제 1 빔 분할기 ( 150 ) 에서 반사 된 가공 빔 ( LA ) 은 가공 빔 의 균 일도 를 측정 하 기 위한 빔 프로파일러 ( 164 ) 에 입사 될 수 있 다 . 이러 한 빔 프로파일러 ( 164 ) 에 의해 측정 된 제 1 출력 신호 ( S 1 ) 는 제 어부 ( 280 ) 에 입력 되 며 , 제 어부 ( 180 ) 는 이러 한 제 1 출력 신호 ( S 1 ) 을 이용 하 여 가공 대상물 ( 171 ) 에 조사 되 는 가공 빔 ( LA ) 의 균 일도 를 측정 할 수 있 다 . 그리고 , 제 어부 ( 180 ) 는 가공 빔 ( LA ) 의 측정 된 균 일도 를 설정 된 가공 빔 ( LA ) 균일 도와 비교 하 여 그 차이 가 설정 된 기준 범위 이내 이 면 레이저 어닐링 공정 을 수행 하 게 되 고 , 그 차이 가 설정 된 기준 범위 를 벗어나 게 되 면 레이저 어닐링 공정 을 진행 하 지 않 고 이 를 알리 는 신호 를 발생 시킬 수 있 다 .