기대 ( 33 ) 의 내부 에 는 , 냉매 유로 ( 33 d ) 가 형성 되 어 있 다 . 냉매 유로 ( 33 d ) 는 한쪽 단부 에 냉매 입 구 배관 ( 33 b ) 이 접속 되 고 , 다른 쪽 단부 에 냉매 출구 배관 ( 33 c ) 이 접속 되 어 있 다 . 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 , 냉매 유로 ( 33 d ) 중 에 냉매 , 예 를 들 어 냉각수 등 을 각각 순환 시키 는 것 에 의해 , 탑재 대 ( 31 ) 의 온도 를 제어 가능 한 구성 으로 되 어 있 다 . 또한 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 , 웨이퍼 ( W ) 와 포커스 링 ( 35 ) 이 각각 탑재 되 는 영역 에 대응 하 여 , 기대 ( 33 ) 의 내부 에 냉매 유로 를 별도 로 마련 하 고 , 웨이퍼 ( W ) 와 포커스 링 ( 35 ) 의 온도 를 개별 적 으로 제어 가능 한 구성 으로 해도 좋 다 . 또한 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 웨이퍼 ( W ) 나 포커스 링 ( 35 ) 의 이면 측 에 냉열 전달 용 가스 를 공급 하 여 온도 를 개별 적 으로 제어 가능 한 구성 으로 해도 좋 다 . 예 를 들 면 , 탑재 대 ( 31 ) 등 을 관통 하 도록 , 웨이퍼 ( W ) 의 이면 에 헬륨 가스 등 의 냉열 전달 용 가스 ( 백사이드 가스 ) 를 공급 하 기 위한 가스 공급 관 이 마련 되 어도 좋 다 . 가스 공급 관 은 가스 공급원 에 접속 되 어 있 다 . 이 들 구성 에 의해 , 탑재 대 ( 31 ) 의 상면 에 정전 척 ( 36 ) 에 의해 흡착 보지 된 웨이퍼 ( W ) 를 소정 의 온도 로 제어 한다 .