도 1 에 나타내 는 바 와 같이 , 본 실시 예의 스테이지 장치 ( 1 ) 는 , 복수 개 의 중 공재 를 연결 하 여 구축 된 중공 파이프 구조 의 베이스 프레임 ( 베이스 대 ) ( 2 ) 과 , 베이스 프레임 ( 2 ) 을 아래 로부터 지지 하 는 지지 가 설대 ( 3 ) 와 , 베이스 프레임 ( 2 ) 위 를 이동 하 는 갠트리 부 ( 9 ) 와 , 베이스 프레임 ( 2 ) 에 설치 되 어 , 갠트리 부 ( 9 ) 의 이동 을 안내 하 는 가이드 레일 ( 4 ) 및 영구 자석 ( 6 ) 과 , 갠트리 부 ( 9 ) 의 하부 에 설치 되 어 , 가이드 레일 ( 4 ) 에 안내 되 는 안내 슬라이더 ( 7 ) 및 영구 자석 ( 6 ) 과 대향 하 는 전자석 ( 8 ) 을 구비 하 여 , 이 갠트리 부 ( 9 ) 가 가이드 레일 ( 4 ) 을 따라서 이동 하 는 것 이 다 . 여기 서 , 도 1 에 있 어서 , 베이스 프레임 ( 2 ) 의 길 이 방향 을 Y 축 방향 이 라 하 고 , 그 와 직교 하 는 수평 방향 을 X 축 방향 으로 한다 .