다시 도 1 a 를 참조 하 면 , 동일 한 현상 이 상부 티타늄 막 ( 13 ) 과 알루미늄 구리 막 ( 12 ) 사이 에서 도 나타날 수 있 다 . 그러나 상부 티타늄 막 ( 13 ) 의 경우 는 티타늄 질화 막 ( 14 ) 과 한 챔버 안 에서 동시 에 증착 함 으로써 티타늄 알루미늄 의 생 성 을 줄일 수 있 다 . 동시 증착 에 의하 여 상부 티타늄 막 ( 13 ) 은 순수 한 상태 가 아닌 티타늄 질 화 막 에 가까운 상태 로 증착 되 고 , 이 는 티타늄 알루미늄 의 생 성 을 방해 하 기 때문 이 다 .