일 실시 형태 에서 는 , 센터 링 동작 을 다시 실행 하 는 경우 , 도 2 의 스텝 5 를 생략 해도 된다 . 이 경우 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 웨이퍼 W 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로부터 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로 전달 하 기 전 에 , 전회 의 센터 링 동작 을 행한 후 에 취득 된 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 에 대한 웨이퍼 W 의 편심 방향 ( 즉 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 가장 이격 된 웨이퍼 W 상 의 최대 편심 점 ) 에 기초 하 여 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 회전 시킨다 . 그 후 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 웨이퍼 W 를 프로세스 스테이지 ( 20 ) 로부터 센터 링 스테이지 ( 10 ) 로 전달 하 고 , 웨이퍼 W 를 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 시킨다 ( 도 2 의 스텝 4 참조 ) . 또한 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 및 편심 방향 을 취득 하 지 않 고 ( 즉 , 도 2 의 스텝 5 를 실행 하 지 않 고 ) , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 에 기초 하 여 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 수평 으로 이동 시킨다 . 스텝 5 를 생략 함 으로써 , 센터 링 동작 을 복수 회 행해도 , 연마 장치 의 스루풋 저하 를 최소한 으로 억제 할 수 있 다 .