흡착 전극 ( 22 ) 은 산화 알루미늄 ( Ａｌ ２ Ｏ ３ ) 및 도전 재료 를 포함 하 는 복합 세라믹 이 다 . 도전 재료 로서 , 알루미나 티타늄 카바이드 재료 ( AlTiC 재 ) 를 사용 할 수 있 다 . AlTiC 재 는 Al 2 O 3 탄화 티타늄 ( TiC ) 을 분산 시켜 , 반응 소결 을 통해 획득 될 수 있 다 . AlTiC 재료 의 열팽창 률 은 400 ℃ 이하 의 범위 에서 7 . 4 × 10 - 6 / K 이 다 . AlTiC 재료 의 체적 저항 값 은 1 . 0 × 10 - 3 Ω ㅇ cm 이 고 , 저항 변화 율 은 - 200 ℃ 이상 400 ℃ 이하 의 범위 에서 20 % 이하 이 다 . 산화물 계 유 테 틱 포인트 ( 공융점 ) 재료 로서 , 예 를 들 면 산화 이트륨 ( Y 2 O 3 ) , 산화 이테르븀 ( Yb 2 O 3 ) 등 을 이용 할 수 있 다 . 흡착 전극 ( 22 ) 은 상기 Al 2 O 3 , TiC 또는 AlTiC 분말 을 포함 하 는 전도성 페이스트 를 이용 하 여 형성 된다 .