상기 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 특징 에 따르 면 , 본 발명 은 , 파우더 형태 의 다이 머 페럴 린 을 투입 하 여 다 이 머 페럴 린 을 기화 시키 는 기화 단계 ; 기화 된 다이 머 페럴 린 을 분 해부 로 이송 하 는 제 1 이송 단계 ; 상기 분 해부 를 통해 다 이 머 페럴 린 을 가열 하 여 모노머 페럴 린 으로 변환 시키 는 분해 단계 ; 상기 분 해부 의 다이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 이송 하 는 제 2 이송 단계 ; 및 다 이 머 페럴 린 및 모노머 페럴 린 을 확산 시켜 대상물 표면 에 폴리머 필름 막 을 형성 하 는 증착 단계 ; 그리고 상기 분해 단계 또는 증착 단계 를 마치 고 이송 된 페럴 린 부산물 을 응축 시키 는 냉각 단계 ; 를 포함 한다 .