푸 셔 ( 901 ) 및 캠 팔 로워 ( 903 ) 가 수축 될 때 , 이동 가능 핑거 ( 807 ) 는 캠 리턴 핑거 ( 907 ) 및 하부 캠 표면 구조 ( 911 ) 에 각각 작용 하 는 하나 이상 의 캠 리턴 스프링 ( 909 ) 에 의해 가압 되 어 폐쇄 될 것 이 며 , 그 에 의해 기판 을 파지 ( 클램 핑 ) 한다 . 전기식 ( 예컨대 , 근접 또는 레이저 기반 ) 또는 기계식 센서 ( 도시 되 지 않 음 ) 가 사용 되 어 , 기판 이 이동 가능 핑거 와 정지 상태 핑 거의 조합 내 에 적절 하 게 삽입 되 었 음 을 검증 할 수 있 다 .