또한 , 다른 마이크 로 미러 열 에 의해 같 은 주사선 상 이 거듭 하 여 노광 ( 다중 노광 ) 되게 된다 . 이렇게 다중 노광 시킴 으로써 노광 위치 의 미소 량 을 컨트롤 할 수 있 어 , 고 정밀 한 노광 을 실현 할 수 있 다 . 또한 , 주 주사 방향 으로 배열 된 복수 의 노광 헤드 사이 의 이음매 를 미소 량 의 노광 위치 제어 에 의해 단차 없이 연결 시킬 수 있 다 .