유기 EL 패널 의 얼라인먼트 마크 를 촬상할 때 , 카메라 가 있 는 하측 에서 조명 을 대 도록 하 고 있 다 . 그리고 , 이 조명 의 조사 조건 ( 조사 광량 , 조사 각도 등 ) 은 , 기준 이 되 는 유기 EL 패널 ( 예컨대 , 가장 자리 부 가 편평 한 유기 EL 패널 로 , 이하 「 기준 패널 」 이 라고 한다 . ) 을 이용 하 여 , 이 기준 패널 의 얼라인먼트 마크 를 양호 하 게 촬상 할 수 있 는 조건 으로 설정 하 고 있 다 . 이 로부터 , 실제로 촬상 되 는 유기 EL 패널 의 가장자리 부 에 는 처짐 이나 휘어짐 이 있 고 , 기준 패널 의 가장자리 부 에 대하 여 기우 는 등 , 상태 가 다르 기 때문 에 , 유기 EL 패널 가장자리 부 에서 의 조명 의 반사 모양 이 기준 패널 과 는 다른 것 으로 되 어 버린다 . 그 결과 , 얼라인먼트 마크 를 선명 하 게 촬상 할 수 없 게 되 거나 전혀 촬상 할 수 없 게 되 거나 한다고 하 는 문제점 이 생긴다 . 본원 발명자 들 의 실험 결과 , 얼라인먼트 마크 를 선명 하 게 촬상 할 수 없 었 던 경우 , 인식 위치 에 최대 1 ㎛ 정도 의 어긋남 이 생기 는 것 이 확인 되 었 다 .