먼저 , 처리 용기 ( 1 ) 내 에 기판 W 를 반입 한다 . 구체 적 으로 는 , 기판 적 재 대 ( 2 ) 를 반송 위치 로 하강 시킨 상태 에서 게이트 밸브 ( 12 ) 를 개방 한다 . 계속 해서 , 반송 암 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 의해 기판 W 를 , 반 출입구 ( 11 ) 를 통해 처리 용기 ( 1 ) 내 에 반입 하 고 , 히터 ( 21 ) 에 의해 소정 온도 예 를 들 어 , 300 ℃ 내지 600 ℃ 로 가열 된 기판 적 재 대 ( 2 ) 위 에 적재 한다 . 계속 해서 , 기판 적 재 대 ( 2 ) 를 처리 위치 까지 상승 시켜 , 처리 용기 ( 1 ) 내 를 미리 결정 된 진공도 까지 감압 한다 . 그 후 , 개폐 밸브 V 3 , V 4 를 개방 하 고 , 개폐 밸브 V 1 , V 2 , V 5 , V 6 , V 7 을 폐쇄 한다 . 이 에 의해 , N 2 가스 공급원 GS 3 , GS 4 로부터 제 1 연속 N 2 가스 공급 라인 L 3 및 제 2 연속 N 2 가스 공급 라인 L 4 를 통해 N 2 가스 를 처리 용기 ( 1 ) 내 에 공급 하 여 압력 을 상승 시키 고 , 기판 적 재 대 ( 2 ) 위 의 기판 W 의 온도 를 안정 시킨다 . 이 때 , 버퍼 탱크 T 1 내 에 는 , 원료 가스 공급원 GS 1 로부터 WCl 6 가스 가 공급 되 어 , 버퍼 탱크 T 1 내 의 압력 은 대략 일정 하 게 유지 되 고 있 다 . 또한 , 버퍼 탱크 T 5 , T 6 내 에 는 , N 2 가스 공급원 GS 5 , GS 6 으로부터 N 2 가스 가 공급 되 어 , 버퍼 탱크 T 5 , T 6 내 의 압력 은 대략 일정 하 게 유지 되 고 있 다 .