한편 , 도 4 에 도시 한 바 와 같이 , 플라스마 조정 부재 ( 70 ) 를 마련 한 경우 , 웨이퍼 ( W ) 의 외주 부 의 에 칭양 이 웨이퍼 ( W ) 의 중앙부 와 동등 하 였 다 . 또한 , 상술 한 예의 플라스마 조정 부재 ( 70 ) 를 마련 한 경우 , 에 칭양 의 웨이퍼 면내 불 균일성 ( NU ) 은 8 . 7 ％ 로 , 플라스마 조정 부재 ( 70 ) 를 마련 하 지 않 는 경우 에 비해서 향상 되 어 있 었 다 .