한편 , 기판 ( 100 ) 에 는 신호 라인 ( 110 ) 과 접지 라인 ( 111 ) 사이 각각 그리고 접지 라인 ( 111 ) 과 지지 부 ( 112 ) 사이 각각 에 신호 라인 ( 110 ) 과 나란 하 게 직사각 형 모양 의 트렌치 ( 120 ) 가 형성 되 어 있 다 . 트렌치 ( 120 ) 는 반도체 식각 공정 을 통해서 소정 의 깊이 를 가지 도록 형성 된다 . 본 실시 예 에서 접지 라인 ( 111 ) 2 개 및 트렌치 ( 120 ) 4 개 가 형성 되 었 지만 , 이동판 부 ( 150 ) 의 특성 에 따라 다른 적정 한 수 로 형성 될 수 있 음 은 물론 이 다 .