먼저 도 2 는 본 발명 에 따른 디플렉터 의 일 실시 예의 평면도 이 다 . 도 2 에서 디플렉터 ( 100 ) 는 4 개 의 디플렉터 전극 ( 10 ) 으로 구성 되 어 있 다 . 상기 단위 디플렉터 전극 ( 10 ) 은 금속 과 같 은 도체 또는 고 도핑 된 반도체 등 으로 형성 된 코어 ( 12 ) 및 상기 코어 ( 12 ) 를 감 고 있 는 코일 ( 11 ) 을 포함 하 여 구성 된다 . 상기 코일 ( 11 ) 은 상기 코어 ( 12 ) 를 감 을 수 있 도록 에나멜선 과 같이 피복 이 있 는 도선 이 사용 될 수 있 다 . 점선 으로 표시 된 원 ( 17 ) 은 상기 디플렉터 ( 100 ) 내 에서 전자 빔 이 지나가 는 통로 를 표시 한 것 으로 이 원 ( 17 ) 안 에서 전자 빔 은 디 플렉 팅 된다 . 도 2 에서 와 같이 일반 적 인 디플렉터 전극 에서 , 코어 는 몰리브덴 등 의 도체 금속 봉 으로 사용 되 는 것 이 일반 적 이 며 코일 은 보통 의 에나멜선 등 을 사용 할 수 있 다 . 물론 본 발명 에 따른 자기장 디플렉터 를 도체 코어 없이 코일 만 으로 구성 할 수 있 으나 보다 정확 하 고 강한 디 플렉 팅 을 위하 여 도체 코어 를 포함 하 여 구성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 디플렉터 전극 을 전자석 과 같 은 타입 으로 제작 하 는 것 이 며 , 상기 디플렉터 전극 들 을 이용 하 여 기존 전자 칼럼 에서 의 디플렉터 와 같이 자기장 디플렉터 를 만들 고 이 로서 디 플렉 팅 을 수행 할 수 있 다 .