도 4 및 도 5 를 참조 하 면 , 실시 예 1 및 2 의 Ta 1 - xMnxOy 박막 들 에서 는 상 분리 가 발생 하 지 않 고 비정질 상태 임 을 확인 할 수 있 으나 , 비 교예 1 의 Ta 1 - xMnxOy 박막 에서 는 Mn 층 과 Ta 층 의 상 분리 가 발생 하 였 고 비정질 상태 가 아닌 결정질 상태 로 존재 함 을 확인 할 수 있 다 . 따라서 , Ta 1 - xMnxOy 박막 의 두께 는 8 nm 미만 , 바람직 하 게 는 5 nm 이하 , 보다 바람직 하 게 는 3 nm 이하 인 것 이 바람직 하 다 .