본 체부 ( 91 a ) 는 , 외측 컵 ( 4 ) 의 상면 을 따라 설치 된다 . 본 체부 ( 91 a ) 는 , 한쪽 의 단부 가 , 외측 컵 ( 4 ) 의 절 결부 ( 4 a ) 에 인접 하 도록 설치 된다 . 또한 , 본 체부 ( 91 a ) 는 , 다른 쪽 의 단부 가 , 처리 용기 ( 2 ) ( 도 1 참조 ) 의 외부 의 도전 성 부재 ( 예컨대 , 금속 부재 ) 에 접속 된다 . 한편 , 본 체부 ( 91 a ) 는 , 중간 부재 를 통해 처리 용기 ( 2 ) 의 외부 의 도전 성 부재 에 접속 되 어도 좋 다 . 중간 부재 는 , 도전 성 부재 이 다 .