표 ２ 에서 볼 수 있 는 바 와 같이 , 비교 예의 식각 액 조성물 을 사용 하 여 식각 하 면 비 교예 1 의 경우 식각 속도 는 양호 하나 포토레지스트 이 끝단 이 위 로 말리 는 리프팅 ( Lifting ) 이 발생 하 게 되 고 , 이 로 인해 필링 오프 ( Peeling off ) 현상 이 발생 하 게 된다 . 이러 한 현상 은 양산 적용 하 기 어려우 며 비 교예 3 , 4 의 경우 식각 속도 가 낮 아 생산 성 에 문제 가 발생 하 기 때문 에 실제 공정 상 에서 적용 하 기 어렵 다 .