상기 한 바 와 같이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 파손 방지 이재 로봇 시스템 을 이용 한 이재 동작 은 , 일차 적 으로 로봇 암 ( 230 ) 을 맨 상측 의 슬롯 의 위치 까지 이동 시킨 다음 , 이 차 적 으로 상측 의 변위 센서 ( 312 , 314 ) 에 통해 감지 된 위치 를 기준 위치 로 하 여 이 로부터 이재 하 고자 하 는 슬롯 의 위치 까지 미세 조정 함 으로써 로봇 암 ( 230 ) 을 정확 한 교시 위치 로 이동 시키 는 과정 을 거친다 .