HfO2单层膜的吸收和激光损伤阈值测试
HfO2单层膜的吸收和激光损伤阈值测试
薄膜吸收是降低膜层激光损伤阈值的重要原因，为了研究薄膜吸收对激光损伤阈值的影响，对HfO2单层膜在1 064 nm处的吸收及其在不同波长激光辐照下的损伤阈值进行了测试和分析。研究结果表明：薄膜的激光损伤阈值由薄膜吸收平均值和吸收均匀性共同决定；根据HfO2单层膜在1 064 nm波长处的吸收值，不但可以定性判断薄膜在1 064 nm波长，而且还可以判断在其它波长激光辐照下的抗激光损伤能力。