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住友重機械イオンテクノロジー
住友重機械イオンテクノロジー(すみともじゅうきかいイオンテクノロジー)は東京都品川区に本社を置く、日本唯一のイオン注入装置製造メーカー。
1983年に住友重機械工業と米国イートン社との50/50の合弁会社として設立。2000年にイートン社が半導体製造装置事業をスピンオフし、アクセリス・テクノロジーズ系列となるものの、2009年に住友重機械工業が合併を解消し、現在は住友重機械工業の100%子会社となる。
事業はイオン注入装置の開発、製造、販売を行っており、国内だけではなく海外へも輸出を行っている。