상술 한 조사 영역 ( 34 ) 은 , x 방향 의 빔 간 피치 ( P ) 에 x 방향 의 빔 수 를 곱한 값 을 x 방향 치수 로 하 고 , y 방향 의 빔 간 피치 ( P ) 에 y 방향 의 빔 수 를 곱한 값 을 y 방향 치수 로 한 직사각 형 영역 으로 정의 할 수 있 다 . x 방향 의 빔 간 피치 ( P ) 와 y 방향 의 빔 간 피치 ( P ) 는 같 은 값 이 여도 되 고 , 상이 한 값 이 여도 상관없 다 . 실시 형태 1 에서 는 , x 방향 의 빔 간 피치 ( P ) 와 y 방향 의 빔 간 피치 ( P ) 는 같 은 값 인 경우 를 나타내 고 있 다 .