바람직 하 게 , 웨이퍼 ( 미 도시 ) 는 로드 록 챔버 ( 1105 ) 내 로 유입 되 고 러프 펌프 ( Rp 1 ) 및 진공 펌프 ( Vp 1 ) 를 사용 하 여 진공 조건 들 로 펌핑 될 수 있 다 . 웨이퍼 조작 로봇 ( 미 도시 ) 을 사용 하 여 , 웨이퍼 는 밸브 ( 1110 a ) 를 통해 이송 챔버 ( 1110 ) 에 조작 될 수 있 으며 , 이후 웨이퍼 는 다양 한 증착 작업 들 에 대해 밸브 ( 110 c ) 를 통해 프로세스 모듈 ( 1115 ) 에 위치 될 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 이온 화 게이지 ( 100 ) 는 클러스터 툴 ( 1100 ) 의 챔버 들 ( 1105 , 1110 또는 1115 ) 중 하나 에 위치 될 수 있 다 . 설명 을 위해 , 이온 화 게이지 ( 100 ) 는 프로세스 모듈 ( 1115 ) 에 도시 되 나 , 임의 의 특정 챔버 또는 위치 에 제한 되 지 않 으며 , 챔버 또는 툴 ( 1100 ) 의 외측 에 위치 될 수 있 다 .