전술 한 바 와 같 은 목적 을 달성 하 기 위한 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 기판 텍 스쳐 링 장치 는 , 식각 용 에 천 트 에 의해 기판 의 식각 이 이루어지 는 공간 을 제공 하 는 배스 와 ; 상기 배스 에 채워져 있 는 식각 용 에 천 트 에 진동 을 발생 시켜 기판 의 표면 에 부착 된 기포 를 제거 하 는 진동 발생 부 를 포함 하 여 이루어지 는 것 이 바람직 하 다 .