상기 제 1 박막 ( 10 ) 상 에 아연 ( Zn ) 및 산소 ( O ) 를 포함 하 는 상기 제 2 박막 ( 20 ) 이 형성 될 수 있 다 ( S 300 ) . 상기 제 2 박막 ( 20 ) 을 형성 하 는 단계 는 , 상기 제 1 박막 ( 10 ) 과 마찬가지 로 , 원자 층 증착 공정 에 의해 수행 될 수 있 다 . 구체 적 으로 , 상기 제 2 박막 ( 20 ) 을 형성 하 는 단계 는 , 상기 기판 ( 3 ) 상 에 아연 ( Zn ) 을 포함 하 는 아연 전구체 를 제공 하 는 단계 , 및 상기 기판 ( 3 ) 상 에 상기 산소 전구체 를 제공 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .