개폐 도어 ( 5 ) 의 캐리어 반송 영역 ( S 1 ) 측 에 는 , 덮개 ( 41 ) 를 제거 하 기 위한 덮개 개폐 기구 ( 6 ) 가 설치 되 어 있 다 . 덮개 개폐 기구 ( 6 ) 는 , 덮개 ( 41 ) 에 대향 함 과 함께 , 덮개 개폐 기구 ( 6 ) 의 구동 기구 를 수용 하 는 대 향판 ( 61 ) 을 구비 하 고 , 대 향판 ( 61 ) 은 진퇴 기구 ( 62 ) 에 의해 전후 방향 으로 이동 가능 하 게 구성 된다 .