이때 , 스테이지 ( 100 ) 에 대한 그립 유닛 의 틸팅 각도 ( 기판 ( 10 ) 의 틸팅 각도 ) 는 0 . 1 °~ 3 ° 로 형성 됨 이 바람직 하 다 . 즉 , 기판 ( 10 ) 의 틸팅 각도 가 높 아 질수록 ( 예 를 들 어 , 3 ° 를 초과 하 게 되 면 ) , 기판 ( 10 ) 의 우 측변 ( 도 7 기준 ) 의 높이 가 높 아 지 기 때문 에 , 그립 퍼 ( 220 ) 에 의한 그립 해제 에 의해 기판 ( 10 ) 이 낙하 할 시 기판 ( 10 ) 이 손상 되 거나 파손 될 우려 가 있 고 , 기판 ( 10 ) 의 로딩 시간 이 증가 하 여 공정 효율 이 저하 되 기 때문 에 , 스테이지 ( 100 ) 에 대한 그립 유닛 의 틸팅 각도 ( 기판 ( 10 ) 의 틸팅 각도 ) 는 0 . 1 °~ 3 ° 로 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .