그 후 , 아래 의 증착 사이클 을 복수 회 반복 하 는데 , 각 사이클 은 아래 의 단계 를 포함 한다 . 먼저 , 반응기 에 선구 물질 인 실리콘 소스 기체 를 공급 한다 ( 110 ) . 이때 , 선구 물질 은 실란 화합물 ( silane compound ) 과 같 은 실리콘 을 포함 하 는 화합물 일 수 있 다 . 실란 화합물 은 염화 실란 ( chlorinated silane ) , 특히 헥사 클로 로디 실란 ( hexachlorosilane : HCDS ) 과 같 은 할로 실란 ( halo - silane ) 을 포함 할 수 있 다 . 헥사 클로 로디 실란 은 아래 의 그림 과 같 은 규소 ( Si ) 를 포함 하 는 염화물 ( chloride ) 이 다 .