두 가지를 비교한 결과, in-situ oxidation 공정은 BRL을 BSG로 전환을 유도하여 희석된 HF로 쉽게 제거할 수 있고, 공정 단계를 최소화 할 수 있다는 장점이 있다.
As a result of comparing the two, the in-situ oxidation process induces the conversion of BRL to BSG, such that it can be simply removed with diluted HF and contains the advantage of minimizing the process actions.