电子束熔炼去除冶金级硅中磷、铝、钙的研究
电子束熔炼去除冶金级硅中磷、铝、钙的研究
采用电子束熔炼方法提纯了冶金级硅材料。实验结果表明随熔炼时间延长，硅中挥发性杂质元素P、Al、Ca的含量逐渐降低。熔炼40min后，硅中P含量可以降至2.2×10^%；Al、Ca的最低含量为8.5×10^%和1.5×10^。P、Al、Ca的挥发去除为一阶反应过程，反应速率常数分别为0.11、0.12和0.13min^。