임의 의 적절 한 형태 의 배 플 링 또는 내부 플레 넘 ( 들 ) 이 요구 에 따라 또는 필요 에 따라 격실 들 의 부분 들 을 구별 하 는 데 이용 될 수 있 다는 것 이 이해 될 것 이 다 . 적어도 하나 의 배 플 을 포함 하 는 배 플 링 은 격실 을 개별 섹션 들 로 분할 하 도록 배열 될 수 있 다 . 개별 펌핑 은 개별 섹션 들 각각 과 관련 된다 . 예 를 들 어 , 도 6 - 8 의 실시 예 에서 , 풀 펌프 격실 은 4 개 의 개별 섹션 들 로 분할 되 며 이 들 각각 은 자체 펌핑 장치 ( arrangement ) 를 가질 수 있 다 . 도시 된 바 와 같이 , 2 개 의 섹션 들 은 인접 한 격실 들 로부터 의 프로세스 가스 펌핑 에 이용 되 며 2 개 의 섹션 들 은 가스 격리 를 위한 통로 또는 컨덕턴스 슬롯 들 로부터 의 가스 펌핑 에 이용 된다 . 2 개 의 가스 격리 섹션 들 중 하나 는 전체 3 개 중 2 개 의 컨덕턴스 슬롯 들 의 세트 와 관련 되 거나 또는 사이 에 상주 할 수 있 고 다른 하나 는 전체 3 개 중 2 개 의 컨덕턴스 슬롯 들 의 또 다른 세트 와 관련 되 거나 또는 사이 에 상주 할 수 있 다 . 3 개 의 컨덕턴스 슬롯 들 의 길이 는 유사 하 거나 또는 상이 할 수 있 다 . 배 플 링 은 코팅 기 의 측면 또는 상부 중 하나 , 또는 일반 적 으 로 펌핑 이 발생 하 는 코팅 기 의 임의 의 다른 적절 한 부분 과 가스 격리 섹션 또는 스테이지 를 연관 시키 는 데 이용 될 수 있 다 . 배 플 링 은 또 다른 프로세스 펌핑 섹션 스테이지 , 및 / 또는 가스 격리 섹션 또는 스테이지 로부터 프로세스 펌핑 섹션 또는 스테이지 를 분리 시키 기 위해 이용 될 수 있 다 . 배 플 링 은 섹션 또는 스테이지 들 사이 에서 의 혼선 또는 교차 오염 을 감소 또는 최소 화 시키 기 위해 하나 의 섹션 또는 스테이지 를 또 다른 섹션 또는 스테이지 로부터 보다 또는 덜 격리 또는 밀봉 하 는 데 이용 될 수 있 다 . 섹션 또는 스테이지 와 연관 된 배 플 링 은 섹션 또는 스테이지 와 연관 된 펌프 에 대한 개구 의 교차 면적 의 단지 약 5 % 이 하만 이 가스 누설 또는 혼선 을 허용 하 게 한다 . 예 를 들 어 , 펌프 스테이지 또는 가스 격리 스테이지 와 연관 된 펌프 슬롯 들 이 600 평방 인치 ( square inches ) 의 전체 단면적 을 을 갖 는 경우 , 스테이지 와 관련 된 배 플 링 의 갭 들 또는 개구 들 은 약 30 평방 인치 이하 의 전체 단면적 을 가져야 한다 .