هستند که به کلی مانند ساخته می‌شوند. به‌طور کلی اندازه آنها بین ۱۰۰ تا ۱۰۰ در نظر گرفته می‌شود، اگرچه این موضوع قابل بحث است. کاربردهای میکروماشین ها شامل هایی است که تشخیص می‌دهند با جسمی برخورد کرده و را فعال می‌کند. سیستم‌های پیچیده و یکی دیگر از کاربردها است.
 ساخت این دستگاه‌ها معمولاً با دو تکنیک و انجام می‌شود. برای انجام ریزماشین کاری فله، ناحیه مورد نیاز به با شدت دوپ شده و ناخواسته در اچ‌های سیلیکونی مایع حک می‌شود. این روش اچ استاپ نامیده می‌شود؛ زیرا یک لایه/الگوی غیرقابل شناسایی تولید می‌کند. 
 اکثر ریزماشین‌ها به عنوان عمل می‌کنند. به عبارت دیگر، آنها یا حسگر هستند یا .
 حسگرها اطلاعات محیط را به قابل تفسیر تبدیل می‌کنند. یک نمونه از های میکروماشین، تشدید کننده است. یک جسم مکانیکی کم میرا شده در یک بسیار بیشتر از هر فرکانس دیگری می‌کند و این فرکانس را آن می‌نامند. یک حسگر شیمیایی با یک خاص پوشانده شده‌است که خاصی مانند مولکول‌های موجود در را جذب می‌کند و وقتی آن مولکول‌ها به حسگر متصل می‌شوند، آن افزایش می‌یابد. جرم افزایش یافته جسم مکانیکی را تغییر می‌دهد که با مدار تشخیص داده می‌شود.
 عملگرها سیگنال‌های الکتریکی و را به نوعی به حرکت تبدیل می‌کنند. سه نوع متداول محرک عبارتند از ، ، و . محرک‌های الکترواستاتیک از نیروی انرژی الکترواستاتیک برای حرکت اجسام استفاده می‌کنند. به دو عنصر مکانیکی که یکی ثابت ( ) و دیگری متحرک ( ) است دو ولتاژ متفاوت اعمال می‌شود. که این دو ولتاژ ایجاد می‌کنند. میدان با نیروی بازگرداننده روی روتور (معمولاً نیروی فنری که در اثر خم شدن یا کشش روتور ایجاد می‌شود) برای حرکت روتور رقابت می‌کند. هرچه میدان الکتریکی بیشتر باشد، روتور دورتر حرکت می‌کند. محرک‌های حرارتی از نیروی برای حرکت دادن اجسام استفاده می‌کنند. هنگامی که یک ماده گرم می‌شود، بسته به خواص مواد، مقداری منبسط می‌شود. دو جسم را می‌توان طوری به هم متصل کرد که یک جسم بیشتر از دیگری گرم شود و بیشتر منبسط شود و این عدم تعادل باعث ایجاد حرکت می‌شود. جهت حرکت به ارتباط بین اجسام بستگی دارد. این در یک "هیتیواتور (گرم کن) " دیده می‌شود که یک پرتو U شکل با یک بازوی پهن و یک بازوی باریک است. هنگامی که جریانی از جسم عبور می‌کند، ایجاد می‌شود. بازوی باریک بیشتر از بازوی پهن گرم می‌شود زیرا یکسانی دارند. از آنجایی که دو بازو در بالا به هم متصل هستند، بازوی گرم کشنده در جهت بازوی سرد فشار می‌آورد. محرک‌های مغناطیسی از لایه‌های مغناطیسی ساخته شده برای ایجاد نیرو استفاده می‌کردند.
 در طول سالیان دراز کوچک کردن وسایل به منظور قابلیت انتقال بهتر پیشرفت های زیادی کرده است. در موارد زیر مقدمه ای راجع به چگونگی پیشرفت و وهمچنین روند پیشرفت میکرو ماشین‌ها در دهه اخیر داده شده است.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 مراکز دانشگاهی و تحقیقاتی بزرگی با موضوعاتی میان رشته ای در دانشگاه های معتبر دنیا تشکیل شده اند، که در ترکیب علمی و اجرایی آنها، می توان حضور متخصصان برجسته حوزه های مختلف علم و فناوری را مشاهده کرد. در ايران نيز فناوري میکروماشین و یا همان و به عنوان يكي از حوزه هاي اولويت دار دربين پژوهشگران شناخته شده است. و تقريبا تمامي دانشگاه هاي ايران به اين حوزه وارد شده اند. بطوريكه می توان به تعداد كثيری پايان نامه های كارشناسی ارشد و دكتری و همچنين صدها مقاله در زمينه مذكور اشاره كرد از طرف ديگر و در حال حاضر سيستم هاي ميكرو و نانو الكترومكانيك بطور اعم در صنايعي چون ، ، و ، سيستم های دفاعی ، دارویی ، و ... دارای كاربردهای متنوع هستند. بالاخص می توان به مواردی نظير سر سوزن های استفاده شده در ، اسپری جوهر در پرینتر های جوهر افشان ، سنسورهای فشار خون ، و ... اشاره نمود. با توجه به قابلیت های ذکر شده در حوزه های پژوهشی و صنعتی می توان گفت که رشته های دانشگاهی میان رشته ای مانند سیستم های میكرو و نانو الكترومكانیک ، قابلیت پرورش سرمایه منابع انسانی کشورها را در مفیدترین مسیرها دارند و اگر به این مهم توجه شود که منابع انسانی هر کشوری، ذاتاً ارزشمندترین سرمایه مادی و معنوی آن کشور هستند، باید به صراحت بیان کرد که یکی از راهبردی ترین اقدامات توانمندساز ملی، همانا تشکیل و راه اندازی رشته های نوین دانشگاهی با ویژگی بین رشته ای خواهد بود.
{"title": "میکروماشین", "link": "https://fa.wikipedia.org//w/index.php?title=%D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88%D9%85%D8%A7%D8%B4%DB%8C%D9%86&oldid=33662818", "language": "fa"}