한편 , 최근 모스 펫 소자 의 디자인 룰 이 서브 - 100 ㎚ 급 이하 의 레벨 로 급속히 감소 하 면서 게이트 , 즉 , 워드 라인 의 RC 지연 문제 가 큰 이슈 로 부각 됨 에 따라 , 상기 한 워드 라인 의 RC 지연 문제 를 해결 하 고 디램 소자 의 동작 속도 를 개선 하 기 위한 하나 의 방법 으로 비저항 이 낮 은 게이트 물질 의 적용 이 시도 되 고 있 다 .