한편 , 도 3 a 에서 도시 한 바 와 같이 , 제 1 시드 패턴 ( 140 a ) 은 복수 개 의 단위 시드 패턴 으로 구성 되 어 있 기 때문 에 지지 부 ( 180 ) 는 단위 시드 패턴 상 에 만 형성 된다 . 따라서 , 전기 도금 공정 에 의해 형성 되 는 지 지부 ( 180 ) 의 전체 적 인 면적 을 줄여서 스트레스 에 의한 기판 ( 100 ) 의 변형 을 저감 시킬 수 있 으며 , 향후 지지 부 ( 180 ) 를 제거 하 여 프로브 구조물 을 기판 ( 100 ) 을 부터 분리 시킬 때 공정 시간 이 현저 하 게 단축 된다 .