이 에 의해 , O 2 가스 및 H 2 가스 가 공급 되 어 있 는 플라스마 생성 공간 ( 201 a ) 내 에 고주파 전계 가 형성 되 고 , 이러 한 전계 에 의해 , 플라스마 생성 공간 의 공진 코일 ( 212 ) 의 전기 적 중점 에 상당 하 는 높이 위치 에 , 가장 높 은 플라스마 밀도 를 갖 는 도넛 상 의 유도 플라스마 가 여기 된다 . 플라스마 상태 의 O 2 가스 및 H 2 가스 는 해리 하 여 , 산소 를 포함 하 는 산소 라디칼 ( 산소 활성 종 ) 이나 산소 이온 , 수소 를 포함 하 는 수소 라디칼 ( 수소 활성 종 ) 이나 수소 이온 등 의 반응 종이 생성 된다 .