이러 한 상태 에서 , 웨이퍼 ( 7 ) 의 계획 된 처리 ( 예 를 들 어 , 코팅 ) 는 진공 조건 들 하 에서 , 특히 정의 된 ( 즉 , 특정 처리 가스 를 갖 는 ) 대기 에서 발생 한다 . 이 를 위해 , 챔버 ( 4 ) 는 진공 펌프 에 커플링 되 고 , 바람직 하 게 는 챔버 압력 을 조절 하 기 위한 진공 조절 밸브 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 커플링 된다 .