따라서 , 개시 된 광학 시스템 은 입사 광 빔 에 의해 조명 되 는 빔 변환 장치 의 제 1 요소 들 이 광학 이미 징 장치 에 의해 광학 적 으로 이미지 로서 축소 되 어 반도체 재료 층 상의 또는 내 의 조명 평면 에서 이미 징 되 는 물체 로서 사용 되 도록 설계 된다 . 이미지 들 은 빔 형성 장치 에 의해 y - 방향 ( 장축 ) 으로 공간 적 으로 중첩 되 며 따라서 공간 적 으로 중첩 되 어 이미 징 된다 . 특히 , 조명 된 빔 변환 장치 의 에지 들 은 x - 방향 으로 높 고 , 거의 일정 한 강도 를 가진 x - 방향 의 좁 은 조명 라인 이 생성 되 도록 , 광학 이미 징 장치 에 의해 축소 되 어 이미 징 되 고 , 상기 강도 는 조명 라인 의 가장자리 들 에서 가파르 게 떨어진다 . 실린더 렌즈 망원경 장치 및 광학 이미 징 장치 는 축소 작용 을 한다 . 단축 을 따라 이러 한 특성 을 갖 는 조명 라인 은 규칙 적 인 다결정 입자 구조 를 생성 할 수 있 다 .