본 발명은 컴포넌트를 검사하는 시스템을 제공한다. 이 시스템은 컴포넌트 피처로부터의 정반사 또는 비-람베르티안 반사를 생성하기 위하여 컴포넌트 피처를 조사하는 광원을 포함한다. 정반사 또는 비-람베르티안 반사를 수신하고, 컴포넌트 피처로부터 반사된 빛의 점에 대하여 점 휘도(point brightness) 데이터 및 점 위치 데이터를 생성하기 위하여 이미지 센서가 배치된다. 높이 측정 시스템은 점 휘도 데이터 및 점 위치 데이터를 수신하여 피처 높이 데이터(feature height data)를 생성한다. 
[02] A system for inspecting components is provided. The system includes a light source illuminating a component feature so as to create a specular or non-lambertian reflection off the component feature. An image sensor is positioned to receive the specular or non-lambertian reflection and to generate point brightness data and point position data, such as for a point of light reflected off the component feature. A height measurement system receives the point brightness data and the point position data and generates feature height data. 