상술 한 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 에 기초 하 여 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 를 이동 시킴 으로써 , 웨이퍼 의 중심 을 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 상 에 맞추 고 있 다 . 그 를 위해서 는 , 도 2 에 도시 하 는 스텝 1 에서 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 과 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 와 는 완전히 일치 시키 는 것 이 바람직 하 다 . 그러나 , 연마 장치 의 각 부품 의 조립 정밀도 나 기계 적 인 치수 오차 등 의 이유 로 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 과 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 를 완전히 일치 시키 기 는 매우 어렵 다 .