본 발명 은 , 피검 광학계 의 상면 에 삽입 된 측 정부 ; 및 상기 피검 광학계 의 물 체면 에 삽입 된 측정 마스크 를 구비 하 고 , 상기 측 정부 는 슬릿 형상 의 상측 개구부 를 가지 는 차광판 을 가지 고 , 상기 측정 마스크 는 상기 피검 광학계 의 상면 에 상기 상측 개구부 의 종횡 의 치수 보다 긴 종횡 의 치수 를 가진 투 영상 을 형성 하 는 직사각 형 형상 의 차 광부 , 및 상기 차 광부 의 양측 에 형성 된 물체 측 개구부 를 포함 하 는 측정 장치 로서 , 상기 측정 장치 는 상기 투 영상 이 상기 상측 개구부 를 덮 는 상태 에서 , 상기 광량 센서 에 의해 광량 을 측정 함 으로써 상기 피검 광학계 에 의해 발생 된 플레어 를 측정 하 는 측정 장치 를 제공 한다 .