상기 산 반응 성기 로서 는 , 특별히 제한 은 없 고 , 목적 에 따라 적절 하 게 선택 할 수 있 지만 , 이러 한 산 반응 성기 로서 는 , t - 부틸기 로 대표 되 는 3 급 에스테르 류 나 , 에 톡 시 에틸기 로 대표 되 는 아세 탈기 , 2 - 옥소 시클 로 헥 실기 , 2 - 알킬 - 2 - 아 다만 틸 기 , 1 - 알킬 - 1 - 시클 로 펜틸기 , 1 - 알킬 - 1 - 시클 로 헥 실기 , 2 - 아 다만 틸 옥시 메틸기 , 1 - 메틸 아 다만 틸 옥시 메틸기 등 을 적합 하 게 사용 할 수 있 다 . 그 중 에서 도 , 2 - 알킬 - 2 - 아 다만 틸 기 , 2 - 아 다만 틸 옥시 메틸기 , 1 - 메틸 아 다만 틸 옥시 메틸기 등 의 축합 탄화수소기 를 갖 는 산 반응 성기 는 , 레지스 트 에 필요 한 에칭 내 성과 193 ㎚ 에서 의 투명 성 을 겸비 하 고 있 기 때문 에 , 보다 바람직 하 다 .