플라 즈 마를 발생 시키 는 방전 가스 의 예 로 는 비활성 가스 ( 예 : Ar , Ne , Xe 등 ) 를 들 수 있 다 . 때때로 , 방전 가스 는 혼합 가스 의 형태 로 주입 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 파이프 ( 200 ) 의 내벽 에 TiN 박막 을 형성 하 고자 할 경우 , 티타늄 디스크 금속 전극 ( 100 ) 과 더불 어 , 아르곤 과 질소 의 혼합 가스 를 방전 가스 로서 사용 하 면 된다 .