각 성막 실 ( 11 , 12 ) 에 는 각각 성막 장치 ( 증착 장치 라고 도 부름 ) 가 설치 되 어 있 다 . 반송 로봇 ( 14 ) 과 의 기판 ( 10 ) 의 전달 , 기판 ( 10 ) 과 마스크 의 상대 위치 의 조정 ( 얼라인먼트 ) , 마스크 상 으로 의 기판 ( 10 ) 의 고정 , 성막 ( 증착 ) 등 의 일련 의 성막 프로세스 는 , 성막 장치 에 의해 자동 적 으로 행해진다 .