구체 적 으로 이 세정액 분사 부 ( 40 ) 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 세정액 공급 관 ( 42 ) 과 분사 캡 ( 44 ) 을 포함 하 여 구성 된다 . 먼저 세정액 공급 관 ( 42 ) 은 상기 회전 축 의 중공 ( 22 ) 을 관통 하 는 관 형상 을 가지 며 , 별도 로 마련 되 는 세정액 탱크 과 연결 되 어 세정액 을 공급 한다 . 그리고 분사 캡 ( 44 ) 은 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 세정액 공급 관 ( 42 ) 의 상단 에 결합 되 며 , 세정액 을 기판 ( S ) 상 의 복수 지점 으로 분사 한다 . 본 실시 예 에서 분사 캡 ( 44 ) 이 배치 되 는 위치 는 도 2 에 도시 된 바 와 같이 , 회전 플레이트 ( 12 ) 의 상면 에서 약간 상측 으로 돌출 되 는 위치 이 며 , 상기 기판 척 ( 10 ) 에 지지 된 기판 ( S ) 의 하면 과 는 이격 된 위치 이 다 . 따라서 분사 캡 ( 44 ) 에서 분사 된 세정 액 이 이격 되 어 있 는 기판 의 하면 에 분사 되 고 , 기판 ( S ) 의 회전 에 의하 여 기판 의 전면 으로 확산 되 고 , 원심력 에 의하 여 기판 의 외측 으로 퍼져 나가 는 것 이 다 .