도 1 , 도 2 f 및 도 3 f 를 참조 하 면 , 질화 막 ( 110 ; 도 5 참조 ) 에 대해 식각 공 정 을 실시 하 여 질화 막 ( 110 ) 이 상기 트렌치 의 측벽 에 만 잔류 하 도록 한다 . 이 로써 , 상기 트렌치 측벽 에 는 스 페이서 ( 110 a ) 가 형성 된다 . 이때 , 식각 공정 은 이방성 전면 식각 공정 으로 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .