안착 단계 ( S 1 ) 는 테스트 패턴 ( 100 ) 의 어느 하나 의 프로 빙 패드 ( 110 ) 에 전자 빔 ( 1 ) 을 조사 할 수 있 도록 함 과 아울러 메탈 라인 ( 130 , 140 ) 간 의 명도 차이 를 파악 할 수 있 도록 반도체 소자 를 테스트 패턴 ( 100 ) 이 노출 되 도록 안착 부 에 안착 시킨다 . 또한 , 반도체 소자 가 안착 되 는 안착 부 는 테스트 패턴 ( 100 ) 의 명도 차이 를 파악 할 수 있 도록 어느 정도 광 의 출입 이 제한 되 는 챔버 내 에 마련 된다 .