[ 0068 ] 본원 에 설명 된 실시 예 들 과 결합 될 수 있 는 일부 실시 예 들 에서 , 증착 장치 ( 100 ) 의 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) , 진공 챔버 ( 130 ) 밖 으로 적어도 부분 적 으로 연장 된다 . 예컨대 , 공급 어 레인지 먼 트 ( 120 ) , 특히 , 스 티 프 튜브 엘리먼트 ( 210 ) 는 , 진공 챔버 의 제 2 진공 챔버 에 연결 된 측 상 에서 진공 챔버 밖 으로 돌출 될 수 있 다 .