가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 및 주변 구조 부재 ( 108 ) 위 의 고정 된 위치 에서 홀딩 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 배열 을 통해 플 라즈 마 발생 체적 ( 109 ) 에 플라 즈 마 프로세스 가스 를 공급 하 도록 정의 된다 . 가스 분배 유닛 ( 115 ) 은 플라 즈 마 발생 체적 ( 109 ) 으로부터 유체 배출 을 제공 하 기 위해 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 배열 을 포함 하 도록 또 한 정의 된다 . 쓰루 홀 들 ( 117 ) 의 각각 은 가스 분배 유닛 ( 115 ) 을 통해 그 상부 표면 에서 그 하부 표면 으로 연장 한다 .