증착 속도의 검출 정밀도를 저하시키지 않고 수정판의 장기 수명화가 가능하며 이것에 의해 가동률의 향상을 도모할 수 있는 증착 방법을 제공한다. 수정판의 주파수를 측정하는 제1 공정과 주파수를 측정한 후의 수정판을 소정 시간 사이만 증착 물질의 증기에 노출시키는 제2 공정과 증착 물질의 증기에 노출시킨 후의 상기 수정판의 주파수를 측정하는 제3 공정과 제1 공정과 제3 공정으로 측정한 각 주파수와 상기 제 2 공정에서의 소정 시간으로부터 당해 증착 물질의 증착 속도를 산출하는 제4 공정을 수행한다.
To provide a vapor deposition method for making service life of a quartz plate longer without degrading detection accuracy of a vapor deposition rate and thereby improving an operation rate. The method includes: a first step of measuring the frequency of the quartz plate; a second step of exposing the quartz plate after the measurement of the frequency to the vapor of a vapor deposition substance only during the prescribed time; a third step of measuring the frequency of the quartz plate after the exposure to the vapor of the vapor deposition substance; and a fourth step of calculating the vapor deposition rate of the vapor deposition substance.