레이저 가공 유닛 ( 14 ) 은 , 상기 레이저 발진기 로부터 출사 된 레이저 빔 ( 16 ) 을 상기 척 테이블 에 유지 된 웨이퍼 ( 1 ) 에 조사 한다 . 레이저 가공 유닛 ( 14 ) 이 구비 하 는 가공 헤드 ( 14 a ) 는 , 레이저 빔 ( 16 ) 의 집 광점 ( 14 b ) 을 웨이퍼 ( 1 ) 의 내부 의 소정 높이 위치 에 위치 시키 는 기구 를 갖 는다 .