상기 복수 개 의 엠보싱 ( 622 ) 은 상기 기판 안착 부 의 전면 에 소정 간격 으로 형성 되 고 , 상기 기판 과 접촉 하 여 상기 기판 을 지지 한다 . 상기 엠보싱 ( 622 ) 사이 로 헬륨 가스 가 공급 되 어 기판 과 진공 척 ( 620 ) 사이 에 분포 하 도록 하 여 공정 에 적정 한 온도 와 압력 이 일정 하 게 유지 되 도록 한다 .