제 1 유지 유닛 ( 68 ) 은 , 예 를 들 어 , 프레임 ( 15 ) 의 상면 에 접촉 하 여 이 프레임 ( 15 ) 을 흡착 , 유지 하 고 , 제 1 이 동 기구 ( 66 ) 에 의해 승강 함 과 함께 , 제 1 레일 ( 64 ) 을 따라 Y 축 방향 으로 이동 한다 . 제 1 유지 유닛 ( 68 ) 의 개구 ( 48 a ) 측 에 는 , 프레임 ( 15 ) 을 파지 하 기 위한 파지 기구 ( 68 a ) 가 형성 되 어 있 다 .