또, 톱 코트는, 레지스트막과 혼합되지 않고, 또한 레지스트막의 표면에 균일하게 도포할 수 있는 것이 바람직하다.
In addition, it is preferable that the topcoat is not mixed with the resist film and can be uniformly applied to the surface of the resist film.