한편 , 상술 한 본 발명 에 따른 세정 챔버 ( 100 ) 는 카세트 의 적재 및 보관 을 위한 스토커 ( stocker ) 그리고 카세트 의 외형 적 인 이상 유무 로써 기울어짐 을 비롯 한 서포트 바 ( 도 1 의 34 참조 ) 의 피치 에 대한 변동 여부 를 검사 하 는 검사 장치 와 연동 되 는 이른바 인라인 ( in line ) 시스템 으로 구축 될 수 있 는데 , 첨부 된 도 6 은 본 발명 에 따른 세정 챔버 ( 100 ) 를 포함 하 는 카세트 검사 및 세정 시스템 에 대한 블록 도 이 다 .