기판 ( S ) 이 이 동부 ( 200 ) 에 고정 된 상태 에서 이 동부 ( 200 ) 는 이동 할 수 있 다 . 이 때 , 메인 공급 부 ( 300 ) 및 사이드 공 급부 ( 400 ) 는 각각 메인 에어 홀 ( 110 ) 및 사이드 에어 홀 ( 120 ) 로 에어 를 공급 할 수 있 다 . 메인 공급 부 ( 300 ) 에서 공급 된 에어 는 메인 공급 배관 을 통해 이동 하 여 메인 에어 홀 ( 110 ) 에서 분사 될 수 있 다 . 또한 , 사이드 공 급부 ( 400 ) 에서 공급 된 에어 는 사이드 공급 배관 ( 410 ) 및 사이드 배관 ( 450 ) 을 통해 이동하 여 사이드 에어 홀 ( 120 ) 에서 분사 될 수 있 다 .