9031 90 20 Partes e acessórios de instrumentos, aparelhos e máquinas, óticos, para controlo de bolachas (wafers) ou de dispositivos semicondutores ou para controlo de máscaras ou retículos utilizados na fabricação de dispositivos semicondutores ou para medição da contaminação por partículas na superfície das bolachas (wafers) de semicondutores, n.e. Isenção 0 9031 90 30 Partes e acessórios de instrumentos, aparelhos e máquinas, eletrónicos, para controlo de bolachas (wafers) ou de dispositivos semicondutores ou para controlo de máscaras ou retículos utilizados na fabricação de dispositivos semicondutores, n.e. 2,8 0 9031 90 85