전구체 용액의 마이크로 액적화는 진동수가 1.7 MHz인 초음파 분무기를 이용하였으며, 생성된 전구체 용액의 마이크로 액적은 운반 기체에 의해 반응기의 상부로 이송되어 반응기에 투입되었다.
For the micro-dropletization associated with the precursor solution, an ultrasonic atomizer having a frequency of 1.7 MHz was used, and the micro-droplets associated with the generated precursor solution had been transferred to the upper element of the reactor by way of a carrier gas and introduced to the reactor.