도 7 에 나타내 는 바 와 같이 , 노광 시스템 ( SS ) 은 , 감광 기판 ( P ) 을 반송 하 는 반송 장치 ( 로더 계 ; 90 ) 를 구비 하 고 있 다 . 반송 장치 ( 90 ) 는 , 감광 기판 ( P ) 을 유지 할 수 있 는 핸드 부 ( 91 ) 와 , 핸드 부 ( 91 ) 를 구동 하 는 제 1 구 동부 ( 92 ) 와 , 핸드 부 ( 91 ) 를 제 1 구 동부 ( 92 ) 와 함께 이동 시키 는 제 2 구 동부 ( 93 ) 를 구비 하 고 있 다 . 제 2 구 동부 ( 93 ) 는 , Y 축 방향 으로 연장 되 는 가이드 부 ( 93 A ) 를 따라 핸드 부 ( 91 ) 를 제 1 구 동부 ( 92 ) 와 함께 Y 축 방향 으로 이동 시킨다 . 그리고 , 반송 장치 ( 로더 계 ; 90 ) 는 , 도포 부 ( C ) 로부터 반송 된 노광 처리 전 의 감광 기판 ( P ) 을 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 중 어느 일방 의 기판 스테이지 ( PST ) 에 반입 할 수 있 다 . 또한 , 반송 장치 ( 50 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) 의 기판 스테이지 ( PST ) 와 종 노광 장치 ( EX 2 ) 의 기판 스테이지 ( PST ) 사이 에서 감광 기판 ( P ) 을 반송 할 수 있 다 . 즉 , 반송 장치 ( 90 ) 는 , 주 노광 장치 ( EX 1 ) ( 또는 종 노광 장치 ( EX 2 ) ) 로 노광 처리 된 감광 기판 ( P ) 을 기판 스테이지 ( PST ) 로부터 언 로드 하 여 , 종 노광 장치 ( EX 2 ) ( 또는 주 노광 장치 ( EX 1 ) ) 의 기판 스테이지 ( PST ) 에 로드 할 수 있 다 .