본 변형 실시 예의 방법 에 있 어서 , 상기 정보 저 장막 을 형성 하 는 것 은 상기 수직 채널 의 측벽 에 터널 절 연막 을 형성 하 고 ; 상기 리세 스 영역 내 에 블록 킹 절 연막 을 형성 하 고 ; 그리고 상기 수직 채널 의 측벽 에 상기 터널 절 연막 을 형성 한 이후 에 혹은 상기 리세 스 영역 내 에 상기 블록 킹 절 연막 을 형성 하 기 이전 에 트랩 절 연막 을 형성 하 는 것 을 포함 할 수 있 다 .