" 고 주파 신호 는 임피던스 매 처 에 수신 된다 . 임피던스 매 처 는 임피던스 매 처 의 입력 임피던스 를 고주파 발생기 와 임피던스 매 처 사이 의 전송 라인 의 특성 임피던스 에 매칭 한다 . 임피던스 매칭 은 플라스마 챔버 를 향하 여 순방향 으로 공진 네트워크 에 인가 되 는 임피던스 매 처 의 전력량 ( "" 순방향 전력 "") 을 최대 화 하 는 데 에 도움 을 주 며 "," 임피던스 매 처 로부터 고주파 발생기 로 반사 되 는 전력량 ( "" 역방향 전력 "") 을 최소 화 하 는 데 에 도움 을 준다 . 즉 ", 임피던스 매 처 의 입력 임피던스 가 전송 라인 의 특성 임피던스 와 일치 할 때 고주파 발생기 로부터 플 라즈 마 챔버 로 의 순방향 전력 출력 을 최대 화 되 고 역방향 전력 이 최소 화 될 수 있 다 .