상기 건조 단계 는 예 를 들 면 , 자연 건조 , 에 어 건조 , 원적외선 건조 , 마이크로파 건조 , 가열 건조 , 열풍 건조 , 감압 건조 등 을 들 수 있 으며 , 도포 된 감광성 수지 조성물 이 균일 하 게 도포 된 상태 를 유지 하 기 위해 , 감압 건조 인 것 이 바람직 하 고 , 상기 소프트 베 이크 온도 조건 은 80 내지 120 ℃ 인 것 이 바람직 하 나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 상기 소프트 베 이크 온도 조건 이 상기 범위 를 만족 하 는 경우 , 다음 단계 를 위해 도포 된 감광성 수지 조성물 을 흐트러짐 없이 안정 된 상태 로 유지 할 수 있 어 바람직 하 다 . 또한 , 상기 소프트 베 이크 시간 은 1 분 내지 10 분 일 수 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .