본 발명 의 다른 관점 에 따른 웨이퍼 캐리어 는 , 메인 부분 들 및 마이너 부분 들 을 구비 한 보디 를 포함 할 수 도 있 으며 , 부가 적 으로 메인 부분 과 각각 의 마이너 부분 사이 의 수직 연장 된 보더 부분 ( border portion ) 을 부가 적 으로 구비 할 수 도 있 다 . 보더 부분 들 은 바람직 하 게 는 메인 부분 의 열 전도 성 과 상이 한 수직 방향 으로 의 열 전도 성 을 갖 는다 .