도 13 은 일반 적 인 원자 층 적층 공정 으로 형성 된 막 질 을 이 차 이온 질량분석기 ( secondary ion mass spectroscopy ) 를 이용 하 여 스퍼터링 공정 으로 위 에서 아래 로 식각 하 는 동안 탄 탈륨 강도 ( intensity ) 을 알아본 그래프 이 고 , 도 14 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 원자 층 적층 공정 으로 형성 된 막 질 을 이 차 이온 질량분석기 를 이용 하 여 스퍼터링 공정 으로 위 에서 아래 로 식각 하 는 동안 탄 탈륨 강도 를 알아본 그래프 이 다 . 도 13 및 도 14 에서 x 축 은 스퍼터링 공정 의 시간 을 나타내 며 , y 축 은 탄 탈륨 강도 를 나타낸다 .