그러나 , 이 초음파 세정 에 의한 수법 을 이용 해도 한편 , 상기 실리카 계 입자 의 표면 으로부터 나노 사이즈 입자 등 의 이물 을 완전 하 게 제거 할 수 없 고 , 또한 다공질 실리카 계 입자 에 있 어서 는 , 초음파 에 의한 충격 에 의해 , 실리카 입자 자체 가 붕괴 되 기 쉽 기 때문 에 , 진구 율 ( 眞 球 率 ) 이 높 은 입자 를 얻 을 수 없 다고 하 는 결점 이 있 었 다 .