이러 한 기판 세정 작업 에 는 기판 을 회전 시키 면서 기판 표면 에 세정액 을 공급 하 여 기판 을 세정 하 는 회전 형 기판 세정 장치 가 많이 사용 된다 . 그런데 종래 의 기판 세정 장치 는 기판 배면 에 대한 세정 작업 이 용이 하 지 않 은 단점 이 있 으며 , 다양 한 크기 의 기판 에 대한 세정 작업 을 진행할 수 없 는 문제점 이 있 다 .