즉 , 도 2 에서 보 는 바 와 같이 , 상기 제 1 분사 노즐 ( 122 ) , 제 2 분사 노즐 ( 132 ) 및 제 3 분사 노즐 ( 142 ) 의 중심 에서 기판 ( 10 ) 의 증착 영역 ( 200 ) 의 양단 에 이르 는 각도 가 적어도 65 ° 이상 이 되 도록 하 는 위치 까지 상기 개구 영역 ( 210 ) ( 220 ) 이 형성 되 는 것 이 다 .