 , 빈 반송 암 을 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( W ) 의 하방 에 위치 시킨 후 에 상승 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 의 흡착 을 정지 한 상태 의 웨이퍼 유지 부 ( 3 ) 로부터 반송 암 이 웨이퍼 ( W ) 를 수취 한다 . 이 후 , 웨이퍼 를 유지 한 반송 암 이 하우징 ( 11 ) 내 로부터 퇴출 한다 .