실시예 12∼14 및 비교예 5∼8에 있어서의, 모듈계 내의 압력과 플럭스의 관계를 도 4로서 나타낸다.
In Examples 12 to 14 and Comparative Examples 5 to 8, the relationship between the pressure and the flux in the module system is shown in FIG. 4.