( 3 ) 상기 실시 예 에서 는 , 용기 보관 부 ( 4 ) 를 천정 측 에 설치 한 것 을 예시 했 지만 , 이 에 한정 되 지 않 고 , 예 를 들 면 , 용기 보관 부 ( 4 ) 를 바닥 면 측 에 설치 한 것 이 어도 된다 . 반송 수단 으로서 는 , 예시 한 물품 반송 차 ( 3 ) 에 한정 되 지 않 고 , 기판 을 수용 한 용기 를 반송 가능 하 고 , 또한 교환 위치 에 위치 하 는 용기 지 지체 와 의 사이 에서 용기 를 교환 할 수 있 도록 구성 된 것 이 면 된다 .