또한 , 에칭 액 ( CHM ) 의 속도 벡터 의 접선 방향 성분 ( VT 방향 성분 ) 의 방향 은 , 웨이퍼 ( W ) 의 회전 방향 과 동일 한 것 이 바람직 하 다 . 웨이퍼 ( W ) 의 회전 방향 과 반대 이 면 , 에칭 액 ( CHM ) 의 비산 ( 액 튐 ) 을 제어 하 는 것 이 곤란 해진다 . 단 , 에칭 액 ( CHM ) 의 비산 의 제어 에 문제 가 생기 지 않 는다면 , 에칭 액 ( CHM ) 의 속도 벡터 의 접선 방향 성분 과 웨이퍼 ( W ) 의 회전 방향 은 반대 여도 된다 .