이때 , 용 존 산소 제거 효율 은 진공도 , 충전탑 크기 , 입구 온도 등 에 따라 영향 을 받 으며 , 충전물 은 단위 부피 당 넓 은 표면적 을 갖 는 것 이 바람직 하 며 충전탑 크기 를 결정짓 는데 , 사용 하 는 충전물 로부터 불순물 의 용출 이 없 어야 하 며 충전탑 에서 의 산소 , 질소 , 이산화 탄소 를 충분히 제거 할 수 있 도록 진공 펌프 가 증기 이 젝 터 를 이용 하 여 장치 진공 을 일정 수준 이상 유지 하 여야 하나 , 보통 진공 탈기 방법 에 의해 처리 된 용수 는 30 ∼ 40 ppb 범위 의 용 존 산소 를 함유 하 여 완전 한 제거 는 어려우 며 , 밀봉 장치 가 요구 되 며 , 충전탑 내부 진공 을 유지 하 기 위하 여 고가 의 장치 비 와 유지 보수비 가 소요 된다 .