가스 도입 로 ( 45 ) 에 는 , 처리 가스 로서 의 TiCl 4 가스 , NH 3 가스 나 퍼지 용 의 N 2 가스 등 을 , 가스 공급원 ( 도시 하 지 않 음 ) 으로부터 처리 용기 ( 10 ) 에 유도 하 는 가스 도입 기구 ( 50 ) 가 마련 되 어 있 다 . 가스 도입 기구 ( 50 ) 와 처리 용기 ( 10 ) 사이 , 구체 적 으로 는 , 가스 도입 기구 ( 50 ) 와 덮개 ( 13 ) 사이 에 는 , 처리 용기 ( 10 ) 내 를 기밀 하 게 유지 하 기 위한 O 링 ( 도시 하 지 않 음 ) 이 마련 되 어 있 다 .