또한 상기 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 로딩 포지션 ( LP ) 으로부터 노광 위치 ( 투영 유닛 ( PU ) ) 를 향해 진행 하 는 왕로 에서 , 웨이퍼 ( W ) 의 주변 노광 이 실시 되 는 경우 를 예시 했 지만 이것 에 한정 되 지 않 고 , 노광 위치 ( 투영 유닛 ( PU ) ) 로부터 언 로딩 포지션 ( UP ) 을 향한 복로 에서 주변 노광 이 실시 되 어도 되 고 , 혹은 왕로 와 복로 의 양방 에서 1 장 의 웨이퍼 의 주변 노광 이 실시 되 어도 된다 .