이하 , 도 17 a 내지 도 17 g 를 참조 하 여 , 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 미세 패턴 형성 방법 에 대해 상세히 설명 한다 . 도 17 a 내지 도 17 g 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 미세 패턴 형성 방법 을 나타내 는 사시도 들 이 다 . 도 1 내지 도 9 에 도시 된 실시 예 와 실질 적 으로 동일 한 구성 요소 에 대해서 는 동일 한 도면 부호 를 사용 하 며 , 해당 구성 요소 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .