또한 전술 한 평탄 화 처리 와 스퍼터링 법 에 의한 제 2 절 연막 ( 122 ) 의 형성 을 대기 에 노출 하 지 않 고 연속 해서 행하 는 것 이 바람직 하 다 . 연속 해서 처리 함 으로써 , 스루풋 의 향상 을 도모 할 수 있 다 . 또한 플 라즈 마 처리 를 이용 하 여 베이스 기판 ( 120 ) 의 표면 을 평탄 화 한 후 에 는 , 베이스 기판 ( 120 ) 표면 이 활성 화 하 고 있 으며 , 유기물 등 의 불순물 이 부착 되 기 쉽 지만 , 연속 해서 처리 함 으로써 , 베이스 기판 ( 120 ) 으로 의 불순물 의 부착 을 저감 할 수 있 다 .