한편 , F 2 가스 , 또는 희석 된 F 2 가스 를 , 처리 가스 를 공급 하 는 노즐 ( 230 a , 230 b ) 과 는 다른 클리닝 가스 용 의 노즐 로부터 공급 하 도록 하 면 , 노즐 ( 230 a , 230 b ) 내 에 F 2 가스 , 또는 희석 된 F 2 가스 가 침입 하 여 , 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 등 의 처리 가스 공급계 에 악영향 을 미치 는 것 을 생각 할 수 있 다 . 이것 에 대해 본 실시 형태 에서 는 , F 2 가스 , 또는 희석 된 F 2 가스 를 공급 하 는 노즐 을 , 처리 가스 를 공급 하 는 노즐 ( 230 a , 230 b ) 과 공용 으로 하 고 , F 2 가스 , 또는 희석 된 F 2 가스 는 , 처리 가스 공급 관 ( 232 a , 232 b ) 을 지나 , 처리 가스 를 공급 하 는 노즐 ( 230 a , 230 b ) 로부터 처리 실 ( 201 ) 내 에 도입 되 기 때문 에 , 그 우려 가 적 다 .