습도 변화에 의한 공진 주파수 변화가 일정 범위 내로 억제된 검출 소자 및 그것을 이용한 검출 장치를 제공하는 것. 본 발명의 일형태에 따른 검출 소자는 수정 진동자와 상기 수정 진동자상에 형성된 흡착막을 구비한다. 상기 흡착막은 상기 검출 소자의 크리스탈 임피던스가 상기 흡착막이 형성되지 않은 상기 수정 진동자의 크리스탈 임피던스의 10배 이하가 되는 두께를 가진다.
To provide a detection element in which a resonance frequency change due to a humidity change is suppressed within a given range, and a detection device using the detection element. A detection element according to one embodiment of the present invention includes a crystal oscillator, and an absorption film formed on the crystal oscillator. The absorption film has such a thickness that crystal impedance of the detection element is 10 times or less crystal impedance of the crystal oscillator on which the absorption film is not formed.