도 6 을 참조 하 면 , 이후 , 상기 상부 전 극막 상 에 상변화 소자 의 레이아웃 을 정의 하 는 마스크 ( 165 ) 를 형성 한 후 상기 마스크 에 노출 된 상부 전 극막 ( 160 a ) , 상변화 물질 막 ( 150 a ) 을 순차 적 으로 패 터닝 한다 . 그 결과 상변화 물질 막 패턴 ( 150 ) , 상부 전극 ( 160 ) 이 형성 된다 .