본 발명 의 일 태양 의 장치 진단 장치 는 , 플라스마 처리 장치 의 상태 를 진단 하 는 장치 진단 장치 에 있 어서 , 제 1 플라스마 처리 장치 에 있 어서 의 제 1 센서 에 의해 취득 된 제 1 센서 값 을 이용 하 여 확률 분포 함수 를 포함 하 는 사전 분포 정보 를 상기 제 1 센서 의 각각 에 대하 여 미리 구하 고 , 상기 미리 구해진 사전 분포 정보 와 , 제 2 플라스마 처리 장치 에 있 어서 의 제 2 센서 에 의해 취득 된 제 2 센서 값 을 기초 로 상기 제 1 센서 의 각각 에 대응 하 는 상기 제 2 센서 의 각각 에 있 어서 의 확률 분포 를 추정 하 고 , 상기 추정 된 확률 분포 에 대한 우도 ( 尤 度 ) 인 제 1 우도 와 , 정규 분포 에 대한 우도 인 제 2 우도 를 비교 하 고 , 상기 제 1 우도 가 상기 제 2 우도 보다 클 경우 , 상기 추정 된 확률 분포 를 이용 하 여 상기 제 2 플라스마 처리 장치 의 상태 를 진단 하 고 , 상기 제 2 우도 가 상기 제 1 우도 보다 클 경우 , 상기 정규 분포 를 이용 하 여 상기 제 2 플라스마 처리 장치 의 상태 를 진단 하 는 것 을 특징 으로 한다 .