도 10 은 , 검출 장치 ( 100 ) 의 캘리 브레이 션 을 나타낸 흐름 도 다 . 본 실시 형태 에서 는 검출 장치 ( 100 ) 의 캘리 브레이 션 을 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 도 8 a 의 스텝 S 105 에서 캘리 브레이 션 을 실시 하 는 타이밍 에서 실행 한다 . 구체 적 으로 는 , 스텝 S 351 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 복수 의 검출기 각각 의 검출 영역 및 초점 심도 내 에 놓이 도록 , 기준 마크 SM 을 정렬 해서 검출 하 여 , 검출기 의 검출 영역 의 위치 및 초점 위치 의 정보 를 취득 한다 . 스텝 S 352 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 스텝 S 351 에서 취득 한 검출기 의 검출 영역 의 위치 및 초점 위치 의 정보 와 , 면 위치 검출 장치 에 의해 계측 한 웨이퍼 의 표면 높이 정보 로부터 , 기울기 정보 를 산출 한다 . 스텝 S 353 에서 , 제 어부 ( 1100 ) 는 , 스텝 S 352 에서 구한 기울기 정보 와 , 기울기 량 과 계측 값 의 시프트 의 관계 를 나타내 는 보정 테이블 에 근거 하 여 , 검출 장치 ( 100 ) 의 보정 정보 를 산출 한다 . 보정 테이블 에 나타낸 기울기 량 은 , 검출 장치 ( 100 ) 의 초점 위치 의 정보 , 검출 영역 의 위치 의 정보 , 웨이퍼 의 표면 높이 의 정보 등 의 항목 으로 분류 되 고 , 각각 의 양 에 따라 계측 값 의 시프트 와 의 관계 가 표시 된다 . 또한 , 보정 테이블 에 나타낸 계측 값 의 시프트 는 , 웨이퍼 프로세스 , 마크 의 형상 , 검출 장치 의 계측 조건 ( 파장 , 조명 σ , 편광 등 ) 에 근거 한 계산 결과 , 또는 실제 의 계측 결과 에 근거 하 여 생성 된다 .