제어 장치 ( 200 ) 는 본체 ( 100 ) 의 각 부 를 제어 한다 . 제 어 장치 ( 200 ) 는 , 예 를 들 면 가스 공급 기구 ( 60 ) , 배기 장치 ( 28 ) , 히터 ( 75 ) , 직류 전원 ( 42 ) , 스위치 ( 43 ) , 정 합기 ( 34 ) , 고주파 전원 ( 32 ) , 구동 부 ( 85 ) 및 칠러 유닛 등 을 제어 한다 .