도 3 을 참조 하 면 , 본 발명 의 따른 노광 장치 ( 300 ) 는 , 노광 광원 ( 310 ) 과 노광 광원 ( 310 ) 으로부터 방출 된 광 을 집광 시키 는 콘덴서 렌즈 ( 320 ) 와 , 콘 텐서 렌즈 ( 320 ) 로 부 터 방출 된 광이 투과 하 는 임의 의 패턴 ( 331 ) 이 형성 된 포토 마스크 ( 330 ) 와 , 콘덴서 렌즈 ( 320 ) 하부 에 배치 되 어 포토 마스크 를 통과 한 광이 투영 되 는 프로 젝 션 렌즈 부 40 ) 와 , 프로 젝 션 렌즈 부 ( 340 ) 에 삽입 되 어 상기 포토 마스크 ( 330 ) 상 에서 회절 된 광 의 성분 을 선택 적 으로 조절 하 는 조절 필터 ( 341 ) 와 , 그리고 조절 필터 에 의해 선택 적 으로 투영 되 는 광이 결상 되 는 웨이퍼 ( 350 ) 를 구비 한다 .