그러나 , B 부분 의 선폭 은 수평 과 수직 으로 만나 는 패턴 사이 의 내측 각 ( Inner Conner ) 영역 에서 발생 하 는 광 근접 효과 때문 에 나타나 는 현상 이 다 . 그러므로 실제 오류 가 아닌 펠스 에러 ( False Error ) 라고 볼 수 있 다 . 실제로 칩 전체 에 대한 오류 데 이타 베이스 ( full chip DB ) 를 구축 하 면서 이런 펠스 에러 를 삭제 하 지 않 으면 오류 확인 ( 검사 ) 프로그램 ( Verification Program ) 으로 수행 했 을 때 과다 한 수 의 펠스 에러 때문 에 실질 적 으로 문제 가 있 는 곳 에서 의 오류 ( Real Error ) 를 구분 할 수 없 게 되 는 문제 가 있 다 .