도 6 에 나타내 는 바 와 같이 , 위치 결정 기구 ( 42 ) 는 내측 하 면 ( IL ) 에 고정 된 베이스 플레이트 ( 45 P ) 와 , 베이스 플레이트 ( 45 P ) 에 입 설 된 기판 모서리 부 지지 핀 ( 30 c ) 과 , 베이스 플레이트 ( 45 P ) 에 입 설 된 제 1 롤러 지지 부 ( 46 Y ) 및 제 2 롤러 지지 부 ( 46 X ) 와 , 축선 ( AY ) 을 통해 제 1 롤러 지지 부 ( 46 Y ) 에 회전 가능 하 게 지지 된 제 1 롤러 ( 45 Y ) 와 , 축선 ( AX ) 을 통해 제 2 롤러 지지 부 ( 46 X ) 에 회전 가능 하 게 지지 된 제 2 롤러 ( 45 X ) 를 가진다 .