본원 발명 에 있 어서 는 , 챔버 ( 1 ) 내외 를 순환 하 는 불활성 가스 를 포함 하 는 기체 의 풍속 을 풍속계 ( 2 ) 에 의해서 측정 하 고 , 또한 송풍기 ( 3 ) 에 있 어서 의 팬 의 회전수 에 대해 , 제 어 장치 ( 5 ) 를 거친 제어 를 행하 고 있 지만 , 각 스텝 1 기재 와 같이 , 기본 구성 a 에 있 어서 는 , 소정 의 시간 간격 마다 측정 을 행하 고 있 으며 , 기본 구성 b 에 있 어서 는 , 연속 해서 측정 을 행하 고 있 다 .