또한 , 상기 소스 가스 영역 과 대응 하 도록 상기 반응 챔버 의 가장자리 에 형성 되 며 , 상기 제 1 진공 펌프 에 연결 되 는 제 1 배기 홀 및 상기 반응 가스 영역 과 대응 하 도록 상기 반응 챔버 의 가장자리 에 형성 되 며 , 상기 제 2 진공 펌프 에 연결 되 는 제 2 배기 홀 을 포함 할 수 도 있 다 . 이 는 , 상기 제 1 및 제 2 배기 홀 의 형성 위치 를 분리 함 으로써 상기 제 1 및 제 2 배기 홀 을 통해 배기 되 는 소스 가스 와 반응 가스 가 혼합 되 는 것 을 방지 하 기 위함 이 다 .