또한 , 유지 부 ( 3 ) 는 , Z 축 방향 으로 승강 한다 . 유지 부 ( 3 ) 는 , 예컨대 , 기판 ( W ) 을 유지 한 상태 로 승강 한다 . 유지 부 ( 3 ) 는 , 전달 위치 와 , 처리 위치 사이 에서 기판 ( W ) 을 승강 시킨다 . 전달 위치 는 , 외측 컵 ( 4 ) 보다 상방 에 설정 된 위치 이 고 , 유지 부 ( 3 ) 와 기판 반송 장치 ( 도시 하 지 않 음 ) 사이 에서 기판 ( W ) 의 전달 이 행해 지 는 위치 이 다 . 처리 위치 는 , 전달 위치 보다 하방 이 고 , 외측 컵 ( 4 ) 내 에 설정 된 위치 이 며 , 기판 ( W ) 에 대해 기판 처리 가 행해 지 는 위치 이 다 .