상기 가스 배 출부 ( 170 ) 는 상기 챔버 ( 101 ) 의 하부 일 측 에 연통 되 도록 구비 되 며 , 진공 밸브 ( 172 ) 와 진공 펌프 ( 174 ) 를 포함 한다 . 구체 적 으로 상기 가스 배기 부 ( 170 ) 는 챔버 ( 101 ) 내부 의 압력 을 조절 하 는 역할 및 기판 ( 110 ) 상 에 형성 된 박막 의 식각 공정 시 발생 되 는 식각 부산물 들 을 배출 하 는 역할 을 한다 . 상기 챔버 ( 101 ) 내부 의 압력 조절 및 상기 식각 부산물 을 배출 하 기 위해 상기 진공 밸브 ( 172 ) 가 개방 되 면서 진공 펌프 ( 174 ) 가 작동 된다 . 식각 공정 이 수행 되 는 챔버 ( 101 ) 의 압력 및 플 라즈 마의 밀도 를 유지 시키 기 위하 여 배 플 플레이트 ( 미 도시 ) 가 상기 기판 스테이지 ( 120 ) 에 인접 하 게 구비 될 수 있 다 .