도 13 에서 와 같이 , 촉매 ( 20 ) 가 액상 인 경우 에 는 촉매 공급 부 ( 520 ') 는 액상 의 촉매 가 담겨진 촉매 저장 탱크 ( 530 ) , 공급 라인 ( 532 ) , 공급 라인 ( 532 ) 상 에 설치 되 는 정량 공급 용 펌프 ( 534 ) 그리고 액상 의 촉매 ( 20 ) 를 합성 기판 상면 으로 공급 하 는 공급 노즐 ( 536 ) 을 포함 할 수 있 으며 , 공급 노즐 ( 536 ) 은 합성 기판 ( 10 ) 의 폭 과 대응 되 는 길이 를 갖 는 슬릿 타입 의 노즐 로 이루어진다 . 공급 노즐 ( 536 ) 은 가이드 레일 ( 538 ) 을 따라 합성 기판 의 일 측 에서 타 측 까지 이동 하 면서 합성 기판 ( 10 ) 에 균일 한 두께 로 촉매 를 도포 할 수 있 으며 , 이 경우 공급 노즐 ( 536 ) 이 합성 기판 ( 10 ) 에 직접 촉매 를 균일 하 게 도포 함 으로써 브러시 유닛 을 생략 할 수 있 다 .