또 , 이상 에 기재 된 실시 형태 에 의하 면 , 기판 처리 장치 는 , 처 리조 ( 14 ) 의 상부 로부터 넘쳐 나온 처리 액 ( 30 ) 이 유입 되 는 제 2 조 를 구비 한다 . 순환 경로 ( 20 ) 는 , 제 2 조 에 유입 된 처리 액 ( 30 ) 을 , 처 리조 ( 14 ) 의 하부 로 귀환 시킨다 . 측 정조 ( 24 ) 는 , 제 2 조 내 에 배치 된다 . 그리고 , 측정 조 ( 24 ) 의 상부 로부터 넘쳐 나온 처리 액 ( 30 ) 은 , 제 2 조 에 유입 된다 . 여기 서 , 제 2 조 는 , 예 를 들 어 , 외조 ( 16 ) 에 대응 하 는 것 이 다 . 이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 측정 조 ( 24 ) 가 외조 ( 16 ) 내 에 배치 되 기 때문 에 , 측정 조 ( 24 ) 의 상부 로부터 넘쳐 나온 처리 액 ( 30 ) 은 외조 ( 16 ) 에 유입 되 고 , 또한 순환 경로 ( 20 ) 에 유입 된다 . 그 때문 에 , 압력 측정 을 위하 여 분기 경로 ( 22 ) 에 유입 시킨 처리 액 ( 30 ) 을 다시 순환 경로 ( 20 ) 로 되돌려 , 처리 액 ( 30 ) 을 기판 ( 12 ) 의 처리 를 위하 여 유효 하 게 활용 할 수 있 다 . 또 , 측정 조 ( 24 ) 가 외조 ( 16 ) 내 에 배치 되 기 때문 에 , 분기 경로 ( 22 ) 에 유입 시킨 처리 액 ( 30 ) 을 순환 경로 ( 20 ) 로 되돌리 기 위한 배관 등 을 별도 준비 할 필요 가 없 다 . 또 , 외조 ( 16 ) 중 의 충분 한 깊이 를 갖 는 지점 에 측정 조 ( 24 ) 가 배치 되 는 경우 에 는 , 압력 측정 의 정밀도 를 높이 기 위하 여 필요 한 깊이 방향 의 길이 를 충분히 확보 할 수 있 다 . 즉 , 공급 관 ( 26 A ) 의 하단 을 처리 액 ( 30 ) 의 액면 으로부터 충분히 떨어진 깊이 까지 가라앉혀 압력 측정 할 수 있 다 . 또한 , 측정 조 ( 24 ) 의 상단 이 , 외조 ( 16 ) 에 있 어서 의 처리 액 ( 30 ) 의 액면 보다 상방 에 위치 하 기 때문 에 , 측정 조 ( 24 ) 에 있 어서 의 처리 액 ( 30 ) 의 액면 에 대한 , 외조 ( 16 ) 에 있 어서 의 처리 액 ( 30 ) 의 액면 의 변동 의 영향 을 억제 할 수 있 다 .