그리고 , 상기 압력 조 절부 에 의하 여 상기 제 1 압력 챔버 에 미리 정해진 크기 의 설정 부압 ( Po ) 이 인가 되 고 , 상기 제 2 압력 센서 에 미리 정해진 시간 ( Te ) 이내 에 상기 설정 부압 ( Po ) 의 20 % 범위 내 의 부압 으로 측정 되 면 , 상기 감지 부 는 상기 웨이퍼 가 상기 멤 브레인 바닥 판 에 정상 적 으로 척 킹 파지 된 상태 가 아닌 것 으로 감지 할 수 있 다 .