프레임 반송 장치 ( 16 ) 는 , 도 9 에 도시 하 는 바 와 같이 , 전후 이동 가동 대 ( 43 ) 의 하부 에 연결 된 세로 프레임 ( 44 ) , 이 세 로 프레임 ( 44 ) 을 따라 슬라이드 승강 가능 하 게 지지 된 승강 프레임 ( 45 ) , 승강 프레임 ( 45 ) 을 상하 이동 시키 는 굴신 링크 기구 ( 46 ) , 이 굴신 링크 기구 ( 46 ) 를 정역 굴신 구동 하 는 모터 ( 47 ) , 승강 프레임 ( 45 ) 의 하단 에 장비 된 웨이퍼 ( W ) 를 흡착 하 는 흡착 플레이트 ( 48 ) 및 링 프레임 ( f ) 을 흡착 하 기 위해 당해 흡착 플레이트 ( 48 ) 의 주위 에 배치 된 복수 개 의 흡착 패드 ( 49 ) 등 으로 구성 되 어 있 다 . 따라서 , 프레임 반송 장치 ( 16 ) 는 , 보유 지지 테이블 ( 5 ) 에 적재 보유 지지 된 링 프레임 ( f ) 및 마운트 프레임 ( MF ) 을 흡착 유지 하 여 , 승강 및 전후 좌우 로 반송 할 수 있 다 . 흡착 패드 ( 49 ) 는 , 링 프레임 ( f ) 의 사이즈 에 대응 하 여 수평 방향 으로 슬라이드 조절 가능 하 게 되 어 있 다 .