ALIGNMENT APPARATUS AND ORIGINAL POINT RETURNING METHOD OF ALIGNMENT APPARATUS, TURNING TABLE, TRANSLATIONAL TABLE, MACHINE INCLUDING ALIGNMENT APPARATUS AND MACHINE CONTROL SYSTEMThere is provided an alignment apparatus of rotating a table by translational driving to be able to operate the table in XYθ, Yθ, or θ accurately. 4 pieces of drive systems for driving a table (4) mounted with an object (5) includes a translational freedom degree portion (11), a translational drive portion (12), and a rotational freedom degree portion (13), further, an alignment apparatus is made to be able to return to an original point by providing a motor (1) and a detecting apparatus (2) at a machine fixing apparatus (41), accurately fixing the table (4) by the machine fixing apparatus (41) by using a first positioning apparatus and a second positioning apparatus, and a first position fixing apparatus and a second position fixing apparatus, and storing a detecting apparatus reference position at a detecting apparatus reference position storing apparatus (44).An alignment apparatus for operating a table mounted with an object in XYθ, Yθ, or θ by way of a drive mechanism arranged at a machine base portion to be positioned to a predetermined position, the alignment apparatus comprising: the drive mechanism comprising a plurality of drive mechanism units each constituted by; a mechanism portion comprising two translational freedom degree portions each having a translational freedom degree and one rotational freedom degree portion having a rotational freedom degree; and a motor control apparatus comprising motors for driving the freedom degree portions of the two translational freedom degree portions and the one rotational freedom degree portion, a detecting apparatus for detecting an amount of operating the mechanism portion constituting a member to be detected, and a controller for controlling the motors by receiving an operation instruction to constitute the motors of a number at least the same as a number of freedom degrees of XYθ, Yθ or θ operation of the table; the drive mechanism units comprising an instructing apparatus for providing the operation instruction to the controller; the table being operated to translationally move and rotationally move in two directions of the XYθ operation, to translationally move and rotationally move in one direction of the Yθ operation, or rotationally move of the θ operation by operating the motors respectively in a translational direction or a rotational direction; a machine original point storing apparatus for previously storing or inputting difference between a machine original point position and a fixing reference position; a machine fixing apparatus for mechanically fixing the table or the drive mechanism at the fixing reference position of the alignment apparatus; a machine fixing reference position storing apparatus for detecting and storing the machine fixing reference positions of a number at least the same as a number of freedom degrees provided to the table by the detecting apparatus; a detecting apparatus reference position storing apparatus for disengaging the machine fixing apparatus, detecting detecting apparatus reference position references of a number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table by the detecting apparatus by driving the motors of a number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table, and storing differences between the detecting apparatus reference positions and the machine original point positions or the fixing reference positions of the number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table; and a machine original point returning amount calculating apparatus for detecting the detecting apparatus reference position references of the number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table by driving the motors of the number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table, and calculating moving amounts of the motors of the number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table for making the table and the drive mechanism unit disposed at the machine original point or the fixing reference position from a current position in a state in which the machine fixing apparatus is not present routinely after the above-described processing has been finished and a power source is introduced again, wherein the table and the drive mechanism unit are moved to the machine original point position by operating the motors of the number at least the same as the number of the freedom degrees provided to the table.
얼라이먼트 장치 및 얼라이먼트 장치의 원점 복귀 방법,얼라이먼트 장치를 구비한 선회 테이블, 병진 테이블, 기계 및 기계 제어 시스템테이블을 정밀한 XYθ, Yθ, 혹은 θ에서 동작할 수 있도록 하는 병진 구동에 의한 테이블 회전의 얼라이먼트 장치를 제공한다. 대상물(5)을 적재한 테이블(4)을 구동하는 4개의 구동계가 병진 자유도부(11), 병진 구동부(12), 회전 자유도부(13)를 구비하고 있고, 또, 기계 고정 장치(41)에 전동기(1)와 검출 장치(2)를 설치하여 제1 위치 맞춤 장치와 제2 위치 맞춤 장치와 제1 위치 고정 장치와 제2 위치 고정 장치를 이용하여, 기계 고정 장치(41)에 의해 테이블(4)을 정확하게 고정하고, 검출 장치 참조 기준 위치를 검출 장치 참조 기준 위치 기억 장치(44)에 기억시킴으로써 얼라이먼트 장치의 원점 복귀를 가능하게 하였다.기대부에 배치된 구동 기구를 통해 대상물을 탑재하는 테이블을 XYθ, Yθ, 혹은 θ 동작시켜 소정의 위치에 위치 결정하는 얼라이먼트 장치로서, 상기 구동 기구는, 병진 자유도를 갖는 2개의 병진 자유도부와, 회전 자유도를 갖는 1개의 회전 자유도부로 이루어지는 기구부와, 상기 2개의 병진 자유도부와 1개의 회전 자유도부의 상기 자유도부를 구동하기 위한 전동기와, 피검출체가 되는 상기 기구부의 동작량을 검출하는 검출 장치와, 동작 지령을 받아 상기 전동기를 제어하는 제어기로 이루어지는 전동기 제어 장치로 구성되는 구동 기구 유닛을, 상기 테이블의 XYθ, Yθ, 혹은 θ 동작의 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 상기 전동기가 되도록 복수 구비한 것이고, 상기 구동 기구 유닛은, 상기 제어기에 상기 동작 지령을 부여하는 지령 장치를 구비함과 더불어, 상기 전동기를 각각 병진 방향 혹은 회전 방향으로 동작시킴으로써, 상기 테이블을 XYθ 동작의 2방향의 병진 이동과 회전 이동, Yθ 동작의 1방향의 병진 이동과 회전 이동, 혹은 θ 동작의 회전 이동시키도록 동작하는 얼라이먼트 장치에 있어서, 기계 원점 위치와 고정 기준 위치의 차를 미리 기억 혹은 입력하는 기계 원점 기억 장치와, 얼라이먼트 장치의 고정 기준 위치에 상기 테이블 혹은 상기 구동 기구를 기계적으로 고정하는 기계 고정 장치와, 상기 검출 장치에서 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 기계 고정 기준 위치를 검출하여 기억하는 기계 고정 기준 위치 기억 장치와, 상기 기계 고정 장치를 떼어내고, 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 상기 전동기를 구동하여 상기 검출 장치에서 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 검출 장치 참조 위치 기준을 검출하고, 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 상기 검출 장치 참조 기준 위치와 상기 기계 원점 위치 혹은 상기 고정 기준 위치의 차를 기억하는 검출 장치 참조 기준 위치 기억 장치와, 이상의 처리가 완료된 전원 재도입 후, 일상적으로는 상기 기계 고정 장치가 없는 상태에서, 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 상기 전동기를 구동하여, 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 검출 장치 참조 위치 기준을 검출하고, 상기 테이블 및 상기 구동 기구 유닛을 현재 위치로부터 상기 기계 원점 위치 혹은 상기 고정 기준 위치로 하는 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 상기 전동기의 이동량을 산출하는 기계 원점 복귀량 연산 장치를 구비하고, 상기 테이블이 갖는 자유도의 수와 적어도 동일한 수의 상기 전동기를 동작시켜 상기 테이블 및 상기 구동 기구 유닛을 상기 기계 원점 위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 얼라이먼트 장치.