본 발명의 과제는 균일하고 또한 미세한 폐기공을 갖는 다공질 질화규소 세라믹스와 그 제조 방법을 얻는 데 있다. 금속 Si 분말과 소결 조제를 혼합하여 특정한 입계 상을 형성하기 위한 전처리인 열처리를 행한 후, 마이크로파 가열에 의해 1000 ℃ 이상의 온도에서 2단계의 열처리를 행함으로써 금속 Si 분말을 그 표면으로부터 질화 반응시키고, 금속 Si를 상기 금속 Si의 외피에 형성한 질화물로 확산시킴으로써 균일하고 또한 미세한 폐기공을 갖는 다공질 질화규소 세라믹스를 얻는다. 이 다공질 질화규소 세라믹스는 폐기공의 비율이 높고, 전기적, 기계적 특성이 우수하므로, 내흡습성과 저유전율, 저유전 손실이 요구되고, 또한 기계적 강도도 필요한 전자 회로 기판 등에 이용하면 우수한 특성을 발휘한다. 
The invention provides porous silicon nitride ceramics that have uniform, fine closed pores and a manufacturing method thereof. Metal Si powder is mixed with a sintering additive, followed by thermal treatment, which is a pre-process for forming a specific grain boundary phase. Two-stage thermal treatment is thereafter performed by microwave heating at a temperature of 1000°C or more. The metal Si powder is thereafter subjected to a nitriding reaction from its surface, the metal Si is thereafter diffused to nitride formed on the outer shell of the metal Si, and thereby porous silicon nitride ceramics that have uniform, fine closed pores can be obtained. Since the porous silicon nitride ceramics of the present invention have a high ratio of closed pores and are superior in electrical/mechanical characteristics, excellent characteristics can be displayed if they are used, for example, for an electronic circuit board that requires an anti-hygroscopicity, a low dielectric constant, a low dielectric loss, and mechanical strength.  