기판 처리 도중 에 약액 공급 등 에 이상 이 생긴 경우 , 처리 대상 의 기판 이 처리 유닛 내 에 배치 된 상태 에서 처리 가 중단 되 는 경우 가 있 다 . 이 경우 , 처리 도중 에 , 사람 손 또는 기계 에 의해 처리 유닛 으로부터 기판 이 취 출 된다 . 한편 , 예 를 들 어 약액 처리 중 에 이상 이 생긴 경우 , 기판 의 표면 에 는 약액 ( 예 를 들 어 불 산 등 ) 이 부착 되 어 있 을 가능 성 이 있 다 .