먼저 , 제 조예 1 의 네 가티 브 형 감광성 수지 조성물 을 스핀 코팅 법 으로 유리 기판 ( 5 cm × 5 cm , 삼성 코닝 글라스 , 삼성 코닝 어 드 벤스 드 글라스 사 ) 위 에 도포 한 다음 , 가열 판 위 에 놓 고 100 ℃ 의 온도 에서 2 분 간 유지 시켜 박막 을 형성 시켰 다 . 이어서 , 상기 박막 위 에 투과율 을 1 내지 100 % 의 범위 에서 계단상 으로 변화 시키 는 패턴 과 1 내지 50 ㎛ 의 라인 / 스페이스 패턴 을 갖 는 시험 포토 마스크 를 올려 놓 고 시험 포토 마스크 와 의 간격 을 50 ㎛ 로 하 여 자외선 을 조 하사 였 다 . 이 때 , 상기 자외선 광원 은 g , h , i 선 을 모두 함유 하 는 1 kW 고압 수은 등 을 사용 하 여 100 mJ / cm 2 의 조도 로 조사 하 였 다 . 이 때 특별 한 광학 필터 는 사용 하 지 않 았 다 .