복수 개 의 처 리조 내 에 는 웨이퍼 ( w ) 를 처리 하 는 용도 에 따라 서로 다른 제 1 처리 액 ( 115 ) 이 공급 될 수 있 다 . 이 때 , 제 1 처리 액 ( 115 ) 은 제 1 처 리조 ( 110 ) 에 연결 되 어 있 는 제 1 처리 액 공급 부 ( 117 ) 로부터 공급 될 수 있 다 . 제 1 처리 액 ( 115 ) 은 예 를 들 어 , 황산 ( H ₂ SO ₄ ) , 인산 ( H ₃ PO ₄ ) 또는 SC ­ 1 ( NH ₄ OH + H ₂ O ₂ + DI ) 등 의 식각 액 일 수 있 고 , 순수 ( De ­ Ionized water ; DI ) 등 의 세정액 일 수 도 있 다 .