본 발명 이 이루 고자 하 는 기술 적 과제 는 2 단계 구조 의 샤워 헤드 를 채용 한 라디칼 증착 장치 에 있 어서 제 1 샤워 헤드 와 제 2 샤워 헤드 사이 의 좁 은 공간 에서 발생 되 는 플 라즈 마 를 안정 화 시켜 기판 에 막 이 증착 되 는 속도 를 증가 시키 며 균일 한 막 질 을 증착 할 수 있 는 라디칼 증착 장치 를 제공 하 는 것 이 다 .