단계 ( 206 ) 중 에서 , 또 다른 제 1 반응물 퍼지 단계 는 , 단계 ( 204 ) 로부터 남 아 있 는 원치 않 는 재료 의 제거 를 수월 하 게 하 도록 사용 될 수 있 다 . 단계 ( 206 ) 중 에 , 퍼지 가스 의 유량 은 전술 한 제 1 퍼지 가스 유량 과 동일 할 수 있 다 . 단계 ( 206 ) 에 대한 시간 은 약 1 내지 약 10 초 또는 약 4 내지 약 6 초 범위 일 수 있 다 .