더욱이 , 후술 되 는 바 와 같이 , 스위칭 모드 파워 서플라이 ( 106 ) 의 실시 예 들 은 , 스위칭 모드 파워 서플라이 ( 106 ) 에 의해 기판 ( 110 ) 에 인가 되 는 파워 와 플라 즈 마 파워 서플라이 ( 102 ) 에 의해 ( 플라 즈 마 114 에 ) 인가 되 는 파워 사이 에 약간 의 상호 작용 이 존재 하 도록 동작 하 여 구성 된다 . 스위칭 모드 파워 서플라이 ( 106 ) 에 의해 인가 되 는 파워 는 , 예컨대 , 플 라즈 마 ( 114 ) 의 밀도 에 실질 적 으로 영향 을 미치 지 않 고 이온 에너지 의 제어 를 행할 수 있 도록 제어 할 수 있 다 .