상기 실시 형태 와 관련 된 도포 장치 에서 는 , 기판 이동 기구 ( 12 ) 에 의한 기판 ( 9 ) 및 기판 유지 부 ( 11 ) 의 이동 을 대신 하 여 , 도포 헤드 ( 14 ) 가 부 주사 방향 으로 이동 함 으로써 , 부 주사 방향 에 있 어서 의 기판 ( 9 ) 의 도포 헤드 ( 14 ) 에 대한 상대 이동 이 행해져 도 된다 . 또 , 헤드 이동 기구 ( 15 ) 에 의한 도포 헤드 ( 14 ) 의 이동 을 대신 하 여 , 기판 ( 9 ) 및 기판 유지 부 ( 11 ) 가 주 주사 방향 으로 이동 함 으로써 , 주 주사 방향 에 있 어서 의 도포 헤드 ( 14 ) 의 기판 ( 9 ) 에 대한 상대 이동 을 행해도 된다 .