본 발명 의 일 태양 에 의한 멀티 빔 묘화 방법 은 , 기판 상 의 영역 을 스캔 하 여 다중 묘화 하 는 멀티 빔 의 빔 어레이 를 형성 하 는 공정 과 , 상기 묘화 마다 , 상기 기판 상 의 영역 을 상기 빔 어레이 의 폭 이하 의 영역 으로 분할 한 복수 의 서브 스트라이프 영역 의 각각 에 , 상기 빔 어레이 를 분할 한 서브 빔 어레이 이 며 , 상기 묘화 에 사용 하 는 상기 서브 빔 어레이 를 할당 하 는 공정 과 , 상기 서브 빔 어 레이 마다 , 서브 빔 어레이 에 속하 는 각 빔 에 적용 되 는 조사 시간 변조 율 을 산출 하 는 공정 과 , 상기 기판 상 에서 서로 중첩 되 는 상기 서브 스트라이프 영역 의 그룹 에 각각 대응 하 는 상기 서브 빔 어레이 의 그룹 에 대하 여 , 상기 서브 빔 어레이 의 그룹 에 속하 는 상기 서브 빔 어레이 마다 의 상기 조사 시간 변조 율 에 기초 하 여 상기 서브 빔 어 레이 마다 가중치 를 산출 하 고 , 산출 한 상기 가중치 를 상기 서브 빔 어레이 에 할당 하 는 공정 과 , 각 상기 서브 빔 어레이 에 할당 된 가중치 를 , 상기 서브 빔 어레이 에 속하 는 상기 각 빔 의 조사 시간 을 곱하 고 , 복수 의 상기 서브 빔 어레이 로 상기 각 서브 스트라이프 영역 을 묘화 함 으로써 , 각 상기 서브 스트라이프 영역 을 다중 묘화 하 는 공정 을 구비 하 는 것 이 다 .