도 2 f 를 참조 하 면 , 상기 하드 마스크 ( 214 ) 를 포함 한 제 2 층간 절 연막 ( 216 ) 상 에 질화 막 재질 의 절 연막 ( 218 ) 을 형성 한다 . 상기 절 연막 ( 218 ) 은 후속 으로 형성 하 는 하부 전극 으로부터 그 위 에 형성 되 는 상변화 막 에 열 을 전달 할 때 상기 열 이 분산 되 는 것 을 방지 하 여 상기 상변화 막 과 하부 전극 간 의 접촉 계면 특성 을 안정 화 시키 기 위한 것 이 다 .