유전자를 판독, 영상화 (image), 편집, 위치확인 (locate), 식별, 맵핑 (map) 변경, 삭제, 복구 및 서열분석하기 위하여 극자외선 방사선 (Extreme ultraviolet radiation: EUV) 및/또는 연질 X-선 파장 (soft X-ray wavelength)을 사용하는 방법, 장치 및 공정이 기재된다. DNA, RNA 및 단백질 서열의 고처리량 게놈 스캐닝 (high throughput genomic scanning)을 가능하게 하는 EUV 스캐닝 도구가 또한 기재된다. 유전자 서열의 특징적인 흡수 스펙트럼을 기록하는 데이터베이스가 또한 기재된다. 
Methods, apparatus, and processes which use Extreme ultraviolet radiation (EUV) and/or soft X-ray wavelengths to read, image, edit, locate, identify, map, alter, delete, repair and sequence genes are described. An EUV scanning tool which allows high throughput genomic scanning of DNA, RNA and protein sequences is also described. A database which records characteristic absorption spectra of gene sequences is also described.