제 1 세정액 유입 구 ( 132 ) 로 유입 된 세정액 은 제 1 세정액 유로 ( 134 ) 를 경유 하 여 제 1 세정액 유출 구 ( 136 ) 로 흘러간 뒤 , 이 제 1 세정액 유출 구 ( 136 ) 와 결합 되 어 있 는 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 의 상부 세정액 분배 관 ( 112 ) 으로 공급 되 고 , 다시 일련 의 상부 노즐 ( 111 ) 들 로 분배 된다 . 또 , 제 1 에어 유입 구 ( 131 ) 로 유입 된 에어 는 제 1 에어 유로 ( 133 ) 를 경유 하 여 제 1 에어 유출 구 ( 135 ) 를 통해 상부 노즐 모듈 ( 110 ) 의 상부 에어 분배 관 ( 113 ) 으로 공급 된 뒤 , 일련 의 상부 노즐 ( 111 ) 들 로 분배 된다 . 이렇게 상부 노즐 ( 111 ) 로 각각 분배 된 세정액 과 에어 는 상부 노즐 ( 111 ) 에서 서로 혼합 되 어 버블 상태 로 분사 됨 으로써 기판 ( S ) 의 상면 을 버블 제트 방식 으로 세정 하 게 된다 .