9031 90 Partes e acessórios: 9031 90 20 00 Para aparelhos da subposição 9031 41 00 00 ou para instrumentos e aparelhos óticos para medição da contaminação por partículas na superfície das bolachas (wafers) de semicondutores da subposição 9031 49 90 00 0 0 9031 90 30 00 Para aparelhos da subposição 9031 80 32 00 0 0 9031 90 85 00