상기 유전 물질 은 금속 산화물 일 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상기 유전 물질 은 알루미늄 산화물 , 란 탈륨 산화물 , 이트륨 산화물 , 탄 탈륨 산화물 , 세륨 산화물 , 바나듐 산화물 , 티타늄 산화물 , 실리콘 산화물 , 지르코늄 산화물 , 하프늄 알 루미 네이트 , 하프늄 실리케이트 , 지르코늄 실리케이트 등 일 수 있 다 . 상기 유전 물질 에 는 4 족 원소 가 도핑 될 수 있 다 . 그리고 유전 막 ( 114 ) 은 단 일 막 또는 복합 막 구조 를 가질 수 있 다 .