또한 , 세정 모듈 ( 4 ) 은 , 사용 하 지 않 을 때 에 는 , 제 2 반송 아암 ( 32 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 반송 을 저해 하 지 않 도록 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 수용 되 어 있 다 . 이것 에 의해 세정 모듈 ( 4 ) 을 사용 하 지 않 을 때 에 는 , 종래 대로 웨이퍼 ( W ) 의 반송 을 행할 수 있 다 . 이 때문 에 , 반송 프로그램 의 변경 을 최소한 으로 그칠 수 있 으며 , 세정 모듈 ( 4 ) 을 갖 는 진공 처리 장치 ( 2 ) 에 대응 한 프로그램 을 용이 하 게 준비 할 수 있 다 .