프로브 핀 ( 20 ) 이 웨이퍼 ( 2 ) 의 단자 에 접촉 되 어 검사 가 진행 될 경우 , 프로브 핀 ( 20 ) 은 상 , 하로 흔들림 이 생길 수 있 다 . 이때 , 탄성 재질 로 형성 된 프로브 핀 ( 20 ) 은 형태 가 탄성 변형 되 고 , 기저 단부 ( 210 ) 의 위치 또한 변화 하 게 된다 ( 도 4 ( e ) 참조 ) . 이 에 따라 , 완 충부 ( 114 ) 에 접촉 된 기저 단부 ( 210 ) 와 완 충부 ( 114 ) 의 접촉 면적 이 변화 하 게 되 거나 , 완 충부 ( 114 ) 와 기저 단부 ( 210 ) 가 접촉 되 다가 접촉 되 지 않 는 현상 이 반복 될 수 있 다 . 이 경우 , 완 충부 ( 114 ) 가 없 는 구성 이 라면 기저 단부 ( 210 ) 가 제 1 바디 ( 111 ) 의 표면 에 손상 을 가할 수 있 으나 , 제 1 바디 ( 111 ) 의 상부 및 하부 에 제공 되 는 완 충부 ( 114 ) 를 통해 제 1 바디 ( 111 ) 의 표면 이 손상 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 . 다시 말 해 , 완 충부 ( 114 ) 의 구성 에 의하 여 제 1 가이드 플레이트 ( 110 ) 의 표면 이 손상 되 는 것 을 방지 하 는 효과 를 가질 수 있 다 .