9031 90 20 Para aparelhos da subposição 9031 41 00 ou para instrumentos e aparelhos óticos para medição da contaminação por partículas na superfície das bolachas (wafers) de semicondutores da subposição 9031 49 90 Isenção 0 9031 90 30 De aparelhos da subposição 9031 80 32 2,8 0 9031 90 85 Outros