이상 , 본 실시 형태 에 따르 면 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 복수 의 유량 제어기 의 출하 검사 데이터 를 취득 한다 . 또한 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 취득 한 출하 검사 데이터 와 , 유량 제어기 의 성능 을 나타내 는 항목 마다 의 제 1 계수 에 근거 하 여 , 유량 제어기 마다 의 성능 을 편차 치 로 나타내 는 제 1 성능 치 를 산출 한다 . 또한 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 산출 한 제 1 성능 치 와 , 유량 제어기 를 이용 하 는 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 나타내 는 항목 마다 의 제 2 계수 에 근거 하 여 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 편차 치 로 나타내 는 제 2 성능 치 를 산출 한다 . 그 결과 , 유량 제어기 에 관한 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 성능 을 산출 할 수 있 다 .