CAC - OS 는 예 를 들 어 , 기판 을 의도 적 으로 가열 하 지 않 는 조건 하 에서 스퍼터링 법 에 의하 여 형성 할 수 있 다 . 스퍼터링 법 에 의하 여 CAC - OS 를 형성 하 는 경우 , 퇴적 가스 로서 불활성 가스 ( 대표 적 으로 는 아르곤 ) , 산소 가스 , 및 질소 가스 에서 선택 된 하나 이상 을 사용 할 수 있 다 . 퇴적 시 의 퇴적 가스 의 총 유량 에 대한 산소 가스 의 유량 비 는 가능 한 한 낮 은 것 이 바람직 하 고 , 예 를 들 어 산소 가스 의 유량 비 는 0 % 이상 30 % 미만 인 것 이 바람직 하 고 , 0 % 이상 10 % 이하 인 것 이 더 바람직 하 다 .