상기 기능 수 공 급기 ( 120 ) 는 정제 수 , 순수 또는 통상 의 물 등 을 상기 혼합 챔버 ( 130 ) 에 공급 하 기 위한 것 으로 , 제어기 ( 180 ) 에 의해 제어 되 는 펌프 ( 115 ) 와 유량계 ( 125 ) 를 구비 하 여 정해진 양 의 원료 를 상기 혼합 챔버 ( 130 ) 에 공급 하 게 된다 . 상기 기능 수 공 급기 ( 120 ) 를 통해 공급 되 는 기능 수 는 통상 의 물 을 포함 할 수 있 으나 , 필요 한 경우 에 정제 수 나 순수 등 이 적용 될 수 있 고 , 이외 에 통상 의 기술자 에게 잘 알려진 기능 수 가 적용 될 수 있 다 . 상기 기능 수 공 급기 ( 120 ) 에 저장 된 기능 수 는 기능 수공 급 라인 ( 127 ) 을 통해 상기 혼합 챔버 ( 130 ) 에 공급 되 고 , 상기 기능 수공 급기 ( 120 ) 또는 상기 기능 수 공급 라인 ( 127 ) 에 는 가열 수단 ( 미 도시 ) 이 구비 될 수 있 다 . 이 는 상기 혼합 챔버 ( 130 ) 에 공급 되 는 원료 와 의 혼합 성 을 향상 시키 기 위해 필요 할 수 있 다 .