여기 에서 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 은 수소 등 의 불순물 이 충분히 제거 되 고 , 고순 도화 되 어 있 다 . 구체 적 으로 는 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 의 수소 농도 는 5 × 1019 ( atoms / cm 3 ) 이하 이 다 . 또한 , 산화물 반도체 층 ( 140 ) 의 수소 농도 는 5 × 1018 ( atoms / cm 3 ) 이하 인 것 이 바람직 하 고 , 5 × 1017 ( atoms / cm 3 ) 이하 인 것 이 보다 바람직 하 다는 점 을 주목 하 라 . 또한 , 상기 한 산화물 반도체 층 ( 140 ) 중 의 수소 농도 는 , 이 차 이온 질량 분석법 ( SIMS ： Secondary Ion Mass Spectroscopy ) 으로 측정 한 것 이 다 .