제 1 S - D 웨이퍼 세트 는 S - D 신뢰 도 데이터 및 / 또는 N - S - D 신뢰 도 데이터 를 이용 하 여 확립 될 수 있 고 , 제 1 S - D 처리 시퀀스 는 제 1 S - D 웨이퍼 세트 에 대해 결정 될 수 있 다 . 제 1 S - D 웨이퍼 세트 는 제 1 S - D 처리 시퀀스 를 이용 하 여 하나 이상 의 S - D 요소 ( 410 , 420 , 430 , 440 및 450 ) 에서 처리 될 수 있 고 , 웨이퍼 상태 데이터 는 제 1 S - D 처리 시퀀스 를 확립 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 제 1 S - D 웨이퍼 세트 는 하나 이상 의 S - D 요소 ( 410 , 420 , 430 , 440 및 450 ) 에 이송 될 수 있 고 , 제 1 S - D 처리 시퀀스 는 하나 이상 의 제 1 처리 요소 를 결정 하 는 데 이용 될 수 있 다 .