본 명세서 에 있 어서 , 실릴 기 는 ― SiRxRyRz 의 화학식 으로 표시 될 수 있 고 , 상기 Rx , Ry 및 Rz 는 서로 같 거나 상이 하 고 , 각각 독립 적 으로 수소 ; 치환 또는 비 치환 된 알킬기 ; 또는 치환 또는 비 치환 된 아릴기 일 수 있 다 . 상기 실릴 기 는 구체 적 으로 트리 메틸 실릴 기 ; 트리 에틸 실릴 기 ; t - 부틸 디 메틸 실릴 기 ; 비닐 디 메틸 실릴 기 ; 프로 필디 메틸 실릴 기 ; 트리 페닐 실릴 기 ; 디페닐 실릴 기 ; 페닐 실릴 기 등 이 있 으나 , 이 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .