정전 척용 세라믹 조성물, 이것을 이용한 정전 척에 관한 것이다. 정전 척은 제1 세라믹 분말 및 제1 도전성 분말을 포함한 세라믹 조성물로 형성된 제1 세라믹층 10을 포함한다. 매우 1 세라믹층 10은 낮은 비저항을 가질 수 있고 이것에 의해 정전 척의 정전 흡착력을 향상시킬 수 있다. 제1 세라믹층 10과 제1 도전성 분말로 제작한 전극 20, 그 위에 제2 세라믹 분말, 제2 도전성 분말 및 유리를 포함한 제2 세라믹층 30으로 구성되는 정전 척을 도 1에 나타낸다.
To provide a ceramic composition for an electrostatic chuck, and an electrostatic chuck using the same. Provided is an electrostatic chuck containing the first ceramic layer 10 formed of a ceramic composition including the first ceramic powder and the first conductive powder. The first ceramic layer 10 may have low specific resistance, thus the electrostatic adsorption power of the electrostatic chuck can be improved. The electrostatic chuck composed of: the first ceramic layer 10; an electrode 20 produced with the first conductive powder; and the second ceramic layer 30 including the second ceramic powder, the second conductive powder and glass is shown in figure 1.