히터 ( 207 ) 는 , 웨이퍼 ( 200 ) 의 온도 가 , 예 를 들 어 실온 내지 400 ℃, 바람직 하 게 는 90 내지 400 ℃, 보다 바람직 하 게 는 150 내지 400 ℃ 의 범위 내 가 되 도록 가열 한다 . 온도 를 400 ℃ 이하 로 한다 . 온도 의 하한 은 , 반응 가스 로서 사용 되 는 산화제 의 특성 에 따라 변화 시키 는 것 이 가능 하 게 된다 . 또한 , 온도 의 상한 을 400 ℃ 로 함 으로써 , 상술 한 실시 형태 나 그 변형 예 에서 개시 한 보트 ( 217 ) 를 사용 해서 당해 기판 처리 공정 을 행했 을 때 , 웨이퍼 ( 200 ) 에 대한 금속 오염 의 발생 을 보다 확실 하 게 방지 하 는 것 이 가능 하 게 된다 .