Ge , Si , Ti , Zr 또는 Hf 원소 를 원료 중 의 금속 원소 전체 에 대하 여 500 원자 ppm 이 되 도록 산화물 로서 첨가 한 것 외 에 는 타 겟 I 과 동일 한 공정 으로 제작 했 다 . 타 겟 은 타 겟 II 와 거의 같 은 품질 의 것 이 얻 어 졌 지만 , 외관 은 더욱 균질 하 고 기려 ( 綺麗 ) 한 것 이 얻 어 졌 다 .