본 발명 의 변형 된 실시 예 에 따른 플 라즈 마 발생 장치 는 기판 ( 108 ) 이 배치 되 는 평면 을 정의 하 는 제 1 방향 과 제 2 방향 중 에서 기판 ( 108 ) 의 평면 과 대응 되 게 설치 된 복수 의 접지 전극 ( 120 ) , 서로 이웃 한 접지 전극 ( 120 ) 사이 에 배치 되 고 상기 접지 전극 ( 120 ) 에 대향 하 게 배치 된 전원 전극 ( 110 ) , 및 RF 전원 으로부터 전력 을 제공 받 아 상기 전원 전극 ( 110 ) 에 전력 을 분배 하 는 전력 분배 부 ( 105 ) 를 포함 한다 . 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향 에 수직 한 제 3 방향 으로 이격 되 어 상기 전원 전극 ( 110 ) 을 마주 보 도록 배치 된 상기 기판 ( 108 ) 에서 먼 쪽 에 제 1 가스 를 공급 하 는 제 1 노즐 ( 153 ) 이 배치 될 수 있 다 . 상기 기판 ( 108 ) 에서 가까운 쪽 에 제 2 가스 를 공급 하 는 제 2 노즐 ( 154 ) 이 배치 될 수 있 다 .