본 발명 의 다른 양태 는 기판 의 노치 부분 을 연마 하 는 연마 장치 를 제공 하 는 것 이 다 . 연마 장치 는 기판 을 수평 으로 보유 하 고 기판 을 회전 하 도록 구성 된 회전식 보유 기구 와 , 연마 테이프 를 사용 하 여 연마 하 도록 구성 된 연마 헤드 모듈 과 , 연마 테이프 의 인장 을 모니터링 하 도록 구성 된 모니터링 유닛 을 포함 한다 . 연마 헤드 모듈 은 연마 테이프 를 기판 의 노치 부분 과 활주 접촉 시키 도록 구성 된 연마 헤드 와 , 연마 헤드 에 연마 테이프 를 공급 하 고 연마 헤드 로부터 연마 테이프 를 회수 하 도록 구성 된 테이프 공급 및 회수 기구 와 , 연마 테이프 의 인장 을 계측 하 도록 구성 된 인장 센서 를 포함 한다 . 모니터링 유닛 은 인장 센서 의 출력 신호 를 기초 로 연마 테이프 의 인장 을 모니터링 하 도록 구성 된다 .