그러나 , HDP USG 막 형성 시 가해 지 는 높 은 플 라즈 마 와 주파수 로 인해 트렌치 측벽 , 즉 활성 영역 의 측벽 의 상단 부 를 직접 산화 하 는 데 참여 하 지 않 고 산화 막 내 에 잔류 되 어 있 는 옥시던트 ( oxidant ) 들 이 후속 열처리 공정 에 의해 활성 영역 으로 확산 되 어 활성 영역 을 간접 적 으로 산화 시켜 활성 영역 의 폭 을 감소 시키 는 문제 를 야기 시킨다 .