상기 제 1 샤워 헤드 ( 15 ) 의 저 면판 ( 15 b ) 의 외주 면 일 측 에 는 제 2 샤워 헤드 ( 18 ) 의 제 2 버퍼 부 ( 18 a ) 에 플 라즈 마 가스 를 공급 하 기 위한 플 라즈 마 가스 도입 관 ( 24 ) 이 설치 된다 . 또한 , 상기 플 라즈 마 가스 도입 관 ( 24 ) 과 연통 할 수 있 도록 제 1 샤워 헤드 ( 15 ) 의 저 면판 ( 15 b ) 일 측 외주 면 에 는 그 저부 에 플 라즈 마 가스 분배 홀 ( 25 a ) 이 형성 된 플 라즈 마 가스 버퍼 부 ( 25 ) 가 형성 되 며 , 상기 제 1 샤워 헤드 ( 15 ) 의 저 면판 ( 15 b ) 과 제 3 절연 부재 ( 23 ) 사이 에 는 상기 플 라즈 마 가스 분배 홀 ( 25 a ) 과 연통 하 여 플 라즈 마 가스 를 제 2 버퍼 부 ( 18 a ) 에 유입 시키 기 위한 가스통 로 ( 26 ) 가 형성 된다 .