접지 측벽 들 ( 410 b ) 각각 은 상면 플레이트 ( 410 a ) 의 장변 및 단변 가장자리 부분 으로부터 수직 하 게 돌출 되 어 상면 플레이트 ( 410 a ) 의 하부 에 가스 분사 공간 ( 412 ) 을 마련 한다 . 이러 한 접지 측벽 들 ( 410 b ) 각각 은 챔버 리드 ( 115 ) 를 통해 전기 적 으로 접지 된다 . 이때 , 상기 장변 접지 측벽 들 은 접지 전극 의 역할 을 한다 .