그리고 , 상기 플 라즈 마 안테나 ( 152 ) 에 의한 영향 이 상기 프로세스 챔버 ( 20 ) 내 에 미치 는 것 을 방지 할 수 있 도록 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 내 에 는 절연 부재 ( 156 ) 가 구비 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 절연 부재 ( 156 ) 는 상기 플 라즈 마 챔버 ( 151 ) 내 를 둘러싸 도록 구비 된 유전체 플레이트 이 다 . 또한 , 상기 절연 부재 ( 156 ) 은 상기 플 라즈 마 안테나 ( 152 ) 하부 에 도 구비 될 수 있 다 .