실드 전극 부 ( 37 ) 는 , 도 16 에 잘 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 제 2 실리콘 층 에 유래 하 는 부위 이 며 , 구동 전극 ( 34 ) 을 따라 연장 된다 . 또한 , 실드 전극 부 ( 37 ) 는 , 도 19 에 도시 한 바 와 같이 절연 층 ( 39 ) 을 개재 하 여 실드 전극 부 ( 36 ) 에 접합 하 고 , 절연 층 ( 39 ) 을 관통 하 는 도전 비아 ( 39 a ) 를 통하 여 전기 적 으로 접속 되 어 있 다 .