복수 의 타 겟 ( 20 ) 각각 은 , 금속제 홀더 ( 22 a ) 에 의해 유지 되 어 있 다 . 홀더 ( 22 a ) 는 , 절연 부재 ( 22 b ) 를 통해 처리 용기 ( 12 ) 의 천부 ( 天部 ) 에 지지 되 어 있 다 . 복수 의 타 겟 ( 20 ) 에 는 , 홀더 ( 22 a ) 를 통해 전원 ( 24 ) 이 각각 접속 되 어 있 다 . 전원 ( 24 ) 은 , 음 의 직류 전압 을 복수 의 타 겟 ( 20 ) 에 각각 인가 한다 . 또한 , 전원 ( 24 ) 은 , 복수 의 타 겟 ( 20 ) 에 선택 적 으로 전압 을 인가 하 는 단일 전원 이 어도 좋 고 , 복수 의 타 겟 ( 20 ) 에 각각 접속 된 복수 전원 이 어도 좋 다 .