이 와 같이 , 일반 적 인 웨이퍼 검사 장치 는 웨이퍼 를 미크 로 검사 , 매크로 검사 , 측면 검사 를 하 기 위해 많 은 스테이지 로 이동 함 으로 비 효율 적 인 택 타임 ( Tact time ) 이 있 었 고 , 많 은 스테이지 로 인해 장비 의 구조 및 유닛 이 복잡 하 고 , 공간 활 용도 가 낮 으며 가격 경쟁력 이 떨어지 는 문제점 이 있 었 다 .