본 발명 은 증착 공정 을 효율 적 으로 진행 할 수 있 고 증착 막 특성 을 용이 하 게 향상 하 는 기판 에 박막 을 증착 하 기 위한 기상 증착 장치 에 관한 것 으로서 , 상측 부재 및 상기 상측 부재 와 결합 하 는 측면 부재 를 구비 하 는 본 체부 , 상기 측면 부재 의 일 측 을 향하 도록 배치 되 는 수 용부 , 상기 수 용부 에 배치 되 고 상기 기판 을 장착 하 도록 형성 된 스테이지 , 상기 측면 부재 에 배치 되 어 상기 측면 부재 와 상기 상측 부재 사이 의 공간 으로 하나 이상 의 기체 를 주입 하 는 제 1 주 입부 , 상기 상측 부재 에 배치 되 어 상기 상측 부재 와 상기 측면 부재 사이 의 공간 으로 하나 이상 의 기체 를 주입 하 는 제 2 주 입부 , 상기 상측 부재 의 일면 에 배치 되 는 코 일부 및 상기 코 일부 에 연결 되 는 전원 부를 구비 하 는 플 라즈 마 발생 부 를 포함 하 는 기상 증착 장치 를 제공 한다 .