먼저 , 촉매 도포 부 ( 500 ) 에서 1 회 도포 량 에 해당 되 는 촉매 를 기판 ( 10 ) 상면 으로 공급 하 고 , 기판 ( 10 ) 상면 에 촉매 를 고르 게 도포 한다 . ( S 110 ) 이렇게 촉매 가 도포 된 기판 ( 10 ) 은 제 2 이송 장치 ( 700 ) 에 의해 스테이션 부 ( 200 ) 에 설치 된 기판 보관 부 ( 400 ) 에 수용 된다 . 기판 보관 부 ( 400 ) 에 수용 된 기판 ( 10 ) 은 , 공정 을 마친 기판 ( 10 ) 이 반응 챔버 ( 100 ) 로부터 반출 된 직후 , 제 1 이송 장치 ( 300 ) 에 의해 반응 챔버 ( 100 ) 로 반입 되 고 , 보트 ( 120 ) 에 놓인다 . 반응 챔버 ( 100 ) 내 로 기판 ( 10 ) 의 반입 이 완료 되 면 , 반응 챔버 ( 100 ) 에서 탄소 나노 튜브 합성 을 위한 공정 이 진행 된다 ( S 120 ) .