상술 의 구조 와 비교 하 여 , 종래 의 시일 구 조체 에 있 어서 는 다공질 부재 ( 6 ) 가 마련 되 어 있 지 않 기 때문 에 주위 의 대기 가 제 1 배관 부재 ( 4 A ) 와 제 2 배관 부재 ( 4 B ) 의 간극 을 거쳐서 O 링 ( 62 ) 의 주위 에 도달 하 기 쉽 다 . 그 결과 , O 링 ( 62 ) 의 주위 에서 도 대기 의 농도 가 높 아 지 기 쉬운 경향 이 있 었 다 . 한편 , O 링 ( 62 ) 은 대기 의 구성 성분 의 일부 를 투과 시켜 버리 는 경우 가 있 다 . 그 결과 , O 링 ( 62 ) 의 주위 의 대기 의 농도 가 높 아 지 면 , 그 구성 성분 인 산소 나 질소 가 가스 공급 배관 ( 4 ) 내 ( 진공 챔버 ( 10 ) 내 ) 에 진입 되 어 버릴 우려 가 있 다 .