종래 에 는 , 기판 에 대해서 전술 한 일련 의 처리 를 행하 는 경우 , 상기 기판 은 축선 을 수평 으로 하 여 배치 된 반송 롤러 에 의하 여 거의 수평 인 상태 에서 각각 의 처리 를 행하 는 처리 챔버 에 차례 로 반송 하 고 , 각 처리 챔버 에서 기판 을 처리 액 에 의해 처리 하 거나 , 처리 후 에 압축 기체 를 분사 하 여 건조 처리 하 도록 하 고 있 다 .