이제 , 도 3 a 를 참고 로 하 여 본 발명 의 실시 예 에 따른 원자 층 증착 기 의 불활성 기체 의 흐름 에 대하 여 설명 한다 . 도 3 을 참고 하 면 , 아르곤 ( Ar ) 등 으로 이루어진 불활성 기체 는 고주파 접속 단자 ( 325 ) 와 기체 흐름 조절판 ( 345 ) 사이 의 틈새 를 통하 여 공급 된다 . 이 때 , 아르곤 대신 헬륨 ( He ) 이나 질소 ( N 2 ) 기체 를 사용 할 수 도 있 다 .