도 6 및 도 7 을 참조 하 면 , 헤이즈 가 발생 한 영역 을 파티클 카운터 로 분석 한 결과 흰색 으로 나타났 다 . 일반 적 인 급속 열처리 ( 도 1 참조 ) 에 의해 발생 한 이러 한 헤이즈 는 웨이퍼 표면 으로부터 10 ㎛ 까지 연마 한 경우 에 는 육안 으로 관찰 되 지 않 을 뿐 만 아니 라 파티클 카운터 로 도 관찰 되 지 않 는 것 으로 나타났 다 .