이어서 , 제 1 및 제 2 개 구부 들 ( OP 1 , OP 2 ) 을 통해 제 1 희생 막 들 ( 33 ) 을 제거 함 으로써 , 제 3 개 구부 들 ( OP 3 ) 을 형성 한다 . 제 3 개 구부 들 ( OP 3 ) 은 적층 물 ( ST ) 의 하부 에 위치 되 며 , 이웃 한 제 3 개 구부 들 ( OP 3 ) 은 지지대 들 ( 32 A ) 에 의해 상호 분리 된다 . 지지대 들 ( 32 A ) 이 적층 물 ( ST ) 을 지지 하 므로 , 제 1 희생 막 들 ( 33 ) 을 제거 하 더라도 적층 물 ( ST ) 이 기울어지 거나 붕괴 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 식각 정지 막 ( 34 ) 이 지지대 들 ( 32 A ) 에 비해 넓 은 폭 을 가지 므로 , 제 3 개 구부 들 ( OP 3 ) 이 측벽 에 단차 ( S ) 를 가질 수 있 다 .