즉 , 본 발명 은 마이크 로 어레이 제작 용 기판 의 제조 방법 으로서 , 적어도 , 실란 화합물 을 이용 하 여 기판 상 에 단분자막 을 형성 하 는 공정 을 포함 하 고 , 상기 공정 에서 상기 실란 화합물 및 질소 함유 유기 염기 를 포함 하 는 용액 을 이용 하 여 상기 단분자막 을 형성 하 는 것 을 특징 으로 하 는 마이크 로 어레이 제작 용 기판 의 제조 방법 을 제공 한다 .