제 1 공정 챔버 ( 120 ) 내부 압력 은 진공 상태 ( vacuum : V ) 에서 15 T ( Torr ) 이상 ( 바람직 하 게 는 20 T ) 까지 증가 한다 ( ' b ' 구간 : 온도 안정 화 구간 ) . 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 압력 을 증 압 시키 는 방법 은 두 가지 가 있 다 . 첫 번 째 방법 은 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 공정 가스 를 공급 하 는 것 이 며 , 두 번 째 방법 은 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 퍼지 가스 를 공급 하 는 것 이 다 . 공정 가스 또는 퍼지 가스 는 제 1 공급 라인 ( 180 ) 을 통해 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 공급 된다 . 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 의 내부 에 가스 를 강제 공급 하 면 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 내부 의 압력 은 증가 한다 .