기판상에 형성한, 복수의 그래핀층을 그 특성을 실질에 훼손하지 않고, 기판 표면에서 직접 또는 간접적으로 벗김으로써, 지지 기판이 불필요한 자립형 박막 태양전지 등의 전자 소자를 제작함으로써, 고효율의 다접합 박막 태양전지 등의 전자 소자의 설계 자유도를 향상시키는 것이다. 기판상에 복수의 그래핀층을 형성하는 것, 상기 그래핀층상에 반도체막을 포함한 반도체 소자를 형성하는 것, 그 다음에 그래핀층을 기판에서 직접 또는 간접적으로 벗기고, 벗겨진 그래핀층을 투명 도전막으로 함으로써 반도체막을 포함한 반도체 소자를 제조하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 방법.
To improve a degree of freedom in designing an electronic element such as a high-efficiency multi-joint thin film solar cell by manufacturing an electronic element such as a stand-alone thin film solar cell for which a support substrate is not required, by directly or indirectly exfoliating a plurality of graphene layers formed on a substrate from a surface of the substrate without substantially impairing the properties thereof. A manufacturing method of a semiconductor device includes: forming the plurality of graphene layers on the substrate; forming the semiconductor device including a semiconductor film on the graphene layer; and then directly or indirectly exfoliating the graphene layer from the substrate and making the exfoliated graphene layer into a transparent conductive film, thereby manufacturing the semiconductor device including the semiconductor film.