격벽 형성 단계 ( S 130 ) 에서 는 상기 베이스 층 ( 110 ) 에 격벽 ( 120 ) 을 형성 ( 도 5 의 ( c ) 참조 ) 할 수 있 다 . 베이스 층 ( 110 ) 에 격벽 ( 120 ) 을 형성 하 는 방법 은 일반 적 인 기판 제조 방법 에서 사용 되 는 공지 의 방법 이 사용 될 수 있 으므로 , 이 에 대한 상세 한 설명 은 생략 하 기 로 한다 .