도 2 를 참조 하 면 , 서브 워드 라인 드라이버 ( 100 ) 의 종래 배치 구조 ( 200 ) 에 는 , 제 3 및 제 2 모스 트랜지스터 ( M 3 , M 2 ) 가 구비 되 는 제 1 영역 ( 210 ) , 구동 트랜지스터 인 제 1 모스 트랜지스터 ( M 1 ) 가 구비 되 는 제 2 영역 ( 230 ) , 및 제 4 모스 트랜지스터 ( M 4 ) 가 구비 되 는 제 3 영역 ( 240 ) 이 존재 하 였 다 . 제 1 영역 ( 210 ) 과 제 2 영역 ( 230 ) 의 사이 영역 ( 261 ) 에 는 STI ( shallow Trench Isolation ) 가 구비 된다 . 그리고 , 제 2 영역 ( 230 ) 과 제 3 영역 ( 240 ) 의 사이 영역 ( 263 ) 에 STI 가 구비 된다 .