후속 공정 으로 , 메탈 콘 택 마스크 ( 36 ) 를 식각 마스크 로 이용 한 메탈 콘 택 식각 공정 을 진행 하 는데 , 메탈 콘 택식 각 공정 은 캐 패 시터 의 플레이트 노드 에 연결 되 는 메탈 배선 과 주변 영역 의 활성 영역 및 비트 라인 에 연결 되 는 메탈 배선 을 형성 하 기 위한 메탈 배선 의 콘 택 공정 으로서 , " 통상 적 으로 "" M 1 C "" 공정 이 라 일컫 는 것 으로서 ", 본 발명 은 메탈 콘 택식 각 공정 을 2 단계 에 걸쳐서 진행 한다 . 이하 , 설명 의 편의 를 위해 주변 영역 의 비트 라인 상부 를 개방 시키 는 메탈 콘 택식 각 공정 에 대해서 만 설명 하 기 로 한다 .