유기 용제 로서 의 프로필렌글리콜 모노 메틸에테르 아세테이트 ( PGMEA ) 290 질 량부 에 , 알칼리 가용성 수지 로서 의 폴리비닐 페놀 수지 ( 폴리 p - 비닐 페놀 , 마 루젠 석유 화학 사제 , 상품명 「 마 루카 링커 S - 2 P 」 , 중량 평균 분자량 : 5000 ) 60 질 량부 및 노볼락 수지 ( 메타 크레졸 / 파라 크레졸 을 70 / 30 ( 질량비 ) 의 투 입비 로 포름알데히드 와 탈수 축합 하 여 조제 . 중량 평균 분자량 : 4000 ) 40 질 량부 , 광 산 발생 제 로서 의 할로겐 함유 트리아진 계 화합물 ( 미도리 화학 사제 , 상품명 「 TAZ 110 」 ) 2 질 량부 , 산 가교제 로서 의 헥사 메 톡 시 메틸 멜라민 ( 미츠이 사이 텍 사 제조 , 상품명 「 사이 멜 303 」 ) 20 질 량부 , 활성 방사선 흡수 화합물 로서 의 비스 아지드 화합물 ( 토요 합성 공업 사 제조 , 상품명 「 BAC - M 」 ) 1 질 량부 , 및 질소 함유 염기 성 화합물 로서 의 트리 에탄올아민 ( 비점 : 335 ℃) 0 . 5 질 량부 를 가하 여 용해 시켰 다 . 얻 어 진 용액 을 , 구멍 직경 0 . 1 ㎛ 의 폴리테트라플루오로에틸렌 제 멤 브레인 필터 로 여과 하 여 고형분 농도 가 30 중량 % 인 수지 액 을 조제 하 였 다 .