절 연부 ( 50 ) 는 베이스 부 ( 30 ) 와 정전 척 ( 40 ) 사이 에 배치 된다 . 절 연부 ( 50 ) 는 베이스 부 ( 30 ) 와 정전 척 ( 40 ) 사이 를 절연 한다 . 실질 적 으로 절 연부 ( 50 ) 는 정전 척 ( 40 ) 의 하부 에 배치 된 전극 부 ( 70 ) 와 베이스 부 ( 30 ) 사이 를 절연 한다 . 냉 각부 ( 60 ) 는 정전 척 ( 40 ) 과 절 연부 ( 50 ) 사이 에 배치 된다 . 냉 각부 ( 60 ) 는 정전 척 ( 40 ) 의 하부 에 배치 된 전극 부 ( 70 ) 로부터 의 발열 을 냉각 한다 . 상세 하 게 냉 각부 ( 60 ) 는 전극 부 ( 70 ) 에 전원 이 인가 될 때 발생 되 는 발열 을 냉각 한다 .