이 와 같 은 구성 에 의하 면 , 가스 공급 공 ( 1700 B ) 으로부터 공급 되 는 가스 는 , 단차 부 ( 170 A ) 의 직경 방향 의 내측 에 있 어서 가로막혀 압력 손실 이 발생 함 으로써 압력 이 균일 해 지 고 , 또한 , 압력 이 균일 해진 상태 에서 단 차부 ( 170 A ) 의 직경 방향 의 외측 으로 배출 된다 . 그 때문 에 , 압력 이 균일 한 가스 의 배출 에 의해 , 기판 ( W ) 의 하면 에 대한 처리 액 의 돌 아 들어감 을 효과 적 으로 억제 할 수 있 다 . 또 , 기판 ( W ) 및 이면 차 단판 ( 170 ) 에 부착 되 어 있 는 처리 액 의 제거 ( 주로 건조 처리 ) 도 효과 적 으로 실시 할 수 있 다 .