본 발명 의 효과 를 손상 시키 지 않 는 범위 에서 , 본 발명 을 적용 하 는 포토 마스크 에 는 부가 적 인 광학 막 이나 기능 막 을 사용 해도 된다 . 예 를 들 어 , 차광막 이 갖 는 광 투과 율 이 , 검사 나 포토 마스크 의 위치 검지 에 지장 을 주 는 문제 를 방지 하 기 위해 , 전 사용 패턴 이외 의 영역 에 차광막 이 형성 되 는 구성 으로 해도 된다 . 또한 , 반투 광막 ( 림 형성 막 ) 이나 , 차광막 의 표면 에 묘 화광 이나 노 광광 의 반사 를 저감 시키 기 위한 반사 방지 층 을 마련 해도 된다 . 반투 광막 ( 림 형성 막 ) 의 이면 에 반사 방지 층 을 마련 해도 된다 .