( 6 - 2 ) 검사 공정 ( 도 1 , S 6 - 2 ) . 세정 후 의 광학 표시 유닛 ( W ) 은 , 도 2 에 도시 한 바 와 같이 검사 장치 ( D 1 ) 에 의해 그 표면 이 검사 된다 . 검사 후 의 패널 ( W ) 은 반송 기구 ( R ) 에 의해 제 1 접합 장치 ( 18 ) 까지 반송 된다 . 검사 장치 ( D 1 ) 에 대해서 는 후술 한다 .