도 7 을 참조 하 면 , 전극 패드 ( P 1 ) 는 제 2 고정부 ( 270 ) 에 마련 되 며 , 제 1 전극 패드 ( P 1 ) 에 인가 된 전압 , 예컨대 그라운드 전압 은 토션 스프링 과 프레임 을 통해서 제 1 및 제 2 구동 콤 전극 ( 222 , 262 ) 에 인가 된다 . 전극 패드 ( P 2 , P 3 ) 는 제 3 고정부 ( 280 ) 에 설치 되 어서 각각 제 2 고정 콤 전극 ( 282 ) 에 전기 적 으로 연결 된다 . 전극 패드 ( P 4 , P 5 ) 는 전기 적 으로 절연 된 제 1 고정부 ( 210 ) 의 양측 의 제 1 고정 콤 전극 ( 212 ) 에 각각 전기 적 도선 을 통해서 전기 적 으로 연결 된다 . 도전 배선 ( 284 ) 은 베이스 ( 100 ) 상 에 형성 될 수 있 다 . 전기 적 절 연부 ( 290 ) 는 토션 스프링 ( 225 ) 가 제 1 고정부 ( 210 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 것 을 막 게 형성 된다 .