상술 한 바 와 같이 게이트 포토 공정 시 다이폴 라 X 조명계 를 사용 하 여 광원 을 조사 하 고 레티 클 과 웨이퍼 를 일 방향 으로 90 ° 회전 시켜 다이폴 라 Y 조명계 를 사용 하 였을 경우 와 동일 한 공정 으로 변경 함 으로써 , 노광 렌즈 의 가열 없이 노광 공정 을 실시 할 수 있 다 . 이 로 인하 여 노광 렌즈 의 가열 에 의한 불량 패턴 의 발생 을 방지 할 수 있 다 .