추가 실시 예 에서 , 본 명세서 에 설명 된 기술 이 정렬 측정 에 적용 될 수 있 다 . 당 업계 에 공지 된 바 와 같이 , 다양 한 정렬 마크 ( 예 를 들 어 , 회절 격자 형태 ) 가 적어도 기판 및 패 터닝 디바이스 ( 예 를 들 어 , 마스크 ) 상 에 제공 된다 . 정렬 마크 는 기판 테이블 과 같 은 다른 구조 체 상 에 도 제공 될 수 있 다 . 정렬 마크 는 정렬 센서 로 측정 되 어 기판 의 표면 상 및 / 또는 패 터닝 디바이스 상 의 평면 에서 의 하나 이상 의 특정 위치 의 공간 적 위치 ( 예 를 들 어 , 기판 과 패 터닝 디바이스 상 의 위치 들 사이 의 상대 위치 ) 를 결정 한다 . 측정 된 공간 적 위치 는 , 예 를 들 어 , 기판 상 으로 의 패턴 전사 의 X - Y 평면 에서 의 적절 한 위치 결정 , 즉 패턴 이 기판 의 패 터닝 수용 표면 상 의 적절 한 위치 에 제공 되 는 것 을 용이 하 게 하 기 위하 여 사용 된다 .