본 발명 은 웨이퍼 프로 버 장치 의 상하 이동기 구 에 있 어서 , 세타 및 척 을 지지 하 는 내부 버티컬 과 , 상기 내부 버티컬 을 상하 이동 시키 는 구동력 을 제공 하 는 DD 모터 와 , 상기 DD 모터 의 회전 운동 을 직선 운동 으로 전환 하 는 변환 수단 과 , 상기 변환 수단 에 연결 되 어 상하 이동 되 는 상하 이 동축 과 , 상기 상하이 동축 의 어느 일단 을 상기 내부 버티컬 에 고정 하 는 고정부 재로 구성 된다 .