다음 에 , 상술 한 바 와 같 은 연삭 장치 ( 50 ) 를 이용 하 여 웨이퍼 ( W ) 를 연삭 하 는 방법 에 대해 설명 한다 . 도시 된 실시 형태 에서 는 , 우선 , 연삭 가공 전 의 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 한 제 1 카세트 ( 52 a ) 를 제 1 카세트 재 치부 ( 54 a ) 에 재치 하 고 , 아울러 연삭 가공 후 의 복수 의 웨이퍼 ( W ) 를 수용 하 는 비 어 있 는 제 2 카세트 ( 52 b ) 를 제 2 카세트 재 치부 ( 54 b ) 에 재치 하 는 카세트 재치 공정 을 실시 한다 .