본 발명 < 2 > 에 관한 에칭 제 에 있 어서 는 용액 중 의 음 이온 종 의 총 중량 % 가 중요 하 기 때문 에 , 상기 ( C ) ( c - 1 ) 무기 알칼리 및 ( c - 2 ) 유기 아민 으로부터 선택 되 는 적어도 1 종 이상 의 염기 성 화합물 이나 ( D - 2 ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 이외 의 산화력 을 갖 지 않 는 2 종 이상 의 음 이온 종 의 농도 범위 가 0 . 01 중량 %~ 3 중량 % 의 범위 내 에서 pH 를 상기 와 같 은 범위 로 조정 · 유지 하 는 것 이 바람직 하 다 . 즉 , 본 발명 < 2 > 에 관한 에칭 제 에 있 어서 는 음 이온 종 의 농도 범위 가 중요 하 므로 , ( D - 2 ) 히드록실기 를 가지 는 포스폰산 계 킬레이트제 이외 의 산화력 을 갖 지 않 는 2 종 이상 의 음 이온 종 이외 의 , 수용액 중 에서 해리 하 여 상기 음 이온 종 을 발생 시키 는 화합물 등 은 사용 하 지 않 는 것 이 바람직 하 다 .