상기 연마 액과 SiOx 및 SiOC 로 이루어지 는 군 으로부터 선택 되 는 어느 1 종 의 무기 성분 으로 이루어지 는 절 연막 기판 을 24 시간 접촉 했 을 때 에 , " 상기 절 연막 기판 상 에 상기 무기 성분 을 포함 하 는 두께 0 . 01 ~ 10 nm 의 반응 층 ( 이하 "" 반응 층 3 "" 이라고 도 함 ) 이 형성 되 는 연마 액 인 것 이 바람직 하 다 . "