하부 절연체 ( 130 ) 는 스테이지 ( 120 ) 의 외측 면 을 둘러싸 도록 배치 된다 . 따라서 , 제 1 절연체 ( 130 ) 는 스테이지 ( 120 ) 와 후술 하 는 제 1 전극 ( 140 ) 사이 를 전기 적 으로 절연 시킨다 . 따라서 , 제 1 절연체 ( 130 ) 에 의하 여 스테이지 ( 120 ) 에 는 제 1 전극 ( 140 ) 으로부터 독립 적 인 고주파 에너지 가 인가 될 수 있 다 .