중앙 통제부 ( 180 ) 는 데이터 케이블 ( 198 ) 에 의해 분광 장치 ( 160 ) 와 연결 되 어 전기 신호 를 전달 받 는다 . 그리고 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 전달 받 은 전기 신호 를 데이터 화 함 과 아울러 미리 저장 된 분석 데이터 와 비교 하 여 현재 의 가스 및 가스 잔유 물 의 성분 및 상태 를 분석 한다 . 특히 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 상술 한 바 와 같이 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 및 분광 장치 ( 160 ) 와 전기 적 으로 연결 되 어 이 들 을 제어 한다 . 즉 , 플라 즈 마 검사 장치 ( 100 ) 에 전원 이 공급 되 어 동작 을 하 게 되 면 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 및 분광 장치 ( 160 ) 를 프로그램 된 사항 에 따라 세팅 하 고 , 동작 시키 게 된다 . 이 에 따라 중앙 통제부 ( 180 ) 는 중앙 통제부 ( 180 ) 를 통해 공급 되 는 데이터 를 외부 장치 예 를 들 어 , 상위 서버 또는 상위 시스템 에 전송 한다 . 이 를 위해 중앙 통제부 ( 180 ) 에 는 제 어 및 분석 을 위한 중앙 처리 장치 ( 182 ) 와 데이터 및 운용 어플리케이션 의 저장 을 위한 메모리 가 포함 되 어 구성 될 수 있 다 . 이 중앙 통제부 ( 180 ) 는 분광 장치 ( 160 ) 로부터 스펙트럼 화 되 어 분광 된 광 ( EL ) 즉 , 광 ( EL ) 의 파장 대별 값 을 저장 하 고 , 이 파장 대별 값 을 수치 신호 로 변환 한다 . 그리고 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 외부 장치 와 IO 케이블 ( 197 ) 및 입출력 포트 ( 190 ) 를 경유 하 여 연결 되 고 , 이 를 통해 수치 신호 를 외부 장치 에 전달 한다 . 특히 , 이 중앙 통제부 ( 180 ) 는 일반 적 인 퍼스널 컴퓨터 급 의 처리 능력 을 가지 는 소수 의 기판 또는 모듈 에 의해 구현 될 수 있 다 . 즉 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 그래픽 카드 , 각종 입출력 장치 , 통신 장치 를 중앙 처리 장치 및 저장 장치 와 함께 소수 의 기판 에 실장 하 여 검사 장치 내 에 수용 할 수 있 다 . 이 를 통해 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 분광 장치 ( 160 ) 로부터 공급 되 는 전기 신호 를 프로그래밍 된 절차 에 의해 분석 , 가공 하 여 저장 하 고 이 를 입출력 포트 ( 190 ) 를 통해 연결 되 는 디스플레이 장치 , 통신선 , 프린트 등 으로 출력 하 여 제공 한다 . 또한 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 입출력 포트 ( 190 ) 를 통해 연결 되 는 마우스 , 키보드 , 외부 메모리 등 에 의해 프로그래밍 되 어 , 사용 자 가 의도 하 는 형태 로 데이터 를 분석 , 가공 하 여 사용 자 에게 제공 할 수 도 있 다 . 아울러 , 중앙 통제부 ( 180 ) 는 사용 환경 및 목적 에 따라 모니터 , 프린터 와 같 은 출력 장치 를 포함 하 여 구성 될 수 있 으며 , 이 를 위해 제 2 케이스 ( 103 ) 의 형태 는 다소 변경 될 수 있 다 . 하지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 .