도 1 을 참조 하 면 , 플라 즈 마 원자 층 증착 법 ( Plasma Atomic Layer Deposition ) 은 소스 가스 ( 11 ) 로 금속 유기물 및 할로겐화물 을 주입 하 고 퍼지 ( purge ) 공정 ( 12 ) 을 한 후 플 라즈 마 발생 시 반응 가스 ( 13 ) 로 O 2 , N 2 O , NO , Ar , N 2 , H 2 등 을 주입 한 후 다시 퍼지 공정 ( 12 ) 하 는 과정 을 1 싸이클 ( A ) 로 하 고 이러 한 싸이클 을 반복 ( B ) 함 으로써 흡착 과 탈착 반응 을 일으켜 막 을 증착 하 는 방법 이 다 .