본 발명 의 방법 은 검사 대상 체의 위치 에서 취득 한 주사 간섭계 신호 를 검사 대 상체 를 모델링 하 기 위한 상이 한 모델 파라미터 에 대응 하 는 다수 의 모델 신호 의 각각 에 비교 하 는 단계 를 포함 하 며 , 모델 신호 의 각각 에 대하 여 , 비교 단계 는 , 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 표면 높이 오프셋 을 식별 하 기 위해 주사 간섭계 신호 와 모델 신호 사이 의 상관 함수 를 계산 하 고 , 공통 의 표면 높이 에 대해 상기 주사 간섭계 신호 와 상기 모델 신호 사이 의 유사 성 을 나타내 는 높이 오프셋 보상 된 가치 값 을 계산 하 는 단계 를 포함 하 며 , 본 발명 의 방법 은 또한 상이 한 모델 신호 에 대한 각각 의 가치 값 에 기초 하 여 , 검사 대상 체의 위치 에서 의 검사 대 상체 파라미터 를 판정 하 는 단계 를 포함 한다 .