도 3 에 도시 된 정렬 마크 는 베이스 기판 ( 100 ) 상 의 제 1 정렬 키 ( 10 ) 가 제 2 탐침 ( 16 ) 을 추가 로 구비 하 고 정렬 대상 시트 ( 110 ) 상 의 제 2 정렬 키 ( 20 ) 가 제 2 눈금 패턴 ( 26 ) 을 추가 로 포함 하 는 것 을 제외 하 고 도 1 의 정렬 마크 와 동일 한 구성 을 가진다 . 따라서 , 도 1 에 도시 된 것 들 과 동일 한 기능 , 역할 및 명칭 을 가지 는 도 3 의 구성 요소 들 에 대한 상세 한 설명 이 생략 되 더라도 , 통상 의 지식 을 가진 당업자 라면 누구 나 도 1 의 설명 을 참조 하 여 본 발명 의 다른 실시 예의 충분 하 게 이해 할 수 있 을 것 이 다 .