특허 문헌 1 은 , 프로세스 중 의 막 질 을 안정 화 시킬 수 는 있 지만 , 성막 속도 를 안정 화 시키 기 위해서 는 , 더미 워크 에 성막 을 행하 고 , 대기 중 에서 막 두께 를 측정 해 성막 속도 를 연산 해서 보정 하 는 것 이 필요 하 다 . 즉 , 제품 의 양산 에 적용 하 는 등 , 장기 에 걸쳐 성막 을 행할 경우 , 프로세스 의 도중 에 더미 워크 에 성막 하 고 , 대기 중 에서 막 두께 를 측정 할 필요 가 생긴다 . 그 때문 에 , 높 은 막 두께 정밀도 와 고품질 막 질 을 고속 으로 성막 하 는 프로세스 를 , 중단 하 지 않 고 장기간 에 걸쳐 안정 되게 유지 할 수 없 다 .