이하 , 도 11 을 참조 한다 . 도 11 은 , 또 다른 예시 적 실시 형태 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 를 개략 적 으로 나타내 는 도 이 다 . 이하 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 C ) 와 상이점 에 관하 여 , 도 11 에 나타내 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 D ) 를 설명 한다 . 플 라즈 마 처리 장치 ( 1 D ) 는 , 다른 전원 장치 로서 전원 장치 ( 70 ) 를 더 구비 하 고 있 다 . 전원 장치 ( 70 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 A ) 의 전원 장치 ( 70 ) 와 동일 한 구성 을 갖 는다 . 구체 적 으로 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 1 D ) 의 전원 장치 ( 70 ) 는 , 기판 ( W ) 의 전위 가 0 이상 인 기간 에 있 어서 에지 링 ( ER ) 에 양극 성 의 전압 을 인가 하 여 , 해당 기간 에 있 어서 에지 링 ( ER ) 의 전위 VA 를 기판 ( W ) 의 전위 VW 보다 높 은 전위 로 설정 한다 .