모체 유리의 조성 변동을 억제하면서 형성하는 것이 가능하고, 재현성이 좋다 상분리 유리막 제조 방법을 제공한다. 기재 10의 위에 모체 유리 분체 12를 포함한 막 11을 형성하는 성막 공정과 막 11을 전기로 내에서 가열 처리해 모체 유리막 14를 형성하는 제1 열처리 공정과 모체 유리막 14를 가열 처리해 상분리하고 상분리 유리막 1을 형성하는 제2 열처리 공정를 가지며, 모체 유리 분체 12에 상기 제 1 열처리 공정의 온도 조건에서 휘발하는 휘발 성분이 포함되어 있고 상기 제 1 열처리 공정이 상기 휘발 성분이 확산하는 공간을 제한한 상태로 수행된다.
To provide a manufacturing method of a phase-separated glass film by which the phase-separated glass film can be formed while suppressing composition change in base glass and which is excellent in reproducibility. A manufacturing method of a phase-separated glass film includes: a film forming step of forming on a base material 10, a film 11 containing base glass powder bodies 12; a first heat treatment step of forming a base glass film 14 by performing heat treatment on the film 11 in an electric furnace; and a second heat treatment step of forming a phase-separated glass film 1 by performing heat treatment on the base glass film 14 to phase-separate the same. Further, the base glass powder bodies 12 include a volatile component that is volatilized in a temperature condition in the first heat treatment step, and the first heat treatment step is performed in a state in which a space into which the volatile component diffuses is restricted.