본 발명 의 일 실시 예 에 따른 노광 장치 는 패턴 이 형성 되 는 기판 이 안착 되 는 스테이지 ; 노광 빔 을 상기 기판 에 조사 하 는 노광 헤드 ; 상기 스테이지 상 에 제공 되 며 상기 노광 헤드 를 지지 하 는 지지대 ; 상기 스테이지 , 상기 노광 헤드 , 및 상기 지지대 를 수용 하 는 챔버 ; 상기 챔버 의 내벽 에 인접 한 상기 지지대 의 외주 면 상 에 제공 되 는 복수 의 제 1 돌출 편들 ; 및 상기 지지대 의 외주 면 을 둘러싸 는 상기 챔버 의 내벽 상 에 제공 되 며 , 상기 제 1 돌출 편 들 과 이격 되 며 교호 적 으로 배치 되 는 복수 의 제 2 돌출 편들 을 포함 할 수 있 다 .