 본 발명은 2차 이온을 위한 추출 시스템을 포함하는 질량 분석기에 관한 것이다. 이 시스템(18)은 내부 구형 편향 섹터(42); 외부 구형 편향 섹터(44); 상기 섹터들(42; 44) 사이에 형성된 편향 갭(46); 상기 섹터들(42; 44)이 배열되는 하우징(38)을 포함한다. 상기 편향 섹터들(42; 44)은 편향 갭(46)에 진입하는 이온 빔의 에너지를 감소시키기 위하여 지연 전위에서 바이어싱된다. 시스템(18)은 상기 섹터들(42; 44)의 평균 전압의 중간전압에서 바이어싱되는 출구 디스크 전극(64) 그리고 구형 섹터(42; 44)과 모두 마주하는 2개의 사이드 플레이트(68)을 더 포함하며, 상기 사이드 플레이트(68)는 출구 축(24)에 수직인 정전기 장을 생성하기 위하여 바이어싱된다.
The invention is directed to mass spectrometer comprising an extraction system for secondary ions. The system (18) comprises: an inner spherical deflecting sector (42); an outer spherical deflecting sector (44); a deflecting gap (46) formed between the sectors (42; 44); a housing (38) in which the sectors (42; 44) are arranged. The deflecting sectors (42; 44) are biased at retarding potentials in order to reduce the energy of the ion beam entering the deflecting gap (46). The system (18) further comprises an exit disc electrode (64) which is biased at the midvoltage of the average voltage of the sectors (42; 44), and two side plates (68) both facing the spherical sectors (42; 44), said side plates (68) being biased in order to create an electrostatic field perpendicular to the exit axis (24).