도 1 내지 도 3 을 참조 하 면 , 상기 플 라즈 마 형성 장치 ( 100 ) 는 챔버 ( 101 ) , 제 3 RF 전원 부 ( 122 ) 와 연결 된 기판 스테이지 ( 120 ) , 제 1 RF 전원 부 ( 132 ) 와 연결 된 제 1 상부 전극 ( 130 ) , 제 2 RF 전원 부 ( 142 ) 와 연결 된 제 2 상부 전극 ( 140 ) , 가스 제 공부 ( 150 ) , 윈도우 ( 160 ) 및 가스 배 출부 ( 170 ) 를 포함 한다 .