상기 반사 방지 막 으로서 , 티타늄 , 티타늄 디 옥시드 , 티타늄 니트 라이드 , 크로뮴 옥시드 , 카르본 또는 비정질 실리콘 등 의 무기 막 또는 흡광 제 및 폴리머 재료 로 이루어지 는 유기 막 이 사용 될 수 있 다 . 상기 유기 반사 방지 막 으로서 , " Brewer Science 의 "" DUV - 30 series "" 또는 "" DUV - 40 series ""( 상표명 ) 또는 Shipley 의 "" AR - 2 """," "" AR - 3 "" 또는 "" AR - 5 ""( 상표명 ) 등 의 시판 유기 반사 방지 막 도 사용 될 수 있 다 . "