본 발명 에 따른 상기 판단 모듈 ( 600 ) 듈은 상기 결함 정보 를 통해 상기 도전 성 패턴 의 결함 보수 를 위해 소요 되 는 예상 보수 시간 을 도출 하 고 , 해당 시간 동안 상기 도전 성 패턴 ( P 1 ) 이 상기 보수 영역 ( B , C ) 내 에 위치 하 기 위한 속도 인 결함 보수 속도 를 산출 하 여 본 공정 에서 결함 의 보수 가능 여부 를 판단 한다 .