상기 전원 ( 30 ) 에 의해 , 중공 음극 방전 반응기 ( 20 ) 로 방전 에너지 가 공급 된다 . 이 때 방전 에너지 는 음 의 직류 전압 , 및 RF 파 와 음 의 직류 전압 의 조합 으로 구성 되 는 군 에서 선택 된다 . 바람직 하 게 는 , 상기 방전 에너지 가 음 의 직류 전압 을 갖 는 것 이 다 . 상기 음 의 직류 전압 은 연속파 형 또는 펄스 파형 일 수 있 다 . 상기 방전 에너지 의 도움 하 에 , 상기 방전 가스 는 중공 음극 방전 을 경험 하 고 , 중공 음극 방전 반응기 ( 20 ) 내부 에 플 라즈 마 를 생성 한다 .