또 , 웨트 에칭 장치 ( 1 ) 는 , 수용 실 ( 11 ) 내 에 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 한 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 반송 하 는 반송 유닛 ( 61 ) 을 추가 로 구비 하 고 있 다 . 이 에 따라 , 본 실시 형태 에서 는 , 에칭 유닛 ( 21 ) , 세정 유닛 ( 31 ) , 마스크 층 제거 유닛 ( 41 ) 및 건조 유닛 ( 51 ) 사이 에서 , 웨이퍼 ( W ) 를 지지 한 웨이퍼 지지 구 ( 3 ) 를 용이 하 게 반송 할 수 있 다 .