도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 챔버 ( 10 ) 에 는 적어도 하나 의 절 연막 이 형성 된 기판 ( 14 ) 이 제 1 전극 ( 13 ) 에 의하 여 지 지 되 며 , 제 1 전극 ( 13 ) 과 대향 하 는 챔버 ( 10 ) 의 일면 에 는 이 에 삽입 되 어 챔버 ( 10 ) 내부 를 투영 할 수 있 는 절연체 창 ( 15 ) 이 설치 된다 . 이 절연체 창 ( 15 ) 은 , 도면 상 에 도시 된 바 와 같이 , 챔버 프레임 ( 11 ) 에 의해 분할 되 어 형성 될 수 도 있 고 , 제 1 전극 ( 13 ) 과 대향 하 는 챔버 의 일면 전체 에 분할 되 지 않 고 하나 로 형성 될 수 도 있 다 .