상술 한 본 발명 에 따르 면 , 구리 시드 층 증착 장비 의 주기 적 유지 보수 관리 과정 이나 타 겟 교환 시 , 온도 보정 ( temperature calibration ) 에 소요 되 는 시간 을 감소 시킬 수 있 다 . 또한 , 주기 적 인 구리 시드 층 의 증착 온도 를 보다 용이 하 게 측정 할 수 있 다 . 이 에 따라 , 응집 현상 이 실질 적 으로 방지 되 어 보다 균일 하 게 증착 된 구리 시드 층 상 에 구리 층 을 전기 도금 등 으로 성장 시킬 수 있 다 .