성막 시 에 는 , 예컨대 , 기판 보유 지지 유닛 ( 21 ) 이 마스크 보유 지지 유닛 ( 22 ) 에 대해 상대 적 으로 하강 하 여 , 기판 보유 지지 유닛 ( 21 ) 에 의해 보유 지지 된 기판 ( S ) 이 마스크 ( M ) 위 에 재치 된다 . 또한 , 진공 용기 ( 20 ) 의 상부 ( 외부 ) 로부터 도입 된 회전 샤프트 ( 24 ) 에 의해 , 기판 보유 지지 유닛 ( 21 ) 및 마스크 보유 지지 유닛 ( 22 ) 이 함께 회전 함 으로써 , 마스크 ( M ) 및 마스크 ( M ) 위 에 재치 된 기판 ( S ) 이 함께 회전 한다 . 이 에 의해 , 기판 ( S ) 상 에 금속 성 성막 재료 를 균일 한 두께 로 성막 할 수 있 다 .