플라 즈 마 식각 장치 는 기판 의 주변 부 를 식각 하 는 제 1 식각 모듈 , 제 1 식각 모듈 에 인접 하 며 기판 의 이면 을 식각 하 는 제 2 식각 모듈 및 제 1 및 제 2 식각 모듈 들 에 기판 을 유출 입 시키 는 이송 모듈 을 포함 한다 . 따라서 , 플라 즈 마 식각 장치 가 기판 의 주변 부 및 이 면 에 흡착 된 이 물질 의 식각 이 이루어진다 .