상기 분사 플레이트 ( 220 ) 는 앞서 설명 한 바 와 같이 , 제 2 확산 공간 ( DS 2 ) 으로부터 처리 공간 ( S ) 으로 가스 를 분사 하 도록 다 수개 의 제 2 분 사공 ( 222 ) 들 이 형성 되 며 확산 플레이트 ( 210 ) 에 형성 된 각 분사 돌기 ( 211 ) 들 이 관통 하 여 삽입 되 도록 각 분사 돌기 ( 211 ) 들 에 대응 되 는 다 수개 의 끼움 공 ( 221 ) 들 이 형성 된다 .