그러나 , 본 발명 에 따른 라디칼 증착 장치 ( 100 ) 에서 는 표준 신호 발생기 ( 51 ) 에서 발생 된 고정 주파수 전압 을 , 가변 신호 발생기 ( 52 ) 에서 발생 된 변조 용 주파수 전압 으로 변조 시켜 저 면판 ( 15 b ) 에 인가 할 수 있 다 . 플라 즈 마 발생 가스 의 상태 에 따라서 이러 한 변조 를 적절히 운용 함 으로써 플 라즈 마 발생 가스 의 전부 를 분해 하 도록 하 여 라디칼 형성 을 극대 화 한다 . 이 에 따라 , 원료 가스 의 활성 화 도 극대 화 되 므로 막 증착 속도 를 증가 시킬 수 있 게 된다 .