한편 , SAC 1 ( 213 ) 은 종래 기술 과 다르 게 100 ~ 200 Å 두께 로 비교 적 얇 게 형성 한다 . 즉 , SAC 1 ( 213 ) 의 두께 ( T 11 ) 는 도 2 b 에 도시 된 SAC 질화 막 ( 113 ) 의 두께 ( T 1 ) 보다 얇 게 형성 한다 . 그 이유 는 게이트 구조물 ( 210 B ) 간 의 간격 을 최대한 넓 게 확보 하 기 위함 이 다 .