가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 스루홀 들 ( 117 ) 각각 은 이 들 각각 을 관통 하 는 유체 플로우 를 최적 화 하 면서 동시 에 이 들 각각 으로 의 플 라즈 마의 역 침입 을 방지 하 도록 정의 된다 . 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 스루홀 들 ( 117 ) 각각 을 관통 한 / 각각 으로 의 유체 플로우 및 플 라즈 마 침입 은 그 사이즈 에 정비례 한다 . 따라서 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 스루홀 들 ( 117 ) 각각 의 사이즈 가 이 들 각각 으로 의 역 플 라즈 마 침입 을 방지 하 기 에 충분히 작 으면서 각각 을 관통 하 는 적절 한 유체 플로우 를 제공 하 기 에 충분히 큰 상태 로 유지 되 도록 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 및 스루홀 들 ( 117 ) 각각 을 정의 하 는 것 이 필요 하 다 . 여러 실시 형태 들 에서 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 의 직경 은 약 0 . 1 mm 내지 약 3 mm 에 걸친 범위 내 에서 사이징 된다 . 여러 실시 형태 들 에서 , 스루홀 들 ( 117 ) 의 직경 은 약 0 . 5 mm 내지 약 5 mm 에 걸친 범위 내 에서 사이징 된다 . 그러나 , 여러 실시 형태 들 에서 , 가스 공급 포트 들 ( 119 ) 과 스루홀 들 ( 117 ) 은 이 들 을 관통 하 는 적절 한 유체 플로우 를 제공 하 면서 동시 에 이 들 로 의 플 라즈 마 침입 의 적절 한 방지 를 제공 하 는 한 , 본질 적 으로 임의 의 직경 사이즈 로 각각 정의 될 수 있 음 을 알 아야 한다 .