상부 상호 연결 구조물 ( 128 ) 과 하나 이상 의 추가 적 인 상호 연결 층 들 ( 610 ~ 612 ) 은 , 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 내 에 비아 홀 들 및 / 또는 트렌치 들 을 규정 하 도록 상부 유전체 구조물 ( 126 ) 을 선택 적 으로 에칭 하 고 , 비아 홀 들 및 / 또는 트렌치 들 내 에 도전 성 물질 ( 예컨대 , 구리 , 알루미늄 등 ) 을 형성 하 며 , 평탄 화 공정 ( 예컨대 , 화학 적 기계 적 평탄 화 공정 ) 을 수행 함 으로써 , 동시 에 형성 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 평탄 화 공정 은 화학 적 기계 적 평탄 화 ( chemical mechanical planarization ; CMP ) 공정 을 포함 할 수 있 다 .