필터 엘리먼트(80) 부분에 발생하는 염산에 의한, 부식 및 응력 부식 깨짐을 방지하는 것을 목적으로 한다. 트리클로로실란을 생성하는 반응 장치(2)와, 반응 잔사를 제거하는 필터 장치(3)를 구비한 트리클로로실란 제조 장치(1)로서, 상기 필터 장치(3)는, 내식성 재료로 구성된 필터 엘리먼트를 구비한다.
An object is to prevent corrosion and stress-corrosion cracking that would be caused by hydrochloric acid which would be formed at or near a filter element (80). A trichlorosilane production apparatus (1) includes: a reactor (2) configured to produce trichlorosilane; and a filter device (3) configured to remove a reaction residue, the filter device (3) including a filter element that is comprised of a corrosion-resistant material.[Image]