이 격막 진공계 ( 1 ) 에 있 어서 , 센서 칩 ( 30 ) 의 센서 다이어프램 ( 31 ) 과 도입부 ( 10 A ) 사이 에 는 , 도입부 ( 10 A ) 로부터 의 피 측정 매체 의 유 입구 에 , 피 측정 매체 의 통과 방향 ( F ) 에 그 판면 을 직교 시켜 , 금속제 의 배 플 ( 70 ) 이 배치 되 어 있 다 . 도 5 에 배 플 ( 70 ) 의 평면도 를 도시 한다 . 배 플 ( 70 ) 에 는 , 그 외 주부 에 소정 의 각도 간격 으로 탭 ( tab ; 70 a ) 이 형성 되 어 있 고 , 이 탭 ( 70 a ) 사이 의 간극 ( 70 b ) 을 피 측정 매체 가 통과 하 여 , 센서 다이어프램 ( 31 ) 으로 보내 진다 . 도시 한 배 플 ( 70 ) 은 일례 이 며 , 형상 · 사이즈 등 은 이 에 한하 지 않 는다 .