본 발명 은 일반 적 으로 반도체 들 , 디스플레이 들 및 태양 전지 들 과 같 은 전자 디바이스 들 을 제조 하 는 데 사용 되 는 플 라즈 마 챔버 의 전극 에 RF 전력 원 을 결합 하 는 것 과 관련 된다 . 본 발명 은 특히 , 챔버 기하학 적 구조 ( geometry ) 에서 의 비대칭 을 오프셋 시키 기 위해 , 비대칭 적 으로 전극 에 그러 한 RF 전력 원 을 결합 함 으로써 챔버 에서 수행 되 는 플 라즈 마 프로세스 의 균일성 을 개선 하 는 것 과 관련 된다 .