제어 장치 ( 520 ) 는 , 가스 공급 부 ( 504 ) , 히터 ( 506 ) , 승강 기구 ( 510 ) , 칠러 유닛 ( 515 ) , 전열 가스 공급 부 ( 516 ) , 퍼지 가스 공급 부 ( 517 ) , 게이트 밸브 ( 518 ) , 배기 부 ( 519 ) 등 을 제어 함 으로써 , 처리 장치 ( 102 ) 의 동작 을 제어 한다 . 여기 서 , 제 어 장치 ( 520 ) 는 , 전체 제 어부 ( 700 ) ( 도 3 참조 ) 와 독립 적 으로 마련 되 어 있 어도 되 고 , 전체 제 어부 ( 700 ) 가 제어 장치 ( 520 ) 를 겸해 도 된다 .