산화마그네슘 박막 의 표면 에 , 주사 형 X 선 광전자 분광 장치 ( ESCA ) 를 사용 하 여 , 산화마그네슘 박막 에 아르곤 이온 빔 을 스퍼터 레이트 6 . 71 ㎚/ 분 ( SiO 2 환산 ) 의 조건 으로 연속 적 으로 조사 하 면서 , 산화마그네슘 박막 으로부터 방출 되 는 마그네슘 , 산소 , 탄소 및 규소 의 각 원소 량 을 약 2 분 후 마다 측정 한다 . 측정 한 전체 원소 에 대한 마그네슘 ( Mg ) 의 농도 ( 원자 %) 를 구하 여 , 아르곤 이온 빔 의 조사 시간 에 대한 Mg 농도 를 플롯 한다 . Mg 농도 가 , 그 최대치 에 대해 반감 되 었 을 때 의 아르곤 이온 빔 의 조사 시간 을 Mg 농도 반감 시간 으로 하 고 , 산화마그네슘 박막 의 막 두께 를 Mg 농도 반감 시간 으로 나눈 값 ( 산화마그네슘 박막 의 막 두께 / Mg 농도 반감 시간 ) 을 Mg 농도 반감 속도 로서 산출 한다 . 또한 , Mg 농도 반감 속도 가 느린 쪽 이 내 스퍼터 성 은 양호 하 다 .