상기 그라인더 지지 회 전부 ( 130 ) 는 회전축 을 중심 으로 그라인더 ( 140 ) 를 회전 시키 되 , 회전축 의 축 방향 으로 는 이동 하 지 않 는 대신 에 , 기판 지지 회 전부 ( 110 ) 는 회전축 을 중심 으로 질화 갈륨 기판 ( 120 ) 을 회전 시키 되 , 회전축 으로 방향 으로 도 이동 하 면서 질화 갈륨 기판 을 그라인더 에 더 가깝 게 위치 하 도록 한다 .