접지 극 ( 310 ) 의 함몰 부 ( 361 ) 에 는 실링 바 ( 363 ) 가 착 탈 가능 하 게 삽입 되 어 함몰 부 ( 361 ) 를 부분 적 으로 밀폐 한다 . 이 에 따라 , 공급 되 는 가스 의 공급량 과 공급 위치 가 조절 되 어 , 가스 를 소량 으로 공급 하 면서 기판 을 처리 할 경우 에 도 이 가스 의 밀도 를 일정 하 게 유지 할 수 있 게 된다 .