지연 된 S - D 피 처리 웨이퍼 가 식별 되 었 다면 , 업데이트 된 웨이퍼 데이터 가 지연 된 피 처리 웨이퍼 에 대해 결정 될 수 있 다 . 제 1 지연 기간 후 에 , 제 1 평가 서브시스템 내 의 하나 이상 의 S - D 평가 요소 에 대해 업데이트 된 작동 상태 데이터 가 결정 될 수 있 고 , 하나 이상 의 신규 가용 S - D 평가 요소 가 업데이트 된 작동 상태 데이터 를 이용 하 여 식별 될 수 있 다 . 신규 가용 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 있 다면 , 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 는 하나 이상 의 평가 서브시스템 에 연결 된 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 하나 이상 의 평가 서브시스템 내 의 제 1 신규 가용 S - D 평가 요소 로 이송 될 수 있 다 . 제 1 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 없 다면 , 제 1 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 는 제 1 처리 서브시스템 에 연결 된 하나 이상 의 S - D 이송 서브시스템 을 이용 하 여 제 2 시간 동안 지연 될 수 있 다 . 제 2 시간 동안 지연 된 후 에 지연 된 피 처리 S - D 웨이퍼 는 후처리 될 수 있 고 , 후처리 는 처리 정지 , 처리 일 시정지 , 하나 이상 의 웨이퍼 를 재 평가 , 하나 이상 의 웨이퍼 를 재 측정 , 하나 이상 의 웨이퍼 를 재검사 , 하 나 이상 의 웨이퍼 를 재 공정 , 하나 이상 의 웨이퍼 를 보관 , 하나 이상 의 웨이퍼 를 세정 , 하나 이상 의 웨이퍼 를 폐기 하 는 것 , 또는 이 들 의 임의 의 조합 을 포함 할 수 있 다 . 하나 이상 의 웨이퍼 는 S - D 이송 서브시스템 내 의 이송 요소 를 이용 하 여 소정 의 시간 동안 지연 될 수 있 고 , 이송 요소 는 2 개 이상 의 웨이퍼 를 지지 하 기 위한 수단 을 포함 할 수 있 다 .