METHOD FOR FORMING INFORMATION RECORDING MEDIAThe same digital data is recorded with highly integrated manner on a plurality of media able to durably hold information over long-term. A minute graphic pattern indicating data bit information is drawn on a resist layer formed on a quartz glass substrate by exposing a beam and developed so as to prepare a master medium (M1), which comprises the quartz glass substrate having a minute recess and protrusion structure formed by etching where the remaining resist are used as a mask (Fig. (a)). The recess and protrusion structure recorded on the master medium (M1) is shaped and transferred onto a flexible recording medium (G2) on which a UV curable resin layer (61) is formed, whereby an intermediate medium (M2) is prepared (Figs. (b)-(d)). The inverted recess and protrusion structure transferred to the intermediate medium (M2) is shaped and transferred onto a recording medium (G3) comprising a quartz glass substrate (70) on which a UV curable resin layer (80) is formed, whereby a reproduction medium (M3) having the same recess and protrusion structure as that of the master medium (M1) is prepared (Figs. (e)-(h)). In shaping and transferring process, the media are separated using the flexibility of the intermediate medium (M2).A method for manufacturing an information recording medium which prepares a plurality of information recording media in which a same digital data has been recorded, the method comprising: a master medium preparation step in which a process for recording digital data to be stored as a recess and protrusion structure pattern on a recording surface of a first recording medium (G1) is performed to prepare a master medium (M1); an intermediate medium preparation step in which a process for transferring the recess and protrusion structure pattern recorded at the master medium (M1) onto a recording surface of a second recording medium (G2) is performed to prepare an intermediate medium (M2); and a reproduction medium preparation step in which a process for transferring the recess and protrusion structure pattern recorded at the intermediate medium (M2) on a recording surface of a third recording medium (G3) is performed to prepare a reproduction medium (M3); wherein in the master medium preparation step, a medium which includes a quartz glass substrate (10) as the first recording medium (G1) is used to form a resist layer (20) on a surface of the first recording medium (G1), beam exposure is performed on a surface of the resist layer to draw a graphic pattern which shows bit information of digital data to be stored, the resist layer is developed to remove a part thereof, etching processing is performed, with a remaining part (23) of the resist layer given as a mask, thereby preparing the master medium (M1) which includes a quartz glass substrate (11) having a first recess and protrusion structure pattern on a surface thereof, in the intermediate medium preparation step, a shape formation process which utilizes the first recess and protrusion structure pattern formed on the surface of the master medium (M1) is performed to form, on the recording surface of the second recording medium (G2), a second recess and protrusion structure pattern which is reverse in recess and protrusion relationship to the first recess and protrusion structure pattern, in the reproduction medium preparation step, a medium which includes a quartz glass substrate (70) as the third recording medium (G3) is used to form, on the recording surface of the third recording medium (G3), a third recess and protrusion structure pattern which is reverse in recess and protrusion relationship to the second recess and protrusion structure pattern by a shape formation process which utilizes the second recess and protrusion structure pattern formed on the surface of the intermediate medium (M2), and when the first recording medium (G1) and the third recording medium (G3) are referred to as a first attribute medium and the second recording medium (G2) is referred to as a second attribute medium, at least one of the first attribute medium and the second attribute medium has flexibility, and in the shape formation process of the intermediate medium preparation step and the shape formation process of the reproduction medium preparation step, a medium having flexibility is curved and peeled from another medium.
정보 기록 매체의 작성 방법 장기적인 내구성을 가지고 정보 보존이 가능한 복수의 매체 상에, 고집적도를 가지고 동일한 디지털 데이터를 기록한다. 데이터의 비트 정보를 나타내는 미세한 도형 패턴을, 석영 유리 기판 상의 레지스트층에 빔 노광에 의해 묘화하여 현상하고, 잔존부를 마스크로 하는 에칭에 의해, 미세한 요철 구조를 가지는 석영 유리 기판으로 이루어지는 원판 매체(M1)를 작성한다(도 13의 (a)). 원판 매체(M1)에 기록되어 있는 요철 구조를, UV 경화성 수지층(61)이 형성된 가요성 기록 매체(G2)에 부형 전사하여 중간 매체(M2)를 작성한다(도 13의 (b)∼(d)). 중간 매체(M2)에 전사된 반전 요철 구조를, UV 경화성 수지층(80)이 형성된 석영 유리 기판(70)으로 이루어지는 기록 매체(G3)에 부형 전사하여, 원판 매체(M1)와 동일한 요철 구조를 가지는 복제 매체(M3)를 작성한다(도 13의 (e)∼(h)). 부형 전사 시에는, 중간 매체(M2)의 가요성을 이용하여, 매체끼리를 박리한다. 동일한 디지털 데이터가 기록된 복수 개의 정보 기록 매체를 작성하는 정보 기록 매체의 작성 방법으로서,보존 대상이 되는 디지털 데이터를, 제1 기록용 매체(G1)의 기록면 상에, 요철 구조 패턴으로서 기록하는 공정을 행함으로써, 원판 매체(M1)를 작성하는 원판 매체 작성 단계; 상기 원판 매체(M1)에 기록되어 있는 요철 구조 패턴을, 제2 기록용 매체(G2)의 기록면 상에 전사(轉寫)하는 공정을 행함으로써, 중간 매체(M2)를 작성하는 중간 매체 작성 단계; 및상기 중간 매체(M2)에 기록되어 있는 요철 구조 패턴을, 제3 기록용 매체(G3)의 기록면 상에 전사하는 공정을 행함으로써, 복제 매체(M3)를 작성하는 복제 매체 작성 단계를 포함하고,상기 원판 매체 작성 단계에서는, 상기 제1 기록용 매체(G1)로서 석영 유리 기판(10)을 포함하는 매체를 사용하고, 상기 제1 기록용 매체(G1)의 표면에 레지스트층(20)을 형성하고, 상기 레지스트층의 표면에 빔 노광을 행함으로써, 보존 대상이 되는 디지털 데이터의 비트 정보를 나타낸 도면형 패턴을 묘화하고, 상기 레지스트층을 현상함으로써 그 일부를 제거하고, 상기 레지스트층의 잔존부(23)를 마스크로 하는 에칭 처리를 행함으로써, 표면에 제1 요철 구조 패턴이 형성된 석영 유리 기판(11)을 포함하는 원판 매체(M1)를 작성하고,상기 중간 매체 작성 단계에서는, 상기 원판 매체(M1)의 표면에 형성된 상기 제1 요철 구조 패턴을 이용한 부형(賦形) 공정에 의해, 상기 제2 기록용 매체(G2)의 기록면 상에, 상기 제1 요철 구조 패턴의 요철 관계를 반전시킨 제2 요철 구조 패턴을 형성하고,상기 복제 매체 작성 단계에서는, 상기 제3 기록용 매체(G3)로서 석영 유리 기판(70)을 포함하는 매체를 사용하고, 상기 중간 매체(M2)의 표면에 형성된 상기 제2 요철 구조 패턴을 이용한 부형 공정에 의해, 상기 제3 기록용 매체(G3)의 기록면 상에, 상기 제2 요철 구조 패턴의 요철 관계를 반전시킨 제3 요철 구조 패턴을 형성하고,상기 제1 기록용 매체(G1) 및 상기 제3 기록용 매체(G3)를 제1 속성 매체로 칭하고, 상기 제2 기록용 매체(G2)를 제2 속성 매체로 칭할 때, 상기 제1 속성 매체 및 상기 제2 속성 매체 중 적어도 한쪽이 가요성을 가지고, 상기 중간 매체 작성 단계의 부형 공정 및 상기 복제 매체 작성 단계의 부형 공정에 있어서, 가요성을 가지는 매체를 만곡시킴으로써 매체 상호(相互)를 박리시키는,정보 기록 매체의 작성 방법.