주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 냉각 유닛 ( ＣＰ ２ ) 으로 이동 해서 , 지지 하 고 있 는 기판 ( Ｗ ) 을 냉각 유닛 ( ＣＰ ２ ) 내 의 기판 ( Ｗ ) 과 바꿔 넣 는다 . 주 반송 기구 ( Ｔ ２ ) 는 냉각 처리 가 끝난 기판 ( Ｗ ) 을 지지 해서 현상 처리 유닛 ( ＤＥＶ ２ ) 에 액세스 한다 . 냉각 유닛 ( ＣＰ ２ ) 은 새로 반입 된 기판 ( Ｗ ) 에 대해 처리 를 개시 한다 ( 스텝 Ｓ １７ ａ - 냉각 처리 ( Ｔ １１ ｕ ) ) .