또 , 본 발명 은 회전 축선 이 수평면 으로부터 소정 의 경사 각도 기울어진 반송 롤러 를 일 반송 직선 이 연장 되 는 방향 을 따라 복수 개 배치 하 고 , 상기 반송 롤러 보다 상방 위치 에 , 복수 의 상부 롤러 를 배치 하 고 , 적어도 2 개 이상 의 상기 반송 롤러 의 측면 에 기판 의 하단 의 한 변 을 접촉 시키 고 , 상기 기판 을 연직 방향 으로부터 소정 의 경사 각도 기울어진 반송 자세 로 배치 하 고 , 상기 반송 자세 인 상기 기판 의 하 방향 을 향하 는 아래 표면 의 상부 를 , 상기 상부 롤러 의 측면 과 접촉 시키 고 , 상기 반송 롤러 와 상기 상부 롤러 가 회전 하 면서 상기 기판 이 상기 반송 자세 로 반송 되 도록 하 는 기판 반송 방법 으로서 , 상기 반송 롤러 상 에서 상기 반송 자세 에 있 는 상기 기판 의 상기 아래 표면 의 하부 와 접촉 가능 한 위치 에 , 상기 반송 직전 이 연장 되 는 방향 을 따라 복수 의 하부 롤러 를 배치 하 고 , 상기 기판 의 상방 을 향한 윗 표면 의 하부 와 접촉 가능 한 위치 에 , 상기 하부 롤러 방향 으로 탄성 지지력 이 부여 된 가압 롤러 를 배치 하 고 , 상기 기판 의 상기 아래 표면 을 상기 윗 표면 보다 고온 으로 가열 하 여 , 상기 아래 표면 이 볼록해 지 고 반대 측 의 면 이 오목 해 지 도록 하 고 , 상기 반송 롤러 상 을 이동 하 는 상기 기판 의 하부 를 상기 가압 롤러 와 접촉 시켜 , 상기 기판 이 상기 하부 롤러 와 상기 가압 롤러 사이 에 들어갈 때 에 , 상기 기판 의 상기 윗 표면 의 하부 를 상기 가압 롤러 로 상기 하부 롤러 방향 으로 가압 하 여 , 상기 기판 의 하단 ( 下端 ) 을 상기 하부 롤러 와 상기 가압 롤러 사이 에 끼우 면서 상기 기판 을 이동 시키 는 기판 반송 방법 이 다 .