일반 적 으로 , 반도체 소자 는 많 은 공정 을 거쳐 제조 되 는데 , 이러 한 공정 을 거치 면서 반도체 또는 LCD 기판 의 표면 이 불순물 로 오염 된다 . 예 를 들 어 , 실리콘 웨이퍼 ( silicon wafer ) 나 글래스 기판 ( glass panel ) , PDP 나 LCD 등 과 같 은 대형 평판 디스플레이 소자 표면 이 불순물 로 오염 되 기 때문 에 이 불순물 을 제거 하 기 위한 세정 ( cleaning ) 공정 이 필수 적 이 다 .