전형 적 으로 , 대형 면적 절연 세라믹 스퍼터 표적 을 제조 하 는 것 은 어려운 일 이 며 , 이 는 그 구성 성분 타일 크기 , 단일 타일 또는 복수 타일 의 것 이 고속 스퍼터 증착 의 열 적 응력 하 에 스퍼터링 될 때 세라믹 스퍼터 표적 타일 을 위한 성능 을 고려 하 여 오늘날 이용 가능 한 세라믹 가공 방법 ( 적당 한 출발 물질 의 냉간 압축 + 후속 소결 , 또는 그 대신 열간 압축 ) 에 의해 제한 되 기 때문 이 다 .