본 발명 은 ( A ) 불 산 ( HF ) 을 포함 하 지 않 는 불소 계 화합물 , ( B ) 유기산 , ( C ) 고리 내 질소 를 포함 하 는 3 차 아민 화합물 , ( D ) 물 및 ( E ) 과 산화수소 를 포함 함 으로써 , 실리콘 산화 막 의 식각 을 방지 하 면서 도 , 실리콘 저 매 늄 막 ( SiGe ) 에 대해서 는 우수 한 식각 성능 을 나타내 는 식각 액 조성물 을 제공 할 수 있 다 .