하지 ( 200 a ) 상 에 의 SiN 막 의 선택 적 인 형성 이 완료 된 후 , 노즐 ( 249 a 내지 249 c ) 각각 으로부터 퍼지 가스 로서 의 N 2 가스 를 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 하 여 , 배기구 ( 231 a ) 로부터 배기 한다 . 이 에 의해 , 처리 실 ( 201 ) 내 가 퍼지 되 어 , 처리 실 ( 201 ) 내 에 잔류 하 는 가스 나 반응 부생 성물 이 처리 실 ( 201 ) 내 로부터 제거 된다 ( 애프터 퍼지 ) . 그 후 , 처리 실 ( 201 ) 내 의 분위기 가 불활성 가스 로 치환 되 고 ( 불활성 가스 치환 ) , 처리 실 ( 201 ) 내 의 압력 이 상압 으로 복귀 된다 ( 대기압 복귀 ) .