상기 상부 파이프 부분 의 중간 위치 에 는 제 1 오리피스 가 관통 하 여 형성 되 고 , 상기 제 1 오리피스 에 는 상기 진공 게이트 밸브 상부 의 진공 챔버 와 상기 진공 게이트 밸브 하부 의 진공 펌프 간 의 압력 차 를 제거 하 기 위해서 설치 되 는 제 1 슬로우 펌핑 장치 로부터 연장 된 제 1 슬로우 펌핑 파이프 의 자유 단부 가 유체 연결 되 며 , 상기 하부 파이프 부분 의 중간 부위 에 는 제 2 오리피스 가 관통 하 여 형성 되 고 , 상기 제 2 오리피스 에 는 상기 진공 게이트 밸브 내부 에 조성 되 는 차압 을 제거 하 기 위해서 설치 되 는 제 2 슬로우 펌핑 장치 로부터 연장 된 제 2 슬로우 펌핑 파이프 의 자유 단부 가 유체 연결 되 는 것 을 특징 으로 한다 .