본 발명 은 , 이 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 다음 과 같 은 구성 을 취한다 . 즉 , 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 는 , 기판 을 수납 하 는 것 이 가능 한 캐리어 를 재치 하 기 위한 캐리어 재 치대 가 설치 된 인 덱 서 블록 과 , 제 1 처리 블록 과 , 제 2 처리 블록 을 구비 한다 . 상기 제 1 처리 블록 , 상기 인 덱 서 블록 및 상기 제 2 처리 블록 은 , 이 순서 로 수평 방향 으로 직선 형상 으로 연결 되 어 있 다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 제 1 처리 블록 과 상기 제 2 처리 블록 의 중간 에 배치 되 어 , 복수 의 기판 을 재치 하 는 기판 버퍼 를 내부 에 구비 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 캐리어 로부터 기판 을 취 출 ( 取 出 ) 하 여 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 제 1 처리 블록 은 , 상기 기판 버퍼 로부터 기판 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 에 대하 여 제 1 처리 를 행하 고 , 상기 제 1 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 제 2 처리 블록 은 , 상기 기판 버퍼 로부터 기판 을 수취 하 여 , 수취 한 기판 에 대하 여 제 2 처리 를 행하 고 , 상기 제 2 처리 가 행해진 기판 을 상기 기판 버퍼 에 반송 한다 . 상기 인 덱 서 블록 은 , 상기 제 1 처리 블록 및 상기 제 2 처리 블록 중 적어도 한쪽 으로부터 반송 된 기판 을 , 상기 기판 버퍼 로부터 상기 캐리어 재 치대 에 재치 된 상기 캐리어 로 되돌린다 .