리소그래피 장치 의 광학 시스템 의 비 - 텔레 센트리 시티 로 인해 , 텔레 센트리 시티 로부터 의 편차 는 가능 한 한 작 게 구성 되 는 것 이 바람직 하 지만 , 레티 클 의 국부 적 인 수직 z - 변형 은 최적 의 대상물 평면 에서 수평 ( X 또는 Y ) 이미지 왜곡 을 유도 하 며 , 이 는 도 3 의 우측 부분 에 개략 적 으로 도시 되 어 있 다 . 광 빔 ( 32 ) 은 실질 적 으로 평탄 한 반사 레티 클 ( 35 ) 에서 반사 되 어 ( bounce off ) 방향 ( 32 ') 으로 전파 될 것 으로 예상 된다 . 평탄 한 레티 클 ( 35 ) 에 대한 실제 레티 클 ( 34 ) 의 높이 변동 ( Δ z ) 으로 인해 , " 광 빔 이 방향 ( 32 "") 으로 전파 됨 에 따라 ", 레티 클 이 z - 변위 를 가질 때 최적 의 대상물 평면 에서 슬릿 형상 ( 36 ) 의 감소 를 초래 한다 . 슬릿 형상 은 양 의 변위 ( + z ) 에 대해 감소 되 거나 , 슬릿 형상 이 확대 된다는 것 을 유의 한다 . 또한 , 레티 클 의 Z - 오프셋 으로 인해 , 슬릿 형상 은 y - 방향 으로 거리 ( 37 ) 만큼 변위 된다는 것 을 유의 한다 .