상기 몸체 ( 110 ) 는 세정액 과 건조 공기 가 개별 유입 되 도록 그 내부 에 개별 형성 되 는 제 1 유체 통로 ( 111 ) 와 한 쌍 의 제 2 유체 통로 ( 112 ) 를 포함 하 고 , 상기 제 1 유체 통로 ( 111 ) 와 한 쌍 의 제 2 유체 통로 ( 112 ) 의 기판 ( S ) 측 으로 노출 되 는 일 단부 의 제 1 슬릿 ( S 1 ) 과 한 쌍 의 제 2 슬릿 ( S 2 ) 이 세정액 과 건조 공기 를 분사 한다 .