이하 , 도면 을 참조 해서 본 발명 의 실시 형태 에 대하 여 설명 한다 . 여기 서 는 광학 소자 로서 광 을 반사 시키 는 반사 미러 에 대하 여 설명 한다 . 도 1 에 있 어서 , 반사 미러 ( 1 ) 는 주로 유리판 등 의 평판 형상 의 투명 기판 ( 10 ) 으로 구성 된다 . 투명 기판 ( 10 ) 의 한 면 ( 피 성 막 면 ( 10 S ) ) 에 는 광학 막 으로서 반사 다층막 ( 12 ) 이 형성 되 어 있 다 . 피 성 막 면 ( 10 S ) 은 반사 다층막 ( 12 ) 의 광학 적 정밀도 를 보증 한다는 관점 에서 엄 격하 게 평면 성 을 유지 하 고 있 을 필요 가 있 다 . 이 때문 에 피 성 막 면 ( 10 S ) 은 미리 경면 연마 가 행해져 있 다 . 그리고 , 투명 기판 ( 10 ) 의 피 성 막 면 ( 10 S ) 의 반대 의 면 은 슬라이딩 면 ( 13 ) 으로 되 어 있 다 . 여기 서 는 입도 가 거친 연마제 에 의해 슬라이딩 면 이 형성 되 어 있 는 것 으로 한다 .