이어서 , 이 와 같 은 구성 으로 이루어지 는 본 실시 형태 의 작용 에 대하 여 설명 한다 . 여기 서 는 , 먼저 , 베이퍼 챔버 ( 1 ) 의 제조 방법 에 대하 여 , 도 8 내지 도 13 을 사용 하 여 설명 하 지만 , 상측 금속 시트 ( 20 ) 의 하프 에칭 공정 의 설명 은 간략 화 한다 . 또한 , 도 8 내지 도 13 에서 는 , 도 3 의 단면도 와 동일 한 단면 을 도시 하고 있 다 .