또한 , 가동 률 산 출부 ( 303 ) 는 , 읽 어 낸 데이터 내용 에 기초 하 여 , 기판 처리 장치 를 가동 할 수 있 는 상태 에 있 었 던 시간 길이 를 산출 한다 . 또한 , 가동 률 산 출부 ( 303 ) 는 , 미리 지정 된 대상 구간 에서 차지 하 는 , 산출 된 시간 길이 의 비율 을 가동률 로서 산출 하 여 , 표시 제 어부 ( 304 ) 에 통지 한다 .