이상 과 같이 , 실시 형태 1 에 의하 면 , 트랙 킹 동작 을 리셋 할 때 의 빔 의 되돌림 양 ( 거리 ) 과 복수 의 결함 빔 간 의 거리 가 일치 되 어 버리 는 경우 에 , 각 서브 조사 영역 ( 29 ) ( 소 영역 ) 내 에서 결함 빔 에 의해 조사 되 는 화소 수 를 저감 할 수 있 다 . 그 결과 , 묘화 정밀도 의 열화 를 저감 할 수 있 다 .