상기 시트 형 부재 를 , 노광 전 에 홈 을 포함 하 는 베이스 기판 에 양면 테이프 를 이용 하 여 접착 하 고 , 현상 전 에 상기 홈 을 따라 상기 시트 형 부재 를 절단 하 여 상기 베이스 기판 으로부터 분리 하 여도 좋 다 . 베이스 기판 에 의해 시트 형 부재 의 지지 가 용이 하 게 된다 . 또한 상기 베이스 기판 은 상기 시트 형 부재 와 상기 광반응 성 수지 가 고정 되 는 면 에 노광 영역 이 상기 양면 테이프 에 의한 접착 영역 보다 높 아 지 는 단차 를 포함 하 고 , 상기 광반응 성 수지 를 스핀 코트 법 으로 상기 시트 형 부재 에 도포 하 여도 좋 다 . 이 에 따라 , 광반응 성 수지 의 안정 된 막 두께 를 확보 할 수 있 다 . 대체 적 으로 , 노광 전 에 상기 시트 형 부재 를 다공 부재 의 표면 에 적재 하 고 , 상기 다공 부재 의 이면 측 에서부터 상기 다공 부재 를 탈기 시킴 으로써 상기 시트 형 부재 를 상기 다공 부재 의 상기 표면 에 고정 하 며 , 현상 전 에 탈기 를 해제 하 여 상기 시트 형 부재 를 상기 다공 부재 의 상기 표면 으로부터 분리 하 여도 좋 다 . 다공 부재 와 탈기 에 의해 시트 형 부재 의 지지 가 용이 하 게 된다 . 또한 탈기 해제 에 의해 시트 형 부재 와 다공 부재 와 의 분리 가 용이 하 게 된다 .