다음 으로 , 알루미늄 산화 막 ( 22 ) 의 단원자 증착 공정 은 알루미늄 소스 ( Al 소스 ) 주입 단계 ( T 5 ) , 퍼지 단계 ( T 6 ) , 반응 가스 주입 단계 ( T 7 ) 및 퍼지 단계 ( T 8 ) 로 이루어진 단위 사이클 을 반복 진행 한다 . 알루미늄 소스 는 Al ( CH 3 ) 3 , Al ( C 2 H 5 ) 3 및 Al 을 함유 한 화합물 로 구성 된 그룹 으로부터 선택 되 는 어느 하나 를 이용 하 고 , 퍼지 단계 에서 사용 하 는 퍼지 가스 는 N 2 또는 Ar 를 사용 하 며 , 알루미늄 소스 와 반응 하 여 알루미늄 산화 막 을 형성 하 는 반응 가스 는 O 3 또는 O 2 플 라즈 마 를 사용 한다 .