도 1 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 단결정 성장 장치 를 도시 한 개략 적 인 구 성도 이 다 . 도 2 는 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 차단 부재 의 중간 챔버 내 설치 상태 를 도시 한 개략 도 이 다 . 도 3 a 및 도 3 b 는 각각 본 발명 의 변형 예 에 따른 가스 유입 라인 이 하 면 에 배치 된 차단 부재 의 배면도 이 다 .