또한 , 반응 가스 노즐 ( 31 ) 로부터 디 클로로 실란 ( DCS , SiH 2 Cl 2 ) 이 공급 되 고 , 반응 가스 노즐 ( 32 ) 로부터 질화 가스 로서 암모니아 ( NH 3 ) 가 공급 되 고 , 반응 가스 노즐 ( 33 ) 로부터 염소 ( Cl 2 ) 가 공급 되 는 예 를 들 어 설명 한다 . 또한 , 플라스마 발생기 ( 80 , 80 a ) 는 양쪽 모두 탑재 되 고 , 염소 가스 및 암모니아 가스 의 양쪽 모두 활성 화 되 고 , 이온 화 또는 라디칼 화 하 여 공급 되 는 경우 를 예 로 들 어 설명 한다 .