코팅 막 ( 60 ) 은 스핀 - 온 - 코팅 ( spin on coating ) 방법 을 이용 하 여 형성 될 수 있 으며 , 하 부막 ( 20 ) 및 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 을 식각 하 는 공정 에서 하 부막 ( 20 ) 및 제 1 마스크 패턴 들 ( 42 ) 에 대해 식각 선택 비 를 갖 는 물질 로 형성 될 수 있 다 . 상세 하 게 , 코팅 막 ( 60 ) 은 탄소 를 주성분 으로 하 는 물질 로 형성 될 수 있 다 . 일 실시 예 에 따르 면 , 코팅 막 ( 60 ) 은 , 코팅 막 ( 60 ) 을 구성 하 는 물질 의 총 중량 을 기준 으로 약 80 ∼ 99 중량 % 의 비교 적 높 은 탄소 함량 을 가지 는 막 으로 이루어질 수 있 다 .