이미지 획득 단계 ( S 3 ) 는 전자 빔 조사 단계 ( S 2 ) 에서 프로 빙 패드 ( 110 ) 에 전자 빔 ( 1 ) 이 조사 되 는 테스트 패턴 ( 100 ) 에 대한 이미지 를 획득 함 으로써 이미지 를 통해 메탈 브리지 판단 단계 ( S 4 ) 를 실시 하 도록 한다 . 즉 , 전자 빔 ( 1 ) 이 조사 되 는 프로 빙 패드 ( 110 ) 에 충돌 을 일으켜서 발생 되 는 2 차 전자 의 검출 신호 를 비디오 신호 로 변화 하 여 변환 된 비디오 신호 로부터 디스플레이 부 에 이미지 로서 표시 함 으로써 표시 된 이미지 를 통해 테스트 패턴 ( 100 ) 의 메탈 라인 ( 130 , 140 ) 간 에 명도 차이 가 발생 하 는지 여부 를 판단 하 게 된다 .