본 발명 의 구체 예 들 은 완비 된 가스 정화 시스템 , 및 엑 시머 굴절 레이저 시스템 과 같 은 레이저 시스템 의 레이저 빔 광학 경로 를 정화 시키 는 방법 을 제공 한다 . 정화 는 하나 의 바람직 한 구체 예 에서 , 질소 가스 일 수 있 지만 , 광학 시스템 의 정화 에 적합 한 또 다른 가스 는 또한 사용 될 수 있 다 . 본 발명 의 이 완비 된 질소 정화 시스템 의 구체 예 는 엑 시머 레이저 시력 교정 시스템 또는 다른 레이저 빔 전달 시스템 과 같 은 레이저 시스템 의 일체 적 부 ( part ) 로서 통합 되 어 있 는 질소 생산 기 를 포함 할 수 있 다 . 하나 의 구체 예 에서 , 주위 공기 는 산소 및 다른 성분 들 을 분리 하 고 , 광학 경로 의 부분 을 따라 정화 가스 로서 공급 될 거의 순수 한 질소 의 공급 을 생산 하 기 위해 여과 될 수 있 다 . 이 방법 으로 , 레이저 빔 파워 출력 손실 은 줄어들 수 있 고 , 주위 공기 를 가지 고 레이저 빔 ( 예 를 들 어 , 엑 시머 레이저 빔 ) 상호 작용 에 기인 된 오존 의 생산 은 줄어들 거나 제거 될 수 있 다 .