이 와 같이 , 종래 웨이퍼 트랜스퍼 장치 는 동일 한 스테이지 상 에서 하나 의 웨이퍼 핸드 를 가질 경우 보다 2 배 의 속도 로 웨이퍼 를 웨이퍼 카세트 로부터 로딩 과 언로 딩 을 수행 하 여 이송 시킬 수 있 는 효과 를 가지 고 있 다 . 그러나 이러 한 종래 웨이퍼 트랜스퍼 장치 는 각 핸드 에 대하 여 별도 의 회전 가능 한 암 들 의 공간 을 스테이지 상 에서 확보 해야 하 기 때문 에 이전 의 스테이지 공간 보다 2 배 로 큰 공간 을 요하 며 , 그 에 따라 제조 장비 의 크기 가 커질 뿐 만 아니 라 공간 의 비 효율 성 과 관련 된 부 가 장치 의 배치 에 제약 을 주 는 문제점 이 있 다 .