펌핑 라인 ( 212 ) 은 로드 락 챔버 ( 130 ) 와 제 1 진공 펌프 ( 211 ) 를 연결 하 는 것 이 다 . 펌핑 라인 ( 212 ) 은 이 를 위해 일단 이 로드 락 챔버 ( 130 ) 의 내부 로 통하 는 통로 를 개폐 하 는 밸브 ( 미 도시 ) 와 연결 되 고 , 타단 이 제 1 진공 펌프 ( 211 ) 와 연결 되 어 , 로드 락 챔버 ( 130 ) 의 내부 에 진공 상태 가 형성 되 도록 할 수 있 다 .