둘째 , 마스크 ( 20 ) 가 흡착 되 는 마스크 척 ( 30 ) 의 하부 에 는 마스크 ( 20 ) 의 둘레 가 안착 되 도록 안착 부 ( 32 ) 가 형성 되 어 있 다 . 마스크 ( 20 ) 의 둘레 가 안착 부 ( 32 ) 내 에 정확 하 게 삽입 되 어야 만 안착 부 ( 32 ) 내부 가 진공 처리 되 면서 마스크 ( 20 ) 가 마스크 척 ( 30 ) 에 제대로 흡착 된다 . 따라서 마스크 ( 20 ) 의 둘레 가 마스크 척 ( 30 ) 의 안착 부 ( 32 ) 에 안착 된 후 흡착 되 면 마스크 ( 20 ) 가 마스크 척 ( 30 ) 에 정확 하 게 세팅 된 상태 가 된다 . 그러므로 마스크 ( 20 ) 가 마스크 척 ( 30 ) 에 정확 하 게 장착 되 며 장착 된 상태 에 서 흔들리 지 않 으므로 마스크 ( 20 ) 의 회로 패턴 이 웨이퍼 ( 4 ) 상 에 정확 하 게 스 탬핑 된다 .