일실 시예 에서 , 상기 측면 들 의 총 개수 는 7 일 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 상기 측면 들 의 총 개수 는 5 , 6 , 8 또는 이 보다 더 클 수 있 다 . 그러나 , 상기 개수 가 작 은 경우 에 , 상술 한 변형 실시 예 들 은 용이 하 게 구현 될 수 없 거나 , 그러 한 변형 실 시 로부터 상당 한 이점 을 얻 을 수 없 을 수 도 있 다 . 한편 , 상기 개수 가 큰 경우 에 는 , 상기 웨이퍼 핸들링 챔버 자체 의 풋 프린트 가 커지 고 , 웨이퍼 처리 챔버 의 개수 를 증가 시키 더라도 상당 한 이점 을 얻 을 수 없 을 수 도 있 다 .