카메라 들 ( 114 ) 중 어느 하나 가 촬영 한 기판 ( W ) 의 가장자리 영역 이 도 6 에 도시 된 바 와 같이 촬영 되 면 , 제어기 ( 120 ) 는 기판 ( W ) 이 좌표계 ( 114 b ) 의 X 축 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 2 눈금 을 벗어나 고 , Y 축 제 1 방향 ( Y 2 ) 으로 2 눈금 을 벗어나 있 는 것 으로 판단 한다 . 여기 서 , X 축 제 1 방향 ( X 1 ) 은 공정 챔버 ( 52 ) 로 이동 되 는 기판 ( W ) 의 이동 방향 과 수직 하 는 방향 의 우측 방향 이 고 , Y 축 제 1 방향 ( Y 1 ) 은 상기 기판 ( W ) 의 이동 방향 과 반대 되 는 방향 이 다 . 만약 , 좌표계 ( 114 b ) 의 눈금 이 1 mm 단위 로 설정 된다면 , 제어기 ( 120 ) 는 기판 ( W ) 은 기준 위치 ( 114 c ) 로부터 X 축 제 1 방향 ( X 1 ) 으로 2 mm 벗어나 고 , Y 축 제 1 방향 ( Y 1 ) 으로 2 mm 벗어나 있 다 . 제어기 ( 120 ) 는 기판 ( W ) 은 기준 위치 ( 114 c ) 로부터 우측 으로 2 mm 벗어난 것 으로 판단 한다 . 따라서 , 제어기 ( 120 ) 는 우측 으로 벗어난 좌표 값 만큼 보상 되 도록 로봇 암 ( 42 ) 의 이동 경로 를 변경 한다 . 즉 , 제어기 ( 120 ) 는 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( W ) 의 중심 과 지지 부재 ( 56 ) 의 중심 이 일치 하 도록 로봇 암 ( 42 ) 의 정상 이동경 로 ( a 1 ) 를 변경 하 여 , 로봇 암 ( 42 ) 이 변경 된 이동경 로 ( a 2 ) 를 따라 이동 되 도록 로봇 암 ( 42 ) 을 제어 한다 . 따라서 , 로봇 암 ( 42 ) 은 정상 적 으로 지지 부재 ( 56 ) 의 기 설정 된 위치 ( 56 a ) 에 기판 ( W ) 을 안착 시킨다 .