그러나 , 처리 챔버 가 동일 한 면상 에 수평 으로 정렬 되 는 한 , 상기 처리 챔버 의 개수 를 증가 시키 면 , 상기 장치 에 의해 점유 되 는 바닥 면적 , 즉 풋 프린트 ( footprint ) 가 증가 된다 . 한정 된 공간 에서 , 이것 은 설치 될 수 있 는 장치 들 의 개수 를 감소 시킨다 . 한편 , 상기 처리 챔버 를 서로 의 상부 에 수직 으로 적층 하 는 경우 에 는 , 유지 보수성 ( maintainability ) 이 어려워질 수 있 다 .