하지만 , 상기 팬 어셈블리 ( 320 ) 의 동작 에 의해 발생 된 공기 흡입력 으로 인해 상기 챔버 ( 100 ) 내부 의 공간 상 을 부유 하 던 분진 혹은 , 미세 부스러기 등 의 이 물질 은 상기 흡입 덕트 ( 310 ) 로 흡입 되 어 배출 됨 으로써 , 상기 한 미세 이물질 로 인한 인쇄 회로 기판 의 재 오염 은 방지 된다 . 이때 , 상기 공기 흡입력 에 의해 상기 흡입 덕 트 ( 310 ) 로 유동 되 는 이 물질 중 부피 가 큰 이 물질 은 상기 흡입 덕트 ( 310 ) 의 공기 흡입 측 에 설치 된 걸 름망 ( 311 ) 에 의해 걸러 짐 으로써 팬 어셈블리 ( 320 ) 의 손상 은 방지 된다 .