· 유지 기판 은 판상 부재 이 고 , 이 유지 기판 으로 는 , 예 를 들 어 세라믹 을 주성분 ( 50 질량 ％ 이상 ) 으로 하 는 세라믹 기판 을 들 수 있 다 . 또한 , 유지 기판 으로 는 , 세라믹 기판 등 의 주면 측 에 , 내부 등 에 발열체 를 갖 는 수지 제 히터 ( 예 를 들 어 판상 히터 ) 를 첩부 시킨 복합 기판 을 들 수 있 다 .