다음 으로 , 상기 제 3 층간 절연 층 ( 170 ) 은 상기 비 아홀 보다 넓 은 폭 을 가지 는 트렌치 ( 미 도시 ) 를 포함 할 수 있 다 . 이때 , 상기 제 3 층간 절연 층 ( 170 ) 은 실 렌 가스 ( SiH 4 ) 를 이용 하 여 도핑 된 CVD - SiO 2 막 , 인 ( P ) 으로 도핑 된 CVD - PSG , TEOS 를 이용 한 BPSG 등 을 사용 할 수 있 으며 , 다른 유전체 를 사용 할 수 도 있 다 .