예시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 제어기 ( 80 ) 는 기판 처리 장치 ( 10 ) 를 제어 하 기 위하 여 제어기 ( 80 ) 에 연결 된 다양 한 구성 요소 들 의 동작 을 제어 할 수 있 다 . 제어기 ( 80 ) 는 제어 모듈 로서 , 프로세서 , 메모리 및 하나 이상 의 인터페이스 들 을 포함 할 수 있 다 . 제어기 ( 80 ) 는 센싱 된 값 들 에 기초 하 여 제어기 ( 80 ) 에 연결 된 구성 요소 들 을 제어 할 수 있 다 .