플라 즈 마 반응 조 에서 , 테트라 할로겐 실란 대신 , 유기 치환 된 할로겐 - 실란 RnSiX 4 - n ( n = l - 3 ) 을 탄화수소 와 반응 시켜 , 실리콘 원자 에 유기 치환 이 더 많이 된 산물 을 합성 시킬 수 있 으며 , 또는 실리콘 테트라 할 라이드 로부터 출발 한 최종 반응 혼합물 내 에 유기 치환 의 비율 을 증가 시킬 수 있 다 ( Werden im Plasmareaktor anstelle des Tetrahalogensilans organosubstituierte Halogen - silane RnSiX 4 - R ( n = l - 3 ) mit Kohlenwasserstoffen zur Reaktion gebracht , gelingt es , Produkte mit hoherer Organosubstitution am Siliciumatom zu synthetisieren , bzw . deren Anteile am Reaktionsgemisch , ausgehend von Siliciumtetrahalogenid , zu erhohen ) .