배기 구멍 ( 배기구 ) ( 204 a ) 은 , 이너 튜브 ( 204 ) 의 측벽 이 며 노즐 ( 410 , 420 ) 에 대향 한 위치 , 즉 예 비실 ( 201 a ) 과 는 180 도 반대 측 의 위치 에 형성 된 관통 구멍 이 며 , 예 를 들 어 연직 방향 으로 가늘 고 길 게 개설 된 슬릿 상 의 관통 구멍 이 다 . 그 때문 에 , 노즐 ( 410 , 420 ) 의 가스 공급 구멍 ( 410 a , 420 a ) 으로부터 처리 실 ( 201 ) 내 에 공급 되 어 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 표면 상 을 흐른 가스 , 즉 , 잔류 하 는 가스 ( 잔류 가스 ) 는 , 배기 구멍 ( 204 a ) 을 통해서 이너 튜브 ( 204 ) 와 아 우터 튜브 ( 203 ) 의 사이 에 형성 된 간극 에 의해 구성 되 는 배기 로 ( 206 ) 내 에 흐른다 . 그리고 , 배기 로 ( 206 ) 내 에 흐른 가스 는 , 배기관 ( 231 ) 내 에 흘러 , 처리 로 ( 202 ) 밖 으로 배출 된다 . 또한 , 배기 부 는 , 적어도 배기관 ( 231 ) 으로 구성 된다 .