층 ( 170 ) 의 두께 는 스 페이서 ( 175 ) ( 도 7 A ) 의 원 하 는 폭 에 기초 하 여 결정 된다 . 예 를 들 어 , 일부 실시 예 에서 , 층 ( 170 ) 은 대략 유사 한 폭 의 스 페이서 를 형성 하 기 위해 약 20 - 80 nm 또는 약 40 - 60 nm 의 두께 로 퇴적 된다 . 스텝 커버리지 는 약 80 % 이상 및 / 또는 약 90 % 이상 이 다 .