광원으로서 광대역 광을 사용함으로써, 다파장에 걸친 분광 계측 결과를 취득할 수 있기 때문에, 막두께 계측의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
By using broadband light as the light source, the spectroscopic measurement results over multiple wavelengths may be obtained, so that the precision of film thickness measurement may be improved.