다음 에 , 투명 도전 막 을 형성 한 후 , 제 5 포토 마스크 를 사용 하 여 형성 한 레지스 트 마스크 를 사용 하 여 투명 도전 막 의 일부 를 에칭 하 여 화소 부 에 제 1 접속 전극 ( 120 ) 의 일부 와 중첩 하 여 , 전기 적 으로 접속 하 는 화소 전극 ( 122 ) 과 , 단자 부 에 제 2 접속 전극 ( 121 ) 과 전기 적 으로 접속 하 는 제 3 접속 전극 ( 123 ) 을 형성 한다 .