이렇게 , 본 실시 형태 에서 는 , 높 은 청 정도 를 갖 는 기체 ( 204 ) 를 내뿜 기 위한 전용 의 배관 이나 설비 를 필요 로 하 지 않 고 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 낮 은 청 정도 의 기체 ( 205 ) 를 말려들 게 하 는 것 을 억제 하 고 , 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 의 청 정도 를 유지 할 수 있 다 . 단 , 본 실시 형태 에서 는 , 경통 ( 107 ) 의 내부 의 기체 ( 804 ) 가 높 은 청 정도 를 갖 는 것 이 필요 해진다 .