피가공물을 연삭하기 전에 보호 테이프의 외주연에 버가 존재하는지를 판정할 수 있는 연삭 장치를 제공한다. 한쪽의 면에 보호 테이프가 접착된 판형 피가공물을 연삭하는 연삭 장치로서, 피가공물을 척 테이블에 반입하기 전에 보호 테이프의 외주연 버를 검출하는 버 검출 유닛을 포함하고 버 검출 유닛은 피가공물의 외주연 일부와 보호 테이프의 외주연 일부를 포함한 영역을 촬상해 화상을 형성하는 촬상부와 촬상부에 의해 형성된 화상에 포함되는 정보로부터 보호 테이프의 외주연에 버가 존재하는지를 판정하는 판정부를 가지며, 판정부는 화상에서 산출되는 피가공물의 외주연과 보호 테이프의 외주연과의 거리가 미리 설정되어 있는 임계값을 초과할 경우, 또는 임계값 이상일 경우에 보호 테이프의 외주연에 버가 존재한다고 판정한다.
To provide a grinding device which can determine whether or not burrs exist at an outer peripheral edge of a protection tape before grinding a workpiece. A grinding device grinds a plate-like workpiece, in which a protection tape is bonded to one surface, and includes a burr detection unit which detects burrs at an outer peripheral edge of the protection tape before the workpiece is carried into a chuck table. The burr detection unit has: an imaging part which captures an image of an area including a part of an outer peripheral edge of the workpiece and a part of the outer peripheral edge of the protection tape to form an image; and a determination part which determines whether or not burrs exist at the outer peripheral edge of the protection tape from information included in the image formed by the imaging part. The determination part determines that burrs exist at the outer peripheral edge of the protection tape when a distance between the outer peripheral edge of the workpiece and the outer peripheral edge of the protection tape that is calculated from the image exceeds a preset threshold value or is larger than or equal to the threshold value.