[ 0052 ] 몇몇 실시 예 들 에 따르 면 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 마스크 캐리어 ( 140 ) 및 / 또는 기판 캐리어 ( 120 ) 를 미리 결정 된 포지션 에 홀딩 하 도록 구성 된다 . 또한 , 선택 적 으로 , 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 는 , 마스크 캐리어 ( 140 ) 를 기판 캐리어 ( 120 ) 에 대해 포지셔닝 하 도록 , 또는 기판 캐리어 ( 120 ) 를 마스크 캐리어 ( 140 ) 에 대해 포지셔닝 하 도록 구성 될 수 있 다 . 홀딩 어 레인지 먼 트 ( 310 ) 를 제 1 트랙 어 레인지 먼 트 와 제 2 트랙 어 레인지 먼 트 사이 에 제공 함 으로써 , 기판 캐리어 ( 120 ) 와 마스크 캐리어 ( 140 ) 의 개선 된 정렬 이 제공 될 수 있 다 .