또한 , 상기 각 실시 형태 에서 는 , 노광 시 이동 영역 ( AE ) 내 와 얼라인먼트 영역 ( AA ) 에서 는 간섭계 시스템 ( 118 ) 을 이용 하 여 , 스크럼 상태 이동 영역 ( AS ) 내 및 제 1 및 제 2 대기 영역 ( AW 1 및 AW 2 ) 내 에서 는 간섭계 시스템 ( 118 ) 과 인코더 시스템 ( 150 ) 을 병용 하 여 , 또는 , 인코더 시스템 ( 150 ) 만 을 이용 하 여 , 웨이퍼 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 위치 계측 을 수행 하 였 다 . 한편 , 전체 이동 범위 에서 , 인코더 시스템 만 을 이용 하 여 양 스테이지 ( WST 1 및 WST 2 ) 의 위치 계측 을 수행 할 수 있 다 .