따라서 본 발명 의 핵심 특징 인 액상 의 유기 금속 전구체 에 가해 지 는 열악 환경 은 초음파 , 진동 , 열 또는 반응 가스 , 또는 이 들 의 조합 을 이용 하 여 조성 된다 . 이때 , 초음파 발생기 ( 143 ) 또는 진동 발생기 ( 142 ) 가 용기 ( 110 ) 와 부착 된 형태 나 면적 에 따라 열악 환경 의 조성 정도 가 달라지 므로 , 가장 효과 적 인 열악 환경 을 구축 하 기 위해 , 초음파 발생기 ( 143 ) 또는 진동 발생기 ( 142 ) 가 용기 에 가능 한 넓 은 면적 으로 부착 된 형태 가 바람직 하 다 .