원형 기판 의 경우 에 , 기판 은 3 개 의 가느다란 핑거 암 ( 이 들 중 2 개 만 이 도 1 에 도시 됨 ) 에 의해 유지 된다 . 이러 한 예 에서 , 핑거 암 들 은 약 120 도 이격 되 어 있 다 . 핑거 암 들 중 하나 는 , 12 : 00 시 위치 에서 , 자신 에 연결 된 액추에이터 ( 아래 에서 더 상세히 설명 됨 ) 를 갖 는 반면 , 다른 2 개 의 암 은 움직임 이 않 으며 어떠 한 작동 도 없 다 . 각각 의 핑거 암 ( 121 ) 상 에 하나 씩 있 는 핑거 캡 들 ( 123 ) 은 ( 실시 예 들 에서 , 핑거 캡 들 ( 123 ) 이 개개 의 핑거 암 ( 121 ) 에 회전 가능 하 지 않 게 장착 되 더라도 ) 롤러 들 처럼 형상 화 될 수 있 으며 , 예컨대 , 세정 및 건조 동작 들 동안 기판 이 배치 되 는 V - 홈 또는 U - 홈 을 갖 는다 . 홈 의 프로파일 은 , 기판 이 로봇 의 엔드 이펙터 ( 아래 에서 더 상세히 설명 됨 ) 에 의해 홈 들 에 배치 될 때 자기 - 정렬 될 수 있 는 것 을 보장 하 도록 설계 된다 .