상기 한 실시 형태 에서 는 , 미 가공 의 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 의 방향 과 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 의 방향 이 45 ° 상이 하 도록 카세트 에 수용 하 도록 했 지만 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 고 , 다른 각도 , 예 를 들 어 30 ° 정도 상이 하 도록 해도 된다 . 단 , 미 가공 의 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 의 방향 에 대해 , 가공 이 완료 된 웨이퍼 ( 10 ) 의 노치 ( 16 ) 의 방향 이 가까운 경우 에 는 , 오퍼레이터 가 육안 관찰 에 의해 확인 하 는 경우 의 판단 이 어려워 지 기 때문 에 , 적당히 큰 각도 ( 30 ° 이상 ) 가 설정 되 는 편 이 바람직 하 다 .