구성 단위 ( a 01 ) 은 , 하 기 일반식 ( a 0 - 1 ) 로 나타내 는 구성 단위 이 다 . 구성 단위 ( a 01 ) 을 채용 함 으로써 , 기판 이나 하층 막 과 , 레지스 트 조성물 의 친화성 이 향상 되 고 , 형성 된 패턴 의 패턴 붕괴 를 억제 할 수 있 다 . 또 , 구성 단위 ( a 01 ) 을 사용 함 으로써 , 러프 니스 가 저감 된 양호 한 형상 의 패턴 을 형성 할 수 있 다 .