다음 에 제 어부 ( 100 ) 는 , 선반 유닛 ( U 11 ) 의 웨이퍼 ( W ) 를 처리 모듈 ( 14 ) 내 의 현상 유닛 ( U 3 ) 및 열처리 유닛 ( U 4 ) 에 반송 하 도록 반송 아암 ( A 3 ) 을 제어 하 고 , 이 웨이퍼 ( W ) 의 레지스 트 막 에 현상 처리 를 실시 하 도록 현상 유닛 ( U 3 ) 및 열처리 유닛 ( U 4 ) 을 제어 한다 . 그 후 제 어부 ( 100 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 선반 유닛 ( U 10 ) 에 복귀 시키 도록 반송 아암 ( A 3 ) 을 제어 하 고 , 이 웨이퍼 ( W ) 를 캐리어 ( C ) 내 에 복귀 시키 도록 승강 아암 ( A 7 ) 및 전달 아암 ( A 1 ) 을 제어 한다 . 이상 으로 도포 · 현상 처리 가 완료 한다 .