일반 적 으로 , 제 1 산화 막 의 두께 는 약 1 nm 내지 약 7 nm 범위 이 고 , 반면 에 제 2 산화 막 의 두께 는 약 5 nm 내지 약 30 nm 범위 이 며 , 제 2 산화 막 의 두께 는 제 1 산화 막 의 두께 보다 두껍 다 ( 원 하 는 막 두께 는 막 의 적용 및 목적 등 에 따라 적절 하 다고 간주 되 는 두께 로 선택 될 수 있 다 ) . 결합 된 산화 막 을 탄소막 ( 예컨대 , 비정질 탄소 ) 상 에 증착 함 으로써 결합 된 산화 막 은 이중 패 터닝 을 위해 사용 될 수 있 거나 결합 된 산화 막 을 템플 릿 ( 예컨대 , 실리콘 기판 ) 상 에 증착 함 으로써 결합 된 산화 막 은 층간 유전체 막 으로서 사용 될 수 있 다 .