때문 에 세정 의 대상물 은 비단 기판 에 한정 되 지 않 고 기판 의 청결 도 에 직접 또는 간접 적 인 영향 을 줄 수 있 는 모든 요소 를 대상 으로 하 며 , DI 등 의 액체 를 사용 함 에 따라 주변 으로부터 격리 된 별도 공간 을 요구 하 는 바 , 통상 기판 의 세정 을 위해서 는 인라인 ( in - line ) 설비 의 이동경 로 상 에 마련 된 베스 ( bath ) 가 이용 되 는 반면 카세트 ( cassette ) 와 같 은 대형 대상물 에 대한 세정 을 위해서 는 별도 의 세정 챔버 가 동원 된다 .