도 5 내지 도 7 을 참조 하 면 , 상기 건조 모듈 ( 250 ) 은 , 상기 이송 테이블 ( 210 ) 의 이동 경로 상부 에 배치 되 며 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 이 상기 이송 테이블 ( 210 ) 에 의해 이동 되 는 동안 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 상부 면 에 적외선 광 을 조사 하 여 상기 반도체 패키지 들 ( 20 ) 의 상부 면 을 건조 시키 기 위한 상부 적외선 조명 유닛 ( 260 ) 을 포함 할 수 있 다 .