하나 의 반도체 제조 장치 가 반도체 제조 공장 의 내부 에 차지 하 는 공간 , 즉 풋 프린트 ( footprint ) 를 줄어야 반도체 소자 를 많이 생산 할 수 있 어 생산 단가 를 낮출 수 있 다 . 아울러서 , 반도체 제조 장치 를 이용 하 여 반도체 소자 를 제조 할 때 기판 , 즉 웨이퍼 의 오염 을 줄여야 공정 수율 ( process yield ) 을 높일 수 있 어 반도체 소자 의 생산 단가 를 낮출 수 있 다 .