도 14 에 나타내 는 측정값 으로부터 , 소수기 를 갖 는 아민 에 침지 된 , 금속 을 포함 하 는 화합물 에 , 순수 ( OH 기 를 포함 하 는 액체 ) 를 공급 하 면 , 용제 A 및 용제 B 를 공급 한 경우 에 비교 하 여 , 접촉각 이 대폭 감소 됨 을 알 수 있 다 . 따라서 , 소수기 를 갖 는 아민 을 기판 ( W ) 에 공급 한 후 에 기판 ( W ) 에 순수 를 공급 하 지 않 는 , 즉 , 순수 가 기판 ( W ) 에 접촉 되 지 않 는 상태 로 보유 됨 으로써 , 기판 ( W ) 에 대한 순수 의 접촉각 의 감소 를 억제 할 수 있 다 .