ProLIFT ® 100 - 16 코팅 이 90 초 동안 3 , 000 rpm 의 속도 로 200 - mm 실리콘 웨이퍼 상 으로 스핀 - 코팅 되 었 다 . 코팅 된 웨이퍼 는 100 ℃ 에서 120 초 동안 , 그리고 그 후 245 ℃ 에서 60 초 동안 베이 킹 되 었 다 . 예시 2 의 COC 본딩 조성물 은 5 초 동안 300 rpm 으로 ProLIFT ® 100 - 16 필름 의 상부 상 으로 스핀 - 코팅 되 었 다 . 속도 는 증가 ( ramp up ) 되 었 고 , 웨이퍼 는 60 초 동안 1 , 200 rpm 으로 스핀 되 었 다 . 코팅 된 웨이퍼 는 60 ℃ 에서 60 초 동안 , 그리고 그 후 80 ℃ 에서 60 초 동안 , 그리고 그 후 220 ℃ 에서 120 초 동안 베이 킹 되 었 다 .