상기 용매 의 함량 은 특별히 제한 되 지 않 으며 , 상기 중합체 및 후술 하 는 추가 제제 들 을 제외 한 잔량 으로 포함 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 용매 는 하드 마스크 용 조성물 총 중량 중 50 내지 95 중량 %, 바람직 하 게 는 50 ~ 90 중량 %, 더욱 바람직 하 게 는 70 ~ 90 중량 % 로 포함 될 수 있 고 , 상기 범위 를 만족 시 전술 한 본 발명 의 효과 가 유효 하 게 나타날 수 있 다 .