본 발명 에 의하 면 , 생성 된 펄스 전원 을 압 전 소자 의 구동 을 위한 정현파 의 펄스 전원 으로 변환 하 기 위한 주파수 필터 가 펄스 전원 생성 장치 에 구비 되 는 것 이 아니 라 개별 초음파 변환기 에 구비 되 기 때문 에 , 펄스 전원 생성 장치 의 크기 가 감소 될 수 있 다 . 특히 서로 다른 주파수 를 가지 는 복수 의 초음파 변환기 를 사용 하 는 경우 에 는 기존 에 는 펄스 전원 생성 장치 가 복수 의 주파수 필터 를 구비 하 고 연결 된 초음파 변환기 에 따라 그 중 하나 의 주파수 필터 가 선택 적 으로 사용 될 수 있 도록 하 는 구성 이 필요 하 나 , 본 발명 은 이러 한 구성 을 필요 로 하 지 않 는다 .