본 실시 형태 에서 는 , 기체 분 출부 ( 51 ) 의 하류 의 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 와 롤러 ( 31 a ) 와 의 이격 거리 가 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 순서 대로 좁 아 지 기 때문 에 , 급격 한 교정 에 의한 휘어짐 기판 ( W ) 의 파손 위험 을 저감 하 여 , 반송 을 행할 수 있 다 . 또한 , 전술 한 실시 형태 에서 는 , 기체 분 출부 ( 51 ) 의 근방 에 있 어서 는 , 기체 분 출부 ( 51 ) 가 존재 함 으로써 , 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 반송 방향 ( A 1 ) 의 간격 이 넓 어 져 있 었 다 ( 도 4 , 도 5 참조 ) . 그러나 , 본 실시 형태 에서 는 , 기체 분 출부 ( 51 ) 에 가장 가까운 위치 에 외부 직경 이 작 은 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 를 배치 하 고 , 이 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 에 의해 , 휘어짐 량 이 커진 기판 ( W ) 의 휘어짐 부분 을 압박 하 는 것 을 가능 하 게 하 고 있 다 . 또한 , 기체 분 출부 ( 51 ) 와 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 의 거리 를 가깝 게 하 면서 , 상부 배치 롤러 ( 31 c ) 에 의해 기판 ( W ) 의 휘어짐 부분 을 가압 할 수 있 기 때문 에 , 기판 ( W ) 이 기체 분 출부 ( 51 ) 에 접촉 하 여 파손 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .