가스 주입기 는 직사각 형 , 정사각형 , 원형 , 다각형 , 육각형 , 또는 임의 의 다른 적절 한 형상 과 같 은 , 임의 의 원 하 는 단면 형상 을 갖 는 긴 채널 을 포함 할 수 있 다 . 가스 주입기 ( 247 ) 는 측면 가스 유동 ( 148 ) 의 대부분 을 중공 팬 또는 중공 평판 화 원추 의 형상 으로 기판 ( 101 ) 의 에지 로 지향 시키 도록 적응 된다 . 가스 채널 ( 249 ) 은 2 개 의 내부 표면 ( 279 , 280 ) 을 포함 한다 . 일 구 현 에서 , 내부 표면 들 ( 279 , 280 ) 은 각각 기판 ( 101 ) 의 에지 에 실질 적 으로 접하 거나 , 기판 지 지체 ( 138 ) 의 기판 지지 표면 의 에지 에 실질 적 으로 접하 는 방향 을 따라 연장 되 도록 구성 된다 . 내부 표면 들 ( 279 , 280 ) 은 각 진 개구 ( 246 ) 로부터 만곡 된 표면 ( 282 ) 까지 연장 된다 . 만곡 된 표면 ( 282 ) 은 기판 ( 101 ) 에 인접 하 고 돌출부 ( 205 ) 의 대향 측면 상 에 있 다 .