본 발명 의 일 관점 에 의하 면 , 복수 의 개구 를 갖 는 제 1 기판 과 , 상기 개구 내 에 설치 되 고 , 틀 내 에 복수 의 프로브 침 이 배설 ( 配 設 ) 된 틀 과 , 상기 개구 주위 에 , 상기 제 1 기판 과 는 수직 으로 설치 되 고 , 상기 제 1 기판 에 접속 된 복수 의 제 2 기판 을 갖 고 , 상기 프로브 침 은 상기 틀 을 관통 하 고 , 상기 틀 주위 로부터 상기 개구 내 를 통하 여 상기 제 2 기판 에 접속 되 는 것 을 특징 으로 하 는 반도체 장치 의 시험 장치 가 제공 된다 .