허브 ( 40 ) 는 가장 바람직 하 게 는 플레이트 ( 32 ) 의 중앙 영역 에 제거 가능 하 게 부착 된다 . 허브 ( 40 ) 는 , 플레이트 ( 32 ) 의 중앙 보어 ( 46 ) 내 에 수용 되 는 대체로 원통형 인 부분 을 가지 며 , 또한 중앙 보어 를 직접 둘러싸 는 플레이트 의 상류 표면 ( 34 ) 의 일부 위 에 놓이 는 플랜지 ( 50 ) 를 가진 상류 허브 부재 ( 48 ) 를 포함 한다 . 허브 ( 40 ) 는 , 중앙 보어 ( 46 ) 내 로 연장 되 는 대체로 원통형 인 부분 을 가지 며 , 또한 플레이트 의 중앙 영역 내 의 플레이트 ( 32 ) 의 하류 표면 ( 36 ) 의 일부 위 에 놓이 는 플랜지 ( 54 ) 를 가진 하류 허브 부재 ( 52 ) 를 더 포함 한다 . 허브 부재 ( 48 , 52 ) 는 중앙 보어 ( 46 ) 내 에 약간 의 틈새 를 가지 고 들어맞 는다 . 예 를 들 면 , 허브 부재 ( 플랜지 를 제외 함 ) 의 외경 은 중앙 보어 ( 46 ) 의 내경 보다 약 25 마이크 론 ( 0 . 001 인치 ) 만큼 작 을 수 있 다 . 허브 부재 ( 48 , 52 ) 는 함께 유지 되 고 , 도 4 에 1 개 만 도시 되 어 있 고 중 앙축 ( 42 ) 둘레 에 이격 되 는 스크루 ( 56 ) 와 같 은 고정자 에 의해 서로 를 향해 가압 된다 . 따라서 , 플랜지 ( 50 , 54 ) 는 플레이트 ( 32 ) 의 상류 및 하류 표면 ( 34 , 36 ) 과 강제 로 맞물린다 . 허브 부재 는 플레이트 의 재료 가 아닌 재료 로 형성 될 수 있 다 . 허브 부재 ( 50 , 52 ) 는 바람직 하 게 , 서비스 시 에 만나 는 온도 에 견딜 수 있 고 사용 시 에 부식 되 지 않 으며 반응 챔버 의 내부 를 오염 시키 지 않 을 재료 로 형성 된다 . 예 를 들 면 , 허브 부재 는 몰리브덴 , 텅스텐 및 레늄 , 이 들 재료 의 조합 , 및 이 들 금속 의 합금 으로 구성 되 는 그룹 으로부터 선택 되 는 재료 로 형성 될 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 허브 부재 는 플레이트 와 동일 한 재료 로 형성 될 수 있 다 .