상기 기술 적 과제 를 달성 하 기 위하 여 , 본 발명 은 트렌치 , 접지 라인 및 일정 부분 의 개방 부 를 갖 는 신호 라인 이 형성 된 기판 ; 전 극판 및 상기 개방 부 를 연결 할 수 있 는 접촉 수단 을 구비 하 고 상기 기판 과 일정 간격 이격 되 어 있 으며 상기 트렌치 에 삽입 될 수 있 는 깊 은 주름 이 형성 된 이동판 부 ; 및 상기 이동판 부를 지지 하 는 지 지부 ; 를 포함 하 는 미세 전자 기계 적 구조 ( Micro - electro Mechanical Systems ; MEMS ) 스위치 를 제공 한다 .