또한 , 상기 스퍼터링 방식 을 이용 한 종래 의 금속 실리사이드 막 을 형성 하 는 방법 은 , 박막 의 게이트 절 연막 상 에 데미지 ( damage ) 를 형성 하 여 누설 전류 를 유발 할 수 있 으나 상기 와 같 은 화학 증착 법 을 이용 한 몰리브덴 의 증착 은 PCT ( Plasma Charge Trap ) 사용 없이 도 데미지 없이 균일 하 게 금속 막 을 증착 할 수 있 다 .