렌즈 셀(30)에 바깥 가장자리에 N극끼리가 대향함과 아울러 S극이 노출되도록 접합한 영구 자석(36)을 고정한다. 영구 자석(36)의 N극끼리의 접합면에서의 자력선의 출구에 대향하도록 제 1 구동 코일(37)을 배치함과 아울러, 영구 자석(36)으로의 자력선의 입구에 대향하도록 제 2 구동 코일(38)을 배치한다. 제 1 구동 코일(37) 및 제 2 구동 코일(38)에 대한 인가 전류를 조정하여, 렌즈 셀(30)을 커버(31)에 대해 부상시킨 상태로 광축 방향 및 수평 방향으로 구동하여 렌즈(29)의 자세를 조정한다. 
The invention provides an optical element driver, a lens-barrel, an exposure apparatus and a method for fabricating device. Permanent magnets (36), which are bonded together in such a manner that theN poles face each other and the S poles are exposed, are secured to the outer circumferential edge of a lens cell (30). A first drive coil (37) is so arranged as to face the outlet of the magnetic line of force from the bonded surfaces of the N poles of the permanent magnets (36), and a second drive coil (38) is so arranged as to face the inlet of the magnetic line of force to the permanent magnets (36). Posture of a lens (29) is adjusted by regulating the current applied to the first drive coil (37) and the second drive coil (38) and driving the lens cell (30) in the direction of the opticalaxis and in the horizontal direction in a state floating from a cover (31).