노광 에 의해 산 을 발생 하 고 , 또한 , 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 레지스 트 조성물 로서 , 산 의 작용 에 의해 현상액 에 대한 용해 성 이 변화 하 는 기재 성분 ( A ) 와 , 일반식 ( d 1 ) 로 나타내 는 화합물 ( D 1 ) 을 함유 하 는 레지스 트 조성물 . 일반식 ( d 1 ) 중 , Rd 01 및 Rd 02 는 , 각각 독립 적 으로 , 치환기 를 가지 고 있 어도 되 는 고리 형기 , 치환기 를 가지 고 있 어도 되 는 사슬 형 의 알킬기 , 또는 치환기 를 가지 고 있 어도 되 는 사슬 형 의 알케 닐 기 이 다 . 혹은 , Rd 01 과 Rd 02 가 서로 결합 하 여 , 축합 고리 를 형성 해도 된다 . m 은 1 이상 의 정수 이 고 , Mm ＋ 는 m 가의 유기 카 티온 을 나타낸다 .