도 4 c 를 참조 하 면 , 상기 노출 된 증착 방지 막 ( 75 ) 을 제거 하 여 상기 단결정 패턴 ( 60 a ) 을 노출 시킨다 . 이때 , 상기 희생 패턴 ( 80 ) 의 아래 에 는 증착 방지 패턴 ( 75 a ) 이 형성 된다 . 증착 방지 패턴 ( 75 a ) 은 상기 통기 영역 ( 70 ) 의 바닥 면 과 , 측벽 의 아랫부분 을 덮 는다 . 이어서 , 상기 희생 패턴 ( 80 ) 을 제거 한다 .