플라 즈 마 처리 는 웨이퍼 상 에서 실시 되 며 , 다수 의 웨이퍼 를 저장 하 는 카세트 또는 보트 는 하나 또는 그 이상 의 처리 챔버 에 연결 된 웨이퍼 핸들러 에 의해 접근 될 수 있 는 위치 에 제공 된다 . 처리 챔버 는 플 라즈 마 처리 에 의해 한 번 에 하나 이상 의 웨이퍼 를 할 수 도 있 고 하나 의 웨이퍼 를 처리 할 수 도 있 다 .