먼저 제 1 의 방법 을 구현 하 기 위해 , 구동 부 ( 230 ) 는 서로 대향 하 여 배치 된 분리 부재 ( 210 , 220 ) 중 상측 에 놓이 는 제 2 분리 부재 ( 220 ) 를 수직 방향 으로 구동 시키 는 구동 수단 을 구비 한다 . 구동 수단 은 예 를 들 어 에어 실린더 , 공 압 , 전기 모터 또는 유압 모터 이 고 , 기판 ( 10 ) 과 질화물 반도체 층 ( 50 ) 이 분리 될 때 까지 제 2 분리 부재 ( 220 ) 를 수직 방향 ( 상하 방향 ) 으로 구동 시킨다 .