다음 으로 , 인출 스테이지 ( 120 d ) 의 웨이퍼 리프터 ( 140 ) 를 상승 시켜 공정 이 완료 된 웨이퍼 를 승강 시킨 후 , 트랜스퍼 암 ( 332 ) 을 인출 스테이지 ( 120 d ) 까지 전진 시킨 다음 , 웨이퍼 리프트 ( 140 ) 를 하강 시켜 트랜스퍼 암 ( 332 ) 에 웨이퍼 를 안착 시킨 상태 에서 트랜스퍼 암 ( 332 ) 을 후진 시켜 인출 스테이지 ( 120 d ) 로부터 최초 웨이퍼 를 인출 시킨다 . ( S 202 )