혹은 , 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) 및 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 의 양방 이 상기 위치 에 배치 되 어 있 지 않 아도 된다 . 단 , 이 경우 에 는 , 웨이퍼 에 대하 여 어떠 한 계측 을 실시 하 는 계측 장치 를 상기 얼라이먼트 계 ( AL 1 , AL 21 ∼ AL 24 ) 및 다점 AF 계 ( 90 a , 90 b ) 와 동일 한 위치 에 배치 한다 .