도 5 는 본 고안 에 따른 정전 용 량식 레벨 센서 가 장착 된 전구체 보관 용기 의 제 1 실시 예 를 개략 적 으로 나타낸 도면 이 고 , 도 6 은 도 5 에 도시 된 전구체 보관 용기 의 요부 확대도 로서 , 도 5 및 도 6 에 도시 된 바 와 같이 정전 용 량식 레벨 센서 ( 30 ) 가 장착 된 전구체 보관 용기 는 전구체 가 채워지 는 용기 본체 ( 10 ) 와 , 상기 용기 본체 ( 10 ) 의 상부 에 결합 되 며 주 입관 ( 21 ) 과 배출관 ( 22 ) 이 구비 된 용기 커버 ( 20 ) , 및 제 1 탐침 인 프로브 ( 40 ) 와 제 2 탐침 사이 의 정전 용량 을 통해 용기 내부 의 액 위 를 측정 하 는 정전 용 량식 레벨 센서 ( 30 ) 를 포함 한다 .