린스 액 노즐 ( 32 ) 은 연직 방향 및 수평 방향 의 적어도 하나 에 린스 액 노즐 ( 32 ) 을 이동 시키 는 노즐 이동 유닛 ( 39 ) 에 결합 되 어 있 다 . 노즐 이동 유닛 ( 39 ) 은 린스 액 노즐 ( 32 ) 에서 토출 된 린스 액 이 기판 ( W ) 의 상면 으로 공급 되 는 처리 위치 와 , 린스 액 노즐 ( 32 ) 이 평면 시 에서 처리 컵 ( 7 ) 방향 으로 위치 하 는 대기 위치 사이 에 린스 액 노즐 ( 32 ) 을 수평 하 게 이 동시 킨다 .