도전 층 ( 534 ) 을 형성 한 후 , 전체 구조 상 에 층간 절 연막 ( 536 ) 을 형성 한다 . 그리고 , 제 2 수직 채널 층 ( 530 B ) 이 노출 되 도록 층간 절 연막 들 ( 532 , 536 ) 을 식각 하 여 콘 택 홀 을 형성 한다 . 이어서 , 콘 택 홀 내 에 는 콘 택 플러그 ( 538 ) 를 형성 한다 . 층간 절 연막 ( 536 ) 상 에 는 콘 택 플러그 ( 538 ) 와 연결 되 는 금속 배선 ( 540 ) 을 형성 한다 . 금속 배선 ( 540 ) 은 비트 라인 ( 도 4 의 BL ) 으로 사용 된다 .