도 10 에 도시 하 는 바 와 같이 , 본 실시 형태 의 제 4 변형 예 에서 의 보트 ( 217 ) 는 , 천 장판 ( 11 ) 과 저판 ( 12 ) 각각 의 외주 에 마련 되 어 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 보유 지지 하 는 지주 ( 15 ) 와 , 천 장판 ( 11 ) 과 저판 ( 12 ) 각각 의 외주 에 마련 되 고 , 지주 ( 15 ) 보다 도 직경 이 작 은 보조 지주 ( 18 ) 를 구비 한 구성 이 다 . 또한 , 지주 ( 15 ) 에 는 , 실시 형태 또는 제 2 변형 예 또는 제 3 변형 예 와 마찬가지 로 , 웨이퍼 ( 200 ) 를 지지 ( 적재 ) 하 는 지 지부 ( 적 재부 ) 로서 의 지지 핀 ( 16 ) 이 마련 되 어 있 다 .