[ 0032 ] 일부 구현 들 에서 , 정렬 시스템 은 기판 캐리어 와 마스크 캐리어 를 서로 에 대해 포지셔닝 하 기 위한 하나 또는 그 초과 의 압 전 액추에이터 들 을 포함 한다 . 예 로서 , 2 개 또는 그 초과 의 정렬 액추에이터 들 은 기판 캐리어 와 마스크 캐리어 를 서로 에 대해 포지셔닝 하 기 위한 압 전 액추에이터 들일 수 있 다 . 그러나 , 본 개시 내용 은 압 전 액추에이터 들 로 제한 되 지 않 는다 . 예 로서 , 2 개 또는 그 초과 의 정렬 액추에이터 들 은 전기 또는 공 압 액추에이터 들일 수 있 다 . 2 개 또는 그 초과 의 정렬 액추에이터 들 은 예컨대 , 선형 정렬 액추에이터 일 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 2 개 또는 그 초과 의 정렬 액추에이터 들 은 , 스텝 퍼 액추에이터 , 브러시 리스 액추에이터 , DC ( 직류 ) 액추에이터 , 보이스 코일 액추에이터 , 압 전 액추에이터 , 및 이 들 의 임의 의 조합 으로 이루어진 그룹 으로부터 선택 된 적어도 하나 의 액추에이터 를 포함 할 수 있 다 .