반도체 소자에 공급되는 테스트 패턴을 생성하는 테스트 장치 본체; 반도체 소자에 직접 접촉되어 생성된 테스트 패턴을 반도체 소자에 공급하는 테스트 헤드; 테스트 장치 본체에서 테스트 헤드까지 테스트 패턴을 통과시키는 케이블; 이동식으로 테스트 헤드를 고정하는 고정 플랫폼; 및 상기 고정대 상에서 테스트 헤드가 이동하여 케이블에 장력이 발생하는 경우, 상기 테스트 장치 본체보다 상기 테스트 헤드에 가까운 쪽의 장력을 해제하는 방향으로 이동하며, 상기 케이블을 고정하는 이동식 지지부와, 고정대에서 테스트 헤드가 이동하여 케이블에 느슨함이 발생하는 경우 테스트 장치 본체보다 테스트 헤드에 더 가까운 쪽의 케이블을 당기는 방향으로 제공된다.
A semiconductor test apparatus including a test apparatus body generating a test pattern supplied to a semiconductor device; a test head directly contacting the semiconductor device and supplying to the semiconductor device the generated test pattern; a cable passing the test pattern from the test apparatus body to the test head; a holding platform holding the test head in a movable manner; and a movable support section holding the cable, moving in a direction to release tension on a side closer to the test head than the test apparatus body in a case where tension arises in the cable because the test head moves on the holding platform, and moving in a direction to pull the cable on a side closer to the test head than the test apparatus body in a case where slack arises in the cable because the test head moves on the holding platform is provided.