다음 , 상기 반응 챔버 ( 110 ) 의 진공 압 을 유지 시키 면서 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내부 에 질소 가스 를 공급 한다 ( S 20 ) . 여기 서 , 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내 에 공급 되 는 질소 가스 는 상기 진공 펌프 ( 120 ) 에 의해 펌핑 되 는 공기 와 동일 또는 유사 한 유량 으로 공급 된다 . 예컨대 , 상기 질소 가스 는 약 100 SCCM 정도 의 유량 으로 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내 에 공급 된다 .