도 5 는 , 실시 형태 와 관련 되 는 웨이퍼 의 가공 방법 의 웨이퍼 에 플 라즈 마 에칭 을 실시 하 는 플 라즈 마 에칭 단계 에서 이용 하 는 플 라즈 마 에칭 장치 를 도시 한 단면도 이 다 . 도 6 은 , 도 5 에 도시 한 에칭 챔버 내 의 정전 척 테이블 및 커버 부재 의 사시도 이 다 . 도 7 은 , 도 6 에 도시 한 정전 척 테이블 상 에 또한 커버 부재 내 에 프레임 유닛 을 반입 한 상태 의 단면도 이 다 . 도 8 은 , 실시 형태 와 관련 되 는 웨이퍼 의 가공 방법 의 프레임 유닛 유지 단계 및 차폐 단계 의 정전 척 테이블 과 커버 부재 를 도시 한 단면도 이 다 .