- 스텝 모드 에서 , 패 터닝 디바이스 테이블 ( MT ) 은 기본 적 으로 정지 상태 로 유지 되 며 , 전체 패 터닝 디바이스 이미지 가 한 번 에 [ 즉 , " 단일 "" 플래시 ( flash ) "" 로 ] 타 겟 부 ( C ) 상 으로 투영 된다 . 그 후 ", 상이 한 타 겟 부 ( C ) 가 빔 ( B ) 에 의해 조사 될 수 있 도록 기판 테이블 ( WT ) 이 x 및 / 또는 y 방향 으로 시프트 된다 .