각 제어판 ( 80 ) 의 Z 축 방향 의 길 이 L 을 75 ㎜ 로 하 고 , 증착 원 개구 ( 62 ) 의 상단 부 로부터 제어판 ( 80 ) 의 하단 부 까지 의 Z 축 방향 간격 Lz 를 30 ㎜ 로 하 고 , 제어판 ( 80 ) 의 상단 부 로부터 기판 ( 10 ) 의 피 증착 면 ( 10 e ) 까지 의 거리 를 100 ㎜ 로 하 는 것 이외 는 , 각 부 의 치수 는 실시 예 1 과 동일 하 게 하 였 다 .