상기 종래 기술 에 따른 문제점 을 해결 하 기 위한 본 발명 의 목적 은 , 반도체 소자 가 수납 된 트레이 에 대하 여 다양 한 방향 에서 조명 을 조사 하 고 , 조명 조사 에 따라 반도체 소자 표면 에서 반사 되 는 다수 의 영상 으로부터 그림자 영상 부분 을 제거 한 후 그림자 영상 이 제거 된 다수 의 영상 을 단일 영상 으로 합성 하 고 이 를 기준 영상 과 비교 하 여 결함 유무 를 판별 함 으로써 , 그림자 영상 에 의한 검사 오 차 를 줄일 수 있 도록 하 는 반도체 소자 인 - 트레이 검사 장치 및 그 를 이용 한 검사 방법 을 제공 함 에 있 다 .