양자 전지의 제작 프로세스 도중에서의 충전층의 전기적 특성 평가를 행할 수 있는 반도체 프로브에 의한 양자 전지의 시험 장치 및 시험 방법을 제공한다. 도전성의 전극(54)과 금속 산화물 반도체로 이루어지는 금속 산화물 반도체층(56)을 지지체(52)에 적층하여 구성된 반도체 프로브(50); 반도체 프로브(50)에 구비되어 있는 전극(54)과 2차 전지용 충전층(18)을 적층한 베이스 전극(14)과의 사이에 전압을 인가하는 전압원(62); 및 반도체 프로브(50)에 구비되어 있는 전극(54)과 충전층(18)이 적층되어 있는 베이스 전극(14) 간에 흐르는 전류를 측정하는 전류계(64)를 포함하고, 충전층(18)의 전류-전압 특성을 측정한다. 
This invention provide a testing device and method for a quantum battery by a semiconductor probe, whereby the electrical characteristics of the charging layer can be evaluated during the quantum battery manufacturing process. The testing device equipped with a semiconductor probe(50) constituted by a conductive electrode(54) and a metal oxide semiconductor layer(56) comprising a metal oxide semiconductor which are laminated on a support (52), a source voltage(62) for applying voltage across an electrode(54) equipped to the semiconductor probe(50) and a basic electrode(14) laminated on a secondary battery charging layer (18), and an ammeter (64) for measuring the current flowing between the electrode(54) equipped on the semiconductor probe (50) and the basic electrode (14) of the secondary battery on which charging layer(18) is laminated, and measures the current-voltage characteristics of the charging layer(18).