또한 , 알칼리 금속 이나 알칼리 토류 금속 이 포함 된 산화물 반도체 를 사용 하 여 트랜지스터 를 형성 한 경우 , 오프 전류 가 증대 되 어 버린다 . 그래서 , 산화물 반도체 중 의 알칼리 금속 이나 알칼리 토류 금속 의 농도 는 2 × 1016 atoms / cm 3 이하 , 바람직 하 게 는 1 × 1015 atoms / cm 3 이하 로 하 면 좋 다 . 이 와 같이 , 산화물 반도체 중 의 알칼리 금속 이나 알칼리 토류 금속 을 저감 시킴 으로써 양호 한 전기 특성 의 트랜지스터 를 얻 을 수 있 다 .