본 발명 은 , 처리 액 에 의해 기판 을 처리 한 후 , 용제 증기 에 의해 기판 을 건조 하 는 기판 처리 방법 으로서 , 상기 방법 은 이하 의 스텝 을 포함 한다 : 처 리조 에 저장 된 , 약액 을 포함 한 처리 액 에 기판 을 침지 시켜 약액 처리 를 행하 는 스텝 ; 처 리조 에 저장 된 순수 에 기판 을 침지 시켜 순수 세정 을 행하 는 스텝 ; 처 리조 의 주위 를 둘러싼 챔버 내 를 , 챔버 에 연통 된 배기관 을 통해 소정 압력 까지 감압 하 는 스텝 ; 챔버 내 에 용제 증기 를 공급 하 는 스텝 ; 기판 을 처 리조 의 상방 으로 이동 시키 는 스텝 ; 배기관 을 통해 챔버 내 의 감압 을 재개 하 는 동시 에 , 배기관 을 유통 하 는 기체 에 혼합 수단 에 의해 순수 를 혼합 시키 는 스텝 ; 상기 혼합 수단 의 하류 ( 下流 ) 에서 기 액 분리 수단 을 통해 기체 와 액체 로 분리 하 여 배출 시키 는 스텝 .