본원 에서 정의 된 것 과 같이 , " "" 낮 은 - k 유전 물질 "" 은 층상 마이크 로 전자 장치 에서 유전 물질 로 사용 되 는 임의 의 물질 에 상응 하 며 ", 이때 상기 물질 은 약 3 . 5 미만 의 유전 상수 를 갖 는다 . 바람직 하 게 는 , 낮 은 - k 유전 물질 은 낮 은 - 극성 물질 , 예 를 들 면 , 실리콘 함유 유기 중합체 , 실리콘 함유 하이브리드 유기 / 무기 물질 , 유기 실리케이트 유리 ( OSG ) , TEOS , 플루오르 화 된 실리케이트 유리 ( FSG ) , 이산화규소 및 탄소 - 도핑 된 옥사이드 ( CDO ) 유리 를 포함 한다 . 낮 은 - k 유전 물질 이 다양 한 밀도 및 다양 한 공극 률 을 가질 수 있 다는 것 을 이해 해야 한다 .