다양 한 실시 예 에 따르 면 , 도전 성 비 아들 ( 530 ) 의 간격 은 도 4 에 도시 된 예 에 국한 되 지 않 고 다양 하 게 형성 될 수 있 다 ( 예 : 더 촘촘 하 게 ) . 일 실시 예 에 따르 면 , 경성 부분 ( 420 ) 에 형성 된 도전 성 비 아들 ( 530 ) 의 간격 은 동일 하 거나 상이 할 수 있 고 , 경성 부분 ( 430 ) 에 형성 된 도전 성 비 아들 ( 530 ) 의 간격 은 동일 하 거나 상이 할 수 있 으며 , 경성 부분 ( 450 ) 에 형성 된 도전 성 비 아들 ( 530 ) 의 간격 은 동일 하 거나 상이 할 수 있 다 .