따라서 노광 조명 에 대해 90 ° 어긋나 는 렌즈 영역 에 비 노광 광이 보조 적 으로 조명 되 어 , 렌즈 히팅 의 영향 을 등방 성 으로 유도 하 여 렌즈 수차 발생 을 억제 할 수 있 다 . 즉 , 비대칭 변형 조명계 에서 노광 조명 이 렌즈 부 의 특정 영역 에 집중 조명 됨 에 따라 , 조명 되 는 부분 에 히팅 ( heating ) 이 비대칭 적 으로 발생 되 어 렌즈 의 수차 발생 의 요인 으로 작용 하 는 것 을 억제 시킬 수 있 다 . 이때 , 비 노광 파장 의 광 을 제공 하 는 광 발생 파워 ( power ) 를 조절 함 으로써 비 노광 파장 에 의한 보상 렌즈 히팅 을 , 노광 파장 의 광 에 의한 주 된 히팅 과 열 적 평형 상태 를 유지 하 도록 유도 할 수 있 다 . 또한 , 비 노광 조명 계 의 조명 광 영역 을 키우 거나 줄임 으로써 보상 렌즈 히팅 량 을 조절 할 수 있 다 .