본 개시 의 실시 예 는 몇몇 유리 한 특징 을 갖 는다 . 플 라즈 마 처리 그리고 가능 하 게 는 열 소 킹 공정 에 걸쳐 , 장벽층 이 필요 하 지 않 다 . 이 는 콘택트 플러그 의 측 방향 크기 의 증가 및 저항 의 감소 를 초래 한다 . 유전체 층 및 금속 에 대한 Si - N - 금속 결합체 의 우수 한 접착력 으로 인해 ILD 및 CESL 에 대한 콘택트 플러그 의 접착력 은 좋 다 .