본 발명 의 다른 목적 은 실제 기판 의 패턴 과 동일 한 스케일 의 패턴 이 존재 하 는 포지션 스케일 테이블 을 제작 하 여 , 이 포지션 스케일 테이블 에 형성 된 패턴 간 의 간격 을 광학 옵틱 에서 인식 하 는 거리 값 과 , XY 테이블 모터 ( Table Motor ) 의 엔 코더 ( Encoder Scale Pulse ) 값 과 의 매칭 ( Matching ) 여부 를 확인 하 는 매핑 과정 을 통하 여 그 어긋난 위치 편차 ( Error ) 를 보상 해 줄 수 있 도록 한 점 에 있 다 .