본 발명 의 증착 방법 및 증착 장치 에 의하 면 , 기판 및 증착 유닛 중 한 쪽 을 다른 쪽 에 대하 여 상대 적 으로 이동 시키 면서 , 증착 마스크 에 형성 된 마스크 개구 를 통과 한 증착 입자 를 기판 에 부착 시키 므로 , 기판 보다 작 은 증착 마스크 를 사용 할 수 있 다 . 따라서 , 대형 기판 에 대해서 도 증착 에 의한 피막 을 형성 할 수 있 다 .