또한 , 실시 예 에서 , 복수 의 예측 이 조합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 오버레이 예측 과 CD 예측 은 조합 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 상이 한 패턴 전사 단계 들 을 사용 하 여 서로 인접 한 구조 체 들 을 생성 하 고 이 구 조체 들 이 그 들 사이 에 갭 을 갖 는 다중 패 터닝 상황 에서 , 상이 한 패턴 전사 단계 들 에 대한 오버레이 뿐 만 아니 라 하나 이상 의 상이 한 패턴 전사 단계 의 CD 의 조합 은 단독 의 오버레이 또는 CD 추정 보다 갭 크기 의 더 양호 한 예측 을 제공 할 수 있 다 .