내측 가이드 롤러 ( 25 c ) 와 외측 가이드 롤러 ( 25 d ) 의 사이 에 는 , 푸 셔 유닛 ( 3 ) 이 설치 되 어 있 고 , 푸 셔 유닛 ( 3 ) 의 전단 측 ( 도 1 의 좌측 ) 에 는 제 1 카메라 ( 6 a ) 가 , 푸 셔 유닛 ( 3 ) 의 하측 ( 후술 하 는 프로브 카드 스테이지 ( 7 ) 의 내측 ) 에 는 제 2 카메라 ( 6 b ) 가 , 푸 셔 유닛 ( 3 ) 의 후단 측 ( 도 1 의 우측 ) 에 는 제 3 카메라 ( 6 c ) 가 설치 되 어 있 다 .