도 2 a , 2 b 및 2 c 를 참조 하 여 , 전술 한 바 와 같이 , 기판 처리 도구 ( 200 ) 는 모듈 식 구성 을 가진다 . 한 양태 에서 , 전방 단부 ( 201 ) 는 기판 처리 도구 ( 200 ) 의 하나 의 모듈 ( 예 를 들 어 , 전방 단부 모듈 ( 200 M 1 ) ) 일 수 있 어서 , 이송 챔버 ( 291 ) , 로드 포트 ( 292 A - 292 C ) , 및 로드 락 ( LL 1 , 1 L 2 ) 을 가지 는 임의 의 적절 한 전방 단부 는 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 하나 이상 의 단부 벽 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 상 의 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 를 통해 기판 이송 챔버 ( 210 ) 에 결합 될 수 있 다 . 한 양태 에서 , 이송 챔버 ( 210 ) 는 기판 처리 도구 의 다른 모듈 을 형성 하 며 , 여기 에서 , 이송 챔버 ( 210 ) 는 공통 또는 코어 모듈 ( 200 M 2 ) , 및 하나 이상 의 챔버 단부 또는 인서 트 모듈 ( 200 M 3 , 200 M 4 , 200 M 5 , 200 M 6 , 200 M 7 , 200 M 8 ) 을 포함 한다 . 한 양태 에서 , 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 은 프레임 ( 200 F 2 ) 을 포함 하 고 , 적어도 하나 의 기판 이송 장치 ( 245 ) 는 임의 의 적절 한 방식 으로 프레임 ( 200 F 1 ) 에 장착 된다 . 각각 의 인서 트 모듈 ( 200 M 3 , 200 M 4 , 200 M 5 , 200 M 6 , 200 M 7 , 200 M 8 ) 은 각각 의 프레임 ( 200 F 3 , 200 F 4 , 200 F 5 , 200 F 6 , 200 F 7 , 200 F 8 ) 을 포함 하 며 , 각각 의 프레임 은 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 프레임 ( 200 F 2 ) 에 합쳐질 때 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 프레임 ( 200 F ) 을 형성 한다 .