AROMATIC AMINO SILOXANE FUNCTIONALIZED MATERIALS FOR USE IN CAPPING POROUS DIELECTRICSThe present invention relates to new aromatic-amino functional siloxanes, which are compounds comprising one or two tail groups X2, and a linking group L of structure (2) linking each said tail groupto said head group, wherein the head group X has structure (1), containing an optional organic moiety Y,wherein the attachment point of said tail group X2 through said linking group L to the head group X1, may be, at positions a, b, c, d, or e. Another aspect of this invention are compositions containing these novel aromatic amino functional siloxane. A further aspect of this invention are compositions comprised of the above novel aromatic-amino functional siloxanes, and also the composition resulting from the aging of these compositions at room temperature for about 1 day to about 4 weeks. Still further aspects of this invention are processes for forming self-assembled monolayers on a substrate, from the aged composition, and also the processes of coating these aged compositions on patterned porous dielectrics to cap them also the processes of metallization of these capped pattered porous dielectrics.A compound comprising a head group x of structure (1)lone or two tail groups x2and a linking group l of structure (2) linking each of the tail groups to the head group, wherein in the linking group l, llattaching it to the head group xland is selected from the direct bond, -ch2-, -s-and-o-; and in l, l2is to be reacted with each of said tail groups x2a direct bond to each other, and r represents a bond to each other through the linking group lhead group x1the tail group x is connected2the number of (3) is 1 or 2; x is a direct bond or is selected from the group consisting of-o-, -o- (c ═ o) -nh-, -nh- (c ═ o) -o-, -o- (c ═ o) -o-, - (c ═ o) -, -o- (c ═ o) -, - (c ═ o) -o-, -nh- (c ═ o) -nh-,andwherein n and n' are independently integers from 2 to 8;and further, wherein;y is an optional divalent organic moiety linking positions b and d of structure (1) forming a two carbon linkage comprising a single or double carbon-carbon bond; wherein two positions on the linkage may independently be further substituted with hydrogen, alkyl or aryl, or wherein two positions on the linkage are also linked together through a six membered saturated or aromatic ring moiety; and further wherein the linkage itself, a substituent thereof or any ring moiety linking two positions in the divalent organic moiety y may be said head group x1to each of said tail groups x through said linking group l2the connection point of (a); and further wherein:if a divalent organic moiety y is present, positions a, c and e are the head group x if no further substitution is presentlthrough said linking group l with each of said tail groups x2or may be independently substituted by hydrogen, an alkyl moiety or an aryl moiety, or wherein positions a and f or e and g are linked together by a six membered saturated or aromatic ring moiety; and further, if not part of the six-membered ring system, positions e and g in structure (1) are independently substituted with hydrogen, an alkyl moiety, or an aryl moiety, and further wherein:if no divalent organic moiety y is present, then if not otherwise substitutedif position a, b, d, e is said head group xlthrough said linking group l with each of said tail groups x2or may be independently substituted by hydrogen, an alkyl moiety or an aryl moiety, or wherein the positions a and b, a and f, d and e or e and g are linked together by a six membered saturated or aromatic ring moiety; if not part of the six-membered ring system, positions e and g in structure (1) are independently substituted with hydrogen, an alkyl moiety, or an aryl moiety.
다공성 유전체의 캡핑에 사용하기 위한 방향족 아미노 실록산 작용화 재료본 발명은 1개 또는 2개의 꼬리 기 X2, 및 각각의 상기 꼬리 기를 상기 머리 기에 연결하는 구조 (2)의 연결 기 L를 포함하는 화합물인 신규의 방향족-아미노 작용성 실록산에 관한 것으로, 여기서 머리 기 X1은 임의적인 유기 모이어티 Y를 함유하는 구조 (1)을 가지며, 상기 꼬리 기 X2의 상기 연결 기 L을 통한 머리 기 X1로의 부착점은 위치 a, b, c, d, 또는 e일 수 있다. 본 발명의 또 다른 양태는 이러한 신규의 방향족 아미노 작용성 실록산을 함유하는 조성물이다. 본 발명의 추가적인 양태는 상기 신규의 방향족-아미노 작용성 실록산을 포함하는 조성물, 및 또한 실온에서 약 1일 내지 약 4주간 이들 조성물의 에이징으로 인한 조성물이다. 본 발명의 추가적인 양태는 에이징된 조성물로부터 기판 상에 자기 조립 단분자층을 형성하는 방법, 및 또한 패턴화된 다공성 유전체 상에 이러한 에이징된 조성물을 코팅하여 이들을 캡핑하는 방법 또한 이러한 캡핑되어진 패턴화된 다공성 유전체의 금속 배선 방법이다.[이미지]구조 (1)의 머리 기 X1, 1개 또는 2개의 꼬리 기 X2, 및 각각의 상기 꼬리 기를 상기 머리 기에 연결하는 구조 (2)의 연결 기 L을 포함하는 화합물로서, 상기 연결 기 L에서, L1은 이를 상기 머리 기 X1에 부착하고 직접 원자가 결합, -CH2-, -S- 및 -O-로부터 선택되며; L 내에서, L2는 이를 각각의 상기 꼬리 기 X2에 부착하는 직접 원자가 결합이고, r은 상기 연결 기 L을 통해 상기 머리 기 X1에 부착되는 상기 꼬리 기 X2의 수를 나타내며 1 또는 2이고; X는 직접 원자가 결합, 또는 -O-, -O-(C=O)-NH-, -NH-(C=O)-O-, -O-(C=O)-O-, -(C=O)-, -O-(C=O)-, -(C=O)-O-, -NH-(C=O)-NH-, [이미지], 및 [이미지]로 이루어진 군에서 선택된 2가 모이어티이며, n 및 n'는 독립적으로 2 내지 8 범위의 정수이고;[이미지]추가적으로;Y는 구조 (1)의 위치 b와 d를 부착하는 임의적인 2가 유기 모이어티이며, 단일 또는 이중 탄소-탄소 결합을 함유하는 2개 탄소의 연결을 형성하고; 이 연결의 2개 위치는 독립적으로 수소, 알킬 기, 또는 아릴 기로 추가 치환될 수 있거나, 또는 이 연결의 2개 위치는 6원의 포화 또는 방향족 고리 모이어티에 의해 함께 결합되며; 추가적으로, 연결 자체, 그의 치환기, 또는 2가 유기 모이어티 Y에서의 2개 위치를 결합하는 임의의 고리 모이어티는 상기 연결 기 L을 통해 상기 머리 기 X1을 각각의 상기 꼬리 기 X2에 연결하는 부착점일 수 있고, 더 추가적으로;2가 유기 모이어티 Y가 존재하는 경우, 위치 a, c, 및 e는, 달리 치환되지 않으면, 상기 연결 기 L을 통한 각각의 상기 꼬리 기 X2에 대한 상기 머리 기 X1의 가능한 부착 위치이거나, 또는 독립적으로 수소, 알킬 모이어티, 또는 아릴 모이어티로 치환될 수 있거나, 또는 위치 a 및 f 또는 e 및 g가 6원의 포화 또는 방향족 고리 모이어티를 통해 함께 결합되고; 추가적으로, 상기 6원 고리계의 일부가 아닌 경우, 구조 (1)의 위치 e 및 g는 독립적으로 수소, 알킬 모이어티, 또는 아릴 모이어티로 치환되며, 추가적으로;2가 유기 모이어티 Y가 부재하는 경우, 위치 a, b, d, e는, 달리 치환되지 않으면, 상기 연결 기 L을 통한 각각의 상기 꼬리 기 X2에 대한 상기 머리 기 X1의 가능한 부착 위치이거나, 또는 독립적으로 수소, 알킬 모이어티 또는 아릴 모이어티로 치환될 수 있거나, 또는 위치 a 및 b, a 및 f, d 및 e, 또는 e 및 g가 6원의 포화 또는 방향족 고리 모이어티를 통해 함께 결합되며; 상기 6원 고리계의 일부가 아닌 경우, 구조 (1)의 위치 e 및 g는 독립적으로 수소, 알킬 모이어티, 또는 아릴 모이어티로 치환되는 것인 화합물.