한편 , 플 라즈 마 ( plasma ) 란 전기 적 으로 중성 인 기체 분자 가 전기 에너지 또는 열에너지 를 흡수 하 여 이온 과 전자 로 분리 되 어 있 는 상태 를 말 한다 . 현재 플 라즈 마 를 이용 하 는 기술 에 대한 연구 가 활발히 진행 되 고 있 다 . 반도체 공정 에서 플라 즈 마 식각 ( plasma etching ) 및 화학 기상 증착 ( PECVD : plasma enhanced chemical vapor deposition ) , 금속 이나 고분자 의 표면 처리 , 인조 다이아몬드 등 의 신 물질 의 합성 , 플 라즈 마디스 플레이 ( PDP : plasma display panel ) 및 환경 정화 기술 등 그 응용 분야 가 점점 더 확대 되 고 있 다 .