도 17 에 나타내 는 바 와 같이 , ID 블록 ( 2 ) 과 제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 사이 에 제 1 기판 버퍼 ( BF 1 ) 가 설치 됨 과 더불 어 , ID 블록 ( 2 ) 과 제 2 처리 블록 ( 5 ) 의 사이 에 제 2 기판 버퍼 ( BF 2 ) 가 설치 된다고 가정 한다 . 이 경우 , 제 1 기판 버퍼 ( BF 1 ) 와 제 2 기판 버퍼 ( BF 2 ) 가 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 이 배치 되 는 방향 ( X 방향 ) 으로 배치 되 게 된다 . 그 때문 에 , 기판 처리 장치 ( 1 ) 가 그 방향 ( X 방향 ) 으로 길 어 질 가능 성 이 있 다 . 본 실시 예 에 의하 면 , 기판 버퍼 ( BF ) 는 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 의 중간 에 배치 되 어 있 다 . 기판 버퍼 ( BF ) 에 는 , 2 개 의 처리 블록 ( 3 , 5 ) 의 각각 에 의하 여 기판 ( W ) 이 반송 된다 . 즉 , 제 1 기판 버퍼 ( BF 1 ) 와 제 2 기판 버퍼 ( BF 2 ) 가 평면 에서 보 았 을 때 에 같 은 위치 ( 즉 1 개소 ) 에 적층 된다 . 기판 처리 장치 ( 1 ) 가 길 어 질 가능 성 을 감소 시킬 수 있 다 .