유기 실란 으로서 는 , 테트라 에 톡 시 실란 ( 약칭 ; TEOS : 화학식 Si ( OC 2 H 5 ) 4 ) , 테트라메틸 실란 ( TMS : 화학식 Si ( CH 3 ) 4 ) , 트리 메틸 실란 ( ( CH 3 ) 3 SIH ) , 테트라메틸 시 클로 테트라 실록 산 ( 약칭 : TMCTS ) , 옥 타 메틸 시 클로 테트라 실록 산 ( 약칭 : OMCTS ) , 헥사 메틸 디 실라 잔 ( 약칭 : HMDS ) , 트리 에 톡 시 실란 ( 화학식 : SiH ( OC 2 H 5 ) 3 ) , 트리스 디메틸아미노 실란 ( 화학식 : SiH ( N ( CH 3 ) 2 ) 3 ) 등 의 실리콘 함유 화합물 을 사용 할 수 있 다 .