활성 영역 ( AR ) 및 더미 영역 ( DR ) 의 기판 ( 110 ) 내 에 , 관통 전극 들 ( 120 ) 이 제공 될 수 있 다 . 관통 전극 들 ( 120 ) 은 도전 물질 을 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 실시 예 들 에서 , 관통 전극 들 ( 120 ) 은 n 형 또는 p 형 으로 도핑 된 폴리 실리콘 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 관통 전극 들 ( 120 ) 에 포함 된 n 형 또는 p 형 불순물 의 농도 는 1019 / cm 3 보다 클 수 있 다 .