본 발명 은 기상 으로부터 투명 한 이산화규소 층 을 도포 하 는 방법 및 장치 에 관한 것 이 다 . 상기 층 은 , 예 를 들 면 부식 으로부터 물품 을 보호 하 기 위해 , 일반 적 으로 원치 않 는 확산 을 차단 하 는 차단 층 을 쌓 고 / 쌓 거나 간섭 층 으로서 광학 기능 을 수행 하 기 위해 사용 될 수 있 다 . 이산화규소 층 은 상당히 적합 하 며 , 높 은 절연 파괴 강도 에 도달 할 때 전기 절연 의 목적 을 위해 또한 사용 된다 .