또한 , 본 실시 형태 에 따른 플 라즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 , 처리 용기 ( 30 ) 에 , 제 2 게이트 ( 95 ) 가 탑재 대 ( 31 ) 에 대하 여 제 1 게이트 ( 84 ) 의 반대 측 에 마련 되 어 있 다 . 이것 에 의해 , 플라 즈 마 에칭 장치 ( 10 ) 는 유지 보수 장치 ( 100 ) 를 배치 하 기 위한 공간 을 쉽 게 확보 할 수 있 다 .