도 1 ( a ) 에 나타난 바 와 같이 , 서 셉 터 ( 1 ) 는 , 예 를 들 어 , 대략 원반 형상 으로 형성 되 고 , 그 주 표면 에 는 , 해당 주표 면 상 에 웨이퍼 를 수용 하 기 위한 , 평면 으로 보 아 대략 원형 상 의 패 임부 인 우묵 한 부분 ( 2 ) 이 형성 되 어 있 다 . 또한 , 도 1 ( a ) , ( b ) 에 나타난 바 와 같이 , 우묵 한 부분 의 바닥 면 ( 3 ) 상 에 가스 통로 로서 메시 패턴 의 홈 이 마련 되 고 , 다수 의 방형 볼록 부 ( 6 ) 가 형성 되 어 있 다 . 또한 , 상기 서 셉 터 ( 1 ) 는 , 우묵 한 부분 의 바닥 면 의 외주 부 ( 4 ) 에서 의 홈 깊이 가 중앙부 ( 5 ) 에서 의 홈 깊이 보다 얕 게 되 어 있 다 ( 도 1 ( a ) 참조 ) .