또한 , 제 3 연마 유닛 ( 3 C ) 및 제 4 연마 유닛 ( 3 D ) 에 인접 하 여 , 제 2 리니어 트랜스포터 ( 7 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 제 2 리니어 트랜스포터 ( 7 ) 는 , 연마 유닛 ( 3 C , 3 D ) 이 배열 되 는 방향 을 따른 3 개 의 반송 위치 ( 로드 / 언 로드 부측 에서 차례 로 제 5 반송 위치 TP 5 , 제 6 반송 위치 TP 6 , 제 7 반송 위치 TP 7 로 함 ) 사이 에서 웨이퍼 를 반송 하 는 기구 이 다 .