그리고 , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 가 도 18 에 도시 된 위치 에 도달 하 면 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 를 정지 시킨다 . 이 에 앞서 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , Z 헤드 ( 72 a ∼ 72 d ) 의 전부 또는 일부 가 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 과 대향 한 시점 또는 그 전 의 시점 에서 그 들 Z 헤드 ( 72 a ∼ 72 d ) 를 작동 시켜 ( 온 으로 하 여 ) , 웨이퍼 스테이지 ( WST ) 의 Z 위치 및 경사 량 ( θ y 회전 량 ) 의 계측 을 개시 한다 .