여기 서 , 상기 제 1 유닛 과 배관 연결 되 는 물 공급원 과 , 상기 물 공급원 과 상기 제 1 유닛 사이 의 배관 상 에 장착 되 어 상기 물 공급원 으로부터 물 을 상기 제 1 유닛 측 으로 이송 시키 는 펌프 와 , 상기 펌프 와 상기 제 1 유닛 사이 의 배관 상 에 장착 되 어 상기 물 공급원 으로부터 이송 되 는 물 의 불순물 및 이 물질 을 여과 하 는 마이크 로 필터 와 , 상기 마이크 로 필터 와 상기 제 1 유닛 의 상기 제 1 유닛 사이 의 배관 상 에 장착 되 어 물 속 이온 을 제거 하 는 이온 교환 수지 를 포함 한 이온 교환기 를 더 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .