본 발명에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 빔을 생성하기 위한 레이저 발진기, 주 편향 검류계 미러, Fθ 렌즈, 및 레이저 발진기와 레이저 발진기 사이의 광학 경로에 배치된 부 편향 수단을 구비한다. 메인 편향 검류계 미러. 레이저 빔을 분할하기 위한 수단이 제공되고, 분할 레이저 빔 중 하나의 광학 경로에 부 편향 수단이 삽입됩니다. 동시에 두 분할 레이저 빔은 동일한 주 편향 검류계 미러에서 Fθ 렌즈로 입사되고 주 편향 검류계 미러, Fθ 렌즈 및 물체로 구성된 광학 시스템의 개구수는 다음으로 설정됩니다. 0.08 이하이어야 합니다.
[00001] A laser machining device according to the invention is provided with a laser oscillator for generating a laser beam, a main deflecting galvannometer mirror, an Fθ lens, and a sub-deflecting means arranged in an optical path between the laser oscillator and the main deflecting galvanometer mirror. A means for splitting a laser beam is provided, and the sub-deflecting means is inserted into the optical path of one of the split laser beams. At the same time, both the split laser beams are incident from the same main deflecting galvannometer mirror to the Fθ lens, and a numerical aperture in the optical system constituted by the main deflecting galvannometer mirror, the Fθ lens, and an object is set to be not more than 0.08.