제 1 공급 배관 ( 31 A ) 에서 의 약액 의 온도 변화 는 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 을 짧 게 함 으로써 저감 된다 . 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 은 , 제 1 분기 부 ( 30 A ) 가 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 에 가까워질수록 짧아진다 . 제 1 분기 부 ( 30 A ) 는 , 챔버 ( 6 ) 또는 유체 박스 ( 4 ) 내 에 배치 되 어 있 으며 , 제 1 약액 노즐 ( 21 A ) 에 비교 적 가깝 다 . 이것 에 의해 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 을 짧 게 할 수 있 어 , 제 1 공급 배관 ( 31 A ) 에서 의 약액 의 온도 변화 를 저감 할 수 있 다 . 그 때문 에 , 의도 하 는 온도 에 가까운 약액 을 당초 부터 기판 ( W ) 에 공급 할 수 있 다 .