탄화수소 기체 와 기판 의 접촉 은 약 50 ℃ 내지 약 2000 ℃, 또는 약 100 ℃ 내지 약 1500 ℃, 또는 약 500 ℃ 내지 약 1100 ℃ 에서 일어날 수 있 다 . 온도 는 특정 설정 값 근처 로 유지 될 수 있 거나 , 또는 공정 과정 중 에 변화 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 온도 는 탄화수소 기체 와 기판 의 접촉 과정 중 에 상승 할 수 있 거나 , 또는 온도 는 탄화수소 기체 와 기판 의 접촉 과정 중 에 감소 할 수 있 다 .