이 와 같 은 개폐 유닛 ( 130 ) 은 출입구 ( 111 ) 를 개폐 할 수 있 는 것 이 면 어느 것 이 든 무방 할 수 있 다 . 개폐 유닛 ( 130 ) 은 기판 ( S ) 이 챔버 부재 ( 110 ) 내 에서 처리 되 는 과정 에서 처리 공간 ( 112 ) 이 외부 로부터 밀폐 되 도록 할 수 있 다 . 그리고 , 기판 ( S ) 이 외부 로부터 챔버 부재 ( 110 ) 로 공급 되 는 경우 , 개폐 유닛 ( 130 ) 은 출입구 ( 111 ) 를 개방 할 수 있 다 .