본 개시내용은, 증착 시스템에서의 캐리어(220)의 비접촉식 이송을 위한 장치를 제공한다. 장치는, 이송 방향(1)으로 캐리어(220)를 이동시키기 위한 구동 구조(210), 및 구동 구조(210)에 있는 포지션 검출 디바이스(215)를 포함한다.
The present disclosure provides an apparatus for contactless transportation of a carrier (220) in a deposition system. The apparatus includes a drive structure (210) for moving the carrier (220) in atransport direction (1), and a position detection device (215) at the drive structure (210).