산화 공정 은 반도체 재료 들 의 물리 적 으로 노출 된 표면 부분 들 을 유전체 반도체 산화물 부분 들 로 변환 하 도록 수행 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 소스 콘택트 층 ( 114 ) 및 상부 소스 레벨 반도체 층 ( 116 ) 의 표면 부분 들 은 유전체 반도체 산화물 플레이트 들 ( 122 ) 로 변환 될 수 있 고 , 소스 선택 레벨 전도성 층 ( 118 ) 의 표면 부분 들 은 환형 유전체 반도체 산화물 스 페이서 들 ( 124 ) 로 변환 될 수 있 다 .