마지막 으로 , 상기 제 1 펌핑 밸브 ( 170 ) 를 닫 고 로드 락 챔버 ( 100 ) 내부 로부터 상기 벤트 밸브 ( 140 ) 및 상기 도어 ( 130 ) 를 순차 적 으로 열 어 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 의 내부 를 대기 중 에 노출 시켜 상기 웨이퍼 ( W ) 를 상기 로드 락 챔버 ( 100 ) 에서 웨이퍼 카세트 ( 300 ) 에 재 탑재 시키 도록 한다 ( S 70 ) .