상기 구성 의 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 는 , 제 어부 ( 90 ) 에 의해 그 동작 이 통괄 적 으로 제어 된다 . 제 어부 ( 90 ) 에 는 , CPU 를 구비 하 여 플 라즈 마 처리 장치 ( 100 ) 의 각 부 를 제어 하 는 프로세스 컨트롤러 ( 91 ) 와 , 유저 인터페이스 ( 92 ) 와 , 기억 부 ( 93 ) 가 마련 되 어 있 다 .