도 4 내지 8 및 16 내지 27 의 발명 에 따르 는 광학 시스템 은 다중 미러 어레이 상 으로 의 조명 광선 서브 다발 의 중첩 에 의해 다중 미러 어레이 ( MMA ) ( 38 ) 의 조명 의 순수 한 시간 적 인 안정 화 를 초과 하 여 연장 하 는 이 조명 의 균질 화 를 보증 한다 . 이 경우 에 상기 실시 예 에서 의 발명 에 따르 는 광학 시스템 은 도입부 에서 상기 설명 에서 상기 논급 된 이유 로 , 발명 에 따르 는 광학 시스템 이후 에 조명 광선 서브 다발 의 증가 된 발산 의 형태 로 다소 의 부가 적 인 기하학 적 플럭스 를 도입 한다 .