[ 0020 ] EFEM 은 기판 캐리어 내부 ( 예컨대 , 전방 개방 통합 포드 ( FOUP ; front opening unified pod ) ) 로부터 시스템 의 나머지 로 의 기판 들 의 전달 을 용이 하 게 하 는 로드 포트 ( LP ; load port ) 들 과 인터 페이 싱 한다 . 그러나 , EFEM 의 LP 인터페이스 및 기판 캐리어 로부터 공기 ( 예컨대 , O 2 를 포함 함 ) 를 퍼 징하 는 종래 기술 의 방법 들 은 소정 의 트래핑 된 볼륨 들 의 공기 가 퍼징 되 거나 또는 N 2 로 대체 되 는 것 을 가능 하 게 하 지 않 는다 . 그 다음 으로 , 이러 한 언 퍼징 볼륨 ( unpurged volume ) 의 공기 는 비 - 반응 성 환경 을 오염 시키 며 , O 2 PPM 농도 들 을 다시 허용 가능 한 레벨 로 감소 시키 기 위해서 는 비교 적 많 은 양 의 N 2 유동 및 시간 이 사용 되 어야 하 는 것 을 초래 한다 . 고순 도 N 2 는 고 비용 이 며 , 다수 의 LP 들 및 높 은 스루풋 레벨 을 갖 는 일부 EFEM 들 을 이용 하 면 , O 2 는 종래 기술 의 시스템 들 내 로 비교 적 급속 하 게 도입 되 고 , 비교 적 높 은 퍼지 레이트 로 , 따라서 , 비교 적 높 은 비용 으로 핸들링 된다 .