여기 서 , 상기 로드 락 챔버 ( 400 ) 는 대기압 상태 의 이 송부 ( 500 ) 와 진공 상태 의 이송 챔버 ( 200 ) 사이 에서 기판 ( S ) 을 교환 하 도록 완충 역할 을 하 기 때문 에 이 송부 ( 500 ) 와 기판 ( S ) 을 교환 할 때 는 대기압 상태 로 전환 되 고 , 이송 챔버 ( 200 ) 와 기판 ( S ) 을 교환 할 때 는 진공 상태 로 전환 하 게 된다 .