도 2 를 참조 하 여 , 본 실시 예 에 따른 증발원 ( 10 ) 의 전체 구성 에 대해 설명 한다 . 증발원 ( 10 ) 은 , 기판 ( 40 ) 에 증착 시키 는 물질 의 재료 를 수용 하 는 도가니 ( 10 X ) 와 , 도가니 ( 10 X ) 를 둘러싸 도록 설치 되 어 , 도가니 ( 10 X ) 를 가열 하 는 가열 체 ( 10 Y ) 를 구비 하 고 있 다 . 한편 , 가열 체 ( 10 Y ) 를 둘러싸 도록 설치 되 어 , 열 을 차단 하 는 차 열 구 조체 ( 리플렉터 ) 가 구비 되 는 경우 도 있 다 . 도가니 ( 10 X ) 를 가열 하 는 방식 은 각종 구성 이 채용 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 통전 가열 방식 이 채용 되 는 경우 에 는 , 가열 체 ( 10 Y ) 는 , 통전 되 는 와이어 에 상당 한다 . 또한 , 고주파 유도 가열 방식 이 채용 되 는 경우 에 는 , 가열 체 ( 10 Y ) 는 가열 코일 에 상당 한다 .