그런데 , 상술 한 종래 기술 에 따르 면 하드 마스크 ( 20 ) 의 제 거시 하드 마스크 ( 20 ) 의 종점 검출 ( End Point Detection : 이하 EDP ) 이 어려워 동일 재질 인 게이트 산화 막 ( 50 ) 의 상단 부도 같이 식각 이 이루어지 게 되 며 , 이 는 이 제품 의 드레 인 에서 소스 로 흐르 는 최대 전류 ( IDSS ) 의 감소 로 이어져서 반도체 소자 의 동작 신뢰 성 을 저하 시키 는 문제점 이 있 었 다 .