약액 포집 장치 ( 10 ) 는 공정 챔버 ( 4 ) 에 고정 설치 된 복수 개 의 바울 ( bowl ) ( 12 ~ 16 ) 들 을 구비 하 여 공정 시 사용 되 는 약액 들 을 각각 회수 한다 . 예 를 들 어 , 약액 포집 장치 ( 10 ) 는 복수 개 의 약액 공급 부 ( 50 ) 들 에 대응 하 여 제 1 내지 제 3 바울 ( 12 ~ 16 ) 을 포함 한다 . 제 1 내지 제 3 바울 ( 12 ~ 16 ) 은 각각 상부 가 개방 되 고 스핀 헤드 ( 6 ) 의 측 부 에서 상하 로 적층 된다 . 제 1 바울 ( 16 ) 은 내부 에 공정 시 사용 된 제 1 약액 이 수용 되 는 공간 ( S 1 ) 이 제공 된다 . 제 2 바울 ( 14 ) 은 내부 에 공정 시 사용 된 제 2 약액 이 수용 되 는 공간 ( S 2 ) 이 제공 되 며 , 그리고 , 제 3 바울 ( 12 ) 은 내부 에 공정 시 사용 된 제 3 약액 이 수용 되 는 공간 ( S 3 ) 이 제공 된다 . 이러 한 제 1 내지 제 3 바울 ( 12 ~ 16 ) 은 배출 배관 ( 20 : 22 ~ 26 ) 을 통해 공간 에 포집 된 약액 들 이 각각 회수 된다 .