기판 반송 장치 ( 100 ) 는 , 핸드 부 ( 10 ) 상 에 놓인 기판 ( 예 를 들 면 , 유리 기판 ) 을 처리 장치 또는 소정 의 수 용부 로 반송 하 는 장치 이 다 . 처리 장치 는 , 예 를 들 면 기판 의 세정 , 건조 , 기타 처리 를 하 는 장치 이 다 . 수 용부 는 , 예 를 들 면 그 내부 에 복수 장 의 기판 을 수납 가능 한 수납 카세트 이 다 . 또한 , 기판 반송 장치 ( 100 ) 는 , 모터 등 의 구동 부 ( M ) 를 구동 시킴 으로써 레일 ( R ) 을 따라 이동 시킬 수 있 고 , 또한 , 회 동축 ( A ) 을 중심 으로 기판 반송 장치 ( 100 ) 전체 를 회동 시킬 수 있 다 .