인 덱 서 로봇 ( 23 ) 은 , 스테이지 ( 22 ) 에 유지 된 기판 수용기 ( 21 ) 로부터 1 장 의 미처리 의 기판 ( W ) 을 , 예 를 들 어 핸드 ( 23 C ) 를 사용 하 여 반출 한다 . 그리고 , 인 덱 서 로봇 ( 23 ) 은 , X 축 부 방향 으로부터 반송 모듈 ( 3 A ) 에 있 어서 의 반송 기구 ( 31 ) ( 후 술 ) 에 당해 기판 ( W ) 을 전달 한다 .