이 를 참조 하 면 , 종래 의 배치 형 반도체 제조 장치 는 , 내부 에 수용 공간 을 형성 하 도록 하부 가 개방 된 개구부 를 갖 고 반도체 제조 공정 을 처리 하 기 위한 관상 의 반응 챔버 ( 미 도시 ) 에 , 복수 의 반도체 기판 ( 100 ) 이 로딩 ( loading ) 되 도록 반도체 기판 ( 100 ) 들 이 상하 방향 으로 적층 되 도록 형성 된 기판 로딩 용 보트 ( 1 ) 가 설치 된다 .