프로세스 챔버에서 셔터 디스크 조립체를 검출하기 위한 방법들 및 장치는 다수의 센서들을 사용한다. 셔터 디스크 조립체를 위한 셔터 하우징의 제1, 제2, 및 제3 센서는 셔터 디스크 조립체의 상태의 표시들을 제공한다. 표시들은 프로세스 제어기로부터의 프로세스 정보와 함께, 셔터 디스크 조립체의 작동 상태를 결정하는 데 부분적으로 사용된다. 그 다음, 작동 상태는 필요할 때 프로세스 챔버의 프로세스를 변경하는 데 사용된다.
Methods and apparatus for detecting a shutter disk assembly in a process chamber using a number of sensors. A first, second, and third sensor in a shutter housing for a shutter disk assembly provide indications of a status of the shutter disk assembly. The indications are used in part to determine the operational status of the shutter disk assembly along with process information from a process controller. The operational status is then used to alter a process of the process chamber when necessary.