도 7 은 본 발명 의 제 7 실시 예 에 따른 마이크로웨이브 발생 장치 와 이 를 구비 하 는 플 라즈 마 발생 장치 의 블록 도 를 나타낸다 . 도 7 을 참조 하 면 , 플라 즈 마 발생 장치 ( 300 ) 는 도 1 내지 도 6 에 각각 도시 된 마이크로웨이브 발생 장치 ( 20 ) 는 다수 의 전 극판 들 ( 42 와 44 ) 을 통하 여 마이크로웨이브 를 챔버 내부 로 전송 한다 .