한편 , 배선 패턴 ( 13 ) 은 일정 한 선폭 ( CD 1 ) 을 갖 으며 , 이 선폭 ( CD 1 ) 은 디자인 룰 이 정한 바 에 의해 더 이상 의 축소 나 증가 가 어려운 상태 이 다 . 마찬가지 로 , 트랜지스터 의 폭 을 정의 하 는 필라 패턴 ( 11 ) 의 폭 도 노광 기술 의 한계 로 인해 더 이상 의 축소 가 어려운 상태 이 다 . 즉 , 필라 패턴 ( 11 ) 을 형성 하 기 위한 포토레지스트 패턴 의 DICD ( Ddevelop Inspection Critical Dimension ) 가 50 nm 이 하 이면 포토레지스트 패턴 이 무너지 는 ( collapse ) 현상 이 발생 된다 .