이 경우 에 도 , 기본 적 으로 는 도 2 에 나타내 는 구조 의 탑재 대 와 마찬가지 의 작용 효과 를 나타낸다 . 단 , 실리콘 웨이퍼 ( W ) 는 실드 부재 보다 는 마이크로파 의 투과 율 이 크 므로 , 그 만큼 , 마이크로파 의 차단 효과 는 작 다 . 한편 , 탑재 대 ( 8 ) 의 웨이퍼 탑재 영역 의 실드 부재 ( 68 ) 를 생략 한 분 만큼 , 장치 비용 을 삭감 할 수 있 는 장점 이 있 다 .