조명계 ( 10 ) 는 , 예 를 들 어 , 미국 공개 특허 공보 제 2003 / 0025890 호 명세서 등 에 개시 되 어 있 는 바 와 같이 , 광원 과 , 옵티컬 인티 그 레이터 ( optical integrator ) 등 을 포함 하 는 조도 균일화 광학계 및 레티 클 블라인드 등 을 포함 하 는 조명 광학계 ( 이 들 모두 는 미 도시 ) 를 갖 는다 . 조명계 ( 10 ) 는 , 레티 클 블라인드 ( 마스킹 시스템 으로 도 지칭 된다 ) 로 규정 된 레티 클 ( R ) 상 의 슬릿 모양 의 조명 영역 ( IAR ) 을 조명 광 ( 노 광광 ) ( IL ) 에 의해 실질 적 으로 균일 한 조도 로 조명 한다 . 이 경우 , 조명 광 ( IL ) 으로서 , 예 를 들 어 , ArF 엑 시머 레이저 광 ( 파장 193 nm ) 이 사용 된다 .