도 17 은 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 산화물 반도체 박막 의 EDS 결과 그래프 이 다 . 구체 적 으로 , 도 17 의 ( a ) 는 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 산화물 반도체 박막 내 인듐 ( In ) , 아연 ( Zn ) , 및 산소 ( O ) 각각 의 원소 와 인듐 ( In ) 또는 아연 ( Zn ) 이 산소 ( O ) 와 결합 된 형태 에 대한 EDS 결과 그래프 이 고 , 도 17 의 ( b ) 는 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 산화물 반도체 박막 내 인듐 ( In ) 원소 에 대한 EDS 결과 그래프 이 고 , 도 17 의 ( c ) 는 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 산화물 반도체 박막 내 아연 ( Zn ) 원소 에 대한 EDS 결과 그래프 이 고 , 도 17 의 ( d ) 는 본 발명 의 제 3 실시 예 에 따른 산화물 반도체 박막 내 산소 ( O ) 원소 에 대한 EDS 그래프 이 다 .