본 발명 의 식각 액 조성물 에 포함 되 는 과산화수소 는 , 상술 한 불 산 을 포함 하 지 않 는 불소 계 화합물 ; 상기 화학식 1 의 4 급 암모늄염 및 물 을 포함 하 는 , 본 발명 의 식각 액 조성물 제조 용 예비 - 조성물 에 최종 적 으로 첨가 하 여 사용 하 는 것 이 식각 액 조성물 의 안정 성 , 식각 성능 유지 등 을 위해 보다 바람직 할 수 있 다 .