이하 에서 설명 하 는 양 스테이지 ( WST , MST ) 를 사용 한 병행 처리 동작 은 , 주변 노광 에 관한 부분 을 제외 하 고 , 전체 적 으로 는 , 예 를 들 어 국제 공개 제 2007 / 0 97379 호 팜플렛 ( 및 이것 에 대응 하 는 미국 특허 출원 공개 제 2008 / 0088843 호 명세서 ) 에 개시 된 병행 처리 동작 과 동일 한 순서 로 실시 된다 .