포크 ( 3 A ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 가 어긋나 있 지 않 을 때 의 위치 를 기준 위치 ( 본 발명 에 있 어서 의 소정 위치 ) 로 하 고 , 도 13 에 도시 된 것 과 같이 , 기준 위치 에 있 어서 의 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 를 각각 a 점 , b 점 , c 점 , d 점 으로 한다 . 또한 , 포크 ( 3 A ) 에 유지 되 어 있 는 웨이퍼 ( W ) 가 어긋나 있 을 때 의 위치 를 어긋남 위치 로 하 고 , 어긋남 위치 에 있 어서 의 리니어 이미지 센서 ( 52 ) 상 의 웨이퍼 ( W ) 의 주연 부 의 위치 를 각각 a ' 점 , b ' 점 , c ' 점 , d ' 점 으로 한다 .