이후 포크 ( 20 ) 가 도 5 b 에 도시 된 바 와 같이 로드 락 챔버 ( 100 ) 외부 로 반출 되 면 ( 도 7 c ) , 기판 ( 10 ) 은 엔드 이펙터 ( 132 ) 에 의하 여 로드 락 챔버 ( 100 ) 내부 에 지지 된다 . 이후 도 5 c 및 도 7 d 에 도시 된 바 와 같이 엔드 이펙터 ( 132 ) 가 그루브 ( 131 ) 의 바닥 까지 하강 하 면 엔드 이펙터 ( 132 ) 의 상단 이 지지 트레이 ( 130 ) 의 표면 밑 으로 하강 하 게 되 고 , 이 에 따라 기판 ( 10 ) 은 지지 트레이 ( 130 ) 의 상부 에 안착 된다 .