판별 처 리부 ( 91 ) 는 , 제 2 실시 형태 에서 의 판별 처 리부 ( 531 ) 와 마찬가지 로 , 소정 의 문턱 값 과 , 압력 센서 ( 11 ) 에 의해 검출 된 압력 의 검출 값 을 비교 함 으로써 , 폐쇄 공간 ( S ) 으로 의 유체 의 누출 등 에 기인 한 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 판별 하 는 한편 , 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 의 판별 처리 의 기준 이 되 는 소정 의 문턱 값 이 보정 처 리부 ( 92 ) 에 의해 보정 되 었 을 때 에 는 , 보정 후 의 문턱 값 을 기준 으로 하 여 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 판별 하 는 처리 를 실행 한다 .