" 도 6 은 도 3 에 도시 된 EUV 광원 ( 10 ') 에 사용 하 는 또 다른 디바이스 ( 14 '"" 로 라벨 링 된 ) 의 실시 예 를 도시 한다 . 도 6 은 디바이스 ( 14 '"") 가 레이저 오실 레이터 ( 600 ) 및 멀티 패스 증폭기 ( 602 ) 를 포함 하 는 것 을 도시 한다 . 예 를 들 면 ", 오실 레이터 ( 600 ) 는 9 . 3 - 10 . 6 미크론 파장 대역 에서 출력 을 가지 는 RF 연속 펌핑 된 CO 2 레이저 가 될 수 있 고 , 증폭기 ( 602 ) 는 직렬 로 배치 된 하나 이상 의 증폭기 챔버 를 구비 하 고 , 오실 레이터 ( 600 ) 에 의해 출력 된 파장 을 가지 는 광 을 증폭 하 기 위해 조정 된 이득 매체 를 구비 하 는 RF 연속 펌핑 된 고속 축 방향 흐름 의 CO 2 레이저 가 될 수 있 다 .