상술 한 후속 열처리 에 의해 도 3 f 에 도시 된 바 와 같이 , 루테늄 산화 막 ( 207 A ) 이 루테늄 막 ( 208 B ) 으로 환원 될 때 루테늄 막 ( 208 B ) 의 표면 에 는 반구형 의 그레 인 ( Grain , 208 C ) 이 형성 된다 . 열처리 에 의해 반구형 그레인 ( 208 C ) 이 형성 되 는 원리 는 , 열처리 시 루테늄 산화 막 ( 207 A ) 이 루테늄 막 ( 208 B ) 으로 환원 되 면서 부피 수축 을 겪 는데 , 이때 표면 거칠 기 가 증가 하 여 반구형 의 그레인 ( 208 C ) 이 형성 되 는 것 이 다 .