이상 과 같이 구성 되 는 본 발명 의 히팅 척 ( 30 ) 은 공정 챔버 ( 20 ) 로 로딩 된 기판 ( W ) 을 리프트 핀 ( 61 ) 으로 인계 받 아서 테두리 ( 40 ) 의 걸림 턱 ( 41 ) 에 기판 ( W ) 이 안착 되 도록 한다 . 기판 ( W ) 이 걸림 턱 ( 41 ) 에 안착 되 면 , 클램프 ( 37 ) 에 의해서 기판 ( W ) 고정 된다 .