게이트 패턴 ( RG 5 , RG 6 ) 은 우선 , 라인 형 리세 스 패턴 ( 205 ) 내부 및 제 1 리세 스 패턴 ( 204 ) 의 측벽 면 에 게이트 절 연막 을 형성 하 고 , 게이트 절 연막 상부 및 라인 형 리세 스 패턴 ( 205 ) 내 에 게이트 전 도막 을 형성 한다 . 이후 게이트 전 도막 상 에 게이트 금속 막 및 게이트 하드 마스크 층 을 형성 하 여 게이트 패턴 ( RG 5 , RG 6 ) 을 형성 한다 .