중공 음극 방전 공간 ( 214 ) 에서 생성 된 플 라즈 마 중 양 이온 ( 이하 , " "" 플라 즈 마 이온 "") 은 ", 음 의 전압 에 의해 , 상기 중공 음극 방전 반응기 ( 20 ) 의 내벽 으로 유도 되 고 , 상기 내벽 과 충돌 한다 . 충돌 에 의한 운동 에너지 의 교환 에 의해 , 상기 플 라즈 마 이온 은 증착 하 고자 하 는 원자 를 떼 어 낸다 ( 스퍼터링 ) . 전하 를 갖 지 않 는 원자 는 음 의 전압 에 의해 영향 을 받 지 않 으며 , 자유로이 이동 하 여 상기 바닥 판 ( 212 ) 내부 에 형성 된 배출구 ( 22 ) 를 통해 배출 된다 . 배출 된 원자 는 기판 ( 40 ) 과 접촉 하 여 , 상기 기판 ( 40 ) 의 표면 에 증착 층 ( 401 ) 을 형성 한다 . 상기 중공 음극 방전 에 의해 형성 되 는 증착 층 ( 401 ) 의 두께 는 통상 1 mm 이하 이 며 , 바람직 하 게 는 1 , 000 Å ~ 100 , 000 Å 의 범위 이 다 .