조사 영역 ( 51 a ~ 51 h ) 은 소정 의 형상 , 예 를 들 면 직사각 형 모양 ( 본 실시 형태 에서 는 거의 정사각형 모양 ) 으로 설정 되 고 , 또한 X 축 방향 의 폭 이 거의 동일 하 게 되 어 있 다 . 조사 영역 ( 51 a ~ 51 h ) 가운데 , 제 1 군 의 조사 영역 ( 51 a , 51 c , 51 e , 51 g ) 은 그 중심 이 X 축 과 평행 한 제 1 직선 상 에 설정 되 도록 X 축 방향 을 따라서 소정 간격 으로 배치 되 며 . 제 2 군 의 조사 영역 ( 51 b , 51 d , 51 f , 51 h ) 도 그 중심 이 X 축 과 평행 한 제 2 직선 상 에 설정 되 도록 X 축 방향 을 따라서 제 1 군 의 조사 영역 과 같 은 간 격 으로 배치 되 어 있 다 . 또 , 제 1 군 의 조사 영역 ( 51 a , 51 c , 51 e , 51 g ) 과 제 2 군 의 조사 영역 ( 51 b , 51 d , 51 f , 51 h ) 은 Y 축 방향 으로 떨어지 고 또한 X 축 방향 으로 어긋나 서 배치 되 어 있 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 제 1 군 의 조사 영역 과 제 2 군 의 조사 영역 은 , Y 축 방향 에 관해서 제 1 군 의 조사 영역 의 + Y 측 의 엣지 와 제 2 군 의 조사 영역 의 - Y 측 의 엣지 가 동일 위치 에 배치 되 고 , X 축 방향 에 관해서 조사 영역 의 폭 만 어긋나 서 배치 된다 . 또한 , 조사 영역 ( 51 a ~ 51 h ) 은 X 축 방향 에 관한 노광 광 ( EL ) 의 강도 분포 가 그 양단 에 각각 , 강도 가 서서히 감소 하 는 경사부 ( 슬로프 ( slope ) 부 ) 를 가진다 , 즉 본 실시 형태 에서 는 X 축 방향 의 강도 분포 가 거의 사다리꼴 모양 이 되 도록 각각 노광 광 ( EL ) 이 조사 된다 .