여기 서 , 상기 역 세정 장치 부 는 , 순수 ( pure water ) 를 공급 할 수 있 는 순수 공급 부 와 , 역 세정 을 위한 순수 가 공급 될 수 있 도록 상기 순수 공급 부 로부터 상기 필터 하류 측 배관 사이 에 연결 된 순수 공급 배관 과 , 필터 역 세정 후 통과 한 물 이 배출 될 수 있 도록 상기 필터 상류 측 배관 에 설치 된 배출 배관 과 , 상기 순수 공급 배관 및 배출 배관 에 설치 된 개폐 밸브 를 포함 하 여 구성 되 는 것 을 특징 으로 한다 .