일반 적 으로 반도체 제조 공정 이나 LCD 제조 공정 및 화학 공장 등 에서 는 프로세스 가스 와 클리닝 가스 를 포함 하 여 , 여러 종류 의 가스 를 사용 하 게 되 는데 , 제조 공정 후 발생 되 는 프로세스 배기가스 나 클리닝 배기가스 또는 미 반응 배기가스 등 의 배기가스 는 독성 이 강하 여 외부 로 배출 시키 기 이전 에 진공 펌프 를 통해 배기가스 처리 장치 로 이동 시켜 정화 처리 하 게 된다 .