여기 서 , 연직 방향 으로 이격 되 어 반송로 ( H 1 ) 를 사이 에 두 고 대향 하 는 1 세트 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 복수 세트 늘어서 도록 설치 된다 . 교정 처리 실 ( 21 ) 내 의 세트 마다 의 롤러 사이 의 이격 거리 , 즉 , 세트 마다 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 [ 예컨대 , 연직 이격 거리 이 며 , 보다 구체 적 으로 는 , 도 1 에 a 로 지시 되 는 바 와 같이 , 후술 하 는 , 세트 마다 의 롤러 ( 31 a ) 와 롤러 ( 31 c ) 사이 의 연직 이격 거리 ] 는 , 반송 방향 ( A 1 ) 을 따라 서서히 짧아지 고 , 교정 처리 실 ( 21 ) 내의 반송로 ( H 1 ) 의 도중 에서 일정 하 게 되 며 , 그대로 세정 처리 실 ( 22 ) 및 건조 처리 실 ( 23 ) 에 있 어서 도 일정 하 게 된다 . 여기 서 , 일정 한 거리 란 , 예컨대 기판 ( W ) 의 두께 이하 의 기판 반송 가능 한 소정 거리 이 다 . 한편 , 반송 방향 ( A 1 ) 의 최상류 ( 상류 단 ) 에 위치 하 는 1 세트 의 반송 롤러 ( 31 A ) 및 가압 롤러 ( 31 B ) 의 이격 거리 는 , 기판 ( W ) 의 휘어짐 량 [ 기판 ( W ) 이 배치 된 평면 과 , 그 평면 에 배치 된 기판 ( W ) 의 상면 과 의 최대 연직 이격 거리 ] 보다 길 어 진다 .