본 발명 에 의하 면 , 하부 블록 과 중간체 사이 의 변위 량 및 중간체 와 상부 블록 사이 의 변위 량 이 작 아도 , 위치 결정 장치 전체 적 으로 큰 변위 량 을 얻 을 수 있 다 . 이 와 같이 , 각 부 의 사이 의 변위 량 이 작 으므로 , 종래 의 위치 결정 장치 와 마찬가지 의 변위 량 을 확보 한다면 , 하부 블록 , 중간체 , 상부 블록 을 작 게 할 수 있 고 , 위치 결정 장치 전체 를 작 게 할 수 있 다 . 따라서 , 스테인 레스강 이나 알루미늄 등 의 고가 의 재료 를 사용 하 는 경우 , 저 가격 으로 위치 결정 장치 를 제작 할 수 있 다 . 역 으로 , 종래 의 위치 결정 장치 와 같 은 정도 의 크기 로 한다면 , 종래 의 것 보다 큰 변위 량 을 가지 는 위치 결정 장치 를 얻 을 수 있 다 .