레이어 스택 ( 20 ) 은 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 를 포함 한다 . 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 는 , 예 를 들 어 , 금속화 레이어 일 수 있 고 그리고 특히 전이 금속 을 포함 하 는 레이어 일 수 있 다 . 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 는 수직 채널 개구 ( 13 ) 내 에 배치 된다 . 예 를 들 어 , 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 는 수직 채널 개구 ( 13 ) 의 측면 주변 벽 상 에 배치 , 예 를 들 어 , 증착 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 ( 10 ) 이 전기 적 으로 전도 적 이 지 않 을 때 , 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 는 수직 개구 ( 13 ) 의 벽 상 에 직접 그리고 바로 옆 에 배치 될 수 있 다 . 선택 적 으로 , 예 를 들 어 , 기판 ( 10 ) 이 전기 적 으로 전도성 특성 들 을 가질 때 , 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 및 수직 채널 개구 ( 31 ) 의 벽 사이 에 아이솔레이터 레이어 ( isolator layer ) ( 33 ) ( 도 3 a ) , 예 를 들 어 , 유전체 가 제공 될 수 있 다 . 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 는 수직 채널 개구 ( 13 ) 의 연장 방향 을 따라서 연장 될 수 있 다 . 추가 적 으로 , 전기 적 으로 전도성 레이어 ( 31 ) 는 수직 채널 개구 ( 13 ) 내 에 부분 적 으로 또는 , 도시 된 바 와 같이 , 완전히 배치 될 수 있 다 .