본 발명은 반도체 소자의 시험 장치 및 그 시험 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 반도체 소자의 시험 장치는 반도체 소자의 온도를 검출해 검출 온도를 생성하는 온도 검출부와 상기 검출 온도를 사전에 설정된 제어 온도와 비교하여 비교 결과를 생성하고 상기 비교 결과에 의해 상기 반도체 소자의 냉각 유무를 결정하는 제어부와 상기 제어부의 제어에 의해 상기 반도체 소자를 냉각하는 냉각부를 포함하고 상기 제어부는 상기 검출 온도가 상기 반도체 소자의 동작 온도 범위를 떨어질 경우, 상기 제어 온도를 재설정할 수 있다.
To provide a semiconductor element test device and a test method therefor. A semiconductor element test device of the present invention includes: a temperature detection unit that detects the temperature of a semiconductor element and generates a detection temperature; a control unit that compares the detection temperature with a predetermined control temperature, generates a comparison result, and determines according to the comparison result whether to cool the semiconductor element; and a cooling unit that cools the semiconductor element by the control of the control unit. If the detection temperature is out of the operating temperature range of the semiconductor element, the control unit can redefine the control temperature.