본 에칭 장치 의 웨이퍼 지지 구 ( 본 웨이퍼 지지 구 ) 는 , 웨이퍼 를 지지 하 는 웨이퍼 지 지구 로서 , 웨이퍼 의 하면 에 부분 접촉 하 여 웨이퍼 가 재치 되 는 베이스 부 , 및 , 그 베이스 부 에 재치 된 웨이퍼 를 둘러싸 도록 그 베이스 부 에 세워 형성 되 어 있 는 복수 의 기둥 부를 포함 하 는 본 체부 와 , 그 본체 부 에서 외측 으로 뻗 어 나오 는 다리 를 구비 하 고 있 다 .