상술 한 바 와 같이 , 제 1 실시 형태 에서 는 , 제 1 영역 ( R 1 ) 의 웰 주입 / 채널 주입 이 종료 된 시점 , 또는 , 제 2 영역 ( R 2 ) 의 웰 주입 / 채널 주입 이 종료 된 시점 에서 , 불화 수소산 등 의 약액 을 공급 하 여 , 제 1 영역 ( R 1 ) , 또는 , 제 2 영역 에 형성 된 산화 막 ( 5 ) 을 선택 적 으로 후퇴 시키 고 있 었 다 . 그러나 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 는 것 은 아니 다 . 예컨대 , 제 1 영역 ( R 1 ) 및 제 2 영역 ( R 2 ) 의 웰 주입 / 채널 주입 의 양방 이 종료 된 후 에 , 불화 수소산 등 의 약액 을 공급 하 여 산화 막 ( 5 ) 을 후퇴 시켜 도 좋 다 .