또한 , 상기 의 목적 을 달성 하 기 위하 여 본 발명 은 , 상기 하드 마스크 막 ( 4 ) 표면 의 면저항 이 1 내지 500 k Ω / □ 이 되 는 것 이 바람직 하 다 . 포토 마스크 CD 를 작 게 제작 할수록 차 지업 현상 이 커지 기 때문 에 면저항 을 낮추 는 것 이 필요 하 며 상기 면저항 은 낮 을수록 좋 으나 1 Ω / □ 로 하 기 위해서 는 하드 마스크 막 ( 4 ) 의 두께 를 200 nm 이상 으로 하 여야 하 는 문제점 이 있 으나 이 에 비하 여 현저 한 장점 이 없 기 때문 에 1 Ω / □ 이하 로 할 필요 가 없 으며 면저항 이 500 k Ω / □ 이상 이 되 면 차 지업 현상 이 발생 하 기 때문 에 500 k Ω / □ 이하 로 유지 하 여야 한다 .