기판 처리 시스템 ( 1000 ) 은 , 적어도 , 기판 처리 장치 ( 100 ) ( 예 를 들 어 , 100 a , 100 b , 100 c , 100 d ) 를 갖 는다 . 또한 , 기판 처리 시스템 ( 1000 ) 은 , 도 2 에 도시 하 는 바 와 같이 , IO 스테이지 ( 1001 ) , 대기 반 송실 ( 1003 ) , 로드 로크 ( L / L ) ( 1004 ) , 진공 반 송실 ( 1006 ) 등 을 갖 고 있 어도 된다 . 이하 에 이 들 의 구성 에 대해서 각각 설명 한다 . 또한 , 도 2 의 설명 에서 는 , 전후 좌우 는 , X 1 방향 이 우측 , X 2 방향 이 좌측 , Y 1 방향 이 전방 , Y 2 방향 이 후방 이 라 하 자 .