기판 은 하나 이상 의 층 을 포함 할 수 있 다 . 기판 에 포함 된 층 은 알루미늄 , 구리 , 몰리브덴 , 탄 탈륨 , 티타늄 , 텅스텐 , 또는 이 들 의 합금 의 하나 이상 의 전도 층 ; 질화물 또는 규소 화물 의 층 ; 도핑 된 비정질 실리콘 또는 도핑 된 폴리 실리콘 ; 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 , 또는 금속 산화물 의 층 과 같 은 하나 이상 의 절연 층 ; 단결정 실리콘 과 같 은 반도체 층 ; 유리 층 ; 석영 층 ; 및 이 들 의 조합 또는 혼합물 일 수 있 지만 , 이 에 한정 되 지 않 는다 .