작업 챔버 ( 105 ) 의 후방 에 는 음압 챔버 ( 107 ) 와 양 압 챔버 ( 106 ) 를 잇 는 순환 덕트 ( 108 ) 가 마련 되 어 있 다 . 한편 , 상기 양 압 챔버 ( 106 ) 에 는 양 압 챔버 ( 106 ) 내 의 압력 을 증가 시키 고 이 를 통해서 공기 의 순환 을 유도 하 는 송풍 팬 ( 113 ) 이 마련 되 어 있 다 .