도 21 에 도시 된 바 와 같이 , 상부 기판 ( 410 ) 의 저면 상 의 주변 영역 ( 20 ) 에 제 1 내지 제 4 외곽 패턴 들 ( 431 , 432 , 433 , 434 ) 및 기준 패턴 ( 435 ) 이 형성 될 수 있 다 . 예 시 적 인 실시 예 들 에 있 어서 , 하부 차광막 ( 430 ) , 제 1 내지 제 4 외곽 패턴 들 ( 431 , 432 , 433 , 434 ) 및 기준 패턴 ( 435 ) 은 동일 한 물질 을 사용 하 여 동시 에 형성 될 수 있 다 .