여기 서 , 양 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 , WST 2 ) 가 제 2 스크럼 개시 위치 로 이동한 상태 에서 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 센터 라인 이 기준 축 ( LV 0 ) 에 거의 일치 하 고 , 또한 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 센터 라인 이 기준 축 ( LV 0 ) 으로부터 소정 거리 ( 제 2 오프셋 량 ) - X 측 으로 어긋난 상태 에서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 - Y 단면 ( 계측 부 ( 138 ) 의 - Y 단면 ) 과 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 + Y 단면 ( FD 바 ( 46 ) 의 + Y 단면 ) 이 접촉 ( 혹은 , 예 를 들 어 300 ㎛ 정도 의 클리어런스 를 사이 에 두 고 근접 ) 하 는 스크럼 상태 가 된다 . 즉 , 이 스크럼 상태 에서 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 일부 를 구성 하 는 계측 부 ( 138 ) 의 - Y 측 가장 자리 와 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 의 일부 를 구성 하 는 FD 바 ( 46 ) 의 + Y 측 가장 자리 가 접촉 ( 또는 근접 ) 함 으로써 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 + Y 측 의 면 과 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 - Y 측 의 면 이 일부 대향 한 상태 로 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 와 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 FD 바 ( 46 ) 및 계측 부 ( 138 ) 를 통해 Y 축 방향 에 관하 여 접촉 ( 또는 근접 ) 할 수 있 도록 되 어 있 다 . 여기 서 제 2 오프셋 량 은 , 전술 한 제 1 오프셋 량 과 동일 한 거리 로 결정 되 어 있 다 .