도면 에 도시 된 바 와 같이 , 보론 농도 ( c ) 는 고농 도 보론 층 ( 120 ) 에서 피크 값 을 가지 며 , 제 1 기판 층 ( 110 a ) 및 제 2 기판 층 ( 110 b ) 에서 는 상대 적 으로 작 은 값 을 가진다 . 따라서 , 상대 적 으로 높 은 농도 의 보론 이 분포 된 고농 도 보론 층 ( 120 ) 에서 후술 할 BxOy 복합체 ( complex ) 가 형성 될 수 있 어 , 산소 가 웨이퍼 의 전면 으로 확산 되 는 것 을 효과 적 으로 방지 할 수 있 다 .