目前工業界高潔淨度無塵室為了有效排除製程污染，提高製程良率，大量採用全覆蓋式的風機濾網機組搭配高架孔洞回風地板來製造層流型氣流場，大型無塵室動輒上萬台的風機濾網機組使用量於耗電與維修費用均相當驚人，本專利是為了大幅降低無塵室潔淨氣流供風耗電量與維修製造成本，並同時兼顧無塵室氣流品質。
1.以線型風道搭配風機、高效率濾網、高架孔洞地板建立層流型氣流場有兩種型態，無塵室外部氣流系統類似FFU外部氣流系統，地板回風混合外氣導入天花板上方成為風機進氣氣流，氣流進入上方風機後導入線型風道中再穿透濾網到達無塵室工作區間。 2.無塵室建置空間受限時的解決方法，風道風機安裝位置位於高架地板下方，可作為回風動力來源，外氣亦導入高架地板下方與循環氣流混合，再由風機送至垂直風管中，進入線型風道後再穿透濾網到達無塵室工作區間。