다음 으로 , WOx 의 증착 에 대해 설명 하 면 , 기판 온도 가 200 ~ 350 ℃ 이 고 , 압력 이 0 . 1 ~ 10 torr 인 챔버 내부 에 WF 6 와 같 은 W 소스 를 5 ~ 500 sccm 유량 으로 플로우 시켜 W 소스 를 흡착 시킨다 . 이어서 , 미 반응 W 소스 를 제거 하 기 위해 N 2 가스 를 플로우 시키 는 퍼지 공정 을 진행 한다 . 계속 해서 , 산소 공급원 인 O 3 가스 를 5 ~ 500 sccm 유량 으로 플로우 시켜 흡착 된 W 소스 와 O 3 가스 간 의 반응 을 유도 하 여 WOx 원자 층 을 증착 한다 . 이어서 미 반응 O 3 가스 및 반응 부산물 을 제거 하 기 위해 퍼지 가스 를 플로우 시키 는 퍼지 공정 을 진행 한다 .