실시 예 3 은 상기 웨이퍼 ( 10 ) 의 강도 저하 를 방지 하 기 위한 방법 으로 , 조사 되 는 레이저 의 주파수 범위 를 조정 한다 . 실시 예 3 에서 는 실시 예 1 및 실시 예 2 와 달리 이미 발생 한 열에너지 를 상쇄 하 는 것 이 아니 라 , 상기 웨이퍼 ( 10 ) 에 열에너지 가 발생 하 지 않 을 정도 의 레이저 를 조사 하 여 가공 한다 . 상기 살펴본 수학식 에서 확인 할 수 있 듯이 ,