도 8 및 도 9 를 참조 하 면 상기 연마 액 탱크 ( 100 ) 는 상기 제 1 순환 부 ( 400 ) 와 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 를 통해 연마 액 탱크 ( 100 ) 로 재 주입 되 는 연마 액 을 이용 하 여 연마 액 탱크 ( 100 ) 내부 에 위치 된 연마 액 을 순환 시키 는 블랜딩 튜브 ( 110 ) 를 포함 하 고 , 상기 블랜딩 튜브 ( 110 ) 는 도 8 에 도시 된 바 와 같이 상기 연마 액 탱크 ( 110 ) 의 내측 가장자리 면 을 따라 원주 방향 으로 배치 될 수 있 으며 , 상기 블랜딩 튜브 ( 110 ) 는 연마 액 이 배출 되 는 단부 가 도 9 에 도시 된 바 와 같이 일정 각도 로 밴 딩 되 어 , 배출 되 는 연마 액 이 연마 액 탱크 ( 100 ) 내부 에 위치 된 연마 액 의 회전 유동 과 상하 방향 순환 유동 을 야기 할 수 있 다 .