그 후 , 제 2 전달 로봇 ( 257 ) 은 노치 정렬 기 ( 248 ) 로부터 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 고 , 노치 연마 유닛 ( 255 ) 으로 웨이퍼 ( W ) 를 전달 한다 . 노치 부분 의 위치 설정 이 노치 정렬 기 ( 248 ) 에 의해 이미 수행 되 었 기 때문 에 , 웨이퍼 ( W ) 는 노치 부분 이 소정 위치 에 놓인 상태 로 노치 연마 유닛 ( 255 ) 으로 전달 된다 . 노치 정렬 기 ( 248 ) 대신 에 , 노치 연마 유닛 ( 255 ) 이 상술 된 바 와 같이 웨이퍼 ( W ) 의 위치 설정 을 수행 할 수 도 있 다 .