패킹 ( 66 ) 은 처리 용기 ( 21 ) 의 천장 중앙 에 개구 된 구멍 ( 28 ) 을 둘러싸 도록 마련 되 어 있 다 . 이 와 같이 구성 됨 으로써 , 스 페이서 ( 63 ) 가 분할 된 구성 이 어도 , 상부 전극 베이스 ( 62 ) , 패킹 ( 66 ) 및 처리 용기 ( 21 ) 의 천장 으로 둘러싸여 지 고 , 대기 분위기 로서 구성 되 는 상부 공간 ( 6 A ) 으로부터 처리 공간 ( S ) 이 구획 되 어 , 해당 처리 공간 ( S ) 이 진공 배기 되 었 을 때 , 그 진공도 가 유지 된다 .