일부 실시 예 에서 , 내부 층 ( 206 A ) 은 내부 층 ( 206 B ) 과 동일 하 다 . 다른 실시 예 에서 , 내부 층 들 ( 206 A , 206 B ) 은 동일 하 지 않 다 . 일부 실시 예 에서 , 특징 부들 , 예컨대 구멍 들 ( 207 ) 의 패턴 , 형상 , 및 / 또는 크기 는 상이 할 수 있 다 . 구멍 특징 부 들 의 패턴 , 형상 , 및 크기 는 대체 적 으로 , 인접 한 면 층 ( 210 A 또는 210 B ) 의 슬롯 들 ( 211 ) 의 패턴 , 형상 , 및 크기 와 조합 하 여 표면 주위 에서 의 진공 의 유동 에 영향 을 미친다 .