도 5 는 연마 헤드 ( 30 ) 의 가압 기구 ( 41 ) 를 도시 하 기 위한 도면 이 다 . 가압 기구 ( 41 ) 는 2 개 의 안내 롤러 ( 46 , 47 ) 상 에 제공 되 는 연마 테이프 ( 23 ) 뒤 에 위치 된 가압 패드 ( 50 ) 와 , 가압 패드 ( 50 ) 를 보유 하 도록 구성 된 패드 홀더 ( 51 ) 와 , 웨이퍼 ( W ) 를 향해 패드 홀더 ( 51 ) 를 이동 시키 도록 구성 된 공기 실린더 ( 액추에이터 ) ( 52 ) 를 포함 한다 . 안내 롤러 ( 46 , 47 ) 는 연마 헤드 ( 30 ) 의 전방 에 배열 되 고 , 안내 롤러 ( 46 ) 는 안내 롤러 ( 47 ) 위 에 위치 된다 .