일 실시 예 에서 , 상기 상 분리 된 블록 공중 합체 층 ( 140 ′) 을 구비 하 는 기판 상 에 제 1 영역 을 개구 하 고 , 제 2 영역 을 차폐 시키 는 제 1 광학 마스크 ( 151 ) 를 배치 한다 . 상기 제 1 광학 마스크 ( 151 ) 을 마스크 로 하 여 상기 기판 상 에 제 1 에너지 를 갖 는 복사선 ( 145 ) 을 조사 한다 . 그 결과 , 상기 제 1 내지 제 3 도메인 들 ( 140 A , 140 B , 140 C ) 중 제 3 도메인 ( 140 C ) 이 선택 적 으로 분해 될 수 있 다 .