이 형 필름 ( 311 ) 은 예 를 들 면 , 추후 레이저 의 조사 에 반응 하 여 기화 됨 으로써 캐리어 기판 ( 310 ) 이 분리 가능 하 도록 할 수 있 는 레이저 반응 층 일 수 있 다 . 이 형 필름 ( 311 ) 은 탄소 계 물질 층 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 이 형 필름 ( 311 ) 은 비결정질 탄소막 ( amorphous carbon layer , ACL ) 또는 탄소 함량 이 총 중량 을 기준 으로 약 85 중량 % 내지 약 99 중량 % 의 비교 적 높 은 탄소 함량 을 가지 는 탄화수소 화합물 또는 그 의 유도체 로 이루어지 는 막인 스핀 - 온 하드 마스크 ( spin - on hardmask , SOH ) 를 포함 할 수 있 다 .