본 실시 예 에 따르 면 , 연마 패드 ( 12 ) 의 교체 시 구동 롤러 ( 13 ) 를 포함 하 는 연마 모듈 전체 를 유지 보수 위치 ( MP ) 로 이 동시 켜 서 연마 패드 ( 12 ) 를 교체 하 므로 , 주변 장치 및 구조물 과 간섭 이 발생 하 는 것 을 방지 하 고 , 연마 패드 ( 12 ) 의 교체 에 필요 한 작업 공간 을 충분히 확보 할 수 있 다 . 또한 , 연마 패드 ( 12 ) 에서 장력 을 제거 하 여 헐거워진 상태 에서 연마 패드 ( 12 ) 를 교체 하 므로 , 교체 작업 이 용이 하 다 .