처리 블록 ( 5 ) 내 에서 의 캐리어 블록 ( 4 ) 측 에 는 선반 유닛 ( U 10 ) 이 마련 되 어 있 다 . 선반 유닛 ( U 10 ) 은 , 상하 방향 으로 배열 되 는 복수 의 셀 로 구획 되 어 있 다 . 선반 유닛 ( U 10 ) 의 근방 에 는 승강 암 을 포함 하 는 반송 장치 ( A 7 ) 가 마련 되 어 있 다 . 반송 장치 ( A 7 ) 는 , 선반 유닛 ( U 10 ) 의 셀 끼리 의 사이 에서 웨이퍼 ( W ) 를 승강 시킨다 .