상기 보조 셔틀 플레이트 ( 310 ) 는 , 상기 소자 안착 부 ( 211 ) 의 X 축 방향 피치 가 상기 소자 교환 위치 ( P 2 ) 에서 제 1 메인 이송 툴 ( 510 ) 의 픽커 ( 511 ) 들 이 이루 는 피치 와 동일 한 제 1 피치 를 가지 며 , 상기 로딩 / 언로 딩 위치 ( P 1 ) 에서 상기 제 1 피치 보다 작 은 제 2 피치 를 가질 수 있 다 .