위치 결정 마크 ( 20 ) 는 , 세 퍼 레이터 ( 10 ) 에 대하 여 고정 적 으로 마킹 된다 . 또 , 위치 결정 마크 ( 20 ) 는 , 세 퍼 레이터 ( 10 ) 와 함께 평면 을 따라 움직여진 경우 에 , 위치 와 방향 을 확인 할 수 있 는 형상 으로 되 어 있 다 . 즉 , 위치 결정 마크 ( 20 ) 는 , 예 를 들 면 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 十 자 형상 으로 형성 되 고 , 도 1 에 나타내 는 XY 평면 내 에서 움직여진 경우 에 , 위치 결정 마크 ( 20 ) 의 X 축 상 에서 의 위치 와 Y 축 상 에서 의 위치 와 θ 방향 의 경사 를 확인 할 수 있 게 되 어 있 다 . 예 를 들 면 , 뒤 에서 설명 하 는 센서 에 의해 위치 결정 마크 ( 20 ) 가 광학 적 으로 판독 되 어 , 화상 해석 처리 등 에 의해 위치 결정 마크 ( 20 ) 의 X , Y 축 상 에서 의 위치 와 θ 방향 의 경사 가 연산 된다 .