여기 에서 , 광학 조건 은 , 전자선 의 가속 전압 , 전자선 의 조사 전류 , 주사 속도 를 포함 한다 . 다음 으로 관찰 의 시야 의 사이즈 나 배율 을 설정 한다 ( S 105 ) . 다음 으로 , 복수 의 단속 조건 을 설정 하 고 , 화상 을 취득 한다 ( S 106 ) . S 106 에서 설정 하 는 복수 의 단속 조건 은 , 조사 시간 , 혹은 조사 거리 , 혹은 차단 시간 , 혹은 조사 점간 거리 중 , 최저 1 개 의 조건 이 서로 다르 다 . 또한 , S 106 에서 설정 하 는 복수 의 단속 조건 은 , 최저 2 개 이상 의 서로 다른 차단 시간 을 갖 는다 .