상기 워크 처리 장치 에 있 어서 , 상기 끌 어 올림 부 ( 22 ) 를 상방 으로 끌 어 올림 으로써 상기 롤러 부재 ( 21 b ) 가 상기 오 목부 ( 4 n ) 로부터 이탈 하 고 , 그 상태 에서 상기 끌 어 올림 부 ( 22 ) 를 상기 인출 방향 으로 이동 함 으로써 상기 롤러 부재 ( 21 b ) 를 상기 가이드 레일 ( 4 d ) 의 상방 에 위치 시키 는 것 이 가능 하 고 , 그 상태 에서 상기 롤러 부재 ( 21 b ) 를 상기 가이드 레일 ( 4 d ) 상 을 회동 시킴 으로써 상기 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 를 상기 설치 틀 ( 4 ) 에 대하 여 상기 수평 방향 으로 인출 가능 한 것 을 특징 으로 한다 .