분석 결과 , 반도체 공장 에선 트리클로로에틸렌 , 시너 , 감광액 , 디 메틸 아세트아미드 , 아르신 ( AsH ₃ ) , 황산 ( H ₂ SO ₄ ) 등 6 종 의 발암 성 물질 이 사용 된 것 으로 나타났 다 . ‘ 세정 · 식각 ’ 공정 에서 쓰인 트리클로로에틸렌 은 백혈병 , 비 호지킨 림프종 , 유방암 등 을 일으킬 수 있 는 물질 이 다 . 역시 세정 · 식각 공정 에서 쓰인 디 메틸 아세트아미드 도 발암 성 물질 로 , 불임 · 유산 등 을 유발 한다 . 세정 작업 은 삼성 반도체 기흥 공장 3 라인 에서 일 한 뒤 2007 년 3 월 급성 백혈병 으로 숨진 황유미 ( 23 ) 씨 가 맡 았 던 일 이 다 .