또한 , 절연 링 ( 24 ) 은 , 냉각 재킷 ( 23 ) 및 면 히터 를 하부 의 절연체 ( 35 ) 로부터 열 적 으로 차단 함 과 아울러 전기 적 으로 차단 하 고 있 다 . 절연 링 ( 24 ) 은 , 예컨대 , 내열 성 에 도 우수 한 운모 등 의 무기 재료 에 의해 형성 되 고 , 절연체 ( 25 ) 는 , 예컨대 , 알루미나 등 의 세라믹스 에 의해 형성 되 어 있 다 . 본 실시 예 에서 는 , 절연 링 ( 24 ) 은 , 예컨대 , 8 . 54 ㎜ 의 두께 로 형성 되 고 , 절연체 ( 25 ) 는 , 예컨대 , 10 . 9 ㎜ 의 두께 로 형성 되 어 있 다 .