전원 ( 185 ) 의 전압 은 + 1000 V ~ - 1000 V 의 범위 이 고 , 직류 또는 주파수 0 . 01 Hz ~ 10 KHz 범위 의 교류 를 적용 할 수 있 다 . 제 1 플레이트 ( 170 ) 와 제 2 플레이트 ( 175 ) 는 도전 성 재질 , 특히 금속 재질 을 사용 할 수 있 으며 , 그 크기 는 증착 되 는 기판 ( 140 ) 의 면적 보다 큰 크기 로 하 며 , 증착 하 려는 목적 에 따라 크기 를 변경 시키 는 것 도 물론 가능 하 다 .