세라믹 기판 ( 15 ) 의 내부 에 는 , 도 2 의 하방 에서부터 , 이후 에 상세 하 게 서술 하 는 바 와 같이 , 복수 의 제 1 발열체 ( H 1 ) , 복수 의 제 2 발열체 ( H 2 ) , 복수 의 제 3 발열체 ( H 3 ) , 흡착 용 전극 ( 11 ) 등 이 배치 되 어 있 다 . 또 , 도 2 에서 는 , 제 1 ∼ 제 3 발열체 ( H 1 ∼ H 3 ) 는 모식 적 으로 표시 되 어 있 다 .