일부 구 현예 에서 , 상기 개질 가능 층 은 탄소 를 포함 할 수 있 고 , C - C , C - N , 및 C - O 결합 으로 이루어진 목록 으로부터 선택 된 화학 결합 을 포함 할 수 있 다 . 이러 한 결합 은 EUV 복사선 에 의해 적절 하 게 끊어질 수 있 고 , 따라서 노광 영역 에서 개질 가능 층 의 특성 을 국부 적 으로 개질 시킨다 . 그 다음 , 이러 한 국부 개질 이 영역 - 선택 적 증착 을 위해 활용 될 수 있 다 .