실시 예 1 의 조성 에 추가 로 ( E ) 유기 티탄 화합물 로서 의 비스 ( η 5 - 2 , 4 - 시클 로 펜 타 디엔 - 1 - 일 ) 비스 ( 2 , 6 - 디 플 루 오로 - 3 -( 1 H - 피롤 - 1 - 일 ) 페닐 ) 티타늄 ( E 3 ) 0 . 1 g 을 첨가 한 것 외 에 는 , 실시 예 1 과 동일 하 게 하 여 네거티브 형 감광성 수지 조성물 을 조제 하 였 다 . 내약품성 평가 를 실시 한 결과 , 막 의 막 두께 변동 ± 1 ％ 이내 이 고 , 크랙 도 관찰 되 지 않 아 「 가장 양호 」 였 다 . 기타 평가 결과 는 실시 예 1 과 동일 하 였 다 .