트렌치 ( T ) 에 는 하부 도전체 ( 102 ) 와 전기 적 으로 연결 하 는 장벽층 ( barrier metal ) ( 108 , 110 ) 및 금속 배선 ( 112 ) 이 형성 되 어 있 다 . 장벽층 ( 108 , 110 ) 은 트렌치 ( T ) 의 내벽 을 따라 얇 게 형성 되 어 있 고 , 금속 배선 ( 112 ) 은 장벽층 ( 108 , 110 ) 에 의해 정의 되 는 트렌치 내부 를 채우 는 금속 층 으로 이루어진다 .