일부 실시 예 에서 , 처리 시스템 은 빔 스폿 의 경 계부 를 식별 함 으로써 , 전자 감지 요소 들 중 어느 것 이 빔 스폿 밖 에 위치 하 고 , 전자 감지 요소 들 중 어느 것 이 빔 스폿 내 에 위치 되 는지 를 식별 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 도 3 b 를 참고 하 면 , 처리 시스템 은 빔 스폿 ( 304 A 내지 304 B ) 에 대한 일차 경 계부 ( 312 A 및 312 B ) 와 이 차 경 계부 ( 314 A 및 314 B ) 를 식별 할 수 있 다 . 일 차 경 계부 ( 312 ) 는 빔 스폿 의 세기 를 결정 하 기 위해 전압 출력 이 포함 되 는 전자 감지 요소 ( 306 ) 의 세트 를 둘러싸 도록 구성 될 수 있 다 . 따라서 , 전자 감지 요소 의 전자 감지 요소 세트 가 빔 스폿 내 에 있 다는 결정 이 이루어질 수 있 다 .