본 발명 은 일 구성 요소 의 형상 에 오류 가 있 다 하 더라도 사전 에 의도 된 결과물 을 얻 을 수 있 는 레이저 결정 화 장치 및 이 를 이용 한 폴리 실리콘 층 을 갖 는 기판 제조 방법 을 위하 여 , 선편광 된 레이저 빔 을 방출 하 는 레이저 빔 소스 와 , 상기 레이저 빔 소스 로부터 입사 하 는 레이저 빔 을 반사 시키 며 회전축 을 중심 으로 회전 할 수 있 는 폴리곤 미러 와 , 상기 레이저 빔 소스 와 상기 폴리곤 미러 사이 의 레이저 빔 경로 상 에 위치 하 는 제 1 커셀 ( kerr cell ) 과 , 상기 폴리곤 미러 에서 반사 된 레이저 빔 을 비정질 실리콘 층 으로 조사 할 수 있 는 제 1 광학 소자 를 포함 하 는 , 레이저 결정 화 장치 및 이 를 이용 한 폴리 실리콘 층 을 갖 는 기판 제조 방법 을 제공 한다 .