그래서 , 본 실시 형태 에서 는 , 광학 부품 ( 201 ) , 상세 하 게 는 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 에 높 은 청 정도 를 갖 는 기체 를 내뿜 는 것 으로 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 낮 은 청 정도 를 갖 는 기체 ( 205 ) 가 광학 부품 ( 201 ) 에 접하 는 것 을 억제 ( 방지 ) 한다 . 이 에 따라 , 화학 반응 에 기인 하 는 불순물 이 광학 부품 ( 201 ) 에 부착 되 는 것 이 억제 되 어 , 광학 부품 ( 201 ) 에 흐림 이 발생 하 는 것 을 감소 할 수 있 다 .