분무 건조 시 조건 은 , 인 렛 ( Inlet ) 온도 100 ℃ 내지 120 ℃ 챔버 내부 온도 는 80 ℃ 를 유지 하 였 다 . 분무 건조 된 금속 산화물 전구체 는 , 저 스크래치 ( Low Scratch ) 의 낮 은 경도 ( hardness ) 를 유지 하 기 위해 , 대기압 상태 , 600 ℃ 내지 800 ℃ 의 온도 에서 3 시간 내지 5 시간 동안 하소 를 진행 하 여 금속 산화물 ( 산화 세륨 ) 입자 를 제조 하 였 다 .