이 실시 형태 에 있 어서 는 , 제 1 로드 록 챔버 ( 26 - 1 , 26 - 2 ) 및 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 가 로더 모듈 ( 22 ) 에 상하 방향 으로 겹쳐 있 지 않 으므로 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 분리 된 위치 에 배치 된다 . 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 로더 모듈 ( 22 ) 로부터 분리 된 위치 에 배치 된다 . 이 때문 에 , 제 2 반송 유닛 ( 31 ) 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 에 는 , 도 16 에 나타내 는 제 3 로드 록 챔버 ( 81 ) 와 마찬가지 로 , 기판 ( W ) 을 한 방향 으로 이동 시키 는 스테이지 가 마련 된다 .