상부 절 연막 ( 80 ) 을 관통 하 는 연결 비아 ( CV ) 가 마련 되 어 컨 택 플러그 ( CNT ) 와 하드 마스크 패턴 ( HM ) 를 연결 할 수 있 다 . 연결 비아 ( CV ) 의 하부 면은 컨 택 플러그 ( CNT ) 의 상부 면 및 하드 마스크 패턴 ( HM ) 의 상부 면 과 접할 수 있 다 . 연결 비아 ( CV ) 의 상부 면은 상부 절 연막 ( 80 ) 의 상부 면 과 실질 적 으로 같 은 평면 상 에 배치 될 수 있 다 . 연결 비아 ( CV ) 는 비트 라인 컨 택 ( BLC ) 또는 / 및 비 아들 ( 92 ) 과 같 은 공정 단계 에서 생성 될 수 있 다 .