블랭크 측 부 의 위치 와 관련 하 여 , 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 2 , 3 ) 사이 에 웨이퍼 처리 챔버 ( 1 ) 를 제공 하 는 것 은 처리 챔버 들 의 유지 보수성 에 관한 문제 를 초래 할 수 있 다 . 그러나 , 이러 한 문제 가 제거 되 는 한 , 웨이퍼 처리 챔버 들 ( 2 및 3 ) 사이 에 웨이퍼 처리 챔버 ( 1 ) 를 제공 하 는 것 이 가능 하 며 , 이것 은 장치 의 폭 을 더욱 감소 시키 는 데 기여 할 수 있 다 .