부가 적 으로 , 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 실리사이드 전구체 ( 예 를 들 어 , 백금 ) 는 소스 / 드레 인 영역 ( 82 ) 의 이전 에 미 반응 된 물질 과 반응 하 기 위해 제 3 상 실리사이드 층 ( 213 ) 을 통해 이동 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 제 2 실리사이드 전구체 는 실제로 제 3 상 실리사이드 층 ( 213 ) 으로부터 자기 - 분리 되 어 영역 ( 50 P ) 내 에서 제 3 상 실리사이드 층 ( 213 ) 과 나머지 소스 / 드레 인 영역 ( 82 ) 사이 에 분리 된 실리사이드 층 ( 215 ) 을 형성 할 수 있 다 . 일 실시 예 에서 , 분리 된 실리사이드 층 ( 215 ) 은 약 0 . 5 nm 내지 약 4 nm , 예컨대 , 약 2 nm 의 두께 를 가질 수 있 다 . 그러나 임의 의 적합 한 두께 가 사용 될 수 있 다 .