챔버 ( 90 ) 에 는 이송 장치 가 결합 될 수 있 다 . 이송 장치 는 유리 플레이트 ( 10 ) 의 이송 방향 과 직교 하 는 방향 으로 챔버 ( 90 ) 를 관통 하 는 회전축 ( 22 ) , 회전축 ( 22 ) 에 결합 하 여 회전 하 는 롤러 ( 23 ) , 및 회전축 ( 22 ) 에 구동력 을 제공 하 는 모터 ( 25 ) 를 포함 할 수 있 다 . 모터 ( 25 ) 는 챔버 ( 90 ) 의 외측 일면 에 배치 될 수 있 다 .