레이저 광의 에너지 밀도의 불균일에 의존하여, 유리 기판에 포함되는 복수의 박막 트랜지스터의 특성에 불균일이 발생하고, 유리 기판을 액정 표시 장치의 액정에 이용한 경우, 표시 불균일이 발생하는 문제가 있다. 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 레이저 조사 장치는, 레이저 광을 발생시키는 광원; 및 박막 트랜지스터에 피착된 아몰퍼스 실리콘 박막의 서로 다른 복수의 영역에 상기 레이저 광을 조사하는 투영 렌즈;를 구비하고, 상기 투영 렌즈는, 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극과 드레인 전극 사이가 복수의 채널 영역에 의해 병렬 접속되도록, 상기 아몰퍼스 실리콘 박막의 상기 서로 다른 복수의 영역에 상기 레이저 광을 조사하는 것을 특징으로 한다.
The present invention addresses the problem of display unevenness caused, when a glass substrate is used for the liquid crystal in a liquid crystal display device, as a result of variations that arisein the characteristics of a plurality of thin-film transistors included in the glass substrate depending on variations in the energy density of laser light. A laser irradiation device according to anembodiment of the present invention is provided with a light source which generates laser light, and a projection lens for irradiating a plurality of mutually different areas of an amorphous siliconthin-film attached to a thin-film transistor with the laser light. The laser irradiation device is characterized in that the projection lens irradiates the plurality of mutually different areas of theamorphous silicon thin-film with the laser light in such a way that the source electrode and drain electrode of the thin-film transistor are connected by a plurality of channel areas in parallel.