예 를 들 어 , 기판 지지 부 ( 80 ) 에 의해 기판 배치 판 ( 40 ) 의 상면 과 기판 ( W ) 사이 에 존재 하 는 제 2 이격 공간 ( R 2 ) 은 기판 ( W ) 의 하면 을 상기 일체 형 공급 / 배출 포트 ( 50 ) 를 통해 공급 되 는 초기 가압 용 초임계 유체 와 상부 공급 포트 ( 60 ) 를 통해 공급 되 는 건 조용 초임계 유체 에 노출 시켜 건조 공정 의 시간 을 단축 시키 는 기능 을 수행 한다 .