여기 서 , 터보 펌프 ( 10 ) 의 백업 기능 이 란 배기구 근방 의 압력 을 터보 펌프 ( 10 ) 의 압축률 이 견디 는 한도 내 에서 ( 대체로 5 Torr . 정도 ) 유지 하 는 것 이 다 . 이 는 배기 구 근방 의 압력 을 일단 보조 펌프 ( 50 ) 를 작동 시켜 임계 압력 이하 로 낮추 어 놓 고 배 기계 를 개폐 밸브 ( 40 ) 를 닫 아 백업 펌프 ( 10 ) 와 차단 한 후 임계 압력 이하 로 유지 시킬 수 만 있 다면 지속 적 인 펌핑 은 필요 하 지 않 음 을 의미 한다 .