유사 하 게 , 유도 된 또는 측정 된 핑거 프린트 는 이 로부터 제거 된 하나 이상 의 핑거 프린트 를 갖 고 있 어 ( 추가 로 ) 유도 된 핑거 프린트 를 생성 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 기판 의 측정 된 초점 핑거 프린트 는 그 로부터 제거 된 그 기판 의 비 평탄 성 의 초점 기여 도 , 기판 의 노광 동안 리소그래피 장치 의 투영 시스템 과 관련 된 초점 오 차 , 노광 동안 기판 위치 제어 루프 에 의하 여 생성 된 높이 오 차 , 및 리소그래피 장치 의 초점 설정 의 잔류 핑거 프린트 를 가질 수 있 다 . 제거 된 핑거 프린트 에 의하 여 캡 처 되 지 않 은 오차 로 인하 여 이 는 잔류 초점 핑거 프린트 를 생성 할 수 있 다 . 이 의 예 가 도 10 에 관하 여 아래 에 설명 되 어 있 다 .