또한 , 제 4 , 제 5 실시 형태 에 있 어서 , DMD 로 패턴 화 된 노광 광 ( EL ) 을 도 5 , 도 7 을 참조 해 설명 한 투영 계 ( PL ) 에 입사 하 고 , 기판 ( P ) 위 에 규정 된 제 1 , 제 2 노광 영역 ( AR 1 , AR 2 ) 에 노광 광 ( EL ) 을 조사 하 도록 하 여도 좋 다 . 이 경우 , 마스크 스테이지 를 설치 하 지 않 아도 좋 다 .