바람직 한 실시 예 에 따르 면 , 상기 반송 배관 ( 100 ) 의 적어도 일부 를 포함 하 는 상기 회로 에서 공기 의 순환 은 , 상기 회로 에 배치 된 밸브 요소 ( 122 , 124 , 125 , 126 , 127 , VB , VC , VD ) 와 같 은 게이트 / 조절 요소 에 의해 조절 되 고 및 / 또는 제어 되 고 및 / 또는 열리 거나 또는 닫히 게 된다 .