반도체 에 피층 ( 110 ) 은 예컨대 , 실리콘 에 피층 또는 실리콘 - 게르마늄 에 피층 을 포함 할 수 있 다 . 보다 구체 적 으로 보 면 , 실리콘 에 피층 은 스트레인 드 ( strained ) 실리콘 에 피층 을 포함 할 수 있 고 , 실리콘 - 게르마늄 에 피층 은 그레이드 ( graded ) 실리콘 - 게르마늄 에 피층 및 릴렉스 드 ( relaxed ) 실리콘 - 게르마늄 에 피층 의 적층 막 을 포함 할 수 있 다 .