여기 에서 , 상기 제어 PCB 부 에 탑재 되 고 , 상기 각 자이로 센서 로부터 전달 되 는 진동 의 진폭 과 주파수 신호 를 입력 받 아 각 진동 발생 원별 기계 진동 의 노이즈 신호 를 분석 하 여 이 를 상쇄 시킬 수 있 는 역위 상 진동 노이즈 신호 를 생성 하 며 , 상기 생성 된 역위 상 진동 노이즈 신호 를 목표 출력 신호 와 함께 PID 피드백 제어기 로 전달 하 는 액티브 피드포워드 제어 유닛 ( AFCA ; Active Feed - Forward Controller Array ) ; 상기 제어 PCB 부 에 탑재 되 고 , 상기 액티브 피드포워드 제어 유닛 으로부터 입력 받 은 역위 상 진동 노이즈 신호 를 PWM / PID 비례제 어 밸브 로 전달 하 며 , PWM / PID 비례제 어 밸브 를 통해 발생 시킨 공 압 을 각 압력 챔버 측 에 공급 시 각 압력 센서 로부터 피드백 신호 를 입력 받 도록 연결 구비 되 어 피드백 신호 를 현재 가동 중 인 목표 출력 신호 와 비교 하 여 차이 가 있 을 경우 이 를 보정 하 기 위한 보정 신호 를 생성 한 후 이 보정 신호 만큼 의 역위 상 진동 노이즈 신호 의 재생성 을 요청 하 는 명령 을 상기 액티브 피드포워드 제어 유닛 으로 전달 하 는 PID 피드백 제어기 ; 상기 제어 PCB 부 에 탑재 되 고 , 상기 PID 피드백 제어기 로부터 역위 상 진동 노이즈 신호 를 전달 받 아 연마 헤드 상 에 구비 된 다수 의 압력 챔버 측 공 압 제어 를 위한 작업 명령 을 수행 하 면서 역위 상 진동 노이즈 신호 와 동일 한 주파수 및 진폭 을 갖 는 공 압 을 발생 시키 는 PWM / PID 비례제 어 밸브 ; 를 포함 하 도록 구성 할 수 있 다 .