또 , 제 3 기판 ( 500 ) 의 이면 , 즉 제 4 기판 ( 600 ) 과 의 접합면 에 는 도 21 에 나타내 는 바 와 같이 , 본 발명 에 있 어서 의 가 열부 로서 의 박막 히터 ( 505 a , 505 b ) 가 예 를 들 면 지그재그형 상 으로 설치 되 어 있 다 . 이 들 박막 히터 ( 505 a , 505 b ) 는 전압 이 인가 됨 으로써 발열 하 는 발열 저항체 , 발열 반도체 라고 하 는 전 열재 이 며 , 기 동시 에 각각 개질 반응 실 ( 161 ) , 일산 화 탄소 제거 유로 ( 171 ) 에 열 을 공급 하 고 , 소정 의 온도 로 하 도록 되 어 있 다 . 이 들 박막 히터 ( 505 a , 505 b ) 에 는 각각 반응 장치 ( 110 ) 의 내측 과 외측 의 사이 에서 통전 하 는 전선 ( 505 c , 505 d ) 이 접속 되 어 있 다 . 또한 박막 히터 ( 505 a , 505 b ) 는 도 21 과 같이 제 3 기판 ( 500 ) 의 이면 에 만 설치 되 는 것 으로 해도 괜찮 고 , 표리 면 에 설치 되 는 것 으로 해도 괜찮 다 . 표면 에 도 설치 하 는 경우 에 는 , 적절 한 보호막 으로 덮 는 구성 이 바람직 하 다 . 또 , 전선 ( 505 c , 505 d ) 은 가 는 쪽 이 바람직 하 기 때문 에 , 본 실시 형태 에 있 어서 는 , 전선 ( 505 c , 505 d ) 으로서 코 바르 선 을 이용 하 고 , 선 지름 을 0 . 2 mm 로 했 다 . 단 , 전선 ( 505 c , 505 d ) 으로서 는 , 철 니켈 합 금선 이나 , 철 니켈 합금 의 심재 를 동 층 에서 피복 한 두 멧 선 등 을 이용 하 는 것 으로 해도 괜찮 다 .