먼저 도 1 에 도시 한 바 와 같이 , 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 3 차원 구조 의 미세 전극 어레이 는 기판 ( 101 ) 을 구비 한다 . 상기 기판 ( 101 ) 은 생체 조직 내 에 이식 되 는 경우 주변 생체 조직 에 끼치 는 영향 을 최소 화 하 기 위해 유연 한 재질 즉 , 플렉서블 기판 으로 구성 되 는 것 이 바람직 하 다 . 상기 플렉서블 기판 은 PDMS ( Poly dimethyl siloxane ) , 폴리 카보 네이트 ( Poly carbonate ) , PMMA ( Poly methyl methacrylate ) , COC ( Cyclo olefin copolymer ) , 폴리 이미드 ( Polyimide ) , 파 릴 린 ( Parylene ) 중 어느 하나 로 구성 되 거나 이 들 의 조합 으로 이루어질 수 있 다 .