일 형태 에 따르 면 , 복수 의 기판 이 격납 된 격납 용기 로부터 상기 기판 을 처리 실에 반송 하 여 처리 하 는 공정 ; 상기 처리 실 의 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 하 는 공정 ; 및 상기 메인 터 넌 스 예약 정보 를 접수 한 후 , 상기 메인 터 넌 스 예약 정보 에 따른 상기 처리 실 에서 의 기판 처리 가 완료 될 때 까지 상기 기판 처리 를 계속 하 고 , 상기 기판 처리 완료 후 에 상기 처리 실로 의 기판 반송 을 정지 하 여 상기 처리 실 을 메인 터 넌 스 가능 한 상태 로 하 는 공정 을 포함 하 는 기술 이 제공 된다 .