프로세스 ( 300 ) 는 2 번 의 증착 사이클 들 : 증착 사이클 ( 310 A ) 및 증착 사이클 ( 310 B ) 을 포함 한다 . 증착 사이클 ( 310 A ) 은 암모니아 / 질소 ( NH 3 / N 2 ) 플로우 가 턴 온 되 고 플 라즈 마가 온 되 는 실리콘 나이트 라이드 준비 페이즈 ( 301 A ) 를 포함 한다 . 아미노 실란 전구체 및 산화제 플로우 들 이 턴 오프 되 는 동안 , 캐리어 가스 플로우 는 또한 턴 온 될 수 도 있 다 . 이 페이즈 는 도 1 의 동작 104 에 대응 할 수 도 있 다 . 실리콘 나이트 라이드 표면 준비 페이즈 ( 301 A ) 에 이어서 , 증착 사이클 ( 310 A ) 은 캐리어 가스 가 계속 해서 흐르 고 , 아미노 실란 전구체 가스 플로우 가 턴 온 되 고 , 산화제 플로우 는 오프 로 남 고 , 플 라즈 마 가 턴 오프 되 고 , NH 3 / N 2 가스 플로우 는 턴 오프 되 는 , 아미노 실란 전구체 노출 페이즈 ( 357 A ) 를 포함 한다 . 이 페이즈 는 도 1 의 동작 106 에 대응 할 수 도 있 다 . 퍼지 페이즈 ( 359 A ) 동안 , 캐리어 가스 플로우 는 가스 상 으로 남 아 있 는 과잉 아미노 실란 전구체 들 을 퍼지 하 기 위해 계속 해서 흐르 는 한편 , 아미노 실란 전구체 , 산화제 , 및 NH 3 / N 2 플로우 들 이 턴 오프 되 고 플 라즈 마 가 턴 오프 된다 . 이 는 도 1 의 동작 108 에 대응 할 수 도 있 다 . 산화제 노출 페이즈 ( 361 A ) 에서 , 캐리어 가스 가 흐르 고 산화제 플로우 는 턴 온 되 는 한편 , 아미노 실란 전구체 플로우 및 NH 3 / N 2 플로우 는 턴 오프 된다 . 유사 하 게 플 라즈 마 가 이 페이즈 동안 턴 오프 된다 . 이 페이즈 는 도 1 의 동작 110 에 대응 할 수 도 있 다 . 퍼지 페이즈 ( 363 A ) 는 아미노 실란 전구체 플로우 , 산화제 플로우 , 및 NH 3 / N 2 플로우 가 턴 오프 되 고 플 라즈 마 가 턴 오프 되 는 동안 캐리어 가스 플로우 를 포함 한다 . 이 는 도 1 의 동작 112 에 대응 할 수 도 있 다 . 증착 사이클 ( 310 A ) 은 , 아미노 실란 전구체 노출 페이즈 ( 357 A ) , 퍼지 페이즈 ( 359 A ) , 산화제 노출 페이즈 ( 361 A ) , 및 퍼지 페이즈 ( 363 A ) 각각 과 동일 한 가스 플로우 들 및 플라 즈 마 상태 를 각각 수반 할 수 도 있 는 , 아미노 실란 전구체 노출 페이즈 ( 357 B ) , 퍼지 페이즈 ( 359 B ) , 산화제 노출 페이즈 ( 361 B ) 및 퍼지 페이즈 ( 363 B ) 를 포함 하 는 증착 사이클 ( 310 B ) 로 반복 된다 .