" 방금 개시 된 감쇠기 들 은 상기 섹션 "" 2 . 발명 의 기본 적 원리 들 "" 에 설명 되 는 발명 의 장점 들 을 달성 한다 . 특히 ", 전극 의 제 2 절반 부 ( 62 ) 보다 는 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 에 더 많 은 RF 전력 을 공급 하 는 것 은 전극 의 제 1 절반 부 ( 61 ) 근처 의 플 라즈 마 밀도 를 감소 시키 고 , 전극 의 제 2 절반 부 ( 62 ) 근처 의 플 라즈 마 밀도 를 증가 시킨다 . 이것 은 , 종래 의 플 라즈 마 챔버 들 에서 처럼 RF 전력 분배 가 대칭 적 인 경우 제 2 절반 부 ( 62 ) 보다 제 1 절반 부 ( 61 ) 근처 에서 더 큰 플 라즈 마 밀도 를 생성 하 는 , 워크 피스 통로 의 효과 를 오프셋 시킨다 .