상기 진공 챔버 의 내측 하부 에 위치 하 며 , 상부 가 개구 되 어 있 으며 내부 에 증착 물질 이 수용 되 는 도가니 와 , 상기 도가니 의 외주 면 에 고정 부착 되 어 열 을 공급 하 는 열선 과 , 상기 도가니 의 상단 부 와 결합 되 며 상기 열선 에 의해 가열 된 증착 물질 이 분사 되 는 홀 이 형성 되 어 있 는 캡 부재 와 , 상기 캡 부재 의 상면 부 에 고정 부착 되 고 중 심부 가 천공 된 원판 형 의 리플렉터 를 포함 하 는 증발원 ; 을 포함 하 는 것 을 특징 으로 한다 .