반송 용 로봇 ( 17 ) 의 웨이퍼 ( W ) 나 서 셉 터 ( S ) 가 재치 되 는 부분 에 는 , 가열 수단 으로서 히터 또는 램프 를 설치 할 수 있 다 . 이 로써 , 성막 실 ( 2 ) 또는 클리닝 실 ( 5 ) 로부터 꺼내 진 직후 의 고온 의 웨이퍼 ( W ) 또는 서 셉 터 ( S ) 가 재치 되 어도 , 급격 한 온도 변화 를 발생 시키 지 않 도록 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 서 셉 터 ( S ) 나 웨이퍼 ( W ) 가 배치 되 는 부분 에 , 전열선 을 가요 성 의 내열 수지 로 피복 한 테이프 형상 의 구조 를 갖 는 히터 를 설치 하 고 , 전열선 에 전류 를 흐르 게 함 으로써 발열 시켜 , 웨이퍼 ( W ) 나 서 셉 터 ( S ) 가 배치 되 는 부분 의 온도 를 조절 할 수 있 도록 할 수 있 다 . 또한 , 반송 용 로봇 ( 17 ) 에 가열 수단 을 설치 하 지 않 고 , 반 송실 ( 4 ) 전체 를 외측 으로부터 가열 할 수 있 는 구조 로 해도 된다 .