이러 한 제 1 도가니 ( 320 ) 의 상측 에 는 증발 된 증착 물질 이 기판 ( 10 ) 측 으로 분사 되 어 갈 수 있 도록 제 1 선형 증발원 ( 120 ) 이 연통 되 어 있 으며 , 상기 제 1 선형 증발원 ( 120 ) 에 는 제 1 증착 물질 이 기판 ( 10 ) 상 에 균일 하 게 분사 될 수 있 도록 복수 개 의 제 1 분사 노즐 ( 122 ) 이 설치 된다 .