[ 0043 ] 가열기 ( 또는 페데 스탈 ( pedestal ) ) ( 314 ) 가 챔버 바디 ( 310 ) 의 프로세스 구역 ( 330 ) 에 배치 된다 . 가열기 ( 314 ) 는 중앙 샤프트 를 통해 챔버 어댑터 ( 316 ) 의 바닥 에 커플링 된다 . 가열기 ( 314 ) 는 , 프로세스 , 이를테면 , 박스 ( 104 ) 에 대하 여 위 에서 설명 된 기판 의 표면 의 세정 동안 , 기판 ( 308 ) 을 상부 에 지지 하 기 위한 기판 지지 표면 을 갖 는다 . 가열기 ( 314 ) 는 사파이어 콘 택 을 갖 는 베어 알루미늄 으로 제작 될 수 있 다 . 가열기 ( 314 ) 는 로딩 포지션 과 프로세싱 포지션 사이 에서 수직 으로 이동 하 도록 작동 된다 . 가열기 ( 314 ) 는 기판 ( 308 ) 에 온도 를 제공 함 으로써 프로세스 동안 기판 을 가열 또는 냉각 시키 기 위해 활용 될 수 있 다 . 일부 구현 들 에서 , 가열기 ( 314 ) 는 , 가열기 ( 314 ) 가 로딩 포지션 까지 아래 로 하강 될 때 , 기판 의 에지 로부터 기판 ( 308 ) 을 지지 하 고 들어올리 기 위한 링 - 형 기판 지지 부 ( 미 도시 ) 를 사용 할 수 있 다 . 프로세스 동안 , 가열기 ( 314 ) 는 프로세싱 포지션 까지 위 로 상승 되 는데 , 그 가열기 ( 314 ) 는 기판 ( 308 ) 을 픽업 ( pick up ) 하 고 , 기판 ( 308 ) 의 프로세싱 을 위한 원 하 는 높이 에서 가열기 ( 314 ) 의 기판 지지 표면 으로 기판 ( 308 ) 을 지지 한다 .