상기 각 실시 형태 에서 는 , 디바이스 제조 시스템 ( DS ) 을 , 도 1 에 나타내 는 배치 , 즉 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 반송 장치 ( 90 ) 를 사이 에 두 고 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) 와 대향 하 는 배치 로 하 여 설명 하 였 지만 , 도 5 에 나 타내 는 배치 여도 된다 . 도 5 에 나타내 는 디바이스 제조 시스템 ( DS ') 의 배치 에서 는 , 반송 장치 ( 90 ) 를 따라 코터 디벨로 퍼 장치 ( CD ) , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 가 배열 되 어 있 다 . 또한 , 도 5 에 나타내 는 바 와 같이 공용 마스크 라이브러리 ( ML ) 를 형성 하 여 , 그 곳 으로부터 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 마스크 ( M ) 를 공급 해도 된다 . 이렇게 함 으로써 2 대 의 노광 장치 를 설치 함 에 따른 디바이스 제조 시스템 ( DS ') 및 노광 시스템 ( SS ) 의 대형 화 를 회피 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 디바이스 제조 시스템 의 설치 장소 등 에 의해 주 노광 장치 , 종 노광 장치 , 반송 장치 , 코터 디벨로 퍼 장치 및 기판 스톡 실 의 배치 를 자유 롭 게 설계 할 수 있 다 .