그러나 , 선행 되 는 화학 적 기계 적 평탄 화 공정 과 같 은 평탄 화 공정 에 의해 상기 트렌치 의 내부 또는 상기 양각 의 주변 에 슬러리 와 같 은 이 물질 이 고착 되 어 상기 오버레이 패턴 의 선폭 이 불 규칙 하 게 될 경우 , 상기 가 시광 의 파장 에 유사 한 크기 의 선폭 을 갖 는 상기 오버레이 패턴 의 일부분 에서 상기 가사 광이 회절 또는 산란 되 어 오버레이 계측 불량 을 유발 시킬 수 도 있 다 . 예컨대 , 백색 의 가시 광 으로 이루어진 입사광 은 상기 복수 개 의 오버레이 패턴 에 입사 된 후 회절 또는 산란 되 어 적색 , 청색 , 또는 녹색 을 적어도 하나 이상 포함 하 는 칼라 성분 으로 이루어진 반사광 으로 반사 된다 . 이때 , 상기 촬상부는 상기 오버레이 패턴 에 의해 회절 또는 산란 된 상기 반사광 을 그대로 영상 신호 로 처리 하 면서 상기 오버레이 패턴 영상 을 일부 또는 전체 를 왜곡 시킬 수 있 다 . 따라서 , 상기 판 독부 는 상기 촬상부에서 일부 또는 전체 가 왜곡 되 어 얻 어 진 복수 개 의 오버레이 패턴 영상 을 바탕 으로 부 정확 한 오버레이 보정 값 을 산출 할 수 있 기 때문 에 생산 수율 을 떨어뜨리 는 문제점 이 있 었 다 .