"1마이크로미터 이하 결함도 잡아내"…뷰웍스, 고감도 카메라 공개
뷰웍스는 이번 행사에서 △산업용 카메라 15종 △산업용 렌즈(VEO Series) 20종 △엑스레이 디텍터 3종 등 초고해상도와 고속도의 차별화된 제품군을 전시했다. 특히 올해 1월 새롭게 선보인 서브 마이크로 검사 솔루션인 'VEO Focus', Area Scan 카메라를 활용한 디스플레이 패널 검사 및 2차전지 표면 검사, TDI Line Scan 카메라를 활용한 인쇄회로기판 검사 등을 공개 시연했다.
뷰웍스가 자체 개발한 'VEO Focus'는 고감도 산업용 카메라와 최적화된 고배율 렌즈를 조합해 서브 마이크로(1마이크로미터 이하) 수준의 결함을 검사, 생산 수율을 극대화하는 솔루션이다. OLED · 마이크로 LED 디스플레이, 반도체 웨이퍼, 2차전지, 인쇄회로기판(PCB) 결함 검사 등 대면적, 고배율의 촬영이 필요한 산업에 특화됐으며, 고객의 요구 사양에 맞출 수 있다.
산업용 엑스레이 디텍터 분야는 △VIVIX-V 1724DH △VIVIX-V 3131R △VIVIX-V 4343D 등 3종을 선보였다. 이 중 1724DH는 최신 패널 기술인 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide) 적용 제품으로 인라인 검사(In-Line Inspection)에 특화된 모델이며, 전수 검사 시스템을 이루는 컴포넌트로써 공정에 적용되면 생산품의 내부 결함을 실시간으로 감지할 수 있다.
뷰웍스는 이번 전시를 통해 'VEO Focus' 등 무결점 품질 검사 솔루션을 비롯해 산업용 카메라와 산업용 렌즈 시장 입지를 넓히고, 관계사 및 잠재 고객과의 네트워킹을 구축한다는 방침이다.
뷰웍스 관계자는 "디스플레이, 반도체 부분의 양적 성장 및 기술적 성장에 힘입어 서브 마이크로 검사 장비 수요가 새롭게 부상함에 따라 올해 초 초정밀 검사용 광학 솔루션을 새롭게 선보였으며, 행사 전시장에서 뷰웍스의 고도화된 머신 솔루션을 다양하게 만나볼 수 있다"고 전했다.
최형창 기자 calling@hankyung.com
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