또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 이동 경로 를 전제 로 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 가 평면 모터 에 의해 XY 평면 을 따라 독립 적 으로 구동 되 었 다 . 하지만 , 반드시 평면 모터 가 사용 될 필요 는 없 고 , 이동 경로 에 따라 리니어 모터 를 이용 할 수 도 있 다 .