단 , 에칭 액 분사 부 ( 155 ) 는 , 도 4 에 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 공급 펌프 등 의 작동 에 의한 에칭 액 을 공급 하 는 공급 관 ( 156 ) 과 상기 공급 관 ( 156 ) 의 일 측 에 설치 되 어 세척액 이 유리 기판 ( 180 ) 에 미세 한 입자 의 상태 로 분사 될 수 있 도록 하 는 분사 노즐 ( 157 ) 등 으로 이루어지 되 , 이미 위 에서 설명 한 바 와 같이 분사 노즐 ( 157 ) 이 소정 각도 ( θ ) 로 회동 되 도록 하 여 , 적 은 양 의 에칭 액 을 이용 하 여도 유리 기판 ( 180 ) 의 표면 에 고르 게 당해 에칭 액 이 분사 될 수 있 도록 하 는 것 이 바람직 할 것 이 다 .