다시 도 1 을 참조 하 면 , 배기 부 ( 240 ) 또는 배기 라인 ( 160 ) 에 는 배기 조절 밸브 ( 150 ) 가 장착 된다 . 배기 조절 밸브 ( 150 ) 는 기포 의 배기량 을 조절 하 기 위한 것 으로서 기포 의 배기량 조절 을 통해 배기 부 ( 240 ) 를 통해 배출 되 는 기포 및 약액 의 배출 량 을 조절 할 수 있 으며 , 그 와 동시 에 챔버 ( 220 ) 내 의 압력 도 조절 할 수 있 어 기포 제거 장치 ( 200 ) 에서 약액 의 배출 이 원활 하 게 이루어지 도록 할 수 도 있 다 . 배기 조절 밸브 또한 당업자 라면 종래 의 여러 종류 의 밸브 에서 적합 한 하나 를 선택 하 여 장착 할 있 는 것 이 다 .