상기 보조 포토 마스크 는 상기 광원 과 상기 주 포토 마스크 ( 114 ) 사이 에 배치 되 었 으나 , 본 발명 에 따른 노광 장비 의 보조 포토 마스크 는 이 에 한정 되 지 않 는다 . 예 를 들 면 , 본 발명 에 따른 노광 장비 의 보조 포토 마스크 는 상기 주 포토 마스크 와 상기 웨이퍼 척 사이 에서 상기 주 포토 마스크 와 콘주게이트 관계 를 유지 하 도록 배치 될 수 도 있 다 .