반송 배관 ( 100 , 100 A , 100 B , 100 C , 100 D , 100 E ) ) 의 적어도 일부 를 포함 하 는 상기 회로 에 밸브 요소 들 ( 120 , 122 , 124 , 125 , 126 , 127 , VA , VB , VC , VD ) 와 같 은 게이트 / 조절 요소 가 배치 되 며 , 이 에 의하 여 반송 공기 의 순환 이 조절 ( regulated ) 및 / 또는 제 어 및 / 또는 개방 또는 폐쇄 될 수 있 다 .