[ 0056 ] 이 어서 , 방법 은 410 으로 진행 되 며 , 여기 서 , 바이어 싱 제어기 ( 140 ) 는 , 고 에너지 이온 들 이 워크 피스 내 의 고 종횡비 피처 들 의 바닥 에 도달 하 기 위해 이용 될 수 있 도록 , 워크 피스 쪽 으로 지향 되 는 이온 들 의 플럭스 의 이온 에너지 분포 를 조정 하 기 위해 , 고 전압 , 및 중간 및 저 전압 들 을 선택 적 으로 ( alternatively ) 펄 싱 한다 .