또한 , 본 발명 에 의하 면 , 웨이퍼 핸드 로 공급 되 는 신호선 , 제 어선 및 전원 선 이 해당 암축 을 따라 해당 암축 주위 에 구비 된 슬립 접촉 부 에 접속 된 후 , 슬립 접촉 부 에 접속 되 는 컨 택 터 에 의하 여 제 어부 로 접속 됨 으로써 , 이 들 신호선 , 제 어선 및 전원 선 이 암축 의 회전 에 구애 를 받 지 않 게 되 어 동작 장애 를 방지 할 수 있 다 .