폴리머형 억제제는, 액침 노광용의 보호막을 적용했을 때의 패턴의 막 감소나 패턴 톱의 라운딩을 방지하는 효과도 있다.
The polymeric inhibitor also prevents the pattern top from being rounded or a film reduction in the pattern when a protective film for liquid immersion exposure is applied.