챔버 ( 402 ) 의 내부 는 챔버 벽 ( 430 ) 및 / 또는 챔버 바닥 부 ( 408 ) 를 통해 형성 된 배기 포트 ( 435 ) 를 통해 진공 펌프 ( 436 ) 와 결합 된 고진공 용기 이 다 . 배기 포트 ( 435 ) 에 배치 된 트 로 틀 ( throttle ) 밸브 ( 427 ) 는 프로세싱 챔버 ( 402 ) 내부 의 압력 을 제어 하 기 위해 진공 펌프 ( 436 ) 와 결합 되 어 사용 된다 . 배기 포트 ( 435 ) 의 위치 및 챔버 바디 ( 410 ) 의 내부 볼륨 ( 478 ) 내 에서 의 다른 흐름 제한 은 프로세싱 챔버 ( 402 ) 내 에서 가스 흐름 분포 및 컨덕턴스 에 크 게 영향 을 미친다 .