그 다음 , 도 18 a 및 도 18 b 에 도시 된 바 와 같이 , 소스 / 드레 인 접촉 개구부 ( 65 ) 가 하나 이상 의 전도성 재료 층 으로 충 진 된다 . 전도성 재료 는 W , Cu , Ti , Ag , Al , TiAl , TiAlN , TaC , TaCN , TaSiN , Mn , Co , Pd , Ni , Re , Ir , Ru , Pt 및 Zr , 또는 임의 의 다른 적절 한 전도성 재료 중 하나 이상 을 포함 한다 . 일부 실시 예 에서 , 하부 접촉 층 ( 70 ) 은 개재 한 유전체 층 ( 200 ) 으로 CNT ( 100 ) 의 소스 / 드레 인 영역 주위 를 감싸 고 , 상부 접촉 층 ( 72 ) 이 하부 접촉 층 ( 70 ) 상 에 형성 된다 .