프리 베 이크 후 에 행해 지 는 노광 은 , 자외선 노광 장치 에 의해서 행해 지 고 , 포토 마스크 를 개재 하 여 노광 함 으로써 패턴 에 대응 한 부분 의 레지스 트 만 을 감광 시킨다 . 노광 장치 및 그 노광 조사 조건 은 적절히 선택 되 고 , 초고압 수은등 , 고압 수은 램프 , 메탈 할 라이드 램프 , 원자외선 등 의 광원 을 사용 하 여 노광 을 행하 고 , 도막 중 의 감광성 수지 조성물 을 광경 화 시킨다 .