본 발명의 광 변조기는 기판 위에 매달려 있는, 스프링 달린 적어도 하나의 마이크로-미러를 갖는 간격-제어가능한 에탈론을 포함한다. 적어도 하나의 전기적 절연 멈춤부가 마이크로-미러와 기판 사이에 제공되어, 인가된 전압에 의해 마이크로-미러가 기판쪽으로 당겨질 때 단락 회로를 회피한다. 광학 검출기가 제 1 레이저 펄스의 도착 시간을 검출한다. 제어 회로는 이것으로부터 다음 입사 레이저 펄스의 도착 시간을 예측하고, 제어 신호에 응답하여, 절연 멈춤부들에 걸려 유지되고 있는 그것의 풀-다운 상태로 마이크로-미러를 유지하거나, 변조기를 통해 전송되는 광을 최대화 또는 최소화할 수 있는 것으로 예측된 시간에 마이크로-미러를 릴리즈한다. 미리 결정된 횟수의 기계적 진동들을 허용하도록 계산된 시간 간격 후에, 마이크로-미러가 멈춤부들 위로 다시 당겨진다.
An optical modulator comprising a spacing-controllable etalon having at least one sprung micro- mirror suspended above a substrate. At least one electrically insulating stop is provided between the micro-mirror and the substrate to avoid short-circuit when the micro-mirror is drawn towards the substrate by an applied voltage. An optical detector detects the time of arrival of a first laser pulse. A control circuit predicts from this an arrival time of the next incident laser pulse and, responsive to a control signal, either retains the micro-mirror in its pulled-down state held against the insulating stops or releases the micro-mirror at a time predicted to maximise or minimise the light transmitted through the modulator. After a time interval calculated to permit a predetermined number of mechanical oscillations, the micro-mirror is pulled back down onto the stops.