투영 렌즈 부 ( 20 ) 의 특정 부위 , 즉 , 광 집중 영역 ( 21 ) 이 집중 적 으로 가열 되 어 온도 가 상승 함 에 따라 , 이 부분 에서 의 굴절 율 지수 ( refractive index ) 가 변화 되 어 렌즈 의 특성 이 변화 될 수 있 다 . 렌즈 특성 의 변화 는 패턴 상 의 정확 한 형성 및 전사 에 영향 을 주 는 포커스 ( focus ) , 배율 ( magnification ) 및 비점 수차 ( astigmatism ) 등 의 광학 적 변수 에 영향 을 주 게 된다 . 이 에 따라 패턴 형성 에 원하 지 않 는 악영향 이 미치 고 있 다 . 실질 적 으로 , 다이폴 조명 계 의 경우 , 입사광 에 의한 렌즈 의 국부 적 가열 에 의해 , 비점 수차 가 증가 하 고 , 또한 , 최적 포커스 ( best focus ) 또한 변화 하 는 것 으로 관측 되 고 있 다 .