본 발명의 과제는, 촬상 장치에 의해 촬상된 화상의 콘트라스트를 높여, 시인성을 향상시키는 것이다.기판을 촬상하고, 당해 촬상된 기판 화상의 화소값을 변환하는 화상 처리 방법에 있어서, 촬상된 기판 화상의 화소값을 히스토그램화하고, 히스토그램에 있어서의 화소값의 분포에 기초하여, 소정의 진폭, 소정의 주기의 삼각 함수로 이루어지는 톤 커브 T를 작성한다. 톤 커브 T에 의해, 촬상된 기판 화상의 화소값을 변환함으로써, 고 콘트라스트의 기판 화상을 얻는다.
An image processing method of picking up an image of a substrate and converting pixel values of the picked-up substrate image makes the pixel values of the picked-up substrate image into a histogram, and creates a tone curve T composed of a periodic function of a predetermined amplitude and a predetermined period based on a distribution of the pixel values in the histogram. The pixel values of the picked-up substrate image are converted using the tone curve T to obtain a substrate image with a high contrast.