도시 된 실시 예 에서 , 천장 ( 120 ) 은 실질 적 으로 평면형 유전체 부재 이 다 . 공정 챔버 ( 100 ) 의 다른 실시 예 들 은 다른 타입 의 천장 , 예 를 들 면 돔 형 ( dome - shaped ) 천장 을 가질 수 있 다 . 천장 ( 120 ) 위 에 는 하나 또는 둘 이상 의 유도 성 코일 요소 를 포함 하 는 안테나 ( 112 ) 가 배치 된다 ( 두 개 의 공동 축선 의 코일 요소 들 이 예시 적 으로 도시 된다 ) . 안테나 ( 112 ) 는 제 1 정합 네트워크 ( 170 ) 를 통하 여 , 무선 - 주파수 ( RF ) 플라 즈 마 전원 ( 118 ) 으로 결합 된다 .