소형 연구 개발 도구 ( F - 120 ® 반응기 ) 내 에서 황 함유 SAM 의 기상 증착 에 대한 실험 을 수행 하 였 다 . 실험 에서 전기 화학 적 으로 증착 된 구리 를 포함 하 는 노출 된 금속 성 표면 을 갖 는 기판 을 , 다양 한 실험 에서 3 . 5 % 수성 포름산 및 3 . 5 % 수성 HCl 을 사용 하 는 액체 산 전처리 에 30 초 동안 노출 시키 거나 ; 기상 포름산 에 10 번 의 10 초 펄스 로 노출 시켰 다 . 티 올 SAM 전구체 또는 모노머 로서 지칭 될 수 있 는 황 함유 모노머 , 이른 바 1 - 도데 칸티 올 ( CH 3 ( CH 2 ) 11 SH ) 을 다양 한 노출 시간 동안 75 ℃ 내지 150 ℃ 범위 의 상이 한 온도 에서 기판 에 제공 하 였 다 . 노출 은 기상 접촉 단계 와 제거 단계 를 각 5 초 씩 교번 하 는 방식 으로 수행 하 였 다 . 예 를 들 어 , 5 초 펄스 와 5 초 퍼징 을 180 번 교번 하 는 방식 으로 15 분 동안 노출 시켰 다 .