구동부의 구동에 의해, FOUP에 접촉하는 진출 위치와 FOUP으로부터 이반하는 퇴피 위치와의 사이에서 흔들림 억제부를 주행 방향으로 이동시키는 이동 기구와, 구동부의 구동에 의해 진출 위치로 이동된 흔들림 억제부의, 구동부의 구동이 정지한 후에 있어서의 주행 방향으로의 이동을 허용하는 완충 기구를 구비한다. 완충 기구는 흔들림 억제부에 접속되고 또한 흔들림 억제부의 제 2 위치 방향으로의 이동량에 따른 동작량의 동작을 하는 제 1 접속부 및 봉 형상부와, 흔들림 억제부가 FOUP를 누르도록 제 1 접속부 및 봉 형상부에 힘을 가하는 제 1 부세부와, 제 1 접속부 및 봉 형상부의 동작량이 소정량 이상일 때에 제 1 접속부 및 봉 형상부에 작용하여, 흔들림 억제부가 FOUP을 누르도록 제 1 접속부 및 봉 형상부에 힘을 가하는 제 2 부세부를 가진다.
A moving mechanism moves a swing suppression unit in a traveling direction between an advanced position contacting a FOUP and a retracted position away from the FOUP by a drive of a drive unit. A buffer mechanism that allows the swing suppression unit that has been moved to the advanced position by the drive of the drive unit to move to the traveling direction after stopping the drive of the drive unit. The buffer mechanism includes a first coupling portion and a rod-shaped portion coupled to the swing suppression unit to perform a movement of an operation amount in accordance with an amount of movement of the swing suppression unit to a second position direction, a first bias portion that biases the first coupling portion and the rod-shaped portion so that the swing suppression unit presses the FOUP, and a second bias portion that acts on the first coupling portion and the rod-shaped portion when the operation amount of the first coupling portion and the rod-shaped portion is greater than a predetermined amount and that biases the first coupling portion and the rod-shaped portion so that the swing suppression unit presses the FOUP.