물론 , 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 은 도 3 에 도시 된 배열 이외 에 다른 배열 을 가질 수 도 있 고 , 한 쌍 의 스퍼터링 증착 원 ( 41 , 42 ) 의 배열 이외 에 3 이상 의 스퍼터링 증착 원 ( 40 ) 의 배열 또한 가능 하 나 , 어느 경우 에 나 증착 원 ( 40 ) 은 분체 ( S ) 에 대하 여 연직 상부 에 배치 되 고 분체 ( S ) 는 증착 원 ( 40 ) 의 구속 자계 상 에 위치 되 는 것 이 바람직 하 다 .