측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 측정 방법 및 측정 장치를 제공한다. 제1 패턴 정보를 포함하고 제1 액체 31 중의 제1 대상물 41을 투과한 제1광L1에 관한 제1 화상 데이터를 취득한다. 제1 패턴 정보를 포함하고 제1 대상물을 투과하지 않는 광에 관한 기준 화상 데이터와 제1 화상 데이터를 비교하여 제 1 대상물의 특성에 관한 제1 데이터를 출력하는 제1 처리를 적어도 수행한다.
To provide a method and a device for a higher precise measurement. The present invention acquires first image data including first pattern information and relating to a first light L1 transmitting through a first object 41 in a first liquid 31, compares reference image data including the first pattern information and relating to light not transmitting through the first object and the first image data, and performs at least first processing of outputting first data on the characteristics of the first object.