백 플레이트 ( 200 ) 의 하측 , 보다 구체 적 으로 백 플레이트 ( 200 ) 에 구비 된 가스 도입부 ( 210 ) 의 하측 에 는 , 도 4 에 도시 된 바 와 같이 , 공급 된 공정 가스 를 확산 시키 기 위한 가스 확산 부재 ( 300 ) 가 위치 한다 . 전술 한 바 와 같이 , 가스 확산 부재 ( 300 ) 는 제 1 결합 부재 ( 250 ) 에 의해 백 플레이트 ( 200 ) 로부터 이격 된 상태 에서 고정 된다 .