다음 으로 , 상기 제 2 완충 층 및 상기 제 1 완충 층 을 식각 하 는 단계 는 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 하드 마스크 ( 190 ) 를 식각 마스크 로 상기 제 2 완충 층 ( 180 ) 을 식각 하 면서 동시 에 상기 제 3 층간 절연 층 ( 170 ) 을 식각 마스크 로 하 여 상기 제 1 완충 층 ( 160 ) 을 식각 하 는 단계 이 다 .