연마 조건 에 도 특별히 제한 은 없 으며 , 예 를 들 어 연마 정반 의 회전수 , 헤드 ( 캐리어 ) 회전수 는 , 각각 10 rpm 이상 100 rpm 이하 인 것 이 바람직 하 며 , 연마 대상물 에 걸리 는 압력 ( 연마 압력 ) 은 , 0 . 5 psi 이상 10 psi 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 연마 패드 에 연마 용 조성물 을 공급 하 는 방법 도 특별히 제한 되 지 않 으며 , 예 를 들 어 펌프 등 으로 연속 적 으로 공급 하 는 방법 ( 흘려보냄 식 ) 이 채용 된다 . 이 공급량 에 제한 은 없 지만 , 연마 패드 의 표면 이 항상 연마 용 조성물 로 덮여 있 는 것 이 바람직 하 며 , 10 mL / 분 이상 5000 mL / 분 이하 인 것 이 바람직 하 다 . 연마 시간 도 특별히 제한 되 지 않 지만 , 연마 용 조성물 을 사용 하 는 공정 에 대해서 는 5 초간 이상 180 초간 이하 인 것 이 바람직 하 다 .