또한 , 도 2 ( b ) 에 나타내 는 바 와 같이 절연 피막 ( 22 ) 에 는 탑 플레이트 ( 21 ) 와 의 중간층 ( 22 A ) 이 형성 되 어 있 다 . 이 중간층 ( 22 A ) 은 , 탑 플레이트 ( 21 ) 의 열팽창 계수 와 절연 피막 ( 22 ) 의 열팽창 계수 의 사이 의 열팽창 계수 를 갖 는 무기 재료 이 며 , 고온 시 의 열팽창 에 의한 절연 피막 ( 22 ) 의 파괴 를 방지 하 고 있 다 . 중간층 ( 22 A ) 의 무기 재료 로서 는 , 그 열팽창 계수 가 탑 플레이트 ( 21 ) 의 열팽창 계수 와 절연 피막 ( 22 ) 의 열팽창 계수 의 중간 정도 라면 특별히 제한 되 지 않 지만 , 예컨대 , 니켈 과 알루미늄 을 주성분 으로 하 는 재료 가 바람직 하 다 . 본 실시 예 에서 는 , 중간층 ( 22 A ) 은 , 예컨대 , 60 ㎛ 의 두께 로 형성 되 어 있 다 .