한편 , 상기 주 전자석 ( 2 ) 은 반응 조 ( 1 ) 의 플 라즈 마 반응 실 ( 11 ) 내 에서 전자 를 가속 시키 기 위한 자장 을 생성 시켜 주 는 것 을 특징 으로 하 고 , 상기 부 전자석 ( 3 ) 은 편광 필름 ( 8 ) 근처 의 자장 모양 을 바꾸 어 주 어 기판 위 의 플 라즈 마 균 일도 를 개선 하 고 전자 의 감금 율 을 높여 주 는 것 을 특징 으로 한다 .