VACUUM PROCESSING APPARATUSThe present invention provides a technique whereby dust generation during conveyance of a substrate holder can be suppressed in a vacuum processing apparatus for conveying a plurality of substrate holders along a conveyance path formed so that the projected shape thereof on a vertical surface is a continuous ring shape. The present invention has, in a vacuum tank 2 which has a conveyance path formed so that the projected shape thereof on a vertical surface is a continuous ring shape, and in which in which a single vacuum atmosphere is formed, an anti-sag member 35 assembled to a first drive part 36 provided on the outside with respect to the conveyance direction of the conveyance path. A travel roller 54 of the anti-sag member 35 travels while being guided and supported by a guide part 17which is provided below a return-path-side conveyance part 33c positioned on the lower side of a substrate holder conveyance mechanism 3 and which extends in a second conveyance direction P2, and thefirst drive part 36 is configured so as to come in contact with a first driven part 12 of a substrate holder 11 and drive the substrate holder 11 along the conveyance path in the second conveyance direction P2.A vacuum processing apparatus is characterized in that,comprising:a vacuum chamber formed with a single vacuum atmosphere,a first processing area and a second processing area which are arranged in the vacuum tank and perform predetermined vacuum processing on the substrate held by the substrate holder,a transport path formed in a continuous loop shape with respect to a projection shape of a vertical plane for transporting the substrate holder, ana substrate holder transport mechanism that transports a plurality of the substrate holders having a first driven portion and a second driven portion along the transport path;the conveyance path includes:a first conveying section that conveys the substrate holder in a first conveying direction along the conveying path in a state where the introduced substrate holder is horizontal,a second conveyance section that conveys and discharges the substrate holder in a second conveyance direction opposite to the first conveyance direction along the conveyance path in a state where the substrate holder is made horizontal, anda conveyance return portion that returns from the first conveyance portion toward the second conveyance portion to convey the substrate holder;the first conveying section passes through one of the first processing area and the second processing area, and the second conveying section passes through the other of the first processing area and the second processing area;a substrate holder transport mechanism having a plurality of first drive portions outside of a transport direction of the transport path, the first drive portions being in contact with first driven portions of the substrate holders and driving the substrate holders along the transport path;a direction switching mechanism is provided in the vicinity of the transport turning-back portion of the transport path, the direction switching mechanism including:a plurality of second driving portions which are in contact with second driven portions of the substrate holders to drive the substrate holders in the first and second conveyance directions, respectively, anda first direction switching path and a second direction switching path for guiding and conveying a first driven portion and a second driven portion of the substrate holder so that the substrate holder is switched from the first conveying direction to the second conveying direction;a substrate holder transport mechanism configured to move a first drive portion of the substrate holder transport mechanism in synchronization with a second drive portion of the direction conversion mechanism, guide and transport a first driven portion and a second driven portion of the substrate holder along a first direction conversion path and a second direction conversion path of the direction conversion mechanism, respectively, and transfer the substrate holder from the first transport portion to the second transport portion of the transport path while maintaining an up-down relationship of the substrate holder;a sag prevention member that is assembled to the first drive section of the substrate holder transport mechanism, has a running roller that is rotatable about a rotation axis extending in a direction orthogonal to the transport direction, and is provided at a portion outside the sag prevention member with respect to the transport direction, the sag prevention member preventing sagging of the transport drive member of the second transport section constituting the transport path;a guide portion extending in the second conveying direction is provided below a second conveying portion of the conveying path located on a lower side of the substrate holder conveying mechanism;the sagging prevention member travels along the second conveying portion of the conveying path in a state where the travel roller is guided and supported by the guide portion, and the first driving portion of the substrate holder conveying mechanism comes into contact with the first driven portion of the substrate holder to drive the substrate holder in the second conveying direction along the conveying path.
진공 처리장치본 발명은 연직면에 대한 투영 형상이 일련의 환상이 되도록 형성된 반송경로를 따라서 복수의 기판 홀더를 반송하는 진공 처리장치에 있어서, 기판 홀더의 반송 시에서의 더스트의 발생을 억제할 수 있는 기술을 제공한다. 본 발명은 연직면에 대한 투영 형상이 일련의 환상이 되도록 형성된 반송경로를 가지고 단일의 진공 분위기가 형성되는 진공 챔버(2) 내에 있어서, 이 반송경로의 반송방향에 대하여 바깥 측에 설치된 제1 구동부(36)에 조립된 새깅 방지부재(35)를 가진다. 새깅 방지부재(35)의 주행 롤러(54)가 기판 홀더 반송 기구(3)의 아래 측에 위치하는 귀로측 반송부(33c)의 아래 쪽으로 설치되고 제2 반송방향(P2)으로 연장되는 가이드부(17)에 안내 지지되어 주행하고, 제1 구동부(36)가 기판 홀더(11)의 제1 피구동부(12)와 접촉해서 기판 홀더(11)를 반송경로를 따라서 제2 반송방향(P2)으로 구동하도록 구성되어 있다.단일의 진공 분위기가 형성되는 진공 챔버와,상기 진공 챔버 내에 설치되고, 기판 홀더에 지지된 기판 위에 소정의 진공처리를 실시하는 제1 및 제2 처리영역과,연직면에 대한 투영 형상이 일련의 환상이 되도록 형성되고, 상기 기판 홀더를 반송하는 반송경로와,제1 및 제2 피구동부를 가지는 복수의 상기 기판 홀더를 상기 반송경로를 따라서 반송하는 기판 홀더 반송 기구를 구비하고,상기 반송경로는 도입된 상기 기판 홀더를 수평으로 한 상태에서 상기 반송경로를 따라서 제1 반송방향으로 반송하는 제1 반송부와, 상기 기판 홀더를 수평으로 한 상태에서 상기 반송경로를 따라서 상기 제1 반송방향과 반대 방향의 제2 반송방향으로 반송해서 배출하는 제2 반송부와, 상기 기판 홀더를 상기 제1 반송부에서 상기 제2 반송부를 향해서 되돌려서 반송하는 반송 반환부를 가지고, 상기 제1 반송부가 상기 제1 및 제2 처리영역 가운데 한쪽을 통과하며, 상기 제2 반송부가 상기 제1 및 제2 처리영역 가운데 다른 쪽을 통과하도록 구성되고,상기 기판 홀더 반송 기구는 상기 기판 홀더의 제1 피구동부와 접촉해서 당해 기판 홀더를 상기 반송경로를 따라서 구동하는 복수의 제1 구동부를 당해 반송경로의 반송방향에 대하여 바깥 측에 가지고,상기 반송경로의 반송 반환부의 근방에, 상기 기판 홀더의 제2 피구동부와 접촉해서 당해 기판 홀더를 상기 제1 및 제2 반송방향으로 각각 구동하는 복수의 제2 구동부와, 상기 기판 홀더의 제1 및 제2 피구동부를 당해 기판 홀더를 상기 제1 반송방향에서 상기 제2 반송방향으로 방향 전환하도록 각각 안내해서 반송하기 위한 제1 및 제2 방향 전환 경로를 가지는 방향 전환 기구가 설치되고,상기 기판 홀더 반송 기구의 제1 구동부와 상기 방향 전환 기구의 제2 구동부를 동기해서 동작시키고, 상기 기판 홀더의 제1 및 제2 피구동부를 상기 방향 전환 기구의 제1 및 제2 방향 전환 경로를 따라서 각각 안내해서 반송하는 것에　의해, 상기 기판 홀더를 상하 관계를 유지한 상태에서 상기 반송경로의 제1 반송부에서 제2 반송부로 전달하도록 구성되고,상기 기판 홀더 반송 기구의 제1 구동부에 조립되어서 구성되고, 상기 반송방향에 대하여 바깥 측의 부분에, 당해 반송방향에 대하여 직교하는 방향으로 연장되는 회전축선을 중심으로 해서 회전 가능한 주행 롤러를 가지고, 상기 반송경로의 제2 반송부를 구성하는 반송 구동 부재의 새깅을 방지하는 새깅 방지부재가 설치되는 동시에,상기 기판 홀더 반송 기구의 아래 측에 위치하는 상기 반송경로의 제2 반송부의 아래 쪽에, 상기 제2 반송방향으로 연장되는 가이드부가 설치되고,상기 새깅 방지부재는 상기 주행 롤러가 상기 가이드부에 안내 지지된 상태에서 상기 반송경로의 제2 반송부를 따라서 주행하며, 상기 기판 홀더 반송 기구의 제1 구동부가 상기 기판 홀더의 제1 피구동부와 접촉해서 당해 기판 홀더를 상기 반송경로를 따라서 제2 반송방향으로 구동하도록 구성되어 있는 진공 처리장치.