도 1 중의 「 G 」 는 각 실 간 및 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 와 진공 반 송실 ( 13 ) 사이 를 칸막이 하 는 개폐 가능 한 게이트 밸브 ( 칸막이 밸브 ) 이 다 . 통상 , 게이트 밸브 ( G ) 는 폐쇄 되 어 있 고 , 각 실 간 및 각 모듈 과 진공 반 송실 ( 13 ) 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 반송 할 때 에 개방 된다 .