본 발명 의 실시 예 에서 는 , 웨이퍼 상 의 포토레지스트 ( photoresist ) 를 노광 하 기 위한 노광 조명 과 더불 어 비 노광 조명 을 포함 하 게 변형 조명계 를 구성 하 여 , 렌즈 부 의 열 적 평형 상태 를 유지 할 수 있 도록 유도 한다 . 예컨대 , 변형 조명 계 의 어퍼 처 구성 을 노광 조명 에 대해 X 축 다이폴 을 구현 하 고 , 비 노광 조명 에 대해 Y 축 다이폴 을 구현 하 게 구성 하 여 , 동시 에 사용 하 여 렌즈 히팅 이 비대칭 적 으로 발생 되 는 것 을 억제 한다 .