도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 배 치식 기판 처리 장치 를 설명 하 기 위한 단면도 이 다 . 도 2 는 도 1 의 배 치식 기판 처리 장치 를 이용 하 여 기판 을 처리 하 는 상태 를 도시 한 평면도 이 다 . 도 3 은 도 1 의 배 치식 기판 처리 장치 를 이용 하 여 기판 을 처리 하 는 상태 를 도시 한 단면도 이 다 . 본 발명 의 실시 예 들 에 있 어서 , 기판 은 박막 이 형성 될 제 1 면 및 제 1 면 에 대향 하 는 제 2 면 을 갖 는다 .