상기 에서 언급 한 무기물 절연 막 은 SiO 2 , SiON , Al 2 O 3 , Al 2 O 3 : N , ZrO 2 , HfO 2 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , V 2 O 5 , Y 2 O 3 , La 2 O 3 , CeO 2 중 의 어느 하나 일 수 있 으며 , 특히 유전 상수 등 원 하 는 특성 을 가지 도록 혼합 하 거나 , 다층 구조 로 증착 하 여 활용 할 수 있 다 .