본 발명 은 상기 한 종래 의 각종 문제점 들 을 해결 하 기 위하 여 안출 된 것 으로 , 본 발명 의 목적 은 평판 표시 소자 제조 공정 용 기판 의 식각 을 위한 식각 장비 의 전체 적 인 풋 프린트 ( footprint ) 를 최소 화 시킬 수 있 도록 한 새로운 구조 의 평판 표시 소자 제조 공정 용 식각 장비 및 이 를 이용 한 평판 표시 소자 제조 방법 을 제공 하 고자 한 것 이 다 .