도 18 을 참조 하 면 , 도 5 내지 도 8 을 참조 하 여 설명 한 바 와 같이 추출 된 패드 패턴 의 레이아웃 ( 도 6 의 600 ) 에 대해서 , X 축 및 Y 축 방향 에 대해 제 2 축 소폭 으로 축소 된 제 3 축소 레이아웃 ( 890 ) 을 얻 은 후 , 제 1 축소 레이아웃 ( 도 7 의 700 ) 에 대해 차감 하 여 보조 패턴 의 레이아웃 을 얻 어 , 원본 레이아웃 ( 도 5 의 500 ) 에 대해 차감 함 으로써 , 링 형태 의 보조 패턴 ( 도 1 의 599 ) 을 라인 패턴 ( 591 ) 에 연결 된 패드 패턴 ( 595 ) 내 에 생성 시킬 수 있 다 . 이러 한 경우 , X 축 및 Y 축 방향 으로 제 2 축소 함 으로써 , 링 형태 의 보조 패턴 ( 599 ) 을 생성 시킬 수 있 다 . 링 형태 의 이러 한 보조 패턴 ( 599 ) 을 생성 할 경우 , 컨벤셔널 조명 계 와 같 은 대칭 성 조명계 나 , 쿼드 루 폴 조명 계 와 같 은 대칭 성 변형 조명계 를 채용 하 는 노광 과정 에 본 발명 의 실시 예 는 유용 하 게 적용 될 수 있 다 .