다음 , 제 1 공정 이 완료 되 면 웨이퍼 ( W ) 는 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 로부터 언 로딩 되 고 ( ' d ' 구간 ) 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 에 로딩 된다 ( S 40 ) ( ' a ' 구간 ) . 웨이퍼 ( W ) 가 제 2 공정 챔버 ( 220 ) 에 로딩 되 는 방법 은 웨이퍼 ( W ) 가 제 1 공정 챔버 ( 120 ) 에 로딩 되 는 방법 과 같 다 .