또한 , 유지 보수 장치 ( 100 ) 는 케이스 ( 101 ) 내 의 상부 에 볼 나사 ( 105 ) 와 미 도시 의 샤프트 가 평행 하 게 배치 되 어 있 다 . 볼 나사 ( 105 ) 와 미 도시 의 샤프트 에 는 , 리니어 스테이지 ( 150 ) 가 장착 되 어 있 다 . 리니어 스테이지 ( 150 ) 에 는 , 어댑터 분리 유닛 ( 160 ) 이 장착 되 어 있 다 .