도 6 에 도시 한 기억 소자 의 제작 방법 의 일례 에 대하 여 설명 한다 . 이하 에서 는 , 우선 하부 의 트랜지스터 ( 660 ) 의 제작 방법 에 대하 여 도 10 a 내지 도 11 c 를 참조 하 여 설명 하 고 , 그 후 , 상부 의 트랜지스터 ( 662 ) 및 용량 소자 ( 664 ) 의 제작 방법 에 대하 여 도 12 a 내지 도 15 d 를 참조 하 여 설명 한다 .