상기 반응 챔버 의 내부 벽 들 에 고착 된 원 하 지 않 는 증착 물 들 을 제거 하 기 위하 여 , 플라 즈 마 세정 방법 을 이용 하 여 왔 다 . 이러 한 플 라즈 마 세정 방법 에 있 어서 , 상기 반응 챔버 의 외부 에서 , 즉 상기 반응 챔버 로부터 차단 된 외부 방전 ( discharge ) 챔버 의 내부 에서 라디오 주파수 ( radio - frequency ) 전력 을 이용 하 여 , NF 3 와 같 은 세정 가스 가 플라 즈 마 상태 로 여기 된다 . 상기 NF 3 는 분해 되 고 , 활성 불소 ( fluorine ) 종 들 이 형성 되 고 , 이 들 은 원 하 지 않 는 증착 물 들 과 반응 할 수 있 다 . 이어서 , 상기 활성 불소 종 들 은 상기 반응 챔버 내 로 유입 되 어 분해 되 고 , 상기 반응 챔버 의 내부 벽 의 표면 에 고착 된 외부 증착 물 들 을 제거 한다 . 일예 로서 , 유동 이 제어 된 NF 3 세정 가스 를 이용 하 여 상기 반응 챔버 의 내부 벽 의 표면 에 고착 된 이질 물질 을 제거 하 는 것 은 약 1 . 5