도 5 a 는 본 발명 의 다른 실시 형태 에 따른 오버레이 타 겟 ( 500 ) 의 상면 도 이 다 . 위 에서 설명 한 오버레이 타 겟 처럼 , 다층 오버레이 타 겟 ( 500 ) 은 3 개 이상 의 타 겟 구조물 을 포함 하 고 , 각 타 겟 구조물 은 2 개 이상 의 패턴 요소 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 도 5 a 에 도시 된 것 처럼 , 오버레이 타 겟 ( 500 ) 은 6 개 의 타 겟 구조물 을 포함 하 고 각 타 겟 구조물 은 4 개 의 패턴 요소 를 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 도 5 a 에 도시 된 것 처럼 , 제 1 구조물 은 패턴 요소 ( 502 a , 502 b , 502 c , 502 d ) 를 포함 하 고 , 제 2 구조물 은 패턴 요소 ( 504 a , 504 b , 504 c , 504 d ) 를 포함 하 는 등 으로 될 수 있 다 . 역시 , 일반 적 으로 말 해서 , 타 겟 ( 500 ) 의 주어진 구조물 ( 즉 , 제 1 , 제 2 , 제 3 , ..., 또는 제 N 구조물 ) 은 2 개 의 패턴 요소 로부터 제 N 패턴 요소 를 포함 한 N 개 까지 의 패턴 요소 를 포함 할 수 있 다 .