축에 관해 거의 대칭 또는 직교하는 2개의 방향에서 축에 관해 거의 대칭이며 서로 거의 동일한 형상의 광강도 분포를 출사 동공에 형성하여, 원하는 조명 조건으로 피조사면을 조명할 수 있는 조명 광학 장치. 복수의 제1 광학 요소를 갖는 제1 플라이아이 광학계(18a)와, 복수의 제1 광학 요소에 일대일 대응하도록 병렬로 배치된 복수의 제2 광학 요소를 갖는 제2 플라이아이 광학계(18b)를 구비하고, 복수의 제2 광학 요소의 각각으로부터의 빛이 피조사면(M)을 중첩적으로 조명하도록 구성되어 있다. 복수의 제1 광학 요소와 복수의 제2 광학 요소의 대응 관계는, 조명 광학 장치의 출사 동공에서의 광강도 분포의 프로파일이 축에 관해 거의 대칭 또는 직교하는 2개의 방향에서 축에 관해 거의 대칭이며 서로 거의 동일한 형상이 되도록 설정되어 있다.
An illumination optical apparatus includes a first fly-eye optical system having first optical components and a second fly-eye optical system having second optical components arranged in one-to-one correspondence to the first optical components. An illumination surface is illuminated with light from each of the second optical components in an overlapping manner. The correspondence relationship between the first optical components and the second optical components is established, so that the profile of light intensity distribution in the exit pupil of the illumination optical apparatus is almost rotationally symmetrical about an axis or substantially symmetrical about two directions perpendicular to each other, as well as almost symmetrical in shape. 