기대 ( 33 ) 에 는 , 급 전봉 ( 50 ) 이 접속 되 어 있 다 . 급 전봉 ( 50 ) 에 는 , 제 1 조정기 ( 41 a ) 를 거쳐서 제 1 RF 전원 ( 40 a ) 이 접속 되 고 , 또한 제 2 조정기 ( 41 b ) 를 거쳐서 제 2 RF 전원 ( 40 b ) 이 접속 되 어 있 다 . 제 1 RF 전원 ( 40 a ) 은 플라 즈 마 발생 용 의 전원 이 고 , 이 제 1 RF 전원 ( 40 a ) 으로부터 는 소정 의 주파수 의 고주파 전력 이 탑재 대 ( 31 ) 의 기대 ( 33 ) 에 공급 되 도록 구성 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 RF 전원 ( 40 b ) 은 이온 인입 용 ( 바이어스 ( bias ) 용 ) 의 전원 이 고 , 이 제 2 RF 전원 ( 40 b ) 으로부터 는 제 1 RF 전원 ( 40 a ) 보다 낮 은 소정 주파수 의 고주파 전력 이 탑재 대 ( 31 ) 의 기대 ( 33 ) 에 공급 되 도록 구성 되 어 있 다 .