유전 판 ( 220 ) 은 내부 에 제 1 전극 ( 223 ) , 가열 부재 ( 225 ) 그리고 제 1 공급 유로 ( 221 ) 를 포함 할 수 있 다 . 제 1 공급 유로 ( 221 ) 는 유전 판 ( 210 ) 의 상면 으로부터 저면 으로 제공 될 수 있 다 . 제 1 공급 유로 ( 221 ) 는 서로 이격 하 여 복수 개 형성 될 수 있 으며 , 기판 ( W ) 의 저면 으로 열전달 매체 가 공급 되 는 통로 로 제공 될 수 있 다 .