우선 1 가지 방법 으로 , 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 에 격납 될 수 있 는 웨이퍼 의 수 를 제 1 로봇 ( 111 ) 에 구비 된 복수 개 의 슬롯 ( 250 ) 의 배수 로 하 는 것 이 다 . 상기 의 예의 경우 , 25 장 의 웨이퍼 를 격납 할 수 있 는 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 에 24 장 의 웨이퍼 를 격납 하 고 , 1 매 의 웨이퍼 를 격납 할 수 있 는 공간 은 비워 두 거나 , 웨이퍼 격납 수단 ( 112 ) 에 3 장 의 웨이퍼 를 격납 할 수 있 는 공간 을 더 마련 하 여 28 장 의 웨이퍼 를 격납 하 거나 , 25 장 의 웨이퍼 를 격납 하 고 , 나머지 공간 은 비워 두 는 것 과 같 은 방법 이 있 다 .