척 테이블 부 ( 40 ) 는 개략 원형 상 의 웨이퍼 ( 1 ) 를 유지 하 기 위해 이용 된다 . 도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 피 가 공물 인 웨이퍼 ( 1 ) 는 , 링 프레임 ( F ) , 점착 테이프 ( S ) 및 웨이퍼 ( 1 ) 를 포함 하 는 피 가 공물 유닛 ( W ) 으로서 , 척 테이블 부 ( 40 ) 에 유지 된다 . 웨이퍼 ( 1 ) 는 , 격자 형 의 분할 예정 라인 ( M ) 을 가지 고 있 다 . 분할 예정 라인 ( M ) 에 의해 구획 된 각 영역 에 는 , 디바이스 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 형성 되 어 있 다 . 웨이퍼 ( 1 ) 를 분할 예정 라인 ( M ) 을 따라 분할 함 으로써 , 칩 을 형성 할 수 있 다 .