현재의 발명은 드라이브샤프트에 의해 회전을 위해 지지되는 로터로 구성된 진공펌핑 메커니즘, 드라이브샤프트 회전 시 로터의 움직임을 제어하기 위한 최초의 베어링 조립, 그 움직임을 제한하기 위한 백업베어링 조립, 백업베어링 조립에 의해 움직임이 제한되었을 때 감지를 위한 센서로 구성된 진공펌프와 관련된다.
The present invention relates to a vacuum pump comprising a vacuum pumping mechanism comprising a rotor supported for rotation by a drive shaft, a first bearing assembly for controlling movement of the rotor during rotation of the drive shaft, a back-up bearing assembly for limiting said movement and a sensor for sensing when said movement is limited by the back-up bearing assembly.