도 5 에 나타내 는 바 와 같이 , 측벽 부 ( 51 b ) 에는 , PHT 처리 장치 ( 4 ) 의 챔버 ( 20 ) 에 대하 여 웨이퍼 ( W ) 를 반 입출 하 는 반입 출구 ( 53 ) 가 형성 되 어 있 고 , 이 반입 출구 ( 53 ) 는 게이트 밸브 ( 54 ) 에 의해 개폐 가능 하 게 되 어 있 다 . 즉 , 챔버 ( 40 ) 는 , 게이트 밸브 ( 54 ) 를 통하 여 PHT 처리 장치 ( 4 ) 의 챔버 ( 20 ) 에 연결 되 어 있 다 .