일 예 로서 , 상기 플 라즈 마 발생 부 ( 150 ) 는 샤워 헤드 역할 을 하 는 상부 전극 으로 챔버 ( 102 ) 의 상측 부위 에 구비 되 며 , 알루미늄 재질 의 제 1 전극 과 제 2 전극 및 실리콘 재질 의 제 3 전극 을 포함 하 는 구조 를 갖 는다 . 상기 제 1 전극 에 는 RF 전원 이 연결 되 어 있 으며 가스 제 공부 ( 130 ) 과 연결 되 는 제 1 관 통공 이 형성 되 어 있 다 . 상기 제 1 전극 과 제 2 전극 사이 에 는 기판 ( 102 ) 을 가공 하 기 위한 반응 가스 가 수납 되 는 공간 이 형성 되 어 있 으며 , 제 2 전극 및 제 3 전극 에 는 상기 반응 가스 를 챔버 내부 로 균일 하 게 제공 하 기 위한 다 수개 의 관 통공 ( 미 도시 ) 들 이 형성 되 어 있 다 .