추가 보정 조치 는 , S - D 평가 웨이퍼 의 제 1 개수 와 가용 평가 요소 의 제 1 개수 간 의 차이 를 이용 하 여 제 1 개수 의 지연 된 S - D 웨이퍼 를 결정 하 는 단계 와 , 제 1 지연 된 S - D 평가 웨이퍼 에 대한 업데이트 된 S - D 웨이퍼 상태 데이터 를 결정 하 는 단계 와 , 제 1 평가 서브시스템 내 의 하나 이상 의 S - D 평가 요소 에 대한 업데이트 된 작동 상태 데이터 를 결정 하 는 단계 와 , 제 1 지연 된 S - D 평가 웨이퍼 에 대해 제 1 업데이트 된 이송 시퀀스 를 결정 하 는 단계 와 , 업데이트 된 작동 상태 데이터 를 이용 하 여 하나 이상 의 신규 가용 S - D 평가 요소 를 식별 하 는 단계 와 , 제 1 신규 가용 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 있 을 경우 제 1 업데이트 된 이송 시퀀스 를 이용 하 여 , 제 1 지연 된 S - D 평가 웨이퍼 를 하나 이상 의 평가 서브시스템 내 의 제 1 신규 가용 S - D 평가 요소 로 이송 하 는 단계 와 , 제 1 신규 가용 S - D 평가 요소 를 이용 할 수 없 을 경우 제 2 보정 조치 를 적용 하 는 단계 를 포함 할 수 있 다 .