처리 실 ( 201 ) 내부 가 원 하 는 압력 ( 진공도 ) , 즉 제 1 압력 이 되 도록 ( 듯이 ) 진공 배기 장치 ( 246 ) 에 의해 진공 배기 된다 . 이 때 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 은 압력 센서 ( 245 ) 로 측정 되 고 , 이 측정 된 압력 에 기초 하 여 압력 조정 장치 ( 242 ) 가 피드백 제어 된다 . 또한 , 처리 실 ( 201 ) 내부 가 원 하 는 온도 , 즉 제 1 온도 가 되 도록 , 히터 ( 206 ) 에 의해 가열 된다 . 이 때 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 가 원 하 는 온도 분포 가 되 도록 , 온도 센서 ( 263 ) 가 검출 한 온도 정보 에 기초 하 여 히터 ( 206 ) 에 대한 통전 상태 가 피드백 제어 된다 . 처리 실 ( 201 ) 내부 의 압력 , 온도 가 , 각각 제 1 압력 , 제 1 온도 에 도달 하 면 , 그 압력 , 온도 가 유지 되 도록 제어 가 수행 된다 . 이어서 , 회전 기구 ( 254 ) 에 의해 보트 ( 217 ) 가 회전 된다 . 한편 , 보트 ( 217 ) 는 회전 시키 지 않 아도 된다 .