분산 관 ( 330 ) 의 내부 는 와류 를 억제 하 고 층류 ( laminar flow ) 를 유도 하 도록 나팔 모양 의 곡면 형태 를 가져서 , 유입 되 어 혼합 된 공정 기체 의 흐름 을 원할히 분산 시킬 뿐 만 아니 라 , 분산 관 ( 330 ) 내부 의 면적 을 최소 화 하 여 공정 기체 의 전환 이 빠르 도록 하 는 특성 이 있 다 . 즉 순차 적 인 공정 기체 의 공급 과정 에서 이전 공급 기체 가 불 필요 하 게 기체 분산 기구 ( 330 , 335 ) 내부 에 누적 되 어 차후 공급 되 는 기체 와 기상 반응 을 일으키 는 것 을 최소 화 할 수 있 다 . 원자 층 증착 기 에서 공정 기체 의 전환 이 빠르 면 , 원자 층 증착 법 에서 단위 시간 당 기체 공급 주기 의 수 가 늘 수 있 고 , 단위 시간 당 막 증착 속도 가 커질 수 있 다 . 나선 흐름 유도 판 ( 332 ) 과 함께 분 산관 ( 330 ) 은 짧 은 원자 층 증착 기체 공급 주기 동안 에 도 잘 혼합 된 균일 한 공정 기체 를 기판 ( 370 ) 표면 에 공급 한다 .