이러 한 반도체 장치 에서 , 최근 금속 배선 의 저항 이 주요 한 관심사 로 떠오르 고 있 다 . 왜냐하면 저항 이 RC 신호 지연 을 유발 하 는 주요 한 인자 이 므로 , 특히 TFT - LCD ( thin film transistor - liquid crystal display ) 의 경우 패널 크기 증가 와 고해상도 실현 이 기술 개발 에 관건 이 되 고 있 기 때문 이 다 . 따라서 , TFT - LCD 의 대형 화 에 필수 적 으로 요구 되 는 RC 신호 지연 의 감소 를 실현 하 기 위해서 는 , 저 저항 의 물질 개발 이 필수 적 이 다 . 따라서 , 저 저항 금속 막 으로서 구리 막 및 구리 몰리브덴 막 등 의 구리 계 금속 막 과 그 에 대한 식각 액 조성물 이 많이 사용 되 고 있 다 .