내부 유체 베어링 의 분할 은 중심 코어 ( 34 ) 에 장착 된 내부 고정자 ( 38 ) 를 포함 하 여 변환기 이동 질량 단위 당 더 큰 전기 기계력 을 제공 함 으로써 축 공간 을 활용 할 수 있 게 한다 . 이 는 작업 챔버 에서 작동 하 는 엑 추에이 터 또는 LEM 장치 의 동적 성능 을 크 게 향상 시킨다 . 내부 고정자 ( 38 ) 는 다른 많 은 배치 , 예 를 들 어 상부 의 내부 유체 베어링 및 하부 의 외부 유체 베어링 ( 또는 그 반 대로 ) 과 함께 사용 될 수 있 으며 , 도 11 에 도시 된 특정 배치 로 제한 되 지 않 는다 .