도 5 에서 보 는 바 와 같이 , 사각 판 형상 의 기판 ( 2 ) 이 두 개 의 가동 플레이트 ( 20 a ) ( 20 b ) 에 설치 된 다수 의 집게 ( 30 ) 에 의해 고정 되 어 있 다 . 즉 , 메인 플레이트 ( 21 ) 에 구비 된 집게 ( 30 ) 들 은 기판 ( 2 ) 의 좌우 측 가장 자리 를 고정 하 고 서브 플레이트 ( 22 ) 에 구비 된 집게 ( 30 ) 들 은 기판 ( 2 ) 의 상하 측 가장 자리 를 고정 하 고 있 다 .