또한 , 이 발명 은 미세 압축 시험기 를 이용 하 여 인장 시험 할 수 있 도록 시편 의 상하 면 을 각각 가공 하 여 시편 의 내부 에 시험 부 를 갖 는 인장 시편 의 제조 방법 으로서 , 상하 면 이 평평 한 박판 의 상하면 에 집속 이온 빔 ( Focused Ion Beam ; FIB ) 을 순차 적 으로 수직 방향 으로 조사 하 여 식각 하 되 , 상기 와 같 은 시험 부 , 지지 부 및 인장 하중 전달 부 를 갖 도록 식각 하 는 것 을 특징 으로 한다 .