도 4 는 복수 의 , 특히 대칭 적 으로 생성 된 기능 유닛 ( 3 ) 을 갖 는 기판 ( 2 ) 을 포함 하 는 제 1 기판 유형 ( 1 ) 을 도시 한다 . 제 1 기판 유형 ( 1 ) 은 노치 ( 4 ) 를 포함 한다 . 기능 유닛 ( 3 ) 의 대칭 배치 의 결과 로 , 정렬 마크 ( 6 l , 6 l ', 6 r 및 6 r ') 의 자체 적 대칭 배치 를 제안 하 지만 , 반드시 필수 적 인 것 은 아니 다 . 따라서 , 기판 유형 ( 1 ) 은 바람직 하 게 는 평면 , 특히 대칭 평면 ( M ) 을 좌측 영역 L 및 우측 영역 R 로 분할 한다 . 본 발명 에 따르 면 , 2 개 이상 의 정렬 마크 ( 6 l 및 6 l ') 가 좌측 영역 ( L ) 에 위치 되 고 적어도 두 개 의 정렬 마크 ( 6 r 및 6 r ') 가 우측 영역 에 위치 된다 . 정렬 마크 ( 6 l , 6 l ', 6 r 및 6 r ') 들 은 기판 ( 2 ) 의 중심 Z 로부터 거리 ( rl , rl ', rr 및 rr ') 에 위치 된다 . 정렬 마크 들 ( 6 l , 6 l ', 6 r 및 6 r ') 은 바람직 하 게 는 직경 라인 ( D ) 에 위치 한다 .