제 어부 ( 미 도시 ) 는 , 센서 모듈 ( 160 ) 들 로부터 출력 되 는 측정값 을 토대 로 스핀 베이스 ( 120 ) 의 평탄 도 를 측정 하 는 수단 으로서 , 접촉 센서 들 을 통해서 는 가이드 블록 ( 140 ) 과 커버 패널 ( 150 ) 의 수평 여부 를 확인 할 수 있 고 비 접촉 센서 들 을 통해서 는 공정 중 스핀 베이스 ( 120 ) 의 평탄 도 가 유지 되 는지 여부 를 지속 적 으로 확인 할 수 있 으며 , 이 를 통하 여 , 공정 중 스핀 베이스 ( 120 ) 가 평탄 화 를 가지 지 않 을 경우 작업 을 중단 하 여 불량 발생 을 최소 화 할 수 있 고 신속 한 평탄 화 제어 를 가능 하 게 할 수 있 다 .