이상 에서 상세 하 게 설명 한 바 에 의하 면 , 웨이퍼 의 얼라인먼트 를 수행 할 때 , 얼라인먼트 를 수행 하 기 위한 해당 얼라 인 마크 의 손상 등 의 이유 로 얼라인먼트 불량 이 발생 하 더라도 선행 공정 을 수행 하 면서 이미 형성 된 복수 개 의 얼라 인 마크 를 대체 가능 한 얼라 인 마크 로 활용 함 으로써 , 작업자 가 일일이 에러 로그 분석 , 재작 업 , 공정 프로그램 수정 등 을 수행 할 필요 가 없 기 때문 에 공정 지연 을 효과 적 으로 방지 하 여 생산 성 을 높일 수 있 는 효과 가 있 다 .