또한 , 본 실시 형태 의 노광 장치 ( 100 ) 에서 는 , 도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 다점 AF 계 의 검출 영역 ( 빔 영역 ) ( AF ) 과 헤드 유닛 ( 62 C , 62 A ) 사이 에 , X 축 방향 으로 연장 되 는 주변 노광 유닛 ( 51 ) 이 배치 되 어 있 다 . 주변 노광 유닛 ( 51 ) 은 , 도시 가 생략 된 메인 프레임 의 하면 에 도시 가 생략 된 지지 부재 를 통해 매달린 상태 로 지지 되 어 있 다 .