( 2 ) 광 - 분해 ( Photo - Decomposition ) - 캐리어 에 접하 는 접착제 경계 층 을 광 - 분해 하 기 위해 광원 이 , 투명 캐리어 를 통해 , 본딩 된 웨이퍼 스택 을 조사 ( irradiate ) 한다 . 그 후 캐리어 가 스택 으로부터 분리 될 수 있 고 , 폴리머 접착제 의 잔여물 이 척상 에 고정 된 소자 웨이퍼 로부터 박리 ( peel ) 된다 .