한편 , 웨이퍼 ( W ) 가 반입 되 는 린스 장치 ( 50 ) 의 린스 조 ( 51 ) 내 에 는 순수 가 저류 되 어 있 다 . 그리고 , 린스 장치 ( 50 ) 의 수 용부 ( 50 a ) 에 저류 된 순수 에 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 가 동시 에 침지 되 어 2 장 의 웨이퍼 ( W ) 에 대한 린스 처리 가 개시 된다 . 또한 , 반송 장치 ( 30 ) 는 다른 웨이퍼 ( W ) 를 반송 하 기 위하 여 제어 장치 ( 20 ) 로부터 의 신호 에 기초 해서 계속 동작 한다 .