이 들 광산 발생 제 의 배 합량 은 ( A ) 수지 100 질 량부 에 대해 1 ∼ 50 질량 부이 고 , 5 ∼ 30 질 량부 가 바람직 하 다 . ( C ) 감광제 로서 의 광산 발생 제 의 배 합량 이 1 질 량부 이상 이 면 감광성 수지 조성물 에 의한 패 터닝 성 이 양호 하 고 , 50 질량 부 이하 이 면 감광성 수지 조성물 의 경화 후 의 막 의 인장 신율 이 양호 하 고 , 또한 노광 부 의 현상 잔사 ( 스컴 ) 가 적 다 .