기준 위치 를 기준 으로 하 여 대상 의 위치 를 측정 하 기 위한 포지셔닝 장치 를 제공 한다 . 포지셔닝 장치 는 레이저 ( 1 ) 및 포토 다이오드 ( 13 ) 를 포함 하 며 , 레이저 ( 1 ) 는 음향 - 광 변조기 ( 3 ) 에 연결 되 어 , 위상 이 반대 로 변조 된 적어도 2 개 의 평행 한 레이저 빔 을 방사 하 며 , 레이저 빔 은 위치 측정 할 상기 대상 ( OBJ ) 에 결합 된 슬롯 ( F ) 에 포 커싱 되 고 , 슬롯 ( F ) 의 상대 적 으로 큰 면 을 갖 는 쪽 은 위치 측정 의 방향 에 대해 수직 을 이루 고 , 포토 다이오드 ( 13 ) 는 슬롯 ( F ) 으로부터 방출 되 는 빔 을 집광 하 도록 되 어 있 고 , 동기 - 검출 증폭기 ( 9 ) 에 연결 되 며 , 동기 - 검출 증폭기 는 기준 위치 에 대한 슬롯 ( F ) 의 위치 를 나타내 는 신호 를 전달 한다 .