촉매 저장 탱크 ( 521 ) 에 는 합성 기판 ( 10 ) 상면 으로 설정 된 량 만큼 촉매 ( 20 ) 가 공급 되 도록 하 는 정량 공급 부 ( 560 ) 가 설치 된다 . 정량 공급 부 ( 560 ) 는 설정 된 량 의 촉매 ( 20 ) 가 담겨질 수 있 는 정량 공간 ( 568 ) 을 제공 할 수 있 는 상부 차 단판 ( 564 ) 과 하부 차 단판 ( 562 ) 을 가진다 . 상부 차 단판 ( 564 ) 과 하부 차 단판 ( 562 ) 는 하측 부 ( 524 c ) 에 제공 된다 . 정량 공간 ( 568 ) 은 촉매 저장 탱크 ( 521 ) 의 토출구 ( 520 a ) 상부 에 위치 되 며 , 상부 차 단판 ( 564 ) 은 정량 공간 ( 568 ) 의 상단 으로 제공 되 고 , 하부 차 단판 ( 562 ) 은 정량 공간 ( 568 ) 의 하단 으로 제공 된다 . 상부 차 단판 ( 564 ) 과 하부 차 단판 ( 562 ) 은 실린더 ( 566 ) 와 같 은 구동 수단 에 의해 작동 된다 . 하부 차 단판 ( 562 ) 이 닫혀진 상태 에서 상부 차 단판 ( 564 ) 이 닫혀 지 면 , 하부 차 단판 ( 562 ) 과 상부 차 단판 ( 564 ) 사이 에 설정 된 량 만큼 의 촉매 ( 20 ) 가 정량 공간 ( 568 ) 에 채워진다 .