본 발명의 산화막 두께 측정 장치는, 막 두께 측정 범위를 구분한 복수의 서브 막 두께 측정 범위 각각에 대하여, 이 서브 막 두께 측정 범위 내에서는 막 두께의 변화에 대한 방사광 휘도의 변화의 비율이 설정 범위 내가 되는, 막 두께와 방사광 휘도의 대응 관계의 막 두께 변환 정보를 기억하고, 복수의 방사광 휘도 측정부 각각에서 강판 표면의 방사광 휘도를 상이한 복수의 측정 파장에서 측정하고, 복수의 방사광 휘도 측정부 각각에서 측정된 강판 표면의 각 방사광 휘도 각각에 대하여, 당해 방사광 휘도 측정부에 대응하는 막 두께 변환 정보를 이용하여, 그 측정된 방사광 휘도에 대응하는 막 두께와 이 막 두께에서의 비율을 구하고, 이 구한 비율이 당해 막 두께 변환 정보에 대응지어진 설정 범위 내인 경우에, 이 구한 막 두께를 실제의 막 두께의 후보치로서 추출한다.
An oxide layer thickness measurement device according to the present invention stores, for each of layer thickness measurement sub-ranges constituting a layer thickness measurement range, layer thickness conversion information representing a correlation between a layer thickness and an emitting light luminance where a ratio of a change in the emitting light luminance to a change in the layer thickness in the layer thickness measurement sub-range falls within a set extent. The device includes a plurality of emitting light luminance measurement parts for measuring emitting light luminances of a surface of a steel sheet at respective measurement wavelengths different from each other. Calculated in connection with each of the emitting light luminances of the surface of the steel sheet measured by the emitting light luminance measurement parts are the layer thickness corresponding to the measured emitting light luminance and a ratio at the layer thickness by using the layer thickness conversion information corresponding to each of the emitting light luminance measurement parts. The calculated layer thickness is extracted as a candidate value for an actual thickness layer when the calculated ratio is within the set extent assigned for the layer thickness conversion information.