본 발명 의 실시 예 에 따른 타원 계측기 의 데이터 분석 방법 은 , 영상 분광기 ( Imaging Spectrometer ) 를 이용 한 분광 타원 계측기 ( spectroscopic ellipsometer ) 의 광 검출기 로부터 얻 어 지 는 반사 광 의 세기 ( intensity ) 를 광원 의 파장 ( λ ) 또는 시료 상 의 위치 ( x ) 에 대한 회전각 ( θ ) 의 변수 분리 된 표현식 으로 정의 하 고 , 각각 의 변수 에 대하 여 선형 화 된 최적화 방안 을 도입 함 으로써 타원 계측기 를 구성 하 는 편광 변환 소자 들 의 초기 설정 값 과 회전각 에 포함 된 오차 의 영향 을 최소 화 함 으로써 측정값 의 정밀도 를 향상 시킬 수 있 다 .