더욱 상세 하 게 는 , Si 실리콘 웨이퍼 와 , 상기 Si 실리콘 웨이퍼 의 표면 과 공기 와 의 반응 에 의해 형성 되 는 이산화규소 층 ( SiO 2 ) 과 , 상기 이산화규소 층 ( SiO 2 ) 상부 에 형성 되 는 전극 층 과 , 상기 전극 층 상부 로 상부 에 형성 되 는 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 막 층 과 , 상기 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 막 층 상부 에 형성 되 되 , 상기 전극 층 의 둘레 에 형성 되 어 용기 형상 을 이루 는 리저 버 ( reservoir ) 를 포함 하 여 pH 센서 를 구성 하 여 , 상기 용기 형상 을 이루 는 리저 버 ( reservoir ) 에 pH 를 측정 하 고자 하 는 용액 을 떨어뜨리 면 , 상기 pH 센서 에 연결 되 는 트랜지스터 를 통해 pH 값 을 측정 할 수 있 도록 하 는 전자 빔 증착 ( e - beam evaporation ) 을 이용 한 산화알루미늄 pH 센서 제조 방법 및 이 로부터 제조 된 pH 센서 에 관한 것 이 다 .