상기 제 1 및 제 2 가스 분사 영역 각각 은 상기 기판 지지 부 상 에 교대 로 배치 되 고 , 상기 단계 ( C ) 는 상기 제 1 가스 분사 모듈 을 통해 상기 제 1 가스 또는 상기 플 라즈 마 화 된 제 1 가스 를 분사 하 는 제 1 가스 분사 단계 와 상기 제 2 가스 분사 모듈 을 통해 상기 플 라즈 마 화 된 제 2 가스 를 분사 하 는 제 2 가스 분사 단계 를 동시 에 수행 하 거나 순차 적 으로 수행 할 수 있 다 .