전술 한 바 와 같이 본 발명 에 따른 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 은 유체 제어 장치 ( 100 ) 를 포함 한다 . 유체 가 외부 로부터 저장 탱크 ( 200 ) 로 과도 하 게 공급 ( Overflow ) 되 면 , 부유 부재 ( 110 ) 가 유체 에 의해 부유 되 어 지 지 부재 ( 131 ) 에 끼워 지 면서 유체 의 이동 이 신속 하 게 차단 될 수 있 다 . 따라서 , 유체 제어 장치 ( 100 ) 는 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 에 포함 된 인터 락 ( 미 도시 ) 이 활성 화 되 기 전 에 유체 가 저장 탱크 ( 200 ) 로부터 넘치 는 것 을 안정 적 으로 방지 할 수 있 다 .