먼저 APC 서버 ( 200 ) 는 포토 공정 에 대한 APC 방법 을 통한 포토 공정 에서 의 오버레이 제어 가 선택 되 는 경우 ( S 300 ) 데이터 베이스 ( 202 ) 로부터 이전 롯 트 들 에서 의 커런트 레이어 에 대한 스텝 퍼 의 입 / 출력 ( input / output ) 값 을 검출 하 고 ( S 302 ) , 또한 본 발명 에 따라 상기 커런트 레이어 ( current layer ) 의 이전 포토 공정 층 인 서브 레이어 ( sub layer ) 에서 의 스텝 퍼 입력 값 도 검출 하 게 된다 ( S 304 ) .