제1 및 제2 압전 액추에이터들(218A, 218B) 각각은 기계적 접지(215)와 개개의 이동 질량체 사이에 배치되어 그들에 결합된다.
Each of the first and second piezoelectric actuators 218A and 218B is disposed between and coupled to the mechanical ground 215 and the respective moving mass.