이러 한 본 발명 히터 써 포트 의 T . C 라인 ( 160 ) 의 구성 역시 전원 라인 ( 150 ) 과 마찬가지 로 세라믹 으로 커버 되 어 챔버 내 가스 분위기 의 고열로 부터 손상 됨 을 방지 하 게 되 어 T . C 라인 ( 160 ) 을 통한 히터 플레이트 ( 100 ) 의 제어 가 화학 적 손상 으로 인한 고장 없이 안정 적 으로 이루어지 게 된다 .