또한 , 세정 모듈 ( 4 ) 은 , 진공 처리 장치 ( 2 ) 에 있 어서 의 제 2 반 송실 ( 3 ) 의 저부 ( 30 ) 의 반송 영역 의 비 어 있 는 부분 , 즉 제 2 반송 아암 ( 32 ) 이 홈 위치 에 위치 할 때 에 비 어 있 는 부분 에 형성 된 제 2 오 목부 ( 41 ) 에 수납 된다 . 이 때문 에 , 제 2 반 송실 ( 3 ) 나아가 서 는 진공 처리 장치 ( 2 ) 의 점유 면적 을 증가 하 는 일 없이 , 세정 모듈 ( 4 ) 을 추가 할 수 있 다 .