유기 막 ( 42 ) 이 형성 된 후 , 유기 막 ( 42 ) 상 에 는 무기 막 ( 44 ) 이 형성 된다 . 본 실시 예 에서 , 무기 막 ( 44 ) 은 실리콘 산화 막 또는 실리콘 질화 막 일 수 있 고 , 무기 막 ( 44 ) 은 화학 적 기상 증착 공정 등 을 통해 형성 될 수 있 다 . 유기 막 ( 42 ) 상 에 형성 된 무기 막 ( 44 ) 은 유기 막 ( 42 ) 에 포함 된 솔 벤트 와 같 은 가스 가 배출 되 는 것 을 억제 한다 .