약액 공급 수단 은 세정액 의 농도 변화 에 따라 세 정조 에 선택 적 으로 약액 ( chemical liquor ) 을 공급 할 수 있 도록 제공 된다 . 약액 공급 수단 을 통한 약액 의 공급 여부 및 공급량 은 세정액 의 농도 를 감지 하 는 통상 의 농도 감지 수단 에 의한 감지 신호 에 의해 제어 될 수 있 다 . 아울러 약액 공급 수단 은 외조 와 내조 중 적어도 일 측 에 약액 을 공급 하 도록 구성 될 수 있 다 . 그러나 , 기판 이 수용 되 는 내조 에 고농 도 약액 이 직접 공급 될 경우 에 는 고농 도 약액 에 의해 기판 이 손상 될 우려 가 있 기 때문 에 , 약액 이 외조 로 먼저 공급 되 도록 한 후 , 순환 수단 을 거치 면서 기존 세정액 과 혼합 된 후 내조 로 유입 되 도록 구성 함 이 바람직 하 다 .