이제 플 라즈 마 에칭 공정 ( 400 ) 을 도 4 를 참조 하 여 보다 상세히 고려 하 면 , 공정 은 시작 단계 ( 402 ) 에서 플라 즈 마 에 칭기 ( 미도 시 됨 ) 에서 시작 된다 . 이러 한 점 에서 , 플라 즈 마 에 칭기 내 의 챔버 ( chamber ) 는 적재 단계 ( 404 ) 에서 패 터닝 될 전이 금속 이나 전이 금속 화합물 의 하나 이상 의 층 을 그 위 에 갖 는 하나 이상 의 웨이퍼 또는 이 와 다른 적절 한 여러 기판 으로 적재 된다 .