본 개시 의 또 다른 양태 에 따라 , 기판 을 제공 하 는 단계 , 툴 을 진공 시켜서 진공 된 툴 에서 상기 기판 상 에 프로세스 들 을 실행 하 는 단계 , 압력 을 측정 하 는 단계 및 , 진공 된 툴 에서 상기 기판 상 에 프로세스 된 기판 을 형성 하 도록 작업 들 을 수행 하 는 단계 를 포함 하 는 프로세스 가 제공 된다 . 압력 을 측정 하 기 위한 방법 은 마이크 로 채널 플레이트 를 포함 하 는 전자 발생 원 어레이 를 제공 하 는 단계 를 포함 하 고 , 상기 마이크 로 채널 플레이트 는 시드 전자 들 을 발생 시키 기 위한 소스 를 포함 하 는 상기 마이크 로 채널 플레이트 의 전자 발생 부 , 및 상기 전자 발생 부 에 의해 발생 된 시드 전자 들 에 반응 하 여 상기 전자 들 을 증가 시키 는 상기 마이크 로 채널 플레이트 의 전자 멀티플라이어 부를 포함 한다 . 상기 방법 은 전자 들 이 가스 종 들 을 충격 하 는 이온 화 용적 , 및 전자 들 및 가스 종 들 사이 의 충격 에 의해 형성 된 이온 들 을 수집 하 는 콜렉터 전극 을 또한 포함 한다 .