도 1 b 는 본 발명 에서 개시 된 기술 을 적용 하 는 데 사용 될 수 있 는 하나 의 고려 된 다중 - 챔버 제조 장치 ( 121 ) 를 나타낸다 . 일반 적 으로 , 도시 된 장치 ( 121 ) 는 이송 모듈 ( 123 ) , 인쇄 모듈 ( 125 ) 및 처리 모듈 ( 127 ) 을 포함 하 는 다수 의 일반 적 인 모듈 또는 서브시스템 ( subsystem ) 을 포함 한다 . 이러 한 예 에서 각각 의 모듈 은 주변 공기 에 대해 제어 된 환경 을 유지 한다 . 제어 된 환경 은 제조 장치 ( 121 ) 전체 에서 동일 할 수 있 거나 각각 의 챔버 마다 다를 수 있 다 . 이송 모듈 ( 123 ) 은 기판 을 로딩 및 언로 딩 하 거나 , 다른 제조 장치 와 이 들 을 교환 하 기 위해 사용 된다 . 각각 의 수신 된 기판 은 제 1 의 제어 된 분위기 에서 인쇄 모듈 ( 125 ) 에 의해 인쇄 될 수 있 고 , ( 원 하 는 경우 ) 다른 처리 , 예 를 들 어 , 다른 증착 공정 또는 큐어 링 , 건조 또는 베이 킹 공정 ( 예 를 들 어 , 인쇄 된 물질 에 대해 ) 은 제 1 또는 제 2 의 제어 된 분위기 에서 처리 모듈 ( 127 ) 에 의해 수행 될 수 있 다 . 제조 장치 ( 121 ) 는 제어 되 지 않 은 분위기 ( 즉 , 미립자 , 수분 등 과 같 은 오염물 을 함유 할 수 있 는 주위 공기 ) 에 기판 을 노출 시키 지 않 고 모듈 사이 에서 기판 을 이동 시키 기 위해 하나 이상 의 기계 적 핸들러 ( handler ) 를 사용 한다 . 임의 의 제공 된 모듈 내 에서 , 다른 기판 핸들링 시스템 및 / 또는 그 모듈 에 수행 될 처리 에 적용 된 특정 장치 및 제 어 시스템 을 사용 하 는 것 이 가능 하 다 . 인쇄 모듈 ( 125 ) 내 에서 , 기계 적 핸들링 은 상기 와 하 기 에서 논의 되 는 바 와 같 은 부상 테이블 , 그 리퍼 , 및 정렬 / 미세 오 차 보정 메커니즘 의 사용 ( 제어 된 분위기 내 에서 ) 을 포함 할 수 있 다 . 일부 유형 의 증착 장치 ( 프린터 외 ) 가 일부 실시 형태 에서 사용 될 수 있 다 .