도 3 에 의하 면 , 제 1 부품 ( AP 1 ) 은 모재 ( 60 ) 및 모재 ( 60 ) 의 일면 에 위치 하 는 보론 카바이드 코팅 층 ( 61 ) 을 포함 하 여 이루어진다 . 모재 ( 60 ) 는 플 라즈 마 에 내식성 이 있 는 세라믹 물질 이 바람직 하나 금속 또는 그 들 의 복합 물 이 어도 무방 하 다 . 왜냐하면 , 모재 ( 60 ) 는 플 라즈 마 에 의해 영향 을 받 지 않 는 환경 에 위치 하 고 있 기 때문 이 다 . 본 발명 의 보론 카바이드 코팅 층 ( 61 ) 의 임계 두께 는 0 . 3 mm 의 후막 ( thick film ) 이 다 . 본 발명 에서 명시 하 고자 하 는 보론 카바이드 의 코팅 은 모재 ( 60 ) 전체 를 내식성 재료 로 구성 하 여 플 라즈 마 처리 장치 를 구성 하 기 보 다는 식각 이 허용 되 는 최대 두께 범위 만 을 내식성 재료 로 구성 한다 . 이 를 통하 여 , 제품 의 제조 원가 를 절감 하 고 제조 공정 을 용이 하 게 하 기 위하 여 실시 하 는 코팅 이 다 . 즉 , 두 가지 이종 벌크 ( bulk ) 재료 를 코팅 법 으로 접합 하 는 사례 중 의 하나 이 다 . 이 와 같이 , 식각 이 허용 되 는 최대 범위 의 두께 를 가진 코팅 층 ( 61 ) 을 후막 코팅 층 ( 61 ) 이 라고 할 수 있 다 .