상기 특징 을 구현 할 수 있 는 본 발명 의 실시 예 에 따른 기판 스핀 장치 는 , 기판 이 장착 되 며 상기 기판 을 회전 시키 는 회전 가능 한 캐리어 와 ; 상기 캐리어 상 에 배치 되 어 상기 기판 을 척 킹 하 며 , 상기 기판 의 에지 와 접촉 하 는 제 1 및 제 2 지지 부 를 갖 는 스핀 척 과 ; 상기 스핀 척 을 회전 시켜 상기 제 1 지지 부 에 의한 기판 척 킹 을 상기 제 2 지지 부 에 의한 기판 척 킹 으로 변경 시키 는 구동 기구 를 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .