검출기는 기판 타겟(30)의 2차원 각도 산란 스펙트럼 또는 회절 스펙트럼이 측정될 수 있도록 2차원 검출기일 수 있다.
The detector may be a two-dimensional detector such that a two-dimensional angular scattering spectrum or a diffraction spectrum of the substrate target 30 may be measured.