가속기 ( 30 ) 와 타 겟 챔버 ( 60 또는 70 ) 사이 의 압력 구배 로 인해 , 타 겟 챔버 외부 로 , 또한 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 내 로 가스 가 흐를 수 있 다 . 진공 펌프 들 ( 17 ) 이 약 10 내지 100 배 이상 의 압력 감소 를 달성 하 여 이 가스 를 빠르 게 제거 할 수 있 다 . 그 후 , " 이 "" 누출 된 "" 가스 는 가스 여과 시스템 ( 50 ) 을 통해 여과 되 고 재생 되 며 ", 타 겟 챔버 내 로 다시 유입 되 어 더 효율 적 인 작동 을 제공 한다 . 대안 적 으로 , 흐름 이 다시 타 겟 챔버 로 의 방향 이 되 도록 고속 펌프 ( 100 ) 가 방위 되 어 , 가스 가 타 겟 챔버 외부 로 흐르 는 것 을 방지 할 수 있 다 .