공정 밸브 ( AV 2 A , AV 3 A ) 와 교차 연동 되 는 배기 밸브 ( AV 4 A , AV 5 A ) 가 반응 가스 혹은 퍼지 가스 를 배기 하 도록 설치 되 는데 , 배기 밸브 ( AV 4 A , AV 5 A ) 가 개방 상태 이 면 공정 밸브 ( AV 2 A , AV 3 A ) 는 폐쇄 상태 가 되 고 , 배기 밸브 ( AV 4 A , AV 5 A ) 가 폐쇄 상태 이 면 공정 밸브 ( AV 2 A , AV 3 A ) 는 개방 상태 가 된다 .