스테이지 는 하측 에 하부 히팅 플레이트 ( 미 도시 ) 로 지지 되 고 , 하부 히팅 플레이트 는 모터 , 실린더 및 액 츄 에이 터로 승강 구동 될 수 있 다 . 하부 히팅 플레이트 는 스테이지 보다 더 넓 게 형성 되 어 스테이지 전체 를 커버 한다 . 진공 압 으로 기포 를 제거 하 고 제 1 , 제 2 기판 을 서로 접하 게 한 후 , 하부 히팅 플레이트 의 작동 으로 제 1 기판 을 히팅 하 면서 액 츄 에 이터 의 작동 으로 제 1 , 제 2 기판 이 접합 될 수 있 다