제 1 절연 캡 층 ( 170 ) 이 제 1 수직 교번 시퀀스 ( 132 , 142 ) 위 에 후속 적 으로 형성 된다 . 제 1 절연 캡 층 ( 170 ) 은 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 에 사용 될 수 있 는 임의 의 유전체 재료 일 수 있 는 유전체 재료 를 포함 한다 . 일 실시 예 에서 , 제 1 절연 캡 층 ( 170 ) 은 제 1 절연 층 들 ( 132 ) 과 동일 한 유전체 재료 를 포함 한다 . 제 1 절연 캡 층 ( 170 ) 의 두께 는 20 nm 내지 300 nm 범위 내 에 있 을 수 있 지만 , 더 작 은 두께 및 더 큰 두께 도 사용 될 수 있 다 .