도 1 k 를 참조 하 면 , 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 및 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 을 식각 마스크 로 하 여 이 들 사이 로 노출 되 는 상기 버퍼 층 ( 140 ) 을 제거 하 여 상기 제 1 마스크 패턴 ( 130 a ) 및 제 2 마스크 패턴 ( 150 a ) 사이 에서 상기 하드 마스크 층 ( 124 ) 을 노출 시킨다 .