개폐 도어 ( 5 ) 및 웨이퍼 ( W ) 의 반 송구 ( 20 ) 에 대해서 설명 한다 . 반 송구 ( 20 ) 에서 의 캐리어 반송 영역 ( S 1 ) 측 의 입구 테두리 부 에 는 , 캐리어 본체 ( 31 ) 의 개구 테두리 부 ( 34 ) 가 맞닿 는 위치 에 시일 부재 ( 51 ) 가 설치 되 어 있 다 . 반 송구 ( 20 ) 에서 의 측연 부측 에 는 , 불활성 가스 공급 관 ( 52 ) 이 수직 으로 설치 되 어 있 다 . 불활성 가스 공급 관 ( 52 ) 은 , 연직 방향 으로 연장 되 는 가스 공 급구 ( 53 ) 를 상하 에 구비 하 여 , 웨이퍼 ( W ) 의 수수 위치 에서 의 캐리어 ( C ) 와 개폐 도어 ( 5 ) 에 둘러싸인 폐색 공간 ( 54 ) 에 불활성 가스 를 공급 한다 . 반 송구 ( 20 ) 의 하단 부 에 는 , 가로 로 긴 배기구 ( 55 ) 가 설치 되 어 있 다 . 배기구 ( 55 ) 에 는 , 가로 방향 에서 의 배기 의 치우침 을 억제 하 기 위해서 다공질 체 ( 55 a ) 가 설치 되 어 있 다 .