유기 반사 방지 코팅 ARC 291 ( 상품명 ; Nissan Chemical Industries , Ltd . 제품 ) 을 규소 웨이퍼 상 에 도포 한 다음 , 205 ℃ 에서 60 초간 베이 킹 하 여 78 nm 의 반사 방지 막 을 형성 하 였 다 . 그 다음 , 상기 제조 된 포지티브 레지스 트 용액 을 상기 반사 방지 막 에 도포 한 다음 , 120 ℃ 에서 60 초간 베이 킹 하 여 , 250 nm 의 레지스 트 막 을 제조 하 였 다 . 이렇게 하 여 얻 어 진 웨이퍼 를 ArF 엑 시머 레이저 스캐너 ( PAS 5500 / 1100 , 상품명 ; ASLM 제품 , NA 0 . 75 , σ 0 / σ 1 = 0 . 85 / 0 . 55 ) 를 사용 하 여 패턴 노광 을 행하 였 다 . 120 ℃ 에서 60 초간 가열 한 후 , 테트라메틸 암모늄 히드록시 드 수용액 ( 2 . 38 중량 %) 으로 30 초간 현상 하 고 , 순수 로 린스 하 고 , 연속 하 여 스핀 건조 를 행하 여 레지스 트 패턴 을 얻 었 다 .