제 2 계수 기억 부 ( 164 ) 는 , 플라 즈 마 처리 장치 ( 100 ) 전체 로서 의 장치 성능 항목 에 대하 여 , " 가중치 부여 를 행한 행렬 을 기억 한다 . 도 9 는 본 실시 형태 에 있 어서 의 플 라즈 마 처리 장치 의 성능 항목 의 일례 를 나타내 는 도면 이 다 . 도 9 에 나타내 는 "" 장치 성능 항목 "" 은 "," 장치 측 에서 감시 하 는 항목 을 나타낸다 . "" 대응 기능 "" 은 ", 그 항목 의 값 이 중심 치 로부터 어긋나 있 던 경우 에 , 자동 보정 을 행하 는지 , " 알람 을 통보 하 는지 를 나타낸다 . "" 측정 수법 "" 은 "," 그 항목 의 값 의 측정 대상 및 측정 수법 을 나타낸다 . "" 항목 번호 "" 는 "," 장치 성능 항목 을 행렬 로 나타낸 경우 에 각 장치 성능 항목 을 식별 하 기 위한 것 이 다 . "" 영향 률 ( 단체 성능 항목 ) "" 은 ", 유량 제어기 단체 의 성능 을 나타내 는 각 항목 이 , 장치 성능 항목 에 어느 정도 영향 을 미치 는지 를 나타낸다 . 또 , " "" v ~ z "" 의 문자 는 "," 장치 성능 항목 을 행렬 로 나타낸 경우 에 영향 률 의 각 단체 성능 항목 을 식별 하 기 위한 것 이 다 . 도 9 의 "" 영향 률 ( 단체 성능 항목 ) "" 에서 는 ", 장치 성능 항목 에 대하 여 영향 을 주 는 항목 에 검 은 색 원 표시 를 첨부 하 고 있 다 . 예컨대 , " 장치 성능 항목 의 "" 유량 교정 "" 에 는 "," "" 유량 정밀도 "" 와 "" 경년 성 "" 이 영향 을 주 는 것 을 나타내 고 있 다 . 또 ", 제 2 계수 기억 부 ( 164 ) 에서 는 , " "" 영향 률 ( 단체 성능 항목 ) "" 은 ", 영향 률 ( 기여 도 , 지배 율 ) 로서 백분율 의 행렬 의 형식 으로 기억 한다 . 다시 말 해 , 제 2 계수 기억 부 ( 164 ) 는 , 제 2 계수 로서 , 예컨대 , " "" 장치 성능 항목 "" 을 나타내 는 항목 번호 ( 1 ~ 6 ) 와 "," "" 영향 률 ( 단체 성능 항목 ) "" 을 대 응지 어 기억 한다 . 또 ", 제 2 계수 기억 부 ( 164 ) 에 는 , 오퍼레이터 에 의해 제 2 계수 의 초기 치가 입력 된다 .