다음 에 , 제 2 버퍼 층 이 성막 된 기판 위 에 , 1 도 전형 을 부여 하 는 불순물 원소 가 첨가 된 불순물 반도체 막 ( 여기 에서 는 , n + a - Si 막 으로 나타냄 ) 을 성막 한다 . 여기 에서 는 , 어모퍼스 실리콘 막 과 n + a - Si 막 의 주성분 이 같 기 때문 에 , 또한 , 어모퍼스 실리콘 에 는 , n + a - Si 막 의 오염 물질 이 되 는 것 이 포함 되 지 않 았 기 때문 에 , n + a - Si 막 을 성막 하 기 전 에 , 코팅 공정 을 하 지 않 아도 좋 다 .