아울러 , 리 셉 터 기판 ( 40 ) 을 준비 한다 . 리 셉 터 기판 ( 40 ) 은 도전 성 기판 일 수 있 다 . 도전 성 기판 은 Si , Ge , GaAs , GaN , ZnO , GaP , AlGaINP , SiSe , AlInGaN 또는 InGaN 등 의 반도체 기판 이나 , Cu , CuW , Mo , Ni , Au , Al , Zn , Ag , W , Ti , Pt , Pd , Cr 또는 Fe 의 단일 금속 또는 이 들 의 합금 기판 일 수 있 다 .