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現在では、主に、マイクロ流体デバイス（主にソフトリソグラフィ（Ｓｏｆｔ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）が用いられるが、ナノインプリント・リソグラフィ（Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）のような他のインプリント技術も使われる）や、ＭＥＭＳのの構成要素の製造に使用されている。
現在では、主に、マイクロ流体デバイス（主にソフトリソグラフィ（Ｓｏｆｔ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）が用いられるが、ナノインプリント・リソグラフィ（Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）のような他のインプリント技術も使われる）や、ＭＥＭＳの構成要素の製造に使用されている。