이 와 같 은 막 두께 방향 으로 굴절 률 이 상이 한 반사 방지 층 ( 160 ) 은 , 예 를 들 면 , Si 를 타 겟 으로 한 스퍼터링 법 으로 성막 할 수 있 다 . 이 경우 , 성막 초기 에서 Ar ＋ N 2 가스 를 스퍼터링 가스 로서 사용 하 여 질화 실리콘 막 을 성막 한다 . 그리고 , 성막 하 면서 서서히 N 2 가스 를 O 2 가스 로 치환 하 여 감 으로써 막 의 굴절 률 을 감소 시켜 , 최후 에 Ar ＋ O 2 가스 로 스퍼터 성막 을 행한다 . 이 로써 , 굴절 률 이 약 2 . 0 으로부터 약 1 . 46 까지 경사진 막 을 얻 을 수 있 다 .