제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 는 , 대기 반 송실 ( 25 ) 의 배면 측 의 측면 과 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 1 변 ( 30 a ) 에 연결 된다 . 이 실시 형태 에서 는 , 한 쌍 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 가 상하 로 겹치 도록 마련 된다 ( 도 12 참조 ) . 그러나 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 중 , 한 쪽 만 마련 되 어도 좋 다 .