먼저 , 상기 기체 펌프 중 터보 분자 펌프 는 기체 분자 에 역학 적 인 힘 을 가해 그것 을 특정 방향 으로 튕겨 날려서 배기 를 하 는 장치 이 다 . 매우 깨끗 한 기계 적 인 압축 을 이용 한 진공 펌프 로서 고속 의 회전 표면 을 이용 하 여 가스 분자 에 방향 과 운동량 을 주 어 배출 시키 는 장치 로서 , 반도체 제조 공정 에서 가장 많이 사용 되 는 펌프 중 의 하나 이 다 .