상기 다른 기술 적 과제 를 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 파손 방지 방법 은 , ( a ) 기판 의 수납 및 반송 을 위한 카세트 에서 이재 로봇 의 이재 위치 를 지정 하 는 반사판 을 복수 개 형성 하 는 단계 ; ( b ) 상기 이재 로봇 의 로봇 암 을 상기 카세트 로 의 이재 위치 ( teaching point ) 까지 이동 시키 는 단계 ; ( c ) 상기 로봇 암 에 구비 된 위치 감지 센서 를 동작 시키 는 단계 ; ( d ) 상기 위치 감지 센서 에서 발 산 된 광이 상기 반사판 을 통해 수광 되 었 는지 를 감지 하 는 단계 ; 및 ( e ) 상기 감지 여부 에 따라 상기 이재 로봇 의 동작 을 제어 하 는 단계 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .