일부 실시 예 들 에서 , 제 1 보정 조치 는 , S - D 회절 신호 및 연관 된 구조물 의 라이브러리 로부터 신규 S - D 최적 추정 신호 데이터 및 연관 된 신규 S - D 최적 추정 구조물 을 선택 하 는 단계 와 , 제 1 S - D 피 측정 신호 데이터 와 신규 S - D 최적 추정 신호 데이터 간 의 신규 S - D 차이 를 계산 하 는 단계 와 , 신규 S - D 차이 를 이용 하 여 제 1 측정 웨이퍼 에 대한 신규 S - D 신뢰 도 데이터 를 확립 하 는 단계 와 , 신규 S - D 신뢰 도 데이터 를 신규 S - D 생산품 요건 에 비교 하 는 단계 와 , 신규 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 면 제 1 측정 웨이퍼 를 신규 고 신뢰 도 웨이퍼 로서 식별 하 고 처리 를 계속 하 거나 , 또는 신규 S - D 생산품 요건 중 하나 이상 이 충족 되 지 않 으면 상기 선택 , 계산 , 확립 , 비교 및 식별 을 정지 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 S - D 프로파일 라이브러리 작성 기준 이 충족 되 면 제 1 S - D 평가 특징 부 는 신규 S - D 최적 추정 구조물 및 연관 된 신규 S - D 최적 추정 신호 데이터 를 이용 하 여 식별 될 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 최적 추정 데이터 가 이용 될 수 있 고 , 다른 비교 가 이루어질 수 있 다 .