도면 부호 750 에서 는 추가 S - D 작성 웨이퍼 가 필요 할 시기 를 결정 하 기 위한 질의 가 수행 될 수 있 다 . 추가 S - D 작성 웨이퍼 에 처리 가 필요 할 경우 , 프로시저 ( 700 ) 는 다시 도면 부호 720 으로 이행 될 수 있 고 , 추가 작성 웨이퍼 에 처리 가 필요 하 지 않 을 경우 , 프로시저 ( 700 ) 는 도면 부호 755 로 이행 될 수 있 다 . 또한 , 추가 검증 데이터 는 하나 이상 의 추가 S - D 웨이퍼 상 의 하나 이상 의 사이트 로부터 획득 될 수 있 다 . 추가 신뢰 도 값 이 추가 S - D 웨이퍼 상 의 추가 사이트 에 대해 확립 될 수 있 다 . 또한 , 추가 리스크 인자 도 추가 신뢰 도 데이터 를 이용 하 여 확립 될 수 있 다 . 또한 , S - D 프로시저 를 검증 할 경우 , 나중 에 처리 되 었 던 지연 된 S - D 웨이퍼 로부터 의 데이터 가 평가 될 수 있 다 .