유량 취득 부 ( 105 ) 는 , 유량 측 정부 ( 65 ) 로부터 측정값 을 취득 한다 . 구체 적 으로 는 , 유량 취득 부 ( 105 ) 는 , 펌프 ( 76 ) 와 펌프 구동 부 ( 77 ) 사이 의 접 속관 내 의 펌프 ( 76 ) 를 구동 하 기 위한 기체 의 유량 을 나타내 는 측정값 을 취득 한다 . 유량 취득 부 ( 105 ) 는 , 취득 한 측정값 을 처리 액 공급 제 어부 ( 101 ) 에 출력 한다 .