또한 , 노즐 ( 30 ) 은 상하 로 이송이 가능 하 다 . 약액 의 종류 에 따라서 기판 ( S ) 과 노즐 ( 30 ) 사이 의 간격 을 조절 해야 할 필요 가 있 기 때문 이 다 . 노즐 ( 30 ) 과 연결 된 노 즐 구 동부 ( 35 ) 는 회전축 ( 34 ) 을 중심 으로 한 노즐 ( 30 ) 의 회전 운동 과 노즐 ( 30 ) 의 상하 운동 을 가능 하 게 한다 .