주펌프와 부펌프의 동시 가동에 의한 에너지의 낭비를 완화하고 반응실 내를 대기에 노출시키지 않고 에너지 절약 운전을 한다.반응실 내를 진공 배기하는 수단으로서 배기 경로에 반응실 측에서 순서대로 주펌프 및 부펌프의 2단의 배기 펌프가 직렬로 접속되어 있는 기판 처리 장치에 있어서 반응실 내를 진공 배기하는 배기 운전 모드로서 주펌프와 부펌프의 양쪽 모두를 구동해 반응실 내의 진공 배기를 하는 제1 운전 모드와 부펌프만을 구동해 반응실 내의 진공 배기를 하는 제2 운전 모드를 준비하고 기판 처리 시에는 제1 운전 모드를 선택해, 그 이외의 비처리 시에는 제2 운전 모드를 선택하고, 반응실 내의 진공 배기를 한다.
To perform an energy-saving operation by restraining wasteful energy consumption by the simultaneous operation of a main pump and an auxiliary pump and not exposing the interior of a reaction chamber to the atmosphere.  In the substrate processing system comprising a two-stage air discharge pumping system of a main pump and an auxiliary pump, as means for evacuating the interior of a reaction chamber, serially connected, in that order, from the reaction chamber side in an air discharging passage, a first operating mode for evacuating the interior of the reaction chamber by driving both main and auxiliary pumps and a second operating mode for evacuating the interior of the reaction chamber by driving only the auxiliary pump are prepared as the air discharge operating modes for evacuating the interior of the reaction chamber. Thus the interior of the reaction chamber is evacuated by selecting the first operating mode during processing the substrate and selecting the second operating mode during non-processing other than the processing of the substrate.