반구형상으로 퍼진 제1감광제 패턴(100)은 높이는 낮아지는 반면에 선폭은 넓어지는 형상으로 이루어지게 된다.
The first photoresist pattern 100 spread in a hemispherical shape is formed in a shape where the height is decreased while the line width is widened.