크세논 플래시 램프 의 방사 분광 분포 는 자 외역 부터 근 적 외역 이 며 , 종래 의 할로겐 램프 보다 파장 이 짧 고 , 실리콘 의 반도체 웨이퍼 의 기초 흡수대 와 거의 일치 하 고 있 다 . 따라서 , 크세논 플래시 램프 로부터 반도체 웨이퍼 에 플래시 광 을 조사 했 을 때 에 는 , 투과광 이 적 고 반도체 웨이퍼 를 급속히 승 온 시키 는 것 이 가능 하 다 . 또한 , 수밀 리초 이하 의 극히 단시간 의 플래시 광 조사 이 면 , 반도체 웨이퍼 의 표면 근방 만 을 선택 적 으로 승 온 시킬 수 있 는 것 도 판명 되 어 있 다 . 이 때문 에 , 크세논 플래시 램프 에 의한 극히 단시간 의 승 온 이 면 , 불순물 을 깊 게 확산 시키 지 않 고 , 불순물 활성 화 만 을 실행 할 수 있 는 것 이 다 .