가스 공급 유닛 ( 300 ) 은 가스 공급 노즐 ( 310 ) , 가스 공급 라인 ( 320 ) , 그리고 가스 저 장부 ( 330 ) 를 포함 한다 . 가스 공급 노즐 ( 310 ) 은 커버 ( 120 ) 의 중앙부 에 설치 된다 . 가스 공급 노즐 ( 310 ) 의 저면 에 는 분사구 가 형성 된다 . 분사구 는 커버 ( 120 ) 의 하부 에 위치 하 며 , 공정 챔버 ( 100 ) 내부 로 가스 를 공급 한다 . 가스 공급 라인 ( 320 ) 은 가스 공급 노즐 ( 310 ) 과 가스 저 장부 ( 330 ) 를 연결 한다 . 가스 공급 라인 ( 320 ) 은 가스 저 장부 ( 330 ) 에 저장 된 가스 를 가스 공급 노즐 ( 310 ) 에 공급 한다 . 가스 공급 라인 ( 320 ) 에 는 밸브 ( 321 ) 가 설치 된다 . 밸브 ( 321 ) 는 가스 공급 라인 ( 320 ) 을 개폐 하 며 , 가스 공급 라인 ( 320 ) 을 통해 공급 되 는 가스 의 유량 을 조절 한다 .