상기 희석 탱크 ( 1 ) 의 하부 에 는 희석 액 유입 배관 ( 10 ') 이 구비 되 고 , 이 희석 액 유입 배관 ( 10 ') 은 희석 액 이송 압력 펌프 ( 10 ) 에 연결 된다 . 상기 희석 액 이송 압력 펌프 ( 10 ) 에 는 희석 액 이송 압력 배관 ( 11 ) 이 구비 되 고 , 이 희석 액 이송 압력 배관 ( 11 ) 은 기포 발생 챔버 연결 배관 ( 12 ) 과 미세 기포 바이패스 배관 ( 15 ) 및 미세 기포 토출 배관 ( 17 ) 과 연통 되 도록 구성 된다 .