적어도 상기 목적 을 달성 하 기 위해서 , 본 발명 은 베이스 가 상부 표면 , 상향 프레임 - 형 지지 표면 , 및 상부 표면 및 상향 프레임 - 형 지지 표면 사이 에 배치 된 홈 을 가지 며 , 상향 프레임 - 형 지지 표면 의 적어도 일부 는 상부 표면 과 동일 한 레벨 에 있 지 않 도록 , 베이스 를 가공 하 는 단계 ; 베이스 상 에 복수 의 접촉 요소 를 배치 하 는 단계 로서 , 접촉 요소 는 상향 프레임 - 형 지지 표면 에 의해 둘러싸이 고 상부 표면 상 에 기판 을 고정 하 기 위해서 기판 과 접촉 하 게 설계 되 는 , 베이스 상 에 복수 의 접촉 요소 를 배치 하 는 단계 ; 및 커버 가 베이스 의 상향 프레임 - 형 지지 표면 과 큰 영역 에서 접촉 및 결합 하 는 하향 프레임 - 형 지지 표면 을 가지 도록 커버 를 가공 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 기판 을 보유 하 기 위한 기기 를 제조 하 는 방법 을 개시 한다 .