입사 광 빔 ( 132 ) 의 변조 주파수 가 증가 함 에 따라 FIP 신호 의 감소 가 전형 적 으로 관찰 될 수 있 는 광다이오드 또는 광전도체 에 기초 한 공지 의 FIP 장치 와 대조 적 으로 , 도 3 b 의 예 에 대하 여 도 3 d 에 따라 기록 된 FIP 신호 의 주파수 응답 은 , FIP 신호 에 대한 최대 값 이 1 ㎑ 내지 5 ㎑ 의 영역 에서 달성 될 때 까지 , 우선 , 변조 주파수 의 증가 에 따라 증가 하 고 , 그 다음 FIP 신호 는 입사 광 빔 ( 132 ) 의 변조 주파수 를 더 증가 시키 기 위해 감소 한다 . 입사 광 빔 ( 132 ) 의 변조 주파수 가 증가 함 에 따라 FIP 신호 의 초기 증가 는 본 발명 에 따른 종 방향 광학 센서 ( 114 ) 에 포함 되 는 용량 성 소자 ( 134 ) 의 용량 특성 에 기인 할 수 있 다 .