도 1 을 참조 하 면 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 플 라즈 마 식각 장치 ( 10 ) 는 제 1 식각 모듈 ( 21 ) , 제 2 식각 모듈 ( 22 ) 및 이송 모듈 ( 35 ) 을 포함 한다 . 본 발명 의 실시 예 들 에 있 어서 , 기판 은 박막 이 형성 된 제 1 면 및 제 1 면 에 대향 하 는 제 2 면 을 갖 는다 . 또한 , 기판 은 제 1 면 에 형성 된 박막 을 갖 는 중심부 및 상기 중 심부 를 감싸 는 주변 부 를 포함 한다 .