이송 프레임 ( 140 ) 은 로드 포트 ( 120 ) 에 안착 된 캐리어 ( 130 ) 와 버퍼 유닛 ( 220 ) 간 에 기판 ( W ) 을 반송 한다 . 이송 프레임 ( 140 ) 에 는 인덱스 레일 ( 142 ) 과 인덱스 로봇 ( 144 ) 이 제공 된다 . 인덱스 레일 ( 142 ) 은 그 길 이 방향 이 제 2 방향 ( 14 ) 과 나란 하 게 제공 된다 . 인덱스 로봇 ( 144 ) 은 인덱스 레일 ( 142 ) 상 에 설치 되 며 , 인덱스 레일 ( 142 ) 을 따라 제 2 방향 ( 14 ) 으로 직선 이동 된다 . 인덱스 로봇 ( 144 ) 은 베이스 ( 144 a ) , 몸체 ( 144 b ) , 그리고 인덱스 암 ( 144 c ) 을 가진다 . 베이스 ( 144 a ) 는 인덱스 레일 ( 142 ) 을 따라 이동 가능 하 도록 설치 된다 . 몸체 ( 144 b ) 는 베이스 ( 144 a ) 에 결합 된다 . 몸체 ( 144 b ) 는 베이스 ( 144 a ) 상 에서 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 이동 가능 하 도록 제공 된다 . 또한 , 몸체 ( 144 b ) 는 베이스 ( 144 a ) 상 에서 회전 가능 하 도록 제공 된다 . 인덱스 암 ( 144 c ) 은 몸체 ( 144 b ) 에 결합 되 고 , 몸체 ( 144 b ) 에 대해 전진 및 후진 이동 가능 하 도록 제공 된다 . 인덱스 암 ( 144 c ) 은 복수 개 제공 되 어 각각 개별 구동 되 도록 제공 된다 . 인덱스 암 ( 144 c ) 들 은 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 서로 이격 된 상태 로 적층 되게 배치 된다 . 인덱스 암 ( 144 c ) 들 중 일부 는 공정 처리 모듈 ( 200 ) 에서 캐리어 ( 130 ) 로 기판 ( W ) 을 반송 할 때 사용 되 고 , 이 의 다른 일부 는 캐리어 ( 130 ) 에서 공정 처리 모듈 ( 200 ) 로 기판 ( W ) 을 반송 할 때 사용 될 수 있 다 . 이 는 인덱스 로봇 ( 144 ) 이 기판 ( W ) 을 반입 및 반출 하 는 과정 에서 공정 처리 전 의 기판 ( W ) 으로부터 발생 된 파티클 이 공정 처리 후 의 기판 ( W ) 에 부착 되 는 것 을 방지 할 수 있 다 .