제 2 절 연막 ( 210 ) 및 희생 막 ( 220 ) 은 , 예 를 들 어 , 화학 기상 증착 ( Chemical Vapor Deposition : CVD ) 공정 , 플라스마 화학 기상 증착 ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition : PECVD ) 공정 , 원자 층 증착 ( Atomic Layer Deposition : ALD ) 공정 등 을 통해 형성 할 수 있 다 .