그 후 , Liq 를 가열 하 여 막 두께 1 ㎚ 가 되 도록 0 . 01 ∼ 0 . 1 ㎚/ 초의 증착 속도 로 증착 하 고 , 이어서 , 마그네슘 과 은 을 동시 에 가열 하 여 막 두께 100 ㎚ 가 되 도록 증착 하 여 음극 을 형성 하 여 , 유기 EL 소자 를 얻 었 다 . 이 때 , 마그네슘 과 은의 원자 수비 가 10 대 1 이 되 도록 0 . 1 ㎚ ∼ 10 ㎚/ 초 사이 에서 증착 속도 를 조절 하 였 다 .