" 상기 퍼지 가스 분사 모듈 ( 130 e ) 은 ""+"" 자 형태 를 가지 도록 형성 되 어 챔버 리드 ( 115 ) 에 형성 된 퍼지 가스 분사 모듈 설치 부 ( 115 e ) 에 삽입 설치 된다 . 이러 한 퍼지 가스 분사 모듈 ( 130 e ) 은 퍼지 가스 공급 수단 ( 미 도시 ) 으로부터 공급 되 는 퍼지 가스 ( Purge Gas ) ( G 3 ) 를 복수 의 퍼지 가스 분사 공간 ( PGS ) 각각 에 분사 한다 . "