전술 한 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 사 입사 조명 장치 는 마스크 가 안착 되 는 마스크 스테이지 와 , 상기 마스크 스테이지 에 상 에 설치 되 어 상기 마스크 로 광 을 출사 하 는 광원 과 , 상기 광원 및 상기 마스크 스테이지 의 위치 를 이동 시켜 , 상기 마 스 크 에 대한 상기 광 의 입사각 을 가변 시키 는 입사각 가변 부 를 포함 한다 .