암모늄 플 루 오 라 이드 에 추가 로 , 이용 된 플 루오 라이드 소스 는 이 분야 의 당업자 에게 알려진 암모늄 플 루 오 라 이드 에 대한 적합 한 대체물 로서 다양 한 다른 플 루오 라이드 ( 테트라메틸 암모늄 플 루오 라이드 및 테트라 부틸 암모늄 플 루오 라이드 와 같 은 다양 한 테트라 알킬 암모늄 플 루오 라이드 , 및 히 드로 플루오르 산 및 플 루 오로 붕산 을 포함 ) 을 포함 할 수 있 다 .