이 와 같 은 디엘 씨 박막 ( 142 ) 을 형성 하 기 위해서 는 탄소 이온 을 형성 시키 고 이 들 이온 이 높 은 에너지 를 가지 고 합성 되 는 표면 에 충돌 하 도록 하 여야 하 는데 , 이 를 위해 플 라즈 마씨 브이 디 법 ( PACVD : Plasma assisted chemical vapor deposition ) , 스퍼터링 법 ( Sputtering ) , 이온 빔 합성법 , 레이저 어 블레 이 션 ( Laser ablation ) 등 다양 한 방법 과 이 들 방법 이 조합 된 합성 기술 들 이 사용 되 고 있 다 .