표면 처리 대상물 에 부착 되 는 유기물 잔사 는 , 예 를 들 어 후술 하 는 연마 공정 혹은 임의 로 마련 해도 되 는 린스 연마 공정 에 있 어서 사용 한 패드 로부터 발생 하 는 패드 부스러기 , 또는 연마 공정 에 있 어서 사용 되 는 연마 용 조성물 혹은 린스 연마 공정 에 있 어서 사용 되 는 린스 연마 용 조성물 에 포함 되 는 첨가제 로부터 유래 하 는 성분 등 을 들 수 있 다 .