또 , 상기 공진기 ( 5 ) 의 양측 에 설치 되 어 있 는 한 쌍 의 마이크로파 발생기 ( 4 ) 는 2 . 45 ㎓ 의 마이크로파 를 공진기 ( 5 ) 의 양측 에서 그 내부 로 발생 시켜 주 게 되 는데 , 이 와 같이 공진기 ( 5 ) 의 양쪽 에 설치 된 한 쌍 의 마이크로파 발생기 ( 4 ) 를 작동 시키 면 합성 플 라즈 마 밀도 는 두 밀도 프로파일 의 합 이 되 는데 , 상기 마이크로파 발생기 ( 4 ) 는 스스로 플 라즈 마 프로파일 을 발생 시키 지 않 은 상황 에서 마이크로파 파워 를 증가 시키 면 합성 파가 플 라즈 마 프로파일 을 생성 할 것 이 지만 , 이때 어느 정도 의 파워 를 걸 어 주 어야 하 는지 는 공정 기체 의 종류 와 공진기 ( 5 ) 의 도파 거리 가 얼마나 되 느냐 에 따르 게 된다 .