이 에 반하 여 , 웨이퍼 가 멤 브레인 바닥 판 에 불 완전 하 게 척 킹 된 상태 에서 는 , 설정 부압 이 작용 하 는 제 1 압력 챔버 이외 의 영역 도 웨이퍼 와 밀착 하 지 않 거나 , 제 1 압력 챔버 의 제 1 바닥 면 에 외기 가 침투 되 므로 상방 으로 크 게 볼록 한 변형 이 생기 거나 전체 적 으로 들뜨 는 변형 이 생긴다 . 따라서 , 제 1 압력 챔버 에 웨이퍼 를 파지 하 기 위한 설정 부압 이 인가 되 면 , 제 1 바닥 면 이 상방 으로 볼록 한 변형 량 은 매우 커 지 게 되 어 , 제 1 바닥 면 이 제 1 통로 의 개구 에 접촉 하 거나 근접 한 상태 가 된다 . 여기 서 근접 한 상태 는 제 1 통로 의 개구 에 0 . 5 mm ~ 1 . 0 mm 이하 로 근접 하 는 경우 를 말 한다 .