PHOTOACTIVE COMPOUNDSThe present invention relates to a novel photoactive compounds that can be used in formulating photoresist compositions.A compound of the formula Y-Arwhere Ar is selected from , naphthyl, or anthryl;Y is selected fromR& — S—RγTnthryl where W is selected from where RIA, RIB, RIC, R2A, R2B, R2C, R2D, R3A, R3B, R3C, R3D, R4A, RIB, R4c, R4D, RSA, R5B and R5c, are each independently selected from Z, hydrogen, C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, C5-so cyclic alkylcarbonyl group, C5-50 aryl group, C5-50 aralkyl group, arylcarbonylmethylene group, C1-20 straight or branched alkoxy chain, nitro, cyano, tresyl, or hydroxyl; either (i) one of RID or R5D is nitro with the other being selected from hydrogen, C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, C5-50 cyclic alkylcarbonyl group, C5-50 aryl group, C5-50 aralkyl group, arylcarbonylmethylene group, cyano, or hydroxyl or (ii) both of RID and RSD are nitro; Re and R7 are each independently selected from C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, C5-50 cyclic alkylcarbonyl group, C5-50 aryl group, C5.50 aralkyl group, arylcarbonylmethylene group, nitro, cyano, or hydroxyl or Re and R7 together with the S atom to which they are attached form a 5-, 6-, or 7-membered saturated or unsaturated ring optionally containing one or more O atoms; T is a direct bond, a divalent C1.20 straight or branched alkyl group optionally containing one or more O atoms, divalent C5.50 aryl group, divalent C5-50 aralkyl group, or divalent C5-50 monocyclic, bicyclic or tricyclic alkyl group; Z is -(V)r(C(X11 )(X12))n-O-C(=O)-R8, where either (i) one of X11 or X12 is C1-20 straight or branched alkyl chain containing at least one fluorine atom and the other is hydrogen, halogen, or C1-20 straight or branched alkyl chain or (ii) both of X11 and X12 are Cι-20 straight or branched alkyl chain containing at least one fluorine atom; V is a linkage group selected from a direct bond, a divalent C1-20 straight or branched alkyl group optionally containing one or more O atoms, divalent C5-50 aryl group, divalent C5.50 aralkyl group, or divalent C5-50 monocyclic, bicyclic or tricyclic alkyl group; X2 is hydrogen, halogen, or C1.20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms; Rs is a C1.20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, a C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, or a C5-50 aryl group; X3 is hydrogen, Cι-2o straight or branched alkyl chain, halogen, cyano, or -C(=O)— R5o where R50 is selected from Ci.2o straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms or — O-R51 where R51 is hydrogen or C1-20 straight or branched alkyl chain; j is 0 to 10; m is 0 to 10; and n is 0 to 10, the C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, C1-20 straight or branched alkyl chain, Cι-2o straight or branched alkoxy chain, Cs-so monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, C5-50 cyclic alkylcarbonyl group, C5-50 aralkyl group, C5-50 aryl group, naphthyl, anthryl, 5-, 6-, or 7- membered saturated or unsaturated ring optionally containing one or more O atoms, or arylcarbonylmethylene group being unsubstituted or substituted by one or more groups selected from the group consisting of Z, halogen, C1-20 alkyl, C3-20 cyclic alkyl, Cι.20 alkoxy, C3-20 cyclic alkoxy, di C1-20 alkylamino, dicyclic di C1-20 alkylamino, hydroxyl, cyano, nitro, tresyl, oxo, aryl, aralkyl, oxygen atom, CF3SO3, aryloxy, arylthio, and groups of formulae (II) to (VI):R10 R14 R16— 0-C-OR12 — 0-C-OR13 — O-C π— OR13 — O-Si— R17 C-OR12R11 O R15 O R16 O (») (I'D (I ) (V) (VI) wherein R10 and Rn each independently represent a hydrogen atom, a C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, or a C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, or R10 and Rn together can represent an alkylene group to form a five- or six-membered ring, R 2 represents a C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, a C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, or a C5-50 aralkyl group, or R10 and R12 together represent an alkylene group which forms a five- or six-membered ring together with the interposing — C— O— group, the carbon atom in the ring being optionally substituted by an oxygen atom, R13 represents a C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms or a C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group, R14 and R15 each independently represent a hydrogen atom, a C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms or a C5-50 monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl group,R16 represents a C1-20 straight or branched alkyl chain optionally containing one or more O atoms, a Cs-so monocyclic, bicyclic, or tricyclic alkyl g...
광활성 화합물본 발명은 포토레지스트 조성물의 제형화에 사용될 수 있는 신규한 광활성 화합물에 관한 것이다.하기 화학식의 화합물: Y-Ar 식 중 Ar 은 , 나프틸, 또는 안트릴로부터 선택되고; Y 은 ,  로부터 선택되고, 식 중 W 는  로부터 선택되고, 여기서, R1A, R1B, R1C, R2A, R2B, R2C, R2D, R3A, R3B, R3C, R3D, R4A, R4B, R4C, R4D, R5A, R5B 및 R5C 는 각각 독립적으로 Z, 수소, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 시클릭 알킬카보닐기, C5-50 아릴기, C5-50 아랄킬기, 아릴카보닐메틸렌기, C1-20 직쇄형 또는 분지형 알콕시쇄, 니트로, 시아노, 트레실, 또는 히드록실로부터 선택되며; (i) R1D 또는 R5D 중 하나는 니트로이고, 다른 하나는 수소, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 시클릭 알킬카보닐기, C5-50 아릴기, C5-50 아랄킬기, 아릴카보닐메틸렌기, 시아노, 또는 히드록실로부터 선택되거나 또는 (ii) R1D 및 R5D 모두 니트로이며; R6 및 R7 은 각각 독립적으로 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 시클릭 알킬카보닐기, C5-50 아릴기, C5-50 아랄킬기, 아릴카보닐메틸렌기, 니트로, 시아노, 또는 히드록실로부터 선택되거나, R6 및 R7 은 이들이 결합하는 S 원자와 함께 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 5-, 6-, 또는 7-원 포화 또는 불포화 고리를 형성하며; T 는 직접 결합, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 2가 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬기, 2가 C5-50 아릴기, 2가 C5-50 아랄킬기, 또는 2가 C5-50 모노시클릭, 바이시클릭 또는 트리시클릭 알킬기이며; Z 는 -(V)j-(C(X11)(X12))n-O-C(=O)-R8 이고, 여기서 (i) X11 또는 X12 중 하나는 하나 이상의 불소 원자를 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄이고 다른 하나는 수소, 할로겐, 또는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄이거나 또는 (ii) X11 및 X12 모두는 하나 이상의 불소 원자를 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄이며; V 는 직접 결합, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 2가 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬기, 2가 C5-50 아릴기, 2가 C5-50 아랄킬기, 또는 2가 C5-50 모노시클릭, 바이시클릭 또는 트리시클릭 알킬기로부터 선택된 결합기이고; X2 는 수소, 할로겐, 또는 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄이며; R8 은 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, 또는 C5-50 아릴기이고; X3 는 수소, C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, 할로겐, 시아노, 또는 -C(=O)-R50 [여기서, R50 은 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄로부터 선택됨] 또는 -O-R51 [여기서, R51 은 수소 또는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄로부터 선택됨]이고; j 는 0 내지 10 이고; m 은 0 내지 10 이고; n 은 0 내지 10 이며, 상기 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C1-20 직쇄형 또는 분지형 알콕시쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 시클릭 알킬카보닐기, C5-50 아랄킬기, C5-50 아릴기, 나프틸, 안트릴, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 5-, 6-, 또는 7-원 포화 또는 불포화 고리, 또는 아릴카보닐메틸렌기는 Z, 할로겐, C1-20 알킬, C3-20 시클릭 알킬, C1-20 알콕시, C3-20 시클릭 알콕시, 디 C1-20 알킬아미노, 디시클릭 디 C1-20 알킬아미노, 히드록실, 시아노, 니트로, 트레실, 옥소, 아릴, 아랄킬, 산소 원자, CF3SO3, 아릴옥시, 아릴티오, 및 하기 하기 화학식 II 내지 VI의 기로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 기로 비치환 또는 치환되며:  R10 및 R11 는 각각 독립적으로 수소 원자, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, 또는 C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기를 나타내거나, R10 및 R11 는 함께 알킬렌기를 나타내어 5- 또는 6-원 고리를 형성할 수 있으며, R12 는 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, 또는 C5-50 아랄킬기를 나타내며, 또는 R10 및 R12 는 개재되는 -C-O- 기와 함께 5- 또는 6-원 고리를 형성하는 알킬렌기를 함께 나타내며, 고리내 탄소 원자는 산소 원자로 임의 치환되며, R13 은 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄 또는 C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기를 나타내며, R14 및 R15 는 각각 독립적으로 수소 원자, 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄 또는 C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기를 나타내며, R16 은 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 아릴기, 또는 C5-50 아랄킬기를 나타내고, R17 은 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 아릴기, C5-50 아랄킬기, -Si(R16)2R17 기, 또는 -O-Si(R16)2R17 기를 나타내며, 상기 하나 이상의 O 원자를 임의로 포함하는 C1-20 직쇄형 또는 분지형 알킬쇄, C5-50 모노시클릭, 바이시클릭, 또는 트리시클릭 알킬기, C5-50 아릴기, 및 C5-50 아랄킬기는 상기와 같이 비치환 또는 치환되며; A- 는 음이온.