액침 영역 ( 14 ) 의 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) 상 으로 의 이동 이 완료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 를 제 1 대기 영역 ( AW 1 ) 을 경유 하 여 , 도 20 에 도시 된 제 1 로딩 포지션 으로 이동 시킨다 . 이 이동 동안 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 가 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 를 이용 하 여 계측 된다 . 제 1 로딩 포지션 에 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 가 도착 한 후 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 2 D 헤드 ( E 1 및 E 2 ) 를 이용 하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 계측 으로부터 , Y 간섭계 ( 19 ) 와 XZ 간섭계 ( 117 및 127 ) 를 이용 하 는 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 ) 의 위치 계측 으로 전환 한다 .