또한 , 애 싱 장치 는 쳄버를 구비 하 고 있 다는 점 에서 장치 전체 가 대형 화 된다 . 본 발명 의 레지스 트 박리 방법 에 의해 회화 처리 를 생략 할 수 있 으면 큰 쳄버를 필요 로 하 지 않 으므로 장치 전체 를 공간 절약 화 할 수 있 다 . 또한 , 진공 으로 할 필요 도 없 다는 점 에서 쳄버를 진공 처리 할 필요 가 없 다 . 이 때문 에 단시간 에 레지스 트 박리 를 할 수 있 다 .