이 에 본 발명 은 상기 와 같 은 문제점 들 을 해소 하 기 위해 안출 된 것 으로써 , 다수 의 위치 센서 가 설치 된 로봇 암 을 웨이퍼 의 하측 으로 이동 중 , 상기 웨이퍼 의 외곽 라인 을 측정 하 고 , 상기 측정치 를 수신 한 제 어부 에 의해 상기 로봇 암 의 위치 를 변경 시킴 으로 , 웨이퍼 의 중심부 하측 에 상기 로봇 암 의 핑거 를 정확 하 게 위치 시킬 수 있 고 , 웨이퍼 를 정확 하 게 거치 시킬 수 있 음 으로 , 이동 중 발생 되 는 파손 을 방지 할 수 있 음 은 물론 , 상기 위치 센서 가 다수 개 설치 됨 으로 , 웨이퍼 의 노치 부 에 의해 잘못 측정 되 는 것 을 방지 하 여 더욱 정확 하 게 위치 설정 을 할 수 있 고 , 상기 위치 센서 의 길이 를 조절 할 수 있 어 다른 직경 을 갖 는 웨이퍼 에 도 사용 이 가능 함 으로 비용 을 절감 시키 고 , 작업 의 효율 성 을 향상 시킬 수 있 는 위치 센서 를 이용한 웨이퍼 센터 링 방 법 을 제공 하 는 것 이 목적 이 다 .