제 2 매거진 로더 ( 135 ) 는 복수 의 스퍼터링 용 프레임 ( 50 ) 이 적층 된 상태 로 적재 된 제 2 매거진 ( m 2 ) 이 로딩 되 도록 구성 되 며 , 제 2 매거진 ( m 2 ) 에 적재 된 복수 의 스퍼터링 용 프레임 ( 50 ) 은 순차 적 으로 제 2 이 송부 ( 140 ) 에 의해 상부 작업 테이블 ( 120 ) 로 공급 될 수 있 다 .