(به : ) به خلأیی گفته می‌شود که فشار سیستم در محدوده یا ۱۰۰ نانوپاسکال ( ، ~ ) باشد. خلاء فوق-بالا با پمپاژ گازهای درون «محفظه خلاء» به بیرون ایجاد می‌شود. در چنین فشارهای پایینی طول مسیر مولکول‌های گاز بیشتر از تقریباً ۴۰ کیلومتر است، در نتیجه گاز در شرایط است، و مولکول‌های گاز قبل از تماس با یکدیگر به دفعات با دیواره محفظه برخورد می‌کنند. تقریباً تمامی واکنش‌های مولکولی انجام گرفته داخل محفظه بر روی سطوح اتفاق می‌افتد.
 شرایط خلاء فوق-بالا جزوی حیاتی در تحقیقات علمی است. در آزمایش‌های « » معمولاً نیاز به یک سطح نمونه کاملاً تمیز از لحاظ شیمیایی و عدم حضور ذره ای است. ابزارهای آنالیز سطح از قبیل؛ و برای انتقال الکترون یا نیاز به شرایط خلاء فوق-بالا دارند. 
 خلاء فوق-بالا در روش‌های آنالیز سطح مختلفی کاربرد دارد. از جمله.
 
 
 
 معمولاً برای ایجاد شرایط خلاء فوق-بالا به موارد زیر نیاز است:
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 یکی از مشکلات در ایجاد خلاء فوق-بالا، پدیده (Outgassing) می‌باشد. این پدیده می‌تواند از دو عامل ناشی شود: رهش گاز از سطوح، رهش گاز از توده مواد.
 با انتخاب موادی که دارای فشار بخار کم هستند (مانند شیشه، فولاد زنگ نزن و سرامیک) می‌توان رهش گاز از سطوح را به حداقل رساند. رهش گاز حتی می‌تواند از موادی که معمولاً جاذب در نظر گرفته نمی‌شوند مانند پلاستیک‌ها و بعضی فلزات نیز رخ دهد.
 رهش گاز از سطوح مشکلی دشوارتر است. در فشارهای فوق‌العاده پایین، مولکول‌های گاز بیشتری به دیواره‌ها جذب می‌شوند تا اینکه داخل محفظه شناور باشند. در نتیجه برای رسیدن به خلاء فوق-بالا، مساحت کل سطوح داخلی محفظه عاملی مهم‌تر از حجم محفظه است. آب یکی از عوامل عمده رهش گاز است، چرا که به محض بازشدن در محفظه، لایه نازکی از آب به همه جا جذب می‌شود. برای حذف اب جذب شده معمولاً باید سیستم در هنگامی که پمپ‌های خلاء در حال کار هستند در دمای ۲۰۰ تا ۴۰۰ پخته شود. در هنگام استفاده از محفظه معمولاً برای خنک کردن دیواره‌ها و جلوگیری از رهش گاز از استفاده می‌گردد.
 هیچ به تنهایی نمی‌تواند فشار را از تا فشار خلاء فوق-بالا کاهش دهد. به جای آن از ترکیبی از پمپ‌های مختلف برای رسیدن به مراحل مختلف خلاء استفاده می‌شود. پمپ‌های مورد استفاده برای رسیدن به خلاء فوق-بالا معمولاً شامل موارد زیر است:
 
 
 
 
 برای اندازه‌گیری فشار خلأ فوق-بالا از استفاده می‌گردد.
 برای آب‌بندی یا سیل کردن محفظه از سیل‌های فلزی که دارای دو لبه تیز هستند و به داخل یک گسکت نرم مسی فشرده می‌شوند استفاده می‌گردد. این سیل‌های تمام فلزی می‌توانند فشار محفظه را تا ۱۰۰ پیکوپاسکال حفظ کنند.
{"title": "خلاء فوق-بالا", "link": "https://fa.wikipedia.org//w/index.php?title=%D8%AE%D9%84%D8%A7%D8%A1_%D9%81%D9%88%D9%82-%D8%A8%D8%A7%D9%84%D8%A7&oldid=33286027", "language": "fa"}