도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 다중 스테이지 건식 진공 펌프 ( 10 ) 는 스테이 터 구성 요소 ( 12 ) 를 포함 하 며 , 상기 스 테이터 구성 요소 ( 12 ) 는 실리콘 - 몰리브덴 ( SiMo ) 연성 철 합금 으로 형성 되 는 것 이 바람직 하 며 , 복수 의 펌핑 챔버 ( 14 , 16 , 18 , 20 , 22 ) 를 형성 하 는 일련 의 벽 을 갖 는다 . 또한 , 펌핑 되 는 가스 를 입 구 펌핑 챔버 ( 14 ) 로 이송 하 기 위한 입구 도관 ( 24 ) 과 , 펌핑 되 는 가스 를 배기 펌핑 챔버 ( 22 ) 로부터 배기 하 기 위한 배기 도관 ( 26 ) 이 스 테이터 ( 12 ) 내 에 형성 된다 . 스 테이터 ( 12 ) 내 에 형성 된 통로 ( 28 , 30 , 32 , 34 ) 는 펌핑 챔버 ( 14 , 16 , 18 , 20 , 22 ) 를 직렬 로 연결 한다 .