또한 , 본 발명 에 따른 기판 처리 장치 가 상기 처리 유닛 , 상기 처 리조 및 상기 반송 장치 를 수용 하 는 공간 을 구획 하 는 격벽 과 , 상기 공간 의 외부 에 배치 되 어 상기 공간 내 에 기판 을 전달 하 는 전달 장치 를 더 구비 하 고 , 상기 처리 유닛 은 상기 공간 내 에서 , 상기 전달 장치 에 근접 한 격벽 근방 에 배치 되 어 있 도록 해도 좋 다 . 이러 한 기판 처리 장치 가 상기 전달 장치 에 근접 한 격벽 근방 에 배치 된 전달 유닛 을 더 구비 하 고 , 상기 공간 에 기판 이 반입 될 때 에 상기 전달 장치 가 상기 전달 유닛 으로 기판 을 반입 하 며 , 상기 공간 으로부터 기판 이 반출 될 때 에 상기 전달 장치 가 상기 처리 유닛 으로부터 기판 을 취 출하 도록 해도 좋 다 . 또한 , 이러 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 처 리조 는 , 상기 처리 유닛 보다 도 , 또는 상기 처리 유닛 및 상기 전달 유닛 보다 도 , 전달 장치 로부터 이 간 된 위치 에 배치 되 어 있 도록 해도 좋 다 . 또한 , 이러 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 처리 유닛 이 , 또는 상기 처리 유닛 및 상기 전달 유닛 이 , 상기 처 리조 와 상기 전달 장치 사이 에 배치 되 도록 해도 좋 다 . 또한 , 이러 한 기판 처리 장치 에 있 어서 , 상기 전달 장치 가 상기 격벽 을 따라 이동 가능 하 고 , 상기 처리 유닛 및 상기 전달 유닛 이 상기 전달 장치 에 이동 경로 를 따라 나란히 늘어서 서 배치 되 어 있 도록 해도 좋 다 .