ITO ( indium tin oxide ) 가 1 , 000 Å 의 두께 로 박막 코팅 된 유리 기판 을 세제 를 녹인 증류수 에 넣 고 초음파 로 세척 하 였 다 . 이때 , 세제 로 는 피셔 사 ( Fischer Co . ) 제품 을 사용 하 였으며 , 증류수 로 는 밀 러 포어 사 ( Millipore Co . ) 제품 의 필터 ( Filter ) 로 2 차 로 걸러진 증류수 를 사용 하 였 다 . ITO 를 30 분 간 세척 한 후 증류수 로 2 회 반복 하 여 초음파 세척 을 10 분 간 진행 하 였 다 . 증류수 세 척 이 끝난 후 , 이소프로필 알콜 , 아세톤 , 메탄올 의 용제 로 초음파 세척 을 하 고 건조 시킨 후 플라 즈 마 세 정기 로 수송 시켰 다 . 또한 , 산소 플 라즈 마 를 이용 하 여 상기 기판 을 5 분 간 세정 한 후 진공 증착 기 로 기판 을 수송 시켰 다 . 이렇게 준비 된 ITO 투명 전극 위 에 하 기 화합물 HAT ( hexaazatriphenylene ) 를 150 Å 의 두께 로 열 진공 증착 하 여 정공 주입 층 을 형성 하 였 다 . 상기 정공 주입 층 위 에 정공 을 수송 하 는 물질 인 하 기 화합물 HT - 1 ( 1150 Å ) 를 진공 증착 하 여 정공 수송 층 을 형성 하 였 다 . 이어서 , 상기 정공 수송 층 위 에 막 두께 150 Å 으로 하 기 화합물 EB 를 진공 증착 하 여 전자 억제 층 을 형성 하 였 다 . 이어서 , 상기 전자 억제 층 위 에 막 두께 300 Å 으로 하 기 화합물 BH 와 BD 를 25 : 1 의 중량 비 로 진공 증착 하 여 발광 층 을 형성 하 였 다 . 상기 발광 층 위 에 하 기 화합물 ET 와 하 기 화합물 LiQ ( Lithium Quinolate ) 를 1 : 1 의 중량 비 로 진공 증착 하 여 360 Å 의 두께 로 전자 주입 및 수송 층 을 형성 하 였 다 . 상기 전자 주입 및 수송 층 위 에 순차 적 으로 12 Å 두께 로 리튬 플로 라이드 ( LiF ) 와 2 , 000 Å 두께 로 알루미늄 을 증착 하 여 음극 을 형성 하 여 , 유기 발광 소자 를 제조 하 였 다 .