상기 피드 스루 유닛 ( 230 ) 은 상기 컨테이너 ( 110 ) 의 외벽 에 착 탈 가능 하 게 조립 되 는 베이스 플레이트 ( 231 ) 와 , 상기 베이스 플레이트 ( 231 ) 를 관통 하 여 컨테이너 ( 110 ) 내부 의 RF 전원 라인 ( L 1 ) 과 컨테이너 ( 110 ) 외부 의 RF 전원 라인 ( L 1 ) 을 전기 적 으로 연결 하 는 제 1 연결부 ( 232 ) 와 , 상기 베이스 플레이트 ( 231 ) 를 관통 하 여 컨테이너 ( 110 ) 내부 의 DC 전원 라인 ( L 2 ) 과 컨테이너 ( 110 ) 외부 의 DC 전원 라인 ( L 2 ) 을 전기 적 으로 연결 하 는 제 2 연결부 ( 233 ) 및 상기 베이스 플레이트 ( 231 ) 를 관통 하 여 컨테이너 ( 110 ) 내부 의 가스 라인 ( L 3 ) 과 컨테이너 ( 110 ) 외부 의 가스 라인 ( L 3 ) 을 연결 하 는 제 3 연결부 ( 234 ) 를 포함 한다 .