제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 부착기 ( 1 ) 및 가공 방법 은 , 이상 과 같 은 구성 을 가지 므로 , 유지 부 ( 20 ) 에 유지 된 웨이퍼 ( 200 ) 의 테이블 ( 30 ) 과 대향 하 는 면 인 표면 ( 201 ) 과 , 테이블 ( 30 ) 의 상면 인 유지 면 ( 31 ) 의 사이 가 소망 하 는 액상 수지 ( 301 ) 의 수지 두께 ( 311 ) 및 시트 ( 92 ) 의 두께 ( 97 ) 의 합 과 동일 해 지 도록 , 두께 측정 단계 ( ST 11 ) 에서 두께 측 정부 ( 10 ) 가 측정 한 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 에 의해 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 접근 시키 는 거리 ( 27 ) 를 결정 하 고 , 이 결정 한 거리 ( 27 ) 에 기초 하 여 , 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 상대 적 으로 접근 시켜 웨이퍼 ( 200 ) 에 액상 수지 ( 301 ) 를 피복 한다 . 이 때문 에 , 제 1 실시 형태 와 관련 되 는 수지 부착기 ( 1 ) 및 가공 방법 은 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 의 측정 결과 에 따라 유지 부 ( 20 ) 와 테이블 ( 30 ) 을 접근 시키 는 거리 ( 27 ) 를 변경 하 므로 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 두께 ( 210 ) 의 편차 에 기인 하 여 생길 가능 성 이 있 는 웨이퍼 ( 200 ) 에 피복 하 는 수지 ( 302 ) 의 두께 편차 를 저감 할 수 있 다는 작용 효과 를 발휘 한다 .