본 발명 의 세리아 슬러리 는 세리아 분말 , 초 순수 ( DI water ) 및 음 이온 계 고분자 분산제 등 의 첨가물 을 포함 하 여 제조 된다 . 이러 한 연마 용 세리아 슬러리 의 제조 방법 은 대략 적 으로 다음 과 같 은 단계 들 로 이루어진다 ( 도 1 참조 ) . 먼저 세륨 카보 네이트 와 같 은 전구체 를 전처리 한다 . 즉 , 고상 합성 하 여 세리아 분말 을 제조 한다 ( S 10 ) . 초기 의 혼합 과정 시 음 이온 계 고분자 분산제 와 세리아 분말 의 pH 충격 에 의한 응집 및 침전 현상 을 최소한 으로 줄이 기 위해 , 먼저 초 순수 ( DI water ) 와 음 이온 계 고분자 분산제 를 혼합 용 탱크 에서 혼합 하 여 세리아 슬러리 의 용매 안정 화 를 시킨 후 ( S 20 ) , 이 에 세리아 분말 을 투입 하 여 혼합 및 습식 ( wetting ) 을 시킨다 ( S 30 ) . 이후 , 입자 크기 감소 및 분산 을 위하 여 고 에너지 밀링 기 ( high energy milling machine ) 로 밀링 을 실시 하 고 ( S 40 ) ) . 슬러리 의 무게 비 ( wt %) 즉 , 고형 하중 을 원하 는 범위 로 조정 한다 ( S 50 ) . 다음 으로 , 필터링 을 통하 여 거대 입자 를 제거 하 고 ( S 60 ) , 숙성 ( aging ) 공정 을 실시 하 여 슬러리 를 안정 화 한다 ( S 70 ) . 상기 숙성 공정 은 슬러리 내 의 매체 확산 에 의하 여 거대 입자 의 침전 활동 을 가속 화 시켜 필터링 공정 에서 제거 되 지 않 은 거대 입자 를 제거 하 며 , 이 과정 중 에 이온 결합 된 2 차 입자 ( seconday particle ) 들 간 의 응집 현상 을 풀 어 주 는 역할 을 한다 .