제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 에 는 , 게이트 밸브 ( 133 ) 를 거쳐서 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 가 연결 된다 . 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 는 , 성막 , 에칭 , 애 싱 , 산화 , 질화 , 도핑 , 확산 등 의 군 으로부터 선택 된 적어도 하나 의 프로세스 , 또는 이 들 의 군 으로부터 선택 되 어서 세트 를 이루 는 복수 의 프로세스 를 실행 하 도록 구성 된다 . 제 2 로드 록 챔버 ( 113 ) 의 중심 과 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 의 중심 을 연결 한 선 은 , 로더 모듈 ( 102 ) 의 길 이 방향 ( Y 방향 ) 에 대하 여 예각 으로 교차 한다 . 2 개 의 제 2 프로세스 챔버 유닛 ( 115 ) 은 V 자형 형상 을 이루 도록 제 2 대기 반송 유닛 에 연결 된다 . 그리고 , 이 Ｖ 자 라인 을 따라 제 2 프로세스 챔버 ( 114 ) 에 대한 기판 의 반송 ( 출납 ) 이 실행 된다 .