플라 즈 마 에칭 공정 ( 400 ) 을 더 상세히 고려 하 면 , 일단 플 라즈 마 에칭 기 가 안정 화 되 고 활성 화 되 면 , 일산 화 탄소 ( CO ) 플 라즈 마 와 임의 의 필요 한 첨가제 인 주 에칭 제 는 챔버 내 에 배치 된 웨이퍼 의 플 라즈 마 에칭 을 용이 하 게 한다 . 일산 화탄 소계 플 라즈 마 라는 용어 는 , 대부분 일산 화 탄소 이 지만 다른 첨가제 를 포함 할 수 있 는 플 라즈 마 를 의미 한다 . 에칭 공정 이 진행 될 때 , CO 는 에칭 될 재료 ( 산화물 , 질화물 및 규산염 을 포함 하 는 전이 금속 또는 전이 금속 화합물 중 어느 것 이나 ) 와 반응 하 여 금속 카르보닐 부산물 을 생성 하 고 , 이 금속 카르보닐 부산물 은 형성 즉시 신속 하 게 챔버 로부터 배출 된다 . 상기 내용 으로부터 , 이러 한 공정 은 가스 상 부산물 인 금속 카 르보 닐 부산물 이 에칭 기 로부터 쉽 게 제거 될 수 있 도록 한다는 것 을 이해 해야 한다 .