여기 서 , 제 4 마스크 ( 500 ) 는 화소 전극 ( 160 ) 이 형성 될 영역 에 는 회절 노광 부 ( 또는 반투 과부 ) ( 510 ) 가 형성 되 고 , 컨 택 홀 ( 151 ) , ( 152 ) , ( 153 ) 이 형성 될 영역 에 는 투과 부 ( 520 ) 가 형성 되 며 그 이외 의 영역 에 는 차 단부 ( 530 ) 가 형성 된 회절 노광 마스크 이 다 .