規格方面，EOS M5 搭載了 2,400 萬畫素 APS-C 格式 CMOS 感光元件，並內藏 Dual Pixel 雙相素對焦系統，使得照片與影片的對焦速度都可以更快。順帶一提，目前搭載 Dual Pixel 雙相素對焦系統的機種包含 EOS 1Dx Mark II、EOS 80D、EOS 5D Mark IV（5D4）等等，從這項功能下放到 EOS M5 身上就不難發現，未來的新機種也有很大機率搭載 Dual Pixel。
連拍速度也達到了最快每秒 9 張（鎖定曝光），以及連續自動對焦每秒 7 張的級距，開機速度只需要 1 秒。令人欣喜的是 Canon 首度在自家機身上搭載了「觸控及拖曳自動對焦」（Touch and Drag AF），意味你在使用 EVF 取景的同時仍然可以使用觸控螢幕選擇對焦點，3.2 吋 162 萬點觸控螢幕則可上翻 85、下翻 180 度。