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캐나다 센서스에서 표본조사는 1941년에 처음 시행되었다. 주택조사는 각 센서스 부지구(census subdistrict) 내의 10번째 거처(dwelling)마다 시행되었다. 주택조사의 27개 질문에 대한 정보는 같은 거처의 인구조사 가구원․가구부문 자료와 병합되어 표본 특성과 기초 특성에 관한 교차표로 만들어졌다. 1951년에 다시 주택 센서스가 표본조사로 시행되었는데, 24개의 질문을 포함하는 주택조사를 위해 매 다섯 번째 거처(고유번호가 2 나 7로 끝나는 것)를 표본으로 선택하였다. 1961년 센서스에서는 개인 가구의 20%에 대해 15세 이상 인구의 국내인구이동, 출산력과 수입을 포함하는 표본조사를 하였다. 그러나 1956년과 1966년에는 센서스 규모가 작아 표본조사를 시행하지 않았다.
41년 처음 시행된 캐나다 센서스 표본조사는 질문을 통해 표본 특성과 기초 특성의 교차표를 만들었다. 51년과 61년에도 표본조사가 실시되었으나, 56년과 66년에는 규모가 작아 표본조사가 시행되지 않았다.