도 14 의 ( a ) 에 도시 되 는 제 7 변형 예 와 같이 , 제 6 변형 예 에 있 어서 , MEMS 미러 ( 1 ) 는 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 을 구비 하 지 않 아도 된다 . 제 7 변형 예 에서 는 , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 인가 하 는 구동 전류 의 제어 에 는 , 기전력 모니터 용 코일 ( 13 ) 에 발생 하 는 기전력 이 아니 고 , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 발생 하 는 기전력 이 이용 된다 . 즉 , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 이 기전력 의 모니터 를 위해서 이용 된다 . 제 어부 ( 50 ) 는 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 의 저항 값 , 및 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 발생 하 는 기전력 에 기초 하 여 , 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 인가 하 는 구동 전류 를 제어 한다 . 이러 한 제 7 변형 예 에 의해서 도 , 온도 모니터 용 저항 ( 14 ) 의 저항 값 , 및 제 2 구동 용 코일 ( 12 ) 에 발생 하 는 기전력 에 기초 하 여 , 자석 ( 30 ) 의 온도 에 따라 변화 하 는 자석 ( 30 ) 의 자속 밀도 를 고려 하 고 , 그것 을 근거 로 , 미러 ( 7 ) 의 편 향각 에 관한 정보 를 정밀 도 좋 게 취득 할 수 있 다 .