氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究
氧化锌掺钇透明导电薄膜的制备及光电特性研究
采用射频磁控溅射法，室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO。在薄膜厚度为600nm的情况下，研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况。X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜，具有ZnO的六角纤锌矿结构，最佳取向为方向。最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71×10^ ·cm，在可见光范围内平均透过率达到92.3%，禁带宽度为3.57eV。