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이러한 형사보상 청구 건수의 증가는 형사보상 처리 건수에도 그대로 반영되었다. 지방법원에서 2009년까지 250건 내외이던 형사보상 처리 건수는 2010년 전년도의 38배인 8,349건으로 폭증하였으며, 2012년까지 매년 전년도의 2배 이상씩 증가하였다. 보상청구는 형사미성년, 심신상실로 무죄판결을 받은 경우, 거짓 자백을 하거나 다른 유죄의 증거를 만들어 기소, 미결구금 또는 유죄재판을 받게 된 경우 등에는 전부 또는 일부가 기각된다(형사보상법 제4조). 전부 기각된 처리 건수를 제외하고 최근 10년간 형사보상 청구의 인용률은 80%를 상회하고 있으며, 특히 2010년 이후에는 98.6%에서 99.6% 사이로 높은 인용률을 유지하고 있다.
형사보상 청구 건수는 시간이 지남에 따라 더욱 늘어났다. 이는 특정 무죄판결, 거짓 자백 등이 진행되어있을 때 시행되며 최근 10년과 더불어 현재까지 높은 인용율을 유지하고있다.