반송 부 는 , 도 1 내지 도 2 에 도시 한 바 와 같이 XY 테이블 ( 9 c ) 과 , 이 XY 테이블 ( 9 c ) 상 에 수직 방향 상방 으로 탑재 된 로터리 액 츄 에 이터 ( 9 d ) 와 , 로터리 액 츄 에 이터 ( 9 d ) 의 회전축 ( 9 e ) 의 상단 부 에 접속 된 다관 절 아암 ( 17 ) 으로 구성 되 어 있 다 . 다 관절 아암 ( 17 ) 은 각각 수평 방향 으로 평행 배치 된 제 1 아암 ( 17 a ) 과 제 2 아암 ( 17 b ) 과 제 3 아암 ( 17 c ) 으로 이루어지 고 , 제 1 아암 ( 17 a ) 은 일단 부 가 회전축 ( 9 e ) 의 상단 부 에 접속 되 어 회전축 ( 9 e ) 의 회전 에 종동 하 는 것 으로 되 어 있 다 . 또한 , 제 2 아암 ( 17 b ) 은 일단 부 가 제 1 아암 ( 17 a ) 의 타단 부 에 회전 가능 하 게 저널 식 으로 연결 되 고 , 내장 된 벨트 전동 장치 ( 17 d ) 에 의해 제 1 아암 ( 17 a ) 의 타단 부 중심 으로 회전 가능 하 게 되 어 있 다 . 제 3 아암 ( 17 c ) 은 일단 부 가 제 2 아암 ( 17 b ) 의 타단 부 에 회전 가능 하 도록 저널 식 으로 연결 되 고 , 내장 된 벨트 전동 장치 ( 17 e ) 에 의해 제 2 아암 ( 17 b ) 의 타단 부 중심 으로 회전 가능 하 게 되 어 있 다 . 또한 , 제 3 아암 ( 17 c ) 은 그 타단 부측 이 2 갈래 형상 으로 형성 되 어 있 고 , 분기 된 타단 부측 의 각각 의 상면 에 볼록 형상 의 지지 부 ( 18 ) 가 설치 되 어 있 다 . 이 지지 부 ( 18 ) 에 는 도시 하 지 않 은 진공 흡착 구가 형성 되 어 있 고 , 이 진공 흡착 구 가 제 3 아암 ( 17 c ) 의 내부 에 설치 된 도시 하 지 않 은 흡인 로 와 연통 되 어 있 다 . 또한 흡인 로 에 는 , 예 를 들 어 진공 펌프 등 의 진공 흡인 수단 이 접속 되 어 있 다 .