따라서 본 발명 에 따른 다수 의 플 라즈 마 토출 영역 을 구비 하 는 세정 장치 ( 1 , 1 ') 의 경우 에 는 , 챔버 ( 10 ) 의 내부 에서 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 및 제 2 전극 ( 40 ) 사이 의 방전 에 의해 형성 된 플 라즈 마 가 제 1 전극 ( 30 , 30 ') 의 분기 된 하단 과 상응 하 는 위치 에 형성 된 제 2 전극 ( 40 ) 의 플 라즈 마 토출 공 ( 43 ) 을 통해서 만 토출 되 므로 챔버 ( 10 ) 의 하부 로 처리 대상물 ( 3 ) 이 컨베이어 ( 5 ) 에 의해 공급 될 경우 수회 에 걸쳐 세정 작업 이 이루어질 수 있 어 처리 대상물 ( 3 ) 의 표면 에 형성 된 유기물 및 탄화물 을 완벽히 제거 할 수 있 게 된다 .