종래 알려진 건 조 방식 으로서 는 스핀 건조 방식 , 이소프로필 알콜 ( IPA : Iso - Propyl Alcohol ) 에 의한 마 란 고니 효과 ( Marangoni effect ) 를 이용 한 건 조 방식 등 이 있 다 . 그 중 이소프로필 알콜 을 이용 한 건 조 방식 은 웨이퍼 를 순수 ( DIW : Distilled Water ) 안 에서 수직 방향 으로 끌 어 올림 과 동시 에 이소프로필 알콜 및 질소 가스 를 웨이퍼 표면 의 기 액 ( 氣 液 ) 계면 부근 에 불 어 넣 는 것 에 의해 마 란 고니 효과 를 발생 시켜 웨이퍼 를 건조 시키 는 방식 을 말 한다 .