일부 실시 예 들 에서 , 페데 스탈 ( 408 ) 은 히터 ( 410 ) 를 통해 온도 제어 될 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 페데 스탈 ( 408 ) 은 개시 된 실시 예 들 에 기술 된 바 와 같이 실리콘 나이트 라이드 막 들 의 증착 동안 적어도 약 250 ℃, 또는 일부 실시 예 들 에서 , 약 300 ℃ 미만 , 예컨대 약 250 ℃ 의 온도 로 가열 될 수 도 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 페데 스탈 은 약 50 ℃ 내지 약 300 ℃ 의 온도 , 예컨대 약 200 ℃ 내지 약 275 ℃ 의 온도 로 설정 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 페데 스탈 은 약 50 ℃ 내지 약 300 ℃ 의 온도 로 설정 된다 . 일부 실시 예 들 에서 , 페데 스탈 은 약 200 ℃ 내지 약 275 ℃ 의 온도 로 설정 된다 .