계속 해서 , 산화알루미늄 막 에 나트륨 ( Na ) 을 첨가 한 후 에 , 산화알루미늄 막 안 에 포함 되 는 나트륨 에 대해서 측정 하 고 , 계속 해서 열처리 를 행한 후 에 재차 산화알루미늄 막 에 포함 되 는 나트륨 에 대하 여 측정 했 다 . 또 산화알루미늄 막 안 에 포함 되 는 나트륨 의 농도 는 , 열처리 전 과 열처리 후 에 각각 2 차 이온 질량 분석법 ( SIMS : Secondary Ion Mass Spectroscopy ) 을 사용 하 여 측정 했 다 . 또한 , 본 실시 예 에서 는 , 산화알루미늄 막 안 에 포함 되 는 나트륨 의 확산 에 대하 여 검토 했 기 때문 에 , 단결정 실리콘 기판 위 에 직접 산화알루미늄 막 을 성막 하 여 측정 을 행했 다 .