상기 제 1 가스 는 상기 전원 전극 ( 110 ) 과 상기 접지 전극 ( 120 ) 사이 에 플 라즈 마 를 형성 하 고 , 상기 플라 즈 마 및 상기 플 라즈 마 에 의하 여 형성 된 라다 칼 은 상기 제 2 가스 와 반응 하 여 상기 기판 ( 108 ) 에 박막 을 형성 할 수 있 다 . 상기 제 2 가스 는 상기 전원 전극 ( 110 ) 에 직접 분사 되 지 않 을 수 있 다 .