한편 , 도 14 에 일점쇄선 으로 도시 되 는 광량 과 같이 , " 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 웨이퍼 W 의 중심 의 편심 량 이 허용 범위 밖 인 경우 ( 도 2 의 스텝 9 의 "" 아니 오 "" 참조 ) 는 ", 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 센터 링 동작 의 반복수 를 나타내 는 N 에 1 을 가산 한다 ( 도 3 의 스텝 11 참조 ) . 센터 링 동작 은 , 상술 한 스텝 6 에 의해 표시 된 동작 이 며 , N 의 초기 값 은 0 이 다 . 이어서 , 동작 제 어부 ( 75 ) 는 , 스텝 11 에서 얻 어 진 N 을 , 소정 의 반복수 NA 와 비교 한다 ( 도 3 의 스텝 12 ) .