도 3 a 내지 도 3 h 는 본 발명 의 다른 실시 예 에 따른 임프 린트 용 스탬프 제조 과정 의 공정 순서 에 따라 , 각 단계 에서 형성 되 는 스탬프 의 단면 을 도시 한 도면 이 다 . 후술 할 실시 예 에서 실리콘 화합물 ( 12 ) 막 의 상부 면 에 포토 레지스 트 ( 11 ) 막 을 형성 하 는 단계 ( 3 - d ) 부터 는 앞서 설명 한 것 과 동일 하 다 .