계속 해서 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 형상 이나 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 지지 구조 , 리프트 핀 ( 30 ) 을 승강 하 기 위한 구조 에 대해서 , 도 1 을 참조 하 여 , 도 2 내지 도 5 를 사용 해서 설명 한다 . 도 2 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 의 구성 의 개략 을 도시 하 는 설명도 이 다 . 도 3 내지 도 5 는 , 도 1 의 성막 장치 ( 1 ) 의 내부 의 상태 를 도시 하 는 부분 확대 단면도 이 며 , 도 3 은 , 적재 대 ( 20 ) 가 처리 위치 로 이동 되 었 을 때 의 상태 를 도시 하고 , 도 4 는 , 적재 대 ( 20 ) 가 반송 위치 로 이동 되 었 을 때 의 상태 를 도시 하고 , 도 5 는 , 리프트 핀 ( 30 ) 과 웨이퍼 반송 장치 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 가 전달 될 때 의 상태 를 도시 하고 있 다 .