VACUUM PUMPING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE, AND OPERATING METHOD OF VACUUM PUMPING SYSTEMA plurality of vacuum pumps each having a refrigerator are connected to a common compressor. At least one of the plurality of vacuum pumps performs repeating an operation including a process in which a gas in a low-pressure state is adiabatically compressed when the interior of a cylinder shifts from the low-pressure state to a high-pressure state as a result of a valve operation of the refrigerator, and a process in which a displacer passes through the adiabatically compressed gas. At least another one of the plurality of vacuum pumps performs repeating an operation including a process in which a gas in the high-pressure state is adiabatically expanded when the interior of the cylinder shifts from the high-pressure state to the low-pressure state as a result of the valve operation of the refrigerator, and a process in which the displacer passes through the adiabatically expanded gas.A vacuum pumping system in which a plurality of vacuum pumps are connected to a compressor, each of the plurality of vacuum pumps comprising: a refrigerator comprisinga cooling stage,a cylinder which is connected to one face of the cooling stage,a plate member which is connected to the other end face in an axial direction of the cylinder on a side opposite to the one end face of the cylinder connected to the cooling stage,a space which is formed by the cooling stage, the cylinder, and the plate member,a flow path which is formed on the plate member,a valve which sets an interior of the cylinder in one of a high-pressure state and a low-pressure state via the flow path, anda piston-like displacer which partitions an interior of the space into one space and the other space that communicates with the flow path, reciprocates in an axial direction in the cylinder, and includes a material that preserves a thermal state of a portion at which the displacer is passed in a hollow interior thereof; anda temperature sensor which measures a temperature at a predetermined position of the cooling stage,said vacuum pumping system comprising:a high-pressure pipe which serves as a gas-flow path through which a high-pressure gas of a common pressure is supplied from the compressor to the plurality of refrigerators;a low-pressure pipe which serves as a gas-flow path through which a low-pressure gas flows back from the plurality of refrigerators to the compressor; andmeans for calculating a pressure difference between the gases in the high-pressure pipe and the low-pressure pipe,when the vacuum pump performs a first operation that performs an operation for repeating an operation including a process in which a gas in the high-pressure state is adiabatically expanded when the interior of the cylinder shifts from the high-pressure state to the low-pressure state as a result of an operation of the valve, and a process in which the displacer passes through the adiabatically expanded gas, the vacuum pump increasing the number of repetitions of the high-pressure state and the low-pressure state per unit time in the refrigerator when the temperature measured by the temperature sensor is higher than a predetermined temperature range, decreasing the number of times when the temperature measured by the temperature sensor is lower than the predetermined temperature range, and maintaining the number of times when the temperature measured by the temperature sensor falls within the predetermined temperature range,said vacuum pumping system whereinwhen at least one of the plurality of vacuum pumps performs a second operation that performs an operation for repeating an operation including a process in which a gas in the low-pressure state is adiabatically compressed when the interior of the cylinder shifts from the low-pressure state to the high-pressure state as a result of the operation of the valve, and a process in which the displacer passes through the adiabatically compressed gas, andwhen at least another one of the plurality of vacuum pumps performs the first operation,said vacuum pumping system operates to increase the pressure difference generated by the compressor within a range in which the number of times of the refrigerator which performs the first operation falls within a predetermined range.
진공 배기 시스템, 기판 처리 장치, 전자 디바이스의 제조 방법, 진공 배기 시스템의 운전 방법냉동기를 갖는 진공 배기 펌프의 복수대가 공통의 압축기에 연결되어 있고, 복수대의 진공 배기 펌프 중 적어도 1대는, 냉동기의 밸브가 동작하는 것에 의해 실린더의 내부가 저압 상태로부터 고압 상태로 이행함으로써, 저압 상태의 가스가 단열 압축되는 공정과, 단열 압축된 가스 중을 디스플레이서가 통과하는 공정을 포함하는 동작을 반복하는 운전을 하고 있고, 복수대의 진공 배기 펌프 중 다른 적어도 1대는, 냉동기의 밸브가 동작하는 것에 의해 실린더의 내부가 고압 상태로부터 저압 상태로 이행함으로써, 고압 상태의 가스가 단열 팽창하는 공정과, 단열 팽창한 가스 중을 디스플레이서가 통과하는 공정을 포함하는 동작을 반복하는 운전을 하고 있다.냉각 스테이지와, 상기 냉각 스테이지의 하나의 면에 접속된 실린더와, 상기 냉각 스테이지에 접속된 상기 실린더의 하나의 단부면과는 반대측의, 상기 실린더의 축 방향의 다른 단부면에 접속된 판 부재와,상기 냉각 스테이지, 상기 실린더 및 상기 판 부재로 형성되는 공간과,상기 판 부재에 설치되어 있는 유로와,상기 유로를 통하여 상기 실린더의 내부를 고압 상태 및 저압 상태 중 어느 하나의 상태로 하는 밸브와,상기 공간의 내부를 하나의 공간과 상기 유로와 통하는 다른 공간으로 구획함과 함께, 상기 실린더의 내부에서 축 방향으로 왕복 운동을 하고, 중공의 내부에 통과한 부위의 열 상태를 보존하는 물질이 포함되어 있는 피스톤 형상의 디스플레이서를 구비하는 냉동기를 갖고, 또한 상기 냉각 스테이지의 소정의 위치의 온도를 측정하는 온도 센서를 갖는 진공 배기 펌프의 복수대가 압축기에 연결되고, 상기 압축기로부터 공통의 압력의 고압의 가스가 상기 복수의 냉동기에 공급되는 유로인 고압 배관과,상기 복수의 냉동기로부터 저압의 가스가 상기 압축기에 환류하는 경로인 저압 배관과,상기 고압 배관 내와 상기 저압 배관 내와의 가스의 압력차를 구하는 수단을 갖고,상기 진공 배기 펌프가, 상기 밸브가 동작하는 것에 의해 상기 실린더의 내부가 상기 고압 상태로부터 상기 저압 상태로 이행함으로써, 상기 고압 상태의 가스가 단열 팽창하는 공정과, 상기 단열 팽창한 가스 중을 상기 디스플레이서가 통과하는 공정을 포함하는 동작을 반복하는 운전을 하는 제1 동작을 하고 있는 경우에, 상기 진공 배기 펌프는, 상기 온도 센서가 측정한 온도가 소정의 온도 범위보다 높을 때에는, 상기 냉동기 내에서 고압 상태와 저압 상태가 단위 시간당 반복되는 횟수를 증대시키고, 상기 온도 센서가 측정한 온도가 상기 소정의 온도 범위보다 낮을 때에는, 상기 횟수를 감소시키고, 상기 온도 센서가 측정한 온도가 상기 소정의 온도 범위 내일 때는 상기 횟수를 유지하여 이루어지는 진공 배기 시스템으로서,상기 복수대의 진공 배기 펌프 중 적어도 1대가, 상기 밸브가 동작하는 것에 의해 상기 실린더의 내부가 상기 저압 상태로부터 상기 고압 상태로 이행함으로써, 상기 저압 상태의 가스가 단열 압축되는 공정과, 상기 단열 압축된 가스 중을 상기 디스플레이서가 통과하는 공정을 포함하는 동작을 반복하는 운전을 하는 제2 동작을 하고 있고,상기 복수대의 진공 배기 펌프 중 다른 적어도 1대가, 상기 제1 동작을 하고 있는 경우에, 상기 제1 동작을 하고 있는 냉동기의 상기 횟수가 소정의 범위 내에 들어가는 범위에서, 상기 압축기에서 생성되는 상기 압력차를 증대하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 시스템.