제 2 관 ( 420 ) 은 통 형상 을 가질 수 있 다 . 예컨대 , 제 2 관 ( 420 ) 은 원주 방향 으로 구부러진 원통 의 형상 을 가질 수 있 다 . 제 2 관 ( 420 ) 은 그 일단 과 타단 이 개방 된 원통 형상 을 가질 수 있 다 . 제 2 관 ( 420 ) 에 는 기판 ( W ) 의 에지 영역 이 삽입 되 는 개구 가 형성 될 수 있 다 . 제 2 관 ( 420 ) 에 형성 된 개구 는 원주 방향 을 따라 제 2 관 ( 420 ) 의 일단 과 타단 까지 연장 되 어 형성 될 수 있 다 . 기판 ( W ) 이 제 2 관 ( 420 ) 에 삽입 되 면 기판 ( W ) 의 에지 영역 은 제 2 관 ( 420 ) 에 둘러싸 일 수 있 다 . 제 2 관 ( 420 ) 에 형성 된 개구 는 슬릿 형상 을 가질 수 있 다 .