또한 , 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 평판 표시 소자 제조 장치 의 리프트 핀 모듈 은 도 4 에 도시 된 바 와 같이 리프트 핀 ( 120 ') 과 핀 하우징 ( 122 ') 으로 구성 되 며 , 상기 핀 하우징 ( 122 ') 은 상기 하부 전극 ( 114 ) 과 기판 ( S ) 과 의 접촉 공간 에 헬륨 가스 및 에어 가 유입 될 수 있 도록 경로 가 구비 된다 .