CD 에 대한 초점 기여 도 는 위 에서 설명 된 바 와 같이 초점 기여 도 , 특히 고려 중 인 기판 에 대한 리소그래피 장치 의 하나 이상 의 처리 변수 의 초점 기여 도와 의 기본 적 인 리소그래피 장치 초점 기여 도 의 조합 에 기초 할 수 있 다 . 예 를 들 어 ( 리 소 후 및 / 또는 에칭 후 ) 피처 의 보 슝 ( Bossung ) 거동 이 실험 또는 시뮬레이션 을 통해 알려질 수 있 다는 것 을 고려 하 면 , 이 치밀 한 초점 정보 는 원칙 적 으로 임의 의 패턴 피처 에 대해 필드 에 걸쳐 및 / 또는 기판 에 걸쳐 Δ CD 기여 도로 변환 될 수 있 다 . 따라서 , 초점 값 을 갖 는 기판 상 의 임의 의 위치 ( x , y ) 에 대해 , 그 기판 위치 ( x , y ) 에 대응 하 는 CD 값 이 계산 될 수 있 다 :