제 2 필드 플레이트 ( 170 ) 는 제 1 필드 플레이트 ( 160 ) 로부터 드레 인 전극 ( 130 ) 방향 으로 LSP 길이 만큼 이격 하 여 형성 되 어 있 다 . 제 2 필드 플레이트 ( 170 ) 의 길이 는 LFP 2 이 며 , 드레 인 전극 ( 130 ) 과 의 이격 거리 는 LFPD 이 다 . 참고 로 , 본 실시 예 에서 는 LFP 1 , LSP , LFP 2 , LFPD 를 각각 2 ㎛ 로 설계 한다 .