반도체 웨이퍼 가 깨진 상태 에서 대 유량 의 가스 를 공급 하 여 냉각 처리 를 행하 면 , 파티클 의 증가 및 확산 이 발생 하 여 다른 반도체 웨이퍼 를 오염 시킬 우려 가 있 다 . 또한 , 반도체 웨이퍼 가 깨진 상태 에서 분위기 치환 을 위해 챔버 내 를 감압 하 면 , 파편 으로부터 유래 하 는 파티클 을 진공 펌프 가 끌어들여 고장나 는 경우 가 있 다 .