비정질 카본 막 ( 31 ) 및 난반사 방지 막 ( 32 ) 은 증착 공정 을 통해 형성 되 므로 , 하부 패턴 의 굴곡 을 따라가 게 되 는데 , 이러 한 굴곡 은 하부 패턴 의 사이즈 가 작 다면 갭 필 ( gap fill ) 형태 가 되 겠 지만 , 패턴 사이즈 및 단차 가 큰 제 1 오버레이 마크 ( 10 B ) 가 형성 된 부분 에서 는 단차 를 따라가 게 된다 .