촬상부 ( 200 ) 는 , 회전 하 는 기판 ( W ) 의 측면 에서 본 형상 과 이면 차 단판 ( 170 ) 의 측면 에서 본 형상 을 이 면 차 단판 ( 170 ) 의 직경 방향 의 외측 으로부터 복수 회 촬상 하 고 , 또한 , 각각 의 프레임 에 있 어서 기판 ( W ) 의 하면 과 이면 차 단판 ( 170 ) 의 상면 사이 의 거리 를 화상 해석 에 의해 측정 한다 . 그리고 , 촬상부 ( 200 ) 는 , 기판 ( W ) 의 하면 과 이면 차 단판 ( 170 ) 의 상면 사이 의 거리 가 최소 가 되 는 타이밍 에서 기판 ( W ) 의 하면 과 이면 차 단판 ( 170 ) 의 상면 이 접촉 하 지 않 도록 , 기판 ( W ) 과 이 면 차 단판 ( 170 ) 의 접근 가능 한 거리 를 높 은 정밀도 로 산출 할 수 있 다 . 또 , 기판 ( W ) 의 하면 과 이면 차 단판 ( 170 ) 의 상면 사이 의 거리 의 변동 폭 에 의해 , 기판 ( W ) 의 변형 량 을 특정 한다 .