VACUUM VALVEA vacuum valve comprises a valve housing (1) with an interior (2), first and second valve openings (3, 4), and a closure unit (10) that is arranged in the interior (2) of the valve housing (1) and hasa first plate (11), a second plate (12), a roller support (13) which is arranged between the first plate (11) and the second plate (12), multiple roller pairs, each of which is formed from a first spreading roller (14) and a second spreading roller (15), and at least one spring (30, 31). The first and the second plate (11, 12) are carried together with the roller support (13) when the roller support (13) moves parallel to a movement direction (16) from the open position into an intermediate position, and an additional movement of the first and the second plate (11, 12) in the movement direction (16) is blocked when the roller support (13) moves from the intermediate position into a closed position. When the roller support (13) moves from the intermediate position into the closed position,the first and the second spreading roller (14, 15) are moved along rising edges (23a) of depressions (23), and the first and the second plate (11, 12) are thus spread apart parallel to a spreading direction (22). The rotational axes (28, 29) of the first and second spreading roller (14, 15) of each roller pair are offset relative to each other in the movement direction (16) and are spaced apart in the spreading direction (22) by a distance (b) which is smaller than the sum of the radius of the first spreading roller (14) and the radius of the second spreading roller (15).A kind of vacuum valve, including：valve chest (1), the valve chest carry inner cavity (2) and first and second valve opening (3,4), these valve openings are by first and two mating surfaces (7,8) are surrounded；andthe closing unit (10) being arranged in the inner cavity (2) of valve chest (1), the closing unit have the first plate (11), the second plate (12), rolling wheel support (13), multiple pairs of rollers and at least one spring being arranged between the first plate (11) and the second plate (12) (30,31), these pairs of rollers are made of the first expansion roller (14) and the second expansion roller (15) respectively, these expansion rollers enclose it is rotatably disposed at around corresponding rotation axis (28,29) on rolling wheel support (13), the first and second plates (11,12) are by the bullet spring abuts in the table toward each other of the first and second plates (11,12) towards expansion roller (14,15) drawing, these expansion rollers on face,wherein, which can be moved to closing from open position parallel to moving direction (16) via centre position position, in the open position, the vacuum valve is opened and the first and second valve openings (3,4) are open-minded, in the interposition put, the first and second plates (11,12) between the first and second valve openings (3,4) but with the first and second mating surfaces (7,8) it is spaced apart, in closed position, the vacuum valve is closed, and is moved to interposition from open position in the rolling wheel support (13) when putting, the first and second plates (11,12) are driven by rolling wheel support (13), and are moved in rolling wheel support (13) from centre position during closed position, the first and second plates (11,12) are locked out along the further movement of moving direction (16),wherein, in the open position and centre position of rolling wheel support (13), the first expansion roller (14) of respective roller pair is the abutted in the region of corresponding indent (23) on the surface of one plate (11) on the surface of the first plate (11), the of respective roller pair abutted in the region of corresponding indent of the two expansion rollers (15) on the surface of the second plate (12) on the surface of the second plate (12), when rolling wheel support (13) is moved to closed position from centre position, first and second expand rollers (14,15) along indent (23) edge (23a) of rising is mobile, and in this case, the first and second plates (11,12) are parallel to dimension (22) it is separated from each other,it is characterized in that, the rotation axis (28,29) of the first and second expansion rollers (14,15) of respective roller pair is with reference to movement side offset one from another to (16), and there is spacing (b) with reference to dimension (22), this is smaller than the radius of the first expansion roller (14) with the summation of the radius of the second expansion roller (15).
진공밸브진공밸브는 내부공간 (2) 과 제 1 밸브 개구부 (3) 및 제 2 밸브 개구부 (4) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 을 포함하고, 상기 진공밸브는 상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 내부공간 (2) 에 배치된 폐쇄유닛 (10) 을 포함하고, 상기 폐쇄유닛은 제 1 플레이트 (11), 제 2 플레이트 (12), 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 사이에 배치된 롤러 지지체 (13), 다수의 롤러쌍, 및 적어도 하나의 스프링 (30, 31) 을 구비하고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 에 의해 형성되고, 이때 개방위치로부터 중간위치로의, 이동방향 (16) 에 대해 평행하는 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 는 상기 롤러 지지체 (13) 에 의해 동행되고, 상기 중간위치로부터 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 이동방향 (16) 으로의 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 의 그 밖의 이동이 봉쇄된다. 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 오목부들 (23) 의 상승 측면들 (23a) 을 따라서 이동되고, 이때 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 를 스프레딩 방향 (22) 에 대해 평행으로 서로 벌린다. 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 회전축들 (28, 29) 은 상기 이동방향 (16) 과 관련하여 서로 오프셋되고, 상기 스프레딩 방향 (22) 과 관련하여 간격 (b) 을 가지며, 상기 간격은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계보다 작다.진공밸브로서, 내부공간 (2) 과 제 1 밸브 개구부 (3) 및 제 2 밸브 개구부 (4) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 으로서, 상기 제 1 밸브 개구부 (3) 및 상기 제 2 밸브 개구부 (4)는 제 1 시트면 (seat surface, 7) 과 제 2 시트면 (8) 에 의해 둘러싸여 있는, 상기 밸브 하우징 (1), 및상기 밸브 하우징 (1) 의 상기 내부공간 (2) 에 배치된 폐쇄유닛 (10) 으로서, 상기 폐쇄유닛은 제 1 플레이트 (11), 제 2 플레이트 (12), 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 사이에 배치된 롤러 지지체 (13), 다수의 롤러쌍들, 및 적어도 하나의 스프링 (30, 31) 을 구비하고, 상기 롤러쌍들은 각각 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 제 2 스프레딩 롤러 (15) 에 의해 형성되고, 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 롤러 지지체 (13) 에서 각각의 회전축 (28, 29) 둘레로 회전 가능하게 설치되고, 상기 스프링에 의해 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 는 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 를 향하여 잡아당겨지고, 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 의 서로를 향한 표면들에 밀착하는, 상기 폐쇄유닛 (10) 을 포함하고,상기 롤러 지지체 (13) 는, 상기 진공밸브가 열려 있는 그리고 상기 제 1 밸브 개구부 (3) 와 상기 제 2 밸브 개구부 (4) 가 해제되어 있는 개방위치로부터, 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 가 상기 제 1 밸브 개구부 (3) 와 상기 제 2 밸브 개구부 (4) 사이에 놓이지만, 상기 제 1 시트면 (7) 과 상기 제 2 시트면 (8) 으로부터 간격을 두고 있는 중간위치를 거쳐, 상기 진공밸브가 닫혀 있는 폐쇄위치로, 이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 는 상기 롤러 지지체 (13) 에 의해 동행되고, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 이동방향 (16) 으로의 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 의 그 밖의 이동이 봉쇄되고,상기 롤러 지지체 (13) 의 상기 개방위치와 상기 중간위치에 있어서 각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 는 상기 제 1 플레이트 (11) 의 표면 안의 각각의 오목부 (23) 의 영역 안의 상기 제 1 플레이트 (11) 의 표면에 밀착하고, 각각의 롤러쌍의 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 상기 제 2 플레이트 (12) 의 표면 안의 각각의 오목부의 영역 안의 상기 제 2 플레이트 (12) 의 표면에 밀착하고, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 롤러 지지체 (13) 의 이동시 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 는 오목부들 (23) 의 상승 측면들 (23a) 을 따라서 이동되고, 이때 상기 제 1 플레이트 (11) 와 상기 제 2 플레이트 (12) 를 스프레딩 방향 (22) 에 대해 평행으로 서로 벌리고,각각의 롤러쌍의 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 와 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 회전축들 (28, 29) 은 상기 이동방향 (16) 과 관련하여 서로 오프셋되고, 상기 스프레딩 방향 (22) 과 관련하여 간격 (b) 을 가지며, 상기 간격은 상기 제 1 스프레딩 롤러 (14) 의 반지름과 상기 제 2 스프레딩 롤러 (15) 의 반지름의 합계보다 작은 것을 특징으로 하는 진공밸브.