이 에프 이 엠 ( 20 ) 은 수납 부재 ( C ) 와 로드 락 챔버 ( 30 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 . 이 에프 이 엠 ( 20 ) 은 적어도 하나 의 기판 이송 장치 ( 22 ) 를 구비 한다 . 기판 이송 장치 ( 22 ) 는 로드 포트 ( 10 ) 에 안착 된 수납 부재 ( C ) 와 로드 락 챔버 ( 30 ) 상호 간 에 기판 ( W ) 을 이송 한다 .