그 결과 , 도 2 d 에 도시 된 바 와 같이 , 게이트 ( 22 a ) 가 형성 되 며 , 패 터닝 된 산화 막 ( 27 b ) 은 게이트 ( 22 a ) 의 가장자리 에 남 게 된다 . 이 산화 막 ( 27 b ) 은 게이트 절 연막 ( 21 ) 의 가장자리 부위 를 보호 하 는 보호 산화 막 이 다 . 보호 산화 막 ( 27 b ) 의 두께 는 게이트 ( 22 a ) 보다 작 고 게이트 산화 막 ( 21 ) 보다 크 다 . 특히 , 게이트 산화 막 ( 21 ) 의 길이 ( L 1 ) 는 가장 자리 에 미리 형성 된 보호 산화 막 ( 27 b ) 으로 인하 여 게이트 ( 22 a ) 의 길이 ( L 2 ) 보다 작 게 된다 .