또 , 본 발명 의 실시 형태 에 관한 약액 은 , 계면 활성제 를 함유 한다 . 본 발명 의 실시 형태 에 관한 약액 을 , 프리 웨트 액 으로서 이용 한 경우 , 프리 웨트 공정 후 에 기판 상 에 도포 되 는 레지스 트 조성물 과 , 프리 웨트 액 의 사이 에서 의 성분 의 차이 에 기인 하 는 , 레지스 트 조성물 의 성분 ( 특히 감 활성 광선 성 또는 감방 사선 성 수지 ) 이 석출 하 는 현상 ( 솔 벤트 쇼크 ) 의 발생 이 억제 된다 . 그 결과 , 현상 후 에 잔사 가 발생 하 기 어렵 다 . 또 , 본 발명 의 실시 형태 에 관한 약액 을 , 현상액 으로서 이용 한 경우 , 레지스 트 조성물 의 불용물 을 효과 적 으로 현상액 에 용해 시킬 수 있 다 . 그 결과 , 현상 후 에 잔사 가 발생 하 기 어렵 다 .