상기 하부 전극 ( 211 , 213 , 215 ) 을 형성 하 는 것 은 스퍼터링 ( sputtering ) 법 및 증발 ( evaporation ) 법 과 같 은 기상 증착 ( vapor phase deposition ) 법 , 이온 빔 증착 ( ion beam deopsition ) 법 , 전자 빔 증착 ( electron beam deposition ) 법 또는 레이저 어 블레 이 션 ( laser ablation ) 법 을 사용 하 여 수행 할 수 있 다 .