가열 플레이트 ( 820 ) 는 열 처리 공간 ( 812 ) 에 위치 된다 . 가열 플레이트 ( 820 ) 는 원형 의 판 형상 으로 제공 될 수 있 다 . 가열 플레이트 ( 820 ) 의 상면 은 기판 ( W ) 이 놓이 는 지지 영역 으로 제공 된다 . 가열 플레이트 ( 820 ) 의 상면 에 는 복수 개 의 핀 홀 들 ( 822 ) 이 형성 된다 . 예컨대 , 핀 홀 ( 822 ) 들 은 3 개 로 제공 될 수 있 다 . 각각 의 핀 홀 ( 822 ) 은 가열 플레이트 ( 820 ) 의 원주 방향 을 따라 이격 되게 위치 된다 . 핀 홀 ( 8222 ) 들 은 서로 간 에 동일 간격 으로 이격 되게 위치 된다 . 각각 의 핀 홀 ( 822 ) 에 는 리프트 핀 어셈블리 ( 880 ) 의 리프트 핀 ( 882 ) 이 위치 될 수 있 다 . 리프트 핀 ( 882 ) 은 핀 구동 부 ( 888 ) 에 의해 상하 방향 으로 이동 가능 한다 .