‘ 저온 폴리 ( LTPS : Low Temperature Poly Silicon ) ’ 는 TFT 제품 종류 중 하나 다 . 대형 제품 에 대부분 사용 되 는 비정질 실리콘 ( A - Si ) 기판 에 레이저 등 을 주사 함 으로써 물질 특성 을 바꾼 것 이 다 . 석영 을 기판 으로 사용 하 고 1000 ℃ 에 가까운 고열 을 가하 는 고온 폴리 ( HTPS ) 와 구분 하 기 위해 저온 폴리 라는 이름 을 붙였 지만 역시 600 ℃ 가까운 고열 을 통해 만들 어 진다 . 　 저온 폴리 의 가장 큰 특성 은 기판 내 전자 이동도 가 높 다는 점 이 다 . 이러 한 특성 으로 LCD 기판 에 직접 IC 회로 를 집적 할 수 있 어 LCD 에 회로 까지 모두 내장 하 는 ‘ SOG ( System On Glass ) ’ 기술 에 가장 적합 하 다는 평가 를 받 기 도 한다 . 　 한편 A - Si 에 비해 별도 의 고열 처리 기술 을 적용 해야 하 는 데 다 마스크 공정 수 가 많 아 기판 원가 가 높 다는 게 단점 이 다 . 그러나 소형 제품 에서 는 가장 큰 원가 를 차지 하 는 드라이브 IC 를 직접 내장 할 수 있 다는 장점 때문 에 일본 기업 들 은 대부분 저온 폴리 기술 을 사용 한다 . 또 능동형 OLED 를 생산 하 기 위한 기판 으로 쓰이 기 도 한다 .