본 발명 은 공 압 드라이브 실린더 를 포함 하 는 , 처리 될 기판 을 이동 및 위치 설정 하 기 위한 핀 리프팅 디바이스 ( 10 ) 에 관한 것 이 다 . 공 압 드라이브 실린더 는 제 1 실린더 형 내부 체적 ( 25 ) 을 둘러싸 는 실린더 형 하우징 ( 21 ) , 및 제 1 피스톤 ( 22 ) 및 제 1 피스톤 로드 ( 23 ) 를 갖 고 모션 축 을 따른 모션 을 위해 배열 되 는 제 1 피스톤 조립 체 를 갖 는다 . 제 1 피스톤 ( 22 ) 은 제 1 내부 체적 ( 25 ) 을 한정 한다 . 제 1 피스톤 로드 ( 23 ) 는 실린더 형 하우징 ( 21 ) 으로부터 돌출 하 고 , 제 1 피스톤 조립 체 는 제 1 내부 체적 ( 25 ) 의 가압 에 의해 피팅 위치 로 이동 될 수 있 다 . 디바이스 는 종 방향 축 ( L ) 의 방향 으로 평행 하 게 이동 가능 한 적어도 하나 의 지지 핀 ( 11 ) 을 갖 고 , 지지 핀 ( 11 ) 은 제 1 피스톤 로드 ( 23 ) 에 연결 되 고 , 지지 핀 ( 11 ) 은 제 1 피스톤 조립 체 의 이동 에 의해 이동 가능 하 다 . 드라이브 실린더 는 제 2 피스톤 ( 32 ) 및 제 2 피스톤 로드 ( 33 ) 를 갖 는 제 2 피스톤 조립 체 를 갖 는다 . 제 2 피스톤 ( 32 ) 은 제 2 내부 체적 ( 35 ) 을 한정 한다 . 제 2 피스톤 조립 체 는 제 1 피스톤 조립 체 와 동축 인 모션 을 위해 배열 된다 . 제 2 피스톤 로드 ( 33 ) 의 단부 표면 은 제 1 피스톤 ( 22 ) 을 향한다 . 제 1 및 제 2 피스톤 조립 체 들 은 , 제 1 피스톤 ( 22 ) 및 제 2 피스톤 로드 ( 33 ) 가 피팅 위치 에서 어떠 한 접촉도 없 고 제 1 피스톤 ( 22 ) 및 제 2 피스톤 로드 ( 33 ) 가 처리 위치 에서 접촉 하 는 그러 한 방식 으로 배열 된다 .