부가 적 으로 , 필터링 된 공기 ( 2403 ) 는 , 예컨대 , 제 1 필터 유닛 ( 501 ) 및 제 2 필터 유닛 ( 503 ) ( 도 5 참조 ) 에 의해 제공 되 는 상단 측 으로부터 벤츄리 효과 에 의해 진입 한다 . 가스 는 챔버 의 하부 부분 ( 2405 ) 을 통해 배기 되 어 , 건조 동작 동안 챔버 및 기판 으로부터 과도 한 수분 을 운반 한다 .