双面二维硅微条探测器的沾污失效分析及修复
双面二维硅微条探测器的沾污失效分析及修复
硅微条探测器通过微电子工艺制作，易因沾污导致性能下降甚至失效；裸露的键合引线，也易因机械力形成隐性或显性失效。对上述现象的研究可用于修复、维护探测器并在设计和工艺流程中改进其性能。本文通过光学、电气手段分析其结构和制作工艺流程，根据沾污性质在不同条件下清.486MeV的 峰能量分辨率约1.28%。失效键合所在条的另一面各条能谱观测到假峰，键合修复后消除。因沾污失效的硅微条探测器经过合适的……