본 발명 의 일 실시 예 는 이러 한 문제점 을 방지 하 기 위한 것 으로서 , 건조 공정 이 완료 되 는 경우 , 상부 하우징 ( 10 ) 과 하부 하우징 ( 20 ) 의 결합 면 에 구비 된 실링 부 ( 30 ) 및 그 주변 에 존재 하 는 파티클 의 기판 ( W ) 으로 의 유입 이 방지 되 는 원리 를 설명 하 기 위한 도 9 를 참조 하 면 , 하부 하우징 ( 20 ) 에 형성 된 이 물질 배 출부 ( 100 ) 를 이용 하 여 실링 부 ( 30 ) 에 함침 ( impregnation ) 되 거나 실링 부 ( 30 ) 주변 에 존재 하 는 파티클 등 의 이 물질 이 유입 되 어 외부 로 배출 되 는 경로 를 제공 함 으로써 기판 ( W ) 오염 을 방지 할 수 있 다 .