본 발명의 리프트 핀은, 처리면 및 비처리면을 갖는 기판에 접촉하는 리프트 핀이며, 제1 표면 조도 및 전기 절연부를 갖는 제1 면과, 도전성 부재인 본체를 갖고, 상기 기판의 상기 비처리면에 대향하는 중앙 부재와, 상기 제1 표면 조도보다 작은 제2 표면 조도 및 전기 절연부를 갖는 제2 면을 갖고, 상기 중앙 부재의 주위를 둘러싸서, 상기 기판의 상기 비처리면에 대향하는 주위 부재를 구비한다.
This lift pin to be in contact with a substrate having a surface to be treated and a surface not to be treated is provided with: a center member, which has a first surface having a first surface roughness and an electric insulating section, and a main body, i.e., a conductive member, and which faces the substrate surface not to be treated; and a peripheral member, which has a second surface havinga second surface roughness that is smaller than the first surface roughness, and an electric insulating section, and which surrounds the periphery of the center member, said peripheral member facingthe substrate surface not to be treated.