현재 이 폐 슬러리 중 에 함유 되 어 있 는 평균 입경 20 ㎛ 정도 의 실리콘 카바이드 와 절삭유 는 분리 , 회수 하 여 실리콘 웨이퍼 의 절단 공정 에서 재 이용 할 수 있 는 설비 를 가동 하 고 있 으며 , 회수 한 실리콘 카바이드 와 절삭유 는 실리콘 웨이퍼 제조 업체 에 제공 하 고 있 다 . 그리 나 , 이 와 같이 재 이용 할 경우 에 도 잔류물 로 남 는 폐슬 러지 가 년 간 수천 톤 정도 로 알려져 있 다 . 이 폐슬 러지 에 는 평균 입경 이 5 ㎛ 이하 인 실리콘 카바이드 와 저 입경 의 실리콘 금속 , 그리고 유용 성 오일 이 함유 되 어 있 으므로 , 이 를 효과 적 으로 분리 , 회수 하 여 유용 한 자원 으로 재 이용 또는 재 활용 하 는 자원 의 효율 적 인 이용 은 물론 환경 적 으로 도 의미 가 있 는 것 이 다 . 여기 에서 유용 한 자원 을 효과 적 으로 분리 , 회수 할 경우 , 실리콘 카바이드 는 고온 내화물 또는 실리카 복합체 등 과 같 은 세라믹 의 원료 로 사용 할 수 가 있 고 , 실리콘 분말 은 고순 도 실리콘 화합물 의 합성 원료 로 사용 이 가능 하 다 .