상기 히터 ( 123 ) 는 반응 실 ( R ) 의 바닥 면 으로부터 소정 간격 을 두 고 형성 되 는데 , 기판 ( W ) 을 효과 적 으로 가열 하 기 위해서 는 반응 실 ( R ) 의 바닥 면 보 다는 서 셉 터 ( 120 ) 에 가깝 게 히터 ( 123 ) 를 설치 하 는 것 이 바람직 하 다 . 하지만 , 히터 ( 123 ) 와 반응 실 ( R ) 바닥 면 간 의 간격 을 줄이 면 히터 ( 123 ) 에 의해 반응 실 ( R ) 이 직접 적 으로 가열 되 는 효과 도 얻 을 수 있 을 것 이 다 . 이렇게 되 면 , 반응 실 ( R ) 을 가열 하 기 위한 별도 의 히터 를 설치 하 지 않 아도 무방 할 것 이 다 .