수평 반응 로 에서 상기 반응 소스 공급 부 는 반응 로 튜브 내 에 제 1 저항 발열체 또는 제 2 저항 발열체 위치 에서 산화아연 분말 , 아연 분말 , 아연 펠 렛 , 아연 금속 , 아연 니트 레이트 분말 을 열분해 하 여 기상 의 소스 를 공급 할 수 있 으며 , DEZn ( 디 에틸 징크 ) , DMZn ( 디 메틸 징크 ) 및 징크 니트 레이트 용액 ( Zn nitrate solution ) 등 의 금속 화합물 원료 공급 부 를 반응 로 외부 에 설치 하 여 반응 로 내로 주입 시켜 열분해 하 여 기상 의 반응 소스 를 공급 할 수 있 다 .