그래서 , 제 5 및 제 6 클리닝 공정 을 행하 는 소 루프 처리 ( S 15 , S 16 ) 를 소정 횟수 Y ( Y ≥ 1 ) 행한다 . 이것 에 의해 , 군 B 및 군 C 의 잔사 제거 공정 의 비중 을 높여 , 군 B 및 군 C 의 원소 의 잔사 를 완전히 제거 하 면서 군 A 의 제거 도 효율 적 으로 실시 할 수 있 다 . 이것 에 의해 , 클리닝 완료 까지 의 시간 을 단축 할 수 있 는 경우 가 있 다 .