이어서 , 플라스마 조사 후 의 제 1 내 파티클 층 ( 21 ) , 제 2 내 파티클 층 ( 22 ) 의 표면 ( 202 ) 의 상태 를 레이저 현미경 에 의해 촬영 했 다 . 구체 적 으로 는 레이저 현미경 「 OLS 4500 / Olympus Corporation 제 」 를 사용 하 고 , 대물 렌즈 는 MPLAPON 100 xLEXT ( 개구 수 0 . 95 , 작동 거리 0 . 35 ㎜, 집광 스폿 지름 0 . 52 ㎛, 측정 영역 128 × 128 ㎛) 를 사용 하 고 , 배율 을 100 배 로 했 다 . 물결 성분 제 거의 λ c 필터 는 25 ㎛ 로 설정 했 다 . 측정 은 임의 의 3 개소 에서 행하 고 , 그 평균값 을 산술 평균 높이 Sa 라고 했 다 . 그 외 3 차원 표면 성상 국제 규격 ISO 25178 을 적당히 참조 했 다 . 기준 내 플라스마 성 시험 전후 의 샘플 1 에 있 어서 의 제 1 내 파티클 층 ( 21 ) , 제 2 내 파티클 층 ( 22 ) 의 표면 의 산술 평균 높이 Sa 의 값 은 표 1 에 나타내 는 바 와 같 았 다 .