또한 , 본 공정 에 있 어서 는 , 패턴 노광 은 여러 가지 인 레이저 빔 을 이용 하 여 행할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 패턴 노광 으로서 는 , 가스 레이저 , 발광 다이오드 , 반도체 레이저 등 의 레이저 , 반도체 레이저 또는 반도체 레이저 를 여기 광원 에 사용 한 고체 레이저 와 비 선형 광학 결정 을 조합 시킨 제 2 고주파 발광 광원 ( ＳＨＧ ) 등 의 단색 고밀 도 광 을 사용 한 주사 노광 방식 을 바람직 하 게 사용 할 수 있 다 . 또한 ＫｒＦ 엑 시머 레이저 , ＡｒＦ 엑 시머 레이저 , F 2 레이저 등 도 사용 할 수 있 다 .