마이크 로 가스 센서 소자 의 중앙부 에 위치 한 마이크 로 히터 ( 206 ) 는 열린 공동 ( 205 ) 위 에 형성 되 며 , 실리콘 기판 ( 201 ) 으로부터 부양 된 비교 적 넓 은 폭 을 가지 는 부양 된 브리지 구조 ( suspended bridge microstructure ) 로서 , 특히 그 형상 은 브리지 구조 의 양쪽 측면 부위 에 빗살 ( comb ) 또는 물고기 뼈 ( fish bone ) 형태 로 외 팔 보 배열 을 이루 는 미세 한 전극 가지 ( 210 ) 들 이 부착 되 어 있 는 형태 를 취하 고 있 다 .