웨이퍼 반송 장치 ( 15 ) 는 , 도 5 및 도 7 에 도시 하 는 바 와 같이 , 안내 레일 ( 14 ) 을 따라 좌우 이동 가능 한 좌우 이동 가동 대 ( 18 ) 가 장비 되 어 있 다 . 이 좌우 이동 가동 대 ( 18 ) 에 구비 된 안내 레일 ( 19 ) 을 따라 전후 이동 가능 하 게 전후 이동 가동 대 ( 20 ) 가 장비 되 어 있 다 . 또한 , 이 전후 이동 가 동대 ( 20 ) 의 하부 에 웨이퍼 ( W ) 를 보유 지지 하 는 보유 지지 유닛 ( 21 ) 이 상하 이동 가능 하 게 장비 되 어 있 다 .