종래 의 첩부 장치 에서 는 , 점착 테이프 ( DT ) 가 평탄 한 상태 에서 차압 Fc 를 발생 시켜 , 점착 테이프 ( DT ) 를 웨이퍼 ( W ) 에 첩부 한다 . 이 경우 , 도 24 의 ( a ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 웨이퍼 ( W ) 의 중앙부 ( M 1 ) 에 점착 테이프 ( DT ) 가 첩부 된다 . 그리고 도 24 의 ( b ) 에 도시 하 는 바 와 같이 , 요입 만곡 되 면서 웨이퍼 ( W ) 의 중앙부 ( M 1 ) 로부터 외주 를 향해 방사상 으로 첩부 되 어 가 서 , 마지막 으로 환상 볼록 부 ( Ka ) 의 내측 구 석부 ( Kf ) 에 점착 테이프 ( DT ) 가 첩부 된다 .