일 측 에 따르 면 , 상기 멤 브레인 은 상기 복수 의 압력 챔버 에 서로 다른 간격 으로 압력 홀 이 형성 될 수 있 다 . 상기 멤 브레인 은 상기 중앙 챔버 에서 상기 제 1 외측 챔버 로 갈수록 조밀 하 게 압력 홀 이 형성 될 수 있 다 . 상기 멤 브레인 은 상기 연마 패드 의 가장자리 가 걸쳐 지 는 압력 챔버 에 가장 조밀 하 게 압력 홀 이 형성 될 수 있 다 .