또한 , 본 발명 의 실시 예 2 로서 , 제 1 스텝 ( 박막 의 에칭 공정 ) 에 있 어서 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 ( 제 1 온도 ) 와 제 2 스텝 ( 트리트 먼 트 공정 ) 에 있 어서 처리 실 ( 201 ) 내 의 온도 ( 제 2 온도 ) 를 , 각각 450 ℃ 로 하 여 클리닝 공정 을 실시 한 예 에 대하 여 설명 한다 . 도 3 은 , 본 발명 의 실시 예 2 에 따른 클리닝 의 순서 및 클리닝 조건 을 나타내 는 그래프 도 이 다 . 기타 의 조건 은 실시 예 1 과 동일 하 다 .