이러 한 현상 을 방지 하 기 위해 열심히 연구 한 결과 , 본 발명 에 이르 렀다 . 즉 , 본 발명 에 의하 면 , 스 페이서 는 그 표면 에 탄소막 을 갖 고 , 이 탄소막 은 , X 선 광전자 분광법 에 의해 얻 은 스펙트럼 에 있 어서 , 284 . 5 eV 이하 의 영역 의 적분 면적 이 탄소 에 기인 하 는 적분 면적 의 27 % 이하 이 고 , 286 . 0 eV ~ 287 . 0 eV 의 영역 의 적분 면적 이 탄소 에 기인 하 는 적분 면적 의 18 % 이하 이 며 , 287 . 0 eV 이상 의 영역 의 적분 면적 이 탄소 에 기인 하 는 적분 면적 의 9 % 이상 인 것 을 특징 으로 한다 .