화상 검사 장치에, 검사 대상물의 샘플을 화상 센서로 촬영하여 얻어진 샘플 화상을 이용하여 검사 처리로 이용하는 검사 영역을 미리 설정하는 검사 영역 설정 수단을 마련한다. 검사 영역 설정 수단은, 샘플 화상에서의 각 픽셀의 색 또는 휘도의 정보, 및, 샘플 화상에 포함되는 에지의 정보에 의거하여, 검사 영역의 내측과 외측의 사이에서의 색 또는 휘도의 픽셀 분리도와, 검사 영역의 윤곽과 에지와의 에지 겹침도의 양쪽을 평가함에 의해, 검사 영역의 최적해를 구한다. 또한, 검사 영역 설정 수단은, 유저로부터 입력된 밸런스 파라미터에 응하여, 픽셀 분리도와 에지 겹침도를 평가할 때의 무게를 조정한다.
An inspection area setting method for setting inspection area-defining information defining an inspection area to an image inspecting device, the image inspecting device being configured to extract a portion constituting the inspection area as an inspection area image from an original image obtained by taking an image of an inspection object, and to inspect the inspection object by analyzing the inspection area image, includes an acquisition step of acquiring a sample image obtained by taking an image of a sample of the inspection object, an inspection area searching step, and a setting step.