예 를 들 면 , 상기 실시 형태 의 구성 에 더 하 여 , 도 8 에 도시 하 는 바 와 같이 , 수납부 ( 73 ) 로부터 흡착 암 ( 71 ) 에 교환 용 블레이드 ( 61 ) 를 반송 하 는 도중 에 블레이드 반송 부 ( 72 ) 와 교환 용 블레이드 ( 61 ) 와 의 위치 결정 을 하 기 위한 위치 결정 부 ( 74 ) 를 구비 해도 좋 다 . 또한 , 도 8 에 도시 하 는 화살표 는 블레이드 반송 부 ( 72 ) 의 이동순 을 나타내 고 있 다 .