그 위의 기판 정합 위치에서 큰 변화를 수용할 수 있는 실질적으로 균일한 접촉 면(128)을 제공하는 기판 리테이너(110)가 제공된다. 균일한 접촉 면(128)은 기판(114)이 기판 리테이너(110)에 의해 손상되거나 그 내부에 비의도적으로 핀칭되는 가능성 또는 균일한 접촉 면(128)에 의해 너무 강하게 가압되는 가능성을 제거하기 위해 편향 및 압축이 허용된다. 이러한 배열로 인해 접착제나 테이프가 사용되지 않으므로 미세 환경을 오염시키는 휘발성 유기 화합물의 가스 발생 또는 세정 과정에서 이러한 접착제와 테이프의 부적합성으로 인한 문제가 수반되지 않는다.
The present invention provides a kind of substrate holder (110), and the substantially uniform contact surface (128) changed greatly for being suitable for the position of substrate alignment above is presented.Allow the uniform contact surface (128) to deflect and compress to eliminate substrate (114)  and to be damaged or be unintentionally clamped in by the substrate holder (110) in the substrate holder (110) or by the possibility of uniform contact surface (128) the pressing tension.In the case where having this arrangement, do not utilize adhesive or adhesive tape, thus there is no adjoint the degasification of the volatile organic compounds of pollution microenvironment or due to these adhesives and adhesive tape and washing process it is incompatible caused by concurrent event.