다음 에 , 제 2 도 전막 ( 110 ) 위 에 제 1 레지스 트 마스크 ( 112 ) 를 형성 한다 ( 도 1 ( A ) , 도 4 ( A ) , 도 7 ( A ) , 도 10 ( A ) , 도 13 ( A ) 를 참조 ) . 제 1 레지스 트 마스크 ( 112 ) 는 오목 부 또는 볼록 부 를 가지 는 레지스 트 마스크 인 것 이 바람직 하 다 . 바꿔 말 하 면 , 두께 가 다른 복수 의 영역 ( 여기 에서 는 , 2 의 영역 ) 으로 이루어지 는 레지스 트 마스크 라고 도 할 수 있 다 . 제 1 레지스 트 마스크 ( 112 ) 에 있 어서 , 두꺼운 영역 을 제 1 레지스 트 마스크 ( 112 ) 의 볼록 부 라고 부르 고 , 얇 은 영역 을 제 1 레지스 트 마스크 ( 112 ) 의 오 목부 라고 부르 기 로 한다 . 단 , 본 발명 은 이것 에 한정 되 지 않 고 , 오 목부 또는 볼록 부 를 갖 지 않 는 레지스 트 마스크 를 이용 해도 좋 다 .