검사 시스템(100)은, 프로버(200)와, 테스터(300)를 구비한다. 테스터(300)는, 복수의 DUT의 각각에 대응하는 LSI를 복수 탑재한 복수의 테스터 모듈 보드(33)와, 복수의 DUT의 검사 결과 및/또는 테스터(300)의 자기 진단 결과를 나타낸 웨이퍼 맵을 표시하는 표시부(44), 및 표시부(44)에 표시하는 웨이퍼 맵을 묘화하는 웨이퍼 맵 묘화 어플리케이션(60)을 가지는 테스터 제어부(35)를 가지며, 웨이퍼 맵 묘화 어플리케이션(60)은, 검사 결과 및/또는 자기 진단 결과를 복수의 DUT의 각각에 단계적으로 표시함과 아울러, 웨이퍼 맵에 있어서의 복수의 DUT의 각각이, 복수의 테스터 모듈 보드(33)에 탑재된 복수의 LSI의 각각에 결부되어 있다.
An inspection system (100) is provided with a prober (200) and a tester (300). The tester (300) comprises: a plurality of tester module boards (33) on which a plurality of LSIs respectively corresponding to a plurality of devices under test (DUT) are mounted; a display unit (44) which displays a wafer map indicating inspection results of the plurality of DUTs and/or a self-diagnosis result of thetester (300); and a tester control unit (35) which includes a wafer map write application (60) for writing the wafer map displayed on the display unit (44). The wafer map write application (60) causesthe inspection results and/or the self-diagnosis result to be displayed for each of the plurality of DUTs in a stepwise manner. In the wafer map, the plurality of DUTs are respectively tied with theplurality of LSIs mounted on the plurality of tester module boards (33).