인터페이스 프레임 ( 4100 ) 의 상단 에 는 내부 에 하강기 류 를 형성 하 는 팬 필터 유닛 이 제공 될 수 있 다 . 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) , 인터페이스 버퍼 ( 4400 ) , 그리고 반송 부재 ( 4600 ) 는 인터페이스 프레임 ( 4100 ) 의 내부 에 배치 된다 . 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) 는 도포 블럭 ( 30 a ) 에서 공정 이 완료 된 기판 ( W ) 이 노광 장치 ( 50 ) 로 반입 되 기 전 에 소정 의 부 가 공정 을 수행 할 수 있 다 . 선택 적 으로 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) 는 노광 장치 ( 50 ) 에서 공정 이 완료 된 기판 ( W ) 이 현상 블럭 ( 30 b ) 으로 반입 되 기 전 에 소정 의 부 가 공정 을 수행 할 수 있 다 . 일 예 에 의하 면 , 부 가 공정 은 기판 ( W ) 의 에지 영역 을 노광 하 는 에지 노광 공정 , 또는 기판 ( W ) 의 상면 을 세정 하 는 상면 세정 공정 , 또는 기판 ( W ) 의 하면 을 세정 하 는 하 면 세정 공정 일 수 있 다 . 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) 는 복수 개 가 제공 되 고 , 이 들 은 서로 적층 되 도록 제공 될 수 있 다 . 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) 는 모두 동일 한 공정 을 수행 하 도록 제공 될 수 있 다 . 선택 적 으로 부 가 공정 챔버 ( 4200 ) 들 중 일부 는 서로 다른 공정 을 수행 하 도록 제공 될 수 있 다 .