도 4 는 , 패턴 ( P 1 ) 의 폭 방향 에 있 어서 의 촬상 화상 ( IM 1 ) 의 화소 값 ( 요컨대 광 의 강도 분포 ) 의 예 를 모식 적 으로 나타내 는 도면 이 다 . 도 4 의 예 에서 는 , 패턴 ( P 1 ) 의 선폭 ( W 1 ) 을 변화 시켰 을 때 의 복수 의 광 의 강도 분포 가 나타나 있 다 . 우측 에 나타나 는 광 의 강도 분포 일수록 , 선폭 ( W 1 ) 은 넓 다 .