금속 마스크 개구부가 설치된 금속 마스크와, 상기 금속 마스크 개구부와 중첩되는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응한 수지 마스크 개구부가 설치된 수지 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크로서, 상기 금속 마스크 개구부로부터 노출되는 상기 수지 마스크의 표면의 산술평균 높이(Sa)가 0.8㎛ 이하이다.
A vapor deposition mask is created by laminating a metal mask having metal mask openings to a resin mask having resin mask openings which correspond to a pattern formed by means of vapor deposition onpositions overlapping the positions of the metal mask openings, wherein the surface of the resin mask exposed in the metal mask openings has an arithmetic mean height (Sa) of 0.8 [mu]m or less.