상기 제 1 슬러리 조성물 이 산화제 를 약 0 . 12 중량 % 미만 포함 하 는 경우 , 상변화 물질 층 의 연마 속도 가 크 게 감소 되 어 제 1 연마 공정 의 효율 이 저하 될 수 있 다 . 따라서 상기 제 1 슬러리 조성물 이 산화제 를 약 0 . 12 중량 % 이상 포함 하 는 것 이 바람직 하 고 , 보다 바람직 하 게 는 산화제 를 약 0 . 15 내지 5 중량 % 의 범위 로 포함 할 수 있 다 .