또한 , 반응기 ( 1 ) 내 의 오염 토양 을 극초단파 발생기 ( 2 ) 를 이용 하 여 가열 할 때 발생 하 는 휘발 성 , 준 휘발 성 증기 를 용이 하 게 배출 하 기 위하 여 상기 다공 성분 배기 ( 4 ) 가 설치 된 반대 면 즉 , 배출구 에 는 다공성 여과기 ( 3 ) 를 구비 한다 . 상기 다공성 여과기 ( 3 ) 는 토양 이 아래 로 빠져 나오 지 못하 도록 물 과 공기 만 통과 될 수 있 는 재질 을 사용 하 며 , 상기 다공성 여과기 ( 3 ) 로부터 배출 되 는 증기 는 배출 펌프 ( 30 ) 에 의해 기 액 분리 장치 ( 20 ) 로 이송 되 며 , 기체 와 액체 로 분리 되 어 각각 기체 처리 장치 ( 40 ) 와 액체 저장조 ( 50 ) 에서 처리 또는 저장 된다 . 이때 증기 추출 시 반응기 ( 1 ) 내 토양 의 상부 에 5 ~ 20 mmHg 의 진공 이 형성 되 는 것 이 반응기 내 공기 의 흐름 을 기 액 분리 장치 쪽 으로 이동 시켜 주 므로 바람직 하 다 . 따라서 상기 압력 상태 를 체크 할 수 있 도록 반응기 내 에 압력계 ( 미 도시 ) 를 더 구비 하 는 것 이 좋 다 . 증기 추출 후 토양 함수율 은 10 % 이하 로 되 는 것 이 바람직 하 다 . 추출 된 증기 또는 수분 은 상기 기 액 분리 장치 ( 20 ) 에서 기체 와 액체 로 분리 된다 . 기 액 분리 장치 ( 20 ) 는 수냉식 또는 공 냉 식 장치 인 것 이 바람직 하 다 .