다음 으로 , 상기 제 2 티타늄 막 상 에 상기 콘 택 홀 을 완전 매립 시킬 수 있 을 정도 의 충분 한 두께 로 텅스텐 막 을 증착 한 후 , 상기 텅스텐 막 상 에 하드 마스크 막 을 증착 한다 . 그런 다음 , 상기 하드 마스크 막 , 텅스텐 막 , 제 2 티타늄 질 화 막 , 그리고 , 제 1 티타늄 질 화 막 및 티타늄 막 을 식각 하 여 비트 라인 을 형성 한다 .