다시 , 도 1 및 도 2 를 참조 하 면 , 가열 부재 ( 130 ) 는 반응 로 ( 110 ) 를 공정 온도 로 가열 한다 . 가열 부재 ( 130 ) 는 반응 로 ( 110 ) 의 외벽 을 감싸 도록 설치 되 는 단 열 벽 ( 132 ) 과 , 단 열 벽 ( 132 ) 안쪽 에 배치 된 코일 형상 의 열선 ( 134 ) 을 포함 한다 . 공정 진행 중 반응 로 ( 110 ) 는 가열 부재 ( 130 ) 에 의해 대략 500 - 1100 ℃ 의 공정 온도 로 유지 될 수 있 다 .