실시 예 에서 는 자외선 을 사용 하 여 상기 잔류물 ( 22 a ) 을 제거 할 수 있 다 . 즉 , 상기 전 사막 ( 30 ) 이 상기 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 분리 된 후 , 상기 자외선램프 ( 300 ) 는 상기 제 1 박막 ( 22 ) 에 자외선 을 조사 하 여 잔류물 ( 22 a ) 을 상기 제 1 박막 ( 22 ) 으로부터 제거 할 수 있 다 .