계측 스테이지 ( MST ) 는 , 도 1 에 도시 된 바 와 같이 , 도시 가 생략 된 리니어 모터 등 에 의해 XY 평면 내 에서 구동 되 는 스테이지 본체 ( 92 ) 와 , 스테이지 본체 ( 92 ) 상 에 탑재 된 계측 테이블 ( MTB ) 을 갖 고 있 다 . 계측 스테이지 ( MST ) 는 , 도시 가 생략 된 구동 계 에 의해 베이스 반 ( 12 ) 에 대하 여 적어도 3 자유 도 방향 ( X , Y , θ z ) 으로 구동 할 수 있 게 구성 되 어 있 다 .