또한 , 서 셉 터 ( S ) 에 있 어서 , 흑연 의 표면 에 코트 되 는 SiC 막 의 막 두께 는 100 ㎛ ∼ 150 ㎛ 정도 이 다 . 또 , 더미 웨이퍼 아래 의 SiC 막 과 그 이외 의 부분 의 SiC 막 과 의 막 두 께차 는 , 촉 침식 의 막 두께 측 정계 를 사용 하 여 측정 할 수 있 다 . 따라서 , 이 막 두께 차 에 상당 하 는 막 두께 의 SiC 막 을 형성 하 면 된다 .