이어서 , 하부 전극 ( 301 ) 상 에 단원자 증착 법 ( ALD ) 을 이용 하 여 ZAT 유전 막 ( 101 ) 을 증착 한다 . 이때 , ZAT 유전 막 ( 101 ) 은 도 4 a 의 구조 와 동일 하 게 탄 탈륨 산화 막 ( Ta 2 O 5 , 31 ) , 알루미늄 산화 막 ( Al 2 O 3 , 32 ) , 지르코늄 산화 막 ( ZrO 2 , 33 ) 이 순차 적 으로 적층 된 ZrO 2 / Al 2 O 3 / Ta 2 O 5 의 3 층 구조 이 며 , 그 들 의 증착 방법 은 도 4 b 를 참조 하 기 로 한다 .