게이트 도전 층 ( 140 ) 상 에 는 제 3 절연 층 ( 113 ) 이 배치 될 수 있 다 . 제 2 절연 층 ( 112 ) ( 123 ) 은 층간 절 연막 일 수 있 다 . 제 3 절연 층 ( 113 ) 은 실리콘 산화물 , 실리콘 질화물 , 실리콘 산질 화물 , 하프늄 산화물 , 알루미늄 산화물 , 티타늄 산화물 , 탄 탈륨 산화물 , 아연 산화물 등 의 무기 절연 물질 을 포함 할 수 있 다 .