RF 생성기 ( 631 A 및 631 B ) 는 약 1 . 8 내지 약 2 . 1 MHz 범위 의 주파수 에 걸쳐 작동 되 고 디지탈 로 제어 된 합 성기 를 포함 한다 . 각 생성기 는 RF 제어 서킷 ( 도시 되 지 않 음 ) 을 포함 한다 , 이 는 챔버 및 코일 로부터 생성기 로 반사 된 파워 를 측정 하 고 가장 낮 은 반사 된 바워 를 얻 기 위해 작업 의 주파수 를 조절 한다 , 당업자 에 알려져 있 다 . RF 생성기 는 전형 적 으로 50 ohms 특징 적 임피던스 로 , 로드 로 작동 되 도록 고안 되 어 있 다 . RF 파워 는 생성기 와 상이 한 특징 적 임피던스 를 가지 는 로드 로부터 반사 될 수 있 다 . 이 는 로드 로 전달 된 파워 를 줄일 수 있 다 . 추가 로 , 생성기 로 돌려진 로드 로부터 반사 된 파워 는 과 로드 될 수 있 고 생성기 를 손상 시킬 수 있 다 . 플라스마 의 임피던스 가 다른 것 들 중 에 플라스마 이온 밀도 에 의존 되 는 , 5 ohms 미만 내지 900 ohms 초과 의 범위 일 수 있 기 때문 에 그리고 반사 된 파워 가 반사 된 파워 증가 에 따라 발생기 주파수 를 조절 하 는 , 주파수 의 함수 일 수 있 기 때문 에 , 플라스마 로 RF 발생기 로부터 전달 되 고 발생기 를 보호 한다 . 반사 된 파워 를 줄이 고 효능 을 개선 하 는 또 다른 방법 은 매칭 네트워크 이 다 .