그러나 , 기판 의 배선 이나 전극 에 코발트 또는 코발트 합금 이 사용 되 면 , 지금 까지 텅스텐 의 배선 이나 전극 에 사용 되 고 있 었 던 특허 문헌 1 ∼ 3 의 세정제 조성물 에서 는 , 세정 성능 도 충분 하 지 않 고 , 특히 특허 문헌 2 에 기재 된 바 와 같 은 산 ∼ 중성 영역 에서 부식 을 일으키 기 쉬워 , 코발트 또는 코발트 합금 으로 이루어지 는 배선 의 산화 나 부식 이 문제 가 되 는 것 을 알 수 있 었 다 .