이 와 같 은 과정 을 거쳐서 레이저 어닐링 공정 을 진행 하 는 경우 에 는 먼저 가공 대상물 ( 171 ) 에 가공 빔 ( LA ) 이 입사 될 수 있 도록 스테이지 ( 172 ) 가 이동 한다 . 이어서 , 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 레이저 발진기 ( 211 , 212 , 213 , 214 ) 및 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 셔터 ( 221 , 222 , 223 , 224 ) 를 통해 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 레이저 빔 ( L 1 , L 2 , L 3 , L 4 ) 이 소정 의 시간 차 를 가지 고 출사 되 어 빔 성형기 ( 240 ) 에 입사 된다 . 빔 성형기 ( 240 ) 는 시간 차 를 가지 고 입사 되 는 제 1 , 제 2 , 제 3 및 제 4 레이저 빔 ( L 1 , L 2 , L 3 , L 4 ) 을 결합 시켜 소정 펄스 형상 을 가지 는 가변 레이저 빔 ( L ) 을 출사 시킨다 .