분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 의 하 면 측 에 는 , 가스 토출 구멍 ( 도시 생략 ) 이 예 를 들 어 등 간격 으로 형성 되 어 있 다 . 이 들 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 은 , 제 1 처리 영역 ( P 1 ) 과 제 2 처리 영역 ( P 2 ) 을 분리 하 는 분리 영역 ( D ) 을 형성 하 고 , 이 분리 영역 ( D ) 에서 의 진공 용기 ( 1 ) 의 천 장판 ( 11 ) 에 는 , 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 개략 부채형 의 볼록 형 상부 ( 4 ) 가 형성 되 어 있 다 . 분리 가스 노즐 ( 41 , 42 ) 은 , 상기 볼록 형 상부 ( 4 ) 에 형성 된 홈 부 ( 43 ) 내 에 수납 되 어 있 다 .