도 3 은 플 라즈 마 건 ( 1 ) 과 시트 플 라즈 마 변형 실 ( 2 ) 로 수송 되 는 플 라즈 마의 수송 중심 ( 100 ) 에서 의 자속 밀도 를 도 1 에 도시 한 제 1 실시 예 에 따른 플 라즈 마 성막 장치 의 제 2 그리드 전극 ( G 2 ) 에서 Z 축 방향 으로 검출 한 결과 를 나타낸 그래프 이 다 . 도 4 는 시트 플 라즈 마 형성 법 의 개략 을 설명 하 는 모식도 이 고 , 도 4 a 는 봉 ( 棒 ) 자석 의 Z 축 방향 대략 중앙 근처 의 XY 평면 에 평행 한 단면 의 모식도 이 고 , 도 4 b 는 봉자석 의 X 방향 대략 중앙 근처 의 YZ 평면 에 평행 한 단면 의 모식도 이 다 .