모델 데이터 생성 장치 의 제 1 양태 는 , 소정 의 광학계 를 경유 한 광 의 강도 분포 를 , 고속 푸리에 변환 및 역고 속 푸리에 변환 을 사용 하 여 산출 하 는 이미지 시뮬레이터 에 입력 되 는 모델 데이터 로서 , 포토 마스크 의 패턴 을 투과 한 광 의 분포 를 이 산값 으로 나타내 는 모델 데이터 를 생성 하 는 장치 로서 , 소정 의 함수 의 컷오프 주파수 가 , 상기 이 산값 의 공간 분해능 의 역수 의 4 분 의 1 이하 가 되 도록 , 상기 모델 데이터 를 생성 하 는 모델 생 성부 를 구비 하 고 , 상기 소정 의 함수 는 , 상기 모델 데이터 에 포함 되 는 광 의 강도 분포 의 강도 변화 부분 이 따르 는 파형 을 서로 연결 하 여 얻 어 지 는 함수 이 다 .