상기 의 주사 노광 중 , 주제 어 장치 ( 20 ) 는 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 XY 평면 내 에 있 어서 의 위치 정보 ( θ z 방향 의 회전 정보 를 포함 한다 ) 를 , 인코더 시스템 ( 70 ) 을 사용 하 여 계측 하 면서 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 XY 평면 내 의 위치 를 제 어함 과 함께 , 다점 AF 계 ( AF ) 의 계측 값 에 기초 하 여 도시 생략 된 Z · 틸 트 구동 기구 를 구동 함 으로써 , 웨이퍼 ( W ) 의 노광 대상 의 쇼트 영역 의 일부 ( 노광 영역 ( IA ) 에 대응 하 는 영역 ) 를 투영 광학계 ( PL ) 의 초점 심도 내 에 합치 시키 는 , 웨이퍼 ( W ) 의 이른바 포커스 · 레벨 링 제어 를 실행 한다 . 이 때문 에 , 포커스 · 레벨 링 시 에 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 이 Z 축 방향 , θ x 방향 , 및 θ y 방향 중 적어도 하나 의 방향 으로 구동 된다 . 이 경우 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 의 Z 축 방향 의 가동 스트로크 는 , 예 를 들 어 100 ㎛ ( 중립 위치 에서 상하 로 50 ㎛) 정도 이 기 때문 에 , 각 헤드 의 장착 위치 에서 보 면 , 웨이퍼 테이블 ( WTB ) 은 Z 축 을 거의 따라 100 ㎛ 정도 이하 의 스트로크 로 구동 되 는 것 에 지나 지 않 는다 . 이 때문 에 , 예 를 들 어 , 헤드 ( 60 C ) 에 대해 보 면 , 도 4 에 나타낸 상태 를 기준 으로 하 여 , 광 파이버 ( 62 a , 62 b ) 의 단면 과 , 광 파이버 ( 24 , 26 ) 의 단면 의 간격 이 최대한 100 ㎛ 정도 확장 될 뿐 이 다 . 따라서 , 전술 한 레이저 광 ( LB ) 의 광 파이버 ( 24 , 62 a ) 간 의 공중 전송 , 및 빔 ( LB 1 , LB 2 ) 의 1 차 회절 빔 의 광 파이버 ( 62 b , 26 ) 간 의 공중 전송 은 거의 영향 을 받 는 경우 가 없 다 . 그 밖 의 헤드 에 대해서 도 마찬가지 다 .