비어 형성 방법 은 , 예 를 들 어 , DRIE 또는 레이저 드릴 기술 중 하나 일 수 도 있 다 . 쓰루 - 홀 접속 부 를 충 진하 기 위한 재료 는 , 예 를 들 어 , Cu , 폴리 - Si , W 및 도전체 폴리머 를 포함 한다 . 충 진 프로세스 는 , 예 를 들 어 , ECD ( 전기 화학 증착 ) , CVD ( 화학 기상 증착 ) , 코팅 등 을 포함 할 수 있 다 .