상술 한 실시 형태 에 있 어서 , 송액 부 ( 60 ) 는 , 필터 ( 63 ) 를 개재 하 여 보충 부 ( 50 ) 와 토출 부 ( 30 ) 를 접속 하 는 송액 관 ( 61 ) 와 , 송액 관 ( 61 ) 을 거쳐서 보충 부 ( 50 ) 로부터 처리 액 을 받아들여 , 송액 관 ( 61 ) 을 거쳐서 토출 부 ( 30 ) 에 처리 액 을 송출 하 는 압송 부 ( 64 ) 와 , 송액 관 ( 61 ) 과 압송 부 ( 64 ) 사이 를 개폐 하 는 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 를 갖 는다 . 전환 밸브 ( 71 ) 는 , 제 2 접속 밸브 ( 68 ) 보다 도 작 은 개방 도 변화 율 로 개폐 한다 . 전환 밸브 ( 71 ) 의 개폐 동작 에 수반 하 여 , 개폐 동작 중 에 액 압 의 변동 이 생긴다 . 상기 구성 에서 는 , 작 은 개방 도 변화 율 로 전환 밸브 ( 71 ) 의 개폐 동작 이 행해짐 으로써 , 필터 ( 63 ) 에 작용 하 는 액 압 의 급격 한 변동 이 억제 된다 . 따라서 , 웨이퍼 ( W ) 에 토출 되 는 처리 액 중 의 파티클 의 저감 에 더욱 유용 하 다 .