구체 적 으로 , 상기 반사체 는 상기 반도체 기판 의 상부 면 에 대하 여 경사진 반사면 을 포함 할 수 있 다 . 이 와 는 달리 , 상기 반사체 는 격자 형태 일 수 도 있 다 . 상기 반도체 집적회로 는 상기 회절격자 아래 의 상기 피복층 이 제거 된 영역 을 채우 는 저 굴절 률 물질 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 저 굴절 률 물질 은 상기 반도체 기판 의 굴절 률 보다 낮 은 굴절 률 을 갖 는다 .