자세 하 게 , 상기 제 1 실리콘 기판 ( 100 ) 의 중앙부 에 는 상기 센서 파트 ( 109 ) 가 형성 되 어 있 고 , 상기 센서 파트 ( 109 ) 로부터 그 외측 으로 , 제 2 트렌치 ( 103 ) 및 제 1 트렌치 ( 102 ) 가 각각 소정 간격 이격 되 어 형성 되 어 있 다 . 그리고 , 상기 제 1 실리콘 기판 ( 100 ) 에 는 , 상기 제 1 트렌치 ( 102 ) 및 제 2 트렌치 ( 103 ) 를 각각 매립 하 면서 제 1 실리콘 기판 ( 100 ) 상 에 돌출 되 어 형성 된 제 1 Cu 본딩 라인 ( 106 a ) 및 제 1 Cu 본딩 패드 ( 106 b ) 가 형성 되 어 있 다 .