시일 부재 ( 26 ) 는 제 1 정전 척 ( 21 ) 의 맞닿 음 부 ( 212 ) 와 에지 링 ( 25 ) 의 내 측면 ( 254 ) 에 맞닿 는다 . 그리하여 , 탄성체 인 시일 부재 ( 26 ) 의 복원력 에 의해 , 에지 링 ( 25 ) 에 는 직경 방향 바깥쪽 의 힘 이 작용 한다 . 이 로써 , 에지 링 ( 25 ) 이 제 2 정전 척 ( 22 ) 으로부터 들뜨 는 방향 으로 힘 이 작용 하 는 것 을 억제 할 수 있 다 .