A method for controlling the movement of an apparatus, in particular a place tool of a die bonderA method for controlling the movement of an apparatus with N = 2 degrees of freedom x1,...,x N -1, z, is presented. The method comprises the steps of: determining an approximate target x-position xend app = (x1,end app,..., x N -1,end app); computing a first z-trajectory zup(t); computing an approximate x-trajectory xapp(t) = (x1 app(t),..., x N -1 app(t)) for a movement of the apparatus from a start x-position xstart to the approximate target x-position xend app; starting a movement of the apparatus from a starting point qapp(0) = (xstart, zup(0)) along a first trajectory qapp(t) = (xapp(t), zup(t)) by means of a control system; upon obtaining a corrected target x-position xend = (-x1,end,..., x N -1,end) at a time t corr, determining a corrected x-trajectory xcorr(t) = (x1 corr(t),..., x N -1 corr(t)) to xend satisfying xcorr(t blend) = xapp(t blend), where t corr = t blend and moving the apparatus along a second trajectory qcorr(t) = (xcorr(t), zup(t)) for t > t blend by means of the control system; determining an earliest time t 2 : = min{t|xcorr(t) = xend} at which xcorr(t 2) = xend) computing a second z-trajectory zdown(t) from a maximum z-position zmax to a target z-position zend such that for t t 2, zdown(t) > z2 for a given safe height z2 with zmax > z2 > zend, and zdown(t down) = zup- (t down) = zmax for some time t down > t blend; and moving the apparatus along a third trajectory qfinal(t) = (xcorr(t), zdown(t)) for t > t down by means of the control system.One kind to equipment, and the place tool of chip bonding equipment especially has the free degree x of n 〉=2 1..., x n-1, the method that the motion of z is controlled said method comprising the steps of a.) determine approximate target x-position x endapp=(x 1, endapp..., x n-1, endapp), b.) calculate a z-track z up(t), c.) calculate described equipment from beginning x-position x startto described approximate target x-position x endappthe approximate x-track x of motion app(t)=(x 1app(t) ..., x n-1app(t)), d.) by control system described equipment is begun from starting point q app(0)=(x start, z up(0)) along the first track q app(t)=(x app(t), z up(t)) motion, e.) in case at moment t corrobtain the target x-position x of correction end=(x 1, end..., x n-1, end), then (i) determine to satisfy x corr(t blend)=x app(t blend) to x endthe target x-track x of correction corr(t)=(x 1corr(t) ..., x n-1corr(t)), t wherein corr≤ t blendand (ii) for t 〉=t blend, make described equipment along the second track q by described control system corr(t)=(x corr(t), z up(t)) motion, f.) determine to make x corr(t 2)=x endt constantly the earliest 2:=min{t|x corr(t)=x end, g.) calculate from maximum z-position z maxto target z-position z endthe 2nd z-track z down(t) so that (i) for t＜t 2, for given safe altitude z 2z is arranged down(t)＞z 2, wherein, z max＞z 2＞z endand (ii) for t down＞t blendsome constantly, z down(t down)=z up(t down)=z max, and h.) for t＞t down, make described equipment along the 3rd track q by described control system final(t)=(x corr(t), z down(t)) motion.
장치, 특히 다이본더의 배치 도구의 이동을 제어하기 위한 방법N ≥ 2 인 자유도 x1, ..., xN-1, z를 갖는 장치의 움직임을 제어하기 위한 방법이 제공된다. 본 방법은, 대략적인 타겟 x-위치 xendapp = (x1,endapp, ..., xN-1,endapp)를 결정하는 단계; 제 1 z-궤도 zup(t) 를 연산하는 단계; 시작 x-위치 xstart 로부터 상기 대략적인 타겟 x-위치 xendapp까지 장치의 이동을 위하여 대략적인 x-궤도 xapp(t) = (x1app(t), ..., xN-1app(t))를 연산하는 단계; 제어 시스템에 의하여 qapp(0) = (xstart, zup(0))로부터 제 1 궤도 qapp(t) = (xapp(t), zup(t))를 따른 상기 장치의 움직임을 개시하는 단계; 시간 tcorr에서 보정된 타겟 x-위치 xend = (x1,end, ..., xN-1,end)를 획득하는 경우에, tcorr≤ tblend 인 경우에 xcorr(tblend) = xapp(tblend)를 만족하는 xend로 보정된 x-궤도 xcorr(t) = (x1corr(t), ..., xN-1corr(t))를 결정하고, 상기 제어 시스템에 의하여 t > tblend 인 경우에 제 2 궤도 qcorr(t) = (xcorr(t), zup(t))를 따라 상기 장치를 이동시키는 단계; xcorr(t2) = xend 인 가장 빠른 시간 t2 := min{t｜xcorr(t) = xend}를 결정하는 단계; t < t2인 경우 zmax> z2> zend 인 주어진 안전 높이 z2에 대하여 zdown(t) > z2가 되고, tdown> tblend 인 일부 시간에 대하여 zdown(tdown) = zup(tdown) = zmax 가 되도록, 최대의 z-위치 zmax 로부터 타겟 z-위치 zend까지 제 2 z-궤도 zdown(t)을 연산하는 단계; 및 상기 제어 시스템에 의하여, t > tdown 인 경우 제 3 궤도 qfinal(t) = (xcorr(t), zdown(t))를 따라 상기 장치를 이동시키는 단계를 포함한다.N ≥ 2 인 자유도 x1, ..., xN-1, z를 갖는 장치, 특히 다이본더의 배치 도구의 움직임을 제어하기 위한 방법에 있어서,a) 대략적인 타겟 x-위치 xendapp = (x1,endapp, ..., xN-1,endapp)를 결정하는 단계;b) 제 1 z-궤도 zup(t) 를 연산하는 단계;c) 시작 x-위치 xstart 로부터 상기 대략적인 타겟 x-위치 xendapp까지 장치의 이동을 위하여 대략적인 x-궤도 xapp(t) = (x1app(t), ..., xN-1app(t))를 연산하는 단계;d) 제어 시스템에 의하여 qapp(0) = (xstart, zup(0))로부터 제 1 궤도 qapp(t) = (xapp(t), zup(t))를 따른 상기 장치의 움직임을 개시하는 단계;e) 시간 tcorr에서 보정된 타겟 x-위치 xend = (x1,end, ..., xN-1,end)를 획득하는 경우에,(ⅰ) tcorr≤ tblend 인 경우에 xcorr(tblend) = xapp(tblend)를 만족하는 xend로 보정된 x-궤도 xcorr(t) = (x1corr(t), ..., xN-1corr(t))를 결정하고,(ⅱ) 상기 제어 시스템에 의하여 t > tblend 인 경우에 제 2 궤도 qcorr(t) = (xcorr(t), zup(t))를 따라 상기 장치를 이동시키는 단계;f) xcorr(t2) = xend 인 가장 빠른 시간 t2 := min{t｜xcorr(t) = xend}를 결정하는 단계;g) (ⅰ) t < t2인 경우 zmax> z2> zend 인 주어진 안전 높이 z2에 대하여 zdown(t) > z2가 되고, (ⅱ) tdown> tblend 인 일부 시간에 대하여 zdown(tdown) = zup(tdown) = zmax 가 되도록, 최대의 z-위치 zmax 로부터 타겟 z-위치 zend까지 제 2 z-궤도 zdown(t)을 연산하는 단계; 및h) 상기 제어 시스템에 의하여, t > tdown 인 경우 제 3 궤도 qfinal(t) = (xcorr(t), zdown(t))를 따라 상기 장치를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.