한편 , 반경 R 2 ' 는 원래 는 반경 R 과 상이 하 다 . 그러나 , 실제로 는 , 반경 R 2 ' 는 반경 R 과 대략 같 게 되 는 경우 가 있 다 . 반경 R 2 ' 가 반경 R 과 대략 같 게 되 는 것 은 , 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 가 d ' 점 에 겹친 경우 의 a ' 점 , b ' 점 , c ' 점 의 조합 에 대응 하 여 산출 한 반경 이 같 아 지 기 때문 이 라고 생각 된다 . 그 때문 에 , 판정 공정 ( 단계 S 25 ) 에 있 어서 , 4 개 의 리니어 이미지 센서 ( 52 A ∼ 52 D ) 중 어느 것 이 웨이퍼 ( W ) 의 절 결부 ( WN ) 를 검출 하 고 있 는 것 은 판정 할 수 있 지만 , 절 결부 ( WN ) 가 b ' 점 에 위치 하 고 있 는 것 인지 d ' 점 에 위치 하 고 있 는 것 인지 , 판정 이 곤란 하 게 되 는 경우 가 있 다 .