본 발명의 압력 센서는, 복수의 센서부를 매트릭스 형상으로 배치한 것이다. 센서부에서는 제1배선에 접속하는 제1전극과 제2배선에 접속하는 제2전극이 공동부를 통하여 대향 배치되어 있다. 제2전극은 검체로부터의 압력에 따라 제1전극측으로 만곡하며, 소정 이상의 압력이 가해지면 제1전극에 접촉한다. 검체를 압력 검지 영역에 가압했을 때, 검체의 凸부에 대응하는 센서부에서는 양 전극이 서로 접촉하며, 凹부에 대응하는 센서부에서는 분리된 채로 있다. 이 때, 주사 회로로부터 하나의 제1배선에 주사 신호를 공급하고, 감지 회로에서 제2배선을 흐르는 신호의 유무를 검지하면, 각 센서부에 가해지는 압력을 검지할 수 있다. 주사 회로로부터 각 제1배선에 순차적으로 주사 신호를 공급하고, 압력 검지 영역을 대충 주사하여 형상을 검지한다.
A pressure sensor comprising a plurality of sensor parts arranged in matrix. A first electrode being connected with first wiring and a second electrode being connected with second wiring are disposed oppositely through a cavity part in the sensor part. The second electrode bends to the first electrode side in response to a pressure from a specimen and touches the first electrode upon application of a pressure of a specified level or above. When the specimen is pressed against a pressure detecting region, both electrodes touch each other at a sensor part corresponding to a protrusions of the specimen and are separated at a sensor part corresponding to a recess. When a scanning signal is fed from a scanning circuit to one wiring and presence of a signal flowing through the second wiring is detected by a sensing circuit, a pressure being applied to each sensor part can be detected. Furthermore, the shape is detected by feeding the scanning signal from the scanning circuit to each first wiring sequentially and scanning the pressure detecting region generally.