상기 하부 전극 물질 막 ( 151 m ) 은 예 를 들 면 코발트 ( Co ) , 티타늄 ( Ti ) , 니켈 ( Ni ) , 텅스텐 ( W ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 백금 ( Pt ) , 루테늄 ( Ru ) , 이리듐 ( Ir ) , 티타늄 질화물 ( TiN ) , 탄 탈륨 질화물 ( TaN ) , 티타늄 알루미늄 질화물 ( TiAlN ) , 탄 탈륨 알루미늄 질화물 ( TaAlN ) , 티타늄 실리콘 질화물 ( TiSiN ) , 텅스텐 질화물 ( WN ) , 백금 산화물 ( PtO ) , 루테늄 산화물 ( RuOx ) , 이리듐 산화물 ( IrOx ) , SRO ( SrRuO 3 ) , BSRO ( ( Ba , Sr ) RuO 3 ) , CRO ( CaRuO 3 ) , LSCO ( ( La , Sr ) CoO 3 ) 또는 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 .