상기 문제점 을 해결 하 기 위해 본 고 안 에서 는 상기 반도체 웨이퍼 를 기밀 이 되 도록 수조 상단 에 장착 되 도록 구성 하 고 , 상기 반도체 웨이퍼 하방 에서 흡입 하 도록 진공 흡입 펌프 를 배수관 에 연결 함 으로써 , 상기 반도체 웨이퍼 의 통공 을 효율 적 으로 세척 할 수 있 고 , 상기 진공 흡입 펌프 에 연결 된 배수관 에 필터 를 구성 하 여 수질 오염 을 예방 하 도록 한 진공 흡입 펌프 가 장착 된 반도체 웨이퍼 용 세척장 치 를 제공 하 는 것 을 목적 으로 한다 .