이 에 따라 , 상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 존재 할 경우 , 상기 제 1 센서 ( 410 ) 에서 조사 된 광이 반사 되 어 상기 제 2 센서 ( 420 ) 에서 감지 됨 으로써 , 그 존재 가 감지 될 수 있 다 . 이 와 달리 , 상기 센 서부 ( 400 ) 는 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 부재 할 경우 , 상기 제 1 센서 ( 410 ) 에서 조사 된 광 이 그대로 투과 하 여 상기 제 2 센서 ( 420 ) 에 도달 하 지 않 음 으로써 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 가 부재 함 을 감지 할 수 있 다 .