플라 즈 마 처리 장치 ( 10 ) 는 , 챔버 ( 11 ) 와 , 그 내부 에 배치 된 재 치대 ( 12 ) 를 갖 는다 . 챔버 ( 11 ) 는 , 접지 되 어 있 다 . 재 치대 ( 12 ) 는 , 정전 척 ( 13 ) 과 기대 ( 16 ) 를 갖 는다 . 기대 ( 16 ) 는 , 정전 척 ( 13 ) 을 지지 한다 . 재 치대 ( 12 ) 는 , 절연 부재 의 지지 부 ( 14 ) 를 개재 시켜 챔버 ( 11 ) 의 저부 에 배치 되 어 있 다 .