제1 전극열(TS)의 폭은 제2 전극열(RS)의 폭보다 크게 형성되고, 제2 전극열(RS)의 폭은 접지 전극열(GS)의 폭보다 크게 형성된다.
The width of the first electrode column TS is formed to be greater than the width of the second electrode column RS, and the width of the second electrode column RS is formed to be greater than the width of the ground electrode column GS.