5 ) 본 개시 의 실시 형태 에 따른 방법 에 있 어서 , 상기 표준 셀 영역 , 상기 메모리 어레이 , 및 상기 필러 셀 영역 은 격자 의 격자 라인 상 에 떨어지 는 경계 를 갖 고 , 상기 필러 셀 영역 을 레이아웃 하 는 단계 는 , 상기 제 1 필러 셀 과 상기 표준 셀 의 제 1 열 과 의 사이 에서 상기 제 1 필러 셀 및 상기 표준 셀 의 제 1 열 과 접촉 하 는 제 2 필러 셀 을 레이아웃 하 는 단계 를 더 포함 한다 .