압력 제어 링 ( 131 ) 은 하부 플라 즈 마 생 성 볼륨 ( 109 ) 으로부터 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 통한 챔버 ( 100 ) 의 내부 캐 버티 ( 100 D ) 내로 의 유체 플로우 , 즉 가스 들 의 플로우 를 스로틀 링 하 기 위해 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 향하 게 및 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 로부터 멀 어 지 게 이동 하 도록 정의 된다 . 일 실시 형태 에서 , 압력 제어 링 ( 131 ) 은 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 향하 게 및 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 로부터 멀 어 지 게 수직 방향 으로 이동 가능 한 수평 배향 된 환형 디스크 로서 정의 된다 . 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 에 대항 하 여 배치 될 경우 , 즉 , 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 가 내부 에 형성 되 어 진 아 우터 구조 부재 ( 106 ) 의 수평 배 향부 의 하부 면 에 대항 하 여 배치 될 경우 , 압력 제어 링 ( 131 ) 은 ( 내부 캐 버티 ( 100 D ) 측 에서 ) 슬롯 화 된 배출 채널 들 ( 129 ) 의 세트 를 커버 하 도록 정의 된다 .