척 ( 130 ) 은 로봇 암 ( 120 ) 에 설치 되 어 구동 될 수 있 다 . 로봇 암 ( 120 ) 은 구동 부 ( 미 도시 ) 에 의해 이동 할 수 있 는데 , 예 를 들 어 , 상승 및 하강 할 수 있 다 . 즉 , 로봇 암 ( 120 ) 이 상승 및 하강 함 으로써 , 웨이퍼 ( w ) 가 장착 된 척 ( 130 ) 을 이동 시킨다 . 즉 , 척 ( 130 ) 은 로봇 암 ( 120 ) 에 의해 하강 되 어 제 1 처리 액 ( 115 ) 이 공급 된 제 1 처 리조 ( 110 ) 에 웨이퍼 ( w ) 를 침잠 시킬 수 있 다 .