예측 모델의 생성에 있어서, 출력 데이터로서, 예를 들면, 반도체 처리 장치(201)의 처리 결과에 대한 간접적인 계측값을 취득하는 센서 데이터 및 모니터 데이터가 사용된다.
In generation of the predictive model, as output data, for example, sensor data and monitor data for acquiring an indirect measurement value of the processing result of the semiconductor processing device 201 are used.