그리고 , 플라 즈 마 발생 부 ( 18 ) 가 반송 장치 ( 2 ) 상 으로부터 벗어나 작업 하 기 쉬운 위치 까지 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 를 인출 한 곳 에서 정지 시키 고 , 플라 즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 유지 관리 작업 , 즉 플 라즈 마 발생 노즐 ( 18 a ) 의 교환 이나 플 라즈 마 발생 부 ( 18 ) 의 점검 등 을 행한다 .