더욱 상세 하 게 는 , 광 간섭 모듈 ( 330 ) 은 대물렌즈 ( 331 ) 와 기준면 ( 332 ) 및 빔 분할기 ( 333 ) 로 구성 되 어 빔 분할기 ( 333 ) 로 입사 되 는 광 패턴 을 검사 대상 표면 으로 조사 하 게 되 는데 , 기준면 ( 332 ) 이 대물렌즈 ( 331 ) 에 의해 집광 된 광 에 대한 기준 광속 을 형성 하 고 , 빔 분할기 ( 333 ) 가 검사 대상 ( P ) 의 형상 / 표면 조도 의 측정 을 위한 측정 광속 을 형성 하 게 된다 .