본 발명 의 수차 측정 장치 및 방법 에서 는 피검 광학계 로서 의 결상 광학계 에 , 수차 의 측정 에 사용 되 는 측 정광 및 수차 의 측정 에 사용 되 지 않 는 배 경광 을 제공 한다 . 구체 적 으로 는 , 예 를 들 면 , 결상 광학계 의 물체 면 에서 공간 적 으로 분리 된 측 정광 과 배 경광 을 결상 광학계 에 공급 한다 . 결상 광학계 를 통과 한 측 정광 과 배 경광 은 분리 되 고 , 분리 된 측 정광 에 기초 해서 결상 광학계 의 수차 가 측정 된다 .