도 4 는 , 본 발명 의 구 현예 에 따른 한 사이클 에서 PEALD 의 개략 적 인 공정 시퀀스 를 나타내 며 , 회색 의 셀 은 온 상태 를 표시 하 고 , 반면 흰색 의 셀 은 오프 상태 를 표시 하나 , 각 컬럼 의 폭 이 각 공정 의 지속 시간 을 표시 하 는 것 은 아니 다 . 도 4 에 도시 된 시퀀스 에서 , " 전구체 는 연속 적 으로 공급 되 는 캐리어 가스 및 희석 가스 ( 집합 적 으로 는 "" 불활성 가스 "" 로 지칭 ) 를 사용 하 여 펄스 ( "" 피드 ( Feed ) ) 로 공급 된다 . 이 는 도 2 의 공정 시퀀스 와 관련 하 여 전술 한 바 와 같이 유동 - 통과 시스템 ( FPS ) 을 사용 하 여 이루어질 수 있 다 . "