특히 , 배선 층 ( 111 ) 은 크 게 배리 어 층 ( 109 ) , 금속 층 ( Al , 105 ) 및 반사 방지 층 ( 110 ) 의 적층 구조 로 형성 되 는데 , 여기 서 배리 어 층 ( 109 ) 은 TiN ( 102 ) , Ti ( 103 ) 및 TiN ( 104 ) 의 적층 구조 , 반사 방지 층 ( 110 ) 은 Ti ( 106 ) , TiN ( 107 ) 및 SiON ( 108 ) 의 적층 구조 일 수 있 다 . 한편 , 배리어 층 ( 109 ) 은 TiN ( 102 ) , Ti ( 103 ) 및 TiN ( 104 ) 의 적층 구조 외 에 Ti 또는 TiN 의 단독 층 또는 Ti 와 TiN 의 적층 구조 일 수 있 다 . 또한 , 반사 방지 층 ( 110 ) 은 Ti ( 106 ) , TiN ( 107 ) 및 SiON ( 108 ) 의 적층 구조 외 에 Ti , TiN 또는 SiON 중 에서 선택 된 어느 하나 의 단독 층 일 수 있 다 .