일련 의 케미컬 공정 , 린스 공정 및 드라이 공정 이 제 어부 ( 160 ) 에 의해서 제어 되 는 바 , 먼저 케미컬 공정 에 있 어서 , 척 ( 120 ) 이 약 25 매 ( 혹은 50 매 ) 의 다수 의 웨이퍼 ( W ) 를 일괄 적 으로 홀딩 한다 . 이때 리프트 ( 124 ) 에 의해 척 ( 120 ) 이 하강 하 면서 웨이퍼 ( W ) 를 배 쓰 ( 110 ) 내부 로 투입 한다 .