여기 에서 참조 되 는 바 와 같이 본 발명 은 챔버 ( 10 ) 의 내부 에서 웨이퍼 ( 50 ) 를 고정 시키 도록 상기 챔버 ( 10 ) 의 내측 하부 에 설치 되 는 몸체 ( 110 ) 가 마련 되 어 있 고 , 그 몸체 ( 110 ) 의 상면 에 는 플레이트 ( 120 ) 가 접착제 ( 111 ) 를 매개 로 부착 되 어 있 으며 , 상기 플레이트 ( 120 ) 의 둘레 면 에 는 몸체 ( 110 ) 의 상면 에 플레이트 ( 120 ) 를 부착 시키 는 접착제 ( 111 ) 가 감싸여 지 도록 하향 절곡 된 차단 링 ( 121 ) 이 형성 되 어 있 다 .