또한 , 상기 베이스 부 ( 110 ) 는 물질 의 분리 에 이용 되 는 막 ( membrane ) 이 형성 되 어 있 는 막 층 ( 112 ) 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 막 층 ( 112 ) 은 공 압 밸브 를 위한 미세 박막층 으로 이루어질 수 있 는 것 이 다 . 상기 막 층 ( 112 ) 은 복수 개 의 막 으로 이루어진 층 이 될 수 도 있 으며 , 필요 에 따라서 는 사용 되 지 않 을 수 도 있 다 .