도 4 내지 17 b 는 예시 적 인 실시 예 들 에 따른 수직 형 메모리 장치 의 제조 방법 의 단계 들 을 설명 하 기 위한 평면도 들 및 단면도 들 이 다 . 구체 적 으로 , 도 5 , 12 및 16 은 평면도 들 이 고 , 도 4 , 6 - 11 및 17 a 는 대응 하 는 각 평면도 들 의 A - A ' 선 을 따라 절단 한 단면도 들 이 며 , 도 13 - 15 는 대응 하 는 각 평면도 들 의 B - B ' 선 을 따라 절단 한 단면도 들 이 다 . 이때 , 도 17 b 는 도 17 a 의 X 영역 에 대한 확대 단면도 이 다 .