표 2 는 스퍼터링 온도 에 따른 나노 물질 층 ( 310 ) 의 조성 분석 결과 를 보여준다 . 스퍼터링 온도 150 ℃ 이상 에서 는 Ga : P ≒ 1 : 1 로서 일정 함 을 알 수 있 다 . 표 2 에서 나노 물질 층 ( 310 ) 은 GaP 층 이 며 , 스퍼터링 파워 150 W , 스퍼터링 압력 2 mTorr , Ar 유량 60 sccm ( standard cubic centimeters per minute ) , 동작 시간 470 초 , 두께 195 nm , 증착 속도 2 . 49 nm / min 이 다 .