도 5 를 참조 하 면 , 큐어 링 공정 은 큐어 링 가스 로 H 2 O , O 2 , NH 3 , N 2 O , NO , N 2 , Ar , He 를 사용 하 여 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . H 2 O 가스 는 습식 산화 ( torch type ) , WVG ( water vapor generator ) , CWVG ( catalytic water vapor generator ) , 래디컬 산화 방식 을 사용 하 여 생성 하 는 것 이 바람직 하 다 . 큐어 링 가스 를 튜브 에 주입 하 기 전 에 예열 시스템 ( pre heating system ) 을 이용 하 여 예열 시켜 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 예열 시스템 ( pre heating system ) 은 PAC ( Pre Activation Chamber , TEL 社 ) , 코일 타입 토치 , 랩 프 타입 토치 를 사용 하 는 것 이 바람직 하 다 . 또한 석영 ( Quartz ) 재질 의 관 또는 챔버 형태 로 금속 저항 가열 또는 램프 가열 이 가능 한 것 이 바람직 하 다 . 튜브 에 주입 되 기 이전 에 큐어 링 가스 를 예열 하 여 분자 의 활동 에너지 를 상승 시켜 트렌치 ( 105 ) 의 저면 에 형성 된 SOD 막 ( 108 ) 의 큐어 링 효과 를 증대 시킬 수 있 다 . 큐어 링 공정 은 상온 내지 1100 ℃ 의 온도 범위 에서 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 . 큐어 링 공정 은 10 - 7 내지 760 Torr 의 압력 범위 에서 실시 하 는 것 이 바람직 하 다 .