상기 수지 부착기 는 , 웨이퍼 직경 보다 작 은 직경 을 가지 고 웨이퍼 를 유지 하 는 유지 면 을 갖 는 임시 배치 테이블 을 더 구비 하 고 , 상기 두께 측 정부 는 , 상기 임시 배치 테이블 로부터 돌출 한 웨이퍼 의 표면 에 접촉 하 여 표면 의 높이 를 측정 하 는 제 1 측 정부 와 , 상기 임시 배치 테이블 로부터 돌출 한 웨이퍼 의 이면 에 접촉 하 여 이면 의 높이 를 측정 하 는 제 2 측 정부 와 , 표면 의 높이 와 이면 의 높이 의 차분 으로부터 웨이퍼 의 두께 를 산출 하 는 산 출부 를 포함 하 고 있 어도 좋 다 .