이어서 , 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 각각 을 통해 비활성 화 된 제 1 가스 ( G 1 ) 와 활성 화 된 제 2 가스 ( PG 2 ) 를 공간 적 으로 분리 하 여 제 1 및 제 3 분 할 공간 ( DS 1 , DS 3 ) 각각 에 하향 분사 한다 . 이러 한 제 1 및 제 3 가스 분사 모듈 ( 130 a , 130 c ) 각각 은 도 4 b , 도 5 a , 도 5 b 및 도 5 c 중 어느 하나 에 도시 된 파형 도 에 따라 동작 할 수 있 다 .