질화물 단결정 박막 의 성장 방법 이 개시 된다 . 본 질화물 단결정 박막 의 성장 방법 은 , m 면 육방정계 단결정 기판 상 에 반 극성 질화물 단결정 기저 층 을 형성 하 는 단계 , 절연성 물질 패턴 층 을 형성 하 는 단계 , 반 극성 질화물 단결정 기 저층 상 에 반 극성 질화물 단결정 박막 을 측 방향 성장 시키 는 단계 를 포함 하 며 , 반 극성 질화물 단결정 박막 의 측 방향 성장 단계 는 성 장면 의 일부 가 a 면 을 갖 도록 반 극성 질화물 단결정 박막 을 1 차 측 방향 성장 시키 는 단계 , 및 , 1 차 측 방향 성장 된 질화물 단결정 박막 이 합체 되 어 ( 11 - 22 ) 면 을 갖 는 반 극성 질화물 단결정 박막 이 형성 되 도록 2 차 측 방향 성장 시키 는 단계 를 포함 한다 .