본 발명 의 다른 실시 형태 는 기판 을 유지 하 는 기판 유지 유닛 과 , 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 소수 화제 를 공급 하 는 소수 화제 공급 유닛 과 , 기판 을 건조 시키 는 건 조 유닛 과 , 상기 소수 화제 공급 유닛 을 제어 함 으로써 , 소수 화제 를 상기 기판 유지 유닛 에 유지 되 어 있 는 기판 에 공급 하 여 상기 기판 의 표면 을 소수 화 시키 는 소수 화 공정 을 행하 고 , 상기 건조 유닛 을 제어 함 으로써 , 상기 소수 화 공정 이 행하 여진 후 에 상기 기판 을 건조 시키 는 건 조 공정 을 행하 고 , 상기 소수 화 공정 이 종료 되 고 나 서 상기 건조 공정 이 종료 될 때 까지 , 물 이 접촉 되 지 않 는 상태 로 상기 기판 을 유지 하 는 공정 을 행하 는 제어 장치 ( controller ) 를 구비 하 는 기판 처리 장치 를 제공 한다 . 이 구성 에 의하 면 , 전술 한 효과 와 같 은 효과 를 발휘 할 수 있 다 .