또한 , 표면 처리 조성물 a - 1 및 A - 1 내지 A - 4 를 사용 하 여 , 상기 에 나타내 는 세정 조건 에서 연마 완료 연마 대상물 ( 연마 완료 질화규소 기판 ) 을 세정 한 후 의 유기물 잔사 의 수 를 , 가부 시키 가이샤 히다치 세이사쿠 쇼 제 Review SEM RS 6000 을 사용 하 여 , SEM 관찰 에 의해 측정 하 였 다 . 우선 , SEM 관찰 로 , 연마 완료 연마 대상물 의 편면 의 외주 단부 로부터 폭 5 mm 의 부분 ( 외주 단부 를 0 mm 라고 하 였을 때 , 폭 0 mm 부터 폭 5 mm 까지 의 부분 ) 을 제외 한 남 은 부분 에 존재 하 는 이물 을 100 개 샘플링 하 였 다 . 이어서 , 샘플링 한 100 개 의 이물 중 에서 SEM 관찰 로 눈 으로 보 아 유기물 잔사 를 판별 하 고 , 그 개수 를 확인 함 으로써 , 이 물 중 의 유기물 잔사 의 비율 ( ％) 을 산출 하 였 다 . 그리고 , 상술 한 이 물수 의 평가 에서 KLA TENCOR 사제 SP - 2 를 사용 하 여 측정 한 0 . 09 ㎛ 이상 의 이 물수 ( 개 ) 와 , SEM 관찰 결과 로부터 산출 한 이물 중 의 유기물 잔사 의 비율 ( ％) 의 곱 을 , 유기물 잔사 수 ( 개 ) 로서 산출 하 였 다 .