비공급 기간에 있어서의 액체의 낙하 유무를 검출하는 기술을 제공한다. 1 이상의 노즐 중 대상 노즐을 향한 액체 공급을 정지하고 있는 비공급 기간에 상기 대상 노즐 개구에서 액체가 낙하할 때의 낙하 경로를 촬상 시야에 포함하고 촬상을 하는 촬상 공정과 촬상 공정에서의 촬상 결과를 이용하여 액체의 낙하 유무를 검출하는 검출 공정가 이루어진다. 이것에 의해 대상 노즐을 향한 액체 공급을 정지하고 있는 비공급 기간에서 상기 대상 노즐로부터의 액체의 낙하 유무를 검출할 수 있다.
To provide a technology of detecting the presence or absence of a drop of a liquid in a non-supply period. The technology includes: an imaging process of imaging, as an imaging visual field, a drop route when a liquid drops from an opening of an objective nozzle, of one or more nozzles, in a non-supply period in which liquid supply toward the objective nozzle is stopped; and a detection process of detecting the presence or absence of a drop of the liquid on the basis of the imaging result in the imaging process. Thus, in the non-supply period in which liquid supply toward the objective nozzle is stopped, the presence or absence of a drop of the liquid from the objective nozzle can be detected.  7