DMD 미러 장치 ( 460 ) 는 회절 광학계 ( 420 ) 를 통해 제공 되 는 광 을 일정 각도 로 반사 하 여 영사 장치 ( 490 ) 에 전달 한다 . 이때 , DMD 미러 ( 460 ) 의 마이크 로 미러 들 은 영사 장치 ( 490 ) 에 광 입사 가 원활히 이루어지 도록 일정 각도 를 가지 도록 형성 된다 . 아울러 , 노광 장치 에 이용 되 는 DMD 미러 장치 ( 460 ) 의 마이크 로 미러 수 는 기판 에 동시 에 형성 되 는 패턴 의 수 에 따라 달라질 수 있 으나 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 아울러 , 별도 의 영사 장치 ( 490 ) 를 이용 하 지 않 고 도 DMD 미러 장치 ( 460 ) 에 의해 직접 패턴 을 형성 할 수 도 있 다 . 하지만 , 본 발명 에서 는 영사 장치 ( 490 ) 를 이용 하 여 보다 정교 한 패턴 을 형성 할 수 있 는 방법 에 대해 설명 하 기 로 한다 .