도 1 c 는 말 단부 의 예시 적 인 선형 배열 및 개스 A , 개스 B , 및 개스 C 의 1 , 2 , 또는 3 의 상이 한 유형 의 3 개 의 개스 의 분배 가 가능 한 도관 포트 를 도시 한다 . 이 말 단부 들 은 예컨대 , 회전 기판 에 적합 할 것 이 다 . 말 단부 ( 107 a ) 는 부 ( 111 a ) 로부터 연장 되 는데 , 이 부 ( 111 a ) 로 이 도관 의 보다 근접 한 부분 으로부터 개스 A 가 운반 된다 . 개스 A 는 선형 배열 된 도관 포트 ( 109 a ) 를 통해 말 단부 ( 107 a ) 로부터 성장 챔버 로 빠져 나간다 . 개스 C 를 분배 하 는 말 단부 ( 107 c ) 는 말 단부 ( 107 a ) 와 유사 하 다 . 말 단부 ( 107 b ) 도 말 단부 ( 107 a ) 와 유사 한데 , 2 열 의 선형 배치 된 도관 포트 ( 109 b ) 를 통해 개스 B 를 성장 챔버 로 분배 한다는 점 은 다르 다 . 통상 , 도관 포트 는 말 단부 상 에 다양 하 게 배열 될 수 있 다 .