도 6 에 도시 된 바 와 같이 , 처리 실 ( 11 ) 에서 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 를 실시 했 을 경우 의 루테늄 막 ( 604 ) ( 좌측 도면 ) 의 막 두께 ( T 1 ) 는 , 처리 실 ( 11 ) 에서 염소 를 흡착 시키 는 공정 의 처리 를 실시 하 지 않 았 을 경우 의 루테늄 막 ( 604 ) ( 우측 도면 ) 의 막 두께 ( T 2 ) 의 절반 이하 인 것 을 알 수 있 다 . 이 결과 로부터 , 텅스텐 막 ( 603 ) 상 에 흡착 된 염소 가 Ru 함유 전구체 의 흡착 을 저해 하 는 작용 을 갖 고 있 다고 할 수 있 다 .