라이너 ( 130 ) 는 하우징 ( 110 ) 내 측면 을 보호 한다 . 예 를 들 면 , 공정 가스 가 여기 되 는 과정 에서 공정 챔버 ( 100 ) 내부 에 는 아크 ( Arc ) 방전 이 발생 될 수 있 다 . 아크 방전 은 주변 장치 들 을 손상 시킨다 . 라이너 ( 130 ) 는 하우징 ( 110 ) 의 내 측면 을 보호 하 여 하우징 ( 110 ) 의 내 측면 이 아크 방전 으로 손상 되 는 것 을 방지 한다 . 또한 , 기판 처리 공정 중 에 발생 한 반응 부산물 이 하우징 ( 110 ) 의 내 측벽 에 증착 되 는 것 을 방지 한다 .