상기 온도 차 비교 단계 ( S 620 ) 에서 는 상기 제 1 전극 의 온도 와 상기 제 2 전극 의 온도 의 온도 차이 값 과 온도 차 에 대한 제 1 설정 범위 를 비교 하 거나 , 상기 제 1 전극 의 온도 와 상기 기판 지지 부 의 온도 의 온도 차이 값 과 온도 차 에 대한 제 2 설정 범위 를 비교 할 수 있 다 . 이때 상기 제 1 설정 범위 는 80 ℃ 내지 120 ℃ 의 범위 로 설정 하 고 , 제 2 설정 범위 는 230 ℃ 내지 280 ℃ 의 범위 로 설정 하 는 것 이 바람직 하 다 .