상기 와 같 은 본 발명 에 따르 면 , 상술 한 바 와 같 은 본 발명 의 실시 예 들 에 의하 면 , 제 1 이송 유닛 의 회전 에 따른 제 2 이송 유닛 을 회전 시키 는 회전력 전달 부재 를 포함 함 으로써 , 기판 의 측면 및 제 2 이송 유닛 의 제 2 이송 롤러 간 의 접촉 에 따른 이 물질 의 발생 이 억제 된다 . 또한 , 평판 형 기판 의 이송 경로 를 가이드 하 는 제 2 이송 유닛 을 구동 시키 기 위한 별도 의 구동 부 없이 제 2 이송 유닛 을 구동 할 수 있 고 , 제 1 이송 유닛 의 기판 이송 속도 와 실질 적 으로 동일 한 속도 로 제 2 이송 유닛 이 평판 형 기판 의 측면 과 접촉 할 수 있 다 .