특허 문헌 1 에 기재 된 기판 처리 장치 는 처 리조 와 , 순환 라인 과 , 펌프 와 , 히터 와 , 적어도 2 개 의 온도 센서 와 , 컨트롤러 를 가진다 . 처 리조 는 기판 이 침지 되 는 처리 액 을 저류 한다 . 순환 라인 은 처 리조 로부터 취 출한 처리 액 을 처 리조 로 되돌린다 . 펌프 , 히터 및 1 개 의 온도 센서 는 순환 라인 의 도중 에 마련 된다 . 다른 1 개 의 온도 센서 는 처 리조 의 수조 내 에 마련 된다 . 컨트롤러 는 적어도 2 개 의 온도 센서 의 검출 온도 에 기초 하 여 , 히터 의 발열량 을 제어 한다 .