액침 노광용 조성물 , 이 를 이용 한 반도체 소자 제조 방법 및 이 방법 을 수행 하 기 위한 시스템 에 있 어서 , 액침 노광용 액체 조성물 은 물 및 탄 소수 가 1 이상 10 미만 인 산 성 액 을 포함 한다 . 탄 소수 가 1 이상 10 미만 인 산 성 액 을 포함 하 기 때문 에 물 의 수소 결합력 을 약화 시켜 액침 노광 시 기포 를 더 적 게 발생 시키 며 액침 노광 후 에 더 잘 증발 하 게 된다 .