필터 ( 83 ) 는 , 접속 배관 ( 81 ) 에서 의 폐색 공간 ( 54 ) 과 개폐 밸브 ( 82 ) 와 의 사이 에 설치 되 어 있 다 . 필터 ( 83 ) 는 , 개폐 밸브 ( 82 ) 의 개폐 시 등 에 접속 배관 ( 81 ) 의 내부 에 발생 하 는 파티클 등 을 제거 한다 . 도 5 에서 는 , 필터 ( 83 ) 가 접속 배관 ( 81 ) 에서 의 개폐 도어 ( 5 ) 와 개폐 밸브 ( 82 ) 와 의 사이 에 설치 되 어 있 는 경우 를 나타내 고 있 지만 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 어 필터 ( 83 ) 는 접속 배관 ( 81 ) 에서 의 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 과 개폐 밸브 ( 82 ) 와 의 사이 에 설치 되 어 있 어도 된다 . 또한 , 필터 ( 83 ) 는 , 접속 배관 ( 81 ) 에서 의 개폐 도어 ( 5 ) 와 개폐 밸브 ( 82 ) 와 의 사이 , 및 접속 배관 ( 81 ) 에서 의 웨이퍼 반송 영역 ( S 2 ) 과 개폐 밸브 ( 82 ) 와 의 사이 에 설치 되 어 있 어도 된다 .