이 와 마찬가지 로 , 제 2 세정액 유입 구 ( 132 ') 로 유입 된 세정액 은 제 2 세정액 유로 ( 134 ') 를 경유 하 여 제 2 세정액 유출 구 ( 136 ') 로부터 하부 노즐 모듈 ( 120 ) 의 하부 세정액 분배 관 ( 122 ) 으로 공급 됨 으로써 일련 의 하부 노즐 ( 121 ) 들 로 분배 된다 . 또한 , 제 2 에어 유입 구 ( 131 ') 로 유입 된 에어 는 제 2 에어 유로 ( 133 ') 를 경유 하 여 제 2 에어 유출 구 ( 135 ') 를 통해 하부 노즐 모듈 ( 120 ) 의 하부 에어 분배 관 ( 123 ) 으로 공급 되 면서 일련 의 하부 노즐 ( 121 ) 들 로 분배 된다 . 이 와 같이 하부 노즐 ( 121 ) 로 각각 분배 된 세정액 과 에어 는 하부 노즐 ( 121 ) 에서 서로 혼합 되 어 버블 상태 로 분사 됨 으로써 기판 ( S ) 의 하면 을 버블 제트 방식 으로 세정 하 게 된다 .