또한 , 도 5 a 는 , 포름산 처리 전 의 XPS 의 F 1 s 의 스펙트럼 을 , 도 5 b 는 상기 포름산 처리 후 의 XPS 의 F 1 s 의 스펙트럼 을 나타낸 것 이 다 . 도 5 a 및 도 5 b 의 종축 은 각각 임의 의 단위 이 며 , 도 5 a 와 도 5 b 에서 는 종축 의 단위 가 다르 다 . 또한 , 도 5 a , 도 5 b 에 는 , C - F 결합 에 대응 하 는 결합 에너지 , Si - F 결합 에 대응 하 는 결합 에너지 , 및 금속 - F 결합 에 대응 하 는 결합 에너지 의 위치 를 각각 나타내 고 있 다 . 도 5 a 및 도 5 b 를 참조 하 면 , 포름산 의 처리 후 에 는 , 금속 - F 결합 의 피크 가 대폭 작아져 있 어 , 금속 과 결합 된 F 가 제거 되 어 있 는 것 이 확인 되 고 있 다 .