상기 의 기술 적 과제 를 위한 본 발명 의 일 실시 예 는 , 이미지 센서 의 표면 상 에 마이크 로 렌즈 를 위한 포토레지스트 층 을 형성 하 는 단계 ; 상기 포토레지스트 층 을 감쇠 형 위상 시프트 마스크 를 이용 하 여 노광 하 되 사이드 로브 를 수반 하 며 노광 하 는 단계 ; 상기 포토레지스트 층 을 현상 하 여 포토레지스트 패턴 들 을 형성 하 는 단계 ; 및 상기 포토레지스트 패턴 을 리플 로우 ( reflow ) 하 여 상호 간 에 연결 된 마이크 로 렌즈 들 을 형성 하 는 단계 를 포함 하 는 이미지 센서 의 마이크 로 렌즈 제조 방법 을 제시 한다 .