또한 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 상 에 는 , 도시 가 생략 된 기준 마크 판 이 , 그 표면 이 웨이퍼 ( W ) 와 동일 높이 가 되 는 상태 로 고정 되 어 있 다 . 이 기준 마크 판 의 표면 에 는 , 적어도 1 쌍 의 레티 클 얼라이먼트 용 제 1 기준 마크 와 , 이 들 제 1 기준 마크 에 대하 여 이미 알려진 위치 관계 에 있 는 얼라이먼트 계 ( ALG ) 의 베이스 라인 계측 용 제 2 기준 마크 등 이 형성 되 어 있 다 .