여기 서 , 상기 폴리 이미드 ( PI - 2545 ) 의 2545 숫자 는 폴리 이미드 ( PI ) 의 모델 명 이 며 , 상기 폴 리디 메틸 실록 산 ( PDMS , 200 ) 위 에 PI - 2545 ( 300 ) 를 스핀 코팅 하 기 위해서 는 스핀 코터 ( Spin Coater ) 를 사용 하 여 1000 rpm ~ 3000 rpm , 30 sec 동안 코팅 을 실시 한다 . 또한 , 상기 스핀 코팅 ( Spin Coating ) 후 상기 폴 리디 메틸 실록 산 ( PDMS , 200 ) 와 폴리 이미드 ( PI - 2545 , 300 ) 가 잘 접합 되 도록 하 기 위해서 는 핫플레이트 ( Hotplat ) 를 통해 양생 공정 ( Cure Process ) 을 실시 한다 . 즉 , 1 차 110 ˚ C / 5 min , 2 차 150 ˚ C / 10 min 동안 실시 하 며 , 3 차 는 진공 상태 에서 250 ˚ C / 90 min 동안 양생 공정 을 실시 한다 .