도 13 은 , 최종 렌즈 의 유리 재 를 LuAG ( 굴절 률 : 2 . 14 ) 이 라고 했 을 경우 에 있 어서 , 최종 렌즈 를 통과 하 는 광선 과 투영 광학계 의 광축 이 이루 는 각도 θ FL 의 개구수 의존 성 을 나타낸다 . 도 13 에서 는 , 종축 에 각도 θ FL 을 , 횡축 에 투영 광학계 의 개구수 를 나타낸다 . 도 13 을 참조 하 면 , 개구수 가 1 . 5 일 때 의 각도 θ FL 은 44 . 5 ° 이 되 고 , 개구수 가 1 . 65 일 때 의 각도 θ FL 은 50 ° 이 된다 .