구체 적 으로 , 도 2 a 및 도 2 b 에 나타내 는 바 와 같이 , 로드 락 챔버 ( 10 ) 는 상하 방향 ( Z 방향 ) 으로 나란 한 2 개 의 내부 공간 ( 11 ( 11 U , 11 L ) ) 을 가진다 . 2 개 의 내부 공간 ( 11 ) 중 상방 에 위치 하 는 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 반송 방향 ( TD ) 에서 의 양측 에 는 대기 측 게이트 밸브 ( AG 1 ) 및 진공 측 게이트 밸브 ( VG 1 ) 가 설치 되 어 있 다 . 대기 측 게이트 밸브 ( AG 1 ) 및 진공 측 게이트 밸브 ( VG 1 ) 의 양쪽 이 닫힘 으로써 상측 내부 공간 ( 11 U ) 이 밀폐 된다 . 이 상태 에서 , 상측 내부 공간 ( 11 U ) 의 분위기 는 대기압 분위기 와 진공 분위기 로 전환 가능 하 다 .