종래 기술 의 다른 문제점 은 정렬 마크 의 셋 포인트 위치 로부터 의 최소 편차 가 발생 할 수 있 다는 사실 로 구성 된다 . 정렬 마크 의 위치 는 컴퓨터 에서 가능 한 최대 정확도 로 정의 되 지만 , 정렬 마크 의 생 성 은 기판 표면 상 에 정렬 마크 를 생성 하 는 공정 및 장비 의 정확도 에 의해 제한 된다 . 정렬 마크 가 이상 적 인 형상 과 편차 가 없 어도 실제 위치 는 이상 적 인 위치 에서 최소 로 벗어날 수 있 다 . 정렬 마크 편차 는 대략 1 내지 100 nm , 즉 나노 미터 범위 에 있 다 .