그리고 상기 상 , 하부 챔버 ( 10 , 12 ) 의 내 측벽 과 상 , 하부 전극 ( 14 , 16 ) 과 의 이격 공간 에 구비 되 어 공정 수행 중 또는 공정 이 수행 된 후 상 , 하부 챔버 ( 10 , 12 ) 내 의 미 반응 가스 및 공정 중 에 발생 한 폴리머 등 을 상 , 하부 챔버 ( 10 , 12 ) 외부 로 배기 시키 도록 상기 상 , 하부 챔버 ( 10 , 12 ) 천장 과 바닥 의 배기구 ( 도면 에 미 도시 ) 에 마련 되 는 배기 유닛 ( 도면 에 미 도시 ) 과 의 통로 역할 을 하 며 , 1 차 적 으로 블럭 킹 ( blocking ) 된 후 상 , 하부 챔버 ( 10 , 12 ) 상부 면 및 하부 면 모서리 에 각각 형성 된 배기구 를 통해 배출 되 는 배 플 ( Baffle : 20 a , 20 b ) 이 마련 된다 . 여기 서 , 상기 배 플 ( 20 a , 20 b ) 은 적정 간격 으로 배열 되 는 슬릿 ( Slit : 도면 에 미 도시 ) 이 다 수개 형성 된다 .