NO 발생 시스템 은 시스템 을 통해 반응물 및 생 성 가스 를 라우팅 하 기 위한 다양 한 튜브 및 매니폴드 를 포함 한다 . 일 실시 예 에서 , 단일 매니폴드 는 다음 공 압 특징 중 하나 이상 을 위한 공 압 라우팅 을 제공 한다 : 공기 저 장소 , 저 장소 압력 측정 , 비례 밸브 ( 예 : 유량 제어기 ) , 반응 가스 유량 측정 , 플라 즈 마 챔버 , 전극 조립 체 장착 인터페이스 , 플라 즈 마 챔버 압력 센서 장착 , 플로우 디렉터 장착 , 블리드 밸브 장착 , 플라 즈 마 경로 에서 가스 분석 센서 로 라우팅 , 제품 가스 를 스캐빈저 경로 로 라우팅 , 백 과 벤 틸 레이터 사이 에서 선택 하 는 흐름 디렉터 를 통한 제품 가스 라우팅 , 벤 틸 레이터 카트리지 로 제품 가스 라우팅 등