따라서 , 본 발명 은 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 상기 이송 챔버 ( 200 ) 로 이송 하 여 그 존재 여부 를 감지 함 에 있 어서 , 상기 센 서부 ( 400 ) 가 상기 이송 챔버 ( 200 ) 중 반경 이 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 외경 보다 작 은 상기 중심 영역 ( CA ) 에 배치 되 어 상기 웨이퍼 ( 30 ) 의 존재 를 감지 하 는 별도 의 이송 공정 을 생략 함 으로써 , 상기 웨이퍼 ( 30 ) 를 감지 하 는 시간 을 단축 시킬 수 있 다 .