도 6 을 참조 하 면 , 히터 ( 300 ) 는 면광원 장치 나 반도체 기판 을 가열 하 기 위한 장치 로서 , 히팅 플레이트 ( 310 ) , 발열체 ( 320 ) 및 커넥터 ( 130 ) 를 포함 한다 . 본 실시 예 에 따른 히터 ( 300 ) 는 도 2 및 도 3 에 도시 한 바 와 동일 한 커넥터 ( 130 ) 를 포함 한다 . 따라서 도 2 와 동일 한 참조 부호 에 대한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .