여기 에서 마이크 로 드롭 핑 방법 에 의한 가스 감응 막 ( 213 ) 형성 만 을 예시 하 였 지만 이 방법 으로 만 한정 되 는 것 은 아니 다 . 전자 빔 기화 법 , 스퍼터링 , 펄스 레이저 빔 증착 법 등 을 이용 하 여 미리 만들 어 진 새 도우 마스크 ( shadow mask ) 를 기판 ( 201 ) 웨이퍼 의 상부 에 장착 한 후 가스 감응 막 ( 213 ) 을 증착 함 으로써 형성 할 수 도 있 다 . 이외 에 졸 겔 법 ( sol - gel ) , 화학 증착 법 ( CVD : chemical vapor deposition ) , 스프레이 코팅 법 ( spray coating ) , 침 적 법 ( dip coating ) , 스크린 프린팅 법 ( screen printing ) 등 의 방법 으로 형성 할 수 있 으며 , 박막 두께 도 원 하 는 마이크 로 가스 센서 소자 의 감도 대역 에 따라 그 범위 가 확장 될 수 있 다 .