이 예시 된다 . 여기 에서 설명 한 조건 은 , 처리 실 ( 201 ) 내 에서 SiH 3 R 가스 가 기상 분해 ( 열분해 ) 하 지 않 는 조건 이 다 . 또한 , 하 지 ( 200 b ) 및 보호막 ( 200 e ) 은 전역 ( 전체 면 ) 에 걸쳐 수산기 ( OH ) 종단 된 표면 을 갖 고 있 다 . 하 지 ( 200 a ) 는 대부분 의 영역 이 OH 종단 되 어 있 지 않 은 표면 , 즉 , 일부 영역 이 OH 종단 된 표면 을 갖 고 있 다 .