도 6 a 와 6 b 는 본 발명 에 따라 3 차원 채널 을 형성 하 는 방법 을 설명 하 기 위한 단면도 로서 , 기판 ( 100 ) 상부 에 1 차 및 2 차 감광성 수지 패턴 ( 500 , 510 ) 이 형성 되 어 있 고 , 상기 기판 ( 100 ) 및 1 차 및 2 차 감광성 수지 패턴 ( 500 , 510 ) 을 감싸 며 , 광 투과 성막 ( 300 ) 이 형성 되 어 있 는 전술 된 도 5 d 의 상태 에서 , 도 6 a 와 같이 , 기판 ( 100 ) 의 측면 에서 마스크 ( 600 ) 을 통하 여 광 을 조사 하 면 , 마스크 ( 600 ) 의 개구 패턴 ( 620 ) 을 통하 여 광이 조사 되 어 1 차 감광성 수지 패턴 ( 500 ) 의 선택 영역 이 노광 된다 .