The refractive index, n, of plasma-polymerized hexamethyldisiloxane and -silazane thin films has been measured by ellipsometry at 632.8 nm. ###>L'indice de réfraction, n, de couches minces plasma-polymérisées de hexamethyldisiloxane et -silazane a été mesuré par ellipsométrie à 632,8 nm.