또한 본 발명 에 관한 검사 기판 지지 장치 는 , 진공 흡인 수단 에 접속 되 어 피 검사 기판 을 지지 하 는 흡착 테이블 에 사용 하 는 판상 ( 板狀 ) 의 진동 흡수 장치 로서 , 일방 측 에 피 검사 기판 을 싣 고 , 타방 측 이 진공 흡인 수단 에 접속 되 며 , 진공 흡인 수단 과 의 접속 부위 와 일방 측 을 연결 시키 는 통기 로 를 구비 하 고 , 통기 로 가 , 점접촉 으로 결합 된 금속 쇄편 으로 구성 된 벽면 에 의하 여 형성 된 서로 다른 크기 의 다수 의 소공 으로 구성 되 어 있 어서 , 진공 흡인 수단 에 기인 하 는 진동 을 흡수 하 여 피 검사 기판 에 진동 이 전달 되 는 것 을 방지 하 는 진동 흡수 장 치 와 , 진동 흡수 장치 의 일방 측 에 실리 는 시트 상 부재 로서 시트 상 부재 상 에 피 검사 기판 이 실리 는 시트 상 부재 를 구비 하 고 , 시트 상 부재 는 , 진동 흡수 장치 의 통기 로 와 시트 상 부재 의 피 검사 기판 이 실리 는 면 을 통하 게 하 는 통기 로 를 구비 하 고 , 통기 로 가 , 진동 흡수 장치 의 소공 보다 작 고 균일 한 크기 로 형성 되 어 있 어서 , 이것 에 의하 여 공기 가 균등 하 게 분산 되 어 져 흡인 되 는 것 을 특징 으로 한다 .