실시 예 2 ( 도 3 ) 는 공정 ( 100 ) 의 예시 적 실시 양태 를 제공 하 며 , 여기 서 Li 2 . 9 PO 3 . 3 N 0 . 46 의 LIPON 전해질 막 ( 205 ) 은 , 리튬 농후 LixP ( x ≫ 3 ) ( 305 ) 와 Li 20 ( 307 ) 로 구성 되 는 복합 재 표적 ( 301 ) ( 이것 은 현미경 수준 으로 또는 센티미터 척도 로 복합 화 된 것 임 ) 으로부터 , LixP 타일 과 Li 2 O 타일 을 서로 밀접 하 게 교대 하 여 배치 함 으로써 아르곤 과 같 은 불활성 가스 를 첨가 하 거나 첨가 하 지 않 으면서 , 반응 성 의 적어도 질소 함유 스퍼터 플라 즈 마 플룸 ( 303 ) 중 에서 그러 한 표적 을 스퍼터링 할 때 , Li / P 의 농도 비율 이 약 2 . 9 로 산출 되 고 , O / P 비율 이 약 3 . 3 으로 산출 되 며 , 동시 에 N / P 비율 이 약 0 . 46 에 이르 도록 , DC , 펄스 화 DC , AC 또는 RF 반응 성 스퍼터링 에 의해 증착 할 수 있 다 . LixP ( x ≫ 3 ) ( 305 ) 와 Li 20 ( 307 ) 의 현미경 적 조성 은 센티미터 척도 복합 재 에 비하 여 바람직 할 수 있 으며 , 이 는 그것 이 DC 또는 펄스 스퍼터 조건 하 에 표적 을 조작 하 는데 유용 한 스퍼터 표적 ( 301 ) 의 반 전도성 표면 을 제공 하 기 때문 이 다 .