상기 상판 ( 140 a ) 에 는 상기 기판 정렬 부재 ( 150 ) 가 수납 되 기 위해 상하 로 관통 형성 된 수납부 ( 142 ) 가 형성 되 어 있 으며 , 상기 하판 ( 140 b ) 에 는 상기 수납부 ( 142 ) 의 하부 와 연통 되 도록 가스 공급 라인 ( 160 ) 이 형성 된다 . 여기 서 , 상기 하판 ( 140 b ) 에 형성 된 가스 공급 라인 ( 160 ) 은 상기 하판 ( 140 b ) 의 상부 면 에 내측 으로 오목 하 게 형성 된 홈 형상 인 그루브 ( groove ) 형상 으로 가공 되 고 , 상기 그루브 형상 의 가스 공급 라인 ( 160 ) 은 상판 ( 140 a ) 과 하판 ( 140 b ) 이 결합 되 었 을 때 , 상기 상판 ( 140 a ) 에 형성 된 수납부 ( 142 ) 와 간섭 되 지 않 도록 형성 하 되 , 상기 가스 공급 라인 ( 160 ) 의 끝단 일부 만 상기 상판 ( 140 a ) 에 형성 된 수납부 ( 142 ) 에 대응 하 는 위치 에 형성 한다 .