그 중 에서 도 , 포커스 링 을 로봇 을 이용 하 여 교체 하 는 기술 이 요구 된다 . 일반 적 으로 기판 은 진공 흡착 을 이용 한 방법 을 통해 반송 되 나 , 포커스 링 을 진공 흡착 을 이용 한 방법 을 통해 반송 할 경우 , 포커스 링 에 는 중앙 에 큰 개구 가 형성 되 어 있 어 접촉 면적 이 좁 고 접착 이 잘 되 지 아니하 여 반송 이 불 안정 하 다 .