도 2 a 를 참조 하 면 , 먼저 하부 티타늄 막 ( 21 ) 을 증착 한다 . 하부 티타늄 막 ( 21 ) 의 증착 공정 은 이후 의 증착 공정 을 수행 하 는 증착 모듈 과 다른 모듈 의 챔버 에서 진행 한다 . 즉 , 이후 의 증착 공정 은 고진공 ( 10 - 8 Torr 이하 ) 상태 의 모듈 ( 예컨대 스퍼터링 장비 의 트랜스퍼 모듈 ( transfer module ) ) 에 설치 된 챔버 에서 진행 하 는 반면 , 하부 티타늄 막 ( 21 ) 의 증착 공정 은 상대 적 으로 낮 은 진공 ( 10 - 7 Torr 이하 ) 상태 의 모듈 ( 예컨대 스퍼터링 장비 의 버퍼 모듈 ( buffer module ) ) 에 설치 된 챔버 에서 진행 한다 .