본 실시 형태 에서 는 , 로봇 제어 시스템 ( 1 ) 은 얼라 이너 ( 7 ) 를 구동 하 는 제 2 모터 ( 43 ) 의 가속 또는 감속 에 대응 하 기 위해서 , 회전 위치 와 시각 의 관계 를 3 차 다항식 으로 보 간 하 고 , 노치 센서 ( 73 ) 로 검출 한 시각 tk 에 있 어서 의 웨이퍼 ( 9 ) ( 노치 ( 91 ) ) 의 위치 를 추정 했으므로 , 웨이퍼 ( 9 ) 의 위치 맞춤 을 좋 은 정밀도 로 행할 수 있 다 .