도 2 를 참조 하 면 , 대상 막 패턴 ( 110 ) 사이 의 간격 이 상대 적 으로 넓 은 영역 ( A ) 을 검출 한다 . 예컨대 , 원 하 는 임계 치수 보다 작 은 CD 를 가진 패턴 들 이 투명 기판 ( 100 ) 상 에 형성 되 면 , 패턴 CD 차이 로 인해 패턴 과 패턴 사이 의 간격 차이 가 발생 된다 . 따라서 , 대상 막 패턴 ( 110 ) 사이 의 간격 ( spacing ) 을 측정 하 여 패턴 사이 의 간격 이 넓 은 영역 ( A ) 을 검출 하 면서 , 작 은 CD 를 가진 불량 패턴 ( 111 ) 을 검출 할 수 있 다 .