얻 어 진 패턴 형상 경화 막 부착 유리 기판 의 노광 부 의 막 두께 및 50 ㎛ 폭 의 라인 패턴 의 깊이 를 측정 하 고 , 하 기 계산 식 에 의해 해 상성 을 산출 했 다 . 막 두께 및 깊이 의 측정 에 는 단차 · 표면 조도 · 미세 형상 측정 장치 P - 16 ( 상품명 ; KLATENCOR 주식회사 , 이하 「 P - 16 」 이 라고 약기 ) 을 사용 했 다 . 해 상성 이 95 ％ 이상 인 경우 를 「 ○」, 해상 성 이 95 ％ 미만 인 경우 를 「 × 」 로 했 다 .