본 발명 의 제 1 국면 에 따른 주사 형 의 노광 장치 는 , 원판 의 패턴 을 투영 광학계 를 통해서 기판 에 투영 하 고 , 상기 투영 광학계 의 광축 에 대해 상기 원판 과 상기 기판 을 동기 해 이동 시킴 으로써 상기 원판 의 패턴 을 상기 기판 에 노광 에 의해 전사 한다 . 이 주사 형 의 노광 장치 는 상기 원판 과 상기 기판 을 동기 해 이동 시키 는 이동 속도 에 따른 보 정량 만큼 상기 원판 과 기판 과 의 사이 의 상대 위치 를 보정 하 는 유닛 을 구비 한다 .