제 2 절연 층 들 ( 232 ) 의 제 3 재료 는 적어도 하나 의 절연 재료 일 수 있 다 . 제 2 절연 층 들 ( 232 ) 에 사용 될 수 있 는 절연 재료 들 은 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 에 사용 될 수 있 는 임의 의 재료 일 수 있 다 . 제 2 희생 재료 층 들 ( 242 ) 의 제 4 재료 는 제 2 절연 층 들 ( 232 ) 의 제 3 재료 에 대해 선택 적 으로 제거 될 수 있 는 희생 재료 이 다 . 제 2 희생 재료 층 들 ( 242 ) 에 사용 될 수 있 는 희생 재료 들 은 제 1 희생 재료 층 들 ( 142 ) 에 사용 될 수 있 는 임의 의 재료 일 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 제 2 절연 재료 는 제 1 절연 재료 와 동일 할 수 있 고 , 제 2 희생 재료 는 제 1 희생 재료 와 동일 할 수 있 다 .