트랜스퍼 모듈 ( 130 ) 에 구비 되 는 제 2 로봇 ( 131 ) 의 총 개수 는 EFEM ( 110 ) 의 제 1 로봇 ( 111 ) 에 구비 된 복수 개 의 슬롯 ( 260 ) 의 개수 와 동일 한 것 이 바람직 하 다 . 이 와 마찬가지 로 , 프로세스 모듈 ( 140 ) 에 구비 되 는 샤프트 ( 141 ) 의 총 개수 도 EFEM ( 110 ) 의 제 1 로봇 ( 111 ) 에 구비 된 복수 개 의 슬롯 ( 260 ) 의 수 와 동일 한 것 이 바람직 하 다 .