TOFLASによる結晶構造解析法
結晶構造を反映した画像（極点図）の出力
TOFLAS-3000による表面構造解析の事例（Ex01）
A:0°B:18°C:32°D:45°
単結晶X線構造解析では結晶の絶対構造評価は行われるが、基板表面の結晶構造評価を目視で即座に確認するのは困難です。ここでは、TOFLASによる表面結晶構造を目視確認可能な極点図を出力するプロセスを紹介します。
ターゲットに結晶構造がある場合、入射角度を振る事でプローブが当たる元素の数が角度毎に増減する。それに伴い、信号強度も増減する。各角度毎の信号強度から結晶構造の解析が可能となる。
原子ビーム発生器
φ =90°
ＮａＣｌ型構造：Mg-O=2.1Å格子定数：4.2Å
A:0°B:18°C:32°D:45°
MgO結晶モデル
結晶を全方位スキャンし、角度毎での散乱強度（信号強度）を濃淡で表す事で上図のような極点図が得られる。極点図を得る事で視覚的に結晶構造の判別が可能となる。
MgO(100)
株式会社パスカル
本社〒545-0011大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号TEL：06-6626-1321FAX：06-6626-1323
関東営業所〒352-0001埼玉県新座市東北2丁目34番14号TEL：048-476-8741FAX：048-476-8713
茨城事業所〒311-0111茨城県那珂市後台2288番地10TEL：029-270-7891FAX：029-270-8510
札幌出張所〒004-0865札幌市清田区北野5条3丁目12番8号TEL：011-883-0115FAX：011-883-0323
＜URL＞http://www.pascal-co-ltd.co.jp＜e-mail＞pascal@pascal-co-ltd.co.jp