아래 에서 설명 되 는 제 3 실시 형태 에서 는 , 제 1 실시 형태 또는 제 2 실시 형태 에서 설명 된 기능 을 갖 는 임프 린트 장치 ( 100 ) 는 도 10 에 도시 된 것 과 같 은 샷 레이아웃 을 다루 기 위해 사용 된다 . 도 10 은 , 기판 ( 2 ) 에 형성 된 샷 영역 의 샷 레이아웃 을 도시 한다 . 도 10 에 도시 된 샷 레이아웃 에서 는 , 각각 의 샷 영역 에 할당 된 번호 는 샷 영역 의 위치 를 나타내 는 ID 번호 이 다 . 임프 린트 처리 는 ID 번호 의 순서 로 실행 될 필요 가 없 다는 것 에 유의 한다 . 그러나 , 본 실시 형태 에 따른 임프 린트 장치 ( 100 ) 의 초기 설정 에서 , 임프 린트 처리 는 도 10 에 도시 된 샷 영역 의 위치 를 나타내 는 ID 번호 의 순서 로 실행 된다 .