상기 히터 블록 ( 130 ) 은 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내 에서 상기 웨이퍼 상 에 상기 비정질 탄소막 을 안정 적 으로 증착 시키 기 위해 상기 웨이퍼 를 소정 의 온도 로 가열 하 도록 형성 되 어 있 다 . 예컨대 , 복수 개 의 상기 히터 블록 ( 130 ) 은 상기 웨이퍼 ( 170 ) 의 하면 에 접촉 되 어 복수 개 의 웨이퍼 ( 170 ) 를 약 100 ℃ 내지 약 400 ℃ 정도 의 온도 로 가열 시킨다 .