이하 에서 는 도 3 내지 도 8 을 참조 하 여 에어 베어링 ( 15 ) 에 대해서 상세 하 게 설명 한다 . 참고 적 으로 , 도 3 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 에어 베어링 ( 15 ) 의 평면도 이 고 , 도 4 는 도 3 의 에어 베어링 ( 15 ) 에서 멤 브레인 ( 513 ) 쪽 을 보여 주 는 평면도 이 다 . 그리고 도 5 는 도 3 의 에어 베어링 ( 15 ) 에서 Ⅰ - Ⅰ 선 에 따른 단면도 이 고 , 도 6 은 도 5 에서 ' A ' 부분 을 확대 하 여 보여 주 는 도면 이 고 , 도 7 은 도 5 에서 ' B ' 부분 을 확대 하 여 보여 주 는 도면 이 고 , 도 8 은 본 발명 의 일 실시 예 에 따른 분배 플레이트 ( 517 ) 를 설명 하 기 위해서 압력 챔버 ( 510 ) 를 확대 하 여 보여 주 는 도면 이 다 .