본 발명 의 제 1 양태 에 의하 면 , 소정 평면 을 따라 이동하 는 이 동체 를 포함 하 는 이 동체 시스템 으로서 , 상기 소정 평면 을 따라 이동하 는 본 체부 와 , 그 본체 부 상 에서 , 적어도 상기 소정 평면 에 직교 하 는 방향 및 상기 소정 평면 에 대한 경사 방향 으로 미동 ( 微動 ) 가능 한 테이블 부재 를 갖 는 이 동체 와 ; 상기 테이블 부재 에 형성 된 복수 의 인코더 헤드 를 갖 고 , 상기 이 동체 의 외부 에 상기 소정 평면 과 실질 적 으로 평행 하 게 배치 된 그 레이팅 부 에 대향 하 는 적어도 1 개 의 인코더 헤드 의 출력 에 기초 하 여 , 상기 소정 평면 내 에 있 어서 의 상기 이 동체 의 위치 정보 를 계측 하 는 계측 장치 를 구비 하 고 , 상기 계측 장치 는 , 상기 복수 의 인코더 헤드 각각 과 그 외부 의 구성 부분 사이 에서 , 무선 통신 으로 계 측광 및 / 또는 신호 의 송수신 을 실시 하 는 송수신 장치 를 갖 는 이 동체 시스템 이 제공 된다 .