제1 에너자이징 빔(FE)의 감소를 보상하기 위하여, 각각의 반복에 대하여 정정 계수가 제1 검출 신호(SAD1)의 모듈의 업스트림에 인가된다.
In order to compensate for the reduction of the first energizing beam FE, for each iteration, a correction coefficient is applied upstream of the module of the first detection signal SAD1.