본 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 2 가스 공급 공 ( 248 b ) 의 각각 의 개구 면적 이나 개구 피치 를 , 상류 측 으로부터 하류 측 에 걸쳐서 상술 한 바 와 같이 조절 함 으로써 , 먼저 , 제 2 가스 공급 공 ( 248 b ) 의 각각 으로부터 , 유속 의 차이 는 있 지만 , 유량 이 거의 동량 인 가스 를 분출 시킨다 . 그리고 , 그 제 2 가스 공급 공 ( 248 b ) 의 각각 으로부터 분출 하 는 가스 를 , 일단 , 버퍼 실 ( 237 ) 내 에 도입 하 고 , 버퍼 실 ( 237 ) 내 에 있 어서 가스 의 유속 차 를 균일 하 게 하 도록 했 다 .