본 실시 형태 에서 는 , 연마 장치 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 및 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 측방 에 배치 된 편심 검 출부 ( 60 ) 와 , 해당 편심 검 출부 ( 60 ) 에 연결 된 횡 이 동 기구 ( 69 ) 를 포함 하 는 편심 검출 기구 ( 54 ) 를 더 구비 하 고 있 다 . 편심 검 출부 ( 60 ) 는 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 센터 링 스테이지 ( 10 ) 의 축심 C 1 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 과 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 에 보유 지지 된 웨이퍼 W 의 중심 의 , 프로세스 스테이지 ( 20 ) 의 축심 C 2 로부터 의 편심 량 및 편심 방향 을 측정 한다 . 횡 이 동 기구 ( 69 ) 는 , 편심 검 출부 ( 60 ) 를 웨이퍼 W 의 주연 부 에 근접 및 이격 되 는 방향 으로 이동 시킨다 .