따라서 , 지지 테이블 ( 2 ) 과 샤워 헤드 ( 20 ) 의 사이 의 공간 에 는 도 4 에 모식 적 으로 나타내 는 바 와 같이 , 고주파 전원 ( 15 ) 에 의해 연직 방향 의 전계 EL 이 형성 되 고 , 또한 다이폴 링 자석 ( 30 ) 에 의해 수평자 계 B 가 형성 되 고 , 이 와 같이 형성 된 직교 전자 계 에 의해 마그네트론 방전 이 생성 된다 . 이것 에 의해서 고 에너지 상태 의 에칭 가스 의 플 라즈 마가 형성 되 고 , 웨이퍼 W 가 에칭 된다 .