본 발명 은 유체 공급 장치 및 방법 에 관한 것 으로 , 본 발명 의 장치 는 제 1 유체 를 제공 받 아 저장 하 는 탱크 와 , 상기 탱크 에 저장 된 제 1 유체 를 제공 받 아 제 2 유체 와 혼합 하 는 혼합기 와 , 상기 탱크 에서 혼합기 로 제공 되 는 제 1 유체 의 농도 를 일정 하 게 유지 시키 는 농도 조절기 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 . 이 에 따르 면 , 약액 의 농도 를 일정 하 게 유지 하 여 공정 모듈 에 공급 할 수 있 게 됨 으로써 약액 의 농도 변화 로 야기 되 는 공정 불량 을 획기적으로 줄일 수 있 고 , 더 나아가 수율 을 향상 시킬 수 있 는 효과 가 있 다 .