CVD金刚石膜散热性能的实验及仿真分析
CVD金刚石膜散热性能的实验及仿真分析
本文基于化学气相沉积金刚石膜的超高热导率，设计并搭建了一套实验系统，分析其对于小空间高热流密度电子元件的散热效果。通过测量加热器及材料表面的温度值可知，相同工况下，金刚石膜温度梯度小，温度分布均匀性好，表面最大温差仅为铜的一半且加热面温度相比于铜更低。实验结果说明CVD金刚石膜的散热性能明显优于传统散热材料铜。实验验证了经过Ti-Ni-Au金属化处理的CVD金刚石薄膜具有可焊性。在实验基础上，利用Flotherm软件对系统进行仿真建模，进一步探讨了材料厚度、热导率及接触热阻对加热面温度和最大热流密度的影响。