광 전파의 방향을 따라 순차적으로 배치되는, 광원(1), 콜리메이터 렌즈(2), 필터(3), 편광자(4), 빔 스플리터(5) 및 대물 렌즈(7)를 포함하는 투명 기판상의 박막을 측정하기 위한 측정 장치가 개시된다. 빔 스플리터(5)에는 평면 어레이 검출기(11) 및 프로세서(13)가 연결된다. 광원(1)에 의해 방사되는 광은 콜리메이터 렌즈(2), 필터(3), 편광자(4), 빔 스플리터(5) 및 대물 렌즈(7)를 순차적으로 통과하여 박막에 입사하는 측정광 박막을 형성한다. 대물 렌즈(7) 및 빔 스플리터(5)는 박막으로부터 반사된 광을 모으고, 평면 어레이 검출기(11) 및 프로세서(13)는 모아진 반사광에 기초하여 박막의 물리적 파라미터들을 측정한다. 장치는 측정 동안 투명 기판으로부터 반사된 간섭광을 차단하도록 구성되는 조리개를 더 포함한다.
A measurement device for measuring a thin film on a transparent substrate is disclosed which includes, disposed sequentially along the direction of light propagation, a light source (1), a collimator lens (2), a filter (3), a polarizer (4), a beam splitter (5) and an objective lens (7). To the beam splitter (5) are connected a planar array detector (11) and a processor (13). Light emitted by the light source (1) sequentially passes through the collimator lens (2), the filter (3), the polarizer (4), the beam splitter (5) and the objective lens (7) and thereby forms a measuring light incident on the thin film. The objective lens (7) and the beam splitter (5) gather light reflected from the thin film, and the planar array detector (11) and the processor (13) measure physical parameters of the thin film based on the gathered reflected light. The device further includes a stop configured to block interfering light reflected from the transparent substrate during the measurement.