9030 90 20 Partes e acessórios de instrumentos e aparelhos para medida ou controlo de bolachas (wafers) ou de dispositivos semicondutores, n.e. Isenção 0 9030 90 85 Partes e acessórios de instrumentos e aparelhos para medida ou controlo de grandezas elétricas ou para medida ou deteção de radiações ionizantes, n.e. [exceto de instrumentos e aparelhos para medida ou controlo de bolachas (wafers) ou de dispositivos semicondutores] 2,5 0 9031 10 00