레이저 챔버용 전극이 개시되며, 이 전극은 구리의 불소와의 형성 자유 에너지 보다 크거나 같은 불소와의 제 1 형성 자유 에너지를 갖는 제 1 금속과, 제 1 형성 자유 에너지 보다 작은 불소와의 제 2 형성 자유 에너지를 갖는 제 2 금속의 합금을 포함한다.
Disclosed is an electrode for a laser chamber, the electrode comprising an alloy of a first metal having a first free energy of formation with fluorine greater than or equal to the free energy of formation with fluorine of copper, and a second metal having a second free energy of formation with fluorine less than the first free energy.