처리 온도 ( 제 2 온도 ) : 700 내지 800 ℃, 처리 압력 : 0 . 5 내지 760 Torr ( 66 . 5 내지 101080 Pa ) , 바람직 하 게 는 0 . 5 내지 100 Torr ( 66 . 5 내지 13300 Pa ) , N 2 가스 공급 유량 : 1000 내지 5000 sccm , 가스 공급 시간 : 10 내지 60 분 이 예시 된다 .