본 발명 의 실시 예 들 에 따르 면 , 희생 막 ( 114 ) 은 폴리머 형성 가스 를 이용 한 폴리머 부착 ( polymer attach ) 공정 에 의해 형성 될 수 있 다 . 상기 폴리머 부착 공정 은 중합 ( polymerization ) 반응 을 이용 하 며 , 온도 에 따라 희생 막 ( 114 ) 의 물리 적 화학 적 특성 이 다르 게 된다 . 폴리머 부착 공정 의 온도 가 약 800 ℃ 보다 높 은 경우 , 희생 막 ( 114 ) 이 제 1 트렌치 ( 110 ) 및 제 2 트렌치 의 저면 에 주로 형성 될 수 있 다 . 반면 , 폴리머 부착 공정 온도 가 약 500 ℃ 보다 작 은 경우 , 폴리머 부착 공정 인 중합 반응 이 수행 되 지 않 는다 . 따라서 , 상기 폴리머 부착 공정 은 약 500 ℃ 내지 약 800 ℃ 의 온도 에서 수행 된다 .