도 2 및 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 바람직 하 게 는 제 1 펌핑 라인 ( 360 a ) 은 제 1 공간 ( 311 ) 내 의 기판 척 ( 340 ) 의 중심부 의 상부 또는 하부 에 연결 된다 . 종래 의 펌핑 라인 은 챔버 ( 310 ) 의 측면 의 소정 부위 에 연결 되 어 챔버 ( 310 ) 내 의 모든 부분 에 대해 균일 한 펌핑 작업 이 이루어지 지 않 았 다 . 그러나 , 제 1 펌핑 라인 ( 360 a ) 을 기판 척 ( 340 ) 의 중심부 상부 또는 하부 에 연결 함 으로써 펌핑 작업 이 제 1 공간 ( 311 ) 내 의 모든 부분 에서 균일 하 게 이루어질 수 있 다 . 따라서 , 펌핑 작업 중 배출 되 는 챔 버 ( 310 ) 내부 의 공기 ( 365 ) 의 대류 에 의한 영향 을 균일 하 게 받 음 으로써 기판 ( 10 ) 이 슬라이딩 되 는 문제 를 해결 할 수 있 고 , 따라서 펌핑 작업 에 소요 되 는 시간 을 단축 시킬 수 있 다 .