평탄 화 층 ( 220 ) 의 두께 편차 의 상한 은 , 예 를 들 면 , 2000 Å 이하 , 1000 Å 이하 , 500 Å 이하 , 또는 250 Å 이하 일 수 있 다 . 두께 편차 의 하한 은 , 작 을수록 평탄 화 층 ( 220 ) 이 균일 하 게 형성 된다는 것 을 의미 하 므로 특별히 제한 되 는 것 은 아니 나 , 예 를 들 면 , 50 Å 이상 , 100 Å 이상 또는 200 Å 이상 일 수 있 다 .