탄소기재(41)의 표면에, 탄소기재(41)를 피복한 탄화탄탈 피복막(42)이 형성되어 있다. 탄화탄탈 피복막(42)은 X선 회절에 의해 탄화탄탈에 대응한 회절피크의 (311)면의 배향각도에서 80°이상에서 최대 피크값을 갖는다.
On the surface of a carbon substrate 41, a tantalum carbide coating film 42 is formed to coat the carbon substrate 41. The tantalum carbide coating film 42 has a maximum peak value of at least 80 degrees in an orientation angle of a (311) plane corresponding to a diffraction peak of tantalum carbide as determined by X-ray diffraction.