예컨대 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 및 제 2 성막 레이트 측 정부 ( 272 a ) 는 , 제 1 성막 레이트 측 정부 ( 271 a ) 와 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 또는 제 1 증착 위치 ( 232 a ) 에 있 는 도가니 ( 231 ) 와 의 사이 의 거리 인 제 1 거리 ( A ) 는 , 제 2 성막 레이트 측 정부 ( 272 a ) 와 제 1 예열 위치 ( 237 a ) 또는 제 1 예열 위치 ( 237 a ) 에 있 는 도가니 ( 231 ) 와 의 사이 의 거리 인 제 2 거리 ( B ) 보다 크 도록 설치 된다 .