상기 서술 한 바 와 같이 , 본 제 4 실시 형태 에서 는 , 플레이트 ( 28 ) 자체 가 스케일 을 구성 하 기 때문 에 , 플레이트 ( 28 ) 로서 저 열팽창 률 의 유리판 을 사용 하 기 로 해도 된다 . 그러나 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 격자 가 형성 된 예 를 들 어 저 열팽창 률 의 유리판 등 으로 이루어지 는 스케일 부재 를 , 국소 적 인 신축 이 발생 하 지 않 도록 , 예 를 들 어 판 스프링 ( 또는 진공 흡착 ) 등 에 의해 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 에 고정 해도 된다 . 혹은 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 을 저 열팽창 률 의 재료 로 형성 할 수 도 있 고 , 이러 한 경우 에 는 , 이동 스케일 은 , 그 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) 의 상면 에 직접 형성 해도 된다 .