한편 , 도 1 에 나타낸 본 발명 의 실시 예의 구성 에 있 어서 의 플라스마 의 전자 밀도 분포 를 계산 한 결과 를 도 4 에 나타낸다 . 도 1 에 나타낸 구성 에 있 어서 , 외주 코일 ( 81 ) 에 전류 를 흘린 다음 에 , 미들 코일 ( 83 ) 에 전류 를 흘렸 을 경우 의 전자 밀도 분포 ( 401 ) 와 , 미들 코일 ( 83 ) 에 전류 를 흘리 지 않 을 경우 의 전자 밀도 분포 ( 402 ) 를 계산 했 다 . 미들 코일 ( 83 ) 의 ON ／ OFF 에 대응 하 여 , 반경 위치 ( 310 ) 에서 나타나 는 반경 100 ㎜ 의 주변 의 위치 에서 , 전자 밀도 분포 ( 401 ) 가 411 의 위치 에서 국소 적 으로 증가 시키 는 것 이 가능 한 것 을 알 수 있 다 .