본 발명 은 상술 한 바 와 같 은 문제점 을 해결 하 기 위하 여 제안 된 것 으로 , 챔버 내부 의 몸체 와 그 몸체 상면 의 플레이트 를 고정 시키 는 접착제 가 외부 로 노출 되 지 않 도록 상기 플레이트 의 둘레 면 을 하부 로 연장 하 여 웨이퍼 를 가공 할 때 챔버 내부 에 공급 되 는 고온 의 가스 에 의해서 접착제 가 손상 되 는 것 을 방지 할 수 있 는 캡 형 정전 척 을 제공 함 에 있 다 .