A method for operating an inline coating device and inline coating deviceThe invention relates to a method for operating an inline coating device which has an introduction chamber (220) comprising an introduction gate (260), a first buffer chamber (221) which connects to the introduction chamber (220) and which can be separated from the introduction chamber (220) by means of a first sluice gate (261), a process chamber (235) which is connected to the first buffer chamber (221) and which can be separated from the buffer chamber (221) by means of a second sluice gate (264), a second buffer chamber (222) which connects to the process chamber (235) and which can be separated from the process chamber (235) by means of a third sluice gate (265), and a discharge chamber (240) comprising an output gate (263) and which is connected to the second buffer chamber (222) and which can be separated from the second buffer chamber (222) by means of a fourth sluice gate (262), wherein the introduction chamber (220), the buffer chamber (221), the buffer chamber (222) and the discharge chamber (240) are designed as a module for the accommodation of substrates up to a predetermined size. The substrates (200) for the coating are transported from the introduction chamber (220) through the first buffer chamber (221) to the process chamber (235) and from the process chamber (235) through the second buffer chamber (222) to the discharge chamber (240). The first buffer chamber (221) has a gap sluice device comprising at least one gap opening (221b) by means of which a pressure gradient between the pressure in the area of the second sluice gate (264) and the pressure in the area of the first sluice gate (261) is adjusted within the first buffer chamber (221) when the first sluice gate (261) is open or closed. The invention further relates to an inline coating device for carrying out the method.A kind of method for running online coating equipment, the online coating equipment has：feed space (220) with feeding gate (260),the first surge chamber (221) of the feed space (220) is connected to, first surge chamber can be by the first gate (261) with being somebody's turn to do feed space (220) separates,the processing room (235) of first surge chamber (221) is connected to, the processing room can be by the second gate (264) and the buffering room (221) separates,the second surge chamber (222) of the processing room (235) is connected to, second surge chamber can be by the 3rd gate (265) with being somebody's turn to do processing room (235) separates,be connected to second surge chamber (222) and the discharge chamber (240) with discharge door (263), the discharge chamber can be by the four gates (262) separate with second surge chamber (222), wherein the feed space (220), surge chamber (221), the surge chamber (222) and the discharge chamber (240) is designed to the module of the accommodating substrate untill preliminary dimension,wherein in order to coat, substrate (200) is transported to the processing from the feed space (220) via first surge chamber (221) room (235) is simultaneously transported to the discharge chamber (240) from the processing room (235) via second surge chamber (222),characterized in that, first surge chamber (221) has the gap gate mechanism for including at least one slit valve (221b), adjusted when the first gate (261) is opened or closed in first surge chamber (221) by the gap gate mechanism at this the barometric gradient between the pressure in pressure and the first gate (261) region in second gate (264) region.
인라인 코팅 시스템을 작동하는 방법 및 인라인 코팅 시스템본 발명은 인라인 코팅 시스템을 작동하는 방법으로서, 상기 인라인 코팅 시스템은, 도입 게이트(260)를 포함하는 도입 챔버(220), 상기 도입 챔버(220)에 연결되고 제1 슬루스 게이트(261)에 의해 상기 도입 챔버(220)로부터 분리될 수 있는 제1 버퍼 챔버(221), 상기 제1 버퍼 챔버(221)에 연결되고 제2 슬루스 게이트(264)에 의해 상기 버퍼 챔버(221)로부터 분리될 수 있는 처리 챔버(235), 상기 처리 챔버(235)에 연결되고 제3 슬루스 게이트(265)에 의해 상기 처리 챔버(235)로부터 분리될 수 있는 제2 버퍼 챔버(222), 배출 게이트(263)를 포함하고 상기 제2 버퍼 챔버(222)에 연결되며 제4 슬루스 게이트(262)에 의해 상기 제2 버퍼 챔버(222)로부터 분리될 수 있는 배출 챔버(240)를 포함하고, 상기 도입 챔버(220), 상기 버퍼 챔버(221), 상기 버퍼 챔버(222) 및 상기 배출 챔버(240)는, 사전 설정된 크기까지 기판들을 수용하기 위한 모듈로서 설계되며, 코팅을 위한 상기 기판들(200)은, 상기 도입 챔버(220)로부터 상기 제1 버퍼 챔버(221)를 통해 상기 처리 챔버(235)로 그리고 상기 처리 챔버(235)로부터 상기 제2 버퍼 챔버(222)를 통해 상기 배출 챔버(240)로 이송되는 것인, 인라인 코팅 시스템을 작동하는 방법에 있어서, 상기 제1 버퍼 챔버(221)는, 상기 제1 슬루스 게이트(261)가 개방 또는 폐쇄될 때, 상기 제2 슬루스 게이트(264)의 영역의 압력과 상기 제1 슬루스 게이트(261)의 영역의 압력 사이의 압력 구배가 그에 의해 상기 제1 버퍼 챔버(221) 내에서 조절되는 것인, 적어도 하나의 틈새 개구(221b)를 포함하는 틈새 슬루스 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅 시스템을 작동하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 상기 방법을 수행하기 위한 인라인 코팅 시스템에 관한 것이다.인라인 코팅 시스템을 작동하는 방법으로서,- 도입 게이트(260)를 포함하는 도입 챔버(220), - 상기 도입 챔버(220)에 연결되고 제1 슬루스 게이트(261)에 의해 상기 도입 챔버(220)로부터 분리될 수 있는 제1 버퍼 챔버(221), - 상기 제1 버퍼 챔버(221)에 연결되고 제2 슬루스 게이트(264)에 의해 상기 버퍼 챔버(221)로부터 분리될 수 있는 처리 챔버(235), - 상기 처리 챔버(235)에 연결되고 제3 슬루스 게이트(265)에 의해 상기 처리 챔버(235)로부터 분리될 수 있는 제2 버퍼 챔버(222), - 배출 게이트(263)를 포함하고 상기 제2 버퍼 챔버(222)에 연결되며 제4 슬루스 게이트(262)에 의해 상기 제2 버퍼 챔버(222)로부터 분리될 수 있는 배출 챔버(240)를 포함하고,상기 도입 챔버(220), 상기 버퍼 챔버(221), 상기 버퍼 챔버(222) 및 상기 배출 챔버(240)는, 사전 설정된 크기까지 기판들을 수용하기 위한 모듈로서 설계되며,코팅을 위한 상기 기판들(200)은, 상기 도입 챔버(220)로부터 상기 제1 버퍼 챔버(221)를 통해 상기 처리 챔버(235)로 그리고 상기 처리 챔버(235)로부터 상기 제2 버퍼 챔버(222)를 통해 상기 배출 챔버(240)로 이송되는 것인, 인라인 코팅 시스템을 작동하는 방법에 있어서,상기 제1 버퍼 챔버(221)는, 상기 제1 슬루스 게이트(261)가 개방 또는 폐쇄될 때, 상기 제1 버퍼 챔버(221) 내에서의 상기 제2 슬루스 게이트(264)의 영역의 압력과 상기 제1 슬루스 게이트(261)의 영역의 압력 사이의 압력 구배가 그에 의해 조절되는 것인, 적어도 하나의 틈새 개구(221b)를 포함하는 틈새 슬루스 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 코팅 시스템 작동 방법.