전술 한 제 1 버퍼 층 ( 131 ) 의 높이 는 10 ~ 20 분 동안 암모니아 , 질소 , 트리 메틸 갈륨 을 챔버 내부 로 공급 하 되 , 챔버 내부 의 압력 이 200 ~ 400 torr 이 고 , 챔버 내부 온도 는 950 ~ 1150 ℃ 이 며 , 기판 ( 100 ) 을 회전 시키 는 스핀 척 의 회전 속도 는 700 ~ 800 RPM 으로 금속 유기 화학 기상 증착 했 을 때 의 높이 다 .