상술 한 바 와 같이 빔 의 조사 조건 의 변화 에 따른 , 명도 ( 예 를 들 면 특정 개소 의 신호 량 ) 의 변화 는 , 결함 종 에 대응 하 는 전기 특성 에 따라 서로 다르 다 . 즉 , 복수 의 빔 조사 조건 에서 빔 을 조사 했 을 때 에 얻 어 지 는 명도 의 변화 는 , 결함 종 이나 결함 의 특징 량 등 의 전기 특성 에 따라 변화 하 는 것 이 며 , 예 를 들 면 조사 조건 과 복수 화상 으로부터 얻 어 지 는 특징 량 ( 혹은 화상 데이터 그 자체 ) 의 조합 과 , 전기 특성 사이 에 는 , 상관 관계 가 있 다고 할 수 있 다 .