먼저 , 하부 챔버 ( 20 ) 에 대해서 살펴보 면 , 하부 챔버 ( 20 ) 는 , 실질 적 으로 유리 기판 ( G ) 에 대한 증착 공정 이 진행 되 는 부분 으로서 , 전술 한 증착 공간 ( S ) 이 하부 챔버 ( 20 ) 내 에 형성 된다 . 이러 한 하부 챔버 ( 20 ) 의 외벽 에 는 소정 의 작업 로봇 ( 미 도시 ) 에 의해 유리 기판 ( G ) 이 증착 공간 ( S ) 내외 로 출입 할 수 있 도록 기 판출 입부 ( 21 ) 가 형성 되 어 있 다 . 이러 한 기 판출 입부 ( 21 ) 는 그 주변 에 결합 된 도어 ( 24 ) 에 의해 선택 적 으로 개폐 된다 .