구성 단위 ( a 4 ) 에 있 어서 의 「 산 비 해리성 고리 형기 」 는 , 노광 에 의해 당해 레지스 트 조성물 중 에 산 이 발생 했 을 때 ( 예 를 들 어 , 노광 에 의해 산 을 발생 하 는 구성 단위 또는 ( B ) 성분 으로부터 산 이 발생 했 을 때 ) , 그 산 이 작용 해도 해리 되 는 일 없이 그대로 당해 구성 단위 중 에 남 는 고리 형기 이 다 .