부가 적 인 IPA 증기 또는 다른 유형 들 의 계면 활성제 들 이 개시 된 세정 및 건조 챔버 내 로 도입 되 어 , 기판 의 건조 를 용이 하 게 하 도록 기판 상 의 액체 층 을 얇 게 하 는 것 을 보조 할 수 있 다 . 스핀 속도 또는 가속 과 챔버 내 로 도입 되 는 IPA 증기 또는 계면 활성제 의 조합 은 추가 로 , 높 은 스핀 속력 건조 동작 을 요구 하 지 않 거나 견딜 수 없 는 응용 들 에 대한 건 조한 또는 실질 적 으로 건조 한 기판 을 산출 할 수 있 다 .