본 발명 은 핀 트랜지스터 를 구현 하 기 위해 일부 두께 가 식각 된 SOG 절 연막 상 에 보호막 으로서 카본 폴리 막 을 형성 한 후 , 습식 식각 공정 을 진행 한다 . 이 와 같이 , 상기 SOG 절 연막 상 에 보호막 이 형성 된 상태 로 습식 세정 공정 을 진행 하 게 되 면 , 상기 보호막 이 식각 된 SOG 절 연막 부분 을 매립 하 고 있 으므로 , 후속 하 는 습식 식각 공정 에서 의 상기 SOG 절 연막 의 측면 소실 을 억제 할 수 있 게 된다 .