面向IC封装的显微视觉定位系统
为了实现IC封装设备视觉定位系统的整体构建,在分析面向IC封装的视觉系统的基础上,对显微成像系统、视觉系统标定以及模式识别定位算法进行了研究.针对面向IC封装的视觉定位系统的特点,搭建视觉系统,并进行了系统标定.用Matlab编写了模式识别定位软件界面,并进行了相关试验研究.实验分析了系统的定位精度和稳定性,实验结果表明,标定误差基本满足正态分布,XY方向的平均误差为0.014 5和0.106 5 pixel,方差为0.310 3和0.277 5 pixel.经过对视觉定位系统的标定,并使用某种IC芯片进行实际定位实验,结果显示匹配定位误差可以控制在3.5 μm(0.4 pixel)以内.该视觉系统实现了亚像素级的定位精度.