본 단계 에서 는 도 3 의 ( c ) 와 같 은 패턴 ( 1 c , 1 d ) 을 형성 하 는 방법 으로 는 서브 트렉 티 브 ( subtractive ) 공법 과 에디 티 브 ( additive ) 공법 이 있 다 . 그러나 본 실시 예의 서브 트렉 티 브 공법 은 통상 의 방법 과 는 다소 차이 가 있 는 바 이 를 도 3 의 ( a ) , ( b ) 를 참조 로 설명 하 면 다음 과 같 다 .