[ 0070 ] 커플링 유닛 ( 648 ) 이 제 1 도관 ( 612 ) 의 부분 ( 614 ) 을 챔버 ( 636 ) 와 커플링 시킬 수 있 다 . 일 구 현 에서 , 커플링 유닛 ( 648 ) 은 실리카 일 수 있 다 . 기판 ( 201 ) 의 온도 가 약 1000 ℃ 에 도달 할 수 있 지만 , 챔버 ( 636 ) 의 벽 들 은 챔버 ( 636 ) 의 밀봉 부 들 의 무결 성 을 유지 하 기 위해 약 30 ℃ 에 근접 하 게 유지 된다 . 따라서 , 커플링 유닛 ( 648 ) 은 유리 하 게 , 기판 ( 201 ) 의 프로세싱 동안 챔버 ( 636 ) 의 무결 성 을 유지 한다 .