이것 에 의하 면 , 제 어 장치 에 의해 , 제 1 이 동체 , 제 2 이 동체 를 평면 내 에서 구동 하 는 평면 모터 가 제어 됨 과 함께 , 제 1 이 동체 에 유지 된 물체 의 노광 이 종료 되 었 을 때 에 , 제 1 이 동체 가 노광 위치 의 제 2 축 과 평행 한 방향 의 일 측 에 위치 하 는 제 1 귀환 경로 를 따라 제 1 이 동체 상 의 물체 의 교환 이 실시 되 는 제 1 교환 위치 로 이동 되 고 , 또한 제 2 이 동체 에 유지 된 물체 의 노광 이 종료 되 었 을 때 에 , 제 2 이 동체 가 노광 위치 의 제 2 축 과 평행 한 방향 의 타 측 에 위치 하 는 제 2 귀환 경로 를 따라 제 2 이 동체 상 의 물체 의 교환 이 실시 되 는 제 2 교환 위치 로 이동 된다 . 따라서 , 제 1 이 동체 에 는 제 2 축 과 평행 한 방향 의 일 측 으로부터 , 제 2 이 동체 에 는 제 2 축 과 평행 한 방향 의 타 측 으로부터 , 각각 배선 · 배관 용 케이블 을 장착 함 으로써 , 그 들 케이블 의 얽힘 을 방지 할 수 있 음 과 함께 , 그 길이 를 최대한 짧 게 할 수 있 다 .