예 를 들 면 , 상기 언급 된 기판 온도 제어 는 식각 공정 동안 유익 하 게 적용 될 수 있 으며 , 여기 에서 플라 즈 마는 가스 패널 ( 138 ) 로부터 제공 된 가스 로부터 반응기 ( 100 ) 내 에 형성 된다 . 위 에서 언급 되 고 진공 챔버 내 에서 수행 되 고 및 / 또는 정밀 한 온도 제어 를 요구 하 는 것 과 같 은 , 다른 기판 제조 공정 은 또한 여기 서 설명 된 온도 제어 방법 및 장치 의 이용 으로부터 유익 할 수 있 다 .