도 8 에 도시 된 바 와 같이 , 상기 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 126 ) 에 세정액 흡입 을 위한 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 이 형성 되 어 있 다 . 보다 구체 적 으로 , 상기 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 은 웨이퍼 지지 판넬 부 ( 126 ) 중 , 슬롯 부 ( 128 ) 의 측벽 에 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 상기 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 에 는 상기 세정액 흡입 홀 ( 130 ) 을 통해 흡입 된 세정액 을 배출 시키 기 위한 세정액 배수 라인 ( 132 ) 이 연결 되 어 있 다 .