도시 되 지 는 않 았 지만 , 상기 제 1 챔버 ( 51 ) , 테스트 챔버 ( 52 ) , 및 제 2 챔버 ( 53 ) 는 상하 로 적층 설치 될 수 있 다 . 이 경우 , 상기 테스트 챔버 ( 52 ) 의 상측 에 는 상기 제 1 챔버 ( 51 ) 가 설치 되 고 , 상기 테스트 챔버 ( 52 ) 의 하측 에 는 상기 제 2 챔버 ( 53 ) 가 설치 될 수 있 다 .