단 차부 ( 172 ) 가 형성 되 어 있 는 지점 에 있 어서 는 , 가스 가 단 차부 ( 172 ) 의 직경 방향 의 내측 에 있 어서 가로막혀 압력 손실 이 발생 함 으로써 압력 이 균일 해 지 고 , 또한 , 압력 이 균일 해진 상태 에서 가스 가 단 차부 ( 172 ) 의 직경 방향 의 외측 으로 배출 된다 . 그 때문 에 , 압력 이 균일 한 가스 의 배출 에 의해 , 기판 ( W ) 의 하면 에 대한 처리 액 의 돌 아 들어감 을 억제 할 수 있 다 .