일 실시 형태 에 있 어서 , 챔버 ( 10 ) 는 , 챔버 본체 ( 12 ) 를 포함 하 고 있 다 . 챔버 본체 ( 12 ) 는 , 대략 원통 형상 을 갖 고 있 다 . 내부 공간 ( 10 s ) 은 , 챔버 본체 ( 12 ) 중 에 제공 되 어 있 다 . 챔버 본체 ( 12 ) 는 , 예 를 들 면 알루미늄 으로 구성 되 어 있 다 . 챔버 본체 ( 12 ) 는 전기 적 으로 접지 되 어 있 다 . 즉 , 챔버 본체 ( 12 ) 는 , 챔버 ( 10 ) 가 접지 된 측벽 을 제공 하 고 있 다 . 챔버 본체 ( 12 ) 의 내 벽면 , 즉 내부 공간 ( 10 s ) 을 구획 형성 하 는 벽면 에 는 , 내 플 라즈 마성 을 갖 는 막 이 형성 되 어 있 다 . 이 막 은 , 양극 산화 처리 에 의하 여 형성 된 막 또는 산화 이트륨 으로 형성 된 막 과 같 은 세라믹 제 의 막 일 수 있 다 .