또한 본 발명 에 따른 다른 형태 의 레이저 주사 형 현미경 장치 에서 의 표면 형상 의 측정 방법 은 , 레이저 광원 으로부터 의 광 을 대물 렌즈 를 통하 여 피검 물 에 집광 함 과 함께 피검 물 의 면 방향 에 각각 독립 적 으로 상기 레이저 광 을 주사 가능 한 광 편 향부 와 , 대물 렌즈 의 초점 위치 와 공액 인 위치 에 배치 된 광학 조리개 를 통과 하 는 피검 물 로부터 의 반사 광량 을 검출 하 는 광 검 출부 와 , 피검 물 과 대물 렌즈 의 광축 방향 의 상대 거리 를 바꾸 는 Z 주사 기구 와 , 상기 Z 주사 기구 에 의해 상대 거리 를 변화 시켰 을 때 의 , 상기 레이저 광원 으로부터 의 광 을 피검 물 상 에 주사 할 때 에 얻 어 지 는 광 검 출부 로부터 의 휘도 출력 이 최대 값 으로 되 는 상기 상대 거리 를 구함 으로써 , 피검 물 의 각 주사 포인트 에서 의 높이 정보 를 구하 는 제 어부 를 갖 는 레이저 주사 형 현미경 에 의한 피검 물 의 표면 형상 의 측정 방법 으로서 , 피검 물 의 현미경 화상 내 의 측정 하 고자 하 는 장소 를 조작자 에게 지시 시키 고 , 상기 지시 시킨 장소 를 통하 는 1 라인 분 의 높이 프로 파일 을 측정 함 과 함께 , 그 측정 한 위치 에서 의 2 차원 휘도 화상 을 촬상 하 고 , 상기 1 라인 의 높이 프로 파일 을 측정 시 에 주사 한 방향 으로 피검 물 과 상기 대물 렌즈 와 의 위치 를 소정 거리 상대 이동 시키 고 , 상기 상대 이동 시킨 위치 에서 , 상기 측정 한 1 라인 의 높이 프로파일 의 연장선 상 의 높이 프로 파일 을 측정 함 과 함께 , 그 측정 한 위치 에서 의 2 차원 휘도 화상 을 촬상 하 고 , 상기 상대 이동 시킨 거리 가 특정 값 이상 으로 될 때 까지 상기 연장선 상 의 높이 프로 파일 을 측정 및 그 측정 한 위치 에서 의 2 차원 휘도 화상 의 촬상을 반복 하 고 , 상기 측정 한 복수 의 상기 높이 프로파일 및 상기 2 차원 휘도 화상 을 접속 하 고 , 연속 한 1 개 의 높이 프로파일 데이터 및 연속 한 화상 을 생성 하 는 것 을 특징 으로 한다 .