또한 , 플라 즈 마 처리 장치 는 , 플라 즈 마를 이용 하 여 기판 에 소정 의 처리 ( 예 를 들 어 , 성막 , 에칭 등 ) 를 실시 하 는 장치 이 면 , 에칭 장치 에 한정 되 지 않 고 , 성막 장치 , 애 싱 장치 , 도핑 장치 등 이 어도 된다 . 예 를 들 어 , 플라 즈 마 처리 장치 는 , 스퍼터링 법 에 의한 ITO 의 성막 장치 나 , MOCVD 법 에 의한 금속 함 유막 의 성막 장치 여도 된다 .