산화물 소 결체 는 , 연마 등 의 가공 을 실시 하 는 것 에 의해 타 겟 으로 된다 . 구체 적 으로 는 , 소 결체 를 , 예컨대 , 평면 감삭 반 으로 감삭 하 여 표면 조도 Ra 를 5 μ m 이하 로 한다 . 또한 , 타 겟 의 스퍼터 면 에 경면 가공 을 실시 하 여 , 평균 표면 조도 Ra 를 1000 옹스트롬 이하 로 해도 좋 다 . 이 경면 가공 ( 연마 ) 은 기계 적 인 연마 , 화학 연마 , 메카 노 케미 칼 연마 ( 기계 적 인 연마 와 화학 연마 의 병용 ) 등 의 , 이미 알려져 있 는 연마 기술 을 이용 할 수 있 다 . 예컨대 , 고정 지 립 ( 砥 粒 ) 폴리 셔 ( 폴리 시액 : 물 ) 로 # 2000 이상 으로 폴리 싱하 거나 , 또는 유리 ( 遊離 ) 지 립 랩 ( 연마재 : SiC 페이스트 등 ) 으로 랩 핑 후 , 연마재 를 다이아몬드 페이스트 로 바꾸 어 랩 핑 함 으로써 얻 을 수 있 다 . 이러 한 연마 방법 에 는 특별히 제한 은 없 다 .