電火花線電極磨削（WEDG）工藝的材料蝕除機理與普通電火花加工相同，電極和工件的運動原理為：線狀電極在導向器上連續移動，導向器沿工件徑向作微進給，而工件隨主軸旋轉的同時作軸向進給。該運動方式的主要優點是：線電極與工件之間為點接觸，容易實現微能放電；線電極始終沿導向器勻速運動，可以忽略線電極損耗對加工精度的影響。
通過控制工件的旋轉與分度，配合軸向的精密進給控制，WEDG工藝可以加工圓柱、圓錐、棱柱、螺旋槽、平面等多種截面形狀。該方法的主要優點是：刀具成形過程中無機械力作用，成形的尺寸精度和形狀精度較高，為微細刀具製備提供了一種有效方法。
聚焦離子束濺射工藝是一種顯微加工技術，同樣可以用於微細刀具的製備，其基本原理為：選擇原子量較大的液態金屬鎵（原子量為69.72，其原子質量遠遠大於電子的質量）作為離子源，在離子柱頂端施加高密度的電場，形成數十keV的高能離子束，通過靜電透鏡將離子束聚焦為亞微米直徑的斑點，然後控制聚焦後的鎵離子束對工件進行轟擊，將鎵離子的動量傳遞給工件中的原子或分子，產生濺射效應從而實現材料的去除。通常每個入射鎵離子可以去除3～5個工件原子，可以精確控制材料的去除量。利用聚焦離子束濺射工藝，可以對硬質合金、高速鋼、單晶金剛石等材料進行顯微加工。
與精密磨削相比，基於聚焦離子束濺射的刀具成形過程沒有機械力的作用，刀具在製造過程中不會破損，能夠製備出具有極小特徵尺寸的微細刀具。
為了克服聚焦離子束濺射工藝成形效率較低的問題，德國卡爾斯魯厄大學對採用激光加工工藝進行微小刀具製備進行了探索。該工藝同樣無機械力作用，加工過程中無振動，刀具不產生變形，加工成本較低。目前存在的問題是成形表面較粗糙，加工表面質量有待提高。
很多淬火後的模具要求較高及難度較大，所以使用一般硬質合金銑刀精度達不到，那麼加工淬火料刀具的選擇應注意本文提出的幾點。