복수 개 의 공정 챔버 ( 210 , 220 , 230 ) 를 구성 하 는 몸체 는 알루미늄 , 스테인리스 , 구리 와 같 은 금속 물질 이나 코팅 된 금속 예 를 들 어 , 양극 처리 된 알루미늄 이나 니켈 도금 된 알루미늄 으로 제작 될 수 도 있 다 . 또는 내화 금속 ( refractory metal ) 로 제작 될 수 도 있 다 . 또 다른 대안 으로 몸체 를 전체 적 또는 부분 적 으로 석영 , 세라믹 과 같 은 전기 적 절연 물질 로 제작 하 는 것 도 가능 하 다 . 이 와 같이 몸체 는 의도 된 플 라즈 마 프로세스 가 수행 되 기 에 적합 한 어떠 한 물질 로 도 제작 될 수 있 다 . 몸체 의 구조 는 피 처리 기판 에 따라 그리 고 플 라즈 마의 균일 한 발생 을 위하 여 적합 한 구조 를 가질 수 있 다 .