도 9 는 실시 형태 에 따른 시뮬레이션 결과 의 다른 일례 를 나타내 는 도 이 다 . 도 9 의 횡축 은 도입 구 ( 20 a ) 로부터 의 위치 ( x ) 를 나타내 고 있 다 . 종축 은 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 를 나타내 고 있 다 . 플 라즈 마로 부터 입 열 되 는 열량 을 반 으로 한 경우 라도 , 본 실시 형태 에 따른 유로 ( 20 ) 는 , 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 를 대략 균일 하 게 할 수 있 다 . 한편 , 비 교예 에 따른 유로 ( 120 ) 는 , 배치 대 ( 2 ) 의 상면 의 온도 가 유로 ( 120 ) 를 따라 상승 한다 .