상기 각종 현상 방법 이 현상 장치 의 현상 노즐 로부터 현상액 을 레지스 트 막 을 향해서 토출 하 는 공정 을 포함 하 는 경우 토출 되 는 현상액 의 토출 압 ( 토출 되 는 현상액 의 단위 면적 당 유속 ) 은 바람직 하 게 는 2 mL / sec / ㎟ 이하 , 보다 바람직 하 게 는 1 . 5 mL / sec / ㎟ 이하 , 더욱 바람직 하 게 는 1 mL / sec / ㎟ 이하 이 다 . 유속 의 하한 은 특별히 없 지만 스루풋 ( throughput ) 을 고려 하 면 0 . 2 mL / sec / ㎟ 이상 이 바람직 하 다 .