본 발명 은 평판 표시 소자 제조 공정 용 장비 및 제조 방법 에 관한 것 으로써 , 특히 , 기판 의 식각 을 위한 식각 장비 의 전체 적 인 풋 프린트 ( footprint ) 를 최소 화 시킬 수 있 도록 함 과 더불 어 기판 의 반송 도중 파손 이나 손상 됨 을 방지 할 수 있 도록 한 새로운 구조 의 스토퍼 가 적용 된 평판 표시 소자 제조 공정 용 식각 장비 및 이 를 이용 한 평판 표시 소자 제조 방법 에 관한 것 이 다 .