이어서 , 적층 물 ( ST ) 을 관통 하 는 제 1 슬릿 ( SL 1 ) 을 형성 한다 . 제 1 슬릿 ( SL 1 ) 은 적층 물 ( ST ) 을 일부 깊이 관통 할 수 있 고 , 제 1 방향 ( I - I ') 으로 배열 된 제 2 개 구부 들 ( OP 2 ) 과 중첩 될 수 있 다 . 따라서 , 제 1 슬릿 ( SL 1 ) 은 적층 물 ( ST ) 및 제 2 희생 막 들 ( 33 B ) 을 일부 깊이 관통 할 수 있 다 .