액 처 리부 ( 60 ) 에 공급 되 는 처리 액 의 온도 조절 정밀도 가 특히 중시 되 는 경우 에 는 , 가장 하류 측 에 온도 조 절부 ( 50 ) 를 배치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 이 경우 , 예 를 들 어 상류 측 부터 순서 대로 펌프 ( 30 ) , 여 과부 ( 40 ) 및 온도 조 절부 ( 50 ) 를 배치 할 수 있 다 . 도 1 , 도 3 내지 도 6 의 실시 형태 가 이 배치 에 해당 한다 .