실리콘 질화 막 ( 76 ) 및 유전체 층 ( 64 ) 으로 덮혀 있 지 않 고 , 그 사이 에 위치 하 는 전극 층 WL 의 상면 및 하면 으로부터 , 막 두께 방향 의 중앙부 를 향하 여 산화 가 진행 된다 . 따라서 , 도 16 b 에 도시 된 바 와 같이 , 새부리 구조 ( bird ' s beak structure ) 를 갖 는 제 1 유전체 막 ( 실리콘 산화 막 ) ( 75 ) 이 전극 층 WL 에서 의 실리콘 질화 막 ( 76 ) 의 이측 ( backside ) ( 홀 ( 67 ) 에 접하 는 부분 의 반대 측 ) 에 형성 된다 .