[ 0022 ] 본 개시 내용 에서 , " "" 기판 표면 과 동일 평면 상 의 평면 에 오프셋 거리 만큼 오프셋 되 는 "" 이 라는 표현 은 ", 기판 표면 연장 의 방향 으로 오프셋 거리 가 제공 되 는 구성 으로서 이해 되 어야 한다 . 따라서 , " "" 제 1 트랙 및 제 2 트랙 은 기판 표면 과 동일 평면 상 의 평면 에서 오프셋 거리 만큼 오프셋 된다 "" 라는 표현 은 ", 제 1 트랙 과 제 2 트랙 간 에 거리 가 제공 되 며 , 그 거리 는 기판 표면 과 동일 표면 상 에 있 다는 것 으로 이해 될 수 있 다 . 그러나 , 제 1 트랙 및 제 2 트랙 이 기판 표면 과 동일 평면 상 의 평면 에 배열 될 필요 는 없 다는 것 이 이해 되 어야 한다 . 특히 , 예컨대 , 도 1 b 로부터 , 제 1 트랙 및 / 또는 제 2 트랙 이 , 기판 표면 과 동일 평면 상 에 있 지 않 은 개개 의 상이 한 평면 들 에 배열 될 수 있 다는 것 이 이해 되 어야 한다 . 예컨대 , 제 1 트랙 과 제 2 트랙 은 측 방향 으로 , 예컨대 , 도 1 b 에 예시 적 으로 도시 된 바 와 같이 z - 방향 으로 이격 될 수 있 다 . 특히 , 제 1 트랙 과 제 2 트랙 은 , 예컨대 , 중력 의 방향 으로 , 수직 오프셋 거리 만큼 오프셋 될 수 있 다 .