니켈 산화물 과 같 은 전이 금속 을 에칭 하 기 위해 일산 화 탄소 플 라즈 마 를 사용 하 는 공정 을 더 상세히 고려 하 면 , 당업자 는 일산 화 탄소 를 에칭 제 로 사용 하 는 것 이 상술 한 바 와 같이 니켈 과 니켈 산화물 을 에칭 하 는 것 에 만 한정 되 지 않 음 을 이해 해야 한다 . 즉 , 이 공정 은 예 를 들 어 , 철 과 철 산화물 과 같 은 다른 전이 금속 들 및 다른 전이 금속 화합물 들 에 동일 하 게 잘 적용 될 수 있 다 . 이 에 관해 , 동일 한 방법 론 이 다른 전이 금속 , 이 들 의 산화물 또는 다른 관련 화합물 을 에칭 하 는 데 사용 될 수 있 다 . 요약 하 면 , 에칭 제로 일 산화 탄소 를 사용 하 는 중요 한 이 점 중 하나 는 이것 이 휘발 성 이 거나 비교 적 낮 은 비등점 을 갖 는 금속 카르보닐 을 형성 하 도록 대부분 의 전이 금속 과 반응 한다는 점 이 다 . 이 는 다시 상당히 더 낮 은 결함 레벨 을 낳 는다 . 이 는 본 발명 의 한 가지 중요 한 면 이 다 .