계속 해서 , 상기 비트 라인 ( 8 ) 을 덮 도록 제 2 층간 절 연막 ( 7 ) 상 에 2 . 0 ∼ 3 . 5 의 유전 상수 를 갖 는 저유 전막 인 유기 SOD 막 ( 9 ) 을 증착 한다 . 여기 서 , 상기 유기 SOD 막 ( 9 ) 의 형성 은 , 상기 제 2 층간 절 연막 ( 7 ) 상 에 탄화수소기 가 10 ∼ 40 wt ％ 포함 된 실록 산 ( Siloxane ) 또는 MSQ ( Metyl - Silsesquioxane ) 계열 의 용액 을 스핀 코팅 ( spin - coating ) 으로 증착 한 후 , 상기 스핀 코팅 된 막 내 의 솔 벤트 ( solvent ) 성분 이 제거 되 도록 결과물 을 베 이킹 ( baking ) 한다 . 이어서 , 상기 베이 킹 된 막 이 경화 되 도록 어닐링 ( annealing ) 을 한다 .