라인 부 ( b ) 의 평면 모습 은 소정 의 폭 을 가지 면서 가로 방향 및 세로 방향 으로 길 게 연장 된다 . 이 에 따라서 , 층간 절 연막 ( 15 ) 은 격자 모양 으로 구획 된다 . 라인 부 ( b ) 의 패턴 에 의해서 구획 된 곳 으로 는 패턴 부 ( a ) 가 바둑판 모양 으로 조밀 하 게 형성 된다 . 도면 에서 는 패턴 부 ( a ) 가 6 × 6 행렬 을 이루 는 비아 ( 151 ) 의 그룹 으로 예시 하 였 다 .