도 33 및 도 34 를 결합 하 여 참조 하 면 , 상기 제 1 전도성 홀 ( 311 ) ( 도 32 에 도시 된 바 와 같 음 ) 에 상기 제 1 전극 ( 320 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 제 1 전도성 플러그 ( 372 ) 를 형성 하 고 , 상기 제 2 전도성 홀 ( 331 ) ( 도 32 에 도시 된 바 와 같 음 ) 에 상기 제 2 전극 ( 340 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 제 2 전도성 플러그 ( 371 ) 를 형성 하 며 , 상기 제 2 서브 전도성 홀 ( 332 ) ( 도 32 에 도시 된 바 와 같 음 ) 및 제 1 서브 전도성 홀 ( 352 ) ( 도 27 에 도시 된 바 와 같 음 ) 에 상기 연결 단 ( 365 ) 에 전기 적 으로 연결 되 는 제 3 전도성 플러그 ( 373 ) 를 형성 한다 .