그린 시트에서 임시 기체를 박리할 때 발생하는 그린 시트의 파손, 변형 등을 방지한다.베이스 플레이트 110 내에 초음파 액추에이터 111을 매설하고 그린 시트 10 및 임시 기체 11에 초음파 진동을 인가한다. 초음파 진동에 의해 그린 시트 10과 임시 기체 11과 접착력이 감소해, 임시 기체 11을 더욱 적은 힘으로 박리할 수 있다. 또한 임시 기체 11의 일부에 초음파 헤드 71을 접접하면서 그린 시트를 가로 방향으로 이동하고 임시 기체 11을 박리하는 것도 가능하다.
To prevent breakdown of deformation of green sheet generated when a temporary base material is peeled from the green sheet. An ultrasonic actuator 111 is embedded within a base plate 110 and the ultrasonic vibration is applied to the green sheet 10 and temporary base material 11. With ultrasonic vibration, a bonding force between the green sheet 10 and temporary base material 11 is reduced and thereby the temporary base material 11 can be peeled with less amount of force. Moreover, it is also possible to peel the temporary base material 11 by moving the green sheet in the lateral direction while an ultrasonic wave head 71 is slid in contact to a part of the temporary base material 11.