반도체 제조 장치 의 프로세스 시 나 메인 터 넌 스 시 에 는 , 상기 한 바 와 같이 자기 가열 상태 에 있 는 격막 진공계 내부 의 센서 소자 에 대해 , 계측 레인지 의 압력 은 물론 그 보다 과대 한 압력 을 갖 는 가스 등 의 계측 매체 가 반복 해서 인가 되 는 상황 에 있 다 . 이 때문 에 , 센서 제조 시 의 잔류 응력 이 존재 하 면 , 출력 신호 에 히스테리시스 등 의 오 차 가 발생 하 여 , 센서 정밀도 에 영향 을 준다 .