본 발명 의 일 측면 에 따르 면 , 기판 이 펄스 레이저 증착 챔버 ( PLD ) 에서 다 이싱 ( dicing ) 및 탈기 ( degassed ) 되 는 단계 ; 탈기 된 상기 기판 을 스퍼터 챔버 에서 인듐 - 백금 의 이중 층 으로 증착 하 는 단계 ; 인듐 - 백금 의 이중 층 이 증착 된 기판 이 상기 펄스 레이저 증착 챔버 에 재 배치 되 어 상기 인듐 - 백금 의 이중 층 이 증착 된 기판 이 어닐링 ( annealing ) 되 는 단계 ; 및 상기 펄스 레이저 증착 챔버 에서 상기 인듐 - 백금 의 이중 층 이 증착 된 기판 을 디 웨 팅 하 는 단계 를 포함 하 며 , 상기 이중 층 으로 증착 하 는 단계 는 6 nm 두께 의 인듐 - 백금 의 이중 층 이 상기 기판 에 증착 되 는 , 고체 상태 의 인듐 - 백금 ( In - Pt ) 이중 층 에 대한 디 웨 팅 을 통하 여 백금 나노 입자 를 구성 하 는 방법 이 제공 된다 .