그 중간 에서 , 회전 플랫 폼 ( 11 ) 은 반응기 영역 ( 21 ) 내부 에 존재 하 는 기판 상 에서 수행 될 처리 에 관하 여 최적 의 방식 으로 반응기 영역 ( 21 ) 에서 이동 할 수 있 다 . 기판 랙 ( 12 ) 이 기판 핸들링 챔버 ( 22 ) 내 에 충 진 되 고 반응기 챔버 ( 6 , 7 ) 중 하나 에 이용 될 수 있 게 된 후 에 , 이 때 까지 폐쇄 되 었 던 개구 ( 19 ) 는 개방 되 고 , 상기 신규 충 진 된 기판 랙 ( 12 ) 이 회전 플랫 폼 ( 11 ) 상 에 배치 될 수 있 다 . 그 다음 , 상기 회전 플랫 폼 ( 11 ) 은 위치 하나 를 이동 시킬 수 있 고 , 충 진 된 기판 랙 ( 12 ) 은 삽입 아암 ( 14 ) 의 도움 으로 플랫 폼 ( 11 ) 으로부터 반응 챔버 ( 6 , 7 ) 내 로 제거 될 수 있 다 . 완성 된 랙 내 의 처리 기판 은 상기 충 진 된 플랫 폼 ( 11 ) 상 에서 하강 될 수 있 다 . 상기 기판 은 카세트 에서 마무리 하 기 위해 위 로 이동 계수기 를 실행 한다 .