도 6 은 , 모델 데이터 ( MD 1 ) 의 광 강도 분포 의 일례 를 개략 적 으로 나타내 는 도면 이 다 . 도 6 은 , 패턴 ( P 1 ) 의 폭 방향 에 있 어서 의 광 강도 분포 를 예시 하 고 있 다 . 가로축 의 화소 번호 ( x ) 는 , 패턴 ( P 1 ) 의 폭 방향 으로 늘어서 는 화소 를 나타내 는 번호 이 다 . 이하 에서 는 , 이 광 강도 분포 를 모델 강도 분포 라고 도 부른다 . 도 6 에 예시 하 는 바 와 같이 , 모델 강도 분포 는 대략 사다리꼴 형상 의 형상 을 갖 고 있 다 . 또한 도 6 의 예 에서 는 , 모델 강도 분포 를 연속 값 으로 나타내 고 있 지만 , 실제로 는 화소 마다 의 값 ( 요컨대 이 산값 ) 으로 나타난다 . 따라서 , 보다 정확 하 게 설명 하 면 , 모델 강도 분포 ( 이 산값 ) 를 연결 하 는 파형 이 대략 사다리꼴 형상 의 형상 을 갖 는다 . 또한 도 6 의 예 에서 는 , 모델 강도 분포 에 있 어서 의 강도 의 최대 값 을 1 로 규격 화 하 고 있 다 .