상기 단계 ( S 70 ) 를 거쳐 남 은 , Si 실리콘 웨이퍼 , 이산화규소 ( SiO 2 ) 층 , 크롬 접착 층 및 전극 층 이 순차 적 으로 적층 형성 되 어 일체 를 이루 는 센서 부 의 상부 로 센 서막 기능 을 갖 는 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 을 증착 하 여 산화알루미늄 ( Al 2 O 3 ) 막 층 을 형성 하 는 단계 ( S 80 ) 와 ,