바람직 하 게 , 상기 알루미나 박막 을 형성 하 는 단계 에서 는 원자 층 증착 법 을 이용 한다 . 상기 원자 층 증착 법 을 이용 하 여 상기 알루미나 박막 을 증착 하 는 경우 , 100 ℃ 미만 의 온도 에서 증착 한다 . 상기 알루미나 박막 은 트리 메 칠 알루미늄 ( TMA ) 을 전구체 로 사용 하 여 상기 원자 증착 법 으로 형성 된다 . 상기 알루미나 박막 은 100 nm 이하 의 두께 로 형성 된다 . 상기 알루미나 박막 을 패 터닝 하 는 단계 는 염기 성 용액 을 사용 하 여 상기 화소 전극 상 에 형성 된 상기 알루미나 박막 을 식각 하 여 형성 한다 .