예 를 들 어 , 기판 얼라 이너 에 의한 기판 ( WA ) 의 정렬 과정 을 설명 하 면 다음 과 같 다 . 먼저 , 이송 로봇 에 의해 기판 ( WA ) 을 베이스 ( 604 ) 로 이송 한다 . 이송 로봇 에 의해 기판 ( WA ) 이 베이스 ( 604 ) 상 에 안착 되 면 , 기판 클램프 ( 606 ) 는 기판 ( WA ) 을 접촉 지지 할 수 있 다 . 기판 클램프 ( 606 ) 에 의해 기판 ( WA ) 이 고정 되 면 , 기판 정렬 장치 는 기판 ( WA ) 의 결정 방위 를 검출 하 고 , 검출 된 결정 방위 가 미리 설정 된 방향 을 향하 도록 기판 척 ( 606 , 606 ) 을 회전 시킬 수 있 다 . 기판 ( WA ) 에 대한 정렬 이 완료 되 면 , 기판 클램프 ( 606 ) 는 기판 ( WA ) 에 대한 고정 을 해제 할 수 있 다 .