이어서 , 상기 도어 오프너 ( 120 ) 는 FOUP 도어 ( 22 ) 를 파지 한 채 로 하방 으로 이동 하 며 , 상기 제 1 및 제 2 맵 핑 암 ( 132 a , 132 b ) 은 상기 도어 오프너 ( 120 ) 와 연동 하 여 하강 하 면서 FOUP ( 20 ) 의 최 상단 슬롯 ( 미 도시 ) 으로부터 최 하단 슬롯 ( 미 도시 ) 까지 스캐닝 하 게 된다 . 그러므로 , 상술 한 맵 핑 부 ( 130 ) 에 의해 FOUP ( 20 ) 내부 의 모든 슬롯 들 에 대한 반도체 기판 ( 10 ) 의 수납 유무 가 용이 하 게 검출 될 수 있 다 .