이어서 , 절연 물질 ( 52 ) 상 에 수소 화 된 그래핀 ( 53 ) 을 형성 한다 . 수소 화 된 그래핀 ( 53 ) 은 수소 처리 된 표면 ( HS ) 을 포함 한다 . 수소 처리 는 수소 플 라즈 마 를 이용 하 여 수행 될 수 있 다 . 수소 플 라즈 마 처리 는 PECVD ( Plasma - Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 장비 를 이용 할 수 있 다 .