제 1 도 통부 ( 90 ) 는 , 이동 기구 ( 11 ) ( 도 1 참조 ) 에 의해 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) 과 함께 이동 한다 . 즉 , 이동 기구 ( 11 ) 는 , 처리 액 토출 노즐 ( 21 ) , 및 제 1 도 통부 ( 90 ) 의 위치 를 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 제 2 도 통부 ( 91 ) 가 접촉 하 는 접촉 위치 와 , 제 1 도 통부 ( 90 ) 와 제 2 도 통부 ( 91 ) 가 접촉 하 지 않 는 비 접촉 위치 로 전환 한다 .