8486.10 Máquinas e aparelhos para a fabricação de «esferas» (boules) ou bolachas (wafers) Indústria A 8486.20 Máquinas e aparelhos para a fabricação de dispositivos semicondutores ou de circuitos integrados eletrónicos Indústria A 8486.30 Máquinas e aparelhos para a fabricação de dispositivos de visualização de ecrã plano