도 4 를 참조 하 면 , 건조 장치 ( 10 ) 는 처리 실 ( 100 ) , 히터 ( 200 ) , 액 공급 관 ( 300 ) , 냉각 부재 ( 400 ) , 그리고 차단 가스 공급 부재 ( 500 ) 를 가진다 . 처리 실 ( 100 ) 은 하우징 ( 110 ) , 커버 ( 120 ) , 그리고 배스 ( 130 ) 를 가진다 . 하우징 ( 110 ) 은 상부 가 개방 된 공간 을 가지 며 , 처리 실 ( 100 ) 의 외벽 으로서 제공 된다 . 배스 ( 130 ) 는 하우징 ( 110 ) 내 에 배치 되 며 석영 재질 로 이루어진다 . 배스 ( 130 ) 는 기판 ( W ) 의 건조 가 이루어지 는 공간 을 제공 하 며 , 그 상부 는 개방 된다 . 커버 ( 120 ) 는 하우징 ( 110 ) 의 개방 된 상부 를 개폐 한다 . 배스 ( 130 ) 내 에 는 받침대 ( 140 ) 가 제공 된다 . 받침대 ( 140 ) 는 후술 하 는 냉각 부재 ( 400 ) 에 의해 응축 되 어 아래 로 떨어지 는 알코올 액 을 수용 하 고 , 배출관 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 통해 배스 ( 130 ) 외부 로 배출 한다 .