반 전실 ( 102 ) 에 있 어서 , 회전 지지 기구 가 , 유리 기판 을 보유 지지 한 반송 캐리어 ( 302 ) 를 지지 한 반송 모듈 ( 301 ) 을 , 진행 방향 에 대하 여 180 도 회전 시킨다 . 이 에 의해 반송 캐리어 ( 302 ) 및 반송 모듈 ( 301 ) 의 상하 관계 가 반전 하 여 , 유리 기판 ( G ) 이 하 면 측 이 된다 . 회전 지지 기구 는 , 반송 모듈 ( 301 ) 을 반송 캐리어 ( 302 ) 마다 진행 방향 으로 180 도 단위 로 회전 할 수 있 다 . 회전 동작 중 에 반송 캐리어 ( 302 ) 와 반송 모듈 ( 301 ) 의 위치 어긋남 을 일으키 지 않 도록 , 중심 위치 에 회전축 이 위치 하 도록 구성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 도면 중 에서 는 , 반송 캐리어 ( 302 ) 와 반송 모듈 ( 301 ) 의 진행 방향 에서 의 반전 을 , 화살표 R 로 나타낸다 . 또한 , 반송 모듈 ( 301 ) 과 반송 캐리어 ( 302 ) 를 기계 적 으로 로크 하 는 로크 기구 를 사용 하 는 것 도 바람직 하 다 .