열팽창 계수 측정 간섭계 와 그 방법 이 개시 된다 . 편광 광분 할 기 는 입사 되 는 제 1 광 및 제 2 광 을 각각 편광 성분 별 로 반사 및 투과 시켜 제 1 광 을 제 3 광 과 제 4 광 으로 분광 시키 고 제 2 광 을 제 5 광 과 제 6 광 으로 분광 시킨다 . 복수 의 코너 큐브 프리즘 은 편광 광분 할 기 로부터 제 3 내지 제 6 광 중 적어도 어느 하나 의 광이 입사 되 면 , 입사 되 는 광 의 경로 를 변경 하 여 반사 시켜 반복 하 여 광 을 측정 대상물 에 입사 시킨다 . 본 발명 에 따른 열팽창 계수 측정 간섭계 는 분해능 과 민 감도 가 높 아 열패 창 계수 를 보다 정확 하 게 측정 할 수 있 다 .