미지 의 두께 를 갖 는 박막 의 경우 ( 도 3 ) , SiO 2 - on - Si 와 같 은 단일 표면 타입 에 대한 라이브러리 는 , 예 를 들 어 항상 제로인 상단 표면 높이 를 갖 는 많 은 가능 한 막 두께 에 대한 범위 가 될 수 있 다 . 표면 구조 에 다른 예 는 표면 거칠 기 이 며 , 조정 가능 한 파라미터 는 거칠 기 깊이 및 / 또는 공간 주파수 가 될 수 있 으며 , 분해 되 지 않 는 격자 구조 가 될 수 있 다 .