본 발명 에 따르 면 , 깊이 가 다른 트렌치 들 을 폴리머 부착 공정 으로 형성 된 희생 막 을 적용 하 여 형성 함 으로써 , 트렌치 를 형성 하 기 위한 부가 적 인 증착 공정 및 식각 공정 을 생략 할 수 있 으므로 트렌치 형성 공정 을 보다 간략 화 할 수 있 다 . 또한 , 폴리머 부착 공정 으로 형성 된 희생 막 을 식각 마스크 로 사용 하 여 예비 제 2 트렌치 를 식각 함 으로써 , 측벽 에 단차 가 없 는 제 2 트렌치 를 형성 할 수 있 다 . 더불 어 , 상기 희생 막 이 폴리머 를 포함 하 기 때문 에 상기 희생 막 을 식각 마스크 로 사용 하 는 경우 , 상기 희생 막 의 식각 정도 가 적 어 하부 의 제 1 패턴 들 및 제 2 패턴 들 의 손상 을 미연 에 방지 할 수 있 다 .