다음 으로 각 패턴 들 에 대한 MEEF 값 을 산출 하 기 위해 도 4 c 에 도시 된 바 와 같이 , 각각 의 테스트 마스크 를 이용 하 여 웨이퍼 를 식각 하 였을 때 웨이퍼 상 에 나타나 는 실제 선폭 의 변화 량 들 을 도시 한다 . 이때 MEEF 의 값 은 각 그래프 의 기울기 값 으로 정의 된다 . 도 4 d 에 도 4 a 및 도 4 b 에서 산출 된 각 패턴 별 EL 값 과 MEEF 의 값 이 도시 되 어 있 다 .