또한 , 도 16 에 도시 된 상태 로부터 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 + X 방향 으로 이동 할 때 , 2 개 의 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 는 , 2 D 스케일 ( S 1 ) 의 + Y 측 의 한 쌍 의 부 영역 ( 연장 된 영역 ) 과 대향 한다 . 유사 하 게 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 상기 이동 경로 의 - Y 측 의 단부 에 위치 할 때 에 도 , 동일 한 X 위치 에서 , 2 개 의 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 는 , 2 D 스케일 ( S 1 ) 의 - Y 측 의 한 쌍 의 부 영역 ( 연장 된 영역 ) 과 대향 한다 . 이 들 경우 에 도 역시 , 이전 과 마찬가지 로 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 양 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 의 계측 치 에 기초 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 XY 평면 내 에서 의 위치 를 산출 할 수 있 다 .