이 를 위하 여 , 본 발명자 들 은 먼저 , 치밀 한 산화물 형성 에 유용 한 성분 은 Cr 및 Al 성분 의 작용 을 고려 하 였 다 . 그리고 2 차 재결정 형성 의 핵심 억제제 ( Inhibitor ) 의 역할 을 위해 기본 적 인 첨가 원소 인 Al 과 , Cr 성분 이 탈탄 소둔 공정 에서 Cr 2 O 3 및 Al 2 O 3 의 피막 을 내 외부 산화물 층 에 형성 하 여 Si 성분 의 급속 한 확산 을 막 는데 효과 적 인 방법 임 이 확인 하 였 다 . 또한 Cr 성분 이 탈탄 소둔 시 치밀 하 고 안정 적 인 산화 막 형성 을 위해서 는 , 저 산화 능 ( PH 2 O / H 2 ) 에서 의 조업 이 필수 적 이 며 , 또한 두꺼운 산화물 층 이 확보 되 어야 만 고온 소둔 시 Si 확산 을 억제 하 는 데 효과 적 임 을 확인 하 였 다 .