그러나 , 상기 의 방법 에서 는 , 개폐 도어 와 FOUP 와 의 사이 의 공간 의 압력 과 , 기판 반송 영역 의 압력 이 상이 한 경우 , FOUP 내 의 웨이퍼 가 웨이퍼 반송 영역 에 개방 될 때 , 양자 의 압력 차 에 의해 , 한쪽 으로부터 다른 쪽 을 향하 는 가스 의 흐름 이 발생 한다 . 그 때문 에 , 파티클 이 비산 할 경우 가 있 다 .