대면 적 기판 공정 의 경우 척 플레이트 를 필요 로 하 기 때문 에 전처리 ( Pre - treatment ) 된 기판 을 마스크 에 정렬 , 합착 하 기 전 에 척 챔버 에서 척 플레이트 에 부착 시킨다 . 부 착시 기판 이 페이스 업 ( face - up ) 상태 이 므로 플립 ( Flip ) 챔버 에서 180 도 뒤집 는 반전 공정 후 , 얼라인 1 에서 마스크 에 정렬 , 합착 하 게 된다 . 이 를 위해 , 얼라인 챔버 전단 에 척 챔버 와 플립 챔버 를 배열 한다 . 유기 증착 라인 이 종료 되 는 지점 에 는 척 플레이트 가 있 기 때문 에 TM 챔버 대신 패스 챔버 를 배열 하 고 , 금속 증착 라인 의 디 마스크 챔버 옆 에 는 다시 플립 챔버 와 디 척 챔버 를 배열 한다 . 또한 , 디 척 챔버 로부터 척 챔버 로 이르 는 척 플레이트 회수 라인 이 배열 된다 .