이트리아 파우더 및 플루오르 함유 가스 는 재료 유입 구 ( 110 ) 를 통하 여 코팅 처리 공간 ( 101 ) 으로 유입 될 수 있 다 . 재료 유입 구 ( 110 ) 에 는 제 1 유입 라인 ( 111 ) 및 제 2 유입 라인 ( 112 ) 이 연결 될 수 있 다 . 이트리아 파우더 는 제 1 유입 라인 ( 111 ) 을 통해 이동 하 여 코팅 처리 공간 ( 101 ) 으로 유입 되 고 , 플루오르 함유 가스 는 제 2 유입 라인 ( 112 ) 을 통해 이동 하 여 코팅 처리 공간 ( 101 ) 으로 유입 될 수 있 다 .