8486.90.21 De aparelhos de deposição química em fase vapor para a produção de semicondutores 0,0 A 8486.90.22 De máquinas de deposição epitaxial para bolachas (wafers) semicondutoras; de centrifugadoras para revestimento de bolachas (wafers) semicondutoras com emulsões fotográficas 0,0 A 8486.90.23 De implantadores de iões para dopagem de materiais semicondutores; de aparelhos de deposição física por pulverização em bolachas (wafers) semicondutoras; de aparelhos de deposição física para a produção de semicondutores; de aparelhos para escrita direta em bolacha, repetidores e outro equipamento litográfico 0,0