이 가스 구멍 ( 28 ) 에 는 , 가스 공급 장치 ( 냉각 수단 ) ( 27 ) 가 접속 된다 . 가스 공급 장치 ( 27 ) 로부터 는 , 가스 구멍 ( 28 ) 을 통하 여 판상 시료 ( W ) 를 냉각 하 기 위한 냉각 가스 ( 전열 가스 ) 가 공급 된다 . 냉각 가스 는 , 가스 구멍 을 통하 여 재치 판 ( 11 ) 의 상면 에 있 어서 복수 의 돌기 부 ( 11 b ) 의 사이 에 형성 되 는 홈 ( 19 ) 에 공급 되 어 , 판상 시료 ( W ) 를 냉각 한다 .