유전 판 ( 220 ) 의 하부 에 는 몸체 ( 230 ) 가 위치 할 수 있 다 . 유전 판 ( 220 ) 의 저면 과 몸체 ( 230 ) 의 상면 은 본딩 유닛 ( 236 ) 에 의해 접착 될 수 있 다 . 몸체 ( 230 ) 는 알루미늄 재질 로 제공 될 수 있 다 . 몸체 ( 230 ) 의 상면 은 중심 영역 이 가장 자리 영역 보다 높 게 위치 되 도록 단차 질 수 있 다 . 몸체 ( 230 ) 의 상면 중심 영역 은 유전 판 ( 220 ) 의 저면 에 상응 하 는 면적 을 가질 수 있 으며 , 유전 판 ( 220 ) 의 저면 과 접착 될 수 있 다 . 몸체 ( 230 ) 는 내부 에 제 1 순환 유로 ( 231 ) , 제 2 순환 유로 ( 232 ) 그리고 제 2 공급 유로 ( 233 ) 가 형성 될 수 있 다 .