본 발명 에 따른 절 연막 의 조성 으로 는 , 규소 를 함유 하 는 공지 의 절 연막 형성 용 재료 로부터 적절 하 게 선택 할 수 있 지만 , 저 유전 률 을 실현 하 기 위해서 는 , 그 조 성 으로 는 , 규소 와 산소 를 주성분 으로 하 는 조성 , 또는 , 규소 와 산소 와 탄소 를 주성분 으로 하 는 조성 , 또는 , 규소 와 산소 와 질소 를 주성분 으로 하 는 조성 인 것 이 바람직 하 다 . 여기 서 주성분 이 라고 하 는 것 은 , 절 연막 중 10 원자 % 이상 을 그 성분 이 차지 하 는 것 을 의미 한다 .