권한 기억 부 ( 92 ) 는 , 레시피 기억 부 ( 90 ) 에 기억 되 는 각 레시피 에 대한 각 유저 의 조작 권한 을 기억 한다 . 보다 구체 적 으로 는 , 기판 처리 장치 ( 10 ) 의 가동 상태 가 온라인 또는 오프라인 인 경우 각각 에 있 어서 각 레시피 에 대한 각 유저 의 조작 권한 을 기억 한다 . 이 권한 기억 부 ( 92 ) 는 , 레시피 기억 부 ( 90 ) 와 마찬가지 로 실현 된다 .