수직 상태 로 전환 된 테스트 트레이 ( T ) 는 상기 제 3 단계 를 통해 상기 로딩 부 ( 2 ) 에서 제 1 챔버 ( 4 ) 로 테스트 이송 부 에 의해 수직 상태 로 이송 되 며 , 이 경우 상기 테스트 이송 부 에 의해 테스트 트레이 ( T ) 는 상기 제 1 챔버 ( 4 ) 와 동일 한 수평선 상 으로 상승 된 후 에 , 상기 제 1 챔버 ( 4 ) 로 이송 된다 .