도 4 로 되돌아가 서 , 가스 공급 기구 ( 60 ) 는 , 가스 토출 부 ( 50 ) 에 웨이퍼 ( W ) 의 열처리 에 이용 되 는 가스 로서 의 처리 용 가스 를 공급 하 도록 구성 되 어 있 다 . 가스 공급 기구 ( 60 ) 는 , 수분 함유 가스 또는 불활성 가스 를 가스 토출 부 ( 50 ) 에 공급 해도 좋 다 . 예컨대 가스 공급 기구 ( 60 ) 는 , 가스 공급 로 ( 61 ) 와 , 가스 공급원 ( 62 ) 을 구비 한다 . 한편 , 공급 하 는 가스 의 종류 등 에 따라 , 복수 의 가스 공급원 을 설치 해도 좋 다 . 또한 , 필요 에 따라 가스 전환 부 등 을 설치 해도 좋 다 .