금속 막 성막 처리 가 종료 된 후 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 금속 막 성막 장치 ( 200 ) 의 게이트 밸브 G 를 개방 하 여 , 반송 기구 ( 306 ) 에 의해 금속 막 성막 장치 ( 200 ) 로부터 기판 W 를 취 출하 여 진공 반 송실 ( 301 ) 에 반송 한다 . 반송 기구 ( 306 ) 의 반송 암 이 진공 반 송실 ( 301 ) 로 퇴피 한 후 , 전체 제 어부 ( 310 ) 는 , 금속 막 성막 장치 ( 200 ) 의 게이트 밸브 G 를 폐쇄 한다 .