Aparelhos para a gravação a seco de traçados em substratos de dispositivos de cristais líquidos (LCD) 3,5 0 8486 30 50 Aparelhos de deposição física por pulverização catódica em substratos de dispositivos de cristais líquidos (LCD) 3,7 0 8486 30 90 Máquinas e aparelhos para a fabricação de dispositivos de visualização de ecrã plano (exceto aparelhos de deposição química em fase de vapor ou para a gravação a seco de traçados em substratos de dispositivos de cristais líquidos (LCD) e de deposição física por pulverização catódica em substratos de dispositivos de cristais líquidos)