에 어 공급 블럭 ( 200 ) 은 흡입 블럭 ( 100 ) 의 중 공부 ( 110 ) 에 대응 하 는 형상 을 가지 며 흡입 블럭 ( 100 ) 의 중 공부 ( 110 ) 의 내 주연 에 대하 여 일정 한 간격 이 유지 되 도록 이격 된 상태 에서 기판 ( C ) 으로부터 일정 높이 로 구비 되 어 에어 를 분사 하 기 위한 분사 모듈 ( 210 ) , 에어 를 공급 받 아 분사 모듈 ( 210 ) 에 대하 여 에어 를 분배 시키 기 위한 분배 모듈 ( 220 ) , 및 분배 모듈 ( 220 ) 을 분사 모듈 ( 210 ) 에 대하 여 안착 결합 시키 며 분사 모듈 ( 210 ) 의 높이 를 기판 ( C ) 에 대하 여 조절 할 수 있 도록 하 기 위한 조절 결합 모듈 ( 230 ) 로 이루어진다 .