플라 즈 마 프로세싱 이 일어남 에 따라 , 재결합 산물 ( 120 ) 및 플 라즈 마 부산물 ( 118 ) 의 농도 는 기판 ( 102 ) 의 중심 에서 에지 까지 달라진다 . 결과 적 으로 , 플 라즈 마 ( 112 ) 에서 프로세스 가스 들 , 라디칼 및 뉴트럴 종 의 농도 는 또한 대응 하 여 달라진다 . 따라서 , 효과 적 인 플 라즈 마 프로세싱 , 이 경우 에서 는 식각 이 기판 ( 102 ) 의 중심 에서 에지 까지 달라진다 . 하지만 , 플라 즈 마를 감소 또는 제어 하 기 위해 구현 될 수 있 는 많 은 챔버 구성 ( chamber configuration ) 및 구조 들 이 존재 한다 .