본 발명 의 일 실시 형태 에 따르 면 , 전자기 방사선 을 생성 하 는 방법 이 제공 된다 . 상기 방법 은 애노드 와 캐소드 사이 의 방전 공간 근처 에 있 고 또 한 상기 애노드 와 캐소드 로부터 소정 거리 에 있 는 일 위치 에 물질 의 적어도 1 이상 의 성분 을 공급 하 는 단계 , 상기 애노드 와 캐소드 사이 의 상기 물질 에서 방전 을 생성 하 여 플 라즈 마 를 형성 하 는 단계 , 및 상기 물질 을 공급 하 고 및 / 또는 상기 방전 을 생성 하 는 동안 에 상기 애노드 및 / 또는 캐소드 상 에 또는 그 근처 에 냉각 및 / 또는 보호 층 을 생 성 및 / 또는 유지 하 는 단계 를 포함 한다 .