상기 제 1 및 제 2 실시 형태 에서 , 작동 유체 는 , 작동 의 안정 성 및 취급 의 편의 로부터 , 오 일 액 및 가스 를 이용 하 고 있 지만 , 본 발명 은 , 이것 에 한정 되 지 않 고 , 다른 유체 를 단독 또는 조합 하 여 사용 할 수 도 있 다 . 또한 상기 제 2 실시 형태 에서 는 , 파일럿 밸브 ( 128 ) 를 압력 제어 밸브 로 한 예 를 나타냈 지만 , 유량 제어 하 는 유량 제어 밸브 여도 좋 다 .