상기 불 산 으로 폴리 실리콘 층 ( 20 ) 을 표면 처리 하 는 단계 는 오 존수 ( O 3 ) 처리 , 불 산 ( HF ) 처리 , 물 세정 인 DI 워터 ( Deionized water ) 세정 및 건조 하 는 순서 로 진행 이 되 며 , 상기 처리 공정 은 2 회 수행 한다 . 상기 공정 의 1 회 처리 시 에 는 O 2 플 라즈 마 ( plasma ) 처리 후 잔여물 이 충분히 제거 되 지 않 아 화상 에서 얼룩 이 많이 나타나 며 , 상기 공정 을 2 회 이상 처리 시 도 2 에 도시 된 바 와 같이 무라 ( Mura ) 없 는 깨끗 한 화상 을 얻 을 수 있 다 .