Vacuum valveA vacuum valve including a valve body with first and second valve openings, first and second closure elements attached to a valve rod, a longitudinally adjustable transmission piece attached to the valve rod that is adjustable from an open position into an intermediate position, and in a transverse adjustment direction from the intermediate position into a first closing position, and counter thereto into a second closing position. The transmission piece is connected to the valve body via a longitudinal stroke linear guide and a transverse stroke linear guide having a transverse stroke guide part which extends parallel to an oblique adjustment direction and a transverse stroke carriage displaceably guided thereon. To adjust the transmission piece from the intermediate position into the first or second closing position, the transverse stroke carriage is linearly displaceable in or counter to the oblique adjustment direction from a central position into a first or second press-on position.A vacuum valve, comprising: a valve body with a first valve opening which has a first axis and is surrounded by a first valve seat, and with a second valve opening which has a second axis and is surrounded by a second valve seat, a first closure element and a second closure element attached to a valve rod, a transmission piece attached to the valve rod that is adjustable in a longitudinal adjustment direction from an open position, in which the first and the second closure elements open up the first and second valve openings, into an intermediate position, in which the first and the second closure elements overlap the first and second valve openings, but are raised from the first and second valve seats, and which is adjustable in a transverse adjustment direction from the intermediate position into a first closing position, in which the first closure element lies against the first valve seat, and counter to the transverse adjustment direction from the intermediate position into a second closing position, in which the second closure element lies against the second valve seat, a longitudinal stroke drive by which the transmission piece is adjustable from the open position into the intermediate position, a longitudinal stroke linear guide having a longitudinal stroke guide part extending parallel to the longitudinal adjustment direction and a longitudinal stroke carriage guided displaceably by the longitudinal stroke guide part, wherein, for adjustment of the transmission piece from the open position into the intermediate position, the longitudinal stroke carriage is displaceable linearly in relation to the longitudinal stroke guide part, or the longitudinal stroke guide part is displaceable linearly in relation to the longitudinal stroke carriage, in the longitudinal adjustment direction by the longitudinal stroke drive, a transverse stroke drive by which the transmission piece is adjustable from the intermediate position into the first closing position or into the second closing position, a transverse stroke linear guide which comprises a transverse stroke guide part which extends parallel to an oblique adjustment direction which extends obliquely with respect to the longitudinal adjustment direction, and a transverse stroke carriage which is guided displaceably by the transverse stroke guide part, the transmission piece is connected via the longitudinal stroke linear guide and the transverse stroke linear guide to the valve body, and, for adjustment of the transmission piece from the intermediate position into the first closing position, the transverse stroke carriage is linearly displaceable in relation to the transverse stroke guide part, or the transverse stroke guide part is linearly displaceable in relation to the transverse stroke carriage, in the oblique adjustment direction by the transverse stroke drive from a central position into a first press-on position, and, for the adjustment of the transmission piece from the intermediate position into the second closing position, the transverse stroke carriage is linearly displaceable in relation to the transverse stroke guide part, or the transverse stroke guide part is linearly displaceable in relation to the transverse stroke carriage, counter to the oblique adjustment direction by the transverse stroke drive from the central position into a second press-on position, wherein the central position lies between the first press-on position and the second press-on position, and during the adjustment of the transmission piece from the intermediate position into the first closing position and during the adjustment of the transmission piece from the intermediate position into the second closing position, a relative displacement between the longitudinal stroke guide part and the longitudinal stroke carriage occurs.
진공밸브진공밸브는 - 제 1 밸브 개구부와 제 2 밸브 개구부를 갖는 밸브몸체를 포함하고, - 밸브로드에 부착된 제 1 폐쇄부재와 제 2 폐쇄부재를 포함하고, - 상기 밸브로드에 부착된 전달 피스를 포함하고, 상기 전달 피스는 세로-조절방향으로 개방위치로부터 중간위치로 조절 가능하고, 가로-조절방향으로 상기 중간위치로부터 제 1 폐쇄위치로 조절 가능하고, 상기 가로-조절방향과 반대로 상기 중간위치로부터 제 2 폐쇄위치로 조절 가능하고, 이때 상기 전달 피스는 세로방향 행정-리니어 가이드와 가로방향 행정-리니어 가이드를 통하여 상기 밸브몸체와 연결되어 있고, 상기 가로방향 행정-리니어 가이드는 상기 세로-조절방향에 대해 비스듬히 있는 비스듬한-조절방향에 대해 평행으로 연장되는 가로방향 행정-가이드 부품과, 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 의해 이동 가능하게 안내된 가로방향 행정-슬라이더를 포함하고, 상기 중간위치로부터 상기 제 1 폐쇄위치로 또는 상기 제 2 폐쇄위치로 상기 전달 피스를 조절하기 위해 상기 가로방향 행정-슬라이더는 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 대해 또는 상기 가로방향 행정-가이드 부품은 상기 가로방향 행정-슬라이더에 대해 가로방향 행정-드라이브에 의해 상기 비스듬한-조절방향으로 중앙위치로부터 제 1 밀어붙임 위치로 선형으로 이동 가능하고 또는 상기 비스듬한-조절방향과 반대로 상기 중앙위치로부터 제 2 밀어붙임 위치로 선형으로 이동 가능하다.진공밸브로서, - 제 1 축을 구비하고 제 1 밸브시트에 의해 둘러싸인 제 1 밸브 개구부를 갖는, 그리고 제 2 축을 구비하고 제 2 밸브시트에 의해 둘러싸인 제 2 밸브 개구부를 갖는 밸브몸체,- 밸브로드에 부착된 제 1 폐쇄부재와 제 2 폐쇄부재,- 상기 밸브로드에 부착된 전달 피스로서, 상기 전달 피스는 세로-조절방향으로, 상기 제 1 폐쇄부재와 상기 제 2 폐쇄부재가 상기 제 1 밸브 개구부와 상기 제 2 밸브 개구부를 해제하는 개방위치로부터, 상기 제 1 폐쇄부재와 상기 제 2 폐쇄부재가 상기 제 1 밸브 개구부와 상기 제 2 밸브 개구부를 덮지만 상기 제 1 밸브시트와 상기 제 2 밸브시트로부터 리프팅된 중간위치로 조절 가능하고, 상기 전달 피스는 가로-조절방향으로 상기 중간위치로부터, 상기 제 1 폐쇄부재가 상기 제 1 밸브시트에 밀착하는 제 1 폐쇄위치로 조절 가능하고, 상기 가로-조절방향과 반대로 상기 중간위치로부터, 상기 제 2 폐쇄부재가 상기 제 2 밸브시트에 밀착하는 제 2 폐쇄위치로 조절 가능한, 상기 전달 피스,- 세로방향 행정-드라이브로서, 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해 상기 전달 피스는 상기 개방위치로부터 시작하여 상기 중간위치로 조절 가능한, 상기 세로방향 행정-드라이브,- 세로방향 행정-리니어 가이드로서, 상기 세로방향 행정-리니어 가이드는 상기 세로-조절방향에 대해 평행으로 연장되는 세로방향 행정-가이드 부품과, 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 의해 이동 가능하게 안내된 세로방향 행정-슬라이더를 구비하고, 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로 상기 전달 피스를 조절하기 위해 상기 세로방향 행정-슬라이더는 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 대해 또는 상기 세로방향 행정-가이드 부품은 상기 세로방향 행정-슬라이더에 대해 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해 상기 세로-조절방향으로 선형으로 이동 가능한, 상기 세로방향 행정-리니어 가이드,- 가로방향 행정-드라이브로서, 상기 가로방향 행정 드라이브에 의해 상기 전달 피스는 상기 중간위치로부터 시작하여 상기 제 1 폐쇄위치로 또는 상기 제 2 폐쇄위치로 조절 가능한, 상기 가로방향 행정-드라이브를 포함하고,상기 진공밸브는 가로방향 행정-리니어 가이드를 구비하고, 상기 가로방향 행정-리니어 가이드는 상기 세로-조절방향에 대해 비스듬히 있는 비스듬한-조절방향에 대해 평행으로 연장되는 가로방향 행정-가이드 부품과, 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 의해 이동 가능하게 안내된 가로방향 행정-슬라이더를 포함하고,상기 전달 피스는 상기 세로방향 행정-리니어 가이드와 상기 가로방향 행정-리니어 가이드를 통하여 상기 밸브몸체와 연결되어 있고, 상기 중간위치로부터 상기 제 1 폐쇄위치로 상기 전달 피스를 조절하기 위해 상기 가로방향 행정-슬라이더는 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 대해 또는 상기 가로방향 행정-가이드 부품은 상기 가로방향 행정-슬라이더에 대해 상기 가로방향 행정-드라이브에 의해 상기 비스듬한-조절방향으로 중앙위치로부터 제 1 밀어붙임 위치로 선형으로 이동 가능하고,상기 중간위치로부터 상기 제 2 폐쇄위치로 상기 전달 피스를 조절하기 위해 상기 가로방향 행정-슬라이더는 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 대해 또는 상기 가로방향 행정-가이드 부품은 상기 가로방향 행정-슬라이더에 대해 상기 가로방향 행정-드라이브에 의해 상기 비스듬한-조절방향과 반대로 상기 중앙위치로부터 제 2 밀어붙임 위치로 선형으로 이동 가능하고,상기 중앙위치는 상기 제 1 밀어붙임 위치와 상기 제 2 밀어붙임 위치 사이에 있고,상기 중간위치로부터 상기 제 1 폐쇄위치로의 상기 전달 피스의 조절시 그리고 상기 중간위치로부터 상기 제 2 폐쇄위치로의 상기 전달 피스의 조절시 상기 세로방향 행정-가이드 부품과 상기 세로방향 행정-슬라이더 사이의 상대적 이동이 수행되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.