반도체 제조 장비용 가스 분기 흐름 공급 장치. 연산제어부(7)는 각각의 분기관통로 개폐밸브(10a, 10n)를 일정시간 연속적으로 개방한 후 폐쇄하도록 작동하며, 가스분지유량공급장치는 오리피스를 통해 분배되는 공정가스의 유량제어를 수행한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 압력식 유량 제어 장치(1a)에 의해 분지관 통로 개폐 밸브(10a, 10n)를 개폐함으로써 공정 가스를 분기 공급한다.
A gas branched flow supplying apparatus for semiconductor manufacturing equipment. An arithmetic and control unit 7 works to successively open the respective branched pipe passage opening/closing valves 10a, 10n for a predetermined time and then close the valves, and the gas branched flow supplying apparatus performs flow control of the process gas distributed through the orifice 6 by the pressure type flow control unit 1a, and branches and supplies the process gas by opening and closing the branched pipe passage opening/closing valves 10a, 10n. 