제 1 리소그래피 서브시스템 ( 110 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 111 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 111 b ) 될 수 있 다 . 스캐너 서브시스템 ( 115 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 116 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 116 b ) 될 수 있 다 . 제 2 리소그래피 서브시스템 ( 120 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 121 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 121 b ) 될 수 있 다 . 제 3 리소그래피 서브시스템 ( 125 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 126 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 126 b ) 될 수 있 다 . 열처리 서브시스템 ( 130 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 131 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 131 b ) 될 수 있 다 . 검사 서브시스템 ( 135 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 136 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 136 b ) 될 수 있 다 . 에칭 서브시스템 ( 140 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 141 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 141 b ) 될 수 있 다 . 증착 서브시스템 ( 145 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 146 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 146 b ) 될 수 있 다 . 평가 서브시스템 ( 150 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 151 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 151 b ) 될 수 있 다 . 재 공정 서브시스템 ( 155 ) 은 제 1 S - D 이송 서브시스템 ( 101 ) 에 연결 ( 156 a ) 되 고 , 제 2 S - D 이송 서브시스템 ( 102 ) 에 연결 ( 156 b ) 될 수 있 다 . 대안 으로 , 다른 연결 구성 을 이용 할 수 도 있 다 .