도 15 는 , 보조 지지 부재 ( 4 ) 의 구체 적 구성 의 일례 를 도시 한 단면도 이 고 , 보조 지지 부재 ( 4 ) 는 , 에 어 분출 구멍 ( 41 ) 을 갖 는 에어 패드 ( 42 ) 와 , 에 어 패드 ( 42 ) 를 지지 하 는 중 간대 ( 43 ) 와 , 중간 대 ( 43 ) 에서 에어 실린더 ( 45 ) 내 로 신장 되 는 샤프트 ( 44 ) 와 , 스테이지 베이스 ( 1 ) 에 고정 되 어 중간 대 ( 43 ) 를 지지 하 는 에어 실린더 ( 45 ) 와 , 에 어 패드 ( 42 ) 를 중간 대 ( 43 ) 에 대해서 지지 하 는 구면 베어링 ( 46 ) 으로 구성 되 어 있 다 . 보조 지지 부재 ( 4 ) 는 , 에 어 실린더 ( 45 ) 에 의해 공급 되 는 에어 의 압력 을 변화 시킴 으로써 , 샤프트 ( 44 ) 가 임의 의 추력 으로 상하 이동하 여 , 에 어 패드 ( 42 ) 를 임의 의 높이 로 조정 할 수 있 다 .