임시 배치 공정 을 실시 한 후 , 임시 배치 수단 ( 58 ) 에 임시 배치 된 웨이퍼 ( W ) 를 척 테이블 ( 60 ) 까지 반송 하 는 제 1 반송 공정 을 실시 한다 . 제 1 반송 공정 에서 는 , 우선 , 제 1 반송 수단 ( 62 ) 의 회전축 ( 84 ) 을 회전 시켜 , 임시 배치 수단 ( 58 ) 에 임시 배치 된 웨이퍼 ( W ) 의 상방 에 제 1 반송 수단 ( 62 ) 의 흡착 편 ( 88 ) 을 위치 시킨다 . 그 다음 에 , 흡착 편 ( 88 ) 을 하강 시켜 웨이퍼 ( W ) 의 상면 에 흡착 편 ( 88 ) 의 하면 을 밀착 시키 고 , 아울러 흡착 편 ( 88 ) 의 하면 에 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 한다 . 그 다음 에 , 회전축 ( 84 ) 을 승강 및 회전 시켜 , 흡착 편 ( 88 ) 에 흡인 유지 한 웨이퍼 ( W ) 를 임시 배치 수단 ( 58 ) 으로부터 , 착 탈 위치 ( A ) 에 위치 된 척 테이블 ( 60 ) 까지 반송 한다 .