먼저 , 증착 공정 챔버 에 기판 을 투입 하 고 압력 을 증착 가능 수준 으로 낮추 는 단계 , 불화 탄소 계열 의 가스 를 증착 공정 챔버 에 주입 하 여 불소 를 포함 하 는 공정 환경 을 형성 하 는 단계 , TEOS 가스 를 흘리 면서 공정 분위기 를 , 가령 가스 흐름 및 온도 를 안정 화 시키 는 단계 , 증착 공정 챔버 에 플 라즈 마 형성 에너지 를 인가 하 는 단계 를 구비 하 여 이루어질 수 있 다 . 한편 , F - TEOS 막 을 증착 형성 한 뒤 에 는 기판 이 증착 공정 장치 일부 , 가령 커버 플레이트 에 달라붙 는 것 을 막 기 위해 산소 가 공급 될 수 있 다 .