( S 211 ) 단계 에서 화소 전극 ( 12 ) 이 형성 되 면 , 화소 전극 ( 12 ) 이 형성 된 기판 ( 11 ) 상 에 는 무기 절 연막 인 알루미나 박막 ( 13 ) 이 형성 된다 ( S 212 ) . 상기 알루미나 박막 ( 13 ) 은 원자 층 증착 법 으로 전구체 ( 예 : 트리 메 칠 알루미늄 ( TMA ) ( Al 전구체 ) ) 와 물 ( 산소 전구체 ) ) 간 의 표면 화학 반응 을 이용 하 여 형성 한다 . 이때 , 알루미늄 전구 체 와 물 간 의 화학 반응 으로 형성 된 알루미나 박막 ( 13 ) 은 원자 층 증착 법 을 이용 하 여 100 ℃ 미만 의 온도 에서 증착 한다 .