도 7 은 , 먼저 설명 한 기판 처리 장치 ( 100 ) 를 가지 는 클러스터 형 의 기판 처리 장치 ( 300 ) 의 구성 을 모식 적 으로 나타내 는 평면도 이 다 . 도 7 을 참조 하 면 , 본 도면 에 나타내 는 기판 처리 장치 ( 300 ) 의 개략 은 , 내부 가 소정 의 감압 상태 또는 불활성 가스 분위기 가 되 는 반 송실 ( 301 ) 에 , 기판 처리 장치 ( 100 ) ( 처리 용기 ( 101 ) ) 에 더 해 , 처리 용기 ( 401 , 402 , 403 , 404 , 405 ) 가 접속 되 어 이루어지 는 구조 를 가지 고 있 다 .