제 1 , 제 2 마스크 ( M 1 , M 2 ) 의 각각 에 패턴 화 된 노광 광 ( EL ) 의 각각 은 , 제 1 , 제 2 광학계 ( 31 , 32 ) 에 의해 중간 광학계 ( 30 ) 로 유도 된다 . 제 1 마스크 ( M 1 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 과 제 2 마스크 ( M 2 ) 로부터 의 노광 광 ( EL ) 은 중간 광학계 ( 30 ) 로 반사 된 후 , 종단 광학 소자 ( FL ) 를 포함 하 는 제 3 광학계 ( 33 ) 를 통하 여 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 및 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 의 각각 에 조사 된다 .