다음 으로 , 다마스 커스 공정 은 도 8 e 에 도시 되 는 바 와 같이 도 2 i 와 관련 하 여 상기 기재 되 는 바 와 같이 유전체 층 ( 50 ) 을 적층 함 으로써 시작 된 후 , 이 실시 예 에서 접착제 로 라이닝 된 하부 및 측면 을 갖 는 구리 의 상부 층 ( 54 b ) 및 구리 확산 배리 어 층 ( 54 a ) , 여기 서 는 예 를 들 어 도 2 i - 2 l 과 관련 하 여 상기 기재 되 는 바 와 같이 탄탈럼 또는 탄탈럼 질화물 또는 이 의 조합 을 포함 하 는 전기 적 상호 접속 의 형성 은 도 8 f 에 도시 되 는 바 와 같이 여기 서 는 첨자 없이 54 로 표시 된 상기 기재 된 다마스 커스 전극 접촉 ( 541 - 5411 ) 의 예시 를 생성 한다 .