제 3 실시 예 에서 , 본 발명 은 위 의 임의 의 실시 예 들 에서 와 같 은 현미경 검사 방법 을 제공 하 고 , 상기 x 거리 및 y 거리 를 측정 하 는 단계 는 , 이미지 센서 의 하나 이상 의 타 겟 픽셀 들 과 중첩 하 도록 제 1 초점 피처 를 배치 하 는 단계 , 및 이후 동일 한 하나 이상 의 타 겟 픽셀 들 과 중첩 하 도록 제 2 초점 피처 를 배치 하 기 위해 표본 을 이동 시키 는 단계 를 포함 하 며 , x 거리 와 y 거리 를 측정 하 는 단계 는 상기 동일 한 하나 이상 의 타 겟 픽셀 들 과 중첩 하 도록 제 2 초점 피처 를 배치 하 기 위해 표본 을 이동 시키 는 단계 를 달성 하 는 데 필요 한 병진 스테이지 의 복수 의 x 및 y 이동 ( Δ X , Δ Y ) 이 다 .