상기 유연 막 ( 25 ) 은 그 주변 부 ( 25 B ) 에 의해 상기 지지 플레이트 ( 23 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는데 , 예컨대 상기 지지 플레이트 ( 23 ) 의 적절 한 전도성 콘 택 패드 들 ( 26 ) 및 상기 주변 부 ( 25 B ) 에서 상기 유연 막 ( 25 ) 상 에 형성 된 적절 한 콘 택 패드 들 또는 전도성 부분 들 에 의해 상기 전기 적 연결 이 이루어지 며 , 이 는 이하 에서 설명 될 것 이 다 .