절 연막 ( 103 c ) 으로서 는 예 를 들 어 산화 실리콘 막 , 산화 질화 실리콘 막 , 질화 산화 실리콘 막 , 산화 알루미늄 막 , 산화 하프늄 막 , 산화 이트륨 막 , 산화 지르코늄 막 , 산화 갈륨 막 , 산화 탄탈럼 막 , 산화 마그네슘 막 , 산화 란타넘 막 , 산화 세륨 막 , 및 산화 네오디뮴 막 중 1 종류 이상 을 포함 한 절연 층 을 사용 할 수 있 다 . 특히 , 절 연막 ( 103 c ) 으로서 산화 실리콘 막 또는 산화 질화 실리콘 막 을 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 .