본 발명 은 , 이 동체 시스템 , 패턴 형성 장치 , 노광 장치 , 및 계측 장치 , 그리고 디바이스 제조 방법 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 , 실질 적 으로 소정 평면 을 따라 이동하 는 이 동체 를 포함 하 는 이 동체 시스템 , 그 이 동체 시스템 을 구비 하 는 패턴 형성 장치 , 상기 이 동체 시스템 을 구비 하 는 노광 장치 , 및 노광 장치 에 형성 되 는 계측 장치 , 그리고 상기 노광 장치 를 사용 하 는 디바이스 제조 방법 에 관한 것 이 다 .