Durch dem Deal entsteht einen neuer Branchenführer bei den Lithografiesystemen .
1	Durch	Durch	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Acc	3	case	_	_
2	dem	dem	DET	ART	Case=Dat|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	3	det	_	_
3	Deal	Deal	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	obl	_	_
4	entsteht	entstehen	VERB	VVFIN	Mood=Ind|Number=Sing|Person=3|Tense=Pres|VerbForm=Fin	0	root	_	_
5	einen	einen	DET	ART	Case=Acc|Gender=Masc|Number=Sing|PronType=Art	7	det	_	_
6	neuer	neu	ADJ	ADJA	Case=Nom|Degree=Pos|Gender=Masc|Number=Sing	7	amod	_	_
7	Branchenführer	Führer	NOUN	NN	Gender=Masc|Number=Sing|Person=3	4	nsubj	_	_
8	bei	bei	ADP	APPR	AdpType=Prep|Case=Dat	10	case	_	_
9	den	den	DET	ART	Case=Dat|Number=Plur|PronType=Art	10	det	_	_
10	Lithografiesystemen	System	NOUN	NN	Case=Dat|Gender=Neut|Number=Plur|Person=3	7	nmod	_	_
11	.	.	PUNCT	$.	PunctType=Peri	4	punct	_	_
