웨이퍼 ( W ) 표면 의 가공 상황 의 모니터 는 , 전해 가공 의 스캔 암 에 웨이퍼 ( W ) 표면 의 색 변화 를 식별 할 수 있 는 센서 를 부착 하 여 사용 함 으로써 달성 할 수 있 다 . 표면 의 막 의 색 변화 는 Cu 웨이퍼 ( W ) 의 경우 에 는 Cu 막 으로부터 Ta 막 으로 막 종이 바뀔 때 에 명료 하 게 막 의 색 의 변화 를 관찰 할 수 있 다 .