본 발명은, - 직렬로 장착되는 적어도 4개의 펌핑 스테이지(T1, T2, T3, T4, T5)를 구비하는, 복수 스테이지 건식 타입의 1차적 진공 펌프(2)를 포함하는, 펌핑 유닛(1)으로서: 상기 펌핑 유닛(1)은: - 직렬로 장착되는 제1 및 제2 펌핑 스테이지(B1, B2)를 구비하는 2-스테이지 루츠 진공 펌프(3)로서, 2-스테이지 루츠 진공 펌프(3)의 제2 펌핑 스테이지(B2)는, 펌핑될 기체들의 유동 방향에서, 상기 1차적 진공 펌프(2)의 제1 펌핑 스테이지(T1)의 상류에 그리고 직렬로 장착되는 것인, 2-스테이지 루츠 진공 펌프(3)를 포함하고, - 상기 2-스테이지 루츠 진공 펌프(3)의 제1 펌핑 스테이지(B1)의 배기 용적 대 상기 2-스테이지 루츠 진공 펌프(3)의 제2 펌핑 스테이지(B2)의 배기 용적의 비는, 6 미만이며, 그리고 - 상기 2-스테이지 루츠 진공 펌프(3)의 제2 펌핑 스테이지(B2)의 배기 용적 대 상기 1차적 진공 펌프(2)의 제1 펌핑 스테이지(T1)의 배기 용적의 비는, 6 미만인 것을 특징으로 하는 펌핑 유닛에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 상기 펌핑 유닛(1)의 용도에 관한 것이다.
The invention relates to a pumping unit (1) comprising:a rough-vacuum pump (2) of the multi-stage dry pump type comprising at least four pumping stages (T1, T2, T3, T4, T5)mounted in series, characterized in that the pumping unit (1) comprises: a vacuum pump (3) of the two-stage Roots type comprising a first and a second pumping stage (B1, B2) mounted in series, the second pumping stage (B2) of the two-stage Roots type vacuum pump (3) being mounted in series with and upstream of a first pumping stage (T1) of the rough-vacuum pump (2) in the direction of flow of the gases that are to be pumped,the ratio of the flowrate generated by the first pumping stage (B1) of the two-stage Roots type vacuum pump (3)to the flowrate generated by the second pumping stage (B2) of the two-stage Roots type vacuum pump (3) being less than six, and the ratio of the flowrate generated by the second pumping stage at (B2) of the two-stage Roots type vacuum pump (3) to the flowrate generated by the first pumping stage (T1) of the rough-vacuum pump (2) being less than six. The present invention also relates to a use of the said pumping unit (1).