상세 하 게 , 하부 패턴 ( 22 ) 은 도 9 에 도시 된 것 처럼 , 매트릭스 형태 로 배열 된 하부 개구부 들 ( LH ) 을 가질 수 있 다 . 즉 , 격자 ( 또는 그 물망 ) 형상 의 상면 을 갖 는 하부 패턴 ( 22 ) 이 형성 될 수 있 다 . 상세 하 게 , 하부 패턴 ( 22 ) 은 일 방향 ( y 축 방향 ) 으로 연장 되 는 제 1 부분 들 ( 22 a ) 과 , 제 1 부분 들 ( 22 a ) 사이 에서 서로 이격 되 어 국소 적 으로 배치 되 는 제 2 부분 들 ( 22 b ) 을 포함 할 수 있 다 . 이 와 같이 , 탄소 를 포함 하 는 제 1 및 제 2 희생 패턴 들 ( 32 , 64 ) 을 이용 함 으로써 , 약 2 : 1 내지 16 : 1 의 종횡비 를 갖 는 하부 개구부 들 ( LH ) 이 하 부막 ( 20 ) 에 형성 될 수 도 있 다 . 또한 , 일 실시 예 에서 하부 개구부 들 ( LH ) 은 약 10 nm 내지 40 nm 의 폭 을 가질 수 있 다 .