상기 이송 스테이지 ( 160 ) 의 중앙부 에 배치 되 어 있 는 웨이퍼 렌즈 받침대 ( 142 ) 의 아래쪽 에 는 , 상기 웨이퍼 렌즈 ( 140 ) 의 이미지 를 촬상하기 위한 이미지 센서 ( 134 ) 가 구비 된 센서 모듈 ( 130 ) 이 배치 되 어 있 다 . 도 6 을 참조 하 면 , 상기 센서 모듈 ( 130 ) 은 이미지 센서 ( 134 ) 와 , 센서 모듈 ( 130 ) 의 몸체 를 이루 며 상기 이미지 센서 ( 134 ) 를 그 상면 에 고정 하 는 받침대 의 역할 을 하 는 센서 모듈 고정대 ( 132 ) 를 포함 한다 .