베이스 플레이트 ( 16 ) 는 정 전척 ( 11 ) 을 지지 하 기 위해 사용 된다 . 베이스 플레이트 ( 16 ) 는 히터 ( heater ) ( 미 도시 ) 와 수로 ( water path ) ( 14 ) 를 포함 하 고 , 이 에 따라 베이스 바디 ( 12 ) 의 온도 를 조절 한다 . 베이스 플레이트 ( 16 ) 의 재료 로서 는 , 예 를 들 면 , Al 을 사용 할 수 있 다 . 전압 이 인가 된 때 에 는 히터 ( 미 도시 ) 가 가열 되 어서 접착 층 ( 15 ) 을 통해 베이스 바디 ( 12 ) 를 가열 한다 .