또한 , 상기 구성 1 에 따른 발명 에 의하 면 , 상기 과제 1 의 해결 과 동시 에 , 크롬 을 함유 하 는 재료 로 이루어지 는 반 투광 성 막 은 , 몰리브덴 실리사이드 의 산화물 로 이루어지 는 반 투광 성막 에 비해 , i 선 ∼ g 선 에 걸치 는 파장 대역 에서 파장 변화 에 대한 투과율 변화 가 작 으므로 ( i 선 ∼ g 선 에 걸치 는 파장 대역 에서 플랫 한 분광 특성 을 갖 고 있 음 ) , 상기 과제 2 를 달성 할 수 있 다 .