도입 덕트 ( 1 ) 는 필터 ( 17 ) 및 풍향 판 ( 18 ) 을 구비 하 고 있 다 . 도입 덕트 ( 1 ) 에 는 도시 되 지 아니한 고압 클린 에어 , CDA ( 클린 드라이 에어 ) 또는 블로어 로부터 나오 는 공기 가 공급 된다 . 필터 ( 17 ) 는 아래쪽 으로 통과 하 는 공기 로부터 먼지 를 제거 한다 . 풍향 판 ( 18 ) 은 도입 덕트 ( 1 ) 로부터 공기 를 내뿜 는 방향 을 반송 방향 X 의 상류 측 으로 향하 게 한다 .