본 발명은 기판 반송 시간을 단축할 수 있는 기판 처리 장치가 제공된다. 기판 처리 장치는 기판을 반송하는 반송기, 반송기 상에 기판을 유지하도록 구성된 유지부, 및 유지부의 조작에 기초하여 기판이 반송기 상에 유지되었는지 여부를 검출하도록 구성된 검출기를 포함한다.
There is provided a substrate processing apparatus capable of reducing a substrate carrying time. The substrate processing apparatus comprises a transfer machine configured to carry a substrate, a holding part configured to hold the substrate on the transfer machine, and a detector configured to detect whether the substrate is held on the transfer machine based on an operation of the holding part.