복수의 유체를 정확하고 신속하게 목표의 특성이 되도록 혼합한다. 혼합전의 복수의 유체를 흘리기 위한 유로5, 7, 11, 13과, 혼합후의 유체를 흘리기 위한 유로15, 17과, 유체를 유로에서 이동시키기 위해서 혼합전의 복수의 유체의 유량을 각각 조정하기 위한 유량조정부(11b, 13b)와, 혼합후의 유체의 특성을 광학적으로 측정하기 위한 측정부(15a)와, 측정부(15a)의 측정 결과에 의거하여 혼합후의 유체가 목표의 특성이 되도록 유량조정부(11b, 13b)를 제어해서 혼합전의 유체의 유량을 조정하는 제어부(21)를 구비하고 있다.
A plurality of fluids are accurately and quickly mixed such that a target characteristic is attained. A fluid control device is provided with flow channels (5, 7, 11,13) for allowing a plurality of to-be-mixed fluids to flow; flow channels (15, 17) for allowing a mixed fluid to flow; a pump (19) for shifting the fluids in the flow channels; flow rate adjusting units (11b, 13b) for respectively adjusting flow rates of a plurality of to-be-mixed fluids; a measuring unit (15a) for optically measuring a characteristic of the mixed fluid; and a control unit (21) that controls the flow rate adjusting units (11b, 13b) to adjust the flow rates of the to-be-mixed fluids based on a result of the measurement of the measuring unit (15a), such that the mixed fluid attains a target characteristic.