또한 , 수 평부 ( 4 k ) 의 상면 의 상기 돌출부 ( 4 m ) 에 근접 한 위치 에 는 원호 형 의 오 목부 ( 4 n ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 오 목부 ( 4 n ) 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 6 ) 가 상기 설치 위치 에 배치 되 었 을 때 후술 하 는 이동 지지 부재 ( 20 ) 의 롤러 부재 ( 21 b ) 의 소 직경 부 ( 21 f ) 가 끼워져 들어가 는 부분 이 며 , 그 롤러 부재 ( 21 b ) 의 소 직경 부 ( 21 f ) 에 대응 한 크기 로 형성 되 어 있 다 .