기판 ( W ) 에서 전하 가 제거 되 었 기 때문 에 기판 ( W ) 과 정전 퍽 ( 120 ) 간 의 정전기력 이 소멸 되 고 , 기판 ( W ) 을 정전 퍽 ( 120 ) 에서 분리 하 는 것 이 용이 하 게 수행 될 수 있 다 . 정전 퍽 ( 120 ) 에서 이격 된 기판 ( W ) 은 별도 의 이송 로봇 ( 미 도시 ) 에 의하 여 운반 될 수 있 다 .