도 5 b 에서 알 수 있 듯이 , 제 2 변형 예 에 따른 기판 처리 방법 은 각 공정 싸이클 마다 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 의 동작 과 제 2 및 제 4 가스 분사 모듈 ( 130 b , 130 d ) 의 동작 을 교대 로 수행 하 여 플 라즈 마 화 된 제 1 및 제 2 가스 ( PG 1 , PG 2 ) 를 교대 로 분사 할 수 있 다 . 이때 , 각 공정 싸이클 은 제 1 내지 제 4 구간 으로 이루어질 수 있 다 . 이러 한 제 2 변형 예 에 따른 기판 처리 방법 을 구체 적 으로 설명 하 면 다음 과 같 다 .