판 단결 과 , 정렬 불량 이 발생 하 지 않 을 경우 , 노광 공정 을 진행 한다 ( S 140 ) . 반면 에 , 판단 결과 정렬 불량 이 발생 할 경우 , 순차 적 으로 공정 프로그램 에 기 입력 된 두 번 째 , 세 번 째 그리고 N 번 째 선행 공정 의 얼라 인 마크 좌표 ( X 5 , Y 5 ) 를 순차 적 으로 이용 하 여 웨이퍼 를 정렬 한다 . 이때 N 번 째 선행 공정 의 정렬 불량 이 발생 하 지 않 을 경우 노광 공정 을 거쳐 공정 을 종료 한다 ( S 170 ) .