여기 서 , 상기 광학 모듈 은 백색 의 가시 광 으로 이루어진 입사광 을 상기 웨이퍼 표면 에 조사 하 여 반사 되 는 반사광 을 확대 투영 시켜 상기 촬상부로 하여금 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 에 대응 되 는 영상 을 획득 토록 할 수 있 다 . 또한 , 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 은 상기 웨이퍼 표면 에 형성 된 박막 또는 감광막 으로부터 소정 의 단차 를 갖 고 움푹 패인 트렌치 또는 돌출 된 양각 ( block ) 으로 형성 되 어 있 다 .