본 발명 은 트렌치 트랜지스터 가 갖 고 있 는 동작 특성 의 우수 성 을 그대로 유지 하 면서 비용 절감 및 제조 속도 를 향상 시킬 수 있 는 트렌치 트랜지스터 및 그 의 제조 방법 을 제공 하 기 위한 것 으로 , 본 발명 의 트렌치 트랜지스터 의 제조 방법 은 트렌치 트랜지스터 의 특성 을 그대로 유지 하 면서 마스크 또는 공정 비용 을 줄이 고 , 제조 속도 를 향상 시킬 수 있 는 효과 가 있 으며 , 트렌치 바텀 부 의 산화 막 의 두께 를 증가 시키 므로써 기생 캐 패 시턴 스 를 최소 화 하 여 소자 의 동작 속도 를 향상 시킬 수 있 는 효과 가 있 다 .