먼저 , 도 7 을 참조 하 면 , 박막 패턴 이 형성 되 기 전 상태 의 기판 ( 132 ) 을 마련 한다 . ( S 22 ) 그리고 , 광조 사부 ( 162 ) 로부터 기판 ( 132 ) 에 조사 되 고 촬상부 ( 164 ) 의 카메라 ( 165 ) 가 기판 ( 132 ) 을 스캔 하 여 기판 ( 132 ) 으로부터 입사 되 는 빛 을 전기 적 인 신호 로 변환 하 여 영상 처 리부 ( 166 ) 로 공급 한다 . 영상 처 리부 ( 166 ) 는 카메라 ( 165 ) 로부터 입력 되 는 신호 를 증폭 하 고 디지털 신호 로 변환 한 다음 , 그 디지털 신호 를 분석 하 여 이 물 ( 175 ) 에 대한 위치 정보 를 기록 한다 . ( S 24 ) 그리고 , 영상 처 리부 ( 166 ) 는 이 물 ( 175 ) 에 대한 위치 정보 를 합성 부 ( 170 ) 로 공급 된다 . 이 와 동시 에 마스크 영상 부 ( 168 ) 는 제 1 마스크 영상 데이터 를 합성 부 ( 170 ) 로 공급 한다 . ( S 26 )