단계 ( 108 ) 중 의 반응 챔버 내 작동 압력 은 , 바람직 하 게 는 등방성 플 라즈 마 를 오목 부 표면 에 제공 하 도록 제어 될 수 있 다 . 예 로서 , 반응 챔버 내 의 압력 은 약 3 토르 내지 약 20 토르 또는 약 4 토르 내지 약 10 토르 일 수 있 다 . 단계 ( 108 ) 중 의 플 라즈 마 전력 은 , 약 50 W 내지 약 1 kW 또는 약 100 W 내지 약 500 W 의 범위 일 수 있 다 . 플라 즈 마는 직접 식 또는 원 격식 플 라즈 마 를 사용 하 여 형성 될 수 있 다 . 단계 ( 108 ) 중 의 플 라즈 마 작동 시간 및 / 또는 펄스 시간 은 , 약 0 . 2 초 내지 약 3 초 또는 약 0 . 5 초 내지 약 2 초 범위 일 수 있 다 . 단계 ( 108 ) 의 펄스 시간 은 단계 ( 104 ) 의 펄스 시간 보다 작 을 수 있 다 .