도 27 은 , 본 실시 예 에서 의 레벤 손 형 마스크 로 형성 하 는 레지스 트 패턴 의 개략 평면도 이 다 . 기판 ( 9 ) 의 표면 에 는 , 레지스 트 패턴 ( 11 ∼ 13 ) 이 형성 되 어 있 다 . 레지스 트 패턴 ( 11 ) 과 레지스 트 패턴 ( 12 ) 의 사이 에 는 , 레지스 트 패턴 ( 13 ) 이 형성 되 어 있 다 . 레지스 트 패턴 ( 11 ) 의 제 1 패턴 부 ( 11 a ) 및 레지스 트 패턴 ( 12 ) 의 제 1 패턴 부 ( 12 a ) 는 , 레벤 손 형 마스크 로 형성 되 는 부분 이 다 .