METHOD AND ASSEMBLY FOR DETERMINING THE THICKNESS OF LAYERS IN A SAMPLE STACKA method and an inspection assembly for determining the thickness of one or more layers of a sample stack of layers or other properties influencing the intensity of light reflected by the sample stack with an assembly comprising a light source for illuminating the sample stack of layers and a camera with a detector for detecting the intensity of light reflected by the sample stack of layers in defined wavelength ranges, the method comprising the steps of illuminating the sample stack of layers with light from the light source; detecting the intensity of light reflected by the sample stack of layers with the detector in different wavelength ranges; and determining the thickness or other property from the intensity detected by the detector; are characterized in that the detector is an array detector with a plurality of detector elements in lines and columns; an image of the sample stack of layers is generated on the detector; the detector comprises a plurality of sections in the form of parallel stripes, the stripes detecting the light reflected by the sample stack of layers simultaneously; light of one selected wavelength range only is detected by each of the plurality of sections of the detector; and a movement of the image of the sample stack of layers on the detector or of the parallel stripes is generated in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the parallel stripes such that each point of the inspected sample stack of layers is detected at least once in each of the different wavelength ranges.Method for determining the thickness of one or more layers of a sample stack of layers (700, 702) or other properties influencing the intensity of light (706) reflected by the sample stack with an assembly comprising a light source (710) for illuminating the sample stack of layers (700, 702) and a camera with a detector (800) for detecting the intensity of light (706) reflected by the sample stack of layers in defined wavelength ranges (340, 350, 360, 370, 380, 390), the method comprising the steps of: (a) illuminating the sample stack of layers (700, 702) with light (703, 704, 50) from the light source (710); (b) detecting the intensity of light (706) reflected by the sample stack of layers (700, 702) with the detector (800) in different wavelength ranges (340, 350, 360, 370, 380, 390); and (c) determining the thickness or other property from the intensity detected by the detector (800);characterized in that(d) the detector (800) is an array detector with a plurality of detector elements in lines and columns; (e) an image of the sample stack of layers (700) is generated on the detector (800); (f) the detector (800) comprises a plurality of sections in the form of parallel stripes (761, 762, 763, 764, 765, 766), the stripes detecting the intensity of light (706) reflected by the sample stack of layers (700) simultaneously; (g) light of one selected wavelength range (340, 350, 360, 370, 380, 390) only is detected by each of the plurality of sections (761, 762, 763, 764, 765, 766) of the detector (800); and (h) a movement of the image of the sample stack of layers (700) on the detector (800) or of the parallel stripes (761, 762, 763, 764, 765, 766) is generated in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the parallel stripes such that each point of the inspected sample stack of layers is detected at least once in each of the different wavelength ranges (340, 350, 360, 370, 380, 390).
샘플 스택에 있어서의 층들의 두께를 결정하기 위한 방법 및 조립체층들의 샘플 스택을 조명하기 위한 광원 및 정의된 파장길이 범위들에서 층들의 샘플 스택에 의해 반사되는 광의 세기를 검출하기 위한 검출기를 갖는 카메라를 포함하는 조립체를 가지고, 층들의 샘플 스택의 하나 또는 그 이상의 층들의 두께 또는 샘플 스택에 의해 반사되는 광의 세기에 영향을 미치는 다른 특성들을 결정하기 위한 방법 및 검사 조립체에 있어서, 이 방법은 상기 광원으로부터 광을 가지고 상기 층들의 샘플 스택을 조명하는 단계; 서로 다른 파장 범위들에서 상기 검출기를 가지고 상기 층들의 샘플 스택에 의해 반사되는 광의 세기를 검출하는 단계; 및 상기 검출기에 의해 검출되는 세기로부터 두께 또는 다른 특성을 결정하는 단계를 포함하고; 상기 검출기는 행들 및 열들로 복수의 검출 요소들을 갖는 어레이 검출기이고; 상기 층들의 샘플 스택의 이미지는 상기 검출기 상에 생성되고; 상기 검출기는 평행한 띠들의 형태인 복수의 부분들을 포함하고, 상기 띠들은 동시에 상기 층들의 샘플 스택에 의해 반사되는 광의 세기를 검출하고; 하나의 선택된 파장 범위의 광만이 상기 검출기의 복수의 부분들 각각에 의해 검출되고; 또한 상기 검출기 상의 상기 층들의 샘플 스택의, 또는 평행한 띠들의 이미지의 움직임은 상기 평행한 띠들의 길이방향에 수직한 방향으로 생성되어, 상기 검사된 층들의 샘플 스택의 각각의 점은 상기 서로 다른 파장 범위들 각각에서 적어도 한번 검출되는 것을 특징으로 한다.정의된 파장 범위들(340, 350, 360, 370, 380, 390)에서 층들의 샘플 스택에 의해 반사되는 광(706)의 세기를 검출하기 위한 검출기(800)를 갖는 카메라 및 상기 층들(700, 702)의 샘플 스택을 조명하기 위한 광원(710)을 포함하는 조립체를 가지고 층들(700, 702)의 샘플 스택의 하나 또는 그 이상의 층들의 두께 또는 상기 샘플 스택에 의해 반사되는 광(706)의 세기에 영향을 미치는 다른 특성들을 결정하기 위한 방법에 있어서, 상기 방법은(a) 상기 광원(710)으로부터 광(703, 704, 705)을 가지고 상기 층들(700, 702)의 샘플 스택을 조명하는 단계; (b) 서로 다른 파장 범위들(340, 350, 360, 370, 380, 390)에서 상기 검출기(800)를 가지고 상기 층들(700, 702)의 샘플 스택에 의해 반사되는 광(706)의 세기를 검출하는 단계; 및(c) 상기 검출기(800)에 의해 검출되는 세기로부터 두께 또는 다른 특성을 결정하는 단계를 포함하고, (d) 상기 검출기(800)는 행들 및 열들로 복수의 검출 요소들을 갖는 어레이 검출기이고; (e) 상기 층들(700)의 샘플 스택의 이미지는 상기 검출기(800) 상에 생성되고; (f) 상기 검출기(800)는 평행한 띠들(761, 762, 763, 764, 765, 766)의 형태인 복수의 부분들을 포함하고, 상기 띠들은 동시에 상기 층들(700)의 샘플 스택에 의해 반사되는 광(706)의 세기를 검출하고; (g) 하나의 선택된 파장 범위(340, 350, 360, 370, 380, 390)의 광만이 상기 검출기(800)의 복수의 부분들(761, 762, 763, 764, 765, 766) 각각에 의해 검출되고; 또한(h) 상기 검출기(800) 상의 상기 층들(700)의 샘플 스택의, 또는 평행한 띠들(761, 762, 763, 764, 765, 766)의 이미지의 움직임은 상기 평행한 띠들의 길이방향에 수직한 방향으로 생성되어, 상기 검사된 층들의 샘플 스택의 각각의 점은 상기 서로 다른 파장 범위들(340, 350, 360, 370, 380, 390) 각각에서 적어도 한번 검출되는 것을 특징으로 하는, 방법.