하지만 , 최 외곽 웨이퍼 들 ( W ) 과 고정대 들 ( 130 ) 사이 의 간격 을 적절히 조정 함 으로서 , 정체 구간 이 발생 될 수 있 는 지지 로드 들 ( 120 ) 의 양측 단부 에서 세정액 의 유동 패턴 을 개선 시키 는 동시 에 세정 성능 을 향상 시킬 수 있 고 , 지지 로드 들 ( 120 ) 의 길 이 방향 위치 에 상관없이 웨이퍼 들 ( W ) 의 세정 편차 를 해소 할 수 있 다 .