연삭쓰레기가 배수 배관에 흘러 들어가기 전에 척 테이블 부근에서 연삭쓰레기를 제거할 수 있도록 한다. 연삭 장치는 자성체를 포함한 판형 워크 W를 지지하는 지지 수단과 지지 수단이 지지한 판형 워크 W를 연삭 숫돌 136에서 연삭하는 연삭 수단 13과 지지 수단이 지지한 판형 워크 W에 연삭수 1을 공급하는 연삭수 공급 수단 15를 구비하고, 지지 수단은 판형 워크 W를 흡인 지지하는 지지면 22 a를 가지는 척 테이블 21과 척 테이블 21을 위요하는 링형 오목부 260이 형성되고 상기 연삭수 1과 연삭쓰레기 2를 포함한 연삭배액 3을 오목부 260에서 받아 오목부 260에 고인 연삭배액 3의 바닥에 연삭쓰레기 2를 침전시켜 연삭배액 3의 상수 4를 배수하는 배수부 261을 가지는 링형 침전조 26을 구비했기 때문에, 워터 케이스 16의 저면 16 a에 연삭쓰레기 2가 흘러 들어가는 것을 방지하고 연삭쓰레기 2가 배수 배관에 막히는 것을 방지할 수 있다.
To make it possible to remove grinding chips near a chuck table before the grinding chips flow into a drainage piping. A grinding apparatus comprises: holding means which holds a plat-like work-piece W containing a magnetic substance; grinding means 13 which grinds the plate-like work-piece W, which is held by the holding means, by a grindstone 136; and grinding water supply means 15 which supplies grinding water 1 to the plate-like work-piece W held by the holding means. The holding means comprises: a chuck table 21 having a holding surface 22a which sucks and holds the plate-like work-piece W; a ring-shaped precipitation tank 26 in which a ring-shaped recess 260 is so formed as to surround the chuck table 21, grinding drainage 3 containing grinding water 1 and grinding chips 2 is received by the recess 260 and the grinding chips 2 are precipitated on a bottom of the grinding drainage 3 accumulated in the recess 260, and which has a drainage part 261 which drains clean water 4 of the grinding drainage 3. Consequently, flowing of the grinding chips 2 into a low surface 16a of a water case 16 can prevented, and clogging of a drainage piping by the grinding chips 2 can be prevented.