본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 가스 공급관은, 유입구로부터 유입된 가스를 길이 방향을 따라서 배치된 복수의 제1 가스 분출 구멍을 통하여 분출하는 제1 가스관과, 이 제1 가스관에 병설된 제2 가스관을 갖는다. 제2 가스관은, 길이 방향을 따라서 배치된 복수의 제2 가스 분출 구멍을 갖고, 제1 가스관과 역방향으로 가스를 흘린다.
According to one embodiment, a gas supply pipe has a first gas pipe configured to blow a gas which has flowed from an inflow opening via first gas blow holes arranged along a longitudinal direction, and a second gas pipe provided in parallel with the first gas pipe. The second gas pipe has second gas blow holes arranged along the longitudinal direction, and allows the gas to flow in a direction opposite to the first gas pipe.