여기 서 , 상기 복수 개 의 가스 는 소스 가스 ( SG ) , 반응 가스 ( RG ) 및 퍼지 가스 ( PG ) 인 것 이 바람직 하 며 , 배기 라인 ( 141 , 142 ) 은 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 과 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 으로 구성 되 며 소스 가스 배기 라인 ( 141 ) 과 반응 가스 배기 라인 ( 142 ) 은 일정 간격 을 두 고 서로 마주 보 도록 형성 될 수 도 있 다 .