분광 장치 ( 160 ) 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 로부터 발생 된 광 ( EL ) 을 제공 받 아 스펙트럼 화 하 고 , 스펙트럼 정보 를 전기 신호 로 변환 하 여 중앙 통제부 ( 180 ) 에 제공 한다 . 이 를 위해 분광 장치 ( 160 ) 는 광섬유 ( 170 ) 에 의해 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 와 연결 되 고 , 이 광섬유 ( 170 ) 를 통해 광 ( EL ) 을 제공 받 는다 . 그리고 , 분광 장치 ( 160 ) 는 내부 에서 반사경 등 을 이용 하 여 광 ( EL ) 을 분산 및 발산 시켜 분광 하 며 , 분광 된 광은 CCD ( Charge - coupled Device ) 와 같 은 이미지 촬상 소자 에 의해 전기 신호 로 변환 된다 . 그리고 , 변환 된 전기 신호 는 분광 장치 ( 160 ) 에 구비 되 는 포트 ( 179 ) 와 포트 ( 179 ) 에 연결 되 는 데이터 케이블 ( 198 ) 을 통해 중앙 통제부 ( 180 ) 로 전달 된다 . 여기 서 , 분광 장치 ( 160 ) 와 플라 즈 마 발생 장치 ( 110 ) 의 연결 은 석영 등 을 이용 하 여 제조 되 는 광 터널 을 이용 할 수 도 있 다 . 하지만 , 분광 장치 ( 160 ) 와 플라 즈 마 발생 장치 ( 110 ) 의 용이 한 결합 및 광 ( EL ) 의 효율 적 인 전달 을 위해서 는 광섬유 ( 170 ) 를 이용 하 는 것 이 좋 다 . 하지만 , 이 로써 본 발명 을 한정 하 는 것 은 아니 다 . 아울러 , 광섬유 ( 170 ) 의 종단 에 는 플 라즈 마 발생 장치 ( 110 ) 와 의 연결 을 위한 접속 단자 ( 171 ) 가 구비 될 수 있 다 .