원하는 형상에 기판을 변형할 수 있는 또한 고정할 수 있는 기판 고정 장치를 제공한다. 흡인 구멍 12가 형성된 기판 지지면 15를 덮도록 재치판 2를 설치함과 동시에, 흡인 구멍 12가 연통하는 감압실 11 a~11 c를 음압으로 하는 진공 펌프 P를 마련한다. 그리고 조정 밸브 Va~Vc의 개도를 조정함으로써 감압실 11 a~11 c 내를 다른 음압으로 하고, 흡인 구멍 12의 흡인력을 부분적으로 다른 것으로서 기판을 변형시킨 상태에서 재치판 2상에 흡착 고정한다. 여기서 원하는 형상에 부드럽게 기판을 변형시키는 관점에서는 상기 탄성 다공질 부재의 두께는 0.1 mm~5 mm의 범위인 것이 바람직하다. 또한 상기 탄성 다공질 부재의 탄성률은 10~25 N/mm2의 범위인 것이 바람직하다. 또한 상기 탄성 다공질 부재의 기공율은 20~50％의 범위인 것이 바람직하다.
To provide a substrate fixing device that can deform a substrate into a desired shape and also fix it. A mount plate 2 is fitted so as to cover a substrate support surface 15 having suction holes 12 formed, and a vacuum pump P is provided which produces negative pressure in decompression chambers 11a-11c that the suction holes 12 communicate with. Opening extents of regulating valves Va-Vc are adjusted to produce different pressure in the decompression chambers 11a-11c, and thereby the suction holes 12 differ partially in suction force to suck and fix the substrate on the mount plate 2 in a deformed state. Here, an elastic porous member is preferably 0.1-5 mm thick for smooth deformation of the substrate into the desired shape. Further, the elastic modulus of the elastic porous member is preferably 10-25 N/mm2. Furthermore, the porosity of the elastic porous member is preferably 20-50%.