도 5 , 6 , 7 에서 는 트렌치 ( 32 ) 들 이 마스크 ( 35 ) 를 이용 한 실리콘 ( 12 ) 내로 의 플 라즈 마 에칭 에 의해 기판 ( 10 ) 에 대해 뻗 어 가 게 된다 . 일 실시 예 에서 는 플 라즈 마 에칭 이 SF 6 , 산소 - 함유 화합물 , 그리고 질소 - 함유 화합물 을 포함 하 는 프리 커서 기체 를 이용 하 여 에칭 플 라즈 마 를 형성 하 는 단계 를 포함 한다 . 산소 - 함유 화합물 과 질소 - 함유 화합물 은 서로 다른 화합물 을 포함 할 수 도 있 고 동일 한 화합물 을 포함 할 수 도 있 다 . 일 실시 예 에서 는 산소 - 함유 화합물 이 O 2 를 포함 하 고 , 질소 - 함유 화합물 이 N 2 를 포함 한다 . 동일 화합물 로 나타나 는 산소 - 함유 화합물 과 질소 - 함유 화합물 은 NOx 로 표시 되 며 , 이때 , X 는 가령 1 내지 3 의 값 을 가진다 .