도 2 를 참조 하 면 , W - 심 ( 140 ) 주변 은 건식 식각 을 수행 하 고 , 건식 식각 후 주변 에 식각 된 영역 ( SiH 4 ( 150 ) , FSG ( 145 ) , SiH 4 ( 130 ) ) 의 두께 를 측정 한다 . 이때 , 식각 된 두께 는 SiH 4 ( 150 ) 1500 Å FSG ( 145 ) 1300 Å SiH 4 ( 130 ) 200 Å 정도 가 되 도록 한다 .