반도체 산업 에서 의 오염원 은 마이크 로 칩 의 전기 적 성능 이나 생산 수율 에 좋 지 않 은 영향 을 미친다 . 즉 , 오염원 은 결함 이 있 는 소자 를 생산 하 게 만들 고 , 생산 수율 을 낮추 게 만든 다 . 따라서 웨이퍼 위 의 오염 물질 을 제어 하 는 가장 중요 한 방법 은 웨이퍼 가 오염 되 지 않 게 하 는 것 이 며 , 일단 웨이퍼 표면 이 오염 되 면 웨이퍼 를 세정 함 으로써 오염 물질 은 제거 되 어야 한다 .