즉 , 상부 송풍 장치 ( 40 ) 는 챔버 ( 12 a ) 의 상부 에 마련 될 수 있 으며 , 상부 커버 부 ( 12 b ) 의 후방 에 배치 될 수 있 다 . 상부 송풍 장치 ( 40 ) 는 회전력 을 발생 시키 는 상부 모터 ( 41 ) 와 , 상부 모터 ( 41 ) 에 의해 회전 하 도록 마련 되 는 한 쌍 의 상부 팬 ( 42 ) 과 , 한 쌍 의 상부 팬 ( 42 ) 을 수용 하 도록 마련 되 는 한 쌍 의 팬 케이스 ( 43 ) 를 포함 할 수 있 다 .