간섭계 ( 209 , 229 ) 의 리셋 이 종료 되 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 를 사용 하 여 웨이퍼 스테이지 ( WST 2 ) 의 계측 플레이트 ( 30 ) 상 의 기준 마크 ( FM ) 를 검출 한다 . 그리고 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 프라이머리 얼라이먼트 계 ( AL 1 ) 의 지표 중심 을 기준 으로 하 는 기준 마크 ( FM ) 의 위치 를 검출 하 고 , 그 검출 결과 와 검 출시 에 있 어서 의 인코더 ( 170 C , 170 D ) 의 계측 값 을 대응 시켜 메모리 에 기억 한다 .