세정액 으로 는 ( i ) 알칼리 수용액 , 암모니아 , ( ii ) 유리 염소 를 0 . 005 ∼ 0 . 02 중량 % 함유 한 물 및 ( iii ) 알콜 의 비율 이 5 ∼ 80 중량 % 인 알콜 수 혼합액 으로 이루어진 군 에서 선택 된 1 종 이상 을 들 수 있 다 . 제 4 공정 에 있 어서 는 세정액 의 종류 에 따라서 그 사용량 및 처리 조건 을 적당히 변경 하 는 것 이 바람직 하 다 . 세정액 의 처리 조건 은 아래 와 같 다 .