또한 , 도 8 의 ( c ) 에 나타낸 단계 에서 , 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 의 너비 ( 내경 ) ( W ) 및 깊이 ( D ) , 매설 층 ( 64 ) 의 연화 온도 , 열처리 온도 ( 재 유동 온도 ) 등 을 적절히 설정 함 에 의해서 원통형 상부 ( 12 a , 12 b ) 내 의 공동 을 확실 하 게 형성 할 수 있 다 . 매설 층 ( 64 ) 의 연화 온도 는 도 펀트 농도 ( dopant concentration , 막 의 경우 에 는 B 또는 P 의 농도 ) 에 의해 조정 된다 . 공동 은 다음 각각 의 조건 들 하 에서 , 즉 너비 ( W ) 가 보다 좁 아 지 거나 , 열처리 온도 가 보다 낮 아 지 거나 , 매설 층 ( 64 ) 의 연화 온도 가 보다 높 아 지 거나 또는 매설 층 ( 64 ) 에 대한 열처리 온도 가 보다 낮 아 지 는 경우 에 보다 쉽 게 형성 된다 . 다른 특성 에 의존 하 여 매설 층 ( 64 ) 의 열처리 온도 및 연화 온도 에 부과 되 는 제한 이 있 는데 , 예 를 들 어 설계 에 따라서 회절 지수 를 설정 할 필요 가 있 다 . 따라서 , 실제 에 있 어 너비 ( W ) 및 깊이 ( D ) 에 대해 적합 한 값 은 경험 에 의해 결정 되 는데 , 왜냐하면 이 들 값 은 그러 한 공정 조건 에 따라서 크 게 변하 기 때문 이 다 . 공동 의 단면 은 , 매설 층 ( 64 ) 의 열처리 때문 에 , 타원 형 과 원형 사이 의 중간 쯤 의 형상 이 된다 .