질량 분석 부 ( 20 ) 는 , 이온 생성 장치 ( 12 ) 의 하류 에 마련 되 고 , 이온 생성 장치 ( 12 ) 로부터 인출 된 이온 빔 으로부터 필요 한 이온 종 을 질량 분석 에 의하 여 선택 하 도록 구성 된다 . 질량 분석 부 ( 20 ) 는 , 질량 분석 자석 ( 21 ) 과 , 질량 분석 렌즈 ( 22 ) 와 , 질량 분석 슬릿 ( 23 ) 을 갖 는다 .