제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 은 , N 2 가스 의 공급원 인 N 2 가스 공급원 GS 3 으로부터 연장 되 어 , 원료 가스 공급 라인 L 1 에 접속 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 을 통해 원료 가스 공급 라인 L 1 측 에 N 2 가스 가 공급 된다 . 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 은 , ALD 법 에 의한 성막 중 에 N 2 가스 를 상시 공급 하 여 , WCl 6 가스 의 캐리어 가스 로서 기능 함 과 함께 , 퍼지 가스 로서 의 기능 도 갖 는다 . 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 에 는 , N 2 가스 공급원 GS 3 측 으로부터 순서 대로 매스 플로우 컨트롤러 M 3 , 개폐 밸브 V 3 및 오리피스 F 3 이 마련 되 어 있 다 . 매스 플로우 컨트롤러 M 3 은 , 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 을 흐르 는 N 2 가스 의 유량 을 제어 한다 . 오리피스 F 3 은 , 버퍼 탱크 T 1 , T 5 에 의해 공급 되 는 비교 적 큰 유량 의 가스 가 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 으로 역류 되 는 것 을 억제 한다 .