광 노즐 ( 495 ) 은 투사 계 ( 570 ) 로부터 전달 되 는 광 을 기판 ( 592 ) 에 조사 한다 . 이 를 위해 광 노즐 ( 495 ) 은 도시 된 것 과 같 은 다수 의 광 터널 ( 496 ) 을 포함 하 여 구성 될 수 있 다 . 이 광 터널 ( 496 ) 은 석영 , 크리스탈 과 같 은 광학 성 이 양호 한 재료 를 이용 하 여 형성 된 세밀 한 굵기 의 관 일 수 있 다 . 아울러 , 도 6 에서 는 광 터널 ( 496 ) 을 도시 하 였으나 , 광 터널 ( 496 ) 을 광섬유 로 대체 하 는 구성 하 는 것 도 가능 하 며 , 다수 의 반사경 을 이용 하 여 광 을 기판 에 조사 하 는 것 도 가능 하 다 . 하지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 특히 , 광 노즐 ( 495 ) 은 기판 ( 592 ) 상 에 용이 하 게 패턴 을 형성 하 기 위하 여 부분 적 으로 유동 될 수 있 다 . 이 경우 , 광 노즐 ( 495 ) 을 광섬유 에 의해 구현 하 고 광섬유 광 출구 를 기동 하 여 패턴 을 형성 할 수 도 있 지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 .