도 9 를 참조 하 여 설명 한 본 개시 의 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 을 식각 하 는 단계 ( S 203 ) 는 제 1 절연 층 ( 103 ) 에 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 및 재 배선 패턴 ( P 1 ) 을 형성 된 후 에 수행 될 수 있 었 다 . 하지만 , 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 을 식각 하 는 단계 ( S 203 ) 는 도 13 을 참조 할 때 , 제 1 절연 층 ( 103 ) 에 제 1 비아 홀 ( H 1 ) 이 형성 되 는 단계 ( S 202 a ) 이후 및 제 1 절연 층 ( 103 ) 에 재 배선 패턴 ( P 1 ) 이 형성 되 는 단계 ( S 202 b ) 이전 에 수행 될 수 도 있 다 .