8486 20 90 Máquinas e aparelhos para a fabricação de dispositivos semicondutores ou de circuitos integrados eletrónicos (exceto máquinas-ferramentas que trabalhem por eliminação de qualquer matéria, por ultrassom) Isenção 0 8486 30 10 Aparelhos de deposição química em fase de vapor em substratos de dispositivos de cristais líquidos (LCD) 2,4 0 8486 30 30