도 11 은 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 및 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 사시도 를 나타낸다 . 평면 다각형 으로 형성 되 는 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 의 로더 모듈 ( 22 ) 과 대향 하 는 1 변 ( 30 a ) 에 는 , 상하 에 2 개 의 게이트 밸브 ( 71 , 72 ) 를 거쳐서 상하 에 2 개 의 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 가 연결 된다 . 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 는 , 진공 배기 와 대기압 복귀 가 반복 해 실행 되 는 작 은 방 으로 이루어진다 . 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 에 는 , 진공 배기 하 기 위한 배기 장치 가 접속 됨 과 아울러 , 대기압 복귀 하 기 위한 질소 가스 또는 공기 의 퍼지 가스 공급계 가 접속 된다 . 압력 을 제어 하 기 위해서 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 내 의 압력 은 압력계 에 의해 측정 된다 . 진공 배기 와 대기압 복귀 를 용이 하 게 행할 수 있 도록 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 의 용적 은 필요 한 기능 을 충족 시키 면서 가능 한 한 작 게 설정 된다 . 도 12 에 도시 하 는 바 와 같이 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 대기 반 송실 ( 25 ) 은 게이트 밸브 ( 54 - 1 , 54 - 2 ) 를 거쳐서 연결 되 고 , 제 2 로드 록 챔버 ( 29 - 1 , 29 - 2 ) 와 제 2 트랜스퍼 챔버 ( 30 ) 는 게이트 밸브 ( 55 - 1 , 55 - 2 ) 를 거쳐서 연결 된다 .