제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 에 있 어서 , 2 개 의 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) 가 각각 연결 되 는 2 개 의 변 ( 27 b ) 의 사이 의 1 변 ( 27 c ) ( 상기 길 이 방향 ( Y 방향 ) 과 평행 하 게 연장 하 고 있 는 변 ) 에 는 , 대기 반 송실 ( 25 ) , 제 1 프로세스 챔버 ( 23 - 1 , 23 - 2 ) , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 등 의 유지 보수 를 실행 할 때 에 작업 원 이 승강 하 기 위한 사다리 ( 33 ) 를 가설 할 수 있 다 . 사다리 ( 33 ) 는 하측 의 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 상면 과 상측 의 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 변 ( 27 c ) 의 사이 에 가설 한다 . 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 상면 에 는 , 개폐 가능 한 커버 ( 34 ) 가 부착 된다 . 작 업원 이 사다리 에 올라 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 상면 에 오르 고 , 커버 ( 34 ) 를 열 고 , 제 1 트랜스퍼 챔버 ( 27 ) 의 내부 ( 제 1 진공 반송 로봇 등 ) 의 점검 이나 유지 보수 를 실행 할 수 있 다 .