도 4 를 참조 하 면 , 상기 의 포름산 에 의한 불화물 제거 처리 를 실행 한 후 에 는 , 처리 전 에 검출 되 었 던 불소 가 검출 되 지 않 게 되 어 있 는 ( 적어도 검출 하한 값 인 1 원자 % 이하 로 되 어 있 다 ) 것 을 알 수 있 다 . 따라서 , 상기 처리 에 의해 , Cu 의 불화물 층 이 제거 되 어 있 는 것 이 확인 되 었 다 .