나사 홈 펌프부를 구비하는 진공 펌프에 있어서 로터 원통체와 고정자 원통체 사이의 이상 접근이나 접촉을 확실하게 방지하는 것.로터 원통체 12와 고정자 원통체 22로 구성되고 고정자 원통체 22의 내주면 22 a에 나사가 형성된 나사 홈 펌프부를 구비하는 복합형 터보 분자 펌프에 고정자 원통체 22의 하단 부근의 내주면 22 a에 로터 원통체 12의 외주면 12 a와 고정자 원통체 22의 내주면 22 a 사이에 형성되어 있는 에어갭을 검지하는 에어갭 센서를 구비했다.
To surely prevent a rotor cylindrical body and a stator cylindrical body from being approached abnormally or brought into contact with each other in a vacuum pump equipped with a screw groove pump part.  In a composite type turbomolecular pump equipped with a screw groove pump part, formed out of a rotor cylindrical body 12, and of a stator cylindrical body 22 in such a way that a screw is formed in the inner circumferential surface 22a of the stator cylindrical body 22 to be formed into the screw groove pump part, an air gap sensor detecting an air gap formed between the outer circumferential surface 12a of the rotor cylindrical body 12 and the inner circumferential surface 22a of a stator cylindrical body 22 is fitted to the inner circumferential surface 22a adjacent to the lower end of the stator cylindrical body 22.