[ 0057 ] 리프트 핀 들 ( 433 ) 은 서 셉 터 지 지 샤프트 ( 427 ) 에 형성 된 개구 들 ( 표시 되 지 않 음 ) 을 통해 배치 된다 . 리프트 핀 들 ( 433 ) 은 수직 으로 작동 가능 하 고 , 그리고 기판 ( 210 ) 을 프로세싱 포지션 ( 도시 된 바 와 같 음 ) 으로부터 기판 제거 포지션 으로 리프팅 하 기 위해 기판 ( 210 ) 의 하면 과 접촉 하 도록 적응 된다 .