이 들 코팅 세정 부분 ( coating cleaned parts ) 을 생산 하 기 위하 여 , 특히 그것 들 의 직경 과 관련 된 탄화물 인서 트 를 , 이 중 또는 삼중 회전 을 이용 하 여 , 기판 캐 러셀 ( carousel ) , 및 코팅 챔버 의 측벽 상 의 여섯 개 의 음극 아크 소스 ( cathodic arc source ) 내 에 위치 한 네 개 의 융 용 야금학 적 으로 제조 된 Ti - Al - 타 겟 및 두 개 의 분말 야금학 적 으로 제조 된 Al - Cr -( X ) - 타 겟 상 에 장착 하 였 다 . 타 겟 의 배열 의 기하학 적 구조 는 , 서로 마주 보 고 정렬 되 는 두 개 의 히팅 시 그 먼 트 ( segment ) 는 세 개 의 연속 적 인 정렬 된 아크 음극 을 가지 는 두 개 의 시 그먼 트 그룹 을 분리 하 는 , RCS ( Oerlikon Balzers ) 코팅 시스템 의 팔각 형 레이아웃 ( layout ) 에 의하 여 주로 정의 되 어 있 다 . 본 실험 에서 , Al - Cr - 타 겟 을 하나 의 시 그먼 트 의 각 중간 위치 에서 맞 은 편 에 장착 하 였으나 , 주요 한 다양 한 타 겟 배열 에서 는 이러 한 종류 의 코팅 의 증착 에 이용 될 수 있 다 . 기하학 적 으로 등가 의 위치 에서 의 적어도 두 개 의 아크 음극 은 이러 한 코팅 을 증착 하 는 데 이용 되 어야 한다 .