이어서 , 후퇴 공정 ( 단계 S 12 ) 에서 는 , 도 11 의 ( d ) 에 도시 된 것 과 같이 , 웨이퍼 ( W ) 를 포크 ( 3 A ) 에 유지 한 상태 에서 , 밀어 올림 핀 ( 73 ) 을 하강 시킨다 . 그리고 , 도 11 의 ( e ) 에 도시 된 것 과 같이 , 포크 ( 3 A ) 를 X 축 을 따라서 가열 모듈 ( 7 ) 로부터 홈 포지션 까지 후퇴 시킨다 .