한 쌍의 전극(14)의 대향면에는 유전체(13)가 설치되어 있다. 한 쌍의 유전체(13) 사이에는 원료 가스 공급로 및 오존 가스 제거로를 연통하는 방전 간극(20)이 형성되어 있다. 기능막(17)은 니오븀, 탄탈륨, 몰리브덴 및 크롬으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속의 제1 금속 산화물과 제2 금속 산화물을 포함한다. 티타늄, 텅스텐, 아연 및 철로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속.
A dielectric 13 is provided on each of opposing surfaces of a pair of electrodes 14. Discharge gaps 20 communicating with a raw material gas supply path and an ozone gas removal path are formed between the pair of dielectrics 13. A functional film 17 is formed on each of the pair of dielectrics 13 so as to face the discharge gaps 20. The functional film 17 contains a first metal oxide of one or more metals selected from a group consisting of niobium, tantalum, molybdenum, and chromium, and a second metal oxide of one or more metals selected from a group consisting of titanium, tungsten, zinc, and iron.