이동 중 인 상기 촬영 대상물 을 촬영 한 영상 들 로부터 상기 촬영 대상물 의 이상 여부 를 검출 할 수 있 다 . 상기 촬영 대상물 은 상기 챔버 에 상기 기판 을 반 출입 하 도록 기판 을 이동 시키 는 반송 로봇 일 수 있 다 . 상기 촬영 대상물 은 상기 기판 에 액 을 공급 하 는 공정 위치 와 액 공급 이 완료 된 후 대기 하 는 대기 위치 간 에 이동 하 는 노즐 일 수 있 다 . 상기 노즐 은 상기 공정 위치 에서 상기 기판 상 에 상기 액 을 공급 하 고 , 상기 카메라 는 상기 액 의 토출 상태 를 촬영 하 여 상기 토출 상태 의 이상 여부 를 더 검출 할 수 있 다 . 상기 카메라 는 상기 기판 상 에 공급 된 액 막 을 촬영 하 여 상기 액 막 상태 를 더 검출 할 수 있 다 . 상기 액 은 포토레지스트 를 포함 할 수 있 다 .