또한 , 가스 공급 부 ( 80 ) 로부터 가스 가 분출 되 는 영역 은 각 진동자 ( 70 ) 가 배치 되 는 영역 과 겹쳐지 지 않 도록 각 진동자 ( 70 ) 가 배치 되 는 영역 의 외측 에 형성 될 수 있 다 . 즉 , 도 5 와 같이 , 가스 공급 부 ( 80 ) 로부터 가스 가 분출 되 는 영역 은 저장조 ( 60 ) 의 중앙부 에 형성 될 수 있 으며 , 각 진동자 ( 70 ) 가 배치 되 는 영역 은 가스 공급 부 ( 80 ) 로부터 가스 가 분출 되 는 영역 과 평면 투영 시 서로 겹쳐지 지 않 도록 저장조 ( 60 ) 의 내측 둘레 를 따라 형성 될 수 있 다 .