특히 , 단결정 중 에 존재 하 는 산소 는 단결정 을 웨이퍼 로 가공 한 후 열처리 하 면 산소 석출 물 로 석출 되 어 소자 형성 공정 중 에 게터 링 작용 을 하 여 소자 형성 영역 을 청정 하 게 유지 하 는 역할 을 한다 . 그러나 웨이퍼 중 에 존재 하 는 격자 간 산소 가 증가 함 으로써 산소 석출 물 이 과잉 될 경우 특히 소자 형성 영역 인 웨이퍼 표면층 에 과다 하 게 존재 할 경우 에 는 소자 특성 저하 를 초래 하 게 된다 .