یا (به : ) یکی از روش‌های یا برش مواد در و زیرمجموعه‌ای از روش‌های زدایش پلاسما است. زدایش یون-غیرفعال از جمله روش‌های زدایش خشک است که مشخصه‌های بیشتری از زدایش تَر دارد. این روش ترکیبی از روش‌های فیزیکی و شیمیایی شناخته می‌شود. در این روش از ی فعال کننده به صورت شیمیایی برای برش ویفر استفاده می‌شود. این روش در یک محفظهٔ خلأ با فشار پایین توسط یک رخ می‌دهد. یون‌های پرانرژی پلاسما به صورت عمودی به سطح ویفر برخورد می‌کنند و باعث پدیده زدایش می‌شوند. این روش از تفکیک (به : ) بالا و همچنین قابلیت کنترل مطلوبی برخوردار است که امکان برش مواد مختلفی از جمله نیم‌رساناها، عایق‌ها و بعضی فلزات را نیز فراهم می‌کند. یکی از برتری‌های این روش نسبت به روش‌های دیگر این است که می‌تواند به گونه ای طراحی شود که تا حدود زیادی ناهمسانگرد باشد که این بدین معناست که عمل زدایش با دقت بالا و نرخ برش مطلوبی انجام می‌شود.
 سیستم RIE از یک محفظهٔ استوانه ای شکل خلأ، یک صفحه ویفر در قسمت پایین آن، دو الکترود موازی در قسمت بالایی و پایینی و دریچه ورود و خروج گاز به ترتیب در بالا و پایین محفظه تشکیل شده‌است. گازی که در این فرایند استفاده می‌شود بسته به نوع ویفر مورد نظر، متفاوت است. به عنوان مثال، گاز مناسب زدایش ویفر است. فشار گاز محفظه معمولاً بین چند میلی و چندصد میلی تور، با حفظ میزان ورود و خروج گاز، حفظ می‌شود.
 پلاسما در سیستم توسط یک میدان الکترومغناطیس قوی ایجاد می‌شود. فرکانس این میدان معمولاً ۱۳٫۵۶ مگاهرتز است. در حال نوسان مولکول‌های گاز را یونیزه می‌کند و به این شکل پلاسما شکل می‌گیرد. در هر چرخه میدان، الکترون‌ها به سمت پایین و بالا شتاب می‌گیرند و به الکترود بالای محفظه و گاهی به صفحه ویفر ضربه می‌زنند. یون‌هایی که به سطح ویفر می‌رسند بین الکترود دو الکترود بالا و پایین محفظه را افزایش می‌دهند. این باعث می‌شود که یون‌های مثبت به سمت سطح ویفر شتاب بگیرند و دهند.
 این فرایند بستگی زیادی به فشار محفظه، جریان گاز ورودی و خروجی و همچنین میدان الکترومغناطیسی دارد.
 یکی از زیرشاخه‌های پیشرفته تر از این روش، زدایش یون-غیرفعال عمیق است که عمده تفاوت آن با این روش تفاوت دما است. در زدایش یون-غیرفعال عمیق، دمای ویفر را پایین می آوند تا واکنش شیمیایی در سطح آن با سرعت پایین‌تری اتفاق بیفتد.
{"title": "زدایش یون-غیرفعال", "link": "https://fa.wikipedia.org//w/index.php?title=%D8%B2%D8%AF%D8%A7%DB%8C%D8%B4_%DB%8C%D9%88%D9%86-%D8%BA%DB%8C%D8%B1%D9%81%D8%B9%D8%A7%D9%84&oldid=35068665", "language": "fa"}