이 와 같이 구성 된 처리 장치 에 있 어서 , 챔버 ( 12 ) 에 구동 기구 ( 18 ) 를 조립 장 착할 경우 에 는 , 먼저 , 베이스 부재 ( 21 ) 에 복수 개 의 외부 외 통체 ( 24 ) 를 장착 하 여 고정 한다 . 그 다음 에 , 각 외부 외 통체 ( 24 ) 에 는 후단 에 제 1 기어 ( 28 ) 가 끼워져서 장착 된 구동축 ( 27 ) 을 삽입 하 고 , 그 후단 부측 을 상기 외부 외 통체 ( 24 ) 내 에 설치 된 한 쌍 의 베어링 ( 23 ) 에 의해 회전 가능 하 게 지 지 한다 .