제 3 로드 록 모듈 및 제 3 트랜스퍼 모듈 의 동작 은 이하 와 같 다 . 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 또는 60 - 2 ) 이 기판 ( W ) 을 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 의 스테이지 ( 91 ) 위 에 반입 하 면 , 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 의 대기 반 송실 ( 25 ) 측 의 게이트 밸브 ( 86 ) 를 닫 아서 , 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 는 진공 배기 된다 . 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 의 진공 배기 를 실행 하 고 있 는 동안 에 , 이동 기구 ( 90 ) 는 기판 ( W ) 이 실린 스테이지 ( 91 ) 를 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 를 향해서 이 동시 킨다 . 진공 배기 와 스테이지 ( 91 ) 의 이동 을 동시 에 실행 하 는 것 으로 , 스테이지 ( 91 ) 의 이동 에 필요 한 시간 은 스루풋 의 저하 를 초래 할 일 은 없 다 . 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 가 진공 상태 로 되 면 , 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 측 의 게이트 밸브 ( 85 ) 를 열 어서 , 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 와 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 가 연통 한다 . 제 3 진공 반송 로봇 ( 84 ) 은 , 이동 기구 ( 90 ) 에 의해 이송 된 스테이지 ( 91 ) 상 의 기판 을 수취 하 고 , 제 3 프로세스 챔버 ( 80 - 1 또는 80 - 2 ) 에 넘겨진다 .