 반도체 기판 제작에 쓰이는 감광액(感光液)인 포토레지스트(PR)는 한때 일본 의존도가 92%에 달했다.
  현재는 벨기에·독일 등으로 공급처가 늘었다.
  국내 기업 중에도 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 생산하는 동진쎄미켐이 올 초 공장 증설을 확정했다.
  SK머티리얼즈도 ArF 포토레지스트 개발을 위해 내년까지 공장을 완공해 2022년부터 양산에 들어간다.
   EUV용 PR는 미 듀폰 공장 천안에 유치 5㎚ 이하의 초미세 공정에 쓰이는 EUV(극자외선)용 포토레지스트의 경우 당장 국산화하지는 못하고 있다.
  워낙 고난도 기술이 필요하기 때문이다.
  하지만 미국 듀폰이 올 초 EUV용 포토레지스트 공장을 충남 천안에 짓기로 결정했다.
  산업통상자원부가 듀폰과 협의해 투자를 유치했다.
  순수 국산화까지는 못 갔지만 일본이 아닌 해외 기업 유치로 안정적인 공급망을 확보한 셈이다.
  또 다른 규제 품목인 불화 폴리이미드는 국산화가 한창이다.
  불화 폴리이미드는 주로 폴더블 스마트폰이나 롤러블 TV 등 ‘휘어지는’ 디스플레이에 사용한다.
  국내 업체 중에는 코오롱인더스트리가 경북 구미에 생산 설비를 갖추고 지난해부터 양산에 들어갔다.
  SKC도 연간 100만㎡를 생산할 수 있는 대규모 설비를 충북 진천에 갖추고 테스트를 진행하고 있다.
   닛케이 “일 기업 매출·영업이익 감소” 일본 수출규제의 타격은 오히려 자국 업체들을 향했다.
  니혼게이자이신문(닛케이)은 최근 “세계 불화수소 1위 업체인 스텔라케미파의 1분기 매출과 영업이익이 전 분기 대비 각각 12%, 32% 감소했다”고 보도했다.
  이 회사의 고순도 불화수소 출하량은 같은 기간 30%나 감소했다.
  닛케이는 “기업들은 정부에 한국 대기업에 대한 납품 물량을 원상 복귀시켜 달라고 요청 중이지만, 한국 기업들이 다시 일본산 소재를 사용하기 위해 감당해야 할 리스크가 너무 커졌다”고 진단했다.
  국내 반도체업계 관계자는 “공급처를 바꾸기도 어렵지만 다시 일본제로 돌리는 일은 고려하지 않고 있다”고 말했다.
   정부 지원도 한몫 “민·관 협력 계속돼야” 소재 공급 안정화와 국산화가 이뤄질 수 있던 배경에는 정부의 역할도 한몫했다.
  산업부는 불화 폴리이미드는 2010년, 포토레지스트는 2002년부터 기술개발 과제로 지원해왔다.
  일본의 수출규제 직후 기업의 애로사항을 원스톱으로 해결하기 위한 소재부품수급대응지원센터를 운영한 것도 결정적이었다.
 
반도체 기판 제작에 쓰이는 감광액(感光液)인 포토레지스트(PR)는 한때 일본 의존도가 92%에 달했다. 현재는 벨기에·독일 등으로 공급처가 늘었다. 국내 기업 중에도 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 생산하는 동진쎄미켐이 올 초 공장 증설을 확정했다. SK머티리얼즈도 ArF 포토레지스트 개발을 위해 내년까지 공장을 완공해 2022년부터 양산에 들어간다.