일부 구 현예 에서 , 제 1 전구체 공급원 은 , 제 1 전구체 를 적절 한 작동 온도 로 가열 함 으로써 제 1 전구체 의 일부 를 제어 가능 하 게 기화 시킬 수 있 는 하나 이상 의 제어 가능 한 가열 요소 를 포함 할 수 있 는 제 1 전구체 기화기 를 포함 할 수 있 으며 , 후속 으로 기화 된 증기 는 복사선 개질 가능 층 상 에 선택 적 으로 증착 하 기 위한 적절 한 수단 을 통해 반응 챔버 ( 12 ) 로 분배 된다 . 일부 구 현예 에서 , 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 과 관련 된 하나 이상 의 가열 요소 는 제 1 전구체 의 증기압 을 제어 하 도록 구성 될 수 있 다 . 또한 , 예 를 들 어 질량 흐름 제어기 ( MFC ) 와 같 은 흐름 제어기 ( 120 A ) 는 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 과 더 연관 될 수 있 고 , 예 를 들 어 제 1 전구체 기화기 와 같 은 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 으로부터 생성 된 증기 의 질량 흐름 을 제어 하 도록 구성 될 수 있 다 . 흐름 제어기 ( 120 A ) 이외 에 , 밸브 ( 122 A ) , 예 를 들 어 차단 밸브 가 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 과 연관 될 수 있 고 , 반응 챔버 ( 12 ) 로부터 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 을 분리 하 는 데 사용 될 수 있 고 , 즉 밸브 ( 122 A ) 가 폐쇄 위치 에 있 는 경우 , 제 1 전구체 공급원 ( 114 A ) 에 의해 생성 된 증기 는 반응 챔버 ( 12 ) 로 유입 되 는 것 이 방지 될 수 있 다 .