상기 도어 는 , 예 를 들 면 , 공 압 실린더 와 같 은 구동 장치 에 의해 구동 되 어 상하 로 업 - 다운 ( up - down ) 동작 을 실시 하 여 로드 락 챔버 의 출입구 를 개폐 시키 는데 , 상기 도어 가 하강 하 여 출입구 가 개방 되 고 , 반도체 기판 이 로드 락 챔버 내부 로 인입 되 면 도어 부 가 상승 하 여 출입구 가 폐쇄 된다 .