또한 , 챔버 ( 6 ) 의 내벽 상부 에 는 열처리 공간 ( 65 ) 에 처리 가스 를 공급 하 는 가스 공급 구멍 ( 81 ) 이 형성 되 어 있 다 . 가스 공급 구멍 ( 81 ) 은 , 오 목부 ( 62 ) 보다 상측 위치 에 형성 되 어 있 으며 , 반사 링 ( 68 ) 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 가스 공급 구멍 ( 81 ) 은 챔버 ( 6 ) 의 측벽 내부 에 원환 형 으로 형성 된 완충 공간 ( 82 ) 을 통해 가스 공급 관 ( 83 ) 에 연통 접속 되 어 있 다 . 가스 공급 관 ( 83 ) 은 처리 가스 공급원 ( 85 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 가스 공급 관 ( 83 ) 의 경로 도중 에 는 밸브 ( 84 ) 가 끼워져 있 다 . 밸브 ( 84 ) 가 개방 되 면 , 처리 가스 공급원 ( 85 ) 으로부터 완충 공간 ( 82 ) 에 처리 가스 가 송 급 된다 . 완충 공간 ( 82 ) 에 유입 된 처리 가스 는 , 가스 공급 구멍 ( 81 ) 보다 유체 저항 이 작 은 완충 공간 ( 82 ) 내 를 퍼지 듯이 흘러 가스 공급 구멍 ( 81 ) 으로부터 열처리 공간 ( 65 ) 내 로 공급 된다 . 처리 가스 로서 는 , 예 를 들 면 질소 ( N 2 ) 등 의 불활성 가스 , 또는 , 수소 ( H 2 ) , 암모니아 ( NH 3 ) 등 의 반응 성 가스 , 혹은 그 들 을 혼합 한 혼합 가스 를 이용 할 수 있 다 ( 본 실시 형태 에서 는 질소 가스 ) . 혹은 , 처리 가스 로서 헬륨 ( He ) 이나 아르곤 ( Ar ) 등 의 냉각 가스 를 가스 공급 구멍 ( 81 ) 으로부터 챔버 ( 6 ) 내 에 공급 할 수 도 있 다 .