본 실시 예 에 따른 반도체 소자 의 불량 검출 시스템 은 그것 의 계측 장치 내 에 도브 프리즘 을 갖 는 사 냑 간섭계 를 설치 한다 . 이 에 따라 , 측정 대상물 로부터 반사 되 는 광 의 회전 및 간섭 으로 얻 어 진 간섭 광 의 계측 이미지 로부터 측정 대상물 심층부 의 다양 한 불량 을 검출 해낼 수 있 다 . 이 에 따라 , 반사광 을 다양 한 각도 로 회전 시키 기 위한 복수 의 회전 광학 소자 및 광 의 편광 위상 정보 를 추출 하 기 위한 연산 블록 이 요구 되 지 않 으므로 , 제조 비용 을 감소 시킬 수 있 다 .