상기 배기 라인 ( 272 ) 에서 상기 진공 펌프 ( 274 ) 보다 상류 측 에 는 트랩 ( 276 ) 이 설치 될 수 있 다 . 상기 트랩 ( 276 ) 은 예 를 들 면 반응 챔버 ( 254 ) 내 에서 완전히 반응 하 지 못한 공정 가스 에 의해 발생 하 는 반응 부산물 들 을 포착 하 여 , 하류 측 의 진공 펌프 ( 274 ) 에 유입 되 지 않 도록 할 수 있 다 .