그 다음 , 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 제 1 감광막 ( 350 ) 을 제거 한다 . 이때 , 앞서 서술 한 바 와 같이 , 하부 층간 절 연막 ( 110 ) 과 접촉 하 는 부분 을 포함 한 제 1 감광 막 ( 350 ) 의 하부 의 경도 가 상부 의 경도 에 비해 낮 으므로 제 1 감광막 ( 350 ) 을 제거 함 에 따라 제 1 감광막 ( 350 ) 위 에 존재 하 는 하부 트렌치 배리 어막 ( 160 ) 과 하부 트렌치 씨드 막 ( 170 ) 및 제 2 금속 박막 ( 180 ) 이 제거 된다 .