상세 하 게 는 , 실리콘 웨이퍼 샘플 제 1 군 과 제 2 군 을 준비 하 고 ( S 210 ) , 제 1 군 과 제 2 군 의 실리콘 웨이퍼 의 탄소 농도 를 FT - IR 로 확인 하 고 ( S 220 ) , 제 1 군 과 제 2 군 의 실리콘 웨이퍼 로 쇼트 키 다이오드 를 준비 하 고 ( S 230 ) , 제 1 군 과 제 2 군 의 쇼트 키 다이오드 를 전기 적 으로 활성 화 하 고 ( S 240 ) , 제 1 군 과 제 2 군 의 쇼트 키 다이오드 의 불순물 농도 를 DLTS 로 확인 할 수 있 다 ( S 250 ) .