가변 주파수 발생기 ( 22 , 112 , 212 , 222 ) 는 조정 의 주파수 를 발생 하 고 ( S 10 ) , 변조기 ( 24 , 114 , 214 , 224 ) 는 가변 주파수 발생기 ( 22 , 112 , 212 , 222 ) 로부터 발생 된 신호 를 수신 하 고 , 수신 된 신호 의 위상 과 진폭 과 주파수 중 에서 적어도 하나 를 변조 하 고 ( S 20 ) , 챔버 ( 30 ) 내 에서 플라 즈 마를 발생 시키 기 위하 여 변조 된 신호 를 안테나 또는 전 극판 들 을 통하 여 챔버 로 인가 한다 ( S 30 ) .