본 발명 은 , 상술 한 문제점 을 해결 하 기 위해 안출 한 것 으로 , SPM 기반 나노 정보 저장 장치 의 헤드 에 있 어서 , 캔틸레버 와 탐침 을 모두 질화 막 을 이용 하 여 구성 함 으로써 캔틸레버 두께 와 탐침 의 높이 를 균일 하 게 하 고 탐침 의 내구 성 을 높이 는 동시 에 , 열 기록 시 에 사용 되 는 히터 와 열 감지 시 에 사용 되 는 저항 센서 로 사용 되 는 저항체 를 폴리 실리콘 과 같 은 증착 균 일도 가 높 은 물질 을 이용 하 여 형성 시킴 으로써 저항 균 일도 를 높이 는 SPM 기반 나노 정보 저장 장치 의 헤드 및 그 제조 방법 을 제공 하 는 데 에 그 목적 이 있 다 .