기판 을 처리 하 는 기판 처리 장치 에 있 어서 , 선회 가능 하 며 또한 신축 가능 하 게 구성 된 반송 아암 에 의해 기판 을 보 지 하 고 반송 하 는 기판 반송 기구 가 , 진공 분위기 로 되 는 내부 에 마련 된 반 송실 을 복수 가지 며 , 상기 복수 의 반 송실 이 직선형 상 으로 배열 되 도록 배설 된 반송 실열 과 , 기판 이 탑재 되 는 기판 탑재 영역 이 진공 분위기 로 되 는 내부 에 마련 된 처리 실 을 복수 가지 며 , 상기 복수 의 처리 실 이 상기 반송 실열 의 평면 에서 보 아 측방 에 상기 반송 실열 을 따라서 배열 되 도록 배설 된 처리 실열 과 , 상기 반송 아암 의 선회 및 진퇴 를 구동 하 는 구동 기구 와 , 제 어부 를 구비 하 고 , 상기 처리 실은 , 상기 처리 실 에 인접 하 는 2 개 의 상기 반 송실 과 게이트 밸브 를 거쳐서 접속 되 어 있 으며 , 상기 처리 실 내 의 상기 기판 탑재 영역 의 중심 은 , 상기 처리 실 에 인접 하 는 2 개 의 상기 반 송실 각각 의 , 상기 반송 아암 의 선회 축 과 상기 반 송실 에 대한 상기 게이트 밸브 의 중심 을 연결 하 는 선 보다 상기 반송 실열 측 에 위치 하 며 , 상기 제 어부 는 상기 처리 실과 상기 처리 실 에 인접 하 는 상기 반 송실 사이 에서 의 기판 반입 출시 , 상기 반 송실 의 상기 반송 아암 에 보 지 된 기판 의 중심 이 , 상기 반송 아암 의 선회 축 과 상기 처리 실 내 의 상기 기판 탑재 영역 의 중심 을 연결 하 는 선 의 외측 을 지나 도록 상기 구동 기구 를 제어 하 도록 구성 되 어 있 다 .