커버 지지 장치 ( 150 ) 는 수평 회전대 ( 151 ) 및 수직 회전판 ( 152 ) 을 포함 하 여 이루어지 며 , 수직 회전판 ( 152 ) 은 수평 회전대 ( 151 ) 에 수직 회전 가능 하 게 설치 된다 . 수평 회전대 ( 151 ) 는 챔버 ( 100 ) 의 외벽 에 접혀 있 다가 챔버 커버 ( 130 ) 가 승강 구름 장치 ( 140 ) 에서 수평 이 동하 여 올 때 챔버 ( 100 ) 의 외벽 으로부터 펴 진다 . 수평 회전대 ( 151 ) 의 회전 은 공 압 , 유압 , 모터 등 여러 가지 방식 으로 구현 될 수 있 다 . 수평 회전대 ( 151 ) 는 챔버 커버 ( 130 ) 의 이동 방향 과 나란 하 게 펴 져야 하 므로 이러 한 회전 을 제한 하 기 위해서 회전 걸림 턱 ( 154 ) 이 설치 된다 .