프레임 변위들은 웨이퍼의 스캐닝되는 영역 내의 복수의 스캐닝되는 프레임들의 전부에 대해서 스테이지(540)에서 결정될 수 있으나, 이는 필수적인 것이 아니다.
Although frame displacements may be determined at stage 540 for all of a plurality of scanned frames within the scanned region of ​​the wafer, this is not essential.