도 4 a 내지 도 4 k 를 참조 하 면 , 먼저 , 마스크 챔버 ( 42 ) 로부터 마스크 탈 부착 챔버 ( 44 ) 로 마스크 ( M 1 ) 가 제공 되 며 , 마스크 ( M 1 ) 는 직선 구동 부재 ( 310 ) 및 회전 구동 부재 ( 320 ) 의 이송 축들 ( 313 , 323 ) 에 제공 된 자석 부재 들 ( 314 , 324 ) 에 부착 된다 . 이때 기판 이송 유닛 ( 200 ) 에 의해 증착 챔버 ( 46 ) 내 로 기판 ( S 1 , S 2 ) 이 이동 된다 . ( 도 4 a )