도 6 을 참조 하 면 , 광원 부 , 레티 클 스테이지 , 프로 젝 션 렌즈 부 및 이 멀 젼 후 드 를 더 포함 하 는 이 멀 젼 리소그래피 장치 에 사용 되 는 웨이퍼 스테이지 ( 100 ) 를 도시 한 것 으로 웨이퍼 스테이지 ( 100 ) 상부 에 는 웨이퍼 ( 110 ) 를 진공 흡착 방식 으로 흡착 할 수 있 는 원형 의 흡착 판 ( 120 ) 이 구비 된다 .