도 25 a 를 참조 하 면 , 도 23 d 의 결과물 에 대하 여 예비 전하 저 장막 ( 232 P ) 을 이방성 식각 하 여 , 제 1 홈 ( GR 1 c ) 의 적어도 일부분 을 채우 는 예비 전하 저 장막 ( 232 P ) 의 일부분 인 제 1 전하 저 장막 ( 232 b ) 을 형성 한다 . 제 1 전하 저 장막 ( 232 b ) 은 제 1 홈 ( GR 1 c ) 내 에서 블로킹 유전 막 ( 125 ) 상 에 서로 이격 된 적어도 2 개 가 배치 될 수 있 다 .