관련 기술 분야 의 통상 의 기술자 에 의해 인식 될 바 와 같이 , 2 개 의 회전 가능 차 폐부 ( 101 , 103 ) 의 높 은 회전 속력 은 기판 과 기판 주위 영역 사이 에 압력 차 를 생성 하 여 , 회전 하 는 기판 으로부터 액체 들 및 수분 둘 모두 를 제거 하 는 것 을 용이 하 게 한다 . 기판 의 고속 회전 은 , 가스 유동 및 차 폐부 들 의 회전 과 결합 되 어 , 모든 또는 실질 적 으로 모든 ( 수분 을 비롯 한 ) 배 출물 을 제거 하 며 , 그 에 의해 , 물 또는 화학 물질 자국 들 또는 다른 미립자 또는 막 형성 없이 기판 을 건조 시킨다 . 본 개시 내용 의 전산 유체 역학 ( CFD ) 모델링 부분 을 참조 하 여 아래 에서 더 상세히 설명 되 는 2 차 가스 ( 예컨대 , 질소 ) 유동 메커니즘 은 , 외측 챔버 ( 200 ) 로부터 수직 기판 세정 및 건조 챔버 ( 100 ) 로 의 미립자 이전 을 실질 적 으로 방지 하 는 가스 장벽 을 생성 한다 .