도 33 및 34 를 참조 하 면 , 상기 매립 패턴 들 ( 182 ) 사이 의 개구부 들 ( 106 ) 을 채우 는 스트링 분리 막 들 ( ISO ) 을 형성 할 수 있 다 . 상기 스트링 분리 막 들 ( ISO ) 을 형성 한 후 , 상기 주형 구 조체 ( 100 ) 를 관통 하 면서 상기 희생 막 들 ( 111 , 112 , 130 ) 및 상기 절 연막 들 ( 120 ) 의 측벽 들 을 노출 시키 는 트렌치 들 ( 200 ) 을 형성 한다 . 상기 트렌치 들 ( 200 ) 은 상기 개구부 들 ( 106 ) 사이 에 형성 될 수 있 으며 , y 방향 으로 연장 되 고 상기 기판 ( 10 ) 을 노출 할 수 있 다 .