요오드 및 브롬 은 비교 적 원자량 이 크 기 때문 에 알칼리 현상액 에 대한 용해 성 이 부족 하 다 . 요오드 또는 브롬 이 폴리머 주 쇄 에 결합 한 경우 , 노광 부분 에서 레지스 트 막 의 알칼리 용해 성 이 저하 함 으로써 해상 성 이나 감도 가 저하 할 뿐 만 아니 라 , 결함 발생 의 원인 이 된다 . 반복 단위 ( a ) 가 알칼리 현상액 중 에 있 는 경우 , 반복 단위 ( a ) 에 요오드 또는 브롬 으로 치환 된 방향 환 을 갖 는 플 루 오로 술폰산 이 현상액 중 의 알칼리 화합물 과 염 을 형성 하 여 폴리머 주 쇄 로부터 분리 된다 . 이 로써 , 충분 한 알칼리 용해 성 이 확보 되 고 , 결함 발생 이 최소 화 된다 .