불소 원소 와 카보닐 플 루오 라이드 의 혼합물 은 산소 , 희가스 , 질소 를 더 함유 할 수 있 다 . 희가스 는 바람직 하 게 헬륨 및 아르곤 중 에서 선택 되 며 , 아르곤 이 특히 바람직 하 다 . 이 들 혼합물 은 MEMS 식각 용 으로 특히 적합 하 다 . 선택 적 으로 , 이 들 혼합물 은 또한 부동태화 가스 를 함유 할 수 있 으며 , 바람직 하 게 는 전술 된 바 와 같 은 부동태화 가스 를 함유 할 수 있 다 . 부동태화 가스 는 불소 원소 와 반응 해서 는 안 되 므로 , 과 불소 화합물 이 매우 적합 하 다 .