그러나 , Cu 등 의 금속 표면 에 는 , 산화 막 이 외 에 도 , 해당 금속 표면 상 에 형성 된 절연 층 을 에칭 하 기 위한 에칭 가스 에 포함 되 는 불소 에 의해 불화 되 어 , 금속 불화물 ( 예컨대 CuF 등 의 Cu 불화물 ) 이 생성 되 어 버리 는 경우 가 있 는 점 에 본 발명 의 발명자 는 착안 했 다 . 예컨대 , 절연 층 을 , C 4 F 8 등 의 불소 를 구성 원소 로서 포함 하 는 가스 로 플 라즈 마 에칭 했 을 경우 , Cu 표면 이 불화 되 어서 Cu 의 불화물 층 ( CuF ) 이 형성 되 어 버리 는 경우 가 있 다 .