또한 , 상기 실시 형태 에 있 어서 는 , N 2 가스 공급원 및 NH 3 가스 공급원 을 , PHT 처리 장치 ( 4 ) 와 COR 처리 장치 ( 5 ) 에서 따로 따로 갖 도록 기재 했 지만 , 가스 공급원 은 PHT 처리 장치 ( 4 ) 와 COR 처리 장치 ( 5 ) 에서 따로 따로 구비 하 고 있 어도 되 고 , 서로 공용 되 어도 상관없 다 .