[ 0025 ] 프로세싱 시약 들 은 선택 적 으로 , 캐리어 가스 를 포함 할 수 있 다 . 캐리어 가스 는 에피 택 셜 프로세스 동안 의 프로세스 온도 및 / 또는 사용 되 는 전구체 ( 들 ) 에 기초 하 여 선택 될 수 있 다 . 적합 한 캐리어 가스 들 은 질소 , 수소 , 아르곤 , 헬륨 , 또는 에피 택 셜 프로세스 에 대하 여 불활성 인 다른 가스 들 을 포함 한다 . 질소 는 저온 ( 예컨대 , < 600 ℃) 프로세스 들 을 특징 으로 하 는 구현 들 에서 캐리어 가스 로서 활용 될 수 있 다 . 캐리어 가스 는 약 1 SLM ( standard liters per minute ) 내지 약 100 SLM , 이를테면 약 3 SLM 내지 약 30 SLM 의 유량 을 가질 수 있 다 .