도 13 은 직접 이송 장치 ( 1300 ) 의 실시 형태 를 도시 한다 . 도 2 a 및 도 2 b 에서 와 같이 , 제품 기판 운반 기구 ( 202 ) 는 웨이퍼 테이프 운반 기구 ( 204 ) 에 인접 하 여 배치 될 수 있 다 . 그러나 , 이송 기구 ( 1302 ) 가 웨이퍼 테이프 ( 218 ) 로부터 제품 기판 ( 210 ) 으로 다이 ( 220 ) 의 이송 을 유발 하 기 위해 배치 될 수 있 는 , 운반 기구 ( 202 , 204 ) 사이 에 는 공간 이 있 다 .