진공 조 ( 21 ) 내 를 진공 배기 하 고 , 가스 공급계 ( 27 ) 로 부터 Ar 가스 등 의 스퍼터링 가스 를 도입 하 여 진 공조 ( 21 ) 내 를 소정 압력 으로 하 고 , 스퍼터 전원 ( 29 ) 에 의해 타 겟 ( 28 ) 에 전압 을 인가 하 면 , 타 겟 ( 28 ) 표면 근방 에 플 라즈 마가 형성 되 어 타 겟 재료 ( 28 b ) 의 표면 이 스퍼터링 된다 .