일부 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 하부 전극 ( 151 ) 의 상부 부분 ( 151 u ) 은 도 10 i 에 도시 된 바 와 같이 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 표면 에 수직 인 방향 으로 연장 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에 있 어서 , 상기 하부 전극 ( 151 ) 의 상부 부분 ( 151 u ) 은 도 6 b 에 도시 한 바 와 같이 경사진 측면 , 또는 도 6 c 에 도시 한 바 와 같이 다소간 볼록 한 곡면 인 측면 을 가질 수 있 다 .