처리 용기 ( 10 ) 내 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 가 수평 하 게 적재 되 는 , 평면 으로 보 아 원형 의 적재 대 ( 20 ) 가 마련 되 어 있 다 . 이 적재 대 ( 20 ) 는 하부 전극 을 구성 한다 . 적재 대 ( 20 ) 의 상부 에 는 정전 척 ( 21 ) 이 마련 되 어 있 다 . 적재 대 ( 20 ) 의 내부 에 는 , 웨이퍼 ( W ) 를 가열 하 기 위한 히터 ( 도시 하 지 않 음 ) 가 마련 되 어 있 다 .