테이프 점착 부 ( 120 ) 에 사용 되 는 테이프 ( 220 ) 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 웨이퍼 직경 보다 큰 테이프 기재 ( 221 ) 와 , 테이프 기재 ( 221 ) 의 한 쪽 의 면 에 설치 된 점착 층 ( 222 ) 을 구비 한다 . 테이프 ( 220 ) 는 , 테이프 기재 ( 221 ) 에 있 어서 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 디바이스 영역 ( 202 ) 과 대향 하 는 중앙 영역 에 는 점착 층 ( 222 ) 을 갖 지 않 고 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 외주 잉여 영역 ( 203 ) 및 환형 프레임 ( 225 ) 과 대향 하 는 외연 부를 포함 하 는 외주 영역 에 는 점착 층 ( 222 ) 를 갖 는다 .