본 발명 의 실시 예 들 을 이용 하 여 제조 된 몇 개 의 실리콘 부품 들 에 대한 침식 성 비교 테스트 가 수행 되 었 다 . 테스트 될 부품 들 은 본 발명 의 다양 한 실시 예 들 을 따라 상이 한 조건 들 하 에서 성장 되 고 본 발명 의 일 실시 예 를 따라 어닐링 된 실리콘 샘플 들 로 구성 된다 . 침식 ( 또는 부식 ) 속도 는 반응 성 분위기 , 예 를 들 면 , 불소 - 기반 플 라즈 마 에 대한 노출 이전 및 이후 에 부품 들 상 에서 두께 측정 을 수행 함 으로써 얻 어 진다 .