가스 분배 판 ( 13 ) 의 중앙부 에 는 RF 전력 을 제공 하 는 RF 전원 ( 16 ) 이 연결 되 며 , RF 전력 은 가스 분배 판 ( 13 ) 과 접지 된 기판 안 치대 ( 12 ) 사이 에서 RF 전기장 을 형성 하 고 , RF 전기장 에 의해 전자 가 가속 되 어 중성 기체 와 충돌 함 으로써 활성 종 , 이온 및 전자 의 혼합체 인 플 라즈 마가 생성 되 며 , 이렇게 생성 된 활성 종 및 이온 이 기판 ( s ) 의 표면 과 반응 하 여 박막 을 증착 한다 .