시스템은 EFEM (equipment front end module), 진공 이송 모듈 (vacuum transfer module; VTM), 복수의 QSM들 (quad station process modules) 을 포함한다. EFEM은 복수의 웨이퍼들을 수용하도록 구성된다. EFEM은 EFEM 이송 로봇을 포함한다. VTM은 EFEM으로부터 복수의 웨이퍼들을 수용하도록 구성된다. VTM은 VTM 이송 로봇을 포함한다. 복수의 QSM들은 VTM에 커플링된다. VTM 이송 로봇은 VTM과 복수의 QSM들 사이에서 웨이퍼들을 이송하도록 구성된다. EFEM 이송 로봇은 EFEM과 VTM 사이에서 웨이퍼들을 이송하도록 구성된다.
A system comprises an equipment front end module (EFEM), a vacuum transfer module (VTM), a plurality off quad station process modules (QSMs). The EFEM is configured to receive a plurality of wafers. The EFEM comprises an EFEM transfer robot. The vacuum transfer module (VTM) is configured to receive the plurality of wafers from the EFEM. The VTM comprises a VTM transfer robot. The plurality of quadstation process modules (QSMs) is coupled to the VTM. The VTM transfer robot is configured to transfer wafers between the VTM and the plurality of QSMs. The EFEM transfer robot is configured to transfer wafers between the EFEM and the VTM.