제 1 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 A , 6 B ) 의 각각 은 , 리니어 모터 등 의 액 츄 에 이터 를 포함 하 는 마스크 스테이지 구동 장치 의 구동 에 의해 , 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 를 유지 한 상태 로 , X 축 , Z 축 및 θ Y 방향 으로 이동 가능 하 다 . 제 1 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 A , 6 B ) ( 나아가 서 는 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) ) 의 위치 정보 는 , 도시 하 지 않 은 레이저 간섭계 에 의해서 계측 된다 . 레이저 간섭계 는 , 제 1 , 제 2 마스크 스테이 지 ( 6 A , 6 B ) 에 설치 된 반사면 을 이용 하 여 제 1 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 A , 6 B ) 의 각각 의 위치 정보 를 계측 한다 . 제 어 장치 ( 7 ) 는 , 레이저 간섭계 의 계측 결과 에 의거 하 여 마스크 스테이지 구동 장치 를 구동 하 고 , 제 1 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 A , 6 B ) 에 유지 되 어 있 는 제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 의 위치 제어 를 실시 한다 . 또한 , 제 1 , 제 2 마스크 스테이지 ( 6 A , 6 B 3 ) 는 , 예 를 들 면 일본국 특개평 8 - 130179 호 공보 ( 대응 미국 특허 제 6 , 721 , 034 호 ) 에 개시 된 조 미동 ( 粗 微動 ) 가능 한 구성 이 라고 하 여도 좋 다 .