먼저 , 제 1 연결부 ( 21 ) 는 제 1 기판 ( 10 ) 의 패드 ( 14 ) 들 각각 과 면 - 접촉 하 는 부분 의 단면 은 평면 구조 를 갖 도록 형성 하 고 , 언급 한 바 와 같이 다양 한 구조 를 갖 도록 형성 할 수 있 다 . 아울러 , 제 1 연결부 ( 21 ) 는 멤 스 공정 을 통하 여 제 1 기판 ( 10 ) 과 일체 로 형성 하 여 제 1 기판 ( 10 ) 에 고정 되 도록 마련 하 거나 , 제 1 연결부 ( 21 ) 를 별도 로 제작 하 여 솔 더 본딩 을 통하 여 제 1 기판 ( 10 ) 에 고정 되 도록 마련 할 수 있 다 .