그리고 , 도 3 에 도시 된 바 , 상기 본체 ( 110 ) 의 외부 에 구비 되 어 나노 입자 현탁액 을 수용 하 는 보조 탱크 ( 151 ) 와 ; 상기 수용 용기 ( 120 ) 의 상단 에 관통 되 어 상기 보조 탱크 ( 151 ) 에 연결 되 는 배출관 ( 153 ) 과 ; 상기 수용 용기 ( 120 ) 의 하단 에 관통 되 어 상기 보조 탱크 ( 151 ) 에 연결 되 는 공급 관 ( 155 ) 로 구성 되 어 나노 입자 현탁액 을 순환 시키 는 현탁액 순환 부 ( 150 ) 를 포함 할 수 있 다 .