본 발명 에 의하 면 , 기판 의 다중 노광 을 정확히 또한 높 은 효율 로 실현 할 수 있 다 . 이 때문 에 , 액정 표시 소자 나 마이크 로 머신 등 에 사용 되 는 고밀도 로 복잡 한 회로 패턴 을 가지 는 디바이스 를 높 은 스루풋 으로 생산 할 수 있 다 . 그러므로 , 본 발명 은 , 우리 나라 의 반도체 산업 을 포함 하 는 정밀 기기 산업 의 발전 에 현저 하 게 공헌 할 것 이 다 .