최근 급속도 로 발전 하 고 있 는 반도체 산업 은 플 라즈 마 를 이용 한 증착 ( deposition ) 및 식각 ( etching ) 등 의 반도체 제조 기술 이 개발 , 활용 됨 에 따라 그 발전 속도 가 더욱 가속 화 되 고 있 다 . 특히 최근 에 반도체 소자 의 고집 적 화 로 인해 소자 의 미세 화 및 대 면적 화 가 강하 게 요구 됨 에 따라 이러 한 플 라즈 마 를 이용 한 반도체 제조 공정 은 더욱 중요 한 역할 을 차지 하 게 되 었 다 .