강성 층 ( 52 ) 을 형성 하 기 위해 사용 되 는 조성물 은 제 1 본딩 층 ( 20 ) 과 관련 해 앞서 언급 된 것 과 동일 한 유형 의 조성물 일 것 이 다 . 덧붙여 , 강성 층 ( 52 ) 은 제 1 본딩 층 ( 20 ) 과 관련 하 여 앞서 기재 된 것 과 유사 한 방식 으로 ( 가령 , 리프트 - 오프 층 ( 44 ) 의 속성 이 컨 포 멀 한 경우 , 도 1 과 관련 해 기재 된 것 과 유사 한 두께 로 ) 형성 될 것 이 다 . 강성 층 ( 52 ) 은 ( 리프트 - 오프 층 ( 44 ) 의 속성 이 컨 포 멀 하 지 않 은 경우 ) 약 1 ㎛ 내지 약 35 ㎛, 더 바람직 하 게 는 , 약 1 ㎛ 내지 약 25 ㎛, 더 더욱 바람직 하 게 는 , 약 1 ㎛ 내지 약 15 ㎛ 의 두께 T 3 를 갖 는 것 이 바람직 하 다 .