또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 제 2 부재 ( 32 ) 의 길이 가 , 제 1 부재 ( 31 ) 로부터 가장 이격 된 처리 위치 의 적재 대 ( 20 ) 의 하면 에서부터 당해 제 1 부재 ( 31 ) 의 미끄럼 이동면 ( 31 b ) 까지 의 거리 보다 크 다 . 바꾸 어 말 하 면 , 제 2 부재 ( 32 ) 가 , 제 1 부재 ( 31 ) 에 지지 된 상태 에서 , 삽입 관 통부 ( 32 a ) 의 상단 이 성막 처리 중 에 적재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 내 에 항상 위치 하 는 길이 를 갖 는다 . 그 때문 에 , 성막 처리 중 에 , 제 2 부재 ( 32 ) 의 상단 이 적재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 으로부터 빠지 는 일 이 없 다 . 따라서 , 제 2 부재 ( 32 ) 가 처리 용기 ( 10 ) 내 로 낙하 하 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 또한 , 제 2 부재 ( 32 ) 와 적재 대 ( 20 ) 의 관통 구멍 ( 20 a ) 의 위치 정렬 이 불 필요 하 게 된다 .