또한 , 고 ( 高 ) 애 스펙 트 비 의 패턴 을 형성 하 는 경우 , 기체 로서 는 기판 상 에 유기 층 이 형성 된 것 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 유기 층 의 형성 에 사용 되 는 수지 로서 는 , 산소 플 라즈 마 에 의해 에칭 하 기 쉬움 과 동시 에 , 실리콘 기판 등 의 에칭 에 사용 되 는 불화 탄소 계 가스 에 대한 내성 이 높 은 것 등 으로부터 , 노볼락 수지 , 아크릴 수지 , 가용성 폴리 이미드 등 이 바람직 하 다 .