상기 불소 함유 화합물 은 금속 위 에 부착 된 산화 막 및 / 또는 질화 막 을 금속 으로부터 리프트 - 오프 ( Lift Off ) 시키 는 동시 에 용해 시켜 금속 으로부터 제거 한다 . 불소 함유 화합물 의 함량 은 세정제 총 중량 중 0 . 1 ~ 5 중량 %, 바람직 하 게 는 1 ~ 3 중량 % 이 다 . 만일 불소 함유 화합물 의 함량 이 0 . 1 중량 % 미만 이 면 산화 막 및 / 또는 질화 막 을 금속 으로부터 제거 시키 지 못하 며 , 5 중량 % 를 초과 하 면 금속 의 부식 이 발생 하 게 된다 . 상기 불소 함유 화합물 의 구체 적 인 예 는 불화 수소 , 과불 소산 , 암모늄 플 루오 라이드 , 테트라메틸 암모늄 플 루오 라이드 , 암모늄 비플 루오 라이드 , 디 에틸렌 트리 암모늄 트리플 루오 라이드 및 그 혼합물 로 이루어진 군 으로부터 선택 된 것 을 포함 하 며 , 바람직 하 게 는 불화 수소 이 다 .