다음 으로 , 인코더 ( 170 A ∼ 170 D ) 의 구성 등 에 대하 여 , 도 34 에 확대 하 여 도시 된 인코더 ( 170 B ) 를 대표 적 으로 채택 하 여 설명 한다 . 도 34 에서 는 , 이동 스케일 ( 39 B ) 에 검 출광 ( 계측 빔 ) 을 조사 하 는 헤드 유닛 ( 62 B ') 중 1 개 의 2 D 헤드 ( 164 ) 가 도시 되 어 있 다 .