일 실시 예 에서 , 처리 동안 기판 온도 를 제어 하 기 위한 방법 은 진공 처리 챔버 내 에서 기판 페데 스탈 조립 체 상 에 기판 을 배치 하 는 단계 , 기판 페데 스탈 조립 체 내 의 방사형 유동 경로 를 통하 여 열 전달 유체 를 유동 시킴 으로써 기판 페데 스탈 조립 체 의 온도 를 제어 하 는 단계 로서 , 방사형 유동 경로 는 방사형 내측 및 방사형 외측 부분 들 모두 를 포함 하 는 , 기판 페데 스탈 조립 체 의 온도 제어 단계 , 및 온도 제어 된 기판 페데 스탈 조립 체 상 에서 기판 을 플 라즈 마 처리 하 는 단계 를 포함 한다 . 또 다른 실시 예 에서 , 플라 즈 마 처리 단계 는 그 중 에서 도 플 라즈 마 처리 , 화학 적 증착 공정 , 물리 적 증착 공정 , 이온 주입 공정 또는 식각 공정 중 하나 이상 일 수 있 다 .