메타 크레졸 : 파라 크레졸 의 중량 비 가 4 : 6 인 노볼락 수지 ( 분자량 : 4 , 325 ) 20 g , 아지드 계 감광성 화합물 로 2 , 3 , 4 - 트리 하이드 록 시 벤조페논 - 1 , 2 - 나프 토 퀴논 디 아지드 - 5 - 설 포 네이트 와 2 , 3 , 4 , 4 '- 테트라 하이드 록 시 벤조페논 - 1 , 2 - 나프 토 퀴논 디 아지드 - 5 - 설 포 네이트 를 50 / 50 중량 부 로 혼합 하 여 4 g , 유동 성 향상 제 로 1 -( 2 - 하이드 록 시에 틸 ) - 2 - 피 롤리 돈 2 . 8 g , 감도 증진 제 로 4 , 4 -[ 1 -[ 4 -[ 1 -( 1 , 4 - 하이드 록 시 페닐 ) - 1 - 메틸 에 틸 ] 페닐 ] 에 틸 리덴 ] 비스 페놀 2 . 8 g , 및 유기 용매 로 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트 ( PGMEA ) 60 g 을 균일 하 게 혼합 하 여 포토레지스트 조성물 을 제조 하 였 다 .