그래서 , 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 , 제 1 게이트 ( 84 ) 와 는 달리 , 소모 파트 의 교환 용 의 게이트 를 마련 하 고 있 다 . 예 를 들 면 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 , 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 가 탑재 되 는 탑재 대 ( 31 ) 에 대하 여 제 1 게이트 ( 84 ) 의 반대 측 에 제 2 게이트 ( 95 ) 가 마련 되 어 있 다 . 제 2 게이트 ( 95 ) 는 , 교환 하 는 소모 파트 보다 큰 사이즈 의 개구 로 되 고 , 어댑터 ( adapter ) ( 96 ) 에 의해 기밀 성 을 유지 하 여 폐색 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 제 2 게이트 ( 95 ) 는 , 내측 으로부터 외측 으로 의 도중 에 , 개구 의 사이즈 가 상하 좌우 로 커져서 단 부면 ( 95 A ) 이 형성 되 어 있 고 , 어댑터 ( 96 ) 와 접촉 하 는 단부 면 ( 95 A ) 에 O 링 ( O - Ring ) 및 나사 구멍 이 마련 되 고 , 어댑터 ( 96 ) 가 나사 로 고정 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 게이트 ( 95 ) 에 는 , 후술 하 는 유지 보수 장치 ( 100 ) 가 탈착 가능 하 게 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 도 1 에 도시 하 는 바 와 같이 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 제 1 게이트 ( 84 ) 가 웨이퍼 ( W ) 의 반송 계 에 접속 된다 . 이 때문 에 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 의 제 1 게이트 ( 84 ) 측 의 주변 은 빈 공간 이 부족 하 여 , 공간 을 확보 하 기 어렵 다 . 한편 , 제 1 게이트 ( 84 ) 의 반대 측 의 주변 은 공간 을 확보 하 기 쉽 다 . 따라서 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 , 제 1 게이트 ( 84 ) 의 반대 측 에 제 2 게이트 ( 95 ) 를 마련 하 는 것 에 의해 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 를 배치 하 기 위한 공간 을 쉽 게 확보 할 수 있 다 . 작업자 는 , 소모 파트 의 교환 을 실시 할 경우 , 소모 파트 를 교환 하 는 대상 의 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 로부터 어댑터 ( 96 ) 를 고정 하 는 나사 를 분리 한다 . 그리고 , 작업자 는 , 소모 파트 의 교환 을 실시 할 경우 , 소모 파트 를 교환 하 는 대상 의 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 에 대하 여 , 도 1 의 파선 에 의해 도시 하 는 바 와 같이 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 를 장착 한다 .