제 1 바디 ( 111 ) 의 상부 및 하부 의 적어도 일부 에 는 완 충부 ( 114 ) 가 구비 된다 . 완 충부 ( 114 ) 는 프로브 핀 ( 20 ) 의 기저 단부 ( 210 ) 에 의한 제 1 바디 ( 111 ) 의 손상 을 방지 하 는 것 으로서 , 폴리머 또는 SU - 8 포토레지스트 로 구비 될 수 있 다 . 이때 , 완 충부 ( 114 ) 는 제 1 바디 ( 111 ) 의 투과율 에 영향 을 끼치 지 않 도록 투명 하 게 제공 될 수 있 다 . 즉 , 제 1 바디 ( 111 ) 과 제 1 마스크 층 ( 113 ) 및 완 충부 ( 114 ) 는 모두 투명 하 게 제공 될 수 있 다 . 완 충부 ( 114 ) 의 구체 적 인 역할 은 후술 하 겠 다 .