스테이지 구 동부 ( 42 c ) 는 , 배치 부 ( 42 a ) 및 지지 부 ( 42 b ) 를 , 수평 방향 의 한 방향 인 X 축 방향 으로 이동 시키 는 X 축 방향 구동 부 , X 축 방향 에 직교 하 는 수평 방향 인 Y 축 방향 으로 이동 시키 는 Y 축 방향 구동 부 , 수평 방향 에 직교 하 는 Z 축 방향 으로 이동 시키 는 Z 축 방향 구동 부 , 수평 면내 에서 회전 이동 시키 는 θ 구동 부 를 , 하측 에서부터 이 순서 로 적층 하 여 구성 된 구동 부이 다 . 또한 , 스테이지 구 동부 ( 42 c ) 는 , X 축 방향 및 Y 축 방향 의 위치 결정 정밀도 의 향상 을 도모 하 기 위해서 , X 축 방향 구동 부 및 Y 축 방향 구 동부 에 선형 인코더 를 부수 적 으로 두 고 있 다 .