그 사슬 형 의 알킬기 의 탄소 수 는 , 1 ∼ 10 인 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 탄 소수 1 ∼ 7 , 더욱 바람직 하 게 는 탄 소수 1 ∼ 3 이 다 . R 104 , R 105 의 사슬 형 의 알킬기 의 탄소 수 는 , 상기 탄 소수 의 범위 내 에 있 어서 , 레지스 트 용 용제 에 대한 용해 성 도 양호 하 다는 등 의 이유 에 의해 작 을수록 바람직 하 다 . 또 , R 104 , R 105 의 사슬 형 의 알킬기 에 있 어서 서 는 , 불소 원자로 치환 되 어 있 는 수소 원자 의 수 가 많 을수록 , 산 의 강도 가 강해 지 고 , 또 , 200 ㎚ 이하 의 고 에 너 지광 이나 전자선 에 대한 투명 성 이 향상 되 기 때문 에 바람직 하 다 .