산화알루미늄 막 으로 의 나트륨 의 첨가 는 , 이온 도핑 법 을 사용 하 고 , 인가 전 압 25 kV , 도즈 량 1 . 7 × 1014 ions / cm 2 로 나트륨 이온 을 첨가 함 으로써 행했 다 . 또 질화 산화 실리콘 막 으로 의 나트륨 의 첨가 는 , 이온 도핑 법 을 사용 하 고 , 인가전압 20 kV , 도즈 량 1 . 7 × 1014 ions / cm 2 로 나트륨 이온 을 첨가 함 으로써 행했 다 .