즉 , 제 2 현상 챔버 ( D 2 ) 로부터 이송 된 기판 ( G ) 을 후술 하 는 제 2 틸팅 수단 ( 50 ) 에 의하 여 경사지 게 하 면 , 기판 ( G ) 상 에 잔류 하 는 현상액 이 흘러내리 며 , 흘러내린 현상액 이 이 드레 인 버켓 ( P ) 에 저장 될 수 있 다 . 따라서 , 현상액 이 세정 챔버 ( S 1 , S 2 ) 에 유입 되 는 것 을 사전 에 방지 할 수 있 다 .