본 발명 의 제 2 실시 예 는 도 9 - 11 에 도시 되 며 , 먼저 픽셀 로우 가 x - 방향 에 실질 적 으로 평행 하 도록 이미지 센서 ( 56 ) 를 병진 스테이지 ( 18 ) 와 정렬 시키 는 방법 에 관한 것 이 다 . 따라서 , 이 실시 예의 첫 번 째 단계 는 병진 스테이지 ( 18 ) 의 이동 에 정렬 ( 즉 , x - 방향 이동 및 y - 방향 이동 에 평행 한 픽셀 로우 및 컬럼 ) 되 는 센서 ( 56 ) 를 필요 로 한다 . 도 9 a 는 이미지 센서 ( 56 ) 의 위치 좌측 에 표본 척 ( 30 ) 을 갖 는 병진 스테이지 를 도시 한다 . 일부 실시 예 들 에서 , 표본 척 ( 30 a ) 은 컴퓨터 비전 에 의해 보여 지 고 위치 되 도록 제공 된 그 위 에 새겨진 기준 마크 ( 64 ) 를 갖 는다 . 다른 실시 예 들 에서 , 표본 척 ( 30 a ) 상 에 배치 된 표본 ( S ) 은 그 위 에 기준 마크 를 가지 므로 , 이 방법 은 기준 마크 를 포함 하 여 표본 척 또는 그 위 에 배치 된 표본 을 구상 하 도록 하 지만 , 상기 방법 은 표본 척 ( 30 a ) 상 에 기준 마크 ( 64 ) 를 나타내 는 이미지 들 에 대해 구체 적 으로 개시 된다 . 표본 척 상 에 배치 된 시료 상 의 기준 마크 로 이 방법 을 구현 할 경우 , 표본 간 상대 적 위치 는 표본 척 의 이동 동안 변경 되 지 않 도록 해야 한다 .