도 2 a 내지 도 2 e 는 본 발명 의 제 1 실시 예 를 개략 적 으로 도시 한 단면도 이 다 . 도면 을 참조 하 면 , 본 실시 예 에서 는 차광막 ( 2 ) 및 반사 방지 막 ( 3 ) 을 탄 탈륨 계열 의 물질 로 적층 하 고 하드 마스크 막 ( 4 ) 을 크롬 계열 의 물질 로 적층 한 다음 종래 의 블랭크 마스크 보다 얇 은 두께 의 포토레지스트 ( 5 a ) 가 코팅 된 블랭크 마스크 를 사용 하 여 포토 마스크 를 제조 하 는 방법 에 대하 여 설명 한다 . 이하 도면 을 참조 하 여 상세히 설명 한 다 .