도 4 를 참조 하 면 , 희생 제 1 티어 개구 충전 부분 들 ( 148 , 128 ) 이 다양 한 제 1 티어 개구 들 ( 149 , 129 ) 내 에 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 희생 제 1 티어 충전 재료 가 제 1 티어 개구 들 ( 149 , 129 ) 각각 에 동시 에 침착 된다 . 희생 제 1 티어 충전 재료 는 , 후속 적 으로 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 및 제 1 희생 재료 층 들 ( 142 ) 의 재료 들 에 대해 선택 적 으로 제거 될 수 있 는 재료 를 포함 한다 .