리뷰될 결함의 위치는 리뷰 시스템에 설계 데이터 스페이스, 다이 스페이스, 및/또는 웨이퍼 스페이스로 보고될 수 있다.
The location of the defect to be reviewed may be reported to the review system as the design data space, die space, and/or wafer space.