또한 , 도 9 의 ( a ) 내지 도 9 의 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 위치 정합 마크 ( 20 ) 는 복수 의 사각형 이 결합 되 는 형상 ( 도 9 의 ( a ) 및 도 9 의 ( b ) ) 또는 부채꼴 형상 ( 도 9 의 ( c ) ) 을 갖 는 경우 , 배선 패턴 은 돌기 부 ( 32 ) 에 대해 소정 의 위치 로부터 수평 방향 및 수직 방향 으로 어느 정도 편향 되 는가 를 인식 할 수 있 다 .