처리 가스 공급 부 ( 80 ) 는 , 챔버 ( 10 ) 밖 에 배치 된 처리 가스 공급원 ( 82 ) 과 , 유전체 창 ( 52 ) 보다 약간 낮 은 위치 에서 챔버 ( 10 ) 의 측벽 내 에 환형 으로 형성 된 매니폴드 또는 버퍼 실 ( 84 ) 과 , 원주 방향 으로 등 간격 으로 형성 되 어 버퍼 실 ( 84 ) 로부터 플라 즈 마 생 성 공간 에 면하 는 다수 의 측벽 가스 토출 구멍 ( 86 ) 과 , 처리 가스 공급원 ( 82 ) 으로부터 버퍼 실 ( 84 ) 까지 뻗 는 가스 공급 관 ( 88 ) 을 갖 고 있 다 . 가스 공급 관 ( 86 ) 도중 에 는 MFC ( 매스 플로우 컨트롤러 ) ( 90 ) 및 개폐 밸브 ( 92 ) 가 설치 되 어 있 다 .