상기 중심 영역 ( CA ) 은 평면 ( x , y ) 적 으로 보 았 을 때 , 원 형상 을 갖 는다 . 이 에 , 상기 이 송부 ( 300 ) 는 상기 중심 영역 ( CA ) 의 중앙 에 배치 고정 될 수 있 다 . 상기 중심 영역 ( CA ) 은 반경 이 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 외경 보다 작 게 형성 된다 . 이 로써 , 상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 존재 여부 를 확인 하 기 위하 여 별도 의 상기 이 송부 ( 300 ) 의 동작 이 생략 될 수 있 다 .