또 현상 유닛 ( DEV ) 은 , 도 3 에 나타내 는 바 와 같이 , 유지 회 전부 ( 54 ) , 노즐 ( 55 ) 및 노즐 이동 기구 ( 56 ) 를 구비 하 고 있 다 . 유지 회 전부 ( 54 ) 는 , 예 를 들 면 진공 흡착 에 의해서 기판 ( W ) 의 하면 을 유지 하 고 , 유지 한 기판 ( W ) 을 연직 축 ( Z 방향 ) 둘레 로 회전 시킨다 . 노즐 ( 55 ) 은 , 현상액 을 기판 ( W ) 에 대해서 토출 한다 . 노즐 ( 55 ) 은 , 배관 을 통해 현상액 공급원 에 접속 되 어 있 고 , 배관 에 는 , 펌프 및 개폐 변이 설치 되 어 있 다 . 노즐 이동 기구 ( 56 ) 는 , 노즐 ( 55 ) 을 임의 의 위치 로 이동 시킨다 . 유지 회 전부 ( 54 ) 및 노즐 이동 기구 ( 56 ) 는 각각 , 예 를 들 면 전동 모터 를 구비 하 고 있 다 .