이하 , 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 높이 분포 를 취득 하 는 수단 의 일례 에 대해서 , 설명 한다 . 도 16 에 도시 하 는 바 와 같이 , 기판 처리 시스템 ( 200 ) 은 , 제 어 장치 ( 5 ) 에 전기 적 으로 접속 되 고 , 또 한 리 테 이너 링 ( 40 ) 의 높이 분포 를 직접 적 또는 간접 적 으로 측정 하 는 측정 장치 ( 300 ) 를 구비 하 고 있 다 .