본 발명 은 또한 전술 한 테스트 핸들러 용 반도체 소자 이송 장치 를 포함 하 는 테스트 핸들러 를 제공 한다 . 본 발명 에 따른 테스트 핸들러 는 반도체 소자 를 고온 또는 저온 의 극한 상태 로 조성 하 기 위한 제 1 챔버 , 상기 제 1 챔버 와 연결 되 며 반도체 소자 의 성능 테스트 가 수행 되 는 테스트 챔버 , 상기 테스트 챔버 와 연결 되 며 반도체 소자 를 상온 상태 로 복귀 시키 는 제 2 챔버 를 포함 하 여 이루어진다 .