버퍼 유닛 ( 220 ) 은 이송 프레임 ( 140 ) 과 이송 챔버 ( 240 ) 사이 에 배치 된다 . 버퍼 유닛 ( 220 ) 은 이송 챔버 ( 240 ) 와 이송 프레임 ( 140 ) 간 에 기판 ( W ) 이 반송 되 기 전 에 기판 ( W ) 이 머무르 는 공간 을 제공 한다 . 버퍼 유닛 ( 220 ) 의 내부 에 는 기판 ( W ) 이 놓이 는 슬롯 ( 미 도시 ) 이 제공 된다 . 슬롯 ( 미 도시 ) 들 은 서로 간 에 제 3 방향 ( 16 ) 을 따라 이격 되 도록 복수 개 가 제공 된다 . 버퍼 유닛 ( 220 ) 은 이송 프레임 ( 140 ) 과 마주 보 는 면 및 이송 챔버 ( 240 ) 와 마주 보 는 면 이 개방 된다 .