도 36 은 샘플 전달 시스템 과 데이터 기록 디바이스 와 의 통합 을 위해 패 키 징 되 고 준비 된 본 발명 에 따른 장치 의 또 다른 예 를 도시 하고 있 다 . 도 36 ( a ) 에 도시 된 마이크 로 - 디바이스 ( 3600 ) 는 , " "" 질병 검출 을 위한 장치 ( Apparatus for Disease Detection ) "" 라는 제목 의 국제 출원 번호 제 PCT / US 2011 / 042637 호 에 개시 된 바 와 같 은 하나 이상 의 마이크 로 - 전자 공정 에 의해 제조 된다 . 마이크 로 - 디바이스 ( 3600 ) 는 적어도 마이크 로 - 트렌치 ( 3604 ) ", 프로브 ( 3603 ) , 연결부 ( 3602 ) 및 본딩 패드 ( 3605 ) 를 구비 한다 . 마이크 로 - 디바이스 ( 3600 ) 의 상부 에서 , 표면층 은 SixOyNz , Si , SixOy , SixNy 또는 원소 Si , O , 및 N 을 함유 하 는 화합물 을 포함 한다 . 표면층 은 커버 될 수 있 고 , 따라서 , 마이크 로 - 디바이스 ( 3600 ) 에 는 평평 한 유리 패널 ( 3601 ) 이 장착 된다 ( 도 36 ( b ) 참조 ) . 장착 은 화학 적 , 열적 , 물리 적 , 광학 적 , 음향 적 또는 전기 적 수단 에 의한 것 일 수 있 다 . 도 36 ( c ) 에 도시 된 바 와 같이 , 패드 의 측면 으로부터 본딩 패드 에 도전 성 와이어 가 결합 된다 . 도 36 ( d ) 는 마이크 로 - 디바이스 ( 3600 ) 가 도전 성 와이어 만 이 노출 된 채 튜브 내 에 패 키 징 될 수 있 음 을 도시 하고 있 다 . 포장 큐브 는 플라스틱 , 세라믹 , 금속 , 유리 또는 석영 과 같 은 포장재 를 포함 할 수 있 다 . 도 36 ( e ) 에 도시 된 바 와 같이 , 이후 , 큐브 내 에 터널 ( 3641 ) 이 천공 되 는데 , 이 터널 은 연결부 ( 3602 ) 에 도달 할 때 까지 천공 된다 . 또한 , 도 36 ( f ) 에 도시 된 바 와 같이 , 터널 ( 3641 ) 은 , 검사 할 샘플 을 마이크 로 - 디바이스 ( 3600 ) 내 에 전달 하 고 샘플 이 검사 된 후 에 샘플 을 배출 할 수 있 는 다른 파이프 에 연결 된다 .