가스 도입 플랜지 ( 209 a ) 에 는 공급 관 으로서 의 제 1 가스 도입 라인 ( 232 a ) , 제 2 가스 도입 라인 ( 232 b ) 이 접속 되 어 있 다 . 제 1 가스 도입 라인 ( 232 a ) , 제 2 가스 도입 라인 ( 232 b ) 에 는 , 각각 제 1 가스 원 ( 243 a ) , 제 2 가스 원 ( 243 b ) 이 접속 되 어 있 다 . 제 1 가스 도입 라인 ( 232 a ) , 제 2 가스 도입 라인 ( 232 b ) 의 도중 에 는 제 1 가스 원 ( 243 a ) , 제 2 가스 원 ( 243 b ) 으로부터 반응 관 ( 203 ) 내 에 도입 되 는 제 1 가스 , 제 2 가스 의 유량 을 각각 제어 하 는 유량 제어 장치 ( 유량 제어 수단 ) 로서 의 제 1 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 a ) , 제 2 매스 플로우 컨트롤러 ( 241 b ) 와 , 그 상류 측 과 하류 측 에 설치 된 제 1 밸브 ( 242 a ) , ( 240 a ) , 제 2 밸브 ( 242 b ) , ( 240 b ) 가 각각 설치 되 어 있 다 .