본 발명 에 따른 제 4 공정 단계 에서 , 광학 그룹 의 이동은 상부 외부 정렬 마크 가 하부 렌즈 시스템 의 시야 에 위치 하 도록 발생 한다 . 상부 외부 정렬 마크 가 측정 되 면 상부 측면 샘플 홀더 위치 와 상부 외부 정렬 마크 사이 에 고유 한 할당 이 존재 하 게 된다 . 이전 에 검출 된 상부 외부 정렬 마크 에 대한 참조 를 잃 지 않 기 위해 , 하부 렌즈 시스템 의 위치 는 바람직 하 게 는 광학 측정 수단 , 더욱더 바람직 하 게 는 간섭계 에 의해 여기 서 정확 하 게 정밀 하 게 모니터링 된다 . 따라서 , 렌즈 시스템 에 의해 이동 된 경로 가 검출 될 수 있 다 .