상기 구성 의 마이크로파 플 라즈 마 처리 장치 에 있 어서 는 , 마이크로파 공급 부 로부터 공급 되 는 마이크로파 가 슬롯 판 의 슬롯 으로부터 유전체 창 을 통해 처리 용기 내 에 방사 되 고 , 그 마이크로파 전계 에 의해서 처리 가스 가 전리 되 어 플 라즈 마가 생성 된다 . 유전체 창 부근 에서 생성 된 플라 즈 마는 처리 용기 내 에서 아래쪽 으로 확산 되 고 , 이 플 라즈 마 하 에서 기판 유지 부 상 의 기판 표면 에 미세 가공 또는 박막 퇴적 등 의 원 하 는 처리 가 행해진다 .