도 1 에 도시 하 는 제 1 실시 형태 에서 는 , 주 통로 부분 ( 22 ) 에 마련 된 여 과부 ( 40 ) 가 병렬 로 마련 된 3 개 의 여과 모듈 을 갖 고 있 다 . 도 1 에 도시 하 는 제 1 실시 형태 에서 는 , 각각 이 1 개 의 필터 모듈 을 갖 는 2 개 의 여 과부 ( 40 A , 40 B ) 가 마련 되 어 있 을 경우 ( 도 3 에 도시 하 는 제 3 실시 형태 ) 와 비교 해서 전체 로서 의 여과 능력 은 높 아 진다 . 홀수 개 ( 이 경우 3 개 ) 의 여과 모듈 에 의해 1 개 의 여 과부 ( 40 ) 를 구성 함 으로써 , 순환 계 전체 로서 요구 되 는 파티클 포집 능력 에 과 부족 없이 적합 시킬 수 있 는 경우 에 는 , 주 통로 부분 ( 22 ) 에 여 과부 ( 40 ) 를 마련 해도 된다 . 이 에 의해 , 필터 모듈 의 수 를 저감 시킬 수 있 어 ( 필요 이상 의 수 의 필터 모듈 을 마련 하 는 것 을 회피 할 수 있 어 ) , 액 처리 장치 의 장치 비용 을 저감 시킬 수 있 다 .