여기 에서 본 발명 의 시스템 ( 1100 , 1200 ) 은 현재 존재 하 는 광학 계측 시스템 을 적응 또는 재 구성 함 으로써 구성 될 수 있 다 ( 그러나 , 반드시 그렇게 구성 할 필요 는 없 다 ) . 예 를 들 면 , 본 발명 은 KLA - 텐 코 아커 100 오버레이 제어 시스템 을 적응 시킴 으로써 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 시스템 ( 1200 ) 의 경우 에 , 제 1 선형 편광자 가 종래 시스템 ( 예 를 들 면 , 아커 100 시스템 ) 의 조명 경로 에 삽입 되 고 , 제 2 선형 편광자 가 종래 시스템 의 촬상 경로 내 에 배치 될 수 있 다 . 시스템 ( 1100 ) 의 경우 에 는 조리개 가 종래 시스템 ( 예 를 들 면 , 아커 100 시스템 ) 의 조명 경로 의 동공 면 에 삽입 될 수 있 다 . 본 발명 은 아커 100 시스템 의 적응 으로 제한 되 는 것 이 아니 고 위 에서 의 설명 은 단순히 예시 하 는 것 으로서 해석 되 어야 한다는 것 을 알 아야 한다 . 본 발명 은 다양 한 현미경 및 오버레이 계측 시스템 에 까지 확장 될 수 있 는 것 으로 예상 된다 .