버퍼 유닛 ( 200 ) 은 기판 ( W ) 이 놓이 는 버퍼 ( 220 ) 를 복수 개 구비 한다 . 버퍼 ( 220 ) 들 은 제 3 방향 ( 96 ) 을 따라 서로 간 에 이격 되 도록 배치 될 수 있 다 . 버퍼 유닛 ( 200 ) 은 전면 ( front face ) 과 후면 ( rear face ) 이 개방 된다 . 전면 은 인덱스 모듈 ( 10 ) 과 마주 보 는 면 이 고 , 후면 은 반송 장치 ( 300 ) 와 마주 보 는 면 이 다 . 인덱스 로봇 ( 120 ) 은 전면 을 통해 버퍼 유닛 ( 200 ) 에 접근 하 고 , 반송 로봇 ( 320 ) 은 후면 을 통해 버퍼 유닛 ( 200 ) 에 접근 할 수 있 다 .