촬상 기반 계측 에서 사용 하 기 위한 다층 오버레이 타 겟 이 개시 된다 . 하나 의 양태 에 있 어서 , 다 방향 오버레이 마크 는 , 비 제한 적 인 예 를 들 자면 , 3 개 이상 의 타 겟 구조물 을 포함 한 복수 의 타 겟 구조물 을 포함 할 수 있 고 , 각 타 겟 구조물 은 2 개 이상 의 패턴 요소 들 의 집합 을 포함 하 며 , 타 겟 구조물 은 타 겟 구조물 의 정렬 시 에 공통 의 대칭 중심 을 공유 하 도록 구성 되 고 , 각 타 겟 구조물 은 공통 대칭 중심 에 대한 N 도 ( N 도 는 180 도 이상임 ) 회전 에 대하 여 불 변체 이 며 , 2 개 이상 의 패턴 요소 는 각각 개별 적 인 대칭 중심 을 갖 고 , 각 타 겟 구조물 의 2 개 이상 의 패턴 요소 들 은 각각 개별 적 인 대칭 중심 에 대한 M 도 ( M 도 는 180 도 이상임 ) 회전 에 대하 여 불 변체 이 다 .