도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 는 스탬프 척 ( 110 ) 의 상방 에 위치 하 면서 스탬프 척 ( 110 ) 에 장착 되 는 탄성 중합체 스탬프 의 정렬 위치 를 파악 한다 . 위치 정렬 감시 부 ( 160 ) 는 탄성 중합체 스탬프 의 위치 를 파악 하 는 CCD 카메라 ( 161 , 162 ) 와 , CCD 카메라 ( 161 , 162 ) 를 지지 하 는 CCD 카메라 지지 부재 ( 163 , 164 ) 를 구비 한다 . CCD 카메라 ( 161 , 162 ) 는 단층 공정 보다 2 층 이상 의 다층 공정 으로 기판 을 패 터닝 하 는 경우 에 정렬 마크 ( mark ) 를 중심 으로 위치 를 보다 용이 하 게 정렬 할 수 있 다 .