린스 유체 의 운동량 은 린스 동작 동안 린스 유체 의 속도 에 의해 우선 제어 된다 . 따라서 , 세정 재료 에 의한 기판 으로부터 의 오염물 입자 의 제거 는 린스 유체 속도 의 적합 한 설정 을 통해 제어 될 수 있 다 . 전술 된 바 와 같이 , 린스 유체 속도 는 세정 재료 로 하여금 기판 을 손상 시키 지 않 고 탄성 방식 으로 작용 하 게 하 도록 충분히 높 아야 한다 .