상기 도핑 된 폴리 실리콘 막 ( 204 ) 은 P 형 불순물 이 도핑 된 폴 실리콘 막 이 고 , 상기 제 1 확산 방지 막 ( 206 ) 은 Ti 막 , TiN 막 , WN 막 및 비정질 실리콘 막 중 선택 된 적어도 하나 이상 의 막 이 며 , 상기 씨드 막 ( 208 ) 은 WSix 막 이 다 . 그리고 , 상기 제 2 확산 방지 막 ( 210 ) 은 질화 막 계열 의 막 , 예컨데 , WN 막 및 TiN 막 이 고 , 상기 금속 막 ( 212 ) 은 W 막 이 며 , 상기 하드 마스크 막 ( 214 ) 은 질화 막 이 다 .