상 , 하부 챔버 ( 21 , 11 ) 내부 에서 증발 된 솔 벤트 및 공기 는 하부 배기 라인 ( 13 ) 을 통해 배출 된다 . 이 때 , 상기 상부 배기 라인 ( 23 ) 을 통해서 도 솔 벤트 및 공기 가 배출 된다 . 상부 배기 라인 ( 23 ) 을 통해 배출 되 는 솔 벤트 및 공기 는 상부 진공 라인 ( 25 ) 및 하부 진공 라인 ( 15 ) 을 따라 유동 하 여 하부 배기 라인 ( 13 ) 과 연통 된 부분 에서 하부 배기 라인 ( 13 ) 을 통해 배출 된다 .