상기 목적 을 달성 하 기 위해 본 발명 에 따른 프로브 구조물 제조 방법 은 기판 상 에 개구 를 형성 하 는 단계 , 상기 기판 의 상부 면 및 상기 개구 상 에 각각 제 1 및 제 2 시드 막 을 형성 하 는 단계 , 상기 기판 의 상부 면 일부 영역 에 노출 된 상기 제 1 시드 막 상 에 지지 부 를 형성 하 는 단계 , 상기 제 1 시드 막 용 배선 의 일부 영역 을 제거 하 는 단계 , 상기 제 2 시드 막 이 형성 된 상기 개구 를 매립 하 면서 수평 으로 연장 되 어 상기 지지 부 에 의해 지지 되 는 프로브 를 형성 하 는 단계 , 상기 프로브 에 연결부 를 접합 하 는 단계 ; 및 상기 프로브 를 상기 기판 으로부터 분리 하 는 단계 를 포함 한다 .