이렇게 , 프로브 침 ( 13 ) 은 프로브 카드 기판 ( 11 ) 의 개구부 ( 12 ) 에 배설 된 틀 부 ( 20 ) 위 에 수지 부 ( 19 ) 에 의해 고착 되 고 , 일단 ( 一端 ) 은 프로브 카드 기판 ( 11 ) 에 전기 적 으로 접속 된 회로 기판 ( 14 ) 의 전극 단자 ( 15 ) 에 접속 하 고 있 고 , 타단 ( 他端 ) 은 피 피 시험 반도체 소자 ( LSI 칩 ) 의 전극 단자 에 접하 는 구조 로 되 어 있 다 .