예 를 들 어 , 에칭 공정 후 의 웨이퍼 의 세정 처리 에서 는 웨이퍼 의 표면 에 세정 처리 를 위한 약액 이 공급 되 고 , 그 후 에 탈 이온 수 ( deionized water , DIW ) 가 공급 되 어서 린스 ( rinse ) 처리 가 행해진다 . 린스 처리 후 에 는 웨이퍼 표면 에 남 아 있 는 탈 이 온수 를 제거 해서 웨이퍼 를 건조 하 는 건 조 처리 가 행해진다 .