상기 제 1 상부 층 ( 142 ) 내 에 제 1 게터 링 영역 ( 265 ) 을 형성 한다 . 상기 제 1 상부 층 ( 142 ) 을 관통 하 여 상기 한 쌍 의 제 1 버퍼 패턴 ( 318 ) 에 각각 접속 되 는 한 쌍 의 제 1 상부 드레 인 플러그 ( 320 ) 를 형성 한다 . 상기 제 1 게터 링 영역 ( 265 ) 은 상기 제 1 상부 드레 인 플러그 ( 320 ) 및 제 1 소스 라인 패턴 ( 316 ) 으로부터 이격 되 도록 형성 된다 . 상기 제 1 게터 링 영역 ( 265 ) 을 형성 한 후 에 , 상기 제 1 상부 드레 인 플러그 ( 320 ) 를 형성 할 수 있 다 . 이 와 는 반대 로 , 상기 제 1 상부 드레 인 플러그 ( 320 ) 를 형성 하 고 , 상기 제 1 게터 링 영역 ( 265 ) 을 형성 할 수 있 다 .