본 발명 의 기술 적 과제 는 상술 한 필요 성 을 감안 한 것 으로서 , 반도체 제조 공정 을 유연 성 있 게 구축 하 기 위한 일환 으로서 웨이퍼 이송 매수 를 가변 할 수 있 고 , 이때 웨이퍼 소터 시스템 의 동작 정지 가 발생 하 지 않 도록 신뢰 성 을 확보 하 며 이송 매수 의 변화 를 구현 할 수 있 는 웨이퍼 이송 로봇 을 제공 하 는 것 이 다 .