펄스 성형 , 포 커싱 , 스티어링 , 및 / 또는 펄스 의 초점 파워 조정 을 위한 적절 한 빔 전달 시스템 ( 18 ) 이 , 그 전체 내용 이 본문 에 참조 에 의해 통합 된 , Attorney Docket 번호 2005 - 0081 - 01 , " "" 레이저 산출 플 라즈 마 EUV 광원 "" 이 라는 제하 의 ", 2006 년 2 월 21 일 출원 된 공동 계류 중 인 미국 특허 출원 번호 제 11 / 358 , 992 에 개시 된다 . 상기 에 개시 된 바 와 같이 , 하나 이상 의 빔 전달 시스템 광학 기기 는 챔버 ( 26 ) 와 유체 가 통해 있 다 . 펄스 성형 은 예 를 들 면 펄스 스 트레 처 및 / 또는 펄스 트리밍 을 이용 하 여 펄스 듀레이션 을 조정 하 는 것 을 포함 한다 .