그리고 , 웨이퍼 ( W ) 의 정상 적 인 연마 공정 중 에 는 , 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 정압 이 인가 되 므로 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 압력 이 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 인가 된 정압 ( Ps ) 과 유사 한 값 을 갖 는다 . 이 처럼 , 제 1 통로 ( 129 ) 의 끝단 이 개폐 밸브 ( 129 v ) 의 닫힌 상태 를 유지 하 면서 정압 ( Ps ) 과 부압 ( Po ) 을 반복 하 면 , 웨이퍼 의 척 킹 상태 에서 오류 가 발생 되 어 제 1 통로 ( 129 ) 의 개구 ( 130 x ) 가 밀폐 되 어 제 1 통로 ( 129 ) 와 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 가 차단 된 상태 이 더라도 , 웨이퍼 를 척 킹 파지 하 기 위하 여 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 설정 부압 ( Po ) 이 도입 되 더라도 , 제 1 통로 ( 129 ) 내부 의 압력 값 이 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 도입 된 설정 부압 ( Po ) 과 유사 하 여 이 를 감지 하 지 못하 는 오류 가 발생 될 수 있 다 . 따라서 , 새로운 웨이퍼 를 탑재 하 기 이전 이나 정해진 회수 만큼 웨이퍼 의 척 킹 공정 을 행한 이후 에 제 1 통로 ( 129 ) 의 개폐 밸브 ( 129 v ) 를 개방 시키 는 것 에 의하 여 , 제 1 통로 ( 129 ) 를 대기 와 연통 시켜 제 1 통로 ( 129 ) 의 압력 상태 를 제 1 압력 챔버 ( Cs ) 에 인가 하 는 설정 부압 ( Po ) 과 충분 한 압력 차이 를 갖 도록 리셋 시킴 으로써 , 감지 신뢰 성 을 안정 적 으로 확보 할 수 있 다 .