광학 유 니트 ( U ) 는 제 1 노광 영역 ( AR 1 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 제 1 패턴 의 상 을 형성 가능 하 고 , 제 2 노광 영역 ( AR 2 ) 에 조사 되 는 노광 광 ( EL ) 으로 제 2 패턴 의 상 을 형성 가능 하 다 . 본 실시 형태 에 있 어서 는 제 1 패턴 과 제 2 패턴 과 는 다른 패턴 이 다 .