활성 영역 ( 105 ) 은 기판 ( 101 ) 내 에서 소자 분리 층 ( 110 ) 에 의해 정의 되 며 , 제 1 방향 , 예 를 들 어 x 방향 으로 연장 되 도록 배치 될 수 있 다 . 활성 영역 ( 105 ) 은 기판 ( 101 ) 으로부터 돌출 된 구조 를 가질 수 있 다 . 활성 영역 ( 105 ) 의 상단 은 소자 분리 층 ( 110 ) 의 상면 으로부터 소정 높이 로 돌출 되 도록 배치 될 수 있 다 . 활성 영역 ( 105 ) 은 기판 ( 101 ) 의 일부 로 이루어질 수 도 있 고 , 기판 ( 101 ) 으로부터 성장 된 에피 택 셜 층 을 포함 할 수 도 있 다 . 다만 , 게이트 구조물 들 ( 160 ) 의 양측 에서 는 기판 ( 101 ) 상 의 활성 영역 ( 105 ) 이 일부 리세 스 되 며 , 리세 스 된 활성 영역 ( 105 ) 상 에 소스 / 드레 인 영역 들 ( 150 ) 이 배치 될 수 있 다 . 활성 영역 ( 105 ) 은 불순물 들 을 포함 하 거나 불순물 들 을 포함 하 는 도핑 영역 들 을 포함 할 수 있 다 .