또한 , 이미 설명 한 바 와 같이 , 웨이퍼 ( WH ) 에 대한 코어 ( 136 ) 의 입사각 ( 172 ) 과 탈 출각 ( 180 ) 이 동일 해 지 도록 연마 테이블 ( 100 ) 에 코어 ( 136 ) 를 설치 할 필요 가 있 다 . 입사각 ( 172 ) 과 탈 출각 ( 180 ) 의 정의 는 , 도 6 의 경우 와 마찬가지 이 다 . 도 6 과 도 7 을 대비 하 면 명백 한 바 와 같이 , 반경 방향 ( 164 ) 에 직교 하 는 방향 ( 제 2 방향 ( 148 ) ) 으로 센서 형상 이 짧 아 지 면 , 센서 가 웨이퍼 ( WH ) 내 로 완전히 들어갈 때 까지 의 거리 와 , 센서 가 웨이퍼 ( WH ) 로부터 완전히 나올 때 까지 의 거리 는 , 즉 , 에지 영역 ( 158 ) 의 길이 는 짧아진다 .