상기 본 발명 의 제 3 목적 을 달성 하 기 위한 수단 으로서 , 시료 상태 의 조건 에 따라 본 발명 의 영상 확대 검사 장치 를 시료 에 자유 롭 게 접촉 하 여 관찰 하 는 접촉 식 사용 방법 과 , 수직 및 미세 조정 관찰 이 가능 한 고정 재물대 ( Stage ) 에 결합 사용 하 는 방법 과 , 측면 관찰 과 시료 의 넓 은 범위 를 관찰 하 기 위한 플렉서블 튜브 타입 의 재물대 에 결합 사용 하 는 방법 과 , 측면 관찰 과 시료 의 보다 넓 은 범위 를 관찰 하 기 위 한 플렉서블 튜브 타입 의 재물대 와 고정 재물대 의 결합 에 의한 사용 하 는 방법 으로 이루어진 것 이 다 .