기판 을 처리 하 는 장치 가 개시 된다 . 상기 기판 처리 장치 는 기판 을 처리 하 는 처리 모듈 과 ; 기판 이 수납 된 카세트 가 놓이 며 , 상기 카세트 와 상기 처리 모듈 간 에 기판 을 반송 하 는 인덱스 로봇 을 포함 하 는 인덱스 모듈 을 구비 하 되 , 상기 처리 모듈 은 , 기판 을 플 라즈 마 처리 하 는 공정 챔버 와 ; 상기 공정 챔버 로 기판 을 반송 하 는 메인 반송 로봇 이 설치 된 반송 챔버 를 포함 하 고 , 상기 공정 챔버 는 , 내부 에 처리 공간 을 가지 는 하우징 과 ; 상기 처리 공간 내 에서 기판 을 지지 하 는 지지 유닛 과 ; 상기 처리 공간 으로 공정 가스 를 공급 하 는 가스 공급 유닛 과 ; 상기 공정 가스 로부터 플라 즈 마를 발생 시키 는 플 라즈 마 소스 를 포함 하 고 , 상기 지지 유닛 은 , 기판 이 놓이 는 지 지체 와 ; 상기 지 지체 에 놓인 기판 을 둘러싸 도록 제공 되 며 , 상기 지 지체 로부터 착 탈 가능 하 게 제공 되 는 상기 링 부재 를 포함 하 며 , 상기 기판 처리 장치 는 상기 반송 로봇 의 핸드 상 에 안착 가능 하 며 상기 반송 로봇 또는 상기 인덱스 로봇 으로 상기 링 부재 를 반 송시 상기 링 부재 가 놓이 는 캐리어 를 보관 하 는 캐리어 보관 유닛 을 더 포함 할 수 있 다 . 상기 캐리어 보관 유닛 에 저장 되 는 캐리어 는 , 상기 인덱스 로봇 의 핸드 또는 상기 메인 반송 로봇 의 핸드 의 상면 에 장착 되 는 바디 ; 및 상기 바디 의 상부 에 제공 되 는 미끄럼 방지 부재 ; 를 포함 할 수 있 다 .