따라서 , 후행 기판 ( S 1 ) 이 선행 기판 ( S 2 ) 과 밀착 된 상태 로 제 2 스테이지 의 제 2 기판 이송 장치 ( 220 ) 로 이송이 이루어지 게 되 는 바 , 제 2 스테이지 로 이송 되 는 복수 의 기판 ( S ) 들 은 도 3 에 도시 된 바 와 같이 , 간격 이 벌어지 지 않 고 서로 밀착 된 상태 로 배치 되 어 고정 이 이루어지 게 된다 .