일 양태 에서 , 본 개시 내용 은 , 몰드 를 사용 해서 기판 상 에 임프 린트 재의 패턴 을 형성 하 도록 구성 되 는 임프 린트 장치 로서 , 상기 몰드 를 이동 시키 는 액추에이터 를 포함 하 는 몰드 보유 지지 유닛 , 상기 액추에이터 에 의해 생성 되 는 힘 을 검출 하 도록 구성 되 는 힘 센서 , 상기 몰드 의 위치 를 계측 하 도록 구성 되 는 위치 센서 , 및 상기 몰드 보유 지지 유닛 의 동작 을 제어 하 는 제어 유닛 을 포함 하 고 , 상기 제어 유닛 은 힘 압인 프로파일 또는 위치 압인 프로파일 에 따라 상기 몰드 보유 지지 유닛 을 제어 하 고 , 상기 힘 압인 프로파일 은 상기 액추에이터 에 의해 생성 되 고 상기 힘 센서 에 의해 검출 되 는 힘 에 기초 하 여 상기 몰드 의 이동 을 제어 하 기 위해 규정 되 고 , 상기 위치 압인 프로파일 은 상기 위치 센서 에 의해 계측 된 상기 몰드 의 위치 에 기초 하 여 상기 몰드 의 이동 을 제어 하 기 위해 규정 되 며 , 상기 힘 압인 프로파일 또는 상기 위치 압인 프로파일 은 상기 임프 린트 재의 상기 패턴 이 상기 기판 상 에 형성 될 때 선택 가능 한 임프 린트 장치 를 제공 한다 .