또한 , 층간 유전체 막 ( 13 ) 이 실리콘 반도체 기판 의 제 1 주면 상 에 형성 된다 . 스루홀 에 형성 된 도체 층 ( 23 ) 은 제 1 주면 에 이르 고 , 내부 전극 ( 제 1 전극 패드 ) ( 26 ) 이 도체 층 ( 23 ) 상 에 형성 된다 . 내부 전극 ( 26 ) 은 촬상 소자 ( 12 ) 또는 주변 회로 부 에 형성 된 주변 회로 ( 도시 안 됨 ) 에 전기 적 으로 접속 된다 . 따라서 , 스루홀 에 형성 된 스루홀 전극 은 솔 더 볼 ( 60 ) 및 촬상 소자 ( 12 ) 또는 주변 회로 에 전기 적 으로 접속 한다 .