도 5 에 도시 된 바 와 같이 , 휘어진 기판 ( W ) 이 건조 처리 실 ( 23 ) 내 에 진입 하 면 , 제 1 실시 형태 와 마찬가지 로 , 반송로 ( H 1 ) 를 따라 이동 하 고 , 그 기판 ( W ) 은 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 가압 되 어 , 하류 측 으로부터 서서히 평평 한 상태 로 되 어 가 며 , 그대로 평평 한 상태 에서 기체 공급 영역 을 통과 한다 . 이 평평 한 상태 의 기판 ( W ) 에 대해 건조 처리 가 행해진다 . 이 에 의해 , 기판 ( W ) 의 상면 및 하면 의 양면 에 건조 용 의 기체 를 균일 하 게 공급 하 는 것 이 가능 해 지 기 때문 에 , 기판 ( W ) 의 양면 을 균일 하 게 건조 시킬 수 있 다 . 따라서 , 기판 ( W ) 에 대한 건 조 처리 의 균일성 을 향상 시켜 , 기판 ( W ) 에서 의 건조 불 균일 의 발생 을 억제 하 는 것 이 가능 해 지 기 때문 에 , 기판 품질 을 향상 시킬 수 있 다 . 또한 , 휘어진 기판 ( W ) 은 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 서서히 ( 휘어짐 량 이 서서히 감소 하 도록 ) 가압 되 어 가 기 때문 에 , 휘어진 기판 ( W ) 을 각 가압 롤러 ( 31 B ) 에 의해 억지로 ( 휘어짐 량 이 급격히 감소 하 도록 ) 가압 하 여 기판 ( W ) 의 휘어짐 을 억제 하 는 경우 에 비해 , 기판 ( W ) 의 손상 을 억제 할 수 있 다 .