일부 실시 예 들 에서 , 상기 2 개 또는 그 초과 의 전극 ( 406 , 408 ) 들 의 정상 에 제 2 유전체 층 ( 410 ) 이 배치 될 수 있 다 . 제 2 유전체 층 ( 410 ) 은 디스크 ( 202 ) 에 대해 기계 적 인 지지 를 제공 하 고 열 전달 이 용이 하 도록 높 은 열 전도 성 을 제공 하 기 적합 한 임의 의 유전체 물질 일 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 유전체 층 ( 410 ) 은 제 1 유전체 층 ( 402 ) 과 동일 한 물질 을 포함 할 수 있 거나 , 일부 실시 예 들 에서 , 그 와 상이 한 물질 을 포함 할 수 있 다 . 예컨대 , 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 유전체 층 ( 410 ) 은 붕소 질화물 ( BN ) 을 포함 할 수 있 거나 , 일부 실시 예 들 에서 , 열분해 붕소 질화물 ( PBN ) 을 포함 할 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 제 2 유전체 층 ( 410 ) 은 희망 하 는 두께 로 컨 포 멀 층 을 제공 하 기 에 적합 한 임의 의 수단 에 의해 형성 될 수 있 다 . 예컨대 , 제 2 유전체 층 ( 410 ) 은 화학 기상 증착 처리 와 같 은 증착 처리 를 통해 약 0 . 02 내지 약 0 . 30 ㎜ 의 두께 로 형성 될 수 있 다 . 일부 실시 예 들 에서 , 유전체 층 ( 410 ) 의 두께 는 쿨롬 정전 척 또는 존슨 - 리 벡 정전 척 으로서 의도 된 용도 에 기초 하 여 선택 될 수 있 다 . 예컨대 , 쿨롬 정전 척이 요구 되 는 일부 실시 예 들 에서 , 유전체 층 ( 410 ) 의 두께 는 세라믹 물질 들 에 대해 약 0 . 050 내지 약 0 . 300 ㎜ 일 수 있 거나 , 폴리 이미드 물질 들 에 대해 약 0 . 005 내지 약 0 . 003 인치 ( 약 0 . 0127 내지 약 0 . 0762 ㎜) 일 수 있 다 . 존슨 - 리 벡 정전 척이 요구 되 는 일부 실시 예 들 에서 , 유전체 층 ( 410 ) 의 두께 는 세라믹 물질 들 에 대해 최대 약 1 ㎜ 일 수 있 다 .