다음 에 도 2 및 도 3 을 참조 하 여 , 실시 형태 에 따른 제 1 도전 성 부재 와 제 2 도전 성 부재 의 접합 구조 체 와 접합 방법 의 일 예 에 대해서 설명 한다 . 여기 에서 , 도 3 은 도 2 의 Ⅲ 부분 의 확대도 이 다 . 또한 , 상술 하 는 바 와 같이 여기 에서 는 , 도체 플레이트 ( 30 ) 를 제 1 도전 성 부재 로 하 고 , 샤워 플레이트 ( 40 ) 를 제 2 도전 성 부재 로 하 여 설명 하 지만 , 제 1 도전 성 부재 와 제 2 도전 성 부재 에 는 , 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 구성 하 고 서로 접촉 하 는 적절 한 2 개 의 부재 를 적용 할 수 있 다 .