IMPROVED PROBE CARD FOR HIGH-FREQUENCY APPLICATIONSA probe card (20) for a testing apparatus of electronic devices comprises a testing head (21), which houses a plurality of contact elements (22) extending along a longitudinal axis (H-H) between a first end portion (24A) and a second end portion (24B), a support plate (23), onto which the first end portion (24A) is adapted to abut, and a flexible membrane (25) which comprises a first face (F1) anda second and opposite face (F2). Conveniently, the first portion (25A) of the flexible membrane (25) is arranged on at least one support (28) and comprises a plurality of strips (27) extending between a proximal end (27A) and a distal end (27B), the probe card (20) further including a plurality of micro contact probes (30) comprising a body (30C) extending along the longitudinal axis (H-H) between a first end portion (30A) and a second end portion (30B), the second end portion (24B) of each contact element (22) abutting onto the first face (F1) of the flexible membrane (25) at the distal end(27B) of a respective strip (27), and the first end portion (30A) of each micro contact probe (30) abutting onto the second face (F2) of the flexible membrane (25) at a respective contact element (22), the flexible membrane (25) being electrically connected to the support plate (23) through a second portion thereof (25B), the second end portion (30B) of the micro contact probes (30) being apt to contact the contact pads (32) of a device to be tested, wherein the at least one support (28) is provided with a plurality of guide holes (28h) for the housing of the plurality of micro contact probes(30).A kind of probe card (20) of test device for electronic device, comprising:measuring head (21), the measuring head (21) accommodate multiple contact elements (22), and the multiple contact element (22) is along longitudinal axis axis (h-h) between one end (24a) and the second end (24b) extends；support plate (23), the first end (24a) are suitably against on the support plate (23)；andflexible membrane (25), the flexible membrane (25) include the first face (f1) and second face opposite with first face (f1) (f2), the probe card (20) is characterized in that, the first part (25a) of the flexible membrane (25) is arranged at least one support it on part (28) and include the multiple bands (27) extended between proximal end (27a) and distal end (27b)；the probe card (20) further include:multiple micro- contact probes (30), the multiple micro- contact probe (30) includes main body (30c), and the main body (30c) is along institute state longitudinal axis axis (h-h) and extend between first end (30a) and the second end (30b), each contact element (22) it is described the second end (24b) is abutted at the distal end (27b) of corresponding band (27) to first face of the flexible membrane (25) (f1), and described in the first end (30a) of each micro- contact probe (30) abuts at corresponding contact element (22) second face (f2) of flexible membrane (25), the flexible membrane (25) are electrically connected to the support by its second part (25b) plate (23), the second end (30b) of micro- contact probe (30) are suitable for contacting with the engagement pad (32) of device under test,wherein, at least one described supporting element (28) is provided with multiple guidings for accommodating the multiple micro- contact probe (30) hole (28h).
고주파 어플리케이션을 위한 개선된 프로브 카드전자 소자 테스트 장치용 프로브 카드(probe card)(20)는 제1 말단부(24A)와 제2 말단부(24B) 사이에서 종축(H-H)을 따라 연장된 복수의 콘택 요소들(22)을 수용하는 테스트 헤드(21), 상기 제1 말단부(24A)가 접할 수 있도록 구성된 지지 플레이트(support plate)(23), 및 제1 면(F1)과 그 반대편의 제2 면(F2)을 갖는 유연 막(flexible membrane)을 포함한다. 편리하게는, 상기 유연 막(25)의 제1 부분(25A)은 적어도 하나의 지지부(28) 상에 배치됨과 아울러 근위 말단(proximal end)(27A)과 원위 말단(distal end)(27B) 사이에서 연장되는 복수의 스트립들(strips)(27)을 포함하고, 상기 프로브 카드(20)는 제1 말단부(30A)와 제2 말단부(30B) 사이에서 상기 종축(H-H)을 따라 연장된 바디(30C)를 포함하는 복수의 마이크로 콘택 프로브들(micro contact probes)(30)을 더 포함하고, 각각의 콘택 요소(22)의 상기 제2 말단부(24B)는 각 스트립(27)의 상기 원위 말단(27B)에서 상기 유연 막(25)의 상기 제1 면(F1)에 접하고, 각각의 마이크로 콘택 프로브(30)의 상기 제1 말단부(30A)는 각 콘택 요소(22)에서 상기 유연 막(25)의 상기 제2면(F2)에 접하고, 상기 유연 막(25)은 상기 유연 막(25)의 제2 부분(25B)을 통하여 상기 지지 플레이트(23)에 전기적으로 연결되며, 상기 마이크로 콘택 프로브들(30)의 상기 제2 말단부(30B)는 피검 소자의 콘택 패드들(32)에 콘택할 수 있도록 구성되고, 적어도 하나의 상기 지지부(28)는 상기 복수의 마이크로 콘택 프로브들(30)을 수용하는 복수의 가이드 홀들(28h)을 구비한다.제1 말단부(24A)와 제2 말단부(24B) 사이에서 종축(H-H)을 따라 연장된 복수의 콘택 요소들(22)을 수용하는 테스트 헤드(21), 상기 제1 말단부(24A)가 접할 수 있도록 구성된 지지 플레이트(support plate)(23), 및 제1 면(F1)과 그 반대편의 제2 면(F2)을 갖는 유연 막(flexible membrane)(25)을 포함하는, 전자 소자 테스트 장치용 프로브 카드(probe card)(20)에 있어서,상기 유연 막(25)의 제1 부분(25A)은 적어도 하나의 지지부(28) 상에 배치됨과 아울러 근위 말단(proximal end)(27A)과 원위 말단(distal end)(27B) 사이에서 연장되는 복수의 스트립들(strips)(27)을 포함하고,상기 프로브 카드(20)는 제1 말단부(30A)와 제2 말단부(30B) 사이에서 상기 종축(H-H)을 따라 연장된 바디(30C)를 포함하는 복수의 마이크로 콘택 프로브들(micro contact probes)(30)을 더 포함하고,각각의 콘택 요소(22)의 상기 제2 말단부(24B)는 각 스트립(27)의 상기 원위 말단(27B)에서 상기 유연 막(25)의 상기 제1 면(F1)에 접하고,각각의 마이크로 콘택 프로브(30)의 상기 제1 말단부(30A)는 각 콘택 요소(22)에서 상기 유연 막(25)의 상기 제2 면(F2)에 접하고,상기 유연 막(25)은 상기 유연 막(25)의 제2 부분(25B)을 통하여 상기 지지 플레이트(23)에 전기적으로 연결되며,상기 마이크로 콘택 프로브들(30)의 상기 제2 말단부(30B)는 피검 소자의 콘택 패드들(32)에 콘택할 수 있도록 구성되고, 적어도 하나의 상기 지지부(28)는 상기 복수의 마이크로 콘택 프로브들(30)을 수용하는 복수의 가이드 홀들(28h)을 구비하는, 프로브 카드(20).