일 실시 형태 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 전기 전도 성 및 열전도 성 재료 로 형성 되 며 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 되 어 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 와 가스 분배 유닛 ( 115 ) 사이 의 적절 한 전기 전도 및 열전도 를 보장 한다 . 일 실시 형태 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 상부 플라 즈 마 생 성 볼륨 과 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 103 / 109 ) 사이 의 압력 차이 에 의해 , 압력 차이 에 의해 , 복수 의 고정 장치 에 의해 , 또는 이 들 의 조합 에 의해 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 고정 될 수 도 있 다 . 또한 , 여러 실시 형태 들 에서 , 플로우 제어 플레이트 ( 401 ) 는 가스 분배 유닛 ( 115 ) 에 대하 여 상술 한 바 와 같 은 플 라즈 마 저항성 코팅 에 의해 커버 되 고 보호 될 수 있 다 .