몇몇 실시 예 에서 , 광 조사 장치 ( 500 _ 4 ) 는 지지대 ( 760 , 770 ) 상 에 배치 된 전계 형성 유닛 ( 100 ) 상 에 광 ( hv ) 을 조사 할 수 있 고 , 전계 형성 유닛 ( 100 ) 은 광 조사 장치 ( 500 _ 4 ) 가 광 을 조사 하 는 동안 대상 기판 ( SUB ) 상부 에 전계 ( IEL ) 를 생성 할 수 있 다 . 도 33 에 도시 된 바 와 같이 , 전계 형성 유닛 ( 100 ) 이 지지대 ( 760 , 770 ) 상 에 배치 되 어 이동 할 때 , 광 조사 장치 ( 500 _ 4 ) 와 전계 형성 유닛 ( 100 ) 은 각각 대상 기판 ( SUB ) 상 에 광 ( hv ) 을 조사 하 거나 전계 ( IEL ) 를 생성 할 수 있 다 . 그 외 에 , 운송 유닛 ( 700 ) 과 광 조사 장치 ( 500 _ 4 ) 에 대한 설명 은 상술 한 바 와 동일 한 바 , 자세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .