즉 , 웨이퍼 ( W ) 가 정상 적 으로 멤 브레인 바닥 판 ( 111 ) 에 밀착 되 어 척 킹 파지 된 경우 에 는 , 도 12 a 에 도시 된 바 와 같이 제 1 부 압공 급로 ( 1551 ) 의 개구 ( 150 x ) 가 개방 된 상태 를 유지 하 므로 , 도 12 b 에 도시 된 바 와 같이 압력 조 절부 ( 150 ) 로부터 제 1 부 압공 급로 ( 1551 ) 를 통해 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 을 인가 하 는 과정 에서 , 제 2 압력 센서 ( 159 S ) 가 제 1 부 압공 급로 ( 1551 ) 의 압력 이 설정 부압 ( Po ) 까지 도달 하 는 데 소요 되 는 시간 은 정해진 시간 ( t 1 ) 이 소요 된 경우 에 는 , 웨이퍼 의 척 킹 에 의한 흡착 파지 상태 가 정상 적 으로 이루어진 것 을 감지 할 수 있 다 .