또한 , XZ 간섭계 ( 116 ) 는 , 계측 축 ( LH ) 과 평행 하 게 , 계측 빔 ( Z 계측 빔 ) ( B 1162 ) 을 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 에 설치 된 반사 미러 ( 27 e ) 의 반사면 에 조사 한다 . 계측 빔 ( B 1162 ) 은 반사 미러 ( 27 e ) 에 의해 + Z 방향 으로 반사 되 어 , 전술 한 반사 플레이트 ( 25 B ) 의 반사면 상 에 조사 된다 . 반사 플레이트 ( 25 B ) 의 반사면 으로부터 의 계측 빔 ( B 1162 ) 의 반사광 은 , 원래 광로 를 거슬러 가 서 XZ 간섭계 ( 116 ) 에 의해 수광 된다 . XZ 간섭계 ( 116 ) 는 , 계측 빔 ( B 1162 ) 의 광로 길이 ( 의 변화 ) 를 계측 하 고 , 그 계측 결과 를 주제 어 장치 ( 20 ) 로 전송 한다 . 유사 하 게 , XZ 간섭계 ( 126 ) 는 , 계측 축 ( LH ) 과 평행 하 게 , 계측 빔 ( Z 계측 빔 ) ( B 1262 ) 을 , 웨이퍼 테이블 ( WTB 1 ) ( 또는 웨이퍼 테이블 ( WTB 2 ) ) 에 설치 된 반사 미러 ( 27 f ) 의 반사면 에 조사 한다 . 계측 빔 ( B 1262 ) 은 반사 미러 ( 27 f ) 에 의해 + Z 방향 으로 반사 되 어 , 전술 한 반사 플레이트 ( 25 A ) 의 반사면 상 에 조사 된다 . 반사 플레이트 ( 25 A ) 의 반사면 으로부터 의 계측 빔 ( B 1262 ) 의 반사광 은 , 원래 광로 를 거슬러 가 서 XZ 간섭계 ( 126 ) 에 의해 수광 된다 . XZ 간섭계 ( 126 ) 는 , 계측 빔 ( B 1262 ) 의 광로 길이 ( 의 변화 ) 를 계측 하 고 , 그 계측 결과 를 주제 어 장치 ( 20 ) 로 전송 한다 .