본 실시 형태 에서 는 , 차광판 ( 320 ) 의 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 의 길 이 방향 이 Y 방향 인 경우 를 예시 적 으로 설명 했 다 . 그러나 , 도 14 에 도시 된 바 와 같 은 , 측정 패턴 ( 210 ) 을 90 ° 회전 시켜 형성 된 측정 패턴 ( 210 ') 을 포함 한 측정 마스크 ( 20 F ) 와 , 도 15 에 도시 된 바 와 같 은 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 를 90 ° 회전 시켜 형성 된 개구부 ( 322 ') 를 포함 한 차광판 ( 320 ) 을 가지 는 측 정부 ( 30 F ) 를 사용 해도 된다 . 측정 마스크 ( 20 F ) 는 길 이 방향 이 Y 방향 인 차 광부 ( 212 ) 를 포함 한 측정 패턴 ( 210 ) 과 , 길 이 방향 이 X 방향 인 차 광부 ( 212 ) 를 포함 한 측정 패턴 ( 210 ') 을 가진다 . 측 정부 ( 30 F ) 는 길 이 방향 이 Y 방향 인 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ) 와 , 길 이 방향 이 X 방향 인 슬릿 형상 의 개구부 ( 322 ') 를 포함 한 차광판 ( 320 ) 을 가진다 . 여기 서 , 도 14 는 , 측정 마스크 ( 20 F ) 를 도시 한 개략 상면 도 이 다 . 도 15 는 측 정부 ( 30 F ) 를 도시 한 개략 상면 도 이 다 .