다음 으로 , 건조제 의 일례 인 IPA 를 기판 ( W ) 에 공급 하 는 제 4 용제 린스 처리 ( 비 접촉 상태 유지 공정 , 건조제 공급 공정 ) 가 행하 여진다 ( S 307 ) . 구체 적 으로 는 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 차 단판 ( 303 ) 을 처리 위치 에 위치 시키 고 , 또한 , 스핀 척 ( 302 ) 에 의해 기판 ( W ) 을 회전 시키 면서 , 건조제 밸브 ( 323 ) 를 열 어 , 중심축 노즐 ( 316 ) 로부터 기판 ( W ) 의 상면 중앙부 를 향하 여 용제 를 토출 시킨다 . 이 에 의해 , 중심축 노즐 ( 316 ) 로부터 토출 된 IPA 가 기판 ( W ) 의 상면 전체 영역 에 공급 된다 . 따라서 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 소수 화제 의 대부분 은 IPA 에 의해 씻겨 진다 . 또한 , IPA 는 소수 화제 를 용해 할 수 있 기 때문 에 , 기판 ( W ) 에 잔류 하 여 있 는 소수 화제 는 IPA 에 용해 되 어 , IPA 와 함께 기판 ( W ) 으로부터 제거 된다 ( 배출 된다 ) . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 으로부터 소수 화제 가 제거 되 어 , 기판 ( W ) 에 보유 되 어 있 는 소수 화제 가 IPA 로 치환 된다 ( 제 4 용제 린스 처리 ) . 그리고 , 제 4 용제 린스 처리 가 소정 시간 에 걸쳐 행하 여 지 면 , 제 어 장치 ( 327 ) 는 건조제 밸브 ( 323 ) 를 닫 아서 IPA 의 토출 을 정지 시킨다 .