어느 하나 의 방법 에 의해 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 가 그 융점 근방 의 온도 까지 가열 되 면 , 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 가 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 열 압착 된다 . 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 를 열 압착 한 후 에 는 , 전 환부 ( 2 c ) 를 작동 시켜 척 테이블 ( 2 ) 의 다공질 부재 와 , 흡 인원 ( 2 b ) 과 의 연통 상태 를 해제 하 고 , 척 테이블 ( 2 ) 에 의한 흡착 을 해제 한다 .