제 1 처리 블록 ( 3 ) 의 처리 층 ( A 1 ) 은 , IF 블록 ( 6 ) 으로부터 노광 장치 ( EXP ) 에서 처리 된 기판 ( W ) 을 수취 하 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 ID 블록 ( 2 ) 에 반송 한다 . 구체 적 으로 설명 한다 . 처리 층 ( A 1 ) 의 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 버퍼 부 ( PSBU 4 ) 로부터 노광 처리 가 행해진 기판 ( W ) 을 수취 한다 . 그 후 , 기판 반송 기구 ( MHU 3 ) 는 , 수취 한 기판 ( W ) 에 대해서 도포 처리 를 행하 지 않 고 , 수취 한 기판 ( W ) 을 ID 블록 ( 2 ) 의 버퍼 부 ( BU 1 ) 의 인도부 ( PS 1 ) 의 소정 위치 ( 예 를 들 면 기판 재 치부 ( 31 A ) ) 에 반송 한다 .