도시 되 지 는 않 았 지만 , 반응 시약 ( 예 를 들 어 , 산화 폴리 싱 용 탈 이 온수 ) 과 마찰 입자 ( 예 를 들 어 , 산화 폴리 싱 용 이산화규소 ) 와 화학 반응 촉매 ( 예 를 들 어 , 산화 폴리 싱 용 수산화 칼륨 ) 를 포함 하 는 슬러리 를 연마 패드 ( 30 ) 의 표면 에 공급 하 기 위한 슬리 리 공급 암 ( 20 ) 을 더 포함 하 여 구성 된다 .