어시스트 가스 는 , 이온 빔 ( IB ) 으로서 인출 되 어야 할 불순물 원소 와 는 다른 원소 의 단체 또는 화합물 로 구성 된다 . 어시스트 가스 는 , 예 를 들 면 희가스 , 수소 화합물 가스 , 할로젠 화합물 가스 이 다 . 어시스트 가스 로서 , 예 를 들 면 질소 가스 ( N 2 ) , 네온 ( Ne ) , 아르곤 ( Ar ) , 제논 ( Xe ) , 아르신 ( AsH 3 ) , 포스핀 ( PH 3 ) , 삼 불화 붕소 ( BF 3 ) , 삼 불화 인 ( PF 3 ) , 삼 불화 비소 ( AsF 3 ) 등 을 이용 할 수 있 다 .