하지만 , 본 발명 은 도전 층 ( 106 ) 의 식각 공정 과 금속 층 ( 118 ) 의 식각 공정 을 분리 하 여 실시 하 며 , 버퍼 막 ( 114 ) 으로 인하 여 금속 층 ( 118 ) 의 식각 공정 중 에 게이트 절 연막 ( 104 ) 이 노출 되 는 것 을 방지 함 으로써 게이트 식각 공정 중 에 게이트 절 연막 ( 104 ) 이 손상 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .