처 리조 ( 1 ) 는 , 그 상부 가 챔버 ( 11 ) 로 둘러싸여 있 다 . 챔버 ( 11 ) 는 , 상부 에 개폐 가능 한 상부 커버 ( 13 ) 를 갖추 고 있 다 . 기립 자세 로 복수 매 의 기판 ( W ) 을 보유 지지 하 는 리프터 ( 15 ) 는 , 챔버 ( 11 ) 의 상부 에 해당 하 는 「 대기 위치 」 와 , 처 리조 ( 1 ) 의 내부 에 해당 하 는 「 처리 위치 」 와 , 처 리조 ( 1 ) 의 상방 으로서 챔버 ( 11 ) 의 내부 에 해당 하 는 「 건조 위치 」 에 걸쳐 이동 가능 하 다 .