도 1 및 도 2 ( a ) 에 도시 한 바 와 같이 , 원형 벽 ( 16 ) 의 상면 에 는 , 각 세그먼트 ( 12 ) 에 연통 하 는 복수 ( 도시 된 실시 형태 에서 는 6 개 ) 원통형 흡 인구 ( 20 ) 이 부설 되 어 있 다 . 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 각 흡 인구 ( 20 ) 는 , 밸브 ( 22 ) 가 설치 된 유로 ( 24 ) 를 통해 흡 인원 ( 26 ) 에 접속 되 어 있 다 . 그리고 , 흡인 유지 부 ( 8 ) 에 있 어서 는 , 밸브 ( 22 ) 를 개방 한 상태 에서 흡 인원 ( 26 ) 을 작동 시켜 다공성 면 ( P ) 에 흡인력 을 생성 하 는 것 에 의해 , 도 3 에 도시 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 를 다공성 면 ( P ) 으로 흡인 유지 하 도록 되 어 있 다 . 이 와 같이 웨이퍼 유지 수단 ( 4 ) 에 있 어서 는 , 복수 의 세그먼트 ( 12 ) 로 웨이퍼 ( W ) 의 외주 영역 을 흡인 유지 하 는 점 에서 , 각 세그먼트 ( 12 ) 의 직경 방향 의 폭 을 작 게 해도 웨이퍼 ( W ) 를 확실히 흡인 유지 할 수 있 어 , 웨이퍼 ( W ) 를 흡인 유지 하 는 면적 을 작 게 할 수 있 다 .