상기 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 에 따른 실리콘 결정 화 장치 는 , 레이저 빔 을 생성 하 는 레이저 빔 발생 장치 ; 상기 레이저 빔 발생 장치 에 대응 하 여 배치 되 고 , X 방향 또는 Y 방향 으로 이동 하 는 기판 스테이지 ; 상기 X - Y 스테이지 와 상기 레이저 발생 장치 사이 에 배치 되 고 , 레이저 빔 을 통과 되 는 복수 개 의 마스크 패턴 의 가장자리 부분 이 기준선 을 중심 으로 오버랩 되게 형성 된 마스크 ; 상기 마스크 를 통과 한 레이저 빔 을 일정 비율 로 축소 하 는 축소 렌즈 ; 및 상기 마스크 에 연결 되 고 , 마스크 를 미소 하 게 이동 시키 는 마스크 이동 스테이지 를 포함 하 여 구성 되 는 것 을 특징 으로 한다 .