또한 , 본 실시 형태 에서 는 , 폐쇄 공간 ( S ) 내 의 압력 변화 를 압력 센서 ( 11 ) 에 의해 검출 함 으로써 , 유체 의 누출 등 에 기인 한 유체 제어기 ( 2 ) 의 이상 을 검지 하 는데 , 컨 덴 서형 마이크로폰 유닛 을 압력 센서 ( 11 ) 로서 이용 하 는 것 이 가능 하 다 . 즉 , 컨 덴 서형 마이크로폰 유닛 은 , 음파 를 받 아 진동 하 는 진동판 과 , 진동판 에 대향 하 여 배치 된 대향 전극 을 가지 며 , 진동판 과 대향 전극 사이 의 정전 용량 의 변화 를 전압 의 변화 로 변환 하 여 음성 신호 로 할 수 있 다 . 그리고 , 이 컨 덴 서형 마이크로폰 유닛 은 , 진동판 의 배면 측 에 마련 되 는 공기실 을 막 음 으로써 무 지향 성 ( 전 지향 성 ) 이 된다 . 무 지향 성 의 경우 , 컨 덴 서형 마이크로폰 유닛 은 모든 방향 으로부터 의 음파 에 의한 음압 의 변화 를 포착 하 여 동작 하 기 때문 에 , 압력 센서 로서 이용 하 는 것 이 가능 해진다 .