또한 , 전술 한 제 1 처리 예 ∼ 제 4 처리 예 에서 는 , 제 1 용제 린스 처리 , 제 2 용제 린스 처리 , 건조 전 린스 처리 에서 , 용제 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 경우 에 대하 여 설명 하 였 다 . 그러나 , 기판 ( W ) 에 부착 되 어 있 는 액 에 충분히 용해 되 는 것 이 라면 , 용제 의 증기 를 기판 ( W ) 에 공급 하 여도 좋 다 .