냉각 재킷 ( 130 ) 은 , 열전도 성 이 좋 은 금속 , 구체 적 으로 는 타 겟 ( 110 ) 보다 열전도 성 이 높 은 금속 ( 예컨대 , Cu ) 으로 구성 되 어 있 다 . 또한 , 냉각 재킷 ( 130 ) 은 , 타 겟 ( 110 ) 보다 유연 하 게 , 외력 에 대하 여 변형 되 기 쉽 게 구성 되 어 있 고 , 타 겟 ( 110 ) 의 열팽창 에 의한 변형 에 추종 할 수 있 도록 구성 되 어 있 다 .