도 3 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 도전 성 기계 적 스토퍼 를 포함 하 는 MEMS 스위치 ( 30 ) 의 단면도 를 도시 한다 . 도시 된 실시 예 에서 , MEMS 스위치 ( 30 ) 는 도전 성 , 반 도전 성 또는 절연성 일 수 있 는 기판 ( 32 ) 을 포함 한다 . 기판 ( 32 ) 이 도전 성 인 실시 예 에서 , 기판 은 절연 성 또는 전기 절연 층 ( 34 ) 으로 코팅 되 어 기판 전극 과 기판 접점 사이 의 바람직 하 지 않 은 단락 을 방지 할 수 있 다 ( 추가 로 후술 됨 ) . 도전 성 기판 의 비 한정 적 인 예 는 실리콘 및 게르마늄 으로 형성 된 것 들 을 포함 하 고 , 반면 에 전기 절연 층 의 비 한정 적 인 예 는 질화 실리콘 , 산화 실리콘 및 산화 알루미늄 을 포함 한다 .