가스 소스 들 ( 330 , 332 , 및 334 ) 은 주입구 ( 314 ) 를 통해 프로세싱 챔버 ( 301 ) 와 유체 연통 한다 . 가스 주입구 ( 314 ) 는 챔버 ( 301 ) 내 의 임의 의 유리 한 위치 에 위치 될 수 도 있 고 , 단일 노즐 또는 샤워 헤드 와 같 은 가스 를 주입 하 기 위한 임의 의 형태 를 취할 수 도 있 다 . 그러나 , " 가스 주입구 ( 314 ) 는 "" 튜닝 가능 한 "" 가스 주입 프로 파일 을 생성 하 도록 ", 즉 프로세스 챔버 내 의 다수 의 존 들 로 의 가스 플로우 의 독립 적 인 조정 을 허용 하 도록 구성 될 수 도 있 는 것 이 가장 바람직 할 수 도 있 다 . 플 라즈 마 프로세싱 챔버 ( 301 ) 내 의 특정 한 압력 을 유지 하 도록 기능 하 는 , 펌프 ( 320 ) 및 압력 제어 밸브 ( 318 ) 를 통해 챔버 ( 301 ) 로부터 프로세스 가스 들 및 부산물 들 이 제거 된다 . 도전 층 에칭 가스 소스 ( 330 ) , 유전체 층 에칭 가스 소스 ( 332 ) , 및 실리콘 기판 에칭 가스 소스 ( 334 ) 에 대한 세트 포인트 들 은 제어기 ( 336 ) 에 의해 세팅 된다 .