데이터 기 저층 ( 141 b ) 은 게이트 기저 층 ( 131 b ) 과 유사 하 게 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 의 부착력 과 같 은 성막 성 을 돕 거나 , 하부 의 층간 절 연막 ( 163 ) 으로부터 반응 성 물질 이 데이터 메인 금속 층 ( 141 a ) 으로 진입 하 는 것 을 방지 하 는 역할 을 할 수 있 다 . 데이터 기 저층 ( 141 b ) 은 티탄 ( Ti ) , 탄 탈륨 ( Ta ) , 칼슘 ( Ca ) , 크롬 ( Cr ) , 마그네슘 ( Mg ) , 니켈 ( Ni ) 등 의 물질 을 포함 할 수 있 지만 , 이 에 제한 되 는 것 은 아니 다 .