상기 한 바 와 같이 , 금속 표면 에 불소 가 장시간 잔류 하 고 있 으면 , 해당 금속 의 부식 의 원인 이 되 는 경우 가 있 다 . 또한 , 금속 표면 에 불소 가 잔류 된 채 , 예컨대 후 의 공정 에 있 어서 해당 금속 상 에 다른 금속 등 ( 예컨대 확산 방지 막 등 ) 을 성막 했 을 경우 에 , 해당 금속 과 다른 금속 의 밀착 성 이 저하 해 버리 는 문제 가 발생 할 염려 가 있 었 다 .