얼라인먼트 계 ( ALG ) 는 , 투영 유닛 의 중심 ( 투영 광학계 ( PL ) 의 광축 ( AX ) ( 본 실시 형태 에서 는 , 전술 한 노광 영역 ( IA ) 의 중심 에 일치 ) ) 로 부터 - Y 측 으로 소정 거리 이격 된 위치 에 배치 되 고 , 메인 프레임 ( 미 도시 ) 에 유지 되 어 있 다 . 얼라인먼트 계 ( ALG ) 로서 , 예 를 들 어 , 화상 처리 방식 의 FIA ( Field Image Alignment ) 계 가 이용 된다 . 얼라인먼트 계 ( ALG ) 는 , 웨이퍼 얼라인먼트 등 시 에 , 주제 어 장치 ( 20 ) 의 지시 에 따라 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 또는 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 상 의 기준 마크 또는 웨이퍼 상 의 얼라인먼트 마크 ( 웨이퍼 마크 ) 를 촬상 하 고 , 그 촬상 신호 를 신호 처리 계 ( 미 도시 ) 를 통해 주제 어 장치 ( 20 ) 에 공급 한다 ( 도 7 참조 ) .