상기 층간 절 연막 ( ILD ) 상 에 는 상기 소스 전극 ( SE ) 및 상기 드레 인 전극 ( DE ) 이 배치 될 수 있 다 . 상기 소스 전극 ( SE ) 및 상기 드레 인 전극 ( DE ) 은 상기 층간 절 연막 ( ILD ) 에 의해 상기 게이트 전극 ( GE ) 과 절연 될 수 있 다 . 또한 , 상기 소스 전극 ( SE ) 및 상기 드레 인 전극 ( DE ) 은 상기 소스 영역 및 상기 드레 인 영역 과 접속 될 수 있 다 . 상기 소스 전극 ( SE ) 및 상기 드레 인 전극 ( DE ) 은 도전 성 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 소스 전극 ( SE ) 및 상기 드레 인 전극 ( DE ) 은 금 ( Au ) , 은 ( Ag ) , 알루미늄 ( Al ) , 구리 ( Cu ) , 주석 ( Sn ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 타이타늄 ( Ti ) , 몰리브덴 ( Mo ) , 주석 ( Sn ) , 니켈 ( Ni ) 및 도전 성 산화물 중 적어도 하나 를 포함 할 수 있 다 .