원래 의 수지 층 이 500 ㎚ ∼ 5 ㎛ 로 두꺼운 경우 , 구조 체의 열 안정 성 을 자외선 조사 에 의해 향상 시키 려면 , 수지 층 이 얇 은 경우 보다 자외선 의 조도 를 높이 거나 , 조사 시간 을 길 게 하 거나 할 필요 가 있 는데 , 이 로써 수지 가 분해 되 어 굴절 률 의 저하 , 막 두께 의 저하 , 유전율 의 상승 등 을 일으킬 가능 성 이 있 기 때문 에 바람직 하 지 않 다 . 또 , 조사 시간 을 길 게 하 는 것 은 스루풋 의 저하 에 도 연결 되 기 때문 에 바람직 하 지 않 다 .