상기 웨이퍼 캐리어 는 바람직 하 게 , 비금속 내화 재료 , 바람직 하 게 탄화규소 와 같 은 세라믹 재료 로 이루어진 플레이트 를 포함 한다 . 상기 플레이트 는 , 대향 하 고 있 는 상류 표면 과 하류 표면 을 가지 고 있 으며 , 중앙 영역 과 주변 영역 을 가지 고 있 다 . 상기 플레이트 는 , 상기 주변 영역 에서 상기 플레이트 의 상기 상류 표면 에 복수 의 웨이퍼 를 노출 된 상태 로 유지 할 수 있 는 웨이퍼 유지 부 를 가지 고 있 다 . 본 발명 의 이러 한 특징 에 따른 웨이퍼 캐리어 는 또한 , 상기 중앙 영역 에서 상기 플레이트 에 부착 되 어 있 는 허브 를 포함 하 며 , 상기 허브 는 , 상기 플레이트 를 스핀들 과 기계식 으로 연결 하 도록 , 상기 CVD 반응 로 의 상기 스핀 들 과 맞물릴 수 있 는 스핀들 연결부 를 가지 고 있 다 . 상기 허브 의 상기 스핀들 연결부 는 바람직 하 게 상기 스핀들 과 제거 가능 하 게 맞물릴 수 있 다 . 상기 허브 는 적어도 부분 적 으로 , 상기 플레이트 의 재료 가 아닌 하나 이상 의 재료 로 형성 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 허브 는 금속 원소 를 포함 할 수 있 다 . 상기 허브 는 또한 , 상기 스핀들 연결부 를 형성 하 는 흑연 과 같 은 비교 적 연성 의 재료 로 형성 된 삽 입체 를 포함 할 수 있 다 . 다른 실시 예 에서 , 상기 플레이트 는 상기 중앙 영역 에 개구 를 포함 할 수 있 다 . 일실 시예 에서 , 상기 삽 입체 는 상기 개구 내 로 끼워 맞추 어 질 수 있 다 . 또한 , 바람직 하 게 탄화규소 로 형성 되 며 상기 중앙 영역 에서 상기 플레이트 의 상기 상류 표면 의 일부 위 에 놓여 있 는 캡 이 구비 될 수 있 다 . 또 다른 실시 예 에서 , 캡 은 상기 삽 입체 에 고정 될 수 있 다 . 예 를 들 면 , 상기 캡 과 상기 삽 입체 는 각각 , 서로 맞물리 도록 구성 된 나사산 을 포함 할 수 있 다 . 작 동시 에 , 상기 허브 는 상기 플레이트 에 잠재 적 으로 손상 을 주 는 집중 하중 을 부과 하 지 않 으면서 상기 플레이트 를 상기 스핀들 에 기계식 으로 연결 한다 . 바람직 하 게 , 상기 허브 는 상기 플레이트 에 제거 가능 하 게 부착 된다 .