부품을 용제 중에 침지하는 세척 방식이라도 일련의 세정 공정을 단축화할 수 있고, 또한 소형화할 수 있는 진공 탈지 세척 장치 및 그것을 이용한 진공 탈지 세척 방법을 제공한다. 감압 분위기 하에서 피세정물 W를 용제 중에 침지함으로써 피세정물 W를 탈지, 세척하는 단일 세정실 5를 구비하는 진공 탈지 세척 장치 1에 있어서 단일 세정실 5는 내부에 가열 매체가 흐르는 구조체 2와 구조체 2상에 용제를 확산하는 노즐 3를 가지는 구조로 한다. 또한 구조체 2는 세정실 5 내의 측방측이나 하부측에 설치할 수도 있다.
To provide miniaturizable vacuum defatting washing equipment capable of shortening a series of cleaning process, even in the case of a washing system for immersing a component into a solvent; and to provide a vacuum defatting washing method using the same. In vacuum defatting washing equipment 1 including a single cleaning room 5 for defatting and cleaning a cleaning object W by immersing the cleaning object W into a solvent under a reduced pressure atmosphere, the single cleaning room 5 is structured so as to have a structure 2 in which a heating medium flows, and a nozzle 3 for diffusing the solvent over the structure 2. Further, the structure 2 can be installed on the lateral side or on the lower side in the cleaning room 5.