또 다른 실시 예 에서 , 공용 기판 상 에 형성 된 MEMS 스위치 어레이 가 제공 된다 . 스위치 어레이 는 기판 에 결합 된 제 1 가동 액추에이터 와 , 기판 에 결합 된 제 2 가동 액추에이터 와 , 적어도 부분 적 으로 제 1 및 제 2 가동 액추에이터 의 하부 에서 기판 상 에 배치 된 기판 전극 과 , 적어도 부분 적 으로 제 1 및 제 2 가동 액추에이터 의 하부 에서 기판 상 에 배치 되 어 제 1 및 제 2 가동 액추에이터 가 기판 전극 의 상태 에 기초 하 여 기판 접점 과 전기 접촉 하 게 하 는 기판 접점 을 포함 한다 . 스위치 어레이 는 , 가동 액추에이터 에 전기 적 으로 결합 되 고 가동 액추에이터 와 기판 접점 과 의 접촉 을 허용 하 면서 가동 액추에이터 와 기판 전극 과 의 접촉 을 방지 하 도록 구성 된 적어도 하나 의 도전 성 스토퍼 를 더 포함 한다 .