기판들을 지지하기 위한 방법들 및 장치가 본원에서 제공된다. 일부 실시예들에서, 복수의 기판들을 지지하기 위한 기판 지지부는, 수직으로 이격된 관계로 복수의 기판들을 지지하도록 구성된, 링 형상을 갖는 복수의 기판 지지 요소들; 및 복수의 기판 지지 요소들과 인터페이싱하고, 기판들을 동시에, 선택적으로 개개의 기판 지지 요소들로부터 상승시키거나 또는 개개의 기판 지지 요소들 상으로 하강시키도록 구성된 복수의 기판 리프트 요소들을 포함한다.
Methods and apparatus for supporting substrates are provided herein. In some embodiments, a substrate support for supporting a plurality of substrates includes: a plurality of substrate support elements having a ring shape configured to support a plurality of substrates in a vertically spaced apart relation; and a plurality of substrate lift elements interfacing with the plurality of substrate support elements and configured to simultaneously selectively raise or lower substrates off of or onto respective substrate support elements.