[과제] 유체 제어 기기의 이상의 원인이나 이상을 예측할 수 있는 데이터를 수집하여 분석할 수 있음과 아울러, 분석 결과에 기초하여 이상을 예측한다. [해결수단] 유체 제어 기기(8)와 서버(72)가 네트워크(NW1, 2)를 개재하여 통신 가능하게 구성되고, 유체 제어 기기(8)는, 유체 제어 기기(8)의 동작 정보를 복수 종류 취득하는 동작 정보 취득 기구를 가지며, 서버(72)는, 유체 제어 기기(8)의 이상을 판별하는 판별 처리부(721)와, 유체 제어 기기(1)의 동작 정보와 이상 판별 결과를 수집하는 정보 수집부(724)와, 수집된 동작 정보와 판별 결과를 기억하는 정보 기억부(725)와, 정보 기억부(725)를 참조하여, 분석 대상으로서, 소정의 동작 정보를 동일하게 하는 다른 동작 정보와 판별 결과에 관한 정보를, 유체 제어 기기(1)마다 선택적으로 추출하는 정보 추출부(726)와, 추출된 정보를 대비함으로써, 유체 제어 기기(8)의 소정의 동작과 이상 발생의 상관관계를 분석하는 상관관계 분석부(727)를 가진다.
A cause of abnormality of a fluid control device and/or data with which abnormality can be predicted can be collected to be analyzed, and abnormality can be predicted based on a result of the analysis.A fluid control device 8 and a server 72 are configured to be able to communicate with each other through networks NW1 and 2. The fluid control device 8 includes an operation information acquisition mechanism that acquires a plurality of types of operation information about the fluid control device 8. The server 72 includes a determination processing unit 721 that determines whether the fluid control device 8 has an abnormality, an information collection unit 724 that collects the operation information and an abnormality determination result for the fluid control device 1, an information storage unit 725 that stores the operation information and the determination result collected, an information extraction unit 726 that refers to the information storage unit 725, and extracts, analysis target including same predetermined operation information and another of the operation information as well as information related to the determination result, selectively for each of a plurality of the fluid control devices 1, and a correlation analysis unit 727 that analyzes correlation between a predetermined operation of the fluid control device 8 and occurrence of abnormality through comparison using the information extracted.