상기 아미노 알콜 의 함량 은 CMP 용 슬러리 총 중량 에 대하 여 0 . 01 내지 20 중량 % 이 고 , 보다 바람직 하 게 는 0 . 05 내지 10 중량 % 이 며 , 0 . 1 내지 3 중량 % 가 가장 바람직 하 다 . 상기 아미노 알콜 의 함량 이 20 중량 % 를 초과 하 여 너무 많 으면 연마 속 도 낮 아 지 고 , 상기 함량 이 0 . 01 중량 % 미만 으로 너무 적 으면 연마 선택 비 ( 산화 규소 막 / 질화규소 막 ) 가 감소 하 고 디싱 ( Dishing ) 및 에로 젼 ( Erosion ) 이 증가 한다 .