상기 도전 성 구조물 ( 120 ) 은 워드 라인 과 수직 하 는 방향 으로 연장 되 고 , 상기 제 1 패드 ( 107 ) 와 전기 적 으로 연결 되 는 구조 를 갖 는다 . 상기 도전 성 구조물 ( 120 ) 은 비트 라인 으로서 , 도전 막 패턴 ( 미 도시 ) 과 캡 핑 막 패턴 ( 미 도시 ) 이 적층 된 구조 를 갖 는다 . 상기 도전 막 패턴 은 베리 어 금속 막 패턴 과 금속 막 패턴 을 포함 한다 . 또한 , 상기 도전 성 구조물 ( 120 ) 상 에 는 절 연막 패턴 ( 124 ) 이 존재 한다 . 상기 절 연막 패턴 ( 124 ) 은 실리콘 질화물 또는 실리콘 산화물 을 포함 한다 .