直流热阴极PCVD法掺氮纳米金刚石薄膜形貌及结构的影响
直流热阴极PCVD法掺氮纳米金刚石薄膜形貌及结构的影响
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积技术，通过在CH4/H2的混合反应气源中通入不同流量的N2，合成了掺氮纳米金刚石薄膜。结果表明随着氮气流量的增加，金刚石薄膜表面形貌发生明显变化：晶粒细化，晶界和缺陷有所增多，膜层由尺寸较大微晶颗粒转向纳米级菜花状结构，并且薄膜表面粗糙度相应变小。同时薄膜中非金刚石组份相对逐渐增多。氮气的引入可以促进金刚石二次形核，抑制金刚石大颗粒生长，对薄膜的生长取向、形貌及结构都产生一定影响。