9027 80 13 – – – – Aparelhos para realização de medições das propriedades físicas de materiais semicondutores ou de substratos de dispositivos de cristais líquidos ou das camadas condutoras e isoladoras associadas, durante o processo de produção de bolachas (wafers) de semicondutores ou de dispositivos de cristais líquidos Indústria Isenção A A 9027 80 17 – – – – Outros