스펙트럼 을 검출 하 기 위하 여 , 기판 ( W ) 에 의해 재 지향 된 방사선 은 이후 부분 적 으로 반사 하 는 표면 ( 16 ) 을 통하 여 검출기 ( 18 ) 로 나아간다 . 검출기 ( 18 ) 는 후방 - 투영 초점 평면 ( 11 ) 에 ( 즉 , 렌즈 시스템 ( 15 ) 의 초점 거리 에 ) 위치 될 수 있 거나 평면 ( 11 ) 은 보조 광 학기 ( 도시 되 지 않 음 ) 로 검출기 ( 18 ) 상 으로 재 이미 징 될 수 있 다 . 검출기 는 기판 타 겟 ( 30 ) 의 2 차원 각도 산란 스펙트럼 이 측정 될 수 있 도록 2 차원 검출기 일 수 있 다 . 검출기 ( 18 ) 는 , 예 를 들 어 CCD 또는 CMOS 센서 의 어레이 일 수 있 으며 , 예 를 들 어 프레임 당 40 밀리 초 의 적분 시간 ( integration time ) 을 사용 할 수 있 다 .