메탈 배선 ( 4 및 5 ) 은 전하 전송 방향 의 배선 도중 의 하나 또는 복수 개소 에서 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 와 평행 한 제 1 배 선부 ( 4 a 및 5 a ) 에서 인출 된 제 2 배 선부 로서 의 인 출부 ( 4 b 및 5 b ) 가 각각 형성 되 어 있 다 . 이 인 출부 ( 4 b 및 5 b ) 에 는 각각 구동 펄스 ( φ H 1 및 φ H 2 ) 가 각각 공급 되 는 외부 접속 단자 ( 패드 ) ( 7 및 8 ) 가 각각 접속 되 어 있 다 . 또한 , 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 에서 먼 측 의 메탈 배선 ( 4 ) 으로부터 의 인 출부 ( 4 b ) 는 수평 전하 전송 부 ( 1 ) 에서 가까운 측 의 메탈 배선 ( 5 ) 인 출부 ( 5 b ) 및 패드 ( 8 ) 보다 외측 ( 도 1 에서 는 하측 ) 을 지나 도록 우회 해서 ( 돌 아서 ) 평면 적 으로 배선 되 어 있 다 .