플라 즈 마 소스 ( 400 ) 는 방 전실 ( 142 ) 에서 가스 공급 유닛 ( 300 ) 에 의해 공급 된 가스 로부터 플라 즈 마를 발생 시킨다 . 일 예 에 의하 면 , 플라 즈 마 소스 ( 400 ) 는 유도 결합 형 플 라즈 마 소스 일 수 있 다 . 플 라즈 마 소스 ( 400 ) 는 안테나 ( 420 ) 와 전원 ( 440 ) 을 가진다 .