배기 제 어부 ( 112 ) 는 , 가 열부 ( 20 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 가열 시간 이 경과 함 에 따라 외주 배기 부 ( 40 ) 에 의한 가스 의 배출 량 을 늘린다 . 예컨대 배기 제 어부 ( 112 ) 는 , 가 열부 ( 20 ) 에 의한 웨이퍼 ( W ) 의 가열 시간 이 경과 함 에 따라 , 처리 공간 ( 34 ) 내 에 의 외주 배기 부 ( 40 ) 의 개구 면적 을 개구 면적 변경 부 ( 50 ) 에 의해 늘린다 .