제 1 제조 방법 은 , 기판 상 에 , 스 패 터 증착 에 의해 Al － Ni － X 합금 층 또는 Al －( Ni / Co ) － X 합금 층 을 형성 하 는 공정 과 , 형성 한 Al － Ni － X 합금 층 또는 Al －( Ni / Co ) － X 합금 층 을 , 진공 또는 불활성 가스 분위기 하 에서 200 ℃ 이상 의 온도 로 열처리 하 는 공정 과 , 스 패 터 증착 에 의해 투명 화소 전극 을 형성 하 는 공정 을 순차 적 으로 포함 하 는 것 에 요지 를 갖 는다 .