배치 세정 프로세스 의 경우 , 오염 된 웨이퍼 는 정의 한 부분 에서 다른 조성물 의 화학 탱크 를 통과 한다 . 일반 적 으로 , 다른 계면 활성 첨가제 과 함께 수산화 칼륨 또는 수산화 나트륨 에 기반 을 둔 수용성 알칼리제 ( alkaline agent ) 는 세정제 로서 역할 을 한다 . 세정 하 는 동안 화학 물질 및 초 순수 ( ultrapure water ) 캐스케이드 ( cascade ) 는 근본 적 인 물리 원리 로서 희석 효력 을 이용 하 며 , 웨이퍼 가 많 은 탱크 를 통과 하 여 이동 할 때 희석 효력 이 유래 한다 . 와이어 소 잉 ( wire - sawing ) 후 웨이퍼 분리 부터 완성 된 세정 된 웨이퍼 까지 의 일부 단계 를 포함 하 는 , 배치 에 있 어 프로세스 시간 은 일반 적 으로 1 시간 이상 이 다 .