" 증착 주기 의 제 2 단계 ( "" 치환 된 하이드라진 단계 "") 에서 ", 기판 은 탄화수소 치환 된 하이드라진 전구체 를 포함 하 는 제 2 증기 상 반응물 과 접촉 된다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 방법 은 , 적어도 네 ( 4 ) 개 의 탄소 원자 를 갖 는 알킬기 를 포함 하 도록 치환 된 하이드라진 을 선택 하 는 단계 를 추가 로 포함 하 며 , " 이때 "" 알킬기 "" 는 부틸 ", 펜틸 , 헥 실 , 헵틸 및 옥 틸 및 이 들 의 이성체 , 예 를 들 면 이 들 의 n -, 이소 -, 2 급 - 및 3 급 - 이성체 와 같 지만 이 에 한정 되 지 않 는 적어도 네 ( 4 ) 개 의 탄소 원자 길이 의 포화 또는 불포화 탄화수소 쇄 를 지칭 한다 . 알킬기 는 직쇄 또는 분지 쇄 일 수 있 고 알킬기 의 모든 구조 이성체 형태 를 포괄 할 수 있 다 . 일부 구 현예 에서 , 알 킬 쇄 는 치환 될 수 있 다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 알킬 - 하이드라진 은 질소 에 결합 된 적어도 하나 의 수소 를 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 알킬 - 하이드라진 은 질소 에 결합 된 적어도 두 개 의 수소 를 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 알킬 - 하이드라진 은 질소 에 결합 된 적어도 하나 의 수소 및 질소 에 결합 된 적어도 하나 의 알킬 쇄 를 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 제 2 반응물 은 알킬 - 하이드라진 을 포함 할 수 있 으며 3 급 부틸 하이드라진 ( C 4 H 9 N 2 H 3 ) , 디 메틸 하이드라진 또는 디 에틸 하이드라진 중 하나 이상 을 추가 로 포함 할 수 있 다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 적어도 하나 의 탄화수소기 를 갖 는다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 적어도 두 개 의 탄화수소기 를 갖 는다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 적어도 세 개 의 탄화수소기 를 갖 는다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 적어도 하나 의 C 1 - C 3 탄화수소기 를 갖 는다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 적어도 하나 의 C 4 - C 10 탄화수소기 를 갖 는다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 선형 , 분지 형 , 또는 환형 또는 방향 족 탄화수소기 를 갖 는다 . 본 발명 의 일부 구 현예 에서 , 치환 된 하이드라진 은 질소 에 부착 된 치환 된 탄화수소기 를 포함 한다 .