제 2 반송 기구 ( ＴＩＦＢ ) 는 재 치부 ( ＰＡＳＳ - ＣＰ ) 로부터 기판 ( Ｗ ) 을 꺼내 서 , 노광기 ( ＥＸＰ ) 에 반송 한다 . 노광기 ( ＥＸＰ ) 에서 는 기판 ( Ｗ ) 을 노광 한다 ( 스텝 Ｓ １３ - 노광 ( Ｔ ９ ) ) . 그리고 , 노광기 ( ＥＸＰ ) 로부터 꺼내 어 진 노광 완료 된 기판 ( Ｗ ) 을 받아들이 면 , 재 치부 ( ＰＡＳＳ ７ ) 에 반송 한다 .