이때 , 화학 적 기계 적 연마 ( CMP : Chemical Mechanical Polishing ) 공정 을 이용 하 여 제 1 금속 층 ( 51 ) 을 연마 할 수 있 다 . 화학 적 기계 적 연마 에 따르 면 , 제 1 금속 층 ( 51 ) 의 두께 조절 이 가능 하 다 . 이 에 따라 , 제 1 금속 층 ( 51 ) 의 두께 는 정밀 한 값 을 가질 수 있 다 .