상기 에 미터 영역 이 형성 된 후 , 상기 결과물 전면 에 층간 절 연막 을 형성 한 후 패 터닝 하 여 , 상기 에 미터 전극 , 상기 베이스 영역 및 상기 콜렉터 영역 을 노출 하 는 콘 택 홀 을 형성 하 는 단계 와 , 상기 콘 택 홀 에 도전 막 을 매립 하 여 , 상기 에 미터 전극 , 베이스 영역 및 콜렉터 영역 과 각각 접촉 하 는 콘 택 플러그 를 형성 하 는 단계 를 더 포함 한다 .