나아가 , 제 2 프리 코팅 막 은 공정 챔버 ( 102 ) 내 에서 파티클 이 발생 하 는 것 을 억제 하 도록 접착력 ( adhesion ) 및 밀도 가 비교 적 높 은 박막 일 수 있 고 , 예컨대 제 1 프리 코팅 막 과 동일 하 게 실리콘 산화 막 ( SiO 2 ) 을 포함 할 수 있 다 . 따라서 , 제 2 프리 코팅 막 을 형성 하 는 단계 ( S 26 ) 는 전술 한 제 1 프리 코팅 막 을 형성 하 는 단계 ( S 16 ) 를 참조 할 수 있 다 .