베이스 링 어셈블리 ( 300 ) 는 베이스 링 ( 301 ) 을 통해 형성 된 측면 포트 ( 313 또는 312 ) 에 커플링 된 하나 또는 두 개 의 측면 주입 어셈블리 ( 303 ) 를 추가 로 포함 한다 . 측면 포트 ( 312 , 313 ) 는 입 구 포트 ( 310 ) 및 출구 포트 ( 311 ) 사이 에 형성 되 고 , 원통형 처리 볼륨 ( 314 ) 으로 측면 가스 유동 을 가능 하 게 하 도록 구성 된다 . 이미 논의 된 것 처럼 , 측면 가스 유동 은 엣지 처리 프로 파일 을 조절 하 도록 구성 된다 .