제어 장치 ( 520 ) 는 게이트 밸브 ( 518 ) 를 연다 . 여기 서 , 외부 의 반송 기구 ( 201 ) ( 도 3 참조 ) 에 의해 , 승강 핀 ( 512 ) 상 에 적재 된 웨이퍼 ( W ) 가 반출 된다 . 반송 기구 ( 201 ) ( 도 3 참조 ) 가 반입 출구 ( 501 a ) 로부터 나오 면 , 제 어 장치 ( 520 ) 는 게이트 밸브 ( 518 ) 를 닫 는다 .