Ge 층 ( 120 ) 은 , 대기 분위기 하 , 질소 분위기 하 , 아르곤 분위기 하 , 또는 , 수소 분위기 하 에서 어닐링 되 어도 좋 다 . 특히 , 수소 를 함유 하 는 분위기 내 에서 Ge 층 ( 120 ) 을 어닐링 처리 함 으로써 , Ge 층 ( 120 ) 의 표면 상태 를 매끄러운 상태 로 유지 하 면서 , Ge 층 ( 120 ) 의 결정 결함 의 밀도 를 저감 할 수 있 다 .