기판 이 동부 재 ( 120 ) 는 스테이지 ( 100 ) 상 에 배치 될 수 있 으며 , 기판 회전 부재 ( 130 ) 를 포함 할 수 있 다 . 기판 이 동부 재 ( 120 ) 는 가이드 부재 ( 110 ) 의 길 이 방향 을 따라 연장 될 수 있 다 . 예 를 들 어 도 1 을 참조 하 면 , 기판 이 동부 재 ( 120 ) 는 y 방향 을 따라 연장 될 수 있 다 . 기판 이 동부 재 ( 120 ) 는 기판 회전 부재 ( 130 ) 가 선형 이동 가능 하 도록 일정 한 레일 을 포함 할 수 있 다 . 특히 , 기판 이 동부 재 ( 120 ) 는 리니어 모션 레일 ( LM rail ) 을 구비 할 수 있 다 .