제 1 전원 ( 10 ) 및 제 2 전원 ( 20 ) 은 서로 다른 주파수 의 RF 전력 을 생성 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 전원 ( 10 ) 은 고주파 전력 을 생성 하 고 , 제 2 전원 ( 20 ) 은 저 주파 전력 을 생성 할 수 있 다 . 여기 에서 , 고주파 전력 과 저주파 전력 은 RF 전력 의 주파수 범위 를 기준 으로 상대 적 으로 구분 될 수 있 다 .