또한 , 압력 센서 는 , 다이어프램 의 변위 를 광학 적 으로 계측 하 는 측 정부 를 구비 하 는 압력 센서 여도 좋 다 . 이 압력 센서 에 대해서 , 도 5 를 참조 하 여 설명 한다 . 이 압력 센서 는 , 베이스 ( 121 ) 와 , 베이스 ( 121 ) 의 지지 부 ( 121 a ) 에 지지 된 다이어프램 ( 122 ) 을 구비 한다 . 다이어프램 ( 122 ) 은 , 변위 가능 하 게 이루어져 측정 대상 의 기체 의 압력 을 수압 면 에서 받 는다 . 또한 , 다이어프램 ( 122 ) 은 , 가동 영역 ( 122 a ) 의 외측 의 접합 영역 ( 122 b ) 에서 , 지지 부 ( 121 a ) 의 상면 에 접합 되 고 , 가동 영역 ( 122 a ) 에서 베이스 ( 121 ) 와 이격 하 여 배치 되 어 있 다 . 또한 , 베이스 ( 121 ) 는 , 투광 성 을 갖 는 재료 로 구성 되 어 있 다 .