또한 , 웨이퍼 ( W ) 의 예비 가열 처리 나 예비 냉각 처리 를 실행 할 수 있 기 때문 에 , 진공 처리 실 ( 40 ) 의 탑재 대 ( 41 ) 와 , 상기 탑재 대 ( 41 ) 에 탑재 되 는 웨이퍼 ( W ) 와 의 온도 차 를 감소 시킬 수 있 으므로 , 이 온도 차 에 기인 하 는 웨이퍼 ( W ) 및 탑재 대 ( 41 ) 로 의 데미지 를 경감 시킬 수 있 다 .