또한 , 본 발명 에서 상기 제 2 순환 부 ( 500 ) 는 상기 순환 펌프 ( 300 ) 를 통해 이송 되 는 연마 액 을 상기 피 공급 장치 ( M ) 로 이송 하 는 이송 펌프 ( 510 ) 를 포함 할 수 있 으며 , 상기 이송 펌프 ( 510 ) 는 서로 직렬 연결 되 는 제 1 이송 펌프 ( 510 A ) 와 , 제 2 이송 펌프 ( 510 B ) 를 포함 하 고 , 상기 제 1 이송 펌프 ( 510 A ) 와 상기 제 2 이송 펌프 ( 510 B ) 는 각각 제 1 바이패스 유로 ( 510 A - 1 ) 와 제 2 바이패스 유로 ( 510 B - 1 ) 를 가질 수 있 다 . 상세히 설명 하 면 , 이송 펌프 ( 510 ) 를 병렬 로 형성 할 경우 사용 되 지 않 는 이송 펌프 ( 510 ) 측 에 연마 액 이 정체 되 어 연마 액 에 함유 된 연마 입자 가 응집 되 며 조대 화 되 는 문제 가 발생 하 게 되 므로 , 본 발명 에서 는 상기 제 1 이송 펌프 ( 510 A ) 와 상기 제 2 이송 펌프 ( 510 B ) 를 직렬 로 연결 하 고 , 각각 의 이송 펌프 에 어느 하나 의 이송 펌프 만 사용 될 경우 연마 액 이 이송 되 지 않 는 이송 펌프 를 거치 지 않 고 바로 통과 할 수 있 는 제 1 바이패스 유로 ( 510 A - 1 ) 와 제 2 바이패스 유로 ( 510 B - 1 ) 를 형성 하 여 , 사용 되 지 않 는 이송 펌프 에 의해 연마 액 이 정체 되 며 연마 입자 가 응집 되 는 문제 를 해결 한 것 이 다 .