マイクロペイメント
マイクロペイメントシステムは、インターネットでコンテンツ料金を集める方法として最近急激に進歩している。インターネットでもクレジットカードによる支払いがよく使われているが、クレジットカードは売る側に手数料が発生する（アメリカでは最低でも20セントで、取引金額によって増額される）[3]。
マイクロマシン
マイクロマシンにおいて、革命的なことは、半導体集積回路作製技術を用いて、大量に一括してデバイスの作製が可能となったことである。従来の機械部品のような組み立て工程を必要としない。このように作製されたデバイスはMEMSに含まれると思われる。