일 실시 예 에서 , 저항 조절 시스템 의 작동 변수 들 은 다음 과 같이 설정 된다 . 미처리 초 순수 의 저항 값 은 23 ℃ 에서 18 . 3 M Ω · ㎝ 이 다 . 상기 초 순수 의 유속 은 2 내지 50 리터 / 분 범위 에서 변동 한다 . 1 분 동안 특정 유속 이 유지 되 다가 다른 유속 으로 바뀌 는 방식 으로 변동 이 일어난다 . 초 순수 의 공급 압력 은 3 . 5 내지 3 . 8 ㎏ f / ㎠· G 이 다 . 개구부 ( 13 ) 로 주입 되 는 이산화 탄소 의 압력 은 4 . 5 내지 6 . 0 ㎏ f / ㎠· G 이 다 . 이산화 탄소 의 투과율 은 100 , 000 × 10 - 3 ㎤/㎠· sec · ㎝ Hg 이거 나 이 보다 작 다 . 위 와 같 은 조건 에서 , 이산화 탄소 가 상기 초 순수 에 포화 농도 또는 이 보다 작 은 농도 로 가해진다 . 본 발명인 저항 조절 시스템 에 의하 여 조절 되 는 초 순수 의 저항 값 은 산업 상 요구 , 예 를 들 어 , 0 . 1 내지 0 . 5 M Ω · ㎝ 범위 를 충족 시킨다 .