배리어 층 의 연마 에 있 어서 는 , 일반 적 으로 화학 적 연마 보다 기계 적 연마 의 기여 분 이 크 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 반응 층 2 가 형성 되 어도 연마 속도 는 크 게 상승 하 는 경우 는 없 다 . 이 로 인하 여 , 연마 속도 비 R 1 을 상기 소정 의 수치 범위 로 하 는 경우 에 는 , 연마 액 에 의한 코발트 함유층 의 연마 속도 가 상승 하 도록 조정 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 , 후술 하 는 연마 속도 비 R 2 에 대해서 도 동일 하 다 .