Maleimide containing cycloolefinic polymers and applications thereofVarious cycloolefinic/maleic anhydride polymers containing maleimide pendant groups and compositions thereof useful for forming self-imageable films encompassing such copolymers are disclosed. Such polymers encompass norbornene-type repeating units containing maleimide groups and maleic anhydride-type repeating units where at least some of such maleic anhydride-type repeating units have been ring-opened. The films formed from such copolymer compositions provide self imageable, low-k, thermally stable layers for use in microelectronic and optoelectronic devices.A polymkeric substance, it comprises:the first kind repeating unit that formula (ia) represents, described first kind repeating unit is derived from the monomer of formula (i):wherein:m is integer 0,1 or 2;r 1, r 2, r 3and r 4in the group of at least one expression (a) independently: wherein:l represents (ch 2) n, ch 2och 2ch 2, och 2, o (ch 2) o-och 2, (och 2ch 2) p, (ch 2) n-co-o, (ch 2) n-phenylene, phenylene, wherein n and p is the integer of 0-15 independently, comprises terminal number, and o is the integer of 1-15, comprises terminal number; and r 5and r 6be hydrogen or c that is linear or side chain separately independently of one another 1-c 6-alkyl; or r 5and r 6c is formed together with connected carbon atom 5-c 7-cycloalkyl or c 6-c 12-bicyclic alkyl ring; r 1, r 2, r 3and r 4in remaining one or more (c representing hydrogen, linear or side chain independently 1-c 12) alkyl, hydroxyl (c 1-c 12) alkyl, perfluor (c 1-c 12) alkyl, (c 3-c 12) cycloalkyl, (c 6-c 12) bicyclic alkyl, (c 7-c 14) tricyclic alkyl, (c 6-c 10) aryl, (c 6-c 10) aryl (c 1-c 3) alkyl, perfluor (c 6-c 10) aryl, perfluor (c 6-c 10) aryl (c 1-c 3) alkyl, (c 5-c 10) heteroaryl, (c 5-c 10) heteroaryl (c 1-c 3) alkyl, hydroxyl, (c 1-c 12) alkoxyl group, (c 3-c 12) cycloalkyloxy, (c 6-c 12) bicycloalkoxy, (c 7-c 14) three cycloalkyloxies, (c 6-c 10) aryloxy (c 1-c 3) alkyl, (c 5-c 10) heteroaryloxy (c 1-c 3) alkyl, (c 6-c 10) aryloxy, (c 5-c 10) heteroaryloxy, (c 1-c 6) acyloxy and halogen; and the equations of the second kind repeating unit that formula (iia) or (iib) represent, described equations of the second kind repeating unit is derived from the monomer of formula (ii):wherein:r 7, r 8, r 9and r 10be hydrogen or (c that is linear or side chain separately independently of one another 1-c 9) alkyl, to fluoridize or fluoridized (c 1-c 9) alkyl, (c 1-c 12) alkoxyl group (c 1-c 12) alkyl or (c 1-c 12) alkoxyl group (c 1-c 12) alkoxyl group (c 1-c 12) alkyl; and each wherein in aforementioned group is optionally selected from following group and replaces by one or more when valence state allows: (the c of linear or side chain 1-c 6) alkyl, (c 3-c 7) cycloalkyl, (c 1-c 6) perfluoroalkyl, (c 1-c 6) alkoxyl group, (c 3-c 7) cycloalkyloxy, (c 1-c 6) perfluoro alkoxy, halogen, hydroxyl, linear or side chain hydroxyl (c 1-c 6) alkyl, acetoxyl group, phenyl, hydroxy phenyl and acetoxyl group phenyl.
사이클로올레핀성 중합체를 함유하는 말레이미드 및 그의 용도이러한 공중합체들을 포함하는 자가-이미지화 가능한 필름들을 형성하는 데 유용한, 말레이미드 펜던트 기들을 함유하는 다양한 사이클로올레핀성/말레산 무수물 중합체들 및 이들의 조성물이 개시된다. 이러한 중합체들은, 말레이미드 기들을 함유하는 노르보르넨-유형 반복 단위, 및 말레산 무수물-유형 반복 단위(여기서, 이러한 말레산 무수물-유형 반복 단위들이 개환되어 있음)를 포함한다. 이러한 공중합체 조성물들로부터 형성된 필름들은 마이크로전자 및 광전자 디바이스에 사용하기 위한 자가 이미지화 가능하고 저-k이고 열적으로 안정한 층들을 제공한다.하기 식 (I)의 단량체로부터 유도되는, 하기 식 (IA)로 표시된 제 1 유형의 반복 단위: 및하기 식 (II)의 단량체로부터 유도되는, 하기 식 (IIA) 또는 (IIB)로 표시된 제 2 유형의 반복 단위를 포함하는 중합체:[이미지]상기 식에서,m은 0, 1 또는 2의 정수이고;R1, R2, R3 및 R4 중 적어도 하나는 독립적으로 하기 식 (A)의 기를 표시하고;[이미지](상기 식에서,L은 (CH2)n, CH2OCH2CH2, OCH2, O(CH2)o-OCH2, (OCH2CH2)p, (CH2)n-CO-O, (CH2)n-페닐렌, 페닐렌이며, n 및 p는 독립적으로 0 및 15를 포함하는 0 내지 15의 정수이고, o은 1 및 15를 포함하는 1 내지 15의 정수이고;R5 및 R6은 각각 서로 독립적으로 수소, 또는 선형 또는 분지형 C1-C6-알킬이거나; 또는 R5 및 R6은 이들이 부착되는 탄소 원자와 함께 C5-C7-사이클로알킬 또는 C6-C12-바이사이클로알킬 고리를 형성한다.)R1, R2, R3 및 R4 중 나머지 하나 이상은 독립적으로 수소, 선형 또는 분지형 (C1-C12)알킬, 하이드록시(C1-C12)알킬, 퍼플루오로(C1-C12)알킬, (C3-C12)사이클로알킬, (C6-C12)바이사이클로알킬, (C7-C14)트라이사이클로알킬, (C6-C10)아릴, (C6-C10)아릴(C1-C3)알킬, 퍼플루오로(C6-C10)아릴, 퍼플루오로(C6-C10)아릴(C1-C3)알킬, (C5-C10)헤테로아릴, (C5-C10)헤테로아릴(C1-C3)알킬, 하이드록시, (C1-C12)알콕시, (C3-C12)사이클로알콕시, (C6-C12)바이사이클로알콕시, (C7-C14)트라이사이클로알콕시, (C6-C10)아릴옥시(C1-C3)알킬, (C5-C10)헤테로아릴옥시(C1-C3)알킬, (C6-C10)아릴옥시, (C5-C10)헤테로아릴옥시, (C1-C6)아실옥시 또는 할로젠을 나타낸다.[이미지]상기 식에서,R7, R8, R9 및 R10은 각각 서로 독립적으로 수소, 또는 선형 또는 분지형 (C1-C9)알킬, 플루오르화된 또는 퍼플루오르화된 (C1-C9)알킬, (C1-C12)알콕시(C1-C12)알킬 또는 (C1-C12)알콕시(C1-C12)알콕시(C1-C12)알킬이며, 상기 각각의 기들은 원자가가 허용 가능한 경우 선형 또는 분지형 (C1-C6)알킬, (C3-C7)사이클로알킬, (C1-C6)퍼플루오로알킬, (C1-C6)알콕시, (C3-C7)사이클로알콕시, (C1-C6)퍼플루오로알콕시, 할로젠, 하이드록시, 선형 또는 분지형 하이드록시(C1-C6)알킬, 아세톡시, 페닐, 하이드록시페닐 및 아세톡시페닐로부터 선택된 하나 이상의 기들로 선택적으로 치환된다.