상기 목적 을 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 에 따른 전자 소자 용 광 산란 박막 은 Si 또는 금속 으로 이루어지 는 나노 입자 를 포함 하 는 탄화물 - 반금속 또는 탄화물 - 금속 으로 구성 되 는 박막 으로 이루어진다 . 바람직 하 게 는 , 상기 나노 입자 는 Si , Ta , W 또는 Mo 로 이루어진다 . 상기 광산 란 박막 은 ( MC ) 1 - xMx ( M 은 Si , Ta , W 또는 Mo 이 고 , 0 < x < 1 ) 로 표시 되 는 물질 로 구성 될 수 있 다 .