도 31 및 도 32 는 본 발명 의 제 6 실시 형태 에 있 어서 의 기판 처리 시스템 을 나타낸다 . 도 31 은 기판 처리 시스템 의 평면도 를 나타내 고 , 도 32 는 수직 방향 의 단면도 를 나타낸다 . 이 실시 형태 의 기판 처리 시스템 에서 는 , 2 계통 의 진공 반송 유닛 을 상하 방향 으로 겹친 것 은 아니 고 , 2 계통 의 대기 반송 유닛 을 상하 방향 으로 겹치 고 있 다 . 로더 모듈 ( 102 ) 에 는 , 복수 의 카세트 를 가로 일렬 로 배치 가능 한 복수 의 포트 ( 103 ) 가 마련 된다 . 대기 반 송실 ( 104 ) 은 복수 의 포트 ( 103 ) 의 배열 방향 ( Y 방향 ) 으로 길 게 연장 된다 . 대기 반 송실 ( 104 ) 에 는 , 포트 ( 103 ) 에 세트 된 카세트 내 의 기판 ( W ) 을 취 출하 는 대기 반송 로봇 ( 106 ) 이 마련 된다 . 대기 반송 로봇 ( 106 ) 은 Z 축 을 구비 한다 . 대기 반송 로봇 ( 106 ) 은 대기 반 송실 ( 104 ) 의 중심 으로부터 길 이 방향 ( Y 방향 ) 의 양측 에 2 대 마련 된다 .