구체 적 으로 는 , 도 2 에 도시 하 는 검사 장치 A 에 있 어서 , 가스 배출 측 유통 부 ( 4 ) 의 노즐 ( 41 ) 을 퍼 지부 ( 9 ) 의 리 셉 터 클 ( 92 ) 에 접속 한다 . 개폐 밸브 ( 64 , 65 ) 를 닫 고 , 개폐 밸브 ( 12 , 91 , 93 ) 를 개방 한 상태 에서 , 수소 가스 디 스펜서 C 의 노즐 C 1 을 리 셉 터 클 ( 11 ) 에 접속 하 고 , 수소 가스 디 스펜서 C 로부터 수소 가스 를 소량 공급 한다 . 수소 가스 는 주 배관 ( 2 a ) 및 배관 ( 4 a ) 으로부터 퍼지 부 ( 9 ) 의 배관 ( 9 a ) 에 들어가 , 감압 밸브 ( 61 ) 에서 감압 된 후 , 개폐 밸브 ( 93 ) 로부터 외부 로 벤트 된다 ( 또는 회수 봄베 에 회수 된다 ) . 검사 전 에 퍼지 를 행함 으로써 , 검사 의 신뢰 성 을 높일 수 있 다 . 도 2 의 가 는 화살표 는 , 퍼지 시 의 수소 가스 의 흐름 을 나타낸다 .