이때 , 금속 배 선간 콘택트 형성 을 위한 식각 진행시 , 기 형성 해 놓 은 선택 적 증착 막 ( 202 ) 에서 식각 정지 가 이루어지 며 , 이 선택 적 증착 막 ( 202 ) 은 하부 금속 배선 , 특히 구리 를 사용 하 는 금속 배선 에서 의 식각 에 따른 부식 내지 는 어택 등 을 방지 하 는 식각 정지 막 으로서 의 역할 을 하 게 된다 . 도면 에 는 도시 되 지 않 았 으나 , 상기 금속 배 선간 비 아홀 용 포토레지스트 패턴 형성 시 , 오버행 되게 형성 된 선택 적 증착 막 ( 202 ) 에 따른 비 아홀 과 하부 금속 배 선간 의 미스 얼라 인 마진 을 충분히 확보 할 수 있 게 된다 .