도 30 내지 도 32 를 참조 하 여 , 공정 챔버 의 몸체 ( 11 ) 는 내부 로 레이저 빔 을 주사 하 기 위한 레이저 투과 윈도우 ( 86 , 87 ) 를 구비 한다 . 레이저 투과 윈도우 ( 86 , 87 ) 는 몸체 ( 11 ) 의 측벽 으로 대향 되게 구성 된 두 개 의 윈도우 ( 86 , 87 ) 로 구성 될 수 있 다 . 두 개 의 윈도우 ( 86 , 87 ) 는 몸체 ( 11 ) 에 서로 마주 대향 되 도록 설치 되 며 , 동일 한 길이 를 갖 는 슬릿 구조 로 구성 될 수 있 다 . 레이저 공급원 ( 800 ) 은 하나 이상 의 레이저 소스 ( 84 ) 를 포함 한다 . 레이저 소스 ( 84 ) 는 레이저 투과 윈도우 ( 86 , 87 ) 를 통하 여 반응기 몸체 ( 11 ) 의 내부 로 레이저 빔 을 주사 하 여 몸체 ( 11 ) 의 내부 에 복수 개 의 레이저 주사선 ( 82 ) 을 형성 시켜 멀티 레이저 스캐닝 라인 구성 한다 .