도 3 h 에 도시 된 바 와 같이 , 제 2 층간 절 연막 ( 42 ) 과 제 1 층간 절 연막 ( 39 ) 을 제거 한다 . 이때 , 제 1 층간 절 연막 ( 42 ) 을 제거 하 기 위한 식각 은 X - X ' 방향 의 게이트 절 연막 표면 이 노출 될 때 까지 진행 한다 . 따라서 , X - X ' 방향 에서 는 제 1 층간 절 연막 이 잔류 하 지 않 고 , Y - Y ' 방향 에서 는 비트 라인 ( 38 A , 38 B ) 사이 를 절연 시키 는 제 2 층간 절 연막 ( 42 A ) 이 잔류 한다 .