상기 진공 펌프 ( 120 ) 는 상기 반응 챔버 ( 110 ) 의 하단 으로 연결 되 는 배기 라인 에 연결 되 어 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내부 의 상기 질소 가스 및 상기 이소프렌 가스 와 , 상기 이소프렌 가스 와 질소 가스 가 반응 되 어 상기 웨이퍼 상 에 비정질 탄소막 을 형성 하 고 남 은 반응 후 가스 를 펌핑 시킬 수 도 있 다 . 예컨대 , 상기 진공 펌프 ( 120 ) 는 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내부 의 공기 를 약 1 × 10 - 3 Torr 정도 의 저 진공 으로 펌핑 하 는 드라이 펌프 또는 로터리 펌프 와 같 은 저 진공 펌프 와 , 상기 저 진공 펌프 및 상기 반응 챔버 ( 110 ) 사이 에서 직렬 로 연결 되 어 상기 반응 챔버 ( 110 ) 내부 의 공기 를 약 1 × 10 - 6 Torr 정도 의 고진공 으로 펌핑 하 는 터보 펌프 와 같 은 고진공 펌프 를 포함 하 여 이루어진다 .