또 다른 실시 예 들 에 있 어서 , 본 발명 은 S - D 평가 라이브러리 를 작성 하 는 방법 을 제공 하 며 , 이 방법 은 , S - D 처리 시퀀스 를 이용 하 여 웨이퍼 상 의 하나 이상 의 층 에 S - D 기준 구조물 을 작성 하 는 단계 와 , 평가 서브시스템 을 이용 하 여 S - D 기준 구조물 에 대한 S - D 평가 데이터 를 획득 하 는 단계 와 , S - D 평가 데이터 를 예측 된 라이브러리 관련 데이터 에 비교 하 는 단계 와 , 평가 데이터 에 대해 신뢰 도 데이터 및 리스크 평가 데이터 를 확립 하 는 단계 와 , 리스트 평가 한계 가 충족 될 경우 기준 구조물 을 피 검증 구조물 로서 식별 하 는 단계 와 , 피 검증 기준 구조물 과 연관 된 데이터 를 S - D 평가 라이브러리 에 저장 하 는 단계 로서 , S - D 평가 라이브러리 내 의 데이터 는 S - D 파장 세트 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 하 는 저장 단계 와 , 매칭 조건 이 발견 되 는 경우 매칭 조건 과 연관 된 S - D 평가 라이브러리 데이터 를 이용 하 여 S - D 기준 구조물 을 식별 하 거나 , 또는 매칭 조건 이 발견 될 수 없 다면 제 1 보정 조치 를 적용 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 . 또한 , 본 발명 은 S - D 평가 라이브러리 를 작성 하 기 위한 시스템 을 제공 하 고 , 이 시스템 은 , 웨이퍼 상 에서 하나 이상 의 층 에 S - D 기준 구조물 을 작성 하 기 위한 S - D 처리 서브시스템 과 , 평가 데이터 를 제공 하 기 위한 S - D 평가 서브시스템 과 , 평가 데이터 를 예측 데이터 에 비교 하 고 , 피 검증 기준 구조물 을 식별 하 며 , 피 검증 기준 구조물 과 연관 된 데이터 를 S - D 평가 라이브러리 에 저장 하 기 위한 컨트롤러 를 포함 할 수 있 다 .