가속기 ( 30 ) ( 도 6 및 도 7 ) 는 적절 하 게 는 일 단부 에서 이온 소스 정합 플랜지 ( 31 ) 를 통해 이온 소스 ( 20 ) 에 연결 되 고 , 다른 단부 에서 차동 펌핑 정합 플랜지 ( 33 ) 를 통해 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 에 연결 된 진공 챔버 ( 36 ) 를 포함 한다 . 또한 , 가속기 의 처음 스테이지 는 이온 주입기 ( 26 ) 의 최종 스테이지 ( 35 ) 이 다 . 가속기 진공 챔버 ( 36 ) 의 축선 을 따라 적어도 1 이상 , 적절 하 게 는 3 내지 50 , 더 바람직 하 게 는 3 내지 20 개 의 원형 가속 전극 ( 32 ) 이 배치 될 수 있 으며 , 이 는 진공 경계 가 유지 되게 하 면서 가속기 진공 챔버 ( 36 ) 를 관통 한다 . 가속 전극 들 ( 32 ) 은 그 중심 을 통하 는 홀 들 [ 가속기 챔버 의 구멍 ( bore ) 보다 더 작음 ] 을 가지 며 , 적절 하 게 는 각각 이온 빔 의 경로 에 대한 가속기 진공 챔버 의 종축 ( 이온 소스 단부 로부터 차동 펌핑 단부 까지 ) 을 중심 으로 한다 ( center ) . 가속 전극 ( 32 ) 내 홀 의 최소 직경 은 이온 빔 의 강도 에 따라 , 또는 다수 이온 빔 들 에 따라 증가 하 며 , 약 1 mm 내지 약 20 cm 직경 , 및 적절 하 게 는 약 1 mm 내지 6 cm 직경 의 범위 일 수 있 다 . 진공 챔버 ( 36 ) 외부 에서 , 가속 전극 들 ( 32 ) 은 전기장 을 감소 시키 고 코로나 방전 ( corona discharge ) 을 최소 화 하 는 코로나 - 방지 링 ( anti - corona ring : 34 ) 들 에 연결 될 수 있 다 . 이 링 들 은 SF 6 과 같 은 절연 용 유전 성 가스 또는 유전 성 오일 내 에 침지 될 수 있 다 . 적절 하 게 는 , 차동 펌핑 부분 ( 40 ) 의 연결 을 용이 하 게 하 는 차동 펌핑 정합 플랜지 ( 33 ) 가 가속기 의 출구 에 있 다 .