1 : 실리콘 웨이퍼 , 2 : 소자 간 분리 막 , 3 : 사이드 월 절 연막 , 4 : 게이트 전극 , 5 a : 소스 확산 층 , 5 b : 드레 인 확산 층 , 6 : 층간 절 연막 , 7 : 스토퍼 막 , 8 : TiN , 9 : 도체 플러그 , 10 : 저 유전율 피막 ( 배선 분리 절 연막 ) , 11 : TEOS - SiO 2 막 , 12 : 표면 소수 화 막 , 13 : SiOC 막 , 14 : SiN 막 , 15 : 저 유전율 절 연막 , 16 : TEOS - SiO 2 막 , 17 : Cu 층 , 18 : Cu 층 , 19 : 캡 층 , 20 : 표면 소수 화 막 , 21 : 콘택트 홀 , 22 : 배선 홈 , 23 : 시드 층 , 24 : 배선 층 , 25 : 비아 , 26 : 배선 홈 , 27 : 시드 층 , 28 : 비아 , 29 : 배선 층 , 30 : 비아 구멍 , 31 : 절 연막 , 32 : TiN 배리 어 메탈 층 , 33 : 콘택트 홀 , 34 : 패시 베이 션 막 , 35 : 전극 패드 , 111 : 배선 , 112 : 배리어 메탈 층 , 113 : 표면 소수 화 막 , 114 : 절 연막