다음 으로 , 도 1 a , 도 2 , 도 3 d , 도 4 , 도 5 , 도 11 a , 내지 도 11 f 를 참조 하 면 , 제 2 전원 라인 ( PL 2 ) , 제 1 내지 제 3 차폐 전극 라인 ( SDL 1 ~ SDL 3 ) , 및 연장 전극 ( ETP ) 이 형성 된 제 3 층간 절연 층 ( ILD 3 ) 상 에 보호 층 ( PSV ) 을 형성 한다 .