더욱 구체 적 으로 , 보론 이 포함 된 제 1 가스 를 이용 하 여 제 1 열처리 공정 을 진행 하 여 , 제 1 표면 ( FS ) 을 통해 보 론 을 초기 웨이퍼 ( 100 ) 내부 로 확산 시킬 수 있 다 . 예 를 들 어 , 제 1 열처리 공정 은 초기 웨이퍼 ( 100 ) 의 제 1 표면 ( FS ) 상 에 B 2 H 6 가스 를 제공 하 고 , 예 를 들 어 , 약 800 ℃ 내지 약 1000 ℃ 온도 범위 에서 , 약 30 분 내지 약 1 시간 동안 진행 될 수 있 다 . 이 에 따라 , 제 1 표면 ( FS ) 을 통과 한 보론 이 초기 웨이퍼 ( 100 ) 내부 로 내 확산 ( in - diffusion ; 210 ) 될 수 있 다 .