진동체 ( 3 ) 는 , 고정자 ( 2 ) 에 초음파 의 진동 을 발생 시켜 회전자 ( 6 ) 를 X , Y , Z 3 축 둘레 로 각각 회전 시키 기 위한 것 으로 , 각각 XY 평면 상 에 위치 하 고 또한 서로 겹쳐진 평판 형상 의 제 1 ∼ 제 3 압 전 소자 부 ( 31 ∼ 33 ) 를 가지 고 있 다 . 이 들 제 1 ∼ 제 3 압 전 소자 부 ( 31 ∼ 33 ) 가 각각 구동 회로 ( 16 ) 에 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .