이 와 같이 , 본 발명 에서 는 피검 사체 ( 30 ) 와 대응 하 는 최 외곽 영역 에 도 빔 과 팁 을 포함 하 는 프로브 ( 22 ) 의 배치 가 가능 한 크기 를 갖 는 단일 의 희생 기판 ( 20 ) 을 마련 하 고 , 이 를 사용 하 여 프로브 카드 를 수득 한다 . 즉 , 본 발명 에서 는 두 장 또는 그 이상 의 희생 기판 이 아닌 단일 의 희생 기판 ( 20 ) 만 으로 도 프로브 카드 를 수득 할 수 있 다 .