노광 장치 ( 200 ) 는 , 도 10 에 나타나 있 는 바 와 같이 , 조명 부 ( 210 ) 와 , 레티 클 ( 220 ) 을 탑재 하 는 레티 클 스테이지 ( 225 ) 와 , 투영 광학계 ( 100 ) 와 , 웨이퍼 ( 240 ) 를 탑재 하 는 웨이퍼 스테이지 ( 245 ) 와 , 측 거부 ( 250 ) 와 , 스테이지 제 어부 ( 260 ) 를 포함 한다 . 또한 , 노광 장치 ( 200 ) 는 , 액체 공급 부 ( 270 ) 와 , 액침 제 어부 ( 280 ) 와 , 액체 회수 부 ( 290 ) 와 , 노즐 유닛 ( NU ) 도 포함 한다 .