도 6 에 도시 된 일체화 공정 에 있 어서 도 , 우선 , 흡 인원 ( 2 b ) 에 의한 부압 을 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 에 작용 시켜 , 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 를 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 밀착 시킨다 . 다음 에 , 적외선 램프 ( 8 ) 를 작동 시켜 , 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 에 적외선 ( 8 a ) 을 조사 하 여 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 를 가열 한다 . 그렇게 하 면 , 폴리에스테르 계 시트 ( 9 ) 가 웨이퍼 ( 1 ) 및 프레임 ( 7 ) 에 열 압착 된다 .