제 2 반도체 필라 ( 23 P ) 의 상부 표면 은 워드 라인 ( 16 ) 의 상부 표면 과 동일 레벨 이 거나 , 워드 라인 ( 16 ) 의 상부 표면 보다 높 은 레벨 일 수 있 다 . 제 3 반도체 필라 ( 23 N ) 는 제 2 반도체 필라 ( 22 P ) 보다 낮 은 높이 를 가질 수 있 다 . 제 2 반도체 필라 ( 23 P ) 의 하단 부 는 제 1 반도체 필라 ( 13 N ) 에 직접 접촉 될 수 있 다 .