내측 컵 ( 852 ) 은 회전축 ( 834 ) 을 감싸 는 원형 의 판 형상 으로 제공 된다 . 상부 에서 바라볼 때 내측 컵 ( 852 ) 은 내측 배기구 ( 814 ) 와 중첩 되 도록 위치 된다 . 상부 에서 바라볼 때 내측 컵 ( 852 ) 의 상면 은 그 외측 영역 과 내측 영역 각각 이 서로 상이 한 각도 로 경사지 도록 제공 된다 . 일 예 에 의하 면 , 내측 컵 ( 852 ) 의 외측 영역 은 기판 지지 유닛 ( 830 ) 으로부터 멀 어 질수록 하향 경사진 방향 을 향하 며 , 내측 영역 은 기판 지지 유닛 ( 830 ) 으로부터 멀 어 질수록 상향 경사진 방향 을 향하 도록 제공 된다 . 내측 컵 ( 852 ) 의 외측 영역 과 내측 영역 이 서로 만나 는 지점 은 기판 ( W ) 의 측 단부 와 상하 방향 으로 대응 되게 제공 된다 . 내측 컵 ( 852 ) 의 상면 외측 영역 은 라운드 지 도록 제공 된다 . 내측 컵 ( 852 ) 의 상면 외측 영역 은 아래 로 오목 하 게 제공 된다 . 내측 컵 ( 852 ) 의 상면 외측 영역 은 처리 액 이 흐르 는 영역 으로 제공 될 수 있 다 .