이 구성 에서 는 , 가열 기체 는 , 하우징 의 천정 벽 또는 측벽 의 내부 에 설치 되 는 토출 수단 으로부터 하우징 내 에 토출 되 고 , 안내 수단 에 의해 안내 되 면서 천정 벽 을 따라서 유동 하 게 된다 . 이러 한 구성 에 의하 면 , 가열 기체 를 분사 하 기 위한 노즐 부재 를 하우징 내 의 공간 에 배치 하 는 종래 의 처리 장치 와 비교 해 , 하우징 내 의 공간 , 특히 천정 벽 의 근방 에 있 어서 , 기판 의 반입 · 반 출시 에 장해 가 되 는 것 을 줄이 는 것 이 가능 해진다 . 그 때문 에 , 하우징 내 의 공간 을 그 높이 방향 으로 효과 적 으로 축소 하 는 것 이 가능 해진다 .