상기 서술 한 바 와 같이 , 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 구조 체의 제조 방법 에 의하 면 여러 가지 형상 의 구조 체 를 제조 할 수 있 는데 , 이하 에서 는 , 제 1 실시 형태 에 있 어서 의 막 형성 조성물 에 의해 , 기체 상 에 소정 의 패턴 의 구조 체 를 형성 하 고 , 이 구 조체 를 레지 스트로 서 사용 하 는 경우 에 대해 추가 로 설명 한다 . 단 , 이 패턴 형성 방법 은 상기 서술 한 구조 체의 제조 방법 과 동일 하 기 때문 에 , 동일 한 부분 에 대해서 는 기재 를 생략 또는 간략 화 한다 .