냉각 챔버 ( 350 ) 는 각각 기판 ( W ) 을 냉각 한다 . 냉각 챔버 ( 350 ) 는 하우징 ( 351 ) 과 냉각 플레이트 ( 352 ) 를 가진다 . 냉각 플레이트 ( 352 ) 는 기판 ( W ) 이 놓이 는 상면 및 기판 ( W ) 을 냉각 하 는 냉각 수단 ( 353 ) 을 가진다 . 냉각 수단 ( 353 ) 으로 는 냉각수 에 의한 냉각 이나 열전 소자 를 이용 한 냉각 등 다양 한 방식 이 사용 될 수 있 다 . 또한 , 냉각 챔버 ( 350 ) 에 는 기판 ( W ) 을 냉각 플레이트 ( 352 ) 상 에 위치 시키 는 리프트 핀 어셈블리 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 제공 될 수 있 다 . 하우징 ( 351 ) 은 인덱스 로봇 ( 220 ) 및 후술 하 는 현상 모듈 ( 402 ) 에 제공 된 현상 부 로봇 ( 482 ) 이 냉각 플레이트 ( 352 ) 에 기판 ( W ) 을 반입 또는 반출 할 수 있 도록 인덱스 로봇 ( 220 ) 이 제공 된 방향 및 현 상부 로봇 ( 482 ) 이 제공 된 방향 에 개구 ( 도시 되 지 않 음 ) 를 가진다 . 또한 , 냉각 챔버 ( 350 ) 에 는 상술 한 개구 를 개폐 하 는 도어 들 ( 도시 되 지 않 음 ) 이 제공 될 수 있 다 .