일 실시 예 에서 , 상기 복수 의 상부 홈 및 복수 의 하부 홈 을 형성 하 는 단계 및 상기 제 1 산화 막 을 형성 하 는 단계 사이 에 , 서로 이웃 하 는 복수 의 상부 홈 및 서로 이웃 하 는 복수 의 하부 홈 사이 의 기판 영역 을 절단 하 여 하나 의 상부 홈 및 하나 의 하부 홈 을 갖 는 단일 커패시터 크기 의 베이스 기판 을 준비 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .