도 6 에 도시 한 바 와 같이 , 복수 의 지지 돌기 들 ( 229 ) 은 보호 층 ( 221 ) 의 상부 에 설치 된다 . 복수 의 지지 돌기 들 ( 229 ) 은 지지 플레이트 ( 220 ) 의 중심 및 중심 을 기준 으로 네 방향 에 등 간격 으로 배치 되 며 , 지지 플레이트 ( 220 ) 의 상부 에 놓여진 웨이퍼 ( W ) 의 배면 을 지지 한다 .