또한 , 반송 캐리어 ( 302 ) 를 자기 부상 방식 으로 반송 함 으로써 먼지 나 마찰 에 의한 분체 의 발생 을 억제 할 수 있 으므로 , 특히 증착 실 내부 나 증착 실로 의 반 출입 등 에 있 어서 유효 하 다 . 더욱이 , 도시 한 예 에 의하 면 , 유리 기판 ( G ) 이 제조 라인 ( 100 ) 으로 반입 된 후 , 얼라인먼트 및 증착 을 거쳐 배출 될 때 까지 의 과정 에 있 어서 , 유리 기판 ( G ) 은 일 방향 으로 반송 될 뿐 이 며 , 또한 , 진행 방향 에서 상하 반전 할 필요 는 있 지만 , 로봇 등 에 의해 평면 방향 에서 선회 할 필요 는 없 다 . 즉 , 유리 기판 ( G ) 은 직선 형상 의 반송 로 상 을 반송 된다 . 따라서 , 유리 기판 ( G ) 을 로봇 등 에 의해 평면 방향 으로 선회 시킬 필요 가 없 기 때문 에 , 먼지 나 분체 가 기판 에 부착 될 가능 성 을 더욱 저감 할 수 있 다 .