또한 불순물 원소 ( 140 ) 의 공급 방법 은 이 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 플라스마 처리 나 , 가열 에 의한 열 확산 을 이용 하 는 처리 등 을 사용 하 여도 좋 다 . 플라스마 처리 법 의 경우 , 첨가 하 는 불순물 원소 를 포함 한 가스 분위기 에서 플라스마 를 발생 시키 고 , 플라스마 처리 를 수행 함 으로써 불순물 원소 를 첨가 할 수 있 다 . 상기 플라스마 를 발생 시키 는 장치 로서 는 , 드라이 에칭 장치 , 애 싱 장치 , 플라스마 CVD 장치 , 고밀도 플라스마 CVD 장치 등 을 사용 할 수 있 다 .