본원 명세서 에 개시 되 는 기술 의 제 6 양태 는 , 제 1 내지 제 5 중 어느 하나 의 양태 에 관련 하 고 , 상기 제 1 가스 공급 부 는 , 상기 대 향판 의 직경 방향 의 내측 의 측면 에 형성 되 고 , 상기 대 향판 은 , 직경 방향 의 내측 의 측면 에 형성 되 며 , 또한 , 상기 제 1 가스 공급 부 보다 상기 기판 에 가까운 돌기 부 를 추가 로 구비 한다 .