메 쉬 전극 ( 14 ) 은 세라믹 부재 ( 12 ) 에 매설 된 RF 전극 ( 고주파 전압 이 인가 되 는 전극 ) 이 며 , 웨이퍼 적 재면 ( 12 a ) 에 따르 도록 마련 된 원 형상 의 금속 메 쉬이 다 . 이 메 쉬 전극 ( 14 ) 의 재질 로서 는 , 예 를 들 어 텅스텐 , 몰리브덴 , 니오븀 , 탄탈 , 백금 이나 이 들 의 합금 이나 이 들 화합물 등 이 바람직 하 다 . 도 2 에 도시 되 는 메 쉬 전극 ( 14 ) 의 메 쉬 눈 크기 ( 사각 형상 의 메 쉬 개구부 ( 14 a ) 의 한 변의 길이 ) A , 메 쉬 ( 세로선 및 가로선 1 인치 간 의 눈 수 ) M , 선 직경 d , 메 쉬 개구율 ε 은 특별히 한정 하 는 것 은 아니 지만 , 메 쉬 눈 크기 A 는 0 . 3 mm 이상 1 mm 이하 가 바람직 하 고 , 메 쉬 M 은 10 이상 100 이하 가 바람직 하 고 , 선 직경 d 는 0 . 1 mm 이상 1 mm 이하 가 바람직 하 고 , 메 쉬 개구율 ε 은 40 ％ 이상 60 ％ 이하 가 바람직 하 다 .