촬상 유닛 ( 6 ) 은 , 가시광선 에 의해 촬상 하 는 통상 적 인 촬상 소자 ( CCD ) 와 , 피 가 공물 에 적외선 을 조사 하 는 적외선 조사 수단 과 , 적외선 조사 수단 에 의해 조사 된 적외선 을 포착 하 는 광학계 와 , 그 광학계 가 포착 한 적외선 에 대응 하 는 전기 신호 를 출력 하 는 촬상 소자 ( 적외선 CCD ) 를 포함 한다 . 촬상 유닛 ( 6 ) 에 의해 유지 유닛 ( 30 ) 의 척 테이블 ( 35 ) 에 유지 된 웨이퍼 를 촬상 하 고 , 레이저 광선 조사 유닛 ( 4 ) 의 집광기 ( 4 a ) 에 의한 레이저 조사 위치 와 , 그 웨이퍼 의 피 가공 영역 의 위치 맞춤 을 실시 하 기 위한 얼라인먼트 에 이용 된다 .