이 광학 모니터 장치 ( 100 ) 는 , 서 셉 터 ( 12 ) 상 에 배치 되 는 반도체 웨이퍼 ( W ) 의 엣지 보다 도 반경 방향 내측 에 있 으며 , 또한 동축관 ( 66 ) 보다 도 반경 방향 외측 의 위치 에 설치 된다 . 광학 모니터 장치 ( 100 ) 는 , 커버 플레이트 ( 72 ) 위 에 배치 되 는 모니터 헤드 ( 102 ) 와 , 모니터링 용 의 광 도파 로 ( 104 ) 와 , 광 파이버 ( 106 ) 를 통해 모니터 헤드 ( 102 ) 와 광학 적 으로 결합 되 는 모니터 본체 ( 108 ) 를 갖 고 있 다 . 모니터링 용 의 광 도파 로 ( 104 ) 는 , 모니터 헤드 ( 102 ) 로부터 연직 아래쪽 으로 커버 플레이트 ( 72 ) , 유전체 판 ( 56 ) , 슬롯 판 ( 54 ) 및 유전체 창 ( 52 ) 을 종단 하 여 형성 된다 .