도 3 a 를 참조 하 면 , 본 발명 의 실시 예 에 따른 6 축 로봇 ( 270 ) 은 6 자유도 를 갖 는 다관 절 로봇 이 적용 되 는 것 이 바람직 하 며 , 기부 ( 271 ) , 회전 구동 부 ( 272 ) , 제 1 아암 ( 273 ) , 제 2 아암 ( 274 ) , 제 3 아암 ( 275 ) 및 웨이퍼 홀더 ( 276 ) 를 포함 한다 .