한편 , 본 출원인 이 마이크로파 의 파워 를 1800 w , 부 전자석 의 전류 는 140 A , 주 전자석 의 전류 는 190 A , 산소 를 33 sccm , 캐리어 가스 로서 아르곤 을 15 sccm 으로 하 고 TMT 를 4 sccm , C 3 F 6 기체 를 0 . 3 sccm 에 상당 한 량 을 유지 시킨 상태 에서 편광 필름 ( 8 ) 의 저면 에 투명 도전 막 ( 83 ) 을 증착 하 고 , 4 ppm 방식 으로 측정 한 결과 표면 저항 평균 463 ohm / sq 와 투명 도 42 % 를 나타내 었 다 .