식각 저 지막 ( 147 b ) 의 제 1 및 제 2 부분 ( 147 b 1 , 147 b 2 ) 은 편자 모양 이 므로 식각 저 지막 ( 147 b ) 의 제 1 및 제 2 부분 ( 147 b 1 , 147 b 2 ) 과 구동 반도체 ( 154 b ) 의 제 1 및 제 2 부분 ( 154 b 1 , 154 b 2 ) 은 편자 모양 으로 서로 중첩 한다 . 식각 저 지막 ( 147 b ) 과 구동 반도체 ( 154 b ) 가 중첩 하 는 부분 각각 의 안쪽 에 는 구동 출력 전극 ( 175 b ) 의 제 1 및 제 2 부분 ( 175 b 1 , 175 b 2 ) 이 말발굽 모양 으로 각각 중첩 하 며 , 각각 의 바깥 둘레 에 는 구동 출력 전극 ( 175 b ) 의 제 1 및 제 2 부분 ( 175 b 1 , 175 b 2 ) 과 평행 하 게 마주 하 여 구동 입력 전극 ( 173 b ) 의 제 1 및 제 2 부분 ( 173 b 1 , 173 b 2 ) 이 각각 중첩 한다 . 여기 서 , 식각 저 지막 ( 147 b ) , 구동 출력 전극 ( 175 b ) 및 구동 입력 전극 ( 173 b ) 은 이 들 의 가로 중심선 과 세로 중심선 에 대하 여 각각 반전 대칭 을 이룬다 .