이어서 , 결함 검사 대상 인 웨이퍼 에지 부분 에 대한 이미지 ( 102 a ) 를 소정 간격 으로 나눠서 단위 면적 ( 102 b ) 로 분할 한다 . 단위 면적 ( 102 b ) 은 이미지 ( 102 a ) 를 세로 로 분할 하 여 형성 하 는 것 이 바람직 하 며 , 단위 면적 ( 102 b ) 의 폭 은 결함 검사 를 효과 적 으로 실시 할 수 있 는 소정 의 크기 , 예 를 들 면 3 ㎛ 로 형성 한다 .