사용 되 는 반사 방지 막 은 티타늄 , 2 산화 티타늄 , 질화 티타늄 , 산화 크롬 , 카본 , 비결정질 규소 와 같 은 무기 막 형 , 또는 흡광 제 와 폴리머 재료 를 함유 하 는 유기 막 형 이 어도 좋 다 . 또한 , 유기 반사 방지 막 은 Brewer Science , Inc . 제품 의 DUV 30 시리즈 와 DUV - 40 시리즈 , 및 Shipley Co . , Ltd . 제품 의 AR - 2 , AR - 3 및 AR - 5 와 같 은 시판 의 유기 반사 방지 막 이 어도 좋 다 .