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분석모형의 구성요소에 따른 측정내용을 살펴보면, 먼저 성과감사의 환경요소는 성과감사 실시를 위한 기반요소로서 감사환경 변화에 대응하는 새로운 감사제도로서의 성과감사에 대한 인식과 대상기관의 관심에 대해 측정하며, 기획요소는 성과감사 실시를 위한 준비단계로서 각 감사사항별 방향과 목적, 그리고 성과감사를 위한 역량(인력)에 대해 측정한다. 또한 실시요소는 실제 성과감사를 실시하는 단계에서 필요한 요소를 말하는 것으로 성과감사의 감사초점 및 판단기준과 감사증거에 대해 측정하고, 결과요소에서는 감사결과의 처리유형 및 결과보고(성과감사보고서)와 결과처리의 효과로서 감사성과에 대해 측정한다. 마지막으로 환류요소는 감사결과의 사후관리와 결과활용에 대해 측정한다. 구체적인 측정항목은 <표 2>와 같다.
환경요소는 성과감사에 대한 인식과 대상기관의 관심, 기획요소는 감사사항별 방향과 목적 및 역량, 실시요소는 감사초점 및 판단기준과 감사증거를, 결과요소는 감사성과,  환류요소는 사후관리와 결과활용을 측정한다.