상기 인터페이스 유닛 ( 800 ) 은 상기 이송 유닛 ( 700 ) 과 인접 하 도록 배치 되 며 , 외부 의 이송 장치 로부터 상기 기판 을 전달 받 거나 , 상기 칩 들 이 본 딩 된 기판 을 상기 외부 의 이송 장치 로 전달 한다 . 상기 인터페이스 유닛 ( 800 ) 은 상기 기판 의 로딩 및 언로 딩 을 위한 로딩 포트 및 언로 딩 포트 를 포함 할 수 있 다 .