일례 로 , 노광 된 마스킹 을 현상 하 여 제 1 S - D 피 처리 웨이퍼 상 에 제 1 S - D 검증 특징 부 세트 가 작성 된다 . 또 다른 예 로 , 하나 이상 의 층 을 에칭 하 여 제 1 S - D 피 처리 웨이퍼 상 에 제 1 S - D 검증 특징 부 세트 가 작성 된다 . 다른 예 들 로 , 증착 된 마스킹 층 을 노광 시킴 으로써 제 1 S - D 피 처리 웨이퍼 상 에 제 1 S - D 검증 특징 부 세트 가 작성 된다 .