본 실시 형태 에 따른 연마 액 의 pH 는 , 5 . 0 미만 이 다 . 연마 액 의 pH 와 텅스텐 재료 의 에칭 속도 는 밀접 한 관계 가 있 으며 , pH 가 5 . 0 이상 이 면 , 텅스텐 재료 의 에칭 속도 가 증가 하 는 경향 이 있 다 . 연마 액 의 pH 는 , 텅스텐 재료 의 에칭 을 더욱 억제 가능 한 관점 에서 , 4 . 5 이하 가 바람직 하 고 , 4 . 0 이하 가 보다 바람직 하 고 , 3 . 5 이하 가 더욱 바람직 하 고 , 3 . 0 이하 가 특히 바람직 하 다 . 연마 액 의 pH 는 , 연마 장치 의 부식 을 억제 하 기 쉬운 관점 에서 , 1 . 0 이상 이 바람직 하 고 , 1 . 5 이상 이 보다 바람직 하 고 , 2 . 0 이상 이 더욱 바람직 하 고 , 2 . 5 이상 이 특히 바람직 하 다 . 이러 한 관점 에서 , 연마 액 의 pH 는 , 1 . 0 이상 5 . 0 미만 이 바람직 하 다 . 연마 액 의 pH 는 , 액체 온도 25 ℃ 에서 의 pH 로 정의 한다 . 연마 액 의 pH 를 조정 하 기 위한 pH 조정 제 로서 는 , 산 성분 ( 유기산 , 무기산 등 ) , 암모니아 등 을 사용 할 수 있 다 .