또한 , 반송 개구부 ( 66 ) 의 선단 에 도 열처리 공간 ( 65 ) 내 의 기체 를 배출 하 는 가스 배기관 ( 191 ) 이 접속 되 어 있 다 . 가스 배기관 ( 191 ) 은 밸브 ( 192 ) 를 통해 배기 부 ( 190 ) 에 접속 되 어 있 다 . 밸브 ( 192 ) 를 개방 함 으로써 , 반송 개구부 ( 66 ) 를 통해 챔버 ( 6 ) 내 의 기체 가 배기 된다 .