또한 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 의 하부 에 설치 된 배기 덕트 ( 67 ) 에 는 , 스무 딩 처리 블록 ( 50 ) 내 의 용제 분위기 를 포집 ( 捕 集 ) 하 는 케미컬 필터 ( 68 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 케미컬 필터 ( 68 ) 의 하류 측 에 는 , 가스 누설 검지 센서 ( 69 ) 가 배치 되 어 있 다 . 이 가스 누설 검지 센서 ( 69 ) 는 컨트롤러 ( 100 ) 와 전기 적 으로 접속 되 어 있 으며 , 가스 누설 검지 센서 ( 69 ) 의 검출 신호 가 컨트롤러 ( 100 ) 에 전달 되 고 , 컨트롤러 ( 100 ) 에 의해 예컨대 알람 이나 모니터 등 의 표시 수단 ( 90 ) 에 검출 정보 가 표시 되 도록 되 어 있 다 . 예컨대 , 가스 누설 검지 센서 ( 69 ) 에 의해 용제 분위기 의 누설 을 검지 한 경우 에 는 , 컨트롤러 ( 100 ) 로부터 의 제어 신호 에 기초 하 여 표시 수단 ( 90 ) 으로부터 알람 이 발생 하 도록 되 어 있 다 .