2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 을 80 ℃ 에서 7 일 동안 가열 하 였 다 . 2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 의 검정 은 96 . 41 % 에서 96 . 02 % 의 평균값 까지 떨어졌 는데 , 이 는 2 - 디메틸아미노 - 2 , 4 , 6 , 8 - 테트라메틸 사이클 로 테트라 실록 산 은 우수 한 열 적 안정 성 을 가지 고 , 증기 증착 공정 을 위한 전구체 로서 적합 함 을 나타내 는 것 이 다 .