14 . 조항 13 에서 정의 되 는 바 와 같 은 방법 으로서 , 하나 이상 의 제 1 타 겟 의 제 1 비대칭 성 관련 속성 에 기초 하 여 리소그래피 프로세스 의 제 1 성능 파라미터 를 계산 하 고 하나 이상 의 제 2 타 겟 의 제 2 비대칭 성 관련 속성 에 기초 하 여 리소그래피 프로세스 의 제 2 성능 파라미터 를 계산 하 는 것 을 더 포함 한다 .