이때 , 보다 바람직 하 게 본 발명 의 일 실시 계 에 다른 가공 챔버 ( 100 ) 는 내벽 일 측 에 슬릿 ( slit ) 형상 의 제 1 가이드 홈 ( 120 ) 이 수직 방향 으로 적어도 하나 이상 형성 되 고 , 승강 트레이 ( 400 ) 는 트레이 프레임 ( 410 ) 의 측면 에서 돌출 형성 되 어 각각 의 제 1 가이드 홈 ( 120 ) 을 따라 이동 되 는 하나 이상 의 가이드 돌기 ( 430 ) 가 형성 된다 .