또한 , 높이 산 출부 ( 56 ) 는 , 기억 부 ( 55 ) 로부터 높이 변동 맵 을 읽 어 내 고 , 얼라인먼트 마크 ( 2 a , 3 a ) 의 높이 에 , 높이 변동 맵 으로부터 읽 어 낸 , 실장 위치 ( P 3 ) 로부터 검사 위치 ( P 4 ) 로 이동 시킬 때 에 생기 는 기판 스테이지 ( 33 ) 의 높이 변동 량 을 가산 하 여도 좋 다 . 실장 위치 ( P 3 ) 로부터 검사 위치 ( P 4 ) 로 이동 하 여도 , 얼라인먼트 마크 ( 2 a , 3 a ) 의 높이 가 변동 하 지 않 는 경우 ( 즉 수평 이동 하 는 경우 ) , 또는 , 변동 이 있 어도 얼라인먼트 마크 ( 2 a , 3 a ) 의 높이 가 촬상 수단 ( 42 ) 의 피사 계 심도 에 들어가 는 경우 는 , 기판 스테이지 ( 33 ) 의 높이 변동 량 을 고려 하 지 않 아도 좋 다 . 예컨대 , 기판 스테이지 ( 33 ) 의 주름 등 에 기인 하 는 상하 변동 의 크기 가 촬상 수단 ( 42 ) 의 피사 계 심도 보다 작 은 값 인 경우 등 이 다 .