질량 분석 자석 ( 21 ) 은 , 이온 생성 장치 ( 12 ) 로부터 인출 된 이온 빔 에 자장 을 인가 하 고 , 이온 의 질량 전 하비 M = m / q ( m 은 질량 , q 는 전하 ) 의 값 에 따라 다른 경로 로 이온 빔 을 편향 시킨다 . 질량 분석 자석 ( 21 ) 은 , 예 를 들 면 이온 빔 에 y 방향 ( 도 1 및 도 2 에서 는 - y 방향 ) 의 자장 을 인가 하 여 이온 빔 을 x 방향 으로 편향 시킨다 . 질량 분석 자석 ( 21 ) 의 자장 강도 는 , 원 하 는 질량 전 하비 M 을 갖 는 이온 종이 질량 분석 슬릿 ( 23 ) 을 통과 하 도록 조정 된다 .