정밀 연마 는 피 연마 체 를 수 ㎛ 내지 수십 ㎛ 수준 으로 미세 ( 정밀 ) 하 게 연마 한다 . 정밀 연마 시 피연 마 체 또는 연마 제품 이 마모 되 면서 발생 되 는 연마 찌꺼기 는 수 ㎛ 수준 이 다 . 건식 으로 연마 할 경우 , 연마 중 흄 ( fume ) 이나 연마 찌꺼기 가 쉽 게 비산 되 어 작업자 의 건강 을 해치 고 , 피 연마 체 와 연마 제품 사이 에서 발생 하 는 마찰열 은 피연 마 체 또는 연마 제품 을 손상 시킬 수 있 다 . 또한 일반 적 으로 정밀 연마 에 사용 되 는 연마 제품 은 표면 에 미세 한 패턴 이 형성 되 어 있 는데 , 연마 중 발생 하 는 연마 찌꺼기 중 일부 가 패턴 과 패턴 사이 에 축적 되 어 연마 제품 의 연마 성능 과 제품 수명 을 저하 시킨다 .