상기 노광 장치 ( 1 ) 가 비접 촉식 으로 이루어짐 에 따라 , 상기 지지대 ( 30 ) 와 상기 챔버 ( 40 ) 의 내벽 사이 에 이격 공간 이 발생 하 게 된다 . 전술 한 바 와 같이 , 상기 제 1 공간 ( R 1 ) 에 공급 되 는 제 1 외기 의 유량 이 상기 제 2 공간 ( R 2 ) 에 공급 되 는 제 2 외기 의 유량 보다 크 기 때문 에 , 상기 제 1 공간 ( R 1 ) 의 압력 은 상기 제 2 공간 ( R 2 ) 의 압력 보다 크 다 .