제 2 촬상부 ( 43 e ) 는 , 전자 부품 ( W ) 의 한 쌍 의 얼라인먼트 마크 ( WM ) 의 배치 간격 에 대응 하 여 배치 된 한 쌍 의 촬상부 ( 43 e 1 , 43 e 2 ) 를 구비 하 고 있 다 . 각 촬상부 ( 43 e 1 , 43 e 2 ) 는 각각 카메라 ( 43 g ) 와 광학 유닛 을 갖춘 경통 부 ( 43 h ) 를 갖 는다 . 각 촬상부 ( 43 e 1 , 43 e 2 ) 는 , 개별 로 X 방향 이동 장치 ( 43 i ) 에 의해서 서로 의 대향 간격 을 전자 부품 ( W ) 의 얼라인먼트 마크 ( WM ) 의 배치 간격 에 맞춰 조정 할 수 있 게 되 어 있 다 .