도 6 a 및 도 6 b 는 , 제 5 실시 형태 에 있 어서 의 노광 장치 ( 100 ) 의 구성 을 설명 하 기 위한 도 다 . 본 실시 형태 에서 는 , 도 6 a 및 도 6 b 에 도시 한 바 와 같이 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 따른 방향 으로 이동 시키 는 제 1 이 동부 ( 140 ) 가 설치 되 어 있 다 . 제 1 이 동부 ( 140 ) 는 , 예 를 들 면 , 액추에이터 나 리니어 모터 등 을 포함 하 고 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 ( 개구 상 에 있 어서 의 경통 ( 107 ) 의 외부 ) 의 기체 ( 205 ) 의 유량 에 근거 하 여 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 따른 방향 으로 이동 시킨다 . 바꾸 어 말 하 면 , 제 1 이 동부 ( 140 ) 는 , 챔버 ( 110 ) 의 내부 의 기체 ( 205 ) 의 유량 의 변화 ( 흐름 의 흐트러짐 ) 에 따라 , 개구 ( 202 ) 의 단부 와 내뿜 기 부 ( 203 ) 와 의 사이 의 거리 ( 207 ) 를 변경 하 도록 , 내뿜 기 부 ( 203 ) 를 광학 부품 ( 201 ) 의 표면 ( 201 A ) 을 따른 방향 으로 이동 시킨다 .