미 ( 未 ) 처리 의 기판 ( W ) 은 도시 하 지 않 은 반송 로봇 에 의해 반송 되 어 , 디바이스 형성 면 인 표면 을 예 를 들 면 , 위 로 향하 여 스핀 척 ( 2 ) 위 에 재치 ( 載 置 ) 된다 . 그리고 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 스핀 척 ( 2 ) 을 제어 하 여 , 재치 된 기판 ( W ) 을 유지 시킨다 . 기판 ( W ) 이 스핀 척 ( 2 ) 위 로 반송 될 때 , 제 어 장치 ( 22 ) 는 , 반송 로봇 및 기판 ( W ) 이 약액 노즐 ( 10 ) 및 차 단판 ( 3 ) 에 충돌 하 는 것 을 방지 하 기 위하 여 , 약액 노즐 ( 10 ) 및 차 단판 ( 3 ) 을 각각 의 퇴피 위치 에 위치 시켜 있 다 .