폴리머 의 중량 평균 분자량 을 3200 ∼ 18500 의 범위 에서 변화 시킨 실시 예 2 , 3 , 4 , 5 에서 는 , 텅스텐 에칭 속도 , 텅스텐 연마 속도 , 및 산화 규소 연마 속도 가 양호 했 다 . 한편 , 20000 을 초과 하 는 중량 평균 분자량 의 폴리머 를 사용 한 비 교예 2 , 3 , 4 에서 는 , 텅스텐 에칭 속도 가 6 . 2 ∼ 8 . 8 nm / min 으로 양호 하 지 않 았 다 . 분자량 이 큰 것 에 의해 , 양 이온 성 말 단기 의 기여 가 저하 된 것 이 원인 인 것 으로 여겨 지 며 , 어느 정도 작 은 분자량 범위 가 필요 한 것 을 알 수 있 다 .