먼저 도 2 a 를 참조 하 면 , 제 1 금속 층 ( 22 ) 상 에 제 1 절연 층 ( 24 ) 과 제 2 금속 층 ( 26 ) 을 순차 적 으로 형성 한다 . 제 1 금속 층 ( 22 ) 은 알루미늄 ( Al ) 을 도포 하 여 형성 한다 . 제 1 절연 층 ( 24 ) 으로 는 예컨대 질화 막 ( Nitride ) 을 사용 한다 . 제 2 금속 층 ( 26 ) 은 티타늄 / 티타늄 - 나이트 라이드 ( Ti / TiN ) 를 형성 한다 .