그리고 , 상부 회동 플레이트 ( 210 ) 는 상하 방향 ( Z 축 방향 ) 움직임 이 가능 하 게 배치 됨 에 따라 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 의 수평 상태 로 미세 하 게 기울어진 경우 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 을 지지 하 고 있 는 복수 의 에어 베어링 ( 120 ) 중 일부 의 에어 베어링 에 대한 높이 를 조정 하 면 상부 회동 플레이트 ( 210 ) 가 자연 적 으로 상하 방향 움직이 면서 워크 테이블 유닛 ( 110 ) 의 영역 별 높이 밸런스 가 조정 될 수 있 다 .