이러 한 아크 사이 에 불활성 가스 및 질소 등 의 플 라즈 마 를 형성 할 수 있 는 가스 를 통과 시켜 매우 높 은 고온 까지 가열 시키 면 가스 가 이온 화 하 게 되 는데 , 이 와 같 은 방법 으로 다양 한 종류 의 반응 성 입자 를 생성 함 으로써 플 라즈 마 를 형성 하 게 된다 . 플 라즈 마의 온도 는 적어도 1000 ℃ 이상 이 되 고 , 이 1000 ℃ 이상 의 플 라즈 마 에 유해 가스 를 주입 함 으로써 이 를 분해 처리 하 게 된다 .