도 2 e 는 제 5 공정 단계 ( 104 ) 를 도시 한다 . 상부 기판 ( 4 o ) 의 상부 측 부 에서 상부 정렬 마크 ( 5 ol , 5 or ) 들 이 상부 렌즈 ( 7 ol , 7 or ) 의 시야 ( 6 ol , 6 or ) 내 에 위치 하 거나 정확 하 게 중심 에 배열 되 도록 ( 상부 도면 을 참고 ) 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 는 로딩 되 고 고정 된 상부 기판 ( 4 o ) 의 ( 화살표 에 의해 제안 된 ) 위치 를 설정 한다 ( 상부 도면 을 참고 ) . 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 는 x 방향 및 y 방향 으로 만 이동 할 수 있 고 z 방향 으로 이동 할 수 없 도록 구성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 상 에 상부 기판 ( 4 o ) 을 로딩 하 여 , 상부 정렬 마크 ( 5 ol , 5 or ) 는 이미 피사 계 심도 ( t ) 범위 에 있 는 것 이 바람직 하 다 . 그러나 , 작 은 높이 오차 를 보상 하 기 위해 상부 기판 홀더 ( 1 o ) 가 적어도 짧 은 거리 를 가로 질러 z 방향 으로 이동 할 수 있 은 장치 가 고려 될 수 있 다 .