도 5 는 , 흡착 테이블 22 상 에 검사 기판 28 을 실은 상태 를 나타내 는 측면도 이 다 . 검사 기판 28 을 검사 할 경우 에 , 상기 도면 에 나타나 있 는 바 와 같이 , 흡착 테이블 22 의 진동 흡수 장치 24 상 의 무 진지 26 상 에 검사 대상 인 검사 기판 28 을 싣 는다 . 이 경우 에 , 도면 에 나타내 지 않 고 있 지만 , 진동 흡수 장치 24 로부터 2 개 의 위치 결정 핀 ( 位置 決定 pin ) 이 돌출 하 여 있 고 , 또한 그 2 개 의 위치 결정 핀 이 관통 하 는 구멍 이 무 진지 26 및 검사 기판 28 에 형성 되 어 있 다 . 그 때문 에 이 들 구멍 에 그 2 개 의 위치 결정 핀 을 삽입 함 으로써 , 무진 지 26 및 검사 기판 28 의 위치 결정 이 이루어진다 .