제 어부 ( 180 ) 는 제 1 센서 ( 190 ) , 제 2 센서 ( 192 ) 및 펠티어 소자 ( 160 ) 에 연결 된다 . 그리고 , 제 어부 ( 180 ) 는 열 교환기 ( 170 ) 로 공급 되 는 냉각수 공급 부 ( 미 도시 ) 에 연결 될 수 있 다 . 한편 , 제 어부 ( 180 ) 는 제 1 센서 ( 190 ) 의 신호 에 따라 펠티어 소자 ( 160 ) 를 제어 하 여 가스 공급 관 ( 150 ) 을 통해 유동 하 는 가스 의 온도 를 조절 한다 . 또한 , 제 어부 ( 180 ) 는 제 2 센서 ( 192 ) 의 신호 에 따라 열 교환기 ( 170 ) 로 유입 되 는 냉각수 의 온도 를 제어 하 여 장치 본체 ( 110 ) 의 내부 공간 에서 순환 되 는 가스 의 온도 가 일정 하 도록 한다 . 그리고 , 제 어부 ( 180 ) 는 가스 공급 부 ( 미 도시 ) 에 연결 되 어 제 2 센서 ( 192 ) 의 신호 에 따라 장치 본체 ( 110 ) 의 내부 로 공급 되 는 가스 의 공급량 을 조절 할 수 장치 본체 ( 110 ) 의 내부 를 순환 하 는 가스 의 습도 가 일정 하 도록 한다 .