도 1 로 되돌아와 , 상부 전극 베이스 ( 62 ) 의 각 확산 공간 ( 62 a ) 에 는 가스 공급 관 ( 69 ) 의 일단 이 접속 되 어 있 다 . 가스 공급 관 ( 69 ) 의 타단 은 서로 합류 하 고 , 상기 공간 ( 6 A ) 및 구멍 ( 28 ) 을 거쳐서 , 처리 용기 ( 21 ) 바깥 으로 인출 되 어 있 고 , 그리고 인출 된 가스 공급 관 ( 69 ) 의 타단 은 처리 가스 공급원 ( 60 ) 에 접속 되 어 있 다 . 또한 , 상부 전극 베이스 ( 62 ) 에 는 도전 로 ( 46 ) 의 일단 이 접속 되 어 있 고 , 이 도전 로 ( 46 ) 의 타단 은 구멍 ( 28 ) 을 거쳐서 처리 용기 ( 21 ) 의 바깥 으로 인출 되 어 , 임피던스 조정 기구 ( 47 ) 에 접속 되 어 있 다 . 임피던스 조정 기구 ( 47 ) 는 용량 성분 을 포함 하 고 , 처리 용기 ( 21 ) 내 에 균일 한 플 라즈 마 를 발생 시키 는 역할 을 갖 는다 .