그리고 , ZrO 2 와 Nb 2 O 5 가 나노 스케일 로 균일 하 게 혼합 되 는 효과 를 증대 시키 기 위하 여 ( Zr 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) m 단위 사이클 에 의해 증착 되 는 ZrO 2 와 ( Nb 소스 / 퍼지 / 산소 공급원 / 퍼지 ) n 단위 사이클 에 의하 여 증착 되 는 Nb 2 O 5 의 두께 를 각각 10 Å 미만 의 두께 ( 0 . 1 Å ∼ 9 . 99 Å ) 가 되 도록 m 과 n 의 사이클 수 를 조절 한다 . 여기 서 , ZrO 2 와 Nb 2 O 5 의 두께 를 각각 10 Å 미만 의 두께 가 되 도록 하 는 이유 는 그 두께 가 10 Å 이상 인 경우 에 는 ZrO 2 와 Nb 2 O 5 는 독립 적 인 막 형태 를 가져 [ ZrO 2 ] x [ Nb 2 O 5 ] ( 1 - x ) 이 형성 되 는 것 이 아니 라 Nb 2 O 5 / ZrO 2 의 적층 구조 가 형성 된다 . Nb 2 O 5 / ZrO 2 의 적층 구조 는 후술 하 는 단위 사이클 3 을 참조 하 기 로 한다 .