즉 , 제 어부 ( 6 ) 는 , 포크 ( 3 A , 3 B ) 가 웨이퍼 ( W ) 를 수취 하 여 후퇴 했 을 때 의 검출 값 에 기초 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 포크 ( 3 A , 3 B ) 로부터 비어져 나옴 의 유무 또는 웨이퍼 ( W ) 의 깨 짐 유무 를 판정 하 는 것 이 다 . 이 에 따라 , 매회 웨이퍼 의 중심 을 산출 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 의 이상 을 판정 할 수 있 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 의 밀려나 옴 또는 파손 을 바로 파악 할 수 있 다 .