언로 더 모듈 ( 550 ) 은 , 가공물 홀더 로부터 가요 성 가공물 을 제거 하 고 가요 성 가공물 의 세트 를 수용 하 도록 구성 된 언로 딩 포트 로 가요 성 가공물 을 운반 하 도록 구성 된다 . 언 로딩 되 면 , 가공물 홀더 ( 525 ) 는 다른 가공물 을 수용 하 기 위해 복귀 경로 ( 555 ) ( PH 복귀 경로 참조 ) 를 따라서 로더 모듈 ( 510 ) 로 복귀 할 수 있 다 . 다수 의 가공물 홀더 가 사용 될 수 있 으며 , 일부 가공물 홀더 는 저장 버퍼 에서 유지 된다 .