도 16 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 3 반송 유닛 ( 83 ) 은 대기 반 송실 ( 25 ) 내 의 대기 반송 로봇 ( 60 - 1 , 60 - 2 ) 에 의해 기판 ( W ) 이 반송 되 는 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) , 및 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 에 반송 된 기판 ( W ) 을 제 3 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 에 반송 하 는 제 3 진공 반송 로봇 ( 84 ) 이 마련 되 는 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 를 구비 한다 . 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 와 제 3 트랜스퍼 챔버 ( 82 ) 는 게이트 밸브 ( 85 ) 를 거쳐서 연결 된다 . 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 와 대기 반 송실 ( 25 ) 은 게이트 밸브 ( 86 ) 를 거쳐서 연결 된다 . 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 로부터 제 3 프로세스 챔버 ( 80 - 1 , 80 - 2 ) 에 의 기판 의 흐름 을 제 3 반송 루트 라 부른다 .