도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 본 발명 의 또 다른 실시 예 에 따른 기판 지지대 ( 300 ) 는 , 기판 ( S ) 의 적어도 일부분 이 안착 될 수 있 도록 포켓 홈 부 ( 30 ) 내 에 배치 되 고 , 여유 공간 형성 부 ( 20 ) 와 연통 된 복수 의 연통 홀 부 ( 52 ) 를 포함 하 는 커버 플레이트 ( 50 ) 를 포함 할 수 있 다 .