종래 , 반도체 제조 장치 에서 는 , 반도체 웨이퍼 ( 예 를 들 어 실리콘 웨이퍼 ) 에 대하 여 드라이 에칭 ( 예 를 들 어 플 라즈 마 에칭 ) 등 의 처리 가 실시 되 고 있 다 . 이 드라이 에칭 의 정밀도 를 높이 기 위해서 는 , 반도체 웨이퍼 를 확실 하 게 고정 시켜 둘 필요 가 있 다 . 그래서 , 반도체 웨이퍼 를 고정 시키 는 고정 수단 으로서 , 정전 인력 에 의해 반도체 웨이퍼 를 고정 시키 는 정전 척이 사용 되 고 있 다 .