도 2 및 도 11 을 참조 하 면 , 크기 가 한 번 줄어든 상기 제 1 하부 패턴 ( UL 1 ) 을 식각 마스크 로 상기 최상층 의 절 연막 ( 110 ) 을 식각 할 수 있 다 . 이 와 동시 에 , 상기 최상층 의 절 연막 ( 110 ) 및 제 2 희생 막 ( HL 2 ) 에 의해 노출 된 이 들 아래 의 절 연막 ( 110 ) 이 함께 식각 될 수 있 다 . 이어서 , 상기 제 1 하부 패턴 ( UL 1 ) 을 식각 마스크 로 상기 최상층 의 제 2 희생 막 ( HL 2 ) 을 식각 할 수 있 다 . 이 와 동시 에 , 상기 최상층 의 제 2 희생 막 ( HL 2 ) 에 의해 노출 된 이 아래 의 제 2 희생 막 ( HL 2 ) 이 함께 식각 될 수 있 다 . 식각 된 상기 절 연막 들 ( 110 ) 및 식각 된 상기 제 2 희생 막 들 ( HL 2 ) 은 , 이 들 아래 의 다른 절 연막 ( 110 ) 및 다른 제 2 희생 막 ( HL 2 ) 을 노출 시킬 수 있 다 .