음극 전하 집진기 들 ( 110 a , 110 b ) 은 , 금 , 플라 티 늄 , 은 , 알루미늄 , 크롬 , 티타늄 , 또는 카드뮴 이나 , 금속 산화물 이나 , 여러 가지 스테인 레스강 과 같 은 금속 합금 으로 이루어질 수 있 다 . 나아가 , 음극 전하 집진기 들 ( 110 a , 110 b ) 은 탄소 , 흑연 , 유리 섬유 강화 에폭시 ( glass fiber reinforced epoxy ) ( FR 4 , FR 5 ) , 또는 어떤 적절 한 복합 소재 와 같 은 비금속 소재 로 이루어질 수 있 다 . 음극 전하 집진기 들 ( 110 a , 110 b ) 의 제조 는 전해 도금 , 무전 해도 금 , 스퍼터링 , 또는 어떤 적절 한 화학 적 증착 이나 물리 적 증착 방법 에 의해 기판 위 에 전도 층 을 증착 하 는 방법 을 포함 할 수 있 다 . 바람직 하 게 는 상술 한 기판 의 전체 표면 은 도전 층 으로 덮힌 다 .