가스 분사 부 ( 130 ) 는 반응기 ( 110 ) 의 상부 에 기판 지지 부 ( 120 ) 와 대향 하 는 위치 에 배치 될 수 있 다 . 가스 분사 부 ( 130 ) 는 공정 가스 를 반응기 ( 110 ) 내부 에 분사 하 도록 구성 될 수 있 다 . 예 를 들 어 , 가스 분사 부 ( 130 ) 는 샤워 헤드 ( 152 ) 를 포함 할 수 있 다 . 가스 분사 부 ( 130 ) 는 샤워 헤드 형태 , 노즐 형태 등 과 같이 다양 한 형태 를 가질 수 있 다 . 가스 분사 부 ( 130 ) 는 기판 지지 부 ( 120 ) 와 실질 적 으로 동일 한 크기 로 제작 될 수 있 다 . 가스 분사 부 ( 130 ) 의 하부 에 공정 가스 를 분사 하 기 위한 복수 의 홀 ( 152 ) 을 포함 할 수 있 다 .