[ 0064 ] 도 4 에서 , 이동 가능 한 증착 소스 ( 110 ) 는 , 회전 가능 할 수 있 는 분배 파이프 ( 410 ) 를 포함 한다 . 분배 파이프 ( 410 ) 는 , 길 이 방향 을 따라 , 특히 , 본질 적 으로 수직 방향 으로 연장 될 수 있 다 . 분배 파이프 ( 410 ) 는 , 증발 된 재료 ( 412 ) 를 기판 ( 420 ) 상 에 분무 ( spray ) 하 기 위한 하나 이상 의 아웃렛 들 을 가질 수 있 다 . 기판 ( 420 ) 의 표면 은 , 예컨대 , 소스 운반 경로 의 방향 인 제 1 방향 으로 연장 될 수 있 다 .