상기 과제 를 해결 하 기 위해서 , 본 발명 은 , 기판 에 가열 처리 를 실시 하 는 기대 내측 저부 에 설치 된 하우징 과 , 당해 하우징 의 천정 벽 을 따라서 가열 기체 류 를 형성 하 기 위하 여 , 상기 하우징 내 에 외부 로부터 가열 기체 를 공급 하 는 가열 기체 공급 수단 을 구비 한 기판 열처리 장치 에 있 어서 , 상기 가열 기체 공급 수단 은 , 기체 를 가열 해 상기 가열 기체 를 생성 하 는 가열 수단 과 , 이 가열 수단 으로 가열 된 상기 가열 기체 를 하우징 내부 에 공급 하 는 공급 유로 를 포함 하 고 , 상기 공급 유로 의 적어도 일부 가 상기 하우징 의 격벽 내부 에 설치 되 어 있 는 것 이 다 ( 청구 항 1 ) .