플 라즈 마 를 원하 지 않 는 경우 , 장치 는 제 2 반응 챔버 ( 7 ) 에서 플 라즈 마 를 억제 하 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 장치 는 , 또한 플 라즈 마 가 제 2 반응 챔버 ( 7 ) 내 로 전파 되 는 것 을 막 도록 구성 되 고 배열 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 플라 즈 마 차폐 장치 , 예컨대 전도성 배선 또는 코팅 을 제공 함 으로써 , 플 라즈 마가 반응 챔버 에 도달 하 기 전 에 억제 되 거나 차단 될 수 있 다 . 장치 는 또한 , 장치 상 에서 실행 되 는 경우 에 가스 , 압력 범위 및 / 또는 전력 범위 를 선택 하 여 제 2 반응 챔버 ( 7 ) 의 내부 에서 플 라즈 마의 생성 이 억제 될 수 있 는 프로그램 을 구비 할 수 있 다 .