정전 척 ( 188 ) 은 척 의 기판 지지 면 에 형성 되 고 열 전달 ( 또는 배면 ) 가스 의 소스 ( 148 ) 로 유체 적 으로 결합 되 는 , 그루브 와 같 은 , 다수 의 가스 통로 ( 도시 안 됨 ) 를 더 포함 할 수 있 다 . 작동 중 , 배면 가스 ( 예 를 들 면 헬륨 ( He ) ) 는 정전 척 ( 188 ) 과 기판 ( 150 ) 사이 의 열 전달 을 강화 화 도록 제어 된 압력 으로 가스 통로 내 로 제공 된다 . 종래 에 는 , 정전 척 의 기판 지지 면 에 는 기판 을 처리 하 는 동안 이용 되 는 화학 물 및 온도 에 내성 을 가지 는 코팅 이 제공 된다 .