버퍼 층 은 기판 ( SUB ) 에서 제 1 액티브 패턴 ( ACT 1 ) 내지 제 7 액티브 패턴 ( ACT 7 ) 으로 불순물 이 확산 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 버퍼 층 은 단일 층 으로 제공 될 수 있 으나 , 적어도 두 층 이상 의 다중 층 으로 제공 될 수 도 있 다 . 버퍼 층 은 유기 절 연막 및 무기 절 연막 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 유기 절연 막 은 광 을 투과 시킬 수 있 는 유기 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 . 무기 절연 막 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 및 실리콘 산질 화물 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 . 버퍼 층 이 다 중층 으로 제공 되 는 경우 , 각 층 은 동일 한 물질 을 포함 하 거나 , 또는 서로 다른 물질 을 포함 할 수 도 있 다 . 예 를 들 면 , 무기 절연 막 은 실리콘 산화물 을 포함 하 는 제 1 막 , 및 제 1 막 상 에 배치 되 고 실리콘 질화물 을 포함 하 는 제 2 막 을 구비 할 수 있 다 .