THREE-DIMENSIONAL-MEASUREMENT DEVICEThere is provided a three-dimensional measurement device that uses lights of different wavelengths to expand the measurement range and to improve the measurement efficiency. The three-dimensional measurement device 1 includes a first projection optical system 2A configured to cause first light that is combined light of first wavelength light and second wavelength light to enter a first surface 60a of a polarizing beam splitter 60; a second projection optical system 2B configured to cause second light that is combined light of third wavelength light and fourth wavelength light to enter a second surface 60b of the polarizing beam splitter 60; a first imaging system 4A configured to separate output light with regard to the first light emitted from the second surface 60b into output light with regard to the first wavelength light and output light with regard to the second wavelength light and take respective images of the separated output lights; and a second imaging system 4B configured to separate output light with regard to the second light emitted from the first surface 60a into output light with regard to the third wavelength light and output light with regard to the fourth wavelength light and take respective images of the separated output lights.A three-dimensional measurement device, comprising: a predetermined optical system configured to split predetermined incident light into two lights, to radiate one of the two lights as measurement light to a measurement object and the other of the two lights as reference light to a reference surface, and to recombine the two lights to combined light and emit the combined light; a first irradiation unit configured to emit first light that enters the predetermined optical system; a second irradiation unit configured to emit second light that enters the predetermined optical system; a first imaging unit configured such that output light with regard to the first light that is emitted from the predetermined optical system enters; a second imaging unit configured such that output light with regard to the second light that is emitted from the predetermined optical system enters; and an image processor configured to perform three-dimensional measurement of the measurement object, based on interference fringe images taken by the first imaging unit and the second imaging unit, wherein the first light and the second light enter different positions of the predetermined optical system, and the output light with regard to the first light and the output light with regard to the second light are emitted from different positions of the predetermined optical system, wherein the first irradiation unit comprises a first wavelength light emitter configured to emit first wavelength light that includes polarized light of a first wavelength and/or a second wavelength light emitter configured to emit second wavelength light that includes polarized light of a second wavelength, and is configured to emit the first light including the polarized light of the first wavelength and/or the polarized light of the second wavelength, the second irradiation unit comprises a third wavelength light emitter configured to emit third wavelength light that includes polarized light of a third wavelength and/or a fourth wavelength light emitter configured to emit fourth wavelength light that includes polarized light of a fourth wavelength, and is configured to emit the second light including the polarized light of the third wavelength and/or the polarized light of the fourth wavelength, the first imaging unit comprises: a first wavelength light imaging unit configured to take an image of output light with regard to the polarized light of the first wavelength, which is included in the output light with regard to the first light emitted from the predetermined optical system when the first light including the polarized light of the first wavelength enters the predetermined optical system; and/or a second wavelength light imaging unit configured to take an image of output light with regard to the polarized light of the second wavelength, which is included in the output light with regard to the first light emitted from the predetermined optical system when the first light including the polarized light of the second wavelength enters the predetermined optical system, and the second imaging unit comprises: a third wavelength light imaging unit configured to take an image of output light with regard to the polarized light of the third wavelength, which is included in the output light with regard to the second light emitted from the predetermined optical system when the second light including the polarized light of the third wavelength enters the predetermined optical system; and/or a fourth wavelength light imaging unit configured to take an image of output light with regard to the polarized light of the fourth wavelength, which is included in the output light with regard to the second light emitted from the predetermined optical system when the second light including the polarized light of the fourth wavelength enters the predetermined optical system.
삼차원 계측장치파장이 상이한 광을 이용하여, 계측레인지의 확대를 도모함과 함께, 계측효율의 향상을 도모할 수 있는 삼차원 계측장치를 제공한다. 삼차원 계측장치(1)는, 편광빔 스플리터(60)의 제1 면(60a)에 대하여, 제1 파장광과 제2 파장광의 합성광인 제1 광을 입사시키는 제1 투광계(2A)과, 편광빔 스플리터(60)의 제2 면(60b)에 대하여, 제3 파장광과 제4 파장광의 합성광인 제2 광을 입사시키는 제2 투광계(2B)와, 상기 제2 면(60b)으로부터 출사되는 제1 광에 따른 출력광을 제1 파장광에 따른 출력광과 제2 파장광에 따른 출력광으로 분리하고 이들을 각각 촬상가능한 제1 촬상계(4A)와, 상기 제1 면(60a)으로부터 출사되는 제2 광에 따른 출력광을 제3 파장광에 따른 출력광과 제4 파장광에 따른 출력광으로 분리하고 이들을 각각 촬상가능한 제2 촬상계(4B)를 구비하고 있다.입사하는 소정의 광을 2개의 광으로 분할하고, 일방의 광을 계측광으로 하여 피계측물에 조사가능하게 하고 또한 타방의 광을 참조광으로 하여 참조면에 조사가능하게 함과 함께, 이들을 재차 합성하여 출사가능한 소정의 광학계와,상기 소정의 광학계에 대하여 입사시키는 제1 광을 출사가능한 제1 조사수단과,상기 소정의 광학계에 대하여 입사시키는 제2 광을 출사가능한 제2 조사수단과,상기 소정의 광학계로부터 출사되는 상기 제1 광에 따른 출력광을 입사가능한 제1 촬상수단과,상기 소정의 광학계로부터 출사되는 상기 제2 광에 따른 출력광을 입사가능한 제2 촬상수단과,상기 제1 촬상수단 및 상기 제2 촬상수단에 의해 촬상된 간섭호 화상을 기초로 상기 피계측물의 삼차원 계측을 실행가능한 화상처리수단을 구비하고,상기 제1 광과 상기 제2 광을 각각 상기 소정의 광학계의 상이한 위치에 입사시키고,상기 제1 광에 따른 출력광과 상기 제2 광에 따른 출력광을 각각 상기 소정의 광학계의 상이한 위치로부터 출사시키는 구성 하에,상기 제1 조사수단은,제1 파장의 편광을 포함하는 제1 파장광을 출사가능한 제1 파장광출사부, 및/또는, 제2 파장의 편광을 포함하는 제2 파장광을 출사가능한 제2 파장광출사부를 구비하고,상기 제1 파장의 편광, 및/또는, 상기 제2 파장의 편광을 포함하는 상기 제1 광을 출사가능하게 구성되고,상기 제2 조사수단은,제3 파장의 편광을 포함하는 제3 파장광을 출사가능한 제3 파장광출사부, 및/또는, 제4 파장의 편광을 포함하는 제4 파장광을 출사가능한 제4 파장광출사부를 구비하고,상기 제3 파장의 편광, 및/또는, 상기 제4 파장의 편광을 포함하는 상기 제2 광을 출사가능하게 구성되고,상기 제1 촬상수단은,상기 소정의 광학계에 대하여 상기 제1 파장의 편광을 포함하는 상기 제1 광이 입사된 경우에, 상기 소정의 광학계로부터 출사되는 상기 제1 광에 따른 출력광에 포함되는 상기 제1 파장의 편광에 따른 출력광을 촬상가능한 제1 파장광촬상부,및/또는,상기 소정의 광학계에 대하여 상기 제2 파장의 편광을 포함하는 상기 제1 광이 입사된 경우에, 상기 소정의 광학계로부터 출사되는 상기 제1 광에 따른 출력광에 포함되는 상기 제2 파장의 편광에 따른 출력광을 촬상가능한 제2 파장광촬상부를 구비하고,상기 제2 촬상수단은,상기 소정의 광학계에 대하여 상기 제3 파장의 편광을 포함하는 상기 제2 광이 입사된 경우에, 상기 소정의 광학계로부터 출사되는 상기 제2 광에 따른 출력광에 포함되는 상기 제3 파장의 편광에 따른 출력광을 촬상가능한 제3 파장광촬상부,및/또는,상기 소정의 광학계에 대하여 상기 제4 파장의 편광을 포함하는 상기 제2 광이 입사된 경우에, 상기 소정의 광학계로부터 출사되는 상기 제2 광에 따른 출력광에 포함되는 상기 제4 파장의 편광에 따른 출력광을 촬상가능한 제4 파장광촬상부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 삼차원 계측장치.