반사막 ( 406 ) 은 , 유리 기판 ( 404 ) 상 에 마련 되 어 있 다 . 반사막 ( 406 ) 은 , Si 막 ( 408 a ) 및 Mo 막 ( 408 b ) 을 , 예 를 들 어 40 주기 이상 60 주기 이하 의 정도 로 적층 한 다층막 을 포함 한다 . 또한 도 16 에 있 어서 는 , Si 막 ( 408 a ) 및 Mo 막 ( 408 b ) 의 적층 층수 를 생략 하 여 도시 하고 있 다 .