정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 은 , 산화 알루미늄 - 탄화 탄탈럼 ( Al 2 O 3 - Ta 4 C 5 ) 도전 성 복합 소 결체 , 산화 알루미늄 - 텅스텐 ( Al 2 O 3 - W ) 도전 성 복합 소 결체 , 산화 알루미늄 - 탄화 규소 ( Al 2 O 3 - SiC ) 도전 성 복합 소 결체 , 질화 알루미늄 - 텅스텐 ( AlN - W ) 도전 성 복합 소 결체 , 질화 알루미늄 - 탄탈럼 ( AlN - Ta ) 도전 성 복합 소 결체 및 산화 이트륨 - 몰리브데넘 ( Y 2 O 3 - Mo ) 도전 성 복합 소 결체 등 의 도전 성 세라믹스 , 혹은 텅스텐 ( W ) , 탄탈럼 ( Ta ) , 몰리브데넘 ( Mo ) 등 의 고 융점 금속 에 의하 여 형성 되 는 것 이 바람직 하 다 .