Hexachlordisilan
Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung 
Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane SinCl2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.

Eigenschaften 
Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.

Verwendung 
Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden.

Einzelnachweise 

Chlorsilan