또 , 실시 예 1 ∼ 실시 예 16 의 감광성 수지 층 에 대해서 , 레지스 트 패턴 에 있 어서 의 50 ㎛ 라인 의 톱 폭 과 보텀 폭 의 차 를 측정 한 결과 , ( C 1 ) 로서 이중 결합 당량 250 이상 의 폴리에틸렌글리콜 디아 크릴 레이트 를 함유 하 고 있 지 않 는 실시 예 3 및 실시 예 6 에서 는 , 보텀 폭 쪽 이 약 5 ㎛ 굵 고 , ( C 1 ) 로서 이중 결합 당량 250 이상 의 폴리에틸렌글리콜 디아 크릴 레이트 를 함유 하 고 , 그것 이 폴리에틸렌글리콜 ＃ 1000 디아 크릴 레이트 인 실시 예 4 에서 는 보텀 폭 쪽 이 약 3 ㎛ 굵 으며 , ( C 1 ) 로서 이중 결합 당량 250 이상 의 폴리에틸렌글리콜 디아 크릴 레이트 를 함유 하 고 , 그것 이 폴리에틸렌글리콜 ＃ 400 디아 크릴 레이트 인 실시 예 1 및 실시 예 5 에서 는 톱 폭 쪽 이 약 3 ㎛ 굵 었 다 . 또 , ( C 1 ) 로서 폴리에틸렌글리콜 ＃ 600 디아 크릴 레이트 를 함유 하 고 있 는 실시 예 2 및 실시 예 7 ∼ 16 에서 는 , 보텀 폭 쪽 이 약 1 ㎛ 만큼 굵 고 , 라인 의 단면 형상 이 거의 사각형 에 가까워졌 다 .