기사제목: f센치미터에서 나노미터까지 모두 보는 '현미경' 개발 기사내용: f광전자 융합현미경의 3D 이미지와 실제 시제품 사진센티미터()부터 나노미터() 단위까지 동시에 볼 수 있는 현미경이 개발됐다.
8일 한국표준과학연구원(KRISS)에 따르면 첨단측정장비연구소 조복래 책임연구원이 최근 신개념 측정검사장비 전문기업인 모듈싸이를 창업했다.
모듈싸이의 주요 사업 분야는 멀티 해상도 이미징을 위한 광전자 융합현미경의 개발과 제조다.
현미경은 크게 가시광선을 사용하는 광학현미경과 전자 빔을 사용하는 전자현미경으로 구분된다.
광학현미경은 컬러 이미지와 3차원 정보를 볼 수 있지만 마이크로미터() 미만의 해상도를 제공하지 않는다.
전자현미경은 나노미터()급의 고해상도 정보로 원소단위의 정보를 알 수 있지만 이미지가 흑백이다.
모듈싸이는 개별 플랫폼인 광학현미경과 전자현미경을 하나로 통합하는 광전자 융합현미경 기술을 기반으로 출범했다.
세계 최초로 개발된 융합현미경은 광학과 전자 다른 두 종류의 대물렌즈를 융합한 KRISS 조복래 박사팀의 원천기술을 통해 탄생했다.
연구팀은 렌즈의 형태를 간섭하지 않는 형태로 재설계해 물리적 제약을 극복했다.
이와 동시에 전자제어계와 소프트웨어 등의 필수요소까지 통합해 빛과 전자로 동시에 관찰하는 현미경을 구현했다.
광전자 융합현미경은 반도체나 디스플레이 공정에서 불량품을 검출하는 데 효과적으로 사용이 가능하다.
한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 조복래 책임연구원우선 광학 파트로 마이크로 수준에서 결함이 의심되는 곳을 컬러로 파악하고, 전자 파트로 나노 수준까지 성분을 정밀 관찰하면 검출 정확도를 높이고 소요시간을 크게 단축할 수 있다.
모듈싸이는 반도체, 디스플레이 등 전자업계의 공정용 측정검사장비에 대한 개발과 라이센싱을 수행할 예정이다.
조복래 박사는 현재 많은 업체로부터 융합현미경에 대한 측정검사장비 적용을 의뢰받고 있다며 다년간 축적한 독자적인 현미경 설계기술을 보유하고 있기 때문에 검사수요에 따라 얼마든지 맞춤형으로 개조 탑재할 수 있다고 설명했다.