시스템 은 또한 , 기판 지지 구 조체 ( 203 ) 상 에 존재 할 때 기판 지지 구 조체 ( 203 ) 를 향해 , 그리고 기판 ( 207 ) 위 에 린스 유체 ( 227 ) 를 분배 하 도록 정의 된 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 를 포함 한다 . 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 는 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) 와 유체 소통 되 어 연결 된다 . 린스 유체 전달 제 어부 ( 219 ) 는 도관 ( 221 ) 을 통해 린스 유체 저 장소 ( 229 ) 로부터 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 로 의 린스 유체 의 흐름 을 제어 하 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에서 , 도관 ( 221 ) 은 단단 한 파이프 와 같 은 단단 한 컴포넌트 로서 정의 된다 . 다른 실시 형태 에서 , 도관 ( 221 ) 은 플렉서블 튜브 와 같 은 플렉서블 컴포넌트 로서 정의 된다 . 다양 한 실시 형태 에서 , 도관 ( 221 ) 은 화살표 ( 225 ) 로 예시 된 바 와 같이 기판 지지 구 조체 ( 203 ) 및 그 위 의 기판 ( 207 ) 위 에서 린스 유체 분배 헤드 ( 223 ) 의 병진 운동 을 가능 하 게 하 는 이동 가능 한 구성 으로 정의 될 수 도 있 다 .