导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响
导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响
为了研究亚波长光栅表面上薄膜的生长特性，以及镀膜对亚波长光栅物理特性的影响，对亚波长正弦槽形光栅表面上镀的Au膜进行了实验研究和理论分析。实验发现，当光栅槽深为80 nm，Au膜为100 nm时，薄膜的生长是仿形生长，光栅的正弦槽形特征和周期都基本没有发生变化，但镀膜后，出现光栅的正弦占空比增加、槽的深度减小以及槽深的均匀性变差等现象。对引起这种现象的原因进行了分析，提出了由于光栅微结构而给薄膜生长带来的阴影效应现象，并分析了正弦占空比增加对导模共振滤光片光谱特性的影响。