본 명세서에는 판형 물품의 유체 처리 장치로서, 판형 물품을 홀딩함과 동시에 회전 축선을 중심으로 판형 물품을 회전시키기 위한 로터리 헤드, 비접촉 상태로 상기 로터리 헤드를 현가 및 구동하기 위해 상기 로터리 헤드를 중심으로 반경방향으로 배치된 구동 수단, 상기 회전 축선과 실질적으로 동축인 실질적으로 원통형의 벽으로서, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이에 배치되고, 상기 로터리 헤드 및 상기 구동 수단의 사이의 틈새 내에 도입되는 원통형 벽, 및 상기 로터리 헤드 및 원통형 벽을 상기 회전 축선을 따라 축방향으로 상대 이동시키기 위한 승강 수단을 포함하는 판형 물품의 유체 처리 장치가 개시되어 있다.
Herein disclosed is a device for fluid treatment of a plate-like article comprising a rotary head for holding and rotating a plate-like article around a substantially vertical rotation axis - drive means to suspend and drive the rotary head without contact, the means to suspend and drive the rotary head being arranged radially around the rotary head - a substantially cylindrical sidewall, which is substantially concentric to the rotation axis, wherein the cylindrical sidewall is arranged between the rotary head and the drive means and is introduced in the gap between the rotary head and the drive means - elevating means for lifting and lowering the rotary head and the wall relative to each other.