[ 0054 ] 챔버 바디 ( 402 ) 는 그 챔버 바디 ( 402 ) 에 형성 된 복수 의 플리 넘 들 을 포함 한다 . 플리 넘 들 은 하나 이상 의 가스 소스 들 ( 476 ) , 이를테면 캐리어 가스 , 및 하나 이상 의 전구체 소스 들 ( 478 ) , 이를테면 블록 ( 104 ) 에서 위 에서 논의 된 도 펀트 가스 및 증착 가스 들 과 유체 연통 한다 . 예컨대 , 제 1 플리 넘 ( 420 ) 은 그 제 1 플리 넘 ( 420 ) 을 통해 증착 가스 ( 450 ) 를 챔버 바디 ( 402 ) 의 상부 부분 ( 412 ) 내 에 제공 하 도록 적응 될 수 있 는 한편 , 제 2 플리 넘 ( 421 ) 은 상부 부분 ( 412 ) 으로부터 증착 가스 ( 450 ) 를 배기 하 도록 적응 될 수 있 다 . 그러 한 방식 으로 , 증착 가스 ( 450 ) 는 기판 ( 210 ) 의 상부 표면 에 평행 하 게 유동 할 수 있 다 .