이미 위 에서 언급 한 바 와 같이 , 본 발명 에 따른 횡 방향 센서 ( 114 ) 는 z 위치 를 결정 하 도록 채택 된 종 방향 광학 센서 로서 동시 에 채용 될 수 있 다 . 이러 한 목적 으로 , y 방향 으로 위치 된 부분 전극 을 통한 전극 전류 i 1 , i 2 와 x 방향 으로 위치 된 분분 전극 을 통한 전극 전류 i 3 , i 4 는 바람직 한 실시 예 에서 사용 될 수 있 으며 , 전극 전류 는 z 좌표 를 결정 하 기 위하 여 하나 이상 의 적절 한 전극 측정 장치 에 의해 동시 에 또는 순차 적 으로 측정 될 수 있 다 . 이 들 전극 전류 를 평가 함 으로써 , 조사 중 인 측정 지점 의 위치 ( 174 ) 의 원 하 는 z 좌표 , 즉 , z 0 는 다음 과 같 은 방정식 을 사용 하 여 결정 될 수 있 다 .