반송 성막 장치 ( 10 ) 를 사용 하 여 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 를 제조 하 는 방법 을 설명 한다 . 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 의 제조 방법 은 , 반송 기재 ( 4 ) 를 준비 하 는 준비 공정 과 , 유리 기재 ( 1 ) 로부터 제 1 보 호재 ( 5 ) 를 박리 하 는 박리 공정 과 , 유리 기재 ( 1 ) 에 , 투명 도전 층 ( 2 ) 을 진 공하 에서 형성 하 는 성막 공정 과 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 를 냉각 시키 는 냉각 공정 과 , 투명 도전 성 유리 ( 3 ) 를 권 취 롤 ( 41 ) 에 권 취하 는 권 취 공정 을 구비 한다 . 이하 , 각 공정 을 상세히 서술 한다 .