롤 투 롤 진공 증착 장비 전문 기업 인 에이티 < 주 >( 대표 김민호 · 대구시 달성군 다사읍 ) 는 최근 경남 창원 소재 재료연구소 ( KIMS ) 플 라즈 마코 팅 연구실 김도근 박사 연구 팀 과 공동 으로 유기 발광 다이오드 ( OLED ) 및 선형 이온 소스 ( LIS ) 공정 용 ‘ 파인 패턴 마스크 ( Fine Pattern Mask ) ’ 의 건식 세정 설비 · 공정 을 개발 했 다고 밝혔 다 . 에이티 는 LCD , 고투 과 ITO 터치 필름 , 윈도우 솔라 필름 , 리 듐 2 차 전지 , 태양 전지 등 의 분야 에 진공 증착 장비 를 제공 하 고 있 는 기업 이 다 .