연마 용 조성물 은 , 임의 의 성분 으로서 계면 활성제 를 포함 할 수 있 다 . 계면 활성제 는 , 연마 슬러리 또는 그 농축 액 의 분산 안정 성 향상 에 기여 할 수 있 다 . 계면 활성제 로서 는 , 음 이온 성 또는 비 이온 성 의 것 을 바람직 하 게 채용 할 수 있 다 . 저기 포성 이나 pH 조정 의 용이성 의 관점 에서 , 비 이온 성 계면 활성제 가 보다 바람직 하 다 . 예 를 들 어 , 폴리에틸렌글리콜 , 폴리프로필렌 글리콜 , 폴리 테트라 메틸렌 글리콜 등 의 옥시 알킬렌 중합체 ; 폴리 옥시 에틸렌 알킬 에 테르 , 폴리 옥시 에틸렌 알킬 페닐에테르 , 폴리 옥시 에틸렌 알 킬 아민 , 폴리 옥시 에틸렌 지방산 에스테르 , 폴리 옥시 에틸렌 글리세 릴 에 테르 지방산 에스테르 , 폴리 옥시 에 틸렌 소르 비탄 지방산 에스테르 등 의 폴리 옥시 알킬렌 부가물 ; 복수 종 의 옥시 알킬렌 의 공중 합체 ( 예 를 들 어 , 디 블록 형 공중 합체 , 트리 블록 형 공중 합체 , 랜덤 형 공중 합체 , 교호 공중 합체 ) ; 등 의 비 이온 성 계면 활성제 를 들 수 있 다 . 이 들 중 폴리 옥시 에틸렌 알킬 에 테르 가 보다 바람직 하 다 . 계면 활성제 는 , 1 종 을 단독 으로 또는 2 종 이상 을 조합 하 여 사용 할 수 있 다 .