이 를 위한 본 발명 은 지지 패널 과 반도체 기판 ( 100 ) 의 0 . 7 R 을 지지 하 는 지지링이 일체 로 성형 된 홀더 에 있 어서 , 지지 패널 을 배제 시키 고 지 지 링만 을 성형 시킨 홀더 링 ( 12 ) 을 마련 하 고 , 보트 에 는 이 홀더 링 ( 12 ) 을 보트 내 에 보유 지지 함 과 더불 어 , 피치 간격 에 영향 을 미치 지 않 는 지지 로드 ( 16 ) 를 설치 하 여 컴팩트 한 피치 간격 을 확보 시킨 것 이 다 .