이러 한 본 발명 의 마스크 척 ( 90 ) 은 다양 한 크기 의 마스크 ( 96 ) ( 97 ) ( 98 ) 들 이 안 착 될 수 있 도록 다단 의 안착 부 ( 92 ) 들 이 형성 되 므로 여러 크기 의 마스크 ( 96 ) ( 97 ) ( 98 ) 를 하나 의 마스크 척 ( 90 ) 에 진공 흡착 시킬 수 있 으며 , 이 에 따라 마스크 척 ( 90 ) 의 호환 성 이 향상 된다 .