본 발명 의 실시 예 및 비 교예 에서 얻 어 진 결과 를 바탕 으로 , 두 개 의 흡착 챔버 간 연결 라인 의 사체 적 ( dead volume ) 의 크기 에 따른 최종 제품 의 순도 및 수율 의 변화 그래프 를 도 5 에 도시 하 였으며 , 얻 어 진 최종 제품 의 순도 ( 중량 %) 및 최종 제품 의 수율 ( %) 을 하 기 표 1 에 나타내 었 다 .