종래 에 기재 에 막 을 형성 하 기 위하 여 진공 성막 장치 가 사용 되 고 있 다 . 여기 서 , 진공 성막 장치 의 내부 정보 , 특히 진공 챔버 ( chamber ) 내 의 기재 주변 의 정보 를 취득 하 기 위해서 는 , 센서 를 진공 챔버 의 내부 에 부착 하 고 , 이 센서 에 의해 취득 된 물리량 을 변환기 에 의해 전송 신호 로 변환 하 여 진공 챔버 의 외부 로 송신 할 필요 가 있 다 . 그러나 이 경우 에 있 어서 기재 가 진공 성막 장치 내 에서 이동하 는 경우 , 센서 에 대하 여 진공 성막 장치 의 외부 로부터 전기 케이블 ( cable ) 등 의 끌 고 다님 이 필요 해 지 고 동시 에 진공 실 ( seal ) 이 필요 하 므로 장치 구조 가 복잡 해진다는 문제 가 있 었 다 .