도 23 은 채널 을 형성 하 기 위해 트렌치 상부 에 평평 한 커버 를 구비 한 본 발명 에 따른 장치 의 제조 공정 을 도시 하고 있 다 . 이 는 , 완벽 한 정렬 을 위해 지루 할 수 있 는 , 채널 을 형성 하 기 위해 두 개 의 트렌치 를 연결 해야 할 필요 성 을 제거 할 것 이 다 . 커버 는 투명 할 수 있 으며 현미경 으로 관찰 할 수 있 다 . 이 는 실리콘 , SiGe , SiO 2 , 다양 한 유형 의 유리 또는 Al 2 O 3 를 포함 하 거나 또는 이 들 로 제조 될 수 있 다 .