Low wavefront error piezoelectrically actuated optical elementThere is presented an optical element (100, 500, 600, 700) comprising a support structure (101, 501) with a sidewall (112, 512), a bendable cover member (102, 502, 702) attached to the sidewall (112,512), one or more piezoelectric actuators (103, 104, 105) arranged for shaping said bendable cover member (102, 502, 702) into a desired shape, wherein said optical element (100, 500, 600, 700) comprises an optically active area (111, 511) with an optical axis (110, 510), wherein an outer edge (215A-E) of the one or more piezoelectric actuators (103, 104, 105) as observed in a direction being parallel with the optical axis (110, 510) defines a first line, and an inner edge (109) of the support structure (101, 501) at the interface between the support structure (101, 501) and the bendable covermember (102, 502, 702) as observed in the direction being parallel with the optical axis (110, 510) defines a second line, wherein the first line and the second line as observed in the direction being parallel with the optical axis (110, 510) cross each other in two or more positions and/or are parallel and coincident in one or more positions.A kind of optical element (100,500,600,700), comprising:support construction (101,501), with side wall (112,512),flexible the lid component (102,502,702), is attached toside wall described in ο (112,512),one or more piezoelectric actuators (103,104,105), be arranged to by the flexible the lid component (102,502, 702) it is configured to institute's phase shape, wherein one or more of piezoelectric actuators (103,104,105) include piezoelectric material (104) with the electrode layer (103,105) of the piezoelectric material above and or below,wherein the optical element (100,500,600,700) include with optical axis (110,510) optical active areas (111, 511), whereinone or more of piezoelectric actuators form the closed line for surrounding the optical axis completely, and such as with the optical axis outer edge (the 215a- for the one or more piezoelectric actuators (103,104,105) observed on (110,510) parallel direction e it) defines first line, wherein the outer edge is closed line, corresponds to deviating from for one or more of piezoelectric actuators the edge of the optical axis, andthe support construction (101,501) such as observed on the direction parallel with the optical axis (110,510) and it is described can the inward flange (109) of the support construction (101,501) of interface between bending the lid component (102,502,702) defines second line,wherein, the first line and the second line such as observed on the direction parallel with the optical axis (110,510)it intersects in two or more positions, and/orthe parallel and coincidence in one or more positions.
파면 에러가 낮은 압전 작동식 광학 요소측벽(112, 512)을 갖는 지지 구조물(101, 501), 측벽(112, 512)에 부착된 휨 가능 커버 부재(102, 502, 702), 휨 가능 커버 부재(102, 502, 702)를 원하는 형상으로 성형하도록 배열된 하나 이상의 압전 액추에이터들(103, 104, 105)을 포함하는 광학 요소(100, 500, 600, 700)가 제시되며, 상기 광학 요소(100, 500, 600, 700)는 광학 축(110, 510)을 갖는 광학 활성 영역(111, 511)을 포함하고, 광학 축(110, 510)과 평행한 방향에서 관찰된 바와 같은 하나 이상의 압전 액추에이터들(103, 104, 105)의 외부 에지(215A-E)는 제1 라인을 규정하고, 광학 축(110, 510)과 평행한 방향에서 관찰된 바와 같은 지지 구조물(101, 501)과 휨 가능 커버 부재(102, 502, 702) 사이의 계면에서의 지지 구조물(101, 501)의 내부 에지(109)는 제2 라인을 규정하며, 상기 광학 축(110, 510)과 평행한 방향에서 관찰된 바와 같은 제1 라인 및 제2 라인은 둘 이상의 위치에서 서로 교차하며/하거나 하나 이상의 위치들에서 평행 및 일치한다.광학 요소(100, 500, 600, 700)로서,- 측벽(112, 512)을 갖는 지지 구조물(101, 501),- 상기 측벽(112, 512)에 부착된 휨 가능 커버 부재(102, 502, 702),- 상기 휨 가능 커버 부재(102, 502, 702)를 원하는 형상으로 성형하도록 배열된 하나 이상의 압전 액추에이터들(103, 104, 105)을 포함하며, 상기 하나 이상의 압전 액추에이터들(103, 104, 105)은 압전 재료(104) 및 상기 압전 재료 위 및/또는 아래의 전극 층들(103, 105)을 포함하고,상기 광학 요소(100, 500, 600, 700)는 광학 축(110, 510)을 갖는 광학 활성 영역(111, 511)을 포함하고,- 상기 하나 이상의 압전 액추에이터들은 상기 광학 축을 완전히 둘러싸는 폐쇄 라인을 형성하고, 상기 광학 축(110, 510)과 평행한 방향에서 관찰된 바와 같은 상기 하나 이상의 압전 액추에이터들(103, 104, 105)의 외부 에지(215A-E)는 제1 라인을 규정하며, 상기 외부 에지는 상기 광학 축과 떨어져 대향하는 상기 하나 이상의 압전 액추에이터들의 에지에 대응하는 폐쇄 라인이고,- 상기 광학 축(110, 510)과 평행한 방향에서 관찰된 바와 같은 상기 지지 구조물(101, 501)과 상기 휨 가능 커버 부재(102, 502, 702) 사이의 계면에서의 상기 지지 구조물(101, 501)의 내부 에지(109)는 제2 라인을 규정하며,상기 광학 축(110, 510)과 평행한 방향에서 관찰된 바와 같은 상기 제1 라인 및 상기 제2 라인은- 둘 이상의 위치에서 서로 교차하며/하거나,- 하나 이상의 위치들에서 평행 및 일치하는, 광학 요소(100, 500, 600, 700).