[과제] 광 절단법에 의해 측정 대상물의 요철 형상을 측정할 때, 측정 대상물과 촬상 장치와의 거리가 변동되어도, 고정밀도로 측정 대상물의 형상을 측정하는 것이 가능한 형상 측정 장치를 제공한다. [해결 수단] 형상 측정 장치는, 선상 광 조사 장치에 의해 측정 대상물에 조사된 선상 광을 촬상 장치에 의해 촬상한 촬상 화상으로부터, 선상 광의 선상 광 위치를 검출하는 선상 광 위치 검출부와, 촬상 장치로부터 소정의 기준 거리의 위치에 측정 대상물이 위치할 때에 선상 광 위치 검출부에 의해 검출되는 기준 선상 광 위치와, 선상 광 위치 검출부에 의해 검출된 선상 광 위치의 거리차, 기준 거리, 및 촬상 장치의 광축과 선상 광의 출사 방향이 이루는 각에 기초하여, 촬상 장치로부터 측정 대상물까지의 거리를 연산하는 거리 연산부와, 촬상 장치로부터 측정 대상물까지의 거리에 기초하여, 촬상 장치의 포커스를 조정하는 포커스 조정부와, 촬상 화상에 기초하여, 측정 대상물의 형상을 연산하는 형상 연산부를 구비한다.
[Object] To provide a shape measurement apparatus that, in measuring the unevenness shape of a measurement object by a light-section method, enables the shape of the measurement object to be measured precisely even when the distance between the measurement object and an image capturing apparatus fluctuates.[Solution] Provided is a shape measurement apparatus including: a linear light position detection unit that detects, from a captured image of linear light applied to a measurement object by a linear light irradiation apparatus that is captured by an image capturing apparatus, a linear light position of the linear light; a distance computation unit that computes a distance from the image capturing apparatus to the measurement object, on the basis of a distance difference between a reference linear light position detected by the linear light position detection unit when the measurement object is positioned at a position of a predetermined reference distance from the image capturing apparatus and the linear light position detected by the linear light position detection unit, the reference distance, and an angle formed by an optical axis of the image capturing apparatus and an emission direction of the linear light; a focus adjustment unit that adjusts focus of the image capturing apparatus on the basis of the distance from the image capturing apparatus to the measurement object; and a shape computation unit that computes a shape of the measurement object on the basis of the captured image.