로봇 ( 522 ) 이 스테이션 들 사이 에서 웨이퍼 ( 526 ) 를 이송 한다 . 일 실시 예 에서 , 로봇 ( 522 ) 은 하나 의 암 을 갖 고 , 또 다른 실시 예 에서 , 로봇 ( 522 ) 은 2 개 의 암 들 을 갖 고 , 암 각각 은 이송 을 위해 웨이퍼 ( 526 ) 와 같 은 웨이퍼 들 을 피 킹 하 기 위해 엔드 이펙터 ( 524 ) 를 갖 는다 . ATM ( atmospheric transfer module ) ( 540 ) 의 프론트엔드 로봇 ( 532 ) 이 LPM ( Load Port Module ) ( 542 ) 의 FOUP ( Front Opening Unified Pod ) ( 534 ) 또는 카세트 로부터 에어록 ( 530 ) 으로 웨이퍼 들 ( 526 ) 을 이송 하 도록 사용 된다 . 프로세스 모듈 들 ( 520 a 내지 520 d ) 내부 의 모듈 중심 ( 528 ) 은 웨이퍼 ( 526 ) 를 배치 하 기 위한 일 위치 이 다 . ATM ( 540 ) 내 얼라 이너 ( 544 ) 가 웨이퍼 들 을 정렬 하 기 위해 사용 된다 .