진공 반 송실 ( 20 ) 내 는 , 소정 의 진공 분위기 로 감압 되 어 있 다 . 또한 , 진공 반 송실 ( 20 ) 에 는 , 반송 기구 ( 21 ) 가 마련 되 어 있 다 . 반송 기구 ( 21 ) 는 , 처리 실 ( 11 내지 14 ) , 로드 로크 실 ( 31 , 32 ) 에 대하 여 웨이퍼 ( W ) 를 반송 한다 . 또한 , 반송 기구 ( 21 ) 의 동작 은 , 제 어 장치 ( 70 ) 에 의해 제어 된다 .