하지만 , 종래 기술 에 따른 화학 적 기계 적 연마 설비 및 그 의 제어 방법 은 패드 컨디 셔 너 의 스 위 핑 속도 를 가 감속 시키 도록 소정 의 정보 를 입력 하 는 작업자 의 개인 적 인 능력 차이 에 따라 후속 화학 적 기계 적 연마공 정 이 이루어지 는 웨이퍼 의 중심 부분 과 가장자리 부분 의 연마 속도 가 동일 또는 유사 해질 수 있 는 조건 을 찾 기 위한 신뢰 성 이 떨어질 수 있 기 때문 에 생산 수율 이 떨어지 는 문제점 이 있 었 다 .