도 17 및 도 18 을 결합 하 여 참조 하 면 , 상기 지지 베이스 ( 100 ) 를 제거 ( 도 14 에 도시 된 바 와 같 음 ) 한 이후 , 상기 형성 방법 은 , 상기 제 1 전극 ( 120 ) , 제 2 전극 ( 140 ) 또는 신호 처리 회로 의 대응 되 는 연결 단 ( 165 ) 을 전기 적 으로 연결 하 기 위한 연결 구조 ( 표시 되 지 않 음 ) 를 형성 하 는 단계 를 더 포함 한다 .