한편 , 상기 분리 배기 부 의 상기 배기 라인 과 상기 진공 펌프 부 를 연결 하 는 토출 라인 을 포함 하 며 , 상기 토출 라인 의 일단 은 상기 가스 공급 부 의 상부 를 통과 하 여 상기 배기 라인 과 연결 되 고 , 타단 은 상기 진공 펌프 부 에 연결 되 는 것 이 바람직 하 다 . 이 는 잔존 하 는 소스 가스 및 반응 가스 등 을 상기 반응 챔버 의 상부 를 향하 여 배출 하 기 위함 이 며 , 이 로 인해 상기 반응 챔버 내부 의 배기 구조 를 단순 화 할 수 있 다 .