도 7 ( A ) 에 나타내 는 노광 마스크 ( 420 ) 를 사용 하 여 레지스 트 막 의 노광 을 행하 면 , 레지스 트 막 에 비 노광 영역 ( 423 a , 423 b ) 과 노광 영역 ( 423 c ) 이 형성 된다 . 노광 시 에 는 , 광이 차 광부 ( 421 a , 421 b ) 에 돌 아 들어가 거나 반투 과부 ( 422 a , 422 b ) 를 통과 함 으로써 도 7 ( A ) 에 나타내 는 노광 영역 ( 423 c ) 이 형성 된다 .