기판 지지 부 ( 314 ) 는 기판 ( 10 ) 을 지지 가능 한 다양 한 구조 로 형성 될 수 있 다 . 일 예 로 , 기판 지지 부 ( 314 ) 는 기판 ( 10 ) 의 가장자리 를 지지 하 도록 구비 된다 . 바람직 하 게 , 고속 회전 중 에 기판 ( 10 ) 이 요동 하 는 것 을 방지 할 수 있 도록 기판 지지 부 ( 314 ) 에 는 기판 ( 10 ) 의 외주 끝단 을 수용 지지 하 기 위한 요입 부 ( 미 도시 ) 가 형성 될 수 있 다 .