PATTERN GENERATION METHOD AND APPARATUS USING CACHED CELLS OF HIERARCHICAL DATAA pattern generation method and system in which hierarchical image data (determining a pattern to be imaged on a target) is received at a graphics engine having a memory, at least one cell determining a repeated feature or set of features of the pattern is stored in the memory, and beam control data is generated in response to the image data. The image data includes residual data including at least two subroutine call commands for each cell stored in the memory. In response to each subroutine call command, the graphics engine retrieves a cell (identified by the command) from the memory, and asserts beam control data that determines a feature or feature set determined by the cell to be imaged at (or beginning at) a location on the target identified by the command. The subroutine call commands can be distributed throughout the image data, including in at least one cell to be cached as well as in the residual data. Preferably, the graphics engine caches each cell of the image data in the memory and generates a set of beam control data in response to each subroutine call command including by retrieving a cached cell from the memory and generating the beam control data in response to the retrieved cell. Alternatively, the graphics engine generates a cell of beam control data in response to each cell of image data, caches each such beam control data cell in the memory, and responds to each subroutine call command of the image data by retrieving a cached beam control data cell from the memory and asserting the retrieved beam control data cell as part of a set of beam control data that determines a feature or feature set (determined by the retrieved cell) to be imaged on the target. Another aspect of the invention is a method and apparatus for determining cells of hierarchical image data (to be transferred to a graphics engine ) by analyzing hierarchical raw image data and transforming the raw image data into optimized hierarchical image data including the cells.A pattern generation system which generates beam control data for causing at least one beam to image a pattern on a target, said pattern generation system comprising: a data generation subsystem configured to generate and assert a set of hierarchical image data having at least three levels of hierarchy, wherein the hierarchical image data includes residual data and a set of cells, each of the cells determines a feature set of the pattern, the residual data includes at least two subroutine call commands, and each of the subroutine call commands identifies a cell of the set of cells and a portion of the target at which the feature set determined by the cell is to be imaged; and a graphics engine having a memory, wherein the graphics engine is coupled and configured to receive the hierarchical image data, to store the set of cells upon receiving the hierarchical image data, and to generate the beam control data in response to the residual data and the contents of the memory, wherein the graphics engine is configured to respond to each of at least two of the subroutine call commands by retrieving one of the cells from the memory and generating a portion of the beam control data which controls imaging of the feature set determined by said one of the cells at the portion of the target identified by said each of at least two of the subroutine call commands, wherein the set of cells includes at least one primary cell and at least one secondary cell, the subroutine call commands include at least two primary call commands and at least two secondary call .commands, the primary cell includes said at least two secondary call commands, the graphics engine is configured to respond to each of at least two of the primary call commands by retrieving the primary cell from the memory and generating a portion of the beam control data which controls imaging of the feature set determined by the primary cell at the portion of the target identified by said each of at least two of the primary call commands, and the graphics engine is configured to respond to each of at least two of the secondary call commands by retrieving the secondary cell from the memory and generating a portion of the beam control data which controls imaging of the feature set determined by the secondary cell at the portion of the target identified by said each of at least two of the secondary call commands.
계층적 데이터의 캐시드 셀들을 이용한 패턴 생성 방법 및 장치패턴 생성 방법 및 장치에 있어서 (타겟 위에 이미징되는 패턴을 결정하는) 계층적 (hierarchical) 이미지 데이터가 메모리를 갖는 그래픽 엔진에 수신되며, 패턴의 반복적인 형상 (feature) 또는 형상들의 집합 (set) 을 결정하는 적어도 하나의 셀 (cell) 이 메모리에 저장되며, 그리고 이미지 데이터에 응답하여 빔 제어 데이터를 생성하는 것을 포함하는 패턴 생성 방법 및 시스템. 이미지 데이터는 메모리에 저장된 각각의 셀에 대하여 적어도 두 개의 서브루틴 콜 커맨드 (subroutine call commands) 를 포함하는 잔여 (residual) 데이터를 포함한다. 각각의 서브루틴 콜 커맨드에 응답하여, 그래픽 엔진은 (커맨드에 의해 식별된) 셀을 메모리로부터 불러 들이며 (retrieve) , 그리고 커맨드에 의해 식별된 (identified) 타켓 상의 위치에서 이미징되는 (또는 그 위치에서 이미징이 시작되는) 셀에 의해 결정되는 형상 또는 형상의 집합을 결정하는 빔 제어 데이터를 확정 (assert) 한다. 서브루틴 콜 커맨드는 이미지 데이터의 전반에 걸쳐 행하여질 수 있고 (can be distributed) , 이는 잔여 데이터에서 뿐만 아니라 캐시될 (to be cached) 적어도 하나의 셀에서도 해당된다. 바람직하게는, 그래픽 엔진은 각각의 이미지 셀을 메모리에 캐시하고, 메모리에 있는 캐시된 셀을 불러들이고 불러들인 셀에 응답하여 빔 제어 데이터를 생성하는 것을 포함하는 것에 의해 각각의 서브루틴 콜 커맨드에 응답하여 빔 제어 데이터 집합을 생성한다. 다른 방법으로는, 그래픽 엔진은 이미지 데이터의 각각의 셀에 응답하여 빔 제어 데이터의 셀을 생성하며, 각각의 그러한 빔 제어 데이터 셀을 메모리에 캐시하며, 그리고 캐시된 빔 제어 데이터 셀을 메모리에서 불러들이고, 불러들인 빔 제어 데이터 셀을 타겟상에 이미징될 (불러들인 셀에 의해 결정되는) 형상이나 형상의 집합을 결정하는 빔 제어 데이터의 집합의 일부분으로 채택함으로써, 이미지 데이터 각각의 서브루틴 콜 커맨드에 대응한다. 본 발명의 또다른 측면은 계층적 원 이미지 데이터를 분석하고 원 이미지 데이터를 셀을 포함하는 최적화된 계층적 이미지 데이터로 변환함으로써, (그래픽 엔진에 전송되는) 계층적 이미지 데이터의 셀을 결정하는 방법 및 장치이다.하나 이상의 빔으로 하여금 타겟 상에 패턴을 이미징시키기 위한 빔 제어 데이터를 생성하는 패턴 생성 시스템에 있어서, 3 개 이상의 계층 레벨을 갖는 계층 이미지 데이터의 집합을 생성 및 어서트 (assert) 하도록 구성된 데이터 생성 서브시스템으로서, 상기 계층 이미지 데이터는 잔여 데이터 및 셀의 집합을 포함하고, 각각의 상기 셀들은 상기 패턴의 형상 집합을 결정하고, 상기 잔여 데이터는 2 개 이상의 서브루틴 콜 커맨드를 포함하고, 그리고 각각의 상기 서브루틴 콜 커맨드는 상기 셀들의 집합의 셀 및 상기 셀에 의해 결정되는 상기 형상의 집합이 이미징되는 타겟의 부분을 식별하는, 데이터 생성 서브 시스템; 및 메모리를 갖는 그래픽 엔진으로서, 상기 그래픽 엔진은 상기 계층적 이미지 데이터를 수신하고, 상기 계층적 이미지 데이터를 수신한 후 상기 셀의 집합을 저장하고, 그리고 상기 잔여 데이터 및 상기 메모리의 컨텐츠 (contents) 에 응답하여 빔 제어 데이터를 발생하도록 결합 (coupled) 및 구성되며, 상기 그래픽 엔진은 상기 메모리로부터 셀 중의 하나를 불러 들이고 (retrieve), 2 개 이상의 상기 서브루틴 콜 커맨드 각각에 의해 식별된 타겟의 부분에 있는 상기 셀들 중의 한 셀에 의해 결정되는 상기 형상 집합을 이미징하는 것을 제어하는 상기 빔 제어 데이터의 부분을 생성함으로써 적어도 2 개의 상기 서브루틴 콜 커맨드 각각에 응답하도록 구성된 그래픽 엔진을 포함하며, 상기 셀들의 집합은 하나 이상의 1 차 셀 (primary cell) 과 하나 이상의 2 차 셀 (secondary cell)을 포함하고, 상기 서브루틴 콜 커맨드는 적어도 2 개의 1 차 콜 커맨드와 적어도 2 개의 2 차 콜 커맨드를 포함하고, 상기 1 차 셀은 상기 적어도 2 개 이상의 2 차 콜 커맨드를 포함하고, 상기 그래픽 엔진은 상기 메모리로부터 상기 1 차 셀을 불러 들이고 상기 적어도 2 개의 상기 1 차 콜 커맨드 각각에 의해 식별된 상기 타겟의 부분에 상기 1 차 셀에 의해 결정되는 상기 형상 집합을 이미징하는 것을 제어하는 빔 제어 데이터의 부분을 생성함으로써 적어도 2 개의 상기 1 차 콜 커맨드 각각에 응답하도록 구성되고, 그리고 상기 그래픽 엔진은 상기 메모리로부터 상기 2 차 셀을 불러 들이고, 적어도 2 개의 상기 2 차 콜 커맨드 각각에 의해 식별된 상기 타겟의 상기 부분에 있는 상기 2 차 셀에 의해 결정되는 상기 형상 집합의 이미징을 제어하는 상기 빔 제어 데이터의 부분을 생성함으로써 적어도 2 개의 상기 2 차 콜 커맨드 각각에 응답하도록 구성되어 있는 패턴 생성 시스템.