이 때 , 내부 공간 ( 10 s ) 중 지지대 ( 14 ) 보다 윗 쪽 공간 으로부터 제 1 정전 척 ( 21 ) 과 에지 링 ( 25 ) 사이 의 간극 을 통해 제 1 접합 층 ( 23 ) 으로 접속 되 는 경로 및 내부 공간 ( 10 s ) 중 지지대 ( 14 ) 보다 윗 쪽 공간 으로부터 제 1 정전 척 ( 21 ) 과 에지 링 ( 25 ) 사이 의 간극 을 통해 제 2 접합 층 ( 24 ) 으로 접속 되 는 경로 를 밀봉 하 는 시일 부재 ( 26 ) 가 구비 되 어 있 다 . 시일 부재 ( 26 ) 는 예 를 들 어 원환 형상 을 가지 며 , 지지대 ( 14 ) 보다 윗 쪽 공간 에서 생성 된 라디칼 이 제 1 접합 층 ( 23 ) 및 제 2 접합 층 ( 24 ) 에 도달 하 지 않 도록 경로 를 밀봉 한다 . 시일 부재 ( 26 ) 는 내 라디칼 성 을 갖 는 탄성체 , 예 를 들 어 , 퍼플 루오 로 엘라스토머 등 을 사용 할 수 있 다 .