이어서 , 도면 에 도시 하 진 않 았 지만 , 제 2 어닐링 공정 시 기판 ( 10 ) 으로 확산 된 H + 를 제 2 층간 절 연막 ( 13 ) 내 에 트랩 ( Trap ) 시키 기 위하 여 제 2 어닐링 공정 이 완료 된 전체 구조물 을 냉각 ( Cooling ) 시킨다 . 바람직 하 게 는 , 제 2 어닐링 공정 시 상승 된 온도 를 상온 보다 낮 은 온도 로 하강 시킨다 .