도 2 를 참조 하 면 , 기판 ( 21 ) 상 에 하드 마스크 막 ( 25 ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 기판 ( 21 ) 은 실리콘 웨이퍼 와 같 은 반도체 기판 일 수 있 다 . 상기 하드 마스크 막 ( 25 ) 은 실리콘 산화 막 , 실리콘 질 화 막 , 실리콘 산질 화 막 , 또는 이 들 의 조합 막 으로 형성 할 수 있 다 . 상기 기판 ( 21 ) 상 에 는 층간 절 연막 및 / 또는 도전 막 과 같 은 다수 의 서로 다른 물질 막 들 이 추가 적 으로 형성 될 수 있 으나 간략 한 설명 을 위하 여 생략 하 기 로 한다 .