이상 의 처리 액 공급 부 ( 29 A ) 도 , 제 1 실시 형태 및 제 2 실시 형태 에 따른 처리 액 공급 부 ( 29 ) 와 마찬가지 로 , 제 어 장치 ( 100 ) 에 의해 제어 된다 . 제 어 장치 ( 100 ) 는 , 보충 부 ( 250 ) 내 와 송액 부 ( 210 ) 내 의 압력 차 를 축소 시킨 후 에 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 를 개방 하 는 것 과 , 제 1 전환 밸브 ( 236 ) 가 개방 된 상태 에서 보충 부 ( 250 ) 로부터 송액 부 ( 210 ) 에 의 처리 액 의 보충 을 개시 시키 는 것 을 실행 하 도록 구성 되 어 있 다 .