도 1 을 참조 하 면 , 피검 사체 의 검사 영역 들 각각 의 위치 를 좌표 데이터 로 생성 한다 . ( S 11 ) 여기 서 , 피검 사체 는 주로 반도체 소자 로써 반도체 메모리 소자 , 고밀도 집적회로 소자 등 을 포함 하 고 , 이외 에 도 디스플레이 소자 등 을 포함 할 수 도 있 다 . 그러므로 , 피검 사체 의 검사 영역 들 은 , 피검 사체 가 반도체 소자 일 경우 , 반도체 소자 의 전기 적 신호 의 입출력 이 이루어지 는 패드 들 을 포함 하 는 것 이 바람직 하 다 .