이 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 캡 형 정전 척 은 챔버 내측 하부 에 설치 된 몸체 와 , 그 몸체 의 상면 에 설치 된 플레이트 와 , 상기 플레이트 의 상면 에 안착 된 웨이퍼 를 정전기력 에 의해 척 킹 시키 는 정전기 가 발생 되 도록 플레이트 의 내부 에 내장 된 내부 전극 으로 이루어진 정전 척 에 있 어서 , 상기 웨이퍼 가 접촉 되 는 플레이트 의 둘레 면 에 는 몸체 의 상면 에 플레이트 를 부착 시키 는 접착제 가 감싸여 지 도록 하향 절곡 된 차단 링 이 형성 되 고 , 상기 플레이트 의 표면 에 는 가공 완료 된 웨이퍼 가 원활 하 게 디 척 킹 되 도록 플레이트 보다 높 은 저항계 수 를 갖 는 분리 층 이 형성 된 것 이 다 .