일부 실시 예 에서 , 제 1 층 ( 130 f 1 ) 과 제 2 층 ( 130 f 2 ) 은 동일 한 물질 로 이루어질 수 있 다 . 다른 일부 실시 예 에서 , 제 1 층 ( 130 f 1 ) 과 제 2 층 ( 130 f 2 ) 은 서로 다른 물질 로 이루어질 수 있 다 . 예 를 들 면 , 제 1 층 ( 130 f 1 ) 과 제 2 층 ( 130 f 2 ) 각각 은 실리콘 질화 막 및 폴리 실리콘 중 어느 하나 로 이루어질 수 있 다 .