특징 부 사이즈 가 65 nm 노드 이하 로 저하 함 에 따라 정확 한 처리 및 / 또는 측정 데이터 가 점점 중요 해 지 고 획득 하 기 에 더욱 어려워 지 고 있 다 . S - D 프로시저 는 이 들 초 소형 특징 부를 정확 하 게 처리 및 / 또는 측정 하 는 데 이용 될 수 있 다 . S - D 데이터 는 경고 및 / 또는 제 어 한계 에 비교 될 수 있 으며 , 실행 규칙 ( run - rule ) 위반 시 처리 문제 를 지적 하 는 경보 가 발생 할 수 있 다 .