일부 실시 예 에서 , 추가 의 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 110 ) 의 두께 는 약 5 nm 내지 약 25 nm 범위 내 에 있 고 , 다른 실시 예 에서 약 10 nm 내지 약 20 nm 범위 내 에 있 다 . 추가 의 캡 소스 / 드레 인 에피 텍 셜 층 ( 110 ) 의 두께 는 핀 하부 구조물 ( 100 A ) 위 의 평균 두께 이 다 .