또한 , 본 발명 은 도파관 을 이용 한 도파관 필터 의 제조 방법 으로서 , ( 1 ) 반도체 멤 스 ( MEMS ) 공정 으로 웨이퍼 를 식각 하 여 , 일면 이 평탄 하 고 소정 길이 를 갖 는 사각기둥 형태 로 형성 되 며 타 면 이 개구 되 어 있 는 제 1 몸 체부 를 형성 하 는 단계 ; 및 ( 2 ) 상기 제 1 몸 체부 의 개구 된 면 에 제 2 몸 체부 를 결합 하 여 고주파 가 전송 되 는 전송 공간 이 내부 에 형성 된 도파관 을 형성 하 는 단계 ; 를 포함 하 고 , 상기 제 ( 1 ) 단계 에서 , 웨이퍼 를 식각 할 때 상기 제 1 몸 체부 의 내측 면 에서 돌출 되 어 길 이 방향 으로 연장 되 는 리 지부 가 형성 되 는 것 을 특징 으로 하 는 도파관 필터 의 제조 방법 을 제공 한다 .