그리고 본 실시 예 에서 는 인듐 원자 의 함유량 이 대폭 증가 된 인듐 박막 층 에 의해 , 인듐 ( In ) 원자 및 백금 ( Pt ) 원자 상호 혼합 이 이전 실시 예 에 비하 여 극대 화 되 며 , 백금 원자 와 혼합 된 인듐 원자 는 온도 가 증가 함 에 따라 인듐 - 백금 합금 구조 로부터 승화 되 어 , 디 웨 팅 공정 의 후반부 에 는 순수 한 백금 나노 입자 가 형성 된다 .