감도 평가 순서 와 마찬가지 로 기판 정면 및 라미 네이트 를 실시 하 고 , 노 광부 와 미노 광부 의 폭 이 1 : 200 의 비율 의 라인 패턴 을 , 묘화 데이터 를 사용 하 여 선폭 이 감도 평가 로 구한 노광량 으로 노광 하 였 다 . 그 후 , 최소 현상 시간 의 2 배 의 현상 시간 으로 현상 하 고 , 경화 레지스 트 라인 이 정상 적 으로 형성 되 어 있 는 최소 마스크 폭 을 밀착 성 의 값 으로 하 였 다 .