본 발명 은 고주파 전력 을 모니터링 하 기 위한 장치 및 방법 에 관한 것 으로 , 더욱 상세 하 게 는 플 라즈 마 발생 장치 로부터 플 라즈 마 부하 로 공급 되 는 진행파 전력 또는 플 라즈 마 부하 로부터 플 라즈 마 발생 장치 로 반사 되 는 반사파 전력 을 모니터링 하 기 위한 플 라즈 마 발생 장치 의 RF 전력 모니터링 장치 및 방법 에 관한 것 이 다 .