도 5 를 참조 하 면 , 일부 실시 예 들 에서 , 매니폴드 ( 235 ) 는 복수 의 포트 들 ( 예컨대 , AC 포트 ( 508 ) 들 과 DC 포트 ( 510 ) 들 ) 과 입구 들 / 출구 들 ( 예컨대 , 웨이퍼 가스 입구 ( 514 ) , 디스크 가스 입구 ( 502 ) , 냉각 유체 입구 ( 506 ) 및 출구 ( 509 ) ) 을 통해 ( 전술 한 ) 디스크 와 ( 전술 한 ) 열 제어 판 에 처리 가스 들 , 전력 , 열 전달 유체 들 등 을 선택 적 으로 제공 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예컨대 , 일부 실시 예 들 에서 , ( 전술 한 ) 열 제어 판 에 열 전달 유체 ( 예컨대 , 물 ) 의 흐름 을 전달 하 기 위해 , 2 개 또는 그 초과 의 수관 ( 507 ) 들 ( 2 개 가 도시 됨 ) 이 냉각 유체 입구 ( 506 ) 와 냉각 유체 출구 ( 509 ) 를 가진 판 ( 516 ) 에 커플링 될 수 있 다 . 열 전달 유체 의 누설 을 방지 하 기 위해 , 입구 ( 506 ) 와 출구 ( 509 ) 각각 의 주위 에 O 링 ( 518 ) 이 배치 될 수 있 다 . 또한 , 정전 척 ( 105 ) 의 다른 영역 들 로 열 전달 유체 가 누설 되 는 것 을 더 방지 하 기 위해 , 판 ( 516 ) 의 에지 에 근접 하 여 O 링 이 배치 될 수 있 다 . 추가 로 , 일부 실시 예 들 에서 , 누설 된 열 전달 유체 를 제거 하 기 위해 누수 배출구 ( 509 ) 가 또 한 판 ( 516 ) 에 커플링 될 수 있 다 .