도 5 c 에 도시 된 바 와 같이 , 잔류 하 는 제 1 및 제 2 산화 막 ( 44 , 47 ) 을 제거 하 며 , 이때 실리콘 산화 막 ( 51 a ) 도 함께 제거 된다 . 따라서 , 질화 막 ( 51 b ) 및 실리콘 막 ( 51 c ) 으로 이루어진 스 페이서 ( 51 ) 가 실린더 형 의 스토리지 전극 ( 46 a ) 의 상부 측벽 에 남 게 된다 .