상기 더미 시일 ( 3 ) 에 는 , 도 1 ( d ) 에 나타내 는 바 와 같이 , 그 더미 시일 ( 3 ) 과 메인 시일 ( 2 ) 사이 에 배치 되 는 갭 형성 공간 ( 6 ) 의 진 공부 에 대기압 을 도입 하 는 압 력 조정 밸브 수단 ( 7 ) 이 설치 되 고 , 이 압력 조정 밸브 수단 ( 7 ) 의 작동 에 의해 상기 양 기판 ( 1 , 5 ) 외측 의 분위기 가 대기압 에 개방 되 고 나 서 설정 시간 경과 후 에 , 그 갭 형성 공간 ( 6 ) 의 압력 을 진공 으로부터 대기압 또는 그것 과 가까운 상태 로 전환 한다 .