도 2 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 이송 챔버 를 통하 여 보 는 슬릿 밸브 와 이송 챔버 사이 의 인터페이스 ( 200 ) 의 정면도 이 다 . 슬릿 밸브 가 개방 될 때 , 개구 ( 202 ) 는 이송 챔버 와 공정 챔버 사이 에 존재 하 여 그 사이 로 하나 또는 둘 이상 의 기판 의 통과 를 허용 한다 . 슬릿 밸브 는 하나 또는 둘 이상 의 O - 링 ( 208 ) 에 의해 이송 챔버 에 대해 밀봉 될 수 있 다 . 하나 또는 둘 이상 의 스 페이서 ( 204 ) 는 이송 챔버 와 슬릿 밸브 사이 에 존재 할 수 있 다 . 또한 , 하나 또는 둘 이상 의 패스 너 ( 206 ) 는 슬릿 밸브 와 이송 챔버 사이 에 결합 될 수 있 다 . 하나 또는 둘 이상 의 패스 너 ( 206 ) 는 공통 축선 ( 210 ) 을 따라 배치 될 수 있 다 .