도 12 는 실리콘 기판 ( 301 ) 의 레지스 트 막 ( 304 ) 에 대한 에칭 선택 비 를 나타내 고 있 다 . 실리콘 에칭 의 대 마스크 선택 비 는 1 이상 이 면 좋 기 때문 에 , 도 12 로부터 , 설정 한 조건 범위 내이 면 대략 충분 한 대 마스크 선택 비 가 얻 어 지 고 있 는 것 을 알 수 있 다 . 또한 , CHF 3 / Ar 의 유량 비 가 크 고 , 또한 처리 압력 이 높 은 조건 ( 도 12 의 우측 상부 의 영역 ) 을 선택 하 는 것 에 의해서 , 실리콘 에칭 에 있 어서 의 대 마스크 선택 비 를 더욱 개선 할 수 있 다 .