먼저 , 웨이퍼 ( W ) 를 공정 챔버 ( 100 ) 내 의 지지 부재 ( 200 ) 상 에 로딩 한다 ( S 10 ) . 구 동기 ( 132 ) 에 의하 여 도어 ( 130 ) 가 개방 되 면 , 웨이퍼 ( W ) 는 통로 ( 122 ) 를 통하 여 공정 챔버 ( 100 ) 의 내부 로 유입 되 며 , 지지 부재 ( 200 ) 상 의 지지 돌기 ( 229 ) 상 에 놓여진다 . 앞서 설명 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 는 정전기력 에 의하 여 지 지 플레이트 ( 220 ) 상 에 고정 될 수 있 다 .