아울러 , 상기 제 3 바이패스 부 ( 63 ) 를 통해 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 및 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 로 이송 되 는 다이 머 페럴 린 의 양 을 조절 하 고 흐름 을 제어 할 수 있 으므로 , 상기 제 1 분 해 챔버 ( 21 ) 조건 에서 변환 된 모노머 페럴 린 과 상기 제 2 분 해 챔버 ( 22 ) 조건 에서 변환 된 모노머 페럴 린 의 혼합비 율 을 제어 할 수 있 게 된다 .