본 발명의 실시형태에 따른 임프린트용의 템플릿 제조 장치(1)는, 요철 패턴이 형성된 볼록부를 갖는, 스테이지 상의 템플릿(W)에 액형의 발액재를 공급하는 공급 헤드(11)와, 공급 헤드(11) 및 스테이지를 스테이지에 따르는 방향으로 상대 이동시키는 반송부(20)와, 공급 헤드(11)가 요철 패턴을 피하여 적어도 볼록부의 측면에 액형의 발액재를 도포하도록 공급 헤드(11) 및 반송부(20)를 제어하는 제어부(40)와, 액형의 발액재가 도포된 템플릿(W)에 액체를 공급하는 세정부(30)를 구비한다. 액형의 발액재는 템플릿(W)의 표면과 반응하는 발액 성분 및 비발액 성분과, 발액 성분을 녹이는 휘발성 용제를 포함한다. 전술한 액체는 비발액 성분을 녹이는 불소계의 휘발성 용제이다.
An imprinting template manufacturing device (1) according to an embodiment is provided with: a supply head (11) which includes a raised portion with an uneven pattern formed thereon, and which supplies a liquid-repelling liquid material to a template W on a stage; a transport unit (20) which causes  the supply head (11) and the stage to move relative to one another in a direction along the stage; acontrol unit (40) which controls the supply head (11) and the transport unit (20) so that the supply head (11) can coat at least a side surface of the raised portion with the liquid-repelling liquidmaterial while avoiding the uneven pattern; and a washing unit (30) which supplies a liquid to the template W coated with the liquid-repelling liquid material. The liquid-repelling liquid material includes a liquid-repelling component and a non-liquid-repelling component which react with the surface of the template W, and a volatile solvent which dissolves the liquid-repelling component. The liquid is a fluorine-based volatile solvent that dissolves the non-liquid-repelling component.