Remote delivery of chemical reagentsFluid storage and dispensing systems and methods for remote delivery of fluids are described, for providing fluid from a source vessel at lower voltage to one or more fluid-utilizing tools at higher voltage, so that the fluid crosses the associated voltage gap without arcing, discharge, premature ionization, or other anomalous behavior, and so that when multiple fluid-utilizing tools are supplied by the remote source vessel, fluid is efficiently supplied to each of the multiple tools at suitable pressure level during the independent operation of others of the multiple vessels.A fluid feed system, at least one fluid-utilizing tool relatively high-tension is in for being sent to from the fluid provider container being in relatively low voltage by fluid, wherein fluid is through a corresponding voltage difference, described fluid feed system comprises described fluid provider container and at least one fluid management device, and described fluid management device is selected from by the following group formed:a () fluid delivery flow circuit, comprising: a fluid conveyer line, and this fluid conveyer line is suitable for being attached to fluid supply container, to flow to described fluid-utilizing tool by voltage official post fluid from described fluid supply container; a dielectric interfaces, this dielectric interfaces is suitable for being attached to described fluid conveyer line, with by the low voltage section of described fluid conveyer line and high voltage section separated from one another; first pressure regulator and a flow control component or flow control assembly, be in the low voltage section of described fluid conveyer line; second pressure regulator, be in the high voltage section of described fluid conveyer line, wherein said first pressure regulator and described second pressure regulator are suitable for regulating the pressure being flowed to the fluid of described fluid-utilizing tool from described fluid supply container by described fluid conveyer line, to reduce the pressure change of the fluid flowing to described fluid-utilizing tool;(b) electric current monitor, be suitable for when being attached to fluid delivery source container, electrical interference in described fluid delivery flow circuit causes in the too early ionized event of electric arc, electric discharge or fluid, monitors the electric current in described fluid provider container and exports a signal relevant to described electric current; and an interlock system, be suitable for the signal received in the event of described electrical interference from described electric current monitor, and responsively activate a remedial action to alleviate electrical interference or to improve the impact of electrical interference;c () comprises the fluid delivery flow circuit of non-linear fluid conveyer line, this non-linear fluid conveyer line is suitable for being attached to described fluid supply container, think the flow path that a non-linear development length is provided to the flowing of the fluid of fluid-utilizing tool from described fluid supply container by voltage difference, thus suppress the too early ionization of electric arc, electric discharge or fluid;(d) fluid delivery flow circuit, comprise a fluid conveyer line, this fluid conveyer line is suitable for being attached to described fluid supply container, to flow to described fluid-utilizing tool by voltage official post fluid from described fluid supply container, this fluid conveyer line is communicated with a reversible adsorption agent medium fluid, described reversible adsorption agent medium has absorption compatibility to described fluid and is arranged and adjusts fluid flow through described fluid conveyer line, in case fluid supply discontinuity with adsorptivity ground/desorption;e () control system, is suitable for supply pressure and/or the demand flow rate of monitoring and control to flow to from described fluid supply container the fluid of described fluid-utilizing tool, to reduce the pressure change of the fluid flowing to described fluid-utilizing tool;(f) heat control system, be suitable for heating with enough speed or cooling the fluid flowing to described fluid-utilizing tool from described fluid supply container, to control fluid pressure, thus reduce the pressure change flowing to the fluid of described fluid-utilizing tool;g () fluid delivery flow circuit, comprising: a fluid conveyer line, and this fluid conveyer line is suitable for being attached to described fluid supply container, to flow to described fluid-utilizing tool by voltage official post fluid from described fluid supply container; and a surge chamber, this surge chamber is attached to described fluid conveyer line, and is suitable for receiving the fluid from described fluid conveyer line, thus provides a gas reservoir to prevent gas supply discontinuity; andh () plate carries container, be associated with fluid-utilizing tool, and during the operation of described fluid-utilizing tool, be in its relatively high voltage, this plate carries container and is suitable for during described operation or between the consecutive periods of described operation by described fluid provider vessel filling, be suitable for being filled during described operation and if this plate carries container, then it comprises at least one fluid management device (a)-(g).
화학적 시약의 원격 전달보다 낮은 전압에 있는 소스 용기로부터 보다 높은 전압에 있는 하나 이상의 유체-이용 툴까지 유체를 제공하기 위해, 유체를 원격 전달하기 위한 유체 저장 및 분배 시스템 및 방법이 개시되며, 유체는 아크방전, 방전, 조기 이온화 또는 다른 이상 성질이 없이 관련 전압 갭을 교차하며, 다중 유체-이용 툴이 원격 소스 용기에 의해 공급되는 경우, 다중 용기 중 다른 용기의 독립적인 작동 동안에 적당한 압력 레벨에서 다중 툴의 각각으로 효율적으로 유체가 공급된다.상대적으로 보다 낮은 전압에 있는 유체 공급 소스 용기로부터 상대적으로 보다 높은 전압에 있는 적어도 하나의 유체-이용 툴까지 유체의 전달을 위한 유체 공급 시스템으로서, 상기 유체는 대응하는 전압 차동을 통과하며, 상기 유체 공급 시스템은 유체 공급 소스 용기를 포함하며, 적어도 하나의 유체 관리 장치는:(a) 전압 차동을 통해 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유체를 유동시키기 위해서 유체 공급 용기에 커플링되도록 구성된 유체 전달 라인과, 유체 전달 라인을 유체 전달 라인의 보다 낮은 전압 세그먼트 및 보다 높은 전압 세그먼트로 서로 분리시키기 위해서 유체 전달 라인에 커플링되도록 구성된 유전체 계면(dielectric interface)과, 유체 전달 라인의 보다 낮은 전압 세그먼트 내의 제 1 압력 조절기 및 유동 제어 부품 또는 조립체와, 유체 전달 라인의 보다 높은 전압 세그먼트 내의 제 2 압력 조절기를 포함하는 유체 전달 유동 회로로서, 상기 제 1 및 제 2 압력 조절기는 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유체 전달 라인을 통해 유동된 유체의 압력을 조절하여 유체-이용 툴로 유동된 유체의 압력 변동을 감소시키도록 구성되어 있는, 상기 유체 전달 유동 회로와;(b) 유체 공급 소스 용기 내의 전류를 모니터하고, 유체 전달 소스 용기에 커플링될 때 유체 전달 유동 회로 내의 유체의 아크방전, 방전 또는 조기 이온화를 조정하는(mediating) 전기적 동요(electrical disturbance)시에 상기 전류에 상관관계가 있는 신호를 출력하도록 구성된 전기 전류 모니터와, 상기 전기적 동요의 상기 사고에서 전기 전류 모니터로부터의 신호를 수신하고, 전기적 동요를 약화시키거나 전기적 동요의 영향을 개선하기 위한 개선책을 반응적으로 작동시키도록 구성된 인터로크 시스템(interlock system)과;(c) 전압 차동을 통해서 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유체의 유동을 위한 비선형의 연장된 길이 유동 경로를 제공하여, 유체의 아크방전, 방전 또는 조기 이온화를 억제하도록, 유체 공급 용기에 커플링되도록 구성된 비선형의 유체 전달 라인을 포함하는 유체 전달 유동 회로와;(d) 전압 차동을 통해서 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유체를 유동시키도록 유체 공급 용기에 커플링되도록 구성된 유체 전달 라인을 포함하는 유체 전달 유동 회로로서, 상기 유체 전달 라인은 상기 유체를 위한 수착 친화도를 갖는 가역 흡수성 매체와 유체 연통되어 있으며 그리고 유체 공급 차단을 방지하도록 유체 전달 라인을 통한 유체 유동을 수착적으로(sorptively)/탈착식으로(desorptively) 조절하도록 배치되어 있는, 상기 유체 전달 유동 회로와;(e) 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유동된 유체의 공급 압력 및/또는 요구 유동 속도를 모니터링 및 제어하여 유체-이용 툴로 유동된 유체의 압력 변동을 감소시키도록 구성된 제어 시스템과;(f) 유체 압력을 제어하기에 충분한 속도에서 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유동된 유체를 가열 또는 냉각시켜서 유체-이용 툴로 유동된 유체의 압력 변동을 감소시키도록 구성된 열 제어 시스템과;(g) 전압 차동을 통해서 유체 공급 용기로부터 유체-이용 툴까지 유체를 유동시키도록 유체 공급 용기에 커플링되도록 구성된 유체 전달 라인과, 유체 전달 라인에 커플링되고 유체 전달 라인으로부터의 유체를 수용하여 가스 공급 차단을 방지하기 위한 가스 저장소를 제공하도록 구성된 서지 챔버를 포함하는 유체 전달 유동 회로와;(h) 유체-이용 툴의 작동 동안에 유체-이용 툴과 연관되고 유체-이용 툴의 상대적으로 높은 전압에 있는 온-보드 용기(on-board vessel)로서, 상기 온-보드 용기는 상기 작동 동안에 또는 상기 작동의 연속 주기 사이에서 상기 유체 공급 소스 용기에 의해 충전시키도록 구성되어 있으며, 상기 작동 동안에 충전되도록 구성된다면, 적어도 하나의 유체 관리 장치 (a) 내지 (g)를 포함하는, 상기 온-보드 용기로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는유체 공급 시스템.