트림 공정 은 식각 대상물 의 폭 을 감소 시키 기 위해 진행 하 는 공정 이 다 . 이 를 위해 게이트 하드 마스크 막 ( 83 ) 을 형성 하 는 공정 에 비해 식각 가스 의 유량 , 소스 파워 , 챔버 암 력 및 기판 온도 로 이루어진 그룹 중 에서 선택 된 적어도 어느 하나 를 증가 시 켜 진행 한다 . 예 를 들 어 , 식각 가스 의 유량 과 소스 파워 를 증가 시켜 진행 하 거나 , 식각 가스 의 유량 , 소스 파워 및 기판 온도 를 증가 시켜 진행 한다 . 또는 식각 가스 의 유량 , 소스 파워 , 챔버 압력 및 기판 온도 모두 를 증가 시켜 진행 한다 . 여기 서 , 소스 파워 는 식각 가스 를 바탕 으로 식각 플 라즈 마 를 발생 시키 기 위해 인가 된 파워 이 다 . 다른 방법 으로 , 게이트 하드 마스크 막 ( 83 ) 을 형성 하 는 공정 에 비해 바이어스 파워 를 감소 시켜 진행 한다 . 이때 바이어스 파워 는 발생 된 플 라즈 마 를 기판 방향 으로 유도 시키 기 위해 인가 된 파워 이 다 .