한편 , 게이트 ( 30 a ) 의 일 측 에 PID ( plasma induced diode : 60 ) 가 배치 된다 . PID ( 60 ) 는 플 라즈 마 공정 시 잔류 하 는 플 라즈 마 이온 을 제거 하 기 위해 제공 되 는 소자 로서 , 상기 액티브 영역 ( 40 a ) 과 동일 한 불순물 영역 으로 형성 될 수 있 다 . 또한 , PID ( 60 ) 는 이후 , 비트 라인 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 게이트 ( 30 a ) 와 전기 적 으로 연결 될 수 있 다 .