즉 , 도 5 b 에 도시 된 바 와 같이 , 기판 ( 201 ) 이 제 1 컨베이어 ( 253 ) 의 구동 에 의해 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 에 이송 되 면 , 상기 제 1 가이드 바 ( 260 ) 에 의해 상기 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 가 상승 하 고 제 2 가이드 바 ( 262 ) 에 의해 제 2 로드 락 컨베이어 ( 250 b ) 도 상승 하 여 제 1 컨베이어 ( 253 ) 및 제 2 컨베이어 ( 254 ) 에 연결 되 어 기판 ( 201 ) 이 상기 제 2 로드 락 컨베이어 ( 250 b ) 로 이송 되 어 온다 . 즉 , 제 1 로드 락 컨베이어 ( 250 a ) 는 상승 한 위치 에서 기판 ( 201 ) 이 로딩 되 어 있 으며 , 제 2 로드 락 컨베이어 ( 250 b ) 는 그 하부 위치 에서 기판 ( 201 ) 이 로딩 되 어 있 는 것 이 다 .