성막 장치 ( 2 ) 의 진공 챔버 ( 20 ) 내 의 상부 에 는 기판 을 지지 하 는 기판 지지대 ( 21 ) , 마스크 가 놓여 지 는 마스크 대 ( 22 ) , 기판 을 정전 인력 에 의해 보유 지지 하 는 정전 척 장치 ( 23 ) , 금속제 의 마스크 에 자력 을 인가 하 기 위한 자력 인가 수단 ( 24 ) 등 이 설치 되 며 , 성막 장치 의 진공 챔버 ( 20 ) 내 의 하부 에 는 증착 재료 가 수납 되 는 증착 원 ( 25 ) 등 이 설치 된다 .