진공 반 송실 ( 200 ) 내 는 , 소정 의 진공 분위기 로 감압 되 어 있 다 . 진공 반 송실 ( 200 ) 에 는 , 감압 상태 에서 웨이퍼 ( W ) 를 반송 가능 한 반송 기구 ( 201 ) 가 마련 되 어 있 다 . 반송 기구 ( 201 ) 는 , 처리 장치 ( 101 내지 104 ) , 로드 로크 실 ( 301 내지 303 ) 에 대하 여 웨이퍼 ( W ) 를 반송 한다 . 반송 기구 ( 201 ) 는 , 예 를 들 어 독립 적 으로 이동 가능 한 2 개 의 반송 암 ( 202 a , 202 b ) 을 갖 는다 .