상기 알칼리 가용성 수지 는 산가 가 20 내지 200 ㎎ KOH / g 의 범위 가 바람직 하 다 . 상기 산가 가 상기 20 내지 200 ㎎ KOH / g 이 면 현상액 중 의 용해 성 이 향상 되 어 , 비노 출부 가 쉽 게 용해 되 고 감도 가 증가 하 여 결과 적 으로 노 출부 의 패턴 이 현상 시 에 남 아서 잔 막 율 ( film remaining ratio ) 을 개선 하 게 되 어 바람직 하 다 . 여기 서 산가 란 , 아크릴 계 중합체 1 g 을 중화 하 는 데 필요 한 수 산화칼륨 의 양 ( mg ) 으로서 측정 되 는 값 이 며 , 통상 적 으로 수산화 칼륨 수용액 을 사용 하 여 적정 함 으로써 구할 수 있 다 .