특정 실시 예 에서 , 그러 한 방법 은 챔버 에 장착 된 셔터 를 ( i ) 셔터 가 진입 포트 를 차단 하 지 않 는 개방 위치 로부터 ( ii ) 셔터 가 진입 포트 를 차단 하 는 폐쇄 위치 로 이동 시키 는 단계 를 포함 할 수 있 다 . 한 예 에서 , 하나 이상 의 세 척 소자 들 은 그 와 의 이동 을 위한 셔터 에 직접 결합 될 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 에서 , 셔터 를 이동 시키 는 단계 는 세 척 소자 들 을 ( i ) 셔터 가 폐쇄 된 위치 에 있 을 때 런 위치 로 이동 시키 고 ( ii ) 셔터 가 개방 위치 에 있 을 때 세척 위치 로 이동 시키 는 것 을 포함 할 수 있 다 .