건 조부 ( 190 ) 는 린 싱 공정 이 마쳐 진 유리 기판 ( 180 ) 과 상기 유리 기판 ( 180 ) 을 적재 하 기 위한 카세트 ( 170 ) 에 남 아 있 는 세척액 을 건조 시킴 에 따라 , 잔존 하 는 세척액 과 에칭 액 의 혼합 으로 인한 상기 에칭 액 농도 의 변화 등 에 의해 유리 기판 ( 180 ) 표면 의 에칭 특성 이 각 부분 ( 즉 , 세척액 이 잔존 하 는 부분 과 잔존 하 지 않 는 부분 ) 별로 달라지 는 것 등 을 방지 할 수 있 도록 하 기 위한 것 으로 , 도 6 에 참고 로 도시 되 어 있 는 바 와 같이 , 그 건조 가 이루어지 는 건조실 ( 191 ) 과 , 상기 건조실 ( 191 ) 에 열풍 ( hot air ) 을 공급 하 는 열풍 공급 ( 192 a ) 부 , 및 공급 된 열풍 에 의해 유리 기판 ( 180 ) 과 상기 유리 기판 ( 180 ) 이 적재 된 카세트 ( 170 ) 를 동시 에 건조 시킨 후 상기 열풍 을 배출 시킬 수 있 도록 하 기 위한 열풍 배 출부 ( 192 b ) 를 포함 한다 .