즉 , 기판 ( 10 ) ( 지지 프레임 ) 의 틸팅 각도 가 일정 하 게 유지 된 상태 에서 모든 그립 퍼 ( 220 ) 에 의한 그립 을 동시 에 해제 ( OFF ) 하 면 , 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 100 ) 의 사이 에 존재 하 는 공기 또는 액상 유체 가 기판 ( 10 ) 과 스테이지 ( 100 ) 사이 에서 외측 으로 빠져 나갈 수 는 있 으나 , 기판 ( 10 ) 이 의도 한 로딩 위치 에서 밀려나 게 되 는 현상 이 발생 할 수 있 다 . 이 에 본 발명 은 , 복수 개 의 그립 퍼 ( 220 ) 에 의한 기판 ( 10 ) 의 그립 이 , 기판 ( 10 ) 의 일변 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 ( 10 ) 의 좌 측변 ) 을 마주 하 는 기판 ( 10 ) 의 다른 일변 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 ( 10 ) 의 우 측변 ) 을 향하 는 방향 을 따라 순차 적 으로 해제 ( OFF ) 되 도록 하 는 것 에 의하 여 , 기판 ( 10 ) 의 밀림 현상 없이 기판 ( 10 ) 을 정확 한 위치 에 로딩 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 . 특히 , 도 7 과 같이 , 복수 개 의 그립 퍼 ( 220 ) 중 일부 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 의 좌 측변 부위 를 그립 하 는 그립 퍼 ) 의 그립 이 해제 되 면 , 기판 ( 10 ) 의 일부 부위 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 의 좌 측변 부위 ) 가 스테이지 ( 100 ) 에 접촉 된 상태 에서 기판 ( 10 ) 의 나머지 부위 ( 예 를 들 어 , 도 7 기준 으로 기판 ( 10 ) 의 우측 변 부위 ) 는 그립 유닛 ( 200 ) 에 그립 된 상태 ( 고정 상태 ) 로 유지 되 기 때문 에 , 기판 ( 10 ) 이 스테이지 ( 100 ) 에 최초 접촉 할 시 기판 ( 10 ) 의 위치 가 틀 어 짐 을 억제 하 는 유리 한 효과 를 얻 을 수 있 다 .