도 23 a 및 23 b 는 본 발명 의 제 1 실시 형태 의 기판 처리 시스템 의 타임 차트 를 나타낸다 . 본 발명 의 제 1 실시 형태 의 기판 처리 시스템 에서 는 , 진공 반송 로봇 이 2 대 마련 되 고 , 각 진공 반송 로봇 이 2 개 의 프로세스 챔버 를 담당 하 고 있 다 . 스루풋 의 계산 에 있 어서 , 게이트 의 개폐 시간 , 진공 반송 로봇 의 아암 의 신축 시간 , 아암 의 선회 시간 을 종래 의 기판 처리 시스템 과 맞추 고 있 다 .