적어도 하나의 상방으로 연장되는 퍼지 노즐을 갖는 기판 컨테이너 수용 존을 구비한 퍼징 시스템이 제공된다. 노즐은 원형 결합 립을 갖는다. 기판 컨테이너는 적어도 하나의 기판을 위한 지지 부재와, 컨테이너로부터 하방으로 직면하며 바깥쪽으로 직면하는 밀봉 플랜지를 포함하는 퍼지 포트 어셈블리를 갖는다. 밀봉 플랜지는 중앙 어퍼처와, 노즐의 원형 결합 립과 결합하는 캔틸레버 플랜지부를 갖는다. 플랜지의 캔틸레버 부분에 의해 이송되는 노즐 상의 기판 컨테이너의 중량은 탄력성 소프트 밀봉을 위해 플랜지를 구부러지게 한다. 
A purging station with a substrate container receiving zone having at least one upwardly extending purging nozzle. The nozzle has a circular engaging lip. The substrate container has support means for at least one substrate and a purge port assembly that includes an externally facing sealing flange facing downward from the container. The sealing flange has a central aperture and a cantilevered flange portion that engages with the circular engaging lip of the nozzle. The weight of the substrate container on the nozzle carried by the canilevered portion of the flange causes bending of the flange for a resilient soft seal.