한편 , 테스트 헤드 장치 는 단일 의 테스트 헤드 기판 ( 30 ) 과 그 일면 또는 양면 에 탑재 된 각종 회로 소자 들 을 포함 하 여 이루어지 는데 , 예 를 들 어 각각 의 테스트 시스템 제조사 별 로 특색 을 갖 되 정해진 메모리 테스트 패턴 을 발생 시키 는 ALPG ( ALgorithm Pattern Generater ) 칩 ( 31 ) , ALPG 칩 ( 31 ) 에서 발생 된 메모리 테스트 패턴 을 DUT ( 40 ) 에 기록 하 는 드라이버 칩 ( 32 ) , DUT ( 40 ) 로부터 판독 된 신호 의 레벨 을 미리 정해진 기준치 와 비교 하 는 컴 패 레이터 칩 ( 34 ) , 제어 용 컴퓨터 ( 미 도시 ) 와 ALPG 칩 ( 31 ) 사이 를 인터페이스 하 는 인터페이스 칩 ( 32 ) 및 테스트 헤드 측 중계 용 커넥터 ( 24 ) 와 테스트 헤드 기판 ( 30 ) 을 연결 하 는 테스트 헤드 커넥터 ( 35 ) 를 포함 하 여 이루어질 수 있 다 . 드라이버 칩 ( 32 ) 과 컴 패 레이터 칩 ( 34 ) 는 일반 적 으로 개별 적 인 아날로그 IC 나 ASIC 으로 이루어질 수 있 다 . 도면 에서 미 설명 부호 36 및 37 은 각각 제어 용 컴퓨터 와 테스트 헤드 기판 ( 30 ) 을 연결 하 는 제어 용 연결 단자 와 전원 용 연결 단자 를 나타낸다 .