放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源
放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源
描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源，给出了主电路拓扑结构，重点介绍了三级磁脉冲压缩网络，给出了关键参数的设计计算，并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示：各级磁脉冲压缩效果达到设计指标，电源输出电压峰达30 kV，输出电流峰值大于40 kA，电流脉冲宽度200 ns，满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。