본 발명 의 실시 예 에 의하 면 , 상기 1 차원 상변화 채널 을 형성 하 는 단계 는 상기 층간 절연 층 의 일부 영역 상 에 제 1 절연 층 을 형성 하 는 단계 , 상기 제 1 절연 층 의 일부 를 제거 하 여 상기 연결 수단 의 상부 면 을 노출 시키 는 단계 , 상기 제 1 절연 층 둘레 의 상기 층간 절연 층 상 에 및 상기 노출 된 상부 면 상 에 제 1 상변화 층 을 형성 하 는 단계 및 상기 제 1 절연 층 상 에 상기 제 1 상변화 층 의 상기 노출 된 상부 면 상 에 형성 된 부분 을 덮 는 제 2 절연 층 을 형성 하 는 단계 를 더 포함 할 수 있 다 .