/ 분 의 세정 속도 를 달성 한다 . 그러나 , 웨이퍼 의 크기 가 커짐 에 따라 반응 챔버 들 이 커지 므로 , 높 은 쓰루 풋 을 보장 하 기 위하 여 세정 속도 가 개선 되 어야 한다 . 본 발명 의 실시 예 들 은 상기 샤워 플레이트 의 홀 들 이 균일 한 단면적 을 가지 도록 하 고 , 바람직 하 게 는 드릴 비트 ( drill bit ) 의 이용 에 의하 여 바람직 하 게 는 원형 이 되 도록 변형 하 여 상기 세정 속도 를 증가 시킨다 .