이어서 , 도 7 에 도시 된 바 와 같이 , 소자 분리 막 ( 104 A ) 의 돌출부 를 덮 도록 X 축 방향 으로 신장 된 더미 패턴 ( 109 ) 을 형성 한다 . 이때 , 더미 패턴 ( 109 ) 은 일부 가 Y 축 방향 으로 이웃 하 는 플로팅 게이트 ( 106 ) 와 중첩 되 도록 형성 된다 . 이러 한 더미 패턴 ( 109 ) 의 높이 는 후속 공정 을 통해 형성 되 는 컨트롤 게이트 ( 113 , 도 9 참조 ) 의 최종 높이 를 결정 하 기 때문 에 커플링 비 ( coupling ratio ) 를 고려 하 여 비교 적 두껍 게 형성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예컨대 , 더미 패턴 ( 109 ) 은 500 ~ 2000 Å 정도 의 두께 로 형성 한다 .