정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 의 두께 가 0 . 1 μ m 를 하회 하 면 , 충분 한 도전 성 을 확보 하 는 것 이 어려워진다 . 바꾸 어 말 하 면 , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 의 두께 가 0 . 1 μ m 이상 이 면 , 충분 한 도전 성 을 확보 할 수 있 다 . 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 의 두께 가 100 μ m 를 초과 하 면 , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 과 재치 판 ( 11 ) 및 지지 판 ( 12 ) 과 의 사이 의 열팽창 률 차 에 기인 하 여 , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 과 재치 판 ( 11 ) 및 지지 판 ( 12 ) 과 의 접합 계면 에 크랙 이 들어가 기 쉬워진다 . 바꾸 어 말 하 면 , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 의 두께 가 100 μ m 이하 이 면 , 정전 흡착 용 전극 ( 13 ) 과 재치 판 ( 11 ) 및 지지 판 ( 12 ) 과 의 접합 계면 에 크랙 이 들어가 기 어려워진다 .