반사 방지 막 ( 3 ) 이 차광막 ( 2 ) 과 동일 한 식각 특성 을 가지 는 경우 , 차광막 ( 2 ) 과 동시 에 식각 하 며 동일 한 패턴 을 형성 하 게 된다 . 예 를 들 면 , 투명 기판 ( 1 ) 위 에 탄 탈륨 ( Ta ) 의 차광막 ( 2 ) , 탄 탈륨 질화물 ( TaN ) 의 반사 방지 막 ( 3 ) , 크롬 산화 질화 물 ( CrON ) 의 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 순서 대로 적층 하 는 것 이 가능 하 다 .