홈 가공 툴이 요동 가능하게 지지된 헤드를 이용하여 기판에 홈을 형성할 경우에 홈 가공 툴을 안정시켜 정밀하게 홈 가공을 할 수 있도록 한다. 이 홈 가공 장치는 기판의 패터닝 라인을 따라 홈을 형성하는 장치로서, 기판이 재치되는 테이블 1과 홈 가공 툴 2가 요동 가능하게 지지되는 요동축 S를 가짐과 동시에 홈 가공 툴 2가 요동축을 따라 이동하는 것을 규제하는 홀더 본체 22 및 지지 부재 23을 가지는 헤드 3과 테이블 1과 헤드 3을 수평면 내에서 상대적으로 이동시키기 위한 이동 기구 6를 구비하고 있다. 또한 요동축은 수평면 내에서 홈 가공 툴 2가 이동하는 가공 방향으로 직교하는 축에 대해서 경사져 있고 홈 가공 툴 2는 요동축의 축방향을 따라 이동 가능하다.
To enable grooving to be precisely performed by stabilizing a grooving tool when forming a groove in a substrate using a head where the grooving tool is supported in a freely swingable state. A grooving device is configured to form a groove along a patterning line of a substrate, and includes a table 1 on which the substrate is placed, a head 3 which has a swing axis S on which the grooving tool 2 is supported to freely swing, and includes a holder body 22 and a support member 23 restricting the grooving tool 2 from moving along the swing axis, and a moving mechanism 6 for moving the table 1 and head 3 relatively in a horizontal plane. The swing axis is inclined to an axis intersecting a processing direction in which the grooving tool 2 moves in the horizontal plane, and the grooving tool 2 is movable along the axial direction of the swing axis.