물품 을 외기 에 포함 되 는 오염 물질 로부터 보호 하 면서 보관 하 기 위해서 , 종래 , 예 를 들 면 , 내부 에 반도체 웨이퍼 를 보관 하 는 클린 박스 에 있 어서 , 그 상류 쪽 으로부터 케미컬 필터 로 정화 한 공기 를 송풍 하 고 , 해당 정화 된 공기 를 그대로 하 류 단부 로부터 배출 하 는 것 이 있 었 다 ( 예 를 들 면 , 특허 문헌 1 ) .