물론 이 에 한정 되 지 않 고 , 상기 가스 공급 부 ( 700 ) 는 상기 상측 챔버 부 ( 120 ) 와 차 폐부 ( 300 ) 의 사이 공간 을 통해 공정 가스 를 이송 할 수 있 다 . 또한 , 가스 공급 부 ( 700 ) 는 차 폐부 ( 300 ) 와 상측 전극 부 ( 310 ) 사이 공간 을 통해 공정 가스 를 플 라즈 마 발생 영역 에 공정 가스 를 공급 할 수 도 있 다 . 그리고 , 가스 공급 부 ( 700 ) 의 일부 가 차 폐부 ( 300 ) 를 관통 하 여 마련 될 수 도 있 다 .