도 3 을 참조 하 는 것 에 의해 이해 되 는 바 와 같이 , 암 ( 36 ) 의 일단 부 의 하면 과 지지 부재 ( 14 ) 의 원형 벽 ( 16 ) 의 상면 의 사이 에 는 코일 용수철 ( 44 ) 이 부설 되 어 있 다 . 코일 용수철 ( 44 ) 은 연결 축 ( 34 ) 의 메 인부 ( 34 a ) 의 직경 방향 외측 에 배치 되 어 있 다 . 이 에 의해 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 의 다공성 면 ( P ) 을 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 위치 시켰 을 때 에 , 코일 용수철 ( 44 ) 이 압축 하 여 지 지 부재 ( 14 ) 와 함께 흡인 유지 부 ( 8 ) 가 상승 하 여 , 다공성 면 ( P ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 에 작용 하 는 충격 이 완화 되 도록 되 어 있 다 .