본 발명 에 따르 면 , 서로 다른 형태 의 모스 ( MOS ) 트랜지스터 에 따라 게이트 선폭 에 차이 가 발생 하 는 것 을 억제 하 며 원본 게이트 레이아웃 에 대한 광 근접 효과 보정 ( OPC ) 을 수행 할 수 있 어 , 듀얼 폴리 실리콘 게이트 들 에 대한 선폭 제어 가 보다 유효 하 게 이루 질 수 있 는 광 근접 효과 보정 방법 을 제시 한다 .