도 7 에서 알 수 있 는 바 와 같이 , 기판 이송 챔버 ( 210 ) 는 코어 모듈 ( 200 M 2 ) , 및 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 각각 의 단부 ( 200 M 2 E 1 , 200 M 2 E 2 ) 에 결합 된 인서 트 모듈 ( 200 M 5 ) 들 중 2 개 를 포함 한다 . 이러 한 양태 에서 , 인서 트 모듈 ( 200 M 5 ) 은 3 : 1 의 길이 ( L ) 대 폭 ( W ) 종횡비 를 기판 이송 챔버 ( 210 ) 에 제공 하 는 동시 에 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 각각 의 단부 벽 ( 210 E 1 , 210 E 2 ) 상 에 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 를 제공 하 도록 선택 된다 . 도 8 에 도시 된 기판 이송 챔버 ( 210 ) 의 구성 은 또한 기판 이송 챔버 ( 210 ) 가 3 : 1 의 길이 ( L ) 대 폭 ( W ) 종횡비 를 가지 도록 선택 된 인서 트 모듈 ( 200 M 5 , 200 M 6 ) 을 포함 하 고 ; 그러나 , 이러 한 양태 에서 , 이송 챔버 의 오직 하나 의 단부 벽 ( 210 E 1 ) 만 이 단부 개구 ( 260 A , 260 B ) 를 포함 하 는 반면 에 , 단부 벽 ( 210 E 2 ) 은 어떠 한 개구도 포함 하 지 않 는다 . 이러 한 양태 에서 , 인서 트 모듈 ( 200 M 5 ) 은 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 제 1 단부 ( 200 M 2 E 1 ) 에 결합 되 고 , 인서 트 모듈 ( 200 M 6 ) 은 코어 모듈 ( 200 M 2 ) 의 제 2 단부 ( 200 M 2 E 2 ) 에 결합 된다 .