코일 부재 ( 30 ) 는 챔버 의 식각 공간 부 ( 101 ) 에 전자계 ( 電磁 界 ) 를 형성 하 기 위한 것 이 다 . 코일 부재 ( 30 ) 는 챔버 ( 10 ) 의 상측 , 즉 안착 부재 ( 20 ) 의 상측 에 배치 된다 . 코일 부재 ( 30 ) 는 웨이퍼 의 형상 에 대응 되 게 원형 으로 이루어진다 . 즉 , 코 일부 재 ( 30 ) 는 도 4 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 전체 적 으로 원형 의 외곽 선 을 형성 하 도록 형성 된다 . 코일 부재 ( 30 ) 는 고주파 인가 부 ( 31 ) 와 , 래퍼 런 스 인가 부 ( 32 ) 와 , 복수 의 코 일부 ( 33 ) 를 가진다 .