미세 요철 부 ( 16 ) 는 건식 식각 또는 습식 식각 을 통해 제 2 기판 ( 4 ) 외면 을 식각 함 으로써 형성 할 수 있 다 . 먼저 건식 식각 의 경우 , 수소 ( H ) 와 브롬 ( Br ) 을 혼합 한 식각 가스 에 제 2 기판 ( 4 ) 의 외면 을 노출 시켜 전술 한 표면 거칠 기 를 갖 는 미세 요철 부 ( 16 ) 를 형성 할 수 있 다 . 그리고 습식 식각 의 경우 , 염화수소 ( HCl ) 와 암모니아 ( NH 3 ) 를 동일 한 비율 로 혼합 한 대략 50 ℃ 의 식각 액 에 제 2 기판 ( 4 ) 의 외면 을 담근 후 식각 시간 을 조절 하 여 제 2 기판 ( 4 ) 외면 에 전술 한 표면 거칠 기 를 갖 는 미세 요철 부 ( 16 ) 를 형성 할 수 있 다 .