서 셉 터 ( 12 ) 에 는 하부 고주파 전원 ( 19 ) 이 정합 기 ( Matcher ) ( 20 ) 를 거쳐서 접속 되 어 있 다 . 그 하부 고주파 전원 ( 19 ) 은 소정 의 고주파 전력 을 서 셉 터 ( 12 ) 에 공급 한다 . 이 에 따라 , 서 셉 터 ( 12 ) 는 후술 하 는 처리 공간 ( S ) 에 고주파 전력 을 공급 하 는 하부 전극 ( 전극 ) 으로서 기능 한다 . 하부 정합 기 ( 20 ) 는 , 서 셉 터 ( 12 ) 로부터 의 고주파 전력 의 반사 를 저감 하 여 , 고주파 전력 의 서 셉 터 ( 12 ) 에 의 공급 효율 을 최대 로 한다 .