본 명세서 에 따르 면 , 연마 용 조성물 이 제공 된다 . 이 연마 용 조성물 은 , 지 립 과 , 염기 성 화합물 과 , 질소 함유 수용성 고분자 와 , 물 을 포함 한다 . 상기 질소 함유 수용성 고분자 는 , 분자 내 에 N - H 결합 을 갖 지 않 는다 . 이러 한 구성 에 따르 면 , 연마 후 의 에지 롤 오프 양 을 효과 적 으로 저감 할 수 있 다 .