Screen printing device and screen printing methodPrior to a mark imaging process executed for the purpose of detecting a position of recognition marks for positioning the substrate and the mask, an optical axis calibration processing process of detecting a horizontal relative position between imaging optical axes, and a surface correction data creation processing process of detecting a local positional deviation of the imaging optical axes, which is caused by the travel of the imaging unit, are executed. Before starting production, a production pre-start precision evaluation process for evaluating a substrate positioning precision is executed by using a verification substrate and a verification mask, and after starting the production, a production post-start precision evaluation process for evaluating a substrate positioning precision after starting the production is executed by using a commercial production substrate and a commercial production mask.A screen printing device that abuts a substrate against a mask plate in which pattern holes are formed to print a paste, the screen printing device comprising: a substrate positioning unit that holds a substrate carried from an upstream side, and moves the substrate relatively in a horizontal direction and a vertical direction to position the substrate at a given position;a screen print unit that allows a squeegee to slide on the mask plate onto which the paste is supplied, to print the paste on the substrate through the pattern holes;an imaging unit that has two imaging optical axes of which imaging directions are upward and downward, respectively, and conducts mark imaging operation of imaging a substrate recognition mark and a mask recognition mark formed on the substrate and the mask plate, respectively;an imaging unit moving mechanism that moves the imaging unit in the horizontal direction with respect to the substrate and the mask plate;a recognition processing unit that subjects an imaging result in the mark imaging operation to recognition processing, thereby conducting mark recognition processing for detecting positions of the substrate recognition mark and the mask recognition mark;an optical axis calibration processing unit that detects relative positions of the imaging optical axes on a mask lower surface and a substrate upper surface which are imaging surfaces of the two imaging optical axes, respectively, by imaging two reference marks associated with the relative positions by the imaging unit, individually, and outputs the detected relative positions as inter-optical-axis relative position data;a surface correction data creation processing unit that obtains a position error of the imaging optical axis occurring on the imaging surfaces in the horizontal direction caused by the move of the imaging unit by the imaging unit moving mechanism, as a positional deviation in the horizontal direction which is specific to each of reference points set in an ordered array for a substrate area on which the substrate is held and a mask area on which a mask plate is installed, respectively, and outputs the obtained position error as surface correction data representing a local positional deviation state in each of surfaces of the substrate area and the mask area;a substrate positioning control unit that controls the imaging unit, the imaging unit moving mechanism, and the recognition processing unit so as to execute the mark imaging operation and the mark recognition processing, and controls the substrate positioning unit on the basis of the inter-optical-axis relative position data, the surface correction data, and the result of the mark recognition processing to execute substrate positioning operation for positioning the substrate and the mask plate; anda precision evaluation unit that evaluates a positioning precision of the substrate positioning operation,wherein before starting production by the screen printing device, the precision evaluation unit corrects the moving operation of the imaging unit by the imaging unit moving mechanism on the basis of the inter-optical-axis relative position data and the surface correction data for a verification substrate and a verification mask each having a reference point set in an ordered array, which are produced in advance for verifying a positioning precision of the substrate and the mask plate to execute the mark imaging operation, the mark recognition processing, and the substrate positioning operation,wherein after the substrate positioning operation, the precision evaluation unit corrects the moving operation of the imaging unit by the imaging unit moving mechanism on the basis of the inter-optical-axis relative position data and the surface correction data to again execute the mark imaging operation and the mark recognition processing, and evaluates the positioning precision in a state before starting the production on the basis of the recognition result in the mark recognition processing,wherein after starting the production by the screen printing device, the precision evaluation unit further corrects the moving operation of the imaging unit by the imaging unit moving mechanism on the basis of the inter-optical-axis relative position data and the surface correction data for a commercial production substrate and a commercial production mask to execute the mark imaging operation, the mark recognition processing, and the substrate positioning operation, andwherein after the substrate positioning operation, the precision evaluation unit corrects the moving operation of the imaging unit by the imaging unit moving mechanism on the basis of the inter-optical-axis relative position data and the surface correction data to again execute the mark imaging operation and the mark recognition processing, and evaluates the positioning precision in a state after starting the production on the basis of the recognition result in the mark recognition processing.
스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법기판과 마스크 플레이트를 촬상 대상으로 하며 2개의 촬상 광축을 갖춘 촬상 유닛을 수평 이동시키는 구성에 있어서, 생산 개시전의 점검 시간이나 생산 계속 과정에서 기판 위치 결정 정밀도의 양부를 쉽게 확인할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 및 마스크의 위치 결정을 위해 인식 마크의 위치를 검출하는 것을 목적으로 실행되는 마크 촬상 공정 이전에, 촬상 광축 사이의 수평 방향 상대 위치를 검출하는 광축 캘리브레이션 처리 공정과, 촬상 유닛의 이동에 기인하여 생기는 촬상 광축의 국지적인 위치 어긋남을 검출하는 면 보정 데이터 작성 처리 공정을 실행한다. 생산 개시 전에, 검증용 기판 및 검증용 마스크를 이용하여 기판 위치 결정 정밀도를 평가하기 위한 생산 개시전 정밀도 평가 공정을 실행하고, 생산 개시 후에, 실생산용 기판 및 실생산용 마스크를 이용하여, 생산 개시 후의 기판 위치 결정 정밀도를 평가하는 생산 개시후 정밀도 평가 공정을 실행한다. 패턴 구멍이 형성된 마스크 플레이트에 기판을 접촉시켜 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서,상류측으로부터 반입된 기판을 유지하고, 이 기판을 상대적으로 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시켜 정해진 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 유닛과,페이스트가 공급된 상기 마스크 플레이트 상에서 스퀴지(squeegee)를 미끄럼 이동시켜 상기 패턴 구멍을 통해 기판에 페이스트를 인쇄하는 스크린 인쇄 유닛과,촬상 방향이 각각 상측 방향 및 하측 방향인 2개의 촬상 광축을 갖고, 상기 기판 및 마스크 플레이트에 각각 형성된 기판 인식 마크 및 마스크 인식 마크를 촬상하는 마크 촬상 동작을 행하는 촬상 유닛과,상기 촬상 유닛을 상기 기판 및 마스크 플레이트에 대하여 수평 방향으로 이동시키는 촬상 유닛 이동 기구와,상기 마크 촬상 동작에 있어서의 촬상 결과를 인식 처리함으로써, 상기 기판 인식 마크 및 마스크 인식 마크의 위치를 검출하는 마크 인식 처리를 행하는 인식 처리 유닛과,상기 2개의 촬상 광축의 각각의 촬상면인 마스크 하면 및 기판 상면에서의 촬상 광축의 상대 위치를, 상대 위치와 관련한 2개의 참조 마크를 상기 촬상 유닛에 의해서 개별적으로 촬상함으로써 검출하고, 검출된 상대 위치를 광축간 상대 위치 데이터로서 출력하는 광축 캘리브레이션 처리 유닛과,상기 촬상 유닛 이동 기구에 의한 촬상 유닛의 이동에 기인하여 상기 촬상면에 생기는 상기 촬상 광축의 수평 방향의 위치 오차를, 상기 기판이 유지되는 기판 영역 및 마스크 플레이트가 장착되는 마스크 영역에 각각 규칙 배열로 설정된 각 참조점에 고유한 수평 방향의 위치 어긋남으로서 구하고, 구한 위치 오차를 상기 기판 영역 및 마스크 영역의 각각의 면내에서의 국지적인 위치 어긋남 상태를 나타내는 면 보정 데이터로서 출력하는 면 보정 데이터 작성 처리 유닛과,상기 촬상 유닛, 촬상 유닛 이동 기구 및 인식 처리 유닛을 제어함으로써 상기 마크 촬상 동작 및 마크 인식 처리를 실행시키고, 상기 광축간 상대 위치 데이터, 면 보정 데이터 및 상기 마크 인식 처리의 결과에 기초하여 상기 기판 위치 결정 유닛을 제어하여, 상기 기판과 마스크 플레이트를 위치 결정하는 기판 위치 결정 동작을 실행시키는 기판 위치 결정 제어 유닛과, 상기 기판 위치 결정 동작의 위치 결정 정밀도를 평가하는 정밀도 평가 유닛을 구비하며,상기 정밀도 평가 유닛은, 상기 스크린 인쇄 장치에 의한 생산을 개시하기 전에, 상기 기판과 마스크 플레이트의 위치 결정 정밀도를 검증하기 위해서 미리 제작되고, 각각 참조점이 규칙 배열로 설정된 검증용 기판 및 검증용 마스크에 대하여, 상기 광축간 상대 위치 데이터 및 면 보정 데이터에 기초하여 상기 촬상 유닛 이동 기구에 의한 촬상 유닛의 이동 동작을 보정하여, 상기 마크 촬상 동작, 마크 인식 처리 및 상기 기판 위치 결정 동작을 실행시키고,상기 정밀도 평가 유닛은, 상기 기판 위치 결정 동작 후에, 상기 광축간 상대 위치 데이터 및 면 보정 데이터에 기초하여 상기 촬상 유닛 이동 기구에 의한 촬상 유닛의 이동 동작을 보정하여 재차 상기 마크 촬상 동작 및 마크 인식 처리를 실행시키고, 마크 인식 처리에 있어서의 인식 결과에 기초하여, 생산 개시 전의 상태에서의 상기 위치 결정 정밀도를 평가하며, 상기 정밀도 평가 유닛은, 스크린 인쇄 장치에 의한 생산 개시 후에, 실생산용의 기판 및 실생산용의 마스크 플레이트에 대하여, 상기 광축간 상대 위치 데이터 및 면 보정 데이터에 기초하여 상기 촬상 유닛 이동 기구에 의한 촬상 유닛의 이동 동작을 더 보정하여 상기 마크 촬상 동작, 마크 인식 처리 및 기판 위치 결정 동작을 실행시키고,상기 정밀도 평가 유닛은, 상기 기판 위치 결정 동작 후에, 상기 광축간 상대 위치 데이터 및 면 보정 데이터에 기초하여 상기 촬상 유닛 이동 기구에 의한 촬상 유닛의 이동 동작을 보정하여 상기 마크 촬상 동작 및 마크 인식 처리를 재차 실행시키고, 이 마크 인식 처리의 인식 결과에 기초하여, 생산 개시 후의 상태의 상기 위치 결정 정밀도를 평가하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.