유전체 막 ( 206 ) 은 산화 막 - 질화 막 - 산화 막 , 예컨대 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) - 실리콘 질화 막 ( Si 3 N 4 ) - 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 이 적층 된 구조 로 형성 하 거나 , 유전 율 이 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 보다 높 은 3 . 9 이상 인 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 ) , 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 ) , 하프늄 산화 막 ( HfO 2 ) 또는 이 들 의 적층 막 으로 형성 하 거나 , 이 들 이 혼합 된 혼합 막 으로 형성 할 수 도 있 다 .