상술 한 문제점 을 해결 하 기 위한 본 발명 의 미세 유체 시스템 을 이용 한 진단 키트 의 상기 작동 전극 은 , 금속 층 상부 에 산화 막 을 형성 하 고 , 상기 산화 막 상부 에 포토레지스트 ( PR ) 를 스핀코팅 하 는 디파 짓 단계 ; 포토 마스크 를 사용 하 여 나노 웰 구조 형상 으로 상기 포토레지스트 를 제거 하 는 제거 단계 ; 드라이 에칭 을 통해 산화 막 을 식각 하 여 상기 산화 막 에 나노 웰 구조 를 형성 하 는 식각 단계 ; 를 통해 제조 될 수 있 다 .