도 11 을 참조 하 면 , 깊 은 소자 분리 부 ( 110 ) 의 일부 ( 110 g ) 가 변경 되 는 것 을 제외 하 면 도 7 의 실시 예 와 실질 적 으로 동일 할 수 있 다 . 예 를 들 어 , 깊 은 소자 분리 부 ( 110 ) 중 일부 ( 110 g ) 는 기판 ( 101 ) 의 제 1 면 ( 101 a ) 과 직접 접촉 하 도록 연장 될 수 있 다 .