본 명세서 에 사용 된 용어 ' 금속 성 박막 ' 또는 ' 도전체 ' 는 금속 , 도전 성 금속 질화물 , 도전 성 금속 산화물 , 도전 성 산화 질화물 , 실리사이드 , 금속 합금 등 또는 이 들 의 조합 막 을 가리킨다 . 금속 은 예 를 들 어 알루미늄 ( Al ) , 구리 ( Cu ) , 텅스텐 티타늄 ( TiW ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 텅스텐 ( W ) 등 을 포함 하 며 여기 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 도전 성 금속 질화물 은 예 를 들 어 질화 티타늄 ( TiN ) , 질화 탄 탈륨 ( TaN ) , 질화 몰리브덴 ( MoN ) , 질화 니오븀 ( NbN ) , 질화 실리콘 티타늄 ( TiSiN ) , 질화알루미늄 티타늄 ( TiAlN ) , 질화 보론 티타늄 ( TiBN ) , 질화 실리콘 지르코늄 ( ZrSiN ) , 질화 실 리 콘 텅스텐 ( WSiN ) , 질화 보론 텅스텐 ( WBN ) , 질화알루미늄 지르코늄 ( ZrAlN ) , 질화 실리콘 몰리브덴 ( MoSiN ) , 질화알루미늄 몰리브덴 ( MoAlN ) , 질화 실리콘 탄 탈륨 ( TaSiN ) , 질화알루미늄 탄 탈륨 ( TaAlN ) 등 을 포함 하 며 여기 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 도전 성 산화 질화물 은 질화 산화 티타늄 ( TiON ) , 질화 산화알루미늄 티타늄 ( TiAlON ) , 질화 산화 텅스텐 ( WON ) , 질화 산 화탄 탈륨 ( TaON ) 등 을 포함 하 며 여기 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 도전 성 금속 산화물 은 산화 이리듐 ( IrO ) , 산화 루테늄 ( RuO ) 등 의 도전 성 귀금속 산화물 을 포함 하 며 여기 에 한정 되 는 것 은 아니 다 .