다음 으로 , 해당 전구체 막 을 해당 기재 의 표면 에서 , 60 ℃ 를 초과 하 는 건 조 분위기 하 에서 가열 한다 . 건조 가열 방법 은 , 특별히 한정 되 지 않 고 전구체 막 을 기재 와 함께 , 60 ℃ 를 초과 하 고 , 바람직 하 게 는 100 ℃ 를 초과 하 는 온도 이 며 , 예 를 들 어 250 ℃ 이하 , 바람직 하 게 는 180 ℃ 이하 의 온도 로 , 또한 불포화 수증기압 의 분위기 하 에 배치 하 면 된다 . 이때 의 압력 은 특별히 한정 되 지 않 지만 , 간편 하 게 는 상압 으로 할 수 있 다 .