가스 여과 시스템 ( 50 ) 은 적절 하 게 는 그 진공 펌프 격리 밸브 들 ( 51 ) 에서 차동 펌핑 시스템 ( 40 ) 의 진공 펌프 배출구 들 ( 41 ) 또는 추가 압축기 들 ( 도시 되 지 않 음 ) 에 연결 된다 . 가스 여과 시스템 ( 50 ) ( 도 10 ) 은 , " 진공 펌프 배출 가스 ( 41 ) 가 흐르 는 1 이상 의 압력 챔버 들 또는 "" 트랩 들 ""( 13 및 15 ) 을 포함 한다 . 트랩 들 은 적절 하 게 는 타 겟 챔버 또는 이온 소스 를 빠져 나갈 수 있 는 유체 불순물 들 을 포획 하 며 ", 이 는 예 를 들 어 대기 로부터 시스템 으로 새 어 들어갔 을 수 있 다 . 트랩 들 은 액체 질소 를 이용 하 여 극저온 으로 냉각 될 수 있 다 ( LN 트랩 들 : 15 ) . 이러 한 것 으로서 , 콜드 액체 트랩 ( cold liquid trap : 13 및 15 ) 은 적절 하 게 는 대기 오염물 과 같 은 가스 를 액화 하 고 트랩 들 ( 13 및 15 ) 내 에 남 게 한다 . 직렬 로 연결 된 1 이상 의 LN 트랩 들 ( 15 ) 에 걸쳐 흐른 이후 , 가스 는 적절 하 게 는 티타늄 게터 트랩 ( 13 ) 으로 보내 지며 , 이 는 타 겟 챔버 또는 이온 소스 를 빠져 나갈 수 있 고 , 아니 면 타 겟 챔버 를 오염 시킬 수 있 는 듀테륨 과 같 은 오염 수소 가스 들 을 흡수 한다 . 게터 트랩 ( 13 ) 의 유출 구 는 적절 하 게 는 가스 여과 시스템 ( 50 ) 의 타 겟 챔버 격리 밸브 ( 52 ) 를 통해 타 겟 챔버 ( 60 또는 70 ) 에 연결 된다 . 가스 가 시스템 으로 일정 하 게 흐르 고 , 진공 펌프 배출구 ( 41 ) 로부터 다른 진공 펌프 배출구 ( 도시 되 지 않 음 ) 및 시스템 외부 로 배출 되 기 원 하 는 경우 , 가스 여과 시스템 ( 50 ) 이 디바이스 ( 10 ) 로부터 완전히 제거 될 수 있 다 . 가스 여과 시스템 ( 50 ) 없 이도 , 장치 ( 10 ) 의 작동 은 실질 적 으로 변경 되 지 않 을 것 이 다 . 중성자 소스 로서 기능 하 는 장치 ( 10 ) 는 가스 여과 시스템 ( 50 ) 의 게터 트랩 ( 13 ) 을 포함 하 지 않 을 수 있 다 .