CD 에 대한 초점 블러 기여 도 는 서보 정보 ( 예 를 들 어 , z 방향 의 MSD ) 와 같 은 리소그래피 장치 데이터 를 사용 하 여 획득 될 수 있 다 . 초점 블러 정보 는 스캔 방향 에 걸쳐 그리고 기판 에 걸쳐 Δ CD 기여 도로 변환 될 수 있 다 . CD 로 의 이 초점 데이터 변환 은 또한 피처 특정 적 이 며 실험 또는 시뮬레이션 을 통해 알려질 수 있 다 :