세정 처리 실 ( 22 ) 에서 는 , 반송로 ( H 1 ) 의 도중 에 위치 하 는 액 공급 영역 ( 처리 영역 ) 에 대해 , 세정액 이 각 액 분사 부 ( 41 ) 에 의해 반송로 ( H 1 ) 의 상하 로부터 미리 공급 되 고 있 다 . 이 액 공급 상태 에 있 어서 , 기판 ( W ) 이 평평 한 상태 로 반송 되 어 액 공급 영역 을 통과 하 면 , 기판 ( W ) 의 상면 및 하면 의 양면 에 세정액 이 공급 되 어 , 기판 ( W ) 의 양면 이 세정액 에 의해 세정 된다 . 기판 ( W ) 의 양면 으로부터 낙하 한 세정액 은 , 처리 실 ( 20 ) 의 바닥 면 을 흘러 배출구 로부터 배출 된다 .