상기 최적 노광량 에 있 어서 해 상 되 는 레지스 트 패턴 의 단면 형상 을 관찰 하 여 , 레지스 트 패턴 의 높이 방향 의 중간 에서 의 선폭 Lb 와 , 레지스 트 패턴 의 상부 에서 의 선폭 La 를 측정 하 고 , Lb 에 대한 La 의 비 를 단면 형상 의 직사각 형성 으로 하 였 다 . 단면 형상 의 직사각 형성 은 , 0 . 9 ≤ La / Lb ≤ 1 . 1 인 경우 에 는 「 양호 」 라고 , La / Lb < 0 . 9 또는 1 . 1 < La / Lb 인 경우 에 는 「 양호 하 지 않 다 」 라고 평가 할 수 있 다 .