������������� ESD ����
����������� �����, ����, ����
1.� ����
������������������������������������������������������������������������������������������������������������[1-2]������������������������������������������������������ 17 �������������������������������������������ESD(Electrostatic discharge)�������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ESD ������������������������������������������������������������� ESD ����������������
��������������������������������������� ESD��������������������������������������������������������������������������������
2.� �����������
����JAXA�������������������[3]��������� 1 �������������������������� 1.3 m���� 3.2 m�������������� 1.0 m��� 1.4 m��������������������������������� 2 �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� 3 ����������������������������������Cp1-3 � 3����������������������������������������������������������������������������������
� 1� ����������� 2� ��������
��������������������
This document is provided by JAXA.
������ IR �������������������� ECR ��������������������������������������������������������������������������������������� 100nm ��������������� 4 ���������������������������������� 255 mm���� 160 mm ������������ 9 �������������������������� 3 �������������������� 3 ����������������������������������������� OHP �������������������������������� 1 ���������������������300K, 230K, 160K�������������
���������� 1.5�10-3 Pa��������������������������������������������������� 1011m-3��������������-120V��-200V ���������������ESD������������������������������������� 1000������������������� 4 ��������������������
CCD���
�����������
���������
�������
Vp1Cp2
ECR�����
�������XeXeXe
LN2���
CCD���
�����������
���������
�������
Vp1Cp2
ECR�����
�������XeXeXeXe
LN2���
� 3� �������� 4� �����������
� 1� ����������������
���������300, 230, 160 K 
�����1.5�10-3 Pa��
�����������
������� 1011 m-3
���������-120 � -200 V
����1000 �
����4 �
� 2� �����������������
���������280, 160 K
�����1.0�10-4 Pa��
���������-5 kV 
���������7.5 �9.0 kV
��������200 �A
������� Al �� (��: 100 nm)
����3 �
������������������� 2���������������������280K, 160K ��������������������� 1.0�10-4 Pa�����������������-5kV������������������������ 7.5 - 9.0 kV������������ 200 �A�������������������� 3 �����
����������������JAXA-SP-08-018
This document is provided by JAXA.
3.����
-220-200-180-160-140-120-100Bias voltage, V
Primary arc rate, x 103 s -1
(a) ����� 300 K 
-220-200-180-160-140-120-100Bias voltage, V
Primary arc rate, x 103 s -1
(b) ����� 230 K 
-220-200-180-160-140-120-100Bias voltage, V
Primary arc rate, x 103 s -1
(c) ����� 160 K 
� 5 �����������������������(����:1000 �)
� 3������������(�������)
���������ESD �����
300 K -130 V 
230 K -130 V 
160 K -130 V 
* ���� : 1000 �
[ �������]������������������������ 1000 ���������������������� 5 ����������������� 1000 ���������������������������� 4 ���������������������������������������� 5 �(a)����������� 300 K ���������������(b)� 230 K�(c)� 160 K ���������������������������������������������������������������������������������������������-200V ����������300K ����� 230K ��� 5 ��160K ��� 10 ������� 1 ��� 5 ���������������������������������������������������������-120V ������������������-130 V ������������������������������������������������������
[ ��������� ]� 6 ����������������������������������������� 9.0 kV ������������� 10 ������������ 550V ���������� 8.8 kV ���������� 700 V ����������������������������������������������������������������������������������� 7 ������������ 280 K � 160 K�������������������������������������������������������������������� 280 K �������� 160 K ����������������������������������������������������������������
��������������������
This document is provided by JAXA.
�������������
(a) Va=9.0 kV, Ie=200 �A
(b) Va=8.8 kV, Ie=200 �A
� 6 �������������������������������
� 7 ��������������
4.� ���� ������������������������������������������ ESD ���������ESD ����������������[ ������� ] ������������������������������������������������ ����-130V ���� [��������]�����������������������������������������
����[1] I. Katz, V. A. Davis, and D. B. Snyder,“Mechanism for Spacecraft Charging Initiated Destruction of Solar Arrays in GEO”, AIAApaper, 98-1002, 36thAerospace Sciences Meeting , Reno,1998.[2] M. Cho, R. Ramasamy, M. Hikita, K. Tanaka andS. Sasaki, “Plasma Response to Arcing inIonospheric Plasma Environment� LaboratoryExperiment”, Journal of Spacecraft and Rockets, Vol.39, No.3, pp.392-399, 2002.[3] M. Miyamoto et al., “Development of a plasmachamber for solar panel testing”, 24th SpaceSimulation Conference, Annapolis, Maryland,2006.
����������������JAXA-SP-08-018
This document is provided by JAXA.