또한 , 플레이트 ( 28 ) 상면 의 X 축 방향 일 측 과 타 측 ( 도 43 ( B ) 에 있 어서 의 좌우 양측 ) 의 영역 에 는 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 이 형성 되 어 있 다 . 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 은 각각 예 를 들 어 Y 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 격자 와 X 축 방향 을 주 기 방향 으로 하 는 격자 가 조합 된 , 반사 형 2 차원 격자 ( 예 를 들 어 회절 격자 ) 에 의해 구성 되 어 있 다 . 2 차원 격자 의 격자 선 의 피치 는 , Y 축 방향 및 X 축 방향 의 어느 방향 에 대해서 도 , 예 를 들 어 1 ㎛ 이 다 . 또한 도 43 ( B ) 에서 는 , 도시 의 편의 상 , 격자 의 피치 는 실제 의 피치 보다 크 게 도시 되 어 있 다 . 그 밖 의 도면 에 있 어서 도 동일 하 다 . 이동 스케일 ( 39 A , 39 B ) 은 발 액 막 ( 발 수막 ) 으로 덮여 있 다 .