실리콘 웨이퍼 양면 연마 방법 이 개시 된다 . 개시 된 실리콘 웨이퍼 양면 연마 방법 은 , 상부 정반 과 하부 정반 이 대향 되 며 설치 되 고 , 상기 하부 정반 위 에 실리콘 웨이퍼 가 수납 되 는 캐리어 가 설치 되 며 , 상기 상부 정반 및 상기 하부 정반 의 내면 에 연마 패드 가 각각 부착 설치 되 는 양면 연마장 치 를 이용 한 실리콘 웨이퍼 양면 연마 방법 에 있 어서 , ( a ) 상기 실리콘 웨이퍼 에 스톡 슬러리 ( Stock Slurry ) 를 공급 하 여 소정 시간 동안 1 차 연마 하 는 단계 와 ; ( b ) 상기 실리콘 웨이퍼 에 상기 스톡 슬러리 ( Stock Slurry ) 를 공급 하 여 소정 시간 동안 2 차 연마 하 는 단계 와 ; ( c ) 상기 실리콘 웨이퍼 에 파이널 슬러리 ( Final Slurry ) 를 공급 하 여 소정 시간 동안 3 차 연마 하 는 단계 와 ; ( d ) 상기 실리콘 웨이퍼 초 순수 를 공급 하 여 소정 시간 동안 4 차 연마 하 는 단계 와 ; ( e ) 상기 실리콘 웨이퍼 에 계면 활성제 를 공급 하 여 소정 시간 동안 5 차 연마 하 는 단계 ; 를 포함 하 는 것 을 그 특징 으로 한다 .