초 정밀 가 공기 에 사용 되 는 유정 압 회전 테이블 ( 100 ) 의 종래 구조 가 도 1 에 도시 되 어 있 다 . 도 1 에서 와 같이 베이스 ( 120 ) 와 , 상기 베이스 ( 120 ) 에 입 설 된 원통형 의 모터 하우징 ( 130 ) 과 , 상기 모터 하우징 ( 130 ) 내 의 중앙 에 수직 으로 위치 하 고 하부 에 반경 방향 과 축 방향 으로 유정 압 을 받 는 베어링 디스크 부 ( 141 ) 가 구비 된 샤프트 ( 140 ) 와 , 상기 샤프트 ( 140 ) 의 상단 면 에 장착 되 어 샤프트 ( 140 ) 와 일체 로 회전 구동 되 는 회전 플레이트 ( 150 ) 와 , 상기 샤프트 ( 140 ) 와 상기 모터 하우징 ( 130 ) 과 의 사이 에 설치 되 어 상기 샤프트 ( 140 ) 를 회전 구동 시키 는 모터 ( 160 ) 와 , 상기 샤프트 ( 140 ) 를 회전 지지 하 기 위해 상기 모터 하우징 ( 130 ) 의 하부 에 위치 하 고 상기 베어링 디스크 부 ( 141 ) 에 유정 압 을 작용 시키 기 위한 유압 챔버 ( 170 a , 170 b , 170 c ) 를 갖 는 유정 압 베어링 ( 170 ) 을 포함 하 고 , 상기 샤프트 ( 140 ) 의 상단 에 는 샤프트 ( 140 ) 의 회전 각도 를 검출 하 기 위한 엔 코더 ( 122 ) 가 설치 되 어 있 다 .