그리고 나 서 , 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 화학 적 기계 연마 ( CMP ) 공정 을 진행 하 여 상부 배선 절 연막 ( 290 ) 을 평탄 화 한다 . 이때 , 상부 트렌치 금속 배선 ( 271 , 273 , 277 ) 위 에 존재 하 는 상부 측벽 매리 어막 ( 280 ) 은 제거 되 어 상부 트렌치 배리 어막 ( 251 , 253 , 257 ) 과 상부 트렌치 씨드 막 ( 261 , 263 , 267 ) , 그리고 상부 트렌치 금속 배선 ( 271 , 273 , 277 ) 측벽 에 ' ㄴ ' 자형 ( 281 , 282 , 283 , 284 , 286 , 287 ) 의 거울 대칭 구조 로 존재 한다 .