준비 공정 후 , 에칭 공정 이 실시 된다 . 또한 , 에칭 공정 , 및 후 에 실시 되 는 회수 공정 , 세정 공정 , 마스크 제거 공정 및 건조 공정 은 예 를 들 어 , 도시 하 지 않 은 소형 수용 실 내 에서 실시 된다 . 수용 실은 예 를 들 어 , 이른바 글로브 박스 ( 소형 의 드래프트 챔버 ) 이 며 , 외기 와 차단 된 상황 하 에서 작업 할 수 있 도록 , 내부 에 손 만 을 넣 을 수 있 도록 설계 된 밀폐 용기 이 다 .