챔버 ( 613 ) 의 상부 는 돔 ( 614 ) 을 포함 한다 , 이 는 세라믹 유전 물질 로 만들 어 져 있 다 , 예 를 들 어 알루미늄 산화물 또는 알루미늄 질화물 로 만들 어 져 있 다 . 돔 ( 614 ) 은 플라스마 프로세싱 영역 ( 616 ) 의 상부 경계 를 정의 한다 . 플라스마 프로세싱 영역 ( 616 ) 은 기판 ( 617 ) 과 기판 지지 맴 버 ( 618 ) 의 상부 표면 에 의해 하부 상 에 제한 되 어 있 다 .