이상 과 같 은 구조 로 형성 된 고밀 도 플 라즈 마 식각 챔버 는 , 상기 상부 전극 ( 110 ) 과 하부 전극 ( 120 ) 으로 구성 된 수직 소스 파워 와 상기 다 수개 의 측면 전극 부재 ( 200 ) 로 이루어진 수평 소스 파워 를 동시 에 사용 하 게 되 면 , 상기 측면 전극 부재 ( 200 ) 에서 수평 방향 으로 생성 되 는 전기장 에 의해 공정 챔버 ( 100 ) 내부 의 전자 는 더 큰 에너지 를 얻 게 된다 .