다음 으로 , 상술 한 노광 시스템 ( SS ) 의 주 노광 장치 ( EX 1 ) 및 종 노광 장치 ( EX 2 ) 에 의해 기판 이 노광 되 는 동작 을 설명 한다 . 투영 광학계 ( PL ) 를 통하 여 기판 ( P ) 상 에 노 광광 ( EL ) 이 조사 됨 으로써 , 예 를 들 어 도 19 에 나타내 는 바 와 같 은 노광 영역 ( AR ) 이 형성 된다 . 여기 서 , 주사 방향 ( X 축 방향 ) 에 관하 여 , 노광 영역 ( AR ) 에 대한 , 기판 ( P ) 을 지지 하 는 기판 스테이지 ( PST ) 의 상대 이동과 , 복수 의 조명 영역 에 대한 , 마스크 ( M ) 를 지지 하 는 마스크 스테이지 ( MST ) 의 상대 이동 을 동기 하 여 실시 함 으로써 , 마스크 ( M ) 및 투영 광학계 ( PL ) 를 통하 여 노 광광 ( EL ) 으로 기판 상 에 획정 된 각 화면 ( 쇼트 영역 ) 이 노광 된다 . 이어서 , 기판 ( P ) 상 의 다른 화면 이 노광 되 도록 기판 스테이지 ( PST ) 를 이동 시키 고 , 상기 와 동일 하 게 하 여 다른 화면 이 주사 노광 된다 . 이 동작 을 , 기판 ( P ) 에 획정 된 모든 화면 이 노광 될 때 까지 반복 한다 . 도 19 에 나타낸 레이아웃 에서 는 , 노광 장치 ( EX 1 , EX 2 ) 가 1 회 의 주사 노광 에 의해 2 개 의 화면 을 노광 할 수 있 기 때문 에 , 4 회 의 주사 노광 이 실시 되 고 , 도 20 에 나타낸 바 와 같 은 레이아웃 에서 는 6 회 의 주사 노광 이 실시 된다 .