이 에 관련 하 여 대한민국 등록 특허 10 - 1256193 호 ( 발명 의 명칭 : 박막 증착 장치 및 이 에 사용 되 는 선형 증발원 . 이하 선행 기술 1 ) 등 에서 는 복수 의 선형 증발원 간 에 설치 된 노즐 사이 의 거리 가 멀 어 짐 에 따라 박막 균 일도 가 저하 되 는 문제점 을 해결 하 고자 수직 방향 으로 평행 하 게 설치 된 노즐 을 상호 마주 보 는 방향 으로 경사지 게 형성 시킨 기술 을 제시 하 고 있 다 .