이때 제 1 지지 봉 ( 200 a ) 또는 제 2 지지 봉 ( 200 b ) 의 길 이나 이격 부재 ( 120 ) 의 설치 위치 에 따라서 는 먼저 제 1 지지 봉 ( 200 a ) 만 을 베이스 플레이트 ( 30 ) 에 결합 시키 고 , 이어서 플레이트 분리 장치 ( 100 ) 를 기판 안 치대 ( 20 ) 의 주변 에 위치 시킨 다음 , 제 2 지지 봉 ( 200 b ) 을 기판 안 치대 ( 20 ) 에 결합 시키 는 순서 로 진행 할 수 도 있 다 .