Trois des quatre plus grands soutiens du Nikkei se trouvaient dans la sphère des semi-conducteurs, menés par le géant de l'équipement de fabrication de puces Tokyo Electron, alors qu'ils suivaient un rallye record de l'entreprise américaine Nvidia.
Cependant, Nissan a chuté de plus de 4 % après la publication d'une mise à jour de son plan d'entreprise à moyen terme après la clôture du marché lundi, qui a déçu les investisseurs.
Fast Retailing a chuté de 1,5 %, poursuivant son recul cette semaine par rapport à son record de vendredi.
Le Nikkei a peu changé à 40 422,23 à 0143 GMT, après avoir chuté de 1,16% par rapport au nouveau sommet historique de vendredi de 41 087,75. Sur les 225 composants de l'indice, 119 ont augmenté, 102 ont baissé et quatre sont restés stables.
Le Topix, plus large, était en hausse de 0,22%, après avoir commencé la journée à la baisse.
Notant le soutien de la moyenne mobile à cinq jours orientée à la hausse à environ 40 530, "je pense qu'il serait assez difficile pour le Nikkei de tourner à la baisse", a déclaré Kazuo Kamitani, un stratège en actions chez Nomura Securities.
Cependant, alors que toute baisse est susceptible d'être faible, les gains sont également peu susceptibles de dépasser environ 100 points cette session, dans un marché qui n'a pas de sens fort de la direction ou de nouveaux indices de négociation, Kamitani a ajouté.
Tokyo Electron a augmenté de 0,46% et a été le plus grand gagnant en termes de points d'indice en raison de sa forte pondération. Le producteur de silicium Shin-Etsu Chemical s'est classé deuxième, avec une progression de 1,48%. 2, progressant de 1,48%.
Screen Holdings, un autre fabricant d'équipements de fabrication de puces, s'est classé quatrième, avec une hausse de plus de 3 %. 4, avec une hausse de plus de 3 %.
Nvidia, l'entreprise au centre de la ferveur de l'intelligence artificielle, a atteint un deuxième record historique à la clôture lundi, après avoir étendu sa série de gains à une sixième session consécutive. (Reportage de Kevin Buckland ; rédaction de Janane Venkatraman)