또 , 실시 형태 에서 는 , 클린 에어 공급원 으로부터 공급 되 는 에어 를 1 대 의 히터 ( 32 ) 로 가열 하 고 있 지만 , 물론 , 복수 대 의 히터 ( 32 ) 를 이용 해도 된다 . 이 경우 , 각 히터 ( 32 ) 를 분산 해 배치 하 고 , 각각 의 히터 ( 32 ) 로 가열 한 가열 에어 를 분출 노즐 ( 20 ) 에 안내 하 도록 내부 배관 ( 31 ) 등 을 구성 하 도록 해도 된다 .