코일 ( 108 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 을 둘러싸 도록 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 의 외부 에 배치 된다 . 코일 ( 108 ) 에 의해 제공 된 전기장 은 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 내 에서 플 라즈 마 를 생성 하 기 충분 하 다 . 코일 ( 108 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 을 통해 흐르 는 가스 화학 물질 에 전기장 을 제공 하 기 위해 에너지 소스 ( 110 ) 에 연결 된다 . 예 시 적 인 실시 예 에서 , 코일 ( 108 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 둘레 에 한 번 감기 는 구리 와 같 은 도전 성 재료 로 이루어진 단일 부재 이 다 . 또 다른 실시 예 에서 , 코일 ( 108 ) 은 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 둘레 에 두 번 감긴다 . 이 실시 예 에서 , 코일 ( 108 ) 의 제 1 단부 는 에너지 소스 ( 110 ) 에 전기 적 으로 커플링 되 고 , 제 2 단부 는 전기 적 접지 ( 159 ) 에 커플링 되 고 코일 ( 108 ) 의 길이 는 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 둘레 에 두 번 ( 코일 ( 108 ) 의 108 a , 108 b 부분 ) 감긴다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 와인 딩 ( winding ) 은 제 1 와인 딩 위 일 수 도 있 고 또는 아래 일 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 커패시터 ( 158 ) 는 코일 ( 108 ) 의 제 2 단부 와 전기 적 접지 ( 159 ) 사이 에 배치 될 수 도 있 다 . 콘 형 섹션 ( 104 b ) 의 기하학 적 구조 로 인해 , 제 1 와인 딩 의 직경 은 제 1 와인 딩 이 제 2 와인 딩 위 인지 또는 아래 인지 에 따라 제 2 와인 딩 의 직경 보다 크 거나 작 다 . 대안 적 인 실시 예 에서 , 콘 형 섹션 ( 104 b ) 둘레 에 두 번 감기 는 코일 ( 108 ) 대신 , 2 개 의 코일 들 ( 108 a , 108 b ) 은 , 코일 ( 108 a , 108 b ) 각각 이 플 라즈 마 챔버 ( 104 ) 의 콘 형 섹션 ( 104 b ) 둘레 에 1 회 이상 감기 도록 배치 될 수 도 있 다 . 단일 코일 을 사용 한 경우 에서 와 같이 , 2 개 의 코일 들 ( 108 a , 108 b ) 각각 의 제 1 단부 는 에너지 소스 ( 110 ) 에 연결 되 고 , 제 2 단부 는 전기 적 접지 ( 159 ) 에 연결 된다 .