예 를 들 면 , 수 ㎛ 의 막 두께 를 갖 는 비정질 실리콘 층 이 형성 된 기판 ( 155 ) 을 준비 한다 . 비정질 실리콘 층 은 화학 기상 및 물리 기상 법 으로 형성 가능 하 며 유기 용 매 를 이용 한 방법 등 증착 법 의 제한 은 없 다 . 기판 의 종류 는 특별히 한정 되 지 않 고 , 플라스틱 , 유리 기판 , 필요 에 따라서 는 실리콘 기판 이나 , 투명 한 재질 의 석영 , 사파이어 기판 등 도 사용 가능 하 다 . 다만 , 본 실시 예 는 기판 에 열 적 변형 을 최소 화 하 는 특징 적 효과 를 가지 고 있 으므로 이 를 효과 적 으로 이용 하 기 위해서 는 플라스틱 기판 등 저온 공정 이 필요 한 기판 이 바람직 하 다 .