일 실시 예 에 있 어서 , 상기 교대 로 척 킹 하 는 것 은 ; 상기 제 1 및 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 에 의해 기판 이 척 킹 된 상태 에서 상기 제 1 의 척 킹 핀 들 을 척 킹 해제 하 고 ; 상기 제 1 의 척 킹 핀 들 을 다시 척 킹 하 고 ; 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 을 척 킹 해제 하 고 ; 상기 제 2 의 척 킹 핀 들 을 다시 척 킹 하 는 것 을 포함 하 되 ; 공정 이 완료 되 지 않 으면 , 상기 교대 로 척 킹 시키 는 것 을 반복 한다 .