상기 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 124 a , 124 b , 124 c , 124 d ) 은 서로 동일 한 원소 들 이 주입 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 124 a , 124 b , 124 c , 124 d ) 은 경사지 게 적층 되 는 것 이 바람직 하 다 . 다시 말 해서 , 상기 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 원소 주입 층 들 ( 124 a , 124 b , 124 c , 124 d ) 의 중심점 들 을 지나 는 가상 선 ( 150 ) 은 상기 반도체 기판 ( 100 ) 의 상부 면 에 대하 여 경사지 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 가 상선 ( 150 ) 은 직선 인 것 이 바람직 하 다 .