신호 처 리부 ( 330 ) 는 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 측정 의 최적 위치 선정 을 위한 논리 회로 , 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 표면 조도 측정 의 최적 파장 선택 을 위한 논리 회로 , 및 화학 기계 적 연마 패드 ( 130 ) 의 온도 에 따른 광 스펙트럼 의 강도 및 진동 주파수 보상 을 위한 논리 회로 등 이 포함 될 수 있 다 .