그런데 , 진공 펌프 유 에 포함 되 는 기유 로서 는 , 비용 면 에서 , 광유 가 선택 되 는 경우 가 많 다 . 그렇지만 , 광유 에 는 , 정제 공정 으로 도 제거 할 수 없 는 경질 분 이 포함 되 어 있 다 . 그 경질 분 은 , 얻 어 지 는 진공 펌프 의 도달 진공 압력 의 상승 을 야기 하 는 등 의 진공 특성 의 악화 의 원인 이 된다 .