도 8 및 도 9 를 참조 하 여 , 분할 전극 ( 31 , 33 ) 은 하나 이상 의 자석 ( 99 ) 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 용량 결합 전극 ( 97 ) 에 길 이 방향 으로 하나 이상 의 자석 ( 99 ) 이 장착 될 수 있 다 . 자석 ( 99 ) 은 영구 자석 으로 구성 되 지만 , 전자석 으로 구성 될 수 도 있 다 . 이 와 같이 , 분할 전극 ( 31 , 33 ) 에 영구 자석 이나 전자석 을 배열 함 으로써 , 이온 화 효율 을 높여 스퍼터링 효율 을 높일 수 있 다 . 자석 ( 99 ) 은 , 도 10 에 도시 된 바 와 같이 , 소스 타 겟 유닛 ( 31 , 33 ) 을 소스 타켓 의 기능 과 용량 결합 전극 의 기능 을 겸하 는 타 겟 전극 ( 98 ) 으로 구성 하 는 경우 에 도 동일 한 방식 으로 설치 가 가능 하 다 .